WO2023059078A1 - 전기 전도성 접촉핀 및 이를 구비하는 검사장치 - Google Patents

전기 전도성 접촉핀 및 이를 구비하는 검사장치 Download PDF

Info

Publication number
WO2023059078A1
WO2023059078A1 PCT/KR2022/015020 KR2022015020W WO2023059078A1 WO 2023059078 A1 WO2023059078 A1 WO 2023059078A1 KR 2022015020 W KR2022015020 W KR 2022015020W WO 2023059078 A1 WO2023059078 A1 WO 2023059078A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
electrically conductive
conductive contact
contact pin
support plate
hole
Prior art date
Application number
PCT/KR2022/015020
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
안범모
박승호
변성현
Original Assignee
(주)포인트엔지니어링
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)포인트엔지니어링 filed Critical (주)포인트엔지니어링
Publication of WO2023059078A1 publication Critical patent/WO2023059078A1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/06711—Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
    • G01R1/06733—Geometry aspects
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/06705—Apparatus for holding or moving single probes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/06711—Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
    • G01R1/06716—Elastic
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/073—Multiple probes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/073—Multiple probes
    • G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card

Definitions

  • the present invention relates to an electrically conductive contact pin and a testing device having the same.
  • the electrically conductive contact pin is provided in the testing device and is used to electrically and physically contact an object to be tested to transmit an electrical signal.
  • the inspection device may be an inspection device used in a semiconductor manufacturing process, and may be, for example, a probe card or a test socket.
  • the electrically conductive contact pins may be electrically conductive contact pins provided in a probe card to inspect a semiconductor chip, or socket pins provided in a test socket to inspect a packaged semiconductor package to inspect a semiconductor package.
  • the prior art will be described by exemplifying a vertical probe card among inspection devices.
  • FIG. 1 is a schematic view of a vertical probe card 1 according to the prior art
  • FIG. 2 is an enlarged view of the probe head 7 of FIG. 1 .
  • probe card Semiconductor chip inspection on a wafer basis is performed by a probe card.
  • the probe card is mounted between the wafer and the test equipment head, and 8,000 to 100,000 electrically conductive contact pins on the probe card are in contact with pads (WP) in individual chips on the wafer to transmit test signals between the probe equipment and individual chips. It serves as an intermediary that enables communication between them.
  • WP pads
  • These probe cards include vertical probe cards, cantilever probe cards, and MEMS probe cards.
  • a vertical probe card (1) includes a circuit board (2), a space converter (3) provided on the lower side of the circuit board (2), and a probe head (7) provided on the lower side of the space converter (3). It is composed by
  • the probe head 7 includes support plates 5 and 6 having a plurality of electrically conductive contact pins 7 and holes into which the electrically conductive contact pins 7 are inserted.
  • the probe head 7 includes an upper support plate 5 and a lower support plate 6, and the upper support plate 5 and the lower support plate 6 are spaced apart from each other through a spacer and fixedly installed.
  • the electrically conductive contact pins 7 are elastically deformed between the upper support plate 5 and the lower support plate 6, and adopt such electrically conductive contact pins 7 to construct the vertical probe card 1. .
  • the electrically conductive contact pin 7 has an embossed pattern fixing portion 8 protruding outward from its body.
  • the embossed pattern fixing part 8 protrudes outward from the hole of the upper support plate 5 and is supported on the upper surface of the upper support plate 5 to prevent the electrically conductive contact pin 7 from falling off from the probe head 7. .
  • the width of the electrically conductive contact pin 7 is 'W'
  • the width of the embossed pattern fixing part 8 is 'a'
  • the separation distance between adjacent embossed pattern fixing parts 8 is 'b'
  • the adjacent electric pattern fixing part 8 is 'b'.
  • the separation distance d between the conductive contact pins 7 becomes 2a+b.
  • the width W of the electrically conductive contact pins 7 must be reduced, but the width W of the electrically conductive contact pins 7 There is a limit to reducing the width W of the electrically conductive contact pin 7 because reducing the electrical conductivity of the electrically conductive contact pin 7 lowers and the electrically conductive contact pin 7 is easily damaged. .
  • the above problems are the same problems that occur in a test apparatus having a vertical probe card as well as a support plate for fixing electrically conductive contact pins.
  • Patent Document 1 Registration No. 10-1913355 Patent Publication
  • the present invention has been made to solve the problems of the prior art described above, and an object of the present invention is to provide an electrically conductive contact pin capable of responding to a narrow pitch and an inspection device having the same.
  • the electrically conductive contact pin according to the present invention is inserted into the hole of the support plate and installed in the support plate, wherein at least a part of the sidewall of the hole is accommodated in the hole
  • An intaglio pattern fixing unit that is hooked and fixed to the side wall; and a spare space portion formed at a position corresponding to the intaglio pattern fixing portion to allow the intaglio pattern fixing portion to be elastically deformed in a width direction.
  • first contact portion located on the side of the first end of the electrically conductive contact pin, the end of which serves as a first contact point; a second contact portion located on the side of the second end of the electrically conductive contact pin, the end of which is a second contact; and a body portion positioned between the first contact portion and the second contact portion, wherein the intaglio pattern fixing portion is provided in the body portion.
  • the body portion may be elastically deformed in the width direction of the electrically conductive contact pin.
  • At least a portion of the body portion can be elastically deformed in the longitudinal direction of the electrically conductive contact pin.
  • the body portion may include an elastic portion for allowing the first contact portion and the second contact portion to be elastically displaced in the longitudinal direction of the electrically conductive contact pin; and at least a portion thereof connected to the elastic part, guiding the elastic part to be compressed and stretched in the longitudinal direction of the electrically conductive contact pin, and preventing the elastic part from buckling while being compressed. and a support provided outside the elastic part, and the intaglio pattern fixing part is provided on a side surface of the support.
  • the elastic part may include a first elastic part connected to the first contact part; a second elastic part connected to the second contact part; and an intermediate fixing part connected to the first elastic part and the second elastic part between the first elastic part and the second elastic part and integrally provided with the support part.
  • the second contact part performs a wiping operation.
  • the intaglio pattern fixing part is formed on at least a part of a side surface of the electrically conductive contact pin.
  • it includes an embossed pattern fixing part formed on the opposite side of the intaglio pattern fixing part.
  • the intaglio pattern fixing part the upper locking jaw caught on the upper surface of the side wall of the hole; and a lower locking jaw caught on a lower surface of the sidewall of the hole.
  • the electrically conductive contact pin in the electrically conductive contact pin inserted into the hole of the support plate and installed in the support plate, the electrically conductive contact pin is installed at the first end side along the first sidewall of the body portion of the electrically conductive contact pin.
  • the electrically conductive contact pin is formed by stacking a plurality of metal layers in a thickness direction of the electrically conductive contact pin.
  • the support plate is formed with a hole; and electrically conductive contact pins inserted into the holes of the support plate and installed in the support plate, wherein the electrically conductive contact pins are elastically deformable in the width direction of the electrically conductive contact pins, and at least on sidewalls of the holes.
  • An intaglio pattern fixing part is provided, which is partially accommodated and fixed to the sidewall of the hole.
  • a first contact portion located on the side of the first end of the electrically conductive contact pin, the end of which serves as a first contact point; a second contact portion located on the side of the second end of the electrically conductive contact pin, the end of which is a second contact; and a body portion positioned between the first contact portion and the second contact portion, wherein the intaglio pattern fixing portion is provided in the body portion, and the width of the body portion positioned above the intaglio pattern fixing portion is a width of the hole. and a width of the body portion positioned below the intaglio pattern fixing portion is greater than that of the hole.
  • the support plate may include an upper support plate; and a lower support plate spaced apart from the upper support plate, wherein a width of a hole in the upper support plate is smaller than a width of a hole in the lower support plate, and the electrically conductive contact pins are formed at a lower portion of the lower support plate.
  • the intaglio pattern fixing part passes through the hole first, and then the intaglio pattern fixing part is elastically deformed in the width direction of the electrically conductive contact pin and penetrates the hole of the upper support plate, and the intaglio pattern fixing part is elastically restored and caught on the hole sidewall of the upper support plate. It is fixed.
  • the present invention provides an electrically conductive contact pin capable of responding to a narrow pitch and a testing device having the same.
  • FIG. 1 is a view schematically showing a vertical probe card according to the prior art.
  • FIG. 2 is an enlarged view of the probe head 7 of FIG. 1;
  • FIG. 3 is a view showing a state in which an electrically conductive contact pin according to a first preferred embodiment of the present invention is inserted into a support plate;
  • FIG. 4A and 4B are views comparing an electrically conductive contact pin according to a first preferred embodiment of the present invention and an electrically conductive contact pin according to the prior art
  • FIG. 4A is a view showing an electrically conductive contact pin according to the prior art
  • Fig. 4b shows an electrically conductive contact pin according to a first preferred embodiment of the present invention.
  • FIG. 5 is a plan view of an electrically conductive contact pin according to a first preferred embodiment of the present invention.
  • FIG. 6 is a perspective view of an electrically conductive contact pin according to a first preferred embodiment of the present invention.
  • FIG. 7A to 7C show a process of inserting an electrically conductive contact pin according to a first preferred embodiment of the present invention into a support plate.
  • FIG. 8a and 8b are plan views showing a modified example of an electrically conductive contact pin according to a first preferred embodiment of the present invention
  • 9a and 9b are plan views showing a modified example of an electrically conductive contact pin according to a first preferred embodiment of the present invention.
  • Fig. 10 is a plan view of an electrically conductive contact pin according to a second preferred embodiment of the present invention.
  • Fig. 11 shows the installation of electrically conductive contact pins according to a second preferred embodiment of the present invention on a support plate
  • FIG. 12 is a partially enlarged view of FIG. 10;
  • Fig. 13 is a perspective view of an electrically conductive contact pin according to a second preferred embodiment of the present invention.
  • FIG. 14 is a plan view showing that the intaglio pattern fixing part of the electrically conductive contact pin according to the second preferred embodiment of the present invention is provided on both the upper and lower parts of the body part.
  • Fig. 15 shows the installation of the electrically conductive contact pins according to Fig. 14 on a support plate
  • 16a and 16b are plan views showing a modified example of an electrically conductive contact pin according to a second preferred embodiment of the present invention.
  • Embodiments described in this specification will be described with reference to sectional views and/or perspective views, which are ideal exemplary views of the present invention. Films and thicknesses of regions shown in these drawings are exaggerated for effective description of technical content.
  • the shape of the illustrative drawings may be modified due to manufacturing techniques and/or tolerances. Therefore, embodiments of the present invention are not limited to the specific shapes shown, but also include changes in shapes generated according to manufacturing processes.
  • Technical terms used in this specification are used only to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise.
  • the width direction of the electrically conductive contact pin described below is the ⁇ x direction indicated in the drawing
  • the length direction of the electrically conductive contact pin is the ⁇ y direction indicated in the drawing
  • the thickness direction of the electrically conductive contact pin is the ⁇ z direction indicated in the drawing. am.
  • FIG. 3 is a view showing a state in which electrically conductive contact pins according to a first preferred embodiment of the present invention are inserted into a support plate
  • FIGS. 4A and 4B are electrically conductive contact pins according to a first preferred embodiment of the present invention.
  • FIG. 4a is a view showing an electrically conductive contact pin according to the prior art
  • FIG. 4b is a diagram showing an electrically conductive contact pin according to a first preferred embodiment of the present invention.
  • Figure 5 is a plan view of an electrically conductive contact pin according to a first preferred embodiment of the present invention
  • Figure 6 is a perspective view of an electrically conductive contact pin according to a first preferred embodiment of the present invention
  • Figs. 7C is a view showing a process of inserting the electrically conductive contact pins according to the first preferred embodiment of the present invention into the support plate
  • FIGS. 8A and 8B are the electrically conductive contact pins according to the first preferred embodiment of the present invention.
  • 9A and 9B are plan views showing a modified example of an electrically conductive contact pin according to a first preferred embodiment of the present invention.
  • the support plate includes an upper support plate GP1 located on an upper side and a lower support plate GP2 provided and spaced apart from the upper support plate GP1.
  • a description of a support plate may refer to at least one of an upper support plate GP1 and a lower support plate GP2.
  • the electrically conductive contact pins 100 are inserted into the holes of the support plates GP1 and GP2 and are supported and installed on at least one of the support plates GP1 and GP2.
  • the electrically conductive contact pin 100 includes an intaglio pattern fixing part 130 in which at least a portion of the sidewall of the hole of the support plates GP1 and GP2 is received and fixed to the sidewall of the hole.
  • the intaglio pattern fixing part 130 is provided at a position corresponding to the hole of the upper support plate GP1
  • the electrically conductive contact pin 100 is fixed to the lower support plate GP2
  • the intaglio pattern fixing part 130 is provided at a position corresponding to the hole of the lower support plate GP2.
  • the structure shown in FIG. 3 is a structure in which the electrically conductive contact pins 100 are provided at positions corresponding to the holes of the upper support plate GP1 and fixed to the upper support plate GP1.
  • the electrically conductive contact pin 100 includes a first contact portion 101 located on the side of the first end of the electrically conductive contact pin 100, the end of which serves as a first contact, and a second contact portion 101 of the electrically conductive contact pin 100. It includes a second contact portion 102 located on the end side and the end serving as a second contact point, and a body portion 110 located between the first contact portion 101 and the second contact portion 102.
  • the first contact part 101, the second contact part 102 and the body part 110 are integrally provided as one body.
  • At least a portion of the body portion 110 is elastically deformable while being bent in the width direction of the electrically conductive contact pin 100 .
  • the electrically conductive contact pin 100 shown in FIG. 3 is shown as being provided in a straight line, it is not limited thereto, and a bent portion is provided on a portion of the body portion 110 to be elastically deformable in the width direction based on the bent portion. can
  • the intaglio pattern fixing part 130 is provided on the body part 110 .
  • the intaglio pattern fixing part 130 is formed on at least a part of the side surface of the electrically conductive contact pin 100 .
  • the intaglio pattern fixing part 130 is formed stepwise in the width direction of the electrically conductive contact pin 100 from at least one sidewall of the electrically conductive contact pin 100 .
  • the intaglio pattern fixing unit 130 includes an upper locking jaw 131 hooked on the upper surface of the side wall of the hole and a lower locking jaw 132 hooked on the lower surface of the side wall of the hole.
  • the width of the body portion 110 positioned above the intaglio pattern fixing portion 130 is greater than the width of the hole of the upper support plate GP1, and the body portion 110 positioned below the intaglio pattern fixing portion 130 The width of is greater than the width of the hole of the upper support plate GP1.
  • the width of the body part 110 where the intaglio pattern fixing part 130 is located is smaller than the width of the hole of the upper support plate GP1.
  • the side wall of the hole of the upper support plate GP1 is inserted into the locking groove 133 provided between the upper locking jaw 131 and the lower locking jaw 132 so that the lower surface of the upper locking jaw 131 is the upper support plate GP1. is supported on the upper surface of the lower locking jaw 132, and the upper surface of the lower locking jaw 132 is supported on the lower surface of the upper support plate GP1, so that the upper locking jaw 131 and the lower locking jaw 132 are engaged and fixed.
  • the distance between the upper locking jaw 131 and the lower locking jaw 132 is greater than the thickness of the upper support plate GP1 in the longitudinal direction.
  • the body portion 110 of the electrically conductive contact pin 100 has a first sidewall S1 located on its left side and a second sidewall S2 located on its right side.
  • the first sidewall S1 is a sidewall positioned on the left side of the body portion 110
  • the second sidewall S2 is a sidewall positioned on the right side of the body portion 110 .
  • the intaglio pattern fixing part 130 is provided on at least one of the first sidewall S1 and the second sidewall S2.
  • the first sidewall S1 extends along the first sidewall S1 of the body 110 from the first end side to the second end side. It is divided into an upper part of the extending first sidewall S1 and a lower part of the first sidewall S1 extending from the second end side to the first end side along the first sidewall S1 of the body part 110 .
  • the intaglio pattern fixing part 130 is formed stepwise in the width direction of the electrically conductive contact pin 100 between the upper part of the first side wall S1 and the lower part of the first side wall S1, so that the upper support plate GP1 At least a portion of the side wall of the hole is received and secured to the side wall of the hole.
  • the second side wall S2 extends from the first end side to the second end along the second side wall S2 of the body 110. It is divided into an upper part of the second side wall S2 extending laterally and a lower part of the second side wall S2 extending from the second end side to the first end side along the second side wall S2 of the body part 110. .
  • the intaglio pattern fixing part 130 is formed stepwise in the width direction of the electrically conductive contact pin 100 between the upper part of the second side wall S2 and the lower part of the second side wall S2, so that the upper support plate GP1 At least a portion of the side wall of the hole is received and secured to the side wall of the hole.
  • the free space part 150 is provided at a position corresponding to the position of the intaglio pattern fixing part 130, and when the intaglio pattern fixing part 130 is pressed in the width direction, the width of the internal space decreases and the intaglio pattern fixing part 130 ) can be compressed and expanded in the width direction.
  • the extra space part 150 is provided as a space in which at least a part of the inside of the body part 110 is empty.
  • the intaglio pattern fixing part 130 is pressed in the width direction, the intaglio pattern fixing part 130 is compressed and deformed in the width direction by the configuration of the free space part 150, and when the pressure is released, the intaglio pattern fixing part 130 moves in the width direction. While expanding and restoring in the direction, the side wall of the hole of the upper support plate GP1 is inserted into the locking groove 133 .
  • the free space portion 150 is elongated along the longitudinal direction of the electrically conductive contact pin 100 and overlaps at least a portion of the free space portion 150 in the width direction of the intaglio pattern fixing portion 130 .
  • the spare space portion 150 may be provided as an air gap formed elongated along the longitudinal direction of the electrically conductive contact pin 100 . These gaps are formed along the longitudinal direction of the body portion 110 so that the body portion 110 is formed of a plurality of split beams. At least one air gap may be formed, and as shown in the drawing, two may be formed. Through this, the intaglio pattern fixing part 130 is deformed to compress and expand more easily.
  • the air gap is also formed long on the lower side of the body portion 110 so that the body portion 110 is more easily bent and deformed in the horizontal direction, thereby shortening the length of the body portion 110, and through the configuration of the air gap, the body Since the surface area of the unit 110 is widened, it is advantageous for high-frequency signal transmission through this.
  • Fig. 4a is a diagram showing an electrically conductive contact pin 7 according to the prior art
  • Fig. 4b is a diagram showing an electrically conductive contact pin 100 according to a first preferred embodiment of the present invention.
  • the width of the electrically conductive contact pin 7 according to the prior art is 'W'
  • the width of the embossed pattern fixing part 8 is 'a'
  • the minimum between adjacent embossed pattern fixing parts 8 is If the separation distance is 'b min ', the separation distance d between adjacent electrically conductive contact pins 7 is 2a+b min .
  • the minimum separation distance b min means a minimum distance for preventing adjacent electrically conductive contact pins 7 from contacting each other and short-circuiting.
  • the separation distance d between adjacent electrically conductive contact pins 100 becomes b min .
  • the electrically conductive contact pins 100 according to the first preferred embodiment of the present invention adopt the intaglio pattern fixing part 130, it is possible to exclude the width as much as the embossed pattern fixing part 8, and thus the adjacent electrically conductive contact pins
  • the separation distance between (100) becomes b min , which is the minimum separation distance.
  • the electrically conductive contact pins 100 according to the first preferred embodiment of the present invention can narrow the separation distance between adjacent electrically conductive contact pins 100 compared to the prior art.
  • the intaglio pattern fixing part 130 and the spare space part 150 as described above, it is possible to provide the electrically conductive contact pin 100 that is advantageous in responding to a narrow pitch.
  • the electrically conductive contact pin 100 is provided by stacking a plurality of metal layers in the thickness direction of the electrically conductive contact pin 100 .
  • the plurality of metal layers include a first metal layer 160 and a second metal layer 180 .
  • the first metal layer 160 is a metal having relatively high wear resistance compared to the second metal layer 180, and is preferably made of rhodium (Rd), platinum (Pt), iridium (Ir), palladium (Pd), or nickel (Ni).
  • the second metal layer 180 is a metal having relatively high electrical conductivity compared to the first metal layer 160, and is preferably formed of a metal selected from copper (Cu), silver (Ag), gold (Au), or an alloy thereof. It can be.
  • the first metal layer 160 is provided on the bottom and top surfaces of the electrically conductive contact pin 100 in the thickness direction, and the second metal layer 180 is provided between the first metal layers 160 .
  • the electrically conductive contact pin 100 is provided by alternately stacking the first metal layer 160, the second metal layer 180, and the first metal layer 160 in that order, and the number of layers to be stacked is three or more. It can be. 5 layers are shown in the drawing.
  • the thickness of the electrically conductive contact pin 100 is substantially the same as the width of the electrically conductive contact pin 100 . Through this, the thickness of the electrically conductive contact pin 100 is small compared to the width of the electrically conductive contact pin 100, thereby preventing the characteristic deterioration of the electrically conductive contact pin 100 caused by reducing the thickness of the electrically conductive contact pin 100 can do.
  • FIGS. 7A to 7C are diagrams illustrating the installation of electrically conductive contact pins 100 to support plates GP1 and GP2.
  • the electrically conductive contact pins 100 first pass through the holes of the lower support plate GP2 from the bottom, and then the intaglio pattern fixing part 130 is compressed and deformed in the width direction of the electrically conductive contact pins 100 so that the upper support plate ( Penetrating through the hole of GP1, the intaglio pattern fixing part 130 expands and restores in the width direction, and is caught and fixed to the sidewall of the hole of the upper support plate GP1.
  • the upper support plate GP1 and the lower support plate GP2 are installed to be spaced apart from each other, and the width of the hole of the upper support plate GP1 is the hole of the lower support plate GP2. is formed smaller than the width of The width of the body portion 110 excluding the intaglio pattern fixing portion 130 is smaller than the inner width of the hole of the lower support plate GP2 and larger than the inner width of the hole of the upper support plate GP1.
  • the first contact portion 101 of the electrically conductive contact pin 100 passes through the hole of the lower support plate GP2 and moves toward the upper support plate GP2. Since the width of the body portion 110 is smaller than the inner width of the hole of the lower support plate GP2 , the electrically conductive contact pin 100 can be pushed upward.
  • both widths of the intaglio pattern fixing part 130 are pressed so that the width is the same as that of the hole of the upper support plate GP1. Make the deformation smaller than the inner width.
  • the sidewall of the hole of the upper support plate GP1 is inserted into the locking groove 133 of the intaglio pattern fixing part 130, so that the intaglio pattern fixing part 130 is the upper support plate It is hooked and fixed to the side wall of the hole of (GP1).
  • the replacement process of the electrically conductive contact pins 100 installed on the upper support plate GP1 and the lower support plate GP2 is performed in the reverse order of the installation process. After pressing the intaglio pattern fixing part 130 in the width direction to make it smaller than the inner width of the hole of the upper support plate GP1, the conductive contact pin 100 is pushed out toward the lower side of the lower support plate GP2.
  • the electrically conductive contact pin 100 according to the first preferred embodiment of the present invention is not only advantageous in responding to a narrow pitch, but also has a simple installation and replacement process.
  • FIG. 8a and 8b are diagrams showing a modified example of the intaglio pattern fixing unit 130 .
  • the body portion 110 of the electrically conductive contact pin 100 has a left side located on its left side and a right side located on its right side, and the intaglio pattern fixing unit 130 has a body portion 110 ) is provided only on the left side, which is one side of the.
  • the intaglio pattern fixing part 130 may be provided only on the right side of the body part 110 .
  • an intaglio pattern fixing part 130 is provided on the left side of the body part 110 and an embossed pattern fixing part 140 is provided on the right side opposite to the intaglio pattern fixing part 130 .
  • the configuration provided with the intaglio pattern fixing unit 130 and the embossed pattern fixing unit 140 may be somewhat disadvantageous in terms of narrow pitch compared to the configuration provided only with the intaglio pattern fixing unit 130, but both embossed pattern fixing units ( 140), it is advantageous in terms of narrow pitch compared to the configuration provided only.
  • 9A and 9B are diagrams showing a modified example of the free space unit 150 .
  • the free space portion 150 shown in FIG. 9A is formed only at a position where the intaglio pattern fixing portion 130 is elastically deformable in the width direction. do. Accordingly, the length of the free space portion 150 shown in FIG. 9A may be shorter than the length of the free space portion 150 shown in FIG. 5 .
  • the free space portion 150 shown in FIG. 9B has a larger inner width and is formed as a single space. In addition, it is discontinuously separated from the free space portion 150 and has a slot portion 160 on the lower side of the body portion 110 . At least one slot unit 160 may be formed, and as shown in the drawing, two may be formed. The slot portion 160 is also formed long on the lower side of the body portion 110 so that the body portion 110 is more easily bent and deformed in the horizontal direction, thereby shortening the length of the body portion 110, and the slot portion 160 Since the surface area of the body portion 110 is widened through the configuration of ), it is advantageous for high-frequency signal transmission through this.
  • FIG. 10 is a plan view of an electrically conductive contact pin according to a second preferred embodiment of the present invention
  • FIG. 11 is a view showing an electrically conductive contact pin according to a second preferred embodiment of the present invention installed on a support plate
  • Fig. 12 is a partially enlarged view of Fig. 10
  • Fig. 13 is a perspective view of an electrically conductive contact pin according to a second preferred embodiment of the present invention
  • Fig. 14 is a perspective view of an electrically conductive contact pin according to a second preferred embodiment of the present invention.
  • It is a plan view showing that the intaglio pattern fixing part is provided on both the upper and lower parts of the body
  • FIG. 15 is a view showing that the electrically conductive contact pin according to FIG. 14 is installed on the support plate
  • FIGS. 16a and 16b are a view showing the present invention
  • the electrically conductive contact pin 200 includes an engraved pattern fixing part 230 in which at least a part of the sidewall of the hole of the support plates GP1 and GP2 is received and fixed to the sidewall of the hole.
  • the intaglio pattern fixing part 230 is provided at a position corresponding to the hole of the upper support plate GP1, and the electrically conductive contact pin 200
  • the intaglio pattern fixing part 230 is provided at a position corresponding to the hole of the lower support plate GP2.
  • the electrically conductive contact pin 200 is provided at a position corresponding to the hole of the upper support plate GP1 and fixed to the upper support plate GP1.
  • the electrically conductive contact pin 200 includes a first contact portion 201 located on the side of the first end of the electrically conductive contact pin 200, the end of which serves as a first contact, and a second contact portion 201 of the electrically conductive contact pin 200. It includes a second contact portion 202 located on the end side and the end serving as a second contact point, and a body portion 210 located between the first contact portion 201 and the second contact portion 202.
  • the first contact part 201, the second contact part 202 and the body part 210 are integrally provided as one body.
  • the intaglio pattern fixing part 130 is provided on the body part 210 .
  • the body portion 210 includes an elastic portion 211 that allows the first contact portion 201 and the second contact portion 202 to be elastically displaced in the longitudinal direction of the electrically conductive contact pin 200; and to guide the elastic portion 211 to be compressed and stretched in the longitudinal direction of the electrically conductive contact pin 200, and to prevent the elastic portion 211 from being bent or bent in the horizontal direction while being compressed to prevent buckling ( 200) along the length direction of the elastic portion 211 provided on the outside of the support portion 215; includes.
  • the elastic portion 211 which is at least a part of the body portion 210 , can be elastically deformed in the longitudinal direction of the electrically conductive contact pin 200 .
  • the elastic part 211 includes a first elastic part 211a connected to the first contact part 201; a second elastic part 211b connected to the second contact part 202; and an intermediate fixing part 211c connected to the first elastic part 211a and the second elastic part 211b between the first elastic part 211a and the second elastic part 211b and integrally provided with the support part 215. ).
  • each cross-sectional shape of the electrically conductive contact pin 200 in the thickness direction is the same in all thickness cross-sections.
  • the elastic part 211 has the same thickness as a whole.
  • the first and second elastic parts 211a and 211b have a shape in which a plate-shaped plate having an actual width t is repeatedly bent in an S shape, and the actual width t of the plate-shaped plate is generally constant.
  • One end of the first contact pin 201 is a free end, and the other end is connected to the first elastic part 211a so that it can move vertically elastically by contact pressure.
  • One end of the second contact portion 202 is a free end, and the other end is connected to the second elastic portion 211b so that it can move vertically elastically by contact pressure.
  • One end of the first elastic part 211a is connected to the first contact part 201 and the other end is connected to the intermediate fixing part 211c.
  • One end of the second elastic part 211b is connected to the second contact part 202 and the other end is connected to the intermediate fixing part 211c.
  • the support part 215 includes a first support part 215a provided on the left side of the elastic part 211 and a second support part 215b provided on the right side of the elastic part 211 .
  • the intermediate fixing portion 211c extends in the width direction of the electrically conductive contact pin 200 and connects the first support portion 215a and the second support portion 215b.
  • the first elastic part 211a is provided on the upper part based on the intermediate fixing part 211c
  • the second elastic part 211b is provided on the lower part based on the intermediate fixing part 211c. Based on the intermediate fixing part 211c, the first elastic part 211a and the second elastic part 211b are compressed or stretched.
  • the intermediate fixing part 211c is fixed to the first and second support parts 215a and 215b, and when the first and second elastic parts 211a and 211b are compressed and deformed, the position of the first and second elastic parts 211a and 211b moves. will perform the function of limiting
  • An area provided with the first elastic part 211a and an area provided with the second elastic part 211b are distinguished from each other by the intermediate fixing part 211c. Therefore, foreign substances introduced into the upper opening cannot flow into the second elastic portion 211b, and foreign substances introduced through the lower opening also cannot flow into the first elastic portion 211a. Through this, by limiting the movement of the foreign matter introduced into the support part 215, it is possible to prevent the foreign matter from interfering with the operation of the first and second elastic parts 211a and 211b.
  • the first support portion 215a and the second support portion 215b are formed along the longitudinal direction of the electrically conductive contact pin 200, and the first support portion 215a and the second support portion 215b form the electrically conductive contact pin 200. It is integrally connected to the intermediate fixing part 211c formed extending along the width direction of the. While the first and second elastic parts 211a and 211b are integrally connected through the intermediate fixing part 211c, the electrically conductive contact pin 200 is formed as one body as a whole.
  • the first and second elastic parts 211a and 211b are formed by alternately connecting a plurality of straight parts and a plurality of arc-shaped curved parts.
  • the straight portion connects left and right adjacent curved portions, and the curved portion connects upward and downward adjacent straight portions.
  • the first elastic portion 211a requires a compression amount sufficient for the first contact portions 201 of the plurality of electrically conductive contact pins 200 to stably contact the upper connection object
  • the second elastic portion 211b The second contact portions 202 of the plurality of electrically conductive contact pins 200 require an amount of compression sufficient to stably contact the lower connection object. Therefore, the spring coefficient of the first elastic part 211a and the spring coefficient of the second elastic part 211b are different from each other. For example, the length of the first elastic part 211a and the length of the second elastic part 211b are provided differently. Also, the length of the second elastic part 211b may be longer than that of the first elastic part 211a.
  • the intaglio pattern fixing part 230 is formed on at least a part of the side surface of the electrically conductive contact pin 200 .
  • the intaglio pattern fixing part 230 is formed on the body part 210 , and preferably the intaglio pattern fixing part 230 is formed on the support part 215 .
  • the intaglio pattern fixing part 230 is formed stepwise in the width direction of the electrically conductive contact pin 200 from at least one sidewall of the electrically conductive contact pin 200 .
  • the intaglio pattern fixing part 230 includes an upper locking jaw 231 hooked on the upper surface of the side wall of the hole and a lower locking jaw 232 hooked on the lower surface of the side wall of the hole.
  • the sidewall of the hole of the upper support plate GP1 is inserted into the locking groove 233 provided between the upper locking jaw 231 and the lower locking jaw 232 so that the lower surface of the upper locking jaw 231 is the upper support plate GP1. It is supported on the upper surface of the lower locking jaw 232, and the upper surface of the lower locking jaw 232 is supported on the lower surface of the upper support plate GP1, so that the upper locking jaw 231 and the lower locking jaw 232 are engaged and fixed.
  • the distance between the upper locking jaw 231 and the lower locking shoulder 232 is greater than the thickness of the upper support plate GP1 in the longitudinal direction.
  • It includes a free space portion 250 formed at a position corresponding to the intaglio pattern fixing portion 230 so that the intaglio pattern fixing portion 230 can be elastically deformed in the width direction. It is provided at a position corresponding to the position of the intaglio pattern fixing part 230, and when the intaglio pattern fixing part 230 is pressed in the width direction, the width of the internal space decreases and the intaglio pattern fixing part 230 is deformed in the width direction. make it possible
  • the spare space part 250 is provided as a space in which at least a part of the inside of the body part 210 is empty while the support part 215 and the elastic part 211 are spaced apart from each other.
  • the free space part 250 causes the intaglio pattern fixing part 230 to be compressed and deformed in the width direction, and when the pressure is released, the locking groove 233 expands and restores in the width direction.
  • the side wall of the hole of the upper support plate GP1 is inserted into the hole.
  • the first support part 215a and the second support part 215b located above the intermediate fixing part 211c are cantilever beam structures having free ends, respectively, and are deformable by pressing force.
  • the electrically conductive contact pin 200 according to the second preferred embodiment of the present invention is provided by stacking a plurality of metal layers in the thickness direction of the electrically conductive contact pin 200 .
  • the plurality of metal layers include a first metal layer 160 and a second metal layer 180 .
  • the first metal layer 160 is a metal having relatively high wear resistance compared to the second metal layer 180, and is preferably made of rhodium (Rd), platinum (Pt), iridium (Ir), palladium (Pd), or nickel (Ni).
  • the second metal layer 180 is a metal having relatively high electrical conductivity compared to the first metal layer 160, and is preferably formed of a metal selected from copper (Cu), silver (Ag), gold (Au), or an alloy thereof. It can be.
  • the first metal layer 160 is provided on the lower and upper surfaces of the electrically conductive contact pin 200 in the thickness direction, and the second metal layer 180 is provided between the first metal layers 160 .
  • the electrically conductive contact pin 200 is provided by alternately stacking the first metal layer 160, the second metal layer 180, and the first metal layer 160 in this order, and the number of layers to be stacked is three or more. It can be. 5 layers are shown in the drawing.
  • Wear resistance and electrical conductivity of the electrically conductive contact pins 200 arranged at a narrow pitch may be improved through a configuration in which a plurality of metal layers are stacked.
  • a configuration in which a plurality of metal layers are stacked even when the electrically conductive contact pins 200 are arranged at a narrow pitch, it is possible to prevent degradation of wear resistance or electrical conductivity.
  • the second contact portion 202 of the electrically conductive contact pin 200 includes a connection portion 310 connected to the elastic portion 211, a protruding tip 325 providing a second contact point, a connection portion 310 and a protruding tip ( 325) and includes an inner body 321 that is not separated from the support part 215.
  • connection part 310 One end of the connection part 310 is connected to the elastic part 211, more specifically, the second elastic part 135, and the other end of the connection part 310 is connected to the inner body 321.
  • the inner body 321 is configured in a hemispherical shape based on a plan view.
  • the inner body 321 is formed in a hemispherical shape to minimize frictional resistance with the support part 215 .
  • connection part 310 has an inclination angle and is connected to the second elastic part 135 and the spherical surface of the inner body 321 .
  • a guide part 350 for guiding the wiping operation of the second contact part 202 when the second contact part 202 rises vertically is provided on the inner wall of the support part 215 .
  • the guide portion 350 is deflected in the axial direction of the electrically conductive contact pin 300 to guide the inner body 321 so that the inner body 321 can move up and down.
  • the guide part 350 includes a first guide part 351 provided on the inner wall of the first support part 141 and a second guide part 353 provided on the inner wall of the second support part 145 .
  • the first guide part 351 and the second guide part 353 are composed of inclined surfaces inclined at a predetermined angle in the axial direction of the electrically conductive contact pin 300 . Through this, when the inner body 321 ascends vertically, the inclined surface of the first guide part 351 and the inclined surface of the second guide part 353 are guided to perform the inclined movement. In other words, the inner body 321 is guided along the inclined surface of the first guide part 351 and the inclined surface of the second guide part 353 to move leftward and upward.
  • the inner body 321 receives a repulsive force by the connecting portion 310 inclined at an upper surface of the inner body 321 .
  • the inner body 321 receives an eccentric resisting force.
  • the inner body 321 receives an eccentric resistance force from the upper side, and a rotational moment is generated in the inner body 321, and as a result, the protruding tip 325 of the second contact part 202 maintains an appropriate contact pressure with the test object and While being tilted at the same time, a wiping operation is performed on the object to be inspected.
  • the protruding tip 325 of the second contact part 202 maintains an appropriate contact pressure and tilts at the same time, causing cracks in the oxide film layer formed on the surface of the object to be inspected, and the conductive material layer of the object to be inspected is exposed through the crack to form a protruding tip ( 325) comes into contact. Through this, an electrical connection is made. In addition, through this wiping operation, it is possible to minimize damage to the object to be inspected, and the use time of the electrically conductive contact pin 200 is improved by not causing an excessive amount of debris in the oxide film layer.
  • the support portion 215 of the electrically conductive contact pin 200 maintains a vertical state and the second contact portion 202 contacts the object to be tested. It performs a wiping operation on the object to be inspected while maintaining the pressure and tilting at the same time. Since the electrically conductive contact pins 200 can perform a wiping operation on the oxide film layer without bending deformation in the horizontal direction, the configuration of the intaglio pattern fixing part 230 and the narrow pitch of the electrically conductive contact pins 200 can also respond more effectively.
  • 14 to 16B are diagrams showing modifications of the intaglio pattern fixing unit 230.
  • the electrically conductive contact pin 200 shown in FIGS. 14 and 15 is shown in FIG. 10 provided only on the upper portion of the body portion 210 in that the intaglio pattern fixing portion 230 is also provided on the lower portion of the body portion 210. There is a difference from the electrically conductive contact pin 200. Through this, the electrically conductive contact pin 200 can be more stably fixed to the upper support plate GP1 and the lower support plate GP2. Meanwhile, the electrically conductive contact pin 200 shown in FIG. 14 is different in that the guide portion 350 of the electrically conductive contact pin 200 shown in FIG. 10 is not provided.
  • connection part 310 is connected to the spherical surface of the inner body 321 at an axial position of the second contact part 202 or a position close to the axis, and the other end of the connection part 310 is connected to a position farther from the axis than one end. 2 It is connected to the elastic part (211b).
  • one end of the connection part 310 is connected to the inner body 321 at an axial position of the inner body 321, and the other end of the connection part 310 is connected to the second elastic part at a curved part position of the second elastic part 211b. (211b).
  • the inner body 321 When the second contact portion 202 rises, the inner body 321 receives a repulsive force by the connection portion 310 connected to the second elastic portion 211b at an angle from the upper surface of the inner body 321 .
  • the inner body 321 receives an eccentric resisting force.
  • the inner body 321 receives an eccentric resistance force from the upper side, and a rotational moment is generated in the inner body 321, and as a result, the protruding tip 325 of the second contact part 202 maintains an appropriate contact pressure with the test object and While being tilted at the same time, a wiping operation is performed on the object to be inspected.
  • the body portion 110 of the electrically conductive contact pin 200 has a left side located on its left side and a right side located on its right side, and the intaglio pattern fixing unit 230 has a body portion 210 ) is provided only on the left side, which is one side.
  • the intaglio pattern fixing part 230 may be provided only on the right side of the body part 210 .
  • an intaglio pattern fixing part 230 is provided on the left side of the body part 210, and an embossed pattern fixing part 240 is provided on the right side opposite to the intaglio pattern fixing part 230.
  • the configuration provided with the intaglio pattern fixing unit 230 and the embossed pattern fixing unit 240 may be somewhat disadvantageous in terms of narrow pitch compared to the configuration provided only with the intaglio pattern fixing unit 230, but both embossed pattern fixing units ( 240), it is advantageous in terms of narrow pitch compared to the configuration provided only.
  • the electrically conductive contact pins 100 and 200 according to each preferred embodiment of the present invention described above are provided in a testing device and are used to electrically and physically contact an object to be tested to transmit an electrical signal.
  • the test device includes support plates GP1 and GP2 having holes and electrically conductive contact pins 100 and 200 inserted into holes of the support plates GP1 and GP2 and installed in the support plates GP1 and GP2,
  • the conductive contact pins 100 and 200 are elastically deformable in the width direction of the electrically conductive contact pins 100 and 200, and include an intaglio pattern fixing portion in which at least a portion of the sidewall of the hole is accommodated and fixed to the sidewall of the hole.
  • the inspection device may be an inspection device used in a semiconductor manufacturing process, and may be, for example, a probe card or a test socket.
  • the electrically conductive contact pins 100 and 200 may be electrically conductive contact pins provided in a probe card to inspect a semiconductor chip, or socket pins provided in a test socket to inspect a packaged semiconductor package to inspect a semiconductor package.
  • the electrically conductive contact pins 100 and 200 according to each preferred embodiment of the present invention may be employed in a vertical probe card.
  • a vertical probe card according to a preferred embodiment of the present invention includes a space converter having a connection pad, support plates GP1 and GP2 provided at a lower part of the space converter and spaced apart from the space converter, and support plates GP1 and GP2. It includes electrically conductive contact pins 100 and 200 installed by being inserted into the holes.
  • a vertical probe card according to a preferred embodiment of the present invention is used in an inspection process of inspecting a chip fabricated on a wafer during a semiconductor manufacturing process, and is capable of responding to microscopic measurements.
  • the pitch interval between the electrically conductive contact pins 100 and 200 installed on the support plates GP1 and GP2 of the vertical probe card is 50 ⁇ m or more and 150 ⁇ m or less.
  • Inspection devices in which the electrically conductive contact pins 100 and 200 according to a preferred embodiment of the present invention can be used are not limited thereto, and include all inspection devices for checking whether an object to be inspected is defective by applying electricity.
  • the inspection target of the inspection device may include a semiconductor device, a memory chip, a microprocessor chip, a logic chip, a light emitting device, or a combination thereof.
  • inspection objects include logic LSIs (such as ASICs, FPGAs, and ASSPs), microprocessors (such as CPUs and GPUs), memories (DRAM, HMC (Hybrid Memory Cube), MRAM (Magnetic RAM), PCM (Phase- Change Memory), ReRAM (Resistive RAM), FeRAM (ferroelectric RAM) and flash memory (NAND flash)), semiconductor light emitting devices (including LED, mini LED, micro LED, etc.), power devices, analog ICs (DC-AC converters and such as insulated gate bipolar transistors (IGBTs), MEMS (such as acceleration sensors, pressure sensors, vibrators, and giro sensors), wire-free devices (such as GPS, FM, NFC, RFEM, MMIC, and WLAN), discrete devices, Includes BSI, CIS, Camera Module, CMOS, Passive Device, GAW Filter, RF Filter, RF IPD, APE and BB.
  • LSIs such as ASICs, FPGAs, and ASSPs

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Geometry (AREA)
  • Coupling Device And Connection With Printed Circuit (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

본 발명은 지지 플레이트의 구멍에 삽입되어 지지 플레이트에 설치되고, 구멍 측벽의 적어도 일부가 수용되어 구멍 측벽에 걸림 고정되는 음각 패턴 고정부를 포함하며, 폭 방향으로 탄성 변형 가능한 전기 전도성 접촉핀 및 이를 구비하는 검사 장치를 제공한다.

Description

전기 전도성 접촉핀 및 이를 구비하는 검사장치
본 발명은 전기 전도성 접촉핀 및 이를 구비하는 검사장치에 관한 것이다.
전기 전도성 접촉핀은, 검사장치에 구비되어 검사 대상물과 전기적, 물리적으로 접촉하여 전기적 신호를 전달하는데 사용된다. 검사장치는 반도체 제조공정에 사용되는 검사장치일 수 있으며, 그 일례로 프로브 카드일 수 있고, 테스트 소켓일 수 있다. 전기 전도성 접촉핀들은 프로브 카드에 구비되어 반도체 칩을 검사하는 전기 전도성 접촉핀일 수 있고, 패키징된 반도체 패키지를 검사하는 테스트 소켓에 구비되어 반도체 패키지를 검사하는 소켓 핀일 수 있다. 이하 종래기술은 검사 장치 중에서도 수직형 프로브 카드를 예시하여 설명한다.
도 1은 종래기술에 따른 수직형 프로브 카드(1)를 개략적으로 도시한 도이고, 도 2는 도 1의 프로브 헤드(7)를 확대하여 도시한 도면이다.
웨이퍼 단위에서의 반도체 칩 검사는 프로브 카드에 의해 수행된다. 프로브 카드는 웨이퍼와 테스트 장비 헤드 사이에 장착되며, 프로브 카드상에 8,000~100,000개의 전기 전도성 접촉핀이 웨이퍼상의 개별 칩 내의 패드(WP)에 접촉되어 프로브 장비와 개별 칩간에 테스트 신호(Signal)를 서로 주고 받을 수 있도록 하는 중간 매개체 역할을 수행하게 된다. 이러한 프로브 카드에는 수직형 프로브 카드, 캔틸레버형 프로브 카드, 멤스 프로브 카드가 있다.
일반적으로 수직형 프로브 카드(1)는, 회로기판(2), 회로기판(2)의 하측에 구비되는 공간변환기(3) 및 공간변환기(3)의 하측에 구비되는 프로브 헤드(7)를 포함하여 구성된다.
프로브 헤드(7)는 다수의 전기 전도성 접촉핀(7)과 전기 전도성 접촉핀(7)이 삽입되는 구멍을 구비하는 지지 플레이트(5, 6)를 포함한다. 프로브 헤드(7)는 상부 지지플레이트(5) 및 하부 지지플레이트(6)를 포함하며, 상부 지지플레이트(5) 및 하부 지지플레이트(6)는 스페이서를 통해 서로 이격되어 고정 설치된다. 전기 전도성 접촉핀(7)은 상부 지지플레이트(5) 및 하부 지지플레이트(6)사이에서 탄성 변형하는 구조로서, 이러한 전기 전도성 접촉핀(7)을 채택하여 수직형 프로브 카드(1)를 구성한다.
도 2를 참조하면, 전기 전도성 접촉핀(7)은 그 바디부의 외측으로 돌출된 양각 패턴 고정부(8)를 구비한다. 양각 패턴 고정부(8)는 상부 지지플레이트(5)의 구멍 외측으로 돌출 형성되어 상부 지지플레이트(5)의 상면에 지지됨으로써 프로브 헤드(7)로부터 전기 전도성 접촉핀(7)이 탈락되지 않도록 한다.
전기 전도성 접촉핀(7)의 폭이 'W'이고, 양각 패턴 고정부(8)의 폭이 'a'이며, 인접한 양각 패턴 고정부(8)간의 이격 거리가 'b'라고 하면, 인접한 전기 전도성 접촉핀(7)간의 이격 거리(d)는 2a+b가 된다.
최근의 반도체 소자는 하나의 소자가 다양한 기능을 수행하고 처리속도도 점점 빨라지는 동시에 필연적으로 입출력단자 수가 증가함에 따라 반도체 소자의 전극 패드(WP)들 간의 피치(pitch)는 점점 작아지는 추세이다. 이러한 협 피치 추세에 대응하기 위해서는 전기 전도성 접촉핀(7)들 역시 협 피치로 배열되어야 한다.
그런데, 인접한 전기 전도성 접촉핀(7)간의 이격 거리(d)를 작게 줄이기 위해서는 전기 전도성 접촉핀(7)의 폭(W)을 작게 줄여야 하지만, 전기 전도성 접촉핀(7)의 폭(W)을 줄이게 되면 전기 전도성 접촉핀(7)의 전기 전도도가 낮아지게 되고 전기 전도성 접촉핀(7)이 쉽게 파손되는 문제가 발생하게 되므로 전기 전도성 접촉핀(7)의 폭(W)을 줄이는 데에는 한계가 있다.
한편, 인접한 전기 전도성 접촉핀(7)간의 이격 거리(d)를 작게 줄이기 위해서 양각 패턴 고정부(8)의 폭(a)을 줄이는 것도 고려해 볼만하다. 그러나 양각 패턴 고정부(8)의 폭(a)을 줄일 경우에는 전기 전도성 접촉핀(7)이 상부 지지플레이트(5)의 구멍으로 빠지는 불량이 발생하게 된다.
이상과 같은 문제점은 수직형 프로브 카드뿐만 아니라 전기 전도성 접촉핀을 고정하는 지지플레이트를 구비하는 검사장치에서는 동일하게 발생하는 문제점이다.
[선행기술문헌]
[특허문헌]
(특허문헌 1) 등록번호 제10-1913355호 등록특허공보
본 발명은 상술한 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명은 협피치 대응이 가능한 전기 전도성 접촉핀 및 이를 구비하는 검사장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 전기 전도성 접촉핀은, 지지 플레이트의 구멍에 삽입되어 상기 지지플레이트에 설치되는 전기 전도성 접촉핀에 있어서, 상기 구멍 측벽의 적어도 일부가 수용되어 상기 구멍 측벽에 걸림 고정되는 음각 패턴 고정부; 및 상기 음각 패턴 고정부에 대응되는 위치에 형성되어 상기 음각 패턴 고정부가 폭 방향으로 탄성 변형 가능하도록 하는 여유공간부;를 포함한다.
또한, 상기 전기 전도성 접촉핀의 제1단부측에 위치하며 그 단부가 제1접점이 되는 제1접촉부; 상기 전기 전도성 접촉핀의 제2단부측에 위치하며 그 단부가 제2접점이 되는 제2 접촉부; 및 상기 제1접촉부와 상기 제2접촉부 사이에 위치하는 바디부를 포함하되, 상기 음각 패턴 고정부는 상기 바디부에 구비된다.
또한, 상기 바디부의 적어도 일부는 상기 전기 전도성 접촉핀의 폭 방향으로 탄성 변형 가능하다.
또한, 상기 바디부의 적어도 일부는 상기 전기 전도성 접촉핀의 길이 방향으로 탄성 변형 가능하다.
또한, 상기 바디부는, 상기 제1접촉부와 상기 제2접촉부가 상기 전기 전도성 접촉핀의 길이방향으로 탄력적으로 변위되도록 하는 탄성부; 및 적어도 일부가 상기 탄성부에 연결되고 상기 탄성부가 상기 전기 전도성 접촉핀의 길이방향으로 압축 및 신장되도록 안내하며, 상기 탄성부가 압축되면서 좌굴되는 것을 방지하도록 상기 전기 전도성 접촉핀의 길이 방향을 따라 상기 탄성부의 외측에 구비되는 지지부;를 포함하고, 상기 음각 패턴 고정부는 상기 지지부의 측면에 구비된다.
또한, 상기 탄성부는, 상기 제1접촉부에 연결되는 제1탄성부; 상기 제2접촉부에 연결되는 제2탄성부; 및 상기 제1탄성부와 상기 제2탄성부 사이에서 상기 제1탄성부 및 상기 제2탄성부와 연결되고 상기 지지부와 일체로 구비되는 중간 고정부를 포함한다.
또한, 상기 제2접촉부는 상기 지지부 내부에서 수직 상승하면서 상기 제2접점이 와이핑 동작을 수행한다.
또한, 상기 음각 패턴 고정부는 상기 전기 전도성 접촉핀의 측면 중 적어도 일부에 형성된다.
또한, 상기 음각 패턴 고정부의 반대 측면에 형성되는 양각 패턴 고정부를 포함한다.
또한, 상기 음각 패턴 고정부는, 상기 구멍 측벽의 상면에 걸리는 상부 걸림턱; 및 상기 구멍 측벽의 하면에 걸리는 하부 걸림턱을 포함한다.
한편, 본 발명에 따른 전기 전도성 접촉핀은, 지지플레이트의 구멍에 삽입되어 상기 지지플레이트에 설치되는 전기 전도성 접촉핀에 있어서, 상기 전기 전도성 접촉핀의 바디부의 제1측벽을 따라 제1단부측에서 제2단부측으로 연장되는 제1측벽의 상부; 상기 바디부의 상기 제1측벽을 따라 상기 제2단부측에서 상기 제1단부측으로 연장되는 제1측벽의 하부; 및 폭 방향으로 탄성 변형 가능하고, 상기 제1측벽의 상부와 상기 제1측벽의 하부 사이에 상기 전기 전도성 접촉핀의 폭 방향으로 단차하게 형성되어 상기 지지플레이트의 구멍 측벽의 적어도 일부가 수용되어 상기 구멍 측벽에 걸림 고정되는 음각 패턴 고정부;를 포함한다.
또한, 상기 전기 전도성 접촉핀은, 복수개의 금속층이 상기 전기 전도성 접촉핀의 두께 방향으로 적층되어 형성된다.
한편, 본 발명에 따른 검사 장치는, 구멍이 형성된 지지플레이트; 및 상기 지지플레이트의 구멍에 삽입되어 상기 지지플레이트에 설치되는 전기 전도성 접촉핀;을 포함하되, 상기 전기 전도성 접촉핀은, 상기 전기 전도성 접촉핀의 폭 방향으로 탄성 변형 가능하고, 상기 구멍 측벽의 적어도 일부가 수용되어 상기 구멍 측벽에 걸림 고정되는 음각 패턴 고정부가 구비된다.
또한, 상기 전기 전도성 접촉핀의 제1단부측에 위치하며 그 단부가 제1접점이 되는 제1접촉부; 상기 전기 전도성 접촉핀의 제2단부측에 위치하며 그 단부가 제2접점이 되는 제2 접촉부; 및 상기 제1접촉부와 상기 제2접촉부 사이에 위치하는 바디부를 포함하되, 상기 음각 패턴 고정부는 상기 바디부에 구비되며, 상기 음각 패턴 고정부의 상부에 위치하는 상기 바디부의 폭은 상기 구멍의 폭 보다 크고, 상기 음각 패턴 고정부의 하부에 위치하는 상기 바디부의 폭은 상기 구멍의 폭 보다 크다.
또한, 상기 지지플레이트는, 상부 지지플레이트; 및 상기 상부 지지플레이트와 이격되어 구비되는 하부 지지플레이트를 포함하고, 상기 상부 지지플레이트의 구멍의 폭은 상기 하부 지지플레이트의 구멍의 폭보다 작고, 상기 전기 전도성 접촉핀은 하부에서 상기 하부 지지플레이트의 구멍을 먼저 관통하고 그 다음 상기 음각 패턴 고정부가 상기 전기 전도성 접촉핀의 폭 방향으로 탄성 변형되면서 상기 상부 지지플레이트의 구멍을 관통하여 상기 음각 패턴 고정부가 탄성 복원되면서 상기 상부 지지플레이트의 구멍 측벽에 걸림 고정된다.
본 발명은 협피치 대응이 가능한 전기 전도성 접촉핀 및 이를 구비하는 검사장치를 제공한다.
도 1은 종래기술에 따른 수직형 프로브 카드를 개략적으로 도시한 도면.
도 2는 도 1의 프로브 헤드(7)를 확대하여 도시한 도면.
도 3은 본 발명의 바람직한 제1실시예에 따른 전기 전도성 접촉핀이 지지플레이트에 삽입된 상태를 도시한 도면.
도 4a 및 도 4b는 본 발명의 바람직한 제1실시예에 따른 전기 전도성 접촉핀과 종래기술에 따른 전기 전도성 접촉핀을 비교하는 도면으로서, 도 4a는 종래기술에 따른 전기 전도성 접촉핀을 도시한 도면이고, 도 4b는 본 발명의 바람직한 제1실시에에 따른 전기 전도성 접촉핀을 도시한 도면.
도 5는 본 발명의 바람직한 제1실시예에 따른 전기 전도성 접촉핀의 평면도.
도 6은 본 발명의 바람직한 제1실시예에 따른 전기 전도성 접촉핀의 사시도.
도 7a 내지 도 7c는 본 발명의 바람직한 제1실시예에 따른 전기 전도성 접촉핀을 지지플레이트에 삽입하는 과정을 도시한 도면.
도 8a 및 도 8b는 본 발명의 바람직한 제1실시예에 따른 전기 전도성 접촉핀의 변형례를 도시한 평면도.
도 9a 및 도 9b는 본 발명의 바람직한 제1실시예에 따른 전기 전도성 접촉핀의 변형례를 도시한 평면도.
도 10은 본 발명의 바람직한 제2실시예에 따른 전기 전도성 접촉핀의 평면도.
도 11은 본 발명의 바람직한 제2실시예에 따른 전기 전도성 접촉핀을 지지플레이트에 설치한 것을 도시한 도면.
도 12는 도 10의 부분 확대도.
도 13은 본 발명의 바람직한 제2실시예에 따른 전기 전도성 접촉핀의 사시도.
도 14는 본 발명의 바람직한 제2실시예에 따른 전기 전도성 접촉핀의 음각 패턴 고정부가 바디부의 상부 및 하부에 모두 구비된 것을 도시한 평면도.
도 15는 도 14에 따른 전기 전도성 접촉핀을 지지플레이트에 설치한 것을 도시한 도면.
도 16a 및 도 16b는 본 발명의 바람직한 제2실시예에 따른 전기 전도성 접촉핀의 변형례를 도시한 평면도.
이하의 내용은 단지 발명의 원리를 예시한다. 그러므로 당업자는 비록 본 명세서에 명확히 설명되거나 도시되지 않았지만 발명의 원리를 구현하고 발명의 개념과 범위에 포함된 다양한 장치를 발명할 수 있는 것이다. 또한, 본 명세서에 열거된 모든 조건부 용어 및 실시 예들은 원칙적으로, 발명의 개념이 이해되도록 하기 위한 목적으로만 명백히 의도되고, 이와 같이 특별히 열거된 실시 예들 및 상태들에 제한적이지 않는 것으로 이해되어야 한다.
상술한 목적, 특징 및 장점은 첨부된 도면과 관련한 다음의 상세한 설명을 통하여 보다 분명해질 것이며, 그에 따라 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 것이다.
본 명세서에서 기술하는 실시 예들은 본 발명의 이상적인 예시 도인 단면도 및/또는 사시도들을 참고하여 설명될 것이다. 이러한 도면들에 도시된 막 및 영역들의 두께 등은 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다. 제조 기술 및/또는 허용 오차 등에 의해 예시도의 형태가 변형될 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시 예들은 도시된 특정 형태로 제한되는 것이 아니라 제조 공정에 따라 생성되는 형태의 변화도 포함하는 것이다. 본 명세서에서 사용한 기술적 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로서, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "구비하다" 등의 용어는 본 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 전기 전도성 접촉핀 및 이를 구비하는 검사장치에 대해 설명한다.
이하에서 설명하는 전기 전도성 접촉핀의 폭 방향은 도면에 표기된 ±x방향이고, 전기 전도성 접촉핀의 길이 방향은 도면에 표기된 ±y방향이고, 전기 전도성 접촉핀의 두께 방향은 도면에 표기된 ±z방향이다.
제1실시예
이하, 도 3 내지 도 9b를 참조하여, 본 발명의 바람직한 제1실시예에 따른 전기 전도성 접촉핀(100)에 대해 설명한다.
도 3은 본 발명의 바람직한 제1실시예에 따른 전기 전도성 접촉핀이 지지플레이트에 삽입된 상태를 도시한 도면이고, 도 4a 및 도 4b는 본 발명의 바람직한 제1실시예에 따른 전기 전도성 접촉핀과 종래기술에 따른 전기 전도성 접촉핀을 비교하는 도면으로서, 도 4a는 종래기술에 따른 전기 전도성 접촉핀을 도시한 도면이고, 도 4b는 본 발명의 바람직한 제1실시에에 따른 전기 전도성 접촉핀을 도시한 도면이며, 도 5는 본 발명의 바람직한 제1실시예에 따른 전기 전도성 접촉핀의 평면도이고, 도 6은 본 발명의 바람직한 제1실시예에 따른 전기 전도성 접촉핀의 사시도이며, 도 7a 내지 도 7c는 본 발명의 바람직한 제1실시예에 따른 전기 전도성 접촉핀을 지지플레이트에 삽입하는 과정을 도시한 도면이고, 도 8a 및 도 8b는 본 발명의 바람직한 제1실시예에 따른 전기 전도성 접촉핀의 변형례를 도시한 평면도이며, 도 9a 및 도 9b는 본 발명의 바람직한 제1실시예에 따른 전기 전도성 접촉핀의 변형례를 도시한 평면도이다.
지지플레이트는 상측에 위치하는 상부 지지플레이트(GP1)와, 상부 지지플레이트(GP1)와 이격되어 구비되는 하부 지지플레이트(GP2)를 포함한다. 이하에서 지지플레이트라는 기재는, 상부 지지플레이트(GP1)와 하부 지지플레이트(GP2) 중 적어도 어느 하나를 의미할 수 있다.
전기 전도성 접촉핀(100)은 지지플레이트(GP1, GP2)의 구멍에 삽입되어 지지플레이트(GP1, GP2) 중 적어도 어느 하나에 지지되어 설치된다.
전기 전도성 접촉핀(100)은 지지플레이트(GP1, GP2)의 구멍 측벽의 적어도 일부가 수용되어 구멍 측벽에 걸림 고정되는 음각 패턴 고정부(130)를 포함한다. 전기 전도성 접촉핀(100)이 상부 지지플레이트(GP1)에 고정되는 구성에 있어서는 음각 패턴 고정부(130)는 상부 지지플레이트(GP1)의 구멍에 대응되는 위치에 구비되고, 전기 전도성 접촉핀(100)이 하부 지지플레이트(GP2)에 고정되는 구성에 있어서는 음각 패턴 고정부(130)는 하부 지지플레이트(GP2)의 구멍에 대응되는 위치에 구비된다. 다만 도 3에 도시된 구조는, 전기 전도성 접촉핀(100)이 상부 지지플레이트(GP1)의 구멍에 대응되는 위치에 구비되어 상부 지지플레이트(GP1)에 고정되는 구조이다.
전기 전도성 접촉핀(100)은, 전기 전도성 접촉핀(100)의 제1단부측에 위치하며 그 단부가 제1접점이 되는 제1접촉부(101)와, 전기 전도성 접촉핀(100)의 제2단부측에 위치하며 그 단부가 제2접점이 되는 제2 접촉부(102)와, 제1접촉부(101)와 제2접촉부(102) 사이에 위치하는 바디부(110)를 포함한다. 제1접촉부(101), 제2접촉부(102) 및 바디부(110)는 한 몸체로서 일체로 구비된다.
바디부(110)의 적어도 일부는 전기 전도성 접촉핀(100)의 폭 방향으로 휘어지지면서 탄성 변형가능하다. 도 3에 도시된 전기 전도성 접촉핀(100)을 일자형으로 구비되는 것으로 도시되어 있으나 이에 한정되는 것은 아니고 바디부(110)의 일부에 절곡부가 구비되어 절곡부를 기준으로 폭 방향으로 탄성 변형가능한 구조일 수 있다.
음각 패턴 고정부(130)는 바디부(110)에 구비된다. 음각 패턴 고정부(130)는 전기 전도성 접촉핀(100)의 측면 중 적어도 일부에 형성된다.
음각 패턴 고정부(130)는 전기 전도성 접촉핀(100)의 적어도 하나의 측벽에서 전기 전도성 접촉핀(100)의 폭 방향으로 단차지게 형성된다. 음각 패턴 고정부(130)는, 구멍 측벽의 상면에 걸리는 상부 걸림턱(131)과 구멍 측벽의 하면에 걸리는 하부 걸림턱(132)을 포함한다.
음각 패턴 고정부(130)의 상부에 위치하는 바디부(110)의 폭은 상부 지지플레이트(GP1)의 구멍의 폭보다 크고, 음각 패턴 고정부(130)의 하부에 위치하는 바디부(110)의 폭은 상부 지지플레이트(GP1)의 구멍의 폭보다 크다. 반면에 음각 패턴 고정부(130)가 위치하는 바디부(110)의 폭은 상부 지지플레이트(GP1)의 구멍의 폭보다 작다.
상부 걸림턱(131)과 하부 걸림턱(132) 사이에 구비되는 걸림홈(133)에 상부 지지플레이트(GP1)의 구멍 측벽이 삽입되어 상부 걸림턱(131)의 하면이 상부 지지플레이트(GP1)의 상면에 지지되고, 하부 걸림턱(132)의 상면이 상부 지지플레이트(GP1)의 하면에 지지됨으로써, 상부 걸림턱(131)과 하부 걸림턱(132) 사이에서 걸림 고정된다. 상부 걸림턱(131)과 하부 걸림턱(132) 사이의 거리는 상부 지지플레이트(GP1)의 길이 방향 두께보다 크게 형성된다.
전기 전도성 접촉핀(100)의 바디부(110)는 그 좌측에 위치하는 제1측벽(S1)과 그 우측에 위치하는 제2측벽(S2)을 구비한다. 제1측벽(S1)은 바디부(110)의 좌측에 위치하는 측면벽이고, 제2측벽(S2)은 바디부(110)의 우측에 위치하는 측면벽이다.
음각 패턴 고정부(130)는 제1측벽(S1) 및 제2측벽(S2) 중 적어도 어느 하나에 구비된다.
제1측벽(S1)에 구비되는 음각 패턴 고정부(130)를 기준으로, 제1측벽(S1)은 바디부(110)의 제1측벽(S1)을 따라 제1단부측에서 제2단부측으로 연장되는 제1측벽(S1)의 상부와, 바디부(110)의 제1측벽(S1)을 따라 제2단부측에서 상기 제1단부측으로 연장되는 제1측벽(S1)의 하부로 구분된다. 다시 말해 음각 패턴 고정부(130)는 제1측벽(S1)의 상부와 제1측벽(S1)의 하부 사이에서 전기 전도성 접촉핀(100)의 폭 방향으로 단차지게 형성되어 상부 지지플레이트(GP1)의 구멍 측벽의 적어도 일부가 수용되어 구멍 측벽에 걸림 고정된다.
또한 제2측벽(S2)에 구비되는 음각 패턴 고정부(130)를 기준으로, 제2측벽(S2)은 바디부(110)의 제2측벽(S2)을 따라 제1단부측에서 제2단부측으로 연장되는 제2측벽(S2)의 상부와, 바디부(110)의 제2측벽(S2)을 따라 제2단부측에서 상기 제1단부측으로 연장되는 제2측벽(S2)의 하부로 구분된다. 다시 말해 음각 패턴 고정부(130)는 제2측벽(S2)의 상부와 제2측벽(S2)의 하부 사이에서 전기 전도성 접촉핀(100)의 폭 방향으로 단차지게 형성되어 상부 지지플레이트(GP1)의 구멍 측벽의 적어도 일부가 수용되어 구멍 측벽에 걸림 고정된다.
음각 패턴 고정부(130)에 대응되는 위치에 형성되어 음각 패턴 고정부(130)가 폭 방향으로 탄성 변형 가능하도록 하는 여유 공간부(150)를 포함한다. 여유 공간부(150)는 음각 패턴 고정부(130)의 위치와 대응되는 위치에 구비되어 음각 패턴 고정부(130)를 폭 방향으로 가압하면 그 내부 공간의 폭이 작아지면서 음각 패턴 고정부(130)가 폭 방향으로 압축 및 확장 변형될 수 있도록 한다.
여유 공간부(150)는 바디부(110) 내부 중 적어도 일부가 비워있는 공간으로 구비된다. 음각 패턴 고정부(130)를 폭 방향으로 가압하면 음각 패턴 고정부(130)가 여유 공간부(150)의 구성에 의해 폭 방향으로 압축 변형되고 가압을 해제하면 음각 패턴 고정부(130)이 폭 방향으로 확장 복원되면서 걸림홈(133)에 상부 지지플레이트(GP1)의 구멍 측벽이 삽입된다.
여유 공간부(150)는 전기 전도성 접촉핀(100)의 길이 방향을 따라 길게 되며, 음각 패턴 고정부(130)의 폭 방향으로 여유 공간부(150)의 적어도 일부가 중첩되게 형성된다.
여유 공간부(150)는 전기 전도성 접촉핀(100)의 길이 방향을 따라 길게 형성된 공극부로 제공될 수 있다. 이러한 공극부는 바디부(110)의 길이 방향을 따라 형성되어 바디부(110)가 복수개의 분할 빔으로 형성되도록 한다. 공극부는 적어도 하나 이상 형성될 수 있으며, 도면에 도시된 바와 같이 2개로 형성될 수 있다. 이를 통해 음각 패턴 고정부(130)가 보다 쉽게 압축 및 확장하는 변형되도록 한다. 또한, 공극부는 바디부(110)의 하부측에도 길게 형성됨으로써 바디부(110)가 수평 방향으로 보다 쉽게 굴곡 변형하도록 하여 바디부(110)의 길이를 짧게 하는 것이 가능하고, 공극부의 구성을 통해 바디부(110)의 표면적이 넓어지기 때문에 이를 통해 고주파 신호 전달에 유리하도록 한다.
도 4a는 종래기술에 따른 전기 전도성 접촉핀(7)을 도시한 도면이고, 도 4b는 본 발명의 바람직한 제1실시에에 따른 전기 전도성 접촉핀(100)을 도시한 도면이다.
도 4a를 참조하면, 종래기술에 따른 전기 전도성 접촉핀(7)의 폭이 'W'이고, 양각 패턴 고정부(8)의 폭이 'a'이며, 인접한 양각 패턴 고정부(8)간의 최소 이격 거리가 'bmin'라고 하면, 인접한 전기 전도성 접촉핀(7)간의 이격 거리(d)는 2a+bmin가 된다. 여기서 최소 이격 거리 bmin은 인접한 전기 전도성 접촉핀(7)이 서로 접촉되어 단락되는 것을 방지하기 위한 최소한의 거리를 의미한다.
도 4b를 참조하면, 본 발명의 바람직한 제1실시예에 따른 전기 전도성 접촉핀(100)의 폭이 'W'이면 인접한 전기 전도성 접촉핀(100)간의 이격 거리(d)는 bmin가 된다.
본 발명의 바람직한 제1실시예에 따른 전기 전도성 접촉핀(100)들은 음각 패턴 고정부(130)를 채택함으로써 양각 패턴 고정부(8)만큼의 폭을 배제하는 것이 가능함에 따라 인접한 전기 전도성 접촉핀(100)간의 이격 거리는 최소 이격 거리인 bmin이 된다.
다시 말해 종래기술에 따른 전기 전도성 접촉핀(7)은 최소 이격거리에 양각 패턴 고정부(8)의 폭을 더한 만큼의 거리로 전기 전도성 접촉핀(7)이 서로 이격되어 배치되어야 하는 반면에, 본 발명의 바람직한 제1실시예에 따른 전기 전도성 접촉핀(100)은 종래기술에 비해 인접한 전기 전도성 접촉핀(100)들간의 이격 거리를 좁힐 수 있다. 이처럼 음각 패턴 고정부(130)와 여유 공간부(150)의 구성을 통해, 협피치 대응이 유리한 전기 전도성 접촉핀(100)을 제공할 수 있게 된다.
도 6을 참조하면, 본 발명의 바람직한 제1실시예에 따른 전기 전도성 접촉핀(100)은 전기 전도성 접촉핀(100)의 두께 방향으로 복수 개의 금속층이 적층되어 구비된다.
복수개의 금속층은, 제1금속층(160)과 제2금속층(180)을 포함한다. 제1금속층(160)은 제2금속층(180)에 비해 상대적으로 내마모성이 높은 금속으로서 바람직하게는, 로듐(Rd), 백금 (Pt), 이리듐(Ir), 팔라듐(Pd), 니켈(Ni), 망간(Mn), 텅스텐(W), 인(Ph) 이나 이들의 합금, 또는 팔라듐-코발트(PdCo) 합금, 팔라듐-니켈(PdNi) 합금 또는 니켈-인(NiPh) 합금, 니켈-망간(NiMn), 니켈-코발트(NiCo) 또는 니켈-텅스텐(NiW) 합금 중에서 선택된 금속으로 형성될 수 있다. 제2금속층(180)은 제1금속층(160)에 비해 상대적으로 전기 전도도가 높은 금속으로서 바람직하게는, 구리(Cu), 은(Ag), 금(Au) 또는 이들의 합금 중에서 선택된 금속으로 형성될 수 있다.
제1금속층(160)은 전기 전도성 접촉핀(100)의 두께 방향으로 하면과 상면에 구비되고 제2금속층(180)은 제1금속층(160) 사이에 구비된다. 예를 들어, 전기 전도성 접촉핀(100)은 제1금속층(160), 제2금속층(180), 제1금속층(160) 순으로 교대로 적층되어 구비되며, 적층되는 층수는 3층 이상으로 구성될 수 있다. 도면에는 5층이 도시되어 있다.
전기 전도성 접촉핀(100)의 두께는 전기 전도성 접촉핀(100)의 폭과 실질적으로 동일한 크기로 형성된다. 이를 통해 전기 전도성 접촉핀(100)의 폭에 비해 전기 전도성 접촉핀(100)의 두께가 얇아 전기 전도성 접촉핀(100)의 두께를 줄이면서 발생하는 전기 전도성 접촉핀(100)의 특성 약화를 방지할 수 있다.
또한, 복수개의 금속층이 적층되는 구성을 통해, 협피치로 배열되는 전기 전도성 접촉핀(100)의 내마모성과 전기 전도성을 향상시킬 수 있다. 다시 말해 복수개의 금속층이 적층되는 구성을 채택함으로써 전기 전도성 접촉핀(100)을 협피치로 배열하더라도 내마모성이 저하되거나 전기 전도성이 저하되는 현상을 방지할 수 있게 된다.
도 7a 내지 도 7c는 지지플레이트(GP1, GP2)에 전기 전도성 접촉핀(100)을 설치하는 것을 도시한 도면이다. 전기 전도성 접촉핀(100)은 하부에서 하부 지지플레이트(GP2)의 구멍을 먼저 관통하고 그 다음 음각 패턴 고정부(130)가 전기 전도성 접촉핀(100)의 폭 방향으로 압축 변형되면서 상부 지지플레이트(GP1)의 구멍을 관통하여 음각 패턴 고정부(130)가 폭 방향으로 확장 복원되면서 상부 지지플레이트(GP1)의 구멍 측벽에 걸림 고정된다.
보다 구체적으로 살펴보면, 도 7a를 참조하면, 상부 지지플레이트(GP1)와 하부 지지플레이트(GP2)는 서로 이격되어 설치되며, 상부 지지플레이트(GP1)의 구멍의 폭은 하부 지지플레이트(GP2)의 구멍의 폭보다 작게 형성된다. 음각 패턴 고정부(130)를 제외한 바디부(110)의 폭은 하부 지지플레이트(GP2)의 구멍의 내부 폭보다 작고, 상부 지지플레이트(GP1)의 구멍의 내부 폭보다 크다.
도 7b를 참조하면, 전기 전도성 접촉핀(100)의 제1접촉부(101)가 하부 지지플레이트(GP2)의 구멍을 통과하여 상부 지지플레이트(GP2)측으로 이동된다. 바디부(110)의 폭이 하부 지지플레이트(GP2)의 구멍의 내부 폭보다 작기 때문에 전기 전도성 접촉핀(100)을 상측으로 밀어 올릴 수 있게 된다.
도 7c를 참조하면, 제1접촉부(101)가 상부 지지플레이트(GP1)의 구멍을 통과한 이후 음각 패턴 고정부(130)의 양쪽 폭을 가압하여 그 폭이 상부 지지플레이트(GP1)의 구멍의 내부 폭보다 작게 변형되도록 한다. 음각 패턴 고정부(130)에 가해진 가압력을 해제함으로써 음각 패턴 고정부(130)의 걸림홈(133)에 상부 지지플레이트(GP1)의 구멍 측벽이 삽입됨으로써 음각 패턴 고정부(130)는 상부 지지플레이트(GP1)의 구멍 측벽에 걸림 고정된다.
상부 지지플레이트(GP1) 및 하부 지지플레이트(GP2)에 설치된 전기 전도성 접촉핀(100)의 교체 과정은 설치 과정을 역순으로 진행된다. 음각 패턴 고정부(130)를 폭 방향으로 가압하여 상부 지지플레이트(GP1)의 구멍의 내부 폭보다 작게 한 후 하부 지지플레이트(GP2)의 하부 측으로 전기 전도성 접촉핀(100)을 밀어내어 빼낸다.
이상과 같이 본 발명의 바람직한 제1실시예에 따른 전기 전도성 접촉핀(100)은 협피치 대응에 유리할 뿐만 아니라 그 설치 및 교체 과정이 단순하다.
이하에서는 제1실시예에 따른 전기 전도성 접촉핀(100)의 변형례에 대해 살펴본다.
도 8a 및 도 8b는 음각 패턴 고정부(130)의 변형례를 도시한 도면이다.
도 8a를 참조하면, 전기 전도성 접촉핀(100)의 바디부(110)는 그 좌측에 위치하는 좌측면과 그 우측에 위치하는 우측면을 구비하며, 음각 패턴 고정부(130)는 바디부(110)의 일 측면인 좌측면에만 구비된다. 물론 음각 패턴 고정부(130)는 바디부(110)의 우측면에만 구비될 수 있다.
도 8b를 참조하면, 바디부(110)의 좌측면에는 음각 패턴 고정부(130)가 구비되고 음각 패턴 고정부(130)의 반대 측면인 우측면에는 양각 패턴 고정부(140)이 구비된다. 음각 패턴 고정부(130)와 양각 패턴 고정부(140)로 구비되는 구성은 모두 음각 패턴 고정부(130)만으로 구비되는 구성에 비해 협피치 측면에서는 다소 불리할 수 있지만, 모두 양각 패턴 고정부(140)만으로 구비되는 구성에 비해서는 협피치 측면에서 유리하다.
도 9a 및 도 9b는 여유 공간부(150)의 변형례를 도시한 도면이다.
도 9a를 참조하면, 도 5에 도시된 여유 공간부(150)와는 다르게, 도 9a에 도시된 여유 공간부(150)는 음각 패턴 고정부(130)가 폭 방향으로 탄성 변형이 가능한 위치에만 형성된다. 따라서 도 9a에 도시된 여유 공간부(150)는 도 5에 도시된 여유 공간부(150)의 길이보다 보다 짧게 형성될 수 있다.
도 9b를 참조하면, 도 5에 도시된 여유 공간부(150)와는 다르게, 도 9b에 도시된 여유 공간부(150)는 그 내부 폭이 보다 크면서 하나의 공간으로 형성된다. 또한 여유 공간부(150)와는 불연속적으로 분리되어 바디부(110)의 하부측에 슬롯부(160)를 구비한다. 슬롯부(160)는 적어도 하나 이상 형성될 수 있으며, 도면에 도시된 바와 같이 2개로 형성될 수 있다. 슬롯부(160)는 바디부(110)의 하부측에도 길게 형성됨으로써 바디부(110)가 수평 방향으로 보다 쉽게 굴곡 변형하도록 하여 바디부(110)의 길이를 짧게 하는 것이 가능하고, 슬롯부(160)의 구성을 통해 바디부(110)의 표면적이 넓어지기 때문에 이를 통해 고주파 신호 전달에 유리하다.
제2실시예
다음으로, 본 발명에 따른 제2실시예에 대해 살펴본다. 단, 이하 설명되는 실시예들은 상기 제1실시예와 비교하여 특징적인 구성요소들을 중심으로 설명하겠으며, 제1실시예와 동일하거나 유사한 구성요소들에 대한 설명은 되도록이면 생략한다.
이하, 도 10 내지 도 16b를 참조하여, 본 발명의 바람직한 제2실시예에 따른 전기 전도성 접촉핀(200)에 대해 설명한다.
도 10은 본 발명의 바람직한 제2실시예에 따른 전기 전도성 접촉핀의 평면도이고, 도 11은 본 발명의 바람직한 제2실시예에 따른 전기 전도성 접촉핀을 지지플레이트에 설치한 것을 도시한 도면이며, 도 12는 도 10의 부분 확대도이고, 도 13은 본 발명의 바람직한 제2실시예에 따른 전기 전도성 접촉핀의 사시도이며, 도 14는 본 발명의 바람직한 제2실시예에 따른 전기 전도성 접촉핀의 음각 패턴 고정부가 바디부의 상부 및 하부에 모두 구비된 것을 도시한 평면도이고, 도 15는 도 14에 따른 전기 전도성 접촉핀을 지지플레이트에 설치한 것을 도시한 도면이며, 도 16a 및 도 16b는 본 발명의 바람직한 제2실시예에 따른 전기 전도성 접촉핀의 변형례를 도시한 평면도이다.
전기 전도성 접촉핀(200)은 지지플레이트(GP1, GP2)의 구멍 측벽의 적어도 일부가 수용되어 구멍 측벽에 걸림 고정되는 음각 패턴 고정부(230)를 포함한다. 전기 전도성 접촉핀(200)이 상부 지지플레이트(GP1)에 고정되는 구성에 있어서는 음각 패턴 고정부(230)는 상부 지지플레이트(GP1)의 구멍에 대응되는 위치에 구비되고, 전기 전도성 접촉핀(200)이 하부 지지플레이트(GP2)에 고정되는 구성에 있어서는 음각 패턴 고정부(230)는 하부 지지플레이트(GP2)의 구멍에 대응되는 위치에 구비된다. 다만 도 10에 도시된 구조는, 전기 전도성 접촉핀(200)이 상부 지지플레이트(GP1)의 구멍에 대응되는 위치에 구비되어 상부 지지플레이트(GP1)에 고정되는 구조이다.
전기 전도성 접촉핀(200)은, 전기 전도성 접촉핀(200)의 제1단부측에 위치하며 그 단부가 제1접점이 되는 제1접촉부(201)와, 전기 전도성 접촉핀(200)의 제2단부측에 위치하며 그 단부가 제2접점이 되는 제2 접촉부(202)와, 제1접촉부(201)와 제2접촉부(202) 사이에 위치하는 바디부(210)를 포함한다. 제1접촉부(201), 제2접촉부(202) 및 바디부(210)는 한 몸체로서 일체로 구비된다. 여기서 음각 패턴 고정부(130)는 바디부(210)에 구비된다.
바디부(210)는 제1접촉부(201)와 제2접촉부(202)가 전기 전도성 접촉핀(200)의 길이방향으로 탄력적으로 변위되도록 하는 탄성부(211); 및 탄성부(211)가 전기 전도성 접촉핀(200)의 길이방향으로 압축 및 신장되도록 안내하며, 탄성부(211)가 압축되면서 수평 방향으로 구부러지거나 휘어져서 좌굴되는 것을 방지하도록 전기 전도성 접촉핀(200)의 길이 방향을 따라 탄성부(211)의 외측에 구비되는 지지부(215);를 포함한다.
전기 전도성 접촉핀(200)은 바디부(210)의 적어도 일부인 탄성부(211)가 전기 전도성 접촉핀(200)의 길이 방향으로 탄성 변형 가능하다.
탄성부(211)는 제1접촉부(201)에 연결되는 제1탄성부(211a); 제2접촉부(202)에 연결되는 제2탄성부(211b); 및 제1탄성부(211a)와 제2탄성부(211b) 사이에서 제1탄성부(211a) 및 제2탄성부(211b)와 연결되고 지지부(215)와 일체로 구비되는 중간 고정부(211c)를 포함한다. 탄성부(211)는, 전기 전도성 접촉핀(200)의 두께 방향으로의 각 단면 형상이 모든 두께 단면에서 동일하다. 또한 탄성부(211)는, 두께가 전체적으로 동일하다. 제1,2탄성부(211a, 211b)는 실질 폭(t)을 갖는 판상 플레이트가 S자 모양으로 반복적으로 절곡된 형태를 가지며, 판상 플레이트의 실질 폭(t)은 전체적으로 일정하다.
제1접촉핀(201)의 일단은 자유단이고 타단은 제1탄성부(211a)에 연결되어 접촉압력에 의해 탄력적으로 수직 이동이 가능하다. 제2접촉부(202)의 일단은 자유단이고 타단은 제2탄성부(211b)에 연결되어 접촉 압력에 의해 탄력적으로 수직 이동이 가능하다.
제1탄성부(211a)의 일단은 제1접촉부(201)에 연결되고 타단은 중간 고정부(211c)에 연결된다. 제2탄성부(211b)의 일단은 제2접촉부(202)에 연결되고 타단은 중간 고정부(211c)에 연결된다.
지지부(215)는 탄성부(211)의 좌측에 구비되는 제1지지부(215a)와 탄성부(211)의 우측에 구비되는 제2지지부(215b)를 포함한다. 중간 고정부(211c)는 전기 전도성 접촉핀(200)의 폭방향으로 연장되어 형성되며, 제1지지부(215a)와 제2지지부(215b)를 연결한다.
제1탄성부(211a)는 중간 고정부(211c)를 기준으로 그 상부에 구비되고, 제2탄성부(211b)는 중간 고정부(211c)를 기준으로 그 하부에 구비된다. 중간 고정부(211c)를 기준으로 제1탄성부(211a) 및 제2탄성부(211b)가 압축 또는 신장 변형된다. 중간 고정부(211c)는 제1,2지지부(215a, 215b)에 고정되어 제1,2탄성부(211a, 211b)가 압축 변형될 때에 제1,2탄성부(211a, 211b)의 위치 이동을 제한하는 기능을 수행하게 된다.
중간 고정부(211c)에 의해, 제1탄성부(211a)가 구비되는 영역과 제2탄성부(211b)가 구비되는 영역이 서로 구분이 된다. 따라서 상부 개구부로 유입된 이물질은 제2탄성부(211b) 측으로 유입되지 못하고, 하부 개구부로 유입된 이물질 역시 제1탄성부(211a)측으로 유입되지 못하게 된다. 이를 통해 지지부(215) 내측으로 유입된 이물질의 이동을 제한함으로써 이물질에 의해 제1,2탄성부(211a, 211b)의 작동이 방해되는 것을 방지할 수 있다.
제1지지부(215a)와 제2지지부(215b)는 전기 전도성 접촉핀(200)의 길이 방향을 따라 형성되며, 제1지지부(215a)와 제2지지부(215b)는 전기 전도성 접촉핀(200)의 폭 방향을 따라 연장되어 형성되는 중간 고정부(211c)에 일체로 연결된다. 제1,2탄성부(211a, 211b)는 중간 고정부(211c)를 통해 일체로 연결되면서, 전기 전도성 접촉핀(200)은 전체적으로 한 몸체로 구성된다.
제1,2탄성부(211a, 211b)는 복수개의 직선부와 복수개의 원호 형상의 만곡부가 교대로 접속되어 형성된다. 직선부는 좌, 우로 인접하는 만곡부를 연결하며, 만곡부는 상, 하로 인접하는 직선부를 연결한다.
복수개의 전기 전도성 접촉핀(200)의 제1접촉부(201)들이 상부 접속 대상물에 각각 안정적인 접촉이 가능할 정도의 압축량이 제1탄성부(211a)에 필요한 반면에, 제2탄성부(211b)는 복수개의 전기 전도성 접촉핀(200)의 제2접촉부(202)들이 하부 접속 대상물에 각각 안정적인 접촉이 가능할 정도의 압축량이 필요하다. 따라서 제1탄성부(211a)의 스프링 계수와 제2탄성부(211b)의 스프링 계수는 서로 다르다. 예컨대, 제1탄성부(211a)의 길이와 제2탄성부(211b)의 길이는 서로 다르게 구비된다. 또한, 제2탄성부(211b)의 길이는 제1탄성부(211a)의 길이보다 길게 형성될 수 있다.
음각 패턴 고정부(230)는 전기 전도성 접촉핀(200)의 측면 중 적어도 일부에 형성된다. 음각 패턴 고정부(230)는 바디부(210)에 형성되며, 바람직하게 음각 패턴 고정부(230)는 지지부(215)에 형성된다.
음각 패턴 고정부(230)는 전기 전도성 접촉핀(200)의 적어도 하나의 측벽에서 전기 전도성 접촉핀(200)의 폭 방향으로 단차지게 형성된다. 음각 패턴 고정부(230)는, 구멍 측벽의 상면에 걸리는 상부 걸림턱(231)과 구멍 측벽의 하면에 걸리는 하부 걸림턱(232)을 포함한다. 상부 걸림턱(231)과 하부 걸림턱(232) 사이에 구비되는 걸림홈(233)에 상부 지지플레이트(GP1)의 구멍 측벽이 삽입되어 상부 걸림턱(231)의 하면이 상부 지지플레이트(GP1)의 상면에 지지되고, 하부 걸림턱(232)의 상면이 상부 지지플레이트(GP1)의 하면에 지지됨으로써, 상부 걸림턱(231)과 하부 걸림턱(232) 사이에서 걸림 고정된다.
상부 걸림턱(231)과 하부 걸림턱(232) 사이의 거리는 상부 지지플레이트(GP1)의 길이 방향 두께보다 크게 형성된다.
음각 패턴 고정부(230)에 대응되는 위치에 형성되어 음각 패턴 고정부(230)가 폭 방향으로 탄성 변형 가능하도록 하는 여유 공간부(250)를 포함한다. 음각 패턴 고정부(230)의 위치와 대응되는 위치에 구비되어 음각 패턴 고정부(230)를 폭 방향으로 가압하면 그 내부 공간의 폭이 작아지면서 음각 패턴 고정부(230)가 폭 방향으로 변형될 수 있도록 한다.
여유 공간부(250)는 지지부(215)와 탄성부(211)가 서로 이격되면서 바디부(210) 내부 중 적어도 일부가 비워있는 공간으로 구비된다. 음각 패턴 고정부(230)를 폭 방향으로 가압하면 여유 공간부(250)는 음각 패턴 고정부(230)가 폭 방향으로 압축 변형되도록 하고 가압을 해제하면 폭 방향으로 확장 복원되면서 걸림홈(233)에 상부 지지플레이트(GP1)의 구멍 측벽이 삽입되도록 한다.
중간고정부(211c)의 상측에 위치하는 제1지지부(215a) 및 제2지지부(215b)는 그 단부가 각각 자유단으로 구비되는 캔틸레버 빔 구조로서 가압력에 의해 변형가능하다.
본 발명의 바람직한 제2실시예에 따른 전기 전도성 접촉핀(200)은 전기 전도성 접촉핀(200)의 두께 방향으로 복수 개의 금속층이 적층되어 구비된다.
복수개의 금속층은, 제1금속층(160)과 제2금속층(180)을 포함한다. 제1금속층(160)은 제2금속층(180)에 비해 상대적으로 내마모성이 높은 금속으로서 바람직하게는, 로듐(Rd), 백금 (Pt), 이리듐(Ir), 팔라듐(Pd), 니켈(Ni), 망간(Mn), 텅스텐(W), 인(Ph) 이나 이들의 합금, 또는 팔라듐-코발트(PdCo) 합금, 팔라듐-니켈(PdNi) 합금 또는 니켈-인(NiPh) 합금, 니켈-망간(NiMn), 니켈-코발트(NiCo) 또는 니켈-텅스텐(NiW) 합금 중에서 선택된 금속으로 형성될 수 있다. 제2금속층(180)은 제1금속층(160)에 비해 상대적으로 전기 전도도가 높은 금속으로서 바람직하게는, 구리(Cu), 은(Ag), 금(Au) 또는 이들의 합금 중에서 선택된 금속으로 형성될 수 있다.
제1금속층(160)은 전기 전도성 접촉핀(200)의 두께 방향으로 하면과 상면에 구비되고 제2금속층(180)은 제1금속층(160) 사이에 구비된다. 예를 들어, 전기 전도성 접촉핀(200)은 제1금속층(160), 제2금속층(180), 제1금속층(160) 순으로 교대로 적층되어 구비되며, 적층되는 층수는 3층 이상으로 구성될 수 있다. 도면에는 5층이 도시되어 있다.
복수개의 금속층이 적층되는 구성을 통해, 협피치로 배열되는 전기 전도성 접촉핀(200)의 내마모성과 전기 전도성을 향상시킬 수 있다. 다시 말해 복수개의 금속층이 적층되는 구성을 채택함으로써 전기 전도성 접촉핀(200)을 협피치로 배열하더라도 내마모성이 저하되거나 전기 전도성이 저하되는 현상을 방지할 수 있게 된다.
전기 전도성 접촉핀(200)의 제2접촉부(202)는 탄성부(211)와 연결되는 연결부(310)와, 제2접점을 제공하는 돌출팁(325)과, 연결부(310)와 돌출팁(325) 사이에 구비되며 지지부(215)로부터 이탈되지 않는 내측 바디(321)를 포함한다.
연결부(310)의 일단은 탄성부(211), 보다 구체적으로 제2탄성부(135)에 연결되고 연결부(310)의 타단은 내측 바디(321)에 연결된다.
내측 바디(321)는 평면 도면 기준으로 반구 형상으로 구성된다. 내측 바디(321)가 반구 형상으로 구성되어 지지부(215)와의 마찰 저항을 최소화한다.
연결부(310)는 경사각도를 가지면서 제2탄성부(135)와 내측 바디(321)의 구면에 연결된다.
제2접촉부(202)가 수직 상승할 때 제2접촉부(202)의 와이핑 동작을 가이드하는 가이드부(350)가 지지부(215)의 내벽에 구비된다.
가이드부(350)는 전기 전도성 접촉핀(300)의 축선 방향에서 편향되어 내측 바디(321)가 승강할 수 있도록 내측 바디(321)를 안내한다.
가이드부(350)는 제1지지부(141)의 내벽에 구비되는 제1가이드부(351)와 제2지지부(145)의 내벽에는 구비되는 제2가이드부(353)를 포함한다. 제1가이드부(351)와 제2가이드부(353)는 전기 전도성 접촉핀(300)의 축선 방향에서 소정의 각도를 가지면서 경사지는 경사면으로 구성된다. 이를 통해 내측 바디(321)가 수직 상승할 때, 제1가이드부(351)의 경사면과 제2가이드부(353)의 경사면을 안내되어 경사 이동을 한다. 다시 말해 내측 바디(321)는 제1가이드부(351)의 경사면과 제2가이드부(353)의 경사면을 안내되어 좌측 및 상향 방향으로 이동한다.
또한, 제2접촉부(202)가 상승하면, 내측 바디(321)의 상면에서 경사지게 연결된 연결부(310)에 의해 내측 바디(321)는 반발력을 받는다. 이러한 구성을 통해, 제2접촉부(202)가 가압력에 의해 수직 방향으로 상승하게 될 때, 내측 바디(321)는 편심 저항력을 받게 된다. 내측 바디(321)는 상측에서 편심 저항력에 받아 내측 바디(321)에는 회전 모멘트가 발생하게 되고, 그 결과 제2접촉부(202)의 돌출 팁(325)이 검사 대상물과의 적절한 접촉압력을 유지함과 동시에 틸팅되면서 검사 대상물에 대해 와이핑 동작을 수행하게 된다.
제2접촉부(202)의 돌출 팁(325)은 적절한 접촉압력을 유지함과 동시에 틸팅되면서 검사 대상물의 표면에 형성된 산화막층에 크랙을 유발하고 검사 대상물의 전도성 물질층이 크랙을 통해 노출되어 돌출 팁(325)과 접촉하게 된다. 이를 통해 전기적 접속이 이루어진다. 또한 이러한 와이핑 동작을 통해, 검사 대상물의 손상을 최소화하는 것이 가능하고 과도한 양의 산화막층의 부스러기를 유발하지 않아 전기 전도성 접촉핀(200)의 사용시간을 향상시키는 효과를 발휘하게 된다.
또한, 전기 전도성 접촉핀(200)이 검사 대상물을 검사하는 오버 드라이브 과정에서, 전기 전도성 접촉핀(200)의 지지부(215)는 수직한 상태를 유지하고 제2접촉부(202)는 검사 대상물과 접촉압력을 유지함과 동시에 틸팅되면서 검사 대상물에 대해 와이핑 동작을 수행한다. 전기 전도성 접촉핀(200)은 수평 방향으로 굴곡되는 변형을 하지 않으면서 산화막층에 대한 와이핑 동작이 가능하므로, 음각 패턴 고정부(230)의 구성과 더불어 전기 전도성 접촉핀(200)의 협피치에도 보다 효과적으로 대응할 수 있게 된다.
이하에서는 제2실시예에 따른 전기 전도성 접촉핀(200)의 변형례에 대해 살펴본다.
도 14 내지 도 16b는 음각 패턴 고정부(230)의 변형례를 도시한 도면이다.
도 14 및 도 15에 도시된 전기 전도성 접촉핀(200)는 음각 패턴 고정부(230)가 바디부(210)의 하부에도 구비된다는 점에서 바디부(210)의 상부에만 구비되는 도 10에 도시된 전기 전도성 접촉핀(200)과 차이가 있다. 이를 통해 전기 전도성 접촉핀(200)이 상부 지지플레이트(GP1)와 하부 지지플레이트(GP2)에 보다 안정적으로 고정될 수 있다. 한편, 도 14에 도시된 전기 전도성 접촉핀(200)은 도 10에 도시된 전기 전도성 접촉핀(200)의 가이드부(350)가 구비되지 않는다는 점에서 차이가 있다. 연결부(310)의 일단은 제2접촉부(202)의 축선 위치 또는 축선에 가까운 위치에서 내측 바디(321)의 구면에 연결되고, 연결부(310)의 타단은 일단에 비해 축선에서 보다 먼 위치에서 제2탄성부(211b)에 연결된다. 바람직하게는 연결부(310)의 일단은 내측 바디(321)의 축선 위치에서 내측 바디(321)에 연결되고, 연결부(310)의 타단은 제2탄성부(211b)의 만곡부 위치에서 제2탄성부(211b)에 연결된다.
제2접촉부(202)가 상승하면, 내측 바디(321)의 상면에서 경사지게 제2탄성부(211b)에 연결된 연결부(310)에 의해 내측 바디(321)는 반발력을 받는다. 이러한 구성을 통해, 제2접촉부(202)가 가압력에 의해 수직 방향으로 상승하게 될 때, 내측 바디(321)는 편심 저항력을 받게 된다. 내측 바디(321)는 상측에서 편심 저항력에 받아 내측 바디(321)에는 회전 모멘트가 발생하게 되고, 그 결과 제2접촉부(202)의 돌출 팁(325)이 검사 대상물과의 적절한 접촉압력을 유지함과 동시에 틸팅되면서 검사 대상물에 대해 와이핑 동작을 수행하게 된다.
도 16a을 참조하면, 전기 전도성 접촉핀(200)의 바디부(110)는 그 좌측에 위치하는 좌측면과 그 우측에 위치하는 우측면을 구비하며, 음각 패턴 고정부(230)는 바디부(210)의 일 측면인 좌측면에만 구비된다. 물론 음각 패턴 고정부(230)는 바디부(210)의 우측면에만 구비될 수 있다.
도 16b를 참조하면, 바디부(210)의 좌측면에는 음각 패턴 고정부(230)가 구비되고 음각 패턴 고정부(230)의 반대 측면인 우측면에는 양각 패턴 고정부(240)이 구비된다. 음각 패턴 고정부(230)와 양각 패턴 고정부(240)로 구비되는 구성은 모두 음각 패턴 고정부(230)만으로 구비되는 구성에 비해 협피치 측면에서는 다소 불리할 수 있지만, 모두 양각 패턴 고정부(240)만으로 구비되는 구성에 비해서는 협피치 측면에서 유리하다.
검사장치
이상에서 설명한 본 발명의 바람직한 각 실시예에 따른 전기 전도성 접촉핀들(100, 200)은, 검사장치에 구비되어 검사 대상물과 전기적, 물리적으로 접촉하여 전기적 신호를 전달하는데 사용된다.
검사장치는 구멍이 형성된 지지플레이트(GP1, GP2) 및 지지플레이트(GP1, GP2)의 구멍에 삽입되어 지지플레이트(GP1, GP2)에 설치되는 전기 전도성 접촉핀(100, 200)을 포함하되, 전기 전도성 접촉핀(100, 200)은, 전기 전도성 접촉핀(100, 200)의 폭 방향으로 탄성 변형 가능하고, 구멍 측벽의 적어도 일부가 수용되어 구멍 측벽에 걸림 고정되는 음각 패턴 고정부를 구비한다.
검사장치는 반도체 제조공정에 사용되는 검사장치일 수 있으며, 그 일례로 프로브 카드일 수 있고, 테스트 소켓일 수 있다. 전기 전도성 접촉핀들(100, 200)은 프로브 카드에 구비되어 반도체 칩을 검사하는 전기 전도성 접촉핀일 수 있고, 패키징된 반도체 패키지를 검사하는 테스트 소켓에 구비되어 반도체 패키지를 검사하는 소켓 핀일 수 있다.
본 발명의 바람직한 각 실시예들에 따른 전기 전도성 접촉핀들(100, 200)은 수직형 프로브 카드에 채용될 수 있다. 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 수직형 프로브 카드는, 접속 패드를 구비하는 공간변환기, 공간변환기 하부에서 공간변환기와 이격되어 구비되는 지지 플레이트(GP1, GP2), 및 지지 플레이트(GP1, GP2)의 구멍에 삽입되어 설치되는 전기 전도성 접촉핀(100, 200)을 포함한다. 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 수직형 프로브 카드는, 반도체 제조 공정 중에서 웨이퍼 상에 제작된 칩을 검사하는 검사 공정에 사용되며 미세 미치 대응이 가능하다. 바람직하게는 수직형 프로브 카드의 지지 플레이트(GP1, GP2)에 설치되는 배치되는 전기 전도성 접촉핀(100, 200)들 간의 피치 간격은 50㎛ 이상 150㎛이하이다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 전기 전도성 접촉핀(100,200)이 사용될 수 있는 검사장치들은 이에 한정되는 것은 아니며, 전기를 인가하여 검사 대상물의 불량 여부를 확인하기 위한 검사장치라면 모두 포함된다. 검사 장치의 검사 대상물은, 반도체 소자, 메모리 칩, 마이크로 프로세서 칩, 로직 칩, 발광소자, 혹은 이들의 조합을 포함할 수 있다. 예를 들어, 검사 대상물은 로직 LSI(ASIC, FPGA 및 ASSP과 같은), 마이크로프로세서(CPU 및 GPU와 같은), 메모리(DRAM, HMC(Hybrid Memory Cube), MRAM(Magnetic RAM), PCM(Phase-Change Memory), ReRAM(Resistive RAM), FeRAM(강유전성 RAM) 및 플래쉬 메모리(NAND flash)), 반도체 발광소자(LED, 미니 LED, 마이크로 LED 등 포함), 전력 장치, 아날로그IC(DC-AC 컨버터 및 절연 게이트 2극 트랜지스터(IGBT)와 같은), MEMS(가속 센서, 압력 센서, 진동기 및 지로 센서와 같은), 무배선 장치(GPS, FM, NFC, RFEM, MMIC 및 WLAN과 같은), 별개 장치, BSI, CIS, 카메라 모듈, CMOS, 수동 장치, GAW 필터, RF 필터, RF IPD, APE 및 BB를 포함한다.
전술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시 예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 통상의 기술자는 하기의 특허 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 또는 변형하여 실시할 수 있다.
[부호의 설명]
100: 전기 전도성 접촉핀
130: 음각 패턴 고정부
150: 여유 공간부

Claims (15)

  1. 지지 플레이트의 구멍에 삽입되어 상기 지지플레이트에 설치되는 전기 전도성 접촉핀에 있어서,
    상기 구멍 측벽의 적어도 일부가 수용되어 상기 구멍 측벽에 걸림 고정되는 음각 패턴 고정부; 및
    상기 음각 패턴 고정부에 대응되는 위치에 형성되어 상기 음각 패턴 고정부가 폭 방향으로 탄성 변형 가능하도록 하는 여유공간부;를 포함하는 전기 전도성 접촉핀.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 전기 전도성 접촉핀의 제1단부측에 위치하며 그 단부가 제1접점이 되는 제1접촉부;
    상기 전기 전도성 접촉핀의 제2단부측에 위치하며 그 단부가 제2접점이 되는 제2 접촉부; 및
    상기 제1접촉부와 상기 제2접촉부 사이에 위치하는 바디부를 포함하되,
    상기 음각 패턴 고정부는 상기 바디부에 구비되는, 전기 전도성 접촉핀.
  3. 2항에 있어서,
    상기 바디부의 적어도 일부는 상기 전기 전도성 접촉핀의 폭 방향으로 탄성 변형 가능한, 전기 전도성 접촉핀.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 바디부의 적어도 일부는 상기 전기 전도성 접촉핀의 길이 방향으로 탄성 변형 가능한, 전기 전도성 접촉핀.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 바디부는,
    상기 제1접촉부와 상기 제2접촉부가 상기 전기 전도성 접촉핀의 길이방향으로 탄력적으로 변위되도록 하는 탄성부; 및
    적어도 일부가 상기 탄성부에 연결되고 상기 탄성부가 상기 전기 전도성 접촉핀의 길이방향으로 압축 및 신장되도록 안내하며, 상기 탄성부가 압축되면서 좌굴되는 것을 방지하도록 상기 전기 전도성 접촉핀의 길이 방향을 따라 상기 탄성부의 외측에 구비되는 지지부;를 포함하고,
    상기 음각 패턴 고정부는 상기 지지부의 측면에 구비되는, 전기 전도성 접촉핀.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 탄성부는,
    상기 제1접촉부에 연결되는 제1탄성부;
    상기 제2접촉부에 연결되는 제2탄성부; 및
    상기 제1탄성부와 상기 제2탄성부 사이에서 상기 제1탄성부 및 상기 제2탄성부와 연결되고 상기 지지부와 일체로 구비되는 중간 고정부를 포함하는, 전기 전도성 접촉핀.
  7. 제2항에 있어서,
    상기 제2접촉부는 상기 지지부 내부에서 수직 상승하면서 상기 제2접점이 와이핑 동작을 수행하는, 전기 전도성 접촉핀.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 음각 패턴 고정부는 상기 전기 전도성 접촉핀의 측면 중 적어도 일부에 형성되는, 전기 전도성 접촉핀.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 음각 패턴 고정부의 반대 측면에 형성되는 양각 패턴 고정부를 포함하는, 전기 전도성 접촉핀.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 음각 패턴 고정부는,
    상기 구멍 측벽의 상면에 걸리는 상부 걸림턱; 및
    상기 구멍 측벽의 하면에 걸리는 하부 걸림턱을 포함하는, 전기 전도성 접촉핀.
  11. 지지플레이트의 구멍에 삽입되어 상기 지지플레이트에 설치되는 전기 전도성 접촉핀에 있어서,
    상기 전기 전도성 접촉핀의 바디부의 제1측벽을 따라 제1단부측에서 제2단부측으로 연장되는 제1측벽의 상부;
    상기 바디부의 상기 제1측벽을 따라 상기 제2단부측에서 상기 제1단부측으로 연장되는 제1측벽의 하부; 및
    폭 방향으로 탄성 변형 가능하고, 상기 제1측벽의 상부와 상기 제1측벽의 하부 사이에 상기 전기 전도성 접촉핀의 폭 방향으로 단차하게 형성되어 상기 지지플레이트의 구멍 측벽의 적어도 일부가 수용되어 상기 구멍 측벽에 걸림 고정되는 음각 패턴 고정부;를 포함하는, 전기 전도성 접촉핀.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 전기 전도성 접촉핀은, 복수개의 금속층이 상기 전기 전도성 접촉핀의 두께 방향으로 적층되어 형성되는, 전기 전도성 접촉핀.
  13. 구멍이 형성된 지지플레이트; 및
    상기 지지플레이트의 구멍에 삽입되어 상기 지지플레이트에 설치되는 전기 전도성 접촉핀;을 포함하되,
    상기 전기 전도성 접촉핀은, 상기 전기 전도성 접촉핀의 폭 방향으로 탄성 변형 가능하고, 상기 구멍 측벽의 적어도 일부가 수용되어 상기 구멍 측벽에 걸림 고정되는 음각 패턴 고정부가 구비된, 검사 장치.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 전기 전도성 접촉핀의 제1단부측에 위치하며 그 단부가 제1접점이 되는 제1접촉부;
    상기 전기 전도성 접촉핀의 제2단부측에 위치하며 그 단부가 제2접점이 되는 제2 접촉부; 및
    상기 제1접촉부와 상기 제2접촉부 사이에 위치하는 바디부를 포함하되,
    상기 음각 패턴 고정부는 상기 바디부에 구비되며,
    상기 음각 패턴 고정부의 상부에 위치하는 상기 바디부의 폭은 상기 구멍의 폭 보다 크고,
    상기 음각 패턴 고정부의 하부에 위치하는 상기 바디부의 폭은 상기 구멍의 폭 보다 큰, 검사장치.
  15. 제13항에 있어서,
    상기 지지플레이트는,
    상부 지지플레이트; 및
    상기 상부 지지플레이트와 이격되어 구비되는 하부 지지플레이트를 포함하고,
    상기 상부 지지플레이트의 구멍의 폭은 상기 하부 지지플레이트의 구멍의 폭보다 작고,
    상기 전기 전도성 접촉핀은 하부에서 상기 하부 지지플레이트의 구멍을 먼저 관통하고 그 다음 상기 음각 패턴 고정부가 상기 전기 전도성 접촉핀의 폭 방향으로 탄성 변형되면서 상기 상부 지지플레이트의 구멍을 관통하여 상기 음각 패턴 고정부가 탄성 복원되면서 상기 상부 지지플레이트의 구멍 측벽에 걸림 고정되는, 검사 장치.
PCT/KR2022/015020 2021-10-06 2022-10-06 전기 전도성 접촉핀 및 이를 구비하는 검사장치 WO2023059078A1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2021-0132061 2021-10-06
KR1020210132061A KR102685910B1 (ko) 2021-10-06 2021-10-06 전기 전도성 접촉핀 및 이를 구비하는 검사장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2023059078A1 true WO2023059078A1 (ko) 2023-04-13

Family

ID=85803598

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/KR2022/015020 WO2023059078A1 (ko) 2021-10-06 2022-10-06 전기 전도성 접촉핀 및 이를 구비하는 검사장치

Country Status (3)

Country Link
KR (1) KR102685910B1 (ko)
TW (1) TW202318002A (ko)
WO (1) WO2023059078A1 (ko)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20040004878A (ko) * 2002-07-05 2004-01-16 (주)티에스이 반도체 디바이스 테스트 소켓
KR100659944B1 (ko) * 2005-12-23 2006-12-21 리노공업주식회사 플런저 및 이를 장착한 검사용 탐침장치
KR20090019384A (ko) * 2007-08-21 2009-02-25 주식회사 세지 반도체 웨이퍼 검사용 프로브카드
KR20150020500A (ko) * 2013-08-13 2015-02-26 주식회사 기가레인 미세 전극 회로 검사용 핀 제조 방법 및 이의 방법으로 제조된 미세 전극 회로 검사용 핀
KR20150123974A (ko) * 2013-08-02 2015-11-04 오므론 가부시키가이샤 전주 부품 및 그 제조 방법
KR102047264B1 (ko) * 2018-05-29 2019-11-21 리노공업주식회사 검사장치

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3587301B2 (ja) * 2001-06-20 2004-11-10 株式会社エンプラス 電気部品用ソケット
TW200301360A (en) * 2001-12-03 2003-07-01 Advantest Corp Contact structure and production method thereof and probe contact assembly using same
US7928751B2 (en) * 2009-02-18 2011-04-19 Winmems Technologies Holdings Co., Ltd. MEMS interconnection pins fabrication on a reusable substrate for probe card application
JP6457814B2 (ja) * 2012-12-04 2019-01-23 日本電子材料株式会社 電気的接触子
KR101799309B1 (ko) * 2016-07-25 2017-12-20 (주) 루켄테크놀러지스 프로브 핀 및 이를 포함하는 디바이스 검사 장치
KR101913355B1 (ko) 2017-09-19 2018-12-28 윌테크놀러지(주) 미세피치 대응이 가능한 수직형 프로브 카드용 니들유닛 및 이를 이용한 프로브 카드

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20040004878A (ko) * 2002-07-05 2004-01-16 (주)티에스이 반도체 디바이스 테스트 소켓
KR100659944B1 (ko) * 2005-12-23 2006-12-21 리노공업주식회사 플런저 및 이를 장착한 검사용 탐침장치
KR20090019384A (ko) * 2007-08-21 2009-02-25 주식회사 세지 반도체 웨이퍼 검사용 프로브카드
KR20150123974A (ko) * 2013-08-02 2015-11-04 오므론 가부시키가이샤 전주 부품 및 그 제조 방법
KR20150020500A (ko) * 2013-08-13 2015-02-26 주식회사 기가레인 미세 전극 회로 검사용 핀 제조 방법 및 이의 방법으로 제조된 미세 전극 회로 검사용 핀
KR102047264B1 (ko) * 2018-05-29 2019-11-21 리노공업주식회사 검사장치

Also Published As

Publication number Publication date
TW202318002A (zh) 2023-05-01
KR102685910B1 (ko) 2024-07-17
KR20230049217A (ko) 2023-04-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102145398B1 (ko) 수직형 프로브 핀 및 이를 구비한 프로브 카드
KR100282737B1 (ko) 프로브장치에 이용되는 프로브카드디바이스(probe card device used in probing apparatus)
US5811982A (en) High density cantilevered probe for electronic devices
US7710132B2 (en) Method for making a conductive film and a probe card using the same
US6722032B2 (en) Method of forming a structure for electronic devices contact locations
CN100442068C (zh) 测试被测体的电气特性的测试方法及测试装置
US20080030215A1 (en) High density cantilevered probe for electronic devices
WO2023167479A1 (ko) 전기 전도성 접촉핀, 정렬 플레이트 및 이를 구비하는 검사장치
WO2021194213A1 (ko) 프로브 헤드 및 이를 구비하는 프로브 카드
WO2023059078A1 (ko) 전기 전도성 접촉핀 및 이를 구비하는 검사장치
WO2023191410A1 (ko) 전기 전도성 접촉핀 및 이를 구비하는 검사장치
WO2023096237A1 (ko) 프로브 카드
WO2023033372A1 (en) Vertical probe card
KR20210121553A (ko) 프로브 헤드 및 이를 포함하는 프로브 카드
WO2022181951A1 (ko) 전기 전도성 접촉핀의 정렬 모듈 및 정렬 이송방법
WO2023033417A1 (en) Electro-conductive contact pin and vertical probe card having same
WO2023059084A1 (ko) 전기 전도성 접촉핀 및 이를 구비하는 검사장치
WO2023059130A1 (ko) 전기 전도성 접촉핀 어레이
WO2022231259A1 (ko) 프로브 핀과 프로브 핀의 제조방법
WO2023140617A1 (ko) 전기 전도성 접촉핀 및 이를 구비하는 검사장치
WO2022045787A1 (ko) 도전성 입자 및 이를 포함하는 전기접속용 커넥터
WO2023059014A1 (ko) 전기 전도성 접촉핀
WO2020222327A1 (ko) 미세 전극 회로 검사용 핀
WO2024112050A1 (ko) 전기 전도성 접촉핀 및 이를 구비하는 검사장치
WO2023059013A1 (ko) 전기 전도성 접촉핀 및 이를 구비하는 검사장치

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 22878899

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 22878899

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1