WO2023058472A1 - 光学フィルタ及び光学製品 - Google Patents

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WO2023058472A1
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optical film
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篤史 小柳
直人 龍岡
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Ａｇｃ株式会社
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    • B32B7/00—Layered products characterised by the relation between layers; Layered products characterised by the relative orientation of features between layers, or by the relative values of a measurable parameter between layers, i.e. products comprising layers having different physical, chemical or physicochemical properties; Layered products characterised by the interconnection of layers
    • B32B7/02—Physical, chemical or physicochemical properties
    • B32B7/023—Optical properties
    • G—PHYSICS
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    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
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    • G—PHYSICS
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    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
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    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
    • G02B5/20—Filters
    • G02B5/28—Interference filters

Definitions

  • the present invention relates to optical filters and optical products.
  • a glass substrate with an antireflection film formed on its surface is sometimes used as a cover glass for sensors such as image sensors, and is adhered to the housing via an adhesive provided on the outer periphery.
  • a material prepared by adjusting a composition containing black ceramic particles (hereinafter referred to as black ceramic) is applied to the outer peripheral portion of the glass substrate in order to prevent the adhesive from deteriorating due to ultraviolet rays.
  • black ceramic when applied to a glass substrate, it is fired at a high temperature of, for example, about 600 degrees, which may warp the substrate and make it difficult to adhere to the housing.
  • the antireflection film As a countermeasure, it is conceivable to give the antireflection film a UV shielding function.
  • a deposition source is placed below the substrate and a deposition material is deposited upward from the deposition source, it is necessary to hold the edge of the substrate. A film cannot be formed on the portion where the ultraviolet ray shielding function cannot be imparted to the portion.
  • a deposition source is arranged above the substrate and the deposition material is deposited downward from the deposition source, for example, the deposition material adheres to the inner wall of the chamber of the deposition apparatus. The film material may flake off and contaminate the substrate surface or film surface.
  • the present invention has been made in view of the circumstances described above, and its object is to provide an optical filter and an optical product in which a functional film is formed up to the edge of a substrate without impairing the quality of the substrate or the functional film. to do.
  • an optical filter and an optical product according to the present invention are characterized by the following (1) to (9).
  • a substrate having a first surface and a second surface opposite to the first surface in the thickness direction; a first optical film formed on the first surface; a second optical film formed on the second surface; The first surface has an exposed portion where the first optical film is not formed,
  • the shape of the first optical film is different from the shape of the first surface
  • the shape of the second optical film is different from the shape of the second surface
  • the shape of the first optical film is different from the shape of the second optical film
  • a shape obtained by overlapping the first optical film and the second optical film coincides with at least one of the shape of the first surface and the shape of the second surface.
  • an optical filter and an optical product in which the functional film is formed up to the edge of the substrate without impairing the quality of the substrate or the functional film.
  • FIG. 1 is a plan view of an optical filter according to one embodiment of the invention.
  • FIG. 2 is a diagram for explaining the manufacturing process of the optical filter, showing the process of forming a film on the first surface of the substrate.
  • FIG. 3 is a diagram showing the first surface formed in the process shown in FIG.
  • FIG. 4 is a diagram for explaining the manufacturing process of the optical filter, showing the process of forming a film on the second surface of the substrate.
  • FIG. 5 is a diagram showing the second surface formed in the process shown in FIG.
  • FIG. 6 is a diagram showing an example of a process of forming a film on the first surface of the substrate according to the modification.
  • FIG. 7 is a diagram showing an example of a process of forming a film on the second surface of the substrate according to the modification.
  • FIG. 1 is a plan view of an optical filter according to one embodiment of the invention.
  • FIG. 2 is a diagram for explaining the manufacturing process of the optical filter, showing the process of forming a film on the
  • FIG. 8 is a diagram showing another example of the process of forming a film on the second surface of the substrate according to the modification.
  • FIG. 9 is a cross-sectional view showing an example of an optical product with an optical filter.
  • FIG. 10 is an enlarged view of part A in FIG.
  • FIG. 11 is a diagram showing an example of another optical product.
  • FIG. 1 is a plan view of the optical filter 1, showing the optical filter 1 viewed in the thickness direction of the substrate 10 (hereinafter also simply referred to as "thickness direction").
  • the optical filter 1 has at least a first optical film 11 and a second optical film 13 on the entire surface including the edge (outer edge) of the substrate 10 when viewed in the thickness direction of the substrate 10 . Either one is formed.
  • the first optical film 11 and the second optical film 13 are ultraviolet reflecting films or ultraviolet absorbing films, that is, films having an ultraviolet shielding function is shown.
  • the first and second optical films of the present invention are not limited to ultraviolet shielding films.
  • the first and second optical films may be, for example, a film having a visible light shielding function such as a visible light reflecting film or a visible light absorbing film, or a film having an infrared light shielding function such as an infrared reflecting film or an infrared absorbing film. or a film having an electromagnetic wave shielding effect or a heater function, such as a transparent conductive film.
  • the substrate 10 in the optical filter 1 has a first surface 10A (principal surface) and a second surface 10B (back surface) opposite to the first surface 10A in the thickness direction, and is rectangular in plan view in the thickness direction. It is a rectangular parallelepiped flat plate having a shape.
  • the “thickness direction (of the substrate)” means a direction that intersects the surface on which a film is formed and that is along any normal direction of the surface on which the film is formed.
  • the substrate 10 may have a single-layer structure or a multi-layer structure.
  • the material of the substrate is not particularly limited, and may be either an organic material or an inorganic material as long as it is a transparent material that transmits visible light. Also, a plurality of different materials may be used in combination.
  • glass and crystalline materials are preferable.
  • glass include soda lime glass, borosilicate glass, alkali-free glass, quartz glass, and aluminosilicate glass.
  • alkali metal ions with a small ionic radius e.g., Li ions, Na ions
  • alkali ions with a larger ionic radius e.g., Li ions are Na ions or K ions, and Na ions are K ions.
  • Crystal materials include birefringent crystals such as quartz, lithium niobate, and sapphire.
  • transparent resin materials examples include acrylic, polyethylene terephthalate, and polycarbonate.
  • the thickness of the substrate is preferably 0.1 mm or more and 5 mm or less, more preferably 2 mm or more and 4 mm or less, from the viewpoints of reducing warping when forming a dielectric multilayer film, reducing the height of optical elements, and suppressing cracking.
  • FIGS. 2 and 4 are diagrams for explaining the manufacturing process of the optical filter 1.
  • FIG. 2 shows the process of forming a film on the first surface 10A of the substrate 10
  • FIG. 4 shows the second surface 10B of the substrate 10.
  • 3 and 5 show the first surface 10A deposited in the process shown in FIG. 2 and the second surface 10B deposited in the process shown in FIG. 4, respectively.
  • the substrate 10 is prepared.
  • the substrate 10 has a flat plate shape (rectangular parallelepiped shape), but the shape of the substrate is not limited to a flat plate shape, and may be a block shape or a film shape. Further, the shape of the substrate when viewed from above in the thickness direction may be a disc shape or the like. Furthermore, the two opposing surfaces of the substrate may not be parallel to each other, and at least one of the surfaces may be curved.
  • Films are formed on both surfaces (first surface 10A and second surface 10B) of the prepared substrate 10 by a deposition method such as vacuum deposition or sputtering.
  • a deposition method such as vacuum deposition or sputtering.
  • FIG. 2 while a portion of the outer periphery of the substrate 10 is supported by a rectangular parallelepiped first jig 31, a well-known film formation source 20 arranged below the substrate 10 is applied to the upper first film.
  • a film forming material is deposited on the first surface 10A to form the first optical film 11 on the first surface 10A of the substrate 10 .
  • a pair of first jigs 31 are arranged along the long sides of the substrate 10 .
  • the portion of the first surface 10A supported by the first jig 31 is, as shown in FIG. 3, the exposed portion 12 where the first optical film 11 is not formed.
  • the first optical film 11 formed on the first surface 10A has an H shape as shown in FIG.
  • the substrate 10 is turned upside down, and as shown in FIG. 4, film formation is performed while a second jig 32 having a rectangular parallelepiped shape supports a part of the outer periphery of the substrate 10 that is different from the part described above.
  • a deposition material is deposited from the source 20 onto the upper second surface 10B to form the second optical film 13 on the second surface 10B of the substrate 10 .
  • a pair of second jigs 32 are arranged along the short sides of the substrate 10 .
  • the portion of the second surface 10B supported by the second jig 32 is, as shown in FIG. 5, an exposed portion 14 where the second optical film 13 is not formed.
  • the second optical film 13 formed on the second surface 10B has a rectangular shape as shown in FIG.
  • the second optical film 13 is formed at least on a portion 15 corresponding to the exposed portion 12 on the second surface 10B when viewed from above in the thickness direction.
  • the optical filter 1 manufactured as described above includes a substrate 10 having a first surface 10A and a second surface 10B opposite to the first surface 10A in the thickness direction, and a second surface 10B formed on the first surface 10A. 1 optical film 11 and a second optical film 13 formed on the second surface 10B.
  • the first surface 10A has an exposed portion 12 where the first optical film 11 is not formed.
  • the second optical film 13 is formed at least on a portion 15 corresponding to the exposed portion 12 on the second surface 10B when viewed from above in the thickness direction of the substrate 10 .
  • the shape of the first optical film 11 is different from the shape of the first surface 10A
  • the shape of the second optical film 13 is different from the shape of the second surface 10B.
  • the shape of the first optical film 11 is different from the shape of the second optical film 13 .
  • the shape of the first optical film 11 and the second optical film 13 superimposed is at least one of the shape of the first surface 10A and the shape of the second surface 10B. matches.
  • the light incident on the optical filter 1 is blocked by either the first optical film 11 or the second optical film 13 . Therefore, when the optical filter 1 is attached to the housing of the optical product via an adhesive, the adhesive provided at the end of the optical filter 1 is not exposed to ultraviolet rays. Therefore, since it is not necessary to apply the black ceramic to the outer peripheral portion of the substrate 10 for protecting the adhesive, high-temperature firing accompanying the application of the black ceramic is not performed, and warping of the substrate due to high temperature is prevented. In addition, since the film is formed by the deposit-up method, the surface of the substrate or the film is not contaminated during film formation. Furthermore, since there is no need to cut the substrate after film formation, cutting does not affect the film.
  • the shapes of the first and second optical films formed on the substrate 10 are not limited to the shapes shown in FIGS.
  • the shape of the first and second optical films can be changed by changing the shape and support location of the jig that supports the substrate 10 .
  • FIG. 6 is a view showing an example of a process of forming a film on the first surface 10A of the substrate 10 according to the modification
  • FIG. 7 is a process of forming a film on the second surface 10B of the substrate 10 according to the modification. It is a figure which shows an example.
  • FIG. 8 is a diagram showing another example of the process of forming a film on the second surface 10B of the substrate 10 according to the modification. 6 to 8 are diagrams of the substrate 10 viewed from below (the side where the film formation source 20 is arranged).
  • the first optical film 11A is formed on the first surface 10A while the four corners (part of the outer periphery) of the substrate 10 are supported by the rectangular parallelepiped third jigs 33, respectively.
  • the portion of the first surface 10A supported by the third jig 33 is an exposed portion where the first optical film 11A is not formed.
  • the first optical film 11A formed on the first surface 10A has an X shape as shown in FIG.
  • the substrate 10 After forming the first optical film 11A on the first surface 10A as shown in FIG. 6, the substrate 10 is turned over and the second optical film 13A is formed on the second surface 10B as shown in FIG.
  • the second optical film 13A is formed on the second surface 10B while the long sides of the substrate 10 are supported by the rectangular parallelepiped fourth jigs 34, respectively.
  • a portion of the second surface 10B supported by the fourth jig 34 is an exposed portion where the second optical film 13A is not formed.
  • the second optical film 13A formed on the second surface 10B has an H shape as shown in FIG.
  • the second optical film 13A is formed at least at a portion 15-1 corresponding to the exposed portion of the first surface 10A on the second surface 10B when viewed from above in the thickness direction of the substrate 10. As shown in FIG.
  • An optical film 13B may be formed.
  • the second optical film 13B is formed on the second surface 10B while the short sides of the substrate 10 are supported by fifth rectangular parallelepiped jigs 35, respectively. A portion of the second surface 10B supported by the fifth jig 35 is an exposed portion where the second optical film 13B is not formed.
  • the second optical film 13B formed on the second surface 10B has an H shape as shown in FIG.
  • the second optical film 13B is formed at least at a portion 15-2 on the second surface 10B corresponding to the exposed portion on the first surface 10A when viewed from above in the thickness direction of the substrate 10. As shown in FIG.
  • the incident light is either the first optical film 11A or the second optical films 13A and 13B. is shielded by
  • FIG. 9 is a cross-sectional view of an optical product 40 having the optical filter 1
  • FIG. 10 is an enlarged view of part A of FIG.
  • the optical product 40 includes a box-shaped housing 41 with an open top, a sensor-mounted substrate 42 mounted on the bottom of the housing 41, and the housing 41. and an optical filter 1 placed in the aperture.
  • the sensor is, for example, an optical sensor that detects infrared rays or visible rays.
  • the optical product 40 is, for example, a LiDAR (Light Detection And Ranging), an image sensor module, or an in-vehicle camera.
  • the first optical film 11 is formed on the side of the substrate 10 exposed to the outside, and the second optical film 13 is formed on the side facing the housing 41. .
  • the optical filter 1 is adhered to the housing 41 by an adhesive 43 such as a polyurethane adhesive, which is placed on the second optical film 13 .
  • the first optical film 11 is not formed on the edge of the substrate 10, but the second optical film 13 is formed on the edge of the substrate 10, so that the second optical film 13 shields the ultraviolet rays. , the adhesive 43 is protected.
  • the optical product 40 may also include a functional layer 44 such as a light shielding film between the second optical film 13 and the adhesive 43, as shown in FIG. Further, the optical product 40 has functional layers such as a water-repellent layer, an antistatic layer, an antifogging layer, and a low-reflection layer on the outside of the first optical film 11 (the surface opposite to the surface on which the substrate 10 is provided). You may prepare. Note that the functional layer may be provided between the first optical film 11 or the second optical film 13 and the substrate 10 . Also, the optical product 40 may include a modified first optical film 11A and second optical films 13A and 13B instead of the first optical film 11 and the second optical film 13 .
  • the present invention is not limited to the above-described embodiments, and can be modified, improved, etc. as appropriate.
  • the material, shape, size, numerical value, form, number, location, etc. of each component in the above-described embodiment are arbitrary and not limited as long as the present invention can be achieved.
  • the shape of the first optical film is different from the shape of the first surface
  • the shape of the second optical film is different from the shape of the second surface
  • the shape of the first optical film is different from the shape of the second optical film
  • a shape obtained by overlapping the first optical film and the second optical film coincides with at least one of the shape of the first surface and the shape of the second surface.
  • the substrate is a flat plate having a rectangular shape in plan view in the thickness direction, the first surface has an exposed portion (12) where the first optical film is not formed on each long side of the rectangle;
  • the optical filter according to any one of [1] to [3] above, wherein the substrate is made of glass.
  • the optical filter according to any one of [1] to [3] above, wherein the substrate is made of a crystal material.
  • the optical filter according to any one of [1] to [3] above, wherein the substrate is made of a transparent resin material.
  • An optical product comprising the optical filter according to any one of [1] to [8] above.
  • the substrate is prevented from warping, and the functional film is formed up to the edge of the substrate.
  • the optical product of the present invention includes this optical filter. It is useful for applications such as modules and information acquisition devices such as in-vehicle cameras.

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Abstract

基板又は機能膜の品質を損なうことなく、基板の端部まで機能膜が形成された、光学フィルタ及び光学製品を提供することを目的とする。光学フィルタは、第１面と、前記第１面と厚み方向で反対側の第２面と、を有する基板と、前記第１面に形成される第１の光学膜と、前記第２面に形成される第２の光学膜と、を備え、前記第１面は、前記第１の光学膜が形成されていない露出部を有し、前記第２の光学膜は、少なくとも、前記厚み方向に平面視して、前記第２面における前記露出部に対応する箇所に形成される。

Description

光学フィルタ及び光学製品
　本発明は、光学フィルタ及び光学製品に関する。
　表面に反射防止膜が形成されたガラス基板は、イメージセンサ等のセンサ用カバーガラスとして用いられることがあり、外周部に設けられた接着剤を介して筐体に接着される。このガラス基板の外周部には、接着剤が紫外線により劣化することを防ぐため、黒色のセラミック粒子を含む組成物を調整した材料（以下、黒色セラミックという）が付与されている。
日本国特開２００８－１６４８７７号公報
　しかしながら、ガラス基板に黒色セラミックを付与する際、例えば約６００度の高温で焼成を行うため、基板が反り、筐体への接着が困難な場合がある。
　この対策として、反射防止膜に紫外線遮へい機能を持たせることが考えられる。しかし、基板の下方に成膜源を配置して、成膜源から上方に向けて成膜材料を蒸着するデポアップ方式で成膜しようとすると、基板の端部を保持する必要があり、保持される箇所には膜を形成できず、この箇所には紫外線遮へい機能を付与できない。一方、基板の上方に成膜源を配置して、成膜源から下方に向けて成膜材料を蒸着するデポダウン方式で成膜しようとすると、例えば、成膜装置のチャンバ内側壁に付着した成膜材料が剥がれ落ちて、基板表面又は膜表面を汚染する場合がある。
　また、大型の基板（大板）に成膜した後に、膜が形成された大板を所定サイズに切断することで、端部まで膜が形成された基板を製造し得る。しかし、成膜後に切断されることによる、膜の品質等への影響が懸念される。
　本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、基板又は機能膜の品質を損なうことなく、基板の端部まで機能膜が形成された、光学フィルタ及び光学製品を提供することにある。
　前述した目的を達成するために、本発明に係る光学フィルタ及び光学製品は、下記（１）から（９）を特徴としている。
（１）第１面と、前記第１面と厚み方向で反対側の第２面と、を有する基板と、
　前記第１面に形成される第１の光学膜と、
　前記第２面に形成される第２の光学膜と、を備え、
　前記第１面は、前記第１の光学膜が形成されていない露出部を有し、
　前記第２の光学膜は、少なくとも、前記厚み方向に平面視して、前記第２面における前記露出部に対応する箇所に形成される、光学フィルタ。
（２）前記第１の光学膜の形状は、前記第１面の形状とは異なり、
　前記第２の光学膜の形状は、前記第２面の形状とは異なり、
　前記第１の光学膜の形状は、前記第２の光学膜の形状とは異なり、
　前記厚み方向の平面視において、前記第１の光学膜と前記第２の光学膜とを重ね合わせた形状は、前記第１面の形状および前記第２面の形状の少なくともいずれか一方と一致する、上記（１）に記載の光学フィルタ。
（３）前記基板は、ガラスからなる、上記（１）又は（２）に記載の光学フィルタ。
（４）前記基板は、結晶材料からなる、上記（１）又は（２）に記載の光学フィルタ。
（５）前記基板は、透明樹脂材料からなる、上記（１）又は（２）に記載の光学フィルタ。
（６）前記第１の光学膜又は前記第２の光学膜は、紫外線吸収膜又は紫外線反射膜である、上記（１）から（５）のいずれか一に記載の光学フィルタ。
（７）前記第１の光学膜又は前記第２の光学膜の少なくとも一部に機能層を備えた、上記（１）から（６）のいずれか一に記載の光学フィルタ。
（８）上記（１）から（７）のいずれか一に記載の光学フィルタを備えた、光学製品。
（９）前記第１の光学膜又は前記第２の光学膜に、接着剤を備えた、上記（８）に記載の光学製品。
　本発明によれば、基板又は機能膜の品質を損なうことなく、基板の端部まで機能膜が形成された、光学フィルタ及び光学製品を提供できる。
　以上、本発明について簡潔に説明した。更に、以下に説明される発明を実施するための形態（以下、「実施形態」という。）を添付の図面を参照して通読することにより、本発明の詳細は更に明確化されるであろう。
図１は、本発明の一実施形態に係る光学フィルタの平面図である。 図２は、光学フィルタの製造工程を説明するための図であり、基板の第１面に成膜する工程を示す図である。 図３は、図２に示す工程で成膜された第１面を示す図である。 図４は、光学フィルタの製造工程を説明するための図であり、基板の第２面に成膜する工程を示す図である。 図５は、図４に示す工程で成膜された第２面を示す図である。 図６は、変形例に係る、基板の第１面に成膜する工程の一例を示す図である。 図７は、変形例に係る、基板の第２面に成膜する工程の一例を示す図である。 図８は、変形例に係る、基板の第２面に成膜する工程の他の例を示す図である。 図９は、光学フィルタを備えた光学製品の一例を示す断面図である。 図１０は、図９のＡ部分を拡大して示す図である。 図１１は、他の光学製品の一例を示す図である。
　本発明に関する具体的な実施形態について、各図を参照しながら以下に説明する。
＜光学フィルタ＞
　図１を参照して、本発明の一実施形態に係る光学フィルタ１について説明する。
　図１は、光学フィルタ１の平面図であり、基板１０の厚み方向（以下、単に「厚み方向」ともいう）に視た光学フィルタ１を示す。図１に示すように、光学フィルタ１は、基板１０の厚み方向に視て、基板１０の端部（外縁部）を含む全面に、第１の光学膜１１及び第２の光学膜１３の少なくともいずれか一方が形成されている。本実施形態では、第１の光学膜１１及び第２の光学膜１３が、紫外線反射膜又は紫外線吸収膜である、すなわち紫外線遮へい機能を有する膜である例を示す。尚、本発明の第１、第２の光学膜は、紫外線遮へい膜に限定されない。第１、第２の光学膜は、例えば、可視光線反射膜又は可視光線吸収膜といった可視光線遮へい機能を有する膜であってもよいし、赤外線反射膜又は赤外線吸収膜といった赤外線遮へい機能を有する膜であってもよいし、透明導電膜といった、電磁波遮蔽効果やヒーター機能を有する膜であってもよい。
＜基板＞
　光学フィルタ１における基板１０は、第１面１０Ａ（主面）と、第１面１０Ａと厚み方向で反対側の第２面１０Ｂ（裏面）と、を有し、厚み方向に平面視して矩形形状を有する、直方体形状の平板である。本開示において、「（基板の）厚み方向」は、成膜される面と交わる方向であって、成膜される面におけるいずれかの法線方向に沿う方向を意味する。
　基板１０は、単層構造であっても、複層構造であってもよい。また基板の材質としては可視光線を透過する透明性材料であれば、有機材料でも無機材料でもよく、特に制限されない。また、異なる複数の材料を複合して用いてもよい。
　透明性無機材料としては、ガラスや結晶材料が好ましい。
　ガラスとしては、ソーダライムガラス、ホウケイ酸ガラス、無アルカリガラス、石英ガラス、アルミノシリケートガラス等が挙げられる。
　ガラスとしては、ガラス転移点以下の温度で、イオン交換により、ガラス板主面に存在するイオン半径が小さいアルカリ金属イオン（例えば、Ｌｉイオン、Ｎａイオン）を、イオン半径のより大きいアルカリイオン（例えば、Ｌｉイオンに対してはＮａイオンまたはＫイオンであり、Ｎａイオンに対してはＫイオンである。）に交換して得られる化学強化ガラスを使用してもよい。
　結晶材料としては、水晶、ニオブ酸リチウム、サファイア等の複屈折性結晶が挙げられる。
　透明樹脂材料としては、アクリル、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート等が挙げられる。
　また基板の厚さは、誘電体多層膜成膜時の反り低減、光学素子低背化、割れ抑制の観点から、０．１ｍｍ以上５ｍｍ以下が好ましく、より好ましくは２ｍｍ以上４ｍｍ以下である。
＜光学フィルタの製造方法＞
　図２から図４を参照して、光学フィルタ１の製造方法について説明する。図２及び図４は、光学フィルタ１の製造工程を説明するための図であり、図２は基板１０の第１面１０Ａに成膜する工程を示し、図４は基板１０の第２面１０Ｂに成膜する工程を示す。図３及び図５は、図２に示す工程で成膜された第１面１０Ａ、及び図４に示す工程で成膜された第２面１０Ｂをそれぞれ示す。
　まず、基板１０を準備する。本実施形態では、基板１０が平板形状（直方体形状）を有するが、基板の形状は平板形状に限定されず、ブロック状、フィルム状でもよい。また、基板を厚み方向に平面視した形状は円板形状等であってもよい。さらに、基板の対向する二面が、互いに平行でなくてもよく、少なくともいずれか一方の面が湾曲していてもよい。
　準備した基板１０に対して、真空蒸着やスパッタリング等の成膜方法により、デポアップ方式で両面（第１面１０Ａ及び第２面１０Ｂ）にそれぞれ成膜する。
　図２に示すように、基板１０の外周部の一部を、直方体形状の第１の治具３１で支持しながら、基板１０の下方に配置された公知の成膜源２０から、上方の第１面１０Ａに成膜材料を蒸着させ、基板１０の第１面１０Ａに第１の光学膜１１を形成する。一対の第１の治具３１は、基板１０の長辺に沿ってそれぞれ配置される。第１面１０Ａにおける第１の治具３１で支持された箇所は、図３に示すように、第１の光学膜１１が形成されていない露出部１２とされる。第１面１０Ａに形成された第１の光学膜１１は、図３に示すようにＨ字状となる。
　続いて、基板１０を反転させて、図４に示すように、基板１０の外周部の上記一部と異なる他の一部を、直方体形状の第２の治具３２で支持しながら、成膜源２０から、上方の第２面１０Ｂに成膜材料を蒸着させ、基板１０の第２面１０Ｂに第２の光学膜１３を形成する。一対の第２の治具３２は、基板１０の短辺に沿ってそれぞれ配置される。第２面１０Ｂにおける第２の治具３２で支持された箇所は、図５に示すように、第２の光学膜１３が形成されていない露出部１４とされる。第２面１０Ｂに形成された第２の光学膜１３は、図５に示すように矩形状となる。第２の光学膜１３は、厚み方向に平面視して、第２面１０Ｂにおける、露出部１２に対応する箇所１５に、少なくとも形成される。
　上述したように製造された光学フィルタ１は、第１面１０Ａと、第１面１０Ａと厚み方向で反対側の第２面１０Ｂと、を有する基板１０と、第１面１０Ａに形成される第１の光学膜１１と、第２面１０Ｂに形成される第２の光学膜１３と、を備える。第１面１０Ａは、第１の光学膜１１が形成されていない露出部１２を有する。第２の光学膜１３は、少なくとも、基板１０の厚み方向に平面視して、第２面１０Ｂにおける、露出部１２に対応する箇所１５に形成される。
　言い換えれば、厚み方向に視た平面視において、第１の光学膜１１の形状は第１面１０Ａの形状とは異なり、第２の光学膜１３の形状は第２面１０Ｂの形状とは異なり、第１の光学膜１１の形状は第２の光学膜１３の形状とは異なる。また、厚み方向に視た平面視において、第１の光学膜１１と第２の光学膜１３とを重ね合わせた形状は、第１面１０Ａの形状および第２面１０Ｂの形状の少なくともいずれか一方と一致する。
　このため、光学フィルタ１に入射する光は、第１の光学膜１１及び第２の光学膜１３のいずれかによって遮へいされる。したがって、光学製品の筐体に、接着剤を介して光学フィルタ１を取り付けた場合、光学フィルタ１の端部に配置された接着剤が紫外線に曝されることがない。よって、接着剤を保護するための黒色セラミックを基板１０の外周部に付与する必要がないことから、黒色セラミック付与に伴う高温での焼成が行われず、高温による基板の反り発生が防止される。また、デポアップ方式で成膜するため、成膜時に基板表面又は膜表面が汚染されることがない。さらに、成膜後に基板を切断する必要がないため、切断による膜への影響はない。
＜変形例に係る第１の光学膜、第２の光学膜＞
　基板１０に形成される第１及び第２の光学膜の形状は、図１から図５に示す形状に限定されない。基板１０を支持する治具の形状及び支持箇所を変更することにより、第１及び第２の光学膜の形状を変更できる。
　以下、図６から図８を参照して、変形例に係る第１の光学膜１１Ａ、第２の光学膜１３Ａ、１３Ｂについて説明する。図６は、変形例に係る、基板１０の第１面１０Ａに成膜する工程の一例を示す図であり、図７は、変形例に係る、基板１０の第２面１０Ｂに成膜する工程の一例を示す図である。図８は、変形例に係る、基板１０の第２面１０Ｂに成膜する工程の他の例を示す図である。図６から図８は、基板１０を下方側（成膜源２０が配置される側）から視た図である。
　図６に示すように、基板１０の四隅（外周部の一部）を、直方体形状の第３の治具３３でそれぞれ支持しながら、第１面１０Ａに第１の光学膜１１Ａを形成する。第１面１０Ａにおける第３の治具３３で支持された箇所は、第１の光学膜１１Ａが形成されていない露出部とされる。第１面１０Ａに形成された第１の光学膜１１Ａは、図６に示すようにＸ字状となる。
　図６に示すように第１面１０Ａに第１の光学膜１１Ａを形成した後、基板１０を反転させて、図７に示すように第２面１０Ｂに第２の光学膜１３Ａを形成する。
　図７に示すように、基板１０の長辺を、直方体形状の第４の治具３４でそれぞれ支持しながら、第２面１０Ｂに第２の光学膜１３Ａを形成する。第２面１０Ｂにおける第４の治具３４で支持された箇所は、第２の光学膜１３Ａが形成されていない露出部とされる。第２面１０Ｂに形成された第２の光学膜１３Ａは、図７に示すようにＨ字状となる。第２の光学膜１３Ａは、少なくとも、基板１０の厚み方向に平面視して、第２面１０Ｂにおいて、第１面１０Ａにおける露出部に対応する箇所１５－１に形成される。
　他の成膜例として、図６に示すように第１面１０Ａに第１の光学膜１１Ａを形成した後、基板１０を反転させて、図８に示すように第２面１０Ｂに第２の光学膜１３Ｂを形成してもよい。
　図８に示すように、基板１０の短辺を、直方体形状の第５の治具３５でそれぞれ支持しながら、第２面１０Ｂに第２の光学膜１３Ｂを形成する。第２面１０Ｂにおける第５の治具３５で支持された箇所は、第２の光学膜１３Ｂが形成されていない露出部とされる。第２面１０Ｂに形成された第２の光学膜１３Ｂは、図８に示すようにＨ字状となる。第２の光学膜１３Ｂは、少なくとも、基板１０の厚み方向に平面視して、第２面１０Ｂにおいて、第１面１０Ａにおける露出部に対応する箇所１５－２に形成される。
　したがって、変形例の第１の光学膜１１Ａ及び第２の光学膜１３Ａ、１３Ｂを備えた光学フィルタ１によっても、入射する光は第１の光学膜１１Ａ及び第２の光学膜１３Ａ、１３Ｂのいずれかによって遮へいされる。
＜光学製品＞
　図９から図１１を参照して、上述した光学フィルタ１を備えた光学製品４０について説明する。
　図９は、光学フィルタ１を備えた光学製品４０の断面図であり、図１０は、図９のＡ部分を拡大して示す図である。
　図９に示すように、光学製品４０は、上面が開放された箱型の筐体４１と、センサを搭載し、筐体４１の底面に配置された、センサ付基板４２と、筐体４１の開口部に配置された光学フィルタ１と、を備える。尚、センサは図示を省略するが、例えば、赤外線又は可視光線を検出する光センサである。光学製品４０は、例えば、ＬｉＤＡＲ（Ｌｉｇｈｔ　Ｄｅｔｅｃｔｉｏｎ　Ａｎｄ　Ｒａｎｇｉｎｇ）、イメージセンサモジュール、車載カメラである。
　図１０に示すように、光学フィルタ１は、基板１０における、外部に露出する側に第１の光学膜１１が形成され、筐体４１に面する側に第２の光学膜１３が形成される。光学フィルタ１は、第２の光学膜１３上に配置された、ポリウレタン接着剤等の接着剤４３によって、筐体４１に接着される。第１の光学膜１１は基板１０の端部に形成されていないが、第２の光学膜１３が基板１０の端部に形成されているため、第２の光学膜１３によって紫外線が遮へいされて、接着剤４３が保護される。
　また、光学製品４０は、図１１に示すように、第２の光学膜１３と接着剤４３との間に、遮光膜等の機能層４４を備えてもよい。また、光学製品４０は、第１の光学膜１１の外側（基板１０が設けられた面と反対側の面）に撥水層、帯電防止層、防曇層、低反射層等の機能層を備えてもよい。尚、機能層は、第１の光学膜１１又は第２の光学膜１３と基板１０との間に設けられてもよい。また、光学製品４０は、第１の光学膜１１及び第２の光学膜１３に代えて、変形例の第１の光学膜１１Ａ及び第２の光学膜１３Ａ、１３Ｂを備えてもよい。
　尚、本発明は、前述した実施形態に限定されるものではなく、適宜、変形、改良、等が可能である。その他、前述した実施形態における各構成要素の材質、形状、寸法、数値、形態、数、配置箇所、等は本発明を達成できるものであれば任意であり、限定されない。
　ここで、上述した本発明の実施形態に係る光学フィルタ及び光学製品の特徴をそれぞれ以下［１］から［１０］に簡潔に纏めて列記する。
［１］第１面（１０Ａ）と、前記第１面と厚み方向で反対側の第２面（１０Ｂ）と、を有する基板（１０）と、
　前記第１面に形成される第１の光学膜（１１）と、
　前記第２面に形成される第２の光学膜（１３）と、を備え、
　前記第１面は、前記第１の光学膜が形成されていない露出部（１２）を有し、
　前記第２の光学膜は、少なくとも、前記厚み方向に平面視して、前記第２面における前記露出部に対応する箇所（１５）に形成される、光学フィルタ（１）。
［２］前記第１の光学膜の形状は、前記第１面の形状とは異なり、
　前記第２の光学膜の形状は、前記第２面の形状とは異なり、
　前記第１の光学膜の形状は、前記第２の光学膜の形状とは異なり、
　前記厚み方向の平面視において、前記第１の光学膜と前記第２の光学膜とを重ね合わせた形状は、前記第１面の形状および前記第２面の形状の少なくともいずれか一方と一致する、上記［１］に記載の光学フィルタ。
［３］前記基板は、前記厚み方向の平面視において矩形形状を有する平板であり、
　前記第１面は、前記矩形の各長辺において、前記第１の光学膜が形成されていない露出部（１２）を有し、
　前記第２面は、前記矩形の各短辺において、前記第２の光学膜が形成されていない露出部（１４）を有する、上記［２］に記載の光学フィルタ。
［４］前記基板は、ガラスからなる、上記［１］から［３］のいずれか一に記載の光学フィルタ。
［５］前記基板は、結晶材料からなる、上記［１］から［３］のいずれか一に記載の光学フィルタ。
［６］前記基板は、透明樹脂材料からなる、上記［１］から［３］のいずれか一に記載の光学フィルタ。
［７］前記第１の光学膜又は前記第２の光学膜は、紫外線吸収膜又は紫外線反射膜である、上記［１］から［６］のいずれか一に記載の光学フィルタ。
［８］前記第１の光学膜又は前記第２の光学膜の少なくとも一部に機能層を備えた、上記
［１］から［７］のいずれか一に記載の光学フィルタ。
［９］上記［１］から［８］のいずれか一に記載の光学フィルタを備えた、光学製品。
［１０］前記第１の光学膜又は前記第２の光学膜に、接着剤を備えた、上記［９］に記載の光学製品。
　以上、図面を参照しながら各種の実施の形態について説明したが、本発明はかかる例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇内において、各種の変更例又は修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。また、発明の趣旨を逸脱しない範囲において、上記実施の形態における各構成要素を任意に組み合わせてもよい。
　なお、本出願は、２０２１年１０月６日出願の日本特許出願（特願２０２１－１６５０６２）に基づくものであり、その内容は本出願の中に参照として援用される。
　本発明の光学フィルタは、基板の反りが防止され、かつ、基板の端部まで機能膜が形成され、本発明の光学製品は、この光学フィルタを備えることから、例えば、屋外で使用されるセンサーモジュールや、車載カメラ等の情報取得装置の用途に有用である。
１　光学フィルタ
１０　基板
１０Ａ　第１面
１０Ｂ　第２面
１１、１１Ａ　第１の光学膜
１２、１４　露出部
１３、１３Ａ、１３Ｂ　第２の光学膜
１５　第２面における露出部に対応する箇所
２０　成膜源
３１　第１の治具
３２　第２の治具
３３　第３の治具
３４　第４の治具
３５　第５の治具
４０　光学製品
４１　筐体
４２　センサ付基板
４３　接着剤
４４　機能層

Claims (9)

  1. 　第１面と、前記第１面と厚み方向で反対側の第２面と、を有する基板と、
    　前記第１面に形成される第１の光学膜と、
    　前記第２面に形成される第２の光学膜と、を備え、
    　前記第１面は、前記第１の光学膜が形成されていない露出部を有し、
    　前記第２の光学膜は、少なくとも、前記厚み方向に平面視して、前記第２面における前記露出部に対応する箇所に形成される、光学フィルタ。
  2. 　前記第１の光学膜の形状は、前記第１面の形状とは異なり、
    　前記第２の光学膜の形状は、前記第２面の形状とは異なり、
    　前記第１の光学膜の形状は、前記第２の光学膜の形状とは異なり、
    　前記厚み方向の平面視において、前記第１の光学膜と前記第２の光学膜とを重ね合わせた形状は、前記第１面の形状および前記第２面の形状の少なくともいずれか一方と一致する、請求項１に記載の光学フィルタ。
  3. 　前記基板は、ガラスからなる、請求項１又は２に記載の光学フィルタ。
  4. 　前記基板は、結晶材料からなる、請求項１又は２に記載の光学フィルタ。
  5. 　前記基板は、透明樹脂材料からなる、請求項１又は２に記載の光学フィルタ。
  6. 　前記第１の光学膜又は前記第２の光学膜は、紫外線吸収膜又は紫外線反射膜である、請求項１から５のいずれか一項に記載の光学フィルタ。
  7. 　前記第１の光学膜又は前記第２の光学膜の少なくとも一部に機能層を備えた、請求項１から６のいずれか一項に記載の光学フィルタ。
  8. 　請求項１から７のいずれか一項に記載の光学フィルタを備えた、光学製品。
  9. 　前記第１の光学膜又は前記第２の光学膜に、接着剤を備えた、請求項８に記載の光学製品。
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