WO2023042852A1 - 圧縮機用複合シール材 - Google Patents

Abstract

圧縮機用複合シール材（１）は、ピストン（１０）の環状溝に装着される第１環状シール群（１ａ）と、第２環状シール群（１ｂ）と、を含む。第１環状シール群（１ａ）は、第１環状摺動部材（１６）と、第１環状摺動部材（１６）の半径方向の内側から第１環状摺動部材（１６）を支持する第１環状内側支持部材（１８）と、第１環状摺動部材（１６）および第１環状内側支持部材（１８）を低圧側から支持する第１環状側面支持部材（１５）と、第１環状内側支持部材（１８）の半径方向の内側から第１環状内側支持部材（１８）を支持し、第１環状側面支持部材（１５）の半径方向の内側から第１環状側面支持部材（１５）を支持するとともに第１環状側面支持部材（１５）を低圧側から支持する第１環状支持部材（１４）と、を有する。

Description

圧縮機用複合シール材

　本開示は、圧縮機用複合シール材に関する。

　従来、ガスを高圧に圧縮する往復圧縮機に用いられるピストンの外周面に設けたピストンリング群により気密性を確保する技術が知られている（特許文献１参照）。

特許第５４３５２４５号公報

　水素ステーションに用いられる水素ガス等は、高圧に圧縮する必要がある。このため、水素ガス等の圧縮には、高いシール性が求められる。ここで、特許文献１に記載の往復圧縮機に用いられるようなピストンリング群では、シール性を良くするために多段にしなければならず軸方向に長いスペースが必要になる。また、特許文献１に記載の往復圧縮機に用いられるようなピストンリング群では、ピストンリングの摩耗が直接シール性に影響をおよぼすため、寿命が短くなってしまう。

　本開示の目的は、省スペース化と長寿命化とを可能にする圧縮機用複合シール材を提供することである。

　本開示の圧縮機用複合シール材は、往復圧縮機に用いられるピストンロッドの先端に配置されるピストンの環状溝に装着され、シリンダの中を高圧側と低圧側とに仕切る圧縮機用複合シール材である。圧縮機用複合シール材は、上記ピストンの上記環状溝に装着される第１環状シール群と、上記ピストンロッドの軸方向に沿って上記第１環状シール群に対して上記低圧側の上記環状溝に装着される第２環状シール群と、を含む。上記第１環状シール群は、第１環状摺動部材と、上記第１環状摺動部材の半径方向の内側から上記第１環状摺動部材を支持する第１環状内側支持部材と、上記第１環状摺動部材および上記第１環状内側支持部材を上記低圧側から支持する第１環状側面支持部材と、上記第１環状内側支持部材の半径方向の内側から上記第１環状内側支持部材支持し、上記第１環状側面支持部材の半径方向の内側から上記第１環状側面支持部材を支持するとともに上記第１環状側面支持部材を上記低圧側から支持する第１環状支持部材と、を有する。

　上記第２環状シール群は、第２環状摺動部材と、上記第２環状摺動部材の半径方向の内側から上記第２環状摺動部材を支持する第２環状内側支持部材と、上記第２環状摺動部材および上記第２環状内側支持部材を上記低圧側から支持する第２環状側面支持部材と、上記第２環状側面支持部材を上記低圧側から支持する第２環状支持部材と、を有する。

　上記第１環状側面支持部材の剛性は、上記第１環状支持部材の剛性よりも低く、上記第２環状側面支持部材の剛性は、上記第２環状支持部材の剛性よりも低い。

　上記第１環状内側支持部材の半径方向のつぶし率は、上記第２環状内側支持部材の半径方向のつぶし率よりも低い。

　上記環状溝は、半径方向に第１深さで設けられる第１溝部および上記第１溝部よりも上記低圧側であって、上記第１深さよりも浅い第２溝部を有する。上記第１環状シール群は、上記第１溝部に嵌合され、上記第２環状シール群は、上記第２溝部に嵌合されている。

　圧縮機用複合シール材は、上記ピストンロッドの軸方向に沿って、上記第１環状シール群と上記第２環状シール群との間に、第３環状シール群をさらに含む。上記第３環状シール群は、第３環状摺動部材と、上記第３環状摺動部材の半径方向の内側から上記第３環状摺動部材を支持する第３環状内側支持部材と、上記第３環状摺動部材および上記第３環状内側支持部材を上記低圧側から支持する第３環状側面支持部材と、上記第３環状内側支持部材の半径方向の内側から上記第３環状内側支持部材支持し、上記第３環状側面支持部材の半径方向の内側から上記第３環状側面支持部材を支持するとともに上記第３環状側面支持部材を上記低圧側から支持する第３環状支持部材と、を有する。上記第３環状シール群は、上記第１溝部に嵌合されている。

　この開示によれば、省スペース化と長寿命化とを可能にする圧縮機用複合シール材を提供することができる。

実施の形態１における２段式往復圧縮機の配管系統図である。 ピストンに装着される実施の形態１の圧縮機用複合シール材を示す図である。 図２のＩＩＩ－ＩＩＩ部分の拡大断面図である。 実施の形態１の圧縮機用複合シール材の斜視図である。 ピストンに装着される実施の形態２の圧縮機用複合シール材を示す図である。 図５のＶＩ－ＶＩ部分の拡大断面図である。 実施の形態２の圧縮機用複合シール材の斜視図である。

　本開示に基づいた各実施の形態の吸脱着部材の取付構造について、以下、図面を参照しながら説明する。以下に説明する実施の形態において、個数、量などに言及する場合、特に記載がある場合を除き、本開示の範囲は必ずしもその個数、量などに限定されない。同一の部品、相当部品に対しては、同一の参照番号を付し、重複する説明は繰り返さない場合がある。実施の形態における構成を適宜組み合わせて用いることは当初から予定されていることである。

　［実施の形態１］
　図１は、実施の形態１における２段式往復圧縮機の配管系統図である。図１に示すように。本実施の形態における往復圧縮機１００は、低段側の圧縮部１１０と、高段側の圧縮部１２０とを備えている。圧縮部１１０および圧縮部１２０は、同一または別々の駆動部１３０により駆動される。

　低段側の圧縮部１１０は、圧縮室１１１を有するシリンダ１１２と、シリンダ１１２内に往復摺動可能に配置されたピストン１１３とを備える。低段側の圧縮部１１０は、ピストン１１３の往復摺動によりシリンダ１１２の圧縮室１１１内にガスを吸い込んで所定圧に圧縮する。低段側の圧縮部１１０で圧縮されたガスは、連絡通路１１４を通してタンク１１５内に貯留され、所定圧（例えば３５ＭＰａ）に維持される。

　高段側の圧縮部１２０は、タンク１１５に連絡通路１１６を介して連通された圧縮室１２１を有するシリンダ１２２と、シリンダ１２２内に往復摺動可能に配置されたピストン１０およびピストン１２３とを備える。ピストン１０は、ピストンロッド５１の先端部に設けられている。ピストン１２３は、ピストンロッド１３１の先端部に設けられている。ピストンロッド５１とピストンロッド１３１とは、ピストン１２３を介して連結されている。

　高段側の圧縮部１２０は、低段側の圧縮部１１０から吐出されタンク１１５内に貯留された圧縮ガスをピストン１０の往復摺動によりシリンダ１２２の圧縮室１２１内に吸い込んで一段高圧（例えば１００ＭＰａ）に圧縮するように構成されている。高圧側の圧縮部１２０で圧縮された圧縮ガスは、送出通路１２４を通して送出される。送出通路１２４には、圧縮部１２０で圧縮された圧縮ガスを冷却するためのクーラ１２５が設けられている。

　ピストン１０とピストン１２３との隙間には、ガス導入通路１５６により圧縮室１２１に吸入される圧縮ガスよりも低い所定圧（例えば３０ＭＰａ）の圧縮ガスが導入される。これにより、シリンダ１２２内面に対する押圧力を均等に調整することができる。

　駆動部１３０は、ピストン１２３の基端に一端が連結されたピストンロッド１３１と、ピストンロッド１３１の他端が連結されかつガイドシリンダ１３２内に往復摺動可能に配置されたクロスヘッド１３３と、クロスヘッド１３３に一端が連結された連接棒１３４と、連接棒１３４の他端が連結されかつクランクケース１３５に回転自在に支持されたクランクシャフト１３６と、クランクシャフト１３６にプーリとベルトとからなる動力伝達機構１３７を通して動力伝達可能に連結された駆動モータ１３８とを備える。駆動部１３０は、駆動モータ１３８の回転力によりクランクシャフト１３６の回転およびガイドシリンダ１３２内でのクロスヘッド１３３の往復摺動を引き起こし、最終的にシリンダ１２２内でのピストン１０およびピストン１２３の往復摺動を引き起こすようになっている。

　クランクケース１３５内には、ディスタンスピース（図示省略）を介してシリンダ１２２が取付けられている。シリンダ１２２からディスタンスピース内に漏れた圧縮ガスは、ディスタンスピースに設けられる戻し口から戻し通路１４７を通して低段側の圧縮部１１０の吸い込み側へ戻される。戻し通路１４７には、フィルタ１４８が配置されている。

　以下では、ピストン１０の先端部５４に取付けられる圧縮機用複合シール材１の詳細な構造について説明する。図２は、ピストン１０に装着される実施の形態１の圧縮機用複合シール材１を示す図であり、図３は、図２のＩＩＩ－ＩＩＩ部分の拡大断面図であり、図４は、実施の形態１の圧縮機用複合シール材１の斜視図である。

　図２に示すように、ピストンロッド５１の軸に沿う方向を軸方向、ピストンロッド５１の軸から圧縮機用複合シール材１の外面に向かう方向を半径方向と称する。図２に示すように、圧縮室１１１のあるピストンロッド５１の先端部５４側を高圧側、高圧側とは反対側を低圧側と称する。圧縮機用複合シール材１は、シリンダ１２２内を高圧側と低圧側とに仕切っている。

　図２から図４に示すように、ピストン１０は、ピストンロッド５１の先端部５４に配置される圧縮機用複合シール材１と、ワッシャー５２と、ナット５３とを備える。圧縮機用複合シール材１は、ワッシャー５２を介してナット５３を締め付けることによりピストンロッド５１の先端部５４に固定される。

　圧縮機用複合シール材１は、往復圧縮機１００に用いられるピストンロッド５１の先端に配置されるピストン１０の環状溝に装着される。圧縮機用複合シール材１は、半径方向に第１深さで設けられる第１溝部５１ａに装着される第１環状シール群１ａと、半径方向に第１深さよりも浅い第２深さで設けられる第２溝部５１ｂに装着される第２環状シール群１ｂとを含む。第２環状シール群１ｂは、軸方向に対し第１環状シール群１ａよりも低圧側に位置する。

　第１環状シール群１ａは、第１環状摺動部材１６と、第１環状内側支持部材１８と、第１環状側面支持部材１５と、第１環状支持部材１４とを有する。第１環状摺動部材１６は、ピストン１０が往復運動するときにシリンダ１１２の内面に摺動する部材である。第１環状摺動部材１６は、例えば、ポリテトラフルオロエチレン（以下、ＰＴＦＥと称する）により構成される。

　第１環状内側支持部材１８は、第１環状摺動部材１６の半径方向の内側から第１環状摺動部材１６を支持する。第１環状摺動部材１６は、例えば、フッ素ゴム（以下、ＦＫＭと称する）により構成される。第１環状摺動部材１６は、Ｏリングと称される。第１環状摺動部材１６と第１環状内側支持部材１８とを組合せたシール材は、スリッパーシールと称される。スリッパーシールを用いることにより摩擦抵抗を小さくすることができる。

　第１環状側面支持部材１５は、第１環状摺動部材１６および第１環状内側支持部材１８を低圧側から支持する。第１環状側面支持部材１５は、例えば、ポリエーテルエーテルケトン（以下、ＰＥＥＫと称する）により構成される。第１環状側面支持部材１５は、他の樹脂であるＰＴＦＥ、ＰＯＭ（ポリアセタール）等を用いてもよい。

　第１環状支持部材１４は、第１環状内側支持部材１８の半径方向の内側から第１環状内側支持部材１８支持し、第１環状側面支持部材１５の半径方向の内側から第１環状側面支持部材１５を支持するとともに第１環状側面支持部材１５を低圧側から支持する。第１環状支持部材１４は、例えば、鉛青銅鋳物であるＣＡＣ６０３により構成される。第１環状支持部材１４の材質は、ＣＡＣ６０３のような比較的硬度の低い金属であればその他の材質のものを用いてもよい。第１環状支持部材１４は、断面がＬ字型である。

　第１環状支持部材１４は、外周面の軸方向の寸法が長く取られている。これにより、第１環状支持部材１４は、軸受としても機能する。このため、軸受として用いるウエアリングを別途設置する必要が無い。

　第１環状支持部材１４は、スリッパーシールである第１環状摺動部材１６と第１環状内側支持部材１８とを支持する樹脂製の第１環状側面支持部材１５を金属製の材質により低圧側から支持している。ここで、樹脂製の第１環状側面支持部材１５の剛性は、金属製の第１環状支持部材１４の剛性よりも低い。これにより、第１環状シール群１ａは、低圧側の剛性が高くなり、耐圧性にすぐれた機構となる。

　第２環状シール群１ｂは、第１環状シール群１ａよりも低圧側に位置している。第２環状シール群１ｂは、第２環状摺動部材１３と、第２環状内側支持部材１７と、第２環状側面支持部材１２と、第２環状支持部材１１とを有する。第２環状摺動部材１３は、ピストン１０が往復運動するときにシリンダ１１２の内面に摺動する部材である。第２環状摺動部材１３は、例えば、ＰＴＦＥにより構成される。

　第２環状内側支持部材１７は、第２環状摺動部材１３の半径方向の内側から第２環状摺動部材１３を支持する。第２環状内側支持部材１７は、例えば、ＦＫＭにより構成される。第２環状摺動部材１３は、Ｏリングと称される。第２環状摺動部材１３と第２環状内側支持部材１７とを組合せたシール材は、スリッパーシールと称される。スリッパーシールを用いることにより摩擦抵抗を小さくすることができる。

　第２環状側面支持部材１２は、第２環状摺動部材１３および第２環状内側支持部材１７を低圧側から支持する。第２環状側面支持部材１２は、例えば、ＰＥＥＫにより構成される。第２環状側面支持部材１２は、他の樹脂であるＰＴＦＥ、ＰＯＭ等を用いてもよい。

　第２環状支持部材１１は、第２環状側面支持部材１２を低圧側から支持する。第２環状支持部材１１は、例えば、アルミニウム青銅鋳物であるＣＡＣ７０３により構成される。第２環状支持部材１１の材質は、ＣＡＣ７０３のような比較的硬度の低い金属であればその他の材質のものを用いてもよい。第２環状支持部材１１は、断面が長方形である。

　第２環状支持部材１１は、スリッパーシールである第２環状摺動部材１３と第２環状内側支持部材１７とを支持する樹脂製の第２環状側面支持部材１２を金属製の材質により低圧側から支持している。ここで、樹脂製の第２環状側面支持部材１２の剛性は、金属製の第２環状支持部材１１の剛性よりも低い。これにより、第２環状シール群１ｂは、低圧側の剛性が高くなり、耐圧性にすぐれた機構となる。

　ピストンロッド５１に設けられる環状溝は、半径方向に第１深さで設けられる第１溝部５１ａおよび第１溝部５１ａよりも低圧側であって、第１深さよりも浅い第２溝部５１ｂを有する。第１環状シール群１ａは、第１溝部５１ａに嵌合されている。第２環状シール群１ｂは、第２溝部５１ｂに嵌合されている。ピストンロッド５１の環状溝は、先端部５４に側ほど浅くなる多段式の構造であるため旋盤等による加工が容易である。

　圧縮機用複合シール材１は、スリッパーシール構造を持つ第１環状摺動部材１６と第１環状内側支持部材１８とが第１溝部５１ａに配置され、スリッパーシール構造を持つ第２環状摺動部材１３と第２環状内側支持部材１７とが第２溝部５１ｂに配置される。このようにスリッパーシールの装着溝を分割溝とすることにより圧縮機用複合シール材１がピストンロッド５１に組み付けやすくなる。圧縮機用複合シール材１は、スリッパーシール構造が多段に設けられるため、シール性を向上させることができる。

　第１環状内側支持部材１８の半径方向のつぶし率は、第２環状内側支持部材１７の半径方向のつぶし率よりも低く設定されている。つぶし率とは、Ｏリング線径に対してどれだけ圧縮させたかを表す値である。つぶし率＝つぶし代÷Ｏリング線径×１００となる。つぶし代とは、Ｏリングを溝に装着した状態で圧縮させた距離を示す。例えば、第１環状内側支持部材１８の半径方向のつぶし率は、０％～３％に設定され、第２環状内側支持部材１７の半径方向のつぶし率は、１０％～２０％に設定される。

　高圧側のシール性を低圧側のシール性よりも低下させることにより高圧側のスリッパーシール構造に減圧効果を持たせることができる。低圧側のシール性を高圧側のシール性よりも上昇させることにより低圧側のスリッパーシール構造のシール性を高めることができる。これらにより、圧縮機用複合シール材１は、高圧、高速が求められる水素ガス等の圧縮においても、シール性を保ちつつ低圧側へ掛かる圧力を緩和し圧縮機用複合シール材１を長寿命化することができる。

　圧縮機用複合シール材１は、第１環状シール群１ａおよび第２環状シール群１ｂによる、各部材の配置および材質を考慮した形状である。このため、圧縮機用複合シール材１は、高圧下において低摺動なシールでありつつも軸方向長さを短くすることにより省スペース化することができる。

　［実施の形態２］
　以下では、実施の形態２のピストン１０Ａの先端部に取付けられる圧縮機用複合シール材１Ａの詳細な構造について説明する。図５は、ピストン１０Ａに装着される実施の形態２の圧縮機用複合シール材１Ａを示す図であり、図６は、図５のＶＩ－ＶＩ部分の拡大断面図であり、図７は、実施の形態２の圧縮機用複合シール材１の斜視図である。

　実施の形態２の圧縮機用複合シール材１Ａは、実施の形態１の圧縮機用複合シール材１と比較し、ピストンロッド５１の軸方向に沿って、第１環状シール群１ａと第２環状シール群１ｂとの間に、第３環状シール群１ｃが配置される点が異なっている。実施の形態２の圧縮機用複合シール材１Ａにおいて、第１環状シール群１ａと第２環状シール群１ｂとの構成は、実施の形態１の圧縮機用複合シール材１と同様であるため説明を省略する。

　第３環状シール群１ｃは、第３環状摺動部材２６と、第３環状内側支持部材２８と、第３環状側面支持部材２５と、第３環状支持部材２４とを有する。第３環状摺動部材２６は、ピストン１０Ａが往復運動するときにシリンダ１１２の内面に摺動する部材である。第３環状摺動部材２６は、例えば、ＰＴＦＥにより構成される。

　第３環状内側支持部材２８は、第３環状摺動部材２６の半径方向の内側から第３環状摺動部材２６を支持する。第３環状摺動部材２６は、例えば、ＦＫＭにより構成される。第３環状摺動部材２６は、Ｏリングと称される。第３環状摺動部材２６と第３環状内側支持部材２８とを組合せたシール材は、スリッパーシールと称される。スリッパーシールを用いることにより摩擦抵抗を小さくすることができる。

　第３環状側面支持部材２５は、第３環状摺動部材２６および第３環状内側支持部材２８を低圧側から支持する。第３環状側面支持部材２５は、例えば、ＰＥＥＫにより構成される。第３環状側面支持部材２５は、他の樹脂であるＰＴＦＥ、ＰＯＭ等を用いてもよい。

　第３環状支持部材２４は、第３環状内側支持部材２８の半径方向の内側から第３環状内側支持部材２８支持し、第３環状側面支持部材２５の半径方向の内側から第３環状側面支持部材２５を支持するとともに第３環状側面支持部材２５を低圧側から支持する。第３環状支持部材２４は、例えば、ＣＡＣ６０３により構成される。第３環状支持部材２４の材質は、ＣＡＣ６０３のような比較的硬度の低い金属であればその他の材質のものを用いてもよい。第３環状支持部材２４は、断面がＬ字型である。

　第３環状支持部材２４は、スリッパーシールである第３環状摺動部材２６と第３環状内側支持部材２８とを支持する樹脂製の第３環状側面支持部材２５を金属製の材質により低圧側から支持している。ここで、樹脂製の第３環状側面支持部材２５の剛性は、金属製の第３環状支持部材２４の剛性よりも低い。これにより、第３環状シール群１ｃは、低圧側の剛性が高くなり、耐圧性にすぐれた機構となる。

　第３環状シール群１ｃは、第１環状シール群１ａと同様に、第１溝部５１ａに嵌合されている。ピストンロッド５１の環状溝は、先端部５４に側ほど浅くなる多段式の構造であるため旋盤等による加工が容易である。スリッパーシールの装着溝を分割溝とすることにより圧縮機用複合シール材１Ａがピストンロッド５１に組み付けやすくなる。圧縮機用複合シール材１Ａは、スリッパーシール構造が多段に設けられるため、シール性を向上させることができる。

　第３環状内側支持部材２８の半径方向のつぶし率は、第１環状内側支持部材１８の半径方向のつぶし率と、第２環状内側支持部材１７の半径方向のつぶし率との間となるように設定してもよい。これにより、高圧側のスリッパーシール構造に減圧効果を持たせることによる長寿命化と、高圧側から低圧側にかけてシール性を高くすることとを両立することができる。

　［他の実施の形態］
　上記実施の形態において、第１環状シール群１ａのみを用いた圧縮機用複合シール材としてもよい。上記実施の形態において、圧縮機用複合シール材を４段以上の環状シール群により構成してもよい。

　上記実施の形態において、第２環状支持部材１１は、ＣＡＣ７０３により構成され、第１環状支持部材１４および第３環状支持部材２４は、ＣＡＣ６０３により構成されていた。ＣＡＣ７０３は、ＣＡＣ６０３よりも剛性が高い材料である。第１環状支持部材１４、第２環状支持部材１１、第３環状支持部材２４は、同一の材料で構成してもよい。高圧側から低圧側に並ぶ第１環状支持部材１４、第３環状支持部材２４、第２環状支持部材１１の順に剛性が高い材料を用いてもよい。

　今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本開示の範囲は上記した説明ではなくて請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

　１，１Ａ　圧縮機用複合シール材、１ａ　第１環状シール群、１ｂ　第２環状シール群、１ｃ　第３環状シール群、１０，１０Ａ，１１３，１２３　ピストン、１１　第２環状支持部材、１２　第２環状側面支持部材、１３　第２環状摺動部材、１４　第１環状支持部材、１５　第１環状側面支持部材、１６　第１環状摺動部材、１７　第２環状内側支持部材、１８　第１環状内側支持部材、２４　第３環状支持部材、２５　第３環状側面支持部材、２６　第３環状摺動部材、２８　第３環状内側支持部材、５１，１３１　ピストンロッド、５１ａ　第１溝部、５１ｂ　第２溝部、５２　ワッシャー、５３　ナット、５４　先端部、１００　往復圧縮機、１１０，１２０　圧縮部、１１１，１２１　圧縮室、１１２，１２２　シリンダ。

Claims (6)

1. 　往復圧縮機に用いられるピストンロッドの先端に配置されるピストンの環状溝に装着され、シリンダの中を高圧側と低圧側とに仕切る圧縮機用複合シール材であって、
   　前記ピストンの前記環状溝に装着される第１環状シール群と、
   　前記ピストンロッドの軸方向に沿って前記第１環状シール群に対して前記低圧側の前記環状溝に装着される第２環状シール群と、を含み、
   　前記第１環状シール群は、
   　第１環状摺動部材と、
   　前記第１環状摺動部材の半径方向の内側から前記第１環状摺動部材を支持する第１環状内側支持部材と、
   　前記第１環状摺動部材および前記第１環状内側支持部材を前記低圧側から支持する第１環状側面支持部材と、
   　前記第１環状内側支持部材の半径方向の内側から前記第１環状内側支持部材を支持し、前記第１環状側面支持部材の半径方向の内側から前記第１環状側面支持部材を支持するとともに前記第１環状側面支持部材を前記低圧側から支持する第１環状支持部材と、を有する、圧縮機用複合シール材。
2. 　前記第２環状シール群は、
   　第２環状摺動部材と、
   　前記第２環状摺動部材の半径方向の内側から前記第２環状摺動部材を支持する第２環状内側支持部材と、
   　前記第２環状摺動部材および前記第２環状内側支持部材を前記低圧側から支持する第２環状側面支持部材と、
   　前記第２環状側面支持部材を前記低圧側から支持する第２環状支持部材と、を有する、請求項１に記載の圧縮機用複合シール材。
3. 　前記第１環状側面支持部材の剛性は、前記第１環状支持部材の剛性よりも低く、前記第２環状側面支持部材の剛性は、前記第２環状支持部材の剛性よりも低い、請求項２に記載の圧縮機用複合シール材。
4. 　前記第１環状内側支持部材の半径方向のつぶし率は、前記第２環状内側支持部材の半径方向のつぶし率よりも低い、請求項２から請求項３のいずれか１項に記載の圧縮機用複合シール材。
5. 　前記環状溝は、半径方向に第１深さで設けられる第１溝部および前記第１溝部よりも前記低圧側であって、前記第１深さよりも浅い第２溝部を有し、
   　前記第１環状シール群は、前記第１溝部に嵌合され、
   　前記第２環状シール群は、前記第２溝部に嵌合されている、
   　請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の圧縮機用複合シール材。
6. 　前記ピストンロッドの軸方向に沿って、前記第１環状シール群と前記第２環状シール群との間に、第３環状シール群をさらに含み、
   　前記第３環状シール群は、
   　第３環状摺動部材と、
   　前記第３環状摺動部材の半径方向の内側から前記第３環状摺動部材を支持する第３環状内側支持部材と、
   　前記第３環状摺動部材および前記第３環状内側支持部材を前記低圧側から支持する第３環状側面支持部材と、
   　前記第３環状内側支持部材の半径方向の内側から前記第３環状内側支持部材を支持し、前記第３環状側面支持部材の半径方向の内側から前記第３環状側面支持部材を支持するとともに前記第３環状側面支持部材を前記低圧側から支持する第３環状支持部材と、を有し、
   　前記第３環状シール群は、前記第１溝部に嵌合されている、請求項５に記載の圧縮機用複合シール材。

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