WO2023013361A1 - 半導体ナノ粒子の製造方法、半導体ナノ粒子及び発光デバイス - Google Patents

半導体ナノ粒子の製造方法、半導体ナノ粒子及び発光デバイス Download PDF

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WO2023013361A1
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semiconductor
semiconductor nanoparticles
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salt
light
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司 鳥本
達矢 亀山
進 桑畑
太郎 上松
朋也 久保
陽平 五十川
大祐 小谷松
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国立大学法人東海国立大学機構
国立大学法人大阪大学
日亜化学工業株式会社
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • C09K11/00—Luminescent, e.g. electroluminescent, chemiluminescent materials
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    • H01L33/48—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
    • H01L33/50—Wavelength conversion elements

Definitions

  • the present disclosure relates to a method for manufacturing semiconductor nanoparticles, semiconductor nanoparticles, and light-emitting devices.
  • Quantum size effect is a phenomenon in which the valence band and conduction band, which are considered continuous in bulk particles, become discrete when the particle size is nano-sized, and the bandgap energy changes according to the particle size.
  • quantum dots can absorb light and convert the wavelength into light corresponding to the bandgap energy
  • a white light emitting device using the light emission of quantum dots has been proposed (for example, Japanese Patent Laid-Open No. 2012-212862). See the publication and Japanese Patent Application Laid-Open No. 2010-177656).
  • a wavelength conversion film using core-shell semiconductor quantum dots capable of emitting band edge light and having a low toxicity composition has been proposed (see, for example, International Publication No. 2014/129067).
  • sulfide nanoparticles No. is being considered.
  • WO 2018/159699 discloses an efficient production method by one-pot synthesis for obtaining semiconductor nanoparticles exhibiting band edge emission. There was room for further improvement.
  • WO2019/160094 and WO2020/162622 disclose semiconductor nanoparticles exhibiting high band edge emission purity, there is room for further improvement in terms of efficient production methods. was there.
  • An object of one aspect of the present disclosure is to provide an efficient method for producing semiconductor nanoparticles exhibiting band edge luminescence.
  • a first aspect is a first mixture containing a copper (Cu) salt, a silver (Ag) salt, a salt containing at least one of indium (In) and gallium (Ga), a gallium halide, and an organic solvent.
  • a copper (Cu) salt a silver (Ag) salt
  • a salt containing at least one of indium (In) and gallium (Ga), a gallium halide and an organic solvent.
  • a second aspect is a semiconductor nanoparticle comprising a first semiconductor comprising copper (Cu), silver (Ag), indium (In), gallium (Ga) and sulfur (S).
  • a second semiconductor containing Ga and S and substantially free of Ag is disposed on the surface of the semiconductor nanoparticles.
  • the semiconductor nanoparticles exhibit band-edge luminescence having an emission peak wavelength in a wavelength range of 600 nm or more and 680 nm or less when irradiated with light having a wavelength of 365 nm, and have a band-edge luminescence purity of 60% or more.
  • a quantum yield is 15% or more.
  • a third aspect is a light-emitting device comprising a light conversion member containing the semiconductor nanoparticles and a semiconductor light-emitting element.
  • FIG. 2 is a diagram showing an example of emission spectra of semiconductor nanoparticles according to Examples and Comparative Examples;
  • the term "process” is not only an independent process, but even if it cannot be clearly distinguished from other processes, it is included in this term as long as the intended purpose of the process is achieved.
  • the content of each component in the composition means the total amount of the plurality of substances present in the composition unless otherwise specified when there are multiple substances corresponding to each component in the composition.
  • the upper and lower limits of the numerical ranges described herein can be combined by arbitrarily selecting the numerical values exemplified as the numerical ranges.
  • the half width in the emission spectrum means the wavelength width (full width at half maximum; FWHM) of the emission spectrum at which the emission intensity is 50% of the maximum emission intensity in the emission spectrum of the semiconductor nanoparticles.
  • a method for producing semiconductor nanoparticles comprises: a copper (Cu) salt; a silver (Ag) salt; a salt containing at least one of indium (In) and gallium (Ga); and a first heat treatment of a first mixture containing an organic solvent to obtain first semiconductor nanoparticles.
  • At least one of the Cu salt, Ag salt, and salt containing at least one of In and Ga in the first mixture contains a compound having a bond between the metal constituting each salt and sulfur (S).
  • the method for producing semiconductor nanoparticles may further include other steps in addition to the first step.
  • the first step includes a Cu salt, an Ag salt, a salt containing at least one of In and Ga (hereinafter sometimes abbreviated as "(In, Ga) salt”), a gallium halide, a first mixing step of obtaining a first mixture containing an organic solvent; and a first heat treatment step of subjecting the obtained first mixture to a first heat treatment to obtain first semiconductor nanoparticles.
  • At least one of the Cu salt, Ag salt, and (In, Ga) salt in the first mixture may also serve as a sulfur (S) source, and the metal and sulfur (S) constituting each salt may include compounds having a bond of
  • gallium halide during the synthesis of the first semiconductor nanoparticles makes it easier to control the particle size of the first semiconductor nanoparticles to be produced. As a result, it is believed that semiconductor nanoparticles exhibiting band-edge emission and exhibiting high band-edge emission purity can be efficiently produced by one-pot synthesis.
  • a first mixture is prepared by mixing a Cu salt, an Ag salt, an (In, Ga) salt, a gallium halide, and an organic solvent.
  • the mixing method in the first mixing step may be appropriately selected from commonly used mixing methods.
  • the Cu salt, Ag salt and (In, Ga) salt in the first mixture may be either organic acid salts or inorganic acid salts.
  • inorganic acid salts include nitrates, sulfates, hydrochlorides, sulfonates, and the like.
  • organic acid salts include formates, acetates, oxalates, acetylacetonate salts, and the like.
  • the Cu salt, Ag salt and (In, Ga) salt may preferably be at least one selected from the group consisting of these salts, and have high solubility in organic solvents so that the reaction proceeds more uniformly. and more preferably at least one selected from the group consisting of organic acid salts such as acetates and acetylacetonate salts.
  • the first mixture may contain one of each of Cu salt, Ag salt and (In, Ga) salt, or may contain two or more thereof in combination.
  • the salt containing at least one of In and Ga in the first mixture may be a salt containing at least one selected from the group consisting of In salt and Ga salt, and at least one Ga salt, The salt may further contain at least one In salt.
  • at least one of the Cu salt, Ag salt, In salt and Ga salt in the first mixture is a compound having a bond between the metal constituting each salt and sulfur (S) (for example, in the case of Cu salt may contain a compound having a Cu—S bond).
  • the Cu salt in the first mixture may contain a compound having a Cu—S bond.
  • the Cu—S bond may be a covalent bond, an ionic bond, a coordinate bond, or the like.
  • the compound having a Cu—S bond include Cu salts of sulfur-containing compounds, such as sulfur-containing organic acid salts of Cu, sulfur-containing inorganic acid salts, and sulfur-containing organometallic compounds.
  • sulfur-containing compounds include thiocarbamic acid, dithiocarbamic acid, thiocarbonate, dithiocarbonate (xanthate), trithiocarbonate, thiocarboxylic acid, dithiocarboxylic acid and derivatives thereof.
  • the Cu salt preferably contains at least one selected from the group consisting of xanthic acid and its derivatives because it decomposes at relatively low temperatures.
  • sulfur-containing compounds include aliphatic thiocarbamic acids, aliphatic dithiocarbamic acids, aliphatic thiocarbonates, aliphatic dithiocarbonates, aliphatic trithiocarbonates, aliphatic thiocarboxylic acids, and aliphatic dithiocarboxylic acids. etc.
  • Examples of aliphatic groups in these sulfur-containing compounds include alkyl groups and alkenyl groups having 1 to 12 carbon atoms.
  • Aliphatic thiocarbamic acids may include dialkylthiocarbamic acids and the like, and aliphatic dithiocarbamic acids may include dialkyldithiocarbamic acids and the like.
  • the alkyl group in the dialkylthiocarbamic acid and dialkyldithiocarbamic acid may have, for example, 1 or more and 12 or less carbon atoms, preferably 1 or more and 4 or less carbon atoms.
  • the two alkyl groups in the dialkylthiocarbamate and dialkyldithiocarbamate may be the same or different.
  • the compound having a Cu—S bond examples include copper (I) ethylxanthate (Cu(EX)) as a monovalent copper compound, and dimethyldithiocarbamic acid as a divalent copper compound. Copper (II), copper (II) diethyldithiocarbamate (Cu(DDTC) 2 ), copper (II) ethylxanthate (Cu(EX) 2 ) and the like can be mentioned.
  • the first mixture may contain a single compound having a Cu—S bond, or may contain two or more compounds in combination.
  • the Ag salt in the first mixture may contain a compound having an Ag—S bond from the viewpoint of suppressing the by-production of silver sulfide in the first heat treatment step described later.
  • Ag--S bonds may be covalent bonds, ionic bonds, coordinate bonds, or the like.
  • compounds having an Ag—S bond include Ag salts of sulfur-containing compounds, such as sulfur-containing organic acid salts of Ag, sulfur-containing inorganic acid salts, sulfur-containing organometallic compounds, and the like.
  • Specific examples of sulfur-containing compounds include thiocarbamic acid, dithiocarbamic acid, thiocarbonate, dithiocarbonate (xanthate), trithiocarbonate, thiocarboxylic acid, dithiocarboxylic acid, and derivatives thereof.
  • At least one selected from the group consisting of xanthic acid and derivatives thereof is preferable because it decomposes at a relatively low temperature.
  • Specific examples of the sulfur-containing compound are the same as above.
  • Specific examples of compounds having an Ag—S bond include silver dimethyldithiocarbamate, silver diethyldithiocarbamate (Ag(DDTC)), silver ethylxanthate (Ag(EX)), and the like.
  • the first mixture may contain one type of compound having an Ag—S bond alone, or may contain two or more types in combination.
  • the In salt in the first mixture may contain a compound having an In—S bond.
  • the In—S bond may be a covalent bond, an ionic bond, a coordinate bond, or the like.
  • Compounds having an In—S bond include, for example, In salts of sulfur-containing compounds, and may be sulfur-containing organic acid salts of In, sulfur-containing inorganic acid salts, sulfur-containing organometallic compounds, and the like.
  • Specific examples of sulfur-containing compounds include thiocarbamic acid, dithiocarbamic acid, thiocarbonate, dithiocarbonate (xanthate), trithiocarbonate, thiocarboxylic acid, dithiocarboxylic acid, and derivatives thereof.
  • At least one selected from the group consisting of xanthic acid and derivatives thereof is preferable because it decomposes at a relatively low temperature.
  • Specific examples of the sulfur-containing compound are the same as above.
  • Specific examples of compounds having an In—S bond include indium trisdimethyldithiocarbamate, indium trisdiethyldithiocarbamate (In(DDTC) 3 ), indium chlorobisdiethyldithiocarbamate, and indium ethylxanthate (In(EX) 3 ). etc. can be mentioned.
  • the first mixture may contain one compound having an In—S bond alone, or may contain two or more compounds in combination.
  • the Ga salt in the first mixture may contain compounds with Ga--S bonds.
  • Ga--S bonds may be covalent bonds, ionic bonds, coordinate bonds, or the like.
  • the compound having a Ga—S bond include Ga salts of sulfur-containing compounds, such as sulfur-containing organic acid salts of Ga, sulfur-containing inorganic acid salts, and sulfur-containing organometallic compounds.
  • sulfur-containing compounds include thiocarbamic acid, dithiocarbamic acid, thiocarbonate, dithiocarbonate (xanthate), trithiocarbonate, thiocarboxylic acid, dithiocarboxylic acid, and derivatives thereof.
  • At least one selected from the group consisting of xanthic acid and derivatives thereof is preferable because it decomposes at a relatively low temperature.
  • Specific examples of the sulfur-containing compound are the same as above.
  • Specific examples of compounds having a Ga—S bond include gallium trisdimethyldithiocarbamate, gallium trisdiethyldithiocarbamate (Ga(DDTC) 3 ), gallium chlorobisdiethyldithiocarbamate, and gallium ethylxanthate (Ga(EX) 3 ). etc. can be mentioned.
  • the first mixture may contain one compound having a Ga—S bond alone, or may contain two or more compounds in combination.
  • Gallium halides in the first mixture include gallium fluoride, gallium chloride, gallium bromide, and gallium iodide.
  • Gallium halide may contain at least one selected from the group consisting of these. Also, the gallium halide may contain at least gallium chloride.
  • Gallium halides may be used singly or in combination of two or more.
  • Examples of the organic solvent in the first mixture include amines having a hydrocarbon group of 4 to 20 carbon atoms, such as alkylamines or alkenylamines having 4 to 20 carbon atoms; thiols having a hydrocarbon group of 4 to 20 carbon atoms; Examples include alkylthiols or alkenylthiols having 4 to 20 carbon atoms; phosphines having a hydrocarbon group having 4 to 20 carbon atoms, such as alkylphosphines or alkenylphosphines having 4 to 20 carbon atoms.
  • the organic solvent preferably contains at least one selected from the group consisting of these. These organic solvents may, for example, eventually surface-modify the resulting first semiconductor nanoparticles.
  • Two or more organic solvents may be used in combination, for example, at least one selected from thiols having a hydrocarbon group of 4 to 20 carbon atoms and an amine having a hydrocarbon group of 4 to 20 carbon atoms.
  • the organic solvent contains the thiol and the amine
  • the volume ratio of the thiol to the amine (thiol/amine) may be, for example, greater than 0 and 1 or less, preferably 0.007 or more, or 0.2. may be:
  • the content ratio of Cu, Ag, In, Ga and S in the first mixture may be appropriately selected according to the target composition. At that time, the content ratio of Cu, Ag, In, Ga and S may not match the stoichiometric ratio.
  • the ratio of the number of moles of Ga to the total number of moles of In and Ga (Ga/(In+Ga)) is 0.2 or more and 0.95 or less, 0.4 or more and 0.9 or less, or 0.6 or more and 0.9 may be:
  • the ratio of the number of moles of Cu to the total number of moles of Cu, Ag, In, and Ga (Cu/(Cu+Ag+In+Ga)) may be 0.01 or more and 0.5 or less.
  • the ratio of the number of moles of Cu to the total number of moles of Cu and Ag may be 0.05 or more and less than 1.0. Further, for example, the ratio of the number of moles of Ag to the total number of moles of Cu, Ag, In, and Ga (Ag/(Cu+Ag+In+Ga)) may be 0.05 or more and 0.55 or less. Further, for example, the ratio of the total number of moles of Cu and Ag to the total number of moles of Cu, Ag, In and Ga ((Cu+Ag)/(Cu+Ag+In+Ga)) may be 0.01 or more and 1.2 or less. Further, for example, the ratio of the number of moles of S to the total number of moles of Cu, Ag, In, and Ga (S/(Cu+Ag+In+Ga)) may be 0.4 or more and 1.6 or less.
  • the first mixture may further contain an alkali metal salt.
  • alkali metals include lithium (Li), sodium (Na), potassium (K), rubidium (Rb) and cesium (Cs).
  • the alkali metal preferably contains at least Li because its ionic radius is close to that of Ag.
  • Alkali metal salts include organic acid salts and inorganic acid salts. Specific examples of inorganic acid salts include nitrates, sulfates, hydrochlorides, and sulfonates, and examples of organic acid salts include acetates, acetylacetonate salts, and the like. Of these alkali metal salts, organic acid salts are preferred because of their high solubility in organic solvents.
  • the ratio of the number of atoms of the alkali metal (M a ) to the total number of atoms of Ag, Cu and the alkali metal (M a ) is, for example, It may be less than 1, preferably 0.8 or less, more preferably 0.4 or less, and still more preferably 0.2 or less. Also, the ratio may be, for example, greater than 0, preferably 0.05 or more, more preferably 0.1 or more.
  • the ratio of the molar content of Ga contained in the gallium halide to the total molar amount of Ag and Cu contained in the Ag salt and Cu salt in the first mixture may be, for example, 0.01 or more and 1 or less, and the internal quantum yield In terms of ratio, it may be preferably 0.10 or more or 0.45 or less.
  • the total molar concentration of Ag and Cu contained in the Ag salt and Cu salt in the first mixture may be, for example, 0.001 mmol / liter or more and 500 mmol / liter or less, and from the viewpoint of internal quantum yield, it is preferable may be 0.002 mmol/liter or more, or 100 mmol/liter or less, more preferably 0.005 mmol/liter or more, or 10 mmol/liter or less.
  • the first mixture is subjected to the first heat treatment to obtain the first semiconductor nanoparticles.
  • the temperature of the first heat treatment may be, for example, 200° C. or higher and 320° C. or lower.
  • the first heat treatment step includes a temperature raising step of raising the temperature of the first mixture to a temperature in the range of 200 ° C. or higher and 320 ° C. or lower, and maintaining the heat treatment temperature in the range of 200 ° C. or higher and 320 ° C. or lower for a predetermined time. and heat treating the first mixture.
  • the range of the temperature to be raised in the temperature raising step of the first heat treatment step may be 200°C or higher and 320°C or lower, preferably 230°C or higher or 290°C or lower.
  • the heating rate may be adjusted so that the maximum temperature during heating does not exceed the target temperature, and may be, for example, 1° C./min or more and 50° C./min or less.
  • the temperature of the heat treatment in the synthesis step of the first heat treatment step may be 200°C or higher and 320°C or lower, preferably 230°C or higher or 290°C or lower.
  • the heat treatment time in the synthesis step may be, for example, 3 seconds or longer, preferably 1 minute or longer, 10 minutes or longer, 30 minutes or longer, 60 minutes or longer, or 90 minutes or longer.
  • the heat treatment time may be, for example, 300 minutes or less, preferably 270 minutes or less, or 240 minutes or less.
  • the heat treatment time in the synthesis step is the time when the temperature set in the above temperature range is reached (for example, when the temperature is set to 250 ° C., the time when the temperature reaches 250 ° C.) is the start time, and the temperature is lowered. be the end time.
  • a dispersion containing the first semiconductor nanoparticles can be obtained by the synthesis process.
  • the atmosphere of the first heat treatment step is preferably an inert gas atmosphere, particularly an argon atmosphere or a nitrogen atmosphere.
  • an inert gas atmosphere By using an inert gas atmosphere, it is possible to reduce or prevent the by-production of oxides and the oxidation of the surfaces of the resulting first semiconductor nanoparticles.
  • the inert gas atmosphere may have an inert gas content of, for example, 90% by volume or more, preferably 95% by volume or more, or 98% by volume or more.
  • the method for producing semiconductor nanoparticles may further include a cooling step for lowering the temperature of the resulting dispersion liquid containing the first semiconductor nanoparticles, following the synthesis step described above.
  • the cooling process is started when the operation for lowering the temperature is performed, and finished when the temperature is lowered to 50° C. or lower.
  • the cooling step may include a period in which the cooling rate is 50°C/min or more in order to suppress the formation of silver sulfide from unreacted Ag salt. In particular, it may be 50° C./min or more at the time when the temperature drop starts after performing an operation for temperature drop.
  • the atmosphere of the cooling process is preferably an inert gas atmosphere, particularly an argon atmosphere or a nitrogen atmosphere.
  • an inert gas atmosphere By using an inert gas atmosphere, it is possible to reduce or prevent the by-production of oxides and the oxidation of the surfaces of the resulting first semiconductor nanoparticles.
  • the method for producing semiconductor nanoparticles may further include a separation step of separating the first semiconductor nanoparticles from the dispersion liquid, and may further include a purification step as necessary.
  • the separation step for example, the dispersion containing the first semiconductor nanoparticles may be subjected to centrifugation, and the supernatant containing the first semiconductor nanoparticles may be taken out.
  • an appropriate organic solvent such as alcohol may be added to the supernatant obtained in the separation step, and the mixture may be centrifuged to extract the first semiconductor nanoparticles as a precipitate.
  • the first semiconductor nanoparticles can also be extracted by volatilizing the organic solvent from the supernatant.
  • the removed precipitate may be dried, for example, by vacuum degassing or air drying, or a combination of vacuum degassing and air drying. Natural drying may be carried out, for example, by leaving in the atmosphere at normal temperature and normal pressure. Also, the sediment taken out may be dispersed in a suitable organic solvent.
  • an organic solvent such as alcohol
  • the purification step by centrifugation may be performed multiple times as necessary.
  • alcohols used for purification lower alcohols having 1 to 4 carbon atoms such as methanol, ethanol and n-propyl alcohol may be used.
  • halogen solvents such as chloroform, dichloromethane, dichloroethane, trichloroethane, and tetrachloroethane
  • hydrocarbon solvents such as toluene, cyclohexane, hexane, pentane, and octane may be used as the organic solvent.
  • the organic solvent for dispersing the precipitate may be a halogen-based solvent from the viewpoint of internal quantum yield.
  • the first semiconductor nanoparticles obtained above may be in the form of a dispersion liquid or may be a dried powder.
  • the first semiconductor nanoparticles may exhibit band edge emission and may exhibit high band edge emission purity.
  • the semiconductor nanoparticles obtained by the method for producing semiconductor nanoparticles may be the first semiconductor nanoparticles described above, or may be the second semiconductor nanoparticles obtained after the second step described later.
  • the method for producing semiconductor nanoparticles may further include a second step of subjecting the second mixture containing the first semiconductor nanoparticles and the gallium halide to a second heat treatment to obtain the second semiconductor nanoparticles.
  • the second step includes a second mixing step of obtaining a second mixture containing the first semiconductor nanoparticles obtained in the first step and a gallium halide, and a second heat treatment of the obtained second mixture. a second heat treatment step to obtain two semiconductor nanoparticles.
  • the second mixture containing the first semiconductor nanoparticles and the gallium halide By subjecting the second mixture containing the first semiconductor nanoparticles and the gallium halide to the second heat treatment, it is possible to produce the second semiconductor nanoparticles with improved band edge emission purity and internal quantum yield. For example, this can be considered as follows.
  • Ga defect for example, a Ga-deficient portion
  • a semiconductor containing Ga and S for example, GaS x ; x is, for example, 0.8 or more and 1.5 or less
  • the Ga portion of the gallium halide reacts with the Ga defect to fill the Ga defect and further reacts with the S atoms present in the reaction system.
  • the concentrations of Ga and S in the vicinity of the Ga defect are increased, and the Ga defect is compensated for, so that the band edge emission purity and the internal quantum yield can be improved.
  • the Ga atoms of the gallium halide are coordinated to the S atoms on the surface of the semiconductor containing Ga and S present on the surface of the first semiconductor nanoparticles. Furthermore, it is considered that the halogen atoms of the coordinated gallium halide react with the S component present in the reaction system. As a result, the concentrations of Ga and S in the vicinity of the surface increase, and it can be considered that the remaining surface defects are reduced, thereby improving the band edge emission purity and the internal quantum yield.
  • the resulting first semiconductor nanoparticles partially contain It is believed that sulfur-containing compounds (eg, xanthate) remain. It is believed that gallium halide acts on those partially remaining sulfur-containing compounds to promote the conversion to GaSx . As a result, the concentrations of Ga and S in the vicinity of the surface increase, and it can be considered that the remaining surface defects are reduced, thereby improving the band edge emission purity and the internal quantum yield.
  • sulfur-containing compounds eg, xanthate
  • gallium halide acts on those partially remaining sulfur-containing compounds to promote the conversion to GaSx .
  • the first semiconductor nanoparticles and the gallium halide are mixed to obtain a second mixture.
  • the second mixture may further contain an organic solvent.
  • the organic solvent contained in the second mixture is the same as the organic solvent exemplified in the first step above.
  • the concentration of the first semiconductor nanoparticles is, for example, 5.0 ⁇ 10 ⁇ 7 mol/liter or more and 5.0 ⁇ 10 ⁇ 5 mol/liter or less, particularly 1.0 ⁇ 10
  • the second mixture may be prepared such that the concentration is -6 mol/liter or more and 1.0 ⁇ 10 -5 mol/liter or less.
  • the concentration of the first semiconductor nanoparticles is set based on the amount of substance as particles.
  • Gallium halides in the second mixture include gallium fluoride, gallium chloride, gallium bromide, and gallium iodide.
  • Gallium halide may contain at least one selected from the group consisting of these. Also, the gallium halide may contain at least gallium chloride.
  • Gallium halides may be used singly or in combination of two or more.
  • the molar ratio of the gallium halide content to the first semiconductor nanoparticles in the second mixture may be, for example, 0.01 or more and 50 or less, preferably 0.1 or more or 10 or less.
  • the second mixture is subjected to the second heat treatment to obtain second semiconductor nanoparticles.
  • the temperature of the second heat treatment may be, for example, 200° C. or higher and 320° C. or lower.
  • the second heat treatment step includes a temperature raising step of raising the temperature of the second mixture to a temperature in the range of 200 ° C. or higher and 320 ° C. or lower, and maintaining the heat treatment temperature in the range of 200 ° C. or higher and 320 ° C. or lower for a predetermined time. 2 and a modification step of heat treating the mixture.
  • the second heat treatment step may further include a preliminary heat treatment step of heat-treating the second mixture at a temperature of, for example, 60°C or higher and 100°C or lower before the temperature raising step.
  • the heat treatment temperature in the preliminary heat treatment step may be preferably 70° C. or higher or 90° C. or lower.
  • the heat treatment time in the preliminary heat treatment step may be, for example, 1 minute or more and 30 minutes or less, preferably 5 minutes or more and 20 minutes or less.
  • the range of temperature to be raised in the temperature raising step of the second heat treatment step may be, for example, 200°C or higher and 320°C or lower, preferably 230°C or higher or 290°C or lower.
  • the heating rate may be adjusted so that the maximum temperature during heating does not exceed the target temperature, and may be, for example, 1° C./min or more and 50° C./min or less.
  • the temperature of the heat treatment in the modification step of the second heat treatment step may be 200°C or higher and 320°C or lower, preferably 230°C or higher or 290°C or lower.
  • the heat treatment time in the modification step may be, for example, 3 seconds or longer, preferably 1 minute or longer, 10 minutes or longer, 30 minutes or longer, 60 minutes or longer, or 90 minutes or longer.
  • the heat treatment time may be, for example, 300 minutes or less, preferably 180 minutes or less, or 150 minutes or less.
  • the heat treatment time in the modification step is the time when the temperature set in the above temperature range is reached (for example, when the temperature is set to 250 ° C., the time when the temperature reaches 250 ° C.) is the start time, and the temperature is lowered. be the end time.
  • a dispersion containing the second semiconductor nanoparticles can be obtained by the modification step.
  • the atmosphere of the second heat treatment step is preferably an inert gas atmosphere, particularly an argon atmosphere or a nitrogen atmosphere.
  • an inert gas atmosphere By using an inert gas atmosphere, it is possible to reduce or prevent the by-production of oxides and the oxidation of the surfaces of the resulting second semiconductor nanoparticles.
  • the method for producing semiconductor nanoparticles may further include a cooling step for lowering the temperature of the resulting dispersion containing the second semiconductor nanoparticles, following the modification step described above.
  • the cooling process is started when the operation for lowering the temperature is performed, and finished when the temperature is lowered to 50° C. or less.
  • the cooling step may include a period during which the temperature drop rate is 50°C/min or more. In particular, it may be 50° C./min or more at the time when the temperature drop starts after performing an operation for temperature drop.
  • the atmosphere of the cooling process is preferably an inert gas atmosphere, particularly an argon atmosphere or a nitrogen atmosphere.
  • an inert gas atmosphere By using an inert gas atmosphere, it is possible to reduce or prevent the by-production of oxides and the oxidation of the surfaces of the resulting second semiconductor nanoparticles.
  • the method for producing semiconductor nanoparticles may further include a separation step of separating the second semiconductor nanoparticles from the dispersion liquid, and may further include a purification step as necessary. Since the separation step and the purification step are as described above in relation to the first semiconductor nanoparticles, detailed description thereof will be omitted here.
  • the method for producing semiconductor nanoparticles may further include a surface modification step.
  • the surface-modifying step may include contacting the resulting second semiconductor nanoparticles with a surface-modifying agent.
  • the second semiconductor nanoparticles may be brought into contact with the surface modifier by mixing the second semiconductor nanoparticles and the surface modifier.
  • the amount ratio of the surface modifier to the second semiconductor nanoparticles in the surface modification step may be, for example, 1 ⁇ 10 ⁇ 8 mol or more per 1 ⁇ 10 ⁇ 8 mol of the second semiconductor nanoparticles, preferably 2 ⁇ 10 ⁇ 8 mol or more, or 5 ⁇ 10 ⁇ 8 mol or less.
  • the contact temperature may be, for example, 0° C. or higher and 300° C. or lower, preferably 10° C. or higher or 300° C. or lower.
  • the duration of contact may be, for example, 10 seconds or more and 10 days or less, preferably 1 minute or more or 1 day or less.
  • the atmosphere for contact may be an inert gas atmosphere, particularly preferably an argon atmosphere or a nitrogen atmosphere.
  • surface modifiers used in the surface modification step include aminoalcohols having 2 to 20 carbon atoms, ionic surface modifiers, nonionic surface modifiers, and nitrogen-containing hydrocarbon groups having 4 to 20 carbon atoms.
  • compound, a sulfur-containing compound having a hydrocarbon group having 4 to 20 carbon atoms, an oxygen-containing compound having a hydrocarbon group having 4 to 20 carbon atoms, a phosphorus-containing compound having a hydrocarbon group having 4 to 20 carbon atoms examples include halides containing at least one selected from the group consisting of Group 2 elements, Group 12 elements and Group 13 elements.
  • the surface modifiers may be used singly or in combination of two or more different ones.
  • the aminoalcohol used as the surface modifier may be any compound that has an amino group and an alcoholic hydroxyl group and contains a hydrocarbon group having 2 or more and 20 or less carbon atoms.
  • the carbon number of the aminoalcohol is preferably 10 or less, more preferably 6 or less.
  • the hydrocarbon groups that make up the aminoalcohol may be derived from hydrocarbons such as linear, branched or cyclic alkanes, alkenes, alkynes. Derived from a hydrocarbon means composed of a hydrocarbon with at least two hydrogen atoms removed.
  • Specific examples of aminoalcohols include aminoethanol, aminopropanol, aminobutanol, aminopentanol, aminohexanol, aminooctanol and the like.
  • the amino group of aminoalcohol is bound to the surface of the semiconductor nanoparticle, and the hydroxyl group is exposed on the outermost surface of the particle on the opposite side, the polarity of the semiconductor nanoparticle changes, and the alcoholic solvent (e.g., methanol, ethanol, etc.) , propanol, butanol, etc.).
  • the alcoholic solvent e.g., methanol, ethanol, etc.
  • ionic surface modifiers used as surface modifiers include nitrogen-containing compounds, sulfur-containing compounds, and oxygen-containing compounds that have an ionic functional group in the molecule.
  • the ionic functional group may be either cationic or anionic.
  • the ionic surface modifier preferably has at least a cationic group. Specific examples of ionic surface modifiers and surface modification methods are described, for example, in Chemistry Letters, Vol. 45, pp898-900, 2016 can be referred to.
  • the ionic surface modifier may be, for example, a sulfur-containing compound having a tertiary or quaternary alkylamino group.
  • the number of carbon atoms in the alkyl group of the alkylamino group may be, for example, 1 or more and 4 or less.
  • the sulfur-containing compound may be an alkyl or alkenylthiol having 2 to 20 carbon atoms.
  • Specific examples of the ionic surface modifier include dimethylaminoethanethiol hydrogen halide, trimethylammonium ethanethiol halide, dimethylaminobutanethiol hydrogen halide, and trimethylammonium butanethiol halide. .
  • nonionic surface modifiers used as surface modifiers include nitrogen-containing compounds, sulfur-containing compounds and oxygen-containing compounds having nonionic functional groups containing alkylene glycol units, alkylene glycol monoalkyl ether units, and the like. .
  • the number of carbon atoms in the alkylene group in the alkylene glycol unit may be, for example, 2 or more and 8 or less, preferably 2 or more or 4 or less.
  • the number of repeating alkylene glycol units may be, for example, 1 or more and 20 or less, preferably 2 or more or 10 or less.
  • the nitrogen-containing compound constituting the nonionic surface modifier may have an amino group
  • the sulfur-containing compound may have a thiol group
  • the oxygen-containing compound may have a hydroxyl group.
  • Specific examples of nonionic surface modifiers include methoxytriethyleneoxyethanethiol and methoxyhexaethyleneoxyethanethiol.
  • Nitrogen-containing compounds having a hydrocarbon group with 4 or more and 20 or less carbon atoms include amines and amides. Thiols etc. are mentioned as a sulfur-containing compound which has a C4-C20 hydrocarbon group.
  • oxygen-containing compounds having a hydrocarbon group having 4 to 20 carbon atoms include carboxylic acids, alcohols, ethers, aldehydes, ketones and the like.
  • phosphorus-containing compounds having a hydrocarbon group having 4 to 20 carbon atoms include trialkylphosphine, triarylphosphine, trialkylphosphine oxide, and triarylphosphine oxide.
  • halides containing at least one selected from the group consisting of Group 2 elements, Group 12 elements and Group 13 elements include magnesium chloride, calcium chloride, zinc chloride, cadmium chloride, aluminum chloride, gallium chloride, and the like. Metal halides are mentioned.
  • Semiconductor Nanoparticles comprise a first semiconductor comprising copper (Cu), silver (Ag), indium (In), gallium (Ga) and sulfur (S), and the surface thereof comprises Ga and S.
  • a second semiconductor may be arranged.
  • the second semiconductor may be substantially free of Ag.
  • the semiconductor nanoparticles When irradiated with light having a wavelength of 365 nm, the semiconductor nanoparticles exhibit band edge emission having an emission peak wavelength in the wavelength range of 600 nm or more and 680 nm or less, have a band edge emission purity of 60% or more, and have an internal quantum of band edge emission.
  • the yield may be 15% or more.
  • the semiconductor nanoparticles may exhibit band-edge luminescence having an emission peak wavelength in the wavelength range of 600 nm or more and 680 nm or less (for example, the red region) when irradiated with light having a wavelength of 365 nm.
  • the semiconductor nanoparticles may also exhibit high band edge emission purity and high internal quantum yield of band edge emission.
  • the crystal structure of the first semiconductor present in the center of the semiconductor nanoparticle is substantially tetragonal (chalcopyrite structure), and the second semiconductor arranged on the surface of the semiconductor nanoparticle has Ga defects ( For example, it can be considered that it has a crystal structure with less Ga-deficient portions.
  • the second semiconductor may be a semiconductor having a larger Ga composition ratio than the first semiconductor, or may be a semiconductor having a smaller Ag composition ratio than the first semiconductor. It may be a semiconductor consisting of
  • an adherent containing the second semiconductor may be arranged on the surface of the particle containing the first semiconductor, and the adherent containing the second semiconductor covers the particle containing the first semiconductor. good too.
  • the semiconductor nanoparticles may have, for example, a core-shell structure in which a particle containing the first semiconductor is used as a core, and a deposit containing a second semiconductor is used as a shell, and the shell is arranged on the surface of the core.
  • the first semiconductor that constitutes the semiconductor nanoparticles contains Cu, Ag, In, Ga and S.
  • Semiconductors generally containing Ag, In, and S and having a tetragonal, hexagonal, or orthorhombic crystal structure are introduced in literature and the like as those represented by the composition formula AgInS2 .
  • the first semiconductor has a composition represented by (Ag, Cu) (In, Ga) S 2 in which part of Ag is replaced with Cu and part of In is replaced with Ga in the composition formula.
  • the composition is not the stoichiometric composition represented by the above composition formula, and in particular the ratio of the number of Ag and Cu atoms to the number of In and Ga atoms ((Ag + Cu) / (In + Ga)) is It may be less than 1, or it may be greater than 1. Also, the sum of the number of atoms of Ag and Cu and the number of atoms of In and Ga may not be the same as the number of S atoms. Therefore, in this specification, regarding a semiconductor containing a specific element, in cases where it does not matter whether it has a stoichiometric composition, the constituent elements are denoted by "-", such as Cu-Ag-In-Ga-S.
  • the semiconductor composition is represented by an equation connected by . Therefore, the composition of the first semiconductor according to the present embodiment is, for example, in the composition of Ag-In-S, part of Ag, which is a Group 11 element, is Cu, which is also a Group 11 element, and Cu, which is a Group 13 element, is It can be considered as Cu--Ag--In--Ga--S and Cu--Ag--Ga--S in which part or all of certain In is replaced by Ga, which is also a group 13 element.
  • the first semiconductor containing the above elements and having a hexagonal crystal structure is of the wurtzite type, and the semiconductor having a tetragonal crystal structure is of the chalcopyrite type.
  • Crystal structures are identified, for example, by measuring XRD patterns obtained by X-ray diffraction (XRD) analysis. Specifically, the XRD pattern obtained from the first semiconductor is compared with a known XRD pattern for semiconductor nanoparticles represented by the composition AgInS2 , or with an XRD pattern obtained by simulation from crystal structure parameters. do. If any of the known and simulated patterns matches the pattern of the first semiconductor, the crystal structure of the semiconductor nanoparticle can be said to be the crystal structure of the matching known or simulated pattern.
  • XRD X-ray diffraction
  • semiconductor nanoparticles containing first semiconductors with different crystal structures may be mixed. In that case, peaks derived from multiple crystal structures are observed in the XRD pattern.
  • the first semiconductor may be substantially composed of a tetragonal crystal, a peak corresponding to the tetragonal crystal may be observed, and peaks derived from other crystal structures may not be substantially observed. .
  • the total content of Ag and Cu in the composition of the first semiconductor may be, for example, 10 mol % or more and 30 mol % or less, preferably 15 mol % or more and 25 mol % or less.
  • the total content of In and Ga in the composition of the first semiconductor may be, for example, 15 mol % or more and 35 mol % or less, preferably 20 mol % or more and 30 mol % or less.
  • the total content of S in the composition of the first semiconductor may be, for example, 35 mol % or more and 55 mol % or less, preferably 40 mol % or more and 55 mol % or less.
  • the first semiconductor contains at least Ag and Cu, may be partially substituted to further contain at least one of Au and an alkali metal, and may be substantially composed of Ag and Cu.
  • substantially means that the ratio of the total number of atoms of Au and alkali metals to the total number of atoms of Ag, Cu, Au and alkali metals is, for example, 10% or less, preferably 5% or less, more preferably indicates that it is 1% or less.
  • the ratio of the number of moles of Cu to the total number of moles of Cu and Ag in the composition of the first semiconductor may be 0.01 or more and less than 1.0, preferably 0.03 or more, Alternatively, it may be 0.99 or less, more preferably 0.05 or more, or 0.5 or less.
  • the ratio of the total number of moles of Cu and Ag to the total number of moles of Cu, Ag, In, and Ga in the composition of the first semiconductor is 0.1 or more and less than 1.0. preferably 0.2 or more, or 0.99 or less.
  • the first semiconductor may be composed substantially of Ag, Cu and an alkali metal (hereinafter sometimes referred to as Ma ).
  • substantially means that the ratio of the number of atoms of elements other than Ag, Cu and alkali metals and the total number of atoms of elements other than Ag, Cu and alkali metals to the total number of atoms of elements other than Ag, Cu and alkali metals is, for example, 10 % or less, preferably 5% or less, more preferably 1% or less.
  • Alkali metals include lithium (Li), sodium (Na), potassium (K), rubidium (Rb), and cesium (Cs).
  • Alkali metals can be monovalent cations like Ag, so they can partially replace Ag in the composition of the first semiconductor.
  • Li has approximately the same ionic radius as Ag and is preferably used.
  • the band gap widens and the emission peak wavelength shifts to a shorter wavelength.
  • the details are unknown, it is believed that lattice defects in the first semiconductor are reduced and the internal quantum yield of band edge emission is improved.
  • the first semiconductor contains an alkali metal, it may contain at least Li.
  • the content of the alkali metal in the composition of the first semiconductor may be, for example, greater than 0 mol% and less than 30 mol%, preferably It may be 1 mol % or more, or 25 mol % or less.
  • the ratio of the number of atoms of the alkali metal (M a ) to the total number of atoms of Ag, Cu and alkali metal (M a ) in the composition of the first semiconductor is, for example, less than 1, preferably 0.8 or less, more preferably 0.4 or less, and still more preferably 0.2 or less.
  • the ratio is, for example, greater than 0, preferably 0.05 or more, more preferably 0.1 or more.
  • the first semiconductor contains In and Ga, may be partially substituted to further contain at least one of Al and Tl, and may be substantially composed of In and Ga.
  • substantially means that the ratio of the total number of atoms of Al and Tl to the total number of atoms of In and Ga and Al and Tl is, for example, 10% or less, preferably 5% or less, more preferably 1 % or less.
  • the ratio of the number of In atoms to the total number of In and Ga atoms in the first semiconductor may be, for example, 0.01 or more and less than 1, preferably 0.1 or more, or 0.1 or more. It may be 99 or less.
  • a short emission peak wavelength for example, 545 nm or less
  • the ratio of the number of Ag atoms to the total number of In and Ga atoms may be, for example, 0.1 or more and 1.2 or less, preferably 0.2 or more, or 1.0. It may be 1 or less.
  • the ratio of the total number of atoms of Ag and Cu to the total number of atoms of In and Ga may be, for example, 0.1 or more and 1.2 or less, preferably 0.2. greater than or equal to 1.0, or less than or equal to 1.0.
  • the ratio of the number of atoms of S to the total number of atoms of Ag, In and Ga (S/(Ag+In+Ga)) may be, for example, 0.8 or more and 1.5 or less, preferably 0.9 or more, or 1.5. It may be 2 or less.
  • the ratio of the number of atoms of S to the total number of atoms of Ag, Cu, In and Ga may be, for example, 0.8 or more and 1.5 or less, preferably 0.9 or more, or It may be 1.2 or less.
  • the first semiconductor may contain S and may further contain at least one element of Se and Te by substituting a portion thereof, or may be substantially composed of S.
  • substantially means that the ratio of the total number of atoms of Se and Te to the total number of atoms of S, Se and Te is, for example, 10% or less, preferably 5% or less, more preferably 1% or less. indicates that
  • the first semiconductor may be substantially composed of Cu, Ag, In, Ga, S, and elements partially substituting them as described above.
  • substantially means that other elements other than Cu, Ag, In, Ga, S, and the above-mentioned elements partially substituting them are inevitably included due to contamination of impurities, etc. are used in consideration of
  • the first semiconductor may have, for example, a composition represented by the following formula (1).
  • p, q and r satisfy 0 ⁇ p ⁇ 1, 0.20 ⁇ q ⁇ 1.2 and 0 ⁇ r ⁇ 1.
  • a second semiconductor may be arranged on the surface of the semiconductor nanoparticles.
  • the second semiconductor may include a semiconductor with a higher bandgap energy than the first semiconductor.
  • the composition of the second semiconductor may have a composition with a higher molar content of Ga than the composition of the first semiconductor.
  • the ratio of the molar content of Ga in the composition of the second semiconductor to the molar content of Ga in the composition of the first semiconductor may be, for example, greater than 1 and 5 or less, preferably 1.1 or more, and preferably It may be 3 or less.
  • the composition of the second semiconductor may have a composition with a smaller molar content of Ag than the composition of the first semiconductor.
  • the ratio of the molar content of Ag in the composition of the second semiconductor to the molar content of Ag in the composition of the first semiconductor may be, for example, 0.1 or more and 0.7 or less, preferably 0.2 or more, Moreover, it may be preferably 0.5 or less.
  • the molar content ratio of Ag in the composition of the second semiconductor may be, for example, 0.5 or less, preferably 0.2 or less, or 0.1 or less, and may be substantially zero. .
  • “substantially” means that the ratio of Ag atoms is, for example, 10% or less, preferably 5% or less, when the total number of atoms of all elements contained in the second semiconductor is 100%. , more preferably 1% or less.
  • the second semiconductor arranged on the surface may contain a semiconductor containing Ga and S.
  • the semiconductor containing Ga and S may be a semiconductor with a higher bandgap energy than the first semiconductor.
  • part of Ga is selected from the group consisting of boron (B), aluminum (Al), indium (In) and thallium (Tl) It may be substituted with at least one Group 13 element. Also, part of S may be substituted with at least one Group 16 element selected from the group consisting of oxygen (O), selenium (Se), tellurium (Te) and polonium (Po).
  • the semiconductor containing Ga and S may be a semiconductor consisting essentially of Ga and S.
  • substantially means that when the total number of atoms of all elements contained in the semiconductor containing Ga and S is 100%, the ratio of the number of atoms of elements other than Ga and S is, for example, 10 % or less, preferably 5% or less, more preferably 1% or less.
  • the semiconductor containing Ga and S may be configured by selecting its composition, etc. according to the bandgap energy of the above-described first semiconductor.
  • the first semiconductor is designed such that the bandgap energy of the first semiconductor is smaller than that of the semiconductor containing Ga and S.
  • a semiconductor made of Ag-In-S has a bandgap energy of 1.8 eV or more and 1.9 eV or less.
  • the semiconductor containing Ga and S may have a bandgap energy of, for example, 2.0 eV or more and 5.0 eV or less, particularly 2.5 eV or more and 5.0 eV or less.
  • the bandgap energy of the semiconductor containing Ga and S is, for example, about 0.1 eV or more and 3.0 eV or less, particularly about 0.3 eV or more and 3.0 eV or less, more particularly 0, than the bandgap energy of the first semiconductor. 0.5 eV or more and 1.0 eV or less.
  • the difference between the bandgap energy of the semiconductor containing Ga and S and the bandgap energy of the first semiconductor is equal to or greater than the lower limit, the ratio of light emission other than band edge light emission in the light emission from the semiconductor nanoparticles decreases, The proportion of band edge emission tends to increase.
  • the second semiconductor may contain oxygen (O) atoms.
  • a semiconductor containing oxygen atoms tends to be a semiconductor having a higher bandgap energy than the first semiconductor described above.
  • the form of the semiconductor containing oxygen atoms in the second semiconductor is not clear, it may be, for example, Ga--O--S, Ga 2 O 3 , or the like.
  • the second semiconductor may further contain an alkali metal (M a ) in addition to Ga and S.
  • the alkali metal contained in the second semiconductor may contain at least lithium.
  • the ratio of the number of atoms of the alkali metal to the sum of the number of atoms of the alkali metal and the number of Ga atoms may be, for example, 0.01 or more and less than 1, preferably 0.1. or more, or 0.9 or less.
  • the ratio of the number of atoms of S to the sum of the number of alkali metal atoms and the number of Ga atoms may be, for example, 0.25 or more and 0.75 or less.
  • the second semiconductor may have a crystal system that is familiar with the crystal system of the first semiconductor, and may have a lattice constant that is the same as or close to that of the first semiconductor.
  • the second semiconductor is familiar with the crystal system and has a close lattice constant (here, even if the multiple of the lattice constant of the second semiconductor is close to the lattice constant of the first semiconductor, the lattice constant is also close to that of the first semiconductor). May provide good coverage around semiconductors.
  • the above-mentioned first semiconductor generally has a tetragonal system, and familiar crystal systems include tetragonal system and orthorhombic system.
  • the second semiconductor covering it is tetragonal or orthorhombic. It is preferable that the lattice constant or a multiple thereof is close to that of Ag--In--S.
  • the second semiconductor may be amorphous.
  • the second semiconductor is amorphous can be confirmed by observing the semiconductor nanoparticles with HAADF-STEM.
  • the second semiconductor is amorphous, specifically, a portion having a regular pattern, such as a striped pattern or a dot pattern, is observed in the center, and a regular pattern is observed around it. A portion not observed as having is observed in HAADF-STEM.
  • HAADF-STEM a crystalline substance having a regular structure is observed as an image having a regular pattern, and an amorphous substance having no regular structure is observed as an image with a regular pattern. It is not observed as an image with a regular pattern. Therefore, when the second semiconductor is amorphous, the part clearly different from the first semiconductor (which may have a crystal structure such as a tetragonal system) observed as an image having a regular pattern is A second semiconductor can be observed.
  • the second semiconductor is made of Ga—S
  • Ga is a lighter element than Ag and In contained in the first semiconductor
  • the image obtained by HAADF-STEM shows that the second semiconductor is lighter than the first semiconductor. also tends to be observed as a dark image.
  • the second semiconductor is amorphous can also be confirmed by observing the semiconductor nanoparticles of this embodiment with a high-resolution transmission electron microscope (HRTEM).
  • HRTEM high-resolution transmission electron microscope
  • the first semiconductor portion is observed as a crystal lattice image (an image having a regular pattern)
  • the amorphous second semiconductor portion is not observed as a crystal lattice image
  • the black and white contrast is Observed, but the regular pattern is observed as an invisible part.
  • the second semiconductor preferably does not form a solid solution with the first semiconductor.
  • the mechanism of this embodiment is that when the second semiconductor forms a solid solution with the first semiconductor, the two become one, and the second semiconductor is arranged on the surface of the nanoparticles containing the first semiconductor to obtain band edge emission. will not be obtained.
  • zinc sulfide (Zn—S) with a stoichiometric composition or a non-stoichiometric composition is arranged on the surface of a semiconductor nanoparticle containing a first semiconductor made of Ag—In—S, the band It has been confirmed that edge emission cannot be obtained.
  • the particle size of the semiconductor nanoparticles may have an average particle size of 50 nm or less, for example.
  • the average particle diameter is preferably in the range of 1 nm or more and 20 nm or less, more preferably 1.6 nm or more or 8 nm or less, and 2 nm or more or 7.5 nm from the viewpoint of ease of production and internal quantum yield of band edge emission. The following are particularly preferred.
  • the average particle size of the semiconductor nanoparticles may be obtained, for example, from a TEM image taken using a transmission electron microscope (TEM).
  • TEM transmission electron microscope
  • the particle size of an individual particle refers to the longest line segment existing inside the particle connecting arbitrary two points on the outer circumference of the particle observed in the TEM image.
  • rod-shaped particles refer to particles having a short axis and a long axis orthogonal to the short axis in a TEM image, and having a ratio of the length of the long axis to the length of the short axis of greater than 1.2.
  • Rod-shaped particles are observed in a TEM image as, for example, a square shape including a rectangular shape, an elliptical shape, or a polygonal shape.
  • the shape of the cross-section which is the plane perpendicular to the long axis of the rod shape, may be circular, elliptical, or polygonal, for example.
  • the length of the major axis refers to the length of the longest line segment among the line segments connecting any two points on the outer circumference of the particle in the case of an elliptical shape.
  • the length of the longest line segment in the case of a rectangular or polygonal shape, refers to the length of the longest line segment that is parallel to the longest side of the sides that define the outer periphery and that connects any two points on the outer periphery of the particle.
  • the length of the short axis refers to the length of the longest line segment that is orthogonal to the line segment defining the length of the long axis among the line segments that connect any two points on the outer periphery.
  • the average particle size of semiconductor nanoparticles is the arithmetic mean of all measurable particles observed in a TEM image at a magnification of 50,000 to 150,000 times.
  • a "measurable" particle is one in which the contour of the entire particle can be observed in a TEM image. Therefore, in the TEM image, a part of the contour of the particle is not included in the imaging range, and particles that are "cut off" cannot be measured.
  • the number of measurable particles contained in one TEM image is 100 or more, the TEM image is used to determine the average particle size.
  • the imaging location is changed to further acquire TEM images, and 100 or more measurable particles contained in two or more TEM images are obtained.
  • the average particle size is obtained by measuring the particle size of the particles.
  • the portion made of the first semiconductor may be particulate, and may have an average particle size of, for example, 10 nm or less, particularly 8 nm or less, or less than 7.5 nm.
  • the average grain size of the first semiconductor may be in the range of, for example, 1.5 nm or more and 10 nm or less, preferably 1.5 nm or more and less than 8 nm, or 1.5 nm or more and less than 7.5 nm. When the average grain size of the first semiconductor is equal to or less than the upper limit, the quantum size effect can be easily obtained.
  • the thickness of the second semiconductor portion of the semiconductor nanoparticles may be in the range of 0.1 nm to 50 nm, in the range of 0.1 nm to 10 nm, particularly in the range of 0.3 nm to 3 nm.
  • the thickness of the second semiconductor is equal to or greater than the lower limit, the effect of arranging the second semiconductor in the semiconductor nanoparticles is sufficiently obtained, and band edge emission is easily obtained.
  • the average particle size of the first semiconductor and the thickness of the second semiconductor may be obtained by observing the semiconductor nanoparticles with, for example, HAADF-STEM.
  • the thickness of the second semiconductor portion which is likely to be observed as a different portion from the first semiconductor, can be easily obtained by HAADF-STEM.
  • the particle size of the first semiconductor can be determined according to the method described above for semiconductor nanoparticles.
  • the thickness of the second semiconductor is not constant, the smallest thickness is taken as the thickness of the second semiconductor in the semiconductor nanoparticles.
  • the semiconductor nanoparticles preferably have a substantially tetragonal crystal structure.
  • the crystal structure is identified by measuring the XRD pattern obtained by X-ray diffraction (XRD) analysis as described above.
  • XRD X-ray diffraction
  • Being substantially tetragonal means that the ratio of the height of the peak near 48 ° indicating hexagonal and orthorhombic to the height of the main peak near 26 ° indicating that it is tetragonal is For example, it means 10% or less, or 5% or less.
  • the semiconductor nanoparticles When irradiated with light having a wavelength of 365 nm, the semiconductor nanoparticles may exhibit band edge emission having an emission peak wavelength in the wavelength range of 600 nm or more and 680 nm or less, and the emission peak wavelength range is preferably 610 nm or more or 670 nm or less. more preferably 620 nm or more or 660 nm or less.
  • the semiconductor nanoparticles may have a half-value width in the emission spectrum of, for example, 70 nm or less, preferably 65 nm or less, or 60 nm or less. The lower limit of the half width may be, for example, 15 nm or more.
  • the emission lifetime of the main component (band edge emission) is 200 ns or less.
  • the term “luminescence lifetime” refers to a luminescence lifetime measured using a device called a fluorescence lifetime measuring device.
  • the “luminescence lifetime of the main component” is determined according to the following procedure. First, the semiconductor nanoparticles are irradiated with excitation light to emit light, and the decay (afterglow) of the light having a wavelength near the peak of the emission spectrum, for example, within ⁇ 50 nm of the peak wavelength, is measured. Measure. A change over time is measured from the time when irradiation of excitation light is stopped. The resulting decay curve is generally the sum of multiple decay curves resulting from relaxation processes such as luminescence and heat.
  • ⁇ 1 , ⁇ 2 and ⁇ 3 of each component is the time required for the emission intensity to decay to the initial 1/e (36.8%), which corresponds to the emission lifetime of each component do.
  • ⁇ 1 , ⁇ 2 and ⁇ 3 are set in ascending order of emission lifetime.
  • a 1 , A 2 and A 3 are the contribution rates of each component.
  • the emission lifetime ⁇ of the main component is 200 ns or less. Such emission is presumed to be band edge emission.
  • a x ⁇ x obtained by integrating the value of t of A x exp ( ⁇ t/ ⁇ x ) from 0 to infinity is compared, and the one with the largest value is the main component.
  • the emission of the semiconductor nanoparticles may include defect emission (eg, donor-acceptor emission) in addition to band-edge emission, but is preferably substantially band-edge emission only.
  • Defect emission generally has a long emission lifetime, a broad spectrum, and a peak on the longer wavelength side than band edge emission.
  • substantially only band edge emission means that the purity of the band edge emission component in the emission spectrum (hereinafter also referred to as "band edge emission purity") is 40% or more, but 70%. 80% or more is more preferable, 90% or more is still more preferable, and 95% or more is particularly preferable.
  • the upper limit of purity of the band edge emission component may be, for example, 100% or less, less than 100%, or 99% or less.
  • the internal quantum yield of band edge emission is calculated using a quantum yield measurement device at a temperature of 25 ° C. under the conditions of an excitation light wavelength of 450 nm and a fluorescence wavelength range of 470 nm to 900 nm, or an excitation light wavelength of 365 nm. , The internal quantum yield calculated under the conditions of the fluorescence wavelength range of 450 nm or more and 950 nm or less, or the internal quantum yield calculated under the conditions of the excitation light wavelength of 450 nm and the fluorescence wavelength range of 500 nm or more and 950 nm or less Purity of the band edge emission component and divided by 100.
  • the internal quantum yield of band edge emission of semiconductor nanoparticles is, for example, 15% or more, preferably 50% or more, more preferably 60% or more, even more preferably 70% or more, and particularly preferably 80% or more.
  • the peak position of the band edge luminescence emitted by the semiconductor nanoparticles can be changed by changing the particle size of the semiconductor nanoparticles. For example, when the particle size of the semiconductor nanoparticles is made smaller, the peak wavelength of band edge emission tends to shift to the shorter wavelength side. Furthermore, the smaller the particle size of the semiconductor nanoparticles, the smaller the half width of the spectrum of the band edge emission.
  • the intensity ratio of the band edge luminescence may be, for example, 0.75 or more, preferably 0.85 or more, and more preferably 0.9. or more, particularly preferably 0.93 or more, and the upper limit may be, for example, 1 or less, less than 1, or 0.99 or less.
  • the intensity ratio of the band edge emission was obtained by performing parameter fitting on the emission spectrum, assuming that the shapes of the peak of the band edge emission and the peak of the defect emission are normal distributions. and their maximum peak intensities are b 1 and b 2 , respectively, are represented by the following equations.
  • Intensity ratio of band edge emission b 1 /(b 1 +b 2 )
  • the intensity ratio of the band edge emission is 0 if the emission spectrum does not contain the band edge emission at all, that is, if it includes only the defect emission, 0.5 if the maximum peak intensity of the band edge emission and the defect emission is the same, It is 1 when only light emission is included.
  • the semiconductor nanoparticles preferably exhibit an exciton peak in their absorption spectrum or excitation spectrum (also referred to as fluorescence excitation spectrum).
  • the exciton peak is a peak obtained by exciton generation, and the fact that this is expressed in the absorption spectrum or excitation spectrum means that the particles have a small particle size distribution and are suitable for band edge emission with few crystal defects. means It means that the steeper the exciton peak, the more particles with uniform particle size and few crystal defects are contained in the aggregate of semiconductor nanoparticles. Therefore, it is expected that the half-value width of light emission is narrowed and the light emission efficiency is improved.
  • an exciton peak is observed, for example, within the range of 400 nm or more and 550 nm or less, preferably 430 nm or more and 500 nm or less.
  • An excitation spectrum for checking the presence or absence of an exciton peak may be measured by setting an observation wavelength near the peak wavelength.
  • the surface of the semiconductor nanoparticles may be modified with a surface modifier.
  • surface modifiers include amino alcohols having 2 to 20 carbon atoms, ionic surface modifiers, nonionic surface modifiers, nitrogen-containing compounds having hydrocarbon groups of 4 to 20 carbon atoms, and 4 carbon atoms. a sulfur-containing compound having a hydrocarbon group of 20 or less, an oxygen-containing compound having a hydrocarbon group of 4 or more and 20 or less carbon atoms, a phosphorus-containing compound having a hydrocarbon group of 4 or more and 20 or less carbon atoms, a Group 2 element, Examples include halides of group 12 elements or group 13 elements.
  • the surface modifiers may be used singly or in combination of two or more different ones. The details of the surface modifiers exemplified here are as described above.
  • the semiconductor nanoparticles may have their surfaces modified with gallium halide. By surface-modifying the surface of the semiconductor nanoparticles with gallium halide, the internal quantum yield of band-edge emission is improved.
  • gallium halides include gallium chloride, gallium fluoride, gallium bromide, and gallium iodide.
  • the surface of the second semiconductor in the semiconductor nanoparticles may be modified with gallium halide.
  • gallium halide By surface-modifying the surface of the second semiconductor in the semiconductor nanoparticles with gallium halide, the internal quantum yield of band edge emission is improved.
  • the luminescence of semiconductor nanoparticles surface-modified with gallium halide may contain defect luminescence (donor-acceptor luminescence) in addition to band-edge luminescence, but may be substantially only band-edge luminescence.
  • defect luminescence donor-acceptor luminescence
  • substantially only band edge emission is as described in the semiconductor nanoparticles above, and the purity of the band edge emission component is preferably 70% or more, more preferably 80% or more, and further preferably 90% or more. Preferably, 95% or more is particularly preferred.
  • Measurement of the internal quantum yield of band edge emission of semiconductor nanoparticles surface-modified with gallium halide is as described above for semiconductor nanoparticles, and the internal quantum yield of band edge emission is, for example, 15%. 50% or more is preferable, 60% or more is more preferable, 70% or more is still more preferable, and 80% or more is particularly preferable.
  • the light-emitting device includes the above-described light conversion member containing the semiconductor nanoparticles, and a semiconductor light-emitting element. According to this light-emitting device, for example, part of the light emitted from the semiconductor light-emitting element is absorbed by the semiconductor nanoparticles to emit longer wavelength light. Then, the light from the semiconductor nanoparticles and the rest of the light emitted from the semiconductor light emitting element are mixed, and the mixed light can be used as light emitted from the light emitting device.
  • a light-emitting device that emits white light can be obtained.
  • a white light-emitting device can be obtained by using two types of semiconductor nanoparticles, one that absorbs blue light and emits green light, and the other that absorbs blue light and emits red light.
  • a white light-emitting device can be used.
  • the semiconductor nanoparticles absorb and convert all the light from the light-emitting device so that the ultraviolet rays emitted from the light-emitting device do not leak to the outside.
  • a semiconductor nanoparticle that emits blue-green light with a peak wavelength of about 490 nm or more and 510 nm or less is used, and a semiconductor nanoparticle that absorbs the blue-green light and emits red light is used, a device that emits white light can be obtained. Obtainable.
  • a semiconductor light-emitting device that emits visible light for example, a device that emits red light with a wavelength of 700 nm or more and 780 nm or less is used, and a semiconductor nanoparticle that absorbs visible light and emits near-infrared light is used.
  • a light-emitting device that emits near-infrared light can also be obtained.
  • the semiconductor nanoparticles may be used in combination with other semiconductor quantum dots, or may be used in combination with other non-quantum dot phosphors (eg, organic or inorganic phosphors).
  • Other semiconductor quantum dots are, for example, binary semiconductor quantum dots.
  • Garnet-based phosphors such as aluminum garnet, for example, can be used as phosphors other than quantum dots.
  • the garnet-based phosphor includes a cerium-activated yttrium-aluminum-garnet-based phosphor and a cerium-activated lutetium-aluminum-garnet-based phosphor.
  • the light conversion member containing semiconductor nanoparticles may be, for example, a sheet or plate member, or a member having a three-dimensional shape.
  • a member having a three-dimensional shape is, in a surface-mounted light-emitting diode, when a semiconductor light-emitting element is arranged on the bottom surface of a recess formed in a package, the recess is used to seal the light-emitting element. It is a sealing member formed by being filled with a resin.
  • the light conversion member is a resin formed so as to surround the upper surface and side surfaces of the semiconductor light emitting element with a substantially uniform thickness when the semiconductor light emitting element is arranged on a flat substrate. It is a member.
  • still another example of the light conversion member is a case where a resin member containing a reflective material is filled around the semiconductor light emitting element so that the upper end of the resin member forms the same plane as the semiconductor light emitting element, A resin member having a predetermined thickness and having a flat plate shape is formed on the upper portion of the resin member including the semiconductor light emitting element and the reflector.
  • the light conversion member may be in contact with the semiconductor light emitting element, or may be provided apart from the semiconductor light emitting element.
  • the light conversion member may be a pellet-shaped member, a sheet member, a plate-shaped member, or a rod-shaped member arranged apart from the semiconductor light-emitting device, or a member provided in contact with the semiconductor light-emitting device, such as , a sealing member, a coating member (a member provided separately from the mold member to cover the light emitting element), or a mold member (including, for example, a lens-shaped member).
  • the two or more types of semiconductor nanoparticles when two or more types of semiconductor nanoparticles that emit light of different wavelengths are used, the two or more types of semiconductor nanoparticles may be mixed in one light conversion member, or Two or more light conversion members containing only one type of semiconductor nanoparticles may be used in combination. In this case, two or more types of light conversion members may form a laminated structure, or may be arranged in a pattern of dots or stripes on a plane.
  • An LED chip is mentioned as a semiconductor light emitting element.
  • the LED chip may have a semiconductor layer made of one or more selected from the group consisting of GaN, GaAs, InGaN, AlInGaP, GaP, SiC, ZnO, and the like.
  • a semiconductor light-emitting device that emits blue-violet light, blue light, or ultraviolet light for example, has a GaN-based composition represented by In X Al Y Ga 1-XY N (0 ⁇ X, 0 ⁇ Y, X+Y ⁇ 1). It has a compound as a semiconductor layer.
  • the light-emitting device of this embodiment is preferably incorporated into a liquid crystal display device as a light source. Since band-edge luminescence by semiconductor nanoparticles has a short luminescence lifetime, light-emitting devices using such semiconductor nanoparticles are suitable as light sources for liquid crystal display devices that require a relatively high response speed. In addition, the semiconductor nanoparticles of the present embodiment can exhibit an emission peak with a small half width as band edge emission.
  • blue light with a peak wavelength in the range of 420 nm or more and 490 nm or less is obtained by the blue semiconductor light-emitting element, and semiconductor nanoparticles with a peak wavelength of 510 nm or more and 550 nm or less, preferably 530 nm or more and 540 nm or less.
  • a liquid crystal display device having good color reproducibility without using a dark color filter by obtaining certain green light and red light having a peak wavelength in the range of 600 nm to 680 nm, preferably 630 nm to 650 nm. is obtained.
  • Light-emitting devices are used, for example, as direct backlights or as edge backlights.
  • a sheet, plate member, or rod made of resin, glass, or the like containing semiconductor nanoparticles may be incorporated into the liquid crystal display device as a light conversion member independent of the light emitting device.
  • the present disclosure may further include the following aspects.
  • a light-emitting device comprising a light conversion member containing the semiconductor nanoparticles according to any one of [11] to [13], and a semiconductor light-emitting element.
  • Example 1st step 0.1 mmol copper(I) ethylxanthate (Cu(EX)), 0.4 mmol silver ethylxanthate (Ag(EX)), 0.5 mmol indium acetate (In(OAc) 3 ), 1.0 mmol of gallium acetylacetonate (Ga(acac) 3 ), 0.075 mmol of gallium chloride (GaCl 3 ) were mixed with 100 mL of oleylamine (OLA) to obtain a first mixture.
  • the first mixture was heat-treated at 260° C. for 120 minutes under a nitrogen atmosphere while being stirred. After the obtained suspension was left to cool, it was subjected to centrifugation (radius 146 mm, 2800 rpm, 5 minutes) to remove precipitates to obtain a dispersion of first semiconductor nanoparticles.
  • the emission spectrum of the first semiconductor nanoparticles obtained above was measured, and the band edge emission peak wavelength, half width, band edge emission purity, and band edge emission internal quantum yield were calculated.
  • the emission spectrum is measured using a quantum efficiency measurement system (manufactured by Otsuka Electronics, trade name QE-2100) at room temperature (25 ° C.) at an excitation light wavelength of 365 nm, and is measured in the wavelength range from 300 nm to 950 nm.
  • Quantum yield was calculated from the wavelength range from 450 nm to 950 nm.
  • Table 1 shows the emission spectrum of the relative emission intensity normalized by the maximum emission intensity of the semiconductor nanoparticles of Example 1. As shown in FIG.
  • Example 2 1st step 0.1 mmol copper(I) ethylxanthate (Cu(EX)), 0.4 mmol silver ethylxanthate (Ag(EX)), 0.5 mmol indium acetate (In(OAc) 3 ), 1.0 mmol of gallium acetylacetonate (Ga(acac) 3 ), 0.075 mmol of gallium chloride (GaCl 3 ) were mixed with 100 mL of oleylamine (OLA) to obtain a first mixture. The first mixture was heat-treated at 260° C. for 120 minutes under a nitrogen atmosphere while being stirred. After the obtained suspension was left to cool, it was subjected to centrifugation (radius 146 mm, 2800 rpm, 5 minutes) to remove precipitates to obtain a dispersion of first semiconductor nanoparticles.
  • OVA oleylamine
  • Second step 60 mL of the dispersion containing the first semiconductor nanoparticles obtained above at a nanoparticle concentration equivalent to 0.3 mmol and 9.0 mL of oleylamine containing 0.9 mmol of gallium chloride (GaCl 3 ) were mixed to obtain a second step. 2 mixtures were obtained. The second mixture was heat-treated at 270° C. for 120 minutes under a nitrogen atmosphere while being stirred. After the heat treatment, the resulting suspension was allowed to cool to obtain a dispersion of second semiconductor nanoparticles.
  • GaCl 3 gallium chloride
  • Table 1 and FIG. 1 show the measurement results of the emission spectrum of the obtained second semiconductor nanoparticles measured in the same manner as in Example 1.
  • Table 1 and FIG. 1 show the measurement results of the emission spectrum of the semiconductor nanoparticles of Comparative Example 1 obtained in the same manner as in Example 1.
  • Example 1 semiconductor nanoparticles exhibiting band edge emission having an emission peak wavelength in the range of 610 nm to 650 nm were obtained by one-pot synthesis. It was confirmed that In addition, in Example 2, semiconductor nanoparticles exhibiting higher band edge emission purity and higher internal quantum yield than in Comparative Example 1 were obtained.

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Abstract

バンド端発光を示す半導体ナノ粒子の効率的な製造方法が提供される。銅塩と、銀塩と、インジウム及びガリウムの少なくとも一方を含む塩と、ガリウムハロゲン化物と、有機溶剤と、を含む第１混合物を第１熱処理して第１半導体ナノ粒子を得ることを含み、前記第１混合物におけるＣｕ塩、Ａｇ塩、並びにＩｎ及びＧａの少なくとも一方を含む塩のうち少なくとも１つの塩が、金属と硫黄（Ｓ）との結合を有する化合物を含む半導体ナノ粒子の製造方法である。

Description

半導体ナノ粒子の製造方法、半導体ナノ粒子及び発光デバイス
　本開示は、半導体ナノ粒子の製造方法、半導体ナノ粒子及び発光デバイスに関する。
　半導体粒子はその粒径が例えば１０ｎｍ以下になると、量子サイズ効果を発現することが知られており、そのようなナノ粒子は量子ドット（半導体量子ドットとも呼ばれる）と呼ばれる。量子サイズ効果とは、バルク粒子では連続とみなされる価電子帯と伝導帯のそれぞれのバンドが、粒径をナノサイズとしたときに離散的となり、粒径に応じてバンドギャップエネルギーが変化する現象を指す。
　量子ドットは、光を吸収して、そのバンドギャップエネルギーに対応する光に波長変換可能であるため、量子ドットの発光を利用した白色発光デバイスが提案されている（例えば、特開２０１２－２１２８６２号公報及び特開２０１０－１７７６５６号公報参照）。またバンド端発光が可能で低毒性の組成とし得るコアシェル構造型半導体量子ドットを使用した波長変換フィルムが提案されている（例えば、国際公開第２０１４／１２９０６７号参照）。さらにバンド端発光が可能で低毒性組成となり得る三元系の半導体ナノ粒子として、硫化物ナノ粒子（例えば、国際公開第２０１８／１５９６９９号、国際公開第２０１９／１６００９４号及び国際公開第２０２０／１６２６２２号参照）が検討されている。
　国際公開第２０１８／１５９６９９号には、バンド端発光を示す半導体ナノ粒子を得るにあたり、ワンポット合成による効率的な製造方法が開示されているものの、得られた半導体ナノ粒子のバンド端発光純度において、更なる改善の余地があった。また国際公開第２０１９／１６００９４号及び国際公開第２０２０／１６２６２２号には、高いバンド端発光純度を示す半導体ナノ粒子が開示されているものの、効率的な製造方法という点では、更なる改善の余地があった。
　本開示の一態様は、バンド端発光を示す半導体ナノ粒子の効率的な製造方法を提供することを目的とする。
　第一態様は、銅（Ｃｕ）塩と、銀（Ａｇ）塩と、インジウム（Ｉｎ）及びガリウム（Ｇａ）の少なくとも一方を含む塩と、ガリウムハロゲン化物と、有機溶剤と、を含む第１混合物を第１熱処理して第１半導体ナノ粒子を得ることを含み、前記第１混合物におけるＣｕ塩、Ａｇ塩、並びにＩｎ及びＧａの少なくとも一方を含む塩のうち少なくとも１つの塩が、金属と硫黄（Ｓ）との結合を有する化合物を含む半導体ナノ粒子の製造方法である。
　第二態様は、銅（Ｃｕ）、銀（Ａｇ）、インジウム（Ｉｎ）、ガリウム（Ｇａ）及び硫黄（Ｓ）を含む第１半導体を含む半導体ナノ粒子である。前記半導体ナノ粒子の表面には、Ｇａ及びＳを含み、実質的にＡｇを含まない第２半導体が配置される。前記半導体ナノ粒子は、３６５ｎｍの波長の光照射により、６００ｎｍ以上６８０ｎｍ以下の波長範囲に発光ピーク波長を有するバンド端発光を示し、バンド端発光純度が６０％以上であって、バンド端発光の内部量子収率が１５％以上である。
　第三態様は、前記半導体ナノ粒子を含む光変換部材と、半導体発光素子とを備える発光デバイスである。
　本開示の一態様によれば、バンド端発光を示す半導体ナノ粒子の効率的な製造方法を提供することができる。
実施例及び比較例に係る半導体ナノ粒子の発光スペクトルの一例を示す図である。
　本明細書において「工程」との語は、独立した工程だけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の所期の目的が達成されれば、本用語に含まれる。また組成物中の各成分の含有量は、組成物中に各成分に該当する物質が複数存在する場合、特に断らない限り、組成物中に存在する当該複数の物質の合計量を意味する。さらに本明細書に記載される数値範囲の上限及び下限は、数値範囲として例示された数値をそれぞれ任意に選択して組み合わせることが可能である。本明細書において発光スペクトルにおける半値幅は、半導体ナノ粒子の発光スペクトルにおいて、最大発光強度に対して発光強度が５０％となる発光スペクトルの波長幅（半値全幅；ＦＷＨＭ）を意味する。本明細書において、色名と色度座標との関係、光の波長範囲と単色光の色名との関係等は、ＪＩＳ　Ｚ８１１０に従う。以下、本発明の実施形態を詳細に説明する。ただし、以下に示す実施形態は、本発明の技術思想を具体化するための、半導体ナノ粒子、その製造方法及び発光デバイスを例示するものであって、本発明は、以下に示す半導体ナノ粒子、その製造方法及び発光デバイスに限定されない。
半導体ナノ粒子の製造方法
　半導体ナノ粒子の製造方法は、銅（Ｃｕ）塩と、銀（Ａｇ）塩と、インジウム（Ｉｎ）及びガリウム（Ｇａ）の少なくとも一方を含む塩と、ガリウムハロゲン化物と、有機溶剤と、を含む第１混合物を第１熱処理して第１半導体ナノ粒子を得る第１工程を含む。第１混合物におけるＣｕ塩、Ａｇ塩、並びにＩｎ及びＧａの少なくとも一方を含む塩のうち少なくとも１つの塩は、それぞれの塩を構成する金属と硫黄（Ｓ）との結合を有する化合物を含む。半導体ナノ粒子の製造方法は、必要に応じて、第１工程に加えてその他の工程を更に含んでいてもよい。
第１工程
　第１工程は、Ｃｕ塩と、Ａｇ塩と、Ｉｎ及びＧａの少なくとも一方を含む塩（以下、「（Ｉｎ，Ｇａ）塩」と略記することがある）と、ガリウムハロゲン化物と、有機溶剤と、を含む第１混合物を得る第１混合工程と、得られる第１混合物を第１熱処理して第１半導体ナノ粒子を得る第１熱処理工程とを含んでいてよい。また第１混合物におけるＣｕ塩、Ａｇ塩、並びに（Ｉｎ，Ｇａ）塩のうち少なくとも１つの塩は、硫黄（Ｓ）源を兼ねていてよく、それぞれの塩を構成する金属と硫黄（Ｓ）との結合を有する化合物を含んでいてよい。
　第１半導体ナノ粒子の合成時に、ガリウムハロゲン化物を存在させることにより、製造される第１半導体ナノ粒子の粒径制御が容易になる。これにより、バンド端発光を示し、高いバンド端発光純度を示す半導体ナノ粒子をワンポット合成により効率的に製造することができると考えられる。
　第１混合工程では、Ｃｕ塩と、Ａｇ塩と、（Ｉｎ，Ｇａ）塩と、ガリウムハロゲン化物と、有機溶剤と、を混合することで第１混合物を調製する。第１混合工程における混合方法は、通常用いられる混合方法から適宜選択されてよい。
　第１混合物におけるＣｕ塩、Ａｇ塩及び（Ｉｎ，Ｇａ）塩は、有機酸塩又は無機酸塩のいずれであってもよい。具体的には、無機酸塩としては、硝酸塩、硫酸塩、塩酸塩、スルホン酸塩等を挙げることができる。また有機酸塩としては、ギ酸塩、酢酸塩、シュウ酸塩、アセチルアセトナート塩等を挙げることができる。Ｃｕ塩、Ａｇ塩及び（Ｉｎ，Ｇａ）塩は、好ましくはこれらの塩からなる群から選択される少なくとも１種であってよく、有機溶剤への溶解度が高く、反応がより均一に進行することから、より好ましくは酢酸塩、アセチルアセトナート塩等の有機酸塩からなる群から選択される少なくとも１種であってよい。第１混合物は、Ｃｕ塩、Ａｇ塩及び（Ｉｎ，Ｇａ）塩をそれぞれ１種単独で含んでいてもよく、それぞれ２種以上を組み合わせて含んでいてもよい。また、第１混合物におけるＩｎ及びＧａの少なくとも一方を含む塩は、Ｉｎ塩及びＧａ塩からなる群から選択される少なくとも１種を含む塩であってよく、少なくともＧａ塩の少なくとも１種を含み、Ｉｎ塩の少なくとも１種を更に含む塩であってもよい。また、第１混合物におけるＣｕ塩、Ａｇ塩、Ｉｎ塩及びＧａ塩のうち少なくとも１つの塩が、それぞれの塩を構成する金属と硫黄（Ｓ）との結合を有する化合物（例えば、Ｃｕ塩の場合は、Ｃｕ－Ｓ結合を有する化合物）を含んでいてよい。
　第１混合物におけるＣｕ塩は、Ｃｕ－Ｓ結合を有する化合物を含んでいてもよい。Ｃｕ－Ｓ結合は、共有結合、イオン結合、配位結合等のいずれであってもよい。Ｃｕ－Ｓ結合を有する化合物としては、例えば含硫黄化合物のＣｕ塩が挙げられ、Ｃｕの含硫黄有機酸塩、含硫黄無機酸塩、含硫黄有機金属化合物等であってよい。含硫黄化合物としては、チオカルバミン酸、ジチオカルバミン酸、チオ炭酸エステル、ジチオ炭酸エステル（キサントゲン酸）、トリチオ炭酸エステル、チオカルボン酸、ジチオカルボン酸及びそれらの誘導体等を挙げることができる。Ｃｕ塩は、中でも比較的低温で分解することからキサントゲン酸及びその誘導体からなる群から選択される少なくとも１種を含むことが好ましい。含硫黄化合物の具体例としては、例えば、脂肪族チオカルバミン酸、脂肪族ジチオカルバミン酸、脂肪族チオ炭酸エステル、脂肪族ジチオ炭酸エステル、脂肪族トリチオ炭酸エステル、脂肪族チオカルボン酸、脂肪族ジチオカルボン酸等が挙げられる。これらの含硫黄化合物における脂肪族基としては、炭素数１以上１２以下のアルキル基、アルケニル基等を挙げることができる。脂肪族チオカルバミン酸にはジアルキルチオカルバミン酸等が含まれてよく、脂肪族ジチオカルバミン酸にはジアルキルジチオカルバミン酸等が含まれてよい。ジアルキルチオカルバミン酸及びジアルキルジチオカルバミン酸におけるアルキル基は、例えば、炭素数が１以上１２以下であってよく、好ましくは炭素数が１以上４以下である。ジアルキルチオカルバミン酸及びジアルキルジチオカルバミン酸における２つのアルキル基は、同一でも異なっていてもよい。Ｃｕ－Ｓ結合を有する化合物の具体例としては、１価の銅化合物としてはエチルキサントゲン酸銅（Ｉ）（Ｃｕ（ＥＸ））等を挙げることができ、２価の銅化合物としてはジメチルジチオカルバミン酸銅（ＩＩ）、ジエチルジチオカルバミン酸銅（ＩＩ）（Ｃｕ（ＤＤＴＣ）２）、エチルキサントゲン酸銅（ＩＩ）（Ｃｕ（ＥＸ）２）等を挙げることができる。第１混合物は、Ｃｕ－Ｓ結合を有する化合物を１種単独で含んでいてもよく、２種以上を組み合わせて含んでいてもよい。
　第１混合物におけるＡｇ塩は、後述の第１熱処理工程において硫化銀の副生成を抑制できる点から、Ａｇ－Ｓ結合を有する化合物を含んでいてもよい。Ａｇ－Ｓ結合は、共有結合、イオン結合、配位結合等のいずれであってもよい。Ａｇ－Ｓ結合を有する化合物としては、例えば含硫黄化合物のＡｇ塩が挙げられ、Ａｇの含硫黄有機酸塩、含硫黄無機酸塩、含硫黄有機金属化合物等であってよい。含硫黄化合物として具体的には、チオカルバミン酸、ジチオカルバミン酸、チオ炭酸エステル、ジチオ炭酸エステル（キサントゲン酸）、トリチオ炭酸エステル、チオカルボン酸、ジチオカルボン酸及びそれらの誘導体等を挙げることができる。中でも比較的低温で分解することからキサントゲン酸及びその誘導体からなる群から選択される少なくとも１種が好ましい。含硫黄化合物の具体例は上記と同様である。Ａｇ－Ｓ結合を有する化合物の具体例としては、ジメチルジチオカルバミン酸銀、ジエチルジチオカルバミン酸銀（Ａｇ（ＤＤＴＣ））、エチルキサントゲン酸銀（Ａｇ（ＥＸ））等を挙げることができる。第１混合物は、Ａｇ－Ｓ結合を有する化合物を１種単独で含んでいてもよく、２種以上を組み合わせて含んでいてもよい。
　第１混合物におけるＩｎ塩は、Ｉｎ－Ｓ結合を有する化合物を含んでいてもよい。Ｉｎ－Ｓ結合は、共有結合、イオン結合、配位結合等のいずれであってもよい。Ｉｎ－Ｓ結合を有する化合物としては、例えば含硫黄化合物のＩｎ塩が挙げられ、Ｉｎの含硫黄有機酸塩、含硫黄無機酸塩、含硫黄有機金属化合物等であってよい。含硫黄化合物として具体的には、チオカルバミン酸、ジチオカルバミン酸、チオ炭酸エステル、ジチオ炭酸エステル（キサントゲン酸）、トリチオ炭酸エステル、チオカルボン酸、ジチオカルボン酸及びそれらの誘導体等を挙げることができる。中でも比較的低温で分解することからキサントゲン酸及びその誘導体からなる群から選択される少なくとも１種が好ましい。含硫黄化合物の具体例は上記と同様である。Ｉｎ－Ｓ結合を有する化合物の具体例としては、トリスジメチルジチオカルバミン酸インジウム、トリスジエチルジチオカルバミン酸インジウム（Ｉｎ（ＤＤＴＣ）３）、クロロビスジエチルジチオカルバミン酸インジウム、エチルキサントゲン酸インジウム（Ｉｎ（ＥＸ）３）等を挙げることができる。第１混合物は、Ｉｎ－Ｓ結合を有する化合物を１種単独で含んでいてもよく、２種以上を組み合わせて含んでいてもよい。
　第１混合物におけるＧａ塩は、Ｇａ－Ｓ結合を有する化合物を含んでいてもよい。Ｇａ－Ｓ結合は、共有結合、イオン結合、配位結合等のいずれであってもよい。Ｇａ－Ｓ結合を有する化合物としては、例えば含硫黄化合物のＧａ塩が挙げられ、Ｇａの含硫黄有機酸塩、含硫黄無機酸塩、含硫黄有機金属化合物等であってよい。含硫黄化合物として具体的には、チオカルバミン酸、ジチオカルバミン酸、チオ炭酸エステル、ジチオ炭酸エステル（キサントゲン酸）、トリチオ炭酸エステル、チオカルボン酸、ジチオカルボン酸及びそれらの誘導体等を挙げることができる。中でも比較的低温で分解することからキサントゲン酸及びその誘導体からなる群から選択される少なくとも１種が好ましい。含硫黄化合物の具体例は上記と同様である。Ｇａ－Ｓ結合を有する化合物の具体例としては、トリスジメチルジチオカルバミン酸ガリウム、トリスジエチルジチオカルバミン酸ガリウム（Ｇａ（ＤＤＴＣ）３）、クロロビスジエチルジチオカルバミン酸ガリウム、エチルキサントゲン酸ガリウム（Ｇａ（ＥＸ）３）等を挙げることができる。第１混合物は、Ｇａ－Ｓ結合を有する化合物を１種単独で含んでいてもよく、２種以上を組み合わせて含んでいてもよい。
　第１混合物におけるガリウムハロゲン化物としては、フッ化ガリウム、塩化ガリウム、臭化ガリウム、ヨウ化ガリウム等が挙げられる。ガリウムハロゲン化物はこれらからなる群から選択される少なくとも１種を含んでいてよい。また、ガリウムハロゲン化物は、少なくとも塩化ガリウムを含んでいてよい。ガリウムハロゲン化物は１種単独でも、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
　第１混合物における有機溶剤としては、例えば、炭素数４から２０の炭化水素基を有するアミン、例えば炭素数４から２０のアルキルアミンもしくはアルケニルアミン；炭素数４から２０の炭化水素基を有するチオール、例えば炭素数４から２０のアルキルチオールもしくはアルケニルチオール；炭素数４から２０の炭化水素基を有するホスフィン、例えば炭素数４から２０のアルキルホスフィンもしくはアルケニルホスフィン等を挙げることができる。有機溶剤はこれらからなる群から選択される少なくとも１種を含むことが好ましい。これらの有機溶剤は、例えば、最終的には、得られる第１半導体ナノ粒子を表面修飾してもよい。有機溶剤は２種以上を組み合わせて使用してよく、例えば炭素数４から２０の炭化水素基を有するチオールから選択される少なくとも１種と、炭素数４から２０の炭化水素基を有するアミンから選択される少なくとも１種とを組み合わせた混合溶剤を使用してよい。これらの有機溶剤は他の有機溶剤と混合して用いてもよい。有機溶剤が前記チオールと前記アミンとを含む場合、アミンに対するチオールの含有体積比（チオール／アミン）は、例えば、０より大きく１以下であってよく、好ましくは０．００７以上、又は０．２以下であってよい。
　第１混合物におけるＣｕ、Ａｇ、Ｉｎ、Ｇａ及びＳの含有比は、目的とする組成に応じて適宜選択してもよい。その際、Ｃｕ、Ａｇ、Ｉｎ、Ｇａ及びＳの含有比は化学量論比と整合しなくてもよい。例えば、ＩｎとＧａの合計モル数に対するＧａのモル数の比（Ｇａ／（Ｉｎ＋Ｇａ））は０．２以上０．９５以下、０．４以上０．９以下、又は０．６以上０．９以下であってよい。また例えば、ＣｕとＡｇとＩｎとＧａの合計モル数に対するＣｕのモル数の比（Ｃｕ／（Ｃｕ＋Ａｇ＋Ｉｎ＋Ｇａ））は０．０１以上０．５以下であってよい。また例えば、ＣｕとＡｇの合計モル数に対するＣｕのモル数の比（Ｃｕ／（Ｃｕ＋Ａｇ））は０．０５以上１．０未満であってよい。また例えば、ＣｕとＡｇとＩｎとＧａの合計モル数に対するＡｇのモル数の比（Ａｇ／（Ｃｕ＋Ａｇ＋Ｉｎ＋Ｇａ））は０．０５以上０．５５以下であってよい。また例えば、ＣｕとＡｇとＩｎとＧａの合計モル数に対するＣｕとＡｇの合計モル数の比（（Ｃｕ＋Ａｇ）／（Ｃｕ＋Ａｇ＋Ｉｎ＋Ｇａ））は０．０１以上１．２以下であってよい。また例えば、ＣｕとＡｇとＩｎとＧａの合計モル数に対するＳのモル数の比（Ｓ／（Ｃｕ＋Ａｇ＋Ｉｎ＋Ｇａ））は０．４以上１．６以下であってよい。
　第１混合物は、アルカリ金属塩をさらに含んでいてもよい。アルカリ金属（以下、「Ｍａ」と略記することがある）としては、リチウム（Ｌｉ）、ナトリウム（Ｎａ）、カリウム（Ｋ）、ルビジウム（Ｒｂ）及びセシウム（Ｃｓ）が挙げられる。アルカリ金属は、イオン半径がＡｇに近い点で、少なくともＬｉを含むことが好ましい。アルカリ金属塩としては、有機酸塩及び無機酸塩が挙げられる。具体的に無機酸塩としては、硝酸塩、硫酸塩、塩酸塩、スルホン酸塩等が挙げられ、有機酸塩としては、酢酸塩、アセチルアセトナート塩等が挙げられる。中でもアルカリ金属塩は、有機溶剤への溶解度が高い点から有機酸塩が好ましい。
　第１混合物がアルカリ金属塩を含む場合、Ａｇ、Ｃｕ及びアルカリ金属（Ｍａ）の総原子数に対するアルカリ金属（Ｍａ）の原子数の比（Ｍａ／（Ａｇ＋Ｃｕ＋Ｍａ））は、例えば、１未満であってよく、好ましくは０．８以下、より好ましくは０．４以下、更に好ましくは０．２以下である。またその比は、例えば、０より大きくてよく、好ましくは０．０５以上、より好ましくは０．１以上である。
　第１混合物におけるＡｇ塩とＣｕ塩に含まれるＡｇとＣｕの合計モル量に対するガリウムハロゲン化物に含まれるＧａのモル含有量の比は、例えば０．０１以上１以下であってよく、内部量子収率の点から、好ましくは０．１０以上、又は０．４５以下であってよい。
　第１混合物におけるＡｇ塩とＣｕ塩に含まれるＡｇとＣｕのモル濃度の合計は、例えば、０．００１ミリモル／リットル以上５００ミリモル／リットル以下であってよく、内部量子収率の点から、好ましくは０．００２ミリモル／リットル以上、又は１００ミリモル／リットル以下であってよく、より好ましくは０．００５ミリモル／リットル以上、又は１０ミリモル／リットル以下であってよい。
　第１熱処理工程では、第１混合物を第１熱処理して第１半導体ナノ粒子を得る。第１熱処理の温度は、例えば、２００℃以上３２０℃以下であってよい。また、第１熱処理工程は、第１混合物を２００℃以上３２０℃以下の範囲にある温度まで昇温する昇温工程と、２００℃以上３２０℃以下の範囲にある熱処理温度を所定時間維持して、第１混合物を熱処理する合成工程とを含んでいてよい。
　第１熱処理工程の昇温工程における昇温する温度の範囲は、２００℃以上３２０℃以下であってよく、好ましくは２３０℃以上、又は２９０℃以下であってよい。昇温速度は、昇温中の最高温度が目的とする温度を越えないように調整すればよく、例えば１℃／分以上５０℃／分以下であってよい。
　第１熱処理工程の合成工程における熱処理の温度は、２００℃以上３２０℃以下であってよく、好ましくは２３０℃以上、又は２９０℃以下であってよい。合成工程における熱処理の時間は、例えば、３秒以上であってよく、好ましくは１分以上、１０分以上、３０分以上、６０分以上、又は９０分以上であってよい。また熱処理の時間は、例えば、３００分以下であってよく、好ましくは２７０分以下、又は２４０分以下であってよい。合成工程における熱処理の時間は上述の温度範囲にて設定した温度に到達した時点（例えば２５０℃に設定した場合は２５０℃に到達した時間）を開始時間とし、降温のための操作を行った時点を終了時間とする。合成工程によって第１半導体ナノ粒子を含む分散液を得ることができる。
　第１熱処理工程の雰囲気は、不活性ガス雰囲気、特にアルゴン雰囲気又は窒素雰囲気が好ましい。不活性ガス雰囲気とすることで、酸化物の副生及び得られる第１半導体ナノ粒子表面の酸化を、低減ないしは防止することができる。不活性ガス雰囲気は、不活性ガスの含有率が、例えば９０体積％以上であってよく、好ましくは９５体積％以上、又は９８体積％以上であってよい。
　半導体ナノ粒子の製造方法は、上述の合成工程に続いて、得られる第１半導体ナノ粒子を含む分散液の温度を降温する冷却工程をさらに有してよい。冷却工程は、降温のための操作を行った時点を開始とし、５０℃以下まで冷却された時点を終了とする。
　冷却工程は、未反応のＡｇ塩からの硫化銀の生成を抑制する点から、降温速度が５０℃／分以上である期間を含んでいてよい。特に降温のための操作を行った後、降温が開始した時点において５０℃／分以上としてよい。
　冷却工程の雰囲気は、不活性ガス雰囲気、特にアルゴン雰囲気又は窒素雰囲気が好ましい。不活性ガス雰囲気とすることで、酸化物の副生及び得られる第１半導体ナノ粒子表面の酸化を、低減ないしは防止することができる。
　半導体ナノ粒子の製造方法は、第１半導体ナノ粒子を分散液から分離する分離工程を更に含んでいてもよく、必要に応じて、さらに精製工程を含んでいてよい。分離工程では、例えば、第１半導体ナノ粒子を含む分散液を遠心分離に付して、第１半導体ナノ粒子を含む上澄み液を取り出してよい。精製工程では、例えば、分離工程で得られる上澄み液に、アルコール等の適当な有機溶剤を添加して遠心分離に付し、第１半導体ナノ粒子を沈殿物として取り出してよい。なお、上澄み液から有機溶剤を揮発させることによっても、第１半導体ナノ粒子を取り出すことができる。取り出した沈殿物は、例えば、真空脱気もしくは自然乾燥、又は真空脱気と自然乾燥との組み合わせにより、乾燥させてよい。自然乾燥は、例えば、大気中に常温常圧にて放置することにより実施してよく、その場合、例えば２０時間以上、又は３０時間程度放置してよい。また、取り出した沈殿物は、適当な有機溶剤に分散させてよい。
　半導体ナノ粒子の製造方法では、アルコール等の有機溶剤の添加と遠心分離による精製工程を必要に応じて複数回実施してよい。精製に用いるアルコールとしては、メタノール、エタノール、ｎ－プロピルアルコール等の炭素数１から４の低級アルコールを用いてよい。沈殿物を有機溶剤に分散させる場合、有機溶剤として、クロロホルム、ジクロロメタン、ジクロロエタン、トリクロロエタン、テトラクロロエタン等のハロゲン系溶剤、トルエン、シクロヘキサン、ヘキサン、ペンタン、オクタン等の炭化水素系溶剤等を用いてよい。沈殿物を分散させる有機溶剤は、内部量子収率の観点より、ハロゲン系溶剤であってよい。
　以上で得られる第１半導体ナノ粒子は、分散液の状態であってもよく、乾燥された粉体であってもよい。第１半導体ナノ粒子は、バンド端発光を示してもよく、高いバンド端発光純度を示してもよい。半導体ナノ粒子の製造方法で得られる半導体ナノ粒子は、上述した第１半導体ナノ粒子であってもよいし、後述する第２工程後に得られる第２半導体ナノ粒子であってもよい。
　半導体ナノ粒子の製造方法は、第１半導体ナノ粒子及びガリウムハロゲン化物を含む第２混合物を第２熱処理して、第２半導体ナノ粒子を得る第２工程を更に含んでいてもよい。
第２工程
　第２工程は、上述の第１工程で得られる第１半導体ナノ粒子及びガリウムハロゲン化物を含む第２混合物を得る第２混合工程と、得られる第２混合物を第２熱処理して第２半導体ナノ粒子を得る第２熱処理工程と、を含んでいてよい。
　第１半導体ナノ粒子及びガリウムハロゲン化物を含む第２混合物を第２熱処理することにより、バンド端発光純度及び内部量子収率がより向上する第２半導体ナノ粒子を製造することができる。これは例えば以下のように考えることができる。
　第１半導体ナノ粒子の表面にＧａとＳを含む半導体（例えば、ＧａＳｘ；ｘは例えば０．８以上１．５以下）のＧａ欠陥（例えば、Ｇａが不足している部分）に存在する場合がある。そのＧａ欠陥にガリウムハロゲン化物のＧａ部分が反応してＧａ欠陥を埋めて、さらに反応系中に存在するＳ原子と反応すると考えられる。これにより、Ｇａ欠陥近傍のＧａ及びＳの濃度が上昇し、Ｇａ欠陥が補償されることでバンド端発光純度及び内部量子収率が向上すると考えることができる。
　また、第１半導体ナノ粒子の表面に存在するＧａとＳを含む半導体表面のＳ原子に、ガリウムハロゲン化物のＧａ原子が配位すると考えられる。さらに配位したガリウムハロゲン化物のハロゲン原子と、反応系中に存在するＳ成分とが反応すると考えられる。これにより、表面近傍のＧａ及びＳの濃度が上昇し、残存する表面欠陥を減少させることでバンド端発光純度及び内部量子収率が向上すると考えることもできる。
　さらに、第１半導体ナノ粒子の原料としてＣｕ－Ｓ結合を有する化合物（例えば、エチルキサントゲン酸銅（Ｉ）：Ｃｕ（ＥＸ））を用いる場合、得られる第１半導体ナノ粒子には、部分的に含硫黄化合物（例えば、キサントゲン酸）が残っていると考えられる。それら部分的に残った含硫黄化合物の箇所にガリウムハロゲン化物が作用することでＧａＳｘへの転化が促進されると考えられる。これにより、表面近傍のＧａ及びＳの濃度が上昇し、残存する表面欠陥を減少させることでバンド端発光純度及び内部量子収率が向上すると考えることもできる。
　第２混合工程では、第１半導体ナノ粒子と、ガリウムハロゲン化物とを混合して第２混合物を得る。第２混合物は、有機溶剤をさらに含んでいてもよい。第２混合物が含む有機溶剤は、上述の第１工程で例示した有機溶剤と同様である。第２混合物が有機溶剤を含む場合、第１半導体ナノ粒子の濃度が、例えば、５．０×１０－７モル／リットル以上５．０×１０－５モル／リットル以下、特に１．０×１０－６モル／リットル以上１．０×１０－５モル／リットル以下となるように第２混合物が調製されてよい。ここで第１半導体ナノ粒子の濃度は、粒子としての物質量に基づいて設定される。粒子としての物質量とは、ナノ粒子１つを巨大な分子と見なしたときのモル量であり、分散液に含まれるナノ粒子の個数を、アボガドロ数（ＮＡ＝６．０２２×１０２３）で除した値に等しい。
　第２混合物におけるガリウムハロゲン化物としては、フッ化ガリウム、塩化ガリウム、臭化ガリウム、ヨウ化ガリウム等が挙げられる。ガリウムハロゲン化物は、これらからなる群から選択される少なくとも１種を含んでいてよい。また、ガリウムハロゲン化物は、少なくとも塩化ガリウムを含んでいてよい。ガリウムハロゲン化物は１種単独でも、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
　第２混合物における第１半導体ナノ粒子に対するガリウムハロゲン化物の含有量のモル比は、例えば０．０１以上５０以下であってよく、好ましくは０．１以上、又は１０以下であってよい。
　第２熱処理工程では、第２混合物を第２熱処理して第２半導体ナノ粒子を得る。第２熱処理の温度は、例えば２００℃以上３２０℃以下であってよい。第２熱処理工程は、第２混合物を２００℃以上３２０℃以下の範囲にある温度まで昇温する昇温工程と、２００℃以上３２０℃以下の範囲にある熱処理温度を所定時間維持して、第２混合物を熱処理する修飾工程とを含んでいてよい。
　また、第２熱処理工程は、昇温工程の前に、例えば６０℃以上１００℃以下の温度で第２混合物を熱処理する予備熱処理工程を更に含んでいてもよい。予備熱処理工程における熱処理の温度は、好ましくは７０℃以上、又は９０℃以下であってよい。予備熱処理工程における熱処理の時間は、例えば１分以上３０分以下であってよく、好ましくは５分以上、又は２０分以下であってよい。
　第２熱処理工程の昇温工程で昇温する温度の範囲は、例えば２００℃以上３２０℃以下であってよく、好ましくは２３０℃以上、又は２９０℃以下であってよい。昇温速度は、昇温中の最高温度が目的とする温度を越えないように調整すればよく、例えば１℃／分以上５０℃／分以下であってよい。
　第２熱処理工程の修飾工程における熱処理の温度は、２００℃以上３２０℃以下であってよく、好ましくは２３０℃以上、又は２９０℃以下であってよい。修飾工程における熱処理の時間は、例えば３秒以上であってよく、好ましくは１分以上、１０分以上、３０分以上、６０分以上、又は９０分以上であってよい。また熱処理の時間は、例えば３００分以下であってよく、好ましくは１８０分以下、又は１５０分以下であってよい。修飾工程における熱処理の時間は上述の温度範囲にて設定した温度に到達した時点（例えば２５０℃に設定した場合は２５０℃に到達した時間）を開始時間とし、降温のための操作を行った時点を終了時間とする。修飾工程によって第２半導体ナノ粒子を含む分散液を得ることができる。
　第２熱処理工程の雰囲気は、不活性ガス雰囲気、特にアルゴン雰囲気又は窒素雰囲気が好ましい。不活性ガス雰囲気とすることで、酸化物の副生及び得られる第２半導体ナノ粒子表面の酸化を、低減ないしは防止することができる。
　半導体ナノ粒子の製造方法は、上述の修飾工程に続いて、得られる第２半導体ナノ粒子を含む分散液の温度を降温する冷却工程をさらに有してよい。冷却工程は、降温のための操作を行った時点を開始とし、５０℃以下まで冷却された時点を終了とする。
　冷却工程は、降温速度が５０℃／分以上である期間を含んでいてよい。特に降温のための操作を行った後、降温が開始した時点において５０℃／分以上としてよい。
　冷却工程の雰囲気は、不活性ガス雰囲気、特にアルゴン雰囲気又は窒素雰囲気が好ましい。不活性ガス雰囲気とすることで、酸化物の副生及び得られる第２半導体ナノ粒子表面の酸化を、低減ないしは防止することができる。
　半導体ナノ粒子の製造方法は、第２半導体ナノ粒子を分散液から分離する分離工程を更に含んでいてもよく、必要に応じて、さらに精製工程を含んでいてよい。分離工程、精製工程は、先に第１半導体ナノ粒子に関連して説明したとおりであるから、ここではその詳細な説明を省略する。
　半導体ナノ粒子の製造方法は、表面修飾工程をさらに含んでいてもよい。表面修飾工程は、得られた第２半導体ナノ粒子と表面修飾剤とを接触させることを含んでいてよい。
　表面修飾工程では、例えば、第２半導体ナノ粒子と表面修飾剤とを混合することで第２半導体ナノ粒子を表面修飾剤と接触させてよい。表面修飾工程における第２半導体ナノ粒子に対する表面修飾剤の量比は、例えば、第２半導体ナノ粒子の１×１０－８モルに対して１×１０－８モル以上であればよく、好ましくは２×１０－８モル以上、又は５×１０－８モル以下である。接触の温度は、例えば、０℃以上３００℃以下であってよく、好ましくは１０℃以上、又は３００℃以下である。接触の時間は、例えば、１０秒以上１０日以下であってよく、好ましくは１分以上、又は１日以下である。接触の雰囲気は不活性ガス雰囲気であってよく、特にアルゴン雰囲気又は窒素雰囲気が好ましい。
　表面修飾工程に用いる表面修飾剤の具体例としては、炭素数２以上２０以下のアミノアルコール、イオン性表面修飾剤、ノニオン性表面修飾剤、炭素数４以上２０以下の炭化水素基を有する含窒素化合物、炭素数４以上２０以下の炭化水素基を有する含硫黄化合物、炭素数４以上２０以下の炭化水素基を有する含酸素化合物、炭素数４以上２０以下の炭化水素基を有する含リン化合物、第２族元素、第１２族元素及び第１３族元素からなる群から選択される少なくとも１種を含むハロゲン化物等を挙げることができる。表面修飾剤は、１種単独でも、異なる２種以上のものを組み合わせて用いてもよい。
　表面修飾剤として用いられるアミノアルコールは、アミノ基及びアルコール性水酸基を有し、炭素数２以上２０以下の炭化水素基を含む化合物であればよい。アミノアルコールの炭素数は、好ましくは１０以下、より好ましくは６以下である。アミノアルコールを構成する炭化水素基は、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルカン、アルケン、アルキン等の炭化水素に由来してよい。炭化水素に由来するとは、炭化水素から少なくとも２つの水素原子を取り除いて構成されることを意味する。アミノアルコールとして具体的には、アミノエタノール、アミノプロパノール、アミノブタノール、アミノペンタノール、アミノヘキサノール、アミノオクタノール等を挙げることができる。例えば、半導体ナノ粒子表面にアミノアルコールのアミノ基が結合し、その反対側である粒子最表面に水酸基が露出することで半導体ナノ粒子の極性に変化が生じ、アルコール系溶媒（例えば、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール等）への分散性が向上する。
　表面修飾剤として用いられるイオン性表面修飾剤としては、分子内にイオン性官能基を有する含窒素化合物、含硫黄化合物、含酸素化合物等が挙げられる。イオン性官能基はカチオン性、アニオン性のいずれであってもよい。イオン性表面修飾剤は、少なくともカチオン性基を有することが好ましい。イオン性表面修飾剤の具体例及び表面修飾の方法は、例えばＣｈｅｍｉｓｔｒｙ　Ｌｅｔｔｅｒｓ，Ｖｏｌ．４５，ｐｐ８９８－９００，２０１６の記載を参照することができる。
　イオン性表面修飾剤は、例えば、３級又は４級アルキルアミノ基を有する含硫黄化合物であってよい。アルキルアミノ基のアルキル基の炭素数は、例えば１以上４以下であってよい。また、含硫黄化合物は、炭素数２以上２０以下のアルキル又はアルケニルチオールであってよい。イオン性表面修飾剤として具体的には、ジメチルアミノエタンチオールのハロゲン化水素塩、トリメチルアンモニウムエタンチオールのハロゲン塩、ジメチルアミノブタンチオールのハロゲン化水素塩、トリメチルアンモニウムブタンチオールのハロゲン塩等が挙げられる。
　表面修飾剤として用いられるノニオン性表面修飾剤としては、例えば、アルキレングリコール単位、アルキレングリコールモノアルキルエーテル単位等を含むノニオン性官能基を有する含窒素化合物、含硫黄化合物、含酸素化合物等が挙げられる。アルキレングリコール単位におけるアルキレン基の炭素数は、例えば、２以上８以下であってよく、好ましくは２以上、又は４以下である。またアルキレングリコール単位の繰り返し数は、例えば１以上２０以下であってよく、好ましくは２以上、又は１０以下である。ノニオン性表面修飾剤を構成する含窒素化合物はアミノ基を有していてよく、含硫黄化合物はチオール基を有していてよく、含酸素化合物は水酸基を有していてよい。ノニオン性表面修飾剤の具体例としては、メトキシトリエチレンオキシエタンチオール、メトキシヘキサエチレンオキシエタンチオール等が挙げられる。
　炭素数４以上２０以下の炭化水素基を有する含窒素化合物としてはアミン類、アミド類等が挙げられる。炭素数４以上２０以下の炭化水素基を有する含硫黄化合物としてはチオール類等が挙げられる。炭素数４以上２０以下の炭化水素基を有する含酸素化合物としてはカルボン酸類、アルコール類、エーテル類、アルデヒド類、ケトン類などが挙げられる。炭素数４以上２０以下の炭化水素基を有する含リン化合物としては、例えば、トリアルキルホスフィン、トリアリールホスフィン、トリアルキルホスフィンオキシド、トリアリールホスフィンオキシド等が挙げられる。
　第２族元素、第１２族元素及び第１３族元素からなる群から選択される少なくとも１種を含むハロゲン化物としては、塩化マグネシウム、塩化カルシウム、塩化亜鉛、塩化カドミウム、塩化アルミニウム、塩化ガリウム等の金属ハロゲン化物が挙げられる。
半導体ナノ粒子
　半導体ナノ粒子は、銅（Ｃｕ）、銀（Ａｇ）、インジウム（Ｉｎ）、ガリウム（Ｇａ）及び硫黄（Ｓ）を含む第１半導体を含み、その表面には、Ｇａ及びＳを含む第２半導体が配置されてなっていてよい。第２半導体は実質的にＡｇを含んでいなくてもよい。半導体ナノ粒子は、３６５ｎｍの波長の光照射により、６００ｎｍ以上６８０ｎｍ以下の波長範囲に発光ピーク波長を有するバンド端発光を示し、バンド端発光純度が６０％以上であって、バンド端発光の内部量子収率が１５％以上であってよい。
　半導体ナノ粒子は、３６５ｎｍの波長の光照射により、６００ｎｍ以上６８０ｎｍ以下の波長範囲（例えば、赤色領域）に発光ピーク波長を有するバンド端発光を示してよい。また半導体ナノ粒子は、高いバンド端発光純度と高いバンド端発光の内部量子収率とを示してよい。これは例えば、半導体ナノ粒子の中心部に存在する第１半導体の結晶構造が実質的に正方晶（カルコパイライト構造）であり、半導体ナノ粒子の表面に配置される第２半導体が、Ｇａ欠陥（例えば、Ｇａが不足している部分）の少ない結晶構造を有しているためと考えることができる。第２半導体は、第１半導体に比べてＧａの組成比が大きい半導体であってもよく、また第１半導体と比べてＡｇの組成比が小さい半導体であってもよく、実質的にＧａとＳからなる半導体であってよい。また、半導体ナノ粒子では、第１半導体を含む粒子の表面に、第２半導体を含む付着物が配置されていてよく、第２半導体を含む付着物が第１半導体を含む粒子を被覆していてもよい。さらに、半導体ナノ粒子は、例えば、第１半導体を含む粒子をコアとし、第２半導体含む付着物をシェルとして、コアの表面にシェルが配置されるコアシェル構造を有していてもよい。
　半導体ナノ粒子を構成する第１半導体は、Ｃｕ、Ａｇ、Ｉｎ、Ｇａ及びＳを含む。一般的にＡｇ、Ｉｎ及びＳを含み、かつその結晶構造が正方晶、六方晶、又は斜方晶である半導体は、ＡｇＩｎＳ２の組成式で表されるものとして、文献等において紹介されている。第１半導体は、前記組成式のうち、Ａｇの一部がＣｕに置換され、Ｉｎの一部がＧａに置換された（Ａｇ，Ｃｕ）（Ｉｎ，Ｇａ）Ｓ２で表される組成を有していてもよい。一方で、実際には、上記組成式で表される化学量論組成のものではなく、特にＡｇ及びＣｕの原子数の、Ｉｎ及びＧａの原子数に対する比（（Ａｇ＋Ｃｕ）／（Ｉｎ＋Ｇａ））が１よりも小さくなる場合もあるし、あるいは逆に１よりも大きくなる場合もある。また、Ａｇ及びＣｕの原子数とＩｎ及びＧａの原子数の和が、Ｓの原子数と同じにならないことがある。よって本明細書では、特定の元素を含む半導体について、それが化学量論組成であるか否かを問わない場面では、Ｃｕ－Ａｇ－Ｉｎ－Ｇａ－Ｓのように、構成元素を「－」でつないだ式で半導体組成を表すことがある。よって本実施形態にかかる第１半導体の組成は、例えばＡｇ－Ｉｎ－Ｓの組成のうち、第１１族元素であるＡｇの一部を同じく第１１族元素であるＣｕとし、第１３族元素であるＩｎの一部又は全部を同じく第１３族元素であるＧａとしたＣｕ－Ａｇ－Ｉｎ－Ｇａ－Ｓ、Ｃｕ－Ａｇ－Ｇａ－Ｓと考えることができる。
　なお、上述の元素を含む第１半導体であって、六方晶の結晶構造を有するものはウルツ鉱型であり、正方晶の結晶構造を有する半導体はカルコパイライト型である。結晶構造は、例えば、Ｘ線回折（ＸＲＤ）分析により得られるＸＲＤパターンを測定することによって同定される。具体的には、第１半導体から得られたＸＲＤパターンを、ＡｇＩｎＳ２の組成で表される半導体ナノ粒子のものとして既知のＸＲＤパターン、又は結晶構造パラメータからシミュレーションを行って求めたＸＲＤパターンと比較する。既知のパターン及びシミュレーションのパターンの中に、第１半導体のパターンと一致するものがあれば、当該半導体ナノ粒子の結晶構造は、その一致した既知又はシミュレーションのパターンの結晶構造であるといえる。
　半導体ナノ粒子の集合体においては、異なる結晶構造の第１半導体を含む半導体ナノ粒子が混在していてよい。その場合、ＸＲＤパターンにおいては、複数の結晶構造に由来するピークが観察される。一態様の半導体ナノ粒子では、第１半導体が実質的に正方晶からなっていてよく、正方晶に対応するピークが観察され、他の結晶構造に由来するピークは実質的に観察されなくてよい。
　第１半導体の組成におけるＡｇ及びＣｕの総含有率は、例えば１０モル％以上３０モル％以下であってよく、好ましくは１５モル％以上、又は２５モル％以下であってよい。第１半導体の組成におけるＩｎ及びＧａの総含有率は、例えば、１５モル％以上３５モル％以下であってよく、好ましくは２０モル％以上、又は３０モル％以下であってよい。第１半導体の組成におけるＳの総含有率は、例えば、３５モル％以上５５モル％以下であってよく、好ましくは４０モル％以上、又は５５モル％以下であってよい。
　第１半導体は、少なくともＡｇ及びＣｕを含み、その一部が置換されてＡｕ及びアルカリ金属の少なくとも１種をさらに含んでいてもよく、実質的にＡｇ及びＣｕから構成されていてよい。ここで「実質的に」とは、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｕ及びアルカリ金属の総原子数に対するＡｕ及びアルカリ金属の総原子数の割合が、例えば１０％以下であり、好ましくは５％以下、より好ましくは１％以下であることを示す。
　第１半導体の組成においては、Ａｇの一部がＣｕに置換されていると考えることができる。Ａｇの一部がＣｕに置換されることでＡｇのみの場合と比べて、例えば、バンドギャップが狭くなって発光ピーク波長が長波長側にシフトする。例えば、第１半導体の組成におけるＣｕとＡｇの合計モル数に対するＣｕのモル数の比（Ｃｕ／（Ｃｕ＋Ａｇ））は０．０１以上１．０未満であってよく、好ましくは０．０３以上、又は０．９９以下であってよく、より好ましくは０．０５以上、又は０．５以下であってよい。また例えば、第１半導体の組成におけるＣｕとＡｇとＩｎとＧａの合計モル数に対するＣｕとＡｇの合計モル数の比（（Ｃｕ＋Ａｇ）／（Ｃｕ＋Ａｇ＋Ｉｎ＋Ｇａ））は０．１以上１．０未満であってよく、好ましくは０．２以上、又は０．９９以下であってよい。
　また、第１半導体は、実質的にＡｇ、Ｃｕ及びアルカリ金属（以下、Ｍａと記すことがある）を構成元素としていてもよい。ここで「実質的に」とは、Ａｇ、Ｃｕ及びアルカリ金属、並びにＡｇ、Ｃｕ及びアルカリ金属以外の元素の総原子数に対するＡｇ、Ｃｕ及びアルカリ金属以外の元素の原子数の割合が、例えば１０％以下であり、好ましくは５％以下、より好ましくは１％以下であることを示す。なお、アルカリ金属には、リチウム（Ｌｉ）、ナトリウム（Ｎａ）、カリウム（Ｋ）、ルビジウム（Ｒｂ）及びセシウム（Ｃｓ）が含まれる。アルカリ金属は、Ａｇと同じく１価の陽イオンとなり得るため、第１半導体の組成におけるＡｇの一部を置換することができる。特にＬｉはＡｇとイオン半径が同程度であり、好ましく用いられる。第１半導体の組成において、Ａｇの一部が置換されることで、例えば、バンドギャップが広がって発光ピーク波長が短波長にシフトする。また、詳細は不明であるが、第１半導体の格子欠陥が低減されてバンド端発光の内部量子収率が向上すると考えられる。第１半導体がアルカリ金属を含む場合、少なくともＬｉを含んでいてよい。
　第１半導体がＡｇ、Ｃｕ及びアルカリ金属（Ｍａ）を含む場合、第１半導体の組成におけるアルカリ金属の含有率は、例えば、０モル％より大きく３０モル％未満であってよく、好ましくは、１モル％以上、又は２５モル％以下であってよい。また、第１半導体の組成におけるＡｇの原子数、Ｃｕの原子数及びアルカリ金属（Ｍａ）の原子数の合計に対するアルカリ金属（Ｍａ）の原子数の比（Ｍａ／（Ａｇ＋Ｃｕ＋Ｍａ））は、例えば、１未満であり、好ましくは０．８以下、より好ましくは０．４以下、更に好ましくは０．２以下である。またその比は、例えば、０より大きく、好ましくは０．０５以上、より好ましくは０．１以上である。
　第１半導体は、ＩｎとＧａを含み、その一部が置換されてＡｌ及びＴｌの少なくとも一方をさらに含んでいてもよく、実質的にＩｎ及びＧａから構成されていてもよい。ここで「実質的に」とは、Ｉｎ及びＧａ並びにＡｌ及びＴｌの総原子数に対するＡｌ及びＴｌの総原子数の割合が、例えば１０％以下であり、好ましくは５％以下、より好ましくは１％以下であることを示す。
　第１半導体におけるＩｎ及びＧａの総原子数に対するＩｎの原子数の比（Ｉｎ／（Ｉｎ＋Ｇａ））は、例えば、０．０１以上１未満であってよく、好ましくは０．１以上、又は０．９９以下であってよい。Ｉｎ及びＧａの総原子数に対するＩｎの原子数の比が所定の範囲であると、短波長の発光ピーク波長（例えば、５４５ｎｍ以下）を得ることができる。また、ＩｎとＧａの総原子数に対するＡｇの原子数の比（Ａｇ／（Ｉｎ＋Ｇａ））は、例えば、０．１以上１．２以下であってよく、好ましくは０．２以上、又は１．１以下であってよい。また、ＩｎとＧａの総原子数に対するＡｇとＣｕの総原子数の比（（Ａｇ＋Ｃｕ）／（Ｉｎ＋Ｇａ））は、例えば、０．１以上１．２以下であってよく、好ましくは０．２以上、又は１．０以下であってよい。Ａｇ、Ｉｎ及びＧａの総原子数に対するＳの原子数の比（Ｓ／（Ａｇ＋Ｉｎ＋Ｇａ））は、例えば、０．８以上１．５以下であってよく、好ましくは０．９以上、又は１．２以下であってよい。Ａｇ、Ｃｕ、Ｉｎ及びＧａの総原子数に対するＳの原子数の比（Ｓ／（Ａｇ＋Ｃｕ＋Ｉｎ＋Ｇａ））は、例えば、０．８以上１．５以下であってよく、好ましくは０．９以上、又は１．２以下であってよい。
　第１半導体は、Ｓを含み、その一部が置換されてＳｅ及びＴｅの少なくとも一方の元素をさらに含んでいてもよく、実質的にＳから構成されていてもよい。ここで「実質的に」とは、Ｓ、Ｓｅ及びＴｅの総原子数に対するＳｅ及びＴｅの総原子数の割合が、例えば１０％以下であり、好ましくは５％以下、より好ましくは１％以下であることを示す。
　第１半導体は、実質的にＣｕ、Ａｇ、Ｉｎ、Ｇａ、Ｓ及び前述のそれら一部を置換する元素から構成されてよい。ここで「実質的に」という用語は、不純物の混入等に起因して不可避的にＣｕ、Ａｇ、Ｉｎ、Ｇａ、Ｓ及び前述のそれら一部を置換する元素以外の他の元素が含まれることを考慮して使用している。
　第１半導体は、例えば、以下の式（１）で表される組成を有していてよい。
　　（ＡｇｐＣｕ（１－ｐ））ｑＩｎｒＧａ（１－ｒ）Ｓ（ｑ＋３）／２　　（１）
　ここで、ｐ、ｑ及びｒは、０＜ｐ＜１、０．２０＜ｑ≦１．２、０＜ｒ＜１を満たす。
　半導体ナノ粒子は、表面に第２半導体が配置されていてもよい。第２半導体は、第１半導体よりバンドギャップエネルギーが大きい半導体を含んでいてよい。第２半導体の組成は、第１半導体の組成に比べて、Ｇａのモル含有量が大きい組成を有していてよい。第１半導体の組成におけるＧａのモル含有量に対する第２半導体の組成におけるＧａのモル含有量の比は、例えば１より大きく５以下であってよく、好ましくは１．１以上であり、また好ましくは３以下であってよい。
　また、第２半導体の組成は、第１半導体の組成に比べて、Ａｇのモル含有量が小さい組成を有していてよい。第１半導体の組成におけるＡｇのモル含有量に対する第２半導体の組成におけるＡｇのモル含有量の比は、例えば０．１以上０．７以下であってよく、好ましくは０．２以上であり、また好ましくは０．５以下であってよい。第２半導体の組成におけるＡｇのモル含有量の比は、例えば０．５以下であってよく、好ましくは０．２以下、又は０．１以下であってよく、実質的に０であってよい。ここで「実質的に」とは、第２半導体に含まれるすべての元素の原子数の合計を１００％としたときに、Ａｇの原子数の割合が、例えば１０％以下、好ましくは５％以下、より好ましくは１％以下であることを示す。
　半導体ナノ粒子において、表面に配置される第２半導体は、Ｇａ及びＳを含む半導体を含んでいてよい。Ｇａ及びＳを含む半導体は、第１半導体よりバンドギャップエネルギーが大きい半導体であってよい。
　第２半導体に含まれるＧａ及びＳを含む半導体の組成においては、Ｇａの一部が、ホウ素（Ｂ）、アルミニウム（Ａｌ）、インジウム（Ｉｎ）及びタリウム（Ｔｌ）からなる群から選択される第１３族元素の少なくとも１種で置換されていてもよい。また、Ｓの一部が、酸素（Ｏ）、セレン（Ｓｅ）、テルル（Ｔｅ）及びポロニウム（Ｐｏ）からなる群から選択される第１６族元素の少なくとも１種で置換されていてもよい。
　Ｇａ及びＳを含む半導体は、実質的にＧａ及びＳからなる半導体であってよい。ここで「実質的に」とは、Ｇａ及びＳを含む半導体に含まれるすべての元素の原子数の合計を１００％としたときに、Ｇａ及びＳ以外の元素の原子数の割合が、例えば１０％以下、好ましくは５％以下、より好ましくは１％以下であることを示す。
　Ｇａ及びＳを含む半導体は、上述の第１半導体のバンドギャップエネルギーに応じて、その組成等を選択して構成してもよい。あるいは、Ｇａ及びＳを含む半導体の組成等が先に決定されている場合には、第１半導体のバンドギャップエネルギーがＧａ及びＳを含む半導体のそれよりも小さくなるように、第１半導体を設計してもよい。一般にＡｇ－Ｉｎ－Ｓからなる半導体は、１．８ｅＶ以上１．９ｅＶ以下のバンドギャップエネルギーを有する。
　具体的には、Ｇａ及びＳを含む半導体は、例えば２．０ｅＶ以上５．０ｅＶ以下、特に２．５ｅＶ以上５．０ｅＶ以下のバンドギャップエネルギーを有してよい。また、Ｇａ及びＳを含む半導体のバンドギャップエネルギーは、第１半導体のバンドギャップエネルギーよりも、例えば０．１ｅＶ以上３．０ｅＶ以下程度、特に０．３ｅＶ以上３．０ｅＶ以下程度、より特には０．５ｅＶ以上１．０ｅＶ以下程度大きいものであってよい。Ｇａ及びＳを含む半導体のバンドギャップエネルギーと第１半導体のバンドギャップエネルギーとの差が前記下限値以上であると、半導体ナノ粒子からの発光において、バンド端発光以外の発光の割合が少なくなり、バンド端発光の割合が大きくなる傾向がある。
　第２半導体は、酸素（Ｏ）原子を含んでいてよい。酸素原子を含む半導体は、上述の第１半導体よりも大きいバンドギャップエネルギーを有する半導体となる傾向にある。第２半導体における酸素原子を含む半導体の形態は明確ではないが、例えば、Ｇａ－Ｏ－Ｓ、Ｇａ２Ｏ３等であってよい。
　第２半導体は、Ｇａ及びＳに加えてアルカリ金属（Ｍａ）を更に含んでいてもよい。第２半導体に含まれるアルカリ金属は、少なくともリチウムを含んでいてよい。第２半導体がアルカリ金属を含む場合、アルカリ金属の原子数とＧａの原子数の総和に対するアルカリ金属の原子数の比は、例えば、０．０１以上１未満であってよく、好ましくは０．１以上、又は０．９以下であってよい。また、アルカリ金属の原子数とＧａの原子数の総和に対するＳの原子数の比は、例えば、０．２５以上０．７５以下であってよい。
　第２半導体は、その晶系が第１半導体の晶系となじみのあるものであってよく、またその格子定数が、第１半導体の格子定数と同じ又は近いものであってよい。晶系になじみがあり、格子定数が近い（ここでは、第２半導体の格子定数の倍数が、第１半導体の格子定数に近いものも格子定数が近いものとする）第２半導体は、第１半導体の周囲を良好に被覆することがある。例えば、上述の第１半導体は、一般に正方晶系であるが、これになじみのある晶系としては、正方晶系、斜方晶系が挙げられる。Ａｇ－Ｉｎ－Ｓが正方晶系である場合、その格子定数は０．５８２８ｎｍ、０．５８２８ｎｍ、１．１１９ｎｍであり、これを被覆する第２半導体は、正方晶系又は斜方晶系であって、その格子定数又はその倍数が、Ａｇ－Ｉｎ－Ｓの格子定数と近いものであることが好ましい。あるいは、第２半導体はアモルファス（非晶質）であってもよい。
　第２半導体がアモルファス（非晶質）であるか否かは、半導体ナノ粒子を、ＨＡＡＤＦ－ＳＴＥＭで観察することにより確認できる。第２半導体がアモルファス（非晶質）である場合、具体的には、規則的な模様、例えば、縞模様ないしはドット模様等を有する部分が中心部に観察され、その周囲に規則的な模様を有するものとしては観察されない部分がＨＡＡＤＦ－ＳＴＥＭにおいて観察される。ＨＡＡＤＦ－ＳＴＥＭによれば、結晶性物質のように規則的な構造を有するものは、規則的な模様を有する像として観察され、非晶性物質のように規則的な構造を有しないものは、規則的な模様を有する像としては観察されない。そのため、第２半導体がアモルファスである場合には、規則的な模様を有する像として観察される第１半導体（正方晶系等の結晶構造を有していてよい）とは明確に異なる部分として、第２半導体を観察することができる。
　また、第２半導体がＧａ－Ｓからなる場合、Ｇａが第１半導体に含まれるＡｇ及びＩｎよりも軽い元素であるために、ＨＡＡＤＦ－ＳＴＥＭで得られる像において、第２半導体は第１半導体よりも暗い像として観察される傾向にある。
　第２半導体がアモルファスであるか否かは、高解像度の透過型電子顕微鏡（ＨＲＴＥＭ）で本実施形態の半導体ナノ粒子を観察することによっても確認できる。ＨＲＴＥＭで得られる画像において、第１半導体の部分は結晶格子像（規則的な模様を有する像）として観察され、アモルファスである第２半導体の部分は結晶格子像として観察されず、白黒のコントラストは観察されるが、規則的な模様は見えない部分として観察される。
　一方、第２半導体は、第１半導体と固溶体を構成しないものであることが好ましい。第２半導体が第１半導体と固溶体を形成すると両者が一体のものとなり、第一半導体を含むナノ粒子の表面に第２半導体が配置されることによりバンド端発光を得るという、本実施形態のメカニズムが得られなくなる。例えば、Ａｇ－Ｉｎ－Ｓからなる第１半導体を含む半導体ナノ粒子の表面に、化学量論組成ないしは非化学量論組成の硫化亜鉛（Ｚｎ－Ｓ）が配置されても、半導体ナノ粒子からバンド端発光が得られないことが確認されている。Ｚｎ－Ｓは、Ａｇ－Ｉｎ－Ｓとの関係では、バンドギャップエネルギーに関して上記の条件を満たし、ｔｙｐｅ－Ｉのバンドアライメントを与えるものである。それにもかかわらず、前記特定の半導体からバンド端発光が得られなかったのは、第１半導体とＺｎＳとが固溶体を形成したことによると推察される。
　半導体ナノ粒子の粒径は、例えば、５０ｎｍ以下の平均粒径を有してよい。平均粒径は、製造のしやすさとバンド端発光の内部量子収率の点より、１ｎｍ以上２０ｎｍ以下の範囲が好ましく、１．６ｎｍ以上、又は８ｎｍ以下がより好ましく、２ｎｍ以上、又は７．５ｎｍ以下が特に好ましい。
　半導体ナノ粒子の平均粒径は、例えば、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）を用いて撮影されたＴＥＭ像から求めてよい。個々の粒子の粒径は、具体的には、ＴＥＭ像で観察される粒子の外周の任意の２点を結び、粒子の内部に存在する線分のうち、最も長いものを指す。
　ただし、粒子がロッド形状を有するものである場合には、短軸の長さを粒径とみなす。ここで、ロッド形状の粒子とは、ＴＥＭ像において短軸と短軸に直交する長軸とを有し、短軸の長さに対する長軸の長さの比が１．２より大きいものを指す。ロッド形状の粒子は、ＴＥＭ像で、例えば、長方形状を含む四角形状、楕円形状、又は多角形状等として観察される。ロッド形状の長軸に直交する面である断面の形状は、例えば、円、楕円、又は多角形であってよい。具体的にはロッド状の形状の粒子について、長軸の長さは、楕円形状の場合には、粒子の外周の任意の２点を結ぶ線分のうち、最も長い線分の長さを指し、長方形状又は多角形状の場合、外周を規定する辺の中で最も長い辺に平行であり、かつ粒子の外周の任意の二点を結ぶ線分のうち、最も長い線分の長さを指す。短軸の長さは、外周の任意の２点を結ぶ線分のうち、前記長軸の長さを規定する線分に直交し、かつ最も長さの長い線分の長さを指す。
　半導体ナノ粒子の平均粒径は、５０，０００倍以上１５０，０００倍以下のＴＥＭ像で観察される、すべての計測可能な粒子について粒径を測定し、それらの粒径の算術平均とする。ここで、「計測可能な」粒子は、ＴＥＭ像において粒子全体の輪郭が観察できるものである。したがって、ＴＥＭ像において、粒子の輪郭の一部が撮像範囲に含まれておらず、「切れて」いるような粒子は計測可能なものではない。１つのＴＥＭ像に含まれる計測可能な粒子数が１００以上である場合には、そのＴＥＭ像を用いて平均粒径を求める。一方、１つのＴＥＭ像に含まれる計測可能な粒子の数が１００未満の場合には、撮像場所を変更して、ＴＥＭ像をさらに取得し、２以上のＴＥＭ像に含まれる１００以上の計測可能な粒子について粒径を測定して平均粒径を求める。
　半導体ナノ粒子において、第１半導体からなる部分は粒子状であってよく、例えば、１０ｎｍ以下、特に、８ｎｍ以下、又は７．５ｎｍ未満の平均粒径を有してよい。第１半導体の平均粒径は、例えば１．５ｎｍ以上１０ｎｍ以下、好ましくは１．５ｎｍ以上８ｎｍ未満、又は１．５ｎｍ以上７．５ｎｍ未満の範囲内にあってよい。第１半導体の平均粒径が前記上限値以下であると、量子サイズ効果を得られ易い。
　半導体ナノ粒子おける第２半導体からなる部分の厚みは０．１ｎｍ以上５０ｎｍ以下の範囲内、０．１ｎｍ以上１０ｎｍ以下の範囲内、特に０．３ｎｍ以上３ｎｍ以下の範囲内にあってよい。第２半導体の厚みが前記下限値以上である場合には、半導体ナノ粒子において第２半導体が配置されることによる効果が十分に得られ、バンド端発光を得られ易い。
　第１半導体の平均粒径及び第２半導体の厚みは、半導体ナノ粒子を、例えば、ＨＡＡＤＦ－ＳＴＥＭで観察することにより求めてよい。特に、第２半導体がアモルファスである場合には、ＨＡＡＤＦ－ＳＴＥＭによって、第１半導体とは異なる部分として観察されやすい第２半導体部分の厚みを容易に求めることができる。その場合、第１半導体の粒径は、半導体ナノ粒子について上記で説明した方法に従って求めることができる。第２半導体の厚みが一定でない場合には、最も小さい厚みを、当該半導体ナノ粒子における第２半導体の厚みとする。
　半導体ナノ粒子は、結晶構造が実質的に正方晶であることが好ましい。結晶構造は、上述と同様にＸ線回折（ＸＲＤ）分析により得られるＸＲＤパターンを測定することによって同定される。実質的に正方晶であるとは、正方晶であることを示す２６°付近のメインピークの高さに対する六方晶及び斜方晶であることを示す４８°付近のピークの高さの比が、例えば、１０％以下、又は５％以下であることをいう。
　半導体ナノ粒子は、３６５ｎｍの波長の光照射により、６００ｎｍ以上６８０ｎｍ以下の波長範囲に発光ピーク波長を有するバンド端発光を示してもよく、発光ピーク波長の範囲は好ましくは６１０ｎｍ以上、又は６７０ｎｍ以下であってよく、より好ましくは６２０ｎｍ以上、又は６６０ｎｍ以下であってよい。また、半導体ナノ粒子は、その発光スペクトルにおける半値幅が、例えば、７０ｎｍ以下であってよく、好ましくは６５ｎｍ以下、または６０ｎｍ以下あってよい。半値幅の下限は例えば、１５ｎｍ以上であってよい。また、主成分（バンド端発光）の発光の寿命が２００ｎｓ以下であることが好ましい。
　ここで、「発光の寿命」とは、蛍光寿命測定装置と称される装置を用いて測定される発光の寿命をいう。具体的には、上記「主成分の発光寿命」は、次の手順に従って求められる。まず、半導体ナノ粒子に励起光を照射して発光させ、発光スペクトルのピーク付近の波長、例えば、ピークの波長±５０ｎｍの範囲内にある波長の光について、その減衰（残光）の経時変化を測定する。経時変化は、励起光の照射を止めた時点から測定する。得られる減衰曲線は一般に、発光、熱等の緩和過程に由来する複数の減衰曲線を足し合わせたものとなっている。そこで、本実施形態では、３つの成分（すなわち、３つの減衰曲線）が含まれると仮定して、発光強度をＩ（ｔ）としたときに、減衰曲線が下記の式で表せるように、パラメータフィッティングを行う。パラメータフィッティングは、専用ソフトを使用して実施する。
　Ｉ（ｔ）　＝　Ａ１ｅｘｐ（－ｔ／τ１）　＋　Ａ２ｅｘｐ（－ｔ／τ２）　＋　Ａ３ｅｘｐ（－ｔ／τ３）
　上記の式中、各成分のτ１、τ２およびτ３は、発光強度が初期の１／ｅ（３６．８％）に減衰するのに要する時間であり、これが各成分の発光寿命に相当する。発光寿命の短い順にτ１、τ２およびτ３とする。また、Ａ１、Ａ２およびＡ３は、各成分の寄与率である。例えば、Ａｘｅｘｐ（－ｔ／τｘ）で表される曲線の積分値が最も大きいものを主成分としたときに、主成分の発光寿命τが２００ｎｓ以下である。そのような発光は、バンド端発光であると推察される。なお、主成分の特定に際しては、Ａｘｅｘｐ（－ｔ／τｘ）のｔの値を０から無限大まで積分することによって得られるＡｘ×τｘを比較し、この値が最も大きいものを主成分とする。
　なお、発光の減衰曲線が３つ、４つ、または５つの成分を含むものと仮定してパラメータフィッティングを行って得られる式がそれぞれ描く減衰曲線と、実際の減衰曲線とのずれは、それほど変わらない。そのため、本実施形態では、主成分の発光寿命を求めるにあたり、発光の減衰曲線に含まれる成分の数を３と仮定し、それによりパラメータフィッティングが煩雑となることを避けている。
　半導体ナノ粒子の発光は、バンド端発光に加えて欠陥発光（例えば、ドナーアクセプター発光）を含むものであってもよいが、実質的にバンド端発光のみであることが好ましい。欠陥発光は一般に発光の寿命が長く、またブロードなスペクトルを有し、バンド端発光よりも長波長側にそのピークを有する。ここで、実質的にバンド端発光のみであるとは、発光スペクトルにおけるバンド端発光成分の純度（以下、「バンド端発光純度」ともいう）が、４０％以上であることをいうが、７０％以上が好ましく、８０％以上がより好ましく、９０％以上が更に好ましく、９５％以上が特に好ましい。バンド端発光成分の純度の上限値は、例えば、１００％以下、１００％未満、又は９９％以下であってよい。「バンド端発光成分の純度」とは、発光スペクトルに対し、バンド端発光のピークと欠陥発光のピークの形状を正規分布と仮定したパラメータフィッティングを行って、バンド端発光のピークと欠陥発光のピークの２つに分離し、それらの面積をそれぞれａ１、ａ２とした時、下記の式で表される。
　　バンド端発光成分の純度（％）　＝　ａ１／（ａ１＋ａ２）×１００
　発光スペクトルがバンド端発光を全く含まない場合、すなわち欠陥発光のみを含む場合は０％、バンド端発光と欠陥発光のピーク面積が同じ場合は５０％、バンド端発光のみを含む場合は１００％となる。
　バンド端発光の内部量子収率は温度２５℃において量子収率測定装置を用いて、励起光波長４５０ｎｍ、蛍光波長範囲４７０ｎｍ以上９００ｎｍ以下の条件で計算された内部量子収率、あるいは励起光波長３６５ｎｍ、蛍光波長範囲４５０ｎｍ以上９５０ｎｍ以下の条件で計算された内部量子収率、あるいは励起光波長４５０ｎｍ、蛍光波長範囲５００ｎｍ以上９５０ｎｍ以下の条件で計算された内部量子収率に上記バンド端発光成分の純度を乗じ、１００で除した値として定義される。半導体ナノ粒子のバンド端発光の内部量子収率は、例えば１５％以上であり、５０％以上が好ましく、６０％以上がより好ましく、７０％以上が更に好ましく、８０％以上が特に好ましい。
　半導体ナノ粒子が発するバンド端発光は、半導体ナノ粒子の粒径を変化させることによって、ピークの位置を変化させることができる。例えば、半導体ナノ粒子の粒径をより小さくすると、バンド端発光のピーク波長が短波長側にシフトする傾向にある。さらに、半導体ナノ粒子の粒径をより小さくすると、バンド端発光のスペクトルの半値幅がより小さくなる傾向にある。
　半導体ナノ粒子がバンド端発光に加えて欠陥発光を示す場合、バンド端発光の強度比は、例えば、０．７５以上であってよく、好ましくは０．８５以上であり、より好ましくは０．９以上であり、特に好ましくは０．９３以上であり、上限値は、例えば、１以下、１未満、又は０．９９以下であってよい。なお、バンド端発光の強度比は、発光スペクトルに対し、バンド端発光のピークと欠陥発光のピークの形状をそれぞれ正規分布と仮定したパラメータフィッティングを行って、バンド端発光のピークと欠陥発光のピークの２つに分離し、それらの最大ピーク強度をそれぞれｂ１、ｂ２とした時、下記の式で表される。
　バンド端発光の強度比　＝　ｂ１／（ｂ１＋ｂ２）
　バンド端発光の強度比は、発光スペクトルがバンド端発光を全く含まない場合、すなわち欠陥発光のみを含む場合は０、バンド端発光と欠陥発光の最大ピーク強度が同じ場合は０．５、バンド端発光のみを含む場合は１となる。 
　半導体ナノ粒子は、その吸収スペクトル又は励起スペクトル（蛍光励起スペクトルともいう）がエキシトンピークを示すものであることが好ましい。エキシトンピークは、励起子生成により得られるピークであり、これが吸収スペクトル又は励起スペクトルにおいて発現しているということは、粒径の分布が小さく、結晶欠陥の少ないバンド端発光に適した粒子であることを意味する。エキシトンピークが急峻になるほど、粒径がそろった結晶欠陥の少ない粒子が半導体ナノ粒子の集合体により多く含まれていることを意味する。したがって、発光の半値幅は狭くなり、発光効率が向上すると予想される。本実施形態の半導体ナノ粒子の吸収スペクトル又は励起スペクトルにおいて、エキシトンピークは、例えば、４００ｎｍ以上５５０ｎｍ以下、好ましくは４３０ｎｍ以上５００ｎｍ以下の範囲内で観察される。エキシトンピークの有無を見るための励起スペクトルは、観測波長をピーク波長付近に設定して測定してよい。
　半導体ナノ粒子は、その表面が表面修飾剤で修飾されていてもよい。表面修飾剤の具体例としては、炭素数２以上２０以下のアミノアルコール、イオン性表面修飾剤、ノニオン性表面修飾剤、炭素数４以上２０以下の炭化水素基を有する含窒素化合物、炭素数４以上２０以下の炭化水素基を有する含硫黄化合物、炭素数４以上２０以下の炭化水素基を有する含酸素化合物、炭素数４以上２０以下の炭化水素基を有する含リン化合物、第２族元素、第１２族元素又は第１３族元素のハロゲン化物等を挙げることができる。表面修飾剤は、１種単独でも、異なる２種以上のものを組み合わせて用いてよい。なお、ここで例示した表面修飾剤の詳細は上述の通りである。
　半導体ナノ粒子は、その表面がガリウムハロゲン化物により表面修飾されていてもよい。半導体ナノ粒子の表面がガリウムハロゲン化物により表面修飾されることにより、バンド端発光の内部量子収率が向上する。ガリウムハロゲン化物の具体例としては、塩化ガリウム、フッ化ガリウム、臭化ガリウム、ヨウ化ガリウム等が挙げられる。
　半導体ナノ粒子における第２半導体は、その表面がガリウムハロゲン化物により表面修飾されていてもよい。半導体ナノ粒子における第２半導体の表面がガリウムハロゲン化物により表面修飾されることにより、バンド端発光の内部量子収率が向上する。
　ガリウムハロゲン化物によって表面修飾された半導体ナノ粒子の発光は、バンド端発光に加えて欠陥発光（ドナーアクセプター発光）を含むものであってもよいが、実質的にバンド端発光のみであることが好ましい。実質的にバンド端発光のみであるとは、上述の半導体ナノ粒子で述べたとおりであり、バンド端発光成分の純度は、７０％以上が好ましく、８０％以上がより好ましく、９０％以上が更に好ましく、９５％以上が特に好ましい。
　ガリウムハロゲン化物によって表面修飾された半導体ナノ粒子のバンド端発光の内部量子収率の測定は、上述の半導体ナノ粒子で述べたとおりであり、バンド端発光の内部量子収率は、例えば、１５％以上であり、５０％以上が好ましく、６０％以上がより好ましく、７０％以上が更に好ましく、８０％以上が特に好ましい。
発光デバイス
　発光デバイスは、既述の半導体ナノ粒子を含む光変換部材と、半導体発光素子とを備える。この発光デバイスによれば、例えば、半導体発光素子からの発光の一部を、半導体ナノ粒子が吸収してより長波長の光が発せられる。そして、半導体ナノ粒子からの光と半導体発光素子からの発光の残部とが混合され、その混合光を発光デバイスの発光として利用できる。
　具体的には、半導体発光素子としてピーク波長が４００ｎｍ以上４９０ｎｍ以下程度の青紫色光又は青色光を発するものを用い、半導体ナノ粒子として青色光を吸収して黄色光を発光するものを用いれば、白色光を発光する発光デバイスを得ることができる。あるいは、半導体ナノ粒子として、青色光を吸収して緑色光を発光するものと、青色光を吸収して赤色光を発光するものの２種類を用いても、白色発光デバイスを得ることができる。
　あるいは、ピーク波長が４００ｎｍ以下の紫外線を発光する半導体発光素子を用い、紫外線を吸収して青色光、緑色光、赤色光をそれぞれ発光する、３種類の半導体ナノ粒子を用いる場合でも、白色発光デバイスを得ることができる。この場合、発光素子から発せられる紫外線が外部に漏れないように、発光素子からの光をすべて半導体ナノ粒子に吸収させて変換させることが望ましい。
　あるいはまた、ピーク波長が４９０ｎｍ以上５１０ｎｍ以下程度の青緑色光を発するものを用い、半導体ナノ粒子として上記の青緑色光を吸収して赤色光を発するものを用いれば、白色光を発光するデバイスを得ることができる。
　あるいはまた、半導体発光素子として可視光を発光するもの、例えば波長７００ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の赤色光を発光するものを用い、半導体ナノ粒子として、可視光を吸収して近赤外線を発光するものを用いれば、近赤外線を発光する発光デバイスを得ることもできる。
　半導体ナノ粒子は、他の半導体量子ドットと組み合わせて用いてよく、あるいは他の量子ドットではない蛍光体（例えば、有機蛍光体又は無機蛍光体）と組み合わせて用いてよい。他の半導体量子ドットは、例えば、二元系の半導体量子ドットである。量子ドットではない蛍光体として、例えば、アルミニウムガーネット等のガーネット系蛍光体を用いることができる。ガーネット系蛍光体としては、セリウムで賦活されたイットリウム・アルミニウム・ガーネット系蛍光体、セリウムで賦活されたルテチウム・アルミニウム・ガーネット系蛍光体が挙げられる。他にユウロピウム及び／又はクロムで賦活された窒素含有アルミノ珪酸カルシウム系蛍光体、ユウロピウムで賦活されたシリケート系蛍光体、β－ＳｉＡｌＯＮ系蛍光体、ＣＡＳＮ系又はＳＣＡＳＮ系等の窒化物系蛍光体、ＬｎＳｉ３Ｎ１１系又はＬｎＳｉＡｌＯＮ系等の希土類窒化物系蛍光体、ＢａＳｉ２Ｏ２Ｎ２：Ｅｕ系又はＢａ３Ｓｉ６Ｏ１２Ｎ２：Ｅｕ系等の酸窒化物系蛍光体、ＣａＳ系、ＳｒＧａ２Ｓ４系、ＺｎＳ系等の硫化物系蛍光体、クロロシリケート系蛍光体、ＳｒＬｉＡｌ３Ｎ４：Ｅｕ蛍光体、ＳｒＭｇ３ＳｉＮ４：Ｅｕ蛍光体、マンガンで賦活されたフッ化物錯体蛍光体としてのＫ２ＳｉＦ６：Ｍｎ蛍光体などを用いることができる。
　発光デバイスにおいて、半導体ナノ粒子を含む光変換部材は、例えばシート又は板状部材であってよく、あるいは三次元的な形状を有する部材であってよい。三次元的な形状を有する部材の例は、表面実装型の発光ダイオードにおいて、パッケージに形成された凹部の底面に半導体発光素子が配置されているときに、発光素子を封止するために凹部に樹脂が充填されて形成された封止部材である。
　又は、光変換部材の別の例は、平面基板上に半導体発光素子が配置されている場合にあっては、前記半導体発光素子の上面及び側面を略均一な厚みで取り囲むように形成された樹脂部材である。あるいはまた、光変換部材のさらに別の例は、半導体発光素子の周囲にその上端が半導体発光素子と同一平面を構成するように反射材を含む樹脂部材が充填されている場合にあっては、前記半導体発光素子及び前記反射材を含む樹脂部材の上部に、所定の厚みで平板状に形成された樹脂部材である。
　光変換部材は半導体発光素子に接してよく、あるいは半導体発光素子から離れて設けられていてよい。具体的には、光変換部材は、半導体発光素子から離れて配置される、ペレット状部材、シート部材、板状部材又は棒状部材であってよく、あるいは半導体発光素子に接して設けられる部材、例えば、封止部材、コーティング部材（モールド部材とは別に設けられる発光素子を覆う部材）又はモールド部材（例えば、レンズ形状を有する部材を含む）であってよい。
　また、発光デバイスにおいて、異なる波長の発光を示す２種類以上の半導体ナノ粒子を用いる場合には、１つの光変換部材内で前記２種類以上の半導体ナノ粒子が混合されていてもよいし、あるいは１種類の半導体ナノ粒子のみを含む光変換部材を２つ以上組み合わせて用いてもよい。この場合、２種類以上の光変換部材は積層構造を成してもよいし、平面上にドット状ないしストライプ状のパターンとして配置されていてもよい。
　半導体発光素子としてはＬＥＤチップが挙げられる。ＬＥＤチップは、ＧａＮ、ＧａＡｓ、ＩｎＧａＮ、ＡｌＩｎＧａＰ、ＧａＰ、ＳｉＣ、及びＺｎＯ等から成る群より選択される１種又は２種以上から成る半導体層を備えたものであってよい。青紫色光、青色光、又は紫外線を発光する半導体発光素子は、例えば、組成がＩｎＸＡｌＹＧａ１－Ｘ－ＹＮ（０≦Ｘ、０≦Ｙ、Ｘ＋Ｙ＜１）で表わされるＧａＮ系化合物を半導体層として備えたものである。
　本実施形態の発光デバイスは、光源として液晶表示装置に組み込まれることが好ましい。半導体ナノ粒子によるバンド端発光は発光寿命の短いものであるため、これを用いた発光デバイスは、比較的速い応答速度が要求される液晶表示装置の光源に適している。また、本実施形態の半導体ナノ粒子は、バンド端発光として半値幅の小さい発光ピークを示し得る。したがって、発光デバイスにおいて：青色半導体発光素子によりピーク波長が４２０ｎｍ以上４９０ｎｍ以下の範囲内にある青色光を得るようにし、半導体ナノ粒子により、ピーク波長が５１０ｎｍ以上５５０ｎｍ以下、好ましくは５３０ｎｍ以上５４０ｎｍ以下の範囲内にある緑色光、及びピーク波長が６００ｎｍ以上６８０ｎｍ以下、好ましくは６３０ｎｍ以上６５０ｎｍ以下の範囲内にある赤色光を得るようにする；又は発光デバイスにおいて、半導体発光素子によりピーク波長４００ｎｍ以下の紫外光を得るようにし、半導体ナノ粒子によりピーク波長が４３０ｎｍ以上４７０ｎｍ以下、好ましくは４４０ｎｍ以上４６０ｎｍ以下の範囲内にある青色光、ピーク波長が５１０ｎｍ以上５５０ｎｍ以下、好ましくは５３０ｎｍ以上５４０ｎｍ以下の範囲内にある緑色光、及びピーク波長が６００ｎｍ以上６８０ｎｍ以下、好ましくは６３０ｎｍ以上６５０ｎｍ以下の範囲内にある赤色光を得るようにすることによって、濃いカラーフィルターを用いることなく、色再現性の良い液晶表示装置が得られる。発光デバイスは、例えば、直下型のバックライトとして、又はエッジ型のバックライトとして用いられる。
　あるいは、半導体ナノ粒子を含む、樹脂もしくはガラス等からなるシート、板状部材、又はロッドが、発光デバイスとは独立した光変換部材として液晶表示装置に組み込まれていてよい。
　本開示は、以下の態様をさらに包含していてよい。
［１］　銅（Ｃｕ）塩と、銀（Ａｇ）塩と、インジウム（Ｉｎ）及びガリウム（Ｇａ）の少なくとも一方を含む塩と、ガリウムハロゲン化物と、有機溶剤と、を含む第１混合物を第１熱処理して第１半導体ナノ粒子を得ることを含み、前記第１混合物におけるＣｕ塩、Ａｇ塩、並びにＩｎ及びＧａの少なくとも一方を含む塩のうち少なくとも１つの塩が、金属と硫黄（Ｓ）との結合を有する化合物を含む半導体ナノ粒子の製造方法。
［２］　前記第１混合物における、Ａｇ塩とＣｕ塩の合計量に対するガリウムハロゲン化物の含有量のモル比が０．０１以上１以下である［１］に記載の半導体ナノ粒子の製造方法。
［３］　前記第１混合物における、Ａｇ塩とＣｕ塩の濃度の合計が０．００１ミリモル／リットル以上５００ミリモル／リットル以下である［１］又は［２］に記載の半導体ナノ粒子の製造方法。
［４］　前記第１熱処理は、２００℃以上３２０℃以下で行われる［１］から［３］のいずれかに記載の半導体ナノ粒子の製造方法
［５］　前記第１混合物におけるガリウムハロゲン化物は、塩化ガリウムを含む［１］から［４］のいずれかに記載の半導体ナノ粒子の製造方法。
［６］　前記第１混合物におけるＣｕ塩が、Ｃｕ－Ｓ結合を有する化合物を含む［１］から［５］のいずれかに記載の半導体ナノ粒子の製造方法。
［７］　前記第１半導体ナノ粒子と、ガリウムハロゲン化物とを含む第２混合物を第２熱処理して第２半導体ナノ粒子を得ることを更に含む［１］から［６］のいずれかに記載の半導体ナノ粒子の製造方法。
［８］　前記第２混合物における、第１半導体ナノ粒子に対するガリウムハロゲン化物のモル比が０．０１以上５０以下である［７］に記載の半導体ナノ粒子の製造方法。
［９］　前記第２混合物におけるガリウムハロゲン化物は、塩化ガリウムを含む［７］又は［８］に記載の半導体ナノ粒子の製造方法。
［１０］　前記第２熱処理は、２００℃以上３２０℃以下で行われる［７］から［９］のいずれかに記載の半導体ナノ粒子の製造方法。
［１１］　銅（Ｃｕ）、銀（Ａｇ）、インジウム（Ｉｎ）、ガリウム（Ｇａ）及び硫黄（Ｓ）を含む第１半導体を含む半導体ナノ粒子であって、前記半導体ナノ粒子の表面には、Ｇａ及びＳを含み、実質的にＡｇを含まない第２半導体が配置され、３６５ｎｍの波長の光照射により、６００ｎｍ以上６８０ｎｍ以下の波長範囲に発光ピーク波長を有するバンド端発光を示し、バンド端発光純度が６０％以上であって、バンド端発光の内部量子収率が１５％以上である半導体ナノ粒子。
［１２］　前記半導体ナノ粒子の発光スペクトルにおける半値幅が、７０ｎｍ以下である［１１］に記載の半導体ナノ粒子。
［１３］　前記半導体ナノ粒子は、その表面がガリウムハロゲン化物により表面修飾されている［１１］又は［１２］に記載の半導体ナノ粒子。
［１４］　［１１］から［１３］のいずれかに記載の半導体ナノ粒子を含む光変換部材と、半導体発光素子とを備える発光デバイス。
［１５］　前記半導体発光素子は、ＬＥＤチップである［１４］に記載の発光デバイス。
　以下、本発明を実施例により具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
（実施例１）
第１工程
　０．１ｍｍｏｌのエチルキサントゲン酸銅（Ｉ）（Ｃｕ（ＥＸ））、０．４ｍｍｏｌのエチルキサントゲン酸銀（Ａｇ（ＥＸ））、０．５ｍｍｏｌの酢酸インジウム（Ｉｎ（ＯＡｃ）３）、１．０ｍｍｏｌのガリウムアセチルアセトナート（Ｇａ（ａｃａｃ）３）、０．０７５ｍｍｏｌの塩化ガリウム（ＧａＣｌ３）を、１００ｍＬのオレイルアミン（ＯＬＡ）と混合して第１混合物を得た。第１混合物を、窒素雰囲気下で、撹拌しながら、２６０℃で１２０分の熱処理を実施した。得られた懸濁液を放冷した後、遠心分離（半径１４６ｍｍ、２８００ｒｐｍ、５分間）に付し、沈殿物を取り除いて、第１半導体ナノ粒子の分散液を得た。
発光スペクトルの測定
　上記で得られた第１半導体ナノ粒子の発光スペクトルを測定し、バンド端発光ピーク波長、半値幅、バンド端発光純度、バンド端発光の内部量子収率を算出した。なお、発光スペクトルは、量子効率測定システム（大塚電子製、商品名ＱＥ－２１００）を用いて、室温（２５℃）で、励起光波長３６５ｎｍで行い、３００ｎｍから９５０ｎｍの波長範囲で測定し、内部量子収率は４５０ｎｍから９５０ｎｍの波長範囲より計算した。その結果を表１および図１に示す。図１には、実施例１の半導体ナノ粒子の最大発光強度で規格化した相対発光強度の発光スペクトルを示す。
（実施例２）
第１工程
　０．１ｍｍｏｌのエチルキサントゲン酸銅（Ｉ）（Ｃｕ（ＥＸ））、０．４ｍｍｏｌのエチルキサントゲン酸銀（Ａｇ（ＥＸ））、０．５ｍｍｏｌの酢酸インジウム（Ｉｎ（ＯＡｃ）３）、１．０ｍｍｏｌのガリウムアセチルアセトナート（Ｇａ（ａｃａｃ）３）、０．０７５ｍｍｏｌの塩化ガリウム（ＧａＣｌ３）を、１００ｍＬのオレイルアミン（ＯＬＡ）と混合して第１混合物を得た。第１混合物を、窒素雰囲気下で、撹拌しながら、２６０℃で１２０分の熱処理を実施した。得られた懸濁液を放冷した後、遠心分離（半径１４６ｍｍ、２８００ｒｐｍ、５分間）に付し、沈殿物を取り除いて、第１半導体ナノ粒子の分散液を得た。
第２工程
　上記で得られた第１半導体ナノ粒子をナノ粒子濃度で０．３ｍｍｏｌ相当含む６０ｍＬの分散液と０．９ｍｍｏｌの塩化ガリウム（ＧａＣｌ３）を含むオレイルアミン９．０ｍＬとを混合して第２混合物を得た。第２混合物を、窒素雰囲気下で、撹拌しながら、２７０℃で１２０分の熱処理を実施した。熱処理後、得られた懸濁液を放冷し、第２半導体ナノ粒子の分散液を得た。
　得られた第２半導体ナノ粒子について実施例１と同様に測定した発光スペクトルの測定結果を表１及び図１に示す。
（比較例１）
半導体ナノ粒子の合成
　０．０２ｍｍｏｌの酢酸第二銅（Ｃｕ（ＯＡｃ）２）、０．７８ｍｍｏｌの酢酸銀（ＡｇＯＡｃ）、０．８ｍｍｏｌの酢酸インジウム（Ｉｎ（ＯＡｃ）３）、２．５ｍｍｏｌのドデカンチオール（ＤＤＴ）、２０ｍＬのオレイルアミンを混合して、窒素雰囲気下で１４０℃に加熱した。１４０℃に達してから、０．４ｍｍｏｌ／Ｌの１，３－ジブチルジチオ尿素（１，３－ｄｂｔｕ）を含むオレイルアミン溶液の６００μＬを、シリンジポンプを用いて３０分かけて滴下した。滴下終了後さらに１４０℃で３０分の熱処理を行った。熱処理後、得られた懸濁液を放冷して、半導体ナノ粒子の分散液を得た。
　上記で得られた半導体ナノ粒子０．０３ｍｍｏｌを含むオレイルアミン分散液２．６３ｍＬと、０．０６７ｍｍｏｌのガリウムアセチルアセトナート（Ｇａ（ａｃａｃ）３）と、０．０６７ｍｍｏｌの１，３ジメチルジチオ尿素（１，３－ｄｍｔｕ）と、７．０ｍｌのオレイルアミンと、を混合して混合物を得た。混合物を８０℃で３０分減圧した後、２５０℃まで２５℃／分で昇温し、その後２８０℃まで２℃／分で昇温した。２８０℃で１分熱処理した後に放冷し、比較例１の半導体ナノ粒子の懸濁液を得た。
　得られた比較例１の半導体ナノ粒子について実施例１と同様に行った発光スペクトルの測定結果を表１及び図１に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
　表１より、実施例１においてはワンポット合成によって６１０ｎｍから６５０ｎｍの範囲に発光ピーク波長を有するバンド端発光を示す半導体ナノ粒子が得られていることから、比較例１と比べて効率的な製造方法であることを確認できた。また、実施例２においては、比較例１と比べて、高いバンド端発光純度及び内部量子収率を示す半導体ナノ粒子が得られた。
　日本国特許出願２０２１－１２６８５９号（出願日：２０２１年８月２日）の開示はその全体が参照により本明細書に取り込まれる。本明細書に記載された全ての文献、特許出願、及び技術規格は、個々の文献、特許出願、及び技術規格が参照により取り込まれることが具体的かつ個々に記された場合と同程度に、本明細書に参照により取り込まれる。

Claims (15)

  1. 　銅（Ｃｕ）塩と、銀（Ａｇ）塩と、インジウム（Ｉｎ）及びガリウム（Ｇａ）の少なくとも一方を含む塩と、ガリウムハロゲン化物と、有機溶剤と、を含む第１混合物を第１熱処理して第１半導体ナノ粒子を得ることを含み、前記第１混合物におけるＣｕ塩、Ａｇ塩、並びにＩｎ及びＧａの少なくとも一方を含む塩のうち少なくとも１つの塩が、金属と硫黄（Ｓ）との結合を有する化合物を含む半導体ナノ粒子の製造方法。
  2. 　前記第１混合物における、Ａｇ塩とＣｕ塩の合計量に対するガリウムハロゲン化物の含有量のモル比が０．０１以上１以下である請求項１に記載の半導体ナノ粒子の製造方法。
  3. 　前記第１混合物における、Ａｇ塩とＣｕ塩の濃度の合計が０．００１ミリモル／リットル以上５００ミリモル／リットル以下である請求項１又は２に記載の半導体ナノ粒子の製造方法。
  4. 　前記第１熱処理は、２００℃以上３２０℃以下で行われる請求項１から３のいずれか１項に記載の半導体ナノ粒子の製造方法
  5. 　前記第１混合物におけるガリウムハロゲン化物は、塩化ガリウムを含む請求項１から４のいずれか１項に記載の半導体ナノ粒子の製造方法。
  6. 　前記第１混合物におけるＣｕ塩が、Ｃｕ－Ｓ結合を有する化合物を含む請求項１から５のいずれか１項に記載の半導体ナノ粒子の製造方法。
  7. 　前記第１半導体ナノ粒子と、ガリウムハロゲン化物とを含む第２混合物を第２熱処理して第２半導体ナノ粒子を得ることを更に含む請求項１から６のいずれか１項に記載の半導体ナノ粒子の製造方法。
  8. 　前記第２混合物における、第１半導体ナノ粒子に対するガリウムハロゲン化物のモル比が０．０１以上５０以下である請求項７に記載の半導体ナノ粒子の製造方法。
  9. 　前記第２混合物におけるガリウムハロゲン化物は、塩化ガリウムを含む請求項７又は８に記載の半導体ナノ粒子の製造方法。
  10. 　前記第２熱処理は、２００℃以上３２０℃以下で行われる請求項７から９のいずれか１項に記載の半導体ナノ粒子の製造方法。
  11. 　銅（Ｃｕ）、銀（Ａｇ）、インジウム（Ｉｎ）、ガリウム（Ｇａ）及び硫黄（Ｓ）を含む第１半導体を含む半導体ナノ粒子であって、
    　前記半導体ナノ粒子の表面には、Ｇａ及びＳを含み、実質的にＡｇを含まない第２半導体が配置され、
    　３６５ｎｍの波長の光照射により、６００ｎｍ以上６８０ｎｍ以下の波長範囲に発光ピーク波長を有するバンド端発光を示し、
    　バンド端発光純度が６０％以上であって、
    　バンド端発光の内部量子収率が１５％以上である半導体ナノ粒子。
  12. 　前記半導体ナノ粒子の発光スペクトルにおける半値幅が、７０ｎｍ以下である請求項１１に記載の半導体ナノ粒子。
  13. 　前記半導体ナノ粒子は、その表面がガリウムハロゲン化物により表面修飾されている請求項１１又は１２に記載の半導体ナノ粒子。
  14. 　請求項１１から１３のいずれか１項に記載の半導体ナノ粒子を含む光変換部材と、半導体発光素子とを備える発光デバイス。
  15. 　前記半導体発光素子は、ＬＥＤチップである請求項１４に記載の発光デバイス。
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