WO2023002720A1 - 高周波加熱装置用の加熱コイル - Google Patents

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WO2023002720A1
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heating coil
heating
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英昭 伊藤
一博 阿部
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高雄工業株式会社
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Definitions

  • the present invention relates to a heating coil used in a high-frequency heating device for heating a workpiece using electromagnetic induction by high-frequency current.
  • the surface of the workpiece is heated to a temperature above the transformation point (austenite transformation point) of the metal and then rapidly cooled (so-called quenching process) is performed.
  • a high-frequency heating device is used to bring a metal member (heating coil) through which a high-frequency current flows close to the surface of the workpiece, thereby heating the workpiece. Heating methods are widely used.
  • a conventional heating coil includes a pair of grounding portions to be grounded to a high-frequency power source, an annular coil portion to be fitted onto a workpiece, and a pair of connecting portions to connect the grounding portions and the coil portion. is provided. Further, in order to suppress heat generation when a high-frequency current is applied, a conventional heating coil is provided with a cooling water passage for allowing a cooling medium such as water to flow down to the coil portion.
  • Patent Literature 1 discloses a heating coil in which cooling water passages are formed inside the coil portion by laminating coil plates having concave grooves formed on the inner surfaces thereof.
  • Patent Document 2 when the output of the high-frequency power source is increased, in order to prevent dielectric breakdown from occurring between a pair of parallel grounding parts or between a pair of connecting parts, An insulating plate made of synthetic resin is interposed between the pair of connecting portions (Patent Document 2).
  • the heating coil for the above-described conventional high-frequency heating apparatus has to be formed by bonding a plurality of parts with silver solder or the like in order to provide a hollow cooling water passage in the coil portion, so the output conditions are high. If it continues to be used under such conditions (under machining conditions in which a high-voltage high-frequency power source is applied), it is likely to break and leak the cooling medium.
  • the heating coil for the conventional high-frequency heating device has a cooling mechanism only for the coil part, the cooling efficiency is poor, and if it is used continuously under high output conditions, the grounding part and the connection part will become hot. There is also a problem that the insulating plate is carbonized and deteriorated due to being held, and dielectric breakdown due to creeping discharge occurs.
  • the above-described conventional heating coil must be formed by brazing a plurality of parts, it is difficult to manufacture the same characteristics with good reproducibility during manufacturing. , there is also a problem that the quality of the heated workpiece is uneven.
  • An object of the present invention is to solve the above-described problems of the conventional heating coil for high-frequency heating devices, to have good cooling efficiency, and to continue to use the heating coil for a long period of time without damage even under high output conditions.
  • the invention recited in claim 1 is a heating coil for use in a high-frequency heating apparatus for heating a workpiece using electromagnetic induction by high-frequency current, wherein electric conduction is performed based on three-dimensional data.
  • a modeling method that repeats laying, melting, solidifying, and layering of powder made of a substance hereinafter referred to as a partial welding layering method for a conductive substance powder layer
  • a method of layering molten conductive substances based on three-dimensional data is a modeling method that repeats laying, melting, solidifying, and layering of powder made of a substance.
  • a melt extrusion lamination method for conductive materials includes a pair of plate-like grounding portions for contacting electrodes for applying high-frequency current, and each of the above-mentioned It has a pair of plate-shaped support portions arranged so as to be orthogonal to the grounding portions, and an annular heating portion provided so as to connect the tips of the support portions.
  • a series of cooling medium flow-down passages for flowing cooling medium are formed in the interiors of the heating section, the support sections, and the heating section.
  • an injection port for injecting the cooling medium into the cooling medium flow path and/or discharging the cooling medium from the cooling medium flow path. is provided in the ground portion.
  • the invention recited in claim 3 is the invention recited in claim 1, wherein an injection port for injecting a cooling medium into the cooling medium flow passage and/or discharging the cooling medium from the cooling medium flow passage is provided. is provided in the heating unit.
  • a cooling medium is provided not only inside the annular heating portion but also inside each ground portion and each support portion.
  • a series of cooling medium flow passages are formed to flow down, and not only the heating part but also the grounding part and the supporting part are cooled at the same time during the heat treatment of the workpiece, so the high temperature is maintained for a long time. There is no part to be done. Therefore, the heating coil according to claim 1 is resistant to dielectric breakdown due to carbonization and deterioration of the insulating plate and damage due to stress concentration on a specific portion, so that it has excellent durability. Heat treatment of the workpiece can be repeated over a long period of time even under high output conditions.
  • the heating coil according to claim 1 is formed by the partial welding lamination method of the conductive material powder layer or the melt extrusion lamination method of the conductive material based on the three-dimensional data, it can be used like the conventional heating coil. Since there is no bonding portion with silver brazing, it does not deform even if the temperature rises due to continuous use, and it is possible to perform heat treatment (quenching treatment) according to the standard for a long period of time. Furthermore, since the heating coil according to claim 1 is formed by the partial welding lamination method of the conductive substance powder layer or the melt extrusion lamination method of the conductive substance based on the three-dimensional data, the product has the same shape and the same characteristics. can be efficiently manufactured with good reproducibility without being affected by the skill of the manufacturing operator.
  • the heating coil according to claim 1 is integrally formed without brazing by a partial welding lamination method of conductive substance powder layers or a melt extrusion lamination method of conductive substances based on three-dimensional data.
  • a series of cooling medium flow-down paths are formed inside the heating portion, each grounding portion, and each supporting portion, there is no need to provide a plurality of cooling medium supply mechanisms, and loss of the cooling medium (i.e., cooling It is possible to reduce the situation where the medium is discharged without significantly contributing to heat exchange.
  • the inlet for injecting the cooling medium into the cooling medium flow path and the outlet for discharging the cooling medium from the cooling medium flow path are provided in the ground portion, high frequency
  • the mounting portion of the heating coil of the heating device can be made compact and space-saving.
  • the heating part is provided with an inlet for injecting the cooling medium into the cooling medium flow path and an outlet for discharging the cooling medium from the cooling medium flow path. Since it is possible to supply the low-temperature cooling medium immediately after it is introduced from the water source to the heating part, which is prone to overheating, the cooling efficiency is extremely excellent, and it can be used with a very high-output high-frequency power supply applied. It is possible.
  • FIG. 4 is a plan view of the heating coil (a plan view in which an internal cooling medium flow path is seen through).
  • FIG. 4 is a perspective view of a heating coil;
  • FIG. 5 is a cross-sectional view of the grounding portion of the heating coil (end view along line AA in FIG. 4);
  • FIG. 5 is a cross-sectional view (an end view taken along the line BB in FIG. 4) of the support portion of the heating coil;
  • It is explanatory drawing which shows a mode that a heating coil is manufactured (a is a top view, b is a vertical sectional view). It is explanatory drawing which shows the example of a change of a heating coil.
  • the heating coil according to the present invention must be integrally formed by a modeling method based on three-dimensional data using a three-dimensional printer.
  • a modeling method there is a modeling method that repeats laying, melting, solidification, and lamination of a powder made of a conductive substance based on three-dimensional data (a method of partially welding and laminating a conductive substance powder layer), or based on three-dimensional data. It is possible to adopt a molding method (melt extrusion lamination method of conductive substances) in which conductive substances melted by heating are laminated. It should be noted that it is preferable to use the partial welding lamination method of the conductive substance powder layer as the method of forming the heating coil, because it becomes possible to easily manufacture a heating coil having a complicated shape and structure.
  • the conductive substance used as a raw material for modeling in the present invention refers to a substance that is substantially non-magnetic and has good conductivity.
  • Examples of such conductive substances include copper, brass, silver and the like.
  • copper makes it possible to reduce costs such as material costs, so that the heating coil can be manufactured inexpensively and easily with a three-dimensional printer. It is preferable because the efficiency of heat generation by electromagnetic induction is high.
  • the conductive material When copper is used as the conductive material, it is possible to use pure copper. It is preferable to use the contained alloy (high copper alloy), because it is possible to increase the laser absorption and promote the temperature rise. Furthermore, among those copper alloys, if a copper-chromium alloy containing chromium in copper is used, it is possible to effectively increase the strength of the heating coil while maintaining high production efficiency with a three-dimensional printer.
  • an alloy containing chromium and zirconium in predetermined proportions in copper C18150, that is, 98.71 to 99.45% by weight of copper, 0.50 to 1.00% by weight of chromium, 0.05% by weight of .about.0.25% by weight of zirconium are particularly preferred.
  • the heating coil according to the present invention is formed by using the method of partially welding and laminating a conductive substance powder layer
  • the laying raw material for forming (that is, the powder made of the conductive substance) is irradiated with a laser or an electron beam.
  • a laser in that case, a semiconductor laser, a carbon dioxide laser, an excimer laser, a YAG laser, a fiber laser, or the like can be suitably used. laser), it is possible to obtain laser light with high output and no deviation in the optical axis with a small device, and it is possible to manufacture a heating coil with high dimensional accuracy very efficiently, which is preferable.
  • the output and wavelength of the fiber laser when forming the heating coil by the partial welding lamination method of the conductive substance powder layer are not particularly limited. It is preferable to adjust the thickness within the range of 1,000 to 1,100 nm because it enables efficient modeling in a short time.
  • copper pure copper
  • graphite and inorganic oxide are mixed in the copper powder in order to improve the absorption coefficient of the laser in the copper powder and increase the efficiency of manufacturing the heating coil.
  • Absorbents, such as powders, can also be added.
  • the heating coil according to the present invention includes a pair of plate-shaped grounding portions for contacting the electrodes through which the high-frequency current is applied, and a pair of plate-shaped grounding portions arranged so as to be orthogonal to the respective grounding portions. It is necessary to have a supporting portion and an annular heating portion provided so as to connect the tips of the supporting portions.
  • the heating part needs to be formed in an annular shape, but it is not limited to an annular shape, and may be a non-annular shape (for example, rectangular in plan view).
  • each supporting portion is not particularly limited as long as it is a pair of plate-like (or rod-like) pieces that are arranged perpendicular to each grounding portion, but a discharge phenomenon occurs when power is applied. It is preferable that the corners are chamfered so as not to
  • the cooling medium flow-down path may be a single one provided to connect the insides of the left and right grounding portions, the left and right support portions, and the heating portion. Two things provided so that the inside of a heating part may be connected may be used.
  • the cooling medium flow-down path has no joints or steps of a predetermined height (1.0 mm or more) on the inner wall, or has a curved portion or a connecting portion that is gently curved (curved with a radius of curvature of 5 mm or more). ), the cooling medium flows very smoothly, and the cooling efficiency of the grounding portion and the supporting portion of the heating coil becomes extremely good, which is preferable.
  • the heating coil 1 consists of a coil body 21 integrally formed of copper (high copper alloy, C18150), and a synthetic resin ( It is composed of an insulating plate 31 formed in a sheet shape from fluororesin) and a screw member (not shown).
  • the coil body 21 is formed by a modeling method using a three-dimensional printer, which will be described later. and support portions 3a and 3b for supporting the heating portion 4 at positions separated from the ground portions 2a and 2b. Since the coil body 21 is formed by a modeling method using a three-dimensional printer, the entire coil body 21 exhibits the same color and the entire surface has the same degree of roughness (surface roughness).
  • Each of the grounding portions 2a and 2b is formed in a pair of left and right flat rectangular parallelepipeds (plate shapes), and with one side facing each other, the grounding portions 2a and 2b are adjacent to each other on the left and right with a predetermined distance (approximately 2 mm) apart. are placed in Cylindrical drainage pipes 7a and 7b are provided on the upper surfaces of the grounding portions 2a and 2b, respectively, so as to protrude upward.
  • Each of the support portions 3a and 3b is formed in a pair of left and right flat rectangular parallelepipeds (plate shapes). They are arranged side by side.
  • the base edge portions of the support portions 3a and 3b are connected to the inner edge edges of the left and right ground contact portions 2a and 2b, and the plate surfaces of the support portions 3a and 3b are connected to the ground contact portions 2a and 2b. It is perpendicular to the plate surface.
  • the heating unit 4 is for heating the inserted workpiece (work). 10 are connected by vertical connectors 11a and 11b, respectively.
  • a plan view of the upper arcuate bodies 9a and 9b and the lower arcuate body 10 is ring-shaped (annular).
  • the upper arc-shaped bodies 9a and 9b are arranged so as to be adjacent to each other on the left and right with a predetermined distance (about 2 mm) in a state in which the inner plate surfaces face each other, forming one arc. It has become.
  • the upper arcuate bodies 9a and 9b are connected to the tips of the left and right support portions 3a and 3b via tubular connecting bodies 12a and 12b, respectively.
  • both the upper arc-shaped bodies 9a and 9b and the lower arc-shaped body 10 have vertical cross-sectional shapes perpendicular to the longitudinal direction (rectangular shapes with rounded corners and chamfered edges).
  • An inner injection pipe 13a and an outer injection pipe 13b for injecting a cooling medium from the outside are provided on the upper surface near the left edge of the lower arc-shaped body 10 so as to extend upward along the vertical direction.
  • the heating coil 1 includes two series of left and right cooling medium flow passages 6a for flowing down a cooling medium (water) inside the grounding portions 2a and 2b, the support portions 3a and 3b, and the heating portion 4. , 6b are formed. That is, the cooling medium flow-down passage 6a on the left side extends from the inner injection pipe 13a to the inside of the lower arc-shaped body 10 (the inside above the inner injection pipe 13a), the connection body 11a on the left, the inside of the upper arc-shaped body 9a on the left, The inside of the left support portion 3a reaches the left drain pipe 7a via the left ground portion 2a.
  • the cooling medium flow-down passage 6b on the right side extends from the outer injection pipe 13b to the inside of the lower arc-shaped body 10 (the inside below the outer injection pipe 13b), the connection body 11b on the right side, and the inside of the upper arc-shaped body 9b on the right side. , the inside of the support portion 3b on the right side and the grounding portion 2b on the right side to reach the drainage pipe 7b on the right side.
  • the cooling medium flow path 6a on the left side and the cooling medium flow path 6b on the right side are once branched into three (6 ⁇ , 6 ⁇ , 6 ⁇ ) inside the support portions 3a and 3b, respectively. After being led into the left and right ground contact portions 2a and 2b, the wire is bound into one inside the ground contact portions 2a and 2b.
  • both the left cooling medium flow passage 6a and the right cooling medium flow passage 6b have gentle curves at all curved portions and connecting portions. (a curved shape with a radius of curvature of 5 mm or more), and no steep bent shape is formed.
  • both the cooling medium flow path 6a on the left side and the cooling medium flow path 6b on the right side are in a state where no seam or step with a predetermined height (1.0 mm) or more is formed on the inner wall.
  • a sheet-like insulating plate 31 having a predetermined thickness (approximately 2.0 mm) is sandwiched between the gaps 12b. is screwed by a bolt (not shown) through which the These bolts are in a state of screwing the support portions 3a and 3b and the insulating plate 31 through a bush (not shown) made of a synthetic resin (glass epoxy resin) having insulation and heat resistance. , the support portions 3a and 3b are not electrically connected to each other through the bolt.
  • FIG. 8 shows how the heating coil 1 is formed.
  • a three-dimensional printer M for forming the heating coil 1 includes a frame F having a rectangular parallelepiped concave portion in the center, and An elevating member provided to be able to ascend and descend with respect to F, an irradiation means S for irradiating the laser L, a reflecting means R for reflecting the laser, a driving means (not shown) for raising and lowering the elevating member, etc. have.
  • the elevating member is provided with a table T having substantially the same area as the opening of the concave portion of the frame F. As shown in FIG.
  • a copper alloy (99.3% by mass of Cu, 0.6% by mass of Cr and C18150 containing 0.10% by mass of Zr) powder is laid so as to have a predetermined thickness (for example, 30 ⁇ m) (copper powder is applied by the gap between the surface of the table T and the surface of the outer frame of the frame F). cover).
  • the copper alloy powder is irradiated with a laser (fiber laser) L having a predetermined output in a predetermined shape to melt a part of the copper alloy powder, which is then cooled and solidified to form the heating coil 1.
  • the table T of the lifting member is lowered by a predetermined height (for example, 30 ⁇ m) by the driving means. Then, at that height position, "laying of the copper alloy powder on the upper side of a part of the previously formed heating coil 1 ⁇ irradiation of the laser L on the copper alloy powder ⁇ cooling and solidification of the molten copper alloy (by solidification solidification)” is repeated. Then, as described above, the operation of "lowering the table T of the lifting member ⁇ laying the copper alloy powder ⁇ irradiating the copper alloy powder with the laser L ⁇ cooling and solidifying the melted copper alloy” is repeated a predetermined number of times (for example, 5 times). ,000 times), the heating coil 1 made of a copper alloy can be integrally formed.
  • a predetermined height for example, 30 ⁇ m
  • the heating coil 1 configured as described above has the left and right grounding portions 2a and 2b grounded to the electrodes, and the annular portion of the heating portion 4 (that is, formed by the upper arc-shaped bodies 9a and 9b and the lower arc-shaped body 10).
  • An external power supply (high-frequency power supply) is supplied through an electrode in a state in which a workpiece (work) is inserted inside the ring), and the workpiece can be heated using an electromagnetic induction phenomenon.
  • the cooling medium water
  • the cooling medium water
  • the grounding portions 2a, 2b and the supporting portions 3a, 3b are efficiently cooled together with the heating portion 4, thereby preventing the insulating plate 31 from being damaged due to melting. .
  • the heating coil 1 has a series of cooling medium flow paths for causing the cooling medium to flow not only inside the heating portion 4 but also inside the ground portions 2a and 2b and the support portions 3a and 3b. Since the paths 6a and 6b are formed, not only the heating portion 4 but also the grounding portions 2a and 2b and the supporting portions 3a and 3b are cooled at the same time during the heat treatment of the workpiece, and the high temperature is maintained for a long time. There is no situation where it is held as it is.
  • the heating coil 1 does not suffer from dielectric breakdown due to carbonization/deterioration of the insulating plate 31 or damage due to stress concentration on a specific portion, so that the heating coil 1 is excellent in durability and can be used under high output conditions.
  • the heat treatment to the workpiece can be repeated over a long period of time.
  • the heating coil 1 is formed by a modeling method using a three-dimensional printer M (that is, a method of partially welding and laminating a conductive substance powder layer based on three-dimensional data). Since there is no bonded part by brazing or the like, it is not deformed by continuous use, and can be quenched according to the standard for a long period of time. Furthermore, since the heating coil 1 is formed by a modeling method using a three-dimensional printer M, products having the same shape and characteristics can be manufactured efficiently with good reproducibility regardless of the skill of the manufacturing operator. can be manufactured.
  • the heating coil 1 is formed by a molding method using a three-dimensional printer M without brazing, so that a series of cooling medium is formed inside the heating portion 4, the ground portions 2a and 2b, and the support portions 3a and 3b. Since the flow-down passages 6a and 6b are formed, it is not necessary to provide a plurality of cooling water supply mechanisms, and loss of cooling water can be reduced.
  • the heating coil 1 is provided with discharge ports 7a and 7b for discharging the cooling medium from the cooling medium flow-down paths 6a and 6b at the ground portions 2a and 2b, the mounting portion of the heating coil of the high-frequency heating device can be It can be designed to be space-saving and compact, and it is easy to attach/detach to/from the main body of the high-frequency heating device.
  • the heating coil 1 is provided with injection ports 13a and 13b for injecting the cooling medium into the cooling medium flow-down paths 6a and 6b in the heating section 4.
  • the heating section 4 which tends to reach the highest temperature, is guided from the water source to the heating section 4. Since a low-temperature cooling medium can be supplied immediately after it is put in, the cooling efficiency is extremely excellent, and it is possible to use it while a high-frequency power source is applied with a very high output.
  • a cooling medium having the same outer shape as the heating coil of Example 1 and flowing down into the grounding portion and the support portion is formed by a modeling method using the same raw material as in Example 1 and using the same three-dimensional printer M as in Example 1.
  • a shape in which no path is formed (the inner injection pipe 13a and the outer injection pipe 13b are communicated inside the heating unit 4, and the cooling medium flows down the route of “inner injection pipe 13a ⁇ heating unit 4 ⁇ outer injection pipe 13b”
  • a heating coil 1' of Comparative Example 1 was manufactured having a channel formed therein.
  • the heating coil according to the present invention is not limited to the aspects of the above-described embodiments. It can be changed as appropriate within the range.
  • the heating coil according to the present invention is not limited to the one in which the annular heating portion is provided by the upper arc-shaped body and the lower arc-shaped body as in the above-described embodiment.
  • the shape of the heating portion, the grounding portion, and the supporting portion may be any shape for the purpose of conforming to the shape of the workpiece.
  • the heating coil according to the present invention is not limited to one provided with a plurality of cooling medium flow-down paths as in the above embodiment, but a heating coil provided with a single cooling medium flow-down path (for example, the heating coil shown in FIG. 9).
  • the injection pipe 14 on one side reaches the heating portion 4 via the grounding portion 2a' and the supporting portion 3a', and the heating portion 4 passes through the supporting portion 3b' and the grounding portion 2b' to the opposite side. It is also possible to change it to the one leading to the injection pipe 15 of ).
  • a pair of grounding portions and a pair of supporting portions are insulated by insulating plates made of fluororesin (PTFE, PFA, FEP, ETFE, PCTFE, ECTFE, PVDF).
  • PTFE fluororesin
  • PFA PFA
  • FEP ETFE
  • PCTFE PCTFE
  • ECTFE ECTFE
  • PVDF fluororesin
  • the heating coil according to the present invention exhibits excellent effects as described above, it can be suitably used as a member for heating a workpiece using electromagnetic induction.

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Abstract

【課題】冷却効率が良好であり、高い出力条件の下でも長期間に亘って損傷することなく使用し続けることができる上、製造時に同一特性のものを再現性良く製造することが可能な高周波加熱装置用の加熱コイルを提供する。 【解決手段】加熱コイル(1)は、三次元データに基づいて導電性物質からなる粉末の敷設、溶融、凝固、積層を繰り返す造形方法を用いて一体的に形成されており、高周波電流を生じさせる電極に当着させるための一対の板状の接地部(2a,2b)と、各接地部(2a,2b)に対してそれぞれ直交するように配置された一対の板状の支持部(3a,3b)と、それらの支持部(3a,3b)の先端同士を繋ぐように設けられた環状の加熱部(4)とを有している。そして、各接地部(2a,2b)、各支持部(3a,3b)および加熱部(4)の内部に、冷却用の媒体を流下させるための一連の冷却媒体流下路(6a,6b)が形成されている。

Description

高周波加熱装置用の加熱コイル
 本発明は、高周波電流による電磁誘導を利用して被加工物を加熱するための高周波加熱装置に用いられる加熱コイルに関するものである。
 金属製の被加工物(ワーク)の表面際の部分の硬さを高めるために、金属の変態点(オーステナイト変態点)以上の温度まで被加工物の表面を加熱した後に急冷する加工(所謂、焼入れ加工)が行われている。そして、そのような焼き入れ加工を行うための方法として、高周波加熱装置を用いて、高周波電流を流した金属製の部材(加熱コイル)を被加工物の表面に近接させることによって被加工物を加熱する方法が広く採用されている。
 従来の加熱コイルには、高周波電源に接地させる一対の接地部、被加工物に外嵌させるための環状のコイル部、および、それらの接地部とコイル部とを連結するための一対の連結部が設けられている。また、高周波電流を流したときの発熱を抑制するために、従来の加熱コイルには、コイル部に水等の冷却媒体を流下させるための冷却水通路が設けられている。たとえば、特許文献1には、内面に凹状溝を刻設したコイル板を積層することによってコイル部の内部に冷却水通路を形成した加熱コイルが開示されている。
 さらに、一般的な加熱コイルは、高周波電源の出力を高くした場合に、併設された一対の接地部間や一対の連結部間で絶縁破壊が生じるのを防止するために、一対の接地部間や一対の連結部間に、合成樹脂からなる絶縁板を介在させている(特許文献2)。
特許第4358292号公報 特開2020-115428号公報
 しかしながら、上記した従来の高周波加熱装置用の加熱コイルは、コイル部に中空状の冷却水通路を設けるために複数の部品を銀ロウ等で接着することによって形成しなければならないため、高い出力条件の下で(高電圧の高周波電源を印可する加工条件で)使用し続けると、破損して冷却媒体が漏れ出す事態が発生し易い。また、従来の高周波加熱装置用の加熱コイルは、コイル部のみに冷却機構が設けられているため、冷却効率が悪く、高い出力条件の下で使用し続けると、接地部や連結部が高温で保持されることに起因して、絶縁板が炭化・劣化して、沿面放電による絶縁破壊を生じてしまう、という不具合もあった。
 さらに、上記した従来の加熱コイルは、複数の部品をロウ付けすることによって形成しなければならないため、製造時に同一特性のものを再現性良く製造することが困難であり、そのことに起因して、加熱される被加工物の品質にバラツキを生じてしまう、という不具合もあった。
 本発明の目的は、上記した従来の高周波加熱装置用の加熱コイルの問題点を解消し、冷却効率が良好であり、高い出力条件の下でも長期間に亘って損傷することなく使用し続けることが可能である上、製造時に同一特性のものを再現性良く製造することができる高周波加熱装置用の加熱コイルを提供することにある。
 本発明の内、請求項1に記載された発明は、高周波電流による電磁誘導を利用して被加工物を加熱するための高周波加熱装置に用いる加熱コイルであって、三次元データに基づいて電導物質からなる粉末の敷設、溶融、凝固、積層を繰り返す造形方法(以下、導電性物質粉末層の部分溶着積層方法という)、あるいは、三次元データに基づいて溶融させた導電性物質を積層する造形方法(以下、導電性物質の溶融押出積層方法という)を用いて一体的に形成されたものであり、高周波電流を通電させる電極に当着させるための一対の板状の接地部と、前記各接地部に対してそれぞれ直交するように配置された一対の板状の支持部と、それらの支持部の先端同士を繋ぐように設けられた環状の加熱部とを有しており、前記各接地部、前記各支持部および前記加熱部の内部に、冷却用の媒体を流下させるための一連の冷却媒体流下路が形成されていることを特徴とするものである。
 請求項2に記載された発明は、請求項1に記載された発明において、前記冷却媒体流下路へ冷却媒体を注入するための注入口および/または前記冷却媒体流下路から冷却媒体を排出するための排出口が、前記接地部に設けられていることを特徴とするものである。
 請求項3に記載された発明は、請求項1に記載された発明において、前記冷却媒体流下路へ冷却媒体を注入するための注入口および/または前記冷却媒体流下路から冷却媒体を排出するための排出口が、前記加熱部に設けられていることを特徴とするものである。
 請求項1に記載の高周波加熱装置用の加熱コイル(以下、単に加熱コイルという)は、環状の加熱部の内部のみならず、各接地部および各支持部の内部にも、冷却用の媒体を流下させるための一連の冷却媒体流下路が形成されており、被加工物の加熱処理中に加熱部のみならず接地部および支持部も同時に冷却されるため、長時間に亘って高温のまま保持される部分が生じない。それゆえ、請求項1に記載の加熱コイルは、絶縁板の炭化・劣化等に起因した絶縁破壊や特定の部分への応力集中による破損等の事態が起こりにくいため、耐久性に優れており、高い出力条件の下でも長期間に亘って被加工物への加熱処理を繰り返すことができる。
 また、請求項1に記載の加熱コイルは、三次元データに基づく導電性物質粉末層の部分溶着積層方法あるいは導電性物質の溶融押出積層方法によって形成されているので、従来の加熱コイルのように銀ロウによる接着部分が存在しないため、連続使用により温度が上昇しても変形したりせず、長期間に亘って規格通りの加熱処理(焼入れ処理)を実施することができる。さらに、請求項1に記載の加熱コイルは、三次元データに基づく導電性物質粉末層の部分溶着積層方法あるいは導電性物質の溶融押出積層方法によって形成されるため、同一形状、同一特性を有する製品を、製造作業者の技量に左右されることなく再現性良く効率的に製造することができる。
 加えて、請求項1に記載の加熱コイルは、ロウ付けすることなく、三次元データに基づく導電性物質粉末層の部分溶着積層方法あるいは導電性物質の溶融押出積層方法によって一体的に形成されることにより、加熱部、各接地部および各支持部の内部に一連の冷却媒体流下路が形成されているため、複数の冷却媒体供給機構を設ける必要がない上、冷却媒体のロス(すなわち、冷却媒体が熱交換に大きく寄与することなく排出される事態)を低減することができる。
 請求項2に記載の加熱コイルは、冷却媒体流下路へ冷却媒体を注入するための注入口、冷却媒体流下路から冷却媒体を排出するための排出口が接地部に設けられているため、高周波加熱装置の加熱コイルの装着部分を省スペースでコンパクトにすることができる上、高周波加熱装置の本体への装着・脱着を容易なものとすることができる。
 請求項3に記載の加熱コイルは、冷却媒体流下路へ冷却媒体を注入するための注入口、冷却媒体流下路から冷却媒体を排出するための排出口が加熱部に設けられており、最も高温になり易い加熱部に、水源から導き入れた直後の低温の冷却媒体を供給することができるので、きわめて冷却効率に優れており、非常に高い出力の高周波電源を印可した状態で使用することが可能である。
加熱コイルの正面図である。 加熱コイルの背面図である。 加熱コイルの左側面図である。 加熱コイルの平面図(内部の冷却媒体流下路を透視した平面図)である。 加熱コイルの斜視図である。 加熱コイルの接地部の断面図(図4におけるA-A線端面図)である。 加熱コイルの支持部の断面図(図4におけるB-B線端面図)である。 加熱コイルを製造する様子を示す説明図である(aは平面図であり、bは鉛直断面図である)。 加熱コイルの変更例を示す説明図である。
 本発明に係る加熱コイルは、三次元プリンタを利用して三次元データに基づく造形方法によって一体的に形成されたものであることが必要である。かかる造形方法としては、三次元データに基づいて導電性物質からなる粉末の敷設、溶融、凝固、積層を繰り返す造形方法(導電性物質粉末層の部分溶着積層方法)、あるいは、三次元データに基づいて溶融させた導電性物質を積層する造形方法(導電性物質の溶融押出積層方法)を採用することができる。なお、加熱コイルの造形方法として、導電性物質粉末層の部分溶着積層方法を用いると、複雑な形状・構造を有する加熱コイルを容易に製造することが可能となるので好ましい。
 本発明において造形の原料として用いる導電性物質とは、実質的に磁性を有しておらず、かつ、良好な導電性を有する物質のことを言う。かかる導電性物質としては、銅、黄銅、銀等を挙げることができる。それらの導電性物質の中でも、銅を用いると、材料費等のコストの低減が可能となり、加熱コイルを三次元プリンタによって安価かつ容易に製造することが可能となる上、導電性がきわめて良好なものとなり、電磁誘導による発熱効率が高いものとなるので好ましい。
 また、導電性物質として銅を用いる場合には、純銅を用いることも可能であるが、銅に、鉄、スズ、ニッケル、チタン、ベリリウム、ジルコニウム、クロム、ケイ素等を銅に比べて少ない割合で含有させた合金(高銅合金)を用いると、レーザの吸収を高めて温度上昇を促進することが可能となるので好ましい。さらに、それらの銅合金の中でも、銅にクロムを含有させた銅クロム合金を用いると、三次元プリンタによる製造効率を高く維持したまま加熱コイルの強度を効果的に高めることが可能となるのでより好ましく、銅に所定の割合でクロムおよびジルコニウムを含有させた合金(C18150、すなわち、98.71~99.45質量%の銅と、0.50~1.00質量%のクロムと、0.05~0.25質量%のジルコニウムとを含有するもの)を用いると、特に好ましい。
 導電性物質粉末層の部分溶着積層方法を利用して本発明に係る加熱コイルを造形する場合には、敷設された造形の原料(すなわち、導電性物質からなる粉末)をレーザあるいは電子ビームの照射によって溶融させる必要がある。その際のレーザとしては、半導体レーザ、炭酸ガスレーザ、エキシマレーザ、YAGレーザ、ファイバレーザ等を好適に用いることができるが、ファイバレーザ(すなわち、Yb等の希土類元素を添加した光ファイバをレーザ媒質として用いるレーザ)を用いると、小型の装置により高い出力で光軸にずれのないレーザ光を得ることが可能となり、寸法精度の高い加熱コイルを非常に効率良く製造することが可能となるので好ましい。
 また、導電性物質粉末層の部分溶着積層方法により加熱コイルを造形する場合のファイバレーザの出力、波長は、特に限定されないが、出力を400~1,000wの範囲内に調整し、波長を1,000~1,100nmの範囲内に調整すると、短時間での効率的な造形が可能となるので好ましい。また、導電性物質として銅(純銅)を用いる場合には、銅粉末におけるレーザの吸光率を向上させて加熱コイルの製造効率を高めるために、銅粉末中に、黒鉛と無機酸化物との混合粉末等からなる吸収剤を添加することも可能である。
 また、本発明に係る加熱コイルは、高周波電流を通電させる電極に当着させるための一対の板状の接地部と、各接地部に対してそれぞれ直交するように配置された一対の板状の支持部と、それらの支持部の先端同士を繋ぐように設けられた環状の加熱部とを有していることが必要である。加熱部は、環状に形成されていることが必要であるが、円環状のものに限定されず、非円環状(たとえば、平面視が矩形状)のもの等でも良い。一方、各支持部は、各接地部に対してそれぞれ直交するように配置された一対の板状(あるいは棒状)のものであれば、その形状は特に限定されないが、電力印可時に放電現象が生じないように角部を面取りしたものであると好ましい。
 また、本発明に係る加熱コイルは、各接地部、各支持部および加熱部の内部に、冷却用の媒体を流下させるための一連の冷却媒体流下路が形成されていることが必要である。当該冷却媒体流下路は、左右の接地部、左右の支持部および加熱部の内部を繋ぐように設けられた単一のものでも良いし、加熱コイルの左右において、それぞれ、接地部、支持部および加熱部の内部を繋ぐように設けられた2本のものでも良い。加えて、冷却媒体流下路を、内壁に継ぎ目や所定の高さ以上(1.0mm以上)の段差のないものや、屈曲部分、連結部分がなだらかな曲線状(曲率半径が5mm以上の曲線状)に形成されたものとすると、冷却媒体の流下態様が非常にスムーズなものとなり、加熱コイルの接地部や支持部の冷却効率がきわめて良好なものとなるので好ましい。
[実施例1]
<加熱コイルの構造>
 以下、本発明に係る加熱コイルの一実施形態について、図面に基づいて詳細に説明する。図1~図7は、加熱コイルを示したものであり、加熱コイル1は、銅(高銅合金、C18150)によって一体的に形成されたコイル本体21、絶縁性および耐熱性を有する合成樹脂(フッ素樹脂)によってシート状に形成された絶縁板31、ネジ部材(図示せず)によって構成されている。そして、加熱コイル1は、縦(前後)×横(幅)×高さ=300mm×225mm×200mm(縦、横、高さとも最大部分の長さ)の大きさを有している。
 コイル本体21は、後述する三次元プリンタを利用した造形方法によって成形されたものであり、高周波電源の電極に当着させるための接地部2a,2b、誘導加熱により被加工物(ワーク)を加熱するための加熱部4、および、各接地部2a,2bから離れた位置で加熱部4を支持するための支持部3a,3bを有している。なお、コイル本体21は、三次元プリンタを利用した造形方法によって成形されているため、全体が同一色を呈しており、表面全体が同じ粗度(表面粗さ)になっている。
 各接地部2a,2bは、左右一対の扁平な直方体状(板状)に形成されており、片方の側面を向かい合わせた状態で、所定の距離(約2mm)を隔てて左右に隣り合うように配置されている。また、各接地部2a,2bの上面には、それぞれ、円筒形の排水管7a,7bが上方に突出するように設けられている。
 また、各支持部3a,3bは、左右一対の扁平な直方体状(板状)に形成されており、片方の板面を向かい合わせた状態で、所定の距離(約2mm)を隔てて左右に隣り合うように配置されている。そして、各支持部3a,3bの基端縁の部分が、左右の接地部2a,2bの内側の端縁際に連なり、各支持部3a,3bの板面が、各接地部2a,2bの板面に対して直交した状態になっている。
 一方、加熱部4は、被加工物(ワーク)を挿入させた状態で加熱するためのものであり、上側に配置される上円弧状体9a,9bと下側に配置される下円弧状体10とを、それぞれ、鉛直な接続体11a,11bによって繋いだ形状を有している。そして、上円弧状体9a,9bおよび下円弧状体10の平面視がリング状(円環状)になっている。なお、上円弧状体9a,9bは、内側の板面を向かい合わせた状態で、所定の距離(約2mm)を隔てて左右に隣り合うように配置されており、一つの円弧を形成した状態になっている。そして、各上円弧状体9a,9bが、それぞれ、管状の連結体12a,12bを介して左右の支持部3a,3bの先端と繋がった状態になっている。
 また、上円弧状体9a,9b、下円弧状体10とも、長手方向に対して垂直な鉛直断面の形状が(面取した角の丸い矩形状)になっている。そして、下円弧状体10の左端縁際の上面には、外部から冷却媒体を注入するための内側注入管13aおよび外側注入管13bが、鉛直方向に沿って上方に伸長するように設けられている。
 そして、加熱コイル1は、接地部2a,2b、支持部3a,3b、および、加熱部4の内部に、冷却用の媒体(水)を流下させるための左右2つの一連の冷却媒体流下路6a,6bが形成されている。すなわち、左側の冷却媒体流下路6aは、内側注入管13aから下円弧状体10の内部(内側注入管13aより上側の内部)、左側の接続体11a、左側の上円弧状体9aの内部、左側の支持部3aの内部、左側の接地部2aを経由して左側の排水管7aに至っている。
 一方、右側の冷却媒体流下路6bは、外側注入管13bから下円弧状体10の内部(外側注入管13bより下側の内部)、右側の接続体11b、右側の上円弧状体9bの内部、右側の支持部3bの内部、右側の接地部2bを経由して右側の排水管7bに至っている。なお、左側の冷却媒体流下路6a、右側の冷却媒体流下路6bとも、それぞれ、支持部3a,3bの内部において、一旦、3本に分岐しており(6α,6β,6γ)、それぞれ、別々に左右の接地部2a,2bの内部に導かれた後に、各接地部2a,2bの内部において1本に結束した状態になっている。
 なお、加熱コイル1は、三次元プリンタによって一体的に形成されたものであるため、左側の冷却媒体流下路6a、右側の冷却媒体流下路6bとも、すべての屈曲部分、連結部分がなだらかな曲線状(曲率半径が5mm以上の曲線状)に形成されており、急峻な折れ曲がり形状が形成されていない状態になっている。加えて、左側の冷却媒体流下路6a、右側の冷却媒体流下路6bとも、内壁に継ぎ目や所定の高さ(1.0mm)以上の段差が形成されていない状態になっている。
 さらに、コイル本体21の左右の接地部2a,2bの間、左右の支持部3a,3bの間、加熱部4の左右の上円弧状体9a,9bの間、および、左右の連結体12a,12bの間には、所定の厚み(約2.0mm)のシート状の絶縁板31が挟み込まれており、その状態で、左右の支持部3a,3bおよび絶縁板31が、ネジ孔8,8を挿通させたボルト(図示せず)によって螺着されている。なお、それらのボルトは、絶縁性・耐熱性を有する合成樹脂(ガラスエポキシ樹脂)製のブッシュ(図示せず)を介して支持部3a,3bおよび絶縁板31を螺着した状態になっており、当該ボルトを介して支持部3a,3b同士が導通しないようになっている。
<加熱コイルの製造方法>
 図8は、加熱コイル1を形成する様子を示したものであり、加熱コイル1を形成するための三次元プリンタ装置Mは、中央に直方体状の凹状部を形成してなるフレームF、そのフレームFに対して昇降可能に設けられた昇降部材、レーザLを照射するための照射手段S、レーザを反射させるための反射手段R、昇降部材を昇降させるための駆動手段(図示せず)等を有している。そして、昇降部材には、フレームFの凹状部の開口部分と略同一の面積を有するテーブルTが設けられている。
 三次元プリンタ装置Mにより加熱コイル1を製造する際には、まず、上昇位置にある昇降部材のテーブルTの表面に、銅合金(99.3質量%のCu、0.6質量%のCrおよび0.10質量%のZrを含有したC18150)の粉末を、所定の厚み(たとえば、30μm)になるように敷設する(テーブルTの表面とフレームFの外枠の表面とのギャップだけ銅粉末を敷き詰める)。そして、その銅合金粉末に対して、所定の出力のレーザ(ファイバレーザ)Lを所定の形状に照射して銅合金粉末の一部を溶融させ、冷却して凝固させることによって、加熱コイル1の一部を形成する。
 上記の如く、加熱コイル1の一部を形成した後には、駆動手段により昇降部材のテーブルTを所定の高さ(たとえば、30μm)だけ降下させる。そして、その高さ位置において、“先に形成された加熱コイル1の一部の上側での銅合金粉末の敷設→銅合金粉末に対するレーザLの照射→溶融した銅合金の冷却・固化(凝固による固化)”という動作を繰り返す。そして、上記の如く、“昇降部材のテーブルTを降下→銅合金粉末の敷設→銅合金粉末に対するレーザLの照射→溶融した銅合金の冷却・固化”という動作を、所定の回数(たとえば、5,000回)だけ繰り返すことによって、銅合金からなる加熱コイル1を一体的に形成することができる。
<加熱コイルの使用方法>
 上記の如く構成された加熱コイル1は、左右の接地部2a,2bを電極に接地させ、加熱部4の環状部分(すなわち、上円弧状体9a,9bおよび下円弧状体10によって形成されるリング)の内部に被加工物(ワーク)を挿入させた状態で、電極を介して外部電源(高周波電源)を投入し、電磁誘導現象を利用して、被加工物を加熱することができる。また、内側注入管13aから冷却媒体(水)を左側の冷却媒体流下路6aに注入して排水管7aから排水するとともに、外側注入管13bから冷却媒体を右側の冷却媒体流下路6bに注入して排水管7bから排水することで、加熱部4とともに接地部2a,2bおよび支持部3a,3bを効率的に冷却することによって、絶縁板31の溶融による損傷等の事態を防止することができる。
<加熱コイルの効果>
 加熱コイル1は、上記の如く、加熱部4の内部のみならず、各接地部2a,2bおよび各支持部3a,3bの内部にも、冷却用の媒体を流下させるための一連の冷却媒体流下路6a,6bが形成されているので、被加工物の加熱処理中に加熱部4のみならず各接地部2a,2bおよび各支持部3a,3bも同時に冷却され、長時間に亘って高温のまま保持される事態が生じない。それゆえ、加熱コイル1は、絶縁板31の炭化・劣化に起因した絶縁破壊や特定の部分への応力集中による破損等の事態が起こらないため、耐久性に優れており、高い出力条件の下でも長期間に亘って被加工物への加熱処理を繰り返すことができる。
 また、加熱コイル1は、三次元プリンタ装置Mを用いた造形方法(すなわち、三次元データに基づく導電性物質粉末層の部分溶着積層方法)によって形成されており、従来の加熱コイルのように銀ロウ等による接着部分が存在しないため、連続使用により変形したりせず、長期間に亘って規格通りの焼入れ処理を実施することができる。さらに、加熱コイル1は、三次元プリンタ装置Mを用いた造形方法によって形成されるため、同一形状、同一特性を有する製品を、製造作業者の技量に左右されることなく再現性良く効率的に製造することができる。加えて、加熱コイル1は、ロウ付けすることなく、三次元プリンタ装置Mを用いた造形方法によって、加熱部4、各接地部2a,2bおよび各支持部3a,3bの内部に一連の冷却媒体流下路6a,6bが形成されているため、複数の冷却水供給機構を設ける必要がない上、冷却水のロスを低減することができる。
 さらに、加熱コイル1は、冷却媒体流下路6a,6bから冷却媒体を排出するための排出口7a,7bが接地部2a,2bに設けられているため、高周波加熱装置の加熱コイルの装着部分を省スペースでコンパクトに設計することができる上、高周波加熱装置の本体への装着・脱着が容易である。
 また、加熱コイル1は、冷却媒体流下路6a,6bへ冷却媒体を注入するための注入口13a,13bが加熱部4に設けられており、最も高温になり易い加熱部4に、水源から導き入れた直後の低温の冷却媒体を供給することができるので、きわめて冷却効率に優れており、非常に高い出力で高周波電源を印可した状態で使用することが可能である。
<耐久性の評価>
 上記した加熱コイル1を10個製造し、耐久性を評価するために、冷却媒体流下路6a,6bを利用した冷却(冷却水の流量=80L/min.)を行いながら、60kVA×10秒間の使用条件で10万回のショット(高周波電源の通電による被加工物の加熱処理)を繰り返したが、いずれの加熱コイルにおいても絶縁板31の炭化・劣化による絶縁破壊は起こらなかった。また、上記した使用条件下での被加工物の加熱処理中における加熱コイル1の支持部3a,3bの表面温度を測定したところ、ショット開始前(約30℃)から大きな温度の上昇は見られなかった。当該表面温度の測定結果を表1に示す。
[比較例1]
 実施例1と同様な原料を用いて実施例1と同様な三次元プリンタ装置Mを用いた造形方法によって、実施例1の加熱コイルと外形が同一で接地部および支持部の内部に冷却媒体流下路が形成されていない形状(内側注入管13aと外側注入管13bとを加熱部4の内部で連通させて、“内側注入管13a→加熱部4→外側注入管13b”の経路の冷却媒体流下路を形成したもの)を有する比較例1の加熱コイル1’を製造した。そして、その比較例1の加熱コイル1’を用いて、加熱部4のみの冷却(冷却水の流量=80L/min.)を行いながら、60kVA×10秒間の使用条件で約30分間に亘ってショットを繰り返した後に、加熱コイル1’の支持部3a,3bの表面温度を測定した。その結果、温度がショット開始前から大幅に上昇していることが分かった。当該表面温度の測定結果を表1に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
<加熱コイルの変更例>
 本発明に係る加熱コイルは、上記した実施形態の態様に何ら限定されるものではなく、材質や、接地部、支持部、加熱部の形状、構造等の構成を、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、必要に応じて適宜変更することができる。
 たとえば、本発明に係る加熱コイルは、上記実施形態の如く、上円弧状体と下円弧状体とによって環状の加熱部が設けられたものに限定されず、図9の如く、単純な円環状の加熱部が設けられたもの等でも良く、加熱部、接地部、支持部の形状を、被加工物の形状に適合させる目的等により任意の形状とすることができる。また、本発明に係る加熱コイルは、上記実施形態の如く、複数の冷却媒体流下路が設けられたものに限定されず、単一の冷却媒体流下路が設けられたもの(たとえば、図9の加熱コイル1の如く、片側の注入管14から接地部2a’、支持部3a’を経由して加熱部4に至り、加熱部4から支持部3b’、接地部2b’を経由して反対側の注入管15に至っているもの)等に変更することも可能である。
 加えて、本発明に係る加熱コイルは、上記実施形態の如く、フッ素樹脂(PTFE、PFA、FEP、ETFE、PCTFE、ECTFE、PVDF)からなる絶縁板によって一対の接地部および一対の支持部が絶縁されているものに限定されず、ポリアセタール(POM)、ポリフェニレンサルファイド(PPS)、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)等の絶縁性および耐熱性を有する他の合成樹脂からなる絶縁板によって一対の接地部および一対の支持部が絶縁されているもの等に変更することも可能である。
 本発明に係る加熱コイルは、上記の如く優れた効果を奏するものであるので、電磁誘導を利用して被加工物を加熱するための部材として好適に用いることができる。
 1,1’・・加熱コイル
 2a,2b,2a’,2b’・・接地部
 3a,3b,3a’,3b’・・支持部
 4,4’・・加熱部
 6a,6b,6’・・冷却媒体流下路
 7a,7b・・排出管
 13a・・内側注入管
 13b・・外側注入管
 14・・注入管
 15・・排出管

Claims (3)

  1.  高周波電流による電磁誘導を利用して被加工物を加熱するための高周波加熱装置に用いる加熱コイルであって、
     三次元データに基づいて電導物質からなる粉末の敷設、溶融、凝固、積層を繰り返す造形方法、あるいは、三次元データに基づいて溶融させた導電性物質を積層する造形方法を用いて一体的に形成されたものであり、
     高周波電流を通電させる電極に当着させるための一対の板状の接地部と、
     前記各接地部に対してそれぞれ直交するように配置された一対の板状の支持部と、
     それらの支持部の先端同士を繋ぐように設けられた環状の加熱部とを有しており、
     前記各接地部、前記各支持部および前記加熱部の内部に、冷却用の媒体を流下させるための一連の冷却媒体流下路が形成されていることを特徴とする高周波加熱装置用の加熱コイル。
  2.  前記冷却媒体流下路へ冷却媒体を注入するための注入口および/または前記冷却媒体流下路から冷却媒体を排出するための排出口が、前記接地部に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の高周波加熱装置用の加熱コイル。
  3.  前記冷却媒体流下路へ冷却媒体を注入するための注入口および/または前記冷却媒体流下路から冷却媒体を排出するための排出口が、前記加熱部に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の高周波加熱装置用の加熱コイル。
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