WO2022185612A1 - ライナー付両面粘着シート - Google Patents

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WO2022185612A1
WO2022185612A1 PCT/JP2021/040264 JP2021040264W WO2022185612A1 WO 2022185612 A1 WO2022185612 A1 WO 2022185612A1 JP 2021040264 W JP2021040264 W JP 2021040264W WO 2022185612 A1 WO2022185612 A1 WO 2022185612A1
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高正 平山
昭徳 西尾
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日東電工株式会社
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Definitions

  • the present invention relates to a liner-attached double-sided pressure-sensitive adhesive sheet.
  • the members are temporarily fixed to adhesive sheets.
  • a member such as an electronic component is fixed, the member is processed (for example, resin sealing, cutting, cutting, polishing, etching, printing, etc.), and after processing , the processed product is peeled off from the pedestal.
  • the member may be pressurized in the processing of the member.
  • the pressurization it is often required that the pressurization be uniform.
  • the present invention has been made to solve the above-described conventional problems, and an object of the present invention is to provide a double-sided pressure-sensitive adhesive sheet that can be used as a temporary fixing material during processing of a member, and the member is pressurized. Another object of the present invention is to provide a double-sided pressure-sensitive adhesive sheet capable of improving the uniformity of the pressure.
  • the lined double-sided pressure-sensitive adhesive sheet of the present invention comprises a first liner, a first pressure-sensitive adhesive layer, a substrate, a second pressure-sensitive adhesive layer, and a second liner in this order.
  • the pressure-sensitive adhesive layer contains heat-expandable microspheres, the surface of the first liner facing the first pressure-sensitive adhesive layer has an arithmetic surface roughness Ra of 1 nm to 100 nm, and the second liner
  • the arithmetic surface roughness Ra of the surface facing the second pressure-sensitive adhesive layer is 1 nm to 100 nm, and the maximum height Rz of the surface facing the first pressure-sensitive adhesive layer of the first liner is 5 nm to 1000 nm.
  • the maximum height Rz of the second pressure-sensitive adhesive layer side surface of the second liner is 5 nm to 1000 nm.
  • the heat-expandable microspheres have a volume cumulative particle diameter D50 of 5 ⁇ m to 30 ⁇ m.
  • the volume cumulative particle diameter D80 of the heat-expandable microspheres is 10 ⁇ m to 50 ⁇ m.
  • the product of the cube of the thickness of the substrate and the elastic modulus of the substrate is 1 ⁇ 10 ⁇ 7 (N/m) to 1 ⁇ 10 ⁇ 2 (N/m). be.
  • the first pressure-sensitive adhesive layer is composed of a pressure-sensitive adhesive containing a base polymer, and the base polymer has a glass transition temperature of -50°C to 0°C.
  • the liner-attached double-sided pressure-sensitive adhesive sheet is used as a sheet for temporarily fixing a semiconductor chip during the manufacture of CSP (Chip Size/Scale Package).
  • the liner-attached double-sided pressure-sensitive adhesive sheet is used as a sheet for temporarily fixing a semiconductor chip during the manufacture of a WLP (Wafer Level Package).
  • the semiconductor chip is press processed.
  • a double-sided pressure-sensitive adhesive sheet that can be used as a temporary fixing material during member processing, and that can improve the uniformity of pressure when the member is pressed. can be done.
  • FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a liner-attached double-sided pressure-sensitive adhesive sheet according to one embodiment of the present invention
  • FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a liner-attached double-sided pressure-sensitive adhesive sheet according to one embodiment of the present invention.
  • the liner-attached double-sided pressure-sensitive adhesive sheet 100 comprises a first liner 10, a first pressure-sensitive adhesive layer 21, a substrate 22, a second pressure-sensitive adhesive layer 23, and a second liner 30 in this order.
  • the first pressure-sensitive adhesive layer 21 , the base material 22 and the second pressure-sensitive adhesive layer 23 constitute the double-sided pressure-sensitive adhesive sheet 20 .
  • the arithmetic surface roughness Ra of the surface of the first liner 10 on the side of the first pressure-sensitive adhesive layer 21 is 1 nm to 100 nm.
  • the arithmetic surface roughness Ra of the surface of the second liner 30 on the second adhesive layer 23 side is 1 nm to 100 nm.
  • the maximum height Rz of the first adhesive layer 21 side surface of the first liner 10 is 5 nm to 1000 nm.
  • the maximum height Rz of the second adhesive layer 23 side surface of the second liner 30 is 5 nm to 1000 nm.
  • the double-sided pressure-sensitive adhesive sheet 20 is composed of the first pressure-sensitive adhesive layer 21, the base material 22, and the second pressure-sensitive adhesive layer 23.
  • the double-sided pressure-sensitive adhesive sheet 20 may further include any appropriate other layers as long as the effects of the present invention are obtained.
  • a primer layer can be placed between the second adhesive layer and the substrate.
  • the double-sided pressure-sensitive adhesive sheet can be used as a temporary fixing material when a member such as an electronic component is placed on the first pressure-sensitive adhesive layer and the member is processed.
  • the first pressure-sensitive adhesive layer having excellent surface smoothness is formed.
  • the uniformity of the pressure can be improved.
  • the surface condition of the second liner is specified as described above, the surface of the first pressure-sensitive adhesive layer (the surface opposite to the base material) is smooth, and the pressure applied to the member to be pressed is uniform. sex will be better.
  • the second adhesive layer contains heat-expandable microspheres.
  • the pressure-sensitive adhesive layer containing heat-expandable microspheres is heated, the heat-expandable microspheres expand or foam to form irregularities on the pressure-sensitive adhesive surface, resulting in reduced or lost adhesive strength.
  • the first liner when using the liner-attached double-sided pressure-sensitive adhesive sheet, the first liner is removed first. More specifically, the liner-equipped double-sided pressure-sensitive adhesive sheet is prepared by first peeling off the first liner, and attaching a workpiece (for example, an electronic component) to the exposed pressure-sensitive adhesive surface (for example, the surface of the first pressure-sensitive adhesive layer). It can be used by sticking, then peeling off the second liner, and sticking the surface of the second pressure-sensitive adhesive layer on another adherend (for example, a pedestal).
  • a workpiece for example, an electronic component
  • the adherend (e.g., electronic component) is temporarily fixed to the pedestal via the double-sided adhesive sheet; the adherend is subjected to a predetermined process; The double-sided pressure-sensitive adhesive sheet attached to the adherend is peeled off from the pedestal.
  • first liner and the second liner each comprise a liner substrate and a release treatment layer disposed on at least one side of the liner substrate.
  • the first liner and the second liner are arranged so that the release treated layer is on the double-sided pressure-sensitive adhesive sheet side.
  • the first liner and the second liner may have the same configuration, or may have different configurations.
  • the surface of the first liner facing the first pressure-sensitive adhesive layer has an arithmetic surface roughness Ra of 1 nm to 100 nm.
  • the arithmetic surface roughness Ra of the first pressure-sensitive adhesive layer side surface of the first liner is preferably 1 nm to 60 nm, more preferably 1 nm to 45 nm, even more preferably 15 nm to 45 nm, particularly preferably 15 nm. ⁇ 35 nm. Within such a range, the effect of the present invention is remarkable.
  • Arithmetic surface roughness Ra can be measured according to JIS B 0601.
  • the arithmetic surface roughness Ra of the second adhesive layer side surface of the second liner is 1 nm to 100 nm.
  • the arithmetic surface roughness Ra of the first pressure-sensitive adhesive layer side surface of the first liner is preferably 1 nm to 60 nm, more preferably 1 nm to 45 nm, even more preferably 15 nm to 45 nm, particularly preferably 25 nm. ⁇ 45 nm. Within such a range, the effect of the present invention is remarkable.
  • the maximum height Rz of the first pressure-sensitive adhesive layer side surface of the first liner is 5 nm to 1000 nm.
  • the maximum height Rz of the first pressure-sensitive adhesive layer side surface of the first liner is preferably 10 nm to 800 nm, more preferably 30 nm to 600 nm, even more preferably 50 nm to 400 nm, and particularly preferably 50 nm to 200 nm. Within such a range, the effect of the present invention is remarkable.
  • Maximum height Rz can be measured according to JIS B 0601.
  • the maximum height Rz of the second adhesive layer side surface of the second liner is 5 nm to 1000 nm.
  • the maximum height Rz of the second pressure-sensitive adhesive layer side surface of the second liner is preferably 10 nm to 800 nm, more preferably 30 nm to 600 nm, even more preferably 50 nm to 500 nm, and particularly preferably 150 nm to 500 nm. Within such a range, the effect of the present invention is remarkable.
  • the peel force of the first liner to the double-sided pressure-sensitive adhesive sheet is preferably 0.001N/50mm to 2N/50mm, more preferably 0.01N/50mm to 1.5N/50mm, and still more preferably 0.05N. /50 mm to 1 N/50 mm, particularly preferably 0.1 N/50 mm to 0.8 N/50 mm.
  • the release force of the first liner to the double-sided pressure-sensitive adhesive sheet (and the release force of the second liner to the double-sided pressure-sensitive adhesive sheet) was measured in an environment of 23°C. (Peeling angle: 180°, peeling speed (tensile speed): 300 mm/min) means the adhesive force measured.
  • the release force of the liner to the double-sided PSA sheet can be adjusted by any appropriate method, such as the composition of the PSA layer, the type of liner, and the surface treatment applied to the liner.
  • the peel force of the second liner to the double-sided pressure-sensitive adhesive sheet is preferably 0.001N/50mm to 2N/50mm, more preferably 0.01N/50mm to 1.5N/50mm, and still more preferably 0.05N. /50 mm to 1 N/50 mm, particularly preferably 0.1 N/50 mm to 0.8 N/50 mm.
  • the release force of the first liner to the double-sided PSA sheet and the release force of the second liner to the double-sided PSA sheet may be the same or different.
  • the thickness of the first liner is preferably 5 ⁇ m to 250 ⁇ m, more preferably 10 ⁇ m to 200 ⁇ m, even more preferably 20 ⁇ m to 150 ⁇ m, most preferably 30 ⁇ m to 100 ⁇ m.
  • the thickness of the second liner is preferably 5 ⁇ m to 250 ⁇ m, more preferably 10 ⁇ m to 200 ⁇ m, even more preferably 20 ⁇ m to 150 ⁇ m, most preferably 30 ⁇ m to 100 ⁇ m.
  • the thickness of the first liner and the thickness of the second liner may be the same or different.
  • the elastic modulus of the first liner (substantially the liner base material) is 500 MPa to 5000 MPa, more preferably 500 MPa to 4000 MPa, still more preferably 700 MPa to 4000 MPa.
  • the elastic modulus means the elastic modulus measured by the nanoindentation method in a 23° C. environment.
  • the elastic modulus by the nanoindentation method is obtained by continuously measuring the load applied to the indenter and the indentation depth during loading and unloading when the indenter is pushed into the sample (which may be a liner base material). It refers to the modulus of elasticity obtained from the obtained applied load-indentation depth curve. The conditions for measuring the elastic modulus by the nanoindentation method will be described later.
  • the elastic modulus of the second liner (substantially the liner base material) is 500 MPa to 5000 MPa, more preferably 500 MPa to 4000 MPa, still more preferably 700 MPa to 4000 MPa.
  • the modulus of elasticity of the first liner and the modulus of elasticity of the second liner may be the same or different.
  • the liner base material can be composed of any appropriate material.
  • the liner base material for example, in addition to plastic films and plastic sheets, various sheet-like materials such as paper, cloth, nonwoven fabric, metal foil, plastic laminates thereof, and laminates of plastics can be used. .
  • plastic films and plastic sheets are most preferable from the viewpoint of handling and cost.
  • the material for the plastic film can be selected according to need from the viewpoint of strength, heat resistance, and the like.
  • polyethylene polyethylene
  • PP polypropylene
  • EVA ethylene-vinyl acetate copolymer
  • PBT polyethylene terephthalate
  • PET polyethylene
  • Polyesters such as naphthalate (PEN) and polybutylene terephthalate (PBT)
  • PVC polyvinyl chloride
  • PPS polyphenylene sulfide
  • amide resins such as polyamide (nylon) and wholly aromatic polyamide (aramid); Ketone (PEEK), polyimide, polyetherimide, polystyrene, acrylic resin and the like.
  • a liner base material composed of a polyester resin is used, and a liner base material composed of polyethylene terephthalate is more preferably used.
  • the above materials can be used alone or in combination of two or more.
  • the plastic film any of an unstretched film, a uniaxially oriented film, and a biaxially oriented film may be used.
  • these films may be laminated films composed of two or more film layers.
  • a film to which a lubricant such as inert particles is added may be used as appropriate.
  • inorganic fine particles composed of antimony, silica gel, or the like can be used as the lubricant.
  • the release treated layer is a silicone treated layer.
  • a reactive silicone compound containing a dimethylpolysiloxane as a main component and having a functional group necessary for cross-linking (curing) can be preferably used. This is because it can be applied to a film in a low-molecular-weight state, and can be cured after application to form a release treated layer that is resistant to rubbing and the like.
  • functional groups of reactive silicone compounds include vinyl groups, epoxy groups, alkoxy groups, isocyanato groups, and the like.
  • the silicone-treated layer is formed, for example, by diluting the above-mentioned reactive silicone compound with a solvent or the like to adjust the concentration, and applying and heating with a gravure coater or the like. Heating accelerates solvent drying and curing reactions.
  • a catalyst that accelerates the curing reaction. Examples of catalysts that can be used include metal complexes such as platinum, palladium, rhodium, zirconium and tin, organic bases such as amines, and organic acids such as acetic acid.
  • the first liner and/or the second liner (substantially the release treatment layer of each liner) has a Si—K ⁇ ray intensity of 0.01 by fluorescent X-ray analysis. ⁇ 500 kcps (preferably 0.5 to 250 kcps, more preferably 1.0 to 150 kcps, still more preferably 1.05 to 100 kcps, particularly preferably 5 to 100 kcps). Within this range, the release treatment is sufficiently and uniformly performed, and a liner with a preferably adjusted surface condition can be obtained.
  • the intensity of the Si-K ⁇ ray obtained by the above fluorescent X-ray analysis is obtained by measuring the Si intensity of the release agent layer and the non-release agent layer by the fluorescence X-ray analysis, and calculating the intensity of the release agent layer from the intensity of the non-release agent. It is a value obtained by reducing the strength of the layer.
  • the strength can be adjusted by controlling the release treatment layer forming conditions such as the coating amount, concentration, coating speed and drying of the release treatment agent. It is preferable that the first liner and the second liner have different Si-K ⁇ ray intensities.
  • the absolute value of the difference in Si—K ⁇ ray intensity between the first liner and the second liner is preferably 0.1 to 500, more preferably 0.1 to 200, still more preferably 0.1 to 150. , particularly preferably from 1 to 80.
  • the first liner and the second liner are different colors.
  • a liner-equipped double-sided pressure-sensitive adhesive sheet having such a structure can be obtained, for example, by coloring one of the liners (for example, the liner substrate). If both liners are of different colors, the front and back of the liner-attached double-sided pressure-sensitive adhesive sheet can be clearly distinguished, making it easy to identify the liner to be peeled off.
  • Double-sided pressure-sensitive adhesive sheet As described above, the double-sided pressure-sensitive adhesive sheet comprises a first pressure-sensitive adhesive layer, a substrate, and a second pressure-sensitive adhesive layer in this order.
  • the double-sided PSA sheet further comprises a primer layer disposed between the second PSA layer and the substrate.
  • a double-faced pressure-sensitive adhesive sheet having excellent conformability to adherends can be obtained by providing an undercoat layer.
  • the second pressure-sensitive adhesive layer containing heat-expandable microspheres is heated, the heat-expandable microspheres expand and deform due to expansion in the thickness direction. is suppressed, so the releasability is improved.
  • the adhesive force at 23° C. when the first adhesive layer of the double-sided PSA sheet is attached to polyethylene terephthalate is preferably 0.5 N/20 mm or more, more preferably 0.5 N/20 mm to 20 N/20 mm. and more preferably 0.5 N/20 mm to 15 N/20 mm.
  • Adhesive strength refers to adhesive strength measured by a method according to JIS Z 0237:2000 (bonding conditions: one reciprocation of a 2 kg roller, peeling speed: 300 mm/min, peeling angle of 180°).
  • the initial adhesive force at 23° C. when the second adhesive layer of the double-sided adhesive sheet is adhered to polyethylene terephthalate is preferably 0.5 N/20 mm or more, more preferably 0.5 N/20 mm to 20 N/ 20 mm, more preferably 0.5 N/20 mm to 15 N/20 mm.
  • a double-sided pressure-sensitive adhesive sheet useful as a temporary fixing sheet used in the manufacture of electronic components can be obtained.
  • the initial adhesive strength is the adhesive strength in a state where the adhesive strength has not decreased due to the expansion of the heat-expandable microspheres, and means the adhesive strength in the state where the heat history of 50° C. or more has not been passed. .
  • the pressure-sensitive adhesive strength is preferably reduced to 0.2 N/20 mm or less (preferably 0.1 N/20 mm or less) by heating.
  • the heating temperature is preferably 90°C to 300°C, more preferably 100°C to 280°C.
  • the thickness of the double-sided pressure-sensitive adhesive sheet is preferably 3 ⁇ m to 300 ⁇ m, more preferably 5 ⁇ m to 150 ⁇ m, still more preferably 10 ⁇ m to 100 ⁇ m.
  • At least one of the layers constituting the double-sided pressure-sensitive adhesive sheet is a colored layer.
  • each layer has a different color.
  • Coloring means a state of absorbing and/or reflecting any or all light in the visible region (250 nm to 700 nm). Any appropriate method can be adopted as a method for coloring any one layer.
  • a pigment, a dye, or the like can be used as the coloring agent.
  • the pigment include organic pigments such as acrylic pigments, azo pigments, polyazo pigments, anthraquinone pigments, quinacridone pigments, isoindoline pigments, isoindolinone pigments, phthalocyanine pigments, perylene pigments, and DPP pigments.
  • Pigments, fluorescent pigments, condensed polycyclic pigments, colored resin particles, etc., and inorganic pigments include known pigments such as carbon black, synthetic silica, chromium oxide, iron oxide, titanium oxide, zinc sulfide, calcined pigments, and natural mica. mentioned.
  • Dyes include acid dyes, reactive dyes, direct dyes, disperse dyes, cationic dyes, polymer dyes and the like.
  • the ink commercially available products such as "NB300" manufactured by Dainichiseika may be used.
  • Coloring is also possible by mixing a coloring agent into the pressure-sensitive adhesive layer.
  • the composition of the pressure-sensitive adhesive layer has a fine structure with a size of about the wavelength of visible light, for example, by microphase separation between a hydrophilic composition and a hydrophobic composition, depending on the size
  • a phenomenon of coloring that is, a so-called structural color, may be exhibited, and coloring using this is also possible.
  • the first adhesive layer is composed of any suitable adhesive.
  • the adhesive that constitutes the first adhesive layer include acrylic adhesives, rubber adhesives, silicone adhesives, and the like. Among them, an acrylic pressure-sensitive adhesive can be preferably used.
  • an active energy ray-curable acrylic adhesive hereinafter referred to as an active energy ray-curable adhesive
  • Details of the adhesive are described, for example, in JP-A-2015-168711. The description of the publication is incorporated herein by reference.
  • an acrylic adhesive is used as the adhesive.
  • the acrylic pressure-sensitive adhesive include, for example, an acrylic pressure-sensitive adhesive whose base polymer is an acrylic polymer (homopolymer or copolymer) using one or more of (meth)acrylic acid alkyl esters as a monomer component. etc.
  • (meth)acrylic acid alkyl esters include methyl (meth)acrylate, ethyl (meth)acrylate, propyl (meth)acrylate, isopropyl (meth)acrylate, butyl (meth)acrylate, ( isobutyl (meth)acrylate, s-butyl (meth)acrylate, t-butyl (meth)acrylate, pentyl (meth)acrylate, hexyl (meth)acrylate, heptyl (meth)acrylate, (meth)acrylic acid Octyl, 2-ethylhexyl (meth)acrylate, isooctyl (meth)acrylate, nonyl (meth)acrylate, isononyl (meth)acrylate, decyl (meth)acrylate, isodecyl (meth)acrylate, (meth)acrylic undecyl acid, dodecyl (meth)acrylate,
  • (meth)acrylic acid alkyl esters having a linear or branched alkyl group having 4 to 20 carbon atoms (more preferably 6 to 20, particularly preferably 8 to 18 carbon atoms) are more preferable.
  • the acrylic polymer may optionally be a unit corresponding to another monomer component copolymerizable with the (meth)acrylic acid alkyl ester.
  • monomer components include carboxyl group-containing monomers such as acrylic acid, methacrylic acid, carboxyethyl acrylate, carboxypentyl acrylate, itaconic acid, maleic acid, fumaric acid, and crotonic acid; maleic anhydride and icotanic anhydride; Acid anhydride monomers such as; hydroxyethyl (meth)acrylate, hydroxypropyl (meth)acrylate, hydroxybutyl (meth)acrylate, hydroxyhexyl (meth)acrylate, hydroxyoctyl (meth)acrylate, (meth)acrylate Hydroxyl group-containing monomers such as hydroxydecyl acrylate, hydroxyllauryl (meth)acrylate, (4
  • cyanoacrylate monomers such as acrylonitrile and methacrylonitrile; epoxy group-containing acrylic monomers such as glycidyl (meth)acrylate; polyethylene glycol (meth)acrylate, polypropylene glycol (meth)acrylate, (meth)acrylic acid Glycol-based acrylic ester monomers such as methoxyethylene glycol and methoxypolypropylene glycol (meth)acrylate; heterocycles such as tetrahydrofurfuryl (meth)acrylate, fluorine (meth)acrylate, and silicone (meth)acrylate, halogen atoms, silicon atoms Acrylic acid ester-based monomers having, etc.; hexanediol di(meth)acrylate, (poly)ethylene glycol di(meth)acrylate, (poly)propylene glycol di(meth)acrylate, neopentyl glycol di(meth)acrylate, pentaerythritol Polyfunctional mono
  • a carboxyl group-containing monomer (particularly preferably acrylic acid) or a hydroxyl group-containing monomer (particularly preferably hydroxyethyl (meth)acrylate) is more preferred.
  • the content of structural units derived from a carboxyl group-containing monomer is preferably 0.1% by weight to 10% by weight, more preferably 0.5% by weight to 5% by weight, based on all structural units constituting the acrylic polymer. % by weight, particularly preferably 1% to 4% by weight.
  • the content of the structural units derived from the hydroxyl group-containing monomer is preferably 0.1% by weight to 20% by weight, more preferably 0.5% by weight, based on all the structural units constituting the acrylic polymer. to 10% by weight, particularly preferably 1% to 7% by weight.
  • (meth)acryl means acryl and/or methacryl.
  • the glass transition temperature (Tg) of the base polymer is preferably -50°C to 0°C, more preferably -40°C to -5°C, More preferably -35°C to -5°C.
  • Tg glass transition temperature
  • the base polymer is a copolymer
  • the glass transition temperature is determined by the Fox equation.
  • the Fox calculation formula is, as shown below, the glass transition temperature Tg (° C.) of the copolymer and the homopolymer (homopolymer ) and the glass transition temperature Tgi (°C).
  • Tg (°C) is the glass transition temperature of the copolymer
  • Wi is the weight fraction of the monomer i
  • Tgi (°C) is the temperature of the homopolymer formed from the monomer i. Indicates the glass transition temperature.
  • the glass transition temperatures of the homopolymers formed from the monomers are acrylonitrile homopolymer (AN): 97°C, methyl methacrylate homopolymer (MMA): 102°C, methacryloylnitrile homopolymer (MAN): 120.
  • the acrylic pressure-sensitive adhesive may contain any suitable additive as necessary.
  • the additives include, for example, cross-linking agents, tackifiers, plasticizers (e.g., trimellitic acid ester plasticizers, pyromellitic acid ester plasticizers, etc.), pigments, dyes, fillers, anti-aging agents, conductive materials, antistatic agents, ultraviolet absorbers, light stabilizers, release modifiers, softeners, surfactants, flame retardants, antioxidants, and the like.
  • cross-linking agent contained in the acrylic pressure-sensitive adhesive examples include isocyanate-based cross-linking agents, epoxy-based cross-linking agents, melamine-based cross-linking agents, peroxide-based cross-linking agents, urea-based cross-linking agents, metal alkoxide cross-linking agents, Examples include metal chelate cross-linking agents, metal salt cross-linking agents, carbodiimide cross-linking agents, oxazoline cross-linking agents, aziridine cross-linking agents, and amine cross-linking agents. Among them, an isocyanate-based cross-linking agent or an epoxy-based cross-linking agent is preferable.
  • the isocyanate-based cross-linking agent contained in the acrylic pressure-sensitive adhesive include lower aliphatic polyisocyanates such as butylene diisocyanate and hexamethylene diisocyanate; group isocyanates; 2,4-tolylene diisocyanate, 4,4′-diphenylmethane diisocyanate, xylylene diisocyanate and other aromatic isocyanates; name "Coronate L”), trimethylolpropane/hexamethylene diisocyanate trimer adduct (manufactured by Nippon Polyurethane Industry Co., Ltd., trade name "Coronate HL”), isocyanurate of hexamethylene diisocyanate (manufactured by Nippon Polyurethane Industry Co., Ltd., product isocyanate adducts such as the name "Coronate HX");
  • the content of the isocyanate-based cross-linking agent can be set to any appropriate amount depending on the
  • epoxy-based cross-linking agent contained in the acrylic pressure-sensitive adhesive examples include N,N,N',N'-tetraglycidyl-m-xylenediamine, diglycidylaniline, 1,3-bis(N,N- glycidylaminomethyl)cyclohexane (manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd., trade name "Tetrad C”), 1,6-hexanediol diglycidyl ether (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd., trade name "Epolite 1600"), neopentyl glycol diglycidyl ether ( Kyoeisha Chemical Co., Ltd., trade name "Epolite 1500NP”), ethylene glycol diglycidyl ether (Kyoeisha Chemical Co., Ltd., trade name "Epolite 40E”), propylene glycol diglycidyl ether (Kyoeisha Chemical Co., Ltd., trade
  • the thickness of the first adhesive layer is preferably 5 ⁇ m to 70 ⁇ m, more preferably 7 ⁇ m to 60 ⁇ m, still more preferably 15 ⁇ m to 55 ⁇ m, most preferably 20 ⁇ m to 50 ⁇ m. Within such a range, it is possible to obtain a double-faced PSA sheet that is excellent in liner peeling operability, operability in adhesion, adhesiveness, smoothness, and deformability in heating.
  • the elastic modulus of the first adhesive layer is preferably 0.001 MPa to 10 MPa, more preferably 0.01 MPa to 8 MPa. Within such a range, it is possible to obtain a double-faced PSA sheet that is excellent in liner peeling operability, operability in adhesion, adhesiveness, smoothness, and deformability in heating.
  • the first pressure-sensitive adhesive layer may be cured by irradiation with an active energy ray to have an elastic modulus of 1 MPa to 200 MPa. It is preferably 5 MPa to 150 MPa, and even more preferably 10 MPa to 100 MPa.
  • the second adhesive layer may contain any appropriate adhesive and heat-expandable microspheres.
  • the adhesive that constitutes the second adhesive layer include acrylic adhesives, rubber adhesives, silicone adhesives, and the like. Among them, an acrylic pressure-sensitive adhesive can be preferably used.
  • an active energy ray-curable acrylic adhesive hereinafter referred to as an active energy ray-curable adhesive
  • Details of the adhesive are described, for example, in JP-A-2015-168711. The description of the publication is incorporated herein by reference.
  • the thickness of the second adhesive layer is preferably 1 ⁇ m to 60 ⁇ m, more preferably 2 ⁇ m to 50 ⁇ m, even more preferably 3 ⁇ m to 35 ⁇ m, most preferably 5 ⁇ m to 35 ⁇ m. Within such a range, it is possible to obtain a double-sided pressure-sensitive adhesive sheet that is excellent in liner peeling operability, operability during application, adhesiveness, and smoothness.
  • the elastic modulus of the second adhesive layer is preferably 0.001 MPa to 10 MPa, more preferably 0.01 MPa to 8 MPa. Within such a range, it is possible to obtain a double-sided pressure-sensitive adhesive sheet that is excellent in liner peeling operability, operability during application, adhesiveness, and smoothness.
  • the second adhesive layer contains the acrylic adhesive described in Section C-1.
  • acrylic pressure-sensitive adhesives contain an acrylic polymer as a base polymer.
  • Heat-expandable microspheres Any appropriate heat-expandable microspheres can be used as the heat-expandable microspheres as long as they can be expanded or foamed by heating.
  • the heat-expandable microspheres for example, microspheres in which a substance (volatile substance) that easily expands by heating is encapsulated in an elastic shell can be used.
  • Such heat-expandable microspheres can be produced by any appropriate method such as coacervation, interfacial polymerization, and the like.
  • the volatile substance contained in the shell is typically an organic solvent.
  • the organic solvent include linear aliphatic hydrocarbons having 3 to 8 carbon atoms and fluorinated products thereof, branched aliphatic hydrocarbons having 3 to 8 carbon atoms and fluorinated products thereof, and 3 to 8 carbon atoms. straight-chain alicyclic hydrocarbons and fluorinated products thereof, ether compounds having a hydrocarbon group with 2 to 8 carbon atoms, or compounds in which a portion of the hydrogen atoms in the hydrocarbon group are substituted with fluorine atoms, etc. is mentioned.
  • the organic solvent is propane, cyclopropane, butane, cyclobutane, isobutane, pentane, cyclopentane, neopentane, isopentane, hexane, cyclohexane, 2-methylpentane, 2,2-dimethylbutane, heptane, cyclo Hydrocarbons composed only of hydrogen atoms and carbon atoms such as heptane, octane, cyclooctane, methylheptanes and trimethylpentanes; hydrofluoroethers such as C3F7OCH3, C4F9OCH3 and C4F9OC2H5; These organic solvents may be used alone or in combination of two or more.
  • the boiling point of the organic solvent is preferably -50°C to 100°C, more preferably -20°C to 100°C. Within such a range, heat-expandable microspheres can be obtained in which the shell can be expanded satisfactorily without breaking. If the boiling point of the organic solvent is too low, the operation for suppressing volatilization during production of thermally expandable microspheres may become complicated. When two or more organic solvents (mixed solvent) are used, the "boiling point of the organic solvent" means the boiling point of the solvent with the highest weight ratio.
  • the content of the organic solvent is preferably 5% to 35% by weight, more preferably 10% to 30% by weight, based on the weight of the heat-expandable microspheres before heating. Within such a range, the heat-expandable microspheres will be dispersed with high uniformity in the pressure-sensitive adhesive layer. If the content is less than 5% by weight, the heat-expandable microspheres tend to be unevenly distributed on the surface of the adhesive layer during the production of the adhesive layer due to low density, etc. It may occur on the surface of the agent layer. If the content exceeds 35% by weight, the density is high and sedimentation occurs in the adhesive layer. Even if the adhesive layer is heated, sufficient unevenness cannot be formed on the surface of the adhesive layer, and the desired peelability may not be obtained. Also, there is a possibility that adhesive residue may occur.
  • Examples of materials that make up the shell include resin, glass, and metal. Resin is particularly preferred.
  • Examples of the resin constituting the shell include nitrile monomers such as acrylonitrile, methacrylonitrile, ⁇ -chloroacrylonitrile, ⁇ -ethoxyacrylonitrile, and fumaronitrile; acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, maleic acid, fumaric acid, Carboxylic acid monomers such as citraconic acid; vinylidene chloride; vinyl acetate; methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, isobutyl (meth) acrylate, t-butyl (meth) acrylate, (Meth)acrylic acid esters such as isobornyl (meth)acrylate, cyclohexyl (meth)acrylate, benzyl (meth)acrylate, ⁇ -carboxyethy
  • the copolymer examples include vinylidene chloride-methyl methacrylate-acrylonitrile copolymer, methyl methacrylate-acrylonitrile-methacrylonitrile copolymer, methyl methacrylate-acrylonitrile copolymer, acrylonitrile-methacrylonitrile-itaconic acid copolymer, A polymer etc. are mentioned.
  • the resin forming the shell may be a crosslinked body. Cross-linking can adjust the excluded free volume of the polymer, thereby controlling the diffusivity of the encapsulated volatiles, the expandability of the shell, and the like.
  • the resin constituting the shell is an isobornyl acrylate-derived structural unit, a methacrylonitrile-derived structural unit, an acrylonitrile-derived structural unit, a methyl (meth) acrylate-derived structural unit, or a vinylidene chloride-derived structural unit. and at least one selected from the group consisting of structural units derived from (meth)acrylic acid.
  • a resin having these structural units it has low solubility in the internal organic solvent and can form a shell that is difficult for the organic solvent to permeate or infiltrate before heating.
  • thermally expandable microspheres having good deformability by heating can be obtained.
  • methyl (meth)acrylate is preferably used from the viewpoint of ease of control of shell hardness. If methyl (meth)acrylate is used, the hardness of the shell can be easily controlled by cross-linking such as electron beam cross-linking.
  • the content of methyl (meth)acrylate is preferably less than 65 parts by weight, more preferably 1 to 55 parts by weight, relative to 100 parts by weight of the resin forming the shell. parts, particularly preferably 1 to 50 parts by weight.
  • Vinylidene chloride is preferably used for imparting flexibility to the shell. The amount of pyrylidene chloride used can be any appropriate amount depending on the desired glass transition temperature of the resin.
  • An inorganic foaming agent or an organic foaming agent may be used as the thermally expandable microspheres.
  • inorganic foaming agents include ammonium carbonate, ammonium hydrogencarbonate, sodium hydrogencarbonate, ammonium nitrite, sodium borohydride, and various azides.
  • organic foaming agents include chlorofluoroalkane compounds such as trichloromonofluoromethane and dichloromonofluoromethane; and azo compounds such as azobisisobutyronitrile, azodicarbonamide, and barium azodicarboxylate.
  • hydrazine compounds such as paratoluenesulfonyl hydrazide, diphenylsulfone-3,3′-disulfonyl hydrazide, 4,4′-oxybis(benzenesulfonyl hydrazide), allylbis(sulfonyl hydrazide); p-toluylenesulfonyl semicarbazide, 4, Semicarbazide compounds such as 4'-oxybis(benzenesulfonyl semicarbazide); triazole compounds such as 5-morpholyl-1,2,3,4-thiatriazole; N,N'-dinitrosopentamethylenetetramine, N,N' -dimethyl-N,N'-dinitrosoterephthalamide; and other N-nitroso compounds.
  • the thickness of the shell is preferably 15 ⁇ m or less, more preferably 7 ⁇ m or less, still more preferably 5 ⁇ m or less, and particularly preferably 4 ⁇ m or less.
  • the glass transition temperature (Tg) of the resin constituting the shell is preferably 50°C to 250°C, more preferably 60°C to 200°C, and still more preferably 80°C to 150°C.
  • the particle size of the heat-expandable microspheres before heating is preferably 0.5 ⁇ m to 80 ⁇ m, more preferably 5 ⁇ m to 45 ⁇ m, even more preferably 10 ⁇ m to 20 ⁇ m, and particularly preferably 10 ⁇ m to 15 ⁇ m. .
  • the volume cumulative particle diameter D50 (particle diameter at 50% cumulative volume) of the heat-expandable microspheres is preferably 5 ⁇ m to 30 ⁇ m, more preferably 7 ⁇ m to 24 ⁇ m. Within such a range, a pressure-sensitive adhesive layer having excellent peelability after heating and excellent surface smoothness before heating can be formed. By using a double-sided pressure-sensitive adhesive sheet having such a pressure-sensitive adhesive layer, when a member is pressed on the double-sided pressure-sensitive adhesive sheet, the uniformity of the pressure can be improved. Volume cumulative particle diameters D50 and D80 (described later) are particle diameters before heating.
  • the volume cumulative particle diameter D80 (particle diameter at 80% cumulative volume) of the heat-expandable microspheres is preferably 10 ⁇ m to 50 ⁇ m, more preferably 15 ⁇ m to 40 ⁇ m, still more preferably 15 ⁇ m to 35 ⁇ m. With such a range, it is possible to obtain a double-sided pressure-sensitive adhesive sheet that can improve the uniformity of pressure when members are pressed on the double-sided pressure-sensitive adhesive sheet.
  • the inventors of the present invention have found that not only the surface state of the first pressure-sensitive adhesive layer, but also the surface state of the second pressure-sensitive adhesive layer containing thermally expandable microspheres is arranged on the first pressure-sensitive adhesive layer. It was found that the pressure uniformity on the workpiece was affected. By adjusting the volume cumulative particle diameter D50 and/or D80 of the heat-expandable microspheres as described above, the surface state of the second pressure-sensitive adhesive layer can be more appropriately controlled, and the above effects of the present invention can be further enhanced. become conspicuous.
  • a group of thermally expandable microspheres having a desired particle size can be obtained by fractionation using the difference in sedimentation velocity in an air stream or liquid, fractionation by centrifugation, or sieving using a sieve.
  • the heat-expandable microspheres can be dispersed in a solvent before being mixed with the adhesive, or dispersed in an adhesive solution, from the viewpoint of industrial mass production. preferable.
  • a filter system used for pressure filtration for example, it is inserted into a pressure-resistant housing (for example, NF-1P, manufactured by Chisso Filter) such as Kanefeel R series (Fuji Chemical Co., Ltd.) and Chisso CPII filter (manufactured by Chisso Filter).
  • a system using a pump such as a diaphragm pump (e.g., AOD series pump, manufactured by Takato Technica Co., Ltd.) can be employed here, and the thermally expanded fine particles mixed in a solvent or adhesive solution are fed into the system and classified. be able to.
  • the mesh value of the filter is preferably 5-35 ⁇ m, more preferably 10-25 ⁇ m.
  • the particle size distribution range of the heat-expandable microspheres will be widened, or the average particle size of the heat-expandable microspheres will exceed 30 ⁇ m, and the heat-releasable pressure-sensitive adhesive layer will not be formed. This causes a problem that unevenness increases. If the mesh diameter is less than 5 ⁇ m, the heat-expandable microspheres are densely packed in the pressure-sensitive adhesive, resulting in a decrease in the adhesive strength of the heat-releasable pressure-sensitive adhesive layer, and the heat-expandable microspheres during heating. Since the expansion of the film is small, the thermal releasability is deteriorated.
  • Filtration may be performed only once, and a plurality of filters may be connected in series.
  • the average particle size and particle size distribution can be measured by the following method using X-ray CT of the pressure-sensitive adhesive layer before heating. i) The sample is fixed on a holder with the second adhesive layer facing upward, and 1601 continuous transmission images are taken from 0 to 180° by X-ray CT. ii) Reconstruction was performed based on the obtained total transmission image to create a tomographic image, and analysis software was used to create a three-dimensional reconstructed image (TIF stack image) and a reconstructed cross-sectional image (three views). .
  • Image processing was performed on the obtained three-dimensional reconstructed image (TIF stack image) to identify thermally expandable microspheres. From the result of identification, the volume of each thermally expandable microsphere is determined, and from that value, the equivalent sphere diameter of each individual is calculated to determine the average particle diameter and particle size distribution.
  • the thermally expandable microspheres have an appropriate strength such that they do not burst until the volume expansion coefficient is preferably 5 times or more, more preferably 7 times or more, and still more preferably 10 times or more.
  • the adhesive strength can be efficiently reduced by heat treatment.
  • the content of the heat-expandable microspheres in the pressure-sensitive adhesive layer can be appropriately set according to the desired decrease in adhesive force.
  • the content of the thermally expandable microspheres is, for example, 1 part by weight to 150 parts by weight, preferably 10 parts by weight to 130 parts by weight, more preferably 100 parts by weight of the base polymer forming the pressure-sensitive adhesive layer. is 25 to 100 parts by weight.
  • the arithmetic surface roughness Ra of the first adhesive layer before the thermally expandable microspheres are expanded is preferably 500 nm or less, more preferably 400 nm or less, and even more preferably 300 nm or less. is.
  • the undercoat layer contains any suitable adhesive.
  • the adhesive that constitutes the undercoat layer include acrylic adhesives, rubber adhesives, silicone adhesives, and the like. Among them, an acrylic pressure-sensitive adhesive can be preferably used.
  • an active energy ray-curable acrylic adhesive (hereinafter referred to as an active energy ray-curable adhesive) may be used.
  • the same pressure-sensitive adhesive as the pressure-sensitive adhesive forming the first pressure-sensitive adhesive layer is used as the pressure-sensitive adhesive forming the undercoat layer.
  • the thickness of the undercoat layer is preferably 1 ⁇ m to 40 ⁇ m, more preferably 5 ⁇ m to 35 ⁇ m, still more preferably 10 ⁇ m to 30 ⁇ m. Within such a range, it is possible to obtain a double-sided pressure-sensitive adhesive sheet which is excellent in liner peeling operability and in which the effect of heating the thermally expandable microspheres on the substrate side is suppressed.
  • the elastic modulus of the undercoat layer is preferably 0.001 MPa to 10 MPa, more preferably 0.01 MPa to 8 MPa, and more preferably 0.5 MPa to 5 MPa. Within such a range, it is possible to obtain a double-sided pressure-sensitive adhesive sheet which is excellent in liner peeling operability and in which the effect of heating the thermally expandable microspheres on the substrate side is suppressed.
  • the undercoat layer contains an active energy ray-curable pressure-sensitive adhesive
  • the undercoat layer is cured by irradiation with an active energy ray, and its elastic modulus is preferably 1 MPa to 200 MPa, and 5 MPa to 150 MPa. is more preferable, and 10 MPa to 100 MPa is even more preferable.
  • the substrate may be composed of any suitable material.
  • Various sheet materials such as plastic film, plastic sheet, paper, cloth, nonwoven fabric, metal foil, a plastic laminate thereof, and a laminate of plastics can be used as the base material.
  • plastic films and plastic sheets are most preferable from the viewpoint of handling and cost.
  • the material for the plastic film can be selected according to need from the viewpoint of strength, heat resistance, and the like.
  • polyethylene polyethylene
  • PP polypropylene
  • EVA ethylene-vinyl acetate copolymer
  • PBT polyethylene terephthalate
  • PET polyethylene
  • Polyesters such as naphthalate (PEN) and polybutylene terephthalate (PBT)
  • PVC polyvinyl chloride
  • PPS polyphenylene sulfide
  • amide resins such as polyamide (nylon) and wholly aromatic polyamide (aramid); Ketone (PEEK), polyimide, polyetherimide, polystyrene, acrylic resin and the like.
  • any of an unstretched film, a uniaxially oriented film, and a biaxially oriented film may be used.
  • these films may be laminated films composed of two or more film layers, or films to which a lubricant such as inert particles is appropriately added may be used from the viewpoint of handleability.
  • the product of the cube of the thickness of the substrate and the elastic modulus of the substrate is preferably 1 ⁇ 10 ⁇ 7 (N/m) to 5 ⁇ 10 ⁇ 2 (N/m ), more preferably 6 ⁇ 10 ⁇ 6 (N/m) to 3 ⁇ 10 ⁇ 2 (N/m), still more preferably 2 ⁇ 10 ⁇ 5 (N/m) to 2.5 ⁇ 10 ⁇ 2 (N/m).
  • the thickness of the base material is preferably 20 ⁇ m to 250 ⁇ m, more preferably 30 ⁇ m to 200 ⁇ m, still more preferably 35 ⁇ m to 190 ⁇ m. Within such a range, it is possible to obtain a double-faced PSA sheet that is excellent in strength, flexibility, flexibility, buckling resistance, operability, and the like.
  • the elastic modulus of the base material is preferably 500 MPa to 5000 MPa, more preferably 650 MPa to 4500 MPa, and still more preferably 750 MPa to 4000 MPa. Within such a range, it is possible to obtain a double-faced PSA sheet that is excellent in strength, flexibility, flexibility, buckling resistance, operability, and the like.
  • the base material may be surface-treated.
  • surface treatment include corona treatment, chromic acid treatment, ozone exposure, flame exposure, high voltage shock exposure, ionizing radiation treatment, and coating treatment with a primer.
  • the substrate may be printed with ink or the like in order to enhance the liner edge recognition and to enhance the anchoring property between the substrate and the adhesive layer.
  • ink "NB300" manufactured by Dainichi Seika Co., Ltd. can be used.
  • the double-sided PSA sheet can be produced by any appropriate method.
  • the double-sided pressure-sensitive adhesive sheet of the present invention is, for example, a laminate formed by coating a composition containing a pressure-sensitive adhesive on a liner (first liner/first pressure-sensitive adhesive layer, second pressure-sensitive adhesive layer/second 2 liner) to the substrate.
  • a composition containing an adhesive may contain any suitable solvent.
  • the second adhesive layer can be formed by coating a substrate with a composition containing thermally expandable microspheres, an adhesive, and any suitable solvent. Alternatively, after sprinkling heat-expandable microspheres on the adhesive coating layer, the heat-expandable microspheres are embedded in the adhesive using a laminator or the like to form an adhesive layer containing the heat-expandable microspheres. may be formed.
  • the undercoat layer is formed, for example, by applying a composition (adhesive) for forming the undercoat layer onto the substrate or onto the second pressure-sensitive adhesive layer. can do.
  • each layer can be formed by coating and then drying.
  • the coating method include coating methods using a multi-coater, die coater, gravure coater, applicator, and the like. Drying methods include, for example, natural drying and heat drying.
  • the heating temperature for drying by heating can be set to any suitable temperature depending on the properties of the substance to be dried.
  • the liner-attached double-sided pressure-sensitive adhesive sheet can be preferably used as a temporary fixing sheet when processing any appropriate member (for example, electronic parts such as semiconductor chips).
  • the liner-attached double-sided pressure-sensitive adhesive sheet can be used as a sheet for temporarily fixing a semiconductor chip during the manufacture of CSP (Chip Size/Scale Package) or WLP (Wafer Level Package).
  • the liner-attached double-sided pressure-sensitive adhesive sheet is used for processing including the step of peeling off the second liner first.
  • the semiconductor chip is pressure processed.
  • the liner-attached double-sided pressure-sensitive adhesive sheet is roll-shaped.
  • a PET film manufactured by Toray Industries, Inc., trade name “Lumirror S10”, thickness 38 ⁇ m
  • the Si-K ⁇ ray intensity of the obtained liner was 8 (kcps) (the measuring method will be described later).
  • a PET film manufactured by Toray Industries, Inc., trade name “Lumirror S10”, thickness 38 ⁇ m
  • the release treatment agent solution is coated with the above-mentioned release treatment agent solution using a gravure method, dried using a hot air oven, and the thickness A liner b of 38 ⁇ m was obtained.
  • the Si-K ⁇ ray intensity of the resulting liner was 84 (kcps).
  • the sandblasted surface of the PET film was coated with the release agent solution described above using a gravure method, and dried using a hot air oven to obtain a liner c having a thickness of 38 ⁇ m.
  • the Si-K ⁇ ray intensity of the resulting liner was 18 (kcps).
  • the sandblasted surface of the PET film was coated with the release agent solution described above using a gravure method, and dried using a hot air oven to obtain a liner d having a thickness of 38 ⁇ m.
  • the Si-K ⁇ ray intensity of the resulting liner was 184 (kcps).
  • Example 1 Preparation of first liner/first pressure-sensitive adhesive layer/substrate laminate
  • a toluene solution of polymer 1 (acrylic polymer 1: 100 parts), 3 parts of an isocyanate cross-linking agent (manufactured by Nippon Polyurethane Co., Ltd., trade name "Coronate L”), and a plasticizer (manufactured by DIC, trade name "Monocizer W700”) ”) was mixed with 10 parts to prepare a mixed liquid A.
  • polymer 1 acrylic polymer 1: 100 parts
  • 3 parts of an isocyanate cross-linking agent manufactured by Nippon Polyurethane Co., Ltd., trade name "Coronate L
  • a plasticizer manufactured by DIC, trade name "Monocizer W700”
  • the undercoat layer is transferred to the substrate surface of the first liner/first pressure-sensitive adhesive layer/substrate laminate to form a laminate consisting of the first liner/first pressure-sensitive adhesive layer/substrate/undercoat layer got a body (Preparation of second pressure-sensitive adhesive layer/second liner)
  • a toluene solution of polymer 1 polymer 1: 100 parts
  • an isocyanate cross-linking agent manufactured by Nippon Polyurethane Co., Ltd., trade name "Coronate L”
  • a tackifying resin manufactured by Sumitomo Bakelite Co., Ltd., trade name "Sumilite PR12603
  • 30 parts of thermally expandable microspheres manufactured by Matsumoto Yushi Pharmaceutical Co., Ltd., trade name "Matsumoto Microsphere FN-180SSD
  • a coloring agent manufactured by Dainichiseika Co., Ltd., trade name "DYMICS SZ-
  • Example 2 instead of the substrate (stretched polypropylene film (OPP film), manufactured by Toray Industries, Inc., trade name “Torayfan”, thickness: 38 ⁇ m), the substrate (PET film, manufactured by Toray Industries, Inc., trade name “Lumirror S10”, thickness: 75 ⁇ m ) was used to obtain a double-sided pressure-sensitive adhesive sheet with a liner in the same manner as in Example 1.
  • OHP film polypropylene film
  • Torayfan thickness: 38 ⁇ m
  • PET film manufactured by Toray Industries, Inc., trade name “Lumirror S10”, thickness: 75 ⁇ m
  • Example 3 instead of the substrate (stretched polypropylene film (OPP film), manufactured by Toray Industries, trade name “Torayfan”, thickness: 38 ⁇ m), the substrate (PET film, manufactured by Toray Industries, trade name “Lumirror S10”, thickness: 188 ⁇ m ) was used to obtain a double-sided pressure-sensitive adhesive sheet with a liner in the same manner as in Example 1.
  • OHP film stretched polypropylene film
  • Torayfan thickness: 38 ⁇ m
  • PET film manufactured by Toray Industries, trade name “Lumirror S10”, thickness: 188 ⁇ m
  • Example 4 Except for using the heat-expanded microspheres classified by putting the trade name "Matsumoto Microsphere FN-180SSD” manufactured by Matsumoto Yushi Seiyaku Co., Ltd. into a centrifugal force type wind classifier and classifying them so that D50 is 7 ⁇ m and D80 is 15 ⁇ m. , in the same manner as in Example 1 to obtain a liner-attached double-sided pressure-sensitive adhesive sheet.
  • Example 5 Except for the use of thermally expanded microspheres classified by putting the trade name "Matsumoto Microsphere FN-180SSD” manufactured by Matsumoto Yushi Seiyaku Co., Ltd. into a centrifugal force type wind classifier and classifying them so that D50 is 28 ⁇ m and D80 is 45 ⁇ m. , in the same manner as in Example 1 to obtain a liner-attached double-sided pressure-sensitive adhesive sheet.
  • Example 6 A toluene solution of polymer 2 (acrylic polymer 2: 100 parts), an epoxy cross-linking agent (manufactured by Mitsubishi Gas Co., Ltd., trade name "Tetrad C”) 0.8 parts, and a tackifier (manufactured by Yasuhara Chemical Co., trade name " A mixed solution A' was prepared by mixing 5 parts of YS Polyster S145").
  • a double-sided pressure-sensitive adhesive sheet with a liner was obtained in the same manner as in Example 1, except that the mixture A′ was used instead of the mixture A to form a first pressure-sensitive adhesive layer having a thickness of 5 ⁇ m.
  • Example 7 A toluene solution of polymer 3 (acrylic polymer 3: 100 parts), an epoxy cross-linking agent (manufactured by Mitsubishi Gas Co., Ltd., trade name "Tetrad C") 1.2 parts, and a tackifier (manufactured by Yasuhara Chemical Co., trade name " A mixed solution A'' was prepared by mixing 5 parts of YS Polyster S145'').
  • a liner-equipped double-sided pressure-sensitive adhesive sheet was obtained in the same manner as in Example 1, except that the mixture A′′ was used instead of the mixture A to form a first pressure-sensitive adhesive layer having a thickness of 5 ⁇ m.
  • Example 1 A liner was prepared in the same manner as in Example 1, except that liner c was used instead of liner a, and "Matsumoto Microsphere FN-180D” manufactured by Matsumoto Yushi Seiyaku Co., Ltd. was used as thermally expandable microspheres. A double-sided pressure-sensitive adhesive sheet was obtained.
  • Example 2 A liner was prepared in the same manner as in Example 1, except that liner d was used instead of liner a, and "Matsumoto Microsphere FN-180D” manufactured by Matsumoto Yushi Seiyaku Co., Ltd. was used as thermally expandable microspheres. A double-sided pressure-sensitive adhesive sheet was obtained.
  • i) The sample was fixed on a holder with the second pressure-sensitive adhesive layer facing upward, and 1601 continuous transmission images were taken from 0 to 180° by X-ray CT.
  • X-ray CT was measured using ZEISS Xradia 520 Versa at a tube voltage of 40 kV, a tube current of 73 ⁇ A, and a pixel size of 0.3 ⁇ m/Pixel.
  • ii) Reconstruction is performed based on the obtained total transmission image to create a tomographic image, and the analysis software ImageJ. was used to create a three-dimensional reconstructed image (TIF stack image) and a reconstructed cross-sectional image (three views).
  • Apparatus and measurement conditions/apparatus Nanoindenter; Triboindenter manufactured by Hysitron Inc.
  • ⁇ Measurement method single indentation method
  • ⁇ Measurement temperature 25°C
  • Indentation speed about 1000 nm/sec
  • ⁇ Indentation depth about 800 nm
  • ⁇ Probe Diamond, Berkovich type (triangular pyramid type)
  • Adhesive layer surface shape evaluation UV curable adhesive tape (manufactured by Nitto Denko, trade name “UB-3102D”) is shaped into the first adhesive layer surface shape to form the first adhesive layer. The morphology of the surface was evaluated. Specifically, it was evaluated by the following methods.
  • the liner of the liner-equipped double-sided pressure-sensitive adhesive sheet is peeled off, the second pressure-sensitive adhesive layer is adhered to the glass plate, and the first pressure-sensitive adhesive layer is coated with a UV curable pressure-sensitive adhesive tape (manufactured by Nitto Denko Co., Ltd., trade name "UB-3102D"). pasted together. After that, the adhesive surface of the UV-curable adhesive tape was cured. The curing was performed by irradiating ultraviolet rays (irradiation amount: 460 mJ/cm 2 ) from the substrate side of UB-3102D using an ultraviolet irradiation device (UM-810 manufactured by Nitto Seiki Co., Ltd.).
  • the UV-curable adhesive tape was peeled off, and the maximum peak height Rp of the surface attached to the first adhesive layer was measured.
  • a sample having a maximum peak height Rp of 3 ⁇ m or less was evaluated as acceptable ( ⁇ in the table).
  • Si-K ⁇ Ray Intensity Measurement of Liner Fluorescent X-ray analysis was performed on 100 randomly selected points on the surface of the liner (release-treated surface).
  • the intensity (i) of the Si—K ⁇ ray of the surface of the liner in contact with the adhesive layer (the surface coated with the release agent) and the surface not in contact with the adhesive layer (the surface coated with the release agent) Measure the intensity (ii) of the Si-K ⁇ ray of the surface that is not exposed), obtain the absolute value of the value obtained by subtracting the value of (ii) from the value of (i), and calculate the average value of 100 measurements of the value.
  • the Si—K ⁇ ray intensity of the liner was used.
  • the intensity of the Si-K ⁇ ray is the intensity at a wavelength of 7.125 angstroms as measured by the following equipment.

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Abstract

部材加工時の仮固定材として用いられ得る両面粘着シートであって、当該部材が加圧された際に、当該加圧の均一性を高め得る両面粘着シートを提供すること。　本発明のライナー付両面粘着シートは、第１のライナーと、第１の粘着剤層と、基材と、第２の粘着剤層と、第２のライナーとをこの順に備え、該第２の粘着剤層が、熱膨張性微小球を含み、該第１のライナーの該第１の粘着剤層側の面の算術表面粗さＲａが、１ｎｍ～１００ｎｍであり、該第２のライナーの該第２の粘着剤層側の面の算術表面粗さＲａが、１ｎｍ～１００ｎｍであり、該第１のライナーの第１の粘着剤層側の面の最大高さＲｚが、５ｎｍ～１０００ｎｍであり、該第２のライナーの第２の粘着剤層側の面の最大高さＲｚが、５ｎｍ～１０００ｎｍである。

Description

ライナー付両面粘着シート
　本発明は、ライナー付両面粘着シートに関する。
　従来より、所定の部材（例えば、電子部品、電子部品の材料、光学部品等）を加工する際に、当該部材を粘着シートに仮固定することが行われている。例えば、所定の台座上で、両面粘着シートを介して、電子部品等の部材を固定し、当該部材を加工（例えば、樹脂封止、切削、切断、研磨、エッチング、印刷等)し、加工後には、台座から加工済み品が剥離される。
　樹脂封止、切削、回路形成等に代表されるように、上記部材の加工においては、当該部材が加圧されることがある。このように、部材が加圧される際には、加圧の均一性が求められることが多い。
特開２００３－２０１４５２号公報
　本発明は上記従来の課題を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、部材加工時の仮固定材として用いられ得る両面粘着シートであって、当該部材が加圧された際に、当該加圧の均一性を高め得る両面粘着シートを提供することにある。
　本発明のライナー付両面粘着シートは、第１のライナーと、第１の粘着剤層と、基材と、第２の粘着剤層と、第２のライナーとをこの順に備え、該第２の粘着剤層が、熱膨張性微小球を含み、該第１のライナーの該第１の粘着剤層側の面の算術表面粗さＲａが、１ｎｍ～１００ｎｍであり、該第２のライナーの該第２の粘着剤層側の面の算術表面粗さＲａが、１ｎｍ～１００ｎｍであり、該第１のライナーの第１の粘着剤層側の面の最大高さＲｚが、５ｎｍ～１０００ｎｍであり、該第２のライナーの第２の粘着剤層側の面の最大高さＲｚが、５ｎｍ～１０００ｎｍである。
　１つの実施形態においては、上記熱膨張性微小球の体積累積粒子径Ｄ５０が、５μｍ～３０μｍである。
　１つの実施形態においては、上記熱膨張性微小球の体積累積粒子径Ｄ８０が、１０μｍ～５０μｍである。
　１つの実施形態においては、上記基材の厚みの３乗と、該基材の弾性率との積が、１×１０－７（Ｎ／ｍ）～１×１０－２（Ｎ／ｍ）である。
　１つの実施形態においては、上記第１の粘着剤層が、ベースポリマーを含む粘着剤から構成され、該ベースポリマーのガラス転移温度が、－５０℃～０℃である。
　１つの実施形態においては、上記ライナー付両面粘着シートは、ＣＳＰ（Ｃｈｉｐ　Ｓｉｚｅ／Ｓｃａｌｅ　Ｐａｃｋａｇｅ）の製造の際に、半導体チップを仮固定するシートとして用いられる。
　１つの実施形態においては、上記ライナー付両面粘着シートは、ＷＬＰ（Ｗａｆｅｒ　Ｌｅｖｅｌ　Ｐａｃｋａｇｅ）の製造の際に、半導体チップを仮固定するシートとして用いられる。
　１つの実施形態においては、上記半導体チップが加圧加工される。
　本発明によれば、部材加工時の仮固定材として用いられ得る両面粘着シートであって、当該部材が加圧された際に、当該加圧の均一性を高め得る両面粘着シートを提供することができる。
本発明の１つの実施形態によるライナー付両面粘着シートの概略断面図である。
Ａ．ライナー付両面粘着シートの概要
　図１は、本発明の１つの実施形態によるライナー付両面粘着シートの概略断面図である。ライナー付両面粘着シート１００は、第１のライナー１０と、第１の粘着剤層２１と、基材２２と、第２の粘着剤層２３と、第２のライナー３０とをこの順に備える。第１の粘着剤層２１と、基材２２と、第２の粘着剤層２３とは、両面粘着シート２０を構成する。第１のライナー１０の第１の粘着剤層２１側の面の算術表面粗さＲａは、１ｎｍ～１００ｎｍである。第２のライナー３０の第２の粘着剤層２３側の面の算術表面粗さＲａは、１ｎｍ～１００ｎｍである。第１のライナー１０の第１の粘着剤層２１側の面の最大高さＲｚは、５ｎｍ～１０００ｎｍである。第２のライナー３０の第２の粘着剤層２３側の面の最大高さＲｚは、５ｎｍ～１０００ｎｍである。　
　第１の粘着剤層２１と、基材２２と、第２の粘着剤層２３とにより、両面粘着シート２０が構成される。両面粘着シート２０は、本発明の効果が得られる限り、任意の適切なその他の層をさらに備えていてもよい。例えば、第２の粘着剤層と基材との間に下塗り層が配置され得る。
　上記両面粘着シートは、上記第１の粘着剤層上に電子部品等の部材を配置するようにして、当該部材を加工する際の仮固定材として用いられ得る。本発明においては、第１のライナーの表面状態を上記のように特定することにより、表面平滑性に優れる第１の粘着剤層が形成される。このような両面粘着シートを用いれば、両面粘着シート上で部材が加圧される場合に、当該加圧の均一性を高めることができる。また、第２のライナーの表面状態を上記のように特定すれば、第１の粘着剤層の表面（基材とは反対側の面）の平滑性、および、被加圧部材に対する加圧均一性はより優れたものとなる。
　上記第２の粘着剤層は、熱膨張性微小球を含む。熱膨張性微小球を含む粘着剤層は、加熱されることにより、該熱膨張性微小球が膨張または発砲して粘着面に凹凸が生じ、その結果、粘着力が低下または消失する。
　１つの実施形態においては、上記ライナー付両面粘着シートを使用する際、第１のライナーが先に剥離される。より詳細には、上記ライナー付両面粘着シートは、第１のライナーを先に剥離して、露出した粘着面（例えば、第１の粘着剤層表面）に被加工部材（例えば、電子部品）を貼着し、その後、第２のライナーを剥離して、第２の粘着剤層表面を別の被着体（例えば、台座）にて貼着するようにして用いられ得る。このような実施形態においては、両面粘着シートを介して、台座に被着体（例えば、電子部品）を仮固定し；当該被着体を所定の加工に供し；その後、加熱することにより第２の粘着剤層の粘着力を低下させて、被着体付の両面粘着シートが台座から剥離される。
Ｂ．第１のライナー、第２のライナー
　代表的には、上記第１のライナーおよび第２のライナーは、ライナー基材と、ライナー基材の少なくとも片面に配置された剥離処理層とを備える。第１のライナーおよび第２のライナーは、上記剥離処理層が両面粘着シート側となるようにして配置される。なお、第１のライナーおよび第２のライナーは、同じ構成であってもよく、それぞれ異なる構成であってもよい。
　上記のとおり、第１のライナーの第１の粘着剤層側の面の算術表面粗さＲａは、１ｎｍ～１００ｎｍである。第１のライナーの第１の粘着剤層側の面の算術表面粗さＲａは、好ましくは１ｎｍ～６０ｎｍであり、より好ましくは１ｎｍ～４５ｎｍであり、さらに好ましくは１５ｎｍ～４５ｎｍ、特に好ましくは１５ｎｍ～３５ｎｍである。このような範囲であれば、上記本発明の効果が顕著となる。算術表面粗さＲａは、ＪＩＳ　Ｂ　０６０１に準じて測定され得る。
　上記のとおり、第２のライナーの第２の粘着剤層側の面の算術表面粗さＲａは、１ｎｍ～１００ｎｍである。第１のライナーの第１の粘着剤層側の面の算術表面粗さＲａは、好ましくは１ｎｍ～６０ｎｍであり、より好ましくは１ｎｍ～４５ｎｍであり、さらに好ましくは１５ｎｍ～４５ｎｍ、特に好ましくは２５ｎｍ～４５ｎｍである。このような範囲であれば、上記本発明の効果が顕著となる。
　上記のとおり、第１のライナーの第１の粘着剤層側の面の最大高さＲｚは、５ｎｍ～１０００ｎｍである。第１のライナーの第１の粘着剤層側の面の最大高さＲｚは、好ましくは１０ｎｍ～８００ｎｍであり、より好ましくは３０ｎｍ～６００ｎｍであり、さらに好ましくは５０ｎｍ～４００ｎｍであり、特に好ましくは５０ｎｍ～２００ｎｍである。このような範囲であれば、上記本発明の効果が顕著となる。最大高さＲｚは、ＪＩＳ　Ｂ　０６０１に準じて測定され得る。
　上記のとおり、第２のライナーの第２の粘着剤層側の面の最大高さＲｚは、５ｎｍ～１０００ｎｍである。第２のライナーの第２の粘着剤層側の面の最大高さＲｚは、好ましくは１０ｎｍ～８００ｎｍであり、より好ましくは３０ｎｍ～６００ｎｍであり、さらに好ましくは５０ｎｍ～５００ｎｍであり、特に好ましくは１５０ｎｍ～５００ｎｍである。このような範囲であれば、上記本発明の効果が顕著となる。
　第１のライナーの両面粘着シートに対する剥離力は、好ましくは０．００１Ｎ／５０ｍｍ～２Ｎ／５０ｍｍであり、より好ましくは０．０１Ｎ／５０ｍｍ～１．５Ｎ／５０ｍｍであり、さらに好ましくは０．０５Ｎ／５０ｍｍ～１Ｎ／５０ｍｍであり、特に好ましくは０．１Ｎ／５０ｍｍ～０．８Ｎ／５０ｍｍである。なお、第１のライナーの両面粘着シートに対する剥離力（および、第２のライナーの両面粘着シートに対する剥離力）は、２３℃の環境下で、ライナー付両面粘着シートの両面粘着シートからライナーを剥離（剥離角度：１８０°、剥離速度（引張速度）：３００ｍｍ／ｍｉｎ）して測定される粘着力を意味する。ライナーの両面粘着シートに対する剥離力は、粘着剤層の組成、ライナーの種類、ライナーに施される表面処理等、任意の適切な方法により調整することができる。
　第２のライナーの両面粘着シートに対する剥離力は、好ましくは０．００１Ｎ／５０ｍｍ～２Ｎ／５０ｍｍであり、より好ましくは０．０１Ｎ／５０ｍｍ～１．５Ｎ／５０ｍｍであり、さらに好ましくは０．０５Ｎ／５０ｍｍ～１Ｎ／５０ｍｍであり、特に好ましくは０．１Ｎ／５０ｍｍ～０．８Ｎ／５０ｍｍである。第１のライナーの両面粘着シートに対する剥離力と第２のライナーの両面粘着シートに対する剥離力とは同じであってもよく、異なっていてもよい。
　上記第１のライナーの厚みは、好ましくは５μｍ～２５０μｍであり、より好ましくは１０μｍ～２００μｍであり、さらに好ましくは２０μｍ～１５０μｍであり、最も好ましくは３０μｍ～１００μｍである。
　上記第２のライナーの厚みは、好ましくは５μｍ～２５０μｍであり、より好ましくは１０μｍ～２００μｍであり、さらに好ましくは２０μｍ～１５０μｍであり、最も好ましくは３０μｍ～１００μｍである。第１のライナーの厚みと第２のライナーの厚みは、同じであってもよく、異なっていてもよい。
　上記第１のライナー（実質的にはライナー基材）の弾性率は、５００ＭＰａ～５０００ＭＰａであり、より好ましくは５００ＭＰａ～４０００ＭＰａであり、さらに好ましくは７００ＭＰａ～４０００ＭＰａである。本明細書において、弾性率とは、２３℃環境下における、ナノインデンテーション法による弾性率を意味する。ナノインデンテーション法による弾性率とは、圧子を試料（ライナー基材であり得る）に押し込んだときの、圧子への負荷荷重と押し込み深さとを負荷時、除荷時にわたり連続的に測定し、得られた負荷荷重－押し込み深さ曲線から求められる弾性率をいう。ナノインデンテーション法による弾性率の測定条件は、後述する。
　上記第２のライナー（実質的にはライナー基材）の弾性率は、５００ＭＰａ～５０００ＭＰａであり、より好ましくは５００ＭＰａ～４０００ＭＰａであり、さらに好ましくは７００ＭＰａ～４０００ＭＰａである。第１のライナーの弾性率と第２のライナーの弾性率は、同じであってもよく、異なっていてもよい。
　上記ライナー基材は、任意の適切な材料から構成され得る。ライナー基材は、例えば、プラスチックフィルム、プラスチックシートの他、紙、布、不織布、金属箔、あるいはそれらのプラスチックラミネート体、プラスチック同士の積層体など、様々なシート状物を用いることが可能である。中でも、取り扱い性やコストの観点から、プラスチックフィルムやプラスチックシート（以下、プラスチックフィルムという）が最も好ましい。プラスチックフィルムの素材としては、強度、耐熱性などの観点から、必要に応じて選択できる。例えば、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、エチレン－プロピレン共重合体、エチレン－酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）等のα－オレフィンをモノマー成分とするオレフィン系樹脂；ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）等のポリエステル；ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）；ポリフェニレンスルフィド（ＰＰＳ）；ポリアミド（ナイロン）、全芳香族ポリアミド（アラミド）等のアミド系樹脂；ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリスチレン、アクリル樹脂などが挙げられる。好ましくは、ポリエステル系樹脂から構成されるライナー基材が用いられ、より好ましくはポリエチレンテレフタレートから構成されるライナー基材が用いられる。上記材料は単独で又は２種以上組み合わせて使用することができる。また、プラスチックフィルムとしては、未延伸フィルム、１軸配向フィルム、２軸配向フィルムのいずれを用いてもよい。また、これらのフィルムは２層以上のフィルム層からなる積層フィルムでもよい。また、両面粗さの調整、取り扱い性の観点から、適宜、不活性粒子などの滑剤を添加したフィルムを用いてもよい。例えば、滑剤として、アンチモン、シリカゲル等から構成される無機微粒子が用いられ得る。
　上記剥離処理層を形成するための処理としては、任意の適切な処理が採用され得る。１つの実施形態においては、剥離処理層は、シリコーン処理層である。シリコーンとしては、主成分がジメチルポリシロキサン類で架橋（硬化）に必要な官能基を有する反応性シリコーン系化合物が好ましく用いられ得る。低分子状態でフィルムへの塗布が可能であり、塗布後に硬化させることで擦過などに強い剥離処理層にできるからである。反応性シリコーン化合物の官能基としては、例えば、ビニル基、エポキシ基、アルコキシ基、イソシアナト基等が挙げられる。
　シリコーン処理層は、例えば、上記反応性シリコーン系化合物を溶媒等に希釈して濃度調整を行い、グラビアコーター等で塗布・加熱することで形成される。加熱することにより、溶剤乾燥と硬化反応を促す。ここで硬化反応を促進する触媒を併用することが好ましい。触媒としては、例えば、白金、パラジウム、ロジウム、ジルコニウム、スズ等の金属錯体やアミンなどの有機塩基、酢酸などの有機酸が利用できる。
　１つの実施形態においては、上記第１のライナーおよび／または第２のライナー（実質的には、各ライナーの剥離処理層）は、蛍光Ｘ線分析によるＳｉ－Ｋα線の強度が、０．０１～５００ｋｃｐｓ（好ましくは０．５～２５０ｋｃｐｓ、より好ましくは１．０～１５０ｋｃｐｓ、さらに好ましくは１．０５～１００ｋｃｐｓ、特に好ましくは５～１００ｋｃｐｓ）である。このような範囲であれば、十分、かつ、均一に剥離処理が行われ、好ましく表面状態が調整されたライナーを得ることができる。上記蛍光Ｘ線分析によるＳｉ－Ｋα線の強度は、蛍光Ｘ線分析にて、剥離処理剤層と非剥離処理剤層のＳｉ強度をそれぞれ測定し、剥離処理剤層の強度から非剥離処理剤層の強度を減じて求めた値である。なお、強度は、例えば、剥離処理剤の塗布量、濃度、塗工速度、乾燥など剥離処理層形成条件を制御することで、調整が可能である。第１のライナーと第２のライナーとのＳｉ－Ｋα線強度は異なる方が好ましい。Ｓｉ－Ｋα線強度が異なることで、２つのライナーの剥離性に差異が生じ、ライナー剥離時にライナー側に粘着剤が付着したり、ライナー側に粘着剤が引きちぎられるなど、粘着テープの使用に好ましくない性質(いわゆる泣き別れ現象)を抑止でき、加圧の均一性をより高めることができるからである。第１のライナーと第２のライナーとのＳｉ－Ｋα線強度の差の絶対値としては、０．１～５００が好ましく、より好ましくは、０．１～２００、さらに好ましくは０．１～１５０、特に好ましくは１～８０である。
　１つの実施形態においては、上記第１のライナーと第２のライナーとは異なる色である。このように構成されたライナー付両面粘着シートは、例えば、いずれか一方のライナー（例えば、ライナー基材）を着色することにより、得ることができる。両ライナーを異なる色とすれば、ライナー付両面粘着シートの表裏が明確になり、剥離すべきライナーの識別が容易となる。
Ｃ．両面粘着シート
　上記のとおり、両面粘着シートは、第１の粘着剤層と、基材と、第２の粘着剤層とをこの順に備える。１つの実施形態においては、両面粘着シートは、第２の粘着剤層と基材との間に配置された下塗層をさらに備える。下塗層を備えていていれば、被着体に対する追従性に優れる両面粘着シートを得ることができる。また、熱膨張性微小球を含む第２の粘着剤層は、加熱されると熱膨張微小球の膨張にともない、厚み方法に膨張しようと変形が生じるが、下塗り層により基材方向への変形が抑制されるため、剥離性が向上する。
　上記両面粘着シートの第１の粘着剤層をポリエチレンテレフタレートに貼着した際の２３℃における粘着力は、好ましくは０．５Ｎ／２０ｍｍ以上であり、より好ましくは０．５Ｎ／２０ｍｍ～２０Ｎ／２０ｍｍであり、さらに好ましくは０．５Ｎ／２０ｍｍ～１５Ｎ／２０ｍｍである。粘着力とは、ＪＩＳ　Ｚ　０２３７：２０００に準じた方法（貼り合わせ条件：２ｋｇローラー１往復、剥離速度：３００ｍｍ／ｍｉｎ、剥離角度１８０°）により測定した粘着力をいう。
　上記両面粘着シートの第２の粘着剤層をポリエチレンテレフタレートに貼着した際の２３℃における初期粘着力は、好ましくは０．５Ｎ／２０ｍｍ以上であり、より好ましくは０．５Ｎ／２０ｍｍ～２０Ｎ／２０ｍｍであり、さらに好ましくは０．５Ｎ／２０ｍｍ～１５Ｎ／２０ｍｍである。このような範囲であれば、例えば、電子部品の製造に用いられる仮固定用シートとして有用な両面粘着シートを得ることができる。本明細書において、初期粘着力とは、熱膨張性微小球の膨張による粘着力低下が生じていない状態での粘着力であり、５０℃以上の熱履歴を経ていない状態の粘着力を意味する。
　上記両面粘着シートの第２の粘着剤層をポリエチレンテレフタレートに貼着した際の粘着力は、加熱により、０．２Ｎ／２０ｍｍ以下（好ましくは０．１Ｎ／２０ｍｍ以下）にまで低下することが好ましい。当該加熱温度は、好ましくは９０℃～３００℃であり、より好ましくは１００℃～２８０℃である。
　上記両面粘着シートの厚みは、好ましくは３μｍ～３００μｍであり、より好ましくは５μｍ～１５０μｍであり、さらに好ましくは１０μｍ～１００μｍである。
　１つの実施形態においては、上記両面粘着シートを構成する層の内、少なくとも１層が着色層である。着色層が複数層存在する場合には、それぞれ異なる色であることが好ましい。これらの構成によれば、ライナー付両面粘着シートの表裏が明確になり、剥離すべきライナーの識別が容易となる。なお、着色とは、光のうち可視光領域（２５０ｎｍ～７００ｎｍ）の光のうち任意もしくは全ての光を吸収および／もしくは反射している状態を意味する。いずれか一層を着色する方法としては、任意の適切な方法が採用され得る。
　上記着色剤としては、顔料または染料等を使用できる。上記顔料としては、例えば有機顔料としてアクリル系顔料、アゾ系顔料、ポリアゾ系顔料、アントラキノン系顔料、キナクリドン系顔料、イソインドリン系顔料、イソインドリノン系顔料、フタロシアニン系顔料、ペリレン系顔料、ＤＰＰ系顔料、蛍光顔料、縮合多環顔料、着色樹脂粒子などが挙げられ、無機顔料としてカーボンブラック、合成シリカ、酸化クロム、酸化鉄、酸化チタン、硫化亜鉛、焼成顔料、天然雲母などの公知の顔料が挙げられる。染料としては、酸性染料、反応染料、直接染料、分散染料、カチオン染料、高分子染料等が挙げられる。インクとしては大日精化製の「ＮＢ３００」等の市販品を用いてもよい。なお、粘着剤層に着色剤を混合することでも着色は可能である。また、粘着剤層の組成物が例えば親水性組成物と疎水性組成物とでミクロ相分離するなどして可視光波長程度の大きさの微細構造を持つ場合には、その大きさに応じて着色する現象、いわゆる構造色を呈することもあるので、これを利用した着色を利用することも可能である。
Ｃ－１．第１の粘着剤層
　第１の粘着剤層は、任意の適切な粘着剤から構成される。第１の粘着剤層を構成する粘着剤としては、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤、シリコーン系粘着剤等が挙げられる。なかでも、アクリル系粘着剤が好ましく用いられ得る。また、粘着剤として、活性エネルギー線硬化型のアクリル系粘着剤(以下、活性エネルギー線硬化型粘着剤)を用いてもよい。粘着剤の詳細は、例えば、特開２０１５－１６８７１１号公報に記載されている。当該公報の記載は、本明細書に参考として援用される。
（アクリル系粘着剤）
　１つの実施形態においては、上記粘着剤として、アクリル系粘着剤が用いられる。上記アクリル系粘着剤としては、例えば、（メタ）アクリル酸アルキルエステルの１種または２種以上を単量体成分として用いたアクリル系ポリマー（ホモポリマーまたはコポリマー）をベースポリマーとするアクリル系粘着剤等が挙げられる。
　上記（メタ）アクリル酸アルキルエステルの具体例としては、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル、（メタ）アクリル酸イソプロピル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸イソブチル、（メタ）アクリル酸ｓ－ブチル、（メタ）アクリル酸ｔ－ブチル、（メタ）アクリル酸ペンチル、（メタ）アクリル酸ヘキシル、（メタ）アクリル酸ヘプチル、（メタ）アクリル酸オクチル、（メタ）アクリル酸２－エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸イソオクチル、（メタ）アクリル酸ノニル、（メタ）アクリル酸イソノニル、（メタ）アクリル酸デシル、（メタ）アクリル酸イソデシル、（メタ）アクリル酸ウンデシル、（メタ）アクリル酸ドデシル、（メタ）アクリル酸トリデシル、（メタ）アクリル酸テトラデシル、（メタ）アクリル酸ペンタデシル、（メタ）アクリル酸ヘキサデシル、（メタ）アクリル酸ヘプタデシル、（メタ）アクリル酸オクタデシル、（メタ）アクリル酸ノナデシル、（メタ）アクリル酸エイコシル等の（メタ）アクリル酸Ｃ１－２０アルキルエステルが挙げられる。なかでも好ましくは、炭素数が４～２０（より好ましくは６～２０、特に好ましくは８～１８）の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステルであり、より好ましくは（メタ）アクリル酸２－エチルヘキシルである。
　上記アクリル系ポリマーは、凝集力、耐熱性、架橋性等の改質を目的として、必要に応じて、上記（メタ）アクリル酸アルキルエステルと共重合可能な他の単量体成分に対応する単位を含んでいてもよい。このような単量体成分として、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、カルボキシエチルアクリレート、カルボキシペンチルアクリレート、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、クロトン酸等のカルボキシル基含有モノマー；無水マレイン酸、無水イコタン酸等の酸無水物モノマー；（メタ）アクリル酸ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシブチル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシヘキシル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシオクチル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシデシル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシラウリル、（４－ヒドロキシメチルシクロヘキシル）メチルメタクリレート等のヒドロキシル基含有モノマー；スチレンスルホン酸、アリルスルホン酸、２－（メタ）アクリルアミド－２－メチルプロパンスルホン酸、（メタ）アクリルアミドプロパンスルホン酸、スルホプロピル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリロイルオキシナフタレンスルホン酸等のスルホン酸基含有モノマー；（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ－ジメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ－ブチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ－メチロール（メタ）アクリルアミド、Ｎ－メチロールプロパン（メタ）アクリルアミド等の（Ｎ－置換）アミド系モノマー；（メタ）アクリル酸アミノエチル、（メタ）アクリル酸Ｎ，Ｎ－ジメチルアミノエチル、（メタ）アクリル酸ｔ－ブチルアミノエチル等の（メタ）アクリル酸アミノアルキル系モノマー；（メタ）アクリル酸メトキシエチル、（メタ）アクリル酸エトキシエチル等の（メタ）アクリル酸アルコキシアルキル系モノマー；Ｎ－シクロヘキシルマレイミド、Ｎ－イソプロピルマレイミド、Ｎ－ラウリルマレイミド、Ｎ－フェニルマレイミド等のマレイミド系モノマー；Ｎ－メチルイタコンイミド、Ｎ－エチルイタコンイミド、Ｎ－ブチルイタコンイミド、Ｎ－オクチルイタコンイミド、Ｎ－２－エチルヘキシルイタコンイミド、Ｎ－シクロヘキシルイタコンイミド、Ｎ－ラウリルイタコンイミド等のイタコンイミド系モノマー；Ｎ－（メタ）アクリロイルオキシメチレンスクシンイミド、Ｎ－（メタ）アクルロイル－６－オキシヘキサメチレンスクシンイミド、Ｎ－（メタ）アクリロイル－８－オキシオクタメチレンスクシンイミド等のスクシンイミド系モノマー；酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、Ｎ－ビニルピロリドン、メチルビニルピロリドン、ビニルピリジン、ビニルピペリドン、ビニルピリミジン、ビニルピペラジン、ビニルピラジン、ビニルピロール、ビニルイミダゾール、ビニルオキサゾール、ビニルモルホリン、Ｎ－ビニルカルボン酸アミド類、スチレン、α－メチルスチレン、Ｎ－ビニルカプロラクタム等のビニル系モノマー；アクリロニトリル、メタクリロニトリル等のシアノアクリレートモノマー；（メタ）アクリル酸グリシジル等のエポキシ基含有アクリル系モノマー；（メタ）アクリル酸ポリエチレングリコール、（メタ）アクリル酸ポリプロピレングリコール、（メタ）アクリル酸メトキシエチレングリコール、（メタ）アクリル酸メトキシポリプロピレングリコール等のグリコール系アクリルエステルモノマー；（メタ）アクリル酸テトラヒドロフルフリル、フッ素（メタ）アクリレート、シリコーン（メタ）アクリレート等の複素環、ハロゲン原子、ケイ素原子等を有するアクリル酸エステル系モノマー；ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、エポキシアクリレート、ポリエステルアクリレート、ウレタンアクリレート等の多官能モノマー；イソプレン、ブタジエン、イソブチレン等のオレフィン系モノマー；ビニルエーテル等のビニルエーテル系モノマー等が挙げられる。これらの単量体成分は、単独で、または２種以上組み合わせて用いてもよい。上記の中でも、より好ましくはカルボキシル基含有モノマー（特に好ましくはアクリル酸）またはヒドロキシル基含有モノマー（特に好ましくは（メタ）アクリル酸ヒドロキシエチル）である。カルボキシル基含有モノマー由来の構成単位の含有量は、アクリル系ポリマーを構成する全構成単位に対して、好ましくは０．１重量％～１０重量％であり、より好ましくは０．５重量％～５重量％であり、特に好ましは１重量％～４重量％である。また、ヒドロキシル基含有モノマー由来の構成単位の含有量は、アクリル系ポリマーを構成する全構成単位に対して、好ましくは０．１重量％～２０重量％であり、より好ましくは０．５重量％～１０重量％であり、特に好ましは１重量％～７重量％である。なお、本明細書において、（メタ）アクリルとは、アクリルおよび／またはメタクリルを意味する。
　１つの実施形態においては、上記ベースポリマー（例えば、アクリル系ポリマー）のガラス転移温度（Ｔｇ）は、好ましくは－５０℃～０℃であり、より好ましくは－４０℃～－５℃であり、さらに好ましくは－３５℃～－５℃である。このような範囲であれば、適度な粘性を有し、被着体を加圧した際に当該被着体の位置ずれを防止し得る粘着剤層を形成することができる。また、平滑性に優れる粘着剤層が形成され、被着体の破損を防止することができる。ベースポリマーが共重合体の場合、上記ガラス転移温度は、Ｆｏｘの計算式により求められる。Ｆｏｘの計算式とは、下記に示すように、共重合体のガラス転移温度Ｔｇ（℃）と、共重合体を構成する単量体（モノマー）のそれぞれを単独重合した単重合体（ホモポリマー）のガラス転移温度Ｔｇｉ（℃）との関係式である。なお、以下のＦｏｘの式において、Ｔｇ（℃）は共重合体のガラス転移温度、Ｗｉは単量体ｉの重量分率、Ｔｇｉ（℃）は単量体ｉから形成される単重合体のガラス転移温度を示す。
　　１／（２７３＋Ｔｇ）＝Σ（Ｗｉ／（２７３＋Ｔｇｉ））
　単量体から形成される単重合体のガラス転移温度としては、アクリロニトリル単重合体（ＡＮ）：９７℃、メチルメタクリレート単重合体（ＭＭＡ）：１０２℃、メタクリロイルニトリル単重合体（ＭＡＮ）：１２０℃、塩化ビニリデン単重合体：７５℃、イソボルニルアクリレート単重合体：９７℃、メチルアクリレート単重合体：１０℃、ブチルアクリレート単重合体：－５３℃、エチルアクリレート単重合体：－２３℃、アクリル酸単重合体：１０１℃、２エチルヘキシルアクリレート単重合体：－５２℃、２‐ヒドロキシエチルアクリレート：－１４℃である。また、これら以外の単重合体のガラス転移温度としては、「Ｐｏｌｙｍｅｒ　Ｈａｎｄｂｏｏｋ」（第４版、Ｊｏｈｎ　Ｗｉｌｅｙ　＆　Ｓｏｎｓ，Ｉｎｃ、１９９９年）に記載された値を使用することができる。なお、この文献中、複数のＴｇの値が記載されている場合は、「ｃｏｎｖｅｎｔｉｏｎａｌ」の値を採用する。さらに、前述文献で値の記載が無い場合には、ｈｔｔｐｓ：／／ｐｏｌｙｍｅｒｄａｔａｂａｓｅ．ｃｏｍに記載の値を採用し、複数のＴｇが記載されている場合には「ＰＲＥＦＥＲＲＥＤ」の値を採用する。
　上記アクリル系粘着剤は、必要に応じて、任意の適切な添加剤を含み得る。該添加剤としては、例えば、架橋剤、粘着付与剤、可塑剤（例えば、トリメリット酸エステル系可塑剤、ピロメリット酸エステル系可塑剤等）、顔料、染料、充填剤、老化防止剤、導電材、帯電防止剤、紫外線吸収剤、光安定剤、剥離調整剤、軟化剤、界面活性剤、難燃剤、酸化防止剤等が挙げられる。
　上記アクリル系粘着剤に含まれる架橋剤としては、例えば、イソシアネート系架橋剤、エポキシ系架橋剤、メラミン系架橋剤、過酸化物系架橋剤の他、尿素系架橋剤、金属アルコキシド系架橋剤、金属キレート系架橋剤、金属塩系架橋剤、カルボジイミド系架橋剤、オキサゾリン系架橋剤、アジリジン系架橋剤、アミン系架橋剤などが挙げられる。なかでも好ましくは、イソシアネート系架橋剤またはエポキシ系架橋剤である。
　上記アクリル系粘着剤に含まれる上記イソシアネート系架橋剤の具体例としては、ブチレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート等の低級脂肪族ポリイソシアネート類；シクロペンチレンジイソシアネート、シクロへキシレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート等の脂環族イソシアネート類；２，４－トリレンジイソシアネート、４，４’－ジフェニルメタンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート等の芳香族イソシアネート類；トリメチロールプロパン／トリレンジイソシアネート３量体付加物（日本ポリウレタン工業社製、商品名「コロネートＬ」）、トリメチロールプロパン／へキサメチレンジイソシアネート３量体付加物（日本ポリウレタン工業社製、商品名「コロネートＨＬ」）、ヘキサメチレンジイソシアネートのイソシアヌレート体（日本ポリウレタン工業社製、商品名「コロネートＨＸ」）等のイソシアネート付加物；等が挙げられる。イソシアネート系架橋剤の含有量は、所望とする粘着力に応じて、任意の適切な量に設定され得、ベースポリマー１００重量部に対して、代表的には０．１重量部～２０重量部であり、より好ましくは０．５重量部～１０重量部である。
　上記アクリル系粘着剤に含まれる前記エポキシ系架橋剤としては、例えば、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’－テトラグリシジル－ｍ－キシレンジアミン、ジグリシジルアニリン、１，３－ビス（Ｎ，Ｎ－グリシジルアミノメチル）シクロヘキサン（三菱ガス化学社製、商品名「テトラッドＣ」）、１，６－ヘキサンジオールジグリシジルエーテル（共栄社化学社製、商品名「エポライト１６００」）、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル（共栄社化学社製、商品名「エポライト１５００ＮＰ」）、エチレングリコールジグリシジルエーテル（共栄社化学社製、商品名「エポライト４０Ｅ」）、プロピレングリコールジグリシジルエーテル（共栄社化学社製、商品名「エポライト７０Ｐ」）、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル（日本油脂社製、商品名「エピオールＥ－４００」）、ポリプロピレングリコールジグリシジルエーテル（日本油脂社製、商品名「エピオールＰ－２００」）、ソルビトールポリグリシジルエーテル（ナガセケムテックス社製、商品名「デナコール　ＥＸ－６１１」）、グリセロールポリグリシジルエーテル（ナガセケムテックス社製、商品名「デナコール　ＥＸ－３１４」）、ペンタエリスリトールポリグリシジルエーテル、ポリグリセロールポリグリシジルエーテル（ナガセケムテックス社製、商品名「デナコール　ＥＸ－５１２」）、ソルビタンポリグリシジルエーテル、トリメチロールプロパンポリグリシジルエーテル、アジピン酸ジグリシジルエステル、ｏ－フタル酸ジグリシジルエステル、トリグリシジル－トリス（２－ヒドロキシエチル）イソシアヌレート、レゾルシンジグリシジルエーテル、ビスフェノール－Ｓ－ジグリシジルエーテル、分子内にエポキシ基を２つ以上有するエポキシ系樹脂等が挙げられる。エポキシ系架橋剤の含有量は、所望とする粘着力に応じて、任意の適切な量に設定され得、ベースポリマー１００重量部に対して、代表的には０．０１重量部～１０重量部であり、より好ましくは０．０３重量部～５重量部である。
　上記第１の粘着剤層の厚みは、好ましくは５μｍ～７０μｍであり、より好ましくは７μｍ～６０μｍであり、さらに好ましくは１５μｍ～５５μｍであり、最も好ましくは２０μｍ～５０μｍである。このような範囲であれば、ライナー剥離の操作性、貼着時の操作性、粘着性、平滑性、加熱時の変形性に優れる両面粘着シートを得ることができる。
　上記第１の粘着剤層の弾性率は、好ましくは０．００１ＭＰａ～１０ＭＰａであり、より好ましくは０．０１ＭＰａ～８ＭＰａである。このような範囲であれば、ライナー剥離の操作性、貼着時の操作性、粘着性、平滑性、加熱時の変形性に優れる両面粘着シートを得ることができる。なお、第１の粘着剤層が活性エネルギー線硬化型粘着剤を含む場合、当該第１の粘着剤層は、活性エネルギー線の照射により硬化して、その弾性率が１ＭＰａ～２００ＭＰａとなることが好ましく、５ＭＰａ～１５０ＭＰａとなることがより好ましく、１０ＭＰａ～１００ＭＰａとなることがさらに好ましい。
Ｃ－２．第２の粘着剤層
　上記第２の粘着剤層は、任意の適切な粘着剤および熱膨張性微小球を含み得る。第２の粘着剤層を構成する粘着剤としては、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤、シリコーン系粘着剤等が挙げられる。なかでも、アクリル系粘着剤が好ましく用いられ得る。また、粘着剤として、活性エネルギー線硬化型のアクリル系粘着剤(以下、活性エネルギー線硬化型粘着剤)を用いてもよい。粘着剤の詳細は、例えば、特開２０１５－１６８７１１号公報に記載されている。当該公報の記載は、本明細書に参考として援用される。
　上記第２の粘着剤層の厚みは、好ましくは１μｍ～６０μｍであり、より好ましくは２μｍ～５０μｍであり、さらに好ましくは３μｍ～３５μｍであり、最も好ましくは５μｍ～３５μｍである。このような範囲であれば、ライナー剥離の操作性、貼着時の操作性、粘着性、平滑性に優れる両面粘着シートを得ることができる。
　上記第２の粘着剤層の弾性率は、好ましくは０．００１ＭＰａ～１０ＭＰａであり、より好ましくは０．０１ＭＰａ～８ＭＰａである。このような範囲であれば、ライナー剥離の操作性、貼着時の操作性、粘着性、平滑性に優れる両面粘着シートを得ることができる。
　１つの実施形態においては、上記第２の粘着剤層は、Ｃ－１項で説明したアクリル系粘着剤を含む。上記のようにアクリル系粘着剤は、ベースポリマーとしてアクリル系ポリマーを含む。
（熱膨張性微小球）
　上記熱膨張性微小球としては、加熱により膨張または発泡し得る微小球である限りにおいて、任意の適切な熱膨張性微小球を用いることができる。上記熱膨張性微小球としては、例えば、加熱により容易に膨張する物質（揮発性物質）を、弾性を有する殻内に内包させた微小球が用いられ得る。このような熱膨張性微小球は、任意の適切な方法、例えば、コアセルベーション法、界面重合法等により製造できる。
　上記殻内に含まれる揮発性物質は、代表的には有機溶媒である。該有機溶媒としては、例えば、炭素数３から８の直鎖状の脂肪族炭化水素およびそのフルオロ化物、炭素数３から８の分岐状の脂肪族炭化水素およびそのフルオロ化物、炭素数３から８の直鎖状の脂環族炭化水素およびそのフルオロ化物、炭素数が２から８の炭化水素基を有するエーテル化合物、または該炭化水素基の水素原子の１部が弗素原子によって置換された化合物等が挙げられる。１つの実施形態においては、有機溶媒として、プロパン、シクロプロパン、ブタン、シクロブタン、イソブタン、ペンタン、シクロペンタン、ネオペンタン、イソペンタン、ヘキサン、シクロヘキサン、２－メチルペンタン、２，２－ジメチルブタン、ヘプタン、シクロヘプタン、オクタン、シクロオクタン、メチルヘプタン類、トリメチルペンタン類等の水素原子および炭素原子のみから構成される炭化水素類；Ｃ３Ｆ７ＯＣＨ３、Ｃ４Ｆ９ＯＣＨ３、Ｃ４Ｆ９ＯＣ２Ｈ５などのハイドロフルオロエーテル類等が用いられる。こられの有機溶媒は、１種のみを用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
　上記有機溶媒の沸点は、好ましくは－５０℃～１００℃であり、より好ましくは－２０℃～１００℃である。このような範囲であれば、破壊することなく殻が良好に膨張し得る熱膨張性微小球を得ることができる。なお、有機溶剤の沸点が低すぎる場合、熱膨張微小球製造時の揮発抑制のための操作が煩雑となるおそれがある。なお、２種類以上の有機溶媒（混合溶媒）が用いられる場合、上記「有機溶媒の沸点」は、重量割合の最も大きい溶媒の沸点を意味する。
　上記有機溶媒の含有割合は、熱膨張性微小球の加熱前重量に対して、好ましくは５重量％～３５重量％であり、より好ましくは１０重量％～３０重量％である。このような範囲であれば、熱膨張性微小球が、粘着剤層中において、高い均一性で分散することになる。含有割合が５重量％未満の場合、密度が低いなどの理由で粘着剤層製造中に、熱膨張微小球が粘着剤層表面に偏在しやすくなり、加熱後には過剰な大きさの凸凹が粘着剤層表面に生じるおそれがある。含有割合が３５重量％を超える場合、密度が高く粘着剤層内で沈降して、加熱しても、粘着剤層表面に十分な凹凸ができず、所望の剥離性が得られないおそれがあり、また、糊残りが発生するおそれもある。
　上記殻を構成する材料としては、例えば、樹脂、ガラス、金属等が挙げられる。なかでも好ましくは、樹脂である。上記殻を構成する樹脂としては、例えば、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、α－クロルアクリロニトリル、α－エトキシアクリロニトリル、フマロニトリル等のニトリル単量体；アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸等のカルボン酸単量体；塩化ビニリデン；酢酸ビニル；メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ－ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、ｔ－ブチル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、β－カルボキシエチルアクリレート等の（メタ）アクリル酸エステル；スチレン、α－メチルスチレン、クロロスチレン等のスチレンモノマー；アクリルアミド、置換アクリルアミド、メタクリルアミド、置換メタクリルアミド等のアミド単量体；等から構成されるポリマーが挙げられる。これらの単量体から構成されるポリマーは、ホモポリマーであってもよく、コポリマーであってもよい。該コポリマーとしては、例えば、塩化ビニリデン‐メタクリル酸メチル－アクリロニトリル共重合体、メタクリル酸メチル－アクリロニトリル－メタクリロニトリル共重合体、メタクリル酸メチル－アクリロニトリル共重合体、アクリロニトリル－メタクリロニトリル－イタコン酸共重合体等が挙げられる。また、上記殻を形成する樹脂は、架橋体であってもよい。架橋により、重合体の排除自由体積を調整することができ、それにより、内包された揮発性物質の拡散性、殻の膨張性等を制御することができる。
　１つの実施形態においては、殻を構成する樹脂が、イソボルニルアクリレート由来の構成単位、メタクリロニトリル由来の構成単位、アクリロニトリル由来の構成単位、メチル（メタ）アクリレート由来の構成単位、塩化ビニリデン由来の構成単位、および（メタ）アクリル酸由来の構成単位からなる群から選択される少なくとも一種を含む。これらの構成単位を有する樹脂を用いれば、内包する有機溶媒に対する溶解性が低く、加熱前に該有機溶媒が透過または浸潤しがたい殻を形成することができる。また、上記樹脂を用いれば、加熱による変形性が良好な熱膨張性微小球を得ることができる。さらに、上記単量体を用いれば、架橋等により殻の熱性質を容易に制御することが可能となる。１つの実施形態においては、殻硬さの制御の容易さの観点から、メチル（メタ）アクリレートが好ましく用いられる。メチル（メタ）アクリレートを用いれば、例えば、電子線架橋等の架橋により、容易に殻の硬さを制御することができる。メチル（メタ）クリレートを用いる場合、該メチル（メタ）クリレートの含有割合は、殻を形成する樹脂１００重量部に対して、好ましくは６５重量部未満であり、より好ましくは１重量部～５５重量部であり、特に好ましくは１重量部～５０重量部である。また、殻に柔軟性を付与する場合、塩化ビニリデンが好ましく用いられる。塩化ビリリデンの使用量は、所望とする樹脂のガラス転移温度に応じて、任意の適切な量とされ得る。
　上記熱膨張性微小球として、無機系発泡剤または有機系発泡剤を用いてもよい。無機系発泡剤としては、例えば、炭酸アンモニウム、炭酸水素アンモニウム、炭酸水素ナトリウム、亜硝酸アンモニウム、水酸化ホウ素ナトリウム、各種アジド類等が挙げられる。また、有機系発泡剤としては、例えば、トリクロロモノフルオロメタン、ジクロロモノフルオロメタン等の塩フッ化アルカン系化合物；アゾビスイソブチロニトリル、アゾジカルボンアミド、バリウムアゾジカルボキシレート等のアゾ系化合物；パラトルエンスルホニルヒドラジド、ジフェニルスルホン－３，３’－ジスルホニルヒドラジド、４，４’－オキシビス（ベンゼンスルホニルヒドラジド）、アリルビス（スルホニルヒドラジド）等のヒドラジン系化合物；ｐ－トルイレンスルホニルセミカルバジド、４，４’－オキシビス（ベンゼンスルホニルセミカルバジド）等のセミカルバジド系化合物；５－モルホリル－１，２，３，４－チアトリアゾール等のトリアゾール系化合物；Ｎ，Ｎ’－ジニトロソペンタメチレンテトラミン、Ｎ，Ｎ’－ジメチル－Ｎ，Ｎ’－ジニトロソテレフタルアミド；等のＮ－ニトロソ系化合物などが挙げられる。
　上記殻の厚みは、好ましくは１５μｍ以下であり、より好ましくは７μｍ以下であり、さらに好ましくは５μｍ以下であり、特に好ましくは４μｍ以下である。
　上記殻を構成する樹脂のガラス転移温度（Ｔｇ）は、好ましくは５０℃～２５０℃であり、より好ましくは６０℃～２００℃であり、さらに好ましくは８０℃～１５０℃である。
　上記熱膨張性微小球の加熱前の粒子径は、好ましくは０．５μｍ～８０μｍであり、より好ましくは５μｍ～４５μｍであり、さらに好ましくは１０μｍ～２０μｍであり、特に好ましくは１０μｍ～１５μｍである。
　上記熱膨張性微小球の体積累積粒子径Ｄ５０（体積累計５０％における粒子径）は、好ましくは５μｍ～３０μｍであり、より好ましくは７μｍ～２４μｍである。このような範囲であれば、加熱後の剥離性に優れる一方、加熱前においては、表面平滑性に優れる粘着剤層が形成され得る。このような粘着剤層を備える両面粘着シートを用いれば、両面粘着シート上で部材が加圧される場合に、当該加圧の均一性を高めることができる。体積累積粒子径Ｄ５０およびＤ８０（後述）は、加熱前の粒子径である。　
　上記熱膨張性微小球の体積累積粒子径Ｄ８０（体積累計８０％における粒子径）は、好ましくは１０μｍ～５０μｍであり、より好ましくは１５μｍ～４０μｍであり、さらに好ましくは１５μｍ～３５μｍである。このような範囲であれば、両面粘着シート上で部材が加圧される場合に、当該加圧の均一性を高め得る両面粘着シートを得ることができる。
　本発明の発明者らは、第１の粘着剤層の表面状態のみならず、熱膨張性微小球を含む第２の粘着剤層の表面状態もまた、第１の粘着剤層上に配置された被加工物に対する加圧均一性に影響を及ぼすことを見いだした。上記のように熱膨張性微小球の体積累積粒子径Ｄ５０および／またはＤ８０を調整すれば、第２の粘着剤層の表面状態をより適切に制御することができ、本発明の上記効果はより顕著となる。
　気流もしくは液体中での沈降速度の違いを利用した分取や、遠心分離による分取や、ふるいを用いた分球によって、所望の粒子径を有する熱膨張性微小球群を得ることができる。特に樹脂製フィルターを用いた加圧ろ過法では、熱膨張性微小球を粘着剤に混合する前の溶剤に分散した状態や、粘着剤溶液に分散した状態でも、工業的な量産性の観点から好ましい。加圧濾過に用いるフィルターシステムとしては、例えば、カネフィールＲシリーズ（富士ケミカル株式会社）、チッソＣＰＩＩフィルター（チッソフィルター社製）などの耐圧ハウジング（例えば、ＮＦ－１Ｐ、チッソフィルター社製）に挿入し、ここにダイヤフラムポンプなどのポンプ（例えばＡＯＤシリーズポンプ、タカトテクニカ社製）を用いるシステムが採用され得、溶媒中もしくは粘着剤溶液中に混合した熱膨張微粒子を当該システムに送り込むことで分級することができる。上記フィルターのメッシュ値は、好ましくは５～３５μｍ、より好ましくは１０～２５μｍである。メッシュ値が３５μｍを超える場合には、熱膨張性微小球の粒度分布範囲が大きくなったり、熱膨張性微小球の平均粒径が３０μｍが超えてしまうことになり、熱剥離性粘着剤層の凹凸が大きくなる不具合を生じる。メッシュ径が５μｍ未満の場合には、粘着剤中に熱膨張性微小球が高密度充填されることになり熱剥離性粘着剤層の粘着力低下を招いたり、加熱時の熱膨張性微小球の膨張が小さいために熱剥離性が低下したりする。濾過は１回のみでもよくフィルターを複数個直列につなげて使用してもよい。本明細書において、平均粒径および粒度分布は、加熱前の粘着剤層のＸ線ＣＴを用い、以下の方法で計測が出来る。
ｉ）第２の粘着剤層を上に向けた状態で試料をホルダーに固定し、Ｘ線ＣＴにより０～１８０°に対し１６０１枚の連続透過像を撮影する。
ｉｉ）得られた全透過像を元に再構成を行って断層像を作成し、解析ソフトを用いて三次元再構成像（ＴＩＦスタック像）と再構成断面像（３面図）を作成した。　
ｉｉｉ）得られた三次元再構成像（ＴＩＦスタック像）について画像処理を施し、熱膨張性微小球の識別を行った。識別結果より、個々の熱膨張性微小球の体積を求め、その値から個々の球相当直径を算出して、平均粒径および粒度分布を求める。
　上記熱膨張性微小球は、体積膨張率が好ましくは５倍以上、より好ましくは７倍以上、さらに好ましくは１０倍以上となるまで破裂しない適度な強度を有することが好ましい。このような熱膨張性微小球を用いる場合、加熱処理により粘着力を効率よく低下させることができる。
　上記粘着剤層における熱膨張性微小球の含有割合は、所望とする粘着力の低下性等に応じて適切に設定し得る。熱膨張性微小球の含有割合は、粘着剤層を形成するベースポリマー１００重量部に対して、例えば１重量部～１５０重量部であり、好ましくは１０重量部～１３０重量部であり、さらに好ましくは２５重量部～１００重量部である。
　熱膨張性微小球が膨張する前（すなわち、加熱前）の第１の粘着剤層の算術表面粗さＲａは、好ましくは５００ｎｍ以下であり、より好ましくは４００ｎｍ以下であり、さらに好ましくは３００ｎｍ以下である。
Ｃ－３．下塗り層
　上記下塗り層は、任意の適切な粘着剤を含む。下塗り層を構成する粘着剤としては、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤、シリコーン系粘着剤等が挙げられる。なかでも、アクリル系粘着剤が好ましく用いられ得る。また、粘着剤として、活性エネルギー線硬化型のアクリル系粘着剤(以下、活性エネルギー線硬化型粘着剤)を用いてもよい。好ましくは、下塗り層を構成する粘着剤として、上記第１の粘着剤層を構成する粘着剤と同様の粘着剤が用いられる。
　上記下塗り層の厚みは、好ましくは１μｍ～４０μｍであり、より好ましくは５μｍ～３５μｍであり、さらに好ましくは１０μｍ～３０μｍである。このような範囲であれば、ライナー剥離の操作性に優れ、かつ、熱膨張性微小球加熱時の基材側への影響が抑制された両面粘着シートを得ることができる。
　上記下塗り層の弾性率は、好ましくは０．００１ＭＰａ～１０ＭＰａであり、より好ましくは０．０１ＭＰａ～８ＭＰａであり、より好ましくは０．５ＭＰａ～５ＭＰａである。このような範囲であれば、ライナー剥離の操作性に優れ、かつ、熱膨張性微小球加熱時の基材側への影響が抑制された両面粘着シートを得ることができる。なお、下塗り層が活性エネルギー線硬化型粘着剤を含む場合、当該下塗り層は、活性エネルギー線の照射により硬化して、その弾性率が１ＭＰａ～２００ＭＰａとなることが好ましく、５ＭＰａ～１５０ＭＰａとなることがより好ましく、１０ＭＰａ～１００ＭＰａとなることがさらに好ましい。
Ｃ－４．基材
　上記基材は、任意の適切な材料から構成され得る。基材は、例えば、プラスチックフィルム、プラスチックシートの他、紙、布、不織布、金属箔、あるいはそれらのプラスチックラミネート体、プラスチック同士の積層体など、様々なシート状物を用いることが可能である。中でも、取り扱い性やコストの観点から、プラスチックフィルムやプラスチックシート（以下、プラスチックフィルムという）が最も好ましい。プラスチックフィルムの素材としては、強度、耐熱性などの観点から、必要に応じて選択できる。例えば、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、エチレン－プロピレン共重合体、エチレン－酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）等のα－オレフィンをモノマー成分とするオレフィン系樹脂；ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）等のポリエステル；ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）；ポリフェニレンスルフィド（ＰＰＳ）；ポリアミド（ナイロン）、全芳香族ポリアミド（アラミド）等のアミド系樹脂；ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリスチレン、アクリル樹脂などが挙げられる。これらの素材は単独で又は２種以上組み合わせて使用することができる。また、プラスチックフィルムとしては、未延伸フィルム、１軸配向フィルム、２軸配向フィルムのいずれを用いてもよい。また、これらのフィルムは２層以上のフィルム層からなる積層フィルムでもよいし、取り扱い性の観点から、適宜、不活性粒子などの滑剤を添加したフィルムを用いてもよい。
　１つの実施形態においては、上記基材の厚みの３乗と、上記基材の弾性率との積は、好ましくは１×１０－７（Ｎ／ｍ）～５×１０－２（Ｎ／ｍ）であり、より好ましくは６×１０－６（Ｎ／ｍ）～３×１０－２（Ｎ／ｍ）であり、さらに好ましくは２×１０－５（Ｎ／ｍ）～２．５×１０－２（Ｎ／ｍ）である。このような範囲であれば、切断時に座屈し難く、かつ、クッション性に優れる両面粘着シートを得ることができる。
　上記基材の厚みは、好ましくは２０μｍ～２５０μｍであり、より好ましくは３０μｍ～２００μｍであり、さらに好ましくは３５μｍ～１９０μｍである。このような範囲であれば、強度、柔軟性、しなやかさ、耐座屈性、操作性等に優れる両面粘着シートを得ることができる。
　上記基材の弾性率は、好ましくは５００ＭＰａ～５０００ＭＰａであり、より好ましくは６５０ＭＰａ～４５００ＭＰａであり、さらに好ましくは７５０ＭＰａ～４０００ＭＰａである。このような範囲であれば、強度、柔軟性、しなやかさ、耐座屈性、操作性等に優れる両面粘着シートを得ることができる。
　上記基材は、表面処理が施されていてもよい。表面処理としては、例えば、コロナ処理、クロム酸処理、オゾン暴露、火炎暴露、高圧電撃暴露、イオン化放射線処理、下塗り剤によるコーティング処理等が挙げられる。
　ライナーの端面認識性を高めるため、また、基材と粘着剤層の投錨性を高めるため、基材にはインク等を塗布した印刷がされていてもよい。インクとしては大日精化製の「ＮＢ３００」などが利用できる。
Ｃ－５．両面粘着シートの製造方法
　上記両面粘着シートは、任意の適切な方法により製造することができる。本発明の両面粘着シートは、例えば、ライナー上に粘着剤を含む組成物を塗工し形成された積層体（第１のライナ－／第１の粘着剤層、第２の粘着剤層／第２のライナー）を基材に貼り合せる方法により得られ得る。粘着剤を含む組成物は、任意の適切な溶媒を含み得る。
　第２の粘着剤層は、熱膨張性微小球と粘着剤と任意の適切な溶媒とを含む組成物を基材に塗工して、該粘着剤層を形成することができる。あるいは、粘着剤塗工層に、熱膨張性微小球を振りかけた後、ラミネーター等を用いて、該熱膨張性微小球を粘着剤中に埋め込んで、熱膨張性微小球を含む粘着剤層を形成してもよい。
　両面粘着シートが上記下塗り層を有する場合、該下塗り層は、例えば、基材上または第２の粘着剤層上に、下塗り層を形成するための組成物（粘着剤）を塗工して形成することができる。
　上記粘着剤の塗工方法としては、任意の適切な塗工方法が採用され得る。例えば、塗布した後に乾燥して各層を形成することができる。塗布方法としては、例えば、マルチコーター、ダイコーター、グラビアコーター、アプリケーター等を用いた塗布方法が挙げられる。乾燥方法としては、例えば、自然乾燥、加熱乾燥等が挙げられる。加熱乾燥する場合の加熱温度は、乾燥対象となる物質の特性に応じて、任意の適切な温度に設定され得る。
Ｄ．用途
　上記ライナー付両面粘着シートは、任意の適切な部材（例えば、半導体チップ等の電子部品）を加工する際の仮固定用シートとして好ましく用いられ得る。１つの実施形態においては、上記ライナー付両面粘着シートは、ＣＳＰ（Ｃｈｉｐ　Ｓｉｚｅ／Ｓｃａｌｅ　Ｐａｃｋａｇｅ）またはＷＬＰ（Ｗａｆｅｒ　Ｌｅｖｅｌ　Ｐａｃｋａｇｅ）の製造の際に、半導体チップを仮固定するシートとして用いられ得る。１つの実施形態においては、上記ライナー付両面粘着シートは、上記第２のライナーが先に剥離される工程を含む加工に用いられる。１つの実施形態においては、上記半導体チップは加圧加工される。
　１つの実施形態においては、上記ライナー付両面粘着シートは、ロール状である。
　以下、実施例によって本発明を具体的に説明するが、本発明はこれら実施例によって限定されるものではない。また、実施例において、特に明記しない限り、「部」および「％」は重量基準である。
［製造例１］ライナーａの製造
　付加型シリコーン処理剤（信越シリコーン社製、主剤「ＫＳ－７７４」：１００重量部、触媒「ＣＡＴ　ＰＬ－３」：０．４重量部）を、ヘプタンとヘキサンの混合溶媒（混合重量比１：１）に溶解し、処理剤の濃度を０．３％に調整した剥離処理剤溶液を作製した。
　次に、ＰＥＴフィルム（東レ社製、商品名「ルミラーＳ１０」、厚み３８μｍ）の一方の面に、グラビア法を用いて前述の剥離処理剤溶液塗布し、熱風オーブンを用いて乾燥を行い、厚み３８μｍのライナーａを得た。得られたライナーのＳｉ－Ｋα線の強度は８（ｋｃｐｓ）であった（測定方法は後述）。
［製造例２］ライナーｂの製造
　付加型シリコーン処理剤（信越シリコーン社製、主剤「ＫＳ－７７４」：１００重量部、触媒「ＣＡＴ　ＰＬ－３」：０．４重量部）を、ヘプタンとヘキサンの混合溶媒（混合重量比１：１）に溶解し、処理剤の濃度を１．８％に調整した剥離処理剤溶液を作製した。
　次に、ＰＥＴフィルム（東レ社製、商品名「ルミラーＳ１０」、厚み３８μｍ）の一方の面に、グラビア法を用いて前述の剥離処理剤溶液塗布し、熱風オーブンを用いて乾燥を行い、厚み３８μｍのライナーｂを得た。得られたライナーのＳｉ－Ｋα線の強度は８４（ｋｃｐｓ）であった。
［製造例３］ライナーｃの製造
　ＰＥＴフィルム（東レ社製、商品名「ルミラーＳ１０」、厚み３８μｍ）の一方の面に、ソニー製「パウダービーム」を用いてサンドブラスト加工をした。
　付加型シリコーン処理剤（信越シリコーン社製、主剤「ＫＳ－７７４」：１００重量部、触媒「ＣＡＴ　ＰＬ－３」：０．４重量部）を、ヘプタンとヘキサンの混合溶媒（混合重量比１：１）に溶解し、処理剤の濃度を０．３％に調整した剥離処理剤溶液を作製した。
　次に、上記ＰＥＴフィルムのサンドブラスト加工面に、グラビア法を用いて前述の剥離処理剤溶液塗布し、熱風オーブンを用いて乾燥を行い、厚み３８μｍのライナーｃを得た。得られたライナーのＳｉ－Ｋα線の強度は１８（ｋｃｐｓ）であった。
［製造例４］ライナーｄの製造
　ＰＥＴフィルム（東レ社製、商品名「ルミラーＳ１０」、厚み３８μｍ）の一方の面に、ソニー製「パウダービーム」を用いてサンドブラスト加工をした。
　付加型シリコーン処理剤（信越シリコーン社製、主剤「ＫＳ－７７４」：１００重量部、触媒「ＣＡＴ　ＰＬ－３」：０．４重量部）を、ヘプタンとヘキサンの混合溶媒（混合重量比１：１）に溶解し、処理剤の濃度を１．８％に調整した剥離処理剤溶液を作製した。
　次に、上記ＰＥＴフィルムのサンドブラスト加工面に、グラビア法を用いて前述の剥離処理剤溶液塗布し、熱風オーブンを用いて乾燥を行い、厚み３８μｍのライナーｄを得た。得られたライナーのＳｉ－Ｋα線の強度は１８４（ｋｃｐｓ）であった。
［製造例５］ベースポリマー１の製造
　トルエン中に、エチルアクリレート７０部と、ブチルアクリレート３部と、２－エチルヘキシルアクリレート３０部と、メチルメタクリレート５部と、２－ヒドロキシエチルアクリレート３．５部と、重合開始剤として過酸化ベンゾイル０．２部とを加えた後、加熱して、アクリル系共重合体（アクリル系ポリマー１）のトルエン溶液を得た。なお、アクリル系ポリマー１を構成するモノマー由来の繰り返し単位のうち３．１重量％が活性水素基を有すモノマー由来の繰り返し単位である。また、当該アクリル系ポリマー１のＴｇは－３１℃である。
［製造例６］ベースポリマー２の製造
　トルエン中に、ブチルアクリレート５０部と、エチルアクリレート５０部と、アクリル酸５部と、２－ヒドロキシエチルアクリレート０．２部と、重合開始剤として過酸化ベンゾイル０．２部とを加えた後、加熱して、アクリル系共重合体（アクリル系ポリマー２）のトルエン溶液を得た。なお、アクリル系ポリマー２を構成するモノマー由来の繰り返し単位のうち４．９重量％が活性水素基を有すモノマー由来の繰り返し単位である。また、当該アクリル系ポリマー２のＴｇは－３５℃である。
［製造例７］ベースポリマー３の製造
　酢酸エチル中に、メチルアクリレート７０部と、ブチルアクリレート２部と、２－エチルヘキシルアクリレート３０　部と、アクリル酸１０部と、重合開始剤として過酸化ベンゾイル０．２部とを加えた後、加熱して、アクリル系共重合体（アクリル系ポリマー３）の酢酸エチル溶液を得た。なお、アクリル系ポリマー３を構成するモノマー由来の繰り返し単位のうち８．９重量％が活性水素基を有すモノマー由来の繰り返し単位である。また、当該アクリル系ポリマー３のＴｇは－６℃である。
［実施例１］
（第１のライナー／第１の粘着剤層／基材積層体の作製）
　ポリマー１のトルエン溶液（アクリル系ポリマー１：１００部）と、イソシアネート系架橋剤（日本ポリウレタン社製、商品名「コロネートＬ」）３部と、可塑剤（ＤＩＣ社製、商品名「モノサイザーＷ７００」）１０部とを混合した混合液Ａを作製した。
　上記ライナーａの剥離処理剤塗布面に、混合液Ａを塗工して、厚み７μｍの粘着剤層を形成し、第１のライナー／第１の粘着剤層からなる積層体を得た。
　さらに、第１のライナー／第１の粘着剤層積層体の第１の粘着剤層表面に、基材（延伸ポリプロピレンフィルム（ＯＰＰフィルム）、東レ社製、商品名「トレファン」、厚み：３８μｍ）を貼り合せて、第１のライナー／第１の粘着剤層／基材からなる積層体を得た。
（第１のライナー／第１の粘着剤層／基材／下塗り層積層体の作製）
　ポリマー１のトルエン溶液（ポリマー１：１００部）と、イソシアネート系架橋剤（日本ポリウレタン社製、商品名「コロネートＬ」）３部を混合した混合液Ｂを作成した。
　シリコーン系の剥離処理が施されたＰＥＴフィルムに、混合液Ｂを塗布して、厚みが１３μｍの下塗り層を形成した。当該下塗り層を、第１のライナー／第１の粘着剤層／基材積層体の基材表面に転写して、第１のライナー／第１の粘着剤層／基材／下塗り層からなる積層体を得た。
（第２の粘着剤層／第２のライナーの作製）
　ポリマー１のトルエン溶液（ポリマー１：１００部）と、イソシアネート系架橋剤（日本ポリウレタン社製、商品名「コロネートＬ」）１．５部と、粘着付与樹脂（住友ベークライト社製、商品名「スミライトＰＲ１２６０３」）１０部と、熱膨張性微小球（松本油脂製薬社製、商品名「マツモトマイクロスフェアーＦＮ－１８０ＳＳＤ」）３０部と、着色剤（大日精化社製、商品名「ＤＹＭＩＣＳ　ＳＺ－７５１０グリーン」）０．５部とを混合した混合液Ｃを作製した。
　上記ライナーｂの剥離処理剤塗布面に、混合液Ｃを塗工して、厚み３５μｍの粘着剤層を形成し、第２の粘着剤層／第２のライナーからなる積層体を得た。
（ライナー付両面粘着シートの作製）
　第１のライナー／第１の粘着剤層／基材／下塗り層積層体と、第２の粘着剤層／第２のライナーとを、下塗り層と第２の粘着剤層とが対向するように貼り合せて、ライナー付両面粘着シート（第１のライナー／両面粘着シート（第１の粘着剤層／基材／下塗り層／第２の粘着剤層）／第２のライナー）を得た。
［実施例２］
　基材（延伸ポリプロピレンフィルム（ＯＰＰフィルム）、東レ社製、商品名「トレファン」、厚み：３８μｍ）に代えて、基材（ＰＥＴフィルム、東レ社製、商品名「ルミラーＳ１０」、厚み：７５μｍ）を用いたこと以外は、実施例１と同様にして、ライナー付両面粘着シートを得た。
［実施例３］
　基材（延伸ポリプロピレンフィルム（ＯＰＰフィルム）、東レ社製、商品名「トレファン」、厚み：３８μｍ）に代えて、基材（ＰＥＴフィルム、東レ社製、商品名「ルミラーＳ１０」、厚み：１８８μｍ）を用いたこと以外は、実施例１と同様にして、ライナー付両面粘着シートを得た。
［実施例４］
　松本油脂製薬社製の商品名「マツモトマイクロスフェアーＦＮ－１８０ＳＳＤ」を遠心力型風力分級機に投入し、Ｄ５０が７μｍ、Ｄ８０が１５μｍとなるよう分級した熱膨張微小球を用いたこと以外は、実施例１と同様にして、ライナー付両面粘着シートを得た。
［実施例５］
　松本油脂製薬社製の商品名「マツモトマイクロスフェアーＦＮ－１８０ＳＳＤ」を遠心力型風力分級機に投入し、Ｄ５０が２８μｍ、Ｄ８０が４５μｍとなるよう分級した熱膨張微小球を用いたこと以外は、実施例１と同様にして、ライナー付両面粘着シートを得た。
［実施例６］
　ポリマー２のトルエン溶液（アクリル系ポリマー２：１００部）と、エポキシ系架橋剤（三菱ガス社製、商品名「テトラッドＣ」）０．８部と、粘着付与剤（ヤスハラケミカル社製、商品名「ＹＳポリスターＳ１４５」）５部とを混合した混合液Ａ’を作製した。
　混合液Ａに代えて、混合液Ａ’を用いて、厚みが５μｍの第１の粘着剤層を形成したこと以外は、実施例１と同様にして、ライナー付両面粘着シートを得た。
［実施例７］
　ポリマー３のトルエン溶液（アクリル系ポリマー３：１００部）と、エポキシ系架橋剤（三菱ガス社製、商品名「テトラッドＣ」）１．２部と、粘着付与剤（ヤスハラケミカル社製、商品名「ＹＳポリスターＳ１４５」）５部とを混合した混合液Ａ’’を作製した。
　混合液Ａに代えて、混合液Ａ’’を用いて、厚みが５μｍの第１の粘着剤層を形成したこと以外は、実施例１と同様にして、ライナー付両面粘着シートを得た。
［比較例１］
　ライナーａに代えてライナーｃを用い、熱膨張性微小球として、松本油脂製薬社製の商品名「マツモトマイクロスフェアーＦＮ－１８０Ｄ」を用いたこと以外は、実施例１と同様にして、ライナー付両面粘着シートを得た。
［比較例２］
　ライナーａに代えてライナーｄを用い、熱膨張性微小球として、松本油脂製薬社製の商品名「マツモトマイクロスフェアーＦＮ－１８０Ｄ」を用いたこと以外は、実施例１と同様にして、ライナー付両面粘着シートを得た。
［評価］
　実施例および比較例で得られたライナー付両面粘着シートを以下の評価に供した。結果を表１に示す。
 
（１）算術表面粗さＲａ、最大高さＲｚ
　第１のライナーおよび第２のライナーの剥離処理剤塗布面（すなわち、粘着剤層側の面）の算術表面粗さＲａおよび最大高さＲｚを、をＪＩＳ　Ｂ　０６０１に準じ、光学式表面粗さ計（Ｖｅｅｃｏ　Ｍｅｔｒｏｇｙ　Ｇｒｏｕｐ社製、商品 名「Ｗｙｋｏ　ＮＴ９１００」）を用いて、測定した。
 
（２）熱膨張性微小球の体積累積粒子径Ｄ５０、Ｄ８０
　Ｘ線ＣＴを用い、以下の方法で、熱膨張性微小球の体積累積粒子径Ｄ５０を測定した。
ｉ）第２の粘着剤層を上に向けた状態で試料をホルダーに固定し、Ｘ線ＣＴにより０～１８０°に対し１６０１枚の連続透過像を撮影した。Ｘ線ＣＴはＺＥＩＳＳ，　Ｘｒａｄｉａ　５２０　Ｖｅｒｓａを用いて、管電圧４０ｋＶ、管電流７３μＡ、ピクセルサイズ０．３μｍ／Ｐｉｘｅｌで測定した。
ｉｉ）得られた全透過像を元に再構成を行って断層像を作成し、解析ソフトＩｍａｇｅＪ．を用いて三次元再構成像（ＴＩＦスタック像）と再構成断面像（３面図）を作成した。
ｉｉｉ）得られた三次元再構成像（ＴＩＦスタック像）について画像処理を施し、熱膨張性微小球の識別を行った。識別結果より、個々の熱膨張性微小球の体積を求め、その値から個々の球相当直径を算出して、熱膨張性微小球の体積累積粒子径Ｄ５０、Ｄ８０を求めた。
 
（３）弾性率
　測定対象（基材）に探針（圧子）を押し当てることで得られる変位―荷重ヒステリシス曲線を、測定装置付帯のソフトウェア（ｔｒｉｂｏｓｃａｎ）で数値処理することで弾性率を得た（３回測定の平均値）。
　ナノインデンター装置ならびに測定条件は下記のとおりである。　
装置および測定条件・装置：ナノインデンター；Ｈｙｓｉｔｒｏｎ　Ｉｎｃ社製　Ｔｒｉｂｏｉｎｄｅｎｔｅｒ　
・測定方法：単一押し込み法　
・測定温度：２５℃　
・押し込み速度：約１０００ｎｍ／ｓｅｃ　
・押し込み深さ：約８００ｎｍ
・探針：ダイヤモンド製、Ｂｅｒｋｏｖｉｃｈ型（三角錐型）
 
（４）粘着剤層表面形状評価
　ＵＶ硬化型粘着テープ（日東電工社製、商品名「ＵＢ－３１０２Ｄ」）に、第１の粘着剤層表面形状を賦形して、第１の粘着剤層表面の形状を評価した。具体的には、以下の方法により評価した。
　ライナー付両面粘着シートのライナーを剥離し、第２の粘着剤層をガラス板に張り付け、第１の粘着剤層に、ＵＶ硬化型粘着テープ（日東電工社製、商品名「ＵＢ－３１０２Ｄ」）を貼り合せた。
　その後、ＵＶ硬化型粘着テープの粘着面を硬化させた。当該硬化は、紫外線照射装置（日東精機社製ＵＭ－８１０）を用いて紫外線（照射量４６０ｍＪ／ｃｍ２）を、ＵＢ－３１０２Ｄの基材側から照射して行った。
　次いで、当該ＵＶ硬化型粘着テープを剥離し、第１の粘着剤層に貼着していた面の最大山高さＲｐを測定した。最大山高さＲｐが３μｍ以下のものを合格（表中：〇）とした。
　この操作により評価される粘着剤層表面形状が平滑であるほど、両面粘着シート上で部材を加圧する場合において、当該加圧の均一性を高めることができる。
 
（５）ライナーのＳｉ－Ｋα線強度測定
　ライナー表面（剥離処理面）で無作為に抽出した１００点について、蛍光Ｘ線分析を行った。より詳細には、ライナーの粘接着剤層に接する面（剥離処理剤を塗布した面）のＳｉ－Ｋα線の強度（ｉ）および粘接着剤層と接しない面（剥離処理剤を塗布していない面）のＳｉ－Ｋα線の強度（ｉｉ）を測定し、（ｉ）の値から（ｉｉ）の値を引いた値の絶対値を求め、当該値の１００点測定の平均値をライナーのＳｉ－Ｋα線強度とした。
　なお、Ｓｉ－Ｋα線の強度とは下記装置での測定で波長７．１２５オングストロームにおける強度である。
　装置　　　：　Ｒｉｇａｋｕ製　ＺＳＸ１００ｅ
　分析面積　：　３０ｍｍφ
　分析元素　：　Ｓｉ　
　分析結晶　：　ＲＸ４　
　出力　　　：　５０ｋＶ、７０ｍＡ
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
　１０　　　　　　　第１のライナー
　２０　　　　　　　両面粘着シート
　２１　　　　　　　第１の粘着剤層
　２２　　　　　　　基材
　２３　　　　　　　第２の粘着剤層
　３０　　　　　　　第２のダイナー
　１００　　　　　　粘着シート
　

Claims (8)

  1. 　第１のライナーと、第１の粘着剤層と、基材と、第２の粘着剤層と、第２のライナーとをこの順に備え、
    　該第２の粘着剤層が、熱膨張性微小球を含み、
    　該第１のライナーの該第１の粘着剤層側の面の算術表面粗さＲａが、１ｎｍ～１００ｎｍであり、
    　該第２のライナーの該第２の粘着剤層側の面の算術表面粗さＲａが、１ｎｍ～１００ｎｍであり、
    　該第１のライナーの第１の粘着剤層側の面の最大高さＲｚが、５ｎｍ～１０００ｎｍであり、
    　該第２のライナーの第２の粘着剤層側の面の最大高さＲｚが、５ｎｍ～１０００ｎｍである、
    　ライナー付両面粘着シート。
  2. 　前記熱膨張性微小球の体積累積粒子径Ｄ５０が、５μｍ～３０μｍである、請求項１に記載のライナー付両面粘着シート。
  3. 　前記熱膨張性微小球の体積累積粒子径Ｄ８０が、１０μｍ～５０μｍである、請求項１または２に記載のライナー付両面粘着シート。
  4. 　前記基材の厚みの３乗と、該基材の弾性率との積が、１×１０－７（Ｎ／ｍ）～１×１０－２（Ｎ／ｍ）である、請求項１から３のいずれかに記載のライナー付両面粘着シート。
  5. 　上記第１の粘着剤層が、ベースポリマーを含む粘着剤から構成され、
    　該ベースポリマーのガラス転移温度が、－５０℃～０℃である、請求項１から４のいずれかに記載のライナー付両面粘着シート。
  6. 　ＣＳＰ（Ｃｈｉｐ　Ｓｉｚｅ／Ｓｃａｌｅ　Ｐａｃｋａｇｅ）の製造の際に、半導体チップを仮固定するシートとして用いられる、請求項１から５のいずれかに記載のライナー付両面粘着シート。
  7. 　ＷＬＰ（Ｗａｆｅｒ　Ｌｅｖｅｌ　Ｐａｃｋａｇｅ）の製造の際に、半導体チップを仮固定するシートとして用いられる、請求項１から５のいずれかに記載のライナー付両面粘着シート。
  8. 　上記半導体チップが加圧加工される、請求項６または７に記載のライナー付両面粘着シート。

     
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