WO2022145621A1 - 잉크방울 측정패드와 이를 구비한 잉크젯 프린터 장치 및 잉크방울 측정방법 - Google Patents

잉크방울 측정패드와 이를 구비한 잉크젯 프린터 장치 및 잉크방울 측정방법 Download PDF

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ink drop
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inkjet
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이성진
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    • G03F9/70—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography
    • G03F9/7003—Alignment type or strategy, e.g. leveling, global alignment
    • G03F9/7042—Alignment for lithographic apparatus using patterning methods other than those involving the exposure to radiation, e.g. by stamping or imprinting

Definitions

  • the present invention relates to a measuring pad capable of easily measuring the volume and position of an ink droplet, a measuring method using the same, and an inkjet printer apparatus for measuring ink droplets.
  • This deviation in the position of the ink droplet causes a problem in that the quality of the pixel is reduced or defective.
  • a digital camera, optical device, and LED lighting device are installed on both sides of the inkjet head in a straight line to match the head height, and the ink droplet discharge time and the blinking of the LED light are synchronized to prevent the ink droplets discharged on the screen.
  • a technique for applying a strobe technique that produces an image as if showing a single drop of ink as if it was stopped at a position during flight.
  • the biggest problem of this method is that the ink droplets of the still image seen at high ejection frequency are not images of a single ink drop, but images of a plurality of ink droplets having a position error and size error according to the ejection frequency are superimposed. .
  • the present invention is to solve the above problems, and to propose a method capable of accurately processing the volume and position of the ink drop within a short time.
  • the present invention provides a pad for measuring the volume and position of inkjet droplets ejected in a predetermined volume from a nozzle of a head of an inkjet device and hit, at a pitch interval corresponding to a plurality of head nozzle pitch intervals.
  • a pattern portion comprising a plurality of arranged grooves and a wall portion formed between the groove portions is formed, and the groove portion is characterized in that it is uniformly formed in the same cross-sectional shape throughout the longitudinal direction.
  • the pattern portion is characterized in that it is formed in the same direction or perpendicular to the printing direction.
  • the pattern portion is characterized in that the pattern portion formed in the same direction as the printing direction and the pattern portion formed in the direction perpendicular to the printing direction are simultaneously formed on one pad.
  • the groove part is made of a lyophilic material
  • the upper wall part of the wall part is made of a lyophobic material
  • the side wall part of the wall part is made of a lyophilic or lyophilic material.
  • the groove portion is coated with a lyophilic material
  • the upper wall portion of the wall portion is coated with a lyophobic material
  • the side wall portion of the wall portion is coated with a lyophilic or lyophilic material.
  • the length, width and depth of the groove in the pattern portion are related to the ink properties related to ink spreading properties such as viscosity, surface tension, drying properties, and polarity of the ink, and the cross-sectional shape of the groove and the surface of the bottom of the groove It is characterized in that it is formed to realize sufficient ink droplet spread required for measurement precision according to surface conditions such as tension and roughness.
  • the pad is characterized in that it is supplied in the form of a flat sheet.
  • the pad is supplied by a predetermined length with a width corresponding to the width of the inkjet head, and is formed in a roll shape so that it can be removed by the inkjet device and is continuously supplied.
  • the pad is characterized in that it is formed in a transparent form different from the color of the ink.
  • the ink drop measuring pad of the present invention is characterized in that the groove portion and the wall portion are formed in different colors.
  • An inkjet device having an ink drop measuring pad of the present invention comprising: an inkjet printer unit; and a head maintenance unit installed in parallel to the inkjet printer unit, wherein the inkjet printer unit includes an object to be printed and movable in the Y direction It consists of a Y1 stage, which is formed in such a way, and an X1 stage in which the inkjet head is installed higher than the height of the printing object b1 and is installed so as to be moved to the Y2 stage of the head maintenance unit in the X direction, and the head maintenance unit , a Y2 stage formed to be movable in the Y direction in parallel to the Y1 stage, a plate device installed on the Y2 stage for fixing an ink drop measurement pad, and an angle installed in the head maintenance unit and attached to the pad It is characterized in that it includes an ink drop measuring device capable of measuring the length and position of the ink drop.
  • an X2 stage is additionally installed in the head maintenance unit to be movable in the X direction, and the X2 stage is an ink capable of removing ink droplets adhering to the pad. It is characterized in that the removal device is installed.
  • a roll supply device for continuously supplying the ink drop measurement pad to the plate device in a roll manner is additionally installed in the head maintenance unit.
  • the ink removal device is characterized in that it consists of a vacuum suction device capable of sucking the ink drops.
  • the ink removal device is characterized in that it consists of a UV irradiation device capable of curing the ink drop.
  • the droplet measuring pad supported in the step (s100) under the inkjet head, aligning the groove to be positioned at the vertical lower part of the nozzle (s200); spraying ink droplets from a nozzle toward the pad disposed in the step (s200) to make the ink droplets collide with the grooves of the pad (s300); It is characterized in that it comprises a step (s400) of measuring the length and center position deviation of each ink droplet hit in the step (s300) using an ink drop measuring device.
  • the ink drop measuring device measures the volume of the ink drop by measuring the length of the ink drop that has landed on the pad (p).
  • the ink drop measuring device measures the center position (c1) of the ink drop that has landed on the pad (p), and an alignment mark formed at the edge of the pad Compared with the reference center position (c) of each ink drop determined by
  • each nozzle is characterized by analyzing the condition of insufficient air removal or nozzle clogging.
  • the ink drop measuring method of the present invention in the step (s400), when a specific voltage waveform is applied to a specific nozzle to discharge a plurality of droplets, the volume of the ink droplet that is deposited on the pad (p) is measured and in a specific nozzle calculates the discharge volume of and sets one or more voltage waveforms in one nozzle to achieve a target ink drop volume by discharging a plurality of ink drops to the same position of the pad p using the calculation result characterized in that
  • step (s400) when a specific voltage waveform is applied to a plurality of nozzles to eject a plurality of droplets, each nozzle by measuring the volume of the ink droplet deposited on the pad (p) The discharge volume is calculated in , and a combination of a plurality of nozzles is set for achieving a target ink drop volume by discharging a plurality of ink drops to the same position of the pad (p) using the calculation result .
  • the pad (p) reflecting the effect of the crosstalk between the nozzles of the ink jet heads (p) It is characterized in that the volume and position of the ink droplet impacting on the ink droplet is measured, and the position and volume of each nozzle are compensated for so as to avoid interference between nozzles using the measured result.
  • the ink drop measuring method of the present invention is characterized in that after the completion of the step (s400), the step (s500) of removing the ink adhering to the pad is performed.
  • An imprint apparatus having an ink drop measuring pad of the present invention comprising: an imprint apparatus unit; and a head maintenance unit installed in parallel to the imprint apparatus unit, wherein the imprint apparatus unit includes an imprint object b2 such as a substrate;
  • the X3 stage in which the work holder wh is installed movably in the X-axis direction, the Y3 stage in which the X3 stage is installed movably in the Y direction, and the inkjet head h are higher than the height of the imprint object b2 It holds the X4 stage installed high and installed so as to be movable up to the Y2 stage of the head maintenance unit in the X direction, and the mold (m) that performs imprinting, correcting the shape of the mold with the imprint object, and performing the stamping operation.
  • the head maintenance unit includes a Y2 stage that is formed to be movable in the Y direction in parallel to the Y1 stage, a plate device installed on the Y2 stage for fixing the ink drop measurement pad p, and the head maintenance unit It is installed and characterized in that it includes an ink drop measuring device that can measure the length and position of each ink drop that has hit the pad.
  • an X2 stage is additionally installed in the head maintenance unit to be movable in the X direction, and the X2 stage is an ink capable of removing ink droplets adhering to the pad. It is characterized in that the removal device is installed.
  • a roll supply device for continuously supplying the ink drop measurement pad to the plate device in a roll manner is additionally installed in the head maintenance unit.
  • the ink removing device is characterized in that it consists of a vacuum suction device capable of sucking the ink drops.
  • the ink removing device is characterized in that it consists of a UV irradiation device capable of curing the ink drop.
  • the present invention has the advantage of being able to accurately measure the volume and position of ink droplets in an inkjet printer device to an accuracy of 1% or less quickly and much more simply and quickly compared to the prior art using a strobe by using a pad.
  • the ejection volume from each nozzle can be calculated by measuring the volume of the ink droplets that hit the pad p.
  • each nozzle discharges a predetermined ink drop from a predetermined nozzle according to the required pattern information.
  • the discharging speed of the droplet is reduced and the volume is also reduced, which causes a crosstalk.
  • the present invention measures the position of the ink drop by measuring the impact position in the X and Y directions on the pad p, so that the position error of the ink droplet impacted at each nozzle can be quickly and easily measured simultaneously with the volume of the ink droplet.
  • This position error measurement result can be compensated during actual printing to enable more precise printing.
  • FIG. 1 is a view showing an ink drop measuring pad of the present invention.
  • Fig. 2 is a view showing an inkjet printer apparatus having an ink drop measuring pad of the present invention.
  • FIG. 3 is a view showing a state in which nozzles are arranged in an inkjet printer apparatus having an ink drop measuring pad of the present invention.
  • FIG. 4 is a view showing an imprint apparatus provided with an ink drop measuring pad of the present invention.
  • FIG. 5 is a view showing a state in which ink is completely deposited on the ink drop measuring pad of the present invention.
  • FIG. 6 is a view showing a measurement state of the ink that has landed on the ink drop measuring pad of the present invention.
  • FIG. 7 is a view showing a state in which ink is deposited when the ink drop measuring pad of the present invention is installed in the same direction as the printing direction.
  • FIG. 8 is a view showing a state in which ink is deposited when the ink drop measuring pad of the present invention is installed in a direction perpendicular to the printing direction.
  • FIG. 1 is a view showing an ink drop measuring pad of the present invention.
  • the ink drop measuring pad will be described.
  • the ink drop measuring pad p may be formed in a flat sheet or film shape by a photolithography or imprint method.
  • the ink drop measuring pad (p) includes a plurality of grooves (10) and a plurality of wall portions (20) and alignment marks (30) formed between the grooves (10).
  • the wall portion 20 includes a side wall portion 21 formed to protrude upward from both sides of the groove portion 10 and an upper wall portion 22 formed on an upper surface between the side wall portion 21 .
  • Alignment marks 30 are formed on each corner of the pad (p) according to the head print width.
  • the spacing of the plurality of grooves 10 is formed to be the same as the pitch spacing of the nozzles, or is formed in multiples or divisors.
  • the spacing of the grooves can be formed in multiples of 600 npi, such as 1200 npi, 1800 npi, 2400 npi, etc. can be
  • the length of the groove 10 is preferably formed so as to include all of the nozzles in the arrangement in the transverse direction of the head in the inkjet apparatus.
  • the depth and width of the groove portion 10 are formed to maintain the same size throughout the longitudinal direction of the groove portion 10 .
  • the cross-sectional shape of the groove portion 10 is a rectangular shape in this embodiment, but is not limited thereto, and as long as it maintains the same cross-section throughout the longitudinal direction, it may be formed in various shapes such as an inverted triangle or a semicircle shape.
  • the width and depth of the groove 10 depend on the measurement precision depending on the ink properties related to the ink spread control properties such as the viscosity, surface tension, drying property, and polarity of the used ink, and the surface conditions such as the surface tension and roughness of the groove and the bottom of the groove. It may be determined to be able to implement sufficient ink droplet spreading required.
  • the pad p has both a groove portion 10 formed in the same direction as the printing direction and two groove portions 10 formed in a direction perpendicular to the printing direction.
  • the groove portion 10 may be provided in the printing direction as shown in FIG. 7 or may be formed in a direction perpendicular to the printing direction as shown in FIG. 8 , depending on the measurement purpose.
  • the printing direction and printing vertical direction grooves 10 are formed in the same pad p, so that the ink droplet impact position error can be simultaneously measured in the printing direction and the vertical printing direction of the nozzles, respectively.
  • the pad (p) is formed entirely of one material, or the material of the groove portion 10 is formed of a lyophilic material so that ink droplets can be accommodated well, and the material of the wall portion 20 is formed of a liquid-repellent material. It is possible.
  • the pad p is formed of a lyophilic material or has a lyophilic coating
  • the side wall 21 of the groove portion 10 is formed of a lyophilic material or has a lyophilic coating
  • the upper wall 22 has a lyophilic property. It is also possible to form it with a liquid-repellent material or to coat it to have it.
  • the pad (p) is formed of a transparent material as a whole so as to provide illumination from the bottom.
  • the color of the groove 10 or the color of the wall 20 in the pad p may be different to form the groove 10 and the wall 20 so that they can be easily distinguished from each other.
  • the groove portion 10 is formed of a transparent material and the wall portion 20 has a color so that it can be easily distinguished.
  • the pad p may be supplied in the form of a flat sheet to be mounted on a flat plate device of an inkjet device.
  • the pad p may be formed in a roll form so that it can be easily supplied to the inkjet apparatus by a predetermined length with a width corresponding to the width of the inkjet head and can be easily removed and continuously supplied.
  • the form of supply of the pad p may be supplied to the inkjet device in the form of a rectangular sheet or continuously supplied in the form of a roll while having a width corresponding to the width of the head.
  • Fig. 2 is a view showing an inkjet printer apparatus having an ink drop measuring pad of the present invention.
  • the inkjet printer device D includes an inkjet printer unit 100 and a head maintenance unit 200 installed in parallel to the inkjet printer unit 100 .
  • the inkjet printer unit 100 includes a Y1 stage 110 in which a work holder wh on which a print object b1 such as a substrate is disposed and movable in the Y direction is installed, and the inkjet head h is a print object. It is installed higher than the height of (b1) and consists of an X1 stage 120 installed so as to be movable to the Y2 stage 210 of the head maintenance unit 200 in the X direction.
  • FIG. 3 is a view showing a state in which nozzles are arranged in an inkjet printer apparatus having an ink drop measuring pad of the present invention.
  • a plurality of nozzles (n) are installed on the bottom surface of the head (h), and are arranged in an inclined form with respect to the lateral direction of the head (h).
  • the arrangement of the nozzles n is different for each head h and may not be inclined.
  • the reason for sloping arrangement is to increase the resolution by inserting as many nozzles (n) as possible within the size of the same head (h) and at the same time narrow the gap between the nozzles (n) to increase the resolution in a straight line in the lateral direction. in order to be able to continue connecting
  • the heads h may be continuously connected so that the nozzles n are continuously connected at a pitch determined in the transverse direction.
  • the head maintenance unit 200 includes a Y2 stage 210 installed in parallel with the Y1 stage 110 and formed to be movable in the Y direction, and an ink drop measuring pad installed on the Y2 stage 210 ( p) comprises a plate device 220 for arranging, and an ink drop measuring device 230 .
  • the plate device 220 is formed in a flat plate shape, and the measurement pad p is fixed thereon. Even if the measuring pad p having the groove portion 10 in the printing direction and the printing direction is fixed to the plate apparatus 220, the plate apparatus 220 is rotatably configured to align the direction of the groove portion 10 to the printing direction. You may.
  • the plate device 220 may be configured to be rotatable by a known rotating device, such that the pad p may be disposed in the printing direction or in a direction perpendicular to the printing direction.
  • the supply roll supply device 260 is formed for the case of supplying the pad (p) in a roll manner.
  • tensile force may act in the roll feeding direction to cause the measuring pad p to be stretched in the roll feeding direction. ) can be compensated in real time by measuring the width.
  • the ink drop measuring device 230 is used in a known configuration as it serves to measure the length and the degree of deviation from the center position of the ink drop that has hit the groove portion 10 of the pad (p).
  • any device capable of measuring the shape of an ink droplet such as a vision system using a camera, a laser scanning device, or an ultrasonic device, may be used.
  • an X2 stage 240 is additionally installed to be movable in the X direction, and the X2 stage 240 has an ink removal capable of removing ink droplets adhering to the pad p.
  • Device 250 is installed.
  • a vacuum suction device 251 capable of sucking ink drops and/or a UV irradiation device 252 capable of curing ink drops and attaching them to the pad p and removing them are installed.
  • a maintenance device 270 for maintaining the inkjet head is installed in the head maintenance unit 200 .
  • the inkjet printer unit 100 performs a basic inkjet printing operation in a known manner.
  • the printing object b1 is moved along the Y1 stage 110 to be placed under the inkjet head h, and then ink droplets are sprayed onto the nozzles of the inkjet head h to perform a printing operation.
  • the operation of measuring ink discharge using the ink drop measuring pad of the present invention is performed by the head maintenance unit 200 .
  • the inkjet head h is transferred from the inkjet printer unit 100 to the head maintenance unit 200 along the X1 stage 120 , and then the ink drop measurement method described later is performed.
  • FIG. 4 is a view showing an imprint apparatus including an inkjet printer unit provided with an ink drop measuring pad of the present invention.
  • An imprint apparatus (I) including an inkjet printer unit having an ink drop measuring pad of the present invention includes an imprint apparatus unit 300 and a head maintenance unit 200 installed in parallel to the imprint apparatus unit 300 is done by
  • the imprint apparatus unit 300 includes an X3 stage 310 in which a work holder wh on which an imprint object b2 such as a substrate is disposed is movably installed in the X-axis direction, and the X3 stage 310 in the Y-direction.
  • the Y3 stage 320 which is movably installed, and the inkjet head h are installed higher than the height of the imprint object b2 , and extend to be movable up to the Y2 stage 210 of the head maintenance unit 200 in the X direction.
  • the X4 stage 330 to be installed and installed, the mold driving unit 340 for holding the mold m for performing imprinting, correcting the mold shape with the imprint object and performing the stamping operation, and the imprint object b2 ) and an optical device 350 for aligning the mark of the mold m, and a curing device 360 for curing the imprint material after molding the imprint object.
  • the head maintenance unit 200 is configured in the same way as the head maintenance unit 200 applied to the aforementioned inkjet device (D), and the Y2 stage 210 is the Y3 stage ( 310), and the rest of the configuration is the same.
  • a basic imprint operation is performed in a known manner in the imprint apparatus unit 300 .
  • the imprint object b2 is disposed under the inkjet head h through the X3 stage 310 and the Y3 stage 320 , and then ink droplets made of the imprint material are ejected from the inkjet head h.
  • the imprint object b2 on which the ink droplets are sprayed is transferred to the lower part of the mold driving unit 340 and the mark of the imprint object b2 and the mark of the mold m are aligned through the optical device 350 .
  • an imprint operation is performed by transferring the mold m downward by the mold driving unit 340 , and an operation of curing the molded imprint material through the curing device 360 is performed.
  • the operation of measuring ink discharge using the ink drop measuring pad of the present invention is performed by the head maintenance unit 200 .
  • the inkjet head h is transferred from the imprint apparatus unit 300 to the head maintenance unit 200 along the X4 stage 330 , and then the ink drop measurement method described later is performed.
  • the ink drop measurement method is common in that both the inkjet printer device D and the imprint device I are performed after the ink inkjet head h is transferred to the head maintenance unit 200 .
  • a plurality of grooves 10 are formed at intervals corresponding to the nozzle pitch of the inkjet device, and the cross section of the grooves 10 is produced to have two pattern portions uniformly formed throughout the printing direction and the printing vertical direction.
  • a step (s100) of aligning the drop measuring pad (p) in the printing direction is performed.
  • step (s200) of placing the ink drop measurement pad formed in step (s100) under the inkjet head is performed.
  • the X1 stage 120 is driven to move the inkjet head h to the head maintenance unit 200
  • the Y2 stage 210 is driven to move the plate device 220 on which the pad p is installed to the inkjet head h ) to be placed in the vertical lower part of the
  • 5 is a view showing a state in which ink is completely deposited on the ink drop measuring pad of the present invention.
  • 6 is a view showing a measurement state of the ink that has landed on the ink drop measuring pad of the present invention.
  • step (s300) when the inkjet head injects ink droplets toward the pad p to make them collide with the grooves of the pad p, the ink droplets hit the pad p in the form shown in FIG. 5 . .
  • the degree of impact of the ejected ink drop has an error.
  • the center position error of ⁇ x and ⁇ y respectively in the X direction and Y direction are generated as much as ⁇ x and ⁇ y errors.
  • step (s400) the Y2 stage 210 is first driven to transfer the pad p on which the ink droplet is deposited to the lower portion of the ink drop measuring device 230, step (s410) is performed.
  • step (s300) by measuring the length (l) and the position (x, y) of each ink drop, the step of measuring the volume and positional precision of each ink drop (s420) will perform
  • the width of the groove portion 10 is measured. Since and depth are already known, the volume is calculated automatically.
  • An ink droplet spread as long as possible in the groove portion 10 is more advantageous for measuring the ink droplet length to a higher degree.
  • a small ink droplet is at least 300 ⁇ 400 um If you make it spread in the longitudinal direction of the above grooves, you can match the required measurement accuracy.
  • step S500 after the measurement of all the ink droplets is finished, the Y2 stage 210 is driven to move the pad p to the lower part of the ink removal device 250 installed on the X2 stage 240 .
  • the ink removal device 250 consisting of a vacuum suction device 251 capable of sucking ink drops or a UV irradiation device 252 capable of curing ink drops according to the ink type follows the X2 stage 240 . While moving, the operation of removing the ink of the pad (p) is performed.
  • steps (s100) to (s500) are repeatedly performed.
  • the present invention has the advantage of being able to accurately and quickly measure the volume and position of the ink droplet of each nozzle to an extent of 0.5% or less simply and quickly.
  • the inkjet head continuously makes up to 4 or 7 different voltage waveforms in all nozzles, and selects one or more voltage waveforms from among them and selects the ink of the corresponding size. It is configured to control the droplets to be discharged.
  • each nozzle discharges a predetermined ink drop from a predetermined nozzle according to the required pattern information. do.
  • the neighboring nozzles have a problem in that the ejection speed of the ink droplet is reduced and the volume is also reduced, and crosstalk occurs, thereby degrading the print quality.
  • the present invention can also be applied to the field of display technology and the field of fine wiring printing.
  • the print uniformity of the ink drop is more than 1%, it can be applied to the field of display that is visible to the eye, especially the field that requires RGB pixel printing.
  • Such application fields include RGB Color Resist ink printing for color filter manufacturing, OLED display manufacturing that prints all layers such as HIL, HTL and EML with inkjet, QDCC (Quantum Dot Color Conversion) ink printing for QD OLED display, perovsky Perovskite Color Conversion ink printing, manufacturing of OLED displays by merging blue deposition with red and green ink inkjet technology, manufacturing of polymer OLEDs making HIL, IL, RGB EML all with inkjet ink, blue or UV ⁇ LED or MiniLED It can be applied to the fields of QD ink printing for color conversion, blue, red, and green ink printing of self-luminous QD displays, and self-luminous perovskite blue, red, green ink printing.
  • the smaller the line width the more uniform the line width becomes when printing wires with a line width of 20 ⁇ m or less by the inkjet method or when performing Etch Resist or Electroplating Resist patterns for making wires with a line width of 20 ⁇ m or less.
  • Gender becomes important.
  • uniformity of line width especially in 5G communication, since loss occurs intensively at line edge, line width uniformity in this sense is important to reduce loss by straightness at line edge
  • the present invention is applied to these fields and has the advantage of being utilized for measuring ink droplet size and position accuracy to ensure uniformity of 1% or less.

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Abstract

본 발명은 잉크방울의 부피 및 위치를 빠른 시간내에 정확하게 처리할 수 있는 방법을 제시하는 것을 기술적 과제로 한다. 본 발명은 전술한 과제를 달성하기 위해 잉크젯 장치의 헤드의 노즐에서 일정한 부피로 분사되어 탄착되는 잉크젯 방울의 부피와 위치를 측정하기 위한 패드로서, 복수의 헤드 노즐 피치 간격에 대응하는 피치 간격으로 배열된 복수 개의 홈부와 상기 홈부 사이에 형성되는 벽부로 이루어지는 패턴부가 형성되며, 상기 홈부의 길이는 측정대상이 되는 동일 연장선상에 존재하는 헤드를 모두 포함할 수 있는 크기를 가지도록 형성되고, 상기 홈부의 길이방향 전체에 걸쳐 동일한 단면 형상으로 일정하게 형성되는 것을 특징으로 한다. 본 발명은 전술한 구성으로 인해 잉크젯 프린터 장치에서 잉크방울의 부피와 위치 정도를 패드를 이용함으로써 스트로보를 사용하는 종래기술에 비해 훨씬 간단하고 빠르게 1% 이하의 정도로 정확하게 측정할 수 있는 장점을 가진다.

Description

잉크방울 측정패드와 이를 구비한 잉크젯 프린터 장치 및 잉크방울 측정방법
본 발명은 잉크방울을 측정하기 위한 것으로서, 보다 구체적으로는 잉크방울의 부피 및 위치를 용이하게 측정할 수 있는 측정패드와 이를 이용한 측정방법 및 잉크젯 프린터 장치에 대한 것이다.
잉크젯 인쇄 기술 적용에서 특히 정량의 잉크를 요구되는 픽셀에 균일하게 1% 이내로 도포해야 하는 경우에 각 노즐에서 토출되는 잉크 방울 부피의 편차를 정확하게 측정하여 이를 보상할 수 있어야 한다. 또한 각 헤드 간에 존재하는 잉크 방울 부피의 편차도 보상할 수 있어야 한다.
그런데, 헤드의 가공 편차 그리고 조립 편차는 장치 제작과정 중에 존재할 수 밖에 없고 또한 토출 조건에 따라서 각 노즐의 잉크 방울 도포 위치 편차도 존재 한다.
이러한 잉크 방울 위치 편차는 픽셀의 인쇄에 있어서 품질 저하나 불량을 유발하는 문제점을 발생하게 된다.
이러한 문제점을 해결하기 위해 디지털 카메라와 광학장치 그리고 LED 조명 장치를 잉크젯 헤드 양 측면에 헤드 높이에 맞춰 일직선 상에 설치하고 잉크 방울 토출 시간과 LED 조명의 점멸을 동기화 하여 스크린 상에 토출된 잉크 방울들이 비행 중에 한 위치에 정지한 것 같이 하나의 잉크방울을 보여주는 것 같은 영상을 만들어 주는 스트로브(Strobe) 기술을 적용하는 기술이 공지되어 있다.
그러나, 이러한 방법의 가장 큰 문제점은 높은 토출 주파수에서 보이는 정지영상의 잉크방울들이 하나의 잉크 방울의 이미지가 아니라 토출 주파수에 따른 위치 오차 및 크기 오차를 가지는 다수의 잉크 방울의 이미지가 겹쳐진 것이 보이는 것이다.
따라서 잉크 방울의 모양, 잉크 방울의 직진성, 스트로브 오차, 실제 다수의 잉크 방울의 오차, 조명의 차이 그리고 비젼 인식 기술의 인식 방법 및 오차(제한된 해상도)에 의하여 큰 측정 오차를 가질 수 밖에 없다.
또한 이 방식으로는 카메라 앞 또는 뒤 방향으로 토출되는 잉크 방울의 위치 정도를 측정하기 불가능하고 좌우 방향으로 토출되는 잉크 방울의 위치 정도도 측정이 어렵고 추가적인 시간이 요구되는 문제점이 존재하고 있다.
[선행기술문헌] 한국등록특허 제10-0997451호(등록일자 2010년 11월 24일)
본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 잉크방울의 부피 및 위치를 빠른 시간내에 정확하게 처리할 수 있는 방법을 제시하는 것이다.
본 발명은 전술한 과제를 해결하기 위해, 잉크젯 장치의 헤드의 노즐에서 일정한 부피로 분사되어 탄착된 잉크젯 방울의 부피와 위치를 측정하기 위한 패드로서, 복수의 헤드 노즐 피치 간격에 대응하는 피치 간격으로 배열된 복수 개의 홈부와 상기 홈부 사이에 형성되는 벽부로 이루어지는 패턴부가 형성되며, 상기 홈부의 길이방향 전체에 걸쳐 동일한 단면 형상으로 일정하게 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 잉크방울 측정패드에서, 상기 패턴부는 인쇄방향과 동일한 방향 또는 수직한 방향으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 잉크방울 측정패드에서, 상기 패턴부는 인쇄방향과 동일한 방향으로 형성된 패턴부와 인쇄방향에 수직한 방향으로 형성된 패턴부가 하나의 패드에 동시에 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 잉크방울 측정패드에서, 상기 홈부는 친액성 소재로 이루어지고 상기 벽부의 상부 벽부는 발액성 소재로 이루어지며, 상기 벽부의 측면 벽부는 친액성 또는 발액성 소재로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 잉크방울 측정패드에서, 상기 홈부는 친액성 소재로 코팅되고 상기 벽부의 상부 벽부는 발액성 소재로 코팅되며, 상기 벽부의 측면 벽부는 친액성 또는 발액성 소재로 코팅되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 잉크방울 측정패드에서, 상기 패턴부에서 홈부의 길이와 폭과 깊이는 잉크의 점도, 표면 장력, 건조 특성, 극성과 같은 잉크 퍼짐 특성에 관련된 잉크 특성 그리고 홈의 단면 모양과 홈 바닥 표면 장력, 거칠기 등 표면 상태에 따라 측정 정밀도에 요구되는 충분한 잉크 방울 퍼짐을 구현할 수 있도록 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 잉크방울 측정패드에서, 상기 패드는 평평한 시트 형태로 공급되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 잉크방울 측정패드에서, 상기 패드는 잉크젯 헤드 폭에 상응하는 폭으로 일정 길이만큼 공급되고 잉크젯 장치에 제거될 수 있도록 롤(Roll) 형태로 형성되어 연속적으로 공급되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 잉크방울 측정패드에서, 상기 패드는 잉크의 색상과 상이한 투명한 형태로 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 잉크방울 측정패드에서, 상기 홈부와 벽부는 서로 다른 색상으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 잉크방울 측정패드를 구비하는 잉크젯 장치로서, 잉크젯 프린터부와, 상기 잉크젯 프린터부에 병렬로 설치되는 헤드 유지보수부를 포함하며, 상기 잉크젯 프린터부는, 인쇄대상물이 배치되며 Y 방향으로 이동가능하게 형성되는 Y1 스테이지와, 잉크젯 헤드가 상기 인쇄대상물(b1)의 높이보다 높게 설치되며 X 방향으로 헤드유지보수부의 Y2 스테이지까지 이동가능하도록 연장되어 설치되는 X1 스테이지로 이루어지고, 상기 헤드 유지보수부는, 상기 Y1 스테이지에 병렬로 Y 방향으로 이동가능하게 형성되는 Y2 스테이지와, 상기 Y2 스테이지에 설치되며 잉크 방울 측정 패드를 고정하기 위한 플레이트 장치와, 상기 헤드 유지보수부에 설치되며 패드에 탄착된 각 잉크 방울의 길이와 위치를 측정할 수 잉크방울 측정장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 잉크방울 측정패드를 구비하는 잉크젯 장치에서, 상기 헤드 유지보수부에는 X 방향으로 이동가능하게 X2 스테이지가 추가로 설치되며, 상기 X2 스테이지에는 패드에 탄착된 잉크 방울을 제거할 수 있는 잉크 제거 장치가 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 잉크방울 측정패드를 구비하는 잉크젯 장치에서,상기 헤드 유지보수부에는 상기 플레이트 장치에 잉크방울 측정패드를 롤 방식으로 연속적으로 공급하기 위한 롤 공급 장치가 추가로 설치되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 잉크방울 측정패드를 구비하는 잉크젯 장치에서,상기 잉크 제거장치는 잉크 방울을 흡입할 수 있는 진공흡입장치로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 잉크방울 측정패드를 구비하는 잉크젯 장치에서,상기 잉크 제거장치는 잉크 방울을 경화할 수 있는 UV 조사장치로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
잉크젯 장치의 잉크젯 헤드에서 분사되어 탄착된 잉크방울을 측정하는 방법으로서, 잉크젯 장치의 노즐 피치에 대응하는 간격으로 복수 개의 홈부를 형성하고 상기 홈부의 단면이 길이방향 전체에 걸쳐 균일하게 형성된 잉크방울 측정패드를 공급하고 플레이트에 지지하는 단계(s100); 상기 단계(s100)에서 지지된 잉크방울 측정패드를 잉크젯 헤드의 하부에 배치시키되 상기 홈부가 상기 노즐의 수직 하부에 위치하도록 정렬하여 배치시키는 단계(s200); 상기 단계(s200)에서 배치된 패드를 향해 노즐에서 잉크방울을 분사하여 패드의 홈부에 잉크방울을 탄착시키는 단계(s300); 상기 단계(s300)에서 탄착된 각 잉크방울의 길이 및 중심 위치 편차를 잉크방울 측정장치를 이용하여 측정하는 단계(s400)로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 잉크방울 측정방법에서, 상기 단계(s400)에서, 상기 잉크방울 측정장치에서 상기 패드(p)에 탄착된 잉크 방울의 길이를 측정함으로써 잉크방울의 부피를 측정하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 잉크방울 측정방법에서, 상기 단계(s400)에서, 상기 잉크방울 측정장치에서 상기 패드(p)에 탄착된 잉크 방울의 중심 위치(c1)를 측정하고, 상기 패드의 모서리에 형성된 정렬마크에 의해 결정된 각 잉크 방울의 기준 중심 위치(c)와 비교하여, 양자간의 위치 편차 e(Δx, Δy)를 측정하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 잉크방울 측정방법에서, 상기 단계(s400)에서, 상기 패드(p)에 탄착된 잉크 방울을 측정함으로써, 잉크젯 프린터 설치 후 초기 잉크젯 헤드의 모든 노즐에서 잉크 방울이 토출되는지 잉크 방울 유무를 측정하여 각 노즐이 불충분한 공기 제거 상황이나 노즐 막힘의 상태를 분석하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 잉크방울 측정방법에서, 상기 단계(s400)에서, 특정 노즐에 특정 전압 파형이 인가되어 다수의 방울을 토출하는 경우 상기패드(p)에 탄착된 잉크 방울의 부피를 측정하여 특정 노즐에서의 토출 부피를 연산하고, 상기 연산결과를 이용하여 상기 패드(p)의 동일한 위치에 다수의 잉크 방울을 토출하여 목표 잉크방울 부피를 달성하기 위한 하나의 노즐에서 한 개 또는 복수 개의 전압 파형을 설정하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 잉크방울 측정방법에서, 상기 단계(s400)에서, 복수 개의 노즐에 특정 전압 파형이 인가되어 다수의 방울을 토출하는 경우 상기 패드(p)에 탄착된 잉크 방울의 부피를 측정함으로써 각 노즐에서의 토출 부피가 연산하고, 상기 연산결과를 이용하여 상기 패드(p)의 동일한 위치에 다수의 잉크 방울을 토출하여 목표 잉크방울 부피를 달성하기 위한 복수 개의 노즐의 조합을 설정하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 잉크방울 측정방법에서, 상기 단계(s400)에서, 복수 개의 헤드를 구비하는 잉크젯 장치에서 잉크방울을 토출하는 경우 잉크젯 헤드의 노즐 간 간섭(Crosstalk)에 의한 영향을 반영하는 패드(p)에 탄착된 잉크방울의 부피 및 위치를 측정하고, 상기 측정된 결과를 이용하여 노즐간 간섭을 회피할 수 있도록 각 노즐에서의 위치와 부피를 보상하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 잉크방울 측정방법에서, 상기 단계(s400)의 종료 후에 패드에 탄착된 잉크를 제거하는 단계(s500)를 수행하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 잉크방울 측정패드를 구비하는 임프린트 장치로서, 임프린트 장치부와, 상기 임프린트 장치부에 병렬로 설치되는 헤드유지보수부를 포함하며, 상기 임프린트 장치부는, 기판과 같은 임프린트 대상물(b2)이 배치되는 워크 홀더(wh)가 X 축방향으로 이동가능하게 설치되는 X3 스테이지와, 상기 X3 스테이지가 Y 방향으로 이동가능하게 설치되는 Y3 스테이지와, 잉크젯 헤드(h)가 임프린트 대상물(b2)의 높이보다 높게 설치되며 X 방향으로 헤드유지보수부의 Y2 스테이지까지 이동가능하도록 연장되어 설치되는 X4 스테이지와, 임프린팅을 수행하는 몰드(m)를 보유 지지하며 임프린트 대상물과의 몰드 형상을 보정하고 스탬핑 작업을 수행하는 몰드 구동 유닛과, 상기 임프린트 대상물(b2)의 마크와 몰드(m)의 마크를 정렬하기 위한 광학장치와, 상기 임프린트 대상물의 몰딩 후 분사된 잉크방울을 경화하기 위한 경화장치로 이루어지며, 상기 헤드 유지보수부는, 상기 Y1 스테이지에 병렬로 Y 방향으로 이동가능하게 형성되는 Y2 스테이지와, 상기 Y2 스테이지에 설치되며 잉크 방울 측정 패드(p)를 고정하기 위한 플레이트 장치와, 상기 헤드 유지보수부에 설치되며 패드에 탄착된 각 잉크 방울의 길이와 위치를 측정할 수 잉크방울 측정장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 잉크방울 측정패드를 구비하는 임프린트 장치에서, 상기 헤드 유지보수부에는 X 방향으로 이동가능하게 X2 스테이지가 추가로 설치되며, 상기 X2 스테이지에는 패드에 탄착된 잉크 방울을 제거할 수 있는 잉크 제거 장치가 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 잉크방울 측정패드를 구비하는 임프린트 장치에서, 상기 헤드 유지보수부에는 상기 플레이트 장치에 잉크방울 측정패드를 롤 방식으로 연속적으로 공급하기 위한 롤 공급 장치가 추가로 설치되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 잉크방울 측정패드를 구비하는 임프린트 장치에서, 상기 잉크 제거장치는 잉크 방울을 흡입할 수 있는 진공흡입장치로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 잉크방울 측정패드를 구비하는 임프린트 장치에서, 상기 잉크 제거장치는 잉크 방울을 경화할 수 있는 UV 조사장치로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 잉크젯 프린터 장치에서 잉크방울의 부피와 위치 정도를 패드를 이용함으로써 스트로보를 사용하는 종래기술에 비해 훨씬 간단하고 빠르게 1% 이하의 정도로 정확하게 측정할 수 있는 장점을 가진다.
따라서, 이를 이용하여 패드(p)에 탄착된 잉크 방울을 측정함으로써, 잉크젯 프린터 설치 후 초기 잉크젯 헤드의 모든 노즐에서 잉크 방울이 토출되는지 잉크 방울 유무를 측정하여 각 노즐이 불충분한 공기 제거 상황이니 노즐 막힘의 상태를 파악하고 노즐 막힘을 해결하는 추가적인 조치를 수행하거나 적절하게 보상할 수 있는 효과를 가진다.
또한, 특정 노즐에 특정 전압 파형이 인가되어 다수의 방울을 토출하는 경우 패드(p)에 탄착된 잉크 방울의 부피를 측정함으로써 특정 노즐에서의 토출 부피가 연산되는 것이 빠르고 쉽게 가능하게 된다.
이를 이용하여 패드(p)의 동일한 위치에 다수의 잉크 방울을 토출하여 목표 잉크방울 부피를 달성하기 위한 하나의 노즐에서 한 개 또는 복수 개의 전압 파형을 설정하는 것이 빠르고 쉽게 가능하게 되는 효과를 가진다.
한편, 복수 개의 노즐에 특정 전압 파형이 인가되어 다수의 방울을 토출하는 경우 패드(p)에 탄착된 잉크 방울의 부피를 측정함으로써 각 노즐에서의 토출 부피가 연산되는 것이 가능하게 된다.
이를 이용하여 패드(p)의 동일한 위치에 다수의 잉크 방울을 토출하여 목표 잉크방울 부피를 달성하기 위한 복수 개의 노즐의 조합을 설정하는 것이 빠르고 쉽게 가능하게 된다.
특히, 잉크젯 프린터 장치에서는 각각의 노즐이 요구되는 패턴 정보에 의하여 정해진 노즐에서 정해진 잉크 방울이 토출되는 작용을 하게 되는데, 이때 각 노즐의 토출작용시 발생하는 음파로 인해 노즐이 토출 할 때 주변 노즐의 잉크 방울의 토출 속도가 줄게 되고 또한 부피도 줄어 들게 되는 간섭 현상(Crosstalk)이 발생하게 된다.
이러한 경우에도 패드(p)에 탄착된 잉크 방울의 부피 및 위치를 측정함으써 간섭현상이 방지되도록 용이하게 노즐을 보상하는 작용효과를 가지게 된다.
또한, 본 발명은 패드(p)에 X 방향과 Y방향의 탄착 위치를 측정하여 탄착된 잉크 방울의 위치 측정함으로써, 각 노즐에서 탄착된 잉크 방울의 위치 오차를 잉크 방울 부피와 동시에 빠르고 쉽게 측정할 수 있다.
이러한 위치 오차 측정 결과를 실제 인쇄 중 보상하여 더 정밀한 인쇄를 가능하게 할 수 있다.
도 1 은 본 발명의 잉크방울 측정패드를 도시하는 도면이다.
도 2 는 본 발명의 잉크방울 측정패드를 구비하는 잉크젯 프린터 장치를 도시하는 도면이다.
도 3 은 본 발명의 잉크방울 측정패드를 구비하는 잉크젯 프린터 장치에서 노즐이 배치된 상태를 도시하는 도면이다.
도 4 는 본 발명의 잉크방울 측정패드를 구비하는 임프린트 장치를 도시하는 도면이다.
도 5 은 본 발명의 잉크방울 측정패드에 전체적으로 잉크가 탄착된 상태를 도시하는 도면이다.
도 6 은 본 발명의 잉크방울 측정패드에 탄착된 잉크의 측정상태를 도시하는 도면이다.
도 7 는 본 발명의 잉크방울 측정패드가 인쇄방향과 동일한 방향으로 설치된 경우에 잉크가 탄착된 상태를 도시하는 도면이다.
도 8 는 본 발명의 잉크방울 측정패드가 인쇄방향과 수직한 방향으로 설치된 경우에 잉크가 탄착된 상태를 도시하는 도면이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 대해 설명한다.
도 1 은 본 발명의 잉크방울 측정패드를 도시하는 도면이다.
잉크방울 측정패드에 대해 설명한다.
본 발명에서 잉크방울 측정패드(p)는 평평한 시트 내지 필름 형상으로 포토리소그파피(Photolithography) 또는 임프린트(Imprint) 방법으로 형성될 수 있다.
잉크방울 측정패드(p)는 복수 개의 홈부(10)와 상기 홈부(10)의 사이에 형성되는 복수 개의 벽부(20)와 정렬마크(30)로 이루어진다.
벽부(20)는 홈부(10)의 양측면에 상방으로 돌출되도록 형성되는 측면 벽부(21)와 측면 벽부(21)의 사이의 상부면에 형성되는 상부 벽부(22)로 이루어진다.
정렬마크(30)는 헤드 인쇄 폭에 따라 패드(p)의 각 모서리에 형성된다.
복수 개의 홈부(10)의 간격은 노즐의 피치 간격과 동일하게 형성되거나 배수 또는 약수로 형성된다.
즉, 600 npi(Nozzle Per Inch)의 헤드를 사용하면 홈부의 간격은 600 npi의 배수인 1200 npi, 1800 npi, 2400 npi 등으로 형성될 수 있고, 약수인 300 npi, 200npi, 100 npi 등으로 형성될 수 있다.
홈부(10)의 길이는 잉크젯 장치에서의 헤드의 횡방향으로 배치에서 노즐을 모두 포함할 수 있도록 형성되는 것이 바람직하다.
홈부(10)의 깊이와 폭은 홈부(10)의 길이방향 전체에 걸쳐 동일한 크기를 유지하도록 형성된다.
홈부(10)의 단면 형상은 본 실시예에서는 사각형 형상으로 구성되나 이에 한정되는 것은 아니면 길이방향 전체에 걸쳐 동일한 단면을 유지하는 형상이라면 역삼각형이나 반원 형상 등 다양한 형상으로 형성될 수 있다.
한편, 홈부(10)의 폭과 깊이는 사용되는 잉크의 점도, 표면 장력, 건조 특성, 극성 등 잉크 퍼짐 제어 특성에 관련된 잉크 특성 그리고 홈과 홈 바닥 표면 장력, 거칠기 등 표면 상태에 따라서 측정 정밀도에 요구되는 충분한 잉크 방울 퍼짐을 구현할 수 있게 결정될 수 있다.
패드(p)에는 도 5 에 도시된 바와 같이 인쇄 방향과 동일한 방향으로 형성되는 홈부(10) 및 인쇄 방향에 수직한 방향으로 형성되는 2개의 홈부(10)가 모두 형성된다.
인쇄 방향 및 인쇄 수직 방향 홈부(10)들이 같이 한 장의 패드(p)에 형성되면 각각 노즐들의 인쇄 방향 그리고 인쇄 수직 방향에서 잉크 방울 탄착 위치 오차를 동시에 측정할 수 있다.
또는, 측정목적에 따라 패드(p)는 홈부(10)가 도 7 에 도시된 바와 같이 인쇄방향으로 설치되거나 도 8 에 도시된 바와 같이 인쇄방향에 수직한 방향으로 각각 형성될 수도 있다.
인쇄 방향 및 인쇄 수직 방향 홈부(10)들이 같이 한 장의 패드(p)에 형성되어 각각 노즐들의 인쇄 방향 그리고 인쇄 수직 방향에서 잉크 방울 탄착 위치 오차를 동시에 측정할 수 있다.
또한, 패드(p)는 전체를 하나의 소재로 형성하거나 또는 홈부(10)의 소재는 잉크방울이 잘 수용될 수 있도록 친액성 소재로 형성하고 벽부(20)의 소재는 발액성 소재로 형성하는 것도 가능하다.
또한, 패드(p)는 친액성 소재로 형성하거나 친액성 코팅을 하고 홈부(10)의 측면 벽부(21)는 친액성 소재로 형성하거나 친액성 코팅을 하고 상부 벽부(22)는 발액성 특성을 가지도록 발액성 소재로 형성하거나 코팅하여 형성하는 것도 가능하다.
패드(p)를 하부에서 조명을 줄 수 있도록 전체적으로 투명한 소재로 형성되는 것도 가능하다.
또는, 패드(p)에서 홈부(10)의 색상 또는 벽부(20)의 색상을 서로 달리하여 홈부(10)와 벽부(20)가 용이하게 구별될 수 있도록 형성하는 것도 가능하다.
또는, 패드(p)에서 홈부(10)은 투명한 소재로 형성하고 벽부(20)는 색상을 가지게 해서 용이하게 구별될 수 있도록 형성하는 것도 가능하다.
패드(p)는 잉크젯 장치의 평평한 플레이트 장치에 장착될 수 있도록 평평한 시트 형태로 공급될 수 있다.
또는, 패드(p)는 잉크젯 헤드 폭에 상응하는 폭으로 일정 길이만큼 잉크젯 장치에 쉽게 공급되고 쉽게 제거될 수 있도록 롤(Roll) 형태로 형성되어 연속적으로 공급되는 것도 가능하다.
*한편, 패드(p)의 공급 형태는 사각형상의 낱장 형태로 잉크젯 장치로 공급되거나 또는 헤드 폭에 대응하는 폭을 가지면서 롤 형태로 연속적으로 공급되는 형태도 가능하다.
도 2 는 본 발명의 잉크방울 측정패드를 구비하는 잉크젯 프린터 장치를 도시하는 도면이다.
다음으로, 전술한 패드를 구비하는 잉크젯 프린터 장치에 대해 설명한다.
잉크젯 프린터 장치(D)는 잉크젯 프린터부(100)와 상기 잉크젯 프린터부(100)에 병렬로 설치되는 헤드 유지보수부(200)로 이루어진다.
잉크젯 프린터부(100)는, 기판과 같은 인쇄대상물(b1)이 배치되는 워크 홀더(wh)가 설치되며 Y 방향으로 이동가능하게 형성되는 Y1 스테이지(110)와, 잉크젯 헤드(h)가 인쇄대상물(b1)의 높이보다 높게 설치되며 X 방향으로 헤드유지보수부(200)의 Y2 스테이지(210)까지 이동가능하도록 연장되어 설치되는 X1 스테이지(120)로 이루어진다.
도 3 은 본 발명의 잉크방울 측정패드를 구비하는 잉크젯 프린터 장치에서 노즐이 배치된 상태를 도시하는 도면이다.
헤드(h)의 저면부에는 복수의 노즐(n)이 설치되어 있는 데 헤드(h)의 횡방향에 대해 경사진 형태로 배열된다. 또는, 노즐(n)의 배열은 헤드(h)마다 다른 것으로 경사진 형태가 아닐 수도 있다.
경사진 형태로 배열되는 이유는 동일한 헤드(h)의 크기 안에 최대한 많은 노즐(n)을 삽입하는 동시에 노즐(n)의 사이의 간격을 좁게 하여 해상도을 높이고 이를 횡방향으로 일직선상에 헤드(h)를 계속 연결할 수 있게 하기 위해서이다.
또는, 헤드 설계에 따라서 헤드를 2열로 배열하여 횡방향으로 정해진 피치(Pitch)로 노즐(n)이 계속 연결되게 헤드(h)를 계속 연결할 수도 있다.
헤드 유지보수부(200)는, 상기 Y1 스테이지(110)에 대해 병렬로 설치되며 Y 방향으로 이동가능하게 형성되는 Y2 스테이지(210)와, 상기 Y2 스테이지(210)에 설치되며 잉크 방울 측정 패드(p)를 배치하기 위한 플레이트 장치(220)와, 잉크방울 측정장치(230)를 포함하여 이루어진다.
플레이트 장치(220)는 평판 형상으로 형성되며 상부에 측정패드(p)가 고정되도록 형성된다. 인쇄방향 그리고 인쇄수직방향의 홈부(10)를 가진 측정패드(p)는 플레이트 장치(220)에 고정해도 홈부(10)의 방향을 인쇄방향에 정렬하기 위하여 플레이트 장치(220)를 회전 가능하게 구성할 수도 있다.
필요에 따라 플레이트 장치(220)는 공지된 회전장치에 의해 회전가능하게 구성됨으로써 패드(p)를 인쇄방향 또는 인쇄방향에 수직한 방향으로 배치되게 할 수 있다.
한편, 패드(p)를 롤방식으로 공급하는 경우를 위해 공급 롤 공급 장치(260)가 형성되는 것도 가능하다.
롤 공급 장치(260)로 패드(p)가 공급되면 인장력이 롤 공급 방향으로 작용하여 측정 패드(p)가 롤 공급 방향으로 늘어나게 될 수도 있는데, 이러한 문제는 패드(p)의 실제 각 홈부(10) 폭을 측정하여 실시간으로 보상할 수 있다.
잉크방울 측정장치(230)는 패드(p)의 홈부(10)에 탄착된 잉크방울의 길이 및 중심위치 이탈도를 측정하는 역할을 하는 것으로서 공지된 구성으로 사용된다.
잉크방울 측정장치(230)는 카메라를 이용하는 비전시스템이나 레이저 스캔 장치 또는 초음파 장치와 같이 잉크 방울의 형상을 측정할 수 있는 장치라면 어떤 장치를 사용하도 가능하다.
한편, 헤드 유지보수부(200)는 X 방향으로 이동가능하게 X2 스테이지(240)가 추가로 설치되며, 상기 X2 스테이지(240)에는 패드(p)에 탄착된 잉크 방울을 제거할 수 있는 잉크 제거 장치(250)가 설치된다.
잉크 제거장치(250)로는 잉크 방울을 흡입할 수 있는 진공흡입장치(251) 및/또는 잉크 방울을 경화하여 패드(p)에 부착하고 제거할 수 있는 UV 조사장치(252)가 설치된다.
헤드 유지보수부(200)에는 잉크젯 헤드의 유지보수를 하기 위한 유지보수장치(270)가 설치된다.
본 발명의 잉크젯 프린터 장치(D)에서 잉크젯 프린터부(100)는 공지된 방식으로 기본적인 잉크젯 인쇄작업을 수행한다.
즉, 인쇄 대상물(b1)을 Y1 스테이지(110)를 따라 이동시켜 잉크젯 헤드(h)의 하부로 배치시킨 다음 잉크제 헤드(h)의 노즐에 잉크방울을 분사하여 인쇄작업을 수행한다.
본 발명의 잉크방울 측정패드를 이용하여 잉크방출을 측정하는 작업은 헤드 유지보수부(200)에서 수행된다.
따라서, 잉크젯 헤드(h)를 잉크젯 프린터부(100)에서 X1 스테이지(120)를 따라 헤드 유지보수부(200)로 이송시킨 다음 후술하는 잉크방울 측정방법에 의해 이루어지게 된다.
도 4 는 본 발명의 잉크방울 측정패드를 구비하는 잉크젯 프린터 유닛을 포함하는 임프린트 장치를 나타내는 도면이다.
본 발명의 잉크방울 측정패드를 구비하는 잉크젯 프린터 유닛을 포함한 임프린트 장치(I)는 임프린트 장치부(300)와, 상기 임프린트 장치부(300)에 병렬로 설치되는 헤드유지보수부(200)를 포함하여 이루어진다.
임프린트 장치부(300)는 기판과 같은 임프린트 대상물(b2)이 배치되는 워크 홀더(wh)가 X 축방향으로 이동가능하게 설치되는 X3 스테이지(310)와, 상기 X3 스테이지(310)가 Y 방향으로 이동가능하게 설치되는 Y3 스테이지(320)와, 잉크젯 헤드(h)가 임프린트 대상물(b2)의 높이보다 높게 설치되며 X 방향으로 헤드유지보수부(200)의 Y2 스테이지(210)까지 이동가능하도록 연장되어 설치되는 X4 스테이지(330)와, 임프린팅을 수행하는 몰드(m)를 보유 지지하며 임프린트 대상물과의 몰드 형상을 보정하고 스탬핑 작업을 수행하는 몰드 구동 유닛(340)과, 상기 임프린트 대상물(b2)의 마크와 몰드(m)의 마크를 정렬하는 광학장치(350)와, 상기 임프린트 대상물의 몰딩 후 임프린트 재료를 경화하기 위한 경화장치(360)로 이루어진다.
한편, 임프린트 장치(I)에서 헤드유지보수부(200)는 전술한 잉크젯 장치(D)에 적용됭 헤드유지보수부(200)와 동일하게 구성되는 바, Y2 스테이지(210)는 상기 Y3 스테이지(310)에 대해 병렬로 설치되며 나머지 다른 구성은 동일하다.
본 발명의 임프린트 장치(I)에서는 임프린트 장치부(300)에서 공지된 방식으로 기본적인 임프린트 작업이 수행된다.
즉, 임프린트 대상물(b2)을 X3 스테이지(310) 및 Y3 스테이지(320)를 통해 잉크젯 헤드(h)의 하부로 배치되게 한 다음 잉크젯 헤드(h)에서 임프린트 재료로 이루어지는 잉크방울을 분사한다.
다음으로, 잉크방울이 분사된 임프린트 대상물(b2)을 몰드 구동 유닛(340)의 하부로 이송시키고 광학장치(350)를 통해 임프린트 대상물(b2)의 마크와 몰드(m)의 마크를 정렬되게 한다.
마지막으로, 몰드 구동 유닛(340)에 의해 몰드(m)를 하방으로 이송하여 임프린트 작업을 수행하고 경화장치(360)를 통해 몰딩된 임프린트 재료를 경화하는 작업을 수행하게 된다.
본 발명의 잉크방울 측정패드를 이용하여 잉크방출을 측정하는 작업은 헤드 유지보수부(200)에서 수행된다.
따라서, 잉크젯 헤드(h)를 임프린트 장치부(300)에서 X4 스테이지(330)를 따라 헤드 유지보수부(200)로 이송시킨 다음 후술하는 잉크방울 측정방법에 의해 이루어지게 된다.
이와 같이 본 발명에서 잉크방울 측정방법은 잉크젯 프린터 장치(D) 및 임프린트 장치(I)에서 모두 잉크잉크젯 헤드(h)가 헤드 유지보수부(200)로 이송된 다음에 이루어진다는 점이 공통된다.
이하에서는 전술한 바와 같이 구성된 잉크젯 프린터 장치(D) 또는 임프린트 장치(I)를 이용하여 잉크방울을 측정하는 방법에 대해 설명한다.
먼저, 잉크젯 장치의 노즐 피치에 대응하는 간격으로 복수 개의 홈부(10)를 형성하고 홈부(10)의 단면이 인쇄방향 및 인쇄 수직방향 전체에 걸쳐 균일하게 형성되는 2가지 패턴부를 가지도록 제작된 잉크방울 측정패드(p)를 인쇄방향으로 정렬하는 단계(s100)를 수행한다.
다음으로 단계(s100)에서 형성된 잉크방울 측정패드를 잉크젯 헤드의 하부에 배치되게 하는 단계(s200)를 수행한다.
X1 스테이지(120)를 구동하여 잉크젯 헤드(h)를 헤드 유지보수부(200)로 이동시키는 동시에, Y2 스테이지(210)를 구동하여 패드(p)가 설치된 플레이트 장치(220)를 잉크젯 헤드(h)의 수직 하부에 배치되게 한다.
도 5 은 본 발명의 잉크방울 측정패드에 전체적으로 잉크가 탄착된 상태를 도시하는 도면이다. 도 6 은 본 발명의 잉크방울 측정패드에 탄착된 잉크의 측정상태를 도시하는 도면이다.
단계(s300)에서는 잉크젯 헤드에서 패드(p)를 향해 잉크 방울을 분사하여 패드(p)의 홈부에 탄착시키는 작업을 수행하면 도 5 에 도시된 바와 같은 형태로 잉크방울이 패드(p)에 탄착된다.
패드(p)에서 홈부(10)가 인쇄방향과 동일한 방향인 Y 방향으로 배치된 경우 도 7 에 도시된 바와 같은 형태로 잉크 방울이 탄착된다.
패드(p)에서 홈부(10)가 인쇄방향에 수직한 방향인 X 방향으로 배치된 경우 도 8 에 도시된 바와 같은 형태로 잉크 방울이 탄착된다.
잉크헤드(h)에서 제조 및 조립 공차로 그리고 토출이 수행되는 상황에 따라서 토출되는 잉크 방울의 탄착 정도가 오차를 가지게 되는데, 패드(p)의 홈부(10)에서 탄착 오차가 발생하는 만큼 잉크 방울의 중심 위치 오차가 X 방향 및 Y 방향으로 각각 Δx와 Δy 만큼의 오차가 발생하게 탄착된다.
단계(s400)에서는 먼저 Y2 스테이지(210)를 구동하여 잉크 방울이 탄착된 패드(p)를 잉크방울 측정장치(230)의 하부로 이송하게 단계(s410)를 수행한다.
그런 다음 상기 단계(s300)에서 도 6 에 도시된 바와 같이 탄착된 각 잉크방울의 길이(l)와 위치(x,y)를 측정함으로써 각 잉크방울의 부피 및 위치 정밀도를 측정하는 단계(s420)를 수행하게 된다.
잉크방울 측정장치(230)로서 비전 검사 장치를 이용하여 각 잉크방울(d)의 홈부(10)에서의 길이(l)와 위치 c1(x,y)를 측정하게 되면, 홈부(10)의 폭과 깊이는 이미 알고 있으므로 부피가 자동적으로 연산된다.
또한, 비전검사장치로부터 패드(p)위에 형성되어 있는 정렬마크(30)에 의해 정해지는 각 잉크방울의 중심(c)와 실제 탄착된 잉크방울의 위치 c1(x,y) 간의 위치 편차 e(Δx, Δy)가 자동적으로 연산된다.
홈부(10)에 가능한 길게 퍼진 잉크 방울이 더 높은 정도의 잉크 방울 길이 측정을 하는데 더 유리하다.
그러나 홈부(10)의 크기를 결정하는데 고려되는 다양한 변수에 의하여 즉, 홈부(10)의 모양, 패턴의 간격 및 깊이, 그리고 홈부(10)의 각 표면상태에 의해 작은 잉크 방울이 최소한 300 ~ 400 um 이상의 홈의 길이 방향으로 퍼지게 만들어 주면 요구되는 측정 정도를 맞추어 줄 수 있다.
또한, 패드(p)에 탄착된 각 잉크방울(d)의 퍼진 길이의 중심 위치(c1)를 찾고 이를 패드(p)의 정렬마크(30)에 의해 정해지는 기준 중심위치(c)과 비교하여 양자간의 편차(e) 발생 여부를 판단하고 이러한 편차(e)가 보정되도록 잉크젯 장치에서 보상하면 위치 편차를 최소화하여 정밀한 인쇄를 하는 것이 가능하게 된다.
단계(s500)에서는 잉크 방울이 측정이 모두 종료된 후에는 Y2 스테이지(210)를 구동하여 패드(p)를 X2 스테이지(240)에 설치된 잉크 제거 장치(250)의 하부로 이동시킨다.
그런 다음, 잉크 형태에 따라 잉크 방울을 흡입할 수 있는 진공흡입장치(251) 또는 잉크 방울을 경화할 수 있는 UV 조사장치(252)로 이루어지는 잉크 제거장치(250)가 X2 스테이지(240)를 따라 이동하면서 패드(p)의 잉크를 제거하는 작업을 수행한다.
잉크젯 프린터 장치의 설정 작업이 더 필요한 경우 단계(s100) 에서 단계(s500)를 반복하여 수행한다.
잉크방울 측정패드를 구비하는 잉크젯 프린터 유닛을 포함하는 임프린트 장치에서도 분사되는 재료가 임프린트 대상물이 적용되는 제품에 따른 기능성 재료로 변경될 수도 있다는 점이 상이할 뿐 전술한 작용은 모두 동일하게 적용된다.
본 발명에서는 간단하게 그리고 빠르게 0.5% 이하의 정도로 각 노즐의 잉크 방울의 부피 및 위치를 정확하게 측정할 수 있게 되는 장점을 가진다.
이로 인해 잉크젯 프린터 장치에서 각 노즐(n)마다 보상되도록 형성되는 경우 노즐별 다른 전압파형 또는 전압 파형 변경 보상으로 인해 더 균일한 잉크 방울이 인쇄될 수 있어서 인쇄된 결과의 균일성을 향상시킬 수 있다.
또한, 각각의 노즐(n)의 잉크 방울 위치 정도를 확인하여 이를 보상하면 정밀한 위치 정도 오차를 최소화 할 수 있다.
이로 인해 정밀한 인쇄가 요구되는 경우에 각 노즐의 이러한 탄착 오차를 보상한 인쇄를 수행하여 위치 정도를 향상시킬 수 있는 장점을 가진다.
본 발명의 패드를 이용하여 다음과 같은 다양한 경우에 활용하는 것이 가능하게 된다.
(1) 패드(p)에 탄착된 잉크 방울을 측정함으로써, 잉크젯 프린터 설치 후 초기 잉크젯 헤드의 모든 노즐에서 충분한 크기의 잉크 방울이 토출되는지 잉크 방울 유무를 측정하여 각 노즐이 불충분한 공기 제거 상황이니 노즐 막힘의 상태를 파악하고 적절하게 보상할 수 있다.
(2) 특정 노즐에 특정 전압 파형이 인가되어 다수의 방울을 토출하는 경우 패드(p)에 탄착된 잉크 방울의 부피를 측정함으로써 특정 노즐에서의 토출 부피가 연산되는 것이 가능하게 된다.
이를 이용하여 패드(p)의 동일한 위치에 다수의 잉크 방울을 토출하여 목표 잉크방울 부피들을 달성하기 위한 하나의 노즐에서 한 개 또는 복수 개의 전압 파형들을 설정하고 원하는 전압파형을 선택하여 사용하는 것이 가능하게 된다.
(3) 복수 개의 노즐에 특정 전압 파형이 인가되어 다수의 방울을 섞어서 한 위치(예를 들면, 하나의 픽셀)에 토출하는 경우 패드(p)에 탄착된 다수의 잉크 방울이 합쳐진 부피를 측정함으로써 각 노즐에서의 토출 부피가 연산되는 것이 가능하게 된다.
이를 이용하여 패드(p)의 동일한 위치에 다수의 잉크 방울을 토출하여 목표 잉크방울 부피를 달성하기 위한 복수 개의 노즐의 조합을 설정하거나 및/또는 각 노즐의 전압파형을 선택하는 것이 가능하게 된다.
(4) 통상적으로 잉크젯 헤드는 모든 노즐에 4개까지 또는 7개까지 다른 다수의 전압 파형(Waveform)을 연속으로 만들어주고 이 중에 선택 되어진 하나 또는 다수의 전압 파형을 선정하여 이에 상응하는 크기의 잉크 방울이 토출 되게 제어할 수 있도록 구성된다.
잉크젯 프린터 장치에서는 각각의 노즐이 요구되는 패턴 정보에 의하여 정해진 노즐에서 정해진 잉크 방울이 토출되는 작용을 하게 되는데, 이때 각 노즐의 토출작용시 발생하는 음파로 인해 노즐이 토출할 때 주변 노즐에 영향을 주게 된다.
이로 인해 주변 노즐들은 잉크 방울의 토출 속도가 줄게 되고 또한 부피도 줄어 들게 되는 간섭 현상(Crosstalk)이 발생하여 인쇄품질을 저하하는 문제점이 존재한다.
이러한 경우에도 본 발명의 잉크방울 측정패드를 통해 탄착된 잉크방울의 부피와 위치를 분석하여 간섭현상에 의한 영향을 확인하고 이러한 간섭현상이 발생하지 않도록 노즐에 인가되는 전압파형을 보상하는 것도 가능하게 된다.
(5) 패드(p)에 탄착된 잉크 방울의 위치 오차를 측정함으로써, 고해상도 디스플레이의 RGB 픽셀 인쇄를 수행할 때 즉, 잉크 방울들의 정확한 인쇄가 요구될 때 잉크젯 헤드의 각각의 노즐에서 오차를 파악하고 이를 적절하게 보상할 수 있다.
따라서, 본 발명은 디스플레이 기술 분야 및 그리고 미세 배선 인쇄 분야에도 적용될 수 있다.
잉크방울의 인쇄 균일성이 1% 이상이 되면 눈에 시인되는 디스플레이 응용 분야 특히 RGB 픽셀 인쇄가 필요한 분야에 적용될 수 있다.
이러한 응용 분야로는 Color Filter 제조를 위한 RGB Color Resist 잉크 인쇄, HIL, HTL 그리고 EML 등 모든 층을 잉크젯으로 인쇄하는 OLED 디스플레이 제조, QD OLED 디스플레이용 QDCC(Quantum Dot Color Conversion) 잉크 인쇄, 페로브스카이트 색변환(Perovskite Color Conversion) 잉크 인쇄, 청색 증착과 적색 및 녹색 잉크 잉크젯 기술을 병합하여 OLED 디스플레이 제조, HIL, IL, RGB EML을 모두 잉크젯 잉크로 제조하는 폴리머 OLED 제조, 청색 또는 UV μLED 또는 MiniLED 색변환을 위한 QD 잉크 인쇄, 자발광형 QD 디스플레이의 청색, 적색, 녹색 잉크 인쇄, 자발광형 페로브스타이트(Perovskite) 청색, 적색, 녹색 잉크 인쇄 등의 분야에 적용될 수 있다.
또한, 미세배선 인쇄분야로서, 선 폭이 20 um 이하의 배선을 잉크젯 방식으로 인쇄하거나 또는 20 um 이하의 배선을 만들기 위한 Etch Resist 또는 Electroplating Resist 패턴을 할 때 선 폭의 작아질수록 선 폭의 균일성이 중요 하게 됨. 특히 5G 통신을 위한 기판이 되면 선 폭의 균일성 (특히 5G 통신에서는 손실 발생이 선 Edge에서 집중적으로 발생하기 때문에 선 Edge에서 직진성에 의하여 손실을 줄이기 위하여 이런 의미의 선 폭 균일성이 중요함)이 많이 발생하기 때문에 은 더 균일하게 유지가 되어야 한다.
또한, 초미세 배선 인쇄분야로서, 선 폭이 10 ㎛ 이하의 배선을 잉크젯 도포 방식과 임프린트(Imprint) 방식을 이용한 융합한(Hybrid)방식으로 인쇄하기 위하여 1% 이하의 정확한 잉크 방울 부피 조절과 수 ㎛ 이하의 위치 정밀도를 달성해야 할 때 본 발명 기술을 필수적으로 적용하는 것이 중요 하게 된다.
본 발명은 이러한 분야에 적용되어 1% 이하의 균일성을 확보하기 위한 잉크 방울 크기 및 위치 정도 측정에 활용되는 장점을 가지게 된다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 특정의 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어서는 안 될 것이다.

Claims (28)

  1. 잉크젯 장치의 헤드의 노즐에서 일정한 부피로 분사되어 탄착된 잉크젯 방울의 부피와 위치를 측정하기 위한 패드로서,
    복수의 헤드 노즐 피치 간격에 대응하는 피치 간격으로 배열된 복수 개의 홈부와 상기 홈부 사이에 형성되는 벽부로 이루어지는 패턴부가 형성되며,
    상기 홈부의 길이방향 전체에 걸쳐 동일한 단면 형상으로 일정하게 형성되는 것을 특징으로 하는 잉크방울 측정패드.
  2. 청구항 1 에 있어서,
    상기 패턴부는 인쇄방향과 동일한 방향 또는 수직한 방향으로 형성되는 것을 특징으로 하는 잉크방울 측정패드.
  3. 청구항 1 에 있어서,
    상기 패턴부는 인쇄방향과 동일한 방향으로 형성된 패턴부와 인쇄방향에 수직한 방향으로 형성된 패턴부가 하나의 패드에 동시에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 잉크방울 측정패드.
  4. 청구항 2 에 있어서,
    상기 홈부는 친액성 소재로 이루어지고 상기 벽부의 상부 벽부는 발액성 소재로 이루어지며,
    상기 벽부의 측면 벽부는 친액성 또는 발액성 소재로 이루어지는 것을 특징으로 잉크방울 측정패드.
  5. 청구항 2 에 있어서,
    상기 홈부는 친액성 소재로 코팅되고 상기 벽부의 상부 벽부는 발액성 소재로 코팅되며,
    상기 벽부의 측면 벽부는 친액성 또는 발액성 소재로 코팅되는 것을 특징으로 잉크방울 측정패드.
  6. 청구항 5 에 있어서,
    상기 패턴부에서 홈부의 길이와 폭과 깊이는 잉크의 점도, 표면 장력, 건조 특성, 극성과 같은 잉크 퍼짐 특성에 관련된 잉크 특성 그리고 홈의 단면 모양과 홈 바닥 표면 장력, 거칠기 등 표면 상태에 따라 측정 정밀도에 요구되는 충분한 잉크 방울 퍼짐을 구현할 수 있도록 형성되는 것을 특징으로 하는 잉크방울 측정패드.
  7. 청구항 6 에 있어서,
    상기 패드는 평평한 시트 형태로 공급되는 것을 특징으로 하는 잉크방울 측정패드.
  8. 청구항 6 에 있어서,
    상기 패드는 잉크젯 헤드 폭에 상응하는 폭으로 일정 길이만큼 공급되고 잉크젯 장치에 제거될 수 있도록 롤(Roll) 형태로 형성되어 연속적으로 공급되는 것을 특징으로 하는 잉크방울 측정패드.
  9. 청구항 4 또는 청구항 5 에 있어서,
    상기 패드는 잉크의 색상과 상이한 투명한 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 잉크방울 측정패드.
  10. 청구항 9 에 있어서,
    상기 홈부와 벽부는 서로 다른 색상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 잉크방울 측정패드.
  11. 청구항 1 내지 청구항 8 중 어느 한 항에 기재된 잉크방울 측정패드를 구비하는 잉크젯 장치로서,
    잉크젯 프린터부와,
    상기 잉크젯 프린터부에 병렬로 설치되는 헤드 유지보수부를 포함하며,
    상기 잉크젯 프린터부는,
    인쇄대상물이 배치되며 Y 방향으로 이동가능하게 형성되는 Y1 스테이지와,
    잉크젯 헤드가 상기 인쇄대상물(b1)의 높이보다 높게 설치되며 X 방향으로 헤드유지보수부의 Y2 스테이지까지 이동가능하도록 연장되어 설치되는 X1 스테이지로 이루어지고,
    상기 헤드 유지보수부는,
    상기 Y1 스테이지에 병렬로 Y 방향으로 이동가능하게 형성되는 Y2 스테이지와,
    상기 Y2 스테이지에 설치되며 잉크 방울 측정 패드를 고정하기 위한 플레이트 장치와,
    상기 헤드 유지보수부에 설치되며 패드에 탄착된 각 잉크 방울의 길이와 위치를 측정할 수 잉크방울 측정장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 장치.
  12. 청구항 11 에 있어서,
    상기 헤드 유지보수부에는 X 방향으로 이동가능하게 X2 스테이지가 추가로 설치되며,
    상기 X2 스테이지에는 패드에 탄착된 잉크 방울을 제거할 수 있는 잉크 제거 장치가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린터 장치.
  13. 청구항 12 에 있어서,
    상기 헤드 유지보수부에는 상기 플레이트 장치에 잉크방울 측정패드를 롤 방식으로 연속적으로 공급하기 위한 롤 공급 장치가 추가로 설치되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린터 장치.
  14. 청구항 13 에 있어서,
    상기 잉크 제거장치는 잉크 방울을 흡입할 수 있는 진공흡입장치로 이루어지는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린터 장치.
  15. 청구항 13 에 있어서,
    상기 잉크 제거장치는 잉크 방울을 경화할 수 있는 UV 조사장치로 이루어지는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린터 장치.
  16. 잉크젯 장치의 잉크젯 헤드에서 분사되어 탄착된 잉크방울을 측정하는 방법으로서,
    잉크젯 장치의 노즐 피치에 대응하는 간격으로 복수 개의 홈부를 형성하고 상기 홈부의 단면이 길이방향 전체에 걸쳐 균일하게 형성된 잉크방울 측정패드를 공급하고 플레이트에 지지하는 단계(s100);
    상기 단계(s100)에서 지지된 잉크방울 측정패드를 잉크젯 헤드의 하부에 배치시키되 상기 홈부가 상기 노즐의 수직 하부에 위치하도록 정렬하여 배치시키는 단계(s200);
    상기 단계(s200)에서 배치된 패드를 향해 노즐에서 잉크방울을 분사하여 패드의 홈부에 잉크방울을 탄착시키는 단계(s300);
    상기 단계(s300)에서 탄착된 각 잉크방울의 길이 및 중심 위치 편차를 잉크방울 측정장치를 이용하여 측정하는 단계(s400)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 잉크방울 측정방법.
  17. 청구항 16 에 있어서,
    상기 단계(s400)에서,
    상기 잉크방울 측정장치에서 상기 패드(p)에 탄착된 잉크 방울의 길이를 측정함으로써 잉크방울의 부피를 측정하는 것을 특징으로 하는 잉크방울 측정방법.
  18. 청구항 17 에 있어서,
    상기 단계(s400)에서,
    상기 잉크방울 측정장치에서 상기 패드(p)에 탄착된 잉크 방울의 중심 위치(c1)를 측정하고,
    상기 패드의 모서리에 형성된 정렬마크에 의해 결정된 각 잉크 방울의 기준 중심 위치(c)와 비교하여,
    양자간의 위치 편차 e(Δx, Δy)를 측정하는 것을 특징으로 하는 잉크방울 측정방법.
  19. 청구항 17 에 있어서,
    상기 단계(s400)에서,
    상기 패드(p)에 탄착된 잉크 방울을 측정함으로써, 잉크젯 프린터 설치 후 초기 잉크젯 헤드의 모든 노즐에서 잉크 방울이 토출되는지 잉크 방울 유무를 측정하여 각 노즐이 불충분한 공기 제거 상황이나 노즐 막힘의 상태를 분석하는 것을 특징으로 하는 잉크방울 측정방법.
  20. 청구항 17 에 있어서,
    상기 단계(s400)에서,
    특정 노즐에 특정 전압 파형이 인가되어 다수의 방울을 토출하는 경우 상기패드(p)에 탄착된 잉크 방울의 부피를 측정하여 특정 노즐에서의 토출 부피를 연산하고,
    상기 연산결과를 이용하여 상기 패드(p)의 동일한 위치에 다수의 잉크 방울을 토출하여 목표 잉크방울 부피를 달성하기 위한 하나의 노즐에서 한 개 또는 복수 개의 전압 파형을 설정하는 것을 특징으로 하는 잉크방울 측정방법.
  21. 청구항 17 에 있어서,
    상기 단계(s400)에서,
    복수 개의 노즐에 특정 전압 파형이 인가되어 다수의 방울을 토출하는 경우 상기 패드(p)에 탄착된 잉크 방울의 부피를 측정함으로써 각 노즐에서의 토출 부피가 연산하고,
    상기 연산결과를 이용하여 상기 패드(p)의 동일한 위치에 다수의 잉크 방울을 토출하여 목표 잉크방울 부피를 달성하기 위한 복수 개의 노즐의 조합을 설정하는 것을 특징으로 하는 잉크방울 측정방법.
  22. 청구항 18 에 있어서,
    상기 단계(s400)에서,
    복수 개의 헤드를 구비하는 잉크젯 장치에서 잉크방울을 토출하는 경우 잉크젯 헤드의 노즐 간 간섭(Crosstalk)에 의한 영향을 반영하는 패드(p)에 탄착된 잉크방울의 부피 및 위치를 측정하고,
    상기 측정된 결과를 이용하여 노즐간 간섭을 회피할 수 있도록 각 노즐에서의 위치와 부피를 보상하는 것을 특징으로 하는 잉크방울 측정방법.
  23. 청구항 16 에 있어서,
    상기 단계(s400)의 종료 후에 패드에 탄착된 잉크를 제거하는 단계(s500)를 수행하는 것을 특징으로 하는 잉크방울 측정방법.
  24. 청구항 1 내지 청구항 8 중 어느 한 항에 기재된 잉크방울 측정패드를 구비하는 임프린트 장치로서,
    임프린트 장치부와,
    상기 임프린트 장치부에 병렬로 설치되는 헤드유지보수부를 포함하며,
    상기 임프린트 장치부는,
    기판과 같은 임프린트 대상물(b2)이 배치되는 워크 홀더(wh)가 X 축방향으로 이동가능하게 설치되는 X3 스테이지와,
    상기 X3 스테이지가 Y 방향으로 이동가능하게 설치되는 Y3 스테이지와,
    잉크젯 헤드(h)가 임프린트 대상물(b2)의 높이보다 높게 설치되며 X 방향으로 헤드유지보수부의 Y2 스테이지까지 이동가능하도록 연장되어 설치되는 X4 스테이지와,
    임프린팅을 수행하는 몰드(m)를 보유 지지하며 임프린트 대상물과의 몰드 형상을 보정하고 스탬핑 작업을 수행하는 몰드 구동 유닛과,
    상기 임프린트 대상물(b2)의 마크와 몰드(m)의 마크를 정렬하기 위한 광학장치와,
    상기 임프린트 대상물의 몰딩 후 분사된 잉크방울을 경화하기 위한 경화장치로 이루어지며,
    상기 헤드 유지보수부는,
    상기 Y1 스테이지에 병렬로 Y 방향으로 이동가능하게 형성되는 Y2 스테이지와,
    상기 Y2 스테이지에 설치되며 잉크 방울 측정 패드(p)를 고정하기 위한 플레이트 장치와,
    상기 헤드 유지보수부에 설치되며 패드에 탄착된 각 잉크 방울의 길이와 위치를 측정할 수 잉크방울 측정장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 임프린트 장치.
  25. 청구항 24에 있어서,
    상기 헤드 유지보수부에는 X 방향으로 이동가능하게 X2 스테이지가 추가로 설치되며,
    상기 X2 스테이지에는 패드에 탄착된 잉크 방울을 제거할 수 있는 잉크 제거 장치가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 임프린트 장치.
  26. 청구항 25 에 있어서,
    상기 헤드 유지보수부에는 상기 플레이트 장치에 잉크방울 측정패드를 롤 방식으로 연속적으로 공급하기 위한 롤 공급 장치가 추가로 설치되는 것을 특징으로 하는 임프린트 장치.
  27. 청구항 26 에 있어서,
    상기 잉크 제거장치는 잉크 방울을 흡입할 수 있는 진공흡입장치로 이루어지는 것을 특징으로 하는 임프린트 장치.
  28. 청구항 26 에 있어서,
    상기 잉크 제거장치는 잉크 방울을 경화할 수 있는 UV 조사장치로 이루어지는 것을 특징으로 하는 임프린트 장치.
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20240095743A (ko) 2022-12-19 2024-06-26 세메스 주식회사 기판 처리 장치

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001096776A (ja) * 1999-09-28 2001-04-10 Fuji Photo Film Co Ltd 記録装置およびその方法、およびこの装置に用いられるためのクッションシート
JP2004177243A (ja) * 2002-11-27 2004-06-24 Dainippon Printing Co Ltd 微量液滴の体積の測定方法およびそれに用いる微量液滴採取用基板
JP2009078231A (ja) * 2007-09-26 2009-04-16 Fujifilm Corp 画像形成方法及び装置
WO2010005011A1 (ja) * 2008-07-08 2010-01-14 株式会社アルバック インクジェット式印刷装置、吐出量検査方法
KR100997451B1 (ko) 2008-10-02 2010-12-07 (주)유니젯 잉크 드롭 체적 측정장치 및 방법
KR20120051182A (ko) * 2010-11-12 2012-05-22 조성배 디지털 프린터의 피인쇄물 위치 결정방법

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4779569B2 (ja) * 2005-10-26 2011-09-28 セイコーエプソン株式会社 薄膜形成方法及び薄膜形成装置
KR20070070506A (ko) * 2005-12-29 2007-07-04 엘지.필립스 엘시디 주식회사 잉크젯 인쇄 장비의 토출확인 시스템 및 방법, 및 상기시스템을 이용한 액정표시소자의 제조방법
JP6329425B2 (ja) * 2014-05-02 2018-05-23 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法
KR102379011B1 (ko) * 2014-12-31 2022-03-29 세메스 주식회사 기판 처리 장치, 토출량 측정 유닛, 그리고 기판 처리 방법

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001096776A (ja) * 1999-09-28 2001-04-10 Fuji Photo Film Co Ltd 記録装置およびその方法、およびこの装置に用いられるためのクッションシート
JP2004177243A (ja) * 2002-11-27 2004-06-24 Dainippon Printing Co Ltd 微量液滴の体積の測定方法およびそれに用いる微量液滴採取用基板
JP2009078231A (ja) * 2007-09-26 2009-04-16 Fujifilm Corp 画像形成方法及び装置
WO2010005011A1 (ja) * 2008-07-08 2010-01-14 株式会社アルバック インクジェット式印刷装置、吐出量検査方法
KR100997451B1 (ko) 2008-10-02 2010-12-07 (주)유니젯 잉크 드롭 체적 측정장치 및 방법
KR20120051182A (ko) * 2010-11-12 2012-05-22 조성배 디지털 프린터의 피인쇄물 위치 결정방법

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