WO2022102214A1

WO2022102214A1 - 駆動素子および駆動装置

Info

Publication number: WO2022102214A1
Application number: PCT/JP2021/031903
Authority: WO
Inventors: 貴巳石田; 了一高山
Original assignee: パナソニックＩｐマネジメント株式会社
Priority date: 2020-11-11
Filing date: 2021-08-31
Publication date: 2022-05-19
Also published as: CN116368421A; JPWO2022102214A1; US20230266582A1

Abstract

駆動素子（１）は、基部（１３）と、基部（１３）から回動軸（Ｒ０）に平行な方向に離れた可動部（３０）と、基部（１３）と可動部（３０）とを接続する第１接続部（１４）および第２接続部（１５）と、回動軸（Ｒ０）を挟み、回動軸（Ｒ０）に平行な第１方向に延びる一対の第１アーム部（１１ａ）、（１１ｂ）と、回動軸（Ｒ０）を挟み、第１方向と反対の第２方向に延びる一対の第２アーム部（１２ａ）、（１２ｂ）と、一対の第１アーム部（１１ａ）、（１１ｂ）および一対の第２アーム部（１２ａ）、（１２ｂ）を第１接続部（１４）および第２接続部（１５）に連結する連結部（１６ａ）、（１６ｂ）と、一対の第１アーム部（１１ａ）、（１１ｂ）および一対の第２アーム部（１２ａ）、（１２ｂ）の少なくとも一方に配置された圧電駆動体（１７ａ）、（１７ｂ）、（２７ａ）、（２７ｂ）と、を備える。

Description

駆動素子および駆動装置

　本発明は、圧電駆動体により可動部を回動させる駆動素子および当該駆動素子を備えた駆動装置に関し、たとえば、可動部に配置された反射面によって光を走査させる場合に用いて好適なものである。

　近年、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical System）技術を用いて可動部を回動させる駆動素子が開発されている。この種の駆動素子では、可動部に反射面を配置することにより、反射面に入射する光を所定の振れ角で走査させることができる。この種の駆動素子は、たとえば、ヘッドアップディスプレイやヘッドマウントディスプレイ等の画像投影装置に搭載される。この他、レーザ光を用いて物体を検出するレーザレーダ等にも、この種の駆動素子が用いられ得る。

　たとえば、以下の特許文献１には、いわゆる音叉振動子により可動部を回動させる方式の駆動素子が記載されている。ここでは、回動軸に沿って延びる一対のアーム部にそれぞれ圧電駆動体が配置される。これら圧電駆動体にそれぞれ位相が１８０°異なる（逆位相の）交流電圧が印加されることにより、一対のアーム部が互いに逆方向に伸縮する。これにより、回動軸について可動部が回動し、これに伴い、可動部に配置された反射面が回動する。

国際公開第２０１９／０８７９１９号

　上記構成の駆動素子では、単位電圧当たりの可動部の振れ角がより大きいことが好ましい。また、この構成では、駆動素子を駆動する際、アーム部の撓みにより生じる応力によって、圧電駆動体に損傷が起こり得る。この問題は、振れ角拡大のために一対のアーム部をより大きく撓ませる場合に、より顕著となる。

　かかる課題に鑑み、本発明は、可動部の振れ角をより拡大できるとともに、駆動時に生じる応力によって圧電駆動体に損傷が生じることを抑制することが可能な駆動素子および駆動装置を提供することを目的とする。

　本発明の第１の態様に係る駆動素子は、基部と、前記基部から回動軸に平行な方向に離れた可動部と、前記基部と前記可動部とを接続する接続部と、前記回動軸を挟み、前記回動軸に平行な第１方向に延びる一対の第１アーム部と、前記回動軸を挟み、前記第１方向と反対の第２方向に延びる一対の第２アーム部と、前記一対の第１アーム部および前記一対の第２アーム部を前記接続部に連結する連結部と、前記一対の第１アーム部および前記一対の第２アーム部の少なくとも一方に配置された圧電駆動体と、を備える。

　本態様に係る駆動素子によれば、一対の第２アーム部を設けることにより、圧電駆動体の駆動時に第１アーム部および第２アーム部に生じる捩れおよび応力を抑制でき、さらに、圧電駆動体の駆動時における可動部の振れ角を拡大できる。よって、可動部の振れ角を拡大しつつ、駆動時に生じる応力により圧電駆動体に損傷が生じることを抑制することができる。

　本発明の第２の態様に係る駆動素子は、基部と、前記基部から回動軸に平行な方向に離れた可動部と、前記基部と前記可動部とを接続する接続部と、前記回動軸を挟み、前記回動軸に平行な第１方向に延びる一対のアーム部と、前記回動軸を挟み、前記第１方向と反対の第２方向に延びる一対のバランス調整部と、前記一対のアーム部および前記一対のバランス調整部を前記接続部に連結する連結部と、前記一対のアーム部および前記一対のバランス調整部の少なくとも一方に配置された圧電駆動体と、を備える。

　本態様に係る駆動素子によれば、上記第１の態様と同様の効果が奏され得る。

　本発明の第３の態様に係る駆動装置は、第２の態様に係る駆動素子と、前記圧電駆動体に駆動電圧を供給する駆動回路と、を備える。

　なお、上記態様において、「第１方向に延びる」とは、第１アーム部が第１方向に平行な状態の他、第１アーム部が第１方向から所定角度だけ傾いた状態等、第１アーム部の延伸方向が第１方向の成分を含む状態を広く含むものである。同様に、「第２方向に延びる」とは、第２アーム部が第２方向に平行な状態の他、第２アーム部が第２方向から所定角度だけ傾いた状態等、第２アーム部の延伸方向が第２方向の成分を含む状態を広く含むものである。

　以上のとおり、本発明によれば、可動部の振れ角をより拡大できるとともに、駆動時に生じる応力によって圧電駆動体に損傷が生じることを抑制することが可能な駆動素子および駆動装置を提供できる。

　本発明の効果ないし意義は、以下に示す実施形態の説明により更に明らかとなろう。ただし、以下に示す実施形態は、あくまでも、本発明を実施化する際の一つの例示であって、本発明は、以下の実施形態に記載されたものに何ら制限されるものではない。

図１は、実施形態に係る、駆動素子の構成を示す斜視図である。図２は、実施形態に係る、駆動素子の構成を示す平面図である。図３は、実施形態に係る、圧電駆動体に印加される駆動電圧の波形を示す図である。図４（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、実施形態に係る、駆動信号が圧電駆動体に供給された場合の可動部の駆動状態を示す図である。図５は、実施形態に係る、駆動時に生じる応力のシミュレーションに用いた各部の寸法を示す図である。図６（ａ）は、実施形態に係る、応力分布シミュレーション結果を示す図である。図６（ｂ）は、比較例に係る、応力分布のシミュレーション結果を示す図である。図７（ａ）は、実施形態に係る、検証２の条件の設定方法を示す図である。図７（ｂ）は、実施形態に係る、検証２の振れ角特性の検証結果を示すグラフである。図８（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、変更例１に係る、圧電駆動体の他の配置方法を示す平面図である。図９（ａ）～図９（ｃ）は、それぞれ、変更例２に係る、第１駆動ユニットのみが配置される場合の駆動素子の構成を示す平面図である。図１０（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、他の変更例に係る、駆動素子の構成を示す平面図である。図１１は、図１０（ｂ）の駆動素子を含む駆動装置の構成を示す図である。

　ただし、図面はもっぱら説明のためのものであって、この発明の範囲を限定するものではない。

　以下、本発明の実施形態について、図を参照して説明する。便宜上、各図には互いに直交するＸ、Ｙ、Ｚ軸が付記されている。Ｙ軸方向は、駆動素子の回動軸に平行な方向であり、Ｚ軸方向は、可動部に配置された反射面に垂直な方向である。

　図１は、駆動素子１の構成を示す斜視図、図２は、駆動素子１の構成を示す平面図である。便宜上、図１では、基部の一部１３、２３（以下、「基部１２、１３」という）が図示されている。

　図１および図２に示すように、駆動素子１は、第１駆動ユニット１０と、第２駆動ユニット２０と、可動部３０と、反射面４０とを備える。第１駆動ユニット１０および第２駆動ユニット２０は、図示しない駆動回路から供給される駆動信号により、可動部３０を回動軸Ｒ０について回動させる。反射面４０は、可動部３０の上面に配置され、入射した光を、可動部３０の振り角に応じた方向に反射する。これにより、反射面４０に入射した光（たとえば、レーザ光）が、可動部３０の回動に伴い走査される。　ここで、可動部３０と反射面４０とは、同一部材で形成してもよい。

　第１駆動ユニット１０は、一対の第１アーム部１１ａ、１１ｂと、一対の第２アーム部１２ａ、１２ｂと、基部１３と、第１接続部１４と、第２接続部１５と、連結部１６ａ、１６ｂと、圧電駆動体１７ａ、１７ｂとを備える。平面視において、第１駆動ユニット１０は、Ｘ軸方向に対称な形状である。圧電駆動体１７ａは、第１アーム部１１ａ、第２アーム部１２ａおよび連結部１６ａの各上面に沿って延びている。また、圧電駆動体１７ｂは、第１アーム部１１ｂ、第２アーム部１２ｂおよび連結部１６ｂの各上面に沿って延びている。

　圧電駆動体１７ａ、１７ｂを除いた第１駆動ユニット１０の各部の厚みは一定である。ただし、これら各部の厚みは必ずしも一定でなくともよく、たとえば、基部１３の厚みが他の部分の厚みより大きくてもよい。圧電駆動体１７ａ、１７ｂを除いた第１駆動ユニット１０の各部は、たとえば、シリコン等によって一体形成される。ただし、各部を構成する材料は、シリコンに限らず、他の材料であってもよい。各部を構成する材料は、金属、結晶体、ガラス、樹脂等の機械的強度およびヤング率が高い材料であることが好ましい。このような材料として、シリコンの他、チタン、ステンレス、エリンバー、黄銅合金等を用いることができる。

　一対の第１アーム部１１ａ、１１ｂは、回動軸Ｒ０を挟んで対称に配置され、回動軸Ｒ０に平行な第１方向（Ｙ軸負方向）に延びている。第１アーム部１１ａ、１１ｂの長さおよび断面積は互いに同じである。第１アーム部１１ａ、１１ｂの幅および厚みは、全長に亘って一様である。Ｘ－Ｚ平面に平行な平面で切断したときの第１アーム部１１ａ、１１ｂの断面形状は、矩形である。第１アーム部１１ａ、１１ｂは、回動軸Ｒ０から同じ距離だけ互いに反対方向に離れている。

　一対の第２アーム部１２ａ、１２ｂは、回動軸Ｒ０を挟んで対称に配置され、第１方向（Ｙ軸負方向）と反対の第２方向（Ｙ軸正方向）に延びている。第２アーム部１２ａ、１２ｂの長さおよび断面積は互いに同じである。第２アーム部１２ａ、１２ｂの幅および厚みは、全長に亘って一様である。Ｘ－Ｚ平面に平行な平面で切断したときの第２アーム部１２ａ、１２ｂの断面形状は、矩形である。第２アーム部１２ａ、１２ｂは、回動軸Ｒ０から同じ距離だけ互いに反対方向に離れている。

　Ｘ軸正側の第１アーム部１１ａおよび第２アーム部１２ａは、同一直線状に並び、且つ、互いに同じ断面形状および断面積を有する。Ｘ軸負側の第１アーム部１１ｂおよび第２アーム部１２ｂは、同一直線状に並び、且つ、互いに同じ断面形状および断面積を有する。後述のように、第２アーム部１２ａ、１２ｂの長さは、可動部３０の駆動時に第１アーム部１１ａ、１１ｂ生じる応力および捩れを緩和でき、且つ、可動部３０の振れ角をより拡大できる長さに調整される。

　基部１３は、第１駆動ユニット１０を外部の構造部材に接続するためのものである。すなわち、第１駆動ユニット１０は、基部１３を介して、外部の構造部材に支持される。基部１３と可動部３０は、所定の距離をおいて、Ｙ軸方向に直線状に並んでいる。基部１３と可動部３０は、第１接続部１４および第２接続部１５によって互いに接続される。

　第２接続部１５は、回動軸Ｒ０に沿って、Ｙ軸方向に平行に延びている。Ｘ－Ｚ平面に平行な平面で切断したときの第２接続部１５の断面形状は、矩形である。第２接続部１５のＹ軸負側の端部から、Ｙ軸負方向に第１接続部１４が延びている。第１接続部１４のＹ軸負側の端部が、可動部３０の側面に接続されている。Ｘ－Ｚ平面に平行な平面で切断したときの第１接続部１４の断面形状は、矩形である。第１接続部１４のＸ軸方向の幅は、第２接続部１５のＸ軸方向の幅に比べて数段小さい。第１接続部１４は、Ｙ軸方向に長い板状の形状を有する。

　第２接続部１５は、必ずしも、回動軸Ｒ０に沿って直線状に延びていなくてもよく、たとえば、Ｘ軸方向に蛇行しながらＹ軸方向に延びていてもよい。同様に、第１接続部１４は、必ずしも、回動軸Ｒ０に沿って直線状に延びていなくてもよく、たとえば、Ｘ軸方向に蛇行しながらＹ軸方向に延びていてもよい。

　圧電駆動体１７ａ、１７ｂは、所定厚みの圧電体の上下にそれぞれ電極が配置された積層構造を有する。圧電体は、たとえば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等の高い圧電定数を有する圧電材料からなっている。電極は、白金（Ｐｔ）等の、電気抵抗が低く、耐熱性が高い材料からなっている。圧電駆動体１７ａ、１７ｂは、圧電体および上下の電極を含む層構造を、スパッタ法等によって、第１アーム部１１ａ、１１ｂ、第２アーム部１２ａ、１２ｂおよび連結部１６ａ、１６ｂの上面に形成することにより、これら各部の上面に配置される。

　第２駆動ユニット２０は、一対の第１アーム部２１ａ、２１ｂと、一対の第２アーム部２２ａ、２２ｂと、基部２３と、第１接続部２４と、第２接続部２５と、連結部２６ａ、２６ｂと、圧電駆動体２７ａ、２７ｂとを備える。平面視において、第２駆動ユニット２０は、Ｘ軸方向に対称な形状である。圧電駆動体２７ａは、第１アーム部２１ａ、第２アーム部２２ａおよび連結部２６ａの各上面に沿って延びている。また、圧電駆動体２７ｂは、第１アーム部２１ｂ、第２アーム部２２ｂおよび連結部２６ｂの各上面に沿って延びている。

　第２駆動ユニット２０の各部の構成は、第１駆動ユニット１０の対応する部分の構成と同様である。第２駆動ユニット２０は、第２接続部２５から第１接続部２４がＹ軸正方向に延びるように、第１駆動ユニット１０と逆向きに配置される。第１接続部２４は、回動軸Ｒ０に沿って延びている。すなわち、第１接続部１４、２４は同一直線上に並んでいる。第１接続部２４のＹ軸正側の端部は、可動部３０の側面に接続されている。

　可動部３０は、平面視において円形の形状である。可動部３０の中心軸に対して対称な可動部３０の側面位置が、それぞれ、第１駆動ユニット１０の第１接続部１４と、第２駆動ユニット２０の第１接続部２４に接続されている。可動部３０の厚みは、第１接続部１４、２４と同じである。ただし、可動部３０の厚みは、必ずしも、第１接続部１４、２４と同じでなくてもよく、たとえば、可動部３０の厚みが、第１接続部１４、２４より大きくてもよい。可動部３０は、第１接続部１４、２４と一体形成される。

　反射面４０は、可動部３０の上面に、高反射率の材料からなる反射膜を形成することにより構成される。反射膜を構成する材料は、たとえば、金、銀、銅、アルミニウム等の金属や金属化合物、または、二酸化珪素、二酸化チタン等から選択され得る。反射膜は、誘電体多層膜であってもよい。この他、反射面４０は、可動部３０の上面を研磨することにより構成されてもよい。反射面４０は、必ずしも平面でなくてもよく、凹状または凸状の曲面であってもよい。

　平面視において、駆動素子１は、Ｘ軸方向に対称で、且つ、Ｙ軸方向に対称である。圧電駆動体１７ａ、１７ｂ、２７ａ、２７ｂおよび反射面４０を除いた駆動素子１の各部は、たとえば、所定厚みのシリコン基板を、エッチング処理により、図２の形状に切り抜くことにより構成される。圧電駆動体１７ａ、１７ｂ、２７ａ、２７ｂおよび反射面４０は、スパッタ法等の成膜技術により、対応する領域に形成される。こうして、図１および図２に示す駆動素子１が構成される。

　図３は、圧電駆動体１７ａ、１７ｂ、２７ａ、２７ｂに印加される駆動電圧の波形を示す図である。

　駆動信号Ｓ１、Ｓ２は、＋Ｖａと－Ｖａとの範囲を振幅する所定周波数の交流信号である。駆動信号Ｓ１、Ｓ２の周期Ｔは、互いに同じである。駆動信号Ｓ１、Ｓ２は、位相がＴ／２だけずれている。すなわち、駆動信号Ｓ１、Ｓ２は、互いに逆位相の交流電圧である。

　図１および図２の構成において、Ｘ軸正側の圧電駆動体１７ａ、２７ａには駆動信号Ｓ１が供給され、Ｘ軸負側の圧電駆動体１７ｂ、２７ｂには駆動信号Ｓ２が供給される。これにより、可動部３０および反射面４０が、回動軸Ｒ０周りに所定の振れ角で回動する。

　図４（ａ）、（ｂ）は、図３に示す駆動信号Ｓ１、Ｓ２が、それぞれ、対応する圧電駆動体に供給された場合の、可動部３０の駆動状態を示す図である。

　図３に示す駆動信号Ｓ１、Ｓ２が、それぞれ、対応する圧電駆動体に供給されると、Ｘ軸正側の第１アーム部１１ａ、２１ａおよび第２アーム部１２ａ、２２ａと、Ｘ軸負側の第１アーム部１１ｂ、２１ｂおよび第２アーム部１２ｂ、２２ｂとが、Ｚ軸方向において、互いに逆方向に変形を繰り返す。これにより、Ｘ軸正側の連結部１６ａ、２６ａと、Ｘ軸負側の連結部１６ｂ、２６ｂとが互いに逆位相で振動し、回動軸Ｒ０周りに同じ回転方向のトルクが発生する。このトルクが、第１接続部１４、２４に伝達することにより、可動部３０が、回動軸Ｒ０周りに振動する。こうして、反射面４０が、所定の振れ角で回動する。

　たとえば、図４（ａ）のタイミングでは、Ｘ軸正側の第１アーム部１１ａ、２１ａおよび第２アーム部１２ａ、２２ａが上側に変形し、Ｘ軸負側の第１アーム部１１ｂ、２１ｂおよび第２アーム部１２ｂ、２２ｂが下側に変形している。これにより、回動軸Ｒ０周りにトルクＴａが発生し、Ｙ軸負方向に見て、可動部３０が時計方向に回動する。

　また、図４（ｂ）のタイミングでは、Ｘ軸正側の第１アーム部１１ａ、２１ａおよび第２アーム部１２ａ、２２ａが下側に変形し、Ｘ軸負側の第１アーム部１１ｂ、２１ｂおよび第２アーム部１２ｂ、２２ｂが上側に変形している。これにより、回動軸Ｒ０周りにトルクＴｂが発生し、Ｙ軸負方向に見て、可動部３０が反時計方向に回動する。

　こうして、所定の共振周波数で駆動素子１が共振し、可動部３０が所定の振れ角で時計方向および反時計方向に回動を繰り返す。これに伴い、可動部３０に配置された反射面４０が、所定の振れ角で時計方向および反時計方向に回動を繰り返す。これにより、反射面４０に入射する光（レーザ光等）が、所定の振れ角で走査される。

　なお、図４には、第１駆動ユニット１０および第２駆動ユニット２０と可動部３０とが逆相で駆動される状態が示されているが、第１駆動ユニット１０および第２駆動ユニット２０と可動部３０とが同相で駆動されるよう制御することも可能である。

　ところで、上記のように、駆動素子１が光偏向素子として用いられる場合、可動部３０の振れ角はなるべく大きいことが好ましい。これにより、光をより広範囲に走査させることができる。また、上記のように、アーム部を撓ませて可動部３０を振動させる場合、駆動時に第１アーム部１１ａ、１１ｂ、２１ａ、２１ｂに生じる応力（捩れ）によって、圧電駆動体１７ａ、１７ｂ、２７ａ、２７ｂに損傷が起こり得る。この問題は、振れ角拡大のために、一対の第１アーム部１１ａ、１１ｂ、２１ａ、２１ｂをより大きく撓ませる場合に、より顕著となる。

　これに対し、本実施形態では、上記のように、一対の第１アーム部１１ａ、１１ｂ、２１ａ、２１ｂの他に、一対の第２アーム部１２ａ、１２ｂ、２２ａ、２２が配置され、これら一対の第２アーム部１２ａ、１２ｂ、２２ａ、２２による作用より、上記２つの課題が同時に解消される。すなわち、本実施形態では、一対の第２アーム部１２ａ、１２ｂ、２２ａ、２２ｂが配置されない従来の構成に比べて、可動部３０の振れ角を拡大でき、且つ、第１アーム部１１ａ、１１ｂ、２１ａ、２１ｂに生じる応力（捩れ）を抑制できる。これにより、応力（捻じれ）による圧電駆動体１７ａ、１７ｂ、２７ａ、２７ｂの損傷を抑制しつつ、可動部３０の振れ角をより拡大できる。

　＜検証１＞
　発明者らは、上記の構成の駆動素子１について、駆動時に各部に生じる応力をシミュレーションにより検証した。また、比較例として、上記構成から第２アーム部１２ａ、１２ｂ、２２ａ、２２ｂが省略された構成について、駆動時に各部に生じる応力をシミュレーションにより検証した。

　図５は、シミュレーションに用いた各部の寸法を示す図である。

　上記構成と同様、駆動素子１は、平面視において、Ｙ軸方向に対称且つＸ軸方向に対称な形状である。検証では、圧電駆動体１７ａ、１７ｂ、２７ａ、２７ｂおよび反射面４０を除いた駆動素子１の厚みを、５０μｍに均一に設定した。図５の条件の下、圧電駆動体１７ａ、２７ａと圧電駆動体１７ｂ、２７ｂに、所定周波数且つ所定振幅の交流電圧を逆位相で印加した場合の各部の応力をシミュレーションにより求めた。

　図６（ａ）は、実施形態に係る応力分布シミュレーション結果を示す図であり、図６（ｂ）は、比較例に係る応力分布のシミュレーション結果を示す図である。

　図６（ａ）、（ｂ）のシミュレーション結果は、カラー画像をグレースケール化したものである。実際のカラー画像では、濃い青色が最も応力が低い色に設定され、赤色が最も応力が高い色に設定されている。また、図６（ａ）、（ｂ）では、応力の大きさが段階的に表示されている。Ｂ０～Ｂ４は青色の範囲を示し、Ｇは緑色の範囲、Ｙは黄色の範囲を示している。Ｏ１、Ｏ２は、オレンジ色の範囲を示し、Ｒは赤色の範囲を示している。応力は、赤色（最高）、オレンジ色、黄色、緑色、青色（最低）の順に高い。また、青色の範囲では、Ｂ４（最高）、Ｂ３、Ｂ２、Ｂ１、Ｂ０（最低）の順で応力が高く、オレンジ色の範囲では、Ｏ２（高）、Ｏ１（低）の順で応力が高い。

　図６（ｂ）に示すように、比較例では、第１アーム部１１ａ、１１ｂから連結部１６ａ、１６ｂに折れ曲がる部分において、応力が高くなっている。また、この折れ曲がり部分において、応力分布が不均一になっており、この折れ曲がり部分に強い捩じれ生じていることが分かる。さらに、比較例では、連結部１６ａ、１６ｂの略全範囲において、応力が高くなっている。これらのことから、比較例では、特に、折れ曲がり部分において、圧電駆動体に高い応力と捩じれが作用し、圧電駆動体に破損が生じやすいと推定される。また、連結部１６ａ、１６ｂにおいても、圧電駆動体に高い応力と捩じれが作用し、圧電駆動体に破損が生じやすいと推定される。

　これに対し、実施形態では、図６（ａ）に示すように、第１アーム部１１ａ、１１ｂおよび第２アーム部１２ａ、１２ｂから連結部１６ａ、１６ｂに折れ曲がる部分の応力は顕著に小さい。また、この折れ曲がり部分の応力分布は不均一となっておらず、この折れ曲がり部分には略捩じれが生じていないことが分かる。さらに、実施形態では、連結部１６ａ、１６ｂの略全範囲において、応力が低くなっている。これらのことから、実施形態では、折れ曲がり部分において、圧電駆動体に破損が生じることはなく、また、連結部１６ａ、１６ｂにおいても、破損が生じにくいと推定される。これは、第２アーム部１２ａ、１２ｂを設けることにより、駆動ユニットの駆動時に、連結部１６ａ、１６ｂには捻れが発生しない駆動（いわゆる純粋なベンディングモードでの駆動）になるためであると推測される。

　以上の検証から、実施形態の構成では、一対の第２アーム部１２ａ、１２ｂを配置することにより、駆動時に各部に生じる応力を顕著に抑制できることが確認できた。また、図５に示す寸法条件の下、第２アーム部１２ａ、１２ｂの長さを適正値（ここでは、２０００μｍ）に設定することにより、折れ曲がり部分に捩じれが生じることを防ぎ得ることが確認できた。これにより、実施形態の構成では、駆動時の応力および捩じれによって圧電駆動体に破損が生じることが防がれることが確認できた。

　駆動時に、第１アーム部１１ａ、１１ｂおよび第２アーム部１２ａ、１２ｂと連結部１６ａ、１６ｂとの接続部分（上記折れ曲がり部分）や連結部１６ａ、１６ｂに、捩じれによる応力が集中および発生することを抑制するには、この接続部分を中心として生じる第１アーム部１１ａ、１１ｂおよび第２アーム部１２ａ、１２ｂの逆向きのトルク（Ｙ－Ｚ平面に平行なトルク）が互いに均衡状態すればよい。また、このように２つのトルクが調整されることにより、接続部分は、駆動時に、略上下に大きく運動するため、可動部３０およびミラー４０を大きな振れ角で回動させることができる。

　＜検証２＞
　次に、発明者らは、図７（ａ）に示す第２アーム部１２ａ、１２ｂ、２２ａ、２２ｂの長さＬ２を変化させた場合の可動部３０の振れ角特性を実験により検証した。検証では、長さＬ２以外の寸法は、図５と同様に設定した。また、上記検証１と同様の比較例についても、振れ角特性を実験により検証した。

　図７（ｂ）は、振れ角特性の検証結果を示すグラフである。

　ここでは、第２アーム部１２ａ、１２ｂ、２２ａ、２２ｂの長さＬ２が、１９００μｍ、２０００μｍ、２１００μｍ、２２００μｍの４種類に設定されている。図７（ｂ）中の破線は、比較例に係る振れ角の検証結果を示している。図７（ｂ）の縦軸は、単位電圧当たりの振れ角であり、比較例の振れ角で規格化されている。

　図７（ｂ）に示すように、第２アーム部１２ａ、１２ｂ、２２ａ、２２ｂの長さＬ２を１９００～２１００μｍに設定することにより、比較例に比べて、振れ角特性が高められている。特に、第２アーム部１２ａ、１２ｂ、２２ａ、２２ｂの長さＬ２を２０００μｍに設定した場合は、比較例に比べて、１．１３倍程度の顕著に高い振れ角特性が得られた。

　以上の検証から、実施形態の構成では、第２アーム部１２ａ、１２ｂ、２２ａ、２２ｂを配置してその長さを最適化することにより、可動部３０の振れ角特性を顕著に高め得ることが確認できた。よって、実施形態の構成において、可動部３０に反射面４０を配置することにより、光の走査範囲を顕著に広げることができる。

　なお、図７（ｂ）を参照すると、比較例に比べて振れ角特性を高め得る第２アーム部１２ａ、１２ｂ、２２ａ、２２ｂの長さＬ２は、一定の範囲に限られることが推測され得る。よって、第２アーム部１２ａ、１２ｂ、２２ａ、２２ｂの長さＬ２は、少なくともこの範囲内に設定する必要があると言える。

　＜実施形態の効果＞
　本実施形態によれば、以下の効果が奏され得る。

　上記検証１、２に示したように、一対の第２アーム部１２ａ、１２ｂ、２２ａ、２２ｂを設けることにより、圧電駆動体１７ａ、１７ｂ、２７ａ、２７ｂの駆動時に第１アーム部１１ａ、１１ｂ、２１ａ、２１ｂおよび第２アーム部１２ａ、１２ｂ、２２ａ、２２ｂに生じる捩れおよび応力を抑制でき、さらに、圧電駆動体１７ａ、１７ｂ、２７ａ、２７ｂの駆動時における可動部３０の振れ角を拡大できる。よって、可動部３０の振れ角を拡大しつつ、駆動時に生じる応力により圧電駆動体１７ａ、１７ｂ、２７ａ、２７ｂに損傷が生じることを抑制することができる。

　図１に示したように、圧電駆動体１７ａ、１７ｂ、２７ａ、２７ｂは、一対の第１アーム部１１ａ、１１ｂ、２１ａ、２１ｂと一対の第２アーム部１２ａ、１２ｂ、２２ａ、２２ｂの両方に配置されている。これにより、より大きなトルクを発生させることができ、可動部３０の振れ角をより効果的に拡大できる。

　図１に示したように、圧電駆動体１７ａ、１７ｂ、２７ａ、２７ｂは、さらに、連結部１６ａ、１６ｂ、２６ａ、２６ｂにも配置されている。これにより、より一層大きなトルクを発生させることができ、可動部３０の振れ角をより一層効果的に拡大できる。

　上記検証１に示したように、第２アーム部１２ａ、１２ｂ、２２ａ、２２ｂの長さは、第１アーム部１１ａ、１１ｂ、２１ａ、２１ｂにおいて捩れが実質的に発生しないように設定されることが好ましい。これにより、駆動時に生じる応力により圧電駆動体１７ａ、１７ｂ、２７ａ、２７ｂが破損することを、より確実に防ぐことができる。

　上記検証２に示したように、第２アーム部１２ａ、１２ｂ、２２ａ、２２ｂの長さは、目標周波数で可動部３０を回動軸Ｒ０周りに振動させたときの可動部３０の振れ角が最大になるように設定されることが好ましい。これにより、より大きな振れ角で可動部３０を振動させることができ、駆動素子１を最も効率的に動作させることができる。

　図１に示したように、第１駆動ユニット１０および第２駆動ユニット２０の２つの駆動ユニットが、可動部３０を挟んで互いに逆向きに配置され、各駆動ユニットの第１接続部１４、２４が、可動部３０に接続されている。このように、可動部３０を各駆動ユニットで支持して駆動することより、可動部３０をより大きなトルクで安定的に駆動することができる。

　図１に示したように、可動部３０には反射面４０が配置されている。これにより、反射面４０に入射する光（たとえば、レーザ光）をより大きな振れ角で走査させることができ、光の走査範囲を広げることができる。

　図１に示したように、第１接続部１４、２５よりも第２接続部１５、２５の幅が大きく設定されている。このように第１接続部１４、２５よりも第２接続部１５、２５のねじれ剛性を高く設計することで、第１駆動ユニット１０および第２駆動ユニット２０のもれ振動が基部１３、２３に伝わりにくくなり、その結果、Ｑ値を大きくすることができる。

　＜変更例１＞
　上記実施形態では、第１アーム部１１ａ、１１ｂ、２１ａ、２１ｂ、第２アーム部１２ａ、１２ｂ、２２ａ、２２ｂおよび連結部１６ａ、１６ｂ、２６ａ、２６ｂに圧電駆動体１７ａ、１７ｂ、２７ａ、２７ｂが配置されたが、圧電駆動体１７ａ、１７ｂ、２７ａ、２７ｂの配置方法は、これに限られるものではない。

　図８（ａ）、（ｂ）は、圧電駆動体１７ａ、１７ｂ、２７ａ、２７ｂの他の配置方法を示す平面図である。

　図８（ａ）、（ｂ）の配置方法では、第２アーム部１２ａ、１２ｂ、２２ａ、２２ｂに圧電駆動体１７ａ、１７ｂ、２７ａ、２７ｂが配置されない。図８（ａ）では、第１アーム部１１ａ、１１ｂ、２１ａ、２１ｂおよび連結部１６ａ、１６ｂ、２６ａ、２６ｂに圧電駆動体１７ａ、１７ｂ、２７ａ、２７ｂが配置され、図８（ｂ）では、第１アーム部１１ａ、１１ｂ、２１ａ、２１ｂのみに圧電駆動体１７ａ、１７ｂ、２７ａ、２７ｂが配置される。

　これらの配置方法によっても、第２アーム部１２ａ、１２ｂ、２２ａ、２２ｂが、第１アーム部１１ａ、１１ｂ、２１ａ、２１ｂに対して、バランサとして機能する。このため、駆動時に、第１アーム部１１ａ、１１ｂ、２１ａ、２１ｂおよび第２アーム部１２ａ、１２ｂ、２２ａ、２２ｂから連結部１６ａ、１６ｂ、２６ａ、２６ｂに折れ曲がる部分に、不均一且つ大きな応力が生じることが抑制される。よって、駆動時に生じる応力および捩じれによって、圧電駆動体１７ａ、１７ｂ、２７ａ、２７ｂが破損することを防ぐことができる。

　また、図８（ａ）、（ｂ）の構成では、圧電駆動体１７ａ、１７ｂ、２７ａ、２７ｂによって第１アーム部１１ａ、１１ｂ、２１ａ、２１ｂが駆動されると、その反動により、第２アーム部１２ａ、１２ｂ、２２ａ、２２ｂに上下方向の撓みが生じる。これにより、第１アーム部１１ａ、１１ｂ、２１ａ、２１ｂのみならず、第２アーム部１２ａ、１２ｂ、２２ａ、２２ｂによってもトルクが生じ、これらのトルクによって、可動部３０がより大きく回動する。よって、図８（ａ）、（ｂ）の構成においても、上記比較例に比べて、可動部３０の振れ角を拡大することができる。

　発明者らは、駆動素子１の各部の寸法を図５に示した寸法に設定した上で、圧電駆動体１７ａ、１７ｂ、２７ａ、２７ｂを図８（ａ）のように配置して、可動部３０の振れ角特性を実験により検証した。この検証では、第２アーム部１２ａ、１２ｂ、２２ａ、２２ｂの長さを、２０００μｍに設定した。検証結果として、上記比較例の１．０７倍程度の可動部３０の振れ角が得られた。この振れ角は、上記検証２における実施形態の構成の振れ角（比較例の１．１２倍）からは５％ほど低下するものの、上記比較例に係る振れ角からは大幅に増加した。

　この検証結果から、上記図８（ａ）、（ｂ）のように圧電駆動体１７ａ、１７ｂ、２７ａ、２７ｂを配置した場合も、第２アーム部１２ａ、１２ｂ、２２ａ、２２ｂの作用によって、可動部３０の振れ角を顕著に高め得ることが確認できた。

　なお、図８（ａ）、（ｂ）の構成例においても、上記実施形態と同様、第２アーム部１２ａ、１２ｂ、２２ａ、２２ｂの長さを最適化することが好ましい。すなわち、駆動時に生じる応力および捩じれによって圧電駆動体１７ａ、１７ｂ、２７ａ、２７ｂが破損することがなく、且つ、目標周波数における可動部３０の振れ角が最大となるよう、第２アーム部１２ａ、１２ｂ、２２ａ、２２ｂの長さを最適化することが好ましい。これにより、可動部３０に反射面４０が配置される場合に、光（たとえば、レーザ光）の走査範囲を顕著に広げることができる。

　また、上記図８（ａ）、（ｂ）の構成例では、圧電駆動体１７ａ、１７ｂ、２７ａ、２７ｂの面積が、図１の構成例と比較して小さくなることにより、駆動時の消費電力が小さくなるというメリットがある。

　＜変更例２＞
　上記実施形態および変更例１では、駆動素子１に第１駆動ユニット１０および第２駆動ユニット２０が配置されたが、第１駆動ユニット１０および第２駆動ユニット２０の何れか一方のみが駆動素子１に配置されてもよい。

　図９（ａ）～図９（ｃ）は、第１駆動ユニット１０のみが配置される場合の駆動素子１の構成を示す平面図である。

　図９（ａ）～図９（ｃ）に示す各部の構成は、上記実施形態における第１駆動ユニット１０の各部の構成と同様である。可動部３０は、Ｙ軸正側の端部においてのみ、第１接続部１４に接続される。

　この場合も、上記実施形態および変更例１と同様、圧電駆動体１７ａ、１７ｂは、図９（ａ）のように、第１アーム部１１ａ、１２ａ、第２アーム部１２ａ、１２ｂおよび連結部１６ａ、１６ｂに配置され得る。あるいは、図９（ｂ）のように、第１アーム部１１ａ、１２ａおよび連結部１６ａ、１６ｂに圧電駆動体１７ａ、１７ｂが配置されてもよく、図９（ｃ）のように、第１アーム部１１ａ、１２ａのみに圧電駆動体１７ａ、１７ｂが配置されてもよい。

　これらの構成によっても、上記実施形態および変更例１と同様、これらの構成から第２アーム部１２ａ、１２ｂが省略された構成に比べて、第１アーム部１１ａ、１２ａに捩じれが生じることを抑制でき、且つ、可動部３０の振れ角を拡大できる。よって、第１アーム部１１ａ、１２ａにおける捩じれおよび応力により圧電駆動体１７ａ、１７ｂが破損することを防ぐことができ、且つ、可動部３０の振れ角特性を高めることができる。

　また、図９（ａ）、（ｂ）、（ｃ）の構成は、駆動素子１全体のサイズを小さくすることが可能であり、その結果、駆動素子１を小型化および低コスト化できるとメリットがある。

　なお、これらの構成においても、上記実施形態と同様、第２アーム部１２ａ、１２ｂの長さを最適化することが好ましい。すなわち、駆動時に生じる応力および捩じれによって圧電駆動体１７ａ、１７ｂが破損することがなく、且つ、目標周波数における可動部３０の振れ角が最大となるよう、第２アーム部１２ａ、１２ｂの長さを最適化することが好ましい。これにより、可動部３０に反射面４０が配置される場合に、光（たとえば、レーザ光）の走査範囲を顕著に広げることができる。

　＜その他の変更例＞
　上記実施形態および変更例１、２では、可動部３０の形状が円形であったが、可動部３０の形状は、正方形等の他の形状であってもよい。また、上記実施形態および変更例１、２では、第１接続部１４、２４が、直線状に延びて第２接続部１５、２５に接続されたが、第１接続部１４、２４のＹ軸正側の端部が二又に分かれて、第２接続部１５、２５に接続されてもよい。また、第１接続部１４、２４は、板状でなくてもよく、たとえば、矩形の棒状であってもよい。

　また、上記実施形態および変更例１、２では、第１アーム部１１ａ、１１ｂ、２１ａ、２１ｂと第２アーム部１２ａ、１２ｂ、２２ａ、２２ｂとがＹ軸方向に直線状に並んで配置されたが、第２アーム部１２ａ、１２ｂ、２２ａ、２２ｂが第１アーム部１１ａ、１１ｂ、２１ａ、２１ｂに対してＸ軸方向にややずれた位置に配置されてもよい。

　また、上記実施形態および変更例１、２では、第１アーム部１１ａ、１１ｂ、２１ａ、２１ｂが回動軸Ｒ０に平行であったが、第１アーム部１１ａ、１１ｂ、２１ａ、２１ｂが、回動軸Ｒ０に対して傾いていてもよい。たとえば、可動部３０に近づくにつれて、第１アーム部１１ａ、１１ｂ間の距離が広がり、第１アーム部２１ａ、２１ｂ間の距離が広がるように、第１アーム部１１ａ、１１ｂ、２１ａ、２１ｂが、回動軸Ｒ０に対して、Ｘ軸方向に傾いていてもよい。同様に、第２アーム部１２ａ、１２ｂ、２２ａ、２２ｂが、回動軸Ｒ０に対して、Ｘ軸方向およびＹ軸方向の少なくとも一方に傾いていてもよい。第１アーム部の延伸方向は、回動軸Ｒ０に平行な第１方向の成分を含んでいればよく、第２アーム部の延伸方向は、第１方向と反対の第２方向の成分を含んでいればよい。

　また、第１アーム部１１ａ、１１ｂ、２１ａ、２１ｂおよび第２アーム部１２ａ、１２ｂ、２２ａ、２２ｂの形状も、上記実施形態および変更例１、２に示した形状に限られるものではない。たとえば、第１アーム部１１ａ、１１ｂ、２１ａ、２１ｂおよび第２アーム部１２ａ、１２ｂ、２２ａ、２２ｂの幅が先に向かうにつれて狭くなるよう、平面視において第１アーム部１１ａ、１１ｂ、２１ａ、２１ｂおよび第２アーム部１２ａ、１２ｂ、２２ａ、２２ｂが台形の形状であってもよい。この形状の場合、第１アーム部１１ａ、１１ｂ、２１ａ、２１ｂおよび第２アーム部１２ａ、１２ｂ、２２ａ、２２ｂの軽量化に伴い可動部３０の振れ角が大きくなるが、その一方で、駆動素子１の共振周波数がやや低下する。

　あるいは、第１アーム部１１ａ、１１ｂ、２１ａ、２１ｂおよび第２アーム部１２ａ、１２ｂ、２２ａ、２２ｂの幅がステップ状に広がっていてもよく、たとえば、図１０（ａ）に示すように、第２アーム部１２ａ、１２ｂ、２２ａ、２２ｂの端部が矩形状に広がっていてもよい。また、第２アーム部１２ａ、１２ｂ、２２ａ、２２ｂの幅が第１アーム部１１ａ、１１ｂ、２１ａ、２１ｂの幅より広くてもよく、第１アーム部１１ａ、１１ｂ、２１ａ、２１ｂおよび第２アーム部１２ａ、１２ｂ、２２ａ、２２ｂの厚みが互いに相違していてもよい。

　第１アーム部１１ａ、１１ｂ、２１ａ、２１ｂおよび第２アーム部１２ａ、１２ｂ、２２ａ、２２ｂの形状は、可動部３０の振れ角と共振周波数とを所定の値に調整可能な形状に設定されればよい。第２アーム部１２ａ、１２ｂ、２２ａ、２２ｂは、上記のように、駆動時に、第１アーム部１１ａ、１１ｂ、２１ａ、２１ｂおよび第２アーム部１２ａ、１２ｂ、２２ａ、２２ｂと連結部１６ａ、１６ｂとの接続部分を中心とするトルクを生じさせて、このトルクと、第１アーム部１１ａ、１１ｂ、２１ａ、２１ｂにより生じるトルクとを均衡状態に近づけるためのバランス調整部として作用すればよい。これにより、上記のように、この接続部分および連結部１６ａ、１６ｂに生じる捩じれを抑制でき、且つ、可動部３０およびミラー４０の振れ角を大きくすることができる。

　また、上記実施形態および変更例１では、平面視において、駆動素子１が、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に対称な形状であったが、平面視において、駆動素子１が、Ｘ軸方向またはＹ軸方向にやや非対称な形状であってもよい。同様に、変更例２に係る駆動素子１がＸ軸方向にやや非対称な形状であってもよい。

　また、圧電駆動体１７ａ、１７ｂ、２７ａ、２７ｂの配置方法は、上記実施形態および変更例１、２に示した配置方法に限定されるものではなく、たとえば、圧電駆動体１７ａ、１７ｂ、２７ａ、２７ｂが、連結部２６ａ、２６ｂには配置されずに、第１アーム部１１ａ、１１ｂ、２１ａ、２１ｂから第２アーム部１２ａ、１２ｂ、２２ａ、２２ｂに直線状に延びるように配置されてもよい。また、第２アーム部１２ａ、１２ｂ、２２ａ、２２ｂのみに圧電駆動体１７ａ、１７ｂ、２７ａ、２７ｂが配置されてもよい。

　あるいは、図１０（ｂ）に示すように、第１アーム部１１ａ、１１ｂ、２１ａ、２１ｂおよび第２アーム部１２ａ、１２ｂ、２２ａ、２２ｂ（バランス調整部）に、それぞれ個別に圧電駆動体１７ａ、１７ｂ、１８ａ、１８ｂ、２７ａ、２７ｂ、２８ａ、２８ｂが配置されてもよい。この場合、各圧電駆動体の駆動動作を制御することにより、第１アーム部１１ａ、１１ｂ、２１ａ、２１ｂにより生じるトルクと第２アーム部１２ａ、１２ｂ、２２ａ、２２ｂにより生じるトルクとを均衡させてもよい。

　この場合、駆動装置１００は、図１１のように構成される。駆動装置１００は、図１０（ｂ）に示した駆動素子１と、制御回路１０１と、４つの駆動回路１０４とを備える。便宜上、図１１では、駆動素子１の構成のうち、圧電駆動体１７ａ、１７ｂ、１８ａ、１８ｂ、２７ａ、２７ｂ、２８ａ、２８ｂの構成のみが示されている。

　制御回路１０１は、マイクロコンピュータを備え、予め保持するプログラムに従って駆動回路１０２～１０５を制御する。駆動回路１０２は、制御回路１０１からの制御により、圧電駆動体１７ａ、１７ｂに駆動信号を供給し、駆動回路１０３は、制御回路１０１からの制御により、圧電駆動体１８ａ、１８ｂに駆動信号を供給し、駆動回路１０４は、制御回路１０１からの制御により、圧電駆動体２７ａ、２７ｂに駆動信号を供給し、駆動回路１０５は、制御回路１０１からの制御により、圧電駆動体２８ａ、２８ｂに駆動信号を供給する。

　駆動時において、駆動回路１０２～１０５は、図４（ａ）、（ｂ）を参照して説明したように、Ｘ軸正側の第１アーム部１１ａ、２１ａおよび第２アーム部１２ａ、２２ａと、Ｘ軸負側の第１アーム部１１ｂ、２１ｂおよび第２アーム部１２ｂ、２２ｂとが逆方向に駆動されるよう、圧電駆動体１７ａ、１７ｂ、１８ａ、１８ｂ、２７ａ、２７ｂ、２８ａ、２８ｂを駆動する。このとき、駆動回路１０２～１０５は、さらに、第１アーム部１１ａ、１１ｂ、２１ａ、２１ｂおよび第２アーム部１２ａ、１２ｂ、２２ａ、２２ｂ（バランス調整部）と連結部１６ａ、１６ｂ、２６ａ、２６ｂとの接続部分における捩じれが抑制されるように各々の圧電駆動体を駆動して、回動軸Ｒ０について可動部２０を回動させる。すなわち、駆動回路１０２～１０５は、これらの接続部分を中心とする第１アーム部１１ａ、１１ｂ、２１ａ、２１ｂおよび第２アーム部１２ａ、１２ｂ、２２ａ、２２ｂの逆向きのトルクが互いに均衡状態に近づくように、各々の圧電駆動体を駆動する。これにより、上記のように、この接続部分および連結部１６ａ、１６ｂに生じる捩じれを抑制でき、且つ、可動部３０およびミラー４０の振れ角を大きくすることができる。

　なお、この構成では、各圧電駆動体に対する駆動制御により、互いに逆向きの上記２つのトルクが均衡状態に近づけられるため、第２アーム部１２ａ、１２ｂ、２２ａ、２２ｂ（バランス調整部）の長さは、必ずしも、図７（ａ）に示した好ましい範囲に設定されていなくてもよい。

　なお、駆動装置１００が上記実施形態および変更例１、２に示した駆動素子１を含む場合は、これら駆動素子１に配置される圧電駆動体の数に応じて、図１１の駆動回路１０２～１０５の数が変更される。たとえば、駆動装置１００に含まれる駆動素子１が図１の構成である場合、図１１の構成から、駆動回路１０３、１０５が省略される。この場合も、駆動回路１０２、１０４は、上記接続部分における捩じれが抑制されるように圧電駆動体１７ａ、１７ｂ、２７ａ、２７ｂを駆動して、回動軸Ｒ０について可動部２０を回動させる。この構成においても、上記と同様、第２アーム部１２ａ、１２ｂ、２２ａ、２２ｂ（バランス調整部）の長さは、必ずしも、図７（ａ）に示した好ましい範囲に設定されていなくてもよい。

　また、駆動素子１の各部の寸法も、図５に示した寸法に制限されるものではなく、適宜変更可能である。各部の寸法が変更された場合は、これに応じて、第２アーム部１２ａ、１２ｂ、２２ａ、２２ｂの寸法が最適かされればよい。

　また、駆動素子１が、光偏向素子以外の素子として用いられる場合、可動部３０には、反射面４０が配置されなくてもよく、反射面４０以外の他の部材が配置されてもよい。

　この他、本発明の実施形態は、特許請求の範囲に示された技術的思想の範囲内において、適宜、種々の変更が可能である。

　１　駆動素子
　１０　第１駆動ユニット
　２０　第２駆動ユニット
　３０　可動部
　４０　反射面
　１１ａ、１１ｂ、２１ａ、２１ｂ　第１アーム部
　１２ａ、１２ｂ、２２ａ、２２ｂ　第２アーム部
　１３、２３　基部
　１４、２４　第１接続部
　１５、２５　第２接続部
　１６ａ、１６ｂ、２６ａ、２６ｂ　連結部
　１７ａ、１７ｂ、２７ａ、２７ｂ　圧電駆動体
　１００　駆動装置

Claims

　基部と、
　前記基部から回動軸に平行な方向に離れた可動部と、
　前記基部と前記可動部とを接続する接続部と、
　前記回動軸を挟み、前記回動軸に平行な第１方向に延びる一対の第１アーム部と、
　前記回動軸を挟み、前記第１方向と反対の第２方向に延びる一対の第２アーム部と、
　前記一対の第１アーム部および前記一対の第２アーム部を前記接続部に連結する連結部と、
　前記一対の第１アーム部および前記一対の第２アーム部の少なくとも一方に配置された圧電駆動体と、を備える、
ことを特徴とする駆動素子。
　請求項１に記載の駆動素子において、
　前記圧電駆動体は、前記一対の第１アーム部と前記一対の第２アーム部の両方に配置されている、
ことを特徴とする駆動素子。
　請求項１に記載の駆動素子において、
　前記圧電駆動体は、前記一対の第１アーム部に配置され、前記一対の第２アーム部には配置されていない、
ことを特徴とする駆動素子。
　請求項１ないし３の何れか一項に記載の駆動素子において、
　前記圧電駆動体は、さらに、前記連結部に配置されている、
ことを特徴とする駆動素子。
　請求項１ないし４の何れか一項に記載の駆動素子において、
　少なくとも前記第１アーム部において捩れが実質的に発生しないように、前記第２アーム部の長さが設定されている、
ことを特徴とする駆動素子。
　請求項１ないし５の何れか一項に記載の駆動素子において、
　目標周波数で前記可動部を前記回動軸周りに振動させたときの前記可動部の振れ角が最大になるように、前記第２アーム部の長さが設定されている、
ことを特徴とする駆動素子。
　請求項１ないし６の何れか一項に記載の駆動素子において、
　前記基部、前記接続部、前記一対の第１アーム部、前記一対の第２アーム部、前記連結部および前記圧電駆動体をそれぞれ備える２つの駆動ユニットが、前記可動部を挟んで互いに逆向きに配置され、
　前記各駆動ユニットの前記接続部が、前記可動部に接続されている、
ことを特徴とする駆動素子。
　請求項１ないし７の何れか一項に記載の駆動素子において、
　前記可動部に反射面が配置されている、
ことを特徴とする駆動素子。
　基部と、
　前記基部から回動軸に平行な方向に離れた可動部と、
　前記基部と前記可動部とを接続する接続部と、
　前記回動軸を挟み、前記回動軸に平行な第１方向に延びる一対のアーム部と、
　前記回動軸を挟み、前記第１方向と反対の第２方向に延びる一対のバランス調整部と、
　前記一対のアーム部および前記一対のバランス調整部を前記接続部に連結する連結部と、
　前記一対のアーム部および前記一対のバランス調整部の少なくとも一方に配置された圧電駆動体と、を備える、
ことを特徴とする駆動素子。
　請求項９に記載の駆動素子において、
　前記基部、前記接続部、前記一対のアーム部、前記一対のバランス調整部、前記連結部および前記圧電駆動体をそれぞれ備える２つの駆動ユニットが、前記可動部を挟んで互いに逆向きに配置され、
　前記各駆動ユニットの前記接続部が、前記可動部に接続されている、
ことを特徴とする駆動素子。
　請求項９または１０記載の駆動素子において、
　前記可動部に反射面が配置されている、
ことを特徴とする駆動素子。
　請求項９ないし１１の何れか一項に記載の駆動素子と、
　前記圧電駆動体に駆動電圧を供給する駆動回路と、を備える、
ことを特徴とする駆動装置。
　請求項１２に記載の駆動装置において、
　前記一対のアーム部および前記一対のバランス調整部のそれぞれに個別に前記圧電駆動体が配置され、
　前記駆動回路は、前記アーム部および前記バランス調整部と前記連結部との接続部分における捩じれが抑制されるように各々の前記圧電駆動体を駆動して、前記回動軸について前記可動部を回動させる、
ことを特徴とする駆動装置。