WO2022009952A1

WO2022009952A1 - シール装置およびワイヤ放電加工機

Info

Publication number: WO2022009952A1
Application number: PCT/JP2021/025788
Authority: WO
Inventors: 富岡竜之介; 國府田尚徳
Original assignee: ファナック株式会社
Priority date: 2020-07-10
Filing date: 2021-07-08
Publication date: 2022-01-13

Abstract

スラッジの堆積を抑制し得るシール装置およびワイヤ放電加工機を提供する。一実施形態のシール装置（３０）は、シールベース（３２）と、シール板（３４）と、蛇腹部材（４４）と、流路（５４）と、を備える。流路（５４）は、シールベース（３２）とシール板（３４）との間をシールしながらシール板（３４）に対して摺動できるように貫通孔（３２Ｈ）の周囲に設けられた摺動部（３６）のうち、貫通孔（３２Ｈ）の下側の摺動部（３６）と、貫通孔（３２Ｈ）との間から、シール板（３４）に向けて加工液を排出する。

Description

シール装置およびワイヤ放電加工機

　本発明は、加工槽の側壁に形成された窓部をシールするシール装置、および、そのシール装置を有するワイヤ放電加工機に関する。

　ワイヤ放電加工機は、ワイヤ電極と、加工槽の内部に配置された被加工物との間に放電を生じさせて被加工物を加工する。ワイヤ電極は、上側のアームと下側のアームとで支持される。加工槽は、機台に対して第１方向（Ｘ方向）と、第１方向に対して交差する第２方向（Ｙ方向）との各々に移動可能である。加工槽の側壁には、下側のアームが挿通する窓部が形成される。

　加工槽の窓部をシールするシール装置として、特開２０１３－５２４９７号公報がある。特開２０１３－５２４９７号公報では、シールベースと、シール板とが設けられる。シールベースは、加工槽の外側面に固定される。シールベースは、加工槽の窓部と連通する貫通孔を有する。シール板は、シールベースの貫通孔をシールベースの外側面側から塞ぐ。シール板は、シールベースと相対移動可能である。シール板には、加工槽の窓部およびシールベースの貫通孔を挿通する下側のアームが貫通する。シール板には、下側のアーム（アームカバー）とシール板との間の隙間をシールするシール部材が設けられる。

　また、特開２０１３－５２４９７号公報では、プレシール装置が設けられる。プレシール装置は、被加工物の加工により生じるスラッジ（汚染物質）がシール部材等に付着することを抑制する。プレシール装置は、蛇腹部材（プレシール蛇腹カバー）と、案内レール部材（プレシール蛇腹レール）と、を有する。蛇腹部材は、加工槽の窓部を加工槽の内部側から覆うように配置される。案内レール部材は、蛇腹部材を案内する。蛇腹部材とシール板との間には、加工槽内の圧力を上回る圧力の加工液が供給される。蛇腹部材とシール板との間に供給された加工液は、蛇腹部材と案内レール部材との僅かな隙間から流出する。したがって、蛇腹部材とシール板との間にスラッジが侵入することが抑制される。その結果、スラッジがシール部材等に付着することが抑制される。

　ところで、特開２０１３－５２４９７号公報であっても、蛇腹部材とシール板との間にスラッジが侵入する場合がある。この場合、蛇腹部材とシール板との間に侵入したスラッジが、当該蛇腹部材とシール板との間の下部に堆積することが懸念される。

　そこで、本発明は、スラッジの堆積を抑制し得るシール装置およびワイヤ放電加工機を提供することを目的とする。

　本発明の第１の態様は、
　被加工物を浸漬するための加工液を貯める加工槽の側壁に対して、前記被加工物を加工するワイヤ電極を支持する下側のアームが挿通し、かつ、挿通した前記アームの延伸方向とは交差する交差方向に前記加工槽が移動できるように形成された窓部をシールするシール装置であって、
　前記加工槽の外側面に固定され、前記窓部と連通する貫通孔を有するシールベースと、
　前記貫通孔を前記シールベースの外側面側から塞ぎ、かつ、前記シールベースと相対移動できるように設けられたシール板と、
　前記シール板よりも、前記延伸方向に沿って前記窓部の外側から内側に向かう内方向に、前記窓部を覆うように配置され、前記交差方向に沿って伸縮する蛇腹部材と、
　前記シールベースに形成され、前記蛇腹部材と前記シール板との間に、前記加工槽内の圧力を上回る圧力の前記加工液を供給するための流路と、
　を備え、
　前記流路は、前記シールベースと前記シール板との間をシールしながら前記シールベースまたは前記シール板に対して摺動できるように前記貫通孔の周囲に設けられた摺動部のうち、前記貫通孔の下側の前記摺動部と、前記貫通孔との間から、前記シール板に向けて前記加工液を排出する。

　本発明の第２の態様は、
　ワイヤ放電加工機であって、
　上記のシール装置と、
　前記加工槽と、
　前記アームと、
　を備える。

　本発明の態様によれば、シールベースと、シール板と、シールベースとシール板との間に設けられる摺動部とで囲まれる部位に溜まるスラッジを、蛇腹部材とシール板との間に供給された加工液で流し出すことができる。この結果、スラッジの堆積を抑制することができる。

図１は、ワイヤ放電加工機の構成を示す図である。図２は、第１実施形態のシール装置を含む周辺の様子を示す斜視図である。図３は、図２のＩＩＩ－ＩＩＩ矢視断面図である。図４は、変形例１のシール装置を、図３と同じ視点で示す図である。

　本発明について、好適な実施形態を掲げ、添付の図面を参照しながら以下、詳細に説明する。

　図１は、ワイヤ放電加工機１０の構成を示す図である。ワイヤ放電加工機１０は、加工槽１２に貯留された加工液中でワイヤ電極１４と被加工物との間に放電を生じさせることで被加工物を加工する。ワイヤ放電加工機１０は、加工槽１２と、可動テーブル１６と、上側のアーム１８と、下側のアーム２０とを有する。以下、アーム１８は上アーム１８と称し、アーム２０は下アーム２０と称する。

　加工槽１２は、被加工物を加工する際に用いる液体（加工液）を貯める。加工槽１２は、可動テーブル１６に設けられる。

　可動テーブル１６は、サドル１６Ｘと、テーブル１６Ｙとを有する。サドル１６Ｘは、ワイヤ放電加工機１０の機台１０Ｘに対して、第１方向ＤＸに相対移動する。テーブル１６Ｙは、サドル１６Ｘに対して、第１方向ＤＸとは交差する第２方向ＤＹに相対移動する。テーブル１６Ｙの設置面には加工槽１２が設置される。なお、第１方向ＤＸは、ワイヤ放電加工機１０で定義される機械軸のＸ軸に相当し、第２方向ＤＹは、当該機械軸のＹ軸に相当する。

　上アーム１８は、ワイヤ電極１４を支持しながら、加工槽１２内の加工液に浸漬された被加工物に向けてワイヤ電極１４を供給する。上アーム１８は、ワイヤ電極１４を支持しながら送り出すローラ等を有する。

　下アーム２０は、ワイヤ電極１４を支持しながら、被加工物を通過したワイヤ電極１４を回収する。下アーム２０は、ワイヤ電極１４を支持しながら巻き取るローラ等を有する。下アーム２０は、第２方向ＤＹに沿って延びている。

　下アーム２０は、加工槽１２の側壁１２Ａに形成された窓部１２Ｗを通る。加工槽１２は、可動テーブル１６（テーブル１６Ｙ）に設置される。このため、可動テーブル１６が第１方向ＤＸおよび第２方向ＤＹの少なくとも一方に移動した場合には、加工槽１２は、可動テーブル１６と一緒に移動する。加工槽１２が第１方向ＤＸに沿って移動できるように、加工槽１２の窓部１２Ｗは第１方向ＤＸに延びている。したがって、窓部１２Ｗを通る下アーム２０によって加工槽１２の第１方向ＤＸへの移動を妨げることが回避される。

　なお、第２方向ＤＹは下アーム２０の延伸方向と一致する。第１方向ＤＸは下アーム２０の延伸方向と交差する交差方向と一致する。第２方向ＤＹのうち、第２方向ＤＹに沿って窓部１２Ｗの外側から内側に向かう方向は内方向ＤＹ１とする。また、第２方向ＤＹのうち、第２方向ＤＹに沿って窓部１２Ｗの内側から外側に向かう方向は外方向ＤＹ２とする。

　次に、窓部１２Ｗをシールするシール装置３０に関して説明する。シール装置３０は、加工槽１２が移動可能な状態で、加工槽１２の窓部１２Ｗをシールする。図２は第１実施形態のシール装置３０を含む周辺の様子を示す斜視図である。図３は図２のＩＩＩ－ＩＩＩ矢視断面図である。シール装置３０は、シールベース３２と、シール板３４と、を有する。

　シールベース３２は、加工槽１２において窓部１２Ｗが形成された側壁１２Ａの外側面に固定される。加工槽１２が第１方向ＤＸに沿って移動するために、シールベース３２は、加工槽１２の窓部１２Ｗと連通する貫通孔３２Ｈ（図３）を有する。貫通孔３２Ｈは、窓部１２Ｗと重なり合うように配置される。貫通孔３２Ｈは、窓部１２Ｗと同形同寸に形成される。なお、貫通孔３２Ｈは、窓部１２Ｗよりも大きい寸法に形成されてもよい。また、貫通孔３２Ｈは、窓部１２Ｗと異なる形状であってもよい。

　シールベース３２には、加工槽１２に向く面とは逆の面に、溝３２Ｇが形成される。溝３２Ｇは、貫通孔３２Ｈの全周囲を囲むように形成される。溝３２Ｇには、摺動部３６が嵌合される。摺動部３６は、シール板３４に当接する。摺動部３６は、シール板３４を摺動できるように溝３２Ｇに嵌合される。つまり、摺動部３６は、シールベース３２とシール板３４との間の隙間をシールしながら、シール板３４に対して摺動できるように設けられる。摺動部３６は弾性を有する。摺動部３６として、例えば、ゴム等のエラストマーが挙げられる。

　シール板３４は、シールベース３２の外側面側からシールベース３２の貫通孔３２Ｈを塞ぐ。シール板３４は、摺動部３６を通じてシールベース３２に対して相対移動できるように支持部４０に支持される。支持部４０は、上側シールベース４０Ａ（図３）と、下側シールベース４０Ｂ（図３）と、上側ローラ４０Ｃ（図３）と、下側ローラ４０Ｄ（図３）と、を有する。

　上側シールベース４０Ａは、貫通孔３２Ｈよりも上側のシールベース３２に固定される。上側シールベース４０Ａは、外方向ＤＹ２に延びている。下側シールベース４０Ｂは、貫通孔３２Ｈよりも下側のシールベース３２に固定される。下側シールベース４０Ｂは、外方向ＤＹ２に延びている。

　上側ローラ４０Ｃは、上側シールベース４０Ａに取り付けられる。下側ローラ４０Ｄは、下側シールベース４０Ｂに取り付けられる。上側ローラ４０Ｃおよび下側ローラ４０Ｄは、摺動部３６を介してシール板３４を押し付けている状態で、シールベース３２に取り付けられる。したがって、上側ローラ４０Ｃおよび下側ローラ４０Ｄは、シール板３４の第２方向ＤＹへの動きを規制するとともに、シールベース３２に対してシール板３４が第１方向ＤＸへ相対移動することを許容する。なお、上側ローラ４０Ｃおよび下側ローラ４０Ｄは、第１方向ＤＸに間隔をあけて複数配置されてもよい。

　シール板３４には、シール部材４２（図２）が設けられる。シール部材４２は、シール板３４と、シール板３４に形成された貫通孔を通る下アーム２０との間をシールする。シール部材４２は、オイルを用いてシール板３４と下アーム２０との間をシールしてもよい。

　シール板３４よりも内方向ＤＹ１の領域には、蛇腹部材４４が配置される。蛇腹部材４４は、第１方向ＤＸに沿って伸縮する。蛇腹部材４４は、加工槽１２の窓部１２Ｗを覆うように配置される。本実施形態の場合、蛇腹部材４４は、シールベース３２の貫通孔３２Ｈの内部に位置する。本実施形態の場合、蛇腹部材４４は、第１方向ＤＸに沿って、シール部材４２（図２）の一方側と他方側とに配置される。シール部材４２（図２）は、２つの蛇腹部材４４の間に挟まれる。なお、図２では、シール部材４２（図２）の一方側に配置される蛇腹部材４４のみが示される。蛇腹部材４４の第１方向ＤＸの一端部はシール部材４２に固定される。蛇腹部材４４の第１方向ＤＸの他端部はシールベース３２に固定される。蛇腹部材４４の上部は案内レール部材４６に支持される。蛇腹部材４４の下部は案内レール部材４８に支持される。以下、案内レール部材４６は上側案内レール部材４６と称し、案内レール部材４８は下側案内レール部材４８と称する。

　上側案内レール部材４６は、シールベース３２に固定される。上側案内レール部材４６は、伸縮する蛇腹部材４４を案内する。上側案内レール部材４６は、頂部４６Ａと、側部４６Ｂと、側部４６Ｃとを有する。頂部４６Ａは、蛇腹部材４４の上部よりも上方に配置され、第１方向ＤＸに延びている。側部４６Ｂは、頂部４６Ａの内方向ＤＹ１側の端部に連結される。側部４６Ｃは、頂部４６Ａの外方向ＤＹ２側の端部に連結される。側部４６Ｂと側部４６Ｃとの間に蛇腹部材４４の上部が挟み込まれる。

　なお、頂部４６Ａは、シールベース３２の内周面に当接していてもよいし、当接していなくてもよい。本実施形態の場合、頂部４６Ａは、上側シート部材５０に当接する。上側シート部材５０は、シールベース３２の内周面と、シールベース３２の外方向ＤＹ２側の面の一部とをカバーする。上側シート部材５０は、シールベース３２に設けられる。

　下側案内レール部材４８は、シールベース３２に固定される。下側案内レール部材４８は、伸縮する蛇腹部材４４を案内する。下側案内レール部材４８は、底部４８Ａと、側部４８Ｂと、側部４８Ｃとを有する。底部４８Ａは、蛇腹部材４４の下部よりも下方に配置され、第１方向ＤＸに延びている。側部４８Ｂは、底部４８Ａの内方向ＤＹ１側の端部に連結される。側部４８Ｃは、底部４８Ａの外方向ＤＹ２側の端部に連結される。側部４８Ｂと側部４８Ｃとの間に蛇腹部材４４の下部が挟み込まれる。

　なお、底部４８Ａは、シールベース３２の内周面に当接していてもよいし、当接していなくてもよい。本実施形態の場合、底部４８Ａは、下側シート部材５２に当接する。下側シート部材５２は、シールベース３２の内周面と、シールベース３２の外方向ＤＹ２側の面の一部とをカバーする。下側シート部材５２は、シールベース３２に設けられる。なお、下側シート部材５２はなくてもよい。

　側部４８Ｂには、開口部４８Ｏが形成される。開口部４８Ｏは、１つであってもよいし、複数であってもよい。開口部４８Ｏが複数である場合、複数の開口部４８Ｏは、第１方向ＤＸに間隔をあけて形成される。なお、図２では、開口部４８Ｏが複数である場合が示される。

　シール装置３０では、シール板３４と蛇腹部材４４との間に準閉塞空間ＳＰ（図３）が形成される。準閉塞空間ＳＰ（図３）は、シールベース３２と、シール板３４と、蛇腹部材４４とで囲まれる。シール装置３０では、準閉塞空間ＳＰに加工液を供給するための流路５４（図３）が設けられる。流路５４は、上側流路５４Ａと、下側流路５４Ｂとを有する。上側流路５４Ａは、貫通孔３２Ｈの上側のシールベース３２に形成される。下側流路５４Ｂは、貫通孔３２Ｈの下側のシールベース３２に形成される。

　上側流路５４Ａは、シールベース３２の外方向ＤＹ２の面に流出口を有する。上側流路５４Ａは、貫通孔３２Ｈと、当該貫通孔３２Ｈの上側に配置される摺動部３６との間から、シール板３４に向けて加工液を排出する。上側流路５４Ａの流出口は、１つであってもよく、複数であってもよい。上側流路５４Ａの流出口が複数である場合、複数の流出口は、第１方向ＤＸに間隔をあけてシールベース３２に形成される。

　下側流路５４Ｂは、シールベース３２における外方向ＤＹ２側の面に流出口を有する。下側流路５４Ｂは、貫通孔３２Ｈと、当該貫通孔３２Ｈの下側に配置される摺動部３６との間から、シール板３４に向けて加工液を排出する。下側流路５４Ｂの流出口は、１つであってもよく、複数であってもよい。下側流路５４Ｂの流出口が複数である場合、複数の流出口は、第１方向ＤＸに間隔をあけてシールベース３２に形成される。

　上側流路５４Ａおよび下側流路５４Ｂの流入口には、加工液供給源が接続される。上側流路５４Ａの流入口に接続される加工液供給源と、下側流路５４Ｂの流入口に接続される加工液供給源とは、同じであってもよいし、異なっていてもよい。加工液供給源は、被加工物を加工しているときには、上側流路５４Ａおよび下側流路５４Ｂを介して、準閉塞空間ＳＰに加工液を供給し続ける。なお、準閉塞空間ＳＰに供給される加工液は、スラッジを含まない清浄な液質である。

　準閉塞空間ＳＰに供給される加工液の圧力は、加工槽１２内に存在する加工液の圧力を上回る。このため、準閉塞空間ＳＰが加工液で満たされた場合には、蛇腹部材４４と上側案内レール部材４６との間隙、および、蛇腹部材４４と下側案内レール部材４８との間隙を通って、準閉塞空間ＳＰの加工液が加工槽１２に流出する。これにより、清浄な液質の加工液で満たされた準閉塞空間ＳＰに加工槽１２内の加工液が逆流することを抑制できる。その結果、準閉塞空間ＳＰにスラッジが侵入することを抑制できる。

　また、本実施形態のシール装置３０の流路５４（下側流路５４Ｂ）は、シールベース３２の貫通孔３２Ｈと、当該貫通孔３２Ｈの下側に配置される摺動部３６との間から、シール板３４に向けて加工液を排出する。これにより、シールベース３２と、シール板３４と、摺動部３６とで囲まれる部位に溜まるスラッジを、当該部位から流し出すことができる。更に、上側案内レール部材４６と蛇腹部材４４との間隙、および、下側案内レール部材４８と蛇腹部材４４との間隙を介して、スラッジを加工槽１２に排出することができる。したがって、準閉塞空間ＳＰにスラッジが侵入したとしても、当該準閉塞空間ＳＰの下部にスラッジが堆積することがなくなる。その結果、スラッジの堆積を抑制することができる。

［変形例］
　上記の実施形態は、以下のように変形してもよい。

（変形例１）
　図４は、変形例１のシール装置３０を、図３と同じ視点で示す図である。なお、図４では、第１実施形態において説明した構成と同等の構成には同一の符号が付される。なお、本変形例では、第１実施形態と重複する説明は省略する。

　本変形例の蛇腹部材４４は、シールベース３２の貫通孔３２Ｈよりも内方向ＤＹ１の領域に配置される。また、本変形例では、上側シート部材５０および下側シート部材５２が省かれる。更に、本変形例では、支持ベース部材５８が新たに設けられる。

　支持ベース部材５８は、蛇腹部材４４の上部を支持する。支持ベース部材５８は、貫通孔３２Ｈよりも上側において、加工槽１２の側壁１２Ａとシールベース３２との間に配置される。支持ベース部材５８は、第１方向ＤＸに沿って延びている。支持ベース部材５８の内方向ＤＹ１側は加工槽１２に固定される。支持ベース部材５８の外方向ＤＹ２側はシールベース３２に固定される。

　支持ベース部材５８には、突起５８Ｐが設けられる。突起５８Ｐは、支持ベース部材５８の下面から下方に突出する。突起５８Ｐと加工槽１２の側壁１２Ａとの間に、蛇腹部材４４の上部が挟み込まれる。本変形例では、上側案内レール部材４６（図３）が省かれる。本変形例の支持ベース部材５８は、実施形態の上側案内レール部材４６の頂部４６Ａに相当する。また、本変形例の側壁１２Ａは、実施形態の上側案内レール部材４６の側部４６Ｂに相当する。更に、本変形例の突起５８Ｐは、上側案内レール部材４６の側部４６Ｃに相当する。

　支持ベース部材５８には、上側流路５４Ａが形成される。また、支持ベース部材５８の外方向ＤＹ２側には、開口部５８Ｏが形成される。開口部５８Ｏは、１つであってもよいし、複数であってもよい。開口部５８Ｏが複数である場合、複数の開口部５８Ｏは、第１方向ＤＸに間隔をあけて形成される。開口部５８Ｏは、シールベース３２に形成された連通部３２Ｃを通じて、準閉塞空間ＳＰと連通される。つまり、本変形例では、支持ベース部材５８に形成される開口部５８Ｏと、シールベース３２に形成される連通部３２Ｃとは、上側流路５４Ａの一部である。

　このように、蛇腹部材４４がシールベース３２の貫通孔３２Ｈよりも内方向ＤＹ１側の領域に配置されていても、実施形態と同様に、準閉塞空間ＳＰに加工液を供給することができる。

（変形例２）
　シールベース３２に代えて、シール板３４に溝３２Ｇが形成されていてもよい。シール板３４に溝３２Ｇが形成される場合、摺動部３６は、シールベース３２とシール板３４とをシールしながら、シールベース３２に対して摺動できるように設けられる。つまり、摺動部３６は、シールベース３２とシール板３４との間をシールしながら、シールベース３２またはシール板３４に対して摺動できる部材であればよい。

（変形例３）
　蛇腹部材４４は、実施形態では２つであったが、１つであってもよい。蛇腹部材４４が１つである場合、例えば、蛇腹部材４４は、シール部材４２よりも内方向ＤＹ１側の領域に配置される。なお、蛇腹部材４４は、シール部材４２またはシール部材４２に取り付けられる支持部材で支持されてもよい。

（変形例４）
　上側案内レール部材４６は、省かれてもよい。上側案内レール部材４６が省かれる場合、例えば、上側シート部材５０およびシールベース３２の内周上面に第１方向ＤＸに延びる案内溝が形成される。この案内溝に、蛇腹部材４４の上部が、蛇腹部材４４が伸縮できる状態で、嵌合される。

（変形例５）
　上側流路５４Ａは、省かれてもよい。なお、実施形態のように、流路５４として上側流路５４Ａと下側流路５４Ｂとが設けられる場合、下側流路５４Ｂだけが設けられる場合に比べて、準閉塞空間ＳＰに対して加工液をより早く貯めることができる。その結果、加工槽１２内の加工液が準閉塞空間ＳＰに侵入することをより一段と抑制することができる。

（変形例６）
　上記の実施形態および変形例は、矛盾の生じない範囲で任意に組み合わされてもよい。

［発明］
　下記は、上記の実施形態および変形例から把握しうる発明として、第１の発明および第２の発明を記載する。

（第１の発明）
　第１の発明は、被加工物を浸漬するための加工液を貯める加工槽（１２）の側壁（１２Ａ）に対して、被加工物を加工するワイヤ電極（１４）を支持する下側のアーム（２０）が挿通し、かつ、挿通したアーム（２０）の延伸方向（ＤＹ）とは交差する交差方向（ＤＸ）に加工槽（１２）が移動できるように形成された窓部（１２Ｗ）をシールするシール装置（３０）である。シール装置（３０）は、加工槽（１２）の外側面に固定され、窓部（１２Ｗ）と連通する貫通孔（３２Ｈ）を有するシールベース（３２）と、貫通孔（３２Ｈ）をシールベース（３２）の外側面側から塞ぎ、かつ、シールベース（３２）と相対移動できるように設けられたシール板（３４）と、シール板（３４）よりも、延伸方向（ＤＹ）に沿って窓部（１２Ｗ）の外側から内側に向かう内方向（ＤＹ１）に、窓部（１２Ｗ）を覆うように配置され、交差方向（ＤＸ）に沿って伸縮する蛇腹部材（４４）と、シールベース（３２）に形成され、蛇腹部材（４４）とシール板（３４）との間に、加工槽（１２）内の圧力を上回る圧力の加工液を供給するための流路（５４）と、を備える。流路（５４）は、シールベース（３２）とシール板（３４）との間をシールしながらシールベース（３２）またはシール板（３４）に対して摺動できるように貫通孔（３２Ｈ）の周囲に設けられた摺動部（３６）のうち、貫通孔（３２Ｈ）の下側の摺動部（３６）と、貫通孔（３２Ｈ）との間から、シール板（３４）に向けて加工液を排出する。

　これにより、シールベース（３２）と、シール板（３４）と、摺動部（３６）とで囲まれる部位に溜まるスラッジを、蛇腹部材（４４）とシール板（３４）との間に供給された加工液により、当該部位から流し出すことができる。したがって、蛇腹部材（４４）とシール板（３４）との間の下部にスラッジが堆積することがなくなり、この結果、スラッジの堆積を抑制することができる。

　流路（５４）は、貫通孔（３２Ｈ）の上側のシールベース（３２）に形成される上側流路（５４Ａ）と、貫通孔（３２Ｈ）の下側のシールベース（３２）に形成される下側流路（５４Ｂ）と、を有し、下側流路（５４Ｂ）は、貫通孔（３２Ｈ）の下側の摺動部（３６）と、貫通孔（３２Ｈ）との間から、シール板（３４）に向けて加工液を排出してもよい。これにより、下側流路（５４Ｂ）のみが設けられる場合に比べて、蛇腹部材（４４）とシール板（３４）との間に加工液をより早く貯めることができ、この結果、加工槽（１２）内の加工液が蛇腹部材（４４）とシール板（３４）との間に侵入することを抑制することができる。

　蛇腹部材（４４）は、貫通孔（３２Ｈ）に配置されてもよい。これにより、蛇腹部材（４４）が、シールベース（３２）よりも、延伸方向（ＤＹ）に沿って窓部（１２Ｗ）の外側から内側に向かう内方向（ＤＹ１）に配置される場合に比べて、蛇腹部材（４４）とシール板（３４）との間をコンパクトにできる。したがって、蛇腹部材（４４）とシール板（３４）との間に加工液をより早く貯めることができ、この結果、加工槽（１２）内の加工液が蛇腹部材（４４）とシール板（３４）との間に侵入することを抑制することができる。また、蛇腹部材（４４）が、シールベース（３２）よりも内方向（ＤＹ１）に配置される場合に比べて、シール装置（３０）の部品点数を抑え易い。

（第２の発明）
　第２の発明は、ワイヤ放電加工機（１０）である。ワイヤ放電加工機（１０）は、上記のシール装置（３０）と、加工槽（１２）と、アーム（２０）と、を備える。上記のシール装置（３０）を備えることにより、スラッジの堆積を抑制することができる。

Claims

　被加工物を浸漬するための加工液を貯める加工槽（１２）の側壁（１２Ａ）に対して、前記被加工物を加工するワイヤ電極（１４）を支持する下側のアーム（２０）が挿通し、かつ、挿通した前記アームの延伸方向（ＤＹ）とは交差する交差方向（ＤＸ）に前記加工槽が移動できるように形成された窓部（１２Ｗ）をシールするシール装置（３０）であって、
　前記加工槽の外側面に固定され、前記窓部と連通する貫通孔（３２Ｈ）を有するシールベース（３２）と、
　前記貫通孔を前記シールベースの外側面側から塞ぎ、かつ、前記シールベースと相対移動できるように設けられたシール板（３４）と、
　前記シール板よりも、前記延伸方向に沿って前記窓部の外側から内側に向かう内方向（ＤＹ１）に、前記窓部を覆うように配置され、前記交差方向に沿って伸縮する蛇腹部材（４４）と、
　前記シールベースに形成され、前記蛇腹部材と前記シール板との間に、前記加工槽内の圧力を上回る圧力の前記加工液を供給するための流路（５４）と、
　を備え、
　前記流路は、前記シールベースと前記シール板との間をシールしながら前記シールベースまたは前記シール板に対して摺動できるように前記貫通孔の周囲に設けられた摺動部（３６）のうち、前記貫通孔の下側の前記摺動部と、前記貫通孔との間から、前記シール板に向けて前記加工液を排出する、シール装置。
　請求項１に記載のシール装置であって、
　前記流路は、前記貫通孔の上側の前記シールベースに形成される上側流路（５４Ａ）と、前記貫通孔の下側の前記シールベースに形成される下側流路（５４Ｂ）と、を有し、
　前記下側流路は、前記貫通孔の下側の前記摺動部と、前記貫通孔との間から、前記シール板に向けて前記加工液を排出する、シール装置。
　請求項１または２に記載のシール装置であって、
　前記蛇腹部材は、前記貫通孔に配置される、シール装置。
　請求項１～３のいずれか１項に記載のシール装置と、
　前記加工槽と、
　前記アームと、
　を備えるワイヤ放電加工機（１０）。