WO2021246293A1 - センサ - Google Patents

センサ Download PDF

Info

Publication number
WO2021246293A1
WO2021246293A1 PCT/JP2021/020273 JP2021020273W WO2021246293A1 WO 2021246293 A1 WO2021246293 A1 WO 2021246293A1 JP 2021020273 W JP2021020273 W JP 2021020273W WO 2021246293 A1 WO2021246293 A1 WO 2021246293A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
film
electrode
sensor
fixing member
article
Prior art date
Application number
PCT/JP2021/020273
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
健一 森
Original Assignee
株式会社村田製作所
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社村田製作所 filed Critical 株式会社村田製作所
Priority to JP2022506800A priority Critical patent/JP7047996B1/ja
Priority to CN202180007839.6A priority patent/CN114902025A/zh
Publication of WO2021246293A1 publication Critical patent/WO2021246293A1/ja
Priority to US17/839,744 priority patent/US20220307926A1/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00Measuring force or stress, in general
    • G01L1/16Measuring force or stress, in general using properties of piezoelectric devices
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/16Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. by resistance strain gauge
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/30Piezoelectric or electrostrictive devices with mechanical input and electrical output, e.g. functioning as generators or sensors
    • H10N30/302Sensors
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/85Piezoelectric or electrostrictive active materials
    • H10N30/857Macromolecular compositions
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/87Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals

Definitions

  • the present invention relates to a sensor that detects deformation of a string-shaped article.
  • This grip detection sensor includes a piezoelectric film, a first electrode, and a second electrode.
  • the piezoelectric film has a long strip shape.
  • the piezoelectric film has a first main surface and a second main surface.
  • the first electrode is provided on the first main surface of the piezoelectric film.
  • the second electrode is provided on the second main surface of the piezoelectric film.
  • the grip detection sensor is spirally wound around the peripheral surface of the tube. As a result, when the tube is bent, the piezoelectric film is deformed. As a result, a signal corresponding to the deformation of the piezoelectric film is output from the first electrode and the second electrode.
  • the grip detection sensor of Patent Document 1 may not be able to accurately detect the deformation of the tube.
  • the portion of the piezoelectric film located on the outer peripheral side of the tube is deformed so as to be stretched due to tensile stress.
  • a positive charge is generated in the portion of the piezoelectric film located on the outer peripheral side of the tube.
  • the portion of the piezoelectric film located on the inner peripheral side of the tube is deformed so as to be compressed by the compressive stress.
  • a negative charge is generated in the portion of the piezoelectric film located on the inner peripheral side of the tube.
  • the charges generated in the piezoelectric film are offset.
  • the grip detection sensor of Patent Document 1 may not be able to accurately detect the deformation of the tube.
  • an object of the present invention is to provide a sensor capable of detecting deformation of a string-shaped article.
  • the sensor according to one embodiment of the present invention is A sensor that detects the deformation of a string-shaped article.
  • a first film having a first main surface and a second main surface, the first film generating an electric charge according to the amount of deformation of the first film, and The first electrode provided on the first main surface and The second electrode provided on the second main surface and The first fixing member and the second fixing member for fixing the first film, the first electrode, and the second electrode to the article, Equipped with The first film has more than half the circumference of the peripheral surface of the article.
  • the second electrode is located closer to the article than the first electrode.
  • the first fixing member is separated from the second fixing member in the extending direction in which the article extends.
  • the shafts and members extending in the front-rear direction do not necessarily indicate only the shafts and members that are parallel to the front-rear direction.
  • a shaft or member extending in the front-rear direction is a shaft or member inclined in a range of ⁇ 45 ° with respect to the front-back direction.
  • a shaft or member extending in the vertical direction is a shaft or member inclined in a range of ⁇ 45 ° with respect to the vertical direction.
  • a shaft or member extending in the left-right direction is a shaft or member inclined in a range of ⁇ 45 ° with respect to the left-right direction.
  • the first member, the second member, and the third member are structures included in the sensor.
  • the fact that the first member is supported by the second member means that the first member is immovably attached to the second member (that is, fixed or held) with respect to the second member. ), And the case where the first member is movably attached to the second member with respect to the second member. Further, the first member is supported by the second member when the first member is directly attached to the second member and when the first member is attached to the second member via the third member. Includes both if.
  • the first member and the second member arranged in the front-rear direction indicate the following states.
  • both the first member and the second member are arranged on an arbitrary straight line indicating the front-rear direction.
  • the first member and the second member arranged in the front-rear direction when viewed in the vertical direction indicate the following states.
  • both the first member and the second member are arranged on an arbitrary straight line indicating the front-rear direction.
  • first member and the second member when the first member and the second member are viewed from a left-right direction different from the vertical direction, one of the first member and the second member may not be arranged on an arbitrary straight line indicating the front-rear direction. ..
  • the first member and the second member may be in contact with each other.
  • the first member and the second member may be separated from each other.
  • a third member may be present between the first member and the second member. This definition applies to directions other than the front-back direction.
  • the fact that the first member is arranged in front of the second member means the following state.
  • a part of the first member is arranged in a region through which the second member translates in the forward direction. Therefore, the first member may be contained in the region through which the second member passes when the second member moves in parallel in the forward direction, or protrudes from the region through which the second member passes when the second member moves in parallel in the forward direction. May be good.
  • the first member and the second member are arranged in the front-rear direction. This definition applies to directions other than the front-back direction.
  • the first member when the first member is arranged in front of the second member when viewed in the left-right direction, it means the following state.
  • the first member and the second member When viewed in the left-right direction, the first member and the second member are lined up in the front-rear direction, and when viewed in the left-right direction, the portion of the first member facing the second member is the second member. Placed in front.
  • the first member and the second member do not have to be arranged in the front-rear direction in three dimensions. This definition applies to directions other than the front-back direction.
  • the fact that the first member is arranged before the second member means the following state.
  • the first member is arranged in front of a plane that passes through the front end of the second member and is orthogonal to the front-rear direction.
  • the first member and the second member may or may not be arranged in the front-rear direction. This definition applies to directions other than the front-back direction.
  • each part of the first member is defined as follows.
  • the front portion of the first member means the front half of the first member.
  • the rear part of the first member means the rear half of the first member.
  • the left portion of the first member means the left half of the first member.
  • the right portion of the first member means the right half of the first member.
  • the upper part of the first member means the upper half of the first member.
  • the lower part of the first member means the lower half of the first member.
  • the front end of the first member means the front end of the first member.
  • the rear end of the first member means the rear end of the first member.
  • the left end of the first member means the left end of the first member.
  • the right end of the first member means the right end of the first member.
  • the upper end of the first member means the upper end of the first member.
  • the lower end of the first member means the lower end of the first member.
  • the front end portion of the first member means the front end of the first member and its vicinity.
  • the rear end portion of the first member means the rear end of the first member and its vicinity.
  • the left end portion of the first member means the left end portion of the first member and its vicinity.
  • the right end portion of the first member means the right end portion of the first member and its vicinity.
  • the upper end portion of the first member means the upper end portion of the first member and its vicinity.
  • the lower end portion of the first member means the lower end portion of the first member and its vicinity.
  • the fact that the first member and the second member are electrically connected includes the following two meanings.
  • the first meaning is that a direct current can flow between the first member and the second member by the physical contact between the first member and the second member.
  • the second meaning is that the first member and the third member are in physical contact with each other, and the third member and the second member are in physical contact with each other, so that direct current is applied to the first member and the second member. It is that current can flow.
  • the first member and the second member may or may not be in physical contact with each other.
  • the third member may be a single member or may include a plurality of members.
  • the sensor can detect the deformation of the string-shaped article.
  • FIG. 1 is a development view of the sensor 13 and a cross-sectional view taken along the line AA.
  • FIG. 2 is a perspective view showing a state in which the sensor 13 is attached to the article 100.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line BB of FIG.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view when the article 100 is bent.
  • FIG. 5 is a perspective view of the sensor 13 and the article 100 in a state where the article 100 is bent.
  • FIG. 6 is a perspective view of the sensor 113 and the article 100 according to a comparative example in which the article 100 is bent.
  • FIG. 7 is a development view of the sensor 13a and a cross-sectional view taken along the line AA.
  • FIG. 8 is a development view of the sensor 13b and a cross-sectional view taken along the line AA.
  • FIG. 9 is a cross-sectional view of the sensor 13b and the article 100.
  • FIG. 10 is a development view of the sensor 13c and a cross-sectional view taken along the line AA.
  • FIG. 11 is a cross-sectional view of the sensor 13d and the article 100.
  • FIG. 12 is a cross-sectional view of the sensor 13e and the article 100.
  • FIG. 13 is a graph showing the waveforms of the first detection signal and the second detection signal output by the sensors 13e-1 and 13e-2, respectively.
  • FIG. 14 is a graph showing the waveforms of the first detection signal and the second detection signal output by the sensors 13e-1 and 13e-2, respectively.
  • FIG. 14 is a graph showing the waveforms of the first detection signal and the second detection signal output by the sensors 13e-1 and 13e-2, respectively.
  • FIG. 15 is a cross-sectional view of the sensor 13f and the article 100.
  • FIG. 16 is a development view of the sensor 13g and a cross-sectional view taken along the line AA.
  • FIG. 17 is a development view of the sensor 13h and a cross-sectional view taken along the line AA.
  • FIG. 1 is a development view of the sensor 13 and a cross-sectional view taken along the line AA.
  • FIG. 2 is a perspective view showing a state in which the sensor 13 is attached to the article 100.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line BB of FIG.
  • the direction is defined as follows.
  • the normal direction of the first film 14 is defined as the vertical direction.
  • the direction in which the long side of the first film 14 extends is defined as the front-back direction.
  • the direction in which the short side of the first film 14 extends is defined as the left-right direction.
  • the vertical direction, the horizontal direction, and the front-back direction are orthogonal to each other.
  • the definition of direction in this specification is an example. Therefore, it is not necessary that the direction of the sensor 13 in actual use and the direction in the present specification match.
  • the vertical direction may be reversed.
  • the left-right direction may be reversed.
  • the front-back direction may be reversed.
  • the sensor 13 detects the deformation of the string-shaped article 100.
  • the string shape is a long and flexible shape.
  • the article 100 is a cable including a signal line, as shown in FIG.
  • the direction in which the article 100 extends is called the extension direction.
  • the extending direction coincides with the left-right direction.
  • the peripheral surface of the article 100 is a surface surrounding the center line of the article 100.
  • the sensor 13 outputs a detection signal according to the deformation of the article 100.
  • the deformation of the article 100 is, for example, bending of the article 100 or twisting of the article 100. Bending of the article 100 means that the central axis of the article 100 is deformed from a straight line to a curved line.
  • the twisting of the article 100 means that the article 100 is deformed around the central axis of the article 100 without deforming the central axis of the article 100.
  • the deformation of the article 100 is the bending of the article 100.
  • the sensor 13 includes a first film 14, a first electrode 15a, a second electrode 15b, a first fixing member 16a, and a second fixing member 16b.
  • the first film 14 has a sheet shape. Therefore, the first film 14 has a first main surface S1 and a second main surface S2.
  • the first main surface S1 is the upper main surface.
  • the second main surface S2 is a lower main surface.
  • the first film 14 has a rectangular shape when viewed in the vertical direction.
  • the long side of the first film 14 extends in the front-rear direction.
  • the short side of the first film 14 extends in the left-right direction.
  • the first film 14 generates an electric charge according to the amount of deformation of the first film 14.
  • the first film 14 is a piezoelectric film.
  • the first film 14 is a PLLA film. The first film 14 will be described in more detail below.
  • the first film 14 is a film formed of a chiral polymer.
  • the chiral polymer is, for example, polylactic acid (PLA), particularly L-type polylactic acid (PLLA).
  • the main chain of PLLA made of a chiral polymer has a spiral structure.
  • PLLA has piezoelectricity when it is uniaxially stretched and the molecules are oriented. Then, the first film 14 generates an electric charge when the first film 14 is stretched in the left-right direction or compressed in the left-right direction. When the first film 14 is stretched in the left-right direction, for example, it generates a positive charge. When the first film 14 is compressed in the left-right direction, for example, it generates a negative charge.
  • the magnitude of the charge depends on the amount of deformation of the first film 14 due to tension or compression. More precisely, the magnitude of the charge depends on the derivative of the amount of deformation of the first film 14 due to tension or compression. Therefore, the uniaxial stretching direction (orientation direction) of the first film 14 forms an angle of 45 degrees with respect to each of the front-rear direction and the left-right direction. Therefore, the uniaxial stretching direction (orientation direction) of the first film 14 forms an angle of 45 degrees with respect to the left-right direction (extending direction) in the unfolded state of the first film 14. This 45 degrees includes, for example, an angle including about 45 degrees ⁇ 10 degrees.
  • the first electrode 15a is a ground electrode.
  • the first electrode 15a is connected to the ground potential.
  • the first electrode 15a is provided on the first main surface S1.
  • the first electrode 15a covers the entire surface of the first main surface S1. Therefore, the first electrode 15a has a rectangular shape when viewed in the vertical direction.
  • the material of the first electrode 15a is, for example, a conductive polymer such as PEDOT.
  • the second electrode 15b is a signal electrode. A detection signal is output from the second electrode 15b. As shown in FIG. 1, the second electrode 15b is provided on the second main surface S2. As a result, the first film 14 is located between the first electrode 15a and the second electrode 15b. In the present embodiment, the second electrode 15b covers the entire surface of the second main surface S2. Therefore, the second electrode 15b has a rectangular shape when viewed in the vertical direction.
  • the material of the second electrode 15b is, for example, a conductive polymer such as PEDOT.
  • the first fixing member 16a and the second fixing member 16b fix the first film 14, the first electrode 15a, and the second electrode 15b to the article 100.
  • the first fixing member 16a and the second fixing member 16b are provided on the lower surface of the second electrode 15b.
  • the first film 14 has a left end portion (first end portion) and a right end portion (second end portion) in the left-right direction (extending direction).
  • the left end portion of the first film 14 is the left long side (hereinafter referred to as the left long side) of the first film 14.
  • the right end portion of the first film 14 is the right long side (hereinafter referred to as the right long side) of the first film 14.
  • the first fixing member 16a is in contact with the left long side (first end portion) of the first film 14.
  • the first fixing member 16a extends in the front-rear direction along the entire left long side of the first film 14.
  • the second fixing member 16b is in contact with the right long side (second end portion) of the first film 14.
  • the second fixing member 16b extends in the front-rear direction along the entire right long side of the first film 14. Therefore, the first fixing member 16a is located to the left of the second fixing member 16b.
  • the material of the first fixing member 16a and the second fixing member 16b is, for example, an acrylic pressure-sensitive adhesive.
  • first fixing member 16a is separated from the second fixing member 16b in the left-right direction (extending direction).
  • first fixing member 16a and the second fixing member 16b are viewed in the vertical direction (normal direction of the first main surface S1 of the first film 14) in a state where the first film 14 is unfolded. , Does not overlap with the center of the first film 14 in the left-right direction (extending direction).
  • the first film 14 has more than half the circumference of the peripheral surface of the article 100.
  • the first film 14 has a cylindrical shape by making one round around the peripheral surface of the article 100.
  • the first electrode 15a and the second electrode 15b also have a cylindrical shape by making one round around the peripheral surface of the article 100.
  • the first main surface S1 is a cylindrical outer peripheral surface formed by the first film 14.
  • the second main surface S2 is a cylindrical inner peripheral surface formed by the first film 14.
  • the first electrode 15a is provided on the first main surface S1.
  • the second electrode 15b is provided on the second main surface S2. Therefore, the second electrode 15b is located closer to the article 100 than the first electrode 15a.
  • the first fixing member 16a has an annular shape when viewed in the left-right direction.
  • the first fixing member 16a is located between the article 100 and the second electrode 15b. As a result, the first fixing member 16a fixes the second electrode 15b to the article 100.
  • the second fixing member 16b has an annular shape when viewed in the left-right direction.
  • the second fixing member 16b is located between the article 100 and the second electrode 15b. As a result, the second fixing member 16b fixes the second electrode 15b to the article 100.
  • the portion of the second electrode 15b where the first fixing member 16a and the second fixing member 16b are not provided is not fixed to the article 100. Therefore, as shown in FIG. 3, there is a gap between the portion of the second electrode 15b where the first fixing member 16a and the second fixing member 16b are not provided and the article 100. As a result, the portion of the sensor 13 where the first fixing member 16a and the second fixing member 16b are not provided is not fixed to the article 100.
  • the portion of the second electrode 15b where the first fixing member 16a and the second fixing member 16b are not provided is a portion of the second electrode 15b where the first fixing member 16a and the second fixing member 16b are viewed in the vertical direction. It is the part located in between.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view when the article 100 is bent.
  • the portion of the first film 14 located on the outer peripheral side of the article 100 is stretched in the left-right direction due to tensile stress.
  • the portion of the first film 14 located on the inner peripheral side of the article 100 is compressed in the left-right direction by the compressive stress.
  • the first fixing member 16a is separated from the second fixing member 16b in the left-right direction (extending direction).
  • the portion of the second electrode 15b where the first fixing member 16a and the second fixing member 16b are not provided is not fixed to the article 100. Therefore, as shown in FIG.
  • the portion of the first film 14 located on the inner peripheral side of the article 100 bends without being significantly compressed. As a result, the amount of electric charge generated in the portion of the first film 14 located on the inner peripheral side of the article 100 is reduced. As a result, the electric charge generated in the portion of the first film 14 located on the outer peripheral side of the article 100 is offset by the charge of the opposite polarity generated in the portion of the first film 14 located on the inner peripheral side of the article 100. Is reduced. Therefore, the sensor 13 can output a detection signal having a sufficient voltage. From the above, according to the sensor 13, the sensor 13 can detect the deformation of the string-shaped article 100.
  • the sensor 13 can more accurately detect the deformation of the string-shaped article 100. More specifically, the first fixing member 16a is in contact with the left end portion of the first film 14. The second fixing member 16b is in contact with the right end portion of the first film 14. Therefore, when the article 100 is deformed, the left end portion of the first film 14 is pulled to the left, and the right end portion of the first film 14 is pulled to the right. As a result, the entire first film 14 is deformed. Therefore, the amount of deformation of the first film 14 becomes large. As a result, the voltage of the detection signal output by the sensor 13 becomes large. From the above, according to the sensor 13, the sensor 13 can more accurately detect the deformation of the string-shaped article 100.
  • the sensor 13 can more accurately detect the deformation of the string-shaped article 100. More specifically, the most compressed portion of the first film 14 when the article 100 is bent is the center of the first film 14 in the left-right direction. That is, the positive charge and the negative charge are most generated in the center of the first film 14 in the left-right direction. Therefore, in order to increase the voltage of the detection signal, it is preferable to suppress the compression in the center of the first film 14 in the left-right direction. Therefore, the first fixing member 16a and the second fixing member 16b do not overlap with the center of the first film 14 in the left-right direction when viewed in the vertical direction in the unfolded state of the first film 14.
  • the center of the first film 14 in the left-right direction is not fixed to the article 100.
  • compression of the center of the first film 14 in the left-right direction is suppressed.
  • the voltage of the detection signal output by the sensor 13 becomes large. That is, according to the sensor 13, the sensor 13 can more accurately detect the deformation of the string-shaped article 100.
  • the second electrode 15b is located closer to the article 100 than the first electrode 15a.
  • the first electrode 15a is a ground electrode.
  • the second electrode 15b is a signal electrode. Therefore, the second electrode 15b, which is a signal electrode, is covered with the first electrode 15a, which is a ground electrode.
  • the noise is shielded at the first electrode 15a, which is the ground electrode. That is, it is suppressed that noise reaches the second electrode 15b, which is a signal electrode.
  • noise is reduced in the detection signal output by the sensor 13. For the same reason, the generation of unnecessary radiation from the sensor 13 is suppressed.
  • the sensor 13 can detect the bending of the article 100 in a plurality of directions.
  • FIG. 5 is a perspective view of the sensor 13 and the article 100 in a state where the article 100 is bent.
  • FIG. 6 is a perspective view of the sensor 113 and the article 100 according to a comparative example in which the article 100 is bent.
  • the first film 114 of the sensor 113 according to the comparative example shown in FIG. 6 is provided in a part of the circumferential direction of the article 100.
  • the first film 114 of the sensor 113 is provided on a surface orthogonal to the bending direction of the article 100 (for example, a surface in front of the paper surface)
  • the amount of deformation of the first film 114 of the sensor 113 becomes small. Therefore, it may be difficult for the sensor 113 to detect the bending of the article 100.
  • the first film 14 has a cylindrical shape by making one round around the peripheral surface of the article 100. As a result, the first film 14 is sufficiently deformed even when the sensor 13 is bent in any direction. Therefore, according to the sensor 13, the sensor 13 can detect the bending of the article 100 in a plurality of directions.
  • the sensor 13 as described above is used, for example, to detect the deformation of the electric cable arranged at the joint portion of the robot arm.
  • the use of the sensor 13 is not limited to this.
  • FIG. 7 is a development view of the sensor 13a and a cross-sectional view taken along the line AA.
  • the sensor 13a is different from the sensor 13 in the orientation direction of the first film 14.
  • the orientation direction of the first film 14 is parallel to the left-right direction (extending direction) in the unfolded state of the first film 14.
  • This parallelism includes, for example, an angle deviated from the parallelism by about ⁇ 10 degrees. Since the other configurations of the sensor 13a are the same as those of the sensor 13, the description thereof will be omitted. According to such a sensor 13a, the sensor 13a can detect the twist of the article 100.
  • FIG. 8 is a development view of the sensor 13b and a cross-sectional view taken along the line AA.
  • FIG. 9 is a cross-sectional view of the sensor 13b and the article 100.
  • the sensor 13b is different from the sensor 13 in that the second film 54, the third electrode 55a, the fourth electrode 55b, and the fixing member 60 are further provided.
  • the sensor 13b will be described with a focus on this difference.
  • the first film 14, the first electrode 15a, the second electrode 15b, the first fixing member 16a, and the second fixing member 16b of the sensor 13b are the first film 14, the first electrode 15a, the second electrode 15b, and the second of the sensor 13. Since it is the same as the first fixing member 16a and the second fixing member 16b, the description thereof will be omitted.
  • the second film 54 has a sheet shape. Therefore, the second film 54 has a third main surface S3 and a fourth main surface S4.
  • the third main surface S3 is the upper main surface.
  • the fourth main surface S4 is a lower main surface.
  • the second film 54 has a rectangular shape when viewed in the vertical direction.
  • the long side of the second film 54 extends in the front-rear direction.
  • the short side of the second film 54 extends in the left-right direction.
  • the outer edge of the second film 54 coincides with the outer edge of the first film 14 when viewed in the vertical direction.
  • the second film 54 generates an electric charge according to the amount of deformation of the second film 54.
  • the second film 54 is a piezoelectric film.
  • the second film 54 is a PLLA film.
  • the uniaxial stretching direction (orientation direction) of the second film 54 is parallel to the left-right direction (extending direction) in the unfolded state of the second film 54.
  • the second film 54 is charged by stretching the second film 54 in the direction of 45 degrees in the front-rear direction and the left-right direction or compressing the second film 54 in the direction of 45 degrees in the front-back direction and the left-right direction. Occurs.
  • a positive charge is generated.
  • the first film 14 is compressed in a direction forming 45 degrees in the front-rear direction and the left-right direction, for example, a negative charge is generated.
  • the magnitude of the charge depends on the amount of deformation of the first film 14 due to stretching or compression. More precisely, the magnitude of the charge depends on the derivative of the amount of deformation of the first film 14 due to stretching or compression.
  • the third electrode 55a is a ground electrode.
  • the third electrode 55a is connected to the ground potential.
  • the third electrode 55a is provided on the third main surface S3.
  • the third electrode 55a covers the entire surface of the third main surface S3. Therefore, the third electrode 55a has a rectangular shape when viewed in the vertical direction.
  • the material of the third electrode 55a is, for example, a conductive polymer such as PEDOT.
  • the fourth electrode 55b is a signal electrode. A detection signal is output from the fourth electrode 55b. As shown in FIG. 8, the fourth electrode 55b is provided on the fourth main surface S4. As a result, the second film 54 is located between the third electrode 55a and the fourth electrode 55b. In the present embodiment, the fourth electrode 55b covers the entire surface of the fourth main surface S4. Therefore, the fourth electrode 55b has a rectangular shape when viewed in the vertical direction.
  • the material of the fourth electrode 55b is, for example, a conductive polymer such as PEDOT.
  • the fixing member 60 adheres the fourth electrode 55b and the first electrode 15a. As a result, the first film 14 and the second film 54 overlap each other.
  • the material of the fixing member 60 is, for example, an acrylic pressure-sensitive adhesive.
  • the second film 54 has a cylindrical shape by making one round around the peripheral surface of the first electrode 15a.
  • the fourth electrode 55b is located closer to the article 100 than the third electrode 55a.
  • the sensor 13b can detect bending and twisting of the string-shaped article 100.
  • FIG. 10 is a development view of the sensor 13c and a cross-sectional view taken along the line AA.
  • the sensor 13c is different from the sensor 13b in the orientation direction of the first film 14 and the orientation direction of the second film 54. Specifically, in the sensor 13c, the orientation direction of the first film 14 is parallel to the left-right direction (extending direction) in the unfolded state of the first film 14. The orientation direction of the second film 54 forms an angle of 45 degrees with respect to the left-right direction (extending direction) in the unfolded state of the second film 54. Since the other configurations of the sensor 13c are the same as those of the sensor 13b, the description thereof will be omitted.
  • the sensor 13c can detect bending and twisting of the string-shaped article 100.
  • FIG. 11 is a cross-sectional view of the sensor 13d and the article 100.
  • the sensor 13d is different from the sensor 13 in the structure of the first fixing member 16a, the second fixing member 16b, and the second electrode 15b. More specifically, the first fixing member 16a and the second fixing member 16b are viewed in the vertical direction (normal direction of the first main surface S1 of the first film 14) in a state where the first film 14 is unfolded. , Does not overlap with the second electrode 15b. Therefore, the second electrode 15b is not provided on the entire surface of the second main surface S2 of the first film 14. The first fixing member 16a and the second fixing member 16b are in contact with the second main surface S2 of the first film 14. As a result, the first fixing member 16a and the second fixing member 16b fix the first film 14 to the article 100.
  • the sensor 13d can more accurately detect the deformation of the string-shaped article 100. More specifically, the portion of the first film 14 that overlaps the first fixing member 16a and the second fixing member 16b when viewed in the vertical direction is fixed to the article 100. When the article 100 is bent, the portion of the first film 14 that overlaps the first fixing member 16a and the second fixing member 16b when viewed in the vertical direction is stretched or compressed in the left-right direction. Therefore, in the portion of the first film 14 that overlaps the first fixing member 16a and the second fixing member 16b when viewed in the vertical direction, the positive charge and the negative charge are likely to cancel each other out.
  • the first fixing member 16a and the second fixing member 16b are second when viewed in the vertical direction (normal direction of the first main surface S1 of the first film 14) in a state where the first film 14 is deployed. It does not overlap with the electrode 15b. As a result, the electric charge generated in the portion of the first film 14 that overlaps the first fixing member 16a and the second fixing member 16b when viewed in the vertical direction does not contribute to the generation of the detection signal. As a result, according to the sensor 13d, the sensor 13d can more accurately detect the deformation of the string-shaped article 100.
  • FIG. 12 is a cross-sectional view of the sensor 13e and the article 100.
  • 13 and 14 are graphs showing waveforms of the first detection signal and the second detection signal output by the sensors 13e-1 and 13e-2, respectively.
  • the vertical axis shows the voltage.
  • the horizontal axis shows time.
  • the solid line indicates the first detection signal.
  • the dotted line indicates the second detection signal.
  • the sensor 13e includes the sensors 13e-1 and 13e-2.
  • the sensors 13e-1 and 13e-2 are arranged so as to be arranged side by side on the article 100.
  • the distance between the sensor 13e-1 and the sensor 13e-2 is relatively small. Since the structures of the sensors 13e-1 and 13e-2 are the same as those of the sensor 13, the description thereof will be omitted.
  • the sensors 13e-1 and 13e-2 are connected to the signal processing unit 200.
  • the signal processing unit 200 detects the deformation of the article 100 based on the first detection signal and the second detection signal output by the sensors 13e-1 and 13e-2, respectively.
  • the signal processing unit 200 is realized by, for example, a CPU (Central Processing Unit).
  • the signal processing unit 200 can determine whether the article 100 is bent or the article 100 is impacted based on the first detection signal and the second detection signal. Specifically, when the article 100 is bent, the sensor 13e-1 and the sensor 13e-2 are also bent. The distance between the sensor 13e-1 and the sensor 13e-2 is relatively small. Therefore, the bending that occurs in the sensor 13e-1 and the bending that occurs in the sensor 13e-2 are similar. Therefore, as shown in FIG. 13, the first detection signal and the second detection signal have similar values.
  • the impact applied to the sensor 13e-1 becomes larger than the impact applied to the sensor 13e-2.
  • the deformation that occurs in the sensor 13e-1 and the deformation that occurs in the sensor 13e-2 are different. Therefore, as shown in FIG. 14, the first detection signal and the second detection signal take different values.
  • the signal processing unit 200 can determine whether the article 100 is bent or the article 100 is impacted based on the first detection signal and the second detection signal.
  • FIG. 15 is a cross-sectional view of the sensor 13f.
  • the sensor 13f is different from the sensor 13 in that the third fixing member 16c and the fourth fixing member 16d are further provided.
  • the first fixing member 16a, the second fixing member 16b, the third fixing member 16c, and the fourth fixing member 16d are arranged in this order in the left-right direction (extending direction).
  • the first fixing member 16a, the second fixing member 16b, the third fixing member 16c, and the fourth fixing member 16d are arranged at equal intervals in this order from left to right. Therefore, the second fixing member 16b is separated from the first fixing member 16a in the left-right direction (extending direction).
  • the third fixing member 16c is separated from the second fixing member 16b in the left-right direction (extending direction).
  • the fourth fixing member 16d is separated from the third fixing member 16c in the left-right direction (extending direction).
  • first fixing member 16a, the second fixing member 16b, the third fixing member 16c, and the fourth fixing member 16d fix the first film 14, the first electrode 15a, and the second electrode 15b to the article 100.
  • the four first fixing members 16a, the second fixing member 16b, the third fixing member 16c, and the fourth fixing member 16d fix the sensor 13f to the article 100 with a space between them in the left-right direction. is doing.
  • the sensor 13f long in the left-right direction can be fixed to the article 100. Therefore, the sensor 13f can detect deformation in a wider range of the article 100.
  • FIG. 16 is a development view of the sensor 13g and a cross-sectional view taken along the line AA.
  • the sensor 13g differs from the sensor 13 in that the first film 14 is a PVDF (polyvinylidene fluoride) film.
  • the orientation direction of the first film 14 is parallel to the left-right direction (extending direction) in the unfolded state of the first film 14. Since the other configurations of the sensor 13g are the same as the configurations of the sensor 13, the description thereof will be omitted.
  • the sensor 13g can detect the bending of the article 100. Further, the PVDF film has higher sensitivity than the PLLA film. Therefore, the sensor 13g has high sensitivity.
  • FIG. 17 is a development view of the sensor 13h and a cross-sectional view taken along the line AA.
  • the sensor 13h is different from the sensor 13g in the orientation direction of the first film 14.
  • the orientation direction of the first film 14 forms an angle of 45 degrees with respect to the left-right direction (extending direction) in the unfolded state of the first film 14, as shown in FIG. .. Since the other configurations of the sensor 13h are the same as the configurations of the sensor 13g, the description thereof will be omitted.
  • the sensor 13h can detect the twist of the article 100. Further, the PVDF film has higher sensitivity than the PLLA film. Therefore, the sensor 13h has high sensitivity.
  • the electronic device according to the present invention is not limited to the sensors 13, 13a to 13g, and can be changed within the scope of the gist thereof. Further, the configurations of the sensors 13, 13a to 13g may be arbitrarily combined.
  • the article 100 is not limited to the cable.
  • the article 100 may have a string shape. Therefore, the article 100 may be, for example, a tube or the like. Further, the shape of the cross section orthogonal to the extending direction of the article 100 is not limited to a circle, but may be a rectangular shape or the like.
  • the sensors 13, 13a to 13g are not limited to the piezoelectric sensor.
  • the sensors 13, 13a to 13g may be, for example, a strain sensor.
  • the first electrode 15a does not have to cover the entire surface of the first main surface S1.
  • the first electrode 15a does not have to cover the entire surface of the first main surface S1.
  • the second electrode 15b does not have to cover the entire surface of the second main surface S2.
  • the third electrode 55a does not have to cover the entire surface of the third main surface S3.
  • the fourth electrode 55b does not have to cover the entire surface of the fourth main surface S4.
  • the first fixing member 16a does not have to be in contact with the left end portion of the first film 14.
  • the second fixing member 16b does not have to be in contact with the right end portion of the first film 14.
  • the first fixing member 16a and the second fixing member 16b are left and right of the first film 14 when viewed in the vertical direction in a state where the first film 14 is deployed. It may overlap with the center in the direction.
  • the first electrode 15a may be a signal electrode.
  • the second electrode 15b may be a ground electrode.
  • the first electrode 15a is covered with a protective layer such as a resist.

Abstract

センサは、第1主面及び第2主面を有する第1フィルムであって、第1フィルムの変形量に応じた電荷を発生する第1フィルムと、第1主面に設けられている第1電極と、第2主面に設けられている第2電極と、第1フィルム、第1電極及び第2電極を物品に固定する第1固定部材及び第2固定部材と、を備えている。第1フィルムは、物品の周面を半周以上している。第2電極は、第1電極より物品の近くに位置している。第1固定部材は、物品が延びる延在方向に第2固定部材から離れている。

Description

センサ
 本発明は、ひも状の物品の変形を検出するセンサに関する。
 従来のセンサに関する発明としては、例えば、特許文献1に記載の把持検知センサが知られている。この把持検知センサは、圧電フィルム、第1電極及び第2電極を備えている。圧電フィルムは、長い帯形状を有している。圧電フィルムは、第1主面及び第2主面を有している。第1電極は、圧電フィルムの第1主面に設けられている。第2電極は、圧電フィルムの第2主面に設けられている。把持検知センサは、チューブの周面にらせん状に巻きつけられている。これにより、チューブが曲げられると、圧電フィルムが変形する。その結果、第1電極及び第2電極から圧電フィルムの変形に応じた信号が出力される。
国際公開第2018/173429号
 ところで、特許文献1の把持検知センサでは、チューブの変形を精度よく検知できない場合がある。例えば、チューブが曲がるように変形すると、圧電フィルムにおいてチューブより外周側に位置する部分は、引っ張り応力により伸張するように変形する。このとき、圧電フィルムにおいてチューブより外周側に位置する部分では、例えば、正の電荷が発生する。一方、圧電フィルムにおいてチューブより内周側に位置する部分は、圧縮応力により圧縮されるように変形する。このとき、圧電フィルムにおいてチューブより内周側に位置する部分では、例えば、負の電荷が発生する。その結果、圧電フィルムで発生した電荷が相殺される。その結果、特許文献1の把持検知センサは、チューブの変形を精度よく検知できない場合がある。
 そこで、本発明の目的は、ひも状の物品の変形を検出できるセンサを提供することである。
 本発明の一形態に係るセンサは、
 ひも状の物品の変形を検出するセンサであって、
 第1主面及び第2主面を有する第1フィルムであって、第1フィルムの変形量に応じた電荷を発生する第1フィルムと、
 前記第1主面に設けられている第1電極と、
 前記第2主面に設けられている第2電極と、
 前記第1フィルム、前記第1電極及び前記第2電極を前記物品に固定する第1固定部材及び第2固定部材と、
 を備えており、
 前記第1フィルムは、前記物品の周面を半周以上しており、
 前記第2電極は、前記第1電極より前記物品の近くに位置しており、
 前記第1固定部材は、前記物品が延びる延在方向に前記第2固定部材から離れている。
 本明細書において、前後方向に延びる軸や部材は、必ずしも前後方向と平行である軸や部材だけを示すものではない。前後方向に延びる軸や部材とは、前後方向に対して±45°の範囲で傾斜している軸や部材のことである。同様に、上下方向に延びる軸や部材とは、上下方向に対して±45°の範囲で傾斜している軸や部材のことである。左右方向に延びる軸や部材とは、左右方向に対して±45°の範囲で傾斜している軸や部材のことである。
 以下では、第1部材、第2部材及び第3部材とは、センサが備えている構造物である。本明細書において、第1部材が第2部材に支持されているとは、第1部材が第2部材に対して移動不可能に第2部材に取り付けられている(すなわち、固定又は保持されている)場合、及び、第1部材が第2部材に対して移動可能に第2部材に取り付けられている場合を含む。また、第1部材が第2部材に支持されているとは、第1部材が第2部材に直接に取り付けられている場合、及び、第1部材が第3部材を介して第2部材に取り付けられている場合の両方を含む。
 本明細書において、前後方向に並ぶ第1部材及び第2部材とは、以下の状態を示す。前後方向に垂直な方向に第1部材及び第2部材を見たときに、第1部材及び第2部材の両方が前後方向を示す任意の直線上に配置されている状態である。本明細書において、上下方向に見たときに前後方向に並ぶ第1部材及び第2部材とは、以下の状態を示す。上下方向に第1部材及び第2部材を見たときに、第1部材及び第2部材の両方が前後方向を示す任意の直線上に配置されている。この場合、上下方向とは異なる左右方向から第1部材及び第2部材を見ると、第1部材及び第2部材のいずれか一方が前後方向を示す任意の直線上に配置されていなくてもよい。なお、第1部材と第2部材とが接触していてもよい。第1部材と第2部材とが離れていてもよい。第1部材と第2部材との間に第3部材が存在していてもよい。この定義は、前後方向以外の方向にも適用される。
 本明細書において、第1部材が第2部材の前に配置されるとは、以下の状態を指す。第1部材の一部は、第2部材が前方向に平行移動するときに通過する領域内に配置されている。よって、第1部材は、第2部材が前方向に平行移動するときに通過する領域内に収まっていてもよいし、第2部材が前方向に平行移動するときに通過する領域から突出していてもよい。この場合、第1部材及び第2部材は、前後方向に並んでいる。この定義は、前後方向以外の方向にも適用される。
 本明細書において、左右方向に見たときに、第1部材が第2部材の前に配置されるとは、以下の状態を指す。左右方向に見たときに、第1部材と第2部材が前後方向に並んでおり、かつ、左右方向に見たときに、第1部材の第2部材と対向する部分が、第2部材の前に配置される。この定義において、第1部材と第2部材は、3次元では、前後方向に並んでいなくてもよい。この定義は、前後方向以外の方向も適用される。
 本明細書において、第1部材が第2部材より前に配置されるとは、以下の状態を指す。
第1部材は、第2部材の前端を通り前後方向に直交する平面の前に配置される。この場合、第1部材及び第2部材は、前後方向に並んでいてもよく、並んでいなくてもよい。この定義は、前後方向以外の方向にも適用される。
 本明細書において、特に断りのない場合には、第1部材の各部について以下のように定義する。第1部材の前部とは、第1部材の前半分を意味する。第1部材の後部とは、第1部材の後半分を意味する。第1部材の左部とは、第1部材の左半分を意味する。第1部材の右部とは、第1部材の右半分を意味する。第1部材の上部とは、第1部材の上半分を意味する。第1部材の下部とは、第1部材の下半分を意味する。第1部材の前端とは、第1部材の前方向の端を意味する。第1部材の後端とは、第1部材の後方向の端を意味する。第1部材の左端とは、第1部材の左方向の端を意味する。第1部材の右端とは、第1部材の右方向の端を意味する。第1部材の上端とは、第1部材の上方向の端を意味する。第1部材の下端とは、第1部材の下方向の端を意味する。第1部材の前端部とは、第1部材の前端及びその近傍を意味する。第1部材の後端部とは、第1部材の後端及びその近傍を意味する。第1部材の左端部とは、第1部材の左端及びその近傍を意味する。第1部材の右端部とは、第1部材の右端及びその近傍を意味する。第1部材の上端部とは、第1部材の上端及びその近傍を意味する。第1部材の下端部とは、第1部材の下端及びその近傍を意味する。
 本明細書において、第1部材と第2部材とが電気的に接続されているとは、以下の2通りの意味を含む。第1の意味は、第1部材と第2部材とが物理的に接触することによって、第1部材と第2部材とに直流電流が流れることができることである。第2の意味は、第1部材と第3部材とが物理的に接触し、かつ、第3部材と第2部材とが物理的に接触することによって、第1部材と第2部材とに直流電流が流れることができることである。第2の意味では、第1部材と第2部材とは物理的に接触していてもよいし、接触していなくてもよい。第2の意味では、第3部材は、単一の部材であってもよいし、複数の部材を含んでいてもよい。
 本発明に係るセンサによれば、センサがひも状の物品の変形を検出できる。
図1は、センサ13の展開図及びA-Aにおける断面図である。 図2は、センサ13が物品100に取り付けられた状態の斜視図である。 図3は、図2のB-Bにおける断面図である。 図4は、物品100が曲げられたときの断面図である。 図5は、物品100が曲げられた状態でのセンサ13及び物品100の斜視図である。 図6は、物品100が曲げられた様態での比較例に係るセンサ113及び物品100の斜視図である。 図7は、センサ13aの展開図及びA-Aにおける断面図である。 図8は、センサ13bの展開図及びA-Aにおける断面図である。 図9は、センサ13b及び物品100の断面図である。 図10は、センサ13cの展開図及びA-Aにおける断面図である。 図11は、センサ13d及び物品100の断面図である。 図12は、センサ13e及び物品100の断面図である。 図13は、センサ13e-1,13e-2のそれぞれが出力する第1検出信号及び第2検出信号の波形を示したグラフである。 図14は、センサ13e-1,13e-2のそれぞれが出力する第1検出信号及び第2検出信号の波形を示したグラフである。 図15は、センサ13f及び物品100の断面図である。 図16は、センサ13gの展開図及びA-Aにおける断面図である。 図17は、センサ13hの展開図及びA-Aにおける断面図である。
(実施形態)
 以下に、本発明の一実施形態に係るセンサ13の構成について図面を参照しながら説明する。図1は、センサ13の展開図及びA-Aにおける断面図である。図2は、センサ13が物品100に取り付けられた状態の斜視図である。図3は、図2のB-Bにおける断面図である。
 また、本明細書において、方向を以下のように定義する。展開状態のセンサ13において、第1フィルム14の法線方向を上下方向と定義する。第1フィルム14の長辺が延びる方向を前後方向と定義する。第1フィルム14の短辺が延びる方向を左右方向と定義する。上下方向、左右方向及び前後方向は、互いに直交している。なお、本明細書における方向の定義は、一例である。従って、センサ13の実使用時における方向と本明細書における方向とが一致している必要はない。また、図1において上下方向が反転してもよい。同様に、図1において左右方向が反転してもよい。図1において前後方向が反転してもよい。
 センサ13は、ひも状の物品100の変形を検出する。ひも状は、長く可撓性を有する形状である。本実施形態では、物品100は、図2に示すように、信号線を含んでいるケーブルである。物品100が延びる方向を延在方向と呼ぶ。延在方向は、図2に示すように、左右方向と一致している。また、物品100の周面は、物品100の中心線を囲む面である。
 センサ13は、物品100の変形に応じた検出信号を出力する。物品100の変形は、例えば、物品100の曲げ、物品100のねじりである。物品100の曲げとは、物品100の中心軸線が直線から曲線に変形させられることである。物品100のねじりとは、物品100の中心軸線が変形させられずに、物品100の中心軸線周りに物品100が変形させられることである。本実施形態では、物品100の変形は、物品100の曲げである。センサ13は、図1に示すように、第1フィルム14、第1電極15a、第2電極15b、第1固定部材16a及び第2固定部材16bを備えている。
 第1フィルム14は、図1に示すように、シート形状を有している。従って、第1フィルム14は、第1主面S1及び第2主面S2を有している。第1主面S1は、上主面である。第2主面S2は、下主面である。第1フィルム14は、上下方向に見て、長方形状を有している。第1フィルム14の長辺は、前後方向に延びている。第1フィルム14の短辺は、左右方向に延びている。第1フィルム14は、第1フィルム14の変形量に応じた電荷を発生する。第1フィルム14は、圧電フィルムである。本実施形態では、第1フィルム14は、PLLAフィルムである。以下に、第1フィルム14についてより詳細に説明する。
 第1フィルム14は、キラル高分子から形成されるフィルムである。キラル高分子とは、例えば、ポリ乳酸(PLA)、特にL型ポリ乳酸(PLLA)である。キラル高分子からなるPLLAは、主鎖が螺旋構造を有する。PLLAは、一軸延伸されて分子が配向すると圧電性を有する。そして、第1フィルム14は、第1フィルム14が左右方向に伸張されること又は左右方向に圧縮されることにより、電荷を発生する。第1フィルム14は、左右方向に伸張されると、例えば、正の電荷を発生する。第1フィルム14は、左右方向に圧縮されると、例えば、負の電荷を発生する。電荷の大きさは、引っ張り又は圧縮による第1フィルム14の変形量に依存する。より正確には、電荷の大きさは、引っ張り又は圧縮による第1フィルム14の変形量の微分値に依存する。そこで、第1フィルム14の一軸延伸方向(配向方向)は、前後方向及び左右方向のそれぞれに対して45度の角度を形成している。従って、第1フィルム14の一軸延伸方向(配向方向)は、第1フィルム14が展開された状態において、左右方向(延在方向)に対して45度の角度を形成している。この45度は、例えば、45度±10度程度を含む角度を含む。
 第1電極15aは、グランド電極である。第1電極15aは、グランド電位に接続される。第1電極15aは、図1に示すように、第1主面S1に設けられている。本実施形態では、第1電極15aは、第1主面S1の全面を覆っている。従って、第1電極15aは、上下方向に見て、長方形状を有している。第1電極15aの材料は、例えば、PEDOTのような導電性高分子である。
 第2電極15bは、信号電極である。第2電極15bから検出信号が出力される。第2電極15bは、図1に示すように、第2主面S2に設けられている。これにより、第1フィルム14は、第1電極15aと第2電極15bとの間に位置している。本実施形態では、第2電極15bは、第2主面S2の全面を覆っている。従って、第2電極15bは、上下方向に見て、長方形状を有している。第2電極15bの材料は、例えば、PEDOTのような導電性高分子である。
 第1固定部材16a及び第2固定部材16bは、図3に示すように、第1フィルム14、第1電極15a及び第2電極15bを物品100に固定する。第1固定部材16a及び第2固定部材16bは、図1に示すように、第2電極15bの下面に設けられている。より詳細には、第1フィルム14は、左右方向(延在方向)において左端部(第1端部)及び右端部(第2端部)を有している。第1フィルム14の左端部は、第1フィルム14の左の長辺(以下、左長辺)である。第1フィルム14の右端部は、第1フィルム14の右の長辺(以下、右長辺)である。第1固定部材16aは、第1フィルム14の左長辺(第1端部)に接している。第1固定部材16aは、第1フィルム14の左長辺の全体に沿って前後方向に延びている。第2固定部材16bは、第1フィルム14の右長辺(第2端部)に接している。第2固定部材16bは、第1フィルム14の右長辺の全体に沿って前後方向に延びている。従って、第1固定部材16aは、第2固定部材16bの左に位置している。第1固定部材16a及び第2固定部材16bの材料は、例えば、アクリル系の粘着剤である。
 また、第1固定部材16aは、左右方向(延在方向)に第2固定部材16bから離れている。本実施形態では、第1固定部材16a及び第2固定部材16bは、第1フィルム14が展開された状態において、上下方向(第1フィルム14の第1主面S1の法線方向)に見て、第1フィルム14の左右方向(延在方向)における中央と重なっていない。
 ここで、センサ13が物品100に固定される態様について説明する。第1フィルム14は、物品100の周面を半周以上している。本実施形態では、第1フィルム14は、図2に示すように、物品100の周面を1周することにより、円筒形状を有している。第1電極15a及び第2電極15bも、物品100の周面を1周することにより、円筒形状を有している。このとき、第1主面S1は、第1フィルム14が形成する円筒形状の外周面である。第2主面S2は、第1フィルム14が形成する円筒形状の内周面である。第1電極15aは、第1主面S1に設けられている。第2電極15bは、第2主面S2に設けられている。そのため、第2電極15bは、第1電極15aより物品100の近くに位置している。
 第1固定部材16aは、左右方向に見て、円環形状を有する。第1固定部材16aは、物品100と第2電極15bとの間に位置している。これにより、第1固定部材16aは、物品100に第2電極15bを固定している。
 第2固定部材16bは、左右方向に見て、円環形状を有する。第2固定部材16bは、物品100と第2電極15bとの間に位置している。これにより、第2固定部材16bは、物品100に第2電極15bを固定している。
 第2電極15bにおいて第1固定部材16a及び第2固定部材16bが設けられていない部分は、物品100に固定されていない。そのため、図3に示すように、第2電極15bにおいて第1固定部材16a及び第2固定部材16bが設けられていない部分と物品100との間には隙間が存在している。これにより、センサ13において第1固定部材16a及び第2固定部材16bが設けられていない部分は、物品100に固定されていない。なお、第2電極15bにおいて第1固定部材16a及び第2固定部材16bが設けられていない部分は、上下方向に見て、第2電極15bにおいて第1固定部材16aと第2固定部材16bとの間に位置する部分である。
[効果]
 センサ13によれば、センサ13がひも状の物品100の変形を検出できる。図4は、物品100が曲げられたときの断面図である。物品100が曲げられると、第1フィルム14において物品100より外周側に位置する部分は、引っ張り応力により左右方向に伸張される。一方、第1フィルム14において物品100より内周側に位置する部分は、圧縮応力により左右方向に圧縮される。ただし、第1固定部材16aは、左右方向(延在方向)に第2固定部材16bから離れている。これにより、第2電極15bにおいて第1固定部材16a及び第2固定部材16bが設けられていない部分は、物品100に固定されていない。そのため、第1フィルム14において物品100より内周側に位置する部分は、図4に示すように、大きく圧縮されずに撓む。これにより、第1フィルム14において物品100より内周側に位置する部分が発生する電荷量が低減される。その結果、第1フィルム14において物品100より外周側に位置する部分が発生した電荷が、第1フィルム14において物品100より内周側に位置する部分が発生する逆極性の電荷により相殺されることが低減される。よって、センサ13は、十分な電圧を有する検出信号を出力することができる。以上より、センサ13によれば、センサ13がひも状の物品100の変形を検出できる。
 センサ13によれば、センサ13がひも状の物品100の変形をより精度よく検知できる。より詳細には、第1固定部材16aは、第1フィルム14の左端部に接している。第2固定部材16bは、第1フィルム14の右端部に接している。従って、物品100が変形すると、第1フィルム14の左端部が左に引っ張られ、第1フィルム14の右端部が右に引っ張られる。これにより、第1フィルム14の全体が変形する。よって、第1フィルム14の変形量が大きくなる。その結果、センサ13が出力する検出信号の電圧が大きくなる。以上より、センサ13によれば、センサ13がひも状の物品100の変形をより精度よく検知できる。
 センサ13によれば、センサ13がひも状の物品100の変形をより精度よく検知できる。より詳細には、物品100が曲げられたときに第1フィルム14において最も圧縮される部分は、第1フィルム14の左右方向における中央である。すなわち、第1フィルム14の左右方向における中央において正の電荷及び負の電荷が最も発生する。従って、検出信号の電圧を大きくするためには、第1フィルム14の左右方向における中央における圧縮を抑制することが好ましい。そこで、第1固定部材16a及び第2固定部材16bは、第1フィルム14が展開された状態において、上下方向に見て、第1フィルム14の左右方向における中央と重なっていない。よって、第1フィルム14の左右方向における中央は、物品100に固定されていない。その結果、第1フィルム14の左右方向における中央が圧縮されることが抑制される。以上より、センサ13が出力する検出信号の電圧が大きくなる。すなわち、センサ13によれば、センサ13がひも状の物品100の変形をより精度よく検知できる。
 センサ13によれば、センサ13が出力する検出信号にノイズが含まれることが低減される。より詳細には、第2電極15bは、第1電極15aより物品100の近くに位置している。第1電極15aは、グランド電極である。第2電極15bは、信号電極である。従って、信号電極である第2電極15bは、グランド電極である第1電極15aに覆われる。これにより、ノイズは、グランド電極である第1電極15aにおいてシールドされる。すなわち、ノイズが信号電極である第2電極15bに到達することが抑制される。その結果、センサ13によれば、センサ13が出力する検出信号にノイズが含まれることが低減される。なお、同じ理由により、センサ13から不要輻射が発生することが抑制される。
 センサ13によれば、センサ13が複数方向の物品100の曲げを検出できる。図5は、物品100が曲げられた状態でのセンサ13及び物品100の斜視図である。図6は、物品100が曲げられた様態での比較例に係るセンサ113及び物品100の斜視図である。
 図6に示す比較例に係るセンサ113の第1フィルム114は、物品100の周方向の一部に設けられている。この場合、センサ113の第1フィルム114が物品100の曲げ方向と直交する面(例えば、紙面手前の面)に設けられると、センサ113の第1フィルム114の変形量が小さくなる。そのため、センサ113は、物品100の曲げを検出することが困難である場合がある。
 そこで、センサ13では、図5に示すように、第1フィルム14は、物品100の周面を1周することにより、円筒形状を有している。これにより、センサ13がいずれの方向に曲げられたときでも、第1フィルム14が十分に変形するようになる。よって、センサ13によれば、センサ13が複数方向の物品100の曲げを検出できる。
 以上のようなセンサ13は、例えば、ロボットアームの関節部に配置されている電気ケーブルの変形を検知するために用いられる。ただし、センサ13の用途は、これに限らない。
(第1の変形例)
 次に、第1の変形例に係るセンサ13aについて図面を参照しながら説明する。図7は、センサ13aの展開図及びA-Aにおける断面図である。
 センサ13aは、第1フィルム14の配向方向においてセンサ13と相違する。センサ13aでは、第1フィルム14の配向方向は、第1フィルム14が展開された状態において、左右方向(延在方向)と平行である。この平行は、例えば、平行から±10度程度ずれた角度を含む。なお、センサ13aのその他の構成は、センサ13と同じであるので説明を省略する。このようなセンサ13aによれば、センサ13aが物品100のねじりを検出することができる。
(第2の変形例)
 次に、第2の変形例に係るセンサ13bについて図面を参照しながら説明する。図8は、センサ13bの展開図及びA-Aにおける断面図である。図9は、センサ13b及び物品100の断面図である。
 センサ13bは、第2フィルム54、第3電極55a、第4電極55b及び固定部材60を更に備えている点においてセンサ13と相違する。以下に、この相違点を中心にセンサ13bについて説明する。
 センサ13bの第1フィルム14、第1電極15a、第2電極15b、第1固定部材16a及び第2固定部材16bは、センサ13の第1フィルム14、第1電極15a、第2電極15b、第1固定部材16a及び第2固定部材16bと同じであるので説明を省略する。
 第2フィルム54は、図8に示すように、シート形状を有している。従って、第2フィルム54は、第3主面S3及び第4主面S4を有している。第3主面S3は、上主面である。第4主面S4は、下主面である。第2フィルム54は、上下方向に見て、長方形状を有している。第2フィルム54の長辺は、前後方向に延びている。第2フィルム54の短辺は、左右方向に延びている。第2フィルム54の外縁は、上下方向に見て、第1フィルム14の外縁と一致している。第2フィルム54は、第2フィルム54の変形量に応じた電荷を発生する。第2フィルム54は、圧電フィルムである。本実施形態では、第2フィルム54は、PLLAフィルムである。
 第2フィルム54の一軸延伸方向(配向方向)は、第2フィルム54が展開された状態において、左右方向(延在方向)と平行である。これにより、第2フィルム54は、第2フィルム54が前後方向及び左右方向に45度をなす方向に伸張されること又は前後方向及び左右方向に45度をなす方向に圧縮されることにより、電荷を発生する。第1フィルム14は、前後方向及び左右方向に45度をなす方向に伸張されると、例えば、正の電荷を発生する。第1フィルム14は、前後方向及び左右方向に45度をなす方向に圧縮されると、例えば、負の電荷を発生する。電荷の大きさは、伸張又は圧縮による第1フィルム14の変形量に依存する。より正確には、電荷の大きさは、伸張又は圧縮による第1フィルム14の変形量の微分値に依存する。
 第3電極55aは、グランド電極である。第3電極55aは、グランド電位に接続される。第3電極55aは、図8に示すように、第3主面S3に設けられている。本実施形態では、第3電極55aは、第3主面S3の全面を覆っている。従って、第3電極55aは、上下方向に見て、長方形状を有している。第3電極55aの材料は、例えば、PEDOTのような導電性高分子である。
 第4電極55bは、信号電極である。第4電極55bから検出信号が出力される。第4電極55bは、図8に示すように、第4主面S4に設けられている。これにより、第2フィルム54は、第3電極55aと第4電極55bとの間に位置している。本実施形態では、第4電極55bは、第4主面S4の全面を覆っている。従って、第4電極55bは、上下方向に見て、長方形状を有している。第4電極55bの材料は、例えば、PEDOTのような導電性高分子である。
 固定部材60は、第4電極55bと第1電極15aとを接着している。これにより、第1フィルム14と第2フィルム54とが重なっている。固定部材60の材料は、例えば、アクリル系の粘着剤である。
 また、第2フィルム54は、図9に示すように、第1電極15aの周面を1周することにより、円筒形状を有している。このとき、第4電極55bは、第3電極55aより物品100の近くに位置している。
 センサ13bによれば、センサ13bがひも状の物品100の曲げ及びねじりを検出することができる。
(第3の変形例)
 次に、第3の変形例に係るセンサ13cについて図面を参照しながら説明する。図10は、センサ13cの展開図及びA-Aにおける断面図である。
 センサ13cは、第1フィルム14の配向方向及び第2フィルム54の配向方向においてセンサ13bと相違する。具体的には、センサ13cでは、第1フィルム14の配向方向は、第1フィルム14が展開された状態において、左右方向(延在方向)と平行である。第2フィルム54の配向方向は、第2フィルム54が展開された状態において、左右方向(延在方向)に対して45度の角度を形成している。センサ13cのその他の構成は、センサ13bと同じであるので説明を省略する。
 センサ13cによれば、センサ13cがひも状の物品100の曲げ及びねじりを検出することができる。
(第4の変形例)
 次に、第4の変形例に係るセンサ13dについて図面を参照しながら説明する。図11は、センサ13d及び物品100の断面図である。
 センサ13dは、第1固定部材16a、第2固定部材16b及び第2電極15bの構造においてセンサ13と相違する。より詳細には、第1固定部材16a及び第2固定部材16bは、第1フィルム14が展開された状態において、上下方向(第1フィルム14の第1主面S1の法線方向)に見て、第2電極15bと重なっていない。従って、第2電極15bは、第1フィルム14の第2主面S2の全面には設けられていない。第1固定部材16a及び第2固定部材16bは、第1フィルム14の第2主面S2に接触している。これにより、第1固定部材16a及び第2固定部材16bは、第1フィルム14を物品100に固定している。
 センサ13dによれば、センサ13dがひも状の物品100の変形をより精度よく検知できる。より詳細には、第1フィルム14において上下方向に見て第1固定部材16a及び第2固定部材16bと重なる部分は、物品100に固定されている。物品100が曲げられると、第1フィルム14において上下方向に見て第1固定部材16a及び第2固定部材16bと重なる部分は、左右方向に伸張又は圧縮される。そのため、第1フィルム14において上下方向に見て第1固定部材16a及び第2固定部材16bと重なる部分では、正の電荷と負の電荷とが相殺されやすい。そこで、第1固定部材16a及び第2固定部材16bは、第1フィルム14が展開された状態において、上下方向(第1フィルム14の第1主面S1の法線方向)に見て、第2電極15bと重なっていない。これにより、第1フィルム14において上下方向に見て第1固定部材16a及び第2固定部材16bと重なる部分に発生する電荷は、検出信号の生成に寄与しなくなる。その結果、センサ13dによれば、センサ13dがひも状の物品100の変形をより精度よく検知できる。
(第5の変形例)
 次に、第5の変形例に係るセンサ13eについて図面を参照しながら説明する。図12は、センサ13e及び物品100の断面図である。図13及び図14は、センサ13e-1,13e-2のそれぞれが出力する第1検出信号及び第2検出信号の波形を示したグラフである。縦軸は電圧を示す。横軸は時間を示す。実線は第1検出信号を示す。点線は第2検出信号を示す。
 センサ13eは、センサ13e-1,13e-2を含んでいる。センサ13e-1,13e-2は、物品100に左右に並ぶように配置されている。センサ13e-1とセンサ13e-2との間隔は、比較的に小さい。センサ13e-1,13e-2の構造は、センサ13と同じであるので説明を省略する。
 センサ13e-1,13e-2は、信号処理部200に接続されている。信号処理部200は、センサ13e-1,13e-2のそれぞれが出力する第1検出信号及び第2検出信号に基づいて、物品100の変形を検知する。信号処理部200は、例えば、CPU(Central Processing Unit)により実現される。
 また、信号処理部200は、第1検出信号及び第2検出信号に基づいて、物品100に曲げが発生したのか、物品100に衝撃が加わったのかを判定することができる。具体的には、物品100に曲げが生じると、センサ13e-1及びセンサ13e-2にも曲げが生じる。センサ13e-1とセンサ13e-2との間隔は、比較的に小さい。そのため、センサ13e-1に生じる曲げとセンサ13e-2に生じる曲げとは似ている。従って、図13に示すように、第1検出信号及び第2検出信号は、似た値を取るようになる。
 一方、物品100に衝撃が加わると、例えば、センサ13e-1に加わる衝撃がセンサ13e-2に加わる衝撃より大きくなる。この場合、センサ13e-1に生じる変形とセンサ13e-2に生じる変形とは異なる。従って、図14に示すように、第1検出信号及び第2検出信号は、異なる値を取るようになる。
 そこで、信号処理部200は、第1検出信号及び第2検出信号に基づいて、物品100に曲げが発生したのか、物品100に衝撃が加わったのかを判定することができる。
(第6の変形例)
 次に、第6の変形例に係るセンサ13fについて図面を参照しながら説明する。図15は、センサ13fの断面図である。
 センサ13fは、第3固定部材16c及び第4固定部材16dを更に備えている点においてセンサ13と相違する。第1固定部材16a、第2固定部材16b、第3固定部材16c及び第4固定部材16dは、左右方向(延在方向)にこの順に並んでいる。本実施形態では、第1固定部材16a、第2固定部材16b、第3固定部材16c及び第4固定部材16dは、左から右へとこの順に等間隔に並んでいる。従って、第2固定部材16bは、左右方向(延在方向)に第1固定部材16aから離れている。第3固定部材16cは、左右方向(延在方向)に第2固定部材16bから離れている。第4固定部材16dは、左右方向(延在方向)に第3固定部材16cから離れている。
 また、第1固定部材16a、第2固定部材16b、第3固定部材16c及び第4固定部材16dは、第1フィルム14、第1電極15a及び第2電極15bを物品100に固定する。
 センサ13fによれば、4個の第1固定部材16a、第2固定部材16b、第3固定部材16c及び第4固定部材16dは、左右方向に間隔を開けた状態でセンサ13fを物品100に固定している。これにより、左右方向に長いセンサ13fが物品100に固定されることができる。そのため、センサ13fは、物品100のより広い範囲の変形を検知できる。
(第7の変形例)
 次に、第7の変形例に係るセンサ13gについて図面を参照しながら説明する。図16は、センサ13gの展開図及びA-Aにおける断面図である。
 センサ13gは、第1フィルム14がPVDF(ポリフッ化ビニリデン)フィルムである点においてセンサ13と相違する。この場合、第1フィルム14の配向方向は、図16に示すように、第1フィルム14が展開された状態において、左右方向(延在方向)と平行である。なお、センサ13gのその他の構成は、センサ13の構成と同じであるので説明を省略する。
 センサ13gによれば、センサ13gが物品100の曲げを検知することができる。また、PVDFフィルムは、PLLAフィルムに比べて高い感度を有する。従って、センサ13gは、高い感度を有する。
(第8の変形例)
 次に、第8の変形例に係るセンサ13hについて図面を参照しながら説明する。図17は、センサ13hの展開図及びA-Aにおける断面図である。
 センサ13hは、第1フィルム14の配向方向においてセンサ13gと相違する。センサ13hでは、第1フィルム14の配向方向は、図17に示すように、第1フィルム14が展開された状態において、左右方向(延在方向)に対して45度の角度を形成している。なお、センサ13hのその他の構成は、センサ13gの構成と同じであるので説明を省略する。
 センサ13hによれば、センサ13hが物品100のねじりを検知することができる。また、PVDFフィルムは、PLLAフィルムに比べて高い感度を有する。従って、センサ13hは、高い感度を有する。
(その他の実施形態)
 本発明に係る電子機器は、センサ13,13a~13gに限らず、その要旨の範囲において変更可能である。また、センサ13,13a~13gの構成を任意に組み合わせてもよい。
 なお、物品100は、ケーブルに限らない。物品100は、ひも状を有していればよい。従って、物品100は、例えば、チューブ等でもよい。また、物品100の延在方向に直交する断面の形状は、円形に限らず、矩形状等であってもよい。
 なお、センサ13,13a~13gは、圧電センサに限らない。センサ13,13a~13gは、例えば、ひずみセンサであってもよい。
 なお、センサ13,13a~13gにおいて、第1電極15aは、第1主面S1の全面を覆っていなくてもよい。
 なお、センサ13b,13cにおいて、第1電極15aは、第1主面S1の全面を覆っていなくてもよい。第2電極15bは、第2主面S2の全面を覆っていなくてもよい。第3電極55aは、第3主面S3の全面を覆っていなくてもよい。第4電極55bは、第4主面S4の全面を覆っていなくてもよい。
 なお、センサ13,13a~13e,13g,13hにおいて、第1固定部材16aは、第1フィルム14の左端部に接していなくてもよい。第2固定部材16bは、第1フィルム14の右端部に接していなくてもよい。
 なお、センサ13,13a~13e,13g,13hにおいて、第1固定部材16a及び第2固定部材16bは、第1フィルム14が展開された状態において、上下方向に見て、第1フィルム14の左右方向における中央と重なっていてもよい。
 なお、センサ13,13a~13e,13g,13hにおいて、第1電極15aは、信号電極であってもよい。第2電極15bは、グランド電極であってもよい。ただし、第1電極15aは、レジスト等の保護層により覆われていることが好ましい。
13,13a~13h,13e-1,13e-2:センサ
14:第1フィルム
15a:第1電極
15b:第2電極
16a:第1固定部材
16b:第2固定部材
16c:第3固定部材
16d:第4固定部材
54:第2フィルム
55a:第3電極
55b:第4電極
60:固定部材
100:物品
200:信号処理部
S1:第1主面
S2:第2主面
S3:第3主面
S4:第4主面

Claims (16)

  1.  ひも状の物品の変形を検出するセンサであって、
     第1主面及び第2主面を有する第1フィルムであって、第1フィルムの変形量に応じた電荷を発生する第1フィルムと、
     前記第1主面に設けられている第1電極と、
     前記第2主面に設けられている第2電極と、
     前記第1フィルム、前記第1電極及び前記第2電極を前記物品に固定する第1固定部材及び第2固定部材と、
     を備えており、
     前記第1フィルムは、前記物品の周面を半周以上しており、
     前記第2電極は、前記第1電極より前記物品の近くに位置しており、
     前記第1固定部材は、前記物品が延びる延在方向に前記第2固定部材から離れている、
     センサ。
  2.  前記第1フィルムは、前記物品の周面を1周することにより、円筒形状を有している、
     請求項1に記載のセンサ。
  3.  前記第1フィルムは、圧電フィルムである、
     請求項1又は請求項2のいずれかに記載のセンサ。
  4.  前記第1フィルムは、PLLAフィルムである、
     請求項3に記載のセンサ。
  5.  前記第1フィルムの配向方向は、前記第1フィルムが展開された状態において、前記延在方向に対して45度の角度を形成している、
     請求項4に記載のセンサ。
  6.  前記センサは、
     第3主面及び第4主面を有する第2フィルムであって、第2フィルムの変形量に応じた電荷を発生する第2フィルムと、
     前記第3主面に設けられている第3電極と、
     前記第4主面に設けられている第4電極と、
     を更に備えており、
     前記第2フィルムは、PLLAフィルムであり、
     前記第2フィルムは、前記第1電極の周面を1周することにより、円筒形状を有しており、
     前記第4電極は、前記第3電極より前記物品の近くに位置しており、
     前記第2フィルムの配向方向は、前記第2フィルムが展開された状態において、前記延在方向と平行である、
     請求項5に記載のセンサ。
  7.  前記第1フィルムの配向方向は、前記第1フィルムが展開された状態において、前記延在方向と平行である、
     請求項4に記載のセンサ。
  8.  前記センサは、
     第3主面及び第4主面を有する第2フィルムであって、第2フィルムの変形量に応じた電荷を発生する第2フィルムと、
     前記第3主面に設けられている第3電極と、
     前記第4主面に設けられている第4電極と、
     を更に備えており、
     前記第2フィルムは、PLLAフィルムであり、
     前記第2フィルムは、前記第1電極の周面を1周することにより、円筒形状を有しており、
     前記第4電極は、前記第3電極より前記物品の近くに位置しており、
     前記第2フィルムの配向方向は、前記第2フィルムが展開された状態において、前記延在方向に対して45度の角度を形成している、
     請求項7に記載のセンサ。
  9.  前記第1フィルムは、PVDFフィルムである、
     請求項3に記載のセンサ。
  10.  前記第1フィルムの配向方向は、前記第1フィルムが展開された状態において、前記延在方向に対して45度の角度を形成している、
     請求項9に記載のセンサ。
  11.  前記第1フィルムの配向方向は、前記第1フィルムが展開された状態において、前記延在方向と平行である、
     請求項9に記載のセンサ。
  12.  前記第1フィルムは、前記延在方向において第1端部及び第2端部を有しており、
     前記第1固定部材は、前記第1端部に接しており、
     前記第2固定部材は、前記第2端部に接している、
     請求項1ないし請求項11のいずれかに記載のセンサ。
  13.  前記第1固定部材及び前記第2固定部材は、前記第1フィルムが展開された状態において、前記第1フィルムの前記第1主面の法線方向に見て、前記第1フィルムの前記延在方向における中央と重なっていない、
     請求項1ないし請求項12のいずれかに記載のセンサ。
  14.  前記第1固定部材及び前記第2固定部材は、前記第1フィルムが展開された状態において、前記第1フィルムの前記第1主面の法線方向に見て、前記第2電極と重なっていない、
     請求項1ないし請求項13のいずれかに記載のセンサ。
  15.  前記センサは、
     第3固定部材を、
     更に備えており、
     前記第1固定部材、前記第2固定部材及び前記第3固定部材は、前記延在方向にこの順に並んでおり、
     前記第3固定部材は、前記延在方向に前記第2固定部材から離れており、
     前記第3固定部材は、前記第1フィルム、前記第1電極及び前記第2電極を前記物品に固定する、
     請求項1ないし請求項11のいずれかに記載のセンサ。
  16.  前記第1電極は、グランド電極であり、
     前記第2電極は、信号電極である、
     請求項1ないし請求項15のいずれかに記載のセンサ。
PCT/JP2021/020273 2020-06-01 2021-05-27 センサ WO2021246293A1 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2022506800A JP7047996B1 (ja) 2020-06-01 2021-05-27 センサ
CN202180007839.6A CN114902025A (zh) 2020-06-01 2021-05-27 传感器
US17/839,744 US20220307926A1 (en) 2020-06-01 2022-06-14 Sensor

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020-095216 2020-06-01
JP2020095216 2020-06-01

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
US17/839,744 Continuation US20220307926A1 (en) 2020-06-01 2022-06-14 Sensor

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2021246293A1 true WO2021246293A1 (ja) 2021-12-09

Family

ID=78831114

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2021/020273 WO2021246293A1 (ja) 2020-06-01 2021-05-27 センサ

Country Status (4)

Country Link
US (1) US20220307926A1 (ja)
JP (1) JP7047996B1 (ja)
CN (1) CN114902025A (ja)
WO (1) WO2021246293A1 (ja)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5207230A (en) * 1992-02-06 1993-05-04 Bowers David L Spiral sensor
WO2012137897A1 (ja) * 2011-04-08 2012-10-11 株式会社村田製作所 変位センサ、変位検出装置、および操作デバイス
WO2018084155A1 (ja) * 2016-11-01 2018-05-11 株式会社村田製作所 変形検知装置及び把持部品
WO2018173429A1 (ja) * 2017-03-24 2018-09-27 株式会社村田製作所 把持検知センサ

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016027613A1 (ja) * 2014-08-18 2016-02-25 株式会社村田製作所 圧電フィルムの積層体、及び曲げ検出センサ
WO2016038951A1 (ja) * 2014-09-12 2016-03-17 株式会社村田製作所 保持状態検出装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5207230A (en) * 1992-02-06 1993-05-04 Bowers David L Spiral sensor
WO2012137897A1 (ja) * 2011-04-08 2012-10-11 株式会社村田製作所 変位センサ、変位検出装置、および操作デバイス
WO2018084155A1 (ja) * 2016-11-01 2018-05-11 株式会社村田製作所 変形検知装置及び把持部品
WO2018173429A1 (ja) * 2017-03-24 2018-09-27 株式会社村田製作所 把持検知センサ

Also Published As

Publication number Publication date
US20220307926A1 (en) 2022-09-29
JP7047996B1 (ja) 2022-04-05
CN114902025A (zh) 2022-08-12
JPWO2021246293A1 (ja) 2021-12-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10248232B2 (en) Press sensor and electronic device
US20150000419A1 (en) Sensor device, force detection device, and robot
JP6631761B2 (ja) 押圧センサ及び電子機器
JP4830592B2 (ja) 圧電発電装置
WO2021246293A1 (ja) センサ
JP2019023639A5 (ja)
JP4370618B2 (ja) ペダルモジュール
WO2020080322A1 (ja) 変位検出センサおよびフレキシブルデバイス
TWI818989B (zh) 轉矩感測器
JP5884456B2 (ja) 介在センサー、およびロボット
WO2022045228A1 (ja) 可変装置
WO2023171354A1 (ja) センサ
CN220960385U (en) Sensor module
US20240068795A1 (en) Sensor unit
US20240068796A1 (en) Sensor unit and sensor unit attachment method
WO2023223732A1 (ja) 変形検知センサ及び電子機器
JP2010002325A (ja) トルク検出装置及びパワーステアリング装置
JP6737426B1 (ja) 押圧センサの配置構造及び電子機器
WO2023176426A1 (ja) 変形検知センサ
WO2023153428A1 (ja) 電子機器
WO2016035277A1 (ja) 角速度センサ素子
US11930712B2 (en) Arrangement structure of press sensor and electronic device
WO2023153431A1 (ja) センサ
WO2024058104A1 (ja) ペン型電子機器
JP2008076122A (ja) 角度及び変位センサ

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 21817772

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2022506800

Country of ref document: JP

Kind code of ref document: A

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 21817772

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1