WO2021245343A1 - Dispositif électronique pour capture ou émission d'une grandeur physique et procédé de fabrication - Google Patents

Dispositif électronique pour capture ou émission d'une grandeur physique et procédé de fabrication Download PDF

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Frédéric Mayer
Frédéric MERCIER
Erwan Dornel
Ivan-Christophe Robin
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Aledia
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Definitions

  • the present invention relates to an electronic device for capturing or transmitting a physical quantity.
  • the invention also relates to a method of manufacturing an electronic device for capturing or transmitting a physical quantity.
  • the light elements constituting the screen In the field of light display screens, the light elements constituting the screen must be arranged in a matrix fashion. The precision necessary for the formation of such a matrix increases as the resolution expected for the screens increases. It is known to produce the light-emitting diodes which constitute the light-emitting elements on a first support, for example a silicon or sapphire wafer, and to transfer them to a second support intended to form an integral part of the screen. The electrical connections which make it possible to supply the light-emitting diodes thus transferred electrically are made at the level of the second support.
  • the electrical connection of the upper part of the light-emitting diodes and the electrical connection of their lower part remain difficult to achieve without risk of unintentional short-circuit, due to the distance between them which may be only a few tens of micrometers.
  • thermocompression method is often used to create an electrical connection between the light elements and the second medium.
  • a solution has performance that can be improved because it involves the use of a high temperature incompatible with the light conversion elements which can cover the light-emitting diodes of the light elements.
  • the sensors and the transmitters of parameters or physical quantities must be arranged in a matrix fashion.
  • the precision necessary for the formation of such a matrix increases as the resolution expected for the screens increases and the same problems as raised previously are highlighted.
  • the The high topography of the sensors or transmitters concerned makes their integration over large surfaces more complex.
  • the object of the present invention is to provide an electronic device and a manufacturing method making it possible to respond to all or part of the problems presented above.
  • one aim is to provide a solution meeting at least one of the following objectives: allowing the supply of an electronic device for capturing or transmitting a physical quantity limiting the risks of short-circuit; enable the supply of an electronic device for capturing or transmitting a physical quantity at a lower cost; limit the risk of damage to light conversion elements; allow the supply of an electronic device for capturing or transmitting a physical quantity having large dimensions; allow the supply of an electronic device for capturing or transmitting a physical quantity having high performance.
  • each active element having a thickness considered in a transverse direction oriented transversely to the lower support and each comprising a lower portion electrically connected to at least one of the lower conductive elements and an upper portion disposed on the side opposite to the lower support by with respect to the lower portion in the transverse direction, each active element comprising an active part capable of changing state when an external parameter external to said active part is applied to said active part;
  • each active element is electrically connected to at least one of the upper conductive elements and each active element externally defines, depending on the thickness, at least one side wall which extends laterally around the active element; at least a first electrically insulating element is arranged between at least a part of said at least one side wall of at least two adjacent active elements arranged side by side on the support surface of the lower support so as to electrically insulate the walls from each other lateral separated by the first electrically insulating element; the first electrically insulating element is arranged between at least one of the upper conductive elements and at least one of the lower conductive elements such that said at least one upper conductive element and said at least one lower conductive element separated by the first element electrically insulating are electrically isolated from each other.
  • At least one of the active elements comprises a control device capable of influencing at least one parameter associated with the active part of said active element.
  • the active part of at least one of the active elements comprises a light emitting part capable of emitting at least one light radiation when the external parameter applied to the active part is an electrical quantity from at least one of the upper conductive elements and the lower conductive elements.
  • control device is able to modulate at least one emission parameter relating to the light radiation capable of being emitted by the light emitting part.
  • control device comprises at least one transistor.
  • At least one of the upper conductive elements is formed, on the one hand, by a transparent electrical conductor in electrical contact with the light emitting part of the active element and having properties of transparency vis-à-vis the light radiation capable of being emitted by the emission part and, on the other hand, by a metallic electrical conductor in electrical contact with the transparent electrical conductor.
  • the metallic electrical conductor of the upper conductive elements is arranged so as not to cover, at least in the transverse direction, the emission part of the active elements.
  • the light emitting part of at least one of the active elements comprises at least one light emitting diode.
  • said light-emitting diode is wire-shaped having micrometric dimensions and of which a main axis of extension is generally parallel to the transverse direction.
  • At least two of the light emitting diodes of the light emitting part of at least one of the active elements are able to emit at least two light rays having different wavelengths.
  • At least one of the light-emitting diodes of the light-emitting part of at least one of the active elements is surrounded at least in part by photoluminescent materials capable of transforming the light radiation. emitted by the corresponding light emitting diode.
  • the active part of at least one of the active elements comprises a device for measuring said external parameter configured to change state when said external parameter is applied to said active part.
  • control device determines the change of state of the measuring device of the active part and delivers an output signal representative of this determination between at least one of the upper conductive elements and one. lower conductive elements.
  • At least one of the measurement devices is an electrical component selected from a sensor and a transducer.
  • the active elements are obtained on an external support separate from the lower support prior to a transfer of said active elements to said lower support.
  • the first electrically insulating element comprises a set of metallic particles coated in an electrically insulating material adapted so that the first electrically insulating element is able to vary between a first state of electrical insulation in which the first electrically insulating element does not undergo crushing pressure and where a majority of the metal particles do not touch each other and a second state of anisotropic electrical conductivity in which a majority of the metal particles are in electrical contact under the effect of a pressure d crushing applied in the transverse direction.
  • the first electrically insulating element is arranged in a contact portion arranged between the lower portion of at least one of the active elements and at least one of the lower conductive elements connected with the lower portion.
  • the lower portion of the active element being brought into electrical contact with the lower conductive element by the passage of the first electrically insulating element from its first state of electrical insulation to its second state of directional electrical conductivity by the application of pressure crushing on the contact portion by the active element and / or the lower support, in particular resulting from the action of an electrical bonding device on at least one element taken from the group comprising the active element and the support lower, so that all or part of the metal particles of the first electrically insulating element, located in the contact portion, provide the electrical connection between the lower portion of the active element and the lower conductive element.
  • a second electrically insulating element distinct from the first electrically insulating element, is arranged between at least two adjacent active elements disposed side by side on the support surface of the lower support and between the upper conductive elements and the lower conductive elements so as to electrically isolate the members of at least one of the following two groups from one another:
  • the metallic electrical conductor of at least one of the upper conductive elements is arranged between the second electrically insulating element and the transparent electrical conductor.
  • At least one of the upper conductive elements delimits a local portion arranged at the level of the upper portion of the active element to which it is connected, said local portion of the upper electrical element being formed at the level of the upper portion of the active element to which it is connected. less in part by adaptive lithography.
  • the external parameter is included in the group formed by a sound wave, a light radiation, an electromagnetic radiation, an electric current, a potential difference and a pressure wave.
  • the invention also relates to the implementation of a method of manufacturing an electronic device for capturing or transmitting a physical quantity, the method comprising the following steps:
  • E2 provide a plurality of active elements having a thickness considered in a transverse direction oriented transversely to the lower support and each comprising a lower portion capable of being electrically connected to at least one of the lower conductive elements, an upper portion disposed on the side opposite to the lower support with respect to the lower portion in the transverse direction and an active part capable of changing state when an external parameter external to said active part is applied to said active part, each active element supplied at step E2 ) delimiting externally, according to the thickness, at least one side wall which extends laterally around at least the lower portion and the upper portion;
  • step E4) forming upper conductive elements electrically insulated from one another so that the upper portion of each active element is electrically connected to at least one of the upper conductive elements formed; at the end of step E4), the first electrically insulating element is further arranged between at least one of the upper conductive elements and at least one of the lower conductive elements so that said at least upper conductive element and said at least one lower conductive element separated by the first electrically insulating element are electrically isolated from each other.
  • the active elements provided in step E2) are obtained on an external support different from the lower support prior to a transfer, implemented during step E2), of said active elements to the lower support .
  • the first electrically insulating element comprises a set of metal particles coated in an electrically insulating material adapted so that the first electrically insulating element is able to vary between a first state of electrical insulation in which the first electrically insulating element does not undergo crushing pressure and where a majority of the metal particles do not touch each other and a second directional electrical conductivity state in which a majority of the metal particles are in electrical contact under the effect of a pressure d 'crushing step E3) comprising a sub-step E31) consisting in forming the first electrically insulating element in a contact portion arranged between the lower portion of at least one of the active elements and at least one of the elements lower conductors adapted to be connected with the lower portion of this active element; the method comprising a step E21) consisting in applying the crushing pressure on the contact portion by a relative movement between the active element and the lower support, the relative movement resulting from the action of an electrical bonding device on at least one element taken from the group comprising the active element and
  • FIG. 1 is a schematic sectional view of several steps of a first example of a method of manufacturing a first embodiment of an electronic device according to the invention.
  • FIG. 2 is a schematic sectional view of several steps of a second exemplary method of manufacturing a second embodiment of an electronic device according to the invention.
  • FIG. 3 is a schematic sectional view of several steps of a third exemplary manufacturing method of a third embodiment of an electronic device according to the invention.
  • FIG. 4 is a schematic sectional view of several steps of a fourth exemplary method of manufacturing a fourth embodiment of an electronic device according to the invention.
  • FIG. 5 is a schematic sectional view of several steps of a fifth exemplary manufacturing method of a fifth embodiment of an electronic device according to the invention.
  • FIG. 6 is a schematic sectional view of several steps of a sixth exemplary method of manufacturing a sixth embodiment of an electronic device according to the invention.
  • FIG. 7 is a schematic top view of an example of an electronic device of the invention.
  • the invention relates firstly to an electronic device 10 for light emission.
  • this electronic device 10 can equally well be adapted for the capture or the emission of a physical quantity.
  • capture is meant similarly a “measurement”.
  • the physical quantity to be captured can be a pressure, a pressure wave, a sound wave, a humidity level, a temperature, an electromagnetic field, visible or invisible light radiation, an electric current or even a potential difference.
  • the physical quantity to be emitted can be of the same nature as that to be captured or measured or of a different nature.
  • the electronic device 10 first of all comprises a lower support 11.
  • the lower support 11 is for example electrically insulating and formed by at least one glass plate.
  • the lower support 11 can also be electrically conductive and formed by at least one metal plate.
  • the lower support 11 can also comprise electrically conductive tracks insulated from one another and formed on the surface or inside the lower support 11.
  • the lower support 11 can be formed in a crystalline or non-crystalline material and can also include active or non-crystalline components. passive, like transistors or memories.
  • the lower support 11 can, for example, constitute a support for a light display screen.
  • the electronic device 10 also comprises lower electrically conductive elements 12 electrically insulated from one another and formed at least in part on a support surface of the lower support 11.
  • the lower conductive elements 12 can be formed by adaptive or non-adaptive photolithography and / or by etching. as well as by vacuum or wet deposition processes of metals such as for example copper, aluminum, silver, gold, titanium, palladium, nickel or alloys formed for example from these metals or multilayers with different layers of different metals chosen, for example, from the metals mentioned above.
  • the electronic device 10 further comprises a plurality of active elements 13 having a thickness H considered in a transverse direction oriented transversely to the lower support 11.
  • the thickness H of the active elements can be between 0.5 ⁇ m and 200 ⁇ m.
  • the active elements 13 are obtained on an external support separate from the lower support 11 prior to a transfer of said active elements 13 to the lower support 11. This is advantageous because very often the active elements 13 require training conditions. specific, such as high temperatures above 500 ° C which could damage the lower support 11.
  • the active elements 13 comprise a lower portion 13a electrically connected to at least one of the lower conductive elements 12.
  • the term “electrically connected” is understood to mean “connected by direct physical contact” or “connected by indirect contact with an intermediary. one or more conductive elements ”such as for example an adhesive containing metallic particles or carbon nanotubes or else a pressure sensitive or temperature sensitive adhesive.
  • the active elements 13 also include an upper portion 13b arranged on the side opposite the lower support 11 with respect to the lower portion 13a in the transverse direction.
  • the lower portions 13a and the upper portions 13b may comprise one or more electrically conductive electrodes which promote contact with the lower conductive elements 12 and / or with the upper electrically conductive elements 14 mentioned below.
  • the upper portion 13b of each active element 13 is electrically connected to at least one of the upper conductive elements 14.
  • the upper portion 13b of the active element 13 comprises two electrodes, each being connected to an element. 14 different top conductor.
  • Each active element 13 comprises an active part capable of changing state when an external parameter external to the active part is applied to the active part.
  • the external parameter is, for example, a pressure, a pressure wave, a sound wave, a humidity level, a temperature, an electromagnetic field, visible or invisible light radiation, an electric current or a potential difference.
  • Each active element 13 defines externally, along the thickness H, at least one side wall 13c which extends laterally around the active element 13.
  • the electronic device 10 also comprises the upper electrically conductive elements 14, which are electrically insulated from each other.
  • Each upper conductive element 14 is electrically connected to the upper portion 13b of at least one of the active elements 13.
  • the term “electrically connected” is understood to mean “connected by direct physical contact” or else “connected by indirect contact with an intermediary. one or more intermediate conductive elements ”.
  • the electronic device 10 further comprises a first electrically insulating element 16 which is arranged between at least a part of a side wall 13c of at least two adjacent active elements 13 arranged side by side on the support surface of the lower support 11.
  • the first electrically insulating element 16 enables the side walls 13c separated from each other to be electrically insulated by the first electrically insulating element 16.
  • the first electrically insulating element 16 is further arranged between at least one of the upper conductive members 14 and at least one of the lower conductive members 12 such that said at least one upper conductive member 14 and said at least one lower conductive member 12 separated by the first member electrically insulating 16 are electrically insulated from each other.
  • a photonic glue or a conductive glue sensitive to heat, pressure, light, or an electric field can be used to create the electrical contact between the lower portion 13a of one of the active elements 13 and one of the conductors. lower 12.
  • the lower portion 13a of the active elements 13 comprises at least one metal fixing element delimiting at least one part adapted to be fixed, by the application of a fixing pressure, to the lower conductive elements 12 of so as to establish the electrical connection between the lower portion 13a of the active element 13 and the lower electrical conductors 12.
  • metallic fasteners are spikes, microtubes or even micropillars made of copper.
  • the lower portion 13a of the active elements 13 is electrically connected to the lower conductive elements 12 by means of an adhesive comprising particles containing silver.
  • the active elements 13 are connected to the lower conductive elements 12 before the formation of the first electrically insulating element 16.
  • the first electrically insulating element 16 comprises a set of metal particles 16a, for example based on silver or else in nickel-gold alloy (Ni-Au), coated in a electrically insulating material 16b.
  • This assembly is adapted so that the first electrically insulating element 16 can vary between a first state of electrical insulation in which the first electrically insulating element 16 does not undergo crushing pressure and where a majority of the metal particles 16a do not touch each other. pas and a second state of anisotropic electrical conductivity in which a majority of the metal particles 16a are in electrical contact under the effect of a crushing pressure applied in the transverse direction.
  • the metal particles 16a are grouped together to touch each other and thus form an electrical contact and the remainder of the first electrically insulating element 16 is formed by the electrically insulating material 16b thus devoid of the metal particles 16a.
  • the first electrically insulating element 16 is also formed in a contact portion arranged between the lower portion 13a of at least one of the active elements 13 and at least one lower conductive elements 12 connected with the lower portion 13a of this active element 13.
  • the lower portion 13a of the active element 13 is brought into electrical contact with the lower conductive element 12 through the passage of the first electrically insulating element 16 from its first state of electrical insulation to its second state of directional electrical conductivity.
  • This is made possible by the application of the crushing pressure, expressed in the figures by arrows in bold, on the contact portion by the active element 13 and / or the lower support 11.
  • the application of the pressure crushing results from the action of an electrical bonding device on the active element 13 and / or the lower support 11.
  • the metal particles 16a of the first electrically insulating element 16 located in the portion of contact, provide the electrical connection between the lower portion 13a of the active element 13 and the lower conductive element 12.
  • the electrically insulating material 16b thus dissociated from the metal particles 16a surrounds the side walls 13c of the 'active element 13 and thus allows the electrical insulation between the lower conductive elements 12 and the upper conductive elements 14, as well as the electrical insulation of the active elements 13 between them at least laterally of course.
  • the electrically insulating material 16b can be a resin, an oxide or even a polymer.
  • the electrically insulating element 16 after spinning deposition or lamination can undergo chemical mechanical polishing so that, in the end, the upper portion 13b of the active elements 13 is not covered by a insulation and that the resumption of electrical contact of the upper conductive elements 14 is thus facilitated.
  • At least one of the active elements 13 comprises a control device 19 capable of influencing at least one parameter associated with the active part of this active element 13.
  • the control device 19 can thus comprise at least one transistor of CMOS and / or bipolar technology and / or of thin film transistor (TFT) type or any other technology such as Gan (mixture of gallium and nitrogen) or Gan on silicon. It can also include memories or passive components. It is for example supplied by a voltage or a current coming from the lower conductive elements 12 and / or the upper conductive elements 14.
  • the active part of at least one of the active elements 13 comprises a light emitting part.
  • the light emitting part is configured to be able to emit at least one light radiation or electromagnetic radiation when the external parameter applied to the active part is an electric current or a voltage resulting directly or indirectly from at least one. among the upper conductive elements 14 and the lower conductive elements 12.
  • a control device control 19 it can for example make it possible to modulate at least one emission parameter relating to the light radiation capable of being emitted by the light emitting part.
  • an emission parameter can be the light intensity, the light emission angle or the emitted color.
  • the controller 19 is responsive to information transmitted optically.
  • the control device 19 can thus integrate a photodiode making it possible to modulate the light intensity emitted by the active element 13 to which it is linked as a function of the information received on said integrated photodiode.
  • the light emitting part of at least one of the active elements 13 comprises at least one light emitting diode.
  • This light-emitting diode can be of wire form having micrometric or even nanometric dimensions, and has a main axis of extension generally parallel to the transverse direction mentioned above.
  • the light emitting diode can also be of the two-dimensional type with a micrometric height.
  • at least two of the light emitting diodes of the light emitting part of at least one of the active elements 13 are able to emit at least two light rays having different wavelengths.
  • At least one of the light-emitting diodes of the light-emitting part of at least one of the active elements 13 is surrounded at least in part by photoluminescent materials capable of transforming the light radiation emitted by the corresponding light emitting diode.
  • At least one of the upper conductive elements 14 is formed, on the one hand, by a transparent electrical conductor 14a in direct physical electrical contact, or indirectly with by means of conductive elements, with the light emitting part of the luminous active element 13 and, on the other hand, by a metallic electrical conductor 14b in electrical contact with the transparent electrical conductor 14a.
  • the transparent electrical conductor 14a advantageously has properties of transparency with respect to the light or electromagnetic radiation capable of being emitted by the emission part.
  • the metallic electrically conductive material 14b of the upper conductive elements 14 is arranged so as not to cover, at least in the transverse direction, the emission part of the active elements 13.
  • a display screen can thus be manufactured with light-emitting diodes associated or not with a control device 19 and formed on an external substrate then transferred and electrically connected with the lower conductive elements 12 and the upper conductive elements 14, the electrical insulation between the different elements being provided by the first electrically insulating element 16.
  • the active part of at least one of the active elements 13 comprises a device for measuring said external parameter, configured to change state when said external parameter is applied to said active part.
  • at least one of the measuring devices is an electrical component chosen from among a sensor, a transducer, a photodiode, an ultrasonic sensor of the PMUT type from the English “Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers” or even CMUT from the English “Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducers”.
  • the control device 19 can determine the change of state of the measuring device of the active part and delivers an output signal representative of this determination between at least one of the conductive elements. upper 14 and one of the lower conductive elements 12. If the external physical quantity, equivalent to the external parameter, is a sound wave or a pressure wave or a pressure, the active element 13 thus configured can capture or measure this external parameter . A voltage and / or a current can thus be generated.
  • An ultrasonic imager can thus be manufactured with transducers and ultrasonic sensors formed on an external substrate then transferred and electrically connected with the lower conductive elements 12 and the upper conductive elements 14, the electrical insulation between the various elements being provided by the first. electrically insulating element 16.
  • a second electrically insulating element 17, distinct from the first electrically insulating element 16 is arranged between at least two adjacent active elements 13 arranged side by side. side on the support surface of the lower support 11 and between the upper conductive elements 14 and the lower conductive elements 12 so as to electrically insulate the adjacent active elements 13 from one another, separated from each other by the second electrically insulating element 17 and / or the elements upper conductors 14 and the lower conductive elements 12 separated from each other by the second electrically insulating element 17.
  • the metallic electrical conductor 14b of at least one of the upper conductive elements 14 is arranged between the second electrically insulating element 17 and the transparent electric conductor 14a.
  • At least one of the upper conductive elements 14 delimits a local portion arranged at the level of the upper portion 13b of the active element 13 to which it is connected, said local portion of the upper electrical element 14 being formed in the middle. less in part by adaptive lithography.
  • An advantage of such electronic devices 10 also comes from the fact that it is possible to power the lower and upper electrical contacts on different topographic levels, which limits short circuits.
  • Another advantage of such electronic devices 10 is that their implementation can be carried out with techniques which do not require high temperature and pressure. These techniques are also suitable for applications on large surfaces, for example greater than that of a commercially available silicon disc. This is advantageous for producing large-dimension light display devices or physical quantity capture devices involving many sensors, such as ultrasound imaging devices by echography.
  • An additional advantage of such electronic devices 10 is that the resumption of electrical contact with the upper electrical contacts is facilitated.
  • Another advantage of such electronic devices 10 is that the electrical efficiency of the contact pick-up at the higher level is improved because the voltage losses are attenuated.
  • the invention also relates to a method of manufacturing an electronic device 10 for capturing or transmitting a physical quantity.
  • the method is illustrated in Figures 1 to 6 and comprises the following steps:
  • each active element 13 having a thickness H considered in a transverse direction oriented transversely to the lower support 11 and each comprising a lower portion 13a capable of being electrically connected to at least one of the lower conductive elements 12, an upper portion 13b disposed on the side opposite the lower support 11 relative to the lower portion 13a in the direction transverse and an active part capable of changing state when an external parameter external to the active part is applied to the active part, each active element 13 supplied in step E2) delimiting externally, according to the thickness H, at least a side wall 13c which extends laterally around at least the lower portion 13a and the upper portion 13b;
  • the lower portion 13a of at least one of the active elements 13 is electrically connected to at least one of the lower conductive elements 12.
  • the active elements 13 are formed and connected to the lower conductive elements 12 before all or part of the side walls 13c of the active elements 13 are surrounded by the first electrically insulating element 16.
  • the first electrically insulating element 16 is first deposited in particular on the lower conductive elements 12.
  • the active elements 13 are formed and are connected to the lower conductive elements 12, for example through the first electrically insulating element 16 as explained below or via a recess of the first insulating element 16 prior to the connection of the active elements 13 to the lower conductive elements.
  • the first electrically insulating element 16 is further arranged between at least one of the upper conductive elements 14 and at least one of the lower conductive elements 12 of so that said at least upper conductive element 14 and said at least one lower conductive element 12 separated by the first electrically insulating element 16 are electrically insulated from each other. This makes it possible to limit short circuits between the different levels of conductive elements, for example during the formation of the electrically conductive elements 14.
  • a planarization step can be carried out after step E3) in order to improve the making of contact at the level of the upper portion 13b of the active elements 13.
  • the step of planarization can for example be carried out by the action of a chemical mechanical polishing device or with a dry etching based on reactive ions.
  • the active elements 13 provided in step E2) are obtained on an external support different from the lower support 11 prior to a transfer, implemented during step E2), of said active elements 13 towards the lower support 11.
  • This lower support 11 would for example not withstand high temperatures or would be too extensive to be compatible with the substrates allowing the formation of the active elements 13.
  • the first electrically insulating element 16 formed in step E3) comprises a set of metal particles 16a coated in an electrically insulating material 16b suitable so that the first electrically insulating element 16 is able to vary between: a first state of electrical insulation in which the first electrically insulating element 16 does not undergo crushing pressure and where a majority of the metal particles 16a do not touch each other, and a second state of directional electrical conductivity in which a majority of the metal particles 16a are in electrical contact under the effect of a crushing pressure.
  • Step E3) then comprises a step E31) consisting in forming the first electrically insulating element 16 in a contact portion arranged between the lower portion 13a of at least one of the active elements 13 and at least one of the elements lower conductors 12 capable of being connected with the lower portion 13a of this active element 13.
  • Step E2) then also comprises a step E21) consisting in applying the crushing pressure to the contact portion by a relative movement of the active element 13 and the lower support 11.
  • the relative movement results from the action of an electrical bonding device on at least one element taken from the group comprising the active element 13 and the lower support 11, so that all or part of the metal particles 16a of the first element electrically insulator 16, located in the contact portion, are in their second state of directional electrical conductivity thus ensuring the electrical connection between the lower portion 13a of the active element 13 and the lower conductive element 12.
  • An advantage of this method is that the contact is formed only under the active element 13. This prevents parasitic welds from coming into contact with the side walls of the active elements 13 and creating short circuits.
  • An advantage of this manufacturing process is that its implementation can be carried out with techniques that do not require high temperature and pressure. These techniques are also suitable for applications on large surfaces, which is advantageous for producing light display devices or imaging devices of large dimensions, for example of a dimension greater than that of a commercially available silicon disc. .

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Abstract

Dispositif électronique (10) pour capture ou émission d'une grandeur physique comprenant un support inférieur (11); des éléments conducteurs inférieurs (12); des éléments actifs (13) comportant une partie active et comportant chacun une portion inférieure (13a) connectée électriquement à au moins l'un des éléments conducteurs inférieurs (12) et une portion supérieure (13b); des éléments conducteurs supérieurs (14); dans lequel la portion supérieure (13b) de chaque élément actif (13) est connectée électriquement un des éléments conducteurs supérieurs (14); dans lequel au moins un premier élément électriquement isolant (16) est agencé entre la paroi latérale (13c) d'au moins deux éléments actifs (13) adjacents disposés côte à côte sur la surface de support du support inférieur (11); dans lequel le premier élément électriquement isolant (16) est agencé entre l'un des éléments conducteurs supérieurs (14) et l'un des éléments conducteurs inférieurs (12).

Description

Dispositif électronique pour capture ou émission d'une grandeur physique et procédé de fabrication
DOMAINE TECHNIQUE La présente invention concerne un dispositif électronique pour capture ou émission d'une grandeur physique.
L'invention concerne également un procédé de fabrication d'un dispositif électronique pour capture ou émission d'une grandeur physique. ETAT DE LA TECHNIQUE ANTERIEURE
Dans le domaine des écrans d'affichage lumineux, les éléments lumineux constituant l'écran doivent être agencés de façon matricielle. La précision nécessaire à la formation d'une telle matrice augmente au furet à mesure que la résolution attendue pour les écrans croît. II est connu de produire les diodes électroluminescentes qui constituent les éléments d'émission de lumière sur un premier support, par exemple une galette de silicium ou de saphir, et de les reporter sur un second support destiné à faire partie intégrante de l'écran. Les connexions électriques qui permettent d'alimenter électriquement les diodes électroluminescentes ainsi transférées se font au niveau du second support.
Dans le cas où les diodes électroluminescentes sont tridimensionnelles filaires, la connexion électrique de la partie supérieure des diodes électroluminescentes et la connexion électrique de leur partie inférieure restent difficiles à réaliser sans risque de court-circuit involontaire, du fait de la distance qui les sépare qui peut être de seulement quelques dizaines de micromètres.
La méthode de thermocompression est souvent utilisée pour créer une connexion électrique entre les éléments lumineux et le second support. Une telle solution présente toutefois des performances perfectibles car elle implique la mise en œuvre d'une température élevée incompatible avec les éléments de conversion lumineuse qui peuvent recouvrir les diodes électroluminescentes des éléments lumineux.
Dans le domaine de l'imagerie par capteurs haute résolution, les capteurs et les émetteurs de paramètres ou grandeurs physiques doivent être agencés de façon matricielle. La précision nécessaire à la formation d'une telle matrice augmente au fur et à mesure que la résolution attendue pour les écrans croît et les mêmes problématiques que soulevées précédemment sont mise en exergue. De plus, la topographie élevée des capteurs ou émetteurs concernés complexifie leur intégration sur de grandes surfaces.
EXPOSE DE L'INVENTION
La présente invention a pour but de fournir un dispositif électronique et un procédé de fabrication permettant de répondre à tout ou partie des problèmes présentés ci-avant.
Notamment, un but est de fournir une solution répondant à au moins l'un des objectifs suivants : permettre la fourniture d'un dispositif électronique pour capture ou émission d'une grandeur physique limitant les risques de court-circuit ; permettre la fourniture d'un dispositif électronique pour capture ou émission d'une grandeur physique à moindre coût ; limiter les risques d'endommagements des éléments de conversion lumineuse ; permettre la fourniture d'un dispositif électronique pour capture ou émission d'une grandeur physique ayant de grandes dimensions ; permettre la fourniture d'un dispositif électronique pour capture ou émission d'une grandeur physique ayant des performances élevées.
Ce but peut être atteint grâce à un dispositif électronique pour capture ou émission d'une grandeur physique comprenant :
-un support inférieur ;
-des éléments conducteurs inférieurs isolés électriquement entre eux et formés au moins en partie sur une surface de support du support inférieur ;
-une pluralité d'éléments actifs présentant une épaisseur considérée suivant une direction transversale orientée transversalement au support inférieur et comportant chacun une portion inférieure connectée électriquement à au moins l'un des éléments conducteurs inférieurs et une portion supérieure disposée du côté opposé au support inférieur par rapport à la portion inférieure suivant la direction transversale, chaque élément actif comportant une partie active apte à changer d'état lorsqu'un paramètre externe extérieur à ladite partie active est appliqué à ladite partie active ;
-des éléments conducteurs supérieurs isolés électriquement entre eux ; la portion supérieure de chaque élément actif est connectée électriquement à au moins l'un des éléments conducteurs supérieurs et chaque élément actif délimite extérieurement, suivant l'épaisseur, au moins une paroi latérale qui s'étend latéralement autour de l'élément actif ; au moins un premier élément électriquement isolant est agencé entre au moins une partie de ladite au moins une paroi latérale d'au moins deux éléments actifs adjacents disposés côte à côte sur la surface de support du support inférieur de sorte à isoler électriquement entre elles les parois latérales séparées par le premier élément électriquement isolant ; le premier élément électriquement isolant est agencé entre au moins l'un des éléments conducteurs supérieurs et au moins l'un des éléments conducteurs inférieurs de sorte que ledit au moins un élément conducteur supérieur et ledit au moins un élément conducteur inférieur séparé par le premier élément électriquement isolant soient isolés électriquement entre eux.
Certains aspects préférés mais non limitatifs de ce dispositif électronique sont les suivants.
Dans une mise en œuvre du dispositif, au moins l'un des éléments actifs comporte un dispositif de commande apte à influer sur au moins un paramètre associé à la partie active dudit élément actif.
Dans une mise en œuvre du dispositif, la partie active d'au moins l'un des éléments actifs comporte une partie d'émission de lumière apte à émettre au moins un rayonnement lumineux lorsque le paramètre externe appliqué à la partie active est une grandeur électrique issue d'au moins l'un parmi les éléments conducteurs supérieurs et les éléments conducteurs inférieurs.
Dans une mise en œuvre du dispositif, le dispositif de commande est apte à moduler au moins un paramètre d'émission relatif au rayonnement lumineux susceptible d'être émis par la partie d'émission de lumière. Dans une mise en œuvre du dispositif, le dispositif de commande comprend au moins un transistor.
Dans une mise en œuvre du dispositif, au moins l'un des éléments conducteurs supérieurs est formé, d'une part, par un conducteur électrique transparent en contact électrique avec la partie d'émission de lumière de l'élément actif et ayant des propriétés de transparence vis-à-vis du rayonnement lumineux susceptible d'être émis par la partie d'émission et, d'autre part, par un conducteur électrique métallique en contact électrique avec le conducteur électrique transparent.
Dans une mise en œuvre du dispositif, le conducteur électrique métallique des éléments conducteurs supérieurs est agencé de sorte à ne pas recouvrir, au moins suivant la direction transversale, la partie d'émission des éléments actifs. Dans une mise en œuvre du dispositif, la partie d'émission de lumière d'au moins l'un des éléments actifs comporte au moins une diode électroluminescente.
Dans une mise en œuvre du dispositif, ladite diode électroluminescente est de forme filaire ayant des dimensions micrométriques et dont un axe principal d'extension est globalement parallèle à la direction transversale.
Dans une mise en œuvre du dispositif, au moins deux des diodes électroluminescentes de la partie d'émission de lumière d'au moins l'un des éléments actifs sont aptes à émettre au moins deux rayonnements lumineux ayant des longueurs d'onde différentes.
Dans une mise en œuvre du dispositif, au moins l'une des diodes électroluminescentes de la partie d'émission de lumière d'au moins l'un des éléments actifs est entourée au moins en partie par des matériaux photoluminescents aptes à transformer le rayonnement lumineux émis par la diode électroluminescente correspondante.
Dans une mise en œuvre du dispositif, la partie active d'au moins l'un des éléments actifs comprend un dispositif de mesure dudit paramètre externe configuré pour changer d'état lorsque ledit paramètre externe est appliqué à ladite partie active.
Dans une mise en œuvre du dispositif, le dispositif de commande détermine le changement d'état du dispositif de mesure de la partie active et délivre un signal de sortie représentatif de cette détermination entre au moins l'un des éléments conducteurs supérieurs et l'un des éléments conducteurs inférieurs.
Dans une mise en œuvre du dispositif, au moins l'un des dispositifs de mesure est un composant électrique choisi parmi un capteur et un transducteur.
Dans une mise en œuvre du dispositif, les éléments actifs sont obtenus sur un support externe distinct du support inférieur préalablement à un transfert desdits éléments actifs vers ledit support inférieur.
Dans une mise en œuvre du dispositif, le premier élément électriquement isolant comprend un ensemble de particules métalliques enrobées dans un matériau isolant électriquement adapté de sorte que le premier élément électriquement isolant est apte à varier entre un premier état d'isolation électrique dans lequel le premier élément électriquement isolant ne subit pas de pression d'écrasement et où une majorité des particules métalliques ne se touchent pas et un deuxième état de conductivité électrique anisotropique dans lequel une majorité des particules métalliques sont en contact électrique sous l'effet d'une pression d'écrasement appliquée suivant la direction transversale. Dans une mise en œuvre du dispositif, le premier élément électriquement isolant est agencé dans une portion de contact agencée entre la portion inférieure d'au moins l'un des éléments actifs et au moins l'un des éléments conducteurs inférieurs connectés avec la portion inférieure de cet élément actif; la portion inférieure de l'élément actif étant mise en contact électrique avec l'élément conducteur inférieur par le passage du premier élément électriquement isolant de son premier état d'isolation électrique vers son deuxième état de conductivité électrique directionnelle par l'application de la pression d'écrasement sur la portion de contact par l'élément actif et/ou le support inférieur, notamment résultant de l'action d'un dispositif de collage électrique sur au moins un élément pris dans le groupe comprenant l'élément actif et le support inférieur, de sorte que tout ou partie des particules métalliques du premier élément électriquement isolant, situées dans la portion de contact, assurent la connexion électrique entre la portion inférieure de l'élément actif et l'élément conducteur inférieur.
Dans une mise en œuvre du dispositif, un deuxième élément électriquement isolant, distinct du premier élément électriquement isolant, est agencé entre au moins deux éléments actifs adjacents disposés côte à côte sur la surface de support du support inférieur et entre les éléments conducteurs supérieurs et les éléments conducteurs inférieurs de sorte à isoler électriquement entre eux les membres d'au moins l'un des deux groupes suivants :
-un premier groupe constitué par les éléments actifs adjacents séparés entre eux par le deuxième élément électriquement isolant ;
-un deuxième groupe constitué par les éléments conducteurs supérieurs et les éléments conducteurs inférieurs séparés entre eux par le deuxième élément électriquement isolant.
Dans une mise en œuvre du dispositif, le conducteur électrique métallique d'au moins l'un des éléments conducteurs supérieurs est agencé entre le deuxième élément électriquement isolant et le conducteur électrique transparent.
Dans une mise en œuvre du dispositif, au moins l'un des éléments conducteurs supérieurs délimite une portion locale agencée au niveau de la portion supérieure de l'élément actif auquel il est connecté, ladite portion locale de l'élément électrique supérieur étant formée au moins en partie par lithographie adaptative.
Dans une mise en œuvre du dispositif, le paramètre externe est compris dans le groupe formé par une onde sonore, un rayonnement lumineux, un rayonnement électromagnétique, un courant électrique, une différence de potentiel et une onde de pression. L'invention porte également sur la mise en œuvre d'un procédé de fabrication d'un dispositif électronique pour capture ou émission d'une grandeur physique, le procédé comprenant les étapes suivantes:
El) fournir un support inférieur comprenant des éléments conducteurs inférieurs isolés électriquement entre eux et formés au moins en partie sur une surface de support du support inférieur ;
E2) fournir une pluralité d'éléments actifs présentant une épaisseur considérée suivant une direction transversale orientée transversalement au support inférieur et comportant chacun une portion inférieure apte à être connectée électriquement à au moins l'un des éléments conducteurs inférieurs, une portion supérieure disposée du côté opposé au support inférieur par rapport à la portion inférieure suivant la direction transversale et une partie active apte à changer d'état lorsqu'un paramètre externe extérieur à ladite partie active est appliquée à ladite partie active, chaque élément actif fourni à l'étape E2) délimitant extérieurement, suivant l'épaisseur , au moins une paroi latérale qui s'étend latéralement autour au moins de la portion inférieure et de la portion supérieure ;
E3) former au moins un premier élément électriquement isolant agencé entre au moins une partie de ladite au moins une paroi latérale d'au moins deux éléments actifs adjacents disposés côte à côte sur la surface de support du support inférieur de sorte à isoler électriquement entre elles les parois latérales séparées par le premier élément électriquement isolant ; à l'issue d'une des étapes E2) et E3), la portion inférieure d'au moins un des éléments actifs est connectée électriquement à au moins l'un des éléments conducteurs inférieurs ;
E4) former des éléments conducteurs supérieurs isolés électriquement entre eux de sorte que la portion supérieure de chaque élément actif est connectée électriquement à au moins l'un des éléments conducteurs supérieurs formés ; à l'issue de l'étape E4), le premier élément électriquement isolant est en outre agencé entre au moins l'un des éléments conducteurs supérieurs et au moins l'un des éléments conducteurs inférieurs de sorte que ledit au moins élément conducteur supérieur et ledit au moins un élément conducteur inférieur séparés par le premier élément électriquement isolant soient isolés électriquement entre eux.
Certains aspects préférés mais non limitatifs de ce procédé de fabrication sont les suivants. Dans une mise en œuvre du procédé, les éléments actifs fournis à l'étape E2) sont obtenus sur un support externe différent du support inférieur préalablement à un transfert, mis en œuvre durant l'étape E2), desdits éléments actifs vers le support inférieur.
Dans une mise en œuvre du procédé, le premier élément électriquement isolant comprend un ensemble de particules métalliques enrobées dans un matériau isolant électriquement adapté de sorte que le premier élément électriquement isolant est apte à varier entre un premier état d'isolation électrique dans lequel le premier élément électriquement isolant ne subit pas de pression d'écrasement et où une majorité des particules métalliques ne se touchent pas et un deuxième état de conductivité électrique directionnelle dans lequel une majorité des particules métalliques sont en contact électrique sous l'effet d'une pression d'écrasement l'étape E3) comprenant une sous-étape E31) consistant à former le premier élément électriquement isolant dans une portion de contact agencée entre la portion inférieure d'au moins l'un des éléments actifs et au moins l'un des éléments conducteurs inférieurs apte à être connectés avec la portion inférieure de cet élément actif ; le procédé comprenant une étape E21) consistant à appliquer la pression d'écrasement sur la portion de contact par un mouvement relatif entre l'élément actif et le support inférieur, le mouvement relatif résultant de l'action d'un dispositif de collage électrique sur au moins un élément pris dans le groupe comprenant l'élément actif et le support inférieur, de sorte que tout ou partie des particules métalliques du premier élément électriquement isolant , situées dans la portion de contact, soient dans leur deuxième état de conductivité électrique directionnelle assurant la connexion électrique entre la portion inférieure de l'élément actif et l'élément conducteur inférieur.
BREVE DESCRIPTION DES DESSINS
D'autres aspects, buts, avantages et caractéristiques de l'invention apparaîtront mieux à la lecture de la description détaillée suivante de modes de réalisation préférés de celle-ci, donnée à titre d'exemple non limitatif, et faite en référence aux dessins annexés sur lesquels :
La figure 1 est une vue schématique en coupe de plusieurs étapes d'un premier exemple de procédé de fabrication d'un premier mode de réalisation de dispositif électronique selon l'invention.
La figure 2 est une vue schématique en coupe de plusieurs étapes d'un deuxième exemple de procédé de fabrication d'un deuxième mode de réalisation de dispositif électronique selon l'invention. La figure 3 est une vue schématique en coupe de plusieurs étapes d'un troisième exemple de procédé de fabrication d'un troisième mode de réalisation de dispositif électronique selon l'invention.
La figure 4 est une vue schématique en coupe de plusieurs étapes d'un quatrième exemple de procédé de fabrication d'un quatrième mode de réalisation de dispositif électronique selon l'invention.
La figure 5 est une vue schématique en coupe de plusieurs étapes d'un cinquième exemple de procédé de fabrication d'un cinquième mode de réalisation de dispositif électronique selon l'invention.
La figure 6 est une vue schématique en coupe de plusieurs étapes d'un sixième exemple de procédé de fabrication d'un sixième mode de réalisation de dispositif électronique selon l'invention.
La figure 7 est une vue schématique de dessus d'un exemple de dispositif électronique de l'invention.
EXPOSE DETAILLE DE MODES DE REALISATION PARTICULIERS
Sur les figures 1 à 7 annexées et dans la suite de la description, des éléments identiques ou similaires en terme fonctionnel sont repérés par les mêmes références. De plus, les différents éléments ne sont pas représentés à l'échelle de manière à privilégier la clarté des figures pour en faciliter la compréhension. Par ailleurs, les différents modes de réalisation et variantes ne sont pas exclusifs les uns des autres et peuvent, au contraire, être combinés entre eux.
Dans la suite de la description, sauf indication contraire, les termes « sensiblement », « environ », « globalement » et « de l'ordre de » signifient « à 10 % près ».
Comme illustrée sur les figures 1 à 6, l'invention porte en premier lieu sur un dispositif électronique 10 pour l'émission lumineuse. Cependant, ce dispositif électronique 10 peut indifféremment être adapté pour la capture ou l'émission d'une grandeur physique. Par « capture », on entend de manière similaire une « mesure ». La grandeur physique à capturer peut être une pression, une onde de pression, une onde sonore, un taux d'humidité, une température, un champ électromagnétique, un rayonnement lumineux visible ou non, un courant électrique ou encore une différence de potentiel. La grandeur physique à émettre peut être de la même nature que celle à capturer ou à mesurer ou d'une nature différente. Le dispositif électronique 10 comprend tout d'abord un support inférieur 11. Le support inférieur 11 est par exemple isolant électriquement et formé par au moins une plaque de verre. Le support inférieur 11 peut également être électriquement conducteur et formé par au moins une plaque métallique. Le support inférieur 11 peut également comprendre des pistes électriquement conductrices isolées entre elles et formées en surface ou à l'intérieur du support inférieur 11. Le support inférieur 11 peut être formé dans un matériau cristallin ou non cristallin et peut comprendre également des composants actifs ou passifs, comme des transistors ou des mémoires. Le support inférieur 11 peut, par exemple, constituer un support pour un écran d'affichage lumineux.
Le dispositif électronique 10 comprend également des éléments électriquement conducteurs inférieurs 12 isolés électriquement entre eux et formés au moins en partie sur une surface de support du support inférieur 11. Les éléments conducteurs inférieurs 12 peuvent être formés par photolithographie adaptative ou non et/ou par gravure ainsi que par des procédés de dépôts sous-vide ou par voie humide de métaux comme par exemple le cuivre, l'aluminium, l'argent, l'or, le titane, le palladium, le nickel ou des alliages formés par exemple de ces métaux ou des multicouches avec différentes couches de métaux différents choisis par exemple parmi les métaux cités précédemment.
Le dispositif électronique 10 comprend en outre une pluralité d'éléments actifs 13 présentant une épaisseur H considérée suivant une direction transversale orientée transversalement au support inférieur 11. L'épaisseur H des éléments actifs peut être comprise entre 0,5 pm et 200 pm. A titre d'exemple, les éléments actifs 13 sont obtenus sur un support externe distinct du support inférieur 11 préalablement à un transfert desdits éléments actifs 13 vers le support inférieur 11. Ceci est avantageux car bien souvent les éléments actifs 13 nécessitent des conditions de formation spécifiques, comme des températures élevées supérieures à 500°C qui pourraient endommager le support inférieur 11.
Les éléments actifs 13 comportent une portion inférieure 13a connectée électriquement à au moins l'un des éléments conducteurs inférieurs 12. Par « connecté électriquement », il est entendu « connecté par contact physique direct » ou bien « connecté par contact indirect avec intermédiaire d'un ou plusieurs éléments conducteurs » comme par exemple une colle contenant des particules métalliques ou des nanotubes de carbone ou encore une colle sensible à la pression ou à la température. Les éléments actifs 13 comprennent également une portion supérieure 13b disposée du côté opposé au support inférieur 11 par rapport à la portion inférieure 13a suivant la direction transversale. Les portions inférieures 13a et les portions supérieures 13b peuvent comprendre une ou plusieurs électrodes électriquement conductrices qui favorisent la mise en contact avec les éléments conducteurs inférieurs 12 et/ou avec des éléments électriquement conducteurs supérieurs 14 évoqués plus loin. Ainsi, la portion supérieure 13b de chaque élément actif 13 est connectée électriquement à au moins l'un des éléments conducteurs supérieurs 14. Dans un exemple, la portion supérieure 13b de l'élément actif 13 comporte deux électrodes, chacune étant connectée à un élément conducteur supérieur 14 différent.
Chaque élément actif 13 comporte une partie active apte à changer d'état lorsqu'un paramètre externe extérieur à la partie active est appliqué à la partie active. Le paramètre externe est par exemple une pression, une onde de pression, une onde sonore, un taux d'humidité, une température, un champ électromagnétique, un rayonnement lumineux visible ou non, un courant électrique ou une différence de potentiel. Chaque élément actif 13 délimite extérieurement, suivant l'épaisseur H, au moins une paroi latérale 13c qui s'étend latéralement autour de l'élément actif 13.
Le dispositif électronique 10 comprend également les éléments électriquement conducteurs supérieurs 14, qui sont isolés électriquement entre eux. Chaque élément conducteur supérieur 14 est connecté électriquement à la portion supérieure 13b d'au moins l'un des éléments actifs 13. Par « connecté électriquement », il est entendu « connecté par contact physique direct » ou bien « connecté par contact indirect avec intermédiaire d'un ou plusieurs éléments conducteurs intermédiaires ».
Le dispositif électronique 10 comprend en outre un premier élément électriquement isolant 16 qui est agencé entre au moins une partie d'une paroi latérale 13c d'au moins deux éléments actifs 13 adjacents disposés côte à côte sur la surface de support du support inférieur 11. Ainsi, le premier élément électriquement isolant 16 permet d'isoler électriquement entre elles les parois latérales 13c séparées par le premier élément électriquement isolant 16. Dans un exemple illustré sur les figures 1, 3, 5 et 7, le premier élément électriquement isolant 16 est en outre agencé entre au moins l'un des éléments conducteurs supérieurs 14 et au moins l'un des éléments conducteurs inférieurs 12 de sorte que ledit au moins un élément conducteur supérieur 14 et ledit au moins un élément conducteur inférieur 12 séparé par le premier élément électriquement isolant 16 soient isolés électriquement entre eux. Une colle photonique ou une colle conductrice sensible à la chaleur, à la pression, à la lumière, ou à un champ électrique, peut être utilisée pour créer le contact électrique entre la portion inférieure 13a d'un des éléments actifs 13 et un des conducteurs inférieurs 12. Dans un exemple, la portion inférieure 13a des éléments actifs 13 comprend au moins un élément de fixation métallique délimitant au moins une partie apte à se fixer, par l'application d'une pression de fixation, aux éléments conducteurs inférieurs 12 de sorte à établir la connexion électrique entre la portion inférieure 13a de l'élément actif 13 et les conducteurs électriques inférieurs 12. Des exemples de fixation métallique sont des pointes, des microtubes ou encore des micropiliers en cuivre. Dans un autre exemple, la portion inférieure 13a des éléments actifs 13 est connectée électriquement aux éléments conducteurs inférieurs 12 par l'intermédiaire d'une colle comprenant des particules contenant de l'argent.
Dans un exemple illustré sur les figures 1, 3 et 5, les éléments actifs 13 sont connectés aux éléments conducteurs inférieurs 12 avant la formation du premier élément électriquement isolant 16.
Dans un exemple illustré sur les figures 2, 4 et 6, le premier élément électriquement isolant 16 comprend un ensemble de particules métalliques 16a, par exemple à base d'argent ou encore en alliage nickel-Or (Ni-Au), enrobées dans un matériau isolant électriquement 16b. Cet ensemble est adapté de sorte que le premier élément électriquement isolant 16 peut varier entre un premier état d'isolation électrique dans lequel le premier élément électriquement isolant 16 ne subit pas de pression d'écrasement et où une majorité des particules métalliques 16a ne se touchent pas et un deuxième état de conductivité électrique anisotropique dans lequel une majorité des particules métalliques 16a sont en contact électrique sous l'effet d'une pression d'écrasement appliquée suivant la direction transversale. Dans le deuxième état de conductivité électrique anisotropique, les particules métalliques 16a sont regroupées pour se toucher et ainsi former un contact électrique et le reste du premier élément électriquement isolant 16 est formé par le matériau isolant électriquement 16b ainsi dépourvu des particules métalliques 16a.
Dans un exemple illustré sur les figures 2, 4 et 6, le premier élément électriquement isolant 16 est formé également dans une portion de contact agencée entre la portion inférieure 13a d'au moins l'un des éléments actifs 13 et au moins l'un des éléments conducteurs inférieurs 12 connectés avec la portion inférieure 13a de cet élément actif 13. Ainsi, la portion inférieure 13a de l'élément actif 13 est mise en contact électrique avec l'élément conducteur inférieur 12 par le passage du premier élément électriquement isolant 16 de son premier état d'isolation électrique vers son deuxième état de conductivité électrique directionnelle. Ceci est rendu possible par l'application de la pression d'écrasement, exprimée sur les figures par des flèches en gras, sur la portion de contact par l'élément actif 13 et/ou le support inférieur 11. L'application de la pression d'écrasement résulte de l'action d'un dispositif de collage électrique sur l'élément actif 13 et/ou le support inférieur 11. Ainsi, tout ou partie des particules métalliques 16a du premier élément électriquement isolant 16, situées dans la portion de contact, assurent la connexion électrique entre la portion inférieure 13a de l'élément actif 13 et l'élément conducteur inférieur 12. Avantageusement, dans le même temps, le matériau isolant électriquement 16b ainsi dissocié des particules métalliques 16a entoure les parois latérales 13c de l'élément actif 13 et permet ainsi l'isolation électrique entre les éléments conducteurs inférieurs 12 et les éléments conducteurs supérieurs 14, ainsi que l'isolation électrique des éléments actifs 13 entre eux au moins latéralement.
Le matériau isolant électriquement 16b peut être une résine, un oxyde ou encore un polymère.
Dans un exemple illustré sur les figures 1 à 6, l'élément électriquement isolant 16, après dépôt par tournette ou lamination peut subir un polissage mécano chimique afin que, au final, la portion supérieure 13b des éléments actifs 13 ne soit pas recouverte par un isolant et que la reprise de contact électrique des éléments conducteurs supérieurs 14 soit ainsi facilitée.
Selon un mode de réalisation du dispositif électronique 10, au moins l'un des éléments actifs 13 comporte un dispositif de commande 19 apte à influer sur au moins un paramètre associé à la partie active de cet élément actif 13. Le dispositif de commande 19 peut ainsi comprendre au moins un transistor de technologie CMOS et/ou bipolaire et/ou de type transistor à film mince (TFT) ou tout autre technologie comme Gan (mélange de gallium et d'azote) ou Gan sur Silicium. Il peut également comporter des mémoires ou des composants passifs. Il est par exemple alimenté par une tension ou un courant provenant des éléments conducteurs inférieurs 12 et/ou des éléments conducteurs supérieurs 14.
Selon un mode de réalisation du dispositif électronique 10, la partie active d'au moins l'un des éléments actifs 13 comporte une partie d'émission de lumière. La partie d'émission de lumière est configurée pour être apte à émettre au moins un rayonnement lumineux ou un rayonnement électromagnétique lorsque le paramètre externe appliqué à la partie active est un courant électrique ou une tension issue directement ou indirectement d'au moins l'un parmi les éléments conducteurs supérieurs 14 et les éléments conducteurs inférieurs 12. Ainsi, lorsqu'un dispositif de commande 19 est prévu, il peut par exemple permettre de moduler au moins un paramètre d'émission relatif au rayonnement lumineux susceptible d'être émis par la partie d'émission de lumière. Par exemple, un paramètre d'émission peut être l'intensité lumineuse, l'angle d'émission de lumière ou la couleur émise.
Dans un exemple, le dispositif de commande 19 est sensible à des informations transmises de manière optique. Le dispositif de commande 19 peut ainsi intégrer une photodiode permettant de moduler l'intensité lumineuse émise par l'élément actif 13 auquel il est lié en fonction des informations reçues sur ladite photodiode intégrée.
Dans un exemple, la partie d'émission de lumière d'au moins l'un des éléments actifs 13 comporte au moins une diode électroluminescente. Cette diode électroluminescente peut être de forme filaire ayant des dimensions micrométriques, voire nanométriques, et présente un axe principal d'extension globalement parallèle à la direction transversale évoquée ci-avant. La diode électroluminescente peut également être de type bidimensionnelle avec une hauteur micrométrique. Dans un exemple, au moins deux des diodes électroluminescentes de la partie d'émission de lumière d'au moins l'un des éléments actifs 13 sont aptes à émettre au moins deux rayonnements lumineux ayant des longueurs d'onde différentes. Dans un autre exemple, au moins l'une des diodes électroluminescentes de la partie d'émission de lumière d'au moins l'un des éléments actifs 13 est entourée au moins en partie par des matériaux photoluminescents aptes à transformer le rayonnement lumineux émis par la diode électroluminescente correspondante.
Selon un mode de réalisation du dispositif électronique 10 illustré sur les figures 1 à 7, au moins l'un des éléments conducteurs supérieurs 14 est formé, d'une part, par un conducteur électrique transparent 14a en contact électrique physique direct, ou indirect avec l'intermédiaire d'éléments conducteurs, avec la partie d'émission de lumière de l'élément actif 13 lumineux et, d'autre part, par un conducteur électrique métallique 14b en contact électrique avec le conducteur électrique transparent 14a. Le conducteur électrique transparent 14a présente avantageusement des propriétés de transparence vis-à-vis du rayonnement lumineux ou électromagnétique susceptible d'être émis par la partie d'émission.
Dans un exemple illustré sur les figures 5, 6 et 7, le matériau conducteur électrique métallique 14b des éléments conducteurs supérieurs 14 est agencé de sorte à ne pas recouvrir, au moins suivant la direction transversale, la partie d'émission des éléments actifs 13. Un écran d'affichage peut ainsi être fabriqué avec des diodes électroluminescentes associées ou non à un dispositif de commande 19 et formées sur un substrat externe puis transférées et connectées électriquement avec les éléments conducteurs inférieurs 12 et les éléments conducteurs supérieurs 14, l'isolation électrique entre les différents éléments étant assurée par le premier élément électriquement isolant 16.
Dans un autre mode de réalisation, la partie active d'au moins l'un des éléments actifs 13 comprend un dispositif de mesure dudit paramètre externe, configuré pour changer d'état lorsque ledit paramètre externe est appliqué à ladite partie active. Dans un exemple, au moins l'un des dispositifs de mesure est un composant électrique choisi parmi un capteur, un transducteur, une photodiode, un capteur ultrasonique de type PMUT de l'anglais « Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers » ou encore CMUT de l'anglais « Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducers ».
Ainsi, dans un exemple de ce mode de réalisation, le dispositif de commande 19 peut déterminer le changement d'état du dispositif de mesure de la partie active et délivre un signal de sortie représentatif de cette détermination entre au moins l'un des éléments conducteurs supérieurs 14 et l'un des éléments conducteurs inférieurs 12. Si la grandeur physique externe, équivalent au paramètre externe, est une onde sonore ou une onde de pression ou une pression, l'élément actif 13 ainsi configuré peut capturer ou mesurer ce paramètre externe. Une tension et/ou un courant peuvent ainsi être générés. Un imageur ultrasonique peut ainsi être fabriqué avec des transducteurs et des capteurs ultrasoniques formés sur un substrat externe puis transférés et connectés électriquement avec les éléments conducteurs inférieurs 12 et les éléments conducteurs supérieurs 14, l'isolation électrique entre les différents éléments étant assurée par le premier élément électriquement isolant 16.
Dans un autre mode de réalisation du dispositif électronique 10 illustré sur les figures 3, 4, 5 et 6, un deuxième élément électriquement isolant 17, distinct du premier élément électriquement isolant 16, est agencé entre au moins deux éléments actifs 13 adjacents disposés côte à côte sur la surface de support du support inférieur 11 et entre les éléments conducteurs supérieurs 14 et les éléments conducteurs inférieurs 12 de sorte à isoler électriquement entre eux les éléments actifs 13 adjacents séparés entre eux par le deuxième élément électriquement isolant 17 et/ou les éléments conducteurs supérieurs 14 et les éléments conducteurs inférieurs 12 séparés entre eux par le deuxième élément électriquement isolant 17.
Dans un exemple illustré sur les figures 5 et 6, le conducteur électrique métallique 14b d'au moins l'un des éléments conducteurs supérieurs 14 est agencé entre le deuxième élément électriquement isolant 17 et le conducteur électrique transparent 14a.
Dans un exemple, au moins l'un des éléments conducteurs supérieurs 14 délimite une portion locale agencée au niveau de la portion supérieure 13b de l'élément actif 13 auquel il est connecté, ladite portion locale de l'élément électrique supérieur 14 étant formée au moins en partie par lithographie adaptative.
Un avantage de tels dispositifs électroniques 10 tient en ce que les contacts électriques inférieurs et supérieurs sont isolés électriquement de façon robuste et économique et ce même si la topographie, équivalente à la hauteur H des éléments actifs 13, est de l'ordre d'une dizaine de micromètres.
Un avantage de tels dispositifs électroniques 10 provient aussi du fait qu'il est possible d'alimenter les contacts électriques inférieurs et supérieurs sur différents niveaux topographiques, ce qui limite les court-circuits.
Un autre avantage de tels dispositifs électroniques 10 tient en ce que sa mise en œuvre peut être réalisée avec des techniques ne nécessitant pas de température et de pression élevées. Ces techniques sont également adaptées à des applications sur des grandes surfaces, par exemple supérieures à celle d'un disque de silicium du commerce. Ceci est avantageux pour réaliser des dispositifs d'affichage lumineux de grande dimension ou des dispositifs de capture de grandeur physique impliquant de nombreux capteurs, comme des dispositifs d'imagerie ultrasonore par échographie.
Un avantage supplémentaire de tels dispositifs électroniques 10 tient en ce que la reprise de contact électrique avec les contacts électriques supérieurs est facilitée.
Un autre avantage de tels dispositifs électroniques 10 est que l'efficacité électrique de la reprise de contact au niveau supérieur est améliorée car les pertes de tension sont atténuées.
L'invention porte également sur un procédé de fabrication d'un dispositif électronique 10 pour la capture ou l'émission d'une grandeur physique.
Le procédé est illustré sur les figures 1 à 6 et comprend les étapes suivantes :
El) fournir un support inférieur 11 comprenant des éléments conducteurs inférieurs 12 isolés électriquement entre eux et formés au moins en partie sur une surface de support du support inférieur 11 ;
E2) fournir une pluralité d'éléments actifs 13 présentant une épaisseur H considérée suivant une direction transversale orientée transversalement au support inférieur 11 et comportant chacun une portion inférieure 13a apte à être connectée électriquement à au moins l'un des éléments conducteurs inférieurs 12, une portion supérieure 13b disposée du côté opposé au support inférieur 11 par rapport à la portion inférieure 13a suivant la direction transversale et une partie active apte à changer d'état lorsqu'un paramètre externe extérieur à la partie active est appliquée à la partie active, chaque élément actif 13 fourni à l'étape E2) délimitant extérieurement, suivant l'épaisseur H, au moins une paroi latérale 13c qui s'étend latéralement autour au moins de la portion inférieure 13a et de la portion supérieure 13b ;
E3) former au moins un premier élément électriquement isolant 16 agencé entre au moins une partie de ladite au moins une paroi latérale 13c d'au moins deux éléments actifs 13 adjacents disposés côte à côte sur la surface de support du support inférieur 11 de sorte à isoler électriquement entre elles les parois latérales 13c séparées par le premier élément électriquement isolant 16;
E4) former des éléments conducteurs supérieurs 14 isolés électriquement entre eux de sorte que la portion supérieure 13b de chaque élément actif 13 est connectée électriquement à au moins l'un des éléments conducteurs supérieurs 14 formés.
Dans ce procédé de fabrication, à l'issue d'une des étapes E2) et E3), la portion inférieure 13a d'au moins un des éléments actifs 13 est connectée électriquement à au moins l'un des éléments conducteurs inférieurs 12. Ainsi dans un cas illustré sur la figure 1, les éléments actifs 13 sont formés et connectés aux éléments conducteurs inférieurs 12 avant que tout ou partie des parois latérales 13c des éléments actifs 13 ne soient entourées par le premier élément électriquement isolant 16. Dans un autre cas, illustré sur la figure 2, le premier élément électriquement isolant 16 est d'abord déposé notamment sur les éléments conducteurs inférieurs 12. Puis les éléments actifs 13 sont formés et sont connectés aux éléments conducteurs inférieurs 12 par exemple à travers le premier élément électriquement isolant 16 comme cela est expliqué ci-après ou via un évidement du premier élément isolant 16 préalable à la connexion des éléments actifs 13 aux éléments conducteurs inférieurs.
Dans ce procédé de fabrication, à l'issue de l'étape E4), le premier élément électriquement isolant 16 est en outre agencé entre au moins l'un des éléments conducteurs supérieurs 14 et au moins l'un des éléments conducteurs inférieurs 12 de sorte que ledit au moins élément conducteur supérieur 14 et ledit au moins un élément conducteur inférieur 12 séparés par le premier élément électriquement isolant 16 soient isolés électriquement entre eux. Cela permet de limiter les court-circuits entre les différents niveaux d'éléments conducteurs par exemple lors de la formation des éléments électriquement conducteurs 14.
Dans une mise en œuvre particulière non limitative du procédé de fabrication, une étape de planarisation peut être réalisée après l'étape E3) afin d'améliorer la prise de contact au niveau de la portion supérieure 13b des éléments actifs 13. L'étape de planarisation peut par exemple être réalisée par l'action d'un dispositif de polissage mécano chimique ou encore avec une gravure sèche à base d'ions réactifs.
Selon un autre mode de mise en œuvre particulier non limitatif, les éléments actifs 13 fournis à l'étape E2) sont obtenus sur un support externe différent du support inférieur 11 préalablement à un transfert, mis en œuvre durant l'étape E2), desdits éléments actifs 13 vers le support inférieur 11. Ceci permet de former les éléments actifs 13 sur un substrat externe, moins fragile et supportant des températures élevées par exemple, et ensuite de les transférer sur le support inférieur. Ce support inférieur 11 ne supporterait par exemple pas de hautes températures ou serait trop étendu pour être compatible avec les substrats permettant la formation des éléments actifs 13.
Selon un mode de mise en œuvre particulier non limitatif illustré sur les figures 2,4 et 6, le premier élément électriquement isolant 16 formé à l'étape E3) comprend un ensemble de particules métalliques 16a enrobées dans un matériau isolant électriquement 16b adapté de sorte que le premier élément électriquement isolant 16 est apte à varier entre : un premier état d'isolation électrique dans lequel le premier élément électriquement isolant 16 ne subit pas de pression d'écrasement et où une majorité des particules métalliques 16a ne se touchent pas, et un deuxième état de conductivité électrique directionnelle dans lequel une majorité des particules métalliques 16a sont en contact électrique sous l'effet d'une pression d'écrasement.
L'étape E3) comprend alors une étape E31) consistant à former le premier élément électriquement isolant 16 dans une portion de contact agencée entre la portion inférieure 13a d'au moins l'un des éléments actifs 13 et au moins l'un des éléments conducteurs inférieurs 12 apte à être connectés avec la portion inférieure 13a de cet élément actif 13. L'étape E2) comprend alors également une étape E21) consistant à appliquer la pression d'écrasement sur la portion de contact par un mouvement relatif de l'élément actif 13 et le support inférieur 11. Le mouvement relatif résulte de l'action d'un dispositif de collage électrique sur au moins un élément pris dans le groupe comprenant l'élément actif 13 et le support inférieur 11, de sorte que tout ou partie des particules métalliques 16a du premier élément électriquement isolant 16, situées dans la portion de contact, soient dans leur deuxième état de conductivité électrique directionnelle assurant ainsi la connexion électrique entre la portion inférieure 13a de l'élément actif 13 et l'élément conducteur inférieur 12.
Un avantage de ce procédé est que le contact est formé uniquement sous l'élément actif 13. Cela évite que des soudures parasites viennent contacter les parois latérales des éléments actifs 13 et ne créer des court-circuits.
Un avantage de ce procédé de fabrication tient en ce que sa mise en œuvre peut être réalisée avec des techniques ne nécessitant pas de température et de pression élevées. Ces techniques sont également adaptées à des applications sur des grandes surfaces, ce qui est avantageux pour réaliser des dispositifs d'affichage lumineux ou des dispositifs d'imagerie de grandes dimensions, par exemple de dimension supérieure à celle d'un disque de silicium du commerce.

Claims

REVENDICATIONS
1. Dispositif électronique (10) pour capture ou émission d'une grandeur physique comprenant : un support inférieur (11) ; des éléments conducteurs inférieurs (12) isolés électriquement entre eux et formés au moins en partie sur une surface de support du support inférieur (11) ; une pluralité d'éléments actifs (13) présentant une épaisseur (H) considérée suivant une direction transversale orientée transversalement au support inférieur (11) et comportant chacun une portion inférieure (13a) connectée électriquement à au moins l'un des éléments conducteurs inférieurs (12) et une portion supérieure (13b) disposée du côté opposé au support inférieur (11) par rapport à la portion inférieure (13a) suivant la direction transversale, chaque élément actif (13) comportant une partie active apte à changer d'état lorsqu'un paramètre externe extérieur à ladite partie active est appliqué à ladite partie active ; des éléments conducteurs supérieurs (14) isolés électriquement entre eux ; dans lequel la portion supérieure (13b) de chaque élément actif (13) est connectée électriquement à au moins l'un des éléments conducteurs supérieurs (14) et chaque élément actif (13) délimite extérieurement, suivant l'épaisseur (H), au moins une paroi latérale (13c) qui s'étend latéralement autour de l'élément actif (13) ; dans lequel au moins un premier élément électriquement isolant (16) est agencé entre au moins une partie de ladite au moins une paroi latérale (13c) d'au moins deux éléments actifs (13) adjacents disposés côte à côte sur la surface de support du support inférieur (11) de sorte à isoler électriquement entre elles les parois latérales (13c) séparées par le premier élément électriquement isolant (16) ; dans lequel le premier élément électriquement isolant (16) est agencé entre au moins l'un des éléments conducteurs supérieurs (14) et au moins l'un des éléments conducteurs inférieurs (12) de sorte que ledit au moins un élément conducteur supérieur (14) et ledit au moins un élément conducteur inférieur (12) séparé par le premier élément électriquement isolant (16) soient isolés électriquement entre eux.
2. Dispositif électronique (10) selon la revendication 1, dans lequel au moins l'un des éléments actifs (13) comporte un dispositif de commande (19) apte à influer sur au moins un paramètre associé à la partie active dudit élément actif (13).
3. Dispositif électronique (10) selon l'une des revendications 1 ou 2, dans lequel la partie active d'au moins l'un des éléments actifs (13) comporte une partie d'émission de lumière apte à émettre au moins un rayonnement lumineux lorsque le paramètre externe appliqué à la partie active est une grandeur électrique issue d'au moins l'un parmi les éléments conducteurs supérieurs (14) et les éléments conducteurs inférieurs (12).
4. Dispositif électronique (10) selon les revendications 2 et 3, dans lequel le dispositif de commande (19) est apte à moduler au moins un paramètre d'émission relatif au rayonnement lumineux susceptible d'être émis par la partie d'émission de lumière.
5. Dispositif électronique (10) selon la revendication 4, dans lequel le dispositif de commande (19) comprend au moins un transistor.
6. Dispositif électronique (10) selon l'une quelconque des revendications 3 à 5, dans lequel au moins l'un des éléments conducteurs supérieurs (14) est formé, d'une part, par un conducteur électrique transparent (14a) en contact électrique avec la partie d'émission de lumière de l'élément actif (13) et ayant des propriétés de transparence vis-à-vis du rayonnement lumineux susceptible d'être émis par la partie d'émission et, d'autre part, par un conducteur électrique métallique (14b) en contact électrique avec le conducteur électrique transparent (14a).
7. Dispositif électronique (10) selon la revendication 6, dans lequel le conducteur électrique métallique (14b) des éléments conducteurs supérieurs (14) est agencé de sorte à ne pas recouvrir, au moins suivant la direction transversale, la partie d'émission des éléments actifs (13).
8. Dispositif électronique (10) selon l'une des revendications 3 à 7, dans lequel la partie d'émission de lumière d'au moins l'un des éléments actifs (13) comporte au moins une diode électroluminescente.
9. Dispositif électronique (10) selon la revendication 8, dans lequel ladite diode électroluminescente est de forme filaire ayant des dimensions micrométriques et dont un axe principal d'extension est globalement parallèle à la direction transversale.
10. Dispositif électronique (10) selon l'une quelconque des revendications 8 ou 9, dans lequel au moins deux des diodes électroluminescentes de la partie d'émission de lumière d'au moins l'un des éléments actifs (13) sont aptes à émettre au moins deux rayonnements lumineux ayant des longueurs d'onde différentes.
11. Dispositif électronique (10) selon l'une quelconque des revendications 8 à 10, dans lequel au moins l'une des diodes électroluminescentes de la partie d'émission de lumière d'au moins l'un des éléments actifs (13) est entourée au moins en partie par des matériaux photoluminescents aptes à transformer le rayonnement lumineux émis par la diode électroluminescente correspondante.
12. Dispositif électronique (10) selon l'une des revendications 1 à 11, dans lequel la partie active d'au moins l'un des éléments actifs (13) comprend un dispositif de mesure dudit paramètre externe configuré pour changer d'état lorsque ledit paramètre externe est appliqué à ladite partie active.
13. Dispositif électronique (10) selon la revendication 12 lorsque dépendante de la revendication 2, dans lequel le dispositif de commande (19) détermine le changement d'état du dispositif de mesure de la partie active et délivre un signal de sortie représentatif de cette détermination entre au moins l'un des éléments conducteurs supérieurs (14) et l'un des éléments conducteurs inférieurs (12).
14. Dispositif électronique (10) selon l'une quelconque des revendications 12 ou 13, dans lequel au moins l'un des dispositifs de mesure est un composant électrique choisi parmi un capteur et un transducteur.
15. Dispositif électronique (10) selon l'une des revendications 1 à 14, dans lequel les éléments actifs (13) sont obtenus sur un support externe distinct du support inférieur (11) préalablement à un transfert desdits éléments actifs (13) vers ledit support inférieur (11).
16. Dispositif électronique (10) selon l'une quelconque des revendications 1 à 15, dans lequel le premier élément électriquement isolant (16) comprend un ensemble de particules métalliques (16a) enrobées dans un matériau isolant électriquement (16b) adapté de sorte que le premier élément électriquement isolant (16) est apte à varier entre un premier état d'isolation électrique dans lequel le premier élément électriquement isolant (16) ne subit pas de pression d'écrasement et où une majorité des particules métalliques (16a) ne se touchent pas et un deuxième état de conductivité électrique anisotropique dans lequel une majorité des particules métalliques (16a) sont en contact électrique sous l'effet d'une pression d'écrasement appliquée suivant la direction transversale.
17. Dispositif électronique (10) selon la revendication 16, dans lequel le premier élément électriquement isolant (16) est agencé dans une portion de contact agencée entre la portion inférieure (13a) d'au moins l'un des éléments actifs (13) et au moins l'un des éléments conducteurs inférieurs (12) connectés avec la portion inférieure (13a) de cet élément actif (13) ; la portion inférieure (13a) de l'élément actif (13) étant mise en contact électrique avec l'élément conducteur inférieur (12) par le passage du premier élément électriquement isolant (16) de son premier état d'isolation électrique vers son deuxième état de conductivité électrique directionnelle par l'application de la pression d'écrasement sur la portion de contact par l'élément actif (13) et/ou le support inférieur (11), notamment résultant de l'action d'un dispositif de collage électrique sur au moins un élément pris dans le groupe comprenant l'élément actif (13) et le support inférieur (11), de sorte que tout ou partie des particules métalliques (16a) du premier élément électriquement isolant (16), situées dans la portion de contact, assurent la connexion électrique entre la portion inférieure (13a) de l'élément actif (13) et l'élément conducteur inférieur (12).
18. Dispositif électronique (10) selon l'une quelconque des revendications 1 à 17, dans lequel un deuxième élément électriquement isolant (17), distinct du premier élément électriquement isolant (16), est agencé entre au moins deux éléments actifs (13) adjacents disposés côte à côte sur la surface de support du support inférieur (11) et entre les éléments conducteurs supérieurs (14) et les éléments conducteurs inférieurs (12) de sorte à isoler électriquement entre eux les membres d'au moins l'un des deux groupes suivants : un premiergroupe constitué par les éléments actifs (13) adjacents séparés entre eux par le deuxième élément électriquement isolant (17) ; un deuxième groupe constitué par les éléments conducteurs supérieurs (14) et les éléments conducteurs inférieurs (12) séparés entre eux par le deuxième élément électriquement isolant (17).
19. Dispositif électronique (10) selon la revendication 6 et selon la revendication 18, dans lequel le conducteur électrique métallique (14b) d'au moins l'un des éléments conducteurs supérieurs (14) est agencé entre le deuxième élément électriquement isolant (17) et le conducteur électrique transparent (14a).
20. Dispositif électronique (10) selon l'une quelconque des revendications 1 à 19, dans lequel au moins l'un des éléments conducteurs supérieurs (14) délimite une portion locale agencée au niveau de la portion supérieure (13b) de l'élément actif (13) auquel il est connecté, ladite portion locale de l'élément électrique supérieur (14) étant formée au moins en partie par lithographie adaptative.
21. Dispositif électronique (10) selon l'une quelconque des revendications 1 à 20 dans lequel le paramètre externe est compris dans le groupe formé par une onde sonore, un rayonnement lumineux, un rayonnement électromagnétique, un courant électrique, une différence de potentiel et une onde de pression.
22. Procédé de fabrication d'un dispositif électronique (10) pour capture ou émission d'une grandeur physique, le procédé comprenant les étapes suivantes: El) fournir un support inférieur (11) comprenant des éléments conducteurs inférieurs (12) isolés électriquement entre eux et formés au moins en partie sur une surface de support du support inférieur (11) ;
E2) fournir une pluralité d'éléments actifs (13) présentant une épaisseur (H) considérée suivant une direction transversale orientée transversalement au support inférieur (11) et comportant chacun une portion inférieure (13a) apte à être connectée électriquement à au moins l'un des éléments conducteurs inférieurs (12), une portion supérieure (13b) disposée du côté opposé au support inférieur (11) par rapport à la portion inférieure (13a) suivant la direction transversale et une partie active apte à changer d'état lorsqu'un paramètre externe extérieur à ladite partie active est appliquée à ladite partie active, chaque élément actif (13) fourni à l'étape E2) délimitant extérieurement, suivant l'épaisseur (H), au moins une paroi latérale (13c) qui s'étend latéralement autour au moins de la portion inférieure (13a) et de la portion supérieure (13b) ;
E3) former au moins un premier élément électriquement isolant (16) agencé entre au moins une partie de ladite au moins une paroi latérale (13c) d'au moins deux éléments actifs (13) adjacents disposés côte à côte sur la surface de support du support inférieur (11) de sorte à isoler électriquement entre elles les parois latérales (13c) séparées par le premier élément électriquement isolant (16); procédé de fabrication dans lequel à l'issue d'une des étapes E2) et E3), la portion inférieure (13a) d'au moins un des éléments actifs (13) est connectée électriquement à au moins l'un des éléments conducteurs inférieurs (12) ;
E4) former des éléments conducteurs supérieurs (14) isolés électriquement entre eux de sorte que la portion supérieure (13b) de chaque élément actif (13) est connectée électriquement à au moins l'un des éléments conducteurs supérieurs (14) formés ; procédé de fabrication dans lequel à l'issue de l'étape E4), le premier élément électriquement isolant (16) est en outre agencé entre au moins l'un des éléments conducteurs supérieurs (14) et au moins l'un des éléments conducteurs inférieurs (12) de sorte que ledit au moins élément conducteur supérieur (14) et ledit au moins un élément conducteur inférieur (12) séparés par le premier élément électriquement isolant (16) soient isolés électriquement entre eux.
23. Procédé de fabrication selon la revendication 22, dans lequel les éléments actifs (13) fournis à l'étape E2) sont obtenus sur un support externe différent du support inférieur (11) préalablement à un transfert, mis en œuvre durant l'étape E2), desdits éléments actifs (13) vers le support inférieur (11).
24. Procédé de fabrication selon la revendication 23 dans lequel le premier élément électriquement isolant (16) comprend un ensemble de particules métalliques (16a) enrobées dans un matériau isolant électriquement (16b) adapté de sorte que le premier élément électriquement isolant (16) est apte à varier entre un premier état d'isolation électrique dans lequel le premier élément électriquement isolant (16) ne subit pas de pression d'écrasement et où une majorité des particules métalliques (16a) ne se touchent pas et un deuxième état de conductivité électrique directionnelle dans lequel une majorité des particules métalliques (16a) sont en contact électrique sous l'effet d'une pression d'écrasement l'étape E3) comprenant une sous-étape E31) consistant à former le premier élément électriquement isolant (16) dans une portion de contact agencée entre la portion inférieure (13a) d'au moins l'un des éléments actifs (13) et au moins l'un des éléments conducteurs inférieurs (12) apte à être connectés avec la portion inférieure (13a) de cet élément actif (13) ; le procédé comprenant une étape E21) consistant à appliquer la pression d'écrasement sur la portion de contact par un mouvement relatif entre l'élément actif (13) et le support inférieur (11), le mouvement relatif résultant de l'action d'un dispositif de collage électrique sur au moins un élément pris dans le groupe comprenant l'élément actif (13) et le support inférieur (11), de sorte que tout ou partie des particules métalliques (16a) du premier élément électriquement isolant (16), situées dans la portion de contact, soient dans leur deuxième état de conductivité électrique directionnelle assurant la connexion électrique entre la portion inférieure (13a) de l'élément actif (13) et l'élément conducteur inférieur (12).
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