WO2021140724A1 - 位置検出装置 - Google Patents

位置検出装置 Download PDF

Info

Publication number
WO2021140724A1
WO2021140724A1 PCT/JP2020/040083 JP2020040083W WO2021140724A1 WO 2021140724 A1 WO2021140724 A1 WO 2021140724A1 JP 2020040083 W JP2020040083 W JP 2020040083W WO 2021140724 A1 WO2021140724 A1 WO 2021140724A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
magnetic
detected
magnetic sensor
signal
switch
Prior art date
Application number
PCT/JP2020/040083
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
大 桑原
Original Assignee
株式会社村田製作所
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社村田製作所 filed Critical 株式会社村田製作所
Publication of WO2021140724A1 publication Critical patent/WO2021140724A1/ja

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
    • G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux

Definitions

  • the present invention relates to a position detection device.
  • Patent Document 1 Japanese Patent Application Laid-Open No. 2014-169952
  • the current value flowing through the load to be measured is detected based on the maximum value and the minimum value of the potential difference generated in both terminals of the magnetoresistive element.
  • a position detection device that detects the position of a member to be detected to which a magnetic member is attached by a magnetic sensor including a magnetoresistive element, there are two positions of the member to be detected having the same output magnitude of the magnetic sensor. If this is the case, the position of the member to be detected cannot be determined.
  • the present invention has been made in view of the above problems, and even when there are two positions of the detected member having the same output magnitude of the magnetic sensor, the position of the detected member can be determined. It is an object of the present invention to provide a position detecting device capable of the above.
  • the position detection device based on the present invention is a position detection device that detects the position of a member to be detected that can move linearly.
  • the position detecting device includes a magnetic material member, a magnetic sensor, a magnetic switch, and a control unit.
  • the magnetic member is attached to the member to be detected.
  • the magnetic sensors are arranged apart from the member to be detected in a direction orthogonal to the moving direction of the member to be detected, and the relative position with the member to be detected changes within a certain range due to the movement of the member to be detected.
  • a detection value having linearity is output according to a change in the magnitude of the magnetic field applied from the magnetic material member in the sensitivity axis direction.
  • the magnetic switches are arranged apart from the member to be detected in a direction orthogonal to the moving direction of the member to be detected, and the magnitude of the magnetic field applied from the magnetic member changes due to the movement of the member to be detected with a threshold value as a boundary. By doing so, the output signal is switched between the ON signal and the OFF signal.
  • the control unit is electrically connected to each of the magnetic sensor and the magnetic switch. When the magnetic switch outputs the ON signal, each of the magnetic switch and the magnetic sensor is arranged so that the detected value of the magnetic sensor has linearity.
  • control unit detects the position of the member to be detected from the detection value input from the magnetic sensor only when the ON signal is input from the magnetic switch.
  • control unit receives the same detection value input from the magnetic sensor when the ON signal is input from the magnetic switch and when the OFF signal is input. , The position of the member to be detected is detected as a different position.
  • the magnetic sensor includes a TMR (Tunnel Magneto Resistance) element that detects a magnetic field applied from a magnetic material member.
  • TMR Transferro Resistance
  • the magnetic switch includes an AMR (Anisotropic Magneto Resistive) element that detects a magnetic field applied from a magnetic member.
  • AMR Anagonal Magneto Resistive
  • the present invention it is possible to determine the position of the member to be detected even when there are two positions of the member to be detected having the same output magnitude of the magnetic sensor.
  • FIG. 5 is a side view of the position detection device of FIG. 1 as viewed from the direction of arrow II. It is a figure which shows the positional relationship between a magnetic material member, a magnetic sensor and a magnetic switch in the position detection apparatus which concerns on Embodiment 1 of this invention. It is a figure which shows typically the transition of the output of a magnetic sensor due to the change of the relative positional relationship with a magnetic material member, and the ON signal output range of a magnetic switch in the position detection apparatus which concerns on Embodiment 1 of this invention. ..
  • the position detecting apparatus In the position detecting apparatus according to the first embodiment of the present invention, it is a figure which shows the transition of the output of a magnetic sensor and the transition of the switching operation of a magnetic switch due to the change of the relative positional relationship with a magnetic member, and the magnet position is It is a figure which enlarges and shows the position which is around 0. It is a figure which shows the relationship between the output of the magnetic resistance element or Hall element of the magnetic switch which applied the magnetic field from the magnetic material member, and the magnet position in the position detection apparatus which concerns on Embodiment 1 of this invention. It is a figure which shows typically the display
  • the position detecting apparatus In the position detecting apparatus according to the second embodiment of the present invention, it is a figure which shows the transition of the output of a magnetic sensor by the change of the relative positional relationship with a magnetic material member, and the position where the magnet position is around 0 is enlarged. It is a figure which shows. It is a figure which shows the display pattern which the position detection apparatus which concerns on Embodiment 2 of this invention can display on a 1st display part and 2nd display part. It is a vertical sectional view which shows the structure of the position detection apparatus which concerns on Embodiment 3 of this invention. It is sectional drawing which saw the position detection apparatus of FIG.
  • FIG. 1 is a front view showing the configuration of the position detection device according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a side view of the position detecting device of FIG. 1 as viewed from the direction of arrow II.
  • FIG. 3 is a diagram showing a positional relationship between a magnetic material member, a magnetic sensor, and a magnetic switch in the position detection device according to the first embodiment of the present invention.
  • the position detection device 100 detects the position of the member 10 to be detected that can move linearly.
  • the member 10 to be detected is, for example, a cylindrical movable shaft driven in the moving direction 1 by a servomotor, an air cylinder, or the like.
  • the position detection device 100 includes a magnetic material member 110, a magnetic sensor 120, a magnetic switch 130, and a control unit 140.
  • the magnetic member 110 is attached to the member 10 to be detected.
  • the magnetic member 110 is an annular magnet.
  • the magnetic member 110 is attached to the member 10 to be detected by fitting the member 10 to be detected inside the magnetic member 110.
  • the shape of the magnetic member 110 is not limited to an annular shape, and may be, for example, a rectangular parallelepiped shape.
  • the method of fixing the magnetic member 110 and the member 10 to be detected is not limited to fitting, and for example, the magnetic member 110 may be attached to the outer peripheral surface of the member 10 to be detected by a joining material.
  • the magnetic sensors 120 are arranged apart from the detected member 10 in a direction orthogonal to the moving direction 1 of the detected member 10. Specifically, the magnetic sensor 120 is arranged on the first surface of the substrate 170.
  • the magnetic switch 130 is arranged so as to be separated from the detected member 10 in a direction orthogonal to the moving direction 1 of the detected member 10. Specifically, the magnetic switch 130 is arranged on the first surface of the substrate 170.
  • the magnetic sensor 120 and the magnetic switch 130 are arranged side by side in a direction orthogonal to the moving direction 1.
  • the relative positional relationship between the magnetic sensor 120 and the magnetic switch 130 is not limited to the case where they are arranged in the direction orthogonal to the moving direction 1, and may be arranged in the moving direction 1.
  • the magnetic switch 130 is arranged.
  • each of the magnetic switch 130 and the magnetic sensor 120 may be arranged so that the detected value of the magnetic sensor 120 has linearity.
  • the magnetic switch 130 may be arranged on a second surface facing the first surface of the substrate 170.
  • the position detection device 100 further includes a first display unit 150 and a second display unit 160 arranged on the first surface of the substrate 170.
  • Each of the first display unit 150 and the second display unit 160 is electrically connected to the control unit 140.
  • each of the first display unit 150 and the second display unit 160 is an LED (light emission diode).
  • each of the first display unit 150 and the second display unit 160 is not limited to the LED, and may be another light emitting element.
  • FIG. 4 schematically shows the transition of the output of the magnetic sensor due to the change in the relative positional relationship with the magnetic material member and the ON signal output range of the magnetic switch in the position detection device according to the first embodiment of the present invention. It is a figure which shows.
  • FIG. 5 is a diagram showing a transition of the output of the magnetic sensor and a transition of the switching operation of the magnetic switch due to a change in the relative positional relationship with the magnetic member in the position detection device according to the first embodiment of the present invention. , It is an enlarged view which shows the position where the magnet position is around 0.
  • the vertical axis shows the output of the magnetic sensor 120
  • the horizontal axis shows the magnet position. Further, the transition of the output of the magnetic sensor 120 is shown by the line LA, and the transition of the switching operation of the magnetic switch 130 is shown by the line LB.
  • FIGS. 4 and 5 the relative positions of the centers of the magnetic member 110 with respect to the centers of the magnetic sensor 120 and the magnetic switch 130 in the moving direction 1 are shown as magnet positions.
  • the center of the magnetic sensor 120 is the center of the region in which the magnetoresistive element or the Hall element included in the magnetic sensor 120 is arranged, as will be described later, in the moving direction 1.
  • the center of the magnetic switch 130 is the center of the region in which the magnetoresistive element or the Hall element included in the magnetic switch 130 is arranged, as will be described later, in the moving direction 1.
  • the magnetic sensor 120 changes from the magnetic member 110 to FIG. 3 while the relative position with the magnetic member 110 changes within a certain range due to the movement of the member 10 to be detected.
  • a detection value having linearity is output according to a change in the magnitude of the magnetic field applied in the sensitivity axis direction 121 shown.
  • the output of the magnetic sensor 120 changes substantially in proportion to the magnet position.
  • the output of the magnetic sensor 120 reaches a peak and then decreases as the absolute value of the magnet position increases. Therefore, as shown in FIG. 4, for example, there are two intersections of the straight line L1 and the line LA, which have the same output of the magnetic sensor 120, at the points P1 and P2.
  • the point P1 is in the region where the output of the magnetic sensor 120 has linearity
  • the point P2 is in the region where the output of the magnetic sensor 120 has no linearity.
  • the magnetic sensor 120 includes a TMR element.
  • the TMR element of the magnetic sensor 120 detects the magnetic field applied from the magnetic member 110.
  • the TMR element of the magnetic sensor 120 is arranged so that a magnetic field is applied in a direction intersecting the magnetization direction of the ferromagnetic layer in the TMR element at 45 °.
  • the magnetic sensor 120 is not limited to the configuration including the TMR element, and may be configured to include a GMR (Giant Magneto Resistance) element, an AMR (Anisotropic Magneto Resistance) element, or a Hall element.
  • the TMR element has, for example, a region where the output is linear over a range of ⁇ 400 mV.
  • the AMR device has, for example, a region where the output is linear over a range of ⁇ 20 mV.
  • the magnetic switch 130 changes the magnitude of the magnetic field applied from the magnetic member 110 with the threshold value as a boundary due to the movement of the member 10 to be detected, so that the ON signal and the OFF signal are shown in FIG.
  • the output signal switches to and.
  • the magnetic switch 130 outputs an ON signal.
  • the magnetic switch 130 includes an AMR element.
  • the AMR element of the magnetic switch 130 detects the magnetic field applied from the magnetic member 110.
  • the AMR element of the magnetic switch 130 is arranged so that a magnetic field is applied in a direction along the sensitivity axis direction or in a direction orthogonal to the sensitivity axis direction.
  • the magnetic switch 130 further includes a switch circuit that binarizes and outputs the detected value of the AMR element.
  • the magnetic switch 130 is not limited to the configuration including the AMR element, and may be configured to include the TMR element, the GMR element, or the Hall element.
  • FIG. 6 is a diagram showing the relationship between the output of the magnetoresistive element or Hall element of the magnetic switch to which a magnetic field is applied from the magnetic material member and the magnet position in the position detection device according to the first embodiment of the present invention.
  • the vertical axis shows the output of the magnetoresistive element or Hall element of the magnetic switch 130
  • the horizontal axis shows the magnet position.
  • the output of the AMR element is shown by the solid line X
  • the output of the TMR, GMR and the Hall element is shown by the dotted line Y.
  • the output of the AMR element is smaller than that of the TMR, GMR, and Hall elements, but the transition of the output of the AMR element with respect to the magnet position is a curve having one apex convex upward. ..
  • the transition of the output of the TMR, GMR and the Hall element with respect to the magnet position is a curve having one apex convex upward and two protrusions Pn smaller than the apex.
  • the output signal of the magnetic switch 130 is switched between an ON signal and an OFF signal when the output of the magnetoresistive element or the Hall element changes with the threshold value S as a boundary. That is, the magnetic switch 130 switches the output signal between the ON signal and the OFF signal because the magnitude of the magnetic field applied from the magnetic member 110 changes with the threshold value as the detected member 10.
  • the magnetic switch 130 since the magnetic switch 130 includes the AMR element, the protrusion Pn as shown in FIG. 6 does not appear in the output transition, so that the degree of freedom in setting the threshold value S for switching between the ON signal and the OFF signal is high.
  • the threshold value S when the magnetic switch 130 includes a TMR, GMR, or Hall element, the threshold value S must be higher than the protrusion Pn, so that the degree of freedom in setting the threshold value S is lower than that of the AMR element.
  • the detection value of the magnetic sensor 120 has linearity.
  • Each of the magnetic switch 130 and the magnetic sensor 120 is arranged in.
  • the range T1 of the magnet position where the magnetic switch 130 outputs the ON signal is narrower than the width in the moving direction 1 of the magnetic member 110. Since the magnetic sensor 120 is narrower than the range having linearity, if the magnetic force of the magnetic member 110 is sufficiently large, the influence of the gap, which is the shortest distance between the magnetic member 110 and the magnetic sensor 120, on the output of the magnetic sensor 120 is small. can do.
  • control unit 140 is electrically connected to each of the magnetic sensor 120 and the magnetic switch 130.
  • the control unit 140 is arranged on the first surface of the substrate 170.
  • the position of the member 10 to be detected is detected from the detection value input from the magnetic sensor 120 only when the ON signal is input from the magnetic switch 130.
  • control unit 140 to which the ON signal is input from the magnetic switch 130 starts the detection of the magnetic sensor 120 and detects the position of the member 10 to be detected from the detection value input from the magnetic sensor 120.
  • control unit 140 may use the member 10 to be detected when the ON signal is input from the magnetic switch 130 and when the OFF signal is input for the same detection value input from the magnetic sensor 120. Is detected as a different position.
  • control unit 140 validates the detection value input from the magnetic sensor 120 only when the ON signal is input from the magnetic switch 130, and enables the detection value input from the magnetic sensor 120 when the OFF signal is input from the magnetic switch 130. Invalidates the entered detection value.
  • control unit 140 processes the input signals from the magnetic sensor 120 and the magnetic switch 130 to detect the position of the member 10 to be detected from the detected value in the region where the output of the magnetic sensor 120 has linearity. Therefore, the position of the member 10 to be detected can be detected with high accuracy. Further, when the ON signal is not input from the magnetic switch 130, it can be determined that the magnet position is outside the range T1.
  • the control unit 140 outputs a signal to each of the first display unit 150 and the second display unit 160 based on the determination result and displays the signal.
  • the magnetic switch 130 and the magnetic sensor 120 have linearity so that the detection value of the magnetic sensor 120 has linearity when the magnetic switch 130 outputs an ON signal.
  • the position of the member 10 to be detected is detected from the detection value input from the magnetic sensor 120 only when the ON signal is input from the magnetic switch 130.
  • the position of the member 10 to be detected can be detected from the detected value in the region where the output of the magnetic sensor 120 has linearity, so that the position of the member 10 to be detected can be detected with high accuracy.
  • the control unit 140 receives an ON signal from the magnetic switch 130 and an OFF signal for the same detection value input from the magnetic sensor 120. Is input, and the position of the member 10 to be detected is detected as a different position.
  • the discriminable range of the position of the member 10 to be detected can be expanded to a region where the output of the magnetic sensor 120 does not have linearity.
  • the moving range of the member 10 to be detected can be not limited to the range in which the magnet position satisfies the range T1. That is, the range of movement of the member 10 to be detected can be expanded.
  • the magnetic sensor 120 includes a TMR element that detects a magnetic field applied from the magnetic material member 110.
  • a region in which the output of the magnetic sensor 120 has linearity can be secured widely, so that the position of the member 10 to be detected can be detected with high accuracy over a wide range.
  • the magnetic switch 130 includes an AMR element that detects a magnetic field applied from a magnetic material member.
  • the protrusion Pn as shown in FIG. 6 does not appear in the transition of the output of the AMR element, it is possible to secure a high degree of freedom in setting the threshold value S for switching between the ON signal and the OFF signal.
  • the position detection device 100 can be easily manufactured without the need to strictly control the sensitivity.
  • the position detection device according to the second embodiment of the present invention is different from the position detection device 100 according to the first embodiment of the present invention only in that it further includes a display for displaying the magnet position.
  • the description of the configuration similar to that of the position detecting device 100 will not be repeated.
  • FIG. 7 is a diagram schematically showing a display included in the position detection device according to the second embodiment of the present invention.
  • the display 190 included in the position detecting device according to the second embodiment of the present invention is electrically connected to the control unit 140.
  • the display 190 displays the magnet position according to the transition of the output of the magnetic sensor 120.
  • FIG. 8 is a diagram showing a transition of the output of the magnetic sensor due to a change in the relative positional relationship with the magnetic material member in the position detecting device according to the second embodiment of the present invention, in which the magnet position is near 0. It is a figure which shows the position enlarged.
  • the vertical axis shows the output of the magnetic sensor 120
  • the horizontal axis shows the magnet position.
  • FIG. 8 there are two intersections of the straight line L1 and the line showing the transition of the output of the magnetic sensor of the position detection device according to the second embodiment of the present invention, and the straight line L2. There are two intersections with and at points P3 and P4.
  • the points P1 and P3 are in the region where the output of the magnetic sensor 120 has linearity
  • the points P2 and P4 are in the region where the output of the magnetic sensor 120 has no linearity.
  • the control unit 140 can set the 0 point of the magnet position of the display 190 based on the straight line connecting the points P1 and P3 in the region where the output of the magnetic sensor 120 has linearity. In addition, the control unit 140 can calibrate the display 190. As a result, the control unit 140 can display the accurate magnet position on the display 190 based on the detected value of the magnetic sensor 120.
  • the control unit 140 is the third. It can be displayed on the 1 display unit 150 and the 2nd display unit 160. As a result, it is possible to determine that the magnetic member 110 is located in a region where the output of the magnetic sensor 120 does not have linearity, and display the magnetic member 110 on the first display unit 150 and the second display unit 160.
  • FIG. 9 is a diagram showing a display pattern that the position detection device according to the second embodiment of the present invention can display on the first display unit and the second display unit.
  • the region where the first display unit 150 and the second display unit 160 emit green light is G
  • the region where the first display unit 150 and the second display unit 160 emit red light is R
  • the first display unit 150 Is green and the second display unit 160 is red and emits light at the same time, and the region where the light is emitted in yellow is indicated by R + G.
  • the position detection device can display, for example, the five display patterns shown in the first to fifth embodiments.
  • the magnet position is in the region close to 0, it is displayed in green, and as the magnet position moves away from 0, it changes in the order of yellow, red, and no display, so that the position of the member 10 to be detected can be easily determined. It becomes.
  • These display switching timings can be set as appropriate.
  • the position of the detected member 10 can be determined and displayed on the first display unit 150 and the second display unit 160.
  • the position detection device according to the third embodiment of the present invention is the same as the position detection device 100 according to the first embodiment of the present invention because it is mainly different in that it includes two sets of magnetic sensors and magnetic switches. The description of the configuration will not be repeated.
  • FIG. 10 is a vertical cross-sectional view showing the configuration of the position detection device according to the third embodiment of the present invention.
  • FIG. 11 is a cross-sectional view of the position detecting device of FIG. 10 as viewed from the direction of the XX line arrow.
  • the position detecting device 200 is provided in the air cylinder.
  • the magnetic member 110 is attached to the movable shaft 20 of the air cylinder.
  • the magnetic member 110 and the movable shaft 20 are configured to be movable in the moving direction 1 inside the housing 290.
  • the housing 290 is provided with a first air inlet / outlet 291 and a second air inlet / outlet 292.
  • the position detecting device 200 includes an A unit and a B unit including a magnetic sensor 120 and a magnetic switch 130, respectively.
  • the magnetic sensor 120 and the magnetic switch 130 of the A unit are arranged corresponding to the positions where the magnetic member 110 and the movable shaft 20 approach the first air inlet / outlet 291 in the moving direction 1.
  • the magnetic sensor 120 and the magnetic switch 130 of the B unit are arranged corresponding to the positions where the magnetic member 110 and the movable shaft 20 approach the second air inlet / outlet 292 in the moving direction 1.
  • the position of the movable shaft 20 of the air cylinder can be determined based on the detection results of the magnetic sensor 120 and the magnetic switch 130 of at least one of the A unit and the B unit.

Abstract

位置検出装置は、磁性体部材(１１０)と、磁気センサ(１２０)と、磁気スイッチ(１３０)と、制御部(１４０)とを備える。磁気スイッチ(１３０)がＯＮ信号を出力しているとき、磁気センサ(１２０)の検出値が線形性を有するように、磁気スイッチ(１３０)および磁気センサ(１２０)の各々が配置されている。

Description

位置検出装置
　本発明は、位置検出装置に関する。
　磁気抵抗素子を備える電流センサを開示した先行文献として、特開２０１４－１６９９５２号公報(特許文献１)がある。特許文献１に記載された電流センサにおいては、磁気抵抗素子の両端子に発生する電位差の最大値および最小値に基づき、測定対象である負荷に流れる電流値を検出している。
特開２０１４－１６９９５２号公報
　磁性体部材が取り付けられた被検出部材の位置を、磁気抵抗素子を含む磁気センサによって検出する位置検出装置においては、磁気センサの出力の大きさが同一となる被検出部材の位置が２つ存在する場合、被検出部材の位置を判別することができない。
　本発明は上記の問題点に鑑みてなされたものであって、磁気センサの出力の大きさが同一となる被検出部材の位置が２つ存在する場合でも、被検出部材の位置を判別することが可能となる、位置検出装置を提供することを目的とする。
　本発明に基づく位置検出装置は、直線状に移動可能である被検出部材の位置を検出する位置検出装置である。位置検出装置は、磁性体部材と、磁気センサと、磁気スイッチと、制御部とを備える。磁性体部材は、被検出部材に取り付けられている。磁気センサは、被検出部材に対して被検出部材の移動方向と直交する方向に離間して配置され、被検出部材の移動によって磁性体部材との相対的位置が一定範囲内で変化している間における磁性体部材から感度軸方向に印加される磁界の大きさの変化に応じて線形性を有する検出値を出力する。磁気スイッチは、被検出部材に対して被検出部材の移動方向と直交する方向に離間して配置され、被検出部材の移動によって磁性体部材から印加される磁界の大きさが閾値を境に変化することによりＯＮ信号とＯＦＦ信号とに出力信号が切り替わる。制御部は、磁気センサおよび磁気スイッチの各々と電気的に接続されている。磁気スイッチが上記ＯＮ信号を出力しているとき、磁気センサの検出値が線形性を有するように、磁気スイッチおよび磁気センサの各々が配置されている。
　本発明の一形態においては、制御部は、磁気スイッチから上記ＯＮ信号を入力されているときのみ、磁気センサから入力された検出値から被検出部材の位置を検出する。
　本発明の一形態においては、制御部は、磁気センサから入力される同一の検出値に対して、磁気スイッチから上記ＯＮ信号が入力されているときと上記ＯＦＦ信号が入力されているときとで、被検出部材の位置を異なる位置として検出する。
　本発明の一形態においては、磁気センサは、磁性体部材から印加される磁界を検出するＴＭＲ(Tunnel　Magneto　Resistance)素子を含む。
　本発明の一形態においては、磁気スイッチは、磁性体部材から印加される磁界を検出するＡＭＲ(Anisotropic　Magneto　Resistive)素子を含む。
　本発明によれば、磁気センサの出力の大きさが同一となる被検出部材の位置が２つ存在する場合でも、被検出部材の位置を判別することが可能となる。
本発明の実施形態１に係る位置検出装置の構成を示す正面図である。 図１の位置検出装置を矢印ＩＩ方向から見た側面図である。 本発明の実施形態１に係る位置検出装置における、磁性体部材と、磁気センサおよび磁気スイッチとの位置関係を示す図である。 本発明の実施形態１に係る位置検出装置において、磁性体部材との相対的位置関係の変化による磁気センサの出力の推移、および、磁気スイッチのＯＮ信号出力範囲を、模式的に示す図である。 本発明の実施形態１に係る位置検出装置において、磁性体部材との相対的位置関係の変化による、磁気センサの出力の推移および磁気スイッチの切替動作の推移を示す図であって、磁石位置が０付近である位置を拡大して示す図である。 本発明の実施形態１に係る位置検出装置において、磁性体部材から磁界を印加された磁気スイッチの磁気抵抗素子またはホール素子の出力と磁石位置との関係を示す図である。 本発明の実施形態２に係る位置検出装置が備える表示器を模式的に示す図である。 本発明の実施形態２に係る位置検出装置において、磁性体部材との相対的位置関係の変化による、磁気センサの出力の推移を示す図であって、磁石位置が０付近である位置を拡大して示す図である。 本発明の実施形態２に係る位置検出装置が第１表示部および第２表示部に表示させることができる表示パターンを示す図である。 本発明の実施形態３に係る位置検出装置の構成を示す縦断面図である。 図１０の位置検出装置をＸＩ－ＸＩ線矢印方向から見た断面図である。
　以下、本発明の各実施形態に係る位置検出装置について図を参照して説明する。以下の実施形態の説明においては、図中の同一または相当部分には同一符号を付して、その説明は繰り返さない。
　(実施形態１)
　図１は、本発明の実施形態１に係る位置検出装置の構成を示す正面図である。図２は、図１の位置検出装置を矢印ＩＩ方向から見た側面図である。図３は、本発明の実施形態１に係る位置検出装置における、磁性体部材と、磁気センサおよび磁気スイッチとの位置関係を示す図である。
　図１および図２に示すように、本発明の実施形態１に係る位置検出装置１００は、直線状に移動可能である被検出部材１０の位置を検出する。被検出部材１０は、たとえば、サーボモータまたはエアシリンダなどによって移動方向１に駆動される円柱状の可動軸である。位置検出装置１００は、磁性体部材１１０と、磁気センサ１２０と、磁気スイッチ１３０と、制御部１４０とを備える。
　磁性体部材１１０は、被検出部材１０に取り付けられている。本発明の実施形態１に係る位置検出装置１００においては、磁性体部材１１０は、円環状の磁石である。磁性体部材１１０の内側に被検出部材１０が嵌入されることにより、磁性体部材１１０が被検出部材１０に取り付けられている。なお、磁性体部材１１０の形状は、円環状に限られず、たとえば直方体形状であってもよい。また、磁性体部材１１０と被検出部材１０との固定方法も嵌入に限られず、たとえば、被検出部材１０の外周面に接合材によって磁性体部材１１０が取り付けられていてもよい。
　図１～図３に示すように、磁気センサ１２０は、被検出部材１０に対して被検出部材１０の移動方向１と直交する方向に離間して配置されている。具体的には、磁気センサ１２０は、基板１７０の第１の面上に配置されている。
　磁気スイッチ１３０は、被検出部材１０に対して被検出部材１０の移動方向１と直交する方向に離間して配置されている。具体的には、磁気スイッチ１３０は、基板１７０の第１の面上に配置されている。
　本発明の実施形態１に係る位置検出装置１００においては、磁気センサ１２０と磁気スイッチ１３０とは、移動方向１と直交する方向において並んで配置されている。ただし、磁気センサ１２０と磁気スイッチ１３０との相対的位置関係は、移動方向１と直交する方向に並ぶ場合に限られず、移動方向１に並んでいてもよく、後述するように、磁気スイッチ１３０がＯＮ信号を出力しているとき、磁気センサ１２０の検出値が線形性を有するように、磁気スイッチ１３０および磁気センサ１２０の各々が配置されていればよい。また、磁気スイッチ１３０は、基板１７０の第１の面と対向する第２の面上に配置されていてもよい。
　本発明の実施形態１に係る位置検出装置１００は、基板１７０の第１の面上に配置された、第１表示部１５０および第２表示部１６０をさらに備えている。第１表示部１５０および第２表示部１６０の各々は、制御部１４０と電気的に接続されている。本発明の実施形態１に係る位置検出装置１００においては、第１表示部１５０および第２表示部１６０の各々は、ＬＥＤ(light　emitting　diode)である。ただし、第１表示部１５０および第２表示部１６０の各々は、ＬＥＤに限られず、他の発光素子であってもよい。
　図４は、本発明の実施形態１に係る位置検出装置において、磁性体部材との相対的位置関係の変化による磁気センサの出力の推移、および、磁気スイッチのＯＮ信号出力範囲を、模式的に示す図である。図５は、本発明の実施形態１に係る位置検出装置において、磁性体部材との相対的位置関係の変化による、磁気センサの出力の推移および磁気スイッチの切替動作の推移を示す図であって、磁石位置が０付近である位置を拡大して示す図である。
　図４および図５においては、縦軸に磁気センサ１２０の出力、横軸に磁石位置を示している。また、磁気センサ１２０の出力の推移を線ＬＡで示し、磁気スイッチ１３０の切替動作の推移を線ＬＢで示している。
　図４および図５においては、移動方向１における磁気センサ１２０および磁気スイッチ１３０の各々の中心に対する磁性体部材１１０の中心の相対的な位置を磁石位置として示している。なお、磁気センサ１２０の中心は、移動方向１において、後述するように磁気センサ１２０が含む磁気抵抗素子またはホール素子が配置されている領域の中心である。磁気スイッチ１３０の中心は、移動方向１において、後述するように磁気スイッチ１３０が含む磁気抵抗素子またはホール素子が配置されている領域の中心である。
　図４および図５に示すように、磁気センサ１２０は、被検出部材１０の移動によって磁性体部材１１０との相対的位置が一定範囲内で変化している間における磁性体部材１１０から図３に示す感度軸方向１２１に印加される磁界の大きさの変化に応じて線形性を有する検出値を出力する。
　具体的には、磁石位置が一定範囲内で変化している間は、磁気センサ１２０の出力は、磁石位置に略比例して変化する。磁石位置が一定範囲から外れると、磁気センサ１２０の出力は、ピークに到達した後、磁石位置の絶対値が大きくなるにしたがって減少する。そのため、図４に示すように、たとえば、磁気センサ１２０の出力が同一である、直線Ｌ１と線ＬＡとの交点は、点Ｐ１と点Ｐ２との２点存在する。点Ｐ１は、磁気センサ１２０の出力が線形性を有する領域にあり、点Ｐ２は、磁気センサ１２０の出力が線形性を有さない領域にある。
　本発明の実施形態１に係る位置検出装置１００においては、磁気センサ１２０は、ＴＭＲ素子を含む。磁気センサ１２０のＴＭＲ素子は、磁性体部材１１０から印加された磁界を検出する。磁気センサ１２０のＴＭＲ素子は、ＴＭＲ素子における強磁性体層の磁化方向と４５°で交差する方向に磁界が印加されるように配置される。なお、磁気センサ１２０は、ＴＭＲ素子を含む構成に限られず、ＧＭＲ(Giant　Magneto　Resistance)素子、ＡＭＲ(Anisotropic　Magneto　Resistance)素子またはホール素子を含んで構成されていてもよい。ＴＭＲ素子は、たとえば、±４００ｍＶの範囲に亘って出力が線形性を有する領域を有する。ＡＭＲ素子は、たとえば、±２０ｍＶの範囲に亘って出力が線形性を有する領域を有する。
　磁気スイッチ１３０は、後述するように被検出部材１０の移動によって磁性体部材１１０から印加される磁界の大きさが閾値を境に変化することにより、図５に示すように、ＯＮ信号とＯＦＦ信号とに出力信号が切り替わる。磁石位置が範囲Ｔ１にあるとき、磁気スイッチ１３０はＯＮ信号を出力する。
　本発明の実施形態１に係る位置検出装置１００においては、磁気スイッチ１３０は、ＡＭＲ素子を含む。磁気スイッチ１３０のＡＭＲ素子は、磁性体部材１１０から印加された磁界を検出する。磁気スイッチ１３０のＡＭＲ素子は、感度軸方向に沿う方向または感度軸方向に直交する方向に磁界が印加されるように配置される。磁気スイッチ１３０は、ＡＭＲ素子の検出値を２値化して出力するスイッチ回路をさらに含む。なお、磁気スイッチ１３０は、ＡＭＲ素子を含む構成に限られず、ＴＭＲ素子、ＧＭＲ素子またはホール素子を含んで構成されていてもよい。
　図６は、本発明の実施形態１に係る位置検出装置において、磁性体部材から磁界を印加された磁気スイッチの磁気抵抗素子またはホール素子の出力と磁石位置との関係を示す図である。図６においては、縦軸に磁気スイッチ１３０の磁気抵抗素子またはホール素子の出力、横軸に磁石位置を示している。また、ＡＭＲ素子の出力を実線Ｘで示し、ＴＭＲ、ＧＭＲおよびホール素子の出力を点線Ｙで示している。
　図６に示すように、ＡＭＲ素子は、ＴＭＲ、ＧＭＲおよびホール素子に比較して出力は小さいが、磁石位置に対するＡＭＲ素子の出力の推移は、上に凸状の１つの頂点を有する曲線となる。一方、磁石位置に対する、ＴＭＲ、ＧＭＲおよびホール素子の出力の推移は、上に凸状の１つの頂点と頂点より小さい２つの突部Ｐｎとを有する曲線となる。
　磁気スイッチ１３０は、磁気抵抗素子またはホール素子の出力が閾値Ｓを境に変化することにより、ＯＮ信号とＯＦＦ信号とに出力信号が切り替わる。すなわち、磁気スイッチ１３０は、被検出部材１０の移動によって磁性体部材１１０から印加される磁界の大きさが閾値を境に変化することにより、ＯＮ信号とＯＦＦ信号とに出力信号が切り替わる。
　磁気スイッチ１３０がＡＭＲ素子を含むことにより、出力の推移に図６に示すような突部Ｐｎが現れないため、ＯＮ信号とＯＦＦ信号とに切り替わる閾値Ｓの設定自由度が高い。一方、磁気スイッチ１３０がＴＭＲ、ＧＭＲまたはホール素子を含む場合には、閾値Ｓを突部Ｐｎより高くしなければならないため、ＡＭＲ素子に比較して閾値Ｓの設定自由度が低い。
　図４および図５に示すように、本発明の実施形態１に係る位置検出装置１００においては、磁気スイッチ１３０がＯＮ信号を出力しているとき、磁気センサ１２０の検出値が線形性を有するように、磁気スイッチ１３０および磁気センサ１２０の各々が配置されている。
　ＡＭＲ素子は異方性を有するため、図３および図４に示すように、磁気スイッチ１３０がＯＮ信号を出力する磁石位置の範囲Ｔ１は、磁性体部材１１０の移動方向１における幅より狭くなり、磁気センサ１２０が線形性を有する範囲より狭くなるため、磁性体部材１１０の磁力が十分大きければ、磁性体部材１１０と磁気センサ１２０との最短距離であるギャップによる磁気センサ１２０の出力に対する影響を小さくすることができる。
　図１に示すように、制御部１４０は、磁気センサ１２０および磁気スイッチ１３０の各々と電気的に接続されている。制御部１４０は、基板１７０の第１の面上に配置されている。
　本発明の実施形態１に係る位置検出装置１００においては、磁気スイッチ１３０からＯＮ信号を入力されているときのみ、磁気センサ１２０から入力された検出値から被検出部材１０の位置を検出する。
　たとえば、磁気スイッチ１３０からＯＮ信号が入力された制御部１４０は、磁気センサ１２０の検出を開始させ、磁気センサ１２０から入力された検出値から被検出部材１０の位置を検出する。
　若しくは、制御部１４０は、磁気センサ１２０から入力される同一の検出値に対して、磁気スイッチ１３０からＯＮ信号が入力されているときとＯＦＦ信号が入力されているときとで、被検出部材１０の位置を異なる位置として検出する。
　たとえば、制御部１４０は、磁気スイッチ１３０からＯＮ信号を入力されているときのみ磁気センサ１２０から入力された検出値を有効とし、磁気スイッチ１３０からＯＦＦ信号を入力されているときは磁気センサ１２０から入力された検出値を無効とする。
　上記のように制御部１４０が磁気センサ１２０および磁気スイッチ１３０からの入力信号を処理することにより、磁気センサ１２０の出力が線形性を有する領域にある検出値から被検出部材１０の位置を検出することができるため、高精度に被検出部材１０の位置を検出することができる。また、磁気スイッチ１３０からＯＮ信号を入力されていないときは、磁石位置が範囲Ｔ１より外にあることを判別することができる。
　制御部１４０は、判別結果に基づいて、第１表示部１５０および第２表示部１６０の各々に信号を出力して表示させる。
　本発明の実施形態１に係る位置検出装置１００においては、磁気スイッチ１３０がＯＮ信号を出力しているとき、磁気センサ１２０の検出値が線形性を有するように、磁気スイッチ１３０および磁気センサ１２０の各々が配置されていることにより、磁気センサ１２０の出力の大きさが同一となる被検出部材１０の位置が２つ存在する場合でも、被検出部材１０の位置を判別することが可能となる。すなわち、図４に示す、点Ｐ１と点Ｐ２とを判別することが可能である。
　本発明の実施形態１に係る位置検出装置１００においては、磁気スイッチ１３０からＯＮ信号を入力されているときのみ、磁気センサ１２０から入力された検出値から被検出部材１０の位置を検出する。これにより、磁気センサ１２０の出力が線形性を有する領域にある検出値から被検出部材１０の位置を検出することができるため、高精度に被検出部材１０の位置を検出することができる。
　本発明の実施形態１に係る位置検出装置１００においては、制御部１４０は、磁気センサ１２０から入力される同一の検出値に対して、磁気スイッチ１３０からＯＮ信号が入力されているときとＯＦＦ信号が入力されているときとで、被検出部材１０の位置を異なる位置として検出する。これにより、磁気センサ１２０の出力が線形性を有さない領域まで被検出部材１０の位置の判別可能範囲を拡大することができる。その結果、被検出部材１０の移動範囲が、磁石位置が範囲Ｔ１を満たす範囲内に限定されなくすることができる。すなわち、被検出部材１０の移動範囲を拡大することができる。
　本発明の実施形態１に係る位置検出装置１００においては、磁気センサ１２０は、磁性体部材１１０から印加される磁界を検出するＴＭＲ素子を含む。これにより、磁気センサ１２０の出力が線形性を有する領域を広く確保することができるため、広範囲に亘って高精度に被検出部材１０の位置を検出することができる。
　本発明の実施形態１に係る位置検出装置１００においては、磁気スイッチ１３０は、磁性体部材から印加される磁界を検出するＡＭＲ素子を含む。これにより、ＡＭＲ素子の出力の推移に図６に示すような突部Ｐｎが現れないため、ＯＮ信号とＯＦＦ信号とに切り替わる閾値Ｓの設定自由度を高く確保することができるため、ＡＭＲ素子の感度を厳しく管理する必要がなく、位置検出装置１００を容易に製造することができる。
　(実施形態２)
　以下、本発明の実施形態２に係る位置検出装置について図を参照して説明する。なお、本発明の実施形態２に係る位置検出装置は、磁石位置を表示する表示器をさらに備える点のみ本発明の実施形態１に係る位置検出装置１００と異なるため、本発明の実施形態１に係る位置検出装置１００と同様である構成については説明を繰り返さない。
　図７は、本発明の実施形態２に係る位置検出装置が備える表示器を模式的に示す図である。図７に示すように、本発明の実施形態２に係る位置検出装置が備える表示器１９０は、制御部１４０に電気的に接続されている。表示器１９０は、磁気センサ１２０の出力の推移に応じて、磁石位置を表示する。
　図８は、本発明の実施形態２に係る位置検出装置において、磁性体部材との相対的位置関係の変化による、磁気センサの出力の推移を示す図であって、磁石位置が０付近である位置を拡大して示す図である。図８においては、縦軸に磁気センサ１２０の出力、横軸に磁石位置を示している。
　図８に示すように、本発明の実施形態２に係る位置検出装置の磁気センサの出力の推移を示す線と、直線Ｌ１との交点は点Ｐ１と点Ｐ２との２点存在し、直線Ｌ２との交点は点Ｐ３と点Ｐ４との２点存在する。点Ｐ１および点Ｐ３は、磁気センサ１２０の出力が線形性を有する領域にあり、点Ｐ２および点Ｐ４は、磁気センサ１２０の出力が線形性を有さない領域にある。
　制御部１４０は、磁気センサ１２０の出力が線形性を有する領域にある点Ｐ１と点Ｐ３とを結ぶ直線に基づいて、表示器１９０の磁石位置の０点を設定することができる。また、制御部１４０は、表示器１９０のキャリブレーションを行なうことができる。その結果、制御部１４０は、磁気センサ１２０の検出値に基づいて、表示器１９０に正確な磁石位置を表示させることができる。
　さらに、制御部１４０は、磁気センサ１２０の検出値が直線Ｌ１上の出力値以上である領域、および、磁気センサ１２０の検出値が直線Ｌ２上の出力値以下である領域にあるときに、第１表示部１５０および第２表示部１６０に表示させることができる。その結果、磁気センサ１２０の出力が線形性を有さない領域に磁性体部材１１０があることを判別して、第１表示部１５０および第２表示部１６０に表示させることができる。
　図９は、本発明の実施形態２に係る位置検出装置が第１表示部および第２表示部に表示させることができる表示パターンを示す図である。図９においては、第１表示部１５０および第２表示部１６０が緑色に発光する領域をＧ、第１表示部１５０および第２表示部１６０が赤色に発光する領域をＲ、第１表示部１５０が緑色で第２表示部１６０が赤色で同時に発光して合わせて黄色に発光する領域をＲ＋Ｇで示している。
　図９に示すように、本発明の実施形態２に係る位置検出装置は、たとえば、実施例１～実施例５に示す５つの表示パターンを表示することが可能である。磁石位置が０に近い領域にあるときに緑色で表示し、磁石位置が０から離れるにしたがって黄色、赤色、無表示に順に変わることにより、被検出部材１０の位置を容易に判別することが可能となる。これらの、表示の切り替えタイミングは、適宜設定することが可能である。実施例５においては、磁気センサ１２０の出力が線形性を有さない領域においても被検出部材１０の位置を判別して第１表示部１５０および第２表示部１６０に表示させることができる。
　(実施形態３)
　以下、本発明の実施形態３に係る位置検出装置について図を参照して説明する。なお、本発明の実施形態３に係る位置検出装置は、２組の磁気センサおよび磁気スイッチを備えている点が主に異なるため、本発明の実施形態１に係る位置検出装置１００と同様である構成については説明を繰り返さない。
　図１０は、本発明の実施形態３に係る位置検出装置の構成を示す縦断面図である。図１１は、図１０の位置検出装置をＸ－Ｘ線矢印方向から見た断面図である。
　図１０および図１１に示すように、本発明の実施形態３に係る位置検出装置２００は、エアシリンダに設けられている。磁性体部材１１０は、エアシリンダの可動軸２０に取り付けられている。磁性体部材１１０および可動軸２０は、ハウジング２９０の内部を移動方向１に沿って移動可能に構成されている。ハウジング２９０には、第１エア出入口２９１および第２エア出入口２９２が設けられている。第１エア出入口２９１から空気が供給されることにより、磁性体部材１１０および可動軸２０は図１０の右側に移動し、第２エア出入口２９２から空気が供給されることにより、磁性体部材１１０および可動軸２０は図１０の左側に移動する。
　本発明の実施形態３に係る位置検出装置２００は、磁気センサ１２０および磁気スイッチ１３０を各々含む、ＡユニットとＢユニットとを備える。Ａユニットの磁気センサ１２０および磁気スイッチ１３０は、移動方向１において、磁性体部材１１０および可動軸２０が第１エア出入口２９１に近づいた位置に対応して配置されている。Ｂユニットの磁気センサ１２０および磁気スイッチ１３０は、移動方向１において、磁性体部材１１０および可動軸２０が第２エア出入口２９２に近づいた位置に対応して配置されている。
　上記の配置により、エアシリンダの可動軸２０の位置をＡユニットおよびＢユニットの少なくとも一方の磁気センサ１２０および磁気スイッチ１３０の検出結果に基づいて、可動軸２０の位置を判別することができる。
　上述した実施形態の説明において、組み合わせ可能な構成を相互に組み合わせてもよい。
　今回開示された実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
　１　移動方向、１０　被検出部材、２０　可動軸、１００，２００　位置検出装置、１１０　磁性体部材、１２０　磁気センサ、１２１　感度軸方向、１３０　磁気スイッチ、１４０　制御部、１５０　第１表示部、１６０　第２表示部、１７０　基板、１９０　表示器、２９０　ハウジング、２９１　第１エア出入口、２９２　第２エア出入口。

Claims (5)

  1. 　直線状に移動可能である被検出部材の位置を検出する位置検出装置であって、
    　前記被検出部材に取り付けられた磁性体部材と、
    　前記被検出部材に対して前記被検出部材の移動方向と直交する方向に離間して配置され、前記被検出部材の移動によって前記磁性体部材との相対的位置が一定範囲内で変化している間における前記磁性体部材から感度軸方向に印加される磁界の大きさの変化に応じて線形性を有する検出値を出力する磁気センサと、
    　前記被検出部材に対して前記被検出部材の移動方向と直交する方向に離間して配置され、前記被検出部材の移動によって前記磁性体部材から印加される磁界の大きさが閾値を境に変化することによりＯＮ信号とＯＦＦ信号とに出力信号が切り替わる磁気スイッチと、
    　前記磁気センサおよび前記磁気スイッチの各々と電気的に接続された制御部とを備え、
    　前記磁気スイッチが前記ＯＮ信号を出力しているとき、前記磁気センサの検出値が線形性を有するように、前記磁気スイッチおよび前記磁気センサの各々が配置されている、位置検出装置。
  2. 　前記制御部は、前記磁気スイッチから前記ＯＮ信号を入力されているときのみ、前記磁気センサから入力された検出値から前記被検出部材の位置を検出する、請求項１に記載の位置検出装置。
  3. 　前記制御部は、前記磁気センサから入力される同一の検出値に対して、前記磁気スイッチから前記ＯＮ信号が入力されているときと前記ＯＦＦ信号が入力されているときとで、前記被検出部材の位置を異なる位置として検出する、請求項１に記載の位置検出装置。
  4. 　前記磁気センサは、前記磁性体部材から印加される磁界を検出するＴＭＲ素子を含む、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の位置検出装置。
  5. 　前記磁気スイッチは、前記磁性体部材から印加される磁界を検出するＡＭＲ素子を含む、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の位置検出装置。
PCT/JP2020/040083 2020-01-09 2020-10-26 位置検出装置 WO2021140724A1 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020001905 2020-01-09
JP2020-001905 2020-01-09

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2021140724A1 true WO2021140724A1 (ja) 2021-07-15

Family

ID=76788696

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2020/040083 WO2021140724A1 (ja) 2020-01-09 2020-10-26 位置検出装置

Country Status (1)

Country Link
WO (1) WO2021140724A1 (ja)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5569011A (en) * 1978-11-18 1980-05-24 Sony Corp Constant point position detector
JPS57179709A (en) * 1981-04-30 1982-11-05 Sony Magnescale Inc Magnetic sensor
JPH0643305U (ja) * 1992-11-18 1994-06-07 株式会社コガネイ 流体圧作動機器の位置検出装置
JP2004245644A (ja) * 2003-02-12 2004-09-02 Sony Precision Technology Inc 位置検出装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5569011A (en) * 1978-11-18 1980-05-24 Sony Corp Constant point position detector
JPS57179709A (en) * 1981-04-30 1982-11-05 Sony Magnescale Inc Magnetic sensor
JPH0643305U (ja) * 1992-11-18 1994-06-07 株式会社コガネイ 流体圧作動機器の位置検出装置
JP2004245644A (ja) * 2003-02-12 2004-09-02 Sony Precision Technology Inc 位置検出装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9347799B2 (en) Magnetic field sensor system with a magnetic wheel rotatable around a wheel axis and with magnetic sensor elements being arranged within a plane perpendicular to the wheel axis
US8836317B2 (en) Current sensor
JP4768066B2 (ja) 磁気抵抗効果素子を用いた位置検知装置
US6806702B2 (en) Magnetic angular position sensor apparatus
JP5535139B2 (ja) 近接センサ
JP6791033B2 (ja) ポジションセンサ
US20200072593A1 (en) Position sensor
US10649043B2 (en) Magnetic field sensor device configured to sense with high precision and low jitter
WO2018230243A1 (ja) ポジションセンサ
US9360345B2 (en) Extended smart position sensing range using electromagnetics
US7969145B2 (en) Position detecting device with a magnetoresistive element
US10883857B2 (en) Integrated magnetic structure
WO2006020626A1 (en) Precision non-contact digital switch
WO2021140724A1 (ja) 位置検出装置
US11047927B2 (en) Displacement detector device
JP2857335B2 (ja) ピストン位置検出装置
US9347550B2 (en) Shift lever device using magnetism detection switch
JP2008170273A (ja) 磁気抵抗効果素子を用いた位置検知装置
JP7281492B2 (ja) 磁気センサの設計方法
JPWO2008139930A1 (ja) 磁気抵抗効果素子を用いた位置検知装置
JP2659690B2 (ja) ピストン位置検出装置
JP2016045005A (ja) 位置検出センサ
JP5191946B2 (ja) 磁気抵抗効果素子を用いた位置検知装置

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 20911606

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 20911606

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: JP