WO2021118011A1 - 방향성 전기강판의 자구 미세화 장치 - Google Patents

방향성 전기강판의 자구 미세화 장치 Download PDF

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WO2021118011A1
WO2021118011A1 PCT/KR2020/011391 KR2020011391W WO2021118011A1 WO 2021118011 A1 WO2021118011 A1 WO 2021118011A1 KR 2020011391 W KR2020011391 W KR 2020011391W WO 2021118011 A1 WO2021118011 A1 WO 2021118011A1
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WO
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laser beam
steel sheet
composite head
condensing mirror
oriented electrical
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Application number
PCT/KR2020/011391
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English (en)
French (fr)
Inventor
민기영
홍성철
권오철
Original Assignee
주식회사 포스코
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/36—Removing material
    • B23K26/362—Laser etching
    • B23K26/364—Laser etching for making a groove or trench, e.g. for scribing a break initiation groove
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/073—Shaping the laser spot
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C21—METALLURGY OF IRON
    • C21D—MODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
    • C21D8/00—Modifying the physical properties by deformation combined with, or followed by, heat treatment
    • C21D8/12—Modifying the physical properties by deformation combined with, or followed by, heat treatment during manufacturing of articles with special electromagnetic properties
    • C21D8/1277—Modifying the physical properties by deformation combined with, or followed by, heat treatment during manufacturing of articles with special electromagnetic properties involving a particular surface treatment

Definitions

  • the present invention relates to an apparatus for refining a magnetic domain of a grain-oriented electrical steel sheet.
  • the magnetic domain refining device of the grain-oriented electrical steel sheet is a device for minimizing the iron loss of the grain-oriented electrical steel sheet by refining the magnetic domain in the grain-oriented electrical steel sheet.
  • the conventional magnetic domain refining apparatus of a grain-oriented electrical steel sheet includes an optical system for irradiating a laser beam to the grain-oriented electrical steel sheet.
  • the conventional optical system shapes the laser beam emitted from the laser oscillator through a complex shaping mirror, totally reflects the laser beam in the polygon mirror, and reflects the laser beam in the condensing mirror to form a groove in the steel plate.
  • the present invention irradiates a single-mode continuous wave laser beam on the surface of a grain-oriented electrical steel sheet directly from a laser beam lens of a composite head through a condensing mirror, so that a groove or radiation line of a desired size can be processed alone or simultaneously.
  • a condensing mirror irradiates a single-mode continuous wave laser beam on the surface of a grain-oriented electrical steel sheet directly from a laser beam lens of a composite head through a condensing mirror, so that a groove or radiation line of a desired size can be processed alone or simultaneously.
  • An apparatus for refining a magnetic domain of a grain-oriented electrical steel sheet includes at least one laser oscillator for oscillating a laser beam, and an optical system for processing a groove by irradiating the laser beam oscillated from the laser oscillator on the surface of the steel sheet may include.
  • the optical system may include at least one composite head having a laser beam lens receiving the laser beam oscillated from the laser oscillator, and a condensing mirror for receiving the laser beam emitted from the laser beam lens and reflecting it on the surface of the steel sheet.
  • the optical system may include a laser beam size adjusting unit for adjusting the laser beam transmitted from the laser beam lens to the condensing mirror to a desired size.
  • the laser beam size adjusting unit may include a laser beam irradiation slot installed in the composite head and configured to adjust the laser beam passing through the laser beam lens to a desired size to irradiate with the condensing mirror.
  • the composite head may be provided with a composite head position adjusting device for adjusting the position of the composite head with respect to the surface of the steel plate.
  • the condensing mirror may be provided with a condensing mirror position adjusting device for adjusting the position of the condensing mirror with respect to the surface of the steel sheet.
  • a module plate for rotating the optical system to a desired angle may be installed in the optical system.
  • An adjustment lever for adjusting the rotation angle of the module plate may be installed on the module plate.
  • a shutter for passing the laser beam reflected from the condensing mirror to the surface of the steel plate may be installed on the module plate.
  • At least one column of condensing mirrors may be disposed on the shutter, and at least one or more condensing mirrors may be disposed on each row of condensing mirrors.
  • At least one row of composite heads may be disposed on the module plate to correspond to the condensing mirror, and at least one composite head may be disposed on the row of composite heads.
  • a composite head base for supporting the composite head may be installed at the center of the lower end of the composite head.
  • the composite head positioning device may include a positioning screw coupled to the lower end of one end of the composite head to adjust the position of the composite head with respect to the composite head base.
  • the condensing mirror position adjusting device may include a connecting shaft connected to the condensing mirror, and a driving motor coupled to the connecting shaft to elevate the condensing mirror to a desired height with respect to the surface of the steel plate.
  • the laser beam irradiation slot may be disposed at an end of the composite head that is closer to the condensing mirror.
  • a laser beam guide for guiding the movement of the laser beam may be installed in the composite head.
  • the composite head may be provided with an irradiation slot adjusting device for adjusting the movement of the laser beam irradiation slot in the longitudinal direction of the composite head.
  • a lens position adjusting device for adjusting the movement of the laser beam lens in the longitudinal direction of the composite head may be installed in the composite head.
  • the upper width, lower width and depth are each within 70 ⁇ m
  • 10 A groove of 3 to 30 ⁇ m can be formed within ⁇ m.
  • the iron loss improvement rate before and after the heat treatment of the electrical steel sheet after the secondary recrystallization or after the insulation coating can be secured by 5% or more and 10% or more, respectively.
  • a single radiation line can be formed along the width direction of the steel sheet through the composite head and condensing mirror capable of adjusting the focus and position of the laser beam.
  • the arrangement of the optical system including the composite head is free, and it has the advantage of minimizing the space occupied by the equipment.
  • FIG. 1 is a partial plan view of an apparatus for refining a magnetic domain of a grain-oriented electrical steel sheet according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a partial front view of an apparatus for refining magnetic domains of a grain-oriented electrical steel sheet according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is a partial detailed front view of FIG. 2 ;
  • FIG. 4 is a schematic view of a steel sheet having continuous grooves and radiation lines along the width direction and the progress direction of the steel sheet formed by the magnetic domain refining apparatus of the grain-oriented electrical steel sheet according to an embodiment of the present invention, each along the width direction of the steel sheet It is a diagram showing a case where there is a step difference in each radiation line formed by the composite head of
  • FIG. 5 is a schematic view of a steel sheet having continuous grooves along the width direction and the progress direction of the steel sheet formed by the magnetic domain refining apparatus of the grain-oriented electrical steel sheet according to an embodiment of the present invention, each composite along the width direction of the steel sheet; It is a diagram showing a case in which each radiation line formed by the head is in a straight line form as one radiation line.
  • FIG. 1 is a partial plan view of an apparatus for refining a magnetic domain of a grain-oriented electrical steel sheet according to an embodiment of the present invention
  • FIG. 2 is a partial front view of an apparatus for refining a domain of a grain-oriented electrical steel sheet according to an embodiment of the present invention
  • FIG. 2 is a partial detailed front view.
  • FIG. 4 is a schematic view of a steel sheet having continuous grooves along the width direction and the progress direction of the steel sheet formed by the magnetic domain refining apparatus of the grain-oriented electrical steel sheet according to an embodiment of the present invention.
  • an apparatus for refining a magnetic domain of a grain-oriented electrical steel sheet may include a laser oscillator 100 and an optical system 200 .
  • At least one laser oscillator 100 is provided to oscillate the laser beam 10 .
  • the optical system 200 irradiates the laser beam 10 oscillated from the laser oscillator 100 on the surface of the steel sheet 1 to form a rolling direction (Y direction in FIG. 4) and a width direction (
  • the groove can be machined to a desired size at set intervals along the X direction in FIG. 4 ).
  • the groove may include both the dot-shaped groove 3 and the radiation line 31 which is a line-shaped groove.
  • the optical system 200 includes at least one composite head 210 , a condensing mirror 220 , and a laser beam size adjustment unit, the groove 3 or the radiation line 31 is formed alone or on the surface of the steel sheet 1 . processing is possible at the same time.
  • At least one composite head 210 may have a laser beam lens 211 that receives the laser beam 10 oscillated from the laser oscillator 100 .
  • the condensing mirror 220 may receive the laser beam 10 emitted from the laser beam lens 211 and reflect it on the surface of the steel plate 1 .
  • the laser beam size adjusting unit may adjust the laser beam 10 transmitted from the laser beam lens 211 to the condensing mirror 220 to a desired size.
  • the laser beam size adjusting unit is installed in the composite head 210, and adjusts the laser beam 10 that has passed through the laser beam lens 211 to a desired size to be irradiated to the condensing mirror 220 by a laser beam irradiation slot ( 230) may be included.
  • the laser beam 10 oscillated by the laser oscillator 100 may be a single-mode continuous wave laser beam having a laser energy density necessary for melting the steel sheet 1 .
  • the laser beam 10 may have, for example, a laser energy density within the range of 1.0 to 5.0 J/mm 2 to easily form the groove 3 or the irradiation line 31 in the steel sheet 1 .
  • a composite head base 213 for supporting the composite head 210 may be installed at the lower end of the composite head 210 .
  • a central portion of the composite head 210 in the longitudinal direction (X direction in FIG. 3 ) of the composite head 210 may be supported by the composite head base 213 so that the composite head 210 can be easily positioned with respect to the composite head base 213 .
  • the composite head 210 has a composite head 210 at a desired height H1 and an angle ⁇ with respect to the surface of the steel plate 1 of the laser beam 10 irradiated from the laser irradiation slot 230 to the condensing mirror 220.
  • a composite head position adjusting device 240 for adjusting the position of the may be installed.
  • the overall focal length of the laser beam 10 irradiated from each composite head 210 to the condensing mirror 220 may be adjusted by the steel plate support roll 20 .
  • the condensing mirror 220 has a position of the condensing mirror 220 with respect to the surface of the steel sheet 1 so that the focal length of the laser beam 10 irradiated from the condensing mirror 220 to the surface of the steel sheet 1 can be finely adjusted.
  • a module plate 260 may be rotatably installed at the lower end of the composite head base 213 of the optical system 200 to rotate the optical system 200 at a desired angle.
  • An adjustment lever 261 for adjusting the rotation angle of the module plate 260 may be installed at the upper end of the module plate 260 .
  • a shutter 263 for passing the laser beam 10 reflected from the condensing mirror 220 to the surface of the steel plate 1 may be installed in the module plate 260 .
  • At least one column of condensing mirrors 220 may be disposed in the shutter 263 , and at least one or more condensing mirrors 220 may be disposed in one row of condensing mirrors 220 .
  • At least one row of composite heads 210 may be installed on the module plate 260 to correspond to the condensing mirror 220 provided in the shutter 263 .
  • At least one compound head 210 may be disposed in one row of compound heads 210 .
  • the composite head positioning device 240 may include a positioning screw 241 coupled to the lower end of one end of the composite head 210 to adjust the position of the composite head 210 with respect to the composite head base 213 . have.
  • the compound head position adjusting device 240 adjusts the position of one end of the compound head 210 with respect to a straight line formed by the top surface of the compound head base 213 , that is, the height of the compound head base 213 , thereby adjusting the compound head base 213 .
  • the position of 210 can be adjusted.
  • the condensing mirror position adjusting device 250 includes a connecting shaft 251 connected to the condensing mirror 220, and the condensing mirror 220 coupled to the connecting shaft 251 to a desired set height H2 with respect to the surface of the steel plate 1 .
  • ) may include a driving motor 253 for lifting.
  • the irradiation point of the condensing mirror 220 from which the laser beam 10 is irradiated from the laser irradiation slot 230 By adjusting the position of (P1), various parts of the condensing mirror 220 can be used evenly, so that the life of the condensing mirror 220 can be extended.
  • the laser oscillator 100 and the composite head 210 are connected by a laser optical cable 110 so that the laser beam 10 oscillated from the laser oscillator 100 is delivered to one or more respective composite heads 210, respectively.
  • the laser beam irradiation slot 230 is one end of the composite head 210 , that is, the end close to the condensing mirror 220 , so that the laser beam 10 irradiated by the condensing mirror 220 can be easily adjusted to a desired size. can be placed on the side.
  • the laser beam irradiation slot 230 has a laser beam guide for guiding the movement of the laser beam 10 installed inside the composite head 210 and delivered from the laser beam lens 211 to the laser beam irradiation slot 230 ( 231) can be installed.
  • the composite head 210 includes a laser beam irradiation slot 230 to adjust the width W1 of the laser beam 10 irradiated from the laser irradiation slot 230 to the condensing mirror 220 to a desired size.
  • a laser beam irradiation slot 230 to adjust the width W1 of the laser beam 10 irradiated from the laser irradiation slot 230 to the condensing mirror 220 to a desired size.
  • the composite head 210 includes a laser beam lens 211 in the longitudinal direction of the composite head 210 (X direction in FIG. 3 ) to adjust the distance between the laser beam lens 211 and the laser beam irradiation slot 230 .
  • a lens position adjusting device 235 for adjusting the movement according to the angle may be installed.
  • FIGS. 1 to 5 the operation of the magnetic domain refining apparatus of the grain-oriented electrical steel sheet according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 5 .
  • a plurality of composite heads 210 are installed in one row or multiple rows in the optical system 200 to divide the steel plate 1 and irradiate the laser beam 10 to each divided region or point.
  • the laser beam 10 oscillated by each laser oscillator 100 is respectively emitted to each composite head 210 of the optical system 200 connected by the laser optical cable 110 .
  • Each of the composite heads 210 in the optical system 200 sequentially passes through the laser beam lens 211 and the laser beam irradiation slot 230 to be processed and output to a desired size.
  • each composite head 210 the laser beam 10 passing through each composite head 210 is transmitted to the condensing mirror 220 again without another device in the intermediate process, and is irradiated to the steel plate 1 through the shutter 263 to each composite head 210 . ), a groove is dug in the width direction (X direction in FIG. 4) by the adjusted width, thereby making a groove 3 or radiation line 31 over the entire width of the steel sheet 1 as a whole.
  • each You can adjust the laser power or the depth of the groove (3) by finding the optimal focus of the laser beam.
  • the irradiation slot adjusting device 233 adjusts the movement of the laser beam irradiation slot 230 in the longitudinal direction (X direction in FIG. 3 ) of the composite head 210 from the laser irradiation slot 230 to the condensing mirror 220 . ), the width W1 of the irradiated laser beam 10 can be adjusted to a desired size.
  • the lens position adjusting device 235 adjusts the movement of the laser beam lens 211 in the longitudinal direction (X direction in FIG. 3 ) of the composite head 210 to the laser beam lens 211 and the laser beam irradiation slot ( 230) can be adjusted.
  • the position adjusting screw 241 of the compound head position adjusting device 240 may be coupled to the lower end of one end of the compound head 210 to adjust the position of the compound head 210 with respect to the compound head base 213 .
  • the compound head position adjusting device 240 adjusts the position of one end of the compound head 210 with respect to a straight line formed by the upper surface of the compound head base 213 , that is, the height of the compound head base 213 .
  • the position of the composite head 210 may be adjusted.
  • the overall focal length of the laser beam 10 reflected on the surface of the steel sheet 1 through the condensing mirror 220 in the plurality of composite heads 210 installed in the optical system 200 is adjusted by the steel sheet support roll 20, and fine
  • the focal length may be adjusted by the condensing mirror position adjusting device 250 .
  • the overall focal length of the laser beam 10 may be adjusted by adjusting the distance between the steel plate support roll 20 and the condensing mirror 220 .
  • the position of the condensing mirror 220 with respect to the surface of the steel plate 1 by raising and lowering the condensing mirror 220 to a desired set height H2 by driving the driving motor 253 of the condensing mirror position adjusting device 250 , the position of the condensing mirror 220 with respect to the surface of the steel plate 1 . by adjusting the focal length of the laser beam 10 irradiated from the condensing mirror 220 to the surface of the steel plate 1 can be finely adjusted.
  • the laser beam 10 is irradiated from the laser irradiation slot 230 of the condensing mirror 220 .
  • the position of the irradiation point P1 can be adjusted.
  • the composite head 210 and the optical system 200 such as the condensing mirror 220 are integrally placed on the rotatable module plate 260, and by adjusting the adjustment lever 261, the module plate 260 can be rotated to a desired angle. have.
  • the plurality of composite heads 210 adjust the size of their own laser beams to the condensing mirror 220 without other devices in the intermediate process to the condensing mirror 220.
  • a groove (3) or radiation line (31) can be made on the surface of the steel plate (1) by reaching .
  • each radiation line 31 formed by each composite head 210 may be a step in each radiation line 31 formed by each composite head 210 along the width direction (X direction in FIG. 4 ) of the steel sheet 1 .
  • each radiation line 31-1, 31-2, 31-3 formed by each composite head 210 along the width direction of the steel sheet 1 is straight as one radiation line. can have a form.
  • the length (X direction in FIG. 3), height (Y direction in FIG. 3), width (Z direction in FIG. 1), etc. are adjusted for each composite head 210 to match the focus of the steel plate 1 or Different adjustments become possible.
  • Table 1 shows the iron loss improvement rate of the grain-oriented electrical steel sheet with respect to the grooves formed on the surface of the steel sheet with a thickness of 0.27 mm by irradiation of a continuous wave laser beam to the magnetic domain refining apparatus of the grain-oriented electrical steel sheet according to an embodiment of the present invention.

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Abstract

방향성 전기강판의 자구 미세화 장치를 제공한다. 본 발명에 따른 자구 미세화 장치는, 레이저 발진기에서 발진된 레이저 빔을 전달받는 레이저 빔 렌즈를 갖는 적어도 하나 이상의 복합 헤드, 레이저 빔을 전달받아 강판의 표면에 반사하기 위한 집광 미러, 및 집광 미러로 전달되는 레이저 빔을 원하는 크기로 조정하기 위한 레이저 빔 크기 조정부를 포함한다.

Description

방향성 전기강판의 자구 미세화 장치
본 발명은 방향성 전기강판의 자구 미세화 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 방향성 전기강판의 자구 미세화 장치는 방향성 전기강판에 자구를 미세화하여 방향성 전기강판의 철손을 최소화하는 장치이다.
최근, 레이저 빔을 이용하여 방향성 전기강판에 홈 형태의 자구 미세화 패턴을 형성하는 방향성 전기강판의 자구 미세화 장치가 이용되고 있다.
종래의 방향성 전기강판의 자구 미세화 장치는 방향성 전기강판에 레이저 빔을 조사하는 광학계를 포함한다.
종래의 광학계는 레이저 발진기에서 출사된 레이저 빔을 복합 쉐이핑 미러를 통해 레이저 빔의 형태를 잡아주며, 폴리곤 미러에서 레이저 빔을 전반사시키고, 집광 미러에서 레이저 빔을 반사시켜 강판에 홈을 형성시킨다.
그러나, 종래의 광학계는 레이저 발진기에서 출사된 레이저 빔이 복합 쉐이핑 미러, 폴리곤 미러, 집광 미러와 같은 다수의 구성요소를 통과한 후 강판 표면에 조사되기 때문에 그 만큼 구성이 복잡하게 되며, 철손이 증가하게 된다.
또한, 열처리 전후의 철손 개선율이 크게 저하될 뿐만 아니라 레이저 빔의 조사에 의한 홈 또는 조사선을 원하는 크기로 정확하게 조절하기 곤란하므로 레이저 빔에 의한 열영향부의 영향이 그 만큼 증가하게 되며 홈 형성에 따라 자속밀도가 저하된다.
본 발명은 방향성 전기강판의 표면에 싱글 모드 연속파 레이저 빔을 복합 헤드의 레이저 빔 렌즈에서 직접 집광 미러를 통하여 조사하여 원하는 크기의 홈 또는 조사선을 단독 또는 동시에 가공할 수 있도록 한 방향성 전기강판의 자구 미세화 장치를 제공하고자 한다.
본 발명의 일 구현예에 따른 방향성 전기강판의 자구 미세화 장치는, 레이저 빔을 발진하기 위한 적어도 하나 이상의 레이저 발진기, 및 레이저 발진기에서 발진된 레이저 빔을 강판의 표면에 조사하여 홈을 가공하기 위한 광학계를 포함할 수 있다.
광학계는, 레이저 발진기에서 발진된 레이저 빔을 전달받는 레이저 빔 렌즈를 갖는 적어도 하나 이상의 복합 헤드, 레이저 빔 렌즈에서 출사된 레이저 빔을 전달받아 강판의 표면에 반사하기 위한 집광 미러를 포함할 수 있다.
또한, 광학계는 레이저 빔 렌즈로부터 집광 미러로 전달되는 레이저 빔을 원하는 크기로 조정하기 위한 레이저 빔 크기 조정부를 포함할 수 있다.
레이저 빔 크기 조정부는 복합 헤드 내에 설치되고, 레이저 빔 렌즈를 통과한 레이저 빔을 원하는 크기로 조정하여 집광 미러로 조사하기 위한 레이저 빔 조사 슬롯을 포함할 수 있다.
복합 헤드에는 강판 표면에 대한 복합 헤드의 위치를 조절하기 위한 복합 헤드 위치 조절 장치가 설치될 수 있다.
집광 미러에는 강판 표면에 대한 집광 미러의 위치를 조정하기 위한 집광 미러 위치 조절 장치가 설치될 수 있다.
광학계에는 광학계를 원하는 각도로 회전시켜 주기 위한 모듈 플레이트가 설치될 수 있다.
모듈 플레이트에는 모듈 플레이트의 회전 각도를 조절하기 위한 조절 레버가 설치될 수 있다.
모듈 플레이트에는 집광 미러에서 반사된 레이저 빔을 강판 표면으로 통과시켜 주기 위한 셔터가 설치될 수 있다.
셔터에는 집광 미러가 적어도 한 열 이상 배치되며, 한 열의 집광 미러에는 집광 미러가 적어도 하나 이상 배치될 수 있다.
모듈 플레이트의 상부에는 집광 미러에 대응하게 복합 헤드가 적어도 한 열 이상 배치되며, 한 열의 복합 헤드에는 복합 헤드가 적어도 하나 이상 배치될 수 있다.
복합 헤드의 하단부 중앙부에는 복합 헤드를 지지하기 위한 복합 헤드 베이스가 설치될 수 있다.
복합 헤드 위치 조절 장치는 복합 헤드의 일단부 하단부에 결합되어 복합 헤드 베이스에 대한 복합 헤드의 위치를 조절하기 위한 위치 조절 스크류를 포함할 수 있다.
집광 미러 위치 조절 장치는, 집광 미러와 연결되는 연결축, 및 연결축에 결합되어 집광 미러를 강판 표면에 대하여 원하는 높이로 승강하기 위한 구동모터를 포함할 수 있다.
레이저 빔 조사 슬롯은 복합 헤드의 단부 중에서 집광 미러에 근접한 단부쪽에 배치될 수 있다.
레이저 빔 조사 슬롯에는 복합 헤드에 설치되어 레이저 빔의 이동을 가이드 하기 위한 레이저 빔 가이드가 설치될 수 있다.
복합 헤드에는 레이저 빔 조사 슬롯을 복합 헤드의 길이 방향에 따른 이동을 조절하기 위한 조사 슬롯 조절 장치가 설치될 수 있다.
복합 헤드에는 레이저 빔 렌즈를 상기 복합 헤드의 길이 방향에 따른 이동을 조절하기 위한 렌즈 위치 조절 장치가 설치될 수 있다.
본 발명의 구현예에 따르면, 강판이 예컨대, 2m/s 이상의 고속으로 이동하여도 안정적으로 강판에 길이 방향으로 설정 간격(3 ~ 30mm)마다 상부 폭, 하부 폭과 깊이가 각각 70㎛ 이내, 10㎛ 이내, 3~30 ㎛의 홈을 형성시킬 수 있다.
따라서, 1차 재결정 전 전기강판에 적용할 수 있을 뿐만 아니라 2차 재결정 후 혹은 절연 코팅 후 전기강판의 열처리 전·후의 철손 개선율을 각각 5% 이상, 10% 이상 확보할 수 있다.
이로 인하여 열처리를 필요로 하는 권철심, 및 열처리를 필요로 하지 않는 적철심 변압기 철심으로 사용할 수 있다.
또한, 강판의 폭 방향, 길이 방향 레이저 조사 시 레이저 단독 조사나 병행 조사에 의해 강판에 레이저 홈 또는 점, 조사선이 생성되어 강판에 응력(스트레스)이 가해지고 자구가 줄어 들어 자속밀도가 개선될 수 있다.
레이저 빔의 초점 및 위치 조정이 가능한 복합 헤드 및 집광 미러를 통해 강판의 폭 방향을 따라 하나의 조사선을 형성할 수 있다.
이러한 복합 헤드 및 집광 미러를 통해 복합 헤드를 포함한 광학계의 배치가 자유로우며, 설비가 차지하는 공간을 최소화할 수 있는 이점을 가지고 있다.
또한, 하나의 조사선을 각각의 복합 헤드 및 집광 미러가 나눠서 형성함으로써, 각 레이저에 의한 부하가 감소되어 복합 헤드 및 집광 미러의 내구성이 증가하게 되며, 하나 단위 복합 헤드 또는 집광 미러만의 교체로 유지 관리가 간편하게 될 수 있다.
또한, 레이저 형성에 필요한 에너지를 분산하여 형성함으로써, 공정 안정성이 그 만큼 증가하게 되는 이점을 가지고 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 방향성 전기강판의 자구 미세화 장치의 일부 평면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 방향성 전기강판의 자구 미세화 장치의 일부 정면도이다.
도 3은 도 2의 일부 상세 정면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 방향성 전기강판의 자구 미세화 장치에 의해 형성된 강판의 폭 방향, 진행 방향을 따라 연속 홈과 조사선을 가진 강판의 개략적인 도면으로서, 강판의 폭 방향을 따라 각각의 복합 헤드에 의해 형성된 각 조사선에 단차가 있는 경우를 나타낸 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 방향성 전기강판의 자구 미세화 장치에 의해 형성된 강판의 폭 방향, 진행 방향을 따라 연속 홈을 가진 강판의 개략적인 도면으로서, 강판의 폭 방향을 따라 각각의 복합 헤드에 의해 형성된 각 조사선이 하나의 조사선으로 일직선 형태인 경우를 나타낸 도면이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예를 설명한다. 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 이해할 수 있는 바와 같이, 후술하는 실시예는 본 발명의 개념과 범위를 벗어나지 않는 한도 내에서 다양한 형태로 변형될 수 있다. 가능한 한 동일하거나 유사한 부분은 도면에서 동일한 도면부호를 사용하여 나타낸다.
이하에서 사용되는 전문용어는 단지 특정 실시예를 언급하기 위한 것이며, 본 발명을 한정하는 것을 의도하지 않는다. 여기서 사용되는 단수 형태들은 문구들이 이와 명백히 반대의 의미를 나타내지 않는 한 복수 형태들도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함하는"의 의미는 특정 특성, 영역, 정수, 단계, 동작, 요소 및/또는 성분을 구체화하며, 다른 특정 특성, 영역, 정수, 단계, 동작, 요소, 성분 및/또는 군의 존재나 부가를 제외시키는 것은 아니다.
이하에서 사용되는 기술용어 및 과학용어를 포함하는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 일반적으로 이해하는 의미와 동일한 의미를 가진다. 사전에 정의된 용어들은 관련기술문헌과 현재 개시된 내용에 부합하는 의미를 가지는 것으로 추가 해석되고, 정의되지 않는 한 이상적이거나 매우 공식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 방향성 전기강판의 자구 미세화 장치의 일부 평면도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 방향성 전기강판의 자구 미세화 장치의 일부 정면도이며, 도 3은 도 2의 일부 상세 정면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 방향성 전기강판의 자구 미세화 장치에 의해 형성된 강판의 폭 방향, 진행 방향을 따라 연속 홈을 가진 강판의 개략적인 도면이다.
도 1 내지 도 4를 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 방향성 전기강판의 자구 미세화 장치는, 레이저 발진기(100)와 광학계(200)를 포함할 수 있다.
레이저 발진기(100)는 적어도 하나 이상 구비하여 레이저 빔(10)을 발진하기 위한 것이다.
광학계(200)는 레이저 발진기(100)에서 발진된 레이저 빔(10)을 강판(1)의 표면에 조사하여 강판(1)의 진행 방향(Rolling direction)(도 4의 Y 방향)과 폭 방향(도 4의 X 방향)을 따라 홈을 설정 간격으로 원하는 크기로 가공할 수 있다. 여기서, 홈이란 도 4에 도시된 바와 같이 점 형태의 홈(3)과 선 형태의 홈인 조사선(31)을 모두 포함할 수 있다.
광학계(200)는, 적어도 하나 이상의 복합 헤드(210), 집광 미러(220), 및 레이저 빔 크기 조정부를 포함하고 있으므로, 강판(1)의 표면에 홈(3) 또는 조사선(31)을 단독 또는 동시에 가공이 가능하다.
복합 헤드(210)는 적어도 하나 이상 구비되며, 레이저 발진기(100)에서 발진된 레이저 빔(10)을 전달받는 레이저 빔 렌즈(211)를 가질 수 있다.
집광 미러(220)는 레이저 빔 렌즈(211)에서 출사된 레이저 빔(10)을 전달받아 강판(1)의 표면에 반사할 수 있다.
레이저 빔 크기 조정부는 레이저 빔 렌즈(211)로부터 집광 미러(220)로 전달되는 레이저 빔(10)을 원하는 크기로 조정할 수 있다.
또한, 레이저 빔 크기 조정부는 복합 헤드(210) 내에 설치되고, 레이저 빔 렌즈(211)를 통과한 레이저 빔(10)을 원하는 크기로 조정하여 집광 미러(220)로 조사하기 위한 레이저 빔 조사 슬롯(230)을 포함할 수 있다.
레이저 발진기(100)에서 발진되는 레이저 빔(10)은 강판(1)의 용융에 필요한 레이저 에너지 밀도를 갖는 싱글 모드 연속파 레이저 빔 등으로 이루어질 수 있다.
레이저 빔(10)은 강판(1)에 용이한 홈(3) 또는 조사선(31) 형성을 위하여 예컨대, 1.0~5.0 J/mm2 범위 내의 레이저 에너지 밀도를 가질 수 있다.
복합 헤드(210)의 하단부에는 복합 헤드(210)를 지지하기 위한 복합 헤드 베이스(213)가 설치될 수 있다.
복합 헤드(210)는 복합 헤드 베이스(213)에 대하여 용이하게 위치 조절될 수 있도록 복합 헤드(210)의 길이 방향(도 3의 X 방향) 중앙부가 복합 헤드 베이스(213)에 지지될 수 있다.
복합 헤드(210)에는 레이저 조사 슬롯(230)에서 집광 미러(220)로 조사되는 레이저 빔(10)의 강판(1) 표면에 대하여 원하는 높이(H1)와 각도(θ)로 복합 헤드(210)의 위치를 조절하기 위한 복합 헤드 위치 조절 장치(240)가 설치될 수 있다.
각 복합 헤드(210)로부터 집광 미러(220)로 조사되는 레이저 빔(10)의 전체적인 초점 거리는 강판 지지롤(20)에 의하여 조정될 수 있다.
또한, 집광 미러(220)에는 집광 미러(220)에서 강판(1) 표면에 조사하는 레이저 빔(10)의 초점 거리를 미세하게 조정할 수 있도록 강판(1) 표면에 대한 집광 미러(220)의 위치를 조정하기 위한 집광 미러 위치 조절 장치(250)가 결합될 수 있다.
광학계(200)의 복합 헤드 베이스(213)의 하단부에는 광학계(200)를 원하는 각도로 회전시켜 줄 수 있도록 모듈 플레이트(260)가 회전 가능하게 설치될 수 있다.
모듈 플레이트(260)의 상단부에는 모듈 플레이트(260)의 회전 각도를 조절하기 위한 조절 레버(261)가 설치될 수 있다.
모듈 플레이트(260)에는 집광 미러(220)에서 반사된 레이저 빔(10)을 강판(1) 표면으로 통과시켜 주기 위한 셔터(263)가 설치될 수 있다.
셔터(263)에는 적어도 한 열 이상의 집광 미러(220)가 배치될 수 있으며, 한 열의 집광 미러(220)에는 적어도 하나 이상의 집광 미러(220)가 배치될 수 있다.
또한, 모듈 플레이트(260)의 상부에는 셔터(263)에 구비된 집광 미러(220)에 대응하게 적어도 한 열 이상의 복합 헤드(210)가 설치될 수 있다.
한 열의 복합 헤드(210)에는 적어도 하나 이상의 복합 헤드(210)가 배치될 수 있다.
복합 헤드 위치 조절 장치(240)는 복합 헤드(210)의 일단부 하단부에 결합되어 복합 헤드 베이스(213)에 대한 복합 헤드(210)의 위치를 조절하기 위한 위치 조절 스크류(241)를 포함할 수 있다.
복합 헤드 위치 조절 장치(240)는, 복합 헤드 베이스(213)의 상단면이 이루는 직선에 대한 복합 헤드(210)의 일단부 위치, 즉 높이를 조절함으로써, 복합 헤드 베이스(213)에 대한 복합 헤드(210)의 위치를 조절할 수 있다.
집광 미러 위치 조절 장치(250)는 집광 미러(220)와 연결되는 연결축(251)과, 연결축(251)에 결합되어 집광 미러(220)를 강판(1) 표면에 대하여 원하는 설정 높이(H2)로 승강하기 위한 구동모터(253)를 포함할 수 있다.
구동 모터(253)에 의하여 강판(1) 표면으로부터 집광 미러(220)의 높이(H2)를 조절함으로써, 레이저 조사 슬롯(230)으로부터 레이저 빔(10)이 조사되는 집광 미러(220)의 조사 지점(P1)의 위치를 조절하여 집광 미러(220)의 여러 부분을 골고루 사용할 수 있게 되므로 집광 미러(220)의 수명을 연장할 수 있다.
그리고, 레이저 발진기(100)와 복합 헤드(210)는 레이저 광 케이블(110)에 의하여 연결되어 레이저 발진기(100)에서 발진된 레이저 빔(10)이 하나 이상의 각 복합 헤드(210)에 각각 전달될 수 있다.
또한, 레이저 빔 조사 슬롯(230)은 집광 미러(220)로 조사되는 레이저 빔(10)을 원하는 크기로 용이하게 조정할 수 있도록 복합 헤드(210)의 일단부, 즉 집광 미러(220)에 근접한 단부쪽에 배치될 수 있다.
레이저 빔 조사 슬롯(230)에는 복합 헤드(210)의 내부에 설치되고 레이저 빔 렌즈(211)로부터 레이저 빔 조사 슬롯(230)으로 전달되는 레이저 빔(10)의 이동을 가이드 하기 위한 레이저 빔 가이드(231)가 설치될 수 있다.
복합 헤드(210)에는 레이저 조사 슬롯(230)으로부터 집광 미러(220)로 조사되는 레이저 빔(10)의 폭(W1)을 원하는 크기로 조절할 수 있도록 레이저 빔 조사 슬롯(230)을 복합 헤드(210)의 길이 방향(도 3의 X 방향)에 따른 이동을 조절하기 위한 조사 슬롯 조절 장치(233)가 설치될 수 있다.
또한, 복합 헤드(210)에는 레이저 빔 렌즈(211)와 레이저 짐 조사 슬롯(230)간의 간격을 조절할 수 있도록 레이저 빔 렌즈(211)를 복합 헤드(210)의 길이 방향(도 3의 X 방향)에 따른 이동을 조절하기 위한 렌즈 위치 조절 장치(235)가 설치될 수 있다.
이하에서, 도 1 내지 도 5를 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 방향성 전기강판의 자구 미세화 장치의 작동에 대해서 설명한다.
광학계(200)에는 다수의 복합 헤드(210)가 한 열 또는 다수 열 설치되어 강판(1)을 분할하여 각 분할 지역 또는 지점에 레이저 빔(10)을 조사한다.
각 레이저 발진기(100)에서 발진된 레이저 빔(10)은 레이저 광 케이블(110)에 의하여 연결된 광학계(200)의 각 복합 헤드(210)에 각각 출사된다.
광학계(200) 내의 각각의 복합 헤드(210) 내 레이저 빔 렌즈(211)와 레이저 빔 조사 슬롯(230)을 순차적으로 통과하여 원하는 크기로 가공되어 출사된다.
또한, 각 복합 헤드(210)를 통과한 레이저 빔(10)은 중간 공정에서 다른 장치 없이 다시 집광 미러(220)에 전달되어 셔터(263)를 통해 강판(1)에 조사되어 각 복합 헤드(210)마다 조정한 폭만큼 폭 방향(도 4의 X 방향)으로 홈이 파지게 되어 전체적으로 강판(1) 폭 전체에 홈(3) 또는 조사선(31)을 만들게 된다.
이 경우 각각의 조사 슬롯 조절 장치(233), 렌즈 위치 조절 장치(235), 및 복합 헤드 위치 조절 장치(240)에 의해 강판(1)의 표면에 대한 레이저 빔(10)의 위치를 조절하여 각각의 레이저 빔의 최적의 초점을 찾아 레이저 출력이나 홈(3) 깊이를 조절할 수 있다.
즉, 조사 슬롯 조절 장치(233)는 레이저 빔 조사 슬롯(230)을 복합 헤드(210)의 길이 방향(도 3의 X 방향)을 따른 이동을 조절하여 레이저 조사 슬롯(230)으로부터 집광 미러(220)로 조사되는 레이저 빔(10)의 폭(W1)을 원하는 크기로 조절할 수 있다.
또한, 렌즈 위치 조절 장치(235)는 레이저 빔 렌즈(211)를 복합 헤드(210)의 길이 방향(도 3의 X 방향)에 따른 이동을 조절하여 레이저 빔 렌즈(211)와 레이저 짐 조사 슬롯(230)간의 간격을 조절할 수 있다.
복합 헤드 위치 조절 장치(240)의 위치 조절 스크류(241)는 복합 헤드(210)의 일단부 하단부에 결합되어 복합 헤드 베이스(213)에 대한 복합 헤드(210)의 위치를 조절할 수 있다.
즉, 복합 헤드 위치 조절 장치(240)는, 복합 헤드 베이스(213)의 상단면이 이루는 직선에 대한 복합 헤드(210)의 일단부 위치, 즉 높이를 조절함으로써, 복합 헤드 베이스(213)에 대한 복합 헤드(210)의 위치를 조절할 수 있다.
광학계(200)에 설치된 다수의 복합 헤드(210)에서 집광 미러(220)를 통하여 강판(1) 표면에 반사되는 레이저 빔(10)의 전체적인 초점 거리는 강판 지지롤(20)에 의해 조정되고, 미세 초점 거리는 집광 미러 위치 조절 장치(250)에 의해 조절될 수 있다.
즉, 레이저 빔(10)의 전체적인 초점 거리는 강판 지지롤(20)과 집광 미러(220) 사이의 거리를 조절함으로써 조절될 수 있다.
또한, 집광 미러 위치 조절 장치(250)의 구동모터(253)의 구동에 의하여 집광 미러(220)를 원하는 설정 높이(H2)로 승강시킴으로써, 강판(1) 표면에 대한 집광 미러(220)의 위치를 조절하여 집광 미러(220)에서 강판(1) 표면에 조사하는 레이저 빔(10)의 초점 거리를 미세하게 조정할 수 있다.
즉, 구동 모터(253)에 의하여 강판(1) 표면으로부터 집광 미러(220)의 높이(H2)를 조절함으로써, 레이저 조사 슬롯(230)으로부터 레이저 빔(10)이 조사되는 집광 미러(220)의 조사 지점(P1)의 위치를 조절할 수 있다.
따라서, 집광 미러(220)의 일부분만의 집중 사용을 방지하여 집광 미러(220)의 여러 부분을 골고루 사용할 수 있게 되므로 집광 미러(220)의 수명을 연장할 수 있다.
복합 헤드(210)와 집광 미러(220) 등의 광학계(200) 일체는 회전 가능한 모듈 플레이트(260) 위에 놓여 있으며, 조절 레버(261)를 조절하여 모듈 플레이트(260)를 원하는 각도로 회전시킬 수 있다.
따라서, 광학계(200)에서 레이저 빔(10)의 조사 시 다수의 복합 헤드(210)에서 자체의 레이저 빔의 크기 조정에 의해 집광 미러(220)까지 중간 공정에서 다른 장치 없이 바로 집광 미러(220)에 도달하여 강판(1)의 표면에 홈(3) 또는 조사선(31)을 만들 수 있다.
즉, 도 4에 도시된 바와 같이, 강판(1)의 폭 방향(도 4의 X 방향)을 따라 각각의 복합 헤드(210)에 의해 형성된 각 조사선(31)에 단차가 있을 수 있다.
또한, 도 5에 도시된 바와 같이, 강판(1)의 폭 방향을 따라 각각의 복합 헤드(210)에 의해 형성된 각 조사선(31-1, 31-2, 31-3)이 하나의 조사선으로 일직선 형태를 가질 수 있다.
또한, 각 복합 헤드(210)마다 길이(도 3의 X 방향), 높이(도 3의 Y 방향), 폭(도 1의 Z 방향) 크기 등을 조정하여 강판(1)의 초점을 일치시키거나 다르게 조정하는 것이 가능하게 된다.
[표 1]
Figure PCTKR2020011391-appb-I000001
[표 1]은 본 발명의 일 실시예에 따른 방향성 전기강판의 자구 미세화 장치에 연속파 레이저 빔의 조사에 의해 0.27mm 두께의 강판의 표면에 형성된 홈에 대한 방향성 전기강판의 철손 개선율을 나타내고 있다.
[표 1]에 따르면, 전기강판의 표면에 레이저 빔 조사 후, 및 전기강판의 열처리 후의 철손 개선율이 각각 대략 8% 내지 12%까지 개선된 것을 알 수 있다.
본 개시를 앞서 기재한 바에 따라 바람직한 실시예를 통해 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며 다음에 기재하는 특허청구범위의 범위를 벗어나지 않는 한, 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것을 본 발명이 속하는 기술 분야에 종사하는 자들은 쉽게 이해할 것이다.

Claims (15)

  1. 레이저 빔을 발진하기 위한 적어도 하나 이상의 레이저 발진기, 및 상기 레이저 발진기에서 발진된 상기 레이저 빔을 강판의 표면에 조사하여 홈을 가공하기 위한 광학계를 포함하는 방향성 전기강판의 자구 미세화 장치로서,
    상기 광학계는,
    상기 레이저 발진기에서 발진된 상기 레이저 빔을 전달받는 레이저 빔 렌즈를 갖는 적어도 하나 이상의 복합 헤드,
    상기 레이저 빔 렌즈에서 출사된 상기 레이저 빔을 전달받아 상기 강판의 표면에 반사하기 위한 집광 미러, 및
    상기 레이저 빔 렌즈로부터 상기 집광 미러로 전달되는 상기 레이저 빔을 원하는 크기로 조정하기 위한 레이저 빔 크기 조정부를 포함하는 방향성 전기강판의 자구 미세화 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 레이저 빔 크기 조정부는 상기 복합 헤드 내에 설치되고, 상기 레이저 빔 렌즈를 통과한 상기 레이저 빔을 원하는 크기로 조정하여 상기 집광 미러로 조사하기 위한 레이저 빔 조사 슬롯을 포함하는 방향성 전기강판의 자구 미세화 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 복합 헤드에는 상기 강판 표면에 대한 상기 복합 헤드의 위치를 조절하기 위한 복합 헤드 위치 조절 장치가 설치되는 방향성 전기강판의 자구 미세화 장치.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 집광 미러에는 상기 강판 표면에 대한 상기 집광 미러의 위치를 조정하기 위한 집광 미러 위치 조절 장치가 설치되는 방향성 전기강판의 자구 미세화 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 광학계에는 상기 광학계를 원하는 각도로 회전시켜 주기 위한 모듈 플레이트가 설치되는 방향성 전기강판의 자구 미세화 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 모듈 플레이트에는 상기 모듈 플레이트의 회전 각도를 조절하기 위한 조절 레버가 설치되는 방향성 전기강판의 자구 미세화 장치.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 모듈 플레이트에는 상기 집광 미러에서 반사된 상기 레이저 빔을 상기 강판 표면으로 통과시켜 주기 위한 셔터가 설치되는 방향성 전기강판의 자구 미세화 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 셔터에는 상기 집광 미러가 적어도 한 열 이상 배치되며,
    상기 한 열의 집광 미러에는 상기 집광 미러가 적어도 하나 이상 배치되는 방향성 전기강판의 자구 미세화 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 모듈 플레이트의 상부에는 상기 집광 미러에 대응하게 복합 헤드가 적어도 한 열 이상 배치되며,
    상기 한 열의 복합 헤드에는 복합 헤드가 적어도 하나 이상 배치되는 방향성 전기강판의 자구 미세화 장치.
  10. 제4항에 있어서,
    상기 복합 헤드의 하단부 중앙부에는 상기 복합 헤드를 지지하기 위한 복합 헤드 베이스가 설치되며,
    상기 복합 헤드 위치 조절 장치는 상기 복합 헤드의 일단부 하단부에 결합되어 상기 복합 헤드 베이스에 대한 상기 복합 헤드의 위치를 조절하기 위한 위치 조절 스크류를 포함하는 방향성 전기강판의 자구 미세화 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 집광 미러 위치 조절 장치는,
    상기 집광 미러와 연결되는 연결축, 및
    상기 연결축에 결합되어 상기 집광 미러를 상기 강판 표면에 대하여 원하는 높이로 승강하기 위한 구동모터를 포함하는 방향성 전기강판의 자구 미세화 장치.
  12. 제2항에 있어서,
    상기 레이저 빔 조사 슬롯은 상기 복합 헤드의 단부 중에서 상기 집광 미러에 근접한 단부쪽에 배치되는 방향성 전기강판의 자구 미세화 장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 레이저 빔 조사 슬롯에는 상기 복합 헤드에 설치되어 상기 레이저 빔의 이동을 가이드 하기 위한 레이저 빔 가이드가 설치되는 방향성 전기강판의 자구 미세화 장치.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 복합 헤드에는 상기 레이저 빔 조사 슬롯을 상기 복합 헤드의 길이 방향에 따른 이동을 조절하기 위한 조사 슬롯 조절 장치가 설치되는 방향성 전기강판의 자구 미세화 장치.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 복합 헤드에는 상기 레이저 빔 렌즈를 상기 복합 헤드의 길이 방향에 따른 이동을 조절하기 위한 렌즈 위치 조절 장치가 설치되는 방향성 전기강판의 자구 미세화 장치.
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