WO2021044898A1 - パワーモジュール - Google Patents

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WO2021044898A1
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terminal
distance
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哲矢 松岡
光徳 木村
和敏 塩見
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株式会社デンソー
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    • H01L2924/13091—Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor [MOSFET]
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/181—Encapsulation

Definitions

  • This disclosure relates to power modules.
  • the semiconductor module includes a pair of metal plates and two transistor chips.
  • the transistor chip is sealed in a resin package while being sandwiched between a pair of metal plates.
  • the emitter electrode of the transistor chip is conductive with one of the metal plates.
  • two collector terminals extend from the other metal plate, and one emitter terminal extends from one metal plate.
  • the emitter terminal extends outward from between the two collector terminals on the side surface of the package.
  • the emitter terminals extend from one metal plate equidistant from the respective emitter electrodes of the two transistor chips.
  • Patent Document 1 considers gate oscillation, it does not consider the case where three or more elements smaller than Patent Document 1 and having a good yield are used.
  • the purpose of the present disclosure is to provide a power module capable of improving the element yield.
  • this disclosure is: With three or more parallel-connected switching elements, The positive electrode connected to the positive electrode of each switching element and the positive electrode The negative electrode terminal connected to the negative electrode of each switching element is provided.
  • the total number of positive electrode terminals and negative electrode terminals is three or more.
  • the distance on the positive electrode side which is the distance between the center of the switching element and the positive electrode terminal closest to the switching element, and the distance between the center of the switching element and the negative electrode terminal closest to the switching element.
  • the total distance on the negative electrode side is at the same point for each switching element.
  • the present disclosure can suppress the current imbalance for each switching element.
  • the power module 101 of the present embodiment will be described with reference to FIGS. 1, 2 and 3.
  • the power module 101 mainly includes a first switching element 11, a second switching element 12, a third switching element 13, a first terminal member 20, and a second terminal member 30. Further, the power module 101 may have a signal terminal 40, a wire 50, a terminal 60, a sealing portion 70, and the like.
  • the switching elements 11 to 13 are arranged side by side in one direction. Further, the switching elements 11 to 13 are arranged in the order of the first switching element 11, the second switching element 12, and the third switching element 13. Here, an example in which they are arranged side by side in the X direction is adopted.
  • each switching element 11 to 13 MOSFET is adopted as an example of each switching element 11 to 13.
  • the present disclosure is not limited to this, and even IGBTs, RC-IGBTs, and the like can be adopted for the switching elements 11 to 13.
  • IGBTs, RC-IGBTs, and the like can be adopted for the switching elements 11 to 13.
  • each of the switching elements 11 to 13 one having Si as a main component, one having SiC as a main component, one having GaN as a main component, and the like can be adopted. Therefore, each of the switching elements 11 to 13 is a semiconductor switching element.
  • the three switching elements 11 to 13 have the same configuration. Therefore, here, the third switching element 13 will be described as a typical example.
  • the switching elements 11 to 13 are provided at the same positions in the height direction (Z direction).
  • the third switching element 13 has a gate electrode 13g, a drain electrode 13d, and a source electrode 13s.
  • the third switching element 13 has a gate electrode 13g and a source electrode 13s formed on one surface thereof, and a drain electrode 13d formed on the opposite surface of the third switching element 13.
  • the third switching element 13 has a hexahedral structure and has a rectangular planar shape.
  • each of the switching elements 11 to 13 is arranged between the first terminal member 20 and the second terminal member 30, which will be described later.
  • the gate electrode 13g and the source electrode 13s are arranged so as to face the second terminal member 30, and the drain electrode 13d faces the first terminal member 20.
  • the source electrode 13s is arranged to face the second terminal member 30 via the terminal 60.
  • the source electrode 13s is connected to the terminal 60 by a conductive connecting member. Further, the terminal 60 is connected to the second terminal member 30 by a conductive connecting member. In this way, the source electrode 13s is electrically connected to the second terminal member 30 via the terminal 60.
  • the drain electrode 13d is connected to the first terminal member 20 by a conductive connecting member.
  • the conductive connecting member for example, solder or the like can be adopted.
  • each source electrode is electrically connected via the second terminal member 30, and each drain electrode is electrically connected via the first terminal member 20. .. In this way, the three switching elements 11 to 13 are connected in parallel.
  • the gate electrode 13g is electrically connected to the signal terminal 40 via a wire 50.
  • the terminal 60 is provided to prevent the wire 50 connected to the gate electrode 13g from coming into contact with the second terminal member 30.
  • As the terminal 60 one composed of a metal such as Al or Cu as a main component or one composed of an alloy can be adopted.
  • the power module 101 is also arranged and connected to the first switching element 11 and the second switching element 12 in the same manner as the third switching element 13.
  • the first terminal member 20 has a positive electrode side heat sink 21, a first positive electrode terminal 22, a second positive electrode terminal 23, and the like.
  • the first terminal member 20 includes a positive electrode side heat sink 21, a first positive electrode terminal 22, and a second positive electrode terminal 23 as an integral body.
  • a member composed of a metal such as Al or Cu as a main component or a member composed of an alloy can be adopted.
  • the positive electrode side heat sink 21 is a portion facing each switching element 11 to 13.
  • the positive electrode side heat sink 21 has a function of cooling each of the switching elements 11 to 13. That is, the heat generated from each of the switching elements 11 to 13 is transferred to the positive electrode side heat sink 21 by operating. Then, the positive electrode side heat sink 21 cools each of the switching elements 11 to 13 by dissipating the heat generated from the switching elements 11 to 13 to the outside of the sealing portion 70.
  • the positive electrode side heat sink 21 is provided to be thicker than the positive electrode terminals 22 and 23 in order to cool the switching elements 11 to 13. The thickness here is the width in the Z direction.
  • the first positive electrode terminal 22 and the second positive electrode terminal 23 correspond to the positive electrode terminals.
  • the first positive electrode terminal 22 and the second positive electrode terminal 23 are connected to drain electrodes (positive electrode electrodes) of the switching elements 11 to 13.
  • the first positive electrode terminal 22 and the second positive electrode terminal 23 are provided at the same positions in the height direction. Further, as shown in FIG. 2, the positive electrode terminals 22 and 23 are provided at the same positions in the height direction as the switching elements 11 to 13.
  • an example an example in which the positive electrode terminals 22 and 23 and the switching elements 11 to 13 are arranged on the center line CL in the height direction of the power module 101 is adopted.
  • the first positive electrode terminal 22 and the second positive electrode terminal 23 are terminals for external connection that electrically connect the power module 101 and an external device.
  • the first positive electrode terminal 22 and the second positive electrode terminal 23 are provided so as to project from the side wall of the positive electrode side heat sink 21. Further, the first positive electrode terminal 22 and the second positive electrode terminal 23 are provided so as to project in the Z direction and are arranged side by side in the X direction. As shown in FIG. 1, the first positive electrode terminal 22 and the second positive electrode terminal 23 are provided so as to be separated from each other so that the negative electrode terminal 32 can be arranged.
  • the first terminal member 20 has a function as a positive electrode terminal and a function for cooling the switching elements 11 to 13.
  • the first terminal member 20 may have the positive electrode side heat sink 21, the first positive electrode terminal 22, and the second positive electrode terminal 23 separately configured.
  • the positive electrode side heat sink 21 is connected to the first positive electrode terminal 22 and the second positive electrode terminal 23 by a conductive connecting member such as solder.
  • the second terminal member 30 has a negative electrode side heat sink 31, a negative electrode terminal 32, and the like.
  • the second terminal member 30 includes a negative electrode side heat sink 31 and a negative electrode terminal 32 as an integral body.
  • the second terminal member 30 one made of a metal such as Al or Cu as a main component or one made of an alloy can be adopted.
  • the negative electrode side heat sink 31 has the same configuration and function as the positive electrode side heat sink 21.
  • the negative electrode terminal 32 corresponds to the negative electrode terminal. Is connected to the source electrode (negative electrode) of each of the switching elements 11 to 13.
  • the negative electrode terminal 32 has the same configuration and function as the first positive electrode terminal 22 and the second positive electrode terminal 23. As shown in FIG. 1, the negative electrode terminal 32 is arranged between the first positive electrode terminal 22 and the second positive electrode terminal 23. Therefore, the second terminal member 30 has a function as a negative electrode terminal and a function for cooling the switching elements 11 to 13. However, the second terminal member 30 is provided with only one negative electrode terminal 32 protruding from the negative electrode side heat sink 31.
  • the negative electrode terminal 32 is provided at the same position in the height direction as the positive electrode terminals 22 and 23.
  • the second terminal member 30 may have the negative electrode side heat sink 31 and the negative electrode terminal 32 separately configured.
  • the negative electrode side heat sink 31 is connected to the negative electrode terminal 32 by a conductive connecting member such as solder.
  • the power module 101 has a total of three positive electrode terminals 22 and 23 and negative electrode terminals 32. That is, the power module 101 has two positive electrode terminals 22 and 23 and one negative electrode terminal 32.
  • the present disclosure is not limited to this, and the total number of positive electrode terminals and negative electrode terminals may be three or more. Since the power module 101 has three switching elements 11 to 13 connected in parallel, the yield can be improved. That is, the power module 101 can improve the yield as compared with the configuration using three or more elements smaller than Patent Document 1 and having a good yield.
  • the signal terminal 40 one composed of a metal such as Al or Cu as a main component or one composed of an alloy can be adopted.
  • a plurality of signal terminals 40 are provided, and are arranged side by side in the X direction.
  • the signal terminal 40 includes a gate terminal connected to the gate electrodes of the switching elements 11 to 13 by a wire 50.
  • the signal terminal 40 includes a temperature detection terminal electrically connected to the temperature sensor.
  • the signal terminal 40 may include other terminals, which are not limited to the gate terminal and the temperature detection terminal.
  • the sealing portion 70 is composed mainly of an electrically insulating resin such as an epoxy resin. As shown in FIG. 2, the sealing portion 70 covers the switching elements 11 to 13, a part of the first terminal member 20, and a part of the second terminal member 30 while being in contact with each other. Further, the sealing portion 70 covers the wire 50, the terminal 60, and a part of the signal terminal 40 while contacting them. Further, the sealing portion 70 also covers the connecting portion between the components of the power module 101.
  • an electrically insulating resin such as an epoxy resin.
  • the positive electrode terminals 22 and 23 and the negative electrode terminal 32, and a part of the signal terminal 40 protrude from the sealing portion 70. More specifically, the positive electrode terminals 22 and 23 and the negative electrode terminal 32 project from one side wall of the sealing portion 70. On the other hand, the signal terminal 40 projects from the other side wall of the sealing portion 70. That is, the signal terminal 40 protrudes from the side wall of the sealing portion 70, which is different from the positive electrode terminals 22 and 23. Further, it can be said that the signal terminal 40 is provided on the side opposite to the positive electrode terminals 22 and 23 and the negative electrode terminal 32 with respect to the switching elements 11 to 13. As a result, in the power module 101, the signal terminals 40 are less likely to receive noise from the positive electrode terminals 22, 23 and the negative electrode terminals 32.
  • the power module 101 can easily dissipate the heat of the switching elements 11 to 13 from the positive electrode side heat sink 21 and the negative electrode side heat sink 31.
  • the power module 101 can be applied to the inverter 200.
  • the inverter 200 is a circuit for driving and controlling the motor generator 300.
  • the power module 101 includes six power modules 101. However, the power module 101 is not limited to this, and can be applied to a converter.
  • the distances between the switching elements 11 to 13 and the positive electrode terminals 22 and 23 and the negative electrode terminals 32 are defined. That is, the power module 101 is defined so that the sum of the positive electrode side distances L11 and L21 and the negative electrode side distances L12 and L22 in each of the switching elements 11 to 13 is equal.
  • the positive electrode terminals 22 and 23 and the negative electrode terminal 32 can be said to be main circuit terminals.
  • the positive electrode side distance L11 is the distance between the center point CP of the first switching element 11 and the positive electrode terminal (second positive electrode terminal 23) closest to the first switching element 11.
  • the negative electrode side distance L12 is the distance between the center point CP of the first switching element 11 and the negative electrode terminal (negative electrode terminal 32) closest to the first switching element 11.
  • the starting point on the switching element 11 to 13 side of these distances is the center point CP of the switching elements 11 to 13.
  • the starting point on the terminal side is the boundary surface between the terminals 22, 23, 32 and the sealing portion 70. Therefore, for example, the positive electrode side distance L11 can be said to be the distance between the center point CP of the first switching element 11 and the interface between the sealing portion 70 of the second positive electrode terminal 23. Further, the positive electrode side distance L11 can be said to be the distance between the center point CP of the first switching element 11 and the boundary between the sealing portion 70 at the second positive electrode terminal 23.
  • the boundary surface corresponds to the cross section of the terminals 22, 23, 32 in the thickness direction (Z direction) at the boundary between the terminals 22, 23, 32 and the sealing portion 70.
  • the positive electrode side distance L21 is the distance between the center point CP of the second switching element 12 and the positive electrode terminal (first positive electrode terminal 22) closest to the second switching element 12.
  • the negative electrode side distance L22 is the distance between the center point CP of the second switching element 12 and the negative electrode terminal (negative electrode terminal 32) closest to the second switching element 12.
  • the positive electrode side distance with respect to the third switching element 13 is the distance between the center point CP of the third switching element 13 and the first positive electrode terminal 22 closest to the third switching element 13.
  • the negative electrode side distance with respect to the third switching element 13 is the distance between the center point CP of the third switching element 13 and the negative electrode terminal 32 closest to the third switching element 13.
  • the total of the positive electrode side distance L11 and the negative electrode side distance L12 in the first switching element 11 is equal to the total of the positive electrode side distance L21 and the negative electrode side distance L22 in the second switching element 12. Further, the total of the positive electrode side distance and the negative electrode side distance in the third switching element 13 is equal to the total of the positive electrode side distance L21 and the negative electrode side distance L22 in the second switching element 12. As described above, in the power module 101, it can be said that the wiring with the main circuit terminals in each of the switching elements 11 to 13 is the same length wiring.
  • the power module 101 can suppress the imbalance of the current flowing through each of the switching elements 11 to 13. Further, the power module 101 has a plurality of main circuit terminals, which facilitates equal-length wiring. Further, the power module 101 can suppress the current imbalance in consideration of manufacturing variations by setting the starting point on the terminal side as the boundary surface between the terminals 22, 23, 32 and the sealing portion 70.
  • the starting point on the terminal side is the center of the boundary surface between the terminals 22, 23, 32 and the sealing portion 70.
  • a current distribution exists at the interface between the terminals 22, 23, and 32.
  • the terminals 22, 23, and 32 are most likely to carry electricity at the center of the interface. Therefore, the power module 101 has an enhanced effect of suppressing current imbalance.
  • the positive electrode terminals 22 and 23 and the negative electrode terminals 32 are arranged side by side in one direction. Further, in the power module 101, switching elements 11 to 13 are arranged in a row along the arrangement direction of the positive electrode terminals 22 and 23 and the negative electrode terminals 32. Therefore, the power module 101 tends to project the signal terminal 40 from the sealing portion 70 to the outside. Further, the power module 101 can be easily wired with the same length.
  • the power module 101 having three switching elements 11 to 13 is adopted.
  • the present disclosure is not limited to this, and any power module having three or more switching elements can be adopted.
  • the power module 102 of the second embodiment will be described with reference to FIGS. 4, 5 and 6.
  • the points different from the power module 101 in the power module 102 will be mainly described.
  • the power module 102 differs from the power module 101 in the number of switching elements 11 to 14.
  • the same components as the power module 101 are given the same reference numerals as those of the power module 101.
  • the power module 102 has a fourth switching element 14 in addition to the switching elements 11 to 13. Similar to the power module 101, the power module 102 has equal-length wiring with the main circuit terminals in each of the switching elements 11 to 14. Therefore, the power module 102 can have the same effect as the power module 101.
  • the configuration in which the switching elements 11 to 13 are four can be applied to other embodiments.
  • the wiring with the main circuit terminal in each switching element 11 to 14 is an equal length wiring by using the interval between the shortest distance and the longest distance for each of the switching elements 11 to 14. It may be.
  • Reference numeral L11min in FIG. 5 is the shortest distance between the first switching element 11 and the second positive electrode terminal 23, which is the closest positive electrode terminal to the first switching element 11.
  • Reference numeral L11max is the longest distance between the first switching element 11 and the second positive electrode terminal 23.
  • Reference numeral L12min is the shortest distance between the first switching element 11 and the negative electrode terminal 32, which is the negative electrode terminal closest to the first switching element 11.
  • Reference numeral L12max is the longest distance between the first switching element 11 and the negative electrode terminal 32. The method of measuring the shortest distance and the longest distance is the same for the other switching elements 12 to 14.
  • Reference numeral 231 is a boundary surface (first boundary surface) of the second positive electrode terminal 23 with the sealing portion 70.
  • reference numeral 321 is a boundary surface (second boundary surface) of the second positive electrode terminal 23 with the sealing portion 70.
  • the power module 102 there is a region (overlapping region) in which the interval from the shortest distance to the longest distance for each of the switching elements 11 to 14 is covered by all the switching elements 11 to 14. That is, the power module 102 is configured so that an overlapping region exists. Since the power module 102 has an overlapping region, it can be considered that the wiring with the main circuit terminals in each of the switching elements 11 to 14 is the same length wiring. This also allows the power module 102 to have the same effect as the power module 101.
  • the power module 103 of the third embodiment will be described with reference to FIG. 7.
  • the power module 103 is different from the power module 101 in that the switching elements 11 to 13 dissipate heat on one side.
  • FIG. 7 is a cross-sectional view corresponding to FIG.
  • the same components as the power module 101 are given the same reference numerals as those of the power module 101.
  • the power module 103 is not provided with the second terminal member 30 and the terminal 60.
  • the sealing portion 71 does not seal the switching elements 11 to 13, the second terminal member 30, and the terminal 60. Therefore, each of the switching elements 11 to 13 mainly dissipates heat from the positive electrode side heat sink 21.
  • the source electrode 13s and the negative electrode terminal 32 are electrically connected to each other via a wire or the like.
  • the power module 103 can produce the same effect as the power module 101.
  • the configuration in which the switching elements 11 to 13 dissipate heat on one side can also be applied to other embodiments.
  • FIG. 8 is a cross-sectional view corresponding to FIG. In the power module 104, the same components as the power module 101 are given the same reference numerals as those of the power module 101.
  • the power module 104 has a first terminal member 20a.
  • the first terminal member 20a has a positive electrode side heat sink 21a and a first positive electrode terminal 22a.
  • the first terminal member 20a has a second positive electrode terminal 23 like the first terminal member 20. The position of the second positive electrode terminal 23 in the Z direction is the same as that of the first positive electrode terminal 22a.
  • the position of the first positive electrode terminal 22a with respect to the switching elements 11 to 13 of the first terminal member 20a is different from that of the first terminal member 20.
  • the position of the first positive electrode terminal 22a in the height direction is different from that of the switching elements 11 to 13.
  • the first positive electrode terminal 22a is arranged at a position farther from the switching elements 11 to 13 than the mounting surface of the switching elements 11 to 13 on the positive electrode side heat sink 21a in the Z direction. Therefore, it can be said that the first positive electrode terminal 22a is arranged below the center line CL.
  • the direction of the second terminal member 30 is above the center line CL
  • the direction of the first terminal member 20a is below the center line CL.
  • the power module 104 can produce the same effect as the power module 101.
  • the configuration of the first terminal member 20a can be applied to other embodiments.
  • the power module 105 of the fifth embodiment will be described with reference to FIG.
  • the points different from the power module 102 in the power module 105 will be mainly described.
  • the power module 105 differs from the power module 102 in the number of positive electrode terminals 22b and the negative electrode terminals 32b and 33b.
  • the same components as the power module 102 are given the same reference numerals as those of the power module 102.
  • the power module 105 has a second terminal member 30b.
  • the second terminal member 30b has a negative electrode side heat sink 31b, a first negative electrode terminal 32b, and a second negative electrode terminal 33b.
  • the first terminal member has one positive electrode terminal 22b and a positive electrode side heat sink.
  • the positive electrode terminal 22b is connected to the heat sink on the positive electrode side. Therefore, the second terminal member 30b has the same configuration as that of the first terminal member 20.
  • the first terminal member has the same configuration as that of the second terminal member 30.
  • the power module 105 has one positive electrode terminal 22b, two negative electrode terminals 32b, and a second negative electrode terminal 33b.
  • the terminals 22b, 32b, 33b are arranged side by side in the X direction.
  • the positions of the terminals 22b, 32b, and 33b in the height direction are the same as those of the switching elements 11 to 13.
  • the power module 105 can produce the same effect as the power module 102.
  • the configuration of the positive electrode terminal 22b and the negative electrode terminals 32b, 33b can be applied to other embodiments.
  • the power module 106 of the sixth embodiment will be described with reference to FIG. Here, the points different from the power module 102 in the power module 106 will be mainly described.
  • the power module 106 differs from the power module 102 in the number of negative electrode terminals 32c and 33c and the arrangement of the switching elements 11 to 14.
  • the same components as the power module 102 are given the same reference numerals as those of the power module 102.
  • the power module 106 has a second terminal member 30c.
  • the second terminal member 30c has a negative electrode side heat sink 31c, a first negative electrode terminal 32c, and a second negative electrode terminal 33c.
  • the second terminal member 30c has the same configuration as the second terminal member 30, the number of negative electrode terminals is larger than that of the second terminal member 30.
  • the first terminal member has a first positive electrode terminal 22c, a second positive electrode terminal 23c, and a positive electrode side heat sink connected to these, like the first terminal member 20.
  • the terminals 23c, 33c, 32c, 22c are arranged side by side in the X direction.
  • the positions of the terminals 23c, 33c, 32c, and 22c in the height direction are the same as those of the switching elements 11 to 14.
  • the first switching element 11 and the fourth switching element 14 are arranged side by side in the X direction, and the second switching element 12 and the third switching element 13 are arranged side by side in the X direction.
  • the second switching element 12 and the third switching element 13 are arranged between the first switching element 11 and the fourth switching element 14.
  • the second switching element 12 and the third switching element 13 are arranged at positions shifted toward the signal terminal 40 side from the first switching element 11 and the fourth switching element 14.
  • the power module 106 can have the same effect as the power module 102.
  • the configurations of the negative electrode terminals 32c and 33c and the arrangement of the switching elements 11 to 14 can be applied to other embodiments.
  • the power module 107 of the seventh embodiment will be described with reference to FIG. Here, the points different from the power module 101 in the power module 107 will be mainly described.
  • the power module 107 differs from the power module 101 in the protruding direction of the negative electrode terminal 32d.
  • the same components as the power module 101 are given the same reference numerals as those of the power module 101.
  • the power module 107 has a second terminal member 30d.
  • the second terminal member 30d has a negative electrode side heat sink 31d and a negative electrode terminal 32d.
  • the negative electrode terminal 32d is provided on the side opposite to the positive electrode terminals 22 and 23. That is, the power module 107 is provided with the negative electrode terminal 32d and the positive electrode terminals 22 and 23 protruding from the sealing portion 70.
  • the power module 107 has different protrusion directions of the negative electrode terminals 32d and the positive electrode terminals 22 and 23 with respect to the switching elements 11 to 13.
  • the positions of the terminals 22, 23, and 32d in the height direction are the same as those of the switching elements 11 to 14.
  • the power module 107 can produce the same effect as the power module 101.
  • the configuration of the negative electrode terminal 32d can be applied to other embodiments.
  • the power module 108 of the eighth embodiment will be described with reference to FIG. Here, the points different from the power module 102 in the power module 108 will be mainly described.
  • the power module 108 has a different configuration of the switching element 13a from the power module 102.
  • the same components as the power module 102 are given the same reference numerals as those of the power module 102.
  • the power module 108 In the power module 108, of the four switching elements 11, 12, 13a, 14, only the third switching element 13a is different in element size from the other switching elements 11, 12, 14. The other switching elements 11, 12, and 14 all have the same element size.
  • the third switching element 13a is an element smaller than the first switching element 11. As a result, the power module 108 can be made more versatile than the power module 102.
  • the element size indicates at least the size in the XY plane.
  • the element size may indicate the thickness in the Z direction in addition to the size in the XY plane.
  • the power module 108 can be adopted as long as at least one of the three or more switching elements has a different element size from the other switching elements. Therefore, in the power module 108, for example, the element size of two of the four switching elements may be different from the element size of the other two switching elements.
  • the third switching element 13a may have a different semiconductor configuration from the other switching elements 11, 12, and 14.
  • the other switching elements 11, 12, and 14 are configured with Si as a main component.
  • the third switching element 13a is composed mainly of SiC.
  • the semiconductor configuration is not limited to these combinations.
  • the power module 108 may include a switching element composed of GaN as a main component, a switching element composed of Si as a main component, and the like.
  • the power module 108 can also be applied to hybrid drive such as IGBT and MOSFET. That is, the power module 108 may be an IGBT in which the other switching elements 11, 12, and 14 are mainly composed of Si, and the third switching element 13a may be a MOSFET composed mainly of SiC. ..
  • the power module 108 can be adopted as long as at least one of the three or more switching elements has a semiconductor configuration different from that of the other switching elements. Therefore, in the power module 108, for example, the semiconductor configuration of two of the four switching elements may be different from the semiconductor configuration of the other two switching elements.
  • the power module 108 can produce the same effect as the power module 102.
  • the configuration in which one switching element 13a is different from other switching elements can be applied to other embodiments.
  • the power module 109 of the ninth embodiment will be described with reference to FIG.
  • the points different from the power module 102 in the power module 109 will be mainly described.
  • the power module 109 differs from the power module 102 in the relationship between the switching elements 11 to 14 and the gate terminals 41 and 42.
  • the same components as the power module 102 are given the same reference numerals as those of the power module 102.
  • the power module 109 has two gate terminals 41 and 42.
  • the gate terminals 41 and 42 are a part of signal terminals.
  • each gate electrode is electrically connected to the first gate terminal 41.
  • each gate electrode is electrically connected to the second gate terminal 42.
  • the power module 109 may have three or more gate terminals.
  • Reference numeral L13 is the distance between the first switching element 11 and the second gate terminal 42, which is the gate terminal closest to the first switching element 11.
  • the distance L13 is, for example, the distance between the center of the side wall of the switching element 11 on the second gate terminal 42 side and the boundary between the sealing portion 70 of the second gate terminal 42. The same applies to the other distances L23 to 43.
  • Reference numeral L23 is the distance between the second switching element 12 and the second gate terminal 42, which is the gate terminal closest to the second switching element 12.
  • Reference numeral L33 is a distance between the third switching element 13 and the first gate terminal 41 which is the gate terminal closest to the third switching element 13.
  • Reference numeral L43 is a distance between the fourth switching element 14 and the first gate terminal 41 which is the gate terminal closest to the fourth switching element 14. The distance L13, the distance L23, the distance L33, and the distance L43 correspond to the gate distance.
  • the power module 109 has the same distance L13, distance L23, distance L33, and distance L43. That is, in the power module 109, at least one of the positions of the gate terminals 41 and 42 and the positions of the switching elements 11 to 14 is set so that the distance L13, the distance L23, the distance L33, and the distance L43 are equal.
  • the power module 109 can produce the same effect as the power module 102. Further, in the power module 109, the imbalance of the current flowing through the switching elements 11 to 14 can be further suppressed by making the switching elements 11 to 14 and the gate terminals 41 and 42 have equal length wiring. Further, since the power module 109 has a plurality of gate terminals 41 and 42, it is possible to facilitate equal-length wiring for the gate terminals 41 and 42. The relationship between the switching elements 11 to 14 and the gate terminals 41 and 42 can be applied to other embodiments.
  • the power module 110 of the tenth embodiment will be described with reference to FIG. Here, the points different from the power module 102 in the power module 110 will be mainly described.
  • the power module 110 differs from the power module 102 in the relationship between the switching elements 11 to 14 and the terminals 22, 23, 32.
  • the same components as the power module 102 are given the same reference numerals as those of the power module 102.
  • Reference numeral L11a is the distance between the first switching element 11 and the second positive electrode terminal 23.
  • Reference numeral L11b is a distance between the first switching element 11 and the first positive electrode terminal 22.
  • Reference numeral L12 is a distance between the first switching element 11 and the negative electrode terminal 32.
  • Reference numeral L21a is the distance between the third switching element 13 and the second positive electrode terminal 23.
  • Reference numeral L21b is a distance between the third switching element 13 and the first positive electrode terminal 22.
  • Reference numeral L22 is a distance between the third switching element 13 and the negative electrode terminal 32.
  • the center of the side wall on the terminals 22, 23, and 32 is adopted as the starting point on the switching element 11 to 14 side.
  • the present disclosure is not limited to this, and the same starting point as in the first embodiment can be adopted.
  • the starting points on the terminals 22, 23 and 32 are the same as in the above embodiment.
  • the total of the average of the distances between the switching elements 11 to 14 and the positive electrode terminals 22 and 23 and the average of the distances between the switching elements 11 to 13 and the negative electrode terminals 32 is specified. That is, in the power module 109, the total of the average distance between the switching elements 11 to 13 and the positive electrode terminals 22 and 23 and the average distance between the switching elements 11 to 13 and the negative electrode terminal 32 is the total of the switching elements 11 to 11. It is specified to be equal at 14.
  • the total distance with respect to the first switching element 11 is the total distance of the average of the distance L11a and the distance L11b and the average of the distance L12.
  • the total distance with respect to the third switching element 13 is the total distance of the average of the distance L21a and the distance L21b and the average of the distance L22.
  • the power module 109 is defined so that the total distances thereof are equal.
  • the power module 109 can produce the same effect as the power module 102.
  • the power module 111 of the eleventh embodiment will be described with reference to FIGS. 15 and 16.
  • the power module 111 differs from the power module 101 in that the upper arm and the lower arm are configured as one package.
  • the same components as the power module 101 are given the same reference numerals as those of the power module 101.
  • the power module 111 has an upper arm first switching element 11p, an upper arm second switching element 12p, and an upper arm third switching element 13p as switching elements of the upper arm. These switching elements 11p to 13p are connected in parallel and can be said to be upper arm elements.
  • the power module 111 has a lower arm first switching element 11n, a lower arm second switching element 12n, and a lower arm third switching element 13n as lower arm switching elements. These switching elements 11n to 13n are connected in parallel and can be said to be lower arm elements.
  • the power module 111 has an upper arm terminal member 20e, a lower arm terminal member 30e, and an O terminal 32f.
  • the upper arm terminal member 20e has an upper arm heat sink 21e and a P terminal 22e.
  • the lower arm terminal member 30e has a lower arm heat sink 31e and an N terminal 32e.
  • the power module 111 constitutes an upper arm and a lower arm in the inverter 200.
  • the power module 111 includes switching elements 11p to 13p, 11n to 13n, an upper arm terminal member 20e, a lower arm terminal member 30e, and an O terminal 32f in order to form the inverter 200.
  • the power module 111 can also be applied to a converter.
  • the power module 110 can produce the same effect as the power module 101.

Abstract

パワーモジュール（１０１）は、第１スイッチング素子（１１）と第２スイッチング素子（１２）と第３スイッチング素子（１３）の三つのスイッチング素子を有している。各スイッチング素子（１１～１３）は、ドレイン電極に接続された第１正極端子（２２）と第２正極端子（２３）の２つの正極端子を有している。また、各スイッチング素子（１１～１３）は、ソース電極に接続された負極端子（３２）の１つの負極端子を有している。パワーモジュール（１０１）は、正極端子と負極端子の合計が３つである。

Description

パワーモジュール 関連出願の相互参照
　本出願は、２０１９年９月４日に日本に出願された特許出願第２０１９－１６１４９４号を基礎としており、基礎の出願の内容を、全体的に、参照により援用している。
　本開示は、パワーモジュールに関する。
　パワーモジュールの一例として、特許文献１に開示された半導体モジュールがある。半導体モジュールは、一対の金属板と、２つのトランジスタチップを備えている。トランジスタチップは、一対の金属板に挟まれつつ、樹脂パッケージに封止されている。トランジスタチップのエミッタ電極は、一方の金属板と導通している。半導体モジュールは、他方の金属板から２つコレクタ端子が延びており、一方の金属板から１個のエミッタ端子が延びている。エミッタ端子は、パッケージ側面にて２つのコレクタ端子の間から外部へ延びている。エミッタ端子は、２つのトランジスタチップの夫々のエミッタ電極から等距離の位置で一方の金属板から延びている。
特開２０１８－６７６５７号公報
　しかしながら、特許文献１では、ゲート発振に関しては考慮されているものの、特許文献１よりも小さく歩留まりの良い素子を３つ以上用いた場合に関しては考慮されていない。
　本開示の目的は、素子歩留まりを向上できるパワーモジュールを提供することである。
　上記目的を達成するために本開示は、
　３つ以上の並列接続されたスイッチング素子と、
　各スイッチング素子の正極電極に接続された正極端子と、
　各スイッチング素子の負極電極に接続された負極端子と、を備え、
　正極端子と負極端子の合計が３つ以上であることを特徴とする。
　このように、本開示は、３つ以上のスイッチング素子が並列接続されているため、歩留まりを向上することができる。
　また、本開示のさらなる特徴は、スイッチング素子の中心と、スイッチング素子に最も近い正極端子までの距離である正極側距離と、スイッチング素子の中心と、スイッチング素子に最も近い負極端子までの距離である負極側距離の合計が、各スイッチング素子において等しい点にある。
　これによって、本開示は、スイッチング素子毎の電流アンバランスを抑制することができる。
　なお、請求の範囲、および、この項に記載した括弧内の符号は、一つの態様として後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものであって、本開示の技術的範囲を限定するものではない。
第１実施形態におけるパワーモジュールの概略構成を示す平面図である。 図１のII-II線に沿う断面図である。 第１実施形態におけるインバータの概略構成を示す回路図である。 第２実施形態におけるパワーモジュールの概略構成を示す平面図である。 第２実施形態におけるパワーモジュールの概略構成を示す平面図である。 第２実施形態における素子毎の距離の関係を示す図である。 第３実施形態におけるパワーモジュールの概略構成を示す断面図である。 第４実施形態におけるパワーモジュールの概略構成を示す断面図である。 第５実施形態におけるパワーモジュールの概略構成を示す平面図である。 第６実施形態におけるパワーモジュールの概略構成を示す平面図である。 第７実施形態におけるパワーモジュールの概略構成を示す平面図である。 第８実施形態におけるパワーモジュールの概略構成を示す平面図である。 第９実施形態におけるパワーモジュールの概略構成を示す平面図である。 第１０実施形態におけるパワーモジュールの概略構成を示す平面図である。 第１１実施形態におけるパワーモジュールの概略構成を示す平面図である。 第１１実施形態におけるインバータの概略構成を示す回路図である。
　以下において、図面を参照しながら、本開示を実施するための複数の形態を説明する。各形態において、先行する形態で説明した事項に対応する部分には同一の参照符号を付して重複する説明を省略する場合がある。各形態において、構成の一部のみを説明している場合は、構成の他の部分については先行して説明した他の形態を参照し適用することができる。なお、以下においては、互いに直交する３方向をＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向と示す。
　（第１実施形態）
　図１、図２、図３を用いて、本実施形態のパワーモジュール１０１に関して説明する。パワーモジュール１０１は、主に、第１スイッチング素子１１、第２スイッチング素子１２、第３スイッチング素子１３と、第１端子部材２０と、第２端子部材３０とを有している。また、パワーモジュール１０１は、信号端子４０、ワイヤ５０、ターミナル６０、封止部７０などを有していてもよい。
　図１に示すように、各スイッチング素子１１～１３は、一方向に並んで配置されている。また、各スイッチング素子１１～１３は、第１スイッチング素子１１、第２スイッチング素子１２、第３スイッチング素子１３の順番で配置されている。ここでは、Ｘ方向に並んで配置された例を採用している。
　本実施形態では、各スイッチング素子１１～１３の一例としてＭＯＳＦＥＴを採用している。しかしながら、本開示は、これに限定されず、ＩＧＢＴやＲＣ－ＩＧＢＴなどであっても、各スイッチング素子１１～１３に採用することができる。さらに、各スイッチング素子１１～１３は、Ｓｉを主成分として構成されたもの、ＳｉＣを主成分として構成されたもの、ＧａＮを主成分として構成されたものなどを採用することができる。よって、各スイッチング素子１１～１３は、半導体スイッチング素子である。
　３つのスイッチング素子１１～１３は、同様の構成をなしている。このため、ここでは、第３スイッチング素子１３を代表例として用いて説明する。なお、各スイッチング素子１１～１３は、高さ方向（Ｚ方向）の位置が同じ位置に設けられている。
　図２に示すように、第３スイッチング素子１３は、ゲート電極１３ｇ、ドレイン電極１３ｄ、ソース電極１３ｓを有している。第３スイッチング素子１３は、一面にゲート電極１３ｇとソース電極１３ｓが形成されており、一面の反対面にドレイン電極１３ｄが形成されている。第３スイッチング素子１３は、六面体構造をなしており、平面形状が矩形状をなしている。
　図２に示すように、各スイッチング素子１１～１３は、後程説明する第１端子部材２０と第２端子部材３０との間に配置されている。第３スイッチング素子１３は、ゲート電極１３ｇとソース電極１３ｓが第２端子部材３０と対向し、ドレイン電極１３ｄが第１端子部材２０と対向するように配置されている。
　ソース電極１３ｓは、ターミナル６０を介して、第２端子部材３０と対向配置されている。ソース電極１３ｓは、導電性の接続部材によってターミナル６０と接続されている。また、ターミナル６０は、導電性の接続部材によって第２端子部材３０と接続されている。このように、ソース電極１３ｓは、ターミナル６０を介して第２端子部材３０と電気的に接続されている。一方、ドレイン電極１３ｄは、第１端子部材２０と導電性の接続部材によって接続されている。なお、導電性の接続部材は、例えば、はんだなどを採用できる。
　よって、３つのスイッチング素子１１～１３は、各ソース電極が第２端子部材３０を介して電気的に接続され、且つ、各ドレイン電極が第１端子部材２０を介して電気的に接続されている。このように、３つのスイッチング素子１１～１３は、並列接続されている。
　ゲート電極１３ｇは、ワイヤ５０を介して、信号端子４０と電気的に接続されている。ターミナル６０は、ゲート電極１３ｇに接続されるワイヤ５０が第２端子部材３０に接触することを避けるために設けられている。ターミナル６０は、ＡｌやＣｕなどの金属を主成分として構成されているものや、合金によって構成されているものを採用できる。
　なお、パワーモジュール１０１は、第１スイッチング素子１１と第２スイッチング素子１２に関しても、第３スイッチング素子１３と同様に配置および接続されている。
　図１、図２に示すように、第１端子部材２０は、正極側ヒートシンク２１、第１正極端子２２、第２正極端子２３などを有している。第１端子部材２０は、正極側ヒートシンク２１、第１正極端子２２、第２正極端子２３が一体物として構成されている。第１端子部材２０は、ＡｌやＣｕなどの金属を主成分として構成されているものや、合金によって構成されているものを採用できる。
　正極側ヒートシンク２１は、各スイッチング素子１１～１３と対向する部位である。正極側ヒートシンク２１は、各スイッチング素子１１～１３を冷却する機能を有している。つまり、正極側ヒートシンク２１は、動作することで各スイッチング素子１１～１３から発せられた熱が伝達される。そして、正極側ヒートシンク２１は、各スイッチング素子１１～１３から発せられた熱を封止部７０の外部に放熱することで、各スイッチング素子１１～１３を冷却する。正極側ヒートシンク２１は、各スイッチング素子１１～１３を冷却するために、正極端子２２、２３よりも厚みを厚く設けられている。ここでの厚みは、Ｚ方向の幅である。
　第１正極端子２２と第２正極端子２３は、正極端子に相当する。第１正極端子２２と第２正極端子２３は、各スイッチング素子１１～１３のドレイン電極（正極電極）に接続されている。第１正極端子２２と第２正極端子２３は、高さ方向の位置が互いに同じ位置に設けられている。また、図２に示すように、正極端子２２、２３は、高さ方向の位置がスイッチング素子１１～１３と同じ位置に設けられている。ここでは、一例として、パワーモジュール１０１の高さ方向における中心線ＣＬ上に、正極端子２２、２３とスイッチング素子１１～１３が配置された例を採用している。
　第１正極端子２２と第２正極端子２３は、パワーモジュール１０１と外部機器との電気的な接続を行う外部接続用端子である。第１正極端子２２と第２正極端子２３は、正極側ヒートシンク２１の側壁から突出して設けられている。また、第１正極端子２２と第２正極端子２３は、Ｚ方向に突出して設けられ、且つ、Ｘ方向に並んで配置されている。図１に示すように、第１正極端子２２と第２正極端子２３は、端子間に負極端子３２が配置可能な程度に離間して設けられている。このように、第１端子部材２０は、正極端子としての機能と、スイッチング素子１１～１３を冷却するための機能を有している。
　なお、第１端子部材２０は、正極側ヒートシンク２１、第１正極端子２２、第２正極端子２３が別体に構成されていてもよい。この場合、正極側ヒートシンク２１は、第１正極端子２２と第２正極端子２３と、はんだなどの導電性の接続部材によって接続される。
　図１、図２に示すように、第２端子部材３０は、負極側ヒートシンク３１、負極端子３２などを有している。第２端子部材３０は、負極側ヒートシンク３１、負極端子３２が一体物として構成されている。第２端子部材３０は、ＡｌやＣｕなどの金属を主成分として構成されているものや、合金によって構成されているものを採用できる。
　負極側ヒートシンク３１は、正極側ヒートシンク２１と同様の構成と機能を有している。負極端子３２は、負極端子に相当する。は、各スイッチング素子１１～１３のソース電極（負極電極）に接続されている。負極端子３２は、第１正極端子２２と第２正極端子２３と同様の構成と機能を有している。図１に示すように、負極端子３２は、第１正極端子２２と第２正極端子２３との間に配置されている。よって、第２端子部材３０は、負極端子としての機能と、スイッチング素子１１～１３を冷却するための機能を有している。しかしながら、第２端子部材３０は、負極側ヒートシンク３１に対して、一つの負極端子３２のみが突出して設けられている。
　また、負極端子３２は、高さ方向の位置が正極端子２２、２３と同じ位置に設けられている。
　なお、第２端子部材３０は、負極側ヒートシンク３１、負極端子３２が別体に構成されていてもよい。この場合、負極側ヒートシンク３１は、負極端子３２とはんだなどの導電性の接続部材によって接続される。
　このように、パワーモジュール１０１は、正極端子２２、２３と負極端子３２の合計が３つである。つまり、パワーモジュール１０１は、２つの正極端子２２、２３と、１つの負極端子３２とを有している。しかしながら、本開示は、これに限定されず、正極端子と負極端子の合計が３つ以上であればよい。そして、パワーモジュール１０１は、３つのスイッチング素子１１～１３が並列接続されているため、歩留まりを向上することができる。つまり、パワーモジュール１０１は、特許文献１よりも小さく歩留まりの良い素子を３つ以上用いた構成よりも、歩留まりを向上できる。
　信号端子４０は、ＡｌやＣｕなどの金属を主成分として構成されているものや、合金によって構成されているものを採用できる。信号端子４０は、複数設けられており、Ｘ方向に並んで配置されている。信号端子４０は、スイッチング素子１１～１３のゲート電極とワイヤ５０によって接続されたゲート端子を含んでいる。スイッチング素子１１～１３に温度センサが設けられている場合、信号端子４０は、温度センサと電気的に接続された温度検出端子を含むことになる。信号端子４０は、ゲート端子や温度検出端子に限定されない、その他の端子を含んでいてもよい。
　封止部７０は、エポキシ系樹脂などの電気絶縁性の樹脂を主成分として構成されている。図２に示すように、封止部７０は、スイッチング素子１１～１３と、第１端子部材２０の一部と、第２端子部材３０の一部に接触しつつ、これらを覆っている。また、封止部７０は、ワイヤ５０、ターミナル６０、および信号端子４０の一部に接触しつつ、これらを覆っている。さらに、封止部７０は、パワーモジュール１０１の構成要素同士の接続部も覆っている。
　パワーモジュール１０１は、正極端子２２、２３の一部、負極端子３２の一部、および信号端子４０の一部が封止部７０から突出している。詳述すると、正極端子２２、２３と負極端子３２は、封止部７０の一つの側壁から突出している。一方、信号端子４０は、封止部７０の他の側壁から突出している。つまり、信号端子４０は、封止部７０における正極端子２２、２３などとは異なる側壁から突出している。また、信号端子４０は、スイッチング素子１１～１３に対して、正極端子２２、２３および負極端子３２とは反対側に設けられていると言える。これによって、パワーモジュール１０１は、正極端子２２、２３および負極端子３２のノイズを信号端子４０が受けづらくなる。
　また、第１端子部材２０は、正極側ヒートシンク２１におけるスイッチング素子１１～１３との対向面の反対面が封止部７０から露出している。同様に、第２端子部材３０は、負極側ヒートシンク３１におけるスイッチング素子１１～１３との対向面の反対面が封止部７０から露出している。これによって、パワーモジュール１０１は、スイッチング素子１１～１３の熱を正極側ヒートシンク２１や負極側ヒートシンク３１から放熱しやすくなる。
　パワーモジュール１０１は、図３に示すように、インバータ２００に適用することができる。インバータ２００は、モータジェネレータ３００を駆動制御するための回路である。パワーモジュール１０１は、６つのパワーモジュール１０１を備えている。しかしながら、パワーモジュール１０１は、これに限定されず、コンバータに適用することもできる。
　このように構成されたパワーモジュール１０１は、各スイッチング素子１１～１３と、正極端子２２、２３、負極端子３２との距離が規定されている。つまり、パワーモジュール１０１は、各スイッチング素子１１～１３における正極側距離Ｌ１１、Ｌ２１と負極側距離Ｌ１２、Ｌ２２との合計が等しくなるように規定されている。なお、正極端子２２、２３、負極端子３２は、主回路端子と言える。
　正極側距離Ｌ１１は、第１スイッチング素子１１の中心点ＣＰと、第１スイッチング素子１１に最も近い正極端子（第２正極端子２３）までの距離である。負極側距離Ｌ１２は、第１スイッチング素子１１の中心点ＣＰと、第１スイッチング素子１１に最も近い負極端子（負極端子３２）までの距離である。
　なお、これらの距離のスイッチング素子１１～１３側の起点は、スイッチング素子１１～１３の中心点ＣＰである。一方、端子側の起点は、端子２２、２３、３２と封止部７０との境界面である。よって、例えば、正極側距離Ｌ１１は、第１スイッチング素子１１の中心点ＣＰと、第２正極端子２３における封止部７０との境界面までの距離と言える。また、正極側距離Ｌ１１は、第１スイッチング素子１１の中心点ＣＰと、第２正極端子２３における封止部７０との境界までの距離とも言える。なお、境界面は、端子２２、２３、３２と封止部７０との境界における、端子２２、２３、３２の厚み方向（Ｚ方向）における断面に相当する。
　正極側距離Ｌ２１は、第２スイッチング素子１２の中心点ＣＰと、第２スイッチング素子１２に最も近い正極端子（第１正極端子２２）までの距離である。負極側距離Ｌ２２は、第２スイッチング素子１２の中心点ＣＰと、第２スイッチング素子１２に最も近い負極端子（負極端子３２）までの距離である。
　なお、第３スイッチング素子１３に関する正極側距離は、第３スイッチング素子１３の中心点ＣＰと、第３スイッチング素子１３に最も近い第１正極端子２２までの距離である。第３スイッチング素子１３に関する負極側距離は、第３スイッチング素子１３の中心点ＣＰと、第３スイッチング素子１３に最も近い負極端子３２までの距離である。
　第１スイッチング素子１１における正極側距離Ｌ１１と負極側距離Ｌ１２の合計は、第２スイッチング素子１２における正極側距離Ｌ２１と負極側距離Ｌ２２の合計と等しい。また、第３スイッチング素子１３における正極側距離と負極側距離の合計は、第２スイッチング素子１２における正極側距離Ｌ２１と負極側距離Ｌ２２の合計と等しい。このように、パワーモジュール１０１は、各スイッチング素子１１～１３における主回路端子との配線が等長配線となっていると言える。
　よって、パワーモジュール１０１は、各スイッチング素子１１～１３に流れる電流のアンバランスを抑制できる。また、パワーモジュール１０１は、主回路端子が複数存在することで、等長配線が容易となる。さらに、パワーモジュール１０１は、端子側の起点を、端子２２、２３、３２と封止部７０との境界面とすることで、製造ばらつきを考慮した電流アンバランスの抑制を行うことができる。
　さらに、端子側の起点は、端子２２、２３、３２と封止部７０との境界面の中心とすると好ましい。端子２２、２３、３２の境界面は、電流分布が存在する。しかしながら、端子２２、２３、３２は、境界面の中心が最も電気が流れやすい。よって、パワーモジュール１０１は、電流アンバランスの抑制効果が高まる。
　上記のように、パワーモジュール１０１は、正極端子２２、２３と負極端子３２が一方向に並んで配置されている。また、パワーモジュール１０１は、スイッチング素子１１～１３が正極端子２２、２３と負極端子３２の並び方向に沿って一列に配置されている。よって、パワーモジュール１０１は、信号端子４０を封止部７０から外部に突出させやすくなる。また、パワーモジュール１０１は、等長配線にしやすくなる。
　なお、本実施形態では、３つのスイッチング素子１１～１３を有したパワーモジュール１０１を採用している。しかしながら、本開示は、これに限定されず、３つ以上のスイッチング素子を有するパワーモジュールであれば採用できる。
　以上、本開示の好ましい実施形態について説明した。しかしながら、本開示は、上記実施形態に何ら制限されることはなく、本開示の趣旨を逸脱しない範囲において、種々の変形が可能である。以下に、本開示のその他の形態として、第２～第１１実施形態に関して説明する。上記実施形態および第２～第１１実施形態は、夫々単独で実施することも可能であるが、適宜組み合わせて実施することも可能である。本開示は、実施形態において示された組み合わせに限定されることなく、種々の組み合わせによって実施可能である。
　（第２実施形態）
　図４、図５、図６を用いて、第２実施形態のパワーモジュール１０２に関して説明する。ここでは、主に、パワーモジュール１０２におけるパワーモジュール１０１と異なる点を説明する。パワーモジュール１０２は、スイッチング素子１１～１４の個数がパワーモジュール１０１と異なる。なお、パワーモジュール１０２では、パワーモジュール１０１と同じ構成要素に、パワーモジュール１０１と同じ符号を付与している。
　図４に示すように、パワーモジュール１０２は、スイッチング素子１１～１３に加えて、第４スイッチング素子１４を有している。パワーモジュール１０２は、パワーモジュール１０１と同様、各スイッチング素子１１～１４における主回路端子との配線が等長配線となっている。よって、パワーモジュール１０２は、パワーモジュール１０１と同様の効果を奏することができる。なお、スイッチング素子１１～１３を４つとする構成は、他の実施形態にも適用できる。
　また、図５に示すように、本開示は、スイッチング素子１１～１４ごとの最短距離と最長距離との間隔を用いて、各スイッチング素子１１～１４における主回路端子との配線が等長配線となるようにしてもよい。
　図５における符号Ｌ１１ｍｉｎは、第１スイッチング素子１１と、第１スイッチング素子１１から最も近い正極端子である第２正極端子２３との最短距離である。符号Ｌ１１ｍａｘは、第１スイッチング素子１１と第２正極端子２３との最長距離である。符号Ｌ１２ｍｉｎは、第１スイッチング素子１１と、第１スイッチング素子１１から最も近い負極端子である負極端子３２との最短距離である。符号Ｌ１２ｍａｘは、第１スイッチング素子１１と負極端子３２との最長距離である。この最短距離と最長距離の計り方は、他のスイッチング素子１２～１４に関しても同様である。
　なお、符号２３１は、第２正極端子２３の封止部７０との境界面（第１境界面）である。一方、符号３２１は、第２正極端子２３の封止部７０との境界面（第２境界面）である。
　図６に示すように、パワーモジュール１０２は、スイッチング素子１１～１４ごとの最短距離から最長距離の間隔が、すべてのスイッチング素子１１～１４において被っている領域（重複領域）が存在する。つまり、パワーモジュール１０２は、重複領域が存在するように構成されている。パワーモジュール１０２は、重複領域が存在することで、各スイッチング素子１１～１４における主回路端子との配線が等長配線となっているとみなすことができる。これによっても、パワーモジュール１０２は、パワーモジュール１０１と同様の効果を奏することができる。
　（第３実施形態）
　図７を用いて、第３実施形態のパワーモジュール１０３に関して説明する。ここでは、主に、パワーモジュール１０３におけるパワーモジュール１０１と異なる点を説明する。パワーモジュール１０３は、スイッチング素子１１～１３が片面放熱である点がパワーモジュール１０１と異なる。図７は、図２に相当する断面図である。なお、パワーモジュール１０３では、パワーモジュール１０１と同じ構成要素に、パワーモジュール１０１と同じ符号を付与している。
　図７に示すように、パワーモジュール１０３は、第２端子部材３０とターミナル６０が設けられていない。封止部７１は、各スイッチング素子１１～１３、第２端子部材３０、ターミナル６０を封止していない。よって、各スイッチング素子１１～１３は、主に、正極側ヒートシンク２１から放熱される。なお、各スイッチング素子１１～１３は、ワイヤなどを介して、ソース電極１３ｓと負極端子３２とが電気的に接続されている。
　パワーモジュール１０３は、パワーモジュール１０１と同様の効果を奏することができる。スイッチング素子１１～１３を片面放熱とする構成は、他の実施形態にも適用できる。
　（第４実施形態）
　図８を用いて、第４実施形態のパワーモジュール１０４に関して説明する。ここでは、主に、パワーモジュール１０４におけるパワーモジュール１０１と異なる点を説明する。パワーモジュール１０４は、第１端子部材２０ａの構成がパワーモジュール１０１と異なる。図８は、図２に相当する断面図である。なお、パワーモジュール１０４では、パワーモジュール１０１と同じ構成要素に、パワーモジュール１０１と同じ符号を付与している。
　図８に示すように、パワーモジュール１０４は、第１端子部材２０ａを有している。第１端子部材２０ａは、第１端子部材２０と同様、正極側ヒートシンク２１ａと第１正極端子２２ａを有している。また、第１端子部材２０ａは、第１端子部材２０と同様、第２正極端子２３を有している。第２正極端子２３は、Ｚ方向の位置が第１正極端子２２ａと同じである。
　第１端子部材２０ａは、スイッチング素子１１～１３に対する第１正極端子２２ａの位置が第１端子部材２０と異なる。第１正極端子２２ａは、高さ方向の位置がスイッチング素子１１～１３と異なる。第１正極端子２２ａは、Ｚ方向において、正極側ヒートシンク２１ａにおけるスイッチング素子１１～１３の実装面よりも、スイッチング素子１１～１３から遠ざかった位置に配置されている。よって、第１正極端子２２ａは、中心線ＣＬよりも下方に配置されていると言える。なお、ここでは、中心線ＣＬよりも第２端子部材３０方向を上方、中心線ＣＬよりも第１端子部材２０ａ方向を下方とする。
　パワーモジュール１０４は、パワーモジュール１０１と同様の効果を奏することができる。第１端子部材２０ａの構成は、他の実施形態にも適用できる。
　（第５実施形態）
　図９を用いて、第５実施形態のパワーモジュール１０５に関して説明する。ここでは、主に、パワーモジュール１０５におけるパワーモジュール１０２と異なる点を説明する。パワーモジュール１０５は、正極端子２２ｂと負極端子３２ｂ、３３ｂの個数がパワーモジュール１０２と異なる。なお、パワーモジュール１０５では、パワーモジュール１０２と同じ構成要素に、パワーモジュール１０２と同じ符号を付与している。
　図９に示すように、パワーモジュール１０５は、第２端子部材３０ｂを有している。第２端子部材３０ｂは、負極側ヒートシンク３１ｂ、第１負極端子３２ｂ、第２負極端子３３ｂを有している。また、第１端子部材は、１つの正極端子２２ｂと正極側ヒートシンクを有している。そして、正極端子２２ｂは、正極側ヒートシンクと接続されている。よって、第２端子部材３０ｂは、第１端子部材２０の構成と同様の構成をなしている。第１端子部材は、第２端子部材３０の構成と同様の構成をなしている。このように、パワーモジュール１０５は、１つの正極端子２２ｂと、２つの負極端子３２ｂ、第２負極端子３３ｂとを有している。
　端子２２ｂ、３２ｂ、３３ｂは、Ｘ方向に並んで配置されている。また、端子２２ｂ、３２ｂ、３３ｂは、高さ方向の位置がスイッチング素子１１～１３と同じである。
　パワーモジュール１０５は、パワーモジュール１０２と同様の効果を奏することができる。正極端子２２ｂと負極端子３２ｂ、３３ｂの構成は、他の実施形態にも適用できる。
　（第６実施形態）
　図１０を用いて、第６実施形態のパワーモジュール１０６に関して説明する。ここでは、主に、パワーモジュール１０６におけるパワーモジュール１０２と異なる点を説明する。パワーモジュール１０６は、負極端子３２ｃ、３３ｃの個数と、スイッチング素子１１～１４の配置がパワーモジュール１０２と異なる。なお、パワーモジュール１０６では、パワーモジュール１０２と同じ構成要素に、パワーモジュール１０２と同じ符号を付与している。
　図１０に示すように、パワーモジュール１０６は、第２端子部材３０ｃを有している。第２端子部材３０ｃは、負極側ヒートシンク３１ｃ、第１負極端子３２ｃ、第２負極端子３３ｃを有している。第２端子部材３０ｃは、第２端子部材３０と同様の構成ではあるものの、第２端子部材３０よりも負極端子の数が多い。また、第１端子部材は、第１端子部材２０と同様、第１正極端子２２ｃ、第２正極端子２３ｃと、これらに接続された正極側ヒートシンクを有している。
　端子２３ｃ、３３ｃ、３２ｃ、２２ｃは、Ｘ方向に並んで配置されている。また、端子２３ｃ、３３ｃ、３２ｃ、２２ｃは、高さ方向の位置がスイッチング素子１１～１４と同じである。
　スイッチング素子１１～１４は、第１スイッチング素子１１と第４スイッチング素子１４がＸ方向に並んで配置され、第２スイッチング素子１２と第３スイッチング素子１３がＸ方向に並んで配置されている。第２スイッチング素子１２と第３スイッチング素子１３は、第１スイッチング素子１１と第４スイッチング素子１４との間に配置されている。そして、第２スイッチング素子１２と第３スイッチング素子１３は、第１スイッチング素子１１と第４スイッチング素子１４よりも、信号端子４０側にずれた位置に配置されている。パワーモジュール１０６は、パワーモジュール１０２と同様の効果を奏することができる。負極端子３２ｃ、３３ｃの構成およびスイッチング素子１１～１４の配置は、他の実施形態にも適用できる。
　（第７実施形態）
　図１１を用いて、第７実施形態のパワーモジュール１０７に関して説明する。ここでは、主に、パワーモジュール１０７におけるパワーモジュール１０１と異なる点を説明する。パワーモジュール１０７は、負極端子３２ｄの突出方向がパワーモジュール１０１と異なる。なお、パワーモジュール１０７では、パワーモジュール１０１と同じ構成要素に、パワーモジュール１０１と同じ符号を付与している。
　図１１に示すように、パワーモジュール１０７は、第２端子部材３０ｄを有している。第２端子部材３０ｄは、負極側ヒートシンク３１ｄ、負極端子３２ｄを有している。負極端子３２ｄは、正極端子２２、２３とは反対側に設けられている。つまり、パワーモジュール１０７は、負極端子３２ｄと正極端子２２、２３が封止部７０から突出して設けられている。そして、パワーモジュール１０７は、スイッチング素子１１～１３に対する負極端子３２ｄと正極端子２２、２３の突出方向が異なる。なお、端子２２、２３、３２ｄは、高さ方向の位置がスイッチング素子１１～１４と同じである。
　パワーモジュール１０７は、パワーモジュール１０１と同様の効果を奏することができる。負極端子３２ｄの構成は、他の実施形態にも適用できる。
　（第８実施形態）
　図１２を用いて、第８実施形態のパワーモジュール１０８に関して説明する。ここでは、主に、パワーモジュール１０８におけるパワーモジュール１０２と異なる点を説明する。パワーモジュール１０８は、スイッチング素子１３ａの構成がパワーモジュール１０２と異なる。なお、パワーモジュール１０８では、パワーモジュール１０２と同じ構成要素に、パワーモジュール１０２と同じ符号を付与している。
　図１２に示すように、パワーモジュール１０８は、四つのスイッチング素子１１、１２、１３ａ、１４のうち、第３スイッチング素子１３ａだけが、他のスイッチング素子１１、１２、１４と素子サイズが異なる。他のスイッチング素子１１、１２、１４は、全て同じ素子サイズである。第３スイッチング素子１３ａは、第１スイッチング素子１１よりも小型の素子である。これによって、パワーモジュール１０８は、パワーモジュール１０２よりも汎用性を向上させることができる。
　なお、素子サイズは、少なくともＸＹ平面における大きさを示している。素子サイズは、ＸＹ平面における大きさに加えて、Ｚ方向の厚みを示すものであってもよい。また、パワーモジュール１０８は、３つ以上のスイッチング素子における少なくとも一つが、他のスイッチング素子と素子サイズが異なるものであれば採用できる。よって、パワーモジュール１０８は、例えば、４つのスイッチング素子のうち２つのスイッチング素子の素子サイズが、他の２つのスイッチング素子の素子サイズと異なっていてもよい。
　また、第３スイッチング素子１３ａは、他のスイッチング素子１１、１２、１４と半導体構成が異なっていてもよい。例えば、他のスイッチング素子１１、１２、１４は、Ｓｉを主成分として構成されている。一方、第３スイッチング素子１３ａは、ＳｉＣを主成分として構成されている。しかしながら、半導体構成は、これらの組み合わせに限定されない。パワーモジュール１０８は、ＧａＮを主成分として構成されたスイッチング素子、Ｓｉを主成分として構成されたスイッチング素子を含むものなどであってもよい。
　これによって、パワーモジュール１０８は、ＩＧＢＴとＭＯＳＦＥＴなどのハイブリッド駆動にも適用することができる。つまり、パワーモジュール１０８は、他のスイッチング素子１１、１２、１４がＳｉを主成分として構成されたＩＧＢＴであり、第３スイッチング素子１３ａがＳｉＣを主成分として構成されたＭＯＳＦＥＴなどとすることができる。
　また、パワーモジュール１０８は、３つ以上のスイッチング素子における少なくとも一つが、他のスイッチング素子と半導体構成が異なるものであれば採用できる。よって、パワーモジュール１０８は、例えば、４つのスイッチング素子のうち２つのスイッチング素子の半導体構成が、他の２つのスイッチング素子の半導体構成と異なっていてもよい。
　パワーモジュール１０８は、パワーモジュール１０２と同様の効果を奏することができる。一つのスイッチング素子１３ａが他のスイッチング素子と異なる構成は、他の実施形態にも適用できる。
　（第９実施形態）
　図１３を用いて、第９実施形態のパワーモジュール１０９に関して説明する。ここでは、主に、パワーモジュール１０９におけるパワーモジュール１０２と異なる点を説明する。パワーモジュール１０９は、スイッチング素子１１～１４とゲート端子４１、４２との関係がパワーモジュール１０２と異なる。なお、パワーモジュール１０９では、パワーモジュール１０２と同じ構成要素に、パワーモジュール１０２と同じ符号を付与している。
　図１３に示すように、パワーモジュール１０９は、２つのゲート端子４１、４２を有している。ゲート端子４１、４２は、信号端子の一部である。第１スイッチング素子１１と第２スイッチング素子１２は、各ゲート電極が第１ゲート端子４１と電気的に接続されている。第３スイッチング素子１３と第４スイッチング素子１４は、各ゲート電極が第２ゲート端子４２と電気的に接続されている。なお、パワーモジュール１０９は、３つ以上のゲート端子を有していてもよい。
　符号Ｌ１３は、第１スイッチング素子１１と、第１スイッチング素子１１に最も近いゲート端子である第２ゲート端子４２との距離である。距離Ｌ１３は、例えば、スイッチング素子１１の第２ゲート端子４２側の側壁の中心と、第２ゲート端子４２の封止部７０との境界までの距離である。他の距離Ｌ２３～４３に関しても同様である。
　符号Ｌ２３は、第２スイッチング素子１２と、第２スイッチング素子１２に最も近いゲート端子である第２ゲート端子４２との距離である。符号Ｌ３３は、第３スイッチング素子１３と、第３スイッチング素子１３に最も近いゲート端子である第１ゲート端子４１との距離である。符号Ｌ４３は、第４スイッチング素子１４と、第４スイッチング素子１４に最も近いゲート端子である第１ゲート端子４１との距離である。距離Ｌ１３、距離Ｌ２３、距離Ｌ３３、距離Ｌ４３は、ゲート距離に相当する。
　パワーモジュール１０９は、距離Ｌ１３、距離Ｌ２３、距離Ｌ３３、距離Ｌ４３が等しい。つまり、パワーモジュール１０９は、距離Ｌ１３、距離Ｌ２３、距離Ｌ３３、距離Ｌ４３が等しくなるように、ゲート端子４１、４２の位置と各スイッチング素子１１～１４の位置の少なくとも一方が設定されている。
　パワーモジュール１０９は、パワーモジュール１０２と同様の効果を奏することができる。さらに、パワーモジュール１０９は、スイッチング素子１１～１４とゲート端子４１、４２とを等長配線とすることで、各スイッチング素子１１～１４に流れる電流のアンバランスをより一層抑制できる。また、パワーモジュール１０９は、複数のゲート端子４１、４２を有することで、ゲート端子４１、４２に関する等長配線を容易にすることができる。なお、各スイッチング素子１１～１４とゲート端子４１、４２との関係は、他の実施形態にも適用できる。
　（第１０実施形態）
　図１４を用いて、第１０実施形態のパワーモジュール１１０に関して説明する。ここでは、主に、パワーモジュール１１０におけるパワーモジュール１０２と異なる点を説明する。パワーモジュール１１０は、各スイッチング素子１１～１４と各端子２２、２３、３２との関係がパワーモジュール１０２と異なる。なお、パワーモジュール１１０では、パワーモジュール１０２と同じ構成要素に、パワーモジュール１０２と同じ符号を付与している。
　符号Ｌ１１ａは、第１スイッチング素子１１と第２正極端子２３までの距離である。符号Ｌ１１ｂは、第１スイッチング素子１１と第１正極端子２２までの距離である。符号Ｌ１２は、第１スイッチング素子１１と負極端子３２までの距離である。
　符号Ｌ２１ａは、第３スイッチング素子１３と第２正極端子２３までの距離である。符号Ｌ２１ｂは、第３スイッチング素子１３と第１正極端子２２までの距離である。符号Ｌ２２は、第３スイッチング素子１３と負極端子３２までの距離である。
　ここでは、スイッチング素子１１～１４側の起点として、端子２２、２３、３２側の側壁の中心を採用している。しかしながら、本開示は、これに限定されず、第１実施形態と同様の起点を採用することもできる。一方、端子２２、２３、３２側の起点は、上記実施形態と同様である。
　パワーモジュール１０９は、各スイッチング素子１１～１４と正極端子２２、２３までの距離の平均と、各スイッチング素子１１～１３と負極端子３２までの距離の平均の合計が規定されている。つまり、パワーモジュール１０９は、各スイッチング素子１１～１３と正極端子２２、２３までの距離の平均と、各スイッチング素子１１～１３と負極端子３２までの距離の平均の合計が、各スイッチング素子１１～１４で等しくなるように規定されている。
　例えば、第１スイッチング素子１１に関する合計距離は、距離Ｌ１１ａと距離Ｌ１１ｂの平均と、距離Ｌ１２の平均とを合計した距離である。第３スイッチング素子１３に関する合計距離は、距離Ｌ２１ａと距離Ｌ２１ｂの平均と、距離Ｌ２２の平均とを合計した距離である。他のスイッチング素子１２、１４に関しても同様である。パワーモジュール１０９は、これらの合計距離が等しくなるように規定されている。
　パワーモジュール１０９は、パワーモジュール１０２と同様の効果を奏することができる。
　（第１１実施形態）
　図１５、図１６を用いて、第１１実施形態のパワーモジュール１１１に関して説明する。ここでは、主に、パワーモジュール１１１におけるパワーモジュール１０１と異なる点を説明する。パワーモジュール１１１は、上アームと下アームとが１つのパッケージとして構成されている点がパワーモジュール１０１と異なる。なお、パワーモジュール１１１では、パワーモジュール１０１と同じ構成要素に、パワーモジュール１０１と同じ符号を付与している。
　図１５に示すように、パワーモジュール１１１は、上アームのスイッチング素子として、上アーム第１スイッチング素子１１ｐ、上アーム第２スイッチング素子１２ｐ、上アーム第３スイッチング素子１３ｐを有している。これらのスイッチング素子１１ｐ～１３ｐは、並列接続されており、上アーム素子と言える。
　また、パワーモジュール１１１は、下アームのスイッチング素子として、下アーム第１スイッチング素子１１ｎ、下アーム第２スイッチング素子１２ｎ、下アーム第３スイッチング素子１３ｎを有している。これらのスイッチング素子１１ｎ～１３ｎは、並列接続されており、下アーム素子と言える。
　パワーモジュール１１１は、上アーム端子部材２０ｅと下アーム端子部材３０ｅとＯ端子３２ｆとを有している。上アーム端子部材２０ｅは、上アームヒートシンク２１ｅ、Ｐ端子２２ｅを有している。下アーム端子部材３０ｅは、下アームヒートシンク３１ｅ、Ｎ端子３２ｅを有している。
　図１６に示すように、パワーモジュール１１１は、インバータ２００における上アームと下アームとを構成している。パワーモジュール１１１は、インバータ２００を構成すべく、各スイッチング素子１１ｐ～１３ｐ、１１ｎ～１３ｎ、上アーム端子部材２０ｅ、下アーム端子部材３０ｅ、Ｏ端子３２ｆが構成されている。なお、パワーモジュール１１１は、コンバータにも適用できる。
　パワーモジュール１１０は、パワーモジュール１０１と同様の効果を奏することができる。
　本開示は、実施例に準拠して記述されたが、本開示は当該実施例や構造に限定されるものではないと理解される。本開示は、様々な変形例や均等範囲内の変形をも包含する。加えて、様々な組み合わせや形態が本開示に示されているが、それらに一要素のみ、それ以上、あるいはそれ以下、を含む他の組み合わせや形態をも、本開示の範畴や思想範囲に入るものである。

Claims (9)

  1. 　３つ以上の並列接続されたスイッチング素子（１１～１４、１３ａ、１１ｐ～１３ｐ、１１ｎ～１３ｎ）と、
    　各スイッチング素子の正極電極に接続された正極端子（２２、２２ａ～２２ｃ、２２ｅ、２３、２３ｃ）と、
    　各スイッチング素子の負極電極に接続された負極端子（３２、３２ｂ～３２ｆ、３３ｂ、３３ｃ）と、を備え、
    　前記正極端子と前記負極端子の合計が３つ以上であるパワーモジュール。
  2. 　前記スイッチング素子の中心と、前記スイッチング素子に最も近い前記正極端子までの距離である正極側距離（Ｌ１１、Ｌ２１）と、前記スイッチング素子の中心と、前記スイッチング素子に最も近い前記負極端子までの距離である負極側距離（Ｌ１２、Ｌ２２）の合計が、各スイッチング素子において等しい請求項１に記載のパワーモジュール。
  3. 　さらに、前記正極端子の一部と前記負極端子の一部を封止している封止部（７０、７１）を備え、
    　前記正極端子と前記負極端子は、前記封止部から突出しており、
    　前記正極側距離は、前記スイッチング素子の中心と、前記スイッチング素子に最も近い前記正極端子における前記封止部との境界までの距離であり、
    　前記負極側距離は、前記スイッチング素子の中心と、前記スイッチング素子に最も近い前記負極端子における前記封止部との境界までの距離である請求項２に記載のパワーモジュール。
  4. 　前記正極側距離は、前記スイッチング素子の中心と、前記スイッチング素子に最も近い前記正極端子における前記封止部との境界面の中心までの距離であり、
    　前記負極側距離は、前記スイッチング素子の中心と、前記スイッチング素子に最も近い前記負極端子における前記封止部との境界面の中心までの距離である請求項３に記載のパワーモジュール。
  5. 　さらに、前記スイッチング素子のゲート電極に接続されたゲート端子を２つ以上備え、
    　前記スイッチング素子と前記スイッチング素子に最も近い前記ゲート端子までの距離であるゲート距離（Ｌ１３、Ｌ２３、Ｌ３３、Ｌ４３）が、各スイッチング素子において等しい請求項１～４のいずれか１項に記載のパワーモジュール。
  6. 　さらに、前記スイッチング素子に接続された信号端子（４０～４２）を備え、
    　前記信号端子は、前記スイッチング素子に対して、前記正極端子および前記負極端子とは反対側に設けられている請求項１～４のいずれか１項に記載のパワーモジュール。
  7. 　前記正極端子と前記負極端子は、一方向に並んで配置されており、
    　３つ以上の前記スイッチング素子は、前記正極端子と前記負極端子の並び方向に沿って一列に配置されている請求項１～６のいずれか１項に記載のパワーモジュール。
  8. 　３つ以上の前記スイッチング素子における少なくとも一つは、他の前記スイッチング素子と素子サイズが異なる請求項１～７のいずれか１項に記載のパワーモジュール。
  9. 　前記スイッチング素子は、半導体スイッチング素子であり、
    　３つ以上の前記スイッチング素子における少なくとも一つは、他の前記スイッチング素子と半導体構成が異なる請求項１～８のいずれか１項に記載のパワーモジュール。
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