WO2021024669A1 - Ｘ線発生装置、電源装置、及びｘ線発生装置の製造方法 - Google Patents

Ｘ線発生装置、電源装置、及びｘ線発生装置の製造方法 Download PDF

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WO2021024669A1
WO2021024669A1 PCT/JP2020/026390 JP2020026390W WO2021024669A1 WO 2021024669 A1 WO2021024669 A1 WO 2021024669A1 JP 2020026390 W JP2020026390 W JP 2020026390W WO 2021024669 A1 WO2021024669 A1 WO 2021024669A1
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WO
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insulating resin
resin material
relative permittivity
support member
booster
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PCT/JP2020/026390
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English (en)
French (fr)
Inventor
洋平 成田
直伸 鈴木
石井　淳
Original Assignee
浜松ホトニクス株式会社
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    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05G—X-RAY TECHNIQUE
    • H05G1/00—X-ray apparatus involving X-ray tubes; Circuits therefor
    • H05G1/02—Constructional details
    • H05G1/04—Mounting the X-ray tube within a closed housing
    • H05G1/06—X-ray tube and at least part of the power supply apparatus being mounted within the same housing
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05G—X-RAY TECHNIQUE
    • H05G1/00—X-ray apparatus involving X-ray tubes; Circuits therefor
    • H05G1/08—Electrical details
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05G—X-RAY TECHNIQUE
    • H05G1/00—X-ray apparatus involving X-ray tubes; Circuits therefor
    • H05G1/08—Electrical details
    • H05G1/10—Power supply arrangements for feeding the X-ray tube

Definitions

  • the present disclosure relates to an X-ray generator, a power supply device, and a method for manufacturing the X-ray generator.
  • Patent Document 1 describes an industrial X-ray generator including a cathode that emits electrons, an anode that generates X-rays when electrons collide with each other, and a high-voltage power supply unit that applies a high voltage to the cathode. ing.
  • An object of the present disclosure is to provide an X-ray generator, a power supply device, and a method for manufacturing an X-ray generator capable of suppressing the occurrence of dielectric breakdown starting from the secondary coil of an isolation transformer.
  • the X-ray generator on one aspect of the present disclosure includes an electron gun that emits an electron beam, a target that emits X-rays when the electron beam is incident, and a power supply unit that applies a voltage to the electron gun.
  • the power supply unit is electrically connected to the first control unit, the booster unit that boosts the voltage supplied from the first control unit, the primary side coil electrically connected to the first control unit, and the booster unit.
  • An insulating transformer that includes a secondary coil and a support member that supports the secondary coil, a booster that is electrically connected to the electronic gun, and a power supply that applies a voltage boosted by the insulating transformer to the electronic gun.
  • the support member is made of a first insulating resin material
  • the sealing member is made of a second insulating resin material, which is a ratio of the first insulating resin material.
  • the absolute value of the difference between the dielectric constant and the specific dielectric constant of the second insulating resin material is 25% or less of the specific dielectric constant of the second insulating resin material.
  • the secondary coil of the isolation transformer is supported by the support member made of the first insulating resin material, and the booster part and the isolation transformer are supported by the sealing member made of the second insulating resin material. Is sealed.
  • the absolute value of the difference between the relative permittivity of the first insulating resin material and the relative permittivity of the second insulating resin material is the relative permittivity of the second insulating resin material. It has a relationship of 25% or less of. As a result, it is possible to prevent dielectric breakdown from occurring from the secondary side coil via the support member. Therefore, according to this X-ray generator, it is possible to suppress the occurrence of dielectric breakdown starting from the secondary coil of the isolation transformer.
  • the insulating transformer further includes a bobbin around which a secondary coil is wound, and the bobbin is made of a third insulating resin material and has a relative permittivity of the first insulating resin material.
  • the absolute value of the difference from the relative permittivity of the second insulating resin material may be smaller than the absolute value of the difference between the relative permittivity of the second insulating resin material and the relative permittivity of the third insulating resin material.
  • the absolute value of the difference between the relative permittivity of the first insulating resin material and the relative permittivity of the second insulating resin material becomes the relative permittivity of the second insulating resin material and the relative permittivity of the third insulating resin material.
  • the difference is greater than or equal to the absolute value of, it is possible to more reliably suppress the occurrence of dielectric breakdown from the secondary coil via the support member.
  • the power supply unit further includes a booster unit and a second control unit that supplies the voltage boosted by the insulating transformer to the power supply unit, and the second control unit is a fourth insulation unit.
  • a substrate made of a resin material is included, and the sealing member seals a booster, an insulating transformer, and a second control unit, and has a relative permittivity of the first insulating resin material and a relative permittivity of the second insulating resin material.
  • the absolute value of the difference between the two may be smaller than the absolute value of the difference between the relative permittivity of the second insulating resin material and the relative permittivity of the fourth insulating resin material.
  • the absolute value of the difference between the relative permittivity of the first insulating resin material and the relative permittivity of the second insulating resin material becomes the relative permittivity of the second insulating resin material and the relative dielectric constant of the fourth insulating resin material.
  • the difference is greater than or equal to the absolute value of, it is possible to more reliably suppress the occurrence of dielectric breakdown from the secondary coil via the support member.
  • the first insulating resin material and the second insulating resin material may be the same material. As a result, it is possible to more reliably suppress the occurrence of dielectric breakdown from the secondary side coil via the support member.
  • the support member may be a columnar member that supports the secondary coil.
  • the support member may support the secondary coil by sealing the primary coil and the secondary coil.
  • the secondary coil since the secondary coil is covered with the first insulating resin material, it is possible to prevent dielectric breakdown from occurring from the secondary coil via the support member.
  • the power supply device on one aspect of the present disclosure is used for an electron gun that emits an electron beam and an X-ray generator including a target that emits X-rays when the electron beam is incident, and is a power source that applies a voltage to the electron gun. It is a device, and is electrically connected to a first control unit, a booster unit that boosts a voltage supplied from the first control unit, a primary side coil electrically connected to the first control unit, and a booster unit.
  • An insulating transformer that includes a secondary side coil and a support member that supports the secondary side coil, and a power supply unit that is electrically connected to the electronic gun and applies a booster and a voltage boosted by the insulating transformer to the electronic gun.
  • the support member is made of a first insulating resin material
  • the sealing member is made of a second insulating resin material
  • the ratio of the first insulating resin material is provided with a boosting unit and a sealing member for sealing the insulating transformer.
  • the absolute value of the difference between the dielectric constant and the specific dielectric constant of the second insulating resin material is 25% or less of the specific dielectric constant of the second insulating resin material.
  • this power supply device it is possible to suppress the occurrence of dielectric breakdown starting from the secondary coil of the isolation transformer for the same reason as the above-mentioned X-ray generator.
  • the method for manufacturing the X-ray generator on one side of the present disclosure is the above-mentioned method for manufacturing the X-ray generator, which includes a first step of forming an isolation transformer by supporting a secondary coil with a support member. A second step of sealing the booster and the isolation transformer with the sealing member is provided.
  • this X-ray generator According to the manufacturing method of this X-ray generator, it is possible to obtain the above-mentioned X-ray generator in which the occurrence of dielectric breakdown is suppressed starting from the secondary coil of the isolation transformer.
  • a secondary side coil is attached to a support member which is a columnar member made of a first insulating resin material, so that the secondary side is formed by the support member.
  • the coil is supported, and in the second step, the booster and the insulating transformer are arranged in the molding die, the second insulating resin agent made of the second insulating resin material is poured into the molding die, and the second insulating resin agent is cured.
  • the booster and the insulating transformer may be sealed by the sealing member.
  • the primary side coil and the secondary side coil are arranged in the first molding mold, and the first insulating resin made of the first insulating resin material is used.
  • the secondary side coil is supported by the support member, and in the second step, the booster and the insulating transformer are placed in the second molding die.
  • the booster portion and the insulating transformer may be sealed by arranging the second insulating resin material, pouring the second insulating resin agent made of the second insulating resin material into the second molding mold, and curing the second insulating resin agent.
  • the secondary coil can be covered with the first insulating resin material constituting the support member.
  • an X-ray generator a power supply device, and a method for manufacturing an X-ray generator that can suppress the occurrence of dielectric breakdown starting from the secondary coil of an isolation transformer.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view of the X-ray generator of the first embodiment.
  • FIG. 2 is a perspective view of a part of the power supply unit shown in FIG.
  • FIG. 3 is a block diagram of the power supply unit shown in FIG.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view showing one step of the manufacturing method of the power supply unit shown in FIG.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view showing one step of the method for manufacturing the power supply unit shown in FIG.
  • FIG. 6 is a perspective view of the power supply unit of the second embodiment.
  • FIG. 7 is a cross-sectional view showing one step of the method for manufacturing the power supply unit shown in FIG.
  • FIG. 8 is a cross-sectional view showing one step of the method for manufacturing the power supply unit shown in FIG.
  • FIG. 9 is a cross-sectional view showing one step of the method for manufacturing the power supply unit shown in FIG.
  • the X-ray generator 1 includes an electron gun 2, a target unit 3, a housing 4, an exhaust pipe 6, and a power supply unit 7.
  • the electron gun 2 emits an electron beam.
  • a target 31 that emits X-rays when an electron beam is incident is provided.
  • the target 31 is made of tungsten and has a disk shape.
  • the housing 4 defines a passage 40 through which the electron beam and X-rays pass, and keeps the passage 40 in a vacuumed state.
  • the housing 4 has a window portion 5.
  • the window portion 5 allows the X-rays emitted from the target 31 to pass through the passage 40 to the outside.
  • the exhaust pipe 6 is provided in the housing 4.
  • a vacuum pump (not shown) is connected to the exhaust pipe 6.
  • the power supply unit 7 applies a voltage to the electron gun 2 fixed to the tip (one end side) of the power supply unit 74, which will be described later.
  • the housing 4 has a lower tubular portion 41, an upper tubular portion 42, and a head portion 43 in addition to the window portion 5.
  • the lower tubular portion 41 and the upper tubular portion 42 are each made of stainless steel and have a cylindrical shape.
  • a power supply unit 7 is attached to the lower end of the lower tubular portion 41.
  • the lower tubular portion 41 accommodates the electron gun 2 erected on the power supply portion 7.
  • An exhaust pipe 6 is provided on the side wall of the lower tubular portion 41.
  • the upper tubular portion 42 is erected on the upper end portion of the lower tubular portion 41 via the hinge portion 4a.
  • a plurality of coil portions 49 are provided inside the upper tubular portion 42.
  • the plurality of coil portions 49 function as electromagnetic deflection lenses, and focus the electron beam traveling in the passage 40 from the electron gun 2 toward the target 31 on the target 31.
  • the head portion 43 is provided on the upper end portion of the upper tubular portion 42.
  • the head portion 43 is formed with a target insertion portion 48 that communicates the outside with the passage 40.
  • the target unit 3 is inserted into the target insertion unit 48.
  • the target portion 3 is removable from the head portion 43.
  • the target 31 is exposed to the passage 40 in a state of being inclined so as to face each of the electron gun 2 and the window portion 5.
  • the portion of the passage 40 where the electron gun 2 and the target 31 face each other is the electron beam passage 40a.
  • the portion where the target 31 and the window portion 5 face each other is the X-ray passage 40b.
  • the electron beam passage 40a is formed in the lower tubular portion 41, the upper tubular portion 42, and the head portion 43.
  • the X-ray passage 40b is formed in the head portion 43.
  • the electron beam passage 40a and the X-ray passage 40b are connected at the head portion 43.
  • a plurality of O-rings 32 are provided on the side surface of the target portion 3. As a result, the space between the target portion 3 and the target insertion portion 48 is airtightly sealed.
  • a voltage is applied to the electron gun 2 by the power supply unit 7 in a state where the passage 40 is evacuated through the exhaust pipe 6 by the vacuum pump, and electrons are applied from the electron gun 2 to the electron beam passage 40a.
  • the electron beam is focused on the target 31 by the plurality of coil portions 49.
  • the electron beam is incident on the target 31 and X-rays are emitted from the target 31 into the X-ray passage 40b, the X-rays pass through the window portion 5 and are emitted to the outside.
  • the power supply unit 7 is sealed with the first control unit 71, the booster unit 72, a plurality of isolation transformers 8A and 8B, the second control unit 73, and the power supply unit 74. It has a stop member 75, a high-voltage transformer 76, and a case 77.
  • the first control unit 71 is electrically connected to an external PC (Personal Computer) or the like.
  • the first control unit 71 controls the output voltage and the like of the power supply unit 7 according to the instruction transmitted from the PC or the like.
  • the booster unit 72 is a cockcroft that boosts the voltage supplied from the first control unit 71.
  • the booster portion 72 is electrically connected to the high voltage transformer 76.
  • the high-voltage transformer 76 is electrically connected to the first control unit 71, and boosts the AC voltage supplied from the first control unit 71.
  • the boosting unit 72 further boosts the voltage boosted by the high-voltage transformer 76. In the booster unit 72, the voltage that was alternating current at the time of boosting is converted to direct current.
  • the isolation transformer 8A applies a voltage to the Wenert electrode 21 of the electron gun 2.
  • the isolation transformer 8B applies a voltage to the thermal cathode 22 of the electron gun 2.
  • the configuration of the isolation transformer 8B is the same as the configuration of the isolation transformer 8A. Therefore, the configuration of the isolation transformer 8A will be described below, and the description of the configuration of the isolation transformer 8B will be omitted.
  • the isolation transformer 8A includes a primary coil 81, a secondary coil 82, an iron core 83, a bobbin 84, and a support member 85.
  • the primary coil 81 is electrically connected to the first control unit 71.
  • the secondary coil 82 is electrically connected to the booster 72.
  • the iron core 83 is made of ferrite and has a square frame shape.
  • At least the first side portion 83a of the iron core 83 is made of an insulating material.
  • the first side portion 83a is fixed to the support plate 86 having a ground potential.
  • a primary coil 81 is wound around the second side 83b of the iron core 83 opposite to the first side 83a.
  • the primary coil 81 and the iron core 83 are covered with a cover (not shown) made of an insulating material.
  • the bobbin 84 is made of a third insulating resin material and has, for example, an annular shape.
  • the secondary coil 82 is wound around the outer peripheral surface of the bobbin 84 along the circumferential direction of the bobbin 84.
  • the support member 85 is a columnar member that supports the secondary coil 82, and is made of a first insulating resin material.
  • the support member 85 has a shape in which the withstand voltage capability is improved by increasing the creepage distance at the time of discharge by extending, for example, a plate-shaped member made of the first insulating resin material in a zigzag shape. One end side of the support member 85 is fixed to the support plate 86.
  • a bobbin 84 around which a secondary coil 82 is wound is attached to the other end side of the support member 85 by a bolt made of an insulating material (for example, the same material as the bobbin 84, the support member 85, etc.).
  • the support member 85 supports the secondary coil 82 by supporting the bobbin 84 so that the second side portion 83b of the iron core 83 passes through the inner center of the bobbin 84.
  • the second control unit 73 converts the voltage boosted by the isolation transformers 8A and 8B into direct current, and supplies the converted voltage and the voltage boosted by the booster unit 72 to the power feeding unit 74.
  • the second control unit 73 includes the substrate 73a.
  • the substrate 73a is a circuit board on which electronic components are mounted.
  • the substrate 73a is made of a fourth insulating resin material.
  • the electron gun 2 is fixed at the tip end portion (one end side), and is fixed to the sealing member at the base end portion (other end side).
  • the power feeding unit 74 has a tubular shape and is made of an insulating material.
  • the power feeding unit 74 encloses a power feeding wiring (not shown) in which the voltage boosted by the boosting unit 72 and the isolation transformers 8A and 8B is applied to the electron gun 2 via the second control unit 73 (not shown).
  • the insulating material constituting the power feeding unit 74 may be the same as the material of the sealing member 75, or may be different from the material of the sealing member 75.
  • the feeding portion 74 and the sealing member 75 may be integrally molded, or the feeding portion 74 and the sealing member 75 may be integrally molded. Each may be formed into a separate body and then joined.
  • the high-voltage transformer 76 boosts an AC voltage signal of up to about 100 V supplied from the first control unit 71 from ⁇ several kV to ⁇ 10s kV.
  • the boosting unit 72 further boosts the voltage signal boosted by the high-voltage transformer 76 to ⁇ several hundred kV.
  • the voltage signal that was alternating current at the time of boosting is converted to direct current.
  • the isolation transformers 8A and 8B apply, for example, a maximum of -1500V to the Wenert electrode 21 on the reference potential based on the voltage (-several hundred kV) boosted by the boosting unit 72 via the second control unit 73 and the feeding unit 74. Apply. Further, the isolation transformers 8A and 8B are placed on the thermal cathode 22 via the second control unit 73 and the feeding unit 74, for example, on the reference potential based on the voltage (-several hundred kV) boosted by the booster unit 72. V is applied. In FIG. 3, the portion of the power supply unit 7 that has a high voltage is indicated by a thick line.
  • the sealing member 75 seals the booster unit 72, the isolation transformers 8A and 8B, and the second control unit 73. Further, in the support plate 86, at least the surface on the side facing the secondary coil 82 is sealed by the sealing member 75.
  • the sealing member 75 is made of a second insulating resin material and has, for example, a substantially rectangular parallelepiped shape.
  • the sealing member 75 has a function of maintaining electrical insulation of the boosting unit 72, the isolation transformers 8A and 8B, and the second control unit 73, which have a high voltage.
  • the first control unit 71 and the high-voltage transformer 76 are provided outside the sealing member 75 in the power supply unit 7. Further, the sealing member 75 is housed in the case 77 as shown in FIG. As an example, the case 77 is an outer housing of the power supply unit 7 made of a metal material, and has a rectangular box shape.
  • the first insulating resin material constituting the support member 85 (hereinafter, simply referred to as “material of the support member 85”) and the second insulating resin material constituting the sealing member 75 (hereinafter, simply “the material of the sealing member 75”).
  • Material a third insulating resin material constituting the bobbin 84 (hereinafter, simply referred to as “material of bobbin 84”), and a fourth insulating resin material constituting the substrate 73a of the second control unit 73 (hereinafter, simply referred to as “material”).
  • the relationship of "material of the substrate 73a”) will be described.
  • the relative permittivity in this embodiment is a value obtained by dividing the permittivity of the target substance by the permittivity of vacuum.
  • the absolute value of the difference between the relative permittivity of the material of the support member 85 and the relative permittivity of the material of the sealing member 75 is 25% or less of the relative permittivity of the material of the sealing member 75.
  • the relative permittivity of the material of the support member 85 is included in the range of 75% or more and 125% or less of the relative permittivity of the material of the sealing member 75.
  • the absolute value of the difference between the relative permittivity of the material of the support member 85 and the relative permittivity of the material of the sealing member 75 may be 0 or more and 1.0 or less.
  • the absolute value of the difference between the relative permittivity of the material of the support member 85 and the relative permittivity of the material of the sealing member 75 is the relative permittivity of the material of the sealing member 75 and the relative permittivity of the material of the bobbin 84. Is less than the absolute value of the difference. Further, the absolute value of the difference between the relative permittivity of the material of the support member 85 and the relative permittivity of the material of the sealing member 75 is the relative permittivity of the material of the sealing member 75 and the relative permittivity of the material of the substrate 73a. Is less than the absolute value of the difference.
  • the absolute value of the difference between the volume resistivity of the material of the support member 85 and the volume resistivity of the material of the sealing member 75 is 1 ⁇ 10 15 [ ⁇ ⁇ m] or less.
  • the absolute value of the difference between the volume resistivity of the material of the support member 85 and the volume resistivity of the material of the sealing member 75 is the volume resistivity of the material of the sealing member 75 and the volume resistivity of the material of the bobbin 84. Is less than the absolute value of the difference.
  • the absolute value of the difference between the volume resistivity of the material of the support member 85 and the volume resistivity of the material of the sealing member 75 is the volume resistivity of the material of the sealing member 75 and the volume resistivity of the material of the substrate 73a. Is less than the absolute value of the difference.
  • the material of the support member 85 and the material of the sealing member 75 are the same materials, for example, epoxy resin. That is, in the present embodiment, the relative permittivity of the material of the support member 85 and the relative permittivity of the material of the sealing member 75 are equal to each other. Further, the volume resistivity of the material of the support member 85 and the volume resistivity of the material of the sealing member 75 are equal to each other.
  • the material of the bobbin 84 is, for example, PEEK.
  • the material of the substrate 73a is, for example, a glass epoxy resin.
  • the isolation transformers 8A and 8B are configured by supporting the secondary coil 82 by the support member 85 (first step). Specifically, first, a primary coil 81, a secondary coil 82, an iron core 83, and a bobbin 84 are prepared. An iron core 83 is passed through the hole of the bobbin 84, and the first side portion 83a of the iron core 83 is fixed to the support plate 86. Next, one end side of the support member 85 is fixed to the support plate 86, and the bobbin 84 around which the secondary coil 82 is wound is fixed to the other end side of the support member 85. As a result, the secondary coil 82 is supported by the support member 85, and the isolation transformers 8A and 8B are configured.
  • the booster unit 72, the isolation transformers 8A and 8B, and the second control unit 73 are sealed by the sealing member 75 (second step). Specifically, first, the booster unit 72, the isolation transformers 8A and 8B, and the second control unit 73 are arranged in the molding die M. Next, the second insulating resin agent r2 made of the second insulating resin material is poured into the mold M to cure the second insulating resin agent r2. As a result, the booster unit 72, the isolation transformers 8A and 8B, and the second control unit 73 are sealed by the sealing member 75, and the power supply unit 7 shown in FIG. 2 is obtained. [Action and effect]
  • the secondary side coils 82 of the isolation transformers 8A and 8B are supported by the support member 85, and the booster unit 72 and the isolation transformers 8A and 8B are sealed by the sealing member 75.
  • the absolute value of the difference between the relative permittivity of the material of the support member 85 and the relative permittivity of the material of the sealing member 75 is 25% or less of the relative permittivity of the material of the sealing member 75.
  • the support member 85 when the absolute value of the difference between the relative permittivity of the material of the support member 85 and the relative permittivity of the material of the sealing member 75 is 0 or more and 1.0 or less, the support member 85 is removed from the secondary coil 82. It is possible to further suppress the occurrence of dielectric breakdown.
  • the absolute value of the difference between the volume resistivity of the material of the support member 85 and the volume resistivity of the material of the sealing member 75 is 1 ⁇ . It is particularly effective when it is 10 15 [ ⁇ ⁇ m] or less.
  • the absolute value of the difference between the relative permittivity of the material of the support member 85 and the relative permittivity of the material of the sealing member 75 is It is about 30% of the relative permittivity of the material of the sealing member 75.
  • dielectric breakdown may occur from the secondary coil 82 via the support member 85.
  • the X-ray generator 1 it is possible to suppress the occurrence of dielectric breakdown starting from the secondary coil 82 of the isolation transformers 8A and 8B. It should be noted that the suppression of the occurrence of dielectric breakdown starting from the secondary coil 82 is particularly effective when the voltage used in the power supply unit 7 is 100 kV or more in absolute value, and particularly 200 kV or more in absolute value. ..
  • the absolute value of the difference between the relative permittivity of the material of the support member 85 and the relative permittivity of the material of the sealing member 75 is the relative permittivity of the material of the sealing member 75 and the bobbin 84. It is smaller than the absolute value of the difference from the relative permittivity of the material of.
  • the absolute value of the difference between the relative permittivity of the material of the support member 85 and the relative permittivity of the material of the sealing member 75 is the relative permittivity of the material of the sealing member 75 and the relative permittivity of the material of the bobbin 84.
  • the absolute value of the difference between the volume resistivity of the material of the support member 85 and the volume resistivity of the material of the sealing member 75 is sealed. It is particularly effective when it is smaller than the absolute value of the difference between the volume resistivity of the material of the member 75 and the volume resistivity of the material of the bobbin 84.
  • the relative permittivity of the material of the support member 85 and the ratio of the material of the sealing member 75 is larger than the absolute value of the difference between the relative permittivity of the material of the sealing member 75 and the relative permittivity of the material of the bobbin 84. In that case, dielectric breakdown may occur from the secondary coil 82 via the support member 85. According to the X-ray generator 1, it is possible to more reliably suppress the occurrence of such dielectric breakdown.
  • the absolute value of the difference between the relative permittivity of the material of the support member 85 and the relative permittivity of the material of the sealing member 75 is the relative permittivity of the material of the sealing member 75 and the substrate 73a. It is smaller than the absolute value of the difference from the relative permittivity of the material of.
  • the absolute value of the difference between the relative permittivity of the material of the support member 85 and the relative permittivity of the material of the sealing member 75 is the relative permittivity of the material of the sealing member 75 and the relative permittivity of the material of the substrate 73a.
  • the absolute value of the difference between the volume resistivity of the material of the support member 85 and the volume resistivity of the material of the sealing member 75 is sealed. It is particularly effective when it is smaller than the absolute value of the difference between the volume resistivity of the material of the member 75 and the volume resistivity of the material of the substrate 73a.
  • the absolute value of the difference between the relative permittivity of the material of the support member 85 and the relative permittivity of the material of the sealing member 75 is equal to the absolute value of the difference between the relative permittivity of the material of the sealing member 75 and the relative permittivity of the material of the substrate 73a.
  • dielectric breakdown may occur from the secondary coil 82 via the support member 85. According to the X-ray generator 1, it is possible to more reliably suppress the occurrence of such dielectric breakdown.
  • the material of the support member 85 and the material of the sealing member 75 are the same material. As a result, it is possible to more reliably suppress the occurrence of dielectric breakdown from the secondary coil 82 via the support member 85.
  • the support member 85 is a columnar member that supports the secondary coil 82.
  • a columnar member As the support member 85, it is possible to facilitate the manufacture of the power supply unit 7. Further, even though the support member 85 is a columnar member erected inside the sealing member 75, it is possible to prevent dielectric breakdown from occurring from the secondary coil 82 via the support member 85.
  • the manufacturing method of the X-ray generator 1 includes the first step of forming the isolation transformers 8A and 8B by supporting the secondary coil 82 by the support member 85, and the booster portion 72 and the insulation by the sealing member 75. A second step of sealing the transformers 8A and 8B is provided. According to the manufacturing method of the X-ray generator 1, it is possible to suppress the occurrence of dielectric breakdown starting from the secondary coil 82 of the isolation transformers 8A and 8B for the same reason as the X-ray generator 1.
  • the secondary side coil 82 is attached to the support member 85, which is a columnar member made of the first insulating resin material, and the secondary side coil is formed by the support member 85.
  • Support 82 In the second step, the step-up section 72 and the isolation transformers 8A and 8B are arranged in the molding die M, the second insulating resin agent made of the second insulating resin material is poured into the molding die M, and the second insulating resin agent r2 The booster portion 72 and the isolation transformers 8A and 8B are sealed by the sealing member 75.
  • the sealing member 75 can be used to properly support the secondary coil 82, so that the first step can be facilitated.
  • the X-ray generator 1 of the second embodiment is different in the configuration of the power supply unit 7 (specifically, the support member 87 of the isolation transformer 8A seals the primary coil 81 and the secondary coil 82. It is different from the X-ray generator 1 of the first embodiment in that it supports the secondary coil 82).
  • the differences from the first embodiment will be mainly described.
  • the isolation transformer 8A shown in FIG. 6 includes a primary coil 81, a secondary coil 82, an iron core 83, a bobbin 84, and a support member 87.
  • the support member 87 is secondary by sealing the primary coil 81 and the secondary coil 82 so that the secondary coil 82 is fixed to the primary coil 81 at a predetermined distance. It supports the side coil 82. More specifically, in the support member 87, the second side portion 83b of the iron core 83 inserts the inner center of the bobbin 84, and the secondary coil 82 is separated from the primary coil 81 by a predetermined distance.
  • the primary coil 81, the secondary coil 82, the iron core 83, and the bobbin 84 are sealed so that the secondary coil 82 is fixed in the support member 87 in such an arrangement relationship. ing. That is, regarding the support of the secondary side coil 82 of the second embodiment, the secondary side coil 82 is sealed by the support member 87 instead of having an upright member like the support member 85 of the first embodiment. Also serves as support.
  • the support member 87 is made of a first insulating resin material (hereinafter, simply referred to as “material of the support member 87”), and has, for example, a rectangular parallelepiped shape. In the present embodiment, the material of the support member 87 and the material of the sealing member 75 are the same materials, for example, epoxy resin.
  • the sealing member 75 seals the booster unit 72, the isolation transformers 8A and 8B, and the second control unit 73.
  • the support member 87 that seals the primary coil 81, the secondary coil 82, the iron core 83, and the bobbin 84 is further sealed by the sealing member 75. .. [Manufacturing method of power supply]
  • the isolation transformers 8A and 8B are configured by supporting the secondary coil 82 by the support member 87 (first step). Specifically, first, the primary side coil 81, the secondary side coil 82, the iron core 83, the bobbin 84, and the support plate 86 are arranged in the first molding die M1.
  • the holder H for holding the secondary coil 82 and the bobbin 84 is fixed to the first molding die M1.
  • the secondary coil 82 and the bobbin 84 are attached to the holder H, and the primary coil 81, the iron core 83 and the support plate 86 are arranged so that the second side portion 83b of the iron core 83 passes through the center of the bobbin 84. 1 It is fixed to the molding die M1.
  • the first insulating resin agent r1 made of the first insulating resin material is poured into the first molding mold M1 and the first insulating resin agent r1 is cured to support the secondary coil 82 by the support member 87. ..
  • 8B is configured.
  • the holder H is removed from the support member 87 after the first insulating resin agent r1 is cured. Therefore, the support member 87 has a recess C in a portion corresponding to the holder H on the surface 87A on a predetermined side (upper side in FIG. 8). Further, the portion of the secondary coil 82 that was covered with the holder H is not sealed by the support member 87 (first insulating resin agent r1) and is exposed from the recess C.
  • the booster unit 72, the isolation transformers 8A and 8B, and the second control unit 73 are sealed by the sealing member 75 (second step).
  • the booster unit 72, the isolation transformers 8A and 8B, and the second control unit 73 are arranged in the second molding mold M2.
  • the support member 87 in which the primary side coil 81, the secondary side coil 82, the iron core 83, the bobbin 84 and the support plate 86 are sealed is arranged in the second molding die M2. ..
  • the support member 87 is arranged so that the surface 87A having the recess C faces the inside (center side) of the second molding die M2.
  • the second insulating resin agent r2 made of the second insulating resin material is poured into the second molding mold M2, and the second insulating resin agent r2 is cured to cure the booster portion 72, the isolation transformers 8A and 8B, and the second.
  • the control unit 73 is sealed.
  • the recess C is also sealed with the second insulating resin agent r2, the secondary coil 82 exposed from the recess C is also sealed.
  • the power supply unit 7 shown in FIG. 6 is obtained.
  • the X-ray generator 1 can suppress dielectric breakdown starting from the secondary coil 82 of the isolation transformers 8A and 8B for the same reason as the X-ray generator 1 of the first embodiment. Further, in the X-ray generator 1, the support member 87 supports the secondary coil 82 by sealing the primary coil 81 and the secondary coil 82. As a result, since the secondary coil 82 is covered with the material of the support member 85, it is possible to prevent dielectric breakdown from occurring from the secondary coil 82 via the support member 85.
  • the primary side coil 81 and the secondary side coil 82 are arranged in the first molding mold M1, and the first insulating resin agent made of the first insulating resin material.
  • the secondary coil 82 is supported by the support member 87 by pouring r1 into the first molding die M1 and curing the first insulating resin agent r1.
  • the step-up section 72 and the isolation transformers 8A and 8B are arranged in the second molding die M2, and the second insulating resin agent r2 made of the second insulating resin material is poured into the second molding die M2. 2 By curing the insulating resin agent r2, the booster portion 72 and the isolation transformers 8A and 8B are sealed.
  • the secondary coil 82 can be covered with the first insulating resin material constituting the support member 85.
  • the support member 87 is arranged so that the surface 87A provided with the recess C faces the inside (center side) of the second molding die M2.
  • the high voltage region in the power supply unit 7 particularly, the region where the booster unit 72, the secondary coil 82 and the second control unit 73 are arranged
  • the first insulating resin material and the second insulating resin in the high voltage region By arranging the interface with the material inside (center side) of the support member 87, the withstand voltage capability can be improved and the occurrence of dielectric breakdown can be more reliably suppressed.
  • the present disclosure is not limited to the embodiments described above.
  • the absolute value of the difference between the relative permittivity of the material of the support members 85 and 87 and the relative permittivity of the material of the sealing member 75 is sealed. As long as it is 25% or less of the relative permittivity of the stop member 75, it is not limited to the above.
  • the materials of the support members 85 and 87 and the material of the sealing member 75 do not have to be the same material.
  • the absolute value of the difference between the relative permittivity of the materials of the support members 85 and 87 and the relative permittivity of the material of the sealing member 75 is the relative permittivity of the material of the sealing member 75 and the relative permittivity of the material of the bobbin 84. It may be greater than or equal to the absolute value of the difference from the rate. Further, the absolute value of the difference between the relative permittivity of the materials of the support members 85 and 87 and the relative permittivity of the material of the sealing member 75 is the relative permittivity of the material of the sealing member 75 and the material of the substrate 73a. It may be greater than or equal to the absolute value of the difference from the rate.
  • the absolute value of the difference between the volume resistivity of the material of the support members 85 and 87 and the volume resistivity of the material of the sealing member 75 is 1. If it is ⁇ 10 15 [ ⁇ ⁇ m] or less, it is not limited to the above. As an example, the materials of the support members 85 and 87 and the material of the sealing member 75 do not have to be the same material. Further, the absolute value of the difference between the volume resistivity of the materials of the support members 85 and 87 and the volume resistivity of the material of the sealing member 75 is the volume resistivity of the material of the sealing member 75 and the volume resistivity of the material of the bobbin 84.
  • the absolute value of the difference between the volume resistivity of the materials of the support members 85 and 87 and the volume resistivity of the material of the sealing member 75 is the volume resistivity of the material of the sealing member 75 and the volume resistivity of the material of the substrate 73a. It may be greater than or equal to the absolute value of the difference from the rate.
  • the support members 85 and 87 support the secondary coil 82 so that the primary coil 81 passes through the inside of the secondary coil 82. It may be configured to support the secondary coil 82. Further, the support member 85 of the first embodiment is not limited to a zigzag shape, and may be, for example, a linear columnar member, and may be a columnar, polygonal columnar, or the like, not limited to a plate shape. ..
  • the booster 72 is not limited to Cockcroft, and may be, for example, a booster circuit using a capacitor and a diode like Cockcroft, a Delon Grinachel circuit, a Billard circuit, a Chimmelmann (or Witka) circuit, a Schenken multi-stage rectifier circuit, or the like. Good.
  • the configuration in which the power supply unit 7 has two isolation transformers 8A and 8B is illustrated, but the number of isolation transformers may be, for example, one or three or more. Further, by surrounding the secondary coil 82 with a cover made of an insulating material, the occurrence of dielectric breakdown starting from the secondary coil 82 may be further suppressed.
  • the X-ray generator 1 is a reflection type device in which the X-ray generated by the target 31 is emitted to the side where the electron beam is incident on the target 31, but the electron beam is emitted to the target 31.
  • a transmissive device may be used in which X-rays generated by the target 31 are emitted on the side opposite to the incident side.
  • the X-ray generator 1 is an open type device capable of opening and closing the inside of the housing 4, but may be a vacuum sealed type device.
  • the power supply unit 7 is a component of the X-ray generator 1, but may be configured as a single power supply device, for example. Similar to the X-ray generator 1 of the first and second embodiments described above, the power supply device can also suppress the occurrence of dielectric breakdown starting from the secondary coil 82 of the isolation transformers 8A and 8B.

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Abstract

Ｘ線発生装置は、電子銃に電圧を印加する電源部を備える。電源部は、第１制御部と、昇圧部と、第１制御部と電気的に接続された一次側コイル、昇圧部と電気的に接続された二次側コイル、及び二次側コイルを支持する支持部材を含む絶縁トランスと、昇圧部及び絶縁トランスを封止する封止部材と、を有する。支持部材は、第１絶縁樹脂材料からなり、封止部材は、第２絶縁樹脂材料からなる。第１絶縁樹脂材料の比誘電率と第２絶縁樹脂材料の比誘電率との差の絶対値は、第２絶縁樹脂材料の比誘電率の２５％以下である。

Description

Ｘ線発生装置、電源装置、及びＸ線発生装置の製造方法
　本開示は、Ｘ線発生装置、電源装置、及びＸ線発生装置の製造方法に関する。
　特許文献１には、電子を放出する陰極と、電子が衝突することによりＸ線を発生させる陽極と、陰極に高電圧を印加する高圧電源部と、を備える工業用Ｘ線発生装置が記載されている。
特許第５７８０６４４号公報
　Ｘ発生装置が備える電源部では、高電圧となる部品が、絶縁樹脂材料からなる封止部材により封止されている場合がある。しかしながら、絶縁樹脂材料で封止をした場合であっても、電源部内で絶縁破壊による放電が発生した結果、電源部が破損してしまうおそれがある。本発明者らの鋭意研究の結果、高電圧となる部品のうち、特に絶縁トランスの二次側コイルを起点として絶縁破壊が生じている可能性が高いことが確認された。
　本開示は、絶縁トランスの二次側コイルを起点とした絶縁破壊の発生を抑制することができるＸ線発生装置、電源装置、及びＸ線発生装置の製造方法を提供することを目的とする。
　本開示の一側面のＸ線発生装置は、電子ビームを出射する電子銃と、電子ビームが入射することによりＸ線を出射するターゲットと、電子銃に電圧を印加する電源部と、を備え、電源部は、第１制御部と、第１制御部から供給された電圧を昇圧する昇圧部と、第１制御部と電気的に接続された一次側コイル、昇圧部と電気的に接続された二次側コイル、及び二次側コイルを支持する支持部材を含む絶縁トランスと、電子銃と電気的に接続され、昇圧部及び絶縁トランスで昇圧された電圧を電子銃に印加する給電部と、昇圧部及び絶縁トランスを封止する封止部材と、を有し、支持部材は、第１絶縁樹脂材料からなり、封止部材は、第２絶縁樹脂材料からなり、第１絶縁樹脂材料の比誘電率と第２絶縁樹脂材料の比誘電率との差の絶対値は、第２絶縁樹脂材料の比誘電率の２５％以下である。
　このＸ線発生装置では、電源部において、第１絶縁樹脂材料からなる支持部材によって絶縁トランスの二次側コイルが支持されており、第２絶縁樹脂材料からなる封止部材によって昇圧部及び絶縁トランスが封止されている。これらの第１絶縁樹脂材料及び第２絶縁樹脂材料は、第１絶縁樹脂材料の比誘電率と第２絶縁樹脂材料の比誘電率との差の絶対値が第２絶縁樹脂材料の比誘電率の２５％以下である関係を有している。これにより、二次側コイルから支持部材を介して絶縁破壊が生じるのを抑制することができる。よって、このＸ線発生装置によれば、絶縁トランスの二次側コイルを起点とした絶縁破壊の発生を抑制することができる。
　本開示の一側面のＸ線発生装置では、絶縁トランスは、二次側コイルが巻かれたボビンを更に含み、ボビンは、第３絶縁樹脂材料からなり、第１絶縁樹脂材料の比誘電率と第２絶縁樹脂材料の比誘電率との差の絶対値は、第２絶縁樹脂材料の比誘電率と第３絶縁樹脂材料の比誘電率との差の絶対値よりも小さくてもよい。これにより、第１絶縁樹脂材料の比誘電率と第２絶縁樹脂材料の比誘電率との差の絶対値が、第２絶縁樹脂材料の比誘電率と第３絶縁樹脂材料の比誘電率との差の絶対値以上である場合と比較して、二次側コイルから支持部材を介して絶縁破壊が生じるのをより確実に抑制することができる。
　本開示の一側面のＸ線発生装置では、電源部は、昇圧部及び絶縁トランスで昇圧された電圧を給電部に供給する第２制御部を更に有し、第２制御部は、第４絶縁樹脂材料からなる基板を含み、封止部材は、昇圧部、絶縁トランス及び第２制御部を封止しており、第１絶縁樹脂材料の比誘電率と第２絶縁樹脂材料の比誘電率との差の絶対値は、第２絶縁樹脂材料の比誘電率と第４絶縁樹脂材料の比誘電率との差の絶対値よりも小さくてもよい。これにより、第１絶縁樹脂材料の比誘電率と第２絶縁樹脂材料の比誘電率との差の絶対値が、第２絶縁樹脂材料の比誘電率と第４絶縁樹脂材料の比誘電率との差の絶対値以上である場合と比較して、二次側コイルから支持部材を介して絶縁破壊が生じるのをより確実に抑制することができる。
　本開示の一側面のＸ線発生装置では、第１絶縁樹脂材料及び第２絶縁樹脂材料は、同一の材料であってもよい。これにより、二次側コイルから支持部材を介して絶縁破壊が生じるのをより確実に抑制することができる。
　本開示の一側面のＸ線発生装置では、支持部材は、二次側コイルを支持する柱状部材であってもよい。支持部材として柱状部材を用いることで、電源部の製造の容易化を図ることができる。
　本開示の一側面のＸ線発生装置では、支持部材は、一次側コイル及び二次側コイルを封止することにより、二次側コイルを支持していてもよい。これにより、二次側コイルが第１絶縁樹脂材料によって覆われるため、二次側コイルから支持部材を介して絶縁破壊が生じるのを抑制することができる。
　本開示の一側面の電源装置は、電子ビームを出射する電子銃、及び電子ビームが入射することによりＸ線を出射するターゲットを備えるＸ線発生装置に用いられ、電子銃に電圧を印加する電源装置であって、第１制御部と、第１制御部から供給された電圧を昇圧する昇圧部と、第１制御部と電気的に接続された一次側コイル、昇圧部と電気的に接続された二次側コイル、及び二次側コイルを支持する支持部材を含む絶縁トランスと、電子銃と電気的に接続され、昇圧部及び絶縁トランスで昇圧された電圧を電子銃に印加する給電部と、昇圧部及び絶縁トランスを封止する封止部材と、を備え、支持部材は、第１絶縁樹脂材料からなり、封止部材は、第２絶縁樹脂材料からなり、第１絶縁樹脂材料の比誘電率と第２絶縁樹脂材料の比誘電率との差の絶対値は、第２絶縁樹脂材料の比誘電率の２５％以下である。
　この電源装置によれば、上記Ｘ線発生装置と同様の理由により、絶縁トランスの二次側コイルを起点とした絶縁破壊の発生を抑制することができる。
　本開示の一側面のＸ線発生装置の製造方法は、上記Ｘ線発生装置の製造方法であって、支持部材によって二次側コイルを支持することにより、絶縁トランスを構成する第１工程と、封止部材によって昇圧部及び絶縁トランスを封止する第２工程と、を備える。
　このＸ線発生装置の製造方法によれば、絶縁トランスの二次側コイルを起点とした絶縁破壊の発生が抑制された上記Ｘ線発生装置を得ることができる。
　本開示の一側面のＸ線発生装置の製造方法では、第１工程においては、第１絶縁樹脂材料からなる柱状部材である支持部材に二次側コイルを取り付けることにより、支持部材によって二次側コイルを支持し、第２工程においては、昇圧部及び絶縁トランスを成形型内に配置し、第２絶縁樹脂材料からなる第２絶縁樹脂剤を成形型内に流し込み、第２絶縁樹脂剤を硬化させることにより、封止部材によって昇圧部及び絶縁トランスを封止してもよい。支持部材として柱状部材を用いることで、第１工程の容易化を図ることができる。
　本開示の一側面のＸ線発生装置の製造方法では、第１工程においては、一次側コイル及び二次側コイルを第１成形型内に配置し、第１絶縁樹脂材料からなる第１絶縁樹脂剤を第１成形型内に流し込み、第１絶縁樹脂剤を硬化させることにより、支持部材によって二次側コイルを支持し、第２工程においては、昇圧部及び絶縁トランスを第２成形型内に配置し、第２絶縁樹脂材料からなる第２絶縁樹脂剤を第２成形型内に流し込み、第２絶縁樹脂剤を硬化させることにより、昇圧部及び絶縁トランスを封止してもよい。これにより、支持部材を構成する第１絶縁樹脂材料によって二次側コイルを覆うことができる。
　本開示によれば、絶縁トランスの二次側コイルを起点とした絶縁破壊の発生を抑制することができるＸ線発生装置、電源装置、及びＸ線発生装置の製造方法を提供することができる。
図１は、第１実施形態のＸ線発生装置の断面図である。 図２は、図１に示される電源部の一部分の斜視図である。 図３は、図１に示される電源部のブロック図である。 図４は、図１に示される電源部の製造方法の一工程を示す断面図である。 図５は、図１に示される電源部の製造方法の一工程を示す断面図である。 図６は、第２実施形態の電源部の斜視図である。 図７は、図６に示される電源部の製造方法の一工程を示す断面図である。 図８は、図６に示される電源部の製造方法の一工程を示す断面図である。 図９は、図６に示される電源部の製造方法の一工程を示す断面図である。
　以下、本開示の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する部分を省略する。
［第１実施形態］
［Ｘ線発生装置の構成］
　図１に示されるように、Ｘ線発生装置１は、電子銃２と、ターゲット部３と、筐体４と、排気管６と、電源部７と、を備えている。電子銃２は、電子ビームを出射する。ターゲット部３の先端には、電子ビームが入射することによりＸ線を出射するターゲット３１が設けられている。一例として、ターゲット３１は、タングステンからなり、円板状を呈している。筐体４は、電子ビーム及びＸ線が通過する通路４０を画定しており、通路４０を真空引きされた状態に維持する。筐体４は、窓部５を有している。窓部５は、ターゲット３１から出射されたＸ線を通路４０から外部に透過させる。排気管６は、筐体４に設けられている。排気管６には、真空ポンプ（図示省略）が接続される。電源部７は、後述する給電部７４の先端部（一端側）に固定された電子銃２に電圧を印加する。
　筐体４は、窓部５に加え、下側筒状部４１と、上側筒状部４２と、ヘッド部４３と、を有している。一例として、下側筒状部４１及び上側筒状部４２は、それぞれ、ステンレスからなり、円筒状を呈している。下側筒状部４１の下端部には、電源部７が取り付けられている。下側筒状部４１は、電源部７上に立設された電子銃２を収容している。下側筒状部４１の側壁には、排気管６が設けられている。上側筒状部４２は、ヒンジ部４ａを介して下側筒状部４１の上端部上に立設されている。上側筒状部４２を下側筒状部４１に対して傾動させることにより、下側筒状部４１の上側開口から、電子銃２に設けられたフィラメント等を交換することができる。上側筒状部４２の内部には、複数のコイル部４９が設けられている。複数のコイル部４９は、電磁偏向レンズとして機能し、電子銃２からターゲット３１に向かって通路４０を進行する電子ビームをターゲット３１に集束させる。
　ヘッド部４３は、上側筒状部４２の上端部上に設けられている。ヘッド部４３には、外部と通路４０とを連通するターゲット挿入部４８が形成されている。ターゲット挿入部４８には、ターゲット部３が挿入されている。ターゲット部３は、ヘッド部４３に対して着脱可能である。ターゲット３１は、電子銃２及び窓部５のそれぞれと対向するように傾斜した状態で通路４０に露出している。通路４０のうち、電子銃２とターゲット３１とが対向する部分が電子ビーム通路４０ａである。また、通路４０のうち、ターゲット３１と窓部５とが対向する部分がＸ線通路４０ｂである。電子ビーム通路４０ａは、下側筒状部４１、上側筒状部４２及びヘッド部４３に形成されている。Ｘ線通路４０ｂは、ヘッド部４３に形成されている。電子ビーム通路４０ａとＸ線通路４０ｂとは、ヘッド部４３において接続されている。ターゲット部３の側面には、複数のＯリング３２が設けられている。これにより、ターゲット部３とターゲット挿入部４８との間の空間が気密に封止されている。
　Ｘ線発生装置１においては、真空ポンプによって排気管６を介して通路４０が真空引きされた状態で、電源部７によって電子銃２に電圧が印加され、電子銃２から電子ビーム通路４０ａに電子ビームが出射されると、当該電子ビームが複数のコイル部４９によってターゲット３１に集束させられる。電子ビームがターゲット３１に入射し、ターゲット３１からＸ線通路４０ｂにＸ線が出射されると、当該Ｘ線が窓部５を透過して外部に出射される。
［電源部の構成］
　図２及び図３に示されるように、電源部７は、第１制御部７１と、昇圧部７２と、複数の絶縁トランス８Ａ，８Ｂと、第２制御部７３と、給電部７４と、封止部材７５と、高圧トランス７６と、ケース７７と、を有している。
　第１制御部７１は、外部のＰＣ（Personal　Computer）等と電気的に接続される。第１制御部７１は、ＰＣ等から送信される指示に従い、電源部７の出力電圧等を制御する。
　昇圧部７２は、第１制御部７１から供給された電圧を昇圧するコッククロフトである。昇圧部７２は、高圧トランス７６と電気的に接続されている。高圧トランス７６は、第１制御部７１と電気的に接続されており、第１制御部７１から供給された交流の電圧を昇圧する。昇圧部７２は、高圧トランス７６で昇圧された電圧を更に昇圧する。なお、昇圧部７２において、昇圧の際に交流であった電圧は直流に変換される。
　絶縁トランス８Ａは、電子銃２のウェネルト電極２１に電圧を印加する。絶縁トランス８Ｂは、電子銃２の熱カソード２２に電圧を印加する。絶縁トランス８Ｂの構成は、絶縁トランス８Ａの構成と同様である。このため、以下、絶縁トランス８Ａの構成について説明し、絶縁トランス８Ｂの構成についての説明を省略する。絶縁トランス８Ａは、一次側コイル８１と、二次側コイル８２と、鉄芯８３と、ボビン８４と、支持部材８５と、を含んでいる。一次側コイル８１は、第１制御部７１と電気的に接続されている。二次側コイル８２は、昇圧部７２と電気的に接続されている。一例として、鉄芯８３は、フェライトからなり、四角枠状を呈している。鉄芯８３のうち少なくとも第１辺部８３ａは、絶縁材料からなる。第１辺部８３ａは、接地電位とされた支持板８６に固定されている。鉄芯８３において第１辺部８３ａと反対側の第２辺部８３ｂには、一次側コイル８１が巻かれている。なお、一次側コイル８１及び鉄芯８３は、絶縁材料からなるカバー（図示省略）によって覆われている。
　ボビン８４は、第３絶縁樹脂材料からなり、例えば円環状を呈している。二次側コイル８２は、ボビン８４の周方向に沿ってボビン８４の外周面に巻かれている。支持部材８５は、二次側コイル８２を支持する柱状部材であって、第１絶縁樹脂材料からなる。支持部材８５は、例えば第１絶縁樹脂材料からなる板状部材をジグザグ状に延在させることで、放電時における沿面距離を大きくすることにより、耐電圧能を向上させた形状を呈している。支持部材８５の一端側は、支持板８６に固定されている。支持部材８５の他端側には、二次側コイル８２が巻かれたボビン８４が、絶縁材料（例えば、ボビン８４、支持部材８５等と同じ材料）からなるボルトによって取り付けられている。支持部材８５は、鉄芯８３の第２辺部８３ｂがボビン８４の内側の中心を挿通するようにボビン８４を支持することで、二次側コイル８２を支持している。
　第２制御部７３は、絶縁トランス８Ａ，８Ｂで昇圧された電圧を直流に変換し、その直流に変換した電圧及び昇圧部７２で昇圧された電圧を給電部７４に供給する。第２制御部７３は、基板７３ａを含んでいる。基板７３ａは、電子部品が搭載された回路基板である。基板７３ａは、第４絶縁樹脂材料からなる。
　給電部７４は、先端部（一端側）において電子銃２が固定されており、基端部（他端側）において封止部材に固定されている。給電部７４は、筒状を呈しており、絶縁材料からなる。給電部７４は、昇圧部７２及び絶縁トランス８Ａ，８Ｂで昇圧された電圧を、第２制御部７３を介して電子銃２に印加する給電配線（図示省略）を内部空間に封入している。なお、給電部７４を構成する絶縁材料は、封止部材７５の材料と同じでもよいし、封止部材７５の材料と異なっていてもよい。また、給電部７４の絶縁材料が封止部材７５の材料と同じである場合は、給電部７４と封止部材７５とを一体に成形してもよいし、給電部７４及び封止部材７５のそれぞれを別体に成形してから接合してもよい。
　ここで、電源部７による電子銃２への電圧の印加の一例について詳細に説明する。図３に示されるように、高圧トランス７６は、第１制御部７１から供給された最大１００Ｖ程度の交流の電圧信号を－数ｋＶから－十数ｋＶまで昇圧する。昇圧部７２は、高圧トランス７６で昇圧された電圧信号を、更に－数百ｋＶまで昇圧する。また、昇圧の際に交流であった電圧信号は直流に変換される。絶縁トランス８Ａ，８Ｂは、第２制御部７３及び給電部７４を介して、昇圧部７２で昇圧された電圧（－数百ｋＶ）に基づく基準電位上において、ウェネルト電極２１に例えば最大－１５００Ｖを印加する。また、絶縁トランス８Ａ，８Ｂは、第２制御部７３及び給電部７４を介して、昇圧部７２で昇圧された電圧（－数百ｋＶ）に基づく基準電位上において、熱カソード２２に例えば－数Ｖを印加する。なお、図３では、電源部７のうち高電圧となる部分が太線で表示されている。
　封止部材７５は、昇圧部７２、絶縁トランス８Ａ，８Ｂ及び第２制御部７３を封止している。また、支持板８６においては、少なくとも、二次側コイル８２と対向する側の面は、封止部材７５に封止されている。封止部材７５は、第２絶縁樹脂材料からなり、例えば略直方体状を呈している。封止部材７５は、高電圧となる昇圧部７２、絶縁トランス８Ａ，８Ｂ及び第２制御部７３の電気的な絶縁を保つ機能を有している。なお、第１制御部７１及び高圧トランス７６は、電源部７において封止部材７５の外部に設けられている。また、封止部材７５は、図３に示されるように、ケース７７に収容されている。一例として、ケース７７は、金属材料からなる電源部７における外部筐体であり、矩形箱状を呈している。
　ここで、支持部材８５を構成する第１絶縁樹脂材料（以下、単に「支持部材８５の材料」という）、封止部材７５を構成する第２絶縁樹脂材料（以下、単に「封止部材７５の材料」という）、ボビン８４を構成する第３絶縁樹脂料（以下、単に「ボビン８４の材料」という）、及び第２制御部７３の基板７３ａを構成する第４絶縁樹脂材料（以下、単に「基板７３ａの材料」という）の関係について説明する。なお、本実施形態における比誘電率とは、対象物質の誘電率を真空の誘電率で除算した値である。
　支持部材８５の材料の比誘電率と封止部材７５の材料の比誘電率との差の絶対値は、封止部材７５の材料の比誘電率の２５％以下である。換言すれば、支持部材８５の材料の比誘電率は、封止部材７５の材料の比誘電率の７５％以上１２５％以下の範囲に含まれる。具体的には、例えば、支持部材８５の材料の比誘電率と封止部材７５の材料の比誘電率との差の絶対値は、０以上１．０以下であってもよい。また、支持部材８５の材料の比誘電率と封止部材７５の材料の比誘電率との差の絶対値は、封止部材７５の材料の比誘電率とボビン８４の材料の比誘電率との差の絶対値よりも小さい。更に、支持部材８５の材料の比誘電率と封止部材７５の材料の比誘電率との差の絶対値は、封止部材７５の材料の比誘電率と基板７３ａの材料の比誘電率との差の絶対値よりも小さい。また、支持部材８５の材料の体積抵抗率と封止部材７５の材料の体積抵抗率との差の絶対値は、１×１０15［Ω・ｍ］以下である。そして、支持部材８５の材料の体積抵抗率と封止部材７５の材料の体積抵抗率との差の絶対値は、封止部材７５の材料の体積抵抗率とボビン８４の材料の体積抵抗率との差の絶対値よりも小さい。更に、支持部材８５の材料の体積抵抗率と封止部材７５の材料の体積抵抗率との差の絶対値は、封止部材７５の材料の体積抵抗率と基板７３ａの材料の体積抵抗率との差の絶対値よりも小さい。
　本実施形態では、支持部材８５の材料及び封止部材７５の材料は、同一の材料であって、例えば、エポキシ樹脂である。つまり、本実施形態では、支持部材８５の材料の比誘電率と封止部材７５の材料の比誘電率とは等しい。また、支持部材８５の材料の体積抵抗率と封止部材７５の材料の体積抵抗率とは等しい。また、ボビン８４の材料は、例えば、ＰＥＥＫである。また、基板７３ａの材料は、例えば、ガラスエポキシ樹脂である。
［電源部の製造方法］
　まず、図４に示されるように、支持部材８５によって二次側コイル８２を支持することにより、絶縁トランス８Ａ，８Ｂを構成する（第１工程）。具体的には、まず、一次側コイル８１、二次側コイル８２、鉄芯８３及びボビン８４を用意する。ボビン８４の穴には鉄芯８３が通され、鉄芯８３の第１辺部８３ａは支持板８６に固定されている。次に、支持部材８５の一端側を支持板８６に固定し、支持部材８５の他端側に二次側コイル８２が巻かれたボビン８４を固定する。これにより、支持部材８５に二次側コイル８２が支持され、絶縁トランス８Ａ，８Ｂが構成される。
　続いて、図５に示されるように、封止部材７５によって昇圧部７２、絶縁トランス８Ａ，８Ｂ及び第２制御部７３を封止する（第２工程）。具体的には、まず、昇圧部７２、絶縁トランス８Ａ，８Ｂ及び第２制御部７３を成形型Ｍ内に配置する。次に、第２絶縁樹脂材料からなる第２絶縁樹脂剤ｒ２を成形型Ｍ内に流し込み、第２絶縁樹脂剤ｒ２を硬化させる。これにより、封止部材７５によって昇圧部７２、絶縁トランス８Ａ，８Ｂ及び第２制御部７３が封止され、図２に示される電源部７が得られる。
［作用及び効果］
　Ｘ線発生装置１では、電源部７において、支持部材８５によって絶縁トランス８Ａ，８Ｂの二次側コイル８２が支持されており、封止部材７５によって昇圧部７２及び絶縁トランス８Ａ，８Ｂが封止されている。支持部材８５の材料の比誘電率と封止部材７５の材料の比誘電率との差の絶対値は、封止部材７５の材料の比誘電率の２５％以下である。これにより、二次側コイル８２から支持部材８５を介して絶縁破壊が生じるのを抑制することができる。よって、このＸ線発生装置１によれば、絶縁トランス８Ａ，８Ｂの二次側コイル８２を起点とした絶縁破壊の発生を抑制することができる。特に、支持部材８５の材料の比誘電率と封止部材７５の材料の比誘電率との差の絶対値が、０以上１．０以下である場合、二次側コイル８２から支持部材８５を介して絶縁破壊が生じるのをより抑制することができる。なお、二次側コイル８２から支持部材８５を介した絶縁破壊の抑制は、支持部材８５の材料の体積抵抗率と封止部材７５の材料の体積抵抗率との差の絶対値が、１×１０15［Ω・ｍ］以下である場合に、特に効果がある。
　ここで、従来例との比較について説明する。例えば、従来の支持部材８５の材料が一般的に用いられるガラスエポキシ樹脂である場合、支持部材８５の材料の比誘電率と封止部材７５の材料の比誘電率との差の絶対値は、封止部材７５の材料の比誘電率の約３０％となる。その場合、二次側コイル８２から支持部材８５を介して絶縁破壊が生じ得る。これに対し、Ｘ線発生装置１によれば、絶縁トランス８Ａ，８Ｂの二次側コイル８２を起点とした絶縁破壊の発生を抑制することができる。なお、二次側コイル８２を起点とした絶縁破壊の発生の抑制は、電源部７で使用される電圧が、絶対値で１００ｋＶ以上、特に絶対値で２００ｋＶ以上である場合に、特に効果がある。
　また、Ｘ線発生装置１では、支持部材８５の材料の比誘電率と封止部材７５の材料の比誘電率との差の絶対値は、封止部材７５の材料の比誘電率とボビン８４の材料の比誘電率との差の絶対値よりも小さい。これにより、支持部材８５の材料の比誘電率と封止部材７５の材料の比誘電率との差の絶対値が、封止部材７５の材料の比誘電率とボビン８４の材料の比誘電率との差の絶対値以上である場合と比較して、二次側コイル８２から支持部材８５を介して絶縁破壊が生じるのをより確実に抑制することができる。なお、二次側コイル８２から支持部材８５を介した絶縁破壊の抑制は、支持部材８５の材料の体積抵抗率と封止部材７５の材料の体積抵抗率との差の絶対値が、封止部材７５の材料の体積抵抗率とボビン８４の材料の体積抵抗率との差の絶対値よりも小さい場合に、特に効果がある。
　例えば、従来の支持部材８５の材料が一般的に用いられるガラスエポキシ樹脂である場合、ボビン８４の材料はＰＥＥＫであるため、支持部材８５の材料の比誘電率と封止部材７５の材料の比誘電率との差の絶対値は、封止部材７５の材料の比誘電率とボビン８４の材料の比誘電率との差の絶対値よりも大きい。その場合、二次側コイル８２から支持部材８５を介して絶縁破壊が生じ得る。Ｘ線発生装置１によれば、このような絶縁破壊が生じるのをより確実に抑制することができる。
　また、Ｘ線発生装置１では、支持部材８５の材料の比誘電率と封止部材７５の材料の比誘電率との差の絶対値は、封止部材７５の材料の比誘電率と基板７３ａの材料の比誘電率との差の絶対値よりも小さい。これにより、支持部材８５の材料の比誘電率と封止部材７５の材料の比誘電率との差の絶対値が、封止部材７５の材料の比誘電率と基板７３ａの材料の比誘電率との差の絶対値以上である場合と比較して、二次側コイル８２から支持部材８５を介して絶縁破壊が生じるのをより確実に抑制することができる。なお、二次側コイル８２から支持部材８５を介した絶縁破壊の抑制は、支持部材８５の材料の体積抵抗率と封止部材７５の材料の体積抵抗率との差の絶対値が、封止部材７５の材料の体積抵抗率と基板７３ａの材料の体積抵抗率との差の絶対値よりも小さい場合に、特に効果がある。
　例えば、従来の支持部材８５の材料が基板７３ａの材料と同一のガラスエポキシ樹脂である場合、支持部材８５の材料の比誘電率と封止部材７５の材料の比誘電率との差の絶対値は、封止部材７５の材料の比誘電率と基板７３ａの材料の比誘電率との差の絶対値と等しい。その場合、二次側コイル８２から支持部材８５を介して絶縁破壊が生じ得る。Ｘ線発生装置１によれば、このような絶縁破壊が生じるのをより確実に抑制することができる。
　また、Ｘ線発生装置１では、支持部材８５の材料及び封止部材７５の材料が、同一の材料である。これにより、二次側コイル８２から支持部材８５を介して絶縁破壊が生じるのをより確実に抑制することができる。
　また、Ｘ線発生装置１では、支持部材８５が、二次側コイル８２を支持する柱状部材である。支持部材８５として柱状部材を用いることで、電源部７の製造の容易化を図ることができる。また、支持部材８５が、封止部材７５の内部で立設される柱状部材でありながらも、二次側コイル８２から支持部材８５を介して絶縁破壊が生じるのを抑制することができる。
　また、Ｘ線発生装置１の製造方法は、支持部材８５によって二次側コイル８２を支持することにより、絶縁トランス８Ａ，８Ｂを構成する第１工程と、封止部材７５によって昇圧部７２及び絶縁トランス８Ａ，８Ｂを封止する第２工程と、を備える。Ｘ線発生装置１の製造方法によれば、上記Ｘ線発生装置１と同様の理由により、絶縁トランス８Ａ，８Ｂの二次側コイル８２を起点とした絶縁破壊の発生を抑制することができる。
　Ｘ線発生装置１の製造方法では、第１工程においては、第１絶縁樹脂材料からなる柱状部材である支持部材８５に、二次側コイル８２を取り付けることにより、支持部材８５によって二次側コイル８２を支持する。第２工程においては、昇圧部７２及び絶縁トランス８Ａ，８Ｂを成形型Ｍ内に配置し、第２絶縁樹脂材料からなる第２絶縁樹脂剤を成形型Ｍ内に流し込み、第２絶縁樹脂剤ｒ２を硬化させることにより、封止部材７５によって昇圧部７２及び絶縁トランス８Ａ，８Ｂを封止する。支持部材８５として柱状部材を用いることで、二次側コイル８２を適切に支持した状態で封止部材７５による封止を行えるため、第１工程の容易化を図ることができる。
［第２実施形態］
［電源部の構成］
　第２実施形態のＸ線発生装置１は、電源部７の構成が異なる点（具体的には、絶縁トランス８Ａの支持部材８７が、一次側コイル８１及び二次側コイル８２を封止することにより二次側コイル８２を支持している点）で、第１実施形態のＸ線発生装置１と相違している。以下、主として第１実施形態と相違する点について説明する。
　図６に示される絶縁トランス８Ａは、一次側コイル８１と、二次側コイル８２と、鉄芯８３と、ボビン８４と、支持部材８７と、を含んでいる。支持部材８７は、一次側コイル８１に対して二次側コイル８２が所定の距離をもって離間した状態で固定されるように、一次側コイル８１及び二次側コイル８２を封止することにより二次側コイル８２を支持している。より詳細には、支持部材８７は、鉄芯８３の第２辺部８３ｂがボビン８４の内側の中心を挿通し、且つ一次側コイル８１に対して二次側コイル８２が所定の距離をもって離間するような配置関係であって、二次側コイル８２が支持部材８７中に浮いた状態で固定されるように、一次側コイル８１、二次側コイル８２、鉄芯８３及びボビン８４を封止している。つまり、第２実施形態の二次側コイル８２の支持に関しては、第１実施形態の支持部材８５のような立設部材を備えるのではなく、支持部材８７による封止が二次側コイル８２の支持を兼ねている。支持部材８７は、第１絶縁樹脂材料（以下、単に「支持部材８７の材料」という）からなり、例えば直方体状を呈している。本実施形態では、支持部材８７の材料及び封止部材７５の材料は、同一の材料であって、例えば、エポキシ樹脂である。
　封止部材７５は、昇圧部７２、絶縁トランス８Ａ，８Ｂ及び第２制御部７３を封止している。絶縁トランス８Ａ，８Ｂの封止においては、一次側コイル８１、二次側コイル８２、鉄芯８３及びボビン８４を封止している支持部材８７が、更に封止部材７５によって封止されている。
［電源部の製造方法］
　まず、図７に示されるように、支持部材８７によって二次側コイル８２を支持することにより、絶縁トランス８Ａ，８Ｂを構成する（第１工程）。具体的には、まず、一次側コイル８１、二次側コイル８２、鉄芯８３、ボビン８４及び支持板８６を第１成形型Ｍ１内に配置する。ここで、第１成形型Ｍ１には、二次側コイル８２及びボビン８４を保持するための保持具Ｈが固定されている。二次側コイル８２及びボビン８４は、保持具Ｈに取り付けられ、一次側コイル８１、鉄芯８３及び支持板８６は、鉄芯８３の第２辺部８３ｂがボビン８４の中心を通るように第１成形型Ｍ１に固定される。次に、第１絶縁樹脂材料からなる第１絶縁樹脂剤ｒ１を第１成形型Ｍ１内に流し込み、第１絶縁樹脂剤ｒ１を硬化させることにより、支持部材８７によって二次側コイル８２を支持する。このようにして、図８に示されるように、二次側コイル８２が支持部材８７中に浮いた状態で固定されるように、支持部材８７に二次側コイル８２が支持された絶縁トランス８Ａ，８Ｂが構成される。保持具Ｈは、第１絶縁樹脂剤ｒ１の硬化後、支持部材８７から除去される。そのため、支持部材８７は、所定の側（図８においては上側）にある面８７Ａに、保持具Ｈに相当する部分に窪みＣを有することとなる。また、二次側コイル８２のうち、保持具Ｈで覆われていた部分は、支持部材８７（第１絶縁樹脂剤ｒ１）には封止されず、窪みＣから露出した状態となっている。
　続いて、図９に示されるように、封止部材７５によって、昇圧部７２、絶縁トランス８Ａ，８Ｂ及び第２制御部７３を封止する（第２工程）。具体的には、まず、昇圧部７２、絶縁トランス８Ａ，８Ｂ及び第２制御部７３を第２成形型Ｍ２内に配置する。絶縁トランス８Ａ，８Ｂについては、一次側コイル８１、二次側コイル８２、鉄芯８３、ボビン８４及び支持板８６が封止された状態の支持部材８７が第２成形型Ｍ２内に配置される。その際、支持部材８７は、窪みＣを有する面８７Ａが、第２成形型Ｍ２の内側（中心側）に向くように配置される。次に、第２絶縁樹脂材料からなる第２絶縁樹脂剤ｒ２を第２成形型Ｍ２内に流し込み、第２絶縁樹脂剤ｒ２を硬化させることにより、昇圧部７２、絶縁トランス８Ａ，８Ｂ及び第２制御部７３を封止する。その際、窪みＣも第２絶縁樹脂剤ｒ２で封止されるため、窪みＣから露出していた二次側コイル８２も封止される。これにより、図６に示される電源部７が得られる。
［作用及び効果］
　Ｘ線発生装置１は、第１実施形態のＸ線発生装置１と同様の理由により、絶縁トランス８Ａ，８Ｂの二次側コイル８２を起点とした絶縁破壊が生じるのを抑制することができる。また、Ｘ線発生装置１では、支持部材８７が、一次側コイル８１及び二次側コイル８２を封止することにより、二次側コイル８２を支持している。これにより、二次側コイル８２が支持部材８５の材料によって覆われるため、二次側コイル８２から支持部材８５を介して絶縁破壊が生じるのを抑制することができる。
　また、Ｘ線発生装置１の製造方法によれば、第１実施形態のＸ線発生装置１の製造方法と同様の理由により、絶縁トランス８Ａ，８Ｂの二次側コイル８２を起点とした絶縁破壊の発生が抑制されたＸ線発生装置１を得ることができる。
　また、Ｘ線発生装置１の製造方法では、第１工程において、一次側コイル８１及び二次側コイル８２を第１成形型Ｍ１内に配置し、第１絶縁樹脂材料からなる第１絶縁樹脂剤ｒ１を第１成形型Ｍ１内に流し込み、第１絶縁樹脂剤ｒ１を硬化させることにより、支持部材８７によって二次側コイル８２を支持する。第２工程においては、昇圧部７２及び絶縁トランス８Ａ，８Ｂを第２成形型Ｍ２内に配置し、第２絶縁樹脂材料からなる第２絶縁樹脂剤ｒ２を第２成形型Ｍ２内に流し込み、第２絶縁樹脂剤ｒ２を硬化させることにより、昇圧部７２及び絶縁トランス８Ａ，８Ｂを封止する。これにより、支持部材８５を構成する第１絶縁樹脂材料によって二次側コイル８２を覆うことができる。特に、第２工程においては、支持部材８７が、窪みＣを備えた面８７Ａが第２成形型Ｍ２の内側（中心側）に向くように配置される。このように、電源部７における高電圧領域（特に、昇圧部７２、二次側コイル８２及び第２制御部７３の配置領域）、及び当該高電圧領域における第１絶縁樹脂材料と第２絶縁樹脂材料との界面を、支持部材８７の内側（中心側）に配置することで、耐電圧能を向上させ、絶縁破壊が生じるのをより確実に抑制することができる。
［変形例］
　本開示は、上述した実施形態に限定されない。例えば、支持部材８５，８７の材料、及び封止部材７５の材料は、支持部材８５，８７の材料の比誘電率と封止部材７５の材料の比誘電率との差の絶対値が、封止部材７５の比誘電率の２５％以下であれば、上述したものに限定されない。一例として、支持部材８５，８７の材料及び封止部材７５の材料は、同一の材料でなくてもよい。また、支持部材８５，８７の材料の比誘電率と封止部材７５の材料の比誘電率との差の絶対値が、封止部材７５の材料の比誘電率とボビン８４の材料の比誘電率との差の絶対値以上であってもよい。また、支持部材８５，８７の材料の比誘電率と封止部材７５の材料の比誘電率との差の絶対値が、封止部材７５の材料の比誘電率と基板７３ａの材料の比誘電率との差の絶対値以上であってもよい。また、支持部材８５，８７の材料、及び封止部材７５の材料は、支持部材８５，８７の材料の体積抵抗率と封止部材７５の材料の体積抵抗率との差の絶対値が、１×１０15［Ω・ｍ］以下であれば、上述したものに限定されない。一例として、支持部材８５，８７の材料及び封止部材７５の材料は、同一の材料でなくてもよい。また、支持部材８５，８７の材料の体積抵抗率と封止部材７５の材料の体積抵抗率との差の絶対値が、封止部材７５の材料の体積抵抗率とボビン８４の材料の体積抵抗率との差の絶対値以上であってもよい。また、支持部材８５，８７の材料の体積抵抗率と封止部材７５の材料の体積抵抗率との差の絶対値が、封止部材７５の材料の体積抵抗率と基板７３ａの材料の体積抵抗率との差の絶対値以上であってもよい。
　上述した実施形態では、一次側コイル８１が二次側コイル８２の内側を通るように、支持部材８５，８７が二次側コイル８２を支持する構成を例示したが、支持部材８５，８７は、二次側コイル８２を支持するように構成されていればよい。また、第１実施形態の支持部材８５は、ジグザグ状に限られず、例えば直線状の柱状部材であってもよく、また、板状に限らず、円柱状、多角形柱状等であってもよい。
　昇圧部７２は、コッククロフトに限定されず、例えば、コッククロフトと同じくコンデンサ及びダイオードを用いた昇圧回路、デロン・グライナッヘル回路、ビラード回路、チンメルマン（若しくはウィトカ）回路、シェンケンの多段整流回路等であってもよい。
　上述した実施形態では、電源部７が２つの絶縁トランス８Ａ，８Ｂを有する構成を例示したが、絶縁トランスの数は、例えば１つでもよく、また３つ以上であってもよい。また、二次側コイル８２の周囲を絶縁性材料からなるカバーで包囲することで、さらに二次側コイル８２を起点とした絶縁破壊の発生を抑制してもよい。
　上述した実施形態では、Ｘ線発生装置１は、ターゲット３１に電子ビームが入射する側に、ターゲット３１で発生したＸ線が出射される反射型の装置であったが、ターゲット３１に電子ビームが入射する側とは反対側に、ターゲット３１で発生したＸ線が出射される透過型の装置であってもよい。また、上述した実施形態では、Ｘ線発生装置１は、筐体４の内部を開閉することのできる開放型の装置であったが、真空密封型の装置であってもよい。
　上述した実施形態では、電源部７は、Ｘ線発生装置１の構成物品であったが、例えば電源装置として単体で構成されてもよい。当該電源装置によっても、上述した第１，２実施形態のＸ線発生装置１と同様に、絶縁トランス８Ａ，８Ｂの二次側コイル８２を起点とした絶縁破壊の発生を抑制することができる。
　１…Ｘ線発生装置、２…電子銃、７…電源部、８Ａ，８Ｂ…絶縁トランス、３１…ターゲット、７１…第１制御部、７２…昇圧部、７３…第２制御部、７４…給電部、７５…封止部材、８１…一次側コイル、８２…二次側コイル、８４…ボビン、８５，８７…支持部材、７３ａ…基板、Ｍ…成形型、Ｍ１…第１成形型、Ｍ２…第２成形型、ｒ１…第１絶縁樹脂剤、ｒ２…第２絶縁樹脂剤。

Claims (10)

  1. 　電子ビームを出射する電子銃と、
    　前記電子ビームが入射することによりＸ線を出射するターゲットと、
    　前記電子銃に電圧を印加する電源部と、を備え、
    　前記電源部は、
    　第１制御部と、
    　前記第１制御部から供給された電圧を昇圧する昇圧部と、
    　前記第１制御部と電気的に接続された一次側コイル、前記昇圧部と電気的に接続された二次側コイル、及び前記二次側コイルを支持する支持部材を含む絶縁トランスと、
    　前記電子銃と電気的に接続され、前記昇圧部及び前記絶縁トランスで昇圧された電圧を前記電子銃に印加する給電部と、
    　前記昇圧部及び前記絶縁トランスを封止する封止部材と、を有し、
    　前記支持部材は、第１絶縁樹脂材料からなり、
    　前記封止部材は、第２絶縁樹脂材料からなり、
    　前記第１絶縁樹脂材料の比誘電率と前記第２絶縁樹脂材料の比誘電率との差の絶対値は、前記第２絶縁樹脂材料の比誘電率の２５％以下である、Ｘ線発生装置。
  2. 　前記絶縁トランスは、前記二次側コイルが巻かれたボビンを更に含み、
    　前記ボビンは、第３絶縁樹脂材料からなり、
    　前記第１絶縁樹脂材料の比誘電率と前記第２絶縁樹脂材料の比誘電率との差の絶対値は、前記第２絶縁樹脂材料の比誘電率と前記第３絶縁樹脂材料の比誘電率との差の絶対値よりも小さい、請求項１に記載のＸ線発生装置。
  3. 　前記電源部は、前記昇圧部及び前記絶縁トランスで昇圧された電圧を前記給電部に供給する第２制御部を更に有し、
    　前記第２制御部は、第４絶縁樹脂材料からなる基板を含み、
    　前記封止部材は、前記昇圧部、前記絶縁トランス及び前記第２制御部を封止しており、
    　前記第１絶縁樹脂材料の比誘電率と前記第２絶縁樹脂材料の比誘電率との差の絶対値は、前記第２絶縁樹脂材料の比誘電率と前記第４絶縁樹脂材料の比誘電率との差の絶対値よりも小さい、請求項１又は２に記載のＸ線発生装置。
  4. 　前記第１絶縁樹脂材料及び前記第２絶縁樹脂材料は、同一の材料である、請求項１～３のいずれか一項に記載のＸ線発生装置。
  5. 　前記支持部材は、前記二次側コイルを支持する柱状部材である、請求項１～４のいずれか一項に記載のＸ線発生装置。
  6. 　前記支持部材は、前記一次側コイル及び前記二次側コイルを封止することにより、前記二次側コイルを支持している、請求項１～４のいずれか一項に記載のＸ線発生装置。
  7. 　電子ビームを出射する電子銃、及び前記電子ビームが入射することによりＸ線を出射するターゲットを備えるＸ線発生装置に用いられ、前記電子銃に電圧を印加する電源装置であって、
    　第１制御部と、
    　前記第１制御部から供給された電圧を昇圧する昇圧部と、
    　前記第１制御部と電気的に接続された一次側コイル、前記昇圧部と電気的に接続された二次側コイル、及び前記二次側コイルを支持する支持部材を含む絶縁トランスと、
    　前記電子銃と電気的に接続され、前記昇圧部及び前記絶縁トランスで昇圧された電圧を前記電子銃に印加する給電部と、
    　前記昇圧部及び前記絶縁トランスを封止する封止部材と、を備え、
    　前記支持部材は、第１絶縁樹脂材料からなり、
    　前記封止部材は、第２絶縁樹脂材料からなり、
    　前記第１絶縁樹脂材料の比誘電率と前記第２絶縁樹脂材料の比誘電率との差の絶対値は、前記第２絶縁樹脂材料の比誘電率の２５％以下である、電源装置。
  8. 　請求項１に記載のＸ線発生装置の製造方法であって、
    　前記支持部材によって前記二次側コイルを支持することにより、前記絶縁トランスを構成する第１工程と、
    　前記封止部材によって前記昇圧部及び前記絶縁トランスを封止する第２工程と、を備える、Ｘ線発生装置の製造方法。
  9. 　前記第１工程においては、前記第１絶縁樹脂材料からなる柱状部材である前記支持部材に前記二次側コイルを取り付けることにより、前記支持部材によって前記二次側コイルを支持し、
    　前記第２工程においては、前記昇圧部及び前記絶縁トランスを成形型内に配置し、前記第２絶縁樹脂材料からなる第２絶縁樹脂剤を前記成形型内に流し込み、前記第２絶縁樹脂剤を硬化させることにより、前記封止部材によって前記昇圧部及び前記絶縁トランスを封止する、請求項８に記載のＸ線発生装置の製造方法。
  10. 　前記第１工程においては、前記一次側コイル及び前記二次側コイルを第１成形型内に配置し、前記第１絶縁樹脂材料からなる第１絶縁樹脂剤を前記第１成形型内に流し込み、前記第１絶縁樹脂剤を硬化させることにより、前記支持部材によって前記二次側コイルを支持し、
    　前記第２工程においては、前記昇圧部及び前記絶縁トランスを第２成形型内に配置し、前記第２絶縁樹脂材料からなる第２絶縁樹脂剤を前記第２成形型内に流し込み、前記第２絶縁樹脂剤を硬化させることにより、前記昇圧部及び前記絶縁トランスを封止する、請求項８に記載のＸ線発生装置の製造方法。
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