WO2020189974A1 - 터치센서 및 이를 형성하는 노광 마스크 - Google Patents

터치센서 및 이를 형성하는 노광 마스크 Download PDF

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김병인
이철훈
임창경
장민석
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    • G06F2203/04107—Shielding in digitiser, i.e. guard or shielding arrangements, mostly for capacitive touchscreens, e.g. driven shields, driven grounds

Definitions

  • the present invention relates to a touch sensor, and more particularly, to a group pattern capable of forming a large area pattern by a stitch method and an exposure mask for forming the same.
  • a touch sensor such as a smartphone is an input device that receives a touch command, and there are a resistive type, a capacitive type, an ultrasonic type, an infrared type, etc. according to the sensing method of the touch part, and recently, a capacitive type is mainly used. .
  • the capacitance method uses a transparent substrate on which a conductive thin film is formed, and when a user touches the surface of the transparent substrate while maintaining a certain amount of voltage on the surface of the transparent substrate, the voltage changes at the contact surface. It detects whether it is touched or not.
  • the touch sensor may include a plurality of sensing cells arranged in the X and Y axes on the transparent substrate to accurately determine the contact position.
  • the sensing cell can be configured with a rhombus shape except for the end.
  • the sensing cell is divided into a first sensing electrode connected in the X-axis direction and a second sensing electrode connected in the Y-axis direction, and may be configured by connecting each of the first and second wires.
  • the first and second wiring portions extend along side edges of the transparent substrate to connect to pad electrodes formed on the edges of the transparent substrate.
  • the pad electrode can again be connected to the flexible printed circuit board (FPCB).
  • the FPCB can be bonded to and connected to the pad electrode through an anisotropic conductive film (ACF) or the like.
  • a Lego pattern exposure is performed in units of sub-pixels or pixels of a liquid crystal display device to stitch Disclosed is a method of improving defects and quality defects.
  • it consists of a step of dividing into a first exposure area and a second exposure area in a sub-pixel in an array substrate of a liquid crystal display device, and a step of sequentially step-exposing the first exposure area and the second exposure area.
  • the first exposure area and the second exposure area are divided into two or more Lego patterns, and the sub-pixels that are exposed by dividing into the first exposure area and the second exposure area are overlapped during the divided exposure. It is characterized by consisting of sub-pixels.
  • the prior art achieves the effect of eliminating the occurrence of stitch defects when applying an exposure mask to the stitch method, but does not propose a method of exposing a touch sensor pattern including an asymmetric wiring portion other than a symmetric pattern.
  • the present invention is to solve the problems of the prior art
  • the touch sensor of the present invention for achieving this purpose may include a first group pattern including a sensing cell unit and a wiring unit.
  • the sensing cell unit may include a plurality of sensing cell groups to which the plurality of sensing cells are electrically connected.
  • the wiring portion may be formed adjacent to the sensing cell portion.
  • the wiring unit may include a first sub wiring unit and a second sub wiring unit.
  • the first sub-wiring part is disposed adjacent to the sensing cell part, and may be configured as a lead wire electrically connected to the sensing cell at one end of the sensing cell group.
  • the second sub-wiring part may be disposed outside the first sub-wiring part and may be configured as a non-lead wire that is not electrically connected to the sensing cell part.
  • the touch sensor of the present invention may include a second group pattern disposed adjacent to the first group pattern and having the same structure as the first group pattern.
  • some non-lead wires of the second sub-wiring part of the first group pattern may be signal transmission wires for transmitting signals by connecting with the out-going wires of the first sub-wiring part of the second group pattern.
  • some other non-lead wires of the second sub-wiring part of the first group pattern may be dummy wires that are connected to non-leaded wires of the second sub-wiring part of the first group pattern but do not transmit signals.
  • the touch sensor of the present invention may include a second group pattern disposed adjacent to the first group pattern and having the same structure as the first group pattern.
  • the non-outgoing wiring of the second sub-wiring portion of the first group pattern may be a signal transmission wiring that transmits signals by connecting with the outgoing wiring of the first sub-wiring portion of the second group pattern and some non-leaving wiring of the second sub-wiring portion.
  • the non-lead wiring of the second sub-wiring part may be a dummy wiring that does not transmit a signal.
  • the touch sensor of the present invention may include a second group pattern disposed adjacent to the first group pattern and having the same structure as the first group pattern.
  • some non-lead wiring of the second sub-wiring portion of the first group pattern may be connected to a portion of non-leaving wiring of the second wiring portion of the second group pattern.
  • the touch sensor of the present invention may further include a third sub-wiring part for noise shielding outside the second sub-wiring part.
  • the exposure mask according to the present invention may include a wiring mask portion having a through slit adjacent to the sensing cell portion and forming a plurality of wiring lines.
  • the wiring mask portion may include first and second sub wiring mask portions.
  • the first sub-wiring mask part may have a first through slit forming a first sub-wiring part connected to the sensing cell at one end of the sensing cell part.
  • the second sub-wiring mask portion may have a second through slit disposed outside the first sub-wiring mask portion and forming a second sub-wiring portion not connected to the sensing cell of the sensing cell portion.
  • the exposure mask according to the present invention may optionally further include a sensing cell mask.
  • the sensing cell mask portion may be formed at a side of the wiring mask portion and may have a through hole forming a sensing cell of the sensing cell portion.
  • the exposure mask according to the present invention may have a third through slit forming a dummy wiring for noise shielding outside the second sub wiring mask portion.
  • the number of second through slits may be greater than that of the first through slit.
  • the touch sensor according to the present invention may repeatedly include a unit pattern including a sensing cell unit including a sensing cell group to which a plurality of sensing cells are electrically connected, and a wiring unit formed outside the sensing cell unit.
  • the wiring unit may include a first sub wiring unit and a second sub wiring unit.
  • the first sub-wiring part may include a lead wire electrically connected to the sensing cell at one end of the sensing cell part.
  • the second sub-wiring part may be disposed outside the first sub-wiring part.
  • the second sub-wiring part may include a non-lead wire that is not electrically connected to the sensing cell part.
  • the non-lead wiring may be provided with a number equal to or greater than the number of units subtracted from the number of units repeatedly formed to form a large area touch sensor.
  • the touch sensor according to the present invention may configure a large area touch sensor by sequentially repeatedly forming n unit patterns.
  • n may be an integer of 2 or more.
  • the second sub-wiring portion of the n-th unit pattern makes the outermost non-lead wiring a first non-leaded wiring and the innermost non-leaded wiring is the n-1th non-leaded wiring, the first non-leaded wiring is adjacent n-
  • the first unit pattern may be connected to the first sub-wiring part of the first unit pattern by sequentially passing through each second sub-wiring part of the second unit pattern.
  • wires from the first non-outgoing wire to the n-1th non-outgoing wire may be electrically connected to the sensing cell portions from the first unit pattern to the n-1th unit pattern, respectively.
  • the touch sensor according to the present invention may further include a third sub-wiring part for noise shielding outside the second sub-wiring part.
  • a large-area touch sensor by repeatedly using a small area exposure mask having a predetermined pattern including an asymmetric pattern of wiring as well as a symmetric pattern that can utilize the existing stitch method. Since can be patterned, it is easy to form a large area touch sensor.
  • the touch sensor and the exposure mask of the present invention since a large area mask for forming a large area pattern is not required, manufacturing cost can be greatly reduced.
  • the exposure mask can be applied to a printing method, a roll-to-roll method, and the like, so that a wide range of applications is possible.
  • FIG. 1 is a plan view showing a group pattern touch sensor according to the present invention.
  • FIG. 2 is a perspective view of an exposure mask forming a group patterned touch sensor according to the present invention.
  • FIG 3 is a plan view of a touch sensor in which a plurality of group patterns are repeatedly formed according to the present invention.
  • FIG. 4 is a plan view of a touch sensor formed by repeatedly connecting a plurality of unit patterns according to the present invention.
  • FIG. 1 is a plan view of a group pattern according to the present invention.
  • the sensing cell unit 110 is expressed in a simplified form, and may further include a bridge (not shown) in the actual form.
  • the group pattern according to the present invention may include a sensing cell unit 110, a wiring unit 120, and the like.
  • the sensing cell unit 110 may include a plurality of sensing cell groups, and the sensing cell group may be electrically connected by connecting a plurality of sensing cells in one direction.
  • the sensing cell may be configured in the form of an island, and the electrical connection between the sensing cells may be integrated by patterning together with the sensing cells, or a conductive bridge may be used.
  • the sensing cell unit 110 may be composed of a first sensing electrode in which a plurality of sensing cells are arranged and connected in a horizontal (X-axis) direction and a second sensing electrode in which a plurality of other sensing cells are arranged and connected in a vertical (Y-axis) direction. have.
  • the sensing cell unit 110 may include a plurality of sensing cell groups arranged and connected in a horizontal (X-axis) direction and a vertical (Y-axis) direction.
  • a horizontal (X-axis) A first sensing cell group consisting of a plurality of first sensing cells arranged and connected in a direction, and a plurality of second sensing cells arranged and connected in a horizontal (X-axis) direction apart from the bottom of the first sensing cell group.
  • a third sensing cell group comprising a plurality of third sensing cells arranged in a horizontal (X-axis) direction and spaced apart from the lower end of the second sensing cell group.
  • sensing cell group may include one or more, and the maximum is up to the number of wires in the wiring unit or as much as the ratio of the number of wires and the number of group patterns in all touch sensors. Can be included as.
  • the sensing cell unit 110 is a transparent conductive oxide, for example, indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), aluminum zinc oxide (AZO), zinc oxide (ZnOx), titanium oxide (TiO 2 ), aluminum oxide ( Al 2 O 3 ) It can be composed of a conductive oxide such as indium zinc tin oxide (IZTO), indium oxide (InOx), tin oxide (SnOx), cadmium tin oxide (CTO), gallium-doped zinc oxide ( GZO), zinc tin oxide (ZTO), indium gallium oxide (IGO), or a combination of two or more thereof.
  • ITO indium tin oxide
  • IZO indium zinc oxide
  • AZO aluminum zinc oxide
  • ZnOx zinc oxide
  • TiO 2 titanium oxide
  • Al 2 O 3 aluminum oxide
  • a conductive oxide such as indium zinc tin oxide (IZTO), indium oxide (InOx), tin oxide (SnOx), cadmium
  • the sensing cell unit 110 may be formed of a conductive metal, an alloy, or a laminate including a metal, and in this case, it may have a shape such as a mesh type to increase light transmittance.
  • the wiring unit 120 transmits the sensing signal of the sensing cell unit 110 to a pad electrode (not shown), and may include a plurality of wirings.
  • the wiring unit 120 may be disposed in a peripheral area of the sensing cell unit 110.
  • the wiring unit 120 may be disposed on one side as shown in FIG. 1, or may be disposed separately on both sides. When disposed on both sides, the wiring units 120 may be alternately connected to end sensing cells in the horizontal (X-axis) direction from left and right.
  • the wiring unit 120 may include a first sub wiring unit 121 and a second sub wiring unit 123.
  • the first sub-wiring unit 121 may be configured as an outgoing wiring electrically connected to the sensing cell at one end of the sensing cell group, and may extract a signal from the sensing cell unit 110.
  • the first sub-wiring part 121 may be disposed adjacent to the sensing cell part 110.
  • the second sub-wiring part 123 may be disposed outside the first sub-wiring part 121, that is, farther from the peripheral area of the sensing cell part 110.
  • the second sub-wiring part 123 may be configured as a non-lead wire that is not electrically connected to the sensing cell part 110.
  • the second sub-wiring part 123 may be connected to the first sub-wiring part 121 or the second sub-wiring part 123 of another group pattern repeatedly formed in the vertical (Y-axis) direction.
  • the non-lead wiring of the second sub-wiring unit 123 may be larger than the lead wiring of the first sub-wiring unit 121 in proportion to the number of vertically arranged sensing cell groups.
  • the wiring unit 120 may include a third sub wiring unit 125 outside the second sub wiring unit 123.
  • the third sub-wiring unit 125 is a dummy wiring for noise shielding and may include one or more wirings.
  • the wiring unit 120 may be made of a conductive metal, for example, silver (Ag), gold (Au), copper (Cu), aluminum (Al), platinum (Pt), palladium (Pd), chromium ( Cr), titanium (Ti), tungsten (W), niobium (Nb), tantalum (Ta), vanadium (V), iron (Fe), manganese (Mn), cobalt (Co), nickel (Ni), zinc ( Zn), or an alloy thereof (for example, silver-palladium-copper (APC)), or the like.
  • a conductive metal for example, silver (Ag), gold (Au), copper (Cu), aluminum (Al), platinum (Pt), palladium (Pd), chromium ( Cr), titanium (Ti), tungsten (W), niobium (Nb), tantalum (Ta), vanadium (V), iron (Fe), manganese (Mn), cobalt (Co), nickel (Ni), zinc ( Zn), or an alloy thereof
  • FIG. 2 is a perspective view of an exposure mask forming a group pattern according to the present invention.
  • the exposure mask 200 may include a sensing cell mask unit 210, a wiring mask unit 220, and the like.
  • the sensing cell mask unit 210 and the wiring mask unit 220 denote a sensing cell exposure area and a wiring exposure area, respectively.
  • the sensing cell mask part 210 forms the sensing cell part 110 shown in FIG. 1, and may have a through hole or the like in a region in which the sensing cell is formed.
  • the wiring mask unit 220 forms a plurality of wirings through exposure and may be disposed adjacent to the sensing cell mask unit 210.
  • the wiring mask unit 220 may have a through slit in a region corresponding to the wiring.
  • the wiring mask part 220 may include a first sub-wiring mask part and a second sub-wiring mask part.
  • the first sub-wiring mask part may be formed by exposing the first sub-wiring part 121, and the second sub-wiring mask part may be formed through exposing the second sub-wiring part 123.
  • the second sub-wiring mask portion may have a larger number of through slits than the first sub-wiring mask portion.
  • the wiring mask part 220 may include a third sub-wiring mask part for forming a noise shielding dummy wire outside the second sub-wiring wire part.
  • the third sub-wiring mask portion may include one or more through slits.
  • the sensing cell mask unit 210 and the wiring mask unit 220 may be integrally formed, but the sensing cell and the wiring are respectively In the case of a transparent oxide and a metal, the sensing cell mask unit 210 and the wiring mask unit 220 may be formed as separate entities.
  • FIG 3 is a plan view of a touch sensor in which a plurality of group patterns are repeatedly formed according to the present invention.
  • three group patterns P1 to P3 having the same pattern may be formed to be connected.
  • the three group patterns P1 to P3 may be combined with each other to form a large area touch sensor.
  • the sensing cell unit 110 and the wiring unit 120 shown in FIG. 1 are included.
  • the wiring part 120 includes a first sub-wiring part 121 and a second sub-wiring part 123, and the first sub-wiring part 121 is the sensing cell part 110 It is electrically connected to the sensing cell at one end of and functions as a lead wire.
  • the second sub-wiring part 123 is a non-lead wire not connected to the sensing cell of the sensing cell part 110 and may be a dummy wire in which all wires (area A) do not transmit signals.
  • the sensing cell unit 110 and the wiring unit 120 shown in FIG. 1 are included.
  • the wiring unit 120 includes a first sub wiring unit 121 and a second sub wiring unit 123, and the first sub wiring unit 121 is the sensing cell unit 110 It is electrically connected to the sensing cell at one end of and functions as a lead wire.
  • the second sub-wiring unit 123 functions as a signal transmission wiring through which some wirings (region B) transmit signals, and some other wirings (region C) function as dummy wirings that do not transmit signals.
  • one side of the inner partial wire is connected to the first sub-wiring part 121 of the first group pattern P1, and the other side is the third group pattern P3. 2 A signal is transmitted by connecting to some wirings of the sub wiring unit 123.
  • one side of the outer partial wire (region C) is connected to the dummy wire of the second sub-wiring part 123 of the first group pattern P1, and the other side is the third group pattern P3. ), it is not connected to the second sub-wiring unit 123 and thus does not perform a signal transmission function.
  • the sensing cell unit 110 and the wiring unit 120 shown in FIG. 1 are included.
  • the wiring unit 120 includes a first sub-wiring unit 121 and a second sub-wiring unit 123, and the first sub-wiring unit 121 is the sensing cell unit 110 It is electrically connected to one end of the sensing cell and functions as a lead wire.
  • the second sub-wiring part 123 functions as a signal transmission wire through which all wires (region D) transmit signals.
  • one side of the inner part of the wire is connected to the first sub-wiring part 121 of the second group pattern P2 to function as a signal transmission wire, and the second sub-wiring part 123
  • the other wires outside of are connected to the first sub-wiring part 121 of the first group pattern P1 via the second sub-wiring part 123 of the second group pattern P2, and the first group The signal of the pattern P1 is being transmitted.
  • FIG. 4 is a plan view of a touch sensor formed by repeatedly connecting a plurality of unit patterns according to the present invention.
  • each of the unit patterns Q1 to Qn may include one sensing cell group and a separate wiring part 320.
  • the sensing cell unit 310 may include a plurality of sensing cells in a horizontal direction connected in a line and a plurality of sensing cells in a vertical direction connected by a bridge (not shown).
  • the wiring unit 320 may include a first sub wiring unit 321 and a second sub wiring unit 323.
  • the first sub-wiring part 321 may include an outgoing wire that is electrically connected to the sensing cell at one end of the sensing cell group of the unit pattern to extract a signal from the sensing cell part 310.
  • the first sub-wiring part 321 may be disposed closest to the sensing cell part 310.
  • the second sub-wiring part 323 may be disposed outside the first sub-wiring part 321.
  • the second sub-wiring part 323 may include a non-lead wire that is not electrically connected to the sensing cell part 310.
  • the second sub-wiring unit 323 may include at least a number of non-lead wires that are repeatedly formed by subtracting one from the number of unit patterns Q1 to Qn constituting the large-area touch sensor. In FIG. 4, n unit patterns Q1 to Qn are repeatedly formed to form a large-area touch sensor. In this case, the number of non-lead wires of the second sub-wiring unit 323 may be at least n-1. have.
  • the wiring unit 320 may include a third sub wiring unit 325 outside the second sub wiring unit 323.
  • the third sub-wiring unit 325 is a dummy wiring for noise shielding and may include one or more wirings.
  • the touch sensor of FIG. 4 exemplifies forming a large area touch sensor by repeatedly forming n unit patterns Q1 to Qn having the same shape in a vertical direction through a stitch method.
  • the wiring part 320 includes a first sub-wiring part 321 having one wire and a second sub-wiring part 323 having n-1 wires,
  • One wire of the first sub-wiring part 321 is electrically connected to the sensing cell at one end of the sensing cell part 310 to function as a lead wire, and n-1 wires of the second sub-wiring part 323 are signal It is functioning as a dummy wiring that does not transmit.
  • the wiring part 320 is, like the first unit pattern Q1, a first sub-wiring part 321 having one wire and a second sub-wiring having n-1 wires.
  • a portion 323 is included, and one wiring of the first sub wiring portion 321 is electrically connected to the sensing cell at one end of the sensing cell portion 310 to function as a lead wiring, but the second sub wiring portion 323
  • the n-1th wiring adjacent to the first sub-wiring portion 321 of the outside is connected to the first sub-wiring portion 321 of the first unit pattern Q1 to transmit a signal, and the remaining n-2 wirings are It functions as a dummy wiring that does not transmit signals.
  • one wire of the first sub-wiring unit 321 is the sensing cell unit 310 It is electrically connected to one end sensing cell of and functions as an outgoing wiring, and n-1 wirings of the second sub-wiring unit 323 are the n-1th unit patterns Qn-1 from the first unit pattern Q1 described above. It can function as a signal transmission line that transmits each of the outgoing signals up to ).
  • the outermost wiring of the second sub-wiring unit 323 transmits a lead signal from the first sub-wiring unit 321 of the first unit pattern Q1 to an electrode pad (not shown).
  • unit patterns of a small area having the same pattern are repeatedly formed by the stitch method, so that a large area touch sensor can be easily formed.
  • sensing cell mask unit 220 wiring mask unit
  • A,C dummy wiring area
  • B,D signal transmission wiring area
  • P1,P2,P3 first to third group pattern Q1 to Qn: first to n unit pattern

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Abstract

터치센서는 다수의 감지셀이 전기적으로 연결되는 감지셀 그룹을 구비하는 감지셀부와 감지셀부의 외측에 형성되는 배선부를 구비하는 그룹 패턴을 포함한다. 배선부는 제1 서브 배선부와 제2 서브 배선부를 포함한다. 제1 서브 배선부는 감지셀부의 일측 단부 감지셀에 전기적으로 연결되는 인출배선을 구비한다. 제2 서브 배선부는 제1 서브 배선부보다 외측에 배치되고, 감지셀부와 전기적으로 연결되지 않는 비인출 배선을 구비하되, 비인출 배선은 대면적 터치센서를 형성하기 위해 반복 형성되는 그룹 패턴의 수에서 1을 뺀 수만큼 구비한다.

Description

터치센서 및 이를 형성하는 노광 마스크
본 발명은 터치센서에 관한 것으로, 상세하게는 스티치(stitch) 공법으로 대면적 패턴을 형성할 수 있는 그룹 패턴 및 이를 형성하기 위한 노광 마스크에 관한 것이다.
스마트폰 등의 터치센서는 터치 명령을 입력받는 입력 장치로서, 터치 부분의 감지 방식에 따라 저항막 방식, 정전용량 방식, 초음파 방식, 적외선 방식 등이 있으며, 최근에는 정전용량 방식을 주로 이용하고 있다.
정전용량 방식은 전도성 박막이 형성된 투명기판을 이용하는 것으로, 일정량의 전압을 투명기판의 표면에 유지하게 한 상태에서 사용자가 투명기판의 표면을 터치하면 접촉면에서 전압이 변하는데, 이러한 전압 변화를 검출하여 터치 여부를 감지한다.
터치센서는 접촉위치를 정확히 판단하기 위해 투명기판에 X, Y축으로 배열된 다수의 감지셀을 포함할 수 있다. 감지셀은 끝단을 제외한 나머지를 마름모꼴 등으로 구성할 수 있다. 감지셀은 X축 방향으로 연결된 제1 감지전극과 Y축 방향으로 연결된 제2 감지전극으로 구분되어, 각각 제1 배선부와 제2 배선부로 연결하여 구성할 수 있다.
제1,2 배선부는 투명기판의 측방 가장자리를 따라 연장되어 투명기판의 가장자리에 형성되는 패드전극과 접속할 수 있다. 패드전극은 다시 연성인쇄회로기판(FPCB)과 접속할 수 있다. FPCB는 이방성 도전 필름(Anisotropic Conductive Film, ACF) 등을 통해 패드전극과 접착 및 접속할 수 있다.
특허등록 제1068285호(액정표시장치 노광 마스크 패턴 및 노광 방법)를 보면, 액정표시장치의 서브 픽셀(sub pixel) 또는 픽셀(pixel) 단위로 레고 패턴(lego pattern) 노광을 진행하여 스티치(stitch) 불량 및 화질 불량을 개선하는 방법을 개시하고 있다. 내용을 보면, 액정표시장치의 어레이 기판에서 서브 픽셀 내에 제1 노광 영역과 제2 노광 영역으로 구분하는 단계, 제1 노광 영역과 제2 노광 영역을 순차적으로 스텝 노광하는 단계로 구성하되, 서브 픽셀에서 구분되는 제1 노광 영역과 제2 노광 영역은 2 이상으로 구분되는 레고 패턴이고, 제1 노광 영역과 제2 노광 영역으로 구분하여 노광을 진행하는 서브 픽셀은 분할 노광 진행시 중첩 노광되는 영역의 서브 픽셀로 구성하는 것을 특징으로 하고 있다.
종래기술은 스티치 공법에 노광 마스크를 적용할 때 스티치 불량이 발생하는 것을 해소하는 효과를 달성하는데, 대칭되는 패턴 외에 비대칭 배선부를 포함하는 터치센서 패턴을 노광하는 방법을 제시하고 있지는 않다.
본 발명은 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로,
첫째, 작은 면적의 노광 마스크로 반복 패터닝함으로써 대면적의 터치센서 패턴을 쉽게 형성할 수 있고,
둘째, 인쇄 방식, 롤투롤 방식 등에도 적용할 수 있는, 노광 마스크 및 이를 통해 형성되는 터치센서를 제공하고자 한다.
이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 터치센서는 감지셀부, 배선부를 포함하는 제1 그룹 패턴을 포함할 수 있다.
감지셀부는 다수의 감지셀이 전기적으로 연결되는 감지셀 그룹을 다수 구비할 수 있다.
배선부는 감지셀부에 인접하여 형성할 수 있다.
배선부는 제1 서브 배선부, 제2 서브 배선부를 포함할 수 있다.
제1 서브 배선부는 감지셀부에 인접하여 배치되고, 감지셀 그룹의 일측 단부 감지셀에 전기적으로 연결되는 인출 배선으로 구성할 수 있다.
제2 서브 배선부는 제1 서브 배선부보다 외측에 배치되고, 감지셀부와 전기적으로 연결되지 않는 비인출 배선으로 구성할 수 있다.
본 발명의 터치센서는 제1 그룹 패턴과 인접 배치되고 제1 그룹 패턴과 동일 구조를 갖는 제2 그룹 패턴을 포함할 수 있다. 이 경우, 제1 그룹 패턴의 제2 서브 배선부의 일부 비인출 배선은 제2 그룹 패턴의 제1 서브 배선부의 인출 배선과 접속하여 신호를 전달하는 신호 전달 배선일 수 있다.
본 발명의 터치센서에서, 제1 그룹 패턴의 제2 서브 배선부의 다른 일부 비인출 배선은 제1 그룹 패턴의 제2 서브 배선부의 비인출 배선과 접속하되 신호를 전달하지 않는 더미 배선일 수 있다.
본 발명의 터치센서는 제1 그룹 패턴과 인접하여 배치되고 제1 그룹 패턴과 동일 구조를 갖는 제2 그룹 패턴을 포함할 수 있다. 이 경우, 제1 그룹 패턴의 제2 서브 배선부의 비인출 배선은 제2 그룹 패턴의 제1 서브 배선부의 인출 배선 및 제2 서브 배선부의 일부 비인출 배선과 접속하여 신호를 전달하는 신호 전달 배선일 수 있다.
본 발명의 터치센서에서, 제2 서브 배선부의 비인출 배선은 신호를 전달하지 않는 더미 배선일 수 있다.
본 발명의 터치센서는 제1 그룹 패턴과 인접하여 배치되고 제1 그룹 패턴과 동일 구조를 갖는 제2 그룹 패턴을 포함할 수 있다. 이 경우, 제1 그룹 패턴의 제2 서브 배선부의 일부 비인출 배선은 제2 그룹 패턴의 제2 배선부의 일부 비인출 배선과 접속할 수 있다.
본 발명의 터치센서는 제2 서브 배선부의 외측에 노이즈 차폐를 위한 제3 서브 배선부를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 노광 마스크는 감지셀부에 인접하여 다수의 배선을 형성하는 관통 슬릿을 구비하는 배선 마스크부를 포함할 수 있다.
배선 마스크부는 제1,2 서브 배선 마스크부를 포함할 수 있다.
제1 서브 배선 마스크부는 감지셀부의 일측 단부 감지셀에 연결되는 제1 서브 배선부를 형성하는 제1 관통 슬릿을 구비할 수 있다.
제2 서브 배선 마스크부는 제1 서브 배선 마스크부보다 외측에 배치되고 감지셀부의 감지셀과 연결되지 않는 제2 서브 배선부를 형성하는 제2 관통 슬릿을 구비할 수 있다.
본 발명에 따른 노광 마스크는 감지셀 마스크부를 선택적으로 더 포함할 수 있다. 감지셀 마스크부는 배선 마스크부의 측방에 형성되고 감지셀부의 감지셀을 형성하는 관통공을 구비할 수 있다.
본 발명에 따른 노광 마스크는 제2 서브 배선 마스크부의 외측에 노이즈 차폐용 더미 배선을 형성하는 제3 관통 슬릿을 구비할 수 있다.
본 발명에 따른 노광 마스크에서, 제2 관통 슬릿은 제1 관통 슬릿보다 수가 많을 수 있다.
본 발명에 따른 터치 센서는 다수의 감지셀이 전기적으로 연결되는 감지셀 그룹을 구비하는 감지셀부와 감지셀부의 외측에 형성되는 배선부를 구비하는 유닛 패턴을 반복해서 포함할 수 있다.
배선부는 제1 서브 배선부와 제2 서브 배선부를 포함할 수 있다.
제1 서브 배선부는 감지셀부의 일측 단부 감지셀에 전기적으로 연결되는 인출배선을 구비할 수 있다.
제2 서브 배선부는 제1 서브 배선부보다 외측에 배치될 수 있다. 제2 서브 배선부는 감지셀부와 전기적으로 연결되지 않는 비인출 배선을 구비할 수 있다. 여기서, 비인출 배선은 대면적 터치센서를 형성하기 위해 반복 형성되는 유닛의 수에서 1을 뺀 수와 같거나 더 많이 구비할 수 있다.
본 발명에 따른 터치 센서는 n개의 유닛 패턴들을 순차적으로 반복 형성하여 대면적 터치센서를 구성할 수 있다. 여기서, n은 2 이상의 정수일 수 있다. n번째 유닛 패턴의 제2 서브 배선부는, 최외측 비인출 배선을 제1 비인출 배선으로 하고 최내측 비인출 배선을 제n-1 비인출 배선으로 할 때, 제1 비인출 배선은 인접한 n-1번째 유닛 패턴에서 두번째 유닛 패턴의 각 제2 서브 배선부를 순차적으로 경유하여 첫번째 유닛 패턴의 제1 서브 배선부에 연결될 수 있다.
본 발명에 따른 터치 센서에서, 제1 비인출 배선부터 제n-1 비인출 배선까지의 배선들은 각각 첫번째 유닛 패턴부터 n-1번째 유닛 패턴까지의 감지셀부와 전기적으로 연결될 수 있다.
본 발명에 따른 터치센서는 제2 서브 배선부의 외측에 노이즈 차폐를 위한 제3 서브 배선부를 더 포함할 수 있다.
이러한 구성을 갖는 본 발명의 터치센서 및 노광 마스크에 의하면, 기존 스티치 방식을 활용할 수 있는 대칭 패턴뿐 아니라 배선부의 비대칭 패턴도 포함하여 일정 패턴을 갖는 작은 면적의 노광 마스크를 반복 사용하여 대면적 터치센서를 패터닝할 수 있어, 대면적 터치센서를 형성하기가 용이하다.
본 발명의 터치센서 및 노광 마스크에 의하면, 대면적 패턴을 형성하기 위한 대면적 마스크가 필요 없으므로, 제조비용을 대폭 낮출 수 있다.
또한, 본 발명의 터치센서 및 노광 마스크에 의하면, 노광 마스크를 인쇄 방식, 롤투롤 방식 등에도 적용할 수 있어, 광범위한 활용이 가능하다.
도 1은 본 발명에 따른 그룹 패턴의 터치센서를 도시하는 평면도이다.
도 2는 본 발명에 따른 그룹 패턴의 터치센서를 형성하는 노광 마스크의 사시도이다.
도 3은 본 발명에 따른 그룹 패턴을 다수 반복 형성한 터치센서의 평면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 유닛 패턴을 다수 연결하여 반복 형성한 터치센서의 평면도이다.
이하, 도면을 참고하여 본 발명의 실시예들을 보다 구체적으로 설명하도록 한다. 다만, 본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 것이며, 전술한 발명의 내용과 함께 본 발명의 기술사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니된다.
도 1은 본 발명에 따른 그룹 패턴의 평면도이다. 도 1에서, 감지셀부(110)는 간략 형태로 표현한 것으로, 실제 형태에서는 브릿지(미도시) 등을 더 포함할 수 있다.
도 1에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 그룹 패턴은 감지셀부(110), 배선부(120) 등을 포함하여 구성할 수 있다.
감지셀부(110)는 다수의 감지셀 그룹을 포함할 수 있고, 감지셀 그룹은 다수의 감지셀이 한쪽 방향으로 접속되어 전기적으로 연결될 수 있다. 감지셀은 섬(island) 형태로 구성할 수 있고, 감지셀 사이의 전기적 연결은 감지셀과 함께 패터닝하여 일체화하거나 도전성 브릿지를 이용할 수 있다.
감지셀부(110)는 다수의 감지셀이 가로(X축) 방향으로 배열 접속하는 제1 감지전극과 다른 다수의 감지셀이 세로(Y축) 방향으로 배열 접속하는 제2 감지전극으로 구성할 수 있다.
도 1에 도시한 바와 같이, 감지셀부(110)는 가로(X축) 방향 및 세로(Y축) 방향으로 배열 접속하는 다수의 감지셀 그룹을 포함할 수 있는데, 예를들어 가로(X축) 방향으로 배열 접속하는 다수의 제1 감지셀들로 구성되는 제1 감지셀 그룹, 제1 감지셀 그룹의 하단에 이격되어 가로(X축) 방향으로 배열 접속하는 다수의 제2 감지셀들로 구성되는 제2 감지셀 그룹, 그리고 제2 감지셀 그룹의 하단에 이격되어 가로(X축) 방향으로 배열 접속하는 다수의 제3 감지셀들로 구성되는 제3 감지셀 그룹을 포함할 수 있다. 도 1에서는 3개의 감지셀 그룹을 도시하고 있으나, 감지셀 그룹은 1개 이상을 포함할 수 있으며 최대로는 배선부의 배선 개수까지 혹은 전체 터치센서에서 배선 수와 그룹 패턴 수의 비율 만큼까지를 최대로 포함할 수 있다.
감지셀부(110)는 투명 도전성 산화물, 예를들어 인듐주석산화물(ITO), 인듐아연산화물(IZO), 알루미늄징크옥사이드(AZO), 아연산화물(ZnOx), 티타늄산화물(TiO2), 산화알루미늄(Al2O3) 등의 도전성 산화물로 구성할 수 있고, 그 밖에 인듐아연주석산화물(IZTO), 인듐 산화물(InOx), 주석 산화물(SnOx), 카드뮴 주석 산화물(CTO), 갈륨-도핑 아연 산화물(GZO), 아연주석산화물(ZTO), 인듐갈륨산화물(IGO) 등이나 이들의 2 이상 조합으로 구성할 수 있다.
감지셀부(110)는 도전성 금속이나 합금 혹은 금속을 포함하는 적층체로 구성할 수 있으며, 이 경우 메쉬 타입 등의 투광도를 높일 수 있는 형태가 될 수 있다.
배선부(120)는 감지셀부(110)의 감지신호를 패드전극(미도시)으로 전달하는 것으로, 다수의 배선을 포함할 수 있다.
배선부(120)는 감지셀부(110)의 주변 영역에 배치될 수 있다. 배선부(120)는, 도 1과 같이 한쪽 측방에 배치할 수도 있고, 이와 달리 양쪽 측방에 분리하여 배치할 수도 있다. 양쪽 측방에 배치하는 경우, 배선부(120)는 좌측과 우측에서 가로(X축) 방향의 단부 감지셀에 교대로 연결될 수 있다.
배선부(120)는 제1 서브 배선부(121), 제2 서브 배선부(123)를 포함할 수 있다.
제1 서브 배선부(121)는 감지셀 그룹의 일측 단부 감지셀에 전기적으로 연결되는 인출 배선으로 구성하여, 감지셀부(110)로부터 신호를 인출할 수 있다. 제1 서브 배선부(121)는 감지셀부(110)에 인접하여 배치될 수 있다.
제2 서브 배선부(123)는 제1 서브 배선부(121)보다 외측, 즉 감지셀부(110)의 주변 영역에서 멀리 배치될 수 있다. 제2 서브 배선부(123)는 감지셀부(110)와 전기적으로 연결되지 않는 비인출 배선으로 구성할 수 있다. 제2 서브 배선부(123)는 세로(Y축) 방향으로 반복 형성되는 다른 그룹 패턴의 제1 서브 배선부(121) 또는 제2 서브 배선부(123)와 접속할 수 있다. 제2 서브 배선부(123)의 비인출 배선은 세로로 배열되는 감지셀 그룹의 수에 비례하여 제1 서브 배선부(121)의 인출 배선보다 많을 수 있다.
도 1에 도시한 바와 같이, 배선부(120)는 제2 서브 배선부(123)의 외측에 제3 서브 배선부(125)를 구비할 수 있다. 제3 서브 배선부(125)는 노이즈 차폐용 더미 배선으로서, 1개 이상의 배선을 포함할 수 있다.
배선부(120)는 도전성 금속으로 구성할 수 있는데, 예를들어, 은(Ag), 금(Au), 구리(Cu), 알루미늄(Al), 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 크롬(Cr), 티타늄(Ti), 텅스텐(W), 니오븀(Nb), 탄탈륨(Ta), 바나듐(V), 철(Fe), 망간(Mn), 코발트(Co), 니켈(Ni), 아연(Zn), 또는 이들의 합금(예를 들면, 은-팔라듐-구리(APC)) 등으로 구성할 수 있다.
도 2는 본 발명에 따른 그룹 패턴을 형성하는 노광 마스크의 사시도이다.
도 2에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 노광 마스크(200)는 감지셀 마스크부(210), 배선 마스크부(220) 등을 포함할 수 있다. 여기서, 감지셀 마스크부(210)와 배선 마스크부(220)는 각각 감지셀 노광 영역과 배선 노광 영역을 의미한다.
감지셀 마스크부(210)는 도 1에 도시한 감지셀부(110)를 형성하는 것으로, 감지셀이 형성되는 영역에 관통공 등을 구비할 수 있다.
배선 마스크부(220)는 다수의 배선을 노광을 통해 형성하는 것으로, 감지셀 마스크부(210)에 인접하여 배치할 수 있다. 배선 마스크부(220)는 배선에 해당하는 영역에 관통 슬릿을 구비할 수 있다.
배선 마스크부(220)는 제1 서브 배선 마스크부와 제2 서브 배선 마스크부를 포함할 수 있다. 제1 서브 배선 마스크부는 제1 서브 배선부(121)를 노광을 통해 형성할 수 있고, 제2 서브 배선 마스크부는 제2 서브 배선부(123)를 노광을 통해 형성할 수 있다. 제2 서브 배선 마스크부는 제1 서브 배선 마스크부보다 관통 슬릿의 수가 많을 수 있다.
도 2에 도시한 바와 같이, 배선 마스크부(220)는 제2 서브 배선 배선부의 외측에 노이즈 차폐용 더미 배선을 형성하기 위한 제3 서브 배선 마스크부를 구비할 수 있다. 제3 서브 배선 마스크부는 1개 이상의 관통 슬릿을 포함할 수 있다.
도 2의 노광 마스크에서, 감지셀과 배선을 금속 등의 동일 재질로 구성하는 경우에는 감지셀 마스크부(210)와 배선 마스크부(220)를 일체형으로 구성할 수 있지만, 감지셀과 배선을 각각 투명 산화물과 금속으로 구성하는 경우에는 감지셀 마스크부(210)와 배선 마스크부(220)를 분리된 독립체로 구성할 수 있다.
도 3은 본 발명에 따른 그룹 패턴을 다수 반복 형성한 터치센서의 평면도이다.
도 3에 도시한 바와 같이, 그룹 패턴을 인접하여 반복 패턴닝하면, 동일 패턴을 갖는 3개의 그룹 패턴(P1~P3)을 연결되게 형성할 수 있다. 3개의 그룹 패턴(P1~P3)는 서로 결합하여 대면적 터치센서를 형성할 수 있다.
먼저, 제1 그룹 패턴(P1)를 보면, 도 1에 도시한 감지셀부(110), 배선부(120)를 포함하고 있다. 제1 그룹 패턴(P1)에서, 배선부(120)는 제1 서브 배선부(121)와 제2 서브 배선부(123)를 포함하는데, 제1 서브 배선부(121)는 감지셀부(110)의 일측 단부 감지셀에 전기적으로 연결되어 인출 배선으로 기능하고 있다.
제2 서브 배선부(123)는 감지셀부(110)의 감지셀과 접속하지 않는 비인출 배선으로, 모든 배선(영역 A)이 신호를 전달하지 않는 더미 배선일 수 있다.
제2 그룹 패턴(P2)를 보면, 도 1에 도시한 감지셀부(110), 배선부(120)를 포함하고 있다. 제2 그룹 패턴(P2)에서, 배선부(120)는 제1 서브 배선부(121)와 제2 서브 배선부(123)를 포함하는데, 제1 서브 배선부(121)는 감지셀부(110)의 일측 단부 감지셀에 전기적으로 연결되어 인출 배선으로 기능하고 있다.
제2 서브 배선부(123)는 일부 배선(영역 B)이 신호를 전달하는 신호 전달 배선으로 기능하고, 다른 일부 배선(영역 C)은 신호를 전달하지 않는 더미 배선으로 기능하고 있다.
제2 서브 배선부(123)에서, 안쪽 일부 배선(영역 B)은 일측이 제1 그룹 패턴(P1)의 제1 서브 배선부(121)와 접속하고 타측은 제3 그룹 패턴(P3)의 제2 서브 배선부(123)의 일부 배선에 접속하여 신호를 전달하고 있다.
제2 서브 배선부(123)에서, 외측 일부 배선(영역 C)은 일측이 제1 그룹 패턴(P1)의 제2 서브 배선부(123)의 더미 배선과 접속하고 타측은 제3 그룹 패턴(P3)의 제2 서브 배선부(123)에 접속하지 않아, 신호 전달 기능을 수행하고 있지 않다.
제3 그룹 패턴(P3)를 보면, 도 1에 도시한 감지셀부(110), 배선부(120)를 포함하고 있다. 제3 그룹 패턴(P3)에서, 배선부(120)는 제1 서브 배선부(121)와 제2 서브 배선부(123)를 포함하는데, 제1 서브 배선부(121)는 감지셀부(110)의 일측 단부 감지셀에 전기적으로 연결되어, 인출 배선으로 기능하고 있다.
제2 서브 배선부(123)는 모든 배선(영역 D)이 신호를 전달하는 신호 전달 배선으로 기능하고 있다. 제2 서브 배선부(123)에서, 안쪽 일부 배선은 일측이 제2 그룹 패턴(P2)의 제1 서브 배선부(121)와 접속하여 신호 전달 배선으로 기능하고, 제2 서브 배선부(123)의 바깥쪽 나머지 배선은 일측이 제2 그룹 패턴(P2)의 제2 서브 배선부(123)를 매개로 제1 그룹 패턴(P1)의 제1 서브 배선부(121)에 접속하여, 제1 그룹 패턴(P1)의 신호를 전달하고 있다.
도 4는 본 발명에 따른 유닛 패턴을 다수 연결하여 반복 형성한 터치센서의 평면도이다.
도 4에 도시한 바와 같이, 유닛 패턴들(Q1~Qn)은 각각 하나의 감지셀 그룹과 분리 형태의 배선부(320)를 포함할 수 있다.
감지셀부(310)는 일렬로 연결된 가로 방향의 다수 감지셀과 브릿지(미도시)로 연결되는 세로 방향의 다수 감지셀을 포함할 수 있다.
배선부(320)는 제1 서브 배선부(321)와 제2 서브 배선부(323)를 포함할 수 있다.
제1 서브 배선부(321)는 유닛 패턴의 감지셀 그룹의 일측 단부 감지셀에 전기적으로 연결되어 감지셀부(310)로부터 신호를 인출하는 인출 배선을 포함할 수 있다. 제1 서브 배선부(321)는 감지셀부(310)에 최근접 배치될 수 있다.
제2 서브 배선부(323)는 제1 서브 배선부(321)보다 외측에 배치될 수 있다. 제2 서브 배선부(323)는 감지셀부(310)와 전기적으로 연결되지 않는 비인출 배선을 포함할 수 있다. 제2 서브 배선부(323)는 적어도 반복 형성되어 대면적 터치센서를 구성하는 유닛 패턴(Q1~Qn)의 수에서 1를 뺀 수만큼 비인출 배선을 포함할 수 있다. 도 4에서는, n개의 유닛 패턴들(Q1~Qn)을 반복 형성하여 대면적 터치센서를 형성하고 있는데, 이 경우 제2 서브 배선부(323)의 비인출 배선의 수는 적어도 n-1 개일 수 있다.
도 4에 도시한 바와 같이, 배선부(320)는 제2 서브 배선부(323)의 외측에 제3 서브 배선부(325)를 구비할 수 있다. 제3 서브 배선부(325)는 노이즈 차폐용 더미 배선으로서, 1개 이상의 배선을 포함할 수 있다.
도 4의 터치센서는 동일한 형태를 갖는 n 개의 유닛 패턴들(Q1~Qn)을 스티치 공법을 통해 세로 방향으로 연결해서 반복 형성하여 대면적 터치센서를 형성하는 것을 예시하고 있다.
먼저, 첫번째 유닛 패턴(Q1)을 보면, 배선부(320)는 1개 배선을 갖는 제1 서브 배선부(321)와 n-1개 배선을 갖는 제2 서브 배선부(323)를 포함하는데, 제1 서브 배선부(321)의 1개 배선은 감지셀부(310)의 일측 단부 감지셀에 전기적으로 연결되어 인출 배선으로 기능하고, 제2 서브 배선부(323)의 n-1개 배선은 신호를 전달하지 않는 더미 배선으로 기능하고 있다.
두번째 유닛 패턴(Q2)을 보면, 배선부(320)는, 첫번째 유닛 패턴(Q1)과 같이, 1개 배선을 갖는 제1 서브 배선부(321)와 n-1 개의 배선을 갖는 제2 서브 배선부(323)를 포함하는데, 제1 서브 배선부(321)의 1개 배선은 감지셀부(310)의 일측 단부 감지셀에 전기적으로 연결되어 인출 배선으로 기능하지만, 제2 서브 배선부(323) 중 제1 서브 배선부(321)에 인접한, 바깥으로부터 n-1번째 배선은 첫번째 유닛 패턴(Q1)의 제1 서브 배선부(321)와 접속되어 신호를 전달하고, 나머지 n-2개 배선은 신호를 전달하지 않는 더미 배선으로 기능하고 있다.
이렇게 순차적으로 세번째 유닛 패턴(Q3), 네번째 유닛 패턴(Q4) 등을 반복 하여, n번째 유닛 패턴(Qn)에 이르게 되면, 제1 서브 배선부(321)의 1개 배선은 감지셀부(310)의 일측 단부 감지셀에 전기적으로 연결되어 인출 배선으로 기능하고, 제2 서브 배선부(323)의 n-1개 배선은 앞에서 설명한 첫번째 유닛 패턴(Q1)에서부터 n-1번째 유닛 패턴(Qn-1)까지의 각각의 인출 신호들을 전달하는 신호 전달 배선으로 기능할 수 있다. 여기서, 제2 서브 배선부(323)의 가장 외측 배선은 첫번째 유닛 패턴(Q1)의 제1 서브 배선부(321)의 인출 신호를 전극 패드(미도시)로 전달하게 된다.
이와 같이, 본 발명에 따른 터치센서는 동일 패턴을 갖는 작은 면적의 유닛 패턴들이 스티치 공법으로 반복 형성되어, 대면적 터치센서를 쉽게 형성할 수 있다.
이상 본 발명을 여러 실시예로 설명하였으나, 이는 본 발명을 예증하기 위한 것이다. 통상의 기술자라면 이러한 실시예를 다른 형태로 변형하거나 수정할 수 있을 것이다. 그러나, 본 발명의 권리범위는 아래의 특허청구범위에 의해 정해지므로, 그러한 변형이나 수정이 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석될 수 있다.
[부호의 설명]
110,310 : 감지셀부 120,320 : 배선부
121,321 : 제1 서브 배선부 123,323 : 제2 서브 배선부
125,325 : 제3 서브 배선부 200 : 노광 마스크
210 : 감지셀 마스크부 220 : 배선 마스크부
A,C : 더미 배선 영역 B,D : 신호 전달 배선 영역
P1,P2,P3 : 제1~3 그룹 패턴 Q1~Qn : 제1~n 유닛 패턴

Claims (15)

  1. 다수의 감지셀이 전기적으로 연결되는 감지셀 그룹을 다수 구비하는 감지셀부; 및
    상기 감지셀부의 외측에 형성되는 배선부를 구비하는 제1 그룹 패턴을 포함하고,
    상기 배선부는
    상기 감지셀 그룹의 일측 단부 감지셀에 전기적으로 연결되는 인출배선을 구비하는 제1 서브 배선부; 및
    상기 제1 서브 배선부보다 외측에 배치되고, 상기 감지셀부와 전기적으로 연결되지 않는 비인출 배선을 구비하는 제2 서브 배선부를 포함하는, 터치 센서.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 그룹 패턴에 인접 배치되고 상기 제1 그룹 패턴과 동일 구조를 갖는 제2 그룹 패턴을 포함하고,
    상기 제1 그룹 패턴의 제2 서브 배선부의 일부 비인출 배선은 상기 제2 그룹 패턴의 제1 서브 배선부의 인출 배선과 접속하여 신호를 전달하는 신호 전달 배선인, 터치 센서.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1 그룹 패턴의 제2 서브 배선부의 다른 일부 비인출 배선은 상기 제1 그룹 패턴의 제2 서브 배선부의 비인출 배선과 접속하되 신호를 전달하지 않는 더미 배선인, 터치 센서.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제1 그룹 패턴과 인접 배치되고 상기 제1 그룹 패턴과 동일 구조를 갖는 제2 그룹 패턴을 포함하고,
    상기 제1 그룹 패턴의 제2 서브 배선부의 비인출 배선은 상기 제2 그룹 패턴의 제1 서브 배선부의 인출 배선 및 상기 제2 서브 배선부의 일부 비인출 배선과 접속하여 신호를 전달하는 신호 전달 배선인, 터치 센서.
  5. 제1항에 있어서, 상기 제2 서브 배선부의 비인출 배선은
    신호를 전달하지 않는 더미 배선인, 터치 센서.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제1 그룹 패턴과 인접하여 배치되고 상기 제1 그룹 패턴과 동일 구조를 갖는 제2 그룹 패턴을 포함하고,
    상기 제1 그룹 패턴의 제2 서브 배선부의 일부 비인출 배선은 상기 제2 그룹 패턴의 제2 서브 배선부의 일부 비인출 배선과 접속하는, 터치 센서.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제2 서브 배선부의 외측에 노이즈 차폐를 위한 제3 서브 배선부를 더 포함하는, 터치 센서.
  8. 감지셀부에 인접하여 다수의 배선을 형성하는 관통 슬릿을 구비하는 배선 마스크부를 포함하되, 상기 배선 마스크부는
    상기 감지셀부의 일측 단부 감지셀에 연결되는 제1 서브 배선부를 형성하는 제1 관통 슬릿을 구비하는 제1 서브 배선 마스크부; 및
    상기 제1 서브 배선 마스크부보다 외측에 배치되고 상기 감지셀부의 감지셀과 연결되지 않는 제2 서브 배선부를 형성하는 제2 관통 슬릿을 구비하는 제2 서브 배선 마스크부를 포함하는, 터치센서용 노광 마스크.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 배선 마스크부의 측방에 형성되고 상기 감지셀부의 감지셀을 형성하는 관통공을 구비하는 감지셀 마스크부를 더 포함하는, 터치센서용 노광 마스크.
  10. 제8항에 있어서, 상기 제2 관통 슬릿은
    상기 제1 관통 슬릿보다 개수가 많은, 터치센서용 노광 마스크.
  11. 제8항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제2 서브 배선 마스크부의 외측에 노이즈 차폐를 위한 더미 배선을 형성하는 제3 관통 슬릿을 더 포함하는, 터치센서용 노광 마스크.
  12. 다수의 감지셀이 전기적으로 연결되는 감지셀 그룹을 구비하는 감지셀부; 및
    상기 감지셀부의 외측에 형성되는 배선부를 구비하는 유닛 패턴을 포함하고,
    상기 배선부는
    상기 감지셀부의 일측 단부 감지셀에 전기적으로 연결되는 인출 배선을 구비하는 제1 서브 배선부; 및
    상기 제1 서브 배선부보다 외측에 배치되고, 상기 감지셀부와 전기적으로 연결되지 않는 비인출 배선을 구비하되 상기 비인출 배선은 대면적 터치센서를 형성하기 위해 반복 형성되는 상기 그룹 패턴의 수에서 1을 뺀 수만큼 구비하는 제2 서브 배선부를 포함하는, 터치 센서.
  13. 제12항에 있어서,
    n개의 상기 유닛 패턴들을 순차적으로 반복 형성하여 대면적 터치센서를 구성하고(n은 2 이상의 정수),
    n번째 유닛 패턴의 제2 서브 배선부는, 최외측 비인출 배선을 제1 비인출 배선으로 하고 최내측 비인출 배선을 제n-1 비인출 배선으로 할 때, 상기 제1 비인출 배선은 인접한 n-1번째 유닛 패턴에서 두번째 유닛 패턴의 각 제2 서브 배선부를 순차적으로 경유하여 첫번째 유닛 패턴의 제1 서브 배선부에 연결되는, 터치 센서.
  14. 제12항에 있어서,
    상기 제1 비인출 배선부터 제n-1 비인출 배선까지의 배선들은 각각 첫번째 유닛 패턴부터 n-1번째 유닛 패턴까지의 감지셀부와 전기적으로 연결되는, 터치 센서.
  15. 제12항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서,
    제2 서브 배선부의 외측에 노이즈 차폐를 위한 제3 서브 배선부를 더 포함하는, 터치 센서.
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