CN113632051A - 触摸传感器和用于形成该触摸传感器的曝光掩模 - Google Patents

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Abstract

一种触摸传感器，包括组图案，组图案包括：感测单元部，其包括有包括多个电连接的感测单元的感测单元组；和布线部，其形成在感测单元部外侧。布线部包括第一子布线部和第二子布线部。第一子布线部分别包括与在感测单元部一端处的感测单元电连接的引出线。第二子布线部比第一子布线部进一步向外设置且包括未电连接至感测单元部的非引出线，其中非引出线的数量等于通过从为了实现大面积触摸传感器而重复形成的组图案的数量减去1所得的数量。

Description

触摸传感器和用于形成该触摸传感器的曝光掩模
技术领域
发明涉及一种触摸传感器，更具体地，涉及一种能够通过缝合法形成大面积图案的组图案以及用于形成该组图案的曝光掩模。
背景技术
智能手机等的触摸传感器是接收触摸命令的输入器件。根据触摸部分的感应方型，有电阻型、电容型、超声波型、红外线型等。近来，主要使用电容型。
电容型使用其上形成有导电薄膜的透明基板。当在透明基板表面上保持一定电压量的情况下使用者触摸透明基板的表面时，接触面处的电压会发生变化。检测这样的电压变化以感测它是否被触摸。
触摸传感器可包括在透明基板上沿X轴和Y轴布置的多个感测单元，用于准确地确定触摸位置。除了端部之外，感测单元由菱形等形状形成。感测单元可以分为沿X轴方向连接的第一感测电极和沿Y轴方向连接的第二感测电极，它们可以分别连接至第一布线部和第二布线部。
第一布线部和第二布线分部可以沿着透明基板的侧边缘延伸以连接至形成在透明基板的边缘处的焊盘电极。焊盘电极然后可以连接至柔性印刷电路板(FPCB)。FPCB可以通过各向异性导电膜(ACF)等粘附并连接至焊盘电极。
根据专利注册号1068285(液晶显示装置曝光掩模图案和曝光方法)，公开了一种通过在液晶显示装置的子像素或像素单元中进行乐高图案曝光来改善缝合缺陷和图像质量缺陷的方法设备。该方法包括将液晶显示装置的阵列基板中的子像素中的第一曝光区和第二曝光区分开，并依次对第一曝光区和第二曝光区进行曝光的步骤，其中在子像素中分开的第一曝光区和第二曝光区是分成两个或多个的乐高图案，通过将第一曝光区和第二曝光区分开来进行曝光的子像素由在单独曝光期间交叠曝光区的子像素组成。
现有技术在将曝光掩模应用于缝合法时达到了解决缝合缺陷发生的效果，但并未提出将包括非对称布线部的触摸传感器图案而不是对称图案曝光的方法。
发明内容
【技术问题】
本发明是为了解决现有技术的上述问题，旨在提供一种曝光掩模和使用该曝光掩模形成的触摸传感器，其通过使用小面积曝光掩模的重复图案化，可以容易地形成大面积触摸传感器图案并且可应用于印刷法、卷对卷法等。
【技术方案】
用于实现该目的的本发明的触摸传感器可以包括具有感测单元部和布线部的第一组图案。
感测单元部可以包括多个感测单元组，在所述感测单元组中多个感测单元电连接。
布线部可以与感测单元部相邻地形成。
布线部可以包括第一子布线部和第二子布线部。
第一子布线部可以设置为与感测单元部相邻并且可以由电连接至在感测单元组的一端处的感测单元的引出线构成。
第二子布线部可以设置在第一子布线部的外侧并且可以由未电连接至感测单元部的非引出线构成。
本发明的触摸传感器可以包括第二组图案，其与第一组图案相邻设置并且具有与第一组图案相同的结构。在这种情况下，第一组图案的第二子布线部的非引出线中的一些可以是信号传输线，其与第二组图案的第一子布线部的引出线连接以传输信号。
在本发明的触摸传感器中，第一组图案的第二子布线部的其他非引出线中的一些可以是虚设布线，其与第二组图案的第二子布线部的非引出线连接但不传输信号。
本发明的触摸传感器可以包括第二组图案，其与第一组图案相邻设置并且具有与第一组图案相同的结构。在这种情况下，第一组图案的第二子布线部的非引出线可以是信号传输线，其与第一子布线部的引出线和第二组图案的第二子布线的非引出线中的一些连接以传输信号。
在本发明的触摸传感器中，第二子布线部的非引出线可以是不传输信号的虚设布线。
本发明的触摸传感器可以包括第二组图案，其与第一组图案相邻设置并且具有与第一组图案相同的结构。在这种情况下，第一组图案的第二子布线部的非引出线中的一些可以与第二组图案的第二子布线部的非引出线中的一些连接。
本发明的触摸传感器还可以包括第三子布线部，其在第二子布线部外侧用于屏蔽噪声。
根据本发明的曝光掩模可以包括布线掩模部，其具有用于形成与感测单元部相邻的多条布线的贯通狭缝。
布线掩模部可以具有第一子布线掩模部和第二子布线掩模部。
第一子布线掩模部可以具有第一贯通狭缝，其用于形成与在感测单元部的一端处的感测单元连接的第一子布线部。
第二子布线掩模部可以具有第二贯通狭缝，其设置在第一子布线掩模部外侧并且用于形成不与感测单元部的感测单元连接的第二子布线部。
根据本发明的曝光掩模可以可选地还包括感测单元掩模部。感测单元掩模部可以形成在布线掩模部的一侧并且可以具有用于形成感测单元部的感测单元的通孔。
根据本发明的曝光掩模还可以包括第三贯通狭缝，其用于形成在第二子布线掩模部外侧用于噪声屏蔽的虚设布线。
在根据本发明的曝光掩模中，第二贯穿狭缝可以比第一贯穿狭缝更多。
根据本发明的触摸传感器可以重复地包括单元图案，该单元图案包括感测单元部和形成在感测单元部外侧的布线部，所述感测单元部包括感测单元组，在该感测单元组中多个感测单元电连接。
布线部可以包括第一子布线部和第二子布线部。
第一子布线部可以具有与在感测单元部的一端处的感测单元电连接的引出线。
第二子布线部可以设置在第一子布线部的外侧。第二子布线部可以具有不与感测单元部电连接的非引出线。这里，可以提供与用于构成大面积触摸传感器而重复形成的单元图案的数量减去1的数量一样多或更多的非引出线。
根据本发明的触摸传感器可以通过依次重复形成n个单元图案来构成大面积触摸传感器。这里，n可以是大于或等于2的整数。在第n单元图案的第二子布线部中，当最外面的非引出线是第一非引出线并且最里面的非引出线是第(n-1)非引出线时，第一非引出线可以通过依次穿过相邻第(n-1)单元图案到第二个单元图案的各个第二子布线部而连接至第一单元图案的第一子布线部。
在根据本发明的触摸传感器中，从第一非引出线到第(n-1)非引出线的布线可以分别电连接至从第一单元图案到第(n-1)单元图案的感测单元部。
根据本发明的触摸传感器还可以包括第三子布线部，其用于在第二子布线部外侧屏蔽噪声。
【有益效果】
根据具有这种配置的本发明的触摸传感器和曝光掩模，可以通过重复使用具有预定图案的小面积曝光掩模来对大面积触摸传感器进行图案化，该预定图案包括布线部的不对称图案以及可以利用现有的缝合方法的对称图案，因此容易形成大面积触摸传感器。
根据本发明的触摸传感器和曝光掩模，由于不需要大面积掩模来形成大面积图案，因此可以显著降低制造成本。
另外，根据本发明的触摸传感器及曝光掩模，曝光掩模可应用于印刷法、卷对卷法等，因此可被广泛利用。
附图说明
图1是示出根据本发明的组图案的触摸传感器的平面图。
图2是根据本发明的用于形成组图案的触摸传感器的曝光掩模的透视图。
图3是其中重复形成了根据本发明的多个组图案的触摸传感器的平面图。
图4是根据本发明的通过重复连接多个单元图案形成的触摸传感器的平面图。
具体实施方式
在下文中，将参考附图更详细地描述本发明的实施方式。然而，本说明书所附的以下附图示出了本发明的优选实施方式，并且与本发明的上述内容一起用于进一步理解本发明的技术精神，因此不应将本发明解释为仅限于这些附图中描述的事项。
图1是根据本发明的组图案的平面图。在图1中，感测单元部110以简化形式表示，并且在实际形式中还可包括桥接部(未示出)等。
如图1所示，根据本发明的组图案可以包括感测单元部110、布线部120等。
感测单元部110可以包括多个感测单元组。在感测单元组中，多个感测单元可以通过沿一个方向连接而彼此电连接。感测单元可以以岛的形式配置。感测单元之间的电连接可以通过与感测单元图案化来集成，或者可以使用导电桥。
感测单元部110可以由其中多个感测单元沿水平(X轴)方向布置和连接的第一感测电极和其中多个感测单元沿竖直(Y轴)方向布置并连接的第二感测电极组成。
如图1所示，感测单元部110可以包括沿水平(X轴)方向和竖直(Y轴)方向布置和连接的多个感测单元组。例如，它可以包括由沿水平(X轴)方向布置和连接的多个第一感测单元组成的第一感测单元组、由与第一感测单元组的下端间隔开并沿水平(X轴)方向布置和连接的多个第二感测单元组成的第二感测单元组和由与第而感测单元组的下端间隔开并沿水平(X轴)方向布置和连接的第三感测单元组。尽管图1中示出了三个感测单元组，但感测单元组可以有一个或多个，最大值取决于布线部中的布线数或整个触摸传感器中布线数与组图案数的比值。
感测单元部110可由透明导电氧化物构成，所述透明导电氧化物例如为：诸如氧化铟锡(ITO)、氧化铟锌(IZO)、氧化铝锌(AZO)、氧化锌(ZnOx)、氧化钛(TiO2)、氧化铝(Al2O3)等导电氧化物。此外还可以使用有氧化铟锌锡(IZTO)、氧化铟(InOx)、氧化锡(SnOx)、氧化镉锡(CTO)、掺镓氧化锌(GZO)、氧化锌锡(ZTO)、氧化铟镓(IGO)等，或者其两种或更多种的组合。
感测单元部110可以由导电金属、合金或包括金属的层叠体构成。在这种情况下，它可以是能够增加透光率的网格类型等。
布线部120将感测单元部110的感测信号传输到焊盘电极(未示出)，并且可以包括多条布线。
布线部120可以设置在感测单元部110的外围区域中。布线部120可以设置在一侧，如图1所示，也可以分开设置在两侧。当设置在两侧时，布线部120可以交替地连接至左侧和右侧沿水平(X轴)方向的端部感测单元。
布线部120可以包括第一子布线部121和第二子布线部123。
第一子布线部121可以被配置为电连接至感测单元组一端处的感测单元以从感测单元部110提取信号的引出线。第一子布线部121可以设置为邻近感测单元部110。
第二子布线部123可以设置在第一子布线部121的外侧，即远离感测单元部110的外围区域。第二子布线部123可以被配置为未电连接至感测单元部110的非引出线。第二子布线部123可以连接至第一子布线部121或沿竖直(Y-轴)方向形成的另一组图案的第二子布线部123。第二子布线部123的非引出线的数量可以与竖直布置的感测单元组的数量成比例地大于第一子布线部121的非引出线的数量。
如图1所示，布线部120可以包括在第二子布线部123之外的第三子布线部125。第三子布线部125是用于噪声屏蔽的虚设布线并且可以包括一根或多条布线。
布线部120可由导电金属形成，所述导电金属例如银(Ag)、金(Au)、铜(Cu)、铝(Al)、铂(Pt)、钯(Pd)、铬(Cr)、钛(Ti)、钨(W)、铌(Nb)、钽(Ta)、钒(V)、铁(Fe)、锰(Mn)、钴(Co)、镍(Ni)、锌(Zn)、或其合金(例如，银-钯-铜(APC))。
图2是根据本发明的用于形成组图案的曝光掩模的透视图。
如图2所示，根据本发明的曝光掩模200可以包括感测单元掩模部210、布线掩模部220等。这里，感测单元掩模部210和布线掩模部220分别表示感测单元曝光区域和布线曝光区域。
感测单元掩模部210用于形成图1所示的感测单元部110，可以在形成感测单元的区域中设置通孔等。
布线掩模部220用于通过曝光形成多条布线，并且可以与感测单元掩模部210相邻地设置。布线掩模部220可以在对应于布线的区域中包括贯通狭缝。
布线掩模部220可以包括第一子布线掩模部和第二子布线掩模部。第一子布线掩模部可以通过曝光形成第一子布线部121，第二子布线掩模部可以通过曝光形成第二子布线部123。第二子布线掩模部可以具有比第一子布线掩模部更多的贯通狭缝。
如图2所示，布线掩模部220可以包括第三子布线掩模部，用于在第二子布线部外侧形成用于屏蔽噪声的虚设布线。第三子布线掩模部可以包括一个或多个贯通狭缝。
在图2的曝光掩模中。参考图2，当感测单元和布线由诸如金属的相同材料制成时，感测单元掩模部210和布线掩模部220可以一体地形成。在感测单元和布线分别用透明氧化物和金属形成的情况下，感测单元掩模部210和布线掩模部220可以形成为单独的实体。
图3是其中重复形成了多个根据本发明的组图案的触摸传感器的平面图。
如图3所示，当组图案被相邻且重复地图案化时，具有相同图案的三个组图案P1至P3可以形成为彼此连接。三个组图案P1至P3可以彼此组合以形成大面积触摸传感器。
首先，第一组图案P1包括图1所示的感测单元部110和布线部120。在第一组图案P1中，布线部120包括第一子布线部121和第二子布线部123，第一子布线部121电连接至在感测单元部110的一端处的感测单元并用作引出布线。
第二子布线部123是不与感测单元部110的感测单元连接的非引出布线，并且可以是所有布线(区域A)不通过其传输信号的虚设布线。
第二组图案P2包括图1所示的感测单元部110和布线部120。在第二组图案P2中，布线部120包括第一子布线部121和第二子布线部123，第一子布线部121电连接至在感测单元部110的一端处的感测单元并用作引出布线。
在第二子布线部123中，一些布线(区域B)用作通过其传输信号的信号传输线，而其他布线(区域C)用作不通过其传输信号的虚设布线。
在第二子布线部123中，一些内部布线(区域B)传输信号，其一侧连接至第一组图案P1的第一子布线部121，而另一侧连接至第三组图案P3的第二子布线123。
在第二子布线部123中，一些外部布线(区域C)不执行信号传输功能，因为其一侧连接至第一组图案P1的第二子布线部123的虚设布线，而其另一侧不连接至第三组图案P3的第二子布线部123。
第三组图案P3包括图1所示的感测单元部110和布线部120。在第三组图案P3中，布线部120包括第一子布线部121和第二子布线部123，第一子布线部121电连接至在感测单元部110的一端处的感测单元并用作引出布线。
第二子布线部123用作信号传输布线，所有布线(区域D)通过其传输信号。在第二子布线部123中，一些内部布线用作信号传输线，其一侧连接至第二组图案P2的第一子布线部121。其余的外部布线传输第一组图案P1的信号，其一侧以第二组图案P2的第二子布线部123为媒介连接至第一组图案P1的第一子布线部121。
图4是根据本发明的通过重复连接多个单元图案形成的触摸传感器的平面图。
如图4所示，单元图案Q1至Qn中的每一个可以包括一个感测单元组和单独的布线部320。
感测单元部310可以包括沿水平方向连接成行的多个感测单元和沿竖直方向通过桥接部(未示出)连接的多个感测单元。
布线部320可以包括第一子布线部321和第二子布线部323。
第一子布线部321可以包括引出线，其电连接至在单元图案的感测单元组的一端处的感测单元以从感测单元部310提取信号。第一子布线部321可以被设置为最靠近感测单元部310。
第二子布线部323可以设置在第一子布线部321的外侧。第二子布线部323可以包括不与感测单元部310电连接的非引出线。第二子布线部323可以包括至少与用于构成大面积触摸传感器而重复形成的单元图案Q1至Qn的数量减1一样多的非引出线。在图4中，重复形成n个单元图案Q1至Qn以形成大面积触摸传感器。在这种情况下，第二子布线部323的非引出线的数量可以至少为n-1。
如图4所示，布线部320可以包括在第二子布线部323外侧的第三子布线部325。第三子布线部325是用于噪声屏蔽的虚设布线并且可以包括一条或多条布线。
图4的触摸传感器图举例说明了通过重复形成具有相同形状的n个单元图案Q1至Qn同时通过缝合方法将它们沿竖直方向连接来形成大面积触摸传感器。
首先，在第一单元图案Q1中，布线部320包括具有一条布线的第一子布线部321和具有n-1条布线的第二子布线部323。第一子布线部321的一条布线与在感测单元部310一端处的感测单元电连接以作为引出线，第二子布线部323的n-1条布线作为不传输信号的虚设布线。
在第二单元图案Q2中，与第一单元图案Q1一样，布线部320包括具有一条布线的第一子布线部321和具有n-1条布线的第二子布线部323。第一子布线部321的一条布线与在感测单元部310一端处的感测单元电连接以用作引出线。在第二子布线部323的布线之中，与第一子布线部321相邻的从外侧算起的第(n-1)条布线与第一单元图案Q1的第一子布线部321连接以传输信号，其余的n-2根线作为不传输信号的虚设布线。
当通过依次重复第三单元图案Q3、第四单元图案Q4等而达到第n单元图案Qn时，第一子布线部321的一条布线电连接至在感测单元部310的一端处的感测单元以用作引出线，而第二子布线部323的n-1条线可用作信号传输线，其将第一单元图案Q1的各个输出信号传输到以上描述的第(n-1)个单元图案Qn-1。这里，第二子布线部323的最外布线将第一单元图案Q1的第一子布线部321的输出信号传输到电极焊盘(未示出)。
如上所述，在根据本发明的触摸传感器中，通过缝合方法重复形成具有相同图案的小面积单元图案，从而可以容易地形成大面积触摸传感器。
已经参考附图描述了本发明的优选实施方式。然而，本发明不限于上述实施方式，并且应当理解，在不脱离本发明的本质特征的情况下，可以以修改的形式实施本发明。因此，本发明的范围由权利要求书而非前述描述限定，并且在等同范围内的所有差异均应理解为包括在本发明中。
[附图标记说明]
110，310：感测单元部 120，320：布线部
121，321：第一子布线部 123，323：第二子布线部
125，325：第三子布线部 200：曝光掩模
210：感测单元掩模部 220：布线掩模部
A，C：虚设布线区 B，D：信号传输布线区
P1，P2，P3：第一组图案-第三组图案 Q1～Qn：第一单元图案-第n单元图案。

Claims (15)

1.一种包括第一组图案的触摸传感器，所述第一组图案包括：
感测单元部，所述感测单元部包括多个感测单元组，在所述感测单元组中多个感测单元电连接；和
布线部，所述布线部形成在所述感测单元部外侧，其中所述布线部包括：
第一子布线部，所述第一子布线部具有与在所述感测单元组一端处的感测单元电连接的引出线；和
第二子布线部，所述第二子布线部设置于所述第一子布线部外侧且具有未电连接至所述感测单元部的非引出线。
2.根据权利要求1所述的触摸传感器，还包括第二组图案，所述第二组图案与所述第一组图案相邻设置并且与所述第一组图案具有相同结构，其中
所述第一组图案的所述第二子布线部的所述非引出线中的一些为信号传输线，所述信号传输线与所述第二组图案的所述第一子布线部的所述引出线连接以传输信号。
3.根据权利要求2所述的触摸传感器，其中所述第一组图案的所述第二子布线部的其他非引出线中的一些是与所述第二组图案的所述第二子布线部的所述非引出线连接但不传输信号的虚设布线。
4.根据权利要求1所述的触摸传感器，还包括第二组图案，所述第二组图案与所述第一组图案相邻设置且与所述第一组图案具有相同结构，其中
所述第一组图案的所述第二子布线部的所述非引出线为信号传输线，所述信号传输线与所述第一子布线部的引出线和所述第二组图案的所述第二子布线部的所述非引出线中的一些连接以传输信号。
5.根据权利要求1所述的触摸传感器，其中所述第二子布线部的非引出线为不传输信号的虚设布线。
6.根据权利要求5所述的触摸传感器，还包括第二组图案，所述第二组图案与所述第一组图案相邻设置并且与所述第一组图案具有相同结构，其中
所述第一组图案的所述第二子布线部的所述非引出线中的一些与所述第二组图案的所述第二子布线部的所述非引出线中的一些连接。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的触摸传感器，还包括第三子布线部，所述第三子布线部在所述第二子布线部外侧，用于屏蔽噪声。
8.一种用于触摸传感器的曝光掩模，包括布线掩模部，所述布线掩模部具有用于形成与感测单元部相邻的多条布线的贯通狭缝，其中所述布线掩模部包括：
第一子布线掩模部，所述第一子布线掩模部具有第一贯通狭缝，所述第一贯通狭缝用于形成第一子布线部，所述第一子布线部连接至在所述感测单元部的一端处的感测单元；和
第二子布线掩模部，所述第二子布线掩模部具有第二贯通狭缝，所述第二贯通狭缝设置在所述第一子布线掩模部外侧并用于形成不与所述感测单元部的感测单元连接的第二子布线部。
9.根据权利要求8所述的用于触摸传感器的曝光掩模，还包括感测单元掩模部，所述感测单元掩模部形成在所述布线掩模部的一侧并且具有用于形成所述感测单元部的感测单元的通孔。
10.根据权利要求8所述的用于触摸传感器的曝光掩模，其中所述第二贯通狭缝多于所述第一贯通狭缝。
11.根据权利要求8至10中任一项所述的用于触摸传感器的曝光掩模，还包括第三贯通狭缝，所述第三贯通狭缝用于在所述第二子布线掩模部的外侧形成用于屏蔽噪声的虚设布线。
12.一种包括单元图案的触摸传感器，包括：
感测单元部，所述感测单元部包括感测单元组，在所述感测单元组中多个感测单元电连接；和
布线部，所述布线部形成在所述感测单元部外侧，其中所述布线部包括：
第一子布线部，所述第一子布线部具有与在所述感测单元部的一端处的感测单元电连接的引出线；和
第二子布线部，所述第二子布线部设置在所述第一子布线部的外侧并且具有的不与所述感测单元部电连接的非引出线与为了形成大面积触摸传感器而重复形成的单元图案的数量减去1一样多。
13.根据权利要求12所述的触摸传感器，其中所述大面积触摸传感器通过依次重复形成n个单元图案(n为大于或等于2的整数)而形成，
在第n单元图案的所述第二子布线部中，当最外面的非引出线是第一非引出线并且最里面的非引出线是第(n-1)非引出线时，所述第一非引出线通过依次穿过相邻的第(n-1)单元图案到第二单元图案的各个第二子布线部而连接至第一单元图案的所述第一子布线部。
14.根据权利要求13所述的触摸传感器，其中从所述第一非引出线到所述第(n-1)非引出线的布线分别电连接至从第一单元图案到第(n-1)单元图案的所述感测单元部。
15.根据权利要求12至14中任一项所述的触摸传感器，还包括第三子布线部，所述第三子布线部在所述第二子布线部外侧，用于屏蔽噪声。
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