WO2020162618A1 - 検査装置、および検査方法 - Google Patents

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WO2020162618A1
WO2020162618A1 PCT/JP2020/004924 JP2020004924W WO2020162618A1 WO 2020162618 A1 WO2020162618 A1 WO 2020162618A1 JP 2020004924 W JP2020004924 W JP 2020004924W WO 2020162618 A1 WO2020162618 A1 WO 2020162618A1
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WO
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inspection
unit
positions
threshold value
ultrasonic waves
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PCT/JP2020/004924
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English (en)
French (fr)
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晃寛 奈良
誠人 寺岡
広樹 片山
笹岑　敬一郎
Original Assignee
ヤマハファインテック株式会社
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Publication date
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    • G01N29/4472—Mathematical theories or simulation

Definitions

  • FIG. 1 is a block diagram showing a configuration example of an ultrasonic inspection system 1 in the embodiment.
  • the ultrasonic inspection system 1 inspects the inspection target 40 using ultrasonic waves.
  • the ultrasonic inspection system 1 includes a display device 10, an ultrasonic inspection device 20, and a transfer device 30.
  • the peripheral edge portion which is the entire area of the peripheral edge, is the joining point.
  • the first example is whether or not there is peeling at the peripheral edge portion 41.
  • the second example is whether or not there are holes or scratches in the peripheral edge portion 41.
  • the third example is whether or not the peripheral edge portion 41 is joined in a state where no foreign matter is sandwiched.
  • the fourth example is whether or not the singular point in the peripheral edge portion 41 is at the defined position.
  • the singular point is, for example, a position where a hole, a drinking spout, a notch, a printing portion, etc. provided in the peripheral edge portion 41 are provided.
  • the operation unit 210 can be composed of a keyboard, a mouse, and the like.
  • the operation unit 210 receives an input operation of various kinds of information regarding an ultrasonic examination according to a user operation.
  • the operation unit 210 supplies various information according to the input operation to the control unit 22.
  • the signal control unit 230 may also perform signal processing such as phase detection on the acquired ultrasonic signal.
  • signal processing such as phase detection on the acquired ultrasonic signal.
  • the signal control unit 230 separates the ultrasonic waves having different phases from each other, whereby the accuracy of the determination can be improved.
  • the transmission unit 260 transmits the burst wave (ultrasonic wave) generated by the transmission control unit 240.
  • the receiving unit 280 receives the ultrasonic wave transmitted by the transmitting unit 260.
  • the reception unit 280 outputs the received reception signal to the reception processing unit 250.
  • the reception unit 280 may include an A/D conversion unit.
  • the camera 290 takes a bird's-eye view of the inspection object 40 placed on the transport device 30 and images it.
  • the camera 290 outputs the imaging result (image data) to the control unit 220.
  • the camera 290 may use either an area sensor (camera whose image pickup range is two-dimensional) or a line sensor.
  • the transmitter 260 and the receiver 280 are arranged at intervals in one direction (Z-axis direction).
  • the transmitter 260 and the receiver 280 are fixed to a base unit (not shown) in the ultrasonic inspection apparatus 20. As a result, the distance between the transmitter 260 and the receiver 280 is maintained.
  • the transmission unit 260 transmits ultrasonic waves toward the reception unit 280 from the transmission surface 261 facing the reception unit 280.
  • the receiving unit 280 receives the ultrasonic wave transmitted from the transmitting unit 260 on the receiving surface 281 facing the transmitting unit 260.
  • the conveyance direction of the inspection object 40 by the conveyance device 30 is the X-axis direction.
  • the X-axis direction is orthogonal to the arrangement direction (Z-axis direction) of the transmitter 260 and the receiver 280.
  • the end 411 of the inspection object 40 is an edge of the inspection object 40 that extends linearly when viewed from the Z-axis direction.
  • a boundary line 420 of the inspection object 40 indicates a boundary line between a joint portion and a non-joint portion.
  • the boundary line 420 is a line along the edge of the inspection object 40.
  • the positions of the end portion 411 and the boundary line 420 may be detected by image data obtained from a camera (for example, the camera 290) that looks down at the inspection object 40 and takes an image.
  • the inspection object 40 is arranged between the transmission unit 260 and the reception unit 280.
  • the ultrasonic waves transmitted by the transmission unit 260 reach the inspection target 40, and the ultrasonic waves transmitted through the inspection target 40 reach the reception unit 280 and are received.
  • the ultrasonic wave transmitted from the transmitter 260 is focused at a predetermined position.
  • the region where the ultrasonic waves are focused is the region S1 (see FIG. 2).
  • the inspection object 40 is conveyed on the XY plane passing through the area S1.
  • the invention is not limited to such a case.
  • the upper side, the right side, and the lower side of the peripheral portion 410 can be inspected. Further, after the inspection is performed at the position of the distance d1, the same packaging container 400 may be inspected at a distance different from the distance d1.
  • FIG. 4 is an overhead view showing the appearance of a packaging container 450 that is another example of the inspection object 40.
  • the packaging container 450 is arranged on the XY plane.
  • the packaging container 450 can accommodate food (fluid food, viscous food, dry matter, etc.), electronic components, stationery, and the like.
  • a hole 470 is provided at the left end of FIG. 4 of the peripheral portion 460 of the packaging container 450.
  • the hole 470 is provided in the approximate center of the peripheral edge portion 460 in the X-axis direction.
  • the hole 470 is used, for example, to hook the packaging container 450 on the hook of the display device.
  • At the peripheral portion 460 there is a printing portion 471.
  • control unit 220 includes a storage unit 221, a determination unit 222, and a threshold value calculation unit 223.
  • the control unit 220 may or may not include the edge detection unit 224.
  • the storage unit 221 stores reference data, threshold data, and determination data.
  • the storage unit 221 is a storage medium, for example, an HDD (Hard Disk Drive), a flash memory, an EEPROM (Electrically Erasable Programmable Memory), a RAM (Random Access read/write), a ROM (Random Access read/write), a ROM (Random Access read/write), or a ROM (Random Access read/write). It is configured by an arbitrary combination of storage media.
  • a non-volatile memory can be used as the storage unit 221, for example.
  • FIG. 5 shows an example of measurement data and threshold values of an inspection target object 40A (reference work, standard target object, first standard target object, second standard target object) used as a reference for obtaining a threshold value. It is a figure explaining.
  • the inspection object 40A used as a reference is the inspection object 40 that has been confirmed to satisfy the inspection standard.
  • the measurement data of the inspection object 40A is referred to as reference data (reference data).
  • the measurement data is obtained by receiving the ultrasonic waves (the first plurality of ultrasonic waves, the second plurality of ultrasonic waves, and the third plurality of ultrasonic waves) transmitted to the inspection target region of the inspection target 40. The obtained reception intensity is shown for each of a plurality of positions in the inspection area.
  • the measurement data obtained from the inspection object 40A can be used as reference data.
  • a work that is not used as a reference in the inspection object 40 is an inspection object 40B (inspection work).
  • the measurement data obtained from the inspection object 40B can be used for determining whether the inspection object 40B satisfies the standard.
  • the specifications of the inspection object 40A and the inspection object 40B are the same.
  • the plurality of positions of the inspection target area may be different positions in the inspection target area.
  • the plurality of positions of the inspection target area may be different positions along the inspection direction within the inspection target area.
  • the plurality of positions may be arranged in the inspection target area of the inspection target 40A and in the direction in which the transmission unit 260 relatively moves with respect to the inspection target 40A.
  • the plurality of positions may be linearly arranged.
  • the reference data is written in the storage unit 221 by the control unit 220 based on the measurement data obtained from the signal control unit 230.
  • the horizontal axis of FIG. 5 represents the measurement time, and the vertical axis represents the reception intensity.
  • the measurement time represents the elapsed time from the start of measurement of the inspection object 40A to the end of measurement.
  • the reception intensity represents the signal intensity when the receiving unit 280 directly receives the ultrasonic wave emitted from the transmitting unit 260 or receives the ultrasonic wave through the inspection object 40A.
  • the inspection object 40A is not present between the reception unit 280 and the transmission unit 260, so the ultrasonic waves are not blocked by the inspection object 40A and the reception intensity is high.
  • the reception intensity decreases (time t1).
  • the reception intensity increases again (time t2). Therefore, the period from the time t1 to the time t2 is the section in which the inspection object 40A is being measured, and the positions p1 and p2 on the inspection object 40A corresponding to the times t1 and t2 are at both ends of the inspection object 40A ( The start position and the end position of the inspection).
  • the measurement position from the position p1 to p2 of the inspection object 40A is obtained from the speed of the transport device 30 and the measurement time.
  • the inspection object 40A when the inspection object 40A is conveyed at a speed of 1000 mm/sec in an inspection device that measures an ultrasonic reception signal every 1 millisecond, the reception signals are received at a plurality of 1 mm intervals on the inspection object 40A. To be measured. In this way, the measurement result obtained at each of different positions along the inspection direction can be used as reference data.
  • the transport device 30 moves at a constant speed, the horizontal axis indicates the time axis and the measurement position. In the following embodiments, it is assumed that the transport speed is constant and the horizontal axis is the measurement position.
  • the threshold value calculation unit 223 sets a threshold value that can be used for determining whether or not the inspection target object satisfies the standard for a plurality of positions in the inspection target region. Ask. For example, the threshold value calculation unit 223 obtains the first threshold value 510, the second threshold value 520, and the third threshold value 530. (About the first threshold) The threshold value calculation unit 223 obtains a threshold value for specifying an inspection section when inspecting the inspection object 40 based on the reference data 500.
  • the inspection section is a time section from when the inspection object 40 conveyed by the conveyance device 30 reaches the area S1 to when it passes through the area S1.
  • the signal in this inspection section is used to make a determination in the determination operation described below.
  • the section in which the reception intensity is less than the first threshold value 510 corresponds to the inspection section Sa.
  • the inspection section Sa is a section from the start position p1 to the end position p2.
  • the signal within the inspection section Sa is treated as measurement data from the inspection start position p1 to the inspection end position p2 of the inspection object 40.
  • the threshold calculation unit 223 obtains at least one of the second threshold 520 and the third threshold 530.
  • the second threshold value 520 indicates an upper limit threshold value used for inspection determination.
  • the third threshold value 530 represents a lower limit threshold value. That is, in the inspection of the inspection object 40, when the reception intensity is between the third threshold value and the second threshold value, it is determined that the inspection object 40 satisfies the standard.
  • the threshold value calculation unit 223 obtains the second threshold value 520 and the third threshold value 530 based on the reference data 500 included in the inspection section Sa among the reference data 500.
  • the threshold calculation unit 223 first obtains the average value of the reception intensity of the inspection section Sa. Then, the threshold value calculation unit 223 adds (adds or subtracts) a margin (expected variation width) with the average value as a reference, and determines the reception intensity having a value larger than the average value as the second threshold. The value 520 is obtained, and the reception strength having a value smaller than the average value is obtained as the third threshold value 530.
  • the second threshold value 520 and the third threshold value 530 may be obtained by adding a margin to the median value of the reception intensity of the inspection section Sa.
  • the second threshold value 520 and the third threshold value 530 may be obtained by selecting one of the reception intensities included in the inspection section Sa and adding a margin to the selected reception intensity.
  • a standard deviation value or a value obtained by multiplying the standard deviation value by a variable may be used.
  • a margin may be a specified value according to the material and thickness of the inspection object 40.
  • an average waveform may be used instead of the average value of the reception intensity.
  • the average waveform is a waveform obtained by averaging the waveforms represented by the plurality of reference data obtained by measuring the plurality of inspection objects 40A satisfying the inspection standard. In the example of FIG.
  • the control unit 220 acquires the reference data 500 output from the signal control unit 230 via the reception unit 280, the reception processing unit 250, and the signal control unit 230 (step S102).
  • the control unit 220 stores the acquired reference data in the storage unit 221 (step S103).
  • the control unit 220 obtains the first threshold value 510 based on the reference data (step S104).
  • the control unit 220 obtains the second threshold value 520 (step S105) and obtains the third threshold value 530 (step S106).
  • the control unit 220 stores each of the obtained threshold values in the storage unit 221 (step S107).
  • the control unit 220 determines whether or not there is measurement data having the second threshold value 520 or more for each of the measurement positions belonging to the inspection section (step S206). When there is measurement data having the second threshold value 520 or more, the control unit 220 determines that the inspection target 40B does not satisfy the inspection standard (step S210). Next, when there is no measurement data that is greater than or equal to the second threshold value 520, the control unit 220 determines whether there is measurement data that is less than the third threshold value 530 for each measurement position that belongs to the inspection section. It is determined whether or not (step S207). When there is measurement data that is less than the third threshold value 530, the control unit 220 determines that the inspection target 40B does not satisfy the inspection standard (step S210).
  • the control unit 220 determines that the inspection target 40B satisfies the inspection standard (step S208). Then, the control unit 220 associates the measurement data with the determination result and stores them in the storage unit 221 (step S209). By storing the measurement data and the determination result in association with each other in the storage unit 221, the inspection history can be saved.
  • the inspection object 40B that is determined to satisfy the inspection standard is determined to be a non-defective product if the inspection target 40B is determined to satisfy the inspection standard performed in the subsequent stage.
  • the determination unit 222 determines whether the measurement data is greater than or equal to the threshold value or less than the threshold value.
  • the determination unit 222 reads the threshold value from the storage unit 221.
  • the determination unit 222 compares the measurement data obtained from the inspection object 40B with a threshold value and determines the magnitude relationship with the threshold value.
  • the determination of the magnitude relation does not only mean performing both the determination as to whether it is large and the determination as to whether it is small. In the determination of the magnitude relationship, only the determination as to whether it is large or only the determination as to whether it is small may be performed.
  • the determination as to whether it is large may be a determination as to whether it is greater than or equal to a threshold value, or may be a determination as to whether or not the threshold value is exceeded. Further, the determination as to whether it is small may be a determination as to whether it is less than or equal to the threshold value, or may be a determination as to whether it is less than the threshold value.
  • the number of threshold values used for determination at one measurement position may be one or plural. When using a plurality of threshold values, for example, the first threshold value 510, the second threshold value 520, and the third threshold value 530 can be used. When using one threshold value, any one of the first threshold value 510, the second threshold value 520, and the third threshold value 530 may be used.
  • FIG. 8A is a diagram illustrating measurement data of the inspection object 40B that is determined to satisfy the inspection standard.
  • the horizontal axis represents the measurement position and the vertical axis represents the reception intensity.
  • the reception intensity indicated by the measurement data 600 is between the second threshold value 520 and the third threshold value 530 at any measurement position in the inspection section (section between the start position p1 and the end position p2). It is the value of the reception intensity.
  • the determination unit 222 determines that the inspection object 40B for which the measurement data 600 has been obtained satisfies the inspection standard.
  • FIG. 8B is a diagram illustrating measurement data of the inspection object 40B that is determined not to satisfy the inspection standard.
  • the horizontal axis represents the measurement position and the vertical axis represents the reception intensity.
  • the reception intensity of the measurement data 610 is a value less than the third threshold value 530 for the measurement data 611 at the position p11 in the inspection section (section between the start position p1 and the end position p2).
  • the measurement data 612 at the position p12 is a value equal to or greater than the second threshold value 520. Therefore, the determination unit 222 determines that the inspection standard is not satisfied for the inspection object 40B from which the measurement data 610 is obtained.
  • the ultrasonic inspection apparatus 20 is an inspection that inspects the inspection object arranged between the ultrasonic wave transmitting unit and the ultrasonic wave receiving unit based on the ultrasonic wave reception intensity measured by the receiving unit.
  • the device is a device for acquiring reception intensity measured at a plurality of positions of a reference work, which is one of the inspection objects, as reference data, and based on the reference data, a threshold of the reception intensity for a plurality of positions is obtained.
  • a calculation unit a storage unit that stores a threshold value and a value that represents a plurality of positions in association with each other, measurement data that represents the reception intensity at a plurality of positions of the inspection object, and a magnitude relationship between the threshold value.
  • a determination unit for determining.
  • the threshold value calculation unit 223 determines the threshold value using the reference data, so that the threshold value can be easily obtained. Also, there is little effort in obtaining the threshold value. Further, the threshold value can be easily obtained even if the operator is not a skilled worker.
  • ultrasonic waves are emitted between the transmission unit 260 and the reception unit 280 while passing the inspection object 40, so that the inspection of the inspection object 40 can be performed without contact. It can be carried out.
  • FIG. 9A and FIG. 9B are views for explaining measurement data when the inspection target area includes a hole and a drinking spout.
  • 9A shows reference data 700 which is the measurement data of the inspection object 40A used as a reference
  • FIG. 9B shows the measurement data 800 of the inspection object 40B whose determination is to be satisfied.
  • 9A and 9B the horizontal axis represents the measurement position and the vertical axis represents the reception intensity.
  • the inspection section (the section from the start position p1 to the end position p2) is determined based on the first threshold value 511 (or the first threshold value 511 and the length of the inspection section).
  • a certain section from the start position p1 may be set as the inspection section.
  • the inspection section includes a section ps1 and a section ps2.
  • the reception intensity of the reference data 700 corresponding to the section ps1 is larger than that at other measurement positions.
  • the reception intensity of the reference data 700 corresponding to the section ps2 is smaller than that at other measurement positions.
  • the section ps1 corresponds to the position where there is a hole.
  • the ultrasonic waves transmitted from the transmission unit 260 directly reach the reception unit 280 without passing through the sheet member. Therefore, the reception intensity in the section ps1 shows a large value.
  • the section ps2 corresponds to the position where the drinking spout is located.
  • the ultrasonic wave transmitted from the transmitting unit 260 not only penetrates the sheet member, but also the members forming the drinking mouth, and then the receiving unit. Reach 280. Therefore, the reception intensity in the section ps2 shows a value smaller than that of the peripheral portion of the portion having no drinking mouth.
  • the threshold value calculation unit 223 sets the threshold value according to the inspection object 40 having at least one of a hole, a drinking spout, a notch, and a printing unit on the peripheral portion. ..
  • the reference data 700 represents the reception result of receiving ultrasonic waves with respect to the inspection object 40A having a hole and a mouthpiece provided in the peripheral portion.
  • the threshold value calculation unit 223 obtains a threshold value based on the reference data 700.
  • the threshold value calculation unit 223 obtains the second threshold value 521 and the third threshold value 531 by adding a margin to the reference data 700 belonging to the inspection section with reference to the reception intensity at each measurement position.
  • the second threshold value 521 and the third threshold value 531 are obtained for each measurement position in the section from the start position p1 to the end position p2.
  • the second threshold value 521 and the third threshold value 531 in the section ps1 are larger than the second threshold value 521 and the third threshold value 531 at the measurement positions before and after the section ps1, respectively. The reason is that, in the section ps1, the ultrasonic wave does not pass through the peripheral portion, but passes through the hole and is directly received by the receiving unit 280.
  • the second threshold value 521 and the third threshold value 531 have values corresponding to the shape and thickness of the inspection object 40A.
  • the second threshold value 521 and the third threshold value 531 in the section ps2 are smaller than the second threshold value 521 and the third threshold value 531 at the measurement positions before and after the section ps2, respectively. This is because in the section ps2, ultrasonic waves penetrate the sheet member and the mouthpiece.
  • the determination unit 222 can determine that this inspection object 40B satisfies the inspection standard.
  • the margin of the second threshold value 521 with respect to the reference data 700 changes according to the measurement position, but is not limited to such an example.
  • the margin of the second threshold value 521 with respect to the reference data 700 may be constant regardless of the measurement position.
  • the margin of the third threshold value 531 with respect to the reference data 700 changes according to the measurement position, but is not limited to such an example.
  • the margin of the third threshold value 531 with respect to the reference data 700 may be constant regardless of the measurement position.
  • the reception intensity of the measurement data 800 in the sections ps5 and ps6 is a value less than the third threshold value 531.
  • the section ps5 is a section corresponding to the position with the hole, the reception intensity in the section ps5 is less than the third threshold value 531.
  • the holes are not normally formed in this section ps5. For example, it is conceivable that when a hole is formed by punching or the like, a part to be punched out remains. In such a case, the determination unit 222 determines that this inspection object 40B does not satisfy the inspection standard. Further, since the section ps6 corresponds to the position of the drinking mouth, the reception intensity in the section ps6 decreases.
  • the determination unit 222 determines that the inspection object 40B does not satisfy the inspection standard.
  • FIG. 10 is a figure explaining the measurement data when the distance between the start position p1 and the end position p2 is measured shorter than the normal time about the test object 40B of the same kind as FIG. 9A.
  • the horizontal axis represents the measurement position and the vertical axis represents the reception intensity.
  • the waveform shape is shortened in the horizontal axis direction as shown in the measurement data 810.
  • the reason why the distance between the start position p1 and the end position p2 becomes shorter than in the normal time is, for example, that the actual transport speed of the transport device 30 is faster than the speed corresponding to the speed command value.
  • the determination unit 222 sets the measurement positions as a whole so that the interval between the start position p1 and the end position p2 matches the interval (distance) between the start position p1 and the end position p2 in the normal time. Correct so that it stretches.
  • the inspection can be performed using the threshold value stored in the storage unit 221.
  • the determination unit 222 reduces the measurement position as a whole so that the interval between the start position p1 and the end position p2 matches the interval between the start position p1 and the end position p2 in the normal time. Correct to.
  • the determination unit 222 sets the entire measurement position so that the interval (distance) between the start position p1 and the end position p2 matches the interval between the start position p1 and the end position p2 in the reference data. Correct so that it stretches. Thereby, the inspection can be performed using the threshold value stored in the storage unit 221.
  • FIG. 11 is a figure explaining the measurement data at the time of inspecting the test
  • the horizontal axis represents the measurement position and the vertical axis represents the reception intensity.
  • the upper graph of FIG. 11 represents the measurement data 820 when it is determined that the inspection object 40B satisfies the inspection standard.
  • the measurement data 830 of the inspection object 40B provided at the position where the position of the hole is out of the specified range.
  • the measurement position ps10 having the peak of the reception intensity is closer to the end position p2 than the measurement position (peak position) ps9 of the measurement data 820. That is, it is shown that the position of the hole in the peripheral portion of the inspection object 40B in the lower graph of FIG. 11 is located farther from the start position p1.
  • the intensity of the received signal corresponding to the measurement position ps9 of the measurement data 820 is almost the same as the measurement position ps10 of the measurement data 830.
  • the measurement data 830 at the measurement position ps9 is below the third threshold value 531 and the measurement data 830 at the measurement position ps10 is above the second threshold value 521. Therefore, the determination unit 222 determines that the inspection standard is not satisfied.
  • the determination unit 222 divides the measurement data 830 into a plurality of sections based on the measurement position, and sets the measurement position of the measurement data 830 for the divided section (division section) to the inspection direction (start position p1 direction or end). The position p2).
  • the determination unit 222 compares the measurement data 830 obtained by moving the measurement position in this way with each threshold value.
  • the determination unit 222 compares the measurement data 830 corresponding to the measurement position (predetermined position) included in the divided section with the threshold values 521 and 531 corresponding to the position deviated from the measurement position in the inspection direction.
  • the divided section including the measurement position ps10 is moved in the direction of the start position p1 by the distance d3.
  • the determination unit 222 determines When the divided section is moved, it is determined that the inspection standard is satisfied, and information indicating the determination result is stored.
  • the edge can be detected using the image data obtained from the camera 290, the edge can be detected without providing the transport device 30 with a sensor such as an encoder. Further, even if there is a change in the transport speed, the threshold value can be determined after correcting the start position of the measurement data.
  • a transmission sensor may be provided instead of the camera 290 and the detection result of the transmission sensor may be used to detect the edge of the inspection object 40.
  • the start position can be corrected. Therefore, if the measurement data has a value that does not satisfy the inspection standard, it is possible to specify the measurement position where the value that does not satisfy the inspection standard exists with the corrected start position as a reference. As a result, it is possible to accurately grasp at which position there is a possibility of malfunction.
  • the ultrasonic inspection apparatus 20 has been described with respect to the case where the inspection target 40 is moved relative to the transmitter 260 and the receiver 280 for inspection.
  • a plurality of sets of transmitters and receivers may be arranged in the inspection direction, and measurement may be performed at a plurality of measurement positions while the inspection object 40 is not relatively moved.
  • the transfer device 30 has described the case where the inspection target 40 is placed on the belt conveyor in a horizontal state and transferred.
  • the transport device 30 may grip a part of the inspection target 40 and transport the inspection target 40 in a vertically standing state.
  • the transmitting unit 260 and the receiving unit 280 are arranged so that ultrasonic waves can be emitted and received from the vertical direction of the peripheral edge of the inspection object 40.
  • the function of obtaining the threshold value may be installed in a device different from the ultrasonic inspection device 20.
  • the storage unit 221 and the threshold value calculation unit 223 may be configured as a threshold value calculation device, and may be configured as a device in a housing different from the ultrasonic inspection device 20.
  • the threshold value calculation device may include the edge detection unit 224.
  • the control unit 220 in the above embodiment may be realized by a computer.
  • the program for realizing this function may be recorded in a computer-readable recording medium, and the program recorded in this recording medium may be read by a computer system and executed.
  • the “computer system” mentioned here includes an OS and hardware such as peripheral devices.
  • the “computer-readable recording medium” refers to a portable medium such as a flexible disk, a magneto-optical disk, a ROM, a CD-ROM, or a storage device such as a hard disk built in a computer system.
  • the "computer-readable recording medium” means to hold a program dynamically for a short time like a communication line when transmitting the program through a network such as the Internet or a communication line such as a telephone line.
  • a volatile memory inside a computer system that serves as a server or a client in that case may hold a program for a certain period of time.
  • the program may be for realizing a part of the above-mentioned functions, or may be a program for realizing the above-mentioned functions in combination with a program already recorded in a computer system, It may be realized using a programmable logic device such as FPGA (Field Programmable Gate Array).
  • the present invention may be applied to an inspection device and an inspection method.
  • Ultrasonic inspection system 20 Ultrasonic inspection device 220. Control part 221, Storage part 222... Judgment part 223... Threshold value calculation part 224... Edge detection part 260... Transmission part 280... Reception part 290... Camera 40... Inspection Object 41... peripheral part

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Abstract

検査装置は、超音波を、第１の標準対象物の互いに異なる複数の位置に照射する送信部と、前記送信部によって照射されるとともに前記複数の位置をそれぞれ透過した第１の複数の超音波を受信する受信部と、前記第１の複数の超音波それぞれの受信強度に基づいて、前記複数の位置それぞれに対応する複数のしきい値を求める演算部と、互いに対応付けられた状態で前記複数のしきい値と前記複数の位置を表す値とを記憶する記憶部と、を有する。

Description

検査装置、および検査方法
　本発明は、例えばシート部材を接合して形成された包装容器における接合箇所の剥離の有無を検査する検査装置、および検査方法に関する。
　この出願は、２０１９年２月８日に出願された日本国特願２０１９－０２２０８０を基礎とする優先権を主張し、その開示の全てをここに取り込む。
　内容物を収容する包装容器がある。内容物は、例えば、レトル卜食品、飲料水や、電子機器等である。このような包装容器は、内容物を密閉状態で収容することが求められる。
　包装容器は、シー卜部材(フィルム部材も含む)の周縁が溶着、接着などされることで、開口部が接合されて密閉状態となる。
　接合された箇所に剥離等が生じて接合が不十分であると、密閉状態を維持できない可能性がある。そのため、接合状態が基準を満たしているか否かの検査が行われる。
　この検査を行う装置として、例えば超音波検査装置がある。超音波検査装置は、検査対象である包装容器（ワーク）に超音波を送信し、包装容器を透過した超音波を受信して解析する。超音波検査装置は、この解析結果を得ることで、接合箇所に剥離等があるか否かを判定する。
　このような判定は、受信した超音波の測定データと、しきい値とを比較することで行われる。しきい値は、一般に、検査を行う前に定められている。
　超音波検査装置の一例としては、特許文献１に記載された超音波検査装置がある。
米国特許第６９２０７９３号明細書
　しきい値は、作業員の経験等に基づいて決定されていた。しかし、包装容器の素材、厚さ、形状などに応じて超音波の透過状況が異なるため、検査対象に適したしきい値を決定するには、熟練を要する。
　本発明は、このような事情に鑑みてなされた。本発明の目的の例は、しきい値を簡単に設定することができる検査装置、および検査方法を提供することにある。
　本発明の一態様にかかる検査装置は、超音波を、第１の標準対象物の互いに異なる複数の位置に照射する送信部と、前記送信部によって照射されるとともに前記複数の位置をそれぞれ透過した第１の複数の超音波を受信する受信部と、前記第１の複数の超音波それぞれの受信強度に基づいて、前記複数の位置それぞれに対応する複数のしきい値を求める演算部と、互いに対応付けられた状態で前記複数のしきい値と前記複数の位置を表す値とを記憶する記憶部と、を有する。
　本発明の一態様にかかる検査方法は、標準対象物の互いに異なる複数の位置をそれぞれ透過した複数の超音波を受信し、前記複数の超音波それぞれの受信強度に基づいて、前記複数の位置それぞれに対応する複数のしきい値を求め、互いに対応付けられた状態で前記複数のしきい値と前記複数の位置を表す値とを記憶部に記憶する、ことを含む。
　この発明の実施形態によれば、検査の基準を満たす検査対象物を検査した際の受信強度を用いることで、検査に用いられるしきい値を簡単に設定することができる。
実施形態における超音波検査システム１の構成例を示すブロック図である。 送信部２６０と受信部２８０と検査対象物４０との位置関係について説明する図である。 検査対象物４０の一例である検査対象物４００の外観を示す俯瞰図である。 検査対象物４０の他の一例である包装容器４５０の外観を示す俯瞰図である。 リファレンスデータとしきい値データの一例を説明する図である。 超音波検査装置２０がしきい値を求める動作を説明するフローチャートである。 超音波検査装置２０の判定動作を説明するフローチャートである。 検査基準を満たすと判定された検査対象物４０Ｂの測定データを説明する図である。 検査基準を満たさないと判定された検査対象物４０Ｂの測定データを説明する図である。 検査対象領域に穴と飲み口が含まれる場合の測定データを説明する図である。 検査対象領域に穴と飲み口が含まれる場合の測定データを説明する図である。 開始位置ｐ１と終了位置ｐ２との間が、通常時に比べて短い場合について説明する図である。 周縁部に設けられる穴等の位置が規定の位置とは異なる位置に配置された検査対象物を検査する場合について説明する図である。
　以下、本発明の実施の形態の１つについて詳細に説明する。なお、以下の実施の形態は、本発明を説明するための例示であり、本発明をその実施の形態のみに限定する趣旨ではない。また、本発明は、その要旨を逸脱しない限り、さまざまな変形が可能である。さらに、当業者であれば、以下に述べる各要素を均等なものに置換した実施の形態を採用することが可能であり、かかる実施の形態も本発明の範囲に含まれる。
（実施形態）
　図１は、実施形態における超音波検査システム１の構成例を示すブロック図である。超音波検査システム１は、超音波を用いて検査対象物４０を検査する。図１に示す例において、超音波検査システム１は、表示装置１０、超音波検査装置２０及び搬送装置３０を備える。
　表示装置１０は、超音波検査装置２０に接続される。表示装置１０は、超音波検査装置２０から出力される各種情報を表示する。表示装置１０として、例えば、液晶表示装置を用いることができる。
　超音波検査装置２０は、表示装置１０に接続される。超音波検査装置２０は、検査対象物４０に対して照射された超音波を受信し、受信結果に基づいて、検査対象物４０の検査を行う。
　搬送装置３０は、検査対象物４０を搬送する。
　搬送装置３０は、例えば、ベルトコンベヤである。搬送装置３０のベルト３２には、検査対象物４０が載置される。搬送装置３０では、ローラ３１（ローラ３１ａ、３１ｂ）を回転させる。これにより搬送装置３０は、検査対象物４０を検査方向に沿って搬送し、送信部２６０と受信部２８０との間にある所定の検査位置を通過させる。ローラ３１の回転は、例えば、超音波検査装置２０の駆動制御部（不図示）から出力される制御指令値により制御される。搬送装置３０に対して検査対象物４０が載置された位置は、位置補正機構によって補正されてもよい。位置補正機構は、超音波検査装置２０に対する検査対象物４０の位置が所定の位置となるように補正あるいは位置決めするガイドであってもよい。
　検査対象物４０は、超音波検査装置２０によって検査される。検査対象物４０上の領域であって、検査が行われる対象となる部分を、検査対象領域という。例えば、検査対象物４０の第１シート部材４０ａの周縁の全体と検査対象物４０の第２シート部材４０ｂの周縁の全体とが互いに接合（シール）されている。検査対象物４０は、内周側に内容物を収容する空間を有する包装容器である。第１シート部材４０ａと第２シート部材４０ｂは、いずれも可撓性がある。
　検査対象物４０において、検査対象領域は、接合箇所である。接合箇所は、包装容器を構成する二つのシート部材が接合されるべき箇所である。検査対象物４０では、周縁の全体にわたる領域である周縁部が、接合箇所である。
　検査項目の具体例について説明する。第１の例は、周縁部４１において、剥離があるか否かである。第２の例は、周縁部４１において、孔、傷があるか否かである。第３の例は、周縁部４１において、異物を挟まない状態で接合されているか否かである。第４の例は、周縁部４１における特異点が規定された位置にあるか否かである。特異点とは、例えば、周縁部４１に設けられる穴、飲み口、ノッチ、印字部等が設けられる位置である。
〈超音波検査装置２０の構成〉
　超音波検査装置２０は、例えば、操作部２１０、制御部２２０、信号制御部２３０、送信制御部２４０、受信処理部２５０、送信部２６０、受信部２８０、及びカメラ（撮像装置）２９０を備える。
　超音波検査装置２０は、少なくとも一部にコンピュータを含む。このコンピュータは、ＣＰＵ（Central Processing Unit）等のプロセッサと、プロセッサが実行するプログラムを格納するプログラムメモリとを備える。超音波検査装置２０において、各機能部（操作部２１０、制御部２２０、信号制御部２３０、送信制御部２４０、受信処理部２５０、送信部２６０、及び受信部２８０）は、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）などのプロセッサがプログラムメモリに格納されたプログラムを実行することにより実現される。また、これら各機能部のうち一部または全部は、ＬＳＩ（Large Scale Integration）、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）、またはＦＰＧＡ（Field-Programmable Gate Array）などのハードウェアにより実現されてもよい。
　操作部２１０は、キーボード、マウスなどで構成することが可能である。操作部２１０は、利用者の操作に応じて、超音波検査に関する各種情報の入力操作を受け付ける。操作部２１０は、入力操作に応じた各種情報を制御部２２に供給する。
　制御部２２０は、超音波検査装置２０の各部を制御する。制御部２２０は、例えば、操作部２１０から入力された各種情報、及び、後述する信号制御部２３０から得られる解析結果（例えば測定データ）や、判定部２２２によって判定された異状の有無等を示す結果を、表示装置１０に出力する。表示装置１０に出力される情報は、超音波検査に関する情報であり、例えば検査対象物４０に関する情報、送信する超音波の波長や強度、検査対象物４０を搬送する速度、受信された超音波の解析結果、及び剥離の有無を判定した判定結果等の情報である。
　また、制御部２２０は、検査対象領域に超音波を照射することができるように、送信部２６０及び受信部２８０を制御するとともに、送信部２６０及び受信部２８０に対する、検査対象物４０の位置を制御する。この実施形態において検査対象領域は、検査対象物４０における周縁部４１のうち、少なくとも一部の領域であればよい。
　信号制御部２３０は、送信する超音波を制御するための信号を生成する。送信する超音波は、例えば、バースト波である。信号制御部２３０は、送信する超音波の送信タイミングと強度に応じたバースト信号を生成する。信号制御部２３は、生成した信号を送信制御部２４０に出力する。
　また、信号制御部２３０は、受信部２８０により受信された超音波の信号（受信信号）を、受信処理部２５０を介して取得する。信号制御部２３０は、取得した超音波の信号の強度や位相を解析し、解析結果（例えば測定データ）を制御部２２０に出力する。
　信号制御部２３０は、取得した超音波の信号の強度や位相を解析する場合に、所定の時間区間の信号を抽出し、抽出した信号を用いて強度や位相を解析するようにしてよい。超音波の状態が時系列にみて変化する場合、精度よく解析することができる時間区間の超音波を用いることで、判定の精度を向上させることが可能である。例えば、信号制御部２３０は、受信部２８０に受信された超音波のうち、受信が検出されてから所定の時間区間（例えば、送信された超音波の１波長に相当する時間区間）の超音波に相当する信号を抽出して波長や強度を解析する。
　また、信号制御部２３０は、取得した超音波の信号に対して位相検波などの信号処理を行ってもよい。超音波に、互いに位相が異なる超音波が混在している場合、信号制御部２３０が位相が異なる超音波を互いに分離することで、判定の精度を向上させることが可能である。
　送信制御部２４０は、信号制御部２３０からのバースト信号に応じて、発振器（不図示）から出力される所定の周波数のバースト波を生成する。送信制御部２４０は、生成したバースト波を送信部２６０に出力する。
　受信処理部２５０は、受信部２８０により受信された受信信号を取得し、取得した受信信号を解析し易くするための処理を行う。例えば、受信処理部２５０は、取得した受信信号の振幅をアンプにより増幅させる。また、受信処理部２５０は、取得した超音波から、送信した超音波の波長とは異なる波長をフィルタにより除去するようにしてもよい。
　送信部２６０は、送信制御部２４０により生成されたバースト波（超音波）を送信する。
　受信部２８０は、送信部２６０により送信された超音波を受信する。受信部２８０は、受信した受信信号を受信処理部２５０に出力する。受信部２８０は、Ａ／Ｄ変換部を含んでもよい。
　カメラ２９０は、搬送装置３０に載置された検査対象物４０を俯瞰して撮像する。カメラ２９０は、撮像結果（画像データ）を制御部２２０に出力する。このカメラ２９０は、エリアセンサ（撮像範囲が二次元であるカメラ）またはラインセンサのいずれかを用いるようにしてもよい。
（超音波検査装置２０と検査対象物４０との位置関係）
　ここで、送信部２６０と受信部２８０と検査対象物４０との位置関係について、図２を参照して説明する。
　図２に示すように、送信部２６０及び受信部２８０は、一方向（Ｚ軸方向）に間隔をあけて配列される。送信部２６０及び受信部２８０は、超音波検査装置２０におけるベース部（不図示）に固定される。これにより、送信部２６０と受信部２８０との間隔が保持される。送信部２６０は、受信部２８０に対向する送信面２６１から、超音波を受信部２８０に向けて送信する。受信部２８０は、送信部２６０に対向する受信面２８１において、送信部２６０から送信された超音波を受信する。
　図２において、搬送装置３０による検査対象物４０の搬送方向はＸ軸方向である。Ｘ軸方向は、送信部２６０及び受信部２８０の配列方向（Ｚ軸方向）に対して直交する。
　検査対象物４０の端部４１１は、Ｚ軸方向から見て線状に延びる、検査対象物４０の縁である。検査対象物４０の境界線４２０は、接合箇所と非接合箇所との境界線を示す。この境界線４２０は、検査対象物４０の縁に沿う線である。
　端部４１１及び境界線４２０の位置は、検査対象物４０を俯瞰して撮像するカメラ（例えば、カメラ２９０）から得られる画像データによって検出されてもよい。
　検査対象物４０は、送信部２６０と受信部２８０との間に配置される。送信部２６０により送信された超音波は、検査対象物４０に到達し、検査対象物４０を透過した超音波が受信部２８０に到達して受信される。送信部２６０から送信された超音波は、所定の位置でフォーカスされる。超音波のフォーカスされる領域が領域Ｓ１である（図２参照）。検査対象物４０は、領域Ｓ１を通るＸＹ平面上を搬送される。
　図３は、検査対象物４０の一例である包装容器４００の外観を示す俯瞰図である。図３の例は、包装容器４００は、ＸＹ平面上に配置されている。
　包装容器４００は、飲料または液体状の食品を収容可能である。包装容器４００の周縁部４１０のうち、図３の左側端部には、飲み口４２３が設けられている。飲み口４２３は、Ｘ軸方向において周縁部４１０の略中央に設けられる。Ｙ軸方向から見た飲み口４２３の形状は、略円形である。この飲み口４２３は、包装容器４００の内部と外部との間で流通可能な経路である。飲み口４２３には、蓋４２５が取り付けられている。この蓋４２５が取り外されると、飲み口４２３の端部が露出し、包装容器４００に収容された飲料等を飲むことが可能となる。
　領域Ｓ１は、ＸＹ平面上における超音波の照射領域を示す。領域Ｓ１のＹ軸方向における位置は、図３において、包装容器４００の左側端部から右に距離ｄ１だけ離れた位置である。距離ｄ１は、検査を行いたい領域（検査対象領域）に超音波が照射されるように、周縁部４１０の幅以下に設定される。距離ｄ１は、検査目的や検査項目に応じて定められる。図３の例において、包装容器４００の左側の接合箇所を検査する場合、検査対象領域は、検査方向４３０（Ｘ軸方向）に沿った帯状の領域である。
　包装容器４００は、搬送装置３０によって搬送されることで、超音波検査装置２０に対してＸ軸方向に相対的に移動する。すると、超音波は、周縁部４１０に対して、検査方向４３０（Ｘ軸に沿う方向）に沿って照射される。受信部２８０は、この超音波を受信する。この受信信号に基づいて、検査方向４３０に沿った周縁部４１０の各位置について検査を行うことが可能である。この場合、検査は、周縁部４１０と飲み口４２３とを対象として行われる。
　周縁部４１０のうち左側の接合箇所を対象として検査する場合について説明したが、このような場合に限定されない。周縁部４１０のうち、上側、右側、下側を対象として検査することも可能である。
　また、距離ｄ１の位置において検査を行ったのち、同じ包装容器４００について、距離ｄ１とは異なる距離において検査を行うこともある。
　図４は、検査対象物４０の他の一例である包装容器４５０の外観を示す俯瞰図である。図４の例では、包装容器４５０は、ＸＹ平面上に配置されている。
　包装容器４５０は、食品（流動性のある食品、粘性のある食品、または乾物等）、電子部品、文房具等を収容可能である。包装容器４５０の周縁部４６０のうち、図４の左側端部には、穴４７０が設けられている。この穴４７０は、Ｘ軸方向において周縁部４６０の略中央に設けられる。穴４７０は、例えば、包装容器４５０を陳列器具のフックに引っかけるために用いられる。
　周縁部４６０において、印字部４７１がある。印字部４７１は、周縁部４６０にレーザープリンター、またはホットプリンター等で文字列が印字される部位である。印字部４７１に印字されると、その印字部４７１のＺ軸方向における厚みは、周辺の周縁部４６０の厚みとは異なる。例えば、レーザープリンターによって刻印された場合の印字部４７１の厚みは、周囲の周縁部４６０の厚みよりも薄い。ホットプリンターによって刻印された場合の印字部４７１の厚みは、周囲の周縁部４６０の厚みよりも、印字テープの分だけ厚い。印字部４７１に印字される文字列は、製造ロットや製造ライン等を表す。
　図４において、領域Ｓ１のＹ軸方向における位置は、包装容器４５０の左側端部から右に距離ｄ２だけ離れた位置である。距離ｄ２は、周縁部４６０の幅以下に設定される。
　包装容器４５０は、搬送装置３０によって搬送されることで、超音波検査装置２０に対してＸ軸方向に相対的に移動する。すると、超音波は、周縁部４６０に対して、検査方向４８０（Ｘ軸に沿う方向）に沿って照射される。受信部２８０は、この超音波を受信する。この受信信号に基づいて、検査方向４８０に沿った周縁部４６０の各位置について検査を行うことが可能である。この場合、検査は、周縁部４６０と穴４７０と印字部４７１とを対象として行われる。
　搬送装置３０に対して包装容器４５０を配置する向きを変えることで、検査方向４７２に沿って検査を行うことが可能である。例えば、図４の例において下側の接合箇所を検査する場合、包装容器４５０の検査対象領域は、ノッチ４７３を含む帯状の領域とすることもできる。すなわち、ノッチ４７３の有無と、ノッチ４７３の位置とについても検査が可能である。ノッチ４７３は、包装容器４５０の開封口である。
（制御部２２０の構成）
　図１に戻り、制御部２２０は、記憶部２２１、判定部２２２、しきい値演算部２２３を有する。制御部２２０は、エッジ検出部２２４を含んでもよいが、含まなくてもよい。
　記憶部２２１は、リファレンスデータと、しきい値データと、判定データを記憶する。この記憶部２２１は、記憶媒体、例えば、ＨＤＤ（Ｈａｒｄ　Ｄｉｓｋ　Ｄｒｉｖｅ）、フラッシュメモリ、ＥＥＰＲＯＭ（Ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌｌｙ　Ｅｒａｓａｂｌｅ　Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ　Ｒｅａｄ　Ｏｎｌｙ　Ｍｅｍｏｒｙ）、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ　Ａｃｃｅｓｓ　ｒｅａｄ／ｗｒｉｔｅ　Ｍｅｍｏｒｙ）、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ　Ｏｎｌｙ　Ｍｅｍｏｒｙ）、またはこれらの記憶媒体の任意の組み合わせによって構成される。この記憶部２２１は、例えば、不揮発性メモリを用いることができる。
　図５は、しきい値を求めるためのリファレンスとして用いられる検査対象物４０Ａ（リファレンスワーク、標準対象物、第１の標準対象物、第２の標準対象物）の測定データとしきい値の一例を説明する図である。リファレンスとして用いられる検査対象物４０Ａは、検査の基準を満たすことが確認されている検査対象物４０である。検査対象物４０Ａの測定データをリファレンスデータ（基準データ）とよぶ。測定データは、検査対象物４０の検査対象領域に対して送信された超音波（第１の複数の超音波、第２の複数の超音波、第３の複数の超音波）を受信することで得られる、検査対象領域の複数の位置毎の受信強度を表す。測定データのうち、検査対象物４０Ａから得られた測定データは、リファレンスデータとして用いることができる。検査対象物４０のうち、リファレンスとして用いられないワークは、検査対象物４０Ｂ（検査ワーク）である。この検査対象物４０Ｂから得られた測定データは、検査対象物４０Ｂが基準を満たすか否かの判定に用いることができる。なお、検査対象物４０Ａと検査対象物４０Ｂの仕様は同じである。ここで、検査対象領域の複数の位置は、検査対象領域内の異なる位置であればよい。例えば、検査対象領域の複数の位置は、検査対象領域内であって検査方向に沿った異なる位置であってもよい。複数の位置は、検査対象物４０Ａの検査対象領域内であって、送信部２６０が検査対象物４０Ａに対して相対移動する方向に並んでいいてもよい。複数の位置は、直線状に並んでいてもよい。このリファレンスデータは、信号制御部２３０から得られる測定データに基づいて制御部２２０によって記憶部２２１に書き込まれる。
　図５の横軸は測定時間を表し、縦軸は受信強度を表す。
　測定時間は、検査対象物４０Ａの測定開始から測定終了までの経過時間を表す。受信強度は、受信部２８０が送信部２６０から照射された超音波を直接受信するか、検査対象物４０Ａを透過して受信した際の信号強度を表す。測定開始時には、受信部２８０と送信部２６０の間に検査対象物４０Ａがないため、超音波は検査対象物４０Ａによって遮られず、受信強度は大きい。検査対象物４０Ａが搬送装置３０により搬送されて受信部２８０と送信部２６０の間に来ると、受信強度は下がる（時刻t１）。検査対象物４０Ａが受信部２８０と送信部２６０の間を通過し終わると、再び受信強度は大きくなる（時刻ｔ２）。したがって、時刻ｔ１から時刻ｔ２までの間が検査対象物４０Ａを測定している区間であり、時刻ｔ１、ｔ２に対応する検査対象物４０Ａ上の位置ｐ１、ｐ２が、検査対象物４０Ａの両端（検査の開始位置と終了位置）である。
　ここで、搬送装置３０の速度と測定時刻から、検査対象物４０Ａの位置ｐ１からｐ２までの測定位置が求められる。一例として、１ミリ秒おきに超音波の受信信号を測定する検査装置において１０００ｍｍ/秒の速度で検査対象物４０Ａを搬送する場合、検査対象物４０Ａ上に１ｍｍ間隔の複数の位置で受信信号が測定される。このようにして、検査方向に沿って異なる位置のそれぞれにおいて得られた測定結果をリファレンスデータとして用いることができる。
　なお、搬送装置３０が等速で動く場合、横軸は時間軸を示すとともに測定位置を表すといえる。以下の実施形態においては搬送速度が等速であるとし、横軸を測定位置として説明する。
　しきい値演算部２２３は、取得されたリファレンスデータ５００に基づいて、検査対象領域における複数の位置に対して、検査対象物が基準を満たすか否かの判定に用いることか可能なしきい値を求める。例えば、しきい値演算部２２３は、第１しきい値５１０、第２しきい値５２０、第３しきい値５３０を求める。
（第１しきい値について）
　しきい値演算部２２３は、リファレンスデータ５００に基づいて、検査対象物４０を検査する際の検査区間を特定するためのしきい値を求める。検査区間は、搬送装置３０によって搬送された検査対象物４０が領域Ｓ１に到達してから通過し終えるまでの時間区間である。この検査区間内の信号を用いて、後述の判定動作における判定を行う。
　しきい値演算部２２３は、送信部２６０と受信部２８０との間に検査対象物４０Ａがない場合の受信強度（第１受信強度）と、送信部２６０と受信部２８０との間に検査対象物４０Ａがある場合の受信強度（第２受信強度）との間の値を第１しきい値５１０として求める。
　しきい値演算部２２３は、第１しきい値５１０を求める場合、第１受信強度と第２受信強度との平均値を求め、この平均値を第１しきい値５１０としてもよい。
　ここでは、リファレンスデータ５００のうち、受信強度が第１しきい値５１０未満である区間が、検査区間Ｓａに対応する。検査区間Ｓａは、開始位置ｐ１から終了位置ｐ２までの区間である。検査区間Ｓａ内の信号は、検査対象物４０における検査の開始位置ｐ１から終了位置ｐ２までの測定データとして扱われる。
　また、しきい値演算部２２３は、第２しきい値５２０と第３しきい値５３０とのうち少なくとも一方のしきい値を求める。ここでは第２しきい値５２０と第３しきい値５３０との両方を求める場合について説明する。
　第２しきい値５２０は、検査の判定に用いられる上限しきい値を示す。第３しきい値５３０は下限しきい値を表す。すなわち、検査対象物４０の検査において、受信強度が第３しきい値と第２しきい値の間にあるとき、その検査対象物４０は基準を満たすと判定される。
　しきい値演算部２２３は、リファレンスデータ５００のうち、検査区間Ｓａに含まれるリファレンスデータ５００に基づいて、第２しきい値５２０と第３しきい値５３０とを求める。例えば、しきい値演算部２２３は、まず、検査区間Ｓａの受信強度の平均値を求める。そしてしきい値演算部２２３は、この平均値を基準として、マージン（予想されるばらつき幅）を加味（加算もしくは減算）して、その平均値よりも大きな値を有する受信強度を第２しきい値５２０として求め、その平均値よりも小さな値を有する受信強度を第３しきい値５３０として求める。または、検査区間Ｓａの受信強度の中央値に対して、マージンを加味して、第２しきい値５２０および第３しきい値５３０を求めるようにしてもよい。また、検査区間Ｓａに含まれる受信強度のいずれかを選択し、選択された受信強度に対してマージンを加味して、第２しきい値５２０および第３しきい値５３０を求めてもよい。マージンは、標準偏差値または、標準偏差値を変数倍した値を用いるようにしてもよい。また、検査対象物４０の素材や厚さに応じた規定値をマージンとしてもよい。
　また、第２しきい値５２０を求めるにあたり、受信強度の平均値ではなく、平均波形を用いるようにしてもよい。平均波形とは、検査の基準を満たす複数の検査対象物４０Ａを測定した、複数のリファレンスデータが表す波形について、平均を求めることで得られる波形である。
　図５の例では、第２しきい値５２０と第３しきい値５３０は、それぞれ、いずれの測定位置においても、同じ値（一定値）が求められた場合を示している。
　しきい値演算部２２３は、しきい値（第１しきい値５１０、第２しきい値５２０、第３しきい値５３０）を求めると、求められたしきい値と、検査対象物４０Ａにおける測定位置を表す値とを対応付けて記憶部２２１に書き込む。測定位置を表す値は、検査対象物４０Ａの端部からの距離や、検査対象物４０上のある基準点（たとえば角）に対する座標で表される。
（しきい値演算機能）
　次に、上述した超音波検査装置２０がしきい値を求める動作について説明する。
　図６は、超音波検査装置２０がしきい値を求める動作を説明するフローチャートである。
　まず、検査対象物４０Ａ、すなわち検査基準を満たすと判断された検査対象物４０（リファレンスワーク）が搬送装置３０に載置される。ここでは、飲み口、穴、ノッチ、印字部等がない領域を対象として検査する場合について説明する。
　送信部２６０は超音波を送信し、受信部２８０は超音波を受信する。
　搬送装置３０は、検査対象物４０Ａを搬送する（ステップＳ１０１）。
　受信部２８０は、検査対象物４０Ａが領域Ｓ１に到達する前から通過した後までの期間において、超音波を順次受信する。
　制御部２２０は、受信部２８０、受信処理部２５０、信号制御部２３０を介して、信号制御部２３０から出力されるリファレンスデータ５００を取得する（ステップＳ１０２）。制御部２２０は、取得したリファレンスデータを記憶部２２１に記憶する（ステップＳ１０３）。そして制御部２２０は、リファレンスデータに基づいて、第１しきい値５１０を求める（ステップＳ１０４）。次に、制御部２２０は、第２しきい値５２０を求め（ステップＳ１０５）、第３しきい値５３０を求める（ステップＳ１０６）。そして、制御部２２０は、求められたそれぞれのしきい値をそれぞれ記憶部２２１に記憶する（ステップＳ１０７）。
（判定機能）
　次に、上述した超音波検査装置２０が行う判定動作について説明する。
　図７は、超音波検査装置２０が行う判定動作を説明するフローチャートである。判定動作とは、検査対象物４０Ａの測定データ（リファレンスデータ）から求められたしきい値を用いて、他の検査対象物４０Ｂが基準を満たすか否かを判定する動作である。
　送信部２６０は超音波を送信し、受信部２８０は超音波を受信する。
　搬送装置３０は、検査対象物４０Ｂを搬送する（ステップＳ２０１）。
　受信部２８０は、検査対象物４０Ｂが領域Ｓ１に到達する前から通過した後までの期間において、超音波を順次受信する。
　制御部２２０は、受信処理部２５０と信号制御部２３０とを介することで、信号制御部２３０から出力される測定データを取得する（ステップＳ２０２）。制御部２２０は、取得した測定データを記憶部２２１に記憶する（ステップＳ２０３）。そして制御部２２０は、第１しきい値５１０を記憶部２２１から読み出した上で、測定データが第１しきい値５１０以上であるか否かを判定する（ステップＳ２０４）。制御部２２０は、第１しきい値５１０以上である測定データについては検査区間から除外し、越えていない測定データについては検査区間に属すると判定する。この判定により、測定データに対する検査区間が特定される（ステップＳ２０５）。
　次に、制御部２２０は、検査区間に属する測定位置のそれぞれに対して、第２しきい値５２０以上である測定データがあるか否かを判定する（ステップＳ２０６）。制御部２２０は、第２しきい値５２０以上である測定データがある場合には、その検査対象物４０Ｂについては、検査基準を満たさないと判定する（ステップＳ２１０）。
　次に、制御部２２０は、第２しきい値５２０以上である測定データがない場合、検査区間に属する測定位置のそれぞれに対して、第３しきい値５３０未満である測定データがあるか否かを判定する（ステップＳ２０７）。制御部２２０は、第３しきい値５３０未満である測定データがある場合には、その検査対象物４０Ｂについては、検査基準を満たさないと判定する（ステップＳ２１０）。
　一方、制御部２２０は、第３しきい値５３０未満である測定データがない場合には、その検査対象物４０Ｂについては、検査基準を満たすと判定する（ステップＳ２０８）。そして、制御部２２０は、測定データと判定結果を対応づけて記憶部２２１に記憶する（ステップＳ２０９）。測定データと判定結果を対応づけて記憶部２２１に記憶することで、検査履歴として保存することができる。検査基準を満たすと判定された検査対象物４０Ｂは、後段において実施される検査基準を満たす場合には、良品として判定される。
　この判定動作において、測定データがしきい値以上であるか、しきい値未満であるかの判定は、判定部２２２により行われる。
　判定部２２２は、しきい値を記憶部２２１から読み出す。判定部２２２は、検査対象物４０Ｂから得られる測定データをしきい値と比較し、しきい値に対する大小関係を判定する。
　大小関係の判定は、この実施形態において、大であるかの判定と小であるかの判定との両方を行うことのみを意味するのではない。大小関係の判定は、大であるかの判定のみを行ってもよいし、小であるかの判定のみを行ってもよい。
　また、大であるかの判定は、しきい値以上であるかの判定であってもよいし、しきい値を越えているかの判定であってもよい。また、小であるかの判定は、しきい値以下であるかの判定であってもよいし、しきい値未満であるかの判定であってもよい。
　ここで、１つの測定位置において判定に用いるしきい値の数は、１つであってもよく、複数であってもよい。複数のしきい値を用いる場合、例えば、第１しきい値５１０と、第２しきい値５２０と、第３しきい値５３０を用いることができる。１つのしきい値を用いる場合、第１しきい値５１０、第２しきい値５２０、第３しきい値５３０のうちいずれか１つのしきい値を用いるようにしてもよい。
　図８Ａは、検査基準を満たすと判定された検査対象物４０Ｂの測定データを説明する図である。
　図８Ａにおいて、横軸は測定位置を表し、縦軸は受信強度を表す。
　測定データ６００が示す受信強度は、検査区間（開始位置ｐ１と終了位置ｐ２の間の区間）において、いずれの測定位置においても、第２しきい値５２０と第３しきい値５３０との間の受信強度の値である。この場合、判定部２２２は、この測定データ６００が得られた検査対象物４０Ｂについて、検査基準を満たすと判定する。
　図８Ｂは、検査基準を満たさないと判定された検査対象物４０Ｂの測定データを説明する図である。
　図８Ｂにおいて、横軸は測定位置を表し、縦軸は受信強度を表す。
　測定データ６１０の受信強度は、検査区間（開始位置ｐ１と終了位置ｐ２の間の区間）のうち、位置ｐ１１の測定データ６１１については、第３しきい値５３０未満の値である。さらに、位置ｐ１２の測定データ６１２については、第２しきい値５２０以上の値である。そのため、判定部２２２は、この測定データ６１０が得られた検査対象物４０Ｂについて、検査基準を満たさないと判定する。
　以上説明したように、実施形態の超音波検査装置２０は、超音波の送信部と受信部の間に配置された検査対象物を、受信部により測定される超音波の受信強度により検査する検査装置であって、検査対象物の１つであるリファレンスワークの複数の位置で測定された受信強度をリファレンスデータとして取得し、リファレンスデータに基づいて、複数の位置に対する受信強度のしきい値を求める演算部と、しきい値と、複数の位置を表す値とを対応付けて記憶する記憶部と、検査対象物の複数の位置の受信強度を表す測定データと、しきい値との大小関係を判定する判定部とを有する。
　上述した実施形態によれば、しきい値演算部２２３がリファレンスデータを用いてしきい値を求めるようにしたので、しきい値を簡単に得ることができる。また、しきい値を得るにあたり、手間が少ない。また、熟練した作業者ではなくても、しきい値を簡単に得ることができる。
　また、上述した実施形態において、送信部２６０と受信部２８０との間に、検査対象物４０を通過させつつ、超音波を照射するようにしたので、検査対象物４０に対する検査を、非接触で行うことができる。
（第１変形例）
　次に、変形例について説明する。
　第１変形例においては、飲み口、穴、ノッチ、印字部等のうち、少なくともいずれか１つが検査対象領域に含まれる検査対象物４０の検査について説明する。
　図９Ａ及び図９Ｂは、検査対象領域に穴と飲み口が含まれる場合の測定データを説明する図である。図９Ａは、リファレンスとして用いる検査対象物４０Ａの測定データであるリファレンスデータ７００、図９Ｂは、基準を満たすか否かを判定したい検査対象物４０Ｂの測定データ８００を表す。
　図９Ａ及び図９Ｂにおいて、横軸は測定位置を表し、縦軸は受信強度を表す。
　検査区間（開始位置ｐ１から終了位置ｐ２までの区間）は、第１しきい値５１１（又は、第１しきい値５１１と検査区間の長さ）に基づいて定まる。開始位置ｐ１から一定の区間を検査区間と定めてもよい。検査区間は、区間ｐｓ１と、区間ｐｓ２とを含む。区間ｐｓ１に対応するリファレンスデータ７００の受信強度は、他の測定位置に比べて大きい。区間ｐｓ２に対応するリファレンスデータ７００の受信強度は他の測定位置に比べて小さい。
　区間ｐｓ１は、穴がある位置に対応する。検査対象物４０Ａ、４０Ｂの周縁部に穴が設けられている場合、送信部２６０から送信された超音波は、シート部材を透過せずに直接、受信部２８０に到達する。そのため、区間ｐｓ１における受信強度は大きな値を示す。
　区間ｐｓ２は、飲み口部がある位置に対応する。検査対象物４０Ａ、４０Ｂの周縁部に飲み口がある場合、送信部２６０から送信された超音波は、シート部材を透過するだけでなく、飲み口を構成する部材を透過した上で、受信部２８０に到達する。そのため、区間ｐｓ２における受信強度は、飲み口のない部分の周縁部よりも小さな値を示す。
　このような穴や飲み口が設けられた検査対象物４０の場合、穴や飲み口のない部分には剥離がないかを検査でき、かつ、穴や飲み口が適切に設けられているかを検査できることが望ましい。そこで、本変形例において、しきい値演算部２２３は、周縁部に穴、飲み口、ノッチ、印字部のうち少なくともいずれか１つが設けられた検査対象物４０に応じたしきい値を設定する。
　リファレンスデータ７００は、周縁部に穴と飲み口が設けられた検査対象物４０Ａについて、超音波を受信した受信結果を表す。しきい値演算部２２３は、このリファレンスデータ７００に基づいて、しきい値を求める。
　しきい値演算部２２３は、検査区間に属するリファレンスデータ７００について、各測定位置における受信強度を基準として、マージンを加味し、第２しきい値５２１と第３しきい値５３１とを求める。この第２しきい値５２１と第３しきい値５３１については、開始位置ｐ１から終了位置ｐ２までの区間におけるそれぞれの測定位置について求められる。
　図９Ａにおいて、区間ｐｓ１における第２しきい値５２１と第３しきい値５３１は、それぞれ、区間ｐｓ１の前後の測定位置における第２しきい値５２１と第３しきい値５３１よりも大きい。その理由は、区間ｐｓ１では、超音波は、周縁部を透過するのではなく、穴を通過して直接受信部２８０に受信されるためである。このように、第２しきい値５２１および第３しきい値５３１は、検査対象物４０Ａの形状や厚みに対応した値を有する。
　区間ｐｓ２における第２しきい値５２１と第３しきい値５３１は、それぞれ、区間ｐｓ２の前後の測定位置における第２しきい値５２１と第３しきい値５３１よりも小さい。区間ｐｓ２では、超音波は、シート部材と飲み口とを透過するためである。
　これにより、検査対象物４０Ｂを検査するにあたり、測定データがリファレンスデータ７００と同等の波形形状である場合、その受信強度は、第２しきい値５２１と第３しきい値５３１との間に収まる。その場合、判定部２２２は、この検査対象物４０Ｂについて、検査基準を満たすと判定することができる。
　図９Ａの例において、リファレンスデータ７００に対する第２しきい値５２１のマージンは測定位置に応じて変化しているが、このような例に限定されない。リファレンスデータ７００に対する第２しきい値５２１のマージンは測定位置にかかわらず一定であってもよい。同様に、リファレンスデータ７００に対する第３しきい値５３１のマージンは測定位置に応じて変化しているが、このような例に限定されない。リファレンスデータ７００に対する第３しきい値５３１のマージンは測定位置にかかわらず一定であってもよい。
　図９Ｂにおいて、区間ｐｓ５と区間ｐｓ６における測定データ８００の受信強度は、第３しきい値５３１未満の値である。区間ｐｓ５が穴がある位置に対応する区間であるにもかかわらず、区間ｐｓ５における受信強度は第３しきい値５３１未満である。この区間ｐｓ５においては、穴が正常に形成されていない可能性がある。例えば、パンチ等により穴を形成する際に、打ち抜きされるべき部位が残ってしまっている場合が考えられる。このような場合、判定部２２２は、この検査対象物４０Ｂについて、検査の基準を満たさないと判定する。
　また、区間ｐｓ６が飲み口の位置に対応する区間であるため、区間ｐｓ６における受信強度が下がっている。しかし、測定データ８００の受信強度が低下する区間ｐｓ６は、第３しきい値５３１の強度が低下する区間ｐｓ２よりも手前の位置であるため、区間ｐｓ６において受信強度が第３しきい値５３１を下回る。これは、飲み口の取付け不良のためと考えられる。この場合についても、判定部２２２は、この検査対象物４０Ｂについて、検査の基準を満たさないとして判定する。
（第２変形例）
　次に、第２変形例について説明する。
　上述の実施形態においては、搬送装置３０の搬送速度が一定である場合について説明した。しかし、搬送装置３０は、速度指令値に従って駆動したとしても、外部要因（例えば電源の電圧が不安定等）の影響を受けた場合に、必ずしも一定速度を維持できない場合もある。このような場合、判定部２２２は、測定データにおける測定位置を補正することができる。
　図１０は、図９Ａと同じ種類の検査対象物４０Ｂについて、開始位置ｐ１と終了位置ｐ２との間の距離が、通常時に比べて短く測定された場合の測定データを説明する図である。図１０において、横軸は測定位置を表し、縦軸は受信強度を表す。
　開始位置ｐ１と終了位置ｐ２との間隔（距離）が、リファレンスデータ７００に比べて短い場合には、測定データ８１０に示すように、横軸方向において短縮された波形形状となる。開始位置ｐ１と終了位置ｐ２との間が、通常時に比べて短くなる原因としては、例えば、搬送装置３０の実際の搬送速度が、速度指令値に応じた速度よりも速い場合がある。
　このような場合、判定部２２２は、開始位置ｐ１と終了位置ｐ２との間隔が、通常時における開始位置ｐ１と終了位置ｐ２との間隔（距離）に一致するように、測定位置を全体的に伸張するように補正する。これにより、記憶部２２１に記憶されたしきい値を利用して検査を行うことができる。
　一方、搬送装置３０の搬送速度が速度指令値に応じた速度よりも遅い場合には、開始位置ｐ１と終了位置ｐ２との間隔が、通常時に比べて長くなる。このような場合、判定部２２２は、開始位置ｐ１と終了位置ｐ２との間隔が、通常時における開始位置ｐ１と終了位置ｐ２との間隔に一致するように、測定位置を全体的に縮小するように補正する。すなわち、判定部２２２は、開始位置ｐ１と終了位置ｐ２との間隔と通常時における開始位置ｐ１と終了位置ｐ２との間隔（所定の間隔）との違いに応じて、測定位置を表す値を補正する。これにより、記憶部２２１に記憶されたしきい値を利用して検査を行うことができる。
　なお、搬送速度が速度指令値に応じた速度であったとしても、搬送装置３０に対して載置された検査対象物４０Ｂの向きに傾きがあった場合には、開始位置から終了位置までの距離が短く検出される場合もある。このような場合にも、判定部２２２は、開始位置ｐ１と終了位置ｐ２との間隔（距離）が、リファレンスデータにおける開始位置ｐ１と終了位置ｐ２との間隔に一致するように、測定位置を全体的に伸張するように補正する。これにより、記憶部２２１に記憶されたしきい値を利用して検査を行うことができる。
（第３変形例）
　次に、第３変形例について説明する。
　第３変形例においては、周縁部に設けられる穴、飲み口、ノッチ、印字部等が、規定の位置からずれて配置された検査対象物４０について検査する場合について説明する。
　図１１は、第１変形例と同じ種類の、周縁部に穴と飲み口が設けられた検査対象物を検査する場合の測定データを説明する図である。
　図１１において、横軸は測定位置を表し、縦軸は受信強度を表す。
　図１１の上段のグラフは、検査対象物４０Ｂが、検査の基準を満たすと判定された場合の測定データ８２０を表す。図１１の下段のグラフは、穴の位置が規定とはずれた位置に設けられた検査対象物４０Ｂの測定データ８３０を表す。
　測定データ８３０において、受信強度のピークがある測定位置ｐｓ１０は、測定データ８２０の測定位置（ピーク位置）ｐｓ９よりも、終了位置ｐ２側である。つまり、図１１の下段のグラフにおける検査対象物４０Ｂの周縁部における穴の位置が、開始位置ｐ１に対してより離れた位置にあることを示している。ただし、測定データ８２０の測定位置ｐｓ９に対応する受信信号の強度は、測定データ８３０の測定位置ｐｓ１０とほぼ同じである。
　測定位置ｐｓ９における測定データ８３０は第３しきい値５３１を下回り、測定位置ｐｓ１０における測定データ８３０は第２しきい値５２１を上回っている。そのため、判定部２２２は、検査の基準を満たさないと判定する。ここで、判定部２２２は、測定データ８３０を測定位置に基づき複数の区間に分割し、分割された区間（分割区間）についての測定データ８３０の測定位置を、検査方向（開始位置ｐ１方向または終了位置ｐ２方向のいずれか）に移動させる。判定部２２２は、このように測定位置を移動させた測定データ８３０を各しきい値と比較する。すなわち、判定部２２２は、分割区間に含まれる測定位置（所定位置）に対応する測定データ８３０を、その測定位置よりも検査方向にずれた位置に対応するしきい値５２１，５３１と比較する。この実施例においては、測定位置ｐｓ１０が含まれる分割区間を距離ｄ３だけ開始位置ｐ１方向に移動させる。分割区間を移動させて、移動後の分割区間に含まれる測定位置ｐｓ１０の測定データ８３０が第２しきい値５２１と第３しきい値５３１との間の受信強度に収まる場合、判定部２２２は、分割区間を移動させた場合に検査の基準を満たしたと判定し、その判定結果を表す情報を記憶する。なお、分割区間を移動した距離ｄ３が許容範囲以内かどうかをさらに判定してもよい。これにより、穴がずれた位置に形成された検査対象物４０Ｂに対しても、穴が存在すること、及び穴のない場所に剥離がないことを検査できる。
（第４変形例）
　上述した実施形態や変形例においては、検査区間における開始位置を、第１しきい値を用いて特定した。この第４の変形例では、カメラ２９０の撮像結果に基づいて、開始位置を特定する。
　エッジ検出部２２４は、カメラ２９０から得られる撮像結果から検査対象物４０の位置を検出することにより、リファレンスデータの検査区間、および検査ワークの測定データの検査区間を決定する。
　エッジ検出部２２４は、カメラ２９０から得られる領域Ｓ１付近の撮像結果から、検査対象物４０の端部が領域Ｓ１を通過する時刻を検出する。例えば、カメラ２９０の撮像周期を、送信部２６０の超音波発信周期に同期させることで、検査対象物４０の端部がカメラ２９０により検出された時刻と、測定データにおける時刻との対応付けが可能である。
　撮像周期を超音波発信周期の整数倍とすると、より対応付けの精度を向上できる。この対応付けにより、第1しきい値５１０を用いて特定された検査区間Ｓａの開始時刻ｔ１を、エッジ検出部２２４により端部が検出された時刻に補正する。補正された時刻が開始位置（測定位置）ｐ１に対応するとして、検査対象物４０における複数の測定位置を決定する。検査対象物４０における測定位置の間隔（例えば１ｍｍ）よりも、撮影画像の解像度が高い。このため、第１しきい値５１０を用いて検査区間Ｓａの開始位置を特定する場合に比べて、高精度で測定位置を特定できる。
　また、カメラ２９０から得られた画像データを用いてエッジ（開始位置と終了位置）を検出することができるため、搬送装置３０にエンコーダ等のセンサを設けことなく、エッジを検出することができる。また、搬送速度に変動があっても、測定データの開始位置を補正した上で、しきい値と判定することができる。
　なお、この変形例において、カメラ２９０の代わりに透過センサを設け、この透過センサの検出結果を用いて、検査対象物４０のエッジの検出を行うようにしてもよい。
　また、この実施例においては、開始位置を補正することができる。このため、仮に測定データに、検査の基準を満たさない値があった場合に、補正された開始位置を基準として、検査の基準を満たさない値が存在する測定位置を特定することができる。これにより、具体的にどの位置において不具合の可能性があったかを正確に把握することができる。
　上述した実施形態及び変形例において、超音波検査装置２０では、送信部２６０及び受信部２８０に対して、検査対象物４０を相対的に移動させて検査する場合について説明した。しかし、送信部と受信部の組を検査方向に複数配置し、検査対象物４０を相対移動させない状態において、複数の測定位置で測定するようにしてもよい。
　また、上述した実施形態において、搬送装置３０は、ベルトコンベアに検査対象物４０を水平に寝かせた状態で載置して搬送する場合について説明した。しかし、搬送装置３０は、検査対象物４０の一部を把持し、検査対象物４０を垂直に立てた状態で搬送するようにしてもよい。この場合、送信部２６０及び受信部２８０は、検査対象物４０の周縁部の垂直方向から超音波が照射及び受信できる位置関係となるように配置される。
　なお、上述した実施形態において、しきい値を求める機能が超音波検査装置２０に設けられている場合について説明したがこのような場合に限定されない。例えば、しきい値を求める機能を超音波検査装置２０とは異なる装置に搭載するようにしてもよい。より具体的には、記憶部２２１、しきい値演算部２２３をしきい値演算装置として、超音波検査装置２０とは別の筐体の装置として構成するようにしてもよい。この場合、しきい値演算装置が、エッジ検出部２２４を含むようにしてもよい。
　上述した実施形態における制御部２２０をコンピュータで実現するようにしてもよい。その場合、この機能を実現するためのプログラムをコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記録して、この記録媒体に記録されたプログラムをコンピュータシステムに読み込ませ、実行することによって実現してもよい。なお、ここでいう「コンピュータシステム」とは、ＯＳや周辺機器等のハードウェアを含むものとする。また、「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、フレキシブルディスク、光磁気ディスク、ＲＯＭ、ＣＤ－ＲＯＭ等の可搬媒体、コンピュータシステムに内蔵されるハードディスク等の記憶装置のことをいう。さらに「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、インターネット等のネットワークや電話回線等の通信回線を介してプログラムを送信する場合の通信線のように、短時間の間、動的にプログラムを保持するもの、その場合のサーバやクライアントとなるコンピュータシステム内部の揮発性メモリのように、一定時間プログラムを保持しているものも含んでもよい。また上記プログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであってもよく、さらに前述した機能をコンピュータシステムにすでに記録されているプログラムとの組み合わせで実現できるものであってもよく、ＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等のプログラマブルロジックデバイスを用いて実現されるものであってもよい。
　以上、この発明の実施形態について図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計等も含まれる。
　本発明は、検査装置、および検査方法に適用してもよい。
　１…超音波検査システム
２０…超音波検査装置
２２０…制御部
２２１…記憶部
２２２…判定部
２２３…しきい値演算部
２２４…エッジ検出部
２６０…送信部
２８０…受信部
２９０…カメラ
４０…検査対象物
４１…周縁部

Claims (16)

  1. 　超音波を、第１の標準対象物の互いに異なる複数の位置に照射する送信部と、
    　前記送信部によって照射されるとともに前記複数の位置をそれぞれ透過した第１の複数の超音波を受信する受信部と、
    　前記第１の複数の超音波それぞれの受信強度に基づいて、前記複数の位置それぞれに対応する複数のしきい値を求める演算部と、
    　互いに対応付けられた状態で前記複数のしきい値と前記複数の位置を表す値とを記憶する記憶部と、
    　を有する検査装置。
  2. 　前記複数の位置は、前記第１の標準対象物の検査対象領域内であり、前記送信部が前記第１の標準対象物に対して相対移動する方向に並ぶ
    　請求項１に記載の検査装置。
  3. 　前記複数の位置は、直線状に並ぶ
    　請求項１または２に記載の検査装置。
  4. 　前記複数のしきい値は、互いに異なる複数の値を含む
    　請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の検査装置。
  5. 　前記互いに異なる複数の値は、前記第１の標準対象物の形状に対応した値を有する
    　請求項４に記載の検査装置。
  6. 　前記互いに異なる複数の値は、前記第１の標準対象物の厚みに対応した値を有する
    　請求項４に記載の検査装置。
  7. 　前記演算部は、前記第１の複数の超音波それぞれの受信強度に対してマージンを加味して、前記複数のしきい値を求める
    　請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の検査装置。
  8. 　前記送信部は、超音波を、第２の標準対象物に照射し、
    　前記受信部は、前記送信部によって照射されるとともに前記第２の標準対象物を透過した第２の複数の超音波を受信し、
    　前記演算部は、前記第１の複数の超音波の受信強度と前記第２の複数の超音波の受信強度とに少なくとも基づいて、前記複数のしきい値を求める
    　請求項１から請求項７のいずれか一項に記載の検査装置。
  9. 　前記演算部は、前記複数のしきい値として、前記複数の位置それぞれに対応する複数の上限のしきい値、および、前記複数の位置それぞれに対応する複数の下限のしきい値の少なくとも一方を求める
    　請求項１から請求項８のいずれか一項に記載の検査装置。
  10. 　前記演算部は、前記複数の上限のしきい値、および、前記複数の下限のしきい値を求める
    　請求項９に記載の検査装置。
  11. 　前記演算部は、検査を開始する位置を特定するためのしきい値として、前記送信部と前記受信部との間に前記第１の標準対象物がない状態で前記送信部によって照射されかつ前記受信部によって受信された超音波の強度の値よりも小さく、かつ、前記送信部と前記受信部との間に前記第１の標準対象物がある状態で前記送信部によって照射されかつ前記受信部によって受信された超音波の強度の値よりも大きい値を求める
    　請求項１から請求項１０のいずれか一項に記載の検査装置。
  12. 　検査対象物の複数の位置をそれぞれ透過した第３の複数の超音波の受信強度の大きさを、前記複数のしきい値の大きさと比較する判定部
    　をさらに備える請求項１から請求項１１のいずれか一項に記載の検査装置。
  13. 　前記送信部は、第１位置から第２位置まで移動しながら、超音波を照射し、
    　前記判定部は、前記第１位置と前記第２位置との間隔と所定の間隔との違いに応じて、前記検査対象物の複数の位置を表す値を補正する
    　請求項１２に記載の検査装置。
  14. 　前記判定部は、前記検査対象物の複数の位置のうち所定位置を透過した超音波の受信強度の大きさを、前記複数のしきい値のうち前記所定位置からずれた位置に対応するしきい値の大きさと比較する
    　請求項１２または１３に記載の検査装置。
  15. 　前記検査対象物の位置を撮像装置により検出するエッジ検出部をさらに有し、
    　前記判定部は、前記検査対象物の複数の位置を、前記検出された前記検査対象物の位置に基づき決定する
    　請求項１１から請求項１４のいずれか１項に記載の検査装置。
  16. 　標準対象物の互いに異なる複数の位置をそれぞれ透過した複数の超音波を受信し、
    　前記複数の超音波それぞれの受信強度に基づいて、前記複数の位置それぞれに対応する複数のしきい値を求め、
    　互いに対応付けられた状態で前記複数のしきい値と前記複数の位置を表す値とを記憶部に記憶する、
    　ことを含む検査方法。
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