WO2020066981A1 - 回折光学素子およびこれを用いたドットプロジェクタ等の光学系装置 - Google Patents

回折光学素子およびこれを用いたドットプロジェクタ等の光学系装置 Download PDF

Info

Publication number
WO2020066981A1
WO2020066981A1 PCT/JP2019/037196 JP2019037196W WO2020066981A1 WO 2020066981 A1 WO2020066981 A1 WO 2020066981A1 JP 2019037196 W JP2019037196 W JP 2019037196W WO 2020066981 A1 WO2020066981 A1 WO 2020066981A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
optical element
light
diffractive optical
phase
diffractive
Prior art date
Application number
PCT/JP2019/037196
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
小川大貴
縄田晃史
田中覚
Original Assignee
Scivax株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Scivax株式会社 filed Critical Scivax株式会社
Publication of WO2020066981A1 publication Critical patent/WO2020066981A1/ja

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/18Diffraction gratings

Definitions

  • the present invention relates to a diffractive optical element and an optical system device using the same, such as a dot projector.
  • DOE diffractive optical element
  • a device called a dot projector uses a DOE that branches incident light into a large number of dots by utilizing the diffraction phenomenon of light.
  • a dot projector projects a large number (30,000 or more) of infrared dots onto an object and analyzes this data to create a depth map of the object and a 2D infrared image.
  • PIN codes, character string passwords, fingerprint authentication, pattern authentication, and the like have been used.
  • these authentications have problems such as the time required for forgetting, theft, forgery, or cancellation.
  • face authentication using a dot projector has no fear of forgetting, can be canceled in a short time, is non-contact, difficult to steal or forge like a fingerprint, and has a much lower false recognition rate than fingerprint authentication
  • face authentication using a dot projector has no fear of forgetting, can be canceled in a short time, is non-contact, difficult to steal or forge like a fingerprint, and has a much lower false recognition rate than fingerprint authentication
  • the conventional DOE assumes parallel light as incident light.
  • a light source 9 for irradiating laser light and a collimator lens 6 for converting the laser light into parallel light are used, and the parallel light is made incident on the DOE 4.
  • the dot projector used for mobile terminals such as smartphones and tablets be made thinner.
  • the collimator lens 6 has a large thickness, a dot projector using the collimator lens 6 is an obstacle to thinning of a portable terminal.
  • an object of the present invention is to provide a diffractive optical element (DOE) that does not require a collimator lens and is less affected by zero-order light.
  • DOE diffractive optical element
  • the diffractive optical element of the present invention controls the light incident from a predetermined position by using a concavo-convex structure and emits light so that the phase at the position (x, y) becomes ⁇ 1 (x, y).
  • Projection diffractive optics that can control the phase of the outgoing light at the position (x, y) of the diffractive lens that can control the light incident from the position into parallel light at ⁇ 2 (x, y), and control the parallel light into a predetermined target projection pattern.
  • the uneven structure is formed only on one side of the diffractive optical element.
  • the projection optical element for example, an element that controls the projection pattern to a plurality of dot lights can be assumed.
  • the optical system of the present invention includes a light source for irradiating light and the above-described diffractive optical element.
  • a light source for irradiating light for example, a laser light source that irradiates laser light and a diffractive optical element that controls a projection pattern to a plurality of dot lights may be used.
  • the diffractive optical element of the present invention does not require a collimator lens, the size of an optical system using the same can be reduced. Further, since the diffractive optical element of the present invention is based on the premise that the light source has a spread, a large amount of the zero-order light deviates from the projection pattern as light having a spread, and the influence of the zero-order light on the projection pattern is small. can do.
  • FIG. 11 is a diagram illustrating an optical system device using a conventional diffractive optical element.
  • FIG. 2 is a diagram illustrating an optical system device using the diffractive optical element of the present invention. It is a figure explaining the diffraction optical element creation method of the present invention. It is a side view explaining a diffraction lens for producing a diffractive optical element of the present invention.
  • FIG. 3 is a plan view illustrating a diffractive lens for producing the diffractive optical element of the present invention.
  • FIG. 7 is a diagram illustrating a phase distribution of a diffraction lens that converts light incident from a predetermined position into parallel light.
  • FIG. 4 is a diagram illustrating a phase distribution of a diffractive optical element for projection that branches incident light into a number of dots.
  • FIG. 3 is a diagram illustrating a phase distribution of the diffractive optical element according to the present invention.
  • the diffractive optical element (DOE) of the present invention controls the spread light, which is not the parallel light, incident from the light source 9 at the predetermined position by using the diffraction by the concave-convex structure, and controls the position (x, The light is emitted so that the phase in y) becomes ⁇ 1 (x, y).
  • the phase ⁇ 1 (x, y) is determined as follows. First, as shown in FIG. 3, a diffractive lens 3 and a diffractive optical element 4 for projection are assumed virtually. Then, a phase distribution by the diffraction lens 3 for converting light from a predetermined position into parallel light and a phase distribution of the diffraction optical element for projection 4 for converting parallel light into a predetermined projection pattern are determined. Then, the phase distribution by the diffractive optical element of the present invention is determined by superimposing these phase distributions.
  • the phase of the outgoing light at the position (x, y) of the diffraction lens 3 that can control the light incident from a predetermined position to parallel light is ⁇ 2 (x, y), and the parallel light is converted into a predetermined target projection pattern.
  • the phase at the position (x, y) of the diffractive optical element for projection 4 that can be controlled is ⁇ 3 (x, y)
  • the phase ⁇ 1 (x, y) is determined so as to satisfy the following expression (1).
  • ⁇ 1 (x, y) ⁇ 2 (x, y) + ⁇ 3 (x, y) ⁇ 2m ⁇ (1)
  • m is an arbitrary integer.
  • the concavo-convex structure is formed such that the phase ⁇ 1 (x, y) satisfies the expression (1).
  • the thickness distribution (concavo-convex structure) of the diffractive lens may be adjusted so that the two lights reinforce each other.
  • the difference between the thickness T of the thickness and position of the center of the diffraction lens (x, y) (d) , and the refractive index of the diffraction lens is n 1
  • the optical path difference is born by the diffraction lens, (N 1 -n 0 ) T (d)
  • N 1 -n 0 ) T (d) It is represented by Therefore, the conditions under which the two lights intensify (the conditions under which the light focuses) are:
  • m 1 is an arbitrary integer.
  • the condition of the phase difference is as follows. Therefore, the phase distribution ⁇ 2 (d) at a distance d from the lens center is It is expressed as Note that choose m 1 such that 0 ⁇ ⁇ (d) ⁇ 2 ⁇ .
  • FIG. 6 shows the phase distribution of the diffractive lens 3 that converts light incident from a predetermined position into parallel light.
  • ⁇ 3 (x, y) can be freely designed according to a target projection pattern.
  • the projection pattern includes, for example, one that branches incident parallel light into a large number of dots, one that changes the shape of incident light, and one that adjusts light intensity distribution.
  • Such a phase distribution may be designed by simulation using conventionally known electromagnetic optical design / evaluation software, for example, software such as VirtualLab.
  • FIG. 7 shows a phase distribution of the diffractive optical element for projection 4 used in a dot projector that splits incident parallel light into a large number of dots.
  • phase ⁇ 1 (x, y) may be represented by the following equation (1).
  • ⁇ 1 (x, y) ⁇ 2 (x, y) + ⁇ 3 (x, y) ⁇ 2m ⁇ (1)
  • the height H (x, y) of the concave-convex structure at the position (x, y) is expressed by the following equation (2). Can be determined.
  • the uneven structure may be formed by using any method conventionally used for manufacturing a DOE, for example, imprint, insert molding, photolithography, or the like.
  • the concavo-convex structure can be formed on both sides of the diffractive optical element, but it is better to form the concavo-convex structure on only one side to simplify the processing process.
  • any material may be used as long as it is transparent to the light having the wavelength to be used.
  • glass or resin can be used.
  • the diffractive optical element of the present invention is based on the premise that a light source has a spread, many 0th-order light that travels straight from the light source can be made to travel straight as spread light, and can be removed from the projection pattern. Therefore, the influence of the zero-order light on the projection pattern can be reduced. Further, since the uneven structure only needs to be formed on one side of the diffractive optical element, the processing process is simple and the cost can be reduced.
  • the optical system device of the present invention mainly includes a light source 9 for irradiating light and the above-described diffractive optical element 1 of the present invention.
  • the light source 9 may be any light source that can emit light having a wavelength that can transmit the diffractive optical element 1.
  • a laser light source that can emit laser light can be used.
  • the diffractive optical element 1 may be any element as long as it can be controlled to a predetermined target projection pattern. For example, there are a type in which the incident spread light is branched into a large number of dots, a type in which the shape of the incident light is changed, and a type in which the light intensity distribution is adjusted.
  • the concave-convex structure of the diffractive optical element 1 may be arranged on the light source side or on the light projection side.
  • the optical device of the present invention does not require a collimator lens, so that the device can be reduced in size and thickness. Further, in the conventional optical system, since the light incident on the diffractive optical element is a parallel light, there is a problem that the zero-order light having the highest light intensity appears in the projection pattern. Since the system device makes the light spread from the light source 9 directly incident on the diffractive optical element 1, many 0th-order light traveling straight from the light source can be made to travel straight as widened light, and can be removed from the projection pattern. it can. Therefore, the influence of the zero-order light on the projection pattern can be reduced.
  • the optical system device of the present invention has no collimator lens and only the surface of the diffractive optical element 1. This has the advantage that the effect of surface reflection is small.

Abstract

光の照射方向だけでなく照度の制御も行うことができる光学素子およびそれを用いた光学系装置を提供することを目的とする。 所定位置から入射した光を凹凸構造によって制御して位置(x,y)における位相がφ(x,y)となるように出射する回折光学素子であって、前記所定位置から入射した光を平行光に制御できる回折レンズの位置(x,y)における出射光の位相をφ(x,y)、前記平行光を所定目的の投影パターンに制御できる投影用回折光学素子の位置(x,y)における位相をφ(x,y)とすると、前記凹凸構造は、前記位相φ(x,y)が、 φ(x,y)=φ(x,y)+φ(x,y)-2mπ (mは任意の整数) を満たすように形成する。

Description

回折光学素子およびこれを用いたドットプロジェクタ等の光学系装置
 本発明は、回折光学素子およびこれを用いたドットプロジェクタ等の光学系装置に関するものである。
 近年、光の回折現象を利用して投影パターンを制御する回折光学素子(DOE)が様々な分野で利用されている(例えば、特許文献1)。
 例えば、セキュリティ認証の分野では、ドットプロジェクタと呼ばれる装置に、光の回折現象を利用して、入射した光を多数のドットに分岐するDOEが使用されている。ドットプロジェクタは、対象物に対し多数(3万以上)の赤外線ドットを投影し、このデータを解析することで対象物の深度マップ、および2Dの赤外線画像を作成するものである。従来は、PINコードや文字列のパスワード、指紋認証、パターン認証などが使われていた。しかし、これらの認証は忘却、盗難、偽造または、解除に必要な時間などで問題があった。これに対し、ドットプロジェクタを用いた顔認証は、忘却の心配がない、短時間で解除できる、非接触であり指紋の様な盗難や偽造が困難、指紋認証より非常に低い誤認識率を得ることができるなどの点で、従来の方法よりも多くのメリットがある。
 ここで、従来のDOEは、入射光として平行光を想定している。例えば、図1に示すように、ドットプロジェクタでは、レーザ光を照射する光源9と、当該レーザ光を平行光にするためのコリメータレンズ6が使用され、DOE4に平行光を入射させている。
特開2009-160613
 ここで、スマートフォンやタブレット等の携帯端末に用いるドットプロジェクタは、薄型化が望まれている。しかしながら、コリメータレンズ6は厚みが大きいため、これを用いたドットプロジェクタは、携帯端末の薄型化の障害となっている。
 また、従来のDOE4は、平行光を前提としているため、直進した0次光が投影パターンに現れてしまうという問題もあった。
 そこで本発明は、コリメータレンズを必要とせず、0次光の影響の小さい回折光学素子(DOE)を提供することを目的とする。
 本発明の回折光学素子は、所定位置から入射した光を凹凸構造によって制御して位置(x,y)における位相がφ(x,y)となるように出射するものであって、前記所定位置から入射した光を平行光に制御できる回折レンズの位置(x,y)における出射光の位相をφ(x,y)、前記平行光を所定目的の投影パターンに制御できる投影用回折光学素子の位置(x,y)における位相をφ(x,y)とすると、前記凹凸構造は、前記位相φ(x,y)が、
 φ(x,y)=φ(x,y)+φ(x,y)-2mπ (mは任意の整数)
を満たすように形成されたものであることを特徴とする。
 この場合、0≦φ(x,y)<2πである方が好ましい。
 また、前記凹凸構造は、前記回折光学素子の片面にのみ形成されている方が好ましい。
 前記投影用光学素子としては、例えば、前記投影パターンを複数のドット光に制御するものを想定することができる。
 また、本発明の光学系装置は、光を照射する光源と、上述した回折光学素子と、を具備することを特徴とする。例えば、レーザ光を照射するレーザ光源と、投影パターンを複数のドット光に制御する回折光学素子と、で構成すれば良い。
 本発明の回折光学素子は、コリメータレンズを必要としないため、これを用いた光学系装置を小型化することができる。また、本発明の回折光学素子は、広がりのある光源を前提としているため、多くの0次光は広がりのある光として投影パターンから外れることになり、0次光の投影パターンへの影響を小さくすることができる。
従来の回折光学素子を用いた光学系装置を示す図である。 本発明の回折光学素子を用いた光学系装置を示す図である。 本発明の回折光学素子作成方法を説明する図である。 本発明の回折光学素子を作製するための回折レンズを説明する側面図である。 本発明の回折光学素子を作製するための回折レンズを説明する平面図である。 所定位置から入射した光を平行光にする回折レンズの位相分布を示す図である。 入射した光を多数のドットに分岐する投影用回折光学素子の位相分布を示す図である。 本発明に係る回折光学素子の位相分布を示す図である。
 以下に、本発明の回折光学素子について説明する。本発明の回折光学素子(DOE)は、図2に示すように、所定位置にある光源9から入射した平行光でない広がりのある光を凹凸構造による回折を利用して制御し、位置(x,y)における位相がφ(x,y)となるように出射するものである。
 位相φ(x,y)は、次にように決定する。まず、図3に示すように、仮想的に回折レンズ3と投影用回折光学素子4を想定する。そして、所定位置からの光を平行光にするための回折レンズ3による位相分布と、平行光を所定目的の投影パターンにするための投影用回折光学素子4の位相分布をそれぞれ決定する。そして、これらの位相分布を重ね合わせることにより、本発明の回折光学素子による位相分布を決定する。
 具体的には、所定位置から入射した光を平行光に制御できる回折レンズ3の位置(x,y)における出射光の位相をφ(x,y)、平行光を所定目的の投影パターンに制御できる投影用回折光学素子4の位置(x,y)における位相をφ(x,y)とすると、位相φ(x,y)が、下記式(1)を満たすように決定する。
 φ(x,y)=φ(x,y)+φ(x,y)-2mπ・・・・・・(1)
ここで、mは任意の整数である。
 そして、凹凸構造は、当該位相φ(x,y)が上記式(1)を満たすように形成される。
 まず、位相φ(x,y)の求め方を以下に示す。図4に示すように、平行光が焦点10に向かう光について、回折レンズ3の中心11の位置(0,0)から出発した光と任意の点12の位置(x,y)から出発した光の光路差を考える。ここで、焦点10および中心11を通る直線は、回折レンズ3の面に対する法線であり、当該法線と直交する方向をx軸、y軸として位置を決める。焦点距離をr、レンズ1の中心11と任意の点12との距離をd、空気の屈折率をnとすると、光路差Δは以下のように表される。
Figure JPOXMLDOC01-appb-I000001
 したがって、この二つの光が強め合うように回折レンズの厚さの分布(凹凸構造)を調整すれば良い。ここで、回折レンズの中心の厚さと位置(x,y)の厚さの差をT(d)、回折レンズの屈折率をnとすると、回折レンズによって生まれる光路差は、
       (n-n)T(d)
で表される。よって二つの光が強め合う条件(焦点に光が集まる条件)は、
Figure JPOXMLDOC01-appb-I000002
で表される。ここで、mは任意の整数である。
両辺に2π/λをかけると位相差の条件は以下のようになる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-I000003
よって、レンズ中心からの距離dの位相分布φ(d)は
Figure JPOXMLDOC01-appb-I000004
と表される。なお、0≦φ(d)<2πとなるようにmを選んでいる。
 ここで、図5より、
Figure JPOXMLDOC01-appb-I000005
であるため、上記式よりφ(x,y)は、
Figure JPOXMLDOC01-appb-I000006
となる。
 図6に所定位置から入射した光を平行光にする回折レンズ3の位相分布を示す。
 また、φ(x,y)は、目的となる投影パターンに応じて自由に設計できる。投影パターンには、例えば、入射した平行光を多数のドットに分岐するものや、入射した光の形状を変更するもの、光強度分布を調節するものなどがある。このような位相分布は、従来から知られている電磁光学設計・評価ソフト、例えば、VirtualLab等のソフトを用いてシミュレーションにより設計すれば良い。図7にドットプロジェクタに用いられる入射した平行光を多数のドットに分岐する投影用回折光学素子4の位相分布を示す。
 以上のようにして求めた位相分布は重ねることができることから、
 φ(x,y)=φ(x,y)+φ(x,y)
となるように、凹凸構造を形成すれば良い。これにより、図2に示すように、1つの回折光学素子1によって、図3に示す回折レンズ3と投影用回折光学素子4を並べた場合と同じ投影パターンを照射することができる。図8に本発明に係る回折光学素子の位相分布を示す。
 なお、周期が2πであることから、任意の整数をmとすると、位相φ(x,y)は下記式(1)で表されるものであっても良い。
 φ(x,y)=φ(x,y)+φ(x,y)-2mπ・・・・・・(1)
 このようにして位置(x,y)における位相φ(x,y)が決定すれば、当該位置(x,y)における凹凸構造の高さH(x,y)は、下記式(2)で決定することができる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-I000007
 なお、凹凸構造の高さH(x,y)のばらつきはなるべく小さい方が好ましいため、mの値を調節して、
0≦φ(x,y)<2π
とする方が好ましい。
 凹凸構造の形成は、従来からDOEを作製する際に用いられている任意の方法を用いれば良く、例えば、インプリントやインサート成形、フォトリソグラフィー等を用いることができる。凹凸構造は、回折光学素子の両面に形成することも可能であるが、加工プロセスを簡易にするためには、片面にのみ形成する方が良い。
 回折光学素子の材料としては、使用する波長の光に対して透明であればどのようなものでも良く、例えば、ガラスや樹脂を用いることができる。
 このように形成された回折光学素子は、コリメータレンズ6を必要としない。したがって、当該回折光学素子を用いた光学系装置を小型化、薄型化することができる。また、本発明の回折光学素子は、広がりのある光源を前提としているため、光源から直進する多くの0次光をそのまま広がりのある光として直進させることができ、投影パターンから外すことができる。したがって、0次光の投影パターンへの影響を小さくすることができる。また、凹凸構造は、回折光学素子の片面にのみ形成すれば良いため、加工プロセスが簡単で、コストも下げることができる。
 次に、本発明の光学系装置について説明する。本発明の光学系装置は、図2に示すように、光を照射する光源9と、上述した本発明の回折光学素子1と、で主に構成される。
 光源9としては、回折光学素子1を透過できる波長の光を照射できるものであればどのようなものでも良く、例えば、レーザ光を照射することができるレーザ光源を用いることができる。
 回折光学素子1は、所定目的の投影パターンに制御できるものであればどのようなものでも良い。例えば、入射した広がりのある光を多数のドットに分岐するものや、入射した光の形状を変更するもの、光強度分布を調節するものなどがある。なお、回折光学素子1の凹凸構造は、光源側に配置しても光の投影側に配置しても良い。
 本発明の光学系装置は、コリメータレンズを必要としないため、装置を小型化、薄型化することができる。また、従来の光学系装置においては、回折光学素子に入射する光が平行光であったため、最も光強度の強い0次光が投影パターンに現れてしまうという問題があったが、本発明の光学系装置は、光源9から広がった光を直接、回折光学素子1に入射させるため、光源から直進する多くの0次光をそのまま広がりのある光として直進させることができ、投影パターンから外すことができる。したがって、0次光の投影パターンへの影響を小さくすることができる。また、従来の光学系装置は、コリメータレンズの表面とDOEの表面の両方で表面反射が発生していたが、本発明の光学系装置は、コリメータレンズがなく、回折光学素子1の表面のみで発生するため、表面反射の影響が小さいというメリットがある。
 1 回折光学素子
 3 回折レンズ
 4 投影用回折光学素子
 6 コリメータレンズ
 10 焦点
 11 レンズ1の中心
 12 レンズ1の任意の点

Claims (6)

  1.  所定位置から入射した光を凹凸構造によって制御して位置(x,y)における位相がφ(x,y)となるように出射する回折光学素子であって、
     前記所定位置から入射した光を平行光に制御できる回折レンズの位置(x,y)における出射光の位相をφ(x,y)、前記平行光を所定目的の投影パターンに制御できる投影用回折光学素子の位置(x,y)における位相をφ(x,y)とすると、前記凹凸構造は、前記位相φ(x,y)が、
     φ(x,y)=φ(x,y)+φ(x,y)-2mπ (mは任意の整数)
    を満たすように形成されたものであることを特徴とする回折光学素子。
  2.  0≦φ(x,y)<2πであることを特徴とする請求項1記載の回折光学素子。
  3.  前記凹凸構造は、前記回折光学素子の片面にのみ形成されていることを特徴とする請求項1又は2記載の回折光学素子。
  4.  前記投影用光学素子は、前記投影パターンを複数のドット光に制御するものであることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の回折光学素子。
  5.  光を照射する光源と、
     請求項1ないし3のいずれかに記載の回折光学素子と、
    を具備することを特徴とする光学系装置。
  6.  レーザ光を照射するレーザ光源と、
     請求項4記載の回折光学素子と、
    を具備することを特徴とするドットプロジェクタ。
PCT/JP2019/037196 2018-09-25 2019-09-24 回折光学素子およびこれを用いたドットプロジェクタ等の光学系装置 WO2020066981A1 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018178346 2018-09-25
JP2018-178346 2018-09-25

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2020066981A1 true WO2020066981A1 (ja) 2020-04-02

Family

ID=69949667

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2019/037196 WO2020066981A1 (ja) 2018-09-25 2019-09-24 回折光学素子およびこれを用いたドットプロジェクタ等の光学系装置

Country Status (1)

Country Link
WO (1) WO2020066981A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114911065A (zh) * 2021-02-09 2022-08-16 奇景光电股份有限公司 光投射装置

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61213802A (ja) * 1985-03-20 1986-09-22 Toshiba Corp 光カプラ
JPS6319602A (ja) * 1986-07-14 1988-01-27 Toshiba Corp 光ビ−ム拡大器
JPH0210310A (ja) * 1988-06-29 1990-01-16 Omron Tateisi Electron Co マルチ・ビーム光源,ならびにそれを利用したマルチ・ビームプロジェクタおよび形状認識装置
JPH11231356A (ja) * 1997-10-30 1999-08-27 Minolta Co Ltd 屈折率変調型位相素子設計方法
JP2001166254A (ja) * 1999-12-10 2001-06-22 Koyo Seiko Co Ltd 光スポット群形成装置
JP2005525579A (ja) * 2002-05-16 2005-08-25 アプレラ コーポレイション 生物学的試験のためのレンズアセンブリ
WO2011030858A1 (ja) * 2009-09-11 2011-03-17 ダイキン工業株式会社 集光フィルム並びにその製造方法、集光素子、太陽電池、及び集光方法
JP2014167550A (ja) * 2013-02-28 2014-09-11 Asahi Glass Co Ltd 拡散素子、照明光学系および計測装置
WO2015030127A1 (ja) * 2013-09-02 2015-03-05 旭硝子株式会社 回折光学素子、投影装置及び計測装置

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61213802A (ja) * 1985-03-20 1986-09-22 Toshiba Corp 光カプラ
JPS6319602A (ja) * 1986-07-14 1988-01-27 Toshiba Corp 光ビ−ム拡大器
JPH0210310A (ja) * 1988-06-29 1990-01-16 Omron Tateisi Electron Co マルチ・ビーム光源,ならびにそれを利用したマルチ・ビームプロジェクタおよび形状認識装置
JPH11231356A (ja) * 1997-10-30 1999-08-27 Minolta Co Ltd 屈折率変調型位相素子設計方法
JP2001166254A (ja) * 1999-12-10 2001-06-22 Koyo Seiko Co Ltd 光スポット群形成装置
JP2005525579A (ja) * 2002-05-16 2005-08-25 アプレラ コーポレイション 生物学的試験のためのレンズアセンブリ
WO2011030858A1 (ja) * 2009-09-11 2011-03-17 ダイキン工業株式会社 集光フィルム並びにその製造方法、集光素子、太陽電池、及び集光方法
JP2014167550A (ja) * 2013-02-28 2014-09-11 Asahi Glass Co Ltd 拡散素子、照明光学系および計測装置
WO2015030127A1 (ja) * 2013-09-02 2015-03-05 旭硝子株式会社 回折光学素子、投影装置及び計測装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114911065A (zh) * 2021-02-09 2022-08-16 奇景光电股份有限公司 光投射装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102444288B1 (ko) 메타 렌즈를 포함하는 프로젝터
US10443811B2 (en) Microlens array and optical system including the same
CN110221447B (zh) 一种基于超构表面的结构光投影衍射光学器件
US11442284B2 (en) Structured light projector including an integrated metalens and diffractive optical element
TWI721346B (zh) 光學系統、照明系統以及使用此光學系統的方法
CN111650681A (zh) 衍射光学元件、tof深度传感器、光学系统及装置
JP6972081B2 (ja) 光学素子及び光学系
TWI581008B (zh) 縮放結構光圖案的方法以及應用該方法的光學裝置
CN109541810A (zh) 一种匀光器
CN109581795A (zh) 一种光学投影模组、感测装置及设备
KR20210100581A (ko) 구조화된 광을 제공하는 회절 광학 장치
WO2020066981A1 (ja) 回折光学素子およびこれを用いたドットプロジェクタ等の光学系装置
US11592733B2 (en) Structured light projector and electronic device including the same
TWI772387B (zh) 繞射光學元件
JP2019028456A (ja) 回折光学素子、光照射装置、光照射システム、投影パターンの補正方法
US8561904B2 (en) Optical apparatus
JP6953705B2 (ja) 光照射装置
US20240045100A1 (en) Programmable Structured Light Generator, Photoelectric Device Having Same, And Manufacturing Method
CN112572013A (zh) 光学防伪元件及防伪产品
WO2023026987A1 (ja) 光学系装置
JP6946632B2 (ja) 回折光学素子、回折光学素子及び保持具のセット部材、光照射装置
CN209167711U (zh) 一种匀光器
CN113391498A (zh) 激光投射光学器件及激光投射模组
CN113009705A (zh) 一种消除零级衍射影响的结构光组件
JP2018013677A (ja) 回折光学素子、光照射装置

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 19864833

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 19864833

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: JP