WO2020021945A1 - 撮像装置 - Google Patents

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WO2020021945A1
WO2020021945A1 PCT/JP2019/025361 JP2019025361W WO2020021945A1 WO 2020021945 A1 WO2020021945 A1 WO 2020021945A1 JP 2019025361 W JP2019025361 W JP 2019025361W WO 2020021945 A1 WO2020021945 A1 WO 2020021945A1
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signal
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圭汰 伊藤
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ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社
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    • H01L27/14Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
    • H01L27/144Devices controlled by radiation
    • H01L27/146Imager structures
    • H01L27/14601Structural or functional details thereof
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    • H01L27/14612Pixel-elements with integrated switching, control, storage or amplification elements involving a transistor
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    • H04N25/772Pixel circuitry, e.g. memories, A/D converters, pixel amplifiers, shared circuits or shared components comprising A/D, V/T, V/F, I/T or I/F converters
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    • H04N25/62Detection or reduction of noise due to excess charges produced by the exposure, e.g. smear, blooming, ghost image, crosstalk or leakage between pixels
    • H04N25/627Detection or reduction of inverted contrast or eclipsing effects
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    • H04N25/70SSIS architectures; Circuits associated therewith
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    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N25/00Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
    • H04N25/70SSIS architectures; Circuits associated therewith
    • H04N25/71Charge-coupled device [CCD] sensors; Charge-transfer registers specially adapted for CCD sensors
    • H04N25/75Circuitry for providing, modifying or processing image signals from the pixel array

Definitions

  • the present disclosure relates to an imaging device that images a subject.
  • Patent Literature 1 discloses an imaging device that includes a plurality of signal lines and short-circuits the plurality of signal lines to improve the quality of a captured image.
  • the imaging apparatus it is desired that the quality of the captured image is high, and further improvement in the image quality is expected.
  • the imaging device includes an imaging unit, a connection unit, and a conversion unit.
  • the imaging unit includes a first signal line, a first pixel capable of outputting a first pixel voltage corresponding to the amount of received light to the first signal line, a second signal line, and a second signal line corresponding to the amount of received light. And a second pixel capable of outputting two pixel voltages to a second signal line.
  • the connection unit includes a connection line, a first connection switch capable of connecting the first signal line to the connection line when turned on, and an operation of the first connection switch based on a voltage on the first signal line.
  • a first control circuit capable of controlling the second connection line, a second connection switch capable of connecting the second signal line to the connection line by being turned on, and a second connection based on a voltage of the second signal line.
  • a second control circuit capable of controlling the operation of the switch.
  • the conversion unit is connected to the first signal line and the second signal line, and is configured to be able to perform AD conversion based on the first pixel voltage and the second pixel voltage, respectively.
  • a first pixel outputs a first pixel voltage to a first signal line
  • a second pixel outputs a second pixel voltage to a second signal line.
  • AD conversion is performed based on the first pixel voltage and the second pixel voltage, respectively.
  • the operation of the first connection switch that can connect the first signal line to the connection line is controlled by being turned on based on the voltage of the first signal line, and based on the voltage of the second signal line.
  • the operation of the second connection switch that can connect the second signal line to the connection line by being turned on is controlled.
  • the operation of the first connection switch is controlled based on the voltage of the first signal line
  • the second connection is controlled based on the voltage of the second signal line. Since the operation of the switch is controlled, the quality of the captured image can be improved.
  • the effects described here are not necessarily limited, and any effects described in the present disclosure may be provided.
  • FIG. 1 is a block diagram illustrating a configuration example of an imaging device according to an embodiment of the present disclosure.
  • FIG. 2 is a circuit diagram illustrating a configuration example of a pixel illustrated in FIG. 1.
  • FIG. 2 is a circuit diagram illustrating a configuration example of a reading section illustrated in FIG. 1.
  • FIG. 4 is a circuit diagram illustrating a configuration example of a control circuit illustrated in FIG. 3.
  • FIG. 5 is a timing waveform chart illustrating an operation example of the control circuit illustrated in FIG. 4.
  • FIG. 5 is a circuit diagram illustrating a configuration example of an inverter illustrated in FIG. 4.
  • FIG. 5 is a circuit diagram illustrating another configuration example of the inverter illustrated in FIG. 4.
  • FIG. 4 is a circuit diagram illustrating a configuration example of a comparator illustrated in FIG. 3.
  • FIG. 2 is an explanatory diagram illustrating a mounting example of the imaging device illustrated in FIG. 1.
  • FIG. 9 is another explanatory diagram illustrating a mounting example of the imaging device illustrated in FIG. 8.
  • FIG. 2 is a timing chart illustrating an operation example of the imaging device illustrated in FIG. 1.
  • FIG. 2 is a timing waveform chart illustrating an operation example of the imaging device illustrated in FIG. 1.
  • FIG. 4 is another timing waveform chart illustrating an operation example of the imaging device illustrated in FIG. 1.
  • FIG. 2 is a circuit diagram illustrating a configuration example of a main part of the imaging device illustrated in FIG. 1.
  • FIG. 4 is another timing waveform chart illustrating an operation example of the imaging device illustrated in FIG. 1.
  • FIG. 1 is an explanatory diagram illustrating a mounting example of the imaging device illustrated in FIG. 1.
  • FIG. 9 is another explanatory diagram illustrating a mounting example of the imaging device illustrated in FIG. 8.
  • FIG. 2 is a timing chart illustrating an operation example of the imaging device illustrated in FIG
  • FIG. 2 is another circuit diagram illustrating a configuration example of a main part of the imaging device illustrated in FIG. 1.
  • FIG. 4 is another timing waveform chart illustrating an operation example of the imaging device illustrated in FIG. 1.
  • FIG. 9 is a circuit diagram illustrating a configuration example of a main part of an imaging device according to a comparative example.
  • FIG. 9 is a timing waveform chart illustrating an operation example of an imaging device according to a comparative example.
  • FIG. 3 is an explanatory diagram illustrating a usage example of the imaging device. It is a block diagram showing an example of a schematic structure of a vehicle control system. It is explanatory drawing which shows an example of the installation position of a vehicle exterior information detection part and an imaging part.
  • FIG. 11 is an explanatory diagram illustrating an implementation example of an imaging device according to a modification.
  • Embodiment 2 FIG. 2. Use example of imaging device Example of application to moving objects
  • FIG. 1 illustrates a configuration example of an imaging device (imaging device 1) according to an embodiment.
  • the imaging device 1 includes a pixel array 9, a driving unit 10, a reading unit 20, an imaging control unit 30, and a signal processing unit 40.
  • the pixel array 9 has a plurality of pixels P arranged in a matrix.
  • the pixel P is configured to generate a pixel voltage Vpix according to the amount of received light.
  • FIG. 2 illustrates a configuration example of the pixel P.
  • the pixel array 9 has a plurality of transfer control lines TGL, a plurality of reset control lines RSTL, a plurality of selection control lines SELL, and a plurality of signal lines VSL.
  • the transfer control line TGL extends in the horizontal direction (horizontal direction in FIG. 2), and has one end connected to the drive unit 10.
  • the transfer control signal STG is applied to the transfer control line TGL by the drive unit 10.
  • the reset control line RSTL extends in the horizontal direction, and has one end connected to the driving unit 10.
  • the drive unit 10 applies a reset control signal SRST to the reset control line RSTL.
  • the selection control line SELL extends in the horizontal direction, and one end is connected to the driving unit 10.
  • the selection control signal SSEL is applied to the selection control line SELL by the driving unit 10.
  • the signal line VSL extends in the vertical direction (the vertical direction in FIG. 2), and has one end connected to the reading unit 20.
  • a plurality of pixels P for one row arranged side by side in the horizontal direction constitute a pixel line L.
  • the pixel P has a photodiode PD, a transistor TG, a floating diffusion FD, and transistors RST, AMP, and SEL.
  • the transistors TG, RST, AMP, and SEL are N-type MOS (Metal Oxide Semiconductor) transistors in this example.
  • the photodiode PD is a photoelectric conversion element that generates an amount of charge corresponding to the amount of received light and accumulates the charge inside.
  • the anode of the photodiode PD is grounded, and the cathode is connected to the source of the transistor TG.
  • the gate of the transistor TG is connected to the transfer control line TGL, the source is connected to the cathode of the photodiode PD, and the drain is connected to the floating diffusion FD.
  • the floating diffusion FD is configured to accumulate the charges transferred from the photodiode PD.
  • the floating diffusion FD is configured using, for example, a diffusion layer formed on the surface of a semiconductor substrate. In FIG. 2, the floating diffusion FD is shown using a symbol of a capacitor.
  • the gate of the transistor RST is connected to the reset control line RSTL, the power supply voltage VDD is supplied to the drain, and the source is connected to the floating diffusion FD.
  • the gate of the transistor AMP is connected to the floating diffusion FD, the power supply voltage VDD is supplied to the drain, and the source is connected to the drain of the transistor SEL.
  • the gate of the transistor SEL is connected to the selection control line SELL, the drain is connected to the source of the transistor AMP, and the source is connected to the signal line VSL.
  • the transistor PSEL is turned on based on the selection control signal SSEL applied to the selection control line SELL, so that the pixel P is electrically connected to the signal line VSL.
  • the transistor AMP is connected to the current source 23 (described later) of the reading unit 20, and operates as a so-called source follower.
  • the pixel P outputs a voltage corresponding to the voltage of the floating diffusion FD to the signal line VSL as a signal SIG.
  • the pixel P outputs the reset voltage Vreset in the P-phase period TP, and outputs the pixel voltage Vpix corresponding to the amount of received light in the D-phase period TD.
  • the pixel P outputs the reset voltage Vreset and the pixel voltage Vpix using the signal SIG.
  • the driving unit 10 (FIG. 1) is configured to sequentially drive the plurality of pixels P in the pixel array 9 for each pixel line L based on an instruction from the imaging control unit 30. Specifically, the driving unit 10 applies a plurality of transfer control signals STG to a plurality of transfer control lines TGL in the pixel array 9 and applies a plurality of reset control signals SRST to a plurality of reset control lines RSTL, respectively. By applying a plurality of selection control signals SSEL to a plurality of selection control lines SELL, a plurality of pixels P in the pixel array 9 are driven in units of pixel lines L.
  • the reading unit 20 is configured to generate an image signal DATA0 by performing AD conversion based on the signal SIG supplied from the pixel array 9 via the signal line VSL.
  • FIG. 3 shows an example of the configuration of the reading section 20.
  • FIG. 3 also illustrates the imaging control unit 30 and the signal processing unit 40 in addition to the reading unit 20.
  • the reading unit 20 includes a connection line CONL, a plurality of connection units CON (connection units CON [0], CON [1], CON [2], etc, And a plurality of AD (Analog to Digital) conversion units ADC (AD). .., A plurality of switch units SW (switch units SW [0], SW [1], SW [2],...), And bus wiring BUS.
  • connection line CONL extends in the horizontal direction (the horizontal direction in FIG. 3) and is formed over the plurality of connection parts CON.
  • Each of the plurality of connection units CON is configured to connect the signal line VSL to the connection line CONL based on the voltage of the signal SIG and the control signals SRST0 and VSLCNT supplied from the imaging control unit 30.
  • the plurality of connection parts CON are provided corresponding to the plurality of signal lines VSL. Specifically, the 0th connection portion CON [0] is provided corresponding to the 0th signal line VSL [0], and the 1st connection portion CON [1] is provided with the first signal line VSL [ 1], and the second connection part CON [2] is provided corresponding to the second signal line VSL [2].
  • FIG. 4 shows an example of the configuration of the connection part CON.
  • the connection part CON has a control circuit 70 and a transistor 79.
  • the control circuit 70 is configured to control the operation of the transistor 79 based on the voltage of the signal SIG and the control signals SRST0 and VSLCNT supplied from the imaging control unit 30.
  • the connection unit CON includes transistors 71 to 73, an inverter 74, and an AND circuit 75.
  • the transistor 71 is an N-type MOS transistor, and the transistors 72 and 73 are P-type MOS transistors.
  • the control signal SRST0 is supplied to the gate of the transistor 71, the drain is connected to the drains of the transistors 72 and 73 and the input terminal of the inverter 74, and the source is grounded.
  • Transistor 72 has a gate connected to signal line VSL, a source supplied with power supply voltage VDD, and a drain connected to drains of transistors 71 and 73 and an input terminal of inverter 74.
  • the gate of the transistor 73 is connected to the output terminal of the inverter 74 and the first input terminal of the AND circuit 75, the source is supplied with the power supply voltage VDD, and the drain is connected to the drains of the transistors 71 and 72 and the input terminal of the inverter 74. Is done.
  • the input terminal of the inverter 74 is connected to the drains of the transistors 71 to 73, and the output terminal is connected to the gate of the transistor 73 and the first input terminal of the AND circuit 75.
  • Inverter 74 is configured to change threshold voltage Vth.
  • the first input terminal of the AND circuit 75 is connected to the output terminal of the inverter 74 and the gate of the transistor 73, the second input terminal is supplied with the control signal VSLCNT, and the output terminal is connected to the gate of the transistor 79.
  • the transistor 79 is an N-type MOS transistor.
  • the gate of the transistor 79 is connected to the output terminal of the AND circuit 75 of the control circuit 70, the source is connected to the signal line VSL, and the drain is connected to the connection line CONL.
  • FIG. 5A and 5B show an operation example of the control circuit 70.
  • FIG. 5A shows the waveform of the control signal SRST0
  • FIG. 5B shows the waveform of the signal SIG on the signal line VSL
  • FIG. (D) shows the waveform of the voltage Vout output from the inverter 74.
  • a solid line indicates a case where the voltage of the signal SIG maintains a high voltage as shown in FIG. 5B
  • a broken line indicates a case as shown in FIG. 5B. Shows a case where the voltage of the signal SIG gradually decreases.
  • connection unit CON turns on the transistor 79.
  • Line VSL is connected to connection line CONL.
  • the connection unit CON turns off the transistor 79, and as a result, the signal line VSL is not connected to the connection line CONL.
  • the inverter 74 is configured to change the threshold voltage Vth.
  • an inverter 74 for example, the inverter 74A shown in FIG. 6A or the inverter 74B shown in FIG. 6B can be used.
  • the inverter 74A (FIG. 6A) has transistors 81 and 82, a plurality of circuits 83, and a threshold control circuit 86.
  • the transistor 81 is a P-type MOS transistor.
  • the gate is connected to the gate of the transistor 82 and the input terminal Tin of the inverter 74A.
  • the source is supplied with the power supply voltage VDD.
  • the drain is the drain of the transistor 82 and the output terminal of the inverter 74A. Connected to Tout.
  • the transistor 82 is an N-type MOS transistor.
  • Each of the plurality of circuits 83 includes a switch 84 and a transistor 85.
  • One end of the switch 84 is connected to the input terminal Tin of the inverter 74A, and the other end is connected to the gate of the transistor 85.
  • the switch 84 turns on and off between one end and the other end based on a control signal supplied from the threshold control circuit 86.
  • the gate of the transistor 85 is connected to the other end of the switch 84, the drain is connected to the output terminal Tout of the inverter 74A, and the source is grounded.
  • the threshold control circuit 86 is configured to control the threshold voltage Vth of the inverter 74A by supplying a control signal to the switches 84 of the plurality of circuits 83. With this configuration, in the inverter 74A, the threshold voltage Vth changes according to the number of circuits 83 that turn on the switch 84 among the plurality of circuits 83.
  • the inverter 74B (FIG. 6B) has transistors 91 to 94 and a threshold control circuit 95.
  • the transistors 91 and 92 are P-type MOS transistors, and the transistors 93 and 94 are N-type MOS transistors.
  • the gate of the transistor 91 is supplied with the first control voltage from the threshold control circuit 95, the source is supplied with the power supply voltage VDD, and the drain is connected to the source of the transistor 92.
  • the gate of the transistor 92 is connected to the gate of the transistor 93 and the input terminal Tin of the inverter 74B, the source is connected to the drain of the transistor 91, and the drain is connected to the drain of the transistor 93 and the output terminal Tout.
  • the gate of the transistor 93 is connected to the gate of the transistor 92 and the input terminal Tin of the inverter 74B, the drain is connected to the drain of the transistor 92 and the output terminal Tout of the inverter 74B, and the source is connected to the drain of the transistor 94.
  • the second control voltage is supplied to the gate of the transistor 94 from the threshold control circuit 95, the drain is connected to the source of the transistor 93, and the source is grounded.
  • the threshold control circuit 95 controls the threshold voltage Vth of the inverter 74B by supplying a first control voltage to the gate of the transistor 91 and supplying a second control voltage to the gate of the transistor 94. It is configured as follows. With this configuration, in the inverter 74B, the threshold voltage Vth changes according to the on-resistance value of the transistor 91 and the on-resistance value of the transistor 94.
  • Each of the plurality of AD conversion units ADC (FIG. 3) is configured to convert the voltage of the signal SIG into the digital code CODE by performing AD conversion based on the signal SIG supplied from the pixel array 9.
  • the plurality of AD conversion units ADC are provided corresponding to the plurality of signal lines VSL. Specifically, the 0th AD converter ADC [0] is provided corresponding to the 0th signal line VSL [0], and the first AD converter ADC [1] is connected to the 1st signal line VSL [0].
  • the second AD conversion unit ADC [2] is provided corresponding to VSL [1], and is provided corresponding to the second signal line VSL [2].
  • the AD conversion unit ADC has capacitance elements 21 and 22, a current source 23, a comparator 24, and a counter 25.
  • One end of the capacitive element 21 is supplied with the reference signal REF from the imaging control unit 30, and the other end is connected to the positive input terminal of the comparator 24.
  • this reference signal REF has a so-called ramp waveform in which the voltage level gradually decreases as time elapses in two periods for performing AD conversion (P-phase period TP and D-phase period TD). are doing.
  • One end of the capacitive element 22 is connected to the signal line VSL, and the other end is connected to the negative input terminal of the comparator 24.
  • One end of the current source 23 is connected to the signal line VSL, and the other end is grounded.
  • the current source 23 is configured to flow a current having a predetermined current value from the signal line VSL to the ground.
  • the positive input terminal of the comparator 24 is connected to the other end of the capacitive element 21, the negative input terminal is connected to the other end of the capacitive element 22, and the output terminal is connected to the counter 25.
  • the comparator 24 is configured to compare the voltage at the positive input terminal with the voltage at the negative input terminal and output the comparison result as a signal CMP. Further, the comparator 24 is configured to perform a zero adjustment for setting the voltage values of the capacitance elements 21 and 22 during a predetermined period described later based on the control signal PSET supplied from the imaging control unit 30.
  • FIG. 7 shows an example of the configuration of the comparator 24.
  • the comparator 24 includes transistors 61 and 62, a current source 63, and transistors 64-67.
  • the transistors 61 and 62 are N-type MOS transistors, and the transistors 64-67 are P-type MOS transistors.
  • the gate of the transistor 61 is connected to the source of the transistor 64 and the positive input terminal TinP of the comparator 24, the drain is connected to the drains of the transistors 64 and 66 and the gates of the transistors 66 and 67, and the source is the source of the transistor 62 and the current source 63 To one end.
  • the gate of the transistor 62 is connected to the source of the transistor 65 and the negative input terminal TinN of the comparator 24, the drain is connected to the drains of the transistors 65 and 67 and the output terminal Tout of the comparator 24, and the source is the source of the transistor 61 and the current source 63. To one end. One end of the current source 63 is connected to the sources of the transistors 61 and 62, and the other end is grounded.
  • the gate of the transistor 64 is connected to the control input terminal Tpset, the source is connected to the gate of the transistor 61 and the positive input terminal TinP of the comparator 24, and the drain is connected to the drains of the transistors 61 and 66 and the gates of the transistors 66 and 67. .
  • the gate of the transistor 65 is connected to the control input terminal Tpset, the source is connected to the gate of the transistor 62 and the negative input terminal TinN of the comparator 24, and the drain is connected to the drains of the transistors 62 and 67 and the output terminal Tout of the comparator 24.
  • the gate of the transistor 66 is connected to the drains of the transistors 61, 64, 66 and the gate of the transistor 67, the source is supplied with the power supply voltage VDD, and the drain is connected to the gates of the transistors 66, 67 and the drains of the transistors 61, 64.
  • the gate of the transistor 67 is connected to the gate of the transistor 66 and the drains of the transistors 61, 64, 66, the source is supplied with the power supply voltage VDD, and the drain is connected to the drains of the transistors 62, 65 and the output terminal Tout of the comparator 24.
  • the comparator 24 compares the voltage at the positive input terminal with the voltage at the negative input terminal, and outputs the comparison result as a signal CMP. Further, based on the control signal PSET, the comparator 24 performs zero adjustment for setting the voltage values of the capacitors 21 and 22 by turning on the transistors 64 and 65 for a predetermined period described later. ing.
  • the counter 25 (FIG. 3) counts pulses of the clock signal CLK supplied from the imaging control unit 30 based on the signal CMP supplied from the comparator 24 and the control signal CC supplied from the imaging control unit 30. It is configured to perform an operation.
  • the counter 25 has a latch at the output stage. This latch is configured to output the count value CNT obtained by the counter 25 as a digital code CODE having a plurality of bits.
  • Each of the plurality of switch units SW is configured to supply the digital code CODE output from the AD conversion unit ADC to the bus line BUS based on the control signal SSW supplied from the imaging control unit 30.
  • the plurality of switch units SW are provided corresponding to the plurality of AD conversion units ADC. Specifically, the 0th switch SW [0] is provided corresponding to the 0th AD converter ADC [0], and the first switch SW [1] is connected to the first AD converter.
  • the second switch SW [2] is provided corresponding to the ADC [1], and the second switch SW [2] is provided corresponding to the second AD converter ADC [2].
  • the switch unit SW is configured using the same number of transistors as the number of bits of the digital code CODE. On / off control of these transistors is performed based on each bit (control signals SSW [0], SSW [1], SSW [2],...) Of the control signal SSW supplied from the imaging control unit 30.
  • the 0th switch unit SW [0] is output from the 0th AD conversion unit ADC [0] when each transistor is turned on based on the control signal SSW [0].
  • the supplied digital code CODE is supplied to the bus line BUS.
  • the first switch unit SW [1] outputs the digital signal output from the first AD conversion unit ADC [1] by turning on each transistor based on the control signal SSW [1].
  • the code CODE is supplied to the bus line BUS. The same applies to other switch units SW.
  • the bus wiring BUS has a plurality of wirings and is configured to transmit the digital code CODE output from the AD conversion unit ADC.
  • the bus line BUS is connected to the plurality of switch units SW and to the signal processing unit 40. Using the bus line BUS, the reading unit 20 sequentially transfers a plurality of digital codes CODE supplied from the AD conversion unit ADC to the signal processing unit 40 as the image signal DATA0 (data transfer operation). ).
  • the imaging control unit 30 (FIG. 1) controls the operation of the imaging device 1 by supplying control signals to the driving unit 10, the reading unit 20, and the signal processing unit 40 and controlling the operations of these circuits. It is composed of Specifically, for example, the imaging control unit 30 supplies a control signal to the driving unit 10 so that the driving unit 10 sequentially drives the plurality of pixels P in the pixel array 9 for each pixel line L. Control.
  • the imaging control unit 30 sends the read signal 20 the reference signal REF, the clock signal CLK, the control signals VSLCNT, SRST0, PSET, CC, and the control signal SSW (control signals SSW [0], SSW [1], By supplying SSW [2],...),
  • the reading unit 20 controls to generate the image signal DATA0 based on the signal SIG.
  • the imaging control unit 30 controls the operation of the signal processing unit 40 by supplying a control signal to the signal processing unit 40.
  • the imaging control unit 30 includes the reference signal generation unit 31.
  • the reference signal generator 31 is configured to generate the reference signal REF.
  • the reference signal REF has a so-called ramp waveform in which a voltage level gradually decreases with time in two periods (P-phase period TP and D-phase period TD) in which AD conversion is performed.
  • the reference signal generation unit 31 supplies the reference signal REF to a plurality of AD conversion units ADC of the reading unit 20.
  • the signal processing unit 40 is configured to perform predetermined signal processing on the image signal DATA0 to generate the image signal DATA, and output the image signal DATA.
  • each block illustrated in FIG. 1 may be formed on one semiconductor substrate, for example, or may be formed on a plurality of semiconductor substrates.
  • FIG. 8 illustrates a mounting example of the imaging device 1 when formed on two semiconductor substrates.
  • the imaging device 1 is formed on two semiconductor substrates 101 and 102.
  • the pixel array 9 is formed on the semiconductor substrate 101
  • the driving unit 10, the reading unit 20, the imaging control unit 30, and the signal processing unit 40 are formed on the semiconductor substrate 102.
  • the semiconductor substrates 101 and 102 are overlaid on each other.
  • the signal line VSL formed on the semiconductor substrate 101 and the connection unit CON and the AD conversion unit ADC formed on the semiconductor substrate 102 are electrically connected to each other via the via 103. .
  • FIG. 9 illustrates an example of a circuit arrangement on the semiconductor substrates 101 and 102.
  • the pixel array 9 is formed on the semiconductor substrate 101. That is, on the semiconductor substrate 101, a plurality of pixels P, a plurality of transfer control lines TGL, a plurality of reset control lines RSTL, a plurality of selection control lines SELL, and a plurality of signal lines VSL are formed.
  • the semiconductor substrate 101 is provided with electrode regions 101A and 101B.
  • a plurality of electrodes are formed in the electrode regions 101A and 101B, and the plurality of electrodes are connected to, for example, a plurality of transfer control lines TGL, a plurality of reset control lines RSTL, and a plurality of selections via a through silicon via (TSV). It is connected to a control line SELL and a plurality of signal lines VSL.
  • connection part CON and the peripheral circuit part 104 are formed on the semiconductor substrate 102.
  • the peripheral circuit unit 104 corresponds to the driving unit 10, circuits other than the plurality of connection units CON in the reading unit 20, the imaging control unit 30, and the signal processing unit 40.
  • the semiconductor substrate 102 is provided with electrode regions 102A and 102B. A plurality of electrodes are formed in the electrode regions 102A and 102B, and the plurality of electrodes are connected to the drive unit 10 and the read unit 20 via, for example, a TSV.
  • the semiconductor substrate 101 and the semiconductor substrate 102 are overlapped with each other. Thereby, the plurality of electrodes in the electrode region 101A of the semiconductor substrate 101 are electrically connected to the plurality of electrodes in the electrode region 102A of the semiconductor substrate 102 via the via 103, and the plurality of electrodes in the electrode region 101B of the semiconductor substrate 101 are connected. Are electrically connected to the plurality of electrodes in the electrode region 102B of the semiconductor substrate 102 via the vias 103.
  • the plurality of transfer control lines TGL, the plurality of reset control lines RSTL, and the plurality of selection control lines SELL formed on the semiconductor substrate 101 are connected to the driving unit 10 formed on the semiconductor substrate 102, and the semiconductor substrate 101 Are connected to the read section 20 formed on the semiconductor substrate 102.
  • the semiconductor substrate 101 can be manufactured using a semiconductor manufacturing process specialized for forming pixels. That is, since the semiconductor substrate 101 has no circuits other than the pixel array 9, for example, even when a special manufacturing process is used to form pixels, the manufacturing process affects circuits other than the pixel array 9. None.
  • a semiconductor manufacturing process specialized for forming pixels can be used, so that imaging characteristics of the imaging device 1 can be improved.
  • the plurality of connection parts CON are formed on the semiconductor substrate 102, so that the number of circuits formed on the semiconductor substrate 101 can be reduced. As a result, the semiconductor substrates 101 and 102 can be made smaller.
  • the pixel array 9 corresponds to a specific example of “imaging unit” in the present disclosure.
  • the plurality of connection parts CON correspond to a specific example of “connection part” in the present disclosure.
  • the connection line CONL corresponds to a specific example of “connection line” in the present disclosure.
  • the transistor 79 corresponds to a specific example of “first connection switch” and “second connection switch” in the present disclosure.
  • the control circuit 70 corresponds to a specific example of “first control circuit” and “second control circuit” in the present disclosure.
  • the plurality of AD conversion units ADC correspond to a specific example of a “conversion unit” in the present disclosure.
  • the AD conversion unit ADC corresponds to a specific example of “first conversion circuit” and “second conversion circuit” in the present disclosure.
  • the P-phase period TP and the D-phase period TD correspond to a specific example of “conversion period” in the present disclosure.
  • the period during which the control signal VSLCNT is at a high level corresponds to a specific example of “preparation period” in the present disclosure.
  • the reset voltage Vreset corresponds to a specific example of “first initial voltage” and “second initial voltage” in the present disclosure.
  • the pixel voltage Vpix corresponds to a specific example of “first pixel voltage” and “second pixel voltage” in the present disclosure.
  • the threshold voltage SIGTH corresponds to a specific example of “threshold voltage” in the present disclosure.
  • the capacitance element 21 corresponds to a specific example of “first capacitance element” in the present disclosure.
  • the capacitor 22 corresponds to a specific example of “a second capacitor” in the present disclosure.
  • the comparator 24 corresponds to a specific example of “comparing circuit” in the present disclosure.
  • the transistor 61 corresponds to a specific example of “first transistor” in the present disclosure.
  • the transistor 62 corresponds to a specific example of “second transistor” in the present disclosure.
  • the transistor 64 corresponds to a specific example of “first switch” in the present disclosure.
  • the transistor 65 corresponds to a specific example of “second switch” in the present disclosure.
  • the drive unit 10 sequentially drives the pixels P in the pixel array 9 for each pixel line L.
  • the pixel P outputs the reset voltage Vreset during the P-phase period TP, and outputs the pixel voltage Vpix according to the amount of received light during the D-phase period TD.
  • the connection unit CON connects the signal line VSL to the connection line CONL according to the voltage of the signal SIG.
  • the AD conversion unit ADC performs AD conversion based on the reset voltage Vreset and the pixel voltage Vpix, respectively, to generate a digital code CODE.
  • the reading unit 20 generates an image signal DATA0 based on the digital code CODE.
  • the signal processing unit 40 performs predetermined signal processing on the image signal DATA0 to generate the image signal DATA, and outputs the image signal DATA.
  • each of the pixels P in the pixel array 9 accumulates charges according to the amount of received light and outputs a reset voltage Vreset and a pixel voltage Vpix as a signal SIG.
  • a reset voltage Vreset and a pixel voltage Vpix as a signal SIG.
  • FIG. 10 illustrates an example of an operation of scanning a plurality of pixels P in the pixel array 9.
  • FIGS. 11A and 11B illustrate an operation example of the imaging apparatus 1.
  • FIG. 11A illustrates a waveform of the horizontal synchronization signal XHS
  • FIG. 11B illustrates a reset control signal SRST (0) related to the 0th pixel line L.
  • C shows the waveform of the transfer control signal STG (0) for the 0th pixel line L
  • (D) shows the waveform of the selection control signal SSEL (0) for the 0th pixel line L.
  • (E) shows the waveform of the reset control signal SRST (1) for the first pixel line L
  • (F) shows the waveform of the transfer control signal STG (1) for the first pixel line L
  • (G) shows the waveform of the selection control signal SSEL (1) for the first pixel line L
  • (H) shows the waveform of the reset control signal SRST (2) for the second pixel line L
  • the imaging device 1 performs the accumulation start drive D1 on the plurality of pixels P in the pixel array 9 in the vertical direction from the top in the period from the timing t0 to the timing t1.
  • the driving unit 10 turns on the transistors TG and RST in a predetermined period within the horizontal period H in units of pixel lines L in order from the top in the vertical direction, for example. Set.
  • charge is accumulated in the accumulation period T10 until the readout driving D2 is performed.
  • the imaging device 1 performs the readout driving D2 on the plurality of pixels P sequentially from the top in the vertical direction during the period from the timing t10 to the timing t11.
  • the drive unit 10 controls the operations of the transistors TG, RST, and SEL in units of pixel lines L in order from the top in the vertical direction.
  • each of the plurality of pixels P sequentially outputs the reset voltage Vreset and the pixel voltage Vpix.
  • the reading unit 20 performs AD conversion based on the reset voltage Vreset and the pixel voltage Vpix, respectively, to generate a digital code CODE.
  • the imaging device 1 repeats the accumulation start drive D1 and the readout drive D2. Specifically, as shown in FIG. 10, the imaging device 1 performs the accumulation start drive D1 during the period from timing t2 to t3, and performs the readout drive D2 during the period from timing t12 to t13. Further, the imaging device 1 performs the accumulation start drive D1 during the period from timing t4 to t5, and performs the readout drive D2 during the period from timing t14 to t15.
  • FIGS. 12A and 12B show an operation example of the readout driving D2 in the focused pixel PA.
  • FIG. 12A shows the waveform of the horizontal synchronization signal XHS
  • FIG. 12B shows the waveform of the reset control signal SRST
  • FIG. ) Shows the waveform of the transfer control signal STG
  • D shows the waveform of the selection control signal SSEL
  • E shows the waveform of the reference signal REF
  • F shows the waveform of the signal SIG
  • G Shows the waveform of the signal CMP output from the comparator 24 of the AD converter ADC
  • H shows the waveform of the clock signal CLK
  • (I) shows the count value CNT in the counter 25 of the AD converter ADC.
  • the waveforms of the reference signal REF and the signal SIG are shown on the same voltage axis.
  • the reference signal REF in FIG. 12E indicates a waveform at the positive input terminal of the comparator 24
  • the signal SIG in FIG. 12F indicates a waveform at the negative input terminal of the comparator 24.
  • the drive unit 10 performs a reset operation on the pixel PA, and the AD conversion unit ADC resets the reset output from the pixel PA in the subsequent P-phase period TP.
  • AD conversion is performed based on the voltage Vreset.
  • the drive unit 10 performs a charge transfer operation on the pixel PA, and the AD conversion unit ADC performs AD conversion based on the pixel voltage Vpix output from the pixel PA during the D-phase period TD.
  • this operation will be described in detail.
  • the driving unit 10 changes the voltage of the selection control signal SSEL from the low level to the high level at the timing t22 (FIG. 12D). Accordingly, in the pixel PA, the transistor SEL is turned on, and the pixel PA is electrically connected to the signal line VSL.
  • the drive unit 10 changes the voltage of the reset control signal SRST from a low level to a high level (FIG. 12B).
  • the transistor RST is turned on, and the voltage of the floating diffusion FD is set to the power supply voltage VDD (reset operation).
  • the drive unit 10 changes the voltage of the reset control signal SRST from a high level to a low level (FIG. 12B).
  • the transistor RST is turned off.
  • the comparator 24 performs zero adjustment for setting the voltage values of the capacitors 21 and 22, and the connection unit CON sets the signal line according to the voltage of the signal SIG. Connect VSL to connection line CONL.
  • the reference signal generation unit 31 changes the voltage of the reference signal REF to the voltage V1 (FIG. 12E).
  • the transistor SEL is turned on, and the transistors TG and RST are turned off.
  • the floating diffusion FD holds the charge at the time when the floating diffusion FD was reset during a period from timing t23 to t24.
  • the pixel PA outputs a reset voltage Vreset corresponding to the voltage at the floating diffusion FD at this time.
  • the reading unit 20 performs AD conversion based on the reset voltage Vreset. Specifically, first, at timing t26, the imaging control unit 30 starts generating the clock signal CLK ((H) in FIG. 12), and at the same time, the reference signal generation unit 31 changes the voltage of the reference signal REF. , The voltage V1 starts to decrease at a predetermined change degree (FIG. 12E). In response, the counter 25 of the AD conversion unit ADC starts the counting operation and sequentially changes the count value CNT (FIG. 12 (I)).
  • the imaging control unit 30 stops generating the clock signal CLK with the end of the P-phase period TP (FIG. 12 (H)).
  • the reference signal generator 31 stops changing the voltage of the reference signal REF, and changes the voltage of the reference signal REF to the voltage V1 at the subsequent timing t29 (FIG. 12E). Accordingly, since the voltage of the reference signal REF exceeds the reset voltage Vreset (FIGS. 12E and 12F), the comparator 24 of the AD converter ADC changes the voltage of the signal CMP from a low level to a high level. (FIG. 12 (G)).
  • the counter 25 of the AD conversion unit ADC inverts the polarity of the count value CNT based on the control signal CC (FIG. 12 (I)).
  • the drive unit 10 changes the voltage of the transfer control signal STG from a low level to a high level (FIG. 12C).
  • the transistor TG is turned on, and as a result, the charges generated in the photodiode PD are transferred to the floating diffusion FD (charge transfer operation).
  • the voltage of the signal SIG decreases (FIG. 12F).
  • the driving unit 10 changes the voltage of the transfer control signal STG from the high level to the low level (FIG. 12C).
  • the transistor TG is turned off.
  • the transistor SEL is turned on, and the transistors TG and RST are turned off.
  • the floating diffusion FD holds the charge transferred from the photodiode PD during the period from the timing t31 to the timing t32.
  • the pixel PA outputs a pixel voltage Vpix corresponding to the voltage at the floating diffusion FD at this time.
  • the readout unit 20 performs AD conversion based on the pixel voltage Vpix. Specifically, first, at a timing t33, the imaging control unit 30 starts generating the clock signal CLK ((H) in FIG. 12), and at the same time, the reference signal generation unit 31 changes the voltage of the reference signal REF. , The voltage V1 starts to decrease at a predetermined change degree (FIG. 12E). In response, the counter 25 of the AD conversion unit ADC starts the counting operation and sequentially changes the count value CNT (FIG. 12 (I)).
  • the voltage of the reference signal REF falls below the pixel voltage Vpix (FIGS. 12E and 12F).
  • the comparator 24 of the AD converter ADC changes the voltage of the signal CMP from a high level to a low level (FIG. 12 (G)).
  • the counter 25 stops the counting operation (FIG. 12 (I)).
  • the AD conversion unit ADC obtains the count value CNT corresponding to the difference between the reset voltage Vreset and the pixel voltage Vpix.
  • the latch at the output stage of the counter 25 latches the count value CNT and outputs the latched count value CNT as a digital code CODE.
  • the imaging control unit 30 stops generating the clock signal CLK with the end of the D-phase period TD (FIG. 12H).
  • the reference signal generation unit 31 stops changing the voltage of the reference signal REF, and changes the voltage of the reference signal REF to the voltage V2 at the subsequent timing t36 (FIG. 12E). Accordingly, since the voltage of the reference signal REF exceeds the pixel voltage Vpix (FIGS. 12E and 12F), the comparator 24 of the AD converter ADC changes the voltage of the signal CMP from a low level to a high level. (FIG. 12 (G)).
  • the drive unit 10 changes the voltage of the selection control signal SSEL from a high level to a low level (FIG. 12D). Accordingly, in the pixel PA, the transistor SEL is turned off, and the pixel PA is electrically disconnected from the signal line VSL.
  • the counter 25 of the AD conversion unit ADC resets the count value CNT to “0” based on the control signal CC (FIG. 12 (I)).
  • the imaging device 1 performs the counting operation based on the reset voltage Vreset in the P-phase period TP, and after inverting the polarity of the count value CNT, performs the counting operation based on the pixel voltage Vpix in the D-phase period TD. I did it. Thereby, the imaging device 1 can acquire the digital code CODE corresponding to the difference voltage between the reset voltage Vreset and the pixel voltage Vpix. In the imaging device 1, since such a correlation double sampling is performed, a noise component included in the pixel voltage Vpix can be removed, and as a result, the quality of a captured image can be improved.
  • connection unit CON (About operation of connection part CON) Next, the operation of the connection unit CON will be described in detail. In the following, as shown in FIG. 13, attention will be focused on two signal lines VSL (signal lines VSL [M] and VSL [N]) among the plurality of signal lines VSL.
  • Pixel P [M] is connected to signal line VSL [M]
  • pixel P [N] is connected to signal line VSL [N].
  • These pixels P [M] and P [N] belong to the same pixel line L.
  • the signal line VSL [M] transmits the signal SIG [M]
  • the signal line VSL [N] transmits the signal SIG [N].
  • the connection unit CON [M] and the AD conversion unit ADC [M] are connected to the signal line VSL [M]
  • the connection unit CON [N] and the AD conversion unit ADC [N] are connected to the signal line VSL [N]. Is connected.
  • FIG. 14A and 14B illustrate an operation example of the connection unit CON, in which FIG. 14A illustrates a waveform of the reset control signal SRST related to the pixels P [M] and P [N], and FIG. ], P [N], the waveform of the transfer control signal STG, (C) shows the waveform of the selection control signal SSEL of the pixels P [M], P [N], and (D) shows the waveform of the control signal PSET.
  • E) shows the waveform of the control signal VSLCNT
  • F shows the waveform of the signal SIG [M]
  • G shows the waveform of the signal SIG [N]
  • (H) shows the AD conversion.
  • the waveform of the signal (signal SN [M]) at the negative input terminal of the comparator 24 of the unit ADC [M] is shown, and (I) shows the signal (signal SN [signal] at the negative input terminal of the comparator 24 of the AD conversion unit ADC [N]. N]).
  • 14 (F) and 14 (G) show the waveforms of the signals SIG [M] and SIG [N] on the same voltage axis
  • FIGS. 14 (H) and 14 (I) show the signals SN [M] and SN
  • the waveform [N] is shown on the same voltage axis.
  • the pixels P [M] and P [N] hardly detect light, and thus the pixels P [M] and P [N] output a pixel voltage Vpix substantially equal to the reset voltage Vreset. .
  • the driving unit 10 changes the voltage of the selection control signal SSEL from a low level to a high level (FIG. 14C). Accordingly, in the pixels P [M] and P [N], the transistor SEL is turned on, the pixel P [M] is electrically connected to the signal line VSL [M], and the pixel P [N] is connected to the signal line. It is electrically connected to VSL [N].
  • the drive unit 10 changes the voltage of the reset control signal SRST from a low level to a high level (FIG. 14A).
  • the transistor RST is turned on, and the voltage of the floating diffusion FD is set to the power supply voltage VDD (reset operation).
  • the signals SIG [M] and SIG [N] rise (FIGS. 14F and 14G).
  • the voltages of the signals SIG [M] and SIG [N] are different from each other due to, for example, characteristic variations of the transistor AMP. Specifically, in this example, the voltage of the signal SIG [M] is higher than the voltage of the signal SIG [N].
  • the imaging control unit 30 changes the voltage of the control signal PSET from a high level to a low level (FIG. 14D).
  • the AD converters ADC [M] and ADC [N] the transistors 64 and 65 (FIG. 7) of the comparator 24 are turned on.
  • the voltages (the voltages of the signals SN [M] and SN [N]) at the negative input terminals of these comparators 24 increase (FIG. 14 (H), (I)).
  • the drive unit 10 changes the voltage of the reset control signal SRST from a high level to a low level (FIG. 14A).
  • the transistor RST is turned off.
  • the reset control signal SRST is transmitted to the floating diffusion FD via the parasitic capacitance of the transistor RST, so that the signals SIG [M] and SIG [N] decrease (FIGS. 14 (F) and (G)).
  • the voltage of the signal SIG [M] is higher than the voltage of the signal SIG [N] by the voltage difference ⁇ V.
  • the signals SN [M] and SN [N] fall (FIG. 14 (H), (I)).
  • the imaging control unit 30 changes the voltage of the control signal VSLCNT from the low level to the high level (FIG. 14E).
  • the connection part CON [M] connects the signal line VSL [M] to the connection line CONL
  • the connection part CON [N] connects the signal line VSL [N] to the connection line CONL. That is, since the voltage of the signal SIG [M] is higher than the threshold voltage SIGTH, the transistor 79 is turned on at the connection point CON [M] based on the control signal VSLCNT, and the signal line VSL [M] is turned on. Connected to connection line CONL.
  • the transistor 79 is turned on at the connection point CON [N] based on the control signal VSLCNT, and the signal line VSL [N]. Are connected to the connection line CONL. Accordingly, signal line VSL [M] and signal line VSL [N] are connected to each other via connection line CONL, so that the voltage of signal SIG [M] decreases and the voltage of signal SIG [N] increases. Then, the voltages of the signals SIG [M] and SIG [N] become equal to each other (FIGS. 14 (F) and (G)). At this time, the voltages of the signals SN [M] and SN [N] are maintained (FIGS. 14H and 14I). In this way, zero adjustment is performed in the AD converter ADC [M], and the voltages of the capacitors 21 and 21 are set. Similarly, zero adjustment is performed in the AD converter ADC [N] and the capacitor 21 , 21 are set.
  • the imaging control unit 30 changes the voltage of the control signal VSLCNT from a high level to a low level (FIG. 14E).
  • the connection unit CON [M] disconnects the signal line VSL [M] from the connection line CONL
  • the connection unit CON [N] disconnects the signal line VSL [N] from the connection line CONL.
  • the voltages of the signals SIG [M] and SIG [N] return to the voltages immediately before the timing t44 (FIGS. 14 (F) and 14 (G)).
  • a voltage difference ⁇ V is generated between the voltage of the signal SIG [M] and the voltage of the signal SIG [N], as in the case immediately before the timing t44.
  • the voltage of the signals SIG [M] and SIG [N] is the reset voltage Vreset.
  • the imaging control unit 30 changes the voltage of the control signal PSET from a low level to a high level (FIG. 14D).
  • the transistors 64 and 65 (FIG. 7) of the comparator 24 are turned off.
  • the gate of the transistor 62 of the comparator 24 enters a floating state, and thereafter, the voltage between both ends of the capacitor 22 is maintained. Therefore, the voltage of the signal SN [M] increases according to the change in the voltage of the signal SIG [M], and the voltage of the signal SN [N] increases according to the change in the voltage of the signal SIG [N] ( (FIG. 14 (H), (I)).
  • a voltage difference ⁇ V occurs between the voltage of the signal SN [M] and the voltage of the signal SN [N].
  • the AD conversion unit ADC [M] performs AD conversion based on the reset voltage Vreset of the signal SIG [M], and the AD conversion unit ADC [N] resets the signal SIG [N].
  • AD conversion is performed based on the voltage Vreset.
  • the driving unit 10 changes the voltage of the transfer control signal STG from the low level to the high level, and at timing t47, the driving unit 10 changes the voltage of the transfer control signal STG from the high level to the low level. (FIG. 14B). Thereafter, the voltage of the signals SIG [M] and SIG [N] is the pixel voltage Vpix (FIGS. 14F and 14G).
  • the AD conversion unit ADC [M] performs AD conversion based on the pixel voltage Vpix of the signal SIG [M], and the AD conversion unit ADC [N] outputs the pixel SIG [N].
  • AD conversion is performed based on the voltage Vpix.
  • the AD conversion unit ADC [M] generates the digital code CODE corresponding to the light reception amount at the pixel P [M]
  • the AD conversion unit ADC [N] generates the digital code CODE based on the light reception amount at the pixel P [N].
  • a corresponding digital code CODE is generated.
  • the voltage of the negative input terminal of the comparator 24 of the AD converter ADC [M] (the voltage of the signal SN [M]).
  • the voltage of the negative input terminal of the comparator 24 of the AD converter ADC [M] (the voltage of the signal SN [N]) can be different from each other.
  • the voltage difference ⁇ V between the voltage of the signal SN [M] and the voltage of the signal SN [N] is caused by the variation of the pixels P [M] and P [N]. Therefore, in the plurality of AD conversion units ADC, the voltage at the negative input terminal of the comparator 24 can be varied according to the variation of the plurality of pixels P in the selected pixel line L.
  • the voltage at the negative input terminal of the comparator 24 changes according to the selected pixel line L.
  • the imaging device 1 it is possible to reduce the possibility that vertical streaks will occur in the captured image.
  • the variation of the quantization error in the column direction varies in the row direction (horizontal direction). It is smaller than the variation of the quantization error. That is, in the column direction, since one AD converter performs AD conversion, the variation in quantization error is small, and in the row direction, different AD converters perform AD conversion, so that the variation in quantization error is large. As a result, vertical streaks may occur in the captured image. Therefore, in the imaging device 1, the connection part CON is provided, and the signal line VSL is connected to the connection line CONL.
  • the voltage at the negative input terminal of the comparator 24 changes according to the selected pixel line L.
  • the variation of the quantization error in the column direction can be increased, so that the possibility that vertical stripes occur in the captured image can be reduced.
  • connection unit CON Next, the operation of the connection unit CON will be described in detail using another example.
  • VSL signal lines VSL [L], VSL [M], and VSL [N]
  • Pixel P [L] is connected to signal line VSL [L]
  • pixel P [M] is connected to signal line VSL [M]
  • pixel P [N] is connected to signal line VSL [N].
  • These pixels P [L], P [M], P [N] belong to the same pixel line L.
  • Signal line VSL [L] transmits signal SIG [L]
  • signal line VSL [M] transmits signal SIG [M]
  • signal line VSL [N] transmits signal SIG [N].
  • connection unit CON [L] and the AD conversion unit ADC [L] are connected to the signal line VSL [L]
  • the connection unit CON [M] and the AD conversion unit ADC [M] are connected to the signal line VSL [M].
  • Is connected to the signal line VSL [N] and the connection unit CON [N] and the AD conversion unit ADC [N] are connected.
  • FIGS. 16A and 16B show an operation example of the connection unit CON, wherein FIG. 16A shows a waveform of the control signal PSET, FIG. 16B shows a waveform of the control signal VSLCNT, and FIG. 16C shows a waveform of the reference signal REF.
  • D shows the waveform of the signal SIG [L]
  • E shows the waveform of the signal SIG [M]
  • F shows the waveform of the signal SIG [N].
  • FIGS. 16C to 16F show the waveforms of the reference signal REF and the signals SIG [L], SIG [M], and SIG [N] on the same voltage axis.
  • the amount of light received at the pixels P [L] and P [N] is small, and the amount of light received at the pixel P [M] is large.
  • the imaging control unit 30 sets the voltage of the control signal PSET to a low level (FIG. 16A).
  • the transistors 64 and 65 (FIG. 7) of the comparator 24 are turned on.
  • the voltages of the signals SIG [L] and SIG [N] are different from each other due to, for example, characteristic variations of the transistor AMP (FIGS. 16D and 16F). Specifically, in this example, the voltage of the signal SIG [L] is higher than the voltage of the signal SIG [N] by the voltage difference ⁇ V.
  • the imaging control unit 30 changes the voltage of the control signal VSLCNT from the low level to the high level (FIG. 16B). Since the voltages of the signals SIG [L], SIG [M], and SIG [N] are higher than the threshold voltage SIGTH (FIGS. 16D to 16F), the connection part CON [L] is connected to the signal line VSL. [L] is connected to the connection line CONL, the connection part CON [M] connects the signal line VSL [M] to the connection line CONL, and the connection part CON [N] is connected to the signal line VSL [N] to the connection line CONL. Connecting.
  • the voltage of the signal SIG [M] gradually decreases. Since the signal lines VSL [L], VSL [M], and VSL [N] are connected to each other via the connection line CONL, the voltage of the signals SIG [L] and SIG [N] is equal to the signal SIG [M]. It decreases as it approaches.
  • connection unit CON [M] disconnects the signal line VSL [M] from the connection line CONL.
  • the signal lines VSL [L] and VSL [N] are disconnected from the signal line VSL [M], so that the voltages of the signals SIG [L] and SIG [N] start to increase (FIGS. 16D and 16D). F)). Since the signal line VSL [M] and the signal line VSL [N] are connected to each other via the connection line CONL, the voltage of the signal SIG [M] and the voltage of the signal SIG [N] are equal to each other.
  • the imaging control unit 30 changes the voltage of the control signal VSLCNT from a high level to a low level, and changes the voltage of the control signal PSET from a low level to a high level (FIG. 16A, (B)).
  • the connection unit CON [L] disconnects the signal line VSL [L] from the connection line CONL
  • the connection unit CON [N] disconnects the signal line VSL [N] from the connection line CONL.
  • a voltage difference ⁇ V occurs between the voltage of the signal SIG [L] and the voltage of the signal SIG [N], as in the case immediately before the timing t51 (FIGS. 16D and 16F).
  • the reference signal generation unit 31 changes the voltage of the reference signal REF to the voltage V1 at the timing t54, and changes the voltage of the reference signal REF from the voltage V1 during the period from the timing t55 to t56 (P-phase period TP). It is reduced at a predetermined change degree (FIG. 16C). Then, the AD converter ADC [L] performs AD conversion based on the reset voltage Vreset of the signal SIG [L], and the AD converter ADC [N] performs AD conversion based on the reset voltage Vreset of the signal SIG [N]. Perform the conversion.
  • the reference signal generation unit 31 changes the voltage of the reference signal REF to the voltage V1 at the timing t57, and changes the voltage of the reference signal REF from the voltage V1 to the predetermined voltage in a period (D-phase period TD) from the timing t58 to t59. (FIG. 16C).
  • the AD conversion unit ADC [L] performs AD conversion based on the pixel voltage Vpix of the signal SIG [L]
  • the AD conversion unit ADC [N] performs AD conversion based on the pixel voltage Vpix of the signal SIG [N]. Perform the conversion.
  • the connection unit CON [M] disconnects the signal line VSL [M] from the connection line CONL.
  • the possibility that the value (pixel value) indicated by the obtained digital code CODE decreases can be reduced, and the image quality can be improved.
  • the imaging device 1R includes a pixel array 9, a driving unit 10, a reading unit 20R, an imaging control unit 30R, and a signal processing unit 40.
  • FIG. 17 illustrates a configuration example of the reading section 20R.
  • the reading unit 20R has a plurality of connection units CONR.
  • Each of the plurality of connection parts CONR has a transistor 79.
  • the control voltage VSLCNT from the imaging control unit 30R is supplied to the gate of the transistor 79. That is, the reading unit 20R is configured by omitting the control circuit 70 from the reading unit 20 according to the present embodiment.
  • the connection unit CONR connects the signal line VSL to the connection line CONL during a period when the voltage of the control signal VSLCNT is at a high level.
  • the imaging control unit 30R is configured to control the operation of the imaging apparatus 1R by supplying control signals to the driving unit 10, the reading unit 20R, and the signal processing unit 40 and controlling the operation of these circuits. .
  • the imaging control unit 30R sends a reference signal REF, a clock signal CLK, control signals VSLCNT, PSET, CC, and a control signal SSW (control signals SSW [0], SSW [1], SSW [2] to the reading unit 20R. ,...),
  • the reading unit 20R controls to generate the image signal DATA0 based on the signal SIG.
  • FIGS. 18A and 18B show an operation example of the connection unit CONR.
  • FIG. 18A shows the waveform of the control signal PSET
  • FIG. 18B shows the waveform of the control signal VSLCNT
  • FIG. 18C shows the waveform of the reference signal REF.
  • D shows the waveform of the signal SIG [L]
  • E shows the waveform of the signal SIG [M]
  • F shows the waveform of the signal SIG [N].
  • FIGS. 18C to 18F show the waveforms of the reference signal REF and the signals SIG [L], SIG [M], and SIG [N] on the same voltage axis.
  • the amount of light received at the pixels P [L] and P [N] is small, and the amount of light received at the pixel P [M] is large.
  • the imaging control unit 30R sets the voltage of the control signal PSET to a low level (FIG. 18A).
  • the transistors 64 and 65 (FIG. 7) of the comparator 24 are turned on.
  • the imaging control unit 30R changes the voltage of the control signal VSLCNT from a low level to a high level (FIG. 18B). Since the voltages of the signals SIG [L], SIG [M] and SIG [N] are higher than the threshold voltage SIGTH (FIGS. 18D to 18F), the connection part CONR [L] is connected to the signal line VSL. [L] is connected to the connection line CONL, the connection part CONR [M] is connected to the signal line VSL [M] to the connection line CONL, and the connection part CONR [N] is connected to the signal line VSL [N] to the connection line CONL. Connecting.
  • the imaging control unit 30R changes the voltage of the control signal VSLCNT from a high level to a low level, and also changes the voltage of the control signal PSET from a low level to a high level (FIG. 18A, (B)).
  • the connection part CONR [L] disconnects the signal line VSL [L] from the connection line CONL
  • the connection part CONR [M] disconnects the signal line VSL [M] from the connection line CONL
  • the connection part CONR [N] The signal line VSL [N] is disconnected from the connection line CONL.
  • the voltages of the signals SIG [L] and SIG [N] change toward the voltage immediately before the timing t61.
  • the voltage of the signal SIG [L] returns to the voltage immediately before the timing t61 at the timing t64 (FIG. 18D).
  • the voltage of the signal SIG [L] is higher than the voltage V1 of the reference signal REF.
  • the voltage of the signal SIG [L] (reset voltage Vreset) does not intersect with the reference signal REF during the period from timing t65 to timing t68 (P-phase period TP). That is, the voltage of the signal SIG [L] exceeds the voltage range in which the AD converter ADC [L] can operate in the P-phase period TP. Therefore, the AD converter ADC [L] cannot normally perform the AD conversion during the P-phase period TP.
  • the voltage of the reference signal REF is lower than the voltage of the signal SIG [L] (reset voltage Vreset), and therefore, the counter 25 of the AD converter ADC [L]. Does not start the count operation, and the count value CNT becomes “0”.
  • the pixel value indicated by the digital code CODE obtained by performing the AD conversion in the P-phase period TP and the D-phase period TD by the AD conversion unit ADC [L] becomes lower than the desired pixel value. I will.
  • the voltage of the signal SIG [N] returns to the voltage immediately before the timing t61 at the timing t67 after the P-phase period TP starts at the timing t65 (FIG. 18F). That is, in this example, after the timing t63, since the voltage width in which the voltage of the signal SIG [N] should change is wide, it takes time to settle. Accordingly, in the period from timing t65 to t68 (P-phase period TP), the voltage of the signal SIG [N] crosses the reference signal REF at timing t66 when the voltage is changing. Therefore, the AD converter ADC [N] cannot normally perform the AD conversion during the P-phase period TP.
  • the count value CNT of the counter 25 of the AD converter ADC [N] becomes a count value corresponding to the timing t66, and becomes a count value larger than a desired count value.
  • the pixel value indicated by the digital code CODE obtained by performing the AD conversion in the P-phase period TP and the D-phase period TD by the AD conversion unit ADC [N] becomes lower than the desired pixel value. I will.
  • the AD conversion unit ADC may not be able to perform normal AD conversion during the P-phase period TP, and as a result, the value (pixel value) indicated by the obtained digital code CODE may be changed. It will be lower.
  • the imaging device 1 when the voltage of the signal SIG [M] is lower than the threshold voltage SIGTH, the signal line VSL [M] is separated from the connection line CONL. This can reduce the possibility that the voltages of the signals SIG [L] and SIG [N] become too low, as shown at timings t52 to t53 in FIG. 16, so that the signals SIG [L] and SIG [N] can be reduced. ] Can return to the original voltage in a short time after timing t53. Therefore, the AD conversion unit ADC can normally perform the AD conversion in the P-phase period TP. As a result, in the imaging device 1, a desired digital code CODE can be obtained by AD conversion, so that image quality can be improved.
  • FIG. 19 illustrates an example of use of the imaging device 1 according to the above embodiment.
  • the above-described imaging device 1 can be used in various cases for sensing light such as visible light, infrared light, ultraviolet light, and X-ray, for example, as described below.
  • the technology (the present technology) according to the present disclosure can be applied to various products.
  • the technology according to the present disclosure is realized as a device mounted on any type of moving object such as an automobile, an electric vehicle, a hybrid electric vehicle, a motorcycle, a bicycle, a personal mobility, an airplane, a drone, a ship, and a robot. You may.
  • FIG. 20 is a block diagram illustrating a schematic configuration example of a vehicle control system that is an example of a moving object control system to which the technology according to the present disclosure can be applied.
  • Vehicle control system 12000 includes a plurality of electronic control units connected via communication network 12001.
  • the vehicle control system 12000 includes a drive system control unit 12010, a body system control unit 12020, an outside information detection unit 12030, an inside information detection unit 12040, and an integrated control unit 12050.
  • a microcomputer 12051, an audio / video output unit 12052, and a vehicle-mounted network I / F (interface) 12053 are illustrated.
  • the drive system control unit 12010 controls the operation of the device related to the drive system of the vehicle according to various programs.
  • the driving system control unit 12010 includes a driving force generating device for generating driving force of the vehicle such as an internal combustion engine or a driving motor, a driving force transmission mechanism for transmitting driving force to wheels, and a steering angle of the vehicle. It functions as a control mechanism such as a steering mechanism for adjusting and a braking device for generating a braking force of the vehicle.
  • the body control unit 12020 controls the operation of various devices mounted on the vehicle body according to various programs.
  • the body control unit 12020 functions as a keyless entry system, a smart key system, a power window device, or a control device for various lamps such as a head lamp, a back lamp, a brake lamp, a blinker, and a fog lamp.
  • a radio wave or various switch signals transmitted from a portable device replacing the key may be input to the body control unit 12020.
  • the body control unit 12020 receives the input of these radio waves or signals and controls a door lock device, a power window device, a lamp, and the like of the vehicle.
  • Out-of-vehicle information detection unit 12030 detects information external to the vehicle on which vehicle control system 12000 is mounted.
  • an imaging unit 12031 is connected to the outside-of-vehicle information detection unit 12030.
  • the out-of-vehicle information detection unit 12030 causes the imaging unit 12031 to capture an image outside the vehicle, and receives the captured image.
  • the out-of-vehicle information detection unit 12030 may perform an object detection process or a distance detection process of a person, a vehicle, an obstacle, a sign, a character on a road surface, or the like based on the received image.
  • the imaging unit 12031 is an optical sensor that receives light and outputs an electric signal according to the amount of received light.
  • the imaging unit 12031 can output an electric signal as an image or can output the information as distance measurement information.
  • the light received by the imaging unit 12031 may be visible light or non-visible light such as infrared light.
  • the in-vehicle information detection unit 12040 detects information in the vehicle.
  • the in-vehicle information detection unit 12040 is connected to, for example, a driver status detection unit 12041 that detects the status of the driver.
  • the driver state detection unit 12041 includes, for example, a camera that captures an image of the driver, and the in-vehicle information detection unit 12040 determines the degree of driver fatigue or concentration based on the detection information input from the driver state detection unit 12041. The calculation may be performed, or it may be determined whether the driver has fallen asleep.
  • the microcomputer 12051 calculates a control target value of the driving force generation device, the steering mechanism or the braking device based on the information on the inside and outside of the vehicle acquired by the outside information detection unit 12030 or the inside information detection unit 12040, and the drive system control unit A control command can be output to 12010.
  • the microcomputer 12051 implements the functions of ADAS (Advanced Driver Assistance System) including vehicle collision avoidance or impact mitigation, following running based on the following distance, vehicle speed maintaining running, vehicle collision warning, vehicle lane departure warning, and the like. Cooperative control for the purpose.
  • ADAS Advanced Driver Assistance System
  • the microcomputer 12051 controls the driving force generation device, the steering mechanism, the braking device, and the like based on the information about the surroundings of the vehicle obtained by the outside information detection unit 12030 or the inside information detection unit 12040, so that the driver 120 It is possible to perform cooperative control for automatic driving or the like in which the vehicle travels autonomously without depending on the operation.
  • the microcomputer 12051 can output a control command to the body system control unit 12020 based on information on the outside of the vehicle acquired by the outside information detection unit 12030.
  • the microcomputer 12051 controls the headlamp according to the position of the preceding vehicle or the oncoming vehicle detected by the outside information detection unit 12030, and performs cooperative control for the purpose of preventing glare such as switching a high beam to a low beam. It can be carried out.
  • the sound image output unit 12052 transmits at least one of a sound signal and an image signal to an output device capable of visually or audibly notifying a passenger of the vehicle or the outside of the vehicle of information.
  • an audio speaker 12061, a display unit 12062, and an instrument panel 12063 are illustrated as output devices.
  • the display unit 12062 may include, for example, at least one of an on-board display and a head-up display.
  • FIG. 21 is a diagram illustrating an example of an installation position of the imaging unit 12031.
  • the vehicle 12100 has imaging units 12101, 12102, 12103, 12104, and 12105 as the imaging unit 12031.
  • the imaging units 12101, 12102, 12103, 12104, and 12105 are provided, for example, at positions such as a front nose, a side mirror, a rear bumper, a back door of the vehicle 12100, and an upper portion of a windshield in the vehicle interior.
  • the imaging unit 12101 provided on the front nose and the imaging unit 12105 provided above the windshield in the passenger compartment mainly acquire an image in front of the vehicle 12100.
  • the imaging units 12102 and 12103 provided in the side mirror mainly acquire images of the side of the vehicle 12100.
  • the imaging unit 12104 provided in the rear bumper or the back door mainly acquires an image behind the vehicle 12100.
  • the forward images acquired by the imaging units 12101 and 12105 are mainly used for detecting a preceding vehicle, a pedestrian, an obstacle, a traffic light, a traffic sign, a lane, and the like.
  • FIG. 21 shows an example of the imaging range of the imaging units 12101 to 12104.
  • the imaging range 12111 indicates the imaging range of the imaging unit 12101 provided on the front nose
  • the imaging ranges 12112 and 12113 indicate the imaging ranges of the imaging units 12102 and 12103 provided on the side mirrors, respectively
  • the imaging range 12114 indicates 14 shows an imaging range of an imaging unit 12104 provided in a rear bumper or a back door. For example, by overlaying image data captured by the imaging units 12101 to 12104, an overhead image of the vehicle 12100 viewed from above can be obtained.
  • At least one of the imaging units 12101 to 12104 may have a function of acquiring distance information.
  • at least one of the imaging units 12101 to 12104 may be a stereo camera including a plurality of imaging elements or an imaging element having pixels for detecting a phase difference.
  • the microcomputer 12051 calculates a distance to each three-dimensional object in the imaging ranges 12111 to 12114 and a temporal change of the distance (relative speed with respect to the vehicle 12100). , It is possible to extract, as a preceding vehicle, a three-dimensional object that travels at a predetermined speed (for example, 0 km / h or more) in the substantially same direction as the vehicle 12100, which is the closest three-dimensional object on the traveling path of the vehicle 12100. it can.
  • a predetermined speed for example, 0 km / h or more
  • microcomputer 12051 can set an inter-vehicle distance to be secured before the preceding vehicle and perform automatic brake control (including follow-up stop control), automatic acceleration control (including follow-up start control), and the like. In this way, it is possible to perform cooperative control for automatic driving or the like in which the vehicle travels autonomously without depending on the operation of the driver.
  • the microcomputer 12051 converts the three-dimensional object data relating to the three-dimensional object into other three-dimensional objects such as a motorcycle, a normal vehicle, a large vehicle, a pedestrian, a telephone pole, and the like based on the distance information obtained from the imaging units 12101 to 12104. It can be classified and extracted and used for automatic avoidance of obstacles. For example, the microcomputer 12051 distinguishes obstacles around the vehicle 12100 into obstacles that are visible to the driver of the vehicle 12100 and obstacles that are difficult to see. Then, the microcomputer 12051 determines a collision risk indicating a risk of collision with each obstacle, and when the collision risk is equal to or more than the set value and there is a possibility of collision, via the audio speaker 12061 or the display unit 12062. By outputting an alarm to the driver through forced driving and avoidance steering via the drive system control unit 12010, driving assistance for collision avoidance can be performed.
  • driving assistance for collision avoidance can be performed.
  • At least one of the imaging units 12101 to 12104 may be an infrared camera that detects infrared light.
  • the microcomputer 12051 can recognize a pedestrian by determining whether or not a pedestrian exists in the captured images of the imaging units 12101 to 12104. The recognition of such a pedestrian is performed by, for example, extracting a feature point in an image captured by the imaging units 12101 to 12104 as an infrared camera, and performing a pattern matching process on a series of feature points indicating the outline of the object to determine whether the object is a pedestrian.
  • the audio image output unit 12052 outputs a rectangular contour for emphasis to the recognized pedestrian.
  • the display unit 12062 is controlled so that is superimposed.
  • the sound image output unit 12052 may control the display unit 12062 to display an icon or the like indicating a pedestrian at a desired position.
  • the technology according to the present disclosure can be applied to the imaging unit 12031 among the configurations described above.
  • the image quality of the captured image can be improved.
  • the plurality of connection parts CON are formed on the semiconductor substrate 102 as shown in FIG. 9, but the present invention is not limited to this. Instead, for example, the imaging part shown in FIG. A plurality of connecting portions CON may be formed on the semiconductor substrate 101 as in the device 1A.
  • the configurations of the pixels, the configuration of the control circuit 70, and the configuration of the AD conversion unit ADC in the above-described embodiment and the like are merely examples, and may be changed as appropriate.
  • the present technology can be configured as follows.
  • a first signal line a first pixel capable of outputting a first pixel voltage corresponding to the amount of received light to the first signal line, a second signal line, and a second pixel corresponding to the amount of received light.
  • An imaging unit having a second pixel capable of outputting two pixel voltages to the second signal line;
  • a connection line a first connection switch capable of connecting the first signal line to the connection line when turned on, and an operation of the first connection switch based on a voltage on the first signal line
  • a first control circuit capable of controlling the second signal line, a second connection switch capable of connecting the second signal line to the connection line by being turned on, and a voltage based on the second signal line.
  • the conversion unit can perform the AD conversion during a conversion period, The first control circuit controls the operation of the first connection switch based on whether or not the voltage on the first signal line is higher than a threshold voltage in a preparation period before the conversion period. Can be on or off, The second control circuit turns on or off the operation of the second connection switch in the preparation period based on whether or not the voltage on the second signal line is higher than the threshold voltage.
  • the imaging device according to (1) wherein the imaging device can be in a state.
  • the conversion period includes a first period and a second period after the first period;
  • the first pixel can output a first initial voltage to the first signal line during the first period, and can output the first pixel voltage to the first signal line during the second period.
  • the second pixel can output a second initial voltage to the second signal line during the first period, and can output the second pixel voltage to the second signal line during the second period.
  • a converter configured to perform the A / D conversion based on the first initial voltage and the first pixel voltage; a second converter configured to perform the A / D conversion based on the first initial voltage and the first pixel voltage; And a second conversion circuit capable of performing the A / D conversion on the basis of (2) or (3).
  • (5) further comprising: a reference signal generation unit capable of generating a reference signal whose voltage changes with time in the first period and the second period;
  • the first conversion circuit can perform the AD conversion based on a comparison result between the first initial voltage, the first pixel voltage, and the reference signal,
  • the first conversion circuit includes: A first capacitor having a first terminal to which the reference signal is supplied, and a second terminal; A second capacitor having a first terminal connected to the first signal line and a second terminal; A comparison circuit capable of comparing a voltage at the second terminal of the first capacitor with a voltage at the second terminal of the second capacitor; The imaging device according to (5), wherein a voltage of the second capacitor can be set in the preparation period.
  • the comparison circuit includes: A first transistor having a gate connected to the second terminal of the first capacitor, a source, and a drain; A second transistor having a gate connected to the second terminal of the second capacitor, a source connected to the source of the first transistor, and a drain; A first switch capable of connecting the gate of the first transistor and the drain of the first transistor during the preparation period;
  • the first signal line, the second signal line, the first pixel, and the second pixel are formed on a first semiconductor substrate;

Abstract

本開示の撮像装置は、第1の信号線と、受光量に応じた第1の画素電圧を第1の信号線に出力可能な第1の画素と、第2の信号線と、受光量に応じた第2の画素電圧を第2の信号線に出力可能な第2の画素とを有する撮像部と、接続線と、オン状態になることにより第1の信号線を接続線に接続可能な第1の接続スイッチと、第1の信号線における電圧に基づいて第1の接続スイッチの動作を制御可能な第1の制御回路と、オン状態になることにより第2の信号線を接続線に接続可能な第2の接続スイッチと、第2の信号線における電圧に基づいて第2の接続スイッチの動作を制御可能な第2の制御回路とを有する接続部と、第1の信号線および第2の信号線に接続され、第1の画素電圧および第2の画素電圧に基づいてそれぞれAD変換を行うことが可能な変換部とを備える。

Description

撮像装置
 本開示は、被写体を撮像する撮像装置に関する。
 撮像装置では、例えば、複数の画素が1つの信号線を介してAD(Analog to Digital)変換部に接続される。例えば、特許文献1には、複数の信号線を有し、これらの複数の信号線を互いにショートすることにより、撮像画像の画質の向上を図る撮像装置が開示されている。
国際公開第2014/132822号
 このように、撮像装置では、撮像画像の画質が高いことが望まれており、さらなる画質の向上が期待されている。
 撮像画像の画質を高めることができる撮像装置を提供することが望ましい。
 本開示の一実施の形態における撮像装置は、撮像部と、接続部と、変換部とを備えている。撮像部は、第1の信号線と、受光量に応じた第1の画素電圧を第1の信号線に出力可能な第1の画素と、第2の信号線と、受光量に応じた第2の画素電圧を第2の信号線に出力可能な第2の画素とを有する。接続部は、接続線と、オン状態になることにより第1の信号線を接続線に接続可能な第1の接続スイッチと、第1の信号線における電圧に基づいて第1の接続スイッチの動作を制御可能な第1の制御回路と、オン状態になることにより第2の信号線を接続線に接続可能な第2の接続スイッチと、第2の信号線における電圧に基づいて第2の接続スイッチの動作を制御可能な第2の制御回路とを有する。変換部は、第1の信号線および第2の信号線に接続され、第1の画素電圧および第2の画素電圧に基づいてそれぞれAD変換を行うことが可能に構成される。
 本開示の一実施の形態における撮像装置では、第1の画素により第1の画素電圧が第1の信号線に出力され、第2の画素により第2の画素電圧が第2の信号線に出力される。そして、第1の画素電圧および第2の画素電圧に基づいてそれぞれAD変換が行われる。第1の信号線における電圧に基づいて、オン状態になることにより第1の信号線を接続線に接続可能な第1の接続スイッチの動作が制御され、第2の信号線における電圧に基づいて、オン状態になることにより第2の信号線を接続線に接続可能な第2の接続スイッチの動作が制御される。
 本開示の一実施の形態における撮像装置によれば、第1の信号線における電圧に基づいて第1の接続スイッチの動作を制御するとともに、第2の信号線における電圧に基づいて第2の接続スイッチの動作を制御するようにしたので、撮像画像の画質を高めることができる。なお、ここに記載された効果は必ずしも限定されるものではなく、本開示中に記載されたいずれの効果があってもよい。
本開示の一実施の形態に係る撮像装置の一構成例を表すブロック図である。 図1に示した画素の一構成例を表す回路図である。 図1に示した読出部の一構成例を表す回路図である。 図3に示した制御回路の一構成例を表す回路図である。 図4に示した制御回路の一動作例を表すタイミング波形図である。 図4に示したインバータの一構成例を表す回路図である。 図4に示したインバータの他の構成例を表す回路図である。 図3に示したコンパレータの一構成例を表す回路図である。 図1に示した撮像装置の一実装例を表す説明図である。 図8に示した撮像装置の一実装例を表す他の説明図である。 図1に示した撮像装置の一動作例を表すタイミング図である。 図1に示した撮像装置の一動作例を表すタイミング波形図である。 図1に示した撮像装置の一動作例を表す他のタイミング波形図である。 図1に示した撮像装置の要部の一構成例を表す回路図である。 図1に示した撮像装置の一動作例を表す他のタイミング波形図である。 図1に示した撮像装置の要部の一構成例を表す他の回路図である。 図1に示した撮像装置の一動作例を表す他のタイミング波形図である。 比較例に係る撮像装置の要部の一構成例を表す回路図である。 比較例に係る撮像装置の一動作例を表すタイミング波形図である。 撮像装置の使用例を表す説明図である。 車両制御システムの概略的な構成の一例を示すブロック図である。 車外情報検出部及び撮像部の設置位置の一例を示す説明図である。 変形例に係る撮像装置の一実装例を表す説明図である。
 以下、本開示の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、説明は以下の順序で行う。
1.実施の形態
2.撮像装置の使用例
3.移動体への応用例
<1.実施の形態>
[構成例]
 図1は、一実施の形態に係る撮像装置(撮像装置1)の一構成例を表すものである。撮像装置1は、画素アレイ9と、駆動部10と、読出部20と、撮像制御部30と、信号処理部40とを備えている。
 画素アレイ9は、マトリックス状に配置された複数の画素Pを有している。画素Pは、受光量に応じた画素電圧Vpixを生成するように構成される。
 図2は、画素Pの一構成例を表すものである。画素アレイ9は、複数の転送制御線TGLと、複数のリセット制御線RSTLと、複数の選択制御線SELLと、複数の信号線VSLとを有している。転送制御線TGLは、水平方向(図2における横方向)に延伸し、一端が駆動部10に接続される。この転送制御線TGLには、駆動部10により転送制御信号STGが印加される。リセット制御線RSTLは、水平方向に延伸し、一端が駆動部10に接続される。このリセット制御線RSTLには、駆動部10によりリセット制御信号SRSTが印加される。選択制御線SELLは、水平方向に延伸し、一端が駆動部10に接続される。この選択制御線SELLには、駆動部10により選択制御信号SSELが印加される。信号線VSLは、垂直方向(図2における縦方向)に延伸し、一端が読出部20に接続される。図1,2において横方向に並設された1行分の複数の画素Pは、画素ラインLを構成する。
 画素Pは、フォトダイオードPDと、トランジスタTGと、フローティングディフュージョンFDと、トランジスタRST,AMP,SELとを有している。トランジスタTG,RST,AMP,SELは、この例ではN型のMOS(Metal Oxide Semiconductor)トランジスタである。
 フォトダイオードPDは、受光量に応じた量の電荷を生成して内部に蓄積する光電変換素子である。フォトダイオードPDのアノードは接地され、カソードはトランジスタTGのソースに接続される。
 トランジスタTGのゲートは転送制御線TGLに接続され、ソースはフォトダイオードPDのカソードに接続され、ドレインはフローティングディフュージョンFDに接続される。
 フローティングディフュージョンFDは、フォトダイオードPDから転送された電荷を蓄積するように構成される。フローティングディフュージョンFDは、例えば、半導体基板の表面に形成された拡散層を用いて構成される。図2では、フローティングディフュージョンFDを、容量素子のシンボルを用いて示している。
 トランジスタRSTのゲートはリセット制御線RSTLに接続され、ドレインには電源電圧VDDが供給され、ソースはフローティングディフュージョンFDに接続される。
 トランジスタAMPのゲートはフローティングディフュージョンFDに接続され、ドレインには電源電圧VDDが供給され、ソースはトランジスタSELのドレインに接続される。
 トランジスタSELのゲートは選択制御線SELLに接続され、ドレインはトランジスタAMPのソースに接続され、ソースは信号線VSLに接続される。
 この構成により、画素Pでは、選択制御線SELLに印加された選択制御信号SSELに基づいてトランジスタSELがオン状態になることにより、画素Pが信号線VSLと電気的に接続される。これにより、トランジスタAMPは、読出部20の電流源23(後述)に接続され、いわゆるソースフォロワとして動作する。そして、画素Pは、フローティングディフュージョンFDにおける電圧に応じた電圧を、信号SIGとして、信号線VSLに出力する。具体的には、画素Pは、後述するように、P相期間TPにおいてリセット電圧Vresetを出力し、D相期間TDにおいて、受光量に応じた画素電圧Vpixを出力する。画素Pは、これらのリセット電圧Vresetおよび画素電圧Vpixを、信号SIGを用いて出力するようになっている。
 駆動部10(図1)は、撮像制御部30からの指示に基づいて、画素ラインL単位で、画素アレイ9における複数の画素Pを順次駆動するように構成される。具体的には、駆動部10は、画素アレイ9における複数の転送制御線TGLに複数の転送制御信号STGをそれぞれ印加し、複数のリセット制御線RSTLに複数のリセット制御信号SRSTをそれぞれ印加し、複数の選択制御線SELLに複数の選択制御信号SSELをそれぞれ印加することにより、画素ラインL単位で画素アレイ9における複数の画素Pを駆動するようになっている。
 読出部20は、画素アレイ9から信号線VSLを介して供給された信号SIGに基づいてAD変換を行うことにより、画像信号DATA0を生成するように構成される。
 図3は、読出部20の一構成例を表すものである。なお、図3には、読出部20に加え、撮像制御部30および信号処理部40をも描いている。読出部20は、接続線CONLと、複数の接続部CON(接続部CON[0],CON[1],CON[2],…)と、複数のAD(Analog to Digital)変換部ADC(AD変換部ADC[0],ADC[1],ADC[2],…)と、複数のスイッチ部SW(スイッチ部SW[0],SW[1],SW[2],…)と、バス配線BUSとを有している。
 接続線CONLは、水平方向(図3における横方向)に延伸し、複数の接続部CONにわたって形成される。
 複数の接続部CONのそれぞれは、信号SIGの電圧、および撮像制御部30から供給された制御信号SRST0,VSLCNTに基づいて、信号線VSLを接続線CONLに接続するように構成される。複数の接続部CONは、複数の信号線VSLに対応して設けられている。具体的には、0番目の接続部CON[0]は、0番目の信号線VSL[0]に対応して設けられ、1番目の接続部CON[1]は、1番目の信号線VSL[1]に対応して設けられ、2番目の接続部CON[2]は、2番目の信号線VSL[2]に対応して設けられている。
 図4は、接続部CONの一構成例を表すものである。接続部CONは、制御回路70と、トランジスタ79とを有している。
 制御回路70は、信号SIGの電圧、および撮像制御部30から供給された制御信号SRST0,VSLCNTに基づいて、トランジスタ79の動作を制御するように構成される。接続部CONは、トランジスタ71~73と、インバータ74と、論理積回路75とを有している。トランジスタ71はN型のMOSトランジスタであり、トランジスタ72,73はP型のMOSトランジスタである。トランジスタ71のゲートには制御信号SRST0が供給され、ドレインはトランジスタ72,73のドレインおよびインバータ74の入力端子に接続され、ソースは接地される。トランジスタ72のゲートは信号線VSLに接続され、ソースには電源電圧VDDが供給され、ドレインはトランジスタ71,73のドレインおよびインバータ74の入力端子に接続される。トランジスタ73のゲートはインバータ74の出力端子および論理積回路75の第1入力端子に接続され、ソースには電源電圧VDDが供給され、ドレインはトランジスタ71,72のドレインおよびインバータ74の入力端子に接続される。インバータ74の入力端子はトランジスタ71~73のドレインに接続され、出力端子はトランジスタ73のゲートおよび論理積回路75の第1入力端子に接続される。インバータ74は、しきい値電圧Vthを変更可能に構成される。論理積回路75の第1入力端子はインバータ74の出力端子およびトランジスタ73のゲートに接続され、第2入力端子には制御信号VSLCNTが供給され、出力端子はトランジスタ79のゲートに接続される。
 トランジスタ79は、N型のMOSトランジスタである。トランジスタ79のゲートは制御回路70の論理積回路75の出力端子に接続され、ソースは信号線VSLに接続され、ドレインは接続線CONLに接続される。
 図5は、制御回路70の一動作例を表すものであり、(A)は制御信号SRST0の波形を示し、(B)は信号線VSLにおける信号SIGの波形を示し、(C)はインバータ74に入力される電圧Vinの波形を示し、(D)はインバータ74から出力される電圧Voutの波形を示す。図5(B)~(D)において、実線は、図5(B)に示したように信号SIGの電圧が高い電圧を維持する場合を示し、破線は、図5(B)に示したように信号SIGの電圧が徐々に低くなる場合を示す。
 タイミングt101において、制御信号SRST0の電圧が低レベルから高レベルに変化すると、トランジスタ71がオン状態になり、電圧Vinは0Vに設定される(図5(C))。これにより、インバータ74から出力される電圧Voutは高レベルになる(図5(D))。
 そして、タイミングt102において、制御信号SRST0の電圧が高レベルから低レベルに変化すると、トランジスタ71はオフ状態になる。その後、信号SIGの電圧に応じてトランジスタ72に電流が流れることにより、電圧Vinは徐々に上昇する。
 例えば、図5(B)において実線で示したように、信号SIGの電圧が高い電圧を維持する場合には、トランジスタ72に流れる電流は少ないので、電圧Vinはゆっくりと上昇する(図5(C))。また、図5(B)において破線で示したように、信号SIGの電圧が徐々に低くなる場合には、トランジスタ72に流れる電流が多いので、電圧Vinはより速く上昇する。そして、電圧Vinがインバータ74のしきい値電圧Vthを超えた場合には、インバータ74から出力される電圧Voutは低レベルになる(図5(D))。この例では、タイミングt103において、電圧Vinがしきい値電圧Vthを超え、それに応じて電圧Voutが高レベルから低レベルに変化している。これにより、トランジスタ73がオン状態になり、電圧Vinは高レベルに向かって変化する(図5(C))。
 この構成により、接続部CONは、制御信号VSLCNTの電圧が高レベルである期間において、信号SIGの電圧がしきい値電圧SIGTHよりも高い場合には、トランジスタ79をオン状態にし、その結果、信号線VSLは、接続線CONLに接続される。また、接続部CONは、制御信号VSLCNTの電圧が高レベルである期間において、信号SIGの電圧がこのしきい値電圧SIGTHよりも低い場合には、トランジスタ79をオフ状態にし、その結果、信号線VSLは、接続線CONLに接続されないようになっている。
 インバータ74は、しきい値電圧Vthを変更可能に構成される。このようなインバータ74は、例えば、図6Aに示したインバータ74Aや、図6Bに示したインバータ74Bを用いることができる。
 インバータ74A(図6A)は、トランジスタ81,82と、複数の回路83と、しきい値制御回路86とを有している。トランジスタ81はP型のMOSトランジスタであり、ゲートはトランジスタ82のゲートおよびインバータ74Aの入力端子Tinに接続され、ソースには電源電圧VDDが供給され、ドレインはトランジスタ82のドレインおよびインバータ74Aの出力端子Toutに接続される。トランジスタ82はN型のMOSトランジスタであり、ゲートはトランジスタ81のゲートおよびインバータ74Aの入力端子Tinに接続され、ソースは接地され、ドレインはトランジスタ81のドレインおよびインバータ74Aの出力端子Toutに接続される。複数の回路83のそれぞれは、スイッチ84と、トランジスタ85とを有している。スイッチ84の一端はインバータ74Aの入力端子Tinに接続され、他端はトランジスタ85のゲートに接続される。スイッチ84は、しきい値制御回路86から供給された制御信号に基づいて、一端と他端との間をオンオフするようになっている。トランジスタ85のゲートはスイッチ84の他端に接続され、ドレインはインバータ74Aの出力端子Toutに接続され、ソースは接地されている。しきい値制御回路86は、複数の回路83のスイッチ84に制御信号を供給することにより、インバータ74Aのしきい値電圧Vthを制御するように構成される。この構成により、インバータ74Aでは、複数の回路83のうちの、スイッチ84をオン状態にする回路83の個数に応じて、しきい値電圧Vthが変化するようになっている。
 インバータ74B(図6B)は、トランジスタ91~94と、しきい値制御回路95とを有している。トランジスタ91,92はP型のMOSトランジスタであり、トランジスタ93,94はN型のMOSトランジスタである。トランジスタ91のゲートにはしきい値制御回路95から第1の制御電圧が供給され、ソースには電源電圧VDDが供給され、ドレインはトランジスタ92のソースに接続される。トランジスタ92のゲートはトランジスタ93のゲートおよびインバータ74Bの入力端子Tinに接続され、ソースはトランジスタ91のドレインに接続され、ドレインはトランジスタ93のドレインおよび出力端子Toutに接続される。トランジスタ93のゲートはトランジスタ92のゲートおよびインバータ74Bの入力端子Tinに接続され、ドレインはトランジスタ92のドレインおよびインバータ74Bの出力端子Toutに接続され、ソースはトランジスタ94のドレインに接続される。トランジスタ94のゲートにはしきい値制御回路95から第2の制御電圧が供給され、ドレインはトランジスタ93のソースに接続され、ソースは接地される。しきい値制御回路95は、トランジスタ91のゲートに第1の制御電圧を供給するとともに、トランジスタ94のゲートに第2の制御電圧を供給することにより、インバータ74Bのしきい値電圧Vthを制御するように構成される。この構成により、インバータ74Bでは、トランジスタ91におけるオン抵抗値およびトランジスタ94におけるオン抵抗値に応じて、しきい値電圧Vthが変化するようになっている。
 複数のAD変換部ADC(図3)のそれぞれは、画素アレイ9から供給された信号SIGに基づいてAD変換を行うことにより、信号SIGの電圧をデジタルコードCODEに変換するように構成される。複数のAD変換部ADCは、複数の信号線VSLに対応して設けられている。具体的には、0番目のAD変換部ADC[0]は、0番目の信号線VSL[0]に対応して設けられ、1番目のAD変換部ADC[1]は、1番目の信号線VSL[1]に対応して設けられ、2番目のAD変換部ADC[2]は、2番目の信号線VSL[2]に対応して設けられている。AD変換部ADCは、容量素子21,22と、電流源23と、コンパレータ24と、カウンタ25とを有している。
 容量素子21の一端には、撮像制御部30から参照信号REFが供給され、他端はコンパレータ24の正入力端子に接続されている。この参照信号REFは、後述するように、AD変換を行う2つの期間(P相期間TPおよびD相期間TD)において、時間の経過に応じて電圧レベルが徐々に低下する、いわゆるランプ波形を有している。容量素子22の一端は信号線VSLに接続され、他端はコンパレータ24の負入力端子に接続されている。電流源23の一端は信号線VSLに接続され、他端は接地される。電流源23は、信号線VSLから接地に所定の電流値の電流を流すように構成される。
 コンパレータ24の正入力端子は容量素子21の他端に接続され、負入力端子は容量素子22の他端に接続され、出力端子はカウンタ25に接続される。コンパレータ24は、正入力端子における電圧と負入力端子における電圧とを比較して、その比較結果を信号CMPとして出力するように構成される。また、このコンパレータ24は、撮像制御部30から供給された制御信号PSETに基づいて、後述する所定の期間において、容量素子21,22における電圧値を設定するゼロ調整を行うように構成される。
 図7は、コンパレータ24の一構成例を表すものである。コンパレータ24は、トランジスタ61,62と、電流源63と、トランジスタ64~67とを有している。トランジスタ61,62はN型のMOSトランジスタであり、トランジスタ64~67はP型のMOSトランジスタである。トランジスタ61のゲートはトランジスタ64のソースおよびコンパレータ24の正入力端子TinPに接続され、ドレインはトランジスタ64,66のドレインおよびトランジスタ66,67のゲートに接続され、ソースはトランジスタ62のソースおよび電流源63の一端に接続される。トランジスタ62のゲートはトランジスタ65のソースおよびコンパレータ24の負入力端子TinNに接続され、ドレインはトランジスタ65,67のドレインおよびコンパレータ24の出力端子Toutに接続され、ソースはトランジスタ61のソースおよび電流源63の一端に接続される。電流源63の一端はトランジスタ61,62のソースに接続され、他端は接地される。トランジスタ64のゲートは制御入力端子Tpsetに接続され、ソースはトランジスタ61のゲートおよびコンパレータ24の正入力端子TinPに接続され、ドレインはトランジスタ61,66のドレインおよびトランジスタ66,67のゲートに接続される。トランジスタ65のゲートは制御入力端子Tpsetに接続され、ソースはトランジスタ62のゲートおよびコンパレータ24の負入力端子TinNに接続され、ドレインはトランジスタ62,67のドレインおよびコンパレータ24の出力端子Toutに接続される。トランジスタ66のゲートはトランジスタ61,64,66のドレインおよびトランジスタ67のゲートに接続され、ソースには電源電圧VDDが供給され、ドレインはトランジスタ66,67のゲートおよびトランジスタ61,64のドレインに接続される。トランジスタ67のゲートはトランジスタ66のゲートおよびトランジスタ61,64,66のドレインに接続され、ソースには電源電圧VDDが供給され、ドレインはトランジスタ62,65のドレインおよびコンパレータ24の出力端子Toutに接続される。
 この構成により、コンパレータ24は、正入力端子における電圧と負入力端子における電圧とを比較して、その比較結果を信号CMPとして出力する。また、このコンパレータ24は、制御信号PSETに基づいて、後述する所定の期間においてトランジスタ64,65がオン状態になることにより、容量素子21,22における電圧値を設定するゼロ調整を行うようになっている。
 カウンタ25(図3)は、コンパレータ24から供給された信号CMP、および撮像制御部30から供給された制御信号CCに基づいて、撮像制御部30から供給されたクロック信号CLKのパルスをカウントするカウント動作を行うように構成される。カウンタ25は、出力段にラッチを有している。このラッチは、カウンタ25により得られたカウント値CNTを、複数のビットを有するデジタルコードCODEとして出力するように構成される。
 複数のスイッチ部SWのそれぞれは、撮像制御部30から供給された制御信号SSWに基づいて、AD変換部ADCから出力されたデジタルコードCODEをバス配線BUSに供給するように構成される。複数のスイッチ部SWは、複数のAD変換部ADCに対応して設けられている。具体的には、0番目のスイッチ部SW[0]は、0番目のAD変換部ADC[0]に対応して設けられ、1番目のスイッチ部SW[1]は、1番目のAD変換部ADC[1]に対応して設けられ、2番目のスイッチ部SW[2]は、2番目のAD変換部ADC[2]に対応して設けられている。
 スイッチ部SWは、この例では、デジタルコードCODEのビット数と同じ数のトランジスタを用いて構成される。これらのトランジスタは、撮像制御部30から供給された制御信号SSWの各ビット(制御信号SSW[0],SSW[1],SSW[2],…)に基づいて、オンオフ制御される。具体的には、例えば、0番目のスイッチ部SW[0]は、制御信号SSW[0]に基づいて各トランジスタがオン状態になることにより、0番目のAD変換部ADC[0]から出力されたデジタルコードCODEをバス配線BUSに供給する。同様に、例えば、1番目のスイッチ部SW[1]は、制御信号SSW[1]に基づいて各トランジスタがオン状態になることにより、1番目のAD変換部ADC[1]から出力されたデジタルコードCODEをバス配線BUSに供給する。他のスイッチ部SWについても同様である。
 バス配線BUSは、複数の配線を有し、AD変換部ADCから出力されたデジタルコードCODEを伝えるように構成される。バス配線BUSは、複数のスイッチ部SWに接続されるとともに、信号処理部40に接続される。読出部20は、このバス配線BUSを用いて、AD変換部ADCから供給された複数のデジタルコードCODEを、画像信号DATA0として、信号処理部40に順次転送するようになっている(データ転送動作)。
 撮像制御部30(図1)は、駆動部10、読出部20、および信号処理部40に制御信号を供給し、これらの回路の動作を制御することにより、撮像装置1の動作を制御するように構成される。具体的には、撮像制御部30は、例えば、駆動部10に対して制御信号を供給することにより、駆動部10が、画素ラインL単位で、画素アレイ9における複数の画素Pを順次駆動するように制御する。また、撮像制御部30は、読出部20に対して、参照信号REF、クロック信号CLK、制御信号VSLCNT,SRST0,PSET,CC、および制御信号SSW(制御信号SSW[0],SSW[1],SSW[2],…)を供給することにより、読出部20が、信号SIGに基づいて画像信号DATA0を生成するように制御する。また、撮像制御部30は、信号処理部40に対して制御信号を供給することにより、信号処理部40の動作を制御するようになっている。
 撮像制御部30は、参照信号生成部31を有している。参照信号生成部31は、参照信号REFを生成するように構成される。参照信号REFは、AD変換を行う2つの期間(P相期間TPおよびD相期間TD)において、時間の経過に応じて電圧レベルが徐々に低下する、いわゆるランプ波形を有する。参照信号生成部31は、この参照信号REFを読出部20の複数のAD変換部ADCに供給するようになっている。
 信号処理部40は、画像信号DATA0に対して、所定の信号処理を行うことにより画像信号DATAを生成し、この画像信号DATAを出力するように構成される。
 次に、撮像装置1の実装について説明する。撮像装置1において、図1に示した各ブロックは、例えば、1枚の半導体基板に形成されてもよいし、複数の半導体基板に形成されてもよい。
 図8は、2枚の半導体基板に形成した場合における撮像装置1の実装例を表すものである。この例では、撮像装置1は、2枚の半導体基板101,102に形成されている。例えば、半導体基板101には画素アレイ9が形成され、半導体基板102には、駆動部10、読出部20、撮像制御部30、および信号処理部40が形成される。半導体基板101,102は互いに重ね合わされる。そして、例えば、半導体基板101に形成された信号線VSLと、半導体基板102に形成された接続部CONおよびAD変換部ADCが、ビア103を介して互いに電気的に接続されるようになっている。
 図9は、半導体基板101,102における回路配置の一例を表すものである。
 半導体基板101には、画素アレイ9が形成されている。すなわち、半導体基板101には、複数の画素P、複数の転送制御線TGL、複数のリセット制御線RSTL、複数の選択制御線SELL、および複数の信号線VSLが形成される。また、半導体基板101には、電極領域101A,101Bが設けられている。電極領域101A,101Bには、複数の電極が形成され、これらの複数の電極は、例えばTSV(Through Silicon Via)を介して、複数の転送制御線TGL、複数のリセット制御線RSTL、複数の選択制御線SELL、および複数の信号線VSLに接続されている。
 半導体基板102には、接続部CON、および周辺回路部104が形成されている。ここで、周辺回路部104は、駆動部10、読出部20における複数の接続部CON以外の回路、撮像制御部30、および信号処理部40に対応している。また、半導体基板102には、電極領域102A,102Bが設けられている。電極領域102A,102Bには、複数の電極が形成され、これらの複数の電極は、例えばTSVを介して、駆動部10および読出部20に接続されている。
 撮像装置1では、半導体基板101および半導体基板102が、互いに重ね合わされる。これにより、半導体基板101の電極領域101Aにおける複数の電極が、ビア103を介して半導体基板102の電極領域102Aにおける複数の電極に電気的に接続され、半導体基板101の電極領域101Bにおける複数の電極が、ビア103を介して半導体基板102の電極領域102Bにおける複数の電極に電気的に接続される。その結果、半導体基板101に形成された複数の転送制御線TGL、複数のリセット制御線RSTL、および複数の選択制御線SELLが、半導体基板102に形成された駆動部10に接続され、半導体基板101に形成された複数の信号線VSLが、半導体基板102に形成された読出部20に接続される。
 このように、撮像装置1では、半導体基板101に画素アレイ9を主に配置することにより、画素の形成に特化した半導体製造工程を用いて半導体基板101を製造することができる。つまり、半導体基板101には、画素アレイ9以外に回路がないので、例えば、画素を形成するために特別な製造工程を用いた場合でも、その製造工程が画素アレイ9以外の回路に影響を与えることがない。このように、撮像装置1では、画素の形成に特化した半導体製造工程を用いることができるので、撮像装置1における撮像特性を高めることができる。
 また、撮像装置1では、複数の接続部CONを半導体基板102に形成するようにしたので、半導体基板101に形成する回路を少なくすることができる。その結果、半導体基板101,102を小さくすることができるようになっている。
 ここで、画素アレイ9は、本開示における「撮像部」の一具体例に対応する。複数の接続部CONは、本開示における「接続部」の一具体例に対応する。接続線CONLは、本開示における「接続線」の一具体例に対応する。トランジスタ79は、本開示における「第1の接続スイッチ」および「第2の接続スイッチ」の一具体例に対応する。制御回路70は、本開示における「第1の制御回路」および「第2の制御回路」の一具体例に対応する。複数のAD変換部ADCは、本開示における「変換部」の一具体例に対応する。AD変換部ADCは、本開示における「第1の変換回路」および「第2の変換回路」の一具体例に対応する。P相期間TPおよびD相期間TDは、本開示における「変換期間」の一具体例に対応する。制御信号VSLCNTが高レベルになる期間は、本開示における「準備期間」の一具体例に対応する。リセット電圧Vresetは、本開示における「第1の初期電圧」および「第2の初期電圧」の一具体例に対応する。画素電圧Vpixは、本開示における「第1の画素電圧」および「第2の画素電圧」の一具体例に対応する。しきい値電圧SIGTHは、本開示における「しきい値電圧」の一具体例に対応する。容量素子21は、本開示における「第1の容量素子」の一具体例に対応する。容量素子22は、本開示における「第2の容量素子」の一具体例に対応する。コンパレータ24は、本開示における「比較回路」の一具体例に対応する。トランジスタ61は、本開示における「第1のトランジスタ」の一具体例に対応する。トランジスタ62は、本開示における「第2のトランジスタ」の一具体例に対応する。トランジスタ64は、本開示における「第1のスイッチ」の一具体例に対応する。トランジスタ65は、本開示における「第2のスイッチ」の一具体例に対応する。
[動作および作用]
 続いて、本実施の形態の撮像装置1の動作および作用について説明する。
(全体動作概要)
 まず、図1,3を参照して、撮像装置1の全体動作概要を説明する。駆動部10は、画素ラインL単位で、画素アレイ9における画素Pを順次駆動する。画素Pは、P相期間TPにおいてリセット電圧Vresetを出力し、D相期間TDにおいて、受光量に応じた画素電圧Vpixを出力する。読出部20において、接続部CONは、信号SIGの電圧に応じて、信号線VSLを接続線CONLに接続する。AD変換部ADCは、リセット電圧Vresetおよび画素電圧Vpixに基づいてそれぞれAD変換を行い、デジタルコードCODEを生成する。読出部20は、このデジタルコードCODEに基づいて画像信号DATA0を生成する。信号処理部40は、画像信号DATA0に対して、所定の信号処理を行うことにより画像信号DATAを生成し、この画像信号DATAを出力する。
(詳細動作)
 撮像装置1において、画素アレイ9における画素Pのそれぞれは、受光量に応じて電荷を蓄積し、リセット電圧Vresetおよび画素電圧Vpixを信号SIGとして出力する。以下に、この動作について詳細に説明する。
 図10は、画素アレイ9における複数の画素Pを走査する動作の一例を表すものである。図11は、撮像装置1の一動作例を表すものであり、(A)は水平同期信号XHSの波形を示し、(B)は0番目の画素ラインLに係るリセット制御信号SRST(0)の波形を示し、(C)は0番目の画素ラインLに係る転送制御信号STG(0)の波形を示し、(D)は0番目の画素ラインLに係る選択制御信号SSEL(0)の波形を示し、(E)は1番目の画素ラインLに係るリセット制御信号SRST(1)の波形を示し、(F)は1番目の画素ラインLに係る転送制御信号STG(1)の波形を示し、(G)は1番目の画素ラインLに係る選択制御信号SSEL(1)の波形を示し、(H)は2番目の画素ラインLに係るリセット制御信号SRST(2)の波形を示し、(I)は2番目の画素ラインLに係る転送制御信号STG(2)の波形を示し、(J)は2番目の画素ラインLに係る選択制御信号SSEL(2)の波形を示す。
 撮像装置1は、図10に示したように、タイミングt0~t1の期間において、画素アレイ9における複数の画素Pに対して、垂直方向において上から順に蓄積開始駆動D1を行う。具体的には、駆動部10は、図11に示したように、例えば、垂直方向において上から順に、画素ラインL単位で、水平期間H内の所定の期間においてトランジスタTG,RSTをオン状態に設定する。これにより、複数の画素Pのそれぞれでは、読出駆動D2が行われるまでの蓄積期間T10において、電荷が蓄積される。
 そして、撮像装置1は、図10に示したように、タイミングt10~t11の期間において、複数の画素Pに対して、垂直方向において上から順に読出駆動D2を行う。具体的には、駆動部10は、図11に示したように、例えば、垂直方向において上から順に、画素ラインL単位で、トランジスタTG,RST,SELの動作を制御する。これにより、複数の画素Pのそれぞれは、リセット電圧Vresetおよび画素電圧Vpixを順次出力する。読出部20は、これらのリセット電圧Vresetおよび画素電圧Vpixに基づいてそれぞれAD変換を行い、デジタルコードCODEを生成する。
 撮像装置1は、このような蓄積開始駆動D1および読出駆動D2を繰り返す。具体的には、撮像装置1は、図10に示したように、タイミングt2~t3の期間において蓄積開始駆動D1を行い、タイミングt12~t13の期間において読出駆動D2を行う。また、撮像装置1は、タイミングt4~t5の期間において蓄積開始駆動D1を行い、タイミングt14~t15の期間において読出駆動D2を行う。
(読出駆動D2について)
 次に、読出駆動D2について、詳細に説明する。以下に、複数の画素Pのうちのある画素PAに着目し、この画素PAに係る動作について詳細に説明する。
 図12は、着目した画素PAにおける読出駆動D2の一動作例を表すものであり、(A)は水平同期信号XHSの波形を示し、(B)はリセット制御信号SRSTの波形を示し、(C)は転送制御信号STGの波形を示し、(D)は選択制御信号SSELの波形を示し、(E)は参照信号REFの波形を示し、(F)は信号SIGの波形を示し、(G)はAD変換部ADCのコンパレータ24から出力される信号CMPの波形を示し、(H)はクロック信号CLKの波形を示し、(I)はAD変換部ADCのカウンタ25におけるカウント値CNTを示す。図12(E),(F)では、参照信号REFおよび信号SIGの波形を同じ電圧軸で示している。ここで、図12(E)の参照信号REFは、コンパレータ24の正入力端子における波形を示し、図12(F)の信号SIGは、コンパレータ24の負入力端子における波形を示す。
 撮像装置1では、ある水平期間(H)において、まず、駆動部10が、画素PAに対してリセット動作を行い、AD変換部ADCが、その後のP相期間TPにおいて、画素PAが出力したリセット電圧Vresetに基づいてAD変換を行う。そして、駆動部10が、画素PAに対して電荷転送動作を行い、AD変換部ADCが、D相期間TDにおいて、画素PAが出力した画素電圧Vpixに基づいてAD変換を行う。以下にこの動作について詳細に説明する。
 まず、タイミングt21において、水平期間Hが開始すると、駆動部10は、タイミングt22において、選択制御信号SSELの電圧を低レベルから高レベルに変化させる(図12(D))。これにより、画素PAでは、トランジスタSELがオン状態になり、画素PAが信号線VSLと電気的に接続される。
 次に、タイミングt23において、駆動部10は、リセット制御信号SRSTの電圧を低レベルから高レベルに変化させる(図12(B))。これにより、画素PAでは、トランジスタRSTがオン状態になり、フローティングディフュージョンFDの電圧が電源電圧VDDに設定される(リセット動作)。
 次に、タイミングt24において、駆動部10は、リセット制御信号SRSTの電圧を高レベルから低レベルに変化させる(図12(B))。これにより、画素PAでは、トランジスタRSTがオフ状態になる。そして、後述するように、タイミングt24~t25の期間において、コンパレータ24は、容量素子21,22における電圧値を設定するゼロ調整を行い、接続部CONは、信号SIGの電圧に応じて、信号線VSLを接続線CONLに接続する。
 次に、タイミングt25において、参照信号生成部31は、参照信号REFの電圧を電圧V1に変化させる(図12(E))。
 これにより、画素PAでは、トランジスタSELはオン状態になり、トランジスタTG,RSTはそれぞれオフ状態になる。フローティングディフュージョンFDは、タイミングt23~t24の期間においてフローティングディフュージョンFDがリセットされたときの電荷を保持している。画素PAは、このときのフローティングディフュージョンFDにおける電圧に応じたリセット電圧Vresetを出力する。
 次に、タイミングt26~t28の期間(P相期間TP)において、読出部20は、このリセット電圧Vresetに基づいてAD変換を行う。具体的には、まず、タイミングt26において、撮像制御部30は、クロック信号CLKの生成を開始し(図12(H))、これと同時に、参照信号生成部31は、参照信号REFの電圧を、電圧V1から所定の変化度合いで低下させ始める(図12(E))。これに応じて、AD変換部ADCのカウンタ25は、カウント動作を開始し、カウント値CNTを順次変化させる(図12(I))。
 そして、タイミングt27において、参照信号REFの電圧がリセット電圧Vresetを下回る(図12(E),(F))。これに応じて、AD変換部ADCのコンパレータ24は、信号CMPの電圧を高レベルから低レベルに変化させる(図12(G))。その結果、カウンタ25は、カウント動作を停止する(図12(I))。
 次に、タイミングt28において、撮像制御部30は、P相期間TPの終了に伴い、クロック信号CLKの生成を停止する(図12(H))。これと同時に、参照信号生成部31は、参照信号REFの電圧の変化を停止させ、その後のタイミングt29において、参照信号REFの電圧を電圧V1に変化させる(図12(E))。これに伴い、参照信号REFの電圧がリセット電圧Vresetを上回るので(図12(E),(F))、AD変換部ADCのコンパレータ24は、信号CMPの電圧を低レベルから高レベルに変化させる(図12(G))。
 次に、タイミングt30において、AD変換部ADCのカウンタ25は、制御信号CCに基づいて、カウント値CNTの極性を反転する(図12(I))。
 次に、タイミングt31において、駆動部10は、転送制御信号STGの電圧を低レベルから高レベルに変化させる(図12(C))。これにより、画素PAでは、トランジスタTGがオン状態になり、その結果、フォトダイオードPDで発生した電荷がフローティングディフュージョンFDに転送される(電荷転送動作)。これに応じて、信号SIGの電圧は低下する(図12(F))。
 そして、タイミングt32において、駆動部10は、転送制御信号STGの電圧を高レベルから低レベルに変化させる(図12(C))。これにより、画素PAでは、トランジスタTGがオフ状態になる。
 これにより、画素PAでは、トランジスタSELはオン状態になり、トランジスタTG,RSTはそれぞれオフ状態になる。フローティングディフュージョンFDは、タイミングt31~t32の期間においてフォトダイオードPDから転送された電荷を保持している。画素PAは、このときのフローティングディフュージョンFDにおける電圧に応じた画素電圧Vpixを出力する。
 次に、タイミングt33~t35の期間(D相期間TD)において、読出部20は、画素電圧Vpixに基づいてAD変換を行う。具体的には、まず、タイミングt33において、撮像制御部30は、クロック信号CLKの生成を開始し(図12(H))、これと同時に、参照信号生成部31は、参照信号REFの電圧を、電圧V1から所定の変化度合いで低下させ始める(図12(E))。これに応じて、AD変換部ADCのカウンタ25は、カウント動作を開始し、カウント値CNTを順次変化させる(図12(I))。
 そして、タイミングt34において、参照信号REFの電圧が画素電圧Vpixを下回る(図12(E),(F))。これに応じて、AD変換部ADCのコンパレータ24は、信号CMPの電圧を高レベルから低レベルに変化させる(図12(G))。その結果、カウンタ25は、カウント動作を停止する(図12(I))。このようにして、AD変換部ADCは、リセット電圧Vresetおよび画素電圧Vpixの差に応じたカウント値CNTを得る。そして、カウンタ25の出力段のラッチは、このカウント値CNTをラッチし、ラッチしたカウント値CNTを、デジタルコードCODEとして出力する。
 次に、タイミングt35において、撮像制御部30は、D相期間TDの終了に伴い、クロック信号CLKの生成を停止する(図12(H))。これと同時に、参照信号生成部31は、参照信号REFの電圧の変化を停止させ、その後のタイミングt36において、参照信号REFの電圧を電圧V2に変化させる(図12(E))。これに伴い、参照信号REFの電圧が画素電圧Vpixを上回るので(図12(E),(F))、AD変換部ADCのコンパレータ24は、信号CMPの電圧を低レベルから高レベルに変化させる(図12(G))。
 次に、タイミングt37において、駆動部10は、選択制御信号SSELの電圧を高レベルから低レベルに変化させる(図12(D))。これにより、画素PAでは、トランジスタSELがオフ状態になり、画素PAが信号線VSLから電気的に切り離される。
 そして、タイミングt38において、AD変換部ADCのカウンタ25は、制御信号CCに基づいて、カウント値CNTを“0”にリセットする(図12(I))。
 このように、撮像装置1では、P相期間TPにおいてリセット電圧Vresetに基づいてカウント動作を行い、カウント値CNTの極性を反転したのちに、D相期間TDにおいて画素電圧Vpixに基づいてカウント動作を行うようにした。これにより、撮像装置1は、リセット電圧Vresetおよび画素電圧Vpixの差電圧に応じたデジタルコードCODEを取得することができる。撮像装置1では、このような相関2重サンプリングを行うようにしたので、画素電圧Vpixに含まれるノイズ成分を取り除くことができ、その結果、撮像画像の画質を高めることができる。
(接続部CONの動作について)
 次に、接続部CONの動作について詳細に説明する。以下では、図13に示したように、複数の信号線VSLのうちのある2本の信号線VSL(信号線VSL[M],VSL[N])に着目する。画素P[M]は信号線VSL[M]に接続され、画素P[N]は信号線VSL[N]に接続される。これらの画素P[M],P[N]は、同じ画素ラインLに属している。信号線VSL[M]は信号SIG[M]を伝え、信号線VSL[N]は信号SIG[N]を伝える。信号線VSL[M]には、接続部CON[M]およびAD変換部ADC[M]が接続され、信号線VSL[N]には、接続部CON[N]およびAD変換部ADC[N]が接続される。
 図14は、接続部CONの一動作例を表すものであり、(A)は画素P[M],P[N]に係るリセット制御信号SRSTの波形を示し、(B)は画素P[M],P[N]に係る転送制御信号STGの波形を示し、(C)は画素P[M],P[N]に係る選択制御信号SSELの波形を示し、(D)は制御信号PSETの波形を示し、(E)は制御信号VSLCNTの波形を示し、(F)は信号SIG[M]の波形を示し、(G)は信号SIG[N]の波形を示し、(H)はAD変換部ADC[M]のコンパレータ24の負入力端子における信号(信号SN[M])の波形を示し、(I)はAD変換部ADC[N]のコンパレータ24の負入力端子における信号(信号SN[N])の波形を示す。図14(F),(G)では、信号SIG[M],SIG[N]の波形を同じ電圧軸で示しており、図14(H),(I)では、信号SN[M],SN[N]の波形を同じ電圧軸で示している。この例では、画素P[M],P[N]は光を殆ど検出しておらず、よって、画素P[M],P[N]は、リセット電圧Vresetとほぼ等しい画素電圧Vpixを出力する。
 まず、タイミングt41において、駆動部10は、選択制御信号SSELの電圧を低レベルから高レベルに変化させる(図14(C))。これにより、画素P[M],P[N]では、トランジスタSELがオン状態になり、画素P[M]が信号線VSL[M]と電気的に接続され、画素P[N]が信号線VSL[N]と電気的に接続される。
 次に、タイミングt42において、駆動部10は、リセット制御信号SRSTの電圧を低レベルから高レベルに変化させる(図14(A))。これにより、画素P[M],P[N]では、トランジスタRSTがオン状態になり、フローティングディフュージョンFDの電圧が電源電圧VDDに設定される(リセット動作)。その結果、信号SIG[M],SIG[N]が上昇する(図14(F),(G))。この例では、信号SIG[M],SIG[N]の電圧は、例えば、トランジスタAMPの特性ばらつきに起因して互いに異なっている。具体的には、この例では、信号SIG[M]の電圧は、信号SIG[N]の電圧よりも高くなっている。
 これと同時に、撮像制御部30は、制御信号PSETの電圧を高レベルから低レベルに変化させる(図14(D))。これにより、AD変換部ADC[M],ADC[N]では、コンパレータ24のトランジスタ64,65(図7)がオン状態になる。そして、これらのコンパレータ24の負入力端子における電圧(信号SN[M],SN[N]の電圧)が上昇する(図14(H),(I))。
 次に、タイミングt43において、駆動部10は、リセット制御信号SRSTの電圧を高レベルから低レベルに変化させる(図14(A))。これにより、画素P[M],P[N]では、トランジスタRSTがオフ状態になる。そして、このリセット制御信号SRSTが、トランジスタRSTの寄生容量を介してフローティングディフュージョンFDに伝わることにより、信号SIG[M],SIG[N]が下降する(図14(F),(G))。このとき、信号SIG[M]の電圧は、信号SIG[N]の電圧より、電圧差ΔVだけ高くなっている。そして、この例では、信号SN[M],SN[N]が下降する(図14(H),(I))。
 次に、タイミングt44において、撮像制御部30は、制御信号VSLCNTの電圧を低レベルから高レベルに変化させる(図14(E))。これにより、接続部CON[M]は、信号線VSL[M]を接続線CONLに接続するとともに、接続部CON[N]は、信号線VSL[N]を接続線CONLに接続する。すなわち、信号SIG[M]の電圧は、しきい値電圧SIGTHよりも高いので、接続部CON[M]では、制御信号VSLCNTに基づいてトランジスタ79がオン状態になり、信号線VSL[M]が接続線CONLに接続される。同様に、信号SIG[N]の電圧は、しきい値電圧SIGTHよりも高いので、接続部CON[N]では、制御信号VSLCNTに基づいてトランジスタ79がオン状態になり、信号線VSL[N]が接続線CONLに接続される。これにより、信号線VSL[M]および信号線VSL[N]は、接続線CONLを介して互いに接続されるので、信号SIG[M]の電圧が低下するとともに信号SIG[N]の電圧が上昇し、信号SIG[M],SIG[N]の電圧が互いに等しくなる(図14(F),(G))。このとき、信号SN[M],SN[N]の電圧は維持される(図14(H),(I))。このようにして、AD変換部ADC[M]においてゼロ調整が行われ、容量素子21,21の電圧が設定され、同様に、AD変換部ADC[N]においてゼロ調整が行われ、容量素子21,21の電圧が設定される。
 次に、タイミングt45において、撮像制御部30は、制御信号VSLCNTの電圧を高レベルから低レベルに変化させる(図14(E))。これにより、接続部CON[M]は、信号線VSL[M]を接続線CONLから切り離し、接続部CON[N]は、信号線VSL[N]を接続線CONLから切り離す。これにより、信号SIG[M],SIG[N]の電圧は、タイミングt44の直前の電圧にそれぞれ戻る(図14(F),14(G))。その結果、信号SIG[M]の電圧および信号SIG[N]の電圧の間には、タイミングt44の直前と同じように、電圧差ΔVが生じる。この信号SIG[M],SIG[N]の電圧は、リセット電圧Vresetである。
 これと同時に、撮像制御部30は、制御信号PSETの電圧を低レベルから高レベルに変化させる(図14(D))。これにより、AD変換部ADC[M],ADC[N]では、コンパレータ24のトランジスタ64,65(図7)がオフ状態になる。これにより、コンパレータ24のトランジスタ62のゲートがフローティング状態になり、これ以降、容量素子22の両端間の電圧が維持される。よって、信号SN[M]の電圧は、信号SIG[M]の電圧の変化に応じて上昇し、信号SN[N]の電圧は、信号SIG[N]の電圧の変化に応じて上昇する(図14(H),(I))。その結果、信号SN[M]の電圧および信号SN[N]の電圧の間には、電圧差ΔVが生じる。
 その後、P相期間TPにおいて、AD変換部ADC[M]は、信号SIG[M]のリセット電圧Vresetに基づいてAD変換を行い、AD変換部ADC[N]は、信号SIG[N]のリセット電圧Vresetに基づいてAD変換を行う。
 次に、タイミングt46において、駆動部10が転送制御信号STGの電圧を低レベルから高レベルに変化させ、タイミングt47において、駆動部10が、転送制御信号STGの電圧を高レベルから低レベルに変化させる(図14(B))。これ以降において、信号SIG[M],SIG[N]の電圧は、画素電圧Vpixである(図14(F),(G))。
 そして、D相期間TDにおいて、AD変換部ADC[M]は、信号SIG[M]の画素電圧Vpixに基づいてAD変換を行い、AD変換部ADC[N]は、信号SIG[N]の画素電圧Vpixに基づいてAD変換を行う。
 このようにして、AD変換部ADC[M]は、画素P[M]における受光量に応じたデジタルコードCODEを生成し、AD変換部ADC[N]は、画素P[N]における受光量に応じたデジタルコードCODEを生成する。
 以上のように、撮像装置1では、図14(H),(I)に示したように、AD変換部ADC[M]のコンパレータ24の負入力端子の電圧(信号SN[M]の電圧)、およびAD変換部ADC[M]のコンパレータ24の負入力端子の電圧(信号SN[N]の電圧)を、互いに異ならせることができる。これらの信号SN[M]の電圧および信号SN[N]の電圧の間の電圧差ΔVは、画素P[M],P[N]のばらつきに起因する。よって、複数のAD変換部ADCにおいて、選択された画素ラインLにおける複数の画素Pのばらつきに応じて、コンパレータ24の負入力端子における電圧をばらつかせることができる。これにより、AD変換部ADCのそれぞれでは、選択された画素ラインLに応じて、コンパレータ24の負入力端子における電圧が変化することとなる。その結果、撮像装置1では、撮像画像に縦筋が生じるおそれを低減することができる。
 すなわち、撮像装置1のように、1列分の画素Pが1つのAD変換部に接続される場合には、列方向(縦方向)における量子化誤差のばらつきが、行方向(横方向)における量子化誤差のばらつきよりも小さい。つまり、列方向では、1つのAD変換部がAD変換を行うので、量子化誤差のばらつきが小さく、行方向では、異なるAD変換部がAD変換を行うので、量子化誤差のばらつきが大きい。その結果、撮像画像に縦筋が生じるおそれがある。そこで、撮像装置1では、接続部CONを設け、信号線VSLを接続線CONLに接続するようにした。これにより、AD変換部ADCのそれぞれでは、選択された画素ラインLに応じて、コンパレータ24の負入力端子における電圧が変化する。その結果、撮像装置1では、列方向における量子化誤差のばらつきを大きくすることができるので、撮像画像に縦筋が生じるおそれを低減することができる。
 次に、他の例を用いて、接続部CONの動作について詳細に説明する。以下では、図15に示したように、複数の信号線VSLのうちのある3本の信号線VSL(信号線VSL[L],VSL[M],VSL[N])に着目する。画素P[L]は信号線VSL[L]に接続され、画素P[M]は信号線VSL[M]に接続され、画素P[N]は信号線VSL[N]に接続される。これらの画素P[L],P[M],P[N]は、同じ画素ラインLに属している。信号線VSL[L]は信号SIG[L]を伝え、信号線VSL[M]は信号SIG[M]を伝え、信号線VSL[N]は信号SIG[N]を伝える。信号線VSL[L]には、接続部CON[L]およびAD変換部ADC[L]が接続され、信号線VSL[M]には、接続部CON[M]およびAD変換部ADC[M]が接続され、信号線VSL[N]には、接続部CON[N]およびAD変換部ADC[N]が接続される。
 図16は、接続部CONの一動作例を表すものであり、(A)は制御信号PSETの波形を示し、(B)は制御信号VSLCNTの波形を示し、(C)は参照信号REFの波形を示し、(D)は信号SIG[L]の波形を示し、(E)は信号SIG[M]の波形を示し、(F)は信号SIG[N]の波形を示す。図16(C)~(F)では、参照信号REFおよび信号SIG[L],SIG[M],SIG[N]の波形を同じ電圧軸で示している。この例では、画素P[L],P[N]における受光量は少なく、画素P[M]における受光量は多い。
 タイミングt51よりも前の期間において、撮像制御部30は、制御信号PSETの電圧を低レベルにする(図16(A))。これにより、AD変換部ADC[L],ADC[M],ADC[N]では、コンパレータ24のトランジスタ64,65(図7)がオン状態になる。この例では、信号SIG[L],SIG[N]の電圧は、例えば、トランジスタAMPの特性ばらつきに起因して互いに異なっている(図16(D),(F))。具体的には、この例では、信号SIG[L]の電圧は、信号SIG[N]の電圧よりも電圧差ΔVだけ高くなっている。
 そして、タイミングt51において、撮像制御部30は、制御信号VSLCNTの電圧を低レベルから高レベルに変化させる(図16(B))。信号SIG[L],SIG[M],SIG[N]の電圧は、しきい値電圧SIGTHよりも高いので(図16(D)~(F))、接続部CON[L]は信号線VSL[L]を接続線CONLに接続し、接続部CON[M]は信号線VSL[M]を接続線CONLに接続し、接続部CON[N]は信号線VSL[N]を接続線CONLに接続する。画素P[M]における受光量は多いので、信号SIG[M]の電圧は、徐々に低下していく。そして、信号線VSL[L],VSL[M],VSL[N]は接続線CONLを介して互いに接続されるので、信号SIG[L],SIG[N]の電圧は、信号SIG[M]に近づくように、低下していく。
 そして、タイミングt52において、信号SIG[M]がしきい値電圧SIGTHを下回ると、接続部CON[M]は、信号線VSL[M]を接続線CONLから切り離す。これにより、信号線VSL[L],VSL[N]は信号線VSL[M]と切り離されるので、信号SIG[L],SIG[N]の電圧は上昇し始める(図16(D),(F))。信号線VSL[M]および信号線VSL[N]は、接続線CONLを介して互いに接続されているので、信号SIG[M]の電圧および信号SIG[N]の電圧は、互いに等しくなる。
 次に、タイミングt53において、撮像制御部30は、制御信号VSLCNTの電圧を高レベルから低レベルに変化させるとともに、制御信号PSETの電圧を低レベルから高レベルに変化させる(図16(A),(B))。これにより、接続部CON[L]は、信号線VSL[L]を接続線CONLから切り離し、接続部CON[N]は、信号線VSL[N]を接続線CONLから切り離す。その結果、信号SIG[L]の電圧および信号SIG[N]の電圧の間には、タイミングt51の直前と同じように、電圧差ΔVが生じる(図16(D),(F))。
 次に、参照信号生成部31は、タイミングt54において、参照信号REFの電圧を電圧V1に変化させ、タイミングt55~t56の期間(P相期間TP)において、参照信号REFの電圧を、電圧V1から所定の変化度合いで低下させる(図16(C))。そして、AD変換部ADC[L]は、信号SIG[L]のリセット電圧Vresetに基づいてAD変換を行い、AD変換部ADC[N]は、信号SIG[N]のリセット電圧Vresetに基づいてAD変換を行う。
 そして、参照信号生成部31は、タイミングt57において、参照信号REFの電圧を電圧V1に変化させ、タイミングt58~t59の期間(D相期間TD)において、参照信号REFの電圧を、電圧V1から所定の変化度合いで低下させる(図16(C))。そして、AD変換部ADC[L]は、信号SIG[L]の画素電圧Vpixに基づいてAD変換を行い、AD変換部ADC[N]は、信号SIG[N]の画素電圧Vpixに基づいてAD変換を行う。
 このように、撮像装置1では、信号SIG[M]の電圧がしきい値電圧SIGTHを下回ると、接続部CON[M]は、信号線VSL[M]を接続線CONLから切り離すようにしたので、以下に比較例を挙げて説明するように、得られたデジタルコードCODEが示す値(画素値)が低くなる恐れを低減することができ、画質を高めることができる。
(比較例)
 次に、比較例に係る撮像装置1Rについて説明する。撮像装置1Rは、画素アレイ9と、駆動部10と、読出部20Rと、撮像制御部30Rと、信号処理部40とを備えている。
 図17は、読出部20Rの一構成例を表すものである。読出部20Rは、複数の接続部CONRを有している。複数の接続部CONRのそれぞれは、トランジスタ79を有している。トランジスタ79のゲートには、撮像制御部30Rからの制御電圧VSLCNTが供給される。すなわち、読出部20Rは、本実施の形態に係る読出部20から制御回路70を省くことにより構成される。この構成により、接続部CONRは、制御信号VSLCNTの電圧が高レベルである期間において、信号線VSLを接続線CONLに接続するようになっている。
 撮像制御部30Rは、駆動部10、読出部20R、および信号処理部40に制御信号を供給し、これらの回路の動作を制御することにより、撮像装置1Rの動作を制御するように構成される。撮像制御部30Rは、読出部20Rに対して、参照信号REF、クロック信号CLK、制御信号VSLCNT,PSET,CC、および制御信号SSW(制御信号SSW[0],SSW[1],SSW[2],…)を供給することにより、読出部20Rが、信号SIGに基づいて画像信号DATA0を生成するように制御するようになっている。
 図18は、接続部CONRの一動作例を表すものであり、(A)は制御信号PSETの波形を示し、(B)は制御信号VSLCNTの波形を示し、(C)は参照信号REFの波形を示し、(D)は信号SIG[L]の波形を示し、(E)は信号SIG[M]の波形を示し、(F)は信号SIG[N]の波形を示す。図18(C)~(F)では、参照信号REFおよび信号SIG[L],SIG[M],SIG[N]の波形を同じ電圧軸で示している。この例では、画素P[L],P[N]における受光量は少なく、画素P[M]における受光量は多い。
 タイミングt61よりも前の期間において、撮像制御部30Rは、制御信号PSETの電圧を低レベルにする(図18(A))。これにより、AD変換部ADC[L],ADC[M],ADC[N]では、コンパレータ24のトランジスタ64,65(図7)がオン状態になる。
 そして、タイミングt61において、撮像制御部30Rは、制御信号VSLCNTの電圧を低レベルから高レベルに変化させる(図18(B))。信号SIG[L],SIG[M],SIG[N]の電圧は、しきい値電圧SIGTHよりも高いので(図18(D)~(F))、接続部CONR[L]は信号線VSL[L]を接続線CONLに接続し、接続部CONR[M]は信号線VSL[M]を接続線CONLに接続し、接続部CONR[N]は信号線VSL[N]を接続線CONLに接続する。信号線VSL[L],VSL[M],VSL[N]は接続線CONLを介して互いに接続されるので、信号SIG[L],SIG[N]の電圧は、信号SIG[M]に近づくように低下していく(図18(D)~(F))。そして、タイミングt62において、信号SIG[M],SIG[N]の電圧が互いに等しくなる。
 次に、タイミングt63において、撮像制御部30Rは、制御信号VSLCNTの電圧を高レベルから低レベルに変化させるとともに、制御信号PSETの電圧を低レベルから高レベルに変化させる(図18(A),(B))。これにより、接続部CONR[L]は信号線VSL[L]を接続線CONLから切り離し、接続部CONR[M]は信号線VSL[M]を接続線CONLから切り離し、接続部CONR[N]は信号線VSL[N]を接続線CONLから切り離す。その結果、信号SIG[L],SIG[N]の電圧は、タイミングt61の直前の電圧に向かってそれぞれ変化する。
 この例では、信号SIG[L]の電圧は、タイミングt64において、タイミングt61の直前の電圧に戻る(図18(D))。この信号SIG[L]の電圧は、参照信号REFの電圧V1よりも高い。これにより、この信号SIG[L]の電圧(リセット電圧Vreset)は、タイミングt65~t68の期間(P相期間TP)において、参照信号REFと交差しない。すなわち、この信号SIG[L]の電圧は、このP相期間TPにおいて、AD変換部ADC[L]が動作可能な電圧範囲を超えている。よって、AD変換部ADC[L]は、このP相期間TPにおいて、正常にAD変換を行うことができない。具体的には、P相期間TPが開始するタイミングt65において、参照信号REFの電圧が信号SIG[L]の電圧(リセット電圧Vreset)よりも低いため、このAD変換部ADC[L]のカウンタ25はカウント動作を開始せず、カウント値CNTは“0”になる。その結果、AD変換部ADC[L]が、P相期間TPおよびD相期間TDにおいてAD変換を行うことにより得たデジタルコードCODEが示す画素値は、所望の画素値よりも低い値になってしまう。
 また、この例では、信号SIG[N]の電圧は、タイミングt65においてP相期間TPが開始した後のタイミングt67において、タイミングt61の直前の電圧に戻る(図18(F))。すなわち、この例では、タイミングt63以降において、信号SIG[N]の電圧が変化すべき電圧幅が広いので、セトリングに時間がかかってしまう。これにより、タイミングt65~t68の期間(P相期間TP)において、この信号SIG[N]の電圧は、電圧が変化している途中であるタイミングt66で、参照信号REFと交差する。よって、AD変換部ADC[N]は、このP相期間TPにおいて、正常にAD変換を行うことができない。具体的には、このAD変換部ADC[N]のカウンタ25のカウント値CNTは、このタイミングt66に応じたカウント値になり、所望のカウント値よりも大きいカウント値になる。その結果、AD変換部ADC[N]が、P相期間TPおよびD相期間TDにおいてAD変換を行うことにより得たデジタルコードCODEが示す画素値は、所望の画素値よりも低い値になってしまう。
 このように、撮像装置1Rでは、P相期間TPにおいて、AD変換部ADCが正常にAD変換を行うことができないおそれがあり、その結果、得られたデジタルコードCODEが示す値(画素値)が低くなってしまう。
 一方、本実施の形態に係る撮像装置1では、信号SIG[M]の電圧がしきい値電圧SIGTHより低い場合には、信号線VSL[M]を接続線CONLから切り離すようにした。これにより、図16のタイミングt52~t53に示したように、信号SIG[L],SIG[N]の電圧が低くなりすぎるおそれを低減することができるので、信号SIG[L],SIG[N]の電圧は、タイミングt53以降において、短い時間で、元の電圧に戻ることができる。よって、AD変換部ADCは、P相期間TPにおいて、正常にAD変換を行うことができる。その結果、撮像装置1では、AD変換により所望のデジタルコードCODEを得ることができるため、画質を高めることができる。
[効果]
 以上のように本実施の形態では、信号SIGの電圧がしきい値電圧SIGTHより低い場合には、信号線を接続線から切り離すようにしたので、画質を高めることができる。
<2.撮像装置の使用例>
 図19は、上記実施の形態に係る撮像装置1の使用例を表すものである。上述した撮像装置1は、例えば、以下のように、可視光や、赤外光、紫外光、X線等の光をセンシングする様々なケースに使用することができる。
・ディジタルカメラや、カメラ機能付きの携帯機器等の、鑑賞の用に供される画像を撮影する装置
・自動停止等の安全運転や、運転者の状態の認識等のために、自動車の前方や後方、周囲、車内等を撮影する車載用センサ、走行車両や道路を監視する監視カメラ、車両間等の測距を行う測距センサ等の、交通の用に供される装置
・ユーザのジェスチャを撮影して、そのジェスチャに従った機器操作を行うために、テレビジョンや、冷蔵庫、エアーコンディショナ等の家電に供される装置
・内視鏡や、赤外光の受光による血管撮影を行う装置等の、医療やヘルスケアの用に供される装置
・防犯用途の監視カメラや、人物認証用途のカメラ等の、セキュリティの用に供される装置
・肌を撮影する肌測定器や、頭皮を撮影するマイクロスコープ等の、美容の用に供される装置
・スポーツ用途等向けのアクションカメラやウェアラブルカメラ等の、スポーツの用に供される装置
・畑や作物の状態を監視するためのカメラ等の、農業の用に供される装置
<3.移動体への応用例>
 本開示に係る技術(本技術)は、様々な製品へ応用することができる。例えば、本開示に係る技術は、自動車、電気自動車、ハイブリッド電気自動車、自動二輪車、自転車、パーソナルモビリティ、飛行機、ドローン、船舶、ロボット等のいずれかの種類の移動体に搭載される装置として実現されてもよい。
 図20は、本開示に係る技術が適用され得る移動体制御システムの一例である車両制御システムの概略的な構成例を示すブロック図である。
 車両制御システム12000は、通信ネットワーク12001を介して接続された複数の電子制御ユニットを備える。図20に示した例では、車両制御システム12000は、駆動系制御ユニット12010、ボディ系制御ユニット12020、車外情報検出ユニット12030、車内情報検出ユニット12040、及び統合制御ユニット12050を備える。また、統合制御ユニット12050の機能構成として、マイクロコンピュータ12051、音声画像出力部12052、及び車載ネットワークI/F(interface)12053が図示されている。
 駆動系制御ユニット12010は、各種プログラムにしたがって車両の駆動系に関連する装置の動作を制御する。例えば、駆動系制御ユニット12010は、内燃機関又は駆動用モータ等の車両の駆動力を発生させるための駆動力発生装置、駆動力を車輪に伝達するための駆動力伝達機構、車両の舵角を調節するステアリング機構、及び、車両の制動力を発生させる制動装置等の制御装置として機能する。
 ボディ系制御ユニット12020は、各種プログラムにしたがって車体に装備された各種装置の動作を制御する。例えば、ボディ系制御ユニット12020は、キーレスエントリシステム、スマートキーシステム、パワーウィンドウ装置、あるいは、ヘッドランプ、バックランプ、ブレーキランプ、ウィンカー又はフォグランプ等の各種ランプの制御装置として機能する。この場合、ボディ系制御ユニット12020には、鍵を代替する携帯機から発信される電波又は各種スイッチの信号が入力され得る。ボディ系制御ユニット12020は、これらの電波又は信号の入力を受け付け、車両のドアロック装置、パワーウィンドウ装置、ランプ等を制御する。
 車外情報検出ユニット12030は、車両制御システム12000を搭載した車両の外部の情報を検出する。例えば、車外情報検出ユニット12030には、撮像部12031が接続される。車外情報検出ユニット12030は、撮像部12031に車外の画像を撮像させるとともに、撮像された画像を受信する。車外情報検出ユニット12030は、受信した画像に基づいて、人、車、障害物、標識又は路面上の文字等の物体検出処理又は距離検出処理を行ってもよい。
 撮像部12031は、光を受光し、その光の受光量に応じた電気信号を出力する光センサである。撮像部12031は、電気信号を画像として出力することもできるし、測距の情報として出力することもできる。また、撮像部12031が受光する光は、可視光であっても良いし、赤外線等の非可視光であっても良い。
 車内情報検出ユニット12040は、車内の情報を検出する。車内情報検出ユニット12040には、例えば、運転者の状態を検出する運転者状態検出部12041が接続される。運転者状態検出部12041は、例えば運転者を撮像するカメラを含み、車内情報検出ユニット12040は、運転者状態検出部12041から入力される検出情報に基づいて、運転者の疲労度合い又は集中度合いを算出してもよいし、運転者が居眠りをしていないかを判別してもよい。
 マイクロコンピュータ12051は、車外情報検出ユニット12030又は車内情報検出ユニット12040で取得される車内外の情報に基づいて、駆動力発生装置、ステアリング機構又は制動装置の制御目標値を演算し、駆動系制御ユニット12010に対して制御指令を出力することができる。例えば、マイクロコンピュータ12051は、車両の衝突回避あるいは衝撃緩和、車間距離に基づく追従走行、車速維持走行、車両の衝突警告、又は車両のレーン逸脱警告等を含むADAS(Advanced Driver Assistance System)の機能実現を目的とした協調制御を行うことができる。
 また、マイクロコンピュータ12051は、車外情報検出ユニット12030又は車内情報検出ユニット12040で取得される車両の周囲の情報に基づいて駆動力発生装置、ステアリング機構又は制動装置等を制御することにより、運転者の操作に拠らずに自律的に走行する自動運転等を目的とした協調制御を行うことができる。
 また、マイクロコンピュータ12051は、車外情報検出ユニット12030で取得される車外の情報に基づいて、ボディ系制御ユニット12020に対して制御指令を出力することができる。例えば、マイクロコンピュータ12051は、車外情報検出ユニット12030で検知した先行車又は対向車の位置に応じてヘッドランプを制御し、ハイビームをロービームに切り替える等の防眩を図ることを目的とした協調制御を行うことができる。
 音声画像出力部12052は、車両の搭乗者又は車外に対して、視覚的又は聴覚的に情報を通知することが可能な出力装置へ音声及び画像のうちの少なくとも一方の出力信号を送信する。図20の例では、出力装置として、オーディオスピーカ12061、表示部12062及びインストルメントパネル12063が例示されている。表示部12062は、例えば、オンボードディスプレイ及びヘッドアップディスプレイの少なくとも一つを含んでいてもよい。
 図21は、撮像部12031の設置位置の例を示す図である。
 図21では、車両12100は、撮像部12031として、撮像部12101,12102,12103,12104,12105を有する。
 撮像部12101,12102,12103,12104,12105は、例えば、車両12100のフロントノーズ、サイドミラー、リアバンパ、バックドア及び車室内のフロントガラスの上部等の位置に設けられる。フロントノーズに備えられる撮像部12101及び車室内のフロントガラスの上部に備えられる撮像部12105は、主として車両12100の前方の画像を取得する。サイドミラーに備えられる撮像部12102,12103は、主として車両12100の側方の画像を取得する。リアバンパ又はバックドアに備えられる撮像部12104は、主として車両12100の後方の画像を取得する。撮像部12101及び12105で取得される前方の画像は、主として先行車両又は、歩行者、障害物、信号機、交通標識又は車線等の検出に用いられる。
 なお、図21には、撮像部12101ないし12104の撮影範囲の一例が示されている。撮像範囲12111は、フロントノーズに設けられた撮像部12101の撮像範囲を示し、撮像範囲12112,12113は、それぞれサイドミラーに設けられた撮像部12102,12103の撮像範囲を示し、撮像範囲12114は、リアバンパ又はバックドアに設けられた撮像部12104の撮像範囲を示す。例えば、撮像部12101ないし12104で撮像された画像データが重ね合わせられることにより、車両12100を上方から見た俯瞰画像が得られる。
 撮像部12101ないし12104の少なくとも1つは、距離情報を取得する機能を有していてもよい。例えば、撮像部12101ないし12104の少なくとも1つは、複数の撮像素子からなるステレオカメラであってもよいし、位相差検出用の画素を有する撮像素子であってもよい。
 例えば、マイクロコンピュータ12051は、撮像部12101ないし12104から得られた距離情報を基に、撮像範囲12111ないし12114内における各立体物までの距離と、この距離の時間的変化(車両12100に対する相対速度)を求めることにより、特に車両12100の進行路上にある最も近い立体物で、車両12100と略同じ方向に所定の速度(例えば、0km/h以上)で走行する立体物を先行車として抽出することができる。さらに、マイクロコンピュータ12051は、先行車の手前に予め確保すべき車間距離を設定し、自動ブレーキ制御(追従停止制御も含む)や自動加速制御(追従発進制御も含む)等を行うことができる。このように運転者の操作に拠らずに自律的に走行する自動運転等を目的とした協調制御を行うことができる。
 例えば、マイクロコンピュータ12051は、撮像部12101ないし12104から得られた距離情報を元に、立体物に関する立体物データを、2輪車、普通車両、大型車両、歩行者、電柱等その他の立体物に分類して抽出し、障害物の自動回避に用いることができる。例えば、マイクロコンピュータ12051は、車両12100の周辺の障害物を、車両12100のドライバが視認可能な障害物と視認困難な障害物とに識別する。そして、マイクロコンピュータ12051は、各障害物との衝突の危険度を示す衝突リスクを判断し、衝突リスクが設定値以上で衝突可能性がある状況であるときには、オーディオスピーカ12061や表示部12062を介してドライバに警報を出力することや、駆動系制御ユニット12010を介して強制減速や回避操舵を行うことで、衝突回避のための運転支援を行うことができる。
 撮像部12101ないし12104の少なくとも1つは、赤外線を検出する赤外線カメラであってもよい。例えば、マイクロコンピュータ12051は、撮像部12101ないし12104の撮像画像中に歩行者が存在するか否かを判定することで歩行者を認識することができる。かかる歩行者の認識は、例えば赤外線カメラとしての撮像部12101ないし12104の撮像画像における特徴点を抽出する手順と、物体の輪郭を示す一連の特徴点にパターンマッチング処理を行って歩行者か否かを判別する手順によって行われる。マイクロコンピュータ12051が、撮像部12101ないし12104の撮像画像中に歩行者が存在すると判定し、歩行者を認識すると、音声画像出力部12052は、当該認識された歩行者に強調のための方形輪郭線を重畳表示するように、表示部12062を制御する。また、音声画像出力部12052は、歩行者を示すアイコン等を所望の位置に表示するように表示部12062を制御してもよい。
 以上、本開示に係る技術が適用され得る車両制御システムの一例について説明した。本開示に係る技術は、以上説明した構成のうち、撮像部12031に適用され得る。これにより、車両制御システム12000では、撮像画像の画質を高めることができる。その結果、車両制御システム12000では、車両の衝突回避あるいは衝突緩和機能、車間距離に基づく追従走行機能、車速維持走行機能、車両の衝突警告機能、車両のレーン逸脱警告機能等の精度を高めることができる。
 以上、実施の形態ならびにそれらの具体的な応用例を挙げて本技術を説明したが、本技術はこれらの実施の形態等には限定されず、種々の変形が可能である。
 例えば、上記実施の形態では、図9に示したように、複数の接続部CONを半導体基板102に形成したが、これに限定されるものではなく、これに代えて、例えば図21に示す撮像装置1Aのように、複数の接続部CONを半導体基板101に形成してもよい。
 また、例えば、上記の実施の形態等における画素の構成、制御回路70の構成、AD変換部ADCの構成などは、一例であり、適宜変更してもよい。
 なお、本明細書に記載された効果はあくまで例示であって限定されるものでは無く、また他の効果があってもよい。
 なお、本技術は以下のような構成とすることができる。
(1)第1の信号線と、受光量に応じた第1の画素電圧を前記第1の信号線に出力可能な第1の画素と、第2の信号線と、受光量に応じた第2の画素電圧を前記第2の信号線に出力可能な第2の画素とを有する撮像部と、
 接続線と、オン状態になることにより前記第1の信号線を前記接続線に接続可能な第1の接続スイッチと、前記第1の信号線における電圧に基づいて前記第1の接続スイッチの動作を制御可能な第1の制御回路と、オン状態になることにより前記第2の信号線を前記接続線に接続可能な第2の接続スイッチと、前記第2の信号線における電圧に基づいて前記第2の接続スイッチの動作を制御可能な第2の制御回路とを有する接続部と、
 前記第1の信号線および前記第2の信号線に接続され、前記第1の画素電圧および前記第2の画素電圧に基づいてそれぞれAD変換を行うことが可能な変換部と
 を備えた撮像装置。
(2)前記変換部は、変換期間において、前記AD変換を行うことが可能であり、
 前記第1の制御回路は、前記変換期間の前の準備期間において、前記第1の信号線における電圧がしきい値電圧よりも大きいか否かに基づいて、前記第1の接続スイッチの動作をオン状態またはオフ状態にすることが可能であり、
 前記第2の制御回路は、前記準備期間において、前記第2の信号線における電圧が前記しきい値電圧よりも大きいか否かに基づいて、前記第2の接続スイッチの動作をオン状態またはオフ状態にすることが可能である
 前記(1)に記載の撮像装置。
(3)前記しきい値電圧は、変更可能である
 前記(2)に記載の撮像装置。
(4)前記変換期間は、第1の期間および前記第1の期間の後の第2の期間を含み、
 前記第1の画素は、前記第1の期間において第1の初期電圧を前記第1の信号線に出力可能であり、前記第2の期間において前記第1の画素電圧を前記第1の信号線に出力可能であり、
 前記第2の画素は、前記第1の期間において第2の初期電圧を前記第2の信号線に出力可能であり、前記第2の期間において前記第2の画素電圧を前記第2の信号線に出力可能であり、
 前記変換部は、前記第1の初期電圧および前記第1の画素電圧に基づいて前記AD変換を行うことが可能な第1の変換回路と、前記第2の初期電圧および前記第2の画素電圧に基づいて前記AD変換を行うことが可能な第2の変換回路とを有する
 前記(2)または(3)に記載の撮像装置。
(5)前記第1の期間および前記第2の期間において、時間の経過とともに電圧が変化する参照信号を生成可能な参照信号生成部をさらに備え、
 前記第1の変換回路は、前記第1の初期電圧および前記第1の画素電圧と前記参照信号との比較結果に基づいて前記AD変換を行うことが可能であり、
 前記第2の変換回路は、前記第2の初期電圧および前記第2の画素電圧と前記参照信号との比較結果に基づいて前記AD変換を行うことが可能である
 前記(4)に記載の撮像装置。
(6)前記第1の変換回路は、
 前記参照信号が供給された第1の端子と、第2の端子とを有する第1の容量素子と、
 前記第1の信号線に接続された第1の端子と、第2の端子とを有する第2の容量素子と、
 前記第1の容量素子の前記第2の端子における電圧と、前記第2の容量素子の前記第2の端子における電圧とを比較可能な比較回路と
 を有し、
 前記準備期間において、前記第2の容量素子の電圧を設定可能である
 前記(5)に記載の撮像装置。
(7)前記比較回路は、
 前記第1の容量素子の前記第2の端子に接続されたゲートと、ソースと、ドレインとを有する第1のトランジスタと、
 前記第2の容量素子の前記第2の端子に接続されたゲートと、前記第1のトランジスタの前記ソースに接続されたソースと、ドレインとを有する第2のトランジスタと、
 前記準備期間において、前記第1のトランジスタの前記ゲートと前記第1のトランジスタの前記ドレインとを接続可能な第1のスイッチと、
 前記準備期間において、前記第2のトランジスタの前記ゲートと前記第2のトランジスタの前記ドレインとを接続可能な第2のスイッチと
 を有する
 前記(6)に記載の撮像装置。
(8)前記第1の信号線、前記第2の信号線、前記第1の画素、および前記第2の画素は、第1の半導体基板に形成され、
 前記接続部および前記変換部は、前記第1の半導体基板に重ね合わされた第2の半導体基板に形成された
 前記(1)から(7)のいずれかに記載の撮像装置。
 本出願は、日本国特許庁において2018年7月24日に出願された日本特許出願番号2018-138176号を基礎として優先権を主張するものであり、この出願のすべての内容を参照によって本出願に援用する。
 当業者であれば、設計上の要件や他の要因に応じて、種々の修正、コンビネーション、サブコンビネーション、および変更を想到し得るが、それらは添付の請求の範囲やその均等物の範囲に含まれるものであることが理解される。

Claims (8)

  1.  第1の信号線と、受光量に応じた第1の画素電圧を前記第1の信号線に出力可能な第1の画素と、第2の信号線と、受光量に応じた第2の画素電圧を前記第2の信号線に出力可能な第2の画素とを有する撮像部と、
     接続線と、オン状態になることにより前記第1の信号線を前記接続線に接続可能な第1の接続スイッチと、前記第1の信号線における電圧に基づいて前記第1の接続スイッチの動作を制御可能な第1の制御回路と、オン状態になることにより前記第2の信号線を前記接続線に接続可能な第2の接続スイッチと、前記第2の信号線における電圧に基づいて前記第2の接続スイッチの動作を制御可能な第2の制御回路とを有する接続部と、
     前記第1の信号線および前記第2の信号線に接続され、前記第1の画素電圧および前記第2の画素電圧に基づいてそれぞれAD変換を行うことが可能な変換部と
     を備えた撮像装置。
  2.  前記変換部は、変換期間において、前記AD変換を行うことが可能であり、
     前記第1の制御回路は、前記変換期間の前の準備期間において、前記第1の信号線における電圧がしきい値電圧よりも大きいか否かに基づいて、前記第1の接続スイッチの動作をオン状態またはオフ状態にすることが可能であり、
     前記第2の制御回路は、前記準備期間において、前記第2の信号線における電圧が前記しきい値電圧よりも大きいか否かに基づいて、前記第2の接続スイッチの動作をオン状態またはオフ状態にすることが可能である
     請求項1に記載の撮像装置。
  3.  前記しきい値電圧は、変更可能である
     請求項2に記載の撮像装置。
  4.  前記変換期間は、第1の期間および前記第1の期間の後の第2の期間を含み、
     前記第1の画素は、前記第1の期間において第1の初期電圧を前記第1の信号線に出力可能であり、前記第2の期間において前記第1の画素電圧を前記第1の信号線に出力可能であり、
     前記第2の画素は、前記第1の期間において第2の初期電圧を前記第2の信号線に出力可能であり、前記第2の期間において前記第2の画素電圧を前記第2の信号線に出力可能であり、
     前記変換部は、前記第1の初期電圧および前記第1の画素電圧に基づいて前記AD変換を行うことが可能な第1の変換回路と、前記第2の初期電圧および前記第2の画素電圧に基づいて前記AD変換を行うことが可能な第2の変換回路とを有する
     請求項2に記載の撮像装置。
  5.  前記第1の期間および前記第2の期間において、時間の経過とともに電圧が変化する参照信号を生成可能な参照信号生成部をさらに備え、
     前記第1の変換回路は、前記第1の初期電圧および前記第1の画素電圧と前記参照信号との比較結果に基づいて前記AD変換を行うことが可能であり、
     前記第2の変換回路は、前記第2の初期電圧および前記第2の画素電圧と前記参照信号との比較結果に基づいて前記AD変換を行うことが可能である
     請求項4に記載の撮像装置。
  6.  前記第1の変換回路は、
     前記参照信号が供給された第1の端子と、第2の端子とを有する第1の容量素子と、
     前記第1の信号線に接続された第1の端子と、第2の端子とを有する第2の容量素子と、
     前記第1の容量素子の前記第2の端子における電圧と、前記第2の容量素子の前記第2の端子における電圧とを比較可能な比較回路と
     を有し、
     前記準備期間において、前記第2の容量素子の電圧を設定可能である
     請求項5に記載の撮像装置。
  7.  前記比較回路は、
     前記第1の容量素子の前記第2の端子に接続されたゲートと、ソースと、ドレインとを有する第1のトランジスタと、
     前記第2の容量素子の前記第2の端子に接続されたゲートと、前記第1のトランジスタの前記ソースに接続されたソースと、ドレインとを有する第2のトランジスタと、
     前記準備期間において、前記第1のトランジスタの前記ゲートと前記第1のトランジスタの前記ドレインとを接続可能な第1のスイッチと、
     前記準備期間において、前記第2のトランジスタの前記ゲートと前記第2のトランジスタの前記ドレインとを接続可能な第2のスイッチと
     を有する
     請求項6に記載の撮像装置。
  8.  前記第1の信号線、前記第2の信号線、前記第1の画素、および前記第2の画素は、第1の半導体基板に形成され、
     前記接続部および前記変換部は、前記第1の半導体基板に重ね合わされた第2の半導体基板に形成された
     請求項1に記載の撮像装置。
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