WO2020008835A1 - トルクセンサ - Google Patents

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flange
peripheral surface
torque transmitting
sensor
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里奈 小笠原
祐希 瀬戸
石倉　義之
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Azbil Corp
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Azbil Corp
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L3/00—Measuring torque, work, mechanical power, or mechanical efficiency, in general
    • G01L3/02—Rotary-transmission dynamometers
    • G01L3/04—Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element comprises a torsionally-flexible shaft
    • G01L3/10—Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element comprises a torsionally-flexible shaft involving electric or magnetic means for indicating

Definitions

  • the present invention relates to a torque sensor for detecting torque.
  • a torque sensor that has a sensor element attached to the outer peripheral surface of a rotating shaft body and detects the magnitude of shear stress generated on the outer peripheral surface of the rotating shaft body by torque by a change in resistance value of the sensor element ( See, for example, Patent Document 1.
  • the rotating shaft body comprises an outer cylinder portion and two flanges connected to both ends thereof, and each flange is provided with an inner cylinder portion connected via a disk-shaped torque transmitting portion.
  • a torque sensor having a sensor element mounted on an outer peripheral surface is also known.
  • a radial external force (tension or compression force) may be applied to only one end of the torque sensor.
  • an output error occurs depending on the relationship between the direction of the external force and the position of the sensor element, and therefore, improvement is necessary.
  • the present invention has been made to solve the above-described problems, and has as its object to provide a torque sensor capable of reducing an output error due to a radial external force applied only to one end.
  • the torque sensor according to the present invention includes an outer cylinder portion, a first flange connected to one end of the outer cylinder portion, a second flange connected to the other end of the outer cylinder portion, and the same axial center as the outer cylinder portion.
  • An inner cylinder portion located above, a sensor element provided on the outer peripheral surface of the inner cylinder portion and having a resistance gauge oriented obliquely to the axis, and one end connected to the inner peripheral surface of the first flange;
  • a first torque transmitting portion which is a thin plate member having the other end connected to the outer peripheral surface on one end side of the inner cylindrical portion; and one end connected to the inner peripheral surface of the second flange, and the other end being the other end side of the inner cylindrical portion.
  • a second torque transmitting portion which is a thin plate member connected to the outer peripheral surface of the motor. At least one of the first torque transmitting portion and the second torque transmitting portion has a sensor element in a radial direction with respect to the axis. It is characterized by having a space in a direction other than the direction in which it runs.
  • the configuration as described above makes it possible to reduce an output error due to a radial external force applied only to one end.
  • FIG. 1A and 1B are diagrams showing a configuration example of a torque sensor according to Embodiment 1 of the present invention.
  • FIG. 1A is a front view
  • FIG. 1B is a side sectional view
  • 2A to 2D are front views showing another configuration example of the torque sensor according to Embodiment 1 of the present invention.
  • 3A and 3B are diagrams for explaining the principle of generation of an output error in a conventional torque sensor, and are diagrams showing states of the torque sensor and the sensor element.
  • 4A to 4C are diagrams showing the effect of the torque sensor according to Embodiment 1 of the present invention.
  • FIG. 1 is a diagram showing a configuration example of a torque sensor according to Embodiment 1 of the present invention.
  • the torque sensor detects a torque.
  • the torque sensor includes a flange (first flange) 2 connected to one end of the outer cylinder 1 and a flange (second flange) 3 connected to the other end of the outer cylinder 1.
  • the outer cylinder part 1, the flange 2 and the flange 3 are made of, for example, stainless steel.
  • a drive system such as a motor is connected to one of the flanges 2 and 3, and a load system such as a robot hand is connected to the other.
  • the torque sensor has an inner cylinder 4 located on the same axis (including substantially the same meaning) as the outer cylinder 1.
  • One or more sensor elements 5 are attached to the outer peripheral surface of the inner cylindrical portion 4.
  • the sensor element 5 outputs a signal corresponding to an external shear stress.
  • the sensor element 5 has a resistance gauge oriented obliquely (45 degrees) with respect to the axis. Note that the oblique direction is a 45-degree direction, but is not limited to this, and a certain degree of deviation (for example, a 44-degree direction or a 46-degree direction) is allowed. Further, as shown in FIG. 1, the two sensor elements 5 are provided so as to face each other with the inner cylindrical portion 4 interposed therebetween, so that the torque sensor can reduce interference with other axes. Further, as the sensor element 5, for example, a semiconductor strain gauge or a metal strain gauge can be used.
  • the torque sensor has a torque transmitting portion (first torque transmitting portion) 6 having one end connected to the inner peripheral surface of the flange 2 and the other end connected to the outer peripheral surface on one end side of the inner cylindrical portion 4.
  • the torque transmitting section 6 is a thin plate member for transmitting torque generated by an external force applied to the flange 2 to the sensor element 5 via the inner cylindrical section 4. Further, the torque transmitting portion 6 has a space in a direction excluding the direction in which the sensor element 5 is located in the radial direction with respect to the axis.
  • the torque transmitting section 6 is composed of two plate members 61, and the plate members 61 are respectively located in directions in which two sensor elements 5 are located in a radial direction with respect to the axis.
  • the torque sensor has a torque transmitting section (second torque transmitting section) 7 having one end connected to the inner peripheral surface of the flange 3 and the other end connected to the outer peripheral surface on the other end side of the inner cylindrical portion 4.
  • the torque transmitting section 7 is a thin plate member for transmitting torque generated by an external force applied to the flange 3 to the sensor element 5 via the inner cylindrical section 4.
  • the torque transmitting portion 7 has a space in a direction other than the direction in which the sensor element 5 is located in the radial direction with respect to the axis.
  • the torque transmitting section 7 is composed of two plate members 71, and the plate members 71 are respectively located in directions in which two sensor elements 5 are located in a radial direction with respect to the axis.
  • the torque sensor has a measuring unit 8 (not shown) that measures a signal output from the sensor element 5 as torque.
  • the measurement unit 8 measures a calculated value of a signal output from each sensor element 5 as torque.
  • the measuring unit 8 is realized by a processing circuit such as a system LSI (Large Scale Integration) or a CPU (Central Processing Unit) that executes a program stored in a memory or the like.
  • the torque transmitting portion 6 is composed of two plate members 61, and the plate members 61 are located in the radial direction with respect to the axis in the direction in which the two sensor elements 5 are located.
  • the shape and arrangement of the torque transmitting portion 6 are not limited to this, and it is sufficient that a space exists in a direction other than the direction in which the sensor element 5 is located in the radial direction with respect to the axis, and for example, as shown in FIG. Such a shape and arrangement may be adopted.
  • the number of the sensor elements 5 is one, and the torque transmitting unit 6 is composed of two plate members 61. Then, one plate member 61 is located in the direction in which the sensor element 5 is located in the radial direction with respect to the axis, and the other plate member 61 is located in the direction opposite to the direction in which the sensor element 5 is located. positioned.
  • the torque transmitting section 6 is composed of four plate members 61.
  • two plate members 61 are also located in a direction perpendicular to the direction in which the sensor element 5 is located in the radial direction with respect to the axis.
  • the transmission efficiency of torque is improved while suppressing the transmission of external force.
  • the torque transmitting portion 6 is composed of the disk member 62, and arcuate concave portions 63 are formed in four directions on the outer peripheral surface of the disk member 62.
  • the torque transmitting portion 6 is connected to the entire outer peripheral surface on one end side of the inner cylindrical portion 4 and is connected to a part of the inner peripheral surface of the flange 2.
  • the torque transmission efficiency is improved as compared with the torque sensors shown in FIGS. 1, 2A and 2B.
  • the torque transmitting section 6 is composed of a disk member 62, and elliptical openings 64 are formed in four directions of the disk member 62.
  • the torque transmitting portion 6 is connected to the entire circumference of the inner peripheral surface of the flange 2, the transmission efficiency of the external force is increased with respect to the torque sensor shown in FIG. 2C.
  • the opening 64 reduces the effect.
  • the conventional torque sensor corresponds to a configuration in which no space exists in the torque transmitting unit 6 and the torque transmitting unit 7 in the first embodiment.
  • a radial external force (tensile force or compressive force) may be applied to only one of the flange 2 and the flange 3 depending on the application.
  • an output error occurs in the torque sensor depending on the relationship between the direction of the external force and the position of the sensor element 5.
  • FIG. 3A when radial tension is applied to the flange 2 and the direction is the direction in which the sensor element 5 is located, the sensor element 5 Since it has no sensitivity to tension, no output error occurs.
  • FIG. 3B for example, when radial tension is applied to the flange 2 and the direction is not the direction in which the sensor elements 5 are located, shear stress is applied to the two sensor elements 5.
  • FIG. 3 shows a case where tension is applied to the flange 2, the same applies to a case where a compression force is applied to the flange 2 and a case where a tension or a compression force is applied to the flange 3.
  • the torque sensor according to the first embodiment by providing a space in the torque transmitting unit 6 and the torque transmitting unit 7, an external force applied in a direction in which the sensor element 5 has sensitivity in the radial direction with respect to the shaft center is provided. Is limited so that the external force is not transmitted to the sensor element 5.
  • the torque sensor according to the first embodiment can reduce the output error. That is, in the torque sensor according to Embodiment 1, even if the direction of the tension applied to the flange 2 is not the direction in which the sensor element 5 is located, as shown in FIG. The deformation of the sensor element 5 due to the extension of the flange 2 can be suppressed, and the transmission of tension to the sensor element 5 can be suppressed.
  • FIG. 4A shows a case where tension is applied to the flange 2, the same applies to a case where a compression force is applied to the flange 2 and a case where a tension or a compression force is applied to the flange 3. Therefore, it is sufficient that the space is provided only in the torque transmitting portion on the flange side to which tension or compression force is applied, of the torque transmitting portions 6 and 7.
  • the torque sensor includes the outer cylinder 1, the flange 2 connected to one end of the outer cylinder 1, and the flange 2 connected to the other end of the outer cylinder 1. 3, an inner cylinder part 4 located on the same axis as the outer cylinder part 1, and a sensor element 5 provided on the outer peripheral surface of the inner cylinder part 4 and having a resistance gauge directed obliquely to the axis. And a torque transmitting portion 6 which is a thin plate member having one end connected to the inner peripheral surface of the flange 2 and the other end connected to the outer peripheral surface on one end side of the inner cylindrical portion 4.
  • a torque transmitting portion 7 which is a thin plate member having the other end connected to the outer peripheral surface on the other end side of the inner cylindrical portion 4, and at least one of the torque transmitting portion 6 and the torque transmitting portion 7 has a shaft.
  • any constituent element of the embodiment can be modified or any constituent element of the embodiment can be omitted.
  • the torque sensor according to the present invention can reduce an output error due to a radial external force applied only to one end, and is suitable for use as a torque sensor for detecting torque.

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  • Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract

外筒部（１）と、外筒部（１）の一端に連結されたフランジ（２）と、外筒部（１）の他端に連結されたフランジ（３）と、外筒部（１）と同一の軸心上に位置する内筒部（４）と、内筒部（４）の外周面に設けられ、軸心に対して斜め方向を向いた抵抗ゲージを有するセンサ素子（５）と、一端がフランジ（２）の内周面に連結され、他端が内筒部（４）の一端側の外周面に連結された薄板部材であるトルク伝達部（６）と、一端がフランジ（３）の内周面に連結され、他端が内筒部（４）の他端側の外周面に連結された薄板部材であるトルク伝達部（７）とを備え、トルク伝達部（６）及びトルク伝達部（７）のうちの少なくとも一方は、軸心に対する径方向のうちのセンサ素子（５）が位置する方向を除く方向に空間を有する。

Description

トルクセンサ
　この発明は、トルクを検出するトルクセンサに関する。
　従来から、回転軸体の外周面に取付けられたセンサ素子を有し、トルクにより回転軸体の外周面に生じるせん断応力の大きさを、センサ素子における抵抗値変化により検出するトルクセンサがある（例えば特許文献１参照）。
　また、回転軸体を外筒部及びその両端に連結された２枚のフランジから構成し、各フランジにディスク状のトルク伝達部を介して連結された内筒部を設け、この内筒部の外周面にセンサ素子が取付けられたトルクセンサも知られている。
特開２００２－１３９３９１号公報
　一方、トルクセンサには、用途によっては、一端のみに径方向の外力（張力又は圧縮力）が加わる場合がある。この場合、トルク伝達部を有するトルクセンサでは、外力の方向とセンサ素子の位置との関係によっては出力誤差が生じるため、改善が必要である。
　この発明は、上記のような課題を解決するためになされたもので、一端のみに加えられた径方向の外力による出力誤差を低減可能とするトルクセンサを提供することを目的としている。
　この発明に係るトルクセンサは、外筒部と、外筒部の一端に連結された第１フランジと、外筒部の他端に連結された第２フランジと、外筒部と同一の軸心上に位置する内筒部と、内筒部の外周面に設けられ、軸心に対して斜め方向を向いた抵抗ゲージを有するセンサ素子と、一端が第１フランジの内周面に連結され、他端が内筒部の一端側の外周面に連結された薄板部材である第１トルク伝達部と、一端が第２フランジの内周面に連結され、他端が内筒部の他端側の外周面に連結された薄板部材である第２トルク伝達部とを備え、第１トルク伝達部及び第２トルク伝達部のうちの少なくとも一方は、軸心に対する径方向のうちのセンサ素子が位置する方向を除く方向に空間を有することを特徴とする。
　この発明によれば、上記のように構成したので、一端のみに加えられた径方向の外力による出力誤差を低減可能となる。
図１Ａ、図１Ｂは、この発明の実施の形態１に係るトルクセンサの構成例を示す図であり、図１Ａは正面図であり、図１Ｂは側断面図である。 図２Ａ～図２Ｄは、この発明の実施の形態１に係るトルクセンサの別の構成例を示す正面図である。 図３Ａ、図３Ｂは、従来のトルクセンサにおける出力誤差の発生原理を説明する図であり、トルクセンサ及びセンサ素子の状態を示す図である。 図４Ａ～図４Ｃは、この発明の実施の形態１に係るトルクセンサによる効果を示す図である。
　以下、この発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。
実施の形態１．
　図１はこの発明の実施の形態１に係るトルクセンサの構成例を示す図である。
　トルクセンサは、トルクを検出する。このトルクセンサは、図１に示すように、外筒部１の一端に連結されたフランジ（第１フランジ）２と、外筒部１の他端に連結されたフランジ（第２フランジ）３とを有している。外筒部１、フランジ２及びフランジ３は、例えばステンレスにより構成される。なお、フランジ２及びフランジ３のうちの一方にはモータ等の駆動系が接続され、他方には例えばロボットハンド等の負荷系が接続される。
　また、トルクセンサは、外筒部１と同一（略同一の意味を含む）の軸心上に位置する内筒部４を有している。この内筒部４の外周面には、１つ以上のセンサ素子５が貼付けられている。センサ素子５は、外部からのせん断応力に応じた信号を出力する。このセンサ素子５は、上記軸心に対して斜め方向（４５度方向）を向いた抵抗ゲージを有する。なお、斜め方向は４５度方向としているが、これに限らず、ある程度のずれ（例えば４４度方向又は４６度方向等）は許容される。また図１に示すように、内筒部４を挟んで対向するように２つのセンサ素子５が設けられることで、トルクセンサは他軸干渉を低減可能となる。また、センサ素子５としては、例えば半導体歪ゲージ又は金属歪ゲージを用いることができる。
　また、トルクセンサは、一端がフランジ２の内周面に連結され、他端が内筒部４の一端側の外周面に連結されたトルク伝達部（第１トルク伝達部）６を有する。トルク伝達部６は、フランジ２に加えられた外力により生じるトルクを内筒部４を介してセンサ素子５に伝達するための薄板部材である。また、トルク伝達部６には、上記軸心に対する径方向のうちのセンサ素子５が位置する方向を除く方向に空間が存在する。図１では、トルク伝達部６が２枚の板部材６１から成り、この板部材６１が上記軸心に対する径方向のうちの２つのセンサ素子５が位置する方向にそれぞれ位置している。
　また、トルクセンサは、一端がフランジ３の内周面に連結され、他端が内筒部４の他端側の外周面に連結されたトルク伝達部（第２トルク伝達部）７を有する。トルク伝達部７は、フランジ３に加えられた外力により生じるトルクを内筒部４を介してセンサ素子５に伝達するための薄板部材である。また、トルク伝達部７には、上記軸心に対する径方向のうちのセンサ素子５が位置する方向を除く方向に空間が存在する。図１では、トルク伝達部７が２枚の板部材７１から成り、この板部材７１が上記軸心に対する径方向のうちの２つのセンサ素子５が位置する方向にそれぞれ位置している。
　また、トルクセンサは、センサ素子５により出力された信号をトルクとして計測する計測部８（不図示）を有する。トルクセンサに２つ以上のセンサ素子５が設けられる場合には、計測部８は、各センサ素子５により出力された信号の演算値をトルクとして計測する。なお、計測部８は、システムＬＳＩ（Ｌａｒｇｅ　Ｓｃａｌｅ　Ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ）等の処理回路、又はメモリ等に記憶されたプログラムを実行するＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ　Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ　Ｕｎｉｔ）等により実現される。
　なお図１では、トルク伝達部６が２枚の板部材６１から成り、この板部材６１が上記軸心に対する径方向のうちの２つのセンサ素子５が位置する方向にそれぞれ位置している。しかしながら、トルク伝達部６の形状及び配置はこれに限らず、上記軸心に対する径方向のうちのセンサ素子５が位置する方向を除く方向に空間が存在していればよく、例えば図２に示すような形状及び配置としてもよい。
　例えば図２Ａでは、センサ素子５が１つであり、トルク伝達部６が２枚の板部材６１から構成されている。そして、一方の板部材６１が、上記軸心に対する径方向のうちのセンサ素子５が位置する方向に位置し、他方の板部材６１が、当該センサ素子５が位置する方向とは反対の方向に位置している。
　また図２Ｂでは、トルク伝達部６が４枚の板部材６１から構成されている。そして、図１に示す配置に加え、上記軸心に対する径方向のうちのセンサ素子５が位置する方向に対して垂直な方向にも２枚の板部材６１が位置している。図２Ｂに示すトルクセンサでは、図１，２Ａに示すトルクセンサに対し、板部材６１の数が増えることで、外力の伝達抑制を維持しつつトルクの伝達効率が向上する。
　また図２Ｃでは、トルク伝達部６がディスク部材６２から成り、ディスク部材６２の外周面のうちの４方向に円弧状の凹部６３が形成されている。これにより、トルク伝達部６は、内筒部４の一端側の外周面のうちの全周に連結され、且つ、フランジ２の内周面のうちの一部に連結される。その結果、図２Ｃに示すトルクセンサでは、図１，２Ａ，２Ｂに示すトルクセンサに対し、トルクの伝達効率が向上する。
　また図２Ｄでは、トルク伝達部６がディスク部材６２から成り、ディスク部材６２のうちの４方向に楕円状の開口部６４が形成されている。図２Ｄに示すトルクセンサでは、トルク伝達部６がフランジ２の内周面のうちの全周に連結されているため、図２Ｃに示すトルクセンサに対して外力の伝達効率が上がってしまうものの、開口部６４によりその影響が低減される。
　なお上記では、トルク伝達部６の形状及び配置について説明したが、トルク伝達部７の形状及び配置についても同様である。
　次に、実施の形態１に係るトルクセンサによる効果について説明する。以下では、トルクセンサが図１に示す構成である場合について説明する。また、従来のトルクセンサは、図３に示すように、実施の形態１におけるトルク伝達部６及びトルク伝達部７に空間が存在しない構成に相当する。
　トルクセンサには、用途によっては、フランジ２及びフランジ３のうちの一方のみに径方向の外力（張力又は圧縮力）が加わる場合がある。この場合、外力の方向とセンサ素子５の位置との関係によってはトルクセンサに出力誤差が生じる。
　例えば図３Ａに示すように、フランジ２に径方向の張力が加わった場合であって、その方向がセンサ素子５が位置する方向である場合には、センサ素子５の特性上、センサ素子５は張力に対する感度を持たないため、出力誤差は生じない。一方、例えば図３Ｂに示すように、フランジ２に径方向の張力が加わった場合であって、その方向がセンサ素子５が位置する方向ではない場合には、２つのセンサ素子５にせん断応力が加わるため、出力誤差が生じる。なお、図３ではフランジ２に張力が加わる場合を示したが、フランジ２に圧縮力が加わった場合及びフランジ３に張力又は圧縮力が加わった場合についても同様である。
　そこで、実施の形態１に係るトルクセンサでは、トルク伝達部６及びトルク伝達部７に空間を設けることで、上記軸心に対する径方向のうちのセンサ素子５が感度を有する方向に加えられた外力をセンサ素子５に伝達しないように外力の伝達方向を限定する。これにより、実施の形態１に係るトルクセンサは、出力誤差の低減を実現可能となる。
　すなわち、実施の形態１に係るトルクセンサでは、例えば図４Ａに示すように、フランジ２に加えられた張力の方向がセンサ素子５が位置する方向ではない場合でも、トルク伝達部６の空間によって、フランジ２の伸びによるセンサ素子５の変形を抑制でき、張力のセンサ素子５への伝達を抑制できる。その結果、実施の形態１に係るトルクセンサは、出力誤差を低減できる。なお、図４Ａではフランジ２に張力が加わる場合を示したが、フランジ２に圧縮力が加わった場合及びフランジ３に張力又は圧縮力が加わった場合についても同様である。したがって、空間は、トルク伝達部６，７のうちの、張力又は圧縮力が加わるフランジ側のトルク伝達部にのみ設けられていれば十分である。
　また、実施の形態１に係るトルクセンサでは、例えば図４Ｂに示すように、トルクセンサに通常のトルクが加えられた場合には、２つのセンサ素子５にせん断応力が加わるため、従来通りトルクが出力される。
　また、他軸干渉の低減のために２つのセンサ素子５が設けられたトルクセンサでは、例えば図４Ｃに示すように、フランジ２に双方向のトルクが加わった場合に、２つのセンサ素子５に加わる信号の向きが互いに反転する。その結果、計測部８において出力が相殺され、出力誤差が低減される。
　以上のように、この実施の形態１によれば、トルクセンサは、外筒部１と、外筒部１の一端に連結されたフランジ２と、外筒部１の他端に連結されたフランジ３と、外筒部１と同一の軸心上に位置する内筒部４と、内筒部４の外周面に設けられ、軸心に対して斜め方向を向いた抵抗ゲージを有するセンサ素子５と、一端がフランジ２の内周面に連結され、他端が内筒部４の一端側の外周面に連結された薄板部材であるトルク伝達部６と、一端がフランジ３の内周面に連結され、他端が内筒部４の他端側の外周面に連結された薄板部材であるトルク伝達部７とを備え、トルク伝達部６及びトルク伝達部７のうちの少なくとも一方は、軸心に対する径方向のうちのセンサ素子５が位置する方向を除く方向に空間を有する。これにより、実施の形態１に係るトルクセンサは、一端のみに加えられた径方向の外力による出力誤差を低減可能となる。
　なお、本願発明はその発明の範囲内において、実施の形態の任意の構成要素の変形、もしくは実施の形態の任意の構成要素の省略が可能である。
　この発明に係るトルクセンサは、一端のみに加えられた径方向の外力による出力誤差を低減可能となり、トルクを検出するトルクセンサに用いるのに適している。
１　外筒部
２　フランジ（第１フランジ）
３　フランジ（第２フランジ）
４　内筒部
５　センサ素子
６　トルク伝達部（第１トルク伝達部）
７　トルク伝達部（第２トルク伝達部）
８　計測部
６１　板部材
６２　ディスク部材
６３　凹部
６４　開口部
７１　板部材

Claims (4)

  1. 　外筒部と、
    　前記外筒部の一端に連結された第１フランジと、
    　前記外筒部の他端に連結された第２フランジと、
    　前記外筒部と同一の軸心上に位置する内筒部と、
    　前記内筒部の外周面に設けられ、前記軸心に対して斜め方向を向いた抵抗ゲージを有するセンサ素子と、
    　一端が前記第１フランジの内周面に連結され、他端が前記内筒部の一端側の外周面に連結された薄板部材である第１トルク伝達部と、
    　一端が前記第２フランジの内周面に連結され、他端が前記内筒部の他端側の外周面に連結された薄板部材である第２トルク伝達部とを備え、
    　前記第１トルク伝達部及び前記第２トルク伝達部のうちの少なくとも一方は、前記軸心に対する径方向のうちの前記センサ素子が位置する方向を除く方向に空間を有する
    　ことを特徴とするトルクセンサ。
  2. 　前記第１トルク伝達部及び前記第２トルク伝達部のうちの前記空間を有するトルク伝達部は、前記他端が、前記内筒部の外周面のうちの全周に連結された
    　ことを特徴とする請求項１記載のトルクセンサ。
  3. 　前記第１トルク伝達部及び前記第２トルク伝達部のうちの前記空間を有するトルク伝達部は、前記一端が、前記第１フランジ及び前記第２フランジのうちの連結対象である一方のフランジの内周面のうちの一部に連結された
    　ことを特徴とする請求項１又は請求項２記載のトルクセンサ。
  4. 　前記センサ素子は、前記内筒部を挟んで対向した２つのセンサ素子である
    　ことを特徴とする請求項１記載のトルクセンサ。
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