WO2020003736A1 - 基板処理装置のメンテナンス装置およびメンテナンス方法 - Google Patents

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wireless communication
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慎一 小笠原
将司 桐田
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Screen Holdings Co Ltd
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Definitions

  • the present invention relates to a maintenance device and a maintenance method for a substrate processing apparatus.
  • a substrate processing apparatus In order to perform various processes on various substrates such as a semiconductor substrate, a substrate for a liquid crystal display device, a substrate for a plasma display, a substrate for an optical disk, a substrate for a magnetic disk, a substrate for a magneto-optical disk, and a substrate for a photomask, a substrate processing apparatus is used. Used.
  • a single substrate is continuously processed by a plurality of processing units. Further, the substrate is transferred by the substrate transfer device between the plurality of processing units. At the time of maintenance of the processing unit and the substrate transfer device, a maintenance terminal for adjusting the operation of the device to be maintained is used.
  • Patent Literature 1 discloses an adjustment terminal as the maintenance terminal.
  • the user of the adjustment terminal operates an input mechanism provided in the adjustment terminal while one arm is fitted into the adjustment terminal.
  • the command signal output from the adjustment terminal is given to the control device of the substrate processing apparatus wirelessly or by wire.
  • the worker carries an instruction terminal corresponding to the substrate processing apparatus to be maintained, connects a cable of the instruction terminal to the substrate processing apparatus, and performs maintenance operation of the substrate processing apparatus to be maintained using the instruction terminal. Instruct. In this case, the maintenance instruction is not given to the substrate processing apparatus to which the cable is not connected.
  • An object of the present invention is to provide a maintenance apparatus and a maintenance method for a substrate processing apparatus that can prevent a maintenance operation from being erroneously instructed to a substrate processing apparatus that is not a maintenance target and that has improved convenience of maintenance. To provide.
  • a maintenance apparatus for a substrate processing apparatus includes: a maintenance instruction device provided corresponding to the substrate processing apparatus; a storage medium for storing authentication information corresponding to the substrate processing apparatus; An authentication device that includes a short-range wireless communication unit and is provided corresponding to the substrate processing apparatus, and an instruction terminal that includes a second short-range wireless communication unit and a display unit. Generating screen information indicating a maintenance screen for performing maintenance of the substrate processing apparatus provided with the instruction device, the authentication device stores the storage medium within a communicable range of the first short-range wireless communication unit of the authentication device.
  • the first authentication information acquisition unit that acquires the authentication information stored in the storage medium by the first short-range wireless communication unit, and the authentication information that is acquired by the first authentication information acquisition unit.
  • a first determination unit that determines whether the authentication information corresponds to the substrate processing apparatus provided with the authentication apparatus; and, when the acquired authentication information corresponds to the substrate processing apparatus, the instruction terminal is connected to the substrate processing apparatus.
  • a transmitting unit wherein the instruction terminal is configured such that, when the authentication device is present within a communication range of the second short-range wireless communication unit of the instruction terminal and the access information is transmitted by the first short-range wireless communication unit
  • a network for receiving access information by the second short-range wireless communication unit and accessing the maintenance instruction device provided in the substrate processing apparatus by wireless communication using the received access information
  • An access unit a display control unit that displays a maintenance screen on the display unit based on screen information generated by the maintenance instruction device accessed by the network access unit, and a maintenance operation performed on the substrate processing apparatus when the display unit displays the maintenance screen.
  • a maintenance instruction device is provided corresponding to the substrate processing device, and an authentication device is provided corresponding to the substrate processing device. Further, authentication information corresponding to the substrate processing apparatus is stored in the storage medium.
  • the user brings the storage medium corresponding to the substrate processing apparatus to be maintained closer to the authentication device provided in the substrate processing apparatus.
  • the authentication information stored in the storage medium is obtained by the first authentication information obtaining unit of the authentication device.
  • the authentication device it is determined whether the obtained authentication information corresponds to the substrate processing device.
  • the access information is transmitted from the first short-range wireless communication unit of the authentication apparatus.
  • the access information is received by the second short-range wireless communication unit due to the presence of the authentication device within the communicable range of the second short-range wireless communication unit of the instruction terminal.
  • This allows the instruction terminal to access the maintenance instruction device provided in the substrate processing apparatus.
  • the instruction terminal accesses the maintenance instruction device, a maintenance screen is displayed on the display unit of the instruction terminal. Therefore, the user can instruct the substrate processing apparatus to perform a maintenance operation by operating the operation unit while referring to the maintenance screen displayed on the display unit of the instruction terminal.
  • the access information is not transmitted from the first short-range wireless communication unit of the authentication device. This makes it impossible for the instruction terminal to access the maintenance instruction device provided in the substrate processing apparatus.
  • the authentication terminal in the authentication device provided in the substrate processing apparatus, only when the authentication information of the storage medium carried by the user corresponds to the substrate processing apparatus, the authentication terminal is provided in the substrate processing apparatus.
  • the user can access the maintenance instruction device. If the authentication information of the storage medium carried by the user does not correspond to the substrate processing apparatus, the instruction terminal cannot access the maintenance instruction apparatus provided in the substrate processing apparatus. Therefore, it is possible to prevent a maintenance operation from being erroneously instructed to a substrate processing apparatus that is not a maintenance target.
  • the instruction terminal accesses the maintenance instruction device by wireless communication. Therefore, the user does not need to route the communication cable when carrying the pointing terminal. In addition, the failure of the pointing terminal due to the disconnection of the cable does not occur. Therefore, the convenience of maintenance is improved.
  • the information transmitting unit transmits the authentication information corresponding to the substrate processing apparatus by the first short-range wireless communication unit, and the instruction terminal transmits the instruction information.
  • the authentication device exists within the communication range of the second short-range wireless communication unit of the terminal and the authentication information is transmitted by the first short-range wireless communication unit, the authentication is performed by the second short-range wireless communication unit.
  • a target information storage unit that receives information and stores the received authentication information as target information, and a medium holding unit that detachably holds a storage medium within a communicable range of the second short-range wireless communication unit of the instruction terminal.
  • a second authentication information acquisition unit that acquires the authentication information stored in the storage medium by the second short-range wireless communication unit in a state where the storage medium is held in the medium holding unit; and a second authentication information.
  • Authentication acquired by the acquisition unit A second determination unit for determining whether the information matches the target information stored in the target information storage unit, and a network when the authentication information acquired by the second authentication information acquisition unit matches the target information.
  • An access control unit that permits access to the maintenance instruction device by the access unit and restricts access to the maintenance instruction device by the network access unit when the acquired authentication information does not match the target information may be further provided.
  • the authentication information corresponding to the substrate processing device provided with the authentication device is transmitted to the first short-range wireless communication unit. Further transmitted by the wireless communication unit.
  • the user brings the instruction terminal close to the authentication device. Accordingly, when the access information is received by the second short-range wireless communication unit, the authentication information transmitted by the first short-range wireless communication unit is further received by the second short-range wireless communication unit. You. In the instruction terminal, the received authentication information is stored as target information.
  • the user attaches the selected storage medium to the medium holding unit of the instruction terminal.
  • the medium holding unit is within the communicable range of the second short-range wireless communication unit
  • the authentication information stored in the storage medium is acquired by the second short-range wireless communication unit. Therefore, in the instruction terminal, it is determined whether or not the acquired authentication information matches the stored target information.
  • the substrate processing apparatus includes a processing liquid supply unit that supplies the processing liquid to the substrate using the nozzle, and the maintenance operation may include an operation of discharging the processing liquid from the nozzle in the processing liquid supply unit.
  • the processing liquid supply unit can be maintained using the instruction terminal.
  • the substrate processing apparatus includes a heat treatment unit that performs heat treatment on the substrate using the temperature adjustment device, and the maintenance operation may include a temperature adjustment operation of the temperature adjustment device in the heat treatment unit.
  • the maintenance of the heat treatment unit using the instruction terminal can be performed for some of the substrate processing apparatuses.
  • the substrate processing apparatus includes a transfer device that transfers the substrate, and the maintenance operation may include a movement operation of the transfer device.
  • a maintenance method for a substrate processing apparatus includes a step of performing maintenance on the substrate processing apparatus using the maintenance apparatus, wherein the maintenance apparatus includes a maintenance instruction provided for the substrate processing apparatus.
  • An authentication device including an apparatus, a storage medium for storing authentication information corresponding to the substrate processing apparatus, a first short-range wireless communication unit, provided corresponding to the substrate processing apparatus, and a second short-range wireless communication And an instruction terminal including a display unit.
  • the step of performing maintenance includes, in the authentication device, when the storage medium is within a communicable range of the first short-range wireless communication unit of the authentication device.
  • the first short-range wireless communication unit Acquiring the authentication information stored in the first authentication device by the first short-range wireless communication unit; and authenticating the authentication information acquired by the first authentication information acquisition unit in the authentication device. Determining whether the authentication device corresponds to the substrate processing apparatus provided with the authentication device; and, in the authentication device, when the acquired authentication information corresponds to the substrate processing device, the instruction terminal is provided in the substrate processing device.
  • the authentication device exists within the communicable range of the second short-range wireless communication unit of the instruction terminal and the first short-range wireless communication unit transmits the access information
  • the authentication terminal in the authentication device provided in the substrate processing apparatus, only when the authentication information of the storage medium carried by the user corresponds to the substrate processing apparatus, the authentication terminal is provided in the substrate processing apparatus.
  • the user can access the maintenance instruction device. If the authentication information of the storage medium carried by the user does not correspond to the substrate processing apparatus, the instruction terminal cannot access the maintenance instruction apparatus provided in the substrate processing apparatus. Therefore, it is possible to prevent a maintenance operation from being erroneously instructed to a substrate processing apparatus that is not a maintenance target.
  • the instruction terminal accesses the maintenance instruction device by wireless communication. Therefore, the user does not need to route the communication cable when carrying the pointing terminal. In addition, the failure of the pointing terminal due to the disconnection of the cable does not occur. Therefore, the convenience of maintenance is improved.
  • the second short-range wireless communication unit when transmitting the access information by the first short-range wireless communication unit in the authentication device;
  • the second In the instruction terminal, when the authentication device exists within the communicable range of the second short-range wireless communication unit of the instruction terminal and the authentication information is transmitted by the first short-range wireless communication unit, the second Receiving the authentication information by the short-range wireless communication unit and storing the received authentication information as target information; and storing the storage medium in the designated terminal within a communication range of the second short-range wireless communication unit of the designated terminal. Holding the authentication information stored in the held storage medium by the second short-range wireless communication unit in the instruction terminal while the storage medium is held in the instruction terminal.
  • the present invention it is possible to prevent a maintenance operation from being erroneously instructed to a substrate processing apparatus that is not a maintenance target, and to improve the convenience of maintenance.
  • FIG. 1 is a diagram showing a basic configuration of a maintenance device according to one embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a diagram for explaining an example of maintenance using the maintenance device of FIG.
  • FIG. 3 is a diagram for explaining an example of maintenance using the maintenance device of FIG.
  • FIG. 4 is a diagram for explaining an example of maintenance using the maintenance device of FIG.
  • FIG. 5 is a block diagram showing a configuration of the instruction terminal and the telecommunication system of FIG.
  • FIG. 6 is a flowchart showing a flow of a series of processes in the authentication device.
  • FIG. 7 is a flowchart showing a flow of a series of processes in the instruction terminal.
  • FIG. 8 is a schematic block diagram showing an example of the substrate processing apparatus of FIG.
  • a substrate means a flat panel display (FPD) substrate, a semiconductor substrate, a substrate for an optical disk, a substrate for a magnetic disk, a substrate for a magnetic disk, which is used for a liquid crystal display device or an organic electroluminescence (EL) display device or the like. It refers to a disk substrate, a photomask substrate, a ceramic substrate, a solar cell substrate, or the like.
  • FIG. 1 is a diagram showing a basic configuration of a maintenance device according to an embodiment of the present invention.
  • the maintenance device 10 of FIG. 1 is used for performing maintenance of four substrate processing devices 100A to 100D.
  • Each of the four substrate processing apparatuses 100A to 100D includes a control device 400 for controlling each component of the substrate processing apparatus.
  • the maintenance device 10 includes an instruction terminal 2 and four remote communication systems 3A to 3D.
  • the instruction terminal 2 is a device that can be carried by the user, such as a tablet terminal, a smartphone, or a mobile phone, and has a display unit 2f and an operation unit 2e (FIG. 5).
  • a maintenance screen for performing maintenance of any of the plurality of substrate processing apparatuses 100A to 100D is displayed on the display unit 2f.
  • the operation unit 2e (FIG. 5) is, for example, a touch panel provided on the display unit 2f. The user operates the operation unit 2e while visually recognizing the maintenance screen displayed on the display unit 2f. Thus, a desired maintenance operation can be instructed to the substrate processing apparatus to be maintained. Details of the configuration and operation of the instruction terminal 2 will be described later.
  • the four remote communication systems 3A to 3D are previously associated with the four substrate processing apparatuses 100A to 100D, respectively.
  • Each of the remote communication systems 3A to 3D includes a storage medium 30, an authentication device 40, and a maintenance instruction device 50.
  • the authentication device 40 and the maintenance instruction device 50 are provided in the corresponding substrate processing apparatus and are communicably connected to each other using a communication cable.
  • the storage medium 30 is configured to be capable of reading information in a non-contact manner by short-range wireless communication, and stores predetermined unique authentication information in a corresponding substrate processing apparatus. That is, the storage medium 30 stores authentication information unique to the substrate processing apparatus associated with the substrate processing apparatus.
  • the authentication device 40 is configured to be able to acquire the authentication information stored in the storage medium 30 by short-range wireless communication.
  • the authentication device 40 has a router function for establishing wireless communication with the instruction terminal 2 and the maintenance instruction device 50. Details of the configuration and operation of the authentication device 40 will be described later.
  • the maintenance instructing device 50 generates screen information indicating a maintenance screen for the corresponding substrate processing apparatus, and provides the generated screen information to the instruction terminal 2 through the authentication device 40.
  • the maintenance instruction device 50 is provided so as to be able to communicate with the control device 400 of the corresponding substrate processing apparatus, and transmits a maintenance operation instruction given from the instruction terminal 2 through the authentication device 40 to the control device of the corresponding substrate processing apparatus. Give to 400. Details of the configuration and operation of the maintenance instruction device 50 will be described later.
  • FIGS. 2 to 4 are diagrams for explaining an example of maintenance using the maintenance device 10 of FIG.
  • the storage media 30 included in the telecommunication systems 3A, 3B, 3C, 3D of FIG. 1 are referred to as storage media 30A, 30B, 30C, 30D, respectively.
  • the authentication devices 40 included in the remote communication systems 3A, 3B, 3C, and 3D in FIG. 1 are referred to as authentication devices 40A, 40B, 40C, and 40D, respectively.
  • the maintenance instruction devices 50 included in the telecommunication systems 3A, 3B, 3C, 3D of FIG. 1 are referred to as maintenance instruction devices 50A, 50B, 50C, 50D, respectively.
  • the user U of the maintenance device 10 determines a substrate processing device to be maintained from among the four substrate processing devices 100A, 100B, 100C, and 100D associated with the remote communication systems 3A to 3D.
  • the user U stores data corresponding to the maintenance target substrate processing apparatus 100A among the four storage media 30A to 30D.
  • the medium 30A is selected.
  • the user U moves to the vicinity of the substrate processing apparatus 100A while carrying the selected storage medium 30A and the instruction terminal 2.
  • authentication devices 40A to 40D of the remote communication systems 3A to 3D associated with the substrate processing apparatus are provided near a part of an outer wall of the apparatus or near an operation panel. I have.
  • the user U brings the selected storage medium 30A closer to the authentication device 40A as shown in FIG. Thereby, the authentication information stored in the storage medium 30A is obtained by the authentication device 40A by short-range wireless communication.
  • Each of the authentication devices 40A to 40D is provided with an indicator light 49.
  • the indicator light 49 is turned on for a certain period of time from the time when the authentication information is obtained by the authentication device, and is turned off when the authentication information is not obtained. Accordingly, the user U can recognize whether or not the authentication information of the storage medium 30A has been acquired by the authentication device 40A based on the lighting state of the indicator lamp 49.
  • the authentication information corresponding to the substrate processing apparatus 100A is stored in the authentication apparatus 40A in advance.
  • the authentication device 40A it is determined whether the authentication information acquired from the storage medium matches the authentication information stored in advance. That is, it is determined whether or not the authentication information of the storage medium (storage medium 30A in this example) closer to the user U corresponds to the substrate processing apparatus (substrate processing apparatus 100A in this example) provided with the authentication apparatus 40A. Is determined.
  • the user U When the user U confirms that the authentication information of the storage medium 30A has been acquired by the authentication device 40A based on the lighting state of the indicator light 49, the user U sets the instruction terminal 2 to the authentication device 40A as shown in FIG. Approach.
  • the instruction terminal 2 and the authentication device 40A are provided with short-range wireless communication units 2c and 4c (FIG. 5) to be described later, respectively. Accordingly, when the short-range wireless communication units 2c and 4c are within the communicable range of each other, short-range wireless communication between the instruction terminal 2 and the authentication device 40A becomes possible.
  • the authentication information acquired by the authentication device 40A corresponds to the substrate processing apparatus 100A
  • the access information and the authentication information corresponding to the substrate processing apparatus 100A are transmitted from the authentication apparatus 40A.
  • the instruction terminal 2 receives the access information and the authentication information transmitted from the authentication device 40A.
  • the authentication information acquired by the authentication device 40A does not correspond to the substrate processing apparatus 100A, the access information and the authentication information are not transmitted from the authentication device 40A.
  • the access information is information for the instruction terminal 2 to access the maintenance instruction device 50A using the authentication device 40A as an access point.
  • the access information includes, for example, the SSID (Service @ identifier) and password of the authentication device 40A, the IP (Internet protocol) address of the maintenance instruction device 50A, and the like.
  • the indicating terminal 2 has a substantially rectangular plate shape, and has one surface and the other surface facing each other.
  • the display unit 2f is provided on one surface of the instruction terminal 2.
  • a recording medium holding unit 2d formed so that the storage medium 30A can be inserted and extracted can be provided. After confirming that the access information has been received at the instruction terminal 2, the user U inserts the storage medium 30A into the recording medium holding unit 2d.
  • the authentication information is acquired by the short-range wireless communication from the storage medium 30A held in the storage medium holding unit 2d at a predetermined cycle. In addition, it is determined whether or not the obtained authentication information matches the authentication information transmitted from the authentication device 40A (in this example, the authentication information corresponding to the substrate processing apparatus 100A). Then, when the acquired authentication information matches the authentication information transmitted from the authentication device 40A, access between the instruction terminal 2 and the maintenance instruction device 50A is permitted. On the other hand, when the authentication information is not obtained or the obtained authentication information does not match the authentication information transmitted from the authentication device 40A, access between the instruction terminal 2 and the maintenance instruction device 50A is restricted.
  • a maintenance screen is displayed on the display unit 2f of the instruction terminal 2 based on the screen information generated in the maintenance instruction device 50A. . Therefore, the user U can operate the operation unit 2e (FIG. 5) of the instruction terminal 2 while referring to the maintenance screen as shown in FIG. In this case, a maintenance operation instruction based on the operation of the user U is provided to the control device 400 of the substrate processing apparatus 100A through the maintenance instruction device 50A. Thus, a so-called remote desktop connection is established between the instruction terminal 2, the maintenance instruction device 50A, and the control device 400.
  • FIG. 5 is a block diagram showing the configurations of the instruction terminal 2 and the remote communication system 3A of FIG.
  • the instruction terminal 2 includes a control unit 2a, a network access unit 2b, a short-range wireless communication unit 2c, a recording medium holding unit 2d, an operation unit 2e, and a display unit 2f.
  • the network access unit 2b has a built-in antenna, and when the authentication device 40A is within the communicable range of the short-range wireless communication unit 2c, the access information transmitted from the remote communication system 3A is transmitted by the short-range wireless communication unit 2c. Receive.
  • the network access unit 2b is configured to be able to perform wireless communication using a network using the received access information.
  • the short-range wireless communication unit 2c has a built-in antenna and is configured to be able to perform short-range wireless communication using NFC (Near Field Communication) technology. In NFC, wireless communication is performed within a range of about 10 cm.
  • the recording medium holding unit 2d is provided at a position close to the short-range wireless communication unit 2c. When any one of the storage media 30A to 30D is inserted into the storage medium holder 2d, the storage medium is within the communicable range of the short-range wireless communication unit 2c.
  • the display unit 2f is configured by an LCD (liquid crystal display) panel or an organic EL (electroluminescence) panel.
  • the operation unit 2e is a touch panel provided on the display unit 2f as described above.
  • the operation unit 2e may be configured with one or more switches in addition to or instead of the touch panel.
  • the control unit 2a includes, for example, a CPU (Central Processing Unit) and a memory.
  • the control unit 2a includes, as functional units, an access control unit 21, a second determination unit 22, a second acquisition unit 23, an instruction unit 24, a display control unit 25, and a target information storage unit 26.
  • These functional units are realized by the CPU of the control unit 2a executing a maintenance program stored in a memory in advance. Note that some or all of the plurality of components included in the control unit 2a may be realized by hardware such as an electronic circuit.
  • the access control unit 21 allows or restricts the access to the maintenance instruction device 50A by the network access unit 2b based on the determination result of the second determination unit 22 described later.
  • the target information storage unit 26 receives the authentication information transmitted from the remote communication system 3A by the short-range wireless communication unit 2c when the authentication device 40A is within the communicable range of the short-range wireless communication unit 2c. Further, the target information storage unit 26 stores the received authentication information as target information.
  • the second acquisition unit 23 uses the short-range wireless communication unit 2c to authenticate the storage medium. To get.
  • the second determination unit 22 determines whether the authentication information acquired by the second acquisition unit 23 corresponds to the substrate processing apparatus 100A provided with the remote communication system 3A. It is determined whether or not to perform.
  • the display control unit 25 causes the display unit 2f to display that the access information has been received by the instruction terminal 2.
  • the display control unit 25 causes the display unit 2f to display a maintenance screen based on the screen information acquired from the maintenance instruction device 50A through the network access unit 2b.
  • the instructing unit 24 gives a signal for instructing a maintenance operation to the maintenance instructing device 50A through the network access unit 2b based on the operation of the operation unit 2e by the user U.
  • the remote communication system 3A includes a storage medium 30A, an authentication device 40A, and a maintenance instruction device 50A.
  • the storage medium 30A is, for example, an IC (integrated circuit) card, and authentication information corresponding to the substrate processing apparatus 100A provided with the remote communication system 3A is stored in advance.
  • the authentication device 40A is, for example, a cradle and includes a control unit 4a, a network access unit 4b, and a short-range wireless communication unit 4c.
  • the network access unit 4b has a built-in antenna and router, and is configured to be operable as an access point for wireless communication.
  • the network access unit 4b is wiredly connected to a network access unit 5b of the maintenance instruction device 50A, which will be described later, via a communication cable.
  • the cable is, for example, a LAN (Local area network) cable.
  • the short-range wireless communication unit 4c has a built-in antenna and is configured to be able to perform short-range wireless communication using the NFC technology.
  • the authentication device 40A includes an indicator light 49 of FIG. 3 in addition to the configuration shown in FIG.
  • Indicator light 49 includes an LED (light emitting diode) as a light emitting source.
  • the control unit 4a includes, for example, a CPU (Central Processing Unit) and a memory.
  • the control unit 4a includes an information transmission unit 41, a first determination unit 42, and a first acquisition unit 43 as functional units. These functional units are realized by the CPU of the control unit 4a executing a maintenance program stored in a memory in advance. Note that some or all of the plurality of components included in the control unit 4a may be realized by hardware such as an electronic circuit.
  • the first acquisition unit 43 uses the short-range wireless communication unit 4c to authenticate the storage medium. To get.
  • the first acquiring unit 43 turns on the indicator lamp 49 of FIG. 3 for a predetermined time.
  • the authentication information corresponding to the substrate processing apparatus 100A provided with the remote communication system 3A is stored in the first determination unit 42 in advance. Therefore, the first determination unit 42 determines whether the authentication information acquired by the first acquisition unit 43 is the authentication information corresponding to the substrate processing apparatus 100A provided with the remote communication system 3A.
  • the information transmission unit 41 transmits the access information and the authentication information corresponding to the substrate processing apparatus 100A by the short-range wireless communication unit 4c based on the determination result of the first determination unit 42. Specifically, when the acquired authentication information corresponds to the substrate processing apparatus 100A, the information transmitting unit 41 transmits the access information and the authentication information corresponding to the substrate processing apparatus 100A by the short-range wireless communication unit 4c.
  • the maintenance instruction device 50A is, for example, a server or a personal computer, and includes a control unit 5a and a network access unit 5b.
  • the network access unit 5b is configured to enable communication using a network. As described above, the network access unit 5b is wire-connected to the network access unit 4b of the authentication device 40A, and is also wire-connected to the control device 400 of the substrate processing apparatus 100A.
  • the control unit 5a includes, for example, a CPU (Central Processing Unit) and a memory.
  • the control unit 5a includes a screen information generation unit 51 and an operation command unit 52 as functional units. These functional units are realized by the CPU of the control unit 5a executing a maintenance program stored in a memory in advance. Note that some or all of the plurality of components included in the control unit 5a may be realized by hardware such as an electronic circuit.
  • the screen information generation unit 51 generates screen information according to the operation state of the substrate processing apparatus 100A by communicating with the control device 400 of the substrate processing apparatus 100A through the network access unit 5b. In addition, the screen information generation unit 51 gives the generated screen information to the instruction terminal 2 in response to a request from the instruction terminal 2.
  • the operation command section 52 gives a maintenance operation instruction given from the instruction terminal 2 through the network access section 5b to the control device 400 of the substrate processing apparatus 100A. Accordingly, the maintenance operation instructed by the instruction terminal 2 is performed in the substrate processing apparatus 100A.
  • FIG. 6 is a flowchart showing a flow of a series of processes in the authentication device 40A.
  • the series of processing illustrated in FIG. 6 is performed, for example, when the power of the substrate processing apparatus 100A provided with the remote communication system 3A is turned on, or when there is a notification that the maintenance is performed to the substrate processing apparatus 100A. Be started.
  • the first acquisition unit 43 in FIG. 5 determines whether any of the storage media 30A to 30D exists within the communicable range of the short-range wireless communication unit 4c (step S11). If there is no storage medium within the communicable range, the first acquisition unit 43 repeats the process of step S11. On the other hand, when the storage medium exists within the communicable range, the first acquisition unit 43 acquires the authentication information of the storage medium by the short-range wireless communication unit 4c (step S12), and turns on the predetermined time. The third indicator light 49 is controlled (step S13).
  • the first determination unit 42 in FIG. 5 determines whether the authentication information acquired by the first acquisition unit 43 is authentication information corresponding to the substrate processing apparatus 100A provided with the authentication apparatus 40A. A determination is made (step S14). When the authentication information corresponds to the substrate processing apparatus 100A, the information transmitting unit 41 of FIG. 5 determines whether or not the instruction terminal 2 is within the communicable range of the short-range wireless communication unit 4c (Step S15). ).
  • the information transmitting unit 41 transmits the access information and the authentication information corresponding to the substrate processing apparatus 100A by the short-range wireless communication unit 4c (Step S16), and performs a series of processes. finish.
  • the first obtaining unit 43 returns to the processing in step S11. Further, when the instruction terminal 2 does not exist within the communicable range in the above step S15, the information transmitting unit 41 determines whether a predetermined time has elapsed from the processing in the immediately preceding step S14 (step S17).
  • the information transmitting unit 41 If the predetermined time has not elapsed, the information transmitting unit 41 returns to the process of step S15. On the other hand, when the predetermined time has elapsed, the information transmitting unit 41 ends a series of processing.
  • the above-described series of processing is performed again when a predetermined time elapses after the end of the series of processing, or when there is another notification that maintenance is to be performed to the substrate processing apparatus 100A after the end of the series of processing. May be started.
  • FIG. 7 is a flowchart showing a flow of a series of processing in the instruction terminal 2. A series of processes illustrated in FIG. 7 is started, for example, when the power of the instruction terminal 2 is turned on.
  • the access control unit 21 in FIG. 5 determines whether any of the authentication devices 40A to 40D exists within the communicable range of the short-range wireless communication unit 2c (step S21). If there is no authentication device within the communicable range, the access control unit 21 repeats the process of step S21. On the other hand, when the authentication device exists within the communicable range, the access control unit 21 receives the access information transmitted from the authentication device by the above-described processing in step S16 by the short-range wireless communication unit 2c (step S22). In addition, the target information storage unit 26 in FIG. 5 receives the authentication information transmitted from the authentication device by the above-described processing in step S16 by the short-range wireless communication unit 2c, and stores the information as target information (step S23). Further, the display control unit 25 in FIG. 5 causes the display unit 2f to display that the access information has been received (step S24).
  • the second acquisition unit 23 in FIG. 5 determines whether any of the storage media 30A to 30D exists within the communicable range of the short-range wireless communication unit 2c (Step S25). When the storage medium exists within the communicable range, the second acquisition unit 23 acquires the authentication information of the storage medium by the short-range wireless communication unit 2c (Step S26).
  • the second determination unit 22 in FIG. It is determined whether the information matches the information (step S27).
  • the access control unit 21 allows the network access unit 2b in FIG. 5 to access the maintenance instruction device based on the access information received in step S22 (step S28). ).
  • the access control unit 21 restricts the network access unit 2b in FIG. 5 from accessing the maintenance instruction device based on the access information received in step S22 ( Step S29).
  • the access control unit 21 determines whether or not the end of the process is instructed based on the operation of the operation unit 2e by the user U (Step S30). When the end is instructed, the access control unit 21 ends a series of processing. On the other hand, when the termination is not instructed, the access control unit 21 returns to the process of step S27.
  • the second acquisition unit 23 determines whether a predetermined time has elapsed from the processing in the immediately preceding step S24 (step S31). Then, if the predetermined time has not elapsed, the second acquisition unit 23 returns to the processing in step S25. On the other hand, when the predetermined time has elapsed, the second acquisition unit 23 ends a series of processing.
  • a maintenance screen is displayed for the substrate processing apparatus corresponding to the maintenance instruction device in a state where access to the maintenance instruction device is permitted by the processing in step S27 described above.
  • FIG. 8 is a schematic block diagram illustrating an example of the substrate processing apparatus 100A of FIG. As shown in FIG. 8, the substrate processing apparatus 100A is provided, for example, adjacent to the exposure apparatus 500, and includes a control device 400, a coating processing unit 410, a development processing unit 420, a heat treatment unit 430, and a substrate transfer device 440.
  • the control device 400 includes, for example, a CPU and a memory, or a microcomputer, and controls operations of the coating processing unit 410, the development processing unit 420, the heat treatment unit 430, and the substrate transfer device 440.
  • the control device 400 controls the operation of each unit in the substrate processing apparatus 100A so that the specified maintenance operation is performed in response to the instruction given from the instruction terminal 2 during the maintenance of the substrate processing apparatus 100A. .
  • the substrate transport device 440 transports the substrate W among the coating processing unit 410, the development processing unit 420, the heat treatment unit 430, and the exposure device 500.
  • Each of the coating unit 410 and the developing unit 420 includes a plurality of processing units PU.
  • the processing unit PU provided in the coating processing unit 410 is provided with a processing liquid nozzle 93 for supplying a processing liquid for forming a resist film on the substrate W rotated by the spin chuck 91. Thereby, a resist film is formed on the unprocessed substrate W.
  • the exposure processing is performed on the substrate W on which the resist film is formed by the exposure apparatus 500.
  • the processing unit PU provided in the development processing unit 420 is provided with a developer nozzle 94 for supplying a developer to the substrate W rotated by the spin chuck 91. Thereby, the substrate W after the exposure processing by the exposure device 500 is developed.
  • the heat treatment section 430 includes a plurality of processing units TU for performing heating or cooling processing on the substrate W.
  • a temperature adjustment plate 95 is provided as a substrate support.
  • the temperature adjustment plate 95 is a heating plate or a cooling plate.
  • heat treatment of the substrate W is performed before and after the coating processing by the coating processing section 410, the development processing by the development processing section 420, and the exposure processing by the exposure device 500.
  • the coating unit 410 may be provided with a processing unit PU for forming an anti-reflection film on the substrate W.
  • the coating unit 410 may be provided with a processing unit TU for performing an adhesion strengthening process for improving the adhesion between the substrate W and the antireflection film.
  • the coating unit 410 may be provided with a processing unit PU for forming a resist cover film for protecting the resist film formed on the substrate W.
  • a substrate mounting portion for temporarily mounting the substrate W being transferred by the substrate transfer device 440 may be provided.
  • the substrate mounting portion has a configuration in which, for example, a plurality of (for example, three) support pins are provided as a substrate support portion.
  • the maintenance operation that can be instructed by the instruction terminal 2 includes, for example, an operation of discharging the processing liquid from the processing liquid nozzle 93 in the coating processing unit 410 and a developing liquid nozzle 94 in the developing processing unit 420 From the developer.
  • the maintenance operation that can be instructed by the instruction terminal 2 includes a temperature adjustment operation of the temperature adjustment plate 95 in the heat treatment unit 430. Further, the maintenance operation that can be instructed by the instruction terminal 2 includes a movement operation of the substrate transfer device 440.
  • substrate processing apparatuses 100B to 100D in FIG. 1 may have the same configuration as the above-described substrate processing apparatus 100A in FIG. 8, or may have different configurations.
  • the instruction terminal 2 accesses the maintenance instruction device 50 via the authentication device 40 by wireless communication. Therefore, when carrying the instruction terminal 2, the user U does not need to route the communication cable. Also, no failure of the instruction terminal 2 due to the disconnection of the cable occurs. Therefore, a decrease in the convenience of maintenance is suppressed.
  • the maintenance device 10 includes one instruction terminal 2 for a plurality of remote communication systems 3A to 3D, but the maintenance device 10 includes a plurality of instruction terminals. 2 may be provided.
  • the plurality of users U can simultaneously maintain the plurality of substrate processing apparatuses using the plurality of instruction terminals 2 and the plurality of storage media 30, respectively. Even in such a case, each user U is prevented from erroneously instructing the substrate processing apparatus that is not the subject of its own maintenance operation.
  • each of the plurality of remote communication systems 3A to 3D includes one storage medium 30, but the present invention is not limited to this.
  • a plurality of storage media 30 may be provided in each of the remote communication systems 3A to 3D. Further, the plurality of storage media 30 of each of the remote communication systems 3A to 3D may store a plurality of different authentication information corresponding to the substrate processing apparatus provided with the remote communication system and different from each other. Further, in the maintenance instruction device corresponding to each substrate processing apparatus, a plurality of pieces of screen information indicating a plurality of maintenance screens respectively corresponding to the plurality of pieces of authentication information may be generated.
  • the short-range wireless communication unit 4c is an example of the first short-range wireless communication unit
  • the first acquisition unit 43 is an example of the first authentication information acquisition unit
  • the recording medium holding unit 2d Is an example of a medium holding unit
  • the second obtaining unit 23 is an example of a second authentication information obtaining unit
  • the processing unit PU provided in the coating processing unit 410 and the development processing unit 420 is an example of a processing liquid supply unit.
  • the processing liquid nozzle 93 and the developing liquid nozzle 94 are examples of nozzles
  • the processing unit TU provided in the heat treatment unit 430 is an example of a heat treatment unit
  • the temperature adjustment plate 95 is an example of a temperature adjustment device
  • the substrate The transport device 440 is an example of a transport device.

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Abstract

一の認証装置において近距離無線通信により記憶媒体から認証情報が取得される。認証情報が当該認証装置が設けられた一の基板処理装置に対応するか否かが判定される。認証情報が一の基板処理装置に対応する場合、認証装置から近距離無線通信によりアクセス情報が送信される。指示端末は、近距離無線通信によりアクセス情報を受信する。指示端末がアクセス情報に基づいてメンテナンス指示装置にアクセスすることにより、当該指示端末の表示部にメンテナンス画面が表示される。指示端末は、メンテナンス動作を指示するために使用者により操作される操作部を有する。

Description

基板処理装置のメンテナンス装置およびメンテナンス方法
　本発明は、基板処理装置のメンテナンス装置およびメンテナンス方法に関する。
　半導体基板、液晶表示装置用基板、プラズマディスプレイ用基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板、フォトマスク用基板等の各種基板に種々の処理を行うために、基板処理装置が用いられている。
　基板処理装置では、一枚の基板に対して複数の処理ユニットにより連続的に処理が行われる。また、複数の処理ユニット間で基板搬送装置により基板が搬送される。処理ユニットおよび基板搬送装置等のメンテナンス時には、メンテナンス対象となる装置の動作を調整するためのメンテナンス用の端末が用いられる。
　例えば、特許文献１には、上記のメンテナンス用の端末として調整端末機が記載されている。調整端末機の使用者は、当該調整端末機に片腕を嵌め込んだ状態で、その調整端末機が備える入力機構を操作する。それにより、調整端末機から出力される指令信号が、無線または有線で基板処理装置の制御装置に与えられる。
特開平７－１１４４３９号公報
　半導体デバイス等の製造工場においては、一般に、多数の基板処理装置が、比較的高い密度で並ぶようにクリーンルーム内に配置される。稼働中の基板処理装置が誤って停止されると、大きな経済的損失が生じる。そのため、メンテナンスの作業者が稼働中の基板処理装置に誤ってメンテナンス作業を行わないような対策が必要である。作業者が無線方式の指示端末を用いて基板処理装置にメンテナンスの指示を与えると、メンテナンス対象の基板処理装置の近くに配置される他の基板処理装置が誤ってメンテナンス動作を行う可能性がある。そこで、実際は、各基板処理装置に対応する有線方式の指示端末が用いられる。作業者は、メンテナンス対象となる基板処理装置に対応する指示端末を携行し、その基板処理装置に指示端末のケーブルを接続した後、その指示端末を用いてメンテナンス対象となる基板処理装置のメンテナンス動作を指示する。この場合、ケーブルが接続されていない基板処理装置にメンテナンス指示が与えられることはない。
　しかしながら、有線式の指示端末を用いる場合には、作業者は、ケーブルを引き回して作業を行う必要があるため、作業性が良好ではない。また、ケーブルが種々の物に引っかかることがあるため、ケーブルの断線による指示端末の故障が生じる可能性がある。
　本発明の目的は、メンテナンス対象でない基板処理装置に対して誤ってメンテナンス動作が指示されることを防止することが可能でかつメンテナンスの利便性が向上された基板処理装置のメンテナンス装置およびメンテナンス方法を提供することである。
（１）本発明の一局面に従う基板処理装置のメンテナンス装置は、基板処理装置に対応して設けられたメンテナンス指示装置と、基板処理装置に対応する認証情報を記憶する記憶媒体と、第１の近距離無線通信部を含み、基板処理装置に対応して設けられた認証装置と、第２の近距離無線通信部および表示部を含む指示端末とを備え、メンテナンス指示装置の各々は、当該メンテナンス指示装置が設けられた基板処理装置のメンテナンスを行うためのメンテナンス画面を示す画面情報を生成し、認証装置は、当該認証装置の第１の近距離無線通信部による通信可能範囲内に記憶媒体が存在するときに、記憶媒体に記憶された認証情報を第１の近距離無線通信部により取得する第１の認証情報取得部と、第１の認証情報取得部により取得された認証情報が認証装置が設けられた基板処理装置に対応するか否かを判定する第１の判定部と、取得された認証情報が基板処理装置に対応する場合に、指示端末が基板処理装置に設けられたメンテナンス指示装置との間で通信を行うためのアクセス情報を第１の近距離無線通信部により送信し、取得された認証情報が基板処理装置に対応しない場合にアクセス情報を送信しない情報送信部とを含み、指示端末は、当該指示端末の第２の近距離無線通信部による通信可能範囲内に認証装置が存在しかつ第１の近距離無線通信部によりアクセス情報が送信されるときに、第２の近距離無線通信部によりアクセス情報を受信し、受信したアクセス情報を用いて無線通信により基板処理装置に設けられたメンテナンス指示装置にアクセスするネットワークアクセス部と、ネットワークアクセス部がアクセスしたメンテナンス指示装置により生成される画面情報に基づいてメンテナンス画面を表示部に表示させる表示制御部と、表示部によるメンテナンス画面の表示時に、基板処理装置にメンテナンス動作を指示するために使用者により操作される操作部とを含む。
　そのメンテナンス装置においては、メンテナンス指示装置が基板処理装置に対応して設けられ、認証装置が基板処理装置に対応して設けられる。また、基板処理装置に対応する認証情報が記憶媒体に記憶される。
　使用者は、メンテナンスすべき基板処理装置に対応する記憶媒体を基板処理装置に設けられた認証装置に近づける。記憶媒体が当該認証装置の第１の近距離無線通信部による通信可能範囲内に存在すると、当該記憶媒体に記憶された認証情報が当該認証装置の第１の認証情報取得部により取得される。また、当該認証装置において、取得された認証情報が当該基板処理装置に対応するか否かが判定される。
　取得された認証情報が当該基板処理装置に対応する場合には、当該認証装置の第１の近距離無線通信部からアクセス情報が送信される。この状態で、指示端末の第２の近距離無線通信部による通信可能範囲内に認証装置が存在することにより、第２の近距離無線通信部によりアクセス情報が受信される。それにより、指示端末から当該基板処理装置に設けられたメンテナンス指示装置へのアクセスが可能になる。指示端末がメンテナンス指示装置にアクセスすることにより、当該指示端末の表示部にメンテナンス画面が表示される。そこで、使用者は、指示端末の表示部に表示されるメンテナンス画面を参照しつつ操作部を操作することにより、当該基板処理装置にメンテナンス動作を指示することができる。
　当該認証装置において取得された認証情報が当該基板処理装置に対応しない場合、当該認証装置の第１の近距離無線通信部からアクセス情報は送信されない。それにより、指示端末から当該基板処理装置に設けられたメンテナンス指示装置へのアクセスが不可能になる。
　上記の構成によれば、基板処理装置に設けられる認証装置においては、使用者により携行された記憶媒体の認証情報が当該基板処理装置に対応する場合にのみ、指示端末から当該基板処理装置に設けられたメンテナンス指示装置へのアクセスが可能になる。使用者により携行された記憶媒体の認証情報が当該基板処理装置に対応しない場合、指示端末から当該基板処理装置に設けられたメンテナンス指示装置へのアクセスはできない。したがって、メンテナンス対象でない基板処理装置に対して誤ってメンテナンス動作が指示されることが防止される。
　また、上記の構成によれば、指示端末は、無線通信によりメンテナンス指示装置にアクセスする。そのため、使用者は、指示端末を携行する際に、通信用のケーブルを引き回す必要がない。また、ケーブルの断線による指示端末の故障も生じない。したがって、メンテナンスの利便性が向上される。
　（２）情報送信部は、第１の近距離無線通信部によるアクセス情報の送信時に、基板処理装置に対応する認証情報を第１の近距離無線通信部により送信し、指示端末は、当該指示端末の第２の近距離無線通信部による通信可能範囲内に認証装置が存在しかつ第１の近距離無線通信部により認証情報が送信されるときに、第２の近距離無線通信部により認証情報を受信し、受信した認証情報を対象情報として記憶する対象情報記憶部と、当該指示端末の第２の近距離無線通信部による通信可能範囲内で記憶媒体を着脱可能に保持する媒体保持部と、媒体保持部に記憶媒体が保持された状態で、当該記憶媒体に記憶された認証情報を第２の近距離無線通信部により取得する第２の認証情報取得部と、第２の認証情報取得部により取得された認証情報が対象情報記憶部に記憶された対象情報に一致するか否かを判定する第２の判定部と、第２の認証情報取得部により取得された認証情報が対象情報に一致する場合にネットワークアクセス部によるメンテナンス指示装置へのアクセスを許容し、取得された認証情報が対象情報に一致しない場合にネットワークアクセス部によるメンテナンス指示装置へのアクセスを制限するアクセス制御部をさらに備えてもよい。
　上記のメンテナンス装置においては、認証装置の第１の近距離無線通信部によりアクセス情報が送信される際には、当該認証装置が設けられた基板処理装置に対応する認証情報が第１の近距離無線通信部によりさらに送信される。
　使用者は、記憶媒体を認証装置に近づけた後、指示端末を当該認証装置に近づける。それにより、第２の近距離無線通信部によりアクセス情報が受信される際には、第１の近距離無線通信部により送信された認証情報が、さらに第２の近距離無線通信部により受信される。指示端末においては、受信された認証情報が対象情報として記憶される。
　次に、使用者は、選択した記憶媒体を指示端末の媒体保持部に取り付ける。この場合、媒体保持部は第２の近距離無線通信部による通信可能範囲内にあるので、当該記憶媒体に記憶された認証情報が第２の近距離無線通信部により取得される。そこで、指示端末においては、取得された認証情報が記憶された対象情報に一致するか否かが判定される。
　取得された認証情報が対象情報に一致する場合に、指示端末を用いたメンテナンス指示装置へのアクセスが許容される。一方、取得された認証情報が対象情報に一致しない場合に、指示端末を用いたメンテナンス指示装置へのアクセスが制限される。これにより、指示端末を用いた基板処理装置のメンテナンスが、当該基板処理装置に対応する記録媒体を携行する使用者に制限される。したがって、当該基板処理装置に対応する記録媒体を携行しない第三者が、指示端末を用いて当該基板処理装置を操作することが防止される。
　（３）基板処理装置は、ノズルを用いて基板に処理液を供給する処理液供給ユニットを含み、メンテナンス動作は、処理液供給ユニットにおけるノズルからの処理液の吐出動作を含んでもよい。
　この場合、一部の基板処理装置について、指示端末を用いた処理液供給ユニットのメンテナンスが可能となる。
　（４）基板処理装置は、温度調整装置を用いて基板に熱処理を行う熱処理ユニットを含み、メンテナンス動作は、熱処理ユニットにおける温度調整装置の温度調整動作を含んでもよい。
　この場合、一部の基板処理装置について、指示端末を用いた熱処理ユニットのメンテナンスが可能となる。
　（５）基板処理装置は、基板を搬送する搬送装置を含み、メンテナンス動作は、搬送装置の移動動作を含んでもよい。
　この場合、一部の基板処理装置について、指示端末を用いた搬送装置のメンテナンスが可能となる。
　（６）本発明の他の局面に従う基板処理装置のメンテナンス方法は、メンテナンス装置を用いて基板処理装置のメンテナンスを行うステップを含み、メンテナンス装置は、基板処理装置に対応して設けられたメンテナンス指示装置と、基板処理装置に対応する認証情報を記憶する記憶媒体と、第１の近距離無線通信部を含み、基板処理装置に対応して設けられた認証装置と、第２の近距離無線通信部および表示部を含む指示端末とを備え、メンテナンスを行うステップは、認証装置において、当該認証装置の第１の近距離無線通信部による通信可能範囲内に記憶媒体が存在するときに、記憶媒体に記憶された認証情報を第１の近距離無線通信部により取得するステップと、認証装置において、第１の認証情報取得部により取得された認証情報が認証装置が設けられた基板処理装置に対応するか否かを判定するステップと、認証装置において、取得された認証情報が基板処理装置に対応する場合に、指示端末が基板処理装置に設けられたメンテナンス指示装置との間で通信を行うためのアクセス情報を第１の近距離無線通信部により送信し、取得された認証情報が基板処理装置に対応しない場合にアクセス情報を送信しないステップと、指示端末において、当該指示端末の第２の近距離無線通信部による通信可能範囲内に認証装置が存在しかつ第１の近距離無線通信部によりアクセス情報が送信されるときに、第２の近距離無線通信部によりアクセス情報を受信し、受信したアクセス情報を用いて無線通信により基板処理装置に設けられたメンテナンス指示装置にアクセスするステップと、アクセスされたメンテナンス指示装置において、当該メンテナンス指示装置が設けられた基板処理装置のメンテナンスを行うためのメンテナンス画面を示す画面情報を生成するステップと、指示端末において、アクセスされたメンテナンス指示装置により生成される画面情報に基づいてメンテナンス画面を表示部に表示させるステップと、指示端末において、表示部によるメンテナンス画面の表示時に、使用者による当該指示端末の操作に基づいて基板処理装置にメンテナンス動作を指示するステップとを含む。
　そのメンテナンス方法によれば、基板処理装置に設けられる認証装置においては、使用者により携行された記憶媒体の認証情報が当該基板処理装置に対応する場合にのみ、指示端末から当該基板処理装置に設けられたメンテナンス指示装置へのアクセスが可能になる。使用者により携行された記憶媒体の認証情報が当該基板処理装置に対応しない場合、指示端末から当該基板処理装置に設けられたメンテナンス指示装置へのアクセスはできない。したがって、メンテナンス対象でない基板処理装置に対して誤ってメンテナンス動作が指示されることが防止される。
　また、上記の構成によれば、指示端末は、無線通信によりメンテナンス指示装置にアクセスする。そのため、使用者は、指示端末を携行する際に、通信用のケーブルを引き回す必要がない。また、ケーブルの断線による指示端末の故障も生じない。したがって、メンテナンスの利便性が向上される。
　（７）メンテナンスを行うステップは、認証装置において、第１の近距離無線通信部によるアクセス情報の送信時に、基板処理装置に対応する認証情報を第１の近距離無線通信部により送信するステップと、指示端末において、当該指示端末の第２の近距離無線通信部による通信可能範囲内に認証装置が存在しかつ第１の近距離無線通信部により認証情報が送信されるときに、第２の近距離無線通信部により認証情報を受信し、受信した認証情報を対象情報として記憶するステップと、当該指示端末の第２の近距離無線通信部による通信可能範囲内で記憶媒体を当該指示端末に保持させるステップと、指示端末において、記憶媒体が保持された状態で、保持された記憶媒体に記憶された認証情報を第２の近距離無線通信部により取得するステップと、指示端末において、取得された認証情報が記憶された対象情報に一致するか否かを判定するステップと、指示端末において、取得された認証情報が対象情報に一致する場合にメンテナンス指示装置へのアクセスを許容し、取得された認証情報が対象情報に一致しない場合にメンテナンス指示装置へのアクセスを制限するステップとをさらに含んでもよい。
　上記の方法によれば、指示端末を用いた基板処理装置のメンテナンスが、当該基板処理装置に対応する記録媒体を携行する使用者に制限される。したがって、当該基板処理装置に対応する記録媒体を携行しない第三者が、指示端末を用いて当該基板処理装置を操作することが防止される。
　本発明によれば、メンテナンス対象でない基板処理装置に対して誤ってメンテナンス動作が指示されることを防止することが可能になるとともにメンテナンスの利便性が向上される。
図１は本発明の一実施の形態に係るメンテナンス装置の基本構成を示す図である。 図２は図１のメンテナンス装置を用いたメンテナンスの一例を説明するための図である。 図３は図１のメンテナンス装置を用いたメンテナンスの一例を説明するための図である。 図４は図１のメンテナンス装置を用いたメンテナンスの一例を説明するための図である。 図５は図１の指示端末および遠隔通信システムの構成を示すブロック図である。 図６は認証装置における一連の処理の流れを示すフローチャートである。 図７は指示端末における一連の処理の流れを示すフローチャートである。 図８は図１の基板処理装置の一例を示す模式的ブロック図である。
　以下、本発明の一実施の形態に係るメンテナンス装置およびメンテナンス方法について図面を用いて説明する。なお、以下の説明において、基板とは、液晶表示装置または有機ＥＬ（Electro Luminescence）表示装置等に用いられるＦＰＤ（Flat Panel Display）用基板、半導体基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板、フォトマスク用基板、セラミック基板または太陽電池用基板等をいう。
　［１］メンテナンス装置の基本構成および概略
　図１は、本発明の一実施の形態に係るメンテナンス装置の基本構成を示す図である。図１のメンテナンス装置１０は、４つの基板処理装置１００Ａ～１００Ｄのメンテナンスを行うために用いられる。４つの基板処理装置１００Ａ～１００Ｄの各々は、当該基板処理装置の各構成要素を制御するための制御装置４００を備える。
　図１に示すように、メンテナンス装置１０は、指示端末２と４つの遠隔通信システム３Ａ～３Ｄとを備える。指示端末２は、例えばタブレット端末、スマートフォンまたは携帯電話機等の使用者が携行可能な装置であり、表示部２ｆおよび操作部２ｅ（図５）を有する。
　表示部２ｆには、複数の基板処理装置１００Ａ～１００Ｄのうちいずれかのメンテナンスを行うためのメンテナンス画面が表示される。操作部２ｅ（図５）は、例えば表示部２ｆに設けられるタッチパネルである。使用者は、表示部２ｆに表示されるメンテナンス画面を視認しつつ操作部２ｅを操作する。それにより、メンテナンス対象となる基板処理装置に所望のメンテナンス動作を指示することができる。指示端末２の構成および動作の詳細は後述する。
　４つの遠隔通信システム３Ａ～３Ｄは、予め４つの基板処理装置１００Ａ～１００Ｄにそれぞれ対応付けられている。遠隔通信システム３Ａ～３Ｄの各々は、記憶媒体３０、認証装置４０およびメンテナンス指示装置５０を備える。認証装置４０およびメンテナンス指示装置５０は、対応する基板処理装置に設けられるとともに通信ケーブルを用いて互いに通信可能に接続される。
　記憶媒体３０は、近距離無線通信による非接触での情報の読み取りが可能に構成され、対応する基板処理装置において予め定められた固有の認証情報を記憶する。すなわち、記憶媒体３０は、基板処理装置に対応付けられた当該基板処理装置に固有の認証情報を記憶する。
　認証装置４０は、近距離無線通信により記憶媒体３０に記憶された認証情報を取得可能に構成される。また、認証装置４０は、指示端末２およびメンテナンス指示装置５０との間で無線通信を確立させるためのルータ機能を有する。認証装置４０の構成および動作の詳細は後述する。
　メンテナンス指示装置５０は、対応する基板処理装置についてのメンテナンス画面を示す画面情報を生成し、生成された画面情報を認証装置４０を通して指示端末２に与える。また、メンテナンス指示装置５０は、対応する基板処理装置の制御装置４００に対して通信可能に設けられ、認証装置４０を通して指示端末２から与えられるメンテナンス動作の指示を、対応する基板処理装置の制御装置４００に与える。メンテナンス指示装置５０の構成および動作の詳細は後述する。
　［２］メンテナンス装置１０の使用例
　図２～図４は、図１のメンテナンス装置１０を用いたメンテナンスの一例を説明するための図である。以下の説明では、図１の遠隔通信システム３Ａ，３Ｂ，３Ｃ，３Ｄが備える記憶媒体３０を、それぞれ記憶媒体３０Ａ，３０Ｂ，３０Ｃ，３０Ｄと呼ぶ。また、図１の遠隔通信システム３Ａ，３Ｂ，３Ｃ，３Ｄが備える認証装置４０を、それぞれ認証装置４０Ａ，４０Ｂ，４０Ｃ，４０Ｄと呼ぶ。さらに、図１の遠隔通信システム３Ａ，３Ｂ，３Ｃ，３Ｄが備えるメンテナンス指示装置５０を、それぞれメンテナンス指示装置５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃ，５０Ｄと呼ぶ。
　最初に、メンテナンス装置１０の使用者Ｕは、遠隔通信システム３Ａ～３Ｄが対応付けられた４つの基板処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃ，１００Ｄのうち、メンテナンス対象となる基板処理装置を決定する。
　例えばメンテナンス対象として基板処理装置１００Ａが決定された場合、使用者Ｕは、図２（ａ）に示すように、４つの記憶媒体３０Ａ～３０Ｄのうちメンテナンス対象となる基板処理装置１００Ａに対応する記憶媒体３０Ａを選択する。その後、使用者Ｕは、図２（ｂ）に示すように、選択した記憶媒体３０Ａと指示端末２とを携行しつつ基板処理装置１００Ａの近傍まで移動する。
　基板処理装置１００Ａ～１００Ｄの各々においては、例えば装置の外壁の一部または操作パネルの近傍に、当該基板処理装置に対応付けられた遠隔通信システム３Ａ～３Ｄの認証装置４０Ａ～４０Ｄが設けられている。
　使用者Ｕは、図３（ａ）に示すように、選択された記憶媒体３０Ａを認証装置４０Ａに近づける。それにより、記憶媒体３０Ａに記憶された認証情報が認証装置４０Ａにより近距離無線通信で取得される。
　認証装置４０Ａ～４０Ｄの各々には表示灯４９が設けられている。表示灯４９は、当該認証装置において認証情報が取得された時点から一定時間点灯し、認証情報が取得されないときに消灯する。これにより、使用者Ｕは、表示灯４９の点灯状態に基づいて記憶媒体３０Ａの認証情報が認証装置４０Ａにより取得されたか否かを認識することができる。
　ここで、認証装置４０Ａには、基板処理装置１００Ａに対応する認証情報が予め記憶されている。認証装置４０Ａにおいては、記憶媒体から取得された認証情報が予め記憶された認証情報に一致するか否かが判定される。すなわち、使用者Ｕにより近づけられた記憶媒体（本例では記憶媒体３０Ａ）の認証情報が当該認証装置４０Ａが設けられた基板処理装置（本例では基板処理装置１００Ａ）に対応するか否かが判定される。
　使用者Ｕは、表示灯４９の点灯状態に基づいて記憶媒体３０Ａの認証情報が認証装置４０Ａにより取得されたことを確認すると、図３（ｂ）に示すように、指示端末２を認証装置４０Ａに近づける。
　指示端末２および認証装置４０Ａには、それぞれ後述する近距離無線通信部２ｃ，４ｃ（図５）が設けられている。それにより、近距離無線通信部２ｃ，４ｃが互いの通信可能範囲内に存在すると、指示端末２と認証装置４０Ａとの間で近距離無線通信が可能となる。認証装置４０Ａにおいて取得された認証情報が基板処理装置１００Ａに対応するときには、認証装置４０Ａからアクセス情報および基板処理装置１００Ａに対応する認証情報が送信される。このとき、指示端末２は、認証装置４０Ａから送信されるアクセス情報および認証情報を受信する。一方、認証装置４０Ａにおいて取得された認証情報が基板処理装置１００Ａに対応しないときには、認証装置４０Ａからアクセス情報および認証情報は送信されない。
　アクセス情報が指示端末２により受信されると、指示端末２の表示部２ｆに、指示端末２においてアクセス情報が受信されたことを示す情報が表示される。
　ここで、アクセス情報は、認証装置４０Ａをアクセスポイントとして指示端末２がメンテナンス指示装置５０Ａにアクセスするための情報である。アクセス情報には、例えば認証装置４０ＡのＳＳＩＤ（Service set identifier）およびパスワード、ならびにメンテナンス指示装置５０ＡのＩＰ（Internet protocol）アドレス等が含まれる。
　指示端末２は、略矩形の板形状を有し、互いに対向する一面および他面を有する。表示部２ｆは、指示端末２の一面に設けられている。図３（ｃ）に示すように、指示端末２の他面には、記憶媒体３０Ａを挿入可能かつ抜き取り可能に形成された記録媒体保持部２ｄが設けられている。使用者Ｕは、指示端末２においてアクセス情報が受信されたことを確認した後、記録媒体保持部２ｄに記憶媒体３０Ａを挿入する。
　この場合、指示端末２においては、近距離無線通信により、記録媒体保持部２ｄに保持された記憶媒体３０Ａから所定周期で認証情報が取得される。また、取得された認証情報が、認証装置４０Ａから送信された認証情報（本例では、基板処理装置１００Ａに対応する認証情報）に一致するか否かが判定される。その上で、取得された認証情報が認証装置４０Ａから送信された認証情報に一致する場合に、当該指示端末２とメンテナンス指示装置５０Ａとの間のアクセスが許容される。一方、認証情報が取得されないかまたは取得された認証情報が認証装置４０Ａから送信された認証情報に一致しない場合に、当該指示端末２とメンテナンス指示装置５０Ａとの間のアクセスが制限される。
　当該指示端末２とメンテナンス指示装置５０Ａとの間のアクセスが許容される場合には、メンテナンス指示装置５０Ａにおいて生成される画面情報に基づいて、指示端末２の表示部２ｆにメンテナンス画面が表示される。したがって、使用者Ｕは、図４に示すように、メンテナンス画面を参照しつつ指示端末２の操作部２ｅ（図５）を操作することができる。この場合、使用者Ｕの操作に基づくメンテナンス動作の指示が、メンテナンス指示装置５０Ａを通じて基板処理装置１００Ａの制御装置４００に与えられる。このように、指示端末２、メンテナンス指示装置５０Ａおよび制御装置４００間では、いわゆるリモートディスクトップ接続が確立される。
　［３］メンテナンス装置１０の構成の詳細
　図１のメンテナンス装置１０の構成および動作について詳細を説明する。なお、図１の複数の遠隔通信システム３Ａ～３Ｄは同じ構成を有する。そこで、以下の説明では、複数の遠隔通信システム３Ａ～３Ｄのうち、代表して遠隔通信システム３Ａの構成および動作を説明する。
　図５は、図１の指示端末２および遠隔通信システム３Ａの構成を示すブロック図である。図５に示すように、指示端末２は、制御部２ａ、ネットワークアクセス部２ｂ、近距離無線通信部２ｃ、記録媒体保持部２ｄ、操作部２ｅおよび表示部２ｆを備える。
　ネットワークアクセス部２ｂは、アンテナを内蔵し、近距離無線通信部２ｃの通信可能範囲内に認証装置４０Ａが存在する場合に、遠隔通信システム３Ａから送信されるアクセス情報を近距離無線通信部２ｃにより受信する。また、ネットワークアクセス部２ｂは、受信したアクセス情報を用いてネットワークを利用した無線通信が可能に構成される。一方、近距離無線通信部２ｃは、アンテナを内蔵し、ＮＦＣ（Near field communication）技術を利用した近距離無線通信が可能に構成される。ＮＦＣでは、１０ｃｍ程度の範囲内で無線通信が行われる。記録媒体保持部２ｄは、近距離無線通信部２ｃに近接する位置に設けられている。記憶媒体３０Ａ～３０Ｄのいずれかの記憶媒体が記録媒体保持部２ｄに差し込まれることにより、当該記憶媒体は近距離無線通信部２ｃの通信可能範囲内に存在することになる。
　表示部２ｆは、ＬＣＤ（液晶ディスプレイ）パネルまたは有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）パネルにより構成される。操作部２ｅは、上記のように、表示部２ｆに設けられるタッチパネルである。なお、操作部２ｅは、タッチパネルに加えて、またはタッチパネルに代えて、１または複数のスイッチで構成されてもよい。
　制御部２ａは、例えばＣＰＵ（中央演算処理装置）およびメモリにより構成される。制御部２ａは、機能部として、アクセス制御部２１、第２の判定部２２、第２の取得部２３、指示部２４、表示制御部２５および対象情報記憶部２６を含む。これらの機能部は、制御部２ａのＣＰＵが予めメモリに記憶されたメンテナンス用のプログラムを実行することにより実現される。なお、制御部２ａに含まれる上記の複数の構成要素の一部または全てが電子回路等のハードウェアにより実現されてもよい。
　アクセス制御部２１は、後述する第２の判定部２２の判定結果に基づいてネットワークアクセス部２ｂによるメンテナンス指示装置５０Ａへのアクセスを許容または制限する。
　対象情報記憶部２６は、近距離無線通信部２ｃの通信可能範囲内に認証装置４０Ａが存在する場合に、遠隔通信システム３Ａから送信される認証情報を近距離無線通信部２ｃにより受信する。また、対象情報記憶部２６は、受信した認証情報を対象情報として記憶する。
　第２の取得部２３は、近距離無線通信部２ｃの通信可能範囲内に記憶媒体３０Ａ～３０Ｄのいずれかの記憶媒体が存在する場合に、近距離無線通信部２ｃにより当該記憶媒体の認証情報を取得する。
　第２の判定部２２は、対象情報記憶部２６に記憶された対象情報に基づいて、第２の取得部２３により取得された認証情報が遠隔通信システム３Ａが設けられた基板処理装置１００Ａに対応するか否かを判定する。
　表示制御部２５は、近距離無線通信部２ｃによりアクセス情報が受信された場合に、指示端末２においてアクセス情報が受信されたことを表示部２ｆに表示させる。また、表示制御部２５は、ネットワークアクセス部２ｂを通してメンテナンス指示装置５０Ａから取得される画面情報に基づいて、表示部２ｆにメンテナンス画面を表示させる。
　指示部２４は、使用者Ｕによる操作部２ｅの操作に基づいて、メンテナンス動作を指示するための信号をネットワークアクセス部２ｂを通してメンテナンス指示装置５０Ａに与える。
　遠隔通信システム３Ａは、記憶媒体３０Ａ、認証装置４０Ａおよびメンテナンス指示装置５０Ａを備える。記憶媒体３０Ａは、例えばＩＣ（集積回路）カードであり、当該遠隔通信システム３Ａが設けられた基板処理装置１００Ａに対応する認証情報が予め記憶されている。
　認証装置４０Ａは、例えばクレードルであり、制御部４ａ、ネットワークアクセス部４ｂおよび近距離無線通信部４ｃを備える。ネットワークアクセス部４ｂは、アンテナおよびルータを内蔵し、無線通信のアクセスポイントとして動作可能に構成される。ネットワークアクセス部４ｂは、後述するメンテナンス指示装置５０Ａのネットワークアクセス部５ｂに通信用のケーブルを介して有線接続されている。この場合、ケーブルは、例えばＬＡＮ（Local area network）ケーブルである。近距離無線通信部４ｃは、近距離無線通信部２ｃと同様に、アンテナを内蔵し、ＮＦＣ技術を利用した近距離無線通信が可能に構成される。なお、認証装置４０Ａは、図５に示される構成に加えて、図３の表示灯４９を備える。表示灯４９は、発光源としてＬＥＤ（発光ダイオード）を含む。
　制御部４ａは、例えばＣＰＵ（中央演算処理装置）およびメモリにより構成される。制御部４ａは、機能部として、情報送信部４１、第１の判定部４２および第１の取得部４３を含む。これらの機能部は、制御部４ａのＣＰＵが予めメモリに記憶されたメンテナンス用のプログラムを実行することにより実現される。なお、制御部４ａに含まれる上記の複数の構成要素の一部または全てが電子回路等のハードウェアにより実現されてもよい。
　第１の取得部４３は、近距離無線通信部４ｃの通信可能範囲内に記憶媒体３０Ａ～３０Ｄのいずれかの記憶媒体が存在する場合に、近距離無線通信部４ｃにより当該記憶媒体の認証情報を取得する。また、第１の取得部４３は、認証情報を取得した場合に、図３の表示灯４９を所定時間点灯させる。
　第１の判定部４２には、当該遠隔通信システム３Ａが設けられた基板処理装置１００Ａに対応する認証情報が予め記憶されている。そこで、第１の判定部４２は、第１の取得部４３により取得された認証情報が遠隔通信システム３Ａが設けられた基板処理装置１００Ａに対応する認証情報であるか否かを判定する。
　情報送信部４１は、第１の判定部４２の判定結果に基づいてアクセス情報および基板処理装置１００Ａに対応する認証情報を、近距離無線通信部４ｃにより送信する。具体的には、情報送信部４１は、取得された認証情報が基板処理装置１００Ａに対応する場合に、アクセス情報および基板処理装置１００Ａに対応する認証情報を近距離無線通信部４ｃにより送信する。
　メンテナンス指示装置５０Ａは、例えばサーバまたはパーソナルコンピュータであり、制御部５ａおよびネットワークアクセス部５ｂを備える。ネットワークアクセス部５ｂは、ネットワークを利用した通信が可能に構成される。ネットワークアクセス部５ｂは、上記のように、認証装置４０Ａのネットワークアクセス部４ｂに有線接続されるとともに、基板処理装置１００Ａの制御装置４００に有線接続されている。
　制御部５ａは、例えばＣＰＵ（中央演算処理装置）およびメモリにより構成される。制御部５ａは、機能部として、画面情報生成部５１および操作指令部５２を含む。これらの機能部は、制御部５ａのＣＰＵが予めメモリに記憶されたメンテナンス用のプログラムを実行することにより実現される。なお、制御部５ａに含まれる上記の複数の構成要素の一部または全てが電子回路等のハードウェアにより実現されてもよい。
　画面情報生成部５１は、ネットワークアクセス部５ｂを通して基板処理装置１００Ａの制御装置４００と通信することにより、基板処理装置１００Ａの動作状態に応じた画面情報を生成する。また、画面情報生成部５１は、指示端末２からの要求に応答して、生成した画面情報を指示端末２に与える。
　操作指令部５２は、ネットワークアクセス部５ｂを通して指示端末２から与えらえるメンテナンス動作の指示を基板処理装置１００Ａの制御装置４００に与える。それにより、基板処理装置１００Ａにおいて、指示端末２により指示されたメンテナンス動作が行われる。
　［４］認証装置４０Ａにおける一連の処理の流れ
　図６は、認証装置４０Ａにおける一連の処理の流れを示すフローチャートである。図６に示される一連の処理は、例えば遠隔通信システム３Ａが設けられた基板処理装置１００Ａの電源がオンされた場合、または基板処理装置１００Ａに対してメンテナンスを行う旨の通知があった場合に開始される。
　まず、図５の第１の取得部４３は、近距離無線通信部４ｃの通信可能範囲内に記憶媒体３０Ａ～３０Ｄのいずれかの記憶媒体が存在するか否かを判定する（ステップＳ１１）。通信可能範囲内に記憶媒体が存在しない場合、第１の取得部４３は、ステップＳ１１の処理を繰り返す。一方、通信可能範囲内に記憶媒体が存在する場合、第１の取得部４３は、近距離無線通信部４ｃにより当該記憶媒体の認証情報を取得し（ステップＳ１２）、所定時間点灯するように図３の表示灯４９を制御する（ステップＳ１３）。
　次に、図５の第１の判定部４２は、第１の取得部４３により取得された認証情報が当該認証装置４０Ａが設けられた基板処理装置１００Ａに対応する認証情報であるか否かを判定する（ステップＳ１４）。認証情報が基板処理装置１００Ａに対応している場合、図５の情報送信部４１は、近距離無線通信部４ｃの通信可能範囲内に指示端末２が存在するか否かを判定する（ステップＳ１５）。
　通信可能範囲内に指示端末２が存在する場合、情報送信部４１は、近距離無線通信部４ｃによりアクセス情報および基板処理装置１００Ａに対応する認証情報を送信し（ステップＳ１６）、一連の処理を終了する。
　上記のステップＳ１４において、認証情報が基板処理装置１００Ａに対応していない場合、第１の取得部４３はステップＳ１１の処理に戻る。また、上記のステップＳ１５において、通信可能範囲内に指示端末２が存在しない場合、情報送信部４１は、直前のステップＳ１４の処理から所定時間が経過したか否かを判定する（ステップＳ１７）。
　その上で、所定時間が経過していない場合、情報送信部４１は、ステップＳ１５の処理に戻る。一方、所定時間が経過している場合、情報送信部４１は、一連の処理を終了する。
　上記の一連の処理は、その一連の処理の終了後予め定められた時間が経過した場合、またはその終了後基板処理装置１００Ａに対してメンテナンスを行う旨の再度の通知があった場合に、再度開始されてもよい。
　［５］指示端末２における一連の処理の流れ
　図７は、指示端末２における一連の処理の流れを示すフローチャートである。図７に示される一連の処理は、例えば指示端末２の電源がオンされた場合に開始される。
　まず、図５のアクセス制御部２１は、近距離無線通信部２ｃの通信可能範囲内に認証装置４０Ａ～４０Ｄのいずれかの認証装置が存在するか否かを判定する（ステップＳ２１）。通信可能範囲内に認証装置が存在しない場合、アクセス制御部２１は、ステップＳ２１の処理を繰り返す。一方、通信可能範囲内に認証装置が存在する場合、アクセス制御部２１は、上記のステップＳ１６の処理により認証装置から送信されるアクセス情報を近距離無線通信部２ｃにより受信する（ステップＳ２２）。また、図５の対象情報記憶部２６は、上記のステップＳ１６の処理により認証装置から送信される認証情報を近距離無線通信部２ｃにより受信し、対象情報として記憶する（ステップＳ２３）。さらに、図５の表示制御部２５は、アクセス情報が受信されたことを表示部２ｆに表示させる（ステップＳ２４）。
　その後、図５の第２の取得部２３は、近距離無線通信部２ｃの通信可能範囲内に記憶媒体３０Ａ～３０Ｄのいずれかの記憶媒体が存在するか否かを判定する（ステップＳ２５）。通信可能範囲内に記憶媒体が存在する場合、第２の取得部２３は、近距離無線通信部２ｃにより当該記憶媒体の認証情報を取得する（ステップＳ２６）。
　次に、図５の第２の判定部２２は、直前のステップＳ２３の処理で対象情報記憶部２６に記憶された対象情報に基づいて、直前のステップＳ２６の処理で取得された認証情報が対象情報に一致しているか否かを判定する（ステップＳ２７）。
　認証情報が対象情報に一致している場合、アクセス制御部２１は、図５のネットワークアクセス部２ｂがステップＳ２２で受信されたアクセス情報に基づいてメンテナンス指示装置へアクセスすることを許容する（ステップＳ２８）。一方、認証情報が対象情報に一致していない場合、アクセス制御部２１は、図５のネットワークアクセス部２ｂがステップＳ２２で受信されたアクセス情報に基づいてメンテナンス指示装置へアクセスすることを制限する（ステップＳ２９）。
　その後、アクセス制御部２１は、使用者Ｕによる操作部２ｅの操作に基づいて処理の終了が指示されたか否かを判定する（ステップＳ３０）。終了が指示された場合、アクセス制御部２１は、一連の処理を終了する。一方、終了が指示されない場合、アクセス制御部２１は、ステップＳ２７の処理に戻る。
　上記のステップＳ２５において、通信可能範囲内に記憶媒体が存在しない場合、第２の取得部２３は、直前のステップＳ２４の処理から所定時間が経過したか否かを判定する（ステップＳ３１）。その上で、所定時間が経過していない場合、第２の取得部２３は、ステップＳ２５の処理に戻る。一方、所定時間が経過している場合、第２の取得部２３は、一連の処理を終了する。
　指示端末２においては、上記のステップＳ２７の処理によりメンテナンス指示装置へのアクセスが許容された状態で、当該メンテナンス指示装置に対応する基板処理装置についてメンテナンス画面が表示される。また、メンテナンス指示装置へのアクセスが許容された状態で、当該メンテナンス指示装置に対応する基板処理装置について各種メンテナンス動作を指示することが可能となる。
　［６］基板処理装置１００Ａの全体構成
　図８は、図１の基板処理装置１００Ａの一例を示す模式的ブロック図である。図８に示すように、基板処理装置１００Ａは、例えば露光装置５００に隣接して設けられ、制御装置４００、塗布処理部４１０、現像処理部４２０、熱処理部４３０および基板搬送装置４４０を備える。
　制御装置４００は、例えばＣＰＵおよびメモリ、またはマイクロコンピュータを含み、塗布処理部４１０、現像処理部４２０、熱処理部４３０および基板搬送装置４４０の動作を制御する。制御装置４００は、基板処理装置１００Ａのメンテナンス時に、上記の指示端末２から与えられる指示に応答して、指示されたメンテナンス動作が行われるように、基板処理装置１００Ａ内の各部の動作を制御する。
　基板搬送装置４４０は、基板Ｗを塗布処理部４１０、現像処理部４２０、熱処理部４３０および露光装置５００の間で搬送する。
　塗布処理部４１０および現像処理部４２０の各々は、複数の処理ユニットＰＵを含む。塗布処理部４１０に設けられる処理ユニットＰＵには、スピンチャック９１により回転される基板Ｗにレジスト膜を形成するための処理液を供給する処理液ノズル９３が設けられる。それにより、未処理の基板Ｗにレジスト膜が形成される。レジスト膜が形成された基板Ｗには、露光装置５００において露光処理が行われる。
　現像処理部４２０に設けられる処理ユニットＰＵには、スピンチャック９１により回転される基板Ｗに現像液を供給する現像液ノズル９４が設けられる。それにより、露光装置５００による露光処理後の基板Ｗが現像される。
　熱処理部４３０は、基板Ｗに加熱または冷却処理を行う複数の処理ユニットＴＵを含む。処理ユニットＴＵにおいては、基板支持部として温度調整プレート９５が設けられる。温度調整プレート９５は、加熱プレートまたはクーリングプレートである。熱処理部４３０においては、塗布処理部４１０による塗布処理、現像処理部４２０による現像処理、および露光装置５００による露光処理の前後に基板Ｗの熱処理が行われる。
　上記の基板処理装置１００においては、塗布処理部４１０には、基板Ｗに反射防止膜を形成する処理ユニットＰＵが設けられてもよい。この場合、塗布処理部４１０には、基板Ｗと反射防止膜との密着性を向上させるための密着強化処理を行うための処理ユニットＴＵが設けられてもよい。また、塗布処理部４１０には、基板Ｗ上に形成されたレジスト膜を保護するためのレジストカバー膜を形成する処理ユニットＰＵが設けられてもよい。
　さらに、上記の基板処理装置１００Ａにおいては、基板搬送装置４４０による搬送途中の基板Ｗを一時的に載置するための基板載置部が設けられてもよい。基板載置部は、例えば基板支持部として複数（例えば３つ）の支持ピンが設けられた構成を有する。
　上記の構成を有する基板処理装置１００Ａに関して、指示端末２により指示可能なメンテナンス動作は、例えば塗布処理部４１０における処理液ノズル９３からの処理液の吐出動作、および現像処理部４２０における現像液ノズル９４からの現像液の吐出動作を含む。
　また、指示端末２により指示可能なメンテナンス動作は、熱処理部４３０における温度調整プレート９５の温度調整動作を含む。さらに、指示端末２により指示可能なメンテナンス動作は、基板搬送装置４４０の移動動作を含む。
　なお、図１の基板処理装置１００Ｂ～１００Ｄは、上記の図８の基板処理装置１００Ａと同じ構成を有してもよいし、異なる構成を有してもよい。
　［７］効果
　（ａ）上記のメンテナンス装置１０においては、使用者Ｕにより選択された記憶媒体３０が認証装置４０に近づけられる。このとき、記憶媒体３０の認証情報が当該認証装置４０が設けられた基板処理装置に対応する場合にのみ、指示端末２から当該基板処理装置に設けられたメンテナンス指示装置５０へのアクセスが可能になる。認証情報が当該認証装置４０が設けられた基板処理装置に対応しない場合、指示端末２から当該基板処理装置に設けられたメンテナンス指示装置５０へのアクセスはできない。したがって、メンテナンス対象でない基板処理装置に対して誤ってメンテナンス動作が指示されることが防止される。
　また、上記のメンテナンス装置１０によれば、指示端末２は、無線通信により認証装置４０を介してメンテナンス指示装置５０にアクセスする。そのため、使用者Ｕは、指示端末２を携行する際に、通信用のケーブルを引き回す必要がない。また、ケーブルの断線による指示端末２の故障も生じない。したがって、メンテナンスの利便性の低下が抑制される。
　（ｂ）指示端末２においては、アクセス情報とともに認証情報が受信される場合に、受信された認証情報が対象情報として記憶される。その後、記憶媒体が指示端末２の記録媒体保持部２ｄに取り付けられ、当該記憶媒体の認証情報が近距離無線通信部２ｃにより取得される。
　取得された認証情報が対象情報に一致する場合に、指示端末２を用いたメンテナンス指示装置５０へのアクセスが許容される。一方、取得された認証情報が対象情報に一致しない場合に、指示端末２を用いたメンテナンス指示装置５０へのアクセスが制限される。これにより、指示端末２を用いた基板処理装置のメンテナンスが、当該基板処理装置に対応する記録媒体を携行する使用者Ｕに制限される。したがって、当該基板処理装置に対応する記録媒体を携行しない第三者が指示端末２を用いて当該基板処理装置を操作することが防止される。
　［８］他の実施の形態
　（ａ）上記実施の形態に係るメンテナンス装置１０は、複数の遠隔通信システム３Ａ～３Ｄに対して１つの指示端末２を備えるが、メンテナンス装置１０は複数の指示端末２を備えてもよい。この場合、複数の使用者Ｕが、複数の指示端末２および複数の記憶媒体３０をそれぞれ用いて複数の基板処理装置を同時にメンテナンスすることができる。このような場合でも、各使用者Ｕが自己のメンテナンス対象でない基板処理装置に対して誤ってメンテナンス動作を指示することが防止される。
　（ｂ）上記実施の形態に係るメンテナンス装置１０においては、複数の遠隔通信システム３Ａ～３Ｄの各々は、１つの記憶媒体３０を備えるが、本発明はこれに限定されない。
　各遠隔通信システム３Ａ～３Ｄには、複数の記憶媒体３０が設けられてもよい。また、各遠隔通信システム３Ａ～３Ｄの複数の記憶媒体３０には、当該遠隔通信システムが設けられる基板処理装置に対応しかつ互いに異なる複数の認証情報がそれぞれ記憶されてもよい。さらに、各基板処理装置に対応するメンテナンス指示装置においては、複数の認証情報にそれぞれ対応する複数のメンテナンス画面を示す複数の画面情報が生成されてもよい。
　この場合、一の遠隔通信システムについて、複数の使用者Ｕがそれぞれ指示端末２および記憶媒体３０を用いて上記の一連の認証作業を行うことにより、各指示端末２に個別のメンテナンス画面を表示させることができる。したがって、一の遠隔通信システムについて、複数のメンテナンスを同時に行うことが可能になる。
　［９］請求項の各構成要素と実施の形態の各要素との対応
　以下、請求項の各構成要素と実施の形態の各要素との対応の例について説明するが、本発明は下記の例に限定されない。
　上記実施の形態では、近距離無線通信部４ｃが第１の近距離無線通信部の例であり、第１の取得部４３が第１の認証情報取得部の例であり、記録媒体保持部２ｄが媒体保持部の例であり、第２の取得部２３が第２の認証情報取得部の例であり、塗布処理部４１０および現像処理部４２０に設けられる処理ユニットＰＵが処理液供給ユニットの例であり、処理液ノズル９３および現像液ノズル９４がノズルの例であり、熱処理部４３０に設けられる処理ユニットＴＵが熱処理ユニットの例であり、温度調整プレート９５が温度調整装置の例であり、基板搬送装置４４０が搬送装置の例である。
　請求項の各構成要素として、請求項に記載されている構成または機能を有する他の種々の要素を用いることもできる。

Claims (7)

  1. 基板処理装置に対応して設けられたメンテナンス指示装置と、
    　前記基板処理装置に対応する認証情報を記憶する記憶媒体と、
    　第１の近距離無線通信部を含み、前記基板処理装置に対応して設けられた認証装置と、
    　第２の近距離無線通信部および表示部を含む指示端末とを備え、
    　前記メンテナンス指示装置の各々は、当該メンテナンス指示装置が設けられた基板処理装置のメンテナンスを行うためのメンテナンス画面を示す画面情報を生成し、
    　前記認証装置は、
    　当該認証装置の第１の近距離無線通信部による通信可能範囲内に前記記憶媒体が存在するときに、前記記憶媒体に記憶された認証情報を前記第１の近距離無線通信部により取得する第１の認証情報取得部と、
    　前記第１の認証情報取得部により取得された認証情報が前記認証装置が設けられた基板処理装置に対応するか否かを判定する第１の判定部と、
    　前記取得された認証情報が前記基板処理装置に対応する場合に、前記指示端末が前記基板処理装置に設けられたメンテナンス指示装置との間で通信を行うためのアクセス情報を前記第１の近距離無線通信部により送信し、前記取得された認証情報が前記基板処理装置に対応しない場合に前記アクセス情報を送信しない情報送信部とを含み、
    　前記指示端末は、
    　当該指示端末の第２の近距離無線通信部による通信可能範囲内に前記認証装置が存在しかつ前記第１の近距離無線通信部により前記アクセス情報が送信されるときに、前記第２の近距離無線通信部により前記アクセス情報を受信し、受信したアクセス情報を用いて無線通信により前記基板処理装置に設けられたメンテナンス指示装置にアクセスするネットワークアクセス部と、
    　前記ネットワークアクセス部がアクセスしたメンテナンス指示装置により生成される画面情報に基づいて前記メンテナンス画面を前記表示部に表示させる表示制御部と、
    　前記表示部による前記メンテナンス画面の表示時に、前記基板処理装置にメンテナンス動作を指示するために使用者により操作される操作部とを含む、基板処理装置のメンテナンス装置。
  2. 前記情報送信部は、前記第１の近距離無線通信部による前記アクセス情報の送信時に、前記基板処理装置に対応する認証情報を前記第１の近距離無線通信部により送信し、
    　前記指示端末は、
    　当該指示端末の第２の近距離無線通信部による通信可能範囲内に前記認証装置が存在しかつ前記第１の近距離無線通信部により前記認証情報が送信されるときに、前記第２の近距離無線通信部により前記認証情報を受信し、受信した認証情報を対象情報として記憶する対象情報記憶部と、
    　当該指示端末の第２の近距離無線通信部による通信可能範囲内で前記記憶媒体を着脱可能に保持する媒体保持部と、
    　前記媒体保持部に前記記憶媒体が保持された状態で、当該記憶媒体に記憶された認証情報を前記第２の近距離無線通信部により取得する第２の認証情報取得部と、
    　前記第２の認証情報取得部により取得された認証情報が前記対象情報記憶部に記憶された対象情報に一致するか否かを判定する第２の判定部と、
    　前記第２の認証情報取得部により取得された認証情報が前記対象情報に一致する場合に前記ネットワークアクセス部による前記メンテナンス指示装置へのアクセスを許容し、取得された認証情報が前記対象情報に一致しない場合に前記ネットワークアクセス部による前記メンテナンス指示装置へのアクセスを制限するアクセス制御部をさらに備える、請求項１記載の基板処理装置のメンテナンス装置。
  3. 前記基板処理装置は、ノズルを用いて基板に処理液を供給する処理液供給ユニットを含み、
    　前記メンテナンス動作は、前記処理液供給ユニットにおける前記ノズルからの処理液の吐出動作を含む、請求項１または２記載の基板処理装置のメンテナンス装置。
  4. 前記基板処理装置は、温度調整装置を用いて基板に熱処理を行う熱処理ユニットを含み、
    　前記メンテナンス動作は、前記熱処理ユニットにおける前記温度調整装置の温度調整動作を含む、請求項１～３のいずれか一項に記載の基板処理装置のメンテナンス装置。
  5. 前記基板処理装置は、基板を搬送する搬送装置を含み、
    　前記メンテナンス動作は、前記搬送装置の移動動作を含む、請求項１～４のいずれか一項に記載の基板処理装置のメンテナンス装置。
  6. 基板処理装置のメンテナンス方法であって、
    　メンテナンス装置を用いて基板処理装置のメンテナンスを行うステップを含み、
    　前記メンテナンス装置は、
    　基板処理装置に対応して設けられたメンテナンス指示装置と、
    　前記基板処理装置に対応する認証情報を記憶する記憶媒体と、
    　第１の近距離無線通信部を含み、前記基板処理装置に対応して設けられた認証装置と、
    　第２の近距離無線通信部および表示部を含む指示端末とを備え、
    　前記メンテナンスを行うステップは、
    　前記認証装置において、当該認証装置の第１の近距離無線通信部による通信可能範囲内に前記記憶媒体が存在するときに、前記記憶媒体に記憶された認証情報を前記第１の近距離無線通信部により取得するステップと、
    　前記認証装置において、前記第１の認証情報取得部により取得された認証情報が前記認証装置が設けられた基板処理装置に対応するか否かを判定するステップと、
    　前記認証装置において、前記取得された認証情報が前記基板処理装置に対応する場合に、前記指示端末が前記基板処理装置に設けられたメンテナンス指示装置との間で通信を行うためのアクセス情報を前記第１の近距離無線通信部により送信し、前記取得された認証情報が前記基板処理装置に対応しない場合に前記アクセス情報を送信しないステップと、
    　前記指示端末において、当該指示端末の第２の近距離無線通信部による通信可能範囲内に前記認証装置が存在しかつ前記第１の近距離無線通信部により前記アクセス情報が送信されるときに、前記第２の近距離無線通信部により前記アクセス情報を受信し、受信したアクセス情報を用いて無線通信により前記基板処理装置に設けられたメンテナンス指示装置にアクセスするステップと、
    　前記アクセスされたメンテナンス指示装置において、当該メンテナンス指示装置が設けられた基板処理装置のメンテナンスを行うためのメンテナンス画面を示す画面情報を生成するステップと、
    　前記指示端末において、前記アクセスされたメンテナンス指示装置により生成される画面情報に基づいて前記メンテナンス画面を前記表示部に表示させるステップと、
    　前記指示端末において、前記表示部による前記メンテナンス画面の表示時に、使用者による当該指示端末の操作に基づいて前記基板処理装置にメンテナンス動作を指示するステップとを含む、基板処理装置のメンテナンス方法。
  7. 前記メンテナンスを行うステップは、
    　前記認証装置において、前記第１の近距離無線通信部による前記アクセス情報の送信時に、前記基板処理装置に対応する認証情報を前記第１の近距離無線通信部により送信するステップと、
    　前記指示端末において、当該指示端末の第２の近距離無線通信部による通信可能範囲内に前記認証装置が存在しかつ前記第１の近距離無線通信部により前記認証情報が送信されるときに、前記第２の近距離無線通信部により前記認証情報を受信し、受信した認証情報を対象情報として記憶するステップと、
    　当該指示端末の第２の近距離無線通信部による通信可能範囲内で前記記憶媒体を当該指示端末に保持させるステップと、
    　前記指示端末において、前記記憶媒体が保持された状態で、前記保持された記憶媒体に記憶された認証情報を前記第２の近距離無線通信部により取得するステップと、
    　前記指示端末において、前記取得された認証情報が前記記憶された対象情報に一致するか否かを判定するステップと、
    　前記指示端末において、前記取得された認証情報が前記対象情報に一致する場合に前記メンテナンス指示装置へのアクセスを許容し、取得された認証情報が前記対象情報に一致しない場合に前記メンテナンス指示装置へのアクセスを制限するステップとをさらに含む、請求項６記載の基板処理装置のメンテナンス方法。
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