WO2020001646A1 - Procédé de mesure d'aberration de polarisation pour lentille d'objectif de projection - Google Patents

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Abstract

Procédé de mesure d'aberration de polarisation pour une lentille d'objectif de projection consistant à : calculer la matrice de Jones d'une lentille d'objectif de projection (PO) au moyen d'une matrice d'intensité lumineuse construite par tous les groupes de valeurs d'intensité lumineuse qui est mesurée sur la base d'un dispositif de mesure d'intensité lumineuse (IS) et d'une matrice de fonction λ construite par tous les éléments sélectionnés, de façon à calculer directement la matrice de Jones de la lentille d'objectif de projection (PO), ce qui permet d'éviter efficacement l'erreur résultante provoquée par l'effet de dépolarisation de la transition de la matrice de Mueller vers la matrice de Jones, améliorant la précision de mesure et de calcul.
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