WO2019208568A1 - Light irradiation-type heating device and filament lamp - Google Patents
Light irradiation-type heating device and filament lamp Download PDFInfo
- Publication number
- WO2019208568A1 WO2019208568A1 PCT/JP2019/017240 JP2019017240W WO2019208568A1 WO 2019208568 A1 WO2019208568 A1 WO 2019208568A1 JP 2019017240 W JP2019017240 W JP 2019017240W WO 2019208568 A1 WO2019208568 A1 WO 2019208568A1
- Authority
- WO
- WIPO (PCT)
- Prior art keywords
- filament
- light emitting
- light
- lamp
- long
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01K—ELECTRIC INCANDESCENT LAMPS
- H01K1/00—Details
- H01K1/02—Incandescent bodies
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/26—Bombardment with radiation
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B3/00—Ohmic-resistance heating
- H05B3/40—Heating elements having the shape of rods or tubes
- H05B3/42—Heating elements having the shape of rods or tubes non-flexible
- H05B3/44—Heating elements having the shape of rods or tubes non-flexible heating conductor arranged within rods or tubes of insulating material
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B3/00—Ohmic-resistance heating
- H05B3/68—Heating arrangements specially adapted for cooking plates or analogous hot-plates
- H05B3/76—Plates with spirally-wound heating tubes
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Toxicology (AREA)
- High Energy & Nuclear Physics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Resistance Heating (AREA)
- Control Of Resistance Heating (AREA)
Abstract
Provided is a light irradiation-type heating device in which a plurality of filament lamps are disposed parallel to a workpiece, and with which the workpiece can be more uniformly heated. The light irradiation-type heating device is characterized in that light-emitting units provided to the filament lamps, each light-emitting unit having a different length, are configured so one or more of the following design elements is different in each light-emitting unit so that the power density per unit length of the light-emitting unit and the color temperature and temperature elevation rate of the light-emitting unit are substantially the same in each filament lamp: the number of filament element wires constituting the light-emitting unit; the filament element wire diameter; the total cross-section area of the filament element wires constituting the filament; the coil inner diameter when the filament is wrapped in a coil shape; and the coil pitch when the filament is wrapped in a coil shape.
Description
この発明は、フィラメントランプを用いた光照射式加熱装置及びフィラメントランプに関し、特に、ワーク（半導体ウエハ）に対して複数のフィラメントランプを並列配置させた光照射式加熱装置に係わる。
The present invention relates to a light irradiation type heating apparatus and a filament lamp using a filament lamp, and more particularly to a light irradiation type heating apparatus in which a plurality of filament lamps are arranged in parallel on a workpiece (semiconductor wafer).
一般にフィラメントランプを使った光照射式加熱装置は、半導体基板などのワークの表面を短時間、かつ均一に加熱処理することが求められる。
このような発光管の内部にコイル状のフィラメントを配置したフィラメントランプを用いた光照射式加熱装置では、従来から、複数の棒状フィラメントランプをワークに対して近接対向して並列に配置させたものが用いられている。
そして、このような光照射式加熱装置においては、例えば、特開２００９－１１７２３７号公報（特許文献１）に示されるように、ワークの中央領域と周辺領域に対応したフィラメントランプにおいて、それぞれ発光長の異なるフィラメントランプを複数用いて、ワークの形状に対応するよう面状光源を構成した光照射式加熱装置が記載されている。 In general, a light irradiation type heating apparatus using a filament lamp is required to heat the surface of a workpiece such as a semiconductor substrate uniformly in a short time.
In such a light irradiation type heating apparatus using a filament lamp in which a coiled filament is arranged inside an arc tube, conventionally, a plurality of rod-shaped filament lamps are arranged in parallel and in close proximity to a workpiece. Is used.
In such a light irradiation type heating apparatus, for example, as shown in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2009-117237 (Patent Document 1), the filament lamps corresponding to the center region and the peripheral region of the workpiece are each provided with a light emission length. There is described a light irradiation type heating apparatus in which a planar light source is configured to correspond to the shape of a workpiece using a plurality of different filament lamps.
このような発光管の内部にコイル状のフィラメントを配置したフィラメントランプを用いた光照射式加熱装置では、従来から、複数の棒状フィラメントランプをワークに対して近接対向して並列に配置させたものが用いられている。
そして、このような光照射式加熱装置においては、例えば、特開２００９－１１７２３７号公報（特許文献１）に示されるように、ワークの中央領域と周辺領域に対応したフィラメントランプにおいて、それぞれ発光長の異なるフィラメントランプを複数用いて、ワークの形状に対応するよう面状光源を構成した光照射式加熱装置が記載されている。 In general, a light irradiation type heating apparatus using a filament lamp is required to heat the surface of a workpiece such as a semiconductor substrate uniformly in a short time.
In such a light irradiation type heating apparatus using a filament lamp in which a coiled filament is arranged inside an arc tube, conventionally, a plurality of rod-shaped filament lamps are arranged in parallel and in close proximity to a workpiece. Is used.
In such a light irradiation type heating apparatus, for example, as shown in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2009-117237 (Patent Document 1), the filament lamps corresponding to the center region and the peripheral region of the workpiece are each provided with a light emission length. There is described a light irradiation type heating apparatus in which a planar light source is configured to correspond to the shape of a workpiece using a plurality of different filament lamps.
このように、ワークの形状にあわせて発光長の異なる複数のフィラメントランプを用いて加熱処理を行う場合は、フィラメントの発光長が異なることから、同一条件下でのランプ点灯時には各フィラメントの単位長さ当りの電力密度（Ｐ［Ｗ／ｍｍ］）に違いが生じるため、各フィラメントの電力密度Ｐが一定になるよう、点灯条件を調整する必要があった。
As described above, when heat treatment is performed using a plurality of filament lamps having different emission lengths according to the shape of the workpiece, the filament emission lengths are different. Since there is a difference in power density per unit (P [W / mm]), it is necessary to adjust lighting conditions so that the power density P of each filament is constant.
また、図６に示すように、フィラメントの温度（色温度）が異なると、フィラメントから放射される光のスペクトルが変化することが知られている。そのため、フィラメントの電力密度を一定に揃えたとしても、フィラメントの色温度が異なることで放射される光のスペクトルが変化してしまうと、加熱対象物となるワークへの光の吸収度合が変わってしまい、均一な加熱処理を阻害する一因となってしまう。
Also, as shown in FIG. 6, it is known that the spectrum of light emitted from the filament changes when the temperature (color temperature) of the filament differs. Therefore, even if the power density of the filament is made constant, if the spectrum of the emitted light changes due to the different color temperature of the filament, the degree of light absorption into the workpiece that is the heating object will change. Therefore, it becomes a cause of hindering uniform heat treatment.
このような問題に対して、前記特許文献１では各フィラメントランプの色温度に着目し、ランプの発光部を構成するフィラメントの色温度を同等に制御することが記載されている。詳細には、ワークの外周縁部のゾーンに対応して配置された発光部の単位長さあたりの実効表面積を、中央部のゾーンに対応して配置された発光部の実効表面積よりも大きくすることで、当該外周縁のゾーンに配置される発光部の電力密度を高くした場合であっても、中央部のゾーンに配置される発光部と同一の色温度に調節することが記載されている。
For such a problem, Patent Document 1 describes that the color temperature of the filaments constituting the light emitting portion of the lamp is controlled equally by paying attention to the color temperature of each filament lamp. Specifically, the effective surface area per unit length of the light emitting portion arranged corresponding to the zone of the outer peripheral edge of the workpiece is made larger than the effective surface area of the light emitting portion arranged corresponding to the central zone. Thus, it is described that even when the power density of the light emitting unit arranged in the outer peripheral zone is increased, the color temperature is adjusted to the same color temperature as that of the light emitting unit arranged in the central zone. .
しかしながら、この特許文献１の構成では電力密度を一定に制御しておらず、また各発光部の昇温速度（立ち上がり速度）について考慮されておらず、昇温速度が異なってしまうため、被処理体を均一な温度上昇で加熱処理することができない、という問題がある。
However, in the configuration of Patent Document 1, the power density is not controlled to be constant, and the temperature increase rate (rise rate) of each light emitting unit is not considered, and the temperature increase rate is different. There is a problem that the body cannot be heat-treated with a uniform temperature rise.
この発明が解決しようとする課題は、複数のフィラメントランプが並列配置された光照射式加熱装置において、ワークをより均一に加熱することが可能な光照射式加熱装置を提供するものである。
The problem to be solved by the present invention is to provide a light irradiation type heating apparatus capable of heating a workpiece more uniformly in a light irradiation type heating apparatus in which a plurality of filament lamps are arranged in parallel.
上記課題を解決するために、この発明に係る光照射式加熱装置は、前記各フィラメントランプにおける、前記発光部の単位長さあたりの電力密度、前記発光部の色温度および昇温速度が略同一に揃うよう、前記発光部の長さが相対的に異なる各フィラメントランプに設けられる各発光部は、それぞれ、当該発光部を構成するフィラメントの素線本数、又は、フィラメントの素線径、又は、フィラメントを構成するフィラメント素線の総断面積、又は、フィラメントをコイル状に巻回する場合のコイル内径、又は、フィラメントをコイル状に巻回する場合のコイルピッチのうち、何れか一つ又は複数の設計要素を異ならせたことを特徴とする。
また、前記複数のフィラメントランプは、前記ワークの中央領域に位置するフィラメントランプの発光部が、周辺領域に位置するフィラメントランプの発光部よりも相対的に長いことを特徴とする。 In order to solve the above problems, the light irradiation type heating device according to the present invention is such that, in each filament lamp, the power density per unit length of the light emitting unit, the color temperature of the light emitting unit, and the heating rate are substantially the same. The light emitting sections provided in the filament lamps having relatively different lengths of the light emitting sections are aligned with the number of filament strands constituting the light emitting section, or the filament strand diameter, or One or more of the total cross-sectional area of the filament wire constituting the filament, the coil inner diameter when the filament is wound in a coil shape, or the coil pitch when the filament is wound in a coil shape It is characterized by different design elements.
The plurality of filament lamps are characterized in that a light emitting part of a filament lamp located in a central area of the workpiece is relatively longer than a light emitting part of a filament lamp located in a peripheral area.
また、前記複数のフィラメントランプは、前記ワークの中央領域に位置するフィラメントランプの発光部が、周辺領域に位置するフィラメントランプの発光部よりも相対的に長いことを特徴とする。 In order to solve the above problems, the light irradiation type heating device according to the present invention is such that, in each filament lamp, the power density per unit length of the light emitting unit, the color temperature of the light emitting unit, and the heating rate are substantially the same. The light emitting sections provided in the filament lamps having relatively different lengths of the light emitting sections are aligned with the number of filament strands constituting the light emitting section, or the filament strand diameter, or One or more of the total cross-sectional area of the filament wire constituting the filament, the coil inner diameter when the filament is wound in a coil shape, or the coil pitch when the filament is wound in a coil shape It is characterized by different design elements.
The plurality of filament lamps are characterized in that a light emitting part of a filament lamp located in a central area of the workpiece is relatively longer than a light emitting part of a filament lamp located in a peripheral area.
また、前記発光部は、当該発光部の電力密度（Ｐ［Ｗ／ｍｍ］）と、単位長さあたりの発光部の外表面積（Ｓ［ｍｍ２］）と、発光部のコイル内径（Ｄ［ｍｍ］）とによる比率Ｘ（Ｐ／ＤＳ）を制御することで色温度を略同一に揃えることを特徴とする。
また、前記発光部の短いフィラメントの発光部と、前記発光部の長いフィラメントランプの発光部の単位長さ当りの質量を調整することで、昇温速度が略同一に揃えられていることを特徴とする。 The light emitting unit includes a power density (P [W / mm]) of the light emitting unit, an outer surface area (S [mm 2 ]) of the light emitting unit per unit length, and a coil inner diameter (D [ mm]) to control the ratio X (P / DS) to make the color temperatures substantially the same.
Further, by adjusting the mass per unit length of the light emitting part of the short filament of the light emitting part and the light emitting part of the long filament lamp of the light emitting part, the heating rate is made substantially the same. And
また、前記発光部の短いフィラメントの発光部と、前記発光部の長いフィラメントランプの発光部の単位長さ当りの質量を調整することで、昇温速度が略同一に揃えられていることを特徴とする。 The light emitting unit includes a power density (P [W / mm]) of the light emitting unit, an outer surface area (S [mm 2 ]) of the light emitting unit per unit length, and a coil inner diameter (D [ mm]) to control the ratio X (P / DS) to make the color temperatures substantially the same.
Further, by adjusting the mass per unit length of the light emitting part of the short filament of the light emitting part and the light emitting part of the long filament lamp of the light emitting part, the heating rate is made substantially the same. And
また、前記発光部の短いフィラメントランプと、前記発光部の長いフィラメントランプにおける、それぞれのフィラメント素線の総断面積を比較したとき、前者における総断面積が後者における総断面積より小さくなるように設計されることで、電力密度が略同一に揃えられていることを特徴とする。
また、前記長発光長ランプにおけるフィラメントの素線本数が、前記短発光長ランプの素線本数よりも多いことを特徴とする。 In addition, when comparing the total cross-sectional areas of the filament filaments in the filament lamp with the short light-emitting part and the filament lamp with the long light-emitting part, the total cross-sectional area in the former is smaller than the total cross-sectional area in the latter By being designed, the power density is characterized by being substantially the same.
In addition, the number of filament strands in the long light emitting long lamp is larger than the number of strands in the short light emitting long lamp.
また、前記長発光長ランプにおけるフィラメントの素線本数が、前記短発光長ランプの素線本数よりも多いことを特徴とする。 In addition, when comparing the total cross-sectional areas of the filament filaments in the filament lamp with the short light-emitting part and the filament lamp with the long light-emitting part, the total cross-sectional area in the former is smaller than the total cross-sectional area in the latter By being designed, the power density is characterized by being substantially the same.
In addition, the number of filament strands in the long light emitting long lamp is larger than the number of strands in the short light emitting long lamp.
また前記発光部の長いフィラメントランプ（長発光長ランプ）に適応可能なフィラメントランプとして、前記フィラメントランプの発光管の全長に対して前記発光部の長さが７０％以上に構成されたフィラメントランプは、当該発光部を構成するフィラメントの素線本数が少なくとも３本以上で構成されていることを特徴とする。
また前記発光部の短いフィラメントランプ（短発光長ランプ）に適用可能なフィラメントランプとして、前記フィラメントランプの発光管の全長に対して前記発光部の長さが５０％以下に構成されたフィラメントランプは、当該発光部を構成するフィラメントの素線本数が多くとも２本以下で構成されていることを特徴とする。
また前記フィラメントランプの点灯電圧値は、３００Ｖ以下であることを特徴とする。 Further, as a filament lamp applicable to a filament lamp having a long light emitting part (long light emitting long lamp), a filament lamp having a length of the light emitting part of 70% or more with respect to the total length of the arc tube of the filament lamp is The number of filaments constituting the light-emitting portion is at least 3 or more.
Further, as a filament lamp applicable to a filament lamp having a short light emitting part (short light emitting long lamp), a filament lamp in which the length of the light emitting part is 50% or less with respect to the total length of the arc tube of the filament lamp is The number of filaments constituting the light-emitting portion is at most 2 or less.
The filament lamp has a lighting voltage value of 300 V or less.
また前記発光部の短いフィラメントランプ（短発光長ランプ）に適用可能なフィラメントランプとして、前記フィラメントランプの発光管の全長に対して前記発光部の長さが５０％以下に構成されたフィラメントランプは、当該発光部を構成するフィラメントの素線本数が多くとも２本以下で構成されていることを特徴とする。
また前記フィラメントランプの点灯電圧値は、３００Ｖ以下であることを特徴とする。 Further, as a filament lamp applicable to a filament lamp having a long light emitting part (long light emitting long lamp), a filament lamp having a length of the light emitting part of 70% or more with respect to the total length of the arc tube of the filament lamp is The number of filaments constituting the light-emitting portion is at least 3 or more.
Further, as a filament lamp applicable to a filament lamp having a short light emitting part (short light emitting long lamp), a filament lamp in which the length of the light emitting part is 50% or less with respect to the total length of the arc tube of the filament lamp is The number of filaments constituting the light-emitting portion is at most 2 or less.
The filament lamp has a lighting voltage value of 300 V or less.
この発明の光照射式加熱装置によれば、発光長の異なる各フィラメントランプの発光部を構成するフィラメントの「電力密度」、「色温度」、「昇温速度」をそれぞれ略同一の値に揃えることにより、ワークをより均一に加熱処理することを可能とするものである。
そして、複数のフィラメントランプを略同一の電圧値で点灯可能としたので、ランプ毎に電圧値を可変とした場合のように、装置制御盤の部品点数の増加や回路の複雑化を招くことがなく、また電圧を供給電圧に近いところで統一できるので、皮相電力の影響による定格電力以上の容量を確保する必要がない、という効果を奏する。尚、ここで略同一の電圧値とは、少なくとも定格電圧の差が±１０％の範囲内で揃えられるものを指す。 According to the light irradiation type heating apparatus of the present invention, the “power density”, “color temperature”, and “temperature increase rate” of the filaments constituting the light emitting portions of the filament lamps having different emission lengths are set to substantially the same value. This makes it possible to heat the workpiece more uniformly.
Since a plurality of filament lamps can be lit at substantially the same voltage value, the number of parts of the device control panel may be increased and the circuit may be complicated as in the case where the voltage value is variable for each lamp. In addition, since the voltage can be unified near the supply voltage, there is an effect that it is not necessary to secure a capacity higher than the rated power due to the influence of the apparent power. Here, substantially the same voltage value indicates that the difference between the rated voltages is at least within a range of ± 10%.
そして、複数のフィラメントランプを略同一の電圧値で点灯可能としたので、ランプ毎に電圧値を可変とした場合のように、装置制御盤の部品点数の増加や回路の複雑化を招くことがなく、また電圧を供給電圧に近いところで統一できるので、皮相電力の影響による定格電力以上の容量を確保する必要がない、という効果を奏する。尚、ここで略同一の電圧値とは、少なくとも定格電圧の差が±１０％の範囲内で揃えられるものを指す。 According to the light irradiation type heating apparatus of the present invention, the “power density”, “color temperature”, and “temperature increase rate” of the filaments constituting the light emitting portions of the filament lamps having different emission lengths are set to substantially the same value. This makes it possible to heat the workpiece more uniformly.
Since a plurality of filament lamps can be lit at substantially the same voltage value, the number of parts of the device control panel may be increased and the circuit may be complicated as in the case where the voltage value is variable for each lamp. In addition, since the voltage can be unified near the supply voltage, there is an effect that it is not necessary to secure a capacity higher than the rated power due to the influence of the apparent power. Here, substantially the same voltage value indicates that the difference between the rated voltages is at least within a range of ± 10%.
また、各フィラメントランプを略同一の電圧値で点灯する光照射式加熱装置において、前記各フィラメントランプに設けられる各発光部は、それぞれ、当該発光部を構成するフィラメントの素線本数、又は、フィラメントの素線径、又は、フィラメントを構成するフィラメント素線の総断面積、又は、フィラメントをコイル状に巻回する場合のコイル内径、又は、フィラメントをコイル状に巻回する場合のコイルピッチのうち、何れか一つ又は複数の設計要素を異ならせることにより、前記発光部の電力密度、色温度および昇温速度が略同一に揃えられるものである。
Further, in the light irradiation type heating apparatus that lights each filament lamp at substantially the same voltage value, each light emitting unit provided in each filament lamp has the number of filaments constituting the light emitting unit, or the filament, respectively. Of the wire diameter, or the total cross-sectional area of the filament wire constituting the filament, or the coil inner diameter when the filament is wound in a coil shape, or the coil pitch when the filament is wound in a coil shape By changing any one or a plurality of design elements, the power density, the color temperature, and the temperature increase rate of the light emitting part are made substantially the same.
図１は本発明の光照射式加熱装置１の全体上面図で、複数の棒状のフィラメントランプ２、２が、半導体ウエハなどのワークＷの上方でこれと対向するように並列配置されている。各フィラメントランプ２は、石英ガラスなどの光透過性材料からなる発光管３の内部にフィラメント４により構成される発光部５を有するフィラメントランプである。
この発光管３内部には、臭素などのハロゲンガスが封入されており、いわゆるハロゲンサイクルを行っている。
この実施例では、複数のフィラメントランプ２、２のうち、フィラメントランプの並設方向において、ワークＷの中央領域に対応するランプ２と、周辺領域に対応するランプ２では、フィラメント４で構成される発光部５の発光長が異なり、中央領域に対応するランプ２における発光部５は、周辺領域に対応するランプ２における発光部５よりも長い。 FIG. 1 is an overall top view of a light irradiationtype heating apparatus 1 according to the present invention, in which a plurality of rod- shaped filament lamps 2 and 2 are arranged in parallel so as to face a workpiece W such as a semiconductor wafer. Each filament lamp 2 is a filament lamp having a light emitting portion 5 composed of a filament 4 inside an arc tube 3 made of a light transmissive material such as quartz glass.
Thearc tube 3 is filled with a halogen gas such as bromine and performs a so-called halogen cycle.
In this embodiment, among the plurality of filament lamps 2 and 2, the lamp 2 corresponding to the central region of the workpiece W and the lamp 2 corresponding to the peripheral region in the juxtaposed direction of the filament lamps are configured by the filament 4. The light emission length of the light emitting section 5 is different, and the light emitting section 5 in the lamp 2 corresponding to the central area is longer than the light emitting section 5 in the lamp 2 corresponding to the peripheral area.
この発光管３内部には、臭素などのハロゲンガスが封入されており、いわゆるハロゲンサイクルを行っている。
この実施例では、複数のフィラメントランプ２、２のうち、フィラメントランプの並設方向において、ワークＷの中央領域に対応するランプ２と、周辺領域に対応するランプ２では、フィラメント４で構成される発光部５の発光長が異なり、中央領域に対応するランプ２における発光部５は、周辺領域に対応するランプ２における発光部５よりも長い。 FIG. 1 is an overall top view of a light irradiation
The
In this embodiment, among the plurality of
このように、発光部の長さ（発光長）が異なる複数のフィラメントランプが並設されており、各フィラメントランプを略同一の電圧値で点灯する光照射式加熱装置において、前記各フィラメントランプに設けられる各発光部は、それぞれ、当該発光部を構成するフィラメントの素線本数、又は、フィラメントの素線径、又は、フィラメントを構成するフィラメント素線の総断面積、又は、フィラメントをコイル状に巻回する場合のコイル内径、又は、フィラメントをコイル状に巻回する場合のコイルピッチのうち、何れか一つ又は複数の設計要素を異ならせており、当該発光部の単位長さ当りの電力密度（Ｗ／ｍｍ）が略同一に揃えられ、かつ前記各発光部の色温度（Ｋ）を略同一に揃えられており、前記各発光部の昇温速度（ｖ）が略同一に揃えられているものである。
As described above, in the light irradiation type heating apparatus in which a plurality of filament lamps having different lengths (light emission lengths) of the light emitting portions are arranged in parallel, and each filament lamp is lit at substantially the same voltage value, Each light emitting section provided is the number of filament strands constituting the light emitting section, the filament strand diameter, the total cross-sectional area of the filament strand constituting the filament, or the filament in a coil shape. One or more design elements of the coil inner diameter for winding or the coil pitch for winding the filament in a coil shape are different, and the power per unit length of the light emitting unit The densities (W / mm) are substantially the same, the color temperatures (K) of the light emitting parts are substantially the same, and the temperature increase rates (v) of the light emitting parts are substantially the same. It is those that are aligned to.
尚、本発明における「昇温速度」はフィラメントの温度の立ち上がり速度を示す指標であり、フィラメントから発せられる光をセンサーで検知し、目標とする光量値（例えば、発光部の点灯安定時の光量の９０％を基準とする）に達するまでの時間から見積もることができる。また各発光部の昇温速度の差は、それぞれの相対値から見積もることができる。
The “temperature increase rate” in the present invention is an index indicating the rising speed of the temperature of the filament, the light emitted from the filament is detected by a sensor, and the target light amount value (for example, the light amount when the light emitting unit is lighted stably) It can be estimated from the time to reach 90%). Moreover, the difference of the temperature increase rate of each light emission part can be estimated from each relative value.
ここで、発光部の電力密度を略同一に揃えるとは、定格電力密度の差がすべての発光部の電力密度の平均値に対して±１０％の範囲内に揃えられていることを指す。これは装置の公称電力公差を配慮したものであり、被処理体（ワーク）への熱量の影響度合いから本発明で許容される範囲をみた数値である。
また、発光部の色温度を略同一に揃えるとは、数値の変動差がすべての発光部の色温度の平均値に対して±１０％の範囲内に揃えられていることを指す。これは色温度の変動に伴う光吸収率の違いを配慮したものであって、相対比が±１０％を超える差となる場合は、色温度の違いによりワーク（ウエハ）の透過率が大きく異なり（吸収率が低くなり）、色温度の違いによる加熱程度に大きく影響する。
また、昇温速度が揃えられているとは、数値の変動差がすべての昇温速度の平均値に対して±１０％の範囲内に揃えられていることを指す。これは昇温レートの違いによる被処理体の温度分布の影響度合いから決められるものである。 Here, “equalizing the power density of the light emitting units substantially the same” means that the difference in the rated power density is arranged within a range of ± 10% with respect to the average value of the power densities of all the light emitting units. This is in consideration of the nominal power tolerance of the apparatus, and is a numerical value in view of the allowable range in the present invention from the degree of influence of the amount of heat on the workpiece (workpiece).
In addition, to make the color temperatures of the light emitting portions substantially the same means that the numerical difference is aligned within a range of ± 10% with respect to the average value of the color temperatures of all the light emitting portions. This takes into account the difference in light absorptance due to the variation in color temperature. When the relative ratio exceeds ± 10%, the transmittance of the workpiece (wafer) varies greatly depending on the difference in color temperature. (Absorptivity decreases), which greatly affects the heating degree due to the difference in color temperature.
Moreover, that the temperature rising rates are aligned means that the difference in numerical values is aligned within a range of ± 10% with respect to the average value of all the temperature increasing rates. This is determined from the degree of influence of the temperature distribution of the object to be processed due to the difference in the temperature rise rate.
また、発光部の色温度を略同一に揃えるとは、数値の変動差がすべての発光部の色温度の平均値に対して±１０％の範囲内に揃えられていることを指す。これは色温度の変動に伴う光吸収率の違いを配慮したものであって、相対比が±１０％を超える差となる場合は、色温度の違いによりワーク（ウエハ）の透過率が大きく異なり（吸収率が低くなり）、色温度の違いによる加熱程度に大きく影響する。
また、昇温速度が揃えられているとは、数値の変動差がすべての昇温速度の平均値に対して±１０％の範囲内に揃えられていることを指す。これは昇温レートの違いによる被処理体の温度分布の影響度合いから決められるものである。 Here, “equalizing the power density of the light emitting units substantially the same” means that the difference in the rated power density is arranged within a range of ± 10% with respect to the average value of the power densities of all the light emitting units. This is in consideration of the nominal power tolerance of the apparatus, and is a numerical value in view of the allowable range in the present invention from the degree of influence of the amount of heat on the workpiece (workpiece).
In addition, to make the color temperatures of the light emitting portions substantially the same means that the numerical difference is aligned within a range of ± 10% with respect to the average value of the color temperatures of all the light emitting portions. This takes into account the difference in light absorptance due to the variation in color temperature. When the relative ratio exceeds ± 10%, the transmittance of the workpiece (wafer) varies greatly depending on the difference in color temperature. (Absorptivity decreases), which greatly affects the heating degree due to the difference in color temperature.
Moreover, that the temperature rising rates are aligned means that the difference in numerical values is aligned within a range of ± 10% with respect to the average value of all the temperature increasing rates. This is determined from the degree of influence of the temperature distribution of the object to be processed due to the difference in the temperature rise rate.
図２Ａは、フィラメントランプ２の発光部５の一実施形態を示す模式的な側面図である。図２Ｂは、図２Ａのフィラメントランプ２の発光部５をフィラメントの巻回軸方向に向かって見たときの模式的な図面である。図２Ｃは、図２Ａのフィラメントランプ２の発光部５の模式的な側面断面図である。図２Ｄは、フィラメントランプ２の発光部５の一実施形態を示す模式的な側面図である。図２Ｅは、図２Ｄのフィラメントランプ２の発光部５をフィラメントの巻回軸方向に向かって見たときの模式的な図面である。図２Ｆは、図２Ｄのフィラメントランプ２の発光部５の模式的な側面断面図である。発光部を構成するフィラメントの設計により、電力密度、色温度、昇温速度をそれぞれ任意の数値範囲内に制御することについて、図２Ａ～図２Ｆを参照しながら、以下（１）～（３）で詳述する。
FIG. 2A is a schematic side view showing an embodiment of the light emitting unit 5 of the filament lamp 2. FIG. 2B is a schematic drawing when the light emitting portion 5 of the filament lamp 2 of FIG. 2A is viewed in the winding axis direction of the filament. FIG. 2C is a schematic side cross-sectional view of the light emitting unit 5 of the filament lamp 2 of FIG. 2A. FIG. 2D is a schematic side view showing an embodiment of the light emitting unit 5 of the filament lamp 2. FIG. 2E is a schematic drawing when the light emitting portion 5 of the filament lamp 2 of FIG. 2D is viewed in the winding axis direction of the filament. FIG. 2F is a schematic side sectional view of the light emitting unit 5 of the filament lamp 2 of FIG. 2D. With reference to FIGS. 2A to 2F, the following (1) to (3) will be described with reference to FIGS. 2A to 2F. Will be described in detail.
（１）発光部の電力密度：
電力密度（Ｐ［Ｗ／ｍｍ］）は発光部の単位長さあたりの電力値（Ｗ）により定められる。詳述すると、点灯電圧値（Ｖ）と、発光部の長さ（Ｑ［ｍｍ］）と、発光部を構成するフィラメントの抵抗値（Ｒ）とにより電力密度（Ｐ）が定められる。
Ｐ＝Ｖ２／ＲＱ ・・・ （式１）
ここでフィラメントの抵抗値（Ｒ）は、フィラメントの電気抵抗率（ρ［Ω・ｍｍ］）とフィラメントの素線長さ（Ｌ［ｍｍ］）、素線の断面積（Ａ［ｍｍ２］）とにより、下記の式が成り立つ。
Ｒ＝ρ（Ｌ／Ａ） ・・・ （式２）
以上の点から、フィラメントの設計値（材質、素線長さ、断面積等）を制御することで、各発光部の電力密度を任意の値に調整できる。また、フィラメントを構成するフィラメント素数の総断面積は、フィラメントが複数の素線で構成される場合、対応する各素線の全ての断面積を合わせた値となる。 (1) Power density of light emitting part:
The power density (P [W / mm]) is determined by the power value (W) per unit length of the light emitting unit. More specifically, the power density (P) is determined by the lighting voltage value (V), the length of the light emitting part (Q [mm]), and the resistance value (R) of the filament constituting the light emitting part.
P = V 2 / RQ (Formula 1)
Here, the resistance value (R) of the filament is the electrical resistivity (ρ [Ω · mm]) of the filament, the filament wire length (L [mm]), and the cross-sectional area of the wire (A [mm 2 ]). The following equation holds.
R = ρ (L / A) (Formula 2)
From the above points, the power density of each light emitting part can be adjusted to an arbitrary value by controlling the design value (material, strand length, cross-sectional area, etc.) of the filament. Further, the total cross-sectional area of the filament primes constituting the filament is a value obtained by adding all the cross-sectional areas of the corresponding strands when the filament is composed of a plurality of strands.
電力密度（Ｐ［Ｗ／ｍｍ］）は発光部の単位長さあたりの電力値（Ｗ）により定められる。詳述すると、点灯電圧値（Ｖ）と、発光部の長さ（Ｑ［ｍｍ］）と、発光部を構成するフィラメントの抵抗値（Ｒ）とにより電力密度（Ｐ）が定められる。
Ｐ＝Ｖ２／ＲＱ ・・・ （式１）
ここでフィラメントの抵抗値（Ｒ）は、フィラメントの電気抵抗率（ρ［Ω・ｍｍ］）とフィラメントの素線長さ（Ｌ［ｍｍ］）、素線の断面積（Ａ［ｍｍ２］）とにより、下記の式が成り立つ。
Ｒ＝ρ（Ｌ／Ａ） ・・・ （式２）
以上の点から、フィラメントの設計値（材質、素線長さ、断面積等）を制御することで、各発光部の電力密度を任意の値に調整できる。また、フィラメントを構成するフィラメント素数の総断面積は、フィラメントが複数の素線で構成される場合、対応する各素線の全ての断面積を合わせた値となる。 (1) Power density of light emitting part:
The power density (P [W / mm]) is determined by the power value (W) per unit length of the light emitting unit. More specifically, the power density (P) is determined by the lighting voltage value (V), the length of the light emitting part (Q [mm]), and the resistance value (R) of the filament constituting the light emitting part.
P = V 2 / RQ (Formula 1)
Here, the resistance value (R) of the filament is the electrical resistivity (ρ [Ω · mm]) of the filament, the filament wire length (L [mm]), and the cross-sectional area of the wire (A [mm 2 ]). The following equation holds.
R = ρ (L / A) (Formula 2)
From the above points, the power density of each light emitting part can be adjusted to an arbitrary value by controlling the design value (material, strand length, cross-sectional area, etc.) of the filament. Further, the total cross-sectional area of the filament primes constituting the filament is a value obtained by adding all the cross-sectional areas of the corresponding strands when the filament is composed of a plurality of strands.
（２）発光部の色温度：
発光部の色温度（Ｔ［Ｋ］）は、発光部を構成するフィラメントに供給されるエネルギーと、発光部から放射される損失エネルギーとのバランスにより定まる。例えばフィラメントをコイル状に巻回した発光部において、当該フィラメントの素線径（φ［ｍｍ］）やコイル外径を大きくすると当該発光部の外表面積（Ｓ［ｍｍ２］）が大きくなり、発光部からの放熱量を高くすることができる。これにより点灯加熱時の発光部の色温度は低下する。
また当該フィラメントのコイル内径（Ｄ［ｍｍ］）の大小によって発光部内の保温特性が変化し、発光部の色温度に影響する。
本発明において発光部の色温度（Ｔ［Ｋ］）は、発光部を構成するフィラメントにおける電力密度（Ｐ［Ｗ／ｍｍ］）と、発光部の単位長さ当りの外表面積（Ｓ［ｍｍ２］）と、発光部のコイル内径（Ｄ［ｍｍ］）とによる比率Ｘ（Ｐ／ＤＳ）、と相関があることを見出し、当該発光部の電力密度と外表面積、コイル内径の比率Ｘ（Ｐ／ＤＳ）を制御し、各発光部において算出される比率Ｘを互いに近づけることで、色温度を略同一に揃えることができるものである。
尚、発光部の単位長さ当りの外表面積とは、発光部を構成するフィラメント素線がコイル状に形成される場合は、図２Ｂ及び図２Ｃに示すように、当該発光部の外側に面するフィラメント素線表面、すなわち、外表面（Ｎ）の総面積を指すものであり、発光部が複数のフィラメント素線で構成される場合も同様である。
また、図２Ｄ～図２Ｆに示す構成のように、複数のフィラメント素線によって構成され、フィラメントを外側から内側に向かって、フィラメントの巻回軸方向とは直交する方向から見たときに、それぞれのフィラメント素線の一部が重なり合うように巻回されて発光部が構成されている場合は、各素線断面が最密配置されたものとみなし、各素線断面を最密配置させたときの各素線断面の中心を結ぶ線を境界とし、外側に面するフィラメント素線表面を外表面（Ｎ）とし、その総面積を外表面積として算定できる。図２Ｇは、図２Ｄのフィラメントランプ２の発光部５の場合において、素線を最密配置する過程を示す図面である。図２Ｇに示すように、境界は、素線が互いに対向する側で素線外周と交わる部分であり、図２Ｄのような構成の発光部５である場合は、図２Ｇに示す太線部の領域が外表面（Ｎ）となる。 (2) Color temperature of light emitting part:
The color temperature (T [K]) of the light emitting part is determined by the balance between the energy supplied to the filament constituting the light emitting part and the loss energy radiated from the light emitting part. For example, in a light emitting part in which a filament is wound in a coil shape, if the filament diameter (φ [mm]) or the coil outer diameter of the filament is increased, the outer surface area (S [mm 2 ]) of the light emitting part increases. The amount of heat released from the part can be increased. Thereby, the color temperature of the light emission part at the time of lighting heating falls.
In addition, the heat retention characteristics in the light emitting portion change depending on the coil inner diameter (D [mm]) of the filament, which affects the color temperature of the light emitting portion.
In the present invention, the color temperature (T [K]) of the light emitting part is determined by the power density (P [W / mm]) in the filament constituting the light emitting part and the outer surface area (S [mm2]) per unit length of the light emitting part. ) And the ratio X (P / DS) of the coil inner diameter (D [mm]) of the light emitting part, and found that there is a correlation between the power density and outer surface area of the light emitting part, and the ratio X (P / P) of the coil inner diameter. DS) is controlled so that the ratios X calculated in the respective light emitting units are close to each other, whereby the color temperatures can be made substantially the same.
Incidentally, the outer surface area per unit length of the light emitting part means that when the filament wire constituting the light emitting part is formed in a coil shape, as shown in FIG. 2B and FIG. This refers to the total area of the surface of the filament wire, that is, the outer surface (N), and the same applies to the case where the light emitting portion is composed of a plurality of filament strands.
Further, as shown in FIGS. 2D to 2F, each of the filaments is composed of a plurality of filament wires, and when viewed from a direction perpendicular to the winding axis direction of the filament from the outside to the inside, When the light-emitting part is configured by winding a part of the filament wire so as to overlap each other, it is considered that each wire cross section is arranged in the most dense manner, and each wire cross section is placed in the most dense arrangement The surface of the filament wire facing the outside is defined as the outer surface (N) with the line connecting the centers of the wire cross-sections as the boundary, and the total area can be calculated as the outer surface area. FIG. 2G is a diagram showing a process of arranging the strands in a close-packed manner in the case of thelight emitting unit 5 of the filament lamp 2 of FIG. 2D. As shown in FIG. 2G, the boundary is a portion where the strands cross each other on the side where the strands face each other, and in the case of the light emitting unit 5 configured as shown in FIG. 2D, the region of the thick line portion shown in FIG. Becomes the outer surface (N).
発光部の色温度（Ｔ［Ｋ］）は、発光部を構成するフィラメントに供給されるエネルギーと、発光部から放射される損失エネルギーとのバランスにより定まる。例えばフィラメントをコイル状に巻回した発光部において、当該フィラメントの素線径（φ［ｍｍ］）やコイル外径を大きくすると当該発光部の外表面積（Ｓ［ｍｍ２］）が大きくなり、発光部からの放熱量を高くすることができる。これにより点灯加熱時の発光部の色温度は低下する。
また当該フィラメントのコイル内径（Ｄ［ｍｍ］）の大小によって発光部内の保温特性が変化し、発光部の色温度に影響する。
本発明において発光部の色温度（Ｔ［Ｋ］）は、発光部を構成するフィラメントにおける電力密度（Ｐ［Ｗ／ｍｍ］）と、発光部の単位長さ当りの外表面積（Ｓ［ｍｍ２］）と、発光部のコイル内径（Ｄ［ｍｍ］）とによる比率Ｘ（Ｐ／ＤＳ）、と相関があることを見出し、当該発光部の電力密度と外表面積、コイル内径の比率Ｘ（Ｐ／ＤＳ）を制御し、各発光部において算出される比率Ｘを互いに近づけることで、色温度を略同一に揃えることができるものである。
尚、発光部の単位長さ当りの外表面積とは、発光部を構成するフィラメント素線がコイル状に形成される場合は、図２Ｂ及び図２Ｃに示すように、当該発光部の外側に面するフィラメント素線表面、すなわち、外表面（Ｎ）の総面積を指すものであり、発光部が複数のフィラメント素線で構成される場合も同様である。
また、図２Ｄ～図２Ｆに示す構成のように、複数のフィラメント素線によって構成され、フィラメントを外側から内側に向かって、フィラメントの巻回軸方向とは直交する方向から見たときに、それぞれのフィラメント素線の一部が重なり合うように巻回されて発光部が構成されている場合は、各素線断面が最密配置されたものとみなし、各素線断面を最密配置させたときの各素線断面の中心を結ぶ線を境界とし、外側に面するフィラメント素線表面を外表面（Ｎ）とし、その総面積を外表面積として算定できる。図２Ｇは、図２Ｄのフィラメントランプ２の発光部５の場合において、素線を最密配置する過程を示す図面である。図２Ｇに示すように、境界は、素線が互いに対向する側で素線外周と交わる部分であり、図２Ｄのような構成の発光部５である場合は、図２Ｇに示す太線部の領域が外表面（Ｎ）となる。 (2) Color temperature of light emitting part:
The color temperature (T [K]) of the light emitting part is determined by the balance between the energy supplied to the filament constituting the light emitting part and the loss energy radiated from the light emitting part. For example, in a light emitting part in which a filament is wound in a coil shape, if the filament diameter (φ [mm]) or the coil outer diameter of the filament is increased, the outer surface area (S [mm 2 ]) of the light emitting part increases. The amount of heat released from the part can be increased. Thereby, the color temperature of the light emission part at the time of lighting heating falls.
In addition, the heat retention characteristics in the light emitting portion change depending on the coil inner diameter (D [mm]) of the filament, which affects the color temperature of the light emitting portion.
In the present invention, the color temperature (T [K]) of the light emitting part is determined by the power density (P [W / mm]) in the filament constituting the light emitting part and the outer surface area (S [mm2]) per unit length of the light emitting part. ) And the ratio X (P / DS) of the coil inner diameter (D [mm]) of the light emitting part, and found that there is a correlation between the power density and outer surface area of the light emitting part, and the ratio X (P / P) of the coil inner diameter. DS) is controlled so that the ratios X calculated in the respective light emitting units are close to each other, whereby the color temperatures can be made substantially the same.
Incidentally, the outer surface area per unit length of the light emitting part means that when the filament wire constituting the light emitting part is formed in a coil shape, as shown in FIG. 2B and FIG. This refers to the total area of the surface of the filament wire, that is, the outer surface (N), and the same applies to the case where the light emitting portion is composed of a plurality of filament strands.
Further, as shown in FIGS. 2D to 2F, each of the filaments is composed of a plurality of filament wires, and when viewed from a direction perpendicular to the winding axis direction of the filament from the outside to the inside, When the light-emitting part is configured by winding a part of the filament wire so as to overlap each other, it is considered that each wire cross section is arranged in the most dense manner, and each wire cross section is placed in the most dense arrangement The surface of the filament wire facing the outside is defined as the outer surface (N) with the line connecting the centers of the wire cross-sections as the boundary, and the total area can be calculated as the outer surface area. FIG. 2G is a diagram showing a process of arranging the strands in a close-packed manner in the case of the
（３）発光部の昇温速度（ｖ）：
発光部の昇温速度（ｖ）は、電力密度（Ｐ［Ｗ／ｍｍ］）と、発光部の単位長さ当りの熱容量（Ｃ［Ｊ／Ｋ］）とで定められる。熱容量（Ｃ）は、発光部の単位長さ当りの質量（ｇ／ｍｍ）と、フィラメントの材質に固有の比熱（ｃ）とによって定められる。これらの点から、発光部の単位長さ当りの質量（ｇ／ｍｍ）を制御し、各発光部の質量を近づけることで昇温速度を略同一に調整することができる。具体的には、発光部を構成するフィラメントの形状、素線本数、素線径、コイル内径、コイルピッチ等の設計を変えることで発光部の昇温速度（ｖ）の調整が可能である。 (3) Temperature increase rate of light emitting part (v):
The temperature increase rate (v) of the light emitting part is determined by the power density (P [W / mm]) and the heat capacity per unit length of the light emitting part (C [J / K]). The heat capacity (C) is determined by the mass per unit length (g / mm) of the light emitting part and the specific heat (c) specific to the material of the filament. From these points, the temperature increase rate can be adjusted substantially the same by controlling the mass (g / mm) per unit length of the light emitting unit and bringing the mass of each light emitting unit closer. Specifically, the temperature increase rate (v) of the light emitting unit can be adjusted by changing the design of the filament constituting the light emitting unit, the number of strands, the strand diameter, the coil inner diameter, the coil pitch, and the like.
発光部の昇温速度（ｖ）は、電力密度（Ｐ［Ｗ／ｍｍ］）と、発光部の単位長さ当りの熱容量（Ｃ［Ｊ／Ｋ］）とで定められる。熱容量（Ｃ）は、発光部の単位長さ当りの質量（ｇ／ｍｍ）と、フィラメントの材質に固有の比熱（ｃ）とによって定められる。これらの点から、発光部の単位長さ当りの質量（ｇ／ｍｍ）を制御し、各発光部の質量を近づけることで昇温速度を略同一に調整することができる。具体的には、発光部を構成するフィラメントの形状、素線本数、素線径、コイル内径、コイルピッチ等の設計を変えることで発光部の昇温速度（ｖ）の調整が可能である。 (3) Temperature increase rate of light emitting part (v):
The temperature increase rate (v) of the light emitting part is determined by the power density (P [W / mm]) and the heat capacity per unit length of the light emitting part (C [J / K]). The heat capacity (C) is determined by the mass per unit length (g / mm) of the light emitting part and the specific heat (c) specific to the material of the filament. From these points, the temperature increase rate can be adjusted substantially the same by controlling the mass (g / mm) per unit length of the light emitting unit and bringing the mass of each light emitting unit closer. Specifically, the temperature increase rate (v) of the light emitting unit can be adjusted by changing the design of the filament constituting the light emitting unit, the number of strands, the strand diameter, the coil inner diameter, the coil pitch, and the like.
このように、上記（１）～（３）に基づいてフィラメントの設計値を調整することで、各発光部の電力密度（Ｗ）、色温度（Ｋ）、昇温速度（ｖ）をそれぞれ略同等な範囲に揃えることが可能となる。
As described above, by adjusting the design value of the filament based on the above (1) to (3), the power density (W), the color temperature (K), and the temperature increase rate (v) of each light emitting unit are substantially reduced. It becomes possible to arrange in the same range.
本発明に係る具体的な一態様について、図１を参酌して以下に記載する。
（１）まず各発光部５の電力密度（Ｐ）は、点灯電圧値（Ｖ）と発光部５を構成するフィラメント４の抵抗値（Ｒ）とにより制御可能であるから、同じ点灯電圧下において各発光部５の電力密度を揃えるため、各フィラメント４の抵抗値を可変させる。具体的にはフィラメント４の材質や素線長さ、断面積等を任意に調節することで実現できる。 A specific embodiment according to the present invention will be described below with reference to FIG.
(1) First, the power density (P) of each light-emittingunit 5 can be controlled by the lighting voltage value (V) and the resistance value (R) of the filament 4 constituting the light-emitting unit 5. In order to make the power density of each light emitting section 5 uniform, the resistance value of each filament 4 is varied. Specifically, it can be realized by arbitrarily adjusting the material, the strand length, the cross-sectional area and the like of the filament 4.
（１）まず各発光部５の電力密度（Ｐ）は、点灯電圧値（Ｖ）と発光部５を構成するフィラメント４の抵抗値（Ｒ）とにより制御可能であるから、同じ点灯電圧下において各発光部５の電力密度を揃えるため、各フィラメント４の抵抗値を可変させる。具体的にはフィラメント４の材質や素線長さ、断面積等を任意に調節することで実現できる。 A specific embodiment according to the present invention will be described below with reference to FIG.
(1) First, the power density (P) of each light-emitting
（２）次に各発光部５の色温度（Ｔ［Ｋ］）は、上述のとおり比率Ｘ（Ｐ／ＤＳ）と相関関係がある。この際、各発光部５の電力密度（Ｐ）は上記（１）にて同じ値に制御しているため、１／ＤＳの比率を近づけることで、更に色温度を略同一に揃えることができる。
(2) Next, the color temperature (T [K]) of each light emitting unit 5 has a correlation with the ratio X (P / DS) as described above. At this time, since the power density (P) of each light emitting unit 5 is controlled to the same value in the above (1), the color temperature can be made substantially the same by making the ratio of 1 / DS closer. .
（３）次に各発光部５の昇温速度（ｖ）は、発光部５の単位長さあたりの質量［ｇ／ｍｍ］と相関があり、各発光部５の質量を近づけることで、昇温速度（ｖ）を略同一に制御することができる。
上記（１）（２）の条件を満たしつつ（３）の条件を達成する為の手段としては、例えば、発光部５を構成するフィラメント４の素線径を変えつつ、素線本数をランプ毎に変化させることなどが考えられる。 (3) Next, the heating rate (v) of eachlight emitting unit 5 has a correlation with the mass [g / mm] per unit length of the light emitting unit 5, and increases by bringing the mass of each light emitting unit 5 closer. The temperature rate (v) can be controlled substantially the same.
As means for achieving the condition (3) while satisfying the above conditions (1) and (2), for example, the number of strands is changed for each lamp while changing the strand diameter of thefilament 4 constituting the light emitting section 5. It may be possible to change it.
上記（１）（２）の条件を満たしつつ（３）の条件を達成する為の手段としては、例えば、発光部５を構成するフィラメント４の素線径を変えつつ、素線本数をランプ毎に変化させることなどが考えられる。 (3) Next, the heating rate (v) of each
As means for achieving the condition (3) while satisfying the above conditions (1) and (2), for example, the number of strands is changed for each lamp while changing the strand diameter of the
上記（１）（２）（３）の全てを満たすためには、各フィラメントランプの発光部を構成するフィラメントを適宜異なる設計にする必要がある。
In order to satisfy all of the above (1), (2), and (3), it is necessary to appropriately design the filaments that constitute the light-emitting portion of each filament lamp.
図３Ａ及び図３Ｂは、本発明に係るフィラメントランプ２の発光部５の構成例を示しており、発光部５の単位長さあたりのフィラメント４の素線の形態を説明するものである。
図３Ａでは、３本のフィラメント素線４１、４２、４３が平行に束ねられた形態が示されており、この場合の各フィラメント素線４１、４２、４３のコイルピッチＰ１、Ｐ２、Ｐ３は図のように計測され、Ｐ１＝Ｐ２＝Ｐ３である。
図３Ｂでは、３本のフィラメント素線４１、４２、４３が俵状に束ねられた形態が示されており、この場合の各フィラメント素線４１、４２、４３のコイルピッチＰ１、Ｐ２、Ｐ３は図のように計測され、Ｐ１＝Ｐ２＝Ｐ３である。またこの構成における発光部のコイル内径は、一義的に束ねられた素線の内側コイル４１、４３の内径として扱って差し支えない。 3A and 3B show a configuration example of thelight emitting unit 5 of the filament lamp 2 according to the present invention, and explain the form of the filament 4 of the filament 4 per unit length of the light emitting unit 5.
FIG. 3A shows a form in which three filament wires 41, 42, 43 are bundled in parallel, and the coil pitches P1, P2, P3 of each filament wire 41, 42, 43 in this case are shown in FIG. And P1 = P2 = P3.
FIG. 3B shows a form in which three filament wires 41, 42, 43 are bundled in a bowl shape. In this case, the coil pitches P1, P2, P3 of the filament wires 41, 42, 43 are as follows. Measured as shown and P1 = P2 = P3. Moreover, the coil inner diameter of the light emitting part in this configuration may be handled as the inner diameter of the inner coils 41 and 43 of the unionly bundled wires.
図３Ａでは、３本のフィラメント素線４１、４２、４３が平行に束ねられた形態が示されており、この場合の各フィラメント素線４１、４２、４３のコイルピッチＰ１、Ｐ２、Ｐ３は図のように計測され、Ｐ１＝Ｐ２＝Ｐ３である。
図３Ｂでは、３本のフィラメント素線４１、４２、４３が俵状に束ねられた形態が示されており、この場合の各フィラメント素線４１、４２、４３のコイルピッチＰ１、Ｐ２、Ｐ３は図のように計測され、Ｐ１＝Ｐ２＝Ｐ３である。またこの構成における発光部のコイル内径は、一義的に束ねられた素線の内側コイル４１、４３の内径として扱って差し支えない。 3A and 3B show a configuration example of the
FIG. 3A shows a form in which three
FIG. 3B shows a form in which three
実際どのようなステップを踏んでフィラメントを決定するかの一例を図４に基づいて説明する。
第１ステップにおいて、電力密度を揃えることが行われ、長発光長（部）ランプと短発光長（部）ランプにそれぞれ一定の供給電圧、例えば、２００Ｖを印加して、その発光部の単位長さ当りの電力密度（Ｗ／ｍｍ）を略一定値にするための設計が行われる。
具体的には、フィラメント素線の断面積と長さを調整することでその抵抗値を一定にする組合せを得る。
例えば、長発光長ランプにおける第１グループにおいては、断面積（直径）の大きな大径素線Ａと、直径が中くらいの２本の素線からなる中径素線Ｂと、これより小径な３本の素線からなる小径素線Ｃが選定される。 An example of what steps are actually taken to determine the filament will be described with reference to FIG.
In the first step, the power density is made uniform, and a constant supply voltage, for example, 200 V is applied to each of the long light emission length (part) lamp and the short light emission length (part) lamp, and the unit length of the light emission part. A design is made to make the power density per unit (W / mm) substantially constant.
Specifically, the combination which makes the resistance value constant is obtained by adjusting the cross-sectional area and length of a filament strand.
For example, in the first group of long light emitting long lamps, a large-diameter strand A having a large cross-sectional area (diameter), a medium-diameter strand B composed of two strands having a medium diameter, and a smaller diameter. A small-diameter strand C composed of three strands is selected.
第１ステップにおいて、電力密度を揃えることが行われ、長発光長（部）ランプと短発光長（部）ランプにそれぞれ一定の供給電圧、例えば、２００Ｖを印加して、その発光部の単位長さ当りの電力密度（Ｗ／ｍｍ）を略一定値にするための設計が行われる。
具体的には、フィラメント素線の断面積と長さを調整することでその抵抗値を一定にする組合せを得る。
例えば、長発光長ランプにおける第１グループにおいては、断面積（直径）の大きな大径素線Ａと、直径が中くらいの２本の素線からなる中径素線Ｂと、これより小径な３本の素線からなる小径素線Ｃが選定される。 An example of what steps are actually taken to determine the filament will be described with reference to FIG.
In the first step, the power density is made uniform, and a constant supply voltage, for example, 200 V is applied to each of the long light emission length (part) lamp and the short light emission length (part) lamp, and the unit length of the light emission part. A design is made to make the power density per unit (W / mm) substantially constant.
Specifically, the combination which makes the resistance value constant is obtained by adjusting the cross-sectional area and length of a filament strand.
For example, in the first group of long light emitting long lamps, a large-diameter strand A having a large cross-sectional area (diameter), a medium-diameter strand B composed of two strands having a medium diameter, and a smaller diameter. A small-diameter strand C composed of three strands is selected.
グループ１において、断面積の大きな大径素線Ａより合計断面積を小さくした素線２本からなる中径素線Ｂは、合計断面積を小さくしたことで抵抗値は大径素線Ａより大きくなるが、２本にすることで大径素線Ａと同等の抵抗値のものが得られる。
また、更に小径の３本の素線からなる小径素線Ｃも、中径素線Ｂより合計断面積を小さくするとともに３本にすることで、抵抗値は同等のものが得られる。
このようにして、第１グループとして、抵抗値が同一となる素線の組み合わせが得られ、電力密度が同等な素線の組み合わせが得られる。 Ingroup 1, the medium-diameter strand B composed of two strands having a smaller total cross-sectional area than the large-diameter strand A having a larger cross-sectional area has a resistance value smaller than that of the large-diameter strand A by reducing the total cross-sectional area. Although it becomes large, the thing of the resistance value equivalent to the large diameter strand A is obtained by using two.
Further, the smaller diameter wire C composed of three smaller diameter wires can be made to have the same resistance value by making the total cross-sectional area smaller than that of the medium diameter wire B and using three wires.
In this way, a combination of strands having the same resistance value is obtained as the first group, and a combination of strands having the same power density is obtained.
また、更に小径の３本の素線からなる小径素線Ｃも、中径素線Ｂより合計断面積を小さくするとともに３本にすることで、抵抗値は同等のものが得られる。
このようにして、第１グループとして、抵抗値が同一となる素線の組み合わせが得られ、電力密度が同等な素線の組み合わせが得られる。 In
Further, the smaller diameter wire C composed of three smaller diameter wires can be made to have the same resistance value by making the total cross-sectional area smaller than that of the medium diameter wire B and using three wires.
In this way, a combination of strands having the same resistance value is obtained as the first group, and a combination of strands having the same power density is obtained.
更に、第２グループにおいては、大径素線Ｄ、中径素線Ｅ、小径素線Ｆはそれぞれ第１グループの大径素線Ａ、中径素線Ｂ、小径素線Ｃよりも小断面積であって短尺とされることで、抵抗値は第２グループ内で同一、かつ第１グループと同等とされている。
Further, in the second group, the large-diameter strand D, medium-diameter strand E, and small-diameter strand F are smaller than the first-group large-diameter strand A, medium-diameter strand B, and small-diameter strand C, respectively. By making the area short, the resistance value is the same in the second group and is equivalent to the first group.
また、短発光長ランプにおいても、第３グループの大径素線Ｇ、中径素線Ｈ、小径素線Ｉおよび第４グループの大径素線Ｊ、中径素線Ｋ、小径素線Ｌは、それぞれ同一の抵抗値とされるとともに、長発光長ランプの第１グループおよび第２グループの各素線と同一の電力密度となる抵抗値とされる。
こうして、長発光長ランプにおける第１グループ、第２グループおよび短発光長ランプにおける第３グループ、第４グループにおける各素線は、電力密度が同等となる抵抗値のものが得られ、これにより、電力密度の同等な素線の組み合わせが得られる。 Also in the short light emitting long lamp, the third group large-diameter strand G, medium-diameter strand H, small-diameter strand I, and fourth group large-diameter strand J, medium-diameter strand K, small-diameter strand L Are set to the same resistance value, and to the same power density as the wires of the first group and the second group of the long light emitting long lamps.
Thus, the first group in the long light emitting long lamp, the second group, and the third group in the short light emitting long lamp, and the strands in the fourth group are obtained with resistance values having the same power density. A combination of strands with the same power density can be obtained.
こうして、長発光長ランプにおける第１グループ、第２グループおよび短発光長ランプにおける第３グループ、第４グループにおける各素線は、電力密度が同等となる抵抗値のものが得られ、これにより、電力密度の同等な素線の組み合わせが得られる。 Also in the short light emitting long lamp, the third group large-diameter strand G, medium-diameter strand H, small-diameter strand I, and fourth group large-diameter strand J, medium-diameter strand K, small-diameter strand L Are set to the same resistance value, and to the same power density as the wires of the first group and the second group of the long light emitting long lamps.
Thus, the first group in the long light emitting long lamp, the second group, and the third group in the short light emitting long lamp, and the strands in the fourth group are obtained with resistance values having the same power density. A combination of strands with the same power density can be obtained.
次いで、第２ステップとして、色温度を揃えることが行われる。前述の段落００２０および段落００２４で述べたように、色温度は、発光部を構成するフィラメントにおける電力密度（Ｐ［Ｗ／ｍｍ］）と、発光部の単位長さ当りの外表面積（Ｓ［ｍｍ２］）と、発光部のコイル内径（Ｄ［ｍｍ］）とによる比率Ｘ（Ｐ／ＤＳ）とに相関がある。
ここでは、第１ステップで電力密度Ｐを一定にしたので、各発光部において算出される比率Ｘ（１／ＤＳ）を調整して互いに近づけることで、色温度を揃えることが行われる。
具体的には、発光部の外径、コイルピッチ、コイル内径などを調整することで達成される。発光部外径の大小は発光部の外表面積の大小に関与して、表面からの熱放射を左右し、コイルピッチやコイル内径は、コイル内の熱の籠り具合に影響して、コイル表面温度、即ち色温度に関与する。
これにより、長発光長ランプのグループ１、２のうち、グループ２が選定され、また、短発光長ランプのグループ３、４のうち、グループ３が選定される。 Next, as a second step, the color temperatures are adjusted. As described in the above paragraphs 0020 and 0024, the color temperature is determined based on the power density (P [W / mm]) in the filament constituting the light emitting portion and the outer surface area (S [mm] per unit length of the light emitting portion. 2 ]) and the ratio X (P / DS) based on the coil inner diameter (D [mm]) of the light emitting part.
Here, since the power density P is made constant in the first step, the color temperature is made uniform by adjusting the ratio X (1 / DS) calculated in each light emitting unit and bringing them closer to each other.
Specifically, this is achieved by adjusting the outer diameter, coil pitch, coil inner diameter and the like of the light emitting section. The outer diameter of the light emitting part is related to the outer surface area of the light emitting part and influences the heat radiation from the surface, and the coil pitch and the inner diameter of the coil influence the heat fluctuation in the coil, and the coil surface temperature. That is, it is related to the color temperature.
As a result, thegroup 2 is selected from the groups 1 and 2 of the long light emitting long lamps, and the group 3 is selected from the groups 3 and 4 of the short light emitting long lamps.
ここでは、第１ステップで電力密度Ｐを一定にしたので、各発光部において算出される比率Ｘ（１／ＤＳ）を調整して互いに近づけることで、色温度を揃えることが行われる。
具体的には、発光部の外径、コイルピッチ、コイル内径などを調整することで達成される。発光部外径の大小は発光部の外表面積の大小に関与して、表面からの熱放射を左右し、コイルピッチやコイル内径は、コイル内の熱の籠り具合に影響して、コイル表面温度、即ち色温度に関与する。
これにより、長発光長ランプのグループ１、２のうち、グループ２が選定され、また、短発光長ランプのグループ３、４のうち、グループ３が選定される。 Next, as a second step, the color temperatures are adjusted. As described in the above paragraphs 0020 and 0024, the color temperature is determined based on the power density (P [W / mm]) in the filament constituting the light emitting portion and the outer surface area (S [mm] per unit length of the light emitting portion. 2 ]) and the ratio X (P / DS) based on the coil inner diameter (D [mm]) of the light emitting part.
Here, since the power density P is made constant in the first step, the color temperature is made uniform by adjusting the ratio X (1 / DS) calculated in each light emitting unit and bringing them closer to each other.
Specifically, this is achieved by adjusting the outer diameter, coil pitch, coil inner diameter and the like of the light emitting section. The outer diameter of the light emitting part is related to the outer surface area of the light emitting part and influences the heat radiation from the surface, and the coil pitch and the inner diameter of the coil influence the heat fluctuation in the coil, and the coil surface temperature. That is, it is related to the color temperature.
As a result, the
次いで第３ステップでは、電力密度と色温度が揃えられたランプのうち、昇温速度を揃えることが行われる。前述の段落００２５で述べたように、ここでは、フィラメントの単位長さ当りの質量を調整することで、昇温速度を揃えることが行われる。こうして長発光長ランプにおけるグループ２の小径素線Ｆと、短発光長ランプにおけるグループ３の中径素線Ｈが選定される。
このように選定された小径素線Ｆと中径素線Ｈとをそれぞれ用いた長発光長ランプおよび短発光長ランプでは、電力密度、色温度および昇温速度が揃えられたランプが得られる。 Next, in the third step, among the lamps having the same power density and color temperature, the temperature rising rates are adjusted. As described in the above paragraph 0025, here, the temperature increase rate is made uniform by adjusting the mass per unit length of the filament. Thus, thegroup 2 small-diameter strand F in the long light emitting long lamp and the group 3 medium-diameter strand H in the short light emitting long lamp are selected.
With the long light emitting long lamp and the short light emitting long lamp using the small-diameter strand F and the medium-diameter strand H selected as described above, a lamp with uniform power density, color temperature, and heating rate can be obtained.
このように選定された小径素線Ｆと中径素線Ｈとをそれぞれ用いた長発光長ランプおよび短発光長ランプでは、電力密度、色温度および昇温速度が揃えられたランプが得られる。 Next, in the third step, among the lamps having the same power density and color temperature, the temperature rising rates are adjusted. As described in the above paragraph 0025, here, the temperature increase rate is made uniform by adjusting the mass per unit length of the filament. Thus, the
With the long light emitting long lamp and the short light emitting long lamp using the small-diameter strand F and the medium-diameter strand H selected as described above, a lamp with uniform power density, color temperature, and heating rate can be obtained.
図５に本発明のフィラメントランプの一具体例が示されていて、フィラメントの設計要素、およびそれぞれの電力密度、色温度、昇温速度を示している。本具体例では、発光長の異なる（２００ｍｍ～４２０ｍｍ）５種類のフィラメント１～５を備えていて、各ランプを２００Ｖで点灯したものである。
尚、本発明における電力密度は、発光部の長さ（Ｑ［ｍｍ］）、フィラメントの素線長さ（Ｌ［ｍｍ］）及び素線の断面積（Ａ［ｍｍ２］）を計測し、フィラメントに用いる素線の材料の電気抵抗率（ρ［Ω・ｍｍ］）から、上記の式１及び式２に基づいて算出している。ただし、フィラメントの抵抗値（Ｒ）は、フィラメントランプの両電極間に印加した電圧に対して流れる電流値を測定することで求めても構わない。
また、本発明における色温度は、点灯させた状態のフィラメントランプに対して、色温度計を用いて測定している。
また、本発明における昇温速度は、発光部の光量立ち上がり時間（ｍｓｅｃ）は、フィラメントから発せられる光量をセンサーで検知し、目標とする光量値（発光部の点灯安定時の光量に対して９０％を基準とする値）に達するまでの時間から算出している。そして各ランプ１～５の昇温速度は、光量立ち上がり時間の相対比から算出しており、最も発光部が長尺なＮｏ．５の光量立ち上がり時間を１．００とした場合の相対比を記載している。 FIG. 5 shows a specific example of the filament lamp of the present invention, which shows the design elements of the filament, and the power density, color temperature, and temperature rise rate of each. In this specific example, five types offilaments 1 to 5 having different light emission lengths (200 mm to 420 mm) are provided, and each lamp is lit at 200V.
In the present invention, the power density is measured by measuring the length of the light emitting part (Q [mm]), the filament wire length (L [mm]) and the filament cross-sectional area (A [mm2]). From the electrical resistivity (ρ [Ω · mm]) of the material of the wire used for the calculation, it is calculated based on the above formulas 1 and 2. However, the resistance value (R) of the filament may be obtained by measuring the value of the current flowing with respect to the voltage applied between both electrodes of the filament lamp.
Further, the color temperature in the present invention is measured by using a color thermometer for the filament lamp in the lit state.
The temperature rise rate in the present invention is such that the light amount rise time (msec) of the light emitting unit is 90% of the target light amount value (the light amount when the light emitting unit is lighted stably). It is calculated from the time to reach (value based on%). The heating rate of each of thelamps 1 to 5 is calculated from the relative ratio of the light amount rise time. The relative ratio when the light quantity rise time of 5 is 1.00 is described.
尚、本発明における電力密度は、発光部の長さ（Ｑ［ｍｍ］）、フィラメントの素線長さ（Ｌ［ｍｍ］）及び素線の断面積（Ａ［ｍｍ２］）を計測し、フィラメントに用いる素線の材料の電気抵抗率（ρ［Ω・ｍｍ］）から、上記の式１及び式２に基づいて算出している。ただし、フィラメントの抵抗値（Ｒ）は、フィラメントランプの両電極間に印加した電圧に対して流れる電流値を測定することで求めても構わない。
また、本発明における色温度は、点灯させた状態のフィラメントランプに対して、色温度計を用いて測定している。
また、本発明における昇温速度は、発光部の光量立ち上がり時間（ｍｓｅｃ）は、フィラメントから発せられる光量をセンサーで検知し、目標とする光量値（発光部の点灯安定時の光量に対して９０％を基準とする値）に達するまでの時間から算出している。そして各ランプ１～５の昇温速度は、光量立ち上がり時間の相対比から算出しており、最も発光部が長尺なＮｏ．５の光量立ち上がり時間を１．００とした場合の相対比を記載している。 FIG. 5 shows a specific example of the filament lamp of the present invention, which shows the design elements of the filament, and the power density, color temperature, and temperature rise rate of each. In this specific example, five types of
In the present invention, the power density is measured by measuring the length of the light emitting part (Q [mm]), the filament wire length (L [mm]) and the filament cross-sectional area (A [mm2]). From the electrical resistivity (ρ [Ω · mm]) of the material of the wire used for the calculation, it is calculated based on the
Further, the color temperature in the present invention is measured by using a color thermometer for the filament lamp in the lit state.
The temperature rise rate in the present invention is such that the light amount rise time (msec) of the light emitting unit is 90% of the target light amount value (the light amount when the light emitting unit is lighted stably). It is calculated from the time to reach (value based on%). The heating rate of each of the
また本発明における新たな設計指標となる比率Ｘは、発光部を構成するフィラメントに流れる単位長さ当りの電力密度（Ｐ［Ｗ／ｍｍ］）と、発光部の単位長さ当りの外表面積（Ｓ［ｍｍ２］）と、発光部のコイル内径（Ｄ［ｍｍ］）とにより定められる数値であり、図５において各ランプ１～５の比率Ｘを記載している。
図５に示すように、発光長の異なる各ランプの発光部の設計値、更には発光部を構成するフィラメントの設計値を適宜変更することにより、電力密度、色温度、昇温速度を略同一に揃えることが可能となる。
また、前記発光部の長さが相対的に小さいフィラメントランプ（短発光長ランプ）１～２と、前記発光部の長さが相対的に大きいフィラメントランプ（長発光長ランプ）３～４とを比較した際に、発光部を構成するフィラメント素線の総断面積（素線断面積×素線本数）は、発光長が短くなるにつれて小さく設計することとなる。これは単位長さあたりの発光部の電力密度［Ｗ／ｍｍ］を揃えるために必要な処置となる。また発光長の差が大きくなるにつれ、総断断面積の差を大きく設計しなければ、電力密度を略同一に揃えることが困難となる。 In addition, the ratio X, which is a new design index in the present invention, is the power density per unit length (P [W / mm]) flowing through the filament constituting the light emitting portion and the outer surface area per unit length of the light emitting portion ( S [mm 2 ]) and the coil inner diameter (D [mm]) of the light emitting section, and the ratio X of eachlamp 1 to 5 is shown in FIG.
As shown in FIG. 5, the power density, the color temperature, and the heating rate are substantially the same by appropriately changing the design values of the light emitting parts of the lamps having different light emission lengths, and further the design values of the filaments constituting the light emitting parts. It becomes possible to align.
Further, a filament lamp (short light emission long lamp) 1 to 2 having a relatively small length of the light emitting portion and a filament lamp (long light emission long lamp) 3 to 4 having a relatively large length of the light emitting portion are provided. When the comparison is made, the total cross-sectional area (filament cross-sectional area × number of strands) of the filament strands constituting the light-emitting portion is designed to be smaller as the light emission length becomes shorter. This is a treatment necessary for aligning the power density [W / mm] of the light emitting unit per unit length. Also, as the difference in light emission length increases, it becomes difficult to make the power density substantially the same unless the difference in total cross-sectional area is designed to be large.
図５に示すように、発光長の異なる各ランプの発光部の設計値、更には発光部を構成するフィラメントの設計値を適宜変更することにより、電力密度、色温度、昇温速度を略同一に揃えることが可能となる。
また、前記発光部の長さが相対的に小さいフィラメントランプ（短発光長ランプ）１～２と、前記発光部の長さが相対的に大きいフィラメントランプ（長発光長ランプ）３～４とを比較した際に、発光部を構成するフィラメント素線の総断面積（素線断面積×素線本数）は、発光長が短くなるにつれて小さく設計することとなる。これは単位長さあたりの発光部の電力密度［Ｗ／ｍｍ］を揃えるために必要な処置となる。また発光長の差が大きくなるにつれ、総断断面積の差を大きく設計しなければ、電力密度を略同一に揃えることが困難となる。 In addition, the ratio X, which is a new design index in the present invention, is the power density per unit length (P [W / mm]) flowing through the filament constituting the light emitting portion and the outer surface area per unit length of the light emitting portion ( S [mm 2 ]) and the coil inner diameter (D [mm]) of the light emitting section, and the ratio X of each
As shown in FIG. 5, the power density, the color temperature, and the heating rate are substantially the same by appropriately changing the design values of the light emitting parts of the lamps having different light emission lengths, and further the design values of the filaments constituting the light emitting parts. It becomes possible to align.
Further, a filament lamp (short light emission long lamp) 1 to 2 having a relatively small length of the light emitting portion and a filament lamp (long light emission long lamp) 3 to 4 having a relatively large length of the light emitting portion are provided. When the comparison is made, the total cross-sectional area (filament cross-sectional area × number of strands) of the filament strands constituting the light-emitting portion is designed to be smaller as the light emission length becomes shorter. This is a treatment necessary for aligning the power density [W / mm] of the light emitting unit per unit length. Also, as the difference in light emission length increases, it becomes difficult to make the power density substantially the same unless the difference in total cross-sectional area is designed to be large.
一方でフィラメントの総断面積の差を大きくしようとすると、発光部の他の設計要素にも影響が生じる。例えば、発光部のコイル内径（Ｄ）、外表面積（Ｓ）、発光部の質量等の設計要素等である。上述したとおり、このような設計要素の変化により色温度や昇温速度を揃えることが困難となってゆく。そこで本発明では、このような発光長の差が大きい場合において、フィラメント素線本数を変化させている。詳述すると、発光長が短くなるにつれて、フィラメントの素線本数を少なく設計している。このような対応により、発光長の差が大きい場合であっても、電力密度だけでなく、色温度や昇温速度を略同一に揃えやすくなる。
On the other hand, if the difference in the total cross-sectional area of the filament is increased, other design elements of the light emitting part are affected. For example, design elements such as a coil inner diameter (D), an outer surface area (S), and a mass of the light emitting unit of the light emitting unit. As described above, it is difficult to make the color temperature and the heating rate uniform by such a change in design elements. Therefore, in the present invention, when such a difference in light emission length is large, the number of filament strands is changed. More specifically, the number of filament strands is designed to decrease as the light emission length becomes shorter. With such a correspondence, even when the difference in light emission length is large, not only the power density but also the color temperature and the temperature increase rate can be easily made uniform.
ところで、図５に示す比率Ｘ（Ｐ／ＤＳ）及び質量の設計値は厳密に一致させる必要はなく、当該設計値を近づける作業を行うことで、各発光部の電力密度、色温度、昇温速度が略同一の範囲内に収まるよう制御することが可能となる。図５に示すとおり、実際には比率Ｘや質量の設計値には許容できる範囲があることが理解できる。
By the way, the ratio X (P / DS) and the mass design values shown in FIG. 5 do not need to be strictly matched, and the power density, the color temperature, the temperature rise of each light emitting unit can be achieved by making the design values close to each other. It is possible to control the speed so as to be within the substantially same range. As shown in FIG. 5, it can be understood that there are actually acceptable ranges for the design values of the ratio X and the mass.
以上説明したように、本発明によれば、複数のフィラメントランプがワークに対して並列配置されてなる光照射式加熱装置において、各フィラメントランプに設けられる各発光部は、その単位長さあたりの電力密度、色温度および昇温速度が略同一に揃えられていることにより、ワークをより均一に加熱処理することを可能とするものである。
そして、複数のフィラメントランプを略同一の電圧値で点灯可能としたので、ランプ毎に電圧値を可変とした場合のように、装置制御盤の部品点数の増加や回路の複雑化を招くことがなく、また電圧を供給電圧に近いところで統一できるので、皮相電力の影響による定格電力以上の容量を確保する必要がない、という効果を奏する。 As described above, according to the present invention, in the light irradiation type heating apparatus in which a plurality of filament lamps are arranged in parallel to the workpiece, each light emitting unit provided in each filament lamp has a unit length per unit length. Since the power density, the color temperature, and the temperature increase rate are substantially the same, it is possible to heat the workpiece more uniformly.
Since a plurality of filament lamps can be lit at substantially the same voltage value, the number of parts of the device control panel may be increased and the circuit may be complicated as in the case where the voltage value is variable for each lamp. In addition, since the voltage can be unified near the supply voltage, there is an effect that it is not necessary to secure a capacity higher than the rated power due to the influence of the apparent power.
そして、複数のフィラメントランプを略同一の電圧値で点灯可能としたので、ランプ毎に電圧値を可変とした場合のように、装置制御盤の部品点数の増加や回路の複雑化を招くことがなく、また電圧を供給電圧に近いところで統一できるので、皮相電力の影響による定格電力以上の容量を確保する必要がない、という効果を奏する。 As described above, according to the present invention, in the light irradiation type heating apparatus in which a plurality of filament lamps are arranged in parallel to the workpiece, each light emitting unit provided in each filament lamp has a unit length per unit length. Since the power density, the color temperature, and the temperature increase rate are substantially the same, it is possible to heat the workpiece more uniformly.
Since a plurality of filament lamps can be lit at substantially the same voltage value, the number of parts of the device control panel may be increased and the circuit may be complicated as in the case where the voltage value is variable for each lamp. In addition, since the voltage can be unified near the supply voltage, there is an effect that it is not necessary to secure a capacity higher than the rated power due to the influence of the apparent power.
本発明に係る光照射式加熱装置に適用されるフィラメントランプは、発光部が短くなるにつれてフィラメントの素線本数を少なく設計している。ここで当該光照射式加熱装置における長発光長ランプに適用されるフィラメントランプとして、前記フィラメントランプの発光管の全長に対して発光部の長さが７０％以上に構成されたフィラメントランプは、前記発光部を構成するフィラメントの素線本数が少なくとも３本以上で構成されることが望ましい。素線本数が３本を下回る場合は、長発光長ランプと短発光長ランプとで各発光部の単位長さあたりの電力密度、前記発光部の色温度および昇温速度を略同一に揃える際のフィラメントの設計範囲が極端に制約されてしまうためである。
The filament lamp applied to the light irradiation type heating apparatus according to the present invention is designed so that the number of filament strands is reduced as the light emitting portion becomes shorter. Here, as a filament lamp applied to the long light emission long lamp in the light irradiation type heating device, the filament lamp in which the length of the light emitting part is configured to be 70% or more with respect to the total length of the arc tube of the filament lamp, It is desirable that the number of filaments constituting the light emitting unit is at least 3 or more. When the number of strands is less than 3, when the power density per unit length of each light emitting unit, the color temperature of the light emitting unit, and the temperature increase rate are made substantially the same for the long light emitting long lamp and the short light emitting long lamp This is because the design range of the filament is extremely restricted.
ここで当該光照射式加熱装置における短発光長ランプに適用されるフィラメントランプとして、前記フィラメントランプの発光管の全長に対して発光部の長さが５０％以下に構成されたフィラメントランプは、前記発光部を構成するフィラメントの素線本数が多くとも２本以下で構成されることが望ましい。素線本数が２本を上回る場合は、長発光長ランプと短発光長ランプとで各発光部の単位長さあたりの電力密度、前記発光部の色温度および昇温速度を略同一に揃える際、長発光長ランプ側の製造上の設計難易度が高くなり、実現が困難となるためである。
Here, as a filament lamp applied to a short light emitting long lamp in the light irradiation type heating device, a filament lamp having a light emitting portion configured to have a length of 50% or less with respect to the total length of the light emitting tube of the filament lamp, It is desirable that the number of filaments constituting the light emitting portion is at most two. When the number of strands exceeds two, when the power density per unit length of each light emitting unit, the color temperature of the light emitting unit, and the temperature increase rate are made substantially the same in the long light emitting long lamp and the short light emitting long lamp This is because the design difficulty in manufacturing on the side of the long light emitting long lamp is increased and it is difficult to realize it.
また本発明に係る光照射装置は、当該装置に搭載される各フィラメントランプを略同一の電圧値で点灯するものである。ここで各フィラメントランプの点灯電圧値は種々の点灯条件で採用できるものであるが、特に、点灯電圧値が低い条件下において有効性が高く、各ランプの点灯電圧値は３００Ｖ以下の場合において、より高い発明の効果が期待できる。
これは高電圧時において所定の電流値に制御する場合、フィラメントを構成する素線は当該素線径が小さいものを選択しなければならず、フィラメントの設計範囲の制約が大きくなるためである。発光部を構成するフィラメントの素線径が小さくなるにつれ、フィラメントの素線本数を増やしたときの単位長さあたりの発光部の外表面積は大きくなりにくくなり、結果として前記発光部の色温度を揃える際の制約が大きくなるためである。
各フィラメントランプの点灯電圧値が３００Ｖ以下の場合は、長発光長ランプと短発光長ランプとで各発光部の大きさが極端に異なる場合であっても、各発光部の単位長さあたりの電力密度、前記発光部の色温度および昇温速度を略同一に揃えることができる。 Moreover, the light irradiation apparatus which concerns on this invention lights each filament lamp mounted in the said apparatus with the substantially same voltage value. Here, the lighting voltage value of each filament lamp can be adopted under various lighting conditions. In particular, when the lighting voltage value is low, the effectiveness is high, and the lighting voltage value of each lamp is 300 V or less. Higher effects of the invention can be expected.
This is because, when controlling to a predetermined current value at a high voltage, a strand constituting the filament must be selected to have a small strand diameter, and the design range of the filament is greatly restricted. As the filament diameter of the filament constituting the light emitting portion decreases, the outer surface area of the light emitting portion per unit length when the number of filament strands is increased is less likely to increase, and as a result, the color temperature of the light emitting portion is reduced. This is because the restriction when aligning becomes large.
When the lighting voltage value of each filament lamp is 300 V or less, even if the size of each light emitting part is extremely different between the long light emitting long lamp and the short light emitting long lamp, the unit per unit length of each light emitting part The power density, the color temperature of the light emitting unit, and the heating rate can be made substantially the same.
これは高電圧時において所定の電流値に制御する場合、フィラメントを構成する素線は当該素線径が小さいものを選択しなければならず、フィラメントの設計範囲の制約が大きくなるためである。発光部を構成するフィラメントの素線径が小さくなるにつれ、フィラメントの素線本数を増やしたときの単位長さあたりの発光部の外表面積は大きくなりにくくなり、結果として前記発光部の色温度を揃える際の制約が大きくなるためである。
各フィラメントランプの点灯電圧値が３００Ｖ以下の場合は、長発光長ランプと短発光長ランプとで各発光部の大きさが極端に異なる場合であっても、各発光部の単位長さあたりの電力密度、前記発光部の色温度および昇温速度を略同一に揃えることができる。 Moreover, the light irradiation apparatus which concerns on this invention lights each filament lamp mounted in the said apparatus with the substantially same voltage value. Here, the lighting voltage value of each filament lamp can be adopted under various lighting conditions. In particular, when the lighting voltage value is low, the effectiveness is high, and the lighting voltage value of each lamp is 300 V or less. Higher effects of the invention can be expected.
This is because, when controlling to a predetermined current value at a high voltage, a strand constituting the filament must be selected to have a small strand diameter, and the design range of the filament is greatly restricted. As the filament diameter of the filament constituting the light emitting portion decreases, the outer surface area of the light emitting portion per unit length when the number of filament strands is increased is less likely to increase, and as a result, the color temperature of the light emitting portion is reduced. This is because the restriction when aligning becomes large.
When the lighting voltage value of each filament lamp is 300 V or less, even if the size of each light emitting part is extremely different between the long light emitting long lamp and the short light emitting long lamp, the unit per unit length of each light emitting part The power density, the color temperature of the light emitting unit, and the heating rate can be made substantially the same.
尚、図５は、光照射式加熱装置１のフィラメントランプ２の配置数についての実施例も示している。図５が示す実施例は、発光管３の長さが５４０ｍｍのフィラメントランプ２が２５本配置される場合の構成であり、フィラメントランプ２の発光管３に対する発光長（Ｑ［ｍｍ］）の割合とそれぞれの本数は、３７．０％のフィラメントランプ２が４本、４６．３％のフィラメントランプ２が２本、５５．６％のフィラメントランプ２が２本、６４．８％のフィラメントランプ２が４本、７７．８％のフィラメントランプ２が１３本である。
FIG. 5 also shows an embodiment regarding the number of filament lamps 2 in the light irradiation type heating device 1. The embodiment shown in FIG. 5 is a configuration in which 25 filament lamps 2 having a length of the arc tube 3 of 540 mm are arranged, and the ratio of the emission length (Q [mm]) of the filament lamp 2 to the arc tube 3 The number of the filament lamps is 4 for 37.0%, 2 for the filament lamp 2 for 46.3%, 2 for the filament lamp 2 for 55.6%, and 2 for the filament lamp 2 for 64.8%. There are 4 filament lamps and 13 77.8% filament lamps 2.
上述した光照射加熱装置１が備える構成は、あくまで一例であり、本発明は、図示された各構成に限定されない。
The configuration of the light irradiation heating device 1 described above is merely an example, and the present invention is not limited to each illustrated configuration.
１ ： 光照射式加熱装置
２ ： フィラメントランプ
３ ： 発光管
４ ： フィラメント
５ ： 発光部
Ｗ ： ワーク 1: Light irradiation type heating device 2: Filament lamp 3: Arc tube 4: Filament 5: Light emitting part W: Workpiece
２ ： フィラメントランプ
３ ： 発光管
４ ： フィラメント
５ ： 発光部
Ｗ ： ワーク 1: Light irradiation type heating device 2: Filament lamp 3: Arc tube 4: Filament 5: Light emitting part W: Workpiece
Claims (9)
- 発光管内にフィラメントで構成された発光部を有するフィラメントランプがワークに対して複数並列配置され、該複数のフィラメントランプは、前記発光部の長さが相対的に異なるとともに、各フィラメントランプを略同一の電圧値で点灯する光照射式加熱装置において、
前記各フィラメントランプにおける、前記発光部の単位長さあたりの電力密度、前記発光部の色温度および昇温速度が略同一に揃うよう、前記発光部の長さが相対的に異なる各フィラメントランプに設けられる各発光部は、それぞれ、当該発光部を構成するフィラメントの素線本数、又は、フィラメントの素線径、又は、フィラメントを構成するフィラメント素線の総断面積、又は、フィラメントをコイル状に巻回する場合のコイル内径、又は、フィラメントをコイル状に巻回する場合のコイルピッチのうち、何れか一つ又は複数の設計要素を異ならせたことを特徴とする光照射式加熱装置。 A plurality of filament lamps having a light emitting portion made of a filament in the arc tube are arranged in parallel to the workpiece. The plurality of filament lamps have relatively different lengths of the light emitting portions, and each filament lamp is substantially the same. In the light irradiation type heating device that lights at the voltage value of
Each filament lamp has a relatively different length so that the power density per unit length of the light emitting part, the color temperature of the light emitting part, and the heating rate are substantially the same. Each of the light emitting units provided is the number of filament strands constituting the light emitting portion, the filament strand diameter, the total cross-sectional area of the filament strands constituting the filament, or the filament in a coil shape. A light irradiation type heating apparatus characterized in that any one or a plurality of design elements are made different among a coil inner diameter in the case of winding or a coil pitch in the case of winding a filament in a coil shape. - 前記複数のフィラメントランプは、前記ワークの中央領域に位置するフィラメントランプの発光部が、周辺領域に位置するフィラメントランプの発光部よりも相対的に長いことを特徴とする請求項１に記載の光照射式加熱装置。 2. The light according to claim 1, wherein in the plurality of filament lamps, a light emitting portion of a filament lamp located in a central region of the workpiece is relatively longer than a light emitting portion of a filament lamp located in a peripheral region. Irradiation heating device.
- 前記発光部は、当該発光部の電力密度（Ｐ［Ｗ／ｍｍ］）と、単位長さ当りの発光部の外表面積（Ｓ［ｍｍ２］）と、発光部のコイル内径（Ｄ［ｍｍ］）とによる比率Ｘ（Ｐ／ＤＳ）を制御することで色温度を略同一に揃えることを特徴とする請求項１に記載の光照射式加熱装置。 The light emitting unit includes a power density (P [W / mm]) of the light emitting unit, an outer surface area (S [mm 2 ]) of the light emitting unit per unit length, and a coil inner diameter (D [mm]) of the light emitting unit. The light irradiation type heating apparatus according to claim 1, wherein the color temperatures are made substantially the same by controlling the ratio X (P / DS).
- 前記発光部の短い短発光長ランプの発光部と、前記発光部の長い長発光長ランプの発光部の単位長さ当りの質量を調整することで、昇温速度が略同一に揃えられていることを特徴とする請求項１に記載の光照射式加熱装置。 By adjusting the mass per unit length of the light emitting part of the short light emitting long lamp with the short light emitting part and the light emitting part of the long long light emitting long lamp with the light emitting part, the heating rate is made substantially the same. The light irradiation type heating apparatus according to claim 1.
- 前記発光部の短い短発光長ランプと、前記発光部の長い長発光長ランプにおける、それぞれの発光部のフィラメント素線の総断面積を比較したとき、前者における総断面積が後者における総断面積より小さくなるように設計されることで、電力密度が略同一に揃えられていることを特徴とする請求項１に記載の光照射式加熱装置。 When comparing the total cross-sectional area of the filament wire of each light-emitting unit in the short light-emitting long lamp with the short light-emitting part and the long light-emitting long lamp with the long light-emitting part, the total cross-sectional area in the former is the total cross-sectional area in the latter The light irradiation type heating apparatus according to claim 1, wherein the power density is arranged to be substantially the same by being designed to be smaller.
- 前記長発光長ランプにおけるフィラメントの素線本数が、前記短発光長ランプの素線本数よりも多いことを特徴とする請求項５に記載の光照射式加熱装置。 The light irradiation type heating apparatus according to claim 5, wherein the number of filament strands in the long light emitting long lamp is larger than the number of strands in the short light emitting long lamp.
- 請求項１に記載の光照射式加熱装置における長発光長ランプとして適用可能なフィラメントランプであって、
前記フィラメントランプの発光管の全長に対して、前記発光部の長さは７０％以上となるよう構成されており、
当該フィラメントランプにおける発光部を構成するフィラメントの素線本数は、少なくとも３本以上で構成されていることを特徴とするフィラメントランプ。 A filament lamp applicable as a long light emitting long lamp in the light irradiation type heating device according to claim 1,
The length of the light emitting portion is configured to be 70% or more with respect to the total length of the arc tube of the filament lamp,
The filament lamp is characterized in that the number of filaments constituting the light emitting part in the filament lamp is at least 3 or more. - 請求項１に記載の光照射式加熱装置における短発光長ランプとして適用可能なフィラメントランプであって、
前記フィラメントランプの発光管の全長に対して、前記フィラメントランプに設けられる発光部の長さは５０％以下となるよう構成されており、
前記発光部を構成するフィラメントの素線本数は、多くとも２本以下で構成されていることを特徴とするフィラメントランプ。 It is a filament lamp applicable as a short light emission long lamp in the light irradiation type heating device according to claim 1,
The length of the light emitting portion provided in the filament lamp is configured to be 50% or less with respect to the total length of the arc tube of the filament lamp,
The filament lamp is characterized in that the number of filaments constituting the light-emitting portion is at most two. - 前記フィラメントランプの点灯電圧値は、３００Ｖ以下であることを特徴とする請求項７又は８に記載のフィラメントランプ。 The filament lamp according to claim 7 or 8, wherein a lighting voltage value of the filament lamp is 300V or less.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2020515485A JP7004065B2 (en) | 2018-04-23 | 2019-04-23 | Light irradiation type heating device and filament lamp |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2018-082112 | 2018-04-23 | ||
| JP2018082112 | 2018-04-23 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| WO2019208568A1 true WO2019208568A1 (en) | 2019-10-31 |
Family
ID=68294582
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| PCT/JP2019/017240 WO2019208568A1 (en) | 2018-04-23 | 2019-04-23 | Light irradiation-type heating device and filament lamp |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP7004065B2 (en) |
| WO (1) | WO2019208568A1 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20210225671A1 (en) * | 2020-01-21 | 2021-07-22 | Asm Ip Holding B.V. | Semiconductor processing chamber with filament lamps having nonuniform heat output |
| US20210398830A1 (en) * | 2020-06-22 | 2021-12-23 | Tokyo Electron Limited | Heating device, substrate processing system, and heating method |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002258646A (en) * | 2001-03-02 | 2002-09-11 | Ushio Inc | Heater lamp apparatus for heating roller |
| JP2008210623A (en) * | 2007-02-26 | 2008-09-11 | Ushio Inc | Filament lamp and optically irradiated heat treating apparatus |
| JP2009117237A (en) * | 2007-11-08 | 2009-05-28 | Ushio Inc | Filament lamp, and light irradiation type heat treatment device |
| JP2009200401A (en) * | 2008-02-25 | 2009-09-03 | Ushio Inc | Light irradiation type heating method and light irradiation type heating apparatus |
-
2019
- 2019-04-23 WO PCT/JP2019/017240 patent/WO2019208568A1/en active Application Filing
- 2019-04-23 JP JP2020515485A patent/JP7004065B2/en active Active
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002258646A (en) * | 2001-03-02 | 2002-09-11 | Ushio Inc | Heater lamp apparatus for heating roller |
| JP2008210623A (en) * | 2007-02-26 | 2008-09-11 | Ushio Inc | Filament lamp and optically irradiated heat treating apparatus |
| JP2009117237A (en) * | 2007-11-08 | 2009-05-28 | Ushio Inc | Filament lamp, and light irradiation type heat treatment device |
| JP2009200401A (en) * | 2008-02-25 | 2009-09-03 | Ushio Inc | Light irradiation type heating method and light irradiation type heating apparatus |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20210225671A1 (en) * | 2020-01-21 | 2021-07-22 | Asm Ip Holding B.V. | Semiconductor processing chamber with filament lamps having nonuniform heat output |
| US11842908B2 (en) * | 2020-01-21 | 2023-12-12 | Asm Ip Holding B.V. | Semiconductor processing chamber with filament lamps having nonuniform heat output |
| US20210398830A1 (en) * | 2020-06-22 | 2021-12-23 | Tokyo Electron Limited | Heating device, substrate processing system, and heating method |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP7004065B2 (en) | 2022-01-21 |
| JPWO2019208568A1 (en) | 2021-03-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP1918976B1 (en) | Filament lamp and light-irradiation-type heat treatment device | |
| JP5282409B2 (en) | Light irradiation type heating method and light irradiation type heating device | |
| WO2019208568A1 (en) | Light irradiation-type heating device and filament lamp | |
| JP2006279008A (en) | Heater and heating apparatus having the same | |
| TWI428957B (en) | Light irradiation heat treatment device | |
| US8288932B2 (en) | Filament lamp | |
| KR20230058534A (en) | Multi-zone heater | |
| JPWO2003017726A1 (en) | heater | |
| KR20080104955A (en) | Filament lamp and light irradiation type heating apparatus | |
| JP5041149B2 (en) | Filament lamp and light irradiation type heat treatment equipment | |
| JP2011103476A (en) | Heating device with heater lamp | |
| US20080298786A1 (en) | Filament lamp and light irradiation type heat treatment device | |
| JP5267765B2 (en) | Filament lamp and light irradiation type heat treatment equipment | |
| TWI640032B (en) | Tubular light source having overwind | |
| US6469426B1 (en) | Incandescent lamp having a helical coil that comprises multiple sections of different pitches | |
| JP7232415B2 (en) | heating filament lamp | |
| EP1010354B1 (en) | Ir-source with helically shaped heating element | |
| JP2014232645A (en) | Filament lamp | |
| US20090243461A1 (en) | Filament lamp | |
| KR20070109667A (en) | Apparatus for rapid thermal processing and its heating lamp | |
| JP5151773B2 (en) | Filament lamp | |
| KR20080065258A (en) | Manufacturing apparatus of fluorescent lamp and manufacturing method of the fluorescent lamp | |
| JP2002367569A (en) | Incandescent lamp |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| 121 | Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application |
Ref document number: 19793125 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |
|
| ENP | Entry into the national phase |
Ref document number: 2020515485 Country of ref document: JP Kind code of ref document: A |
|
| NENP | Non-entry into the national phase |
Ref country code: DE |
|
| 122 | Ep: pct application non-entry in european phase |
Ref document number: 19793125 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |