JP2002367569A - Incandescent lamp - Google Patents

Incandescent lamp

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JP2002367569A
JP2002367569A JP2001175326A JP2001175326A JP2002367569A JP 2002367569 A JP2002367569 A JP 2002367569A JP 2001175326 A JP2001175326 A JP 2001175326A JP 2001175326 A JP2001175326 A JP 2001175326A JP 2002367569 A JP2002367569 A JP 2002367569A
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JP
Japan
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filament
incandescent lamp
internal lead
bulb
inner lead
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JP2001175326A
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Japanese (ja)
Inventor
Minoru Asao
実 朝生
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Ushio Denki KK
Ushio Inc
Original Assignee
Ushio Denki KK
Ushio Inc
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Publication date
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  • Resistance Heating (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an incandescent lamp surely preventing the sagging of a filament, making the temperature of the whole filament uniform, making a halogen cycle good, and preventing the abnormal thinning of the filament. SOLUTION: The filament of this incandescent lamp is divided into a first filament part and a second filament part, each one end positioned on the opposite sides of the first filament part and the second filament part is connected to an inner lead rod embedded in a sealing part, the other end facing each other is connected to each inner lead wire, at least one of the inner lead wires is embedded in the sealing part for fixing, and both inner lead wires are connected each other inside a bulb.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明が属する技術分野】本発明は、半導体ウエハ等を
急速加熱する光加熱装置の光源として使用される白熱ラ
ンプに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an incandescent lamp used as a light source of an optical heating device for rapidly heating a semiconductor wafer or the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】一端封止型の白熱ランプは、一般照明用
ランプや各種装置の光源として幅広く利用されている
が、最近では、例えば半導体ウエハを急速加熱する光加
熱装置の光源としても利用されている。かかる光加熱装
置は、消費電力が1.5kW程度の複数個の一端封止型
の白熱ランプを垂直姿勢で平面状に配置し、白熱ランプ
の下方に配置されたワークである半導体ウエハに赤外線
を含む光を照射して加熱し、急速に所定温度まで昇温さ
せるものである。
2. Description of the Related Art Incandescent lamps of a one-end sealing type are widely used as lamps for general lighting and various devices. Recently, for example, they are also used as light sources for light heating devices for rapidly heating semiconductor wafers. ing. Such a light heating device arranges a plurality of one-end sealed incandescent lamps having a power consumption of about 1.5 kW in a vertical posture in a plane, and applies infrared rays to a semiconductor wafer which is a work disposed below the incandescent lamp. It is heated by irradiating the light containing the light and rapidly raising the temperature to a predetermined temperature.

【0003】図2は、光加熱装置の光源に使用される一
端封止型の白熱ランプの従来例を示す。フィラメント2
0は、タングステン素線を一次コイルに巻き、更に一次
コイルを巻回して二次コイル状に形成されたダブルコイ
ルであり、フィラメント20の両端部は一対の内部リー
ド棒15,15に接続されている。そして、内部リード
棒15,15の端部側は封止部11に埋設されたモリブ
デン箔13に接続されている。つまり、内部リード棒1
5の一端側は封止部11に固定されている。
FIG. 2 shows a conventional example of an incandescent lamp sealed at one end used as a light source of a light heating device. Filament 2
Numeral 0 denotes a double coil formed by winding a tungsten wire around a primary coil and further winding the primary coil to form a secondary coil. Both ends of the filament 20 are connected to a pair of internal lead rods 15, 15. I have. The ends of the internal lead bars 15 are connected to a molybdenum foil 13 embedded in the sealing portion 11. That is, the internal lead rod 1
One end of 5 is fixed to the sealing portion 11.

【0004】かかる白熱ランプを垂直姿勢にして点灯す
ると、消費電力が大きいので、フィラメント20が極め
て高温になり、フィラメント20は自重によって垂れ下
がり、「サグ」現象が生じる。
When such an incandescent lamp is turned on in a vertical position, the power consumption is large, so that the temperature of the filament 20 becomes extremely high, and the filament 20 hangs down by its own weight, causing a "sag" phenomenon.

【0005】このため、サポータ30の基端部30aを
封止部11に固定し、サポータ30の先端部に形成した
円環部31にフィラメント20の中腹部を引っかけてい
る。従って、フィラメント20の自重は円環部31で分
割された状態になり、フィラメント20の自重による大
きな垂れ下がりを防止している。
For this reason, the base end 30a of the supporter 30 is fixed to the sealing portion 11, and the middle part of the filament 20 is hooked on the annular portion 31 formed at the front end of the supporter 30. Therefore, the self-weight of the filament 20 is divided by the annular portion 31, thereby preventing the filament 20 from drooping due to its own weight.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、フィラ
メント20がサポータ30の円環部31で支持されてい
ても、点灯中にフィラメント20が高温になると若干で
はあるがフィラメント20が垂れ下がり、フィラメント
と円環部の拡大図である図3に示すように、フィラメン
ト20の円環部31で支持されている部分の両隣のコイ
ルが円環部31を介して短絡することになる。
However, even if the filament 20 is supported by the annular portion 31 of the supporter 30, if the temperature of the filament 20 becomes high during lighting, the filament 20 slightly hangs down, and the filament 20 As shown in FIG. 3 which is an enlarged view of the portion, the coils on both sides of the portion supported by the annular portion 31 of the filament 20 are short-circuited via the annular portion 31.

【0007】この結果、コイルが短絡した部分では本来
の抵抗値より小さくなり、電流が過剰に流れてしまい、
円環部31で支持されている部分の両隣のコイルが変形
し、フィラメント20の垂れ下がりが促進させることに
なる。
As a result, in the portion where the coil is short-circuited, the resistance becomes smaller than the original resistance value, and an excessive current flows,
The coils on both sides of the portion supported by the annular portion 31 are deformed, and the hanging of the filament 20 is promoted.

【0008】また、フィラメント20の円環部31で支
持されている部分は、フィラメント20で発生する熱
が、円環部31を介してサポータ30に奪われるので、
この部分の温度が低くなり、つまり、フィラメント20
全体の温度均一性が悪くなり、ハロゲンサイクルが良好
に行われなくなり、フィラメント20の一部が異常にや
せ細り、定格時間以内で断線するという問題があった。
In the portion of the filament 20 supported by the annular portion 31, the heat generated in the filament 20 is taken by the supporter 30 through the annular portion 31.
The temperature in this part is low, that is, the filament 20
There has been a problem that the overall temperature uniformity is deteriorated, the halogen cycle is not performed well, a part of the filament 20 becomes abnormally thin, and is broken within the rated time.

【0009】そこで本発明は、垂直点灯したときにも、
フィラメントの垂れ下がりを確実に防止することがで
き、しかも、フィラメント全体の温度が均一であり、ハ
ロゲンサイクルが良好に行われ異常なフィラメントのや
せ細りがない白熱ランプを提供することにある。
[0009] Therefore, the present invention, even when vertically lit,
An object of the present invention is to provide an incandescent lamp which can reliably prevent the filament from sagging, and has a uniform temperature throughout the filament, a good halogen cycle, and no abnormal thinning of the filament.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項1に記載の白熱ランプは、一端に封止部を有
し他端に排気管残部を有するバルブ内に、当該バルブの
管軸と直交する方向にフィラメントが配置された白熱ラ
ンプにおいて、前記フィラメントは、長手方向において
第1フィラメント部と第2フィラメント部に2分割され
ており、前記第1フィラメント部と第2フィラメント部
の反対側に位置するそれぞれの一端部は、封止部に埋設
して固定されている内部リード棒に接続されており、前
記第1フィラメント部と第2フィラメント部の互いに対
面する他端部は、それぞれ内部リード線に接続されてお
り、当該内部リード線の少なくとも一方は、封止部に埋
設して固定さるとともに、双方の内部リード線がバルブ
内で接続されていることを特徴とする。
In order to solve the above-mentioned problems, an incandescent lamp according to claim 1 is provided in a bulb having a sealing portion at one end and a remaining exhaust pipe at the other end. In an incandescent lamp in which a filament is arranged in a direction perpendicular to a tube axis, the filament is divided into a first filament portion and a second filament portion in a longitudinal direction, and the first filament portion and the second filament portion are separated from each other. Each one end located on the opposite side is connected to an internal lead bar embedded and fixed in the sealing portion, and the other end of the first filament portion and the second filament portion facing each other are Each of the internal leads is connected to an internal lead, and at least one of the internal leads is embedded and fixed in the sealing portion, and both internal leads are connected in the bulb. It is characterized in.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】以下に、図面に基づいて本発明の
実施の形態を具体的に説明する。図1は消費電力が1.
5kWの一端封止型の白熱ランプを示す。同図におい
て、石英ガラスからなるガラスバルブ10の一端に封止
部11が形成されており、他端に排気管残部12が形成
されている。そして、ガラスバルブ10内には、不活性
ガスとともに微量のハロゲンガスが封入されている。封
止部11内には一対のモリブデン箔13が埋設され、一
対の外部リード棒14の一端がモリブデン箔13にそれ
ぞれ溶接されて外部に延び出し、一対の内部リード棒1
5の一端もモリブデン箔13にそれぞれ溶接されてガラ
スバルブ10内に延び出している。つまり、内部リード
棒15の一端側は封止部11に固定されていることにな
る。
Embodiments of the present invention will be specifically described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows that the power consumption is 1.
5 shows a 5 kW one-end sealed incandescent lamp. In the figure, a sealing portion 11 is formed at one end of a glass bulb 10 made of quartz glass, and an exhaust pipe remaining portion 12 is formed at the other end. A small amount of halogen gas is sealed in the glass bulb 10 together with the inert gas. A pair of molybdenum foils 13 are embedded in the sealing portion 11, and one ends of the pair of external lead rods 14 are welded to the molybdenum foil 13, respectively, and extend to the outside.
5 are also welded to the molybdenum foil 13 and extend into the glass bulb 10. That is, one end of the internal lead bar 15 is fixed to the sealing portion 11.

【0012】フィラメント20は、タングステン素線を
一次コイルに巻き、更に一次コイルを巻回して二次コイ
ル状に形成されたダブルコイルであり、ガラスバルブ1
0の軸線と直交する方向に配置されている。さらに、フ
ィラメント20は、長手方向において第1フィラメント
部2aと第2フィラメント部2bに2分割されており、
フィラメント20の両端部、すなわち、第1フィラメン
ト部2aと第1フィラメント部2bの反対側に位置する
それぞれの端部は内部リード棒15に接続されている。
そして、第1フィラメント部2aと第2フィラメント部
2bの互いに対向する両端部は、内部リード線16が接
続されている。第2フィラメント部2bに接続された内
部リード線16の端部はコイル状に巻回されてコイル部
が形成されており、第1フィラメント部2aに接続され
た内部リード線16は、そのコイル部内を通過し、端部
が封止部11に埋設して固定されている。さらに、第2
フィラメント部2bに接続された内部リード線16のコ
イル部をカシメることによって、その内部に位置してい
る第1フィラメント部2aに接続された内部リード線1
6に接続固定されている。
The filament 20 is a double coil formed by winding a tungsten wire around a primary coil and further winding the primary coil to form a secondary coil.
It is arranged in a direction orthogonal to the axis 0. Further, the filament 20 is divided into two in a longitudinal direction into a first filament portion 2a and a second filament portion 2b,
Both ends of the filament 20, that is, respective ends located on the opposite sides of the first filament portion 2 a and the first filament portion 2 b are connected to the internal lead rod 15.
The internal lead wire 16 is connected to both ends of the first filament portion 2a and the second filament portion 2b that face each other. The end portion of the internal lead wire 16 connected to the second filament portion 2b is wound in a coil shape to form a coil portion, and the internal lead wire 16 connected to the first filament portion 2a is formed inside the coil portion. And the end is buried and fixed in the sealing portion 11. Furthermore, the second
By caulking the coil portion of the internal lead wire 16 connected to the filament portion 2b, the internal lead wire 1 connected to the first filament portion 2a located therein is caulked.
6 and is fixed.

【0013】このように、双方の内部リード線16が接
続されていることにより、第1フィラメント部2aと第
2フィラメント部2bが電気的に繋がった状態になって
おり、第1フィラメント部2aは、一方の内部リード棒
15と一方の内部リード線16で支持され、第2フィラ
メント部2bは、他方の内部リード棒15と他方の内部
リード線16で支持された状態になり、フィラメント2
0が2分割されて、それぞれのフィラメント部2a,2
bが個別に独立して支持されているので、それぞれのフ
ィラメント部2a,2bの自重を十分に小さくすること
ができる。
As described above, since the two internal lead wires 16 are connected, the first filament portion 2a and the second filament portion 2b are electrically connected, and the first filament portion 2a is connected to the first filament portion 2a. The second filament portion 2b is supported by the one internal lead rod 15 and the other internal lead wire 16 and the second filament portion 2b is supported by the other internal lead rod 15 and the other internal lead wire 16.
0 is divided into two parts, and the respective filament parts 2a, 2
Since b is supported individually and independently, the own weight of each filament part 2a, 2b can be made small enough.

【0014】この結果、それぞれのフィラメント部2
a,2bの自重を小さくできるので、それぞれのフィラ
メント部2a,2bの垂れ下がりを確実に防止でき、つ
まり、フィラメント20全体の垂れ下がりを確実に防止
でき、さらに、それぞれのフィラメント部2a,2bの
中腹部をサポーターによって支持する必要がないので、
従来問題であったサポータの円環部によってフィラメン
ト20を構成しているコイル間の短絡という現象が起こ
らなくなり、コイル間の短絡による垂れ下がりも発生し
ない。
As a result, each filament portion 2
Since the own weights of the filaments 2a and 2b can be reduced, the drooping of the respective filament portions 2a and 2b can be reliably prevented, that is, the drooping of the entire filament 20 can be surely prevented, and furthermore, the middle portions of the respective filament portions 2a and 2b Need not be supported by supporters,
The phenomenon of the short circuit between the coils constituting the filament 20 caused by the annular portion of the supporter, which has been a problem in the related art, does not occur, and the sag due to the short circuit between the coils does not occur.

【0015】また、第1フィラメント部2aと第2フィ
ラメント部2bは、その中腹部を従来技術のようにサポ
ータによって支持していないので、それぞれのフィラメ
ント部2a,2bの温度が均一になり、ハロゲンサイク
ルが良好に行われ異常なフィラメントのやせ細りが発生
することがない。つまり、フィラメント20全体の温度
が均一であるので、ガラスバルブ10内のハロゲンサイ
クルの不良が起きず、部分的にフィラメントが異常にや
せ細り断線することがない。本実施例おいて、内部リー
ド線16は、それぞれの接続部で発光して溶断しない程
度に一定の外径を有するものである。
Further, since the first filament part 2a and the second filament part 2b do not support the middle part by the supporter as in the prior art, the temperatures of the respective filament parts 2a and 2b become uniform, and the halogen content is reduced. The cycle is carried out well, and abnormal thinning of the filament does not occur. In other words, since the temperature of the entire filament 20 is uniform, the halogen cycle in the glass bulb 10 does not fail, and the filament is not partially thinned or broken. In this embodiment, the internal lead wires 16 have a constant outer diameter such that light is not emitted and blown at each connection portion.

【0016】[0016]

【発明の効果】以上説明したように、本発明は、一端に
封止部を有し他端に排気管残部を有するバルブ内に、こ
のバルブの管軸と直交する方向にフィラメントが配置さ
れた白熱ランプにおいて、フィラメントが長手方向にお
いて第1フィラメント部と第2フィラメント部に2分割
されており、それぞれのフィラメント部が内部リード棒
と内部リード線によって個別に独立して支持されている
ので、それぞれのフィラメント部の自重を小さくでき、
確実にフィラメントの垂れ下がりを防止することができ
る。
As described above, according to the present invention, a filament is disposed in a valve having a sealing portion at one end and a remaining exhaust pipe at the other end in a direction perpendicular to the tube axis of the valve. In the incandescent lamp, the filament is divided into a first filament portion and a second filament portion in the longitudinal direction, and each filament portion is individually and independently supported by the internal lead rod and the internal lead wire. The weight of the filament part can be reduced,
It is possible to reliably prevent the filament from sagging.

【0017】しかも、それぞれのフィラメント部の温度
を均一にでき、つまり、フィラメント全体の温度を均一
にできるので、バルブ内のハロゲンサイクルの不良が起
きず、部分的にフィラメントが異常にやせ細りして断線
することがない。
In addition, since the temperature of each filament portion can be made uniform, that is, the temperature of the entire filament can be made uniform, a halogen cycle failure in the bulb does not occur, and the filament is partially thinned abnormally and disconnected. Never do.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の白熱ランプの説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram of an incandescent lamp of the present invention.

【図2】従来の白熱ランプの説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram of a conventional incandescent lamp.

【図3】従来の白熱ランプのサポータとフィラメントの
一部拡大説明図である。
FIG. 3 is a partially enlarged explanatory view of a supporter and a filament of a conventional incandescent lamp.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 バルブ 11 封止部 12 排気管残部 13 モリブデン箔 14 外部リード棒 15 内部リード棒 16 内部リード線 20 フィラメント 2a 第1フィラメント部 2b 第2フィラメント部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Valve 11 Sealing part 12 Exhaust pipe remaining part 13 Molybdenum foil 14 External lead rod 15 Internal lead rod 16 Internal lead wire 20 Filament 2a First filament part 2b Second filament part

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 一端に封止部を有し他端に排気管残部を
有するバルブ内に、当該バルブの管軸と直交する方向に
フィラメントが配置された白熱ランプにおいて、 前記フィラメントは、長手方向において第1フィラメン
ト部と第2フィラメント部に2分割されており、 前記第1フィラメント部と第2フィラメント部の反対側
に位置するそれぞれの一端部は、封止部に埋設して固定
されている内部リード棒に接続されており、 前記第1フィラメント部と第2フィラメント部の互いに
対面する他端部は、それぞれ内部リード線に接続されて
おり、 当該内部リード線の少なくとも一方は、封止部に埋設し
て固定さるとともに、双方の内部リード線がバルブ内で
接続されていることを特徴とする白熱ランプ。
1. An incandescent lamp in which a filament is disposed in a bulb having a sealing portion at one end and a remaining exhaust pipe at the other end in a direction perpendicular to a tube axis of the bulb, wherein the filament is disposed in a longitudinal direction. , The first filament part and the second filament part are divided into two, and one end located on the opposite side of the first filament part and the second filament part is embedded and fixed in the sealing part. The other end portions of the first filament portion and the second filament portion facing each other are connected to an internal lead wire, and at least one of the internal lead wires is a sealing portion. An incandescent lamp, wherein the lamp is embedded and fixed in the lamp and both internal lead wires are connected in the bulb.
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