KR20070109667A - Apparatus for rapid thermal processing and its heating lamp - Google Patents

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KR20070109667A
KR20070109667A KR1020060042981A KR20060042981A KR20070109667A KR 20070109667 A KR20070109667 A KR 20070109667A KR 1020060042981 A KR1020060042981 A KR 1020060042981A KR 20060042981 A KR20060042981 A KR 20060042981A KR 20070109667 A KR20070109667 A KR 20070109667A
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heating
heat treatment
quartz tube
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treatment apparatus
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허재영
남원식
장성욱
연정륜
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코닉시스템 주식회사
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Abstract

A rapid thermal processing device and a heating lamp therefor are provided to control a temperature distribution in X and Y axes by using a temperature controller. A heating lamp includes plural heating lines(101,102,103) which are arranged in parallel to each other in a long crystal tube. Plural electrodes(101a,102a,103a,101b,102b,103b) are connected to a power supply device and coupled with both ends of the crystal tube. The first heating line couples the first electrodes with each other. The second heating line couples the second electrodes with each other. The third heating line couples the third electrodes with each other. Winding portions of the heating lines are arranged to be successive along a long axis of the crystal tube. A temperature controller adjusts the power, which is supplied to the first to third electrodes, so that a temperature variation along a long axis of a substrate is controlled for respective heating lamps.

Description

급속열처리 장치 및 그에 사용되는 가열램프{Apparatus for rapid thermal processing and its heating lamp}Apparatus for rapid thermal processing and its heating lamp

도 1은 종래의 막대형 텅스텐 할로겐 램프(10)를 나타내는 도면;1 shows a conventional rod-shaped tungsten halogen lamp 10;

도 2는 도 1의 막대형 텅스텐 할로겐 램프(10)의 장축방향으로의 발열온도를 나타낸 그래프;2 is a graph showing an exothermic temperature in the long axis direction of the rod-shaped tungsten halogen lamp 10 of FIG.

도 3은 도 1의 막대형 텅스텐 할로겐 램프(10)가 설치된 종래의 급속열처리 장치를 설명하기 위한 도면;3 is a view for explaining a conventional rapid heat treatment apparatus provided with the rod-shaped tungsten halogen lamp 10 of FIG.

도 4 및 도 5는 도 3의 문제점을 해결하기 위한 종래의 급속열처리 장치를 설명하기 위한 도면들;4 and 5 are views for explaining a conventional rapid heat treatment apparatus for solving the problem of FIG.

도 6은 본 발명의 제1실시에에 따른 급속열처리장치의 가열램프(100)를 나타낸 도면;6 is a view showing a heating lamp 100 of the rapid heat treatment apparatus according to the first embodiment of the present invention;

도 7은 도 6의 가열램프(100)가 적용된 급속열처리장치를 설명하기 위한 도면;7 is a view for explaining a rapid heat treatment apparatus to which the heating lamp 100 of FIG. 6 is applied;

도 8은 본 발명의 제2실시에에 따른 급속열처리장치의 가열램프를 나타낸 도면;8 is a view showing a heating lamp of the rapid heat treatment apparatus according to the second embodiment of the present invention;

도 9는 도 8의 가열램프가 적용된 급속열처리장치를 설명하기 위한 도면;9 is a view for explaining a rapid heat treatment apparatus to which the heating lamp of FIG. 8 is applied;

도 10은 본 발명의 제3실시예에 따른 급속열처리장치의 가열램프(200)를 나타낸 도면이다. 10 is a view showing a heating lamp 200 of the rapid heat treatment apparatus according to the third embodiment of the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 참조번호의 설명><Description of reference numbers for the main parts of the drawings>

10: 텅스텐 할로겐 램프 11: 텅스텐 코일10: tungsten halogen lamp 11: tungsten coil

11a, 11b: 전극 12, 14: 보조가열램프11a, 11b: Electrodes 12, 14: auxiliary heating lamp

20: 기판 100, 200: 가열램프20: substrate 100, 200: heating lamp

100a, 100b, 100c: 석영튜브100a, 100b, 100c: quartz tube

101, 102, 103, 201, 202, 203: 열선101, 102, 103, 201, 202, 203: hot wire

101a, 102a, 103a, 101b, 102b, 103b: 전극101a, 102a, 103a, 101b, 102b, 103b: electrode

201a, 202a, 203a, 201b, 202b, 203b: 전극201a, 202a, 203a, 201b, 202b, and 203b: electrodes

본 발명은 급속열처리 장치의 가열램프에 관한 것으로서, 특히 균일한 열처리를 하는데 적합한 가열램프에 관한 것이다. 또한 본 발명은 상기 가열램프가 적용된 급속열처리장치에 관한 것이기도 하다. The present invention relates to a heating lamp of a rapid heat treatment apparatus, and more particularly to a heating lamp suitable for uniform heat treatment. The present invention also relates to a rapid heat treatment apparatus to which the heating lamp is applied.

FPD(Flat Panel Display)를 제조함에 있어 급속열처리가 행해지는 경우가 있는데, 이 때 가열램프로는 막대형의 긴 텅스텐 할로겐 램프가 많이 사용된다. 이런 막대형 텅스텐 할로겐 램프는 양 끝 부분이 가운데 부분과는 다른 발열상태를 나타내기 때문에 램프의 장축방향으로 균일한 열처리가 이루어지지 않는다. In manufacturing a flat panel display (FPD), rapid heat treatment is sometimes performed. At this time, a long tungsten halogen lamp of a rod type is used as a heating lamp. Since the rod-shaped tungsten halogen lamp has a different heat generation state from both ends, the heat treatment is not uniform in the long axis direction of the lamp.

도 1은 종래의 막대형 텅스텐 할로겐 램프(10)를 나타내는 도면이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 막대형 텅스텐 할로겐 램프(10)는 길이가 긴 막대형 석영튜브에 하나의 텅스텐 코일(11)이 설치되어 이루어지며, 상기 석영튜브의 양단에는 전극(11a, 11b)이 설치된다. 1 shows a conventional rod-shaped tungsten halogen lamp 10. As shown in FIG. 1, the conventional tungsten halogen lamp 10 is formed by installing one tungsten coil 11 in a long rod-shaped quartz tube, and electrodes 11a, both ends of the quartz tube. 11b) is installed.

도 2는 도 1의 막대형 텅스텐 할로겐 램프(10)의 장축방향으로의 발열온도를 나타낸 그래프이다. 도 2에 도시된 바와 같이 램프(10)의 양 끝 부분이 가운데 부분과는 다른 발열 상태를 나타낸다. FIG. 2 is a graph showing an exothermic temperature in the long axis direction of the rod-shaped tungsten halogen lamp 10 of FIG. 1. As shown in FIG. 2, both ends of the lamp 10 exhibit a different heating state from the center portion.

도 3은 도 1의 막대형 텅스텐 할로겐 램프(10)가 설치된 종래의 급속열처리 장치를 설명하기 위한 도면이다. 도 3을 참조하면, 각각의 가열램프(10)는 독립적으로 공급되는 전력량을 제어받을 수 있으므로 가열램프(10)의 단축방향(Y축방향)으로 온도편차가 발생하면 각 램프(10)에 연결되는 온도제어기를 통하여 각 램프(10)의 온도를 제어함으로써 기판(20)의 Y축 방향으로의 온도를 균일하게 할 수 있다. 그러나 도 2와 같은 원인으로 인하여 가열램프(10)의 장축방향(X축방향)으로의 온도편차가 발생하면 X축방향으로의 온도를 제어할 방법이 없어서 균일한 열처리가 이루어지지 않는다. 따라서 도 3의 경우는 X축 방향의 기판(20) 가장자리 부분이 덜 가열되는 문제점이 발생한다. FIG. 3 is a view for explaining a conventional rapid heat treatment apparatus in which the rod-shaped tungsten halogen lamp 10 of FIG. 1 is installed. Referring to FIG. 3, each of the heating lamps 10 may be controlled independently of the amount of power supplied, so that when the temperature deviation occurs in the short-axis direction (Y-axis direction) of the heating lamp 10, each of the heating lamps 10 is connected to each lamp 10. By controlling the temperature of each lamp 10 through the temperature controller, the temperature in the Y-axis direction of the substrate 20 can be made uniform. However, when a temperature deviation occurs in the long axis direction (X-axis direction) of the heating lamp 10 due to the same cause as in FIG. 2, there is no method of controlling the temperature in the X-axis direction, thereby preventing uniform heat treatment. Therefore, in the case of FIG. 3, a problem occurs that the edge portion of the substrate 20 in the X-axis direction is less heated.

도 4 및 도 5는 도 3의 문제점을 해결하기 위한 종래의 급속열처리 장치를 설명하기 위한 도면들이다. 도 4의 경우에는 X축방향의 가장자리 부분에 가열램 프(10)와 수직하게 겹치도록 보조가열램프(12)를 설치한 경우이고, 도 5의 경우에는 X축방향의 가장자리 부분에만 가열램프(10) 사이사이에 짧은 보조가열램프(14)를 추가하여 설치한 경우이다. 그러나 이러한 방법으로 문제를 해결하고자 할 경우에는 열처리 장치의 크기가 커지는 문제점이 있다. 4 and 5 are views for explaining a conventional rapid heat treatment apparatus for solving the problem of FIG. In the case of FIG. 4, the auxiliary heating lamp 12 is installed to vertically overlap the heating lamp 10 at the edge portion in the X-axis direction, and in the case of FIG. 5, the heating lamp (only at the edge portion in the X-axis direction). 10) This is the case where a short auxiliary heating lamp 14 is added between them. However, when trying to solve the problem by this method, there is a problem that the size of the heat treatment apparatus increases.

따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 열처리장치의 크기를 증가시키지 않으면서도 용이하게 기판전체에 대해 균일한 열처리 온도를 얻을 수 있는 급속열처리 장치의 가열램프를 제공하는 데 있다. Accordingly, a technical object of the present invention is to provide a heating lamp of a rapid heat treatment apparatus capable of easily obtaining a uniform heat treatment temperature for the entire substrate without increasing the size of the heat treatment apparatus.

본 발명은 이루고자 하는 다른 기술적 과제는 상기 가열램프가 적용된 급속열처리장치를 제공하는 데 있다. Another object of the present invention is to provide a rapid heat treatment apparatus to which the heating lamp is applied.

상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일예에 따른 급속열처리 장치의 가열램프는, 석영튜브의 양쪽단에 전원공급장치에 연결되는 복수개의 전극이 설치되고, 상기 석영튜브 내에는 상기 석영튜브 양단의 전극을 각각 연결하며 감김부위의 위치가 다른 복수개의 열선이 나란히 배열되는 것을 특징으로 한다. In the heating lamp of the rapid heat treatment apparatus according to an embodiment of the present invention for achieving the above technical problem, a plurality of electrodes are connected to both ends of the quartz tube is connected to the power supply device, the inside of the quartz tube It is characterized in that the plurality of heating wires are connected to each other and the position of the winding portion is connected side by side, respectively.

상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 다른 예에 따른 급속열처리 장치의 가열램프는, 전원장치에 연결되는 복수개의 전극이 석영튜브의 한쪽단에 설치되며, 상기 석영튜브 내에는 상기 전극에 양쪽 끝이 각각 연결되는 복수개의 열선 이 나란히 설치되며, 상기 열선 각각은 길이 및 감김부위의 위치가 다른 것을 특징으로 한다. In the heating lamp of the rapid heat treatment apparatus according to another embodiment of the present invention for achieving the above technical problem, a plurality of electrodes connected to the power supply is installed on one end of the quartz tube, both ends of the electrode in the quartz tube. The plurality of heating wires are connected to each other are installed side by side, each of the heating wires is characterized in that the length and the position of the wound portion is different.

상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 또 다른 예에 따른 급속열처리 장치의 가열램프는, 복수개의 석영튜브가 하나의 조를 이루며 각 석영튜브 내에는 하나의 열선이 설치되는데, 상기 각 열선은 감김부위가 서로 다른 것을 특징으로 한다. In the heating lamp of the rapid heat treatment apparatus according to another embodiment of the present invention for achieving the above technical problem, a plurality of quartz tubes form a pair and one heating wire is installed in each quartz tube, each of the heating wire is wound The site is characterized by different.

상기 감김부위는 상기 석영튜브의 장축방향으로 실질적으로 연속하도록 상기 열선이 설치되는 것이 바람직하다. Preferably, the winding portion is provided with the heating wire so as to be substantially continuous in the long axis direction of the quartz tube.

상기 다른 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 급속열처리 장치는, 상기 가열램프 복수개가 나란하게 배열되도록 설치되는 것을 특징으로 한다. 이 때, 상기 석영튜브 내에 있는 복수개의 열선에 가해지는 전력이 독립적으로 제어되도록 상기 가열램프의 전극이 상기 전원공급장치에 연결되는 것이 바람직하다. The rapid heat treatment apparatus according to the present invention for achieving the above another technical problem is characterized in that the plurality of heating lamps are installed to be arranged side by side. At this time, it is preferable that the electrode of the heating lamp is connected to the power supply so that the power applied to the plurality of heating wires in the quartz tube is independently controlled.

이하에서, 본 발명의 바람직한 실시예들을 첨부한 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 아래의 실시예들은 본 발명의 내용을 이해하기 위해 제시된 것일 뿐이며 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술적 사상 내에서 많은 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명의 권리범위가 이러한 실시예들에 한정되는 것으로 해석돼서는 안 된다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, preferred embodiments of the present invention will be described in detail. The following embodiments are only presented to understand the content of the present invention, and those skilled in the art may make many modifications within the technical spirit of the present invention. Therefore, the scope of the present invention should not be construed as limited to these embodiments.

[실시예1] Example 1

도 6은 본 발명의 제1실시에에 따른 급속열처리장치의 가열램프(100)를 나타낸 도면이다. 본 발명에 따른 가열램프(100)는 길이가 긴 막대형 석영튜브 내에 복수개의 열선(101, 102, 103)이 나란하게 설치되어 이루어진다. 상기 석영튜브의 양쪽단에는 전원공급장치(미도시)에 연결되는 복수개의 전극(101a, 102a, 103a, 101b, 102b, 103b)이 설치된다. 6 is a view showing a heating lamp 100 of the rapid heat treatment apparatus according to the first embodiment of the present invention. In the heating lamp 100 according to the present invention, a plurality of heating wires 101, 102, and 103 are installed side by side in a long rod-shaped quartz tube. Both ends of the quartz tube are provided with a plurality of electrodes 101a, 102a, 103a, 101b, 102b, 103b connected to a power supply (not shown).

제1열선(101)은 제1전극(101a, 101b)을 연결시키고, 제2열선(102)은 제2전극(102a, 102b)을 연결시키며, 제3열선(103)은 제3전극(103a, 103b)을 연결시킨다. 각 열선(101, 102, 103)은 실질적으로 발열이 이루어지는 감김부위(코일형태)가 다른 곳에 위치한다. 각 열선(101, 102, 103)의 감김부위는 상기 석영튜브의 장축방향으로 실질적으로 연속하도록 설치되어야 바람직하다. 도 6에서는 좌측에서 우측으로 갈수록 제1열선(101), 제2열선(102), 및 제3열선(103)의 감김부위가 차례로 위치한다. The first heating wire 101 connects the first electrodes 101a and 101b, the second heating wire 102 connects the second electrodes 102a and 102b, and the third heating wire 103 is the third electrode 103a. , 103b). Each of the heating wires 101, 102, and 103 are positioned at different places where the winding portion (coil shape), which generates heat substantially. The winding portions of the heating wires 101, 102, and 103 are preferably installed to be substantially continuous in the long axis direction of the quartz tube. In FIG. 6, the winding portions of the first heating wire 101, the second heating wire 102, and the third heating wire 103 are sequentially located from the left to the right.

도 7은 도 6의 가열램프(100)가 적용된 급속열처리장치를 설명하기 위한 도면이다. 도시된 바와 같이 막대형 가열램프(100) 복수개가 나란하게 배열되는데, 온도제어기를 통하여 제1전극(101a, 101b), 제2전극(102a, 102b), 제3전극(103a, 103b)에 인가되는 전력량을 조절하면 기판(20)의 X축방향으로의 온도분포를 각 가열램프(100)별로 제어할 수 있게 된다. FIG. 7 is a view for explaining a rapid heat treatment apparatus to which the heating lamp 100 of FIG. 6 is applied. As shown, a plurality of rod-shaped heating lamps 100 are arranged side by side, and are applied to the first electrodes 101a and 101b, the second electrodes 102a and 102b, and the third electrodes 103a and 103b through a temperature controller. By adjusting the amount of power to be controlled, the temperature distribution in the X-axis direction of the substrate 20 can be controlled for each heating lamp 100.

[실시예 2]Example 2

도 8은 본 발명의 제2실시에에 따른 급속열처리장치의 가열램프를 나타낸 도 면이다. 도 6과 달리 복수개의 석영튜브(100a, 100b, 100c)가 하나의 조를 이루며, 각 열선(101, 102, 103)이 석영튜브(100a, 100b, 100c) 마다에 독립적으로 하나씩 설치된다. 각 열선(101, 102, 103)은 감김부위가 서로 다르며, 이 때 상기 감김부위는 석영튜브(100a, 100b, 100c)의 장축방향으로 실질적으로 연속하도록 배치되는 것이 바람직하다. 8 is a view showing a heating lamp of the rapid heat treatment apparatus according to the second embodiment of the present invention. Unlike in FIG. 6, a plurality of quartz tubes 100a, 100b, and 100c form a pair, and each heating wire 101, 102, and 103 is independently provided for each quartz tube 100a, 100b, 100c. Each of the heating wires (101, 102, 103) is different from each other, the winding portion is preferably disposed so as to be substantially continuous in the long axis direction of the quartz tube (100a, 100b, 100c).

도 9는 도 8의 가열램프가 적용된 급속열처리장치를 설명하기 위한 도면이다. 도시된 바와 같이 한조의 램프(100a, 100b, 100c)가 복수개 나란하게 배열되는데, 온도제어기를 통하여 제1전극(201a, 201b), 제2전극(202a, 202b), 제3전극(203a, 203b)에 인가되는 전력량을 조절하면 기판(20)의 X축방향으로의 온도분포를 한조의 램프별로 제어할 수 있게 된다. FIG. 9 is a view for explaining a rapid heat treatment apparatus to which the heating lamp of FIG. 8 is applied. As shown, a plurality of sets of lamps 100a, 100b, and 100c are arranged side by side. The first electrodes 201a and 201b, the second electrodes 202a and 202b, and the third electrodes 203a and 203b are arranged through a temperature controller. By adjusting the amount of power applied to), it is possible to control the temperature distribution in the X-axis direction of the substrate 20 for each set of lamps.

[실시예 3]Example 3

도 10은 본 발명의 제3실시예에 따른 급속열처리장치의 가열램프(200)를 나타낸 도면이다. 가열램프(200)는 길이가 긴 막대형 석영튜브 내에 복수개의 열선(201, 202, 203)이 나란하게 설치되어 이루어진다. 10 is a view showing a heating lamp 200 of the rapid heat treatment apparatus according to the third embodiment of the present invention. The heating lamp 200 includes a plurality of heating wires 201, 202, and 203 arranged side by side in a long rod-shaped quartz tube.

전원공급장치(미도시)에 연결되는 전극(201a, 202a, 203a, 201b, 202b, 203b)은 상기 석영튜브의 한쪽단에 설치되며, 각 열선(201, 202, 203)의 양쪽끝은 상기 석영튜브의 한쪽단에 있는 상기 전극에 연결된다. 즉 제1열선(201)은 제1전극(201a, 201b)을 연결시키고, 제2열선(202)은 제2전극(202a, 202b)을 연결시키고, 제3열선(203)은 제3전극(203a, 203b)을 연결시킨다. 제1열선(201), 제2열선(202), 및 제3열선(203)으로 갈수록 길이가 길며 발열이 주로 이루어지는 감김부위(코일부위)의 위치는 각 열선마다 다르다. 각 열선(201, 202, 203)의 감김부위는 상기 석영튜브의 장축방향(Y축방향)으로 실질적으로 연속하도록 배치되어야 균일한 온도분포를 위해 바람직하다. Electrodes 201a, 202a, 203a, 201b, 202b, and 203b connected to a power supply (not shown) are installed at one end of the quartz tube, and both ends of each heating wire 201, 202, and 203 are the quartz. It is connected to the electrode at one end of the tube. That is, the first heating wire 201 connects the first electrodes 201a and 201b, the second heating wire 202 connects the second electrodes 202a and 202b, and the third heating wire 203 is the third electrode ( 203a, 203b) are connected. The length of the winding portion (coil portion) where the length of the first heating wire 201, the second heating wire 202, and the third heating wire 203 is longer and mainly generates heat is different for each heating wire. The winding portion of each heating wire 201, 202, 203 is preferably arranged to be substantially continuous in the long axis direction (Y-axis direction) of the quartz tube for uniform temperature distribution.

상술한 바와 같이 본 발명에 의하면, 가열램프 수를 증가시키지 않고도 가열램프의 단축방향(Y축방향)으로 뿐만 아니라 장축방향(X축방향)으로의 온도분포를 용이하게 제어할 수 있다. As described above, according to the present invention, it is possible to easily control the temperature distribution not only in the short axis direction (Y axis direction) but also in the long axis direction (X axis direction) of the heating lamp without increasing the number of heating lamps.

Claims (11)

석영튜브의 양쪽단에 전원공급장치에 연결되는 복수개의 전극이 설치되고, 상기 석영튜브 내에는 상기 석영튜브 양단의 전극을 각각 연결하며 감김부위의 위치가 다른 복수개의 열선이 나란히 배열되는 것을 특징으로 하는 급속열처리장치의 가열램프. A plurality of electrodes are connected to both ends of the quartz tube and connected to a power supply device, and the plurality of heating wires are connected to the electrodes at both ends of the quartz tube, and the plurality of heating wires having different positions of the wound parts are arranged side by side. Heating lamp of a rapid heat treatment device. 제1항에 있어서, 상기 감김부위가 상기 석영튜브의 장축방향으로 실질적으로 연속하도록 상기 열선이 설치되는 것을 특징으로 하는 급속열처리장치의 가열램프. The heating lamp of claim 1, wherein the heating wire is installed such that the winding portion is substantially continuous in the long axis direction of the quartz tube. 제1항의 가열램프 복수개가 나란하게 배열되도록 설치되는 것을 특징으로 하는 급속열처리 장치. A rapid heat treatment apparatus characterized in that the plurality of heating lamps of claim 1 are arranged to be arranged side by side. 제3항에 있어서, 상기 석영튜브 내에 있는 복수개의 열선에 가해지는 전력이 독립적으로 제어되도록 상기 가열램프의 전극이 상기 전원공급장치에 연결되는 것을 특징으로 하는 급속열처리장치. 4. The rapid heat treatment apparatus according to claim 3, wherein an electrode of the heating lamp is connected to the power supply so that power applied to the plurality of heating wires in the quartz tube is independently controlled. 전원장치에 연결되는 복수개의 전극이 석영튜브의 한쪽단에 설치되며, 상기 석영튜브 내에는 상기 전극에 양쪽 끝이 각각 연결되는 복수개의 열선이 나란히 설치되며, 상기 열선 각각은 길이 및 감김부위의 위치가 다른 것을 특징으로 하는 급 속열처리장치의 가열램프. A plurality of electrodes connected to the power supply device is installed at one end of the quartz tube, and a plurality of heating wires connected to both ends of the electrode are installed side by side in the quartz tube, and each of the heating wires has a length and a wound position. Heating lamp of the rapid heat treatment apparatus, characterized in that different. 제5항에 있어서, 상기 감김부위가 상기 석영튜브의 장축방향으로 실질적으로 연속하도록 상기 열선이 설치되는 것을 특징으로 하는 급속열처리장치의 가열램프. The heating lamp of claim 5, wherein the heating wire is installed such that the winding portion is substantially continuous in the long axis direction of the quartz tube. 제5항의 가열램프 복수개가 나란하게 배열되도록 설치되는 것을 특징으로 하는 급속열처리 장치. A rapid heat treatment apparatus characterized in that the plurality of heating lamps of claim 5 are arranged to be arranged side by side. 제7항에 있어서, 상기 석영튜브 내에 있는 복수개의 열선에 가해지는 전력이 독립적으로 제어되도록 상기 가열램프의 전극이 상기 전원공급장치에 연결되는 것을 특징으로 하는 급속열처리장치. 8. The rapid heat treatment apparatus according to claim 7, wherein an electrode of the heating lamp is connected to the power supply so that power applied to the plurality of heating wires in the quartz tube is independently controlled. 복수개의 석영튜브가 하나의 조를 이루며 각 석영튜브 내에는 하나의 열선이 설치되는데, 상기 각 열선은 감김부위가 서로 다른 것을 특징으로 하는 급속열처리장치의 가열램프. A plurality of quartz tubes form a group and one heating wire is installed in each quartz tube, wherein each heating wire is a heating lamp of the rapid heat treatment apparatus, characterized in that the winding portion is different. 제9항에 있어서, 상기 석영튜브의 장축방향으로 실질적으로 연속하도록 상기 감김부위가 배치되는 것을 특징으로 하는 급속열처리장치의 가열램프. 10. The heating lamp of claim 9, wherein the winding portion is disposed to be substantially continuous in the long axis direction of the quartz tube. 하나의 석영튜브에 감김부위가 다른 열선 복수개가 설치되고, 각각의 열선에 공급되는 전력을 독립적으로 제어하는 온도제어기를 포함하여 이루어지는 급속열처리장치의 가열램프. A heating lamp of a rapid heat treatment apparatus, comprising a temperature controller for controlling a plurality of heating wires having different winding portions in one quartz tube and independently controlling electric power supplied to each heating wire.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN109540652A (en) * 2019-01-04 2019-03-29 中国工程物理研究院总体工程研究所 For the quartz lamp under high-power high overload environment

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