WO2019206721A1 - Vorrichtung zur abdichtung zweier mit unterschiedlichen fluiden gefüllter räume bei einer mems-sensoranordnung - Google Patents

Vorrichtung zur abdichtung zweier mit unterschiedlichen fluiden gefüllter räume bei einer mems-sensoranordnung Download PDF

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Wolfgang Wettemann-Del Chin
Egon Stratmann
Marcus Mutschler
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Robert Bosch Gmbh
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    • B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B2201/00—Specific applications of microelectromechanical systems
    • B81B2201/02—Sensors
    • B81B2201/0264—Pressure sensors

Definitions

  • the present invention relates to a sealing device for sealing a fluid-filled space in a MEMS sensor assembly.
  • the invention further relates to a pressure sensor, in particular for use in
  • Air conditioners or the like preferably in vehicles.
  • the invention also relates to a method for sealing a space filled with a fluid in a MEMS sensor arrangement.
  • Vehicle air conditioning systems increase the comfort of vehicle occupants, especially in the summer months by lowering the vehicle's interior temperature in strong sunlight.
  • a refrigerant is used in the vehicle air conditioning.
  • Known vehicle air conditioning systems also include pressure sensors for measuring the pressure of the refrigerant of the air conditioner in the vehicle to detect leaks can.
  • the pressure sensor element located, for example, on a printed circuit board is physically separated from the cooling medium by a so-called oil reservoir in order to protect the sensor element by the effects of the refrigerant.
  • the oil template is filled with oil and then sealed.
  • the invention provides a sealing device
  • Sealing a fluid-filled space in a MEMS sensor assembly comprising a sealing device, the sealing device comprising a channel connected to the one space, and wherein in the channel
  • Sealing element for sealing the channel is arranged such that the channel and / or the sealing element are formed such that the sealing element is sealingly fixed in the channel at least by a mechanical clamping.
  • the invention provides a pressure sensor
  • a vehicle comprising, a sensor element, which is arranged in a space and is surrounded by a fluid at least partially, and wherein the space is sealed by a sealing means, and wherein the sealing means comprises a channel, which is connected to the space, and wherein in the channel, a sealing element for sealing the channel is arranged such that the channel and / or the sealing element are formed such that the sealing element is sealingly fixed in the channel at least by a mechanical clamping.
  • the invention provides a method for sealing two spaces filled with different fluids in a MEMS sensor arrangement comprising the steps of: Providing a fluid connection to a closed space,
  • the sealing device Arranging a sealing device in the fluid connection, wherein the sealing device comprises a channel which is connected to the space,
  • the channel and the sealing element are formed so that the sealing element is sealingly fixed in the channel by an at least partial positive locking.
  • the advantage of this is that it allows a simple and at the same time extremely reliable fixing of the sealing element and thus a reliable and durable seal.
  • the wall thickness of the channel is designed to form the at least partial positive connection.
  • the sealing element has a smaller elasticity than at least the portion of the channel adjacent to the sealing element.
  • the sealing element made of metal, in particular steel, and / or the channel is made of plastic. This allows a particularly simple way to insert and set the sealing element in the channel. At the same time, the channel can be manufactured extremely inexpensively, for example by injection molding.
  • Sealing element adjacent area a recess for at least partially receiving the sealing element.
  • the sealing element is designed in the form of a ball and the channel has a substantially circular cross-section.
  • the sealing device has an insertion chamfer adapted to the sealing element, which in particular is funnel-shaped.
  • the diameter of the ball is greater than the diameter of the channel.
  • Figure 1 shows a device according to an embodiment of the present invention in cross section
  • Figure 2 shows a part of a pressure sensor according to an embodiment of
  • FIG. 3 steps of a method according to an embodiment of the present invention.
  • Figure 1 shows a device according to an embodiment of the present invention in cross section.
  • FIG. 1 shows a device 1 for sealing two spaces 2, 3 filled with different fluids.
  • the spaces 2, 3 are fluidly connected to one another via a channel 5 of a sealing device 4.
  • a ball 6 is inserted, whose diameter 10 is greater than the inner diameter 11 of the channel 5.
  • the ball 6 is made of metal, the channel 5 made of plastic.
  • Wall thickness 5 'of the channel 5 is chosen or designed so that a part of an elastic deformation of the channel 5 in the region 5a of the position of the ball 6 is made possible. This will cause a relaxation of the
  • Plastic ie a shrinking back of the channel 5 after insertion of the ball 6 allows, which provides a positive connection of the ball 6 with the channel 5. additionally can in order to support the positive connection a recess 7, for example, circular segment-shaped, in the region 5a of the desired fixing position of the ball 6 in the channel 5 are arranged. This recess 7 allows the ball 6 is additionally held in its axial position within the channel 5 when pressurized.
  • a Ein beneficiafase 8 is arranged, which is funnel-shaped and which serves to provide a simple insertion of the ball 6 in the channel 5.
  • the angle of the funnel-shaped Einstockedfase 8 is approximately 45 °, wherein the height of the funnel, ie parallel to the axis of the channel 5 is approximately 25% based on the total length of the channel 5.
  • the offset of the ball 6 in the channel 5 is approximately 50% of the total length of the channel 5. Die
  • Wall thickness 5 'in relation to the inner diameter 11 is about 33%.
  • Deviations of up to 75%, in particular up to 50%, preferably up to 25%, can occur here.
  • Figure 2 shows a part of a pressure sensor according to an embodiment of the present invention in cross section.
  • an oil frame 102 is arranged, which comprises a space 2, which is used as an oil reservoir.
  • a sensor element in the form of a PorSi chip 101 is connected to this space 2, - PorSi denotes porous silicon -
  • a sealing device 4 is arranged on the side of the space 2 facing away from the sensor element 101 for sealing the same, which comprises a channel 5 which is sealed with a ball 6 made of steel and so the space 2, the oil reservoir, against a second space 3 seals.
  • FIG. 3 shows steps of a method according to an embodiment of the present invention.
  • a method for sealing two spaces filled with different fluids in a MEMS sensor arrangement is shown in FIG.
  • a first step S1 provision is made of a fluid connection to a closed space.
  • a second step S2 arranging a
  • Sealing means in the fluid connection wherein the sealing means comprises a channel which is connected to the space.
  • a sealing element is introduced into the channel.
  • a setting of the sealing element in the channel to seal the channel by a mechanical clamping takes place.
  • At least one of the embodiments of the invention has at least one of the following advantages: Physical separation of a sensor element and a cooling medium.

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Abdichtungsvorrichtung (1) zur Abdichtung eines mit einem Fluid gefüllten Raums (2) bei einer MEMS- Sensoranordnung, umfassend eine Dichteinrichtung (4) wobei die Dichteinrichtung (4) einen Kanal (5) umfasst, der mit dem einen Raum (2) verbunden ist, und wobei in dem Kanal (5) ein Dichtelement (6) zur Abdichtung des Kanals (5) angeordnet ist derart, dass der Kanal (5) und/oder das Dichtelement (6) derart ausgebildet sind, sodass das Dichtelement (6) im Kanal (5) durch eine mechanische Klemmung abdichtend festgelegt ist.

Description

Beschreibung
Titel
Vorrichtung zur Abdichtung zweier mit unterschiedlichen Fluiden gefüllter
Räume bei einer MEMS-Sensoranordnung
Tech nisches Gebiet
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Abdichtungsvorrichtung zur Abdichtung eines mit einem Fluid gefüllten Raums bei einer MEMS-Sensoranordnung.
Die Erfindung betrifft weiter einen Drucksensor, insbesondere zum Einsatz in
Klimaanlagen oder dergleichen, vorzugsweise in Fahrzeugen.
Die Erfindung betrifft ebenfalls ein Verfahren zur Abdichtung eines mit einem Fluid gefüllten Raums bei einer MEMS-Sensoranordnung.
Stand der Technik
Obwohl die vorliegende Erfindung allgemein auf beliebige Fluide anwendbar ist, wird die vorliegende Erfindung in Bezug auf Öl als erstes Fluid und Luft als zweites Fluid erläutert.
Obwohl die vorliegende Erfindung allgemein auf beliebige Sensoranordnungen anwendbar ist, wird die vorliegende Erfindung in Bezug auf Drucksensoren erläutert.
Obwohl die vorliegende Erfindung allgemein auf beliebigen Gebieten einsetzbar ist, wird die vorliegende Erfindung in Bezug auf Fahrzeug- Klimaanlagen erläutert.
Fahrzeug-Klimaanlagen erhöhen den Komfort von Fahrzeuginsassen, insbesondere in den Sommermonaten, indem sie die Innentemperatur des Fahrzeugs bei starker Sonneneinstrahlung senken. Hierzu wird in der Fahrzeug- Klimaanlage ein Kältemittel eingesetzt. Bekannte Fahrzeug- Klimaanlagen umfassen dabei auch Drucksensoren zur Messung des Drucks des Kältemittels der Klimaanlage im Fahrzeug, um Leckagen detektieren zu können. Bei bereits bekannten Drucksensoren wird das beispielsweise auf einer Leiterplatte befindliche Drucksensorelement zum Kühlmedium durch eine sogenannte Ölvorlage physisch getrennt, um das Sensorelement durch Einwirkungen des Kältemittels zu schützen. Die Ölvorlage wird dabei mit Öl befüllt und anschließend dicht verschlossen.
Offenbaru ng der Erfindu ng
In einer Ausführungsform stellt die Erfindung eine Abdichtungsvorrichtung zur
Abdichtung eines mit einem Fluid gefüllten Raums bei einer MEMS-Sensoranordnung bereit, umfassend eine Dichteinrichtung, wobei die Dichteinrichtung einen Kanal umfasst, der mit dem einen Raum verbunden ist, und wobei in dem Kanal ein
Dichtelement zur Abdichtung des Kanals angeordnet ist derart, dass der Kanal und/oder das Dichtelement derart ausgebildet sind, sodass das Dichtelement im Kanal zumindest durch eine mechanische Klemmung abdichtend festgelegt ist.
In einer weiteren Ausführungsform stellt die Erfindung einen Drucksensor,
insbesondere zum Einsatz in Klimaanlagen oder dergleichen, vorzugsweise in
Fahrzeugen, bereit, umfassend ein Sensorelement , welches in einem Raum angeordnet ist und von einem Fluid zumindest teilweise umgeben ist, und wobei der Raum mittels einer Dichteinrichtung abgedichtet ist, und wobei die Dichteinrichtung einen Kanal umfasst, der mit dem Raum verbunden ist, und wobei in dem Kanal ein Dichtelement zur Abdichtung des Kanals angeordnet ist derart, dass der Kanal und/oder das Dichtelement derart ausgebildet sind, sodass das Dichtelement im Kanal zumindest durch eine mechanische Klemmung abdichtend festgelegt ist.
In einer weiteren Ausführungsform stellt die Erfindung ein Verfahren zur Abdichtung zweier mit unterschiedlichen Fluiden gefüllter Räume bei einer MEMS- Sensoranordnung bereit, umfassend die Schritte: - Bereitstellen einer Fluid-Verbindung zu einem geschlossenen Raum,
- Anordnen einer Dichteinrichtung in der Fluid-Verbindung, wobei die Dichteinrichtung einen Kanal umfasst, der mit dem Raum verbunden ist,
- Einführen eines Dichtelements in den Kanal und
- Festlegen des Dichtelements im Kanal zur Abdichtung des Kanals zumindest durch eine mechanische Klemmung.
Einer der damit erzielten Vorteile ist, dass trotz des üblicherweise begrenzten
Bauraums bei einer MEMS-Sensoranordnung eine äußerst dichte Verbindung zwischen zwei Räumen beziehungsweise ein äußerst dichter Verschluss eines Raums erreicht werden kann, die gegenüber dem bisher bekannten reinen Einpressen eines Dichtelements wesentlich dichter ist. Ein weiterer Vorteil ist, dass eine einfache und gleichzeitig kostengünstige Abdichtung bereitgestellt werden kann, da auf weitere Zusatzprozesse für das Verschließen bzw. Abdichten verzichtet werden kann.
Weitere Merkmale, Vorteile und weitere Ausführungsformen der Erfindung sind im Folgenden beschrieben oder werden dadurch offenbar:
Gemäß einer vorteilhaften Weiterbildung sind der Kanal und das Dichtelement so ausgebildet, dass das Dichtelement im Kanal durch einen zumindest teilweisen Formschluss abdichtend festgelegt ist. Vorteil hiervon ist, dass damit eine einfache und gleichzeitig äußerst zuverlässige Festlegung des Dichtelements und damit eine zuverlässige und dauerhafte Abdichtung ermöglicht wird.
Gemäß einer weiteren vorteilhaften Weiterbildung ist die Wandstärke des Kanals zur Ausbildung des zumindest teilweisen Formschlusses ausgebildet. Damit ist eine einfache und gleichzeitig kostengünstige Ausbildung des Kanals bei gleichzeitig zuverlässiger Abdichtung durch das Dichtelement möglich.
Gemäß einer weiteren vorteilhaften Weiterbildung weist das Dichtelement eine kleinere Elastizität auf, als zumindest der dem Dichtelement benachbarte Abschnitt des Kanals. Damit wird ein einfaches Einführen oder Einpressen des Dichtelements in den Kanal sichergestellt, da dieses härter ausgeführt wird als der Kanal an der entsprechenden Festlegestelle des Dichtelements.
Gemäß einer weiteren vorteilhaften Weiterbildung ist das Dichtelement aus Metall, insbesondere Stahl, und/oder der Kanal aus Kunststoff hergestellt. Damit wird auf besonders einfache Weise ein Einführen und Festlegen des Dichtelements im Kanal ermöglicht. Gleichzeitig kann der Kanal äußerst kostengünstig, beispielsweise durch Spritzgießen, hergestellt werden.
Gemäß einer weiteren vorteilhaften Weiterbildung weist der Kanal in den dem
Dichtelement benachbarten Bereich eine Aussparung zur zumindest teilweisen Aufnahme des Dichtelements auf. Damit ist eine noch zuverlässigere Festlegung möglich, da beispielsweise durch die entsprechende Aussparung bzw. Freistich der Formschluss des Dichtelements mit dem Kanal unterstützt werden kann.
Gemäß einer weiteren vorteilhaften Weiterbildung ist das Dichtelement in Form einer Kugel ausgebildet und der Kanal weist im Wesentlichen kreisförmigen Querschnitt auf. Damit ist eine einfache und kostengünstige Herstellung des Kanals sowie Einbringen des Dichtelements möglich.
Gemäß einer weiteren vorteilhaften Weiterbildung weist die Dichteinrichtung eine an das Dichtelement angepasste Einführfase auf, die insbesondere trichterförmig ausgebildet ist. Vorteil hiervon ist eine besonders einfache Einbringung bzw.
Einführung des Dichtelements in den Kanal möglich. Ist beispielsweise das
Dichtelement als Kugel ausgebildet, kann die Einführfase als Trichter mit
kreisförmigem Querschnitt ausgebildet sein.
Gemäß einer weiteren vorteilhaften Weiterbildung ist der Durchmesser der Kugel größer als der Durchmesser des Kanals. Damit wird auf besonders einfache Weise eine mechanische Klemmung und eine formschlüssige Verbindung erreicht.
Weitere wichtige Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus den Unter ansprüchen, aus den Zeichnungen, und aus dazugehöriger Figurenbeschreibung anhand der Zeichnungen. Es versteht sich, dass die vorstehend genannten und die nachstehend noch zu er läuternden Merkmale nicht nur in der jeweils angegebenen Kombination, sondern auch in anderen Kombinationen oder in Alleinstellung verwendbar sind, ohne den Rahmen der vorliegenden Erfindung zu verlassen.
Bevorzugte Ausführungen und Ausführungsformen der Erfindung sind in den Zeich nungen dargestellt und werden in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert, wobei sich gleiche Bezugszeichen auf gleiche oder ähnliche oder funktional gleiche Bauteile oder Elemente beziehen.
Dabei zeigen in schematischer Form
Figur 1 eine Vorrichtung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung im Querschnitt;
Figur 2 einen Teil eines Drucksensors gemäß einer Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung im Querschnitt; und
Figur 3 Schritte eines Verfahrens gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
Figur 1 zeigt eine Vorrichtung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung im Querschnitt.
Im Detail ist in Figur 1 eine Vorrichtung 1 zur Abdichtung zweier mit unterschiedlichen Fluiden gefüllter Räume 2, 3 gezeigt. Die Räume 2, 3 sind über einen Kanal 5 einer Dichteinrichtung 4 fluidisch miteinander verbunden. In den Kanal 5 ist eine Kugel 6 eingeführt, deren Durchmesser 10 größer ist als der Innendurchmesser 11 des Kanals 5. Die Kugel 6 ist dabei aus Metall, der Kanal 5 aus Kunststoff hergestellt. Die
Wandstärke 5' des Kanals 5 ist dabei so gewählt beziehungsweise dieser so ausgebildet, dass ein Teil einer elastischen Verformung des Kanals 5 im Bereich 5a der Position der Kugel 6 ermöglicht wird. Dadurch wird eine Relaxation des
Kunststoffs, also ein Zurückschrumpfen des Kanals 5 nach Einführen der Kugel 6 ermöglicht, was einen Formschluss der Kugel 6 mit dem Kanal 5 bereitstellt. Zusätzlich kann zur Unterstützung des Formschlusses eine Aussparung 7, beispielsweise kreissegmentförmig ausgebildet, im Bereich 5a der gewünschten Festlegeposition der Kugel 6 im Kanal 5 angeordnet werden. Diese Aussparung 7 ermöglicht, dass die Kugel 6 bei Druckbeaufschlagung zusätzlich in ihrer axialen Position innerhalb des Kanals 5 gehalten wird.
Am oberen Ende des Kanals 5 in Figur 1 ist eine Einführfase 8 angeordnet, welche trichterförmig ausgebildet ist und die dazu dient, ein einfaches Einführen der Kugel 6 in den Kanal 5 bereitzustellen. Hierbei beträgt der Winkel der trichterförmigen Einführfase 8 circa 45°, wobei die Höhe des Trichters, also parallel zur Achse des Kanals 5 circa 25% bezogen auf die Gesamtlänge des Kanals 5 beträgt. Die Einpresstiefe der Kugel 6 in den Kanal 5 beträgt hierbei circa 50 % der Gesamtlänge des Kanals 5. Die
Wandstärke 5' im Verhältnis zum Innendurchmesser 11 beträgt dabei ca. 33 %.
Insgesamt kann jede der Angaben je nach Anforderungen beispielsweise hinsichtlich Materialien oder dergleichen entsprechend angepasst oder abgeändert werden. Hier können jeweils Abweichungen von bis zu jeweils 75%, insbesondere bis zu 50%, vorzugsweise bis zu 25% erfolgen.
Figur 2 zeigt einen Teil eines Drucksensors gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung im Querschnitt.
Im Detail ist in Figur 2 nun die Vorrichtung 1 gemäß Figur 1 in einem Ölvorlagenmodul 100' eines Drucksensors 100 angeordnet gezeigt. Im Einzelnen ist ein Ölrahmen 102 angeordnet, der einen Raum 2 umfasst, der als Ölreservoir genutzt wird. Mit diesem Raum 2 ist einerseits ein Sensorelement in Form eines PorSi-Chips 101 verbunden, - PorSi bezeichnet poröses Silizium - andererseits ist auf der dem Sensorelement 101 abgewandten Seite des Raums 2 zur Abdichtung desselben eine Dichteinrichtung 4 angeordnet, die einen Kanal 5 umfasst, welcher mit einer Kugel 6 aus Stahl verschlossen ist und so den Raum 2, das Ölreservoir, gegenüber einem zweiten Raum 3 abdichtet.
Figur 3 zeigt Schritte eines Verfahrens gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Im Detail ist in Figur 3 ein Verfahren zur Abdichtung zweier mit unterschiedlichen Fluiden gefüllten Räume bei einer MEMS-Sensoranordnung gezeigt.
In einem ersten Schritt S1 erfolgt ein Bereitstellen einer Fluid-Verbindung zu einem geschlossenen Raum. In einem zweiten Schritt S2 erfolgt ein Anordnen einer
Dichteinrichtung in der Fluid-Verbindung, wobei die Dichteinrichtung einen Kanal umfasst, der mit dem Raum verbunden ist. In einem dritten Schritt S3 erfolgt ein Einführen eines Dichtelements in den Kanal. In einem vierten Schritt S4 erfolgt ein Festlegen des Dichtelements im Kanal zur Abdichtung des Kanals durch eine mechanische Klemmung.
Zusammenfassend weist zumindest eine der Ausführungsformen der Erfindung zumindest einen der folgenden Vorteile auf: · Physische Trennung von einem Sensorelement und einem Kühlmedium.
• Kostengünstige Herstellung.
• Realisierung eines Drucksensors mit PorSi-Sensorelement für Klimaanlagen
• Einfache zuverlässige Abdichtung
• Dauerhafte Abdichtung
Obwohl die vorliegende Erfindung anhand bevorzugter Ausführungsbeispiele be schrieben wurde, ist sie nicht darauf beschränkt, sondern auf vielfältige Weise modi fizierbar.

Claims

Ansprüche
1. Abdichtungsvorrichtung (1) zur Abdichtung eines mit einem Fluid gefüllten Raums (2) bei einer MEMS-Sensoranordnung,
umfassend eine Dichteinrichtung (4) wobei die Dichteinrichtung (4) einen Kanal (5) umfasst, der mit dem einen Raum (2) verbunden ist, und wobei in dem Kanal (5) ein Dichtelement (6) zur Abdichtung des Kanals (5) angeordnet ist derart, dass der Kanal
(5) und/oder das Dichtelement (6) derart ausgebildet sind, sodass das Dichtelement (6) im Kanal (5) durch eine mechanische Klemmung abdichtend festgelegt ist.
2. Abdichtungsvorrichtung gemäß Anspruch 1, wobei der Kanal (5) und das Dichtelement (6) so ausgebildet sind, dass das Dichtelement (6) im Kanal (5) durch einen zumindest teilweisen Formschluss abdichtend angeordnet ist.
3. Abdichtungsvorrichtung gemäß Anspruch 2, wobei die Wandstärke (5‘) des Kanals (5) zur Ausbildung des zumindest teilweisen Formschlusses festgelegt ist.
4. Abdichtungsvorrichtung gemäß einem der Ansprüche 1-3, wobei das
Dichtelement (6) eine kleinere Elastizität aufweist, als zumindest der dem Dichtelement
(6) benachbarte Abschnitt (5a) des Kanals (5).
5. Abdichtungsvorrichtung gemäß Anspruch 4, wobei das Dichtelement (6) aus Metall, insbesondere Stahl, und/oder der Kanal (5) aus Kunststoff hergestellt ist.
6. Abdichtungsvorrichtung gemäß einem der Ansprüche 1-5, wobei der Kanal (5) in dem dem Dichtelement benachbarten Bereich (5‘) eine Aussparung (7) zur teilweisen Aufnahme des Dichtelements (6) aufweist.
7. Abdichtungsvorrichtung gemäß einem der Ansprüche 1-6, wobei das
Dichtelement (6) in Form einer Kugel ausgebildet ist und der Kanal (5) im Wesentlichen kreisförmigen Querschnitt aufweist.
8. Abdichtungsvorrichtung gemäß einem der Ansprüche 1-7, wobei die
Dichteinrichtung (4) eine an das Dichtelement (6) angepasste Einführfase aufweist, die insbesondere trichterförmig ausgebildet ist.
9. Abdichtungsvorrichtung gemäß einem der Ansprüche 1-7, wobei der
Durchmesser (10) der Kugel (6) größer ist als der Durchmesser (11) des Kanals (5).
10. Drucksensor (100), insbesondere zum Einsatz in Klimaanlagen oder dergleichen, vorzugsweise in Fahrzeugen, umfassend
ein Sensorelement (101), welches in einem Raum (2) angeordnet ist und von einem Fluid (102) zumindest teilweise umgeben ist, und wobei der Raum (2) mittels einer Dichteinrichtung (4) abgedichtet ist, und wobei die Dichteinrichtung (4) einen Kanal (5) umfasst, der mit dem Raum (2) verbunden ist, und wobei in dem Kanal (5) ein
Dichtelement (6) zur Abdichtung des Kanals (5) angeordnet ist derart, dass der Kanal (5) und/oder das Dichtelement (6) derart ausgebildet sind, sodass das Dichtelement (6) im Kanal (5) durch eine mechanische Klemmung abdichtend festgelegt ist.
11. Verfahren zur Abdichtung zweier mit unterschiedlichen Fluiden gefüllter Räume in einer MEMS-Sensoranordnung,
umfassend die Schritte:
- Bereitstellen (Sl) einer Fluid-Verbindung (5) zu einem geschlossenen Raum (2),
- Anordnen (S2) einer Dichteinrichtung (4) in der Fluid-Verbindung (5), wobei die Dichteinrichtung (4) einen Kanal (5) umfasst, der mit dem Raum (2) verbunden ist, und
- Einführen (S3) eines Dichtelements (6) in den Kanal (5),
- Festlegen (S4) des Dichtelements (6) im Kanal (5) zur Abdichtung des Kanals (5) durch eine mechanische Klemmung.
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