WO2019186630A1 - 測定装置、及び測定方法 - Google Patents

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WO2019186630A1
WO2019186630A1 PCT/JP2018/012065 JP2018012065W WO2019186630A1 WO 2019186630 A1 WO2019186630 A1 WO 2019186630A1 JP 2018012065 W JP2018012065 W JP 2018012065W WO 2019186630 A1 WO2019186630 A1 WO 2019186630A1
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WO
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metal plate
magnetic force
stage
electromagnet
mask sheet
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PCT/JP2018/012065
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English (en)
French (fr)
Inventor
真博 犬塚
Original Assignee
シャープ株式会社
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Publication date
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • C23C14/042—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B33/00—Electroluminescent light sources
    • H05B33/10—Apparatus or processes specially adapted to the manufacture of electroluminescent light sources

Definitions

  • the present invention relates to a measuring apparatus and a measuring method for measuring the outer shape of a metal plate including a magnetic material.
  • a mask sheet is usually used to control the vapor deposition pattern.
  • the mask sheet has a plurality of openings of several ⁇ m size that match the pixels of the display device, and it is necessary to determine how much the opening is misaligned with respect to the design value.
  • This measurement of positional deviation is referred to as PPA measurement (Pixel Position Accuracy; pixel position accuracy).
  • PPA measurement is performed according to the following procedure. First, a mask sheet is placed on the stage. Next, the four corners of the mask sheet are gripped and pulled by the grippers provided at the four corners. Then, the mask sheet is photographed with a camera, and PPA is measured.
  • the film thickness is different inside and outside the active area (pixel area) in the mask sheet.
  • the active area formed by chemical etching is thin. Therefore, wrinkles and / or undulations (hereinafter simply referred to as “claws”) may occur in the active area. The presence of this wrinkle makes it difficult to accurately measure PPA. Therefore, the mask sheet is pulled to remove wrinkles, and then PPA is measured.
  • Patent Document 1 discloses a configuration in which a mask sheet is pulled with a gripper.
  • Japanese Patent Publication Japanese Patent Laid-Open No. 2008-66269
  • the gripper marks remain on the mask sheet.
  • the mask sheet is stretch-welded to the frame after the inspection process, the mask sheet is pulled with a force stronger than the force received in the inspection process. As a result, the mask sheet may be cut starting from the gripper trace. Further, depending on the alignment conditions of the mask sheet before PPA measurement, a larger tension is generated on the mask sheet than the stretching process and / or the welding process after the inspection.
  • pulling the mask sheet may cause problems such as (1) damage to the thin active area, (2) displacement of the active area, and (3) expansion of the active area opening. In such a case, it is difficult to accurately measure the outer shape of the mask sheet.
  • the present invention has been made in view of the above-described problems, and an object thereof is to realize a measuring apparatus and a measuring method capable of measuring the outer shape of a metal plate including a magnetic body more accurately. is there.
  • a measuring apparatus is a measuring apparatus for measuring the outer shape of a metal plate including a magnetic body, and is directed to a stage on which the metal plate is placed on the surface, and the stage.
  • a light source that emits light
  • an image acquisition unit that acquires an image of the metal plate
  • a plurality of magnetic force generation units that generate magnetic force on the back side of the stage
  • a control unit that controls the generation position of the magnetic force
  • the metal plate including the magnetic material and the magnetic force generation part are attracted to each other by the magnetic force at the position where the magnetic force is generated, and the metal plate is fixed (temporarily fixed) to the stage.
  • the said metal plate can be extended with a magnetic force, when the said control part controls the generation
  • the measuring device can measure the outer shape of the metal plate more accurately.
  • a measuring method is a measuring method for measuring the outer shape of a metal plate including a magnetic body, and (a) the metal plate is mounted on the surface of the stage in order.
  • a method comprising: (b) generating a magnetic force on the surface; (c) controlling a generation position of the magnetic force; and (d) acquiring an image of the metal plate. is there.
  • FIG. 5 is a diagram showing a main part of a measuring apparatus according to another embodiment using a first electromagnet 8 to an nth electromagnet 8;
  • FIG. 10 is a view for explaining the operation of a measuring apparatus according to another embodiment using the first electromagnet 8 to the nth electromagnet 8;
  • FIG. 10 is a view for explaining the operation of a measuring apparatus according to another embodiment using the first electromagnet 8 to the nth electromagnet 8;
  • FIG. 5 is a diagram showing a main part of a measuring apparatus according to another embodiment using a first electromagnet 8 to an nth electromagnet 8;
  • FIG. 10 is a view for explaining the operation of a measuring apparatus according to another embodiment using the first electromagnet 8 to the nth electromagnet 8;
  • FIG. 10 is a view for explaining the operation of a measuring apparatus according to another embodiment using the first electromagnet 8 to the nth electromagnet 8;
  • FIG. 5 is a diagram showing a main part of a measuring
  • FIG. 10 is a view for explaining the operation of a measuring apparatus according to another embodiment using the first electromagnet 8 to the nth electromagnet 8;
  • FIG. 10 is a view for explaining the operation of a measuring apparatus according to another embodiment using the first electromagnet 8 to the nth electromagnet 8;
  • FIG. 1 is a schematic diagram of a measuring apparatus 100 according to the present embodiment.
  • the measuring device 100 is a device that measures the displacement of the mask sheet 10.
  • the measurement of the displacement of the mask sheet 10 is referred to as “PPA measurement (Pixel Position Accuracy; pixel position accuracy)”.
  • the measuring apparatus 100 includes a stage 1, a lamp 2, a camera (image acquisition unit) 3, a moving magnet (second magnetic force generation unit, second magnet) 4, and a fixed magnet (first magnetic force generation unit, first magnet). ) 6 and a moving magnet control unit (control unit) 7.
  • Stage 1 is a stage on which a mask sheet 10 to be subjected to PPA measurement is placed on the surface.
  • the stage 1 is transmissive and transmits light emitted from the lamp 2.
  • the stage 1 is made of, for example, glass.
  • the surface of the stage 1 is a flat surface.
  • the stage 1 is configured to be movable under the control of a stage drive unit (drive unit) 1a.
  • the stage driving unit 1a may be built in or externally attached to the stage 1.
  • the mask sheet 10 is a metal plate containing a magnetic material used for depositing particles on a plurality of pixels of a display device.
  • the mask sheet 10 may be an FMM (fine metal mask), a CMM (common metal mask), or the like.
  • the lamp 2 is a light source that emits light toward the stage 1.
  • the lamp 2 is disposed below the stage 1.
  • the lamp 2 is, for example, an LED lamp, but other light sources may be used.
  • the lamp 2 is configured to be able to irradiate light toward the stage 1 from any direction below, above, and side of the stage 1.
  • the camera 3 captures an image of the mask sheet 10 placed on the surface of the stage 1.
  • the mask sheet 10 has a plurality of openings of several ⁇ m size that match the pixels of the display device.
  • the camera 3 is used to measure how much each of the plurality of openings is displaced from the design value.
  • the camera 3 only needs to have sufficient resolution for PPA measurement, and a camera used for conventional PPA measurement may be used.
  • the camera 3 is disposed on the upper side of the stage 1.
  • the camera 3 may be arranged at other positions.
  • the camera 3 may be positioned in relation to the lamp 2.
  • the camera 3 is configured to be movable so that an image of the mask sheet 10 can be taken from any direction below, above, and side of the stage 1.
  • the fixed magnet 6 temporarily fixes the mask sheet 10 to the stage 1.
  • the fixed magnet 6 fixes the mask sheet 10 to the stage 1.
  • the fixed magnet 6 is disposed on the back surface or inside of the stage 1 and draws the mask sheet 10 including a magnetic material.
  • FIG. 1 shows two fixed magnets (a fixed magnet 6a and a fixed magnet 6b). There may be a total of four fixed magnets 6 arranged at positions corresponding to the four corners of the mask sheet 10. Alternatively, any number of fixed magnets 6 may be present.
  • the fixed magnet 6 may be replaced with an electromagnet described with reference to FIG. In that case, the electromagnet is controlled to generate magnetic force by a control unit (not shown).
  • the moving magnet 4 moves on the back side of the stage 1 under the control of the moving magnet control unit 7.
  • two moving magnets moving magnet 4a and moving magnet 4b are shown in FIG. However, there may be one or more moving magnets 4.
  • the moving method of the moving magnet 4 is not limited to a specific method.
  • the moving magnet 4 is disposed on the cart, and the cart moves on a predetermined route (not shown) under the control of the moving magnet control unit 7.
  • the moving magnet control unit 7 instructs the cart to move, the cart moves on the predetermined route with the moving magnet 4 mounted thereon.
  • the method by which the moving magnet 4 moves may be other methods.
  • the moving magnet 4 may be moved manually.
  • the moving magnet 4 is independent from the control by the moving magnet control unit 7.
  • the predetermined route defines a route along which the cart carrying the moving magnet 4 moves. Specifically, the predetermined route passes at least position A, position B (first position), and position C (second position).
  • Position A is the center of the back surface of the stage 1 and is away from the stage 1. At a position away from the stage 1, the mask sheet 10 and the moving magnet 4 are not attracted by the magnetic force.
  • Position B is the center of the back surface of the stage 1 and is close to the stage 1.
  • the close position is a position in contact with the stage 1 and / or a position where the mask sheet 10 and the moving magnet 4 can be attracted by a magnetic force.
  • Position C is the back end of the stage 1 and a position close to the stage 1.
  • the back surface end means the vicinity of the position where the fixed magnet 6 is provided, or the end side of the stage 1 further than the position where the fixed magnet 6 is provided.
  • the predetermined route may be configured to circulate.
  • the moving magnet 4 moves so as to return to position A, position B, position C, and position A.
  • the moving magnet 4 is located at position A. At the position A, the mask sheet 10 does not receive the magnetic force of the moving magnet 4.
  • the moving magnet control unit 7 moves the moving magnet 4 from the position A to the position B.
  • the mask sheet 10 receives the magnetic force of the moving magnet 4.
  • the moving magnet control unit 7 moves the moving magnet 4 from position B to position C. While moving from the position B to the position C, the mask sheet 10 continues to receive the magnetic force of the moving magnet 4. Due to the action of the magnetic force, wrinkles and / or undulations (hereinafter simply referred to as “wrinkles”) present in the active area of the mask sheet 10 are eliminated or reduced.
  • the position C is near the position where the fixed magnet 6 is provided, or on the end side of the stage 1 further than the position where the fixed magnet 6 is provided. For this reason, compared with the case where the movement of the moving magnet 4 stops on the center side of the stage 1 from the position where the fixed magnet 6 is provided, the wrinkles present in the active area of the mask sheet 10 are further reduced. Can do.
  • the moving magnet control unit 7 moves the moving magnet 4 in the order of position A, position B, position C, position A, position B, and position C in the order of position A to position C. You may move several times between. Thereby, compared with the case where the moving magnet 4 moves the position A, the position B, and the position C only once, the wrinkles existing in the active area of the mask sheet 10 can be further reduced.
  • the moving magnet control unit 7 receives the external signal, and moves the moving magnet 4 forward, backward, or stops according to the external signal.
  • FIG. 2 is a flowchart for reducing wrinkles contained in the mask sheet 10 using the moving magnet 4.
  • the mask sheet 10 is placed on the stage 1 (S10).
  • the mask sheet 10 is aligned (positioned) (S20).
  • the mask sheet 10 is temporarily fixed to the mask sheet 10 using the fixed magnet 6 (S30).
  • the moving magnet control unit 7 moves the moving magnet 4 from the position A to the position B to generate a magnetic force on the stage 1 (S40).
  • the moving magnet control unit 7 moves the moving magnet 4 from position B to position C. Thereby, the moving magnet control part 7 controls the place which generates magnetic force on the stage 1 (S50).
  • the temporary fixing by the fixed magnet 6 is released (S60). Thereby, the big wrinkle formed in the edge part of the mask sheet 10 is released.
  • the mask sheet 10 is temporarily fixed to the stage 1 again using the fixed magnet 6 (S70).
  • S70 the mask sheet 10 placed on the stage 1 is stretched.
  • the stretched image of the mask sheet 10 is captured by the camera 3, and PPA is measured (S80).
  • the mask sheet 10 is temporarily fixed to the stage 1 by the fixed magnet 6 (first temporary fixing).
  • the moving magnet 4 moves to the position B and generates a magnetic force on the stage 1.
  • the moving magnet 4 moves from position B to position C.
  • the mask sheet 10 continues to receive the magnetic force of the moving magnet 4. Due to the action of the magnetic force, the wrinkles present at the center of the mask sheet 10 gather in the direction of the end of the mask sheet 10 (the direction of the position C) as the moving magnet 4 moves. In other words, the wrinkles present at the center of the mask sheet 10 are stretched, while large wrinkles are formed at the ends of the mask sheet 10.
  • the heel When the heel reaches the end portion, the heel generates a force for pulling the temporarily-fixed mask sheet 10 away from the stage 1.
  • the temporary fixing of the mask sheet 1 by the fixed magnet 4 is released, and as a result, the heel is released (S60). Thereafter, the end of the mask sheet 10 returns to the stage 1 by its own weight. Then, the mask sheet 10 is temporarily fixed to the stage 1 again by the fixed magnet 6 (S70).
  • the first temporary fix is released using the power of the kite.
  • the first temporary fixing may be released by temporarily moving the fixed magnet 6. Specifically, after the moving magnet 4 moves to the position C, the fixed magnet 6 is temporarily separated from the stage 1. Thereby, the state in which the mask sheet 10 is temporarily fixed to the stage 1 is released (S60), and the large wrinkles formed at the end of the mask sheet 10 are released.
  • the timing at which the fixed magnet 6 is separated from the stage 1 may not be after the moving magnet 4 has moved to the position C but immediately before the moving magnet 4 has moved to the position C.
  • the fixed magnet 6 is attached to the stage 1 again (S70).
  • the position where the fixed magnet 6 is attached is a position corresponding to the end of the mask sheet 10.
  • the mask sheet 10 is temporarily fixed to the stage 1 again (second temporary fixing).
  • the large wrinkles present at the end of the mask sheet 10 are released by S60. Accordingly, the number of wrinkles formed on the mask sheet 10 is smaller at the time of the second temporary fixing than at the time of the first temporary fixing.
  • the fixed magnet 6 does not need to strongly fix the mask sheet 10 to the stage 1 in the first temporary fixing and the second temporary fixing, and the mask sheet 10 may be temporarily fixed temporarily to the stage 1. That is, the fixed magnet 6 may temporarily fix the mask sheet 10 with a force that can be pulled lightly toward the stage 1.
  • the moving magnet controller 7 moves the moving magnet 4 in the order of position A, position B, position C, position A, position B, position C. It may be moved a plurality of times between A and position C. In this case, every time the moving magnet 4 moves to the position C, the wrinkles of the mask sheet 10 are released. Thereafter, after the second temporary fixing, the moving magnet 4 is moved to the position A, the position B, and the position C. In this way, by repeating S60 and S70 each time the moving magnet 4 moves to the position C, wrinkles of the mask sheet 10 can be further reduced.
  • S60 and S70 can be omitted.
  • S60 and S70 are performed.
  • the mask sheet 10 is temporarily fixed to the stage 1 only at one end (or at one location), the ridge is extended in the other end direction opposite to the one end. Thereby, the step of releasing the temporary fixing by the fixed magnet 6 to release the mask sheet 10 and the step of temporarily fixing the mask sheet 10 again becomes unnecessary.
  • FIG. 3 is a diagram illustrating a state in which the mask sheet 10 is subjected to PPA measurement.
  • S50 or S70 in FIG. 2
  • the mask sheet 10 is stretched on the stage 1. Thereby, the wrinkles that existed in the active area of the mask sheet 10 are extended.
  • the measuring apparatus 100 can measure PPA in the same state as when stretched using a gripper.
  • the measuring apparatus 100 scans the moving magnet 4 arranged under the stage 1, stretches the ridge, maintains the state, and measures PPA. Thereby, the measuring apparatus 100 can improve the precision of PPA measurement. At this time, the mask sheet 10 is not pulled by the gripper. Therefore, the mask sheet 10 can avoid damage starting from the gripper trace.
  • the measuring apparatus 100 includes the plurality of fixed magnets 6. However, the measuring apparatus 100 may be realized with a configuration including only one fixed magnet 6.
  • the mask sheet 10 has a straight shape, and the fixed magnet 6 is disposed at a location corresponding to one corner portion of the four corner portions. That is, the mask sheet 10 is temporarily fixed to the stage 1 at the one corner.
  • the plurality of moving magnets 4 respectively move from the one corner to the remaining three corners. Even with such a configuration, wrinkles present in the active area of the mask sheet 10 can be reduced without using a gripper.
  • the measuring apparatus 100 includes the plurality of moving magnets 4. However, the measuring apparatus 100 may be realized with a configuration including only one moving magnet 4.
  • the mask sheet 10 has a straight shape, and the fixed magnet 6 is disposed at a location corresponding to each of the four corners. That is, the mask sheet 10 is temporarily fixed to the stage 1 at the four corners.
  • the predetermined route is configured as follows. Specifically, in the predetermined route, the moving magnet 4 has a position B, a first angle, a position B, a second corner, a position B, a third corner, a position B, and a fourth corner. Move in order. Also with this configuration, wrinkles that exist in the active area of the mask sheet 10 can be reduced.
  • the measuring apparatus 100 includes one moving magnet 4 and one fixed magnet 6 can be realized by combining the first and second modifications.
  • FIG. 4 is a diagram showing a main part of the measuring apparatus 110 using the first electromagnet 8 to the nth electromagnet 8 (n is an integer of 2 or more).
  • n is an integer of 2 or more.
  • members having the same functions as those described in the above embodiment are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.
  • the measuring device 110 is a device that measures the displacement of the mask sheet 10.
  • the measuring apparatus 110 includes a stage 1, a lamp 2 (not shown), a camera 3 (not shown), and a first electromagnet 8 to an nth electromagnet 8.
  • the measuring apparatus 110 does not include the moving magnet 4, the fixed magnet 6, and the moving magnet control unit 7. 4 to 8, n is an integer of 2 to 35.
  • the first electromagnet 8 to the nth electromagnet 8 each generate a magnetic force temporarily when energized.
  • the first electromagnet 8 to the nth electromagnet 8 are respectively arranged on the back surface of the stage 1 and are arranged as follows, for example. (1) Matrix, (2) Linear, (3) Arrangement with a gap between each other, (4) Arrangement with no gap between each other, (5) Random. If the operation described below is executed, the arrangement of the first electromagnet 8 to the nth electromagnet 8 is not limited to (1) to (5).
  • the operation of the first electromagnet 8 to the nth electromagnet 8 will be described with reference to FIGS.
  • the first electromagnet 8, the second electromagnet 8, the 34th electromagnet 8, and the 35th electromagnet 8 correspond to the end portions of the mask sheet 10, respectively.
  • the third electromagnet 8 to the 33rd electromagnet 8 correspond to the central portion of the mask sheet 10, respectively.
  • the first electromagnet 8 to the third electromagnet 8 and the 33rd electromagnet 8 to the 35th electromagnet 8 respectively correspond to the end portions of the mask sheet 10
  • the fourth electromagnet 8 to the 32nd electromagnet 8 respectively correspond to the mask sheet 10. It may be understood that it corresponds to the central part.
  • the first electromagnet 8, the second electromagnet 8, the 34th electromagnet 8, and the 35th electromagnet 8 are each energized with a first current to generate a first magnetic force.
  • the first electromagnet 8, the second electromagnet 8, the 34th electromagnet 8, and the 35th electromagnet 8 are attracted to the mask sheet 10 by magnetic force, and the corresponding portion (end) of the mask sheet 10 is brought to the stage 1.
  • FIG. 5 is a diagram for explaining the operation of the measuring apparatus 110 using the first electromagnet 8 to the nth electromagnet 8.
  • (1) the first electromagnet 8, the second electromagnet 8, the 34th electromagnet 8, and the 35th electromagnet 8 are each energized with a first current to generate a first magnetic force
  • Each of the eighth to nineteenth electromagnets 8 is energized with a second current to generate a second magnetic force.
  • the second current is greater than the first current.
  • the second magnetic force is greater than the first magnetic force.
  • the 17th electromagnet 8 to the 19th electromagnet 8 are attracted to the mask sheet 10 by magnetic force, and the corresponding part (center part) of the mask sheet 10 is fixed (temporarily fixed) to the stage 1.
  • FIG. 6 is a diagram for explaining the operation of the measuring apparatus 110 using the first electromagnet 8 to the nth electromagnet 8.
  • the first electromagnet 8, the second electromagnet 8, the thirty-fourth electromagnet 8, the thirty-fifth electromagnet 8, and the seventeenth electromagnet 8 to the nineteenth electromagnet 8 are each energized with the first current and the first magnetic force. Is generated.
  • the fifteenth electromagnet 8, the sixteenth electromagnet 8, the twentieth electromagnet 8, and the twenty-first electromagnet 8 are each energized with a second current to generate a second magnetic force.
  • each of the seventeenth electromagnet 8 to the nineteenth electromagnet 8 decreases in current value from the second current to the first current and from the second magnetic force to the first. Magnetic force decreases to 1 magnetic force.
  • each of the fifteenth electromagnet 8, the sixteenth electromagnet 8, the twentieth electromagnet 8, and the twenty-first electromagnet 8 increases in current value from 0 to the second current, and increases in magnetic force from 0 to the second magnetic force.
  • the 17th electromagnet 8 to the 19th electromagnet 8 are described as being supplied with the first current.
  • each of the seventeenth electromagnet 8 to the nineteenth electromagnet 8 is not necessarily supplied with the first current as long as it is energized with a current smaller than the second current.
  • FIG. 7 is a diagram for explaining the operation of the measuring apparatus 110 using the first electromagnet 8 to the nth electromagnet 8.
  • the first electromagnet 8, the second electromagnet 8, the thirty-fourth electromagnet 8, the thirty-fifth electromagnet 8, and the fifteenth electromagnet 8 to the twenty-first electromagnet 8 are each energized with the first current, and the first magnetic force Is generated.
  • the thirteenth electromagnet 8, the fourteenth electromagnet 8, the twenty-second electromagnet 8, and the twenty-third electromagnet 8 are each energized with a second current to generate a second magnetic force.
  • each of the seventeenth electromagnet 8 to the nineteenth electromagnet 8 is maintained in a state where the first current is applied.
  • the fifteenth electromagnet 8, the sixteenth electromagnet 8, the twentieth electromagnet 8, and the twenty-first electromagnet 8 each decrease in current value from the second current to the first current, and decrease in magnetic force from the second magnetic force to the first magnetic force.
  • the current value increases from 0 to the second current, and the magnetic force increases from 0 to the second magnetic force.
  • the fifteenth electromagnet 8 to the twenty-first electromagnet 8 are each assumed to be fed with the first current. However, the fifteenth electromagnet 8 to the twenty-first electromagnet 8 are not necessarily supplied with the first current as long as a current smaller than the second current is energized.
  • FIG. 8 is a diagram for explaining the operation of the measuring apparatus 110 using the first electromagnet 8 to the nth electromagnet 8.
  • (1) the first electromagnet 8, the second electromagnet 8, the 34th electromagnet 8, and the 35th electromagnet 8 are each energized with a second current to generate a second magnetic force
  • Each of the eighth to thirty-third electromagnets 8 is energized with a first current to generate a first magnetic force.
  • the wrinkle which existed in the active area of the mask sheet 10 can be efficiently extended.
  • the second current flows through the first electromagnet 8, the second electromagnet 8, the 34th electromagnet 8, and the 35th electromagnet 8, and the mask sheet 10 is fixed to the stage 1 with the wrinkles extending.
  • the measuring apparatus 110 changes the current value of the first electromagnet 8 to the nth electromagnet 8 whose positions are fixed, and efficiently reduces wrinkles present in the active area of the mask sheet 10. can do.
  • the measuring apparatus 110 does not require the moving magnet 4, the fixed magnet 6, and the moving magnet control unit 7 by having the above configuration.
  • the power supply control to the first electromagnet 8 to the nth electromagnet 8 may be performed by a control unit (not shown).
  • the first electromagnet 8 to the nth electromagnet 8 can be variously arranged.
  • advantages of each arrangement will be described.
  • the process of stretching the ridges existing in the active area of the mask sheet 10 is precisely controlled.
  • the first electromagnet 8 to the nth electromagnet 8 When the first electromagnet 8 to the nth electromagnet 8 are linearly arranged, the first electromagnet 8 to the nth electromagnet 8 can be easily arranged, and the process of extending the ridge can be simplified.
  • the first electromagnet 8 to the nth electromagnet 8 are arranged with a gap therebetween, the light emitted from the lamp 2 passes through the gap. Thereby, the camera 3 can photograph the image of the mask sheet 10 clearly.
  • the measuring apparatus 110 can change the whole structure flexibly.
  • the measurement device 100 and the measurement device 110 have been described above.
  • the effect obtained by the measuring apparatus 100 and the measuring apparatus 110 is remarkable even when compared with a conventional method that uses negative pressure to fix the mask sheet to the stage (hereinafter referred to as “air adsorption type”).
  • air adsorption type it is necessary to provide a plurality of fine adsorption holes on the stage. For this reason, the air adsorbing type is (1) the place where the mask sheet is adsorbed to the stage is limited to the adsorbing hole, (2) if a foreign substance enters the adsorbing hole, causing an adsorption failure, (3) air adsorbing type Has the problem that maintenance is difficult.
  • the measuring device 100 and the measuring device 110 do not have the above-mentioned problems (1) to (3) because they do not need to have suction holes. Further, unlike the air adsorption type, the measuring apparatus 100 and the measuring apparatus 110 can make the surface of the stage 1 flat. Therefore, in the measurement apparatus 100 and the measurement apparatus 110, the stage 1 can be easily processed and manufactured.
  • the measuring apparatus and measuring method according to the present embodiment measure the outer shape of the mask sheet 10 for depositing particles on a plurality of pixels.
  • a mask sheet 10 is used, for example, in the following (1) to (3). Therefore, the measuring apparatus and measuring method according to this embodiment can be suitably applied to the manufacture of display displays such as the following (1) to (3).
  • Organic EL Electro Luminescence
  • OLED Organic Light Emitting Diode
  • An inorganic EL display provided with an inorganic light emitting diode as an electro-optic element.
  • a QLED display or the like provided with a QLED (Quantum dot Emitting Diode) as an electro-optic element.
  • a measuring apparatus is a measuring apparatus that measures the outer shape of a metal plate including a magnetic body, and includes a stage on which the metal plate is placed and a light source that emits light toward the stage. And an image acquisition unit that acquires an image of the metal plate, a plurality of magnetic force generation units that generate magnetic force on the back side of the stage, and a control unit that controls the generation position of the magnetic force.
  • the metal plate including the magnetic material and the magnetic force generation part are attracted to each other by the magnetic force at the position where the magnetic force is generated, and the metal plate is fixed (temporarily fixed) to the stage.
  • the said metal plate can be extended with a magnetic force, when the said control part controls the generation
  • the measuring device can measure the outer shape of the metal plate more accurately.
  • the plurality of magnetic force generation units are different from one or more first magnetic force generation units and the first magnetic force generation unit.
  • a second magnetic force generator The one or more first magnetic force generators are fixed to the stage, and temporarily fix the end of the metal plate to the stage.
  • the control unit includes the one or more second magnetic force generation units from a first position corresponding to a central portion of the metal plate on a back surface side of the stage toward a second position corresponding to an end portion of the metal plate. The position where the magnetic force is generated is controlled by moving.
  • the measuring apparatus according to aspect 2 of the present invention may be realized with such a configuration.
  • the metal plate can be efficiently stretched.
  • the measurement device may be configured such that, in aspect 2, the one or more first magnetic force generation units and the one or more second magnetic force generation units are magnets.
  • the plurality of magnetic force generation units are each a plurality of electromagnets fixed to the back side of the stage, and the control unit is the plurality of electromagnets. It is good also as a structure which controls the generation
  • control unit can easily control the generation position of the magnetic force.
  • the metal plate may be a mask sheet for depositing particles on a plurality of pixels of a display. Good.
  • the said measuring apparatus measures suitably the external shape of the mask sheet
  • the stage may include a drive unit that drives the stage.
  • the metal plate can be easily aligned by driving the stage after extending the metal plate.
  • the surface of the stage may be a flat surface.
  • the measuring device does not have the problems of the conventional air adsorption type. Furthermore, in the measuring apparatus, the stage can be easily processed and manufactured.
  • a measurement method is a measurement method for measuring the outer shape of a metal plate including a magnetic body, and sequentially (a) placing the metal plate on the surface of the stage; and (b) The method includes: generating a magnetic force on the surface; (c) controlling a generation position of the magnetic force; and (d) acquiring an image of the metal plate.
  • the measurement method according to aspect 9 of the present invention may be the method according to aspect 8, wherein the metal plate is a mask sheet for depositing particles on a plurality of pixels of a display.
  • the step (a1) aligns the metal plate in order between the step (a) and the step (b), a2) temporarily fixing the metal plate using one or more first magnets.
  • the one or more second magnets different from the one or more first magnets are moved from the first position corresponding to the central portion of the metal plate on the back surface side of the stage.
  • the generation position of the magnetic force is controlled by moving toward the second position corresponding to the end of the magnetic field.
  • the measurement method according to aspect 10 of the present invention may be realized by such a method.
  • the measurement method according to aspect 11 of the present invention is the measurement method according to aspect 8 or 9, wherein the second side corresponding to the end of the metal plate from the first position corresponding to the center of the metal plate on the back side of the stage.
  • a1 the step of aligning the metal plate
  • a2 the plurality of electromagnets in order between the step (a) and the step (b).
  • step (c) power is sequentially supplied from the first position to the second position to a plurality of central electromagnets arranged at positions corresponding to the central part of the metal plate among the plurality of electromagnets.
  • the measurement method according to the aspect 11 of the present invention may be realized by such a method.
  • the current supplied to each of the plurality of central electromagnets is first supplied with the second current, A first current lower than the second current may be supplied.
  • the current supplied to the plurality of end electromagnets is more than the current supplied to the plurality of center electromagnets. May be larger.

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Abstract

磁性体を含む金属板（１０）の外形を測定する測定装置（１００）であって、金属板（１０）を表面に載置するステージ（１）と、ステージ（１）に向けて光を照射する光源（２）と、金属板（１０）の画像を取得する画像取得部（３）と、ステージ（１）の裏面側で磁力を発生する複数の磁力発生部（４、６）と、磁力の発生位置を制御する制御部（７）と、を備える。

Description

測定装置、及び測定方法
　本発明は、磁性体を含む金属板の外形を測定する測定装置、及び測定方法に関する。
　表示デバイス（有機ＥＬ、無機ＥＬディスプレイ、又はＱＬＥＤディスプレイ等）の製造工程に含まれる蒸着ステップでは、通常、蒸着パターンを制御するためにマスクシートが使用される。
　マスクシートには表示デバイスの画素に合わせた数μｍサイズの開口が複数存在しており、設計値に対してどの程度、開口の位置ずれが存在するかを見極める必要がある。この位置ずれの測定をＰＰＡ測定（Ｐｉｘｅｌ　Ｐｏｓｉｔｉｏｎ　Ａｃｃｕｒａｃｙ；ピクセル位置精度）と称する。
　一般に、ＰＰＡ測定は以下の手順で行われる。まず、ステージにマスクシートが載置される。次に、マスクシートの４隅が、当該４隅に設けたグリッパそれぞれに掴まれ、引っ張られる。そして、マスクシートがカメラで撮影され、ＰＰＡが測定される。
　マスクシート内のアクティブエリア(画素エリア)の内外では膜厚が異なる。ケミカルエッチングにより形成されたアクティブエリア内は膜厚が薄い。そのため、アクティブエリア内には皺及び／又はうねり（以下、単に「皺」と称する。）が生じる場合がある。この皺が存在すると、ＰＰＡを正確に測定することは困難になる。そのため、マスクシートを引っ張って皺を取り、その後にＰＰＡが測定される。
　特許文献１は、マスクシートをグリッパで引っ張る構成を開示する。
日本国公開特許公報「特開２００８－６６２６９号公報」
　しかしながら、上記従来の方法には次のような問題がある。
　マスクシートをグリッパで掴むと、マスクシートにグリッパ痕が残る。マスクシートは、検査工程の後でフレームに架張溶接される際、検査工程において受ける力よりも強い力で引っ張られる。これにより、グリッパ痕を起点にマスクシートが切れることがある。また、ＰＰＡ測定前のマスクシートのアライメント条件によっては、検査後の架張工程及び／又は溶接工程よりも大きな張力がマスクシートに発生する。
　さらに、マスクシートを引っ張ることにより、（１）膜厚の薄いアクティブエリアが損傷を受ける、（２）アクティブエリアの位置ずれが生ずる、（３）アクティブエリアの開口が拡がる、といった問題も生じうる。このような場合、マスクシートの外形を正確に測定することが困難になる。
　本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、磁性体を含む金属板の外形をより正確に測定することが可能な測定装置、及び測定方法を実現することにある。
　上記の課題を解決するために、本発明に係る測定装置は、磁性体を含む金属板の外形を測定する測定装置であって、上記金属板を表面に載置するステージと、上記ステージに向けて光を照射する光源と、上記金属板の画像を取得する画像取得部と、上記ステージの裏面側で磁力を発生する複数の磁力発生部と、上記磁力の発生位置を制御する制御部と、を備える構成である。
　上記の構成によれば、磁性体を含む上記金属板と上記磁力発生部が上記磁力の発生位置において磁力によって互いに引き寄せ合い、上記金属板は上記ステージに固定される（仮止めされる）。そして、上記金属板を上記ステージに固定した状態で、上記制御部が上記磁力の発生位置を制御することにより、磁力によって上記金属板を伸ばすことができる。これにより、例えば金属板に生じていた皺及び／又はうねりを軽減することができる。その結果、上記測定装置は、金属板の外形をより正確に測定することができる。
　さらに、上記の構成によれば、上記金属板を伸ばすために上記金属板の端部をグリッパ等で掴む必要がなくなるため、上記金属板にはグリッパ痕が残らない。それゆえ、上記金属板の外形を測定した後の工程において、上記グリッパ痕を起点に上記金属板が切れることもない。
　また、上記の課題を解決するために、本発明に係る測定方法は、磁性体を含む金属板の外形を測定する測定方法であって、順に、（ａ）ステージの表面に上記金属板を載置するステップと、（ｂ）上記表面に磁力を発生させるステップと、（ｃ）上記磁力の発生位置を制御するステップと、（ｄ）上記金属板の画像を取得するステップと、を含む方法である。
　上記の構成によれば、上記測定装置と同様の効果を奏することができる。
　本発明の一態様によれば、金属板の外形をより正確に測定することが可能な測定装置、及び測定方法を実現することができる。
本実施形態に係る測定装置の概略図である。 本実施形態に係る、マスクシートに含まれる皺を軽減するフローチャートである。 マスクシートがＰＰＡ測定される様子を示す図である。 第１電磁石８～第ｎ電磁石８を使用する他の実施形態に係る測定装置の要部を示す図である。 第１電磁石８～第ｎ電磁石８を使用する他の実施形態に係る測定装置の動作を説明するための図である。 第１電磁石８～第ｎ電磁石８を使用する他の実施形態に係る測定装置の動作を説明するための図である。 第１電磁石８～第ｎ電磁石８を使用する他の実施形態に係る測定装置の動作を説明するための図である。 第１電磁石８～第ｎ電磁石８を使用する他の実施形態に係る測定装置の動作を説明するための図である。
　〔第１の実施形態〕
　〔測定装置１００の基本構成〕
　以下、本発明の一実施形態について図１等を参照して説明する。図１は、本実施形態に係る測定装置１００の概略図である。
　測定装置１００は、マスクシート１０の位置ずれを測定する装置である。以下の説明では、マスクシート１０の位置ずれの測定を「ＰＰＡ測定（Ｐｉｘｅｌ　Ｐｏｓｉｔｉｏｎ　Ａｃｃｕｒａｃｙ；ピクセル位置精度）」と称する。
　測定装置１００は、ステージ１と、ランプ２と、カメラ（画像取得部）３と、移動マグネット（第２磁力発生部、第２マグネット）４と、固定マグネット（第１磁力発生部、第１マグネット）６と、移動マグネット制御部（制御部）７と、を備える。
　ステージ１は、ＰＰＡ測定の対象となるマスクシート１０を表面に載置するステージである。ステージ１は、透過性を有し、ランプ２から照射された光を透過する。ステージ１は、例えばガラス製である。ステージ１は、その表面が平坦面である。ステージ１は、ステージ駆動部（駆動部）１ａによる制御を受けて移動可能に構成されている。ステージ駆動部１ａは、ステージ１に内蔵または外付けされてよい。
　マスクシート１０は、表示デバイスの複数の画素上に粒子を蒸着するために使用される、磁性体を含む金属板である。マスクシート１０は、ＦＭＭ（ファインメタルマスク）、又はＣＭＭ（コモンメタルマスク）等であってよい。
　ランプ２は、ステージ１に向けて光を照射する光源である。ランプ２は、ステージ１の下側に配される。ランプ２は、例えばＬＥＤランプであるが、他の光源が使用されてもよい。ランプ２は、ステージ１の下方、上方、及び側方の何れの方向からでもステージ１に向けて光を照射できるように構成されている。
　カメラ３は、ステージ１の表面に載置されたマスクシート１０の画像を撮像する。マスクシート１０には表示デバイスの画素に合わせた数μｍサイズの開口が複数存在する。カメラ３は、複数の上記開口それぞれが設計値に対してどの程度位置ずれしているかを測定するために使用される。カメラ３は、ＰＰＡ測定に十分な解像度を有していればよく、従来のＰＰＡ測定に用いられるカメラが使用されてよい。
　図１では、カメラ３は、ステージ１の上側に配設されている。しかしながら、カメラ３は、他の位置に配されてもよい。例えば、ランプ２がステージ１の上側に配設されている場合には、カメラ３はステージ１の下側に設けられる。このように、カメラ３は、ランプ２との関係で位置決めされてよい。カメラ３は、ステージ１の下方、上方、及び側方の何れの方向からでもマスクシート１０の画像を撮像できるように移動可能に構成されている。
　固定マグネット６は、マスクシート１０をステージ１に仮止めする。あるいは、固定マグネット６は、マスクシート１０をステージ１に固定する。具体的に、固定マグネット６は、ステージ１の裏面又は内部に配され、磁性体を含むマスクシート１０を引き寄せる。図１中には２つの固定マグネット（固定マグネット６ａ、及び固定マグネット６ｂ）が記載されている。固定マグネット６は、マスクシート１０の４隅に対応する位置それぞれに配されて、計４つ存在してもよい。あるいは、固定マグネット６は任意の数だけ存在してよい。また、固定マグネット６は、図４等を参照して説明する電磁石に代替されてもよい。その場合、当該電磁石は、制御部（不図示）により磁力の発生が制御されている。
　移動マグネット４は、移動マグネット制御部７による制御を受けてステージ１の裏面側を移動する。移動マグネット４は、図１中には２つの移動マグネット（移動マグネット４ａ、及び移動マグネット４ｂ）が記載されている。しかしながら、移動マグネット４は、１又は３以上の複数個存在してよい。
　移動マグネット４の移動方法は、特定の方法に限定されない。例えば、移動マグネット４が台車の上に配設され、かつ、当該台車が所定のルート（不図示）上を移動マグネット制御部７による制御を受けて移動する。この場合、移動マグネット制御部７が上記台車に移動を指示すると、当該台車は移動マグネット４を乗せて上記所定のルート上を移動する。
　移動マグネット４が移動する方法は、他の方法であってもよい。例えば、移動マグネット４は、手動により移動してもよい。この場合、移動マグネット４は、移動マグネット制御部７による制御からは独立する。
　上記所定のルートは、移動マグネット４を乗せた上記台車が移動するルートを規定する。具体的に、上記所定のルートは、少なくとも、位置Ａ、位置Ｂ（第１位置）、及び位置Ｃ（第２位置）を通過する。
　位置Ａは、ステージ１の裏面中央であって、ステージ１から離れた位置である。ステージ１から離れた位置では、マスクシート１０と移動マグネット４とが磁力により引き寄せ合うことはない。
　位置Ｂは、ステージ１の裏面中央であって、ステージ１に近接する位置である。近接する位置とは、ステージ１に接する位置、及び／又は、マスクシート１０と移動マグネット４とが磁力により引き寄せ合うことが可能な位置である。
　位置Ｃは、ステージ１の裏面端部であって、ステージ１に近接する位置である。裏面端部とは、固定マグネット６が設けられた位置近辺、又は、固定マグネット６が設けられた位置よりもさらにステージ１の端部側をいう。
　上記所定のルートは循環する構成であってよい。この構成では、移動マグネット４は、位置Ａ、位置Ｂ、位置Ｃ、そして、位置Ａに戻るように移動する。
　マスクシート１０が固定マグネット６によってステージ１に仮止めされた状態で、移動マグネット制御部７が移動マグネット４の位置を制御する一例を以下に説明する。
　最初に、移動マグネット４は位置Ａに位置する。位置Ａでは、マスクシート１０は移動マグネット４の磁力を受けない。
　次に、移動マグネット制御部７は、移動マグネット４を位置Ａから位置Ｂに移動させる。位置Ｂでは、マスクシート１０は移動マグネット４の磁力を受ける。
　続いて、移動マグネット制御部７は、移動マグネット４を位置Ｂから位置Ｃに移動させる。位置Ｂから位置Ｃに移動する間、マスクシート１０は移動マグネット４の磁力を受け続ける。その磁力の作用により、マスクシート１０のアクティブエリア内に存在していた皺及び／又はうねり（以下、単に「皺」と称する。）は、無くなるか、あるいは減少する。
　上述したように、位置Ｃは、固定マグネット６が設けられた位置近辺、又は、固定マグネット６が設けられた位置よりもさらにステージ１の端部側である。このため、固定マグネット６が設けられた位置よりもステージ１の中央側で移動マグネット４の移動が停止する場合と比べて、マスクシート１０のアクティブエリア内に存在していた皺をさらに軽減することができる。
　上記所定のルートが循環する構成である場合、移動マグネット制御部７は、移動マグネット４を、位置Ａ、位置Ｂ、位置Ｃ、位置Ａ、位置Ｂ、位置Ｃという順序で、位置Ａ～位置Ｃの間を複数回移動させてもよい。これにより、移動マグネット４が位置Ａ、位置Ｂ、位置Ｃを１回のみ移動する場合と比べて、マスクシート１０のアクティブエリア内に存在していた皺をさらに軽減することができる。
　移動マグネット制御部７は、外部信号を受信し、その外部信号に従って移動マグネット４を前進、後進、又は停止等させる。
　以下、移動マグネット４を使用して上記皺を軽減する方法を図２によりさらに詳しく説明する。図２は、移動マグネット４を使用してマスクシート１０に含まれる皺を軽減するフローチャートである。
　最初に、ステージ１上にマスクシート１０を載置する（Ｓ１０）。次に、マスクシート１０をアライメント（位置合わせ）する（Ｓ２０）。次に、マスクシート１０を、固定マグネット６を用いてマスクシート１０に仮止めする（Ｓ３０）。次に、移動マグネット制御部７は、移動マグネット４を位置Ａから位置Ｂに移動させ、ステージ１上に磁力を発生させる（Ｓ４０）。次に、移動マグネット制御部７は、移動マグネット４を位置Ｂから位置Ｃへと移動させる。これにより、移動マグネット制御部７は、ステージ１上に磁力を発生させる場所を制御する（Ｓ５０）。次に、固定マグネット６による仮止めを解除する（Ｓ６０）。これにより、マスクシート１０の端部に形成されていた大きな皺が解放される。次に、固定マグネット６を用いて、マスクシート１０を再びステージ１に仮止めする（Ｓ７０）。Ｓ７０では、ステージ１に載置されたマスクシート１０が伸ばされている。そして、最後に、伸ばされたマスクシート１０の画像がカメラ３に撮像され、ＰＰＡが測定される（Ｓ８０）。
　ここで、Ｓ３０～Ｓ７０をさらに詳しく説明する。
　上述したように、Ｓ３０では、固定マグネット６によってマスクシート１０がステージ１に仮止めされる（第１の仮止め）。そして、Ｓ４０では、移動マグネット４は位置Ｂに移動し、ステージ１上に磁力を発生させる。
　次に、Ｓ５０では、移動マグネット４が位置Ｂから位置Ｃに移動する。その移動の間、マスクシート１０は移動マグネット４の磁力を受け続ける。その磁力の作用により、移動マグネット４の移動に伴って、マスクシート１０の中央部に存在していた皺がマスクシート１０の端部の方向（位置Ｃの方向）に集まってくる。言い換えると、マスクシート１０の中央部に存在する皺が伸ばされる一方で、マスクシート１０の端部に大きな皺が形成される。そして、皺が端部に到達すると、その皺によって、仮止めされたマスクシート１０をステージ１から引き離そうとする力が生じる。この力によって、固定マグネット４によるマスクシート１の仮止めが解除され、その結果、皺が解放される（Ｓ６０）。その後、マスクシート１０の端部は自重によってステージ１に戻る。そして、固定マグネット６によって、マスクシート１０は再びステージ１に仮止めされる（Ｓ７０）。
　このように、第１の仮止めは、皺の力を利用して解除される。しかしながら、第１の仮止めは、固定マグネット６を一時的に移動させることで解除されてもよい。具体的に、移動マグネット４が位置Ｃに移動した後、固定マグネット６を一時的にステージ１から離す。これにより、マスクシート１０がステージ１に仮止めされていた状態が解除され（Ｓ６０）、マスクシート１０の端部に形成されていた大きな皺が解放される。ステージ１から固定マグネット６を離すタイミングは、移動マグネット４が位置Ｃに移動した後ではなく、移動マグネット４が位置Ｃに移動する直前であってもよい。
　次に、固定マグネット６が再びステージ１に取り付けられる（Ｓ７０）。固定マグネット６が取り付けられる位置は、マスクシート１０の端部に対応する位置である。これにより、再び、マスクシート１０はステージ１に仮止めされる（第２の仮止め）。Ｓ６０によってマスクシート１０の端部に存在していた大きな皺は解放されている。従って、マスクシート１０に形成されている皺は、第２の仮止めのときの方が第１の仮止めのときよりも少ない。
　固定マグネット６は、第１の仮止め、及び第２の仮止めにおいて、マスクシート１０をステージ１に強く固定する必要はなく、マスクシート１０をステージ１に軽く仮止めすればよい。つまり、固定マグネット６は、ステージ１の方向に軽く引き寄せる程度の力でマスクシート１０を仮止めすればよい。
　上述したように上記所定のルートが循環する構成である場合、移動マグネット制御部７は、移動マグネット４を、位置Ａ、位置Ｂ、位置Ｃ、位置Ａ、位置Ｂ、位置Ｃという順序で、位置Ａ～位置Ｃの間を複数回移動させてもよい。この場合、移動マグネット４が位置Ｃに移動するたびに、マスクシート１０の皺が解放される。その後、第２の仮止めを行った後、移動マグネット４を、位置Ａ、位置Ｂ、位置Ｃと移動させる。このように、移動マグネット４が位置Ｃに移動するたびにＳ６０、およびＳ７０を繰り返すことにより、マスクシート１０の皺をより軽減することができる。
　なお、マスクシート１０の皺が十分に少ない場合にはＳ６０、及びＳ７０は省略されうる。ただし、マスクシート１０の皺をより確実に軽減するためには、Ｓ６０、及びＳ７０は実施されることが好ましい。また、例えば、マスクシート１０が、一端部（又は、一か所）のみでステージ１に仮止めされている場合には、その一端部とは反対方向の他端方向に皺を伸ばす。これにより、固定マグネット６による仮止めを解除して、マスクシーと１０の皺を解放するステップ、及び、マスクシート１０を再度仮止めするステップはそれぞれ不要となる。
　図３は、マスクシート１０がＰＰＡ測定される様子を示す図である。図２のＳ５０（又は、Ｓ７０）において、ステージ1上でマスクシート１０が伸ばされる。これにより、マスクシート１０のアクティブエリア内に存在していた皺が伸びる。つまり、測定装置１００では、グリッパを使って架張されるのと同じ状態でＰＰＡを測定することができる。
　このように、測定装置１００は、ステージ１の下に配置された移動マグネット４を走査し、上記皺を伸ばし、その状態を維持してＰＰＡを測定する。これにより、測定装置１００は、ＰＰＡ測定の精度を高めることができる。このとき、マスクシート１０は、グリッパに引っ張られることがない。そのため、マスクシート１０は、グリッパ痕を起点とした破損を回避できる。
　　〔変形例１〕
　上記の説明では、測定装置１００は、複数の固定マグネット６を備える。しかしながら、測定装置１００は、固定マグネット６を１つのみ備える構成で実現されてもよい。
　例えば、マスクシート１０が直法形であり、４つの角部のうち一つの角部に対応する箇所に固定マグネット６を配置する。つまり、その1つの角部において、マスクシート１０がステージ１に仮止めされる。
　一方、移動マグネット４は複数存在する。複数の移動マグネット４は、上記１つの角部から残りの３つの角部に向かってそれぞれ移動する。このような構成であっても、グリッパを使うことなく、マスクシート１０のアクティブエリア内に存在していた皺を軽減することができる。
　　〔変形例２〕
　上記の説明では、測定装置１００は、複数の移動マグネット４を備える。しかしながら、測定装置１００は、移動マグネット４を１つのみ備える構成で実現されてもよい。
　例えば、マスクシート１０が直法形であり、４つの角部それぞれに対応する箇所に固定マグネット６を配置する。つまり、その４つの角部において、マスクシート１０がステージ１に仮止めされる。
　このとき、上記所定のルートは、次のように構成されている。具体的に、当該所定のルートでは、移動マグネット４は、位置Ｂ、第１の角度、位置Ｂ、第２の角部、位置Ｂ、第３の角部、位置Ｂ、第４の角部の順序で移動する。この構成によっても、マスクシート１０のアクティブエリア内に存在していた皺を軽減することができる。
　なお、変形例１、及び変形例２を組み合わせて、測定装置１００が移動マグネット４及び固定マグネット６をそれぞれ１つずつ備える構成も実現できる。
　〔第２の実施形態〕
　以下、他の測定装置１１０に係る構成を図４～図８により説明する。
　〔測定装置１１０の基本構成〕
　図４は、第１電磁石８～第ｎ電磁石８（ｎは２以上の整数）を使用する測定装置１１０の要部を示す図である。なお、説明の便宜上、上記実施形態にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。
　測定装置１１０は、マスクシート１０の位置ずれを測定する装置である。測定装置１１０は、ステージ１と、ランプ２（不図示）と、カメラ３（不図示）と、第１電磁石８～第ｎ電磁石８とを備える。
　なお、測定装置１１０は、移動マグネット４、固定マグネット６、及び移動マグネット制御部７を備えていない。また、図４～図８において、ｎは２～３５の整数とする。
　第１電磁石８～第ｎ電磁石８はそれぞれ、通電により一時的に磁力を発生する。第１電磁石８～第ｎ電磁石８はそれぞれ、ステージ１の裏面に配置され、例えば次のように配置される。（１）マトリックス状、（２）線状、（３）互いに隙間を設けた配置、（４）互いに隙間なく設けられた配置、（５）ランダム。なお、以下に説明する動作を実行するのであれば、第１電磁石８～第ｎ電磁石８の配置は（１）～（５）に限定されない。
　次に、第１電磁石８～第ｎ電磁石８の動作を図４～図８により説明する。なお、以下では、第１電磁石８、第２電磁石８、第３４電磁石８、及び第３５電磁石８（それぞれ、「端部電磁石」とも称する。）はそれぞれマスクシート１０の端部に対応するものとする。また、第３電磁石８～第３３電磁石８（それぞれ、「中央部電磁石」とも称する。）はそれぞれマスクシート１０の中央部に対応するものとする。これらは、説明の便宜のためである。従って、例えば、第１電磁石８～第３電磁石８、及び第３３電磁石８～第３５電磁石８がそれぞれマスクシート１０の端部に対応し、第４電磁石８～第３２電磁石８がそれぞれマスクシート１０の中央部に対応するものと理解されてもよい。
　図４では、第１電磁石８、第２電磁石８、第３４電磁石８、及び第３５電磁石８はそれぞれ、第１電流が通電され、第１磁力を発生させる。これにより、第１電磁石８、第２電磁石８、第３４電磁石８、及び第３５電磁石８はそれぞれ、磁力によりマスクシート１０と引き寄せ合い、マスクシート１０の対応する箇所（端部）をステージ１に仮止めする。このことは、後述する図５～図７も同様である。
　図５は、第１電磁石８～第ｎ電磁石８を使用する測定装置１１０の動作を説明するための図である。図５では、（１）第１電磁石８、第２電磁石８、第３４電磁石８、及び第３５電磁石８がそれぞれ、第１電流を通電され、第１磁力を発生させ、（２）第１７電磁石８～第１９電磁石８がそれぞれ、第２電流を通電され、第２磁力を発生させる。第２電流は第１電流よりも大きい。第２磁力は第１磁力よりも大きい。
　これにより、第１７電磁石８～第１９電磁石８はそれぞれ、磁力によりマスクシート１０と引き寄せ合い、マスクシート１０の対応する箇所（中央部）をステージ１に固定する（仮止めする）。
　図６は、第１電磁石８～第ｎ電磁石８を使用する測定装置１１０の動作を説明するための図である。図６では、（１）第１電磁石８、第２電磁石８、第３４電磁石８、第３５電磁石８、及び第１７電磁石８～第１９電磁石８がそれぞれ、第１電流を通電され、第１磁力を発生させる。さらに、図６では、（２）第１５電磁石８、第１６電磁石８、第２０電磁石８、及び第２１電磁石８がそれぞれ、第２電流を通電され、第２磁力を発生させる。
　つまり、図５の状態から図６の状態へ変化する過程において、第１７電磁石８～第１９電磁石８はそれぞれ、第２電流から第１電流へ電流値が低下し、かつ、第２磁力から第１磁力へ磁力が低下する。また、第１５電磁石８、第１６電磁石８、第２０電磁石８、及び第２１電磁石８はそれぞれ、０から第２電流へ電流値が上昇し、かつ、０から第２磁力へ磁力が上昇する。これにより、第１５電磁石８～第２１電磁石８の位置に対応する、マスクシート１０のアクティブエリア内に存在していた皺を効率的に伸ばすことができる。
　なお、上記の説明では、第１７電磁石８～第１９電磁石８はそれぞれ、第１電流を給電されるものとして説明した。しかしながら、第１７電磁石８～第１９電磁石８はそれぞれ、第２電流よりも小さい電流を通電されるのであれば、必ずしも第１電流が給電される必要はない。
　図７は、第１電磁石８～第ｎ電磁石８を使用する測定装置１１０の動作を説明するための図である。図７では、（１）第１電磁石８、第２電磁石８、第３４電磁石８、第３５電磁石８、及び第１５電磁石８～第２１電磁石８がそれぞれ、第１電流を通電され、第１磁力を発生させる。さらに、図７では、（２）第１３電磁石８、第１４電磁石８、第２２電磁石８、及び第２３電磁石８がそれぞれ、第２電流を通電され、第２磁力を発生させる。
　つまり、図６の状態から図７の状態へ変化する過程において、第１７電磁石８～第１９電磁石８はそれぞれ、第１電流が通電された状態が維持される。第１５電磁石８、第１６電磁石８、第２０電磁石８、及び第２１電磁石８はそれぞれ、第２電流から第１電流へ電流値が低下し、かつ、第２磁力から第１磁力へ磁力が低下する。第１３電磁石８、第１４電磁石８、第２２電磁石８、及び第２３電磁石８はそれぞれ、０から第２電流へ電流値が上昇し、かつ、０から第２磁力へ磁力が上昇する。これにより、第１３電磁石８～第２３電磁石８の位置に対応する、マスクシート１０のアクティブエリア内に存在していた皺を効率的に伸ばすことができる。
　なお、上記の説明では、第１５電磁石８～第２１電磁石８はそれぞれ、第１電流を給電されるものとして説明した。しかしながら、第１５電磁石８～第２１電磁石８はそれぞれ、第２電流よりも小さい電流を通電されるのであれば、必ずしも第１電流が給電される必要はない。
　図８は、第１電磁石８～第ｎ電磁石８を使用する測定装置１１０の動作を説明するための図である。図８では、（１）第１電磁石８、第２電磁石８、第３４電磁石８、及び第３５電磁石８がそれぞれ、第２電流を通電され、第２磁力を発生させ、（２）第３電磁石８～第３３電磁石８がそれぞれ、第１電流を通電され、第１磁力を発生させる。これにより、マスクシート１０のアクティブエリア内に存在していた皺を効率的に伸ばすことができる。最終的に、第１電磁石８、第２電磁石８、第３４電磁石８、及び第３５電磁石８に第２電流が流れ、皺が延びたままマスクシート１０がステージ１に固定される。
　このように、測定装置１１０は、位置が固定された第１電磁石８～第ｎ電磁石８に通電する電流値を変化させ、マスクシート１０のアクティブエリア内に存在していた皺を効率的に軽減することができる。測定装置１１０は、上記構成を備えることにより、移動マグネット４、固定マグネット６、及び移動マグネット制御部７を必要としない。第１電磁石８～第ｎ電磁石８への給電制御は、図示しない制御部が行えばよい。
　上述したように、第１電磁石８～第ｎ電磁石８は様々に配置されうる。以下、それぞれの配置ごとの利点を説明する。
　第１電磁石８～第ｎ電磁石８がマトリクス状に配置される場合、マスクシート１０のアクティブエリア内に存在していた皺を伸ばす処理は精密に制御される。
　第１電磁石８～第ｎ電磁石８が線状に配置される場合、当該第１電磁石８～第ｎ電磁石８は容易に配置でき、かつ、上記皺を伸ばす処理を簡素化することができる。
　第１電磁石８～第ｎ電磁石８が互いに隙間を設けて配置される場合、ランプ２から照射された光がその隙間を通過する。これにより、カメラ３は、マスクシート１０の画像を鮮明に撮影することができる。
　また、第１電磁石８～第ｎ電磁石８の配置に応じて、ステージ１の側方からランプ２の光を照射する構成も考えられる。このように、測定装置１１０は、全体構成を柔軟に変更することができる。
　以上、測定装置１００及び測定装置１１０について説明した。測定装置１００及び測定装置１１０により得られる効果は、マスクシートをステージに固定するために負圧を利用する従来の方法（以下、「エア吸着型」と称する）と比較しても顕著である。エア吸着型は、ステージに複数の微細な吸着孔を設ける必要がある。このため、エア吸着型は、（１）マスクシートがステージに吸着する場所が上記吸着孔に限定される、（２）当該吸着孔に異物が入り込むと吸着不良を引き起こす、（３）エア吸着式はメンテナンスが難しい、といった課題を有する。
　これに対して、測定装置１００及び測定装置１１０は、吸着孔を備える必要がないため、上記（１）～（３）の課題を有さない。また、測定装置１００及び測定装置１１０は、エア吸着型と異なり、ステージ１の表面を平坦面にすることができる。従って、測定装置１００及び測定装置１１０では、ステージ１の加工及び製造が容易である。
　〔用途〕
　本実施形態に係る測定装置、及び測定方法は、複数の画素上に粒子を蒸着するためのマスクシート１０の外形を測定する。そのようなマスクシート１０は、例えば以下（１）～（３）に使用される。従って、本実施形態に係る測定装置、及び測定方法は、下記（１）～（３）等の表示ディスプレイの製造に好適に適用することができる。
　（１）電気光学素子としてＯＬＥＤ（Organic Light Emitting Diode：有機発光ダイオード）を備えた有機ＥＬ（Electro Luminescence：エレクトロルミネッセンス）ディスプレイ。
　（２）電気光学素子として無機発光ダイオードを備えた無機ＥＬディスプレイ。
　（３）電気光学素子としてＱＬＥＤ（Quantum dot Light Emitting Diode：量子ドット発光ダイオード）を備えたＱＬＥＤディスプレイ等。
　〔まとめ〕
　本発明の態様１に係る測定装置は、磁性体を含む金属板の外形を測定する測定装置であって、上記金属板を表面に載置するステージと、上記ステージに向けて光を照射する光源と、上記金属板の画像を取得する画像取得部と、上記ステージの裏面側で磁力を発生する複数の磁力発生部と、上記磁力の発生位置を制御する制御部と、を備える構成である。
　上記の構成によれば、磁性体を含む上記金属板と上記磁力発生部が上記磁力の発生位置において磁力によって互いに引き寄せ合い、上記金属板は上記ステージに固定される（仮止めされる）。そして、上記金属板を上記ステージに固定した状態で、上記制御部が上記磁力の発生位置を制御することにより、磁力によって上記金属板を伸ばすことができる。これにより、例えば金属板に生じていた皺及び／又はうねりを軽減することができる。その結果、上記測定装置は、金属板の外形をより正確に測定することができる。
　さらに、上記の構成によれば、上記金属板を伸ばすために上記金属板の端部をグリッパ等で掴む必要がなくなるため、上記金属板にはグリッパ痕が残らない。それゆえ、上記金属板の外形を測定した後の工程において、上記グリッパ痕を起点に上記金属板が切れることもない。
　本発明の態様２に係る測定装置は、上記の態様１において、上記複数の磁力発生部は、１又は複数の第１磁力発生部と、当該第１磁力発生部とは異なる、１又は複数の第２磁力発生部と、を含む。上記１又は複数の第１磁力発生部は、上記ステージに固定され、かつ、上記金属板の端部を上記ステージに仮止めする。上記制御部は、上記ステージの裏面側の、上記金属板の中央部に対応する第１位置から上記金属板の端部に対応する第２位置に向かって上記１又は複数の第２磁力発生部を移動させることにより、上記磁力の発生位置を制御する。本発明の態様２に係る測定装置は、このような構成で実現されてもよい。
　上記構成によれば、上記金属板を効率的に伸ばすことができる。
　本発明の態様３に係る測定装置は、上記の態様２において、上記１又は複数の第１磁力発生部及び上記１又は複数の第２磁力発生部はそれぞれ、マグネットである構成としてもよい。
　上記構成によれば、上記効果を奏する測定装置を簡易な構成で実現することができる。
　本発明の態様４に係る測定装置は、上記の態様１において、上記複数の磁力発生部はそれぞれ、上記ステージの裏面側に固定された複数の電磁石であり、上記制御部は、上記複数の電磁石への給電を介して、上記磁力の発生位置を制御する構成としてもよい。
　上記の構成によれば、上記制御部は、上記磁力の発生位置を容易に制御することができる。
　本発明の態様５に係る測定装置は、上記の態様１～４の何れか１項において、上記金属板は、表示ディスプレイの複数の画素上に粒子を蒸着するためのマスクシートである構成としてもよい。
　上記構成によれば、上記測定装置は、ＯＬＥＤを備えた有機ＥＬディスプレイ、無機発光ダイオードを備えた無機ＥＬディスプレイ、ＱＬＥＤを備えたＱＬＥＤディスプレイ等に使用されるマスクシートの外形を好適に測定することができる。
　本発明の態様６に係る測定装置は、上記の態様１～５の何れか１項において、上記ステージは、当該ステージを駆動する駆動部を備える構成としてもよい。
　上記の構成によれば、上記金属板を伸ばした後、上記ステージを駆動することにより上記金属板を容易に位置合わせすることができる。
　本発明の態様７に係る測定装置は、上記の態様１～６の何れか１項において、上記ステージの上記表面は平坦面である構成としてもよい。
　上記構成によれば、上記測定装置は、従来のエア吸着式が抱える課題を有しない。さらに、上記測定装置では、上記ステージを容易に加工及び製造することができる。
　本発明の態様８に係る測定方法は、磁性体を含む金属板の外形を測定する測定方法であって、順に、（ａ）ステージの表面に上記金属板を載置するステップと、（ｂ）上記表面に磁力を発生させるステップと、（ｃ）上記磁力の発生位置を制御するステップと、（ｄ）上記金属板の画像を取得するステップと、を含む方法である。
　本発明の態様９に係る測定方法は、上記の態様８において、上記金属板は、表示ディスプレイの複数の画素上に粒子を蒸着するためのマスクシートである方法としてもよい。
　本発明の態様１０に係る測定方法は、上記の態様８又は９において、上記（ａ）ステップと上記（ｂ）ステップの間に、順に、（ａ１）上記金属板を位置合わせするステップと、（ａ２）１又は複数の第１マグネットを用いて上記金属板を仮止めするステップと、を含む。上記（ｃ）ステップは、上記１又は複数の第１マグネットとは異なる１又は複数の第２マグネットを、上記ステージの裏面側の、上記金属板の中央部に対応する第１位置から上記金属板の端部に対応する第２位置に向かって移動させることにより、上記磁力の発生位置を制御する。本発明の態様１０に係る測定方法は、このような方法で実現されてもよい。
　本発明の態様１１に係る測定方法は、上記の態様８又は９において、上記ステージの裏面側の、上記金属板の中央部に対応する第１位置から上記金属板の端部に対応する第２位置にわたって複数の電磁石が配置されている場合に、上記（ａ）ステップと上記（ｂ）ステップの間に、順に、（ａ１）上記金属板を位置合わせするステップと、（ａ２）上記複数の電磁石のうち、上記金属板の端部に対応する位置に配された複数の端部電磁石に給電することにより上記金属板を仮止めするステップと、を含む。上記（ｃ）ステップは、上記複数の電磁石のうち、上記金属板の中央部に対応する位置に配された複数の中央部電磁石に上記第１位置から上記第２位置の方向へ順に給電することにより、上記磁力の発生位置を制御する。本発明の態様１１に係る測定方法は、このような方法で実現されてもよい。
　本発明の態様１２に係る測定方法は、上記の態様１１において、上記（ｃ）ステップにおいて、上記複数の中央部電磁石それぞれに給電される電流が、最初に第２電流が給電され、続いて、当該第２電流よりも低い第１電流が給電されてもよい。
　本発明の態様１３に係る測定方法は、上記の態様１２において、上記（ｃ）ステップの後、上記複数の端部電磁石に給電される電流が、上記複数の中央部電磁石に給電される電流よりも大きくてもよい。
　本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
１　ステージ
１ａ　ステージ駆動部
２　ランプ
３　カメラ
４、４ａ、４ｂ　移動マグネット
６、６ａ、６ｂ　固定マグネット
７　移動マグネット制御部
８　電磁石
１０　マスクシート
１００、１１０　測定装置

Claims (13)

  1. 　磁性体を含む金属板の外形を測定する測定装置であって、
    　上記金属板を表面に載置するステージと、
    　上記ステージに向けて光を照射する光源と、
    　上記金属板の画像を取得する画像取得部と、
    　上記ステージの裏面側で磁力を発生する複数の磁力発生部と、
    　上記磁力の発生位置を制御する制御部と、を備えることを特徴とする測定装置。
  2. 　上記複数の磁力発生部は、１又は複数の第１磁力発生部と、当該第１磁力発生部とは異なる、１又は複数の第２磁力発生部と、を含み、
    　上記１又は複数の第１磁力発生部は、上記ステージに固定され、かつ、上記金属板の端部を上記ステージに固定し、
    　上記制御部は、上記ステージの裏面側の、上記金属板の中央部に対応する第１位置から上記金属板の端部に対応する第２位置に向かって上記１又は複数の第２磁力発生部を移動させることにより、上記磁力の発生位置を制御することを特徴とする請求項１に記載の測定装置。
  3. 　上記１又は複数の第１磁力発生部及び上記１又は複数の第２磁力発生部はそれぞれ、マグネットであることを特徴とする請求項２に記載の測定装置。
  4. 　上記複数の磁力発生部はそれぞれ、上記ステージの裏面側に固定された複数の電磁石であり、
    　上記制御部は、上記複数の電磁石への給電を介して、上記磁力の発生位置を制御することを特徴とする請求項１に記載の測定装置。
  5. 　上記金属板は、表示ディスプレイの複数の画素上に粒子を蒸着するためのマスクシートであることを特徴とする請求項１～４の何れか１項に記載の測定装置。
  6. 　上記ステージは、当該ステージを駆動する駆動部を備えることを特徴とする請求項１～５の何れか１項に記載の測定装置。
  7. 　上記ステージの上記表面は平坦面であることを特徴とする請求項１～６の何れか１項に記載の測定装置。
  8. 　磁性体を含む金属板の外形を測定する測定方法であって、順に、
    　（ａ）ステージの表面に上記金属板を載置するステップと、
    　（ｂ）上記表面に磁力を発生させるステップと、
    　（ｃ）上記磁力の発生位置を制御するステップと、
    　（ｄ）上記金属板の画像を取得するステップと、を含むことを特徴とする測定方法。
  9. 　上記金属板は、表示ディスプレイの複数の画素上に粒子を蒸着するためのマスクシートであることを特徴とする請求項８に記載の測定方法。
  10. 　上記（ａ）ステップと上記（ｂ）ステップの間に、順に、
    　（ａ１）上記金属板を位置合わせするステップと、
    　（ａ２）１又は複数の第１マグネットを用いて上記金属板を仮止めするステップと、を含み、
    　上記（ｃ）ステップは、上記１又は複数の第１マグネットとは異なる１又は複数の第２マグネットを、上記ステージの裏面側の、上記金属板の中央部に対応する第１位置から上記金属板の端部に対応する第２位置に向かって移動させることにより、上記磁力の発生位置を制御することを特徴とする請求項８又は９に記載の測定方法。
  11. 　上記ステージの裏面側の、上記金属板の中央部に対応する第１位置から上記金属板の端部に対応する第２位置にわたって複数の電磁石が配置されている場合に、
    　上記（ａ）ステップと上記（ｂ）ステップの間に、順に、
    　（ａ１）上記金属板を位置合わせするステップと、
    　（ａ２）上記複数の電磁石のうち、上記金属板の端部に対応する位置に配された複数の端部電磁石に給電することにより上記金属板を仮止めするステップと、を含み、
    　上記（ｃ）ステップは、上記複数の電磁石のうち、上記金属板の中央部に対応する位置に配された複数の中央部電磁石に上記第１位置から上記第２位置の方向へ順に給電することにより、上記磁力の発生位置を制御することを特徴とする請求項８又は９に記載の測定方法。
  12. 　上記（ｃ）ステップにおいて、上記複数の中央部電磁石それぞれに給電される電流は、最初に第２電流が給電され、続いて、当該第２電流よりも低い第１電流が給電されることを特徴とする請求項１１に記載の測定方法。
  13. 　上記（ｃ）ステップの後、上記複数の端部電磁石に給電される電流は、上記複数の中央部電磁石に給電される電流よりも大きいことを特徴とする請求項１２に記載の測定方法。
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016000840A (ja) * 2014-06-11 2016-01-07 凸版印刷株式会社 メタルマスクの搬送治具およびメタルマスクの検査方法
JP2016053192A (ja) * 2014-09-03 2016-04-14 大日本印刷株式会社 蒸着マスクの寸法測定方法、蒸着マスクの張力付与装置および蒸着マスクの寸法測定装置

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5880828A (en) * 1996-07-26 1999-03-09 Hitachi Electronics Engineering Co., Ltd. Surface defect inspection device and shading correction method therefor
KR100775846B1 (ko) 2006-09-04 2007-11-13 엘지전자 주식회사 디스플레이 소자 제조용 마스크
US9580791B2 (en) * 2010-05-28 2017-02-28 Sharp Kabushiki Kaisha Vapor deposition mask, and manufacturing method and manufacturing device for organic EL element using vapor deposition mask
CN202002629U (zh) * 2010-12-27 2011-10-05 柯尼卡美能达商用科技(无锡)有限公司 厚度测量装置
JP2014154315A (ja) * 2013-02-07 2014-08-25 Hitachi High-Technologies Corp 有機ｅｌデバイス製造装置及び有機ｅｌデバイス製造方法
EP3264030B1 (en) * 2015-02-23 2020-07-22 Nikon Corporation Measurement device, lithography system and exposure device, and device manufacturing method
JP2017040496A (ja) * 2015-08-18 2017-02-23 国立大学法人静岡大学 計測マーカー、画像計測システム及び画像計測方法
JP6653025B2 (ja) * 2016-11-25 2020-02-26 シャープ株式会社 蒸着装置および有機ｅｌ表示装置の製造方法
KR20200051702A (ko) * 2017-09-05 2020-05-13 다이니폰 인사츠 가부시키가이샤 증착 마스크 장치의 제조 방법 및 증착 마스크 장치의 제조 장치
CN109994629B (zh) * 2017-12-29 2021-01-29 Tcl科技集团股份有限公司 复合薄膜及其制备方法和应用
CN108198958B (zh) * 2018-01-30 2020-06-30 京东方科技集团股份有限公司 显示基板及其制作方法、制作设备、显示装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016000840A (ja) * 2014-06-11 2016-01-07 凸版印刷株式会社 メタルマスクの搬送治具およびメタルマスクの検査方法
JP2016053192A (ja) * 2014-09-03 2016-04-14 大日本印刷株式会社 蒸着マスクの寸法測定方法、蒸着マスクの張力付与装置および蒸着マスクの寸法測定装置

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