WO2019179604A1 - Vorrichtung und verfahren zur formung eines laserstrahls durch einen programmierbaren strahlformer - Google Patents

Vorrichtung und verfahren zur formung eines laserstrahls durch einen programmierbaren strahlformer Download PDF

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Dmitriy Mikhaylov
Damir Shakirov
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Robert Bosch Gmbh
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    • G02—OPTICS
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    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10—Scanning systems
    • G02B26/12—Scanning systems using multifaceted mirrors
    • G02B26/125—Details of the optical system between the polygonal mirror and the image plane
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/03—Observing, e.g. monitoring, the workpiece
    • B23K26/032—Observing, e.g. monitoring, the workpiece using optical means
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
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    • G02B27/09—Beam shaping, e.g. changing the cross-sectional area, not otherwise provided for

Definitions

  • the invention relates to a device for shaping a laser beam by a programmable beam shaper.
  • the invention further relates to a method for shaping a laser beam by a programmable beam shaper.
  • SLM Spatial Light Modulator
  • Digital Micromirror Device in the form of one or two-dimensional arrays of movable mirrors.
  • controllable light processing unit including a grid of control surfaces capable of independently setting a light characteristic of the output light of each control surface
  • a focusing optics for producing a number of focusing regions in the workpiece to be machined, each microlens being associated with a focusing region.
  • each processing surface is individually controlled. There is no sequential control and no merging of the light path to a Zige processing surface provided.
  • WO 02 / 034446A3 describes a system for processing a workpiece by means of laser radiation, which consists of the following components:
  • a beam splitter for splitting the primary light beam into a number of secondary light beams
  • a grid assembly of light modulators which has a grid arrangement of a single controllable elements, each of which can pass or block one of the secondary light rays;
  • microlenses A grid arrangement of microlenses, the microlenses a given
  • microlenses are each assigned to a controllable ele ment of the light modulator, so that the secondary light beam is focused after passing through the light modulator by a microlens;
  • control unit for individually controlling each controllable element of the
  • the system is designed to process a workpiece with a large number of laser beams simultaneously. It is not intended to use the laser beams on the To merge workpiece and so to improve the operating frequency of the arrangement of Strahlformern.
  • a deflection unit for alternately directing the laser beam along at least two different regions of the beam former or at least one second optical path or at a first beam former and at least one second beam former
  • Optical unit for merging the first and at least second light path after the beam forming is present
  • a control unit for controlling the deflection unit and the first and at least second beam shaper is provided and that in the control unit, a sequence control for alternately guiding the laser beam to the first light path and the at least second light path and to a control of a shaping pattern on the first beam shaper and the at least second beam shaper is provided.
  • the device is not limited to two beamformers and two lightpaths; It can be provided a variety of beam shaper and light paths. In this case, the beam shaper may have different shaping patterns, between which can be switched very quickly with the deflection.
  • Alternating frequency is thus no longer dependent on the switching speed of the beam shaper (image refresh rate). Due to the increased frequency of change, highly dynamic laser processing processes such as wobbling or
  • Temperaturfeldtayloring be used improved. Since the individual beam shaper is not constantly exposed to laser light, also reduces its thermal load. With the same thermal load, the process duration can be shortened. It is not necessary that the light paths and beam shaper are always addressed in the same order. It can also be provided, the Depending on the type of the pattern or the thermal stress of the beam former dependent.
  • control unit also controls the optical unit to merge the light paths after the beam formers. If the device is designed so that the different light paths act on different areas on a single beam former, the control unit can suitably control the deflection unit and the beam former.
  • the sequence control is designed such that a change of a shaping pattern on the first
  • Beam shaper is provided only if the laser beam is not directed along the first light path and that a change of a pattern of forming on the second beam shaper is provided only if the laser beam is not directed along the second light path. Analogously, more beam shaper so
  • the shaping pattern in one of the areas will only be modified if the area is not exposed to laser light.
  • the object of the invention relating to the method is achieved by deflecting the laser beam alternately along a first light path and at least one second light path onto at least two different regions of the programmable beam former or onto a first beam former and at least one second beam former programmable beamformer or the first beamformer and the second beamformer in an optical unit to a merged laser beam is merged.
  • the deflection unit can be between different beam shapers with different
  • Shaping patterns are switched so that the alternating frequency between shaping patterns can be greatly improved.
  • the partial beams from the different light paths are brought together on a common optical axis, so that they can be guided, deflected and focused together.
  • the merged laser beam can be kept free of transition effects (e.g., "tearing") when changing pattern patterns on the beam formers, and the quality of the machining process can be improved.
  • the device or method may be used for any combination of the device or method.
  • the device or method may be used for any combination of the device or method.
  • Material processing with laser light in the form of welding, gas alloying, soldering, labeling, marking, drilling, cleaning, polishing or laser ablation can be used. Furthermore, the device and the method in the form of welding, gas alloying, soldering, labeling, marking, drilling, cleaning, polishing or laser ablation can be used. Furthermore, the device and the method in the form of welding, gas alloying, soldering, labeling, marking, drilling, cleaning, polishing or laser ablation can be used. Furthermore, the device and the method in the
  • the laser projection apparatus or method may be used.
  • FIG. 1 shows a schematic representation of a laser processing system in which the method can be used.
  • FIG. 1 shows schematically a laser processing system 10 with a laser source 11, which emits a laser beam 12.
  • the laser beam 12 is fed by a deflection unit 13 alternately along a first light path 17 to a first beam former 14, along a second light path 18 to a second beam former 15 and along a third light path 19 to a third beam former 16.
  • a larger number of beam shapers can also be provided via further
  • Light paths with light from the laser beam 12 are applied.
  • the beam shapers 14, 15, 16, the light paths 17, 18, 19 are deflected in an optical unit 21 in such a way that they are brought together along a common optical axis to form a combined laser beam 22.
  • the merged laser beam 22 becomes directed to a workpiece 23, where it can serve as an example for welding, soldering, labeling, marking, gas alloying, drilling, cleaning, polishing or material removal.
  • a laser projection can be generated.
  • 23 is then a projection surface.
  • a control unit 20 controls the deflection unit 13 and the beam shapers 14, 15, 16 such that a change of a shaping pattern on a beam shaper 14, 15, 16 is made only while the laser beam 12 is applied to one of the other beam shaper 14, 15, 16. It can thereby be achieved that changes in the shaping pattern are only made on beam formers which are not exposed to laser light and that transitional forms between two successive shaping patterns have no effect on the combined laser beam 22. This will improve the quality of the
  • the use of a plurality of beamformers 14, 15, 16 has the advantage that an image change rate with which changes in the shaping pattern for the combined laser beam 22 can be performed can be increased considerably. Furthermore, the heat load of the individual Strahlformers decreases because this is not continuously applied to laser radiation. By the arrangement according to the invention, an effect of objective speckles on the result of a laser processing can be reduced and thus the processing result can be improved.
  • the laser beam 12 may be replaced by the
  • Deflection unit 13 are directed to different areas of a single beam former instead of directing it to different beam shaper.
  • the shaping pattern is left unchanged in the area being irradiated with laser light and changed as needed in one of the non-laser light irradiated areas.
  • the deflection unit 13 can be used as a polygon scanner, as an acousto-optical or
  • the electro-optical modulator as an array of galvanomotors driven mirrors, as an actuator based on another technology for the deflection of a laser beam or as a combination of the aforementioned units. It can be provided in the deflection 13 more subunits to to achieve a two-dimensional deflection.
  • the optical unit 21 may be formed as a system of optical components such as mirrors, lenses or prisms. It can be controlled by the control unit in such a way that movable or
  • controllable optical components merge the coming of the beam formers laser light in the merged laser beam 22 with a common optical axis.

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Formung eines Laserstrahls durch einen programmierbaren Strahlformer. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass eine Ablenkeinheit zur abwechselnden Lenkung des Laserstrahls entlang eines ersten Lichtwegs und zumindest eines zweiten Lichtwegs auf zumindest zwei unterschiedliche Bereiche des Strahlformers oder auf einen ersten Strahlformer und zumindest einen zweiten Strahlformer vorhanden ist, dass eine Optikeinheit zur Zusammenführung des ersten und zumindest zweiten Lichtwegs nach der Strahlformung vorhanden ist, dass eine Steuereinheit zur Ansteuerung der Ablenkeinheit (13) und des ersten und zumindest zweiten Strahlformers (14, 15) vorgesehen ist und dass in der Steuereinheit (20) eine Ablaufsteuerung zur abwechselnden Lenkung des Laserstrahls (12) auf den ersten Lichtweg (17) und zumindest zweiten Lichtweg (18) sowie zu einer Ansteuerung von einem Formungsmuster auf dem ersten Strahlformer (14) und dem zumindest zweiten Strahlformer (15) vorgesehen ist.

Description

Beschreibung
Titel
Vorrichtung und Verfahren zur Formung eines Laserstrahls durch einen
programmierbaren Strahlformer
Stand der Technik
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Formung eines Laserstrahls durch einen programmierbaren Strahlformer.
Die Erfindung betrifft weiterhin ein Verfahren zur Formung eines Laserstrahls durch einen programmierbaren Strahlformer.
Programmierbare Strahlformer zur Beeinflussung der örtlichen und zeitlichen
Intensitätsverteilung eines Laserstrahls sind als„Spatial Light Modulator (SLM)“ auf Basis von Flüssigkristallen oder als„Digital Micromirror Device“ in Form von ein- oder zweidimensionalen Anordnungen bewegbarer Spiegel bekannt. Bei Kenntnis der Eigenschaften des Eingangsstrahls kann mit ihnen eine gewünschte Form einer Wellenfront eines Ausgangsstrahls gezielt eingestellt werden. Ein limitierender Faktor ist die dabei erzielbare Bildwiederholfrequenz, mit der unterschiedliche Strahlformen nacheinander eingestellt werden können, um die Strahlform an den jeweiligen Bearbeitungsprozess anzupassen. Bei einem Wechsel eines zur Strahlformung verwendeten Formungsmusters auf dem programmierbaren Strahlformer zu einem anderen Formungsmuster kann es für im Prozess spürbare Zeitdauer zu nicht beabsichtigten Übergangszuständen (unbekannter Zustand der Brechungsindex Matrix) kommen, die einen Laser- Bearbeitungsprozess beeinträchtigen können. Die Schrift GB 2488780A beschreibt eine Anlage zur Bearbeitung eines Werkstücks mittels Laserstrahlung, die aus folgenden Komponenten besteht:
- einem Laser;
- einer steuerbaren Lichtverarbeitungseinheit, welche ein Raster von Steuerflächen enthält, die unabhängig voneinander eine Lichteigenschaft des Ausgangslichts je der Steuerfläche einstellen können;
- einer Gitteranordnung von Mikrolinsen im optischen Pfad des Ausgangslichts der
Steuerflächen der Lichtverarbeitungseinheit; und
- einer Fokussierungsoptik zur Erzeugung einer Anzahl von Fokussierungsregionen in dem zu bearbeitenden Werkstück, wobei jeder Mikrolinse eine Fokussierungsregion zugeordnet ist.
Auf dem Werkstück werden somit Bearbeitungsflächen im Raster der Mikrolinsen anordnung erzeugt, wobei jede Bearbeitungsfläche individuell steuerbar ist. Es ist kei ne sequentielle Ansteuerung und keine Zusammenführung des Lichtwegs auf eine ein zige Bearbeitungsfläche vorgesehen.
Die Schrift WO 02/034446A3 beschreibt eine Anlage zur Bearbeitung eines Werk stücks mittels Laserstrahlung, die aus folgenden Komponenten besteht:
- einem linear polarisierten Laser zur Erzeugung eines linear polarisierten Lichtstrahls;
- einem Strahlteiler zur Aufspaltung des primären Lichtstrahls in eine Anzahl von se kundären Lichtstrahlen;
- einer Gitteranordnung von Lichtmodulatoren, welche eine Gitteranordnung von ein zeln steuerbaren Elementen aufweist, welche jeweils einen der sekundären Licht strahlen durchlassen oder sperren kann;
- einer Gitteranordnung von Mikrolinsen, wobei die Mikrolinsen eine vorgegeben
Brennweite aufweisen und wobei die Mikrolinsen jeweils einem steuerbaren Ele ment des Lichtmodulators zugeordnet sind, so dass der sekundäre Lichtstrahl nach Durchtritt durch den Lichtmodulator durch eine Mikrolinse fokussiert wird; und
- eine Steuereinheit zur individuellen Steuerung jedes steuerbaren Elements des
Lichtmodulators in einer vorgebbaren Art und Weise zwischen einem durchsichti gen und einem undurchsichtigen Zustand.
Die Anlage ist dazu ausgelegt, ein Werkstück mit einer Vielzahl von Laserstrahlen gleichzeitig zu bearbeiten. Es ist nicht vorgesehen, die Laserstrahlen auf dem Werkstück zusammenzuführen und so die Arbeitsfrequenz der Anordnung aus Strahlformern zu verbessern.
Es ist daher Aufgabe der Erfindung, eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Erhöhung der Arbeitsfrequenz und zur Verminderung von Abbildungsfehlern einer Strahlformung für einen Laserstrahl bereitzustellen.
Offenbarung der Erfindung
Die die Vorrichtung betreffende Aufgabe der Erfindung wird dadurch gelöst, dass eine Ablenkeinheit zur abwechselnden Lenkung des Laserstrahls entlang eines ersten Lichtwegs und zumindest eines zweiten Lichtwegs auf zumindest zwei unterschiedliche Bereiche des Strahlformers oder auf einen ersten Strahlformer und zumindest einen zweiten Strahlformer vorhanden ist, dass eine Optikeinheit zur Zusammenführung des ersten und zumindest zweiten Lichtwegs nach der Strahlformung vorhanden ist, dass eine Steuereinheit zur Ansteuerung der Ablenkeinheit und des ersten und zumindest zweiten Strahlformers vorgesehen ist und dass in der Steuereinheit eine Ablauf steuerung zur abwechselnden Lenkung des Laserstrahls auf den ersten Lichtweg und den zumindest zweiten Lichtweg sowie zu einer Ansteuerung von einem Formungs muster auf dem ersten Strahlformer und dem zumindest zweiten Strahlformer vorgesehen ist. Die Vorrichtung ist nicht auf zwei Strahlformer und zwei Lichtwege beschränkt; es kann eine Vielzahl von Strahlformern und Lichtwegen vorgesehen sein. Dabei können die Strahlformer unterschiedliche Formungsmuster aufweisen, zwischen denen mit der Ablenkeinheit sehr schnell umgeschaltet werden kann. Die
Wechselfrequenz ist somit nicht mehr von der Schaltgeschwindigkeit der Strahlformer (Bildwiederholfrequenz) abhängig. Durch die erhöhte Wechselfrequenz können hochdynamische Laserbearbeitungsprozesse wie Wobbeln oder
Temperaturfeldtayloring verbessert eingesetzt werden. Da der einzelne Strahlformer nicht dauernd mit Laserlicht beaufschlagt ist, vermindert sich zudem dessen thermische Belastung. Bei gleicher thermischer Belastung kann die Prozessdauer verkürzt werden. Es ist nicht notwendig, dass die Lichtwege und Strahlformer immer in derselben Reihenfolge angesprochen werden. Es kann auch vorgesehen sein, die Reihenfolge von der Art des Formungsmusters oder der thermischen Beanspruchung der Strahlformer abhängig zu machen.
In einer Ausführungsform kann es vorgesehen sein, dass die Steuereinheit auch die Optikeinheit ansteuert um die Lichtwege nach den Strahlformern zusammenzuführen. Ist die Vorrichtung so ausgelegt, dass die unterschiedlichen Lichtwege unterschiedliche Bereiche auf einem einzigen Strahlformer beaufschlagen, kann die Steuereinheit die Ablenkeinheit und den Strahlformer geeignet ansteuern.
In einer Weiterbildung der Vorrichtung ist vorgesehen, dass die Ablaufsteuerung so ausgelegt ist, dass eine Änderung eines Formungsmusters auf dem ersten
Strahlformer nur vorgesehen ist, wenn der Laserstrahl nicht entlang des ersten Lichtwegs gelenkt ist und dass eine Änderung eines Formungsmusters auf dem zweiten Strahlformer nur vorgesehen ist, wenn der Laserstrahl nicht entlang des zweiten Lichtwegs gelenkt ist. Sinngemäß können weitere Strahlformer so
eingebunden werden, dass eine Änderung des Formungsmusters nur durchgeführt wird, wenn der Strahlformer nicht mit Laserlicht beaufschlagt wird. Wird ein einzelner Strahlformer verwendet, auf dem unterschiedliche Bereiche von unterschiedlichen Lichtwegen beaufschlagt werden, so wird das Formungsmuster in einem der Bereiche nur abgeändert, wenn der Bereich nicht mit Laserlicht beaufschlagt ist.
Die das Verfahren betreffende Aufgabe der Erfindung wird dadurch gelöst, dass der Laserstrahl durch eine Ablenkeinheit abwechselnd entlang eines ersten Lichtwegs und zumindest eines zweiten Lichtwegs auf zumindest zwei unterschiedliche Bereiche des programmierbaren Strahlformers oder auf einen ersten Strahlformer und zumindest einen zweiten Strahlformer gelenkt wird und nach dem programmierbaren Strahlformer oder dem ersten Strahlformer und dem zweiten Strahlformer in einer Optikeinheit zu einem zusammengeführten Laserstrahl zusammengeführt wird. Mit der Ablenkeinheit kann zwischen unterschiedlichen Strahlformern mit unterschiedlichen
Formungsmustern umgeschaltet werden, so dass die Wechselfrequenz zwischen Formungsmustern stark verbessert werden kann. In der Optikeinheit werden die Teilstrahlen aus den unterschiedlichen Lichtwegen auf eine gemeinsame optische Achse zusammengeführt, so dass sie gemeinsam geführt, abgelenkt und fokussiert werden können. In einer Weiterführung des Verfahrens ist vorgesehen, dass eine Änderung eines Formungsmusters auf einem der Strahlformer während einer Strahlpause
vorgenommen wird in der dieser nicht mit Laserstrahlung beaufschlagt wird. Hierdurch kann der zusammengeführte Laserstrahl von Übergangseffekten (z.B.„Tearing“) beim Wechsel von Formungsmustern auf den Strahlformern frei gehalten werden und die Qualität des Bearbeitungsprozesses kann verbessert werden.
In bevorzugten Anwendungen können die Vorrichtung oder das Verfahren zur
Materialbearbeitung mit Laserlicht in Form von Schweißen, Gaslegieren, Löten, Beschriften, Markieren, Bohren, Säubern, Polieren oder zur Laserablation eingesetzt werden. Ferner können die Vorrichtung und das Verfahren in der
Laserprojektionstechnik eingesetzt werden, wo sie die gleichen Vorteile bieten.
In einer weiteren bevorzugten Anwendung können die Vorrichtung oder das Verfahren zur Laserprojektion eingesetzt werden.
Die Erfindung wird im Folgenden anhand eines in der Figur dargestellten Ausfüh rungsbeispiels näher erläutert. Es zeigt:
Figur 1 in einer schematischen Darstellung eine Laserbearbeitungsanlage in der das Verfahren angewendet werden kann.
Figur 1 zeigt schematisch eine Laserbearbeitungsanlage 10 mit einer Laserquelle 11, die einen Laserstrahl 12 aussendet. Der Laserstrahl 12 wird von einer Ablenkeinheit 13 abwechselnd entlang eines ersten Lichtwegs 17 einem ersten Strahlformer 14, entlang eines zweiten Lichtwegs 18 einem zweiten Strahlformer 15 und entlang eines dritten Lichtwegs 19 einem dritten Strahlformer 16 zugeführt. In einer Erweiterung der Anordnung können auch eine größere Anzahl von Strahlformern über weitere
Lichtwege mit Licht des Laserstrahls 12 beaufschlagt werden. Nach den Strahlformern 14, 15, 16 werden die Lichtwege 17, 18, 19 in einer Optikeinheit 21 so umgelenkt, dass sie entlang einer gemeinsamen optischen Achse zu einem zusammengeführten Laserstahl 22 zusammengeführt werden. Der zusammengeführte Laserstrahl 22 wird auf ein Werkstück 23 gerichtet, wo er beispielhaft zum Schweißen, Löten, Beschriften, Markieren, Gaslegieren, Bohren, Säubern, Polieren oder zum Materialabtrag dienen kann. Nach dem gleichen Prinzip kann eine Laserprojektion erzeugt werden. 23 ist dann eine Projektionsfläche. Eine Steuereinheit 20 steuert die Ablenkeinheit 13 und die Strahlformer 14, 15, 16 derart an, dass eine Änderung eines Formungsmusters auf einem Strahlformer 14, 15, 16 nur vorgenommen wird, während der Laserstrahl 12 einen der anderen Strahlformer 14, 15, 16 beaufschlagt. Hierdurch kann erreicht werden, dass Änderungen des Formungsmusters nur an nicht mit Laserlicht beaufschlagten Strahlformern vorgenommen werden und dass Übergangsformen zwischen zwei aufeinanderfolgenden Formungsmustern keine Auswirkung auf den zusammengeführten Laserstrahl 22 haben. Hierdurch wird die Qualität des
zusammengeführten Laserstrahls 22 verbessert.
Die Verwendung einer Vielzahl von Strahlformern 14, 15, 16 hat den Vorteil, dass eine Bildwechselrate, mit der Änderungen in dem Formungsmuster für den zusammen geführten Laserstrahl 22 durchgeführt werden können, erheblich erhöht werden kann. Weiterhin sinkt die Wärmebelastung des einzelnen Strahlformers, da dieser nicht durchgehend mit Laserstrahlung beaufschlagt wird. Durch die erfindungsgemäße Anordnung kann eine Auswirkung von objektiven Speckles auf das Ergebnis einer Laserbearbeitung vermindert werden und damit das Bearbeitungsergebnis verbessert werden.
In einer Ausführungsform der Anordnung kann der Laserstrahl 12 durch die
Ablenkeinheit 13 auf unterschiedliche Bereiche eines einzelnen Strahlformers gelenkt werden anstatt ihn auf unterschiedliche Strahlformer zu lenken. In diesem Fall wird das Formungsmustern in dem gerade mit Laserlicht beaufschlagten Bereich unverändert gelassen und bei Bedarf in einem der nicht mit Laserlicht beaufschlagten Bereiche geändert.
Die Ablenkeinheit 13 kann als Polygonscanner, als akustooptischer oder
elektrooptischer Modulator, als Anordnung von mit Galvanomotoren angetriebenen Spiegeln, als ein auf einer anderen Technologie beruhender Aktor für die Auslenkung eines Laserstrahls oder als eine Kombination der vorgenannten Einheiten ausgebildet sein. Es können in der Ablenkeinheit 13 mehrere Untereinheiten vorgesehen sein, um eine zweidimensionale Ablenkung zu erzielen. Die Optikeinheit 21 kann als System aus optischen Komponenten wie Spiegeln, Linsen oder Prismen ausgebildet sein. Sie kann von der Steuereinheit so angesteuert werden, dass bewegbare oder
ansteuerbare optische Komponenten das von den Strahlformern kommende Laserlicht in den zusammengeführten Laserstrahl 22 mit einer gemeinsamen optischen Achse zusammenführen.

Claims

Ansprüche
1. Vorrichtung zur Formung eines Laserstrahls (12) durch einen programmierbaren Strahlformer, dadurch gekennzeichnet, dass eine Ablenkeinheit (13) zur abwechselnden Lenkung des Laserstrahls entlang eines ersten Lichtwegs (17) und zumindest eines zweiten Lichtwegs (18) auf zumindest zwei unterschiedliche
Bereiche des Strahlformers oder auf einen ersten Strahlformer (14) und zumindest einen zweiten Strahlformer (15) vorhanden ist, dass eine Optikeinheit (21) zur Zusammenführung des ersten und zumindest zweiten Lichtwegs (17, 18) nach der Strahlformung vorhanden ist, dass eine Steuereinheit (20) zur
Ansteuerung der Ablenkeinheit (13) und des ersten und zumindest zweiten
Strahlformers (14, 15) vorgesehen ist und dass in der Steuereinheit (20) eine Ablaufsteuerung zur abwechselnden Lenkung des Laserstrahls (12) auf den ersten Lichtweg (17) und den zumindest zweiten Lichtweg (18) sowie zu einer Ansteuerung von einem Formungsmuster auf dem ersten Strahlformer (14) und dem zumindest zweiten Strahlformer (15) vorgesehen ist.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Ablaufsteuerung so ausgelegt ist, dass eine Änderung eines Formungsmusters auf dem ersten Strahlformer (14) nur vorgesehen ist, wenn der Laserstrahl (12) nicht entlang des ersten Lichtwegs (17) gelenkt ist und dass eine Änderung eines Formungs musters auf dem zweiten Strahlformer (15) nur vorgesehen ist, wenn der Laserstrahl (12) nicht entlang des zweiten Lichtwegs (18) gelenkt ist.
3. Verfahren zur Formung eines Laserstrahls (12) durch einen programmierbaren Strahlformer, dadurch gekennzeichnet, dass der Laserstrahl (12) durch eine Ablenkeinheit (13) abwechselnd entlang eines ersten Lichtwegs (17) und zumindest eines zweiten Lichtwegs (18) auf zumindest zwei unterschiedliche Bereiche des programmierbaren Strahlformers oder auf einen ersten Strahlformer (14) und zumindest einen zweiten Strahlformer (15) gelenkt wird und nach dem programmierbaren Strahlformer oder dem ersten Strahlformer (14) und dem zweiten Strahlformer (15) in einer Optikeinheit (21) zu einem zusammengeführten Laserstrahl (22) zusammengeführt wird.
4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass eine Änderung eines Formungsmusters auf einem der Strahlformer (14, 15) während einer Strahlpause vorgenommen wird in der dieser nicht mit Laserstrahlung beaufschlagt wird.
5. Anwendung einer Vorrichtung oder eines Verfahrens nach einem der
vorgenannten Ansprüche zur Materialbearbeitung mit Laserlicht in Form von Schweißen, Gaslegieren, Löten, Beschriften, Markieren, Bohren, Säubern, Polieren oder zur Laserablation.
6. Anwendung einer Vorrichtung oder eines Verfahrens nach einem der
vorgenannten Ansprüche zur Laserprojektion.
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