WO2019177329A1 - 회전운동 밀폐장치 - Google Patents

회전운동 밀폐장치 Download PDF

Info

Publication number
WO2019177329A1
WO2019177329A1 PCT/KR2019/002825 KR2019002825W WO2019177329A1 WO 2019177329 A1 WO2019177329 A1 WO 2019177329A1 KR 2019002825 W KR2019002825 W KR 2019002825W WO 2019177329 A1 WO2019177329 A1 WO 2019177329A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
shaft
housing
sealing member
sealing
linear
Prior art date
Application number
PCT/KR2019/002825
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
이희장
Original Assignee
씰링크 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from KR1020180029605A external-priority patent/KR102098604B1/ko
Priority claimed from KR1020180046545A external-priority patent/KR102045873B1/ko
Application filed by 씰링크 주식회사 filed Critical 씰링크 주식회사
Priority to CN201980016703.4A priority Critical patent/CN111801522B/zh
Priority to EP19766650.6A priority patent/EP3767136A4/en
Priority to JP2020546126A priority patent/JP7144080B2/ja
Publication of WO2019177329A1 publication Critical patent/WO2019177329A1/ko
Priority to US16/998,147 priority patent/US11662022B2/en

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00—Sealings
    • F16J15/54—Other sealings for rotating shafts
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00—Sealings
    • F16J15/002—Sealings comprising at least two sealings in succession
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00—Sealings
    • F16J15/16—Sealings between relatively-moving surfaces
    • F16J15/32—Sealings between relatively-moving surfaces with elastic sealings, e.g. O-rings
    • F16J15/3248—Sealings between relatively-moving surfaces with elastic sealings, e.g. O-rings provided with casings or supports
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00—Sealings
    • F16J15/16—Sealings between relatively-moving surfaces
    • F16J15/32—Sealings between relatively-moving surfaces with elastic sealings, e.g. O-rings
    • F16J15/3268—Mounting of sealing rings
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00—Sealings
    • F16J15/50—Sealings between relatively-movable members, by means of a sealing without relatively-moving surfaces, e.g. fluid-tight sealings for transmitting motion through a wall
    • F16J15/52—Sealings between relatively-movable members, by means of a sealing without relatively-moving surfaces, e.g. fluid-tight sealings for transmitting motion through a wall by means of sealing bellows or diaphragms
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00—Sealings
    • F16J15/56—Other sealings for reciprocating rods
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00—Sealings
    • F16J15/002—Sealings comprising at least two sealings in succession
    • F16J15/006—Sealings comprising at least two sealings in succession with division of the pressure

Definitions

  • the present invention relates to a sealing device capable of rotating movement. More specifically, chemical vapor deposition (CVD), atomic layer deposition (ALD), and ion implantation, in which particles formed by chemical reaction between gases are deposited on a wafer surface to form an insulating film or a conductive film. Equipped with a mechanical element having a rotating shaft applied to the process, OLED, and etching process to enable the rotational movement of the shaft, to prevent the leakage of fluid between the shaft and the housing of the fixed body, and replacement due to wear or breakage of the sealing member When necessary, it relates to a rotary motion sealing device to use a pre-prepared sealing member.
  • CVD chemical vapor deposition
  • ALD atomic layer deposition
  • ion implantation in which particles formed by chemical reaction between gases are deposited on a wafer surface to form an insulating film or a conductive film. Equipped with a mechanical element having a rotating shaft applied to the process, OLED, and etching process to enable the rotational movement of the
  • the linear and rotary motion sealing device for vacuum pressure equipment is provided on the outer circumferential surface of the shaft that faces the high pressure region and the low pressure region and linear and rotational movement therebetween to seal the high pressure region and the low pressure region.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view showing a conventional sealing device for vacuum pressure equipment, the conventional vacuum pressure equipment sealing device 1 as shown in the drawing is coupled through the housing 10, the housing 10 And a shaft 20.
  • the shaft 20 faces the high pressure region and the low pressure region and the housing 10 is located at the interface between them, that is, the high pressure region and the low pressure region.
  • a bushing 30 and a sealing seal 40 are provided between the housing 10 and the shaft 20.
  • the bushing 30 is for reducing the friction generated between the housing 10 and the shaft 20
  • the seal 40 is for sealing between the housing 10 and the shaft 20. At this time, friction occurs between the shaft 20 and the seal 40.
  • the surface of the shaft 20 is coated with a ceramic layer.
  • the seal 40 is provided in plurality in order to increase the sealing effect is located on the upper and lower portions of the housing 10, respectively.
  • the shaft 20 is installed to be rotatable relative to the housing 10.
  • the bushing 30 for reducing the friction generated during the rotational movement of the shaft 20 is a ball bushing having a plurality of balls therein, or a slide bushing provided with a solid lubricant therein.
  • the conventional vacuum pressure equipment sealing device 1 having the configuration as described above has the disadvantage that only rotational movement or linear movement is possible, and when the linear movement is to be performed at the same time, the seal 40 is also sealed against the rotational movement and linear. The seal against the movement is combined. When the sealing for the rotary motion and the linear motion is performed at the same time, the seal 40 is easily broken, and thus has a short life and frequently needs to be replaced.
  • the shaft 20 is installed to enable a rotational movement with respect to the housing (10).
  • the bushing 30 for reducing the friction generated during the rotational movement of the shaft 20 is a ball bushing having a plurality of balls therein, or a slide bushing provided with a solid lubricant therein.
  • the conventional vacuum pressure equipment sealing device 1 as described above has a disadvantage in that the seal 40 is easily broken and its life is short, so it must be frequently replaced. In addition, a problem occurs that the shaft 20 is separated from the housing 10.
  • An object of the present invention is to provide a rotary motion sealing device for vacuum pressure equipment that can prevent a fluid from leaking between a shaft and a housing which is a stationary body while performing a rotational motion of a shaft.
  • sealing member for sealing the rotational movement when broken, it is to provide a linear and rotational movement sealing device that can be replaced by a new, other sealing member prepared in advance by moving the shaft in the axial direction.
  • sealing member for sealing the rotational movement when broken, it is to provide a linear and rotational movement sealing device that can be replaced by a new, other sealing member prepared in advance by moving the shaft in the axial direction.
  • Linear and rotary motion sealing device the housing; A hollow first shaft coupled through the housing; A first sealing member provided between the housing and the first shaft to seal therebetween; A second shaft at least partially inserted into the first shaft; A second sealing member provided between the first shaft and the second shaft to seal therebetween; And a third sealing member provided on one of an inner circumferential surface of the first shaft or an outer circumferential surface of the second shaft, wherein the first shaft is installed to allow axial linear movement with respect to the housing.
  • the second shaft is installed to enable the rotational movement and linear movement with respect to the first shaft, the third sealing member, the first shaft and the second shaft when the second shaft is in a first position in the first shaft
  • the second shaft may be moved to perform sealing between the first shaft and the second shaft at a second position in the first shaft without performing sealing between the two shafts.
  • the first sealing member may be a linear seal for linear motion
  • the second sealing member may be a seal for rotation for rotation
  • the third sealing member may be a seal for rotation for rotation.
  • any one of an inner circumferential surface of the housing and an outer circumferential surface of the first shaft may have a protrusion extending in the axial direction, and another groove may be formed with a groove into which the protrusion is inserted.
  • a bushing may be provided between the housing and the first shaft, and a bushing or a radial bearing may be provided between the first shaft and the second shaft.
  • first shaft may be formed in multiple stages whose inner diameters increase toward one end thereof, or the second shaft may be formed in multiple stages whose outer diameter decreases toward one end thereof, and the bushing or The radial bearing may be provided.
  • the engaging jaw spaced apart a predetermined distance in the axial direction is formed on the inner circumferential surface of the housing and the outer circumferential surface of the first shaft, respectively, the axial linear movement therebetween can be limited by a certain distance.
  • the third sealing member is provided on an inner circumferential surface of the first shaft, and in the first position, the third sealing member does not seal between the first shaft and the second shaft, and in the second position
  • the third sealing member may be provided with a groove portion to form a predetermined gap with the inner circumferential surface of the third sealing member so as to seal between the first shaft and the second shaft.
  • the third sealing member is provided on an outer circumferential surface of the first shaft, and in the first position, the third sealing member does not seal between the first shaft and the second shaft, and in the second position
  • the third sealing member may be provided with a groove portion to form a predetermined gap with the outer circumferential surface of the third sealing member so as to seal between the first shaft and the second shaft.
  • Linear and rotary motion sealing device the housing; A hollow first shaft coupled through the housing; A first sealing member provided between the housing and the first shaft to seal therebetween; A second shaft at least partially inserted into the first shaft; A second sealing member provided between the first shaft and the second shaft to seal therebetween; And a third sealing member provided on any one of an inner circumferential surface of the housing or an outer circumferential surface of the first shaft, wherein the first shaft is rotatably installed with respect to the housing, and the second shaft An axial linear movement with respect to the first shaft is provided, wherein the third sealing member does not perform sealing between the first shaft and the housing when the first shaft is in a first position in the housing; The first shaft may be moved to perform sealing between the first shaft and the housing at the second position in the housing.
  • the first sealing member may be a rotary seal for rotational movement
  • the second sealing member may be a linear seal for linear motion
  • the third sealing member may be a seal for rotary motion.
  • one of the inner circumferential surface of the first shaft and the outer circumferential surface of the second shaft may be formed with a projection extending in the axial direction, the other may be formed with a groove into which the projection is inserted.
  • a bushing or a radial bearing may be provided between the housing and the first shaft, and a bushing may be provided between the first shaft and the second shaft.
  • a locking jaw spaced a predetermined distance in the axial direction is formed on the inner circumferential surface of the first shaft and the outer circumferential surface of the second shaft, respectively, so that the axial linear movement therebetween may be limited by a predetermined distance.
  • the third sealing member is provided on an inner circumferential surface of the housing, and the third sealing member in the first position does not seal between the housing and the first shaft, and the third sealing member in the second position.
  • the groove may be provided in the first shaft to form a predetermined gap with the inner circumferential surface of the third sealing member so as to seal between the housing and the first shaft.
  • the third sealing member is provided on an outer circumferential surface of the first shaft, the third sealing member in the first position does not seal between the housing and the first shaft, the third in the second position
  • the sealing member may be provided with a groove portion to form a predetermined gap with the outer peripheral surface of the third sealing member so as to seal between the housing and the first shaft.
  • the rotary motion sealing apparatus the hollow housing; A hollow first shaft, a part of which is inserted into the housing and installed to enable rotational and axial movement with respect to the housing; A second shaft passing through the first shaft and being rotated together with the first shaft; And a first sealing member and a second sealing member provided between the housing and the first shaft to seal the first shaft, wherein the first shaft is moved to a first position and a second position in an axial direction within the housing. And the first sealing member is sealed between the housing and the first shaft when the first shaft is located in the first position in the housing, and the first shaft is located in the second position in the housing.
  • the second sealing member may seal between the housing and the first shaft.
  • first sealing member and the second sealing member may be installed spaced apart from each other in the axial direction.
  • a gap adjusting member may be interposed between the first sealing member and the second sealing member.
  • the first shaft may include a protrusion having a step and extending from the first shaft.
  • the first sealing member may seal between the protrusion and the housing.
  • the second sealing member may seal between the protrusion and the housing.
  • a part of the housing may be formed in multiple stages, the inner diameter of which is increased toward one end, the first shaft, the movement in the first direction can be limited by the step of the protrusion and the housing.
  • the apparatus may further include a third sealing member provided between the first shaft and the second shaft to seal between the first shaft and the second shaft.
  • first shaft and the second shaft may be coupled by a coupling means so that the first shaft and the second shaft may rotate in the same manner.
  • the coupling means may be a clamping mechanism or a screw bolt provided on the first shaft or the second shaft exposed to the outside of the housing.
  • clamping mechanism is attached to surround the outer peripheral surface of the first shaft, the first shaft and the second shaft is coupled, the first shaft and the second shaft is separated from the housing by the clamping mechanism Can be prevented.
  • the separation prevention member for preventing the separation of the second shaft may be coupled to the first shaft or the second shaft exposed to the outside of the housing.
  • the first shaft may include a first coupling part and a second coupling part spaced apart in the axial direction, and the separation preventing member is coupled to the first shaft by a coupling means.
  • the first shaft is positioned at the first position when the release preventing member is coupled to the first coupling portion, and the first shaft is positioned at the second position when the release preventing member is coupled to the second coupling portion. Can be located.
  • first sealing member and the second sealing member may be a rotary seal for rotational movement.
  • a pair of shafts are provided to perform linear and rotary motion, respectively, and a sealing member is provided between the housing and the first shaft and the first shaft and the second shaft, respectively.
  • the fluid can be prevented from leaking.
  • sealing member for sealing the rotational movement when broken, it is to provide a linear and rotational movement sealing device that can be replaced by a new, other sealing member prepared in advance by moving the shaft in the axial direction.
  • the rotational motion sealing apparatus is provided with a pair of shafts to perform a rotational movement, but the sealing member is provided between the housing and the first shaft and the first shaft and the second shaft, respectively, the fluid leaks between them Can be prevented.
  • the shaft which transmits the rotational movement through the release preventing member can be prevented from being separated from the housing.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view showing a conventional sealing device.
  • Figure 2 is a perspective view showing a first embodiment of the linear and rotary motion sealing apparatus according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is an exploded perspective view showing the linear and rotary motion sealing device of FIG.
  • FIG. 4 is a partial cross-sectional perspective view showing the linear and rotary motion sealing device of FIG.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view showing the linear and rotary motion sealing device of FIG.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view showing a state in which the second shaft is moved in the axial direction in the embodiment of FIG. 2.
  • FIG. 7 is a cross-sectional view showing a linear and rotary motion sealing device according to a second embodiment of the present invention.
  • FIG. 8 is a perspective view of a rotary motion sealing apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • Figure 9 is an exploded perspective view of the rotary motion sealing apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 10 is an exploded cross-sectional perspective view of the rotary motion sealing apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 11 is a cross-sectional view in which the first shaft of the rotational motion sealing apparatus of FIG. 7 is located at a first position.
  • FIG. 12 is a cross-sectional view in which the first shaft of the rotary motion closure device of FIG. 7 is located in a second position;
  • the terms “comprise”, “have” or “include” are intended to indicate that there is a feature, number, step, action, component, part, or combination thereof described on the specification. Or other features or numbers, steps, operations, components, parts or combinations thereof may be understood as not precluding the possibility of addition or possibility in advance.
  • each component shown in the embodiments of the present invention are shown independently to represent different characteristic functions, and do not mean that each component is made of separate hardware or one software unit. That is, each component is described by listing each component for convenience of description, and at least two of the components may be combined to form one component, or one component may be divided into a plurality of components to perform a function. The integrated and separated embodiments of each of these components are also included within the scope of the present invention without departing from the spirit of the invention.
  • FIG. 2 is a perspective view showing a first embodiment of the linear and rotary motion sealing device according to the first embodiment of the present invention
  • FIG. 3 is an exploded perspective view showing the linear and rotary motion sealing device of FIG. 4 is a partial cross-sectional perspective view showing the linear and rotary motion sealing device of FIG. 3
  • FIG. 5 is a sectional view showing the linear and rotary motion sealing device of FIG. 6 is a cross-sectional view showing a state in which the second shaft is moved in the axial direction in the embodiment of FIG. 2.
  • the linear and rotary motion sealing device according to an embodiment of the present invention, a housing, a hollow first shaft coupled through the housing, between the housing and the first shaft A first sealing member provided at and sealed between the first sealing member, a second shaft at least partially inserted into the first shaft, and an agent provided between the first shaft and the second shaft and sealing therebetween.
  • 2 may include a sealing member and a third sealing member provided on any one of an inner circumferential surface of the first shaft or an outer circumferential surface of the second shaft.
  • the first shaft is installed to enable only axial linear motion with respect to the housing, or both rotational and axial linear motion are installed.
  • the second shaft may be installed to enable both the rotational movement and the axial linear movement with respect to the first shaft, or may be installed to enable only the axial linear movement.
  • the first shaft is in axial linear motion and the second shaft is in rotational and axial movement.
  • the first shaft is in rotational and axial movement and the second shaft is The case of performing axial linear motion will be described as the second embodiment.
  • the first embodiment shown is provided between the housing 100, a hollow first shaft 200 coupled through the housing 100, and between the housing 110 and the first shaft 200.
  • the first shaft 200 is installed to enable the axial linear movement with respect to the housing 100, the second shaft 400 to enable the rotational movement and axial movement with respect to the first shaft 200. Is installed.
  • the housing 100 is formed in a cylindrical shape having a flange 110 so as to be fixed to the interface between the high pressure region and the low pressure region, and a locking step 120 protruding inward is formed at one side of the inner circumferential surface thereof.
  • the flange 110 is formed with a plurality of screw holes 112 to be fixed to the interface.
  • a cylindrical bushing 130 is provided inside the housing 100, and a housing cover 140 for fixing the bushing 130 together with the locking jaw 120 is provided at the other end of the housing 100. Can be.
  • the housing cover 140 is screwed to the other end of the housing 100.
  • the bushing 130 is positioned so that both ends are in contact with the engaging jaw 120 and the housing cover 140, respectively, and is fixed by the housing cover 140 is screwed.
  • the bushing 130 may be used to reduce the friction between the housing 100 and the first shaft 200, and various types of bushings may be used, and a slide bushing provided with a solid lubricant therein may be used.
  • one surface of the locking jaw 120 may be formed in multiple stages, and the first sealing member 300 may be provided at the multiple stages 122.
  • a washer 150 may be provided at an outer side of the locking step 120 to be inserted into the housing 100 to fix the first sealing member 300.
  • a multistage step 152 may be formed on one surface of the washer 150, and the other first sealing member 300 ′ may be provided on the step 152.
  • a washer cover 160 for fixing the washer 150 and the other first sealing member 300 ′ may be provided outside the washer 150.
  • the first sealing member 300, 300 ′ is for sealing between the housing 100 and the first shaft 200 and is excellent in linear movement so as to be applicable to the first shaft 200 having a linear movement in the axial direction. It can be a linear seal for linear motion that shows performance. In this embodiment, the O-ring is used, but this is only an example, and various types of linear seals such as a lip seal may be applied.
  • the first shaft 200 has a hollow shape and is formed in a plurality of stages in which an outer diameter and an inner diameter are enlarged from one end to the other end. That is, the outer circumferential surface of the first shaft 200 may be formed in three stages consisting of the outer diameter portion 210, the middle outer diameter portion 220, and the outer diameter portion 230 from one end portion. The inner circumferential surface of the first shaft 200 may be formed in two stages consisting of a small inner diameter portion 240 and a large inner diameter portion 250 from one end portion.
  • the outer diameter portion 210 of the first shaft 200 protrudes to one side through the locking projection 120, the washer 150 and the washer cover 160, and the middle and outer diameter portion 220 of the first shaft 200. It is positioned to contact the bushing 130 is provided to reduce the friction with the housing 100 during the linear movement. On the other hand, the end of the outer diameter portion 230, that is, the other end of the first shaft 200 is connected to the other end of the housing 100 and the flexible cover 600.
  • the first shaft 200 may linearly move in the axial direction along the bushing 130, and when moved to one side, the stepped jaw 222 formed between the marginal diameter part 210 and the middle and outer diameter part 220 may be caught by the latching part 120. ), The movement may be restricted. In addition, when the first shaft 200 moves to the other side, the movement may be limited by the flexible cover 600.
  • the flexible cover 600 is for preventing foreign substances from being introduced between the housing and the other end of the first shaft 200 and may be expanded or contracted as the first shaft 200 moves in the axial direction.
  • Bellows made of synthetic resin, such as rubber, are most often used as the flexible cover, and a flexible cover made of Teflon or stainless steel may be used depending on a machine equipped with a linear and rotary motion sealing device for vacuum pressure equipment. .
  • the first sealing member 300 provided between the housing 100 and the first shaft 200 is a linear seal for linear motion
  • the first sealing member 300 when rotation occurs in the first shaft 200, the first sealing member 300 functions as a linear seal for linear motion. It is undesirable to lose.
  • any one of an inner circumferential surface of the housing 100 and an outer circumferential surface of the first shaft 200 forms a projection extending in the axial direction, and the other one forms a groove into which the projection is inserted. It is preferable to prevent the first shaft 200 from rotating.
  • the second shaft 400 is formed in multiple stages whose outer diameter is reduced from one end to the other end. That is, the outer circumferential surface of the second shaft 400 is formed in four stages consisting of an outer diameter portion 410, a middle diameter portion 420, a first small diameter portion 430, and a second small diameter portion 432 from one end portion.
  • the middle and outer diameter portions 420, the first and second diameter portions 430, and the second small diameter portion 43 of the second shaft 400 are coupled to each other through the first shaft 200 from one side thereof, and
  • the outer circumferential surface large diameter portion 410 is formed larger than the diameter of the inner circumferential surface small inner diameter portion 240 of the first shaft 200.
  • a predetermined gap is formed between the middle and outer diameter portions 420 of the second shaft 400 and the small inner diameter portion 240 of the first shaft 200 so that friction does not occur between them when the second shaft 200 is rotated. .
  • the inner diameter of the first shaft 200 increases toward the other side and the outer diameter of the second shaft 400 decreases toward the other side, and a predetermined space 440 may be provided.
  • a plurality of second sealing members 500 and radial bearings 450 may be located from one side.
  • the second sealing member 500 is for sealing between the first shaft 200 and the second shaft 400
  • the radial bearing 450 has a second shaft 400 with respect to the first shaft 200 It is intended to be rotatable.
  • the radial bearing 450 is provided so that the second shaft 400 rotates with respect to the first shaft 200, but a bushing may be provided instead. Thanks to the bushing, the second shaft 400 can rotate relative to the first shaft 200.
  • the second sealing member 500 is a rotary seal for rotational movement showing an excellent sealing performance in the rotational movement so that the second sealing member 500 can be applied to the second shaft 400 that performs the rotational movement.
  • the present invention is not limited thereto, and various types of rotary seals may be applied.
  • the outer circumferential surfaces of the second shaft 400 on both ends of the radial bearing 450 are provided with stepped jaw 460 and snap ring 470, respectively, to fix the radial bearing 450.
  • the snap ring 470 may be inserted into and fixed to an outer circumferential surface of the second shaft 400 after positioning the radial bearing in a detachable form.
  • the radial bearing 450 may be fixed once more by the third sealing member 800 disposed adjacently and the bearing cover 260 provided at the other end of the first shaft 200.
  • the linear and rotary motion sealing device may include a third sealing member (800).
  • the third sealing member 800 may be a rotary seal for rotational motion showing excellent sealing performance in the rotational motion so as to be applicable to the second shaft 400 that performs the rotational motion.
  • a lip seal is used, but this is only an example, and various types of rotary seals may be applied.
  • the third sealing member 800 may be provided on any one of the inner circumferential surface of the first shaft 200 or the outer circumferential surface of the second shaft 400.
  • the third sealing member 800 is provided on the inner circumferential surface of the first shaft 200.
  • the third sealing member 800 is provided adjacent to the radial bearing 450. As shown in FIG. 5, when the second shaft 400 is in the first position within the first shaft 200, the inner circumferential surface of the third sealing member 800 contacts the outer circumferential surface of the second shaft 400. I never do that. Therefore, in the first position, the third sealing member 800 does not perform sealing between the first shaft 200 and the second shaft 400. However, due to long use of the sealing device, the second sealing member 500 may reach its end of life or be damaged.
  • disassembling and reassembling the entire sealing device for replacing the second sealing member 500 may not be efficient.
  • the user after removing the snap ring 470, the user can push the second shaft 400 to one side (left side in this embodiment) within the first shaft 200 to move to the second position shown in FIG. have.
  • the inner circumferential surface of the third sealing member 800 contacts the outer circumferential surface of the second shaft 400.
  • the inner circumferential surface of the third sealing member 800 may be in contact with the groove 412 provided on the outer circumferential surface of the second shaft 400, so that a sealing may be formed between the first shaft 200 and the second shaft 400.
  • the groove 412 may be equipped with a ring-shaped coupling ring separately provided on the second shaft 400. Therefore, even if the endurance life of the second sealing member 500 is exhausted, only the snap ring 470 is removed after the second sealing member 500 is replaced by disassembling the entire sealing device and replacing the second sealing member 500.
  • the third sealing member 800 may be used in place of the second sealing member 500.
  • the other side of the large diameter portion 410 of the second shaft 400 and one side of the small diameter portion 240 of the first shaft 200 may be spaced apart in the axial direction.
  • a snap ring 472 may be provided to prevent relative axial movement of the second shaft 400 and the first shaft 200 in the second position.
  • the other end of the first shaft 200 is provided with a bearing cover 260, the bearing cover 260 is a second sealing member 500, radial bearing 450 provided inside the first shaft 200 ) And the third sealing member 800 to fix the flexible cover 600 at the same time.
  • the other side of the sealing device is provided with a driving device for rotating and linearly moving the first shaft 200 and the second shaft 400.
  • the second shaft 400 is rotated by the driving device. Since the radial bearing 450 is provided between the first shaft 200 and the other side of the second shaft 400 and a predetermined gap is formed at one side, the first shaft 200 does not rotate. In addition, as described above, any one of the inner circumferential surface of the housing 100 and the outer circumferential surface of the first shaft 200 forms a protrusion (not shown) extending in the axial direction, and the other groove is a groove into which the protrusion is inserted ( If not formed, the first shaft 200 may completely prevent rotation.
  • the second shaft 400 may move in the axial direction by the driving device.
  • the axial movement of the second shaft 400 may be divided into two cases when moving to one side and moving to the other side.
  • the snap ring 470 coupled to the outer circumferential surface of the second shaft 400 receives a force, and the force is the third sealing member 800, the radial bearing ( 450 and the second sealing member 500 are transmitted to the first shaft 200, and the first shaft 200 is linearly moved along the bushing 130.
  • a radial bearing 450 is provided between the first shaft 200 and the second shaft 400, the inner circumferential surface of the housing 100 and the first shaft ( Between the outer circumferential surface of the 200 is provided with a projection and a groove extending in the axial direction, the first shaft 200 is only linear movement.
  • At least one end (preferably both ends) of the first shaft 200 and the second shaft 400 may be polished to have a high hardness and a precise surface.
  • the purpose of the polishing process is to equalize the contact stress distribution and the temperature distribution between the first shaft 200 and the second shaft 400 and the sealing members 300 and 500, and thus, the first shaft 200 as described above.
  • the second shaft 400, the airtight between the first shaft 200 and the second shaft and the sealing members (300, 500) can be more sure.
  • the polishing process of the shaft (200, 400) after coating a predetermined coating material to a predetermined thickness on the surface of at least one end of the shaft (200, 400) processed by a method such as mechanical and heat treatment
  • the coated surface is then polished to have a uniform thickness.
  • the reason for the polishing after coating as described above is that the coating thickness can be arbitrarily adjusted and a uniform coating thickness can be obtained.
  • the present invention is not limited thereto, and the coating operation may be performed after the polishing treatment.
  • the user When the life of the second sealing member 500 that performs the sealing between the first shaft 200 and the second shaft 400 is broken or broken, the user removes the snap ring 470 and then removes the second shaft ( After pushing 400 to one side in the first shaft 200 to move to the second position shown in FIG. 6, the snap ring 470 may be replaced.
  • the snap ring 472 may be mounted to prevent relative axial movement of the second shaft 400 and the first shaft 200 in the second position.
  • the other side of the sealing device is provided with a driving device for rotating and linearly moving the first shaft 200 and the second shaft 400.
  • the second shaft 400 is rotated by the driving device. Since the radial bearing 450 is provided between the first shaft 200 and the other side of the second shaft 400 and a predetermined gap is formed at one side, the first shaft 200 does not rotate. Meanwhile, the second shaft 400 may move in the axial direction by the driving device. In this case, the axial movement of the second shaft 400 may be divided into two cases when moving to one side and moving to the other side.
  • the snap ring 470 coupled to the outer circumferential surface of the second shaft 400 receives a force, and the force is the third sealing member 800, the radial bearing ( 450 and the second sealing member 500 are transmitted to the first shaft 200, and the first shaft 200 is linearly moved along the bushing 130.
  • the snap ring 472 coupled to the second shaft 400 receives a force while contacting one end of the first shaft 200, and the force is applied to the first shaft. As it is transmitted to (200), the first shaft 200 is linearly moved along the bushing (130).
  • a radial bearing 450 is provided between the first shaft 200 and the second shaft 400, the inner circumferential surface of the housing 100 and the first shaft ( Between the outer circumferential surface of the 200 is provided with a projection and a groove extending in the axial direction, the first shaft 200 is only linear movement.
  • FIG. 7 is a cross-sectional view showing a linear and rotary motion sealing device according to a second embodiment of the present invention.
  • a radial bearing 450 is provided between the housing 100 and the first shaft 200 to provide the first shaft 200.
  • the rotational motion, and the bushing 130 is provided between the first shaft 200 and the second shaft 400 so that the second shaft 400 makes a linear motion. That is, the first shaft 200 is installed to enable the rotational movement with respect to the housing 100, and the second shaft 400 is installed to enable the axial linear movement with respect to the first shaft 200.
  • a second sealing member (rotational seal 500) is provided between the housing 100 and the first shaft 200, and the first sealing member (between the first shaft 200 and the second shaft 400).
  • Linear seal 300 is provided.
  • each of the sealing member (300, 500) can be used O-ring and lip seal showing excellent sealing performance in the linear motion and rotational motion as described above.
  • At least one end (preferably both ends) of the first shaft 200 and the second shaft 400 may be polished by a method such as heat treatment, plating, and coating. Can be.
  • the second embodiment of the linear and rotary motion sealing device for the vacuum pressure equipment configured as described above can obtain the same effect as the first embodiment. That is, provided with a pair of shafts (200, 400) and the shafts 200, 400 perform a linear motion and a rotational motion, respectively, the housing 100, the first shaft 200 and the first shaft 200 Between the second shaft 400 is provided with a sealing member (300, 500) showing excellent sealing performance in the linear motion and rotational movement to prevent the fluid from leaking between them.
  • the O-ring and the lip seal exemplify a pair of sealing members, that is, the first and second sealing members 300 and 500, respectively.
  • the present invention is not limited thereto, and various types of sealing members may be applicable.
  • a third sealing member 800 may be provided between the housing 100 and the first shaft 200 as in the first embodiment. If the second sealing member 500 providing airtightness between the housing 100 and the first shaft 200 reaches the end of its life or is damaged, the user may move the first shaft 200 to one side within the housing 100. 3, the third sealing member 800 may provide a seal between the housing 100 and the first shaft 200. In this case, the inner circumferential surface of the third sealing member 800 may contact the groove 212 provided on the outer circumferential surface of the first shaft 200, so that sealing may be performed between the first shaft 200 and the housing 100. Can be.
  • the groove 212 may be equipped with a ring-shaped coupling ring provided separately on the first shaft 200.
  • a pair of shafts are provided to perform the linear and rotary motion, respectively, between the housing and the first shaft and the first shaft and the second shaft
  • Each of the sealing members is provided to prevent the fluid from leaking between them.
  • any one of the first shaft and the second shaft (first embodiment), or any one of the housing and the first shaft (second embodiment) is additionally provided with a sealing member for rotational movement, sealing for use in rotational movement If the member breaks, the second shaft is moved relative to the first shaft (first embodiment) or the first shaft is moved relative to the housing (second embodiment) so that the new rotary sealing member is sealed. By positioning it in a possible position, the sealing effect against the rotational movement can be extended.
  • FIG. 8 is a perspective view of the rotary motion sealing apparatus according to an embodiment of the present invention
  • Figure 9 is an exploded perspective view of the rotary motion sealing apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • 10 is an exploded cross-sectional perspective view of the rotary motion sealing apparatus according to an embodiment of the present invention
  • Figure 11 is a cross-sectional view of the first shaft of the rotary motion sealing apparatus of Figure 8 located in a first position.
  • 12 is a cross-sectional view in which the first shaft of the rotary motion closure device of FIG. 8 is located in a second position.
  • the rotary motion sealing apparatus according to an embodiment of the present invention, the hollow housing 1100, a part of the housing 1100 is inserted into the rotary motion and the axial direction relative to the housing 1100
  • the first shaft 1200 of the hollow which is installed to be able to move through the first shaft 1200, the second shaft 1300, the housing 1100 and the first shaft rotated together with the first shaft 1200
  • the first sealing member 1400a and the second sealing member 1400b may be disposed between the housings 1100 to seal the space between the housing 1100 and the first shaft 1200.
  • the first sealing member 1400a seals between the housing 1100 and the first shaft 1200, and the first shaft 1200 is located at a second position in the housing 1100 (see FIG. 12).
  • the second sealing member 1400b may seal between the housing 1100 and the first shaft 1200.
  • the first position is a position of the first shaft 1200 illustrated in FIG. 11, and the protrusion 1210 of the first shaft 1200 contacts the first sealing member 1400a so that the first shaft 1200 and the housing ( It is a position to seal the space between 1100.
  • the second position is a position of the first shaft 1200 illustrated in FIG. 12, and the protrusion 1210 of the first shaft 1200 contacts the second sealing member 1400b to contact the first shaft 1200 and the housing. It is a position to seal the space between the 1100.
  • the housing 1100 may be formed in a cylindrical shape having a flange portion 1110 so as to be fixed to the interface between the high pressure region and the low pressure region, and a locking jaw 1101 protruding inward may be formed on one side of the inner circumferential surface thereof. .
  • a plurality of screw holes 1401 are formed in the flange portion 1400 to be fixed to the boundary surface. 11 and 12, the first sealing member 1400a between the housing 1100 and the first shaft 1200, which is a space that may occur when the first shaft 1200 penetrates the hollow of the housing 1100. ) And the second sealing member 1400b may be provided.
  • the first sealing member 1400a and the second sealing member 1400b are for sealing between the housing 1100 and the first shaft 1200.
  • the first sealing member 1400a and the second sealing member 1400b may be rotation seals for rotational movements that exhibit excellent sealing performance in rotational motions.
  • the O-ring is used, but this is only an example and the present invention is not limited thereto, and various types of seals for rotation such as a lip seal may be applied.
  • the housing 1100 may be formed in a plurality of stages whose outer diameter increases from one end to the other end, and a housing cover 1140 is provided at the other end, and the housing 1100 and the housing cover 1140 are coupled by a coupling means such as a screw. Can be.
  • first sealing member 1400a and the second sealing member 1400b may be installed to be spaced apart from each other in the axial direction.
  • a gap adjusting member 1410 may be interposed between the spaced apart first sealing member 1400a and the second sealing member 1400b. Due to the gap adjusting member 1410, the first sealing member 1400a and the second sealing member 1400b may be physically separated from each other.
  • the position of the first sealing member 1400a and the second sealing member 1400b may be fixed by the gap adjusting member 1410 so as not to move in the housing 1100.
  • each of the plurality of first sealing members 1400a and the second sealing members 1400b may include a washer 1410 and a seal 1420.
  • a step may be formed on one surface of the washer 1410, and the seal 1420 may be seated on the step.
  • each of the first sealing member 1400a and the second sealing member 400b may be formed in plural, and the plurality of second sealing members 1400b and the plurality of first sealing members 1400a may be formed.
  • the gap adjusting member 1410 may be provided between the second sealing member 1400b and the first sealing member 1400a to fix the position in the housing 1100 while being spaced apart from each other.
  • a housing cover 1140 is provided at one end of the first sealing member 1400a to press the first sealing member 1400a, the second sealing member 1400b, and the gap adjusting member 1410, which are inserted side by side in the housing 1100.
  • the first shaft 1200 may include a hollow and a step formed therein, and a protrusion 1210 extending from the outer circumferential surface thereof.
  • the first sealing member 1400a may seal between the protrusion 1210 and the housing 1100.
  • the protrusion 1210 may include a protrusion outer diameter surface 1211 and a protrusion catching jaw 1212 (see FIG. 10). Since the protrusion outer diameter surface 1211 and the first sealing member 1400a form a sealing while contacting, the housing 1100 and the first shaft 1200 may be sealed.
  • the protrusion outer diameter surface 1211 of the first shaft 1200 does not contact the second sealing member 1400b. Therefore, in the first position, the second sealing member 1400b does not perform sealing between the housing 1100 and the first shaft 1200.
  • the first sealing member 1400a may reach the end of its life or be damaged. In this case, disassembling and reassembling the entire rotary motion sealing device in order to replace the first sealing member 1400a may not be efficient. As a more efficient method, it is necessary to use a new sealing member without disassembling the entire rotary motion sealing device.
  • the first shaft 1200 is moved from the first position to the second position. Push to position to move to the second position shown in FIG. 12.
  • the first shaft 1200 is positioned at the second position (the first shaft 1100 is axially moved from the first position in the housing 1100 to the second position),
  • the protrusion 1210 may also be located in a second position within the housing 1100.
  • the protrusion 1210 of the first shaft 1200 may contact the second sealing member 1400b to seal the space between the first shaft 1200 and the housing 1100.
  • the rotary motion sealing device has an advantage of using the new second sealing member 1400b by moving the first shaft 1200 in the axial direction even when the first sealing member 1400a is damaged or the end of life. have.
  • the first shaft 1200 since the first shaft 1200 has a shape including the protrusion 1210, a part of the housing 1100 may be formed in a plurality of stages in which an inner diameter thereof increases toward one end.
  • the housing 1100 according to the exemplary embodiment is formed in multiple stages having a primary outer diameter portion 1120 and a secondary outer diameter portion 1130, and has an outer diameter between the primary outer diameter portion 1120 and the secondary outer diameter portion 1130. Step 1121 due to the difference may be formed.
  • the engaging jaw of the protrusion 1210 of the first shaft 1200 1212 may be blocked by the stepped portion 1121 to limit the movement of the first shaft 1200.
  • Such a structure may allow the first shaft 1200 to be placed in the correct position at the second position when the first shaft 1200 moves from the first position to the second position.
  • first sealing members 1400a and the second sealing members 1400b may be fitted side by side with the gap adjusting member 1410 inside the housing 1100 as described above, the housing having a stepped portion 1121. It is due to the structure of (1100).
  • a third sealing member 1400c is disposed in a space in which the second shaft 1300 penetrates through the hollow of the first shaft 1200, that is, a space between the first shaft 1200 and the second shaft 1300. Can be prepared.
  • the third sealing member 1400c may seal between the first shaft 1200 and the second shaft 1300.
  • the third sealing member 1400c may be an O-ring, but this is only an example and the present disclosure is not limited thereto, and various types of seals such as a lip seal may be applied.
  • the second shaft 1300 may also rotate in the same manner.
  • the coupling means 1500 may be a clamping mechanism or a screw bolt, but is not limited thereto, and various coupling means such as screws or pins may be applied.
  • the clamping mechanism is used as the coupling means 1500, the clamping mechanism is attached to surround the outer circumferential surface of the first shaft 1200 to press the outer circumferential surface of the first shaft 1200 to press the first shaft 1200 and the second.
  • the first shaft 1200 and the second shaft 1300 may be prevented from being separated from the housing 1100 by the step of coupling the shaft 1300 and the clamping mechanism generated by coupling the clamping mechanism.
  • the user loosens the clamping mechanism and moves the first shaft 1200 from the first position to the second position, and then again the first shaft (
  • the clamping mechanism can be installed at 1200.
  • the separation preventing member 1600 may be used as the coupling means 1500.
  • the rotation movement sealing device is coupled to the separation prevention member 1600 to the first shaft secondary outer diameter portion 1230 exposed to the outside of the housing 1100 to prevent the second shaft 1300 from being separated from the housing 1100. Can be.
  • a first coupling part 1231 and a second coupling part 1232 may be formed in the secondary outer diameter part 1230 of the first shaft 1200.
  • the first coupling portion 1231 and the second coupling portion 1232 may correspond to the coupling hole 1611 formed in the flange portion 1610 of the separation preventing member 1600.
  • the first coupling portion 1231 and the coupling hole 1611 or the second coupling portion 1232 and the coupling hole 1611 corresponding to each other may be coupled by the coupling means 1500, thereby preventing the departure member 1600 ) May be combined with the first shaft 1200.
  • the release preventing member 1600 may be coupled to the first shaft 1200 or the second shaft 1300 exposed to the outside of the housing 1100.
  • the separation preventing member 1600 may prevent the first shaft 1200 or the second shaft 1300 from being separated from the housing 1100 due to another external force (for example, gravity).
  • the coupling part 1301 to which the separation preventing member 1600 may be coupled may be formed on the second shaft 1300.
  • the second shaft 1300 and the separation preventing member 1600 described above are coupled to each other by a coupling means 1500 at a coupling hole 1611 formed in the coupling part 1301 and the flange part 1610 of the separation preventing member 1600. Can be.
  • the coupling hole 1611 of the flange portion 1610, the first coupling portion 1231 or the second coupling portion 1232 of the first shaft 1200, and the coupling portion 1301 of the second shaft 1300 may be coupled together.
  • the first shaft 1200 is the first
  • the coupling unit 1500 is coupled to the second coupling unit 1231 of the first shaft 1200 and the first shaft 1200 and the second shaft 1300 are coupled to each other, the first shaft 1200 may be located in a second position.
  • the user may engage the first coupling part 1231 and the second shaft 1300 of the first shaft 1200.
  • the coupling means 1500 of the first shaft 1200 may be fixed to the second position by refastening the second coupling part 1232 to the coupling hole 1301 of the second shaft 1300.
  • first shaft 1200 and the second shaft 1300 may be coupled with pins that pass through both the first shaft 1200 and the second shaft 1300 in a direction perpendicular to the axial direction of the shaft. Can be.
  • a plurality of through holes through which the pin may pass may be present in the first shaft that may adjust the coupling position of the first shaft 1200 and the second shaft 1300. Accordingly, the user may appropriately adjust and engage the coupling position of the first shaft 1200 and the second shaft 1300 according to the position of the through hole.
  • first shaft 1200 when the first shaft 1200 is moved from the first position to the second position, only the pin coupling of the coupled first shaft 1200 and the second shaft 1300 is dismantled, and the first shaft 1200 is removed.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Sealing Devices (AREA)
  • Sealing With Elastic Sealing Lips (AREA)

Abstract

직선 및 회전운동 밀폐장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 직선 및 회전운동 밀폐장치는, 하우징과; 상기 하우징을 관통하여 결합되는 중공의 제1 샤프트; 상기 하우징과 상기 제1 샤프트 사이에 구비되어 그 사이를 밀봉하는 제1 씰링부재; 상기 제1 샤프트의 내부로 적어도 일부가 삽입되는 제2 샤프트; 상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트 사이에 구비되어 그 사이를 밀봉하는 제2 씰링부재; 및 상기 제1 샤프트의 내주면 또는 상기 제2 샤프트의 외주면 중 어느 하나에 마련되는 제3 씰링부재;를 포함한다.

Description

회전운동 밀폐장치
본 발명은 회전운동이 가능한 밀폐장치에 관한 것이다. 더 구체적으로는 가스 간의 화학반응으로 형성된 입자들을 웨이퍼 표면에 증착하여 절연막이나 전도성막을 형성시키는 공정인 화학기상증착(CVD; Chemical Vapor Deposition)공정이나 원자층 증착(ALD; Atomic Layer Deposition), 이온 주입 공정, OLED 및 식각 공정에 적용되는 회전축을 갖는 기계요소에 구비되어 샤프트의 회전운동을 가능하게 하면서, 샤프트와 고정체인 하우징 사이로 유체가 누설되는 것을 방지하고, 씰링부재의 마모나 파손으로 인해 교체가 필요할 때, 미리 준비된 예비 씰링부재를 사용하게 하는 회전운동 밀폐장치에 관한 것이다.
일반적으로 진공 압력 장비용 직선 및 회전운동 밀폐장치는 고압영역 및 저압영역과 대면하고 이들 사이에서 직선 및 회전운동 하는 샤프트의 외주면에 구비되어 고압영역과 저압영역이 서로 밀봉되도록 하기 위한 것이다.
도 1은 종래의 진공 압력 장비용 밀폐장치를 도시하는 단면도로, 도면에 도시된 바와 같이 종래의 진공 압력 장비용 밀폐장치(1)는 하우징(10)과, 하우징(10)을 관통하여 결합되는 샤프트(20)를 포함한다. 샤프트(20)는 고압영역 및 저압영역과 대면하고 하우징(10)은 이들, 즉 고압영역과 저압영역의 경계면에 위치된다. 또한, 하우징(10)과 샤프트(20) 사이에는 부싱(30)과 밀폐용 씰(40)이 구비된다. 부싱(30)은 하우징(10)과 샤프트(20) 사이에서 발생되는 마찰을 감소시키기 위한 것이고, 씰(40)은 하우징(10)과 샤프트(20) 사이를 밀봉하기 위한 것이다. 이때, 샤프트(20)와 씰(40) 사이에서도 마찰이 발생되는데, 이때 발생되는 마찰을 최소화하기 위하여 샤프트(20)의 표면에는 세라믹 층이 코팅되어 있다. 그리고 씰(40)은 밀봉효과를 증대시키기 위하여 복수로 구비되며 상기 하우징(10)의 상부와 하부에 각각 위치된다.
샤프트(20)는 하우징(10)에 대해 회전운동이 가능하게 설치된다. 이때, 샤프트(20)의 회전운동 시 발생되는 마찰을 감소시키기 위한 부싱(30)에는 내부에 다수개의 볼이 구비되는 볼 부싱, 또는 내부에 고체 윤활제가 마련되는 슬라이드 부싱이 사용된다.
그런데 상기와 같은 구성을 갖는 종래의 진공 압력 장비용 밀폐장치(1)는 회전운동 또는 직선운동만을 가능한 단점이 있고, 직선운동을 동시에 하려하는 경우, 씰(40) 또한 회전운동에 대한 밀봉과 직선운동에 대한 밀봉을 병행하게 된다. 회전운동과 직선운동에 대한 밀봉을 동시에 수행하는 경우 씰(40)이 쉽게 파손되어 수명이 짧고 자주 교체해야하는 단점이 있다.
한편, 샤프트(20)는 하우징(10)에 대해 회전운동이 가능하게 설치된다. 이때, 샤프트(20)의 회전운동 시 발생되는 마찰을 감소시키기 위한 부싱(30)에는 내부에 다수개의 볼이 구비되는 볼 부싱, 또는 내부에 고체 윤활제가 마련되는 슬라이드 부싱이 사용된다.
그런데 상기와 같은 구성을 같은 종래의 진공 압력 장비용 밀폐장치(1)는 씰(40)이 쉽게 파손되고 수명이 짧아 자주 교체해야 하는 단점이 있다. 또한, 샤프트(20)가 하우징(10)에서 이탈하는 문제점이 발생한다.
본 발명은 상술한 제반 문제점을 해결하기 위한 것으로서 샤프트가 회전운동을 수행하되 샤프트와 고정체인 하우징 사이로 유체가 누설되는 것을 방지할 수 있는 진공 압력 장비용 회전운동 밀폐장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 샤프트가 직선 및 회전운동을 동시에 수행하되 샤프트와 고정체인 하우징 사이로 유체가 누설되는 것을 방지할 수 있는 진공 압력 장비용 직선 및 회전운동 밀폐장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 회전운동을 밀폐하기 위한 씰링부재가 파손되는 경우, 샤프트를 축방향으로 이동시켜 예비로 마련된 새로운 다른 씰링부재가 대체할 수 있게 하는 직선 및 회전운동 밀폐장치를 제공하고자 한다.
또한, 회전운동을 밀폐하기 위한 씰링부재가 파손되는 경우, 샤프트를 축방향으로 이동시켜 예비로 마련된 새로운 다른 씰링부재가 대체할 수 있게 하는 직선 및 회전운동 밀폐장치를 제공하고자 한다.
또한, 회전운동을 전달하는 샤프트가 하우징으로부터 이탈하는 것을 방지하는 회전운동 밀폐장치를 제공하고자 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 직선 및 회전운동 밀폐장치는, 하우징과; 상기 하우징을 관통하여 결합되는 중공의 제1 샤프트; 상기 하우징과 상기 제1 샤프트 사이에 구비되어 그 사이를 밀봉하는 제1 씰링부재; 상기 제1 샤프트의 내부로 적어도 일부가 삽입되는 제2 샤프트; 상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트 사이에 구비되어 그 사이를 밀봉하는 제2 씰링부재; 및 상기 제1 샤프트의 내주면 또는 상기 제2 샤프트의 외주면 중 어느 하나에 마련되는 제3 씰링부재;를 포함하고, 상기 제1 샤프트는 상기 하우징에 대해 축방향 직선운동이 가능하게 설치되고, 상기 제2 샤프트는 상기 제1 샤프트에 대해 회전운동 및 직선운동이 가능하게 설치되며, 상기 제3 씰링부재는, 상기 제2 샤프트가 상기 제1 샤프트 내 제1 위치에서는 상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트 사이의 밀봉을 수행하지 않고, 상기 제2 샤프트가 이동하여 상기 제1 샤프트 내 제2 위치에서는, 상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트 사이의 밀봉을 수행할 수 있다.
또한, 상기 제1 씰링부재는 직선운동용 리니어 씰이고, 상기 제2 씰링부재는 회전운동용 회전용 씰이며, 상기 제3 씰링부재는 회전운동용 회전용 씰일 수 있다.
또한, 상기 하우징의 내주면과 상기 제1 샤프트의 외주면 중 어느 하나에는 축방향으로 연장되는 돌기가 형성되고, 다른 하나에는 상기 돌기가 삽입되는 홈이 형성될 수 있다.
또한, 상기 하우징과 제1 샤프트 사이에는 부싱이 구비되고, 상기 제1 샤프트와 제2 샤프트 사이에는 부싱 또는 레이디얼 베어링이 구비될 수 있다.
또한, 상기 제1 샤프트는 일단부로 갈수록 내경이 확대되는 다단으로 형성되거나 상기 제2 샤프트가 일단부로 갈수록 외경이 축소되는 다단으로 형성되고, 상기 제1 및 제2 샤프트의 일단부 사이에는 상기 부싱 또는 상기 레이디얼 베어링이 구비될 수 있다.
또한, 상기 하우징의 내주면과 상기 제1 샤프트의 외주면에는 축방향으로 소정거리 이격된 걸림턱이 각각 형성되어 이들 사이의 축방향 직선운동이 일정거리만큼 제한될 수 있다.
또한, 상기 제3 씰링부재는 상기 제1 샤프트의 내주면에 마련되고, 상기 제1 위치에서 상기 제3 씰링부재는 상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트 사이를 밀봉하지 않고, 상기 제2 위치에서 상기 제3 씰링부재는 상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트 사이를 밀봉하도록, 상기 제2 샤프트에는 상기 제3 씰링부재의 내주면와 소정의 간극을 형성하도록 홈부가 마련될 수 있다.
또한, 상기 제3 씰링부재는 상기 제1 샤프트의 외주면에 마련되고, 상기 제1 위치에서 상기 제3 씰링부재는 상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트 사이를 밀봉하지 않고, 상기 제2 위치에서 상기 제3 씰링부재는 상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트 사이를 밀봉하도록, 상기 제1 샤프트에는 상기 제3 씰링부재의 외주면과 소정의 간극을 형성하도록 홈부가 마련될 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 직선 및 회전운동 밀폐장치는, 하우징과; 상기 하우징을 관통하여 결합되는 중공의 제1 샤프트; 상기 하우징과 상기 제1 샤프트 사이에 구비되어 그 사이를 밀봉하는 제1 씰링부재; 상기 제1 샤프트의 내부로 적어도 일부가 삽입되는 제2 샤프트; 상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트 사이에 구비되어 그 사이를 밀봉하는 제2 씰링부재; 및 상기 하우징의 내주면 또는 상기 제1 샤프트의 외주면 중 어느 하나에 마련되는 제3 씰링부재;를 포함하고, 상기 제1 샤프트는 상기 하우징에 대해 회전운동이 가능하게 설치되고, 상기 제2 샤프트는 상기 제1 샤프트에 대해 축방향 직선운동이 가능하게 설치되며, 상기 제3 씰링부재는, 상기 제1 샤프트가 상기 하우징 내 제1 위치에서는 상기 제1 샤프트와 상기 하우징 사이의 밀봉을 수행하지 않고, 상기 제1 샤프트가 이동하여 상기 하우징 내 제2 위치에서는, 상기 제1 샤프트와 상기 하우징 사이의 밀봉을 수행할 수 있다.
또한, 상기 제1 씰링부재는 회전운동용 회전용 씰이고, 상기 제2 씰링부재는 직선운동용 리니어 씰이며, 상기 제3 씰링부재는 회전운동용 씰일 수 있다.
또한, 상기 제1 샤프트의 내주면과 상기 제2 샤프트의 외주면 중 어느 하나에는 축방향으로 연장되는 돌기가 형성되고, 다른 하나에는 상기 돌기가 삽입되는 홈이 형성될 수 있다.
또한, 상기 하우징과 제1 샤프트 사이에는 부싱 또는 레이디얼 베어링이 구비되고, 상기 제1 샤프트와 제2 샤프트 사이에는 부싱이 구비될 수 있다.
또한, 상기 제1 샤프트의 내주면과 상기 제2 샤프트의 외주면에는 축방향으로 소정거리 이격된 걸림턱이 각각 형성되어 이들 사이의 축방향 직선운동이 일정거리만큼 제한될 수 있다.
또한, 상기 제3 씰링부재는 상기 하우징의 내주면에 마련되고, 상기 제1 위치에서 상기 제3 씰링부재는 상기 하우징과 상기 제1 샤프트 사이를 밀봉하지 않고, 상기 제2 위치에서 상기 제3 씰링부재는 상기 하우징과 상기 제1 샤프트 사이를 밀봉하도록, 상기 제1 샤프트에는 상기 제3 씰링부재의 내주면와 소정의 간극을 형성하도록 홈부가 마련될 수 있다.
또한, 상기 제3 씰링부재는 상기 제1 샤프트의 외주면에 마련되고, 상기 제1 위치에서 상기 제3 씰링부재는 상기 하우징과 상기 제1 샤프트 사이를 밀봉하지 않고, 상기 제2 위치에서 상기 제3 씰링부재는 상기 하우징과 상기 제1 샤프트 사이를 밀봉하도록, 상기 하우징에는 상기 제3 씰링부재의 외주면과 소정의 간극을 형성하도록 홈부가 마련될 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 회전운동 밀폐장치는, 중공의 하우징; 상기 하우징 내에 일부가 삽입되어 상기 하우징에 대해 회전운동 및 축방향 운동이 가능하게 설치되는 중공의 제1 샤프트; 상기 제1 샤프트를 관통하되, 상기 제1 샤프트와 함께 회전되는 제2 샤프트; 상기 하우징과 상기 제1 샤프트 사이에 마련되어 상기 사이를 밀봉하는 제1 씰링부재 및 제2 씰링부재;를 포함하고, 상기 제1 샤프트는 상기 하우징 내에서 축방향으로 제1 위치와 제2 위치로 이동가능하고, 상기 제1 샤프트가 상기 하우징 내 상기 제1 위치에 위치하면 상기 제1 씰링부재가 상기 하우징과 상기 제1 샤프트 사이를 밀봉하고, 상기 제1 샤프트가 상기 하우징 내 상기 제2 위치에 위치하면 상기 제2 씰링부재가 상기 하우징과 상기 제1 샤프트 사이를 밀봉할 수 있다.
또한, 상기 제1 씰링부재 및 상기 제2 씰링부재는 축방향으로 서로 이격되게 설치될 수 있다.
또한, 상기 제1 씰링부재 및 상기 제2 씰링부재 사이에 간격조절부재가 개재될 수 있다.
또한, 상기 제1 샤프트는 단차를 가지며 연장 형성된 돌출부;를 포함하고, 상기 제1 샤프트가 상기 제1 위치에 위치하면 상기 제1 씰링부재가 상기 돌출부와 상기 하우징 사이를 밀봉할 수 있으며, 상기 제1 샤프트가 상기 제2 위치에 위치하면 상기 제2 씰링부재가 상기 돌출부와 상기 하우징 사이를 밀봉할 수 있다.
또한, 상기 하우징의 일부는, 일단으로 갈수록 내경이 확대되는 다단으로 형성될 수 있고, 상기 제1 샤프트는, 상기 돌출부와 상기 하우징의 단차에 의해 제1 방향으로의 이동이 제한될 수 있다.
또한, 상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트 사이에 마련되어 상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트 사이를 밀봉하는 제3 씰링부재를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트는 결합수단에 의해 결합되어 상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트가 동일하게 회전할 수 있다.
또한, 상기 결합수단은 상기 하우징의 외부로 노출된 상기 제1 샤프트 또는 상기 제2 샤프트에 마련되는 클램핑 기구 또는 스크류 볼트일 수 있다.
또한, 상기 클램핑 기구는, 상기 제1 샤프트 외주면을 둘러싸도록 부착되어 상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트를 결합시키고, 상기 제1 샤프트 및 상기 제2 샤프트는 상기 클램핑 기구에 의해 상기 하우징으로부터 이탈이 방지될 수 있다.
또한, 상기 제2 샤프트의 이탈을 방지하는 이탈방지부재;를 더 포함하고, 상기 이탈방지부재는 상기 하우징 외부로 노출된 상기 제1 샤프트 또는 상기 제2 샤프트와 결합할 수 있다.
또한, 상기 제1 샤프트는 축방향으로 이격되고, 상기 이탈방지부재가 결합수단에 의해 상기 제1 샤프트에 결합되는 제1 결합부 및 제2 결합부;를 포함할 수 있다.
또한, 상기 이탈방지부재가 상기 제1 결합부에 결합되면 상기 제1 샤프트는 상기 제1 위치에 위치하고, 상기 이탈방지부재가 상기 제2 결합부에 결합되면 상기 제1 샤프트는 상기 제2 위치에 위치할 수 있다.
또한, 상기 제1 씰링부재 및 상기 제2 씰링부재는 회전운동용 회전용 씰일 수 있다.
본 발명에 따른 직선 및 회전운동 밀폐장치는, 한 쌍의 샤프트가 구비되어 직선 및 회전운동을 각각 수행하되 하우징과 제1 샤프트 및 제1 샤프트와 제2 샤프트 사이에는 각각 씰링부재가 구비되어 그들 사이로 유체가 누설되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 회전운동을 밀폐하기 위한 씰링부재가 파손되는 경우, 샤프트를 축방향으로 이동시켜 예비로 마련된 새로운 다른 씰링부재가 대체할 수 있게 하는 직선 및 회전운동 밀폐장치를 제공하고자 한다.
또한, 본 발명에 따른 회전운동 밀폐장치는 한 쌍의 샤프트가 구비되어 회전운동을 수행하되 하우징과 제1 샤프트 및 제1 샤프트와 제2 샤프트 사이에는 각각 씰링부재가 구비되어 그들 사이로 유체가 누설되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 회전운동을 밀폐하기 위한 씰링부재가 파손되는 경우, 샤프트를 축방향으로 이동시켜 예비로 마련된 새로운 다른 씰링부재가 대체할 수 있게 하는 회전운동 밀폐장치를 제공하여, 회전운동 밀폐장치의 수명을 연장하는 효과가 있다.
또한, 이탈방지부재를 통하여 회전운동을 전달하는 샤프트가 하우징으로부터 이탈하는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 종래의 밀폐장치를 도시하는 단면도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 직선 및 회전운동 밀폐장치의 제1 실시예를 도시하는 사시도.
도 3은 도 2의 직선 및 회전운동 밀폐장치를 도시하는 분해 사시도이다.
도 4는 도 3의 직선 및 회전운동 밀폐장치를 도시하는 부분단면 사시도이다.
도 5는 도 2의 직선 및 회전운동 밀폐장치를 도시하는 단면도이다.
도 6은 도 2의 실시예에서, 제2 샤프트가 축방향으로 이동된 상태를 도시하는 단면도이다.
도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 직선 및 회전운동 밀폐장치를 도시하는 단면도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 회전운동 밀폐장치의 사시도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 회전운동 밀폐장치의 분해 사시도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 회전운동 밀폐장치의 분해 단면 사시도이다.
도 11은 도 7의 회전운동 밀폐장치의 제1 샤프트가 제1 위치에 위치한 단면도이다.
도 12는 도 7의 회전운동 밀폐장치의 제1 샤프트가 제2 위치에 위치한 단면도이다
아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예가 상세하게 설명된다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고, 도면에서 본 발명의 실시예를 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략되었다.
본 명세서에서 사용된 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도로 사용된 것이 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함할 수 있다.
본 명세서에서, "포함하다", "가지다" 또는 "구비하다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것으로서, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해될 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 나타나는 구성부들은 서로 다른 특징적인 기능들을 나타내기 위해 독립적으로 도시되는 것으로, 각 구성부들이 분리된 하드웨어나 하나의 소프트웨어 구성단위로 이루어짐을 의미하지 않는다. 즉, 각 구성부는 설명의 편의상 각각의 구성부로 나열하여 기술되고, 각 구성부 중 적어도 두 개의 구성부가 합쳐져 하나의 구성부로 이루어지거나, 하나의 구성부가 복수 개의 구성부로 나뉘어져 기능을 수행할 수 있다. 이러한 각 구성부의 통합된 실시예 및 분리된 실시예도 본 발명의 본질에서 벗어나지 않는 한 본 발명의 권리 범위에 포함된다.
또한, 이하의 실시예들은 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 보다 명확하게 설명하기 위해서 제공되는 것으로서, 도면에서의 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명에 따른 바람직한 실시예에 대하여 설명한다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 직선 및 회전운동 밀폐장치의 제1 실시예를 도시하는 사시도이고, 도 3은 도 2의 직선 및 회전운동 밀폐장치를 도시하는 분해 사시도이다. 도 4는 도 3의 직선 및 회전운동 밀폐장치를 도시하는 부분단면 사시도이고, 도 5는 도 2의 직선 및 회전운동 밀폐장치를 도시하는 단면도이다. 도 6은 도 2의 실시예에서, 제2 샤프트가 축방향으로 이동된 상태를 도시하는 단면도이다.
도 2 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 직선 및 회전운동 밀폐장치는, 하우징과, 상기 하우징을 관통하여 결합되는 중공의 제1 샤프트와, 상기 하우징과 상기 제1 샤프트 사이에 구비되어 그 사이를 밀봉하는 제1 씰링부재와, 상기 제1 샤프트의 내부로 적어도 일부가 삽입되는 제2 샤프트와, 상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트 사이에 구비되어 그 사이를 밀봉하는 제2 씰링부재와, 상기 제1 샤프트의 내주면 또는 상기 제2 샤프트의 외주면 중 어느 하나에 마련되는 제3 씰링부재를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 제1 샤프트는 상기 하우징에 대해 축방향 직선운동만 가능하게 설치되거나, 회전운동 및 축방향 직선운동이 모두 가능하게 설치된다. 한편, 상기 제2 샤프트는 상기 제1 샤프트에 대해 회전운동 및 축방향 직선운동이 모두 가능하게 설치되거나, 축방향 직선운동만 가능하게 설치될 수 있다.
이 중, 상기 제1 샤프트가 축방향 직선운동을 하고 상기 제2 샤프트가 회전운동 및 축방향 이동하는 경우를 제1 실시예로, 제1 샤프트는 회전운동 및 축방향 이동을 하고 제2 샤프트가 축방향 직선운동을 하는 경우를 제2 실시예로 하여 기술하도록 한다.
도시된 제1 실시예는, 하우징(100)과, 하우징(100)을 관통하여 결합되는 중공의 제1 샤프트(200)와, 하우징(110)과 제1 샤프트(200) 사이에 구비되어 그 사이를 밀봉하는 제1 씰링부재(300)와, 제1 샤프트(200)의 내부로 적어도 일부가 삽입되는 제2 샤프트(400)와, 제1 샤프트(200)와 제2 샤프트(400) 사이에 구비되어 그 사이를 밀봉하는 제2 씰링부재(500)를 포함한다.
제1 샤프트(200)는 상기 하우징(100)에 대해 축방향 직선운동이 가능하게 설치되고, 상기 제2 샤프트(400)는 상기 제1 샤프트(200)에 대해 회전운동 및 축방향 이동이 가능하게 설치된다.
상기 제1 실시예를 좀 더 자세히 설명하면 다음과 같다.
상기 하우징(100)은 고압영역 및 저압영역의 경계면에 고정 가능하도록 플랜지(110)를 구비하는 원통형상으로 형성되고, 그 내주면 일측에는 내측으로 돌출되는 걸림턱(120)이 형성된다. 상기 플랜지(110)에는 경계면에 고정 가능하도록 복수개의 나사공(112)이 형성된다. 또한, 상기 하우징(100)의 내부에는 원통형상의 부싱(130)이 마련되고, 하우징(100)의 타단부에는 걸림턱(120)과 함께 부싱(130)를 고정하는 하우징 덮개(140)가 마련될 수 있다. 하우징 덮개(140)는 하우징(100)의 타단부에 나사 결합된다. 이때, 부싱(130)은 양단부가 상기 걸림턱(120)과 하우징 덮개(140)에 각각 접하도록 위치되고, 나사 결합되는 하우징 덮개(140)에 의해 고정 된다. 또한, 부싱(130)은 하우징(100)과 제1 샤프트(200) 사이의 마찰을 감소시키기 위한 것으로 여러가지 종류의 부싱이 사용될 수 있으며, 내부에 고체 윤활제가 마련된 슬라이드 부싱을 사용할 수 있다.
한편, 걸림턱(120)의 일면은 다단으로 형성되고 다단의 단턱(122)에는 제1 씰링부재(300)가 마련될 수 있다. 걸림턱(120)의 외측에는 하우징(100)의 내부로 삽입되어 제1 씰링부재(300)를 고정하는 와셔(150)가 마련될 수 있다. 와셔(150)의 일면에도 다단의 단턱(152)이 형성되고 그 단턱(152)에는 다른 제1 씰링부재(300')가 마련될 수 있다. 또한, 와셔(150)의 외측에는 와셔(150) 및 다른 제1 씰링부재(300')를 고정하기 위한 와셔 덮개(160)가 마련될 수 있다.
제1 씰링부재(300, 300')는 하우징(100)과 제1 샤프트(200) 사이를 밀봉하기 위한 것으로 축방향으로 직선운동을 하는 제1 샤프트(200)에 적용 가능하도록 직선운동에 우수한 밀봉성능을 보이는 직선운동용 리니어 씰일 수 있다. 본 실시예에서는 오링을 사용하였으나 이는 일례에 불과한 것으로 이에 한정되지 아니하고 립 씰 등 여러 다양한 형태의 리니어 씰을 적용할 수 있다.
제1 샤프트(200)는 중공형상으로 일단부에서 타단부로 갈수록 외경과 내경이 확대되는 다단으로 형성된다. 즉, 제1 샤프트(200)의 외주면은 일단부로부터 소외경부(210), 중외경부(220) 및 대외경부(230)로 이루어지는 3단으로 형성될 수 있다. 제1 샤프트(200)의 내주면은 일단부로부터 소내경부(240) 및 대내경부(250)로 이루어지는 2단으로 형성될 수 있다.
제1 샤프트(200)의 소외경부(210)는 걸림턱(120), 와셔(150) 및 와셔 덮개(160)를 관통하여 일측으로 돌출되고, 중외경부(220)는 제1 샤프트(200)의 직선운동 시 하우징(100)과 마찰을 감소시키기 위해 마련되는 부싱(130)과 접하도록 위치된다. 한편, 대외경부(230)의 단부, 즉 제1 샤프트(200)의 타단부는 상기 하우징(100)의 타단부와 플렉시블 커버(600)로 연결된다.
제1 샤프트(200)는 부싱(130)를 따라 축방향으로 직선운동을 할 수 있는데, 일측으로 이동할 경우 소외경부(210)와 중외경부(220) 사이에 형성된 단턱(222)이 걸림턱(120)에 걸리게 되어 이동이 제한될 수 있다. 또한, 제1 샤프트(200)가 타측으로 이동할 경우 상기 플렉시블 커버(600)에 의해 그 이동이 제한될 수 있다.
플렉시블 커버(600)는 하우징과 제1 샤프트(200)의 타단부 사이로 이물질이 투입되는 것을 방지하기 위한 것으로 제1 샤프트(200)가 축방향으로 이동함에 따라 확장 또는 수축될 수 있다. 이러한 플렉시블 커버로는 고무와 같이 탄성을 갖는 합성수지재의 벨로우즈가 가장 많이 사용되는데, 진공 압력 장비용 직선 및 회전운동 밀폐장치가 장착되는 기계의 용도에 따라 테프론이나 스테인리스로 제작된 플렉시블 커버를 사용하기도 한다.
한편, 하우징(100)과 제1 샤프트(200) 사이에 구비되는 제1 씰링부재(300)는 직선운동용 리니어 씰이므로 제1 샤프트(200)에 회전이 발생되면 직선운동용 리니어 씰로서의 기능을 상실하게 되어 바람직하지 못하다.
따라서, 도면에 도시되지는 않았지만 하우징(100)의 내주면과 제1 샤프트(200)의 외주면 중 어느 하나에는 축방향으로 연장되는 돌기를 형성하고, 다른 하나에는 상기 돌기가 삽입되는 홈을 형성하여 제1 샤프트(200)가 회전되지 않도록 하는 것이 바람직하다.
제2 샤프트(400)는 일단부에서 타단부로 갈수록 외경이 축소되는 다단으로 형성된다. 즉, 제2 샤프트(400)의 외주면은 일단부로부터 대외경부(410), 중외경부(420), 제1 소외경부(430) 및 제2 소외경부(432)로 이루어지는 4단으로 형성된다.
제2 샤프트(400)의 중외경부(420), 제1 소외경부(430) 및 제2 소외경부(43)는 일측으로부터 제1 샤프트(200)를 관통하여 결합되고, 제2 샤프트(400)의 외주면 대경부(410)는 제1 샤프트(200)의 내주면 소내경부(240)의 직경보다 크게 형성된다. 제2 샤프트(400)의 중외경부(420)와 제1 샤프트(200)의 소내경부(240) 사이에는 소정의 간극이 형성되어 제2 샤프트(200) 회전 시 이들 사이에 마찰이 발생되지 않도록 한다.
상술한 바와 같이 제1 샤프트(200)의 내경은 타측으로 갈수록 확대되고 제2 샤프트(400)의 외경은 타측으로 갈수록 축소되는 바, 소정의 공간(440)이 마련될 수 있다. 소정의 공간(440)에는 일측으로부터 복수의 제2 씰링부재(500)와 레이디얼 베어링(450)이 위치될 수 있다. 제2 씰링부재(500)는 제1 샤프트(200)와 제2 샤프트(400) 사이를 밀봉하기 위한 것이고, 레이디얼 베어링(450)은 제2 샤프트(400)가 제1 샤프트(200)에 대해 회전 가능하도록 하기 위한 것이다. 본 실시예에서, 제1 샤프트(200)에 대해 제2 샤프트(400)가 회전하도록 레이디얼 베어링(450)이 마련되었으나, 이 대신에 부싱이 마련될 수 있다. 상기 부싱 덕분에, 제1 샤프트(200)에 대해 제2 샤프트(400)는 회전할 수 있다.
여기서 제2 씰링부재(500)는 회전운동을 하는 제2 샤프트(400)에 적용 가능하도록 회전운동에 우수한 밀봉성능을 보이는 회전운동용 회전용 씰인 바, 본 실시예에서는 립 씰을 사용하였으나 이는 일례에 불과한 것으로 이에 한정되지 아니하고 여러 다양한 형태의 회전용 씰을 적용할 수 있다.
한편, 상기 레이디얼 베어링(450)의 양단부 측 제2 샤프트(400)의 외주면에는 각각 단턱(460)과 스냅링(470)이 구비되어 레이디얼 베어링(450)을 고정할 수 있다. 스냅링(470)은 탈착이 가능한 형태로 레이디얼 베어링을 위치시킨 후 제2 샤프트(400)의 외주면으로 삽입 고정될 수 있다. 또한, 레이디얼 베어링(450)은 인접하여 배치된 제3 씰링부재(800)과 제1 샤프트(200)의 타단부에 구비되는 베어링 커버(260)에 의해 한 번 더 고정될 수 있다.
한편, 본 실시예에 따른 직선 및 회전운동 밀폐장치는 제3 씰링부재(800)를 포함할 수 있다. 제3 씰링부재(800) 역시 제2 씰링부재(500)과 마찬가지로, 회전운동을 하는 제2 샤프트(400)에 적용가능하도록 회전운동에 우수한 밀봉성능을 보이는 회전운동용 회전용 씰일 수 있다. 본 실시예에서는 립 씰을 사용하였으나 이는 일례에 불과한 것으로 이에 한정되지 아니하고 여러 다양한 형태의 회전용 씰을 적용할 수 있다.
제3 씰링부재(800)는 제1 샤프트(200)의 내주면 또는 제2 샤프트(400)의 외주면 중 어느 하나에 마련될 수 있으며, 본 실시예에서는 제1 샤프트(200)의 내주면에 마련되는 것을 예를 들었다. 제3 씰링부재(800)는 레이디얼 베어링(450)에 인접하여 마련되어 있다. 도 5에 도시된 바와 같이, 제2 샤프트(400)가 제1 샤프트(200) 내에서 제1 위치에 있는 경우, 제3 씰링부재(800)의 내주면은 제2 샤프트(400)의 외주면과 접촉하지 않는다. 따라서, 상기 제1 위치에서는 제3 씰링부재(800)는 제1 샤프트(200)와 제2 샤프트(400) 사이의 밀봉을 수행하지 않는다. 그러나, 상기 밀폐장치의 오랜 사용으로 인해 제2 씰링부재(500)가 수명이 다하거나 파손될 수 있다. 이 경우, 제2 씰링부재(500)의 교체를 위해 상기 밀폐장치 전체를 분해하고 재조립하는 것은 효율적이지 않을 수 있다. 이러한 경우, 사용자는 스냅링(470)을 제거 후, 제2 샤프트(400)를 제1 샤프트(200) 내에서 일측(본 실시예에서는 좌측)으로 밀어 도 6에 도시된 제2 위치로 이동시킬 수 있다.
도 6에 도시된 바와 같이, 제2 샤프트(400)을 제1 샤프트(200)에 대해 이동시킨 제2 위치에서는, 제3 씰링부재(800)의 내주면이 제2 샤프트(400)의 외주면과 접촉될 수 있다. 일례로, 제3 씰링부재(800)의 내주면은 제2 샤프트(400)의 외주면에 마련된 홈부(412)와 접촉할 수 있어, 제1 샤프트(200)와 제2 샤프트(400) 사이에는 밀봉이 수행될 수 있다. 홈부(412)는 제2 샤프트(400)에 별도로 마련된 링형상의 결합링이 장착될 수도 있다. 따라서, 제2 씰링부재(500)의 내구 수명이 다하더라도, 상기 밀폐장치 전체를 분해하여 제2 씰링부재(500)를 교체 후 재조립할 필요없이, 스냅링(470)만을 제거한 후, 간단하게 제2 샤프트(400)를 제1 샤프트(200) 내에서 위치이동 시킴으로써, 제2 씰링부재(500)을 대신하여 제3 씰링부재(800)가 사용되도록 할 수 있다. 이 경우, 제2 샤프트(400)의 대경부(410)의 타측과 제1 샤프트(200)의 소내경부(240)의 일측 사이는 축방향으로 이격될 수 있다. 상기 제2 위치에서 제2 샤프트(400)와 제1 샤프트(200)의 상대적인 축방향 운동을 방지하기 위해 스냅링(472)이 마련될 수 있다.
한편, 제1 샤프트(200)의 타단부에는 베어링 커버(260)가 마련되는데, 베어링 커버(260)는 제1 샤프트(200) 내부에 구비되는 제2 씰링부재(500), 레이디얼 베어링(450) 및 제3 씰링부재(800)를 고정함과 동시에 상기 플렉시블 커버(600)를 고정하기 위한 것이다.
상기와 같이 구성된 제1 실시예의 동작을 살펴보면 다음과 같다.
먼저, 도 5를 참조하여 제1 위치에서의 밀폐장치의 동작을 살펴보기로 한다.
도면에 도시되지는 않았지만 밀폐장치의 타측에는 제1 샤프트(200)와 제2 샤프트(400)를 회전운동과 직선운동을 하도록 하는 구동장치가 구비된다.
상기 구동장치에 의해 제2 샤프트(400)가 회전하게 된다. 제1 샤프트(200)와 제2 샤프트(400)의 타측 사이에는 레이디얼 베어링(450)이 구비되고 일측에는 소정의 간극이 형성되므로, 제1 샤프트(200)는 회전하지 않는다. 또한, 상술한 바와 같이, 하우징(100)의 내주면과 제1 샤프트(200)의 외주면 중 어느 하나에는 축방향으로 연장되는 돌기(미도시)를 형성하고, 다른 하나에는 상기 돌기가 삽입되는 홈(미도시)을 형성하면 제1 샤프트(200)가 회전을 완벽하게 방지할 수 있다.
한편, 상기 구동장치에 의해 제2 샤프트(400)는 축방향으로 이동할 수 있다. 이때, 제2 샤프트(400)의 축방향 이동은 일측으로 이동하는 경우와 타측으로 이동하는 경우 두 가지로 나누어 볼 수 있다.
이 중, 제2 샤프트(400)가 일측으로 이동하는 경우 제2 샤프트(400) 외주면에 결합된 스냅링(470)이 힘을 받게 되고, 그 힘은 제3 씰링부재(800), 레이디얼 베어링(450), 및 제2 씰링부재(500)를 통해 제1 샤프트(200)로 전달되며, 제1 샤프트(200)는 부싱(130)을 따라 직선운동하게 된다.
또한, 제2 샤프트(400)가 타측으로 이동하는 경우 제2 샤프트(400)의 대경부가 제1 샤프트(200)의 일단부와 접촉하여 이동하게 되는 바, 상기와 같이 제1 샤프트(200)는 부싱(130)를 따라 직선운동하게 된다.
이때, 상기 회전운동과 직선운동은 동시에 발생되되, 제1 샤프트(200)와 제2 샤프트(400) 사이에는 레이디얼 베어링(450)이 구비되고, 상기 하우징(100)의 내주면과 제1 샤프트(200)의 외주면 사이에는 축방향으로 연장되는 돌기와 홈이 구비되는 바, 상기 제1 샤프트(200)는 직선운동만 하게 된다.
여기서 상기 제1 샤프트(200) 및 제2 샤프트(400)의 적어도 일단부(바람직하게는 양단부 모두)는 높은 경도와 정밀한 표면을 가질 수 있도록 연마 처리될 수 있다. 연마 처리의 목적은, 제1 샤프트(200) 및 제2 샤프트(400)와 씰링부재(300, 500) 사이의 접촉응력분포 및 온도분포를 균일하게 하기 위함으로, 상기와 같이 제1 샤프트(200)와 제2 샤프트(400)를 연마 처리를 하게 되면, 제1 샤프트(200) 및 제2 샤프트와 씰링부재(300, 500) 사이의 기밀을 더 확실하게 할 수 있게 된다.
이와 같은 상기 샤프트(200, 400)의 연마 처리 과정을 상세히 살펴보면, 기계 및 열처리 등과 같은 방법에 의해 가공된 샤프트(200, 400)의 적어도 일단부의 표면에 소정의 코팅 물질을 일정 두께로 코팅한 후, 코팅된 표면이 균일한 두께를 갖도록 연마 처리하게 된다. 이때, 상기와 같이 코팅 후 연마 처리하는 이유는 코팅 두께를 임의로 조절할 수 있고 균일한 코팅 두께를 얻을 수 있기 때문이다. 하지만, 꼭 이에 한정되는 것은 아니며 연마 처리 후 코팅 작업을 하는 것도 가능하다.
다음으로 도 6을 참조하여, 제2 위치에서의 밀폐장치의 동작을 설명하기로 한다.
제1 샤프트(200)와 제2 샤프트(400) 사이의 밀봉을 수행하는 제2 씰링부재(500)의 수명이 다하거나 파손이 된 경우, 사용자는 스냅링(470)을 제거 후, 제2 샤프트(400)를 제1 샤프트(200) 내에서 일측으로 밀어 도 6에 도시된 제2 위치로 이동시킨 후, 스냅링(470)을 재장착 할 수 있다. 또한, 상기 제2 위치에서 제2 샤프트(400)와 제1 샤프트(200)의 상대적인 축방향 운동을 방지하기 위해 스냅링(472)을 장착할 수 있다.
도면에 도시되지는 않았지만 밀폐장치의 타측에는 제1 샤프트(200)와 제2 샤프트(400)를 회전운동과 직선운동을 하도록 하는 구동장치가 구비된다.
상기 구동장치에 의해 제2 샤프트(400)가 회전하게 된다. 제1 샤프트(200)와 제2 샤프트(400)의 타측 사이에는 레이디얼 베어링(450)이 구비되고 일측에는 소정의 간극이 형성되므로, 제1 샤프트(200)는 회전하지 않는다. 한편, 상기 구동장치에 의해 제2 샤프트(400)는 축방향으로 이동할 수 있다. 이때, 제2 샤프트(400)의 축방향 이동은 일측으로 이동하는 경우와 타측으로 이동하는 경우 두 가지로 나누어 볼 수 있다.
이 중, 제2 샤프트(400)가 일측으로 이동하는 경우 제2 샤프트(400) 외주면에 결합된 스냅링(470)이 힘을 받게 되고, 그 힘은 제3 씰링부재(800), 레이디얼 베어링(450), 및 제2 씰링부재(500)를 통해 제1 샤프트(200)로 전달되며, 제1 샤프트(200)는 부싱(130)을 따라 직선운동하게 된다.
또한, 제2 샤프트(400)가 타측으로 이동하는 경우 제1 샤프트(200)의 일단부와 접촉하면서 제2 샤프트(400)에 결합된 스냅링(472)이 힘을 받게 되고 그 힘은 제1 샤프트(200)에 전달되므로, 제1 샤프트(200)는 부싱(130)를 따라 직선운동하게 된다.
이때, 상기 회전운동과 직선운동은 동시에 발생되되, 제1 샤프트(200)와 제2 샤프트(400) 사이에는 레이디얼 베어링(450)이 구비되고, 상기 하우징(100)의 내주면과 제1 샤프트(200)의 외주면 사이에는 축방향으로 연장되는 돌기와 홈이 구비되는 바, 상기 제1 샤프트(200)는 직선운동만 하게 된다.
도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 직선 및 회전운동 밀폐장치를 도시하는 단면도이다.
도 7에 도시된 바와 같이 진공 압력 장비용 직선 및 회전운동 밀폐장치의 제2 실시예는 하우징(100)과 제1 샤프트(200) 사이에는 레이디얼 베어링(450)이 마련되어 제1 샤프트(200)가 회전운동을 하도록 하고, 제1 샤프트(200)와 제2 샤프트(400) 사이에는 부싱(130)이 마련되어 제2 샤프트(400)가 직선운동을 하도록 한다. 즉, 제1 샤프트(200)는 하우징(100)에 대해 회전운동이 가능하게 설치되고, 제2 샤프트(400)는 상기 제1 샤프트(200)에 대해 축방향 직선운동이 가능하게 설치된다.
또한, 하우징(100)과 제1 샤프트(200) 사이에는 제2 씰링부재(회전용 씰, 500)가 구비되고, 제1 샤프트(200)와 제2 샤프트(400) 사이에는 제1 씰링부재(리니어 씰, 300)이 구비된다. 이때, 각 씰링부재(300, 500)에는 상술한 바와 같이 직선운동과 회전운동에 우수한 밀봉성능을 보이는 오링과 립씰이 사용될 수 있다.
제2 실시예에서도 상기 제1 실시예와 마찬가지로 제1 샤프트(200)와 제2 샤프트(400)의 적어도 일단부(바람직하게는 양단부 모두)는 열처리, 도금 및 코팅 등과 같은 방법에 의해 연마 처리될 수 있다.
이와 같이 구성된 진공 압력 장비용 직선 및 회전운동 밀폐장치의 제2 실시예는 상기 제1 실시예와 동일한 효과를 얻을 수 있다. 즉, 한 쌍의 샤프트(200, 400)를 구비하고 그 샤프트(200, 400)가 각각 직선운동 및 회전운동을 수행하되, 하우징(100)과 제1 샤프트(200) 및 제1 샤프트(200)와 제2 샤프트(400) 사이에는 직선운동과 회전운동에 우수한 밀봉성능을 보이는 씰링부재(300, 500)를 구비하여 그들 사이로 유체가 누설되는 것을 방지한다.
한편, 상기 제1 실시예 및 제2 실시예에서는 한 쌍의 씰링부재, 즉 제1 및 제2 씰링부재(300, 500)를 오링과 립씰이 각각 예시하고 있다. 하지만, 상술한 바와 같이 반드시 이에 한정되는 것은 아니며 다양한 형태의 씰링부재가 적용 가능할 수 있다.
또한, 제2 실시예에서도, 상기 제1 실시예에서와 같이 제3 씰링부재(800)가 하우징(100)과 제1 샤프트(200) 사이에 마련될 수 있다. 하우징(100)과 제1 샤프트(200) 사이에서 기밀을 제공하는 제2 씰링부재(500)가 수명을 다하거나 파손이 된 경우, 사용자는 제1 샤프트(200)을 하우징(100) 내에서 일측으로 이동시켜, 제3 씰링부재(800)가 하우징(100)과 제1 샤프트(200) 사이의 밀봉을 제공하도록 할 수 있다. 이 경우, 제3 씰링부재(800)의 내주면은 제1 샤프트(200)의 외주면에 마련된 홈부(212)와 접촉할 수 있어, 제1 샤프트(200)와 하우징(100) 사이에는 밀봉이 수행될 수 있다. 홈부(212)는 제1 샤프트(200)에 별도로 마련된 링형상의 결합링이 장착될 수도 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 실시예들에 따른 직선 및 회전운동 밀폐장치는, 한 쌍의 샤프트가 구비되어 직선 및 회전운동을 각각 수행하되 하우징과 제1 샤프트 및 제1 샤프트와 제2 샤프트 사이에는 각각 씰링부재가 구비되어 그들 사이로 유체가 누설되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 제1 샤프트와 제2 샤프트 중 어느 하나(제1 실시예), 또는 하우징과 제1 샤프트 중 어느 하나(제2 실시예)에는 회전운동용 씰링부재가 추가적으로 마련되어, 사용중인 회전운동용 씰링부재가 파손되는 경우, 제2 샤프트를 제1 샤프트에 대해 이동시키거나(제1 실시예), 제1 샤프트를 하우징에 대해 이동시켜(제2 실시예), 새로운 회전운동용 씰링부재가 밀봉이 가능한 위치로 배치시킴으로써 회전운동에 대한 밀봉효과를 연장할 수 있다.
이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 회전운동 밀폐장치에 대하여 설명하기로 한다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 회전운동 밀폐장치의 사시도이고, 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 회전운동 밀폐장치의 분해 사시도이다. 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 회전운동 밀폐장치의 분해 단면 사시도이며, 도 11은 도 8의 회전운동 밀폐장치의 제1 샤프트가 제1 위치에 위치한 단면도이다. 도 12는 도 8의 회전운동 밀폐장치의 제1 샤프트가 제2 위치에 위치한 단면도이다.
도 8 내지 도 12를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 회전운동 밀폐장치는, 중공의 하우징(1100), 하우징(1100) 내에 일부가 삽입되어 하우징(1100)에 대해 회전운동 및 축방향 운동이 가능하게 설치되는 중공의 제1 샤프트(1200), 제1 샤프트(1200)를 관통하되, 제1 샤프트(1200)와 함께 회전되는 제2 샤프트(1300), 하우징(1100)과 제1 샤프트(1200) 사이에 마련되어 하우징(1100)과 제1 샤프트(1200) 사이를 밀봉하는 제1 씰링부재(1400a) 및 제2 씰링부재(1400b)를 포함할 수 있다.
여기서, 제1 샤프트(1200)는 하우징(1100) 내에서 축방향으로 제1 위치와 제2 위치로 이동가능하고, 제1 샤프트(1200)가 하우징(1100) 내 제1 위치에 위치하면(도 11 참조), 제1 씰링부재(1400a)가 하우징(1100)과 제1 샤프트(1200) 사이를 밀봉하고, 제1 샤프트(1200)가 하우징(1100) 내 제2 위치에 위치하면(도 12 참조), 제2 씰링부재(1400b)가 하우징(1100)과 제1 샤프트(1200) 사이를 밀봉할 수 있다.
제1 위치는 도 11에 도시된 제1 샤프트(1200)의 위치로, 제1 샤프트(1200)의 돌출부(1210)가 제1 씰링부재(1400a)와 접촉되어 제1 사프트(1200)와 하우징(1100) 사이의 공간을 밀봉하는 위치이다. 그리고 제2 위치는 도 12에 도시된 제1 샤프트(1200)의 위치로, 제1 샤프트(1200)의 돌출부(1210)가 제2 씰링부재(1400b)와 접촉되어 제1 샤프트(1200)와 하우징(1100) 사이의 공간을 밀봉하는 위치이다.
하우징(1100)은 고압영역 및 저압영역의 경계면에 고정 가능하도록 플랜지부(1110)를 구비하는 원통형상으로 형성될 수 있으며, 그 내주면 일측에는 내측으로 돌출되는 걸림턱(1101)이 형성될 수 있다. 플랜지부(1400)에는 경계면에 고정 가능하도록 복수개의 나사공(1401)이 형성된다. 도 11 및 도 12와 같이, 제1 샤프트(1200)가 하우징(1100)의 중공을 관통할 때 발생할 수 있는 공간인, 하우징(1100)과 제1 샤프트(1200) 사이에는 제1 씰링부재(1400a)와 제2 씰링부재(1400b)가 마련될 수 있다. 제1 씰링부재(1400a) 및 제2 씰링부재(1400b)는 하우징(1100)과 제1 샤프트(1200) 사이를 밀봉하기 위한 것으로, 회전운동에 우수한 밀봉성능을 보이는 회전운동용 회전용 씰일 수 있다. 본 실시예에서는 오링을 사용하였으나 이는 일례에 불과한 것으로 이에 한정되지 아니하고, 립씰 등 여러가지 형태의 회전용 씰을 적용할 수 있다.
하우징(1100)은 일단에서 타단으로 갈수록 외경이 커지는 다단으로 형성될 수 있으며, 타단부에는 하우징 덮개(1140)가 마련되고, 스크류와 같은 결합수단에 의해 하우징(1100)과 하우징 덮개(1140) 결합될 수 있다.
또한, 제1 씰링부재(1400a)와 제2 씰링부재(1400b)는 축방향으로 서로 이격되게 설치될 수 있다. 이격된 제1 씰링부재(1400a)와 제2 씰링부재(1400b) 사이에는 간격조절부재(1410)가 개재될 수 있다. 간격조절부재(1410)로 인하여 제1 씰링부재(1400a)와 제2 씰링부재(1400b)는 물리적으로 서로 분리될 수 있다. 또한, 간격조절부재(1410)에 의해 제1 씰링부재(1400a)와 제2 씰링부재(1400b)는 하우징(1100)내에서 이동되지 않도록 위치가 고정될 수 있다.
도 9 및 도 10을 참조하면, 복수개의 제1 씰링부재(1400a) 및 제2 씰링부재(1400b) 각각은 와셔(1410) 및 씰(1420)로 구성될 수 있다. 와셔(1410)의 일면에는 단턱이 형성되고 그 단턱에는 씰(1420)이 안착될 수 있다.
도 11 및 도 12를 참조하면, 제1 씰링부재(1400a) 및 제2 씰링부재(400b) 각각은 복수개로 이루어질 수 있으며, 복수개의 제2 씰링부재(1400b)와 복수개의 제1 씰링부재(1400a) 사이에는 제2 씰링부재(1400b)와 제1 씰링부재(1400a)를 이격시키면서 하우징(1100)내에서 위치를 고정하기 위한 간격조절부재(1410)가 마련될 수 있다. 제1 씰링부재(1400a)의 일단에는 하우징 덮개(1140)가 마련되어 하우징(1100) 내에 나란히 끼워진 제1 씰링부재(1400a), 제2 씰링부재(1400b) 및 간격조절부재(1410)를 압박하며, 이러한 구조는 제1 씰링부재(1400a) 및 제2 씰링부재(1400b)가 하우징(1100)에 별도의 결합수단으로 결합이 되어 있지 않아도 하우징 내에서 위치가 고정될 수 있는 이점이 있다.
제1 샤프트(1200)는, 그 내부에 형성된 중공 및 단차와, 그 외주면으로부터 연장 형성된 돌출부(1210)를 포함할 수 있다. 도 11에 도시된 제1 위치에서는, 제1 씰링부재(1400a)는 돌출부(1210)와 하우징(1100) 사이를 밀봉할 수 있다. 돌출부(1210)는 돌출부 외경면(1211)과 돌출부 걸림턱(1212)을 포함할 수 있다(도 10 참조). 돌출부 외경면(1211)과 제1 씰링부재(1400a)는 접촉되면서 씰링을 형성하기 때문에, 하우징(1100)과 제1 샤프트(1200) 사이는 밀봉될 수 있다.
한편, 도 11에 도시된 바와 같이, 제1 샤프트(1200)가 제1 위치에 위치하면, 제1 샤프트(1200)의 돌출부 외경면(1211)은 제2 씰링부재(1400b)와 접촉하지 않는다. 따라서, 제1 위치에서는 제2 씰링부재(1400b)는 하우징(1100)과 제1 샤프트(1200) 사이의 밀봉을 수행하지 않는다.
그러나 상기 회전운동 밀폐장치의 오랜 사용으로 인해 제1 씰링부재(1400a)는 수명이 다하거나 파손될 수 있다. 이 경우, 제1 씰링부재(1400a)를 교체하기 위하여 상기 회전운동 밀폐장치 전체를 분해하고 재조립하는 것은 효율적이지 않을 수 있다. 보다 효율적인 방법으로서, 상기 회전운동 밀폐장치 전체를 분해하지 않고, 새로운 씰링부재를 사용할 필요가 있다.
본 실시예에서는, 사용자가 하우징(1100) 외부에 노출된 제1 샤프트(1200), 예컨대 제1 샤프트의 2차외경부(1230)를 파지 후, 제1 샤프트(1200)를 제1 위치에서 제2 위치로 밀어 도 12에 도시된 제2 위치로 이동시킬 수 있다.
그러면 도 12에 도시된 것처럼 제1 샤프트(1200)가 제2 위치에 위치(제1 샤프트(1100)가 하우징(1100) 내의 제1 위치에서 축 방향으로 이동되어 제2 위치에 위치)하게 되고, 돌출부(1210)도 하우징(1100)내의 제2 위치에 위치할 수 있다.
제2 위치에서는 제1 샤프트(1200)의 돌출부(1210)가 제2 씰링부재(1400b)와 접촉하여, 제1 샤프트(1200)와 하우징(1100) 사이의 공간을 밀봉할 수 있다.
따라서, 상기 회전운동 밀폐장치는 제1 씰링부재(1400a)가 파손되거나 수명이 다한 경우에도, 제1 샤프트(1200)를 축 방향으로 이동시켜 새로운 제2 씰링부재(1400b)를 사용할 수 있는 이점이 있다.
한편, 제1 샤프트(1200)가 돌출부(1210)를 포함하는 형상이므로, 이와 대응되게 하우징(1100)의 일부는 일단으로 갈수록 내경이 확대되는 다단으로 형성될 수 있다. 일 실시예에 따른 하우징(1100)은 1차 외경부(1120)와 2차 외경부(1130)를 가지는 다단으로 형성되고, 1차 외경부(1120)와 2차 외경부(1130) 사이에는 외경차이로 인한 단턱(1121)이 형성될 수 있다. 제1 샤프트(1200)가 제1 위치에서 제2 위치로 이동할 때, 즉 사용자가 물리적으로 제1 샤프트(1200)를 밀어 이동시킬 때, 제1 샤프트(1200)의 돌출부(1210)의 걸림턱(1212)이 단턱(1121)에 막히므로 제1 샤프트(1200)의 이동을 제한할 수 있다. 이러한 구조는 제1 샤프트(1200)가 제1 위치에서 제2 위치로 이동할 때, 제1 샤프트(1200)가 제2 위치의 정위치에 놓이도록 할 수 있다.
또한, 복수개의 제1 씰링부재(1400a) 및 제2 씰링부재(1400b)는 상술한 바와 같이 하우징(1100) 내부에 간격조절부재(1410)와 함께 나란히 끼울 수 있는 것은 단턱(1121)을 가지는 하우징(1100)의 구조에 의한 것이다.
그리고 제1 샤프트(1200)의 중공에는 제2 샤프트(1300)가 관통하여 생길 수 있는 공간, 즉 제1 샤프트(1200)와 제2 샤프트(1300) 사이의 공간에는 제3 씰링부재(1400c)가 마련될 수 있다. 제3 씰링부재(1400c)는 제1 샤프트(1200)와 제2 샤프트(1300) 사이를 밀봉할 수 있다. 제3 씰링부재(1400c)는 오링일 수 있으나, 이는 일례에 불과한 것으로 이에 한정되지 아니하고, 립씰 등 여러 다향한 형태의 씰을 적용할 수 있다.
또한, 제1 샤프트(1200)와 제2 샤프트(1300)는 결합수단(1500)에 의해 결합되어 제1 샤프트(1200)가 회전할 때, 제2 샤프트(1300)도 동일하게 회전할 수 있다.
여기서 결합수단(1500)은 클램핑 기구 또는 스크류 볼트가 사용될 수 있지만, 이에 한정되지 않고, 나사나 핀과 같은 여러 형태의 결합수단을 적용할 수 있다.
여기서 일례로 결합수단(1500)으로 클램핑 기구를 사용한다면, 클램핑 기구는 제1 샤프트(1200) 외주면을 둘러싸도록 부착되어 제1 샤프트(1200)의 외주면을 압박하여 제1 샤프트(1200)와 제2 샤프트(1300)를 결합시키고, 클램핑 기구가 결합되어 발생하는 클램핑 기구의 단차에 의해 제1 샤프트(1200) 및 제2 샤프트(1300)가 하우징(1100)으로부터 이탈되는 것을 방지될 수 있다. 또한, 제1 샤프트(1200)를 제1 위치에서 제2 위치로 이동 시킬 때는 사용자는 클램핑 기구를 풀고 제1 샤프트(1200)를 제1 위치에서 제2 위치로 이동 시킨 후, 다시 제1 샤프트(1200)에 클랭핑 기구를 설치할 수 있다.
결합수단(1500)으로 이탈방지부재(1600)가 사용될 수도 있다. 회전운동 밀폐장치는 제2 샤프트(1300)가 하우징(1100)으로부터 이탈되는 것을 방지하도록, 하우징(1100)의 외부로 노출된 제1 샤프트 2차외경부(1230)에는 이탈방지부재(1600)가 결합될 수 있다.
이를 위해서, 제1 샤프트(1200)의 2차외경부(1230)에는 제1 결합부(1231) 및 제2 결합부(1232)가 형성될 수 있다. 이 제1 결합부(1231) 및 제2 결합부(1232)는 이탈방지부재(1600)의 플랜지부(1610)에 형성된 결합공(1611)과 대응될 수 있다. 서로 대응되는 제1 결합부(1231)와 결합공(1611) 또는 제2 결합부(1232)와 결합공(1611)은 결합수단(1500)에 의해 결합될 수 있고, 이에 따라 이탈방지부재(1600)는 제1 샤프트(1200)와 결합할 수 있다.
한편 도 11 및 도 12를 참조하면, 이탈방지부재(1600)는 하우징(1100)의 외부에 노출된 제1 샤프트(1200) 또는 제2 샤프트(1300)에 결합할 수 있고, 이에 따라 상기 결합된 이탈방지부재(1600)는 제1 샤프트(1200) 또는 제2 샤프트(1300)가 다른 외력(예컨대, 중력 등)으로 인한 하우징(1100)으로부터의 이탈을 방지할 수 있다.
또한, 제1 샤프트(1200)에 이탈방지부재(1600)가 결합되는 것과 유사한 방식으로, 제2 샤프트(1300)에는 이탈방지부재(1600)가 결합될 수 있는 결합부(1301)가 형성될 수 있다. 상술한 제2 샤프트(1300)와 이탈방지부재(1600)는 결합부(1301)와 이탈방지부재(1600)의 플랜지부(1610)에 형성된 결합공(1611)에 결합수단(1500)에 의해 결합될 수 있다.
더불어, 플랜지부(1610)의 결합공(1611), 제1 샤프트(1200)의 제1 결합부(1231) 또는 제2 결합부(1232), 및 제2 샤프트(1300)의 결합부(1301)가 함께 결합수단(1500)에 의해 결합되어, 이탈방지부재(1600), 제1 샤프트(1200) 및 제2 샤프트(1300)가 함께 결합될 수 있다.
여기서 제1 샤프트(1200)의 제1 결합부(1231)에 결합수단(1500)이 결합되어 제1 샤프트(1200)와 제2 샤프트(1300)가 결합되면, 제1 샤프트(1200)는 제1 위치에 위치할 수 있고, 제1 샤프트(1200)의 제2 결합부(1231)에 결합수단(1500)이 결합되어 제1 샤프트(1200)와 제2 샤프트(1300)가 결합되면, 제1 샤프트(1200)는 제2 위치에 위치할 수 있다.
따라서, 상기 회전운동 밀폐장치의 오랜 사용으로 인해 제1 씰링부재(1400a)가 수명이 다하거나 파손되면, 사용자는 제1 샤프트(1200)의 제1 결합부(1231)와 제2 샤프트(1300)의 결합구(1301)에 체결된 결합수단(1500)을 제거하고, 제1 샤프트(1200)를 제1 위치에서 제2 위치로 이동 시킨 후, 결합수단(1500)을 제1 샤프트(1200)의 제2 결합부(1232)와 제2 샤프트(1300)의 결합구(1301)에 다시 체결시켜 제1 샤프트(1200)를 제2 위치에 고정시킬 수 있다.
이러한 구조로 인하여, 하우징(1100) 내부의 씰링부재(1400a, 1400b)의 파손 및 훼손으로 씰링부재를 교체하기 위해 상기 회전운동 밀폐장치 전체를 분해할 필요가 없으며, 장치의 수명 또한 2배로 연장할 수 있다.
다른 실시예로, 제1 샤프트(1200)와 제2 샤프트(1300)는 샤프트의 축방향에 대해수직한 방향으로 제1 샤프트(1200) 및 제2 샤프트(1300)를 모두 관통하는 핀으로 결합될 수 있다. 그리고 제1 샤프트(1200)와 제2 샤프트(1300)의 결합 위치를 조절할 수 있는 제1 샤프트에는 상기 핀이 관통할 수 있는 관통구(미도수)가 복수개 존재할 수 있다. 따라서, 사용자는 관통구의 위치에 따라 제1 샤프트(1200)와 제2 샤프트(1300)의 결합위치를 적절히 조절하여 결합시킬 수 있다. 이 실시예는 제1 샤프트(1200)를 제1 위치에서 제2 위치로 이동 시킬 때, 결합된 제1 샤프트(1200)와 제2 샤프트(1300)의 핀 결합만 해체하고, 제1 샤프트(1200)를 제1 위치에서 제2 위치로 제1 샤프트(1200)를 이동시킨 후 다시 핀 결합할 수 있다.
이상에서 본 발명의 대표적인 실시예들을 상세하게 설명하였으나, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 상술한 실시예에 대하여 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 다양한 변형이 가능함을 이해할 것이다. 그러므로 본 발명의 권리범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 안 되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.

Claims (28)

  1. 하우징과;
    상기 하우징을 관통하여 결합되는 중공의 제1 샤프트;
    상기 하우징과 상기 제1 샤프트 사이에 구비되어 그 사이를 밀봉하는 제1 씰링부재;
    상기 제1 샤프트의 내부로 적어도 일부가 삽입되는 제2 샤프트;
    상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트 사이에 구비되어 그 사이를 밀봉하는 제2 씰링부재; 및
    상기 제1 샤프트의 내주면 또는 상기 제2 샤프트의 외주면 중 어느 하나에 마련되는 제3 씰링부재;를 포함하고,
    상기 제1 샤프트는 상기 하우징에 대해 축방향 직선운동이 가능하게 설치되고, 상기 제2 샤프트는 상기 제1 샤프트에 대해 회전운동 및 직선운동이 가능하게 설치되며,
    상기 제3 씰링부재는, 상기 제2 샤프트가 상기 제1 샤프트 내 제1 위치에서는 상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트 사이의 밀봉을 수행하지 않고, 상기 제2 샤프트가 이동하여 상기 제1 샤프트 내 제2 위치에서는, 상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트 사이의 밀봉을 수행하는 것인 직선 및 회전운동 밀폐장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 씰링부재는 직선운동용 리니어 씰이고, 상기 제2 씰링부재는 회전운동용 회전용 씰이며, 상기 제3 씰링부재는 회전운동용 회전용 씰인 것인 직선 및 회전운동 밀폐장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 하우징의 내주면과 상기 제1 샤프트의 외주면 중 어느 하나에는 축방향으로 연장되는 돌기가 형성되고,
    다른 하나에는 상기 돌기가 삽입되는 홈이 형성되는 것인 직선 및 회전운동 밀폐장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 하우징과 상기 제1 샤프트 사이에는 부싱이 구비되고, 상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트 사이에는 부싱 또는 레이디얼 베어링이 구비되는 것인 직선 및 회전운동 밀폐장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제1 샤프트는 일단부로 갈수록 내경이 확대되는 다단으로 형성되거나 상기 제2 샤프트가 일단부로 갈수록 외경이 축소되는 다단으로 형성되고, 상기 제1 및 상기 제2 샤프트의 일단부 사이에는 상기 부싱 또는 상기 레이디얼 베어링이 구비되는 것인 직선 및 회전운동 밀폐장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 하우징의 내주면과 상기 제1 샤프트의 외주면에는 축방향으로 소정거리 이격된 걸림턱이 각각 형성되어 이들 사이의 축방향 직선운동이 일정거리만큼 제한되는 것인 직선 및 회전운동 밀폐장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 제3 씰링부재는 상기 제1 샤프트의 내주면에 마련되고,
    상기 제1 위치에서 상기 제3 씰링부재는 상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트 사이를 밀봉하지 않고, 상기 제2 위치에서 상기 제3 씰링부재는 상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트 사이를 밀봉하도록, 상기 제2 샤프트에는 상기 제3 씰링부재의 내주면와 소정의 간극을 형성하도록 홈부가 마련된 것인 직선 및 회전운동 밀폐장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 제3 씰링부재는 상기 제1 샤프트의 외주면에 마련되고,
    상기 제1 위치에서 상기 제3 씰링부재는 상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트 사이를 밀봉하지 않고, 상기 제2 위치에서 상기 제3 씰링부재는 상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트 사이를 밀봉하도록, 상기 제1 샤프트에는 상기 제3 씰링부재의 외주면과 소정의 간극을 형성하도록 홈부가 마련된 것인 직선 및 회전운동 밀폐장치.
  9. 하우징과;
    상기 하우징을 관통하여 결합되는 중공의 제1 샤프트;
    상기 하우징과 상기 제1 샤프트 사이에 구비되어 그 사이를 밀봉하는 제1 씰링부재;
    상기 제1 샤프트의 내부로 적어도 일부가 삽입되는 제2 샤프트;
    상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트 사이에 구비되어 그 사이를 밀봉하는 제2 씰링부재; 및
    상기 하우징의 내주면 또는 상기 제1 샤프트의 외주면 중 어느 하나에 마련되는 제3 씰링부재;를 포함하고,
    상기 제1 샤프트는 상기 하우징에 대해 회전운동이 가능하게 설치되고, 상기 제2 샤프트는 상기 제1 샤프트에 대해 축방향 직선운동이 가능하게 설치되며,
    상기 제3 씰링부재는, 상기 제1 샤프트가 상기 하우징 내 제1 위치에서는 상기 제1 샤프트와 상기 하우징 사이의 밀봉을 수행하지 않고, 상기 제1 샤프트가 이동하여 상기 하우징 내 제2 위치에서는, 상기 제1 샤프트와 상기 하우징 사이의 밀봉을 수행하는 것인 직선 및 회전운동 밀폐장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 제1 씰링부재는 회전운동용 회전용 씰이고, 상기 제2 씰링부재는 직선운동용 리니어 씰이며, 상기 제3 씰링부재는 회전운동용 씰인 것인 직선 및 회전운동 밀폐장치.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 제1 샤프트의 내주면과 상기 제2 샤프트의 외주면 중 어느 하나에는 축방향으로 연장되는 돌기가 형성되고,
    다른 하나에는 상기 돌기가 삽입되는 홈이 형성되는 것인 직선 및 회전운동 밀폐장치.
  12. 제9항에 있어서,
    상기 하우징과 상기 제1 샤프트 사이에는 부싱 또는 레이디얼 베어링이 구비되고, 상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트 사이에는 부싱이 구비되는 것인 직선 및 회전운동 밀폐장치.
  13. 제9항에 있어서,
    상기 제1 샤프트의 내주면과 상기 제2 샤프트의 외주면에는 축방향으로 소정거리 이격된 걸림턱이 각각 형성되어 이들 사이의 축방향 직선운동이 일정거리만큼 제한되는 것인 직선 및 회전운동 밀폐장치.
  14. 제9항에 있어서,
    상기 제3 씰링부재는 상기 하우징의 내주면에 마련되고,
    상기 제1 위치에서 상기 제3 씰링부재는 상기 하우징과 상기 제1 샤프트 사이를 밀봉하지 않고, 상기 제2 위치에서 상기 제3 씰링부재는 상기 하우징과 상기 제1 샤프트 사이를 밀봉하도록, 상기 제1 샤프트에는 상기 제3 씰링부재의 내주면와 소정의 간극을 형성하도록 홈부가 마련된 것인 직선 및 회전운동 밀폐장치.
  15. 제9항에 있어서,
    상기 제3 씰링부재는 상기 제1 샤프트의 외주면에 마련되고,
    상기 제1 위치에서 상기 제3 씰링부재는 상기 하우징과 상기 제1 샤프트 사이를 밀봉하지 않고, 상기 제2 위치에서 상기 제3 씰링부재는 상기 하우징과 상기 제1 샤프트 사이를 밀봉하도록, 상기 하우징에는 상기 제3 씰링부재의 외주면과 소정의 간극을 형성하도록 홈부가 마련된 것인 직선 및 회전운동 밀폐장치.
  16. 중공의 하우징;
    상기 하우징 내에 일부가 삽입되어 상기 하우징에 대해 회전운동 및 축방향 운동이 가능하게 설치되는 중공의 제1 샤프트;
    상기 제1 샤프트를 관통하되, 상기 제1 샤프트와 함께 회전되는 제2 샤프트;
    상기 하우징과 상기 제1 샤프트 사이에 마련되어 상기 사이를 밀봉하는 제1 씰링부재 및 제2 씰링부재;를 포함하고,
    상기 제1 샤프트는 상기 하우징 내에서 축방향으로 제1 위치와 제2 위치로 이동가능하고,
    상기 제1 샤프트가 상기 하우징 내 상기 제1 위치에 위치하면 상기 제1 씰링부재가 상기 하우징과 상기 제1 샤프트 사이를 밀봉하고, 상기 제1 샤프트가 상기 하우징 내 상기 제2 위치에 위치하면 상기 제2 씰링부재가 상기 하우징과 상기 제1 샤프트 사이를 밀봉하는 것인 회전운동 밀폐장치.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 제1 씰링부재 및 상기 제2 씰링부재는 축방향으로 서로 이격되게 설치되는 것인 회전운동 밀폐장치.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 제1 씰링부재 및 상기 제2 씰링부재 사이에 간격조절부재가 개재되는 것인 회전운동 밀폐장치.
  19. 제16항에 있어서,
    상기 제1 샤프트는 단차를 가지며 연장 형성된 돌출부;를 포함하고,
    상기 제1 샤프트가 상기 제1 위치에 위치하면 상기 제1 씰링부재가 상기 돌출부와 상기 하우징 사이를 밀봉하며,
    상기 제1 샤프트가 상기 제2 위치에 위치하면 상기 제2 씰링부재가 상기 돌출부와 상기 하우징 사이를 밀봉하는 것인 회전운동 밀폐장치.
  20. 제19항에 있어서,
    상기 하우징의 일부는, 일단으로 갈수록 내경이 확대되는 다단으로 형성되고, 상기 제1 샤프트는, 상기 돌출부와 상기 하우징의 단차에 의해 제1 방향으로의 이동이 제한되는 것인 회전운동 밀폐장치.
  21. 제16항에 있어서,
    상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트 사이에 마련되어 상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트 사이를 밀봉하는 제3 씰링부재를 더 포함하는 것인 회전운동 밀폐장치.
  22. 제16항에 있어서,
    상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트는 결합수단에 의해 결합되어 상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트가 동일하게 회전하는 것인 회전운동 밀폐장치.
  23. 제22항에 있어서,
    상기 결합수단은 상기 하우징의 외부로 노출된 상기 제1 샤프트 또는 상기 제2 샤프트에 마련되는 클램핑 기구 또는 스크류 볼트인 것인 회전운동 밀폐장치.
  24. 제23항에 있어서,
    상기 클램핑 기구는, 상기 제1 샤프트 외주면을 둘러싸도록 부착되어 상기 제1 샤프트와 상기 제2 샤프트를 결합시키고,
    상기 제1 샤프트 및 상기 제2 샤프트는 상기 클램핑 기구에 의해 상기 하우징으로부터 이탈이 방지되는 것인 회전운동 밀폐장치.
  25. 제16항에 있어서,
    상기 제2 샤프트의 이탈을 방지하는 이탈방지부재;를 더 포함하고,
    상기 이탈방지부재는 상기 하우징 외부로 노출된 상기 제1 샤프트 또는 상기 제2 샤프트와 결합하는 것인 회전운동 밀폐장치.
  26. 제25항에 있어서,
    상기 제1 샤프트는, 상기 이탈방지부재가 결합수단에 의해 상기 제1 샤프트에 결합되는 제1 결합부 및 제2 결합부;를 포함하고,
    상기 제1 결합부 및 상기 제2 결합부는 상기 제1 샤프트의 축방향으로 이격되는 것인 회전운동 밀폐장치.
  27. 제26항에 있어서,
    상기 이탈방지부재가 상기 제1 결합부에 결합되면 상기 제1 샤프트는 상기 제1 위치에 위치하고,
    상기 이탈방지부재가 상기 제2 결합부에 결합되면 상기 제1 샤프트는 상기 제2 위치에 위치하는 것인 회전운동 밀폐장치.
  28. 제16항에 있어서,
    상기 제1 씰링부재 및 상기 제2 씰링부재는 회전운동용 회전용 씰인 것인 회전운동 밀폐장치.
PCT/KR2019/002825 2018-03-14 2019-03-12 회전운동 밀폐장치 WO2019177329A1 (ko)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201980016703.4A CN111801522B (zh) 2018-03-14 2019-03-12 旋转运动密封装置
EP19766650.6A EP3767136A4 (en) 2018-03-14 2019-03-12 ROTARY SEALING DEVICE
JP2020546126A JP7144080B2 (ja) 2018-03-14 2019-03-12 回転運動密閉装置
US16/998,147 US11662022B2 (en) 2018-03-14 2020-08-20 Sealing apparatus capable of rotational motion

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2018-0029605 2018-03-14
KR1020180029605A KR102098604B1 (ko) 2018-03-14 2018-03-14 직선 및 회전운동 밀폐장치
KR1020180046545A KR102045873B1 (ko) 2018-04-23 2018-04-23 회전운동 밀폐장치
KR10-2018-0046545 2018-04-23

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
US16/998,147 Continuation US11662022B2 (en) 2018-03-14 2020-08-20 Sealing apparatus capable of rotational motion

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2019177329A1 true WO2019177329A1 (ko) 2019-09-19

Family

ID=67906745

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/KR2019/002825 WO2019177329A1 (ko) 2018-03-14 2019-03-12 회전운동 밀폐장치

Country Status (5)

Country Link
US (1) US11662022B2 (ko)
EP (1) EP3767136A4 (ko)
JP (1) JP7144080B2 (ko)
CN (1) CN111801522B (ko)
WO (1) WO2019177329A1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021256772A1 (ko) * 2020-06-19 2021-12-23 씰링크 주식회사 회전축 밀폐장치 및 이를 이용하는 반도체 기판처리장치

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI802925B (zh) * 2021-07-02 2023-05-21 南韓商世利可股份有限公司 旋轉軸密封裝置及使用其之半導體基體用加工設備

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19980042707A (ko) * 1996-11-25 1998-08-17 토마스버그스트룀 레일 차량 이완 조절기용 밀봉 장치
EP1274952B1 (en) * 2000-04-13 2005-07-20 Ashbridge & Roseburgh Inc. Sealing apparatus having sequentially engageable seals
KR100756029B1 (ko) * 2006-03-16 2007-09-07 주식회사 신원기계부품 진공 압력 장비용 회전 및 왕복운동 밀폐장치
KR20120001481A (ko) * 2010-06-29 2012-01-04 현대중공업 주식회사 스러스터용 다단인써트형 슬리브 장착 레디알 샤프트 씰장치
JP2015132379A (ja) * 2013-12-10 2015-07-23 日本精工株式会社 シール機構、シール機構の駆動装置、搬送装置及び製造装置

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4693699A (en) * 1985-09-24 1987-09-15 Deere & Company Seal assembly for rotary and reciprocating motion
US4996865A (en) * 1990-01-05 1991-03-05 Reynolds Metals Company Apparatus for forming one-piece metal can bodies
RU2127376C1 (ru) * 1993-03-17 1999-03-10 Черни Холдингс Лимитед Самоустанавливающаяся опора вала
AU2002255936A1 (en) * 2001-03-28 2002-10-15 Balseal Engineering Co., Inc. Media isolation seal system
KR100496990B1 (ko) * 2003-04-11 2005-06-23 주식회사 신원기계부품 회전축용 밀폐장치
US6863613B2 (en) * 2003-05-13 2005-03-08 Torque Traction Technologies, Inc. Sealed axially displaceable slip joint
US7543822B2 (en) * 2004-07-12 2009-06-09 A.W. Chesterton Company Composite rotary seal assembly
US20090302548A1 (en) * 2005-11-15 2009-12-10 Ashbridge & Roseburgh Inc. Sequentially-Deployable Lip Seal Systems
US9103446B2 (en) * 2010-09-15 2015-08-11 Aktiebolaget Skf Fluid seal assembly
US9447886B2 (en) * 2011-03-23 2016-09-20 Eagle Industry Co., Ltd. Sealing device
CN102537369B (zh) * 2012-01-01 2015-01-21 浙江兰天机械密封件有限公司 搅拌轴上下往复运动搅拌器的机械密封装置
ES2727281T3 (es) * 2012-12-07 2019-10-15 Chesterton A W Co Sello mecánico dividido con conjunto de desviación axial
US10221949B2 (en) * 2013-12-10 2019-03-05 Nsk Ltd. Sealing mechanism, drive unit of sealing mechanism, conveyance device, and manufacturing device
FR3018575B1 (fr) * 2014-03-12 2018-04-20 Carl Freudenberg Kg Dispositif d'etancheite double pour arbre rotatif et pompe comportant un tel dispositif
KR101648642B1 (ko) * 2014-03-27 2016-08-23 이희장 누출 감지 기능을 구비한 밀폐 시스템
CN105333154A (zh) * 2014-08-12 2016-02-17 刘伟 一种用于旋转轴的流体密封结构
WO2016108591A1 (ko) * 2014-12-29 2016-07-07 씰링크 주식회사 구동축용 밀폐장치
KR102060400B1 (ko) * 2018-02-13 2020-02-11 씰링크 주식회사 직선운동 로터리 유니온

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19980042707A (ko) * 1996-11-25 1998-08-17 토마스버그스트룀 레일 차량 이완 조절기용 밀봉 장치
EP1274952B1 (en) * 2000-04-13 2005-07-20 Ashbridge & Roseburgh Inc. Sealing apparatus having sequentially engageable seals
KR100756029B1 (ko) * 2006-03-16 2007-09-07 주식회사 신원기계부품 진공 압력 장비용 회전 및 왕복운동 밀폐장치
KR20120001481A (ko) * 2010-06-29 2012-01-04 현대중공업 주식회사 스러스터용 다단인써트형 슬리브 장착 레디알 샤프트 씰장치
JP2015132379A (ja) * 2013-12-10 2015-07-23 日本精工株式会社 シール機構、シール機構の駆動装置、搬送装置及び製造装置

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP3767136A4 *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021256772A1 (ko) * 2020-06-19 2021-12-23 씰링크 주식회사 회전축 밀폐장치 및 이를 이용하는 반도체 기판처리장치

Also Published As

Publication number Publication date
US20200378500A1 (en) 2020-12-03
CN111801522B (zh) 2022-08-02
EP3767136A4 (en) 2021-04-14
JP2021516314A (ja) 2021-07-01
CN111801522A (zh) 2020-10-20
JP7144080B2 (ja) 2022-09-29
US11662022B2 (en) 2023-05-30
EP3767136A1 (en) 2021-01-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2019177329A1 (ko) 회전운동 밀폐장치
KR20190108287A (ko) 직선 및 회전운동 밀폐장치
KR102045873B1 (ko) 회전운동 밀폐장치
WO2013051833A1 (en) Washing machine having balancer
WO2021256772A1 (ko) 회전축 밀폐장치 및 이를 이용하는 반도체 기판처리장치
WO2015008916A2 (en) Flow path switching valve
WO2014109526A1 (ko) 반도체 웨이퍼의 연속 처리 장치 및 방법
WO2018105877A1 (ko) 원터치 배관 연결 장치
KR100756029B1 (ko) 진공 압력 장비용 회전 및 왕복운동 밀폐장치
WO2013187648A1 (ko) 배관 연결 장치
WO2017171402A1 (ko) 확장형 케이블 분배장치 및 확장형 케이블 분배장치 제조방법
WO2020213802A1 (ko) 케미컬 공급장치
WO2017010694A1 (ko) 전자 비례 감압 밸브
WO2016108591A1 (ko) 구동축용 밀폐장치
WO2020116901A1 (ko) 실링 장치 및 이를 포함하는 휠 베어링 조립체
WO2017039070A1 (ko) 아연 이온 수처리기 및 이의 제조 방법
WO2021075603A1 (ko) 밸브 개폐장치
WO2019083238A1 (ko) 모터
WO2019059733A1 (ko) 스크류 고정 장치 제조 방법, 스크류 고정 장치 및 이를 포함하는 직선운동 장치
WO2022270712A1 (ko) 기판처리장치
WO2019107672A1 (ko) 연결장치
WO2016064047A1 (ko) 도어 회전장치
WO2016143928A1 (ko) 자석락 장치를 구비한 의지 구조체
WO2019013368A1 (ko) 에어 베어링의 강성조절장치
WO2020116771A1 (ko) 기판처리장치

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 19766650

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2020546126

Country of ref document: JP

Kind code of ref document: A

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2019766650

Country of ref document: EP

Effective date: 20201014