WO2019103299A1 - 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치 및 그의 작동 방법 - Google Patents

인쇄 전자 시스템용 레이저 장치 및 그의 작동 방법 Download PDF

Info

Publication number
WO2019103299A1
WO2019103299A1 PCT/KR2018/011301 KR2018011301W WO2019103299A1 WO 2019103299 A1 WO2019103299 A1 WO 2019103299A1 KR 2018011301 W KR2018011301 W KR 2018011301W WO 2019103299 A1 WO2019103299 A1 WO 2019103299A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
laser
unit
laser beam
control unit
printing pattern
Prior art date
Application number
PCT/KR2018/011301
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
최의근
이대용
장대해
Original Assignee
주식회사 프로텍
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from KR1020170157239A external-priority patent/KR102052666B1/ko
Priority claimed from KR1020170179114A external-priority patent/KR102119194B1/ko
Application filed by 주식회사 프로텍 filed Critical 주식회사 프로텍
Priority to CN201880062175.1A priority Critical patent/CN111163941A/zh
Priority to US16/649,425 priority patent/US11476632B2/en
Publication of WO2019103299A1 publication Critical patent/WO2019103299A1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/435—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of radiation to a printing material or impression-transfer material
    • B41J2/44—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of radiation to a printing material or impression-transfer material using single radiation source per colour, e.g. lighting beams or shutter arrangements
    • B41J2/442—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of radiation to a printing material or impression-transfer material using single radiation source per colour, e.g. lighting beams or shutter arrangements using lasers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F3/00—Manufacture of workpieces or articles from metallic powder characterised by the manner of compacting or sintering; Apparatus specially adapted therefor ; Presses and furnaces
    • B22F3/10—Sintering only
    • B22F3/105—Sintering only by using electric current other than for infrared radiant energy, laser radiation or plasma ; by ultrasonic bonding
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F7/00—Manufacture of composite layers, workpieces, or articles, comprising metallic powder, by sintering the powder, with or without compacting wherein at least one part is obtained by sintering or compression
    • B22F7/06—Manufacture of composite layers, workpieces, or articles, comprising metallic powder, by sintering the powder, with or without compacting wherein at least one part is obtained by sintering or compression of composite workpieces or articles from parts, e.g. to form tipped tools
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/005—Optical devices external to the laser cavity, specially adapted for lasers, e.g. for homogenisation of the beam or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping
    • H01S3/0071—Beam steering, e.g. whereby a mirror outside the cavity is present to change the beam direction
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
    • H01S3/13—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F1/00—Metallic powder; Treatment of metallic powder, e.g. to facilitate working or to improve properties
    • B22F1/10—Metallic powder containing lubricating or binding agents; Metallic powder containing organic material
    • B22F1/107—Metallic powder containing lubricating or binding agents; Metallic powder containing organic material containing organic material comprising solvents, e.g. for slip casting
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F7/00—Manufacture of composite layers, workpieces, or articles, comprising metallic powder, by sintering the powder, with or without compacting wherein at least one part is obtained by sintering or compression
    • B22F7/06—Manufacture of composite layers, workpieces, or articles, comprising metallic powder, by sintering the powder, with or without compacting wherein at least one part is obtained by sintering or compression of composite workpieces or articles from parts, e.g. to form tipped tools
    • B22F7/08—Manufacture of composite layers, workpieces, or articles, comprising metallic powder, by sintering the powder, with or without compacting wherein at least one part is obtained by sintering or compression of composite workpieces or articles from parts, e.g. to form tipped tools with one or more parts not made from powder

Definitions

  • the present invention relates to a laser apparatus for a printing electronic system and, more particularly, to a laser apparatus for a printing electronic system capable of sintering as well as connecting or repairing patterns or lines printed on a display, Device and a method of operating the same.
  • the present invention has been proposed in order to solve the above-mentioned problems, and provides a laser apparatus for a printing electronic system and a method of operating the same, which can be mounted or mounted on a printing electronic system.
  • the present invention provides a laser apparatus for a printing electronic system capable of repairing or sintering a printing pattern formed by a printing electronic system and a method of operating the same.
  • the present invention provides a laser apparatus for a printing electronic system and a method of operating the same, which can sinter conductive ink using laser sintering (sintering) to form a repair wiring capable of conducting electricity.
  • sintering laser sintering
  • a laser apparatus for a printing electronic system including: a laser generator for generating a laser beam; A laser changing unit for changing the intensity or wavelength of the laser beam oscillated in the laser generating unit; A laser control unit for controlling intensity or wavelength of a laser beam varying in the laser variable unit; And a laser steering unit for changing the traveling direction of the laser beam so that the laser beam emitted from the laser variable unit faces the object, wherein the laser control unit adjusts the intensity or wavelength of the laser beam according to the state of the printing pattern formed on the object, Can be controlled.
  • the laser variable portion may expand the laser beam oscillated in the laser generator or optimize the intensity or wavelength of the laser beam.
  • the laser variable portion may include at least one or two collimation lenses and a mask disposed in front of the collimation lens.
  • the laser steering unit may include a mirror or a galvano scanner for varying the traveling direction of the laser beam emitted from the laser variable portion.
  • the laser steering unit may include a mirror driving unit for changing the angle or position of the mirror or the galvano scanner.
  • the operation of the mirror driving unit may be controlled by the laser control unit.
  • the laser control unit may repair the printing pattern formed on the object or sinter the printing ink by adjusting a distance between the collimation lenses of the laser variable unit or adjusting a distance between the mask and the collimation lens.
  • the apparatus may further include a vision sensor unit for detecting a defect of the printing pattern formed on the object, whether the pattern is broken, or a size of the pattern.
  • the laser control unit adjusts the distance between the laser steering unit and the object according to the result detected by the vision sensor unit or adjusts the distance between the collimation lenses of the laser variable unit or the distance between the mask and the collimation lens Can be adjusted.
  • a method of operating a laser apparatus for a printing electronic system including: a laser generator for generating a laser beam; A laser changing unit for changing the intensity or wavelength of the laser beam oscillated in the laser generating unit; A laser control unit for controlling intensity or wavelength of a laser beam varying in the laser variable unit; A laser steering unit for changing the traveling direction of the laser beam so that the laser beam emitted from the laser variable portion faces the object; And a vision sensor unit for obtaining an image of a printing pattern including a defect of the printing pattern, whether or not the pattern is broken, or the size of the pattern, the printing sensor comprising: Acquiring an image; Determining whether the printing pattern is to be repaired or sintered by analyzing an image acquired by the laser sensor by the laser sensor; Transmitting the reprinting or sintering of the printing pattern to the laser variable section by the laser control section, wherein the intensity of the laser beam, the size of the wavelength or the width of the pulse is determined depending on whether the printing pattern
  • the vision sensor unit may acquire an image of the repairing or sintering state of the printing pattern and transmit the image to the laser control unit.
  • the laser variable portion includes at least one or two collimation lenses, wherein the laser control unit adjusts the distance between the collimation lenses of the laser variable portion or the distance between the mask and the collimation lens according to a result sensed by the vision sensor unit have.
  • the laser control unit receives the reprinting or sintering of the printing pattern by the laser control unit to vary the traveling direction of the laser beam
  • the laser steering unit includes a mirror for varying the traveling direction of the laser beam emitted from the laser variable unit, And a mirror driving unit for changing the angle or position of the galvano scanner or the galvano scanner, wherein the laser control unit controls the operating state of the mirror driving unit to vary the traveling direction of the laser beam.
  • the laser control unit may adjust the reflection angle of the mirror or the galvanometer scanner.
  • the laser control unit analyzes the image obtained by the laser control unit and determines whether the printing pattern is to be repaired or sintered, The distance or height between objects can be adjusted.
  • the laser apparatus for a printing electronic system according to an embodiment of the present invention and the method of operating the laser apparatus according to an embodiment of the present invention can form a repair wiring directly on a defective part for repairing a defective wiring due to highly integrated ultra- can do.
  • the laser device for a printing electronic system can accurately monitor the repair state of the wiring in real time so that it is possible to improve the accuracy of repair and reduce the need to repair a broken line again .
  • the laser device for a printing electronic system and the operating method thereof according to an embodiment of the present invention can quickly form a repair wiring capable of conducting electricity by sintering the repair ink using laser sintering.
  • the laser device for a printing electronic system and its operation method according to an embodiment of the present invention can be mounted or mounted on a printing electronic system, it is possible to reduce the time required to repair a printing pattern or sinter ink, It is possible to increase convenience.
  • FIG. 1 is a view schematically showing a configuration of a laser apparatus for a printing electronic system according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a front view illustrating a printing electronic system equipped with a laser device according to an embodiment of the present invention.
  • Fig. 3 is a side view of the printed electronic system shown in Fig. 2.
  • Fig. 3 is a side view of the printed electronic system shown in Fig. 2.
  • FIG. 4 is a front view of a laser device according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 5 is a side view of the laser device according to Fig.
  • FIG. 6 is a plan view of the laser device according to Fig.
  • FIG. 7 is a flowchart illustrating an operation method of a laser apparatus for a printing electronic system according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 1 is a schematic view showing the configuration of a laser apparatus for a printing electronic system according to an embodiment of the present invention
  • FIG. 2 is a front view showing a printing electronic system equipped with a laser apparatus according to an embodiment of the present invention
  • Fig. 3 is a side view showing the printed electronic system shown in Fig. 2
  • Fig. 4 is a front view of the laser device according to the embodiment of the present invention
  • a laser apparatus 100 for a printing electronic system includes a laser generator 130 for emitting a laser beam, a laser generator 130 A laser control unit 140 for controlling the intensity or wavelength of the laser beam varying in the laser variable unit 120, and a laser control unit 140 for controlling the intensity of the laser beam or the wavelength of the laser beam, And a laser steering unit 102 for changing the traveling direction of the laser beam such that the laser beam emitted from the unit 120 faces the object W.
  • the laser controller 140 may control the intensity or the wavelength of the laser beam according to the state of the printing pattern formed on the object W.
  • the laser generating unit 130 may generate various types of laser as a part that oscillates the laser L1. For example, various types of laser beams such as a ruby laser, a He-Ne laser, a semiconductor laser, and a dye laser can be oscillated. However, since the laser device 100 according to an embodiment of the present invention is applied to the printing electronic system, the laser generating unit 130 can perform repairs of the pattern printed by the printing electronic system, it is preferable to generate a laser beam of a kind suitable for a sinter.
  • the laser beam generated by the laser generator 130 may be input to a laser variable section 120 provided on the path of the laser beam.
  • the laser variable section 120 may extend the laser beam oscillated in the laser generator 130 or optimize the intensity or wavelength of the laser beam and may continuously oscillate or pulse oscillate in the laser generator 130 .
  • the laser variable portion 120 may include at least one or two collimation lenses 125 and a mask 126 disposed in front of the collimation lens 125.
  • the laser variable portion 120 may include a focusing lens instead of the mask 126. That is, the laser variable portion 120 is configured to adjust the intensity or wavelength of the laser beam through at least one or two collimation lenses 125 and a focusing lens 126 disposed in front of the collimation lens 125 Can be optimized.
  • the laser variable portion 120 may be a pattern printed (printed) on the object W by a printing electronic system, for example, a pattern of a laser beam oscillated in accordance with the size, shape, defect or disconnection of the highly integrated ultra- Which is a core configuration of the laser device 100 according to an embodiment of the present invention.
  • the laser variable portion 120 includes at least two collimation lenses 125 spaced apart at regular intervals along a traveling direction of the laser beam, and a collimation lens 125 along a traveling direction of the laser beam. And a mask 126 disposed on the front side of the photodiode.
  • the laser variable portion 120 adjusts the distance between the collimation lenses 125 and the distance between the mask 126 and the collimation lens 125 to adjust the intensity or wavelength of the laser beam. Size, width of the pulse, and the like.
  • the laser variable portion 120 may further include a distance variable portion (not shown) for adjusting the distance between the collimation lenses 125 or adjusting the distance between the mask 126 and the collimation lens 125 have.
  • a variable focus lens (not shown) may be used instead of the collimation lens 125. That is, a variable focus lens having a fixed focal length, such as the collimation lens 125, may be used instead of the fixed lens.
  • the intensity of the laser beam emitted from the laser variable portion 120, the magnitude of the wavelength or the width of the pulse can be adjusted by changing the focal distance of the lens using a variable focus lens.
  • the laser variable portion 120 may further include a focus variable driving portion (not shown) for varying a focal length of the variable focus lens.
  • the focus variable driving unit may be provided with a driving motor (not shown).
  • the driving motor or the focus variable driving unit may be operated or not operated by the laser control unit 140.
  • the laser control unit 140 adjusts the distance between the collimation lens 125 of the laser variable unit 120 and the distance between the mask 126 and the collimation lens 125,
  • the printing pattern formed on the substrate W can be repaired or sintered.
  • the laser controller 140 may selectively repair the printing pattern formed on the object W by sintering the driving motor or the focus variable driving unit, or may sinter the printing ink.
  • the mask 126 of the laser variable portion 120 is preferably made up of a phase transfer mask.
  • the collimation lens 125 is capable of adjusting the pulse width of the laser.
  • the diameter of the laser beam projected onto the mask 126 can be changed by driving the collimation lens 125 by the laser control unit 140 and the laser beam extracted by the mask 126 becomes a highly direct laser beam .
  • the laser steering unit 102 may include a mirror 102a or a galvanometer scanner (not shown) that varies the traveling direction of the laser beam emitted from the laser variable portion 120.
  • the mirror 102a of the laser steering unit 102 or the galvanometer scanner changes the traveling direction of the laser beam emitted from the laser variable portion 120 so as to face the object W.
  • the laser steering unit 102 may include a mirror 102a or a mirror driving unit 102b for changing the angle or position of the galvano scanner.
  • the laser steering unit 102 may further include a lens 101 that finally fires the laser beam whose traveling direction is changed toward the object W.
  • the lens 101 preferably uses an f? Lens.
  • the laser beam L2 is finally directed to the object W at the lens 101.
  • the mirror driving unit 102b receives a control signal from the laser control unit 140 to adjust the reflection angle of the mirror 102a or the galvano scanner.
  • the laser steering unit 102 can position the laser beam emitted from the laser variable portion 120 at a high speed in a scanning region on the object W in the mirror 102a rotating at high speed or the galvanometer scanner and the lens 101 .
  • the laser device 100 may further include a vision sensor unit 400 for detecting whether a printing pattern formed on the object W is defective, whether a pattern is broken, can do.
  • the vision sensor unit 400 may be formed of a vision camera or the like and may acquire an image of the presence or absence of a defect in a printing pattern formed on the object W, State, and the like.
  • the vision sensor unit 400 transmits the acquired image data to the laser controller 140 and the laser controller 140 controls the laser steering unit 102 The distance between the collimation lens 125 of the laser variable portion 120 and the distance between the mask 126 and the collimation lens 125 is adjusted .
  • the object W to which the laser beam L2 is irradiated is placed on the plate P, and the position of the laser beam L2 can be adjusted by moving the plate P in the X- and Y- have.
  • a laser device 100 may be provided in a case 1 of a printed electronic system.
  • the case 1 is provided with a door 2 that can be opened and closed and the observation window 3 can be provided on the door 2. It is preferable that the door 2 is made of an opaque material that can not see the inside of the case 1 and the observation window 3 is made of a transparent material so that the inside of the case 1 can be seen. The operator can visually observe the working state of the laser device 100 provided inside the case 1 through the observation window 3. [ At this time, it is preferable that the observation window 3 is formed of a material that protects the operator's eyes.
  • a power supply unit 300 for supplying power to the printing electronic system (not shown) or the laser device 100 may be provided on the lower left side of the case 1.
  • the laser device 100 is mounted inside the case 1 and can be mounted inside the case 1 using the mounting frame 107. [ That is, the laser device 100 is coupled to the mounting frame 107, and the mounting frame 107 can be coupled to the main frame (not shown) of the case 1.
  • the laser device 100 includes a vertical guide rod 105, a vertical guide rod 105, and a vertical guide rod 105 so as to adjust the distance between the object W and the laser steering part 102, A bearing 106 and a height adjustment handle 104 for rotatably supporting the bearing 106. At this time, it is preferable that the laser device 100 is provided so as to be movable in the vertical direction in the mounting frame 107.
  • the mounting frame 107 may be coupled to the case 1 at an upper end and a side end.
  • the laser changing unit 120 and the laser generating unit 130 of the laser apparatus 100 may be provided inside the protective case 200 and the laser steering unit 102 may be provided outside the protective case 200.
  • the protective case 200 may be provided with a guide bush 108 inserted into the outer circumferential surface of the vertical guide rod 105. It is preferable that threads are formed on the outer circumferential surface of the vertical guide rod 105 and the inner circumferential surface of the guide bush 108 so as to engage with each other.
  • the vertical guide rod 105 is rotated, and the guide bush 108 formed on the inner peripheral surface of the thread, which engages with the thread formed on the outer peripheral surface of the vertical guide rod 105, 105 so that the height of the laser device 100 can be adjusted.
  • the laser steering unit 102 may further include a vertical barrel 110 connected to the lens 101.
  • the grip portion 104a may protrude from the height adjustment handle 104.
  • the mounting frame 107 may be formed with a fastening hole 170a into which a fastening means such as a screw is inserted to engage with the case 1.
  • a fixing rod 109 for supporting the bearing 106 may be connected to the lower end of the mounting frame 107. The lower end of the fixing rod 109 is bent in the horizontal direction for connection with the bearing 106 .
  • a cable connection port 103 for inputting a control signal or an electrical signal may be provided on one side of the laser steering unit 102.
  • a horizontal lens barrel 123 may be provided between the laser steering part 102 and the laser variable part 120. That is, the laser steering part 102 and the laser variable part 120 can be connected to each other by the horizontal lens barrel 123.
  • the laser variable portion 120 may include a support portion 124 for fixing the laser variable portion 120 inside the protective case 200.
  • the lower end of the support part 124 is fixed to the bottom of the protective case 200 and the extension housing 121 of the laser variable part 120 can be fixed to the upper end.
  • the laser variable section 120 and the laser generation section 130 are connected to each other without being connected to each other while the laser variable section 120 and the laser variable section 120 are connected by the horizontal lens barrel 123, And may be provided inside the case 200.
  • a plurality of heat dissipating slits 135 for cooling may be formed in the laser generating unit 130.
  • a laser beam 131 may be formed at a front end of the laser generating unit 130 and a laser oscillating unit 132 may be formed at a front end of the laser beam 131.
  • the laser beam L1 emitted from the laser oscillating portion 132 may be transmitted to the laser variable portion 120 through the extension housing 121.
  • a height adjustment motor (not shown) may be provided instead of the height adjustment handle 104.
  • the height control motor can be controlled in operation by the laser control unit 140.
  • the laser control unit 140 analyzes the image of the object W acquired by the vision sensor unit 400, calculates the distance between the lens 101 and the object W, The distance between the object W and the lens 101 or the height of the laser device 100 may be adjusted by transmitting a driving signal corresponding to the height adjustment motor to the height adjusting motor.
  • the above-described laser apparatus for a printing electronic system can repair a pattern by firing a laser on a pattern printed on an object such as a large-area display by a printing electronic system, or sinter the printing ink, It is possible to vary the intensity of the laser, the magnitude of the wavelength, the pulse width, and the like depending on the type of work, the presence or absence of defects in the pattern, the defect state, and the like.
  • FIG. 7 is a flowchart illustrating an operation method of a laser apparatus for a printing electronic system according to an embodiment of the present invention.
  • a method of operating a laser apparatus 100 for a printing electronic system includes: a laser generating unit 130 that oscillates a laser beam L1; A laser variable portion 120 for varying the intensity or wavelength of the laser beam emitted from the laser generating portion 130; A laser control unit 140 for controlling the intensity or wavelength of the laser beam which is varied in the laser variable unit 120; A laser steering unit 102 for changing the traveling direction of the laser beam so that the laser beam emitted from the laser variable portion 120 faces the object; And a vision sensor unit (400) for obtaining an image of a printing pattern including a defect of the printing pattern, whether or not the pattern is broken, or the size of the pattern.
  • the strength of the laser beam depends on whether the printing pattern is repaired or sintered by the laser variable section 120 Adjusting (1400) the magnitude of the wavelength or the width of the pulse; A step (1500) of receiving the reprinting or sintering of the printing pattern by the laser control unit (102) and varying the traveling direction of the laser beam by the laser steering unit (102); And a step 1600 of receiving the image from the vision sensor unit 400 by the laser control unit 140 and adjusting the distance between the laser steering unit 102 and the object W.
  • the vision sensor unit 400 obtains an image of the repairing or sintering state of the printing pattern, (140).
  • the laser control unit 140 receives the image of the printing pattern acquired by the vision sensor unit 400 and analyzes the image to determine whether repairing or sintering of the printing pattern is necessary have.
  • the user may directly input a command for repairing or sintering the printing pattern to the laser control unit 140.
  • the laser control unit 140 preferably executes a user's command in preference to the image analysis result obtained by the vision sensor unit 400.
  • the laser control unit 140 may control the intensity, width, or wavelength of the laser, which is necessary to repair the printing pattern printed on the object W, in the event that there is a defect such as a disconnection. Further, the laser can be controlled so as to have an intensity, a width, or a wavelength suitable for sintering the printing pattern printed on the object W.
  • the laser control unit 140 may transmit information such as the intensity, width, or wavelength of the laser according to the repair or sintering operation to the laser variable unit 120.
  • the laser variable portion 120 may include at least one And a mask 126 disposed in front of the collimation lens 125.
  • the laser control unit 140 controls the laser control unit 140 based on the results detected by the vision sensor unit 400 120 may adjust the distance between the collimation lens 125 and the mask 126 or the distance between the collimation lens 125 and the collimation lens 125.
  • the laser variable unit 120 may change the state of the laser so that the laser variable unit 120 can adapt to the information received from the laser control unit 140, for example, the repair position, the size, and the sintering degree of the printing pattern.
  • the operation of the laser variable section 120 is the same as that described in the related section of the laser apparatus 100, and hence the repetitive description thereof will be omitted.
  • the laser control unit 140 may control the operation state of the mirror driving unit 102b to vary the traveling direction of the laser beam.
  • the laser control unit 140 may transmit a control signal to the mirror driving unit 102b, and the mirror driving unit 102b, which receives the control signal, may adjust the reflection angle of the mirror 102a or the galvano scanner.
  • step 1200 the laser control unit 140 determines whether the printing pattern is to be repaired or sintered by analyzing the image acquired by the vision sensor unit 400 by the laser control unit 140, The distance or the height between the laser steering unit 102 and the object W can be adjusted according to the result of the detection by the unit 400.
  • the laser steering unit 102 can be provided to adjust the distance or height from the object W while descending or rising toward the object W.
  • the laser apparatus 100 includes a vertical guide rod 105 and a vertical guide rod 105 for adjusting the distance between the object W and the laser steering unit 102, And a height adjustment handle 104.
  • the height adjustment handle 104 may be replaced with a height adjustment motor (not shown).
  • the height adjusting motor can receive a control signal from the laser controller 140.
  • the laser control unit 140 can transmit information necessary for repairing or sintering the printing pattern to the height adjusting motor in the form of a control signal, It is possible to automatically adjust the height of the body 102.
  • the laser control unit 140 may drive the collimation lens 125 to change the diameter of the laser beam projected on the mask 126. That is, by driving the collimation lens 125 by the laser control unit 140, the diameter of the laser beam projected onto the mask 126 can be changed, and the laser beam emitted by the mask 126 can be changed to a high- .
  • the laser variable portion 120 may control the state of the laser beam oscillated in the laser generator 130 according to the size, shape, defect, or disconnection of the printing pattern printed on the object W.
  • the present invention can be used in a printing electronic field such as a display or the like.

Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치는, 레이저 빔을 발진시키는 레이저 생성부; 상기 레이저 생성부에서 발진된 레이저 빔의 강도 또는 파장을 가변시키는 레이저 가변부; 상기 레이저 가변부에서 가변되는 레이저 빔의 강도 또는 파장의 크기를 제어하는 레이저 제어부; 및 상기 레이저 가변부에서 나온 레이저 빔이 대상물을 향하도록 레이저 빔의 진행 방향을 가변시키는 레이저 조향부;를 포함하며, 상기 레이저 제어부는 상기 대상물에 형성된 프린팅 패턴의 상태에 따라 레이저 빔의 강도 또는 파장의 크기를 제어할 수 있다.

Description

인쇄 전자 시스템용 레이저 장치 및 그의 작동 방법
본 발명은 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치 및 그의 작동 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 인쇄 전자 시스템을 이용하여 디스플레이 등에 프린팅 된 패턴 또는 라인을 연결하거나 수리할 뿐만 아니라 소결할 수 있는 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치 및 그의 작동 방법을 제공한다.
디스플레이 기기의 대면적화 노력은 전세계 디스플레이 업체들의 미래 생존 가능성을 결정지을 만큼 중요한 기술적 목표로 대두되고 있다. 이러한 대면적 디스플레이 구현 기술에서 생산성 증대 및 가격경쟁력 확보라는 관점에서 3m가 넘는 대면적 기판 상에 다양한 재료들의 패턴 형상을 완벽하게 구현한다는 것은 기술적으로 매우 어려운 문제이다. 이러한 현실에서 불량을 최대한 효율적으로 리페어(repair, 수리)할 수 있는 기술은 향후 대면적 디스플레이 기기 구현에 핵심이 되는 기술이라고 할 수 있다.
한편, 차세대 디스플레이 기기의 대면적화에도 불구하고 고해상도 구현을 위해 디스플레이 패널 회로 (TFT) 및 OLED 디스플레이 패널 회로(OTFT)의 형성에 있어 6μm 이하의 배선 및 배선간격 60μm 이하의 고집적 초미세 회로 배선이 요구되고 있다. 이러한 고집적 초미세 패턴 제품의 불량 개선을 위한 기존의 Laser CVD 수리 기술을 통한 re-routing bridge 수리배선 형성 방법은 기술적 한계에 도달한 상태이기 때문에 새로운 수리 방법을 통한 리페어 기술의 개발 요구가 절실한 상황이다.
또한, LCD 및 OLED 디스플레이 패널 내부 회로 배선 이외에도 베젤(bezel)이 좁은 디스플레이 기기 구현을 위해 베젤의 내부 선폭 및 배선 간격을 10μm 이하로 구현하려는 노력이 증대되고 있는 현실이다. 이러한 고집적 초미세 베젤 배선의 리페어 기술 개발에 대한 요구도 증대 되고 있다.
이러한 차세대 디스플레이 기기의 대면적화를 위해서 인쇄 전자 시스템을 이용하여 디스플레이 패널 회로 등을 형성하는 것이 제안되고 있다. 그런데, 기존의 인쇄 전자 시스템에서는 고집적 초미세 회로 배선을 수리하기 위해서 별도의 고온 진공 챔버(Vacuum chamber), 고온 히터 챔버(Heater chamber), 레이저 장비를 구비해야 하기 때문에 하나의 시스템에서 대형화된 LCD 및 OLED 디스플레이 패널 내부 회로인 고집적 초미세 회로를 수리할 수 없다는 문제가 있다.
따라서, 인쇄 전자 시스템에 적용할 수 있는 레이저 장치의 필요성이 커지고 있다.
관련 선행기술로는 대한민국 공개특허공보 제10-2008-0015557호(발명의 명칭; 평판 디스플레이 기판 회로의 리페어 장치, 공개일자; 2008년 2월 20일)가 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로, 인쇄 전자 시스템에 탑재하거나 장착할 수 있는 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치 및 그의 작동 방법을 제공한다.
본 발명은 인쇄 전자 시스템에 의해서 형성된 프린팅 패턴을 리페어하거나 소결할 수 있는 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치 및 그의 작동 방법을 제공한다.
본 발명은 레이저 소결(신터링)을 이용하여 전도성 잉크를 소결시켜서 통전이 가능한 수리 배선을 형성할 수 있는 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치 및 그의 작동 방법을 제공한다.
상기한 바와 같은 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치는, 레이저 빔을 발진시키는 레이저 생성부; 상기 레이저 생성부에서 발진된 레이저 빔의 강도 또는 파장을 가변시키는 레이저 가변부; 상기 레이저 가변부에서 가변되는 레이저 빔의 강도 또는 파장의 크기를 제어하는 레이저 제어부; 및 상기 레이저 가변부에서 나온 레이저 빔이 대상물을 향하도록 레이저 빔의 진행 방향을 가변시키는 레이저 조향부;를 포함하며, 상기 레이저 제어부는 상기 대상물에 형성된 프린팅 패턴의 상태에 따라 레이저 빔의 강도 또는 파장의 크기를 제어할 수 있다.
상기 레이저 가변부는 상기 레이저 생성부에서 발진되는 레이저 빔을 확장하거나 레이저 빔의 강도 또는 파장을 최적화시킬 수 있다.
상기 레이저 가변부는, 적어도 1개 또는 2개의 콜리메이션 렌즈 및 상기 콜리메이션 렌즈의 전방에 배치된 마스크를 포함할 수 있다.
상기 레이저 조향부는 상기 레이저 가변부에서 나온 레이저 빔의 진행 방향을 가변하는 미러 또는 갈바노 스캐너를 포함할 수 있다.
상기 레이저 조향부는 상기 미러 또는 상기 갈바노 스캐너의 각도 또는 위치를 변경하기 위한 미러 구동부를 포함할 수 있다.
상기 미러 구동부는 상기 레이저 제어부에 의해서 작동 상태가 제어될 수 있다.
상기 레이저 제어부는, 상기 레이저 가변부의 상기 콜리메이션 렌즈 사이의 거리를 조절하거나 상기 마스크와 상기 콜리메이션 렌즈 사이의 거리를 조절하여 상기 대상물에 형성된 프린팅 패턴을 리페어하거나 프린팅 잉크를 소결할 수 있다.
상기 대상물에 형성된 프린팅 패턴의 결함 여부, 패턴의 단선 여부 또는 패턴의 크기를 감지하는 비전센서부를 더 포함할 수 있다.
상기 레이저 제어부는, 상기 비전센서부에서 감지한 결과에 따라 상기 레이저 조향부와 상기 대상물 사이의 거리를 조절하거나 상기 레이저 가변부의 상기 콜리메이션 렌즈 사이의 거리 또는 상기 마스크와 상기 콜리메이션 렌즈 사이의 거리를 조절할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치의 작동 방법은, 레이저 빔을 발진시키는 레이저 생성부; 상기 레이저 생성부에서 발진된 레이저 빔의 강도 또는 파장을 가변시키는 레이저 가변부; 상기 레이저 가변부에서 가변되는 레이저 빔의 강도 또는 파장의 크기를 제어하는 레이저 제어부; 상기 레이저 가변부에서 나온 레이저 빔이 대상물을 향하도록 레이저 빔의 진행 방향을 가변시키는 레이저 조향부; 및 프린팅 패턴의 결함 여부, 패턴의 단선 여부 또는 패턴의 크기를 포함하는 프린팅 패턴의 이미지를 획득하는 비전센서부;를 포함하는 인쇄 전자 시스템에 있어서, 상기 비전센서부에 의해 대상물에 형성된 프린팅 패턴의 이미지를 획득하는 단계; 상기 레이저 제어부에 의해 상기 비전센서부에서 획득한 이미지를 분석하여 프린팅 패턴의 리페어 또는 소결 여부를 판단하는 단계; 상기 레이저 제어부에 의해 프린팅 패턴의 리페어 또는 소결 여부를 상기 레이저 가변부에 전달하는 단계: 상기 레이저 가변부에 의해 프린팅 패턴의 리페어 또는 소결 여부에 따라 레이저 빔의 강도, 파장의 크기 또는 펄스의 폭을 조절하는 단계; 상기 레이저 조향부에 의해 상기 레이저 제어부에서 프린팅 패턴의 리페어 또는 소결 여부를 전달받아 레이저 빔의 진행 방향을 가변시키는 단계; 및 상기 레이저 제어부에 의해 상기 비전센서부에서 이미지를 전달받아 상기 레이저 조향부와 상기 대상물 사이의 거리를 조절하는 단계;를 포함할 수 있다.
상기 비전센서부에 의해 대상물에 형성된 프린팅 패턴의 이미지를 획득하는 단계에서, 상기 비전센서부는 상기 프린팅 패턴의 리페어 또는 소결 상태에 대한 이미지를 획득하여 상기 레이저 제어부에 전달할 수 있다.
상기 레이저 가변부에 의해 프린팅 패턴의 리페어 또는 소결 여부에 따라 레이저 빔의 강도, 파장의 크기 또는 펄스의 폭을 조절하는 단계에서, 상기 레이저 가변부는 적어도 1개 또는 2개의 콜리메이션 렌즈 및 상기 콜리메이션 렌즈의 전방에 배치된 마스크를 포함하고, 상기 레이저 제어부는 상기 비전센서부에서 감지한 결과에 따라 상기 레이저 가변부의 상기 콜리메이션 렌즈 사이의 거리 또는 상기 마스크와 상기 콜리메이션 렌즈 사이의 거리를 조절할 수 있다.
상기 레이저 조향부에 의해 상기 레이저 제어부에서 프린팅 패턴의 리페어 또는 소결 여부를 전달받아 레이저 빔의 진행 방향을 가변시키는 단계에서, 상기 레이저 조향부는 상기 레이저 가변부에서 나온 레이저 빔의 진행 방향을 가변하는 미러 또는 갈바노 스캐너, 상기 미러 또는 상기 갈바노 스캐너의 각도 또는 위치를 변경하기 위한 미러 구동부를 포함하며, 상기 레이저 제어부는 상기 미러 구동부의 작동 상태를 제어하여 레이저 빔의 진행 방향을 가변시킬 수 있다.
상기 레이저 제어부는 상기 미러 또는 상기 갈바노 스캐너의 반사 각도를 조절할 수 있다.
상기 레이저 제어부에 의해 상기 비전센서부에서 획득한 이미지를 분석하여 프린팅 패턴의 리페어 또는 소결 여부를 판단하는 단계에서, 상기 레이저 제어부는 상기 비전센서부에서 감지한 결과에 따라 상기 상기 레이저 조향부와 상기 대상물 사이의 거리 또는 높이를 조절할 수 있다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치 및 그의 작동 방법은 레이저를 조사하여 디스플레이 기기의 고집적 초미세 패턴화로 인한 불량 배선 수리를 위해 불량부위에 직접 수리배선을 형성할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치 및 그의 작동 방법은 배선의 수리 상태를 실시간으로 정확하게 모니터링할 수 있기 때문에 수리의 정확성을 높이고 끊어진 라인을 다시 수리해야 하는 번거로움을 줄일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치 및 그의 작동 방법은 레이저 신터링을 이용하여 리페어 잉크를 소결시켜서 통전이 가능한 수리 배선을 신속하게 형성할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치 및 그의 작동 방법은 인쇄 전자 시스템에 탑재되거나 장착된 상태로 사용 가능하기 때문에 프린팅 패턴을 수리하거나 잉크를 소결하는데 소요되는 시간을 줄이고 유지 보수 작업의 편의성을 높일 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치의 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 장치가 구비된 인쇄 전자 시스템을 도시한 정면도이다.
도 3은 도 2에 도시한 인쇄 전자 시스템을 도시한 측면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 장치의 정면도이다.
도 5는 도 4에 따른 레이저 장치의 측면도이다.
도 6은 도 4에 따른 레이저 장치의 평면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치의 작동 방법을 설명하는 순서도이다.
이하에서, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예들을 상세하게 설명한다. 그러나, 본 발명이 실시예들에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 각 도면에 제시된 동일한 참조 부호는 동일한 부재를 나타낸다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치의 구성을 개략적으로 도시한 도면, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 장치가 구비된 인쇄 전자 시스템을 도시한 정면도, 도 3은 도 2에 도시한 인쇄 전자 시스템을 도시한 측면도, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 장치의 정면도, 도 5는 도 4에 따른 레이저 장치의 측면도, 도 6은 도 4에 따른 레이저 장치의 평면도, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치의 작동 방법을 설명하는 순서도이다.
도 1 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치(100)는, 레이저 빔(laser beam)을 발진시키는 레이저 생성부(130), 상기 레이저 생성부(130)에서 발진된 레이저 빔의 강도 또는 파장을 가변시키는 레이저 가변부(120), 상기 레이저 가변부(120)에서 가변되는 레이저 빔의 강도 또는 파장의 크기를 제어하는 레이저 제어부(140) 및 상기 레이저 가변부(120)에서 나온 레이저 빔이 대상물(W)을 향하도록 레이저 빔의 진행 방향을 가변시키는 레이저 조향부(102)를 포함하여 구성될 수 있다.
여기서, 상기 레이저 제어부(140)는 상기 대상물(W)에 형성된 프린팅 패턴의 상태에 따라 레이저 빔의 강도 또는 파장의 크기를 제어할 수 있다.
상기 레이저 생성부(130)는 레이저(L1)를 발진시키는 부분으로서, 다양한 형태의 레이저를 생성할 수 있다. 예를 들면, 루비 레이저, He-Ne 레이저, 반도체 레이저, 색소 레이저 등 다양한 형태의 레이저 빔을 발진시킬 수 있다. 다만, 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 장치(100)는 인쇄 전자 시스템에 적용되기 때문에, 레이저 생성부(130)는 인쇄 전자 시스템에 의해서 프린팅 된 패턴의 리페어(repair) 또는 프링팅 잉크의 소결(sinter)에 적합한 종류의 레이저 빔을 생성하는 것이 바람직하다.
상기 레이저 생성부(130)에서 발진된 레이저 빔은 레이저 빔의 진행 경로 상에 마련된 레이저 가변부(120)로 입력될 수 있다.
상기 레이저 가변부(120)는 상기 레이저 생성부(130)에서 발진되는 레이저 빔을 확장하거나 레이저 빔의 강도 또는 파장을 최적화시킬 수 있고, 레이저 생성부(130)에서 연속적으로 발진 또는 펄스 발진을 할 수 있다. 이를 위해, 상기 레이저 가변부(120)는, 적어도 1개 또는 2개의 콜리메이션 렌즈(collimation lens, 125) 및 상기 콜리메이션 렌즈(125)의 전방에 배치된 마스크(126)를 포함할 수 있다.
또한, 상기 레이저 가변부(120)는 마스크(126) 대신 포커싱 렌즈(Focusing lens)를 포함할 수도 있다. 즉, 레이저 가변부(120)는, 적어도 1개 또는 2개의 콜리메이션 렌즈(125) 및 콜리메이션 렌즈(125)의 전방에 배치된 포커싱 렌즈(126)를 통하여 레이저 빔의 강도 또는 파장의 크기를 최적화시킬 수 있다.
상기 레이저 가변부(120)는 인쇄 전자 시스템에 의해 대상물(W)에 프린팅(인쇄) 된 패턴 예를 들면, 고집적 초미세 회로 배선의 크기, 형태, 결함 여부 또는 단선 여부에 따라 발진되는 레이저 빔의 상태를 조절하는 부분으로서, 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 장치(100)의 핵심 구성이라고 할 수 있다.
도 1을 참조하면, 상기 레이저 가변부(120)는 레이저 빔의 진행 방향을 따라 일정한 간격으로 이격 배치된 적어도 2개의 콜리메이션 렌즈(125) 및 레이저 빔의 진행 방향을 따라 콜리메이션 렌즈(125)의 앞쪽에 배치된 마스크(126)를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 레이저 가변부(120)는 이격 배치된 콜리메이션 렌즈(125) 사이의 거리를 조절하거나, 마스크(126)와 콜리메이션 렌즈(125) 사이의 거리를 조절함으로써 레이저 빔의 강도 또는 파장의 크기, 펄스의 폭 등을 조절하거나 변경할 수 있다.
상기 레이저 가변부(120)는 콜리메이션 렌즈(125) 사이의 거리를 조절하거나 마스크(126)와 콜리메이션 렌즈(125) 사이의 거리를 조절하기 위한 거리 가변부(미도시)를 더 포함할 수 있다.
한편, 상기 콜리메이션 렌즈(125) 대신 가변 초점렌즈(미도시)가 사용될 수도 있다. 즉, 상기 콜리메이션 렌즈(125)와 같이 초점거리가 일정한 값으로 고정된 렌즈를 사용하는 것이 아니라 초점거리가 변하는 가변 초점렌즈를 사용할 수도 있다. 가변 초점렌즈를 사용하여 렌즈의 초점거리를 변화시킴으로써 레이저 가변부(120)에서 발사되는 레이저 빔의 강도, 파장의 크기 또는 펄스의 폭 등을 조절할 수 있다. 이때, 상기 레이저 가변부(120)는 가변 초점렌즈의 초점거리를 가변하기 위한 초점가변 구동부(미도시)를 더 구비할 수도 있다. 여기서, 상기 초점가변 구동부는 구동 모터(미도시)로 마련될 수 있다.
상기 구동모터 또는 상기 초점가변 구동부는 상기 레이저 제어부(140)에 의해서 작동되거나 작동되지 않을 수 있다.
상기 레이저 제어부(140)는, 상기 레이저 가변부(120)의 상기 콜리메이션 렌즈(125) 사이의 거리를 조절하거나 상기 마스크(126)와 상기 콜리메이션 렌즈(125) 사이의 거리를 조절하여 상기 대상물(W)에 형성된 프린팅 패턴을 리페어하거나 소결할 수 있다. 또한, 상기 레이저 제어부(140)는 상기 구동모터 또는 상기 초점가변 구동부를 선택적으로 작동시킴으로써 상기 대상물(W)에 형성된 프린팅 패턴을 리페어하거나 프린팅 잉크를 소결할 수 있다.
상기 레이저 가변부(120)의 마스크(126)는 상전사 마스크로 구성되는 것이 바람직하다. 상기 콜리메이션 렌즈(125)는 레이저의 펄스 폭을 조절하는 것이 가능하다. 상기 레이저 제어부(140)에 의해서 콜리메이션 렌즈(125)를 구동시킴으로써 마스크(126)에 투사하는 레이저 빔 지름을 변경할 수 있고, 마스크(126)로 절출된 레이저 빔은 진원성이 높은 레이저 빔이 될 수 있다.
한편, 상기 레이저 조향부(102)는 상기 레이저 가변부(120)에서 나온 레이저 빔의 진행 방향을 가변하는 미러(102a) 또는 갈바노 스캐너(미도시)를 포함할 수 있다. 레이저 조향부(102)의 미러(102a) 또는 상기 갈바노 스캐너는 레이저 가변부(120)에서 나오는 레이저 빔의 진행 방향을 변경하여 대상물(W)을 향하도록 한다.
상기 레이저 조향부(102)는 미러(102a) 또는 상기 갈바노 스캐너의 각도 또는 위치를 변경하기 위한 미러 구동부(102b)를 포함할 수 있다.
또한, 레이저 조향부(102)는 진행 방향이 변경된 레이저 빔을 최종적으로 대상물(W)을 향해 발사시키는 렌즈(101)를 더 포함할 수 있다. 렌즈(101)는 fθ렌즈를 사용하는 것이 바람직하다. 렌즈(101)에서 최종적으로 발사는 레이저 빔(L2)은 대상물(W)을 향하게 된다.
여기서, 미러 구동부(102b)는 레이저 제어부(140)로부터 제어 신호를 받아서 미러(102a) 또는 상기 갈바노 스캐너의 반사 각도 등을 조절할 수 있다.
상기 레이저 조향부(102)는 레이저 가변부(120)에서 나온 레이저 빔을 고속으로 회전하는 미러(102a) 또는 상기 갈바노 스캐너와 렌즈(101)에서 대상물(W) 상의 스캔 영역에서 고속으로 위치 결정할 수 있다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 장치(100)는, 상기 대상물(W)에 형성된 프린팅 패턴의 결함 여부, 패턴의 단선 여부 또는 패턴의 크기를 감지하는 비전센서부(400)를 더 포함할 수 있다.
상기 비전센서부(400)는 비전카메라(vision camera) 등으로 형성될 수 있으며, 대상물(W)에 형성되는 프린팅 패턴의 결함 유무 등에 대한 이미지를 획득하거나, 대상물(W)에 조사되는 레이저 빔의 상태 등에 대한 이미지를 획득할 수 있다.
상기 비전센서부(400)는 획득한 이미지 등의 데이터를 레이저 제어부(140)로 전송하고, 상기 레이저 제어부(140)는 상기 비전센서부(400)에서 감지한 결과에 따라 상기 레이저 조향부(102)와 상기 대상물(W) 사이의 거리를 조절하거나 상기 레이저 가변부(120)의 상기 콜리메이션 렌즈(125) 사이의 거리 또는 상기 마스크(126)와 상기 콜리메이션 렌즈(125) 사이의 거리를 조절할 수 있다.
도 1을 참조하면, 레이저 빔(L2)이 조사되는 대상물(W)은 플레이트(P) 위에 놓이게 되며, 플레이트(P)는 X축 및 Y축 방향으로 움직이면서 레이저 빔(L2)의 위치를 조절할 수 있다.
이하에서는 도 2 내지 도 6면을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 장치(100)가 인쇄 전자 시스템에 설치된 경우에 대해서 설명한다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 장치(100)는 인쇄 전자 시스템의 케이스(1) 내에 마련될 수 있다.
케이스(1)에는 개폐 가능한 도어(2)가 마련되고, 도어(2)에는 관측창(3)이 마련될 수 있다. 도어(2)는 케이스(1)의 내부를 볼 수 없는 불투명재질로 형성되고 관측창(3)은 케이스(1)의 내부를 볼 수 있도록 투명재질로 형성되는 것이 바람직하다. 작업자는 관측창(3)을 통해서 케이스(1)의 내부에 마련된 레이저 장치(100)의 작업 상태를 육안으로 관찰할 수 있다. 이때, 관측창(3)은 작업자의 눈을 보호할 수 있는 재질로 형성되는 것이 바람직하다.
한편, 케이스(1)의 좌측 하단에는 인쇄 전자 시스템(미도시) 또는 레이저 장치(100)에 전원을 공급하는 전원부(300)가 마련될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 장치(100)는 케이스(1)의 내부에 장착되는데, 장착 프레임(107)을 이용하여 케이스(1)의 내부에 장착될 수 있다. 즉, 장착 프레임(107)에 레이저 장치(100)가 결합되고, 장착 프레임(107)은 케이스(1)의 메인 프레임(미도시)에 결합될 수 있다.
한편, 레이저 장치(100)는, 대상물(W)과 레이저 조향부(102) 사이의 거리 즉, 레이저 조향부(102)의 높이를 조절할 수 있도록 수직 가이드 로드(105), 수직 가이드 로드(105)를 회전 지지하는 베어링(106) 및 높이 조절 핸들(104)을 더 포함할 수 있다. 이때, 레이저 장치(100)는 장착 프레임(107)에서 상하 방향으로 움직일 수 있도록 마련되는 것이 바람직하다.
도 3을 참조하면, 장착 프레임(107)은 케이스(1)에 상단 및 측단이 결합될 수 있다. 레이저 장치(100)의 레이저 가변부(120) 및 레이저 생성부(130)는 보호 케이스(200) 내부에 마련되고, 레이저 조향부(102)는 보호 케이스(200)의 외부에 마련될 수 있다.
보호 케이스(200)에는 수직 가이드 로드(105)의 외주면에 삽입되는 가이드 부시(108)가 마련될 수 있다. 수직 가이드 로드(105)의 외주면 및 가이드 부시(108)의 내주면에는 서로 맞물리는 나사산이 형성되는 것이 바람직하다. 작업자가 높이 조절 핸들(104)을 돌리게 되면 수직 가이드 로드(105)가 회전하게 되고 수직 가이드 로드(105)의 외주면에 형성된 나사산과 맞물리는 나사산이 내주면에 형성된 가이드 부시(108)가 수직 가이드 로드(105) 상에서 상하로 움직이게 되고, 이에 따라 레이저 장치(100)의 높이가 조절될 수 있다.
한편, 레이저 조향부(102)는 렌즈(101)와 연결되는 수직 경통부(110)를 더 포함할 수 있다. 또한, 높이 조절 핸들(104)에는 파지부(104a)가 돌출 형성될 수 있다.
도 4 내지 도 6에는 인쇄 전자 시스템에 장착되는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 장치(100)의 보다 자세한 형태가 도시되어 있다.
도 4 내지 도 6을 참조하면, 장착 프레임(107)에는 케이스(1)와의 결합을 위해 나사 등 체결수단이 삽입되는 체결공(170a)이 형성될 수 있다. 또한, 장착 프레임(107)의 하단에는 베어링(106)을 지지하는 고정 로드(109)가 연결될 수 있는데, 고정 로드(109)의 하단은 베어링(106)과의 연결을 위해서 수평방향으로 절곡 형성되는 것이 바람직하다.
상기 레이저 조향부(102)의 일측에는 제어신호 또는 전기신호를 입력하기 위한 케이블 연결포트(103)가 마련될 수 있다.
상기 레이저 조향부(102)와 레이저 가변부(120) 사이에는 수평 경통부(123)가 마련될 수 있다. 즉, 레이저 조향부(102)와 레이저 가변부(120)는 수평 경통부(123)에 의해서 서로 연결될 수 있다.
상기 레이저 가변부(120)는 보호 케이스(200) 내부에 레이저 가변부(120)를 고정하는 지지부(124)를 포함할 수 있다. 지지부(124)의 하단은 보호 케이스(200)의 바닥에 고정되며 상단에는 레이저 가변부(120)의 연장 하우징(121)이 고정될 수 있다.
상기 레이저 조향부(102)와 레이저 가변부(120)는 수평 경통부(123)에 의해서 연결되는 반면에, 레이저 가변부(120)와 레이저 생성부(130)는 서로 연결되지 않고 이격된 상태로 보호 케이스(200)의 내부에 마련될 수 있다.
상기 레이저 생성부(130)에는 냉각을 위한 방열슬릿(135)이 복수개 형성될 수 있다. 레이저 생성부(130)의 앞단에는 레이저 로드(131)가 형성되고, 레이저 로드(131)의 앞단에 레이저 발진부(132)가 형성될 수 있다.
레이저 발진부(132)에서 나온 레이저 빔(L1)은 연장 하우징(121)을 통해 레이저 가변부(120)에 전달될 수 있다.
한편, 높이 조절 핸들(104) 대신 높이 조절 모터(미도시)가 마련될 수도 있다. 상기 높이 조절 모터는 레이저 제어부(140)에 의해서 작동이 제어될 수 있다. 예를 들면, 상기 레이저 제어부(140)는, 비전센서부(400)에서 획득된 대상물(W)의 이미지를 분석하여 렌즈(101)와 대상물(W) 사이의 거리를 계산하고, 그 계산된 결과에 따른 구동신호를 상기 높이 조절 모터에 전달하여 대상물(W)과 렌즈(101) 사이의 거리 또는 레이저 장치(100)의 높이를 조절할 수도 있다.
상기에서 설명한 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치는, 인쇄 전자 시스템에 의해서 대면적 디스플레이 등 대상물에 프린팅 된 패턴에 레이저를 발사하여 패턴을 리페어하거나 프린팅 잉크를 소결할 수 있으며, 작업의 종류 또는 패턴의 결함 유무, 결함 상태 등에 따라 레이저의 강도, 파장의 크기 또는 펄스 폭 등을 가변할 수 있기 때문에, 하나의 인쇄 전자 시스템으로 다양한 작업을 할 수 있게 된다.
이하에서는 상기한 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치(100)의 작동 방법에 대해서 설명한다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치의 작동 방법을 설명하는 순서도이다.
도 1 내지 도 7을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치(100)의 작동 방법은, 레이저 빔(L1)을 발진시키는 레이저 생성부(130); 레이저 생성부(130)에서 발진된 레이저 빔의 강도 또는 파장을 가변시키는 레이저 가변부(120); 레이저 가변부(120)에서 가변되는 레이저 빔의 강도 또는 파장의 크기를 제어하는 레이저 제어부(140); 레이저 가변부(120)에서 나온 레이저 빔이 대상물을 향하도록 레이저 빔의 진행 방향을 가변시키는 레이저 조향부(102); 및 프린팅 패턴의 결함 여부, 패턴의 단선 여부 또는 패턴의 크기를 포함하는 프린팅 패턴의 이미지를 획득하는 비전센서부(400);를 포함하는 인쇄 전자 시스템에 있어서, 비전센서부(400)에 의해 대상물에 형성된 프린팅 패턴의 이미지를 획득하는 단계(1100); 레이저 제어부(140)에 의해 비전센서부(400)에서 획득한 이미지를 분석하여 프린팅 패턴의 리페어 또는 소결 여부를 판단하는 단계(1200); 레이저 제어부(140)에 의해 프린팅 패턴의 리페어 또는 소결 여부를 레이저 가변부(120)에 전달하는 단계(1300): 레이저 가변부(120)에 의해 프린팅 패턴의 리페어 또는 소결 여부에 따라 레이저 빔의 강도, 파장의 크기 또는 펄스의 폭을 조절하는 단계(1400); 레이저 조향부(102)에 의해 레이저 제어부(140)에서 프린팅 패턴의 리페어 또는 소결 여부를 전달받아 레이저 빔의 진행 방향을 가변시키는 단계(1500); 및 레이저 제어부(140)에 의해 비전센서부(400)에서 이미지를 전달받아 레이저 조향부(102)와 대상물(W) 사이의 거리를 조절하는 단계(1600);를 포함할 수 있다.
상기 비전센서부(400)에 의해 대상물에 형성된 프린팅 패턴의 이미지를 획득하는 단계(1100)에서, 상기 비전센서부(400)는 상기 프린팅 패턴의 리페어 또는 소결 상태에 대한 이미지를 획득하여 상기 레이저 제어부(140)에 전달할 수 있다.
상기 레이저 제어부(140)는 비전센서부(400)에서 획득한 프린팅 패턴의 이미지(영상 포함)를 전달받고, 그 이미지를 분석하여 프린팅 패턴의 리페어(수리) 또는 소결(sintering)이 필요한지 판단할 수 있다.
또한, 사용자가 직접 레이저 제어부(140)에 프린팅 패턴의 리페어 또는 소결 작업에 대한 명령을 입력할 수도 있다. 사용자가 명령을 입력하는 경우에, 레이저 제어부(140)는 비전센서부(400)에서 획득한 이미지 분석 결과에 우선하여 사용자의 명령을 수행하는 것이 바람직하다.
상기 레이저 제어부(140)는 대상물(W)에 인쇄된 프린팅 패턴에 단선 등 결함이 있는 경우에 이를 리페어하기 위해 필요한 레이저의 강도, 폭 또는 파장 등을 제어할 수 있다. 또한, 레이저가 대상물(W)에 인쇄된 프린팅 패턴을 소결하기에 적합한 강도, 폭 또는 파장 등을 가지도록 제어할 수 있다.
상기 레이저 제어부(140)는 리페어 또는 소결 작업에 따른 레이저의 강도, 폭 또는 파장 등의 정보 내지 명령을 레이저 가변부(120)로 전송할 수 있다.
상기 레이저 가변부(120)에 의해 프린팅 패턴의 리페어 또는 소결 여부에 따라 레이저 빔의 강도, 파장의 크기 또는 펄스의 폭을 조절하는 단계(1400)에서, 레이저 가변부(120)는 적어도 1개 또는 2개의 콜리메이션 렌즈(125) 및 콜리메이션 렌즈(125)의 전방에 배치된 마스크(126)를 포함하고, 레이저 제어부(140)는 비전센서부(400)에서 감지한 결과에 따라 레이저 가변부(120)의 콜리메이션 렌즈(125) 사이의 거리 또는 마스크(126)와 상기 콜리메이션 렌즈(125) 사이의 거리를 조절할 수 있다.
즉, 상기 레이저 가변부(120)는 레이저 제어부(140)에서 전달받은 정보 내지 명령 예를 들면, 프린팅 패턴의 리페어 위치, 크기, 소결 정도 등에 적합하도록 레이저의 상태를 가변할 수 있다. 레이저 가변부(120)의 작동에 대해서는 레이저 장치(100) 관련 부분에서 설명한 바와 같으므로 반복적인 내용은 생략한다.
상기 레이저 조향부(102)에 의해 상기 레이저 제어부(140)에서 프린팅 패턴의 리페어 또는 소결 여부를 전달받아 레이저 빔의 진행 방향을 가변시키는 단계(1500)에서, 상기 레이저 조향부(102)는 상기 레이저 가변부(120)에서 나온 레이저 빔의 진행 방향을 가변하는 미러(102a) 또는 상기 갈바노 스캐너, 상기 미러(102a) 또는 상기 갈바노 스캐너의 각도 또는 위치를 변경하기 위한 미러 구동부(102b)를 포함하며, 상기 레이저 제어부(140)는 상기 미러 구동부(102b)의 작동 상태를 제어하여 레이저 빔의 진행 방향을 가변시킬 수 있다.
즉, 상기 레이저 제어부(140)는 미러 구동부(102b)에 제어 신호를 전달하고 제어 신호를 전달받은 미러 구동부(102b)가 상기 미러(102a) 또는 상기 갈바노 스캐너의 반사 각도를 조절할 수 있다.
한편, 상기 레이저 제어부(140)에 의해 상기 비전센서부(400)에서 획득한 이미지를 분석하여 프린팅 패턴의 리페어 또는 소결 여부를 판단하는 단계(1200)에서, 상기 레이저 제어부(140)는 상기 비전센서부(400)에서 감지한 결과에 따라 상기 상기 레이저 조향부(102)와 상기 대상물(W) 사이의 거리 또는 높이를 조절할 수 있다.
상기에서 설명한 바와 같이, 레이저 조향부(102)는 대상물(W)를 향해 하강 또는 상승하면서 대상물(W)과의 거리 또는 높이를 조절할 수 있도록 마련될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 장치(100)는, 대상물(W)과 레이저 조향부(102) 사이의 거리 즉, 레이저 조향부(102)의 높이를 조절할 수 있도록 수직 가이드 로드(105), 수직 가이드 로드(105)를 회전 지지하는 베어링(106) 및 높이 조절 핸들(104)을 더 포함할 수 있는데, 높이 조절 핸들(104) 대신 높이 조절 모터(미도시)가 마련될 수 있다. 이 때, 상기 높이 조절 모터는 레이저 제어부(140)로부터 제어 신호를 전달받을 수 있다. 이와 같이 구성하면, 레이저 제어부(140)는 프린팅 패턴의 리페어 또는 소결 작업에 필요한 정보를 제어 신호의 형태로 상기 높이 조절 모터에 전달할 수 있고, 전달 받은 제어 신호에 따라 상기 높이 조절 모터는 레이저 조향부(102)의 높이를 자동으로 조절할 수 있다.
한편, 레이저 제어부(140)는 콜리메이션 렌즈(125)를 구동하여 마스크(126)에 투사되는 레이저 빔 지름을 변경할 수 있다. 즉, 레이저 제어부(140)에 의해서 콜리메이션 렌즈(125)를 구동시킴으로써 마스크(126)에 투사하는 레이저 빔 지름을 변경할 수 있고, 마스크(126)로 절출된 레이저 빔은 진원성이 높은 레이저 빔이 될 수 있다.
상기 레이저 가변부(120)는 상기 대상물(W)에 인쇄되는 프린팅 패턴의 크기, 형태, 결함 여부 또는 단선 여부에 따라 상기 레이저 생성부(130)에서 발진되는 레이저 빔의 상태를 조절할 수 있다.
이상과 같이 본 발명의 일실시예에서는 구체적인 구성 요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 및 도면에 의해 설명되었으나 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 따라서, 본 발명의 사상은 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 청구범위뿐 아니라 이 청구범위와 균등하거나 등가적 변형이 있는 모든 것들은 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.
본 발명은 디스플레이 등의 제조하는 인쇄 전자 분야에 사용될 수 있다.

Claims (15)

  1. 레이저 빔을 발진시키는 레이저 생성부;
    상기 레이저 생성부에서 발진된 레이저 빔의 강도 또는 파장을 가변시키는 레이저 가변부;
    상기 레이저 가변부에서 가변되는 레이저 빔의 강도 또는 파장의 크기를 제어하는 레이저 제어부; 및
    상기 레이저 가변부에서 나온 레이저 빔이 대상물을 향하도록 레이저 빔의 진행 방향을 가변시키는 레이저 조향부;를 포함하며,
    상기 레이저 제어부는 상기 대상물에 형성된 프린팅 패턴의 상태에 따라 레이저 빔의 강도 또는 파장의 크기를 제어하는 것을 특징으로 하는 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 레이저 가변부는 상기 레이저 생성부에서 발진되는 레이저 빔을 확장하거나 레이저 빔의 강도 또는 파장을 최적화시키는 것을 특징으로 하는 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 레이저 가변부는, 적어도 1개 또는 2개의 콜리메이션 렌즈 및 상기 콜리메이션 렌즈의 전방에 배치된 마스크를 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 레이저 조향부는 상기 레이저 가변부에서 나온 레이저 빔의 진행 방향을 가변하는 미러 또는 갈바노 스캐너를 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 레이저 조향부는 상기 미러 또는 상기 갈바노 스캐너의 각도 또는 위치를 변경하기 위한 미러 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 미러 구동부는 상기 레이저 제어부에 의해서 작동 상태가 제어되는 것을 특징으로 하는 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 레이저 제어부는, 상기 레이저 가변부의 상기 콜리메이션 렌즈 사이의 거리를 조절하거나 상기 마스크와 상기 콜리메이션 렌즈 사이의 거리를 조절하여 상기 대상물에 형성된 프린팅 패턴을 리페어하거나 프린팅 잉크를 소결하는 것을 특징으로 하는 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 대상물에 형성된 프린팅 패턴의 결함 여부, 패턴의 단선 여부 또는 패턴의 크기를 감지하는 비전센서부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 레이저 제어부는,
    상기 비전센서부에서 감지한 결과에 따라 상기 레이저 조향부와 상기 대상물 사이의 거리를 조절하거나 상기 레이저 가변부의 상기 콜리메이션 렌즈 사이의 거리 또는 상기 마스크와 상기 콜리메이션 렌즈 사이의 거리를 조절하는 것을 특징으로 하는 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치.
  10. 레이저 빔을 발진시키는 레이저 생성부; 상기 레이저 생성부에서 발진된 레이저 빔의 강도 또는 파장을 가변시키는 레이저 가변부; 상기 레이저 가변부에서 가변되는 레이저 빔의 강도 또는 파장의 크기를 제어하는 레이저 제어부; 상기 레이저 가변부에서 나온 레이저 빔이 대상물을 향하도록 레이저 빔의 진행 방향을 가변시키는 레이저 조향부; 및 프린팅 패턴의 결함 여부, 패턴의 단선 여부 또는 패턴의 크기를 포함하는 프린팅 패턴의 이미지를 획득하는 비전센서부;를 포함하는 인쇄 전자 시스템에 있어서,
    상기 비전센서부에 의해 대상물에 형성된 프린팅 패턴의 이미지를 획득하는 단계;
    상기 레이저 제어부에 의해 상기 비전센서부에서 획득한 이미지를 분석하여 프린팅 패턴의 리페어 또는 소결 여부를 판단하는 단계;
    상기 레이저 제어부에 의해 프린팅 패턴의 리페어 또는 소결 여부를 상기 레이저 가변부에 전달하는 단계:
    상기 레이저 가변부에 의해 프린팅 패턴의 리페어 또는 소결 여부에 따라 레이저 빔의 강도, 파장의 크기 또는 펄스의 폭을 조절하는 단계;
    상기 레이저 조향부에 의해 상기 레이저 제어부에서 프린팅 패턴의 리페어 또는 소결 여부를 전달받아 레이저 빔의 진행 방향을 가변시키는 단계; 및
    상기 레이저 제어부에 의해 상기 비전센서부에서 이미지를 전달받아 상기 레이저 조향부와 상기 대상물 사이의 거리를 조절하는 단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치의 작동 방법.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 비전센서부에 의해 대상물에 형성된 프린팅 패턴의 이미지를 획득하는 단계에서, 상기 비전센서부는 상기 프린팅 패턴의 리페어 또는 소결 상태에 대한 이미지를 획득하여 상기 레이저 제어부에 전달하는 것을 특징으로 하는 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치의 작동 방법.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 레이저 가변부에 의해 프린팅 패턴의 리페어 또는 소결 여부에 따라 레이저 빔의 강도, 파장의 크기 또는 펄스의 폭을 조절하는 단계에서,
    상기 레이저 가변부는 적어도 1개 또는 2개의 콜리메이션 렌즈 및 상기 콜리메이션 렌즈의 전방에 배치된 마스크를 포함하고,
    상기 레이저 제어부는 상기 비전센서부에서 감지한 결과에 따라 상기 레이저 가변부의 상기 콜리메이션 렌즈 사이의 거리 또는 상기 마스크와 상기 콜리메이션 렌즈 사이의 거리 또는 높이를 조절하는 것을 특징으로 하는 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치의 작동 방법.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 레이저 조향부에 의해 상기 레이저 제어부에서 프린팅 패턴의 리페어 또는 소결 여부를 전달받아 레이저 빔의 진행 방향을 가변시키는 단계에서,
    상기 레이저 조향부는 상기 레이저 가변부에서 나온 레이저 빔의 진행 방향을 가변하는 미러 또는 갈바노 스캐너, 상기 미러 또는 상기 갈바노 스캐너의 각도 또는 위치를 변경하기 위한 미러 구동부를 포함하며,
    상기 레이저 제어부는 상기 미러 구동부의 작동 상태를 제어하여 레이저 빔의 진행 방향을 가변시키는 것을 특징으로 하는 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치의 작동 방법.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 레이저 제어부는 상기 미러 또는 상기 갈바노 스캐너의 반사 각도를 조절하는 것을 특징으로 하는 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치의 작동 방법.
  15. 제13항에 있어서,
    상기 레이저 제어부에 의해 상기 비전센서부에서 획득한 이미지를 분석하여 프린팅 패턴의 리페어 또는 소결 여부를 판단하는 단계에서, 상기 레이저 제어부는 상기 비전센서부에서 감지한 결과에 따라 상기 상기 레이저 조향부와 상기 대상물 사이의 거리 또는 높이를 조절하는 것을 특징으로 하는 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치의 작동 방법.
PCT/KR2018/011301 2017-11-23 2018-09-21 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치 및 그의 작동 방법 WO2019103299A1 (ko)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201880062175.1A CN111163941A (zh) 2017-11-23 2018-09-21 印刷电子系统用激光装置及其工作方法
US16/649,425 US11476632B2 (en) 2017-11-23 2018-09-21 Laser apparatus for printed electronics system and operating method thereof

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020170157239A KR102052666B1 (ko) 2017-11-23 2017-11-23 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치
KR10-2017-0157239 2017-11-23
KR10-2017-0179114 2017-12-26
KR1020170179114A KR102119194B1 (ko) 2017-12-26 2017-12-26 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치의 작동 방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2019103299A1 true WO2019103299A1 (ko) 2019-05-31

Family

ID=66630681

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/KR2018/011301 WO2019103299A1 (ko) 2017-11-23 2018-09-21 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치 및 그의 작동 방법

Country Status (3)

Country Link
US (1) US11476632B2 (ko)
CN (1) CN111163941A (ko)
WO (1) WO2019103299A1 (ko)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20090016077A (ko) * 2007-08-10 2009-02-13 주식회사 코윈디에스티 레이저를 이용한 불량 액정패널 수리장치 및 그 방법
KR20120036287A (ko) * 2010-10-07 2012-04-17 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤 레이저 조사장치, 레이저 조사방법, 및 절연막 형성장치
JP2013127600A (ja) * 2011-09-15 2013-06-27 Nistica Inc 光学的処理装置
KR101365821B1 (ko) * 2006-09-06 2014-02-20 엘지디스플레이 주식회사 액정 표시 장치용 리페어 장치 및 방법
KR20140099404A (ko) * 2013-02-01 2014-08-12 참엔지니어링(주) 레이저 리페어장치 및 레이저를 이용하여 기판 상의 배선결함을 리페어하는 방법

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4945140B2 (ja) * 2006-02-01 2012-06-06 テクダイヤ株式会社 波長可変光フィルター及びこれを用いた外部共振器型半導体レーザ装置
KR100822223B1 (ko) 2006-08-16 2008-04-17 참앤씨(주) 평판 디스플레이 기판 회로의 리페어 장치
US7729397B1 (en) * 2008-12-16 2010-06-01 Corning Incorporated Multi-variable control methods for optical packages
US8520186B2 (en) * 2009-08-25 2013-08-27 Cymer, Llc Active spectral control of optical source
US9570874B1 (en) * 2010-08-10 2017-02-14 Vardex Laser Solutions, Llc System for laser-based digital marking of objects with images or digital image projection with the laser beam shaped and amplified to have uniform irradiance distribution over the beam cross-section
CN103111756B (zh) * 2013-02-05 2015-09-09 余振新 激光烧结成型设备的激光光路引导系统
JP2015065391A (ja) * 2013-09-26 2015-04-09 アルプス電気株式会社 映像表示装置
CN104698768B (zh) * 2013-12-10 2017-02-01 上海微电子装备有限公司 光刻曝光系统
US9525265B2 (en) * 2014-06-20 2016-12-20 Kla-Tencor Corporation Laser repetition rate multiplier and flat-top beam profile generators using mirrors and/or prisms
KR101939876B1 (ko) * 2016-03-25 2019-01-17 주식회사 코윈디에스티 레이저 리페어 장치
CN106825915B (zh) * 2017-03-28 2019-12-03 北京印刷学院 脉冲激光诱导向前转移制备图案化金属薄层的系统和方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101365821B1 (ko) * 2006-09-06 2014-02-20 엘지디스플레이 주식회사 액정 표시 장치용 리페어 장치 및 방법
KR20090016077A (ko) * 2007-08-10 2009-02-13 주식회사 코윈디에스티 레이저를 이용한 불량 액정패널 수리장치 및 그 방법
KR20120036287A (ko) * 2010-10-07 2012-04-17 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤 레이저 조사장치, 레이저 조사방법, 및 절연막 형성장치
JP2013127600A (ja) * 2011-09-15 2013-06-27 Nistica Inc 光学的処理装置
KR20140099404A (ko) * 2013-02-01 2014-08-12 참엔지니어링(주) 레이저 리페어장치 및 레이저를 이용하여 기판 상의 배선결함을 리페어하는 방법

Also Published As

Publication number Publication date
US11476632B2 (en) 2022-10-18
CN111163941A (zh) 2020-05-15
US20200303892A1 (en) 2020-09-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2013036065A2 (ko) 비접촉식 온도 감시 장치
WO2013036076A2 (ko) 투영격자의 진폭을 적용한 3차원 형상 측정장치 및 방법
WO2018230845A1 (ko) 비전 정보에 기반한 위치 설정 방법 및 이를 구현하는 로봇
WO2016111437A1 (ko) 스캐닝 라이다 장치 및 이에 적용되는 방법
KR20100023258A (ko) 평판디스플레이 패널 검사 장비 및 방법
JP2013160612A (ja) 立体形状計測装置
WO2018048107A1 (ko) 도광판 패턴 설계 장치와 방법
WO2018044083A1 (ko) 광출력 모듈 및 라이다
WO2020004838A1 (ko) 내진동 백색광 간섭현미경 및 그 진동영향 제거방법
WO2019103299A1 (ko) 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치 및 그의 작동 방법
EP3414618A1 (en) Head up display for vehicle
WO2016076600A1 (ko) 헤드 업 디스플레이 장치
WO2015170798A1 (en) Display apparatus and controlling method thereof
WO2013094791A1 (ko) 거리 측정 장치
WO2015099370A1 (ko) 곡면 패널 디스플레이 결함 리페어 장치
KR20190077706A (ko) 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치의 작동 방법
WO2013065953A1 (en) Light emitting module
WO2017043778A1 (ko) 엑스선 디텍터, 엑스선 촬영 장치 및 그 제어 방법
KR102052666B1 (ko) 인쇄 전자 시스템용 레이저 장치
WO2021137488A1 (ko) 레이저 가공 시스템 및 레이저 가공 방법
WO2021210737A1 (ko) Led 헤드 램프 연동 자동차 라이다 시스템
WO2017135543A1 (ko) 레이저 빔의 경사각을 이용한 레이저 가공방법
KR101010770B1 (ko) 패터닝 및 마킹 기능 복합 레이저 장치 및 이를 구비한 복합 레이저 장비
WO2017069402A1 (ko) 레이저 가공 시스템 및 레이저 가공 시스템의 레이저 조사 장치
WO2010016738A2 (ko) 헤드유닛의 노즐의 토출구와 레이저변위센서의 결상점의 상대위치측정장치, 그 상대위치측정장치가 장착되는 페이스트 디스펜서 및 그 상대위치측정장치를 이용한 헤드유닛의 노즐의 토출구와 레이저변위센서의 결상점의 상대위치측정방법

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 18881808

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 18881808

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1