WO2018216383A1 - ガス検知装置 - Google Patents
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- WO2018216383A1 WO2018216383A1 PCT/JP2018/015216 JP2018015216W WO2018216383A1 WO 2018216383 A1 WO2018216383 A1 WO 2018216383A1 JP 2018015216 W JP2018015216 W JP 2018015216W WO 2018216383 A1 WO2018216383 A1 WO 2018216383A1
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- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
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- G—PHYSICS
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/32—Holograms used as optical elements
Definitions
- the present invention relates to a gas detection device.
- Patent Document 1 proposes a method of performing one-point measurement by irradiating laser light and further specifying two-dimensional coordinates of gas by performing two-dimensional scanning in the vertical direction and the horizontal direction.
- laser light of the target gas absorption band and non-absorption band wavelength is irradiated from the measuring instrument to the same target space, reflected by an arbitrary reflector such as a wall, and returned to the measuring instrument, and the intensity of the received light intensity
- the ratio can be determined. If the target gas is present on the optical path of the laser beam, the intensity ratio of the absorption band to the non-absorption band decreases, so that the gas can be detected.
- Patent Document 1 Although gas can be detected with high sensitivity, there is a problem that it is easily affected by the background. In addition, if a highly reflective object that reflects laser light with high intensity is in the target space, gas can be detected with high sensitivity. However, if the object is a low reflective object, the return light of the laser light becomes weak, making measurement difficult. Furthermore, there is a problem that a gas having no absorbability in the near ultraviolet region to the infrared region cannot be detected.
- the Raman scattered light refers to scattered light generated by a Raman scattering phenomenon in which the frequency of scattered light is displaced by the vibration frequency of the molecule when monochromatic light is irradiated onto gas molecules.
- the present invention has been made in view of the above problems in the prior art, and an object of the present invention is to provide a gas detection device that can identify the type of gas released into space while having a simple configuration.
- a gas detection device reflecting one aspect of the present invention.
- a laser light source for irradiating laser light to a gas existing in the target space;
- a condensing optical system for condensing part of Raman scattered light emitted from the gas irradiated with the laser light source;
- a pinhole that passes through the light collected by the condensing optical system;
- a collimating lens that converts light that has passed through the pinhole into parallel light;
- a reflective volume hologram that receives parallel light emitted from the collimating lens;
- a photoelectric conversion element that converts light of a specific wavelength selectively reflected by the reflective volume hologram into an electrical signal;
- the reflective volume hologram has a refractive index distribution structure tilted with respect to the surface inside, The light incident on the reflective volume hologram is separated into specularly reflected light reflected on the surface and light of the specific wavelength diffracted by the refractive index distribution structure.
- FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a gas detection device 1 according to the present embodiment.
- a gas detection apparatus 1 includes a large-diameter objective lens 2 as a condensing optical system, a dichroic mirror 3, a lens 4, a laser light source 5, a pinhole 6, a collimating lens 7, and a reflective type.
- a volume hologram 8, a condenser lens 9, and a photoelectric conversion element 10 are included.
- the dichroic mirror 3 functions to reflect laser light having a predetermined wavelength (405 nm in this case) emitted from the laser light source 5 but transmitting light having a wavelength from the gas in the target space.
- the reflection type volume hologram 8, the condensing lens 9, and the photoelectric conversion element 10 are incorporated in the casing 11, and are extended in the direction perpendicular to the paper surface in FIG. It can swing around the rotating shaft.
- each case in which the gas detection device 1 is housed is attached to a rotating shaft of a motor and rotated so that the target space can be scanned.
- FIG. 2 is a diagram schematically showing the reflective volume hologram 8.
- the reflection type volume hologram 8 has a parallel plate shape as shown in FIG. 2, but the object light incident from one surface interferes with the reference light incident from the other surface, and is refracted inside.
- a rate distribution structure 8a (indicated by white lines and black lines alternately arranged in the figure) is formed.
- the refractive index distribution structure 8a is incident on the surface at a predetermined angle ⁇ as shown in FIG. 2 by making it incident at different angles with respect to the normal of the surface so that the two interfering rays are not symmetrical with respect to the surface. It is formed in a state inclined with respect to 8b.
- the light A incident on the surface 8b of the reflection type volume hologram 8 is reflected by the regular reflection light B reflected by the surface 8b and the diffracted light diffracted and reflected by the internal refractive index distribution structure 8a (hereinafter referred to as reproduction). Separated into C).
- Such a reflective volume hologram 8 can be formed by a manufacturing method described in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2005-003790.
- FIG. 3 is a block diagram of the processing apparatus 20 including the gas detection apparatus 1 according to the present embodiment.
- the gas detection device 1 is indicated by a dotted frame.
- the processing device 20 includes an A / D converter 21 that inputs an electrical signal from the photoelectric conversion element 10, a signal processing unit 22, a buffer 23, a display signal generation unit 24, a monitor 25, an observation condition setting unit 26, a photoelectric conversion element control unit 27 that controls the photoelectric conversion element 10, an actuator control unit 28 that controls the actuator 12, and a laser light source control unit 29 that controls the emission of the laser light source 5. It has.
- the observation condition setting unit 26 controls the photoelectric conversion element control unit 27, the actuator control unit 28, and the laser light source control unit 29 in an integrated manner according to the observation conditions desired by the user.
- the laser light emitted from the laser light source 5 while being controlled by the laser light source control unit 29 passes through the lens 4 to become weakly convergent light, is reflected by the dichroic mirror 3, and is further objective.
- the laser light is condensed toward an inspection position separated from the gas detection device 1 by a predetermined distance. Note that by changing the position of the objective lens 2 in the optical axis direction using a known focus mechanism, the condensing position of the laser light can be changed, and thereby the inspection position can be arbitrarily adjusted.
- Raman scattered light is generated by irradiating the molecules of the gas GS with laser light.
- Table 1 shows examples of Raman wavelengths of Raman-scattered molecules for each gas type when irradiated with a 405 nm laser beam.
- the Raman scattered light emitted from the gas GS is collected by the objective lens 2, and the collected light passes through the dichroic mirror 3, and then the principal ray is parallel to the optical axis by the pinhole 6 and the collimating lens 7. Is done.
- the light emitted from the collimating lens 7 enters the reflection volume hologram 8.
- the surface 8b of the reflective volume hologram 8 is inclined with respect to the incident light A at an angle ⁇ .
- a part of the incident light A is specularly reflected by the surface 8 b and proceeds as specularly reflected light B.
- the remainder of the incident light A is transmitted through the surface 8b and then diffracted by the refractive index distribution structure 8a to be reproduced light C, and further emitted from the surface 8b at an emission angle different from that of the regular reflection light B. That is, the incident light A is separated into specular reflection light B and reproduction light C having different emission angles.
- FIG. 4 is a diagram showing an example of the characteristic of a reflective volume hologram in which the incident light angle is taken on the horizontal axis and the diffraction wavelength is taken on the vertical axis when the incident angle is changed.
- FIG. 5 is a diagram showing an example of the characteristic of a reflection type volume hologram in which the horizontal axis represents the incident light angle and the vertical axis represents the reproduction light emission angle.
- FIG. 4 and FIG. 5 are linked to each other and show how the angle and wavelength of the reproduction light change when the incident angle is changed in the same manner.
- the Raman wavelength (see Table 1) of the incident light A includes a plurality of wavelengths
- the incident angle is changed by rotating the hologram
- only the wavelength shown in FIG. 4 is selected by the diffraction action of the refractive index distribution structure 8a Specifically, the light is diffracted and reflected at the angle shown in FIG. Other wavelengths are transmitted without being diffracted.
- some of the light is reflected on the surface, but it includes both wavelengths.
- H 2 S from FIGS. 4 and 5
- Raman scattered light 452.9 nm is detected at a reproduction light emission angle of ⁇ 56 °.
- FIG. 2 when the normal direction of the surface 8b of the reflective volume hologram 8 is 0 °, the incident light A side is positive and the opposite side is negative.
- the actuator controller 28 drives the actuator 12 to set the swing angle of the housing 11 to a predetermined value in advance, thereby reproducing light that is Raman scattered light of the detection target gas GS. C can be emitted in a specific direction.
- the reproduction light C emitted in the specific direction is collected by the lens 9 and is incident on the photoelectric conversion element 10, whereby the detection target gas GS can be detected.
- the rotation angle of the reflective volume hologram 8 can be detected.
- the type of gas GS detected based on the above can be specified. Obviously, if the housing 11 is gradually swung by driving the actuator 12 while irradiating the inspection position with the laser beam, the incident angle of the light A incident on the surface 8b of the reflective volume hologram 8 is increased. Since the gas is gradually changed, if any gas GS shown in Table 1 is present, the Raman scattered light can be detected (swept) by the photoelectric conversion element 10.
- the output electric signal is converted into a digital image signal by the A / D converter 21, and then the signal acquired every time is combined in the signal processing unit 22.
- Signal information is generated, and the generated signal information is stored in the buffer 23.
- the display signal generating unit 24 uses the signal information stored in the buffer 23, the display signal generating unit 24 generates signal information for display, and based on this, the monitor 25 displays an image together with the detection position. At this time, when a gas to be detected is detected, an alarm or the like can be displayed.
- the monitor 25 by disposing the monitor 25 at a remote location, it is possible to detect a specific gas with high accuracy from the remote location. Since the gas detection device 1 is relatively small, the user can carry it and install it in various places.
- two-dimensional scanning can be performed by changing the horizontal angle and the elevation angle of the case containing the gas detection device 1, and the depth direction can be adjusted by adjusting the objective lens 2 to detect the gas in the target space. It can be done in three dimensions.
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Abstract
簡素な構成でありながら、空間に放出されたガスの種類を識別できるガス検知装置を提供する。ガス検知装置は、対象空間に存在するガスに対してレーザー光を照射するレーザー光源と、前記レーザー光源を照射された前記ガスから出射されたラマン散乱光の一部を集光する集光光学系と、該集光光学系により集光された光を通過するピンホールと、前記ピンホールを通過した光を平行光に変換するコリメートレンズと、前記コリメートレンズから出射した平行光を入射する反射型体積ホログラムと、該反射型体積ホログラムにより選択的に反射された特定波長の光を電気信号に変換する光電変換素子とを有し、前記反射型体積ホログラムは、表面に対して傾いた屈折率分布構造を内部に形成しており、前記反射型体積ホログラムに入射した光は、その表面で反射される正反射光と、前記屈折率分布構造により回折される前記特定波長の光とに分離される。
Description
本発明は、ガス検知装置に関する。
有害ガス漏れ発生時において、安全性の観点から、ガスの種類や移動方向などを遠隔地から検出する技術が望まれている。ここで、空間でガスを検出する技術としては、例えばランバート・ベールの法則に基づき、ガスのある部分を赤外光が通過する時の通過前と通過後の光強度の関係を求めて、ガスの種類を検知するものがある。例えば特許文献１では、レーザー光を照射することで１点測定を行い、更に垂直方向及び水平方向の２次元走査を行うことでガスの２次元座標を特定する手法が提案されている。
この技術では、目的のガスの吸収帯と非吸収帯の波長のレーザー光を測定器から同じ対象空間に照射し、壁などの任意の反射物に反射させて測定器に戻し、受光光量の強度比を求めることができる。仮にレーザー光の光路上に目的のガスが存在すれば、非吸収帯に対する吸収帯の強度比が低下するから、そのガスを検出できることとなる。
特許文献１の技術によれば、ガスを高感度に検出できるものの、背景の影響を受けやすいという問題がある。又、レーザー光を高強度に反射する高反射物体が対象空間にあればガスを高感度に検出できるが、低反射物体であるとレーザー光の戻り光が微弱になるので測定が困難となる。更には、近紫外域から赤外域において吸収性を持たないガスは検知できないという問題もある。
一方、背景の影響を受けない方法として、例えば特許文献２に示すようにラマン散乱光を用いるガス検知方法が提案されている。ラマン散乱光とは、単色光をガスの分子に照射したときに散乱光の周波数が分子の振動周波数だけ変位するラマン散乱現象により発生する散乱光をいう。ラマン散乱光を用いることで、上述の問題を回避できる。
しかしながら、特許文献２の技術では、薄膜の干渉現象を利用し、ある特定の波長領域の光だけを透過して，他の波長の光は通さないようにした干渉フィルターを用いてラマン散乱光を検出しているため、ガスの種類毎に異なる干渉フィルターを用いなくてはならず、構成の複雑化やコスト高を招いている。
本発明は以上の従来技術における問題に鑑みてなされたものであって、簡素な構成でありながら、空間に放出されたガスの種類を識別できるガス検知装置を提供することを目的とする。
上述した目的のうち少なくとも一つを実現するために、本発明の一側面を反映したガス検知装置は、
対象空間に存在するガスに対してレーザー光を照射するレーザー光源と、
前記レーザー光源を照射された前記ガスから出射されたラマン散乱光の一部を集光する集光光学系と、
該集光光学系により集光された光を通過するピンホールと、
前記ピンホールを通過した光を平行光に変換するコリメートレンズと、
前記コリメートレンズから出射した平行光を入射する反射型体積ホログラムと、
該反射型体積ホログラムにより選択的に反射された特定波長の光を電気信号に変換する光電変換素子とを有し、
前記反射型体積ホログラムは、表面に対して傾いた屈折率分布構造を内部に形成しており、
前記反射型体積ホログラムに入射した光は、その表面で反射される正反射光と、前記屈折率分布構造により回折される前記特定波長の光とに分離されるものである。
対象空間に存在するガスに対してレーザー光を照射するレーザー光源と、
前記レーザー光源を照射された前記ガスから出射されたラマン散乱光の一部を集光する集光光学系と、
該集光光学系により集光された光を通過するピンホールと、
前記ピンホールを通過した光を平行光に変換するコリメートレンズと、
前記コリメートレンズから出射した平行光を入射する反射型体積ホログラムと、
該反射型体積ホログラムにより選択的に反射された特定波長の光を電気信号に変換する光電変換素子とを有し、
前記反射型体積ホログラムは、表面に対して傾いた屈折率分布構造を内部に形成しており、
前記反射型体積ホログラムに入射した光は、その表面で反射される正反射光と、前記屈折率分布構造により回折される前記特定波長の光とに分離されるものである。
本発明によれば、簡素な構成でありながら、空間に放出されたガスの種類を識別できるガス検知装置を提供することができる。
以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。図１は、本実施形態にかかるガス検知装置１の概略構成図である。図１において、ガス検知装置１は、集光光学系としての大口径の対物レンズ２と、ダイクロイックミラー３と、レンズ４と、レーザー光源５と、ピンホール６と、コリメートレンズ７と、反射型体積ホログラム８と、集光レンズ９と、光電変換素子１０とを有している。ダイクロイックミラー３は、レーザー光源５から出射される所定波長（ここでは４０５ｎｍ）のレーザー光は反射するが、対象空間のガスからの波長の光は透過するよう機能する。
又、反射型体積ホログラム８と、集光レンズ９と、光電変換素子１０は、筐体１１内に組み込まれ、可動機構としてのアクチュエータ１２により、筐体１１ごと図１で紙面垂直方向に延在する回転軸回りに揺動可能となっている。又、図示していないが、ガス検知装置１を収容したケース毎、モータの回転軸に取り付けられて回転され、対象空間を走査できるようになっている。
図２は、反射型体積ホログラム８を模式的に示す図である。反射型体積ホログラム８は、図２に示されるように平行平板状であるが、一方の面から入射された物体光と、他方の面から入射された参照光とが干渉して、内部に屈折率分布構造８ａ（図中、交互に並んだ白線と黒線で示す）を形成したものである。特に屈折率分布構造８ａは、干渉させる二つの光線が面に対して対称でないように、面の法線に対して異なる角度で入射させることにより、図２に示すように所定の角度θで表面８ｂに対して傾いていた状態で形成される。よって、反射型体積ホログラム８の表面８ｂに入射した光Ａは、その表面８ｂで反射される正反射光Ｂと、内部の屈折率分布構造８ａにより回折して反射される回折光（以下、再生光という）Ｃとに分離される。このような反射型体積ホログラム８は、例えば特開２００５－００３７９０号公報に記載されている製造方法により形成できる。尚、表面８ｂに反射防止膜等を形成しておくと、迷光の要因となり得る正反射光Ｂが減るので好ましい。
図３は、本実施形態にかかるガス検知装置１を含む処理装置２０のブロック図である。図３において、ガス検知装置１は点線の枠で示している。処理装置２０は、図３に示されるように、光電変換素子１０からの電気信号を入力するＡ／Ｄ変換器２１と、信号処理部２２と、バッファ２３と、表示信号生成部２４と、モニター２５と、観察条件設定部２６と、光電変換素子１０を制御する光電変換素子制御部２７と、アクチュエータ１２を制御するアクチュエータ制御部２８と、レーザー光源５の出射を制御するレーザー光源制御部２９とを備えている。観察条件設定部２６は、光電変換素子制御部２７と、アクチュエータ制御部２８と、レーザー光源制御部２９とをユーザーが所望する観察条件に合わせて統合的に制御するものである。
次に、ガス検知装置１と処理装置２０の動作について説明する。図１に示すガス検知装置１において、レーザー光源制御部２９に制御されつつレーザー光源５より照射されたレーザー光は、レンズ４を通過して弱収束光となり、ダイクロイックミラー３で反射され、更に対物レンズ２を通過することによって、ガス検知装置１から所定距離だけ離間した検査位置に向けてレーザー光を集光させる。尚、公知のフォーカス機構を用いて対物レンズ２の光軸方向位置を変更することで、レーザー光の集光位置を変えることができ、それにより検査位置を任意に調整できる。
ここで、対象空間の検査位置に、検知対象となるガスＧＳが存在した場合、ガスＧＳの分子にレーザー光が照射されることで、いわゆるラマン散乱光が発生する。表１に４０５ｎｍのレーザー光を照射した際の、ラマン散乱した分子のラマン波長の例を、ガスの種類毎に示す。
ガスＧＳから放射されたラマン散乱光は、対物レンズ２により集光され、この集光された光はダイクロイックミラー３を透過した後、ピンホール６とコリメートレンズ７により主光線が光軸と平行にされる。コリメートレンズ７から出射した光は、反射型体積ホログラム８に入射する。
図２を参照して、反射型体積ホログラム８の表面８ｂが、入射した光Ａに対して角度αで傾いているものとする。かかる場合、入射した光Ａの一部は表面８ｂで正反射し、正反射光Ｂとなって進行する。一方、入射した光Ａの残りは、表面８ｂを透過した後に屈折率分布構造８ａにて回折されて再生光Ｃとなり、更に表面８ｂから正反射光Ｂとは異なる出射角で出射する。つまり、入射した光Ａは，互いに異なる出射角の正反射光Ｂと再生光Ｃとに分離されることとなる。
図４は、入射角を変化させた場合において、横軸に入射光角度をとり、縦軸に回折波長をとって示す反射型体積ホログラムの特性の一例を示す図である。図５は、横軸に入射光角度をとり、縦軸に再生光出射角度をとって示す反射型体積ホログラムの特性の一例を示す図である。図４と図５は連動しており、入射角を同じように変化させた場合に、再生光の角度と波長がそれぞれどのように変化するかを示している。尚、反射型体積ホログラム８の回転に同期して、光電変換素子１０も回転する際に、図５に示した角度と合わせる必要がある。
入射した光Ａのラマン波長（表１参照）が複数波長を含む場合、ホログラムを回転して入射角度を変えると、屈折率分布構造８ａの回折作用により、図４に示された波長のみが選択的に、図５に示された角度で回折反射され、再生光Cとなり、特定のガスＧＳを検知できる。その他の波長は回折されずに透過する。尚、前述の様に一部の光は表面反射するが、それは両方の波長が含まれる。例えばＨ2Ｓの場合、図４と図５より、入射角度が４５°の時に、ラマン散乱光４５２．９ｎｍが、再生光出射角度-５６°に検知される。但し、図２において反射型体積ホログラム８の表面８ｂの法線方向を０°としたときに、入射する光Ａ側を正とし、それと反対側を負とする。
この現象を利用して、アクチュエータ制御部２８によってアクチュエータ１２を駆動して、筐体１１の揺動角を予め所与の値に設定することで、検知対象ガスＧＳのラマン散乱光である再生光Ｃを特定方向に向けて出射させることができる。
この特定方向に出射させた再生光Ｃをレンズ９で集光し、光電変換素子１０に入射させることで、検知対象ガスＧＳを検知することができ、このときの反射型体積ホログラム８の回転角度に基づいて検知したガスＧＳの種類を特定することができる。明らかであるが、検査位置にレーザー光を照射したまま、アクチュエータ１２を駆動することで筐体１１を漸次揺動させれば、反射型体積ホログラム８の表面８ｂに入射する光Ａの入射角が漸次変更されるから、表１に示す任意のガスＧＳが存在すれば、そのラマン散乱光を光電変換素子１０で検出（スイープ）できることとなる。
光電変換素子１０で光電変換された後、出力された電気信号は、Ａ／Ｄ変換器２１によってデジタル画像信号に変換された後、信号処理部２２において、時間毎に取得した信号を結合されて信号情報となり、生成された信号情報はバッファ２３に記憶される。更にバッファ２３に記憶された信号情報を用いて、表示信号生成部２４が表示用の信号情報を生成し、これに基づきモニター２５が検出位置と共に画像を表示する。このとき、検知対象となるガスが検出された場合、アラームなどを表示することもできる。
本実施形態によれば、モニター２５を遠隔地に配置することで、遠隔地からも高精度に特定ガスの検出が可能となる。ガス検知装置１は比較的小型であるから、ユーザーが携帯して種々の場所に設置できる。
本発明は、明細書に記載の実施形態に限定されるものではなく、他の実施形態・変形例を含むことは、本明細書に記載された実施形態や技術思想から本分野の当業者にとって明らかである。明細書の記載及び実施形態は、あくまでも例証を目的としており、本発明の範囲は後述するクレームによって示されている。例えばガス検知装置１を収容したケースの水平角と仰角を変化させることで、２次元的な走査を行うことが出来、更に対物レンズ２を調整することで奥行き方向を、対象空間のガス検知を３次元で行うことができる。
１ ガス検知装置
２ 対物レンズ
３ ダイクロイックミラー
４ レンズ
５ レーザー光源
６ ピンホール
７ コリメートレンズ
８ 反射型体積ホログラム
８ａ 屈折率分布構造
８ｂ 表面
９ 集光レンズ
１０ 光電変換素子
１１ 筐体
１２ アクチュエータ
２０ 処理装置
２１ Ａ／Ｄ変換器
２２ 信号処理部
２３ バッファ
２４ 表示信号生成部
２５ モニター
２６ 観察条件設定部
２７ 光電変換素子制御部
２８ アクチュエータ制御部
２９ レーザー光源制御部
２ 対物レンズ
３ ダイクロイックミラー
４ レンズ
５ レーザー光源
６ ピンホール
７ コリメートレンズ
８ 反射型体積ホログラム
８ａ 屈折率分布構造
８ｂ 表面
９ 集光レンズ
１０ 光電変換素子
１１ 筐体
１２ アクチュエータ
２０ 処理装置
２１ Ａ／Ｄ変換器
２２ 信号処理部
２３ バッファ
２４ 表示信号生成部
２５ モニター
２６ 観察条件設定部
２７ 光電変換素子制御部
２８ アクチュエータ制御部
２９ レーザー光源制御部
Claims (3)
- 対象空間に存在するガスに対してレーザー光を照射するレーザー光源と、
前記レーザー光源を照射された前記ガスから出射されたラマン散乱光の一部を集光する集光光学系と、
該集光光学系により集光された光を通過するピンホールと、
前記ピンホールを通過した光を平行光に変換するコリメートレンズと、
前記コリメートレンズから出射した平行光を入射する反射型体積ホログラムと、
該反射型体積ホログラムにより選択的に反射された特定波長の光を電気信号に変換する光電変換素子と、を有し、
前記反射型体積ホログラムは、表面に対して傾いた屈折率分布構造を内部に形成しており、前記反射型体積ホログラムに入射した光は、その表面で反射される正反射光と、前記屈折率分布構造により回折される前記特定波長の光とに分離されるガス検知装置。 - 前記反射型体積ホログラムと前記光電変換素子とを一体的に移動させる可動機構を有する請求項１に記載のガス検知装置。
- 前記対象空間に対するレーザー光の集光位置を変更するフォーカス機構を有する請求項１又は２に記載のガス検知装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2017-103383 | 2017-05-25 | ||
| JP2017103383 | 2017-05-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| WO2018216383A1 true WO2018216383A1 (ja) | 2018-11-29 |
Family
ID=64396610
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| PCT/JP2018/015216 WO2018216383A1 (ja) | 2017-05-25 | 2018-04-11 | ガス検知装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| WO (1) | WO2018216383A1 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2018
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