WO2018185998A1 - 吸着仮固定シートおよびその製造方法 - Google Patents

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temporary fixing
fixing sheet
separator
silicon chip
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亮 伊関
充宏 金田
和通 加藤
英幸 徳山
Kohei DOI (土井 浩平)
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日東電工株式会社
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Definitions

  • the present invention relates to an adsorption temporary fixing sheet. Moreover, this invention relates to the manufacturing method of an adsorption
  • an adhesive foam sheet As an anti-slip sheet for furniture and home appliances, a carpet backing material, and a sheet that can be attached and fixed to an automobile interior material and can be easily peeled off, an adhesive foam sheet has been used.
  • foam sheet having adsorptivity materials such as acrylic and rubber are mainly used (for example, Patent Document 1), but since emulsion-based materials are mainstream, removability is excellent. However, the water resistance is poor, and washing with water when soiled causes water absorption and swelling, resulting in a decrease in adsorbability.
  • various metal films and ITO films are deposited on various film substrates (polyimide, PET, PEN, etc.), glass, and Si substrates, sputter deposition, and pattern formation processing.
  • a material that temporarily fixes the substrate and the fixing base is used.
  • a detachable adhesive tape is used.
  • an adhesive tape at present, a tape that foams and peels off by heating, a cooling release tape that peels off at a low temperature, a weakly adhesive acrylic-based or silicone-based double-sided tape, and the like can be given.
  • silicone foam has been reported as a foam material that is lightweight, excellent in heat resistance and weather resistance, and having low thermal conductivity.
  • a silicone resin foam containing a cured silicone resin and a plurality of particles having cavities therein dispersed in the cured silicone resin for example, Patent Document 2
  • a silicone foam sheet for example, Patent Document 3
  • the cells are dense, the cell size is highly uniform, the cell shape is good, and the closed cell ratio is high, has been reported.
  • the suction temporarily fixed sheet has a sufficient shear adhesive force in the same direction as the surface of the suction temporarily fixed sheet, and is weak in a direction substantially perpendicular to the surface of the suction temporarily fixed sheet. It may be required to have adhesive strength. In such a case, for example, when the member is placed on the surface of the suction temporary fixing sheet arranged in the horizontal direction, the member is required to be firmly fixed in the lateral direction. There are cases where it is required to be able to easily peel off when picking up in the upward direction.
  • An object of the present invention is to provide an adsorption temporary fixing sheet having a sufficient shear adhesive force in the same direction as the surface and a weak adhesive force in a direction perpendicular to the surface. Moreover, it is providing the manufacturing method of such an adsorption
  • the adsorption temporary fixing sheet of the present invention is Adsorption temporary fixing sheet having a foam layer having an open cell structure
  • the silicon chip vertical adhesive force after 20 hours at ⁇ 40 ° C. on the surface of the foam layer is V1 (N / 1 cm ⁇ )
  • the silicon chip vertical adhesive force after 20 hours at 23 ° C. is V2 (N / 1 cm ⁇ ).
  • the silicon chip vertical adhesive force after 20 hours at 125 ° C. is V3 (N / 1 cm ⁇ )
  • the silicon chip shear adhesion after 20 hours at ⁇ 40 ° C. on the surface of the foam layer is H1 (N / 1 cm ⁇ )
  • the silicon chip vertical adhesive force is obtained by fixing the surface opposite to the evaluation surface of the adsorption temporary fixing sheet on a smooth stainless steel plate with a silicone adhesive tape, grinding it with a grinder (DFG 8560, manufactured by DISCO Corporation), and dicing saw (DISCO The grinding surface of 300 ⁇ m thick silicon chips separated into 1cm square by DFD6450) is bonded to the adsorption temporary fixing sheet by reciprocating a 2kg roller, and bonded at -40 ° C, 23 ° C and 125 ° C for 20 hours.
  • the silicon chip shear adhesive strength is fixed on the smooth stainless steel plate with the silicone adhesive tape on the surface opposite to the evaluation surface of the adsorption temporary fixing sheet, ground with a grinder (manufactured by DISCO, DFG8560), and dicing saw (DISCO). Manufactured by DFD6450), and the ground surface of a 300 ⁇ m thick silicon chip separated into 1 cm ⁇ pieces was pasted onto the suction temporarily fixed sheet by reciprocating a 2 kg roller and cured at ⁇ 40 ° C., 23 ° C. and 125 ° C. for 20 hours, respectively.
  • the shear adhesive force is measured by allowing the substrate to stand at 23 ° C. for 2 hours and pressing the side surface of the silicon chip at a speed of 1 mm / sec using a force gauge (manufactured by Nidec Sympo Co., Ltd., FGPX-10).
  • the V1 is 5 N / 1 cm ⁇ or less.
  • the H1 is 0.5 N / 1 cm ⁇ or more.
  • the V2 is 6.5 N / 1 cm ⁇ or less.
  • the H2 is 0.6 N / 1 cm ⁇ or more.
  • the V3 is 10 N / 1 cm ⁇ or less.
  • the above H3 is 0.7 N / 1 cm ⁇ or more.
  • the apparent density of the foam layer is 0.15 g / cm 3 to 0.90 g / cm 3 .
  • the arithmetic average surface roughness Ra of the surface of the foam layer is 1 ⁇ m to 10 ⁇ m.
  • the manufacturing method of the adsorption temporary fixing sheet of the present invention is as follows: A method for producing an adsorption temporary fixing sheet having a foam layer having an open cell structure, After coating the resin composition forming the foamed layer on the separator A, placing the separator B on the surface of the coated resin composition opposite to the separator A, and performing thermosetting, Peeling at least one selected from the separator A and the separator B; At least one of the peeled separators is a separator having a surface with an arithmetic average surface roughness Ra of 0.1 ⁇ m to 5 ⁇ m.
  • an adsorption temporary fixing sheet having a sufficient shear adhesive force in the same direction as the surface and a weak adhesive force in a direction perpendicular to the surface. Moreover, the manufacturing method of such an adsorption temporary fixing sheet can be provided.
  • the adsorption temporary fixing sheet of the present invention is an adsorption temporary fixing sheet having a foam layer having an open cell structure.
  • Examples of the form of the adsorption temporary fixing sheet of the present invention include, for example, a form having a foam layer in the whole sheet, a form having a foam layer in a part of the sheet, and at least one of the outermost layers of the sheet is the foam layer. There are some forms.
  • a separator may be adhered to the surface of the foam layer until, for example, it is used.
  • a separator does not function as a support, it is preferably peeled off from the surface of the foamed layer before the member to be temporarily fixed is placed on the adsorption temporary fixing sheet of the present invention.
  • the adsorption temporary fixing sheet of the present invention can be temporarily fixed by adhering the adherend without biting air bubbles, because the foam layer contained therein has an open cell structure.
  • the adsorption temporary fixing sheet of the present invention has a silicon chip vertical adhesive force of V1 (N / 1cm ⁇ ) after 20 hours at ⁇ 40 ° C. and 20 hours after 23 hours at 23 ° C.
  • the adhesive strength was V2 (N / 1 cm ⁇ )
  • the silicon chip vertical adhesive strength after 20 hours at 125 ° C. was V3 (N / 1 cm ⁇ )
  • the surface of the foam layer contained therein was ⁇ 40 ° C. after 20 hours.
  • the silicon chip shear adhesive strength is H1 (N / 1 cm ⁇ )
  • the silicon chip shear adhesive strength after 20 hours at 23 ° C. is H2 (N / 1 cm ⁇ )
  • the adsorption temporary fixing sheet of the present invention can have sufficient shear adhesive force in the same direction as the surface, and On the other hand, it may have a weak adhesive force in the vertical direction.
  • the adsorption temporary fixing sheet of the present invention has a silicon chip vertical adhesive force ⁇ silicon chip shearing after 20 hours at ⁇ 40 ° C., 20 hours at 23 ° C., and 20 hours at 125 ° C. Since it has an adhesive force, preferably, in a wide temperature range from a low temperature to a high temperature, it can have a sufficient shear adhesive force in the same direction as the surface and a weak adhesive force in a direction perpendicular to the surface. Can have.
  • the silicon chip vertical adhesive force is fixed on the smooth stainless steel plate with the silicone adhesive tape on the opposite side of the adsorption temporary fixing sheet, ground with a grinder (Disco, DFG8560), and dicing saw (Disco, A silicon chip ground surface of 300 ⁇ m in thickness divided into 1 cm ⁇ by DFD6450) was attached to the adsorption temporary fixing sheet by reciprocating a 2 kg roller once, and cured at ⁇ 40 ° C., 23 ° C. and 125 ° C. for 20 hours, Standing at 23 ° C. for 2 hours, using a servo pulsar (manufactured by Shimadzu Corporation, controller 4890, load cell MMT-250N) with a double-sided tape (Nitto Denko Corporation, No.
  • a servo pulsar manufactured by Shimadzu Corporation, controller 4890, load cell MMT-250N
  • the silicon chip shearing adhesive force is fixed on the smooth stainless steel plate with the silicone adhesive tape on the opposite side of the adsorption temporary fixing sheet, ground with a grinder (Disco, DFG8560), and a dicing saw (Disco, A silicon chip ground surface of 300 ⁇ m in thickness divided into 1 cm ⁇ by DFD6450) was attached to the adsorption temporary fixing sheet by reciprocating a 2 kg roller once, and cured at ⁇ 40 ° C., 23 ° C. and 125 ° C. for 20 hours, This is a shear adhesive force measured by allowing to stand at 23 ° C. for 2 hours and pressing the side surface of the silicon chip at a speed of 1 mm / sec using a force gauge (manufactured by Nidec Sympo, FGPX-10).
  • V1 (silicon chip vertical adhesive force after 20 hours at ⁇ 40 ° C. on the surface of the foam layer) is preferably 5 N / 1 cm ⁇ or less, more preferably 0.1 N / 1 cm ⁇ to 4.5 N / 1 cm ⁇ . More preferably, it is 0.2 N / 1 cm ⁇ to 4 N / 1 cm ⁇ , and particularly preferably 0.3 N / 1 cm ⁇ to 3.5 N / 1 cm ⁇ .
  • the temporary adsorbing sheet of the present invention can temporarily fix the member to be temporarily adsorbed and has a weaker adhesive force in the direction perpendicular to the surface in the low temperature range. Can have.
  • H1 (silicon chip shear adhesive strength after 20 hours at ⁇ 40 ° C. on the surface of the foam layer) is preferably 0.5 N / 1 cm ⁇ or more, more preferably 0.7 N / 1 cm ⁇ to 40 N / 1 cm ⁇ . More preferably 0.8 N / 1 cm ⁇ to 35 N / 1 cm ⁇ , and particularly preferably 0.9 N / 1 cm ⁇ to 30 N / 1 cm ⁇ .
  • the temporary adsorbing sheet of the present invention can temporarily fix the member to be temporarily adsorbed, and more shear in the same direction as the surface in the low temperature range. Can have adhesive strength.
  • V2 (silicon chip vertical adhesive force after 20 hours at 23 ° C. on the surface of the foam layer) is preferably 6.5 N / 1 cm ⁇ or less, more preferably 0.1 N / 1 cm ⁇ to 5.5 N / 1 cm ⁇ . More preferably, it is 0.2 N / 1 cm ⁇ to 5 N / 1 cm ⁇ , and particularly preferably 0.3 N / 1 cm ⁇ to 4.5 N / 1 cm ⁇ .
  • the temporary adsorbing sheet of the present invention can temporarily fix the member to be temporarily adsorbed, and has weaker adhesion in the vertical direction to the surface in the temperature region near room temperature. Can have power.
  • H2 silicon chip shear adhesion after 20 hours at 23 ° C. on the surface of the foamed layer
  • H2 is preferably 0.6 N / 1 cm ⁇ or more, more preferably 0.7 N / 1 cm ⁇ to 40 N / 1 cm ⁇ . More preferably, it is 0.8 N / 1 cm ⁇ to 35 N / 1 cm ⁇ , and particularly preferably 0.9 N / 1 cm ⁇ to 30 N / 1 cm ⁇ .
  • the temporary adsorbing sheet of the present invention can temporarily fix the member to be temporarily adsorbed, and more sufficiently in the same direction as the surface in the temperature region near room temperature. It can have shear adhesion.
  • V3 (silicon chip vertical adhesive force after 20 hours at 125 ° C. on the surface of the foamed layer) is preferably 10 N / 1 cm ⁇ or less, more preferably 0.1 N / 1 cm ⁇ to 9.6 N / 1 cm ⁇ . More preferably, it is 0.2 N / 1 cm ⁇ to 9.2 N / 1 cm ⁇ , and particularly preferably 0.3 N / 1 cm ⁇ to 8.8 N / 1 cm ⁇ .
  • the temporary adsorbing sheet of the present invention can temporarily fix the member to be temporarily adsorbed and has a weaker adhesive force in a direction perpendicular to the surface in a high temperature range. Can have.
  • H3 (silicon chip shear adhesive force after 20 hours at 125 ° C. on the surface of the foamed layer) is preferably 0.7 N / 1 cm ⁇ or more, more preferably 0.8 N / 1 cm ⁇ to 40 N / 1 cm ⁇ . More preferably, it is 0.9 N / 1 cm ⁇ to 35 N / 1 cm ⁇ , and particularly preferably 1 N / 1 cm ⁇ to 30 N / 1 cm ⁇ .
  • the temporary adsorbing sheet of the present invention can temporarily fix the member to be temporarily adsorbed, and in the high temperature range, the shear is more sufficient in the same direction as the surface. Can have adhesive strength.
  • the thickness of the foam layer any appropriate thickness can be adopted depending on the purpose.
  • the thickness of the foamed layer is preferably 10 ⁇ m to 3500 ⁇ m, more preferably 20 ⁇ m to 2500 ⁇ m, still more preferably 30 ⁇ m to 1500 ⁇ m, particularly preferably 40 ⁇ m to 950 ⁇ m, and most preferably 50 ⁇ m to 800 ⁇ m. Even if the thickness of the foam layer is so thin, the adsorption temporary fixing sheet of the present invention can exhibit excellent temporary fixing properties.
  • the foamed layer preferably has cells (spherical bubbles).
  • the cells may not be strictly true spherical bubbles, and may be, for example, partially spherical bubbles that are partially distorted or bubbles that are formed from a space having a large strain.
  • the foam layer preferably has an open cell structure. That is, the foam layer preferably includes an open cell structure having a through hole between adjacent cells.
  • the foam layer has an open cell ratio of preferably 90% or more, more preferably 90% to 100%, still more preferably 92% to 100%, still more preferably 95% to 100%, Particularly preferred is 99% to 100%, and most preferred is substantially 100%. If the open cell ratio of the foamed layer is in the above range, coupled with other features of the foamed layer, it is possible to express better air bubble removal properties, and the adherend is bonded and temporarily fixed without biting more air bubbles. When releasing the temporary fixation, it can be peeled off more easily without adhesive residue. Moreover, even if the thickness of the foam layer is reduced, the expression of these effects can be further maintained.
  • bubble partial volume is calculated by the following equation, for example.
  • the resin density is a value obtained by measuring the density of a resin molded product prepared by removing the emulsifier in the resin forming the foamed layer.
  • Bubble partial volume (cm 3 ) ⁇ (mass of foam (foamed sheet)) / (apparent density of foam (foamed sheet)) ⁇ ⁇ ⁇ (mass of foam (foamed sheet)) / (resin density) ⁇
  • the foam layer has an average cell diameter of preferably 1 ⁇ m to 200 ⁇ m, more preferably 1.5 ⁇ m to 180 ⁇ m, still more preferably 2 ⁇ m to 170 ⁇ m, particularly preferably 2.5 ⁇ m to 160 ⁇ m, and most preferably. Is 3 ⁇ m to 150 ⁇ m.
  • the average cell diameter is in the above range, combined with the other features of the foam layer, it can exhibit better air bubble removal properties, and the adherend is bonded and temporarily fixed without biting more air bubbles. When releasing the temporary fixation, it can be peeled off more easily without adhesive residue. Moreover, even if the thickness of the foam layer is reduced, the expression of these effects can be further maintained.
  • the foam layer preferably has a cell diameter of 90% or more of all cells of 300 ⁇ m or less, more preferably a cell diameter of 92% or more of all cells is 300 ⁇ m or less, and more preferably 95% of all cells.
  • the above cell diameter is 300 ⁇ m or less, particularly preferably 97% or more of all cells have a cell diameter of 300 ⁇ m or less, and most preferably substantially 100% of all cells have a cell diameter of 300 ⁇ m or less.
  • the foam layer is more preferably 90% or more of all cells having a cell diameter of 250 ⁇ m or less, more preferably 90% or more of all cells having a cell diameter of 200 ⁇ m or less, and particularly preferably all cells.
  • 90% or more of the cell diameter is 180 ⁇ m or less, and most preferably 90% or more of all the cells have a cell diameter of 150 ⁇ m or less. If the ratio of the cell diameter of 300 ⁇ m or less or the cell diameter of 90% or more of all the cells is in the above range in the foamed layer, combined with other characteristics of the foamed layer, it is possible to express superior air bubble removal properties, and even more bubbles
  • the adherend can be bonded and temporarily fixed without biting, and when releasing the temporary fixation, it can be peeled off more easily without adhesive residue. Moreover, even if the thickness of the foam layer is reduced, the expression of these effects can be further maintained.
  • the foamed layer has a maximum cell diameter in all cells of preferably 300 ⁇ m or less, more preferably 250 ⁇ m or less, further preferably 200 ⁇ m or less, particularly preferably 180 ⁇ m or less, and most preferably 150 ⁇ m or less. is there.
  • the maximum cell diameter in all the cells is in the above range, combined with other features of the foam layer, it can express better air bubble removal properties, and adhere the adherend without biting more air bubbles. They can be temporarily fixed together, and when releasing the temporary fixing, they can be peeled off more easily without adhesive residue. Moreover, even if the thickness of the foam layer is reduced, the expression of these effects can be further maintained.
  • the foam layer has a minimum cell diameter in all cells of preferably 100 ⁇ m or less, more preferably 80 ⁇ m or less, further preferably 70 ⁇ m or less, particularly preferably 60 ⁇ m or less, and most preferably 50 ⁇ m or less. is there.
  • the minimum cell diameter in all cells is within the above range, combined with other features of the foam layer, it is possible to express better air bubble removal properties and attach the adherend without biting more air bubbles. They can be temporarily fixed together, and when releasing the temporary fixing, they can be peeled off more easily without adhesive residue. Moreover, even if the thickness of the foam layer is reduced, the expression of these effects can be further maintained.
  • the foamed layer preferably has an open cell structure, and preferably, the cell diameter is fine as described above, so that excellent air bubble removal can be expressed without entraining air bubbles.
  • the adherend can be bonded and temporarily fixed, and when releasing the temporary fixing, it can be peeled off without any adhesive residue, which is suitable for the adsorption temporary fixing sheet.
  • the average cell diameter is obtained, for example, by capturing an enlarged image of the foam layer cross section with a low vacuum scanning electron microscope (“S-3400N scanning electron microscope”, manufactured by Hitachi High-Tech Science Systems) and analyzing the image. Can do.
  • the number of cells to be analyzed is 20 for example.
  • the minimum cell diameter ( ⁇ m) and the maximum cell diameter ( ⁇ m) can be obtained.
  • the foam layer preferably has a surface opening.
  • the surface opening referred to here means an opening having an average pore diameter of a certain size, existing on the surface of the foam layer. Since the foam layer has a surface opening, the adsorbing temporary fixing sheet of the present invention can bond and temporarily fix the adherend without biting more bubbles, and the adhesive remains when releasing the temporary fixing. And can be removed more easily. This is presumed to be because the surface opening works as an appropriate suction cup, whereby the adsorption temporary fixing sheet of the present invention having a foamed layer can exhibit the excellent temporary fixing properties as described above.
  • the opening ratio of the surface opening is preferably 1% to 99%, more preferably 2% to 95%, still more preferably 3% to 90%, and particularly preferably 4% to 85%. Most preferably, it is 5% to 80%. If the opening ratio of the surface opening is within the above range, the adsorption temporary fixing sheet of the present invention can be temporarily fixed by adhering the adherend without biting more bubbles, and when releasing the temporary fixing It can be removed more easily with no adhesive residue.
  • the average pore diameter of the surface opening is preferably 150 ⁇ m or less, more preferably 0.5 ⁇ m to 145 ⁇ m, still more preferably 1.0 ⁇ m to 140 ⁇ m, particularly preferably 1.5 ⁇ m to 135 ⁇ m, and most preferably. Is 2.0 ⁇ m to 130 ⁇ m. If the average pore diameter of the surface opening is in the above range, the adsorption temporary fixing sheet of the present invention can be temporarily fixed by adhering the adherend without biting air bubbles, and when temporary fixing is released. It can be removed more easily with no adhesive residue.
  • the average pore diameter of the surface opening is obtained by, for example, capturing an enlarged image of the foam layer surface and analyzing the image with a low vacuum scanning electron microscope (“S-3400N scanning electron microscope”, manufactured by Hitachi High-Tech Fielding). Can be sought.
  • the number of holes to be analyzed is 20, for example.
  • the apparent density of the foamed layer is preferably 0.15 g / cm 3 to 0.90 g / cm 3 , more preferably 0.20 g / cm 3 to 0.85 g / cm 3 , and even more preferably 0.25 g. / Cm 3 to 0.80 g / cm 3 , particularly preferably 0.30 g / cm 3 to 0.75 g / cm 3 . If the apparent density of the foamed layer is in the above range, coupled with other features of the foamed layer, the adherend can be bonded and temporarily fixed without biting more air bubbles. It can be removed more easily without any residue. Moreover, even if the thickness of the foam layer is reduced, these effects can be maintained.
  • the foamed layer has an arithmetic average surface roughness Ra of the surface of preferably 0.1 ⁇ m to 10 ⁇ m, more preferably 0.2 ⁇ m to 9 ⁇ m, still more preferably 0.3 ⁇ m to 8.5 ⁇ m, particularly
  • the thickness is preferably 0.4 ⁇ m to 8 ⁇ m. Since the surface of the foam layer has the arithmetic average surface roughness Ra in such a range, the adsorption temporary fixing sheet of the present invention has a sufficient shear adhesive force in the same direction as the surface, Therefore, it can have a weaker adhesive force in the vertical direction.
  • a separator may be attached to the surface of the foam layer until it is used.
  • a separator does not function as a support, it is preferably peeled off from the surface of the foamed layer before the member to be temporarily fixed is placed on the adsorption temporary fixing sheet of the present invention.
  • the thickness of the separator is preferably 1 ⁇ m to 500 ⁇ m, more preferably 3 ⁇ m to 450 ⁇ m, still more preferably 5 ⁇ m to 400 ⁇ m, and particularly preferably 10 ⁇ m to 300 ⁇ m.
  • separator examples include paper, plastic film, polytetrafluoroethylene (PTFE) film, and plastic film whose surface is treated with silicone or fluorinated silicone.
  • PTFE polytetrafluoroethylene
  • plastic film examples include polyethylene film, polypropylene film, polybutene film, polybutadiene film, polymethylpentene film, polyvinyl chloride film, vinyl chloride copolymer film, polyethylene terephthalate film, polybutylene terephthalate film, polyethylene naphthalate film, Examples include polyurethane films, ethylene-vinyl acetate copolymer films, polyimide films, polyamide (nylon) films, and aromatic polyamide (aramid) films.
  • a plastic film that has not been subjected to surface treatment such as silicone treatment or fluorinated silicone treatment is adhered to at least one surface of the foamed layer as a separator in terms of allowing the effects of the present invention to be more manifested.
  • a separator is particularly preferably a polyethylene terephthalate (PET) film that has not been subjected to surface treatment such as silicone treatment or fluorosilicone treatment.
  • the arithmetic average surface roughness Ra of the surface is preferably 0.1 ⁇ m to 5 ⁇ m, more preferably 0.15 ⁇ m to 4.5 ⁇ m, and further preferably 0.2 ⁇ m to 4 ⁇ m. Particularly preferably, the thickness is 0.22 ⁇ m to 3.5 ⁇ m.
  • a support is provided on one surface side of the foam layer.
  • a separator may be adhered to the other surface of the foam layer until, for example, it is used.
  • Such a separator is preferably a separator having an arithmetic average surface roughness Ra of 0.1 ⁇ m to 5 ⁇ m as described above.
  • an adhesive layer is provided on one surface side of the foam layer.
  • a separator may be adhered to the other surface of the foam layer and the other surface of the pressure-sensitive adhesive layer, for example, until use.
  • the separator adhered to the other surface of the foamed layer is preferably a separator having an arithmetic average surface roughness Ra of 0.1 ⁇ m to 5 ⁇ m as described above. is there.
  • the support has a support on one surface side of the foam layer, and further has an adhesive layer on the surface of the support opposite to the foam layer. That is, it is a form of a foam layer / support / adhesive layer.
  • a separator may be adhered to the other surface of the foam layer and the other surface of the pressure-sensitive adhesive layer, for example, until use.
  • the separator adhered to the other surface of the foamed layer is preferably a separator having an arithmetic average surface roughness Ra of 0.1 ⁇ m to 5 ⁇ m as described above. is there.
  • the support has a support on one surface side of the foam layer, and further has a foam layer on the surface opposite to the foam layer of the support. That is, it is in the form of foam layer / support / foam layer.
  • a separator may be adhered to the other surface of the foamed layer, for example, until used.
  • Such a separator is preferably a separator having an arithmetic average surface roughness Ra of 0.1 ⁇ m to 5 ⁇ m as described above.
  • any appropriate support can be adopted as long as it can support the foam layer.
  • a support include plastic film, sheet, tape, paper, nonwoven fabric, metal foil, metal mesh, glass, glass cloth, and the like.
  • the support may be a single layer or two or more layers.
  • a primer such as a silane coupling agent to the support surface, or to perform a surface treatment such as a corona treatment or a plasma treatment.
  • plastic film examples include polyethylene film, polypropylene film, polybutene film, polybutadiene film, polymethylpentene film, polyvinyl chloride film, vinyl chloride copolymer film, polyethylene terephthalate film, polybutylene terephthalate film, polyethylene naphthalate film, Examples include polyurethane films, ethylene-vinyl acetate copolymer films, polyimide films, polyamide (nylon) films, and aromatic polyamide (aramid) films.
  • the pressure-sensitive adhesive layer a layer made of any appropriate pressure-sensitive adhesive can be adopted.
  • adhesives include rubber adhesives (synthetic rubber adhesives, natural rubber adhesives, etc.), urethane adhesives, acrylic urethane adhesives, acrylic adhesives, silicone adhesives, Examples thereof include polyester adhesives, polyamide adhesives, epoxy adhesives, vinyl alkyl ether adhesives, and fluorine adhesives.
  • Such an adhesive may be only 1 type, and 2 or more types may be sufficient as it.
  • the pressure-sensitive adhesive layer may be a single layer or two or more layers.
  • the pressure-sensitive adhesives are classified according to pressure-sensitive adhesive forms, for example, emulsion-type pressure-sensitive adhesives, solvent-type pressure-sensitive adhesives, UV-crosslinked (UV-crosslinked) pressure-sensitive adhesives, electron beam-crosslinked (EB-crosslinked) pressure-sensitive adhesives, and hot-melt pressure-sensitive adhesives Agent (hot melt adhesive).
  • pressure-sensitive adhesive forms for example, emulsion-type pressure-sensitive adhesives, solvent-type pressure-sensitive adhesives, UV-crosslinked (UV-crosslinked) pressure-sensitive adhesives, electron beam-crosslinked (EB-crosslinked) pressure-sensitive adhesives, and hot-melt pressure-sensitive adhesives Agent (hot melt adhesive).
  • pressure-sensitive adhesive forms for example, emulsion-type pressure-sensitive adhesives, solvent-type pressure-sensitive adhesives, UV-crosslinked (UV-crosslinked) pressure-sensitive adhesives, electron beam-crosslinked (EB-crosslinked) pressure-sensitive adhesives, and hot-melt pressure-sensitive adhesives Agent (hot melt adhesive).
  • Such an adhesive
  • any appropriate foamed layer can be adopted as long as the effects of the present invention are not impaired.
  • a foam layer include a silicone foam layer and an acrylic foam layer.
  • One embodiment of the foam layer is a silicone foam layer.
  • the silicone foam layer is preferably formed by thermal curing of a silicone resin composition.
  • the silicone resin composition is preferably as follows.
  • the mass ratio of the component (D-1) to the component is at least 1) 0.1 parts by mass to 15 parts by mass,
  • Component (A) is an organopolysiloxane having at least two alkenyl groups in one molecule and is the main component of the present composition.
  • an alkenyl group in a component a vinyl group, an allyl group, and a hexenyl group are illustrated, Preferably it is a vinyl group.
  • the silicon-bonded organic group other than the alkenyl group in component (A) includes methyl groups, ethyl groups, propyl groups, butyl groups, pentyl groups, hexyl groups and other alkyl groups; phenyl groups, tolyl groups, xylyl groups.
  • Aryl groups such as benzyl groups, phenethyl groups and the like; halogen-substituted alkyl groups such as 3,3,3-trifluoropropyl groups and the like, and methyl groups are preferred.
  • the component (A) is dimethylvinylsiloxy group-capped dimethylpolysiloxane, dimethylvinylsiloxy group-capped dimethylsiloxane / methylphenylsiloxane copolymer, trimethylsiloxy group-capped methylvinylpolysiloxane, trimethylsiloxy group-capped dimethylsiloxane.
  • -A methyl vinyl siloxane copolymer and a trimethylsiloxy group-blocked dimethyl siloxane-methyl vinyl siloxane-methyl phenyl siloxane copolymer are exemplified, and a diorganopolysiloxane having a substantially linear main chain is preferable.
  • Component (B) is an organopolysiloxane having at least two silicon-bonded hydrogen atoms in one molecule, and is a crosslinking agent for the present composition.
  • the bonding position of silicon atom-bonded hydrogen atoms in component (B) is not limited, and examples include molecular chain terminals and / or molecular chain side chains.
  • Examples of silicon-bonded organic groups other than hydrogen atoms in the component include alkyl groups such as methyl group, ethyl group, propyl group, butyl group, pentyl group, hexyl group; phenyl group, tolyl group, xylyl group, etc.
  • Aryl groups; aralkyl groups such as benzyl group and phenethyl group; halogen-substituted alkyl groups such as 3,3,3-trifluoropropyl group and the like are exemplified, and a methyl group is preferable.
  • component (B) examples include dimethylhydrogensiloxy group-capped dimethylpolysiloxane, dimethylhydrogensiloxy group-capped dimethylsiloxane / methylhydrogensiloxane copolymer, trimethylsiloxy group-capped methylhydrogenpolysiloxane, and trimethylsiloxy group.
  • Blocked dimethylsiloxane / methylhydrogensiloxane copolymer represented by (CH 3 ) 3 SiO 1/2 siloxane unit, H (CH 3 ) 2 SiO 1/2 siloxane unit and SiO 4/2
  • organopolysiloxanes composed of siloxane units, preferably linear organopolysiloxanes.
  • the content of the component (B) is such that the silicon atom-bonded hydrogen atom in the component (B) is within the range of 0.4 to 20 mol with respect to 1 mol of the alkenyl group in the component (A).
  • the amount is preferably in the range of 1.5 to 20 mol, and more preferably in the range of 1.5 to 10 mol. This is because the compression set of the resulting silicone foam sheet is improved when the number of moles of silicon-bonded hydrogen in the component (B) is within the above range.
  • Component (C) is a mixture composed of water and an inorganic thickener. By removing water in component (C) from a silicone rubber obtained by crosslinking the composition, a silicone rubber sponge is obtained. It is an ingredient. Since the component (C) is stably dispersed in the component (A), the water in the component (C) is preferably ion-exchanged water.
  • the inorganic thickener in component (C) is added to increase the viscosity of water, to easily disperse component (C) in component (A), and to stabilize the dispersion state of component (C).
  • These inorganic thickeners include natural or synthetic ones, such as natural or synthetic smectite clays such as bentonite, montmorillonite, hectorite, saponite, sauconite, beidellite and nontronite; aluminum magnesium silicate; and A composite product with a water-soluble organic polymer such as carboxyvinyl polymer is exemplified, and a smectite clay such as bentonite and montmorillonite is preferable.
  • smectite clay for example, smecton SA (manufactured by Kunimine Kogyo Co., Ltd.) which is a hydrothermally synthesized product and Bengel (manufactured by Hojun Co., Ltd.) which is a natural refined product are available.
  • the pH of these smectite clays is preferably in the range of pH 5.0 to 9.0 from the viewpoint of maintaining the heat resistance of the silicone rubber sponge.
  • the content of the inorganic thickener in the component (C) is preferably in the range of 0.1 to 10 parts by mass, more preferably 0.5 parts by mass with respect to 100 parts by mass of water. Part to 5 parts by mass.
  • the content of component (C) is in the range of 100 parts by weight to 1000 parts by weight, preferably in the range of 100 parts by weight to 800 parts by weight, more preferably 100 parts by weight of component (A).
  • the range is from 100 parts by weight to 500 parts by weight, more preferably from 200 parts by weight to 500 parts by weight, and particularly preferably from 200 parts by weight to 350 parts by weight. This is because when the content of the component (C) is not less than the lower limit of the above range, a low density silicone foam sheet can be formed. On the other hand, when the content is not more than the upper limit of the above range, uniform and fine open cells This is because a silicone foam sheet having a structure can be formed.
  • Component surfactant comprises (D-1) a nonionic surfactant having an HLB value of 3 or more and (D-2) a nonionic surfactant having an HLB value of less than 3.
  • Component surfactant includes glycerin fatty acid ester, polyglycerin fatty acid ester, sorbitan fatty acid ester, sucrose fatty acid ester, polyethylene glycol fatty acid ester, polypropylene glycol fatty acid ester, polyoxyethylene glycerin fatty acid ester, polyoxyethylene sorbitan fatty acid Examples include esters, polyoxyethylene / polyoxypropylene block copolymers, polyoxyethylene alkyl ethers, polyoxyethylene alkyl phenyl ethers, and polyoxyethylene fatty acid amides.
  • the component (D) comprises a component (D-1) and a component (D-2), and the mass ratio of the component (D-1) to the component (D-2) is at least 1, preferably at least 5. More preferably, it is at least 8, more preferably at least 10, and particularly preferably at least 15.
  • the mass ratio of the component (D-1) to the component (D-2) is preferably at most 100, more preferably at most 80, at most 70, and at most 60. Or at most 50.
  • the content of component (D) is in the range of 0.1 to 15 parts by weight, preferably in the range of 0.2 to 3 parts by weight, per 100 parts by weight of component (A). . This is because when the content of the component (D) is not less than the lower limit of the above range, a silicone foam sheet having a uniform and fine open-cell structure can be formed. This is because a silicone foam sheet having excellent heat resistance can be formed.
  • Component (E) is a hydrosilylation reaction catalyst for accelerating the hydrosilylation reaction of the silicone resin composition, and examples thereof include platinum-based catalysts, palladium-based catalysts, and rhodium-based catalysts, preferably platinum-based catalysts.
  • Examples of such component (E) include chloroplatinic acid, alcohol-modified chloroplatinic acid, chloroplatinic acid and olefins, coordination compounds of vinyl siloxane or acetylene compounds, platinum olefins, vinyl siloxane or acetylene compounds.
  • the coordination compound include tetrakis (triphenylphosphine) palladium and chlorotris (triphenylphosphine) rhodium.
  • the content of the component (E) is an amount sufficient to crosslink the silicone resin composition, and specifically, the catalyst in the component (E) with respect to the total amount of the component (A) and the component (B).
  • the amount of the metal in terms of mass is preferably in the range of 0.01 ppm to 500 ppm, more preferably in the range of 0.1 ppm to 100 ppm.
  • a curing retarder may be contained.
  • component (F) include 3-methyl-1-butyn-3-ol, 3,5-dimethyl-1-hexyn-3-ol, 3-phenyl-1-butyn-3-ol, 1- Illustrative are alkyne alcohols such as ethynyl-1-cyclohexanol.
  • the content of the component (F) is appropriately selected according to the method of using the silicone resin composition and the molding method, but is generally 0.001 to 5 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the component (A). Within the range of parts by mass.
  • the silicone resin composition may further contain (G) reinforcing silica fine powder from the viewpoint of improving the strength of the resulting silicone foam sheet.
  • G a silica fine powder having a BET specific surface area of preferably 50 m 2 / g to 350 m 2 / g, more preferably 80 m 2 / g to 250 m 2 / g is preferable.
  • Dosilica and precipitated silica are exemplified. These silica fine powders may be surface-treated with organosilane or the like.
  • the content of the component (G) is at most 20 parts by mass, preferably at most 15 parts by mass, more preferably at most 10 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the component (A). Moreover, it is preferable that content of (G) component is at least 0.1 mass part with respect to 100 mass parts of (A) component.
  • the silicone resin composition may contain a pigment such as carbon black or bengara as long as the object of the present invention is not impaired.
  • the silicone resin composition can be easily produced by uniformly mixing the above-described components or a composition in which various additives are blended with them as necessary, using a known kneading means.
  • the mixer used here include a homomixer, a paddle mixer, a homodisper, a colloid mill, a vacuum mixing and stirring mixer, a rotation and revolution mixer, and the (C) component and the (D) component are sufficient for the (A) component.
  • the (C) component and the (D) component are sufficient for the (A) component.
  • the method for producing an adsorption temporary fixing sheet of the present invention is a method for producing an adsorption temporary fixing sheet having a foam layer having an open-cell structure, wherein the resin composition forming the foam layer is applied onto the separator A, The separator B is placed on the surface of the coated resin composition opposite to the separator A, and after thermosetting, at least one selected from the separator A and the separator B is peeled off, At least one of the peeled separators is a separator having a surface with an arithmetic average surface roughness Ra of 0.1 ⁇ m to 5 ⁇ m.
  • the arithmetic average surface roughness Ra is preferably 0.15 ⁇ m to 4.5 ⁇ m, more preferably 0.2 ⁇ m to 4 ⁇ m, and further preferably 0.22 ⁇ m to 3.5 ⁇ m.
  • the adsorption temporary fixing sheet obtained by the production method of the present invention has a sufficient shear adhesive force in the same direction as the surface.
  • the adhesive force can be weaker in the direction perpendicular to the surface.
  • At least one of the separators to be peeled after thermosetting is a separator having a surface with an arithmetic average surface roughness Ra of 0.1 ⁇ m to 5 ⁇ m.
  • the arithmetic average surface roughness Ra of the surface of the adsorption temporary fixing sheet of the present invention obtained after the peeling is preferably 0.1 ⁇ m to 10 ⁇ m, more preferably 0.2 ⁇ m to 9 ⁇ m, still more preferably 0.3 ⁇ m. To 8.5 ⁇ m, particularly preferably 0.4 ⁇ m to 8 ⁇ m.
  • the adsorption temporary fixing sheet of the present invention obtained after peeling as described above has an arithmetic average surface roughness Ra in such a range
  • the adsorption temporary fixing sheet obtained by the production method of the present invention is It can have more sufficient shear adhesion in the same direction as the surface and weaker adhesion in the direction perpendicular to the surface.
  • Examples of the separator having a surface with an arithmetic average surface roughness Ra of 0.1 ⁇ m to 5 ⁇ m include, for example, paper, plastic film, polytetrafluoroethylene (PTFE) film, and plastic film having a surface treated with silicone or fluorinated silicone. Is mentioned.
  • plastic film examples include polyethylene film, polypropylene film, polybutene film, polybutadiene film, polymethylpentene film, polyvinyl chloride film, vinyl chloride copolymer film, polyethylene terephthalate film, polybutylene terephthalate film, polyethylene naphthalate film, Examples include polyurethane films, ethylene-vinyl acetate copolymer films, polyimide films, polyamide (nylon) films, and aromatic polyamide (aramid) films.
  • silicone treatment and A plastic film not subjected to surface treatment such as fluorosilicone treatment is preferred.
  • Such a separator is particularly preferably a polyethylene terephthalate (PET) film that has not been subjected to surface treatment such as silicone treatment or fluorosilicone treatment.
  • the thickness of separator A or separator B is preferably 1 ⁇ m to 500 ⁇ m, more preferably 3 ⁇ m to 450 ⁇ m, still more preferably 5 ⁇ m to 400 ⁇ m, and particularly preferably 10 ⁇ m to 300 ⁇ m.
  • the foam layer is a silicone foam layer
  • the foamed layer is another foamed layer
  • the following description of the production method may be read, for example, by replacing the silicone resin composition with a composition as a raw material for the other foamed layer.
  • the adsorption temporary fixing sheet manufactured when the foam layer is a silicone foam layer may be referred to as a “silicone foam sheet”.
  • a silicone resin composition containing at least a thermosetting silicone resin and water is applied onto the separator A (hereinafter, this step is referred to as step (1)), A separator B is placed on the surface of the coated silicone resin composition opposite to the separator A (hereinafter, this step is referred to as step (2)), and the silicone resin composition is thermally cured (hereinafter, referred to as “step (2)”).
  • step (3) This step is referred to as step (3)), and at least one selected from the separator A and the separator B is peeled off by heating and drying (hereinafter, this step is referred to as step (4)).
  • at least one of the peeled separators is a separator having a surface with an arithmetic average surface roughness Ra of 0.1 ⁇ m to 5 ⁇ m.
  • a silicone resin composition containing at least a thermosetting silicone resin and water is applied onto the separator A (hereinafter, this step is referred to as step (1)).
  • the separator B is placed on the surface of the coated silicone resin composition opposite to the separator A (hereinafter, this step is referred to as step (2)), and the silicone resin composition is thermally cured ( Hereinafter, this step is referred to as a step (3)), and at least one selected from the separator A and the separator B is peeled off by heating (hereinafter, this step is referred to as a step (4)), and a support.
  • step (5) To form a silicone foam sheet (hereinafter, this step is referred to as step (5)).
  • At least one of the peeled separators is a separator having a surface with an arithmetic average surface roughness Ra of 0.1 ⁇ m to 5 ⁇ m.
  • the support is disposed on the surface of the silicone resin composition that has been heat-cured and heat-dried, opposite to the surface on which the separator having the surface with the arithmetic average surface roughness Ra of 0.1 ⁇ m to 5 ⁇ m is peeled off. Is done.
  • separator A or separator B is used as it is as a support, in order to improve anchoring properties with the foam layer, an undercoat agent such as a silane coupling agent is applied to the surface of separator A or separator B as a support. Or surface treatment such as corona treatment or plasma treatment is preferably performed.
  • separator A or separator B examples of such a separator include plastics and metals that do not have air permeability.
  • a glass sheet or film is preferred.
  • Examples of the material for such sheets and films include olefin-based resins containing ⁇ -olefin as a monomer component such as polyethylene (PE), polypropylene (PP), and ethylene-vinyl acetate copolymer (EVA); polyethylene terephthalate ( PET), polyethylene naphthalate (PEN), polybutylene terephthalate (PBT) and other polyester resins; polyvinyl chloride (PVC); vinyl acetate resins; polyphenylene sulfide (PPS); polyamide (nylon), wholly aromatic polyamide ( Amide resins such as aramid); polyimide resins; polyetheretherketone (PEEK); copper; aluminum; any glass;
  • examples include a polytetrafluoroethylene (PTFE) film, and a release liner in which the surface of a paper or plastic film base material (liner base material) is treated with silicone or fluorosilicone.
  • PE polyethylene
  • PP polypropylene
  • EVA
  • plastic film for example, polyethylene film, polypropylene film, polybutene film, polybutadiene film, polymethylpentene film, polyvinyl chloride film, vinyl chloride copolymer film, polyethylene terephthalate film, polybutylene terephthalate film, examples include polyethylene naphthalate film, polyurethane film, ethylene-vinyl acetate copolymer film, polyimide film, polyamide (nylon) film, aromatic polyamide (aramid) film, and the like.
  • the release liner that can be used as the separator is preferably a polytetrafluoroethylene (PTFE) film, a paper or plastic film substrate (liner substrate) ) Is a release liner whose surface is treated with a fluorinated silicone.
  • PTFE polytetrafluoroethylene
  • liner substrate a paper or plastic film substrate
  • silicone fluoride a silicone fluoride
  • the separator A used in the step (1) and the separator B used in the step (2) may be the same or different. Moreover, the separator A used in the step (1) and the separator B used in the step (2) may each be a single layer or may be composed of two or more layers.
  • the surface shape of the material changes. For example, when a highly hydrophilic separator such as a polyethylene terephthalate (PET) film is used as the separator A or the separator B, there should be many surface openings having a fine diameter on the surface of the silicone resin composition in contact with the separator. Can do.
  • PET polyethylene terephthalate
  • a separator having a high hydrophobicity such as a polyethylene terephthalate (PET) release liner subjected to a silicone fluoride treatment
  • PET polyethylene terephthalate
  • the surface of the silicone resin composition in contact with the separator is fine. A small number of diameter surface openings can be present. Therefore, when it is desired to develop high air permeability and high adsorptivity to the silicone foam sheet, it is preferable to use a separator having high hydrophilicity. If it is desired, it is preferable to use a highly hydrophobic separator. Moreover, when the removability of a silicone foam sheet and a separator is required, it is preferable to use a highly hydrophobic separator.
  • the degree of hydrophilicity / hydrophobicity can be defined by, for example, the contact angle with water.
  • the case where the contact angle with water is less than 90 degrees can be defined as hydrophilic, and the case where the contact angle with water is 90 degrees or more can be defined as hydrophobic.
  • the silicone resin composition is thermally cured.
  • the thermosetting temperature is preferably 50 ° C. or more and less than 100 ° C. in that the silicone resin composition can be efficiently thermoset. If the temperature of thermosetting is less than 50 ° C., it may take too much time for thermosetting. When the temperature of thermosetting is 100 ° C. or higher, the moisture in the silicone resin composition that is sandwiched between the separator A and the separator B and is in a substantially sealed state volatilizes, resulting in coarsening and high density of the formed cells. There is a fear.
  • what is formed from a silicone resin composition by a process (3) shall be called a silicone foam sheet precursor.
  • step (4) a material from which at least one selected from Separator A and Separator B has been peeled is heated and dried.
  • the substantially sealed state in the step (3) is released, and the silicone foam formed in the step (3) is heated and dried in the released state. Water is efficiently volatilized and removed from the sheet precursor, and a silicone foam sheet is obtained.
  • the heat drying temperature in the step (4) is preferably 120 ° C. to 250 ° C. in that a silicone foam sheet can be effectively formed. If the heating and drying temperature in step (4) is less than 120 ° C., drying and curing may take too much time, and a silicone foam sheet having an open cell structure and a fine cell diameter may not be obtained. If the heating and drying temperature in step (4) exceeds 250 ° C, sheet formation may be difficult due to shrinkage or expansion of the substrate.
  • step (5) after step (4), a silicone foam sheet is formed by bonding to a support.
  • test and evaluation method in an Example etc. are as follows. Note that “part” means “part by mass” unless otherwise specified, and “%” means “% by mass” unless otherwise noted.
  • a measurement object for example, a suction temporary fixing sheet
  • the thickness was calculated from the above-described ⁇ thickness measurement> value, and the volume of the measurement object was calculated from these values.
  • the mass of the measurement object was measured with an upper pan balance having a minimum scale of 0.01 g or more. From these values, the apparent density (g / cm 3 ) of the measurement object was calculated.
  • ⁇ Measurement of arithmetic average surface roughness Ra> A 3D image is measured with a 3D measurement laser microscope (EXT OLS4000, Olympus Co., Ltd.) at a setting of high precision and objective lens 10 times, and an arithmetic average roughness Ra is obtained in accordance with JIS B0601 (1994). It was.
  • ⁇ Measurement of silicon chip vertical adhesive force Fix the opposite side of the evaluation surface of the silicone foam sheet on a smooth stainless steel plate with silicone adhesive tape, grind it with a grinder (Disco, DFG8560), and cut it into 1cm square pieces with a dicing saw (Disco, DFD6450).
  • the silicon chip ground surface having a thickness of 300 ⁇ m was bonded to a silicone foam sheet by reciprocating a 2 kg roller once, and cured at ⁇ 40 ° C., 23 ° C. and 125 ° C. for 20 hours, and allowed to stand at 23 ° C. for 2 hours.
  • a load of 0.05 N is applied with a double-sided tape (Nitto Denko, No. 5000NS) attached to the tip of a 20 mm ⁇ adapter.
  • a compression rate of 0.01 N / sec up to the vertical direction of the silicon chip mirror surface
  • the maximum load when compressing the surface opposite to the cut surface and peeling it off at 10 mm / sec was defined as the vertical adhesive force.
  • Example 1 Dimethylpolysiloxane having a vinyl group content of 0.28% by mass: 83.45 parts by mass, methyl hydrogen polysiloxane having a silicon atom-bonded hydrogen atom content of 0.7% by mass: 6.40 parts by mass (in the dimethylpolysiloxane)
  • the amount of silicon atom-bonded hydrogen atoms in the methyl hydrogen polysiloxane is 5 moles per mole of the vinyl group
  • smectite clay aqueous additive, organic polymer composite purified bentonite, manufactured by Hojun Co., Ltd.
  • fumed silica having a BET specific surface area of 225 m 2 / g surface-treated with hexamethyldisilazane: 6.50 parts by mass
  • Bengala trade names: Biferrox, Bayer 2.40 parts by mass, nonionic surfactant (sorbitan fatty acid ester,
  • Example 2 Dimethylpolysiloxane having a vinyl group content of 0.28% by mass: 83.45 parts by mass, methyl hydrogen polysiloxane having a silicon atom-bonded hydrogen atom content of 0.7% by mass: 6.40 parts by mass (in the dimethylpolysiloxane)
  • the amount of silicon atom-bonded hydrogen atoms in the methyl hydrogen polysiloxane is 5 moles per mole of the vinyl group
  • smectite clay aqueous additive, organic polymer composite purified bentonite, manufactured by Hojun Co., Ltd.
  • ion-exchanged water 66.11 parts by mass
  • fumed silica having a BET specific surface area of 225 m 2 / g surface-treated with hexamethyldisilazane: 6.50 parts by mass
  • Bengala trade names: Biferrox, Bayer 2.40 parts by mass, nonionic surfactant (sorbitan fatty acid ester,
  • Example 3 Dimethylpolysiloxane having a vinyl group content of 0.28% by mass: 83.45 parts by mass, methyl hydrogen polysiloxane having a silicon atom-bonded hydrogen atom content of 0.7% by mass: 6.40 parts by mass (in the dimethylpolysiloxane)
  • the amount of silicon atom-bonded hydrogen atoms in the methyl hydrogen polysiloxane is 5 moles per mole of the vinyl group
  • smectite clay aqueous additive, organic polymer composite purified bentonite, manufactured by Hojun Co., Ltd.
  • ion-exchanged water 66.11 parts by mass
  • fumed silica having a BET specific surface area of 225 m 2 / g surface-treated with hexamethyldisilazane: 6.50 parts by mass
  • Bengala trade names: Biferrox, Bayer 2.40 parts by mass
  • nonionic surfactant sorbitan fatty acid ester, trade name: Le
  • the thickness is 200 ⁇ m
  • the apparent density is 0.65 g / cm 3
  • the arithmetic average surface roughness Ra A silicone foam sheet (3) of 4.90 ⁇ m was obtained.
  • Various measurement results and evaluation results for the obtained silicone foam sheet (3) are shown in Table 1.
  • Example 4 Dimethylpolysiloxane having a vinyl group content of 0.28% by mass: 83.45 parts by mass, methyl hydrogen polysiloxane having a silicon atom-bonded hydrogen atom content of 0.7% by mass: 6.40 parts by mass (in the dimethylpolysiloxane)
  • the amount of silicon atom-bonded hydrogen atoms in the methyl hydrogen polysiloxane is 5 moles per mole of the vinyl group
  • smectite clay aqueous additive, organic polymer composite purified bentonite, manufactured by Hojun Co., Ltd.
  • ion-exchanged water 99.16 parts by mass
  • fumed silica having a BET specific surface area of 225 m 2 / g surface-treated with hexamethyldisilazane: 6.50 parts by mass
  • Bengala trade names: Biferrox, Bayer 2.40 parts by mass, nonionic surfactant (sorbitan fatty acid ester, trade name: Leo
  • the adsorption temporary fixing sheet of the present invention can be used as a temporary fixing material in various fields.

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Abstract

表面と同じ方向には十分なせん断接着力を有し、表面に対して垂直方向には弱い接着力を有する、吸着仮固定シートを提供する。また、そのような吸着仮固定シートの製造方法を提供する。　本発明の吸着仮固定シートは、連続気泡構造を備える発泡層を有する吸着仮固定シートであって、該発泡層の表面の、－４０℃で２０時間後のシリコンチップ垂直接着力をＶ１（Ｎ／１ｃｍ□）、２３℃で２０時間後のシリコンチップ垂直接着力をＶ２（Ｎ／１ｃｍ□）、１２５℃で２０時間後のシリコンチップ垂直接着力をＶ３（Ｎ／１ｃｍ□）とし、該発泡層の表面の、－４０℃で２０時間後のシリコンチップせん断接着力をＨ１（Ｎ／１ｃｍ□）、２３℃で２０時間後のシリコンチップせん断接着力をＨ２（Ｎ／１ｃｍ□）、１２５℃で２０時間後のシリコンチップせん断接着力をＨ３（Ｎ／１ｃｍ□）としたとき、Ｖ１＜Ｈ１、Ｖ２＜Ｈ２、Ｖ３＜Ｈ３である。

Description

吸着仮固定シートおよびその製造方法
　本発明は、吸着仮固定シートに関する。また、本発明は、吸着仮固定シートの製造方法に関する。
　家具や家電の転倒すべり防止シート、カーペットのバッキング材、自動車内装材へ貼り付け固定ができ且つ容易に剥離できるシートなどとして、従来、吸着性を有する発泡シートが用いられている。
　このような吸着性を有する発泡シートには、主にアクリルやゴムなどの材料が用いられている（例えば、特許文献１）が、エマルション系の材料が主流であるため、再剥離性には優れるが、耐水性が悪く、汚れた際に水洗いをすると吸水して膨潤し、吸着性が低下するという問題があった。
　また、エレクトロニクス業界のディスプレイや有機ＥＬ照明等の製造において、各種フィルム基板（ポリイミド、ＰＥＴ、ＰＥＮ等）、ガラス、Ｓｉ基板上への各種金属膜やＩＴＯ膜の蒸着、スパッタ成膜、パターン形成加工などを行う際に、基板と固定台とを仮固定するような材料が用いられる。このような材料としては、成膜後に仮固定を解除する必要があるため、再剥離可能な粘着テープが用いられている。このような粘着テープとしては、現状は、加熱により発泡して剥離するテープ、低温で剥がれる冷却剥離テープ、弱粘着のアクリル系やシリコーン系の両面テープなどが挙げられる。
　しかし、製造工程において１５０℃以上の高温加熱が必要な場合では、粘着剤の重剥離化による糊残りや基板の破損が問題となっている。また、粘着テープを貼る際に、気泡を咬み込むことにより、基板の平滑性が損なわれ、高精度なパターン形成加工が阻害される懸念もある。
　軽量であり、耐熱性や耐候性に優れ、熱伝導率も低い発泡材料として、最近、シリコーン発泡体が報告されている。例えば、シリコーン樹脂硬化物と、該シリコーン樹脂硬化物中に分散された内部に空洞部を有する複数の粒子を含む、太陽電池用途で好適に使用されるシリコーン樹脂発泡体（例えば、特許文献２）や、セルが緻密であり、セルサイズの均一性が高く、セル形状が良好であり、独立気泡率が高い、シリコーンフォームシート（例えば、特許文献３）などが報告されている。
　吸着仮固定シートに対しては、用途によっては、該吸着仮固定シートの表面と同じ方向には十分なせん断接着力を有し、該吸着仮固定シートの表面に対して略垂直方向には弱い接着力を有することが要求される場合がある。このような場合は、例えば、水平方向に配置された吸着仮固定シートの表面上に部材を載置した際に、横方向に対しては該部材がしっかりと固定されることが要求され、他方、上方向にピックアップするときには容易に剥がすことができることが要求されるような場合が挙げられる。
　しかし、従来のシリコーン発泡体においては、上記のような要求に十分に応じることができていない。
特開平１－２５９０４３号公報 特許第５７０２８９９号公報 特開２０１４－１６７０６７号公報
　本発明の課題は、表面と同じ方向には十分なせん断接着力を有し、表面に対して垂直方向には弱い接着力を有する、吸着仮固定シートを提供することにある。また、そのような吸着仮固定シートの製造方法を提供することにある。
　本発明の吸着仮固定シートは、
　連続気泡構造を備える発泡層を有する吸着仮固定シートであって、
　該発泡層の表面の、－４０℃で２０時間後のシリコンチップ垂直接着力をＶ１（Ｎ／１ｃｍ□）、２３℃で２０時間後のシリコンチップ垂直接着力をＶ２（Ｎ／１ｃｍ□）、１２５℃で２０時間後のシリコンチップ垂直接着力をＶ３（Ｎ／１ｃｍ□）とし、
　該発泡層の表面の、－４０℃で２０時間後のシリコンチップせん断接着力をＨ１（Ｎ／１ｃｍ□）、２３℃で２０時間後のシリコンチップせん断接着力をＨ２（Ｎ／１ｃｍ□）、１２５℃で２０時間後のシリコンチップせん断接着力をＨ３（Ｎ／１ｃｍ□）としたとき、
　Ｖ１＜Ｈ１、Ｖ２＜Ｈ２、Ｖ３＜Ｈ３である。
　ここで、シリコンチップ垂直接着力は、平滑なステンレス板の上に吸着仮固定シートの評価面の反対面をシリコーン粘着テープで固定し、グラインダー（ディスコ社製、ＤＦＧ８５６０）で研削しダイシングソー（ディスコ社製、ＤＦＤ６４５０）で１ｃｍ□に個片化した厚み３００μｍのシリコンチップの研削面を吸着仮固定シートに２ｋｇローラーを１往復させて貼り合せ、－４０℃、２３℃、１２５℃でそれぞれ２０時間養生し、２３℃で２時間静置させ、サーボパルサー（島津製作所社製、コントローラー４８９０、ロードセルＭＭＴ－２５０Ｎ）を用いて２０ｍｍΦのアダプターの先端に両面テープ（日東電工社製、Ｎｏ．５０００ＮＳ）を貼付した状態で、０．０５Ｎの荷重がかかるまで圧縮速度０．０１Ｎ／ｓｅｃで垂直方向にシリコンチップのミラー面（研削面の反対面）を圧縮し、１０ｍｍ／ｓｅｃで引き剥がした時の最大荷重である。
　また、シリコンチップせん断接着力は、平滑なステンレス板の上に吸着仮固定シートの評価面の反対面をシリコーン粘着テープで固定し、グラインダー（ディスコ社製、ＤＦＧ８５６０）で研削しダイシングソー（ディスコ社製、ＤＦＤ６４５０）で１ｃｍ□に個片化した厚み３００μｍのシリコンチップの研削面を吸着仮固定シートに２ｋｇローラーを１往復させて貼り合せ、－４０℃、２３℃、１２５℃でそれぞれ２０時間養生し、２３℃で２時間静置させ、フォースゲージ（日本電産シンポ社製、ＦＧＰＸ－１０）を用いてシリコンチップの側面を１ｍｍ／ｓｅｃの速度で押して測定されるせん断接着力である。
　一つの実施形態においては、上記Ｖ１が５Ｎ／１ｃｍ□以下である。
　一つの実施形態においては、上記Ｈ１が０．５Ｎ／１ｃｍ□以上である。
　一つの実施形態においては、上記Ｖ２が６．５Ｎ／１ｃｍ□以下である。
　一つの実施形態においては、上記Ｈ２が０．６Ｎ／１ｃｍ□以上である。
　一つの実施形態においては、上記Ｖ３が１０Ｎ／１ｃｍ□以下である。
　一つの実施形態においては、上記Ｈ３が０．７Ｎ／１ｃｍ□以上である。
　一つの実施形態においては、上記発泡層の見かけ密度が０．１５ｇ／ｃｍ３～０．９０ｇ／ｃｍ３である。
　一つの実施形態においては、上記発泡層の表面の算術平均表面粗さＲａが１μｍ～１０μｍである。
　本発明の吸着仮固定シートの製造方法は、
　連続気泡構造を備える発泡層を有する吸着仮固定シートの製造方法であって、
　該発泡層を形成する樹脂組成物をセパレーターＡ上に塗工し、該塗工した樹脂組成物の該セパレーターＡと反対側の表面上にセパレーターＢを載置し、熱硬化を行った後、該セパレーターＡおよび該セパレーターＢから選ばれる少なくとも１種を剥離し、
　該剥離したセパレーターの中の少なくとも１種が、算術平均表面粗さＲａが０．１μｍ～５μｍの表面を有するセパレーターである。
　本発明によれば、表面と同じ方向には十分なせん断接着力を有し、表面に対して垂直方向には弱い接着力を有する、吸着仮固定シートを提供することができる。また、そのような吸着仮固定シートの製造方法を提供することができる。
≪吸着仮固定シート≫
　本発明の吸着仮固定シートは、連続気泡構造を備える発泡層を有する吸着仮固定シートである。
　本発明の吸着仮固定シートの形態としては、例えば、発泡層をシートの全体に有する形態、発泡層をシートの一部に有する形態であって該シートの最外層の少なくとも一方が該発泡層である形態などが挙げられる。
　本発明の吸着仮固定シートにおいて、発泡層の表面には、例えば、使用するまで、セパレーターが貼着されていてもよい。このようなセパレーターは、支持体として機能させるものではない場合、好ましくは、仮固定したい部材を本発明の吸着仮固定シートに載置する前に、発泡層表面から剥離する。
　本発明の吸着仮固定シートは、それに含まれる発泡層が連続気泡構造を備えることにより、気泡を咬み込むことなく被着体を貼り合せて仮固定することができる。
　本発明の吸着仮固定シートは、それに含まれる発泡層の表面の、－４０℃で２０時間後のシリコンチップ垂直接着力をＶ１（Ｎ／１ｃｍ□）、２３℃で２０時間後のシリコンチップ垂直接着力をＶ２（Ｎ／１ｃｍ□）、１２５℃で２０時間後のシリコンチップ垂直接着力をＶ３（Ｎ／１ｃｍ□）とし、それに含まれる発泡層の表面の、－４０℃で２０時間後のシリコンチップせん断接着力をＨ１（Ｎ／１ｃｍ□）、２３℃で２０時間後のシリコンチップせん断接着力をＨ２（Ｎ／１ｃｍ□）、１２５℃で２０時間後のシリコンチップせん断接着力をＨ３（Ｎ／１ｃｍ□）としたとき、Ｖ１＜Ｈ１、Ｖ２＜Ｈ２、Ｖ３＜Ｈ３である。このように、Ｖ１＜Ｈ１、Ｖ２＜Ｈ２、Ｖ３＜Ｈ３という関係を有することにより、本発明の吸着仮固定シートは、表面と同じ方向には十分なせん断接着力を有し得るとともに、表面に対して垂直方向には弱い接着力を有し得る。
　本発明の吸着仮固定シートは、上記のように、－４０℃で２０時間後、２３℃で２０時間後、１２５℃で２０時間後、のいずれにおいても、シリコンチップ垂直接着力＜シリコンチップせん断接着力となっているので、好ましくは、低温から高温までの広い温度領域において、表面と同じ方向には十分なせん断接着力を有し得るとともに、表面に対して垂直方向には弱い接着力を有し得る。
　シリコンチップ垂直接着力は、平滑なステンレス板の上に吸着仮固定シートの評価面の反対面をシリコーン粘着テープで固定し、グラインダー（ディスコ社製、ＤＦＧ８５６０）で研削しダイシングソー（ディスコ社製、ＤＦＤ６４５０）で１ｃｍ□に個片化した厚み３００μｍのシリコンチップの研削面を吸着仮固定シートに２ｋｇローラーを１往復させて貼り合せ、－４０℃、２３℃、１２５℃でそれぞれ２０時間養生し、２３℃で２時間静置させ、サーボパルサー（島津製作所社製、コントローラー４８９０、ロードセルＭＭＴ－２５０Ｎ）を用いて２０ｍｍΦのアダプターの先端に両面テープ（日東電工社製、Ｎｏ．５０００ＮＳ）を貼付した状態で、０．０５Ｎの荷重がかかるまで圧縮速度０．０１Ｎ／ｓｅｃで垂直方向にシリコンチップのミラー面（研削面の反対面）を圧縮し、１０ｍｍ／ｓｅｃで引き剥がした時の最大荷重である。
　シリコンチップせん断接着力は、平滑なステンレス板の上に吸着仮固定シートの評価面の反対面をシリコーン粘着テープで固定し、グラインダー（ディスコ社製、ＤＦＧ８５６０）で研削しダイシングソー（ディスコ社製、ＤＦＤ６４５０）で１ｃｍ□に個片化した厚み３００μｍのシリコンチップの研削面を吸着仮固定シートに２ｋｇローラーを１往復させて貼り合せ、－４０℃、２３℃、１２５℃でそれぞれ２０時間養生し、２３℃で２時間静置させ、フォースゲージ（日本電産シンポ社製、ＦＧＰＸ－１０）を用いてシリコンチップの側面を１ｍｍ／ｓｅｃの速度で押して測定されるせん断接着力である。
　Ｖ１（発泡層の表面の－４０℃で２０時間後のシリコンチップ垂直接着力）は、好ましくは５Ｎ／１ｃｍ□以下であり、より好ましくは０．１Ｎ／１ｃｍ□～４．５Ｎ／１ｃｍ□であり、さらに好ましくは０．２Ｎ／１ｃｍ□～４Ｎ／１ｃｍ□であり、特に好ましくは０．３Ｎ／１ｃｍ□～３．５Ｎ／１ｃｍ□である。Ｖ１が上記範囲内にあることにより、本発明の吸着仮固定シートは、吸着仮固定させたい部材を仮固定させることができるとともに、低温の温度領域において、表面に対して垂直方向により弱い接着力を有し得る。
　Ｈ１（発泡層の表面の－４０℃で２０時間後のシリコンチップせん断接着力）は、好ましくは０．５Ｎ／１ｃｍ□以上であり、より好ましくは０．７Ｎ／１ｃｍ□～４０Ｎ／１ｃｍ□であり、さらに好ましくは０．８Ｎ／１ｃｍ□～３５Ｎ／１ｃｍ□であり、特に好ましくは０．９Ｎ／１ｃｍ□～３０Ｎ／１ｃｍ□である。Ｈ１が上記範囲内にあることにより、本発明の吸着仮固定シートは、吸着仮固定させたい部材を仮固定させることができるとともに、低温の温度領域において、表面と同じ方向にはより十分なせん断接着力を有し得る。
　Ｖ２（発泡層の表面の２３℃で２０時間後のシリコンチップ垂直接着力）は、好ましくは６．５Ｎ／１ｃｍ□以下であり、より好ましくは０．１Ｎ／１ｃｍ□～５．５Ｎ／１ｃｍ□であり、さらに好ましくは０．２Ｎ／１ｃｍ□～５Ｎ／１ｃｍ□であり、特に好ましくは０．３Ｎ／１ｃｍ□～４．５Ｎ／１ｃｍ□である。Ｖ２が上記範囲内にあることにより、本発明の吸着仮固定シートは、吸着仮固定させたい部材を仮固定させることができるとともに、室温付近の温度領域において、表面に対して垂直方向により弱い接着力を有し得る。
　Ｈ２（発泡層の表面の２３℃で２０時間後のシリコンチップせん断接着力）は、好ましくは０．６Ｎ／１ｃｍ□以上であり、より好ましくは０．７Ｎ／１ｃｍ□～４０Ｎ／１ｃｍ□であり、さらに好ましくは０．８Ｎ／１ｃｍ□～３５Ｎ／１ｃｍ□であり、特に好ましくは０．９Ｎ／１ｃｍ□～３０Ｎ／１ｃｍ□である。Ｈ２が上記範囲内にあることにより、本発明の吸着仮固定シートは、吸着仮固定させたい部材を仮固定させることができるとともに、室温付近の温度領域において、表面と同じ方向にはより十分なせん断接着力を有し得る。
　Ｖ３（発泡層の表面の１２５℃で２０時間後のシリコンチップ垂直接着力）は、好ましくは１０Ｎ／１ｃｍ□以下であり、より好ましくは０．１Ｎ／１ｃｍ□～９．６Ｎ／１ｃｍ□であり、さらに好ましくは０．２Ｎ／１ｃｍ□～９．２Ｎ／１ｃｍ□であり、特に好ましくは０．３Ｎ／１ｃｍ□～８．８Ｎ／１ｃｍ□である。Ｖ３が上記範囲内にあることにより、本発明の吸着仮固定シートは、吸着仮固定させたい部材を仮固定させることができるとともに、高温の温度領域において、表面に対して垂直方向により弱い接着力を有し得る。
　Ｈ３（発泡層の表面の１２５℃で２０時間後のシリコンチップせん断接着力）は、好ましくは０．７Ｎ／１ｃｍ□以上であり、より好ましくは０．８Ｎ／１ｃｍ□～４０Ｎ／１ｃｍ□であり、さらに好ましくは０．９Ｎ／１ｃｍ□～３５Ｎ／１ｃｍ□であり、特に好ましくは１Ｎ／１ｃｍ□～３０Ｎ／１ｃｍ□である。Ｈ３が上記範囲内にあることにより、本発明の吸着仮固定シートは、吸着仮固定させたい部材を仮固定させることができるとともに、高温の温度領域において、表面と同じ方向にはより十分なせん断接着力を有し得る。
　発泡層の厚みとしては、目的に応じて任意の適切な厚みを採用し得る。発泡層の厚みは、好ましくは１０μｍ～３５００μｍであり、より好ましくは２０μｍ～２５００μｍであり、さらに好ましくは３０μｍ～１５００μｍであり、特に好ましくは４０μｍ～９５０μｍであり、最も好ましくは５０μｍ～８００μｍである。発泡層の厚みがこのように薄くても、本発明の吸着仮固定シートは、優れた仮固定性を発現し得る。
　発泡層は、好ましくは、セル（球状気泡）を有する。なお、セル（球状気泡）は、厳密な真球状の気泡でなくてもよく、例えば、部分的にひずみのある略球状の気泡や、大きなひずみを有する空間からなる気泡であってもよい。
　発泡層は、好ましくは、連続気泡構造を備える。すなわち、発泡層は、好ましくは、隣接するセル間に貫通孔を有する連続気泡構造を備える。発泡層が連続気泡構造を備えることにより、発泡層の他の特徴と相まって、優れた気泡抜け性を発現でき、より気泡を咬み込むことなく被着体を貼り合せて仮固定することができ、仮固定を解除する際は糊残りなくより容易に剥がすことができる。また、発泡層の厚みを薄くしてもこれらの効果の発現を維持できる。
　なお、連続気泡構造が存在するかどうかの観察は、低真空走査電子顕微鏡（「Ｓ－３４００Ｎ型走査電子顕微鏡」、日立ハイテクフィールディング社製）により、発泡層断面の拡大画像を取り込み、セル壁の貫通孔の有無を確認することによって行うことができる。
　発泡層は、連続気泡率が、好ましくは９０％以上であり、より好ましくは９０％～１００％であり、さらに好ましくは９２％～１００％であり、さらに好ましくは９５％～１００％であり、特に好ましくは９９％～１００％であり、最も好ましくは実質的に１００％である。発泡層の連続気泡率が上記範囲にあれば、発泡層の他の特徴と相まって、より優れた気泡抜け性を発現でき、より一層気泡を咬み込むことなく被着体を貼り合せて仮固定することができ、仮固定を解除する際は糊残りなくより一層容易に剥がすことができる。また、発泡層の厚みを薄くしてもこれらの効果の発現をより維持できる。
　なお、連続気泡率は、例えば、下記のようにして測定することができる。すなわち、発泡層を水中に沈め、－７５０ｍｍＨｇの減圧下で３分間放置することで、気泡中の空気を水に置換し、吸収された水の質量を図り、水の密度を１．０ｇ／ｃｍ３として吸収された水の体積を算出し、下記の式により算出する。
連続気泡率（％）＝｛（吸水した水の体積）／（気泡部分体積）｝×１００
　なお、気泡部分体積は、例えば、下記の式により算出する。ここで、樹脂密度は、発泡層を形成する樹脂中の乳化剤を除いて作製した樹脂成形体の密度を測定することで得られる値である。
気泡部分体積（ｃｍ３）＝｛（発泡体（発泡シート）の質量）／（発泡体（発泡シート）の見かけ密度）｝－｛（発泡体（発泡シート）の質量）／（樹脂密度）｝
　発泡層は、平均セル径が、好ましくは１μｍ～２００μｍであり、より好ましくは１．５μｍ～１８０μｍであり、さらに好ましくは２μｍ～１７０μｍであり、特に好ましくは２．５μｍ～１６０μｍであり、最も好ましくは３μｍ～１５０μｍである。発泡層において、平均セル径が上記範囲にあれば、発泡層の他の特徴と相まって、より優れた気泡抜け性を発現でき、より一層気泡を咬み込むことなく被着体を貼り合せて仮固定することができ、仮固定を解除する際は糊残りなくより一層容易に剥がすことができる。また、発泡層の厚みを薄くしてもこれらの効果の発現をより維持できる。
　発泡層は、好ましくは、全セルの９０％以上のセル径が３００μｍ以下であり、より好ましくは、全セルの９２％以上のセル径が３００μｍ以下であり、さらに好ましくは、全セルの９５％以上のセル径が３００μｍ以下であり、特に好ましくは、全セルの９７％以上のセル径が３００μｍ以下であり、最も好ましくは、全セルの実質的に１００％のセル径が３００μｍ以下である。また、発泡層は、より好ましくは、全セルの９０％以上のセル径が２５０μｍ以下であり、さらに好ましくは、全セルの９０％以上のセル径が２００μｍ以下であり、特に好ましくは、全セルの９０％以上のセル径が１８０μｍ以下であり、最も好ましくは、全セルの９０％以上のセル径が１５０μｍ以下である。発泡層において、３００μｍ以下のセル径の割合や全セルの９０％以上のセル径が上記範囲にあれば、発泡層の他の特徴と相まって、より優れた気泡抜け性を発現でき、より一層気泡を咬み込むことなく被着体を貼り合せて仮固定することができ、仮固定を解除する際は糊残りなくより一層容易に剥がすことができる。また、発泡層の厚みを薄くしてもこれらの効果の発現をより維持できる。
　発泡層は、全セル中の最大セル径が、好ましくは３００μｍ以下であり、より好ましくは２５０μｍ以下であり、さらに好ましくは２００μｍ以下であり、特に好ましくは１８０μｍ以下であり、最も好ましくは１５０μｍ以下である。発泡層において、全セル中の最大セル径が上記範囲にあれば、発泡層の他の特徴と相まって、より優れた気泡抜け性を発現でき、より一層気泡を咬み込むことなく被着体を貼り合せて仮固定することができ、仮固定を解除する際は糊残りなくより一層容易に剥がすことができる。また、発泡層の厚みを薄くしてもこれらの効果の発現をより維持できる。
　発泡層は、全セル中の最小セル径が、好ましくは１００μｍ以下であり、より好ましくは８０μｍ以下であり、さらに好ましくは７０μｍ以下であり、特に好ましくは６０μｍ以下であり、最も好ましくは５０μｍ以下である。発泡層において、全セル中の最小セル径が上記範囲にあれば、発泡層の他の特徴と相まって、より優れた気泡抜け性を発現でき、より一層気泡を咬み込むことなく被着体を貼り合せて仮固定することができ、仮固定を解除する際は糊残りなくより一層容易に剥がすことができる。また、発泡層の厚みを薄くしてもこれらの効果の発現をより維持できる。
　このように、発泡層が、好ましくは、連続気泡構造を備え、また、好ましくは、セル径が上記のように微細であることにより、優れた気泡抜け性を発現でき、気泡を咬み込むことなく被着体を貼り合せて仮固定することができ、仮固定を解除する際は糊残りなく剥がすことができ、吸着仮固定シートに好適なものとなる。
　なお、平均セル径は、例えば、低真空走査電子顕微鏡（「Ｓ－３４００Ｎ型走査電子顕微鏡」、日立ハイテクサイエンスシステムズ社製）により、発泡層断面の拡大画像を取り込み、画像解析することにより求めることができる。なお、解析するセル数としては、例えば２０個である。同様の方法で、最小セル径（μｍ）および最大セル径（μｍ）を求めることができる。
　発泡層は、好ましくは、表面開口部を有する。ここにいう表面開口部とは、発泡層の表面に存在する、ある大きさの平均孔径を有する開口部を意味する。発泡層が表面開口部を有することにより、本発明の吸着仮固定シートは、より気泡を咬み込むことなく被着体を貼り合せて仮固定することができ、仮固定を解除する際に糊残りなくより容易に剥がすことができる。これは、表面開口部が、適切な吸盤として働くためと推察され、これにより、発泡層を有する本発明の吸着仮固定シートは、上記のような優れた仮固定性をより発現できる。
　表面開口部の開口率は、好ましくは１％～９９％であり、より好ましくは２％～９５％であり、さらに好ましくは３％～９０％であり、特に好ましくは４％～８５％であり、最も好ましくは５％～８０％である。表面開口部の開口率が上記範囲にあれば、本発明の吸着仮固定シートは、より気泡を咬み込むことなく被着体を貼り合せて仮固定することができ、仮固定を解除する際に糊残りなくより容易に剥がすことができる。
　表面開口部の平均孔径は、好ましくは１５０μｍ以下であり、より好ましくは０．５μｍ～１４５μｍであり、さらに好ましくは１．０μｍ～１４０μｍであり、特に好ましくは１．５μｍ～１３５μｍであり、最も好ましくは２．０μｍ～１３０μｍである。表面開口部の平均孔径が上記範囲にあれば、本発明の吸着仮固定シートは、より気泡を咬み込むことなく被着体を貼り合せて仮固定することができ、仮固定を解除する際に糊残りなくより容易に剥がすことができる。
　なお、表面開口部の平均孔径は、例えば、低真空走査電子顕微鏡（「Ｓ－３４００Ｎ型走査電子顕微鏡」、日立ハイテクフィールディング社製）により、発泡層表面の拡大画像を取り込み、画像解析することにより求めることができる。解析する孔数は、例えば２０個である。
　発泡層の見かけ密度は、好ましくは０．１５ｇ／ｃｍ３～０．９０ｇ／ｃｍ３であり、より好ましくは０．２０ｇ／ｃｍ３～０．８５ｇ／ｃｍ３であり、さらに好ましくは０．２５ｇ／ｃｍ３～０．８０ｇ／ｃｍ３であり、特に好ましくは０．３０ｇ／ｃｍ３～０．７５ｇ／ｃｍ３である。発泡層の見かけ密度が上記範囲にあれば、発泡層の他の特徴と相まって、より気泡を咬み込むことなく被着体を貼り合せて仮固定することができ、仮固定を解除する際は糊残りなくより容易に剥がすことができる。また、発泡層の厚みを薄くしてもこれらの効果の発現を維持できる。
　発泡層は、その表面の算術平均表面粗さＲａが、好ましくは０．１μｍ～１０μｍであり、より好ましくは０．２μｍ～９μｍであり、さらに好ましくは０．３μｍ～８．５μｍであり、特に好ましくは０．４μｍ～８μｍである。発泡層の表面が、このような範囲の算術平均表面粗さＲａを有することにより、本発明の吸着仮固定シートは、表面と同じ方向にはより十分なせん断接着力を有し、表面に対して垂直方向にはより弱い接着力を有することができる。
　発泡層の表面には、例えば、使用するまで、セパレーターが貼着されていてもよい。このようなセパレーターは、支持体として機能させるものではない場合、好ましくは、仮固定したい部材を本発明の吸着仮固定シートに載置する前に、発泡層表面から剥離する。
　セパレーターの厚みは、好ましくは１μｍ～５００μｍであり、より好ましくは３μｍ～４５０μｍであり、さらに好ましくは５μｍ～４００μｍであり、特に好ましくは１０μｍ～３００μｍである。
　セパレーターとしては、例えば、紙、プラスチックフィルム、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）フィルム、表面がシリコーン処理やフッ化シリコーン処理されたプラスチックフィルムなどが挙げられる。
　プラスチックフィルムとしては、例えば、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリブテンフィルム、ポリブタジエンフィルム、ポリメチルペンテンフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、塩化ビニル共重合体フィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリブチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム、ポリウレタンフィルム、エチレン－酢酸ビニル共重合体フィルム、ポリイミドフィルム、ポリアミド（ナイロン）フィルム、芳香族ポリアミド（アラミド）フィルムなどが挙げられる。
　特に、本発明の効果をより発現させ得る点で、シリコーン処理やフッ化シリコーン処理などの表面処理がなされていないプラスチックフィルムが、セパレーターとして、発泡層の少なくとも一方の表面に貼着されていることが好ましい。このようなセパレーターとしては、特に好ましくは、シリコーン処理やフッ化シリコーン処理などの表面処理がなされていないポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムである。
　上記のようなセパレーターとしては、その表面の算術平均表面粗さＲａが、好ましくは０．１μｍ～５μｍであり、より好ましくは０．１５μｍ～４．５μｍであり、さらに好ましくは０．２μｍ～４μｍであり、特に好ましくは０．２２μｍ～３．５μｍである。このような範囲の算術平均表面粗さＲａの表面を有するセパレーターを採用することにより、このようなセパレーターを、仮固定したい部材を本発明の吸着仮固定シートに載置する前に発泡層表面から剥離することにより、本発明の吸着仮固定シートは、表面と同じ方向にはより十分なせん断接着力を有し、表面に対して垂直方向にはより弱い接着力を有することができる。
　本発明の吸着仮固定シートの一つの実施形態においては、発泡層の一方の表面側に支持体を有する。この実施形態においては、発泡層のもう一方の表面には、例えば、使用するまで、セパレーターが貼着されていてもよい。このようなセパレーターは、好ましくは、前述したような、表面の算術平均表面粗さＲａが好ましくは０．１μｍ～５μｍであるセパレーターである。
　本発明の吸着仮固定シートの一つの実施形態においては、発泡層の一方の表面側に粘着剤層を有する。この実施形態において、発泡層のもう一方の表面、および、粘着剤層のもう一方の表面には、例えば、使用するまで、セパレーターが貼着されていてもよい。このようなセパレーターの中でも、発泡層のもう一方の表面に貼着されるセパレーターは、好ましくは、前述したような、表面の算術平均表面粗さＲａが好ましくは０．１μｍ～５μｍであるセパレーターである。
　本発明の吸着仮固定シートの一つの実施形態においては、発泡層の一方の表面側に支持体を有し、さらに、該支持体の該発泡層と反対側の表面に粘着剤層を有する。すなわち、発泡層／支持体／粘着剤層の形態である。この実施形態において、発泡層のもう一方の表面、および、粘着剤層のもう一方の表面には、例えば、使用するまで、セパレーターが貼着されていてもよい。このようなセパレーターの中でも、発泡層のもう一方の表面に貼着されるセパレーターは、好ましくは、前述したような、表面の算術平均表面粗さＲａが好ましくは０．１μｍ～５μｍであるセパレーターである。
　本発明の吸着仮固定シートの一つの実施形態においては、発泡層の一方の表面側に支持体を有し、さらに、該支持体の該発泡層と反対側の表面に発泡層を有する。すなわち、発泡層／支持体／発泡層の形態である。この実施形態において、発泡層のもう一方の表面には、例えば、使用するまで、セパレーターが貼着されていてもよい。このようなセパレーターは、好ましくは、前述したような、表面の算術平均表面粗さＲａが好ましくは０．１μｍ～５μｍであるセパレーターである。
　支持体としては、発泡層を支持できるものであれば、任意の適切な支持体を採用し得る。このような支持体としては、プラスチックフィルムやシートやテープ、紙、不織布、金属箔や金属メッシュ、ガラスやガラスクロスなどである。支持体は、１層であってもよいし、２層以上であってもよい。また、支持体と発泡層の投錨性を上げるために、支持体表面にシランカップリング剤等の下塗り剤を塗布したり、コロナ処理やプラズマ処理などの表面処理を行ったりすることが好ましい。
　プラスチックフィルムとしては、例えば、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリブテンフィルム、ポリブタジエンフィルム、ポリメチルペンテンフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、塩化ビニル共重合体フィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリブチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム、ポリウレタンフィルム、エチレン－酢酸ビニル共重合体フィルム、ポリイミドフィルム、ポリアミド（ナイロン）フィルム、芳香族ポリアミド（アラミド）フィルムなどが挙げられる。
　粘着剤層としては、任意の適切な粘着剤からなる層を採用し得る。このような粘着剤としては、例えば、ゴム系粘着剤（合成ゴム系粘着剤、天然ゴム系粘着剤など）、ウレタン系粘着剤、アクリルウレタン系粘着剤、アクリル系粘着剤、シリコーン系粘着剤、ポリエステル系粘着剤、ポリアミド系粘着剤、エポキシ系粘着剤、ビニルアルキルエーテル系粘着剤、フッ素系粘着剤などが挙げられる。このような粘着剤は、１種のみであってもよいし、２種以上であってもよい。粘着剤層は、１層であってもよいし、２層以上であってもよい。
　粘着剤としては、粘着形態で分類すると、例えば、エマルジョン型粘着剤、溶剤型粘着剤、紫外線架橋型（ＵＶ架橋型）粘着剤、電子線架橋型（ＥＢ架橋型）粘着剤、熱溶融型粘着剤（ホットメルト型粘着剤）などが挙げられる。このような粘着剤は、１種のみであってもよいし、２種以上であってもよい。
　本発明の吸着仮固定シートの一つの実施形態においては、本発明の効果を損なわない範囲で、任意の適切な発泡層を採用し得る。このような発泡層としては、例えば、シリコーン発泡層、アクリル系発泡層などが挙げられる。
　発泡層の一つの実施形態はシリコーン発泡層である。
　シリコーン発泡層は、好ましくは、シリコーン樹脂組成物の熱硬化によって形成される。
　シリコーン樹脂組成物は、好ましくは、下記のようなものである。
（Ａ）一分子中に少なくとも２個のアルケニル基を有するオルガノポリシロキサン１００質量部、
（Ｂ）一分子中に少なくとも２個のケイ素原子結合水素原子を有するオルガノポリシロキサン（該（Ａ）成分中のアルケニル基１モルに対して該（Ｂ）成分中のケイ素原子結合水素原子が０．４モル～２０モルとなる量）、
（Ｃ）水と無機系増粘剤からなる混合物１００質量部～１０００質量部、
（Ｄ）（Ｄ－１）ＨＬＢの値が３以上であるノニオン系界面活性剤および（Ｄ－２）ＨＬＢの値が３未満であるノニオン系界面活性剤からなる界面活性剤（ただし、（Ｄ－２）成分に対する（Ｄ－１）成分の質量比が少なくとも１）０．１質量部～１５質量部、
（Ｅ）ヒドロシリル化反応触媒、および、
（Ｆ）硬化遅延剤０.００１質量部～５質量部、
から少なくともなる。
　（Ａ）成分は、一分子中に少なくとも２個のアルケニル基を有するオルガノポリシロキサンであり、本組成物の主剤である。（Ａ）成分中のアルケニル基としては、ビニル基、アリル基、ヘキセニル基が例示され、好ましくは、ビニル基である。また、（Ａ）成分中のアルケニル基以外のケイ素原子結合有機基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基等のアルキル基；フェニル基、トリル基、キシリル基等のアリール基；ベンジル基、フェネチル基等のアラルキル基；３，３，３－トリフロロプロピル基等のハロゲン置換アルキル基等が例示され、好ましくは、メチル基である。
　（Ａ）成分は、具体的には、ジメチルビニルシロキシ基封鎖ジメチルポリシロキサン、ジメチルビニルシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルフェニルシロキサン共重合体、トリメチルシロキシ基封鎖メチルビニルポリシロキサン、トリメチルシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルビニルシロキサン共重合体、トリメチルシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルビニルシロキサン・メチルフェニルシロキサン共重合体が例示され、好ましくは、主鎖が実質的に直鎖状であるジオルガノポリシロキサンである。
　（Ｂ）成分は、一分子中にケイ素原子結合水素原子を少なくとも２個有するオルガノポリシロキサンであり、本組成物の架橋剤である。（Ｂ）成分中のケイ素原子結合水素原子の結合位置は限定されず、分子鎖末端および／または分子鎖側鎖が例示される。（Ｂ）成分中の水素原子以外のケイ素原子結合有機基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基等のアルキル基；フェニル基、トリル基、キシリル基等のアリール基；ベンジル基、フェネチル基等のアラルキル基；３，３，３－トリフロロプロピル基等のハロゲン置換アルキル基等が例示され、好ましくは、メチル基である。
　このような（Ｂ）成分としては、ジメチルハイドロジェンシロキシ基封鎖ジメチルポリシロキサン、ジメチルハイドロジェンシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルハイドロジェンシロキサン共重合体、トリメチルシロキシ基封鎖メチルハイドロジェンポリシロキサン、トリメチルシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルハイドロジェンシロキサン共重合体、(ＣＨ３)３ＳｉＯ１／２で示されるシロキサン単位とＨ(ＣＨ３)２ＳｉＯ１／２で示されるシロキサン単位とＳｉＯ４／２で示されるシロキサン単位からなるオルガノポリシロキサンが例示され、好ましくは、直鎖状のオルガノポリシロキサンである。
　（Ｂ）成分の含有量は、（Ａ）成分中のアルケニル基１モルに対して、（Ｂ）成分中のケイ素原子結合水素原子が０．４モル～２０モルの範囲内となる量であり、好ましくは１．５モル～２０モルの範囲内となる量であり、より好ましくは１．５モル～１０モルの範囲内となる量である。これは、（Ｂ）成分中のケイ素原子結合水素のモル数が上記範囲内であると、得られるシリコーン発泡シートの圧縮永久歪が改善されるからである。
　（Ｃ）成分は水と無機系増粘剤からなる混合物であり、本組成物を架橋して得られるシリコーンゴムから（Ｃ）成分中の水を除去することにより、シリコーンゴムスポンジとするための成分である。（Ａ）成分中に（Ｃ）成分が安定して分散することから、（Ｃ）成分中の水はイオン交換水であることが好ましい。
　（Ｃ）成分中の無機系増粘剤は、水の粘度を高め、（Ａ）成分中に（Ｃ）成分が容易に分散し、（Ｃ）成分の分散状態を安定させるために配合される。この無機増粘剤としては、天然または合成のものがあり、ベントナイト、モンモリロナイト、ヘクトライト、サポナイト、ソーコナイト、バイデライトおよびノントロナイト等の天然または合成のスメクタイトクレー；ケイ酸アルミニウムマグネシウム；および、これらとカルボキシビニルポリマーなどの水溶性有機ポリマーとの複合品が例示され、好ましくは、ベントナイトやモンモリロナイトなどのスメクタイトクレーである。このような、スメクタイトクレーとしては、例えば、水熱合成品であるスメクトンＳＡ（クニミネ工業（株）製）、天然精製品であるベンゲル（（株）ホージュン製）が入手可能である。これらのスメクタイトクレーのｐＨはシリコーンゴムスポンジの耐熱性を維持する点からｐＨ５．０～９．０の範囲内であることが好ましい。また、（Ｃ）成分中の無機系増粘剤の含有量は、水１００質量部に対して、好ましくは０．１質量部～１０質量部の範囲内であり、より好ましくは０．５質量部～５質量部の範囲内である。
　（Ｃ）成分の含有量は、（Ａ）成分１００質量部に対して１００質量部～１０００質量部の範囲内であり、好ましくは１００質量部～８００質量部の範囲内であり、より好ましくは１００質量部～５００質量部の範囲であり、さらに好ましくは２００質量部～５００質量部の範囲内であり、特に好ましくは２００質量部～３５０質量部の範囲内である。これは、（Ｃ）成分の含有量が上記範囲の下限以上であると、低密度のシリコーン発泡シートを形成できるからであり、一方、上記範囲の上限以下であると、均一で微細な連続気泡構造を有するシリコーン発泡シートを形成できるからである。
　（Ｄ）成分の界面活性剤は、（Ｄ－１）ＨＬＢの値が３以上であるノニオン系界面活性剤および（Ｄ－２）ＨＬＢの値が３未満であるノニオン系界面活性剤からなる。（Ｄ）成分の界面活性剤としては、グリセリン脂肪酸エステル、ポリグリセリン脂肪酸エステル、ソルビタン脂肪酸エステル、スクロース脂肪酸エステル、ポリエチレングリコール脂肪酸エステル、ポリプロピレングリコール脂肪酸エステル、ポリオキシエチレングリセリン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレン・ポリオキシプロピレンブロック共重合体、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル、ポリオキシエチレン脂肪酸アミドが例示される。
　（Ｄ）成分は、（Ｄ－１）成分と（Ｄ－２）成分からなり、（Ｄ－２）成分に対する（Ｄ－１）成分の質量比が少なくとも１であり、好ましくは少なくとも５であり、より好ましくは少なくとも８であり、さらに好ましくは少なくとも１０であり、特に好ましくは少なくとも１５である。また、（Ｄ－２）成分に対する（Ｄ－１）成分の質量比は、多くとも１００であることが好ましく、より好ましくは、多くとも８０であり、多くとも７０であり、多くとも６０であり、あるいは多くとも５０である。これは、この質量比が上記下限より大きくなれば、均一で微細な連続気泡構造を有する低密度のシリコーン発泡シートを形成することができるからであり、一方、上記上限より小さくなれば、（Ａ）成分と（Ｂ）成分中に（Ｃ）成分を安定性良く分散することができ、結果として、均一で微細な連続気泡構造を有するシリコーン発泡シートを形成することができるからである。
　（Ｄ）成分の含有量は、（Ａ）成分１００質量部に対し、０．１質量部～１５質量部の範囲内であり、好ましくは０．２質量部～３質量部の範囲内である。これは、（Ｄ）成分の含有量が上記範囲の下限以上であると、均一で微細な連続気泡構造を有するシリコーン発泡シートを形成できるからであり、一方、上記範囲の上限以下であると、耐熱性の優れるシリコーン発泡シートを形成できるからである。
　（Ｅ）成分は、シリコーン樹脂組成物のヒドロシリル化反応を促進するためのヒドロシリル化反応触媒であり、例えば、白金系触媒、パラジウム系触媒、ロジウム系触媒が例示され、好ましくは白金系触媒である。このような（Ｅ）成分としては、塩化白金酸、アルコール変性塩化白金酸、塩化白金酸とオレフィン類、ビニルシロキサン又はアセチレン化合物との配位化合物、白金のオレフィン類、ビニルシロキサン又はアセチレン化合物との配位化合物、テトラキス（トリフェニルホスフィン）パラジウム、クロロトリス（トリフェニルホスフィン）ロジウムが例示される。
　（Ｅ）成分の含有量はシリコーン樹脂組成物を架橋させるに十分な量であり、具体的には、（Ａ）成分および（Ｂ）成分の合計量に対して、（Ｅ）成分中の触媒金属が質量換算で、好ましくは０．０１ｐｐｍ～５００ｐｐｍの範囲内となる量であり、より好ましくは０．１ｐｐｍ～１００ｐｐｍの範囲内となる量である。
　シリコーン樹脂組成物の硬化速度や作業可使時間を調整するため、（Ｆ）硬化遅延剤を含有してもよい。このような（Ｆ）成分としては、３－メチル－１－ブチン－３－オール、３，５－ジメチル－１－ヘキシン－３－オール、３－フェニル－１－ブチン－３－オール、１－エチニル－１－シクロヘキサノール等のアルキンアルコールが例示される。（Ｆ）成分の含有量は、シリコーン樹脂組成物の使用方法や成形方法に応じて適宜選択されるが、一般的には、（Ａ）成分１００質量部に対して０．００１質量部～５質量部の範囲内である。
　シリコーン樹脂組成物には、得られるシリコーン発泡シートの強度を向上させるという点から、さらに（Ｇ）補強性シリカ微粉末を含有してもよい。このような（Ｇ）成分としては、ＢＥＴ比表面積が、好ましくは５０ｍ２／ｇ～３５０ｍ２／ｇであり、より好ましくは８０ｍ２／ｇ～２５０ｍ２／ｇであるシリカ微粉末が好ましく、ヒュームドシリカ、沈降シリカが例示される。また、これらのシリカ微粉末は、オルガノシラン等で表面処理されていてもよい。
　（Ｇ）成分の含有量は、（Ａ）成分１００質量部に対して、多くとも２０質量部であり、好ましくは多くとも１５質量部であり、より好ましくは多くとも１０質量部である。また、（Ｇ）成分の含有量は、（Ａ）成分１００質量部に対して、少なくとも０．１質量部であることが好ましい。
　シリコーン樹脂組成物には、本発明の目的を損なわない範囲で、カーボンブラックやベンガラ等の顔料を含有してもよい。
　シリコーン樹脂組成物は、上記各成分あるいはこれらに必要に応じて各種添加剤を配合した組成物を公知の混練手段により均一に混合することにより容易に製造することができる。ここで使用するミキサーとしてはホモミキサー、パドルミキサー、ホモディスパー、コロイドミル、真空混合攪拌ミキサー、自転公転ミキサー等が例示されるが、（Ｃ）成分と（Ｄ）成分を（Ａ）成分に十分に分散させることができるものであれば特に限定されるものではない。
≪吸着仮固定シートの製造方法≫
　本発明の吸着仮固定シートの製造方法は、連続気泡構造を備える発泡層を有する吸着仮固定シートの製造方法であって、該発泡層を形成する樹脂組成物をセパレーターＡ上に塗工し、該塗工した樹脂組成物の該セパレーターＡと反対側の表面上にセパレーターＢを載置し、熱硬化を行った後、該セパレーターＡおよび該セパレーターＢから選ばれる少なくとも１種を剥離し、該剥離したセパレーターの中の少なくとも１種が、算術平均表面粗さＲａが０．１μｍ～５μｍの表面を有するセパレーターである。
　上記算術平均表面粗さＲａは、好ましくは０．１５μｍ～４．５μｍであり、より好ましくは０．２μｍ～４μｍであり、さらに好ましくは０．２２μｍ～３．５μｍである。このような範囲の算術平均表面粗さＲａの表面を有するセパレーターを採用することにより、本発明の製造方法によって得られる吸着仮固定シートは、表面と同じ方向にはより十分なせん断接着力を有し、表面に対して垂直方向にはより弱い接着力を有することができる。
　本発明の吸着仮固定シートの製造方法において、熱硬化を行った後に剥離するセパレーターの中の少なくとも１種が、算術平均表面粗さＲａが０．１μｍ～５μｍの表面を有するセパレーターであることにより、その剥離した後に得られる本発明の吸着仮固定シートの表面の算術平均表面粗さＲａが、好ましくは０．１μｍ～１０μｍとなり、より好ましくは０．２μｍ～９μｍとなり、さらに好ましくは０．３μｍ～８．５μｍとなり、特に好ましくは０．４μｍ～８μｍとなる。上記のように剥離した後に得られる本発明の吸着仮固定シートの表面が、このような範囲の算術平均表面粗さＲａを有することにより、本発明の製造方法によって得られる吸着仮固定シートは、表面と同じ方向にはより十分なせん断接着力を有し、表面に対して垂直方向にはより弱い接着力を有することができる。
　算術平均表面粗さＲａが０．１μｍ～５μｍの表面を有するセパレーターとしては、例えば、紙、プラスチックフィルム、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）フィルム、表面がシリコーン処理やフッ化シリコーン処理されたプラスチックフィルムなどが挙げられる。プラスチックフィルムとしては、例えば、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリブテンフィルム、ポリブタジエンフィルム、ポリメチルペンテンフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、塩化ビニル共重合体フィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリブチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム、ポリウレタンフィルム、エチレン－酢酸ビニル共重合体フィルム、ポリイミドフィルム、ポリアミド（ナイロン）フィルム、芳香族ポリアミド（アラミド）フィルムなどが挙げられ、特に、本発明の効果をより発現させ得る点で、シリコーン処理やフッ化シリコーン処理などの表面処理がなされていないプラスチックフィルムが好ましい。このようなセパレーターとしては、特に好ましくは、シリコーン処理やフッ化シリコーン処理などの表面処理がなされていないポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムである。
　セパレーターＡやセパレーターＢの厚みは、好ましくは１μｍ～５００μｍであり、より好ましくは３μｍ～４５０μｍであり、さらに好ましくは５μｍ～４００μｍであり、特に好ましくは１０μｍ～３００μｍである。
　本発明の吸着仮固定シートの製造方法の一例として、発泡層がシリコーン発泡層である場合について説明する。発泡層が他の発泡層である場合は、下記の製造方法の説明を、例えば、シリコーン樹脂組成物を該他の発泡層の原料としての組成物に置き換えて読めばよい。なお、発泡層がシリコーン発泡層である場合に製造される吸着仮固定シートを「シリコーン発泡シート」と称することがある。
　シリコーン発泡シートの製造方法の一つの実施形態は、少なくとも熱硬化性シリコーン樹脂と水を含むシリコーン樹脂組成物をセパレーターＡ上に塗工し（以下、この工程を工程（１）とする）、該塗工したシリコーン樹脂組成物の該セパレーターＡと反対側の表面上にセパレーターＢを載置し（以下、この工程を工程（２）とする）、該シリコーン樹脂組成物を熱硬化させ（以下、この工程を工程（３）とする）、該セパレーターＡおよび該セパレーターＢから選ばれる少なくとも１種を剥離したものを加熱乾燥させて（以下、この工程を工程（４）とする）シリコーン発泡シートを形成する。この場合、剥離したセパレーターの中の少なくとも１種が、算術平均表面粗さＲａが０．１μｍ～５μｍの表面を有するセパレーターである。
　シリコーン発泡シートの製造方法の別の一つの実施形態は、少なくとも熱硬化性シリコーン樹脂と水を含むシリコーン樹脂組成物をセパレーターＡ上に塗工し（以下、この工程を工程（１）とする）、該塗工したシリコーン樹脂組成物の該セパレーターＡと反対側の表面上にセパレーターＢを載置し（以下、この工程を工程（２）とする）、該シリコーン樹脂組成物を熱硬化させ（以下、この工程を工程（３）とする）、該セパレーターＡおよび該セパレーターＢから選ばれる少なくとも１種を剥離したものを加熱乾燥させ（以下、この工程を工程（４）とする）、支持体と貼り合わせて（以下、この工程を工程（５）とする）シリコーン発泡シートを形成する。この場合、剥離したセパレーターの中の少なくとも１種が、算術平均表面粗さＲａが０．１μｍ～５μｍの表面を有するセパレーターである。そして、熱硬化および加熱乾燥させたシリコーン樹脂組成物の、上記算術平均表面粗さＲａが０．１μｍ～５μｍの表面を有するセパレーターを剥離した表面側と反対の表面側に、上記支持体が配置される。
　セパレーターＡやセパレーターＢがそのまま支持体として用いられる場合には、発泡層との投錨性を上げるために、支持体となるセパレーターＡやセパレーターＢの表面にシランカップリング剤等の下塗り剤を塗布したり、コロナ処理やプラズマ処理などの表面処理を行ったりすることが好ましい。
　セパレーターＡやセパレーターＢとして、算術平均表面粗さＲａが０．１μｍ～５μｍの表面を有するセパレーター以外のセパレーターが用いられる場合、このようなセパレーターとしては、例えば、通気性を有さないプラスチックや金属やガラスのシートやフィルムが好ましい。このようなシートやフィルムの材料としては、例えば、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、エチレン－酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）等のα－オレフィンをモノマー成分とするオレフィン系樹脂；ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）等のポリエステル系樹脂；ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）；酢酸ビニル系樹脂；ポリフェニレンスルフィド（ＰＰＳ）；ポリアミド（ナイロン）、全芳香族ポリアミド（アラミド）等のアミド系樹脂；ポリイミド系樹脂；ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）；銅；アルミ；任意のガラス；などが挙げられる。また、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）フィルムや、紙やプラスチックフィルムの基材（ライナー基材）の表面がシリコーン処理やフッ化シリコーン処理された剥離ライナーなどが挙げられる。ライナー基材としてのプラスチックフィルムとしては、例えば、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリブテンフィルム、ポリブタジエンフィルム、ポリメチルペンテンフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、塩化ビニル共重合体フィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリブチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム、ポリウレタンフィルム、エチレン－酢酸ビニル共重合体フィルム、ポリイミドフィルム、ポリアミド（ナイロン）フィルム、芳香族ポリアミド（アラミド）フィルム、などが挙げられる。
　工程（４）における加熱乾燥の際に除去しないセパレーターがある場合は、該セパレーターとして用い得る剥離ライナーは、好ましくは、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）フィルム、紙やプラスチックフィルムの基材（ライナー基材）の表面がフッ化シリコーン処理された剥離ライナーである。工程（４）における加熱乾燥の際に除去しないセパレーターがある場合の該セパレーターとして、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）フィルム、紙やプラスチックフィルムの基材（ライナー基材）の表面がフッ化シリコーン処理された剥離ライナーを用いることによって、加熱乾燥後の剥離を容易に行うことができる。また、セパレーターＡやセパレーターＢには、前述の粘着剤層が設けられていてもよい。
　工程（１）において使用するセパレーターＡと工程（２）において使用するセパレーターＢは、同一のものであってもよいし、異種のものであってもよい。また、工程（１）において使用するセパレーターＡと工程（２）において使用するセパレーターＢは、それぞれ、１層のみのものであってもよいし、２層以上からなるものであってもよい。
　工程（１）において使用するセパレーターＡおよび工程（２）において使用するセパレーターＢの、上記シリコーン樹脂組成物に接する方の表面の親水性・疎水性の程度によって、該表面に接する該シリコーン樹脂組成物の表面形状が変化する。例えば、セパレーターＡやセパレーターＢとしてポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムのような親水性の高いセパレーターを用いる場合は、該セパレーターに接するシリコーン樹脂組成物の表面において微細な径の表面開口部を多く存在させることができる。また、例えば、セパレーターＡやセパレーターＢとしてフッ化シリコーン処理を施したポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）剥離ライナーのような疎水性の高いセパレーターを用いる場合は、該セパレーターに接するシリコーン樹脂組成物の表面において微細な径の表面開口部を少なく存在させることができる。したがって、シリコーン発泡シートに対して高い通気性や高い吸着性を発現させたい場合には、親水性の高いセパレーターを用いることが好ましく、シリコーン発泡シートに対して高い止水性や高い防塵性を発現させたい場合には、疎水性の高いセパレーターを用いることが好ましい。また、シリコーン発泡シートとセパレーターとの再剥離性が必要な場合は、疎水性の高いセパレーターを用いることが好ましい。なお、親水性・疎水性の程度は、例えば、水との接触角によって定義することができる。例えば、水との接触角が９０度未満の場合を親水性、水との接触角が９０度以上の場合を疎水性と定義し得る。
　工程（３）においては、シリコーン樹脂組成物を熱硬化させる。この熱硬化の温度は、効率的にシリコーン樹脂組成物を熱硬化させ得る点で、好ましくは５０℃以上１００℃未満である。熱硬化の温度が５０℃未満では、熱硬化に時間がかかりすぎるおそれがある。熱硬化の温度が１００℃以上では、セパレーターＡおよびセパレーターＢに挟まれて略密閉状態となったシリコーン樹脂組成物中の水分が揮発することにより、形成するセルの粗大化や高密度化が起こるおそれがある。なお、工程（３）によってシリコーン樹脂組成物から形成するものをシリコーン発泡シート前駆体と称することとする。
　工程（３）のように、シリコーン樹脂組成物をセパレーターＡおよびセパレーターＢで挟んだ略密閉状態において熱硬化するという特殊な熱硬化方法を行うことにより、シリコーン樹脂組成物中の水分が除去されない状態において熱硬化され、続く工程（４）との連携により、連続気泡構造を有しセル径が微細なシリコーン発泡シートを効果的に得ることが可能となる。
　工程（４）においては、セパレーターＡおよびセパレーターＢから選ばれる少なくとも１種を剥離したものを加熱乾燥させる。セパレーターＡおよびセパレーターＢから選ばれる少なくとも１種を剥離させることにより、工程（３）における上記略密閉状態が解放され、この解放状態において加熱乾燥させることにより、工程（３）で形成されたシリコーン発泡シート前駆体から水分が効率的に揮発して除去され、シリコーン発泡シートが得られる。シリコーン発泡シートを効果的に形成させ得る点で、工程（４）における加熱乾燥温度は、１２０℃～２５０℃が好ましい。工程（４）における加熱乾燥温度が１２０℃未満では、乾燥および硬化に時間がかかりすぎるおそれがあり、また、連続気泡構造を有しセル径が微細なシリコーン発泡シートが得られないおそれがある。工程（４）における加熱乾燥温度が２５０℃を超えると、基材の収縮や膨張によりシート形成が困難となるおそれがある。
　工程（５）においては、工程（４）の後、支持体と貼り合わせることにより、シリコーン発泡シートを形成する。
　以下、実施例により本発明を具体的に説明するが、本発明はこれら実施例になんら限定されるものではない。なお、実施例等における、試験および評価方法は以下のとおりである。なお、「部」と記載されている場合は、特記事項がない限り「質量部」を意味し、「％」と記載されている場合は、特記事項がない限り「質量％」を意味する。
＜厚みの測定＞
　３Ｄ測定レーザー顕微鏡（ＬＥＸＴ　ＯＬＳ４０００、オリンパス（株）社製）にて、高精度・対物レンズ１０倍の設定でガラス板（マイクロスライドガラスＳ、松浪硝子工業株式会社製）に測定対象物（例えば、吸着仮固定シート）を乗せ、ガラス板表面から測定対象物の最上部までの３Ｄ画像を測定し、その高さを厚みとした。
＜見掛け密度の測定＞
　５０ｍｍ×５０ｍｍの打ち抜き刃型にて測定対象物（例えば、吸着仮固定シート）を打ち抜き、厚みは前述した＜厚みの測定＞の値を用い、これらの値から測定対象物の体積を算出した。
　次に、測定対象物の質量を最小目盛り０．０１ｇ以上の上皿天秤にて測定した。これらの値より、測定対象物の見掛け密度（ｇ／ｃｍ３）を算出した。
＜算術平均表面粗さＲａの測定＞
　３Ｄ測定レーザー顕微鏡（ＬＥＸＴ　ＯＬＳ４０００、オリンパス（株）社製）にて、高精度・対物レンズ１０倍の設定で３Ｄ画像を測定し、ＪＩＳ Ｂ０６０１（１９９４）に準拠して算術平均粗さＲａを求めた。
＜シリコンチップ垂直接着力の測定＞
　平滑なステンレス板の上にシリコーン発泡シートの評価面の反対面をシリコーン粘着テープで固定し、グラインダー（ディスコ社製、ＤＦＧ８５６０）で研削しダイシングソー（ディスコ社製、ＤＦＤ６４５０）で１ｃｍ□に個片化した厚み３００μｍのシリコンチップの研削面をシリコーン発泡シートに２ｋｇローラーを１往復させて貼り合せ、－４０℃、２３℃、１２５℃でそれぞれ２０時間養生し、２３℃で２時間静置させ、サーボパルサー（島津製作所社製、コントローラー４８９０、ロードセルＭＭＴ－２５０Ｎ）を用いて２０ｍｍΦのアダプターの先端に両面テープ（日東電工社製、Ｎｏ．５０００ＮＳ）を貼付した状態で、０．０５Ｎの荷重がかかるまで圧縮速度０．０１Ｎ／ｓｅｃで垂直方向にシリコンチップのミラー面（研削面の反対面）を圧縮し、１０ｍｍ／ｓｅｃで引き剥がした時の最大荷重を垂直接着力とした。
＜シリコンチップせん断接着力の測定＞
　平滑なステンレス板の上にシリコーン発泡シートの評価面の反対面をシリコーン粘着テープで固定し、グラインダー（ディスコ社製、ＤＦＧ８５６０）で研削しダイシングソー（ディスコ社製、ＤＦＤ６４５０）で１ｃｍ□に個片化した厚み３００μｍのシリコンチップの研削面をシリコーン発泡シートに２ｋｇローラーを１往復させて貼り合せ、－４０℃、２３℃、１２５℃でそれぞれ２０時間養生し、２３℃で２時間静置させ、フォースゲージ（日本電産シンポ社製、ＦＧＰＸ－１０）を用いてシリコンチップの側面を１ｍｍ／ｓｅｃの速度で押してせん断接着力を求めた。
〔実施例１〕
　ビニル基含有量０．２８質量％のジメチルポリシロキサン：８３．４５質量部、ケイ素原子結合水素原子含有量０．７質量％のメチルハイドロジェンポリシロキサン：６．４０質量部（上記ジメチルポリシロキサン中のビニル基１モルに対して、本メチルハイドロジェンポリシロキサン中のケイ素原子結合水素原子が５モルとなる量）、スメクタイトクレー（水系添加剤、有機ポリマー複合精製ベントナイト、（株）ホージュン製）：１．５８質量部、イオン交換水：１８４．１６質量部、ヘキサメチルジシラザンで表面処理したＢＥＴ比表面積２２５ｍ２／ｇのフュームドシリカ：６．５０質量部、ベンガラ（商品名：バイフェロクス、バイエル社製）：２．４０質量部、ノニオン系界面活性剤（ソルビタン脂肪酸エステル、商品名：レオドールＳＰ－Ｏ１０Ｖ、花王社製ＨＬＢ４．３）：０．９８質量部、ノニオン系界面活性剤（ソルビタン脂肪酸エステル、商品名：レオドールＳＰ－Ｏ３０Ｖ、花王社製ＨＬＢ１．８）：０．０４５質量部、１－エチニル－１－シクロヘキサノール：０．０２質量部および白金の１，３－ジビニルテトラメチルジシロキサン錯体の１，３－ジビニルテトラメチルジシロキサン溶液（白金金属含有量約４０００ｐｐｍ）：０．２２質量部を、あわとり錬太郎（シンキー社製）で１５分間乳化し、次いで、乳化液を室温で５分間減圧乾燥して脱泡を行い、樹脂組成物（１）を得た。
　この樹脂組成物（１）をフロロシリコーン処理ＰＥＴフィルム（ニッパシートＰＥＴ３８ｘ１－ＳＳ４Ａ、ニッパ社製）上にアプリケータを用いて塗布し、その上からＰＥＴフィルム（ルミラーＳ１０、東レ社製、算術平均表面粗さＲａ＝０．２８μｍ）を被せて、熱風オーブンによって８５℃で６分間加熱し、樹脂組成物（１）を硬化させた。硬化後、ＰＥＴフィルムを剥離し、さらに、２００℃で３分間加熱乾燥を行い、厚み２００μｍ、見掛け密度０．７５ｇ／ｃｍ３、ＰＥＴフィルムを剥離した側の表面の算術平均表面粗さＲａ＝６．６８μｍのシリコーン発泡シート（１）を得た。
　得られたシリコーン発泡シート（１）についての各種測定結果、評価結果を表１に示した。
〔実施例２〕
　ビニル基含有量０．２８質量％のジメチルポリシロキサン：８３．４５質量部、ケイ素原子結合水素原子含有量０．７質量％のメチルハイドロジェンポリシロキサン：６．４０質量部（上記ジメチルポリシロキサン中のビニル基１モルに対して、本メチルハイドロジェンポリシロキサン中のケイ素原子結合水素原子が５モルとなる量）、スメクタイトクレー（水系添加剤、有機ポリマー複合精製ベントナイト、（株）ホージュン製）：０．５７質量部、イオン交換水：６６．１１質量部、ヘキサメチルジシラザンで表面処理したＢＥＴ比表面積２２５ｍ２／ｇのフュームドシリカ：６．５０質量部、ベンガラ（商品名：バイフェロクス、バイエル社製）：２．４０質量部、ノニオン系界面活性剤（ソルビタン脂肪酸エステル、商品名：レオドールＳＰ－Ｏ１０Ｖ、花王社製ＨＬＢ４．３）：０．９８質量部、ノニオン系界面活性剤（ソルビタン脂肪酸エステル、商品名：レオドールＳＰ－Ｏ３０Ｖ、花王社製ＨＬＢ１．８）：０．０４５質量部、１－エチニル－１－シクロヘキサノール：０．０２質量部および白金の１，３－ジビニルテトラメチルジシロキサン錯体の１，３－ジビニルテトラメチルジシロキサン溶液（白金金属含有量約４０００ｐｐｍ）：０．２２質量部を、あわとり錬太郎（シンキー社製）で１５分間乳化し、次いで、乳化液を室温で５分間減圧乾燥して脱泡を行い、樹脂組成物（２）を得た。
　この樹脂組成物（２）をフロロシリコーン処理ＰＥＴフィルム（ニッパシートＰＥＴ３８ｘ１－ＳＳ４Ａ、ニッパ社製）上にアプリケータを用いて塗布し、その上からＰＥＴフィルム（ルミラーＳ１０、東レ社製、算術平均表面粗さＲａ＝０．２８μｍ）を被せて、熱風オーブンによって８５℃で６分間加熱し、樹脂組成物（２）を硬化させた。硬化後、ＰＥＴフィルムを剥離し、さらに、２００℃で３分間加熱乾燥を行い、厚さ２００μｍ、見掛け密度０．６３ｇ／ｃｍ３、ＰＥＴフィルムを剥離した側の表面の算術平均表面粗さＲａ＝３．０３μｍのシリコーン発泡シート（２）を得た。
　得られたシリコーン発泡シート（２）についての各種測定結果、評価結果を表１に示した。
〔実施例３〕
　ビニル基含有量０．２８質量％のジメチルポリシロキサン：８３．４５質量部、ケイ素原子結合水素原子含有量０．７質量％のメチルハイドロジェンポリシロキサン：６．４０質量部（上記ジメチルポリシロキサン中のビニル基１モルに対して、本メチルハイドロジェンポリシロキサン中のケイ素原子結合水素原子が５モルとなる量）、スメクタイトクレー（水系添加剤、有機ポリマー複合精製ベントナイト、（株）ホージュン製）：０．５７質量部、イオン交換水：６６．１１質量部、ヘキサメチルジシラザンで表面処理したＢＥＴ比表面積２２５ｍ２／ｇのフュームドシリカ：６．５０質量部、ベンガラ（商品名：バイフェロクス、バイエル社製）：２．４０質量部、ノニオン系界面活性剤（ソルビタン脂肪酸エステル、商品名：レオドールＳＰ－Ｏ１０Ｖ、花王社製ＨＬＢ４．３）：０．９８質量部、ノニオン系界面活性剤（ソルビタン脂肪酸エステル、商品名：レオドールＳＰ－Ｏ３０Ｖ、花王社製ＨＬＢ１．８）：０．０４５質量部、１－エチニル－１－シクロヘキサノール：０．０２質量部および白金の１，３－ジビニルテトラメチルジシロキサン錯体の１，３－ジビニルテトラメチルジシロキサン溶液（白金金属含有量約４０００ｐｐｍ）：０．２２質量部を、あわとり錬太郎（シンキー社製）で１５分間乳化し、次いで、乳化液を室温で５分間減圧乾燥して脱泡を行い、樹脂組成物（３）を得た。
　この樹脂組成物（３）をフロロシリコーン処理ＰＥＴフィルム（ニッパシートＰＥＴ３８ｘ１－ＳＳ４Ａ、ニッパ社製）上にアプリケータを用いて塗布し、その上からＰＥＴフィルム（ルミラーＱＶ１５、東レ社製、算術平均表面粗さＲａ＝２．４４μｍ）を被せて、熱風オーブンによって８５℃で６分間加熱し、樹脂組成物（３）を硬化させた。硬化後、ＰＥＴフィルムを剥離し、さらに、２００℃で３分間加熱乾燥を行い、厚さ２００μｍ、見掛け密度０．６５ｇ／ｃｍ３、ＰＥＴフィルムを剥離した側の表面の算術平均表面粗さＲａ＝４．９０μｍのシリコーン発泡シート（３）を得た。
　得られたシリコーン発泡シート（３）についての各種測定結果、評価結果を表１に示した。
〔実施例４〕
　ビニル基含有量０．２８質量％のジメチルポリシロキサン：８３．４５質量部、ケイ素原子結合水素原子含有量０．７質量％のメチルハイドロジェンポリシロキサン：６．４０質量部（上記ジメチルポリシロキサン中のビニル基１モルに対して、本メチルハイドロジェンポリシロキサン中のケイ素原子結合水素原子が５モルとなる量）、スメクタイトクレー（水系添加剤、有機ポリマー複合精製ベントナイト、（株）ホージュン製）：０．８５質量部、イオン交換水：９９．１６質量部、ヘキサメチルジシラザンで表面処理したＢＥＴ比表面積２２５ｍ２／ｇのフュームドシリカ：６．５０質量部、ベンガラ（商品名：バイフェロクス、バイエル社製）：２．４０質量部、ノニオン系界面活性剤（ソルビタン脂肪酸エステル、商品名：レオドールＳＰ－Ｏ１０Ｖ、花王社製ＨＬＢ４．３）：０．９８質量部、ノニオン系界面活性剤（ソルビタン脂肪酸エステル、商品名：レオドールＳＰ－Ｏ３０Ｖ、花王社製ＨＬＢ１．８）：０．０４５質量部、１－エチニル－１－シクロヘキサノール：０．０２質量部および白金の１，３－ジビニルテトラメチルジシロキサン錯体の１，３－ジビニルテトラメチルジシロキサン溶液（白金金属含有量約４０００ｐｐｍ）：０．２２質量部を、あわとり錬太郎（シンキー社製）で１５分間乳化し、次いで、乳化液を室温で５分間減圧乾燥して脱泡を行い、樹脂組成物（４）を得た。
　この樹脂組成物（４）をフロロシリコーン処理ＰＥＴフィルム（ニッパシートＰＥＴ３８ｘ１－ＳＳ４Ａ、ニッパ社製）上にアプリケータを用いて塗布し、その上からＰＥＴフィルム（ルミラーＱＶ１５、東レ社製、算術平均表面粗さＲａ＝２．４４μｍ）を被せて、熱風オーブンによって８５℃で６分間加熱し、樹脂組成物（４）を硬化させた。硬化後、ＰＥＴフィルムを剥離し、さらに、２００℃で３分間加熱乾燥を行い、厚さ２００μｍ、見掛け密度０．４８ｇ／ｃｍ３、ＰＥＴフィルムを剥離した側の表面の算術平均表面粗さＲａ＝３．４６μｍのシリコーン発泡シート（４）を得た。
　得られたシリコーン発泡シート（４）についての各種測定結果、評価結果を表１に示した。
〔比較例１〕
　シリコーン（ＳＥ１７００、東レ・ダウコーニング社製）主剤１００質量部、触媒１０質量部、酢酸エチル５２．８質量部を混合して１０分撹拌した。この液をフロロシリコーン処理ＰＥＴフィルム（ニッパシートＰＥＴ３８ｘ１－ＳＳ４Ａ、ニッパ社製）上にアプリケータを用いて塗布し、その上からＰＥＴフィルム（ルミラーＳ１０、東レ社製、算術平均表面粗さＲａ＝０．２８μｍ）を被せて、熱風オーブンによって８５℃で６分間加熱し、シリコーンを硬化させた。硬化後、ＰＥＴフィルムを剥離し、さらに、１８０℃で５分間加熱し、厚さ２００μｍ、見掛け密度１．１４ｇ／ｃｍ３、ＰＥＴフィルムを剥離した側の表面の算術平均表面粗さＲａ＝０．４６μｍのシリコーンシート（Ｃ１）を得た。
　得られたシリコーンシート（Ｃ１）についての各種測定結果、評価結果を表１に示した。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
　本発明の吸着仮固定シートは、各種分野における仮固定材として利用可能である。

Claims (10)

  1. 　連続気泡構造を備える発泡層を有する吸着仮固定シートであって、
    　該発泡層の表面の、－４０℃で２０時間後のシリコンチップ垂直接着力をＶ１（Ｎ／１ｃｍ□）、２３℃で２０時間後のシリコンチップ垂直接着力をＶ２（Ｎ／１ｃｍ□）、１２５℃で２０時間後のシリコンチップ垂直接着力をＶ３（Ｎ／１ｃｍ□）とし、
    　該発泡層の表面の、－４０℃で２０時間後のシリコンチップせん断接着力をＨ１（Ｎ／１ｃｍ□）、２３℃で２０時間後のシリコンチップせん断接着力をＨ２（Ｎ／１ｃｍ□）、１２５℃で２０時間後のシリコンチップせん断接着力をＨ３（Ｎ／１ｃｍ□）としたとき、
    　Ｖ１＜Ｈ１、Ｖ２＜Ｈ２、Ｖ３＜Ｈ３である、
    　吸着仮固定シート。
    　ここで、シリコンチップ垂直接着力は、平滑なステンレス板の上に吸着仮固定シートの評価面の反対面をシリコーン粘着テープで固定し、グラインダー（ディスコ社製、ＤＦＧ８５６０）で研削しダイシングソー（ディスコ社製、ＤＦＤ６４５０）で１ｃｍ□に個片化した厚み３００μｍのシリコンチップの研削面を吸着仮固定シートに２ｋｇローラーを１往復させて貼り合せ、－４０℃、２３℃、１２５℃でそれぞれ２０時間養生し、２３℃で２時間静置させ、サーボパルサー（島津製作所社製、コントローラー４８９０、ロードセルＭＭＴ－２５０Ｎ）を用いて２０ｍｍΦのアダプターの先端に両面テープ（日東電工社製、Ｎｏ．５０００ＮＳ）を貼付した状態で、０．０５Ｎの荷重がかかるまで圧縮速度０．０１Ｎ／ｓｅｃで垂直方向にシリコンチップのミラー面（研削面の反対面）を圧縮し、１０ｍｍ／ｓｅｃで引き剥がした時の最大荷重である。
    　また、シリコンチップせん断接着力は、平滑なステンレス板の上に吸着仮固定シートの評価面の反対面をシリコーン粘着テープで固定し、グラインダー（ディスコ社製、ＤＦＧ８５６０）で研削しダイシングソー（ディスコ社製、ＤＦＤ６４５０）で１ｃｍ□に個片化した厚み３００μｍのシリコンチップの研削面を吸着仮固定シートに２ｋｇローラーを１往復させて貼り合せ、－４０℃、２３℃、１２５℃でそれぞれ２０時間養生し、２３℃で２時間静置させ、フォースゲージ（日本電産シンポ社製、ＦＧＰＸ－１０）を用いてシリコンチップの側面を１ｍｍ／ｓｅｃの速度で押して測定されるせん断接着力である。
  2. 　前記Ｖ１が５Ｎ／１ｃｍ□以下である、請求項１に記載の吸着仮固定シート。
  3. 　前記Ｈ１が０．５Ｎ／１ｃｍ□以上である、請求項１または２に記載の吸着仮固定シート。
  4. 　前記Ｖ２が６．５Ｎ／１ｃｍ□以下である、請求項１から３までのいずれかに記載の吸着仮固定シート。
  5. 　前記Ｈ２が０．６Ｎ／１ｃｍ□以上である、請求項１から４までのいずれかに記載の吸着仮固定シート。
  6. 　前記Ｖ３が１０Ｎ／１ｃｍ□以下である、請求項１から５までのいずれかに記載の吸着仮固定シート。
  7. 　前記Ｈ３が０．７Ｎ／１ｃｍ□以上である、請求項１から６までのいずれかに記載の吸着仮固定シート。
  8. 　前記発泡層の見かけ密度が０．１５ｇ／ｃｍ３～０．９０ｇ／ｃｍ３である、請求項１から７までのいずれかに記載の吸着仮固定シート。
  9. 　前記発泡層の表面の算術平均表面粗さＲａが１μｍ～１０μｍである、請求項１から８までのいずれかに記載の吸着仮固定シート。
  10. 　連続気泡構造を備える発泡層を有する吸着仮固定シートの製造方法であって、
    　該発泡層を形成する樹脂組成物をセパレーターＡ上に塗工し、該塗工した樹脂組成物の該セパレーターＡと反対側の表面上にセパレーターＢを載置し、熱硬化を行った後、該セパレーターＡおよび該セパレーターＢから選ばれる少なくとも１種を剥離し、
    　該剥離したセパレーターの中の少なくとも１種が、算術平均表面粗さＲａが０．１μｍ～５μｍの表面を有するセパレーターである、
    　吸着仮固定シートの製造方法。
     
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