WO2018105541A1 - 検査装置及び検査方法 - Google Patents

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WO2018105541A1
WO2018105541A1 PCT/JP2017/043416 JP2017043416W WO2018105541A1 WO 2018105541 A1 WO2018105541 A1 WO 2018105541A1 JP 2017043416 W JP2017043416 W JP 2017043416W WO 2018105541 A1 WO2018105541 A1 WO 2018105541A1
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test signal
frequency module
holding
holding surface
frequency
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PCT/JP2017/043416
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Inventor
文夫 渡邊
Original Assignee
アルプス電気株式会社
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
    • G01S7/02—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S13/00
    • G01S7/40—Means for monitoring or calibrating
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04B—TRANSMISSION
    • H04B17/00—Monitoring; Testing

Definitions

  • the present invention relates to an inspection apparatus and inspection method for performance inspection of a high-frequency module, and more particularly to an inspection apparatus and inspection method suitable for performance inspection of a high-frequency module with an antenna used for a millimeter wave radar or the like.
  • both the transmission characteristics of high-frequency signals transmitted from the antenna and the reception characteristics when receiving high-frequency signals via the antenna are measured abnormally. It is necessary to confirm the presence or absence.
  • transmission characteristics and reception characteristics are measured for each module.
  • a bistatic radar cross-sectional area measuring device 900 described in Patent Document 1 below is known.
  • the bistatic radar cross-section measuring device 900 will be described with reference to FIG.
  • the bistatic radar cross-sectional area measuring apparatus 900 has a transmission antenna 906 arranged at the focal position of a parabolic reflector 901, and a compact electromagnetic wave far field formed by the parabolic reflector 901.
  • the device under test 908 is rotatably installed in a space directly facing the parabolic reflector 901, and the reception probe 907 is arranged around the device under test 908 in the direction of the device under test 908. Then, the measurement object 908 is rotated about the rotation axis perpendicular to the electromagnetic wave radiation direction from the parabolic reflector 901 and the reception probe 907 is rotated to measure the bistatic radar cross section of the measurement object 908. To do.
  • the performance is measured by replacing the high-frequency module for each high-frequency module, so that the time for measurement per high-frequency module is large. It was hanging.
  • the present invention has been made in view of such a state of the art, and provides an inspection apparatus and an inspection method capable of reducing the measurement time per high-frequency module and greatly reducing the manufacturing cost. Objective.
  • an inspection apparatus of the present invention is an inspection apparatus for inspecting transmission characteristics and / or reception characteristics of a high-frequency module that transmits and / or receives a high-frequency signal, and can hold the high-frequency module.
  • a holding unit ; an antenna unit that receives and / or transmits a test signal that can be transmitted or received by the high-frequency module; and a parabolic reflector that reflects the test signal in a predetermined direction.
  • the reflecting plate is arranged to face the holding surface, and the antenna unit is a focal position of the reflecting plate It has the characteristic of being arranged.
  • the test signal can be received and / or transmitted via the reflector between each of the plurality of high frequency modules and the antenna unit. It becomes possible to inspect on time. Therefore, the measurement time per high frequency module can be shortened and the manufacturing cost can be greatly reduced without using a plurality of measuring devices.
  • the antenna unit performs reception of a first test signal that can be transmitted by the high-frequency module and transmission of a second test signal that can be received by the high-frequency module
  • the holding unit includes:
  • Each of the plurality of high-frequency modules can transmit the first test signal in a direction orthogonal to the holding surface and can receive the second test signal coming from a direction orthogonal to the holding surface.
  • the high-frequency module is held, and the reflector reflects the first test signal coming from a direction orthogonal to the holding surface toward the focal position, and holds the second test signal coming from the focal position. It has the characteristic that it arrange
  • the first test signal transmitted from each high-frequency module is stably received by the antenna unit, and the second test signal transmitted from the antenna unit is stably received by each high-frequency module. Therefore, it is possible to inspect the transmission characteristics and the reception characteristics of a plurality of high-frequency modules simultaneously or in a short time, and to accurately inspect these characteristics.
  • an inspection method of the present invention is an inspection method for inspecting transmission characteristics and / or reception characteristics of a high-frequency module that transmits and / or receives high-frequency signals, and holds the high-frequency module.
  • An inspection apparatus comprising: a holding unit capable of receiving, an antenna unit that receives and / or transmits a test signal that can be transmitted or received by the high-frequency module; and a parabolic reflector that reflects the test signal in a predetermined direction.
  • the holding unit is provided with a holding surface for arranging a plurality of the high-frequency modules side by side, the reflecting plate is arranged to face the holding surface, and the antenna unit is positioned at a focal position of the reflecting plate. It has the feature that it arranges in.
  • the test signal can be received and / or transmitted via the reflector between each of the plurality of high-frequency modules and the antenna unit. It becomes possible to inspect on time. Therefore, the measurement time per high frequency module can be shortened and the manufacturing cost can be greatly reduced without using a plurality of measuring devices.
  • the antenna unit is configured to perform reception of a first test signal that can be transmitted by the high-frequency module and transmission of a second test signal that can be received by the high-frequency module.
  • Each of the plurality of high-frequency modules can transmit the first test signal in a direction orthogonal to the holding surface and can receive the second test signal coming from a direction orthogonal to the holding surface.
  • the first test signal transmitted from each high-frequency module is stably received by the antenna unit, and the second test signal transmitted from the antenna unit is stably received by each high-frequency module. Therefore, it is possible to inspect the transmission characteristics and the reception characteristics of a plurality of high-frequency modules simultaneously or in a short time, and to accurately inspect these characteristics.
  • the plurality of high-frequency modules are arranged so as to be rotationally symmetric about the antenna unit.
  • a plurality of high-frequency modules are arranged so as to be rotationally symmetric with respect to the antenna portion, so that more high-frequency modules can be inspected in a short time.
  • the transmission distance of the transmission signal and reception signal from the antenna unit to the high-frequency module is the same between the high-frequency modules arranged at rotationally symmetric positions, so inspection is performed in comparison with the case where the high-frequency module is randomly arranged on the holding surface. It becomes easy to increase accuracy.
  • the plurality of high-frequency modules are characterized by being arranged in a straight line with the antenna portion as the center.
  • the inspection method configured in this way arranges a plurality of high frequency modules in a straight line, the arrangement area of the high frequency modules can be reduced.
  • the conveyance path at the time of inspection of the high-frequency module is provided in a straight line, it is possible to arrange the holding surface of the holding part in the middle of the conveyance path, and smoothing the conveyance and performance inspection of the high-frequency module Will be able to do.
  • the inspection apparatus and the inspection method of the present invention it is possible to receive and / or transmit test signals via the reflector between each of the plurality of high-frequency modules and the antenna unit. It becomes possible to inspect on time. Therefore, the measurement time per high frequency module can be shortened and the manufacturing cost can be greatly reduced without using a plurality of measuring devices.
  • An inspection apparatus 100 is an inspection apparatus for inspecting transmission characteristics and reception characteristics of a high-frequency module having a high-frequency circuit constituting a millimeter wave radar.
  • the high-frequency module is mounted on a vehicle or the like and used for driver assistance or the like.
  • Applications of the inspection apparatus and inspection method of the present invention are not limited to the embodiments described below, and can be changed as appropriate.
  • the right side, the left side, the rear side, the front side, the upper side, and the lower side may be described in the description for each drawing. This indicates the -X side, + Y side, -Y side, + Z side, and -Z side, and does not limit the installation direction of the product or the direction during use.
  • FIG. 1 is a schematic diagram illustrating an inspection apparatus 100 according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 illustrates a high-frequency module 70 that is a measurement target
  • FIG. 2A illustrates an appearance of the high-frequency module 70.
  • FIG. 2B is a plan view of the circuit board 73 in the high frequency module 70.
  • FIG. 3 is a plan view showing the arrangement of the plurality of high-frequency modules 70 on the holding unit 30.
  • the inspection apparatus 100 is an inspection apparatus for inspecting transmission characteristics and reception characteristics of a high-frequency module 70 that performs transmission and reception of a high-frequency signal, and holds the high-frequency module 70 as shown in FIG. Unit 30, antenna unit 10 that is a transmission / reception antenna, reflector 20 that reflects a received signal in a predetermined direction, and measuring instrument 15 connected to antenna unit 10.
  • the holding part 30 is formed in a substantially square shape in plan view, and the holding part 30 is provided with a holding surface 31 on which a plurality of high-frequency modules 70 are arranged.
  • the holding surface 31 is a planar portion disposed so as to be parallel to an XY plane (horizontal plane) orthogonal to the Z direction (vertical direction).
  • a holding mechanism or the like may be provided.
  • the reflection plate 20 has a parabolic shape in a circular shape in plan view, and the reflection surface 23 faces the holding surface 31 of the holding unit 30 and is spaced above the holding surface 31.
  • the material of the reflecting plate 20 aluminum is usually used, but other materials may be used.
  • the high-frequency module 70 has an appearance in which a high-frequency connector 75 is attached to a casing 79 having a rectangular parallelepiped shape.
  • a circuit board 73 shown in FIG. 2B is attached inside the high-frequency module 70, and a millimeter wave antenna 71 is mounted on the circuit board 73.
  • the millimeter wave antenna 71 is configured to transmit a transmission signal and receive a reception signal, and directivity is directed in the Z direction (vertical direction).
  • a high frequency circuit 77 including a plurality of millimeter wave antennas 71 is formed on the circuit board 73, and the high frequency circuit 77 constitutes a millimeter wave radar.
  • the upper end of the housing 79 is made of a material such as synthetic resin, so that the transmission signal radiated from the millimeter wave antenna 71 is transmitted upward, and the reception signal arriving from above is transmitted to the millimeter wave antenna 71 side. You will be able to. Further, the directivity of the millimeter wave antenna 71 can be set by combining a plurality of antenna elements or combining an antenna element and a member capable of refraction and reflection of millimeter wave signals.
  • the antenna unit 10 shown in FIG. 1 can receive a first test signal Tst1 that is a transmission signal transmitted by the high-frequency module 70, and can transmit a second test signal Tst2 that is a reception signal received by the high-frequency module 70. It can be carried out.
  • the antenna unit 10 is disposed at the focal position 21 of the reflection plate 20.
  • the reflection plate 20 faces the plurality of high-frequency modules 70 held on the holding surface of the holding unit 30, and the first comes from a vertically downward direction that is a direction orthogonal to the holding surface 31.
  • the test signal Tst1 is reflected toward the focal position 21 of the reflector 20 itself, and the second test signal Tst2 arriving from the focal position 21 is reflected downward in the vertical direction that is perpendicular to the holding surface 31.
  • the holding unit 30 described above can transmit the first test signal Tst1 in the direction orthogonal to the holding surface 31, that is, in the vertical upward direction, and the direction orthogonal to the holding surface 31, that is, The high frequency module 70 is held so that the second test signal Tst2 coming from the vertically upward direction can be received.
  • the above-described inspection apparatus 100 As an inspection method for inspecting transmission characteristics and reception characteristics of the high-frequency module 70 that performs transmission and reception of high-frequency signals, the above-described inspection apparatus 100 is used, and a plurality of high-frequency modules are provided on the holding surface 31 of the holding unit 30. 70 are arranged side by side, and each of the plurality of high-frequency modules 70 can transmit the first test signal Tst1 in a direction (upward) orthogonal to the holding surface 31 and also comes from a direction (upper) orthogonal to the holding surface 31. The high-frequency module 70 is held so that the two test signals Tst2 can be received.
  • the antenna unit 10 is disposed at the focal position 21 of the reflector 20, the reflector 20 is opposed to the plurality of high frequency modules 70 held by the holding unit 30, and the first coming from the direction orthogonal to the holding surface 31.
  • the test signal Tst ⁇ b> 1 is reflected toward its own focal position 21, and the second test signal Tst ⁇ b> 2 coming from the focal position 21 is reflected in a direction orthogonal to the holding surface 31.
  • the high frequency module 70 is held, the second test signal Tst2 that is a reception signal received by the high frequency module 70 is transmitted by the antenna unit 10, and the first test signal Tst1 that is a transmission signal transmitted by the high frequency module 70 is transmitted. Received by the antenna unit 10. Then, by transmitting the first test signal Tst1 from the antenna unit 10 to the measuring instrument 15, the measuring instrument 15 can inspect the transmission characteristics and the receiving characteristics of the high-frequency module 70.
  • the high-frequency module 70 As a method for arranging the high-frequency module 70 on the holding unit 30 as described above, it is desirable to arrange a plurality of high-frequency modules 70 so as to be rotationally symmetric about the antenna unit 10 as shown in FIG.
  • the high-frequency module 70 is moved four times around the antenna unit 10.
  • An example is shown in which 24 are arranged so as to be rotationally symmetric (a state in which a rotationally symmetric position is obtained every time 90 ° is rotated).
  • a method of arranging the plurality of high-frequency modules 70 eight high-frequency modules 70 are arranged so as to be rotationally symmetric four times around the antenna unit 10, or a plurality of concentric circles around the antenna unit 10 are arranged. Other arrangement methods such as arrangement may be used.
  • the plurality of high-frequency modules 70 can be efficiently arranged by arranging the plurality of high-frequency modules 70 so as to be rotationally symmetric about the antenna unit 10. Therefore, more high frequency modules 70 can be inspected in a short time.
  • FIG. 4 is a schematic view showing a modified inspection apparatus 110 in the embodiment of the present invention
  • FIG. 5 is a plan view showing the arrangement of the high-frequency modules 70 on the holding unit 50 in the modified example.
  • the inspection apparatus 110 is an inspection apparatus for inspecting transmission characteristics and reception characteristics of the high-frequency module 70 that performs transmission and reception of a high-frequency signal, and holds the high-frequency module 70 as shown in FIG. Unit 50, antenna unit 10, reflector 40 that reflects a received signal in a predetermined direction, and measuring instrument 15 connected to antenna unit 10.
  • the difference between the inspection apparatus 100 and the inspection apparatus 110 described above is only the shape of the reflector 40, the shape of the holding unit 50, and the manner of arrangement of the high-frequency module 70, and the basic operation is the same. is there. Therefore, the description other than the differences is omitted.
  • the holding portion 50 is formed in a rectangular shape that is long in the left-right direction in plan view, and the holding portion 51 has a holding surface 51 on which a plurality of high-frequency modules 70 are arranged. Is provided.
  • the holding surface 51 is disposed so as to be parallel to an XY plane (horizontal plane) orthogonal to the Z direction (vertical direction).
  • the reflection plate 40 has a rectangular shape in plan view, and has a parabolic shape when viewed from the front.
  • the reflection surface 43 faces the holding surface 51 of the holding unit 50 and is above the holding surface 51. Are spaced apart from each other.
  • the antenna unit 10 is disposed at the focal position 41.
  • the reflector 40 faces the plurality of high-frequency modules 70 held by the holding unit 50, and receives the first test signal Tst1 coming from the vertical downward direction that is a direction orthogonal to the holding surface 51. Reflected toward the focal position 41 of the reflector 40 itself, and arranged so as to reflect the second test signal Tst2 arriving from the focal position 41 toward the vertical downward direction that is perpendicular to the holding surface 51. Yes.
  • the arrangement of the high-frequency module 70 on the holding unit 50 includes a plurality of high-frequency modules 70 centered on the antenna unit 10 as shown in FIG. It is desirable to arrange them linearly in the direction.
  • the high-frequency module 70 is centered on the antenna unit 10.
  • An example is shown in which six straight lines are arranged.
  • the arrangement of the plurality of high-frequency modules 70 may be other arrangements such as arranging a plurality of high-frequency modules 70 in a plurality of rows around the antenna unit 10.
  • the arrangement area of the plurality of high frequency modules 70 can be reduced by arranging the plurality of high frequency modules 70 in a straight line with the antenna unit 10 as the center.
  • the test signal can be received and / or transmitted via the reflector 20 between each of the plurality of high frequency modules 70 and the antenna unit 10. It becomes possible to inspect. Therefore, the measurement time per high frequency module can be shortened and the manufacturing cost can be greatly reduced without using a plurality of measuring devices. Such an effect is not limited to the case where both the transmission of the test signal from the high frequency module 70 to the antenna unit 10 and the transmission of the test signal from the antenna unit 10 to the high frequency module 70 are performed. The same effect can be obtained even when only one is performed.
  • the first test signal Tst1 transmitted from each high frequency module 70 can be stably received by the antenna unit 10
  • the second test signal Tst2 transmitted from the antenna unit 10 can be stably received by each high frequency module 70. Therefore, the transmission characteristics and reception characteristics of the plurality of high-frequency modules 70 can be inspected simultaneously or in a short time, and these characteristics can be inspected accurately.
  • the test signal can be received and / or transmitted via the reflector 20 between each of the plurality of high frequency modules 70 and the antenna unit 10. 70 can be inspected simultaneously or in a short time. Therefore, the measurement time per high frequency module can be shortened and the manufacturing cost can be greatly reduced without using a plurality of measuring devices.
  • Such an effect is not limited to the case where both the transmission of the test signal from the high frequency module 70 to the antenna unit 10 and the transmission of the test signal from the antenna unit 10 to the high frequency module 70 are performed. The same effect can be obtained even when only one is performed.
  • the first test signal Tst1 transmitted from each high frequency module 70 can be stably received by the antenna unit 10
  • the second test signal Tst2 transmitted from the antenna unit 10 can be stably received by each high frequency module 70. Therefore, the transmission characteristics and reception characteristics of the plurality of high-frequency modules 70 can be inspected simultaneously or in a short time, and these characteristics can be inspected accurately.
  • the high frequency module 70 is randomly arranged on the holding surface 31. Compared with, it becomes easy to raise inspection accuracy.
  • the arrangement area of the high frequency modules 70 can be reduced. Further, when the conveyance path at the time of inspection of the high-frequency module 70 is provided in a straight line, it is possible to arrange the holding surface 51 of the holding unit 50 in the middle of the conveyance path. Can be performed smoothly.
  • the test signal can be received and / or transmitted via the reflector between each of the plurality of high frequency modules and the antenna unit.
  • Each module can be inspected simultaneously or in a short time. Therefore, the measurement time per high frequency module can be shortened and the manufacturing cost can be greatly reduced without using a plurality of measuring devices.

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Abstract

【課題】高周波モジュール１台当たりの測定時間を短縮して、製造コストを大幅に引き下げることができる検査装置及び検査方法を提供する。 【解決手段】検査装置１００は、高周波モジュール７０を保持可能な保持部３０と、高周波モジュール７０が送信又は受信可能な試験信号の受信及び又は送信を行うアンテナ部１０と、試験信号を所定の方向へ反射するパラボラ形状の反射板２０と、を備え、保持部３０には、複数の高周波モジュール７０を並べて配置するための保持面３１が設けられており、反射板２０は、保持面３１と対向するように配置されており、アンテナ部１０は、反射板２０の焦点位置２１に配置されている。

Description

検査装置及び検査方法
　本発明は、高周波モジュールの性能検査のための検査装置及び検査方法に関し、特にミリ波レーダー等に用いられるアンテナ付き高周波モジュールの性能検査に適した検査装置及び検査方法に関する。
　従来から、ミリ波レーダー等に用いられるアンテナ付き高周波モジュールの性能検査では、アンテナから送信される高周波信号の送信特性とアンテナを介して高周波信号を受信した時の受信特性との両方を測定し異常の有無を確認する必要が有る。そして、通常このような高周波モジュールの性能検査では、モジュール１台毎に送信特性と受信特性とをそれぞれ測定していた。
　このような従来の検査装置として、下記の特許文献１に記載のバイスタティックレーダ断面積の測定装置９００が知られている。図６を用いて、バイスタティックレーダ断面積の測定装置９００について説明する。
　バイスタティックレーダ断面積の測定装置９００は、図６に示すように、パラボラリフレクタ９０１の焦点位置に配置された送信アンテナ９０６を有しパラボラリフレクタ９０１により擬似的に電磁波的な遠方界を形成するコンパクトレンジを用い、パラボラリフレクタ９０１に正対する空間内に被測定物９０８を回転可能に設置し、受信プローブ９０７を被測定物９０８の方向に向けて被測定物９０８の回りに周回可能に配置する。そして、パラボラリフレクタ９０１からの電磁波輻射方向に対して垂直な回転軸を中心として被測定物９０８を回転させると共に、受信プローブ９０７を回転移動させることにより被測定物９０８のバイスタティックレーダ断面積を測定する。
　このような構成によって、限られた空間内でも容易に実施できるバイスタティックレーダ断面積の検査方法及びその装置を提供することができる。
特開平２００３－３４４５３１号公報
　しかしながら、上述したバイスタティックレーダ断面積の測定装置９００のような検査装置では、高周波モジュール１台毎に高周波モジュールを取り替えて性能測定を行なうため、高周波モジュール１台当たりの測定のための時間が多く掛かってしまっていた。また、複数の計測機器を用いて複数の高周波モジュールを同時に測定することで測定時間を短縮する方法も考えられるが、アンテナ付き高周波モジュールの性能を検査するための計測機器は、その価格が非常に高いものである。そのため、このような検査方法では高周波モジュールの製造コストが高くなってしまっていた。
　本発明はこのような従来技術の実情に鑑みてなされたもので、高周波モジュール１台当たりの測定時間を短縮して、製造コストを大幅に引き下げることができる検査装置及び検査方法を提供することを目的とする。
　上記課題を解決するために本発明の検査装置は、高周波信号の送信及び又は受信を行う高周波モジュールの送信特性及び又は受信特性を検査するための検査装置であって、前記高周波モジュールを保持可能な保持部と、前記高周波モジュールが送信又は受信可能な試験信号の受信及び又は送信を行うアンテナ部と、前記試験信号を所定の方向へ反射するパラボラ形状の反射板と、を備え、前記保持部には、複数の前記高周波モジュールを並べて配置するための保持面が設けられており、前記反射板は、前記保持面と対向するように配置されており、前記アンテナ部は、前記反射板の焦点位置に配置されている、という特徴を有する。
　このように構成された検査装置では、複数の高周波モジュールそれぞれとアンテナ部との間で、反射板を介した試験信号の受信及び又は送信が可能になるので、複数の高周波モジュールそれぞれを同時に又は短時間に検査することが可能となる。そのため、複数の計測機器を用いることなく、高周波モジュール１台当たりの測定時間を短縮して、製造コストを大幅に引き下げることができる。
　また、上記の構成において、前記アンテナ部は、前記高周波モジュールが送信可能な第１試験信号の受信と、前記高周波モジュールが受信可能な第２試験信号の送信と、を行い、前記保持部は、複数の前記高周波モジュールそれぞれが前記保持面と直交する方向へ前記第１試験信号を送信可能となると共に、前記保持面と直交する方向から到来する前記第２試験信号を受信可能となるように前記高周波モジュールを保持し、前記反射板は、前記保持面と直交する方向から到来する前記第１試験信号を前記焦点位置に向かって反射し、前記焦点位置から到来する前記第２試験信号を前記保持面と直交する方向に向かって反射するように配置されている、という特徴を有する。
　このように構成された検査装置では、各高周波モジュールの送信する第１試験信号をアンテナ部で安定して受信すると共に、アンテナ部の送信する第２試験信号を各高周波モジュールに安定して受信させることができるので、複数の高周波モジュールの送信特性と受信特性とを同時又は短時間に検査することができると共に、これらの特性を正確に検査することが可能になる。
　また、上記課題を解決するために本発明の検査方法は、高周波信号の送信及び又は受信を行う高周波モジュールの送信特性及び又は受信特性を検査するための検査方法であって、前記高周波モジュールを保持可能な保持部と、前記高周波モジュールが送信又は受信可能な試験信号の受信及び又は送信を行うアンテナ部と、前記試験信号を所定の方向へ反射するパラボラ形状の反射板と、を備えた検査装置を用い、前記保持部には、複数の前記高周波モジュールを並べて配置するための保持面を設け、前記反射板を前記保持面と対向するように配置し、前記アンテナ部を前記反射板の焦点位置に配置する、という特徴を有する。
　このように構成された検査方法では、複数の高周波モジュールそれぞれとアンテナ部との間で、反射板を介した試験信号の受信及び又は送信が可能になるので、複数の高周波モジュールそれぞれを同時に又は短時間に検査することが可能となる。そのため、複数の計測機器を用いることなく、高周波モジュール１台当たりの測定時間を短縮して、製造コストを大幅に引き下げることができる。
　また、上記の構成において、前記アンテナ部に、前記高周波モジュールが送信可能な第１試験信号の受信と、前記高周波モジュールが受信可能な第２試験信号の送信と、を行わせ、前記保持部に、複数の前記高周波モジュールそれぞれが前記保持面と直交する方向へ前記第１試験信号を送信可能となると共に、前記保持面と直交する方向から到来する前記第２試験信号を受信可能となるように、前記高周波モジュールを保持させ、前記反射板を、前記保持面と直交する方向から到来する前記第１試験信号を前記焦点位置に向かって反射し、前記焦点位置から到来する前記第２試験信号を前記保持面と直交する方向に向かって反射するように配置する、という特徴を有する。
　このように構成された検査方法では、各高周波モジュールの送信する第１試験信号をアンテナ部で安定して受信すると共に、アンテナ部の送信する第２試験信号を各高周波モジュールに安定して受信させることができるので、複数の高周波モジュールの送信特性と受信特性とを同時又は短時間に検査することができると共に、これらの特性を正確に検査することが可能になる。
　また、上記の構成において、複数の前記高周波モジュールを、前記アンテナ部を中心として回転対称となるように配置する、という特徴を有する。
　このように構成された検査方法は、アンテナ部を中心として回転対称となるように複数の高周波モジュールを配置するので、より多くの高周波モジュールを短時間で検査することができる。また、アンテナ部から高周波モジュールまでの送信信号や受信信号の伝達距離が、回転対称位置に配置された高周波モジュール同士で等しくなるので、高周波モジュールを保持面にランダムに配置した場合と比較して検査精度を高め易くなる。
　また、上記の構成において、複数の前記高周波モジュールを、前記アンテナ部を中心として直線状に配置する、という特徴を有する。
　このように構成された検査方法は、直線状に複数の高周波モジュールを配置するので、高周波モジュールの配置面積を小さくすることができる。また、高周波モジュールの検査時の搬送経路を直線状に設けた場合には、搬送経路の途中に保持部の保持面を配置することも可能になり、高周波モジュールの搬送と性能検査とを円滑に行うことができるようになる。
　本発明の検査装置及び検査方法では、複数の高周波モジュールそれぞれとアンテナ部との間で、反射板を介した試験信号の受信及び又は送信が可能になるので、複数の高周波モジュールそれぞれを同時に又は短時間に検査することが可能となる。そのため、複数の計測機器を用いることなく、高周波モジュール１台当たりの測定時間を短縮して、製造コストを大幅に引き下げることができる。
本発明の実施形態における検査装置を示す模式図である。 高周波モジュールを示す斜視図及び回路基板の平面図である。 保持部上の高周波モジュールの配置を示す平面図である。 本発明の実施形態における変形例の検査装置を示す模式図である。 変形例における保持部上の高周波モジュールの配置を示す平面図である。 従来例に係る検査装置を示す模式図である。
　［実施形態］
　以下、本発明について、図面を参照しながら説明する。本発明の実施形態である検査装置１００は、ミリ波レーダーを構成した高周波回路を有した高周波モジュールの送信特性と受信特性とを検査するための検査装置である。当該高周波モジュールは、例えば、車両等に搭載されて、ドライバーアシスト等のために使用される。本発明の検査装置及び検査方法の用途については、以下説明する実施形態に限定されるものではなく適宜変更が可能である。尚、本明細書では、各図面に対する説明の中で便宜上、右側、左側、後側、前側、上側、下側と記載している場合があるが、これらは、それぞれ各図面内で＋Ｘ側、－Ｘ側、＋Ｙ側、－Ｙ側、＋Ｚ側、－Ｚ側を示すものであり、製品の設置方向や使用時の方向をこれらに限定するものではない。
　最初に、図１乃至図３を参照して、検査装置１００の構成及び検査装置１００を用いた検査方法について説明する。図１は、本発明の実施形態における検査装置１００を示す模式図であり、図２は、測定対象である高周波モジュール７０を示し、そのうち、図２（ａ）は、高周波モジュール７０の外観を示す斜視図であり、図２（ｂ）は、高周波モジュール７０内の回路基板７３の平面図である。また、図３は、保持部３０上の複数の高周波モジュール７０の配置を示す平面図である。
　検査装置１００は、高周波信号の送信と受信とを行う高周波モジュール７０の送信特性と受信特性とを検査するための検査装置であって、図１に示すように、高周波モジュール７０を保持可能な保持部３０と、送受信アンテナであるアンテナ部１０と、受信した信号を所定の方向へ反射する反射板２０と、アンテナ部１０に接続された計測機１５と、を備えて構成されている。
　図１及び図３に示すように、保持部３０は、平面視略正方形形状に形成されており、保持部３０には、複数の高周波モジュール７０が並べて配置される保持面３１が設けられている。保持面３１は、Ｚ方向（上下方向）に対して直交するＸ－Ｙ平面（水平面）に平行になるように配置された平面状の部分であり、高周波モジュール７０を保持するための凹凸部や保持機構等が設けられていても構わない。
　反射板２０は、平面視円形状のパラボラ形状をしており、その反射面２３が保持部３０の保持面３１に対向すると共に、保持面３１の上方に離間して設けられている。反射板２０の材質としては、通常アルミニウムが用いられるが、それ以外の材質であっても良い。
　高周波モジュール７０は、図２（ａ）に示すように、直方体形状をした筐体７９に高周波コネクタ７５が取り付けられた外観をしている。高周波モジュール７０の内部には、図２（ｂ）に示す回路基板７３が取り付けられており、回路基板７３上には、ミリ波アンテナ７１が搭載されている。ミリ波アンテナ７１は、送信信号を送信すると共に受信信号を受信可能に形成されており、Ｚ方向（上下方向）に指向性が向けられている。回路基板７３上には、複数のミリ波アンテナ７１を含む高周波回路７７が形成されており、高周波回路７７は、ミリ波レーダーを構成している。尚、筐体７９の上端部を合成樹脂等の材質で構成することにより、ミリ波アンテナ７１が放射した送信信号を上方に透過させたり、上方から到来する受信信号をミリ波アンテナ７１側に透過させたりできるようになる。また、ミリ波アンテナ７１の指向性は、複数のアンテナ素子を組み合わせたり、アンテナ素子とミリ波用信号の屈折や反射が可能な部材とを組み合わせたりして設定することができる。
　図１に示すアンテナ部１０は、高周波モジュール７０が送信する送信信号である第１試験信号Ｔｓｔ１を受信することができると共に、高周波モジュール７０が受信する受信信号である第２試験信号Ｔｓｔ２の送信を行うことができる。アンテナ部１０は、反射板２０の焦点位置２１に配置されている。
　反射板２０は、図１に示すように、保持部３０の保持面に保持された複数の高周波モジュール７０と対向しており、保持面３１と直交する方向である垂直下方向から到来する第１試験信号Ｔｓｔ１を、反射板２０自身の焦点位置２１に向かって反射すると共に、当該焦点位置２１から到来する第２試験信号Ｔｓｔ２を、保持面３１と直交する方向である垂直下方向に向かって反射するように配置されている。
　また、上述した保持部３０は、複数の高周波モジュール７０それぞれが保持面３１と直交する方向、即ち垂直上方向へ第１試験信号Ｔｓｔ１を送信可能となると共に、保持面３１と直交する方向、即ち垂直上方向から到来する第２試験信号Ｔｓｔ２を受信可能となるように、高周波モジュール７０を保持している。
　高周波信号の送信と受信とを行う高周波モジュール７０の送信特性と受信特性とを検査するための検査方法としては、上述した検査装置１００を用い、保持部３０の保持面３１に、複数の高周波モジュール７０を並べて配置し、複数の高周波モジュール７０それぞれが保持面３１と直交する方向（上方）へ第１試験信号Ｔｓｔ１を送信可能となると共に、保持面３１と直交する方向（上方）から到来する第２試験信号Ｔｓｔ２を受信可能となるように、高周波モジュール７０を保持させる。
　また、アンテナ部１０を反射板２０の焦点位置２１に配置し、反射板２０を、保持部３０に保持された複数の高周波モジュール７０と対向させ、保持面３１と直交する方向から到来する第１試験信号Ｔｓｔ１を自身の焦点位置２１に向かって反射し、焦点位置２１から到来する第２試験信号Ｔｓｔ２を保持面３１と直交する方向へ向かって反射するように配置する。
　上述したように高周波モジュール７０を保持し、高周波モジュール７０が受信する受信信号である第２試験信号Ｔｓｔ２をアンテナ部１０によって送信し、高周波モジュール７０が送信する送信信号である第１試験信号Ｔｓｔ１をアンテナ部１０によって受信する。そして、第１試験信号Ｔｓｔ１が、アンテナ部１０から計測機１５に伝送されることによって、計測機１５で高周波モジュール７０の送信特性と受信特性とを検査することができる。
　上述した高周波モジュール７０の保持部３０上への配置方法としては、図３に示すように、複数の高周波モジュール７０を、アンテナ部１０を中心として回転対称となるように配置することが望ましい。
　図３に示した配置方法では、アンテナ部１０を反射板２０の焦点位置２１である保持部３０の保持面３１の中心部に配置した後、高周波モジュール７０を、アンテナ部１０を中心として４回回転対称（９０°回転させる度に回転対称位置となる状態）となるように、２４個配置した例を示している。しかし、複数の高周波モジュール７０の配置の仕方としては、高周波モジュール７０を、アンテナ部１０を中心として４回回転対称となるように８個配置したり、アンテナ部１０を中心として同心円状に複数個配置したりするなど、他の配置の仕方でも良い。
　このように、複数の高周波モジュール７０を、アンテナ部１０を中心として回転対称となるように配置することによって、複数の高周波モジュール７０を効率良く配置することができる。そのため、より多くの高周波モジュール７０を短時間で検査することができる。
　次に、図４及び図５を参照して、本発明の実施形態における変形例の検査装置１１０の構成及び検査装置１１０を用いた検査方法について説明する。図４は、本発明の実施形態における変形例の検査装置１１０を示す模式図であり、図５は、変形例における保持部５０上の高周波モジュール７０の配置を示す平面図である。
　検査装置１１０は、高周波信号の送信と受信とを行う高周波モジュール７０の送信特性と受信特性とを検査するための検査装置であって、図４に示すように、高周波モジュール７０を保持可能な保持部５０と、アンテナ部１０と、受信した信号を所定の方向へ反射する反射板４０と、アンテナ部１０に接続された計測機１５と、を備えて構成されている。尚、前述した検査装置１００と検査装置１１０との相違点は、反射板４０の形状と、保持部５０の形状、及び高周波モジュール７０の配置の仕方だけであり、基本的な動作については同様である。従って、相違点以外については、その説明を省略する。
　図４及び図５に示すように、保持部５０は、平面視で左右方向に長い長方形形状に形成されており、保持部５０には、複数の高周波モジュール７０が並べて配置される保持面５１が設けられている。保持面５１は、Ｚ方向（上下方向）に対して直交するＸ－Ｙ平面（水平面）に平行になるように配置されている。
　反射板４０は、平面視長方形形状で、前方向から見た場合にパラボラ形状となる形状をしており、その反射面４３が保持部５０の保持面５１に対向すると共に、保持面５１の上方に離間して設けられている。アンテナ部１０は、当該焦点位置４１に配置されている。
　反射板４０は、図４に示すように、保持部５０に保持された複数の高周波モジュール７０と対向し、保持面５１と直交する方向である垂直下方向から到来する第１試験信号Ｔｓｔ１を、反射板４０自身の焦点位置４１に向かって反射し、当該焦点位置４１から到来する第２試験信号Ｔｓｔ２を、保持面５１と直交する方向である垂直下方向に向かって反射するように配置されている。
　本発明の変形例の検査装置１１０による検査方法における、高周波モジュール７０の保持部５０上への配置としては、図５に示すように、複数の高周波モジュール７０を、アンテナ部１０を中心として、左右方向に直線状に配置することが望ましい。
　図５に示した配置方法では、アンテナ部１０を反射板４０の焦点位置４１である保持部５０の保持面５１の中心部に配置した後、高周波モジュール７０を、アンテナ部１０を中心とした一つの直線状に６個配置した例を示している。しかし、複数の高周波モジュール７０の配置の仕方としては、高周波モジュール７０を、アンテナ部１０を中心として、複数列に複数個ずつ配置するなど、他の配置の仕方でも良い。
　このように、複数の高周波モジュール７０を、アンテナ部１０を中心として、直線状に配置することによって、複数の高周波モジュール７０の配置面積を小さくすることができる。
　以下、本実施形態としたことによる効果について説明する。
　検査装置１００では、複数の高周波モジュール７０それぞれとアンテナ部１０との間で、反射板２０を介した試験信号の受信及び又は送信が可能になるので、複数の高周波モジュール７０それぞれを同時に又は短時間に検査することが可能となる。そのため、複数の計測機器を用いることなく、高周波モジュール１台当たりの測定時間を短縮して、製造コストを大幅に引き下げることができる。尚、このような効果は、高周波モジュール７０からアンテナ部１０への試験信号の送信と、アンテナ部１０から高周波モジュール７０への試験信号の送信との両方を行なう場合に限定されるものではなく、一方のみを行なう場合でも同様の効果を得ることができる。
　また、各高周波モジュール７０の送信する第１試験信号Ｔｓｔ１をアンテナ部１０で安定して受信すると共に、アンテナ部１０の送信する第２試験信号Ｔｓｔ２を各高周波モジュール７０に安定して受信させることができるので、複数の高周波モジュール７０の送信特性と受信特性とを同時又は短時間に検査することができると共に、これらの特性を正確に検査することが可能になる。
　また、検査装置１００を用いた検査方法では、複数の高周波モジュール７０それぞれとアンテナ部１０との間で、反射板２０を介した試験信号の受信及び又は送信が可能になるので、複数の高周波モジュール７０それぞれを同時に又は短時間に検査することが可能となる。そのため、複数の計測機器を用いることなく、高周波モジュール１台当たりの測定時間を短縮して、製造コストを大幅に引き下げることができる。尚、このような効果は、高周波モジュール７０からアンテナ部１０への試験信号の送信と、アンテナ部１０から高周波モジュール７０への試験信号の送信との両方を行なう場合に限定されるものではなく、一方のみを行なう場合でも同様の効果を得ることができる。
　また、各高周波モジュール７０の送信する第１試験信号Ｔｓｔ１をアンテナ部１０で安定して受信すると共に、アンテナ部１０の送信する第２試験信号Ｔｓｔ２を各高周波モジュール７０に安定して受信させることができるので、複数の高周波モジュール７０の送信特性と受信特性とを同時又は短時間に検査することができると共に、これらの特性を正確に検査することが可能になる。
　また、アンテナ部１０を中心として回転対称となるように複数の高周波モジュール７０を配置するので、より多くの高周波モジュール７０を短時間で検査することができる。また、アンテナ部１０から高周波モジュール７０までの送信信号や受信信号の伝達距離が、回転対称位置に配置された高周波モジュール７０同士で等しくなるので、高周波モジュール７０を保持面３１にランダムに配置した場合と比較して検査精度を高め易くなる。
　また、検査装置１１０を用いた検査方法は、アンテナ部１０を中心として直線状に複数の高周波モジュール７０を配置するので、高周波モジュール７０の配置面積を小さくすることができる。また、高周波モジュール７０の検査時の搬送経路を直線状に設けた場合には、搬送経路の途中に保持部５０の保持面５１を配置することも可能になり、高周波モジュール７０の搬送と性能検査とを円滑に行うことができるようになる。
　以上説明したように、本発明の検査装置及び検査方法では、複数の高周波モジュールそれぞれとアンテナ部との間で、反射板を介した試験信号の受信及び又は送信が可能になるので、複数の高周波モジュールそれぞれを同時に又は短時間に検査することが可能となる。そのため、複数の計測機器を用いることなく、高周波モジュール１台当たりの測定時間を短縮して、製造コストを大幅に引き下げることができる。
　本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、要旨を逸脱しない範囲で種々変更して実施することが可能である。
　１０　　　　アンテナ部
　１５　　　　計測機
　２０　　　　反射板
　２１　　　　焦点位置
　２３　　　　反射面
　３０　　　　保持部
　３１　　　　保持面
　４０　　　　反射板
　４１　　　　焦点位置
　４３　　　　反射面
　５０　　　　保持部
　５１　　　　保持面
　７０　　　　高周波モジュール
　７１　　　　ミリ波アンテナ
　７３　　　　回路基板
　７５　　　　高周波コネクタ
　７７　　　　高周波回路
　７９　　　　筐体
　１００　　　検査装置
　１１０　　　検査装置
　Ｔｓｔ１　　第１試験信号
　Ｔｓｔ２　　第２試験信号
 

Claims (6)

  1. 　高周波信号の送信及び又は受信を行う高周波モジュールの送信特性及び又は受信特性を検査するための検査装置であって、
    　前記高周波モジュールを保持可能な保持部と、前記高周波モジュールが送信又は受信可能な試験信号の受信及び又は送信を行うアンテナ部と、前記試験信号を所定の方向へ反射するパラボラ形状の反射板と、を備え、
    　前記保持部には、複数の前記高周波モジュールを並べて配置するための保持面が設けられており、前記反射板は、前記保持面と対向するように配置されており、前記アンテナ部は、前記反射板の焦点位置に配置されている、
    ことを特徴とする検査装置。
  2. 　前記アンテナ部は、前記高周波モジュールが送信可能な第１試験信号の受信と、前記高周波モジュールが受信可能な第２試験信号の送信と、を行い、
    　前記保持部は、複数の前記高周波モジュールそれぞれが前記保持面と直交する方向へ前記第１試験信号を送信可能となると共に、前記保持面と直交する方向から到来する前記第２試験信号を受信可能となるように前記高周波モジュールを保持し、
    　前記反射板は、前記保持面と直交する方向から到来する前記第１試験信号を前記焦点位置に向かって反射し、前記焦点位置から到来する前記第２試験信号を前記保持面と直交する方向に向かって反射するように配置されている、
    ことを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
  3. 　高周波信号の送信及び又は受信を行う高周波モジュールの送信特性及び又は受信特性を検査するための検査方法であって、
    　前記高周波モジュールを保持可能な保持部と、前記高周波モジュールが送信又は受信可能な試験信号の受信及び又は送信を行うアンテナ部と、前記試験信号を所定の方向へ反射するパラボラ形状の反射板と、を備えた検査装置を用い、
    　前記保持部には、複数の前記高周波モジュールを並べて配置するための保持面を設け、前記反射板を前記保持面と対向するように配置し、前記アンテナ部を前記反射板の焦点位置に配置する、
    ことを特徴とする検査方法。
  4. 　前記アンテナ部に、前記高周波モジュールが送信可能な第１試験信号の受信と、前記高周波モジュールが受信可能な第２試験信号の送信と、を行わせ、
    　前記保持部に、複数の前記高周波モジュールそれぞれが前記保持面と直交する方向へ前記第１試験信号を送信可能となると共に、前記保持面と直交する方向から到来する前記第２試験信号を受信可能となるように、前記高周波モジュールを保持させ、
    　前記反射板を、前記保持面と直交する方向から到来する前記第１試験信号を前記焦点位置に向かって反射し、前記焦点位置から到来する前記第２試験信号を前記保持面と直交する方向に向かって反射するように配置する、
    ことを特徴とする請求項３に記載の検査方法。
  5. 　複数の前記高周波モジュールを、前記アンテナ部を中心として回転対称となるように配置する、
    ことを特徴とする請求項３又は請求項４に記載の検査方法。
  6. 　複数の前記高周波モジュールを、前記アンテナ部を中心として直線状に配置する、
    ことを特徴とする請求項３又は請求項４に記載の検査方法。
     
     
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