WO2018101802A2 - Heating assembly - Google Patents

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WO2018101802A2
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김정형
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주식회사 파인에바
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    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
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    • C23C14/24—Vacuum evaporation
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    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/54—Controlling or regulating the coating process

Definitions

  • the present invention relates to a heating assembly, and more particularly, to a heating assembly capable of focusing a magnetic field for induction heating of the crucible to control the thermal distribution of the crucible and to increase the practical efficiency of the deposition.
  • Crucible is a kind of bowl in which a space for containing the material heated by the heating means is formed therein.
  • the crucible is realized by being heated by a heating means so that it can withstand even a high temperature.
  • the amount of heat that the crucible is heated may be transferred to the material contained in the crucible. Accordingly, the material can be heated.
  • Such crucibles have been utilized in several ways for heating materials that must be heated at high temperatures. Such crucibles have been used for heating and smelting metals with high melting temperatures, for heating to blend various metal materials, and the like.
  • the crucible is a means for guiding the deposition material to the surface of the panel to change the state so as to heat and move the deposition material deposited on the surface of the panel in the production of the panel for a display device It is utilized.
  • the deposition material contained in the crucible is heated to deposit the deposition material on a deposition surface (or target surface) such as a panel, the deposition material may be properly formed on the deposition surface. Effectiveness can be important. Therefore, the demand for crucible implementation technology that can increase the effectiveness of deposition has recently increased.
  • An object of the present invention is to provide a heating assembly having a high thermal energy delivered to the deposition material placed on the crucible relative to the energy supplied to the heating means for heating the crucible.
  • Another object of the present invention is to provide a heating assembly capable of controlling the heat distribution of the crucible so that the deposition material can be uniformly formed on the surface to be deposited.
  • a space for accommodating a deposition material therein A coil disposed outside the crucible and having a high frequency power applied thereto to form a dynamic magnetic field around the coil current corresponding to the high frequency power; And a magnetic field focusing structure disposed around the coil, wherein the inductive current is formed on the outer wall by the dynamic magnetic field, and the inductive current is generated based on the inductive current and the electrical resistance element of the crucible.
  • the heating assembly for heating equipment is heated by the heat, and the magnetic field focusing structure is configured to focus the dynamic magnetic field formed around the coil, so that the heat generated in the crucible rises to provide a heating assembly for the deposition equipment.
  • the housing is formed with a space therein; A space in which a space for accommodating the deposition material is formed, and at least one nozzle for guiding the deposition material to the outside is implemented; A coil disposed outside the crucible and having a high frequency power applied thereto to form a dynamic magnetic field around the coil current corresponding to the high frequency power; And a magnetic field focusing structure disposed around the coil, wherein the crucible, the coil, and the magnetic field focusing structure are provided in an inner space of the housing, and the crucible is guided to an outer wall by the dynamic magnetic field.
  • a current is formed, heated by heat generated based on the induced current and the electrical resistance element of the crucible, and the dynamic magnetic field formed around the coil by the magnetic field focusing structure is focused so that the crucible
  • the heating assembly for deposition equipment can be provided, characterized in that the heat generated in the brush rises.
  • an induced current induced in the outer wall of the crucible so that the spatial distribution of the amount of heat provided to the deposition material contained in the crucible's inner space can be controlled to the predetermined distribution as described above.
  • the intensity distribution of can be controlled appropriately. For example, when defining a left and right direction and an up and down direction with respect to one of the four heating surfaces of the crucible, the distribution of the induced currents with respect to the one heating surface is suitably in accordance with the left and right directions. It may be controlled or appropriately controlled along the vertical direction.
  • the heat energy delivered to the deposition material placed on the crucible can be higher than the energy supplied to the heating means for heating the crucible.
  • the present invention it is possible to control the thermal distribution of the crucible so that the deposition material can be uniformly formed on the surface to be deposited.
  • FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a deposition apparatus according to an embodiment of the present application.
  • FIG. 2 is a diagram illustrating a crucible according to an embodiment of the present application.
  • FIG 3 is a view showing a protruding nozzle formed in a crucible according to an embodiment of the present application.
  • FIG. 4 is a view showing the shape of a coil according to an embodiment of the present application.
  • FIG. 5 is a view showing a crucible and a coil according to an embodiment of the present application.
  • FIG. 6 is a diagram illustrating an example in which a coil is implemented according to an embodiment of the present application.
  • FIG. 7 is a diagram illustrating a coil disposed near a protruding nozzle according to an embodiment of the present application.
  • FIG. 8 is a conceptual diagram illustrating a magnetic field generated by a coil according to an embodiment of the present application.
  • FIG. 9 is a conceptual diagram illustrating a magnetic field and a crucible formed in a coil according to an embodiment of the present application.
  • FIG. 10 is a view showing a ferrite placed in a magnetic field according to an embodiment of the present application.
  • FIG. 11 is a view showing a ferrite, a coil, and a magnetic field formed around the coil according to an embodiment of the present application.
  • FIG. 12 illustrates a ferrite disposed in a heating assembly according to one embodiment of the present application.
  • FIG. 13 is a distribution chart of magnetic field intensity change values according to an embodiment of the present application.
  • FIG. 14 is a cutaway side view illustrating ferrite included in an outer wall of a crucible according to an embodiment of the present application.
  • FIG. 15 is a view illustrating a shape in which ferrite is applied to a deposition apparatus according to an embodiment of the present application.
  • 16 is a schematic diagram illustrating a heat distribution of a crucible according to an embodiment of the present application.
  • FIG. 17 is a schematic diagram illustrating a heat distribution of a crucible according to an embodiment of the present application.
  • FIG. 18 is a side cutaway view showing an example of changing a shape of a crucible according to an embodiment of the present application.
  • 19 is a side cutaway view showing examples of changing a thickness of a crucible according to an embodiment of the present application.
  • FIG. 20 is a view showing a coil formed on the outside of the crucible according to the exemplary embodiment of the present application.
  • FIG. 21 is a diagram illustrating a coil formed on an outer side of a crucible according to an embodiment of the present application.
  • FIG. 22 is a conceptual diagram illustrating an example in which a coil implemented in a deposition apparatus according to an embodiment of the present application is separately driven.
  • FIG. 23 is a diagram conceptually illustrating a heat distribution of a crucible according to an embodiment of the present invention.
  • 24 is a view illustrating a ferrite inserted between coils according to an embodiment of the present application.
  • 25 is a view illustrating various shapes of ferrite according to an embodiment of the present application.
  • FIG. 26 illustrates a ferrite disposed in a form of covering a lower surface of a crucible according to an embodiment of the present application.
  • FIG. 27 is a view showing the shape of a ferrite according to an embodiment of the present application.
  • FIG. 28 is a cut side view illustrating ferrite included in an outer wall of a crucible according to an embodiment of the present application.
  • 29 is a view showing a ferrite applied to the heating assembly according to an embodiment of the present application.
  • FIG. 30 is a view showing that the ferrite is formed in a portion close to the nozzle of the crucible according to an embodiment of the present application.
  • 31 is a view illustrating a side of a crucible according to an embodiment of the present application.
  • FIG. 32 is a view of the design of the heating assembly in the Y-axis direction according to an embodiment of the present application.
  • 33 is a view of the design of the heating assembly in the Y-axis direction according to an embodiment of the present application.
  • FIG. 34 is a view of the design of the heating assembly in the Y-axis direction according to an embodiment of the present application.
  • 35 is a view of the design of the heating assembly in the Y-axis direction according to an embodiment of the present application.
  • 36 is a view illustrating a heating assembly implemented by combining the embodiments in the Z direction of the crucible according to the embodiment of the present application.
  • FIG. 37 is a view illustrating a heating assembly implemented by combining the embodiments in the X, Y, and Z directions of the crucible according to the embodiment of the present application.
  • 38 is a view showing a heat distribution of the crucible according to the embodiment of the present application.
  • 39 is a view illustrating a heat distribution of time-varying crucibles according to an embodiment of the present application.
  • FIG. 40 illustrates a heating assembly in which a heat conduction inhibiting element is formed in accordance with an embodiment of the present application.
  • 41 is a graph illustrating controlled thermal equilibrium in accordance with an embodiment of the present application.
  • FIG. 42 is a diagram illustrating a transformer, an input line, and an output line in an external space according to an embodiment of the present application.
  • FIG 43 illustrates a moving heating assembly according to an embodiment of the present application.
  • FIG 44 illustrates a transformer, a vacuum box, and a heating assembly according to an embodiment of the present application.
  • 45 is a view illustrating deposition equipment according to an embodiment of the present application.
  • 47 is a block diagram illustrating a configuration of a deposition apparatus according to an embodiment of the present application.
  • FIG. 48 is a diagram illustrating crucibles according to an embodiment of the present application.
  • 49 is a view illustrating a protruding nozzle formed on a crucible according to an embodiment of the present application.
  • 50 is a view showing the shape of a coil according to an embodiment of the present application.
  • FIG. 51 illustrates a crucible and a coil according to an embodiment of the present application.
  • FIG. 52 is a diagram illustrating an example of implementing a coil according to an embodiment of the present application.
  • FIG. 53 illustrates a coil disposed near the protruding nozzle according to the embodiment of the present application.
  • 58 is a conceptual diagram illustrating a magnetic field generated by a coil according to an embodiment of the present application.
  • 59 is a conceptual diagram illustrating a magnetic field and a crucible formed in a coil according to an embodiment of the present application.
  • 60 is a view showing a ferrite placed in a magnetic field according to an embodiment of the present application.
  • FIG. 61 illustrates a ferrite, a coil, and a magnetic field formed around a coil according to an embodiment of the present application.
  • FIG. 62 illustrates a ferrite disposed in a heating assembly according to one embodiment of the present application.
  • FIG. 63 is a distribution chart of magnetic field intensity change values according to an embodiment of the present application.
  • 64 is a cut side view illustrating ferrite included in an outer wall of a crucible according to an embodiment of the present application.
  • 65 is a view illustrating a shape in which ferrite is applied to a deposition apparatus according to an embodiment of the present application.
  • 66 is a schematic diagram illustrating a heat distribution of a crucible according to an embodiment of the present application.
  • 67 is a schematic diagram illustrating a heat distribution of a crucible according to an embodiment of the present application.
  • FIG. 68 is a side cross-sectional view illustrating an example of changing a shape of a crucible according to an embodiment of the present application.
  • 69 is a side cutaway view showing examples of changing a thickness of a crucible according to an embodiment of the present application.
  • 70 is a view illustrating a coil formed on the outside of the crucible according to the embodiment of the present application.
  • 71 is a view illustrating a coil formed on the outside of the crucible according to the embodiment of the present application.
  • 72 is a conceptual diagram illustrating an example in which a coil implemented in a deposition apparatus according to an embodiment of the present application is separately driven.
  • 73 is a view conceptually showing a heat distribution of a crucible according to an embodiment of the present invention.
  • 74 is a view illustrating a ferrite inserted between coils according to an embodiment of the present application.
  • 75 is a view illustrating various shapes of ferrite according to an embodiment of the present application.
  • FIG. 76 is a view illustrating ferrites disposed in a form that covers a bottom surface of a crucible according to an embodiment of the present application.
  • 77 is a view showing the shape of a ferrite according to an embodiment of the present application.
  • 78 is a cutaway side view illustrating ferrite included in an outer wall of a crucible according to an embodiment of the present application.
  • 79 is a view illustrating ferrite applied to a heating assembly according to an embodiment of the present application.
  • 80 is a view illustrating that ferrite is formed in a portion close to a nozzle of a crucible according to an embodiment of the present application.
  • 81 is a view illustrating a side of a crucible according to an embodiment of the present application.
  • 82 is a view of a design of a heating assembly in the Y axis direction according to an embodiment of the present application.
  • 83 is a view of a design of a heating assembly in the Y-axis direction according to an embodiment of the present application.
  • FIG. 84 is a view of the design of the heating assembly in the Y-axis direction according to an embodiment of the present application.
  • 86 is a view illustrating a heating assembly implemented by combining the embodiments in the Z direction of the crucible according to the embodiment of the present application.
  • 87 is a view illustrating a heating assembly implemented by combining the embodiments in the X, Y, and Z directions of the crucible according to the embodiment of the present application.
  • 88 is a view showing a heat distribution of the crucible according to the embodiment of the present application.
  • 89 is a view illustrating a heat distribution of time-varying crucibles according to an embodiment of the present application.
  • FIG. 90 illustrates a heating assembly in which a heat conduction inhibiting element is formed in accordance with an embodiment of the present application.
  • 91 is a graph showing controlled thermal equilibrium in accordance with an embodiment of the present application.
  • 92 is a diagram illustrating a transformer, an input line, and an output line in an external space according to an embodiment of the present application.
  • FIG. 93 illustrates a moving heating assembly according to an embodiment of the present application.
  • FIG. 94 illustrates a transformer, a vacuum box, and a heating assembly according to an embodiment of the present application.
  • 96 is a view illustrating deposition equipment according to an embodiment of the present application.
  • a space for accommodating a deposition material therein A coil disposed outside the crucible and having a high frequency power applied thereto to form a dynamic magnetic field around the coil current corresponding to the high frequency power; And a magnetic field focusing structure disposed around the coil, wherein the inductive current is formed on the outer wall by the dynamic magnetic field, and the inductive current is generated based on the inductive current and the electrical resistance element of the crucible.
  • the heating assembly for heating equipment is heated by the heat, and the magnetic field focusing structure is configured to focus the dynamic magnetic field formed around the coil, so that the heat generated in the crucible rises to provide a heating assembly for the deposition equipment.
  • the induction current formed on the outer wall of the crucible may be provided with a heating assembly for deposition equipment, characterized in that the property is changed over time.
  • the magnetic field focusing structure the amount of change in the magnetic flux density of the dynamic magnetic field increases, and the heat rising to the crucible rises based on the amount of change increasing. May be provided.
  • the magnetic field focusing structure the amount of charge per unit time of the induced current is increased, and the heat rising to the crucible is increased based on the amount of charge per unit time increased. May be provided.
  • the dynamic magnetic field increases the amount of change in magnetic flux density and the amount of charge per unit time of the induced current, and the heat rising to the crucible is based on the increased amount of change and the amount of charge per unit time. It can be provided by the heating assembly for the deposition equipment, characterized in that the rise.
  • the nozzle embodied in the crucible may be provided with a heating assembly for deposition equipment that is protruded out of the crucible.
  • the coil may be provided with a heating assembly for deposition equipment is disposed so that the first coil and the second coil included in the coil on the outside of the outer wall of the crucible.
  • the heating assembly may be provided with a heating assembly for deposition equipment, characterized in that disposed inside the housing of the deposition equipment.
  • the magnetic field focusing structure may be provided with a heating assembly for deposition equipment is disposed in the space between the coil and the inner wall of the housing.
  • the magnetic field focusing structure may be provided with a heating assembly for deposition equipment is implemented in the form of being applied.
  • the magnetic field focusing structure is implemented in a plate shape, the magnetic field focusing structure includes a first region and a second region, the thickness of the first region of the magnetic field focusing structure is larger than the thickness of the second region Characterized in the heating assembly for deposition equipment can be provided.
  • a heating assembly for deposition equipment that the degree of concentration of the dynamic magnetic field is different.
  • the region of the magnetic field focusing structure may include a first region and a second region, and a distance between the first region and the housing is greater than a distance between the second region and the housing.
  • An assembly can be provided.
  • the magnetic field focusing structure may include a first region and a second region, and the heating assembly for deposition equipment may be provided, wherein the first region and the second region are perpendicular to each other.
  • the housing is formed with a space therein; A space in which a space for accommodating the deposition material is formed, and at least one nozzle for guiding the deposition material to the outside is implemented; A coil disposed outside the crucible and having a high frequency power applied thereto to form a dynamic magnetic field around the coil current corresponding to the high frequency power; And a magnetic field focusing structure disposed around the coil, wherein the crucible, the coil, and the magnetic field focusing structure are provided in an inner space of the housing, and the crucible is guided to an outer wall by the dynamic magnetic field.
  • a current is formed, heated by heat generated based on the induced current and the electrical resistance element of the crucible, and the dynamic magnetic field formed around the coil by the magnetic field focusing structure is focused so that the crucible
  • the heating assembly for deposition equipment can be provided, characterized in that the heat generated in the brush rises.
  • Thin film manufacturing technology is a field of surface treatment technology, divided into wet and dry methods.
  • the wet method thin film manufacturing technique includes (1) an electrolytic method of oxidizing a workpiece so that the workpiece is formed on the surface of the workpiece by electrolyzing the workpiece, and (2) activating the workpiece; Wet methods, including electroless methods using sensitization processes, exist.
  • Dry film production technology includes (1) physical vapor deposition (PVD), which evaporates solid materials in a high vacuum state and forms them on the surface of the workpiece, and (2) converts gaseous materials in a high vacuum state to plasma or the like.
  • PVD physical vapor deposition
  • CVD chemical vapor deposition
  • CVD which changes and forms on the surface of a to-be-processed object
  • thermal spraying method which sprays a to-be-processed object in a liquid state to the to-be-processed surface, and coats a to-be-processed object on the surface of a processed object.
  • a deposition apparatus 10000 implemented to change the state of the treatment by heating the treatment (especially the deposition material) and to guide the treatment to be in contact with the surface of the object to be treated is provided. It can be important.
  • the deposition apparatus 10000 is a device capable of depositing a deposition material on a surface to be deposited.
  • the deposition apparatus 10000 of the present application raises the temperature of the crucible 13000 of the vapor deposition apparatus 10000 using a predetermined heating means 15000 to change the state of the deposition material contained in the crucible 13000. You can.
  • the state-deposited deposition material may be discharged to the outside of the crucible 13000.
  • Deposition apparatus 10000 may be used for the above-described thin film manufacturing techniques.
  • the deposition apparatus 10000 may be used for simple heating and not for the purpose of deposition according to the above-described thin film fabrication techniques.
  • FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a deposition apparatus according to an embodiment of the present application.
  • a deposition apparatus 10000 may include a housing 11000, a crucible 13000, a heating means 15000, a magnetic field focusing structure 17000 that is a heating auxiliary means, and Other components 19000 may be included.
  • a space may be formed in the housing 11000 according to the exemplary embodiment of the present application.
  • the crucible 13000, the heating means 15000, the heating assistance means, and the other component 19000 may be implemented in an inner space of the housing 11000.
  • a deposition material that is a material to be deposited may be provided in a space formed inside the crucible 13000 according to an embodiment of the present application.
  • the deposition material may be heated by receiving heat generated by the heating means 15000.
  • the heating means 15000 may heat the crucible 13000 to change the state of the deposition material placed inside the crucible 13000.
  • the heating auxiliary means may assist the heating means 15000 to efficiently heat the crucible 13000.
  • the heating aid there may be a magnetic field focusing structure 17000.
  • the other component 19000 may be a path of a conductive wire that can supply power, a power generator that provides power to the deposition apparatus 10000, and the like.
  • the description of the other components 19000 will be omitted for ease of description.
  • the present deposition apparatus 10000 will be described together with the other components 19000 only when there are special circumstances where the other components 19000 should be described to describe the deposition apparatus 10000 of the present application.
  • a crucible 13000 a heating means 15000, a magnetic field focusing structure 17000, and / or other components that may be implemented may be collectively referred to as a heating assembly. .
  • FIG. 2 (a) to (b) is a view showing a crucible according to an embodiment of the present application.
  • the crucible 13000 may include an outer wall 13100 and at least one nozzle 13200.
  • the outer wall 13100 may define a space (hereinafter, referred to as an inner space) inside the crucible 13000 as shown in FIG. 2B.
  • a deposition material for deposition may be placed in the inner space.
  • the nozzle 13200 may be a moving passage of the deposition material.
  • the deposition material placed in the internal space of the crucible 13000 may receive a sufficient amount of heat from the heating means 15000 and phase change into a gaseous and / or plasma state.
  • the phase shifted deposition material may be discharged to the outside of the crucible 13000 as shown in FIG. 2A through the nozzle 13200.
  • the nozzle 13200 may be formed in the crucible 13000 with various design specifications.
  • the intervals between the plurality of nozzles 13200 may be formed at various intervals. Intervals of the plurality of nozzles 13200 may be formed at equal intervals. Alternatively, the interval of the nozzle 13200 may be an interval that gradually narrows toward the side of the crucible surface.
  • the shape of the hole of the nozzle 13200 may have various shapes.
  • the shape of the hole of the nozzle may be implemented in various shapes, such as rectangular, oval, as well as circular shape as shown.
  • one surface on which the nozzle 13200 is formed will be referred to as an upper surface, and the opposite side of the one surface will be referred to as a lower surface, and the surfaces except for the upper and lower surfaces will be referred to as side surfaces.
  • the crucible 13000 according to the exemplary embodiment of the present application may have various shapes.
  • the crucible 13000 may have a rectangular parallelepiped shape.
  • the crucible 13000 of the present application may be implemented in various forms such as cones, spheres, hexagonal columns, cylinders, triangular columns, and the like. That is, if the form may include a deposition material, the crucible 13000 according to an embodiment of the present application may be implemented in any shape.
  • various materials may be used to implement the crucible according to an embodiment of the present application.
  • the material of the crucible is not limited to any material, but preferably, the material of the crucible 3000 of the present application may be a material having a property that current can flow well.
  • an implementation material of the crucible 13000 may be selected. That is, the material of the crucible 13000 may be selected so that the crucible 13000 can perform its function without melting the crucible 13000 even at a high temperature.
  • the crucible 13000 may have a structure capable of opening and closing the crucible 13000.
  • the nozzle 13200 may be implemented as a protruding shape (hereinafter, protruding nozzle 13300) having a predetermined length to the outside of the crucible 13000.
  • the protruding nozzle 13300 may be formed in the crucible 13000 in various shapes and materials.
  • FIG 3 is a view showing a protruding nozzle formed in a crucible according to an embodiment of the present application.
  • the protruding nozzle 13300 may be formed in a rectangular shape.
  • the shape of the protruding nozzle 13300 is not limited to the shape shown, but may be a shape of a cylinder, a triangular prism, a cone, or the like.
  • the protrusion nozzle 13300 considers an issue in which the junction of the crucible 13000 and the protrusion nozzle 13300 becomes unstable due to thermal expansion of the crucible 13000 when the crucible 13000 is heated.
  • the material of the protruding nozzle 13300 may be used. That is, the material of the protruding nozzle 13300 may be the same material as the material of the crucible 13000 so that the material does not have the same coefficient of thermal expansion.
  • the heating assembly may be designed to smoothly discharge the deposition material through the protrusion nozzle according to the exemplary embodiment of the present application.
  • the material for implementing the protruding nozzle according to the exemplary embodiment of the present application may be variously selected.
  • a material having a low adhesive property with the deposition material may be selected.
  • the adhesion property between the passage of the protruding nozzle and the deposition material is lowered, the deposition material may be smoothly discharged to the outside by moving the inner passage of the protruding nozzle without being adhered to the protruding nozzle.
  • the shape of the protrusion nozzle according to the exemplary embodiment of the present application may be variously implemented.
  • the inner passage of the protruding nozzle may be implemented to have a predetermined slope.
  • the deposition apparatus 10000 may be provided with a heating means 15000 for raising the temperature of the crucible 13000.
  • the heating means 15000 may be implemented in various forms.
  • the heating means 15000 may include (1) traditional heating means 15000, (2) ions, etc., such as a pipe capable of supplying heat vapor, and a heating device using fossil fuel.
  • the latest heating means 15000 such as a sputtering heating source for heating the target material by momentum transfer, an arc heating source for heating by an arc, and a resistance heating source for heating based on electrical resistance such as a conducting wire.
  • the coil 16000 may be preferably selected as the heating means 15000 of the present application.
  • the coil 16000 may form a dynamic magnetic field that varies in time and space based on a high frequency coil current flowing through the coil 16000.
  • the magnetic field formed around the coil 16000 may heat the crucible 13000 by inducing a current in the crucible 13000 and generating a heat amount in the crucible 13000. An operation in which the crucible 16000 is heated by the coil will be described in detail later.
  • the coil 16000 may be implemented with various materials through which current can flow.
  • a conductor may be selected as a material of the coil 16000.
  • the conductor may include a metal body, a semiconductor, a superconductor, plasma, graphite, a conductive polymer, and the like.
  • various materials of the coil may be selected without being limited to the above.
  • FIG. 4 is a view showing the shape of a coil according to an embodiment of the present application.
  • the coil 16000 may have various shapes.
  • the coil 16000 may include (1) an open shape formed by a single loop having a shape such as an annular ring or a ring, and (2) a closed shape formed by a plurality of loops in a hollow cylindrical shape.
  • the coil 16000 may be implemented in any shape as long as it can generate a magnetic field.
  • a portion of the coil 16000 in which the plurality of windings are visible is referred to as a side of the closed shape, and a portion having a hole such as a circle or a square in the coil 16000 of the closed shape is referred to as the coil 16000. I will say the top or bottom of).
  • the definition of the structure of the coil 16000 may also be applied to the open shape coil 16000.
  • the windings through which the current constituting the coil 16000 according to the exemplary embodiment of the present application may have various forms.
  • the shape of the winding may be implemented in a variety of appearances so as to have a number of shapes, such as round shape, rectangular shape.
  • the thickness of the winding may also vary depending on the purpose.
  • an empty space may be formed inside the winding of the coil 16000 according to the exemplary embodiment of the present application.
  • an empty space may be formed inside the winding of the coil 16000 such that a fluid that may serve as a coolant such as water flows.
  • the fluid flowing along the coil 16000 may have an effect of controlling the temperature so that the coil 16000 does not rise above a certain temperature.
  • the arrangement of the coil 16000 according to the exemplary embodiment of the present application may vary depending on the shape of the coil.
  • FIG. 5 is a view showing a crucible and a coil according to an embodiment of the present application.
  • the crucible 13000 when the coil 16000 is a closed shape, the crucible 13000 may be provided inside the closed shape coil 16000.
  • Coil 16000 may be disposed.
  • it may be a shape of placing the top or bottom of the closed shape coil 16000 on the top, side, and / or bottom of the crucible 13000.
  • the above-described aspect in which the closed shape coil 16000 is disposed may be applied.
  • the top or bottom of the coil 16000 may be folded. May be disposed in the table 13000.
  • the coil 16000 may be disposed corresponding to the structure and / or means formed in the crucible 13000.
  • FIG. 6 is a diagram illustrating an example in which a coil is implemented according to an embodiment of the present application.
  • the coil 16000 may be raised to a position corresponding to the protruding nozzle 13300 as illustrated.
  • the deposition material passing through the protruding nozzle 13300 does not receive sufficient heat, the deposition material may not move smoothly through the passage of the protruding nozzle 13300. Therefore, when the coil is disposed around the protruding nozzle 13300 as described above, sufficient amount of heat may be supplied to allow the coil 16000 to smoothly move the deposition material moving through the passage of the protruding nozzle 13300 to the surface to be deposited. Can be.
  • FIG. 7 is a diagram illustrating a coil disposed near a protruding nozzle according to an embodiment of the present application.
  • a coil may be disposed near a protruding nozzle of a crucible according to an embodiment of the present application.
  • the coil (hereinafter, referred to as a first coil) disposed near the protruding nozzle increases the amount of heat generated in the deriving nozzle, thereby supplying a sufficient amount of heat to the deposition material passing through the protruding nozzle.
  • the deposition material can smoothly pass through the protruding nozzle.
  • the coil is disposed close to the protruding nozzle, the attribute of increasing the amount of heat generated in the protruding nozzle will be described later in detail.
  • the coil disposed near the protruding nozzle may be separated from the coil (hereinafter, referred to as a second coil) disposed on the side of the crucible. That is, when separating the crucible as shown in FIG. 7, the first coil and the second coil may be separated separately.
  • an inner passage through which the above-described fluid may flow may be formed in the second coil, but may not be formed in the first coil. This is to facilitate separation of the first coil and the second coil.
  • the power applied to the coil disposed near the nozzle and the coil disposed on the crucible side may have the same property.
  • the power having the same property applied to the first coil and the second coil may be a power applied in parallel (hereinafter, referred to as a parallel power supply).
  • the parallel power source may be connected to a coil in a plurality of output lines output from one power supply unit, and each output line may be connected to each coil.
  • each divided output line is connected to each coil to configure the power applied to the first coil and the second coil in parallel.
  • each driven coil is referred to as a separate drive coil.
  • the separate driving coil will be described later in detail.
  • variable power source of varying electrical properties may be applied to the coil 16000 according to an embodiment of the present application.
  • a variable power supply may preferably be a high frequency AC power supply such as RF, and may be a low frequency AC power supply in some cases.
  • a current (hereinafter, referred to as a coil current) may flow in the coil 16000 according to the exemplary embodiment of the present application.
  • the electrical property of the coil current may be strength, direction, or the like. Accordingly, the coil current may change an electrical property corresponding to the AC power. Therefore, the coil current may change in intensity, direction, etc. in time corresponding to the AC power.
  • a dynamic magnetic field is formed around the coil 16000, and the dynamic magnetic field generates heat by forming an induced current in the crucible 13000, and as a result,
  • the coil 16000 may inductively heat the crucible 13000.
  • the property of the magnetic field formed by the coil 16000 and the property of the induced current formed in the crucible 13000 according to an embodiment of the present application will be described.
  • FIG. 8 is a conceptual diagram illustrating a magnetic field formed around a coil according to an embodiment of the present application.
  • the intensity value of the magnetic field 16100 and the magnetic flux density value may not exactly match according to the permeability of the space in which the magnetic field 16100 is formed.
  • the strength of the magnetic field 16100 and the magnetic flux density are in proportional relationship. Therefore, on the basis of the proportional relationship, the concept of magnetic flux density and the concept of the strength of the magnetic field are substantially the same.
  • the magnetic flux (16200) is dense may mean that the strength of the magnetic field is large, and that the strength of the magnetic field is large may mean that the magnetic flux is dense. have.
  • the intensity property of the magnetic field 16100 may be changed according to a distance relationship with the source of the magnetic field 16100.
  • the intensity of the magnetic field 16100 may be smaller as the magnetic field 16100 formed at a distance from the source.
  • the intensity of the magnetic field 16100 may decrease as the number of magnetic lines passing through a predetermined area formed at a distance from the source decreases. On the contrary, the closer the coil 16000 is, the stronger the strength of the magnetic field 16100 may be.
  • the magnetic field 16100 formed around the coil 16000 of the present application may have a dynamic property.
  • the formed magnetic field 16100 of the present application may rapidly change direction and intensity properties according to a time change in the time axis.
  • the dynamic magnetic field is a vector concept that includes directional properties as well as intensity properties. Specifically, when one direction of the coil current flowing in accordance with the variable power applied to the coil 16000 is (+), the other direction opposite to this may be referred to as (-).
  • the coil current continuously changes in the directions from (+) to (-) and (-) to (+), and at the same time, the strength of the current also changes continuously. Accordingly, as the coil current suddenly changes in the positive and negative directions of the coil current, the direction of the magnetic field 16100 may also be rapidly changed in one direction and the other direction corresponding thereto. At the same time, the strength property of the magnetic field 16100 may be determined corresponding to the strength property of the coil current.
  • a dynamic magnetic field 16100 having fluctuating directions and intensities may be formed around the coil 16000.
  • the change in intensity of a dynamic magnetic field is a quantitative concept.
  • the intensity change value of the magnetic field is an amount of change in the intensity of the magnetic field per unit time considering the direction of the magnetic field. Specifically, the change value of the magnetic fields formed in the same direction is simply the amount of change in the intensity of the magnetic field, but the change value of the magnetic fields formed in the other direction is determined according to the change amount of the magnetic field strength in consideration of the direction of the magnetic field,
  • the intensity change value attribute of the dynamic magnetic field 16100 may vary depending on the distance from the coil 16000.
  • the strength of the dynamic magnetic field 16100 is described above.
  • the magnetic field 16100 forming property may be applied.
  • the strength of the magnetic field formed at the distance may decrease. Therefore, the magnitude of change in the intensity of the magnetic field to be formed is also small, so that the intensity change value of the magnetic field is small.
  • the intensity change value of the dynamic magnetic field 16100 increases.
  • various shapes in which the coil 16000 is implemented may change an intensity change value of the dynamic magnetic field 16100.
  • the magnetic field formed according to the above-described embodiment of the present application may form an induced current in the crucible 13000.
  • induced electromotive force may be generated in the crucible 13000 by the dynamic magnetic field generated by the coil 16000.
  • the induced current may flow in the crucible 13000 according to the generated electromotive force.
  • the crucible 13000 may have a current path of induced current.
  • FIG. 9 is a conceptual diagram illustrating a magnetic field and a crucible formed in a coil according to an embodiment of the present application.
  • a current path guided to the crucible 13000 may be formed on the outer wall 13100 of the crucible 13000.
  • one form of the induced current path may be a form surrounding the outer wall 13100 of the crucible 13000.
  • a current path having a local circumference in the outer wall 13100 of the crucible 13000 may be formed.
  • the crucible 13000 may have a current path in which the above-described paths are combined at the same time, as well as a magnetic field shape in which the coil 16000 is generated without being limited to the above-described current paths. It may have various types of current paths in response to the change.
  • the property of the induced current according to an embodiment of the present application may have various properties according to the relationship between the coil 16000, the magnetic field formed in the coil 16000, and the crucible 13000, which will be described below. Do it.
  • the intensity of the induced current may mean the amount of charge moving in the crucible 13000 per unit time. That is, the meaning of the intensity of the induced current in the present specification is a quantitative concept to reveal that the concept implies the meaning of how much charge has moved.
  • the electrical property of the induced current induced in the crucible 13000 according to the exemplary embodiment of the present application may vary depending on the property of the dynamic magnetic field formed in the coil 16000.
  • the intensity property of the induced current formed may be increased.
  • the above relation (1) (2) Accordingly, as the intensity change value of the dynamic magnetic field increases, the force applied to the electrons of the crucible 13000 may increase, and the electromotive force affecting the movement of the electrons may increase. As a result, the amount of electrons that can move in the crucible 13000 increases, thereby increasing the intensity property of the induced current.
  • the electrical property of the induced current induced in the crucible 13000 according to the exemplary embodiment of the present application may vary depending on the shape of the crucible 13000.
  • the intensity of the induced current may be increased when the thickness of the curable is thick corresponding to the thickness of the curable, and the intensity of the induced current may be small when the thickness is thin.
  • the amount of electrons included in the thickness may be changed.
  • the amount of electrons when the thickness of the crucible 13000 is thick is increased as compared with the amount of electrons having a relatively thin thickness. Accordingly, as the thickness of the crucible 13000 increases, the amount of electrons that can move by the magnetic field is increased, so that the thicker the crucible 13000, the greater the intensity of the induced current.
  • the induced current according to an embodiment of the present application may form an induction magnetic field in the crucible 13000 once again according to the magnetic field formation property.
  • the induced magnetic field may form an induced current secondary to the crucible 13000 according to the induced current forming property. That is, in the crucible 13000 according to the exemplary embodiment of the present application, an event of forming an induced current and forming an induced magnetic field may occur in series.
  • calories may be generated in various ways.
  • heat may be generated by combining an inductive current induced in the crucible 13000 and an electrical resistance component of the crucible 13000.
  • the induced current and / or induced current path induced in the crucible 13000 may be converted into calories by the resistance component of the crucible 13000.
  • the amount of heat generated in the crucible 13000 increases as the intensity of the induced current increases.
  • the crucible 13000 may generate heat in the crucible 13000 according to a combination of a dynamic magnetic field formed around the coil 16000 and an electromagnetic component of the crucible 13000.
  • the amount of heat generated by the induced current and / or the dynamic magnetic field in the above-described crucible 13000 may heat the crucible 13000. Since the crucible 13000 is heated by an induction current induced by the coil 16000 and a dynamic magnetic field, the crucible heating may be referred to as induction heating.
  • Induction heating there are a number of ways as described above, but in the following according to the inductive current formed in the crucible (13000) and the resistance component of the crucible (13000) crucible (13000) ) Will only be described when induction heating.
  • a means for assisting the heating means 15000 there may be a means for assisting the heating means 15000.
  • the heating means 15000 according to an embodiment of the present application is the coil 16000
  • a magnetic field focusing structure 17000 that focuses a magnetic field formed around the coil 16000 is provided to the heating assembly as a heating aid. It may be provided.
  • the term "concentration" may be interpreted to mean that the magnetic flux of the magnetic field is concentrated in a certain area.
  • the ferrite 18000 as an example of the magnetic field focusing structure 17000 will be described.
  • the ferrite 18000 is described as an example of the magnetic field focusing structure 17000, but the present invention is not limited thereto, and any means or material capable of focusing the magnetic field may be implemented in the heating assembly as the magnetic field focusing structure 17000. It is revealed.
  • the ferrite 18000 may be implemented in various materials, types, and shapes.
  • the ferrite 18000 is an ionic compound having a spinel structure, and may be formed by combining various metal compounds with the main component of iron oxide.
  • the various metal compounds may be divalent metal ions such as Mn, Zn, Mg, Cu, Ni, Co, and the like.
  • the ferrite 18000 is not limited to the above-described components, and may be formed of a material of a component that focuses various magnetic fields.
  • the ferrite 18000 may include (1) a liquid type that may exist in a liquid phase at room temperature and (2) a solid type that may have a predetermined shape at room temperature.
  • the ferrite 18000 may have various shapes to suit the purpose, such as a plate shape, a shape having convex protrusions on at least one surface of the plate shape, a circular shape, an ellipse shape, a spherical shape, and the like.
  • the magnetic field focusing of the ferrite 18000 which is an example of the magnetic field focusing structure 17000 according to the exemplary embodiment of the present application, will be described.
  • FIG. 10 is a view showing a ferrite placed in a magnetic field according to an embodiment of the present application.
  • the ferrite 18000 placed in the magnetic field may affect the magnetic flux of the magnetic field.
  • the ferrite 18000 may act to attract the magnetic flux formed around the ferrite 18000 to the ferrite 18000 such that the magnetic flux of the magnetic field is densely formed around the ferrite 18000.
  • the influence of the magnetic flux may vary depending on the thickness of the ferrite 18000. As the thickness of the ferrite 18000 increases, magnetic fluxes that may be formed around the ferrite 18000 may increase.
  • the ferrite 18000 may be disposed in the heating assembly of the present application.
  • the ferrite 18000 disposed in the heating assembly according to the exemplary embodiment of the present application may have a magnetic field focusing property that increases the intensity change value of the dynamic magnetic field affecting the crucible 13000.
  • FIG. 11 is a view showing a ferrite, a coil, and a magnetic field formed around the coil according to an embodiment of the present application.
  • the ferrite 18000 when the ferrite 18000 according to the exemplary embodiment of the present application is disposed in the heating assembly, the ferrite 18000 has an outer wall 13100 of the magnetic flux of the dynamic magnetic field that is crucible 13000. It can be focused to form densely.
  • the dynamic magnetic flux closely formed on the outer wall 13100 of the crucible 13000 may be due to the above-described properties of the ferrite 18000.
  • the ferrite 18000 disposed on the outside of the coil 16000 may attract the magnetic flux to the crucible 13000 by attracting the magnetic flux formed inside the coil 16000.
  • the dynamic magnetic flux closely formed on the outer wall 13100 of the crucible 13000 may be a property of the magnetic field forming property in addition to the properties of the ferrite 18000.
  • the ferrite 18000 disposed outside the coil 16000 may attract the magnetic flux that is formed outside the coil 16000 according to the properties of the ferrite 18000.
  • the magnetic field velocity symmetrically formed inside the coil 16000 may be pulled into the crucible 13000 symmetrically by the magnetic field forming property that the magnetic field is symmetrically formed around the coil 16000. Accordingly, the magnetic flux of the dynamic magnetic field is densely formed on the outer wall 13100 of the crucible 13000.
  • the strength in the positive and negative directions of the dynamic magnetic field of the coil 16000 formed on the outer wall of the crucible 13000 increases simultaneously.
  • the fluctuation amplitude of the dynamic magnetic field also increases correspondingly. That is, the intensity change value of the dynamic magnetic field generated at the outer wall 13100 of the crucible 13000 is larger than when the ferrite 18000 is not disposed.
  • the heating efficiency in the present specification means the amount of heat generated in the crucible 13000 compared to the electrical energy input to the coil which is the heating means 15000 of the present application. That is, when the electrical energy input to the coil is the same, the greater the amount of heat generated in the crucible 13000, the greater the heating efficiency (or thermal efficiency).
  • the heating efficiency of the crucible 13000 in the case of arranging the ferrite 18000 in the heating assembly according to the exemplary embodiment of the present application may be higher than in the case of not arranging the ferrite 18000.
  • FIG. 12 illustrates a ferrite disposed in a heating assembly according to one embodiment of the present application.
  • FIG. 13 is a distribution chart of magnetic field intensity change values according to an embodiment of the present application.
  • the ferrite 18000 may be formed to surround the coil 16000 disposed outside the crucible 13000.
  • a ferrite 18000 having a shape corresponding to the shape of the coil 16000 disposed in the crucible 13000 may be disposed.
  • corresponding to the sides of the coil 16000 of the rectangular shape of the rectangular shape disposed on the outside of the crucible 13000, slopes facing each side are formed therein so that the inside is hollow.
  • Shaped ferrite 18000 may be disposed.
  • the heating efficiency of the crucible 13000 according to the exemplary embodiment of the present application may be increased.
  • the change value intensity distribution of the dynamic magnetic field formed in the coil according to the exemplary embodiment of the present application may be changed by the crucible disposed in the heating assembly.
  • the intensity distribution of the change value of the dynamic magnetic field formed inside the coil may be shifted toward the outer wall of the crucible.
  • the maximum magnitude of the change value of the magnetic field is As such, the arrangement of the crucibles 13000 may not significantly change.
  • the change value intensity distribution of the dynamic magnetic field formed in the coil may be changed by the ferrite 18000 disposed in the heating assembly, for example, FIG. 12 (a).
  • the ferrites 18000 are disposed as shown in FIGS. 1 through 3
  • magnetic fields may be focused on the outer walls of the crucibles by the ferrites 18000.
  • coils formed on the outer walls of the crucibles 13000 may be used.
  • the intensity in the positive and negative directions of the dynamic magnetic field of (16000) increases simultaneously.
  • the bidirectional magnetic field strength rises the fluctuation amplitude of the dynamic magnetic field also increases correspondingly. That is, the intensity change value of the magnetic field is
  • the intensity change value of the magnetic field may be larger in the outer wall than before the ferrite 18000 is disposed.
  • the induced current intensity may increase further in the crucible 13000 after the ferrite 18000 is disposed than in the crucible 13000 before the ferrite 18000 is disposed.
  • the ferrite 18000 may be implemented to enclose the upper and lower portions of the coil 16000 disposed in the crucible 13000.
  • the ferrite 18000 may be disposed to the upper part and the lower part of the closed shape coil 16000.
  • such a ferrite 18000 is not only disposed outside the crucible 13000, but also to increase the heating efficiency of the crucible 13000. It may be arranged in a form included therein.
  • FIG. 14 is a cutaway side view illustrating ferrite included in an outer wall of a crucible according to an embodiment of the present application.
  • the ferrite 18000 is formed on the outer wall 13100 of the crucible 13000, so that a dynamic magnetic field may be focused on the outer wall 13100 of the crucible 13000. As the dynamic magnetic field is focused, the heating efficiency of the crucible 13000 may be increased.
  • the ferrite 18000 according to an embodiment of the present invention may be implemented in a form applied to the crucible 13000 to increase the heating efficiency of the crucible 13000.
  • FIG. 15 is a view illustrating a shape in which ferrite is applied to the deposition apparatus 110000 according to an embodiment of the present application.
  • the ferrite 18000 according to an embodiment of the present application may be implemented in a form that is applied to the heating assembly is coated on the heating assembly configuration.
  • the ferrite 18000 may be applied to the inner surface of the outer wall of the housing 11000 surrounding the crucible 13000.
  • the ferrite 18000 may be applied to the inner surface of the outer wall of the housing 11000 surrounding the side portion of the crucible 13000.
  • the ferrite 18000 may be applied to the crucible 13000. As shown in FIG. 15B, ferrite 18000 may be applied to the side outer wall 13100 of the crucible 13000.
  • the thickness of the ferrite 18000 to be applied to the heating assembly may be variously selected depending on the design purpose of the deposition apparatus 10000.
  • the thermal efficiency of the crucible 13000 is increased, and as a result, the amount of heat transferred from the crucible 13000 to the deposition material. Can be a lot.
  • the present deposition apparatus 10000 may have an effect of efficiently using energy by arranging the ferrite 18000 to have a high heat output relative to the same input energy.
  • the deposition material 10000 may have sufficient energy to actively move the deposition material according to the high heat output, and thus the deposition apparatus 10000 may have an effect of increasing the success rate at which the deposition material is formed on the surface to be deposited.
  • the actual efficiency of the deposition means not only that the deposition material is properly formed on the surface to be deposited, but may also mean that the deposition surface is formed to have a uniform thickness or concentration.
  • the deposition apparatus 10000 for depositing a deposition material on the surface to be deposited it may be an important issue to increase the deposition efficiency in which the deposition material is deposited on the surface to be deposited.
  • the amount of heat distributed in each space of the crucible 13000 may be controlled differently.
  • the temperature of the deposition material passing through the nozzle 13200 may be increased.
  • the deposition material is smoothly discharged to the surface to be deposited through the nozzle 13200 and is formed on the surface to be deposited, so that the present deposition apparatus 10000 may have an effect of increasing the actual efficiency of the deposition.
  • the amount of heat distributed in the space of the crucible 13000 can be uniformly controlled.
  • the heat distribution allows deposition materials discharged from each nozzle formed in the crucible to move together toward the deposition surface. Accordingly, the deposition material may be uniformly formed on the surface to be deposited, so that the actual efficiency of the deposition may be increased.
  • 16 is a schematic diagram illustrating a heat distribution of a crucible according to an embodiment of the present application.
  • FIG. 17 is a schematic diagram illustrating a heat distribution of a crucible according to an embodiment of the present application.
  • an area of a side close to the upper surface of the crucible 13000 on which the nozzle 13200 is formed will be described as an N area side and a relatively far area as an F area side.
  • the heat distribution of the crucible 13000 to be achieved in the present invention may be a heat distribution having a heat distribution relatively higher than the F region side of the N region side of the crucible 13000 side.
  • the deposition material may be sufficiently supplied with heat from the N region side of the crucible 13000 to smoothly pass through the nozzle 13200 and move to the deposition surface. .
  • the heat distribution is just one example, and the heat distribution of the crucible 13000 is not limited thereto, and the heating assembly is configured such that the heat distribution in the X-axis and Y-axis directions may be variously generated in different regions. This can be implemented.
  • the heat distribution of the crucible 13000 to be achieved in the present invention may be a heat distribution having a uniform amount of heat generated in the X-axis direction of the crucible 13000 as shown in FIG. 17.
  • the amount of heat generated according to the Z-axis direction may vary.
  • the generation of calories is high at the side of the crucible in which the nozzle is formed.
  • the thermal distribution of the furnace crucible can be formed.
  • the heat distribution of the crucible is not generated in the Z axis direction. It may also be controlled by a uniform distribution of heat.
  • the outer wall 13100 of the crucible 13000 may be controlled so that the spatial distribution of the amount of heat provided to the deposition material accommodated in the inner space of the crucible 13000 may be controlled by the predetermined distribution as described above.
  • the intensity distribution of the induced current induced in can be appropriately controlled. For example, when defining left and right directions and up and down directions with respect to one of the four heating surfaces of the crucible 13000, the distribution of the induced currents for the one heating surface is the left and right directions. It may be appropriately controlled according to, or may be appropriately controlled along the vertical direction.
  • the crucible 13000 may be manufactured to control the distribution of the induced current using the shape of the outer wall 13100 of the crucible 13000.
  • the heating assembly may be manufactured so that the distribution of the induced current is controlled by using the distance between the crucible 13000 and the coil 16000.
  • the heating assembly may be manufactured such that the distribution of the induced current is controlled using the arrangement / distribution of the magnetic field focusing part.
  • the heating assembly may be manufactured so that the distribution of the induced current is controlled using independent control of the coil 16000.
  • the nozzle 13200 is illustrated as being formed upward in the drawings and the following description, this does not mean that the deposition equipment is a top-down or bottom-up equipment.
  • the shape of the crucible shown generally in the drawings below is a rectangular parallelepiped shape having a longitudinal direction, but this is merely an example as described above.
  • the embodiments described below can be applied to heating assemblies having crucibles of various shapes.
  • the crucible 13000 may be formed to have various distance relationships from the coil 16000, which is the heating means 15000 formed. Can be.
  • FIG. 18 is a side cutaway view showing an example of changing a shape of a crucible according to an embodiment of the present application.
  • the crews arranged around the crucible 13000 and the side regions of the side surfaces of the crucible 13000 may have different distance relationships.
  • Sable 13000 may be implemented. Specifically, the crucible 13000 is closer to the bottom of the crucible 13000 near the top of the crucible 13000 than the side of the crucible 13000 (hereinafter referred to as N region side), which is closer to the bottom surface opposite to the top surface on which the nozzle 13200 is formed.
  • the side surface of the tablet 13000 (hereinafter referred to as an F region side surface) may be recessed and implemented.
  • a side surface of the crucible 13000 near the bottom surface of the crucible 13000 may be formed to have a predetermined inclination.
  • the side surface of the crucible 13000 having the longest distance from the nozzle 13200 formed in the crucible 13000 is farthest from the coil 16000, and the coil formed closer to the side from the nozzle 13200.
  • the crucible 13000 may be formed to have a distance from the 16000.
  • the N region side may be controlled to have a heat distribution formed higher than the heat quantity of the F region side.
  • Magnetic field formation properties described above described above (described above, )
  • the intensity change value of the dynamic magnetic field formed on the N region side of the crucible 13000 implemented closer to the coil 16000 than the side of the F region may be increased. Therefore, the intensity of the induced current formed in the crucible 13000 corresponding to the intensity change value of the magnetic field is higher in the N region than in the F region. Therefore, as a result, referring to FIG. 16A, when the crucible 13000 is implemented as described above, the N region side close to the nozzle 13200 may be controlled to have a heat distribution formed higher than the heat quantity of the F region side. Can be.
  • the amount of heat generated in the upper end of the crucible 13000 increases, so that the temperature may be relatively higher than the lower end.
  • the deposition material emitted from the crucible 13000 may have a high active energy and may have an effect of being directed to the deposition surface through the nozzle 13200 of the crucible 13000 at a high speed.
  • the heat distribution may be controlled to be a more natural heat distribution in terms of the F region.
  • the deposition material when the deposition material moves toward the nozzle 13200 in the crucible 13000, a naturally increasing amount of heat may be supplied.
  • the deposition material may have an effect of naturally moving to the surface to be deposited as compared with when the deposition material is discontinuously supplied with heat.
  • the heat distribution in the crucible 13000 may be controlled.
  • 19 is a side cutaway view showing examples of changing a thickness of a crucible according to an embodiment of the present application.
  • the crucible 13000 according to the exemplary embodiment of the present application may be formed such that regions having different thicknesses exist.
  • the crucible 13000 may be formed to have a thickness different from a portion close to the nozzle 13200 formed in the crucible 13000 (the N region side) and a relatively far portion (the F region side).
  • the thickness of the side of the F region of the crucible 13000 may be thinly formed.
  • the outer side of the F region side surface is formed in a recessed shape into the crucible 13000, so that the thickness may be thinner than that of the N region side surface.
  • the inner wall of the side of the F region of the tablet 13000 may be formed to be dug outwardly of the crucible 13000 so that the thickness of the side of the F region may be relatively thinner than the thickness of the side of the N region.
  • the thickness of the side of the F region may be formed in a shape that is recessed outward from the inner wall from the outer wall 13100 inward from the outer wall 13100 by combining the above-described shapes.
  • the distance from the coil 16000 may also vary.
  • the thickness of the F region side surface of the crucible 13000 according to the exemplary embodiment of the present application is thinly formed in the form of a hollow from the outside to the inside of the coil 16000. The distance can also be greater.
  • the crucible 13000 When the crucible 13000 is implemented as described above according to an embodiment of the present application, the crucible 13000 has a magnetic field forming property (described above, Or according to the induced current property (described above, the thickness of the crucible 13000), the N region side surface as shown in FIG. 16A may be controlled to have a heat distribution formed higher than the heat quantity of the F region side surface.
  • a dynamic magnetic field having a large change in magnetic field strength may be formed on the N region side of the crucible 13000.
  • a relatively high induction current may flow in the thick side (N region side) of the crucible 13000. The generation of heat on the side of the N region is increased by the induction current having high intensity, so that the heat distribution of the crucible 13000 can be controlled as described above.
  • the crucible 13000 according to the exemplary embodiment of the present application has a different thickness and has a predetermined angle of inclination. It can have an area.
  • the distance to the coil 16000 of the side of the F region of the crucible 13000 may be continuously changed. Accordingly, the N region side surface may have a higher heat distribution than the F region side surface, and thus may be controlled to have a more natural heat distribution in the F region side as shown in FIG.
  • the amount of feed supplied to the deposition material passing through the N region side is increased, thereby guiding smoothly to the surface to be deposited, thereby increasing the actual efficiency of deposition.
  • the crucible 13000 is illustrated as being present inside the coil 16000 of the formed closed shape, the present invention may not be limited thereto.
  • the coil 16000 In order to control the heat distribution of the crucible 13000 in order to increase the actual efficiency of the deposition according to the exemplary embodiment of the present application, there are various methods of implementing the coil 16000. For example, there may be a method of adjusting the number of windings of the coil 16000, a method of variously implementing a distance from the crucible 13000, and the like.
  • FIG. 20 is a view showing a coil formed on the outside of the crucible according to the exemplary embodiment of the present application.
  • the number of windings of the coil 16000 may be differently disposed in the side region of the crucible 13000 according to the exemplary embodiment of the present application.
  • the crucible which exists at a distance closer to the nozzle 13200 than the coil 16000 formed in the region (region F side surface) of the crucible 13000 far from the nozzle 13200 of the crucible 13000.
  • More windings of the closed-shape coil 16000 may be disposed to affect the region (13000) of the region (N region side).
  • the crucible 13000 may be an exemplary embodiment in which the upper part or the lower part of the plurality of closed shape coils 16000 is disposed on the N region side of the crucible 13000.
  • the number of turns of the coil 16000 disposed on the side of the N region may be implemented with more coils 16000.
  • the N region side may be controlled to have a heat distribution formed higher than the heat amount of the F region side.
  • Magnetic field formation properties described above described above (described above, )
  • the intensity change value of the dynamic magnetic field formed on the side of the N region of the crucible 13000 in which the coil 16000 is disposed more than the side of the region F may be increased.
  • the intensity of the induced current formed in the crucible 13000 is also higher in the N region than in the F region.
  • the N region side close to the nozzle 13200 may be controlled to have a heat distribution formed higher than the heat amount of the F region side. Can be.
  • the amount of heat generated at the upper end of the crucible 13000 increases, so that the temperature may be relatively higher than that of the lower part.
  • the deposition material emitted from the crucible 13000 may have a high active energy at a high speed.
  • Through the nozzle 13200 of the crucible 13000 may have an effect that can be directed to the surface to be deposited.
  • the coil 16000 may have various embodiments in a positional relationship with the outer wall 13100 of the crucible 13000.
  • the coil 16000 according to an embodiment of the present application may be disposed by making the distance at which the coil 16000 is formed on the other surface smaller than the distance formed on one surface of the crucible 13000.
  • FIG. 21 is a diagram illustrating a coil formed on an outer side of a crucible according to an embodiment of the present application.
  • the distance of the coil 16000 may be different from each other in the side region of the crucible 13000 according to the exemplary embodiment of the present application.
  • the distance of the closed-shape coil 16000 that affects the region (13000) (the N region side) may be formed closer.
  • the crucible 13000 may be the upper part or the lower part of the plurality of closed shape coils 16000. It may be an embodiment formed with a distance relatively closer to the N region side of the 13000 region than the F region side.
  • the N region side may be controlled to have a heat distribution formed higher than the heat amount of the F region side.
  • Magnetic field formation properties described above described above (described above, )
  • the intensity change value of the magnetic field formed on the N region side of the crucible 13000 in which the coil 16000 is implemented may be greater than the side of the region F.
  • the intensity of the induced current formed in the crucible 13000 is also higher in the N region than in the F region. Therefore, as a result, referring to FIG. 21A, when the crucible 13000 is implemented as described above, the N region side close to the nozzle 13200 may be controlled to have a heat distribution formed higher than the heat quantity of the F region side. Can be.
  • the coil 16000 implemented in the deposition apparatus 10000 according to the exemplary embodiment of the present application may be driven separately to control the heat distribution of the crucible 13000.
  • FIG. 22 is a conceptual diagram illustrating an example in which a coil implemented in the deposition apparatus 10000 according to an embodiment of the present application is separately driven.
  • FIG. 23 is a diagram conceptually illustrating a heat distribution of a crucible according to an embodiment of the present invention.
  • the coil 16000 may be driven separately.
  • the attributes of the variable power applied to the separately driven coils 16300 and 16400 may be different.
  • the variable power source property may include a frequency and intensity property of a power source.
  • a plurality of powers having different attributes applied to the coil 16000 may be applied from a power supply device having a number corresponding to the number of power supplies.
  • a plurality of powers having different attributes applied to the coils 16300 and 16400 for each of the separately driven coils 16300 and 16400 may be applied through fewer power supplies.
  • electrical processing may be necessary, such as distributing output lines to supply power having different attributes for the coils 16300 and 16400 that are driven separately.
  • a separate drive coil according to an embodiment of the present application may have a layout example corresponding to various embodiments of the crucible.
  • coils 16300 and 16400 that are driven differently may be disposed for each region of the crucible.
  • the region of the crucible may be divided into an upper region and a lower region based on a structure in which the implemented crucible is separated.
  • a separate drive 1 coil 16300 may be disposed in the upper region of the crucible, and a separate drive 2 coil 16400 may be disposed in the lower region of the crucible. Accordingly, the properties of the magnetic field affecting each region of the crucible may be changed, and thus the amount of crucible heat generated in the upper and lower regions of the crucible may vary.
  • the separation structure of the crucible may be implemented in the crucible.
  • the region of the crucible may be divided into an upper region and a lower region based on the separated structure formed on the outer surface of the crucible.
  • the separately driven coils 16300 and 16400 may be disposed in the upper region and the lower region of the crucible, respectively.
  • the coil 16000 disposed in the crucible 13000 in order to increase the amount of heat generated in a portion close to the nozzle 13200 of the crucible 13000, the coil 16000 disposed in the crucible 13000 according to the above-described embodiment of the present application is separately driven. Can be.
  • the power frequency and intensity applied to the coil 16000 disposed in the nozzle 13200 may be relatively high.
  • the amount of heat generated by the crucible 13000 corresponding to the driving 1 16300 is driven. It can be higher than two.
  • the driving 2 coil 16400 may form a magnetic field that is relatively higher than the driving 1 around the magnetic field forming property.
  • the relatively high intensity magnetic field may increase the induced current intensity formed in the nozzle 13200 of the crucible 13000.
  • the separately driven coils 16300 and 16400 may be controlled to be the heat distribution of the crucible 13000 as shown in FIG. 23.
  • the deposition material discharged through the nozzle 13200 of the crucible 13000 may receive a sufficient amount of heat. Accordingly, the deposition material may be guided to the surface of the deposition target smoothly.
  • each of the magnetic fields generated from the separately driven coils 16300 and 16400 may interfere with, interfere with, and / or affect each other.
  • the strength of the magnetic field formed in the crucible 13000 may be weakened.
  • the intensity of the induced current formed in the crucible 13000 may be lowered, thereby causing an issue in which the heating efficiency of the crucible 13000 is lowered.
  • the separately driven coils 16300 and 16400 may be implemented so as not to influence each other.
  • 24 is a view illustrating a ferrite inserted between coils according to an embodiment of the present application.
  • a ferrite 18000 may be inserted between the separate drive coils 16300 and 16400. have. Magnetic fields that interfere with each other may be magnetic fields formed between the separate driving coils 16300 and 16400. The magnetic field formed between the separate driving coils 16300 and 16400 is formed in the direction of the other coil 16000 to affect the magnetic field formed in the other coil 16000. Therefore, the ferrite 18000 is inserted between the coils 16300 and 16400 so that a magnetic field formed between separate driving coils may be focused on the ferrite 18000.
  • the inserted ferrite 18000 may exclude mutual interference of the coils 16300 and 16400 that are separately driven.
  • the ferrite 18000 may affect the property of the magnetic field.
  • ferrite 18000 may affect the strength of the generated magnetic field.
  • the influence of the magnetic flux constituting the magnetic field may increase or decrease the number of magnetic rays passing through a predetermined area, thereby affecting the strength of the magnetic field.
  • the method includes a method of arranging the ferrite 18000 in various shapes, a method of arranging the ferrite 18000 inside the outer wall 13100 of the crucible 13000, and applying the ferrite 18000.
  • Method a method of arranging the ferrite 18000 for each region, and a method of opening a window to the ferrite 18000.
  • the ferrite 18000 may be embodied in a form having a slope.
  • the ferrite 18000 is not limited thereto, and the ferrite 18000 may exist in various forms such as a circle, an ellipse, or a sphere.
  • the ferrite 18000 may exist in various forms such as a circle, an ellipse, or a sphere.
  • the ferrite 18000 may be disposed in the crucible 13000 in various forms surrounding the coil 16000.
  • 25 is a view illustrating various shapes of ferrite according to an embodiment of the present application.
  • the ferrite 18000 may be disposed to cover a portion of the upper and / or lower conductive lines of the coil 16000 of the closed shape.
  • the ferrite 18000 may be disposed to partially open the lower portion of the closed shape coil 16000.
  • the ferrite 18000 may be disposed to partially open the upper portion of the coil 16000 of the closed shape as illustrated in FIGS. 28C and 28D.
  • the heat quantity of the N region side or the F region side of the crucible 13000 may be high.
  • the strength of the magnetic field formed on the N region side or the F region side of the implemented crucible 13000 may be increased.
  • the intensity of the induced current formed in the crucible 13000 also increases in the N region side or the F region side. Therefore, as a result, when the ferrite 18000 is disposed in the heating assembly as described above, the N region side close to the nozzle 13200 generates more heat than the F region side, or the F region side generates more heat than the N region side. To control the heat distribution.
  • the nozzle of the crucible 13000 at a high speed with a high active energy is deposited. 13200 may have an effect that can be directed to the surface to be deposited.
  • the deposition material may have an effect of supplying a sufficient amount of heat so as to shorten the phase change threshold time.
  • FIG. 26 illustrates a ferrite disposed in a form of covering a lower surface of a crucible according to an embodiment of the present application.
  • the ferrite 18000 may be disposed to completely cover the bottom surface of the crucible 13000.
  • the arrangement of the ferrite 18000 as described above may cause the heat distribution of the crucible 13000 having a large amount of heat on the lower surface of the crucible 13000 according to the magnetic field focusing property of the ferrite 18000.
  • the intensity change value of the dynamic magnetic field generated on the bottom surface of the crucible 13000 becomes relatively larger than other portions.
  • the intensity of the induced current generated on the lower surface of the crucible 13000 is increased, and the amount of heat generated according to the aforementioned induction heating property is also increased.
  • the bottom surface of the crucible 13000 on which the deposition material is deposited may be a heat distribution of the crucible 13000 in which a relatively large amount of heat is generated than the top and side surfaces of the crucible 13000.
  • the ferrite 18000 according to the exemplary embodiment of the present application may be arranged such that the amount of heat in the N region of the crucible 13000 becomes a thermal non-saturation of the crucible 13000 higher than that in the F region.
  • FIG. 27 is a view showing the shape of a ferrite according to an embodiment of the present application.
  • the ferrite 18000 may be disposed in the heating assembly with a different thickness.
  • the ferrite 18000 may have a different thickness of the ferrite 18000 for each location area corresponding to the side surface of the crucible 13000.
  • the ferrite 18000 has a thickness of the ferrite 18000 disposed at a position corresponding to the N region side rather than the thickness of the ferrite 18000 disposed at the position corresponding to the side F region of the crucible 13000. It can be placed thick.
  • the above-described arrangement of the ferrite 18000 may be a heat distribution of the crucible 13000 having a higher amount of heat at the N region side than the F region side.
  • the intensity change value of the magnetic field formed on the side of the N region may increase according to the magnetic field focusing property. Therefore, the intensity of the induced current formed in the crucible 13000 is also higher in the N region than in the F region.
  • the N region side surface of which the intensity of the induced current is large may be higher than the heat amount of the F region side surface according to the induction heating property.
  • the ferrite 18000 is As described above, the concept of varying the thickness of the ferrite 18000 may be applied to a region close to the nozzle 13200 of the crucible 13000 as described above.
  • the ferrite 18000 may be disposed to have a different distance from each location area corresponding to the side surface of the crucible 13000.
  • the ferrite 18000 may be disposed closer to the N region than the F region of the crucible 13000.
  • the ferrite 18000 may be formed with a slight inclination so as to be close to the nozzle 13200 portion of the crucible 13000 and far from the other portion.
  • the arrangement of the ferrite 18000 having the inclination according to the exemplary embodiment of the present application may be such that the heat distribution of the crucible 13000 is higher than the F region side.
  • the magnetic flux focused on the N region side rather than the F region side may be increased.
  • the intensity change value of the magnetic field formed on the side of the N region may be increased.
  • the intensity of the induced current formed in the crucible 13000 is also higher in the N region than in the F region. Therefore, referring to FIG. 16A, when the crucible 13000 is implemented as described above, the portion of the crucible 13000 having the N region side closer to the nozzle 13200 is higher than the calorific value of the F region side surface.
  • the heat distribution can be controlled.
  • the ferrite 18000 is formed to have a predetermined inclination so that the ferrite 18000 may be formed close to the nozzle 13200 of the crucible 13000.
  • the nozzle As long as the ferrite 18000 may be formed close to the portion 13200, the ferrite 18000 may be formed without being limited to any shape.
  • the ferrite 18000 disposed in the form of the crucible 13000 according to the exemplary embodiment of the present application may be implemented to be differently disposed for each region in the crucible 13000.
  • FIG. 28 is a cut side view illustrating ferrite included in an outer wall of a crucible according to an embodiment of the present application.
  • the ferrite 18000 when the ferrite 18000 according to the exemplary embodiment of the present application is disposed in the form of being inserted into the side of the crucible 13000, the ferrite 18000 may be formed to be differently formed for each region of the side surface. For example, the ferrite 18000 may be inserted into the N region side of the crucible 13000.
  • the ferrite 18000 disposed according to the exemplary embodiment of the present invention may have a heat distribution of the crucible 13000 having a higher amount of heat in the N region side than in the F region side.
  • the ferrite 18000 may increase the intensity change value of the dynamic magnetic field on the side of the N region of the crucible 13000 according to the focusing property of the magnetic field.
  • the intensity of the induced current formed in the crucible 13000 may also be higher in the N region side than in the F region side. Therefore, as illustrated in FIG. 16A, the N region side surface close to the nozzle 13200 may be controlled to be the heat distribution of the crucible 13000 formed larger than the heat quantity of the F region side surface.
  • the ferrite When the ferrite is applied according to an embodiment of the present application, it may be implemented in a form that is applied only to a portion of the heating assembly.
  • 29 is a view showing a ferrite 18000 applied to the heating assembly according to an embodiment of the present application.
  • the ferrite 18000 may include an inner surface of the outer wall of the housing 11000 and / or an outer wall 13100 of the crucible 13000. May be applied only to a portion of the area).
  • the intensity change value of the magnetic field may be increased in a portion of the crucible 13000 corresponding to the position where the ferrite 18000 is applied. Accordingly, the current intensity distribution induced in the crucible 13000 may vary, and as a result, by varying the amount of heat generated in the crucible 13000, as a result, the crucible 13000 of FIG. You will be able to control the heat distribution.
  • the ferrite 18000 according to the exemplary embodiment of the present application may be disposed in a location area corresponding to a portion of the side surface of the crucible 13000.
  • FIG. 30 is a view showing that the ferrite is formed in a portion close to the nozzle of the crucible according to an embodiment of the present application.
  • the ferrite 18000 may be disposed only in the location area corresponding to the N area of the side surface of the crucible 13000.
  • the ferrite 18000 may be disposed at a position corresponding to the N region with the inclination.
  • the ferrite 18000 when the ferrite 18000 is disposed, the ferrite 18000 may be a heat distribution of the crucible 13000 having a higher amount of heat in the N region side than in the F region side.
  • the ferrite 18000 may increase the magnetic field intensity change value of the N region side according to the focusing property of the magnetic field. Accordingly, the intensity of the induced current formed in the crucible 13000 is also higher in the N region than in the F region. Therefore, as a result, referring to FIG. 16, when the crucible 13000 is implemented as described above, the N region side close to the nozzle 13200 may be controlled to have a heat distribution formed higher than the heat amount of the F region side. Accordingly, as the heat distribution of the crucible 13000 is controlled as described above, the actual efficiency of deposition may be increased.
  • the heating assembly may have various implementations and / or arrangements for controlling the heat distribution of the crucible 13000 according to an embodiment of the present application.
  • 31 is a view illustrating a side of a crucible according to an embodiment of the present application.
  • each heating assembly may also be applied in the X-axis or Y-axis direction, such that the heating assembly may be implemented.
  • the above embodiments are applied in the Y-axis direction to describe an example in which the heating assembly is implemented.
  • a plurality of regions may be distinguished in the Y-axis direction of the crucible.
  • the region in the Y-axis direction of the crucible may be divided into N regions, hereinafter, each of the regions will be referred to as a first Y region to an Nth Y region.
  • the heating assembly may be designed based on the above-described various embodiments so that the heat distribution property is assigned to each of the first Y region to the Nth Y region.
  • the heating assembly may be designed such that the first heat distribution of the first Y region is higher than the second heat distribution of the second Y region.
  • 32 to 35 are views for designing a heating assembly in the Y axis direction according to an embodiment of the present application.
  • the crucible may be implemented to protrude relative to the side of the second Y region such that the side of the first Y region is formed closer to the coil than the side of the second Y region.
  • the thickness of the outer wall in the Y direction of the crucible is implemented differently so that the thickness of the crucible outer wall of the first Y region is thicker than the thickness of the crucible outer wall of the second Y region. Can be implemented.
  • the thickness of the outer wall of the crucible of the second Y region may be adjusted to increase the distance from the coil.
  • the coils arranged in the Y direction may be disposed with different distances from the outer wall of the crucible. Referring to FIG. 34, the coil may be disposed closer to the first Y region and farther away from the second Y region.
  • an embodiment and / or an arrangement of ferrites arranged in the Y direction may vary depending on the Y region.
  • the thickness of the ferrite disposed in the first Y region may be thicker than that of the second Y region, and as shown in FIG. May be implemented to be farther than the second Y region.
  • ferrite may be applied or disposed only to a region corresponding to the first Y region.
  • the intensity change value of the magnetic field in which the side of the first Y region of the crucible is affected more than the side of the second Y region is relatively larger according to the above-described idea.
  • the intensity of the induced current in the crucible side of the first Y region may be relatively larger than the second Y region in response to the intensity change value of the magnetic field.
  • the amount of heat generated at the side surface of the first Y region is relatively higher than that of the side surface of the second Y region, so that the heat distribution of the first heat distribution of the first Y region is higher than that of the second heat distribution of the second Y region.
  • Crucibles may be designed as much as possible.
  • the heating assembly is designed in the Y-axis direction, but is not limited thereto, the design examples may be used in the design of the heating assembly in the region of the X-axis direction.
  • the heating assembly is designed to control only the heat distribution of two regions of the plurality of Y regions, but the present invention is not limited thereto, and the above-described design is designed to design the heating assembly to control each thermal distribution of the N regions.
  • the intervals of the regions may exist in various ways at equal intervals, at different intervals, or at random intervals.
  • the deposition apparatus 10000 of the present application may be implemented in combination with all of the above-described embodiments for optimal implementation, and only some of the above-described embodiments may be implemented in combination.
  • 36 is a view illustrating a heating assembly implemented by combining the embodiments in the Z direction of the crucible according to the embodiment of the present application.
  • FIG. 37 is a view illustrating a heating assembly implemented by combining the embodiments in the X, Y, and Z directions of the crucible according to the embodiment of the present application.
  • the above-described embodiment of the crucible 13000 and the embodiment of the coil 16000 may be applied and combined in the regions Z1 to Z2, respectively.
  • a side surface of the crucible 13000 may protrude from the Z1 region, which is a side region close to the nozzle 13200 of the crucible 13000, to be closer to the coil 16000.
  • a coil 16000 having a large number of turns may be disposed at a corresponding position of the Z1 region. Accordingly, the heat generation of the crucible can be made high in the Z1 region, which is a side region close to the nozzle 13200 of the crucible 13000.
  • the deposition apparatus 10000 may be implemented by combining an embodiment in which the driving coil 16000 is separately implemented, an embodiment of the coil 16000, and an embodiment of the ferrite 18000. have.
  • the side of the crucible protrudes closer to the coil 16000 than the Z2 region, and the coil 16000 disposed in the Z1 and Z2 regions of the crucible 13000 is driven separately and disposed in the Y1 region.
  • the ferrite 18000 may be disposed over the Z1 to Z2 regions such that the ferrite 18000 is thicker than the ferrite 18000 disposed in the Z2 region. Accordingly, the heat generation of the crucible can be made high in the Z1 region, which is a side region close to the nozzle 13200 of the crucible 13000.
  • the amount of heat generated in the crucible 13000 is more generated in the longitudinal direction. Can be. Therefore, the heat amount may be generated differently in the region of the X-axis and the region of the Y-axis of the crucible 13000, so that the heat distribution of the crucible may be a non-uniform heat distribution that is lowered at both ends in the longitudinal direction. Due to the heterogeneous thermal distribution, the deposition material may not be uniformly supplied with sufficient heat. Accordingly, the deposition material may not move to be uniformly formed on the surface to be deposited, and as a result, the actual efficiency of deposition may be lowered.
  • the ferrite 18000 according to the exemplary embodiment of the present application may be controlled so that the heat distribution of the crucible 13000 may be uniform.
  • the ferrite 18000 according to the exemplary embodiment of the present application may be disposed in a portion of the region of the Y axis and the region of the Z axis of the crucible, and may be disposed in the entire region of the region of the X axis to design the heating assembly.
  • the heating assembly may be disposed in the shape of a ferrite 18000 having a window on the side of the crucible in the longitudinal direction.
  • the change in magnetic field strength affecting the lateral region in the Y direction of the crucible 13000 is smaller than in the case where there is no window. Accordingly, the induced current intensity in the side region of the crucible 13000 in the Y direction may be lower than that without the window. As a result, the amount of heat generated in the longitudinal side of the crucible 13000 is reduced, so that the side of the crucible 13000 may be controlled to have a uniform heat distribution in the Y direction as shown in FIG. 17.
  • the deposition apparatus 10000 has various implementations in which the deposition apparatus 10000 may be implemented to solve the issue of increasing the deposition success rate in which deposition materials are deposited on the deposition surface, which is an important issue of the deposition apparatus 10000 described above. Examples have been described.
  • the thermal balance of the crucible must be controlled so that the deposition material according to one embodiment of the present application can be smoothly discharged from the crucible.
  • 38 is a diagram illustrating thermal balance of a crucible lower surface according to an embodiment of the present application.
  • the thermal equilibrium of the bottom surface of the crucible can be at various values of calories.
  • the thermal equilibrium may be achieved at a calorie higher than the phase change calorie (Tv) of the deposition material, as shown in (b) and (c), or the thermal equilibrium may be reduced at It may be done.
  • the thermal equilibrium may mean that the amount of heat supplied and the amount of heat discharged are the same, so that the amount of heat over time is kept the same. Even in such a thermal equilibrium state, heat is continuously supplied to the bottom surface of the crucible, and thus the equilibrium state may be specifically referred to as a dynamic equilibrium state.
  • the thermal equilibrium of the lower surface of the crucible is higher than the phase change calorific value Tv of the deposition material as shown in (b) and (c).
  • the deposition material can continue to phase change and move. Accordingly, the phase change deposition material continues to move to the surface to be deposited, so that continuous deposition can be achieved.
  • the amount of heat excessively higher than the amount of heat (Tv) of the phase change of the deposition material may be supplied. Accordingly, (1) the deposition material is discharged from the nozzle of the crucible at an excessively high speed, so that the deposition material deposited on the surface to be deposited may not have enough time to properly settle, resulting in uniformity of deposition. Can fall. In addition, (2) the wasted energy may be increased. Therefore, it can be said that thermal equilibrium such as (c) inefficiently controlled the thermal equilibrium of the crucible lower surface.
  • the thermal equilibrium of the bottom surface of the crucible may be formed to be suitably higher than the phase change calorific value Tv of the deposition material, as in (b). According to the thermal balance control of the crucible as described above, energy can be efficiently provided to the deposition material to deposit the deposition material on the surface to be deposited.
  • the thermal balance of the top surface of the crucible may be a problem.
  • the most important issue is whether or not the deposition material supplied with sufficient heat at the top of the crucible can be smoothly discharged from the crucible nozzle and deposited on the surface to be deposited.
  • FIG. 39 illustrates thermal equilibrium between the top and bottom of a crucible according to an embodiment of the present application.
  • the amount of heat generated on the top of the crucible is (1) as the crucible is continuously heated, and the amount of heat generated on the top of the crucible is conducted to the bottom of the crucible. Accumulated and (2) the high heat amount generated on the top of the crucible can be discharged through the nozzle.
  • the lower and upper portions of the crucible may be thermally balanced with different calorie values.
  • the calorific value of the lower thermal equilibrium of the crucible may be higher than the calorific value of the thermal equilibrium previously designed appropriately.
  • the heat of the thermal equilibrium in the upper portion may be formed with a lower amount of heat than the phase change calorific value Tv of the deposition material by discharging the upper heat quantity into another space.
  • the vapor deposition material may be phase-transferred, and the phase transition of the vapor deposition material may be solidified or liquefied at the top of the crucible lower than the calorific value Tv.
  • the solidified or liquefied deposition material may block the nozzle formed on the top of the crucible, and may cause a problem that the deposition material may not be smoothly discharged through the crucible nozzle.
  • the deposition material on the bottom surface of the crucible may be sufficiently transferred to move in phase, but the heat amount of the crucible upper surface is lower than the amount of heat (Tv) of the deposition material.
  • the deposition material may solidify or liquefy. Accordingly, the solidified or liquefied deposition material may cause a problem of blocking the nozzle formed on the top of the crucible.
  • a configuration for solving the problem of clogging the nozzle of the crucible may be provided in the heating assembly.
  • FIG. 40 illustrates a heating assembly in which a heat conduction inhibiting element is formed in accordance with an embodiment of the present application.
  • 41 is a graph illustrating controlled thermal equilibrium in accordance with an embodiment of the present application.
  • a heat conduction inhibiting element may be formed in the heating assembly according to the embodiment of the present application.
  • the heat conduction suppression configuration can reduce the amount of heat transferred from the top to the bottom of the crucible. Accordingly, the amount of heat accumulated on the bottom surface of the crucible can be reduced.
  • the heat conduction inhibiting configuration may include a slit, a blocking space, a heat insulating material, and the like.
  • the heat conduction inhibiting configuration is not limited to the above configuration, and various configurations may further exist.
  • slits may be formed on an outer wall of a crucible according to an embodiment of the present application.
  • the heat generated in the upper portion of the crucible through the slit cannot be conducted to the bottom, but can be transmitted only by radiation. That is, a path through which heat accumulated in the upper portion of the crucible can be transferred to the lower portion is reduced. As the heat transferred to the bottom of the crucible is reduced, the amount of heat accumulated at the bottom of the crucible can be reduced.
  • the position of the slit formed in the crucible may be a position near the structure in which the crucible is separated.
  • the present invention is not limited thereto, and slits may be formed at various positions of the crucible. That is, a plurality of slits may be formed.
  • a plurality of slits may be formed near a separate structure of the crucible, but the plurality of slits may be positioned on the outer wall of the crucible at various intervals. Can be.
  • the slits may be designed in various shapes. As shown in the figure, the rectangular slit may be formed in the crucible, but is not limited thereto, and may be formed in various shapes such as a triangle, a circle, an ellipse, and a rhombus. In addition, the width and length of the slit may be implemented in various ways.
  • the slits may have various designs. It may be formed in the outer surface direction from the inside of the crucible, or may be formed in the inner surface direction from the outside. In addition, as shown, it may be formed at an angle perpendicular to the surface of the crucible, but is not limited thereto and may be formed at various angles.
  • a blocking space may be formed inside the outer wall of the crucible according to the exemplary embodiment of the present application.
  • the heat generated at the top of the crucible cannot be conducted to the bottom, but can be transmitted only by radiation. That is, a path through which heat accumulated in the upper portion of the crucible can be transferred to the lower portion is reduced. As the heat transferred to the bottom of the crucible is reduced, the amount of heat accumulated at the bottom of the crucible can be reduced.
  • the blocking space may be implemented in the outer wall of the crucible in various forms.
  • the crucible separating structure when the upper and lower parts of the crucible are assembled together, the crucible separating structure may be formed so that a blocking space may be formed inside the outer wall. . Accordingly, the blocking space may be implemented inside the outer wall of the crucible.
  • the blocking space may be designed in various shapes. As shown in the figure, an empty space having a rectangular shape may be formed in the crucible, but is not limited thereto, and may be formed in various shapes such as a triangle, a circle, an ellipse, and a rhombus.
  • Width and length of the blocking space can be implemented in various ways.
  • a plurality of blocking spaces may exist so that the blocking space may be properly disposed in the outer wall of the crucible.
  • a blocking space is formed on the outer wall of the crucible, which is not limited thereto.
  • a heat insulating member capable of lowering thermal conductivity may be formed on the outer wall of the crucible according to the exemplary embodiment of the present application.
  • the insulation may reduce the amount of heat conducted from the top to the bottom of the crucible in the middle. As the amount of heat conducted to the bottom of the crucible is reduced, the amount of heat accumulated at the bottom of the crucible can be reduced.
  • the heat insulating member may be formed on the outer wall of the crucible in various forms.
  • the insulating member may be formed to be inserted between an upper portion of the crucible and a lower portion of the crucible that are divided based on the separation structure.
  • the heat insulating member may be designed in various shapes. As shown in the figure, the rectangular member may be formed in a shape that is inserted into the outer wall of the crucible, but is not limited thereto, and may be formed in various shapes such as a triangle, a circle, an ellipse, and a rhombus.
  • a material having a low thermal conductivity may be selected as a material of the heat insulating member, and a material having a melting point that may exhibit a function even at a high temperature of heat of the heating assembly may be selected.
  • Width and length of the heat insulating member may be implemented in various ways.
  • the insulation member may be implemented in plural and may be appropriately disposed in the outer wall of the crucible.
  • the heating assembly may be designed to smoothly discharge heat from the lower surface of the crucible according to the embodiment of the present application.
  • a heat radiation fin, a heat sink, or the like may be disposed on the bottom surface of the crucible, or a heat radiation paint may be applied. Since the heat radiating means have a very high thermal conductivity, heat can be smoothly conducted. That is, through the heat dissipation means implemented on the lower surface of the crucible, the amount of heat accumulated in the crucible bottom may be smoothly discharged.
  • the lower surface of the crucible implements a large surface area
  • calorie discharge may be smoothly performed through the large surface area.
  • the bottom surface of the crucible may be roughly implemented.
  • the lower surface of the crucible embodied crucible may have a larger surface area than the lower surface embodied smoothly.
  • a black body may be formed on the inner surface of the housing opposite to the crucible bottom.
  • the black body may absorb radiant heat radiated to the surroundings. Accordingly, the radiant heat discharged from the bottom of the crucible through the inner surface of the housing is absorbed by the black body, and the radiant heat can be smoothly discharged through the housing.
  • the thermal balance of each crucible region may be appropriately controlled.
  • the thermal equilibrium at the bottom of the crucible can be thermally equilibrated at an appropriately higher calorie value than the phase change calorie (Tv) of the deposited material.
  • the upper calorific value of the crucible may be higher than the calorific value Tv, and thermal equilibrium may be achieved with a calorie higher than the calorific value of the lower portion of the crucible.
  • the crucible according to an embodiment of the present application is controlled to have a thermal equilibrium in which the deposition material can be smoothly discharged from the top of the crucible, as well as the effect of solving the problem of clogging the nozzle described above. .
  • the transformer and / or the current transformer may output a high frequency voltage or current whose direction and intensity change with the change of time.
  • the transformer and / or the current transformer may receive DC power, convert the AC power, and apply the converted AC power to the coil.
  • the transformer / current transformer is a necessary equipment for driving the applicant deposition equipment.
  • the transformer and the current transformer will be described as an example.
  • the current of the power applied to the coil by the transformer according to some embodiments of the present application may have a relatively high value, compared to the current of the DC power provided to the transformer. That is, the power output by the transformer may be very high current.
  • the deposition equipment according to the embodiments of the present application utilizes an induced current in which the direction and intensity change rapidly with the change of time on the outer wall of the crucible in order to heat the crucible. This is to increase the current value of the induced current.
  • the transformer may be provided with a conductive wire (hereinafter, the output line 19120) for applying the high current to the coil and a conductive wire (hereinafter, the input line 19110) for supplying an external DC power to the transformer.
  • Power output from the transformer may be provided to the coil through the output line 19120.
  • DC power input to the transformer may be provided to the transformer through the input line 19110.
  • a high current may flow through the output line 19120.
  • the high current is coupled to the resistance component of the output line 19120 to generate heat, so that a high heat generation phenomenon may occur in the output line 19120. Accordingly, a problem may occur in that the output line 19120 is destroyed when the deposition apparatus according to the embodiment of the present application is used. Therefore, in order to prevent destruction of the output line 19120, it is necessary to suppress the high heat generation phenomenon. Accordingly, in order to lower the resistance value of the output line 19120, the output line 19120 of the transformer may be reduced. Formed thick.
  • the input line 19110 need not lower the resistance value. Accordingly, the input line 19110 is not required to be thicker at a high cost, and the input line 19110 is formed relatively thinner than the output line 19120.
  • the above-described transformer may have an example disposed in various spaces. This will be described below.
  • the space according to an embodiment of the present application may be divided into an outer space and an inner space.
  • the outer space is a space that is separated from the inner space in which the surface to be deposited, the heating assembly and the like of the present application are disposed.
  • the internal space may have an environmental property of vacuum. This is to exclude impurities that may affect the process of depositing the phase change deposition material using the heating assembly on the surface to be deposited.
  • the external space that is separated from the internal space does not need to exclude impurities, and the external space is a space having a general atmospheric pressure property.
  • the heating assembly and / or the surface to be deposited move relative to each other, and the deposition operation may be performed.
  • the deposition operation refers to an operation process in which a deposition material is formed on a surface to be deposited.
  • the relative movement may be a surface to be deposited in which the heating assembly is fixed, the surface to be deposited and the heating assembly may be moved together, but the speed may be different, or the surface to be deposited is fixed. In this state, the heating assembly may move.
  • the transformer according to an embodiment of the present application may be fixedly disposed in an external space of the deposition apparatus.
  • FIG. 42 is a diagram illustrating a transformer, an input line, and an output line in an external space according to an embodiment of the present application.
  • a transformer fixed to an external space may supply AC power to a coil implemented in the internal space.
  • the transformer fixed to the external space may receive a DC power generated by a DC power generation source provided in the external space through the input line 19110.
  • the transformer may convert the input DC power into high frequency AC power.
  • the converted high frequency AC power is applied to an output line 19120 of a transformer, and the output line 19120 is connected to a coil through a partition wall or an outer wall that separates an external space from an internal space.
  • Line 19120 provides AC power to the coil.
  • FIG 43 illustrates a moving heating assembly according to an embodiment of the present application.
  • the transformer when the transformer is disposed in an external space, a problem may occur in that the output line 19120 of the transformer is destroyed. Since the transformer is fixedly disposed outside, when the heating assembly moves while the deposition operation is performed in the internal space, deformation such as extension or bending may occur in the output line 19120 connected to the coil. The above-described output line 19120 may be continuously deformed due to the continuous deposition operation, and wear may occur. As the wear continues, the output line 19120 may be destroyed.
  • a moving unit for moving the transformer disposed in the external space in response to the movement of the heating assembly may be disposed in the external space.
  • the outer wall separating the inner space and the outer space should have a structure in which the output line 19120 may be disposed from the outer space to the inner empty space.
  • the outer wall structure should be formed to maintain the vacuum environment properties of the inner space.
  • the structure has to be formed as a through structure in which the output line 19120 can be disposed from the outer space to the inner space by the external space and the internal space communicate with each other, the size of the through structure is formed thick as described above It should be selected in consideration of the output line 19120. Therefore, it is very difficult to implement a structure through which the output line 19120 can pass through the outer wall without degrading the vacuum environment property of the inner space.
  • implementing the moving part and the other drive part for driving the moving part, the power generation source, and the through structures of the outer wall in the external space may further cause cost problems.
  • the transformer of the present application is placed inside the deposition apparatus, and 2) the relative positional relationship of the crucible (heating assembly) and the transformer A vapor deposition apparatus is disclosed in which a can be fixed.
  • the transformer may be fixed to one side of the heating assembly.
  • the transformer may be installed in the deposition apparatus together with the heating assembly, and the positional relationship between the heating assembly and the transformer may be fixed. That is, when the heating assembly moves in the deposition equipment to realize the relative movement between the heating assembly and the deposition surface, the transformer may move together with the movement of the heating assembly.
  • the transformer and the heating assembly do not necessarily need to be fixed to each other.
  • the deposition equipment may be implemented such that the transformer also moves in synchronization.
  • another driving unit configured separately from the driving unit for the movement of the heating assembly may be provided in the deposition equipment.
  • the deposition equipment may further include a vacuum box for providing the transformer therein.
  • FIG 44 illustrates a transformer, a vacuum box, and a heating assembly according to an embodiment of the present application.
  • the vacuum box provided with the transformer may receive power from the driver provided with the transformer and move in synchronization with the heating assembly. Accordingly, the inner space of the box may be separated from the vacuum environment, so that even if the transformer is operated, not only the problem of damaging the vacuum environment but also the problem of breaking the coil when the heating assembly is moved may not occur.
  • 45 is a view illustrating deposition equipment according to an embodiment of the present application.
  • a deposition apparatus may include a housing, a heating assembly, and a transformer.
  • the housing may provide a space therein in which components related to deposition may be implemented. Heating assemblies, transformers, and the like.
  • the housing may have a high sealing outer wall that can distinguish the inner space and the outer space, the housing can maintain the inner space of the housing in a high vacuum environment.
  • the heating assembly may phase-deposit the deposition material by heating the deposition material placed in the crucible using a coil, and allow the phase transition deposition material to be deposited on the surface to be deposited.
  • the heating assembly may have a configuration of a heating assembly according to some embodiments of the present application described above, but is not necessarily limited thereto.
  • the transformer may be provided inside the housing, and may be fixed to one side of the heating assembly as described above.
  • the output line 19120 provided in the transformer is high rigidity, the output line 19120 may be connected to the coil with a fixed shape.
  • the output line 19120 since the transformer is fixedly present at one side of the heating assembly, the output line 19120 may also be connected to a coil such that there is no significant change in the fixed shape while the deposition material is deposited.
  • the input line 19110 provided in the transformer may be connected to an external DC power supply in the external space through a through hole formed in the outer wall of the housing extending from the transformer.
  • the input line 19110 has a relatively low power supply as compared to the output line 19120 as described above, the input line 19110 does not need to implement a thick conductor like the output line 19120. 19110) can play a role. Even if the pre-arranged conductive wires are not used as described above, a thin input line 19110 may be disposed through the through holes formed in advance. In addition, the input line 19110 may be implemented to have a long length in response to the case where the transformer moves.
  • a driving unit may be separately provided so that the transformer may also be moved in a positional relationship fixed to one side of the heating assembly.
  • a deposition apparatus may include a housing, a heating assembly, a transformer, and a vacuum box.
  • the vacuum box may form a space therein. It may also be a vacuum environment, such as a composition inside the housing.
  • the vacuum box may be provided with various driving units, conductive wires, connection members, and the like.
  • the transformer may be provided in the inner space of the vacuum box.
  • the output line 19120 of the transformer may extend through a through hole implemented in a vacuum box and be connected to a coil.
  • a high rigid bellows or arm connection member corresponding to the rigidity of the output line 19120 may be provided in the vacuum box so that the output line 19120 may be connected to the coil.
  • the connection member may be implemented to extend to a coil, and the output line 19120 may be connected to the coil through the connection member.
  • the input line 19110 of the transformer may also extend through the through hole implemented in the vacuum box and be connected to an external power source through the through hole of the outer wall of the housing.
  • a low rigid connection member corresponding to the rigidity of the input line 19110 may be provided in the vacuum box so that the input line 19110 may communicate with the external space.
  • the connecting member may be embodied in a sufficient length corresponding to the movement of the heating assembly.
  • the connecting member can move flexibly because of its low rigidity.
  • an inner space may be formed in the connection member provided in the vacuum box so that the conductive wire may be disposed therein.
  • the driving unit when the heating assembly is moved by the driving unit, the driving unit is separately provided, and the vacuum box including the transformer may also be moved in a positional relationship fixed to one side of the heating assembly.
  • a heating assembly for depositing a material on a surface to be deposited includes an outer wall defining an inner space, wherein the outer wall includes an upper portion and a lower portion, and the upper portion and the lower portion are separated from each other.
  • a heating container having a separation structure formed on the outer wall of the heating container;
  • a coil for forming an induction current on the outer wall to heat the heating vessel;
  • a power generator provided with a power supply line for supplying power to the coil;
  • a coil connecting member for electrically connecting the coil and the power generator, wherein the coil includes a first coil and a second coil, and the coil connecting member comprises a first coil connecting member and a second coil connecting.
  • a power supply line including a first power supply line and a second power supply line
  • the first coil has a first positional relationship with the heating vessel
  • the second coil is formed with the heating vessel.
  • the first coil connecting member is connected to one side of the first coil, one side of the second coil, and the first power supply line
  • the second coil connecting member is connected to the first coil. Is connected to the other side and the other side of the second coil, the electrical detachable structure between at least one of the first coil connection member and one side of the first coil, one side of the second coil, or the first power supply line Is formed, and the second coil is connected.
  • May be provided with a heating assembly it characterized in that the material and the second electrically detachable structure in at least one of between the first coil on the other side, or the other side of the second coil is formed.
  • a heating vessel including an outer wall defining an inner space in which the deposition material is placed; A coil forming an induction current on the outer wall to heat the heating vessel; A power generator for generating drive power for driving the coil; And a coil connecting member for electrically connecting the coil and the power generator, wherein the outer wall of the heating vessel includes a first region and a second region, between the first region and the second region.
  • a separation structure is formed, wherein the coil includes a first coil and a second coil, the first coil has a first positional relationship with the heating vessel, and the second coil is in a second position with the heating vessel.
  • the coil connecting member may include a first coil connecting member and a second coil connecting member, and the first coil connecting member may be provided with a heating assembly electrically connected to one side of the first coil.
  • a heating assembly may be provided, wherein an electrical detachment structure is formed between the first coil connection member and the first coil.
  • a protruding nozzle is formed in the first region of the heating vessel, the coil includes a first coil and a second coil, and the first coil is disposed close to the protruding nozzle of the heating vessel.
  • a heating assembly may be provided wherein the two coils are disposed close to the second region of the heating vessel.
  • the power generator may further include a power supply line, wherein the power supply line includes a first power supply line and a second power supply line, and the first power supply line may include a first coil connection member and a first power supply line.
  • a heating assembly can be provided which is connected to the coil.
  • the second power supply line may be connected to the second coil, and the second coil connection member may be connected to the second coil.
  • the physical assembly of the first coil connecting member and the physical shape of the second coil connecting member may be provided with a different heating assembly.
  • a heating assembly can be provided which is characterized in that it occurs substantially simultaneously.
  • a heating assembly may be provided, wherein an electrical property of the first driving power source is different from an electrical property of the second driving power source.
  • Thin film manufacturing technology is a field of surface treatment technology, divided into wet and dry methods.
  • the wet method thin film manufacturing technique includes (1) an electrolytic method of oxidizing a workpiece so that the workpiece is formed on the surface of the workpiece by electrolyzing the workpiece, and (2) activating the workpiece; Wet methods, including electroless methods using sensitization processes, exist.
  • Dry film production technology includes (1) physical vapor deposition (PVD), which evaporates solid materials in a high vacuum state and forms them on the surface of the workpiece, and (2) converts gaseous materials in a high vacuum state to plasma or the like.
  • PVD physical vapor deposition
  • CVD chemical vapor deposition
  • CVD which changes and forms on the surface of a to-be-processed object
  • thermal spraying method which sprays a to-be-processed object in a liquid state to the to-be-processed surface, and coats a to-be-processed object on the surface of a processed object.
  • the deposition apparatus (20000) is implemented to change the state of the treatment by heating the treatment (particularly, the deposition material), and to guide the treatment to be in contact with the surface of the target object. Can be important.
  • the deposition apparatus 20000 is a device capable of depositing a deposition material on a surface to be deposited.
  • the deposition apparatus 20000 of the present application raises the temperature of the crucible 23000 of the deposition apparatus 20000 using a predetermined heating means 25000 to change the state of the deposition material contained in the crucible 23000. You can.
  • the state-deposited deposition material may be discharged to the outside of the crucible 23000.
  • the deposition apparatus 20000 may be used for the above-described thin film fabrication techniques.
  • the deposition apparatus 20000 may be used for simple heating and not for the purpose of deposition according to the above-described thin film fabrication techniques.
  • 47 is a block diagram illustrating a configuration of a deposition apparatus according to an embodiment of the present application.
  • a deposition apparatus 20000 may include a housing 21000, a crucible 23000, a heating means 25000, a magnetic field focusing structure 27000 that is a heating auxiliary means, and Other components 29000 may be included.
  • a space may be formed in the housing 21000 according to an embodiment of the present application.
  • the crucible 23000, the heating means 25000, the heating assistance means, and the other components 29000 may be implemented in an internal space of the housing 21000.
  • a deposition material that is a material to be deposited may be provided in a space formed in the crucible 23000 according to an embodiment of the present application.
  • the deposition material may be heated by receiving heat generated by the heating means 25000.
  • Various kinds of materials may be selected as deposition materials placed in the internal space of the crucible 23000 according to the exemplary embodiment of the present application.
  • the deposition material may be an organic material.
  • the organic material means a compound based on carbon.
  • the organic material may include i) amino acids obtained from animals or plants, proteins, carbohydrates, penicillin, amoxicillin, and other organic matters, ii) synthetic organic materials such as plastics artificially made by humans, and It may include.
  • the present application can heat the crucible 23000 to about 200 oC so that the organic material is changed into a state that can move freely.
  • the deposition material may be a metal material.
  • the metal material may include magnesium (Mg), silver (Ag), aluminum (Al), and the like.
  • the present application can heat the crucible 23000 to at least 1000 oC so that the metal material is changed to a state in which it can move freely.
  • the heating means 25000 may heat the crucible 23000 to change the state of the deposition material placed inside the crucible 23000.
  • the heating auxiliary means may assist the heating means 25000 to efficiently heat the crucible 23000.
  • the heating aid there may be a magnetic field focusing structure 27000.
  • the other component 29000 may be a path of a conductive wire that can supply power, a power generator that provides power to the deposition apparatus 20000, and the like.
  • the description of the other components 29000 will be omitted for ease of description. Only when there are special circumstances in which the deposition apparatus 20000 of the present application is described with the other components 29000 will be described, the present deposition apparatus 20000 will be described together with the other components 29000.
  • a crucible 23000, a heating means 25000, a magnetic field focusing structure 27000, and / or other components that may be implemented may be collectively referred to as a heating assembly. .
  • the crucible 23000 may include an outer wall 23100 and at least one nozzle 23200.
  • the outer wall 23100 may define a space (hereinafter, referred to as an inner space) inside the crucible 23000 as illustrated in FIG. 48B.
  • a deposition material for deposition may be placed in the inner space.
  • the nozzle 23200 may be a movement passage of the deposition material.
  • the deposition material placed in the interior of the crucible 23000 may receive a sufficient amount of heat from the heating means 25000 to phase change into a gaseous and / or plasma state.
  • the phase shifted deposition material may be discharged to the outside of the crucible 23000 as illustrated in FIG. 48A through the nozzle 23200.
  • the nozzle 23200 may be formed in the crucible 23000 with various design specifications.
  • an interval between the plurality of nozzles 23200 may be formed at various intervals. Intervals of the plurality of nozzles 23200 may be formed at equal intervals. Alternatively, the interval of the nozzle 23200 may be an interval that gradually narrows toward the side of the crucible surface.
  • the shape of the hole of the nozzle 23200 may have various shapes.
  • the shape of the hole of the nozzle may be implemented in various shapes, such as rectangular, oval, as well as circular shape as shown.
  • one surface on which the nozzle 23200 is formed will be referred to as an upper surface, and the opposite side of the one surface will be referred to as a lower surface, and the surfaces except for the upper and lower surfaces will be referred to as side surfaces.
  • the crucible 23000 according to the exemplary embodiment of the present application may have various shapes.
  • the crucible 23000 may have a rectangular parallelepiped shape.
  • the crucible 23000 of the present application may be implemented in various forms such as cones, spheres, hexagonal columns, cylinders, triangular columns, and the like. That is, if the form may include a deposition material, the crucible 23000 according to an embodiment of the present application may be implemented in any shape.
  • various materials may be used to implement the crucible according to an embodiment of the present application.
  • the material of the crucible may not be limited to any material.
  • the material of the crucible 23000 of the present application may be a material having a property that current can flow well.
  • an implementation material of the crucible 23000 may be selected. That is, the material of the crucible 23000 may be selected so that the crucible 23000 can perform its function without melting the crucible 23000 even at a high temperature.
  • a structure capable of opening and closing the crucible 23000 may be formed in the crucible 23000 according to the exemplary embodiment of the present application.
  • the nozzle 23200 may be implemented as a protruding shape (hereinafter, protruding nozzle 23300) having a predetermined length to the outside of the crucible 23000.
  • the protruding nozzle 23300 may be formed in the crucible 23000 in various shapes and materials.
  • 49 is a view illustrating a protruding nozzle formed on a crucible according to an embodiment of the present application.
  • the protruding nozzle 23300 may be formed in a rectangular hexagonal shape.
  • the shape of the protruding nozzle 23300 is not limited to the illustrated shape, but may be a shape of a cylinder, a triangular prism, a cone, or the like.
  • the protrusion nozzle 23300 considers an issue in which the junction of the crucible 23000 and the protrusion nozzle 23300 becomes unstable due to thermal expansion of the crucible 23000 when the crucible 23000 is heated.
  • the material of the protruding nozzle 23300 may be used. That is, the material of the protruding nozzle 23300 may be the same material as the material of the crucible 23000 so that the material does not have the same coefficient of thermal expansion.
  • the heating assembly may be designed to smoothly discharge the deposition material through the protrusion nozzle according to the exemplary embodiment of the present application.
  • the material for implementing the protruding nozzle according to the exemplary embodiment of the present application may be variously selected.
  • a material having a low adhesive property with the deposition material may be selected.
  • the adhesion property between the passage of the protruding nozzle and the deposition material is lowered, the deposition material may be smoothly discharged to the outside by moving the inner passage of the protruding nozzle without being adhered to the protruding nozzle.
  • the shape of the protrusion nozzle according to the exemplary embodiment of the present application may be variously implemented.
  • the inner passage of the protruding nozzle may be implemented to have a predetermined slope.
  • the deposition apparatus 20000 may be provided with a heating means 25000 capable of raising the temperature of the crucible 23000.
  • the heating means 25000 may be implemented in various forms.
  • the heating means 25000 may include (1) conventional heating means 25000, (2) ions, etc., such as a pipe capable of supplying heat vapor, and a heating device using fossil fuel. It may be the latest heating means 25000, such as a sputtering heating source for heating the target material by the momentum transfer, the arc heating source for heating by the arc, the resistance heating source for heating based on the electrical resistance of the conducting wire and the like.
  • the coil 26000 may be preferably selected as the heating means 25000 of the present application.
  • the coil 26000 may form a dynamic magnetic field that varies in time and space based on a high frequency coil current flowing through the coil 26000.
  • the magnetic field formed around the coil 26000 may heat the crucible 23000 by inducing a current in the crucible 23000 and generating a heat amount in the crucible 23000. An operation in which the crucible 26000 is heated by the coil will be described later in detail.
  • the coil 26000 may be implemented with various materials through which current may flow.
  • a conductor may be selected as a material of the coil 26000.
  • the conductor may include a metal body, a semiconductor, a superconductor, plasma, graphite, a conductive polymer, and the like.
  • various materials of the coil may be selected without being limited to the above.
  • 50 is a view showing the shape of a coil according to an embodiment of the present application.
  • the coil 26000 may have various shapes.
  • the coil 26000 may include (1) an open shape formed of a single loop having a shape such as an annular ring or a ring, and (2) a closed shape formed of a plurality of loops having a hollow cylindrical shape inside.
  • the coil 26000 may be implemented in any shape as long as it can generate a magnetic field.
  • a portion of the coil 26000 in which the plurality of windings are visible is referred to as a side of the closed shape, and a portion having a hole such as a circle or a square in the coil 26000 of the closed shape is referred to as the coil 26000. I will say the top or bottom of).
  • the definition of the structure of the coil 26000 may be applied to the open shape coil 26000.
  • the windings through which the current constituting the coil 26000 according to the exemplary embodiment of the present application may have various forms.
  • the shape of the winding may be implemented in a variety of appearances so as to have a number of shapes, such as round shape, rectangular shape.
  • the thickness of the winding may also vary depending on the purpose.
  • an empty space may be formed inside the winding constituting the coil 26000 according to the exemplary embodiment of the present application.
  • an empty space may be formed inside the winding of the coil 26000 such that a fluid that may serve as a coolant such as water flows.
  • the fluid flowing along the coil 26000 may have an effect of controlling the temperature so that the coil 26000 does not rise above a predetermined temperature.
  • the arrangement of the coil 26000 according to the exemplary embodiment of the present application may vary depending on the shape of the coil.
  • FIG. 51 illustrates a crucible and a coil according to an embodiment of the present application.
  • the crucible 23000 may be provided inside the closed shape coil 26000.
  • Coil 26000 may be disposed.
  • the shape of the upper or lower portion of the closed shape coil 26000 may be positioned on the upper side, the side portion, and / or the lower portion of the crucible 23000.
  • the aforementioned aspect in which the closed shape coil 26000 is disposed may be applied.
  • the top or bottom of the coil is formed in a folded shape. May be disposed in the table 23000.
  • the coil 26000 may be disposed corresponding to the structure and / or means formed in the crucible 23000.
  • FIG. 52 is a diagram illustrating an example of implementing a coil according to an embodiment of the present application.
  • the coil 26000 may be raised to a position corresponding to the protruding nozzle 23300 as illustrated.
  • the deposition material passing through the protruding nozzle 23300 does not receive enough heat, the deposition material may not move smoothly through the passage of the protruding nozzle 23300. Therefore, when the coil is disposed around the protruding nozzle 23300 as described above, sufficient amount of heat may be supplied to allow the coil 26000 to smoothly move the deposition material moving through the passage of the protruding nozzle 23300 to the surface to be deposited. Can be.
  • the heating assembly 22000 may be provided with a first coil 26010 and a second coil 26020.
  • the first coil 26010 and the second coil 26020 may be separated from each other, but may be electrically or physically connected.
  • first coil 2610 and the second coil 26020 will be described as being connected to each other.
  • the number of turns of the first coil 26010 and the number of turns of the second coil 26020 may be selected such that the number of turns of the first coil 26010 and the number of turns of the second coil 26020 are different from each other.
  • the number of turns of the second coil 26020 may be greater than the number of turns of the first coil 2610.
  • Implementation forms of the first coil 26010 and the second coil 26020 may be different from each other.
  • the above-described internal passage may not be formed in at least one of the first coil 26010 and the second coil 26020. That is, an internal passage through which the above-described fluid flows may be formed in the second coil 26020, whereas the internal passage may not be formed in the first coil 2610. This is to facilitate the physical separation when the first coil 26010 and the second coil 26020 are physically separated.
  • the inner passage may be separated if the first coil 26010 and the second coil 26020 are separated.
  • materials included in the inner passage may penetrate into the deposition environment.
  • the first coil 26010 and the second coil 26020 may have a different positional relationship with the crucible 23000. That is, when the first coil 26010 has a first positional relationship with the crucible 23000, the second coil 26020 may have a second positional relationship with the crucible 23000.
  • first coil 26010 and the second coil 26020 may have a different positional relationship with the crucible 23000.
  • FIG. 53 illustrates a coil disposed near the protruding nozzle according to the embodiment of the present application.
  • a first coil 26010 may be disposed to be close to a protruding nozzle of the crucible 23000, and the second coil 26020 may be positioned at a side surface of the crucible 23000. It may be arranged to. Compared to the case where the coil is disposed far from the protruding nozzle of the crucible 23000, the first coil 26010 disposed close to the protruding nozzle may generate more heat in the protruding nozzle of the crucible 23000. can do. Since the coil is disposed close to the protruding nozzle, the amount of heat generated will be described later in detail.
  • the deposition material passing through the protruding nozzle of the crucible 23000 may be supplied with sufficient heat to smoothly pass through the protruding nozzle.
  • the deposition material may be moved again by induction heating of the first coil 2610. That is, the deposition material formed on the protruding nozzle may be changed into a state of a gas which can be smoothly moved based on the amount of heat generated in the protruding nozzle by the first coil 2610.
  • the first coil 26010 and the second coil 26020 may be electrically or physically separated.
  • the first coil 26010 when the upper portion of the crucible 23000 is moved to be separated from the crucible 23000, the first coil 26010 may be formed of the crucible 23000. It can be moved with the top. Accordingly, the first coil 26010 that is physically connected to the second coil 26020 may be moved separately from the second coil 26020. As the upper portion of the crucible 23000 is coupled to the crucible 23000 again, the separated first coil 2610 may be recombined with the second coil 26020. Electrical or physical separation / recombination of the first coil 26010 and the second coil 26020 may be easily performed by the coil connection member 26011 to be described later. This will be described later in detail.
  • the first coil 26010 and the second coil 26020 may be implemented to have different properties.
  • the first coil 26010 and the second coil 26020 may be implemented such that electrical properties of the first coil 26010 and the second coil 26020 are different from each other.
  • the first resistor and the second resistor may have different values. Since the first resistance of the first coil 26010 is smaller than the second resistance, the electrical conductivity of the first coil 26010 may be greater than the electrical conductivity of the second coil 26020.
  • the first coil 26010 may have a first inductance
  • the second coil 26020 may have a second inductance.
  • an implementation material for implementing the first coil 26010 and the second coil 26020 may be appropriately selected.
  • the first coil 26010 and the second coil 26020 may be supplied with power for induction heating from the power generator 2630.
  • the first coil 26010 and the second coil 26020 may receive power from the same power generator 2630.
  • the present application compared to the case of having a respective power supply for driving each coil 22000 may have an effect of reducing the complexity of the configuration.
  • the first coil 26010 and the second coil 26020 may be connected to the power generator 2630 in parallel.
  • the first coil 26010, the second coil 26020, and the power generator 26030 connected in parallel are referred to as parallel application modules.
  • the parallel application module will be described.
  • the first coil 26010 in the parallel application module is disposed to be located close to the protruding nozzle of the crucible 23000, and the second coil 26020 is the side of the crucible 23000. It will be described taking an example disposed so as to be located close to.
  • 54 is a circuit diagram of a parallel application module according to an embodiment of the present application.
  • FIG. 55 is a view illustrating a first coil 26010, a second coil 26020, and a power generator 2630 connected in parallel according to an embodiment of the present application.
  • the parallel application module may include a first coil 26010, a second coil 26020, a coil connection member 26011, a power generator 26030, and a power supply line 26032.
  • first coil 26010 and the second coil 26020 are as described above.
  • the coil connection member 26011 may be a connection member that physically or electrically connects at least two of the first coil 26010, the second coil 26020, or the power generator 2630.
  • the coil connection member 26011 may be disposed between the first coil 26010, the second coil 26020, or the power generator 26030.
  • the power generator 26030 may generate power for driving the first coil 26010 and the second coil 26020.
  • the power supply line may include a first power supply line 26031 and a second power supply line 26032.
  • the power generated by the power generator 2630 may be transmitted to the first coil 26010 or the second coil 26020.
  • the attributes of the power applied to the first coil 26010 and the second coil 26020 are substantially the same. can do.
  • the properties of the power applied to the first coil (26010) and the second coil (26020) are substantially the same, but the electrical properties of the first coil (26010) and the second coil (26020) may be different.
  • the resistance of the first coil 26010 is the first resistor
  • the second coil 26020 If the resistance is the second resistor, the current flowing through each of the first coil 2610 and the second coil 26020 may be different based on the respective resistors.
  • first coil 2610 the second coil 2602, and the power generator 2630 may be described in detail.
  • the first coil 26010, the second coil 26020, the coil connecting member 26601, the power generator 26030, and the power applying wire 26322 are connected to the heating assembly 22000. It can be provided practically.
  • the power supply line 26032 may include a first power supply line 26031 and a second power supply line 26032.
  • the first coil 26010, the second coil 26020, and the power generator 26030 may have an electrically parallel relationship by the first power supply line 26031 and the second power supply line 26032. .
  • the first power supply line 26031 and the second power supply line 26032 may be output from the power generator 2630.
  • the first power supply line 26031 may apply power to the first coil 26010, and the second power supply line 26032 may apply power to the second coil 26020 in parallel. It may be provided in.
  • the first power applying line 26031 may include a 1-1 power applying line 26031-1 and a 1-2 power applying line 26031-2. By branching from the first power applying line 26031, the first-first power applying line 26031-1 and the 1-2 power applying line 26031-2 may be implemented.
  • the first-first power supply line 26031-1 may be connected to one side of the first coil 26010, and the first-second power supply line 26031-2 may be connected to the other side of the first coil 26010. Can be connected.
  • the second power supply line 26032 may include a 2-1 power supply line 26032-1 and a 2-2 power supply line 26032-2.
  • the 2-1 power applying line 26032-1 and the 2-2 power applying line 26032-2 may be implemented.
  • the 2-1 power applying line 26032-1 may be connected to one side of the second coil 26020, and the 2-2 power applying line 26032-2 may be connected to the other side of the first coil 26010. Can be connected.
  • the one side means one region of the winding of the coil, and the other side means a region that is not one side of the winding of the coil.
  • the first coil 26010, the second coil 26020, and the power generator 2630 may have an electrical parallel connection relationship as illustrated in FIG. 54.
  • the parallel connection module may further include a coil connection member 26011.
  • the coil connecting member 26011 may be disposed between the coil and the power applying line 26032 so that the coil and the power applying line 26032 provided in the parallel connection module are electrically connected to each other.
  • the coil connection member 26011 may be implemented with the same material as a coil provided in the parallel connection module, but is not limited thereto.
  • the coil connection member 26011 may be formed of a material having a lower resistance than a coil. As implemented with a material having a lower resistance than the coil, the coil connection member 26011 may efficiently transmit power to the coil connected to the coil connection member 26011.
  • the structure that can be electrically separated may include a predetermined separation groove, a binding structure, and the like.
  • a separation groove may be formed between the one side of the first coil and the coil connecting member 26011 and may be separated.
  • the coil connecting member 26011 may be connected to the coil and the power applying line 26032, and may be separated from the coil and the power applying line 26032.
  • the coil connection member 26011 may be implemented in various shapes. Hereinafter, an example of various shapes will be described.
  • the coil connecting member 26011 may include a first coil connecting member 26011-1 and a second coil connecting member 26011-2.
  • the first coil connecting member 26011-1 is applied to the first coil 26010 so that the first coil connecting member 26011-1 can be electrically connected to the first coil 26010 and the power applying line 26032. May be disposed between lines 26032. That is, the coil connection member 26011 may allow one side of the first coil 26010 to be electrically connected to the 1-1 power supply line 26031-1 branched from the first power supply line 26031.
  • the second coil connecting member 26011-2 is applied to the first coil 26010 so that the first coil 26010 and the power applying line 26032 can be electrically connected to each other. May be disposed between lines 26032. That is, the coil connection member 26011 may allow the other side of the first coil 26010 to be electrically connected to the 2-1 power supply line 26032-1 branched from the second power supply line 26032. .
  • the first coil 26010, the second coil 26020, and the power generator 2630 may have an electrical parallel connection relationship as illustrated in FIG. 54.
  • the present application provides that the first coil 26010, the second coil 26020, and the power supply line 26032 are easily separated from each other physically or electrically. It can have an effect that can be easily connected.
  • the coil connection member 26011 is not present, the first coil 26010, the second coil 26020, and the power supply line 26032 are connected to each other so that the first coil 26010 and the second coil 26020 are connected.
  • the power-applying line 26032 should have a predetermined shape. That is, the first coil 26010, the second coil 26020, and the power applying line 26032 should have a unique shape such as being twisted or protruded in various directions.
  • the first coil 26010, the second coil 26020, and the power supply line 26032 having a predetermined shape may increase the complexity of the parallel application module.
  • the complexity of the configuration of the increased parallel application module may interfere with the connection of each configuration.
  • the coil connection member 26011 is provided in a parallel application module, the first coil 26010, the second coil 26020, and the power supply line 26032 need not be embodied in a unique shape, and are simple shapes. It can be implemented as.
  • the coil connecting member 26011 is disposed between the first coil 26010, the second coil 26020, and the power supply line 26032 implemented in the simple shape, and the first coil 26010 and the second coil ( 26020, or by connecting at least two or more of the power supply line (26032), components of the parallel connection module can be easily connected.
  • the components of the parallel connection module when the components of the parallel connection module are separated, they can be easily separated.
  • the first coil 26010 illustrated in FIG. 9 needs to be separated from the power supply line 26032, the first coil 26010 and the power supply line 26032 may be physically or electrically connected. By removing the coil connecting member 26011, the first coil 26010 and the power applying line 26032 can be separated.
  • the physical or electrical connection relationship of the parallel connection module as shown in FIG. 9 may allow the power supply line 26032 to have an excessive length.
  • the power applying line 26032 output from the power generator 2630 has an excessive length, a problem may occur that prevents the deposition operation of the deposition apparatus. This is because the movement of the heating assembly 22000 for the deposition operation may be restricted by the long extending power supply line 2602.
  • the present application may have a problem that the loss of power supplied through the power supply line 26032 is sharp.
  • the parallel application module may be a modification of the parallel application module.
  • the above-described physical or electrical connection of the parallel application module was to connect each of the first coil 26010 and the second coil 26020 to a power supply line 26032.
  • a modification to be described below is a first coil ( 26010 and the second coil 26020 are connected in parallel.
  • 56 is a diagram illustrating a first coil 26010, a second coil 26020, and a power generator 2630 according to an embodiment of the present application.
  • FIG. 57 is a diagram illustrating a first coil 26010, a second coil 26020, and a power generator 2630 according to an embodiment of the present application.
  • the first coil 26010, the second coil 26020, and the coil connection member 26011 may be physically or electrically connected.
  • the second coil 26020 may include a first winding and a second winding.
  • the first coil connecting member 26011-1 may be connected to a first winding and connected to one side of the first coil 26010.
  • the second coil connecting member 26011-2 may be connected to the second winding and connected to the other side of the second coil 26020. As shown in FIG. 56, at least one of the first winding or the second winding may protrude to be connected to the coil connection member 26011.
  • the coil connecting member 26011 may have a bent shape so that the coil connecting member 26011 can be connected to at least one of the first winding and the second winding.
  • the coil has the first winding and the second winding, but the first winding and the second winding may not be limited thereto.
  • the first power supply line 26031 may be connected to one side of the second coil 26020 and the second power supply line 26032 may be connected to the other side of the second coil 26020.
  • the power generated from the power generator 2630 is transmitted to the second coil 26020 through the power supply line 26632, and the power delivered to the second coil 26020 is transferred from the second coil 26020. It may be delivered to the first coil 2610.
  • the physical and electrical connection between the first coil 26010 and the second coil 26020 may not be a parallel relationship in an exact sense, but the property of the power applied to the first coil 26010 is the second coil 26020. Since it is based on the power source, it can be said that it is a broad parallel relationship.
  • the first coil 26010, the second coil 26020, and the power supply line 26032 may be electrically or physically connected.
  • a first coil connecting member 26011-1 may be connected to one side of the first coil 26010, and a second coil connecting member 26011-2 may be connected to the other side of the first coil 26010.
  • the first coil connecting member 26011-1 is connected to one side of the second coil 26020 and the first power applying line 26031, and the second coil connecting member 26011-2 is connected to the second coil 26020.
  • the second power supply line 26032 may be connected to the other side of the second coil 26020. Power generated from the power generator 2630 may be applied to the first coil 26010 and the second coil 26020.
  • the present application may have the following effects.
  • the first coil 26010 and the second coil 26020 can be easily separated.
  • the first coil 26010, the second coil 26020, and the power supply line 26032 may have a simple shape.
  • the coil that is not driven by one power generator is called "separate tool copper".
  • the "star tool copper coil” will be described later in detail.
  • variable power source of varying electrical properties may be applied to the coil 26000 according to an embodiment of the present application.
  • a variable power supply may preferably be a high frequency AC power supply such as RF, and may be a low frequency AC power supply in some cases.
  • a current (hereinafter, referred to as a coil current) may flow in the coil 26000 according to the exemplary embodiment of the present application.
  • the electrical property of the coil current may be strength, direction, or the like. Accordingly, the coil current may change an electrical property corresponding to the AC power. Therefore, the coil current may change in intensity, direction, etc. in time corresponding to the AC power.
  • a dynamic magnetic field is formed around the coil 26000, and the dynamic magnetic field generates heat by forming an induced current in the crucible 23000, and as a result,
  • the coil 26000 may inductively heat the crucible 23000.
  • the property of the magnetic field formed by the coil 26000 and the property of the induced current formed in the crucible 23000 according to an embodiment of the present application will be described.
  • 58 is a conceptual diagram illustrating a magnetic field formed around a coil according to an embodiment of the present application.
  • the intensity value of the magnetic field 26100 and the magnetic flux density value may not be exactly matched according to the permeability of the space in which the magnetic field 26100 is formed.
  • the strength of the magnetic field 26100 and the magnetic flux density are in proportion. Therefore, on the basis of the proportional relationship, the concept of magnetic flux density and the concept of the strength of the magnetic field are substantially the same.
  • the magnetic flux 26200 may mean that the magnetic field strength is large, and that the magnetic field strength is large may mean that the magnetic flux is dense. have.
  • the intensity property of the magnetic field 26100 may be changed according to the distance relationship with the source of the magnetic field 26100.
  • H strength of the magnetic field
  • k proportional constant
  • I current flowing through the source
  • r distance from the source.
  • the strength of the magnetic field 26100 may be smaller as the magnetic field 26100 formed at a distance from the source.
  • the intensity of the magnetic field 26100 may decrease as the number of magnetic lines passing through a predetermined area formed at a long distance from the source decreases. On the contrary, the closer to the coil 26000, the stronger the magnetic field 26100 may be.
  • the magnetic field 26100 formed around the coil 26000 of the present application may have a dynamic property.
  • the formed magnetic field 26100 of the present application may rapidly change direction and intensity properties according to time change in the time axis.
  • the dynamic magnetic field is a vector concept that includes directional properties as well as intensity properties. Specifically, when one direction of the coil current flowing in accordance with the variable power applied to the coil 26000 is (+), the other direction opposite thereto may be referred to as ( ⁇ ).
  • the coil current continuously changes in the directions from (+) to (-) and (-) to (+), and at the same time, the strength of the current also changes continuously. Accordingly, as the coil current suddenly changes in the positive and negative directions of the coil current, the direction of the magnetic field 26100 may also be rapidly changed in one direction and the other direction corresponding thereto. At the same time, the strength property of the magnetic field 26100 may be determined corresponding to the strength property of the coil current.
  • a dynamic magnetic field 26100 having fluctuating directions and intensities may be formed around the coil 26000.
  • the change in intensity of a dynamic magnetic field is a quantitative concept.
  • the intensity change value of the magnetic field is an amount of change in the intensity of the magnetic field per unit time considering the direction of the magnetic field. Specifically, the change value of the magnetic fields formed in the same direction is simply the amount of change in the intensity of the magnetic field, but the change value of the magnetic fields formed in the other direction is determined according to the change amount of the magnetic field strength in consideration of the direction of the magnetic field,
  • An intensity change value attribute of the dynamic magnetic field 26100 may vary depending on a distance from the coil 26000.
  • the strength of the dynamic magnetic field 26100 is described above.
  • the magnetic field 26100 forming property may be applied.
  • the strength of the magnetic field formed at the distance may decrease. Therefore, the magnitude of change in the intensity of the magnetic field to be formed is also small, so that the intensity change value of the magnetic field is small.
  • the intensity change value of the dynamic magnetic field 26100 becomes larger.
  • various shapes in which the coil 26000 is implemented may change an intensity change value of the dynamic magnetic field 26100.
  • the magnetic field formed according to the above-described embodiment of the present application may form an induced current in the crucible 23000.
  • induced electromotive force may be generated in the crucible 23000 by the dynamic magnetic field generated by the coil 26000.
  • the induced current may flow in the crucible 23000 according to the generated electromotive force.
  • a current path of an induced current may be formed in the crucible 23000.
  • 59 is a conceptual diagram illustrating a magnetic field and a crucible formed in a coil according to an embodiment of the present application.
  • a current path induced in the crucible 23000 may be formed on the outer wall 23100 of the crucible 23000.
  • one form of the induced current path may be a form surrounding the outer wall 23100 of the crucible 23000.
  • a current path having a local circumference in the outer wall 23100 of the crucible 23000 may be formed.
  • the crucible 23000 may have a current path in which the above-described paths are combined at the same time, as well as a magnetic field shape in which the coil 26000 is generated without being limited to the above-described current paths. It may have various types of current paths in response to the change.
  • the property of the induced current according to an embodiment of the present application may have various properties according to the relationship between the coil 26000, the magnetic field formed in the coil 26000, and the crucible 23000, which will be described below. Do it.
  • the intensity of the induced current may mean the amount of charge moving in the crucible 23000 per unit time. That is, the meaning of the intensity of the induced current in the present specification is a quantitative concept to reveal that the concept implies the meaning of how much charge has moved.
  • the electrical property of the induced current induced in the crucible 23000 according to the exemplary embodiment of the present application may vary depending on the property of the dynamic magnetic field formed in the coil 26000.
  • the intensity property of the induced current formed may be increased.
  • the above relation (1) (2) Accordingly, as the intensity change value of the dynamic magnetic field increases, the force applied to the electrons of the crucible 23000 may increase, and the electromotive force affecting the movement of the electrons may increase. Accordingly, the amount of electrons that can move in the crucible 23000 increases, so that the intensity property of the induced current increases.
  • the electrical property of the induced current induced in the crucible 23000 may vary depending on the shape of the crucible 23000.
  • the intensity of the induced current may be increased when the thickness of the curable is thick corresponding to the thickness of the curable, and the intensity of the induced current may be small when the thickness is thin.
  • the amount of electrons included in the thickness may be changed according to the thickness of the crucible 23000.
  • the amount of electrons when the thickness of the crucible 23000 is thick increases as compared with the amount of electrons having a relatively thin thickness. Accordingly, as the thickness of the crucible 23000 increases, the amount of electrons that can move by the formed magnetic field increases, so that the thicker the crucible 23000, the greater the intensity of the induced current.
  • the induced current according to an embodiment of the present application may form an induced magnetic field in the crucible 23000 once again according to the magnetic field forming property.
  • the induced magnetic field may form an induced current secondary to the crucible 23000 according to the induced current forming property. That is, in the crucible 23000 according to the exemplary embodiment of the present application, an event of forming an induced current and forming an induced magnetic field may occur in series.
  • calories may be generated in various ways.
  • heat may be generated by combining an inductive current induced in the crucible 23000 and an electrical resistance component of the crucible 23000.
  • the induced current and / or induced current path induced in the crucible 23000 may be converted into calories by the resistive component of the crucible 23000.
  • the amount of heat generated in the crucible 23000 increases as the intensity of the induced current increases.
  • the crucible 23000 may generate heat in the crucible 23000 according to a coupling between the dynamic magnetic field formed around the coil 26000 and the electromagnetic component of the crucible 23000.
  • the amount of heat generated by the induced current and / or the dynamic magnetic field in the above-described crucible 23000 may heat the crucible 23000. Since the crucible 23000 is heated by the induction current induced by the coil 26000 and the dynamic magnetic field, the crucible 23000 may be referred to as induction heating.
  • Induction heating there are a number of ways as described above, but in the following according to the inductive current formed in the crucible (23000) and the resistance component of the crucible (23000) ) Will only be described when induction heating.
  • the heating assembly there may be a means for assisting the heating means 25000.
  • the heating means 25000 according to an embodiment of the present application is the coil 26000
  • a magnetic field focusing structure 27000 that focuses a magnetic field formed around the coil 26000 is provided to the heating assembly as a heating aid. It may be provided.
  • the term "concentration" may be interpreted to mean that the magnetic flux of the magnetic field is concentrated in a certain area.
  • the ferrite 28000 as an example of the magnetic field focusing structure 27000 will be described.
  • the ferrite 28000 is described as an example of the magnetic field focusing structure 27000, but the present invention is not limited thereto, and any means or material capable of focusing the magnetic field may be implemented in the heating assembly as the magnetic field focusing structure 27000. It is revealed.
  • the ferrite 28000 according to an embodiment of the present application may be implemented in various materials, types, and shapes.
  • the ferrite 28000 is an ionic compound having a spinel structure, and may be formed by combining various metal compounds with the main component of iron oxide.
  • the various metal compounds may be divalent metal ions such as Mn, Zn, Mg, Cu, Ni, Co, and the like.
  • the ferrite 28000 is not limited to the above-described components, and may be formed of a material of a component that focuses various magnetic fields.
  • the ferrite 28000 may include (1) a liquid type that may exist in a liquid phase at room temperature and (2) a solid type that may have a predetermined shape at room temperature.
  • the ferrite 28000 may have various shapes to suit the purpose, such as a plate shape, a shape having convex protrusions on at least one surface of the plate shape, a circular shape, an ellipse shape, a spherical shape, and the like.
  • the magnetic field focusing of the ferrite 28000 which is an example of the magnetic field focusing structure 27000 according to the exemplary embodiment of the present application, will be described.
  • 60 is a view showing a ferrite placed in a magnetic field according to an embodiment of the present application.
  • the ferrite 28000 placed in the magnetic field may affect the magnetic flux of the magnetic field.
  • the ferrite 28000 may act to attract the magnetic flux formed around the ferrite 28000 to the ferrite 28000 such that the magnetic flux of the magnetic field is densely formed around the ferrite 28000.
  • the influence of the magnetic flux may vary depending on the thickness of the ferrite 28000. As the thickness of the ferrite 28000 is increased, the magnetic flux that may be formed around the ferrite 28000 may increase.
  • the ferrite 28000 may be disposed in the heating assembly of the present application.
  • the ferrite 28000 disposed in the heating assembly according to the exemplary embodiment of the present application may have a magnetic field focusing property that increases the intensity change value of the dynamic magnetic field affecting the crucible 23000.
  • FIG. 61 illustrates a ferrite, a coil, and a magnetic field formed around a coil according to an embodiment of the present application.
  • the ferrite 28000 when the ferrite 28000 according to the exemplary embodiment of the present application is disposed in the heating assembly, the ferrite 28000 has an outer wall 23100 of the magnetic flux of the dynamic magnetic field 23000. It can be focused to form densely.
  • the dynamic magnetic flux closely formed on the outer wall 23100 of the crucible 23000 may be due to the above-described properties of the ferrite 28000.
  • the ferrite 28000 disposed on the outside of the coil 26000 may attract the magnetic flux to the crucible 23000 by attracting the magnetic flux formed inside the coil 26000.
  • the dynamic magnetic flux closely formed on the outer wall 23100 of the crucible 23000 may be a property of the magnetic field forming property in addition to the properties of the ferrite 28000.
  • the ferrite 28000 disposed outside the coil 26000 may attract a magnetic flux that is formed outside the coil 26000 according to the properties of the ferrite 28000.
  • the magnetic field velocity symmetrically formed inside the coil 26000 may be pulled into the crucible 23000 symmetrically according to the magnetic field forming property that the magnetic field is symmetrically formed around the coil 26000. Accordingly, the magnetic flux of the dynamic magnetic field is densely formed on the outer wall 23100 of the crucible 23000.
  • the strength in the positive and negative directions of the dynamic magnetic field of the coil 26000 formed on the outer wall of the crucible 23000 increases simultaneously.
  • the fluctuation amplitude of the dynamic magnetic field also increases correspondingly. That is, the intensity change value of the dynamic magnetic field generated at the outer wall 23100 of the crucible 23000 becomes larger than when the ferrite 28000 is not disposed.
  • the heating efficiency in the present specification means the amount of heat generated in the crucible 23000 relative to the electrical energy input to the coil which is the heating means 25000 of the present application. That is, when the electrical energy input to the coil is the same, it can be said that the heating efficiency (or thermal efficiency) is larger as the amount of heat generated in the crucible 23000 is larger.
  • the heating efficiency of the crucible 23000 in the case of arranging the ferrite 28000 in the heating assembly according to the exemplary embodiment of the present application may be higher than in the case of not arranging the ferrite 28000.
  • FIG. 62 illustrates a ferrite disposed in a heating assembly according to one embodiment of the present application.
  • FIG. 63 is a distribution chart of magnetic field intensity change values according to an embodiment of the present application.
  • the ferrite 28000 may be formed to surround the coil 26000 disposed outside the crucible 23000.
  • a ferrite 28000 having a shape corresponding to the shape of the coil 26000 disposed in the crucible 23000 may be disposed.
  • Ferrite 28000 in the form may be disposed.
  • the heating efficiency of the crucible 23000 according to the exemplary embodiment of the present application may be increased.
  • the change value intensity distribution of the dynamic magnetic field formed in the coil according to an embodiment of the present application may be changed by the crucible disposed in the heating assembly.
  • the intensity distribution of the change value of the dynamic magnetic field formed inside the coil may be shifted toward the outer wall of the crucible.
  • the maximum magnitude of the change value of the magnetic field is As such, the arrangement of the crucibles 23000 may not significantly change.
  • the change value intensity distribution of the dynamic magnetic field formed in the coil can be changed by the ferrite 28000 disposed in the heating assembly, for example, the Figure 62 (a
  • the ferrites 28000 are disposed as shown in FIGS. 2 through 3
  • magnetic fields may be focused on the outer walls of the crucibles by the ferrites 28000. Accordingly, coils formed on the outer walls of the crucibles 23000 may be used.
  • the intensity in the positive and negative directions of the dynamic magnetic field of (26000) increases simultaneously.
  • the bidirectional magnetic field strength rises the fluctuation amplitude of the dynamic magnetic field also increases correspondingly. That is, the intensity change value of the magnetic field is When the low ferrite 28000 is disposed, the intensity change value of the magnetic field may be larger in the outer wall than before the ferrite 28000 is disposed.
  • the induced current intensity may be increased further in the crucible 23000 after being disposed than the crucible 23000 before the ferrite 28000 is disposed.
  • the amount of heat generated in the crucible 23000 may increase due to the above-described induction heating property.
  • the amount of heat generated by the coil 26000 in which the ferrite 28000 is disposed may be greater than that of the coil 26000 in which the ferrite 28000 is not disposed, thereby increasing the heating efficiency of the crucible 23000.
  • the ferrite 28000 may be implemented to surround the upper and lower portions of the coil 26000 disposed in the crucible 23000.
  • the ferrite 28000 may be disposed to the upper and lower portions of the closed shape coil 26000.
  • the effect of focusing on the crucible 23000 until the dynamic magnetic flux exits through the upper or lower surface of the coil 26000 is achieved. It can have As the dynamic magnetic field is focused on the crucible 23000, the heating efficiency of the crucible 23000 is increased.
  • such a ferrite 28000 is not only disposed outside the crucible 23000, but also to increase the heating efficiency of the crucible 23000. It may be arranged in a form included therein.
  • 64 is a cut side view illustrating ferrite included in an outer wall of a crucible according to an embodiment of the present application.
  • the ferrite 28000 is formed on the outer wall 23100 of the crucible 23000, so that a dynamic magnetic field may be focused on the outer wall 23100 of the crucible 23000. As the dynamic magnetic field is focused, the heating efficiency of the crucible 23000 may be increased.
  • the ferrite 28000 according to an embodiment of the present invention may be implemented in a form applied to the crucible 23000 to increase the heating efficiency of the crucible 23000.
  • 65 is a view illustrating a shape in which ferrite is applied to a deposition apparatus 20000 according to an embodiment of the present application.
  • the ferrite 28000 according to an embodiment of the present application may be implemented in a form that is applied to the heating assembly is coated on the heating assembly configuration.
  • the ferrite 28000 may be applied to the inner surface of the outer wall of the housing 21000 surrounding the crucible 23000.
  • the ferrite 28000 may be applied to the inner surface of the outer wall of the housing 21000 surrounding the side portion of the crucible 23000.
  • the ferrite 28000 may be applied to the crucible 23000. As shown in FIG. 65 (b), the ferrite 28000 may be applied to the side outer wall 23100 of the crucible 23000.
  • the thickness of the ferrite 28000 applied to the heating assembly according to an embodiment of the present application may be variously selected according to the design purpose of the deposition apparatus 20000.
  • the thermal efficiency of the crucible 23000 is increased, and as a result, the amount of heat transferred from the crucible 23000 to the deposition material. Can be a lot.
  • the present deposition apparatus 20000 may have an effect of efficiently using energy by arranging the ferrite 28000 to have a high heat output relative to the same input energy.
  • the deposition apparatus 20000 may have an effect of increasing the success rate at which the deposition material is formed on the surface to be deposited. .
  • the actual efficiency of the deposition means not only that the deposition material is properly formed on the surface to be deposited, but may also mean that the deposition surface is formed to have a uniform thickness or concentration.
  • the deposition apparatus 20000 for depositing a deposition material on the surface to be deposited it may be an important issue to increase the deposition efficiency in which the deposition material is deposited on the surface to be deposited.
  • the amount of heat distributed in each space of the crucible 23000 may be controlled differently.
  • the temperature of the deposition material passing through the nozzle 23200 may be increased.
  • the deposition material is smoothly discharged to the surface to be deposited through the nozzle 23200 and is formed on the surface to be deposited, so that the present deposition apparatus 20000 may have an effect of increasing the actual efficiency of the deposition.
  • the amount of heat distributed in the space of the crucible 23000 can be uniformly controlled.
  • the heat distribution allows deposition materials discharged from each nozzle formed in the crucible to move together toward the deposition surface. Accordingly, the deposition material may be uniformly formed on the surface to be deposited, so that the actual efficiency of the deposition may be increased.
  • 66 is a schematic diagram illustrating a heat distribution of a crucible according to an embodiment of the present application.
  • 67 is a schematic diagram illustrating a heat distribution of a crucible according to an embodiment of the present application.
  • the area of the side close to the top surface of the crucible 23000 on which the nozzle 23200 is formed will be described as the N area side and the relatively far area as the F area side.
  • the heat distribution of the crucible 23000 to be achieved in the present invention may be a heat distribution having a heat distribution relatively higher than the F region side of the N region side of the crucible 23000 side.
  • the deposition material may be sufficiently supplied with heat from the N region side of the crucible 23000 to smoothly pass through the nozzle 23200 and move to the deposition surface. .
  • the heat distribution is just one example, and the heat distribution of the crucible 23000 is not limited thereto, and the heating assembly is configured such that the heat distribution in the X-axis and Y-axis directions may be variously generated in different regions. This can be implemented.
  • the heat distribution of the crucible 23000 to be achieved in the present invention may be a heat distribution having a uniform amount of heat generated in the X-axis direction of the crucible 23000 as shown in FIG. 67.
  • the amount of heat generated according to the Z-axis direction may vary.
  • the generation of calories is high at the side of the crucible in which the nozzle is formed.
  • the thermal distribution of the furnace crucible can be formed.
  • the heat distribution of the crucible is not generated in the Z axis direction. It may also be controlled by a uniform distribution of heat.
  • the outer wall 23100 of the crucible 23000 may be controlled so that the spatial distribution of the amount of heat provided to the deposition material accommodated in the inner space of the crucible 23000 may be controlled to the predetermined distribution as described above.
  • the intensity distribution of the induced current induced in can be appropriately controlled. For example, when defining a left and right direction and an up and down direction with respect to one of the four heating surfaces of the crucible 23000, the distribution of the induced currents for the one heating surface is the left and right directions. It may be appropriately controlled according to, or may be appropriately controlled along the vertical direction.
  • the crucible 23000 may be manufactured to control the distribution of the induced current using the shape of the outer wall 23100 of the crucible 23000.
  • the heating assembly may be manufactured so that the distribution of the induced current is controlled by using the distance between the crucible 23000 and the coil 26000.
  • the heating assembly may be manufactured such that the distribution of the induced current is controlled using the arrangement / distribution of the magnetic field focusing part.
  • the heating assembly may be manufactured such that the distribution of the induced current is controlled using independent control of the coil 26000.
  • the nozzle 23200 is illustrated as being formed upward in the drawings and the following description, this does not mean that the deposition equipment is a top-down or bottom-up equipment.
  • the shape of the crucible shown generally in the drawings below is a rectangular parallelepiped shape having a longitudinal direction, but this is merely an example as described above.
  • the embodiments described below can be applied to heating assemblies having crucibles of various shapes.
  • the crucible 23000 may be formed to have various distance relations from the coil 26000, which is the formed heating means 25000. Can be.
  • FIG. 68 is a side cross-sectional view illustrating an example of changing a shape of a crucible according to an embodiment of the present application.
  • the crew 2260 disposed around the crucible 23000 and the side regions included in the side surfaces of the crucible 23000 have a different distance relationship.
  • Sable 23000 may be implemented.
  • the crucible 23000 is a crucible closer to the bottom surface opposite to the top surface on which the nozzle 23200 is formed than the side surface of the crucible 23000 close to the top of the crucible 23000 (hereinafter referred to as N region side).
  • the side of the tablet 23000 (hereinafter referred to as an F region side) may be embodied by being recessed.
  • the side surface of the crucible 23000 near the bottom surface of the crucible 23000 may be formed to have a predetermined slope.
  • the side surface of the crucible 23000 having the longest distance from the nozzle 23200 formed in the crucible 23000 is the farthest from the coil 26000, and the coil formed closer to the side from the nozzle 23200.
  • the crucible 23000 may be formed to approach the distance 26000.
  • the N region side may be controlled to have a heat distribution formed higher than the heat quantity of the F region side.
  • Magnetic field formation properties described above described above (described above, )
  • the intensity change value of the dynamic magnetic field formed on the N region side of the crucible 23000 implemented closer to the coil 26000 than the side of the F region may be increased. Therefore, the intensity of the induced current formed in the crucible 23000 corresponding to the intensity change value of the magnetic field is higher in the N region than in the F region.
  • FIG. 66 (a) as a result, when the crucible 23000 is implemented as described above, the N region side close to the nozzle 23200 may be controlled to have a heat distribution formed higher than the heat quantity of the F region side. Can be.
  • the amount of heat generated in the upper end of the crucible 23000 increases, so that the temperature may be relatively higher than the lower end.
  • the deposition material emitted from the crucible 23000 may have a high active energy and may have an effect of being directed to the deposition surface through the nozzle 23200 of the crucible 23000 at a high speed.
  • the deposition material when the deposition material moves toward the nozzle 23200 in the crucible 23000, a naturally increased amount of heat may be supplied.
  • the deposition material may have an effect of naturally moving to the surface to be deposited as compared with when the deposition material is discontinuously supplied with heat.
  • the heat distribution in the crucible 23000 may be controlled.
  • 69 is a side cutaway view showing examples of changing a thickness of a crucible according to an embodiment of the present application.
  • the crucible 23000 according to an embodiment of the present application may be formed such that regions having different thicknesses exist.
  • the crucible 23000 may be formed to have a thickness different from a portion close to the nozzle 23200 formed in the crucible 23000 (the N region side) and a relatively far portion (the F region side).
  • the thickness of the side of the F region of the crucible 23000 may be thinly formed.
  • the outer side of the F region side surface is formed in a hollow shape to the inside of the crucible 23000, so that the thickness may be thinner than that of the N region side surface.
  • An inner wall of the F region side surface of the block 23000 may be formed to be dug outwardly of the crucible 23000 so that the thickness of the F region side surface may be formed relatively thinner than the thickness of the N region side surface.
  • the thickness of the side of the F region may be formed in a shape that is recessed outward from the inner wall from the outer wall 23100 inward from the outer wall 23100 by combining the above-described shapes.
  • the distance from the coil 26000 may also vary. 69 (a) and (c), as the thickness of the side of the F region of the crucible 23000 according to the exemplary embodiment of the present application is thinly formed in an outwardly inwardly hollow shape from the coil 26000, The distance can also be greater.
  • the crucible 23000 has a magnetic field forming property (described above, Or according to the induced current property (described above, the thickness of the crucible 23000), the N region side as shown in FIG. 66 (a) may be controlled to have a heat distribution formed higher than the heat quantity of the F region side.
  • a dynamic magnetic field having a large change value of magnetic field strength may be formed on the N region side of the crucible 23000.
  • a relatively high intensity induced current may flow in the thick side portion (N region side surface) of the crucible 23000. The generation of heat on the side of the N region is increased by the induction current having high intensity, so that the heat distribution of the crucible 23000 can be controlled as described above.
  • the crucible 23000 according to the exemplary embodiment of the present application has a different thickness and has a predetermined angle of inclination. It can have an area.
  • the N region side surface may have a higher heat distribution than the F region side surface, and as shown in FIG. 66 (b), the N region side surface may be controlled to have a more natural heat distribution in the F region side surface.
  • the amount of feed supplied to the deposition material passing through the N region side is increased, thereby guiding smoothly to the surface to be deposited, thereby increasing the actual efficiency of deposition.
  • the crucible 23000 is illustrated as being present inside the coil 26000 of the formed closed shape, the present invention may not be limited thereto.
  • the coil 26000 In order to control the heat distribution of the crucible 23000 in order to increase the actual efficiency of the deposition according to the exemplary embodiment of the present application, there are various methods of implementing the coil 26000. For example, there may be a method of adjusting the number of windings of the coil 26000, a method of variously implementing a distance from the crucible 23000, and the like.
  • 70 is a view illustrating a coil formed on the outside of the crucible according to the embodiment of the present application.
  • the number of windings of the coil 26000 may be differently disposed in the side region of the crucible 23000 according to the exemplary embodiment of the present application.
  • More windings of the closed-shape coil 26000 may be disposed to affect the region (23000) of the region (N region side).
  • the crucible 23000 may be an exemplary embodiment in which the upper part or the lower part of the plurality of closed shape coils 26000 is disposed on the side of the N region of the crucible 23000.
  • the number of turns of the coil 26000 disposed on the side of the N region may be implemented with more coils 26000.
  • the N region side may be controlled to have a heat distribution formed higher than the heat amount of the F region side.
  • Magnetic field formation properties described above described above (described above, )
  • the intensity change value of the dynamic magnetic field formed on the N region side of the crucible 23000 in which the coil 26000 disposed more than the F region side may be increased.
  • the intensity of the induced current formed in the crucible 23000 is also higher in the N region than in the F region. Therefore, referring to FIG. 66 (a) as a result, when the crucible 23000 is implemented as described above, the N region side close to the nozzle 23200 may be controlled to have a heat distribution formed higher than the heat quantity of the F region side. Can be.
  • the amount of heat generated at the upper end of the crucible 23000 increases, so that the temperature may be relatively higher than that of the lower part.
  • the deposition material emitted from the crucible 23000 has a high active energy and has a high speed.
  • Through the nozzle 23200 of the crucible 23000 may have an effect that can be directed to the surface to be deposited.
  • the coil 26000 may have various embodiments in a positional relationship with the outer wall 23100 of the crucible 23000.
  • the coil 26000 according to the exemplary embodiment of the present application may be arranged by making the distance between the coil 26000 formed on the other surface smaller than the distance formed on one surface of the crucible 23000.
  • 71 is a view illustrating a coil formed on the outside of the crucible according to the embodiment of the present application.
  • the distance between the coils 26000 may be different for each side region of the crucible 23000 according to the exemplary embodiment of the present application.
  • the distance of the closed-shape coil 26000 that affects the region (23000) (the N region side) may be formed closer.
  • the crucible 23000 may be crucible of the upper part or the lower part of the plurality of closed shape coils 26000.
  • An implementation example may be formed at a relatively closer distance to the N region side of the 23000 than the F region side.
  • the N region side may be controlled to have a heat distribution formed higher than the heat amount of the F region side.
  • Magnetic field formation properties described above described above (described above, )
  • the intensity change value of the magnetic field formed on the N region side of the crucible 23000 in which the coil 26000 is implemented may be greater than the side of the region F.
  • the intensity of the induced current formed in the crucible 23000 is also higher in the N region than in the F region.
  • FIG. 71 (a) as a result, when the crucible 23000 is implemented as described above, the N region side close to the nozzle 23200 may be controlled to have a heat distribution formed higher than the heat quantity of the F region side. Can be.
  • the coil 26000 implemented in the deposition apparatus 20000 according to the exemplary embodiment of the present application may be driven separately to control the heat distribution of the crucible 23000.
  • 72 is a conceptual diagram illustrating an example in which a coil implemented in the deposition apparatus 20000 according to an embodiment of the present application is separately driven.
  • 73 is a view conceptually showing a heat distribution of a crucible according to an embodiment of the present invention.
  • the coil 26000 may be driven separately.
  • the separately driven coils 26300 and 26400 may have different attributes of the variable power applied thereto.
  • the variable power source property may include a frequency and intensity property of a power source.
  • a plurality of powers having different attributes applied to the coils 26000 may be applied from power supplies corresponding to the number of power supplies.
  • a plurality of powers having different attributes applied to the coils 26300 and 26400 for each of the separately driven coils 26300 and 26400 may be applied through fewer power supplies.
  • electrical processing may be necessary, such as distributing an output line to supply power having different properties for each of the separately driven coils 26300 and 26400.
  • a separate drive coil according to an embodiment of the present application may have a layout example corresponding to various embodiments of the crucible.
  • the coils 26300 and 26400 that are driven differently may be disposed for each region of the crucible.
  • the region of the crucible may be divided into an upper region and a lower region based on a structure in which the implemented crucible is separated. Separate driving 1 coils 26300 may be disposed in the upper region of the crucible, and separate driving 2 coils 26400 may be disposed in the lower region of the crucible. Accordingly, the properties of the magnetic field affecting each region of the crucible may be changed, and thus the amount of crucible heat generated in the upper and lower regions of the crucible may vary.
  • the separation structure of the crucible may be implemented in the crucible.
  • the region of the crucible may be divided into an upper region and a lower region based on the separated structure formed on the outer surface of the crucible.
  • the separately driven coils 26300 and 26400 may be disposed in the upper and lower regions of the crucible, respectively.
  • the coil 26000 disposed in the crucible 23000 in order to increase the amount of heat generated in a portion close to the nozzle 23200 of the crucible 23000, the coil 26000 disposed in the crucible 23000 according to the above-described embodiment of the present application is separately driven. Can be.
  • the power frequency and intensity applied to the coil 26000 disposed in the nozzle 23200 may be relatively high.
  • the amount of heat generated by the crucible 23000 corresponding to the driving 1 26300 is driven. It can be higher than two.
  • the driving 2 coil 26400 may form a magnetic field that is relatively higher than the driving 1 around the magnetic field forming property.
  • the relatively high intensity magnetic field may increase the induced current intensity formed in the nozzle 23200 of the crucible 23000.
  • the separately driven coils 26300 and 26400 may be controlled to be the heat distribution of the crucible 23000 as shown in FIG. 73.
  • the deposition material discharged through the nozzle 23200 of the crucible 23000 may receive a sufficient amount of heat. Accordingly, the deposition material may be guided to the surface of the deposition target smoothly.
  • each of the magnetic fields generated from the separately driven coils 26300, 26400 may interfere, interfere, and / or affect each other.
  • the strength of the magnetic field formed in the crucible 23000 may be weakened.
  • the intensity of the induced current formed in the crucible 23000 may be lowered, thereby causing an issue in which the heating efficiency of the crucible 23000 is lowered.
  • the separately driven coils 26300 and 26400 may be implemented so as not to influence each other.
  • 74 is a view illustrating a ferrite inserted between coils according to an embodiment of the present application.
  • a ferrite 28000 may be inserted between the separate drive coils 26300 and 26400. have. Magnetic fields that interfere with each other may be magnetic fields formed between the separate driving coils 26300 and 26400. The magnetic field formed between the separate driving coils 26300 and 26400 is formed in the direction of the other coil 26000 to affect the magnetic field formed in the other coil 26000. Therefore, the ferrite 28000 is inserted between the coils 26300 and 26400, so that a magnetic field formed between separate driving coils may be focused on the ferrite 28000.
  • the inserted ferrites 28000 may exclude mutual interference of the coils 26300 and 26400 that are separately driven.
  • the ferrite 28000 may affect the property of the magnetic field.
  • the ferrite 28000 may affect the strength of the generated magnetic field.
  • the influence of the magnetic flux constituting the magnetic field may increase or decrease the number of magnetic rays passing through a predetermined area, thereby affecting the strength of the magnetic field.
  • the method may include a method of arranging various shapes of the ferrite 28000, a method of arranging the ferrite 28000 inside the outer wall 23100 of the crucible 23000, and applying the ferrite 28000.
  • the ferrite 28000 may be embodied in a form having a slope.
  • the ferrite 28000 is not limited thereto, but the ferrite 28000 may exist in various forms such as a circle, an ellipse, or a sphere.
  • the ferrite 28000 may exist in various forms such as a circle, an ellipse, or a sphere.
  • the ferrite 28000 may be disposed in the crucible 23000 in various forms surrounding the coil 26000.
  • 75 is a view illustrating various shapes of ferrite according to an embodiment of the present application.
  • the ferrite 28000 may be disposed to cover a portion of the upper and / or lower conductive wires of the coil 26000 of the closed shape.
  • the ferrite 28000 may be disposed to partially open the lower portion of the closed shape coil 26000 as illustrated in FIGS. 75A and 75B.
  • the ferrite 28000 may be disposed to partially open the upper portion of the coil 26000 of the closed shape as illustrated in FIGS. 75C and 75D.
  • the heat quantity of the N region side or the F region side of the crucible 23000 may be high.
  • the strength of the magnetic field formed on the N region side or the F region side of the implemented crucible 23000 may be increased.
  • the intensity of the induced current formed in the crucible 23000 also increases in the N region side or the F region side. Therefore, as a result, when the ferrite 28000 is disposed in the heating assembly as described above, the N region side near the nozzle 23200 generates more heat than the F region side, or the F region side generates more heat than the N region side. It can be controlled so that the above-described heat distribution.
  • the nozzle of the crucible 23000 has a high active energy and has a high active energy. 23200) may have an effect that can be directed to the surface to be deposited.
  • the deposition material may have an effect of supplying a sufficient amount of heat so as to shorten the phase change threshold time.
  • FIG. 76 is a view illustrating ferrites disposed in a form that covers a bottom surface of a crucible according to an embodiment of the present application.
  • the ferrite 28000 may be disposed to completely cover the bottom surface of the crucible 23000.
  • the arrangement of the ferrite 28000 as described above may cause the heat distribution of the crucible 23000 having a large amount of heat on the lower surface of the crucible 23000 according to the magnetic field focusing property of the ferrite 28000.
  • the intensity change value of the dynamic magnetic field generated on the lower surface of the crucible 23000 becomes relatively larger than other portions.
  • the intensity of the induced current generated on the lower surface of the crucible 23000 increases, and the amount of heat generated according to the aforementioned induction heating property also increases.
  • the bottom surface of the crucible 23000 on which the deposition material is deposited may be a heat distribution of the crucible 23000 in which a relatively large amount of heat is generated than the top and side surfaces of the crucible 23000.
  • the ferrite 28000 according to the exemplary embodiment of the present application may be arranged such that the amount of heat in the N region of the crucible 23000 becomes a thermal non-saturation of the crucible 23000 higher than the amount of heat in the F region.
  • 77 is a view showing the shape of a ferrite according to an embodiment of the present application.
  • the ferrite 28000 may be disposed in the heating assembly with a different thickness.
  • the ferrite 28000 may have a different thickness of the ferrite 28000 for each location region corresponding to the side surface of the crucible 23000.
  • the ferrite 28000 has a thickness of the ferrite 28000 disposed at a position corresponding to the N region side rather than the thickness of the ferrite 28000 disposed at a position corresponding to the side of the region F of the crucible 23000. It can be placed thick.
  • the above-described arrangement of the ferrites 28000 may be such that the heat distribution of the crucible 23000 is higher than the F region side.
  • the intensity change value of the magnetic field formed on the side of the N region may increase according to the magnetic field focusing property. Therefore, the intensity of the induced current formed in the crucible 23000 is also higher in the N region than in the F region.
  • the N region side surface of which the intensity of induced current is large may be higher than the heat quantity of the F region side surface according to the induction heating property.
  • the concept of varying the thickness of the ferrite 28000 may be applied to a region close to the nozzle 23200 of the crucible 23000.
  • the ferrites 28000 according to the exemplary embodiment of the present application may be disposed at different distances from each location area corresponding to the side surface of the crucible 23000.
  • the ferrite 28000 may be disposed closer to the N region than the F region of the crucible 23000.
  • the ferrite 28000 may be formed with a slight inclination so as to be close to the nozzle 23200 portion of the crucible 23000 and far from the other portion.
  • the arrangement of the ferrite 28000 having the inclination according to the exemplary embodiment of the present application may be such that the heat distribution of the crucible 23000 is higher than the F region side.
  • the magnetic flux focused on the N region side rather than the F region side may be increased.
  • the intensity change value of the magnetic field formed on the side of the N region may be increased.
  • the intensity of the induced current formed in the crucible 23000 is also higher in the N region than in the F region. Therefore, referring to FIG. 62 (a), when the crucible 23000 is implemented as described above, the portion of the crucible 23000 having the N region side close to the nozzle 23200 is higher than the calorific value of the F region side surface.
  • the heat distribution can be controlled.
  • the ferrite 28000 is formed to have a predetermined inclination so that the ferrite 28000 may be formed close to the nozzle 23200 of the crucible 23000, but in addition to the embodiment in which the ferrite 28000 is implemented with the inclination, the nozzle As long as the ferrite 28000 may be formed close to the portion 23200, the ferrite 28000 may be formed without being limited to any shape.
  • the ferrite 28000 disposed in the form of the crucible 23000 according to the exemplary embodiment of the present application may be implemented to be differently disposed for each region in the crucible 23000.
  • 78 is a cutaway side view illustrating ferrite included in an outer wall of a crucible according to an embodiment of the present application.
  • the ferrite 28000 when the ferrite 28000 according to the exemplary embodiment of the present application is disposed in the form of being inserted into the side of the crucible 23000, the ferrite 28000 may be formed to be differently formed for each region of the side surface. For example, the ferrite 28000 may be inserted into the N region side of the crucible 23000.

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Abstract

The present invention relates to a heating assembly. According to an aspect of the present invention, there is provided a heating assembly for deposition equipment, the heating assembly comprising: a crucible having a space formed therein so as to contain a deposition material and having at least one nozzle implemented so as to guide the deposition material to the outside; a coil arranged outside the crucible and configured such that, as high-frequency power is applied thereto, a coil current corresponding to the high-frequency power flows through the coil, thereby forming a dynamic magnetic field in the periphery thereof; and a magnetic field concentrating structure arranged in the periphery of the coil, wherein an induction current is formed in the outer wall of the crucible by the dynamic magnetic field, the crucible is heated by heat occurring on the basis of the induction current and an electric resistance element of the crucible, and the dynamic magnetic field formed in the periphery of the coil is concentrated by the magnetic field concentrating structure, thereby increasing the heat occurring in the crucible.

Description

가열 어셈블리Heating assembly
본 발명은 가열 어셈블리에 관한 것으로, 보다 상세하게는 크루시블을 유도 가열하는 자기장을 집속하여 상기 크루시블의 열분포를 제어하고 증착의 실효율을 높일 수 있는 가열 어셈블리에 관한 것이다.The present invention relates to a heating assembly, and more particularly, to a heating assembly capable of focusing a magnetic field for induction heating of the crucible to control the thermal distribution of the crucible and to increase the practical efficiency of the deposition.
크루시블은 가열 수단에 의하여 가열되는 물질을 담을 수 있는 공간이 내부에 형성된 일종의 그릇이다. 상기 크루시블은 가열 수단에 의하여 가열되어 높은 온도가 되더라도 이에 버틸 수 있도록 구현된다. 상기 크루시블이 가열되어 갖는 열량은 크루시블에 담긴 물질에 전달될 수 있다. 이에 따라, 상기 물질은 가열될 수 있다.Crucible is a kind of bowl in which a space for containing the material heated by the heating means is formed therein. The crucible is realized by being heated by a heating means so that it can withstand even a high temperature. The amount of heat that the crucible is heated may be transferred to the material contained in the crucible. Accordingly, the material can be heated.
이러한, 크루시블은 높은 온도에서 가열하여야 하는 물질의 가열을 위해 여러 수단으로 활용되어 왔다. 용융 온도가 높은 금속을 가열하여 제련하는 수단, 다양한 금속 물질들을 배합하기 위하여 가열하는 수단 등에 상기 크루시블이 이용되어 왔다. 특히 최근에 상기 크루시블은 디스플레이 장치 등을 위한 패널의 생산에 있어 패널의 표면에 증착되는 증착 물질을 가열하여 이동할 수 있도록 상태 변화시키고, 상기 증착 물질을 패널의 표면으로 가이딩하기 위한 수단으로 활용되고 있다.Such crucibles have been utilized in several ways for heating materials that must be heated at high temperatures. Such crucibles have been used for heating and smelting metals with high melting temperatures, for heating to blend various metal materials, and the like. In particular, in recent years, the crucible is a means for guiding the deposition material to the surface of the panel to change the state so as to heat and move the deposition material deposited on the surface of the panel in the production of the panel for a display device It is utilized.
그런데, 크루시블에 포함된 증착 물질을 가열하여 패널 등의 피증착면(혹은 타겟면, target surface)에 상기 증착 물질을 증착시키는 경우에는 피증착면에 증착 물질이 제대로 형성될 수 있는 증착의 실효율이 중요할 수 있다. 따라서, 최근 증착의 실효성을 높일 수 있는 크루시블의 구현 기술에 대한 수요가 증대해왔다.However, when the deposition material contained in the crucible is heated to deposit the deposition material on a deposition surface (or target surface) such as a panel, the deposition material may be properly formed on the deposition surface. Effectiveness can be important. Therefore, the demand for crucible implementation technology that can increase the effectiveness of deposition has recently increased.
본 발명의 일 과제는, 크루시블을 가열하는 가열 수단에 공급되는 에너지 대비 상기 크루시블에 놓인 증착 물질에 전달되는 열 에너지가 높은 가열 어셈블리를 제공하는 것에 있다.An object of the present invention is to provide a heating assembly having a high thermal energy delivered to the deposition material placed on the crucible relative to the energy supplied to the heating means for heating the crucible.
본 발명의 다른 과제는 증착 물질이 피증착면에 균일하게 형성될 수 있도록 크루시블의 열분포를 제어 할 수 있는 가열 어셈블리를 제공하는 것에 있다.Another object of the present invention is to provide a heating assembly capable of controlling the heat distribution of the crucible so that the deposition material can be uniformly formed on the surface to be deposited.
본 발명이 해결하고자 하는 과제가 상술한 과제로 제한되는 것은 아니며, 언급되지 아니한 과제들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problem to be solved by the present invention is not limited to the above-described problem, the objects that are not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the present specification and the accompanying drawings. .
본 발명의 일 양상에 따르면 증착 물질을 수용하기 위한 공간이 내부에 형성되고, 상기 증착 물질을 외부로 가이드하기 위한 적어도 하나 이상의 노즐이 구현되는 크루시블; 상기 크루시블의 외측에 배치되며, 고주파수 전력이 인가되어 상기 고주파수 전력에 대응하는 코일 전류가 흐름에 따라 주변에 다이나믹한 자기장이 형성되는 코일; 및 상기 코일의 주변에 배치되는 자기장 집속 구조물;을 포함하되 상기 크루시블은 상기 다이나믹한 자기장에 의하여 외벽에 유도 전류가 형성되고, 상기 유도 전류와 상기 크루시블의 전기적 저항 요소에 기초하여 발생되는 열에 의해 가열되며, 상기 자기장 집속 구조물에 의해 상기 코일 주변에 형성되는 상기 다이나믹한 자기장이 집속됨으로써, 상기 크루시블에 발생되는 상기 열이 상승하는 것을 특징으로 하는 증착 장비용 가열 어셈블리가 제공될 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a space for accommodating a deposition material therein; A coil disposed outside the crucible and having a high frequency power applied thereto to form a dynamic magnetic field around the coil current corresponding to the high frequency power; And a magnetic field focusing structure disposed around the coil, wherein the inductive current is formed on the outer wall by the dynamic magnetic field, and the inductive current is generated based on the inductive current and the electrical resistance element of the crucible. The heating assembly for heating equipment is heated by the heat, and the magnetic field focusing structure is configured to focus the dynamic magnetic field formed around the coil, so that the heat generated in the crucible rises to provide a heating assembly for the deposition equipment. Can be.
본 발명의 다른 양상에 따르면 내부에 공간이 형성되는 하우징; 증착 물질을 수용하기 위한 공간이 내부에 형성되며, 상기 증착 물질을 외부로 가이드하기 위한 적어도 하나 이상의 노즐이 구현되는 크루시블; 상기 크루시블의 외측에 배치되며, 고주파수 전력이 인가되어 상기 고주파수 전력에 대응하는 코일 전류가 흐름에 따라 주변에 다이나믹한 자기장이 형성되는 코일; 및 상기 코일의 주변에 배치되는 자기장 집속 구조물;을 포함하되 상기 크루시블, 코일, 및 자기장 집속 구조물은 상기 하우징의 내부 공간에 구비되고, 상기 크루시블은 상기 다이나믹한 자기장에 의하여 외벽에 유도 전류가 형성되고, 상기 유도 전류와 상기 크루시블의 전기적 저항 요소에 기초하여 발생되는 열에 의해 가열되며, 상기 자기장 집속 구조물에 의해 상기 코일 주변에 형성되는 상기 다이나믹한 자기장이 집속됨으로써, 상기 크루시블에 발생되는 상기 열이 상승하는 것을 특징으로 하는 증착 장비용 가열 어셈블리가 제공될 수 있다.According to another aspect of the invention the housing is formed with a space therein; A space in which a space for accommodating the deposition material is formed, and at least one nozzle for guiding the deposition material to the outside is implemented; A coil disposed outside the crucible and having a high frequency power applied thereto to form a dynamic magnetic field around the coil current corresponding to the high frequency power; And a magnetic field focusing structure disposed around the coil, wherein the crucible, the coil, and the magnetic field focusing structure are provided in an inner space of the housing, and the crucible is guided to an outer wall by the dynamic magnetic field. A current is formed, heated by heat generated based on the induced current and the electrical resistance element of the crucible, and the dynamic magnetic field formed around the coil by the magnetic field focusing structure is focused so that the crucible The heating assembly for deposition equipment can be provided, characterized in that the heat generated in the brush rises.
본 발명의 또 다른 양상에 따르면 크루시블의 내부 공간에 수용되는 증착 물질에 제공되는 열량의 공간적 분포가 상기와 같이 미리 정해진 분포로 제어될 수 있도록, 상기 크루시블의 외벽에 유도되는 유도 전류의 세기 분포가 적절히 제어될 수 있다. 예를 들어, 상기 크루시블의 4개의 가열면들 중 하나의 가열면에 대해서 좌우방향과 상하방향을 정의할 때, 상기 하나의 가열면에 대한 상기 유도 전류의 분포는 상기 좌우방향에 따라서 적절히 제어되거나 또는 상기 상하방향을 따라 적절히 제어될 수 있다.According to another aspect of the present invention, an induced current induced in the outer wall of the crucible so that the spatial distribution of the amount of heat provided to the deposition material contained in the crucible's inner space can be controlled to the predetermined distribution as described above. The intensity distribution of can be controlled appropriately. For example, when defining a left and right direction and an up and down direction with respect to one of the four heating surfaces of the crucible, the distribution of the induced currents with respect to the one heating surface is suitably in accordance with the left and right directions. It may be controlled or appropriately controlled along the vertical direction.
본 발명의 과제의 해결 수단이 상술한 해결 수단들로 제한되는 것은 아니며, 언급되지 아니한 해결 수단들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.Means for solving the problems of the present invention are not limited to the above-described solutions, and the solutions not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the present specification and the accompanying drawings. Could be.
본 발명에 의하면, 크루시블을 가열하는 가열 수단에 공급되는 에너지 대비 상기 크루시블에 놓인 증착 물질에 전달되는 열 에너지가 높아 질 수 있다.According to the present invention, the heat energy delivered to the deposition material placed on the crucible can be higher than the energy supplied to the heating means for heating the crucible.
본 발명에 의하면, 증착 물질이 피증착면에 균일하게 형성될 수 있도록 크루시블의 열분포를 제어 할 수 있다.According to the present invention, it is possible to control the thermal distribution of the crucible so that the deposition material can be uniformly formed on the surface to be deposited.
본 발명의 효과가 상술한 효과로 제한되는 것은 아니며, 언급되지 아니한 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.The effects of the present invention are not limited to the above-described effects, and effects that are not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the present specification and the accompanying drawings.
도 1은 본 출원의 일 실시예에 따른 증착 장치의 구성을 나타내는 블록도이다.1 is a block diagram showing a configuration of a deposition apparatus according to an embodiment of the present application.
도 2는 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블을 나타내는 도면이다.2 is a diagram illustrating a crucible according to an embodiment of the present application.
도 3은 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블에 형성된 돌출 노즐을 나타내는 도면이다.3 is a view showing a protruding nozzle formed in a crucible according to an embodiment of the present application.
도 4는 본 출원의 일 실시예에 따른 코일의 형상을 나타내는 도면이다.4 is a view showing the shape of a coil according to an embodiment of the present application.
도 5는 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블 및 코일을 나타내는 도면이다.5 is a view showing a crucible and a coil according to an embodiment of the present application.
도 6은 본 출원의 일 실시예에 따른 코일이 구현된 예를 나타내는 도면이다.6 is a diagram illustrating an example in which a coil is implemented according to an embodiment of the present application.
도 7은 본 출원의 일 실시예에 따른 돌출 노즐 근처에 배치된 코일을 도시하는 도면이다.7 is a diagram illustrating a coil disposed near a protruding nozzle according to an embodiment of the present application.
도 8은 본 출원의 일 실시예에 따른 코일이 생성한 자기장을 나타내는 개념 도면이다.8 is a conceptual diagram illustrating a magnetic field generated by a coil according to an embodiment of the present application.
도 9는 본 출원의 일 실시예에 따른 코일에 형성된 자기장과 크루시블을 나타내는 개념도이다.9 is a conceptual diagram illustrating a magnetic field and a crucible formed in a coil according to an embodiment of the present application.
도 10은 본 출원의 일 실시예에 따른 자기장에 놓인 페라이트를 나타내는 도면이다.10 is a view showing a ferrite placed in a magnetic field according to an embodiment of the present application.
도 11은 본 출원의 일 실시예에 따른 페라이트, 코일, 및 코일 주변에 형성되는 자기장을 나타내는 도면이다.11 is a view showing a ferrite, a coil, and a magnetic field formed around the coil according to an embodiment of the present application.
도 12는 본 출원의 일 실시예에 따른 가열 어셈블리에 배치된 페라이트를 도시하는 도면이다.12 illustrates a ferrite disposed in a heating assembly according to one embodiment of the present application.
도 13은 본 출원의 일 실시예에 따른 자기장 세기 변화값 분포 그래프이다. 13 is a distribution chart of magnetic field intensity change values according to an embodiment of the present application.
도 14는 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 외벽에 포함된 페라이트를 나타내는 절단된 측면 도면이다.14 is a cutaway side view illustrating ferrite included in an outer wall of a crucible according to an embodiment of the present application.
도 15는 본 출원의 일 실시예에 따른 페라이트가 증착 장치에 도포되어 구현된 형상을 나타내는 도면이다.FIG. 15 is a view illustrating a shape in which ferrite is applied to a deposition apparatus according to an embodiment of the present application.
도 16은 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 열 분포를 나타내는 개략적인 도면이다.16 is a schematic diagram illustrating a heat distribution of a crucible according to an embodiment of the present application.
도 17은 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 열 분포를 나타내는 개략적인 도면이다.17 is a schematic diagram illustrating a heat distribution of a crucible according to an embodiment of the present application.
도 18은 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 형상에 변화를 준 일 예를 도시하는 측면 절단 도면이다.18 is a side cutaway view showing an example of changing a shape of a crucible according to an embodiment of the present application.
도 19는 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 두께에 변화를 준 예들을 도시하는 측면 절단 도면이다.19 is a side cutaway view showing examples of changing a thickness of a crucible according to an embodiment of the present application.
도 20은 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 외측에 형성된 코일을 나타내는 도면이다.20 is a view showing a coil formed on the outside of the crucible according to the exemplary embodiment of the present application.
도 21은 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 외측에 형성된 코일을 나타내는 도면이다.FIG. 21 is a diagram illustrating a coil formed on an outer side of a crucible according to an embodiment of the present application. FIG.
도 22는 본 출원의 일 실시예에 따른 증착 장치에 구현되는 코일이 별도로 구동되는 일 예를 나타내는 개념도이다.22 is a conceptual diagram illustrating an example in which a coil implemented in a deposition apparatus according to an embodiment of the present application is separately driven.
도 23은 본 발명의 일 실시예예 따른 크루시블의 열 분포를 개념적으로 나타내는 도면이다.FIG. 23 is a diagram conceptually illustrating a heat distribution of a crucible according to an embodiment of the present invention. FIG.
도 24는 본 출원의 일 실시예에 따른 코일 사이에 삽입된 페라이트를 나타내는 도면이다.24 is a view illustrating a ferrite inserted between coils according to an embodiment of the present application.
도 25는 본 출원의 일 실시예에 따른 페라이트가 가지는 다양한 형상을 나타내는 도면이다.25 is a view illustrating various shapes of ferrite according to an embodiment of the present application.
도 26은 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 하면을 덮는 형태로 배치된 페라이트를 나타내는 도면이다.FIG. 26 illustrates a ferrite disposed in a form of covering a lower surface of a crucible according to an embodiment of the present application.
도 27은 본 출원의 일 실시예에 따른 페라이트의 형상을 나타내는 도면이다.27 is a view showing the shape of a ferrite according to an embodiment of the present application.
도 28은 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 외벽에 포함된 페라이트를 나타내는 절단된 측면 도면이다.28 is a cut side view illustrating ferrite included in an outer wall of a crucible according to an embodiment of the present application.
도 29는 본 출원의 일 실시예에 따른 가열 어셈블리에 도포된 페라이트를 나타낸 도면이다.29 is a view showing a ferrite applied to the heating assembly according to an embodiment of the present application.
도 30은 본 출원의 일 실시예에 따른 페라이트가 크루시블의 노즐과 가까운 부분에 페라이트가 형성된 것을 나타내는 도면이다.30 is a view showing that the ferrite is formed in a portion close to the nozzle of the crucible according to an embodiment of the present application.
도 31은 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 측면을 나타내는 도면이다.31 is a view illustrating a side of a crucible according to an embodiment of the present application.
도 32는 본 출원의 일 실시예에 따른 Y축 방향에서의 가열 어셈블리의 설계에 대한 도면이다. 32 is a view of the design of the heating assembly in the Y-axis direction according to an embodiment of the present application.
도 33은 본 출원의 일 실시예에 따른 Y축 방향에서의 가열 어셈블리의 설계에 대한 도면이다. 33 is a view of the design of the heating assembly in the Y-axis direction according to an embodiment of the present application.
도 34는 본 출원의 일 실시예에 따른 Y축 방향에서의 가열 어셈블리의 설계에 대한 도면이다. 34 is a view of the design of the heating assembly in the Y-axis direction according to an embodiment of the present application.
도 35는 본 출원의 일 실시예에 따른 Y축 방향에서의 가열 어셈블리의 설계에 대한 도면이다. 35 is a view of the design of the heating assembly in the Y-axis direction according to an embodiment of the present application.
도 36은 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 Z 방향으로 실시예를 조합하여 구현한 가열 어셈블리를 나타내는 도면이다.36 is a view illustrating a heating assembly implemented by combining the embodiments in the Z direction of the crucible according to the embodiment of the present application.
도 37은 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 X, Y, Z 방향으로 실시예를 조합하여 구현한 가열 어셈블리를 나타내는 도면이다.37 is a view illustrating a heating assembly implemented by combining the embodiments in the X, Y, and Z directions of the crucible according to the embodiment of the present application.
도 38은 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 열분포를 나타내는 도면이다.38 is a view showing a heat distribution of the crucible according to the embodiment of the present application.
도 39는 본 출원의 일 실시예에 따른 시변경되는 크루시블의 열분포를 나타내는 도면이다.39 is a view illustrating a heat distribution of time-varying crucibles according to an embodiment of the present application.
도 40은 본 출원의 일 실시예에 따라 열전도 억제 요소가 형성된 가열 어셈블리를 나타내는 도면이다.40 illustrates a heating assembly in which a heat conduction inhibiting element is formed in accordance with an embodiment of the present application.
도 41은 본 출원의 일 실시예에 따라 제어된 열적 평형을 나타내는 그래프이다.41 is a graph illustrating controlled thermal equilibrium in accordance with an embodiment of the present application.
도 42는 본 출원의 일 실시예예 따른 외부 공간의 변압기, 입력선, 및 출력선을 나타내는 도면이다.42 is a diagram illustrating a transformer, an input line, and an output line in an external space according to an embodiment of the present application.
도 43은 본 출원의 일 실시예에 따른 이동하는 가열 어셈블리를 나타내는 도면이다.43 illustrates a moving heating assembly according to an embodiment of the present application.
도 44는 본 출원의 일 실시예예 따른 변압기, 진공 박스, 및 가열 어셈블리를 나타내는 도면이다.44 illustrates a transformer, a vacuum box, and a heating assembly according to an embodiment of the present application.
도 45는 본 출원의 일 실시예에 따른 증착 장비를 나타내는 도면이다.45 is a view illustrating deposition equipment according to an embodiment of the present application.
도 46은 본 출원의 일 실시예에 따른 증착 장비를 나타내는 도면이다.46 illustrates a deposition apparatus according to an embodiment of the present application.
도 47은 본 출원의 일 실시예에 따른 증착 장치의 구성을 나타내는 블록도이다.47 is a block diagram illustrating a configuration of a deposition apparatus according to an embodiment of the present application.
도 48은 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블을 나타내는 도면이다.48 is a diagram illustrating crucibles according to an embodiment of the present application.
도 49는 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블에 형성된 돌출 노즐을 나타내는 도면이다.49 is a view illustrating a protruding nozzle formed on a crucible according to an embodiment of the present application.
도 50은 본 출원의 일 실시예에 따른 코일의 형상을 나타내는 도면이다.50 is a view showing the shape of a coil according to an embodiment of the present application.
도 51은 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블 및 코일을 나타내는 도면이다.51 illustrates a crucible and a coil according to an embodiment of the present application.
도 52는 본 출원의 일 실시예에 따른 코일이 구현된 예를 나타내는 도면이다.52 is a diagram illustrating an example of implementing a coil according to an embodiment of the present application.
도 53은 본 출원의 일 실시예에 따른 돌출 노즐 근처에 배치된 코일을 도시하는 도면이다.53 illustrates a coil disposed near the protruding nozzle according to the embodiment of the present application.
도 58은 본 출원의 일 실시예에 따른 코일이 생성한 자기장을 나타내는 개념 도면이다.58 is a conceptual diagram illustrating a magnetic field generated by a coil according to an embodiment of the present application.
도 59는 본 출원의 일 실시예에 따른 코일에 형성된 자기장과 크루시블을 나타내는 개념도이다.59 is a conceptual diagram illustrating a magnetic field and a crucible formed in a coil according to an embodiment of the present application.
도 60은 본 출원의 일 실시예에 따른 자기장에 놓인 페라이트를 나타내는 도면이다.60 is a view showing a ferrite placed in a magnetic field according to an embodiment of the present application.
도 61은 본 출원의 일 실시예에 따른 페라이트, 코일, 및 코일 주변에 형성되는 자기장을 나타내는 도면이다.FIG. 61 illustrates a ferrite, a coil, and a magnetic field formed around a coil according to an embodiment of the present application.
도 62는 본 출원의 일 실시예에 따른 가열 어셈블리에 배치된 페라이트를 도시하는 도면이다.62 illustrates a ferrite disposed in a heating assembly according to one embodiment of the present application.
도 63은 본 출원의 일 실시예에 따른 자기장 세기 변화값 분포 그래프이다. FIG. 63 is a distribution chart of magnetic field intensity change values according to an embodiment of the present application. FIG.
도 64는 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 외벽에 포함된 페라이트를 나타내는 절단된 측면 도면이다.64 is a cut side view illustrating ferrite included in an outer wall of a crucible according to an embodiment of the present application.
도 65는 본 출원의 일 실시예에 따른 페라이트가 증착 장치에 도포되어 구현된 형상을 나타내는 도면이다.65 is a view illustrating a shape in which ferrite is applied to a deposition apparatus according to an embodiment of the present application.
도 66은 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 열 분포를 나타내는 개략적인 도면이다.66 is a schematic diagram illustrating a heat distribution of a crucible according to an embodiment of the present application.
도 67은 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 열 분포를 나타내는 개략적인 도면이다.67 is a schematic diagram illustrating a heat distribution of a crucible according to an embodiment of the present application.
도 68은 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 형상에 변화를 준 일 예를 도시하는 측면 절단 도면이다.FIG. 68 is a side cross-sectional view illustrating an example of changing a shape of a crucible according to an embodiment of the present application. FIG.
도 69는 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 두께에 변화를 준 예들을 도시하는 측면 절단 도면이다.69 is a side cutaway view showing examples of changing a thickness of a crucible according to an embodiment of the present application.
도 70은 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 외측에 형성된 코일을 나타내는 도면이다.70 is a view illustrating a coil formed on the outside of the crucible according to the embodiment of the present application.
도 71는 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 외측에 형성된 코일을 나타내는 도면이다.71 is a view illustrating a coil formed on the outside of the crucible according to the embodiment of the present application.
도 72는 본 출원의 일 실시예에 따른 증착 장치에 구현되는 코일이 별도로 구동되는 일 예를 나타내는 개념도이다.72 is a conceptual diagram illustrating an example in which a coil implemented in a deposition apparatus according to an embodiment of the present application is separately driven.
도 73은 본 발명의 일 실시예예 따른 크루시블의 열 분포를 개념적으로 나타내는 도면이다.73 is a view conceptually showing a heat distribution of a crucible according to an embodiment of the present invention.
도 74는 본 출원의 일 실시예에 따른 코일 사이에 삽입된 페라이트를 나타내는 도면이다.74 is a view illustrating a ferrite inserted between coils according to an embodiment of the present application.
도 75는 본 출원의 일 실시예에 따른 페라이트가 가지는 다양한 형상을 나타내는 도면이다.75 is a view illustrating various shapes of ferrite according to an embodiment of the present application.
도 76은 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 하면을 덮는 형태로 배치된 페라이트를 나타내는 도면이다.FIG. 76 is a view illustrating ferrites disposed in a form that covers a bottom surface of a crucible according to an embodiment of the present application.
도 77은 본 출원의 일 실시예에 따른 페라이트의 형상을 나타내는 도면이다.77 is a view showing the shape of a ferrite according to an embodiment of the present application.
도 78은 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 외벽에 포함된 페라이트를 나타내는 절단된 측면 도면이다.78 is a cutaway side view illustrating ferrite included in an outer wall of a crucible according to an embodiment of the present application.
도 79는 본 출원의 일 실시예에 따른 가열 어셈블리에 도포된 페라이트를 나타낸 도면이다.79 is a view illustrating ferrite applied to a heating assembly according to an embodiment of the present application.
도 80은 본 출원의 일 실시예에 따른 페라이트가 크루시블의 노즐과 가까운 부분에 페라이트가 형성된 것을 나타내는 도면이다.80 is a view illustrating that ferrite is formed in a portion close to a nozzle of a crucible according to an embodiment of the present application.
도 81은 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 측면을 나타내는 도면이다.81 is a view illustrating a side of a crucible according to an embodiment of the present application.
도 82는 본 출원의 일 실시예에 따른 Y축 방향에서의 가열 어셈블리의 설계에 대한 도면이다. 82 is a view of a design of a heating assembly in the Y axis direction according to an embodiment of the present application.
도 83은 본 출원의 일 실시예에 따른 Y축 방향에서의 가열 어셈블리의 설계에 대한 도면이다. 83 is a view of a design of a heating assembly in the Y-axis direction according to an embodiment of the present application.
도 84는 본 출원의 일 실시예에 따른 Y축 방향에서의 가열 어셈블리의 설계에 대한 도면이다. 84 is a view of the design of the heating assembly in the Y-axis direction according to an embodiment of the present application.
도 85는 본 출원의 일 실시예에 따른 Y축 방향에서의 가열 어셈블리의 설계에 대한 도면이다. 85 is a view of a design of a heating assembly in the Y-axis direction according to an embodiment of the present application.
도 86은 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 Z 방향으로 실시예를 조합하여 구현한 가열 어셈블리를 나타내는 도면이다.86 is a view illustrating a heating assembly implemented by combining the embodiments in the Z direction of the crucible according to the embodiment of the present application.
도 87은 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 X, Y, Z 방향으로 실시예를 조합하여 구현한 가열 어셈블리를 나타내는 도면이다.87 is a view illustrating a heating assembly implemented by combining the embodiments in the X, Y, and Z directions of the crucible according to the embodiment of the present application.
도 88은 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 열분포를 나타내는 도면이다.88 is a view showing a heat distribution of the crucible according to the embodiment of the present application.
도 89는 본 출원의 일 실시예에 따른 시변경되는 크루시블의 열분포를 나타내는 도면이다.89 is a view illustrating a heat distribution of time-varying crucibles according to an embodiment of the present application.
도 90은 본 출원의 일 실시예에 따라 열전도 억제 요소가 형성된 가열 어셈블리를 나타내는 도면이다.90 illustrates a heating assembly in which a heat conduction inhibiting element is formed in accordance with an embodiment of the present application.
도 91은 본 출원의 일 실시예에 따라 제어된 열적 평형을 나타내는 그래프이다.91 is a graph showing controlled thermal equilibrium in accordance with an embodiment of the present application.
도 92는 본 출원의 일 실시예예 따른 외부 공간의 변압기, 입력선, 및 출력선을 나타내는 도면이다.92 is a diagram illustrating a transformer, an input line, and an output line in an external space according to an embodiment of the present application.
도 93은 본 출원의 일 실시예에 따른 이동하는 가열 어셈블리를 나타내는 도면이다.93 illustrates a moving heating assembly according to an embodiment of the present application.
도 94는 본 출원의 일 실시예예 따른 변압기, 진공 박스, 및 가열 어셈블리를 나타내는 도면이다.94 illustrates a transformer, a vacuum box, and a heating assembly according to an embodiment of the present application.
도 95는 본 출원의 일 실시예에 따른 증착 장비를 나타내는 도면이다.95 is a diagram illustrating a deposition apparatus according to an embodiment of the present application.
도 96은 본 출원의 일 실시예에 따른 증착 장비를 나타내는 도면이다.96 is a view illustrating deposition equipment according to an embodiment of the present application.
본 명세서에 기재된 실시예는 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명의 사상을 명확히 설명하기 위한 것이므로, 본 발명이 본 명세서에 기재된 실시예에 의해 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 범위는 본 발명의 사상을 벗어나지 아니하는 수정예 또는 변형예를 포함하는 것으로 해석되어야 한다.Since the embodiments described herein are intended to clearly explain the spirit of the present invention to those skilled in the art, the present invention is not limited to the embodiments described herein, and the present invention. The scope of should be construed to include modifications or variations without departing from the spirit of the invention.
본 명세서에서 사용되는 용어는 본 발명에서의 기능을 고려하여 가능한 현재 널리 사용되고 있는 일반적인 용어를 선택하였으나 이는 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자의 의도, 관례 또는 새로운 기술의 출현 등에 따라 달라질 수 있다. 다만, 이와 달리 특정한 용어를 임의의 의미로 정의하여 사용하는 경우에는 그 용어의 의미에 관하여 별도로 기재할 것이다. 따라서 본 명세서에서 사용되는 용어는 단순한 용어의 명칭이 아닌 그 용어가 가진 실질적인 의미와 본 명세서의 전반에 걸친 내용을 토대로 해석되어야 한다.The terminology used herein is a general term that has been widely used as far as possible in view of the functions of the present invention, but may vary according to the intention of a person of ordinary skill in the art to which the present invention belongs, custom or the emergence of a new technology. Can be. In contrast, when a specific term is defined and used in any meaning, the meaning of the term will be described separately. Therefore, the terms used in the present specification should be interpreted based on the actual meaning of the terms and the contents throughout the present specification, rather than simple names of the terms.
본 명세서에 첨부된 도면은 본 발명을 용이하게 설명하기 위한 것으로 도면에 도시된 형상은 본 발명의 이해를 돕기 위하여 필요에 따라 과장되어 표시된 것일 수 있으므로 본 발명이 도면에 의해 한정되는 것은 아니다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The drawings attached to the present specification are provided to easily explain the present invention, and the shapes shown in the drawings may be exaggerated and displayed as necessary to help the present invention.
본 명세서에서 본 발명에 관련된 공지의 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에 이에 관한 자세한 설명은 필요에 따라 생략하기로 한다.In the present specification, when it is determined that a detailed description of a known configuration or function related to the present invention may obscure the gist of the present invention, a detailed description thereof will be omitted as necessary.
본 발명의 일 양상에 따르면 증착 물질을 수용하기 위한 공간이 내부에 형성되고, 상기 증착 물질을 외부로 가이드하기 위한 적어도 하나 이상의 노즐이 구현되는 크루시블; 상기 크루시블의 외측에 배치되며, 고주파수 전력이 인가되어 상기 고주파수 전력에 대응하는 코일 전류가 흐름에 따라 주변에 다이나믹한 자기장이 형성되는 코일; 및 상기 코일의 주변에 배치되는 자기장 집속 구조물;을 포함하되 상기 크루시블은 상기 다이나믹한 자기장에 의하여 외벽에 유도 전류가 형성되고, 상기 유도 전류와 상기 크루시블의 전기적 저항 요소에 기초하여 발생되는 열에 의해 가열되며, 상기 자기장 집속 구조물에 의해 상기 코일 주변에 형성되는 상기 다이나믹한 자기장이 집속됨으로써, 상기 크루시블에 발생되는 상기 열이 상승하는 것을 특징으로 하는 증착 장비용 가열 어셈블리가 제공될 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a space for accommodating a deposition material therein; A coil disposed outside the crucible and having a high frequency power applied thereto to form a dynamic magnetic field around the coil current corresponding to the high frequency power; And a magnetic field focusing structure disposed around the coil, wherein the inductive current is formed on the outer wall by the dynamic magnetic field, and the inductive current is generated based on the inductive current and the electrical resistance element of the crucible. The heating assembly for heating equipment is heated by the heat, and the magnetic field focusing structure is configured to focus the dynamic magnetic field formed around the coil, so that the heat generated in the crucible rises to provide a heating assembly for the deposition equipment. Can be.
또, 상기 크루시블의 외벽에 형성되는 상기 유도 전류는 시간에 따라 속성이 변경되는 것을 특징으로 하는 증착 장비용 가열 어셈블리가 제공될 수 있다.In addition, the induction current formed on the outer wall of the crucible may be provided with a heating assembly for deposition equipment, characterized in that the property is changed over time.
또, 상기 자기장 집속 구조물에 의해, 상기 다이나믹한 자기장의 자속 밀도의 변화량이 증가하고, 상기 크루시블에 상기 상승되는 열은 상기 증가하는 변화량에 기초하여 상승하는 것을 특징으로 하는 증착 장비용 가열 어셈블리가 제공될 수 있다.In addition, by the magnetic field focusing structure, the amount of change in the magnetic flux density of the dynamic magnetic field increases, and the heat rising to the crucible rises based on the amount of change increasing. May be provided.
또, 상기 자기장 집속 구조물에 의해, 상기 유도 전류의 단위 시간당 전하량은 상승되고, 상기 크루시블에 상기 상승되는 열은 상기 상승된 단위 시간당 전하량에 기초하여 상승하는 것을 특징으로 하는 증착 장비용 가열 어셈블리가 제공될 수 있다.In addition, by the magnetic field focusing structure, the amount of charge per unit time of the induced current is increased, and the heat rising to the crucible is increased based on the amount of charge per unit time increased. May be provided.
또, 상기 자기장 집속 구조물에 의해, 상기 다이나믹한 자기장은 자속 밀도의 변화량 및 상기 유도 전류의 단위 시간당 전하량은 증가되며, 상기 크루시블에 상기 상승되는 열은 상기 증가된 변화량 및 단위 시간당 전하량에 기초하여 상승하는 것을 특징으로 하는 증착 장비용 가열 어셈블리가 제공될 수 있다.In addition, by the magnetic field focusing structure, the dynamic magnetic field increases the amount of change in magnetic flux density and the amount of charge per unit time of the induced current, and the heat rising to the crucible is based on the increased amount of change and the amount of charge per unit time. It can be provided by the heating assembly for the deposition equipment, characterized in that the rise.
또, 상기 크루시블에 구현되는 노즐은 상기 크루시블의 외측으로 돌출된 형태인 증착 장비용 가열 어셈블리가 제공될 수 있다.In addition, the nozzle embodied in the crucible may be provided with a heating assembly for deposition equipment that is protruded out of the crucible.
또, 상기 코일은 상기 크루시블의 외벽의 외측에 상기 코일이 포함하는 제1 코일 및 제2 코일이 존재하도록 배치되는 증착 장비용 가열 어셈블리가 제공될 수 있다.In addition, the coil may be provided with a heating assembly for deposition equipment is disposed so that the first coil and the second coil included in the coil on the outside of the outer wall of the crucible.
또, 상기 가열 어셈블리는 증착 장비의 하우징 내부에 배치되는 것을 특징으로 하는 증착 장비용 가열 어셈블리가 제공될 수 있다.In addition, the heating assembly may be provided with a heating assembly for deposition equipment, characterized in that disposed inside the housing of the deposition equipment.
또, 상기 자기장 집속 구조물은 상기 코일과 상기 하우징의 내벽 사이의 공간에 배치되는 증착 장비용 가열 어셈블리가 제공될 수 있다.In addition, the magnetic field focusing structure may be provided with a heating assembly for deposition equipment is disposed in the space between the coil and the inner wall of the housing.
또, 상기 자기장 집속 구조물은 도포되는 형태로 구현되는 증착 장비용 가열 어셈블리가 제공될 수 있다.In addition, the magnetic field focusing structure may be provided with a heating assembly for deposition equipment is implemented in the form of being applied.
또, 상기 자기장 집속 구조물은 판형 형태로 구현되며, 상기 자기장 집속 구조물은 제1 영역 및 제2 영역을 포함하고, 상기 자기장 집속 구조물의 상기 제1 영역의 두께는 상기 제2 영역의 두께보다 큰 것을 특징으로 하는 증착 장비용 가열 어셈블리가 제공될 수 있다.In addition, the magnetic field focusing structure is implemented in a plate shape, the magnetic field focusing structure includes a first region and a second region, the thickness of the first region of the magnetic field focusing structure is larger than the thickness of the second region Characterized in the heating assembly for deposition equipment can be provided.
또, 상기 자기장 집속 구조물의 두께에 기초하여, 상기 다이나믹한 자기장이 집속되는 정도가 달라지는 증착 장비용 가열 어셈블리가 제공될 수 있다.In addition, based on the thickness of the magnetic field focusing structure, there may be provided a heating assembly for deposition equipment that the degree of concentration of the dynamic magnetic field is different.
또, 상기 자기장 집속 구조물의 영역은 제1 영역 및 제2 영역을 포함하고, 상기 제1 영역과 상기 하우징과의 거리는 상기 제2 영역과 상기 하우징과의 거리보다 큰 것을 특징으로 하는 증착 장비용 가열 어셈블리가 제공될 수 있다.The region of the magnetic field focusing structure may include a first region and a second region, and a distance between the first region and the housing is greater than a distance between the second region and the housing. An assembly can be provided.
또, 상기 자기장 집속 구조물은 제1 영역과 제2 영역을 포함하고, 상기 제1 영역과 제2 영역은 서로 수직한 영역인 것을 특징으로 하는 증착 장비용 가열 어셈블리가 제공될 수 있다.The magnetic field focusing structure may include a first region and a second region, and the heating assembly for deposition equipment may be provided, wherein the first region and the second region are perpendicular to each other.
본 발명의 다른 양상에 따르면 내부에 공간이 형성되는 하우징; 증착 물질을 수용하기 위한 공간이 내부에 형성되며, 상기 증착 물질을 외부로 가이드하기 위한 적어도 하나 이상의 노즐이 구현되는 크루시블; 상기 크루시블의 외측에 배치되며, 고주파수 전력이 인가되어 상기 고주파수 전력에 대응하는 코일 전류가 흐름에 따라 주변에 다이나믹한 자기장이 형성되는 코일; 및 상기 코일의 주변에 배치되는 자기장 집속 구조물;을 포함하되 상기 크루시블, 코일, 및 자기장 집속 구조물은 상기 하우징의 내부 공간에 구비되고, 상기 크루시블은 상기 다이나믹한 자기장에 의하여 외벽에 유도 전류가 형성되고, 상기 유도 전류와 상기 크루시블의 전기적 저항 요소에 기초하여 발생되는 열에 의해 가열되며, 상기 자기장 집속 구조물에 의해 상기 코일 주변에 형성되는 상기 다이나믹한 자기장이 집속됨으로써, 상기 크루시블에 발생되는 상기 열이 상승하는 것을 특징으로 하는 증착 장비용 가열 어셈블리가 제공될 수 있다.According to another aspect of the invention the housing is formed with a space therein; A space in which a space for accommodating the deposition material is formed, and at least one nozzle for guiding the deposition material to the outside is implemented; A coil disposed outside the crucible and having a high frequency power applied thereto to form a dynamic magnetic field around the coil current corresponding to the high frequency power; And a magnetic field focusing structure disposed around the coil, wherein the crucible, the coil, and the magnetic field focusing structure are provided in an inner space of the housing, and the crucible is guided to an outer wall by the dynamic magnetic field. A current is formed, heated by heat generated based on the induced current and the electrical resistance element of the crucible, and the dynamic magnetic field formed around the coil by the magnetic field focusing structure is focused so that the crucible The heating assembly for deposition equipment can be provided, characterized in that the heat generated in the brush rises.
이하에서는 본 발명의 실시예에 따른 가열 어셈블리에 대하여 설명한다.Hereinafter, a heating assembly according to an embodiment of the present invention will be described.
박막 제조 기술은 표면 처리 기술의 한 분야로 습식법과 건식법으로 구분된다.Thin film manufacturing technology is a field of surface treatment technology, divided into wet and dry methods.
상기 박막 제조 기술 중 습식법 박막 제조기술에는 (1) 피처리물을 양극에 걸고 전해하여 처리물이 피처리물의 표면에 형성되도록 피처리물을 산화시키는 전해법, 및 (2) 피처리물의 활성화, 예민화 과정을 이용한 무전해법을 포함하는 습식법이 존재한다.Among the thin film manufacturing techniques, the wet method thin film manufacturing technique includes (1) an electrolytic method of oxidizing a workpiece so that the workpiece is formed on the surface of the workpiece by electrolyzing the workpiece, and (2) activating the workpiece; Wet methods, including electroless methods using sensitization processes, exist.
건식법 박막 제조기술에는 (1) 고진공 상태에서 고체 상태의 처리물을 증발시켜 피처리물의 표면에 형성되도록 하는 물리 증착법(PVD), (2) 고진공 상태에서 기체 상태의 처리물을 플라즈마 등의 상태로 변화하여 피처리물의 표면에 형성시키는 화학 증착법(CVD), 및 (3) 액체 상태의 피처리물을 처리물 표면에 분출하여 처리물 표면에 피처리물을 입히는 용사법이 존재한다.Dry film production technology includes (1) physical vapor deposition (PVD), which evaporates solid materials in a high vacuum state and forms them on the surface of the workpiece, and (2) converts gaseous materials in a high vacuum state to plasma or the like. Chemical vapor deposition (CVD) which changes and forms on the surface of a to-be-processed object, and (3) the thermal spraying method which sprays a to-be-processed object in a liquid state to the to-be-processed surface, and coats a to-be-processed object on the surface of a processed object.
전술한 박막 제조 기술들에서는 처리물(특히, 증착 물질)을 가열함으로써 처리물의 상태를 변화시키고, 처리물을 피처리 대상의 표면에 접촉할 수 있도록 가이딩하기 위하여 구현되는 증착 장치(10000)가 중요할 수 있다.In the above-described thin film fabrication techniques, a deposition apparatus 10000 implemented to change the state of the treatment by heating the treatment (especially the deposition material) and to guide the treatment to be in contact with the surface of the object to be treated is provided. It can be important.
따라서, 이하에서는 본 발명의 증착 장치(10000)에 대하여 설명하도록 한다.Therefore, hereinafter, the deposition apparatus 10000 of the present invention will be described.
< 자기장집속체에 기초하여 향상된 유도 가열 효율을 가지는 가열어셈블리><Heating assembly with improved induction heating efficiency based on magnetic field concentrator>
1. 증착 장치1. Deposition apparatus
이하에서는 본 출원의 일 실시예에 따른 증착 장치(10000)에 대하여 설명하도록 한다.Hereinafter, a deposition apparatus 10000 according to an embodiment of the present application will be described.
본 출원의 일 실시예에 따른 증착 장치(10000)는 피증착면에 증착 물질을 증착할 수 있는 장치이다. 본 출원의 증착 장치(10000)는 증착 장치(10000)의 크루시블(13000)을 소정의 가열 수단(15000)을 이용하여 온도를 상승시켜 크루시블(13000) 내에 포함된 증착 물질을 상태 변화시킬 수 있다. 상기 상태 변화된 증착 물질은 크루시블(13000)의 외부로 배출될 수 있다.The deposition apparatus 10000 according to the exemplary embodiment of the present application is a device capable of depositing a deposition material on a surface to be deposited. The deposition apparatus 10000 of the present application raises the temperature of the crucible 13000 of the vapor deposition apparatus 10000 using a predetermined heating means 15000 to change the state of the deposition material contained in the crucible 13000. You can. The state-deposited deposition material may be discharged to the outside of the crucible 13000.
본 출원의 일 실시예에 따른 증착 장치(10000)는 전술한 박막 제조 기술들을 위하여 이용될 수 있다. 뿐만 아니라, 증착 장치(10000)는 전술한 박막 제조 기술들에 따른 증착의 목적이 아닌 단순 가열을 위해서도 이용될 수 있다. Deposition apparatus 10000 according to an embodiment of the present application may be used for the above-described thin film manufacturing techniques. In addition, the deposition apparatus 10000 may be used for simple heating and not for the purpose of deposition according to the above-described thin film fabrication techniques.
이하에서는 증착 장치(10000)의 구성에 대하여 설명하도록 한다.Hereinafter, the configuration of the deposition apparatus 10000 will be described.
1.1 증착 장치의 구성1.1 Composition of Deposition Equipment
도 1은 본 출원의 일 실시예에 따른 증착 장치의 구성을 나타내는 블록도이다.1 is a block diagram showing a configuration of a deposition apparatus according to an embodiment of the present application.
도 1을 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 증착 장치(10000)는 하우징(11000), 크루시블(13000), 가열 수단(15000), 가열 보조 수단인 자기장 집속 구조물(17000), 및 기타 구성 요소(19000)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 1, a deposition apparatus 10000 according to an embodiment of the present application may include a housing 11000, a crucible 13000, a heating means 15000, a magnetic field focusing structure 17000 that is a heating auxiliary means, and Other components 19000 may be included.
본 출원의 일 실시예에 따른 상기 하우징(11000)의 내부에는 공간이 형성될 수 있다. 상기 하우징(11000)의 내부 공간에는 상기 크루시블(13000), 상기 가열 수단(15000), 상기 가열 보조 수단, 및 상기 기타 구성 요소(19000)가 구현될 수 있다.A space may be formed in the housing 11000 according to the exemplary embodiment of the present application. The crucible 13000, the heating means 15000, the heating assistance means, and the other component 19000 may be implemented in an inner space of the housing 11000.
본 출원의 일 실시예에 따른 상기 크루시블(13000)의 내부에 형성된 공간에는 증착을 하고자 하는 물질인 증착 물질이 제공될 수 있다. 또한, 상기 증착 물질은 상기 가열 수단(15000)에 의해 발생하는 열을 전달받아 가열될 수 있다.A deposition material that is a material to be deposited may be provided in a space formed inside the crucible 13000 according to an embodiment of the present application. In addition, the deposition material may be heated by receiving heat generated by the heating means 15000.
본 출원의 일 실시예에 따른 상기 가열 수단(15000)은 상기 크루시블(13000) 내부에 놓인 증착 물질을 상태 변화시키기 위하여 상기 크루시블(13000)을 가열할 수 있다.The heating means 15000 according to an embodiment of the present application may heat the crucible 13000 to change the state of the deposition material placed inside the crucible 13000.
본 출원의 일 실시예예 따른 상기 가열 보조 수단은 상기 가열 수단(15000)이 상기 크루시블(13000)을 효율적으로 가열 할 수 있도록 보조할 수 있다. 상기 가열 보조 수단의 일 예로, 자기장 집속 구조물(17000)이 있을 수 있다.The heating auxiliary means according to an embodiment of the present application may assist the heating means 15000 to efficiently heat the crucible 13000. As an example of the heating aid, there may be a magnetic field focusing structure 17000.
본 출원의 일 실시예에 따른 기타 구성 요소(19000)는 전력을 공급할 수 있는 도선의 통로, 증착 장치(10000)에 동력을 제공하는 동력 발생 장치 등일 수 있다. 다만, 본 명세서에서는 설명을 용이하게 하기 위하여 상기 기타 구성 요소(19000)들에 대하여는 설명을 생략한다. 기타 구성 요소(19000)들을 들어 본 출원의 증착 장치(10000)를 설명하여야 하는 특별한 사정이 있는 경우에만, 상기 기타 구성 요소(19000)들과 함께 본 증착 장치(10000)를 설명하기로 한다.The other component 19000 according to the exemplary embodiment of the present application may be a path of a conductive wire that can supply power, a power generator that provides power to the deposition apparatus 10000, and the like. However, in the present specification, the description of the other components 19000 will be omitted for ease of description. The present deposition apparatus 10000 will be described together with the other components 19000 only when there are special circumstances where the other components 19000 should be described to describe the deposition apparatus 10000 of the present application.
한편, 전술한 증착 장치(10000)의 구성 중 크루시블(13000), 가열 수단(15000), 자기장 집속 구조물(17000), 및/또는 기타 구현될 수 있는 구성들을 집합하여 가열 어셈블리라 할 수 있다.Meanwhile, among the components of the deposition apparatus 10000 described above, a crucible 13000, a heating means 15000, a magnetic field focusing structure 17000, and / or other components that may be implemented may be collectively referred to as a heating assembly. .
이하에서는 가열 어셈블리에 대하여 보다 구체적으로 설명하기로 한다.Hereinafter, the heating assembly will be described in more detail.
1.1.1 크루시블1.1.1 Crucible
도 2 (a) 내지 (b)는 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블을 나타내는 도면이다.2 (a) to (b) is a view showing a crucible according to an embodiment of the present application.
본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블(13000)은 외벽(13100), 및 적어도 하나 이상의 노즐(13200)을 포함할 수 있다.The crucible 13000 according to the exemplary embodiment of the present application may include an outer wall 13100 and at least one nozzle 13200.
본 출원의 일 실시예에 따른 외벽(13100)은 도 2(b)와 같이 크루시블(13000)의 내부에 공간(이하, 내부 공간)을 정의할 수 있다. 상기 내부 공간에는 증착을 위한 증착 물질이 놓일 수 있다. The outer wall 13100 according to the exemplary embodiment of the present application may define a space (hereinafter, referred to as an inner space) inside the crucible 13000 as shown in FIG. 2B. In the inner space, a deposition material for deposition may be placed.
본 출원의 일 실시예에 따른 노즐(13200)은 증착 물질의 이동 통로가 될 수 있다. 상기 크루시블(13000) 내부 공간에 놓인 증착 물질은 가열 수단(15000)으로부터 충분한 열량을 공급 받아 기상 및/또는 플라즈마 상태로 상변화할 수 있다. 상기 상 전이한 증착 물질은 상기 노즐(13200)을 통해 도 2(a)에 도시된 바와 같이 크루시블(13000)의 외부로 배출될 수 있다.The nozzle 13200 according to the exemplary embodiment of the present application may be a moving passage of the deposition material. The deposition material placed in the internal space of the crucible 13000 may receive a sufficient amount of heat from the heating means 15000 and phase change into a gaseous and / or plasma state. The phase shifted deposition material may be discharged to the outside of the crucible 13000 as shown in FIG. 2A through the nozzle 13200.
본 출원의 일 실시예에 따른 상기 노즐(13200)은 다양한 설계 사양으로 상기 크루시블(13000)에 형성될 수 있다.The nozzle 13200 according to the exemplary embodiment of the present application may be formed in the crucible 13000 with various design specifications.
예를 들어, 상기 노즐(13200)이 복수개 형성되는 경우 복수의 노즐(13200)들 사이의 간격은 다양한 간격으로 형성 될 수 있다. 상기 복수의 노즐(13200)들의 간격은 등간격으로 형성될 수 있다. 또는, 상기 노즐(13200)의 간격은 상기 크루시블 면의 사이드로 갈수록 점차 좁아지는 간격일 수도 있을 것이다. For example, when a plurality of nozzles 13200 are formed, the intervals between the plurality of nozzles 13200 may be formed at various intervals. Intervals of the plurality of nozzles 13200 may be formed at equal intervals. Alternatively, the interval of the nozzle 13200 may be an interval that gradually narrows toward the side of the crucible surface.
또한 상기 노즐(13200)의 구멍의 형상은 여러 가지 형상을 가질 수 있다. 상기 노즐의 구멍의 형상은 도시된 바와 같이 원형 형상뿐만 아니라, 사각형, 타원형 등의 다양한 형태의 형상으로 구현될 수 있을 것이다.In addition, the shape of the hole of the nozzle 13200 may have various shapes. The shape of the hole of the nozzle may be implemented in various shapes, such as rectangular, oval, as well as circular shape as shown.
이하에서는 본 출원의 크루시블(13000)에 대하여 보다 자세히 설명한다. 이때, 설명의 편의를 위하여, 상기 노즐(13200)이 형성된 일면을 상면, 상기 일면의 반대측면을 하면이라고 일컫을 것이며, 상기 상면과 하면을 제외한 면들을 측면이라고 하기로 한다. Hereinafter, the crucible 13000 of the present application will be described in more detail. In this case, for convenience of description, one surface on which the nozzle 13200 is formed will be referred to as an upper surface, and the opposite side of the one surface will be referred to as a lower surface, and the surfaces except for the upper and lower surfaces will be referred to as side surfaces.
본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블(13000)은 다양한 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 도 2(a)를 참조하면, 크루시블(13000)은 직육면체의 형상일 수 있다. 뿐만 아니라, 본 출원의 크루시블(13000)은 원뿔, 구, 육각기둥, 원기둥, 삼각기둥 등의 다양한 형태로 구현될 수 있을 것이다. 즉, 증착 물질을 포함할 수 있는 형태라면 본 출원의 일 실시예예 따른 크루시블(13000)은 어떠한 형상으로든 구현될 수 있을 것이다.The crucible 13000 according to the exemplary embodiment of the present application may have various shapes. For example, referring to FIG. 2A, the crucible 13000 may have a rectangular parallelepiped shape. In addition, the crucible 13000 of the present application may be implemented in various forms such as cones, spheres, hexagonal columns, cylinders, triangular columns, and the like. That is, if the form may include a deposition material, the crucible 13000 according to an embodiment of the present application may be implemented in any shape.
또한, 본 출원의 일 실시예에 따라 다양한 소재가 상기 크루시블을 구현하는데 이용될 수 있다.In addition, various materials may be used to implement the crucible according to an embodiment of the present application.
상기 크루시블의 소재는 어떠한 소재에도 국한되지 않을 것이나 바람직하게 본 출원의 크루시블(3000)의 구현 소재는 전류가 잘 흐를 수 있는 속성의 소재일 수 있다.The material of the crucible is not limited to any material, but preferably, the material of the crucible 3000 of the present application may be a material having a property that current can flow well.
또한, 크루시블(13000)이 가열 수단(15000)에 의해 가열되는 온도를 고려하여, 상기 크루시블(13000)의 구현 소재가 선택 될 수 있다. 즉, 상기 크루시블(13000)이 고 온도에도 크루시블(13000)이 용융되지 않고 제 기능을 발휘할 수 있도록, 상기 크루시블(13000)의 소재가 선택될 수도 있을 것이다.In addition, in consideration of the temperature at which the crucible 13000 is heated by the heating means 15000, an implementation material of the crucible 13000 may be selected. That is, the material of the crucible 13000 may be selected so that the crucible 13000 can perform its function without melting the crucible 13000 even at a high temperature.
도 2(b)에 도시된 바와 같이, 본 출원의 일 실시예에 따른 상기 크루시블(13000)에는 크루시블(13000)을 개폐할 수 있는 구조가 형성될 수 있다. As shown in FIG. 2B, the crucible 13000 according to the exemplary embodiment of the present application may have a structure capable of opening and closing the crucible 13000.
본 출원의 일 실시예에 따른 노즐(13200)은 상기 크루시블(13000)의 외측으로 일정 길이를 가지는 돌출된 형상(이하, 돌출 노즐(13300))으로 구현될 수 있다. The nozzle 13200 according to the exemplary embodiment of the present application may be implemented as a protruding shape (hereinafter, protruding nozzle 13300) having a predetermined length to the outside of the crucible 13000.
이러한, 돌출 노즐(13300)은 다양한 형상 및 소재로 상기 크루시블(13000)에 형성될 수 있다.The protruding nozzle 13300 may be formed in the crucible 13000 in various shapes and materials.
도 3은 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블에 형성된 돌출 노즐을 나타내는 도면이다.3 is a view showing a protruding nozzle formed in a crucible according to an embodiment of the present application.
도 3을 참조하면, 도시된 바와 같이 상기 돌출 노즐(13300)은 직육각 형태로 형성될 수 있다. 또한 예를 들어, 상기 돌출 노즐(13300)의 형상은 도시된 형상에 국한되지 않고, 원기둥, 삼각기둥, 원뿔 등의 형상일 수도 있을 것이다.Referring to FIG. 3, as shown, the protruding nozzle 13300 may be formed in a rectangular shape. Also, for example, the shape of the protruding nozzle 13300 is not limited to the shape shown, but may be a shape of a cylinder, a triangular prism, a cone, or the like.
또한, 다양한 소재가 상기 돌출 노즐(13300)을 구현하는데 선택될 수 있다. 예를 들어, 돌출 노즐(13300)은 크루시블(13000)의 가열시 크루시블(13000)의 열 팽창에 의해서 크루시블(13000)과 돌출 노즐(13300)의 접합이 불안정해지는 이슈를 고려하여, 상기 돌출 노즐(13300)의 소재가 이용될 수 있다. 즉, 돌출 노즐(13300)의 소재는 같은 열팽창 계수를 가져 상기 이슈가 발생하지 않도록, 크루시블(13000)의 소재와 동일한 소재일 수 있을 것이다. In addition, various materials may be selected to implement the protruding nozzle 13300. For example, the protrusion nozzle 13300 considers an issue in which the junction of the crucible 13000 and the protrusion nozzle 13300 becomes unstable due to thermal expansion of the crucible 13000 when the crucible 13000 is heated. Thus, the material of the protruding nozzle 13300 may be used. That is, the material of the protruding nozzle 13300 may be the same material as the material of the crucible 13000 so that the material does not have the same coefficient of thermal expansion.
본 출원의 일 실시예에 따른 돌출 노즐을 통해 증착 물질이 원활히 배출될 수 있도록 가열 어셈블리를 설계할 수 있다.The heating assembly may be designed to smoothly discharge the deposition material through the protrusion nozzle according to the exemplary embodiment of the present application.
예를 들어, 본 출원의 일 실시예에 따른 돌출 노즐의 구현 소재를 다양하게 선택할 수 있다. 상기 돌출 노즐의 통로 내부면의 소재로 상기 증착 물질과 접착 특성이 낮은 성질의 소재가 선택될 수 있다. 상기 돌출 노즐의 통로와 증착 물질의 접착 특성이 낮아짐에따라, 증착 물질은 돌출 노즐에 접착되지 않고 돌출 노즐의 내부 통로를 이동하여 외부로 원활히 배출될 수 있을 것이다.For example, the material for implementing the protruding nozzle according to the exemplary embodiment of the present application may be variously selected. As the material of the inner surface of the passage of the protruding nozzle, a material having a low adhesive property with the deposition material may be selected. As the adhesion property between the passage of the protruding nozzle and the deposition material is lowered, the deposition material may be smoothly discharged to the outside by moving the inner passage of the protruding nozzle without being adhered to the protruding nozzle.
또한, 본 출원의 일 실시예에 따른 돌출 노즐의 형상을 다양하게 구현할 수 있다. In addition, the shape of the protrusion nozzle according to the exemplary embodiment of the present application may be variously implemented.
상기 돌출 노즐의 내부 통로 형상을 다양하게 할 수 있다. 예를 들어, 상기 돌출 노즐의 내부 통로는 소정의 경사를 가지도록 구현될 수 있다.It is possible to vary the shape of the inner passage of the protruding nozzle. For example, the inner passage of the protruding nozzle may be implemented to have a predetermined slope.
1.1.2 가열 수단1.1.2 Heating means
본 출원의 일 실시예에 따른 증착 장치(10000)에는 크루시블(13000)의 온도를 상승시킬 수 있는 가열 수단(15000)이 구비될 수 있다.The deposition apparatus 10000 according to the exemplary embodiment of the present application may be provided with a heating means 15000 for raising the temperature of the crucible 13000.
상기 가열 수단(15000)은 다양한 형태로 구현될 수 있다. 예를 들어, 본 출원의 일 실시예에 따른 가열 수단(15000)은 (1) 열 증기를 공급할 수 있는 파이프, 및 화석 연료를 이용한 가열 장치 등의 전통적인 가열 수단(15000), (2) 이온 등의 운동량 전달로 대상 물질을 가열하는 스퍼터링 가열원, 아크에 의해 가열하는 아크 가열원, 도선 등의 전기적 저항에 기초하여 가열하는 저항 가열원 등의 최신의 가열 수단(15000)등 일 수 있을 것이다.The heating means 15000 may be implemented in various forms. For example, the heating means 15000 according to an embodiment of the present application may include (1) traditional heating means 15000, (2) ions, etc., such as a pipe capable of supplying heat vapor, and a heating device using fossil fuel. The latest heating means 15000, such as a sputtering heating source for heating the target material by momentum transfer, an arc heating source for heating by an arc, and a resistance heating source for heating based on electrical resistance such as a conducting wire.
다만, 본 출원의 가열 수단(15000)로 바람직하게 코일(16000)이 선택될 수 있다. 상기 코일(16000)은 코일(16000)에 흐르는 고주파수의 코일 전류에 기초하여, 시공간적으로 변화하는 다이나믹한 자기장을 주변에 형성할 수 있다. 결과적으로 상기 코일(16000)의 주변에 형성된 자기장은 크루시블(13000)에 전류를 유도하고 상기 크루시블(13000)에 열량을 발생시킴으로써 상기 크루시블(13000)을 가열시킬 수 있다. 상기 크루시블(16000)이 상기 코일에 의해 가열되는 동작은 구체적으로 후술하도록 한다.However, the coil 16000 may be preferably selected as the heating means 15000 of the present application. The coil 16000 may form a dynamic magnetic field that varies in time and space based on a high frequency coil current flowing through the coil 16000. As a result, the magnetic field formed around the coil 16000 may heat the crucible 13000 by inducing a current in the crucible 13000 and generating a heat amount in the crucible 13000. An operation in which the crucible 16000 is heated by the coil will be described in detail later.
이하에서는 코일(16000)에 대하여 보다 자세하게 설명하도록 한다.Hereinafter, the coil 16000 will be described in more detail.
본 출원의 일 실시예에 따른 상기 코일(16000)은 전류가 흐를 수 있는 다양한 소재로 구현될 수 있다. 예를 들어, 바람직하게 상기 코일(16000)의 소재로 전도체가 선택될 수 있다. 상기 전도체에는 금속체, 반도체, 초전도체, 플라즈마, 흑연, 전도성 고분자 등이 있을 수 있다. 다만, 상기에 국한되지 않고 코일의 다양한 소재가 선택될 수 있다.The coil 16000 according to an embodiment of the present application may be implemented with various materials through which current can flow. For example, a conductor may be selected as a material of the coil 16000. The conductor may include a metal body, a semiconductor, a superconductor, plasma, graphite, a conductive polymer, and the like. However, various materials of the coil may be selected without being limited to the above.
도 4는 본 출원의 일 실시예에 따른 코일의 형상을 나타내는 도면이다.4 is a view showing the shape of a coil according to an embodiment of the present application.
도 4를 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 코일(16000)은 다양한 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 코일(16000)은 (1) 원환 혹은 링 등의 형상의 단일한 루프로 구현되는 오픈 쉐입과 (2) 내부가 비어있는 원통 형상으로 복수의 루프로 형성되는 클로즈드 쉐입이 존재할 수 있다. 다만, 도 6에 도시된 코일(16000)의 형상에 국한되지 않고 코일(16000)은 자기장을 발생시킬 수 있는 형상이라면 어떠한 형상으로도 구현 될 수 있을 것이다.Referring to FIG. 4, the coil 16000 according to an embodiment of the present application may have various shapes. For example, the coil 16000 may include (1) an open shape formed by a single loop having a shape such as an annular ring or a ring, and (2) a closed shape formed by a plurality of loops in a hollow cylindrical shape. . However, without being limited to the shape of the coil 16000 shown in FIG. 6, the coil 16000 may be implemented in any shape as long as it can generate a magnetic field.
이하에서는 설명의 편의를 위하여, 코일(16000)을 구성하는 복수의 권선이 보이는 부분을 클로즈드 쉐입의 측부라고 하며, 클로즈드 쉐입의 코일(16000)에서 원형 혹은 사각형 등의 홀을 가지는 부분을 코일(16000)의 상부 혹은 하부라고 하겠다. 상기와 같은 코일(16000)의 구조에 대한 정의는 오픈 쉐입 코일(16000)에도 적용될 수 있다.Hereinafter, for convenience of description, a portion of the coil 16000 in which the plurality of windings are visible is referred to as a side of the closed shape, and a portion having a hole such as a circle or a square in the coil 16000 of the closed shape is referred to as the coil 16000. I will say the top or bottom of). The definition of the structure of the coil 16000 may also be applied to the open shape coil 16000.
본 출원의 일 실시예에 따른 코일(16000)을 구성하는 전류가 통하는 권선들은 다양한 형태를 가질 수 있다. 예를 들어, 권선의 형상은 둥근 쉐입, 직각 쉐입 등 여러 쉐입을 가질 수 있도록 다양한 외관으로 구현될 수 있다.The windings through which the current constituting the coil 16000 according to the exemplary embodiment of the present application may have various forms. For example, the shape of the winding may be implemented in a variety of appearances so as to have a number of shapes, such as round shape, rectangular shape.
또한 예를 들어, 권선의 두께 또한 목적에 따라 다양한 두께가 있을 수 있다.In addition, for example, the thickness of the winding may also vary depending on the purpose.
한편, 본 출원의 일 실시예에 따른 코일(16000)을 구성하는 권선 내부에는 빈 공간이 형성될 수 있다. 예를 들어, 물 등의 냉각수 역할을 할 수 있는 유체가 흐르도록 빈 공간이 상기 코일(16000)의 권선 내부에 형성될 수 있다. 상기 코일(16000)을 따라 흐르는 유체는 코일(16000)이 일정한 온도 이상으로 올라가지 않도록 온도를 제어하는 효과를 가질 수 있다.Meanwhile, an empty space may be formed inside the winding of the coil 16000 according to the exemplary embodiment of the present application. For example, an empty space may be formed inside the winding of the coil 16000 such that a fluid that may serve as a coolant such as water flows. The fluid flowing along the coil 16000 may have an effect of controlling the temperature so that the coil 16000 does not rise above a certain temperature.
본 출원의 일 실시예에 따른 코일(16000)의 배치되는 양상은 코일의 형상에 따라 다를 수 있다.The arrangement of the coil 16000 according to the exemplary embodiment of the present application may vary depending on the shape of the coil.
도 5는 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블 및 코일을 나타내는 도면이다.5 is a view showing a crucible and a coil according to an embodiment of the present application.
도 5를 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 코일(16000)의 배치 일 양상으로서, 코일(16000)이 클로즈드 쉐입인 경우 클로즈드 쉐입 코일(16000)의 내부에 크루시블(13000)이 있도록 코일(16000)이 배치 될 수 있다. 또한 예를 들어, 전술한 배치 양상 이외에도 크루시블(13000)의 상부, 측부, 및/또는 하부에 클로즈드 쉐입 코일(16000)의 상부 혹은 하부를 위치시키는 형상일 수도 있다. 또한, 오픈 쉐입의 코일(16000)의 경우 전술한 클로즈드 쉐입 코일(16000)이 배치되는 양상이 적용될 수 있으며, 단일한 루프의 오픈 쉐입의 코일(16000)의 경우 상부 혹은 하부가 접힌 형태로 크루시블(13000)에 배치될 수도 있을 것이다.Referring to FIG. 5, in one aspect of the arrangement of the coil 16000 according to the exemplary embodiment of the present application, when the coil 16000 is a closed shape, the crucible 13000 may be provided inside the closed shape coil 16000. Coil 16000 may be disposed. In addition, for example, in addition to the above-described arrangement, it may be a shape of placing the top or bottom of the closed shape coil 16000 on the top, side, and / or bottom of the crucible 13000. In addition, in the case of the open shape coil 16000, the above-described aspect in which the closed shape coil 16000 is disposed may be applied. In the case of the coil 16000 of the open shape of a single loop, the top or bottom of the coil 16000 may be folded. May be disposed in the table 13000.
또한, 본 출원의 일 실시예에 따른 코일(16000)은 상기 크루시블(13000)에 형성된 구조 및/또는 수단에 대응하여 배치될 수 있다.In addition, the coil 16000 according to the exemplary embodiment of the present application may be disposed corresponding to the structure and / or means formed in the crucible 13000.
도 6은 본 출원의 일 실시예에 따른 코일이 구현된 예를 나타내는 도면이다.6 is a diagram illustrating an example in which a coil is implemented according to an embodiment of the present application.
도 6을 참조하면, 크루시블(13000)에 노즐(13200)이 돌출되어 구현되는 경우, 도시된 바와 같이 상기 코일(16000)은 돌출 노즐(13300)에 대응하는 위치까지 올라와 배치될 수 있다. 돌출 노즐(13300)을 통과하는 증착 물질이 충분한 열량을 공급받지 못하는 경우, 상기 증착 물질은 돌출 노즐(13300)의 통로를 원활히 이동할 수 없게 된다. 따라서, 상기와 같이 코일이 돌출 노즐(13300)의 주변에 배치되는 경우, 상기 코일(16000)이 돌출 노즐(13300)의 통로를 이동하는 증착 물질이 피증착면으로 원활히 이동할 수 있도록 충분한 열량을 공급할 수 있다.Referring to FIG. 6, when the nozzle 13200 is protruded to the crucible 13000, the coil 16000 may be raised to a position corresponding to the protruding nozzle 13300 as illustrated. When the deposition material passing through the protruding nozzle 13300 does not receive sufficient heat, the deposition material may not move smoothly through the passage of the protruding nozzle 13300. Therefore, when the coil is disposed around the protruding nozzle 13300 as described above, sufficient amount of heat may be supplied to allow the coil 16000 to smoothly move the deposition material moving through the passage of the protruding nozzle 13300 to the surface to be deposited. Can be.
도 7은 본 출원의 일 실시예에 따른 돌출 노즐 근처에 배치된 코일을 도시하는 도면이다.7 is a diagram illustrating a coil disposed near a protruding nozzle according to an embodiment of the present application.
도 7을 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 돌출 노즐 근처에 코일이 배치될 수 있다. 상기 돌출 노즐 근처에 배치되는 코일(이하, 제1 코일)은 상기 도출 노즐에 발생하는 열량을 많게 함으로써, 돌출 노즐을 통과하는 증착 물질에 충분한 열량을 공급할 수 있다. 이에 따라, 증착 물질은 원활히 돌출 노즐을 통과할 수 있다. 상기, 코일이 돌출 노즐과 가깝게 배치됨에 따라, 돌출 노즐에 발생하는 열량이 많아지는 속성에 대하여는 구체적으로 후술하도록 한다.Referring to FIG. 7, a coil may be disposed near a protruding nozzle of a crucible according to an embodiment of the present application. The coil (hereinafter, referred to as a first coil) disposed near the protruding nozzle increases the amount of heat generated in the deriving nozzle, thereby supplying a sufficient amount of heat to the deposition material passing through the protruding nozzle. Thus, the deposition material can smoothly pass through the protruding nozzle. As the coil is disposed close to the protruding nozzle, the attribute of increasing the amount of heat generated in the protruding nozzle will be described later in detail.
한편, 상기 돌출 노즐 근처에 배치되는 코일은 크루시블의 측면에 배치되는 코일(이하, 제2 코일)과 분리될 수 있다. 즉, 상기 크루시블의 도 7에 도시된 바와 같이 분리할 경우, 상기 제1 코일과 상기 제2 코일은 따로 분리될 수 있다.Meanwhile, the coil disposed near the protruding nozzle may be separated from the coil (hereinafter, referred to as a second coil) disposed on the side of the crucible. That is, when separating the crucible as shown in FIG. 7, the first coil and the second coil may be separated separately.
또한, 상기 제2 코일의 내부에는 전술하였던 유체가 흐를 수 있는 내부 통로가 형성될 수 있되, 상기 제1 코일에는 형성되지 않을 수 있다. 이는 제1 코일과 제2 코일의 분리를 용이하게 하기 위함이다.In addition, an inner passage through which the above-described fluid may flow may be formed in the second coil, but may not be formed in the first coil. This is to facilitate separation of the first coil and the second coil.
또한, 상기 노즐 근처에 배치되는 코일과 상기 크루시블 측면에 배치되는 코일에 인가되는 전원은 같은 속성일 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 코일과 상기 제2 코일에 인가되는 같은 속성의 전원은 병렬로 인가되는 전원(이하, 병렬 전원)일 수 있다. 상기 병렬 전원이 코일에 연결되는 형태는 한 전원 공급부로부터 출력되는 출력선이 복수개로 구비되고, 상기 각각의 출력선이 각각의 코일에 연결되는 형태일 수 있다. 또한, 전원 공급부로부터 출력되는 단일 출력선이 복수의 갈래로 나뉨으로써, 나뉘어진 각각의 출력선이 각각의 코일에 연결되어 상기 제1 코일 및 제2 코일에 인가되는 전원을 병렬로 구성하는 형태일 수도 있을 것이다.In addition, the power applied to the coil disposed near the nozzle and the coil disposed on the crucible side may have the same property. For example, the power having the same property applied to the first coil and the second coil may be a power applied in parallel (hereinafter, referred to as a parallel power supply). The parallel power source may be connected to a coil in a plurality of output lines output from one power supply unit, and each output line may be connected to each coil. In addition, since a single output line output from the power supply unit is divided into a plurality of branches, each divided output line is connected to each coil to configure the power applied to the first coil and the second coil in parallel. Could be
또는, 코일에 인가되는 전원은 다른 속성일 수 있는데, 이러한 경우 각 구동되는 코일은 별도 구동 코일이라고 한다. 상기 별도 구동 코일은 구체적으로 후술하도록 한다.Alternatively, the power applied to the coil may have different properties, in which case each driven coil is referred to as a separate drive coil. The separate driving coil will be described later in detail.
본 출원의 일 실시예에 따른 코일(16000)에는 전기적 속성이 변하는 가변 전원이 인가될 수 있다. 예를 들어, 이러한 가변 전원은 바람직하게 RF 등의 고주파의 교류 전원일 수 있으며, 때에 따라선 저주파의 교류 전원일 수도 있을 것이다.A variable power source of varying electrical properties may be applied to the coil 16000 according to an embodiment of the present application. For example, such a variable power supply may preferably be a high frequency AC power supply such as RF, and may be a low frequency AC power supply in some cases.
전술한 교류 전원이 코일(16000)에 인가됨에 따라 본 출원의 일 실시예에 따른 코일(16000)에는 전류(이하, 코일 전류)가 흐를 수 있다. 상기 코일 전류의 전기적 속성은 세기, 방향 등일 수 있다. 따라서, 상기 코일 전류는 상기 교류 전원에 대응하는 전기적 속성이 변화할 수 있다. 따라서, 상기 코일 전류는 상기 교류 전원에 대응하여 세기, 방향 등이 시시각각 변경될 수 있다.As the above-described AC power is applied to the coil 16000, a current (hereinafter, referred to as a coil current) may flow in the coil 16000 according to the exemplary embodiment of the present application. The electrical property of the coil current may be strength, direction, or the like. Accordingly, the coil current may change an electrical property corresponding to the AC power. Therefore, the coil current may change in intensity, direction, etc. in time corresponding to the AC power.
본 출원의 일 실시예에 따라 전술한 코일(16000)의 주변에는 다이나믹한 자기장이 형성되고, 상기 다이나믹한 자기장은 크루시블(13000)에 유도 전류를 형성함으로써 열량이 발생되고, 이에 따라 결과적으로 상기 코일(16000)은 크루시블(13000)을 유도 가열할 수 있다. 이하에서는 본 출원의 일 실시예에 따른 상기 코일(16000)에 의해 형성되는 자기장의 속성, 크루시블(13000)에 형성되는 유도 전류의 속성을 설명하도록 한다.According to the exemplary embodiment of the present application, a dynamic magnetic field is formed around the coil 16000, and the dynamic magnetic field generates heat by forming an induced current in the crucible 13000, and as a result, The coil 16000 may inductively heat the crucible 13000. Hereinafter, the property of the magnetic field formed by the coil 16000 and the property of the induced current formed in the crucible 13000 according to an embodiment of the present application will be described.
1.1.2.1 자기장의 속성1.1.2.1 Property of magnetic field
도 8은 본 출원의 일 실시예에 따른 코일의 주변에 형성된 자기장을 나타내는 개념 도면이다.8 is a conceptual diagram illustrating a magnetic field formed around a coil according to an embodiment of the present application.
이하에서는 자기장(16100)의 세기 속성에 대하여 설명하도록 한다.Hereinafter, the strength property of the magnetic field 16100 will be described.
본 출원의 일 실시예에 따른 자기장(16100)의 세기 속성은
Figure PCTKR2017014042-appb-I000001
(B = 자기선속 밀도, = 투자율/비례상수, H = 자기장의 세기)라는 관계식을 따를 수 있다. 이때, 상기 자기장(16100)이 형성되는 공간의 투자율에 따라 자기장(16100)의 세기값과 자기선속 밀도값은 정확히 매칭되지 않을 수 있다. 다만, 상기 관계식에서 알 수 있듯이, 자기장(16100)의 세기와 자기선속 밀도는 비례관계에 있다. 따라서, 상기 비례관계에 의거하여 본 명세서에서 자기선속 밀도 개념과 자기장의 세기 개념은 실질적으로 동일한 개념으로 한다.Intensity property of the magnetic field 16100 according to an embodiment of the present application is
Figure PCTKR2017014042-appb-I000001
(B = magnetic flux density, = permeability / proportional constant, H = strength of magnetic field). In this case, the intensity value of the magnetic field 16100 and the magnetic flux density value may not exactly match according to the permeability of the space in which the magnetic field 16100 is formed. However, as can be seen from the above relation, the strength of the magnetic field 16100 and the magnetic flux density are in proportional relationship. Therefore, on the basis of the proportional relationship, the concept of magnetic flux density and the concept of the strength of the magnetic field are substantially the same.
즉, 본 명세서상 기재상 구체적인 언급이 없더라도, 상기 자기선속(16200)이 밀하다는 것은 자기장의 세기가 큰 것을 의미할 수 있으며, 자기장의 세기가 크다라고하는 것은 자기선속이 밀하다는 것을 의미할 수 있다.That is, although there is no specific mention in the present specification, the magnetic flux (16200) is dense may mean that the strength of the magnetic field is large, and that the strength of the magnetic field is large may mean that the magnetic flux is dense. have.
또한, 자기장(16100)의 세기 속성은 자기장(16100) 발생지와의 거리 관계에 따라 변경될 수 있다. 상기 자기장(16100)의 크기 속성은
Figure PCTKR2017014042-appb-I000002
(H = 자기장의 세기, k = 비례상수, I = 발생지에 흐르는 전류, r = 발생지로부터의 거리)라는 자기장(16100)의 세기와 자기장(16100) 발생지와의 관계식을 따를 수 있다. 상기 관계식에 따르면 발생지로부터 거리가 먼 곳에 형성된 자기장(16100)일수록 자기장(16100)의 세기가 작아질 수 있다. 구체적으로, 발생지로부터 먼 거리에 형성된 일정 면적을 지나는 자기선의 수가 적어짐에 따라 자기장(16100)의 세기가 감소 할 수 있는 것이다. 반대로, 코일(16000)에 가까워질수록 자기장(16100)의 세기는 강해질 수 있다. In addition, the intensity property of the magnetic field 16100 may be changed according to a distance relationship with the source of the magnetic field 16100. The magnitude attribute of the magnetic field 16100 is
Figure PCTKR2017014042-appb-I000002
The relationship between the strength of the magnetic field 16100 and the source of the magnetic field 16100 can be followed (H = strength of the magnetic field, k = proportional constant, I = current flowing through the source, r = distance from the source). According to the above relation, the intensity of the magnetic field 16100 may be smaller as the magnetic field 16100 formed at a distance from the source. Specifically, the intensity of the magnetic field 16100 may decrease as the number of magnetic lines passing through a predetermined area formed at a distance from the source decreases. On the contrary, the closer the coil 16000 is, the stronger the strength of the magnetic field 16100 may be.
이하에서는 본 출원의 일 실시예에 따른 코일(16000)에 형성되는 다이나믹한 자기장에 대하여 설명하도록 한다.Hereinafter, a dynamic magnetic field formed in the coil 16000 according to the exemplary embodiment of the present application will be described.
도 8을 참조하면, 본 출원의 코일(16000) 주변에 형성되는 자기장(16100)은 다이나믹한 성질을 가질 수 있다.Referring to FIG. 8, the magnetic field 16100 formed around the coil 16000 of the present application may have a dynamic property.
예를 들어, 본 출원의 상기 형성되는 자기장(16100)은 시간축에서의 시간 변화에 따라 방향 및 세기 속성이 급하게 변화할 수 있다. 상기 코일(16000)에 형성되는 자기장(16100)은
Figure PCTKR2017014042-appb-I000003
(H = 자기장의 세기, I = 코일에 흐르는 코일 전류)라는 관계식에 따라, 코일(16000)에 흐르는 다이나믹한 - 시간에 따라 급변하는 - 전류에 대응하여 다이나믹하게 형성될 수 있다.For example, the formed magnetic field 16100 of the present application may rapidly change direction and intensity properties according to a time change in the time axis. The magnetic field 16100 formed in the coil 16000 is
Figure PCTKR2017014042-appb-I000003
According to the relationship (H = strength of the magnetic field, I = coil current flowing in the coil), the dynamic flow in the coil 16000-which changes rapidly with time-can be formed dynamically.
상기 다이나믹한 자기장은 세기 속성뿐만 아니라 방향 속성을 포함하는 벡터적인 개념이다. 구체적으로, 코일(16000)에 인가되는 가변 전원에 따라 흐르는 코일 전류가 흐르는 방향 중 일 방향을 (+)라고 하였을 때, 이에 반대되는 타 방향은 (-)라고 할 수 있다. 상기 코일 전류는 (+) 에서 (-), (-)에서 (+) 방향으로 방향이 계속하여 변화하며, 동시에 전류의 세기 또한 계속하여 변경된다. 따라서, 전술한 코일 전류의 (+), (-) 방향으로 급변함에 따라 자기장(16100)의 방향은 또한 이에 대응하여 일방향, 타방향으로 급변하여 형성될 수 있다. 또한, 동시에 상기 자기장(16100)의 세기 속성은 코일 전류의 세기 속성에 대응하여 정해질 수 있을 것이다. The dynamic magnetic field is a vector concept that includes directional properties as well as intensity properties. Specifically, when one direction of the coil current flowing in accordance with the variable power applied to the coil 16000 is (+), the other direction opposite to this may be referred to as (-). The coil current continuously changes in the directions from (+) to (-) and (-) to (+), and at the same time, the strength of the current also changes continuously. Accordingly, as the coil current suddenly changes in the positive and negative directions of the coil current, the direction of the magnetic field 16100 may also be rapidly changed in one direction and the other direction corresponding thereto. At the same time, the strength property of the magnetic field 16100 may be determined corresponding to the strength property of the coil current.
결과적으로 도 8에 도시된 바와 같이, 코일(16000) 주변에 방향, 세기가 요동치는 다이나믹한 자기장(16100)이 형성될 수 있다As a result, as shown in FIG. 8, a dynamic magnetic field 16100 having fluctuating directions and intensities may be formed around the coil 16000.
이하에서는, 코일 주변에 형성되는 다이나믹한 자기장(16100)의 세기 변화값에 대하여 설명하도록 한다.Hereinafter, the intensity change value of the dynamic magnetic field 16100 formed around the coil will be described.
다이나믹한 자기장의 세기 변화값은 양적인 개념이다. 상기 자기장의 세기 변화값은 상기 자기장의 방향이 고려된 단위 시간당 자기장의 세기의 변화양이다. 구체적으로, 같은 방향으로 형성된 자기장들의 변화값은 단순히 자기장의 세기 변화양만이 중요하지만, 다른 방향으로 형성된 상기 자기장들의 변화값은 자기장의 방향이 고려되어 자기장 세기의 변화양에 따라 정해진다,The change in intensity of a dynamic magnetic field is a quantitative concept. The intensity change value of the magnetic field is an amount of change in the intensity of the magnetic field per unit time considering the direction of the magnetic field. Specifically, the change value of the magnetic fields formed in the same direction is simply the amount of change in the intensity of the magnetic field, but the change value of the magnetic fields formed in the other direction is determined according to the change amount of the magnetic field strength in consideration of the direction of the magnetic field,
본 출원의 일 실시예에 따른 상기 다이나믹한 자기장(16100)의 세기 변화값 속성은 코일(16000)로부터 거리에 따라 달라질 수 있다. 상기 다이나믹한 자기장(16100)의 세기는 전술한
Figure PCTKR2017014042-appb-I000004
라는 자기장(16100) 형성 속성이 적용될 수 있다.The intensity change value attribute of the dynamic magnetic field 16100 according to the exemplary embodiment of the present application may vary depending on the distance from the coil 16000. The strength of the dynamic magnetic field 16100 is described above.
Figure PCTKR2017014042-appb-I000004
The magnetic field 16100 forming property may be applied.
코일(16000)로부터 거리가 멀어질수록, 해당 거리에 형성되는 자기장의 세기는 작아질 수 있다. 따라서, 형성되는 자기장의 세기의 변화폭도 작아지므로 자기장의 세기 변화값은 작아지게 된다. 반면, 코일(16000)로부터 거리가 가까워질수록 다이나믹한 자기장(16100)의 세기 변화값은 커지게 된다.As the distance from the coil 16000 increases, the strength of the magnetic field formed at the distance may decrease. Therefore, the magnitude of change in the intensity of the magnetic field to be formed is also small, so that the intensity change value of the magnetic field is small. On the other hand, as the distance from the coil 16000 approaches, the intensity change value of the dynamic magnetic field 16100 increases.
또한, 코일(16000)이 구현되는 다양한 형상은 상기 다이나믹한 자기장(16100)의 세기 변화값을 변경시킬 수 있다. 상기 다이나믹한 자기장(16100)의 세기는
Figure PCTKR2017014042-appb-I000005
(H = 자기장의 세기, N = 단위 길이당 코일의 권선수)에 따를 수 있다. 이에 따라, 상기 코일의 권선수가 많아질수록 상기 코일에 형성되는 자기장의 세기가 커진다. 상기 자기장의 세기가 커짐에 따라 자기장의 세기 변화값 또한 커지게 된다.In addition, various shapes in which the coil 16000 is implemented may change an intensity change value of the dynamic magnetic field 16100. The strength of the dynamic magnetic field 16100 is
Figure PCTKR2017014042-appb-I000005
(H = strength of magnetic field, N = number of turns of coils per unit length). Accordingly, as the number of turns of the coil increases, the strength of the magnetic field formed in the coil increases. As the intensity of the magnetic field increases, the intensity change value of the magnetic field also increases.
이하에서는, 코일(16000)로부터 형성되는 자기장에 따라 크루시블(13000)에 유도되는 유도 전류의 속성에 대하여 설명하도록 한다.Hereinafter, the property of the induced current induced in the crucible 13000 according to the magnetic field formed from the coil 16000 will be described.
1.1.2.2 유도 전류의 속성1.1.2.2 Properties of Induced Current
전술한 본 출원의 일 실시예에 따라 형성된 자기장은 크루시블(13000)에 유도 전류를 형성할 수 있다.The magnetic field formed according to the above-described embodiment of the present application may form an induced current in the crucible 13000.
예를 들어, 상기 형성되는 유도전류는
Figure PCTKR2017014042-appb-I000006
(F = 크루시블의 전자에 작용하는 힘, q = 전자의 전하량, v = 전자의 속도, H = 자기장의 세기)라는 크루시블(13000)의 전자와 코일(16000)이 형성하는 자기장간의 관계식에 따라 설명할 수 있다. 즉, 상기 크루시블(13000)의 전자는 코일(16000)이 생성하는 시공간적으로 급변하는 다이나믹한 자기장에 의해 전기적 힘이 가해질 수 있다. 결과적으로, 상기 전자는 상기 전기적 힘에 의해 운동함으로써, 유도 전류가 발생할 수 있다.For example, the induced current is formed
Figure PCTKR2017014042-appb-I000006
Between the electron of the crucible (13000) and the magnetic field formed by the coil (16000) (F = force acting on the electron in the crucible, q = amount of electron charge, v = velocity of the electron, H = strength of the magnetic field) It can be explained by relational expression. That is, the electrons of the crucible 13000 may be applied with an electric force by a dynamic magnetic field that changes rapidly in time and space generated by the coil 16000. As a result, the electrons are moved by the electric force, so that an induced current can be generated.
또한 예를 들어,
Figure PCTKR2017014042-appb-I000007
(e = 유도 기전력, B = 자기선속밀도, t=시간) 라는 코일이 형성하는 자기선속과 크루시블에 발생하는 유도기전력 사이의 관계식에 따라 상기 형성되는 유도 전류를 설명할 수 있다. 즉, 상기 코일(16000)이 생성하는 다이나믹한 자기장에 의해 크루시블(13000)에 유도 기전력이 발생할 수 있다. 상기 발생한 기전력에 따라 크루시블(13000)에 상기 유도 전류가 흐를 수 있게 된다.Also for example
Figure PCTKR2017014042-appb-I000007
According to the relation between the magnetic flux generated by the coil (e = induced electromotive force, B = magnetic flux density, t = time) and the induced electromotive force generated in the crucible, the induced current formed can be described. That is, induced electromotive force may be generated in the crucible 13000 by the dynamic magnetic field generated by the coil 16000. The induced current may flow in the crucible 13000 according to the generated electromotive force.
본 출원의 일 실시예에 따라 상기 크루시블(13000)에는 유도 전류의 전류 패스가 형성될 수 있다.According to an embodiment of the present application, the crucible 13000 may have a current path of induced current.
도 9는 본 출원의 일 실시예에 따른 코일에 형성된 자기장과 크루시블을 나타내는 개념도이다.9 is a conceptual diagram illustrating a magnetic field and a crucible formed in a coil according to an embodiment of the present application.
도 9를 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블(13000)에 유도되는 전류 패스는 크루시블(13000)의 외벽(13100)에 형성될 수 있다. 또한, 상기 유도 전류 패스의 일 형태는 크루시블(13000)의 외벽(13100)을 둘러싸는 형태일 수 있다. 또 다른 상기 유도 전류 패스의 형태 예로, 크루시블(13000)의 외벽(13100)에서 국소적으로 맴돌이하는 형태의 전류 패스가 형성될 수도 있을 것이다.Referring to FIG. 9, a current path guided to the crucible 13000 according to an embodiment of the present application may be formed on the outer wall 13100 of the crucible 13000. In addition, one form of the induced current path may be a form surrounding the outer wall 13100 of the crucible 13000. As another example of the induction current path, a current path having a local circumference in the outer wall 13100 of the crucible 13000 may be formed.
또한, 상기 크루시블(13000)은 전술한 형태의 패스가 동시에 조합된 형태의 전류 패스를 가질 수 있으며, 뿐만 아니라 상기 나열한 전류 패스의 형태에 국한되지 않고 코일(16000)이 발생하는 자기장 형상의 변화에 대응하여 다양한 형태의 전류 패스를 가질 수 있을 것이다.In addition, the crucible 13000 may have a current path in which the above-described paths are combined at the same time, as well as a magnetic field shape in which the coil 16000 is generated without being limited to the above-described current paths. It may have various types of current paths in response to the change.
본 출원의 일 실시예에 따른 상기 유도 전류의 속성은 코일(16000), 코일(16000)에 형성되는 자기장, 크루시블(13000)과의 관계에 따라 다양한 속성을 가질 수 있는데 이하에서는 이에 대하여 설명하도록 한다.The property of the induced current according to an embodiment of the present application may have various properties according to the relationship between the coil 16000, the magnetic field formed in the coil 16000, and the crucible 13000, which will be described below. Do it.
이때, 본 명세서 상에서 유도 전류의 세기는
Figure PCTKR2017014042-appb-I000008
수식에 따라, 단위 시간당 크루시블(13000)에 움직이는 전하량을 의미하는 것일 수 있다. 즉, 본 명세서에서 유도 전류의 세기 의미는 양적인 개념으로써 얼마만큼의 전하가 이동하였다라는 의미를 내포하는 개념임을 밝히는 바이다.At this time, the intensity of the induced current
Figure PCTKR2017014042-appb-I000008
According to the formula, it may mean the amount of charge moving in the crucible 13000 per unit time. That is, the meaning of the intensity of the induced current in the present specification is a quantitative concept to reveal that the concept implies the meaning of how much charge has moved.
본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블(13000)에 유도되는 유도 전류의 전기적 속성은 코일(16000)에 형성되는 다이나믹한 자기장의 속성에 따라 달라질 수 있다. The electrical property of the induced current induced in the crucible 13000 according to the exemplary embodiment of the present application may vary depending on the property of the dynamic magnetic field formed in the coil 16000.
예를 들어, 본 출원의 다이나믹한 자기장의 세기 및/또는 자기자의 세기 변화값이 커지면 형성되는 유도 전류의 세기 속성은 커질 수 있다. 전술한 관계식인 (1)
Figure PCTKR2017014042-appb-I000009
(2)
Figure PCTKR2017014042-appb-I000010
에 따라, 다이나믹한 자기장의 세기 변화값이 커지면 크루시블(13000)의 전자에 가해지는 힘이 커질 수 있고 전자의 이동에 영향 주는 기전력이 커질 수 있다. 이에 따라 상기 크루시블(13000)에서 이동할 수 있는 전자의 양이 많아져 유도 전류의 세기 속성이 커지게 된다.For example, as the intensity of the dynamic magnetic field and / or the intensity change of the magnetic field of the present application are increased, the intensity property of the induced current formed may be increased. The above relation (1)
Figure PCTKR2017014042-appb-I000009
(2)
Figure PCTKR2017014042-appb-I000010
Accordingly, as the intensity change value of the dynamic magnetic field increases, the force applied to the electrons of the crucible 13000 may increase, and the electromotive force affecting the movement of the electrons may increase. As a result, the amount of electrons that can move in the crucible 13000 increases, thereby increasing the intensity property of the induced current.
또한, 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블(13000)에 유도되는 유도 전류의 전기적 속성은 크루시블(13000)의 형상에 따라 달라질 수 있다.In addition, the electrical property of the induced current induced in the crucible 13000 according to the exemplary embodiment of the present application may vary depending on the shape of the crucible 13000.
예를 들어, 유도 전류의 세기는 쿠르시블의 두께에 대응하여 쿠르시블의 두께가 두꺼운 경우 유도 전류의 세기가 커질 수 있으며, 두께가 얇은 경우 유도 전류의 세기가 작아질 수 있다. 크루시블(13000)의 두께에 따라 상기 두께가 포함하는 전자량은 변경될 수 있다. 상기 크루시블(13000)의 두께가 두꺼운 경우의 전자량은 상대적으로 얇은 두께의 전자량에 비하여 많아진다. 이에 따라, 크루시블(13000)의 두께가 두꺼워질수록 상기 형성되는 자기장에 의하여 이동할 수 있는 전자량이 많아지는 것이므로, 크루시블(13000)이 두꺼운 두께일수록 유도 전류의 세기가 커질 수 있는 것이다.For example, the intensity of the induced current may be increased when the thickness of the curable is thick corresponding to the thickness of the curable, and the intensity of the induced current may be small when the thickness is thin. According to the thickness of the crucible 13000, the amount of electrons included in the thickness may be changed. The amount of electrons when the thickness of the crucible 13000 is thick is increased as compared with the amount of electrons having a relatively thin thickness. Accordingly, as the thickness of the crucible 13000 increases, the amount of electrons that can move by the magnetic field is increased, so that the thicker the crucible 13000, the greater the intensity of the induced current.
한편, 본 출원의 일 실시예에 따른 유도 전류는 자기장 형성 속성에 따라 다시 한번 크루시블(13000)에 유도 자기장을 형성할 수 있다. 또한 상기 유도 자기장은 크루시블(13000)에 유도 전류 형성 속성에 따라 2차적으로 유도 전류를 형성할 수 있다. 즉, 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블(13000)에는 연쇄적으로 유도 전류의 형성, 유도 자기장의 형성 이벤트가 발생할 수 있다.On the other hand, the induced current according to an embodiment of the present application may form an induction magnetic field in the crucible 13000 once again according to the magnetic field formation property. In addition, the induced magnetic field may form an induced current secondary to the crucible 13000 according to the induced current forming property. That is, in the crucible 13000 according to the exemplary embodiment of the present application, an event of forming an induced current and forming an induced magnetic field may occur in series.
1.1.2.3 유도 가열1.1.2.3 Induction heating
본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블(13000)에는 다양한 방식으로 열량이 발생할 수 있다.In the crucible 13000 according to the exemplary embodiment of the present application, calories may be generated in various ways.
본 출원의 일 실시예예 따른 크루시블(13000)에는 크루시블(13000)에 유도되는 유도 전류와 크루시블(13000)의 전기적 저항 성분의 결합에 의하여 열량이 발생할 수 있다. 상기 유도 전류와 전자기적 성분의 결합은
Figure PCTKR2017014042-appb-I000011
(P = 발생하는 열량, I = 유도 전류, R = 크루시블의 저항 성분, t = 가열 시간)이라는 관계식을 따를 수 있다. 상기 관계식에 따라 크루시블(13000)에 유도된 유도 전류 및/또는 유도 전류 패스는 크루시블(13000)의 저항 성분에 의하여 열량으로 변환될 수 있다. 이때, 또한 상기 크루시블(13000)에서 발생되는 열량은 유도 전류의 세기가 커짐에 따라 증가하는 것을 알 수 있다.In the crucible 13000 according to the exemplary embodiment of the present application, heat may be generated by combining an inductive current induced in the crucible 13000 and an electrical resistance component of the crucible 13000. The combination of the induced current and the electromagnetic component
Figure PCTKR2017014042-appb-I000011
(P = amount of heat generated, I = induced current, R = resistive component of crucible, t = heating time). According to the above relation, the induced current and / or induced current path induced in the crucible 13000 may be converted into calories by the resistance component of the crucible 13000. In this case, it can also be seen that the amount of heat generated in the crucible 13000 increases as the intensity of the induced current increases.
또한, 상기 크루시블(13000)은 코일(16000)의 주변에 형성되는 다이나믹한 자기장과 크루시블(13000)의 전자기적 성분과의 결합에 따라 크루시블(13000)에 열량이 발생할 수도 있다. In addition, the crucible 13000 may generate heat in the crucible 13000 according to a combination of a dynamic magnetic field formed around the coil 16000 and an electromagnetic component of the crucible 13000. .
전술한 크루시블(13000)에서 유도 전류 및/또는 다이나믹한 자기장에 의해 발생한 열량은 크루시블(13000)을 가열할 수 있을 것이다. 상기 크루시블(13000)은 코일(16000)에 의해 유도되는 유도 전류, 다이나믹한 자기장에 의해 가열 되는 것이기 때문에, 상기 크루시블의 가열은 유도 가열이라고 할 수 있겠다.The amount of heat generated by the induced current and / or the dynamic magnetic field in the above-described crucible 13000 may heat the crucible 13000. Since the crucible 13000 is heated by an induction current induced by the coil 16000 and a dynamic magnetic field, the crucible heating may be referred to as induction heating.
본 출원의 일 실시예에 따른 유도 가열에는 상기와 같이 여러 방식이 존재하지만, 이하에서는 크루시블(13000)에 형성되는 유도 전류와 크루시블(13000)의 저항 성분에 따라 크루시블(13000)이 유도 가열되는 경우에 국한하여 설명하기로 한다. Induction heating according to an embodiment of the present application, there are a number of ways as described above, but in the following according to the inductive current formed in the crucible (13000) and the resistance component of the crucible (13000) crucible (13000) ) Will only be described when induction heating.
이상에서는 가열 어셈블리에 구현될 수 있는 가열 수단(15000)의 일 예인 코일(16000)과 코일(16000)에 따라 발생하는 여러 전기적 속성에 대하여 설명하였다. 이하에서는, 본 출원의 일 실시예에 따라 가열 어셈블리에 배치될 수 있는 자기장 집속 구조물(17000)에 대하여 설명하기로 한다.In the above, various electrical properties generated by the coil 16000 and the coil 16000, which are examples of the heating means 15000 that may be implemented in the heating assembly, have been described. Hereinafter, a magnetic field focusing structure 17000 that may be disposed in a heating assembly according to an embodiment of the present application will be described.
1.1.3 자기장 집속 구조물1.1.3 Magnetic field focusing structure
본 출원의 일 실시예에 따른 가열 어셈블리에는 가열 수단(15000)을 보조하는 수단이 존재할 수 있다. 예를 들어 본 출원의 일 실시예에 따른 가열 수단(15000)이 코일(16000)인 경우, 코일(16000) 주변에 형성되는 자기장을 집속하는 자기장 집속 구조물(17000)이 가열 보조 수단으로서 가열 어셈블리에 구비될 수 있다. 이때, "집속" 이라는 의미는 어떤 한 영역에 자기장의 자기선속을 집중시킨다는 의미로 해석 될 수 있을 것이다. In a heating assembly according to an embodiment of the present application, there may be a means for assisting the heating means 15000. For example, when the heating means 15000 according to an embodiment of the present application is the coil 16000, a magnetic field focusing structure 17000 that focuses a magnetic field formed around the coil 16000 is provided to the heating assembly as a heating aid. It may be provided. At this time, the term "concentration" may be interpreted to mean that the magnetic flux of the magnetic field is concentrated in a certain area.
이하에서는 자기장 집속 구조물(17000)의 일 예인 페라이트(18000)에 대하여 설명하도록 한다. 본 발명에서는 자기장 집속 구조물(17000)의 일 예로서 페라이트(18000)를 들어 설명하도록 하지만, 이에 국한되지 않고 자기장을 집속할 수 있는 수단 혹은 물질이라면 자기장 집속 구조물(17000)로서 가열 어셈블리에 구현될 수 있음을 밝히는 바이다.Hereinafter, the ferrite 18000 as an example of the magnetic field focusing structure 17000 will be described. In the present invention, the ferrite 18000 is described as an example of the magnetic field focusing structure 17000, but the present invention is not limited thereto, and any means or material capable of focusing the magnetic field may be implemented in the heating assembly as the magnetic field focusing structure 17000. It is revealed.
본 출원의 일 실시예에 따른 상기 페라이트(18000)는 다양한 소재, 타입, 및 형태로 구현될 수 있다.The ferrite 18000 according to an embodiment of the present application may be implemented in various materials, types, and shapes.
예를 들어, 페라이트(18000)는 스피넬 구조를 갖는 이온 화합물로서 산화철을 주성분으로 하여 상기 주성분에 다양한 금속화합물들이 결합되어 형성될 수 있다. 상기 다양한 금속화합물은 Mn, Zn, Mg, Cu, Ni, Co 등 2가 금속 이온들일 수 있다. 다만, 본 발명에서는 말하는 페라이트(18000)는 전술한 성분에 국한되지 않고, 다양한 자기장을 집속하는 성분의 물질로 형성될 수 있을 것이다.For example, the ferrite 18000 is an ionic compound having a spinel structure, and may be formed by combining various metal compounds with the main component of iron oxide. The various metal compounds may be divalent metal ions such as Mn, Zn, Mg, Cu, Ni, Co, and the like. However, in the present invention, the ferrite 18000 is not limited to the above-described components, and may be formed of a material of a component that focuses various magnetic fields.
또한 페라이트(18000)의 타입으로는 (1) 상온에서 액체상으로 존재할 수 있는 리퀴드 타입(Liquid Type) (2) 상온에서 일정한 형상을 가질 수 있는 솔리드 타입(Solid Type)이 있을 수 있다.In addition, the ferrite 18000 may include (1) a liquid type that may exist in a liquid phase at room temperature and (2) a solid type that may have a predetermined shape at room temperature.
또한 상기 페라이트(18000)는 판형 형상, 판형 형상의 적어도 하나 이상의 면에 볼록한 돌기를 가지는 형상, 원형 형상, 타원 형상, 구형 형상 등 목적에 맞도록 다양한 형태를 가질 수 있을 것이다.In addition, the ferrite 18000 may have various shapes to suit the purpose, such as a plate shape, a shape having convex protrusions on at least one surface of the plate shape, a circular shape, an ellipse shape, a spherical shape, and the like.
이하에서는 페라이트(18000)가 가지는 속성인 자기장 집속 속성과 자기장 집속 속성에 따른 크루시블(13000)의 가열 효율이 상승되는 효과에 대하여 설명하도록 한다.Hereinafter, an effect of increasing the heating efficiency of the crucible 13000 according to the magnetic field focusing property and the magnetic field focusing property, which are properties of the ferrite 18000, will be described.
1.1.3.1 자기장 집속 속성1.1.3.1 Magnetic Field Focusing Properties
이하에서는 본 출원의 일 실시예에 따른 자기장 집속 구조물(17000)의 일예인 페라이트(18000)의 자기장 집속을 설명하도록 한다.Hereinafter, the magnetic field focusing of the ferrite 18000, which is an example of the magnetic field focusing structure 17000 according to the exemplary embodiment of the present application, will be described.
도 10은 본 출원의 일 실시예에 따른 자기장에 놓인 페라이트를 나타내는 도면이다.10 is a view showing a ferrite placed in a magnetic field according to an embodiment of the present application.
도 10을 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 자기장에 놓인 페라이트(18000)는 자기장의 자기선속에 영향을 줄 수 있다. 예를 들어, 페라이트(18000)는 자기장의 자기선속이 페라이트(18000) 주변에 밀하게 형성되도록, 페라이트(18000) 주변에 형성된 자기선속을 페라이트(18000)로 끌어 당기는 작용을 할 수 있다. Referring to FIG. 10, the ferrite 18000 placed in the magnetic field according to the exemplary embodiment of the present application may affect the magnetic flux of the magnetic field. For example, the ferrite 18000 may act to attract the magnetic flux formed around the ferrite 18000 to the ferrite 18000 such that the magnetic flux of the magnetic field is densely formed around the ferrite 18000.
이때, 페라이트(18000)의 두께에 따라 상기 자기선속이 받는 영향은 달라질 수 있다. 상기 페라이트(18000)의 두께가 두꺼워짐에 따라, 상기 페라이트(18000)의 주변에 형성되는 영향 줄 수 있는 자기선속은 많아 질 수 있다.In this case, the influence of the magnetic flux may vary depending on the thickness of the ferrite 18000. As the thickness of the ferrite 18000 increases, magnetic fluxes that may be formed around the ferrite 18000 may increase.
상기 페라이트(18000)는 본 출원의 가열 어셈블리에 배치될 수 있다.The ferrite 18000 may be disposed in the heating assembly of the present application.
본 출원의 일 실시예예 따른 가열 어셈블리에 배치된 페라이트(18000)는 크루시블(13000)에 영향주는 다이나믹한 자기장의 세기 변화값을 크게하는 자기장 집속 속성을 가질 수 있다.The ferrite 18000 disposed in the heating assembly according to the exemplary embodiment of the present application may have a magnetic field focusing property that increases the intensity change value of the dynamic magnetic field affecting the crucible 13000.
도 11은 본 출원의 일 실시예에 따른 페라이트, 코일, 및 코일 주변에 형성되는 자기장을 나타내는 도면이다.11 is a view showing a ferrite, a coil, and a magnetic field formed around the coil according to an embodiment of the present application.
도 11을 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 페라이트(18000)가 가열 어셈블리에 배치되는 경우, 상기 페라이트(18000)는 다이나믹한 자기장의 자기선속이 크루시블(13000)의 외벽(13100)에 밀하게 형성되도록 집속할 수 있다.Referring to FIG. 11, when the ferrite 18000 according to the exemplary embodiment of the present application is disposed in the heating assembly, the ferrite 18000 has an outer wall 13100 of the magnetic flux of the dynamic magnetic field that is crucible 13000. It can be focused to form densely.
상기 크루시블(13000)의 외벽(13100)에 밀하게 형성되는 다이나믹한 자기선속은 전술한 페라이트(18000)의 속성에 따른 것일 수 있다. 코일(16000)의 외측에 배치된 페라이트(18000)가 코일(16000)의 내측으로 형성되는 자기선속을 끌어 당김으로써 크루시블(13000)에 자기선속을 밀하게 하는 것일 수 있다.The dynamic magnetic flux closely formed on the outer wall 13100 of the crucible 13000 may be due to the above-described properties of the ferrite 18000. The ferrite 18000 disposed on the outside of the coil 16000 may attract the magnetic flux to the crucible 13000 by attracting the magnetic flux formed inside the coil 16000.
또는, 크루시블(13000)의 외벽(13100)에 밀하게 형성되는 다이나믹한 자기선속은 상기 페라이트(18000)의 속성과 더불어 자기장 형성 속성에 따른 것일 수 있다. 코일(16000) 외측에 배치된 페라이트(18000)가 페라이트(18000) 속성에 따라 코일(16000)의 외측으로 형성되는 자기선속을 끌어 당길 수 있다. 동시에, 코일(16000) 주변에 자기장이 대칭적으로 형성 된다는 자기장 형성 속성에 따라 코일(16000)의 내측으로 형성되는 자기선속도 대칭적으로 크루시블(13000)로 끌어 당겨져 형성될 수 있게 된다. 이에 따라, 크루시블(13000)의 외벽(13100)에 다이나믹한 자기장의 자기선속이 밀하게 형성되는 것이다.Alternatively, the dynamic magnetic flux closely formed on the outer wall 13100 of the crucible 13000 may be a property of the magnetic field forming property in addition to the properties of the ferrite 18000. The ferrite 18000 disposed outside the coil 16000 may attract the magnetic flux that is formed outside the coil 16000 according to the properties of the ferrite 18000. At the same time, the magnetic field velocity symmetrically formed inside the coil 16000 may be pulled into the crucible 13000 symmetrically by the magnetic field forming property that the magnetic field is symmetrically formed around the coil 16000. Accordingly, the magnetic flux of the dynamic magnetic field is densely formed on the outer wall 13100 of the crucible 13000.
상기 자기선속이 밀하게 형성됨으로써, 상기 크루시블(13000)의 외벽에 형성되는 코일(16000)의 다이나믹한 자기장의 (+)방향으로의 세기와 (-)방향으로의 세기는 동시에 상승한다. 상기 양방향의 자기장 세기가 상승함에 따라 요동치는 상기 다이나믹한 자기장의 세기의 변화폭 또한 이에 대응하여 커지게 된다. 즉, 페라이트(18000)가 배치되지 않은 경우보다 크루시블(13000)의 외벽(13100)에서 발생하는 다이나믹한 자기장의 세기 변화값은 커지게 된다.As the magnetic flux is densely formed, the strength in the positive and negative directions of the dynamic magnetic field of the coil 16000 formed on the outer wall of the crucible 13000 increases simultaneously. As the bidirectional magnetic field strength rises, the fluctuation amplitude of the dynamic magnetic field also increases correspondingly. That is, the intensity change value of the dynamic magnetic field generated at the outer wall 13100 of the crucible 13000 is larger than when the ferrite 18000 is not disposed.
1.1.3.2 열 효율 상승1.1.3.2 Thermal Efficiency Rise
이하에서는, 본 출원의 일 실시예에 따른 가열 어셈블리에 페라이트(18000)가 구현되는 경우, 크루시블(13000)의 상승되는 가열 효율에 대하여 설명하도록 한다. 이때, 본 명세서에서 가열 효율이란 본 출원의 가열 수단(15000)인 코일에 입력된 전기적 에너지 대비 크루시블(13000)에 발생하는 열량을 의미한다. 즉, 코일에 입력된 전기적 에너지가 동일한 경우, 크루시블(13000)에 발생하는 열량이 클수록 가열 효율(혹은, 열 효율)이 크다고 할 수 있다.Hereinafter, when the ferrite 18000 is implemented in the heating assembly according to an embodiment of the present application, the rising heating efficiency of the crucible 13000 will be described. At this time, the heating efficiency in the present specification means the amount of heat generated in the crucible 13000 compared to the electrical energy input to the coil which is the heating means 15000 of the present application. That is, when the electrical energy input to the coil is the same, the greater the amount of heat generated in the crucible 13000, the greater the heating efficiency (or thermal efficiency).
본 출원의 일 실시예에 따른 가열 어셈블리에 페라이트(18000)를 배치하는 경우의 크루시블(13000)의 가열 효율은 페라이트(18000)를 배치하지 않는 경우보다 상승할 수 있다. The heating efficiency of the crucible 13000 in the case of arranging the ferrite 18000 in the heating assembly according to the exemplary embodiment of the present application may be higher than in the case of not arranging the ferrite 18000.
도 12는 본 출원의 일 실시예에 따른 가열 어셈블리에 배치된 페라이트를 도시하는 도면이다.12 illustrates a ferrite disposed in a heating assembly according to one embodiment of the present application.
도 13은 본 출원의 일 실시예에 따른 자기장 세기 변화값 분포 그래프이다.13 is a distribution chart of magnetic field intensity change values according to an embodiment of the present application.
도 12 (a) 내지 (b)를 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 페라이트(18000)는 크루시블(13000)의 외측에 배치된 코일(16000)을 감싸는 형태로 형성될 수 있다. 예를 들어, 크루시블(13000)에 배치된 코일(16000)의 형상에 대응하는 형태의 페라이트(18000)가 배치될 수 있을 것이다. 구체적으로 도 12과 같이 크루시블(13000)의 외측에 배치된 직육각 형상의 클로즈드 쉐입의 코일(16000)의 측부에 대응하여, 각 측부와 대향하는 사면이 내부에 형성되어 내부가 빈 직육각 형태의 페라이트(18000)가 배치될 수 있다.12 (a) to (b), the ferrite 18000 according to the exemplary embodiment of the present application may be formed to surround the coil 16000 disposed outside the crucible 13000. For example, a ferrite 18000 having a shape corresponding to the shape of the coil 16000 disposed in the crucible 13000 may be disposed. Specifically, as shown in FIG. 12, corresponding to the sides of the coil 16000 of the rectangular shape of the rectangular shape disposed on the outside of the crucible 13000, slopes facing each side are formed therein so that the inside is hollow. Shaped ferrite 18000 may be disposed.
도 12에 도시된 바와 같이 코일(16000)의 외측에 페라이트(18000)가 배치된 경우, 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블(13000)의 가열 효율은 높아질 수 있다. 도 13(b)를 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 코일에 형성되는 다이나믹한 자기장의 변화값 세기 분포는 가열 어셈블리에 배치된 크루시블에 의해 변할 수 있다. 예를 들어, 상기 코일의 내측으로 형성되는 상기 다이나믹한 자기장의 변화값 세기 분포는 크루시블의 외벽 방향으로 이동(shift)될 수 있다. 다만, 자기장의 변화값의 최대 크기는
Figure PCTKR2017014042-appb-I000012
로, 크루시블(13000)이 배치된다고 해서 크게 달라지지 않을 수 있다.As shown in FIG. 12, when the ferrite 18000 is disposed outside the coil 16000, the heating efficiency of the crucible 13000 according to the exemplary embodiment of the present application may be increased. Referring to FIG. 13B, the change value intensity distribution of the dynamic magnetic field formed in the coil according to the exemplary embodiment of the present application may be changed by the crucible disposed in the heating assembly. For example, the intensity distribution of the change value of the dynamic magnetic field formed inside the coil may be shifted toward the outer wall of the crucible. However, the maximum magnitude of the change value of the magnetic field is
Figure PCTKR2017014042-appb-I000012
As such, the arrangement of the crucibles 13000 may not significantly change.
한편, 도 13(c)를 참조하면, 상기 코일에 형성되는 다이나믹한 자기장의 변화값 세기 분포는 가열 어셈블리에 배치된 페라이트(18000)에 의해 변경될 수 있다, 예를 들어, 상기 도 12 (a) 내지 (b)와 같이 페라이트(18000)가 배치됨으로써, 페라이트(18000)에 의해 상기 크루시블의 외벽에 자기장이 집속될 수 있다 이에 따라, 상기 크루시블(13000)의 외벽에 형성되는 코일(16000)의 다이나믹한 자기장의 (+)방향으로의 세기와 (-)방향으로의 세기는 동시에 상승한다. 상기 양방향의 자기장 세기가 상승함에 따라 요동치는 상기 다이나믹한 자기장의 세기의 변화폭 또한 이에 대응하여 커지게 된다. 즉, 자기장의 세기 변화값은,
Figure PCTKR2017014042-appb-I000013
로 페라이트(18000)가 배치되는 경우 페라이트(18000)가 배치되기 전에 비하여 자기장의 세기 변화값이 상기 외벽에서 커질 수 있다. Meanwhile, referring to FIG. 13 (c), the change value intensity distribution of the dynamic magnetic field formed in the coil may be changed by the ferrite 18000 disposed in the heating assembly, for example, FIG. 12 (a). As the ferrites 18000 are disposed as shown in FIGS. 1 through 3, magnetic fields may be focused on the outer walls of the crucibles by the ferrites 18000. Accordingly, coils formed on the outer walls of the crucibles 13000 may be used. The intensity in the positive and negative directions of the dynamic magnetic field of (16000) increases simultaneously. As the bidirectional magnetic field strength rises, the fluctuation amplitude of the dynamic magnetic field also increases correspondingly. That is, the intensity change value of the magnetic field is
Figure PCTKR2017014042-appb-I000013
When the ferrite 18000 is disposed, the intensity change value of the magnetic field may be larger in the outer wall than before the ferrite 18000 is disposed.
상기와 같이 자기장의 세기 변화값이 상승함에 따라. 유도 전류 세기는 상기 페라이트(18000)가 배치되기 이전의 크루시블(13000)보다 배치된 이후의 크루시블(13000)에서 더 증가할 수 있다. As the intensity change value of the magnetic field rises as described above. The induced current intensity may increase further in the crucible 13000 after the ferrite 18000 is disposed than in the crucible 13000 before the ferrite 18000 is disposed.
전술한 유도 가열 속성에 의해 상기와 같이 유도 전류의 세기가 커짐에 따라 크루시블(13000)에서의 열량 발생이 많아질 수 있다. 결과적으로 페라이트(18000)를 배치하지 않은 코일(16000)보다 페라이트(18000)를 배치한 코일(16000)에 의한 열량 발생이 많아져 크루시블(13000)의 가열 효율은 높아질 수 있다.As described above, due to the above-described induction heating property, as the intensity of the induction current increases, heat generation in the crucible 13000 may increase. As a result, the amount of heat generated by the coil 16000 in which the ferrite 18000 is disposed is greater than the coil 16000 in which the ferrite 18000 is not disposed, and thus the heating efficiency of the crucible 13000 may be increased.
이하에서는 크루시블(13000)의 가열 효율을 높일 수 있는 페라이트(18000)의 배치 예에 대하여 설명하도록 한다.Hereinafter, an example of arranging the ferrite 18000 to increase the heating efficiency of the crucible 13000 will be described.
도 12 (b)를 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 페라이트(18000)는 크루시블(13000)에 배치된 코일(16000)의 상부와 하부를 둘러싸는 형태로 구현될 수 있다. 예를 들어 내부에 크루시블(13000)이 있도록 배치된 클로즈드 쉐입의 코일(16000)의 경우, 클로즈드 쉐입 코일(16000)의 상부와 하부까지 페라이트(18000)가 배치될 수 있다.Referring to FIG. 12 (b), the ferrite 18000 according to the exemplary embodiment of the present application may be implemented to enclose the upper and lower portions of the coil 16000 disposed in the crucible 13000. For example, in the case of the closed shape coil 16000 disposed to have the crucible 13000 therein, the ferrite 18000 may be disposed to the upper part and the lower part of the closed shape coil 16000.
본 출원의 일 실시예에 따라 전술한 것과 같이 페라이트(18000)를 구현하였을 때, 코일(16000)의 상부면 혹은 하부면을 통해 빠져나가는 다이나믹한 자기선속까지 크루시블(13000)에 집속시키는 효과를 가질 수 있다. 상기 다이나믹한 자기장이 크루시블(13000)에 집속됨으로써 크루시블(13000)의 가열 효율은 높아지게 된다.When the ferrite 18000 is implemented as described above in accordance with an embodiment of the present application, the effect of focusing on the crucible 13000 until the dynamic magnetic flux exits through the upper or lower surface of the coil 16000. It can have As the dynamic magnetic field is focused on the crucible 13000, the heating efficiency of the crucible 13000 is increased.
또한, 본 출원의 일 실시예에 따른 이러한 페라이트(18000)는 크루시블(13000)의 외부에 배치되는 것뿐만 아니라, 크루시블(13000)의 가열 효율을 높이기 위하여 크루시블(13000)의 내부에 포함되는 형태로 배치될 수도 있다. In addition, such a ferrite 18000 according to an embodiment of the present application is not only disposed outside the crucible 13000, but also to increase the heating efficiency of the crucible 13000. It may be arranged in a form included therein.
도 14는 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 외벽에 포함된 페라이트를 나타내는 절단된 측면 도면이다.14 is a cutaway side view illustrating ferrite included in an outer wall of a crucible according to an embodiment of the present application.
도 14에 도시된 바와 같이 크루시블(13000)의 외벽(13100)에 페라이트(18000)가 형성됨으로써 크루시블(13000)의 외벽(13100)에 다이나믹한 자기장이 집속될 수 있다. 상기 다이나믹한 자기장이 집속됨에 따라 크루시블(13000)의 가열 효율이 보다 높아지는 효과를 가질 수 있을 것이다.As shown in FIG. 14, the ferrite 18000 is formed on the outer wall 13100 of the crucible 13000, so that a dynamic magnetic field may be focused on the outer wall 13100 of the crucible 13000. As the dynamic magnetic field is focused, the heating efficiency of the crucible 13000 may be increased.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 페라이트(18000)는 크루시블(13000)의 가열 효율을 높이기 위하여 크루시블(13000)에 도포되는 형태로 구현될 수 있다.In addition, the ferrite 18000 according to an embodiment of the present invention may be implemented in a form applied to the crucible 13000 to increase the heating efficiency of the crucible 13000.
도 15는 본 출원의 일 실시예에 따른 페라이트가 증착 장치(110000)에 도포되어 구현된 형상을 나타내는 도면이다.FIG. 15 is a view illustrating a shape in which ferrite is applied to the deposition apparatus 110000 according to an embodiment of the present application.
도 15 (a) 내지 (d)를 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 페라이트(18000)는 가열 어셈블리에 도포되어 가열 어셈블리 구성에 코팅된 형태로 구현될 수 있다.Referring to Figure 15 (a) to (d), the ferrite 18000 according to an embodiment of the present application may be implemented in a form that is applied to the heating assembly is coated on the heating assembly configuration.
예를 들어, 본 출원의 일 실시예에 따른 페라이트(18000)는 크루시블(13000)을 둘러싸는 하우징(11000)의 외벽의 내면에 도포될 수 있다. 도 15(a)를 참조하면 페라이트(18000)는 크루시블(13000)의 측면부를 둘러싸는 하우징(11000)의 외벽의 내면에 도포될 수 있다. For example, the ferrite 18000 according to an embodiment of the present application may be applied to the inner surface of the outer wall of the housing 11000 surrounding the crucible 13000. Referring to FIG. 15A, the ferrite 18000 may be applied to the inner surface of the outer wall of the housing 11000 surrounding the side portion of the crucible 13000.
또한 본 출원의 일 실시예에 따른 페라이트(18000)는 크루시블(13000)에 도포될 수도 있다. 도 15(1b)에 도시된 바와 같이 크루시블(13000)의 측면 외벽(13100)에 페라이트(18000)가 도포될 수 있을 것이다.In addition, the ferrite 18000 according to the exemplary embodiment of the present application may be applied to the crucible 13000. As shown in FIG. 15B, ferrite 18000 may be applied to the side outer wall 13100 of the crucible 13000.
본 출원의 일 실시예에 따른 상기 가열 어셈블리에 도포되는 페라이트(18000)의 두께는 증착 장치(10000) 설계 목적에 따라 다양하게 선택될 수 있을 것이다.The thickness of the ferrite 18000 to be applied to the heating assembly according to an embodiment of the present application may be variously selected depending on the design purpose of the deposition apparatus 10000.
본 출원의 일 실시예에 따라 전술한 것과 같이 가열 어셈블리에 페라이트(18000)를 배치하게 되면 크루시블(13000)의 열효율이 높아져, 결과적으로 상기 크루시블(13000)로부터 증착 물질에 전달되는 열량은 많아질 수 있다. 결과적으로, 본 증착 장치(10000)는 페라이트(18000)를 배치함으로써 동일한 입력 에너지 대비 높은 열 출력을 가져 에너지 사용을 효율적으로 하는 효과를 가질 수 있다. 또한, 상기 높은 열출력에 따라 상기 증착 물질가 활발히 운동할 수 있도록 충분한 에너지를 가지게 되어, 본 증착 장치(10000)는 상기 증착 물질이 피증착면에 형성되는 성공율이 높아질 수 있는 효과를 가질 수 있다.When the ferrite 18000 is disposed in the heating assembly as described above according to an embodiment of the present application, the thermal efficiency of the crucible 13000 is increased, and as a result, the amount of heat transferred from the crucible 13000 to the deposition material. Can be a lot. As a result, the present deposition apparatus 10000 may have an effect of efficiently using energy by arranging the ferrite 18000 to have a high heat output relative to the same input energy. In addition, the deposition material 10000 may have sufficient energy to actively move the deposition material according to the high heat output, and thus the deposition apparatus 10000 may have an effect of increasing the success rate at which the deposition material is formed on the surface to be deposited.
이하에서는 본 출원의 증착 장치(10000)의 구성을 다양하게 함으로써, 크루시블(13000)의 열분포를 제어하여 증착 물질의 증착 실효율(혹은, 증착의 성공율)을 높이는 방법에 대하여 설명하도록 한다.Hereinafter, by varying the configuration of the deposition apparatus 10000 of the present application, a method of controlling the thermal distribution of the crucible 13000 to increase the deposition efficiency (or deposition success rate) of the deposition material will be described.
이때, 증착의 실효율이란 증착 물질이 피증착면에 제대로 형성되는 것을 의미뿐만 아니라, 피증착면에 균일한 두께 혹은 농도로 형성되는 것을 의미할 수 있다.In this case, the actual efficiency of the deposition means not only that the deposition material is properly formed on the surface to be deposited, but may also mean that the deposition surface is formed to have a uniform thickness or concentration.
2. 크루시블의 열 분포 제어2. Controlling the heat distribution of crucibles
피증착면에 증착 물질을 증착시키는 증착 장치(10000)는 피증착면에 증착 물질이 증착되는 증착 실효율을 높이는 것이 중요한 이슈일 수 있다. 증착 성공율을 높이기 위해서는 본 발명의 크루시블(13000) 내부 공간에 수용되는 증착 물질에 제공되는 열량의 공간적 분포를 제어하는 방법이 있을 수 있다.In the deposition apparatus 10000 for depositing a deposition material on the surface to be deposited, it may be an important issue to increase the deposition efficiency in which the deposition material is deposited on the surface to be deposited. In order to increase the deposition success rate, there may be a method of controlling the spatial distribution of heat provided to the deposition material accommodated in the internal space of the crucible 13000 of the present invention.
예를 들어, (1) 크루시블(13000)의 각 공간에 분포된 열량을 서로 다르게 제어할 수 있다. 구체적 일 예로, 크루시블(13000)의 노즐(13200) 주변의 열량 분포를 상대적으로 높게함으로써, 노즐(13200)을 통과하는 증착 물질의 온도를 높게할 수 있다. 결과적으로, 노즐(13200)을 통해 증착 물질이 원활하게 피증착면으로 배출 되어, 피증착면에 형성됨으로써 본 증착 장치(10000)는 증착의 실효율이 높아지는 효과를 가질 수 있다.For example, (1) the amount of heat distributed in each space of the crucible 13000 may be controlled differently. As a specific example, by relatively increasing the heat distribution around the nozzle 13200 of the crucible 13000, the temperature of the deposition material passing through the nozzle 13200 may be increased. As a result, the deposition material is smoothly discharged to the surface to be deposited through the nozzle 13200 and is formed on the surface to be deposited, so that the present deposition apparatus 10000 may have an effect of increasing the actual efficiency of the deposition.
또한 (2) 크루시블(13000)의 공간에 분포된 열량을 균일하게 제어할 수 있다. 상기 쿠르시블의 열 분포를 균일하게 함으로써, 상기 열분포는 상기 크루시블에 형성된 각 노즐로부터 배출되는 증착 물질들이 피증착면을 향하여 함께 이동할 수 있도록 한다. 이에 따라, 피증착면에 증착물질이 균일하게 형성되어 증착의 실효율은 높아질 수 있다.(2) The amount of heat distributed in the space of the crucible 13000 can be uniformly controlled. By uniformizing the heat distribution of the curable, the heat distribution allows deposition materials discharged from each nozzle formed in the crucible to move together toward the deposition surface. Accordingly, the deposition material may be uniformly formed on the surface to be deposited, so that the actual efficiency of the deposition may be increased.
도 16은 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 열 분포를 나타내는 개략적인 도면이다.16 is a schematic diagram illustrating a heat distribution of a crucible according to an embodiment of the present application.
도 17은 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 열 분포를 나타내는 개략적인 도면이다.17 is a schematic diagram illustrating a heat distribution of a crucible according to an embodiment of the present application.
설명의 편의를 위해, 노즐(13200)이 형성된 크루시블(13000)의 상면에 가까운 측면의 영역을 N 영역 측면, 상대적으로 먼 영역을 F 영역 측면으로 하여 설명하기로 한다.For convenience of description, an area of a side close to the upper surface of the crucible 13000 on which the nozzle 13200 is formed will be described as an N area side and a relatively far area as an F area side.
본 발명에서 이루고자 하는 크루시블(13000)의 열분포는 전술하였듯이, 크루시블(13000) 측면의 N 영역 측면의 열량이 상대적으로 F 영역 측면보다 높은 열분포를 갖는 열분포일 수 있다. As described above, the heat distribution of the crucible 13000 to be achieved in the present invention may be a heat distribution having a heat distribution relatively higher than the F region side of the N region side of the crucible 13000 side.
도 16 (a)에 도시된 바와 같은 열분포인 경우에는, 증착 물질이 크루시블(13000)의 N 영역 측면에서 열량을 충분히 공급 받아 노즐(13200)을 원활히 통과하여 피증착면으로 이동할 수 있을 것이다. In the case of the heat distribution as illustrated in FIG. 16A, the deposition material may be sufficiently supplied with heat from the N region side of the crucible 13000 to smoothly pass through the nozzle 13200 and move to the deposition surface. .
도 16 (b)에 도시된 바와 같은 열분포인 경우에는 증착 물질이 크루시블(13000) 내에서 노즐(13200)을 향해 이동할 때, 열량을 자연스러운 분포로 공급받아 피증착면으로 원활히 이동하는 효과를 가질 수 있을 것이다.In the case of the heat distribution as shown in FIG. 16 (b), when the deposition material moves toward the nozzle 13200 in the crucible 13000, the heat is supplied in a natural distribution to smoothly move to the deposition surface. I can have it.
한편, 도 16 (a) 내지 (b)에 도시된 바에 따라 명세서 전반적으로 크루시블 측면의 Z축 방향으로 발생하는 열량이 달라지는 열 분포가 되도록 가열 어셈블리의 각 구성을 제어하는 것을 설명하였다. 또한, 크루시블 측면의 Z축 방향 중 노즐에 가까운 N영역, 노즐과 먼 F영역으로 나누어 각 영역 별로 열량 발생이 다른 열분포가 되도록 각 구성을 구현하는 것으로 설명하였다.On the other hand, as shown in Figure 16 (a) to (b) has been described to control the respective components of the heating assembly so that the heat distribution of the amount of heat generated in the Z-axis direction of the crucible side throughout the specification has been described. In addition, in the Z-axis direction of the crucible side, the configuration is implemented so that the heat generation is different for each region by dividing the N region close to the nozzle and the F region far from the nozzle.
다만, 상기 열분포는 일 예에 불과하며, 크루시블(13000)의 열분포는 이에 국한되지 않고 X축, Y축 방향으로, 열량 발생이 다른 영역에 다양하게 존재할 수 있는 열분포가 되도록 가열 어셈블리의 구성이 구현될 수 수 있다.However, the heat distribution is just one example, and the heat distribution of the crucible 13000 is not limited thereto, and the heating assembly is configured such that the heat distribution in the X-axis and Y-axis directions may be variously generated in different regions. This can be implemented.
또한, 본 발명에서 이루고자 하는 크루시블(13000)의 열분포는 도 17 과 같이 크루시블(13000)의 X축 방향의 측면에서 발생되는 열량이 균일한 열분포일 수 있다. 이때, Z축 방향에 따라 발생하는 열량은 달라질 수 있다. 전술한 것과 같이 노즐이 형성된 크루시블의 측면에서 열량 발생이 높도록
Figure PCTKR2017014042-appb-I000014
로 크루시블의 열분포가 형성될 수 있다. 또한, 크루시블의 열분포는 Z축 방향에서의 열량 발생이
Figure PCTKR2017014042-appb-I000015
로 균일한 크루시블의 열분포로 제어될 수도 있을 것이다.In addition, the heat distribution of the crucible 13000 to be achieved in the present invention may be a heat distribution having a uniform amount of heat generated in the X-axis direction of the crucible 13000 as shown in FIG. 17. At this time, the amount of heat generated according to the Z-axis direction may vary. As described above, the generation of calories is high at the side of the crucible in which the nozzle is formed.
Figure PCTKR2017014042-appb-I000014
The thermal distribution of the furnace crucible can be formed. In addition, the heat distribution of the crucible is not generated in the Z axis direction.
Figure PCTKR2017014042-appb-I000015
It may also be controlled by a uniform distribution of heat.
상기와 같이 상기 크루시블(13000)의 내부 공간에 수용되는 증착 물질에 제공되는 열량의 공간적 분포가 상기와 같이 미리 정해진 분포로 제어될 수 있도록, 상기 크루시블(13000)의 외벽(13100)에 유도되는 유도 전류의 세기 분포가 적절히 제어될 수 있다. 예를 들어, 상기 크루시블(13000)의 4개의 가열면들 중 하나의 가열면에 대해서 좌우방향과 상하방향을 정의할 때, 상기 하나의 가열면에 대한 상기 유도 전류의 분포는 상기 좌우방향에 따라서 적절히 제어되거나 또는 상기 상하방향을 따라 적절히 제어될 수 있다.As described above, the outer wall 13100 of the crucible 13000 may be controlled so that the spatial distribution of the amount of heat provided to the deposition material accommodated in the inner space of the crucible 13000 may be controlled by the predetermined distribution as described above. The intensity distribution of the induced current induced in can be appropriately controlled. For example, when defining left and right directions and up and down directions with respect to one of the four heating surfaces of the crucible 13000, the distribution of the induced currents for the one heating surface is the left and right directions. It may be appropriately controlled according to, or may be appropriately controlled along the vertical direction.
본 출원의 몇몇 실시예들에 따르면, 상기 크루시블(13000)의 외벽(13100)의 형상을 이용하여 상기 유도 전류의 분포가 제어되도록 상기 크루시블(13000)을 제조할 수 있다.According to some embodiments of the present application, the crucible 13000 may be manufactured to control the distribution of the induced current using the shape of the outer wall 13100 of the crucible 13000.
본 출원의 몇몇 실시예들에 따르면, 상기 크루시블(13000)과 상기 코일(16000)간의 거리를 이용하여 상기 유도 전류의 분포가 제어되도록 상기 가열 어셈블리를 제조할 수 있다.According to some embodiments of the present application, the heating assembly may be manufactured so that the distribution of the induced current is controlled by using the distance between the crucible 13000 and the coil 16000.
본 출원의 몇몇 실시예들에 따르면, 상기 자기장 집속부의 배치/분포를 이용하여 상기 유도 전류의 분포가 제어되도록 상기 가열 어셈블리를 제조할 수 있다.According to some embodiments of the present application, the heating assembly may be manufactured such that the distribution of the induced current is controlled using the arrangement / distribution of the magnetic field focusing part.
본 출원의 몇몇 실시예들에 따르면, 상기 코일(16000)의 독립제어를 이용하여 상기 유도 전류의 분포가 제어되도록 상기 가열 어셈블리를 제조할 수 있다.According to some embodiments of the present application, the heating assembly may be manufactured so that the distribution of the induced current is controlled using independent control of the coil 16000.
이하에서는 전술한 실시예들에 대해서 구체적으로 설명하고자 한다.Hereinafter will be described in detail with respect to the above-described embodiments.
한편, 도시된 도면 및 이하의 설명에서 노즐(13200)이 윗방향으로 형성된 것으로 도시되었으나, 이는 증착장비가 하향식 혹은 상향식 장비라는 것을 의미하는 것이 아니다.Meanwhile, although the nozzle 13200 is illustrated as being formed upward in the drawings and the following description, this does not mean that the deposition equipment is a top-down or bottom-up equipment.
또한, 이하에서 전반적으로 도면에 도시되는 크루시블의 형상은 길이 방향을 가지는 직육면체 형상이나 이는 전술하였듯이 일예에 불과하다. 후술하는 구현예들은 다양한 형상의 크루시블을 가지는 가열 어셈블리에 적용될 수 있다.In addition, the shape of the crucible shown generally in the drawings below is a rectangular parallelepiped shape having a longitudinal direction, but this is merely an example as described above. The embodiments described below can be applied to heating assemblies having crucibles of various shapes.
2.1 크루시블2.1 Crucible
본 출원의 일 실시예에 따른 증착의 실효율을 높이기 위하여 크루시블(13000)의 열 분포를 제어하는 방법에는 크루시블(13000)의 형상의 구현을 다양하게 하는 방법이 있다. 예를 들어, 크루시블(13000) 측부와 코일(16000)의 거리를 다양하게 하는 방법, 크루시블(13000)의 두께들 달리 구현하는 방법 등이 있을 수 있다.In order to control the heat distribution of the crucible 13000 in order to increase the actual efficiency of the deposition according to an embodiment of the present application, there is a method of varying the implementation of the crucible 13000. For example, there may be a method of varying the distance between the side of the crucible 13000 and the coil 16000, a method of implementing different thicknesses of the crucible 13000, and the like.
이하에서는 크루시블(13000)의 형상을 다양하게 하여 크루시블(13000) 내의 열분포를 제어하는 실시예들에 대하여 구체적으로 설명하도록 한다. Hereinafter, embodiments of controlling the heat distribution in the crucible 13000 by varying the shape of the crucible 13000 will be described in detail.
2.1.1 크루시블과 코일의 거리 조절2.1.1 Distance Control between Crucible and Coil
본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블(13000) 내의 열 분포를 제어하기 위하여, 크루시블(13000)은 형성된 가열 수단(15000)인 코일(16000)로부터 다양한 거리 관계를 가질 수 있도록 형성될 수 있다.In order to control the heat distribution in the crucible 13000 according to the exemplary embodiment of the present application, the crucible 13000 may be formed to have various distance relationships from the coil 16000, which is the heating means 15000 formed. Can be.
도 18은 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 형상에 변화를 준 일 예를 도시하는 측면 절단 도면이다.18 is a side cutaway view showing an example of changing a shape of a crucible according to an embodiment of the present application.
도 18 (a) 내지 (b)를 참조하면, 크루시블(13000) 주위에 배치된 코일(16000)과 크루시블(13000)의 측면이 포함하는 측부 영역들이 서로 다른 거리 관계를 가지도록 크루시블(13000)이 구현될 수 있다. 구체적으로, 크루시블(13000)은 크루시블(13000)의 상부에 가까운 크루시블(13000)의 측면(이하 N 영역 측면)보다 노즐(13200)이 형성된 상면의 반대편인 하면에 가까운 크루시블(13000)의 측면(이하 F 영역 측면)이 함몰되어 구현될 수 있을 것이다. Referring to FIGS. 18A to 18B, the crews arranged around the crucible 13000 and the side regions of the side surfaces of the crucible 13000 may have different distance relationships. Sable 13000 may be implemented. Specifically, the crucible 13000 is closer to the bottom of the crucible 13000 near the top of the crucible 13000 than the side of the crucible 13000 (hereinafter referred to as N region side), which is closer to the bottom surface opposite to the top surface on which the nozzle 13200 is formed. The side surface of the tablet 13000 (hereinafter referred to as an F region side surface) may be recessed and implemented.
또한, 다시 도 18(b)를 참조하면, 크루시블(13000)의 하면에 가까운 크루시블(13000)의 측면이 일정한 경사를 가지고 형성될 수 있다. 구체적으로, 크루시블(13000)에 형성된 노즐(13200)로부터 가장 먼 거리의 크루시블(13000)의 측면은 코일(16000)과의 거리가 가장 멀며, 노즐(13200)로부터 가까운 측부일수록 형성된 코일(16000)과의 거리가 가까워지도록 크루시블(13000)이 형성될 수 있다.In addition, referring back to FIG. 18B, a side surface of the crucible 13000 near the bottom surface of the crucible 13000 may be formed to have a predetermined inclination. In detail, the side surface of the crucible 13000 having the longest distance from the nozzle 13200 formed in the crucible 13000 is farthest from the coil 16000, and the coil formed closer to the side from the nozzle 13200. The crucible 13000 may be formed to have a distance from the 16000.
본 출원의 일 실시예에 따라 전술한 것과 같이 크루시블(13000)을 구현하였을 때 N 영역 측면이 F 영역 측면의 열량보다 높게 형성된 열분포가 되도록 제어할 수 있다. 앞서 설명한 자기장 형성 속성(전술한,
Figure PCTKR2017014042-appb-I000016
)에 따라 F 영역 측면보다 코일(16000)에 가깝게 구현된 크루시블(13000)의 N 영역 측면에 형성되는 다이나믹한 자기장의 세기 변화값이 커질 수 있다. 따라서, 상기 자기장의 세기 변화값에 대응하는 크루시블(13000)에 형성되는 유도 전류의 세기는 F 영역 측면보다 N 영역 측면에서 높게 된다. 따라서, 결과적으로 도 16 (a)를 참조하면, 전술한 것과 같이 크루시블(13000)을 구현하였을 때 노즐(13200)에 가까운 N 영역 측면이 F 영역 측면의 열량보다 높게 형성된 열분포가 되도록 제어할 수 있다.When the crucible 13000 is implemented as described above according to an embodiment of the present application, the N region side may be controlled to have a heat distribution formed higher than the heat quantity of the F region side. Magnetic field formation properties described above (described above,
Figure PCTKR2017014042-appb-I000016
), The intensity change value of the dynamic magnetic field formed on the N region side of the crucible 13000 implemented closer to the coil 16000 than the side of the F region may be increased. Therefore, the intensity of the induced current formed in the crucible 13000 corresponding to the intensity change value of the magnetic field is higher in the N region than in the F region. Therefore, as a result, referring to FIG. 16A, when the crucible 13000 is implemented as described above, the N region side close to the nozzle 13200 may be controlled to have a heat distribution formed higher than the heat quantity of the F region side. Can be.
이에 따라 크루시블(13000)의 상단부에 발생하는 열량이 많아져 하단부에 비하여 상대적으로 온도가 높아질 수 있다. 결과적으로 크루시블(13000)로부터 방출되는 증착 물질이 높은 활성 에너지를 가지고 빠른 속도로 크루시블(13000)의 노즐(13200)을 통하여 피증착면으로 향할 수 있는 효과를 가질 수 있다.Accordingly, the amount of heat generated in the upper end of the crucible 13000 increases, so that the temperature may be relatively higher than the lower end. As a result, the deposition material emitted from the crucible 13000 may have a high active energy and may have an effect of being directed to the deposition surface through the nozzle 13200 of the crucible 13000 at a high speed.
한편, 도 16 (b)를 참조하면, F 영역 측면에서 크루시블(13000)의 외벽(13100)이 경사를 갖도록 구현되는 경우 코일(16000)과의 거리가 연속적으로 달라지므로, 크루시블의 열분포는 F 영역 측면에서 좀더 자연스러운 열 분포가 되도록 제어될 수 있을 것이다. Meanwhile, referring to FIG. 16B, when the outer wall 13100 of the crucible 13000 is inclined at the side of the F region, the distance from the coil 16000 is continuously changed, so that the crucible The heat distribution may be controlled to be a more natural heat distribution in terms of the F region.
이에 따라, 증착 물질이 크루시블(13000) 내에서 노즐(13200)을 향해 이동할 때, 자연스럽게 증가되는 열량을 공급받을 수 있다. 따라서, 증착 물질이 불연속적으로 열량을 공급 받는 때에 비하여 증착 물질이 피증착면으로 자연스럽게 이동하는 효과를 가질 수 있을 것이다.Accordingly, when the deposition material moves toward the nozzle 13200 in the crucible 13000, a naturally increasing amount of heat may be supplied. Thus, the deposition material may have an effect of naturally moving to the surface to be deposited as compared with when the deposition material is discontinuously supplied with heat.
2.1.2 크루시블의 외벽 두께 조절2.1.2 Thickness adjustment of outer wall of crucible
본 발명의 일 실시예예 따른 크루시블(13000)의 외벽(13100)의 두께를 다양하게 구현함으로써, 크루시블(13000) 내의 열 분포는 제어될 수 있다.By variously implementing the thickness of the outer wall 13100 of the crucible 13000 according to an embodiment of the present invention, the heat distribution in the crucible 13000 may be controlled.
도 19은 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 두께에 변화를 준 예들을 도시하는 측면 절단 도면이다.19 is a side cutaway view showing examples of changing a thickness of a crucible according to an embodiment of the present application.
도 19 (a) 내지 (d)를 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블(13000)은 서로 다른 두께를 갖는 영역이 존재하도록 형성될 수 있다.19 (a) to (d), the crucible 13000 according to the exemplary embodiment of the present application may be formed such that regions having different thicknesses exist.
예를 들어, 크루시블(13000)은 크루시블(13000)에 형성된 노즐(13200)에 가까운 부분(N 영역 측면)과 상대적으로 먼 부분(F 영역 측면)의 두께가 다르게 형성될 수 있다. 구체적으로, 크루시블(13000)의 F 영역 측면의 두께가 얇게 형성될 수 있다. 도 19(a)를 참조하면 F 영역 측면의 외측이 크루시블(13000)의 내측으로 파인 형태로 형성되어 N 영역 측면에 비하여 두께가 얇아질 수 있고, 도 19(b)를 참조하면 크루시블(13000)의 F 영역 측면의 내측벽이 크루시블(13000)의 외측으로 파인 형태로 형성되어 F 영역 측면의 두께가 N 영역 측면의 두께에 비하여 상대적으로 얇게 형성될 수 있다. 또한, 도 19(c)를 참조하면, F 영역 측면의 두께는 전술한 형태를 조합하여 외벽(13100)으로부터 내측으로 내벽으로부터 외측으로 파인 형태로 형성되어 상대적으로 얇게 구현 수 있을 것이다.For example, the crucible 13000 may be formed to have a thickness different from a portion close to the nozzle 13200 formed in the crucible 13000 (the N region side) and a relatively far portion (the F region side). Specifically, the thickness of the side of the F region of the crucible 13000 may be thinly formed. Referring to FIG. 19A, the outer side of the F region side surface is formed in a recessed shape into the crucible 13000, so that the thickness may be thinner than that of the N region side surface. The inner wall of the side of the F region of the tablet 13000 may be formed to be dug outwardly of the crucible 13000 so that the thickness of the side of the F region may be relatively thinner than the thickness of the side of the N region. In addition, referring to FIG. 19 (c), the thickness of the side of the F region may be formed in a shape that is recessed outward from the inner wall from the outer wall 13100 inward from the outer wall 13100 by combining the above-described shapes.
상기와 같이 크루시블(13000)의 두께를 달리 구현함에 따라 코일(16000)로부터의 거리 또한 달라질 수 있다. 도 19 (a) 및 (c)를 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블(13000)의 F 영역 측면의 두께가 외측에서 내측으로 파인 형태로 얇게 구현됨에 따라 코일(16000)로부터의 거리 또한 멀어질 수 있다.As described above, as the thickness of the crucible 13000 is different, the distance from the coil 16000 may also vary. Referring to FIGS. 19A and 19C, the thickness of the F region side surface of the crucible 13000 according to the exemplary embodiment of the present application is thinly formed in the form of a hollow from the outside to the inside of the coil 16000. The distance can also be greater.
본 출원의 일 실시예에 따라 전술한 것과 같이 크루시블(13000)을 구현하였을 때, 크루시블(13000)은 자기장 형성 속성(전술한,
Figure PCTKR2017014042-appb-I000017
) 혹은 유도 전류 속성(전술한, 크루시블(13000) 두께)에 따라 도 16 (a)와 같은 N 영역 측면이 F 영역 측면의 열량보다 높게 형성된 열분포가 되도록 제어될 수 있다. 크루시블(13000)의 N 영역 측면에 자기장 세기 변화값이 큰 다이나믹한 자기장이 형성될 수 있다. 상기 자기장의 세기 변화값에 대응하여 크루시블(13000)의 두께가 두꺼운 측부(N 영역 측면)에서 상대적으로 세기가 큰 유도전류가 흐를 수 있다. 세기가 큰 유도 전류에 의하여 N 영역 측면에서의 열량 발생이 커져 크루시블(13000)의 열분포를 상기와 같이 제어할 수 있게 된다.When the crucible 13000 is implemented as described above according to an embodiment of the present application, the crucible 13000 has a magnetic field forming property (described above,
Figure PCTKR2017014042-appb-I000017
Or according to the induced current property (described above, the thickness of the crucible 13000), the N region side surface as shown in FIG. 16A may be controlled to have a heat distribution formed higher than the heat quantity of the F region side surface. A dynamic magnetic field having a large change in magnetic field strength may be formed on the N region side of the crucible 13000. In response to the intensity change value of the magnetic field, a relatively high induction current may flow in the thick side (N region side) of the crucible 13000. The generation of heat on the side of the N region is increased by the induction current having high intensity, so that the heat distribution of the crucible 13000 can be controlled as described above.
한편, 도 19(d)를 참조하면, 전술한 크루시블(13000) 형상의 조합예로서, 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블(13000)은 다른 두께를 가지고 일정한 각도의 경사를 가지는 영역을 가질 수 있다. Meanwhile, referring to FIG. 19 (d), as a combination example of the aforementioned crucible 13000 shape, the crucible 13000 according to the exemplary embodiment of the present application has a different thickness and has a predetermined angle of inclination. It can have an area.
전술한 것과 같이 크루시블(13000)을 구현 하였을 때, 크루시블(13000)의 F 영역 측면의 코일(16000)과의 거리가 연속적으로 달라질 수 있다. 따라서, N 영역 측면이 F 영역 측면보다 열량이 높은 열분포이되, 도시된 도 16 (b)와 같이 F 영역 측면에서 좀 더 자연스러운 열 분포가 되도록 제어될 수 있을 것이다. As described above, when the crucible 13000 is implemented, the distance to the coil 16000 of the side of the F region of the crucible 13000 may be continuously changed. Accordingly, the N region side surface may have a higher heat distribution than the F region side surface, and thus may be controlled to have a more natural heat distribution in the F region side as shown in FIG.
전술한 것과 같이 크루시블(13000)이 구현되는 경우, N 영역 측면을 지나는 증착 물질에 공급되는 얄량이 많아짐으로써 피증착면으로 원활히 가이딩되어 증착의 실효율이 높아질 수 있다. When the crucible 13000 is implemented as described above, the amount of feed supplied to the deposition material passing through the N region side is increased, thereby guiding smoothly to the surface to be deposited, thereby increasing the actual efficiency of deposition.
이상에서는 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블(13000)의 구현 형상을 다양하게함으로써 크루시블(13000)의 열 분포를 제어하는 방법에 대하여 설명하였다. 이하에서는 코일(16000)의 구현 방법을 다양하게하여 크루시블(13000)의 열 분포를 제어하는 방법에 대하여 설명하도록 한다.In the above, the method for controlling the heat distribution of the crucible 13000 by varying the implementation shape of the crucible 13000 according to the exemplary embodiment of the present application has been described. Hereinafter, a method of controlling the heat distribution of the crucible 13000 by variously implementing the coil 16000 will be described.
한편, 앞서 도시한 도면에서 크루시블(13000)은 형성된 클로즈드 쉐입의 코일(16000)의 내부에 존재하는 것으로 도시되었으나, 이에 국한되지 않을 수 있다.Meanwhile, although the crucible 13000 is illustrated as being present inside the coil 16000 of the formed closed shape, the present invention may not be limited thereto.
2.2 코일2.2 coil
본 출원의 일 실시예에 따른 증착의 실효율을 높이기 위하여 크루시블(13000)의 열 분포를 제어하는 방법에는 코일(16000)의 구현을 다양하게 하는 방법이 있다. 예를 들어, 코일(16000)의 권선수를 조절 하는 방법, 크루시블(13000)과의 거리를 다양하게 구현하는 방법 등이 있을 수 있다In order to control the heat distribution of the crucible 13000 in order to increase the actual efficiency of the deposition according to the exemplary embodiment of the present application, there are various methods of implementing the coil 16000. For example, there may be a method of adjusting the number of windings of the coil 16000, a method of variously implementing a distance from the crucible 13000, and the like.
이하에서는 상기 코일(16000)이 다양하게 구현되는 실시예들에 대하여 설명하도록 한다.Hereinafter, various embodiments in which the coil 16000 is implemented will be described.
2.2.1 코일의 권선수 조절2.2.1 Coil number adjustment
도 20은 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 외측에 형성된 코일을 나타내는 도면이다.20 is a view showing a coil formed on the outside of the crucible according to the exemplary embodiment of the present application.
도 20(a)를 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블(13000)의 측면 영역에 코일(16000)의 권선수가 다르게 배치될 수 있다. 예를 들어, 크루시블(13000)의 노즐(13200)로부터 먼 크루시블(13000)의 영역(F 영역 측면)에 형성된 코일(16000)보다 노즐(13200)에 가까운 거리에 존재하는 크루시블(13000) 영역(N 영역 측면)에 영향을 주는 클로즈드쉐입 코일(16000)의 권선수가 더 많게 배치될 수 있을 것이다.Referring to FIG. 20A, the number of windings of the coil 16000 may be differently disposed in the side region of the crucible 13000 according to the exemplary embodiment of the present application. For example, the crucible which exists at a distance closer to the nozzle 13200 than the coil 16000 formed in the region (region F side surface) of the crucible 13000 far from the nozzle 13200 of the crucible 13000. More windings of the closed-shape coil 16000 may be disposed to affect the region (13000) of the region (N region side).
또한, 도 20(b)를 참조하면, 크루시블(13000)은 복수 개의 클로즈드 쉐입 코일(16000)의 상측부 혹은 하측부가 크루시블(13000)의 N 영역 측면에 배치되는 구현 예일 수 있다. 상기 N 영역 측면에 배치되는 상기 코일(16000)의 권선수는 더 많은 코일(16000)로 구현될 수 있다.Also, referring to FIG. 20B, the crucible 13000 may be an exemplary embodiment in which the upper part or the lower part of the plurality of closed shape coils 16000 is disposed on the N region side of the crucible 13000. The number of turns of the coil 16000 disposed on the side of the N region may be implemented with more coils 16000.
본 출원의 일 실시예에 따라 전술한 것과 같이 코일(16000)을 구현하였을 때, N 영역 측면이 F 영역 측면의 열량보다 높게 형성된 열분포가 되도록 제어할 수 있다. 앞서 설명한 자기장 형성 속성(전술한,
Figure PCTKR2017014042-appb-I000018
)에 따라 F 영역 측면보다 배치된 코일(16000)이 권선수가 많게 구현된 크루시블(13000)의 N 영역 측면에 형성된 다이나믹한 자기장의 세기 변화값이 커질 수 있다. 결과적으로, 크루시블(13000)에 형성되는 유도 전류의 세기 또한 F 영역 측면보다 N 영역 측면이 높아지게 된다. 따라서, 결과적으로 도 16 (a)를 참조하면, 전술한 것과 같이 크루시블(13000)이 구현되었을 때 노즐(13200)에 가까운 N 영역 측면이 F 영역 측면의 열량보다 높게 형성된 열분포가 되도록 제어될 수 있다.When the coil 16000 is implemented as described above according to an embodiment of the present application, the N region side may be controlled to have a heat distribution formed higher than the heat amount of the F region side. Magnetic field formation properties described above (described above,
Figure PCTKR2017014042-appb-I000018
), The intensity change value of the dynamic magnetic field formed on the side of the N region of the crucible 13000 in which the coil 16000 is disposed more than the side of the region F may be increased. As a result, the intensity of the induced current formed in the crucible 13000 is also higher in the N region than in the F region. Accordingly, referring to FIG. 16A as a result, when the crucible 13000 is implemented as described above, the N region side close to the nozzle 13200 may be controlled to have a heat distribution formed higher than the heat amount of the F region side. Can be.
이에 따라 크루시블(13000)의 상단부에 발생하는 열량이 많아져 하단부에 비하여 상대적으로 온도가 높아질 수 있어, 결과적으로 크루시블(13000)로부터 방출되는 증착 물질이 높은 활성 에너지를 가지고 빠른 속도로 크루시블(13000)의 노즐(13200)을 통하여 피증착면으로 향할 수 있는 효과를 가질 수 있다.Accordingly, the amount of heat generated at the upper end of the crucible 13000 increases, so that the temperature may be relatively higher than that of the lower part. As a result, the deposition material emitted from the crucible 13000 may have a high active energy at a high speed. Through the nozzle 13200 of the crucible 13000 may have an effect that can be directed to the surface to be deposited.
2.2.2 코일과 크루시블의 거리 조절2.2.2 Distance between coil and crucible
본 출원의 일 실시예에 따른 코일(16000)은 크루시블(13000)의 외벽(13100)과의 위치적 관계에서 다양한 구현예를 가질 수 있다.The coil 16000 according to the exemplary embodiment of the present application may have various embodiments in a positional relationship with the outer wall 13100 of the crucible 13000.
예를 들어, 본 출원의 일 실시예에 따른 코일(16000)은 크루시블(13000)의 일 면에 형성된 거리보다 타 면에 코일(16000)이 형성된 거리를 더 작게하여 배치될 수 있을 것이다. For example, the coil 16000 according to an embodiment of the present application may be disposed by making the distance at which the coil 16000 is formed on the other surface smaller than the distance formed on one surface of the crucible 13000.
도 21은 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 외측에 형성된 코일을 나타내는 도면이다.FIG. 21 is a diagram illustrating a coil formed on an outer side of a crucible according to an embodiment of the present application. FIG.
도 21(a)를 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블(13000)의 측면 영역마다 코일(16000)의 거리가 다르게 배치될 수 있다. 예를 들어, 크루시블(13000)의 노즐(13200)로부터 먼 크루시블(13000)의 영역(F 영역 측면)에 형성된 코일(16000)보다 노즐(13200)에 가까운 거리에 존재하는 크루시블(13000) 영역(N 영역 측면)에 영향을 주는 클로즈드쉐입 코일(16000)의 거리가 더 가깝게 형성될 수 있을 것이다.Referring to FIG. 21A, the distance of the coil 16000 may be different from each other in the side region of the crucible 13000 according to the exemplary embodiment of the present application. For example, the crucible which exists at a distance closer to the nozzle 13200 than the coil 16000 formed in the region (region F side surface) of the crucible 13000 far from the nozzle 13200 of the crucible 13000. The distance of the closed-shape coil 16000 that affects the region (13000) (the N region side) may be formed closer.
또한, 도 21(b)를 참조하면, 예를 들어 상기 촘촘하게 코일(16000)이 구현되는 실시예에서는 크루시블(13000)은 복수 개의 클로즈드 쉐입 코일(16000)의 상측부 혹은 하측부가 크루시블(13000)의 N 영역 측면에 F 영역 측면보다 상대적으로 가까운 거리로 형성되는 구현 예일 수도 있다.In addition, referring to FIG. 21B, for example, in the embodiment in which the coil 16000 is closely implemented, the crucible 13000 may be the upper part or the lower part of the plurality of closed shape coils 16000. It may be an embodiment formed with a distance relatively closer to the N region side of the 13000 region than the F region side.
본 출원의 일 실시예에 따라 전술한 것과 같이 코일(16000)을 구현하였을 때, N 영역 측면이 F 영역 측면의 열량보다 높게 형성된 열분포가 되도록 제어할 수 있다. 앞서 설명한 자기장 형성 속성(전술한,
Figure PCTKR2017014042-appb-I000019
)에 따라 F 영역 측면보다 가까이 코일(16000)이 구현된 크루시블(13000)의 N 영역 측면에 형성된 자기장의 세기 변화값이 커질 수 있다. 결과적으로, 크루시블(13000)에 형성되는 유도 전류의 세기 또한 F 영역 측면보다 N 영역 측면이 높아지게 된다. 따라서, 결과적으로 도 21 (a)를 참조하면, 전술한 것과 같이 크루시블(13000)을 구현하였을 때 노즐(13200)에 가까운 N 영역 측면이 F 영역 측면의 열량보다 높게 형성된 열분포가 되도록 제어할 수 있다.When the coil 16000 is implemented as described above according to an embodiment of the present application, the N region side may be controlled to have a heat distribution formed higher than the heat amount of the F region side. Magnetic field formation properties described above (described above,
Figure PCTKR2017014042-appb-I000019
), The intensity change value of the magnetic field formed on the N region side of the crucible 13000 in which the coil 16000 is implemented may be greater than the side of the region F. As a result, the intensity of the induced current formed in the crucible 13000 is also higher in the N region than in the F region. Therefore, as a result, referring to FIG. 21A, when the crucible 13000 is implemented as described above, the N region side close to the nozzle 13200 may be controlled to have a heat distribution formed higher than the heat quantity of the F region side. Can be.
이상에서는 본 출원의 일 실시예에 따른 코일(16000)의 구현 형상을 다양하게함으로써 크루시블(13000)의 열 분포를 제어하는 방법에 대하여 설명하였다. 이하에서는 자기장 집속 구조물(17000)을 가열 어셈블리에 배치함으로써 크루시블(13000)의 열분포를 제어하는 방법에 대하여 설명하도록 한다.In the above, the method of controlling the heat distribution of the crucible 13000 by varying the implementation shape of the coil 16000 according to the exemplary embodiment of the present application has been described. Hereinafter, a method of controlling the heat distribution of the crucible 13000 by disposing the magnetic field focusing structure 17000 in the heating assembly will be described.
2.2.3 별도 구동 코일2.2.3 Separate Drive Coil
본 출원의 일 실시예에 따른 증착 장치(10000)에 구현되는 코일(16000)은 크루시블(13000)의 열분포를 제어하기 위하여 별도로 구동될 수 있다. The coil 16000 implemented in the deposition apparatus 10000 according to the exemplary embodiment of the present application may be driven separately to control the heat distribution of the crucible 13000.
도 22는 본 출원의 일 실시예에 따른 증착 장치(10000)에 구현되는 코일이 별도로 구동되는 일 예를 나타내는 개념도이다.22 is a conceptual diagram illustrating an example in which a coil implemented in the deposition apparatus 10000 according to an embodiment of the present application is separately driven.
도 23은 본 발명의 일 실시예예 따른 크루시블의 열 분포를 개념적으로 나타내는 도면이다.FIG. 23 is a diagram conceptually illustrating a heat distribution of a crucible according to an embodiment of the present invention. FIG.
도 22를 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 코일(16000)은 별도로 구동 될 수 있다. 상기 별도로 구동되는 코일(16300, 16400)에는 인가되는 가변 전원의 속성이 다를 수 있다. 상기 가변 전원 속성은 전원의 주파수 및 세기 속성등을 포함할 수 있다. Referring to FIG. 22, the coil 16000 according to an embodiment of the present application may be driven separately. The attributes of the variable power applied to the separately driven coils 16300 and 16400 may be different. The variable power source property may include a frequency and intensity property of a power source.
상기 코일(16000)에 인가되는 속성이 다른 복수개의 전원은 전원의 수에 대응하는 수의 전원 공급 장치로부터 각각 인가될 수 있다.A plurality of powers having different attributes applied to the coil 16000 may be applied from a power supply device having a number corresponding to the number of power supplies.
혹은 별도로 구동되는 코일(16300, 16400)별로 코일(16300, 16400)에 인가되는 속성이 다른 복수개의 전원은 그보다 적은 전원 공급 장치를 통해 인가될 수도 있다. 상기, 복수개의 전원 보다 적은 전원 공급 장치가 전원을 인가하는 경우, 별도로 구동되는 코일(16300, 16400)별로 상이한 속성을 가진 전원을 공급할 수 있도록 출력선을 분배하는 등 전기적 처리가 필요할 것이다. Alternatively, a plurality of powers having different attributes applied to the coils 16300 and 16400 for each of the separately driven coils 16300 and 16400 may be applied through fewer power supplies. When a power supply device having a plurality of power supplies is smaller than the plurality of power supplies, electrical processing may be necessary, such as distributing output lines to supply power having different attributes for the coils 16300 and 16400 that are driven separately.
본 출원의 일 실시예에 따른 별도 구동 코일은 크루시블의 다양한 구현예에 대응하는 배치예를 가질 수 있다.A separate drive coil according to an embodiment of the present application may have a layout example corresponding to various embodiments of the crucible.
도 22 (a)를 참조하면, 서로 다르게 구동되는 코일(16300, 16400)은 크루시블의 영역별로 배치될 수 있다. 상기 크루시블의 영역은 구현된 크루시블이 분리되는 구조를 기준으로 상부 영역 및 하부 영역으로 나뉠 수 있다. 크루시블의 상부 영역에는 별도 구동1 코일(16300)이 배치될 수 있고, 크루시블의 하부 영역에는 별도 구동2 코일(16400)이 각각 배치될 수 있다. 이에 따라 크루시블의 각 영역에 영향주는 자기장의 속성이 달라져, 크루시블의 상부 영역과 하부 영역에서 발생하는 크루시블의 열량이 달라질 수 있다.Referring to FIG. 22A, coils 16300 and 16400 that are driven differently may be disposed for each region of the crucible. The region of the crucible may be divided into an upper region and a lower region based on a structure in which the implemented crucible is separated. A separate drive 1 coil 16300 may be disposed in the upper region of the crucible, and a separate drive 2 coil 16400 may be disposed in the lower region of the crucible. Accordingly, the properties of the magnetic field affecting each region of the crucible may be changed, and thus the amount of crucible heat generated in the upper and lower regions of the crucible may vary.
또한, 도 22 (b)에 도시된 바와 같이 크루시블의 분리 구조가 크루시블에 구현될 수 있다. 상기와 같은 분리 구조의 구현예 경우, 크루시블의 영역은 크루시블의 외면에 형성된 분리되는 구조를 기준으로 상부 영역 및 하부 영역으로 나뉠 수 있다. 전술한 바와 같이 별도로 구동되는 코일(16300, 16400)은 크루시블의 상부 영역과 하부 영역에 각각 배치될 수 있다.In addition, as shown in FIG. 22 (b), the separation structure of the crucible may be implemented in the crucible. In the embodiment of the separation structure as described above, the region of the crucible may be divided into an upper region and a lower region based on the separated structure formed on the outer surface of the crucible. As described above, the separately driven coils 16300 and 16400 may be disposed in the upper region and the lower region of the crucible, respectively.
이때, 크루시블(13000)의 노즐(13200)에 가까운 부분에 발생하는 열량을 높이기 위하여, 전술한 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블(13000)에 배치되는 코일(16000)은 별도 구동 될 수 있다. 노즐(13200) 부분에 배치되는 코일(16000)에 인가하는 전원 주파수 및 세기를 상대적으로 높게하여 인가할 수 있을 것이다.In this case, in order to increase the amount of heat generated in a portion close to the nozzle 13200 of the crucible 13000, the coil 16000 disposed in the crucible 13000 according to the above-described embodiment of the present application is separately driven. Can be. The power frequency and intensity applied to the coil 16000 disposed in the nozzle 13200 may be relatively high.
구동1 코일(16300)의 전원 주파수 및/또는 세기가 구동2 코일(16400) 전원 주파수 및/또는 세기보다 높은 경우, 구동1(16300)에 대응하는 크루시블(13000)에서 발생하는 열량이 구동2에 비하여 높아질 수 있다. 상기 구동2 코일(16400)은 자기장 형성 속성에 따라 주변에 구동1에 비하여 상대적으로 센 자기장을 형성 할 수 있다. 상기 상대적으로 세기가 큰 자기장에 의해 크루시블(13000)의 노즐(13200) 부분에 형성되는 유도 전류 세기가 높아질 수 있다. 결과적으로, 상기 별도로 구동되는 코일(16300, 16400)은 도 23에 도시된 것과 같은 크루시블(13000)의 열분포가 되도록 제어할 수 있을 것이다.When the power frequency and / or intensity of the driving 1 coil 16300 is higher than the power frequency and / or intensity of the driving 2 coil 16400, the amount of heat generated by the crucible 13000 corresponding to the driving 1 16300 is driven. It can be higher than two. The driving 2 coil 16400 may form a magnetic field that is relatively higher than the driving 1 around the magnetic field forming property. The relatively high intensity magnetic field may increase the induced current intensity formed in the nozzle 13200 of the crucible 13000. As a result, the separately driven coils 16300 and 16400 may be controlled to be the heat distribution of the crucible 13000 as shown in FIG. 23.
상기 크루시블(13000)의 열분포에 따라, 크루시블(13000)의 노즐(13200)을 통해 배출되는 증착 물질이 열량을 충분히 공급받을 수 있다. 이에 따라, 증착 물질은 원활히 증착 대상의 표면으로 가이딩 될 수 있을 것이다.According to the heat distribution of the crucible 13000, the deposition material discharged through the nozzle 13200 of the crucible 13000 may receive a sufficient amount of heat. Accordingly, the deposition material may be guided to the surface of the deposition target smoothly.
한편, 상기와 같이 코일(13000)에 인가하는 전원의 주파수가 달라지는 경우, 별도로 구동되는 코일(16300, 16400)로부터 발생하는 각 자기장은 서로 간섭, 방해, 및/또는 영향 줄 수 있다. 상기 각 자기장이 상호 영향줌에 따라 크루시블(13000)에 형성되는 자기장의 세기가 약해질 수 있다. 결과적으로, 크루시블(13000)에 형성되는 유도 전류의 세기가 낮아져 크루시블(13000)의 가열 효율이 낮아지는 이슈가 발생할 수 있다. On the other hand, when the frequency of the power applied to the coil 13000 is changed as described above, each of the magnetic fields generated from the separately driven coils 16300 and 16400 may interfere with, interfere with, and / or affect each other. As the magnetic fields influence each other, the strength of the magnetic field formed in the crucible 13000 may be weakened. As a result, the intensity of the induced current formed in the crucible 13000 may be lowered, thereby causing an issue in which the heating efficiency of the crucible 13000 is lowered.
상기 발생할 수 있는 이슈를 해결하기 위하여, 본 출원의 일 실시예에 따른 별도로 구동되는 코일(16300, 16400)이 서로 영향을 미치지 않도록 구현될 수 있다.In order to solve the issue that may occur, the separately driven coils 16300 and 16400 according to an embodiment of the present application may be implemented so as not to influence each other.
도 24는 본 출원의 일 실시예에 따른 코일 사이에 삽입된 페라이트를 나타내는 도면이다.24 is a view illustrating a ferrite inserted between coils according to an embodiment of the present application.
도 24를 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따라 별도로 구동되는 코일(16300, 16400)의 상호 간섭을 배제하기 위하여, 각 별도 구동 코일(16300, 16400) 사이에 페라이트(18000)가 삽입될 수 있다. 서로 간섭을 주는 자기장은 별도 구동 코일(16300, 16400) 사이에 형성되는 자기장일 수 있다. 상기 별도 구동 코일(16300, 16400) 사이에 형성되는 자기장은 타 코일(16000) 방향으로 형성되어 타 코일(16000)에 형성되는 자기장에 영향 주는 것이다. 따라서, 상기 코일(16300, 16400) 사이에 페라이트(18000)가 삽입됨으로써 별도 구동 코일 사이에 형성되는 자기장이 페라이트(18000)에 집속될 수 있다. 상기 자기장이 페라이트(18000)에 집속됨으로써 타 코일(16000) 방향으로 자기장이 형성될 수 없는 일종의 차폐 효과가 발생할 수 있다. 결과적으로 상기 삽입되는 페라이트(18000)는 별도로 구동되는 코일(16300, 16400)의 상호 간섭을 배제할 수 있게 된다.Referring to FIG. 24, in order to exclude mutual interference of the coils 16300 and 16400 that are driven separately according to an embodiment of the present application, a ferrite 18000 may be inserted between the separate drive coils 16300 and 16400. have. Magnetic fields that interfere with each other may be magnetic fields formed between the separate driving coils 16300 and 16400. The magnetic field formed between the separate driving coils 16300 and 16400 is formed in the direction of the other coil 16000 to affect the magnetic field formed in the other coil 16000. Therefore, the ferrite 18000 is inserted between the coils 16300 and 16400 so that a magnetic field formed between separate driving coils may be focused on the ferrite 18000. By concentrating the magnetic field on the ferrite 18000, a kind of shielding effect may occur in which the magnetic field cannot be formed in the direction of the other coil 16000. As a result, the inserted ferrite 18000 may exclude mutual interference of the coils 16300 and 16400 that are separately driven.
2.3 페라이트2.3 ferrite
본 출원의 일 실시예에 따른 페라이트(18000)는 자기장의 속성에 영향을 줄 수 있다. 예를 들어, 페라이트(18000)는 발생된 자기장의 세기에 영향을 줄 수 있다. 구체적으로는 자기장을 구성하는 자기선속에 영향을 줌으로써 일정 면적을 통과하는 자기선 수를 증가하거나 감소시키는 영향을 줘 자기장의 세기에 영향을 줄 수 있을 것이다.The ferrite 18000 according to the exemplary embodiment of the present application may affect the property of the magnetic field. For example, ferrite 18000 may affect the strength of the generated magnetic field. Specifically, the influence of the magnetic flux constituting the magnetic field may increase or decrease the number of magnetic rays passing through a predetermined area, thereby affecting the strength of the magnetic field.
이하에서는 본 출원의 일 실시예에 따른 증착의 실효율을 높이기 위하여 크루시블(13000)의 열 분포를 제어하는 방법에는 가열 어셈블리에 페라이트(18000)를 배치하는 다양한 방법에 대하여 설명하도록 한다. 예를 들어, 상기 방법에는 페라이트(18000)의 형상을 다양하게하여 배치하는 방법, 크루시블(13000)의 외벽(13100) 내부에 페라이트(18000)를 배치하는 방법, 페라이트(18000)를 도포하는 방법, 페라이트(18000)를 영역별로 배치하는 방법, 및 페라이트(18000)에 윈도우를 내는 방법 등이 있을 수 있다Hereinafter, various methods of arranging the ferrite 18000 in the heating assembly will be described in the method for controlling the heat distribution of the crucible 13000 in order to increase the actual efficiency of the deposition according to the exemplary embodiment of the present application. For example, the method includes a method of arranging the ferrite 18000 in various shapes, a method of arranging the ferrite 18000 inside the outer wall 13100 of the crucible 13000, and applying the ferrite 18000. Method, a method of arranging the ferrite 18000 for each region, and a method of opening a window to the ferrite 18000.
한편, 이하에서는 페라이트(18000)는 사면을 가진 형태로 구현될 수 있을 것으로 설명 및/또는 도시하였으나, 이는 일 예일뿐 이에 국한되지 않고 페라이트(18000)는 원형, 타원형 혹은 구형 등의 다양한 형태로 존재할 수 있을 것이다.Meanwhile, hereinafter, the ferrite 18000 may be embodied in a form having a slope. However, the ferrite 18000 is not limited thereto, and the ferrite 18000 may exist in various forms such as a circle, an ellipse, or a sphere. Could be.
2.3.1 페라이트의 배치 다양화2.3.1 Diversification of Ferrite Layout
본 출원의 일 실시예에 따른 페라이트(18000)는 코일(16000)을 둘러싸는 다양한 형태로 크루시블(13000)에 배치될 수 있다.The ferrite 18000 according to the exemplary embodiment of the present application may be disposed in the crucible 13000 in various forms surrounding the coil 16000.
도 25는 본 출원의 일 실시예에 따른 페라이트가 가지는 다양한 형상을 나타내는 도면이다.25 is a view illustrating various shapes of ferrite according to an embodiment of the present application.
도 25 (a) 내지 (d)를 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 페라이트(18000)는 상기 클로즈드 쉐입의 코일(16000)의 상부 및/또는 하부 도선 일부를 덮도록 배치될 수 있다. 예를 들어, 도 25 (a) 및 (b)와 같이 클로즈드쉐입 코일(16000)의 하부가 일부 개방되도록 페라이트(18000)가 배치될 수 있다. 예를 들어, 도 28 (c) 및 (d)와 같이 클로즈드 쉐입의 코일(16000)의 상부가 일부 개방되도록 페라이트(18000)가 배치될 수 있다Referring to FIGS. 25A to 25D, the ferrite 18000 according to the exemplary embodiment of the present application may be disposed to cover a portion of the upper and / or lower conductive lines of the coil 16000 of the closed shape. For example, as illustrated in FIGS. 25A and 25B, the ferrite 18000 may be disposed to partially open the lower portion of the closed shape coil 16000. For example, the ferrite 18000 may be disposed to partially open the upper portion of the coil 16000 of the closed shape as illustrated in FIGS. 28C and 28D.
본 출원의 일 실시예에 따라 전술한 것과 같이 페라이트(18000)를 가열어셈블리에 배치하였을 때, 크루시블(13000)의 N 영역 측면 또는 F 영역 측면의 열량이 높은 열분포가 되도록 할 수 있다. 앞서 설명한 자기장 집속 속성에 따라, 구현된 크루시블(13000)의 N 영역 측면 혹은 F 영역 측면에 형성된 자기장의 세기가 높아질 수 있다. 결과적으로, 크루시블(13000)에 형성되는 유도 전류의 세기 또한 N 영역 측면 혹은 F 영역 측면이 높아지게 된다. 따라서, 결과적으로 전술한 것과 같이 페라이트(18000)를 가열 어셈블리에 배치하였을 때, 노즐(13200)에 가까운 N 영역 측면이 F 영역 측면의 열량보다 많이 혹은 F 영역 측면이 N 영역 측면의 열량보다 많이 발생하여 전술힌 열분포가 되도록 제어할 수 있다.When the ferrite 18000 is disposed in the heating assembly as described above according to the exemplary embodiment of the present application, the heat quantity of the N region side or the F region side of the crucible 13000 may be high. According to the magnetic field focusing property described above, the strength of the magnetic field formed on the N region side or the F region side of the implemented crucible 13000 may be increased. As a result, the intensity of the induced current formed in the crucible 13000 also increases in the N region side or the F region side. Therefore, as a result, when the ferrite 18000 is disposed in the heating assembly as described above, the N region side close to the nozzle 13200 generates more heat than the F region side, or the F region side generates more heat than the N region side. To control the heat distribution.
이에 따라, 상기와 같이 N 영역 측면의 열량이 F 영역 측면의 열량보다 높은 크루시블(13000)의 열 분포의 경우 증착 물질이 높은 활성 에너지를 가지고 빠른 속도로 크루시블(13000)의 노즐(13200)을 통하여 피증착면으로 향할 수 있는 효과를 가질 수 있다. 한편, F 영역 측면의 열량이 높은 열 분포의 경우에는, 증착 물질이 상 변화 임계 시간을 단축되도록 열량을 충분히 공급하는 효과를 가질 수 있을 것이다.Accordingly, in the case of the heat distribution of the crucible 13000 in which the amount of heat on the side of the N region is higher than the amount of heat on the side of the region F as described above, the nozzle of the crucible 13000 at a high speed with a high active energy is deposited. 13200 may have an effect that can be directed to the surface to be deposited. On the other hand, in the case of a heat distribution having a high heat amount on the side of the F region, the deposition material may have an effect of supplying a sufficient amount of heat so as to shorten the phase change threshold time.
도 26은 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 하면을 덮는 형태로 배치된 페라이트를 나타내는 도면이다.FIG. 26 illustrates a ferrite disposed in a form of covering a lower surface of a crucible according to an embodiment of the present application.
도 26을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 페라이트(18000)는 크루시블(13000)의 하면을 완전히 덮도록 배치될 수 있다. Referring to FIG. 26, the ferrite 18000 may be disposed to completely cover the bottom surface of the crucible 13000.
상기와 같은페라이트(18000)의 배치는 페라이트(18000)의 자기장 집속 속성에 따라 크루시블(13000)의 하면의 열량이 큰 크루시블(13000)의 열분포가 되도록 할 수 있다. 상기 페라이트(18000)가 크루시블(13000)의 하면에 자기장을 집속함에 따라, 크루시블(13000)의 하면에 발생하는 다이나믹한 자기장의 세기 변화값이 다른 부분에 비하여 상대적으로 커지게 된다. 이에 대응하여 크루시블(13000)의 하면에 발생하는 유도 전류의 세기가 커지고, 전술한 유도 가열 속성에 따라 발생하는 열량 또한 커지게 된다. 결과적으로 증착 물질이 안착되는 크루시블(13000)의 하면이 크루시블(13000)의 상면 및 측면 보다 상대적으로 큰 열량이 발생되는 크루시블(13000)의 열분포가 될 수 있을 것이다.The arrangement of the ferrite 18000 as described above may cause the heat distribution of the crucible 13000 having a large amount of heat on the lower surface of the crucible 13000 according to the magnetic field focusing property of the ferrite 18000. As the ferrite 18000 focuses the magnetic field on the bottom surface of the crucible 13000, the intensity change value of the dynamic magnetic field generated on the bottom surface of the crucible 13000 becomes relatively larger than other portions. Correspondingly, the intensity of the induced current generated on the lower surface of the crucible 13000 is increased, and the amount of heat generated according to the aforementioned induction heating property is also increased. As a result, the bottom surface of the crucible 13000 on which the deposition material is deposited may be a heat distribution of the crucible 13000 in which a relatively large amount of heat is generated than the top and side surfaces of the crucible 13000.
본 출원의 일 실시예에 따른 페라이트(18000)는 크루시블(13000)의 N 영역의 열량이 F 영역의 열량보다 높은 크루시블(13000)의 열불포가 되도록 배치될 수 있다.The ferrite 18000 according to the exemplary embodiment of the present application may be arranged such that the amount of heat in the N region of the crucible 13000 becomes a thermal non-saturation of the crucible 13000 higher than that in the F region.
도 27은 본 출원의 일 실시예에 따른 페라이트의 형상을 나타내는 도면이다.27 is a view showing the shape of a ferrite according to an embodiment of the present application.
도 27 (a)를 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 페라이트(18000)는 두께를 달리하여 가열 어셈블리에 배치될 수 있다. 예를 들어, 페라이트(18000)는 크루시블(13000)의 측면에 대응하는 위치 영역 별로 페라이트(18000)의 두께가 다르게 배치될 수 있다. 구체적으로 페라이트(18000)는 크루시블(13000)의 F 영역 측면에 대응하는 위치에 배치되는 페라이트(18000)의 두께보다 N 영역 측면에 대응하는 위치에 배치되는 페라이트(18000)의 두께가 상대적으로 두껍게 배치될 수 있다. Referring to Figure 27 (a), the ferrite 18000 according to an embodiment of the present application may be disposed in the heating assembly with a different thickness. For example, the ferrite 18000 may have a different thickness of the ferrite 18000 for each location area corresponding to the side surface of the crucible 13000. In detail, the ferrite 18000 has a thickness of the ferrite 18000 disposed at a position corresponding to the N region side rather than the thickness of the ferrite 18000 disposed at the position corresponding to the side F region of the crucible 13000. It can be placed thick.
본 출원의 일 실시예에 따른, 전술한 페라이트(18000)의 배치는 F 영역 측면보다 N 영역 측면의 열량이 높은 크루시블(13000)의 열분포가 되도록 할 수 있다. 자기장 집속 속성에 따라 상기 N 영역 측면에 형성된 자기장의 세기 변화값이 커질 수 있다. 따라서, 크루시블(13000)에 형성되는 유도 전류의 세기 또한 F 영역 측면보다 N 영역 측면이 높게 된다. 결과적으로, 도 16 (a)와 같이 유도 가열 속성에 따라 유도 전류의 세기가 큰 N 영역 측면이 F 영역 측면의 열량보다 높게 형성된 크루시블(13000)의 열분포가 될 수 있다.According to an embodiment of the present application, the above-described arrangement of the ferrite 18000 may be a heat distribution of the crucible 13000 having a higher amount of heat at the N region side than the F region side. The intensity change value of the magnetic field formed on the side of the N region may increase according to the magnetic field focusing property. Therefore, the intensity of the induced current formed in the crucible 13000 is also higher in the N region than in the F region. As a result, as shown in FIG. 16A, the N region side surface of which the intensity of the induced current is large may be higher than the heat amount of the F region side surface according to the induction heating property.
한편, 상기에서는 도 27(a) 도면을 예로 들어 클로즈드 쉐입의 코일(16000) 외측에 페라이트(18000)가 판형 형태로 형성되는 경우에 두께를 다양하게하는 실시예를 설명하였으나, 페라이트(18000)가 증착 장치(10000)에 도포되는 구현예 등의 다양한 구현예에도 상기와 같이 크루시블(13000)의 노즐(13200)에 가까운 영역에 페라이트(18000)의 두께가 달라진다는 사상이 적용될 수 있을 것이다.On the other hand, in the above described the embodiment of varying the thickness when the ferrite 18000 is formed in the form of a plate on the outside of the coil 16000 of the closed shape taking the drawing of Figure 27 (a) as an example, the ferrite 18000 is As described above, the concept of varying the thickness of the ferrite 18000 may be applied to a region close to the nozzle 13200 of the crucible 13000 as described above.
또한 도 27(b)를 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 페라이트(18000)는 크루시블(13000)의 측면에 대응하는 각각의 위치 영역으로부터 거리가 다르게 배치될 수 있다. 예를 들어, 크루시블(13000)의 F 영역보다 N 영역에 페라이트(18000)가 가깝게 배치될 수 있다. 상기와 같은 배치를 위해 페라이트(18000)는 크루시블(13000)의 노즐(13200) 부분에는 가깝고 그 외의 부분에서는 멀도록 약간의 경사를 가지고 형성될 수 있다.In addition, referring to FIG. 27B, the ferrite 18000 according to the exemplary embodiment of the present application may be disposed to have a different distance from each location area corresponding to the side surface of the crucible 13000. For example, the ferrite 18000 may be disposed closer to the N region than the F region of the crucible 13000. For the above arrangement, the ferrite 18000 may be formed with a slight inclination so as to be close to the nozzle 13200 portion of the crucible 13000 and far from the other portion.
본 출원의 일 실시예에 따른 상기 경사를 가지는 페라이트(18000)의 배치는 F 영역 측면보다 N 영역 측면의 열량이 높은 크루시블(13000)의 열분포가 되도록 할 수 있다. 페라이트(18000)의 자기장 집속 속성에 따라 F 영역 측면보다 N 영역 측면에 집속되는 자기선속이 많아 질 수 있다. 이에 따라, N 영역 측면에 형성된 자기장의 세기 변화값이 커질 수 있다. 결과적으로 크루시블(13000)에 형성되는 유도 전류의 세기 또한 F 영역 측면보다 N 영역 측면이 높게 된다. 따라서, 도 16(a)를 참조하면, 전술한 것과 같이 크루시블(13000)을 구현하였을 때 노즐(13200)에 가까운 N 영역 측면이 F 영역 측면의 열량보다 높게 형성된 크루시블(13000)의 열분포가 되도록 제어할 수 있다.The arrangement of the ferrite 18000 having the inclination according to the exemplary embodiment of the present application may be such that the heat distribution of the crucible 13000 is higher than the F region side. Depending on the magnetic field focusing property of the ferrite 18000, the magnetic flux focused on the N region side rather than the F region side may be increased. Accordingly, the intensity change value of the magnetic field formed on the side of the N region may be increased. As a result, the intensity of the induced current formed in the crucible 13000 is also higher in the N region than in the F region. Therefore, referring to FIG. 16A, when the crucible 13000 is implemented as described above, the portion of the crucible 13000 having the N region side closer to the nozzle 13200 is higher than the calorific value of the F region side surface. The heat distribution can be controlled.
다만, 상기에서는 크루시블(13000)의 노즐(13200) 부분에 가깝게 페라이트(18000)가 형성될 수 있도록 소정의 경사를 가지고 형성된다고 하였으나, 페라이트(18000)가 경사를 가지고 구현되는 실시예 이외에도 노즐(13200) 부분에 가깝게 페라이트(18000)가 형성될 수 있는 형상이라면 어느 형상에 국한되지 않고 형성될 수 있을 것이다.However, in the above, the ferrite 18000 is formed to have a predetermined inclination so that the ferrite 18000 may be formed close to the nozzle 13200 of the crucible 13000. In addition to the embodiment in which the ferrite 18000 is implemented with the inclination, the nozzle As long as the ferrite 18000 may be formed close to the portion 13200, the ferrite 18000 may be formed without being limited to any shape.
2.3.2 크루시블 외벽 내부의 페라이트 배치 다양화2.3.2 Diversifying Ferrite Placement Inside Crucible Exterior Walls
본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블(13000)의 내부에 포함되는 형태로 배치된 페라이트(18000)는 크루시블(13000) 내부에 영역 별로 다르게 배치되도록 구현할 수 있다. The ferrite 18000 disposed in the form of the crucible 13000 according to the exemplary embodiment of the present application may be implemented to be differently disposed for each region in the crucible 13000.
도 28은 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 외벽에 포함된 페라이트를 나타내는 절단된 측면 도면이다.28 is a cut side view illustrating ferrite included in an outer wall of a crucible according to an embodiment of the present application.
도 28를 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 페라이트(18000)가 크루시블(13000)의 측면에 삽입되는 형태로 배치된 경우, 측면의 영역 별로 다르게 배치되어 형성될 수 있다. 예를 들어, 크루시블(13000)의 N 영역 측면에 페라이트(18000)가 삽입되는 형태로 배치될 수 있을 것이다.Referring to FIG. 28, when the ferrite 18000 according to the exemplary embodiment of the present application is disposed in the form of being inserted into the side of the crucible 13000, the ferrite 18000 may be formed to be differently formed for each region of the side surface. For example, the ferrite 18000 may be inserted into the N region side of the crucible 13000.
전술하였듯이, 본 발명의 일 실시예에 따라 배치한 페라이트(18000)는 F 영역 측면보다 N 영역 측면의 열량이 높은 크루시블(13000)의 열분포가 되도록 할 수 있다. 상기 페라이트(18000)는 자기장을 집속 속성에 따라 크루시블(13000)의 N 영역 측면에 다이나믹한 자기장의 세기 변화값을 보다 커지게 할 수 있다. 결과적으로, 크루시블(13000)에 형성되는 유도 전류의 세기 또한 F 영역 측면보다 N 영역 측면이 높게 될 수 있다. 따라서, 도 16 (a)와 같이 노즐(13200)에 가까운 N 영역 측면이 F 영역 측면의 열량보다 크게 형성된 크루시블(13000)의 열분포가 되도록 제어할 수 있다.As described above, the ferrite 18000 disposed according to the exemplary embodiment of the present invention may have a heat distribution of the crucible 13000 having a higher amount of heat in the N region side than in the F region side. The ferrite 18000 may increase the intensity change value of the dynamic magnetic field on the side of the N region of the crucible 13000 according to the focusing property of the magnetic field. As a result, the intensity of the induced current formed in the crucible 13000 may also be higher in the N region side than in the F region side. Therefore, as illustrated in FIG. 16A, the N region side surface close to the nozzle 13200 may be controlled to be the heat distribution of the crucible 13000 formed larger than the heat quantity of the F region side surface.
2.3.3 페라이트 도포 다양화2.3.3 Diversification of Ferrite Coating
본 출원의 일 실시예에 따라 페라이트가 도포되는 경우, 가열 어셈블리 일부 영역에만 도포되는 형태로 구현될 수 있다. When the ferrite is applied according to an embodiment of the present application, it may be implemented in a form that is applied only to a portion of the heating assembly.
도 29는 본 출원의 일 실시예에 따른 가열 어셈블리에 도포된 페라이트(18000)를 나타낸 도면이다.29 is a view showing a ferrite 18000 applied to the heating assembly according to an embodiment of the present application.
도 29 (a) 내지 (c)를 참조하면, 크루시블(13000)의 열 분포를 제어하기 위하여 페라이트(18000)는 하우징(11000) 외벽의 내면 및/또는 크루시블(13000) 외벽(13100)의 일부 영역에만 도포될 수 있다. 상기와 같이 일부 영역에 페라이트(18000)가 도포되는 경우, 페라이트(18000)가 도포된 위치에 대응하는 크루시블(13000)의 일부 영역에 자기장의 세기 변화값이 크게 될 수 있다. 이에 따라, 크루시블(13000)에 유도되는 전류 세기 분포가 달라질 수 있게 되며, 크루시블(13000)에 발생하는 열량을 다르게함으로써 결과적으로 도 16 (a)와 같이 크루시블(13000)의 열분포를 제어할 수 있게 될 것이다.Referring to FIGS. 29A to 29C, in order to control the heat distribution of the crucible 13000, the ferrite 18000 may include an inner surface of the outer wall of the housing 11000 and / or an outer wall 13100 of the crucible 13000. May be applied only to a portion of the area). As described above, when the ferrite 18000 is applied to a portion of the region, the intensity change value of the magnetic field may be increased in a portion of the crucible 13000 corresponding to the position where the ferrite 18000 is applied. Accordingly, the current intensity distribution induced in the crucible 13000 may vary, and as a result, by varying the amount of heat generated in the crucible 13000, as a result, the crucible 13000 of FIG. You will be able to control the heat distribution.
2.3.4 일부 영역에 페라이트배치2.3.4 Ferrite placement in some areas
본 출원의 일 실시예에 따른 페라이트(18000)는 크루시블(13000)의 측면의 일부에 대응하는 위치 영역에 배치될 수 있다.The ferrite 18000 according to the exemplary embodiment of the present application may be disposed in a location area corresponding to a portion of the side surface of the crucible 13000.
도 30은 본 출원의 일 실시예에 따른 페라이트가 크루시블의 노즐과 가까운 부분에 페라이트가 형성된 것을 나타내는 도면이다.30 is a view showing that the ferrite is formed in a portion close to the nozzle of the crucible according to an embodiment of the present application.
도 30 (a)를 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 페라이트(18000)는 크루시블(13000) 측면의 N 영역에 대응하는 위치 영역에만 배치될 수 있다. 이때, 도 30(b)를 참조하면, 페라이트(18000)는 경사를 가지고 N 영역에 대응하는 위치에 배치될 수도 있을 것이다. Referring to FIG. 30 (a), the ferrite 18000 according to the exemplary embodiment of the present application may be disposed only in the location area corresponding to the N area of the side surface of the crucible 13000. In this case, referring to FIG. 30B, the ferrite 18000 may be disposed at a position corresponding to the N region with the inclination.
전술한 것과 같이 페라이트(18000)를 배치하였을 때 페라이트(18000)는 F 영역 측면보다 N 영역 측면의 열량이 높은 크루시블(13000)의 열분포가 되도록 할 수 있다. 상기 페라이트(18000)는 자기장을 집속 속성에 따라 N 영역 측면의 자기장 세기 변화값을 크게 할 수 있다. 이에 따라 크루시블(13000)에 형성되는 유도 전류의 세기 또한 F 영역 측면보다 N 영역 측면이 높게 형성된다. 따라서, 결과적으로 도 16를 참조하면, 전술한 것과 같이 크루시블(13000)을 구현하였을 때 노즐(13200)에 가까운 N 영역 측면이 F 영역 측면의 열량보다 높게 형성된 열분포가 되도록 제어할 수 있다. 이에 따라, 상기와 같이 크루시블(13000)의 열분포가 제어됨에 따라 증착의 실효율은 높아 질 수 있다.As described above, when the ferrite 18000 is disposed, the ferrite 18000 may be a heat distribution of the crucible 13000 having a higher amount of heat in the N region side than in the F region side. The ferrite 18000 may increase the magnetic field intensity change value of the N region side according to the focusing property of the magnetic field. Accordingly, the intensity of the induced current formed in the crucible 13000 is also higher in the N region than in the F region. Therefore, as a result, referring to FIG. 16, when the crucible 13000 is implemented as described above, the N region side close to the nozzle 13200 may be controlled to have a heat distribution formed higher than the heat amount of the F region side. Accordingly, as the heat distribution of the crucible 13000 is controlled as described above, the actual efficiency of deposition may be increased.
3. 조합예3. Combination Example
전술하였듯이, 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블(13000)의 열분포를 제어하기 위하여 가열 어셈블리는 다양한 구현예 및/또는 배치예를 가질 수 있다.As described above, the heating assembly may have various implementations and / or arrangements for controlling the heat distribution of the crucible 13000 according to an embodiment of the present application.
본 출원의 일 실시예에 따른 전술한 구현예 및/또는 배치예들의 기술적 사상은 조합되어 가열 어셈블리에 구현될 수 있다. 이때, 기술적 사상이란 전술한예들이 구체적으로 어떻게 구현 및/또는 배치 될 것인지를 의미할 수 있다. 즉, 구현예들의 조합이란 구체적으로 전술한 다양한 형상으로 구현되는 크루시블(13000)의 구현예, 코일(16000)의 구현예, 및/또는 페라이트(18000)의 배치예들이 가열 어셈블리에 조합되어 적용되는 것을 의미할 수 있다.The technical spirit of the above-described embodiments and / or arrangements according to an embodiment of the present application may be combined and implemented in the heating assembly. In this case, the technical idea may mean how the above-described examples will be specifically implemented and / or arranged. That is, a combination of embodiments is specifically defined as an embodiment of the crucible 13000, an embodiment of the coil 16000, and / or arrangements of the ferrites 18000 that are implemented in the various shapes described above in combination with the heating assembly. May mean to be applied.
상기 다양한 실시예들은 조합되어 실시될 수 있는데, 이하에서는 구체적으로 전술하였던 Z축 방향의 가열 어셈블리 설계에 관한 실시예들이 X축, Y축 방향에서도 적용될 수 있음을 설명하도록 한다.The various embodiments may be implemented in combination. Hereinafter, the embodiments related to the heating assembly design in the Z-axis direction described above may be applied to the X-axis and Y-axis directions.
도 31은 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 측면을 나타내는 도면이다.31 is a view illustrating a side of a crucible according to an embodiment of the present application.
도 31을 참조하면, 전술하였던 각 가열 어셈블리의 Z축 방향으로의 실시예들이 X축 혹은 Y축 방향으로도 적용되어, 상기 가열 어셈블리가 구현될 수 있다.Referring to FIG. 31, the above-described embodiments in the Z-axis direction of each heating assembly may also be applied in the X-axis or Y-axis direction, such that the heating assembly may be implemented.
예를 들어, Y축 방향으로 전술한 실시예들이 적용되어 상기 가열 어셈블리가 구현되는 예에 대하여 설명하도록 한다.For example, the above embodiments are applied in the Y-axis direction to describe an example in which the heating assembly is implemented.
크루시블의 Y축 방향으로 복수개의 영역이 구별되어 있을 수 있다. 상기 크루시블의 Y축 방향의 영역은 N개의 영역으로 나뉠 수 있으며, 이하에서 상기 각 영역은 제1 Y영역 내지 제N Y영역이라고 부르기로 한다.A plurality of regions may be distinguished in the Y-axis direction of the crucible. The region in the Y-axis direction of the crucible may be divided into N regions, hereinafter, each of the regions will be referred to as a first Y region to an Nth Y region.
본 출원의 일 실시예들을 따르는 가열 어셈블리의 구현을 위해, 제1 Y영역 내지 제N Y영역에 각각 열분포 속성이 할당되도록 전술한 다양한 실시예들에 기초하여 상기 가열 어셈블리가 설계될 수 있다. 일 예로, 상기 제1 Y영역의 제1 열분포가 제2 Y영역의 제2 열분포보다 높게 형성되도록, 가열 어셈블리가 설계될 수 있다. For the implementation of the heating assembly according to the embodiments of the present application, the heating assembly may be designed based on the above-described various embodiments so that the heat distribution property is assigned to each of the first Y region to the Nth Y region. For example, the heating assembly may be designed such that the first heat distribution of the first Y region is higher than the second heat distribution of the second Y region.
이하에서는 상기 Y 방향으로의 가열 어셈블리의 설계에 일 예들에 대하여 설명하도록 한다.Hereinafter, an example will be described in the design of the heating assembly in the Y direction.
도 32 내지 35는 본 출원의 일 실시예에 따른 Y축 방향에서의 가열 어셈블리의 설계에 대한 도면이다. 32 to 35 are views for designing a heating assembly in the Y axis direction according to an embodiment of the present application.
상기 크루시블은 도 32에 도시된 바와 같이, 제1 Y영역의 측면이 제2 Y영역의 측면보다 코일에 가깝게 형성되도록 제2 Y영역의 측면에 비하여 돌출되어 구현될 수 있다. As shown in FIG. 32, the crucible may be implemented to protrude relative to the side of the second Y region such that the side of the first Y region is formed closer to the coil than the side of the second Y region.
또한, 도 33을 참조하면, 상기 크루시블의 Y 방향의 외벽의 두께는 다르게 구현되어, 제1 Y영역의 크루시블 외벽의 두께가 제2 Y영역의 크루시블의 외벽의 두께보다 두껍게 구현될 수 있다. 또한, 도 33 (b)에 도시된 바와 같이 제2 Y영역의 크루시블의 외벽의 두께가 조절됨으로써 코일과의 거리 또한 멀어질 수 있다.In addition, referring to FIG. 33, the thickness of the outer wall in the Y direction of the crucible is implemented differently so that the thickness of the crucible outer wall of the first Y region is thicker than the thickness of the crucible outer wall of the second Y region. Can be implemented. In addition, as shown in FIG. 33 (b), the thickness of the outer wall of the crucible of the second Y region may be adjusted to increase the distance from the coil.
상기 Y 방향으로 배치되는 코일은 크루시블의 외벽과의 거리를 달리하며 배치될 수 있다. 도 34를 참조하면, 상기 코일은 제1 Y영역에서 가깝게 배치되고, 제2 Y영역에서는 멀리 배치될 수 있다.The coils arranged in the Y direction may be disposed with different distances from the outer wall of the crucible. Referring to FIG. 34, the coil may be disposed closer to the first Y region and farther away from the second Y region.
도 35를 참조하면, Y 방향으로 배치되는 페라이트의 구현예 및/또는 배치예가 Y 영역에 따라 달라질 수 있다. 도 35 (a)에 도시된 바와 같이 제1 Y영역에 배치되는 페라이트의 두께가 제2 Y영역에 비하여 두껍게 구현될 수 있고, 도 35 (b)에 도시된 바와 같이 경사를 제1 Y영역 거리가 제2 Y영역에 비하여 멀도록 구현될 수도 있다. 도 35 (c) 내지 (d)에 도시된 바와 같이, 제1 Y영역에 대응하는 영역에만 페라이트가 도포되거나 혹은 배치될 수 있을 것이다.Referring to FIG. 35, an embodiment and / or an arrangement of ferrites arranged in the Y direction may vary depending on the Y region. As shown in (a) of FIG. 35, the thickness of the ferrite disposed in the first Y region may be thicker than that of the second Y region, and as shown in FIG. May be implemented to be farther than the second Y region. As shown in FIGS. 35C to 35D, ferrite may be applied or disposed only to a region corresponding to the first Y region.
상기 구현예들에 따라 가열 어셈블리가 설계 되었을 때, 전술한 사상에 따라 크루시블의 제1 Y영역의 측면이 제2 Y영역의 측면보다 영향 받는 자기장의 세기 변화값은 상대적으로 더 커지게 된다. 또한, 자기장의 세기 변화값에 대응하여 제1 Y영역의 크루시블 측면에서 유도 전류의 세기가 상대적으로 제2 Y 영역보다 커지게 될 수 있다.When the heating assembly is designed according to the above embodiments, the intensity change value of the magnetic field in which the side of the first Y region of the crucible is affected more than the side of the second Y region is relatively larger according to the above-described idea. . In addition, the intensity of the induced current in the crucible side of the first Y region may be relatively larger than the second Y region in response to the intensity change value of the magnetic field.
결과적으로, 상기 제1 Y 영역의 측면에서의 열량 발생이 제2 Y 영역의 측면보다 상대적으로 많아져, 상기 제1 Y영역의 제1 열분포가 제2 Y영역의 제2 열분포보다 높은 열량 분포가 되도록 크루시블이 설계될 수 있을 것이다.As a result, the amount of heat generated at the side surface of the first Y region is relatively higher than that of the side surface of the second Y region, so that the heat distribution of the first heat distribution of the first Y region is higher than that of the second heat distribution of the second Y region. Crucibles may be designed as much as possible.
한편, 상기 Y축의 방향으로 가열 어셈블리가 설계되는 것으로 설명하였으나, 이에 국한되지 않고 X축 방향의 영역에서 가열 어셈블리의 설계에도 상기 설계예들이 활용될 수 있을 것이다.On the other hand, it has been described that the heating assembly is designed in the Y-axis direction, but is not limited thereto, the design examples may be used in the design of the heating assembly in the region of the X-axis direction.
이상에서는, 복수의 Y 영역 중 두 영역의 열분포만을 제어하기 위하여 가열 어셈블리를 설계하는 예에 대하여 설명하였으나, 이에 국한되지 않고 N개의 영역의 각각의 열분포를 제어하기 위하여 가열 어셈블리를 설계하도록 전술한 설계가 활용될 수 있다. 한편, 상기 영역들의 간격은 등 간격, 다른 간격, 혹은 랜덤한 간격으로 다양하게 존재할 수 있다.In the above, an example in which the heating assembly is designed to control only the heat distribution of two regions of the plurality of Y regions has been described, but the present invention is not limited thereto, and the above-described design is designed to design the heating assembly to control each thermal distribution of the N regions. Can be utilized. Meanwhile, the intervals of the regions may exist in various ways at equal intervals, at different intervals, or at random intervals.
상기 각 축의 영역별로 전술한 설계들이 하나 혹은 그 이상으로 조합되어 가열 어셈블리에 적용될 수도 있을 것이다. 본 출원의 증착 장치(110000)는 최적의 구현예를 위하여 전술한 구현예들 모두가 조합되어 구현될 수 있고, 전술한 구현예들 중 일부 구현예들만이 조합되어 구현될 수도 있을 것이다.One or more combinations of the above designs may be applied to the heating assembly for each axis region. The deposition apparatus 10000 of the present application may be implemented in combination with all of the above-described embodiments for optimal implementation, and only some of the above-described embodiments may be implemented in combination.
이하에서는 전술한 상기 실시예들이 조합되어 설계된 가열 어셈블리를 설명하도록 한다.Hereinafter will be described a heating assembly designed by combining the above-described embodiments.
도 36는 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 Z 방향으로 실시예를 조합하여 구현한 가열 어셈블리를 나타내는 도면이다.36 is a view illustrating a heating assembly implemented by combining the embodiments in the Z direction of the crucible according to the embodiment of the present application.
도 37은 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 X, Y, Z 방향으로 실시예를 조합하여 구현한 가열 어셈블리를 나타내는 도면이다.37 is a view illustrating a heating assembly implemented by combining the embodiments in the X, Y, and Z directions of the crucible according to the embodiment of the present application.
도 36 (a)를 참조하면, Z1 내지 Z2 영역에 전술한 크루시블(13000)의 구현예와 코일(16000)의 구현예가 각각 적용되어 조합될 수 있다. 크루시블(13000)의 노즐(13200)에 가까운 측면 영역인 Z1 영역에는 다른 먼 측면 영역인 Z2 영역보다 크루시블(13000)의 측면이 돌출되어 코일(16000)에 가깝게 구현될 수 있다. 또한, 상기 Z1 영역의 대응되는 위치에는 권선수가 많은 코일(16000)이 배치될 수 있다. 이에 따라, 크루시블(13000)의 노즐(13200) 가까운 측면 영역인 Z1 영역에서 크루시블의 열 발생이 높은 열 분포가 되도록 할 수 있다.Referring to FIG. 36 (a), the above-described embodiment of the crucible 13000 and the embodiment of the coil 16000 may be applied and combined in the regions Z1 to Z2, respectively. A side surface of the crucible 13000 may protrude from the Z1 region, which is a side region close to the nozzle 13200 of the crucible 13000, to be closer to the coil 16000. In addition, a coil 16000 having a large number of turns may be disposed at a corresponding position of the Z1 region. Accordingly, the heat generation of the crucible can be made high in the Z1 region, which is a side region close to the nozzle 13200 of the crucible 13000.
또한, 도 36 (b)에 도시된 바와 같이 증착 장치(10000)는 별도로 구동 코일(16000)이 구현되는 구현예, 코일(16000)의 구현예, 및 페라이트(18000) 구현예가 조합되어 구현될 수 있다. Z1 영역에는 Z2 영역보다 크루시블의 측면이 돌출되어 코일(16000)에 가깝게 구현되고, 크루시블(13000)의 Z1 및 Z2 영역에 배치되는 코일(16000)은 별도로 구동되며, Y1 영역에 배치되는 페라이트(18000)의 두께가 Z2 영역에 배치되는 페라이트(18000)보다 두껍도록 페라이트(18000)가 Z1 내지 Z2 영역에 걸쳐 배치될 수 있다. 이에 따라, 크루시블(13000)의 노즐(13200) 가까운 측면 영역인 Z1 영역에서 크루시블의 열 발생이 높은 열 분포가 되도록 할 수 있다.In addition, as illustrated in FIG. 36B, the deposition apparatus 10000 may be implemented by combining an embodiment in which the driving coil 16000 is separately implemented, an embodiment of the coil 16000, and an embodiment of the ferrite 18000. have. In the Z1 region, the side of the crucible protrudes closer to the coil 16000 than the Z2 region, and the coil 16000 disposed in the Z1 and Z2 regions of the crucible 13000 is driven separately and disposed in the Y1 region. The ferrite 18000 may be disposed over the Z1 to Z2 regions such that the ferrite 18000 is thicker than the ferrite 18000 disposed in the Z2 region. Accordingly, the heat generation of the crucible can be made high in the Z1 region, which is a side region close to the nozzle 13200 of the crucible 13000.
이하에서는 3차원적인 X, Y, Z 방향의 영역별로 설계된 가열 어셈블리를 설명하도록 한다.Hereinafter, a heating assembly designed for each of three-dimensional regions of X, Y, and Z directions will be described.
본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블(13000)이 Y 방향으로 길이방향을 가진 직육각형태로 형성되는 경우, 상기 크루시블(13000)에 발생하는 열량은 길이 방향의 측면에서 더 많이 발생할 수 있다. 따라서, 열량은 크루시블(13000)의 X 축의 영역과 Y축의 영역에서 다르게 발생하여, 크루시블의 열 분포가 길이 방향의 양 끝에서 낮아지는 불균일한 열분포가 될 수 있다. 상기 불균일한 크루시블의 열분포에 의해, 증착 물질은 균일하게 충분한 열량을 공급받지 못할 수 있다. 이에 따라, 상기 증착 물질은 피증착면에 균일하게 형성되도록 이동할 수 없어 결과적으로 증착의 실효율이 낮아질 수 있다.When the crucible 13000 according to the exemplary embodiment of the present application is formed in a rectangular shape having a longitudinal direction in the Y direction, the amount of heat generated in the crucible 13000 is more generated in the longitudinal direction. Can be. Therefore, the heat amount may be generated differently in the region of the X-axis and the region of the Y-axis of the crucible 13000, so that the heat distribution of the crucible may be a non-uniform heat distribution that is lowered at both ends in the longitudinal direction. Due to the heterogeneous thermal distribution, the deposition material may not be uniformly supplied with sufficient heat. Accordingly, the deposition material may not move to be uniformly formed on the surface to be deposited, and as a result, the actual efficiency of deposition may be lowered.
본 출원의 일 실시예에 따른 페라이트(18000)는 크루시블(13000)의 열분포가 균일할 수 있도록 제어될 수 있다.The ferrite 18000 according to the exemplary embodiment of the present application may be controlled so that the heat distribution of the crucible 13000 may be uniform.
본 출원의 일 실시예에 따른 페라이트(18000)가 크루시블의 Y 축의 영역 및 Z축의 영역 중 일부 영역에 배치되고, X 축의 영역의 전 영역에 배치되어 가열 어셈블리가 설계될 수 있다. 결과적으로, 도 37에 도시된 바와 같이 크루시블의 길이 방향의 측면에 윈도우를 둔 페라이트(18000) 형상으로 가열 어셈블리에 배치될 수 있다. The ferrite 18000 according to the exemplary embodiment of the present application may be disposed in a portion of the region of the Y axis and the region of the Z axis of the crucible, and may be disposed in the entire region of the region of the X axis to design the heating assembly. As a result, as shown in FIG. 37, the heating assembly may be disposed in the shape of a ferrite 18000 having a window on the side of the crucible in the longitudinal direction.
상기 크루시블(13000)의 Y 방향의 측면 영역에 영향 주는 자기장 세기 변화값은 윈도우가 없는 경우보다 작아진다. 이에 따라, 크루시블(13000)의 Y 방향의 측면 영역에서의 유도 전류 세기는 상대적으로 윈도우가 없는 경우보다 낮아질 수 있다. 결과적으로, 크루시블(13000)의 길이 방향의 측면에 발생하는 열량이 줄어들어, 도 17과 같이 크루시블(13000)의 측면은 Y 방향에서 균일한 열분포를 가질 수 있도록 제어될 수 있을 것이다.The change in magnetic field strength affecting the lateral region in the Y direction of the crucible 13000 is smaller than in the case where there is no window. Accordingly, the induced current intensity in the side region of the crucible 13000 in the Y direction may be lower than that without the window. As a result, the amount of heat generated in the longitudinal side of the crucible 13000 is reduced, so that the side of the crucible 13000 may be controlled to have a uniform heat distribution in the Y direction as shown in FIG. 17.
이상에서는 전술한 다양한 실시예들이 조합되어 설계된 가열 어셈블리에 대하여 설명하였다. 한편, 본 출원의 일 실시예에 따른 증착 장치(10000)를 구현하기 위하여 조합되어 적용되는 구현예들은 구현예의 기술적 사상에 변함이 없는 한, 전술한 구현예들의 다양한 변형예를 가지고 조합될 수 있다.The foregoing has described a heating assembly designed by combining the various embodiments described above. Meanwhile, the embodiments applied in combination to implement the deposition apparatus 10000 according to an embodiment of the present application may be combined with various modifications of the above-described embodiments, as long as the technical spirit of the embodiments does not change. .
지금까지, 증착 장치(10000)는 전술한 증착 장치(10000)의 중요한 이슈인 피증착면에 증착 물질이 증착되는 증착 성공율을 높이는 이슈를 해결하기 위하여 증착 장치(10000)가 구현될 수 있는 다양한 실시예들에 대하여 설명하였다.Until now, the deposition apparatus 10000 has various implementations in which the deposition apparatus 10000 may be implemented to solve the issue of increasing the deposition success rate in which deposition materials are deposited on the deposition surface, which is an important issue of the deposition apparatus 10000 described above. Examples have been described.
4. 크루시블의 열 평형 제어4. Thermal equilibrium control of crucibles
지금까지 본 출원의 일 실시예들에 따라 가열 어셈블리를 설계하여 X, Y, 및 Z 방향의 크루시블 각 영역의 열 분포를 제어하는 방법들에 대하여 설명하였다.So far, the method of designing a heating assembly according to embodiments of the present application to control the heat distribution of the crucible angular regions in the X, Y, and Z directions has been described.
이하에서는, 본 출원의 크루시블의 열적 평형을 제어하는 방법에 대하여 설명하도록 한다.Hereinafter, a method of controlling the thermal balance of the crucible of the present application will be described.
본 출원의 일 실시예에 따른 증착 물질이 크루시블로부터 원활히 배출될 수 있도록, 크루시블의 열 평형이 제어되어야 한다.The thermal balance of the crucible must be controlled so that the deposition material according to one embodiment of the present application can be smoothly discharged from the crucible.
도 38은 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블 하부면의열 평형을 나타내는 도면이다.38 is a diagram illustrating thermal balance of a crucible lower surface according to an embodiment of the present application.
도 38을 참조하면, 크루시블의 하부면의 열적 평형은 다양한 수치의 열량에서 이루어질 수 있다. 예를 들어, (b) 및 (c)와 같이 증착 물질의 상변이 열량(Tv)보다 높은 열량에서 상기 열적 평형이 이루어질 수 있고, 또는 (a)와 같이 상변이 열량보다 낮은 열량에서 열적 평형이 이루어질 수도 있다.Referring to FIG. 38, the thermal equilibrium of the bottom surface of the crucible can be at various values of calories. For example, the thermal equilibrium may be achieved at a calorie higher than the phase change calorie (Tv) of the deposition material, as shown in (b) and (c), or the thermal equilibrium may be reduced at It may be done.
이때 열적 평형이란, 공급되는 열량과 배출되는 열량이 동일하게 되어 시간에 따른 열량이 동일하게 유지되는 것을 의미할 수 있다. 이러한, 열적 평형 상태에서도 상기 크루시블 하부면에는 계속하여 열량이 공급되며, 열량이 배출되기 때문에 상기 평형상태는 구체적으로 동적 평형상태라고 할 수도 있다.In this case, the thermal equilibrium may mean that the amount of heat supplied and the amount of heat discharged are the same, so that the amount of heat over time is kept the same. Even in such a thermal equilibrium state, heat is continuously supplied to the bottom surface of the crucible, and thus the equilibrium state may be specifically referred to as a dynamic equilibrium state.
도 38을 다시 참조하면, 증착 물질이 상전이하여 피증착면으로 이동하기 위해서는 크루시블의 하부면의 열적 평형은 (b) 및 (c)와 같이 증착 물질의 상변이 열량(Tv)보다 높은 열량에서 이루어져야 한다. 상기 상변이 열량보다 높은 열량이 증착 물질로 계속하여 공급됨으로써 증착 물질은 계속하여 상전이하고 이동할 수 있게 된다. 이에 따라, 피증착면으로 상기 상전이한 증착 물질이 계속하여 이동됨으로써 지속적인 증착이 이루어질 수 있게 된다.Referring to FIG. 38 again, in order for the deposition material to phase shift and move to the deposition surface, the thermal equilibrium of the lower surface of the crucible is higher than the phase change calorific value Tv of the deposition material as shown in (b) and (c). Should be done in As the amount of heat higher than the amount of phase change is continuously supplied to the deposition material, the deposition material can continue to phase change and move. Accordingly, the phase change deposition material continues to move to the surface to be deposited, so that continuous deposition can be achieved.
다만, (c)와 같이 크루시블의 하부면의 열적 평형이 이루어지는 경우는, 증착 물질의 상전이 열량(Tv)보다 과도하게 높은 열량이 공급되는 것일 수 있다. 이에 따라, (1) 증착 물질이 과도하게 빠른 속도로 크루시블의 노즐로부터 배출됨으로써, 피증착면에 증착되는 증착 물질은 제대로 안착될 수 있는 충분한 시간을 가질 수 없어 증착의 균일도(uniforminty)가 떨어 질 수 있다. 또한, (2) 상기 낭비되는 에너지가 많아질 수 있다. 따라서, (c)와 같이 열적 평형이 이루어지는 것은 크루시블 하부면의 열적 평형을 비효율적으로 제어하였다고 할 수 있다.However, when the thermal equilibrium of the lower surface of the crucible is performed as shown in (c), the amount of heat excessively higher than the amount of heat (Tv) of the phase change of the deposition material may be supplied. Accordingly, (1) the deposition material is discharged from the nozzle of the crucible at an excessively high speed, so that the deposition material deposited on the surface to be deposited may not have enough time to properly settle, resulting in uniformity of deposition. Can fall. In addition, (2) the wasted energy may be increased. Therefore, it can be said that thermal equilibrium such as (c) inefficiently controlled the thermal equilibrium of the crucible lower surface.
즉, 크루시블의 하부면의 열적 평형은 바람직하게 (b)와 같이 증착 물질의 상전이 열량(Tv)보다 적절히 높게 형성될 수 있다. 상기와 같은 크루시블의 열 평형 제어에 따라 에너지를 효율적으로 증착물질에 제공하여 피증착면으로 증착 물질을 증착시킬 수 있게된다.That is, the thermal equilibrium of the bottom surface of the crucible may be formed to be suitably higher than the phase change calorific value Tv of the deposition material, as in (b). According to the thermal balance control of the crucible as described above, energy can be efficiently provided to the deposition material to deposit the deposition material on the surface to be deposited.
한편, 크루시블의 열적 평형을 제어함에 있어 크루시블의 상부면의 열적 평형이 문제될 수 있다. 증착 장치의 동작에 있어, 가장 이슈되는 사항은 크루시블의 상부에서 충분한 열량을 공급받은 증착 물질이 크루시블의 노즐로부터 원활하게 배출되어 피증착면에 증착될 수 있는지 여부이기 때문이다.On the other hand, in controlling the thermal balance of the crucible, the thermal balance of the top surface of the crucible may be a problem. In operation of the deposition apparatus, the most important issue is whether or not the deposition material supplied with sufficient heat at the top of the crucible can be smoothly discharged from the crucible nozzle and deposited on the surface to be deposited.
도 39는 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 상부와 하부의 열적 평형을 나타내는 도면이다.FIG. 39 illustrates thermal equilibrium between the top and bottom of a crucible according to an embodiment of the present application.
도 39(a)를 참조하면, 크루시블의 상부에 발생되는 열량은 (1) 크루시블을 지속적으로 가열함에 따라, 크루시블의 상부에 발생되는 고열량이 크루시블의 하부로 전도되어 축적되고, (2) 크루시블의 상부에 발생되는 고열량은 노즐을 통해 배출될 수 있다.Referring to FIG. 39 (a), the amount of heat generated on the top of the crucible is (1) as the crucible is continuously heated, and the amount of heat generated on the top of the crucible is conducted to the bottom of the crucible. Accumulated and (2) the high heat amount generated on the top of the crucible can be discharged through the nozzle.
상기와 같이 크루시블의 하부와 상부에서 계속하여 열량 전도가 이루어짐에 따라, 크루시블의 하부와 상부는 서로 다른 열량 수치로 열적 평형이 이루어질 수 있다.As the calorie conduction is continuously performed at the lower and upper portions of the crucible as described above, the lower and upper portions of the crucible may be thermally balanced with different calorie values.
도 39(b)에 도시된 바와 같이, 크루시블의 하부 열적 평형의 열량은 기존에 적절히 설계한 열적 평형의 열량에서 보다 상승할 수 있다. 반대로 상부에서의 열적 평형의 열량은 상부의 열량이 타 공간으로 배출됨으로써 증착 물질의 상전이 열량(Tv)보다 낮은 열량으로 형성될 수 있다. As shown in FIG. 39 (b), the calorific value of the lower thermal equilibrium of the crucible may be higher than the calorific value of the thermal equilibrium previously designed appropriately. On the contrary, the heat of the thermal equilibrium in the upper portion may be formed with a lower amount of heat than the phase change calorific value Tv of the deposition material by discharging the upper heat quantity into another space.
즉, 크루시블의 하부면으로부터 충분한 열량을 공급받아 증착 물질이 상전이하게 되어 이동하여도, 증착 물질의 상전이 열량(Tv)보다 낮은 크루시블의 상부에서 고화 혹은 액화 될 수 있다. 상기 고화 혹은 액화된 증착 물질은 크루시블의 상부에 형성된 노즐을 막게 되고, 크루시블의 노즐을 통해 증착 물질이 원활하게 배출될 수 없는 문제가 발생할 수 있다.In other words, even if the deposition material is supplied with a sufficient amount of heat from the lower surface of the crucible, the vapor deposition material may be phase-transferred, and the phase transition of the vapor deposition material may be solidified or liquefied at the top of the crucible lower than the calorific value Tv. The solidified or liquefied deposition material may block the nozzle formed on the top of the crucible, and may cause a problem that the deposition material may not be smoothly discharged through the crucible nozzle.
또는, 도 39(c)에 도시된 바와 같이 크루시블의 열적 평형이 이루어지더라도 전술한 크루시블의 노즐이 막히는 이슈가 발생할 수 있다. Alternatively, even if the thermal equilibrium of the crucible is made as shown in FIG. 39 (c), the above-described nozzle of the crucible may be clogged.
즉, 상기 T 구간에서 크루시블 하부면의 증착 물질은 충분히 열량 공급을 받아 상전이하여 이동할 수 있으나, 크루시블 상부면의 열량은 증착 물질의 상전이 열량(Tv)보다 낮게 형성되기 때문에, 크루시블의 상부에서 상기 증착 물질이 고화 혹은 액화할 수 있다. 이에 따라, 상기 고화 혹은 액화된 증착 물질은 크루시블의 상부에 형성된 노즐을 막게 되는 문제가 발생하게 되는 것이다.That is, in the T section, the deposition material on the bottom surface of the crucible may be sufficiently transferred to move in phase, but the heat amount of the crucible upper surface is lower than the amount of heat (Tv) of the deposition material. At the top of the table, the deposition material may solidify or liquefy. Accordingly, the solidified or liquefied deposition material may cause a problem of blocking the nozzle formed on the top of the crucible.
상기 크루시블에 형성되는 열적 평형에 따라, 크루시블의 노즐이 막히는 문제를 해결하기 위한 구성이 가열 어셈블리에 구비될 수 있다.According to the thermal equilibrium formed in the crucible, a configuration for solving the problem of clogging the nozzle of the crucible may be provided in the heating assembly.
도 40은 본 출원의 일 실시예에 따라 열전도 억제 요소가 형성된 가열 어셈블리를 나타내는 도면이다.40 illustrates a heating assembly in which a heat conduction inhibiting element is formed in accordance with an embodiment of the present application.
도 41은 본 출원의 일 실시예에 따라 제어된 열적 평형을 나타내는 그래프이다.41 is a graph illustrating controlled thermal equilibrium in accordance with an embodiment of the present application.
상기 노즐이 막히는 문제를 해결하기 위해, 본 출원의 일 실시예에 따른 가열 어셈블리에는 열전도 억제 요소가 형성될 수 있다.In order to solve the problem of clogging the nozzle, a heat conduction inhibiting element may be formed in the heating assembly according to the embodiment of the present application.
본 출원의 일 실시예에 따른 상기 열전도 억제 구성은 크루시블의 상부에서 하부로 전달되는 열량을 줄일 수 있다. 이에 따라, 상기 크루시블의 하면에 축적되는 열량은 줄어들 수 있다.The heat conduction suppression configuration according to an embodiment of the present application can reduce the amount of heat transferred from the top to the bottom of the crucible. Accordingly, the amount of heat accumulated on the bottom surface of the crucible can be reduced.
도 40을 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 열전도 억제 구성은 슬릿, 차단 공간, 단열재 등을 포함할 수 있다. 다만, 상기 열전도 억제 구성은 상기 구성에 국한되지 않고, 다양한 구성들이 더 존재할 수 있다.Referring to FIG. 40, the heat conduction inhibiting configuration according to an embodiment of the present application may include a slit, a blocking space, a heat insulating material, and the like. However, the heat conduction inhibiting configuration is not limited to the above configuration, and various configurations may further exist.
이하에서는 상기 열전도 억제 구성에 대하여 구체적으로 설명하도록 한다.Hereinafter, the heat conduction inhibiting configuration will be described in detail.
도 40 (a)를 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 외벽에 슬릿이 형성될 수 있다.Referring to FIG. 40 (a), slits may be formed on an outer wall of a crucible according to an embodiment of the present application.
상기 슬릿이 형성됨으로써, 상기 슬릿을 통해서는 크루시블의 상부에 발생하는 열량은 하부로 전도될 수 없고, 복사의 방식으로만 전달될 수 있게 된다. 즉, 크루시블의 상부에 축적된 열이 하부로 전달될 수 있는 패스(Path)가 줄어들게 된다. 크루시블의 하부에 전달되는 열이 줄어듦에 따라, 크루시블의 하부에 축적되는 열량은 줄어들 수 있다.By the formation of the slit, the heat generated in the upper portion of the crucible through the slit cannot be conducted to the bottom, but can be transmitted only by radiation. That is, a path through which heat accumulated in the upper portion of the crucible can be transferred to the lower portion is reduced. As the heat transferred to the bottom of the crucible is reduced, the amount of heat accumulated at the bottom of the crucible can be reduced.
상기 크루시블에 형성되는 슬릿의 위치는 바람직하게 크루시블이 분리되는 구조 근처의 위치일 수 있다. 다만, 이에 국한되지 않고, 크루시블의 다양한 위치에 슬릿이 형성될 수 있다. 즉, 상기 슬릿은 복수 개 형성될 수 있는데, 바람직하게는 상기 크루시블의 분리되는 구조 근처에 슬릿이 복수개 형성될 수 있으나, 상기 복수의 슬릿은 다양한 간격을 가지고 크루시블의 외벽에 위치할 수 있다.The position of the slit formed in the crucible may be a position near the structure in which the crucible is separated. However, the present invention is not limited thereto, and slits may be formed at various positions of the crucible. That is, a plurality of slits may be formed. Preferably, a plurality of slits may be formed near a separate structure of the crucible, but the plurality of slits may be positioned on the outer wall of the crucible at various intervals. Can be.
또한, 상기 슬릿은 다양한 형상으로 설계될 수 있다. 도시된 것과 같이 사각형태의 슬릿이 크루시블에 형성될 수 있으나, 이에 국한되지 않고 삼각, 원, 타원, 마름모 등의 다양한 형상으로 형성될 수 있다. 또한, 상기 슬릿의 폭과 길이는 다양하게 구현될 수 있다.In addition, the slits may be designed in various shapes. As shown in the figure, the rectangular slit may be formed in the crucible, but is not limited thereto, and may be formed in various shapes such as a triangle, a circle, an ellipse, and a rhombus. In addition, the width and length of the slit may be implemented in various ways.
또한, 상기 슬릿은 설계되는 방향이 다양할 수 있다. 크루시블의 내측에서 외면 방향으로 형성될 수 있으며, 외측에서 내면 방향으로 형성될 수도 있다. 또한, 도시된 바와 같이 크루시블의 면에 수직한 각도로 형성될 수 있으나, 이에 국한되지 않고 다양한 각도로 형성될 수 있다.In addition, the slits may have various designs. It may be formed in the outer surface direction from the inside of the crucible, or may be formed in the inner surface direction from the outside. In addition, as shown, it may be formed at an angle perpendicular to the surface of the crucible, but is not limited thereto and may be formed at various angles.
또한, 도 40 (b)를 참조하면 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 외벽 내부에는 차단 공간이 형성될 수 있다. 상기 크루시블의 외벽에 형성된 차단 공간을 통해 크루시블의 상부에 발생하는 열량은 하부로 전도될 수 없고, 복사의 방식으로만 전달될 수 있게 된다. 즉, 크루시블의 상부에 축적된 열이 하부로 전달될 수 있는 패스(Path)가 줄어들게 된다. 크루시블의 하부에 전달되는 열이 줄어듦에 따라, 크루시블의 하부에 축적되는 열량은 줄어들 수 있다.In addition, referring to FIG. 40 (b), a blocking space may be formed inside the outer wall of the crucible according to the exemplary embodiment of the present application. Through the blocking space formed on the outer wall of the crucible, the heat generated at the top of the crucible cannot be conducted to the bottom, but can be transmitted only by radiation. That is, a path through which heat accumulated in the upper portion of the crucible can be transferred to the lower portion is reduced. As the heat transferred to the bottom of the crucible is reduced, the amount of heat accumulated at the bottom of the crucible can be reduced.
상기 차단 공간은 다양한 형태로 크루시블의 외벽 내부에 구현될 수 있다.The blocking space may be implemented in the outer wall of the crucible in various forms.
예를 들어 도 40 (b)를 참조하면, 크루시블의 상부와 하부가 조립되는 경우 잘 맞물리되, 외벽의 내부에 차단 공간이 형성될 수 있도록 크루시블의 분리 구조가 형성될 수 있다. 이에 따라 크루시블의 외벽 내부에 차단 공간이 구현될 수 있다. For example, referring to FIG. 40 (b), when the upper and lower parts of the crucible are assembled together, the crucible separating structure may be formed so that a blocking space may be formed inside the outer wall. . Accordingly, the blocking space may be implemented inside the outer wall of the crucible.
상기 차단 공간은 다양한 형상으로 설계될 수 있다. 도시된 것과 같이 사각 형태의 빈공간이 크루시블에 형성될 수 있으나, 이에 국한되지 않고 삼각, 원, 타원, 마름모 등의 다양한 형상으로 형성될 수 있다.The blocking space may be designed in various shapes. As shown in the figure, an empty space having a rectangular shape may be formed in the crucible, but is not limited thereto, and may be formed in various shapes such as a triangle, a circle, an ellipse, and a rhombus.
상기 차단 공간의 폭과 길이는 다양하게 구현될 수 있다Width and length of the blocking space can be implemented in various ways.
상기 차단 공간은 복수개 존재할 수 있어 크루시블의 외벽 내부에 적절하게 배치될 수 있다.A plurality of blocking spaces may exist so that the blocking space may be properly disposed in the outer wall of the crucible.
상기 구현예는 일 예에 불과하여, 이에 국한되지 않는 크루시블의 외벽에 차단 공간이 형성되는 다양한 구현예가 있을 수 있다.The above embodiment is merely an example, and there may be various embodiments in which a blocking space is formed on the outer wall of the crucible, which is not limited thereto.
또한, 도 40(c)를 참조하면 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 외벽에는 열전도를 낮출 수 있는 단열 부재가 형성될 수 있다. 상기 단열재는 상기 크루시블의 상부에서 하부로 전도되는 열량을 중간에서 감소시킬 수 있다. 크루시블의 하부로 전도되는 열량이 줄어듦에 따라, 크루시블의 하부에 축적되는 열량은 줄어들 수 있다.In addition, referring to FIG. 40 (c), a heat insulating member capable of lowering thermal conductivity may be formed on the outer wall of the crucible according to the exemplary embodiment of the present application. The insulation may reduce the amount of heat conducted from the top to the bottom of the crucible in the middle. As the amount of heat conducted to the bottom of the crucible is reduced, the amount of heat accumulated at the bottom of the crucible can be reduced.
상기 단열 부재는 다양한 형태로 크루시블의 외벽에 형성될 수 있다.The heat insulating member may be formed on the outer wall of the crucible in various forms.
예를 들어, 도 40(c)를 참조하면, 상기 단열 부재는 상기 분리 구조를 기준으로 나뉘는 크루시블의 상부와 크루시블의 하부 사이에 삽입되는 형태로 형성될 수 있다.For example, referring to FIG. 40 (c), the insulating member may be formed to be inserted between an upper portion of the crucible and a lower portion of the crucible that are divided based on the separation structure.
상기 단열 부재는 다양한 형상으로 설계될 수 있다. 도시된 것과 같이 사각형태의 부재가 크루시블의 외벽에 삽입되는 형태로 형성될 수 있으나, 이에 국한되지 않고 삼각, 원, 타원, 마름모 등의 다양한 형상으로 형성될 수 있다.The heat insulating member may be designed in various shapes. As shown in the figure, the rectangular member may be formed in a shape that is inserted into the outer wall of the crucible, but is not limited thereto, and may be formed in various shapes such as a triangle, a circle, an ellipse, and a rhombus.
상기 단열 부재의 소재로는 열전도율이 낮은 소재가 선택될 수 있으며, 가열 어셈블리의 고온의 열량에도 제 기능을 발휘할 수 있는 용융점을 가진 소재가 선택될 수 있다.A material having a low thermal conductivity may be selected as a material of the heat insulating member, and a material having a melting point that may exhibit a function even at a high temperature of heat of the heating assembly may be selected.
상기 단열 부재의 폭과 길이는 다양하게 구현될 수 있다Width and length of the heat insulating member may be implemented in various ways.
상기 단열 부재는 복수개로 구현될 수 있어 크루시블의 외벽 내부에 적절하게 배치될 수 있다.The insulation member may be implemented in plural and may be appropriately disposed in the outer wall of the crucible.
상기 구현예는 일 예에 불과하여, 이에 국한되지 않는 크루시블에 단열 부재가 형성되는 다양한 구현예가 있을 수 있다.The above embodiment is merely an example, and there may be various embodiments in which a heat insulating member is formed in a crucible that is not limited thereto.
또한, 본 출원의 일 실시예에 따른 상기 크루시블의 하면에서 열량 배출이 원활하도록 가열 어셈블리를 설계할 수 있다. In addition, the heating assembly may be designed to smoothly discharge heat from the lower surface of the crucible according to the embodiment of the present application.
일 예로, 상기 크루시블의 하면에 방열핀, 방열체 등이 배치되거나, 방열 도료가 도포 될 수 있다. 상기 방열 수단들은 열 전도율이 매우 높기 때문에 열량이 원활하게 전도될 수 있다. 즉, 상기 크루시블의 하면에 구현된 방열 수단을 통해, 크루시블 하부에 축적된 열량의 배출이 원활해 질 수 있다.For example, a heat radiation fin, a heat sink, or the like may be disposed on the bottom surface of the crucible, or a heat radiation paint may be applied. Since the heat radiating means have a very high thermal conductivity, heat can be smoothly conducted. That is, through the heat dissipation means implemented on the lower surface of the crucible, the amount of heat accumulated in the crucible bottom may be smoothly discharged.
또는, 상기 크루시블의 하면이 표면적을 넓게 구현함으로써, 넓게 형성된 표면적을 통해 열량 배출이 원활해질 수 있다. 예를 들어, 상기 크루시블의 하면을 거칠게 구현할 수 있다. 거칠게 구현된 크루시블의 하면은 매끄럽게 구현된 하면에 비하여 보다 넓은 표면적을 가질 수 있다.Alternatively, since the lower surface of the crucible implements a large surface area, calorie discharge may be smoothly performed through the large surface area. For example, the bottom surface of the crucible may be roughly implemented. The lower surface of the crucible embodied crucible may have a larger surface area than the lower surface embodied smoothly.
또는, 상기 크루시블 하면에 대향하는 하우징의 내면에 흑체(Black Body)가 형성될 수 있다. 상기 흑체는 주변에 방사되는 복사열을 흡수할 수 있다. 이에 따라, 하우징 내면을 통하여 크루시블의 하부로부터 배출되는 복사열은 상기 흑체에 흡수되고, 상기 하우징을 통해 복사열이 원활히 배출될 수 있게 된다.Alternatively, a black body may be formed on the inner surface of the housing opposite to the crucible bottom. The black body may absorb radiant heat radiated to the surroundings. Accordingly, the radiant heat discharged from the bottom of the crucible through the inner surface of the housing is absorbed by the black body, and the radiant heat can be smoothly discharged through the housing.
한편, 전술한 실시예들에 국한되지 않고 크루시블의 시간에 따른 열분포를 제어하는 방법이 있을 수 있으며, 상기 크루시블의 열분포를 유지하는 전술하였던 각 실시예들은 조합되어 실시될 수 있을 것이다.Meanwhile, there may be a method of controlling the heat distribution over time of the crucible without being limited to the above-described embodiments, and each of the above-described embodiments for maintaining the heat distribution of the crucible may be implemented in combination. .
도 41을 참조하면, 상기와 같은 크루시블의 하부면과 상부면에서의 전도되는 열량을 제어하는 구현예에 따라 크루시블 각 영역의 열적 평형이 적절하게 제어될 수 있다. 크루시블의 하부에서의 열적 평형은 증착 물질의 상전이 열량(Tv)보다는 적절하게 높은 열량에서 열적 평형이 이루어질 수 있다. 한편, 크루시블의 상부 열량은 상전이 열량(Tv)보다 높아질 수 있을 뿐만 아니라, 크루시블의 하부의 열량 보다 높은 열량으로 열적 평형이 이루어 질 수 있다.Referring to FIG. 41, according to an embodiment of controlling the amount of heat conducted from the lower and upper surfaces of the crucible, the thermal balance of each crucible region may be appropriately controlled. The thermal equilibrium at the bottom of the crucible can be thermally equilibrated at an appropriately higher calorie value than the phase change calorie (Tv) of the deposited material. Meanwhile, the upper calorific value of the crucible may be higher than the calorific value Tv, and thermal equilibrium may be achieved with a calorie higher than the calorific value of the lower portion of the crucible.
이에 따라, 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블은 전술하였던 노즐이 막히는 문제점이 해결되는 효과뿐만 아니라, 크루시블의 상부에서 증착 물질이 원활하게 배출될 수 있는 열적 평형을 가지도록 제어된다.Accordingly, the crucible according to an embodiment of the present application is controlled to have a thermal equilibrium in which the deposition material can be smoothly discharged from the top of the crucible, as well as the effect of solving the problem of clogging the nozzle described above. .
이하에서는 증착 장치(10000)의 변압기/변류기 및 상기 변압기/변류기의 배치예에 대하여 설명하도록 한다.Hereinafter, a description will be given of a transformer / current transformer of the deposition apparatus 10000 and an arrangement example of the transformer / current transformer.
5. 변압기/변류기5. Transformer / Current Transformer
이하에서는 본 출원의 일 실시예에 따른 변압기/변류기에 대하여 설명하도록 한다.Hereinafter will be described a transformer / current transformer according to an embodiment of the present application.
본 출원의 가열 어셈블리의 코일을 구동하기 위하여, 상기 변압기 및/또는 변류기는 시간의 변화에 따라 방향, 및 세기가 변하는 고주파의 전압 또는 전류를 출력할 수 있다. 예를 들어, 상기 변압기 및/또는 변류기는 직류 전원을 입력받아 교류 전원으로 변환하고, 변환된 교류 전원을 상기 코일에 인가할 수 있다. In order to drive the coil of the heating assembly of the present application, the transformer and / or the current transformer may output a high frequency voltage or current whose direction and intensity change with the change of time. For example, the transformer and / or the current transformer may receive DC power, convert the AC power, and apply the converted AC power to the coil.
즉, 상기 변압기/변류기는 본 출원인 증착 장비를 구동하기 위하여 반드시 필요한 장비이다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 변압기 및 변류기 중 변압기를 예로 들어 설명하도록 한다.That is, the transformer / current transformer is a necessary equipment for driving the applicant deposition equipment. Hereinafter, for convenience of description, the transformer and the current transformer will be described as an example.
또한, 본 출원의 몇몇 실시예들에 따르는 변압기에 의해 상기 코일에 인가되는 전원의 전류는, 상기 변압기에 제공되는 직류 전원의 전류에 비하여, 상대적으로 높은 값을 가질 수 있다. 즉, 상기 변압기에 의해 출력되는 전원은 매우 고전류일 수 있다. 이는, 전술한 바와 같이, 본 출원의 실시예들에 따른 증착 장비는 크루시블을 가열하기 위하여, 크루시블의 외벽에 시간의 변화에 따라 급하게 방향, 세기가 변하는 유도 전류를 활용하고 있는데, 상기 유도 전류의 전류값을 높이기 위함이다.In addition, the current of the power applied to the coil by the transformer according to some embodiments of the present application may have a relatively high value, compared to the current of the DC power provided to the transformer. That is, the power output by the transformer may be very high current. As described above, the deposition equipment according to the embodiments of the present application utilizes an induced current in which the direction and intensity change rapidly with the change of time on the outer wall of the crucible in order to heat the crucible. This is to increase the current value of the induced current.
상기 변압기에는 코일에 상기 고전류를 인가하기 위한 도선(이하, 출력선(19120)) 및 상기 변압기로 외부의 직류 전원을 공급하기 위한 도선(이하, 입력선(19110))이 구비될 수 있다. 상기 출력선(19120)을 통해, 상기 변압기로부터 출력되는 전원이 상기 코일에 제공될 수 있다. 상기 입력선(19110)을 통해, 상기 변압기에 입력되는 직류 전원이 상기 변압기에 제공될 수 있다.The transformer may be provided with a conductive wire (hereinafter, the output line 19120) for applying the high current to the coil and a conductive wire (hereinafter, the input line 19110) for supplying an external DC power to the transformer. Power output from the transformer may be provided to the coil through the output line 19120. DC power input to the transformer may be provided to the transformer through the input line 19110.
그런데, 전술한 바와 같이, 상기 출력선(19120)에는 고전류가 흐를 수 있다. 이때, 상기 고전류는 출력선(19120)의 저항성분과 결합하여 열을 발생시킴으로써, 출력선(19120)에는 고 발열 현상이 일어날 수 있다. 이에 따라, 상기 출력선(19120)이 본 출원의 실시예에 따르는 증착 장치의 사용 시, 파괴되는 문제점이 발생할 수 있다. 따라서, 상기 출력선(19120)의 파괴를 막기 위하여, 상기 고발열 현상을 억제하여야 할 필요가 있고, 이에 따라 상기 출력선(19120)의 저항값을 보다 더 낮추기 위하여 상기 변압기의 출력선(19120)을 두껍게 형성하게 되었다.However, as described above, a high current may flow through the output line 19120. In this case, the high current is coupled to the resistance component of the output line 19120 to generate heat, so that a high heat generation phenomenon may occur in the output line 19120. Accordingly, a problem may occur in that the output line 19120 is destroyed when the deposition apparatus according to the embodiment of the present application is used. Therefore, in order to prevent destruction of the output line 19120, it is necessary to suppress the high heat generation phenomenon. Accordingly, in order to lower the resistance value of the output line 19120, the output line 19120 of the transformer may be reduced. Formed thick.
이에 반하여, 상기 입력선(19110)은 저항값을 보다 더 낮추어야 할 필요가 없다. 이에 따라, 고 비용으로 상기 입력선(19110)을 두껍게 구현할 필요 또한 없게 되어, 상기 입력선(19110)은 출력선(19120) 보다 상대적으로 얇게 형성된다.In contrast, the input line 19110 need not lower the resistance value. Accordingly, the input line 19110 is not required to be thicker at a high cost, and the input line 19110 is formed relatively thinner than the output line 19120.
전술한 변압기는 여러 공간에 배치되는 예를 가질 수 있다. 이하에서는 이에 대하여 설명하도록 한다.The above-described transformer may have an example disposed in various spaces. This will be described below.
본 출원의 일 실시예에 따른 공간은 외부 공간과 내부 공간으로 분리될 수 있다. 외부 공간은 본 출원의 피증착면, 가열 어셈블리 등이 배치된 내부 공간과 구분되는 공간이다. 상기 내부 공간은 진공의 환경 속성을 가질 수 있다. 이는, 가열 어셈블리를 이용하여 상변이된 증착 물질이 피 증착면에 증착되는 과정에 영향 줄 수 있는 불순물을 배제하기 위함이다. 상기 내부 공간과 구분되는 외부 공간은 내부 공간과는 다르게 불순물을 배제할 필요가 없어, 상기 외부 공간은 일반적인 기압 속성을 가지는 공간이다.The space according to an embodiment of the present application may be divided into an outer space and an inner space. The outer space is a space that is separated from the inner space in which the surface to be deposited, the heating assembly and the like of the present application are disposed. The internal space may have an environmental property of vacuum. This is to exclude impurities that may affect the process of depositing the phase change deposition material using the heating assembly on the surface to be deposited. Unlike the internal space, the external space that is separated from the internal space does not need to exclude impurities, and the external space is a space having a general atmospheric pressure property.
상기 증착 장치의 내부 공간에서는 가열 어셈블리 및/또는 피증착면이 서로 상대 이동하며, 증착 동작이 이루어질 수 있다. 상기 증착 동작은 증착 물질이 피증착면에 형성되는 동작 과정을 말한다. 상기 상대 이동은 상기 가열 어셈블리가 고정된 상태에서 피증착면이 이동하는 것일 수 있고, 상기 피증착면과 상기 가열 어셈블리가 함께 이동하되 각각의 속도가 다른 것일 수 있고, 또는 상기 피증착면이 고정된 상태에서 가열 어셈블리가 이동하는 것일 수 있겠다. In the internal space of the deposition apparatus, the heating assembly and / or the surface to be deposited move relative to each other, and the deposition operation may be performed. The deposition operation refers to an operation process in which a deposition material is formed on a surface to be deposited. The relative movement may be a surface to be deposited in which the heating assembly is fixed, the surface to be deposited and the heating assembly may be moved together, but the speed may be different, or the surface to be deposited is fixed. In this state, the heating assembly may move.
본 출원의 일 실시예예 따른 변압기는 증착 장치의 외부 공간에 고정되어 배치될 수 있다.The transformer according to an embodiment of the present application may be fixedly disposed in an external space of the deposition apparatus.
도 42는 본 출원의 일 실시예예 따른 외부 공간의 변압기, 입력선, 및 출력선을 나타내는 도면이다.42 is a diagram illustrating a transformer, an input line, and an output line in an external space according to an embodiment of the present application.
도 42를 참조하면, 외부 공간에 고정된 변압기는 내부 공간에 구현된 코일에 교류 전원을 공급할 수 있다. 상기 외부 공간에 고정된 변압기는 외부 공간에 구비된 직류 전원 발생원이 발생하는 직류 전원을 입력선(19110)을 통해 공급받을 수 있다. 상기 변압기는 입력 받은 직류 전원을 고주파의 교류전원으로 변환할 수 있다. 변압기의 출력선(19120)에는 상기 변환된 고주파의 교류 전원이 인가되고, 상기 출력선(19120)은 외부 공간과 내부 공간을 구분 짓는 격벽 내지는 외벽을 통과하여 코일에 연결됨으로써, 상기 변압기는 상기 출력선(19120)을 통해 상기 코일에 교류 전원을 제공하게 된다.Referring to FIG. 42, a transformer fixed to an external space may supply AC power to a coil implemented in the internal space. The transformer fixed to the external space may receive a DC power generated by a DC power generation source provided in the external space through the input line 19110. The transformer may convert the input DC power into high frequency AC power. The converted high frequency AC power is applied to an output line 19120 of a transformer, and the output line 19120 is connected to a coil through a partition wall or an outer wall that separates an external space from an internal space. Line 19120 provides AC power to the coil.
상기와 같이 외부 공간에 변압기가 고정되어 배치되는 경우 몇 가지 문제점이 발생할 수 있다.As described above, when the transformer is fixedly disposed in the external space, some problems may occur.
도 43은 본 출원의 일 실시예에 따른 이동하는 가열 어셈블리를 나타내는 도면이다.43 illustrates a moving heating assembly according to an embodiment of the present application.
도 43을 참조하면 또한, 변압기가 외부 공간에 배치되는 경우, 변압기의 출력선(19120)이 파괴되는 문제점도 발생할 수 있다. 상기 변압기는 외부에 고정되어 배치되기 때문에, 내부 공간에서 증착 동작이 이루어지면서 가열 어셈블리가 이동하는 경우, 코일에 연결되는 출력선(19120)에는 연장 혹은 구부러지는 등의 변형이 일어날 수 있다. 전술한 출력선(19120)에는 계속되는 증착 동작으로 인하여 계속적인 변형이 발생되어 마모가 발생하고, 상기 마모가 지속됨으로써 출력선(19120)이 파괴되는 문제가 발생할 수 있다.Referring to FIG. 43, when the transformer is disposed in an external space, a problem may occur in that the output line 19120 of the transformer is destroyed. Since the transformer is fixedly disposed outside, when the heating assembly moves while the deposition operation is performed in the internal space, deformation such as extension or bending may occur in the output line 19120 connected to the coil. The above-described output line 19120 may be continuously deformed due to the continuous deposition operation, and wear may occur. As the wear continues, the output line 19120 may be destroyed.
한편, 이를 해결하기 위해 상기 가열 어셈블리의 이동에 대응하여 외부 공간에 배치된 변압기를 이동시키는 이동부가 외부 공간에 배치될 수 있다.Meanwhile, in order to solve this problem, a moving unit for moving the transformer disposed in the external space in response to the movement of the heating assembly may be disposed in the external space.
그렇다 하더라도 도 42를 다시 참조하면, 외부 공간에 변압기가 배치되는 경우, 내부 공간과 외부 공간을 구분 짓는 외벽의 구현이 어려워지는 문제점이 또 발생할 수 있다.Nevertheless, referring back to FIG. 42, when the transformer is disposed in the outer space, a problem may occur in that it is difficult to implement the outer wall that separates the inner space from the outer space.
상기 내부 공간과 외부 공간을 구분 짓는 외벽에는 외부 공간에서 내부공 공간으로 출력선(19120)이 배치될 수 있는 구조가 형성되어야 한다. 한편, 상기 외벽의 구조는 내부 공간의 진공 환경 속성을 유지할 수 있도록 형성되어야 한다. 그런데, 상기 구조는 외부 공간과 내부 공간이 서로 연통하여 출력선(19120)이 외부 공간에서 내부 공간으로 배치될 수 있는 관통 구조로 형성되어야 하고, 상기 관통 구조의 크기는 전술한 바와 같이 두껍게 형성되는 출력선(19120)을 고려하여 선택되어야 한다. 따라서, 상기 내부 공간의 진공 환경 속성을 해하지 않으면서 상기 외벽에 출력선(19120)이 통과할 수 있는 구조를 구현하는 것은 매우 어렵게 된다.The outer wall separating the inner space and the outer space should have a structure in which the output line 19120 may be disposed from the outer space to the inner empty space. On the other hand, the outer wall structure should be formed to maintain the vacuum environment properties of the inner space. However, the structure has to be formed as a through structure in which the output line 19120 can be disposed from the outer space to the inner space by the external space and the internal space communicate with each other, the size of the through structure is formed thick as described above It should be selected in consideration of the output line 19120. Therefore, it is very difficult to implement a structure through which the output line 19120 can pass through the outer wall without degrading the vacuum environment property of the inner space.
이에 따라, 상기 이동부 및 이동부를 구동하기 위한 기타 구동부, 동력 발생원, 외벽의 관통 구조들을 외부 공간에 각각 구현하는 것은 비용적인 문제를 더 발생시킬 수 있다.Accordingly, implementing the moving part and the other drive part for driving the moving part, the power generation source, and the through structures of the outer wall in the external space may further cause cost problems.
본 출원의 몇몇 실시예들은, 전술한 문제점들을 해결하기 위하여, 본 출원의 변압기를 1) 상기 증착 장치의 내부에 배치하고, 아울러 2) 상기 크루시블(가열 어셈블리)와 상기 변압기의 상대적인 위치관계가 고정될 수 있도록 하는 증착 장치를 개시한다.Some embodiments of the present application, in order to solve the above problems, 1) the transformer of the present application is placed inside the deposition apparatus, and 2) the relative positional relationship of the crucible (heating assembly) and the transformer A vapor deposition apparatus is disclosed in which a can be fixed.
본 출원의 실시예에 따르는 증착 장치를 구현하기 위하여, 상기 변압기는 상기 가열 어셈블리의 일측에 고정될 수 있다.In order to implement a deposition apparatus according to an embodiment of the present application, the transformer may be fixed to one side of the heating assembly.
이로써, 상기 변압기는 상기 가열 어셈블리와 함께, 상기 증착 장치의 내부에 설치됨과 동시에 상기 가열 어셈블리와 상기 변압기 사이의 위치관계가 고정될 수 있다. 즉, 상기 가열 어셈블리와 상기 피증착면 사이의 상대적 운동을 구현하기 위해 상기 가열 어셈블리가 상기 증착 장비 내에서 이동을 할 때, 상기 가열 어셈블리의 이동에 따라 상기 변압기가 함께 이동할 수 있게 된다.As a result, the transformer may be installed in the deposition apparatus together with the heating assembly, and the positional relationship between the heating assembly and the transformer may be fixed. That is, when the heating assembly moves in the deposition equipment to realize the relative movement between the heating assembly and the deposition surface, the transformer may move together with the movement of the heating assembly.
이 때, 상기 변압기와 상기 가열 어셈블리 사이의 상대적 위치가 서로 고정되어 있기 때문에 상기 출력선(19120)의 파괴 문제는 더 이상 야기되지 않는다.At this time, since the relative position between the transformer and the heating assembly is fixed to each other, the problem of destruction of the output line 19120 is no longer caused.
한편, 상기 변압기에 직류전원을 공급하기 위한 전원은 상대적으로 플렉시빌리티를 가질 수 있도록 구현하는 데에 문제가 없기 때문에, 상기 변압기의 이동에 따른 상기 입력선(19110)의 파괴 문제는 적게 발생할 수 있게된다.On the other hand, since the power for supplying the DC power to the transformer is relatively no problem to implement a relatively flexibility, the problem of destruction of the input line (19110) due to the movement of the transformer is less likely to occur do.
다만, 다른 실시예에 있어서, 상기 변압기와 상기 가열 어셈블리가 반드시 서로 고정될 필요는 없다.However, in another embodiment, the transformer and the heating assembly do not necessarily need to be fixed to each other.
예를 들어, 상기 가열 어셈블리가 이동함에 따라, 상기 변압기도 함께 동기화되어 이동되도록 상기 증착 장비를 구현할 수 있을 것이다. 이를 위하여, 상기 가열 어셈블리의 이동을 위한 구동부와 별도로 구성되는 다른 구동부가 상기 증착 장비에 구비될 수 있을 것이다.For example, as the heating assembly moves, the deposition equipment may be implemented such that the transformer also moves in synchronization. To this end, another driving unit configured separately from the driving unit for the movement of the heating assembly may be provided in the deposition equipment.
또한, 내부 공간에 상기 변압기가 배치된다고 하더라도 작은 몇가지 문제점이 남아 있을 수 있다. 상기 변압기가 내부 공간인 고진공 환경 환경내에 구비되는 경우, 변압기 동작에 의해 상기 진공 환경이 훼손되는 문제점이 발생할 수 있다.In addition, even if the transformer is disposed in the internal space, some small problems may remain. When the transformer is provided in a high vacuum environment that is an internal space, a problem may occur in which the vacuum environment is damaged by the transformer operation.
따라서, 본 출원의 몇몇 다른 실시예들에 따르면, 상기 증착 장비는 상기 변압기를 내부에 구비하기 위한 진공 박스를 별도로 더 구비할 수 있다.Therefore, according to some other embodiments of the present application, the deposition equipment may further include a vacuum box for providing the transformer therein.
도 44는 본 출원의 일 실시예예 따른 변압기, 진공 박스, 및 가열 어셈블리를 나타내는 도면이다.44 illustrates a transformer, a vacuum box, and a heating assembly according to an embodiment of the present application.
도 44를 참조하면, 또한 상기 변압기가 구비된 진공 박스는 구비된 구동부로부터 동력을 전달 받아, 가열 어셈블리에 동기화되어 이동될 수 있다. 이에 따라, 상기 박스의 내부 공간은 상기 진공 환경과 분리되어 상기 변압기가 동작하더라도 진공 환경을 훼손하는 문제점뿐만 아니라 가열 어셈블리가 이동하는 경우 코일이 파괴되는 문제점도 발생하지 않을 수 있다.Referring to FIG. 44, the vacuum box provided with the transformer may receive power from the driver provided with the transformer and move in synchronization with the heating assembly. Accordingly, the inner space of the box may be separated from the vacuum environment, so that even if the transformer is operated, not only the problem of damaging the vacuum environment but also the problem of breaking the coil when the heating assembly is moved may not occur.
이하에서는, 본 출원의 몇몇 실시예에 따르는, 증착 장비에 대해서 구체적으로 설명한다.Hereinafter, the deposition equipment according to some embodiments of the present application will be described in detail.
도 45는 본 출원의 일 실시예에 따른 증착 장비를 나타내는 도면이다.45 is a view illustrating deposition equipment according to an embodiment of the present application.
도 45를 참조하면, 본 출원의 몇몇 실시예에 따르는 증착 장비는, 하우징, 가열 어셈블리, 변압기를 구비할 수 있다.Referring to FIG. 45, a deposition apparatus according to some embodiments of the present application may include a housing, a heating assembly, and a transformer.
상기 하우징은 내부에 증착과 관련한 구성들이 구현될 수 있는 공간을 제공할 수 있다. 가열 어셈블리, 변압기 등을 구비할 수 있다. 상기 하우징은 내부 공간과 외부 공간을 구분할 수 있는 밀폐성 높은 외벽을 가질 수 있어, 하우징은 하우징의 내부 공간을 고진공환경 상태로 유지시킬 수 있다. The housing may provide a space therein in which components related to deposition may be implemented. Heating assemblies, transformers, and the like. The housing may have a high sealing outer wall that can distinguish the inner space and the outer space, the housing can maintain the inner space of the housing in a high vacuum environment.
상기 가열 어셈블리는 크루시블에 놓인 증착 물질을 코일을 이용하여 가열함으로써 상기 증착 물질을 상전이시키고, 피증착면에 상전이된 증착 물질이 증착 될 수 있도록 할 수 있다.The heating assembly may phase-deposit the deposition material by heating the deposition material placed in the crucible using a coil, and allow the phase transition deposition material to be deposited on the surface to be deposited.
다만, 상기 가열 어셈블리는, 전술한 본 출원의 몇몇 실시예에 따르는 가열 어셈블리의 구성을 가질 수 있으나, 반드시 그에 국한되는 것은 아니다.However, the heating assembly may have a configuration of a heating assembly according to some embodiments of the present application described above, but is not necessarily limited thereto.
상기 변압기는 상기 하우징의 내부에 구비되어, 전술하였듯이 상기 가열 어셈블리의 일측에 고정될 수 있다.The transformer may be provided inside the housing, and may be fixed to one side of the heating assembly as described above.
상기 변압기에 대해서 보다 더 구체적으로 설명하고자 한다.It will be described in more detail with respect to the transformer.
상기 변압기에 구비되는 출력선(19120)은 전술하였듯이 고강성이기 때문에 고정된 형상을 가지고 코일에 연결될 수 있다. 또한, 상기 변압기는 가열 어셈블리의 일측에 고정되어 존재하기 때문에, 상기 출력선(19120) 또한 코일에 연결되어 증착 물질의 증착이 이루어지는 동안에도 상기 고정된 형상의 변화가 크게 없을 수 있다. As described above, since the output line 19120 provided in the transformer is high rigidity, the output line 19120 may be connected to the coil with a fixed shape. In addition, since the transformer is fixedly present at one side of the heating assembly, the output line 19120 may also be connected to a coil such that there is no significant change in the fixed shape while the deposition material is deposited.
한편, 변압기에 구비되는 상기 입력선(19110)은 변압기로부터 연장되어 하우징 외벽에 형성된 관통홀을 통해 외부 공간의 외부 직류 전원에 연결될 수 있다.On the other hand, the input line 19110 provided in the transformer may be connected to an external DC power supply in the external space through a through hole formed in the outer wall of the housing extending from the transformer.
상기 입력선(19110)은 전술하였듯이 출력선(19120)에 비하여 상대적으로 저 전원이 인가되기 때문에 출력선(19120)과 같이 두껍게 따로 도선을 구현할 필요 없이, 하우징 내부에 구비된 도선이 상기 입력선(19110) 역할을 하도록 할 수 있다. 상기와 같이 미리 배치된 도선을 이용하지 않는다 하더라도, 미리 작게 형성되어 있는 관통공을 통해 얇은 두께의 입력선(19110)이 배치될 수 있다. 또한, 상기 변압기가 이동하는 경우에 대응하여, 상기 입력선(19110)은 긴 길이로 구현될 수도 있다. Since the input line 19110 has a relatively low power supply as compared to the output line 19120 as described above, the input line 19110 does not need to implement a thick conductor like the output line 19120. 19110) can play a role. Even if the pre-arranged conductive wires are not used as described above, a thin input line 19110 may be disposed through the through holes formed in advance. In addition, the input line 19110 may be implemented to have a long length in response to the case where the transformer moves.
상기와 같은 구현의 용이함과 더불어, 전술하였듯이 상기 입력선(19110)의 출력선(19120)에 비하여 유연하기 때문에 출력선(19120)과 달리 파괴로 인한 문제 발생은 적을 수 있다.In addition to the ease of implementation as described above, unlike the output line 19120, as described above, since it is more flexible than the output line 19120 of the input line 19110, problems due to destruction may be less.
또한, 전술하였듯이 가열 어셈블리가 구동부에 의해 이동하는 경우, 별도로 구동부가 구비되어 상기 변압기 또한 가열 어셈블리의 일측에 고정된 위치 관계로 이동될 수 있다.In addition, as described above, when the heating assembly is moved by the driving unit, a driving unit may be separately provided so that the transformer may also be moved in a positional relationship fixed to one side of the heating assembly.
이하에서는 본 출원의 일 실시예에 따른 진공 박스를 구비하는 증착 장비에 대하여 설명하도록 한다.Hereinafter will be described with respect to the deposition equipment having a vacuum box according to an embodiment of the present application.
도 46은 본 출원의 일 실시예에 따른 증착 장비를 나타내는 도면이다.46 illustrates a deposition apparatus according to an embodiment of the present application.
도 46을 참조하면 본 출원의 몇몇 실시예에 따르는 증착 장비는 하우징, 가열 어셈블리, 변압기, 진공 박스를 구비할 수 있다.Referring to FIG. 46, a deposition apparatus according to some embodiments of the present application may include a housing, a heating assembly, a transformer, and a vacuum box.
전술하였던 상기 구성들의 중복되는 설명은 생략하도록 한다.Duplicate description of the above-described configuration will be omitted.
상기 진공 박스는 내부에 공간을 형성할 수 있다. 또한, 하우징 내부의 조성과 같은 진공 환경일 수 있다.The vacuum box may form a space therein. It may also be a vacuum environment, such as a composition inside the housing.
또한, 상기 진공 박스는 각종 구동부, 도선, 연결 부재 등이 구비될 수 있다.In addition, the vacuum box may be provided with various driving units, conductive wires, connection members, and the like.
본 실시예에 따르면, 변압기의 동작에 따른 하우징 내부의 진공 환경을 해할 수 있어, 상기 변압기는 상기 진공 박스의 내부 공간에 구비될 수 있다.According to the present embodiment, it is possible to harm the vacuum environment inside the housing according to the operation of the transformer, the transformer may be provided in the inner space of the vacuum box.
상기 변압기의 출력선(19120)은 진공 박스에 구현된 관통홀을 통해 연장되어 코일에 연결될 수 있다. The output line 19120 of the transformer may extend through a through hole implemented in a vacuum box and be connected to a coil.
또는, 상기 출력선(19120)의 강성에 대응하는 고 강성의 벨로우즈, 혹은 암(arm) 형태의 연결 부재가 상기 진공 박스에 구비되어 출력선(19120)이 코일에 연결될 수 있다. 상기 연결 부재는 코일까지 연장된 형태로 구현될 수 있고, 상기 연결 부재를 통해 상기 출력선(19120)이 코일에 연결될 수 있다.Alternatively, a high rigid bellows or arm connection member corresponding to the rigidity of the output line 19120 may be provided in the vacuum box so that the output line 19120 may be connected to the coil. The connection member may be implemented to extend to a coil, and the output line 19120 may be connected to the coil through the connection member.
상기 변압기의 입력선(19110) 또한 진공 박스에 구현된 관통홀을 통해 연장되어 하우징 외벽의 관통홀을 통해 외부 전원에 연결될 수 있다.The input line 19110 of the transformer may also extend through the through hole implemented in the vacuum box and be connected to an external power source through the through hole of the outer wall of the housing.
또는, 입력선(19110)의 강성에 대응하는 저 강성의 연결 부재가 진공 박스에 구비되어 외부 공간으로 상기 입력선(19110)이 연통될 수 있다. 상기 연결 부재는 가열 어셈블리의 이동에 대응하여 충분한 길이로 구현될 수 있다. 또한, 상기 연결 부재는 저 강성이기 때문에 유연하게 움직일 수 있다.Alternatively, a low rigid connection member corresponding to the rigidity of the input line 19110 may be provided in the vacuum box so that the input line 19110 may communicate with the external space. The connecting member may be embodied in a sufficient length corresponding to the movement of the heating assembly. In addition, the connecting member can move flexibly because of its low rigidity.
따라서, 상기 진공 박스에 구비되는 연결 부재는 내부에 도선이 배치될 수 있도록 내부 공간이 형성될 수 있다.Therefore, an inner space may be formed in the connection member provided in the vacuum box so that the conductive wire may be disposed therein.
또한, 전술하였듯이 가열 어셈블리가 구동부에 의해 이동하는 경우, 별도로 구동부가 구비되어 상기 변압기를 구비하는 진공 박스 또한 가열 어셈블리의 일측에 고정된 위치 관계로 이동될 수 있다.In addition, as described above, when the heating assembly is moved by the driving unit, the driving unit is separately provided, and the vacuum box including the transformer may also be moved in a positional relationship fixed to one side of the heating assembly.
<복수의 탈착식 서브크루시블을 구비하는 가열 어셈블리><Heating assembly with a plurality of removable sub crucibles>
본 발명의 일 양상에 따르면, 피증착대상의 표면에 물질을 증착시키기 위한 가열어셈블리로서, 내부공간을 정의하는 외벽을 포함하고, 상기 외벽은 상부와 하부를 포함하고, 상기 상부와 상기 하부가 분리되도록 상기 외벽에 분리구조가 형성되는 가열 용기; 상기 가열용기가 가열되도록, 상기 외벽에 유도전류를 형성하는 코일; 상기 코일에 전원을 공급하기 위한 전원인가선이 구비되는 전원발생기; 및 상기 코일과 상기 전원발생기를 전기적으로 연결하기 위한 코일접속부재;를 포함하고, 상기 코일은 제1 코일 및 제2 코일을 포함하고, 상기 코일접속부재는 제1 코일접속부재 및 제2 코일접속부재를 포함하고, 상기 전원인가선은 제1 전원인가선 및 제2 전원인가선을 포함하되 상기 제1 코일은 상기 가열용기와 제1 위치적관계를 가지고, 제2 코일은 상기 가열용기와 제2 위치적관계를 가지고, 상기 제1 코일접속부재는 상기 제1 코일의 일측, 제2 코일의 일측, 및 상기 제1 전원인가선에 연결되고, 상기 제2 코일접속부재는 상기 제1 코일의 타측, 및 상기 제2 코일의 타측에 연결되며, 상기 제1 코일접속부재와 상기 제1 코일의 일측, 상기 제2 코일의 일측, 또는 상기 제1 전원인가선 중 적어도 하나의 사이에 전기적 탈착구조가 형성되고, 상기 제2 코일접속부재와 상기 제1 코일의 타측, 또는 상기 제2 코일의 타측 중 적어도 하나의 사이에 전기적 탈착구조가 형성되는 것을 특징으로 하는 가열어셈블리가 제공될 수 있다.According to an aspect of the present invention, a heating assembly for depositing a material on a surface to be deposited includes an outer wall defining an inner space, wherein the outer wall includes an upper portion and a lower portion, and the upper portion and the lower portion are separated from each other. A heating container having a separation structure formed on the outer wall of the heating container; A coil for forming an induction current on the outer wall to heat the heating vessel; A power generator provided with a power supply line for supplying power to the coil; And a coil connecting member for electrically connecting the coil and the power generator, wherein the coil includes a first coil and a second coil, and the coil connecting member comprises a first coil connecting member and a second coil connecting. And a power supply line including a first power supply line and a second power supply line, wherein the first coil has a first positional relationship with the heating vessel, and the second coil is formed with the heating vessel. In a two-position relationship, the first coil connecting member is connected to one side of the first coil, one side of the second coil, and the first power supply line, and the second coil connecting member is connected to the first coil. Is connected to the other side and the other side of the second coil, the electrical detachable structure between at least one of the first coil connection member and one side of the first coil, one side of the second coil, or the first power supply line Is formed, and the second coil is connected. May be provided with a heating assembly, it characterized in that the material and the second electrically detachable structure in at least one of between the first coil on the other side, or the other side of the second coil is formed.
본 발명의 다른 양상에 따르면, 증착물질이 놓이는 내부공간을 정의하는 외벽을 포함하는 가열용기; 상기 가열용기를 가열하기 위하여, 상기 외벽에 유도전류를 형성하는 코일; 상기 코일을 구동하기 위한 구동 전원을 발생시키는 전원발생기; 및 상기 코일과 상기 전원발생기를 전기적으로 연결하기 위한 코일접속부재;를 포함하고, 상기 가열용기의 상기 외벽은 제1 영역 및 제2 영역을 포함하고, 상기 제1 영역과 상기 제2 영역 사이에 분리구조가 형성되며, 상기 코일은 제1 코일, 및 제2 코일을 포함하고, 상기 제1 코일은 상기 가열용기와 제1 위치적관계를 가지고, 상기 제2 코일은 상기 가열용기와 제2 위치적관계를 가지며, 상기 코일접속부재는 제1 코일접속부재 및 제2 코일접속부재를 포함하고, 상기 제1 코일접속부재는 제1 코일의 일측과 전기적으로 연결되는 가열어셈블리가 제공될 수 있다.According to another aspect of the present invention, a heating vessel including an outer wall defining an inner space in which the deposition material is placed; A coil forming an induction current on the outer wall to heat the heating vessel; A power generator for generating drive power for driving the coil; And a coil connecting member for electrically connecting the coil and the power generator, wherein the outer wall of the heating vessel includes a first region and a second region, between the first region and the second region. A separation structure is formed, wherein the coil includes a first coil and a second coil, the first coil has a first positional relationship with the heating vessel, and the second coil is in a second position with the heating vessel. Having a proper relationship, the coil connecting member may include a first coil connecting member and a second coil connecting member, and the first coil connecting member may be provided with a heating assembly electrically connected to one side of the first coil.
또, 상기 제1 코일접속부재와 상기 제1 코일의 사이에 전기적탈착구조가 형성되는 것을 특징으로 하는 가열어셈블리가 제공될 수 있다.In addition, a heating assembly may be provided, wherein an electrical detachment structure is formed between the first coil connection member and the first coil.
또, 상기 가열용기의 상기 제1 영역에 돌출노즐이 형성되고, 상기 코일은 제1 코일 및 제2 코일을 포함하고, 상기 제1 코일은 상기 가열용기의 상기 돌출노즐에 가깝게 배치되고, 상기 제2 코일은 상기 가열용기의 상기 제2 영역에 가깝게 배치되는 것을 특징으로 하는 가열어셈블리가 제공될 수 있다.In addition, a protruding nozzle is formed in the first region of the heating vessel, the coil includes a first coil and a second coil, and the first coil is disposed close to the protruding nozzle of the heating vessel. A heating assembly may be provided wherein the two coils are disposed close to the second region of the heating vessel.
또, 상기 전원발생기는 전원인가선;을 더 포함하고, 상기 전원인가선은 제1 전원인가선 및 제2 전원인가선을 포함하고, 상기 제1 전원인가선은 제1 코일접속부재 및 제1 코일에 연결되는 것을 특징으로 하는 가열어셈블리가 제공될 수 있다.The power generator may further include a power supply line, wherein the power supply line includes a first power supply line and a second power supply line, and the first power supply line may include a first coil connection member and a first power supply line. A heating assembly can be provided which is connected to the coil.
또, 상기 제2 전원인가선은 상기 제2 코일에 연결되고, 상기 제2 코일접속부재는 제2 코일에 연결되는 것을 특징으로 하는 가열어셈블리가 제공될 수 있다.The second power supply line may be connected to the second coil, and the second coil connection member may be connected to the second coil.
또, 상기 제1 코일접속부재의 물리적 형상과 상기 제2 코일접속부재의 물리적 형상은 서로 다른 것을 특징으로 하는 가열어셈블리가 제공될 수 있다.In addition, the physical assembly of the first coil connecting member and the physical shape of the second coil connecting member may be provided with a different heating assembly.
또, 상기 전원발생기가 전원을 발생시키는 경우, 상기 제1 코일에 제1 구동전원이 인가되고, 상기 제2 코일에 제2 구동전원이 인가되며, 상기 제1 구동전원과 상기 제2 구동전원은 실질적으로 동시에 발생하는 것을 특징으로 하는 가열어셈블리가 제공될 수 있다.In addition, when the power generator generates power, a first driving power is applied to the first coil, a second driving power is applied to the second coil, and the first driving power and the second driving power are A heating assembly can be provided which is characterized in that it occurs substantially simultaneously.
또, 상기 제1 구동전원의 전기적 속성은 상기 제2 구동전원의 전기적 속성과 서로 다른 것을 특징으로 하는 가열어셈블리가 제공될 수 있다.In addition, a heating assembly may be provided, wherein an electrical property of the first driving power source is different from an electrical property of the second driving power source.
이하에서는 본 발명의 실시예에 따른 가열 어셈블리에 대하여 설명한다.Hereinafter, a heating assembly according to an embodiment of the present invention will be described.
박막 제조 기술은 표면 처리 기술의 한 분야로 습식법과 건식법으로 구분된다.Thin film manufacturing technology is a field of surface treatment technology, divided into wet and dry methods.
상기 박막 제조 기술 중 습식법 박막 제조기술에는 (1) 피처리물을 양극에 걸고 전해하여 처리물이 피처리물의 표면에 형성되도록 피처리물을 산화시키는 전해법, 및 (2) 피처리물의 활성화, 예민화 과정을 이용한 무전해법을 포함하는 습식법이 존재한다.Among the thin film manufacturing techniques, the wet method thin film manufacturing technique includes (1) an electrolytic method of oxidizing a workpiece so that the workpiece is formed on the surface of the workpiece by electrolyzing the workpiece, and (2) activating the workpiece; Wet methods, including electroless methods using sensitization processes, exist.
건식법 박막 제조기술에는 (1) 고진공 상태에서 고체 상태의 처리물을 증발시켜 피처리물의 표면에 형성되도록 하는 물리 증착법(PVD), (2) 고진공 상태에서 기체 상태의 처리물을 플라즈마 등의 상태로 변화하여 피처리물의 표면에 형성시키는 화학 증착법(CVD), 및 (3) 액체 상태의 피처리물을 처리물 표면에 분출하여 처리물 표면에 피처리물을 입히는 용사법이 존재한다.Dry film production technology includes (1) physical vapor deposition (PVD), which evaporates solid materials in a high vacuum state and forms them on the surface of the workpiece, and (2) converts gaseous materials in a high vacuum state to plasma or the like. Chemical vapor deposition (CVD) which changes and forms on the surface of a to-be-processed object, and (3) the thermal spraying method which sprays a to-be-processed object in a liquid state to the to-be-processed surface, and coats a to-be-processed object on the surface of a processed object.
전술한 박막 제조 기술들에서는 처리물(특히, 증착 물질)을 가열함으로써 처리물의 상태를 변화시키고, 처리물을 피처리 대상의 표면에 접촉할 수 있도록 가이딩하기 위하여 구현되는 증착 장치((20000)가 중요할 수 있다.In the above-described thin film fabrication techniques, the deposition apparatus (20000) is implemented to change the state of the treatment by heating the treatment (particularly, the deposition material), and to guide the treatment to be in contact with the surface of the target object. Can be important.
따라서, 이하에서는 본 발명의 증착 장치(20000)에 대하여 설명하도록 한다.Therefore, hereinafter, the vapor deposition apparatus 20000 of the present invention will be described.
1. 증착 장치1. Deposition apparatus
이하에서는 본 출원의 일 실시예에 따른 증착 장치(20000)에 대하여 설명하도록 한다.Hereinafter, a deposition apparatus 20000 according to an embodiment of the present application will be described.
본 출원의 일 실시예에 따른 증착 장치(20000)는 피증착면에 증착 물질을 증착할 수 있는 장치이다. 본 출원의 증착 장치(20000)는 증착 장치(20000)의 크루시블(23000)을 소정의 가열 수단(25000)을 이용하여 온도를 상승시켜 크루시블(23000) 내에 포함된 증착 물질을 상태 변화시킬 수 있다. 상기 상태 변화된 증착 물질은 크루시블(23000)의 외부로 배출될 수 있다.The deposition apparatus 20000 according to the exemplary embodiment of the present application is a device capable of depositing a deposition material on a surface to be deposited. The deposition apparatus 20000 of the present application raises the temperature of the crucible 23000 of the deposition apparatus 20000 using a predetermined heating means 25000 to change the state of the deposition material contained in the crucible 23000. You can. The state-deposited deposition material may be discharged to the outside of the crucible 23000.
본 출원의 일 실시예에 따른 증착 장치(20000)는 전술한 박막 제조 기술들을 위하여 이용될 수 있다. 뿐만 아니라, 증착 장치(20000)는 전술한 박막 제조 기술들에 따른 증착의 목적이 아닌 단순 가열을 위해서도 이용될 수 있다. The deposition apparatus 20000 according to the exemplary embodiment of the present application may be used for the above-described thin film fabrication techniques. In addition, the deposition apparatus 20000 may be used for simple heating and not for the purpose of deposition according to the above-described thin film fabrication techniques.
이하에서는 증착 장치(20000)의 구성에 대하여 설명하도록 한다.Hereinafter, the configuration of the deposition apparatus 20000 will be described.
1.1 증착 장치의 구성1.1 Composition of Deposition Equipment
도 47은 본 출원의 일 실시예에 따른 증착 장치의 구성을 나타내는 블록도이다.47 is a block diagram illustrating a configuration of a deposition apparatus according to an embodiment of the present application.
도 47을 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 증착 장치(20000)는 하우징(21000), 크루시블(23000), 가열 수단(25000), 가열 보조 수단인 자기장 집속 구조물(27000), 및 기타 구성 요소(29000)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 47, a deposition apparatus 20000 according to an embodiment of the present application may include a housing 21000, a crucible 23000, a heating means 25000, a magnetic field focusing structure 27000 that is a heating auxiliary means, and Other components 29000 may be included.
본 출원의 일 실시예에 따른 상기 하우징(21000)의 내부에는 공간이 형성될 수 있다. 상기 하우징(21000)의 내부 공간에는 상기 크루시블(23000), 상기 가열 수단(25000), 상기 가열 보조 수단, 및 상기 기타 구성 요소(29000)가 구현될 수 있다.A space may be formed in the housing 21000 according to an embodiment of the present application. The crucible 23000, the heating means 25000, the heating assistance means, and the other components 29000 may be implemented in an internal space of the housing 21000.
본 출원의 일 실시예에 따른 상기 크루시블(23000)의 내부에 형성된 공간에는 증착을 하고자 하는 물질인 증착 물질이 제공될 수 있다. 또한, 상기 증착 물질은 상기 가열 수단(25000)에 의해 발생하는 열을 전달받아 가열될 수 있다.A deposition material that is a material to be deposited may be provided in a space formed in the crucible 23000 according to an embodiment of the present application. In addition, the deposition material may be heated by receiving heat generated by the heating means 25000.
본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블(23000)의 내부 공간에 놓이는 증착 물질로 다양한 종류의 물질이 선택될 수 있다.Various kinds of materials may be selected as deposition materials placed in the internal space of the crucible 23000 according to the exemplary embodiment of the present application.
상기 증착 물질은 유기 물질일 수 있다. 상기 유기물질은 탄소를 기반으로하는 화합물을 의미한다. 상기 유기물질은 i) 동물이나 식물로부터 얻을 수 있는 아미노산, 단백질, 탄수화물, 페니실린, 아목시실린 등의 천연유기물, ii) 사람이 인공적으로 만들어낸 플라스틱 등의 합성유기물, iii) 전술한 유기물의 조합 등을 포함할 수 있다. 상기 유기 물질이 자유롭게 이동할 수 있는 상태로 변화되도록, 본 출원은 크루시블(23000)을 200ºC 정도로 가열할 수 있다.The deposition material may be an organic material. The organic material means a compound based on carbon. The organic material may include i) amino acids obtained from animals or plants, proteins, carbohydrates, penicillin, amoxicillin, and other organic matters, ii) synthetic organic materials such as plastics artificially made by humans, and It may include. The present application can heat the crucible 23000 to about 200 ºC so that the organic material is changed into a state that can move freely.
또한, 상기 증착 물질은 금속 물질일 수 있다. 상기 금속물질은 마그네슘(Mg), 은(Ag), 알루미늄(Al)등을 포함할 수 있다. 상기 금속 물질이 자유롭게 이동할 수 있는 상태로 변화되도록, 본 출원은 크루시블(23000)을 1000ºC 이상으로 가열할 수 있다.In addition, the deposition material may be a metal material. The metal material may include magnesium (Mg), silver (Ag), aluminum (Al), and the like. The present application can heat the crucible 23000 to at least 1000 ºC so that the metal material is changed to a state in which it can move freely.
본 출원의 일 실시예에 따른 상기 가열 수단(25000)은 상기 크루시블(23000) 내부에 놓인 증착 물질을 상태 변화시키기 위하여 상기 크루시블(23000)을 가열할 수 있다.The heating means 25000 according to an embodiment of the present application may heat the crucible 23000 to change the state of the deposition material placed inside the crucible 23000.
본 출원의 일 실시예예 따른 상기 가열 보조 수단은 상기 가열 수단(25000)이 상기 크루시블(23000)을 효율적으로 가열 할 수 있도록 보조할 수 있다. 상기 가열 보조 수단의 일 예로, 자기장 집속 구조물(27000)이 있을 수 있다.The heating auxiliary means according to an embodiment of the present application may assist the heating means 25000 to efficiently heat the crucible 23000. As an example of the heating aid, there may be a magnetic field focusing structure 27000.
본 출원의 일 실시예에 따른 기타 구성 요소(29000)는 전력을 공급할 수 있는 도선의 통로, 증착 장치(20000)에 동력을 제공하는 동력 발생 장치 등일 수 있다. 다만, 본 명세서에서는 설명을 용이하게 하기 위하여 상기 기타 구성 요소(29000)들에 대하여는 설명을 생략한다. 기타 구성 요소(29000)들을 들어 본 출원의 증착 장치(20000)를 설명하여야 하는 특별한 사정이 있는 경우에만, 상기 기타 구성 요소(29000)들과 함께 본 증착 장치(20000)를 설명하기로 한다.The other component 29000 according to an exemplary embodiment of the present application may be a path of a conductive wire that can supply power, a power generator that provides power to the deposition apparatus 20000, and the like. However, in the present specification, the description of the other components 29000 will be omitted for ease of description. Only when there are special circumstances in which the deposition apparatus 20000 of the present application is described with the other components 29000 will be described, the present deposition apparatus 20000 will be described together with the other components 29000.
한편, 전술한 증착 장치(20000)의 구성 중 크루시블(23000), 가열 수단(25000), 자기장 집속 구조물(27000), 및/또는 기타 구현될 수 있는 구성들을 집합하여 가열 어셈블리라 할 수 있다.Meanwhile, among the components of the deposition apparatus 20000 described above, a crucible 23000, a heating means 25000, a magnetic field focusing structure 27000, and / or other components that may be implemented may be collectively referred to as a heating assembly. .
이하에서는 가열 어셈블리에 대하여 보다 구체적으로 설명하기로 한다.Hereinafter, the heating assembly will be described in more detail.
1.1.1 크루시블1.1.1 Crucible
도 48 (a) 내지 (b)는 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블을 나타내는 도면이다.48 (a) to (b) are diagrams illustrating crucibles according to an embodiment of the present application.
본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블(23000)은 외벽(23100), 및 적어도 하나 이상의 노즐(23200)을 포함할 수 있다.The crucible 23000 according to the exemplary embodiment of the present application may include an outer wall 23100 and at least one nozzle 23200.
본 출원의 일 실시예에 따른 외벽(23100)은 도 48(b)와 같이 크루시블(23000)의 내부에 공간(이하, 내부 공간)을 정의할 수 있다. 상기 내부 공간에는 증착을 위한 증착 물질이 놓일 수 있다. The outer wall 23100 according to the exemplary embodiment of the present application may define a space (hereinafter, referred to as an inner space) inside the crucible 23000 as illustrated in FIG. 48B. In the inner space, a deposition material for deposition may be placed.
본 출원의 일 실시예에 따른 노즐(23200)은 증착 물질의 이동 통로가 될 수 있다. 상기 크루시블(23000) 내부 공간에 놓인 증착 물질은 가열 수단(25000)으로부터 충분한 열량을 공급 받아 기상 및/또는 플라즈마 상태로 상변화할 수 있다. 상기 상 전이한 증착 물질은 상기 노즐(23200)을 통해 도 48(a)에 도시된 바와 같이 크루시블(23000)의 외부로 배출될 수 있다.The nozzle 23200 according to an embodiment of the present application may be a movement passage of the deposition material. The deposition material placed in the interior of the crucible 23000 may receive a sufficient amount of heat from the heating means 25000 to phase change into a gaseous and / or plasma state. The phase shifted deposition material may be discharged to the outside of the crucible 23000 as illustrated in FIG. 48A through the nozzle 23200.
본 출원의 일 실시예에 따른 상기 노즐(23200)은 다양한 설계 사양으로 상기 크루시블(23000)에 형성될 수 있다.The nozzle 23200 according to an embodiment of the present application may be formed in the crucible 23000 with various design specifications.
예를 들어, 상기 노즐(23200)이 복수개 형성되는 경우 복수의 노즐(23200)들 사이의 간격은 다양한 간격으로 형성 될 수 있다. 상기 복수의 노즐(23200)들의 간격은 등간격으로 형성될 수 있다. 또는, 상기 노즐(23200)의 간격은 상기 크루시블 면의 사이드로 갈수록 점차 좁아지는 간격일 수도 있을 것이다. For example, when a plurality of nozzles 23200 are formed, an interval between the plurality of nozzles 23200 may be formed at various intervals. Intervals of the plurality of nozzles 23200 may be formed at equal intervals. Alternatively, the interval of the nozzle 23200 may be an interval that gradually narrows toward the side of the crucible surface.
또한 상기 노즐(23200)의 구멍의 형상은 여러 가지 형상을 가질 수 있다. 상기 노즐의 구멍의 형상은 도시된 바와 같이 원형 형상뿐만 아니라, 사각형, 타원형 등의 다양한 형태의 형상으로 구현될 수 있을 것이다.In addition, the shape of the hole of the nozzle 23200 may have various shapes. The shape of the hole of the nozzle may be implemented in various shapes, such as rectangular, oval, as well as circular shape as shown.
이하에서는 본 출원의 크루시블(23000)에 대하여 보다 자세히 설명한다. 이때, 설명의 편의를 위하여, 상기 노즐(23200)이 형성된 일면을 상면, 상기 일면의 반대측면을 하면이라고 일컫을 것이며, 상기 상면과 하면을 제외한 면들을 측면이라고 하기로 한다. Hereinafter, the crucible 23000 of the present application will be described in more detail. In this case, for convenience of description, one surface on which the nozzle 23200 is formed will be referred to as an upper surface, and the opposite side of the one surface will be referred to as a lower surface, and the surfaces except for the upper and lower surfaces will be referred to as side surfaces.
본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블(23000)은 다양한 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 도 48(a)를 참조하면, 크루시블(23000)은 직육면체의 형상일 수 있다. 뿐만 아니라, 본 출원의 크루시블(23000)은 원뿔, 구, 육각기둥, 원기둥, 삼각기둥 등의 다양한 형태로 구현될 수 있을 것이다. 즉, 증착 물질을 포함할 수 있는 형태라면 본 출원의 일 실시예예 따른 크루시블(23000)은 어떠한 형상으로든 구현될 수 있을 것이다.The crucible 23000 according to the exemplary embodiment of the present application may have various shapes. For example, referring to FIG. 48A, the crucible 23000 may have a rectangular parallelepiped shape. In addition, the crucible 23000 of the present application may be implemented in various forms such as cones, spheres, hexagonal columns, cylinders, triangular columns, and the like. That is, if the form may include a deposition material, the crucible 23000 according to an embodiment of the present application may be implemented in any shape.
또한, 본 출원의 일 실시예에 따라 다양한 소재가 상기 크루시블을 구현하는데 이용될 수 있다.In addition, various materials may be used to implement the crucible according to an embodiment of the present application.
상기 크루시블의 소재는 어떠한 소재에도 국한되지 않을 것이나 바람직하게 본 출원의 크루시블(23000)의 구현 소재는 전류가 잘 흐를 수 있는 속성의 소재일 수 있다.The material of the crucible may not be limited to any material. Preferably, the material of the crucible 23000 of the present application may be a material having a property that current can flow well.
또한, 크루시블(23000)이 가열 수단(25000)에 의해 가열되는 온도를 고려하여, 상기 크루시블(23000)의 구현 소재가 선택 될 수 있다. 즉, 상기 크루시블(23000)이 고 온도에도 크루시블(23000)이 용융되지 않고 제 기능을 발휘할 수 있도록, 상기 크루시블(23000)의 소재가 선택될 수도 있을 것이다.In addition, in consideration of the temperature at which the crucible 23000 is heated by the heating means 25000, an implementation material of the crucible 23000 may be selected. That is, the material of the crucible 23000 may be selected so that the crucible 23000 can perform its function without melting the crucible 23000 even at a high temperature.
도 48(b)에 도시된 바와 같이, 본 출원의 일 실시예에 따른 상기 크루시블(23000)에는 크루시블(23000)을 개폐할 수 있는 구조가 형성될 수 있다. As shown in FIG. 48 (b), a structure capable of opening and closing the crucible 23000 may be formed in the crucible 23000 according to the exemplary embodiment of the present application.
본 출원의 일 실시예에 따른 노즐(23200)은 상기 크루시블(23000)의 외측으로 일정 길이를 가지는 돌출된 형상(이하, 돌출 노즐(23300))으로 구현될 수 있다. The nozzle 23200 according to the exemplary embodiment of the present application may be implemented as a protruding shape (hereinafter, protruding nozzle 23300) having a predetermined length to the outside of the crucible 23000.
이러한, 돌출 노즐(23300)은 다양한 형상 및 소재로 상기 크루시블(23000)에 형성될 수 있다.The protruding nozzle 23300 may be formed in the crucible 23000 in various shapes and materials.
도 49는 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블에 형성된 돌출 노즐을 나타내는 도면이다.49 is a view illustrating a protruding nozzle formed on a crucible according to an embodiment of the present application.
도 49를 참조하면, 도시된 바와 같이 상기 돌출 노즐(23300)은 직육각 형태로 형성될 수 있다. 또한 예를 들어, 상기 돌출 노즐(23300)의 형상은 도시된 형상에 국한되지 않고, 원기둥, 삼각기둥, 원뿔 등의 형상일 수도 있을 것이다.Referring to FIG. 49, as illustrated, the protruding nozzle 23300 may be formed in a rectangular hexagonal shape. Also, for example, the shape of the protruding nozzle 23300 is not limited to the illustrated shape, but may be a shape of a cylinder, a triangular prism, a cone, or the like.
또한, 다양한 소재가 상기 돌출 노즐(23300)을 구현하는데 선택될 수 있다. 예를 들어, 돌출 노즐(23300)은 크루시블(23000)의 가열시 크루시블(23000)의 열 팽창에 의해서 크루시블(23000)과 돌출 노즐(23300)의 접합이 불안정해지는 이슈를 고려하여, 상기 돌출 노즐(23300)의 소재가 이용될 수 있다. 즉, 돌출 노즐(23300)의 소재는 같은 열팽창 계수를 가져 상기 이슈가 발생하지 않도록, 크루시블(23000)의 소재와 동일한 소재일 수 있을 것이다. In addition, various materials may be selected to implement the protruding nozzle 23300. For example, the protrusion nozzle 23300 considers an issue in which the junction of the crucible 23000 and the protrusion nozzle 23300 becomes unstable due to thermal expansion of the crucible 23000 when the crucible 23000 is heated. Thus, the material of the protruding nozzle 23300 may be used. That is, the material of the protruding nozzle 23300 may be the same material as the material of the crucible 23000 so that the material does not have the same coefficient of thermal expansion.
본 출원의 일 실시예에 따른 돌출 노즐을 통해 증착 물질이 원활히 배출될 수 있도록 가열 어셈블리를 설계할 수 있다.The heating assembly may be designed to smoothly discharge the deposition material through the protrusion nozzle according to the exemplary embodiment of the present application.
예를 들어, 본 출원의 일 실시예에 따른 돌출 노즐의 구현 소재를 다양하게 선택할 수 있다. 상기 돌출 노즐의 통로 내부면의 소재로 상기 증착 물질과 접착 특성이 낮은 성질의 소재가 선택될 수 있다. 상기 돌출 노즐의 통로와 증착 물질의 접착 특성이 낮아짐에따라, 증착 물질은 돌출 노즐에 접착되지 않고 돌출 노즐의 내부 통로를 이동하여 외부로 원활히 배출될 수 있을 것이다.For example, the material for implementing the protruding nozzle according to the exemplary embodiment of the present application may be variously selected. As the material of the inner surface of the passage of the protruding nozzle, a material having a low adhesive property with the deposition material may be selected. As the adhesion property between the passage of the protruding nozzle and the deposition material is lowered, the deposition material may be smoothly discharged to the outside by moving the inner passage of the protruding nozzle without being adhered to the protruding nozzle.
또한, 본 출원의 일 실시예에 따른 돌출 노즐의 형상을 다양하게 구현할 수 있다. In addition, the shape of the protrusion nozzle according to the exemplary embodiment of the present application may be variously implemented.
상기 돌출 노즐의 내부 통로 형상을 다양하게 할 수 있다. 예를 들어, 상기 돌출 노즐의 내부 통로는 소정의 경사를 가지도록 구현될 수 있다.It is possible to vary the shape of the inner passage of the protruding nozzle. For example, the inner passage of the protruding nozzle may be implemented to have a predetermined slope.
1.1.2 가열 수단1.1.2 Heating means
본 출원의 일 실시예에 따른 증착 장치(20000)에는 크루시블(23000)의 온도를 상승시킬 수 있는 가열 수단(25000)이 구비될 수 있다.The deposition apparatus 20000 according to the exemplary embodiment of the present application may be provided with a heating means 25000 capable of raising the temperature of the crucible 23000.
상기 가열 수단(25000)은 다양한 형태로 구현될 수 있다. 예를 들어, 본 출원의 일 실시예에 따른 가열 수단(25000)은 (1) 열 증기를 공급할 수 있는 파이프, 및 화석 연료를 이용한 가열 장치 등의 전통적인 가열 수단(25000), (2) 이온 등의 운동량 전달로 대상 물질을 가열하는 스퍼터링 가열원, 아크에 의해 가열하는 아크 가열원, 도선 등의 전기적 저항에 기초하여 가열하는 저항 가열원 등의 최신의 가열 수단(25000)등 일 수 있을 것이다.The heating means 25000 may be implemented in various forms. For example, the heating means 25000 according to an embodiment of the present application may include (1) conventional heating means 25000, (2) ions, etc., such as a pipe capable of supplying heat vapor, and a heating device using fossil fuel. It may be the latest heating means 25000, such as a sputtering heating source for heating the target material by the momentum transfer, the arc heating source for heating by the arc, the resistance heating source for heating based on the electrical resistance of the conducting wire and the like.
다만, 본 출원의 가열 수단(25000)로 바람직하게 코일(26000)이 선택될 수 있다. 상기 코일(26000)은 코일(26000)에 흐르는 고주파수의 코일 전류에 기초하여, 시공간적으로 변화하는 다이나믹한 자기장을 주변에 형성할 수 있다. 결과적으로 상기 코일(26000)의 주변에 형성된 자기장은 크루시블(23000)에 전류를 유도하고 상기 크루시블(23000)에 열량을 발생시킴으로써 상기 크루시블(23000)을 가열시킬 수 있다. 상기 크루시블(26000)이 상기 코일에 의해 가열되는 동작은 구체적으로 후술하도록 한다.However, the coil 26000 may be preferably selected as the heating means 25000 of the present application. The coil 26000 may form a dynamic magnetic field that varies in time and space based on a high frequency coil current flowing through the coil 26000. As a result, the magnetic field formed around the coil 26000 may heat the crucible 23000 by inducing a current in the crucible 23000 and generating a heat amount in the crucible 23000. An operation in which the crucible 26000 is heated by the coil will be described later in detail.
이하에서는 코일(26000)에 대하여 보다 자세하게 설명하도록 한다.Hereinafter, the coil 26000 will be described in more detail.
본 출원의 일 실시예에 따른 상기 코일(26000)은 전류가 흐를 수 있는 다양한 소재로 구현될 수 있다. 예를 들어, 바람직하게 상기 코일(26000)의 소재로 전도체가 선택될 수 있다. 상기 전도체에는 금속체, 반도체, 초전도체, 플라즈마, 흑연, 전도성 고분자 등이 있을 수 있다. 다만, 상기에 국한되지 않고 코일의 다양한 소재가 선택될 수 있다.The coil 26000 according to an embodiment of the present application may be implemented with various materials through which current may flow. For example, a conductor may be selected as a material of the coil 26000. The conductor may include a metal body, a semiconductor, a superconductor, plasma, graphite, a conductive polymer, and the like. However, various materials of the coil may be selected without being limited to the above.
도 50은 본 출원의 일 실시예에 따른 코일의 형상을 나타내는 도면이다.50 is a view showing the shape of a coil according to an embodiment of the present application.
도 50을 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 코일(26000)은 다양한 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 코일(26000)은 (1) 원환 혹은 링 등의 형상의 단일한 루프로 구현되는 오픈 쉐입과 (2) 내부가 비어있는 원통 형상으로 복수의 루프로 형성되는 클로즈드 쉐입이 존재할 수 있다. 다만, 도 52에 도시된 코일(26000)의 형상에 국한되지 않고 코일(26000)은 자기장을 발생시킬 수 있는 형상이라면 어떠한 형상으로도 구현 될 수 있을 것이다.Referring to FIG. 50, the coil 26000 according to an embodiment of the present application may have various shapes. For example, the coil 26000 may include (1) an open shape formed of a single loop having a shape such as an annular ring or a ring, and (2) a closed shape formed of a plurality of loops having a hollow cylindrical shape inside. . However, without being limited to the shape of the coil 26000 shown in FIG. 52, the coil 26000 may be implemented in any shape as long as it can generate a magnetic field.
이하에서는 설명의 편의를 위하여, 코일(26000)을 구성하는 복수의 권선이 보이는 부분을 클로즈드 쉐입의 측부라고 하며, 클로즈드 쉐입의 코일(26000)에서 원형 혹은 사각형 등의 홀을 가지는 부분을 코일(26000)의 상부 혹은 하부라고 하겠다. 상기와 같은 코일(26000)의 구조에 대한 정의는 오픈 쉐입 코일(26000)에도 적용될 수 있다.Hereinafter, for convenience of description, a portion of the coil 26000 in which the plurality of windings are visible is referred to as a side of the closed shape, and a portion having a hole such as a circle or a square in the coil 26000 of the closed shape is referred to as the coil 26000. I will say the top or bottom of). The definition of the structure of the coil 26000 may be applied to the open shape coil 26000.
본 출원의 일 실시예에 따른 코일(26000)을 구성하는 전류가 통하는 권선들은 다양한 형태를 가질 수 있다. 예를 들어, 권선의 형상은 둥근 쉐입, 직각 쉐입 등 여러 쉐입을 가질 수 있도록 다양한 외관으로 구현될 수 있다.The windings through which the current constituting the coil 26000 according to the exemplary embodiment of the present application may have various forms. For example, the shape of the winding may be implemented in a variety of appearances so as to have a number of shapes, such as round shape, rectangular shape.
또한 예를 들어, 권선의 두께 또한 목적에 따라 다양한 두께가 있을 수 있다.In addition, for example, the thickness of the winding may also vary depending on the purpose.
한편, 본 출원의 일 실시예에 따른 코일(26000)을 구성하는 권선 내부에는 빈 공간이 형성될 수 있다. 예를 들어, 물 등의 냉각수 역할을 할 수 있는 유체가 흐르도록 빈 공간이 상기 코일(26000)의 권선 내부에 형성될 수 있다. 상기 코일(26000)을 따라 흐르는 유체는 코일(26000)이 일정한 온도 이상으로 올라가지 않도록 온도를 제어하는 효과를 가질 수 있다.Meanwhile, an empty space may be formed inside the winding constituting the coil 26000 according to the exemplary embodiment of the present application. For example, an empty space may be formed inside the winding of the coil 26000 such that a fluid that may serve as a coolant such as water flows. The fluid flowing along the coil 26000 may have an effect of controlling the temperature so that the coil 26000 does not rise above a predetermined temperature.
본 출원의 일 실시예에 따른 코일(26000)의 배치되는 양상은 코일의 형상에 따라 다를 수 있다.The arrangement of the coil 26000 according to the exemplary embodiment of the present application may vary depending on the shape of the coil.
도 51은 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블 및 코일을 나타내는 도면이다.51 illustrates a crucible and a coil according to an embodiment of the present application.
도 51을 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 코일(26000)의 배치 일 양상으로서, 코일(26000)이 클로즈드 쉐입인 경우 클로즈드 쉐입 코일(26000)의 내부에 크루시블(23000)이 있도록 코일(26000)이 배치 될 수 있다. 또한 예를 들어, 전술한 배치 양상 이외에도 크루시블(23000)의 상부, 측부, 및/또는 하부에 클로즈드 쉐입 코일(26000)의 상부 혹은 하부를 위치시키는 형상일 수도 있다. 또한, 오픈 쉐입의 코일(26000)의 경우 전술한 클로즈드 쉐입 코일(26000)이 배치되는 양상이 적용될 수 있으며, 단일한 루프의 오픈 쉐입의 코일(26000)의 경우 상부 혹은 하부가 접힌 형태로 크루시블(23000)에 배치될 수도 있을 것이다.Referring to FIG. 51, in one aspect of the arrangement of the coil 26000 according to the exemplary embodiment of the present application, when the coil 26000 is a closed shape, the crucible 23000 may be provided inside the closed shape coil 26000. Coil 26000 may be disposed. In addition, for example, in addition to the above-described arrangement aspect, the shape of the upper or lower portion of the closed shape coil 26000 may be positioned on the upper side, the side portion, and / or the lower portion of the crucible 23000. In addition, in the case of the open shape coil 26000, the aforementioned aspect in which the closed shape coil 26000 is disposed may be applied. In the case of the coil of the open shape coil 26000 of a single loop, the top or bottom of the coil is formed in a folded shape. May be disposed in the table 23000.
또한, 본 출원의 일 실시예에 따른 코일(26000)은 상기 크루시블(23000)에 형성된 구조 및/또는 수단에 대응하여 배치될 수 있다.In addition, the coil 26000 according to an embodiment of the present application may be disposed corresponding to the structure and / or means formed in the crucible 23000.
도 52는 본 출원의 일 실시예에 따른 코일이 구현된 예를 나타내는 도면이다.52 is a diagram illustrating an example of implementing a coil according to an embodiment of the present application.
도 52를 참조하면, 크루시블(23000)에 노즐(23200)이 돌출되어 구현되는 경우, 도시된 바와 같이 상기 코일(26000)은 돌출 노즐(23300)에 대응하는 위치까지 올라와 배치될 수 있다. 돌출 노즐(23300)을 통과하는 증착 물질이 충분한 열량을 공급받지 못하는 경우, 상기 증착 물질은 돌출 노즐(23300)의 통로를 원활히 이동할 수 없게 된다. 따라서, 상기와 같이 코일이 돌출 노즐(23300)의 주변에 배치되는 경우, 상기 코일(26000)이 돌출 노즐(23300)의 통로를 이동하는 증착 물질이 피증착면으로 원활히 이동할 수 있도록 충분한 열량을 공급할 수 있다.Referring to FIG. 52, when the nozzle 23200 is formed to protrude from the crucible 23000, the coil 26000 may be raised to a position corresponding to the protruding nozzle 23300 as illustrated. When the deposition material passing through the protruding nozzle 23300 does not receive enough heat, the deposition material may not move smoothly through the passage of the protruding nozzle 23300. Therefore, when the coil is disposed around the protruding nozzle 23300 as described above, sufficient amount of heat may be supplied to allow the coil 26000 to smoothly move the deposition material moving through the passage of the protruding nozzle 23300 to the surface to be deposited. Can be.
본 출원의 일 실시예에 따른 가열어셈블리(22000)에는 제1 코일(26010) 및 제2 코일(26020)이 구비될 수 있다.The heating assembly 22000 according to the exemplary embodiment of the present application may be provided with a first coil 26010 and a second coil 26020.
상기 제1 코일(26010)과 제2 코일(26020)은 서로 분리하여 존재할 수 있으나, 전기적 또는 물리적으로 연결되어 있을 수도 있다. 설명을 용이하게 하기 위하여, 이하에서는 상기 제1 코일(26010)과 제2 코일(26020)이 서로 연결되어 있는 것으로 설명하도록 한다.The first coil 26010 and the second coil 26020 may be separated from each other, but may be electrically or physically connected. For ease of explanation, hereinafter, the first coil 2610 and the second coil 26020 will be described as being connected to each other.
상기 제1 코일(26010)의 권선수와 상기 제2 코일(26020)의 권선수가 서로 다르도록 상기 제1 코일(26010)의 권선수와 상기 제2 코일(26020)의 권선수가 선택될 수 있다. 예를 들어, 제2 코일(26020)의 권선수는 제1 코일(26010)의 권선수 보다 클 수 있다. 상기 제1 코일(26010)과 제2 코일(26020)의 권선수에 기초한, 코일 자기장 및 크루시블(23000)에 형성되는 유도 전류에 대하여는 구체적으로 후술하도록 한다.The number of turns of the first coil 26010 and the number of turns of the second coil 26020 may be selected such that the number of turns of the first coil 26010 and the number of turns of the second coil 26020 are different from each other. For example, the number of turns of the second coil 26020 may be greater than the number of turns of the first coil 2610. The induction current formed in the coil magnetic field and the crucible 23000 based on the number of windings of the first coil 26010 and the second coil 26020 will be described in detail later.
상기 제1 코일(26010)과 제2 코일(26020)의 구현 형태가 서로 다를 수 있다. 제1 코일(26010) 및 제2 코일(26020) 중 적어도 하나에 전술하였던 내부 통로가 형성되지 않을 수 있다. 즉, 상기 제2 코일(26020)의 내부에는 전술하였던 유체가 흐를 수 있는 내부 통로가 형성될 수 있는데 반해, 상기 제1 코일(26010)의 내부에는 상기 내부 통로가 형성되지 않을 수 있다. 이는 제1 코일(26010)과 제2 코일(26020)이 물리적으로 분리되는 경우, 상기 물리적 분리를 용이하게 하기 위함이다. 상기 제1 코일(26010)과 제2 코일(26020) 모두에 내부 통로가 형성된 경우, 상기 제1 코일(26010)과 상기 제2 코일(26020)이 분리된다면 상기 내부 통로가 분리될 수 있다. 상기 내부 통로가 분리되는 경우, 내부 통로에 포함되어 있던 물질들이 증착 환경 내로 침투할 수 있다. 상기 증착 환경 내에 침투하는 물질들은 가열어셈블리(22000)의 가열 효율을 악화시키고, 가열어셈블리(22000)의 내구도를 하락시키는 문제점을 발생시킬 수 있다. 이에 반하여, 제2 코일(26020)에 내부 통로가 형성되되, 제1 코일(26010)에 내부 통로가 형성되지 않는다면, 전술한 문제점이 발생하지 않을 수 있다.Implementation forms of the first coil 26010 and the second coil 26020 may be different from each other. The above-described internal passage may not be formed in at least one of the first coil 26010 and the second coil 26020. That is, an internal passage through which the above-described fluid flows may be formed in the second coil 26020, whereas the internal passage may not be formed in the first coil 2610. This is to facilitate the physical separation when the first coil 26010 and the second coil 26020 are physically separated. When an inner passage is formed in both the first coil 2610 and the second coil 26020, the inner passage may be separated if the first coil 26010 and the second coil 26020 are separated. When the inner passage is separated, materials included in the inner passage may penetrate into the deposition environment. Materials penetrating into the deposition environment may cause problems of deterioration of heating efficiency of the heating assembly 22000 and deterioration of durability of the heating assembly 22000. On the contrary, if the internal passage is formed in the second coil 26020, but the internal passage is not formed in the first coil 2610, the above-described problem may not occur.
상기 제1 코일(26010)과 상기 제2 코일(26020)은 크루시블(23000)과 서로 다른 위치적 관계를 가질 수 있다. 즉, 제1 코일(26010)이 크루시블(23000)과 제1 위치적 관계를 가질 때, 제2 코일(26020)은 크루시블(23000)과 제2 위치적 관계를 가질 수 있다. 이하에서는 상기 제1 코일(26010)과 제2 코일(26020)의 서로 다른 위치적 관계에 대하여 설명하도록 한다.The first coil 26010 and the second coil 26020 may have a different positional relationship with the crucible 23000. That is, when the first coil 26010 has a first positional relationship with the crucible 23000, the second coil 26020 may have a second positional relationship with the crucible 23000. Hereinafter, different positional relations between the first coil 26010 and the second coil 26020 will be described.
도 53은 본 출원의 일 실시예에 따른 돌출 노즐 근처에 배치된 코일을 도시하는 도면이다.53 illustrates a coil disposed near the protruding nozzle according to the embodiment of the present application.
도 53을 참조하면, 제1 코일(26010)은 상기 크루시블(23000)의 돌출 노즐과 가깝게 위치하도록 배치될 수 있고, 상기 제2 코일(26020)은 크루시블(23000)의 측면부에 위치하도록 배치될 수 있다. 크루시블(23000)의 돌출 노즐로부터 멀게 코일이 배치되는 경우에 비하여, 상기 돌출 노즐에 가깝게 배치된 제1 코일(26010)은 상기 크루시블(23000)의 돌출 노즐에 더 많은 열량이 발생하도록 할 수 있다. 상기 코일이 돌출노즐에 가깝게 배치됨으로써, 발생하는 열량에 대하여는 아래에서 구체적으로 후술하도록 한다. 상기 열량에 기초하여, 크루시블(23000)의 돌출 노즐을 통과하는 증착 물질은 충분한 열량을 공급받아 원활하게 돌출 노즐을 통과하게 될 수 있다. 돌출 노즐의 낮은 온도에 기인하여 상기 증착 물질이 돌출 노즐에 맺히는 경우, 상기 제1 코일(26010)의 유도 가열에 의해 상기 증착 물질은 다시 이동하게 될 수 있다. 즉, 상기 돌출 노즐에 맺힌 증착 물질은 상기 제1 코일(26010)에 의해 돌출 노즐에 발생하는 열량에 기초하여 원활히 이동할 수 있는 기체의 상태로 변화하게 될 수 있다.Referring to FIG. 53, a first coil 26010 may be disposed to be close to a protruding nozzle of the crucible 23000, and the second coil 26020 may be positioned at a side surface of the crucible 23000. It may be arranged to. Compared to the case where the coil is disposed far from the protruding nozzle of the crucible 23000, the first coil 26010 disposed close to the protruding nozzle may generate more heat in the protruding nozzle of the crucible 23000. can do. Since the coil is disposed close to the protruding nozzle, the amount of heat generated will be described later in detail. Based on the amount of heat, the deposition material passing through the protruding nozzle of the crucible 23000 may be supplied with sufficient heat to smoothly pass through the protruding nozzle. When the deposition material is deposited on the protruding nozzle due to the low temperature of the protruding nozzle, the deposition material may be moved again by induction heating of the first coil 2610. That is, the deposition material formed on the protruding nozzle may be changed into a state of a gas which can be smoothly moved based on the amount of heat generated in the protruding nozzle by the first coil 2610.
상기 제1 코일(26010)과 상기 제2 코일(26020)은 전기적, 또는 물리적으로 분리될 수 있다. 예를 들어, 상기 도 53에 도시된 바와 같이 크루시블(23000)의 상부가 크루시블(23000)로부터 분리되도록 이동되는 경우, 상기 제1 코일(26010)은 상기 크루시블(23000)의 상부와 함께 이동될 수 있다. 이에 따라, 물리적으로 제2 코일(26020)에 연결되어 있던 제1 코일(26010)은 제2 코일(26020)과 분리되어 이동될 수 있다. 크루시블(23000)의 상부가 다시 크루시블(23000)에 결합됨에 따라, 상기 분리된 제1 코일(26010)은 제2 코일(26020)과 재결합하도록 될 수 있다. 상기 제1 코일(26010)과 제2 코일(26020)의 전기적, 또는 물리적 분리/재결합은 후술할 코일접속부재(26011)에 의해 용이하게 수행될 수 있다. 이는 구체적으로 후술하도록 한다.The first coil 26010 and the second coil 26020 may be electrically or physically separated. For example, as illustrated in FIG. 53, when the upper portion of the crucible 23000 is moved to be separated from the crucible 23000, the first coil 26010 may be formed of the crucible 23000. It can be moved with the top. Accordingly, the first coil 26010 that is physically connected to the second coil 26020 may be moved separately from the second coil 26020. As the upper portion of the crucible 23000 is coupled to the crucible 23000 again, the separated first coil 2610 may be recombined with the second coil 26020. Electrical or physical separation / recombination of the first coil 26010 and the second coil 26020 may be easily performed by the coil connection member 26011 to be described later. This will be described later in detail.
상기 제1 코일(26010)과 제2 코일(26020)은 서로 다른 속성을 가지도록 구현될 수 있다.The first coil 26010 and the second coil 26020 may be implemented to have different properties.
상기 제1 코일(26010)과 상기 제2 코일(26020)의 전기적 속성이 서로 다르도록, 제1 코일(26010)과 제2 코일(26020)이 구현될 수 있다. 상기 제1 코일(26010)이 제1 저항을 가지고, 상기 제2 코일(26020)이 제2 저항을 가지는 경우, 상기 제1 저항과 제2 저항은 서로 다른 값을 가질 수 있다. 상기 제1 코일(26010)의 제1 저항이 제2 저항보다 작게함으로써, 제2 코일(26020)의 전기 전도도보다 제1 코일(26010)의 전기전도도를 크게 할 수 있다. 또는, 상기 제1 코일(26010)은 제1 인덕턴스를 가지고, 상기 제2 코일(26020)은 제2 인덕턴스를 가지도록 구현될 수 있다. 전술한 제1 코일(26010)과 제2 코일(26020)의 전기적 속성을 위하여, 제1 코일(26010)과 제2 코일(26020)을 구현하기 위한 구현 소재가 적절하게 선택될 수 있다.The first coil 26010 and the second coil 26020 may be implemented such that electrical properties of the first coil 26010 and the second coil 26020 are different from each other. When the first coil 26010 has a first resistor and the second coil 26020 has a second resistor, the first resistor and the second resistor may have different values. Since the first resistance of the first coil 26010 is smaller than the second resistance, the electrical conductivity of the first coil 26010 may be greater than the electrical conductivity of the second coil 26020. Alternatively, the first coil 26010 may have a first inductance, and the second coil 26020 may have a second inductance. For the electrical properties of the first coil 26010 and the second coil 26020, an implementation material for implementing the first coil 26010 and the second coil 26020 may be appropriately selected.
전술한 제1 코일(26010)과 제2 코일(26020)은 전원발생기(26030)로부터 유도가열을 위한 전원을 공급받을 수 있다. 상기 제1 코일(26010)과 제2 코일(26020)은 동일한 전원발생기(26030)로부터 전원을 공급받을 수 있다. 하나의 전원발생기(26030)를 이용하여 제1 코일(26010) 및 제2 코일(26020)에 전원을 공급함으로써, 각 코일을 구동하기 위한 각각의 전원 공급기를 구비하는 경우에 비하여 본 출원은 가열어셈블리(22000)의 구성의 복잡도를 줄이는 효과를 가질 수 있다.The first coil 26010 and the second coil 26020 may be supplied with power for induction heating from the power generator 2630. The first coil 26010 and the second coil 26020 may receive power from the same power generator 2630. By supplying power to the first coil (26010) and the second coil (26020) by using a single power generator (26030), the present application compared to the case of having a respective power supply for driving each coil 22000 may have an effect of reducing the complexity of the configuration.
상기 제1 코일(26010)과 제2 코일(26020)은 전원발생기(26030)에 병렬로 연결될 수 있다. 상기 병렬로 연결되는 제1 코일(26010), 제2 코일(26020), 및 전원발생기(26030)는 병렬인가모듈이라고 하도록 한다. 이하에서는 병렬인가모듈에 대하여 설명하도록 한다. 설명을 용이하게 하기 위하여, 병렬인가모듈에서의 제1 코일(26010)은 크루시블(23000)의 돌출 노즐에 가깝게 위치하도록 배치되고, 제2 코일(26020)은 크루시블(23000)의 측부에 가깝게 위치하도록 배치되는 것을 예로 들어 설명하도록 한다. The first coil 26010 and the second coil 26020 may be connected to the power generator 2630 in parallel. The first coil 26010, the second coil 26020, and the power generator 26030 connected in parallel are referred to as parallel application modules. Hereinafter, the parallel application module will be described. For ease of explanation, the first coil 26010 in the parallel application module is disposed to be located close to the protruding nozzle of the crucible 23000, and the second coil 26020 is the side of the crucible 23000. It will be described taking an example disposed so as to be located close to.
도 54는 본 출원의 일 실시예에 따른 병렬인가모듈의 회로도이다.54 is a circuit diagram of a parallel application module according to an embodiment of the present application.
도 55는 본 출원의 일 실시예에 따라 병렬 연결된 제1 코일(26010), 제2 코일(26020), 및 전원발생기(26030)를 나타내는 도면이다.FIG. 55 is a view illustrating a first coil 26010, a second coil 26020, and a power generator 2630 connected in parallel according to an embodiment of the present application.
도 54를 참조하면, 병렬인가모듈은 제1 코일(26010), 제2 코일(26020), 코일접속부재(26011), 전원발생기(26030), 및 전원인가선(26032)을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 54, the parallel application module may include a first coil 26010, a second coil 26020, a coil connection member 26011, a power generator 26030, and a power supply line 26032.
상기 제1 코일(26010)과 상기 제2 코일(26020)의 기술적 특징은 전술한 바와 같다.Technical features of the first coil 26010 and the second coil 26020 are as described above.
상기 코일접속부재(26011)는 제1 코일(26010), 제2 코일(26020), 또는 전원발생기(26030) 중 적어도 둘 이상을 물리적, 또는 전기적으로 연결하는 연결부재일 수 있다. 상기 물리적, 또는 전기적 연결을 위하여, 상기 코일접속부재(26011)는 제1 코일(26010), 제2 코일(26020), 또는 전원발생기(26030) 사이에 위치하도록 배치될 수 있다.The coil connection member 26011 may be a connection member that physically or electrically connects at least two of the first coil 26010, the second coil 26020, or the power generator 2630. For the physical or electrical connection, the coil connection member 26011 may be disposed between the first coil 26010, the second coil 26020, or the power generator 26030.
상기 전원발생기(26030)는 제1 코일(26010), 및 제2 코일(26020)을 구동하기 위한 전원을 발생시킬 수 있다.The power generator 26030 may generate power for driving the first coil 26010 and the second coil 26020.
상기 전원인가선은 제1 전원인가선(26031) 및 제2 전원인가선(26032)을 포함할 수 있다. 상기 전원발생기(26030)에서 발생한 전원을 제1 코일(26010) 또는 제2 코일(26020)로 전달할 수 있다.The power supply line may include a first power supply line 26031 and a second power supply line 26032. The power generated by the power generator 2630 may be transmitted to the first coil 26010 or the second coil 26020.
전술한 바와 같이 제1 코일(26010), 및 제2 코일(26020)이 전기적으로 병렬 연결되는 경우, 상기 제1 코일(26010) 및 제2 코일(26020)에 인가되는 전원의 속성은 실질적으로 동일할 수 있다. 한편, 제1 코일(26010) 및 제2 코일(26020)에 인가되는 전원의 속성은 실질적으로 동일하나, 제1 코일(26010)과 제2 코일(26020)이 갖는 전기적 속성은 서로 다를 수 있다. 예를 들어, 제1 코일(26010)과 제2 코일(26020)에 동일하게 A 속성의 전원이 인가되는 경우, 제1 코일(26010)의 저항이 제1 저항이고, 제2 코일(26020)의 저항이 제2 저항이라면 상기 제1 코일(26010)과 제2 코일(26020) 각각에 흐르는 전류는 각각의 저항에 기초하여 서로 다를 수 있다.As described above, when the first coil 26010 and the second coil 26020 are electrically connected in parallel, the attributes of the power applied to the first coil 26010 and the second coil 26020 are substantially the same. can do. On the other hand, the properties of the power applied to the first coil (26010) and the second coil (26020) are substantially the same, but the electrical properties of the first coil (26010) and the second coil (26020) may be different. For example, when power of the A property is applied to the first coil 26010 and the second coil 26020 in the same way, the resistance of the first coil 26010 is the first resistor, and the second coil 26020 If the resistance is the second resistor, the current flowing through each of the first coil 2610 and the second coil 26020 may be different based on the respective resistors.
이하에서는 상기 병렬 연결되는 실제적인 제1 코일(26010), 제2 코일(26020), 및 전원발생기(26030)에 대하여 구체적으로 설명하도록 한다.Hereinafter, the actual first coil 2610, the second coil 2602, and the power generator 2630 may be described in detail.
도 55에 도시된 바와 같이, 상기 제1 코일(26010), 제2 코일(26020), 코일접속부재(26011), 전원발생기(26030), 및 전원인가선(26032)이 가열어셈블리(22000)에 실제적으로 구비될 수 있다.As shown in FIG. 55, the first coil 26010, the second coil 26020, the coil connecting member 26601, the power generator 26030, and the power applying wire 26322 are connected to the heating assembly 22000. It can be provided practically.
상기 전원인가선(26032)은 제1 전원인가선(26031) 및 제2 전원인가선(26032)을 포함할 수 있다. 상기 제1 전원인가선(26031)과 제2 전원인가선(26032)에 의해 상기 제1 코일(26010), 제2 코일(26020), 및 전원발생기(26030)는 전기적으로 병렬 관계를 가질 수 있다.The power supply line 26032 may include a first power supply line 26031 and a second power supply line 26032. The first coil 26010, the second coil 26020, and the power generator 26030 may have an electrically parallel relationship by the first power supply line 26031 and the second power supply line 26032. .
상기 제1 전원인가선(26031) 및 제2 전원인가선(26032)은 전원발생기(26030)로부터 출력될 수 있다. 상기 제1 전원인가선(26031)은 제1 코일(26010)에 전원을 인가할 수 있고, 상기 제2 전원인가선(26032)은 제2 코일(26020)에 전원을 인가할 수 있도록 병렬인가모듈에 구비될 수 있다.The first power supply line 26031 and the second power supply line 26032 may be output from the power generator 2630. The first power supply line 26031 may apply power to the first coil 26010, and the second power supply line 26032 may apply power to the second coil 26020 in parallel. It may be provided in.
상기 제1 전원인가선(26031)은 제1-1 전원인가선(26031-1)과 제1-2 전원인가선(26031-2)을 포함할 수 있다. 제1 전원인가선(26031)으로부터 분기됨으로써, 상기 제1-1 전원인가선(26031-1) 및 제1-2 전원인가선(26031-2)이 구현될 수 있다. 상기 제1-1 전원인가선(26031-1)은 제1 코일(26010)의 일측에 연결될 수 있고, 상기 제1-2 전원인가선(26031-2)은 제1 코일(26010)의 타측에 연결될 수 있다. 상기 제2 전원인가선(26032)은 제2-1 전원인가선(26032-1)과 제2-2 전원인가선(26032-2)을 포함할 수 있다. 마찬가지로 제2 전원인가선(26032)으로부터 분기됨으로써, 상기 제2-1 전원인가선(26032-1) 및 제2-2 전원인가선(26032-2)이 구현될 수 있다. 상기 제2-1 전원인가선(26032-1)은 제2 코일(26020)의 일측에 연결될 수 있고, 상기 제2-2 전원인가선(26032-2)은 제1 코일(26010)의 타측에 연결될 수 있다.The first power applying line 26031 may include a 1-1 power applying line 26031-1 and a 1-2 power applying line 26031-2. By branching from the first power applying line 26031, the first-first power applying line 26031-1 and the 1-2 power applying line 26031-2 may be implemented. The first-first power supply line 26031-1 may be connected to one side of the first coil 26010, and the first-second power supply line 26031-2 may be connected to the other side of the first coil 26010. Can be connected. The second power supply line 26032 may include a 2-1 power supply line 26032-1 and a 2-2 power supply line 26032-2. Similarly, by branching from the second power applying line 2602, the 2-1 power applying line 26032-1 and the 2-2 power applying line 26032-2 may be implemented. The 2-1 power applying line 26032-1 may be connected to one side of the second coil 26020, and the 2-2 power applying line 26032-2 may be connected to the other side of the first coil 26010. Can be connected.
상기 일측은 코일의 권선의 일 영역을 의미하며, 상기 타측은 코일의 권선의 일측이 아닌 영역을 의미한다.The one side means one region of the winding of the coil, and the other side means a region that is not one side of the winding of the coil.
결과적으로 상기 연결관계에 따라, 제1 코일(26010), 제2 코일(26020), 및 전원발생기(26030)는 도 54에 도시된 바와 같은 전기적 병렬 연결 관계를 가질 수 있다.As a result, the first coil 26010, the second coil 26020, and the power generator 2630 may have an electrical parallel connection relationship as illustrated in FIG. 54.
상기 병렬연결모듈에는 코일접속부재(26011)가 더 구비될 수 있다. 병렬연결모듈에 구비되는 코일과 전원인가선(26032)이 전기적으로 연결되도록 코일접속부재(26011)가 코일과 전원인가선(26032) 사이에 배치될 수 있다.The parallel connection module may further include a coil connection member 26011. The coil connecting member 26011 may be disposed between the coil and the power applying line 26032 so that the coil and the power applying line 26032 provided in the parallel connection module are electrically connected to each other.
상기 코일접속부재(26011)는 병렬연결모듈에 구비되는 코일과 같은 소재로 구현될 수 있으나, 이에 국한되지 않고 다양한 소재로 구현될 수 있다. 상기 코일접속부재(26011)는 코일보다 낮은 저항을 가진 소재로 구현될 수 있다. 상기 코일보다 낮은 저항을 가진 소재로 구현됨에 따라, 코일접속부재(26011)는 상기 코일접속부재(26011)에 연결되는 코일에 전원을 효율적으로 전달하게 될 수 있다.The coil connection member 26011 may be implemented with the same material as a coil provided in the parallel connection module, but is not limited thereto. The coil connection member 26011 may be formed of a material having a lower resistance than a coil. As implemented with a material having a lower resistance than the coil, the coil connection member 26011 may efficiently transmit power to the coil connected to the coil connection member 26011.
상기 코일접속부재(26011)에 연결되는 구성사이에는 전기적으로 분리될 수 있는 구조가 형성될 수 있다. 상기 분리될 수 있는 구조는 소정의 분리홈, 결착구조 등을 포함할 수 있다. 일 예로, 코일접속부재(26011)이 상기 제1 코일의 일측에 연결되는 경우, 상기 제1 코일의 일측과 상기 코일접속부재(26011) 사이에 연결되고 분리될 수 있는 분리홈이 형성될 수 있다.Between the components connected to the coil connection member 26011, a structure that can be electrically separated may be formed. The structure that can be separated may include a predetermined separation groove, a binding structure, and the like. For example, when the coil connecting member 26011 is connected to one side of the first coil, a separation groove may be formed between the one side of the first coil and the coil connecting member 26011 and may be separated. .
이에 따라, 상기 코일접속부재(26011)는 코일 및 전원인가선(26032)에 연결되고, 코일 및 전원인가선(26032)으로부터 분리될 수 있다. Accordingly, the coil connecting member 26011 may be connected to the coil and the power applying line 26032, and may be separated from the coil and the power applying line 26032.
상기 코일접속부재(26011)는 다양한 형상으로 구현될 수 있다. 이하에서는 다양한 형상의 일 예에 대하여 설명하도록 한다.The coil connection member 26011 may be implemented in various shapes. Hereinafter, an example of various shapes will be described.
도 54를 다시 참조하면, 상기 코일접속부재(26011)는 제1 코일접속부재(26011-1)와 제2 코일접속부재(26011-2)를 포함할 수 있다. 상기 제1 코일(26010) 및 전원인가선(26032)이 전기적으로 연결될 수 있도록, 상기 제1 코일접속부재(26011-1)는 상기 코일접속부재(26011)는 제1 코일(26010)과 전원인가선(26032) 사이에 배치될 수 있다. 즉, 상기 코일접속부재(26011)는 제1 코일(26010)의 일측이 제1 전원인가선(26031)으로부터 분기된 제1-1 전원인가선(26031-1)에 전기적으로 접속되도록 할 수 있다. 상기 제1 코일(26010) 및 전원인가선(26032)이 전기적으로 연결될 수 있도록, 상기 제2 코일접속부재(26011-2)는 상기 코일접속부재(26011)는 제1 코일(26010)과 전원인가선(26032) 사이에 배치될 수 있다. 즉, 상기 코일접속부재(26011)는 제1 코일(26010)의 타측이 제2 전원인가선(26032)으로부터 분기된 제2-1 전원인가선(26032-1)에 전기적으로 접속되도록 할 수 있다.Referring to FIG. 54 again, the coil connecting member 26011 may include a first coil connecting member 26011-1 and a second coil connecting member 26011-2. The first coil connecting member 26011-1 is applied to the first coil 26010 so that the first coil connecting member 26011-1 can be electrically connected to the first coil 26010 and the power applying line 26032. May be disposed between lines 26032. That is, the coil connection member 26011 may allow one side of the first coil 26010 to be electrically connected to the 1-1 power supply line 26031-1 branched from the first power supply line 26031. . The second coil connecting member 26011-2 is applied to the first coil 26010 so that the first coil 26010 and the power applying line 26032 can be electrically connected to each other. May be disposed between lines 26032. That is, the coil connection member 26011 may allow the other side of the first coil 26010 to be electrically connected to the 2-1 power supply line 26032-1 branched from the second power supply line 26032. .
결과적으로 상기 연결관계에 따라, 제1 코일(26010), 제2 코일(26020), 및 전원발생기(26030)는 도 54에 도시된 바와 같은 전기적 병렬 연결 관계를 가질 수 있다.As a result, the first coil 26010, the second coil 26020, and the power generator 2630 may have an electrical parallel connection relationship as illustrated in FIG. 54.
상기 코일접속부재(26011)가 병렬인가모듈에 구비됨으로써, 본 출원은 제1 코일(26010), 제2 코일(26020), 및 전원인가선(26032)이 서로 물리적, 또는 전기적으로 용이하게 분리되거나, 용이하게 연결될 수 있는 효과를 가질 수 있다. 상기 코일접속부재(26011)가 없는 경우, 분리된 제1 코일(26010), 제2 코일(26020) 및 전원인가선(26032)이 연결되기 위해서는 상기 제1 코일(26010), 제2 코일(26020), 및 전원인가선(26032)은 소정의 형상을 가져야 한다. 즉, 상기 제1 코일(26010), 제2 코일(26020), 및 전원인가선(26032)이 여러 방향으로 꼬이거나, 돌출되는 등의 특유한 형상을 가져야 한다. 상기 제1 코일(26010), 제2 코일(26020), 및 전원인가선(26032)이 소정의 형상을 가지는 것은 병렬인가모듈의 구성의 복잡도를 증가시킬 수 있다. 상기 증가된 병렬인가모듈의 구성의 복잡도는 각 구성의 연결을 방해 할 수 있다. 이에 반해, 상기 코일접속부재(26011)가 병렬인가모듈에 구비된다면, 상기 제1 코일(26010), 제2 코일(26020), 및 전원인가선(26032)은 특유한 형상으로 구현될 필요없이 단순한 형상으로 구현될 수 있다. 상기 단순한 형상으로 구현된 제1 코일(26010), 제2 코일(26020), 및 전원인가선(26032) 사이에 상기 코일접속부재(26011)가 배치되고 제1 코일(26010), 제2 코일(26020), 또는 전원인가선(26032) 중 적어도 둘 이상을 연결함으로써 용이하게 병렬연결모듈의 구성들이 용이하게 연결될 수 있다.Since the coil connection member 26011 is provided in a parallel application module, the present application provides that the first coil 26010, the second coil 26020, and the power supply line 26032 are easily separated from each other physically or electrically. It can have an effect that can be easily connected. When the coil connection member 26011 is not present, the first coil 26010, the second coil 26020, and the power supply line 26032 are connected to each other so that the first coil 26010 and the second coil 26020 are connected. And the power-applying line 26032 should have a predetermined shape. That is, the first coil 26010, the second coil 26020, and the power applying line 26032 should have a unique shape such as being twisted or protruded in various directions. The first coil 26010, the second coil 26020, and the power supply line 26032 having a predetermined shape may increase the complexity of the parallel application module. The complexity of the configuration of the increased parallel application module may interfere with the connection of each configuration. On the contrary, if the coil connection member 26011 is provided in a parallel application module, the first coil 26010, the second coil 26020, and the power supply line 26032 need not be embodied in a unique shape, and are simple shapes. It can be implemented as. The coil connecting member 26011 is disposed between the first coil 26010, the second coil 26020, and the power supply line 26032 implemented in the simple shape, and the first coil 26010 and the second coil ( 26020, or by connecting at least two or more of the power supply line (26032), components of the parallel connection module can be easily connected.
또한, 상기 병렬연결모듈의 구성들이 분리되는 경우, 용이하게 분리될 수 있다. 예를 들어, 도 9에 도시된 제1 코일(26010)이 전원인가선(26032)으로부터 분리되어야 하는 경우, 단순히 제1 코일(26010)과 전원인가선(26032)을 물리적, 또는 전기적으로 연결하던 코일접속부재(26011)를 떼어냄으로써 제1 코일(26010)과 전원인가선(26032)이 분리될 수 있다.In addition, when the components of the parallel connection module are separated, they can be easily separated. For example, when the first coil 26010 illustrated in FIG. 9 needs to be separated from the power supply line 26032, the first coil 26010 and the power supply line 26032 may be physically or electrically connected. By removing the coil connecting member 26011, the first coil 26010 and the power applying line 26032 can be separated.
다만, 도 9에 도시된 바와 같은 병렬연결모듈의 물리적, 또는 전기적 연결 관계는 전원인가선(26032)가 과도한 길이를 가지도록 할 수 있다. 상기 전원발생기(26030)로부터 출력된 전원인가선(26032)이 과도한 길이를 가지는 경우, 증착장치의 증착 동작을 방해하는 문제점이 발생할 수 있다. 상기 길게 연장된 전원인가선(26032)에 의해 증착 동작을 위한 가열어셈블리(22000)의 이동이 제한될 수 있기 때문이다. 또한, 전원인가선(26032)이 과도한 길이를 가짐에 따라, 본 출원은 전원인가선(26032)을 통해 공급되는 전력의 손실이 급격해진다는 문제점을 가질 수 있다.However, the physical or electrical connection relationship of the parallel connection module as shown in FIG. 9 may allow the power supply line 26032 to have an excessive length. When the power applying line 26032 output from the power generator 2630 has an excessive length, a problem may occur that prevents the deposition operation of the deposition apparatus. This is because the movement of the heating assembly 22000 for the deposition operation may be restricted by the long extending power supply line 2602. In addition, as the power supply line 26032 has an excessive length, the present application may have a problem that the loss of power supplied through the power supply line 26032 is sharp.
상기 문제점을 해결하기 위한, 병렬인가모듈의 변형예가 존재할 수 있다. 전술한 병렬인가모듈의 물리적, 또는 전기적 연결은 제1 코일(26010)과 제2 코일(26020) 각각을 전원인가선(26032)에 연결하는 것이었는데, 이하에서 설명할 변형예는 제1 코일(26010)과 제2 코일(26020)이 연결되는 병렬인가모듈이다.In order to solve the above problem, there may be a modification of the parallel application module. The above-described physical or electrical connection of the parallel application module was to connect each of the first coil 26010 and the second coil 26020 to a power supply line 26032. A modification to be described below is a first coil ( 26010 and the second coil 26020 are connected in parallel.
도 56은 본 출원의 일 실시예에 따른 제1 코일(26010), 제2 코일(26020), 및 전원발생기(26030)를 나타내는 도면이다.56 is a diagram illustrating a first coil 26010, a second coil 26020, and a power generator 2630 according to an embodiment of the present application.
도 57은 본 출원의 일 실시예에 따른 제1 코일(26010), 제2 코일(26020), 및 전원발생기(26030)를 나타내는 도면이다.FIG. 57 is a diagram illustrating a first coil 26010, a second coil 26020, and a power generator 2630 according to an embodiment of the present application.
도 56을 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 제1 코일(26010), 제2 코일(26020), 및 코일접속부재(26011)는 물리적, 또는 전기적으로 연결될 수 있다.Referring to FIG. 56, the first coil 26010, the second coil 26020, and the coil connection member 26011 according to an embodiment of the present application may be physically or electrically connected.
상기 제2 코일(26020)은 제1 권선 및 제2 권선을 포함할 수 있다.The second coil 26020 may include a first winding and a second winding.
상기 제1 코일접속부재(26011-1)는 제1 권선에 연결되고, 상기 제1 코일(26010)의 일측에 연결될 수 있다. 제2 코일접속부재(26011-2)는 제2 권선에 연결되고, 상기 제2 코일(26020)의 타측에 연결될 수 있다. 도 56에 도시된 바와 같이, 상기 제1 권선 또는 제2 권선 중 적어도 하나는 코일접속부재(26011)에 연결될 수 있도록 돌출될 수 있다. 이와 달리 제1 권선, 또는 제2 권선 중 적어도 하나에 코일접속부재(26011)가 연결될 수 있도록, 상기 코일접속부재(26011)는 절곡된 형상을 가질 수도 있을 것이다.The first coil connecting member 26011-1 may be connected to a first winding and connected to one side of the first coil 26010. The second coil connecting member 26011-2 may be connected to the second winding and connected to the other side of the second coil 26020. As shown in FIG. 56, at least one of the first winding or the second winding may protrude to be connected to the coil connection member 26011. Alternatively, the coil connecting member 26011 may have a bent shape so that the coil connecting member 26011 can be connected to at least one of the first winding and the second winding.
도 56에 도시된 바와 같이 코일에 상기 제1 권선 및 상기 제2 권선이 있는 것으로 설명하였으나, 상기 제1 권선 및 제2 권선은 이에 국한되지 않을 수 있다.As illustrated in FIG. 56, the coil has the first winding and the second winding, but the first winding and the second winding may not be limited thereto.
도 56을 참조하면, 제1 전원인가선(26031)은 제2 코일(26020)의 일측과 제2 전원인가선(26032)은 제2 코일(26020)의 타측에 연결될 수 있다.Referring to FIG. 56, the first power supply line 26031 may be connected to one side of the second coil 26020 and the second power supply line 26032 may be connected to the other side of the second coil 26020.
이에 따라, 전원발생기(26030)로부터 발생된 전원이 전원인가선(26032)을 통해 제2 코일(26020)에 전달되고, 상기 제2 코일(26020)에 전달된 전원은 제2 코일(26020)로부터 제1 코일(26010)로 전달될 수 있다.Accordingly, the power generated from the power generator 2630 is transmitted to the second coil 26020 through the power supply line 26632, and the power delivered to the second coil 26020 is transferred from the second coil 26020. It may be delivered to the first coil 2610.
상기 제1 코일(26010)과 제2 코일(26020)의 물리적, 전기적 연결 관계는 정확한 의미의 병렬관계는 아닐 수 있으나, 제1 코일(26010)에 인가되는 전원의 속성은 제2 코일(26020)의 전원에 기초하기 때문에 광의의 병렬관계라고 할 수 있다.The physical and electrical connection between the first coil 26010 and the second coil 26020 may not be a parallel relationship in an exact sense, but the property of the power applied to the first coil 26010 is the second coil 26020. Since it is based on the power source, it can be said that it is a broad parallel relationship.
이하에서 변형예를 더 설명하도록 한다.Modifications will be further described below.
도 57을 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 제1 코일(26010), 제2 코일(26020), 및 전원인가선(26032)은 전기적, 또는 물리적으로 연결될 수 있다.Referring to FIG. 57, the first coil 26010, the second coil 26020, and the power supply line 26032 according to an embodiment of the present application may be electrically or physically connected.
상기 제1 코일(26010)의 일측에는 제1 코일접속부재(26011-1)가 연결되고, 상기 제1 코일(26010)의 타측에는 제2 코일접속부재(26011-2)가 연결될 수 있다. 상기 제1 코일접속부재(26011-1)는 제2 코일(26020)의 일측 및 제1 전원인가선(26031)에 연결되고, 상기 제2 코일접속부재(26011-2)는 제2 코일(26020)의 권선에 연결될 수 있다. 제2 전원인가선(26032)은 제2 코일(26020)의 타측에 연결될 수 있다. 전원발생기(26030)로부터 발생된 전원이 제1 코일(26010) 및 제2 코일(26020)에 인가될 수 있게 된다.A first coil connecting member 26011-1 may be connected to one side of the first coil 26010, and a second coil connecting member 26011-2 may be connected to the other side of the first coil 26010. The first coil connecting member 26011-1 is connected to one side of the second coil 26020 and the first power applying line 26031, and the second coil connecting member 26011-2 is connected to the second coil 26020. ) May be connected to the winding. The second power supply line 26032 may be connected to the other side of the second coil 26020. Power generated from the power generator 2630 may be applied to the first coil 26010 and the second coil 26020.
도 56과 도 57에 도시된 바와 같은 병렬인가모듈에 따라 본 출원은 다음과 같은 효과를 가질 수 있다.According to the parallel application module shown in FIGS. 56 and 57, the present application may have the following effects.
상기 제1 코일접속부재(26011-1)와 제2 코일접속부재(26011-2)를 탈착함으로써, 전술한 제1 코일(26010)과 제2 코일(26020)이 용이하게 분리될 수 있게 된다. 더불어, 제1 코일(26010), 제2 코일(26020), 및 전원인가선(26032)은 단순한 형상을 가질 수 있다. 또한, 제1 코일(26010)과 제2 코일(26020)이 서로 접속됨에 따라, 제1 코일(26010)과 제2 코일(26020) 각각에 전원을 인가할 필요가 없어 전원인가선(26032)이 과도하게 길게 될 필요가 없어질 수 있다.By detaching the first coil connecting member 26011-1 and the second coil connecting member 26011-2, the first coil 26010 and the second coil 26020 can be easily separated. In addition, the first coil 26010, the second coil 26020, and the power supply line 26032 may have a simple shape. In addition, as the first coil 26010 and the second coil 26020 are connected to each other, it is not necessary to apply power to each of the first coil 26010 and the second coil 26020 so that the power supply line 26032. It may not need to be excessively long.
한편, 하나의 전원발생기에 의해 구동되지 않는 코일은 "별도구동코일"이라고 하도록 한다. 상기 "별도구동코일"에 대하여는 구체적으로 후술하도록 한다.On the other hand, the coil that is not driven by one power generator is called "separate tool copper". The "star tool copper coil" will be described later in detail.
본 출원의 일 실시예에 따른 코일(26000)에는 전기적 속성이 변하는 가변 전원이 인가될 수 있다. 예를 들어, 이러한 가변 전원은 바람직하게 RF 등의 고주파의 교류 전원일 수 있으며, 때에 따라선 저주파의 교류 전원일 수도 있을 것이다.A variable power source of varying electrical properties may be applied to the coil 26000 according to an embodiment of the present application. For example, such a variable power supply may preferably be a high frequency AC power supply such as RF, and may be a low frequency AC power supply in some cases.
전술한 교류 전원이 코일(26000)에 인가됨에 따라 본 출원의 일 실시예에 따른 코일(26000)에는 전류(이하, 코일 전류)가 흐를 수 있다. 상기 코일 전류의 전기적 속성은 세기, 방향 등일 수 있다. 따라서, 상기 코일 전류는 상기 교류 전원에 대응하는 전기적 속성이 변화할 수 있다. 따라서, 상기 코일 전류는 상기 교류 전원에 대응하여 세기, 방향 등이 시시각각 변경될 수 있다.As the aforementioned AC power is applied to the coil 26000, a current (hereinafter, referred to as a coil current) may flow in the coil 26000 according to the exemplary embodiment of the present application. The electrical property of the coil current may be strength, direction, or the like. Accordingly, the coil current may change an electrical property corresponding to the AC power. Therefore, the coil current may change in intensity, direction, etc. in time corresponding to the AC power.
본 출원의 일 실시예에 따라 전술한 코일(26000)의 주변에는 다이나믹한 자기장이 형성되고, 상기 다이나믹한 자기장은 크루시블(23000)에 유도 전류를 형성함으로써 열량이 발생되고, 이에 따라 결과적으로 상기 코일(26000)은 크루시블(23000)을 유도 가열할 수 있다. 이하에서는 본 출원의 일 실시예에 따른 상기 코일(26000)에 의해 형성되는 자기장의 속성, 크루시블(23000)에 형성되는 유도 전류의 속성을 설명하도록 한다.According to the exemplary embodiment of the present application, a dynamic magnetic field is formed around the coil 26000, and the dynamic magnetic field generates heat by forming an induced current in the crucible 23000, and as a result, The coil 26000 may inductively heat the crucible 23000. Hereinafter, the property of the magnetic field formed by the coil 26000 and the property of the induced current formed in the crucible 23000 according to an embodiment of the present application will be described.
1.1.2.1 자기장의 속성1.1.2.1 Property of magnetic field
도 58은 본 출원의 일 실시예에 따른 코일의 주변에 형성된 자기장을 나타내는 개념 도면이다.58 is a conceptual diagram illustrating a magnetic field formed around a coil according to an embodiment of the present application.
이하에서는 자기장(26100)의 세기 속성에 대하여 설명하도록 한다.Hereinafter, the strength property of the magnetic field 26100 will be described.
본 출원의 일 실시예에 따른 자기장(26100)의 세기 속성은
Figure PCTKR2017014042-appb-I000020
(B = 자기선속 밀도, = 투자율/비례상수, H = 자기장의 세기)라는 관계식을 따를 수 있다. 이때, 상기 자기장(26100)이 형성되는 공간의 투자율에 따라 자기장(26100)의 세기값과 자기선속 밀도값은 정확히 매칭되지 않을 수 있다. 다만, 상기 관계식에서 알 수 있듯이, 자기장(26100)의 세기와 자기선속 밀도는 비례관계에 있다. 따라서, 상기 비례관계에 의거하여 본 명세서에서 자기선속 밀도 개념과 자기장의 세기 개념은 실질적으로 동일한 개념으로 한다.Intensity property of the magnetic field 26100 according to an embodiment of the present application is
Figure PCTKR2017014042-appb-I000020
(B = magnetic flux density, = permeability / proportional constant, H = strength of magnetic field). At this time, the intensity value of the magnetic field 26100 and the magnetic flux density value may not be exactly matched according to the permeability of the space in which the magnetic field 26100 is formed. However, as can be seen from the above relation, the strength of the magnetic field 26100 and the magnetic flux density are in proportion. Therefore, on the basis of the proportional relationship, the concept of magnetic flux density and the concept of the strength of the magnetic field are substantially the same.
즉, 본 명세서상 기재상 구체적인 언급이 없더라도, 상기 자기선속(26200)이 밀하다는 것은 자기장의 세기가 큰 것을 의미할 수 있으며, 자기장의 세기가 크다라고하는 것은 자기선속이 밀하다는 것을 의미할 수 있다.That is, even if there is no specific description in the present specification, the magnetic flux 26200 may mean that the magnetic field strength is large, and that the magnetic field strength is large may mean that the magnetic flux is dense. have.
또한, 자기장(26100)의 세기 속성은 자기장(26100) 발생지와의 거리 관계에 따라 변경될 수 있다. 상기 자기장(26100)의 크기 속성은
Figure PCTKR2017014042-appb-I000021
(H = 자기장의 세기, k = 비례상수, I = 발생지에 흐르는 전류, r = 발생지로부터의 거리)라는 자기장(26100)의 세기와 자기장(26100) 발생지와의 관계식을 따를 수 있다. 상기 관계식에 따르면 발생지로부터 거리가 먼 곳에 형성된 자기장(26100)일수록 자기장(26100)의 세기가 작아질 수 있다. 구체적으로, 발생지로부터 먼 거리에 형성된 일정 면적을 지나는 자기선의 수가 적어짐에 따라 자기장(26100)의 세기가 감소 할 수 있는 것이다. 반대로, 코일(26000)에 가까워질수록 자기장(26100)의 세기는 강해질 수 있다. In addition, the intensity property of the magnetic field 26100 may be changed according to the distance relationship with the source of the magnetic field 26100. The magnitude attribute of the magnetic field 26100 is
Figure PCTKR2017014042-appb-I000021
The relationship between the strength of the magnetic field 26100 and the source of the magnetic field 26100 may be followed (H = strength of the magnetic field, k = proportional constant, I = current flowing through the source, r = distance from the source). According to the above relation, the strength of the magnetic field 26100 may be smaller as the magnetic field 26100 formed at a distance from the source. Specifically, the intensity of the magnetic field 26100 may decrease as the number of magnetic lines passing through a predetermined area formed at a long distance from the source decreases. On the contrary, the closer to the coil 26000, the stronger the magnetic field 26100 may be.
이하에서는 본 출원의 일 실시예에 따른 코일(26000)에 형성되는 다이나믹한 자기장에 대하여 설명하도록 한다.Hereinafter, a dynamic magnetic field formed in the coil 26000 according to an embodiment of the present application will be described.
도 58을 참조하면, 본 출원의 코일(26000) 주변에 형성되는 자기장(26100)은 다이나믹한 성질을 가질 수 있다.Referring to FIG. 58, the magnetic field 26100 formed around the coil 26000 of the present application may have a dynamic property.
예를 들어, 본 출원의 상기 형성되는 자기장(26100)은 시간축에서의 시간 변화에 따라 방향 및 세기 속성이 급하게 변화할 수 있다. 상기 코일(26000)에 형성되는 자기장(26100)은
Figure PCTKR2017014042-appb-I000022
(H = 자기장의 세기, I = 코일에 흐르는 코일 전류)라는 관계식에 따라, 코일(26000)에 흐르는 다이나믹한 - 시간에 따라 급변하는 - 전류에 대응하여 다이나믹하게 형성될 수 있다.For example, the formed magnetic field 26100 of the present application may rapidly change direction and intensity properties according to time change in the time axis. The magnetic field 26100 formed in the coil 26000 is
Figure PCTKR2017014042-appb-I000022
According to the relation (H = strength of the magnetic field, I = coil current flowing in the coil), the dynamic flow through the coil 26000-which changes rapidly with time-can be formed dynamically.
상기 다이나믹한 자기장은 세기 속성뿐만 아니라 방향 속성을 포함하는 벡터적인 개념이다. 구체적으로, 코일(26000)에 인가되는 가변 전원에 따라 흐르는 코일 전류가 흐르는 방향 중 일 방향을 (+)라고 하였을 때, 이에 반대되는 타 방향은 (-)라고 할 수 있다. 상기 코일 전류는 (+) 에서 (-), (-)에서 (+) 방향으로 방향이 계속하여 변화하며, 동시에 전류의 세기 또한 계속하여 변경된다. 따라서, 전술한 코일 전류의 (+), (-) 방향으로 급변함에 따라 자기장(26100)의 방향은 또한 이에 대응하여 일방향, 타방향으로 급변하여 형성될 수 있다. 또한, 동시에 상기 자기장(26100)의 세기 속성은 코일 전류의 세기 속성에 대응하여 정해질 수 있을 것이다. The dynamic magnetic field is a vector concept that includes directional properties as well as intensity properties. Specifically, when one direction of the coil current flowing in accordance with the variable power applied to the coil 26000 is (+), the other direction opposite thereto may be referred to as (−). The coil current continuously changes in the directions from (+) to (-) and (-) to (+), and at the same time, the strength of the current also changes continuously. Accordingly, as the coil current suddenly changes in the positive and negative directions of the coil current, the direction of the magnetic field 26100 may also be rapidly changed in one direction and the other direction corresponding thereto. At the same time, the strength property of the magnetic field 26100 may be determined corresponding to the strength property of the coil current.
결과적으로 도 58에 도시된 바와 같이, 코일(26000) 주변에 방향, 세기가 요동치는 다이나믹한 자기장(26100)이 형성될 수 있다As a result, as shown in FIG. 58, a dynamic magnetic field 26100 having fluctuating directions and intensities may be formed around the coil 26000.
이하에서는, 코일 주변에 형성되는 다이나믹한 자기장(26100)의 세기 변화값에 대하여 설명하도록 한다.Hereinafter, the intensity change value of the dynamic magnetic field 26100 formed around the coil will be described.
다이나믹한 자기장의 세기 변화값은 양적인 개념이다. 상기 자기장의 세기 변화값은 상기 자기장의 방향이 고려된 단위 시간당 자기장의 세기의 변화양이다. 구체적으로, 같은 방향으로 형성된 자기장들의 변화값은 단순히 자기장의 세기 변화양만이 중요하지만, 다른 방향으로 형성된 상기 자기장들의 변화값은 자기장의 방향이 고려되어 자기장 세기의 변화양에 따라 정해진다,The change in intensity of a dynamic magnetic field is a quantitative concept. The intensity change value of the magnetic field is an amount of change in the intensity of the magnetic field per unit time considering the direction of the magnetic field. Specifically, the change value of the magnetic fields formed in the same direction is simply the amount of change in the intensity of the magnetic field, but the change value of the magnetic fields formed in the other direction is determined according to the change amount of the magnetic field strength in consideration of the direction of the magnetic field,
본 출원의 일 실시예에 따른 상기 다이나믹한 자기장(26100)의 세기 변화값 속성은 코일(26000)로부터 거리에 따라 달라질 수 있다. 상기 다이나믹한 자기장(26100)의 세기는 전술한
Figure PCTKR2017014042-appb-I000023
라는 자기장(26100) 형성 속성이 적용될 수 있다.An intensity change value attribute of the dynamic magnetic field 26100 according to an embodiment of the present application may vary depending on a distance from the coil 26000. The strength of the dynamic magnetic field 26100 is described above.
Figure PCTKR2017014042-appb-I000023
The magnetic field 26100 forming property may be applied.
코일(26000)로부터 거리가 멀어질수록, 해당 거리에 형성되는 자기장의 세기는 작아질 수 있다. 따라서, 형성되는 자기장의 세기의 변화폭도 작아지므로 자기장의 세기 변화값은 작아지게 된다. 반면, 코일(26000)로부터 거리가 가까워질수록 다이나믹한 자기장(26100)의 세기 변화값은 커지게 된다.As the distance from the coil 26000 increases, the strength of the magnetic field formed at the distance may decrease. Therefore, the magnitude of change in the intensity of the magnetic field to be formed is also small, so that the intensity change value of the magnetic field is small. On the other hand, as the distance from the coil 26000 gets closer, the intensity change value of the dynamic magnetic field 26100 becomes larger.
또한, 코일(26000)이 구현되는 다양한 형상은 상기 다이나믹한 자기장(26100)의 세기 변화값을 변경시킬 수 있다. 상기 다이나믹한 자기장(26100)의 세기는
Figure PCTKR2017014042-appb-I000024
(H = 자기장의 세기, N = 단위 길이당 코일의 권선수)에 따를 수 있다. 이에 따라, 상기 코일의 권선수가 많아질수록 상기 코일에 형성되는 자기장의 세기가 커진다. 상기 자기장의 세기가 커짐에 따라 자기장의 세기 변화값 또한 커지게 된다.In addition, various shapes in which the coil 26000 is implemented may change an intensity change value of the dynamic magnetic field 26100. The strength of the dynamic magnetic field 26100 is
Figure PCTKR2017014042-appb-I000024
(H = strength of magnetic field, N = number of turns of coils per unit length). Accordingly, as the number of turns of the coil increases, the strength of the magnetic field formed in the coil increases. As the intensity of the magnetic field increases, the intensity change value of the magnetic field also increases.
이하에서는, 코일(26000)로부터 형성되는 자기장에 따라 크루시블(23000)에 유도되는 유도 전류의 속성에 대하여 설명하도록 한다.Hereinafter, the property of the induced current induced in the crucible 23000 according to the magnetic field formed from the coil 26000 will be described.
1.1.2.2 유도 전류의 속성1.1.2.2 Properties of Induced Current
전술한 본 출원의 일 실시예에 따라 형성된 자기장은 크루시블(23000)에 유도 전류를 형성할 수 있다.The magnetic field formed according to the above-described embodiment of the present application may form an induced current in the crucible 23000.
예를 들어, 상기 형성되는 유도전류는
Figure PCTKR2017014042-appb-I000025
(F = 크루시블의 전자에 작용하는 힘, q = 전자의 전하량, v = 전자의 속도, H = 자기장의 세기)라는 크루시블(23000)의 전자와 코일(26000)이 형성하는 자기장간의 관계식에 따라 설명할 수 있다. 즉, 상기 크루시블(23000)의 전자는 코일(26000)이 생성하는 시공간적으로 급변하는 다이나믹한 자기장에 의해 전기적 힘이 가해질 수 있다. 결과적으로, 상기 전자는 상기 전기적 힘에 의해 운동함으로써, 유도 전류가 발생할 수 있다.For example, the induced current is formed
Figure PCTKR2017014042-appb-I000025
Between the electron of the crucible 23000 and the magnetic field formed by the coil 26000 (F = force acting on the electron in the crucible, q = amount of electron charge, v = velocity of the electron, H = strength of the magnetic field) It can be explained by relational expression. That is, the electrons of the crucible 23000 may be applied with an electric force by a dynamic magnetic field that changes rapidly in time and space generated by the coil 26000. As a result, the electrons are moved by the electric force, so that an induced current can be generated.
또한 예를 들어,
Figure PCTKR2017014042-appb-I000026
(e = 유도 기전력, B = 자기선속밀도, t=시간) 라는 코일이 형성하는 자기선속과 크루시블에 발생하는 유도기전력 사이의 관계식에 따라 상기 형성되는 유도 전류를 설명할 수 있다. 즉, 상기 코일(26000)이 생성하는 다이나믹한 자기장에 의해 크루시블(23000)에 유도 기전력이 발생할 수 있다. 상기 발생한 기전력에 따라 크루시블(23000)에 상기 유도 전류가 흐를 수 있게 된다.Also for example
Figure PCTKR2017014042-appb-I000026
According to the relation between the magnetic flux generated by the coil (e = induced electromotive force, B = magnetic flux density, t = time) and the induced electromotive force generated in the crucible, the induced current formed can be described. That is, induced electromotive force may be generated in the crucible 23000 by the dynamic magnetic field generated by the coil 26000. The induced current may flow in the crucible 23000 according to the generated electromotive force.
본 출원의 일 실시예에 따라 상기 크루시블(23000)에는 유도 전류의 전류 패스가 형성될 수 있다.According to the exemplary embodiment of the present application, a current path of an induced current may be formed in the crucible 23000.
도 59는 본 출원의 일 실시예에 따른 코일에 형성된 자기장과 크루시블을 나타내는 개념도이다.59 is a conceptual diagram illustrating a magnetic field and a crucible formed in a coil according to an embodiment of the present application.
도 59를 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블(23000)에 유도되는 전류 패스는 크루시블(23000)의 외벽(23100)에 형성될 수 있다. 또한, 상기 유도 전류 패스의 일 형태는 크루시블(23000)의 외벽(23100)을 둘러싸는 형태일 수 있다. 또 다른 상기 유도 전류 패스의 형태 예로, 크루시블(23000)의 외벽(23100)에서 국소적으로 맴돌이하는 형태의 전류 패스가 형성될 수도 있을 것이다.Referring to FIG. 59, a current path induced in the crucible 23000 according to an embodiment of the present application may be formed on the outer wall 23100 of the crucible 23000. In addition, one form of the induced current path may be a form surrounding the outer wall 23100 of the crucible 23000. As another example of the induction current path, a current path having a local circumference in the outer wall 23100 of the crucible 23000 may be formed.
또한, 상기 크루시블(23000)은 전술한 형태의 패스가 동시에 조합된 형태의 전류 패스를 가질 수 있으며, 뿐만 아니라 상기 나열한 전류 패스의 형태에 국한되지 않고 코일(26000)이 발생하는 자기장 형상의 변화에 대응하여 다양한 형태의 전류 패스를 가질 수 있을 것이다.In addition, the crucible 23000 may have a current path in which the above-described paths are combined at the same time, as well as a magnetic field shape in which the coil 26000 is generated without being limited to the above-described current paths. It may have various types of current paths in response to the change.
본 출원의 일 실시예에 따른 상기 유도 전류의 속성은 코일(26000), 코일(26000)에 형성되는 자기장, 크루시블(23000)과의 관계에 따라 다양한 속성을 가질 수 있는데 이하에서는 이에 대하여 설명하도록 한다.The property of the induced current according to an embodiment of the present application may have various properties according to the relationship between the coil 26000, the magnetic field formed in the coil 26000, and the crucible 23000, which will be described below. Do it.
이때, 본 명세서 상에서 유도 전류의 세기는
Figure PCTKR2017014042-appb-I000027
수식에 따라, 단위 시간당 크루시블(23000)에 움직이는 전하량을 의미하는 것일 수 있다. 즉, 본 명세서에서 유도 전류의 세기 의미는 양적인 개념으로써 얼마만큼의 전하가 이동하였다라는 의미를 내포하는 개념임을 밝히는 바이다.At this time, the intensity of the induced current
Figure PCTKR2017014042-appb-I000027
According to the formula, it may mean the amount of charge moving in the crucible 23000 per unit time. That is, the meaning of the intensity of the induced current in the present specification is a quantitative concept to reveal that the concept implies the meaning of how much charge has moved.
본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블(23000)에 유도되는 유도 전류의 전기적 속성은 코일(26000)에 형성되는 다이나믹한 자기장의 속성에 따라 달라질 수 있다. The electrical property of the induced current induced in the crucible 23000 according to the exemplary embodiment of the present application may vary depending on the property of the dynamic magnetic field formed in the coil 26000.
예를 들어, 본 출원의 다이나믹한 자기장의 세기 및/또는 자기자의 세기 변화값이 커지면 형성되는 유도 전류의 세기 속성은 커질 수 있다. 전술한 관계식인 (1)
Figure PCTKR2017014042-appb-I000028
(2)
Figure PCTKR2017014042-appb-I000029
에 따라, 다이나믹한 자기장의 세기 변화값이 커지면 크루시블(23000)의 전자에 가해지는 힘이 커질 수 있고 전자의 이동에 영향 주는 기전력이 커질 수 있다. 이에 따라 상기 크루시블(23000)에서 이동할 수 있는 전자의 양이 많아져 유도 전류의 세기 속성이 커지게 된다.For example, as the intensity of the dynamic magnetic field and / or the intensity change of the magnetic field of the present application are increased, the intensity property of the induced current formed may be increased. The above relation (1)
Figure PCTKR2017014042-appb-I000028
(2)
Figure PCTKR2017014042-appb-I000029
Accordingly, as the intensity change value of the dynamic magnetic field increases, the force applied to the electrons of the crucible 23000 may increase, and the electromotive force affecting the movement of the electrons may increase. Accordingly, the amount of electrons that can move in the crucible 23000 increases, so that the intensity property of the induced current increases.
또한, 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블(23000)에 유도되는 유도 전류의 전기적 속성은 크루시블(23000)의 형상에 따라 달라질 수 있다.In addition, the electrical property of the induced current induced in the crucible 23000 according to an embodiment of the present application may vary depending on the shape of the crucible 23000.
예를 들어, 유도 전류의 세기는 쿠르시블의 두께에 대응하여 쿠르시블의 두께가 두꺼운 경우 유도 전류의 세기가 커질 수 있으며, 두께가 얇은 경우 유도 전류의 세기가 작아질 수 있다. 크루시블(23000)의 두께에 따라 상기 두께가 포함하는 전자량은 변경될 수 있다. 상기 크루시블(23000)의 두께가 두꺼운 경우의 전자량은 상대적으로 얇은 두께의 전자량에 비하여 많아진다. 이에 따라, 크루시블(23000)의 두께가 두꺼워질수록 상기 형성되는 자기장에 의하여 이동할 수 있는 전자량이 많아지는 것이므로, 크루시블(23000)이 두꺼운 두께일수록 유도 전류의 세기가 커질 수 있는 것이다.For example, the intensity of the induced current may be increased when the thickness of the curable is thick corresponding to the thickness of the curable, and the intensity of the induced current may be small when the thickness is thin. The amount of electrons included in the thickness may be changed according to the thickness of the crucible 23000. The amount of electrons when the thickness of the crucible 23000 is thick increases as compared with the amount of electrons having a relatively thin thickness. Accordingly, as the thickness of the crucible 23000 increases, the amount of electrons that can move by the formed magnetic field increases, so that the thicker the crucible 23000, the greater the intensity of the induced current.
한편, 본 출원의 일 실시예에 따른 유도 전류는 자기장 형성 속성에 따라 다시 한번 크루시블(23000)에 유도 자기장을 형성할 수 있다. 또한 상기 유도 자기장은 크루시블(23000)에 유도 전류 형성 속성에 따라 2차적으로 유도 전류를 형성할 수 있다. 즉, 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블(23000)에는 연쇄적으로 유도 전류의 형성, 유도 자기장의 형성 이벤트가 발생할 수 있다.On the other hand, the induced current according to an embodiment of the present application may form an induced magnetic field in the crucible 23000 once again according to the magnetic field forming property. In addition, the induced magnetic field may form an induced current secondary to the crucible 23000 according to the induced current forming property. That is, in the crucible 23000 according to the exemplary embodiment of the present application, an event of forming an induced current and forming an induced magnetic field may occur in series.
1.1.2.3 유도 가열1.1.2.3 Induction heating
본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블(23000)에는 다양한 방식으로 열량이 발생할 수 있다.In the crucible 23000 according to an embodiment of the present application, calories may be generated in various ways.
본 출원의 일 실시예예 따른 크루시블(23000)에는 크루시블(23000)에 유도되는 유도 전류와 크루시블(23000)의 전기적 저항 성분의 결합에 의하여 열량이 발생할 수 있다. 상기 유도 전류와 전자기적 성분의 결합은
Figure PCTKR2017014042-appb-I000030
(P = 발생하는 열량, I = 유도 전류, R = 크루시블의 저항 성분, t = 가열 시간)이라는 관계식을 따를 수 있다. 상기 관계식에 따라 크루시블(23000)에 유도된 유도 전류 및/또는 유도 전류 패스는 크루시블(23000)의 저항 성분에 의하여 열량으로 변환될 수 있다. 이때, 또한 상기 크루시블(23000)에서 발생되는 열량은 유도 전류의 세기가 커짐에 따라 증가하는 것을 알 수 있다.In the crucible 23000 according to the exemplary embodiment of the present application, heat may be generated by combining an inductive current induced in the crucible 23000 and an electrical resistance component of the crucible 23000. The combination of the induced current and the electromagnetic component
Figure PCTKR2017014042-appb-I000030
(P = amount of heat generated, I = induced current, R = resistive component of crucible, t = heating time). According to the above relation, the induced current and / or induced current path induced in the crucible 23000 may be converted into calories by the resistive component of the crucible 23000. At this time, it can also be seen that the amount of heat generated in the crucible 23000 increases as the intensity of the induced current increases.
또한, 상기 크루시블(23000)은 코일(26000)의 주변에 형성되는 다이나믹한 자기장과 크루시블(23000)의 전자기적 성분과의 결합에 따라 크루시블(23000)에 열량이 발생할 수도 있다. In addition, the crucible 23000 may generate heat in the crucible 23000 according to a coupling between the dynamic magnetic field formed around the coil 26000 and the electromagnetic component of the crucible 23000. .
전술한 크루시블(23000)에서 유도 전류 및/또는 다이나믹한 자기장에 의해 발생한 열량은 크루시블(23000)을 가열할 수 있을 것이다. 상기 크루시블(23000)은 코일(26000)에 의해 유도되는 유도 전류, 다이나믹한 자기장에 의해 가열 되는 것이기 때문에, 상기 크루시블의 가열은 유도 가열이라고 할 수 있겠다.The amount of heat generated by the induced current and / or the dynamic magnetic field in the above-described crucible 23000 may heat the crucible 23000. Since the crucible 23000 is heated by the induction current induced by the coil 26000 and the dynamic magnetic field, the crucible 23000 may be referred to as induction heating.
본 출원의 일 실시예에 따른 유도 가열에는 상기와 같이 여러 방식이 존재하지만, 이하에서는 크루시블(23000)에 형성되는 유도 전류와 크루시블(23000)의 저항 성분에 따라 크루시블(23000)이 유도 가열되는 경우에 국한하여 설명하기로 한다. Induction heating according to an embodiment of the present application, there are a number of ways as described above, but in the following according to the inductive current formed in the crucible (23000) and the resistance component of the crucible (23000) ) Will only be described when induction heating.
이상에서는 가열 어셈블리에 구현될 수 있는 가열 수단(25000)의 일 예인 코일(26000)과 코일(26000)에 따라 발생하는 여러 전기적 속성에 대하여 설명하였다. 이하에서는, 본 출원의 일 실시예에 따라 가열 어셈블리에 배치될 수 있는 자기장 집속 구조물(27000)에 대하여 설명하기로 한다.In the above, various electrical properties generated by the coil 26000 and the coil 26000, which are examples of the heating means 25000 that may be implemented in the heating assembly, have been described. Hereinafter, a magnetic field focusing structure 27000 that can be disposed in a heating assembly according to an embodiment of the present application will be described.
1.1.2 자기장 집속 구조물1.1.2 Magnetic field focusing structure
본 출원의 일 실시예에 따른 가열 어셈블리에는 가열 수단(25000)을 보조하는 수단이 존재할 수 있다. 예를 들어 본 출원의 일 실시예에 따른 가열 수단(25000)이 코일(26000)인 경우, 코일(26000) 주변에 형성되는 자기장을 집속하는 자기장 집속 구조물(27000)이 가열 보조 수단으로서 가열 어셈블리에 구비될 수 있다. 이때, "집속"이라는 의미는 어떤 한 영역에 자기장의 자기선속을 집중시킨다는 의미로 해석 될 수 있을 것이다. In the heating assembly according to an embodiment of the present application, there may be a means for assisting the heating means 25000. For example, when the heating means 25000 according to an embodiment of the present application is the coil 26000, a magnetic field focusing structure 27000 that focuses a magnetic field formed around the coil 26000 is provided to the heating assembly as a heating aid. It may be provided. At this time, the term "concentration" may be interpreted to mean that the magnetic flux of the magnetic field is concentrated in a certain area.
이하에서는 자기장 집속 구조물(27000)의 일 예인 페라이트(28000)에 대하여 설명하도록 한다. 본 발명에서는 자기장 집속 구조물(27000)의 일 예로서 페라이트(28000)를 들어 설명하도록 하지만, 이에 국한되지 않고 자기장을 집속할 수 있는 수단 혹은 물질이라면 자기장 집속 구조물(27000)로서 가열 어셈블리에 구현될 수 있음을 밝히는 바이다.Hereinafter, the ferrite 28000 as an example of the magnetic field focusing structure 27000 will be described. In the present invention, the ferrite 28000 is described as an example of the magnetic field focusing structure 27000, but the present invention is not limited thereto, and any means or material capable of focusing the magnetic field may be implemented in the heating assembly as the magnetic field focusing structure 27000. It is revealed.
본 출원의 일 실시예에 따른 상기 페라이트(28000)는 다양한 소재, 타입, 및 형태로 구현될 수 있다.The ferrite 28000 according to an embodiment of the present application may be implemented in various materials, types, and shapes.
예를 들어, 페라이트(28000)는 스피넬 구조를 갖는 이온 화합물로서 산화철을 주성분으로 하여 상기 주성분에 다양한 금속화합물들이 결합되어 형성될 수 있다. 상기 다양한 금속화합물은 Mn, Zn, Mg, Cu, Ni, Co 등 2가 금속 이온들일 수 있다. 다만, 본 발명에서는 말하는 페라이트(28000)는 전술한 성분에 국한되지 않고, 다양한 자기장을 집속하는 성분의 물질로 형성될 수 있을 것이다.For example, the ferrite 28000 is an ionic compound having a spinel structure, and may be formed by combining various metal compounds with the main component of iron oxide. The various metal compounds may be divalent metal ions such as Mn, Zn, Mg, Cu, Ni, Co, and the like. However, in the present invention, the ferrite 28000 is not limited to the above-described components, and may be formed of a material of a component that focuses various magnetic fields.
또한 페라이트(28000)의 타입으로는 (1) 상온에서 액체상으로 존재할 수 있는 리퀴드 타입(Liquid Type) (2) 상온에서 일정한 형상을 가질 수 있는 솔리드 타입(Solid Type)이 있을 수 있다.In addition, the ferrite 28000 may include (1) a liquid type that may exist in a liquid phase at room temperature and (2) a solid type that may have a predetermined shape at room temperature.
또한 상기 페라이트(28000)는 판형 형상, 판형 형상의 적어도 하나 이상의 면에 볼록한 돌기를 가지는 형상, 원형 형상, 타원 형상, 구형 형상 등 목적에 맞도록 다양한 형태를 가질 수 있을 것이다.In addition, the ferrite 28000 may have various shapes to suit the purpose, such as a plate shape, a shape having convex protrusions on at least one surface of the plate shape, a circular shape, an ellipse shape, a spherical shape, and the like.
이하에서는 페라이트(28000)가 가지는 속성인 자기장 집속 속성과 자기장 집속 속성에 따른 크루시블(23000)의 가열 효율이 상승되는 효과에 대하여 설명하도록 한다.Hereinafter, an effect of increasing the heating efficiency of the crucible 23000 according to the magnetic field focusing property and the magnetic field focusing property, which are properties of the ferrite 28000, will be described.
1.1.1.1 자기장 집속 속성1.1.1.1 Magnetic field focusing properties
이하에서는 본 출원의 일 실시예에 따른 자기장 집속 구조물(27000)의 일예인 페라이트(28000)의 자기장 집속을 설명하도록 한다.Hereinafter, the magnetic field focusing of the ferrite 28000, which is an example of the magnetic field focusing structure 27000 according to the exemplary embodiment of the present application, will be described.
도 60은 본 출원의 일 실시예에 따른 자기장에 놓인 페라이트를 나타내는 도면이다.60 is a view showing a ferrite placed in a magnetic field according to an embodiment of the present application.
도 60을 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 자기장에 놓인 페라이트(28000)는 자기장의 자기선속에 영향을 줄 수 있다. 예를 들어, 페라이트(28000)는 자기장의 자기선속이 페라이트(28000) 주변에 밀하게 형성되도록, 페라이트(28000) 주변에 형성된 자기선속을 페라이트(28000)로 끌어 당기는 작용을 할 수 있다. Referring to FIG. 60, the ferrite 28000 placed in the magnetic field according to the exemplary embodiment of the present application may affect the magnetic flux of the magnetic field. For example, the ferrite 28000 may act to attract the magnetic flux formed around the ferrite 28000 to the ferrite 28000 such that the magnetic flux of the magnetic field is densely formed around the ferrite 28000.
이때, 페라이트(28000)의 두께에 따라 상기 자기선속이 받는 영향은 달라질 수 있다. 상기 페라이트(28000)의 두께가 두꺼워짐에 따라, 상기 페라이트(28000)의 주변에 형성되는 영향 줄 수 있는 자기선속은 많아 질 수 있다.In this case, the influence of the magnetic flux may vary depending on the thickness of the ferrite 28000. As the thickness of the ferrite 28000 is increased, the magnetic flux that may be formed around the ferrite 28000 may increase.
상기 페라이트(28000)는 본 출원의 가열 어셈블리에 배치될 수 있다.The ferrite 28000 may be disposed in the heating assembly of the present application.
본 출원의 일 실시예예 따른 가열 어셈블리에 배치된 페라이트(28000)는 크루시블(23000)에 영향주는 다이나믹한 자기장의 세기 변화값을 크게하는 자기장 집속 속성을 가질 수 있다.The ferrite 28000 disposed in the heating assembly according to the exemplary embodiment of the present application may have a magnetic field focusing property that increases the intensity change value of the dynamic magnetic field affecting the crucible 23000.
도 61은 본 출원의 일 실시예에 따른 페라이트, 코일, 및 코일 주변에 형성되는 자기장을 나타내는 도면이다.FIG. 61 illustrates a ferrite, a coil, and a magnetic field formed around a coil according to an embodiment of the present application.
도 61을 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 페라이트(28000)가 가열 어셈블리에 배치되는 경우, 상기 페라이트(28000)는 다이나믹한 자기장의 자기선속이 크루시블(23000)의 외벽(23100)에 밀하게 형성되도록 집속할 수 있다.Referring to FIG. 61, when the ferrite 28000 according to the exemplary embodiment of the present application is disposed in the heating assembly, the ferrite 28000 has an outer wall 23100 of the magnetic flux of the dynamic magnetic field 23000. It can be focused to form densely.
상기 크루시블(23000)의 외벽(23100)에 밀하게 형성되는 다이나믹한 자기선속은 전술한 페라이트(28000)의 속성에 따른 것일 수 있다. 코일(26000)의 외측에 배치된 페라이트(28000)가 코일(26000)의 내측으로 형성되는 자기선속을 끌어 당김으로써 크루시블(23000)에 자기선속을 밀하게 하는 것일 수 있다.The dynamic magnetic flux closely formed on the outer wall 23100 of the crucible 23000 may be due to the above-described properties of the ferrite 28000. The ferrite 28000 disposed on the outside of the coil 26000 may attract the magnetic flux to the crucible 23000 by attracting the magnetic flux formed inside the coil 26000.
또는, 크루시블(23000)의 외벽(23100)에 밀하게 형성되는 다이나믹한 자기선속은 상기 페라이트(28000)의 속성과 더불어 자기장 형성 속성에 따른 것일 수 있다. 코일(26000) 외측에 배치된 페라이트(28000)가 페라이트(28000) 속성에 따라 코일(26000)의 외측으로 형성되는 자기선속을 끌어 당길 수 있다. 동시에, 코일(26000) 주변에 자기장이 대칭적으로 형성 된다는 자기장 형성 속성에 따라 코일(26000)의 내측으로 형성되는 자기선속도 대칭적으로 크루시블(23000)로 끌어 당겨져 형성될 수 있게 된다. 이에 따라, 크루시블(23000)의 외벽(23100)에 다이나믹한 자기장의 자기선속이 밀하게 형성되는 것이다.Alternatively, the dynamic magnetic flux closely formed on the outer wall 23100 of the crucible 23000 may be a property of the magnetic field forming property in addition to the properties of the ferrite 28000. The ferrite 28000 disposed outside the coil 26000 may attract a magnetic flux that is formed outside the coil 26000 according to the properties of the ferrite 28000. At the same time, the magnetic field velocity symmetrically formed inside the coil 26000 may be pulled into the crucible 23000 symmetrically according to the magnetic field forming property that the magnetic field is symmetrically formed around the coil 26000. Accordingly, the magnetic flux of the dynamic magnetic field is densely formed on the outer wall 23100 of the crucible 23000.
상기 자기선속이 밀하게 형성됨으로써, 상기 크루시블(23000)의 외벽에 형성되는 코일(26000)의 다이나믹한 자기장의 (+)방향으로의 세기와 (-)방향으로의 세기는 동시에 상승한다. 상기 양방향의 자기장 세기가 상승함에 따라 요동치는 상기 다이나믹한 자기장의 세기의 변화폭 또한 이에 대응하여 커지게 된다. 즉, 페라이트(28000)가 배치되지 않은 경우보다 크루시블(23000)의 외벽(23100)에서 발생하는 다이나믹한 자기장의 세기 변화값은 커지게 된다.As the magnetic flux is densely formed, the strength in the positive and negative directions of the dynamic magnetic field of the coil 26000 formed on the outer wall of the crucible 23000 increases simultaneously. As the bidirectional magnetic field strength rises, the fluctuation amplitude of the dynamic magnetic field also increases correspondingly. That is, the intensity change value of the dynamic magnetic field generated at the outer wall 23100 of the crucible 23000 becomes larger than when the ferrite 28000 is not disposed.
1.1.1.2 열 효율 상승1.1.1.2 Increasing Thermal Efficiency
이하에서는, 본 출원의 일 실시예에 따른 가열 어셈블리에 페라이트(28000)가 구현되는 경우, 크루시블(23000)의 상승되는 가열 효율에 대하여 설명하도록 한다. 이때, 본 명세서에서 가열 효율이란 본 출원의 가열 수단(25000)인 코일에 입력된 전기적 에너지 대비 크루시블(23000)에 발생하는 열량을 의미한다. 즉, 코일에 입력된 전기적 에너지가 동일한 경우, 크루시블(23000)에 발생하는 열량이 클수록 가열 효율(혹은, 열 효율)이 크다고 할 수 있다.Hereinafter, when the ferrite 28000 is implemented in the heating assembly according to the exemplary embodiment of the present application, the rising heating efficiency of the crucible 23000 will be described. In this case, the heating efficiency in the present specification means the amount of heat generated in the crucible 23000 relative to the electrical energy input to the coil which is the heating means 25000 of the present application. That is, when the electrical energy input to the coil is the same, it can be said that the heating efficiency (or thermal efficiency) is larger as the amount of heat generated in the crucible 23000 is larger.
본 출원의 일 실시예에 따른 가열 어셈블리에 페라이트(28000)를 배치하는 경우의 크루시블(23000)의 가열 효율은 페라이트(28000)를 배치하지 않는 경우보다 상승할 수 있다. The heating efficiency of the crucible 23000 in the case of arranging the ferrite 28000 in the heating assembly according to the exemplary embodiment of the present application may be higher than in the case of not arranging the ferrite 28000.
도 62는 본 출원의 일 실시예에 따른 가열 어셈블리에 배치된 페라이트를 도시하는 도면이다.62 illustrates a ferrite disposed in a heating assembly according to one embodiment of the present application.
도 63은 본 출원의 일 실시예에 따른 자기장 세기 변화값 분포 그래프이다.FIG. 63 is a distribution chart of magnetic field intensity change values according to an embodiment of the present application. FIG.
도 62 (a) 내지 (b)를 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 페라이트(28000)는 크루시블(23000)의 외측에 배치된 코일(26000)을 감싸는 형태로 형성될 수 있다. 예를 들어, 크루시블(23000)에 배치된 코일(26000)의 형상에 대응하는 형태의 페라이트(28000)가 배치될 수 있을 것이다. 구체적으로 도 58과 같이 크루시블(23000)의 외측에 배치된 직육각 형상의 클로즈드 쉐입의 코일(26000)의 측부에 대응하여, 각 측부와 대향하는 사면이 내부에 형성되어 내부가 빈 직육각 형태의 페라이트(28000)가 배치될 수 있다.62 (a) to (b), the ferrite 28000 according to the exemplary embodiment of the present application may be formed to surround the coil 26000 disposed outside the crucible 23000. For example, a ferrite 28000 having a shape corresponding to the shape of the coil 26000 disposed in the crucible 23000 may be disposed. Specifically, in correspondence with the sides of the coil 26000 of the rectangular shape of the rectangular shape disposed on the outside of the crucible 23000 as shown in FIG. Ferrite 28000 in the form may be disposed.
도 62에 도시된 바와 같이 코일(26000)의 외측에 페라이트(28000)가 배치된 경우, 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블(23000)의 가열 효율은 높아질 수 있다. 도 63 (a) 내지 (b)를 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 코일에 형성되는 다이나믹한 자기장의 변화값 세기 분포는 가열 어셈블리에 배치된 크루시블에 의해 변할 수 있다. 예를 들어, 상기 코일의 내측으로 형성되는 상기 다이나믹한 자기장의 변화값 세기 분포는 크루시블의 외벽 방향으로 이동(shift)될 수 있다. 다만, 자기장의 변화값의 최대 크기는
Figure PCTKR2017014042-appb-I000031
로, 크루시블(23000)이 배치된다고 해서 크게 달라지지 않을 수 있다.As illustrated in FIG. 62, when the ferrite 28000 is disposed outside the coil 26000, the heating efficiency of the crucible 23000 according to the exemplary embodiment of the present application may be increased. Referring to Figure 63 (a) to (b), the change value intensity distribution of the dynamic magnetic field formed in the coil according to an embodiment of the present application may be changed by the crucible disposed in the heating assembly. For example, the intensity distribution of the change value of the dynamic magnetic field formed inside the coil may be shifted toward the outer wall of the crucible. However, the maximum magnitude of the change value of the magnetic field is
Figure PCTKR2017014042-appb-I000031
As such, the arrangement of the crucibles 23000 may not significantly change.
한편, 도 63(c)를 참조하면, 상기 코일에 형성되는 다이나믹한 자기장의 변화값 세기 분포는 가열 어셈블리에 배치된 페라이트(28000)에 의해 변경될 수 있다, 예를 들어, 상기 도 62 (a) 내지 (b)와 같이 페라이트(28000)가 배치됨으로써, 페라이트(28000)에 의해 상기 크루시블의 외벽에 자기장이 집속될 수 있다 이에 따라, 상기 크루시블(23000)의 외벽에 형성되는 코일(26000)의 다이나믹한 자기장의 (+)방향으로의 세기와 (-)방향으로의 세기는 동시에 상승한다. 상기 양방향의 자기장 세기가 상승함에 따라 요동치는 상기 다이나믹한 자기장의 세기의 변화폭 또한 이에 대응하여 커지게 된다. 즉, 자기장의 세기 변화값은,
Figure PCTKR2017014042-appb-I000032
로 페라이트(28000)가 배치되는 경우 페라이트(28000)가 배치되기 전에 비하여 자기장의 세기 변화값이 상기 외벽에서 커질 수 있다. On the other hand, referring to Figure 63 (c), the change value intensity distribution of the dynamic magnetic field formed in the coil can be changed by the ferrite 28000 disposed in the heating assembly, for example, the Figure 62 (a As the ferrites 28000 are disposed as shown in FIGS. 2 through 3, magnetic fields may be focused on the outer walls of the crucibles by the ferrites 28000. Accordingly, coils formed on the outer walls of the crucibles 23000 may be used. The intensity in the positive and negative directions of the dynamic magnetic field of (26000) increases simultaneously. As the bidirectional magnetic field strength rises, the fluctuation amplitude of the dynamic magnetic field also increases correspondingly. That is, the intensity change value of the magnetic field is
Figure PCTKR2017014042-appb-I000032
When the low ferrite 28000 is disposed, the intensity change value of the magnetic field may be larger in the outer wall than before the ferrite 28000 is disposed.
상기와 같이 자기장의 세기 변화값이 상승함에 따라. 유도 전류 세기는 상기 페라이트(28000)가 배치되기 이전의 크루시블(23000)보다 배치된 이후의 크루시블(23000)에서 더 증가할 수 있다. As the intensity change value of the magnetic field rises as described above. The induced current intensity may be increased further in the crucible 23000 after being disposed than the crucible 23000 before the ferrite 28000 is disposed.
전술한 유도 가열 속성에 의해 상기와 같이 유도 전류의 세기가 커짐에 따라 크루시블(23000)에서의 열량 발생이 많아질 수 있다. 결과적으로 페라이트(28000)를 배치하지 않은 코일(26000)보다 페라이트(28000)를 배치한 코일(26000)에 의한 열량 발생이 많아져 크루시블(23000)의 가열 효율은 높아질 수 있다.As the intensity of the induced current increases as described above, the amount of heat generated in the crucible 23000 may increase due to the above-described induction heating property. As a result, the amount of heat generated by the coil 26000 in which the ferrite 28000 is disposed may be greater than that of the coil 26000 in which the ferrite 28000 is not disposed, thereby increasing the heating efficiency of the crucible 23000.
이하에서는 크루시블(23000)의 가열 효율을 높일 수 있는 페라이트(28000)의 배치 예에 대하여 설명하도록 한다.Hereinafter, an example of arranging the ferrite 28000 to increase the heating efficiency of the crucible 23000 will be described.
도 62 (b)를 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 페라이트(28000)는 크루시블(23000)에 배치된 코일(26000)의 상부와 하부를 둘러싸는 형태로 구현될 수 있다. 예를 들어 내부에 크루시블(23000)이 있도록 배치된 클로즈드 쉐입의 코일(26000)의 경우, 클로즈드 쉐입 코일(26000)의 상부와 하부까지 페라이트(28000)가 배치될 수 있다.Referring to FIG. 62 (b), the ferrite 28000 according to the exemplary embodiment of the present application may be implemented to surround the upper and lower portions of the coil 26000 disposed in the crucible 23000. For example, in the case of the closed shape coil 26000 disposed to have the crucible 23000 therein, the ferrite 28000 may be disposed to the upper and lower portions of the closed shape coil 26000.
본 출원의 일 실시예에 따라 전술한 것과 같이 페라이트(28000)를 구현하였을 때, 코일(26000)의 상부면 혹은 하부면을 통해 빠져나가는 다이나믹한 자기선속까지 크루시블(23000)에 집속시키는 효과를 가질 수 있다. 상기 다이나믹한 자기장이 크루시블(23000)에 집속됨으로써 크루시블(23000)의 가열 효율은 높아지게 된다.When the ferrite 28000 is implemented as described above according to an embodiment of the present application, the effect of focusing on the crucible 23000 until the dynamic magnetic flux exits through the upper or lower surface of the coil 26000 is achieved. It can have As the dynamic magnetic field is focused on the crucible 23000, the heating efficiency of the crucible 23000 is increased.
또한, 본 출원의 일 실시예에 따른 이러한 페라이트(28000)는 크루시블(23000)의 외부에 배치되는 것뿐만 아니라, 크루시블(23000)의 가열 효율을 높이기 위하여 크루시블(23000)의 내부에 포함되는 형태로 배치될 수도 있다. In addition, such a ferrite 28000 according to an embodiment of the present application is not only disposed outside the crucible 23000, but also to increase the heating efficiency of the crucible 23000. It may be arranged in a form included therein.
도 64는 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 외벽에 포함된 페라이트를 나타내는 절단된 측면 도면이다.64 is a cut side view illustrating ferrite included in an outer wall of a crucible according to an embodiment of the present application.
도 64에 도시된 바와 같이 크루시블(23000)의 외벽(23100)에 페라이트(28000)가 형성됨으로써 크루시블(23000)의 외벽(23100)에 다이나믹한 자기장이 집속될 수 있다. 상기 다이나믹한 자기장이 집속됨에 따라 크루시블(23000)의 가열 효율이 보다 높아지는 효과를 가질 수 있을 것이다.As shown in FIG. 64, the ferrite 28000 is formed on the outer wall 23100 of the crucible 23000, so that a dynamic magnetic field may be focused on the outer wall 23100 of the crucible 23000. As the dynamic magnetic field is focused, the heating efficiency of the crucible 23000 may be increased.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 페라이트(28000)는 크루시블(23000)의 가열 효율을 높이기 위하여 크루시블(23000)에 도포되는 형태로 구현될 수 있다.In addition, the ferrite 28000 according to an embodiment of the present invention may be implemented in a form applied to the crucible 23000 to increase the heating efficiency of the crucible 23000.
도 65는 본 출원의 일 실시예에 따른 페라이트가 증착 장치(20000)에 도포되어 구현된 형상을 나타내는 도면이다.65 is a view illustrating a shape in which ferrite is applied to a deposition apparatus 20000 according to an embodiment of the present application.
도 65 (a) 내지 (d)를 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 페라이트(28000)는 가열 어셈블리에 도포되어 가열 어셈블리 구성에 코팅된 형태로 구현될 수 있다.Referring to Figure 65 (a) to (d), the ferrite 28000 according to an embodiment of the present application may be implemented in a form that is applied to the heating assembly is coated on the heating assembly configuration.
예를 들어, 본 출원의 일 실시예에 따른 페라이트(28000)는 크루시블(23000)을 둘러싸는 하우징(21000)의 외벽의 내면에 도포될 수 있다. 도 61(2a)를 참조하면 페라이트(28000)는 크루시블(23000)의 측면부를 둘러싸는 하우징(21000)의 외벽의 내면에 도포될 수 있다. For example, the ferrite 28000 according to an embodiment of the present application may be applied to the inner surface of the outer wall of the housing 21000 surrounding the crucible 23000. Referring to FIG. 61 (2a), the ferrite 28000 may be applied to the inner surface of the outer wall of the housing 21000 surrounding the side portion of the crucible 23000.
또한 본 출원의 일 실시예에 따른 페라이트(28000)는 크루시블(23000)에 도포될 수도 있다. 도 65 (b)에 도시된 바와 같이 크루시블(23000)의 측면 외벽(23100)에 페라이트(28000)가 도포될 수 있을 것이다.In addition, the ferrite 28000 according to an embodiment of the present application may be applied to the crucible 23000. As shown in FIG. 65 (b), the ferrite 28000 may be applied to the side outer wall 23100 of the crucible 23000.
본 출원의 일 실시예에 따른 상기 가열 어셈블리에 도포되는 페라이트(28000)의 두께는 증착 장치(20000) 설계 목적에 따라 다양하게 선택될 수 있을 것이다.The thickness of the ferrite 28000 applied to the heating assembly according to an embodiment of the present application may be variously selected according to the design purpose of the deposition apparatus 20000.
본 출원의 일 실시예에 따라 전술한 것과 같이 가열 어셈블리에 페라이트(28000)를 배치하게 되면 크루시블(23000)의 열효율이 높아져, 결과적으로 상기 크루시블(23000)로부터 증착 물질에 전달되는 열량은 많아질 수 있다. 결과적으로, 본 증착 장치(20000)는 페라이트(28000)를 배치함으로써 동일한 입력 에너지 대비 높은 열 출력을 가져 에너지 사용을 효율적으로 하는 효과를 가질 수 있다. 또한, 상기 높은 열출력에 따라 상기 증착 물질이 활발히 운동할 수 있도록 충분한 에너지를 가지게 되어, 본 증착 장치(20000)는 상기 증착 물질이 피증착면에 형성되는 성공율이 높아질 수 있는 효과를 가질 수 있다.As described above, when the ferrite 28000 is disposed in the heating assembly as described above, the thermal efficiency of the crucible 23000 is increased, and as a result, the amount of heat transferred from the crucible 23000 to the deposition material. Can be a lot. As a result, the present deposition apparatus 20000 may have an effect of efficiently using energy by arranging the ferrite 28000 to have a high heat output relative to the same input energy. In addition, since the deposition material has sufficient energy to actively move the deposition material according to the high heat output, the deposition apparatus 20000 may have an effect of increasing the success rate at which the deposition material is formed on the surface to be deposited. .
이하에서는 본 출원의 증착 장치(20000)의 구성을 다양하게 함으로써, 크루시블(23000)의 열분포를 제어하여 증착 물질의 증착 실효율(혹은, 증착의 성공율)을 높이는 방법에 대하여 설명하도록 한다.Hereinafter, a method of increasing the deposition efficiency (or deposition success rate) of the deposition material by controlling the heat distribution of the crucible 23000 by varying the configuration of the deposition apparatus 20000 of the present application will be described.
이때, 증착의 실효율이란 증착 물질이 피증착면에 제대로 형성되는 것을 의미뿐만 아니라, 피증착면에 균일한 두께 혹은 농도로 형성되는 것을 의미할 수 있다.In this case, the actual efficiency of the deposition means not only that the deposition material is properly formed on the surface to be deposited, but may also mean that the deposition surface is formed to have a uniform thickness or concentration.
2. 크루시블의 열 분포 제어2. Controlling the heat distribution of crucibles
피증착면에 증착 물질을 증착시키는 증착 장치(20000)는 피증착면에 증착 물질이 증착되는 증착 실효율을 높이는 것이 중요한 이슈일 수 있다. 증착 성공율을 높이기 위해서는 본 발명의 크루시블(23000) 내부 공간에 수용되는 증착 물질에 제공되는 열량의 공간적 분포를 제어하는 방법이 있을 수 있다.In the deposition apparatus 20000 for depositing a deposition material on the surface to be deposited, it may be an important issue to increase the deposition efficiency in which the deposition material is deposited on the surface to be deposited. In order to increase the deposition success rate, there may be a method of controlling the spatial distribution of heat provided to the deposition material accommodated in the internal space of the crucible 23000 of the present invention.
예를 들어, (1) 크루시블(23000)의 각 공간에 분포된 열량을 서로 다르게 제어할 수 있다. 구체적 일 예로, 크루시블(23000)의 노즐(23200) 주변의 열량 분포를 상대적으로 높게함으로써, 노즐(23200)을 통과하는 증착 물질의 온도를 높게할 수 있다. 결과적으로, 노즐(23200)을 통해 증착 물질이 원활하게 피증착면으로 배출 되어, 피증착면에 형성됨으로써 본 증착 장치(20000)는 증착의 실효율이 높아지는 효과를 가질 수 있다.For example, (1) the amount of heat distributed in each space of the crucible 23000 may be controlled differently. As a specific example, by relatively increasing the heat distribution around the nozzle 23200 of the crucible 23000, the temperature of the deposition material passing through the nozzle 23200 may be increased. As a result, the deposition material is smoothly discharged to the surface to be deposited through the nozzle 23200 and is formed on the surface to be deposited, so that the present deposition apparatus 20000 may have an effect of increasing the actual efficiency of the deposition.
또한 (2) 크루시블(23000)의 공간에 분포된 열량을 균일하게 제어할 수 있다. 상기 쿠르시블의 열 분포를 균일하게 함으로써, 상기 열분포는 상기 크루시블에 형성된 각 노즐로부터 배출되는 증착 물질들이 피증착면을 향하여 함께 이동할 수 있도록 한다. 이에 따라, 피증착면에 증착물질이 균일하게 형성되어 증착의 실효율은 높아질 수 있다.(2) The amount of heat distributed in the space of the crucible 23000 can be uniformly controlled. By uniformizing the heat distribution of the curable, the heat distribution allows deposition materials discharged from each nozzle formed in the crucible to move together toward the deposition surface. Accordingly, the deposition material may be uniformly formed on the surface to be deposited, so that the actual efficiency of the deposition may be increased.
도 66은 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 열 분포를 나타내는 개략적인 도면이다.66 is a schematic diagram illustrating a heat distribution of a crucible according to an embodiment of the present application.
도 67은 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 열 분포를 나타내는 개략적인 도면이다.67 is a schematic diagram illustrating a heat distribution of a crucible according to an embodiment of the present application.
설명의 편의를 위해, 노즐(23200)이 형성된 크루시블(23000)의 상면에 가까운 측면의 영역을 N 영역 측면, 상대적으로 먼 영역을 F 영역 측면으로 하여 설명하기로 한다.For convenience of description, the area of the side close to the top surface of the crucible 23000 on which the nozzle 23200 is formed will be described as the N area side and the relatively far area as the F area side.
본 발명에서 이루고자 하는 크루시블(23000)의 열분포는 전술하였듯이, 크루시블(23000) 측면의 N 영역 측면의 열량이 상대적으로 F 영역 측면보다 높은 열분포를 갖는 열분포일 수 있다. As described above, the heat distribution of the crucible 23000 to be achieved in the present invention may be a heat distribution having a heat distribution relatively higher than the F region side of the N region side of the crucible 23000 side.
도 66 (a)에 도시된 바와 같은 열분포인 경우에는, 증착 물질이 크루시블(23000)의 N 영역 측면에서 열량을 충분히 공급 받아 노즐(23200)을 원활히 통과하여 피증착면으로 이동할 수 있을 것이다. In the case of the heat distribution as illustrated in FIG. 66 (a), the deposition material may be sufficiently supplied with heat from the N region side of the crucible 23000 to smoothly pass through the nozzle 23200 and move to the deposition surface. .
도 66 (b)에 도시된 바와 같은 열분포인 경우에는 증착 물질이 크루시블(23000) 내에서 노즐(23200)을 향해 이동할 때, 열량을 자연스러운 분포로 공급받아 피증착면으로 원활히 이동하는 효과를 가질 수 있을 것이다.In the case of the heat distribution as shown in FIG. 66 (b), when the deposition material moves toward the nozzle 23200 in the crucible 23000, the heat is supplied in a natural distribution to smoothly move to the deposition surface. I can have it.
한편, 도 66 (a) 내지 (b)에 도시된 바에 따라 명세서 전반적으로 크루시블 측면의 Z축 방향으로 발생하는 열량이 달라지는 열 분포가 되도록 가열 어셈블리의 각 구성을 제어하는 것을 설명하였다. 또한, 크루시블 측면의 Z축 방향 중 노즐에 가까운 N영역, 노즐과 먼 F영역으로 나누어 각 영역 별로 열량 발생이 다른 열분포가 되도록 각 구성을 구현하는 것으로 설명하였다.On the other hand, as shown in Figure 66 (a) to (b) has been described to control the respective components of the heating assembly so that the heat distribution of the amount of heat generated in the Z-axis direction of the crucible side throughout the specification has been described. In addition, in the Z-axis direction of the crucible side, the configuration is implemented so that the heat generation is different for each region by dividing the N region close to the nozzle and the F region far from the nozzle.
다만, 상기 열분포는 일 예에 불과하며, 크루시블(23000)의 열분포는 이에 국한되지 않고 X축, Y축 방향으로, 열량 발생이 다른 영역에 다양하게 존재할 수 있는 열분포가 되도록 가열 어셈블리의 구성이 구현될 수 수 있다.However, the heat distribution is just one example, and the heat distribution of the crucible 23000 is not limited thereto, and the heating assembly is configured such that the heat distribution in the X-axis and Y-axis directions may be variously generated in different regions. This can be implemented.
또한, 본 발명에서 이루고자 하는 크루시블(23000)의 열분포는 도 67 과 같이 크루시블(23000)의 X축 방향의 측면에서 발생되는 열량이 균일한 열분포일 수 있다. 이때, Z축 방향에 따라 발생하는 열량은 달라질 수 있다. 전술한 것과 같이 노즐이 형성된 크루시블의 측면에서 열량 발생이 높도록
Figure PCTKR2017014042-appb-I000033
로 크루시블의 열분포가 형성될 수 있다. 또한, 크루시블의 열분포는 Z축 방향에서의 열량 발생이
Figure PCTKR2017014042-appb-I000034
로 균일한 크루시블의 열분포로 제어될 수도 있을 것이다.In addition, the heat distribution of the crucible 23000 to be achieved in the present invention may be a heat distribution having a uniform amount of heat generated in the X-axis direction of the crucible 23000 as shown in FIG. 67. At this time, the amount of heat generated according to the Z-axis direction may vary. As described above, the generation of calories is high at the side of the crucible in which the nozzle is formed.
Figure PCTKR2017014042-appb-I000033
The thermal distribution of the furnace crucible can be formed. In addition, the heat distribution of the crucible is not generated in the Z axis direction.
Figure PCTKR2017014042-appb-I000034
It may also be controlled by a uniform distribution of heat.
상기와 같이 상기 크루시블(23000)의 내부 공간에 수용되는 증착 물질에 제공되는 열량의 공간적 분포가 상기와 같이 미리 정해진 분포로 제어될 수 있도록, 상기 크루시블(23000)의 외벽(23100)에 유도되는 유도 전류의 세기 분포가 적절히 제어될 수 있다. 예를 들어, 상기 크루시블(23000)의 4개의 가열면들 중 하나의 가열면에 대해서 좌우방향과 상하방향을 정의할 때, 상기 하나의 가열면에 대한 상기 유도 전류의 분포는 상기 좌우방향에 따라서 적절히 제어되거나 또는 상기 상하방향을 따라 적절히 제어될 수 있다.As described above, the outer wall 23100 of the crucible 23000 may be controlled so that the spatial distribution of the amount of heat provided to the deposition material accommodated in the inner space of the crucible 23000 may be controlled to the predetermined distribution as described above. The intensity distribution of the induced current induced in can be appropriately controlled. For example, when defining a left and right direction and an up and down direction with respect to one of the four heating surfaces of the crucible 23000, the distribution of the induced currents for the one heating surface is the left and right directions. It may be appropriately controlled according to, or may be appropriately controlled along the vertical direction.
본 출원의 몇몇 실시예들에 따르면, 상기 크루시블(23000)의 외벽(23100)의 형상을 이용하여 상기 유도 전류의 분포가 제어되도록 상기 크루시블(23000)을 제조할 수 있다.According to some embodiments of the present application, the crucible 23000 may be manufactured to control the distribution of the induced current using the shape of the outer wall 23100 of the crucible 23000.
본 출원의 몇몇 실시예들에 따르면, 상기 크루시블(23000)과 상기 코일(26000)간의 거리를 이용하여 상기 유도 전류의 분포가 제어되도록 상기 가열 어셈블리를 제조할 수 있다.According to some embodiments of the present application, the heating assembly may be manufactured so that the distribution of the induced current is controlled by using the distance between the crucible 23000 and the coil 26000.
본 출원의 몇몇 실시예들에 따르면, 상기 자기장 집속부의 배치/분포를 이용하여 상기 유도 전류의 분포가 제어되도록 상기 가열 어셈블리를 제조할 수 있다.According to some embodiments of the present application, the heating assembly may be manufactured such that the distribution of the induced current is controlled using the arrangement / distribution of the magnetic field focusing part.
본 출원의 몇몇 실시예들에 따르면, 상기 코일(26000)의 독립제어를 이용하여 상기 유도 전류의 분포가 제어되도록 상기 가열 어셈블리를 제조할 수 있다.According to some embodiments of the present application, the heating assembly may be manufactured such that the distribution of the induced current is controlled using independent control of the coil 26000.
이하에서는 전술한 실시예들에 대해서 구체적으로 설명하고자 한다.Hereinafter will be described in detail with respect to the above-described embodiments.
한편, 도시된 도면 및 이하의 설명에서 노즐(23200)이 윗방향으로 형성된 것으로 도시되었으나, 이는 증착장비가 하향식 혹은 상향식 장비라는 것을 의미하는 것이 아니다.Meanwhile, although the nozzle 23200 is illustrated as being formed upward in the drawings and the following description, this does not mean that the deposition equipment is a top-down or bottom-up equipment.
또한, 이하에서 전반적으로 도면에 도시되는 크루시블의 형상은 길이 방향을 가지는 직육면체 형상이나 이는 전술하였듯이 일예에 불과하다. 후술하는 구현예들은 다양한 형상의 크루시블을 가지는 가열 어셈블리에 적용될 수 있다.In addition, the shape of the crucible shown generally in the drawings below is a rectangular parallelepiped shape having a longitudinal direction, but this is merely an example as described above. The embodiments described below can be applied to heating assemblies having crucibles of various shapes.
2.1 크루시블2.1 Crucible
본 출원의 일 실시예에 따른 증착의 실효율을 높이기 위하여 크루시블(23000)의 열 분포를 제어하는 방법에는 크루시블(23000)의 형상의 구현을 다양하게 하는 방법이 있다. 예를 들어, 크루시블(23000) 측부와 코일(26000)의 거리를 다양하게 하는 방법, 크루시블(23000)의 두께들 달리 구현하는 방법 등이 있을 수 있다.In order to control the heat distribution of the crucible 23000 in order to increase the actual efficiency of the deposition according to the exemplary embodiment of the present application, there are various methods of implementing the shape of the crucible 23000. For example, there may be a method of varying the distance between the side of the crucible 23000 and the coil 26000, a method of implementing different thicknesses of the crucible 23000, and the like.
이하에서는 크루시블(23000)의 형상을 다양하게 하여 크루시블(23000) 내의 열분포를 제어하는 실시예들에 대하여 구체적으로 설명하도록 한다. Hereinafter, embodiments of controlling the heat distribution in the crucible 23000 by varying the shape of the crucible 23000 will be described in detail.
2.1.1 크루시블과 코일의 거리 조절2.1.1 Distance Control between Crucible and Coil
본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블(23000) 내의 열 분포를 제어하기 위하여, 크루시블(23000)은 형성된 가열 수단(25000)인 코일(26000)로부터 다양한 거리 관계를 가질 수 있도록 형성될 수 있다.In order to control the heat distribution in the crucible 23000 according to an embodiment of the present application, the crucible 23000 may be formed to have various distance relations from the coil 26000, which is the formed heating means 25000. Can be.
도 68은 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 형상에 변화를 준 일 예를 도시하는 측면 절단 도면이다.FIG. 68 is a side cross-sectional view illustrating an example of changing a shape of a crucible according to an embodiment of the present application. FIG.
도 68 (a) 내지 (b)를 참조하면, 크루시블(23000) 주위에 배치된 코일(26000)과 크루시블(23000)의 측면이 포함하는 측부 영역들이 서로 다른 거리 관계를 가지도록 크루시블(23000)이 구현될 수 있다. 구체적으로, 크루시블(23000)은 크루시블(23000)의 상부에 가까운 크루시블(23000)의 측면(이하 N 영역 측면)보다 노즐(23200)이 형성된 상면의 반대편인 하면에 가까운 크루시블(23000)의 측면(이하 F 영역 측면)이 함몰되어 구현될 수 있을 것이다. Referring to FIGS. 68A and 68B, the crew 2260 disposed around the crucible 23000 and the side regions included in the side surfaces of the crucible 23000 have a different distance relationship. Sable 23000 may be implemented. Specifically, the crucible 23000 is a crucible closer to the bottom surface opposite to the top surface on which the nozzle 23200 is formed than the side surface of the crucible 23000 close to the top of the crucible 23000 (hereinafter referred to as N region side). The side of the tablet 23000 (hereinafter referred to as an F region side) may be embodied by being recessed.
또한, 다시 도 68(b)를 참조하면, 크루시블(23000)의 하면에 가까운 크루시블(23000)의 측면이 일정한 경사를 가지고 형성될 수 있다. 구체적으로, 크루시블(23000)에 형성된 노즐(23200)로부터 가장 먼 거리의 크루시블(23000)의 측면은 코일(26000)과의 거리가 가장 멀며, 노즐(23200)로부터 가까운 측부일수록 형성된 코일(26000)과의 거리가 가까워지도록 크루시블(23000)이 형성될 수 있다.In addition, referring to FIG. 68 (b), the side surface of the crucible 23000 near the bottom surface of the crucible 23000 may be formed to have a predetermined slope. In detail, the side surface of the crucible 23000 having the longest distance from the nozzle 23200 formed in the crucible 23000 is the farthest from the coil 26000, and the coil formed closer to the side from the nozzle 23200. The crucible 23000 may be formed to approach the distance 26000.
본 출원의 일 실시예에 따라 전술한 것과 같이 크루시블(23000)을 구현하였을 때 N 영역 측면이 F 영역 측면의 열량보다 높게 형성된 열분포가 되도록 제어할 수 있다. 앞서 설명한 자기장 형성 속성(전술한,
Figure PCTKR2017014042-appb-I000035
)에 따라 F 영역 측면보다 코일(26000)에 가깝게 구현된 크루시블(23000)의 N 영역 측면에 형성되는 다이나믹한 자기장의 세기 변화값이 커질 수 있다. 따라서, 상기 자기장의 세기 변화값에 대응하는 크루시블(23000)에 형성되는 유도 전류의 세기는 F 영역 측면보다 N 영역 측면에서 높게 된다. 따라서, 결과적으로 도 66 (a)를 참조하면, 전술한 것과 같이 크루시블(23000)을 구현하였을 때 노즐(23200)에 가까운 N 영역 측면이 F 영역 측면의 열량보다 높게 형성된 열분포가 되도록 제어할 수 있다.When the crucible 23000 is implemented as described above according to an embodiment of the present application, the N region side may be controlled to have a heat distribution formed higher than the heat quantity of the F region side. Magnetic field formation properties described above (described above,
Figure PCTKR2017014042-appb-I000035
), The intensity change value of the dynamic magnetic field formed on the N region side of the crucible 23000 implemented closer to the coil 26000 than the side of the F region may be increased. Therefore, the intensity of the induced current formed in the crucible 23000 corresponding to the intensity change value of the magnetic field is higher in the N region than in the F region. As a result, referring to FIG. 66 (a) as a result, when the crucible 23000 is implemented as described above, the N region side close to the nozzle 23200 may be controlled to have a heat distribution formed higher than the heat quantity of the F region side. Can be.
이에 따라 크루시블(23000)의 상단부에 발생하는 열량이 많아져 하단부에 비하여 상대적으로 온도가 높아질 수 있다. 결과적으로 크루시블(23000)로부터 방출되는 증착 물질이 높은 활성 에너지를 가지고 빠른 속도로 크루시블(23000)의 노즐(23200)을 통하여 피증착면으로 향할 수 있는 효과를 가질 수 있다.Accordingly, the amount of heat generated in the upper end of the crucible 23000 increases, so that the temperature may be relatively higher than the lower end. As a result, the deposition material emitted from the crucible 23000 may have a high active energy and may have an effect of being directed to the deposition surface through the nozzle 23200 of the crucible 23000 at a high speed.
한편, 도 66 (b)를 참조하면, F 영역 측면에서 크루시블(23000)의 외벽(23100)이 경사를 갖도록 구현되는 경우 코일(26000)과의 거리가 연속적으로 달라지므로, 크루시블의 열분포는 F 영역 측면에서 좀더 자연스러운 열 분포가 되도록 제어될 수 있을 것이다. Meanwhile, referring to FIG. 66 (b), when the outer wall 23100 of the crucible 23000 is inclined at the side of the F region, the distance from the coil 26000 is continuously changed, so that the crucible The heat distribution may be controlled to be a more natural heat distribution in terms of the F region.
이에 따라, 증착 물질이 크루시블(23000) 내에서 노즐(23200)을 향해 이동할 때, 자연스럽게 증가되는 열량을 공급받을 수 있다. 따라서, 증착 물질이 불연속적으로 열량을 공급 받는 때에 비하여 증착 물질이 피증착면으로 자연스럽게 이동하는 효과를 가질 수 있을 것이다.Accordingly, when the deposition material moves toward the nozzle 23200 in the crucible 23000, a naturally increased amount of heat may be supplied. Thus, the deposition material may have an effect of naturally moving to the surface to be deposited as compared with when the deposition material is discontinuously supplied with heat.
2.1.2 크루시블의 외벽 두께 조절2.1.2 Thickness adjustment of outer wall of crucible
본 발명의 일 실시예예 따른 크루시블(23000)의 외벽(23100)의 두께를 다양하게 구현함으로써, 크루시블(23000) 내의 열 분포는 제어될 수 있다.By implementing various thicknesses of the outer wall 23100 of the crucible 23000 according to an embodiment of the present invention, the heat distribution in the crucible 23000 may be controlled.
도 69는 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 두께에 변화를 준 예들을 도시하는 측면 절단 도면이다.69 is a side cutaway view showing examples of changing a thickness of a crucible according to an embodiment of the present application.
도 69 (a) 내지 (d)를 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블(23000)은 서로 다른 두께를 갖는 영역이 존재하도록 형성될 수 있다.Referring to FIG. 69 (a) to (d), the crucible 23000 according to an embodiment of the present application may be formed such that regions having different thicknesses exist.
예를 들어, 크루시블(23000)은 크루시블(23000)에 형성된 노즐(23200)에 가까운 부분(N 영역 측면)과 상대적으로 먼 부분(F 영역 측면)의 두께가 다르게 형성될 수 있다. 구체적으로, 크루시블(23000)의 F 영역 측면의 두께가 얇게 형성될 수 있다. 도 69(a)를 참조하면 F 영역 측면의 외측이 크루시블(23000)의 내측으로 파인 형태로 형성되어 N 영역 측면에 비하여 두께가 얇아질 수 있고, 도 65(b)를 참조하면 크루시블(23000)의 F 영역 측면의 내측벽이 크루시블(23000)의 외측으로 파인 형태로 형성되어 F 영역 측면의 두께가 N 영역 측면의 두께에 비하여 상대적으로 얇게 형성될 수 있다. 또한, 도 69(c)를 참조하면, F 영역 측면의 두께는 전술한 형태를 조합하여 외벽(23100)으로부터 내측으로 내벽으로부터 외측으로 파인 형태로 형성되어 상대적으로 얇게 구현 수 있을 것이다.For example, the crucible 23000 may be formed to have a thickness different from a portion close to the nozzle 23200 formed in the crucible 23000 (the N region side) and a relatively far portion (the F region side). Specifically, the thickness of the side of the F region of the crucible 23000 may be thinly formed. Referring to FIG. 69 (a), the outer side of the F region side surface is formed in a hollow shape to the inside of the crucible 23000, so that the thickness may be thinner than that of the N region side surface. An inner wall of the F region side surface of the block 23000 may be formed to be dug outwardly of the crucible 23000 so that the thickness of the F region side surface may be formed relatively thinner than the thickness of the N region side surface. In addition, referring to FIG. 69 (c), the thickness of the side of the F region may be formed in a shape that is recessed outward from the inner wall from the outer wall 23100 inward from the outer wall 23100 by combining the above-described shapes.
상기와 같이 크루시블(23000)의 두께를 달리 구현함에 따라 코일(26000)로부터의 거리 또한 달라질 수 있다. 도 69 (a) 및 (c)를 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블(23000)의 F 영역 측면의 두께가 외측에서 내측으로 파인 형태로 얇게 구현됨에 따라 코일(26000)로부터의 거리 또한 멀어질 수 있다.As the thickness of the crucible 23000 is implemented differently as described above, the distance from the coil 26000 may also vary. 69 (a) and (c), as the thickness of the side of the F region of the crucible 23000 according to the exemplary embodiment of the present application is thinly formed in an outwardly inwardly hollow shape from the coil 26000, The distance can also be greater.
본 출원의 일 실시예에 따라 전술한 것과 같이 크루시블(23000)을 구현하였을 때, 크루시블(23000)은 자기장 형성 속성(전술한,
Figure PCTKR2017014042-appb-I000036
) 혹은 유도 전류 속성(전술한, 크루시블(23000) 두께)에 따라 도 66 (a)와 같은 N 영역 측면이 F 영역 측면의 열량보다 높게 형성된 열분포가 되도록 제어될 수 있다. 크루시블(23000)의 N 영역 측면에 자기장 세기 변화값이 큰 다이나믹한 자기장이 형성될 수 있다. 상기 자기장의 세기 변화값에 대응하여 크루시블(23000)의 두께가 두꺼운 측부(N 영역 측면)에서 상대적으로 세기가 큰 유도전류가 흐를 수 있다. 세기가 큰 유도 전류에 의하여 N 영역 측면에서의 열량 발생이 커져 크루시블(23000)의 열분포를 상기와 같이 제어할 수 있게 된다.When the crucible 23000 is implemented as described above according to an embodiment of the present application, the crucible 23000 has a magnetic field forming property (described above,
Figure PCTKR2017014042-appb-I000036
Or according to the induced current property (described above, the thickness of the crucible 23000), the N region side as shown in FIG. 66 (a) may be controlled to have a heat distribution formed higher than the heat quantity of the F region side. A dynamic magnetic field having a large change value of magnetic field strength may be formed on the N region side of the crucible 23000. In response to the intensity change value of the magnetic field, a relatively high intensity induced current may flow in the thick side portion (N region side surface) of the crucible 23000. The generation of heat on the side of the N region is increased by the induction current having high intensity, so that the heat distribution of the crucible 23000 can be controlled as described above.
한편, 도 69(d)를 참조하면, 전술한 크루시블(23000) 형상의 조합예로서, 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블(23000)은 다른 두께를 가지고 일정한 각도의 경사를 가지는 영역을 가질 수 있다. Meanwhile, referring to FIG. 69 (d), as a combination example of the shape of the crucible 23000 described above, the crucible 23000 according to the exemplary embodiment of the present application has a different thickness and has a predetermined angle of inclination. It can have an area.
전술한 것과 같이 크루시블(23000)을 구현 하였을 때, 크루시블(23000)의 F 영역 측면의 코일(26000)과의 거리가 연속적으로 달라질 수 있다. 따라서, N 영역 측면이 F 영역 측면보다 열량이 높은 열분포이되, 도시된 도 66 (b)와 같이 F 영역 측면에서 좀 더 자연스러운 열 분포가 되도록 제어될 수 있을 것이다. As described above, when the crucible 23000 is implemented, the distance to the coil 26000 of the side of the F region of the crucible 23000 may be continuously changed. Accordingly, the N region side surface may have a higher heat distribution than the F region side surface, and as shown in FIG. 66 (b), the N region side surface may be controlled to have a more natural heat distribution in the F region side surface.
전술한 것과 같이 크루시블(23000)이 구현되는 경우, N 영역 측면을 지나는 증착 물질에 공급되는 얄량이 많아짐으로써 피증착면으로 원활히 가이딩되어 증착의 실효율이 높아질 수 있다. When the crucible 23000 is implemented as described above, the amount of feed supplied to the deposition material passing through the N region side is increased, thereby guiding smoothly to the surface to be deposited, thereby increasing the actual efficiency of deposition.
이상에서는 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블(23000)의 구현 형상을 다양하게함으로써 크루시블(23000)의 열 분포를 제어하는 방법에 대하여 설명하였다. 이하에서는 코일(26000)의 구현 방법을 다양하게하여 크루시블(23000)의 열 분포를 제어하는 방법에 대하여 설명하도록 한다.In the above, the method of controlling the heat distribution of the crucible 23000 by varying the implementation shape of the crucible 23000 according to the exemplary embodiment of the present application has been described. Hereinafter, a method of controlling the heat distribution of the crucible 23000 by variously implementing the coil 26000 will be described.
한편, 앞서 도시한 도면에서 크루시블(23000)은 형성된 클로즈드 쉐입의 코일(26000)의 내부에 존재하는 것으로 도시되었으나, 이에 국한되지 않을 수 있다.Meanwhile, although the crucible 23000 is illustrated as being present inside the coil 26000 of the formed closed shape, the present invention may not be limited thereto.
2.2 코일2.2 coil
본 출원의 일 실시예에 따른 증착의 실효율을 높이기 위하여 크루시블(23000)의 열 분포를 제어하는 방법에는 코일(26000)의 구현을 다양하게 하는 방법이 있다. 예를 들어, 코일(26000)의 권선수를 조절 하는 방법, 크루시블(23000)과의 거리를 다양하게 구현하는 방법 등이 있을 수 있다In order to control the heat distribution of the crucible 23000 in order to increase the actual efficiency of the deposition according to the exemplary embodiment of the present application, there are various methods of implementing the coil 26000. For example, there may be a method of adjusting the number of windings of the coil 26000, a method of variously implementing a distance from the crucible 23000, and the like.
이하에서는 상기 코일(26000)이 다양하게 구현되는 실시예들에 대하여 설명하도록 한다.Hereinafter, various embodiments in which the coil 26000 is implemented will be described.
2.2.1 코일의 권선수 조절2.2.1 Coil number adjustment
도 70은 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 외측에 형성된 코일을 나타내는 도면이다.70 is a view illustrating a coil formed on the outside of the crucible according to the embodiment of the present application.
도 70(a)를 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블(23000)의 측면 영역에 코일(26000)의 권선수가 다르게 배치될 수 있다. 예를 들어, 크루시블(23000)의 노즐(23200)로부터 먼 크루시블(23000)의 영역(F 영역 측면)에 형성된 코일(26000)보다 노즐(23200)에 가까운 거리에 존재하는 크루시블(23000) 영역(N 영역 측면)에 영향을 주는 클로즈드쉐입 코일(26000)의 권선수가 더 많게 배치될 수 있을 것이다.Referring to FIG. 70A, the number of windings of the coil 26000 may be differently disposed in the side region of the crucible 23000 according to the exemplary embodiment of the present application. For example, the crucible present at a distance closer to the nozzle 23200 than the coil 26000 formed in the region (F region side surface) of the crucible 23000 far from the nozzle 23200 of the crucible 23000. More windings of the closed-shape coil 26000 may be disposed to affect the region (23000) of the region (N region side).
또한, 도 70(b)를 참조하면, 크루시블(23000)은 복수 개의 클로즈드 쉐입 코일(26000)의 상측부 혹은 하측부가 크루시블(23000)의 N 영역 측면에 배치되는 구현 예일 수 있다. 상기 N 영역 측면에 배치되는 상기 코일(26000)의 권선수는 더 많은 코일(26000)로 구현될 수 있다.In addition, referring to FIG. 70 (b), the crucible 23000 may be an exemplary embodiment in which the upper part or the lower part of the plurality of closed shape coils 26000 is disposed on the side of the N region of the crucible 23000. The number of turns of the coil 26000 disposed on the side of the N region may be implemented with more coils 26000.
본 출원의 일 실시예에 따라 전술한 것과 같이 코일(26000)을 구현하였을 때, N 영역 측면이 F 영역 측면의 열량보다 높게 형성된 열분포가 되도록 제어할 수 있다. 앞서 설명한 자기장 형성 속성(전술한,
Figure PCTKR2017014042-appb-I000037
)에 따라 F 영역 측면보다 배치된 코일(26000)이 권선수가 많게 구현된 크루시블(23000)의 N 영역 측면에 형성된 다이나믹한 자기장의 세기 변화값이 커질 수 있다. 결과적으로, 크루시블(23000)에 형성되는 유도 전류의 세기 또한 F 영역 측면보다 N 영역 측면이 높아지게 된다. 따라서, 결과적으로 도 66 (a)를 참조하면, 전술한 것과 같이 크루시블(23000)이 구현되었을 때 노즐(23200)에 가까운 N 영역 측면이 F 영역 측면의 열량보다 높게 형성된 열분포가 되도록 제어될 수 있다.When the coil 26000 is implemented as described above according to an embodiment of the present application, the N region side may be controlled to have a heat distribution formed higher than the heat amount of the F region side. Magnetic field formation properties described above (described above,
Figure PCTKR2017014042-appb-I000037
), The intensity change value of the dynamic magnetic field formed on the N region side of the crucible 23000 in which the coil 26000 disposed more than the F region side may be increased. As a result, the intensity of the induced current formed in the crucible 23000 is also higher in the N region than in the F region. Therefore, referring to FIG. 66 (a) as a result, when the crucible 23000 is implemented as described above, the N region side close to the nozzle 23200 may be controlled to have a heat distribution formed higher than the heat quantity of the F region side. Can be.
이에 따라 크루시블(23000)의 상단부에 발생하는 열량이 많아져 하단부에 비하여 상대적으로 온도가 높아질 수 있어, 결과적으로 크루시블(23000)로부터 방출되는 증착 물질이 높은 활성 에너지를 가지고 빠른 속도로 크루시블(23000)의 노즐(23200)을 통하여 피증착면으로 향할 수 있는 효과를 가질 수 있다.Accordingly, the amount of heat generated at the upper end of the crucible 23000 increases, so that the temperature may be relatively higher than that of the lower part. As a result, the deposition material emitted from the crucible 23000 has a high active energy and has a high speed. Through the nozzle 23200 of the crucible 23000 may have an effect that can be directed to the surface to be deposited.
2.2.2 코일과 크루시블의 거리 조절2.2.2 Distance between coil and crucible
본 출원의 일 실시예에 따른 코일(26000)은 크루시블(23000)의 외벽(23100)과의 위치적 관계에서 다양한 구현예를 가질 수 있다.The coil 26000 according to an embodiment of the present application may have various embodiments in a positional relationship with the outer wall 23100 of the crucible 23000.
예를 들어, 본 출원의 일 실시예에 따른 코일(26000)은 크루시블(23000)의 일 면에 형성된 거리보다 타 면에 코일(26000)이 형성된 거리를 더 작게하여 배치될 수 있을 것이다. For example, the coil 26000 according to the exemplary embodiment of the present application may be arranged by making the distance between the coil 26000 formed on the other surface smaller than the distance formed on one surface of the crucible 23000.
도 71는 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 외측에 형성된 코일을 나타내는 도면이다.71 is a view illustrating a coil formed on the outside of the crucible according to the embodiment of the present application.
도 71(a)를 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블(23000)의 측면 영역마다 코일(26000)의 거리가 다르게 배치될 수 있다. 예를 들어, 크루시블(23000)의 노즐(23200)로부터 먼 크루시블(23000)의 영역(F 영역 측면)에 형성된 코일(26000)보다 노즐(23200)에 가까운 거리에 존재하는 크루시블(23000) 영역(N 영역 측면)에 영향을 주는 클로즈드쉐입 코일(26000)의 거리가 더 가깝게 형성될 수 있을 것이다.Referring to FIG. 71A, the distance between the coils 26000 may be different for each side region of the crucible 23000 according to the exemplary embodiment of the present application. For example, the crucible present at a distance closer to the nozzle 23200 than the coil 26000 formed in the region (F region side surface) of the crucible 23000 far from the nozzle 23200 of the crucible 23000. The distance of the closed-shape coil 26000 that affects the region (23000) (the N region side) may be formed closer.
또한, 도 71(b)를 참조하면, 예를 들어 상기 촘촘하게 코일(26000)이 구현되는 실시예에서는 크루시블(23000)은 복수 개의 클로즈드 쉐입 코일(26000)의 상측부 혹은 하측부가 크루시블(23000)의 N 영역 측면에 F 영역 측면보다 상대적으로 가까운 거리로 형성되는 구현 예일 수도 있다.In addition, referring to FIG. 71 (b), for example, in the embodiment in which the coil 26000 is tightly formed, the crucible 23000 may be crucible of the upper part or the lower part of the plurality of closed shape coils 26000. An implementation example may be formed at a relatively closer distance to the N region side of the 23000 than the F region side.
본 출원의 일 실시예에 따라 전술한 것과 같이 코일(26000)을 구현하였을 때, N 영역 측면이 F 영역 측면의 열량보다 높게 형성된 열분포가 되도록 제어할 수 있다. 앞서 설명한 자기장 형성 속성(전술한,
Figure PCTKR2017014042-appb-I000038
)에 따라 F 영역 측면보다 가까이 코일(26000)이 구현된 크루시블(23000)의 N 영역 측면에 형성된 자기장의 세기 변화값이 커질 수 있다. 결과적으로, 크루시블(23000)에 형성되는 유도 전류의 세기 또한 F 영역 측면보다 N 영역 측면이 높아지게 된다. 따라서, 결과적으로 도 71 (a)를 참조하면, 전술한 것과 같이 크루시블(23000)을 구현하였을 때 노즐(23200)에 가까운 N 영역 측면이 F 영역 측면의 열량보다 높게 형성된 열분포가 되도록 제어할 수 있다.When the coil 26000 is implemented as described above according to an embodiment of the present application, the N region side may be controlled to have a heat distribution formed higher than the heat amount of the F region side. Magnetic field formation properties described above (described above,
Figure PCTKR2017014042-appb-I000038
), The intensity change value of the magnetic field formed on the N region side of the crucible 23000 in which the coil 26000 is implemented may be greater than the side of the region F. As a result, the intensity of the induced current formed in the crucible 23000 is also higher in the N region than in the F region. As a result, referring to FIG. 71 (a) as a result, when the crucible 23000 is implemented as described above, the N region side close to the nozzle 23200 may be controlled to have a heat distribution formed higher than the heat quantity of the F region side. Can be.
이상에서는 본 출원의 일 실시예에 따른 코일(26000)의 구현 형상을 다양하게함으로써 크루시블(23000)의 열 분포를 제어하는 방법에 대하여 설명하였다. 이하에서는 자기장 집속 구조물(27000)을 가열 어셈블리에 배치함으로써 크루시블(23000)의 열분포를 제어하는 방법에 대하여 설명하도록 한다.In the above, the method of controlling the heat distribution of the crucible 23000 by varying the implementation shape of the coil 26000 according to the exemplary embodiment of the present application has been described. Hereinafter, a method of controlling the heat distribution of the crucible 23000 by arranging the magnetic field focusing structure 27000 in the heating assembly will be described.
2.2.3 별도 구동 코일2.2.3 Separate Drive Coil
본 출원의 일 실시예에 따른 증착 장치(20000)에 구현되는 코일(26000)은 크루시블(23000)의 열분포를 제어하기 위하여 별도로 구동될 수 있다. The coil 26000 implemented in the deposition apparatus 20000 according to the exemplary embodiment of the present application may be driven separately to control the heat distribution of the crucible 23000.
도 72는 본 출원의 일 실시예에 따른 증착 장치(20000)에 구현되는 코일이 별도로 구동되는 일 예를 나타내는 개념도이다.72 is a conceptual diagram illustrating an example in which a coil implemented in the deposition apparatus 20000 according to an embodiment of the present application is separately driven.
도 73은 본 발명의 일 실시예예 따른 크루시블의 열 분포를 개념적으로 나타내는 도면이다.73 is a view conceptually showing a heat distribution of a crucible according to an embodiment of the present invention.
도 72를 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 코일(26000)은 별도로 구동 될 수 있다. 상기 별도로 구동되는 코일(26300, 26400)에는 인가되는 가변 전원의 속성이 다를 수 있다. 상기 가변 전원 속성은 전원의 주파수 및 세기 속성등을 포함할 수 있다. Referring to FIG. 72, the coil 26000 according to an embodiment of the present application may be driven separately. The separately driven coils 26300 and 26400 may have different attributes of the variable power applied thereto. The variable power source property may include a frequency and intensity property of a power source.
상기 코일(26000)에 인가되는 속성이 다른 복수개의 전원은 전원의 수에 대응하는 수의 전원 공급 장치로부터 각각 인가될 수 있다.A plurality of powers having different attributes applied to the coils 26000 may be applied from power supplies corresponding to the number of power supplies.
혹은 별도로 구동되는 코일(26300, 26400)별로 코일(26300, 26400)에 인가되는 속성이 다른 복수개의 전원은 그보다 적은 전원 공급 장치를 통해 인가될 수도 있다. 상기, 복수개의 전원 보다 적은 전원 공급 장치가 전원을 인가하는 경우, 별도로 구동되는 코일(26300, 26400)별로 상이한 속성을 가진 전원을 공급할 수 있도록 출력선을 분배하는 등 전기적 처리가 필요할 것이다. Alternatively, a plurality of powers having different attributes applied to the coils 26300 and 26400 for each of the separately driven coils 26300 and 26400 may be applied through fewer power supplies. When a power supply device having a plurality of power supplies is smaller than the plurality of power supplies, electrical processing may be necessary, such as distributing an output line to supply power having different properties for each of the separately driven coils 26300 and 26400.
본 출원의 일 실시예에 따른 별도 구동 코일은 크루시블의 다양한 구현예에 대응하는 배치예를 가질 수 있다.A separate drive coil according to an embodiment of the present application may have a layout example corresponding to various embodiments of the crucible.
도 72 (a)를 참조하면, 서로 다르게 구동되는 코일(26300, 26400)은 크루시블의 영역별로 배치될 수 있다. 상기 크루시블의 영역은 구현된 크루시블이 분리되는 구조를 기준으로 상부 영역 및 하부 영역으로 나뉠 수 있다. 크루시블의 상부 영역에는 별도 구동1 코일(26300)이 배치될 수 있고, 크루시블의 하부 영역에는 별도 구동2 코일(26400)이 각각 배치될 수 있다. 이에 따라 크루시블의 각 영역에 영향주는 자기장의 속성이 달라져, 크루시블의 상부 영역과 하부 영역에서 발생하는 크루시블의 열량이 달라질 수 있다.Referring to FIG. 72 (a), the coils 26300 and 26400 that are driven differently may be disposed for each region of the crucible. The region of the crucible may be divided into an upper region and a lower region based on a structure in which the implemented crucible is separated. Separate driving 1 coils 26300 may be disposed in the upper region of the crucible, and separate driving 2 coils 26400 may be disposed in the lower region of the crucible. Accordingly, the properties of the magnetic field affecting each region of the crucible may be changed, and thus the amount of crucible heat generated in the upper and lower regions of the crucible may vary.
또한, 도 72 (b)에 도시된 바와 같이 크루시블의 분리 구조가 크루시블에 구현될 수 있다. 상기와 같은 분리 구조의 구현예 경우, 크루시블의 영역은 크루시블의 외면에 형성된 분리되는 구조를 기준으로 상부 영역 및 하부 영역으로 나뉠 수 있다. 전술한 바와 같이 별도로 구동되는 코일(26300. 26400)은 크루시블의 상부 영역과 하부 영역에 각각 배치될 수 있다.In addition, as shown in FIG. 72 (b), the separation structure of the crucible may be implemented in the crucible. In the embodiment of the separation structure as described above, the region of the crucible may be divided into an upper region and a lower region based on the separated structure formed on the outer surface of the crucible. As described above, the separately driven coils 26300 and 26400 may be disposed in the upper and lower regions of the crucible, respectively.
이때, 크루시블(23000)의 노즐(23200)에 가까운 부분에 발생하는 열량을 높이기 위하여, 전술한 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블(23000)에 배치되는 코일(26000)은 별도 구동 될 수 있다. 노즐(23200) 부분에 배치되는 코일(26000)에 인가하는 전원 주파수 및 세기를 상대적으로 높게하여 인가할 수 있을 것이다.In this case, in order to increase the amount of heat generated in a portion close to the nozzle 23200 of the crucible 23000, the coil 26000 disposed in the crucible 23000 according to the above-described embodiment of the present application is separately driven. Can be. The power frequency and intensity applied to the coil 26000 disposed in the nozzle 23200 may be relatively high.
구동1 코일(26300)의 전원 주파수 및/또는 세기가 구동2 코일(26400) 전원 주파수 및/또는 세기보다 높은 경우, 구동1(26300)에 대응하는 크루시블(23000)에서 발생하는 열량이 구동2에 비하여 높아질 수 있다. 상기 구동2 코일(26400)은 자기장 형성 속성에 따라 주변에 구동1에 비하여 상대적으로 센 자기장을 형성 할 수 있다. 상기 상대적으로 세기가 큰 자기장에 의해 크루시블(23000)의 노즐(23200) 부분에 형성되는 유도 전류 세기가 높아질 수 있다. 결과적으로, 상기 별도로 구동되는 코일(26300, 26400)은 도 73에 도시된 것과 같은 크루시블(23000)의 열분포가 되도록 제어할 수 있을 것이다.When the power frequency and / or intensity of the driving 1 coil 26300 is higher than the power frequency and / or intensity of the driving 2 coil 26400, the amount of heat generated by the crucible 23000 corresponding to the driving 1 26300 is driven. It can be higher than two. The driving 2 coil 26400 may form a magnetic field that is relatively higher than the driving 1 around the magnetic field forming property. The relatively high intensity magnetic field may increase the induced current intensity formed in the nozzle 23200 of the crucible 23000. As a result, the separately driven coils 26300 and 26400 may be controlled to be the heat distribution of the crucible 23000 as shown in FIG. 73.
상기 크루시블(23000)의 열분포에 따라, 크루시블(23000)의 노즐(23200)을 통해 배출되는 증착 물질이 열량을 충분히 공급받을 수 있다. 이에 따라, 증착 물질은 원활히 증착 대상의 표면으로 가이딩 될 수 있을 것이다.According to the heat distribution of the crucible 23000, the deposition material discharged through the nozzle 23200 of the crucible 23000 may receive a sufficient amount of heat. Accordingly, the deposition material may be guided to the surface of the deposition target smoothly.
한편, 상기와 같이 코일(23000)에 인가하는 전원의 주파수가 달라지는 경우, 별도로 구동되는 코일(26300, 26400)로부터 발생하는 각 자기장은 서로 간섭, 방해, 및/또는 영향 줄 수 있다. 상기 각 자기장이 상호 영향줌에 따라 크루시블(23000)에 형성되는 자기장의 세기가 약해질 수 있다. 결과적으로, 크루시블(23000)에 형성되는 유도 전류의 세기가 낮아져 크루시블(23000)의 가열 효율이 낮아지는 이슈가 발생할 수 있다. On the other hand, when the frequency of the power applied to the coil 23000 is changed as described above, each of the magnetic fields generated from the separately driven coils 26300, 26400 may interfere, interfere, and / or affect each other. As the respective magnetic fields influence each other, the strength of the magnetic field formed in the crucible 23000 may be weakened. As a result, the intensity of the induced current formed in the crucible 23000 may be lowered, thereby causing an issue in which the heating efficiency of the crucible 23000 is lowered.
상기 발생할 수 있는 이슈를 해결하기 위하여, 본 출원의 일 실시예에 따른 별도로 구동되는 코일(26300, 26400)이 서로 영향을 미치지 않도록 구현될 수 있다.In order to solve the issue that may occur, the separately driven coils 26300 and 26400 according to an embodiment of the present application may be implemented so as not to influence each other.
도 74는 본 출원의 일 실시예에 따른 코일 사이에 삽입된 페라이트를 나타내는 도면이다.74 is a view illustrating a ferrite inserted between coils according to an embodiment of the present application.
도 74를 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따라 별도로 구동되는 코일(26300, 6400)의 상호 간섭을 배제하기 위하여, 각 별도 구동 코일(26300, 26400) 사이에 페라이트(28000)가 삽입될 수 있다. 서로 간섭을 주는 자기장은 별도 구동 코일(26300, 26400) 사이에 형성되는 자기장일 수 있다. 상기 별도 구동 코일(26300, 26400) 사이에 형성되는 자기장은 타 코일(26000) 방향으로 형성되어 타 코일(26000)에 형성되는 자기장에 영향 주는 것이다. 따라서, 상기 코일(26300, 26400) 사이에 페라이트(28000)가 삽입됨으로써 별도 구동 코일 사이에 형성되는 자기장이 페라이트(28000)에 집속될 수 있다. 상기 자기장이 페라이트(28000)에 집속됨으로써 타 코일(26000) 방향으로 자기장이 형성될 수 없는 일종의 차폐 효과가 발생할 수 있다. 결과적으로 상기 삽입되는 페라이트(28000)는 별도로 구동되는 코일(26300, 26400)의 상호 간섭을 배제할 수 있게 된다.Referring to FIG. 74, in order to exclude mutual interference of the coils 26300 and 6400 that are driven separately according to an embodiment of the present application, a ferrite 28000 may be inserted between the separate drive coils 26300 and 26400. have. Magnetic fields that interfere with each other may be magnetic fields formed between the separate driving coils 26300 and 26400. The magnetic field formed between the separate driving coils 26300 and 26400 is formed in the direction of the other coil 26000 to affect the magnetic field formed in the other coil 26000. Therefore, the ferrite 28000 is inserted between the coils 26300 and 26400, so that a magnetic field formed between separate driving coils may be focused on the ferrite 28000. By concentrating the magnetic field on the ferrite 28000, a kind of shielding effect in which the magnetic field cannot be formed in the direction of the other coil 26000 may occur. As a result, the inserted ferrites 28000 may exclude mutual interference of the coils 26300 and 26400 that are separately driven.
2.3 페라이트2.3 ferrite
본 출원의 일 실시예에 따른 페라이트(28000)는 자기장의 속성에 영향을 줄 수 있다. 예를 들어, 페라이트(28000)는 발생된 자기장의 세기에 영향을 줄 수 있다. 구체적으로는 자기장을 구성하는 자기선속에 영향을 줌으로써 일정 면적을 통과하는 자기선 수를 증가하거나 감소시키는 영향을 줘 자기장의 세기에 영향을 줄 수 있을 것이다.The ferrite 28000 according to the exemplary embodiment of the present application may affect the property of the magnetic field. For example, the ferrite 28000 may affect the strength of the generated magnetic field. Specifically, the influence of the magnetic flux constituting the magnetic field may increase or decrease the number of magnetic rays passing through a predetermined area, thereby affecting the strength of the magnetic field.
이하에서는 본 출원의 일 실시예에 따른 증착의 실효율을 높이기 위하여 크루시블(23000)의 열 분포를 제어하는 방법에는 가열 어셈블리에 페라이트(28000)를 배치하는 다양한 방법에 대하여 설명하도록 한다. 예를 들어, 상기 방법에는 페라이트(28000)의 형상을 다양하게하여 배치하는 방법, 크루시블(23000)의 외벽(23100) 내부에 페라이트(28000)를 배치하는 방법, 페라이트(28000)를 도포하는 방법, 페라이트(28000)를 영역별로 배치하는 방법, 및 페라이트(28000)에 윈도우를 내는 방법 등이 있을 수 있다Hereinafter, various methods of arranging the ferrite 28000 in the heating assembly will be described in the method for controlling the heat distribution of the crucible 23000 in order to increase the actual efficiency of the deposition according to the exemplary embodiment of the present application. For example, the method may include a method of arranging various shapes of the ferrite 28000, a method of arranging the ferrite 28000 inside the outer wall 23100 of the crucible 23000, and applying the ferrite 28000. A method, a method of arranging the ferrites 28000 for each region, a method of opening a window to the ferrites 28000, and the like.
한편, 이하에서는 페라이트(28000)는 사면을 가진 형태로 구현될 수 있을 것으로 설명 및/또는 도시하였으나, 이는 일 예일뿐 이에 국한되지 않고 페라이트(28000)는 원형, 타원형 혹은 구형 등의 다양한 형태로 존재할 수 있을 것이다.Meanwhile, hereinafter, the ferrite 28000 may be embodied in a form having a slope. However, the ferrite 28000 is not limited thereto, but the ferrite 28000 may exist in various forms such as a circle, an ellipse, or a sphere. Could be.
2.3.1 페라이트의 배치 다양화2.3.1 Diversification of Ferrite Layout
본 출원의 일 실시예에 따른 페라이트(28000)는 코일(26000)을 둘러싸는 다양한 형태로 크루시블(23000)에 배치될 수 있다.The ferrite 28000 according to the exemplary embodiment of the present application may be disposed in the crucible 23000 in various forms surrounding the coil 26000.
도 75는 본 출원의 일 실시예에 따른 페라이트가 가지는 다양한 형상을 나타내는 도면이다.75 is a view illustrating various shapes of ferrite according to an embodiment of the present application.
도 75 (a) 내지 (d)를 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 페라이트(28000)는 상기 클로즈드 쉐입의 코일(26000)의 상부 및/또는 하부 도선 일부를 덮도록 배치될 수 있다. 예를 들어, 도 75 (a) 및 (b)와 같이 클로즈드쉐입 코일(26000)의 하부가 일부 개방되도록 페라이트(28000)가 배치될 수 있다. 예를 들어, 도 75 (c) 및 (d)와 같이 클로즈드 쉐입의 코일(26000)의 상부가 일부 개방되도록 페라이트(28000)가 배치될 수 있다Referring to FIG. 75 (a) to (d), the ferrite 28000 according to the exemplary embodiment of the present application may be disposed to cover a portion of the upper and / or lower conductive wires of the coil 26000 of the closed shape. For example, the ferrite 28000 may be disposed to partially open the lower portion of the closed shape coil 26000 as illustrated in FIGS. 75A and 75B. For example, the ferrite 28000 may be disposed to partially open the upper portion of the coil 26000 of the closed shape as illustrated in FIGS. 75C and 75D.
본 출원의 일 실시예에 따라 전술한 것과 같이 페라이트(28000)를 가열어셈블리에 배치하였을 때, 크루시블(23000)의 N 영역 측면 또는 F 영역 측면의 열량이 높은 열분포가 되도록 할 수 있다. 앞서 설명한 자기장 집속 속성에 따라, 구현된 크루시블(23000)의 N 영역 측면 혹은 F 영역 측면에 형성된 자기장의 세기가 높아질 수 있다. 결과적으로, 크루시블(23000)에 형성되는 유도 전류의 세기 또한 N 영역 측면 혹은 F 영역 측면이 높아지게 된다. 따라서, 결과적으로 전술한 것과 같이 페라이트(28000)를 가열 어셈블리에 배치하였을 때, 노즐(23200)에 가까운 N 영역 측면이 F 영역 측면의 열량보다 많이 혹은 F 영역 측면이 N 영역 측면의 열량보다 많이 발생하여 전술한 열분포가 되도록 제어할 수 있다.When the ferrite 28000 is disposed in the heating assembly as described above according to the exemplary embodiment of the present application, the heat quantity of the N region side or the F region side of the crucible 23000 may be high. According to the magnetic field focusing property described above, the strength of the magnetic field formed on the N region side or the F region side of the implemented crucible 23000 may be increased. As a result, the intensity of the induced current formed in the crucible 23000 also increases in the N region side or the F region side. Therefore, as a result, when the ferrite 28000 is disposed in the heating assembly as described above, the N region side near the nozzle 23200 generates more heat than the F region side, or the F region side generates more heat than the N region side. It can be controlled so that the above-described heat distribution.
이에 따라, 상기와 같이 N 영역 측면의 열량이 F 영역 측면의 열량보다 높은 크루시블(23000)의 열 분포의 경우 증착 물질이 높은 활성 에너지를 가지고 빠른 속도로 크루시블(23000)의 노즐(23200)을 통하여 피증착면으로 향할 수 있는 효과를 가질 수 있다. 한편, F 영역 측면의 열량이 높은 열 분포의 경우에는, 증착 물질이 상 변화 임계 시간을 단축되도록 열량을 충분히 공급하는 효과를 가질 수 있을 것이다.Accordingly, as described above, in the case of the heat distribution of the crucible 23000 where the amount of heat on the side of the N region is higher than the amount of heat on the side of the region F, the nozzle of the crucible 23000 has a high active energy and has a high active energy. 23200) may have an effect that can be directed to the surface to be deposited. On the other hand, in the case of a heat distribution having a high heat amount on the side of the F region, the deposition material may have an effect of supplying a sufficient amount of heat so as to shorten the phase change threshold time.
도 76은 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 하면을 덮는 형태로 배치된 페라이트를 나타내는 도면이다.FIG. 76 is a view illustrating ferrites disposed in a form that covers a bottom surface of a crucible according to an embodiment of the present application.
도 76을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 페라이트(28000)는 크루시블(23000)의 하면을 완전히 덮도록 배치될 수 있다. Referring to FIG. 76, the ferrite 28000 according to the exemplary embodiment of the present invention may be disposed to completely cover the bottom surface of the crucible 23000.
상기와 같은페라이트(28000)의 배치는 페라이트(28000)의 자기장 집속 속성에 따라 크루시블(23000)의 하면의 열량이 큰 크루시블(23000)의 열분포가 되도록 할 수 있다. 상기 페라이트(28000)가 크루시블(23000)의 하면에 자기장을 집속함에 따라, 크루시블(23000)의 하면에 발생하는 다이나믹한 자기장의 세기 변화값이 다른 부분에 비하여 상대적으로 커지게 된다. 이에 대응하여 크루시블(23000)의 하면에 발생하는 유도 전류의 세기가 커지고, 전술한 유도 가열 속성에 따라 발생하는 열량 또한 커지게 된다. 결과적으로 증착 물질이 안착되는 크루시블(23000)의 하면이 크루시블(23000)의 상면 및 측면 보다 상대적으로 큰 열량이 발생되는 크루시블(23000)의 열분포가 될 수 있을 것이다.The arrangement of the ferrite 28000 as described above may cause the heat distribution of the crucible 23000 having a large amount of heat on the lower surface of the crucible 23000 according to the magnetic field focusing property of the ferrite 28000. As the ferrite 28000 focuses the magnetic field on the lower surface of the crucible 23000, the intensity change value of the dynamic magnetic field generated on the lower surface of the crucible 23000 becomes relatively larger than other portions. Correspondingly, the intensity of the induced current generated on the lower surface of the crucible 23000 increases, and the amount of heat generated according to the aforementioned induction heating property also increases. As a result, the bottom surface of the crucible 23000 on which the deposition material is deposited may be a heat distribution of the crucible 23000 in which a relatively large amount of heat is generated than the top and side surfaces of the crucible 23000.
본 출원의 일 실시예에 따른 페라이트(28000)는 크루시블(23000)의 N 영역의 열량이 F 영역의 열량보다 높은 크루시블(23000)의 열불포가 되도록 배치될 수 있다.The ferrite 28000 according to the exemplary embodiment of the present application may be arranged such that the amount of heat in the N region of the crucible 23000 becomes a thermal non-saturation of the crucible 23000 higher than the amount of heat in the F region.
도 77은 본 출원의 일 실시예에 따른 페라이트의 형상을 나타내는 도면이다.77 is a view showing the shape of a ferrite according to an embodiment of the present application.
도 77 (a)를 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 페라이트(28000)는 두께를 달리하여 가열 어셈블리에 배치될 수 있다. 예를 들어, 페라이트(28000)는 크루시블(23000)의 측면에 대응하는 위치 영역 별로 페라이트(28000)의 두께가 다르게 배치될 수 있다. 구체적으로 페라이트(28000)는 크루시블(23000)의 F 영역 측면에 대응하는 위치에 배치되는 페라이트(28000)의 두께보다 N 영역 측면에 대응하는 위치에 배치되는 페라이트(28000)의 두께가 상대적으로 두껍게 배치될 수 있다. Referring to Figure 77 (a), the ferrite 28000 according to an embodiment of the present application may be disposed in the heating assembly with a different thickness. For example, the ferrite 28000 may have a different thickness of the ferrite 28000 for each location region corresponding to the side surface of the crucible 23000. In detail, the ferrite 28000 has a thickness of the ferrite 28000 disposed at a position corresponding to the N region side rather than the thickness of the ferrite 28000 disposed at a position corresponding to the side of the region F of the crucible 23000. It can be placed thick.
본 출원의 일 실시예에 따른, 전술한 페라이트(28000)의 배치는 F 영역 측면보다 N 영역 측면의 열량이 높은 크루시블(23000)의 열분포가 되도록 할 수 있다. 자기장 집속 속성에 따라 상기 N 영역 측면에 형성된 자기장의 세기 변화값이 커질 수 있다. 따라서, 크루시블(23000)에 형성되는 유도 전류의 세기 또한 F 영역 측면보다 N 영역 측면이 높게 된다. 결과적으로, 도 66 (a)와 같이 유도 가열 속성에 따라 유도 전류의 세기가 큰 N 영역 측면이 F 영역 측면의 열량보다 높게 형성된 크루시블(23000)의 열분포가 될 수 있다.According to the exemplary embodiment of the present application, the above-described arrangement of the ferrites 28000 may be such that the heat distribution of the crucible 23000 is higher than the F region side. The intensity change value of the magnetic field formed on the side of the N region may increase according to the magnetic field focusing property. Therefore, the intensity of the induced current formed in the crucible 23000 is also higher in the N region than in the F region. As a result, as shown in FIG. 66 (a), the N region side surface of which the intensity of induced current is large may be higher than the heat quantity of the F region side surface according to the induction heating property.
한편, 상기에서는 도 77(a) 도면을 예로 들어 클로즈드 쉐입의 코일(26000) 외측에 페라이트(28000)가 판형 형태로 형성되는 경우에 두께를 다양하게하는 실시예를 설명하였으나, 페라이트(28000)가 증착 장치(20000)에 도포되는 구현예 등의 다양한 구현예에도 상기와 같이 크루시블(23000)의 노즐(23200)에 가까운 영역에 페라이트(28000)의 두께가 달라진다는 사상이 적용될 수 있을 것이다.On the other hand, in the above described the embodiment of varying the thickness when the ferrite 28000 is formed in the form of a plate on the outside of the coil 26000 of the closed shape by taking the example of Fig. 77 (a), the ferrite (28000) As described above, the concept of varying the thickness of the ferrite 28000 may be applied to a region close to the nozzle 23200 of the crucible 23000.
또한 도 77(b)를 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 페라이트(28000)는 크루시블(23000)의 측면에 대응하는 각각의 위치 영역으로부터 거리가 다르게 배치될 수 있다. 예를 들어, 크루시블(23000)의 F 영역보다 N 영역에 페라이트(28000)가 가깝게 배치될 수 있다. 상기와 같은 배치를 위해 페라이트(28000)는 크루시블(23000)의 노즐(23200) 부분에는 가깝고 그 외의 부분에서는 멀도록 약간의 경사를 가지고 형성될 수 있다.In addition, referring to FIG. 77 (b), the ferrites 28000 according to the exemplary embodiment of the present application may be disposed at different distances from each location area corresponding to the side surface of the crucible 23000. For example, the ferrite 28000 may be disposed closer to the N region than the F region of the crucible 23000. For the arrangement as described above, the ferrite 28000 may be formed with a slight inclination so as to be close to the nozzle 23200 portion of the crucible 23000 and far from the other portion.
본 출원의 일 실시예에 따른 상기 경사를 가지는 페라이트(28000)의 배치는 F 영역 측면보다 N 영역 측면의 열량이 높은 크루시블(23000)의 열분포가 되도록 할 수 있다. 페라이트(28000)의 자기장 집속 속성에 따라 F 영역 측면보다 N 영역 측면에 집속되는 자기선속이 많아 질 수 있다. 이에 따라, N 영역 측면에 형성된 자기장의 세기 변화값이 커질 수 있다. 결과적으로 크루시블(23000)에 형성되는 유도 전류의 세기 또한 F 영역 측면보다 N 영역 측면이 높게 된다. 따라서, 도 62(a)를 참조하면, 전술한 것과 같이 크루시블(23000)을 구현하였을 때 노즐(23200)에 가까운 N 영역 측면이 F 영역 측면의 열량보다 높게 형성된 크루시블(23000)의 열분포가 되도록 제어할 수 있다.The arrangement of the ferrite 28000 having the inclination according to the exemplary embodiment of the present application may be such that the heat distribution of the crucible 23000 is higher than the F region side. Depending on the magnetic field focusing property of the ferrite 28000, the magnetic flux focused on the N region side rather than the F region side may be increased. Accordingly, the intensity change value of the magnetic field formed on the side of the N region may be increased. As a result, the intensity of the induced current formed in the crucible 23000 is also higher in the N region than in the F region. Therefore, referring to FIG. 62 (a), when the crucible 23000 is implemented as described above, the portion of the crucible 23000 having the N region side close to the nozzle 23200 is higher than the calorific value of the F region side surface. The heat distribution can be controlled.
다만, 상기에서는 크루시블(23000)의 노즐(23200) 부분에 가깝게 페라이트(28000)가 형성될 수 있도록 소정의 경사를 가지고 형성된다고 하였으나, 페라이트(28000)가 경사를 가지고 구현되는 실시예 이외에도 노즐(23200) 부분에 가깝게 페라이트(28000)가 형성될 수 있는 형상이라면 어느 형상에 국한되지 않고 형성될 수 있을 것이다.However, in the above, the ferrite 28000 is formed to have a predetermined inclination so that the ferrite 28000 may be formed close to the nozzle 23200 of the crucible 23000, but in addition to the embodiment in which the ferrite 28000 is implemented with the inclination, the nozzle As long as the ferrite 28000 may be formed close to the portion 23200, the ferrite 28000 may be formed without being limited to any shape.
2.3.2 크루시블 외벽 내부의 페라이트 배치 다양화2.3.2 Diversifying Ferrite Placement Inside Crucible Exterior Walls
본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블(23000)의 내부에 포함되는 형태로 배치된 페라이트(28000)는 크루시블(23000) 내부에 영역 별로 다르게 배치되도록 구현할 수 있다. The ferrite 28000 disposed in the form of the crucible 23000 according to the exemplary embodiment of the present application may be implemented to be differently disposed for each region in the crucible 23000.
도 78은 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 외벽에 포함된 페라이트를 나타내는 절단된 측면 도면이다.78 is a cutaway side view illustrating ferrite included in an outer wall of a crucible according to an embodiment of the present application.
도 78을 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 페라이트(28000)가 크루시블(23000)의 측면에 삽입되는 형태로 배치된 경우, 측면의 영역 별로 다르게 배치되어 형성될 수 있다. 예를 들어, 크루시블(23000)의 N 영역 측면에 페라이트(28000)가 삽입되는 형태로 배치될 수 있을 것이다.Referring to FIG. 78, when the ferrite 28000 according to the exemplary embodiment of the present application is disposed in the form of being inserted into the side of the crucible 23000, the ferrite 28000 may be formed to be differently formed for each region of the side surface. For example, the ferrite 28000 may be inserted into the N region side of the crucible 23000.
전술하였듯이, 본 발명의 일 실시예에 따라 배치한 페라이트(28000)는 F 영역 측면보다 N 영역 측면의 열량이 높은 크루시블(23000)의 열분포가 되도록 할 수 있다. 상기 페라이트(28000)는 자기장을 집속 속성에 따라 크루시블(23000)의 N 영역 측면에 다이나믹한 자기장의 세기 변화값을 보다 커지게 할 수 있다. 결과적으로, 크루시블(23000)에 형성되는 유도 전류의 세기 또한 F 영역 측면보다 N 영역 측면이 높게 될 수 있다. 따라서, 도 66 (a)와 같이 노즐(23200)에 가까운 N 영역 측면이 F 영역 측면의 열량보다 크게 형성된 크루시블(23000)의 열분포가 되도록 제어할 수 있다.As described above, the ferrite 28000 disposed according to the exemplary embodiment of the present invention may have a heat distribution of the crucible 23000 having a higher amount of heat in the N region side than in the F region side. The ferrite 28000 may increase the intensity change value of the dynamic magnetic field on the side of the N region of the crucible 23000 according to the focusing property of the magnetic field. As a result, the intensity of the induced current formed in the crucible 23000 may also be higher in the N region side than in the F region side. Therefore, as illustrated in FIG. 66A, the N region side surface close to the nozzle 23200 may be controlled to be the heat distribution of the crucible 23000 formed larger than the heat quantity of the F region side surface.
2.3.3 페라이트 도포 다양화2.3.3 Diversification of Ferrite Coating
본 출원의 일 실시예에 따라 페라이트가 도포되는 경우, 가열 어셈블리 일부 영역에만 도포되는 형태로 구현될 수 있다. When the ferrite is applied according to an embodiment of the present application, it may be implemented in a form that is applied only to a portion of the heating assembly.
도 79는 본 출원의 일 실시예에 따른 가열 어셈블리에 도포된 페라이트(28000)를 나타낸 도면이다.79 illustrates a ferrite 28000 applied to a heating assembly according to an embodiment of the present application.
도 79 (a) 내지 (c)를 참조하면, 크루시블(23000)의 열 분포를 제어하기 위하여 페라이트(28000)는 하우징(21000) 외벽의 내면 및/또는 크루시블(23000) 외벽(23100)의 일부 영역에만 도포될 수 있다. 상기와 같이 일부 영역에 페라이트(28000)가 도포되는 경우, 페라이트(28000)가 도포된 위치에 대응하는 크루시블(23000)의 일부 영역에 자기장의 세기 변화값이 크게 될 수 있다. 이에 따라, 크루시블(23000)에 유도되는 전류 세기 분포가 달라질 수 있게 되며, 크루시블(23000)에 발생하는 열량을 다르게함으로써 결과적으로 도 66 (a)와 같이 크루시블(23000)의 열분포를 제어할 수 있게 될 것이다.Referring to FIGS. 79A to 79C, in order to control the heat distribution of the crucible 23000, the ferrite 28000 may include an inner surface of the outer wall of the housing 21000 and / or an outer wall 23100 of the crucible 23000. May be applied only to a portion of the area. When the ferrite 28000 is applied to the partial region as described above, the intensity change value of the magnetic field may be increased in the partial region of the crucible 23000 corresponding to the position where the ferrite 28000 is applied. Accordingly, the current intensity distribution induced in the crucible 23000 may vary, and as a result, by varying the amount of heat generated in the crucible 23000, as a result, the crucible 23000 may be formed as shown in FIG. 66 (a). You will be able to control the heat distribution.
2.3.4 일부 영역에 페라이트배치2.3.4 Ferrite placement in some areas
본 출원의 일 실시예에 따른 페라이트(28000)는 크루시블(23000)의 측면의 일부에 대응하는 위치 영역에 배치될 수 있다.The ferrite 28000 according to the exemplary embodiment of the present application may be disposed in a location area corresponding to a portion of the side surface of the crucible 23000.
도 80은 본 출원의 일 실시예에 따른 페라이트가 크루시블의 노즐과 가까운 부분에 페라이트가 형성된 것을 나타내는 도면이다.80 is a view illustrating that ferrite is formed in a portion close to a nozzle of a crucible according to an embodiment of the present application.
도 494 (a)를 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 페라이트(28000)는 크루시블(23000) 측면의 N 영역에 대응하는 위치 영역에만 배치될 수 있다. 이때, 도 494(b)를 참조하면, 페라이트(28000)는 경사를 가지고 N 영역에 대응하는 위치에 배치될 수도 있을 것이다. Referring to FIG. 494 (a), the ferrite 28000 according to the exemplary embodiment of the present application may be disposed only in the location area corresponding to the N area of the side surface of the crucible 23000. In this case, referring to FIG. 494 (b), the ferrite 28000 may be disposed at a position corresponding to the N region with an inclination.
전술한 것과 같이 페라이트(28000)를 배치하였을 때 페라이트(28000)는 F 영역 측면보다 N 영역 측면의 열량이 높은 크루시블(23000)의 열분포가 되도록 할 수 있다. 상기 페라이트(28000)는 자기장을 집속 속성에 따라 N 영역 측면의 자기장 세기 변화값을 크게 할 수 있다. 이에 따라 크루시블(23000)에 형성되는 유도 전류의 세기 또한 F 영역 측면보다 N 영역 측면이 높게 형성된다. 따라서, 결과적으로 도 66을 참조하면, 전술한 것과 같이 크루시블(23000)을 구현하였을 때 노즐(23200)에 가까운 N 영역 측면이 F 영역 측면의 열량보다 높게 형성된 열분포가 되도록 제어할 수 있다. 이에 따라, 상기와 같이 크루시블(23000)의 열분포가 제어됨에 따라 증착의 실효율은 높아 질 수 있다.As described above, when the ferrite 28000 is disposed, the ferrite 28000 may be a heat distribution of the crucible 23000 having a higher amount of heat in the N region side than in the F region side. The ferrite 28000 may increase the magnetic field intensity change value of the N region side according to the focusing property of the magnetic field. Accordingly, the intensity of the induced current formed in the crucible 23000 is also higher in the N region than in the F region. As a result, referring to FIG. 66, when the crucible 23000 is implemented as described above, the N region side close to the nozzle 23200 may be controlled to have a heat distribution formed higher than the heat amount of the F region side. Accordingly, as the heat distribution of the crucible 23000 is controlled as described above, the actual efficiency of deposition may be increased.
3. 조합예3. Combination Example
전술하였듯이, 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블(23000)의 열분포를 제어하기 위하여 가열 어셈블리는 다양한 구현예 및/또는 배치예를 가질 수 있다.As described above, the heating assembly may have various implementations and / or arrangements for controlling the heat distribution of the crucible 23000 according to one embodiment of the present application.
본 출원의 일 실시예에 따른 전술한 구현예 및/또는 배치예들의 기술적 사상은 조합되어 가열 어셈블리에 구현될 수 있다. 이때, 기술적 사상이란 전술한예들이 구체적으로 어떻게 구현 및/또는 배치 될 것인지를 의미할 수 있다. 즉, 구현예들의 조합이란 구체적으로 전술한 다양한 형상으로 구현되는 크루시블(23000)의 구현예, 코일(26000)의 구현예, 및/또는 페라이트(28000)의 배치예들이 가열 어셈블리에 조합되어 적용되는 것을 의미할 수 있다.The technical spirit of the above-described embodiments and / or arrangements according to an embodiment of the present application may be combined and implemented in the heating assembly. In this case, the technical idea may mean how the above-described examples will be specifically implemented and / or arranged. That is, a combination of embodiments is specifically defined as an embodiment of the crucible 23000, an embodiment of the coil 26000, and / or arrangements of the ferrites 28000 that are implemented in the various shapes described above in combination with the heating assembly. May mean to be applied.
상기 다양한 실시예들은 조합되어 실시될 수 있는데, 이하에서는 구체적으로 전술하였던 Z축 방향의 가열 어셈블리 설계에 관한 실시예들이 X축, Y축 방향에서도 적용될 수 있음을 설명하도록 한다.The various embodiments may be implemented in combination. Hereinafter, the embodiments related to the heating assembly design in the Z-axis direction described above may be applied to the X-axis and Y-axis directions.
도 81은 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 측면을 나타내는 도면이다.81 is a view illustrating a side of a crucible according to an embodiment of the present application.
도 81를 참조하면, 전술하였던 각 가열 어셈블리의 Z축 방향으로의 실시예들이 X축 혹은 Y축 방향으로도 적용되어, 상기 가열 어셈블리가 구현될 수 있다.Referring to FIG. 81, the above-described embodiments in the Z-axis direction of each heating assembly may also be applied in the X-axis or Y-axis direction, such that the heating assembly may be implemented.
예를 들어, Y축 방향으로 전술한 실시예들이 적용되어 상기 가열 어셈블리가 구현되는 예에 대하여 설명하도록 한다.For example, the above embodiments are applied in the Y-axis direction to describe an example in which the heating assembly is implemented.
크루시블의 Y축 방향으로 복수개의 영역이 구별되어 있을 수 있다. 상기 크루시블의 Y축 방향의 영역은 N개의 영역으로 나뉠 수 있으며, 이하에서 상기 각 영역은 제1 Y영역 내지 제N Y영역이라고 부르기로 한다.A plurality of regions may be distinguished in the Y-axis direction of the crucible. The region in the Y-axis direction of the crucible may be divided into N regions, hereinafter, each of the regions will be referred to as a first Y region to an Nth Y region.
본 출원의 일 실시예들을 따르는 가열 어셈블리의 구현을 위해, 제1 Y영역 내지 제N Y영역에 각각 열분포 속성이 할당되도록 전술한 다양한 실시예들에 기초하여 상기 가열 어셈블리가 설계될 수 있다. 일 예로, 상기 제1 Y영역의 제1 열분포가 제2 Y영역의 제2 열분포보다 높게 형성되도록, 가열 어셈블리가 설계될 수 있다. For the implementation of the heating assembly according to the embodiments of the present application, the heating assembly may be designed based on the above-described various embodiments so that the heat distribution property is assigned to each of the first Y region to the Nth Y region. For example, the heating assembly may be designed such that the first heat distribution of the first Y region is higher than the second heat distribution of the second Y region.
이하에서는 상기 Y 방향으로의 가열 어셈블리의 설계에 일 예들에 대하여 설명하도록 한다.Hereinafter, an example will be described in the design of the heating assembly in the Y direction.
도 82 내지 39는 본 출원의 일 실시예에 따른 Y축 방향에서의 가열 어셈블리의 설계에 대한 도면이다. 82 to 39 are views for designing a heating assembly in the Y-axis direction according to an embodiment of the present application.
상기 크루시블은 도 82에 도시된 바와 같이, 제1 Y영역의 측면이 제2 Y영역의 측면보다 코일에 가깝게 형성되도록 제2 Y영역의 측면에 비하여 돌출되어 구현될 수 있다. The crucible may be implemented to protrude relative to the side of the second Y region such that the side of the first Y region is formed closer to the coil than the side of the second Y region, as shown in FIG. 82.
또한, 도 83을 참조하면, 상기 크루시블의 Y 방향의 외벽의 두께는 다르게 구현되어, 제1 Y영역의 크루시블 외벽의 두께가 제2 Y영역의 크루시블의 외벽의 두께보다 두껍게 구현될 수 있다. 또한, 도 83 (b)에 도시된 바와 같이 제2 Y영역의 크루시블의 외벽의 두께가 조절됨으로써 코일과의 거리 또한 멀어질 수 있다.In addition, referring to FIG. 83, the thickness of the outer wall in the Y direction of the crucible is implemented differently so that the thickness of the crucible outer wall of the first Y region is thicker than the thickness of the crucible outer wall of the second Y region. Can be implemented. In addition, as shown in FIG. 83 (b), the thickness of the outer wall of the crucible of the second Y region may be adjusted to increase the distance from the coil.
상기 Y 방향으로 배치되는 코일은 크루시블의 외벽과의 거리를 달리하며 배치될 수 있다. 도 84를 참조하면, 상기 코일은 제1 Y영역에서 가깝게 배치되고, 제2 Y영역에서는 멀리 배치될 수 있다.The coils arranged in the Y direction may be disposed with different distances from the outer wall of the crucible. Referring to FIG. 84, the coil may be disposed closer to the first Y region and farther away from the second Y region.
도 85를 참조하면, Y 방향으로 배치되는 페라이트의 구현예 및/또는 배치예가 Y 영역에 따라 달라질 수 있다. 도 85 (a)에 도시된 바와 같이 제1 Y영역에 배치되는 페라이트의 두께가 제2 Y영역에 비하여 두껍게 구현될 수 있고, 도 85 (b)에 도시된 바와 같이 경사를 제1 Y영역 거리가 제2 Y영역에 비하여 멀도록 구현될 수도 있다. 도 85 (c) 내지 (d)에 도시된 바와 같이, 제1 Y영역에 대응하는 영역에만 페라이트가 도포되거나 혹은 배치될 수 있을 것이다.Referring to FIG. 85, embodiments and / or arrangements of ferrites arranged in the Y direction may vary depending on the Y region. As shown in (a) of FIG. 85, the thickness of the ferrite disposed in the first Y region may be thicker than that of the second Y region, and as shown in FIG. May be implemented to be farther than the second Y region. As shown in FIGS. 85 (c) to (d), ferrite may be applied or disposed only to a region corresponding to the first Y region.
상기 구현예들에 따라 가열 어셈블리가 설계 되었을 때, 전술한 사상에 따라 크루시블의 제1 Y영역의 측면이 제2 Y영역의 측면보다 영향 받는 자기장의 세기 변화값은 상대적으로 더 커지게 된다. 또한, 자기장의 세기 변화값에 대응하여 제1 Y영역의 크루시블 측면에서 유도 전류의 세기가 상대적으로 제2 Y 영역보다 커지게 될 수 있다.When the heating assembly is designed according to the above embodiments, the intensity change value of the magnetic field in which the side of the first Y region of the crucible is affected more than the side of the second Y region is relatively larger according to the above-described idea. . In addition, the intensity of the induced current in the crucible side of the first Y region may be relatively larger than the second Y region in response to the intensity change value of the magnetic field.
결과적으로, 상기 제1 Y 영역의 측면에서의 열량 발생이 제2 Y 영역의 측면보다 상대적으로 많아져, 상기 제1 Y영역의 제1 열분포가 제2 Y영역의 제2 열분포보다 높은 열량 분포가 되도록 크루시블이 설계될 수 있을 것이다.As a result, the amount of heat generated at the side surface of the first Y region is relatively higher than that of the side surface of the second Y region, so that the heat distribution of the first heat distribution of the first Y region is higher than that of the second heat distribution of the second Y region. Crucibles may be designed as much as possible.
한편, 상기 Y축의 방향으로 가열 어셈블리가 설계되는 것으로 설명하였으나, 이에 국한되지 않고 X축 방향의 영역에서 가열 어셈블리의 설계에도 상기 설계예들이 활용될 수 있을 것이다.On the other hand, it has been described that the heating assembly is designed in the Y-axis direction, but is not limited thereto, the design examples may be used in the design of the heating assembly in the region of the X-axis direction.
이상에서는, 복수의 Y 영역 중 두 영역의 열분포만을 제어하기 위하여 가열 어셈블리를 설계하는 예에 대하여 설명하였으나, 이에 국한되지 않고 N개의 영역의 각각의 열분포를 제어하기 위하여 가열 어셈블리를 설계하도록 전술한 설계가 활용될 수 있다. 한편, 상기 영역들의 간격은 등 간격, 다른 간격, 혹은 랜덤한 간격으로 다양하게 존재할 수 있다.In the above, an example in which the heating assembly is designed to control only the heat distribution of two regions of the plurality of Y regions has been described, but the present invention is not limited thereto, and the above-described design is designed to design the heating assembly to control each thermal distribution of the N regions. Can be utilized. Meanwhile, the intervals of the regions may exist in various ways at equal intervals, at different intervals, or at random intervals.
상기 각 축의 영역별로 전술한 설계들이 하나 혹은 그 이상으로 조합되어 가열 어셈블리에 적용될 수도 있을 것이다. 본 출원의 증착 장치(20000)는 최적의 구현예를 위하여 전술한 구현예들 모두가 조합되어 구현될 수 있고, 전술한 구현예들 중 일부 구현예들만이 조합되어 구현될 수도 있을 것이다.One or more combinations of the above designs may be applied to the heating assembly for each axis region. The deposition apparatus 20000 of the present application may be implemented by combining all of the above-described embodiments for optimal implementation, and only some of the above-described embodiments may be implemented in combination.
이하에서는 전술한 상기 실시예들이 조합되어 설계된 가열 어셈블리를 설명하도록 한다.Hereinafter will be described a heating assembly designed by combining the above-described embodiments.
도 86은 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 Z 방향으로 실시예를 조합하여 구현한 가열 어셈블리를 나타내는 도면이다.86 is a view illustrating a heating assembly implemented by combining the embodiments in the Z direction of the crucible according to the embodiment of the present application.
도 87은 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 X, Y, Z 방향으로 실시예를 조합하여 구현한 가열 어셈블리를 나타내는 도면이다.87 is a view illustrating a heating assembly implemented by combining the embodiments in the X, Y, and Z directions of the crucible according to the embodiment of the present application.
도 86 (a)를 참조하면, Z1 내지 Z2 영역에 전술한 크루시블(23000)의 구현예와 코일(26000)의 구현예가 각각 적용되어 조합될 수 있다. 크루시블(23000)의 노즐(23200)에 가까운 측면 영역인 Z1 영역에는 다른 먼 측면 영역인 Z2 영역보다 크루시블(23000)의 측면이 돌출되어 코일(26000)에 가깝게 구현될 수 있다. 또한, 상기 Z1 영역의 대응되는 위치에는 권선수가 많은 코일(26000)이 배치될 수 있다. 이에 따라, 크루시블(23000)의 노즐(23200) 가까운 측면 영역인 Z1 영역에서 크루시블의 열 발생이 높은 열 분포가 되도록 할 수 있다.Referring to FIG. 86 (a), the above-described embodiment of the crucible 23000 and the embodiment of the coil 26000 may be applied and combined in the regions Z1 to Z2, respectively. The Z1 region, which is a side region close to the nozzle 23200 of the crucible 23000, may protrude closer to the coil 26000 by protruding the side surface of the crucible 23000 than the Z2 region, which is the far side region. In addition, a coil 26000 having a large number of turns may be disposed at a corresponding position of the Z1 region. Accordingly, the heat generation of the crucible can be made high in the Z1 region, which is a side region close to the nozzle 23200 of the crucible 23000.
또한, 도 86 (b)에 도시된 바와 같이 증착 장치(20000)는 별도로 구동 코일(26000)이 구현되는 구현예, 코일(26000)의 구현예, 및 페라이트(28000) 구현예가 조합되어 구현될 수 있다. Z1 영역에는 Z2 영역보다 크루시블의 측면이 돌출되어 코일(26000)에 가깝게 구현되고, 크루시블(23000)의 Z1 및 Z2 영역에 배치되는 코일(26000)은 별도로 구동되며, Y1 영역에 배치되는 페라이트(28000)의 두께가 Z2 영역에 배치되는 페라이트(28000)보다 두껍도록 페라이트(28000)가 Z1 내지 Z2 영역에 걸쳐 배치될 수 있다. 이에 따라, 크루시블(23000)의 노즐(23200) 가까운 측면 영역인 Z1 영역에서 크루시블의 열 발생이 높은 열 분포가 되도록 할 수 있다.In addition, as illustrated in FIG. 86B, the deposition apparatus 20000 may be implemented by combining an embodiment in which the driving coil 26000 is separately implemented, an embodiment of the coil 26000, and an embodiment of the ferrite 28000. have. In the Z1 region, the side of the crucible protrudes closer to the coil 26000 than the Z2 region, and the coil 26000 disposed in the Z1 and Z2 regions of the crucible 23000 is driven separately and disposed in the Y1 region. The ferrite 28000 may be disposed over the Z1 to Z2 regions such that the ferrite 28000 is thicker than the ferrite 28000 disposed in the Z2 region. Accordingly, the heat generation of the crucible can be made high in the Z1 region, which is a side region close to the nozzle 23200 of the crucible 23000.
이하에서는 3차원적인 X, Y, Z 방향의 영역별로 설계된 가열 어셈블리를 설명하도록 한다.Hereinafter, a heating assembly designed for each of three-dimensional regions of X, Y, and Z directions will be described.
본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블(23000)이 Y 방향으로 길이방향을 가진 직육각형태로 형성되는 경우, 상기 크루시블(23000)에 발생하는 열량은 길이 방향의 측면에서 더 많이 발생할 수 있다. 따라서, 열량은 크루시블(23000)의 X 축의 영역과 Y축의 영역에서 다르게 발생하여, 크루시블의 열 분포가 길이 방향의 양 끝에서 낮아지는 불균일한 열분포가 될 수 있다. 상기 불균일한 크루시블의 열분포에 의해, 증착 물질은 균일하게 충분한 열량을 공급받지 못할 수 있다. 이에 따라, 상기 증착 물질은 피증착면에 균일하게 형성되도록 이동할 수 없어 결과적으로 증착의 실효율이 낮아질 수 있다.When the crucible 23000 according to the exemplary embodiment of the present application is formed in a rectangular shape having a longitudinal direction in the Y direction, the amount of heat generated in the crucible 23000 is more generated in the longitudinal direction. Can be. Therefore, the heat amount may be generated differently in the region of the X-axis and the region of the Y-axis of the crucible 23000, so that the heat distribution of the crucible may be a nonuniform heat distribution in which both ends of the longitudinal direction are lowered. Due to the heterogeneous thermal distribution, the deposition material may not be uniformly supplied with sufficient heat. Accordingly, the deposition material may not move to be uniformly formed on the surface to be deposited, and as a result, the actual efficiency of deposition may be lowered.
본 출원의 일 실시예에 따른 페라이트(28000)는 크루시블(23000)의 열분포가 균일할 수 있도록 제어될 수 있다.The ferrite 28000 according to the exemplary embodiment of the present application may be controlled so that the heat distribution of the crucible 23000 may be uniform.
본 출원의 일 실시예에 따른 페라이트(28000)가 크루시블의 Y 축의 영역 및 Z축의 영역 중 일부 영역에 배치되고, X 축의 영역의 전 영역에 배치되어 가열 어셈블리가 설계될 수 있다. 결과적으로, 도 83에 도시된 바와 같이 크루시블의 길이 방향의 측면에 윈도우를 둔 페라이트(28000) 형상으로 가열 어셈블리에 배치될 수 있다. The ferrite 28000 according to the exemplary embodiment of the present application may be disposed in a portion of the region of the Y-axis and the region of the Z-axis of the crucible, and may be disposed in the entire region of the region of the X-axis to design the heating assembly. As a result, it can be arranged in the heating assembly in the form of a ferrite 28000 with a window on the longitudinal side of the crucible as shown in FIG. 83.
상기 크루시블(23000)의 Y 방향의 측면 영역에 영향 주는 자기장 세기 변화값은 윈도우가 없는 경우보다 작아진다. 이에 따라, 크루시블(23000)의 Y 방향의 측면 영역에서의 유도 전류 세기는 상대적으로 윈도우가 없는 경우보다 낮아질 수 있다. 결과적으로, 크루시블(23000)의 길이 방향의 측면에 발생하는 열량이 줄어들어, 도 63과 같이 크루시블(23000)의 측면은 Y 방향에서 균일한 열분포를 가질 수 있도록 제어될 수 있을 것이다.The change in the magnetic field strength affecting the lateral region of the crucible 23000 in the Y direction is smaller than that without the window. Accordingly, the induced current intensity in the side region of the crucible 23000 in the Y direction may be lower than that without the window. As a result, the amount of heat generated on the side of the crucible 23000 in the longitudinal direction is reduced, so that the side of the crucible 23000 may be controlled to have a uniform heat distribution in the Y direction as shown in FIG. 63.
이상에서는 전술한 다양한 실시예들이 조합되어 설계된 가열 어셈블리에 대하여 설명하였다. 한편, 본 출원의 일 실시예에 따른 증착 장치(20000)를 구현하기 위하여 조합되어 적용되는 구현예들은 구현예의 기술적 사상에 변함이 없는 한, 전술한 구현예들의 다양한 변형예를 가지고 조합될 수 있다.The foregoing has described a heating assembly designed by combining the various embodiments described above. Meanwhile, the embodiments applied in combination to implement the deposition apparatus 20000 according to the embodiment of the present application may be combined with various modifications of the above-described embodiments, as long as the technical spirit of the embodiment does not change. .
지금까지, 증착 장치(20000)는 전술한 증착 장치(20000)의 중요한 이슈인 피증착면에 증착 물질이 증착되는 증착 성공율을 높이는 이슈를 해결하기 위하여 증착 장치(20000)가 구현될 수 있는 다양한 실시예들에 대하여 설명하였다.Up to now, the deposition apparatus 20000 has various implementations in which the deposition apparatus 20000 can be implemented to solve the issue of increasing the deposition success rate in which deposition material is deposited on the deposition surface, which is an important issue of the deposition apparatus 20000 described above. Examples have been described.
4. 크루시블의 열 평형 제어4. Thermal equilibrium control of crucibles
지금까지 본 출원의 일 실시예들에 따라 가열 어셈블리를 설계하여 X, Y, 및 Z 방향의 크루시블 각 영역의 열 분포를 제어하는 방법들에 대하여 설명하였다.So far, the method of designing a heating assembly according to embodiments of the present application to control the heat distribution of the crucible angular regions in the X, Y, and Z directions has been described.
이하에서는, 본 출원의 크루시블의 열적 평형을 제어하는 방법에 대하여 설명하도록 한다.Hereinafter, a method of controlling the thermal balance of the crucible of the present application will be described.
본 출원의 일 실시예에 따른 증착 물질이 크루시블로부터 원활히 배출될 수 있도록, 크루시블의 열 평형이 제어되어야 한다.The thermal balance of the crucible must be controlled so that the deposition material according to one embodiment of the present application can be smoothly discharged from the crucible.
도 88은 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블 하부면의열 평형을 나타내는 도면이다.88 is a diagram illustrating thermal balance of the crucible lower surface according to the embodiment of the present application.
도 88을 참조하면, 크루시블의 하부면의 열적 평형은 다양한 수치의 열량에서 이루어질 수 있다. 예를 들어, (b) 및 (c)와 같이 증착 물질의 상변이 열량(Tv)보다 높은 열량에서 상기 열적 평형이 이루어질 수 있고, 또는 (a)와 같이 상변이 열량보다 낮은 열량에서 열적 평형이 이루어질 수도 있다.Referring to FIG. 88, thermal equilibrium of the bottom surface of the crucible may be at various values of calories. For example, the thermal equilibrium may be achieved at a calorie higher than the phase change calorie (Tv) of the deposition material, as shown in (b) and (c), or the thermal equilibrium may be reduced at It may be done.
이때 열적 평형이란, 공급되는 열량과 배출되는 열량이 동일하게 되어 시간에 따른 열량이 동일하게 유지되는 것을 의미할 수 있다. 이러한, 열적 평형 상태에서도 상기 크루시블 하부면에는 계속하여 열량이 공급되며, 열량이 배출되기 때문에 상기 평형상태는 구체적으로 동적 평형상태라고 할 수도 있다.In this case, the thermal equilibrium may mean that the amount of heat supplied and the amount of heat discharged are the same, so that the amount of heat over time is kept the same. Even in such a thermal equilibrium state, heat is continuously supplied to the bottom surface of the crucible, and thus the equilibrium state may be specifically referred to as a dynamic equilibrium state.
도 88을 다시 참조하면, 증착 물질이 상전이하여 피증착면으로 이동하기 위해서는 크루시블의 하부면의 열적 평형은 (b) 및 (c)와 같이 증착 물질의 상변이 열량(Tv)보다 높은 열량에서 이루어져야 한다. 상기 상변이 열량보다 높은 열량이 증착 물질로 계속하여 공급됨으로써 증착 물질은 계속하여 상전이하고 이동할 수 있게 된다. 이에 따라, 피증착면으로 상기 상전이한 증착 물질이 계속하여 이동됨으로써 지속적인 증착이 이루어질 수 있게 된다.Referring to FIG. 88 again, in order for the deposition material to phase shift and move to the deposition surface, the thermal equilibrium of the lower surface of the crucible is higher than the phase change calorific value Tv of the deposition material as shown in (b) and (c). Should be done in As the amount of heat higher than the amount of phase change is continuously supplied to the deposition material, the deposition material can continue to phase change and move. Accordingly, the phase change deposition material continues to move to the surface to be deposited, so that continuous deposition can be achieved.
다만, (c)와 같이 크루시블의 하부면의 열적 평형이 이루어지는 경우는, 증착 물질의 상전이 열량(Tv)보다 과도하게 높은 열량이 공급되는 것일 수 있다. 이에 따라, (1) 증착 물질이 과도하게 빠른 속도로 크루시블의 노즐로부터 배출됨으로써, 피증착면에 증착되는 증착 물질은 제대로 안착될 수 있는 충분한 시간을 가질 수 없어 증착의 균일도(uniforminty)가 떨어 질 수 있다. 또한, (2) 상기 낭비되는 에너지가 많아질 수 있다. 따라서, (c)와 같이 열적 평형이 이루어지는 것은 크루시블 하부면의 열적 평형을 비효율적으로 제어하였다고 할 수 있다.However, when the thermal equilibrium of the lower surface of the crucible is performed as shown in (c), the amount of heat excessively higher than the amount of heat (Tv) of the phase change of the deposition material may be supplied. Accordingly, (1) the deposition material is discharged from the nozzle of the crucible at an excessively high speed, so that the deposition material deposited on the surface to be deposited may not have enough time to properly settle, resulting in uniformity of deposition. Can fall. In addition, (2) the wasted energy may be increased. Therefore, it can be said that thermal equilibrium such as (c) inefficiently controlled the thermal equilibrium of the crucible lower surface.
즉, 크루시블의 하부면의 열적 평형은 바람직하게 (b)와 같이 증착 물질의 상전이 열량(Tv)보다 적절히 높게 형성될 수 있다. 상기와 같은 크루시블의 열 평형 제어에 따라 에너지를 효율적으로 증착물질에 제공하여 피증착면으로 증착 물질을 증착시킬 수 있게된다.That is, the thermal equilibrium of the bottom surface of the crucible may be formed to be suitably higher than the phase change calorific value Tv of the deposition material, as in (b). According to the thermal balance control of the crucible as described above, energy can be efficiently provided to the deposition material to deposit the deposition material on the surface to be deposited.
한편, 크루시블의 열적 평형을 제어함에 있어 크루시블의 상부면의 열적 평형이 문제될 수 있다. 증착 장치의 동작에 있어, 가장 이슈되는 사항은 크루시블의 상부에서 충분한 열량을 공급받은 증착 물질이 크루시블의 노즐로부터 원활하게 배출되어 피증착면에 증착될 수 있는지 여부이기 때문이다.On the other hand, in controlling the thermal balance of the crucible, the thermal balance of the top surface of the crucible may be a problem. In operation of the deposition apparatus, the most important issue is whether or not the deposition material supplied with sufficient heat at the top of the crucible can be smoothly discharged from the crucible nozzle and deposited on the surface to be deposited.
도 89는 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 상부와 하부의 열적 평형을 나타내는 도면이다.89 is a view showing thermal equilibrium between the top and bottom of the crucible according to an embodiment of the present application.
도 89(a)를 참조하면, 크루시블의 상부에 발생되는 열량은 (1) 크루시블을 지속적으로 가열함에 따라, 크루시블의 상부에 발생되는 고열량이 크루시블의 하부로 전도되어 축적되고, (2) 크루시블의 상부에 발생되는 고열량은 노즐을 통해 배출될 수 있다.Referring to FIG. 89 (a), the amount of heat generated on the top of the crucible is (1) as the heat of the crucible is continuously heated, and the amount of heat generated on the top of the crucible is conducted to the bottom of the crucible. Accumulated and (2) the high heat amount generated on the top of the crucible can be discharged through the nozzle.
상기와 같이 크루시블의 하부와 상부에서 계속하여 열량 전도가 이루어짐에 따라, 크루시블의 하부와 상부는 서로 다른 열량 수치로 열적 평형이 이루어질 수 있다.As the calorie conduction is continuously performed at the lower and upper portions of the crucible as described above, the lower and upper portions of the crucible may be thermally balanced with different calorie values.
도 89(b)에 도시된 바와 같이, 크루시블의 하부 열적 평형의 열량은 기존에 적절히 설계한 열적 평형의 열량에서 보다 상승할 수 있다. 반대로 상부에서의 열적 평형의 열량은 상부의 열량이 타 공간으로 배출됨으로써 증착 물질의 상전이 열량(Tv)보다 낮은 열량으로 형성될 수 있다. As shown in FIG. 89 (b), the calorific value of the lower thermal equilibrium of the crucible may be higher than the calorific value of the thermal equilibrium previously designed appropriately. On the contrary, the heat of the thermal equilibrium in the upper portion may be formed with a lower amount of heat than the phase change calorific value Tv of the deposition material by discharging the upper heat quantity into another space.
즉, 크루시블의 하부면으로부터 충분한 열량을 공급받아 증착 물질이 상전이하게 되어 이동하여도, 증착 물질의 상전이 열량(Tv)보다 낮은 크루시블의 상부에서 고화 혹은 액화 될 수 있다. 상기 고화 혹은 액화된 증착 물질은 크루시블의 상부에 형성된 노즐을 막게 되고, 크루시블의 노즐을 통해 증착 물질이 원활하게 배출될 수 없는 문제가 발생할 수 있다.In other words, even if the deposition material is supplied with a sufficient amount of heat from the lower surface of the crucible, the vapor deposition material may be phase-transferred, and the phase transition of the vapor deposition material may be solidified or liquefied at the top of the crucible lower than the calorific value Tv. The solidified or liquefied deposition material may block the nozzle formed on the top of the crucible, and may cause a problem that the deposition material may not be smoothly discharged through the crucible nozzle.
또는, 도 89(c)에 도시된 바와 같이 크루시블의 열적 평형이 이루어지더라도 전술한 크루시블의 노즐이 막히는 이슈가 발생할 수 있다. Alternatively, even if the thermal equilibrium of the crucible is made as shown in FIG. 89 (c), the above-described nozzle of the crucible may be clogged.
즉, 상기 T 구간에서 크루시블 하부면의 증착 물질은 충분히 열량 공급을 받아 상전이하여 이동할 수 있으나, 크루시블 상부면의 열량은 증착 물질의 상전이 열량(Tv)보다 낮게 형성되기 때문에, 크루시블의 상부에서 상기 증착 물질이 고화 혹은 액화할 수 있다. 이에 따라, 상기 고화 혹은 액화된 증착 물질은 크루시블의 상부에 형성된 노즐을 막게 되는 문제가 발생하게 되는 것이다.That is, in the T section, the deposition material on the bottom surface of the crucible may be sufficiently transferred to move in phase, but the heat amount of the crucible upper surface is lower than the amount of heat (Tv) of the deposition material. At the top of the table, the deposition material may solidify or liquefy. Accordingly, the solidified or liquefied deposition material may cause a problem of blocking the nozzle formed on the top of the crucible.
상기 크루시블에 형성되는 열적 평형에 따라, 크루시블의 노즐이 막히는 문제를 해결하기 위한 구성이 가열 어셈블리에 구비될 수 있다.According to the thermal equilibrium formed in the crucible, a configuration for solving the problem of clogging the nozzle of the crucible may be provided in the heating assembly.
도 90은 본 출원의 일 실시예에 따라 열전도 억제 요소가 형성된 가열 어셈블리를 나타내는 도면이다.90 illustrates a heating assembly in which a heat conduction inhibiting element is formed in accordance with an embodiment of the present application.
도 91은 본 출원의 일 실시예에 따라 제어된 열적 평형을 나타내는 그래프이다.91 is a graph showing controlled thermal equilibrium in accordance with an embodiment of the present application.
상기 노즐이 막히는 문제를 해결하기 위해, 본 출원의 일 실시예에 따른 가열 어셈블리에는 열전도 억제 요소가 형성될 수 있다.In order to solve the problem of clogging the nozzle, a heat conduction inhibiting element may be formed in the heating assembly according to the embodiment of the present application.
본 출원의 일 실시예에 따른 상기 열전도 억제 구성은 크루시블의 상부에서 하부로 전달되는 열량을 줄일 수 있다. 이에 따라, 상기 크루시블의 하면에 축적되는 열량은 줄어들 수 있다.The heat conduction suppression configuration according to an embodiment of the present application can reduce the amount of heat transferred from the top to the bottom of the crucible. Accordingly, the amount of heat accumulated on the bottom surface of the crucible can be reduced.
도 90을 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 열전도 억제 구성은 슬릿, 차단 공간, 단열재 등을 포함할 수 있다. 다만, 상기 열전도 억제 구성은 상기 구성에 국한되지 않고, 다양한 구성들이 더 존재할 수 있다.Referring to FIG. 90, a heat conduction inhibiting configuration according to an embodiment of the present application may include a slit, a blocking space, a heat insulating material, and the like. However, the heat conduction inhibiting configuration is not limited to the above configuration, and various configurations may further exist.
이하에서는 상기 열전도 억제 구성에 대하여 구체적으로 설명하도록 한다.Hereinafter, the heat conduction inhibiting configuration will be described in detail.
도 90 (a)를 참조하면, 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 외벽에 슬릿이 형성될 수 있다.Referring to FIG. 90 (a), slits may be formed on an outer wall of a crucible according to an embodiment of the present application.
상기 슬릿이 형성됨으로써, 상기 슬릿을 통해서는 크루시블의 상부에 발생하는 열량은 하부로 전도될 수 없고, 복사의 방식으로만 전달될 수 있게 된다. 즉, 크루시블의 상부에 축적된 열이 하부로 전달될 수 있는 패스(Path)가 줄어들게 된다. 크루시블의 하부에 전달되는 열이 줄어듦에 따라, 크루시블의 하부에 축적되는 열량은 줄어들 수 있다.By the formation of the slit, the heat generated in the upper portion of the crucible through the slit cannot be conducted to the bottom, but can be transmitted only by radiation. That is, a path through which heat accumulated in the upper portion of the crucible can be transferred to the lower portion is reduced. As the heat transferred to the bottom of the crucible is reduced, the amount of heat accumulated at the bottom of the crucible can be reduced.
상기 크루시블에 형성되는 슬릿의 위치는 바람직하게 크루시블이 분리되는 구조 근처의 위치일 수 있다. 다만, 이에 국한되지 않고, 크루시블의 다양한 위치에 슬릿이 형성될 수 있다. 즉, 상기 슬릿은 복수 개 형성될 수 있는데, 바람직하게는 상기 크루시블의 분리되는 구조 근처에 슬릿이 복수개 형성될 수 있으나, 상기 복수의 슬릿은 다양한 간격을 가지고 크루시블의 외벽에 위치할 수 있다.The position of the slit formed in the crucible may be a position near the structure in which the crucible is separated. However, the present invention is not limited thereto, and slits may be formed at various positions of the crucible. That is, a plurality of slits may be formed. Preferably, a plurality of slits may be formed near a separate structure of the crucible, but the plurality of slits may be positioned on the outer wall of the crucible at various intervals. Can be.
또한, 상기 슬릿은 다양한 형상으로 설계될 수 있다. 도시된 것과 같이 사각형태의 슬릿이 크루시블에 형성될 수 있으나, 이에 국한되지 않고 삼각, 원, 타원, 마름모 등의 다양한 형상으로 형성될 수 있다. 또한, 상기 슬릿의 폭과 길이는 다양하게 구현될 수 있다.In addition, the slits may be designed in various shapes. As shown in the figure, the rectangular slit may be formed in the crucible, but is not limited thereto, and may be formed in various shapes such as a triangle, a circle, an ellipse, and a rhombus. In addition, the width and length of the slit may be implemented in various ways.
또한, 상기 슬릿은 설계되는 방향이 다양할 수 있다. 크루시블의 내측에서 외면 방향으로 형성될 수 있으며, 외측에서 내면 방향으로 형성될 수도 있다. 또한, 도시된 바와 같이 크루시블의 면에 수직한 각도로 형성될 수 있으나, 이에 국한되지 않고 다양한 각도로 형성될 수 있다.In addition, the slits may have various designs. It may be formed in the outer surface direction from the inside of the crucible, or may be formed in the inner surface direction from the outside. In addition, as shown, it may be formed at an angle perpendicular to the surface of the crucible, but is not limited thereto and may be formed at various angles.
또한, 도 90 (b)를 참조하면 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 외벽 내부에는 차단 공간이 형성될 수 있다. 상기 크루시블의 외벽에 형성된 차단 공간을 통해 크루시블의 상부에 발생하는 열량은 하부로 전도될 수 없고, 복사의 방식으로만 전달될 수 있게 된다. 즉, 크루시블의 상부에 축적된 열이 하부로 전달될 수 있는 패스(Path)가 줄어들게 된다. 크루시블의 하부에 전달되는 열이 줄어듦에 따라, 크루시블의 하부에 축적되는 열량은 줄어들 수 있다.In addition, referring to FIG. 90 (b), a blocking space may be formed inside the outer wall of the crucible according to the exemplary embodiment of the present application. Through the blocking space formed on the outer wall of the crucible, the heat generated at the top of the crucible cannot be conducted to the bottom, but can be transmitted only by radiation. That is, a path through which heat accumulated in the upper portion of the crucible can be transferred to the lower portion is reduced. As the heat transferred to the bottom of the crucible is reduced, the amount of heat accumulated at the bottom of the crucible can be reduced.
상기 차단 공간은 다양한 형태로 크루시블의 외벽 내부에 구현될 수 있다.The blocking space may be implemented in the outer wall of the crucible in various forms.
예를 들어 도 90 (b)를 참조하면, 크루시블의 상부와 하부가 조립되는 경우 잘 맞물리되, 외벽의 내부에 차단 공간이 형성될 수 있도록 크루시블의 분리 구조가 형성될 수 있다. 이에 따라 크루시블의 외벽 내부에 차단 공간이 구현될 수 있다. For example, referring to FIG. 90 (b), when the upper and lower parts of the crucible are assembled well, the crucible separating structure may be formed so that a blocking space may be formed inside the outer wall. . Accordingly, the blocking space may be implemented inside the outer wall of the crucible.
상기 차단 공간은 다양한 형상으로 설계될 수 있다. 도시된 것과 같이 사각 형태의 빈공간이 크루시블에 형성될 수 있으나, 이에 국한되지 않고 삼각, 원, 타원, 마름모 등의 다양한 형상으로 형성될 수 있다.The blocking space may be designed in various shapes. As shown in the figure, an empty space having a rectangular shape may be formed in the crucible, but is not limited thereto, and may be formed in various shapes such as a triangle, a circle, an ellipse, and a rhombus.
상기 차단 공간의 폭과 길이는 다양하게 구현될 수 있다Width and length of the blocking space can be implemented in various ways.
상기 차단 공간은 복수개 존재할 수 있어 크루시블의 외벽 내부에 적절하게 배치될 수 있다.A plurality of blocking spaces may exist so that the blocking space may be properly disposed in the outer wall of the crucible.
상기 구현예는 일 예에 불과하여, 이에 국한되지 않는 크루시블의 외벽에 차단 공간이 형성되는 다양한 구현예가 있을 수 있다.The above embodiment is merely an example, and there may be various embodiments in which a blocking space is formed on the outer wall of the crucible, which is not limited thereto.
또한, 도 90(c)를 참조하면 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블의 외벽에는 열전도를 낮출 수 있는 단열 부재가 형성될 수 있다. 상기 단열재는 상기 크루시블의 상부에서 하부로 전도되는 열량을 중간에서 감소시킬 수 있다. 크루시블의 하부로 전도되는 열량이 줄어듦에 따라, 크루시블의 하부에 축적되는 열량은 줄어들 수 있다.In addition, referring to FIG. 90 (c), an insulating member capable of lowering thermal conductivity may be formed on the outer wall of the crucible according to the exemplary embodiment of the present application. The insulation may reduce the amount of heat conducted from the top to the bottom of the crucible in the middle. As the amount of heat conducted to the bottom of the crucible is reduced, the amount of heat accumulated at the bottom of the crucible can be reduced.
상기 단열 부재는 다양한 형태로 크루시블의 외벽에 형성될 수 있다.The heat insulating member may be formed on the outer wall of the crucible in various forms.
예를 들어, 도 90(c)를 참조하면, 상기 단열 부재는 상기 분리 구조를 기준으로 나뉘는 크루시블의 상부와 크루시블의 하부 사이에 삽입되는 형태로 형성될 수 있다.For example, referring to FIG. 90 (c), the insulating member may be formed to be inserted between an upper portion of the crucible and a lower portion of the crucible that are divided based on the separation structure.
상기 단열 부재는 다양한 형상으로 설계될 수 있다. 도시된 것과 같이 사각형태의 부재가 크루시블의 외벽에 삽입되는 형태로 형성될 수 있으나, 이에 국한되지 않고 삼각, 원, 타원, 마름모 등의 다양한 형상으로 형성될 수 있다.The heat insulating member may be designed in various shapes. As shown in the figure, the rectangular member may be formed in a shape that is inserted into the outer wall of the crucible, but is not limited thereto, and may be formed in various shapes such as a triangle, a circle, an ellipse, and a rhombus.
상기 단열 부재의 소재로는 열전도율이 낮은 소재가 선택될 수 있으며, 가열 어셈블리의 고온의 열량에도 제 기능을 발휘할 수 있는 용융점을 가진 소재가 선택될 수 있다.A material having a low thermal conductivity may be selected as a material of the heat insulating member, and a material having a melting point that may exhibit a function even at a high temperature of heat of the heating assembly may be selected.
상기 단열 부재의 폭과 길이는 다양하게 구현될 수 있다Width and length of the heat insulating member may be implemented in various ways.
상기 단열 부재는 복수개로 구현될 수 있어 크루시블의 외벽 내부에 적절하게 배치될 수 있다.The insulation member may be implemented in plural and may be appropriately disposed in the outer wall of the crucible.
상기 구현예는 일 예에 불과하여, 이에 국한되지 않는 크루시블에 단열 부재가 형성되는 다양한 구현예가 있을 수 있다.The above embodiment is merely an example, and there may be various embodiments in which a heat insulating member is formed in a crucible that is not limited thereto.
또한, 본 출원의 일 실시예에 따른 상기 크루시블의 하면에서 열량 배출이 원활하도록 가열 어셈블리를 설계할 수 있다. In addition, the heating assembly may be designed to smoothly discharge heat from the lower surface of the crucible according to the embodiment of the present application.
일 예로, 상기 크루시블의 하면에 방열핀, 방열체 등이 배치되거나, 방열 도료가 도포 될 수 있다. 상기 방열 수단들은 열 전도율이 매우 높기 때문에 열량이 원활하게 전도될 수 있다. 즉, 상기 크루시블의 하면에 구현된 방열 수단을 통해, 크루시블 하부에 축적된 열량의 배출이 원활해 질 수 있다.For example, a heat radiation fin, a heat sink, or the like may be disposed on the bottom surface of the crucible, or a heat radiation paint may be applied. Since the heat radiating means have a very high thermal conductivity, heat can be smoothly conducted. That is, through the heat dissipation means implemented on the lower surface of the crucible, the amount of heat accumulated in the crucible bottom may be smoothly discharged.
또는, 상기 크루시블의 하면이 표면적을 넓게 구현함으로써, 넓게 형성된 표면적을 통해 열량 배출이 원활해질 수 있다. 예를 들어, 상기 크루시블의 하면을 거칠게 구현할 수 있다. 거칠게 구현된 크루시블의 하면은 매끄럽게 구현된 하면에 비하여 보다 넓은 표면적을 가질 수 있다.Alternatively, since the lower surface of the crucible implements a large surface area, calorie discharge may be smoothly performed through the large surface area. For example, the bottom surface of the crucible may be roughly implemented. The lower surface of the crucible embodied crucible may have a larger surface area than the lower surface embodied smoothly.
또는, 상기 크루시블 하면에 대향하는 하우징의 내면에 흑체(Black Body)가 형성될 수 있다. 상기 흑체는 주변에 방사되는 복사열을 흡수할 수 있다. 이에 따라, 하우징 내면을 통하여 크루시블의 하부로부터 배출되는 복사열은 상기 흑체에 흡수되고, 상기 하우징을 통해 복사열이 원활히 배출될 수 있게 된다.Alternatively, a black body may be formed on the inner surface of the housing opposite to the crucible bottom. The black body may absorb radiant heat radiated to the surroundings. Accordingly, the radiant heat discharged from the bottom of the crucible through the inner surface of the housing is absorbed by the black body, and the radiant heat can be smoothly discharged through the housing.
한편, 전술한 실시예들에 국한되지 않고 크루시블의 시간에 따른 열분포를 제어하는 방법이 있을 수 있으며, 상기 크루시블의 열분포를 유지하는 전술하였던 각 실시예들은 조합되어 실시될 수 있을 것이다.Meanwhile, there may be a method of controlling the heat distribution over time of the crucible without being limited to the above-described embodiments, and each of the above-described embodiments for maintaining the heat distribution of the crucible may be implemented in combination. .
도 91을 참조하면, 상기와 같은 크루시블의 하부면과 상부면에서의 전도되는 열량을 제어하는 구현예에 따라 크루시블 각 영역의 열적 평형이 적절하게 제어될 수 있다. 크루시블의 하부에서의 열적 평형은 증착 물질의 상전이 열량(Tv)보다는 적절하게 높은 열량에서 열적 평형이 이루어질 수 있다. 한편, 크루시블의 상부 열량은 상전이 열량(Tv)보다 높아질 수 있을 뿐만 아니라, 크루시블의 하부의 열량 보다 높은 열량으로 열적 평형이 이루어 질 수 있다.Referring to FIG. 91, according to an embodiment of controlling the amount of heat conducted from the lower and upper surfaces of the crucible, the thermal equilibrium of each crucible region may be appropriately controlled. The thermal equilibrium at the bottom of the crucible can be thermally equilibrated at an appropriately higher calorie value than the phase change calorie (Tv) of the deposited material. Meanwhile, the upper calorific value of the crucible may be higher than the calorific value Tv, and thermal equilibrium may be achieved with a calorie higher than the calorific value of the lower portion of the crucible.
이에 따라, 본 출원의 일 실시예에 따른 크루시블은 전술하였던 노즐이 막히는 문제점이 해결되는 효과뿐만 아니라, 크루시블의 상부에서 증착 물질이 원활하게 배출될 수 있는 열적 평형을 가지도록 제어된다.Accordingly, the crucible according to an embodiment of the present application is controlled to have a thermal equilibrium in which the deposition material can be smoothly discharged from the top of the crucible, as well as the effect of solving the problem of clogging the nozzle described above. .
이하에서는 증착 장치(20000)의 변압기/변류기 및 상기 변압기/변류기의 배치예에 대하여 설명하도록 한다.Hereinafter, a description will be given of a transformer / current transformer of the deposition apparatus 20000 and an arrangement example of the transformer / current transformer.
5. 변압기/변류기5. Transformer / Current Transformer
이하에서는 본 출원의 일 실시예에 따른 변압기/변류기에 대하여 설명하도록 한다.Hereinafter will be described a transformer / current transformer according to an embodiment of the present application.
본 출원의 가열 어셈블리의 코일을 구동하기 위하여, 상기 변압기 및/또는 변류기는 시간의 변화에 따라 방향, 및 세기가 변하는 고주파의 전압 또는 전류를 출력할 수 있다. 예를 들어, 상기 변압기 및/또는 변류기는 직류 전원을 입력받아 교류 전원으로 변환하고, 변환된 교류 전원을 상기 코일에 인가할 수 있다. In order to drive the coil of the heating assembly of the present application, the transformer and / or the current transformer may output a high frequency voltage or current whose direction and intensity change with the change of time. For example, the transformer and / or the current transformer may receive DC power, convert the AC power, and apply the converted AC power to the coil.
즉, 상기 변압기/변류기는 본 출원인 증착 장비를 구동하기 위하여 반드시 필요한 장비이다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 변압기 및 변류기 중 변압기를 예로 들어 설명하도록 한다.That is, the transformer / current transformer is a necessary equipment for driving the applicant deposition equipment. Hereinafter, for convenience of description, the transformer and the current transformer will be described as an example.
또한, 본 출원의 몇몇 실시예들에 따르는 변압기에 의해 상기 코일에 인가되는 전원의 전류는, 상기 변압기에 제공되는 직류 전원의 전류에 비하여, 상대적으로 높은 값을 가질 수 있다. 즉, 상기 변압기에 의해 출력되는 전원은 매우 고전류일 수 있다. 이는, 전술한 바와 같이, 본 출원의 실시예들에 따른 증착 장비는 크루시블을 가열하기 위하여, 크루시블의 외벽에 시간의 변화에 따라 급하게 방향, 세기가 변하는 유도 전류를 활용하고 있는데, 상기 유도 전류의 전류값을 높이기 위함이다.In addition, the current of the power applied to the coil by the transformer according to some embodiments of the present application may have a relatively high value, compared to the current of the DC power provided to the transformer. That is, the power output by the transformer may be very high current. As described above, the deposition equipment according to the embodiments of the present application utilizes an induced current in which the direction and intensity change rapidly with the change of time on the outer wall of the crucible in order to heat the crucible. This is to increase the current value of the induced current.
상기 변압기에는 코일에 상기 고전류를 인가하기 위한 도선(이하, 출력선(29120)) 및 상기 변압기로 외부의 직류 전원을 공급하기 위한 도선(이하, 입력선(29110))이 구비될 수 있다. 상기 출력선(29120)을 통해, 상기 변압기로부터 출력되는 전원이 상기 코일에 제공될 수 있다. 상기 입력선(29110)을 통해, 상기 변압기에 입력되는 직류 전원이 상기 변압기에 제공될 수 있다.The transformer may be provided with a conductive wire (hereinafter, the output line 29120) for applying the high current to the coil and a conductive wire (hereinafter, the input line 29110) for supplying external DC power to the transformer. Power output from the transformer may be provided to the coil through the output line 29120. DC power input to the transformer may be provided to the transformer through the input line 29110.
그런데, 전술한 바와 같이, 상기 출력선(29120)에는 고전류가 흐를 수 있다. 이때, 상기 고전류는 출력선(29120)의 저항성분과 결합하여 열을 발생시킴으로써, 출력선(29120)에는 고 발열 현상이 일어날 수 있다. 이에 따라, 상기 출력선(29120)이 본 출원의 실시예에 따르는 증착 장치의 사용 시, 파괴되는 문제점이 발생할 수 있다. 따라서, 상기 출력선(29120)의 파괴를 막기 위하여, 상기 고발열 현상을 억제하여야 할 필요가 있고, 이에 따라 상기 출력선(29120)의 저항값을 보다 더 낮추기 위하여 상기 변압기의 출력선(29120)을 두껍게 형성하게 되었다.However, as described above, a high current may flow through the output line 29120. In this case, the high current is coupled to the resistance component of the output line 29120 to generate heat, so that a high heat generation phenomenon may occur in the output line 29120. Accordingly, a problem may occur in that the output line 29120 is destroyed when the deposition apparatus according to the embodiment of the present application is used. Therefore, in order to prevent destruction of the output line 29120, it is necessary to suppress the high heat generation phenomenon, and accordingly, in order to lower the resistance value of the output line 29120, the output line 29120 of the transformer is further reduced. Formed thick.
이에 반하여, 상기 입력선(29110)은 저항값을 보다 더 낮추어야 할 필요가 없다. 이에 따라, 고 비용으로 상기 입력선(29110)을 두껍게 구현할 필요 또한 없게 되어, 상기 입력선(29110)은 출력선(29120) 보다 상대적으로 얇게 형성된다.In contrast, the input line 29110 need not lower the resistance value. As a result, the input line 29110 is not required to be thick at high cost, and the input line 29110 is formed to be relatively thinner than the output line 29120.
전술한 변압기는 여러 공간에 배치되는 예를 가질 수 있다. 이하에서는 이에 대하여 설명하도록 한다.The above-described transformer may have an example disposed in various spaces. This will be described below.
본 출원의 일 실시예에 따른 공간은 외부 공간과 내부 공간으로 분리될 수 있다. 외부 공간은 본 출원의 피증착면, 가열 어셈블리 등이 배치된 내부 공간과 구분되는 공간이다. 상기 내부 공간은 진공의 환경 속성을 가질 수 있다. 이는, 가열 어셈블리를 이용하여 상변이된 증착 물질이 피 증착면에 증착되는 과정에 영향 줄 수 있는 불순물을 배제하기 위함이다. 상기 내부 공간과 구분되는 외부 공간은 내부 공간과는 다르게 불순물을 배제할 필요가 없어, 상기 외부 공간은 일반적인 기압 속성을 가지는 공간이다.The space according to an embodiment of the present application may be divided into an outer space and an inner space. The outer space is a space that is separated from the inner space in which the surface to be deposited, the heating assembly and the like of the present application are disposed. The internal space may have an environmental property of vacuum. This is to exclude impurities that may affect the process of depositing the phase change deposition material using the heating assembly on the surface to be deposited. Unlike the internal space, the external space that is separated from the internal space does not need to exclude impurities, and the external space is a space having a general atmospheric pressure property.
상기 증착 장치의 내부 공간에서는 가열 어셈블리 및/또는 피증착면이 서로 상대 이동하며, 증착 동작이 이루어질 수 있다. 상기 증착 동작은 증착 물질이 피증착면에 형성되는 동작 과정을 말한다. 상기 상대 이동은 상기 가열 어셈블리가 고정된 상태에서 피증착면이 이동하는 것일 수 있고, 상기 피증착면과 상기 가열 어셈블리가 함께 이동하되 각각의 속도가 다른 것일 수 있고, 또는 상기 피증착면이 고정된 상태에서 가열 어셈블리가 이동하는 것일 수 있겠다. In the internal space of the deposition apparatus, the heating assembly and / or the surface to be deposited move relative to each other, and the deposition operation may be performed. The deposition operation refers to an operation process in which a deposition material is formed on a surface to be deposited. The relative movement may be a surface to be deposited in which the heating assembly is fixed, the surface to be deposited and the heating assembly may be moved together, but the speed may be different, or the surface to be deposited is fixed. In this state, the heating assembly may move.
본 출원의 일 실시예예 따른 변압기는 증착 장치의 외부 공간에 고정되어 배치될 수 있다.The transformer according to an embodiment of the present application may be fixedly disposed in an external space of the deposition apparatus.
도 92는 본 출원의 일 실시예예 따른 외부 공간의 변압기, 입력선, 및 출력선을 나타내는 도면이다.92 is a diagram illustrating a transformer, an input line, and an output line in an external space according to an embodiment of the present application.
도 92를 참조하면, 외부 공간에 고정된 변압기는 내부 공간에 구현된 코일에 교류 전원을 공급할 수 있다. 상기 외부 공간에 고정된 변압기는 외부 공간에 구비된 직류 전원 발생원이 발생하는 직류 전원을 입력선(29110)을 통해 공급받을 수 있다. 상기 변압기는 입력 받은 직류 전원을 고주파의 교류전원으로 변환할 수 있다. 변압기의 출력선(29120)에는 상기 변환된 고주파의 교류 전원이 인가되고, 상기 출력선(29120)은 외부 공간과 내부 공간을 구분 짓는 격벽 내지는 외벽을 통과하여 코일에 연결됨으로써, 상기 변압기는 상기 출력선(29120)을 통해 상기 코일에 교류 전원을 제공하게 된다.Referring to FIG. 92, a transformer fixed to an external space may supply AC power to a coil implemented in the internal space. The transformer fixed to the external space may receive DC power generated by a DC power generation source provided in the external space through the input line 29110. The transformer may convert the input DC power into high frequency AC power. The converted high frequency AC power is applied to an output line 29120 of a transformer, and the output line 29120 is connected to a coil through a partition wall or an outer wall that separates an external space from an internal space. Line 29120 provides AC power to the coil.
상기와 같이 외부 공간에 변압기가 고정되어 배치되는 경우 몇 가지 문제점이 발생할 수 있다.As described above, when the transformer is fixedly disposed in the external space, some problems may occur.
도 93은 본 출원의 일 실시예에 따른 이동하는 가열 어셈블리를 나타내는 도면이다.93 illustrates a moving heating assembly according to an embodiment of the present application.
도 93을 참조하면 또한, 변압기가 외부 공간에 배치되는 경우, 변압기의 출력선(29120)이 파괴되는 문제점도 발생할 수 있다. 상기 변압기는 외부에 고정되어 배치되기 때문에, 내부 공간에서 증착 동작이 이루어지면서 가열 어셈블리가 이동하는 경우, 코일에 연결되는 출력선(29120)에는 연장 혹은 구부러지는 등의 변형이 일어날 수 있다. 전술한 출력선(29120)에는 계속되는 증착 동작으로 인하여 계속적인 변형이 발생되어 마모가 발생하고, 상기 마모가 지속됨으로써 출력선(29120)이 파괴되는 문제가 발생할 수 있다.Referring to FIG. 93, when the transformer is disposed in an external space, a problem may occur in that the output line 29120 of the transformer is destroyed. Since the transformer is fixedly disposed outside, when the heating assembly moves while the deposition operation is performed in the internal space, deformation such as extension or bending may occur in the output line 29120 connected to the coil. As described above, the output line 29120 may be continuously deformed due to the continuous deposition operation, and wear may occur. As the wear continues, the output line 29120 may be destroyed.
한편, 이를 해결하기 위해 상기 가열 어셈블리의 이동에 대응하여 외부 공간에 배치된 변압기를 이동시키는 이동부가 외부 공간에 배치될 수 있다.Meanwhile, in order to solve this problem, a moving unit for moving the transformer disposed in the external space in response to the movement of the heating assembly may be disposed in the external space.
그렇다 하더라도 도 92를 다시 참조하면, 외부 공간에 변압기가 배치되는 경우, 내부 공간과 외부 공간을 구분 짓는 외벽의 구현이 어려워지는 문제점이 또 발생할 수 있다.Nevertheless, referring back to FIG. 92, when the transformer is disposed in the outer space, a problem may occur in that it is difficult to implement the outer wall that separates the inner space from the outer space.
상기 내부 공간과 외부 공간을 구분 짓는 외벽에는 외부 공간에서 내부공 공간으로 출력선(29120)이 배치될 수 있는 구조가 형성되어야 한다. 한편, 상기 외벽의 구조는 내부 공간의 진공 환경 속성을 유지할 수 있도록 형성되어야 한다. 그런데, 상기 구조는 외부 공간과 내부 공간이 서로 연통하여 출력선(29120)이 외부 공간에서 내부 공간으로 배치될 수 있는 관통 구조로 형성되어야 하고, 상기 관통 구조의 크기는 전술한 바와 같이 두껍게 형성되는 출력선(29120)을 고려하여 선택되어야 한다. 따라서, 상기 내부 공간의 진공 환경 속성을 해하지 않으면서 상기 외벽에 출력선(29120)이 통과할 수 있는 구조를 구현하는 것은 매우 어렵게 된다.A structure in which the output line 29120 may be disposed from the outer space to the inner space may be formed on the outer wall separating the inner space and the outer space. On the other hand, the outer wall structure should be formed to maintain the vacuum environment properties of the inner space. However, the structure has to be formed as a through structure in which the output space 29120 can be disposed from the external space to the internal space so that the external space and the internal space communicate with each other, and the size of the through structure is thick as described above. It should be selected in consideration of the output line 29120. Therefore, it is very difficult to implement a structure through which the output line 29120 can pass through the outer wall without degrading the vacuum environment property of the inner space.
이에 따라, 상기 이동부 및 이동부를 구동하기 위한 기타 구동부, 동력 발생원, 외벽의 관통 구조들을 외부 공간에 각각 구현하는 것은 비용적인 문제를 더 발생시킬 수 있다.Accordingly, implementing the moving part and the other drive part for driving the moving part, the power generation source, and the through structures of the outer wall in the external space may further cause cost problems.
본 출원의 몇몇 실시예들은, 전술한 문제점들을 해결하기 위하여, 본 출원의 변압기를 1) 상기 증착 장치의 내부에 배치하고, 아울러 2) 상기 크루시블(가열 어셈블리)와 상기 변압기의 상대적인 위치관계가 고정될 수 있도록 하는 증착 장치를 개시한다.Some embodiments of the present application, in order to solve the above problems, 1) the transformer of the present application is placed inside the deposition apparatus, and 2) the relative positional relationship of the crucible (heating assembly) and the transformer A vapor deposition apparatus is disclosed in which a can be fixed.
본 출원의 실시예에 따르는 증착 장치를 구현하기 위하여, 상기 변압기는 상기 가열 어셈블리의 일측에 고정될 수 있다.In order to implement a deposition apparatus according to an embodiment of the present application, the transformer may be fixed to one side of the heating assembly.
이로써, 상기 변압기는 상기 가열 어셈블리와 함께, 상기 증착 장치의 내부에 설치됨과 동시에 상기 가열 어셈블리와 상기 변압기 사이의 위치관계가 고정될 수 있다. 즉, 상기 가열 어셈블리와 상기 피증착면 사이의 상대적 운동을 구현하기 위해 상기 가열 어셈블리가 상기 증착 장비 내에서 이동을 할 때, 상기 가열 어셈블리의 이동에 따라 상기 변압기가 함께 이동할 수 있게 된다.As a result, the transformer may be installed in the deposition apparatus together with the heating assembly, and the positional relationship between the heating assembly and the transformer may be fixed. That is, when the heating assembly moves in the deposition equipment to realize the relative movement between the heating assembly and the deposition surface, the transformer may move together with the movement of the heating assembly.
이 때, 상기 변압기와 상기 가열 어셈블리 사이의 상대적 위치가 서로 고정되어 있기 때문에 상기 출력선(29120)의 파괴 문제는 더 이상 야기되지 않는다.At this time, since the relative positions between the transformer and the heating assembly are fixed to each other, the problem of destruction of the output line 29120 is no longer caused.
한편, 상기 변압기에 직류전원을 공급하기 위한 전원은 상대적으로 플렉시빌리티를 가질 수 있도록 구현하는 데에 문제가 없기 때문에, 상기 변압기의 이동에 따른 상기 입력선(29110)의 파괴 문제는 적게 발생할 수 있게된다.On the other hand, since the power for supplying the DC power to the transformer is relatively no problem to implement a relatively flexibility, the problem of destruction of the input line 29110 due to the movement of the transformer can be less likely to occur do.
다만, 다른 실시예에 있어서, 상기 변압기와 상기 가열 어셈블리가 반드시 서로 고정될 필요는 없다.However, in another embodiment, the transformer and the heating assembly do not necessarily need to be fixed to each other.
예를 들어, 상기 가열 어셈블리가 이동함에 따라, 상기 변압기도 함께 동기화되어 이동되도록 상기 증착 장비를 구현할 수 있을 것이다. 이를 위하여, 상기 가열 어셈블리의 이동을 위한 구동부와 별도로 구성되는 다른 구동부가 상기 증착 장비에 구비될 수 있을 것이다.For example, as the heating assembly moves, the deposition equipment may be implemented such that the transformer also moves in synchronization. To this end, another driving unit configured separately from the driving unit for the movement of the heating assembly may be provided in the deposition equipment.
또한, 내부 공간에 상기 변압기가 배치된다고 하더라도 작은 몇가지 문제점이 남아 있을 수 있다. 상기 변압기가 내부 공간인 고진공 환경 환경내에 구비되는 경우, 변압기 동작에 의해 상기 진공 환경이 훼손되는 문제점이 발생할 수 있다.In addition, even if the transformer is disposed in the internal space, some small problems may remain. When the transformer is provided in a high vacuum environment that is an internal space, a problem may occur in which the vacuum environment is damaged by the transformer operation.
따라서, 본 출원의 몇몇 다른 실시예들에 따르면, 상기 증착 장비는 상기 변압기를 내부에 구비하기 위한 진공 박스를 별도로 더 구비할 수 있다.Therefore, according to some other embodiments of the present application, the deposition equipment may further include a vacuum box for providing the transformer therein.
도 94는 본 출원의 일 실시예예 따른 변압기, 진공 박스, 및 가열 어셈블리를 나타내는 도면이다.94 illustrates a transformer, a vacuum box, and a heating assembly according to an embodiment of the present application.
도 94를 참조하면, 또한 상기 변압기가 구비된 진공 박스는 구비된 구동부로부터 동력을 전달 받아, 가열 어셈블리에 동기화되어 이동될 수 있다. 이에 따라, 상기 박스의 내부 공간은 상기 진공 환경과 분리되어 상기 변압기가 동작하더라도 진공 환경을 훼손하는 문제점뿐만 아니라 가열 어셈블리가 이동하는 경우 코일이 파괴되는 문제점도 발생하지 않을 수 있다.Referring to FIG. 94, the vacuum box provided with the transformer may receive power from the driving unit provided and move in synchronization with the heating assembly. Accordingly, the inner space of the box may be separated from the vacuum environment, so that even if the transformer is operated, not only the problem of damaging the vacuum environment but also the problem of breaking the coil when the heating assembly is moved may not occur.
이하에서는, 본 출원의 몇몇 실시예에 따르는, 증착 장비에 대해서 구체적으로 설명한다.Hereinafter, the deposition equipment according to some embodiments of the present application will be described in detail.
도 95는 본 출원의 일 실시예에 따른 증착 장비를 나타내는 도면이다.95 is a diagram illustrating a deposition apparatus according to an embodiment of the present application.
도 95를 참조하면, 본 출원의 몇몇 실시예에 따르는 증착 장비는, 하우징, 가열 어셈블리, 변압기를 구비할 수 있다.Referring to FIG. 95, a deposition apparatus according to some embodiments of the present application may include a housing, a heating assembly, and a transformer.
상기 하우징은 내부에 증착과 관련한 구성들이 구현될 수 있는 공간을 제공할 수 있다. 가열 어셈블리, 변압기 등을 구비할 수 있다. 상기 하우징은 내부 공간과 외부 공간을 구분할 수 있는 밀폐성 높은 외벽을 가질 수 있어, 하우징은 하우징의 내부 공간을 고진공환경 상태로 유지시킬 수 있다. The housing may provide a space therein in which components related to deposition may be implemented. Heating assemblies, transformers, and the like. The housing may have a high sealing outer wall that can distinguish the inner space and the outer space, the housing can maintain the inner space of the housing in a high vacuum environment.
상기 가열 어셈블리는 크루시블에 놓인 증착 물질을 코일을 이용하여 가열함으로써 상기 증착 물질을 상전이시키고, 피증착면에 상전이된 증착 물질이 증착 될 수 있도록 할 수 있다.The heating assembly may phase-deposit the deposition material by heating the deposition material placed in the crucible using a coil, and allow the phase transition deposition material to be deposited on the surface to be deposited.
다만, 상기 가열 어셈블리는, 전술한 본 출원의 몇몇 실시예에 따르는 가열 어셈블리의 구성을 가질 수 있으나, 반드시 그에 국한되는 것은 아니다.However, the heating assembly may have a configuration of a heating assembly according to some embodiments of the present application described above, but is not necessarily limited thereto.
상기 변압기는 상기 하우징의 내부에 구비되어, 전술하였듯이 상기 가열 어셈블리의 일측에 고정될 수 있다.The transformer may be provided inside the housing, and may be fixed to one side of the heating assembly as described above.
상기 변압기에 대해서 보다 더 구체적으로 설명하고자 한다.It will be described in more detail with respect to the transformer.
상기 변압기에 구비되는 출력선(29120)은 전술하였듯이 고강성이기 때문에 고정된 형상을 가지고 코일에 연결될 수 있다. 또한, 상기 변압기는 가열 어셈블리의 일측에 고정되어 존재하기 때문에, 상기 출력선(29120) 또한 코일에 연결되어 증착 물질의 증착이 이루어지는 동안에도 상기 고정된 형상의 변화가 크게 없을 수 있다. As described above, since the output line 29120 provided in the transformer is high rigidity, the output line 29120 may be connected to the coil with a fixed shape. In addition, since the transformer is fixedly present at one side of the heating assembly, the output line 29120 may also be connected to a coil so that there is no significant change in the fixed shape while the deposition material is deposited.
한편, 변압기에 구비되는 상기 입력선(29110)은 변압기로부터 연장되어 하우징 외벽에 형성된 관통홀을 통해 외부 공간의 외부 직류 전원에 연결될 수 있다.On the other hand, the input line 29110 provided in the transformer may be connected to an external DC power supply in the external space through a through hole formed in the outer wall of the housing extending from the transformer.
상기 입력선(29110)은 전술하였듯이 출력선(29120)에 비하여 상대적으로 저 전원이 인가되기 때문에 출력선(29120)과 같이 두껍게 따로 도선을 구현할 필요 없이, 하우징 내부에 구비된 도선이 상기 입력선(29110) 역할을 하도록 할 수 있다. 상기와 같이 미리 배치된 도선을 이용하지 않는다 하더라도, 미리 작게 형성되어 있는 관통공을 통해 얇은 두께의 입력선(29110)이 배치될 수 있다. 또한, 상기 변압기가 이동하는 경우에 대응하여, 상기 입력선(29110)은 긴 길이로 구현될 수도 있다. Since the input line 29110 is applied with a relatively low power as compared to the output line 29120 as described above, the input line 29110 is provided inside the housing without the need for implementing a thick conductor like the output line 29120. 29110) can play a role. Even if the pre-arranged conductive wires are not used as described above, a thin input line 29110 may be disposed through the through holes formed in advance. In addition, the input line 29110 may be implemented to have a long length in response to the case where the transformer moves.
상기와 같은 구현의 용이함과 더불어, 전술하였듯이 상기 입력선(29110)의 출력선(29120)에 비하여 유연하기 때문에 출력선(29120)과 달리 파괴로 인한 문제 발생은 적을 수 있다.In addition to the above-described ease of implementation, unlike the output line 29120 as described above, it is less flexible than the output line 29120 of the input line 29110.
또한, 전술하였듯이 가열 어셈블리가 구동부에 의해 이동하는 경우, 별도로 구동부가 구비되어 상기 변압기 또한 가열 어셈블리의 일측에 고정된 위치 관계로 이동될 수 있다.In addition, as described above, when the heating assembly is moved by the driving unit, a driving unit may be separately provided so that the transformer may also be moved in a positional relationship fixed to one side of the heating assembly.
이하에서는 본 출원의 일 실시예에 따른 진공 박스를 구비하는 증착 장비에 대하여 설명하도록 한다.Hereinafter will be described with respect to the deposition equipment having a vacuum box according to an embodiment of the present application.
도 96은 본 출원의 일 실시예에 따른 증착 장비를 나타내는 도면이다.96 is a view illustrating deposition equipment according to an embodiment of the present application.
도 96을 참조하면 본 출원의 몇몇 실시예에 따르는 증착 장비는 하우징, 가열 어셈블리, 변압기, 진공 박스를 구비할 수 있다.Referring to FIG. 96, a deposition apparatus according to some embodiments of the present application may include a housing, a heating assembly, a transformer, and a vacuum box.
전술하였던 상기 구성들의 중복되는 설명은 생략하도록 한다.Duplicate description of the above-described configuration will be omitted.
상기 진공 박스는 내부에 공간을 형성할 수 있다. 또한, 하우징 내부의 조성과 같은 진공 환경일 수 있다.The vacuum box may form a space therein. It may also be a vacuum environment, such as a composition inside the housing.
또한, 상기 진공 박스는 각종 구동부, 도선, 연결 부재 등이 구비될 수 있다.In addition, the vacuum box may be provided with various driving units, conductive wires, connection members, and the like.
본 실시예에 따르면, 변압기의 동작에 따른 하우징 내부의 진공 환경을 해할 수 있어, 상기 변압기는 상기 진공 박스의 내부 공간에 구비될 수 있다.According to the present embodiment, it is possible to harm the vacuum environment inside the housing according to the operation of the transformer, the transformer may be provided in the inner space of the vacuum box.
상기 변압기의 출력선(29120)은 진공 박스에 구현된 관통홀을 통해 연장되어 코일에 연결될 수 있다. The output line 29120 of the transformer may extend through a through hole implemented in a vacuum box and be connected to a coil.
또는, 상기 출력선(29120)의 강성에 대응하는 고 강성의 벨로우즈, 혹은 암(arm) 형태의 연결 부재가 상기 진공 박스에 구비되어 출력선(29120)이 코일에 연결될 수 있다. 상기 연결 부재는 코일까지 연장된 형태로 구현될 수 있고, 상기 연결 부재를 통해 상기 출력선(29120)이 코일에 연결될 수 있다.Alternatively, a high rigid bellows or arm type connection member corresponding to the rigidity of the output line 29120 may be provided in the vacuum box so that the output line 29120 may be connected to the coil. The connection member may be implemented to extend to a coil, and the output line 29120 may be connected to the coil through the connection member.
상기 변압기의 입력선(29110) 또한 진공 박스에 구현된 관통홀을 통해 연장되어 하우징 외벽의 관통홀을 통해 외부 전원에 연결될 수 있다.The input line 29110 of the transformer may also extend through the through hole implemented in the vacuum box and be connected to an external power source through the through hole of the outer wall of the housing.
또는, 입력선(29110)의 강성에 대응하는 저 강성의 연결 부재가 진공 박스에 구비되어 외부 공간으로 상기 입력선(29110)이 연통될 수 있다. 상기 연결 부재는 가열 어셈블리의 이동에 대응하여 충분한 길이로 구현될 수 있다. 또한, 상기 연결 부재는 저 강성이기 때문에 유연하게 움직일 수 있다.Alternatively, a low rigid connection member corresponding to the rigidity of the input line 29110 may be provided in the vacuum box so that the input line 29110 may communicate with the external space. The connecting member may be embodied in a sufficient length corresponding to the movement of the heating assembly. In addition, the connecting member can move flexibly because of its low rigidity.
따라서, 상기 진공 박스에 구비되는 연결 부재는 내부에 도선이 배치될 수 있도록 내부 공간이 형성될 수 있다.Therefore, an inner space may be formed in the connection member provided in the vacuum box so that the conductive wire may be disposed therein.
또한, 전술하였듯이 가열 어셈블리가 구동부에 의해 이동하는 경우, 별도로 구동부가 구비되어 상기 변압기를 구비하는 진공 박스 또한 가열 어셈블리의 일측에 고정된 위치 관계로 이동될 수 있다.In addition, as described above, when the heating assembly is moved by the driving unit, the driving unit is separately provided, and the vacuum box including the transformer may also be moved in a positional relationship fixed to one side of the heating assembly.
한편, 상기 변압기가 고 진공환경에서 오동작하게 되는 문제점이 간혹 발생할 수 있다. 따라서, 상기 박스의 내부 공간은 일정한 기압 속성을 가질 수 있다. 이때, 기압 환경은 대기압 환경일 수 있다. On the other hand, there may be a problem that the transformer malfunctions in a high vacuum environment. Thus, the inner space of the box may have a constant air pressure property. At this time, the atmospheric pressure environment may be an atmospheric pressure environment.
다만, 본 출원의 일 실시예에 따른 증착 장비는 전술한 구성 요소들에 더불어 대기압 박스를 더 구비하고 있을 수 있다.However, the deposition apparatus according to the embodiment of the present application may further include an atmospheric pressure box in addition to the above-described components.
상기 대기압 박스는 외부 환경과 분리되어 일반적으로 내부 환경이 대기압 수준의 기압 환경으로 조성될 수 있다.The atmospheric pressure box is separated from the external environment, so that the internal environment may be generally formed into an atmospheric pressure atmospheric pressure environment.
또한, 상기 대기압 박스에는 전술하였던 연결 부재, 구동부, 도선 등이 구비되어 있을 수 있다.In addition, the atmospheric pressure box may be provided with a connection member, a driving unit, a conductive wire, and the like described above.
또한, 이와 더불어 상기 대기압 박스에는 각종 센서 등이 더 구비되어 환경 변화를 감지할 수 있다.In addition, the atmospheric pressure box may further include various sensors to detect environmental changes.
상기 실시예에 따른 증착 장비의 변압기는 증착 장비에 구비된 대기압 박스에 내부에 배치될 수 있다. 본 출원의 변압기를 상기 대기압 박스에 배치함으로써, 본 명세서에서 거론된 모든 문제점들을 해결할 수 있다. 즉, 상기 변압기 배치예는 본 출원의 가장 효율적이고 이상적인 변압기 배치예라고 할 수 있겠다.The transformer of the deposition equipment according to the embodiment may be disposed inside the atmospheric pressure box provided in the deposition equipment. By placing the transformer of the present application in the atmospheric box, all the problems discussed in the present specification can be solved. That is, the transformer arrangement example may be said to be the most efficient and ideal transformer arrangement example of the present application.
구체적으로 상기 대기압 박스에 변압기가 배치되는 경우, (1) 외벽에 복잡한 관통 구조 및 구동부, 동력 발생부 등을 형성할 필요가 없으며, (2) 구동부 등이 이미 구현되어 있어 따로 변압기를 따로 이동하는 구성을 구비할 필요 없으며, (3) 대기압 박스는 가열 어셈블리의 일측에 고정된 위치 관계를 가질 수 있으며, 또한 이동할 수 있기 때문에 출력선(19120)의 파괴 문제가 발생하지 않고, (4) 대기압 박스 내부는 진공 환경과 분리되어 변압기가 동작함에 따라 진공 환경을 해할 일 없으며, (5) 대기압 박스에는 일정 기압 환경이 적용되므로 변압기가 동작하므로 오동작하게되는 문제도 발생하지 않게 된다.Specifically, when the transformer is disposed in the atmospheric pressure box, (1) it is not necessary to form a complicated through structure and a drive unit, a power generating unit, etc. on the outer wall, (2) the drive unit is already implemented, so that the transformer is moved separately There is no need to provide a configuration, and (3) the atmospheric pressure box can have a fixed positional relationship to one side of the heating assembly and can also be moved so that the problem of destruction of the output line 19120 does not occur, and (4) the atmospheric pressure box Since the inside is separated from the vacuum environment, the transformer does not have to harm the vacuum environment. (5) Since the atmospheric pressure box is applied to a certain atmospheric pressure environment, the transformer operates so that the problem of malfunction does not occur.
상술한 본 발명에 따른 가열 어셈블리에 있어서, 각 실시예를 구성하는 단계가 필수적인 것은 아니며, 따라서 각 실시예는 상술한 단계를 선택적으로 포함할 수 있다. 또 각 실시예를 구성하는 각 단계는 반드시 설명된 순서에 따라 수행되어야 하는 것은 아니며, 나중에 설명된 단계가 먼저 설명된 단계보다 먼저 수행될 수도 있다. 또한 각 단계는 동작하는 동안 어느 한 단계가 반복적으로 수행되는 것도 가능하다.In the heating assembly according to the present invention described above, the steps constituting each embodiment are not essential, and therefore each embodiment may optionally include the steps described above. In addition, each step constituting each embodiment is not necessarily to be performed in the order described, the steps described later may be performed before the steps described first. It is also possible that any one step is performed repeatedly while each step is in operation.
상기에서는 본 발명에 따른 실시예를 기준으로 본 발명의 구성과 특징을 설명하였으나 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 사상과 범위 내에서 다양하게 변경 또는 변형할 수 있음은 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자에게 명백한 것이며, 따라서 이와 같은 변경 또는 변형은 첨부된 특허청구범위에 속함을 밝혀둔다.In the above description of the configuration and features of the present invention based on the embodiment according to the present invention, the present invention is not limited thereto, and various changes or modifications can be made within the spirit and scope of the present invention. It will be apparent to those skilled in the art that such changes or modifications fall within the scope of the appended claims.

Claims (16)

  1. 증착 물질을 수용하기 위한 공간이 내부에 형성되고, 상기 증착 물질을 외부로 가이드하기 위한 적어도 하나 이상의 노즐이 구현되는 크루시블;A crucible in which a space for accommodating the deposition material is formed and at least one nozzle for guiding the deposition material to the outside is implemented;
    상기 크루시블의 외측에 배치되며, 고주파수 전력이 인가되어 상기 고주파수 전력에 대응하는 코일 전류가 흐름에 따라 주변에 다이나믹한 자기장이 형성되는 코일; 및A coil disposed outside the crucible and having a high frequency power applied thereto to form a dynamic magnetic field around the coil current corresponding to the high frequency power; And
    상기 코일의 주변에 배치되는 자기장 집속 구조물;을 포함하되Includes; magnetic field focusing structure disposed around the coil
    상기 크루시블은The crucible is
    상기 다이나믹한 자기장에 의하여 외벽에 유도 전류가 형성되고, 상기 유도 전류와 상기 크루시블의 전기적 저항 요소에 기초하여 발생되는 열에 의해 가열되며,Induction current is formed on the outer wall by the dynamic magnetic field, and is heated by heat generated based on the induced current and the electrical resistance element of the crucible,
    상기 자기장 집속 구조물에 의해 상기 코일 주변에 형성되는 상기 다이나믹한 자기장이 집속됨으로써, 상기 크루시블에 발생되는 상기 열이 상승하는 것을 특징으로 하는The dynamic magnetic field formed around the coil is focused by the magnetic field focusing structure, so that the heat generated in the crucible is increased.
    증착 장비용 가열 어셈블리.Heating assembly for deposition equipment.
  2. 제1 항에 있어서,According to claim 1,
    상기 크루시블의 외벽에 형성되는 상기 유도 전류는 시간에 따라 속성이 변경되는 것을 특징으로 하는The induced current formed on the outer wall of the crucible is characterized in that the property changes over time
    증착 장비용 가열 어셈블리.Heating assembly for deposition equipment.
  3. 제1 항에 있어서,According to claim 1,
    상기 자기장 집속 구조물에 의해, 상기 다이나믹한 자기장의 자속 밀도의 변화량이 증가하고,By the magnetic field focusing structure, the amount of change in the magnetic flux density of the dynamic magnetic field increases,
    상기 크루시블에 상기 상승되는 열은 상기 증가하는 변화량에 기초하여 상승하는 것을 특징으로 하는The rising heat in the crucible rises based on the increasing amount of change
    증착 장비용 가열 어셈블리.Heating assembly for deposition equipment.
  4. 제1 항에 있어서,According to claim 1,
    상기 자기장 집속 구조물에 의해, 상기 유도 전류의 단위 시간당 전하량은 상승되고,By the magnetic field focusing structure, the amount of charge per unit time of the induced current is increased,
    상기 크루시블에 상기 상승되는 열은 상기 상승된 단위 시간당 전하량에 기초하여 상승하는 것을 특징으로 하는The rising heat in the crucible is increased based on the increased amount of charge per unit time
    증착 장비용 가열 어셈블리.Heating assembly for deposition equipment.
  5. 제1 항에 있어서,According to claim 1,
    상기 자기장 집속 구조물에 의해, 상기 다이나믹한 자기장은 자속 밀도의 변화량 및 상기 유도 전류의 단위 시간당 전하량은 증가되며,By the magnetic field focusing structure, the dynamic magnetic field increases the amount of change in magnetic flux density and the amount of charge per unit time of the induced current,
    상기 크루시블에 상기 상승되는 열은 상기 증가된 변화량 및 단위 시간당 전하량에 기초하여 상승하는 것을 특징으로 하는The rising heat in the crucible is increased based on the increased amount of change and the amount of charge per unit time
    증착 장비용 가열 어셈블리.Heating assembly for deposition equipment.
  6. 제1 항에 있어서,According to claim 1,
    상기 크루시블에 구현되는 노즐은 상기 크루시블의 외측으로 돌출된 형태인The nozzle implemented in the crucible has a form protruding outward of the crucible
    증착 장비용 가열 어셈블리.Heating assembly for deposition equipment.
  7. 제1 항에 있어서,According to claim 1,
    상기 코일은 The coil is
    상기 크루시블의 외벽의 외측에 상기 코일이 포함하는 제1 코일 및 제2 코일이 존재하도록 배치되는The first coil and the second coil included in the coil outside the outer wall of the crucible is disposed to exist
    증착 장비용 가열 어셈블리.Heating assembly for deposition equipment.
  8. 제1 항에 있어서,According to claim 1,
    상기 가열 어셈블리는 증착 장비의 하우징 내부에 배치되는 것을 특징으로 하는The heating assembly is disposed inside the housing of the deposition equipment
    증착 장비용 가열 어셈블리.Heating assembly for deposition equipment.
  9. 제8 항에 있어서,The method of claim 8,
    상기 자기장 집속 구조물은 상기 코일과 상기 하우징의 내벽 사이의 공간에 배치되는The magnetic field focusing structure is disposed in a space between the coil and the inner wall of the housing.
    증착 장비용 가열 어셈블리.Heating assembly for deposition equipment.
  10. 제9 항에 있어서,The method of claim 9,
    상기 자기장 집속 구조물은 도포되는 형태로 구현되는The magnetic field focusing structure is implemented in a form that is applied
    증착 장비용 가열 어셈블리.Heating assembly for deposition equipment.
  11. 제1 항에 있어서,According to claim 1,
    상기 자기장 집속 구조물은 판형 형태로 구현되며,The magnetic field focusing structure is implemented in a plate shape,
    상기 자기장 집속 구조물은 제1 영역 및 제2 영역을 포함하고,The magnetic field focusing structure includes a first region and a second region,
    상기 자기장 집속 구조물의 상기 제1 영역의 두께는 상기 제2 영역의 두께보다 큰 것을 특징으로 하는The thickness of the first region of the magnetic field focusing structure is greater than the thickness of the second region
    증착 장비용 가열 어셈블리.Heating assembly for deposition equipment.
  12. 제1 항에 있어서,According to claim 1,
    상기 자기장 집속 구조물의 두께에 기초하여, 상기 다이나믹한 자기장이 집속되는 정도가 달라지는Based on the thickness of the magnetic field focusing structure, the degree to which the dynamic magnetic field is focused varies
    증착 장비용 가열 어셈블리.Heating assembly for deposition equipment.
  13. 제1 항에 있어서,According to claim 1,
    상기 자기장 집속 구조물의 영역은 제1 영역 및 제2 영역을 포함하고,The region of the magnetic field focusing structure includes a first region and a second region,
    상기 제1 영역과 상기 하우징과의 거리는 상기 제2 영역과 상기 하우징과의 거리보다 큰 것을 특징으로 하는The distance between the first region and the housing is greater than the distance between the second region and the housing.
    증착 장비용 가열 어셈블리.Heating assembly for deposition equipment.
  14. 제1 항에 있어서,According to claim 1,
    상기 자기장 집속 구조물은 제1 영역과 제2 영역을 포함하고,The magnetic field focusing structure includes a first region and a second region,
    상기 제1 영역과 제2 영역은 서로 수직한 영역인 것을 특징으로 하는The first region and the second region is characterized in that the perpendicular to each other
    증착 장비용 가열 어셈블리.Heating assembly for deposition equipment.
  15. 제1 항에 있어서,According to claim 1,
    상기 크루시블의 외벽에는 열전도 억제 요소가 구현되고,The outer wall of the crucible is implemented a heat conduction inhibiting element,
    상기 열전도 억제 요소에 의하여, 상기 크루시블의 외벽의 상부에서 하부로 전달되는 열량이 감소하는The amount of heat transferred from the top to the bottom of the outer wall of the crucible is reduced by the heat conduction inhibiting element.
    증착 장비용 가열 어셈블리.Heating assembly for deposition equipment.
  16. 내부에 공간이 형성되는 하우징;A housing having a space formed therein;
    증착 물질을 수용하기 위한 공간이 내부에 형성되며, 상기 증착 물질을 외부로 가이드하기 위한 적어도 하나 이상의 노즐이 구현되는 크루시블;A space in which a space for accommodating the deposition material is formed, and at least one nozzle for guiding the deposition material to the outside is implemented;
    상기 크루시블의 외측에 배치되며, 고주파수 전력이 인가되어 상기 고주파수 전력에 대응하는 코일 전류가 흐름에 따라 주변에 다이나믹한 자기장이 형성되는 코일; 및A coil disposed outside the crucible and having a high frequency power applied thereto to form a dynamic magnetic field around the coil current corresponding to the high frequency power; And
    상기 코일의 주변에 배치되는 자기장 집속 구조물;을 포함하되Includes; magnetic field focusing structure disposed around the coil
    상기 크루시블, 코일, 및 자기장 집속 구조물은 상기 하우징의 내부 공간에 구비되고,The crucible, the coil, and the magnetic field focusing structure are provided in an inner space of the housing,
    상기 크루시블은The crucible is
    상기 다이나믹한 자기장에 의하여 외벽에 유도 전류가 형성되고, 상기 유도 전류와 상기 크루시블의 전기적 저항 요소에 기초하여 발생되는 열에 의해 가열되며,Induction current is formed on the outer wall by the dynamic magnetic field, and is heated by heat generated based on the induced current and the electrical resistance element of the crucible,
    상기 자기장 집속 구조물에 의해 상기 코일 주변에 형성되는 상기 다이나믹한 자기장이 집속됨으로써, 상기 크루시블에 발생되는 상기 열이 상승하는 것을 특징으로 하는The dynamic magnetic field formed around the coil is focused by the magnetic field focusing structure, so that the heat generated in the crucible is increased.
    증착 장비.Deposition equipment.
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