WO2018100973A1 - 産業用ロボット - Google Patents

Abstract

この産業用ロボットは、搬送対象物が搭載されるハンドと、ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、アームの基端側が回動可能に連結される本体部７と、本体部７を床面に設置するための設置部材８とを備えている。本体部７は、アームの基端側が上面側に回動可能に連結される昇降体２０と、昇降体２０を昇降可能に保持するとともに昇降体２０の少なくとも下端側の一部が収容される筐体２１と、昇降体２０を昇降させる昇降機構２２とを備えている。この産業用ロボットでは、昇降機構２２は、上下方向から見たときに、昇降体２０と重なるように筐体２１に収容されている。

Description

産業用ロボット

　本発明は、半導体ウエハ等の搬送対象物を搬送する産業用ロボットに関する。

　従来、ＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ　Ｏｐｅｎ　Ｕｎｉｆｉｅｄ　Ｐｏｄ）と半導体ウエハ処理装置との間で半導体ウエハを搬送する水平多関節ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の水平多関節ロボットは、ＥＦＥＭ（Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ　Ｆｒｏｎｔ　Ｅｎｄ　Ｍｏｄｕｌｅ）の一部を構成しており、ＥＦＥＭの筐体の内部に配置されている。ＥＦＥＭは、半導体ウエハ処理装置の前側に配置され、ＦＯＵＰは、ＥＦＥＭの前側に配置されている。ＥＦＥＭの筐体は、前後方向を短手方向とし左右方向を長手方向とする細長い直方体の箱状に形成されている。

　また、特許文献１に記載の水平多関節ロボットは、半導体ウエハが搭載される２個のハンドと、２個のハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備えている。本体部は、上端にアームの基端側が回動可能に連結される柱状部材と、柱状部材を昇降可能に保持する筐体と、柱状部材を昇降させる昇降機構とを備えている。下降時の柱状部材は、筐体に収容されている。また、昇降機構は、筐体に収容されている。

特開２０１５－３６１８６号公報

　上述のように、特許文献１に記載の水平多関節ロボットは、ＥＦＥＭの筐体の内部に配置されている。ＥＦＥＭの筐体の内部では、各種の配管や配線が引き回されることがある。ＥＦＥＭの筐体の内部で、配管や配線の引き回しスペースを確保するためには、水平多関節ロボットの本体部は、前後方向において薄くなっていることが好ましい。

　そこで、本発明の課題は、アームの基端側が回動可能に連結される本体部を薄型化することが可能な産業用ロボットを提供することにある。

　上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットは、搬送対象物が搭載されるハンドと、ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、アームの基端側が回動可能に連結される本体部と、本体部を床面に設置するための設置部材とを備え、本体部は、アームの基端側が上面側に回動可能に連結される昇降体と、昇降体を昇降可能に保持するとともに昇降体の少なくとも下端側の一部が収容される筐体と、昇降体を昇降させる昇降機構とを備え、昇降機構は、上下方向から見たときに、昇降体と重なるように筐体に収容されていることを特徴とする。

　本発明において、たとえば、筐体は、上下方向から見たときの形状が左右方向を長手方向とし前後方向を短手方向とする略長方形状となるように形成され、昇降体は、上下方向から見たときの形状が左右方向を長手方向とし前後方向を短手方向とする略長方形状となるように形成され昇降体の下降時に筐体に収容されるフレーム部を備えている。

　本発明の産業用ロボットでは、本体部は、アームの基端側が上面側に回動可能に連結される昇降体と、昇降体の少なくとも下端側の一部が収容される筐体と、昇降体を昇降させる昇降機構とを備えており、昇降機構は、上下方向から見たときに、昇降体と重なるように筐体に収容されている。そのため、本発明では、たとえば、上下方向から見たときの形状が左右方向を長手方向とし前後方向を短手方向とする略長方形状となるように筐体が形成されているとすると、昇降機構が前後方向において昇降体とずれた状態で筐体に収容されている場合と比較して、前後方向における筐体の幅を狭くすることが可能になる。すなわち、本発明では、たとえば、昇降機構が前後方向において昇降体とずれた状態で筐体に収容されている場合と比較して、前後方向における本体部の幅を狭くすることが可能になり、その結果、本体部を薄型化することが可能になる。

　ここで、本体部が薄型化されると、産業用ロボットを床面に設置する場合に、床面に対する本体部の設置状態が不安定になって床面に対する産業用ロボットの設置状態が不安定になるおそれがある。しかしながら、本発明の産業用ロボットは、本体部を床面に設置するための設置部材を備えている。そのため、本発明では、本体部が薄型化されても、床面に対する本体部の設置状態を安定させることが可能になり、その結果、床面に対する産業用ロボットの設置状態を安定させることが可能になる。

　本発明において、たとえば、設置部材には、筐体が固定されている。また、本発明において、たとえば、筐体は、上下方向から見たときの形状が左右方向を長手方向とし前後方向を短手方向とする略長方形状となるように形成され、設置部材は、筐体が固定される筐体固定部と、床面に固定される２個の被固定部とを備え、筐体固定部は、前後方向における筐体の一方側に配置され、被固定部は、筐体固定部の下端側に繋がっており、２個の被固定部のうちの一方の被固定部は、左右方向における筐体の一方側に配置され、他方の被固定部は、左右方向における筐体の他方側に配置されている。

　本発明において、たとえば、本体部は、左右方向における筐体の一方の側面に固定される配線箱を備え、配線箱は、筐体の上端側に固定されている。この場合には、左右方向において筐体の外側に配置される被固定部と、配線箱との干渉を防止することが可能になる。

　本発明において、産業用ロボットは、本体部を昇降させる昇降ユニットを備え、設置部材には、昇降ユニットの筐体である第２筐体が固定されていても良い。この場合には、本体部に加えて昇降ユニットが薄型化されても、床面に対する本体部および昇降ユニットの設置状態を安定させることが可能になり、その結果、床面に対する産業用ロボットの設置状態を安定させることが可能になる。

　以上のように、本発明の産業用ロボットでは、アームの基端側が回動可能に連結される本体部を薄型化することが可能になる。

本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの斜視図であり、（Ａ）は正面側から産業用ロボットを示す図、（Ｂ）は背面側から産業用ロボットを示す図である。 図１に示す産業用ロボットの、昇降体が上昇している状態の斜視図である。 図１に示す産業用ロボットが使用される半導体製造システムの概略平面図である。 図１に示す産業用ロボットの側面図である。 図４のＥ－Ｅ断面の構成を説明するための断面図である。 図１に示す設置部材の斜視図である。 （Ａ）は、本発明の他の実施の形態にかかる産業用ロボットの斜視図であり、（Ｂ）は、（Ａ）に示す産業用ロボットの、昇降体および筺体が上昇している状態の斜視図である。

　以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。

　（産業用ロボットの全体構成）
　図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１の斜視図であり、（Ａ）は正面側から産業用ロボット１を示す図、（Ｂ）は背面側から産業用ロボット１を示す図である。図２は、図１に示す産業用ロボット１の、昇降体２０が上昇している状態の斜視図である。図３は、図１に示す産業用ロボット１が使用される半導体製造システム９の概略平面図である。

　本形態の産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、搬送対象物である半導体ウエハ２（図３参照、以下、「ウエハ２」とする。）を搬送するための水平多関節ロボットである。このロボット１は、ウエハ２が搭載される２個のハンド４、５と、ハンド４、５が先端側に回動可能に連結されるとともに水平方向に動作するアーム６と、アーム６の基端側が回動可能に連結される本体部７とを備えている。また、ロボット１は、本体部７を床面（具体的には、後述の筺体１４の床面１４ｂ）に設置するための設置部材８を備えている。

　以下の説明では、水平方向の一方向を左右方向とし、上下方向（鉛直方向）と左右方向とに直交する方向を前後方向とする。また、左右方向の一方側である図１等のＸ１方向側を「右」側、その反対側である図１等のＸ２方向側を「左」側、前後方向の一方側である図１等のＹ１方向側を「前」側、その反対側である図１等のＹ２方向側を「後ろ」側とする。

　図３に示すように、ロボット１は、半導体製造システム９に組み込まれて使用される。この半導体製造システム９は、ＥＦＥＭ１０と、ウエハ２に対して所定の処理を行う半導体ウエハ処理装置１１とを備えている。ＥＦＥＭ１０は、半導体ウエハ処理装置１１の前側に配置されている。ロボット１は、ＥＦＥＭ１０の一部を構成している。また、ＥＦＥＭ１０は、ＦＯＵＰ１２を開閉する複数のロードポート１３と、ロボット１が収容される筺体１４とを備えている。

　筺体１４は、左右方向に細長い直方体の箱状に形成されている。ロードポート１３は、たとえば、筺体１４の前側に配置されている。ロボット１は、筐体１４の内部の前側面１４ａにアーム６の基端側が隣接するように筐体１４の内部に配置されている。また、ロボット１は、ＦＯＵＰ１２と半導体ウエハ処理装置１１との間でウエハ２を搬送する。なお、ロボット１は、筐体１４の内部の後側面にアーム６の基端側が隣接するように筐体１４の内部に配置されていても良い。

　アーム６は、基端側が本体部７に回動可能に連結される第１アーム部１６と、第１アーム部１６の先端側に基端側が回動可能に連結される第２アーム部１７と、第２アーム部１７の先端側に基端側が回動可能に連結される第３アーム部１８とから構成されている。第１アーム部１６、第２アーム部１７および第３アーム部１８は、中空状に形成されている。本体部７と第１アーム部１６と第２アーム部１７と第３アーム部１８とは、上下方向において、下側からこの順番で配置されている。

　ハンド４、５は、上下方向から見たときの形状が略Ｙ形状となるように形成されている。ハンド４、５の基端側部分は、第３アーム部１８の先端側に回動可能に連結されている。また、ハンド４、５は、上下方向で重なるように配置されている。具体的には、ハンド４が上側に配置され、ハンド５が下側に配置されている。また、ハンド４、５は、第３アーム部１８よりも上側に配置されている。なお、図３では、ハンド５の図示を省略している。

　（本体部の構成）
　図４は、図１に示すロボット１の側面図である。図５は、図４のＥ－Ｅ断面の構成を説明するための断面図である。なお、図４では、設置部材８の図示を省略している。

　本体部７は、アーム６の基端側が上面側に回動可能に連結される昇降体２０と、昇降体２０を昇降可能に保持する筺体２１と、筺体２１に対して昇降体２０を昇降させる昇降機構２２（図５参照）と、昇降体２０を上下方向へ案内するガイド機構２３（図５参照）とを備えている。また、本体部７は、配線が収容される配線箱（ケーブルボックス）２４を備えている。なお、図４、図５では、配線箱２４の図示を省略している。

　筺体２１は、扁平な略直方体の箱状に形成されており、上下方向から見たときの筺体２１の形状は、左右方向を長手方向とし前後方向を短手方向とする略長方形状となっている。具体的には、上下方向から見たときの筺体２１の形状は、左右方向に細長い略長方形状となっている。筺体２１の前面および後面は、前後方向に直交する平面となっており、筺体２１の左右の両側面は、左右方向に直交する平面となっている。また、筺体２１の上面および底面は、上下方向に直交する平面となっている。

　配線箱２４は、直方体の箱状に形成されている。この配線箱２４は、筺体２１の左側面に固定されている。また、配線箱２４は、筺体２１の上端側に固定されている。配線箱２４の左側面には、各種のコネクタ（図示省略）が配置されている。

　昇降体２０は、扁平な略直方体に形成されるフレーム部２５と、フレーム部２５の上端側に固定される上端側フレーム部２６とを備えている。フレーム部２５と上端側フレーム部２６とは別体で形成され、互いに固定されている。具体的には、フレーム部２５と上端側フレーム部２６とは、図示を省略するネジによって互いに固定されている。

　フレーム部２５は、底面が開口する箱状に形成されており、上下方向から見たときのフレーム部２５の形状は左右方向を長手方向とし前後方向を短手方向とする略長方形状となっている。具体的には、上下方向から見たときのフレーム部２５の形状は、左右方向に細長い略長方形状となっている。フレーム部２５の前面および後面は、前後方向に直交する平面となっており、フレーム部２５の左右の両側面は、左右方向に直交する平面となっている。また、フレーム部２５の上面は、上下方向に直交する平面となっている。フレーム２５の前後方向の幅は、筺体２１の前後方向の幅よりも狭くなっており、フレーム２５の左右方向の幅は、筺体２１の左右方向の幅よりも狭くなっている。

　上端側フレーム部２６は、略直方体状に形成されている。この上端側フレーム部２６は、上下方向から見たときの形状が前後方向を長手方向とし左右方向を短手方向とする略長方形状となるように形成されている。また、上端側フレーム部２６は、中空状に形成されている。上端側フレーム部２６の左右方向の幅はフレーム部２５の左右方向の幅よりも狭くなっている。

　上端側フレーム部２６は、フレーム部２５に固定される被固定部２６ａを備えている。被固定部２６ａは、フレーム部２５の上端側の左右方向の中心に形成される凹部の中に収容されている。また、上端側フレーム部２６は、被固定部２６ａの前端に繋がるとともにフレーム部２５の前面から前側へ突出する突出部２６ｂを備えている。アーム６の基端側は、突出部２６ｂの上面側に配置されており、突出部２６ｂに回動可能に連結されている。

　昇降体２０の下降時には、フレーム部２５は筐体２１に収容されている。具体的には、昇降体２０が下限位置まで下降しているとき（図１に示す状態のとき）には、フレーム部２５の全体が筐体２１に収容されている。すなわち、昇降体２０が下限位置まで下降しているときには、昇降体２０の、突出部２６ｂ以外の部分が筐体２１に収容されている。

　また、昇降体２０が下限位置から上昇しているとき（図２に示す状態のとき）には、フレーム部２５の下端側部分が筐体２１に収容されている。すなわち、昇降体２０が下限位置から上昇しているときには、昇降体２０の下端側部分が筐体２１に収容されている。筐体２１の前面部の上端側には、昇降体２０が下降しているときに突出部２６ｂが配置される切欠き部２１ａ（図２参照）が形成されている。なお、筐体２１の上面部には、昇降体２０の昇降時にフレーム部２５が通過する切欠き部が形成されている。

　昇降機構２２は、筐体２１に収容されている。この昇降機構２２は、図５に示すように、モータ２８とボールネジ２９とを備えている。ボールネジ２９は、モータ２８の動力で回転するネジ軸３０と、ネジ軸３０に係合するナット３１とを備えている。モータ２８は、筐体２１に収容されており、筐体２１の下端側に固定されている。また、モータ２８は、左右方向における筐体２１の略中心位置に配置されている。ネジ軸３０は、ネジ軸３０の軸方向と上下方向とが一致するように配置されている。また、ネジ軸３０は、モータ２８よりも右側に配置されている。ネジ軸３０は、筐体２１に回転可能に保持されている。

　ナット３１は、ナット保持部材３２に固定されている。ナット保持部材３２は、フレーム部２５の内部に固定されている。すなわち、ナット３１は、ナット保持部材３２を介してフレーム部２５の内部に固定されている。モータ２８の出力軸には、プーリ３３が固定され、ネジ軸３０の下端側には、プーリ３４が固定されている。プーリ３３とプーリ３４とには、ベルト３５が架け渡されている。図５に示すように、昇降機構２２は、上下方向から見たときに、昇降体２０と重なるように筐体２１に収容されている。具体的には、昇降機構２２は、上下方向から見たときに、フレーム部２５と重なるように筐体２１に収容されている。

　ガイド機構２３は、ガイドレール３８と、ガイドレール３８に係合するガイドブロック３９とを備えている。ガイドレール３８は、ガイドレール３８の長手方向と上下方向とが一致するように筐体２１の内部に固定されている。また、ガイドレール３８は、筐体２１の内部の左右の両端側に固定されている。ガイドブロック３９は、ブロック保持部材４０に固定されている。ブロック保持部材４０は、フレーム部２５の左右の両側面のそれぞれに固定されている。すなわち、ガイドブロック３９は、ブロック保持部材４０を介してフレーム部２５の左右の両側面に固定されており、ガイドレール３８およびガイドブロック３９は、左右方向におけるフレーム部２５の両外側に配置されている。また、ガイドレール３８およびガイドブロック３９は、筐体２１に収容されている。

　本形態では、モータ２８が回転すると、昇降体２０は、ガイド機構２３に案内されながら筐体２１に対して上下動する。なお、フレーム部２５の内部には、ケーブルベア（登録商標）４２の一端側が固定され、筐体２１の内部には、ケーブルベア（登録商標）４２の他端側が固定されている。ケーブルベア（登録商標）４２は、モータ２８よりも左側に配置されている。

　（アームおよびハンドの駆動機構の構成）
　ロボット１は、第１アーム部１６および第２アーム部１７を回動させて第１アーム部１６と第２アーム部１７とからなるアーム６の一部を伸縮させるアーム部駆動機構４５（図４参照）と、第３アーム部１８を回動させる第３アーム部駆動機構（図示省略）と、ハンド４を回動させるハンド駆動機構（図示省略）と、ハンド５を回動させるハンド駆動機構（図示省略）とを備えている。

　アーム部駆動機構４５は、図４に示すように、モータ４６と、モータ４６の動力を減速して第１アーム部１６に伝達するための減速機４７と、モータ４６の動力を減速して第２アーム部１７に伝達するための減速機４８とを備えている。モータ４６は、上端側フレーム部２６の被固定部２６ａの下面部に固定されている。モータ４６の出力軸は、被固定部２６ａの内部に配置され、モータ４６の本体部は、フレーム部２５の内部に配置されている。

　減速機４７は、第１アーム部１６と突出部２６ｂとを繋ぐ関節部を構成している。この減速機４７は、中空減速機である。減速機４７のケース体は、突出部２６ｂの内部に固定されている。減速機４７の出力軸の上端面は、第１アーム部１６の基端側の下面に固定されている。モータ４６と減速機４７とは、モータ４６の出力軸に固定されるプーリ４９と、減速機４７の入力軸に固定されるプーリ５０と、プーリ４９とプーリ５０とに架け渡されるベルト５１を介して連結されている。

　減速機４８は、第１アーム部１６と第２アーム部１７とを繋ぐ関節部を構成している。この減速機４８は、減速機４７と同様に、中空減速機である。モータ４６と減速機４８とは、プーリ４９、５０、ベルト５１および第１アーム部１６の内部に配置されるプーリ、ベルト（図示省略）等を介して連結されている。

　第３アーム部駆動機構は、モータと、このモータの動力を減速して第３アーム部１８に伝達するための減速機とを備えている。第３アーム部駆動機構のモータは、第２アーム部１７の内部に配置され、第３アーム部駆動機構の減速機は、第２アーム部１７と第３アーム部１８とを繋ぐ関節部を構成している。ハンド駆動機構は、モータと、このモータの動力を減速してハンド４、５に伝達するための減速機とを備えている。ハンド駆動機構のモータおよび減速機は、第３アーム部１８の内部に配置されている。また、ハンド駆動機構の減速機とハンド４、５とは、図示を省略するプーリおよびベルトを介して連結されている。

　（設置部材の構成）
　図６は、図１に示す設置部材８の斜視図である。

　設置部材８は、アルミニウム合金製の鋳物部品である。この設置部材８は、筺体２１が固定される筺体固定部８ａを備えている。すなわち、本形態では、設置部材８に筐体２１が固定されている。また、設置部材８は、ＥＦＥＭ１０の筺体１４の床面１４ｂ（図３参照）に固定される２個の被固定部８ｂを備えている。なお、設置部材８は、アルミニウム合金以外の金属で形成されていても良いし、切削部品等であっても良い。また、図３では、設置部材８を簡略化して図示している。

　筺体固定部８ａは、筺体１４の後ろ側に配置されている。前後方向から見たときの筺体固定部８ａの形状は、略長方形状となっている。筺体固定部８ａの上端は、筺体２１の上端よりも下側に配置されている。被固定部８ｂは、筐体固定部８ａの下端側に繋がっている。具体的には、２個の被固定部８ｂのそれぞれは、筺体固定部８ａの左右の両側面のそれぞれの下端側に繋がっている。また、２個の被固定部８ｂは、筺体２１の下端部を左右方向で挟むように配置されている。すなわち、２個の被固定部８ｂのうちの一方の被固定部８ｂは、筐体２１の右側に配置され、他方の被固定部８ｂは、筐体２１の左側に配置されている。

　筺体固定部８ａの前面側には、筺体２１の後面が接触する接触面８ｃが形成されている。接触面８ｃは、前後方向に直交する平面となっている。また、接触面８ｃは、筺体固定部８ａの前面の、左右方向の両端側のそれぞれに形成されている。接触面８ｃは、筺体固定部８ａの前面の他の部分よりもわずかに前側に突出している。被固定部８ｂの前端部は、筺体固定部８ａの前面よりも前側に突出している。筺体固定部８ａの左右方向の両端には、筺体固定部８ａの前面と被固定部８ｂの前端部とを繋ぐ補強用のリブ８ｄが形成されている。リブ８ｄは、略三角形状に形成されている。また、２個のリブ８ｄは、筺体２１の下端部を左右方向で挟むように配置されている。

　筺体２１は、図５に示すように、筺体２１の後面が接触面８ｃに接触した状態で複数のネジ５４（図１（Ｂ）参照）によって筺体固定部８ａに固定されている。筺体２１が設置部材８に固定された状態では、配線箱２４は、左側に配置されるリブ８ｄの上側に配置されている。筺体固定部８ａの、接触面８ｃが形成された部分には、ネジ５４が挿通される複数の貫通穴８ｅが形成されている（図６参照）。貫通穴８ｅは、前後方向で筺体固定部８ａを貫通している。

　また、設置部材８は、被固定部８ｂの下面が床面１４ｂに接触した状態で複数のネジ５５によって床面１４ｂに固定されている。すなわち、ロボット１は、床面１４ｂに設置されている。被固定部８ｂには、ネジ５５が挿通される複数の貫通穴８ｆが形成されている（図６参照）。貫通穴８ｆは、上下方向で被固定部８ｂを貫通している。

　（本形態の主な効果）
　以上説明したように、本形態では、昇降機構２２は、上下方向から見たときに、筐体２１に収容されるフレーム部２５と重なるように筐体２１に収容されている。そのため、本形態では、昇降機構２２が前後方向においてフレーム部２５とずれた状態で筐体２１に収容されている場合と比較して、前後方向における筐体２１の幅を狭くすることが可能になる。すなわち、本形態では、昇降機構２２が前後方向においてフレーム部２５とずれた状態で筐体２１に収容されている場合と比較して、前後方向における本体部７の幅を狭くすることが可能になり、その結果、本体部７を薄型化することが可能になる。

　また、本形態のロボット１は、本体部７を床面１４ｂに設置するための設置部材８を備えているため、本体部７が薄型化されても、床面１４ｂに対する本体部７の設置状態を安定させることが可能になる。すなわち、本形態では、本体部７が薄型化されても、床面１４ｂに対するロボット１の設置状態を安定させることが可能になる。また、本形態では、配線箱２４が筐体２１の上端側に固定されているため、左右方向において筐体２１の外側に配置される被固定部８ｂおよびリブ８ｄと、配線箱２４との干渉を防止することが可能になる。

　（ロボットの変形例）
　図７（Ａ）は、本発明の他の実施の形態にかかるロボット１の斜視図であり、図７（Ｂ）は、図７（Ａ）に示すロボット１の、昇降体２０および筺体２１が上昇している状態の斜視図である。

　上述した形態において、ロボット１は、本体部７を昇降させる昇降させる昇降ユニット６０を備えていても良い。昇降ユニット６０は、筺体２１が固定される昇降体（図示省略）と、この昇降体を昇降可能に保持する第２筺体としての筺体６１と、筺体６１に対して昇降体を昇降させる昇降機構（図示省略）と、昇降体を上下方向へ案内するガイド機構（図示省略）と、配線が収容される配線箱６４とを備えている。昇降ユニット６０は、筺体固定部８ａの前側に配置され、本体部７は、昇降ユニット６０の前側に配置されている。

　筺体６１は、筺体２１と同様に、扁平な略直方体の箱状に形成されており、上下方向から見たときの筺体６１の形状は、左右方向を長手方向とし前後方向を短手方向とする左右方向に細長い略長方形状となっている。筺体６１の前面および後面は、前後方向に直交する平面となっており、筺体６１の左右の両側面は、左右方向に直交する平面となっており、筺体６１の上面および底面は、上下方向に直交する平面となっている。

　筺体６１の左右方向の幅は、筺体２１の左右方向の幅と等しくなっている。また、筺体６１の高さ（上下方向の高さ）は、筺体２１の高さ（上下方向の高さ）と等しくなっている。また、筺体６１の前後方向の幅は、筺体２１の前後方向の幅よりも若干、狭くなっている。配線箱６４は、直方体の箱状に形成されており、筺体６１の左側面の上端側に固定されている。

　昇降ユニット６０の昇降体は、筺体２１の後面の下端部が固定される被固定部を備えている。被固定部は、筺体６１の前側に配置されるとともに、筺体６１の外部に配置されている。また、昇降体の、被固定部以外の部分は、筺体６１に収容されている。昇降ユニット６０の昇降機構は、昇降機構２２とほぼ同様に構成されており、昇降機構２２が筺体２１の内部に配置されているのとほぼ同様に、筺体６１の内部に配置されている。また、昇降ユニット６０のガイド機構は、ガイド機構２３と同様に構成されており、ガイド機構２３が筺体２１の内部に配置されているのとほぼ同様に、筺体６１の内部に配置されている。

　この変形例では、筺体６１が設置部材８に固定されている。具体的には、筺体６１の後面が接触面８ｃに接触した状態で複数のネジによって筺体固定部８ａに筺体６１が固定されている。筺体６１が設置部材８に固定された状態では、筺体固定部８ａの上端は、筺体６１の上端よりも下側に配置されている。また、筺体６１が設置部材８に固定された状態では、配線箱６４は、左側に配置されるリブ８ｄの上側に配置されている。また、被固定部８ｂおよびリブ８ｄは、左右方向において、筺体２１、６１の外側に配置されている。

　この変形例では、昇降ユニット６０の筺体６１が設置部材８に固定され、かつ、設置部材８が床面１４ｂに設置されているため、本体部７に加えて昇降ユニット６０が薄型化されても、床面１４ｂに対する本体部７および昇降ユニット６０の設置状態を安定させることが可能になる。すなわち、本体部７に加えて昇降ユニット６０が薄型化されても、床面１４ｂに対するロボット１の設置状態を安定させることが可能になる。

　（他の実施の形態）
　上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。

　上述した形態では、昇降体２０が下限位置まで下降しているときに、フレーム部２５の全体が筐体２１に収容されているが、昇降体２０が下限位置まで下降しているときに、フレーム部２５の上端側部分が筐体２１の上面よりも上側へ突出していても良い。また、上述した形態において、昇降体２０は、突出部２６ｂを備えていなくても良い。また、上述した形態では、第３アーム部１８の先端側に２個のハンド４、５が取り付けられているが、第３アーム部１８の先端側に１個のハンドが取り付けられても良い。

　上述した形態では、アーム６は、第１アーム部１６、第２アーム部１７および第３アーム部１８の３個のアーム部によって構成されているが、アーム６は、２個のアーム部によって構成されても良いし、４個以上のアーム部によって構成されていても良い。また、上述した形態では、ロボット１は、ウエハ２を搬送するためのロボットであるが、ロボット１は、液晶用のガラス基板等の他の搬送対象物を搬送するロボットであっても良い。

　１　ロボット（産業用ロボット）
　２　ウエハ（半導体ウエハ、搬送対象物）
　４、５　ハンド
　６　アーム
　７　本体部
　８　設置部材
　８ａ　筐体固定部
　８ｂ　被固定部
　１４ｂ　床面
　２０　昇降体
　２１　筐体
　２２　昇降機構
　２４　配線箱
　２５　フレーム部
　６０　昇降ユニット
　６１　筐体（第２筐体）

Claims (6)

1. 　搬送対象物が搭載されるハンドと、前記ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、前記アームの基端側が回動可能に連結される本体部と、前記本体部を床面に設置するための設置部材とを備え、
   　前記本体部は、前記アームの基端側が上面側に回動可能に連結される昇降体と、前記昇降体を昇降可能に保持するとともに前記昇降体の少なくとも下端側の一部が収容される筐体と、前記昇降体を昇降させる昇降機構とを備え、
   　前記昇降機構は、上下方向から見たときに、前記昇降体と重なるように前記筐体に収容されていることを特徴とする産業用ロボット。
2. 　前記筐体は、上下方向から見たときの形状が左右方向を長手方向とし前後方向を短手方向とする略長方形状となるように形成され、
   　前記昇降体は、上下方向から見たときの形状が左右方向を長手方向とし前後方向を短手方向とする略長方形状となるように形成され前記昇降体の下降時に前記筐体に収容されるフレーム部を備えることを特徴とする請求項１記載の産業用ロボット。
3. 　前記設置部材には、前記筐体が固定されていることを特徴とする請求項１または２記載の産業用ロボット。
4. 　前記筐体は、上下方向から見たときの形状が左右方向を長手方向とし前後方向を短手方向とする略長方形状となるように形成され、
   　前記設置部材は、前記筐体が固定される筐体固定部と、前記床面に固定される２個の被固定部とを備え、
   　前記筐体固定部は、前後方向における前記筐体の一方側に配置され、
   　前記被固定部は、前記筐体固定部の下端側に繋がっており、
   　２個の前記被固定部のうちの一方の前記被固定部は、左右方向における前記筐体の一方側に配置され、他方の前記被固定部は、左右方向における前記筐体の他方側に配置されていることを特徴とする請求項３記載の産業用ロボット。
5. 　前記本体部は、左右方向における前記筐体の一方の側面に固定される配線箱を備え、
   　前記配線箱は、前記筐体の上端側に固定されていることを特徴とする請求項４記載の産業用ロボット。
6. 　前記本体部を昇降させる昇降ユニットを備え、
   　前記設置部材には、前記昇降ユニットの筐体である第２筐体が固定されていることを特徴とする請求項１または２記載の産業用ロボット。

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