WO2018062727A1 - 초음파 접합 장치 - Google Patents

초음파 접합 장치 Download PDF

Info

Publication number
WO2018062727A1
WO2018062727A1 PCT/KR2017/010072 KR2017010072W WO2018062727A1 WO 2018062727 A1 WO2018062727 A1 WO 2018062727A1 KR 2017010072 W KR2017010072 W KR 2017010072W WO 2018062727 A1 WO2018062727 A1 WO 2018062727A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
ultrasonic
connection terminal
ultrasonic bonding
terminal portion
base material
Prior art date
Application number
PCT/KR2017/010072
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
오상민
조상현
박성훈
김성수
이영우
Original Assignee
주식회사 크레셈
지스마트 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 크레셈, 지스마트 주식회사 filed Critical 주식회사 크레셈
Publication of WO2018062727A1 publication Critical patent/WO2018062727A1/ko

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K13/00Welding by high-frequency current heating
    • B23K13/04Welding by high-frequency current heating by conduction heating
    • B23K13/043Seam welding
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K13/00Welding by high-frequency current heating
    • B23K13/04Welding by high-frequency current heating by conduction heating
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K13/00Welding by high-frequency current heating
    • B23K13/08Electric supply or control circuits therefor
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K37/00Auxiliary devices or processes, not specially adapted to a procedure covered by only one of the preceding main groups
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K37/00Auxiliary devices or processes, not specially adapted to a procedure covered by only one of the preceding main groups
    • B23K37/003Cooling means
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/36Assembling printed circuits with other printed circuits
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/36Assembling printed circuits with other printed circuits
    • H05K3/361Assembling flexible printed circuits with other printed circuits

Definitions

  • the present invention relates to an ultrasonic bonding apparatus, and more particularly, by controlling the amplitude of the ultrasonic wave applied to the ultrasonic bonding apparatus, it is possible to more firmly bond between the bonding objects while preventing the damage by the heat of the bonding objects,
  • the present invention relates to an ultrasonic welding device that enables more accurate bonding of a bonding object by aligning and checking the alignment through vision.
  • a plurality of transparent electrodes are formed on one surface of a glass panel, and light emitting diodes (LEDs) are connected to the transparent electrodes to be used as exterior walls of a building made of glass, or installed in a park in a city to provide landscape lighting. It is utilized.
  • LEDs light emitting diodes
  • Such a glass panel is mainly used as a flexible printed circuit board (FPCB) as a means for supplying external power to a plurality of transparent electrodes.
  • FPCB flexible printed circuit board
  • the upper surface of the connecting terminal portion of the bonding means and the flexible circuit board is in contact with the connecting means in contact with the upper surface of the connecting terminal portion of the flexible circuit board. Due to the close contact, heat generated in the central region of the connection terminal part of the flexible circuit board is not smoothly discharged to the outside.
  • connection terminal portion of the flexible circuit board is damaged by heat.
  • connection terminal portion of the glass panel and the flexible circuit board is changed by heat transmitted from the central region of the connection terminal portion that is overheated, the adhesive performance is deteriorated, so that the connection terminal portion of the glass panel and the flexible circuit board is not properly bonded. Problems may arise.
  • the object of the present invention is to adjust the amplitude of the ultrasonic wave applied to prevent the damage by the heat of the object to be bonded while ultrasonic bonding more firmly bonded between the objects.
  • the object of the present invention is to adjust the amplitude of the ultrasonic wave applied to prevent the damage by the heat of the object to be bonded while ultrasonic bonding more firmly bonded between the objects.
  • another object of the present invention is to provide an ultrasonic bonding apparatus that allows to accurately align the bonding object before bonding of the bonding object and to inspect the alignment state through vision.
  • another object of the present invention is to provide an ultrasonic bonding apparatus that provides a structure capable of preventing overheating the ultrasonic bonding portion for bonding the bonding object.
  • the ultrasonic bonding apparatus it is provided in the installation target area
  • Ultrasonic wave is installed on the at least one head portion and the one side of the head portion to be movable up and down, including an ultrasonic bonding portion for applying an ultrasonic wave while pressing the upper surface of the connection terminal portion, the ultrasonic wave applied to the central region of the connection terminal portion
  • the intensity of is lower than the intensity of the ultrasonic wave applied to the edge region of the connection terminal portion.
  • the intensity of the ultrasonic wave is characterized by adjusting the amplitude of the ultrasonic wave applied to the ultrasonic bonding unit.
  • the amplitude of the ultrasonic waves applied to the center region of the connection terminal portion is set to be 5 to 20% smaller than the amplitude of the ultrasonic waves applied to the edge region of the connection terminal portion.
  • the apparatus may further include a vision inspection unit installed at one side of the head unit and configured to photograph an upper image of the connection terminal unit to inspect an alignment state of the connection terminal unit.
  • a vision inspection unit installed at one side of the head unit and configured to photograph an upper image of the connection terminal unit to inspect an alignment state of the connection terminal unit.
  • the one side of the head portion is installed so as to be movable up and down on the other side of the ultrasonic bonding portion, one side is supported by one side edge of the glass base material further comprises an alignment portion for aligning the seating state of the glass base material .
  • the ultrasonic bonding portion characterized in that it further comprises a cooling unit for spraying cooling air to the ultrasonic bonding portion.
  • the apparatus may further include an interposer of a flexible material installed between the upper surface of the main body and the glass base material.
  • the upper surface of the main body portion is characterized in that the vacuum adsorption unit further comprises a plurality of adsorption nozzles which are spaced apart at regular intervals along one side direction of the base portion and a vacuum inducing means for sucking the outside air from the adsorption nozzles.
  • the failure rate of the product is minimized, thereby greatly improving the productivity.
  • the bonding object can be bonded to a more accurate position of the bonding object, thereby improving reliability of the product.
  • FIG. 1 is a schematic perspective view of the ultrasonic bonding apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • Figure 2 is a schematic side view of the ultrasonic bonding portion and the cooling unit of the ultrasonic bonding apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • Figure 3 is a schematic side view of the vision inspection unit of the ultrasonic bonding apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • Figure 4 is a schematic side view of the alignment of the ultrasonic bonding device according to an embodiment of the present invention.
  • 5 to 7 is a schematic view for explaining a conventional thermal compression method.
  • FIG. 8 and 9 is a schematic diagram for explaining the ultrasonic bonding method according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 1 is a schematic perspective view of an ultrasonic bonding apparatus according to an embodiment of the present invention
  • Figure 2 is a schematic side view of the ultrasonic bonding and cooling unit of the ultrasonic bonding apparatus according to an embodiment of the present invention
  • Figure 3 4 is a schematic side view of a vision inspection unit of the ultrasonic bonding apparatus according to an embodiment of the present invention
  • FIG. 4 is a schematic side view of the alignment unit of the ultrasonic bonding apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • the glass base material 100 is formed in a rectangular shape having a predetermined thickness, a plurality of transparent electrodes spaced apart at regular intervals in the vertical and horizontal directions on the upper surface ( 101 is formed.
  • connection terminal 111 of the flexible circuit board 110 faces the upper rigid circuit board 111a disposed above the one end of the flexible circuit board 110 and the flexible circuit board 111a facing the upper rigid circuit board 111a.
  • the lower rigid circuit board 111b is disposed below one end of the 110 and has a connection electrode 111ba formed on the bottom thereof in contact with the transparent electrode 101.
  • connection electrode 111ba is electrically connected to the flexible circuit board 110 through a conductive material filled in the via hole penetrating through the upper rigid circuit board 111a, the flexible circuit board 110, and the lower rigid circuit board 111b. It is a structure that is connected.
  • the ultrasonic bonding apparatus 1 is spaced apart at regular intervals along one side edge of the glass base material 100 having a plurality of transparent electrodes 101 formed on an upper surface thereof.
  • the base part 10 is installed in the installation target area as a substantially rectangular parallelepiped shape, and serves to provide a seating area of the glass base material 100 through an upper surface.
  • the base portion 10 may be a stone top plate made of a flat upper surface as a stone, and the upper surface of the base portion 10 is fixed in the vertical and horizontal directions so that the glass base material 100 that is seated can be easily moved.
  • a plurality of ball bearings 11 are installed at intervals.
  • the main body portion 20 is provided on the side of the base portion 10 and provides an installation area of the head portion 30 described later.
  • the head part 30 has a head main body 31 which is installed on one side of the main body 20 so as to be movable along one side direction of the base part 10, and a moving force providing means for providing a moving force to the head main body 31. And (32).
  • the head body 31 provides an installation area of the ultrasonic bonding unit 40, the vision inspection unit 50, the alignment unit 60, the cooling unit 70 to be described later
  • the movement force providing means 32 is the head body ( While moving 31 along one side direction of the base part 10, the ultrasonic bonding part 40, the vision inspection part 50, the alignment part 60, and the cooling part 70, which will be described later, are moved to one side direction of the base part 10. It serves to move along, a known LM guide structure can be used.
  • the ultrasonic bonding part 40 is installed on one side of the head main body 31 so as to be movable upward and downward, and pressurizes the upper surface of the connection terminal part 111 of the flexible circuit board 110 and simultaneously applies ultrasonic waves to the flexible circuit board 110. It serves to join the connection terminal 111 of the upper surface of the glass base material 100, and includes a first frame 41, the vertical movement force providing means 42 and the ultrasonic horn 43.
  • the first frame 41 is installed on one side of the head body 31 and provides an installation area of the vertical movement force providing means 42 and the ultrasonic horn 43.
  • the vertical movement force providing means 42 moves the ultrasonic horn 43 up and down to press or release the upper surface of the connection terminal 111 of the flexible circuit board 110 through the ultrasonic horn 43.
  • Known cylinder structures can be used.
  • the ultrasonic horn 43 has a pressing surface 43a corresponding to an upper surface of the connection terminal portion 111 of the flexible circuit board 110 on the bottom thereof, and an external connection portion of the flexible circuit board 110 through the ultrasonic horn.
  • Ultrasonic wave generating means (not shown) for applying ultrasonic waves to the 111 is provided, and the terminal portion of the flexible circuit board 110 is applied by applying ultrasonic waves while pressing the upper surface of the connection terminal portion 111 of the flexible circuit board 110.
  • the bottom surface of 111 serves to bond the upper surface of the glass base material 100.
  • the intensity of ultrasonic waves applied to the center region of the connection terminal portion 111 of the flexible circuit board 110 is applied to the edge region of the connection terminal portion 111 of the flexible circuit board 110. It is characterized in that the lower than the intensity of the ultrasonic wave.
  • the method of controlling the intensity of the ultrasonic wave applied to the center region of the connection terminal portion 111 of the flexible circuit board 110 and the intensity of the ultrasonic wave applied to the edge region of the connection terminal portion 111 of the flexible circuit board 110 may be controlled by controlling the amplitude of the ultrasonic waves.
  • the amplitude of the ultrasonic waves may be realized by adjusting the transmission path of the ultrasonic vibrations transmitted to the ultrasonic horns 43 to be long or short or by changing the shape of the ultrasonic horns. .
  • the intensity of the ultrasonic waves applied to the center region of the connection terminal portion 111 of the flexible circuit board 110 using the ultrasonic horn 43 is applied to the edge region of the connection terminal portion 111 of the flexible circuit board 110.
  • the reason for setting lower than the intensity of the ultrasonic wave will be described in more detail with reference to the drawings below.
  • the vision inspection unit 50 is installed on one side of the head body 31 at the side of the ultrasonic bonding unit 40, and includes a second frame 51, an image capturing unit 52, a first lighting unit 53, and a second lighting unit. (54).
  • the second frame 51 is installed on the side of the ultrasonic bonding part 40 of one side of the head main body 31, and the image capturing means 52, the first lighting means 53, and the second lighting means 54 are installed. Provide an area.
  • the image capturing means 52 is installed on one side of the second frame 51, and is installed on an upper portion corresponding to the connection terminal 111 of the flexible circuit board 110, and the head body 31 is formed of the base portion 10.
  • the alignment state of the plurality of flexible printed circuit boards 110 is temporarily photographed along a corner of one side of the glass base material 100 to inspect the alignment state. It plays a role.
  • the first lighting means 53 is installed on the lower portion of the image photographing means 52 of one side of the second frame 51, the illumination box having a through hole (53aa) formed in the upper and lower portions corresponding to the image photographing means (52) 53a), a plurality of lights 53b formed along the up and down direction inside the light box 53a, and a plurality of lights 53b are disposed obliquely inside the light box so that a plurality of lights 53b are disposed below the light box 53a. It consists of a box light including a mirror (53c) to be irradiated to the connection terminal 111 of the flexible circuit board 110 through the formed through hole (53aa).
  • the second lighting means 54 is installed on one side of the lighting box 53a, and is installed to be inclined downward toward the connection terminal portion 111 of the flexible circuit board 11 to complement the first lighting means 53. .
  • the alignment unit 60 is installed at the other side of the ultrasonic bonding unit 40 of one side of the head main body 31, and one side is supported by one side edge of the glass base material 100 seated on the base unit 10 so that the glass base material ( Arranging the seating state of the 100, and comprises a third frame 61, the vertical movement block 62 and the support plate 63.
  • the third frame 61 is installed on the other side of the ultrasonic bonding part 40 of one side of the head body 31, and provides an installation area of the vertical movement block 62 and the support plate 63.
  • the vertical movement block 62 is installed on one side of the third frame 61 so as to be movable upward and downward, and lowers the stepped portion 63a of the supporting plate 63, which will be described later, to a supporting position supported by the edge of the glass base material 100. Or to raise the stepped portion 63a of the support plate 63, which will be described later, to the release position at which the support state supported at the edge of the glass base material 100 is released.
  • One end of the support plate 63 is coupled to one side of the vertical movement block 62, and the other end of the support plate 63 extends downward, and one edge of the glass base material 100 is formed at the other end of the support plate 63. Supported stepped portions 63a are formed.
  • the cooling unit 70 is installed at one side of the first frame 41 of the ultrasonic bonding unit 40 and sprays cooling air to the side of the ultrasonic horn 43 to prevent the ultrasonic horn 43 from overheating above a critical temperature. To this end, it comprises a vortex tube 71, the injection nozzle (72).
  • One end of the vortex tube 71 is installed at one side of the first frame 41, and the other end thereof is formed to extend to the side adjacent to the ultrasonic horn 43.
  • the compressed air supplied from the outside is heat-exchanged to cool the air. It serves to supply.
  • the vortex tube 71 is known enough to be used to purchase a commercially available to those of ordinary skill in the art, a detailed description thereof will be omitted, and the vortex tube 71 is a thermoelectric element Of course, it can be replaced with a cooling structure using the.
  • the injection nozzle 72 is coupled to the other end of the vortex tube 71 and the cooling air discharged from the vortex tube 71 is injected to the side of the ultrasonic horn 43 so that the ultrasonic horn 43 is overheated above a critical temperature. Serves to prevent this from happening.
  • the outer surface of the vortex tube 71 is further provided with a unit block assembly 73 in which lower ends of the plurality of unit blocks 73a having a funnel shape of a light beam are installed to be rotatable with each other. By adjusting the bending angle serves to adjust the position of the injection nozzle 72 freely.
  • the reason why the cooling unit 70 is installed is that the ultrasonic horn 43 of the present invention transmits ultrasonic vibrations having different amplitudes to the center region and the edge region of the connection terminal portion 111 of the flexible circuit board 110. This is to prevent overheating of the ultrasonic horn 43 due to the torsional stress generated in the ultrasonic horn 43 itself due to the structure.
  • the vacuum adsorption unit 80 is for adsorbing and fixing the interposer 90 to be described later interposed between the upper surface of the main body 20 and the bottom surface of the glass base material 100 corresponding to the position of the ultrasonic bonding unit 40.
  • a plurality of suction nozzles 81 are embedded in the upper surface of the main body portion 20 corresponding to the position of the ultrasonic bonding portion 40 so as to be spaced apart at regular intervals along one side direction of the base portion 10.
  • the vacuum inducing means 82 is installed at one side of the main body 20, and is connected to the plurality of adsorption nozzles 81 to suck external air through the plurality of adsorption nozzles 81.
  • the interposer 90 is a flexible material, which is installed between the upper surface of the main body 20 and the glass base material 100 corresponding to the position of the ultrasonic bonding part 40 and is transmitted from the ultrasonic horn 43 to the glass base material 100. ) To prevent damage or noise generated by vibration.
  • the interposer 90 prevents unnecessary vibration of the vibration transmitted from the ultrasonic horn 43 to the lower portion of the main body 20, thereby preventing unnecessary energy consumption.
  • FIG. 5 to 7 is a schematic view for explaining a conventional thermal compression method
  • Figures 8 and 9 is a schematic view for explaining an ultrasonic bonding method according to an embodiment of the present invention.
  • thermocompression method is pressurized while heating the upper surface of the connecting terminal 111 of the flexible circuit board 110 through the pressing unit 40 'is provided with a heating means 41' as shown in FIG.
  • the connection terminal 111 of the flexible circuit board 110 is bonded to the upper surface of the glass base material 100.
  • connection terminal part 111 As the center region of the connection terminal part 111 is overheated above a critical temperature, the adhesive P component interposed under the connection terminal part 111 is deteriorated due to heat, and thus, the connection terminal part 111 and the glass base material 100 are separated. There is a problem that does not adhere properly.
  • the present invention measures the amplitude of the ultrasonic wave transmitted from the ultrasonic horn 43 of the ultrasonic bonding part 40 to the central region A of the connection terminal part 111 of the flexible circuit board 110. This is solved by setting lower than the amplitude of the ultrasonic wave transmitted to the edge region B of the connection terminal 111.
  • the amplitude of the ultrasonic waves applied to the center region A of the connection terminal portion 111 of the flexible printed circuit board 110 is 5 to the amplitude of the ultrasonic waves applied to the edge region B of the connection terminal portion 111. It is preferable to set it as 20% small, More preferably, it is set to 5% low.
  • the center region A of the connection terminal portion 111 of the flexible printed circuit board 110 does not overheat above a critical temperature, and the center region A of the connection terminal portion 111 is not overheated. ) Maintains a uniform temperature with the edge region (B) of the connection terminal portion (111).
  • the present invention does not cause a problem in which the central region A of the connection terminal 111 of the flexible circuit board 110 is overheated and damaged beyond a critical temperature, and the adhesive is interposed in the lower portion of the connection terminal 111.
  • the (P) component is prevented from being deteriorated by heat, the connection between the terminal 111 and the glass base material 100 can be more firmly bonded.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Combinations Of Printed Boards (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Abstract

본 발명은 상면에 다수개의 투명전극이 형성된 유리 모재의 일측 모서리를 따라 일정 간격 이격된 위치에 가접착된 복수개의 연성회로기판의 접속단자부를 초음파를 이용하여 접합하는 초음파 접합 장치에 관한 것으로서, 초음파의 진폭 조절을 통해 접합대상물의 열에 의한 손상을 방지함과 아울러 보다 견고하게 접합되도록 함에 따라 제품의 불량 발생률이 최소화되어 이에 따른 생산성이 크게 향상된다.

Description

초음파 접합 장치
본 발명은 초음파 접합 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 인가되는 초음파의 진폭을 조절하여 접합대상물의 열에 의한 손상을 방지하면서도 접합대상물 간을 보다 견고하게 접합할 수 있을 뿐 아니라 접합 전에 접합대상물을 정확하게 정렬하고 비전을 통해 정렬 상태를 검사함에 따라 접합대상물의 보다 정확하게 접합할 수 있도록 한 초음파 접함 장치에 관한 것이다.
최근에는 유리 패널의 일면에 다수개의 투명 전극들을 형성하고, 상기 투명 전극들에 발광 다이오드(LED)를 연결하여 이를 유리로 제작되는 건물 등의 외벽으로 사용하거나, 도심의 공원 등에 설치하여 경관 조명으로 활용하고 있다.
이러한 유리 패널은 다수개의 투명 전극들에 외부 전원을 공급하기 위한 수단으로 연성회로기판(Flexible printed circuit bord, FPCB)이 주로 사용된다.
한편, 상기한 유리 패널에 연성회로기판의 접속단자부를 접합하는 방법으로는 유리 패널과 연성회로기판의 접속단자부 사이에 접착제를 개재한 후, 별도의 접합수단을 통해 연성회로기판의 접속단자부 상부를 균일하게 가열 및 압착하는 방법이 주로 사용된다.
그러나, 상기와 같이 접합수단을 통해 연성회로기판의 접속단자부 상부를 균일하게 가열하는 방식의 경우, 접합수단이 연성회로기판의 접속단자부 상면과 접한 상태에서는 접합수단과 연성회로기판의 접속단자부 상면이 밀착되어 있어 연성회로기판의 접속단자부 중앙 영역에서 발생되는 열이 외부로 원활하게 배출되지 않게 된다.
이로 인해 연성회로기판의 접속단자부 중앙 영역이 임계온도 이상으로 과열됨에 따라 연성회로기판의 접속단자부가 열에 의해 손상되는 문제가 발생하게 된다.
또한, 유리 패널과 연성회로기판의 접속단자부 간에 개재되는 접착물질이 과열된 접속단자부의 중앙 영역으로부터 전달되는 열에 의해 변질됨에 따라 접착 성능이 저하되어 유리 패널과 연성회로기판의 접속단자부 간이 제대로 접착되지 않는 문제점이 발생될 수도 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 인가되는 초음파의 진폭을 조절하여 접합대상물의 열에 의한 손상을 방지하면서도 접합대상물 간을 보다 견고하게 접합할 수 있도록 한 초음파 접합 장치를 제공함에 있다.
그리고, 본 발명의 다른 목적은 접합대상물의 접합 전에 접합대상물을 정확하게 정렬함과 아울러 비전을 통해 정렬 상태를 검사할 수 있도록 한 초음파 접합 장치를 제공함에 있다.
또한, 본 발명의 또 다른 목적은 접합대상물을 접합하는 초음파 접합부가 과열되는 것을 방지할 수 있는 구조를 제공하는 초음파 접합 장치를 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따르면, 상면에 다수개의 투명전극이 형성된 유리 모재의 일측 모서리를 따라 일정 간격 이격된 위치에 가접착된 복수개의 연성회로기판의 접속단자부를 초음파를 이용하여 접합하는 초음파 접합 장치에 있어서, 설치 대상영역에 설치되고, 상기 유리 모재가 안착되는 베이스부 및 상기 베이스부의 측방에 설치되는 본체부 및 상기 본체부 일측에 설치되고, 상기 베이스부의 일측 방향을 따라 이동 가능하게 설치되는 적어도 하나의 헤드부 및 상기 헤드부 일측에 상하 이동 가능하게 설치되고, 상기 접속단자부의 상면을 가압함과 동시에 초음파를 인가하는 초음파 접합부를 포함하되, 상기 접속단자부의 중심영역에 인가되는 초음파의 강도는 상기 접속단자부의 가장자리 영역에 인가되는 초음파의 강도보다 낮은 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 초음파의 강도는 상기 초음파 접합부에 인가되는 초음파의 진폭 조절을 통해 이루어지는 것을 특징으로 한다.
그리고, 상기 접속단자부의 중심영역에 인가되는 초음파의 진폭은 상기 접속단자부의 가장자리 영역에 인가되는 초음파의 진폭보다 5~20% 작게 설정되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 헤드부의 일측 중 상기 초음파 접합부의 측방에 설치되고, 상기 접속단자부의 상부영상을 촬영하여 상기 접속단자부의 정렬 상태를 검사하는 비전 검사부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
아울러, 상기 헤드부의 일측 중 상기 초음파 접합부의 다른 측방에 상하 이동 가능하게 설치되고, 일측이 상기 유리 모재의 일측 모서리에 지지되어 상기 유리 모재의 안착 상태를 정렬하는 정렬부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
그리고, 상기 초음파 접합부 일측에 설치되고, 상기 초음파 접합부에 냉각공기를 분사하는 냉각부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 본체부 상면과 상기 유리 모재 사이에 설치되는 연성 재질의 인터포저를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
아울러, 상기 본체부 상면에는 베이스부의 일측 방향을 따라 일정 간격 이격되게 설치되는 복수개의 흡착노즐 및 상기 흡착노즐로부터 외부공기를 흡입하는 진공 유도수단을 포함하는 진공 흡착부가 더 설치되는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 본 발명에 의하면, 초음파의 진폭 조절을 통해 접합대상물의 열에 의한 손상을 방지함과 아울러 보다 견고하게 접합되도록 함에 따라 제품의 불량 발생률이 최소화되어 이에 따른 생산성이 크게 향상된다.
그리고, 접합대상물의 접합 전에 접합대상물을 정확하게 정렬함과 아울러 비전을 통해 정렬 상태를 검사함에 따라 접합대상물의 보다 정확한 위치에 접합할 수 있어 이에 따른 제품의 신뢰도가 향상된다.
또한, 접합대상물을 접합하는 초음파 접합부가 과열되는 것을 방지하는 구조를 제공함에 따라 내구성이 크게 향상되는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 초음파 접합 장치의 개략적인 사시도.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 초음파 접합 장치의 초음파 접합부 및 냉각부의 개략적인 측면도.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 초음파 접합 장치의 비전 검사부의 개략적인 측면도.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 초음파 접합장치의 정렬부의 개략적인 측면도.
도 5 내지 도 7은 종래의 열 압착 방식을 설명하기 위한 개략도.
도 8 및 도 9는 본 발명의 일실시예에 따른 초음파 접합 방식을 설명하기 위한 개략도.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명을 보다 상세하게 설명한다. 도면들 중 동일한 구성요소들은 가능한 어느 곳에서든지 동일한 부호들로 나타내고 있음에 유의해야 한다. 또한 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 공지기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 초음파 접합 장치의 개략적인 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 초음파 접합 장치의 초음파 접합부 및 냉각부의 개략적인 측면도이고, 도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 초음파 접합 장치의 비전 검사부의 개략적인 측면도이고, 도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 초음파 접합장치의 정렬부의 개략적인 측면도이다.
본 발명의 설명에 앞서, 도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 유리 모재(100)는 일정 두께를 가지는 직사각형 형상으로 형성되고, 상면에 상하 및 좌우 방향으로 일정 간격 이격되게 복수개의 투명전극(101)이 형성된다.
그리고, 연성회로기판(110)의 접속단자부(111)는 연성회로기판(110)의 일단부 상부에 배치되는 상부 강성회로기판(111a)과, 상부 강성회로기판(111a)과 대향하는 연성회로기판(110)의 일단부 하부에 배치되고 저면에 투명전극(101)과 접촉되는 접속전극(111ba)이 형성된 하부 강성회로기판(111b)을 포함한다.
여기서, 접속전극(111ba)은 상부 강성회로기판(111a), 연성회로기판(110) 및 하부 강성회로기판(111b)을 관통하는 비아홀에 충진되는 도전성물질을 통해 연성회로기판(110)과 전기적으로 연결되는 구조이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 초음파 접합 장치(1)는 상면에 다수개의 투명전극(101)이 형성된 유리 모재(100)의 일측 모서리를 따라 일정 간격 이격된 위치에 가접착된 복수개의 연성회로기판(110)의 접속단자부(111)를 초음파를 이용하여 접합하는 장치로서, 베이스부(10), 본체부(20), 헤드부(30), 초음파 접합부(40), 비전 검사부(50), 정렬부(60), 냉각부(70), 진공 흡착부(80) 및 인터포저(90)를 포함하여 이루어진다.
베이스부(10)는 대략 직육면체 형상으로서 설치 대상영역에 설치되고, 상면을 통해 유리 모재(100)의 안착 영역을 제공하는 역할을 한다.
이러한 베이스부(10)는 석재로서 상면이 평평하게 제작된 석정반이 사용될 수 있으며, 베이스부(10)의 상면에는 안착되는 유리 모재(100)가 용이하게 이동될 수 있도록 상하 및 좌우 방향으로 일정 간격 이격되게 복수개의 볼 베어링(11)이 설치된다.
본체부(20)는 베이스부(10)의 측방에 설치되고, 후술하는 헤드부(30)의 설치 영역을 제공한다.
헤드부(30)는 본체부(20) 일측에 베이스부(10)의 일측 방향을 따라 이동 가능하게 설치되는 헤드본체(31)와, 헤드본체(31)에 이동력을 제공하는 이동력 제공수단(32)을 포함한다.
이러한 헤드본체(31)는 후술하는 초음파 접합부(40), 비전 검사부(50), 정렬부(60), 냉각부(70)의 설치영역을 제공하고, 이동력 제공수단(32)은 헤드본체(31)를 베이스부(10)의 일측방향을 따라 이동시키면서 후술하는 초음파 접합부(40), 비전 검사부(50), 정렬부(60), 냉각부(70)를 베이스부(10)의 일측 방향을 따라 이동시키는 역할을 하며, 공지된 LM가이드 구조가 사용될 수 있다.
초음파 접합부(40)는 헤드본체(31)의 일측에 상하 이동 가능하게 설치되고, 연성회로기판(110)의 접속단자부(111)의 상면을 가압함과 동시에 초음파를 인가하여 연성회로기판(110)의 접속단자부(111)를 유리모재(100)의 상면에 접합시키는 역할을 하는 것으로서, 제 1 프레임(41), 상하 이동력 제공수단(42) 및 초음파 혼(43)을 포함한다.
제 1 프레임(41)은 헤드본체(31)의 일측에 설치되고, 상하 이동력 제공수단(42) 및 초음파 혼(43)의 설치영역을 제공한다.
상하 이동력 제공수단(42)은 초음파 혼(43)을 상하 이동 시켜 초음파 혼(43)을 통해 연성회로기판(110)의 접속단자부(111)의 상면을 가압 또는 가압해제되도록 하는 역할을 하며, 공지의 실린더 구조가 사용될 수 있다.
초음파 혼(43)은 저면에 대략 연성회로기판(110)의 접속단자부(111)의 상면과 대응되는 가압면(43a)이 형성되고, 외부에 초음파 혼을 통해 연성회로기판(110)의 접속단자부(111)에 초음파를 인가하기 위한 초음파 발생수단(미도시)이 구비되며, 연성회로기판(110)의 접속단자부(111)의 상면을 가압하면서 초음파를 인가하여 연성회로기판(110)의 접속단자부(111)의 저면을 유리 모재(100)의 상면에 접합시키는 역할을 한다.
한편, 본 발명의 초음파 혼(43)은 연성회로기판(110)의 접속단자부(111)의 중심 영역에 인가되는 초음파의 강도가 연성회로기판(110)의 접속단자부(111)의 가장자리 영역에 인가되는 초음파의 강도보다 낮은 것을 특징으로 한다.
여기서, 연성회로기판(110)의 접속단자부(111)의 중심 영역으로 인가되는 초음파의 강도와 연성회로기판(110)의 접속단자부(111)의 가장자리 영역으로 인가되는 초음파의 강도를 조절하는 방법은 초음파의 진폭 조절을 통해 이루어지며, 이러한 초음파의 진폭 조절은 초음파 혼(43)의 설계시 초음파 혼(43)으로 전달되는 초음파 진동의 전달 경로를 길거나 짧게 조절하거나 초음파 혼의 형상을 다르게 하여 실현할 수 있다.
위와 같이, 초음파 혼(43)을 이용하여 연성회로기판(110)의 접속단자부(111)의 중심 영역으로 인가되는 초음파의 강도를 연성회로기판(110)의 접속단자부(111)의 가장자리 영역으로 인가되는 초음파의 강도보다 낮게 설정하는 이유는 하기에서 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명하기로 한다.
비전 검사부(50) 헤드 본체(31)의 일측 중 초음파 접합부(40)의 측방에 설치되고, 제 2 프레임(51), 영상 촬영수단(52), 제 1 조명수단(53) 및 제 2 조명수단(54)을 포함한다.
제 2 프레임(51)은 헤드 본체(31)의 일측 중 초음파 접합부(40)의 측방에 설치되고, 영상 촬영수단(52), 제 1 조명수단(53) 및 제 2 조명수단(54)의 설치영역을 제공한다.
영상 촬영수단(52)은 제 2 프레임(51) 일측에 설치되되, 연성회로기판(110)의 접속단자부(111)와 대응되는 상부에 설치되고, 헤드 본체(31)가 베이스부(10)의 일측 방향을 따라 이동하는 경우, 유리 모재(100)의 일측 모서리를 따라 일정 간격 이격된 위치에 가접착된 복수개의 연성회로기판(110)의 접속단자부(111)의 영상을 촬영하여 정렬 상태를 검사하는 역할을 한다.
제 1 조명수단(53)은 제 2 프레임(51)의 일측 중 영상 촬영수단(52)의 하부에 설치되고, 영상 촬영수단(52)과 대응되는 상하부에 관통홀(53aa)이 형성된 조명박스(53a)와, 조명박스(53a)의 내부 측방에 상하 방향을 따라 형성되는 다수개의 조명(53b)과, 조명박스의 내부에 경사지게 배치되어 다수개의 조명(53b)이 조명박스(53a)의 하부에 형성된 관통홀(53aa)을 통해 연성회로기판(110)의 접속단자부(111)로 조사되도록 하는 미러(53c)를 포함하는 박스조명으로 구성된다.
제 2 조명수단(54)은 조명박스(53a)의 일측에 설치되되, 연성회로기판(11)의 접속단자부(111) 방향으로 하향 경사지게 설치되어 제 1 조명수단(53)을 보완하는 역할을 한다.
정렬부(60)는 헤드 본체(31)의 일측 중 초음파 접합부(40)의 다른 측방에 설치되고, 일측이 베이스부(10)에 안착되는 유리 모재(100)의 일측 모서리에 지지되어 유리 모재(100)의 안착상태를 정렬하는 것으로서, 제 3 프레임(61), 상하 이동블럭(62) 및 지지 플레이트(63)를 포함한다.
제 3 프레임(61)은 헤드 본체(31)의 일측 중 초음파 접합부(40)의 다른 측방에 설치되고, 상하 이동 블럭(62) 및 지지 플레이트(63)의 설치영역을 제공한다.
상하 이동 블럭(62)은 제 3 프레임(61)의 일측에 상하 이동 가능하게 설치되고, 후술하는 지지 플레이트(63)의 단턱(63a)을 유리 모재(100)의 모서리에 지지되는 지지위치로 하강시키거나 후술하는 지지 플레이트(63)의 단턱(63a)을 유리 모재(100)의 모서리에 지지되는 지지상태가 해제되는 해제위치로 상승시키는 역할을 한다.
지지 플레이트(63)는 일단부가 상하 이동블럭(62)의 일측에 결합되고, 타단부가 상하 이동블럭(62)이 하방으로 연장 형성되며, 연장 형성된 타단부에 유리 모재(100)의 일측 모서리가 지지되는 단턱(63a)이 형성된다.
위와 같은 정렬부(60)는 헤드 본체(31)를 통해 베이스부(10)의 일측 방향을 따라 이동이 가능한 구조로 인해 유리 모재(100)의 규격이 변경되더라도 그 지지위치를 가변시켜 유리 모재(100)의 정렬이 가능한 구조이다.
냉각부(70)는 초음파 접합부(40)의 제 1 프레임(41) 일측에 설치되고, 초음파 혼(43)의 측방에 냉각공기를 분사하여 초음파 혼(43)이 임계 온도 이상으로 과열되는 것을 방지하기 위한 것으로서, 볼텍스 튜브(71), 분사노즐(72)을 포함한다.
볼텍스 튜브(71)는 일단부가 제 1 프레임(41)의 일측에 설치되고, 타단부가 초음파 혼(43)과 근접한 측방으로 연장 형성되며, 외부로부터 공급되는 압축공기를 내부에서 열교환시켜 냉각공기를 공급하는 역할을 한다.
이러한 볼텍스 튜브(71)는 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진자에게는 상용적으로 공급되는 것을 구입하여 사용할 수 있을 정도로 공지된 것으로서, 이에 대한 구체적인 설명은 생략하며, 볼텍스 튜브(71)를 열전소자 등을 이용한 냉각구조로 대체할 수 있음은 물론이다.
분사노즐(72)은 볼텍스 튜브(71)에 타단에 결합되고, 볼텍스 튜브(71)로부터 배출되는 냉각공기를 초음파 혼(43)의 측방으로 분사하여 초음파 혼(43)이 임계온도 이상으로 과열되는 것을 방지하는 역할을 한다.
그리고, 볼텍스 튜브(71)의 외면에는 상광 하협의 깔대기 형상으로 이루어진 다수개의 단위블럭들(73a)의 하단부가 상호 회동 가능하게 결합된 단위블럭 조립체(73)가 더 설치되어 볼텍스 튜브(71)의 굽힘각도를 조절하여 분사노즐(72)의 배치위치를 자유자재로 조절하는 역할을 한다.
위와 같이, 냉각부(70)를 설치하는 이유는 본 발명의 초음파 혼(43)이 연성회로기판(110)의 접속단자부(111)의 중심영역과 가장자리 영역에 서로 다른 진폭의 초음파 진동을 전달하는 구조로 인해 초음파 혼(43) 자체에 발생되는 비틀림 응력으로 인한 초음파 혼(43)의 과열 현상이 발생될 수 있어 이를 방지하기 위함이다.
진공 흡착부(80)는 초음파 접합부(40)의 위치와 대응되는 본체부(20) 상면과 유리 모재(100) 저면 사이에 개재되는 후술하는 인터포저(90)를 흡착하여 고정하기 위한 것으로서, 흡착 노즐(81) 및 진공 유도수단(82)을 포함한다.
흡착 노즐(81)은 초음파 접합부(40)의 위치와 대응되는 본체부(20) 상면에 베이스부(10)의 일측 방향을 따라 일정 간격 이격되게 복수개가 매립 설치된다.
진공 유도수단(82)은 본체부(20) 일측에 설치되고, 복수개의 흡착 노즐(81)과 연결되어 복수개의 흡착노즐(81)을 통해 외부공기를 흡입하는 역할을 한다.
인터포저(90)는 연성 재질로서 초음파 접합부(40)의 위치와 대응되는 본체부(20) 상면과 유리 모재(100) 사이에 설치되어 초음파 혼(43)으로부터 전달되는 진동으로 인해 유리 모재(100)가 파손되거나, 진동으로 인해 소음이 발생되는 것을 방지하는 역할을 한다.
또한, 인터포저(90)는 초음파 혼(43)으로부터 전달되는 진동이 본체부(20)의 하부로 불필요하게 전달되는 것을 방지함으로써, 불필요한 에너지의 소모를 방지하는 역할을 한다.
도 5 내지 도 7은 종래의 열 압착 방식을 설명하기 위한 개략도이고, 도 8 및 도 9는 본 발명의 일실시예에 따른 초음파 접합 방식을 설명하기 위한 개략도이다.
종래의 열 압착 방식은 도 5에 도시된 바와 같이, 가열수단(41')이 구비된 가압유닛(40')을 통해 연성회로기판(110)의 접속단자부(111)의 상면을 가열하면서 가압하여 연성회로기판(110)의 접속단자부(111)를 유리 모재(100)의 상면에 접합하는 방식이다.
그러나, 이러한 종래의 방식은 도 6에 도시된 바와 같이, 가압유닛(40')이 접속단자부(111)를 가압하고 있는 상태에서는 접속단자부(111)의 중앙 영역(A)으로 전달되는 열이 접속단자부(111)의 가장자리 영역(B)으로 원활하게 배출되지 않아 도 7에 도시된 바와 같이, 접속단자부(111)의 중앙 영역(A)이 임계 온도 이상으로 과열되어 접속단자부(111)의 중앙 영역(A)이 손상되는 문제점이 발생하게 된다.
또한, 접속단자부(111)의 중앙 영역이 임계 온도 이상으로 과열됨에 따라 접속단자부(111)의 하부에 개재되는 접착제(P) 성분이 열로 인해 변질되어 접속단자부(111)와 유리 모재(100)간이 제대로 접착되지 않는 문제점이 발생하게 된다.
이러한 이유로 본 발명은 도 8에 도시된 바와 같이, 초음파 접합부(40)의 초음파 혼(43)으로부터 연성회로기판(110)의 접속단자부(111)의 중앙 영역(A)으로 전달되는 초음파의 진폭을 접속단자부(111)의 가장자리 영역(B)으로 전달되는 초음파의 진폭보다 낮게 설정하여 이를 해결하고 있다.
이때, 본 발명은 연성회로기판(110)의 접속단자부(111)의 중앙 영역(A)으로 인가되는 초음파의 진폭은 접속단자부(111)의 가장자리 영역(B)에 인가되는 초음파의 진폭보다 5~20% 작게 설정되는 것이 바람직하며, 보다 바람직하게는 5% 낮게 설정되는 것이 바람직하다.
이로 인해 본 발명은 도 9에 도시된 바와 같이, 연성회로기판(110)의 접속단자부(111)의 중앙 영역(A)이 임계 온도 이상으로 과열되지 않고, 접속단자부(111)의 중앙 영역(A)이 접속단자부(111)의 가장자리 영역(B)과 균일한 온도를 유지하게 된다.
이에 따라 본 발명은 연성회로기판(110)의 접속단자부(111)의 중앙 영역(A)이 임계 온도 이상으로 과열되어 손상되는 문제가 발생되지 않을 뿐 아니라 접속단자부(111)의 하부에 개재되는 접착제(P) 성분이 열에 의해 변질되는 것이 방지됨에 따라 접속단자부(111)와 유리 모재(100) 간이 보다 견고하게 접합할 수 있게 된다.

Claims (8)

  1. 상면에 다수개의 투명전극이 형성된 유리 모재의 일측 모서리를 따라 일정 간격 이격된 위치에 가접착된 복수개의 연성회로기판의 접속단자부를 초음파를 이용하여 접합하는 초음파 접합 장치에 있어서,
    설치 대상영역에 설치되고, 상기 유리 모재가 안착되는 베이스부와;
    상기 베이스부의 측방에 설치되는 본체부와;
    상기 본체부 일측에 설치되고, 상기 베이스부의 일측 방향을 따라 이동 가능하게 설치되는 적어도 하나의 헤드부와;
    상기 헤드부 일측에 상하 이동 가능하게 설치되고, 상기 접속단자부의 상면을 가압함과 동시에 초음파를 인가하는 초음파 접합부를 포함하되,
    상기 접속단자부의 중심영역에 인가되는 초음파의 강도는 상기 접속단자부의 가장자리 영역에 인가되는 초음파의 강도보다 낮은 것을 특징으로 하는 초음파 접합 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 초음파의 강도는 상기 초음파 접합부에 인가되는 초음파의 진폭 조절을 통해 이루어지는 것을 특징으로 하는 초음파 접합 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 접속단자부의 중심영역에 인가되는 초음파의 진폭은 상기 접속단자부의 가장자리 영역에 인가되는 초음파의 진폭보다 5~20% 작게 설정되는 것을 특징으로 하는 초음파 접합 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 헤드부의 일측 중 상기 초음파 접합부의 측방에 설치되고, 상기 접속단자부의 상부영상을 촬영하여 상기 접속단자부의 정렬 상태를 검사하는 비전 검사부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파 접합 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 헤드부의 일측 중 상기 초음파 접합부의 다른 측방에 상하 이동 가능하게 설치되고, 일측이 상기 유리 모재의 일측 모서리에 지지되어 상기 유리 모재의 안착 상태를 정렬하는 정렬부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파 접합 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 초음파 접합부 일측에 설치되고, 상기 초음파 접합부에 냉각공기를 분사하는 냉각부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파 접합 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 본체부 상면과 상기 유리 모재 사이에 설치되는 연성 재질의 인터포저를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파 접합 장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 본체부 상면에는 베이스부의 일측 방향을 따라 일정 간격 이격되게 설치되는 복수개의 흡착노즐과;
    상기 흡착노즐로부터 외부공기를 흡입하는 진공 유도수단을 포함하는 진공 흡착부가 더 설치되는 것을 특징으로 하는 초음파 접합장치.
PCT/KR2017/010072 2016-09-28 2017-09-14 초음파 접합 장치 WO2018062727A1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2016-0124846 2016-09-28
KR1020160124846A KR101791081B1 (ko) 2016-09-28 2016-09-28 초음파 접합 장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2018062727A1 true WO2018062727A1 (ko) 2018-04-05

Family

ID=60808987

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/KR2017/010072 WO2018062727A1 (ko) 2016-09-28 2017-09-14 초음파 접합 장치

Country Status (2)

Country Link
KR (1) KR101791081B1 (ko)
WO (1) WO2018062727A1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114226947A (zh) * 2021-12-30 2022-03-25 上海骄成超声波技术股份有限公司 一种端子超声波焊接装置及焊接方法

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0447880U (ko) * 1990-08-29 1992-04-23
KR20070082944A (ko) * 2006-02-20 2007-08-23 (주)창조엔지니어링 초음파 본딩장치 및 초음파 본딩방법
JP2009028728A (ja) * 2007-07-24 2009-02-12 Bondtech Inc 超音波振動接合方法およびこの方法により形成されるデバイス並びに超音波振動接合装置
JP2009241120A (ja) * 2008-03-31 2009-10-22 Calsonic Kansei Corp 超音波金属接合機、この超音波金属接合機を用いた金属板の接合方法、この超音波金属接合機またはこの金属板の接合方法を用いて得られる接合金属板
KR100933791B1 (ko) * 2009-09-22 2009-12-24 서정석 이동식 초음파 용착기
KR101096599B1 (ko) * 2011-03-25 2011-12-20 에버테크노 주식회사 레이저 스크라이버
JP2012115842A (ja) * 2010-11-29 2012-06-21 Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial System Corp 超音波シーム溶接装置および超音波シーム溶接方法
KR20140084095A (ko) * 2011-10-26 2014-07-04 히타치가세이가부시끼가이샤 리플로우 필름, 땜납 범프 형성 방법, 땜납 접합의 형성 방법 및 반도체 장치

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100659390B1 (ko) * 2006-06-27 2006-12-20 조국환 초음파 용착기용 진동 흡수장치

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0447880U (ko) * 1990-08-29 1992-04-23
KR20070082944A (ko) * 2006-02-20 2007-08-23 (주)창조엔지니어링 초음파 본딩장치 및 초음파 본딩방법
JP2009028728A (ja) * 2007-07-24 2009-02-12 Bondtech Inc 超音波振動接合方法およびこの方法により形成されるデバイス並びに超音波振動接合装置
JP2009241120A (ja) * 2008-03-31 2009-10-22 Calsonic Kansei Corp 超音波金属接合機、この超音波金属接合機を用いた金属板の接合方法、この超音波金属接合機またはこの金属板の接合方法を用いて得られる接合金属板
KR100933791B1 (ko) * 2009-09-22 2009-12-24 서정석 이동식 초음파 용착기
JP2012115842A (ja) * 2010-11-29 2012-06-21 Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial System Corp 超音波シーム溶接装置および超音波シーム溶接方法
KR101096599B1 (ko) * 2011-03-25 2011-12-20 에버테크노 주식회사 레이저 스크라이버
KR20140084095A (ko) * 2011-10-26 2014-07-04 히타치가세이가부시끼가이샤 리플로우 필름, 땜납 범프 형성 방법, 땜납 접합의 형성 방법 및 반도체 장치

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114226947A (zh) * 2021-12-30 2022-03-25 上海骄成超声波技术股份有限公司 一种端子超声波焊接装置及焊接方法
CN114226947B (zh) * 2021-12-30 2023-09-22 上海骄成超声波技术股份有限公司 一种端子超声波焊接装置及焊接方法

Also Published As

Publication number Publication date
KR101791081B1 (ko) 2017-11-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6168063B1 (en) Ultrasonic vibration bonding machine
KR101180916B1 (ko) 카메라 모듈 본딩장치, 이를 구비한 카메라 모듈 조립장비및 이를 이용한 카메라 모듈 조립방법
JP5558073B2 (ja) ボンディング装置
JP3686329B2 (ja) 表面検査用照明装置及び表面検査装置
WO2014185634A1 (ko) 카메라모듈 검사용 소켓
WO2018062727A1 (ko) 초음파 접합 장치
WO2018074696A1 (ko) 3차원 구조물을 위한 레이저 본딩 장치 및 방법
KR20200107559A (ko) Led 구조체 전사 장치
TW202211861A (zh) 內視鏡光源及取像模組之模組化組合
US20080035264A1 (en) Hot press for electronic devices and hot pressing method
EP1378932B1 (en) Semiconductor chip mounting apparatus and mounting method
WO2023101215A1 (ko) 마이크로 led 칩 전사 장치
KR20080073666A (ko) 전기 부품의 접속 장치
WO2020022692A1 (ko) 엘이디 디스플레이 모듈을 이용한 엘이디 디스플레이 장치
JP5561715B2 (ja) ボンディング装置
WO2019074278A1 (ko) 디스플레이용 엘이디 모듈 조립체
KR20220078542A (ko) 마이크로 엘이디 제조시스템 및 마이크로 엘이디 제조방법
WO2020141666A1 (ko) 플립칩 레이저 본딩 시스템
TWI434046B (zh) Probe device and manufacturing method thereof
WO2009096685A2 (ko) 엘이디 패키지와 그의 제조방법 및 그 엘이디 패키지를 이용한 장치
WO2019088323A1 (ko) 전사 부재를 이용한 전자 소자의 적층 구조, 상기 전자 소자의 제작을 위한 전사 장비 및 상기 전자 소자의 제조 방법
KR102191179B1 (ko) 정렬판이 포함되는 펄스 히트 파워 디스펜싱 용액 경화 히터
WO2020159338A1 (ko) 레이저 디본딩 장치의 레이저 헤드 모듈
KR20210049590A (ko) 칩 본딩 장치
KR102570775B1 (ko) 본딩 장치

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 17856613

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 17856613

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1