WO2018002224A3 - Neigungsmessung und -korrektur des deckglases im strahlengang eines mikroskops - Google Patents

Neigungsmessung und -korrektur des deckglases im strahlengang eines mikroskops Download PDF

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Justage einer Probenhalterung (7) im Strahlengang eines Mikroskops (1), bei dem mindestens ein Bündel einer Beleuchtungsstrahlung (BS) auf die Probenhalterung (7) gerichtet wird; ein von der Probenhalterung (7) reflektierter Anteil der Beleuchtungsstrahlung (BSref) mittels eines Detektors(19) erfasst wird und Messwerte der erfassten Beleuchtungsstrahlung (BSref) ermittelt werden; in Abhängigkeit der Messwerte eine aktuelle Ist-Positionierung der Probenhalterung (7) bezüglich des Strahlengangs ermittelt wird; die ermittelte Ist-Positionierung mit einer Soll-Positionierung verglichen wird und Steuerbefehle zur Veränderung der Ist-Positionierung erzeugt werden, durch deren Ausführung die Probenhalterung (7) in die Soll-Positionierung bewegt wird.
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