WO2017169740A1

WO2017169740A1 - 磁気センサ装置

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Publication number: WO2017169740A1
Application number: PCT/JP2017/010185
Authority: WO
Inventors: 松井　秀樹; 智和尾込; 正明岡田; 賢司下畑; 貞明吉岡
Original assignee: 三菱電機株式会社
Priority date: 2016-03-30
Filing date: 2017-03-14
Publication date: 2017-10-05
Also published as: CN109073716A; JPWO2017169740A1; DE112017001790T5; US20190056461A1; CN109073716B; US10591555B2; JP6316516B2

Abstract

磁石（４）と、前記磁石（４）に対面する面とは反対側の面に前記磁石（４）の長手方向に沿って配置された磁気抵抗効果素子（２）を実装した磁気抵抗効果素子実装体（３）と、前記磁石（４）及び前記磁気抵抗効果素子実装体（３）を収納または保持するケース（６）と、前記磁気抵抗効果素子実装体（３）が前記磁気抵抗効果素子（２）を実装している面を除いて前記ケース（６）を覆う磁気シールド（７）と、を備え、前記磁気シールド（７）は、前記ケース（６）において前記磁気抵抗効果素子実装体（３）が前記磁石（４）に対面する面の位置又は前記磁気抵抗効果素子実装体（３）が前記磁石（４）に対面する面の位置から前記磁石（４）とは反対側の方向を覆っている。

Description

磁気センサ装置

　この発明は、紙幣等の紙葉状媒体上に形成された磁性パターンを検出する磁気センサ装置に関する。

　国際公開第２０１４／１２３１４２号（特許文献１参照）に記載の磁気センサ装置は、磁石と磁気抵抗効果素子とを備えている。磁石は、磁気成分を有する被検知物の一方の面に面し、被検知物の搬送方向に鉛直な方向に交互に異なる磁極を有し、被検知物に交差する交差磁界を形成する。磁気抵抗効果素子は、この磁石の一方の磁極と被検知物との間に設けられ、交差磁界内を搬送される被検知物の磁気成分による交差磁界の搬送方向成分の変化を抵抗値の変化として出力する。この磁気抵抗効果素子は、磁石の一方の磁極の搬送方向長さ内に設けられ、磁石の一方の磁極の搬送方向長さの中心から搬送方向に偏移して配置されている。

　また、特許文献１に記載の磁気センサ装置は、磁気回路と磁気抵抗効果素子とを備えている。磁気回路は、磁気成分を有する被検知物の一方の面に面し、中央部とこの中央部に対し被検知物の搬送方向の入力側及び出力側に設けたヨークとの間で被検知物に交差する交差磁界を形成する。磁気抵抗効果素子は、被検知物と中央部との間に設けられ、交差磁界内を搬送される被検知物の磁気成分による交差磁界の搬送方向成分の変化を抵抗値の変化として出力する。この磁気抵抗効果素子は、中央部の搬送方向長さ内に設けられ、中央部の搬送方向長さの中心から搬送方向に偏移して配置されている。

　実開昭６２－６８２６０号公報（特許文献２参照）に記載の磁気センサは、磁性体基板上に固着されている磁気抵抗効果素子と前記磁性体基板の下方に固着される永久磁石を有し、永久磁石の下方に端部が上方へ突出してなる磁気シールド体を設けている。

国際公開第２０１４／１２３１４２号実開昭６２－６８２６０号公報

　特許文献１に記載の磁気センサ装置は、磁気シールドを有しておらず、磁気センサ装置の周囲の外部の磁界が変化したとき、磁気センサ装置の性能も変化するという課題があった。

　特許文献２に記載の磁気センサは、磁気シールド体９から上方に突出している突出部１１の先端が、永久磁石８のマウント基板６との接触部より低い構造となっている。このため、磁気センサの上下方向に直交する左右方向の磁界に対しては、永久磁石８は磁気シールドされていない。よって、左右方向の磁界が永久磁石８に干渉してしまい、外部の磁界に対する耐性が低い。また、磁気シールド体が電気的に独立しているため、磁気シールド体がアンテナの役割を果たしてしまい、電磁的な不干渉性及び耐性が低いという課題があった。

　この発明は上記のような課題を解決するためになされたものであり、磁気センサ装置の外部からの磁界の変化が磁気センサ装置の性能に与える影響を低減し、磁気的な耐性を高めた磁気センサ装置を得ることを目的とする。

　この発明に係る磁気センサ装置は、磁石と、前記磁石に対面する面とは反対側の面に前記磁石の長手方向に沿って配置された磁気抵抗効果素子を実装した磁気抵抗効果素子実装体と、前記磁石及び前記磁気抵抗効果素子実装体を収納または保持するケースと、前記磁気抵抗効果素子実装体が前記磁気抵抗効果素子を実装している面を除いて前記ケースを覆う磁気シールドと、を備え、前記磁気シールドは、前記ケースにおいて前記磁気抵抗効果素子実装体が前記磁石に対面する面の位置又は前記磁気抵抗効果素子実装体が前記磁石に対面する面の位置から前記磁石とは反対側の方向を覆っているものである。

　この発明によれば、ケースを覆う磁気シールドを設けたので、磁気センサ装置の外部からの磁界の変化の影響を受けにくく、磁気的な不干渉性及び耐性を高めた磁気センサ装置が得られる。

この発明の実施の形態１に係る磁気センサ装置のＸＺ平面での断面図である。この発明の実施の形態１に係る磁気センサ装置の斜視図である。この発明の実施の形態１に係る磁気センサ装置の斜視図である。この発明の実施の形態１に係る磁気センサ装置におけるセンサ基板、磁気抵抗効果素子、永久磁石を組み立てた状態の斜視図及び断面図である。この発明の実施の形態１に係る磁気センサ装置におけるセンサ基板、磁気抵抗効果素子、永久磁石を組み立てた状態の斜視図及び断面図である。この発明の実施の形態１に係る磁気センサ装置における図３の状態のセンサ基板を、ケースに組み込んだ状態の断面図である。この発明の実施の形態１に係る磁気センサ装置における図４の状態に、磁気シールドを固定した状態の断面図である。この発明の実施の形態１に係る磁気センサ装置におけるケースの斜視図である。この発明の実施の形態１に係る磁気センサ装置におけるケースの斜視図である。この発明の実施の形態１に係る磁気センサ装置における磁気シールドの斜視図である。この発明の実施の形態１に係る磁気センサ装置における磁気シールドの斜視図である。この発明の実施の形態１に係る磁気センサ装置の外部に磁界が生じたときの磁束の挙動を示したＸＺ平面での断面図である。この発明の実施の形態１に係る磁気センサ装置の外部に磁界が生じたときの磁束の挙動を示したＸＺ平面での断面図である。この発明の実施の形態２に係る磁気センサ装置の斜視図である。この発明の実施の形態２に係る磁気センサ装置の斜視図である。この発明の実施の形態２に係る磁気センサ装置のＹＺ平面での断面図である。この発明の実施の形態２に係る磁気センサ装置における磁気シールドの斜視図である。この発明の実施の形態２に係る磁気センサ装置における磁気シールドの斜視図である。この発明の実施の形態３に係る磁気センサ装置の斜視図である。この発明の実施の形態３に係る磁気センサ装置の斜視図である。この発明の実施の形態３に係る磁気センサ装置のＹＺ平面での断面図である。この発明の実施の形態３に係る磁気センサ装置における磁気シールドの斜視図である。この発明の実施の形態３に係る磁気センサ装置における磁気シールドの斜視図である。この発明の実施の形態３に係る磁気センサ装置におけるケースの斜視図である。この発明の実施の形態３に係る磁気センサ装置におけるケースの斜視図である。

　実施の形態１．
　この発明の実施の形態１において、図を用いて説明する。全ての図において、同一若しくは同等の構成要素には同一符号を付している。図中でＸ、Ｙ、Ｚと記されている３軸は、ＸがＸ軸を示し、磁気センサ装置の搬送方向１０（搬送される検知対象物９の搬送方向１０、磁気センサ装置の短手方向）を示す。ＹがＸ軸に直交するＹ軸を示し、磁気センサ装置の読み取り幅方向（磁気センサ装置の長手方向）を示す。Ｚが、Ｘ軸及びＹ軸に直交するＺ軸を示し、磁気センサ装置の高さ方向を示す。すなわち、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸はお互い９０度の角度で交差している。磁気センサ装置の搬送方向１０の長さの中心をＸ軸の原点、磁気センサ装置の読み取り幅方向の長さの中心をＹ軸の原点、磁気センサ装置の検知対象物９の搬送面をＺ軸の原点とする。なお、長手方向を第１の方向、短手方向を第２の方向とも称する。

　この発明の全ての実施の形態において、検知対象物９の搬送とは、検知対象物自体が搬送される場合に加え、検知対象物は動かずに、磁気センサ装置自体が搬送方向１０（図１のＸ方向）に動く場合も含むものとする。また、搬送方向１０とは、Ｘ軸の正方向（＋Ｘ軸方向）に加えて、Ｘ軸の負方向（－Ｘ軸方向）も含むものとする。また、検知対象物９が搬送方向１０に搬送される箇所を搬送路と称し、後述する検知対象物搬送面１ｂ及びこの検知対象物搬送面１ｂから＋Ｚ軸方向に数ミリメートル程度離間した空間が該当する。

　実施の形態１について、図１及び図２で、磁気センサ装置の構成を説明する。図３～図５で、磁気センサ装置の製造方法を説明する。図１は、この発明の実施の形態１に係る磁気センサ装置のＸＺ平面（読み取り幅方向に見た面）での断面図である。図２（図２Ａ、図２Ｂ）は、この発明の実施の形態１に係る磁気センサ装置の斜視図である。

　図３（図３Ａ、図３Ｂ）は、この発明の実施の形態１に係る磁気センサ装置におけるセンサ基板、磁気抵抗効果素子、永久磁石を組み立てた状態の斜視図及び断面図であり、実施の形態１に係る磁気センサ装置の製造方法の第１手順を示す図である。図４は、この発明の実施の形態１に係る磁気センサ装置における図３の状態のセンサ基板を、ケースに組み込んだ状態の断面図であり、実施の形態１に係る磁気センサ装置製造の第２手順を示す図である。図５は、この発明の実施の形態１に係る磁気センサ装置における図４の状態に、磁気シールドを固定した状態の断面図であり、実施の形態１に係る磁気センサ装置製造の第３手順を示す図である。

　図６（図６Ａ、図６Ｂ）は、この発明の実施の形態１に係る磁気センサ装置におけるケースの斜視図である。図７（図７Ａ、図７Ｂ）は、この発明の実施の形態１に係る磁気センサ装置における磁気シールドの斜視図である。図８（図８Ａ、図８Ｂ）は、この発明の実施の形態１に係る磁気センサ装置の外部に磁界が生じたときの磁束の挙動を示したＸＺ平面での断面図である。

　実施の形態１に係る磁気センサ装置の構成要素について、図１～図８を用いて、詳細に説明する。カバー１は、磁気センサ装置の検査対象物搬送面を構成する部材である。カバー１は、磁気センサ装置の搬送面にＹ軸方向（読み取り幅方向、長手方向）に延在しており、ケース６のＺ軸方向（高さ方向）の面の内、磁気抵抗効果素子２が配置されている側を覆う形状をしている。ケース６は、Ｚ軸方向（高さ方向）の検知対象物搬送面側を開口した箱型をしており、実施の形態１に係る磁気センサ装置の各部材を収納し保持するための開口、位置決めをするための穴及び取付け面を有する。

　センサ基板３は、カバー１と永久磁石４とのＺ軸方向（高さ方向）の間に存在し、Ｙ軸方向（読み取り幅方向、長手方向）に延在している。センサ基板３は、一枚でＹ軸方向（読み取り幅方向、長手方向）に延在しても良く、複数枚に分割した状態でＹ軸方向（読み取り幅方向、長手方向）に延在しても良い。センサ基板３は、永久磁石４と対面する面とは反対側の面であるＺ軸の正方向側（搬送路側）の面に、磁気抵抗効果素子２を実装している。

　図１、図３に示すように、センサ基板３は、磁気抵抗効果素子２を実装するための実装部３ａと、磁気抵抗効果素子２からの電気信号を外部に伝えるための外部接続部３ｂを有する。実装部３ａは、センサ基板３のＺ軸の正方向側（搬送路側）の面に形成されている。

　図１、図３に示すように、磁気抵抗効果素子２は、センサ基板３の実装部３ａに、接着剤などで固着して実装されている。磁気抵抗効果素子２のセンサ基板３の実装部３ａにおけるＸＹ軸方向の位置は、磁気センサ装置の検知部分の位置に対する要求によって異なる。

　磁気抵抗効果素子２は、紙幣等の磁気成分を含む検知対象物９が搬送方向１０の方向に搬送されることにより生じる磁界の搬送方向成分（バイアス磁界）の変化を検知し、磁気抵抗効果素子２の抵抗値が変化することにより、磁気抵抗効果素子２が出力する信号を変化させる役割を持つ。ここで、磁気抵抗効果素子２は、永久磁石４から発せられる磁界の、搬送方向１０（Ｘ軸方向、短手方向）の方向の成分をバイアス磁界としている。

　センサ基板３は、ワイヤ５を介して磁気抵抗効果素子２と電気的に接続されている。さらに、センサ基板３は、磁気抵抗効果素子２の電気的信号を外部に出力するための外部接続部３ｂを有する。センサ基板３は、磁気抵抗効果素子２を実装しているので、磁気抵抗効果素子実装体３とも称する。

　センサ基板３は、永久磁石４と対面する面であるＺ軸の負方向側（反搬送路側）の面の一部がケース６と接し、ケース６と接している面が接着剤などでケース６に固着されて固定されている。

　センサ基板３は、ケース６の開口６ｂに嵌めることで、ＸＹ軸方向の位置を決めている。また、センサ基板３の磁気抵抗効果素子２が実装されている面と反対の面を、段６ａに取り付けることで、センサ基板３のＺ軸方向（高さ方向）の位置が決まる。

　永久磁石４は、Ｙ軸方向（読み取り幅方向、長手方向）に延在している棒状のものである。

　永久磁石４は、センサ基板３の磁気抵抗効果素子２が実装されている面と反対側の面に、接着剤等によって固定されている。すなわち、永久磁石４は、センサ基板３のＺ軸の負方向側（反搬送路側）の面に接着剤等によって固定されている。

　永久磁石４は、磁気抵抗効果素子２と平行に配置し、センサ基板３の磁気抵抗効果素子２が実装されている面の反対側の面に接触させることで、Ｚ軸方向（高さ方向）の位置を決める。Ｘ軸方向（搬送方向１０、短手方向）は永久磁石４のＸ軸方向中心と磁気抵抗効果素子２のＸ軸方向中心とを略同じ位置にするように決める。

　永久磁石４は、一本でＹ軸方向（読み取り幅方向、長手方向）に延在しても良く、複数本に分割した状態でＹ軸方向（読み取り幅方向、長手方向）に延在しても良い。

　永久磁石４は、磁界を発生して磁気抵抗効果素子２にバイアス磁界を印加している。また、永久磁石４の磁界を、検知対象物９が搬送路を搬送されることにより、バイアス磁界の大きさが変化し、このバイアス磁界の変化により磁気抵抗効果素子２の抵抗値が変化して、検出信号が磁気抵抗効果素子２から出力される。

　ところで、永久磁石４のＸ軸方向（搬送方向１０、短手方向）の位置が変化すると、永久磁石４から発する磁界の、磁気抵抗効果素子２と検知対象物９に与える磁力が変化するため、磁気センサ装置の性能を見つつ、永久磁石４のＸ軸方向（搬送方向１０、短手方向）の位置を微調整すると良い。

　図１に示すように、カバー１は、ケース６のＺ軸方向（高さ方向）の面の内、磁気抵抗効果素子２が配置されている側を覆う形状をしている。すなわち、センサ基板３の磁気抵抗効果素子２が実装された面を覆っている。

　図１、図２に示すように、カバー１は、磁気センサ装置をＹ軸方向（読み取り幅方向、長手方向）に見たとき、Ｘ軸方向（搬送方向１０、短手方向）に沿って形成された平面形状の検知対象物搬送面１ｂと、この検知対象物搬送面１ｂのＸ軸方向（搬送方向１０、短手方向）の両端部から負の高さ方向（－Ｚ軸方向）すなわち反搬送路側に傾斜する一対のテーパ１ａを有する。この一対のテーパ１ａと検知対象物搬送面１ｂは、Ｙ軸方向（読み取り幅方向、長手方向）に延在する形状を成している。

　カバー１は、金属製の薄板の曲げ加工により、検知対象物搬送面１ｂと一対のテーパ１ａを一体に形成している。カバー１は、ケース６の搬送路側の面に取付けられている。カバー１は、搬送ガイドとなるテーパ１ａを有するため、搬送時に検知対象物９はテーパ１ａに沿って流れ、検知対象物９がＸ軸方向（搬送方向１０、短手方向）以外の方向に流れるのを防ぐ効果がある。

　カバー１には、検知対象物９が磁気センサ装置上を搬送される際、衝突したり擦れたりすることによる衝撃や磨耗から、磁気センサ装置特に磁気抵抗効果素子２を保護する役割がある。カバー１は、検知対象物９と磁気抵抗効果素子２との間に存在するため、磁気センサ装置の感磁性能に影響を与えぬように、材料は非磁性材料が望ましい。非磁性材料としては、アルミニウム等の非磁性金属、セラミック、樹脂等がある。

　カバー１は、実施の形態１では金属製の薄板（例えば、アルミニウム）を曲げて作製したものを用いて説明しているが、上記の役割を満たしていれば、材料及び製造方法にこだわる必要はない。

　図１、図２、図６に示すように、ケース６は、カバー１及び磁気シールド７以外の他の構成要素（部材、部品）であるセンサ基板３、永久磁石４などを、内部に収納・保持するための部材である。ケース６は、アルミニウム等の金属や導電性樹脂等の導電性の材料で形成されている。ケース６は、センサ基板３をＸＹ方向に位置決めするための開口６ｂを備える。開口６ｂは、ケース６のカバー１との取付面からＺ軸の負方向側（反搬送路側）に凹んで形成されている。開口６ｂのＺ軸の負方向側（反搬送路側）に凹んだ先には、センサ基板３が載置されセンサ基板３を高さ方向（Ｚ軸方向）に支持する段６ａを備える。

　さらに、段６ａからＺ軸の負方向側（反搬送路側）に、Ｘ軸方向（搬送方向１０、短手方向）の長さが開口６ｂのＸ軸方向（搬送方向、短手方向）の長さより短く、Ｚ軸の負方向側（反搬送路側）に凹んで形成された開口６ｃを備える。開口６ｃには、永久磁石４が配置され、永久磁石４のＸＹ方向の位置決めを行う。また、段６ａに載置されたセンサ基板３から磁気センサ装置で検出した信号を外部へと出力する外部接続部３ｂを配設する通り道である、ケース６のＹ軸方向（読み取り幅方向、長手方向）に延在する側面の一部に、段６ａからケース６のＺ軸の負方向側（反搬送路側）の面に至る凹部６ｄを備える。

　加えて、ケース６は、磁気シールド７をケース６に固定する締結部材であるねじ８を締め付ける磁気シールド取付穴６ｅを備える。この磁気シールド取付穴６ｅは、Ｚ軸の負方向側（反搬送路側）の面にＹ軸方向（読み取り幅方向、長手方向）の２ヶ所に設けられている。ここで、磁気シールド７は、ケース６のＺ軸の負方向側（反搬送路側）の面の凹部６ｄに対応する位置に、穴７ｂを備えており、この穴７ｂを通して外部接続部３ｂが磁気センサ装置の外部へと排出される。

　また、図１に示すように、ケース６の開口６ｂはカバー１が磁気抵抗効果素子２やワイヤ５に接触しないように空間を設ける機能も有する。

　ケース６は、磁気抵抗効果素子２が発した熱を、磁気センサ装置の外部に逃がす役割も持つ。

　ケース６は、磁界に影響を与えないように、例えばアルミニウムのような非磁性材料であることが望ましい。

　ケース６は、実施の形態１ではアルミニウムを切削して形成したものを用いている。なお、上記の役割を満たせば、材料及び製造方法にこだわる必要はない。

　図１、図３に示すように、ワイヤ５は、磁気抵抗効果素子２をセンサ基板３に電気的に接続している。

　図１、図５、図７に示すように、磁気シールド７は、磁気センサ装置をＹ軸方向（読み取り幅方向、長手方向）に見たとき、Ｘ軸方向（搬送方向１０、短手方向）に沿って形成された底部７ｃを有する。底部７ｃは、永久磁石４を介してセンサ基板３に対して反対側に位置するケース６の底面に対面している。磁気シールド７は、磁気センサ装置をＹ軸方向（読み取り幅方向、長手方向）に見たとき、この底部７ｃのＸ軸方向（搬送方向１０、短手方向）の両端から正の高さ方向（Ｚ軸の正方向）に立設する（すなわち、センサ基板３の側の方向に立設する）Ｘ軸方向（搬送方向１０、短手方向）に沿って配置された一対の側壁部７ｄを有する。この一対の側壁部７ｄと底部７ｃとは、Ｙ軸方向（読み取り幅方向、長手方向）に延在する形状を成している。図１、図５、図７において、底部７ｃは平面形状をしている。また、一対の側壁部７ｄも平面形状をしている。すなわち、磁気シールド７は、底部７ｃに対するＺ軸方向の対面側は開口している形状である。磁気シールド７のＹ軸方向（読み取り幅方向、長手方向）の長さは、少なくとも永久磁石４及びセンサ基板３のＹ軸方向（読み取り幅方向、長手方向）の長さと同一であるか、またはそれ以上の長さであることが望ましい。

　磁気シールド７の底部７ｃと一対の側壁部７ｄとで囲われた空間（磁気シールド７の内部）にケース６が配置され、ケース６に、磁気シールド７が締結部材で締結して若しくは接着剤等で固着して、固定されている。すなわち、ケース６は、センサ基板３が固定された側は除かれて、磁気シールド７で覆われている。図１においては、磁気シールド７の底部７ｃとケース６のＺ軸の負方向側（反搬送路側）の面が、締結部材であるねじ８にて締結して、固定されている。なお、磁気シールド７の底部７ｃと一対の側壁部７ｄとは、別々に形成して接着剤等で接合しても良いし、金属製の薄板の曲げ加工やブロック材の押し出し加工による一体形成された構造でも良い。

　図１、図５、図７に示すように、磁気シールド７は、ケース６の開口６ｂとは反対側の面にねじ等の締結部材８によって固定されることで、Ｚ軸方向の位置を決めている。また、磁気シールド７は、ケース６に２箇所ある磁気シールド取付穴６ｅと磁気シールド７に２箇所ある取付穴７ａの位置をそれぞれ合わせることで、ＸＹ軸方向の位置を決めている。このとき、ねじ等の締結部材８は、取付穴７ａを通って磁気シールド取付穴６ｅに締結される。

　磁気シールド７の一対の側壁部７ｄのＺ軸方向の先端は、センサ基板３の実装部３ａが設けられた面すなわちセンサ基板３のＺ軸の正方向側（搬送路側）の面におけるＺ軸の位置にほぼ等しい。なお、磁気シールド７の一対の側壁部７ｄのＺ軸方向（高さ方向）の先端は、少なくとも、センサ基板３の実装部３ａが設けられた面の反対側の面、すなわちセンサ基板３のＺ軸の負方向側（反搬送路側）の面、つまりセンサ基板３の永久磁石４に対面する面と同一の位置に位置する。好ましくは、センサ基板３の実装部３ａが設けられた面の反対側の面、すなわちセンサ基板３のＺ軸の負方向側（反搬送路側）の面、つまりセンサ基板３の永久磁石４に対面する面の位置よりも、Ｚ軸の正方向側（搬送路側）に延伸して位置することが好ましい。結果、磁気シールド７は、ケース６において、少なくともセンサ基板３が永久磁石４に対面する面の位置から、永久磁石４がセンサ基板３に対面する面とは反対側の方向（Ｚ軸の負方向、反搬送路側）を覆っていることになる。

　言い換えると、磁気シールド７の一対の側壁部７ｄのＺ軸方向（高さ方向）の先端は、永久磁石４のＺ軸の正方向側（搬送路側）の面（すなわち、永久磁石４のセンサ基板３に対面する面）と同一の位置、もしくは永久磁石４のＺ軸の正方向側（搬送路側）の面（永久磁石４のセンサ基板３に対面する面）の位置よりも、Ｚ軸の正方向側（搬送路側）に位置する（すなわち、センサ基板３の永久磁石４に対面する面とは反対側に延伸する）ことが好ましい。結果、磁気シールド７は、ケース６において、少なくとも永久磁石４がセンサ基板３に対面する面の位置から、永久磁石４がセンサ基板３に対面する面とは反対側の方向（Ｚ軸の負方向、反搬送路側）を覆っていることになる。

　磁気シールド７は、図８に示すように、主に磁気センサ装置の外部の搬送面１ｂ方向以外の方向に磁界が生じた際、この磁界による磁束が磁気シールド７の内部を通過することで磁気センサ装置内部に磁気的な変化が及ぶことを、防ぐ役割を持つ。したがって、磁気シールド７は磁性体材料で構成されている。

　また、磁気シールド７は、磁気抵抗効果素子２が発した熱を、ケース６を介して受け取り、磁気センサ装置の外部に熱を伝える役割も持つ。

　したがって、磁気シールド７の材料は、鉄やケイ素鋼などのように透磁率と熱伝導率が高いものが望ましい。

　磁気シールド７は、この発明の実施の形態１では金属製の薄板を曲げて作製したものを用いて説明しているが、上記の役割を満たしていれば、材料及び製造方法にこだわる必要はない。

　締結部材８は、ケース６に磁気シールド７を固定する役割と、ケース６と磁気シールド７を電気的に接続する役割を持ち、導電性を有するねじである。

　締結部材８は、実施の形態１では、ねじを用いて説明しているが、上記の役割を満たしていれば、材料及び手段は問わない。

　次に、この発明の実施の形態１に係る磁気センサ装置の製造方法を図１、図３～図５を用いて説明する。この製造方法の基本構成（基本工程）は、以下の通り、センサ基板組立工程とケース組込工程とを備える。センサ基板組立工程はケース組込工程よりも前に行う必要がある。

　センサ基板組立工程を、図３を用いて説明する。センサ基板組立工程は、磁気抵抗効果素子２をセンサ基板３の実装部３ａに実装し、磁気抵抗効果素子２をセンサ基板３にワイヤ５を用いて電気的に接続し、永久磁石４をセンサ基板３の実装部３ａと反対側の面に固定する工程である。

　磁気抵抗効果素子２は、センサ基板３の実装部３ａに、たとえば接着剤などで固着して実装する。その後、ワイヤ５によって磁気抵抗硬化素子２とセンサ基板３を電気的に接続する。

　永久磁石４は、センサ基板３の実装部３ａと反対側の面に、接着剤等によって固定する。このとき、Ｙ軸方向は永久磁石４のＹ軸方向の中心と磁気抵抗効果素子２のＹ軸方向の中心を同位置に配置し、Ｘ軸方向も永久磁石４のＸ軸方向の中心と、磁気抵抗効果素子２のＸ軸方向の中心を同位置に配置する。永久磁石４は１つである必要は無く、複数の永久磁石４をＹ軸方向（読み取り幅方向、長手方向）に一体化したものでも良い。

　実施の形態１では、永久磁石４と磁気抵抗効果素子２のＸＹ軸方向中心を一致させているが、磁気センサ装置の検知部分の位置に対する要求によっては、永久磁石４と磁気抵抗硬化素子２の相対位置を変化させても良い。

　ケース組込工程を、図１、図４、図５を用いて説明する。ケース組込工程は、ケース６にセンサ基板３（センサ基板組立工程を行った後の状態のもの）とカバー１、磁気シールド７を固定する工程である。

　図４に示すように、ケース６の段６ａにセンサ基板３の永久磁石４を固定している面すなわちセンサ基板３のＺ軸の負方向側（反搬送路側）の面を接触させた状態で、例えば接着剤などにより固定することで、Ｚ軸方向（高さ方向）の位置を決める。このとき、センサ基板３はケース６の開口６ｂに嵌り、永久磁石４は開口６ｃに嵌ることによって、センサ基板３と永久磁石４のＸＹ軸方向の位置が決められている。

　図５に示すように、図４の状態の組立途中の磁気センサ装置に、締結部材８によって磁気シールド７をケース６に固定する。このとき、図６に示すケース６に２箇所あるシールド取付穴６ｅと、図７に示す磁気シールド７に２箇所ある取付穴７ａとの位置をそれぞれ合わせる。

　このとき、センサ基板３の外部接続部３ｂは、磁気シールド７との干渉を防ぐために、ケース６の凹部６ｄに嵌っている。また、センサ基板３の外部接続部３ｂは、磁気シールド７の穴７ｂを通ることで、磁気センサ装置の外部へ露出されている。

　図１に示すように、図５の状態の組立途中の磁気センサ装置にカバー１を、例えば接着剤などにより固定する。カバー１は、ケース６の開口６ｂ及び磁気シールド７の一対の側壁部７ｄのＺ軸方向（高さ方向）の端部を覆うように配置する。このとき、ケース６の開口６ｂがスペーサの役割を持つため、カバー１がセンサ基板３、磁気抵抗効果素子２及びワイヤ５と接触することはない。

　実施の形態１において、各構成部材の位置決めなどを説明しているが、磁気シールド７が実施の形態１に記載の役割を果たしていれば、他の構成部材は形状、固定位置、材料、製造方法にこだわる必要はない。例えば、実施の形態１では、磁気抵抗効果素子実装体３が、樹脂基板で形成されたセンサ基板３を用いた場合について説明した。磁気抵抗効果素子２の放熱性を向上させるため、磁気抵抗効果素子実装体３は、金属キャリアであっても良い。この場合、磁気抵抗効果素子２は、金属キャリアの表面に接着剤などで固着して実装され、磁気抵抗効果素子２を取り囲むように樹脂基板が金属キャリアの表面に形成されている。磁気抵抗効果素子２とこの樹脂基板とをワイヤ５で接続されることにより、磁気抵抗効果素子２からの信号が、磁気センサ装置の外部へ出力される。

　次に、実施の形態１において、磁気センサ装置の外部に磁界が生じたときの、磁気センサ装置内部の挙動を説明する。

　図８は、この発明の実施の形態１に係る磁気センサ装置の外部に磁界が生じたときの、Ｘ軸方向（搬送方向１０、短手方向）の磁束１１の挙動を示したＸＺ平面での断面図である。図８Ａに示すように、磁気シールド７が取り付けられていない構造の場合、磁気センサ装置の外部からの磁界によって生じたＸ軸方向（搬送方向１０、短手方向）の磁束１１はケース６を通って永久磁石４に到達する。具体的には、図８Ａにおいて、磁気抵抗効果素子２側を上側として見たとき、左側から右側に向かってＸ軸方向に磁束１１が印加されている。カバー１はアルミニウム等の非磁性材料で形成されているので、磁束１１はそのままＸ軸方向に進行してカバー１を透過し、ケース６に到達する。ケース６はアルミニウム等の非磁性材料で形成されているので、磁束１１はそのままＸ軸方向に進行して永久磁石４に到達する。すると、永久磁石４から発せられる磁界は、外部の磁界による磁束１１の影響を受けて、大きさや方向が変化する。これにより、磁気抵抗効果素子２のバイアス磁界が変化し、検出対象物９が搬送されていないにもかかわらず、磁気抵抗効果素子２から信号が出力され、誤動作の原因となる。また、バイアス磁界が変化しているため、検出対象物９が搬送されても、磁気抵抗効果素子２から信号が出力されなくて検出対象物９を検知することができなかったり、磁気抵抗効果素子２から出力される信号が小さくなりまたは大きくなり、検出対象物９の正確な検知ができないこととなる。

　磁気センサ装置は、磁気抵抗効果素子２から得られる電気信号によって磁気を検出しているため、バイアス磁界が変化して磁気抵抗効果素子２の性能が変化することは、そのまま磁気センサ装置の性能が変化することになる。そのため、磁気シールド７がない場合には、磁気センサ装置の外部からの磁界の変化によって磁気センサ装置の性能が変化するため、磁気センサ装置の外部からの磁界が安定しない環境においては、磁気センサ装置の性能が不安定になる。

　図８Ｂに示すように、磁気シールド７を取り付けた構造の場合、磁気センサ装置の外部からの磁界によって生じたＸ軸方向（搬送方向１０、短手方向）の磁束１１は、磁気シールド７内を磁気シールド７に沿って通過する。具体的には、図８Ｂにおいて、磁気抵抗効果素子２側を上側として見たとき、左側から右側に向かってＸ軸方向に磁束１１が印加されている。カバー１はアルミニウム等の非磁性材料で形成されているので、磁束１１はそのままＸ軸方向に進行してカバー１を透過し、磁気シールド７の左側の側壁部７ｄに到達する。磁気シールド７は磁性体材料で形成されているので、磁束１１は磁気シールド７の左側の側壁部７ｄを通り、次に磁気シールド７の底部７ｃを通り、更に磁気シールド７の右側の側壁部７ｄを通り、磁気シールド７の右側の側壁部７ｄから外部に放出される。このように、磁束１１は、永久磁石４を通らない。そのため、磁気センサ装置の外部からの磁界が磁気センサ装置の磁気シールド７よりも内側に与える磁気的な影響が低減される。したがって、磁気センサ装置の外部からの磁界による磁束１１が永久磁石４に到達しないため、永久磁石４から発せられる磁界が安定する。したがって、磁気抵抗効果素子２のバイアス磁界が安定し、磁気センサ装置の誤動作、検知信号の不確定性が改善される。これにより、磁気センサ装置の外部からの磁界に影響を受けない安定した性能の良い磁気センサ装置が得られる。

　磁気シールド７は、ケース６の、少なくとも永久磁石４がセンサ基板３に対面する面の位置から、永久磁石４がセンサ基板３に対面する面とは反対側の方向（Ｚ軸の負方向、反搬送路側）を覆っている。そのため、図８Ｂにおいて、ＹＺ平面からＸ軸方向を見た場合（透視した場合）、永久磁石４は磁気シールド７の側壁部７ｄに隠れることになる。したがって、図８Ｂに示すように、Ｘ軸方向（搬送方向１０、短手方向）の磁束１１は、永久磁石４に届くことが無い。よって、永久磁石４によって形成されるバイアス磁界に影響を与えることは無く、磁気センサ装置の外部からの磁界に影響を受けない、安定した性能の良い磁気センサ装置が得られる。

　また、磁気シールド７の一対の側壁部７ｄのＺ軸方向（高さ方向）の端部を、センサ基板３の実装部３ａよりも検知対象物搬送面１ｂに近づけることで、検知対象物搬送面１ｂ側からもたらされる磁気センサ装置の外部からの磁界の変化以外は、磁気的にシールドすることができる。

　次に、実施の形態１における、磁気シールド７と磁気回路について記す。

　磁気シールド７と磁気センサ装置の磁気回路を構成する部材（永久磁石４など）とは、ケース６を間に挟む事で一定以上の距離を開けて固定されているため、磁気シールド７は磁気センサ装置の磁気回路から独立している。

　磁気シールド７は、磁気回路から独立しているため、磁気シールド７の形状を変更したり、取り外したりしても、磁気センサ装置の性能に大きな影響を及ぼすことはない。そのため、磁気センサ装置の外部からの磁界の状態に応じて磁気シールド７を変更もしくは取り外しても、磁気センサ装置は一定の性能を維持することができる。

　次に、この発明の実施の形態１における、電磁両立性について記す。図２、図６において、外部接続部６ｆは、磁気センサ装置を外部グランドに接続する接地端子である。また、ケース６及び磁気シールド７は金属等の導電性部材で形成されている。図示していないが、外部接続部６ｆに、外部グラウンドに設置された金属線、金属板等が、ねじ等の締結部材で接続されている。

　磁気シールド７が外部グランドから電気的に独立しているとき、磁気シールド７がアンテナとして機能してしまうことがある。そのため、磁気シールド７が電磁妨害波を発信したり、逆に電磁妨害波を受信したりしてしまう。電磁妨害波を発すると磁気センサ装置の周辺機器に影響を及ぼし、電磁妨害波を受信すると磁気センサ装置の電気信号にノイズが乗ってしまい、磁気センサ装置の性能が悪化する。

　そこで、実施の形態１では、ケース６に導電性材料を使い、磁気シールド７を締結部材８によってケース６に電気的に接続している。ケース６は外部接続部６ｆによって、外部グランドと電気的に接続されているため、磁気シールド７を外部グランドと電気的に接続することができる。したがって、磁気シールド７が接地されるため、磁気シールド７がアンテナとして機能することを防いでいる。これにより、磁気シールド７が電気的にも安定するため、性能の良い磁気センサ装置が得られる。

　カバー１がアルミニウム等の非磁性材料の金属である場合、磁気シールド７の一対の側壁部７ｄのＺ軸の正方向側（搬送路側）の先端（すなわち、センサ基板３の側の先端）は、カバー１に接触していると、磁気シールド７の電気的安定性がさらに向上する。

　以上より、実施の形態１では、磁気的にも電気的にも安定した電磁両立性を確保した磁気センサ装置が得られる。

　実施の形態２．
　この発明の実施の形態２に係る磁気センサ装置について、図を用いて説明する。図９（図９Ａ、図９Ｂ）は、この発明の実施の形態２に係る磁気センサ装置の斜視図である。図１０は、この発明の実施の形態２に係る磁気センサ装置のＹＺ平面での断面図である。図１１（図１１Ａ、図１１Ｂ）は、この発明の実施の形態２に係る磁気センサ装置における磁気シールドの斜視図である。図９から図１１において、図１から図８と同一若しくは同等の構成要素には同一符号を付し、その説明を省略する。

　図９から図１１に示すように、磁気シールド７は、磁気センサ装置をＹ軸方向（読み取り幅方向、長手方向）に見たとき、Ｘ軸方向（搬送方向１０、短手方向）に沿って形成された底部７ｃを有する。底部７ｃは、永久磁石４を介してセンサ基板３に対して反対側に位置するケース６の底面に対面している。磁気シールド７は、磁気センサ装置をＹ軸方向（読み取り幅方向、長手方向）に見たとき、この底部７ｃのＸ軸方向（搬送方向１０、短手方向）の両端から正の高さ方向（Ｚ軸の正方向）に立設する（すなわち、センサ基板３の側の方向に立設する）Ｘ軸方向（搬送方向１０、短手方向）に沿って配置された一対の側壁部７ｄを有する。この一対の側壁部７ｄと底部７ｃとは、Ｙ軸方向（読み取り幅方向、長手方向）に延在する形状を成している。図９から図１１において、底部７ｃは平面形状をしている。また、一対の側壁部７ｄは平面形状をしている。

　さらに、磁気シールド７は、磁気センサ装置をＸ軸方向（搬送方向１０、短手方向）に見たとき、Ｙ軸方向（読み取り幅方向、長手方向）に沿って形成された底部７ｃと、この底部７ｃのＹ軸方向（読み取り幅方向、長手方向）の両端から正の高さ方向（Ｚ軸の正方向）に立設する（すなわち、センサ基板３の側の方向に立設する）Ｙ軸方向（読み取り幅方向、長手方向）に沿って配置された一対の第２の側壁部７ｅを有する。この一対の第２の側壁部７ｅと底部７ｃとは、Ｘ軸方向（搬送方向、短手方向）に延在する形状を成している。図９から図１１において、一対の第２の側壁部７ｅは平面形状をしている。すなわち、磁気シールド７は矩形の底部７ｃと、この底部７ｃの長辺から立設する一対の側壁部７ｄと、この底部７ｃの短辺から立設する一対の第２の側壁部７ｅとを備え、底部７ｃに対するＺ軸方向の対面側は開口している箱型の形状をしている。

　磁気シールド７のＹ軸方向（読み取り幅方向、長手方向）の長さは、少なくとも永久磁石４及びセンサ基板３のＹ軸方向（読み取り幅方向、長手方向）の長さと同一であるか、またはそれ以上の長さであることが望ましい。図９から図１１に示す磁気シールド７は、側壁部７ｄのＹ軸方向（読み取り幅方向、長手方向）の長さはケース６のＹ軸方向（読み取り幅方向、長手方向）の長さと同じであり、側壁部７ｅのＸ軸方向（搬送方向、短手方向）の長さはケース６のＸ軸方向（搬送方向、短手方向）の長さと同じである。

　磁気シールド７の底部７ｃと一対の側壁部７ｄと一対の第２の側壁部７ｅとで囲われた空間（磁気シールド７の内部）にケース６が配置され、ケース６に、磁気シールド７が締結部材で締結して若しくは接着剤等で固着して、固定されている。すなわち、ケース６は、センサ基板３が固定された側は除かれて、磁気シールド７で覆われている。図１においては、磁気シールド７の底部７ｃとケース６のＺ軸の負方向側（反搬送路側）の面が、締結部材であるねじ８にて締結して、固定されている。なお、磁気シールド７の底部７ｃと一対の側壁部７ｄと一対の第２の側壁部７ｅとは、別々に形成して接着剤等で接合しても良いし、金属製の薄板の曲げ加工やブロック材の押し出し加工による一体形成された構造でも良い。

　図９から図１１に示すように、磁気シールド７は、ケース６の開口６ｂとは反対側の面にねじ等の締結部材８によって固定されることで、Ｚ軸方向の位置を決めている。また、磁気シールド７は、ケース６に２箇所ある磁気シールド取付穴６ｅと磁気シールド７に２箇所ある取付穴７ａの位置をそれぞれ合わせることで、ＸＹ軸方向の位置を決めている。このとき、ねじ等の締結部材８は、取付穴７ａを通って磁気シールド取付穴６ｅに締結される。

　磁気シールド７の一対の側壁部７ｄ及び一対の第２の側壁部７ｅのＺ軸方向の先端は、センサ基板３の実装部３ａが設けられた面すなわちセンサ基板３のＺ軸の正方向側（搬送路側）の面におけるＺ軸の位置にほぼ等しい。なお、磁気シールド７の一対の側壁部７ｄ及び一対の第２の側壁部７ｅのＺ軸方向（高さ方向）の先端は、少なくとも、センサ基板３の実装部３ａが設けられた面の反対側の面、すなわちセンサ基板３のＺ軸の負方向側（反搬送路側）の面、つまりセンサ基板３の永久磁石４に対面する面と同一の位置に位置する。好ましくは、センサ基板３の実装部３ａが設けられた面の反対側の面、すなわちセンサ基板３のＺ軸の負方向側（反搬送路側）の面、つまりセンサ基板３の永久磁石４に対面する面よりも、Ｚ軸の正方向側（搬送路側）に延伸して位置することが好ましい。結果、磁気シールド７は、ケース６の、少なくともセンサ基板３が永久磁石４に対面する面の位置から、永久磁石４がセンサ基板３に対面する面とは反対側の方向（Ｚ軸の負方向、反搬送路側）を覆っていることになる。

　言い換えると、磁気シールド７の一対の側壁部７ｄ及び一対の側壁部７ｅのＺ軸方向（高さ方向）の先端は、永久磁石４のＺ軸の正方向側（搬送路側）の面（すなわち、永久磁石４のセンサ基板３に対面する面）と同一の位置に位置する。好ましくは、永久磁石４のＺ軸の正方向側（搬送路側）の面（永久磁石４のセンサ基板３に対面する面）よりも、Ｚ軸の正方向側（搬送路側）に延伸して位置する（すなわち、センサ基板３の永久磁石４に対面する面とは反対側に延伸する）ことが好ましい。まとめると、磁気シールド７は、ケース６の、少なくとも永久磁石４がセンサ基板３に対面する面の位置から、永久磁石４がセンサ基板３に対面する面とは反対側の方向（Ｚ軸の負方向、反搬送路側）を覆っていることになる。

　磁気シールド７の一対の第２の側壁部７ｅに設けられた貫通穴７ｆは、ケース６の外部接続部６ｆへ外部接続部材を通すために設けられた穴である。貫通穴７ｆは磁気シールド７をケース６に取り付けたとき、ケース６の外部接続部６ｆと一致する位置に設けられている。

　なお、磁気シールド７の一対の第２の側壁部７ｅのＺ軸方向の先端は、センサ基板３の実装部３ａが設けられた面すなわちセンサ基板３のＺ軸の正方向側（搬送路側）の面におけるＺ軸の位置からさらに突出しても良く、カバー１に接触しても良い。また、磁気シールド７の一対の第２の側壁部７ｅは、ケース６のＹ軸方向（読み取り幅方向、長手方向）の端面全面を覆う構造でも良い。

　一対の第２の側壁部７ｅがもたらす磁気センサ装置の外部に磁界が生じたときの、磁気センサ装置内部の挙動は、実施の形態１で示した一対の側壁部７ｄの挙動と同様である。

　実施の形態２の磁気シールド７は、Ｙ軸方向（読み取り幅方向、長手方向）の側壁部７ｄに加え、Ｘ軸方向（搬送方向、短手方向）の第２の側壁部７ｅも備えている。これにより、Ｘ軸方向（搬送方向、短手方向）からの磁界の変化に対する不干渉性に加え、Ｙ軸方向（読み取り幅方向、長手方向）からの磁界の変化に対する不干渉性も高めることができる。

　実施の形態３．
　この発明の実施の形態３に係る磁気センサ装置について、図を用いて説明する。図１２（図１２Ａ、図１２Ｂ）は、この発明の実施の形態３に係る磁気センサ装置の斜視図である。図１３は、この発明の実施の形態３に係る磁気センサ装置のＹＺ平面での断面図である。図１４（図１４Ａ、図１４Ｂ）は、この発明の実施の形態３に係る磁気センサ装置における磁気シールドの斜視図である。図１５（図１５Ａ、図１５Ｂ）は、この発明の実施の形態３に係る磁気センサ装置におけるケースの斜視図である。図１２から図１５において、図１から図１１と同一若しくは同等の構成要素には同一符号を付し、その説明を省略する。

　実施の形態２において、磁気シールド７の一対の第２の側壁部７ｅは、ケース６のＹ軸方向（読み取り幅方向、長手方向）における端面について略全面を覆う構造をしていた。永久磁石４のＹ軸方向（読み取り幅方向、長手方向）の端部と磁気シールド７の第２の側壁部７ｅとの距離が近い場合、磁気シールド７は磁性体で形成されているので、永久磁石４のＹ軸方向（読み取り幅方向、長手方向）の端部の磁界が、磁気シールド７の第２の側壁部７ｅの方向へ引っ張られてしまい、永久磁石４のＹ軸方向（読み取り幅方向、長手方向）の端部におけるバイアス磁界が乱れてしまう。

　そこで、実施の形態３では、磁気センサ装置のＹ軸方向（読み取り幅方向、長手方向）からの磁界の変化に対する不干渉性は若干低下するが、磁気シールド７の一対の第２の側壁部７ｅのＺ軸方向（高さ方向）の長さが実施の形態２における磁気シールド７の一対の第２の側壁部７ｅのＺ軸方向（高さ方向）の長さより短い。具体的には、図１３に示すように磁気シールド７の一対の第２の側壁部７ｅのＺ軸方向（高さ方向）の先端（つまり、磁気シールド７の一対の第２の側壁部７ｅのセンサ基板３の側の方向の先端）の位置が、永久磁石４のセンサ基板３に対面する面とは反対側の面の位置と略同じとなるようにしている。

　磁気シールド７の一対の第２の側壁部７ｅのＺ軸方向（高さ方向）の先端の位置が、永久磁石４におけるセンサ基板３が固定された面から離れるため、永久磁石４においてセンサ基板３が固定された面に存在する磁極との磁気的結合が弱くなる。なお、永久磁石４においてセンサ基板３が固定された面に存在する磁極は、バイアス磁界を形成している。よって、永久磁石４におけるＹ軸方向（読み取り幅方向、長手方向）の端部におけるバイアス磁界が乱れず、安定して検知対象物９の磁性パターンを検出することができる磁気センサ装置が得られる。

　このように、実施の形態３では、磁気シールド７の一対の第２の側壁部７ｅは、ケース６のＹ軸方向（読み取り幅方向、長手方向）における端面について一部しか覆っていない。したがって、実施の形態３では、ケース６は図１５に示すように、ケース６のＹ軸方向（読み取り幅方向、長手方向）における端面に、第１の端面６ｈと第２の端面６ｉとを備えている。第１の端面６ｈは、開口６ｂとは反対側に位置する底部６ｇからＺ軸の正方向側（搬送路側）に立設している。第１の端面６ｈのＺ軸方向（高さ方向）の先端は、永久磁石４のセンサ基板３（３ａ）が固定された面とは反対側の面の位置と略同じ位置である。第２の端面６ｉは、永久磁石４のセンサ基板３（３ａ）が固定された面とは反対側の面の位置と略同じ位置で、Ｙ軸方向（読み取り幅方向、長手方向）に突出して、第１の端面６ｈの位置からカバー１の取り付け部までＺ軸方向（高さ方向）に形成されている。このとき、第２の端面６ｉのＹ軸方向（読み取り幅方向、長手方向）の突出長さは、磁気シールド７の側壁部７ｅの厚さと同じである。このように、ケース６を構成することにより、ケース６に磁気シールド７を取り付けたとき、突出部の無い磁気センサ装置を得ることができる。

１　カバー、１ａ　テーパ、１ｂ　検知対象物搬送面、２　磁気抵抗効果素子、３　センサ基板（磁気抵抗効果素子実装体）、３ａ　実装部、３ｂ　外部接続部、４　永久磁石（磁石）、５　ワイヤ、６　ケース、６ａ　段、６ｂ　開口、６ｃ　開口、６ｄ　凹部、６ｅ　磁気シールド取付穴、６ｆ　外部接続部、６ｇ　底部、６ｈ　第１の端面、６ｉ　第２の端面、７　磁気シールド、７ａ　取付穴、７ｂ　穴、７ｃ　底部、７ｄ　側壁部、７ｅ　側壁部（第２の側壁部）７ｆ　貫通穴、８　ねじ（締結部材）、９　検知対象物、１０　搬送方向、１１　磁束。

Claims

　磁石と、
　前記磁石に対面する面とは反対側の面に前記磁石の長手方向に沿って配置された磁気抵抗効果素子を実装した磁気抵抗効果素子実装体と、
　前記磁石及び前記磁気抵抗効果素子実装体を収納または保持するケースと、
　前記磁気抵抗効果素子実装体が前記磁気抵抗効果素子を実装している面を除いて前記ケースを覆う磁気シールドと、
　を備え、
　前記磁気シールドは、前記ケースにおいて前記磁気抵抗効果素子実装体が前記磁石に対面する面の位置又は前記磁気抵抗効果素子実装体が前記磁石に対面する面の位置から前記磁石とは反対側の方向を覆っている磁気センサ装置。
　前記磁気シールドは、
　前記磁石を介して前記磁気抵抗効果素子実装体に対して反対側に位置する前記ケースの面に対面する底面と、
　前記底面の前記長手方向に交差する短手方向に沿って、前記底面から前記磁気抵抗効果素子実装体の側の方向に立設し、前記磁石の長手方向に延在する側壁部と、
　を備え、
　前記側壁部の前記磁気抵抗効果素子実装体の側の方向の先端は、前記磁気抵抗効果素子実装体が前記磁石に対面する面の位置に等しい、もしくは前記磁気抵抗効果素子実装体が前記磁石に対面する面の位置よりも前記磁石とは反対側の方向に延伸している請求項１に記載の磁気センサ装置。
　前記磁気シールドは、
　前記底面の前記長手方向に沿って、前記底面から前記磁気抵抗効果素子実装体の側の方向に立設し、前記短手方向に延在する第２の側壁部と、
　を備え、
　前記第２の側壁部の前記磁気抵抗効果素子実装体の側の方向の先端は、前記磁気抵抗効果素子実装体が前記磁石に対面する面の位置に等しい、もしくは前記磁気抵抗効果素子実装体が前記磁石に対面する面の位置よりも前記磁石とは反対側の方向に延伸している請求項２に記載の磁気センサ装置。
　前記磁気シールドは、
　前記底面の前記長手方向に沿って、前記底面から前記磁気抵抗効果素子実装体の側の方向に立設し、前記短手方向に延在する第２の側壁部と、
　を備え、
　前記第２の側壁部の、前記磁気抵抗効果素子実装体の側の方向の先端は、前記磁石において前記磁気抵抗効果素子実装体に対面している面とは反対側の面の位置に等しい請求項２に記載の磁気センサ装置。
　前記ケースは、導電性材料で形成され、
　前記磁気シールドは、導電性の磁性体材料で形成され、
　前記ケースと前記磁気シールドは、電気的に接続され、
　前記ケースは接地されている請求項１から４のいずれか１項に記載の磁気センサ装置。
　前記磁気抵抗効果素子実装体は、樹脂基板に前記磁気抵抗効果素子を実装したものである請求項１から５のいずれか１項に記載の磁気センサ装置。
　前記磁気抵抗効果素子実装体は、金属キャリアに前記磁気抵抗効果素子を実装したものである請求項１から５のいずれか１項に記載の磁気センサ装置。
　前記磁気抵抗効果素子実装体の前記磁気抵抗効果素子が実装された面を覆い、前記側壁部の前記磁気抵抗効果素子実装体の側の方向の先端が接している、非磁性材料で形成されたカバーを備えた請求項２から７のいずれか１項に記載の磁気センサ装置。
　前記カバーに、前記第２の側壁部の前記磁気抵抗効果素子実装体の側の方向の先端が接している請求項８に記載の磁気センサ装置。