Beschreibung
Titel
Verfahren zur Herstellung einer elektrischen Vorrichtung mit einer Umhüllmasse
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer elektrischen Vorrichtung mit einem elektrischen Bauteil, welches von einer Umhüllmasse zumindest teilweise umhüllt wird sowie eine derartige elektrische Vorrichtung.
Stand der Technik
Die Erhöhung der Zuverlässigkeit und der Effizienz sowie die Senkung der Kosten von Leistungselektronikmodulen und robusten Sensorsystemen sind heutzutage von höchster Bedeutung. Die aktuellen Umhüllmaterialien (Epoxid- Verbindungen, Silikonmassen) sind auf einen Temperaturbereich von unter 200°C begrenzt. Durch die Erschließung des Temperaturbereiches von bis zu 300°C bzw. 350°C für Umhüllmaterialien kann der Betriebsbereich von modernen Leistungshalbleitern (z.B. SiC) über 200°C hinaus erweitert werden, ohne das auf die Zusatzfunktion eines Umhüllmaterials (z.B. Schutz vor Umwelteinflüssen, verbesserte Thermik) verzichtet werden muss.
Aus der DE102013112267A1 ist ein Halbleitermodul mit einer einen
Halbleiterbaustein bedeckenden Umhüllungsmasse aus verschiedenen
Zementarten bekannt. Die Umhüllmasse weist hierbei eine feuchtebeständige Schutzschicht auf, welche in einem separaten Fertigungsschritt nach dem Abbinden der Zementmasse aufgetragen wird.
Offenbarung der Erfindung
Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist ein Verfahren zur Herstellung einer elektrischen Vorrichtung mit einem elektrischen Bauteil, welches von einer eine Zementmasse aufweisenden Umhüllmasse zumindest teilweise umhüllt wird, mit folgenden Schritten:
- Bereitstellen der Zementmasse;
- Einmischen eines Zusatzstoffes in die Zementmasse;
- Aufbringen der die Zementmasse mit dem Zusatzstoff aufweisenden Umhüllmasse auf das elektrische Bauteil derart, dass das elektrische Bauteil zumindest teilweise von der Umhüllmasse umhüllt wird; und
- Behandeln der Umhüllmasse, wobei durch die Behandlung der Zusatzstoff aus der Zementmasse an eine Oberfläche der Zementmasse gelangt und eine Schutzschicht an dieser Oberfläche ausbildet.
Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist ferner eine elektrische Vorrichtung mit einem elektrischen Bauteil, welches von einer eine Zementmasse aufweisenden Umhüllmasse zumindest teilweise umhüllt ist, wobei an einer Oberfläche der
Zementmasse eine Schutzschicht angeordnet ist, wobei die Schutzschicht einen Zusatzstoff aufweist, welcher aus dem Inneren der Zementmasse an die Oberfläche der Zementmasse gelangt ist, wodurch die Schutzschicht an dieser Oberfläche ausgebildet wurde.
Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist außerdem die Verwendung eines
Zusatzstoffes zur Ausbildung einer Schutzschicht an einer eine Zementmasse aufweisenden Umhüllmasse eines elektrischen Bauteils einer elektrischen Vorrichtung, wobei der Zusatzstoff durch eine Behandlung der Umhüllmasse an eine Oberfläche der Zementmasse gelangt und die Schutzschicht an dieser Oberfläche ausbildet.
Das elektrische Bauteil kann bspw. ein Halbleiterbauelement, ein Sensorelement, eine Induktivität, eine Kapazität, eine Batteriezelle, ein Batteriemodul oder eine ganze Schaltung sein. Unter einem elektrischen Bauteil kann im Rahmen der vorliegenden Erfindung jedoch jegliches aktive und passive Bauelement bzw. Hochleistungs- Bauelement verstanden werden. Die elektrische Vorrichtung kann hierbei ein
Trägersubstrat aufweisen, auf dem das elektrische Bauteil angeordnet ist.
Unter einem Zement kann im Rahmen der vorliegenden Erfindung ein anorganisches, metallfreies, hydraulisches Bindemittel verstanden werden. Der Zement erhärtet hierbei hydraulisch, d.h. es findet eine chemische Reaktion mit Wasser statt unter Bildung stabiler, unlöslicher Verbindungen. Hierbei kann der Zement zu Beginn des Verfahrens bzw. vor der Hydratation als feingemahlenes Pulver ausgebildet sein, welches mit Wasser bzw. Zugabewasser unter der Bildung von Hydraten reagiert, erstarrt und erhärtet. Die Hydrate können dabei Nadeln und/oder Plättchen ausbilden, welche sich verzahnen und somit zu einer hohen Festigkeit des Zementes führen. Im Gegensatz dazu erhärtet ein Phosphatzement nicht hydraulisch. Es findet eine Säure-Basen- Reaktion unter Bildung eines Salzgels statt, welches später zu einer meist amorphen Masse erstarrt. Bei der Säure-Base-Reaktion werden H+ (Wasserstoff-Ionen) ausgetauscht.
Der Zement kann überwiegend aus Calciumaluminaten bestehen und während der Hydratation Calciumaluminathydrate ausbilden. Es ist vorteilhaft, wenn die
Zementmasse Tonerdezement aufweist, insbesondere aus Tonerdezement besteht. Tonerdezement (Kurzzeichen CAC) ist nach DIN EN 14647 europäisch geregelt.
Tonerdezement besteht vorwiegend aus Monocalciumaluminat (CaO * AI203).
Der Tonerdezement kann bspw. folgende Zusammensetzung aufweisen:
- AI203: größer oder gleich 67,8 Gew.-%
- CaO: kleiner oder gleich 31,0 Gew.-%
- Si02: kleiner oder gleich 0,8 Gew.-%
- Fe203: kleiner oder gleich 0,4 Gew.-%
Unter einem Zusatzstoff kann im Rahmen der vorliegenden Erfindung ein Additiv bzw. ein Schicht-Bildner verstanden werden. Der Zusatzstoff kann vor dem Schritt des Einmischens in die Zementmasse pulverförmig ausgebildet sein. Der Zusatzstoff kann jedoch auch einen flüssigen Anteil aufweisen. Demnach kann der Zusatzstoff als Lösung oder Dispersion oder Suspension, bspw. mit einem Wasseranteil vorliegen. Idealerweise ist der Zusatzstoff in dem Anmachwasser eingemischt bzw. gelöst. Der Zusatzstoff kann in eine trockene Zementmasse bzw. Zementpulver-Mischung eingemischt werden, d.h. bevor ggf. das Zugabewasser beigemengt wird. Der
Zusatzstoff kann aber auch in die nasse Zementmasse bzw. Zementpulver-Mischung eingemischt werden, d.h. nachdem ggf. das Zugabewasser beigemengt wurde.
Unter einer Umhüllmasse kann im Rahmen der vorliegenden Erfindung jegliche Art von Verkapselung (Packaging) verstanden werden. Die Umhüllmasse kann als
Zementkomposit ausgebildet sein. D.h., mit anderen Worten, dass die Umhüllmasse eine Zementmatrix mit einem Füllstoff sowie den Zusatzstoff aufweisen kann. Die Umhüllmasse kann vor und/oder nach dem Schritt des Behandeins folgende
Zusammensetzung aufweisen:
- Bindemittel Tonerdezement: größer oder gleich 8 bis kleiner oder gleich 47 Gew.-% (bspw. SECAR 71)
- Reaktionsmittel Wasser: größer oder gleich 10 bis kleiner oder gleich 28 Gew.-%
- Zusatzstoff: 3-20 Gew.-%
- Füllstoff: größer oder gleich 25 bis kleiner oder gleich 82 Gew.-%
Der Füllstoff kann ausgewählt sein aus der Gruppe bestehend aus:
- AI203: fein d50 ca. 1 μηη bis grob d50 ca. 150-200 μηη
- Alpha-Si3N4: fein ca. 1 μηη bis grob ca. 100 μηη
- Hex. BN: fein ca 15 μηη oder bis ca. 250 μηη
- SiC: fein ca. 10-50 μηη oder bis ca. 600 μηη
- AIN: fein ca. 1 μηη oder bis ca. 100 μηη
Der Schritt des Behandeln kann eine Vielzahl von Teilschritten umfassen. Der Schritt des Behandeins kann einen Hydratationsschritt und/oder Abbindeschritt und/oder Trocknungsschritt und/oder Aushärtungsschritt umfassen. Der Schritt des Behandeins kann auch einen Warteschritt umfassen, um bspw. einen„spontanen" Prozess abzuwarten bzw. ablaufen zu lassen. Durch den Schritt des Behandeins kann der Zusatzstoff aus dem Inneren der Zementmasse an eine Oberfläche der Umhüllmasse „getrieben" werden. Durch den Schritt des Behandeins kann jedoch auch abgewartet werden, bis der Zusatzstoff weiteres ohne Zutun aus dem Inneren der Zementmasse an die Oberfläche der Umhüllmasse gelangt. Durch den Schritt des Behandeins kann der Zusatzstoff ferner angeregt werden, um eine Schutzschicht an dieser Oberfläche auszubilden.
Durch das erfindungsgemäße Verfahren ist es nunmehr möglich, durch Zugabe eines geeigneten Zusatzstoffes in die Zementmasse vorteilhafterweise bei bzw. während der Behandlung der Umhüllmasse, d.h. in ein und demselben Fertigungsschritt gleichzeitig zusätzlich eine Schutzschicht an der Oberfläche der Zementmasse zu erzeugen. D.h., mit anderen Worten, dass bspw. beim Abbinden bzw. Trocknen der Umhüllmasse eine Art Hautbildung hervorgerufen wird, welche die Poren der Zementmasse an der Oberfläche verschließt und die mechanischen Eigenschaften sowie
Dichtigkeitseigenschaften der Umhüllmasse verbessert. Demnach entfällt zum einen der zusätzliche Bearbeitungsschritt der Beschichtung der Zementmasse nach dem Aufbringen auf dem elektrische Bauteil gänzlich. Zum anderen kann die Schutzschicht ihre Schutzfunktion bereits während der Behandlung der Umhüllmasse und nicht erst danach entfalten.
Vorteilhaft ist es ferner, wenn die Schutzschicht wasserdampfundurchlässig ausgebildet ist. Demnach ist die Schutzschicht als Dampf-Sperr-Schicht oder
Dichtigkeitsschicht ausgebildet. Die wasserundurchlässige Schutzschicht bzw. Dampf- Sperr-Schicht auf der Materialoberfläche der Zementmasse verhindert das Verdampfen bzw. Abdampfen von Wasser aus der Zementmasse während des
Hydratationsprozesses und/oder Abbindeprozesses und/oder Trocknungsprozesses und/oder Aushärtungsprozesses, wodurch der Wasser/Zement-Wert konstant bleibt. Der Wasser/Zement-Wert ist kritisch für die Materialeigenschaften, weshalb dieser genau eingestellt werden und auch möglichst konstant bleiben muss. Denn zum einen führt zu wenig Wasser dazu, dass der Zementkorn- Kern nicht durchhydratisiert.
Hierdurch können bei späterem Wasserkontakt Risse in der harten Umhüllmasse aufgrund von Volumenausdehnung hervorgerufen durch eine nachträgliche Hydratation des Zementkorn- Kernes entstehen, welche die Struktur der Umhüllmasse zerstören können. Zum anderen führt zu viel Wasser zur Ausbildung von Kapillarporen durch das überschüssige Wasser, wodurch die Porosität der Umhüllmasse steigt und folglich die Dichtigkeit verringert wird. Somit kann durch die erfindungsgemäße
wasserdampfundurchlässige Schutzschicht, welche sich bei bzw. während des Behandlungsschritts der Umhüllmasse bildet, vorteilhafterweise das Zemenl/Wasser- Verhältnis bei der Kristallisation der Zementmasse konstant gehalten werden. Ferner gewährleistet die wasserdampfundurchlässige Schutzschicht die Dichtigkeit der Umhüllmasse auch nach der Fertigstellung der elektrischen Vorrichtung, also während
des Betriebs des elektrischen Vorrichtung. Da die Umhüllmasse jedoch auch bei optimalem Wasser/Zement- Verhältnis eine feine Restporosität aufweist, bietet die wasserdampfundurchlässige Schutzschicht nach dem Abbinden eine zusätzliche Abdichtung und somit einen optimalen Feuchteschutz für die Umhüllmasse.
Es ist außerdem vorteilhaft, wenn der Schritt des Behandeins der Umhüllmasse zumindest eine der folgenden Behandlungen umfasst:
- Beaufschlagung der Umhüllmasse mit Vibrationen, Rüttelbewegungen und/oder Schleuderbewegungen;
- Wärmebehandlung der Umhüllmasse;
- Aussetzen der Umhüllmasse in einer definierten Gasatmosphäre;
- Beaufschlagung der Umhüllmasse mit einem definierten Druck;
- Beaufschlagung der Umhüllmasse mit elektromagnetischer Strahlung einer
definierten Wellenlänge und Intensität, bspw. UV-Strahlung, Infrarot-Strahlung, sichtbarem Licht.
Durch das Beaufschlagen der Umhüllmasse mit Vibrationen, Rüttelbewegungen und/oder Schleuderbewegungen kann der Zusatzstoff sehr einfach entmischt werden, um so an die Oberfläche zu gelangen.
Die Wärmebehandlung kann einen Temperschritt in einem Temperofen umfassen. Die Wärmebehandlung kann in einem Temperaturbereich von größer oder gleich 40 °C bis gleicher oder gleich 300 °C erfolgen.
Die Gasatmosphäre kann bspw. als Atmosphäre bzw. Luft mit einer erhöhten
Luftfeuchtigkeit von bis zu 100% ausgebildet sein. Die Gasatmosphäre kann auch Katalysator- oder Beschleuniger-Moleküle aufweisen.
Durch diese Maßnahme können die Parameter zur Aktivierung der Funktionalität des Zusatzstoffes auf einfach Art und Weise angepasst werden, so dass der Zusatzstoff zuverlässig und effizient an die Oberfläche der Zementmasse gelangen und die Schutzschicht an dieser Oberfläche ausbilden kann.
Des Weiteren ist es vorteilhaft, wenn durch den Schritt des Behandeins der
Umhüllmasse der Zusatzstoff an die Oberfläche der Zementmasse aufschwimmt und/oder diffundiert und/oder koaguliert und/oder aufschwellt. Hierbei kann der Zusatzstoff an die Oberfläche der Zementmasse in der flüssigen Zementmasse während einer Vergelungsphase aufschwimmen. Der Zusatzstoff kann alternativ oder zusätzlich auch an die Oberfläche der Zementmasse durch einen
Partikelgrößengradienten und/oder einen Dichtegradienten in der Zementmasse während einer Trocknungsphase diffundieren. Der Zusatzstoff kann jedoch alternativ oder zusätzlich auch an die Oberfläche der Zementmasse aufgrund seiner
Konzentration koagulieren und dort verklumpen. Ferner kann der Zusatzstoff alternativ oder zusätzlich auch an die Oberfläche der Zementmasse durch eine Reaktion aufschwellen. Es ist insbesondere vorteilhaft, wenn der Zusatzstoff an die Oberfläche der Zementmasse schwellt, polymerisiert und zu der Schutzschicht aushärtet.
Demnach kann der Zusatzstoff derart ausgebildet sein, dass er bei Kontakt mit einer bestimmten Atmosphäre (Umgebungsluft, Sauerstoff, Temperofenatmosphäre) und/oder sonstigen Rahmenbedingungen (Temperatur, UV-Bestrahlung, pH-Wert) reagieren. Besonders bevorzugt sind Materialien, welche auf dem Zement-Schlicker aufschwimmen und sich schnell zu einer Schicht zusammenfügen, analog eines Ölfilmes auf einer Wasseroberfläche. Möglich sind auch gelöste Polymere, welche einen Film bilden. Durch diese Maßnahme kann der Zusatzstoff einfach an die
Oberflächen gelangen, um dort die Schutzschicht auszubilden bzw. sich zu der Schutzschicht zusammenzufügen.
Vorteilhaft ist es auch, wenn der Zusatzstoff ausgewählt ist aus der Gruppe bestehend aus: Monomere, Polymere, insbesondere Silikon, und anorganische Stoffe, insbesondere Oxide, Nitride, Keramiken. Hierbei müssen die ausgewählten Materialien ausgebildet sein, die Anforderungstemperaturen bei der Behandlung bzw. beim Tempern sowie ggf. im Betrieb stabil auszuhalten. Der Zusatzstoff kann insbesondere ein wasserlösliches Polymer sein, z.B. Vinylalkohol oder Mischungen daraus aufweisen oder daraus bestehen. Diese Materialien bzw. Materialgruppen weisen eine hohe Temperaturstabilität auf und eignen sich somit besonders gut für die Einstellung bzw. Erhöhung der Dichtigkeitseigenschaften der Umhüllmasse.
Des Weiteren ist es vorteilhaft, wenn der folgende zusätzliche Schritt durchgeführt wird: Einmischen eines Binders und/oder Schwellstoffes in die Zementmasse, also vor dem Aufbringen der Zementmasse auf das elektrische Bauteil, um den Zusatzstoff beim Schritt des Behandeins der Umhüllmasse an der Oberfläche der Zementmasse zu halten. Durch diese Maßnahme bleibt der Zusatzstoff während der Behandlung an der Oberfläche„fixiert", so dass die Schichtbildung optimiert und die
Dichtigkeitseigenschaften weiter verbessert werden können.
Vorteilhaft ist es auch, wenn der Zusatzstoff ferner im Inneren der Zementmasse angeordnet ist. Hierbei können auch nur Spuren des Zusatzstoffes in der
Zementmasse vorhanden sein. Durch einen„Überschuss" an Zusatzstoff in der Zementmasse bleibt nach der Schichtbildung ein gewisser Restanteil in der
Zementmasse übrig, wodurch gewährleistet ist, dass die anfängliche Menge an Zusatzstoff ausreichend für die Ausbildung der vorzugsweise geschlossen
ausgebildeten Schutzschicht war.
Außerdem ist es vorteilhaft, wenn die Schutzschicht ausgebildet ist, sich nach dem Schritt des Behandeins bei einer bestimmten Temperatur, insbesondere in einem Bereich von größer oder gleich 250°C zu zersetzen oder zu carbonatisieren. D.h., mit anderen Worten, dass die Schutzschicht nur für die„kritische Phase", nämliche den Trocknungs- und Aushärtungsprozess vorgesehen ist, um das Zemenl/Wasser- Verhältnis bei der Kristallisation zu wahren, und sich im Anschluss gezielt auflöst. Dies bietet den Vorteil, dass eine sehr dünne und damit auch einfach zu realisierende Schutzschicht, welche keine langfristige Dichtigkeit bieten muss, ausreichend ist. Bevorzugt sind für diese Anwendung Monomere und Polymere Stoffe.
Zeichnungen
Die Erfindung wird nachstehend anhand der beigefügten Zeichnung beispielhaft näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 eine Darstellung einer elektrischen Vorrichtung gemäß einem
Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung.
In Fig. 1 ist eine erfindungsgemäße elektrische Vorrichtung dargestellt, welche in ihrer Gesamtheit mit der Bezugsziffer 10 versehen ist.
Die elektrische Vorrichtung 10 weist ein elektrisches Bauteil 12 auf. Das elektrische Bauteil 12 ist als Halbleiterbauelement 12 ausgebildet. Das elektrische Bauteil 12 ist auf einem Trägersubstrat 14 angeordnet. Zwischen dem elektrischen Bauteil 12 und dem Trägersubstrat 14 ist eine Kupferschicht 16 angeordnet. Die Kupferschicht 16 hat hierbei mehrere Funktionen, nämlich die Wärmeanbindung und -abfuhr zu verbessern, eine elektrische
Kontaktierungsmöglichkeit für das elektrische Bauteil 12 bereitzustellen und ggf. als Fließstop der Umhüllmasse beim Auftragen.
Das elektrische Bauteil 12 ist über Bonddrähte 18 mit der ihm
gegenüberliegenden Seite des Trägersubstrats 14 verbunden, wodurch eine elektrische Kontaktierung des elektrischen Bauteils 12 von außen ermöglicht wird. Hierbei kann das Trägersubstrat 14 beispielsweise als eine Platte ausgebildet sein, in die ferner Leiterbahnen bzw. elektrische Kontakte zum Kontaktieren des elektrischen Bauteils 12 integriert sein können. Die
Leiterbahnen können auch auf einer Oberfläche des Trägersubstrats 14 angeordnet sein. Das Trägersubstrat 14 kann zu einem Chip ausgebildet sein.
Die elektrische Vorrichtung 10 weist ferner eine Umhüllmasse 20 auf, welche eine Zementmasse 22 aufweist. Die Umhüllmasse 20 bzw. die Zementmasse 22 ist als Glob-Top ausgebildet. Die Umhüllmasse 20 bzw. die Zementmasse 22 ist an dem Trägersubstrat 14 angeordnet. Die Zementmasse 22 umhüllt hierbei das elektrische Bauteil 12 an den Flächen, welche von dem Trägersubstrat 14 unbedeckt sind. Demnach ist das elektrische Bauteil 12 vollständig durch das Trägersubstrat 14 und die Umhüllmasse 20 umhüllt. Die Zementmasse 22 bedeckt ferner auch einen Teil des Trägersubstrats 14, über den sie fest mit dem Trägersubstrat 14 verbunden ist.
Die Umhüllmasse 20 bzw. die Zementmasse 22 weist eine Oberfläche 24 auf, an der eine Schutzschicht 26 angeordnet ist. Erfindungsgemäß weist die
Schutzschicht 26 einen Zusatzstoff 28 auf. Der Zusatzstoff 28 ist hierbei durch
bzw. während der Behandlung der Umhüllmasse 24, insbesondere beim
Abbinden der Zementmasse 22 aus dem Inneren der Zementmasse 22 an die Oberfläche 24 der Zementmasse 22 gelangt. Dies kann bspw. durch ein
Aufschwimmen und/oder ein Diffundieren und/oder eine Koagulation und/oder ein Aufschwellen des Zusatzstoffes 28 an die Oberfläche 24 der Zementmasse 22 erfolgt sein. Durch die Ansammlung und Erhärtung des Zusatzstoffes 28 an der Oberfläche 24 hat sich dann erfindungsgemäß die Schutzschicht 26 gebildet. Die Schutzschicht 26 ist hierbei bevorzugterweise dampfundurchlässig ausgebildet, um den Wasser/Zement-Wert während des Aushärtungsprozesses konstant zu halten.
Bei der Herstellung der elektrischen Vorrichtung 10 wird zunächst die
Zementmasse 22, bspw. in Pulverform bereitgestellt. In die Zementmasse 22 wird anschließend der Zusatzustoff 28, welcher bspw. auch pulverförmig vorliegen kann, eingemischt. Im Anschluss wird eine flüssige Komponente, bspw. Wasser mit ggf. dem Flussmittel Melflux beigemischt. Die feuchte Umhüllmasse 20 aufweisend die Zementmasse 22, den Zusatzstoff 28 und das Wasser wird dann evakuiert, auf das elektrische Bauteil 12 aufgebracht und in Form gebracht, bspw. mittels Spritzgießen oder Vergießen in Formen. Darauf folgend wird die Umhüllmasse 20 behandelt, insbesondere wärmebehandelt bzw. getempert, bspw. bei 60°C und 90% relativer Luftfeuchtigkeit, wodurch eine Gelbildung, Kristallisation, Vernadelung und Aushärtung der Zementmasse 22 erfolgt. Hierbei beugt die Luftfeuchte einem Wasserverlust (Wasser-Zement-Wert) vor und die Temperatur bewirkt eine Ausbildung der gewünschten Strukturen. Bei bzw.
während der Gelbildung bis zur Aushärtung bildet sich erfindungsgemäß die Schutzschicht 26 an der Oberfläche 24 der Zementmasse 22, wobei der
Zusatzstoff 28 aus dem Inneren der aufgetragenen Umhüllmasse 20 an die Oberfläche 24 der Zementmasse 22 gelangt, bspw. aufschwimmt und/oder diffundiert und/oder koaguliert und/oder aufschwellt und dort erhärtet. Schließlich wird die Umhüllmasse 20 mit der Schutzschicht 26 optional behandelt, dann entformt und ausgelagert, bspw. bei 300°C.