WO2016199636A1 - 測定装置 - Google Patents

測定装置 Download PDF

Info

Publication number
WO2016199636A1
WO2016199636A1 PCT/JP2016/066165 JP2016066165W WO2016199636A1 WO 2016199636 A1 WO2016199636 A1 WO 2016199636A1 JP 2016066165 W JP2016066165 W JP 2016066165W WO 2016199636 A1 WO2016199636 A1 WO 2016199636A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
hole
cell
light
flow path
central axis
Prior art date
Application number
PCT/JP2016/066165
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
大地 重丸
Original Assignee
ヤマシンフィルタ株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ヤマシンフィルタ株式会社 filed Critical ヤマシンフィルタ株式会社
Priority to CN201680031407.8A priority Critical patent/CN107735669A/zh
Publication of WO2016199636A1 publication Critical patent/WO2016199636A1/ja
Priority to US15/823,963 priority patent/US10466226B2/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
    • G01N15/10—Investigating individual particles
    • G01N15/14—Optical investigation techniques, e.g. flow cytometry
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
    • G01N15/06—Investigating concentration of particle suspensions
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
    • G01N21/03—Cuvette constructions
    • G01N21/0317—High pressure cuvettes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/85—Investigating moving fluids or granular solids
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
    • G01N33/26—Oils; Viscous liquids; Paints; Inks
    • G01N33/28—Oils, i.e. hydrocarbon liquids
    • G01N33/2888—Lubricating oil characteristics, e.g. deterioration
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
    • G01N15/06—Investigating concentration of particle suspensions
    • G01N15/075—Investigating concentration of particle suspensions by optical means
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
    • G01N2015/0042—Investigating dispersion of solids
    • G01N2015/0053—Investigating dispersion of solids in liquids, e.g. trouble
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
    • G01N2015/0042—Investigating dispersion of solids
    • G01N2015/0053—Investigating dispersion of solids in liquids, e.g. trouble
    • G01N2015/0057—Investigating dispersion of solids in liquids, e.g. trouble of filaments in liquids
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
    • G01N2015/03—Electro-optical investigation of a plurality of particles, the analyser being characterised by the optical arrangement
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
    • G01N15/06—Investigating concentration of particle suspensions
    • G01N2015/0687—Investigating concentration of particle suspensions in solutions, e.g. non volatile residue
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N2021/8405—Application to two-phase or mixed materials, e.g. gas dissolved in liquids
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/85—Investigating moving fluids or granular solids
    • G01N2021/8557—Special shaping of flow, e.g. using a by-pass line, jet flow, curtain flow
    • G—PHYSICS
    • G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
    • G21K—TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
    • G21K5/00—Irradiation devices

Definitions

  • the present invention relates to a measuring apparatus.
  • Patent Document 1 a light emitting diode that irradiates light to a pipe for flowing oil (hydraulic oil) or the like and a light emitting diode that is spaced apart along a fluid flow path direction and transmits light transmitted through the flow path by light irradiation. It has two light receiving elements to detect and a detection unit for detecting the amount of impurity particles flowing in the flow path from the differential output of each light receiving element, and measures impurity particles such as oil dust contained in hydraulic oil An impurity particle measuring apparatus is disclosed.
  • a light transmissive material for example, a glass tube made of glass is used for piping.
  • the pressure of the hydraulic fluid flowing in the pipe becomes high, for example, even if the glass tube is formed of high-strength sapphire glass, the glass tube may be cracked and the measurement error may increase. .
  • the present invention has been made in view of such circumstances, and an object thereof is to provide a measuring apparatus that can be used under high pressure and can measure impurity particles contained in hydraulic oil with high accuracy.
  • a measuring apparatus is, for example, a housing having two opposing surfaces, and opens to the two opposing surfaces, and the first side surface and the first opposing surface.
  • a channel hole having two side surfaces, a first hole having one end opened to the first side surface, and a second hole facing the first hole across the central axis of the channel hole
  • a casing formed with a second hole having one end opened to the second side surface, and a first cell provided in the first hole, the first cell being formed of a transparent material.
  • a first cell having a substantially cylindrical shape whose both end surfaces are flat, and a second cell provided inside the second hole, each of which is formed of a transparent material, and whose both end surfaces are flat.
  • the first cell passes through the inside of the flow path hole.
  • the centers of the first hole and the second hole substantially coincide with the optical axis that is the center of the light irradiated from the light irradiation unit.
  • the flow path hole having the first side surface and the second side surface facing each other is formed in the casing, with the central axis orthogonal to the two facing surfaces.
  • the light from a light irradiation part is provided in the 1st hole opened in a 1st side surface from the direction substantially orthogonal to the central axis of a flow-path hole.
  • the working oil that flows through the cell through the inside of the flow path hole is irradiated and is opposed to the light irradiation unit across the second cell provided in the first cell, the flow path hole, and the second hole that opens in the second side surface.
  • the light is received by a light receiving unit provided to do so. Thereby, the impurity particles contained in the hydraulic oil can be measured with high accuracy.
  • both ends of the flow path hole are round holes, and the flow path hole has a shape on a surface substantially orthogonal to the central axis, and two sides substantially orthogonal to the optical axis are formed from the round hole. You may have the taper shape changed to the long hole which has. Thereby, the flow of the hydraulic fluid flowing through the measurement hole can be stabilized and the measurement accuracy can be increased.
  • the first side surface and the second side surface are flat surfaces, and the first cell has an end surface of the first cell in the state provided in the first hole.
  • the second cell is substantially flush with the side surface, and the second cell is provided in the second hole, and the end surface of the second cell is substantially flush with the second side surface. Good. Thereby, generation
  • the tapered shape may be formed such that an angle formed by two lines facing each other across the central axis is approximately 60 degrees. Thereby, a vortex does not generate
  • a distance between the first side surface and the second side surface may be smaller than a length of the first side surface and the second side surface in a direction substantially orthogonal to the central axis.
  • the cell includes a substantially cylindrical main body part, and a substantially thick disk-shaped flange part having a larger diameter than the main body part formed at an end of the main body part, and the hole, A seal member is provided between the main body portion, a pressing member that presses the cell is provided in the casing, and the main body of the flange portion is provided when the pressing member is provided in the casing.
  • the end surface on the part side may be pressed against the housing.
  • the impurity particles that can be used under high pressure and contained in the hydraulic oil can be measured with high accuracy.
  • FIG. 2 is a perspective view of a housing 10.
  • FIG. It is sectional drawing of the housing
  • FIG. 6 is a cross-sectional view taken along the line CC of FIG.
  • FIG. It is a figure which shows typically the flow of hydraulic fluid in case the angle (theta) has the connection part 11C of about 60 degree
  • FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating an outline of a housing 10-1. It is a figure explaining the shape of guidance part 11D. It is D arrow view of FIG.
  • the pollution degree measuring apparatus 1 is provided in an apparatus 100 that performs a desired operation using hydraulic oil, such as a construction machine or a hydraulic device.
  • FIG. 1 is a diagram showing an outline of the apparatus 100.
  • the apparatus 100 includes a housing 103 in which a main flow path 101 and a bypass flow path 102, which are flow paths through which hydraulic oil to be measured flows, are formed.
  • the contamination degree measuring apparatus 1 is provided at a desired position in the apparatus 100 so as to include the bypass channel 102.
  • the hydraulic oil indicates the flow of hydraulic oil in the apparatus 100.
  • the hydraulic oil flows in the main channel 101 from the ⁇ x direction to the + x direction.
  • a part of the hydraulic oil flowing in the main flow path 101 flows into the bypass flow path 102 and is supplied to the contamination degree measuring apparatus 1.
  • the hydraulic oil that has flowed out of the contamination degree measuring apparatus 1 returns to the main flow path 101 through the bypass flow path 102.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view showing an outline of the contamination degree measuring apparatus 1.
  • the contamination degree measuring apparatus 1 mainly includes a housing 10, a glass cell 21, an O-ring 22, a plug 23, a packing 24, a light emitting unit substrate 25, a plug 26, a light receiving unit substrate 27, and a block 28. And having. In FIG. 3, some of the hatching indicating the cross section is omitted.
  • the housing 10 is a substantially rectangular member formed of, for example, metal (for example, iron, aluminum, etc. ).
  • the body 10A (see FIGS. 3 to 6) of the housing 10 mainly serves as a measurement channel 11 for flowing hydraulic oil to be measured and a window for introducing and extracting light into the measurement channel 11. Holes 12 and 13, a hole 14 for attaching the plug 23, and a hole 15 for attaching the plug 26 are formed.
  • the measurement channel 11 has openings on the side surface on the ⁇ x side and the side surface on the + x side of the body 10A.
  • the central axis P of the measurement channel 11 is orthogonal to the ⁇ x side surface and the + x side surface.
  • the measurement channel 11 has a side surface Ba and a side surface Bb which are planes along the central axis P.
  • the holes 12 and 13 are formed so as to face each other with the central axis P interposed therebetween. One end of each of the holes 12 and 13 opens into the measurement channel 11.
  • the hole 12 and the hole 14 are connected, and the hole 13 and the hole 15 are connected.
  • the centers of the holes 12 and 13 and the holes 14 and 15 are substantially orthogonal to the central axis P.
  • the shape of the housing 10 is not limited to a substantially rectangular shape.
  • the shape of the housing 10 may be any shape as long as the measurement channel 11 has two opposing surfaces that open. The housing 10 will be described in detail later.
  • the glass cell 21 is a substantially cylindrical member formed of a light transmissive material (for example, glass).
  • the glass cell 21 has a substantially cylindrical main body portion 21A and a substantially thick disk-shaped flange portion 21B having a larger diameter than the main body portion 21A.
  • the glass cell 21 is provided in the holes 12 and 13. Since the holes 12 and 13 are opened toward the measurement channel 11, the end surface 21 a of the glass cell 21 provided in the holes 12 and 13 directly touches the working oil flowing in the measurement channel 11. Further, the end surface 21 a of the glass cell 21 provided in the holes 12 and 13 is substantially on the same plane as the side surfaces 11Ba and 11Bb of the measurement channel 11.
  • the O-ring 22 is, for example, an annular packing having a substantially circular cross section.
  • the O-ring 22 is provided between the holes 12 and 13 and the glass cell 21 when the glass cell 21 is provided in the holes 12 and 13.
  • the O-ring 22 functions as a seal member that prevents hydraulic fluid from leaking between the holes 12 and 13 and the glass cell 21 by elastically deforming between the holes 12 and 13 and the glass cell 21.
  • the plug 23 is a substantially cylindrical member formed of metal (for example, aluminum).
  • a screw 23 ⁇ / b> A is formed on the outer periphery of the plug 23.
  • the screw 23 ⁇ / b> A is screwed with the screw 14 ⁇ / b> A formed on the inner periphery of the hole 14, the plug 23 is attached to the housing 10.
  • the plug 23 has a recess 23B having a diameter substantially the same as the diameter of the flange portion 21B.
  • the flange portion 21B is fitted in the recess portion 23B.
  • the packing 24 is a substantially hollow disk-shaped member made of metal (for example, brass).
  • the packing 24 is provided between the recess 23B and the flange portion 21B.
  • the plug 23 presses the end surface 21b of the flange portion 21B via the packing 24.
  • the end surface 21c on the main body 21A side of the flange 21B is pressed against the body 10A.
  • the contact surface between the end surface 21c and the body 10A has a substantially disc shape, and the glass cell 21 is supported by the surface. Thereby, the glass cell 21 can be firmly fixed to the hole 12.
  • the packing 24 is not essential, and the plug 23 may directly press the flange portion 21B.
  • the light emitting unit substrate 25 is provided with a light emitting unit (for example, LED) 25A for irradiating light.
  • a light emitting unit for example, LED
  • the light emitted from the light emitting unit 25 ⁇ / b> A passes through the glass cell 21 provided in the hole 12 and is applied to the hydraulic oil flowing in the measurement channel 11.
  • the light emitting unit substrate 25 is attached to the plug 23 using screws.
  • the light emitting unit 25A is inserted into the hole 23C formed in the plug 23 so that the optical axis O which is the center of the light emitted from the light emitting unit 25A substantially coincides with the central axis of the holes 12 and 13. Positioned. Further, the light emitting part 25A is provided adjacent to the flange part 21B.
  • the light emitted from the light emitting unit 25A enters the glass cell 21 from a direction perpendicular to the end surface 21a of the glass cell 21 which is a plane. Therefore, the light irradiated from the light emitting unit 25A does not diffuse at the end face 21a, and the light passes through the glass cell 21 along the central axis (substantially coincident with the optical axis O) of the glass cell 21. Moreover, since the end surface 21b of the glass cell 21 is also a plane, the light that has passed through the glass cell 21 is emitted in a direction orthogonal to the end surface 21b. Therefore, the irradiated light from the light emitting unit 25A is irradiated to the working oil in the measurement channel 11 without being diffused.
  • the plug 26 is a substantially cylindrical member made of metal (for example, aluminum) like the plug 23.
  • a screw 26 ⁇ / b> A is formed on the outer periphery of the plug 26.
  • the screw 26 ⁇ / b> A is screwed with the screw 15 ⁇ / b> A formed on the inner periphery of the hole 15, the plug 26 is attached to the housing 10.
  • the plug 26 is formed with a recess 26B having a diameter substantially the same as the diameter of the flange portion 21B.
  • the flange portion 21B is fitted in the recess 26B.
  • the plug 26 When the plug 26 is attached to the housing 10 by screwing the screw 26 ⁇ / b> A with the screw 15 ⁇ / b> A, the plug 26 presses the flange portion 21 ⁇ / b> B via the packing 24. As a result, the end surface 21c of the flange portion 21B is pressed against the body 10A. Thereby, the glass cell 21 can be fixed to the hole 13.
  • the positional relationship between the hole 13 and the glass cell 21 and the method for attaching the glass cell 21 to the hole 13 are the same as the positional relationship between the hole 12 and the glass cell 21 and the method for attaching the glass cell 21 to the hole 12. .
  • the light receiving unit substrate 27 is provided with a light receiving element 27A for detecting transmitted light by light irradiation.
  • the light receiving element 27A is, for example, a photodiode (PD), and is provided to face the light emitting unit 25A with the measurement flow channel 11 and the glass cell 21 interposed therebetween.
  • the light receiving element 27A is provided on the optical axis O.
  • the light irradiated from the light emitting unit 25A and not reflected by the impurity particles contained in the hydraulic oil in the measurement flow path 11 is incident on the glass cell 21 from a direction orthogonal to the end face 21b. Moreover, the light that has passed through the glass cell 21 is also emitted in a direction orthogonal to the end face 21a. Therefore, most of the light irradiated from the light emitting unit 25A and not reflected by the impurity particles contained in the hydraulic oil in the measurement channel 11 (light that has passed through the hydraulic oil) is received by the light receiving element 27A.
  • the light receiving portion substrate 27 is attached to the block 28 using screws.
  • the block 28 is fixed to the housing 103 by screws or the like.
  • the mounting of the light receiving unit substrate 27 is not limited to this, and may be screwed to the plug 26, for example.
  • FIG. 3 is a perspective view of the housing 10.
  • a measurement channel 11 is formed in the body 10A so as to penetrate the body 10A from the ⁇ x side surface toward the + x side surface. Further, a hole 14 is formed on the + y side surface of the body 10A, and a hole 15 is formed on the ⁇ y side surface of the body 10A.
  • the measurement channel 11 will be described in detail.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view of the housing 10 on the surface A shown in FIG.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view of the housing 10 taken along the plane B shown in FIG. 6 is a cross-sectional view taken along the line CC of FIG.
  • the measurement flow path 11 includes a substantially cylindrical screw portion 11A formed at both ends, a long hole portion 11B having a long hole shape when cut along a plane substantially parallel to the yz plane, and the screw portion 11A and the long hole.
  • a connecting portion 11C that gently connects the portion 11B.
  • the threaded portion 11A is connected to another part, for example, a joint having a channel having a substantially circular cross section.
  • the screw portion 11A provided on the ⁇ x side is an inflow portion where the hydraulic oil flows into the measurement flow path 11, and the screw portion 11A provided on the + x side is an outflow portion where the hydraulic oil flows out from the measurement flow path 11. .
  • the long hole portion 11B has side surfaces 11Ba and 11Bb.
  • the side surfaces 11Ba and 11Bb are planes whose longitudinal direction is substantially along the x direction (see FIG. 4), and face each other across the central axis P (see FIGS. 5 and 6).
  • One end of a hole 12 is opened on the side surface 11Ba, and one end of a hole 13 (the hole 13 is not shown in FIG. 4) is opened on the side surface 11Bb.
  • the long hole portion 11 ⁇ / b> B has a long hole in a cross-sectional shape (hereinafter referred to as a cross-sectional shape) on a surface substantially orthogonal to the central axis P of the measurement flow channel 11.
  • the long hole portion 11B is a curve connecting two straight sides 11a and 11b and a side 11a and 11b along a direction (z direction) substantially perpendicular to the optical axis O on a plane substantially perpendicular to the central axis P.
  • a side 11c The side 11a is a part of the side surface 11Ba, and the side 11b is a part of the side surface 11Bb.
  • the length 11 of the sides 11a and 11b is approximately 11 mm
  • the width l2 of the slot 11B is approximately 14 mm
  • t is approximately 3 mm.
  • the value of the thickness t of the long hole portion 11B is the value of the length of the sides 11a and 11b (the length in the direction substantially orthogonal to the central axis P of the side surfaces 11Ba and 11Bb) or the length of the long hole portion 11B. It is sufficiently smaller than the value of the width l2.
  • the connecting portion 11C has a tapered shape, and gradually changes the cross-sectional shape of the flow path from the round hole that is the cross-sectional shape of the screw portion 11A to the long hole that is the cross-sectional shape of the long hole portion 11B.
  • the connecting portion 11C has a substantially conical shape. As shown in FIG. 4, the shape of the hole A connecting the connecting portion 11 ⁇ / b> C and the elongated hole portion 11 ⁇ / b> B is a substantially triangular shape that protrudes toward the center of the housing 10.
  • the width l2 of the long hole portion 11B is substantially the same as the diameter of the screw portion 11A.
  • the diameter of the screw portion 11A may be equal to or larger than the width l2 of the elongated hole portion 11B, and is not limited to the case where the diameter is substantially the same as the width l2 of the elongated hole portion 11B.
  • the connecting portion 11C is formed such that an angle ⁇ formed by two lines facing each other across the central axis P is approximately 60 degrees on the surface A and the surface B, which are surfaces including the central axis P.
  • the angle ⁇ will be described in detail later.
  • the hydraulic oil flows into the contamination degree measuring device 1 from an inflow portion which is a screw portion 11A formed on the ⁇ x side of the housing 10.
  • the hydraulic oil flowing in from the inflow portion flows into the long hole portion 11B through the connecting portion 11C.
  • the hydraulic oil flowing into the long hole portion 11B flows downstream (in the direction from ⁇ x to + x) in the long hole portion 11B, and from the outflow portion that is the screw portion 11A formed on the + x side of the housing 10. It flows out of the pollution measuring device 1.
  • the working oil that flows downstream in the long hole portion 11B is irradiated with light from the light emitting portion 25A.
  • the light emitted from the light emitting unit 25A enters the glass cell 21 from the end face 21b, passes through the glass cell 21, and enters the working oil in the measurement channel 11 from the end face 21a.
  • the light that has passed through the measurement channel 11 enters the glass cell 21 from the end face 21a, passes through the glass cell 21, and exits from the end face 21b.
  • the light receiving element 27A receives light emitted from the end face 21b.
  • light is continuously emitted from the light emitting unit 25A.
  • the light receiving element 27A continuously receives light.
  • the output signal of the light receiving element 27A is amplified by an amplifier, and the amount of impurity particles contained in the hydraulic oil flowing in the measurement channel 11 is measured based on the amplified signal. Since various techniques for measuring the amount of impurity particles are already known, description thereof will be omitted.
  • the processing of the output signal of the light receiving element 27 ⁇ / b> A may be performed using an electric circuit or a microcomputer (not shown) provided in the contamination degree measuring apparatus 1, or may be performed by an apparatus other than the contamination degree measuring apparatus 1.
  • the light receiving element 27A continuously receives light, if the flow of hydraulic oil flowing through the measurement flow path 11 is disturbed, the measurement accuracy decreases.
  • the connecting portion 11C having an angle ⁇ of about 60 degrees as in the present embodiment, the flow of hydraulic fluid can be stabilized and the measurement accuracy can be increased.
  • FIG. 7 is a diagram schematically showing the flow of hydraulic oil when the connecting portion 11C has an angle ⁇ of approximately 60 degrees (this embodiment).
  • FIG. 8 is a diagram schematically illustrating the flow of hydraulic oil when the connecting portion 11C ′ having an angle ⁇ of approximately 120 degrees is included (comparative example).
  • FIG. 9 is a diagram schematically showing the flow of hydraulic oil when there is no connecting portion (comparative example). The difference between FIGS. 7 to 9 is only the connecting portion.
  • the lines shown in FIGS. 7 to 9 indicate the trajectory lines when the hydraulic oil flow is simulated.
  • a pipe thinner than the screw portion 11A is provided on the left side of the measurement channel 11 via the screw portion 11A, but the diameter of this pipe is not limited to this.
  • the connecting portions 11C and 11C ′ having a tapered shape for gradually changing the cross-sectional shape of the flow path between the screw portion 11A and the elongated hole portion 11B.
  • the taper-shaped angle ⁇ is preferably about 60 degrees.
  • the contamination degree measuring apparatus 1 can be used under high pressure.
  • the measurement flow path 11 is formed directly in the housing 10
  • the contamination degree measuring apparatus 1 can be used under high pressure.
  • a glass tube is used for the measurement flow path, there is a possibility that cracking or the like may occur in the measurement flow path when the pressure of hydraulic oil or the like flowing through the piping is increased.
  • the contamination measuring device 1 can be used under high pressure. It can.
  • the pressure resistance is low because the glass tube has a curved surface.
  • the glass cell 21 has a flat end surface and is thick and strong. Therefore, it is possible to prevent the glass cell 21 from being cracked even under high pressure.
  • the present embodiment since there is no curved surface on the optical path from the light emitting unit 25A to the light receiving element 27A, it is possible to measure the impurity particles contained in the hydraulic oil with high accuracy.
  • the glass tube is curved, so that light is refracted in various directions on the surface of the glass tube.
  • the light emitted from the light emitting unit 25A is incident or emitted along a direction orthogonal to the end surface of the glass cell 21 which is a plane, so that the light emitted from the light emitting unit 25A does not diffuse and is measured as it is.
  • the working oil in the flow path 11 is irradiated. Therefore, measurement accuracy can be increased.
  • the optical path that is, the distance between the light emitting portion 25A and the light receiving element 27A is shortened, and the measurement accuracy can be increased.
  • the connecting portion 11C having a tapered shape that changes the cross-sectional shape of the measurement channel 11 from a round hole to an elongated hole, the flow of hydraulic oil is stabilized, and the measurement accuracy is improved. Can be high.
  • the end surface 21 a of the glass cell 21 is substantially flush with the side surfaces 11Ba and 11Bb of the measurement channel 11 so that the operation flows through the measurement channel 11 around the glass cell 21. It is possible to prevent the vortex from occurring in the oil and improve the measurement accuracy. For example, when the glass cell 21 protrudes into the measurement flow path 11, the working oil flowing in the measurement flow path 11 hits the glass cell 21 and a vortex is generated. On the other hand, when the end surface 21a is substantially flush with the side surfaces 11Ba and 11Bb, the flow of hydraulic oil is not hindered by the glass cell 21, and vortices are generated around the glass cell 21, that is, near the optical axis O. do not do. Therefore, measurement accuracy can be increased.
  • the vibration resistance can be improved by bringing the end face 21c of the flange portion 21B into contact with the housing 10 when the glass cell 21 is attached to the housing 10.
  • the glass tube may vibrate more intensely than the contamination degree measuring device 1 when the contamination degree measuring device 1 vibrates in order to fix the periphery of the glass tube.
  • the glass cell 21 and the housing 10 are in contact with each other on the surface, the glass cell 21 can be pressed against the housing 10 with a strong force. Therefore, even if the contamination degree measuring apparatus 1 vibrates, the glass cell 21 hardly vibrates with respect to the contamination degree measuring apparatus 1 (improvement in vibration resistance).
  • connect in a surface, even if a flow volume fluctuation
  • the thickness t (approximately 3 mm) of the long hole portion 11B is set to the length l1 (approximately 11 mm) of the sides 11a and 11b on the surface substantially orthogonal to the central axis P of the measurement channel 11.
  • the cross-sectional shape of the long hole portion 11B is not limited to this.
  • the thickness t of the long hole portion 11B may be thicker than about 3 mm.
  • the cross-sectional shape of the long hole portion 11B is a long hole having two straight sides 11a and 11b along a direction (z direction) substantially orthogonal to the optical axis O.
  • the cross-sectional shape of the long hole portion 11B is not limited to this.
  • the cross-sectional shape of the long hole portion may be a substantially rectangular shape.
  • it is desirable that the length of the long hole portion in the y direction (the direction along the optical axis O) is shorter than the length of the long hole portion in the z direction.
  • the cross-sectional shape of the long hole portion may be a substantially elliptical shape.
  • the substantially elliptical minor axis is substantially parallel to the y direction
  • the major axis is substantially parallel to the z direction
  • the + y side portion and the ⁇ y side portion are respectively defined as the side surfaces of the elongated hole portion. That's fine.
  • the side surface of the long hole portion is curved, a part of the glass cell 21 protrudes from the side surface of the long hole portion.
  • the protruding amount of the glass cell 21 is small, so that even if a vortex is generated, the measurement accuracy cannot be affected.
  • the measurement channel 11 has the screw portion 11A, the elongated hole portion 11B, and the connecting portion 11C.
  • the shape of the measurement channel 11 is not limited to this.
  • the cross-sectional shape of the bypass flow path 102 is a long hole, the measurement flow path may be only the long hole portion 11B.
  • the cross-sectional shape of the bypass channel 102 is a round hole, it is desirable to form the connecting portions 11C at both ends of the long hole portion 11B.
  • the measurement channel 11 has a screw portion 11A, an elongated hole portion 11B, and a connecting portion 11C, and the diameter of the round hole in the screw portion 11A (both ends of the measurement channel 11) is the same. Although it is substantially the same as the width
  • the diameter of the round holes at both ends of the measurement channel 11 is smaller than the width of the long hole portion 11B.
  • the contamination degree measuring apparatus 2 according to the second embodiment will be described.
  • symbol is attached
  • the contamination degree measuring apparatus 2 mainly includes a housing 10-1, a glass cell 21, an O-ring 22, a plug 23, a packing 24, a light emitting unit substrate 25, a plug 26, a light receiving unit substrate 27, And block 28.
  • FIG. 10 is a cross-sectional view schematically showing the housing 10-1.
  • the casing 10-1 is a substantially rectangular member formed of metal (for example, aluminum).
  • the body 10A-1 of the housing 10 is mainly formed with a measurement channel 11-1, holes 12, 13, a hole 14, and a hole 15.
  • the measurement channel 11-1 mainly has a long hole portion 11B and a guide portion 11D provided at both ends of the long hole portion 11B.
  • the guide portion 11D has one end connected to the elongated hole portion 11B and the other end opened to the end surface of the housing 10-1.
  • the shape of the opening that opens to the end surface of the housing 10-1 is substantially circular.
  • derivation parts have the taper shape which changes gradually the cross-sectional shape of a flow path from the round hole to the long hole which is the cross-sectional shape of the long hole part 11B.
  • the guide portion 11D provided on the ⁇ x side is an inflow portion through which hydraulic oil flows into the measurement flow channel 11-1, and the guide portion 11D provided at the + x side outputs hydraulic fluid from the measurement flow channel 11-1. The outflow part.
  • FIG. 11 and 12 are diagrams for explaining the shape of the guiding portion 11D.
  • 11 is a cross-sectional view
  • FIG. 12 is a view taken in the direction of arrow D in FIG. In FIG. 12, the body 10A-1 is not shown.
  • the opening part 11d opened on the end surface of the housing 10-1 is a round hole, and the diameter thereof is smaller than the width l2 of the long hole part 11B and larger than the thickness t of the long hole part 11B.
  • An angle ⁇ formed by two lines facing each other across the central axis P of the guide portion 11D is approximately 60 degrees, as in the first embodiment.
  • the circular pipe is gradually made into a long hole, no vortex is generated in the hydraulic oil flowing through the measurement flow channel 11-1, and the flow can be stabilized.
  • the impurity particles contained in the hydraulic oil can be measured with high accuracy.
  • the cross-sectional area of the measurement channel 11 is reduced, a vortex is generated in the vicinity of the connecting portion 11C.
  • the cross-sectional shape is gradually changed from a circular shape to a long hole without changing the cross-sectional area of the measurement flow channel 11-1, so that the flow of hydraulic oil is further stabilized and the generation of vortices occurs. Can be prevented.
  • substantially is a concept that includes not only a case where they are exactly the same but also errors and deformations that do not lose the identity.
  • substantially orthogonal is not limited to being strictly orthogonal, and is a concept including an error of, for example, several degrees.
  • orthogonal, parallel, coincidence, etc. not only strictly orthogonal, parallel, coincidence, etc. but also cases of substantially parallel, substantially orthogonal, substantially coincidence, etc. are included.
  • neighboring means including an area in a certain range (which can be arbitrarily determined) near the reference position.
  • a certain range which can be arbitrarily determined

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
  • Food Science & Technology (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Optical Measuring Cells (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

　高圧下で使用でき、かつ高い精度で作動油に含まれる不純物粒子を測定することができる。　筐体１０の対向する２つの面に開口する流路孔１１は、平面である側面１１Ｂａ、１１Ｂｂを有する。穴１２は側面１１Ｂａに開口し、穴１３は側面１１Ｂｂに開口する。光照射部２５Ａからの光は、中心軸Ｐと略直交する方向から、穴１２に設けられるセル２１を通して、流路孔１１の内部を流れる作動油に照射される。そして、作動油を通過した光は、側面１１Ｂｂに開口する穴１３に設けられるセル２１を通して、受光部２７Ａで受光される。

Description

測定装置
　本発明は、測定装置に関する。
　特許文献１には、オイル（作動油）等を流すための配管に対して光を照射する発光ダイオードと、流体の流路方向に沿って離間配置され、光の照射による流路の透過光を検出する２つの受光素子と、各受光素子の差動出力から流路に流れる不純物粒子の量を検出する検出部と、を具備し、作動油等に含まれるオイルダスト等の不純物粒子を測定する不純物粒子測定装置が開示されている。
特開２０１３－１４２６２６号公報
　特許文献１に記載の発明では、配管に、光透過性の材料、例えばガラスで形成されたガラス管を用いている。しかしながら、配管内を流れる作動油等の圧力が高くなった場合には、例えばガラス管を高強度のサファイアガラスで形成したとしても、ガラス管にひび割れ等が生じ、測定誤差が大きくなるおそれがある。
　本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、高圧下で使用でき、かつ高い精度で作動油に含まれる不純物粒子を測定することができる測定装置を提供することを目的とする。
　上記課題を解決するために、本発明に係る測定装置は、例えば、対向する２つの面を有する筐体であって、前記対向する２つの面に開口するとともに、対向する第１の側面と第２の側面とを有する流路孔と、一端が前記第１の側面に開口する第１の穴と、前記流路孔の中心軸を挟んで前記第１の穴と対向する第２の穴であって、一端が前記第２の側面に開口する第２の穴と、が形成された筐体と、前記第１の穴の内部に設けられる第１のセルであって、透明な材料で形成され、両端面が平面である略円筒形状の第１のセルと、前記第２の穴の内部に設けられる第２のセルであって、透明な材料で形成され、両端面が平面である略円筒形状の第２のセルと、前記中心軸と略直交する方向から、前記第１のセルを通して、前記流路孔の内部を流れる作動油に光を照射する光照射部と、前記第１のセル、前記流路孔及び前記第２のセルを挟んで前記光照射部と対向して設けられた受光部と、を備え、前記第１の穴及び前記第２の穴の中心は、前記光照射部から照射される光の中心である光軸と略一致することを特徴とする。
　本発明に係る測定装置によれば、対向する２つの面に中心軸が直交し、対向する第１の側面と第２の側面とを有する流路孔が、筐体に形成される。これにより、測定装置を高圧下で使用できる。
　また、本発明に係る測定装置によれば、光照射部からの光は、流路孔の中心軸と略直交する方向から、第１の側面に開口する第１の穴に設けられる第１のセルを通して流路孔の内部を流れる作動油に照射され、第１のセル、流路孔及び第２の側面に開口する第２の穴に設けられる第２のセルを挟んで光照射部と対向するように設けられた受光部で受光される。これにより、高い精度で作動油に含まれる不純物粒子を測定することができる。
　ここで、前記流路孔は、両端が丸穴であり、前記流路孔は、前記中心軸に略直交する面における形状を、丸穴から、前記光軸と略直交する２本の辺を有する長穴へと変化させるテーパ形状を有してもよい。これにより、測定孔を流れる作動油の流れを安定させ、測定精度を上げることができる。
　ここで、前記第１の側面及び前記第２の側面は平面であり、前記第１のセルは、前記第１の穴に設けられた状態において、前記第１のセルの端面が前記第１の側面と略同一平面上にあり、前記第２のセルは、前記第２の穴に設けられた状態において、前記第２のセルの端面が前記第２の側面と略同一平面上にあってもよい。これにより、渦の発生を減らすことができる。
　ここで、前記テーパ形状は、前記中心軸を挟んで対向する２本の線のなす角度が略６０度となるように形成されてもよい。これにより、測定孔を流れる作動油に渦が発生せず、流れを安定させることができる。
　ここで、前記第１の側面と前記第２の側面との距離は、前記第１の側面及び前記第２の側面の前記中心軸と略直交する方向の長さより小さくてもよい。これにより、光照射部と受光部との距離を短くし、測定精度を上げることができる。
　ここで、前記セルは、略円筒形状の本体部と、前記本体部の端に形成された前記本体部より直径の大きい略厚肉円板形状のフランジ部と、を有し、前記穴と、前記本体部との間には、シール部材が設けられ、前記筐体には、前記セルを押圧する押さえ部材が設けられ、前記押さえ部材が前記筐体に設けられると、前記フランジ部の前記本体部側の端面が前記筐体に押圧されてもよい。これにより、振動、流量変動、圧力変動等が発生した場合にも測定精度を向上させることができる。
　本発明によれば、高圧下で使用でき、かつ高い精度で作動油に含まれる不純物粒子を測定することができる。
本発明の一例である汚染度測定装置１が設けられた装置１００の概略を示す図である。 汚染度測定装置１の概略を示す断面図である。 筐体１０の斜視図である。 図３に示す面Ａにおける筐体１０の断面図である。 図３に示す面Ｂにおける筐体１０の断面図である。 図５のＣ－Ｃ断面図である。 角度θが略６０度の連結部１１Ｃを有する（本実施の形態）場合の、作動油の流れを模式的に示す図である。 角度θが略１２０度の連結部１１Ｃ’を有する場合（比較例）の、作動油の流れを模式的に示す図である。 連結部が無い場合（比較例）の、作動油の流れを模式的に示す図である。 筐体１０－１の概略を示す断面図である。 誘導部１１Ｄの形状を説明する図である。 図１１のＤ矢視である。
　以下、本発明の実施形態を、図面を参照して詳細に説明する。汚染度測定装置１は、建設機械、油圧機器等の、作動油を用いて所望の動作を行う装置１００に設けられる。
　図１は、装置１００の概略を示す図である。装置１００は、測定対象である作動油が流れる流路であるメイン流路１０１及びバイパス流路１０２が形成された筐体１０３を有する。汚染度測定装置１は、バイパス流路１０２を含むように、装置１００内の所望の位置に設けられる。
　図１の太矢印は、装置１００内の作動油の流れを示す。作動油は、メイン流路１０１内を－ｘ方向から＋ｘ方向に向けて流れている。メイン流路１０１内を流れている作動油のうちの一部は、バイパス流路１０２に流れ込み、汚染度測定装置１に供給される。汚染度測定装置１から流出した作動油は、バイパス流路１０２を通ってメイン流路１０１に戻る。
　図２は、汚染度測定装置１の概略を示す断面図である。汚染度測定装置１は、主として、筐体１０と、ガラスセル２１と、Ｏリング２２と、プラグ２３と、パッキン２４と、発光部基板２５と、プラグ２６と、受光部基板２７と、ブロック２８と、を有する。なお、図３においては、断面を示すハッチングを一部省略している。
　筐体１０は、例えば、金属（例えば、鉄、アルミニウム等）で形成された略矩形形状の部材である。筐体１０のボディ１０Ａ（図３～６参照）には、主として、測定対象である作動油を流すための測定流路１１と、測定流路１１に光を導入及び導出するための窓となる孔１２、１３と、プラグ２３を取り付ける穴１４と、プラグ２６を取り付ける穴１５と、が形成される。
　測定流路１１は、ボディ１０Ａの－ｘ側の側面と＋ｘ側の側面とに開口部を有する。測定流路１１の中心軸Ｐは、－ｘ側の側面と＋ｘ側の側面とに直交する。測定流路１１は、中心軸Ｐに沿った平面である側面Ｂａと側面Ｂｂとを有する。
　孔１２、１３は、それぞれ、中心軸Ｐを挟んで対向するように形成される。孔１２、１３の一端は、測定流路１１に開口する。孔１２と穴１４とは連結しており、孔１３と穴１５とは連結している。孔１２、１３及び穴１４、１５の中心は、中心軸Ｐと略直交する。
　なお、筐体１０の形状は、略矩形形状に限られない。測定流路１１が開口する対向する２つの面を有していれば、筐体１０の形状はどのような形状でもよい。筐体１０については、後に詳述する。
　ガラスセル２１は、光透過性の材料（例えば、ガラス）で形成された略円筒形状の部材である。ガラスセル２１は、略円筒形状の本体部２１Ａと、本体部２１Ａより大きい直径を有する略厚肉円板形状のフランジ部２１Ｂと、を有する。ガラスセル２１は、孔１２、１３に設けられる。孔１２、１３は測定流路１１に向けて開口しているため、孔１２、１３に設けられたガラスセル２１の端面２１ａは、測定流路１１内を流れる作動油に直接触れる。また、孔１２、１３に設けられたガラスセル２１の端面２１ａは、測定流路１１の側面１１Ｂａ、１１Ｂｂと略同一平面上である。
　ガラスセル２１の端面２１ａが、側面１１Ｂａ、１１Ｂｂと略同一平面にあることで、ガラスセル２１の周囲で、測定流路１１を流れる作動油に渦が発生することを防止することができる。
　Ｏリング２２は、例えば断面が略円形の環状パッキンである。Ｏリング２２は、ガラスセル２１を孔１２、１３に設けるときに、孔１２、１３とガラスセル２１との間に設けられる。Ｏリング２２は、孔１２、１３とガラスセル２１との間で弾性変形することで、孔１２、１３とガラスセル２１との間から作動油が漏れないようにするシール部材として機能する。
　プラグ２３は、金属（例えば、アルミニウム）で形成された略円筒形状の部材である。プラグ２３の外周には、ネジ２３Ａが形成される。ネジ２３Ａを、穴１４の内周に形成されたネジ１４Ａと螺合させると、プラグ２３が筐体１０に取り付けられる。
　プラグ２３には、フランジ部２１Ｂの直径と略同一の直径を有する凹部２３Ｂが形成される。凹部２３Ｂには、フランジ部２１Ｂが嵌合する。
　パッキン２４は、金属（例えば、黄銅）で形成された略中空円板形状の部材である。パッキン２４は、凹部２３Ｂとフランジ部２１Ｂとの間に設けられる。ネジ２３Ａをネジ１４Ａと螺合させてプラグ２３を筐体１０に取り付けると、プラグ２３が、パッキン２４を介してフランジ部２１Ｂの端面２１ｂを押圧する。その結果、フランジ部２１Ｂの本体部２１Ａ側の端面２１ｃがボディ１０Ａに押圧される。端面２１ｃとボディ１０Ａとの当接面は略円板形状であり、ガラスセル２１は面で支えられる。これにより、ガラスセル２１を孔１２にしっかりと固定することができる。
　なお、パッキン２４は必須ではなく、プラグ２３が直接フランジ部２１Ｂを押圧してもよい。
　発光部基板２５には、光を照射する発光部（例えば、ＬＥＤ）２５Ａが設けられる。発光部２５Ａから照射された光は、孔１２に設けられたガラスセル２１を通過して、測定流路１１内を流れる作動油に照射される。
　発光部基板２５は、ネジを用いてプラグ２３に取り付けられる。発光部２５Ａは、プラグ２３に形成された孔２３Ｃに挿入されることで、発光部２５Ａから照射される光の中心である光軸Ｏが、孔１２、１３の中心軸と略一致するように位置決めされる。また、発光部２５Ａは、フランジ部２１Ｂに隣接して設けられる。
　発光部２５Ａから照射された光は、平面であるガラスセル２１の端面２１ａと直交する方向からガラスセル２１へ入射する。そのため、発光部２５Ａから照射された光が端面２１ａで拡散せず、ガラスセル２１の中心軸（光軸Ｏと略一致）に沿ってガラスセル２１内を光が通過する。また、ガラスセル２１の端面２１ｂも平面であるため、ガラスセル２１内を通過した光も、端面２１ｂと直交する方向に出射する。したがって、発光部２５Ａからの照射された光は、拡散せずに測定流路１１内の作動油に照射される。
　プラグ２６は、プラグ２３と同様に、金属（例えば、アルミニウム）で形成された略円筒形状の部材である。プラグ２６の外周には、ネジ２６Ａが形成される。ネジ２６Ａを、穴１５の内周に形成されたネジ１５Ａと螺合させると、プラグ２６が筐体１０に取り付けられる。
　プラグ２６には、フランジ部２１Ｂの直径と略同一の直径を有する凹部２６Ｂが形成される。凹部２６Ｂには、フランジ部２１Ｂが嵌合する。
　ネジ２６Ａをネジ１５Ａと螺合させてプラグ２６を筐体１０に取り付けると、プラグ２６が、パッキン２４を介してフランジ部２１Ｂを押圧する。その結果、フランジ部２１Ｂの端面２１ｃがボディ１０Ａに押圧される。これにより、ガラスセル２１を孔１３に固定することができる。なお、孔１３とガラスセル２１との位置関係及びガラスセル２１の孔１３への取り付け方法は、孔１２とガラスセル２１との位置関係及びガラスセル２１の孔１２への取り付け方法と同一である。
　受光部基板２７には、光の照射による透過光を検出するための受光素子２７Ａが設けられる。受光素子２７Ａは、例えばフォトダイオード（ＰＤ）であり、測定流路１１及びガラスセル２１を挟んで発光部２５Ａと対向して設けられる。また、受光素子２７Ａは、光軸Ｏ上に設けられる。
　発光部２５Ａから照射され、測定流路１１内の作動油に含まれる不純物粒子で反射されなかった光は、端面２１ｂと直交する方向からガラスセル２１に入射する。また、ガラスセル２１内を通過した光も、端面２１ａと直交する方向に出射する。したがって、発光部２５Ａから照射され、測定流路１１内の作動油に含まれる不純物粒子で反射されなかった光（作動油を通過した光）は、大部分が受光素子２７Ａで受光される。
　受光部基板２７は、ネジを用いてブロック２８に取り付けられる。ブロック２８は、筐体１０３にネジ止め等により固定される。なお、受光部基板２７の取り付けはこれに限定されず、例えばプラグ２６にネジ止めしてもよい。
　次に、筐体１０について詳細に説明する。図３は、筐体１０の斜視図である。ボディ１０Ａには、ボディ１０Ａを－ｘ側の面から＋ｘ側の面に向けて貫通するように、測定流路１１が形成される。また、ボディ１０Ａの＋ｙ側の面には、穴１４が形成され、ボディ１０Ａの－ｙ側の面には、穴１５が形成される。以下、測定流路１１について詳細に説明する。
　図４は、図３に示す面Ａにおける筐体１０の断面図である。図５は、図３に示す面Ｂにおける筐体１０の断面図である。図６は、図５のＣ－Ｃ断面図である。
　測定流路１１は、両端に形成された略円筒形状のネジ部１１Ａと、ｙｚ平面と略平行な面で切断したときの形状が長穴である長穴部１１Ｂと、ネジ部１１Ａと長穴部１１Ｂとをなだらかに連結する連結部１１Ｃと、を有する。
　ネジ部１１Ａは、他の部品、例えば断面が略円形の流路を持つ継ぎ手が連結される。－ｘ側に設けられるネジ部１１Ａは、作動油が測定流路１１に流入する流入部であり、＋ｘ側に設けられるネジ部１１Ａは、作動油が測定流路１１から流出する流出部である。
　長穴部１１Ｂは、側面１１Ｂａ、１１Ｂｂを有する。側面１１Ｂａ、１１Ｂｂは、長手方向がｘ方向に略沿った平面であり（図４参照）、中心軸Ｐを挟んで対向する（図５、６参照）。側面１１Ｂａには孔１２の一端が開口しており、側面１１Ｂｂには孔１３（孔１３は図４で図示せず）の一端が開口している。
　長穴部１１Ｂは、図６に示すように、測定流路１１の中心軸Ｐに略直交する面における断面形状（以下、断面形状という。）が長穴である。長穴部１１Ｂは、中心軸Ｐに略直交する面において、光軸Ｏに略直交する方向（ｚ方向）に沿った２本の直線状の辺１１ａ、１１ｂと、辺１１ａ、１１ｂを結ぶ曲線状の辺１１ｃと、を有する。辺１１ａは、側面１１Ｂａの一部であり、辺１１ｂは側面１１Ｂｂの一部である。
　本実施の形態では、辺１１ａ、１１ｂの長さｌ１は略１１ｍｍであり、長穴部１１Ｂの幅ｌ２は略１４ｍｍであり、長穴部１１Ｂの厚さ（辺１１ａと辺１１ｂとの距離）ｔは略３ｍｍである。このように、長穴部１１Ｂの厚さｔの値は、辺１１ａ、１１ｂの長さ（側面１１Ｂａ、１１Ｂｂの中心軸Ｐと略直交する方向の長さ）ｌ１の値や長穴部１１Ｂの幅ｌ２の値に比べて、十分に小さい。
　連結部１１Ｃは、テーパ形状を有し、ネジ部１１Ａの断面形状である丸穴から、長穴部１１Ｂの断面形状である長穴へと、流路の断面形状を徐々に変化させる。
　連結部１１Ｃは、略円錐形状である。図４に示すように、連結部１１Ｃと長穴部１１Ｂとを連結する孔の面Ａにおける形状は、筐体１０の中心に向けて凸となる略三角形である。
　長穴部１１Ｂの幅ｌ２は、ネジ部１１Ａの直径と略同一である。なお、ネジ部１１Ａの直径が長穴部１１Ｂの幅ｌ２以上であればよく、長穴部１１Ｂの幅ｌ２と略同一の場合には限定されない。
　連結部１１Ｃは、中心軸Ｐを含む面である面Ａ及び面Ｂにおいて、中心軸Ｐを挟んで対向する２本の線のなす角度θが略６０度となるように形成される。角度θについては、後に詳述する。
　このように形成された汚染度測定装置１の作用について、図２を用いて説明する。図２において、黒塗りの矢印は作動油の流れを示し、白抜きの矢印は光の経路を示す。
　作動油は、筐体１０の－ｘ側に形成されたネジ部１１Ａである流入部から汚染度測定装置１内に流入する。流入部から流入した作動油は、連結部１１Ｃを通って長穴部１１Ｂに流入する。
　長穴部１１Ｂに流入した作動油は、長穴部１１Ｂ内を下流へ（－ｘから＋ｘへ向かう方向へ）流れ、筐体１０の＋ｘ側に形成されたネジ部１１Ａである流出部から、汚染度測定装置１の外へ流出する。
　長穴部１１Ｂ内を下流へ流れる作動油には、発光部２５Ａから光が照射される。発光部２５Ａから照射された光は、端面２１ｂからガラスセル２１内に入射し、ガラスセル２１内を通って、端面２１ａから測定流路１１内の作動油へ入射する。測定流路１１を通った光は、端面２１ａからガラスセル２１内に入射し、ガラスセル２１内を通って、端面２１ｂから出射する。受光素子２７Ａは、端面２１ｂから出射した光を受光する。
　本実施の形態では、発光部２５Ａから連続して光が照射される。そして、受光素子２７Ａは、連続して光を受光する。受光素子２７Ａの出力信号はアンプにより増幅され、増幅された信号に基づいて測定流路１１内を流れる作動油に含まれる不純物粒子の量を測定する。不純物粒子の量を測定する方法は、すでに様々な技術が公知であるため、説明を省略する。受光素子２７Ａの出力信号の処理は、汚染度測定装置１に設けられた図示しない電気回路またはマイコンを用いて行ってもよいし、汚染度測定装置１以外の装置で行ってもよい。
　受光素子２７Ａは、連続して光を受光するため、測定流路１１を流れる作動油の流れが乱れると測定精度が下がってしまう。本実施の形態のように、角度θが略６０度の連結部１１Ｃを用いることで、作動油の流れを安定させ、測定精度を高くすることができる。以下、この点について詳細に説明する。
　図７は、角度θが略６０度の連結部１１Ｃを有する（本実施の形態）場合の、作動油の流れを模式的に示す図である。図８は、角度θが略１２０度の連結部１１Ｃ’を有する場合（比較例）の、作動油の流れを模式的に示す図である。図９は、連結部が無い場合（比較例）の、作動油の流れを模式的に示す図である。図７～９の差異は、連結部のみである。図７～９に示す線は、作動油の流れをシミュレーションしたときの流跡線を示す。
　なお、図７～９においては、ネジ部１１Ａを介して、測定流路１１の左側にネジ部１１Ａより細い配管が設けられているが、この配管の直径はこれに限られない。
　図７に示すように、角度θが略６０度の場合には、連結部１１Ｃの周囲に渦が発生するが、光軸Ｏの近傍では渦が発生していない。それに対し、図８に示すように、角度θが略１２０度の場合には、連結部１１Ｃの周囲から下流に向けて、長穴部１１Ｂの両端近傍に連続して渦が発生している。さらに、図９に示す場合には、長穴部１１Ｂの中央部（中心軸Ｐの近傍）にも渦が発生してしまう。
　渦が発生すると、作動油に含まれる不純物粒子の動きも乱れるため、同一の不純物粒子が複数回測定される可能性がある。したがって、測定精度を上げるためには、渦ができるだけ発生しないようにすることが望ましい。
　図８に示す場合は、渦の発生が長穴部１１Ｂの両端近傍のみであるため、流路を更に長くすることで、測定誤差が無視できる程度にまで渦が小さくなる。しかしながら、図９に示すように、連結部が無い場合には、たとえ流路を長くしたとしても渦の発生は無くならず、不純物粒子を測定することができない。
　以上より、ネジ部１１Ａと長穴部１１Ｂとの間に、流路の断面形状を徐々に変化させるためのテーパ形状を有する連結部１１Ｃ、１１Ｃ’を設ける必要がある。そして、連結部以外の位置で渦が発生しないようにするためには、そのテーパ形状の角度θは、略６０度とすることが望ましい。
　本実施の形態によれば、筐体１０に直接測定流路１１を形成するため、汚染度測定装置１を高圧下で使用することができる。例えば、測定流路にガラス管を用いる場合には、配管内を流れる作動油等の圧力が高くなった場合に、測定流路にひび割れ等が生じるおそれがある。それに対し、筐体１０に測定流路１１となる孔を形成することで、高圧下でも測定流路１１にひび割れ等が生じないようにすることができる。
　また、本実施の形態では、測定流路１１へ光を導入及び導出するための窓として、略円筒形状のガラスセル２１を用いているため、汚染度測定装置１を高圧下で使用することができる。例えば、測定流路にガラス管を用いる場合には、ガラス管は曲面を有するため、耐圧性が低い。それに対し、ガラスセル２１は、端面が平面である上、厚みがあって丈夫である。したがって、高圧下でもガラスセル２１にひび割れ等が生じないようにすることができる。
　また、本実施の形態では、発光部２５Ａから受光素子２７Ａに向かう光路上に曲面が無いため、高い精度で作動油に含まれる不純物粒子を測定することができる。例えば、測定流路にガラス管を用いる場合には、ガラス管が曲面であるため、ガラス管の表面で光が様々な方向に屈折してしまう。それに対し、発光部２５Ａから照射された光は、平面であるガラスセル２１の端面と直交する方向に沿って入射又は出射するので、発光部２５Ａからの照射された光が拡散せず、そのまま測定流路１１内の作動油に照射される。そのため、測定精度を高くすることができる。
　また、本実施の形態では、長穴部１１Ｂの厚さが狭いため、光路、すなわち発光部２５Ａと受光素子２７Ａとの距離が短くなり、測定精度を高くすることができる。
　また、本実施の形態によれば、測定流路１１の断面形状を丸穴から長穴へと変化させるテーパ形状を有する連結部１１Ｃを設けることで、作動油の流れを安定させ、測定精度を高くすることができる。
　また、本実施の形態によれば、ガラスセル２１の端面２１ａが、測定流路１１の側面１１Ｂａ、１１Ｂｂと略同一平面にあることで、ガラスセル２１の周囲で、測定流路１１を流れる作動油に渦が発生することを防止し、測定精度を向上させることができる。例えば、ガラスセル２１が測定流路１１内に突出している場合には、測定流路１１内を流れる作動油がガラスセル２１に当たって、渦が発生する。それに対し、端面２１ａが側面１１Ｂａ、１１Ｂｂと略同一平面上にある場合には、作動油の流れがガラスセル２１で妨げられず、ガラスセル２１の周囲、すなわち光軸Ｏの近傍で渦が発生しない。そのため、測定精度を高くすることができる。
　また、本実施の形態によれば、ガラスセル２１を筐体１０に取り付けるときにフランジ部２１Ｂの端面２１ｃを筐体１０に当接させることで、対振動性を向上させることができる。例えば、測定流路にガラス管を用いる場合には、ガラス管の周囲を固定するため、汚染度測定装置１が振動すると、ガラス管が汚染度測定装置１よりも激しく振動してしまうおそれがある。それに対し、ガラスセル２１と筐体１０とが面で接する場合には、ガラスセル２１を強い力で筐体１０に押圧することができる。そのため、汚染度測定装置１が振動したとしても、ガラスセル２１が汚染度測定装置１に対して振動しにくい（対振動性の向上）。また、ガラスセル２１と筐体１０とが面で接するため、測定流路１１を流れる作動油に流量変動や圧力変動が生じたとしても、ガラスセル２１が振動しにくい。その結果、測定精度を向上させることができる。
　なお、本実施の形態では、測定流路１１の中心軸Ｐに略直交する面において、長穴部１１Ｂの厚さｔ（略３ｍｍ）が、辺１１ａ、１１ｂの長さｌ１（略１１ｍｍ）や長穴部１１Ｂの幅ｌ２（略１４ｍｍ）に比べて十分に小さいが、長穴部１１Ｂの断面形状はこれに限定されない。例えば、長穴部１１Ｂの厚さｔは、略３ｍｍより厚くてもよい。ただし、測定精度を高くするためには、光路が短くなるように、長穴部１１Ｂの厚さｔをできるだけ小さくすることが望ましい。
　また、本実施の形態では、長穴部１１Ｂの断面形状が、光軸Ｏに略直交する方向（ｚ方向）に沿った２本の直線状の辺１１ａ、１１ｂを有する長穴であるが、長穴部１１Ｂの断面形状はこれに限られない。例えば、長穴部の断面形状は略矩形形状でもよい。ただし、光路を短くするためには、長穴部のｙ方向（光軸Ｏに沿った方向）の長さが、長穴部のｚ方向の長さより短くすることが望ましい。
　また、例えば、長穴部の断面形状は、略楕円形状でもよい。この場合には、略楕円形状の短軸をｙ方向と略平行とし、長軸をｚ方向と略平行とし、＋ｙ側の部分と、－ｙ側の部分とをそれぞれ長穴部の側面とすればよい。ただし、長穴部の側面は湾曲しているため、ガラスセル２１の一部が長穴部の側面から突出する。しかしながら、楕円の形状によっては、ガラスセル２１の突出量が小さいため、渦が発生したとしても測定精度に影響が無い程度とすることができる。ただし、渦の発生を無くすためには、長穴部の断面形状を長穴とすることが望ましい。
　また、本実施の形態では、測定流路１１がネジ部１１Ａと長穴部１１Ｂと連結部１１Ｃとを有したが、測定流路１１の形状はこれに限られない。例えば、バイパス流路１０２の断面形状を長穴とするのであれば、測定流路を長穴部１１Ｂのみとしてもよい。しかしながら、バイパス流路１０２の断面形状が丸孔の場合には、長穴部１１Ｂの両端に連結部１１Ｃを形成することが望ましい。
　＜第２の実施の形態＞
　本発明の第１の実施の形態では、測定流路１１がネジ部１１Ａと長穴部１１Ｂと連結部１１Ｃとを有し、ネジ部１１Ａ（測定流路１１の両端）の丸穴の直径が長穴部１１Ｂの幅と略同一であるが、測定流路１１の形状はこれに限られない。
　本発明の第１の実施の形態は、測定流路１１の両端の丸穴の直径が、長穴部１１Ｂの幅より小さい形態である。以下、第２の実施の形態にかかる汚染度測定装置２について説明する。なお、第１の実施の形態と同一の部分については、同一の符号を付し、説明を省略する。
　汚染度測定装置２は、主として、筐体１０－１と、ガラスセル２１と、Ｏリング２２と、プラグ２３と、パッキン２４と、発光部基板２５と、プラグ２６と、受光部基板２７と、ブロック２８と、を有する。
　図１０は、筐体１０－１の概略を示す断面図である。筐体１０－１は、金属（例えば、アルミニウム）で形成された略矩形形状の部材である。筐体１０のボディ１０Ａ－１には、主として、測定流路１１－１と、孔１２、１３と、穴１４と、穴１５と、が形成される。
　測定流路１１－１は、主として、長穴部１１Ｂと、長穴部１１Ｂの両端に設けられた誘導部１１Ｄと、を有する。
　誘導部１１Ｄは、一端が長穴部１１Ｂと連結され、他端が筐体１０－１の端面に開口している。筐体１０－１の端面に開口している開口部の形状は、略円形である。誘導部１１Ｄは、流路の断面形状を、丸穴から、長穴部１１Ｂの断面形状である長穴へと徐々に変化させるテーパ形状を有する。－ｘ側に設けられる誘導部１１Ｄは、作動油が測定流路１１－１に流入する流入部であり、＋ｘ側に設けられる誘導部１１Ｄは、作動油が測定流路１１－１から流出する流出部である。
　図１１、１２は、誘導部１１Ｄの形状を説明する図である。図１１は断面図であり、図１２は図１１のＤ矢視である。図１２では、ボディ１０Ａ－１の図示を省略している。
　筐体１０－１の端面に開口している開口部１１ｄは、丸穴であり、その直径は長穴部１１Ｂの幅ｌ２より小さく、長穴部１１Ｂの厚さｔより大きい。誘導部１１Ｄの中心軸Ｐを挟んで対向する２本の線のなす角度θは、第１の実施の形態と同様に、略６０度である。
　本実施の形態によれば、円管を徐々に長穴にするため、測定流路１１－１を流れる作動油に渦が発生せず、流れを安定させることができる。その結果、高い精度で作動油に含まれる不純物粒子を測定することができる。例えば、第１の実施の形態では、測定流路１１の断面積を小さくしていくため、連結部１１Ｃの近傍で渦が発生してしまう。それに対し、本実施の形態では、測定流路１１－１の断面積をあまり変化させずに、断面形状を円形から長穴に徐々に変えるため、作動油の流れをより安定させ、渦の発生を防止することができる。
　以上、この発明の実施形態を、図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。例えば、上記の実施例は本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、実施形態の構成の一部を他の実施形態の構成に置き換えることが可能であり、また、実施形態の構成に他の構成の追加、削除、置換等をすることが可能である。
　また、本発明において、「略」とは、厳密に同一である場合のみでなく、同一性を失わない程度の誤差や変形を含む概念である。例えば、「略直交」とは、厳密に直交の場合には限られず、例えば数度程度の誤差を含む概念である。また、例えば、単に直交、平行、一致等と表現する場合において、厳密に直交、平行、一致等の場合のみでなく、略平行、略直交、略一致等の場合を含むものとする。
　また、本発明において「近傍」とは、基準となる位置の近くのある範囲（任意に定めることができる）の領域を含むことを意味する。例えば、端近傍という場合に、端の近くのある範囲の領域であって、端を含んでもいても含んでいなくてもよいことを示す概念である。
１、２　　　　　　：汚染度測定装置
１０、１０－１　　：筐体
１０Ａ、１０Ａ－１：ボディ
１１、１１－１　　：測定流路
１１Ａ　　　　　　：ネジ部
１１Ｂ　　　　　　：長穴部
１１Ｂａ、１１Ｂｂ：側面
１１Ｃ　　　　　　：連結部
１１Ｃ’　　　　　：連結部
１１Ｄ　　　　　　：誘導部
１１ａ、１１ｂ　　：辺
１１ｃ　　　　　　：辺
１１ｄ　　　　　　：開口部
１２、１３　　　　：孔
１４　　　　　　　：穴
１４Ａ　　　　　　：ネジ
１５　　　　　　　：穴
１５Ａ　　　　　　：ネジ
２１　　　　　　　：ガラスセル
２１Ａ　　　　　　：本体部
２１Ｂ　　　　　　：フランジ部
２１ａ、２１ｂ　　：端面
２２　　　　　　　：Ｏリング
２３　　　　　　　：プラグ
２３Ａ　　　　　　：ネジ
２３Ｂ　　　　　　：凹部
２３Ｃ　　　　　　：孔
２４　　　　　　　：パッキン
２５　　　　　　　：発光部基板
２５Ａ　　　　　　：発光部
２６　　　　　　　：プラグ
２６Ａ　　　　　　：ネジ
２６Ｂ　　　　　　：凹部
２７　　　　　　　：受光部基板
２７Ａ　　　　　　：受光素子
２８　　　　　　　：ブロック
１００　　　　　　：装置
１０１　　　　　　：メイン流路
１０２　　　　　：バイパス流路
１０３　　　　　　：筐体
 

Claims (6)

  1. 　対向する２つの面を有する筐体であって、前記２つの面に開口するとともに、対向する第１の側面と第２の側面とを有する流路孔と、一端が前記第１の側面に開口する第１の穴と、前記流路孔の中心軸を挟んで前記第１の穴と対向する第２の穴であって、一端が前記第２の側面に開口する第２の穴と、が形成された筐体と、
    　前記第１の穴の内部に設けられる第１のセルであって、透明な材料で形成され、両端面が平面である略円筒形状の第１のセルと、
    　前記第２の穴の内部に設けられる第２のセルであって、透明な材料で形成され、両端面が平面である略円筒形状の第２のセルと、
    　前記中心軸と略直交する方向から、前記第１のセルを通して、前記流路孔の内部を流れる作動油に光を照射する光照射部と、
    　前記第１のセル、前記流路孔及び前記第２のセルを挟んで前記光照射部と対向して設けられた受光部と、
    　を備え、
    　前記第１の穴及び前記第２の穴の中心は、前記光照射部から照射される光の中心である光軸と略一致する
    　ことを特徴とする測定装置。
  2. 　請求項１に記載の測定装置であって、
    　前記流路孔は、両端が丸穴であり、
    　前記流路孔は、前記中心軸に略直交する面における形状を、丸穴から、前記光軸と略直交する２本の辺を有する長穴へと変化させるテーパ形状を有する
    　ことを特徴とする測定装置。
  3. 　請求項１又は２に記載の測定装置であって、
    　前記第１の側面及び前記第２の側面は平面であり、
    　前記第１のセルは、前記第１の穴に設けられた状態において、前記第１のセルの端面が前記第１の側面と略同一平面上にあり、
    　前記第２のセルは、前記第２の穴に設けられた状態において、前記第２のセルの端面が前記第２の側面と略同一平面上にある
    　ことを特徴とする測定装置。
  4. 　請求項２に記載の測定装置であって、
    　前記テーパ形状は、前記中心軸を含む面において、前記中心軸を挟んで対向する２本の線のなす角度が略６０度となるように形成される
    　ことを特徴とする測定装置。
  5. 　請求項１から４のいずれか一項に記載の測定装置であって、
    　前記第１の側面と前記第２の側面との距離は、前記第１の側面及び前記第２の側面の前記中心軸と略直交する方向の長さより小さい
    　ことを特徴とする測定装置。
  6. 　請求項１から４のいずれか一項に記載の測定装置であって、
    　前記セルは、略円筒形状の本体部と、前記本体部の端に形成された前記本体部より直径の大きい略厚肉円板形状のフランジ部と、を有し、
    　前記穴と、前記本体部との間には、シール部材が設けられ、
    　前記筐体には、前記セルを押圧する押さえ部材が設けられ、
    　前記押さえ部材が前記筐体に設けられると、前記フランジ部の前記本体部側の端面が前記筐体に押圧される
    　ことを特徴とする測定装置。
     
     
PCT/JP2016/066165 2015-06-12 2016-06-01 測定装置 WO2016199636A1 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201680031407.8A CN107735669A (zh) 2015-06-12 2016-06-01 测定装置
US15/823,963 US10466226B2 (en) 2015-06-12 2017-11-28 Measuring device

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015118980A JP2017003482A (ja) 2015-06-12 2015-06-12 測定装置
JP2015-118980 2015-06-12

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
US15/823,963 Continuation US10466226B2 (en) 2015-06-12 2017-11-28 Measuring device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2016199636A1 true WO2016199636A1 (ja) 2016-12-15

Family

ID=57503446

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2016/066165 WO2016199636A1 (ja) 2015-06-12 2016-06-01 測定装置

Country Status (4)

Country Link
US (1) US10466226B2 (ja)
JP (1) JP2017003482A (ja)
CN (1) CN107735669A (ja)
WO (1) WO2016199636A1 (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013057782A1 (ja) 2011-10-17 2013-04-25 株式会社東芝 符号化方法及び復号方法
CN111272986B (zh) * 2020-04-08 2020-10-30 山东鼎程化工科技有限公司 一种液压阀内液压油酸性检测设备
US11674536B2 (en) 2020-12-14 2023-06-13 Caterpillar Inc. Guide element for hydraulic fluid

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61189251U (ja) * 1985-05-17 1986-11-26
JPS62123549U (ja) * 1986-01-27 1987-08-05
JPS62215843A (ja) * 1985-12-10 1987-09-22 ハイ　イ−ルド　テクノロジ− ウエハ処理装置用の粒子検出器
JPS6395341A (ja) * 1986-10-13 1988-04-26 Kowa Co 液中微粒子測定装置
JP2009162712A (ja) * 2008-01-10 2009-07-23 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 浮遊粒子状物質測定装置
JP2013142626A (ja) * 2012-01-11 2013-07-22 Yamashin-Filter Corp 不純物粒子測定装置

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4260258A (en) * 1978-08-14 1981-04-07 Pacific Scientific Company Compact, rugged sensor for optical measurement of the size of particles suspended in a fluid
USRE33213E (en) 1985-12-10 1990-05-08 High Yield Technology Light scattering particle detector for wafer processing equipment
EP0231542B1 (en) 1985-12-10 1990-09-26 High Yield Technology Particle detector for wafer processing equipment and method of detecting a particle
US4739177A (en) 1985-12-11 1988-04-19 High Yield Technology Light scattering particle detector for wafer processing equipment

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61189251U (ja) * 1985-05-17 1986-11-26
JPS62215843A (ja) * 1985-12-10 1987-09-22 ハイ　イ−ルド　テクノロジ− ウエハ処理装置用の粒子検出器
JPS62123549U (ja) * 1986-01-27 1987-08-05
JPS6395341A (ja) * 1986-10-13 1988-04-26 Kowa Co 液中微粒子測定装置
JP2009162712A (ja) * 2008-01-10 2009-07-23 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 浮遊粒子状物質測定装置
JP2013142626A (ja) * 2012-01-11 2013-07-22 Yamashin-Filter Corp 不純物粒子測定装置

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
MASANORI ISHIZUKA: "The Cleanliness Sensor of Hydraulic Oil", JOURNAL OF THE JAPAN FLUID POWER SYSTEM SOCIETY, March 2015 (2015-03-01) *

Also Published As

Publication number Publication date
US20180080862A1 (en) 2018-03-22
US10466226B2 (en) 2019-11-05
CN107735669A (zh) 2018-02-23
JP2017003482A (ja) 2017-01-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2016199636A1 (ja) 測定装置
CN105879939B (zh) 一种快速化在线检测化学需氧量的微流控芯片系统
CN104111219A (zh) 粒子分析装置及其制造方法
CN103969170A (zh) 具有集成光学器件的微成型血细胞计数器卡
JP2018169400A (ja) 血液沈降速度およびそれに関連する他のパラメータを決定する装置および方法
JP7469685B2 (ja) 光散乱検出器及び光散乱検出器のための方法
KR20150098586A (ko) 차압식 유량계 및 그것을 구비한 유량 컨트롤러
US9857281B2 (en) Apparatus and method for determining sizes of particles in a fluid
CN101634622B (zh) 用于粒子计数器的侧向散射光传感装置
JP6264741B2 (ja) 分光分析装置
US8368894B2 (en) Full-flow sensor for contamination in fluids
KR20190023438A (ko) 광섬유를 이용한 유세포 분석 시스템
CN109916282A (zh) 一种基于光纤传感的结构变形装置及其检测方法
CN105842131A (zh) 光学分析用单元和使用了其的粒径分布测定装置
US3333107A (en) Optical analyzing apparatus having rectilinear light source and flattened-ellipse shaped fluid cell
WO2017033501A1 (ja) 液体センサ
CN108934176B (zh) 超声波流量计
JP2021103171A (ja) フローセルユニット
CN204177742U (zh) 一种用于测量波长透射率的装置
JP2019027895A (ja) 流路部材および微粒子計測器
KR101838049B1 (ko) 초음파 유량 측정 장치 및 초음파 유량 측정 장치의 정렬방법
US20240133800A1 (en) Flow cell and concentration measuring device
JP7307495B2 (ja) 光散乱検出器及び光散乱検出器のサンプルセル
US20240159654A1 (en) Measuring cell for performing optical measurements
ATE123567T1 (de) Vorrichtung zur messung des fluidfusses in einem strömungskanal.

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 16807343

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 16807343

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1