WO2016143493A1 - レーザ装置及びその製造方法 - Google Patents

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WO2016143493A1
WO2016143493A1 PCT/JP2016/055070 JP2016055070W WO2016143493A1 WO 2016143493 A1 WO2016143493 A1 WO 2016143493A1 JP 2016055070 W JP2016055070 W JP 2016055070W WO 2016143493 A1 WO2016143493 A1 WO 2016143493A1
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heat sink
laser
manufacturing
laser device
bonding agent
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Inventor
山本　修平
充輝 二見
一貴 池田
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三菱電機株式会社
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    • H01S3/02—Constructional details
    • H01S3/04—Arrangements for thermal management
    • H01S3/042—Arrangements for thermal management for solid state lasers
    • H—ELECTRICITY
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    • H01S3/06—Construction or shape of active medium
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    • H01S3/091—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping
    • H01S3/094—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by coherent light
    • H01S3/0941—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by coherent light of a laser diode

Definitions

  • the present invention relates to a laser device suitable for a light source such as a projector and a method for manufacturing the same.
  • a planar waveguide laser device allows a laser medium to function as a waveguide by sandwiching the upper and lower surfaces of a laser medium on a thin flat plate extending in the laser beam traveling direction with a clad having a refractive index lower than that of the laser medium. It has a structure. Since this planar waveguide laser device has a thin waveguide and a high excitation density, and a large gain can be obtained even when the stimulated emission cross-sectional area of the laser medium is small, a highly efficient oscillation operation can be realized. Furthermore, by expanding the waveguide in the width direction, the emission point of the semiconductor laser light source for exciting the laser medium can be increased in the width direction, so that the output scaling can be performed while keeping the excitation density at a predetermined value. It becomes possible.
  • a laser resonator including a laser medium to be excited can obtain relatively strong laser output light by performing laser oscillation.
  • a laser oscillator using a laser medium containing Nd (neodymium), Yb (ytterbium) or the like as an active medium an infrared laser (wavelength is about 1.06 ⁇ m) having a relatively high gain and easy oscillation can be obtained.
  • a green laser having a second harmonic (wavelength is about 0.53 ⁇ m) can be obtained.
  • this wavelength conversion element performs wavelength conversion of laser output light by phase matching or pseudo phase matching, the wavelength conversion element is required to be maintained at an appropriate temperature so that wavelength conversion can be performed with high efficiency. It has been. That is, if the wavelength conversion element can be maintained at a constant temperature, a wavelength conversion laser device with high efficiency and high output is realized.
  • a waveguide-type wavelength conversion laser device disclosed in Patent Document 1 includes a laser resonator that includes a laser device that is excited by a semiconductor laser light source and an optical waveguide that is a wavelength conversion element.
  • the waveguide-type wavelength conversion laser device can obtain a double-wave laser beam by converting the wavelength of the fundamental wave generated by the laser device using the optical waveguide.
  • the waveguide type wavelength conversion laser device can achieve high efficiency and high output by adjusting (controlling) the temperature of the wavelength conversion element.
  • a solid-state laser element and a wavelength conversion element are used so that the output of laser light is as high as possible while keeping the temperature of the wavelength conversion element constant. Adjust the position and angle of the laser device.
  • the temperature profile in the apparatus is different between the assembly adjustment and the use of the laser after the assembly is completed, the expansion (thermal expansion) of the apparatus is also different.
  • the present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is to provide a technique capable of increasing the efficiency and output of output light.
  • the method for manufacturing a laser device includes a first heat sink connected to a heat exhaust portion, a bonding agent disposed on the first heat sink, and a second heat sink disposed on the bonding agent.
  • a first member disposed on a side surface of the first heat sink; a second member disposed on a side surface of the second heat sink and generating laser light to be output in cooperation with the first member; (A) a step of contacting the first heat sink and the second heat sink via the bonding agent before curing, and (b) after the step (a). Adjusting the position and angle of the first member and the second member while controlling the temperature of the second member while holding the second member with a temperature control head; and (c) the step (b) ), And a step of curing the bonding agent.
  • the efficiency and output of the output light can be increased.
  • FIG. 1 is a side view showing a configuration of a laser device according to Embodiment 1.
  • FIG. 6 is a diagram showing a temperature distribution of the laser device according to Embodiment 1.
  • FIG. 10 is a front view showing a configuration of a laser apparatus according to Modification 1.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating a configuration of a laser device according to Modification Example 1.
  • 10 is a side view showing a configuration of a laser device according to Modification 3.
  • FIG. 1 is a side view showing a configuration of a laser device according to Embodiment 1.
  • FIG. 6 is a diagram showing a temperature distribution of the laser device according to Embodiment 1.
  • FIG. 10 is a front view showing a configuration of a laser apparatus according to Modification 1.
  • FIG. FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating a configuration of a laser device according to Modification Example 1.
  • 10 is a side view showing a configuration of a laser device according to Modification 3.
  • a laser apparatus (hereinafter referred to as “related laser apparatus”) that may include unrelated components may be described.
  • FIG. 1 is a side view showing a manufacturing method of the related laser device 61
  • FIG. 2 is a side view showing the configuration of the related laser device 61.
  • the semiconductor laser light source 10 includes a semiconductor laser light source 10, a submount 11, a planar waveguide type solid-state laser element (first member) 20, a submount 21, and a planar waveguide type wavelength conversion element ( (Second member) 30, submount 31, and temperature raising unit 32.
  • the semiconductor laser light source 10 for example, a multi-emitter semiconductor laser light source having a plurality of light emission points in the width direction or a broad area semiconductor laser light source having a light emission width extending in the width direction is applied.
  • the related laser device 61 of FIG. 2 includes a base plate (heat exhaust part) 13, a heat sink (first heat sink) 12 connected on the base plate 13, a bonding agent 40 a disposed on the heat sink 12, and bonding A heat sink (second heat sink) 33 disposed on the agent 40a.
  • the semiconductor laser light source 10 is disposed on the lower side surface of the heat sink 12.
  • the semiconductor laser light source 10 is bonded to the submount 11, and the submount 11 is bonded to the lower side surface of the heat sink 12.
  • the submount 11 is a member that relieves bonding stress, and the submounts 21 and 31 are the same.
  • the solid laser element 20 is disposed on the upper side surface of the heat sink 12.
  • the solid-state laser element 20 is bonded to the submount 21, and the submount 21 is bonded to the upper side surface of the heat sink 12.
  • the wavelength conversion element 30 is disposed on the side surface of the heat sink 33.
  • the wavelength conversion element 30 is joined to the submount 31, the submount 31 is joined to the temperature raising part 32, and the temperature raising part 32 is joined to the side surface of the heat sink 33. That is, the temperature raising unit 32 is disposed between the wavelength conversion element 30 and the heat sink 33.
  • the wavelength conversion element 30, the submount, the temperature raising unit 32, and the heat sink 33 constitute a subassembly (subassembly).
  • the semiconductor laser light source 10, the solid-state laser element 20, and the wavelength conversion element 30 are disposed substantially on the same plane and substantially on the same plane, and cooperate to generate laser light to be output.
  • the related laser device 61 is configured as a planar waveguide laser device including a multi-emitter or broad area semiconductor laser light source 10, a planar waveguide solid state laser element 20, and a planar waveguide type wavelength conversion element 30. ing. Next, the semiconductor laser light source 10, the solid-state laser element 20, and the wavelength conversion element 30 will be described in detail.
  • the semiconductor laser light 2 output from the semiconductor laser light source 10 enters the solid laser element 20 and is absorbed, whereby the solid laser element 20 is excited.
  • the excited solid-state laser element 20 generates laser oscillation light 3 that is a fundamental wave by a laser resonator constituted by the solid-state laser element 20 and the wavelength conversion element 30.
  • the fundamental laser oscillation light 3 is provided at each of the output end of the wavelength conversion element 30 and the input end of the semiconductor laser light 2 of the solid-state laser element 20. It is confined by the body multilayer film and reciprocates between the output end and the input end.
  • the laser oscillation light 3 repeatedly propagates through the wavelength conversion element 30, whereby the laser oscillation light 3 that is a fundamental wave is wavelength-converted to, for example, a double wave, and the wavelength-converted component is output as the output light 4.
  • the semiconductor laser light source 10 and the solid-state laser element 20 generate heat.
  • the heat generated by the semiconductor laser light source 10 is exhausted through the submount 11, the heat sink 12, and the base plate 13 in order as in the heat flow 101 of FIG. 2.
  • the heat generated by the solid-state laser element 20 is exhausted through the submount 21, the heat sink 12, and the base plate 13 in order as in the heat flow 102 in FIG. 2.
  • the wavelength conversion element 30 does not generate heat due to wavelength conversion in principle.
  • the wavelength conversion element 30 is adjusted (controlled) to an optimum temperature (an optimum constant temperature) in order to perform wavelength conversion with high efficiency.
  • Temperature adjustment of the wavelength conversion element 30 when using the laser after manufacture (after completion of assembly) is performed by the temperature raising unit 32.
  • the heat generated by the temperature raising unit 32 is exhausted through the side surface of the heat sink 33 near the wavelength conversion element 30, the heat sink 33, the bonding agent 40 a, the heat sink 12, and the base plate 13 in order as shown in the heat flow 104 of FIG.
  • a manufacturing method of the related laser device 61 will be described with reference to FIG. 1 is different from FIG. 2 in that the bonding agent 40a is before curing, and that the temperature control head 50 and the multi-axis stage 51 are used.
  • bonding agent 40 the bonding agent 40 a
  • the temperature control head 50 adjusts (controls) the temperature of the wavelength conversion element 30 to the above-mentioned optimum temperature while holding the side surface of the heat sink 33 far from the wavelength conversion element 30 (optical waveguide). That is, the temperature adjustment of the wavelength conversion element 30 is performed by the temperature raising unit 32 when using the laser after manufacture (after completion of assembly), but is performed by the temperature control head 50 at the time of manufacture (when adjusting assembly).
  • the positions and angles of the solid-state laser element 20 and the wavelength conversion element 30 are adjusted so that the output light 4 is as large as possible.
  • the position and angle of the temperature control head 50 are fixed, and the position and angle of the multi-axis stage 51 disposed under the base plate 13 are adjusted, so that the solid-state laser element 20 and the wavelength conversion element are adjusted.
  • the relative position and angle between 30 are adjusted.
  • the bonding agent 40 is cured.
  • a UV (ultraviolet) curable adhesive is applied to the bonding agent 40.
  • the temperature control head 50 is separated from the heat sink 33, and the adjustment and curing process shown in FIG. 1 is completed.
  • the solid laser element 20 and the wavelength conversion element 30 cause the output light 4 to be as large as possible by the bonding agent 40a cured by being irradiated with UV light. Should be fixed in position and angle.
  • the related laser device 61 has a problem that the solid-state laser element 20 and the wavelength conversion element 30 are not fixed at a position and an angle where the output light 4 is as large as possible. Next, the reason will be described.
  • the heat generated by the temperature control head 50 is transferred to the side surface of the heat sink 33 far from the wavelength conversion element 30, the heat sink 33, the bonding agent 40 a, the heat sink 12, and the base plate 13, as in the heat flow 103 of FIG.
  • the heat is exhausted in order.
  • the heat flow 103 has a different profile from the heat flow 104 of FIG.
  • FIG. 3 shows temperature distribution diagrams of the A-A ′ section in FIG. 1 and the B-B ′ section in FIG. 2.
  • the temperature control head 50 When adjusting the position and angle (thick solid line in FIG. 3), the temperature control head 50 generates heat in excess of the amount of heat exhausted from the heat sink 33 to the bonding agent 40 in order to keep the distant wavelength conversion element 30 at the optimum temperature. There is a need to. Therefore, the temperature control head 50 needs to set the temperature of the heat sink 33 to a higher temperature than the optimum temperature.
  • the temperature raising unit 32 generates heat in order to keep the adjacent wavelength conversion element 30 at the optimum temperature. The temperature is too low.
  • FIG. 4 is a side view showing the method for manufacturing the laser device 1 according to the first embodiment
  • FIG. 5 is a side view showing the configuration of the laser device 1.
  • the same or similar components as those described above are denoted by the same reference numerals, and different portions will be mainly described.
  • the manufacturing method according to the first embodiment is different from the manufacturing method of the related laser device 61 in the location held by the temperature control head 50.
  • the temperature control head 50 holds the wavelength conversion element 30 and adjusts (controls) the temperature of the wavelength conversion element 30 to the optimum temperature described above, while the solid-state laser element 20 and the wavelength conversion are performed. The position and angle of the element 30 are adjusted.
  • the manufacturing method according to the first embodiment is otherwise the same as the manufacturing method of the related laser device 61.
  • the temperature control head 50 may hold the wavelength conversion element 30 by suction with negative pressure, or may hold the wavelength conversion element 30 by sandwiching a side surface perpendicular to the optical axis of the wavelength conversion element 30. .
  • the position and angle of the temperature control head 50 are fixed, and the position and angle of the multi-axis stage 51 disposed below the base plate 13 are adjusted, so that the solid-state laser element 20 and the wavelength conversion element are adjusted.
  • the relative position and angle between 30 were adjusted.
  • the present invention is not limited to this. For example, by fixing the position and angle of the multi-axis stage 51 and adjusting the position and angle of the temperature control head 50, the relative relationship between the solid-state laser element 20 and the wavelength conversion element 30 can be compared. The general position and angle may be adjusted.
  • the temperature raising unit 32 may be a structure including a heater and the thermistor (not shown) and a base body for holding them. By applying electric power to the heater based on the temperature detected by the thermistor, the wavelength conversion element 30 can be maintained at the above-mentioned optimum temperature.
  • the heat generated by the temperature control head 50 is applied to the wavelength conversion element 30, the submount 31, the temperature raising unit 32, and the wavelength conversion element 30 of the heat sink 33 as shown in the heat flow 105 of FIG. 4. Heat is exhausted through the near side, the heat sink 33, the bonding agent 40a, the heat sink 12, and the base plate 13 in order.
  • the heat generated by the temperature raising unit 32 is generated by the side surface of the heat sink 33 near the wavelength conversion element 30, the heat sink 33, the bonding agent 40 a, and the heat sink as shown in the heat flow 106 of FIG. 12. Heat is exhausted through the base plate 13 in order.
  • the heat flow 106 has substantially the same profile as the heat flow 105 of FIG.
  • FIG. 6 shows temperature distribution diagrams of the C-C ′ section of FIG. 4 and the D-D ′ section of FIG. 5.
  • the temperature of the wavelength conversion element 30 is adjusted to substantially the same optimum temperature by both the temperature control head 50 at the time of adjustment (manufacturing) in FIG. 4 and the temperature raising unit 32 after curing (after manufacture) in FIG. .
  • the temperature control head 50 itself has a temperature higher than the optimum temperature of the wavelength conversion element 30 because there is a contact thermal resistance between the temperature control head 50 and the wavelength conversion element 30. Also set to a high temperature. Since the heat flow at this time is exhausted through the wavelength conversion element 30, the submount 31, the temperature raising unit 32, and the heat sink 33 in order, the respective temperatures become lower in this order. Further, since the heat is exhausted on the heat sink 33 side, the temperature of the heat sink 33 decreases as the distance from the wavelength conversion element 30 increases.
  • the bonding agent 40 is cured (the thick broken line in FIG. 6), in principle, the heat generated by the wavelength conversion in the wavelength conversion element 30 is not generated, and the heat generation from the wavelength conversion element 30 and the heat sink 33 to the ambient air is Since it is small, the temperature raising unit 32, the submount 31, and the wavelength conversion element 30 have substantially the same temperature. Since the heat is exhausted on the heat sink 33 side, the temperature of the heat sink 33 decreases as the distance from the wavelength conversion element 30 increases.
  • the temperature profile of the heat sink 33 differs between the adjustment (production) in FIG. 4 and the post-curing (after production) in FIG.
  • the temperature control head 50 is closer to the temperature raising unit 32 than the manufacturing method of the related laser device 61, the temperature difference between the adjustment (manufacturing) and the curing (after manufacturing) is small, and the adjustment (manufacturing)
  • the temperature profile after curing and after curing (after production) is made more identical than in FIG. For this reason, since it is possible to suppress the displacement of the expansion due to the temperature rise at the time of adjustment (manufacturing) and after curing (after manufacture), and hence the displacement in the waveguide thickness direction, the efficiency and output of the output light 4 can be reduced. Can be increased.
  • the positions and angles of the solid-state laser element 20 and the wavelength conversion element 30 are controlled while controlling the temperature of the wavelength conversion element 30 while holding the wavelength conversion element 30 with the temperature control head 50. adjust.
  • the heat flow 105 generated by the temperature control head 50 during adjustment and the heat flow 106 generated by the temperature raising unit 32 after curing are coaxial and in the same direction. For this reason, the temperature distribution of the whole subassembly including the wavelength conversion element 30 at the time of adjustment and after curing is substantially the same.
  • the output light similar to the high-efficiency and high-output output light during adjustment can be cured. It can be reproduced later. Therefore, the efficiency and output of the output light 4 can be increased.
  • the laser device 1 according to the first embodiment is a plane composed of a multi-emitter or broad area semiconductor laser light source 10, a planar waveguide type solid-state laser element 20, and a planar waveguide type wavelength conversion element 30. It is a waveguide type laser device. Therefore, it is possible to scale the output while keeping the excitation density at a predetermined value.
  • the laser device manufacturing method according to the first embodiment is particularly effective in a planar waveguide laser device that is required to suppress deviation in the waveguide thickness direction.
  • FIG. 7 is a front view showing the configuration of the laser apparatus 1 according to the first modification
  • FIG. 8 is a cross-sectional view taken along the line EE ′ of FIG.
  • the subassembly including the wavelength conversion element 30 is joined in the order of the wavelength conversion element 30, the submount 31, the temperature raising unit 32, and the heat sink 33.
  • the temperature raising unit 32 may be a structure including the heater 32a, a thermistor (not shown), and the base 32b that holds them.
  • the substrate 32b may be, for example, a ceramic substrate or a metal plate that has been subjected to insulation treatment on the surface.
  • the heater 32a may be disposed immediately below the submount 31, or a plurality of heaters 32a may be disposed outside the portion immediately below the submount 31, as shown in FIG. In the latter arrangement, the electrodes and the like can be easily arranged and replaced.
  • the linear expansion coefficient of the base body 32 b of the temperature raising unit 32 may correspond to the linear expansion coefficient of the wavelength conversion element 30.
  • both linear expansion coefficients may be the same or substantially the same.
  • the first member is the solid-state laser element 20, and the second member is the wavelength conversion element 30.
  • the present invention is not limited to this, and the first member may be the semiconductor laser light source 10 and the second member may be the solid-state laser element 20.
  • a bonding agent (not shown) is disposed between a heat sink (not shown) to which the semiconductor laser light source 10 is bonded and a heat sink (not shown) to which the solid state laser element 20 is bonded.
  • the solid-state laser element 20 does not need to be kept at an optimum temperature in order to obtain high-efficiency and high-output output light.
  • the temperature of each member of the subassembly including the solid-state laser element 20 rises.
  • the temperature distribution of the sub-assembly including the solid-state laser element 20 is different between the adjustment of the position and angle of the semiconductor laser light source 10 and the solid-state laser element 20 and after the curing of the bonding agent, the temperature difference Due to the expansion difference caused by the difference in position and angle, the semiconductor laser light source 10 and the solid-state laser element 20 are displaced in position and angle. Therefore, in the second modification, the same process as that performed for the sub-assembly including the wavelength conversion element 30 in the first embodiment is performed for the sub-assembly including the solid-state laser element 20.
  • the heat sink to which the semiconductor laser light source 10 is bonded and the heat sink to which the solid-state laser element 20 is bonded are brought into contact with each other through the bonding agent before curing.
  • the position and angle of the semiconductor laser light source 10 and the solid-state laser element 20 are adjusted while controlling the temperature of the solid-state laser element 20 while holding the solid-state laser element 20 with the temperature control head 50.
  • the temperature control head 50 makes the temperature of the solid-state laser element 20 substantially the same as the temperature of the solid-state laser element 20 when the laser apparatus 1 is used. Then, the bonding agent is cured.
  • the temperature distribution of the entire sub-assembly including the solid-state laser element 20 at the time of adjustment and after curing is substantially the same.
  • Output light similar to the output light can be reproduced after curing. Therefore, the efficiency and output of the output light 4 can be increased.
  • the third modification is a combination of the first embodiment and the second modification.
  • FIG. 9 is a side view showing the configuration of the laser device 1 according to the third modification.
  • the laser device 1 according to the third modification includes a heat sink (third heat sink) 71, a heat sink (fourth heat sink) 72, a heat sink (fifth heat sink) 73, first, instead of the heat sink 12, the heat sink 33, and the bonding agent 40a.
  • a bonding agent 46a and a second bonding agent 47a are provided.
  • the heat sink 71 is connected to the base plate (heat exhaust part) 13.
  • the first bonding agent 46a is disposed on the heat sink 71, and the heat sink 72 is disposed on the first bonding agent 46a.
  • the second bonding agent 47a is disposed on the heat sink 72, and the heat sink 73 is disposed on the second bonding agent 47a.
  • the semiconductor laser light source 10 is disposed on the side surface of the heat sink 71, the solid-state laser element 20 is disposed on the side surface of the heat sink 72, and the wavelength conversion element 30 is disposed on the side surface of the heat sink 73.
  • the laser device manufacturing method described in the second modification and the laser device manufacturing method described in the first embodiment are applied to the laser device manufacturing in FIG. And do it.
  • the heat sink, the bonding agent, and the heat sink bonded to the semiconductor laser light source 10 described in Modification 2 are bonded.
  • the heat sink 71, the first bonding agent 46a, and the heat sink 72 are applied.
  • the heat sink 12, the bonding agent 40a, and the heat sink 33 described in the first embodiment are used as the heat sink 72, the second bonding agent 47a, and the heat sink. 73 is applied.
  • the effects of the first embodiment and the second modification can be obtained, so that the efficiency and output of the output light 4 can be further increased.
  • SYMBOLS 1 Laser apparatus 10 Semiconductor laser light source, 12, 33, 71, 72, 73 Heat sink, 13 Base plate, 20 Solid laser element, 30 Wavelength conversion element, 32 Temperature raising part, 32b Base

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Abstract

　出力光の効率及び出力を高めることが可能な技術を提供することを目的とする。レーザ装置１は、第１ヒートシンク１２、接合剤４０ａ、第２ヒートシンク３３と、第１部材２０と、第２部材３０とを備える。（ａ）硬化前の接合剤４０を介して、第１ヒートシンク１２と第２ヒートシンク３３とを接触させる工程と、（ｂ）温度制御ヘッド５０で第２部材３０を保持しながら第２部材３０の温度を制御しつつ、第１部材２０及び第２部材３０の位置及び角度を調整する工程と、（ｃ）接合剤４０を硬化させる工程とを備える。

Description

レーザ装置及びその製造方法
　本発明は、例えばプロジェクタなどの光源に好適なレーザ装置及びその製造方法に関する。
　平面導波路型レーザ装置は、レーザ光の進行方向に伸長した薄い平板上のレーザ媒質の上下両面を、レーザ媒質よりも屈折率の低いクラッドで挟み込むことにより、レーザ媒質を導波路としても機能させる構造を有する。この平面導波路型レーザ装置は、導波路の厚さが薄く励起密度が高く、レーザ媒質の誘導放出断面積が小さくても大きな利得が得られるので、高効率な発振動作が実現可能である。さらに、導波路を幅方向に広げることによって、レーザ媒質を励起する半導体レーザ光源の発光点を幅方向に増やすことができるため、励起密度を予め定められた値に保ったままでの出力のスケーリングが可能となる。
　さて、励起されるレーザ媒質を含むレーザ共振器は、レーザ発振を行うことにより、比較的強いレーザ出力光を得ることができる。活性媒質としてＮｄ（ネオジム）やＹｂ（イッテルビウム）などを含むレーザ媒質を用いたレーザ発振器では、比較的利得が高く発振が容易な赤外レーザ（波長は１．０６ｕｍ近傍）を得ることができる。このようなレーザ共振器の内外に波長変換素子をさらに設けた構成では、２倍波である緑色レーザ（波長は０．５３ｕｍ近傍）を得ることができる。
　この波長変換素子は、位相整合または疑似位相整合によりレーザ出力光の波長変換を行うため、高効率に波長変換を行うことができるように、波長変換素子は適切な温度に維持されることが求められている。つまり、波長変換素子を一定温度に保つことができれば、高効率及び高出力な波長変換レーザ装置が実現される。
　例えば特許文献１に開示の導波路型波長変換レーザ装置は、半導体レーザ光源で励起されるレーザデバイスと、波長変換素子である光導波路とで構成されたレーザ共振器を備えている。そして、導波路型波長変換レーザ装置は、レーザデバイスで発生した基本波を光導波路で波長変換することにより、２倍波のレーザ光を得ることが可能になっている。また、導波路型波長変換レーザ装置は、波長変換素子の温度を調整（制御）することにより、高効率化及び高出力化が可能となっている。
特許第５０４３９１８号公報
　平面導波路型波長変換レーザ装置などのレーザ装置の組立工程においては、波長変換素子の温度を一定に保ちつつ、レーザ光の出力がなるべく高くなるように、例えば固体レーザ素子及び波長変換素子などのレーザデバイスの位置及び角度を調整する。しかしながら、組立調整時と、組立完了後のレーザ使用時とでは、装置内の温度プロファイルが異なるため、それに伴う装置の膨張（熱膨張）も異なる。
　そして、組立調整時と組立完了後との間に膨張のずれが生じると、平面導波路型レーザ装置の薄い導波路厚方向にもずれが生じる。このため、組立調整時に適切な調整を行ってレーザ光の出力を高めていても、レーザ使用時には導波路厚方向のずれによる損失が発生し、出力が低下してしまうという問題があった。
　そこで、本発明は、上記のような問題点を鑑みてなされたものであり、出力光の効率及び出力を高めることが可能な技術を提供することを目的とする。
　本発明に係るレーザ装置の製造方法は、排熱部に接続された第１ヒートシンクと、前記第１ヒートシンク上に配設された接合剤と、前記接合剤上に配設された第２ヒートシンクと、前記第１ヒートシンクの側面に配設された第１部材と、前記第２ヒートシンクの側面に配設され、出力すべきレーザ光を前記第１部材と協働して生成する第２部材と、を備えるレーザ装置の製造方法であって、（ａ）硬化前の前記接合剤を介して、前記第１ヒートシンクと前記第２ヒートシンクとを接触させる工程と、（ｂ）前記工程（ａ）の後、温度制御ヘッドで前記第２部材を保持しながら前記第２部材の温度を制御しつつ、前記第１部材及び前記第２部材の位置及び角度を調整する工程と、（ｃ）前記工程（ｂ）の後、前記接合剤を硬化させる工程とを備える。
　本発明によれば、出力光の効率及び出力を高めることができる。
　本発明の目的、特徴、態様及び利点は、以下の詳細な説明と添付図面とによって、より明白となる。
関連レーザ装置の製造方法を示す側面図である。 関連レーザ装置の構成を示す側面図である。 関連レーザ装置の温度分布を示す図である。 実施の形態１に係るレーザ装置の製造方法を示す側面図である。 実施の形態１に係るレーザ装置の構成を示す側面図である。 実施の形態１に係るレーザ装置の温度分布を示す図である。 変形例１に係るレーザ装置の構成を示す正面図である。 変形例１に係るレーザ装置の構成を示す断面図である。 変形例３に係るレーザ装置の構成を示す側面図である。
　＜関連レーザ装置＞
　まず、本発明の実施の形態１に係るレーザ装置について説明する前に、それと関連し、公知でない構成要素が含まれることがあるレーザ装置（以下、「関連レーザ装置」と記す）について説明する。
　図１は、関連レーザ装置６１の製造方法を示す側面図であり、図２は、関連レーザ装置６１の構成を示す側面図である。図１を用いて関連レーザ装置６１の製造方法について説明する前に、まず図２を用いて関連レーザ装置６１の構成について説明する。
　図２の関連レーザ装置６１は、半導体レーザ光源１０と、サブマウント１１と、平面導波路型の固体レーザ素子（第１部材）２０と、サブマウント２１と、平面導波路型の波長変換素子（第２部材）３０と、サブマウント３１と、昇温部３２とを備える。半導体レーザ光源１０には、例えば、幅方向に複数の発光点を持つマルチエミッタの半導体レーザ光源、または、発光幅が幅方向に延在するブロードエリアの半導体レーザ光源が適用される。
　また、図２の関連レーザ装置６１は、ベースプレート（排熱部）１３と、ベースプレート１３上に接続されたヒートシンク（第１ヒートシンク）１２と、ヒートシンク１２上に配設された接合剤４０ａと、接合剤４０ａ上に配設されたヒートシンク（第２ヒートシンク）３３とを備える。
　半導体レーザ光源１０は、ヒートシンク１２の下側の側面に配設されている。ここでは、半導体レーザ光源１０はサブマウント１１に接合され、サブマウント１１はヒートシンク１２の下側の側面に接合されている。サブマウント１１は、接合応力を緩和する部材であり、サブマウント２１，３１も同様である。
　固体レーザ素子２０には、ヒートシンク１２の上側の側面に配設されている。ここでは、固体レーザ素子２０はサブマウント２１に接合され、サブマウント２１はヒートシンク１２の上側の側面に接合されている。
　波長変換素子３０は、ヒートシンク３３の側面に配設されている。ここでは、波長変換素子３０はサブマウント３１に接合され、サブマウント３１は昇温部３２に接合され、昇温部３２はヒートシンク３３の側面に接合されている。つまり、昇温部３２は、波長変換素子３０とヒートシンク３３との間に配設されている。これら波長変換素子３０、サブマウント、昇温部３２及びヒートシンク３３は、サブアッシー（サブアセンブリー）を構成している。
　ここで、半導体レーザ光源１０、固体レーザ素子２０及び波長変換素子３０は、略同軸、略同一平面上に配設されており、出力すべきレーザ光を協働して生成する。関連レーザ装置６１は、マルチエミッタまたはブロードエリアの半導体レーザ光源１０と、平面導波路型の固体レーザ素子２０と、平面導波路型の波長変換素子３０とからなる平面導波路型レーザ装置として構成されている。次に、半導体レーザ光源１０、固体レーザ素子２０及び波長変換素子３０について詳細に説明する。
　半導体レーザ光源１０から出力される半導体レーザ光２が、固体レーザ素子２０に入射して吸収されることにより、固体レーザ素子２０が励起される。励起された固体レーザ素子２０は、固体レーザ素子２０と波長変換素子３０とにより構成されるレーザ共振器により基本波であるレーザ発振光３を発生する。基本波のレーザ発振光３は、波長変換素子３０の出力端と、固体レーザ素子２０の半導体レーザ光２の入力端とのそれぞれに配設された、基本波光に対して高反射率となる誘電体多層膜により閉じ込められ、出力端と入力端との間を往復する。レーザ発振光３が波長変換素子３０を繰り返し伝搬することで、基本波であるレーザ発振光３が例えば２倍波に波長変換され、波長変換された成分が出力光４として出力する。
　さてレーザ光を生成する際に、半導体レーザ光源１０及び固体レーザ素子２０は発熱する。半導体レーザ光源１０の発熱は、図２の熱流１０１のように、サブマウント１１、ヒートシンク１２、ベースプレート１３へと順に経由して排熱される。固体レーザ素子２０の発熱は、図２の熱流１０２のように、サブマウント２１、ヒートシンク１２、ベースプレート１３へと順に経由して排熱される。
　一方、波長変換素子３０では、原理的には波長変換に伴う発熱は生じない。ただし、波長変換素子３０は、高効率に波長変換を行うために最適温度（最適な一定温度）に調整（制御）される。製造後（組立完了後）のレーザ使用時における波長変換素子３０の温度調整は、昇温部３２によって行われる。昇温部３２の発熱は、図２の熱流１０４のように、ヒートシンク３３の波長変換素子３０に近い側面、ヒートシンク３３、接合剤４０ａ、ヒートシンク１２、ベースプレート１３へと順に経由して排熱される。
　＜関連レーザ装置の製造方法＞
　次に、図１を用いて関連レーザ装置６１の製造方法について説明する。なお、図１は、接合剤４０ａが硬化前であるという点と、温度制御ヘッド５０及び多軸ステージ５１が用いられるという点で、図２と異なっている。
　図１に示される製造方法では、まず、硬化前の接合剤４０ａ（以下「接合剤４０」と記す）を介して、半導体レーザ光源１０及び固体レーザ素子２０が接合されたヒートシンク１２と、波長変換素子３０が接合されたヒートシンク３３とを接触させる。
　そして、温度制御ヘッド５０で、ヒートシンク３３の波長変換素子３０（光導波路）から遠い側面を保持しながら、波長変換素子３０の温度を上述の最適温度に調整（制御）する。つまり、波長変換素子３０の温度調整は、製造後（組立完了後）のレーザ使用時には昇温部３２によって行われるが、製造時（組立調整時）には温度制御ヘッド５０によって行われる。
　温度制御ヘッド５０による温度制御を行いつつ、出力光４がなるべく大きくなるように固体レーザ素子２０及び波長変換素子３０の位置及び角度を調整する。なお、図１の例では、温度制御ヘッド５０の位置及び角度を固定し、ベースプレート１３の下に配置された多軸ステージ５１の位置及び角度を調整することで、固体レーザ素子２０及び波長変換素子３０同士の相対的な位置及び角度を調整する。
　位置及び角度の調整後、接合剤４０を硬化させる。なお、接合剤４０には、例えばＵＶ（ultraviolet）硬化型の接着剤が適用される。その後、温度制御ヘッド５０をヒートシンク３３から離して図１に示す調整及び硬化工程が完了する。
　以上の工程によれば、ＵＶ光が照射されることなどによって硬化した接合剤４０ａにより、固体レーザ素子２０及び波長変換素子３０（ヒートシンク１２及びヒートシンク３３）が、出力光４が可及的に大きい位置及び角度で固定されるはずである。しかしながら、関連レーザ装置６１では、固体レーザ素子２０及び波長変換素子３０が、出力光４が可及的に大きい位置及び角度で固定されないという問題があった。次に、その理由について説明する。
　関連レーザ装置６１の製造方法では、温度制御ヘッド５０の発熱は、図１の熱流１０３のように、ヒートシンク３３の波長変換素子３０から遠い側面、ヒートシンク３３、接合剤４０ａ、ヒートシンク１２、ベースプレート１３へと順に経由して排熱される。この熱流１０３は、図２の熱流１０４とヒートシンク３３におけるプロファイルが異なっている。
　ここで、図３に、図１のＡ－Ａ’断面、及び、図２のＢ－Ｂ’断面の温度分布図を示す。位置及び角度の調整時（図３の太線実線）には、温度制御ヘッド５０が、遠方の波長変換素子３０を最適温度に保つためにヒートシンク３３から接合剤４０へと排熱される熱量以上で発熱する必要がある。したがって、温度制御ヘッド５０は、ヒートシンク３３の温度を最適温度以上の高温度にする必要がある。一方、接合剤４０の硬化後（図３の太線破線）には、昇温部３２が、近接する波長変換素子３０を最適温度に保つために発熱することから、ヒートシンク３３の温度は最適温度よりも低い温度になる。
　このため、硬化後ひいてはレーザ使用時は、位置及び角度の調整時よりも、ヒートシンク３３の温度上昇に伴う膨張が小さい。この膨張差のため、位置及び角度の調整時に、固体レーザ素子２０及び波長変換素子３０の間に導波路厚方向にずれが生じないように調整しても、レーザ使用時にはずれが生じてしまうことになる。このずれによる損失により、関連レーザ装置６１では、硬化後ひいてはレーザ使用時に、高効率及び高出力の出力光が得られないという問題があった。これに対して、次に説明するように、本実施の形態１に係るレーザ装置では、出力光の効率及び出力を高めることが可能となっている。
　＜実施の形態１＞
　図４は、本実施の形態１に係るレーザ装置１の製造方法を示す側面図であり、図５は、当該レーザ装置１の構成を示す側面図である。なお、本実施の形態１に係るレーザ装置１において、以上で説明した構成要素と同一または類似するものについては同じ参照符号を付し、異なる部分について主に説明する。
　図４に示すように、本実施の形態１に係る製造方法は、関連レーザ装置６１の製造方法と、温度制御ヘッド５０が保持する箇所が異なっている。つまり、本実施の形態１では、温度制御ヘッド５０で、波長変換素子３０を保持しながら、波長変換素子３０の温度を上述の最適温度に調整（制御）しつつ、固体レーザ素子２０及び波長変換素子３０の位置及び角度を調整する。なお、本実施の形態１に係る製造方法は、それ以外については、関連レーザ装置６１の製造方法と同様である。
　ただし、温度制御ヘッド５０は、負圧による吸着で波長変換素子３０を保持してもよいし、波長変換素子３０の光軸と垂直な側面を挟み込むことによって波長変換素子３０を保持してもよい。また、図１の例では、温度制御ヘッド５０の位置及び角度を固定し、ベースプレート１３の下に配置された多軸ステージ５１の位置及び角度を調整することで、固体レーザ素子２０及び波長変換素子３０同士の相対的な位置及び角度を調整した。しかし、これに限ったものではなく、例えば、多軸ステージ５１の位置及び角度を固定し、温度制御ヘッド５０の位置及び角度を調整することで、固体レーザ素子２０及び波長変換素子３０同士の相対的な位置及び角度を調整してもよい。
　また、昇温部３２は、ここでは図示しないヒータ及びサーミスタと、これらを保持する基体とを含む構造体であってもよい。サーミスタが検知した温度に基づいてヒータに電力を与えることで、波長変換素子３０を上述の最適温度に保つことができる。
　本実施の形態１に係る製造方法では、温度制御ヘッド５０の発熱は、図４の熱流１０５のように、波長変換素子３０、サブマウント３１、昇温部３２、ヒートシンク３３の波長変換素子３０に近い側面、ヒートシンク３３、接合剤４０ａ、ヒートシンク１２、ベースプレート１３へと順に経由して排熱される。そして、本実施の形態１に係るレーザ装置１では、昇温部３２の発熱は、図５の熱流１０６のように、ヒートシンク３３の波長変換素子３０に近い側面、ヒートシンク３３、接合剤４０ａ、ヒートシンク１２、ベースプレート１３へと順に経由して排熱される。この熱流１０６は、図４の熱流１０５とプロファイルが略同一となっている。
　ここで、図６に、図４のＣ－Ｃ’断面、及び、図５のＤ－Ｄ’断面の温度分布図を示す。図４の調整時（製造時）の温度制御ヘッド５０によっても、図５の硬化後（製造後）の昇温部３２によっても、波長変換素子３０の温度は略同一の最適温度に調整される。
　位置及び角度の調整時（図６の太線実線）では、温度制御ヘッド５０と波長変換素子３０との間に接触熱抵抗があるため、温度制御ヘッド５０自体は、波長変換素子３０の最適温度よりも高い温度に設定される。この時の熱流は、波長変換素子３０、サブマウント３１、昇温部３２、ヒートシンク３３へと順に経由して排熱されることから、それぞれの温度はこの順に低くなる。また、ヒートシンク３３側にて排熱されることから、ヒートシンク３３の温度は波長変換素子３０から離れるにつれて低下していく。
　接合剤４０の硬化後（図６の太線破線）では、原理的には波長変換素子３０での波長変換に伴う発熱ではなく、また、波長変換素子３０及びヒートシンク３３から周辺空気への発熱量は小さいため、昇温部３２、サブマウント３１、波長変換素子３０は略同一温度となる。ヒートシンク３３側にて排熱されることから、ヒートシンク３３の温度は波長変換素子３０から離れるにつれて低下していく。
　図４の調整時（製造時）と図５の硬化後（製造後）とでは、厳密には発熱箇所が異なることから、両者のヒートシンク３３での温度プロファイルは異なる。しかし、温度制御ヘッド５０が、関連レーザ装置６１の製造方法よりも昇温部３２に近接することから、調整時（製造時）及び硬化後（製造後）の温度差は小さく、調整時（製造時）及び硬化後（製造後）の温度プロファイルは、図３よりも同一化している。このため、調整時（製造時）及び硬化後（製造後）の、温度上昇に伴う膨張のずれ、ひいては、導波路厚方向におけるずれを抑制することができるので、出力光４の効率及び出力を高めることができる。
　＜実施の形態１のまとめ＞
　以上のような本実施の形態１によれば、温度制御ヘッド５０で波長変換素子３０を保持しながら波長変換素子３０温度を制御しつつ、固体レーザ素子２０及び波長変換素子３０の位置及び角度を調整する。これにより、調整時の温度制御ヘッド５０による発熱の熱流１０５と、硬化後の昇温部３２による発熱の熱流１０６とが、同軸でかつ同方向となる。このため、調整時及び硬化後における、波長変換素子３０を含むサブアッシー全体の温度分布が略同一となる。したがって、調整時及び硬化後における、温度上昇に伴う膨張のずれ、ひいては導波路厚方向のずれを抑制することができるので、調整時の高効率及び高出力の出力光と同様の出力光を硬化後にも再現することができる。よって、出力光４の効率及び出力を高めることができる。
　また、本実施の形態１に係るレーザ装置１は、マルチエミッタまたはブロードエリアの半導体レーザ光源１０と、平面導波路型の固体レーザ素子２０と、平面導波路型の波長変換素子３０とからなる平面導波路型レーザ装置である。したがって、励起密度を予め定められた値に保ったままでの出力のスケーリングが可能である。なお、本実施の形態１に係るレーザ装置の製造方法は、導波路厚方向のずれの抑制が求められる平面導波路型レーザ装置において、特に有効である。
　＜変形例１＞
　図７は、本変形例１に係るレーザ装置１の構成を示す正面図であり、図８は、図７のＥ－Ｅ’に沿った断面図である。波長変換素子３０を含むサブアッシーは、波長変換素子３０、サブマウント３１、昇温部３２、ヒートシンク３３の順で接合されている。上述したように、昇温部３２は、ヒータ３２ａと、図示しないサーミスタと、これらを保持する基体３２ｂとを含む構造体であってもよい。基体３２ｂとしては、例えばセラミック基板、または、絶縁処理を表面に施した金属板などであってもよい。
　ヒータ３２ａは、サブマウント３１の直下に配設されてもよいし、図７に示されるようにサブマウント３１の直下部分の外側に複数個配設されてもよい。後者のように配設した構成では、電極などの配置及び交換を容易に行うことができる。
　また、昇温部３２の基体３２ｂの線膨張係数を、波長変換素子３０の線膨張係数に対応させてもよい。例えば、両者の線膨張係数を同一または略同一にしてもよい。このような構成にすれば、サブマウント３１を削除して、波長変換素子３０を昇温部３２の基体３２ｂに直接接合することが可能となる。この結果、調整時及び硬化後における、波長変換素子３０を含むサブアッシー全体の温度分布を同一化することができるので、出力光４の効率及び出力をさらに高めることが期待できる。
　＜変形例２＞
　実施の形態１では、第１部材は固体レーザ素子２０であり、第２部材は波長変換素子３０であった。しかしこれに限ったものではなく、第１部材は半導体レーザ光源１０であり、第２部材は固体レーザ素子２０であってもよい。この場合、半導体レーザ光源１０が接合されたヒートシンク（図示せず）と、固体レーザ素子２０が接合されたヒートシンク（図示せず）との間に、接合剤（図示せず）が配設される。
　さて、固体レーザ素子２０は、原理的には波長変換素子３０と異なり、高効率及び高出力の出力光を得るために最適温度に保つ必要はない。一方、半導体レーザ光２とレーザ発振光３とのエネルギー差に基づく発熱があることから固体レーザ素子２０を含むサブアッシーの各部材の温度が上昇する。
　ここで、半導体レーザ光源１０及び固体レーザ素子２０の位置及び角度の調整時と、接合剤の硬化後との間で、固体レーザ素子２０を含むサブアッシーの温度分布が異なっていれば、温度差に伴う膨張差により、半導体レーザ光源１０と固体レーザ素子２０との間に位置及び角度のずれが生じる。そこで、本変形例２では、実施の形態１で波長変換素子３０を含むサブアッシーに対して行った工程と同様の工程を、固体レーザ素子２０を含むサブアッシーに対して行う。
　つまり、硬化前の接合剤を介して、半導体レーザ光源１０が接合されたヒートシンクと、固体レーザ素子２０が接合されたヒートシンクとを接触させる。そして、温度制御ヘッド５０で固体レーザ素子２０を保持しながら固体レーザ素子２０の温度を制御しつつ、半導体レーザ光源１０及び固体レーザ素子２０の位置及び角度を調整する。例えば、温度制御ヘッド５０は、固体レーザ素子２０の温度を、レーザ装置１の使用時の固体レーザ素子２０の温度と略同一にする。それから、接合剤を硬化させる。
　以上のような本変形例２によれば、調整時及び硬化後における、固体レーザ素子２０を含むサブアッシー全体の温度分布が略同一となる。このため、実施の形態１と同様に、調整時及び硬化後における、温度上昇に伴う膨張のずれ、ひいては導波路厚方向のずれを抑制することができるので、調整時の高効率及び高出力の出力光と同様の出力光を硬化後に再現することができる。よって、出力光４の効率及び出力を高めることができる。
　＜変形例３＞
　本変形例３は、実施の形態１と変形例２とを組み合わせたものである。
　図９は、本変形例３に係るレーザ装置１の構成を示す側面図である。本変形例３に係るレーザ装置１は、ヒートシンク１２、ヒートシンク３３及び接合剤４０ａの代わりに、ヒートシンク（第３ヒートシンク）７１、ヒートシンク（第４ヒートシンク）７２、ヒートシンク（第５ヒートシンク）７３、第１接合剤４６ａ及び第２接合剤４７ａを備えている。
　ヒートシンク７１はベースプレート（排熱部）１３に接続される。第１接合剤４６ａはヒートシンク７１上に配設され、ヒートシンク７２は第１接合剤４６ａ上に配設される。第２接合剤４７ａはヒートシンク７２上に配設され、ヒートシンク７３は第２接合剤４７ａ上に配設される。ヒートシンク７１の側面には上述の半導体レーザ光源１０が配設され、ヒートシンク７２の側面には上述の固体レーザ素子２０が配設され、ヒートシンク７３の側面には上述の波長変換素子３０が配設される。
　本変形例３に係るレーザ装置の製造方法では、図９のレーザ装置の製造を、変形例２に記載のレーザ装置の製造方法と、実施の形態１に記載のレーザ装置の製造方法とを適用して行う。
　具体的には、変形例２に記載のレーザ装置の製造方法の適用に際し、変形例２に記載の半導体レーザ光源１０が接合されたヒートシンク、接合剤、及び、固体レーザ素子２０が接合されたヒートシンクとして、ヒートシンク７１、第１接合剤４６ａ、及び、ヒートシンク７２をそれぞれ適用する。そして、実施の形態１に記載のレーザ装置の製造方法の適用に際し、実施の形態１に記載のヒートシンク１２、接合剤４０ａ、及び、ヒートシンク３３として、ヒートシンク７２、第２接合剤４７ａ、及び、ヒートシンク７３をそれぞれ適用する。
　このような本変形例３によれば、実施の形態１及び変形例２の効果を得ることができるので、出力光４の効率及び出力をより高めることができる。
　なお、本発明は、その発明の範囲内において、実施の形態を適宜、変形、省略することが可能である。
　本発明は詳細に説明されたが、上記した説明は、すべての態様において、例示であって、本発明がそれに限定されるものではない。例示されていない無数の変形例が、本発明の範囲から外れることなく想定され得るものと解される。
　１　レーザ装置、１０　半導体レーザ光源、１２，３３，７１，７２，７３　ヒートシンク、１３　ベースプレート、２０　固体レーザ素子、３０　波長変換素子、３２　昇温部、３２ｂ　基体、４０，４０ａ　接合剤、４６ａ　第１接合剤、４７ａ　第２接合剤、５０　温度制御ヘッド。

Claims (5)

  1. 　排熱部＜１３＞に接続された第１ヒートシンク＜７１，７２＞と、前記第１ヒートシンク上に配設された接合剤＜４６ａ，４７ａ＞と、前記接合剤上に配設された第２ヒートシンク＜７２，７３＞と、前記第１ヒートシンクの側面に配設された第１部材＜１０，２０＞と、前記第２ヒートシンクの側面に配設され、出力すべきレーザ光を前記第１部材と協働して生成する第２部材＜２０，３０＞と、を備えるレーザ装置＜１＞の製造方法であって、
    　（ａ）硬化前の前記接合剤を介して、前記第１ヒートシンクと前記第２ヒートシンクとを接触させる工程と、
    　（ｂ）前記工程（ａ）の後、温度制御ヘッド＜５０＞で前記第２部材を保持しながら前記第２部材の温度を制御しつつ、前記第１部材及び前記第２部材の位置及び角度を調整する工程と、
    　（ｃ）前記工程（ｂ）の後、前記接合剤を硬化させる工程と
    を備える、レーザ装置の製造方法。
  2. 　請求項１に記載のレーザ装置の製造方法であって、
    　前記第１部材は、平面導波路型の固体レーザ素子＜２０＞を含み、
    　前記第２部材は、平面導波路型の波長変換素子＜３０＞を含む、レーザ装置の製造方法。
  3. 　請求項１に記載のレーザ装置の製造方法であって、
    　前記第１部材は、幅方向に複数の発光点を持つマルチエミッタの半導体レーザ光源＜１０＞、または、発光幅が幅方向に延在するブロードエリアの半導体レーザ光源＜１０＞を含み、
    　前記第２部材は、平面導波路型の固体レーザ素子＜２０＞を含む、レーザ装置の製造方法。
  4. 　排熱部＜１３＞に接続された第３ヒートシンク＜７１＞と、前記第３ヒートシンク上に配設された第１接合剤＜４６ａ＞と、前記第１接合剤上に配設された第４ヒートシンク＜７２＞と、前記第４ヒートシンク上に配設された第２接合剤＜４７ａ＞と、前記第２接合剤上に配設された第５ヒートシンク＜７３＞と、前記第３ヒートシンクの側面に配設された幅方向に複数の発光点を持つマルチエミッタの半導体レーザ光源＜１０＞、または、発光幅が幅方向に延在するブロードエリアの半導体レーザ光源＜１０＞と、前記第４ヒートシンクの側面に配設された平面導波路型の固体レーザ素子＜２０＞と、前記第５ヒートシンクの側面に配設された平面導波路型の波長変換素子＜３０＞と、を備えるレーザ装置＜１＞の製造を、請求項２に記載のレーザ装置の製造方法と請求項３に記載のレーザ装置の製造方法とを適用して行うレーザ装置の製造方法であって、
    　請求項３に記載のレーザ装置の製造方法の適用に際し、請求項３に記載の前記第１ヒートシンク、前記接合剤、及び、前記第２ヒートシンクとして、前記第３ヒートシンク、前記第１接合剤、及び、前記第４ヒートシンクをそれぞれ適用し、
    　請求項２に記載のレーザ装置の製造方法の適用に際し、請求項２に記載の前記第１ヒートシンク、前記接合剤、及び、前記第２ヒートシンクとして、前記第４ヒートシンク、前記第２接合剤、及び、前記第５ヒートシンクをそれぞれ適用する、レーザ装置の製造方法。
  5. 　請求項２に記載されたレーザ装置の製造方法によって製造されたレーザ装置＜１＞であって、
    　前記第２部材である前記波長変換素子＜３０＞と、前記第２ヒートシンク＜７３＞との間に配設された昇温部＜３２＞をさらに備え、
    　前記昇温部は、
    　前記波長変換素子に対応する線膨張係数を有する基体を含む、レーザ装置。
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