WO2016115704A1 - 一种可检测21项几何误差的激光测量系统与方法 - Google Patents
一种可检测21项几何误差的激光测量系统与方法 Download PDFInfo
- Publication number
- WO2016115704A1 WO2016115704A1 PCT/CN2015/071300 CN2015071300W WO2016115704A1 WO 2016115704 A1 WO2016115704 A1 WO 2016115704A1 CN 2015071300 W CN2015071300 W CN 2015071300W WO 2016115704 A1 WO2016115704 A1 WO 2016115704A1
- Authority
- WO
- WIPO (PCT)
- Prior art keywords
- error
- degree
- laser
- measuring
- unit
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
- G01B11/27—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes
- G01B11/272—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes using photoelectric detection means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/002—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
- G01B11/27—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
- G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
- G01B21/04—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points
- G01B21/042—Calibration or calibration artifacts
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02001—Interferometers characterised by controlling or generating intrinsic radiation properties
- G01B9/02002—Interferometers characterised by controlling or generating intrinsic radiation properties using two or more frequencies
- G01B9/02003—Interferometers characterised by controlling or generating intrinsic radiation properties using two or more frequencies using beat frequencies
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02001—Interferometers characterised by controlling or generating intrinsic radiation properties
- G01B9/02007—Two or more frequencies or sources used for interferometric measurement
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02015—Interferometers characterised by the beam path configuration
- G01B9/02017—Interferometers characterised by the beam path configuration with multiple interactions between the target object and light beams, e.g. beam reflections occurring from different locations
- G01B9/02021—Interferometers characterised by the beam path configuration with multiple interactions between the target object and light beams, e.g. beam reflections occurring from different locations contacting different faces of object, e.g. opposite faces
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C1/00—Measuring angles
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B2290/00—Aspects of interferometers not specifically covered by any group under G01B9/02
- G01B2290/70—Using polarization in the interferometer
Definitions
- Figure 17 is a schematic diagram of Z-axis measurement of 21 geometric error laser measuring methods of the present invention.
- the second structure of the laser light redirecting unit 2 includes a combination of splitting pentagonal prisms 2021, 2022. Adjusting the laser six-degree-of-freedom error while measuring the position and direction of the unit 1 to obtain the measurement light parallel to the X-axis direction, and shifting the combination of the splitting pentagonal prisms 2021 and 2022 into the exiting optical path of the laser six-degree-of-freedom error simultaneous measurement unit 1, and adjusting the splitting light
- the positions of the pentagonal prisms 2021 and 2022 are such that the laser six-degree-of-freedom error simultaneous measurement unit 1 emits light perpendicularly incident to the spectacle pentagonal prism 2021, and the reflected light of the spectroscopic pentagonal prism 2021 is perpendicularly incident on the spectroscopic pentagonal prism 2022, which can be simultaneously parallel to the measured numerical control Three measuring lights of the X, Y and Z axes of a machine tool, machining center or coordinate measuring machine.
Abstract
Description
Claims (10)
- 一种21项几何误差激光测量系统,主要由激光六自由度误差同时测量单元、激光光线转向单元和几何误差敏感单元等部分组成;其特征在于,所述的激光六自由度误差同时测量单元与所述的几何误差敏感单元配合使用,能分别测量得到数控机床、加工中心或三坐标测量机等精密加工与测量设备的三个直线运动导轨或运动台(简称三轴)的位置误差、水平和竖直方向直线度误差、俯仰角、偏摆角、滚转角等6项几何误差,三轴共计18项误差;所述的激光光线转向单元能将来自所述的激光六自由度误差同时测量单元的激光光束分光或转向到平行于数控机床、加工中心或三坐标测量机等精密加工与测量设备的三轴的方向上,并能将来自所述的几何误差敏感单元的激光光束分光或转向到所述的激光六自由度误差同时测量单元,完成对应轴的六自由度误差同时测量,同时通过三轴直线度误差的数据处理得到三轴相互之间的垂直度误差。
- 根据权利要求1所述的21项几何误差激光测量系统,其特征在于,所述的几何误差敏感单元主要包括三个相互垂直的六自由度误差敏感部件,所述的三个六自由度误差敏感部件分别对数控机床、加工中心或三坐标测量机等精密加工与测量设备的三个相互垂直的直线运动轴的六项几何误差敏感;所述的几何误差敏感单元还可以由两个相互垂直的六自由度误差敏感部件组成,所述的两个六自由度误差敏感部件分别对数控机床、加工中心或三坐标测量机等精密加工与测量设备的两个相互垂直的直线运动轴的六项几何误差敏感,所述的两个六自由度误差敏感部件之中的一个六自由度误差敏感部件旋转90°之后对数控机床、加工中心或三坐标测量机等精密加工与测量设备的第三个直线运动轴的六项几何误差敏感。
- 根据权利要求2所述的几何误差敏感单元,其特征在于,所述的六自由度误差敏感部件包括两个光线后向反射元件和一个光线分光元件;所述的光线后向反射元件对直线运动轴的位置误差、水平和竖直方向直线度误差敏感;所述的光线分光元件对直线运动轴的俯仰角、偏摆角敏感;所述的两个光线后向反射元件的组合对直线运动轴的滚转角敏感;所述的光线后向反射元件可采用角锥棱镜,所述的光线分光元件可采用平面分光镜。
- 根据权利要求1所述的21项几何误差激光测量系统,其特征在于,所述的激光光线转向单元主要由转向棱镜或分光、转向棱镜组合而成;所述的转向棱镜包括五角棱镜或直角棱镜,通过移动或转动转向棱镜等方式,将来自激光六自由度误差同时测量单元的测量光束分步转向,分别形成平行于被测数控机床、加工中心或三坐标测量机等精密加工与测量设备三直线运动轴的测量光束;所述的分光、转向棱镜组合还可由两个分光五角棱镜的组合或两个直角半透半反棱镜的组合,可同时将来自激光六自由度误差同时测量单元的测量光束分光成平行于被测数控机床、加工中心或三坐标测量机等精密加工与测量设备三直线运动轴的三束测量光。
- 一种一次安装分步测量得到数控机床、加工中心或三坐标测量机等精密加工与测量设备21项几何误差的方法,用于所述的21项几何误差激光测量系统中,其特征在于包含以下步骤:(1) 安装测量系统:将激光六自由度误差同时测量单元与激光光线转向单元独立或整体固定在被测数控机床、加工中心或三坐标测量机等精密加工与测量设备的夹持工件部件,将几何误差敏感单元固定在被测数控机床、加工中心或三坐标测量机等精密加工与测量设备的夹持刀具部件。(2) 调整测量系统:调整被测数控机床、加工中心或三坐标测量机等精密加工与测量设备的三轴到达ISO 230-1等相关测量标准或要求规定的起始位置,并使几何误差敏感单元尽可能的靠近激光光线转向单元,此位置记做测量起点;配合调整激光光线转向单元和激光六自由度误差同时测量单元的位置和方向,根据权利4所述的激光光线转向单元中不同的激光光线转向结构,同时或分步得到平行于被测数控机床、加工中心或三坐标测量机等精密加工与测量设备X、Y、Z轴的测量光束。(3) 测量X轴的六自由度误差:通过激光光线转向单元将激光六自由度误差同时测量单元出射的光束射向到平行于被测数控机床、加工中心或三坐标测量机等精密加工与测量设备X轴的方向上,控制数控机床、加工中心或三坐标测量机等精密加工与测量设备运动,使得21项几何误差激光测量系统处于测量起点位置;激光六自由度误差同时测量单元配合几何误差敏感单元上对应的六自由度误差敏感部件测量得到X轴起始点的六自由度误差,包括位置误差、水平和竖直方向直线度误差、俯仰角、偏摆角、滚转角等6项几何误差;控制X轴沿正方向运动,按ISO 230-1等相关测量标准或要求规定的间距移动至下一个测量点,移动过程中保持Y轴和Z轴静止,激光六自由度误差同时测量单元测量得到该点的六自由度误差;如此逐点测量直至X轴到达最后一个测量点并测量得到该点的六自由度误差,停止运动,通过以上步骤可得到X轴上所有测量点的六自由度误差;控制X轴按照相同间距反向移动并再次逐点测量,得到所有测量点的六自由度误差。由此可逐点静态测量X轴上各测量点正向、反向移动时的六自由度误差,重复以上步骤可多次静态得到X轴各点正向、反向移动时的六自由度误差;类似地,可控制X轴由测量起点匀速运动至轴上最远测量点并再次匀速返回至测量起点,激光六自由度误差同时测量单元配合几何误差敏感单元上对应的六自由度误差敏感部件连续测量,可动态测量得到X轴上所有规定的测量点正向、反向移动时的六自由度误差。(4) 测量Y轴的六自由度误差:通过激光光线转向单元将激光六自由度误差同时测量单元出射的光束射向到平行于被测数控机床、加工中心或三坐标测量机等精密加工与测量设备Y轴的方向上,按照(3)所述的步骤控制Y轴运动,可以逐点静态得到或连续动态得到Y轴各点正向、反向移动时的六个自由度误差。(5) 测量Z轴的六自由度误差:通过激光光线转向单元将激光六自由度误差同时测量单元出射的光束射向到平行于被测数控机床、加工中心或三坐标测量机等精密加工与测量设备Z轴的方向上,按照(3) 所述的步骤控制Z轴运动,可以逐点静态得到或连续动态得到Z轴各点正向、反向移动时的六个自由度误差。(6) 数据处理:通过以上(3)、(4)、(5)所述的测量步骤,可以分步逐点静态得到或连续动态得到被测数控机床、加工中心或三坐标测量机等精密加工与测量设备X、Y、Z轴各点正向、反向移动时的六个自由度误差,三轴共计18项几何误差;按ISO 230-1等测量标准或要求进行数据处理可以得到X、Y、Z三个运动轴相互之间的3项垂直度误差,以上共计21项几何误差。改变以上(3)、(4)、(5) 测量步骤中X、Y、Z轴测量的先后顺序,并不影响本方法的测量结果;将几何误差敏感单元固定在被测数控机床、加工中心或三坐标测量机等精密加工与测量设备的夹持工件部件,将激光六自由度误差同时测量单元与激光光线转向单元整体固定在被测数控机床、加工中心或三坐标测量机等精密加工与测量设备的夹持刀具部件,重复以上(1)~(6)测量步骤可以得到同样的结果。
- 根据权利要求5所述的一种一次安装分步测量得到数控机床、加工中心或三坐标测量机等精密加工与测量设备21项几何误差的方法,其特征在于,所述的激光六自由度误差同时测量单元和几何误差敏感单元中的六自由度误差敏感部件可分别被激光五自由度误差同时测量单元和几何误差敏感单元中的五自由度误差敏感部件、激光四自由度误差同时测量单元和几何误差敏感单元中的四自由度误差敏感部件,以及激光三自由度误差同时测量单元和几何误差敏感单元中的三自由度误差敏感部件替换,重复权利要求5所述的测量步骤,可分别一次安装分步测量得到数控机床、加工中心或三坐标测量机等精密加工与测量设备的18项几何误差、15项几何误差和12项几何误差。
- 一种可检测21项几何误差的激光测量系统,包括:激光六自由度误差同时测量单元、激光光线转向单元、几何误差敏感单元,其特征在于,夹持工件部件和夹持刀具部件两者之一安装激光六自由度误差同时测量单元与激光光线转向单元,另一个安装几何误差敏感单元,所述的激光光线转向单元在安装状态下具有多个可切换的工作姿态或多部件组合,通过旋转或平移操作,将来自所述的激光六自由度误差同时测量单元的激光光束依次分光或转向到平行于X、Y、Z轴的方向上,并将来自所述的几何误差敏感单元的激光光束分光或转向到所述的激光六自由度误差同时测量单元,完成对应轴的六自由度误差同时测量。
- 根据权利要求7所述的激光测量系统,其特征在于,用于精密加工与测量设备,优选地,用于数控机床、加工中心或三坐标测量机;和/或,所述的激光六自由度误差同时测量单元与所述的几何误差敏感单元配合使用,分别测量得到三个直线运动导轨或运动台的位置误差、水平和竖直方向直线度误差、俯仰角、偏摆角、滚转角;通过三轴直线度误差的数据处理得到三轴相互之间的垂直度误差;和/或,所述的几何误差敏感单元主要包括三个相互垂直的六自由度误差敏感部件,所述的三个六自由度误差敏感部件分别对三个相互垂直的直线运动轴的六项几何误差敏感;或者,所述的几何误差敏感单元还可以由两个相互垂直的六自由度误差敏感部件组成,所述的两个六自由度误差敏感部件分别对两个相互垂直的直线运动轴的六项几何误差敏感,所述的两个六自由度误差敏感部件之中的一个六自由度误差敏感部件旋转90°之后对第三个直线运动轴的六项几何误差敏感;和/或,所述的六自由度误差敏感部件包括两个光线后向反射元件和一个光线分光元件;所述的光线后向反射元件对直线运动轴的位置误差、水平和竖直方向直线度误差敏感;所述的光线分光元件对直线运动轴的俯仰角、偏摆角敏感;所述的两个光线后向反射元件的组合对直线运动轴的滚转角敏感;和/或,所述的光线后向反射元件采用角锥棱镜,所述的光线分光元件采用平面分光镜;和/或,所述的激光光线转向单元由转向棱镜或分光、转向棱镜组合而成;所述的转向棱镜包括多角棱镜(优选五角棱镜)或直角棱镜;或者,所述的分光、转向棱镜组合为两个分光多角棱镜的组合或两个直角半透半反棱镜的组合,可同时将来自激光六自由度误差同时测量单元的测量光束分光成平行于被测数控机床、加工中心或三坐标测量机等精密加工与测量设备三直线运动轴的三束测量光。
- 一种一次安装、分步测量得到数控机床、加工中心或三坐标测量机等精密加工与测量设备21项几何误差的检测方法,其特征在于,包含以下步骤:安装测量系统:将激光六自由度误差同时测量单元与激光光线转向单元独立或整体安装在夹持工件部件和夹持刀具部件两者之一上,将几何误差敏感单元固定在夹持工件部件和夹持刀具部件中的另外一个上;调整测量系统:调整三轴达到预定的起始位置,并使几何误差敏感单元尽可能地靠近激光光线转向单元,此位置记做测量起点;通过旋转或平移切换所述的激光光线转向单元在安装状态下的多个工作姿态或多部件组合,同时或分步得到平行于X、Y、Z轴的三束测量光束;三束测量光相互垂直,作为垂直度误差测量的参考基线;测量X轴的六自由度误差:通过激光光线转向单元将激光六自由度误差同时测量单元出射的光束射向到平行于X轴的方向上,保持数控机床、加工中心或三坐标测量机等精密加工与测量设备静止,使得激光测量系统处于测量起点位置;激光六自由度误差同时测量单元配合几何误差敏感单元上对应的六自由度误差敏感部件测量得到X轴起始点的六自由度误差,包括位置误差、水平和竖直方向直线度误差、俯仰角、偏摆角、滚转角;控制X轴沿正方向运动,按预定的间距移动至下一个测量点,逐点静态测量X轴上各测量点正向、反向移动时的六自由度误差;或者,控制X轴由测量起点匀速运动至轴上最远测量点并再次匀速返回至测量起点,激光六自由度误差同时测量单元配合几何误差敏感单元上对应的六自由度误差敏感部件连续测量,动态测量得到X轴上所有规定的测量点正向、反向移动时的六自由度误差;测量Y轴的六自由度误差:通过激光光线转向单元将激光六自由度误差同时测量单元出射的光束射向到平行于Y轴的方向上,逐点静态得到或连续动态得到Y轴各点正向、反向移动时的六个自由度误差;测量Z轴的六自由度误差:通过激光光线转向单元将激光六自由度误差同时测量单元出射的光束射向到平行于Z轴的方向上,逐点静态得到或连续动态得到Z轴各点正向、反向移动时的六个自由度误差;数据处理:通过三轴的直线度误差数据计算得到三轴运动轨迹与对应轴的测量光线即垂直度误差测量的参考基线的夹角,并进一步计算得到X、Y、Z三个运动轴相互之间的3项垂直度误差。
- 根据权利要求9所述的方法,其特征在于,所述的六自由度误差敏感部件分别被五自由度误差敏感部件、四自由度误差敏感部件,以及三自由度误差敏感部件替换,分别一次安装、分步测量得到18项几何误差、15项几何误差和12项几何误差。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US14/895,991 US9982997B2 (en) | 2015-01-22 | 2015-01-22 | Laser measurement system and method for measuring 21 GMEs |
CN201580001345.1A CN105492860B (zh) | 2015-01-22 | 2015-01-22 | 一种可检测21项几何误差的激光测量系统与方法 |
PCT/CN2015/071300 WO2016115704A1 (zh) | 2015-01-22 | 2015-01-22 | 一种可检测21项几何误差的激光测量系统与方法 |
EP15808066.3A EP3249350B1 (en) | 2015-01-22 | 2015-01-22 | Laser measurement system capable of detecting 21 geometric errors |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/CN2015/071300 WO2016115704A1 (zh) | 2015-01-22 | 2015-01-22 | 一种可检测21项几何误差的激光测量系统与方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
WO2016115704A1 true WO2016115704A1 (zh) | 2016-07-28 |
Family
ID=55678484
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
PCT/CN2015/071300 WO2016115704A1 (zh) | 2015-01-22 | 2015-01-22 | 一种可检测21项几何误差的激光测量系统与方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9982997B2 (zh) |
EP (1) | EP3249350B1 (zh) |
CN (1) | CN105492860B (zh) |
WO (1) | WO2016115704A1 (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108801197A (zh) * | 2018-05-14 | 2018-11-13 | 江苏大学 | 矩形边框角码自动化组装机械用边框双侧平直度同时检测装置 |
Families Citing this family (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106247948A (zh) * | 2016-08-22 | 2016-12-21 | 上海交通大学 | 基于双对称半透半反镜的激光抖动差分补偿系统 |
CN106595480B (zh) * | 2016-12-09 | 2019-03-22 | 北京交通大学 | 用于测量转轴六自由度几何误差的激光测量系统及方法 |
CN107101577A (zh) * | 2017-04-05 | 2017-08-29 | 东莞长盈精密技术有限公司 | 产品测量治具 |
CN107462210B (zh) * | 2017-07-19 | 2019-10-18 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 直线导轨的滚转角测量装置 |
CN107345791B (zh) * | 2017-09-08 | 2023-09-29 | 江苏利普机械有限公司 | 一种激光多尺寸伺服检测装置及其检测系统 |
CN107806825B (zh) * | 2017-09-29 | 2019-04-09 | 西安交通大学 | 基于平面光栅的三面五线机床空间几何误差测量辨识方法 |
CN109798883B (zh) * | 2017-11-16 | 2021-04-27 | 长春长光华大智造测序设备有限公司 | 一种高精度二维平移台垂直度检测方法及装置 |
CN108153234B (zh) * | 2018-01-30 | 2023-08-04 | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 | 机床直线运动运行态的全自由度精度检测装置 |
CN108489424A (zh) * | 2018-04-13 | 2018-09-04 | 上海理工大学 | 用于滚转角和直线度测量的激光干涉系统 |
JP7089401B2 (ja) * | 2018-05-18 | 2022-06-22 | 新東エスプレシジョン株式会社 | 真直度測定装置 |
CN108801187B (zh) * | 2018-06-05 | 2019-08-30 | 华中科技大学 | 基于坐标变换的导轨滑台运动的几何误差辨识方法 |
CN109520443B (zh) * | 2018-10-22 | 2020-06-23 | 天津大学 | 一种基于组合面型基准件的滚转角测量方法 |
CN109556566B (zh) * | 2018-12-06 | 2020-07-03 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种三基座间相对三维姿态角测量系统及方法 |
CN109623496A (zh) * | 2018-12-26 | 2019-04-16 | 哈尔滨理工大学 | 基于多路激光的机床转台误差一次安装检测设备及方法 |
CN109781034B (zh) * | 2019-01-22 | 2020-11-10 | 上海理工大学 | 微小滚转角与直线度同步高精度测量干涉仪以及测量方法 |
CN111443732A (zh) * | 2020-04-22 | 2020-07-24 | 中国人民解放军63816部队 | 一种航天测控设备自引导方法 |
CN112388388B (zh) * | 2020-09-30 | 2022-06-14 | 成都飞机工业(集团)有限责任公司 | 基于标准球阵列的机床几何误差检测方法 |
CN113029614B (zh) * | 2020-10-29 | 2022-08-09 | 中国航空工业集团公司北京航空精密机械研究所 | 高铁轮对测量机几何误差补偿方法及装置 |
CN113843660A (zh) * | 2020-11-12 | 2021-12-28 | 西华大学 | 基于多线激光扫描的数控机床工件检测方法 |
CN113172476B (zh) * | 2021-04-30 | 2023-03-17 | 清华大学深圳国际研究生院 | 数控机床直线运动重复定位精度快速检测装置及补偿方法 |
US20230236085A1 (en) * | 2022-01-26 | 2023-07-27 | Oren Aharon | Non Rotating Lens Centering Device |
CN114894122B (zh) * | 2022-04-26 | 2023-05-16 | 深圳市深视智能科技有限公司 | 垂直度测量探头及测量装置 |
CN117124483B (zh) * | 2023-07-13 | 2024-03-08 | 同济大学 | 基于在线与离线检测的自由曲面棱镜高精度补偿加工方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CA2270228A1 (en) * | 1996-11-08 | 1998-05-14 | The Research Foundation Of State University Of New York | Laser measurement system for rapid calibration of machine tools |
US5798828A (en) * | 1996-03-13 | 1998-08-25 | American Research Corporation Of Virginbia | Laser aligned five-axis position measurement device |
CN1205077A (zh) * | 1996-08-16 | 1999-01-13 | 自动精密公司 | 五轴/六轴激光测量系统 |
DE10341594A1 (de) | 2003-09-04 | 2005-04-14 | JENAer Meßtechnik GmbH | Anordnung zur hochgenauen Positionierung und Messung von auf Objekttischen angeordneten Ojekten |
CN2884141Y (zh) * | 2005-12-30 | 2007-03-28 | 北京交通大学 | 一种激光六自由度同时测量装置 |
CN103424069A (zh) * | 2012-05-22 | 2013-12-04 | 上海微电子装备有限公司 | 用于多几何误差量测量的光学装置、干涉系统及光学测量方法 |
CN103940348A (zh) * | 2014-04-28 | 2014-07-23 | 湖北工业大学 | 一种工作台运动误差多自由度检测的装置及方法 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4804270A (en) * | 1987-09-23 | 1989-02-14 | Grumman Aerospace Corporation | Multi-axis alignment apparatus |
US4884889A (en) * | 1987-11-19 | 1989-12-05 | Brown & Sharpe Manufacturing Company | Calibration system for coordinate measuring machine |
US4939678A (en) * | 1987-11-19 | 1990-07-03 | Brown & Sharpe Manufacturing Company | Method for calibration of coordinate measuring machine |
US5832416A (en) * | 1995-09-01 | 1998-11-03 | Brown & Sharpe Manufacturing Company | Calibration system for coordinate measuring machine |
US7196798B2 (en) * | 2003-06-25 | 2007-03-27 | Excel Precision Corporation | Optical alignment method and apparatus |
EP2219010A1 (en) * | 2009-02-11 | 2010-08-18 | Leica Geosystems AG | Coordinate measuring machine (CMM) and method of compensating errors in a CMM |
US8325333B2 (en) * | 2009-11-04 | 2012-12-04 | National Formosa University | Geometric error measuring device |
US9002503B2 (en) * | 2011-04-04 | 2015-04-07 | Okuma Corporation | Method and program for calculating correction value for machine tool |
CN103673891B (zh) * | 2013-11-21 | 2016-05-18 | 清华大学 | 一种光栅外差干涉自准直测量装置 |
US9857161B2 (en) * | 2014-09-03 | 2018-01-02 | Beijing Jiaotong University | 6DOF error laser simultaneous measurement system with a single polarization maintaining fiber coupling and transmitting the dual-frequency laser |
-
2015
- 2015-01-22 WO PCT/CN2015/071300 patent/WO2016115704A1/zh active Application Filing
- 2015-01-22 CN CN201580001345.1A patent/CN105492860B/zh active Active
- 2015-01-22 US US14/895,991 patent/US9982997B2/en active Active
- 2015-01-22 EP EP15808066.3A patent/EP3249350B1/en active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5798828A (en) * | 1996-03-13 | 1998-08-25 | American Research Corporation Of Virginbia | Laser aligned five-axis position measurement device |
CN1205077A (zh) * | 1996-08-16 | 1999-01-13 | 自动精密公司 | 五轴/六轴激光测量系统 |
CA2270228A1 (en) * | 1996-11-08 | 1998-05-14 | The Research Foundation Of State University Of New York | Laser measurement system for rapid calibration of machine tools |
DE10341594A1 (de) | 2003-09-04 | 2005-04-14 | JENAer Meßtechnik GmbH | Anordnung zur hochgenauen Positionierung und Messung von auf Objekttischen angeordneten Ojekten |
CN2884141Y (zh) * | 2005-12-30 | 2007-03-28 | 北京交通大学 | 一种激光六自由度同时测量装置 |
CN103424069A (zh) * | 2012-05-22 | 2013-12-04 | 上海微电子装备有限公司 | 用于多几何误差量测量的光学装置、干涉系统及光学测量方法 |
CN103940348A (zh) * | 2014-04-28 | 2014-07-23 | 湖北工业大学 | 一种工作台运动误差多自由度检测的装置及方法 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
See also references of EP3249350A4 * |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108801197A (zh) * | 2018-05-14 | 2018-11-13 | 江苏大学 | 矩形边框角码自动化组装机械用边框双侧平直度同时检测装置 |
CN108801197B (zh) * | 2018-05-14 | 2023-09-26 | 江苏大学 | 矩形边框角码自动化组装机械用边框双侧平直度同时检测装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP3249350A1 (en) | 2017-11-29 |
EP3249350B1 (en) | 2019-11-27 |
US20170314916A1 (en) | 2017-11-02 |
EP3249350A4 (en) | 2018-07-25 |
CN105492860B (zh) | 2018-03-09 |
CN105492860A (zh) | 2016-04-13 |
US9982997B2 (en) | 2018-05-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO2016115704A1 (zh) | 一种可检测21项几何误差的激光测量系统与方法 | |
CN2884141Y (zh) | 一种激光六自由度同时测量装置 | |
US4714339A (en) | Three and five axis laser tracking systems | |
US8964023B2 (en) | Device and method for measuring form attributes, position attributes and dimension attributes of machine elements | |
US4647206A (en) | Multi-coordinate measuring machine | |
JP2694986B2 (ja) | 座標測定機用校正システム | |
WO2018103268A1 (zh) | 用于测量转轴六自由度几何误差的激光测量系统及方法 | |
JP3192992B2 (ja) | 工作機械の角度割出精度測定方法及びシステム | |
EP0820579B1 (en) | Opto-electronic measuring apparatus for checking linear dimensions | |
WO2002004890A1 (en) | Aligning optical components of an optical measuring system | |
WO2022222521A1 (zh) | 一种标定系统与标定系统的测量方法 | |
CN113091653B (zh) | 基于五棱镜测量直线导轨角自由度误差的装置及方法 | |
CN102589448B (zh) | 高精度六自由度位姿监测装置 | |
JP2023171867A (ja) | 多軸レーザ干渉測長器 | |
CN103424069A (zh) | 用于多几何误差量测量的光学装置、干涉系统及光学测量方法 | |
TW201819851A (zh) | 轉動角度量測裝置及加工系統 | |
JP3380123B2 (ja) | 工作機械の移動誤差測定システム | |
JP2005345329A (ja) | 測長用レーザ干渉計 | |
TWI832732B (zh) | 外掛式定位誤差檢測系統及方法 | |
RU199302U1 (ru) | Оптическое устройство для измерения и контроля осевого режущего инструмента для мехобработки с компактной оптической схемой | |
JPH10146736A (ja) | 工作機械の運動軌跡測定システム及び工作機械の運動軌跡測定用測長器 | |
RU2309380C1 (ru) | Устройство для измерения малых перемещений объекта | |
TW201043916A (en) | Geometric error detection device | |
CN116202430A (zh) | 一种用于三维微位移滑块6自由度误差光学测量系统 | |
JP2004251785A (ja) | 球面モータを用いた首振り運動光てこによる光線追尾式レーザ干渉測長装置および該装置を用いた座標測定方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
WWE | Wipo information: entry into national phase |
Ref document number: 201580001345.1 Country of ref document: CN |
|
WWE | Wipo information: entry into national phase |
Ref document number: 14895991 Country of ref document: US |
|
REEP | Request for entry into the european phase |
Ref document number: 2015808066 Country of ref document: EP |
|
WWE | Wipo information: entry into national phase |
Ref document number: 2015808066 Country of ref document: EP |
|
121 | Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application |
Ref document number: 15808066 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |
|
NENP | Non-entry into the national phase |
Ref country code: DE |