WO2015190657A1 - 리닉 간섭계의 기준미러 변환장치 - Google Patents

리닉 간섭계의 기준미러 변환장치 Download PDF

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WO2015190657A1
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objective lens
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bracket
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김호환
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(주)지엘테크
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Definitions

  • the present invention relates to a reference mirror converting apparatus of a linic interferometer, and more particularly, to prevent two-dimensional measurement by blocking the light reflected from the reference mirror in the lenticular interference lens microscope to enable two-dimensional measurement and multiple reference mirrors
  • the present invention relates to a reference mirror converting apparatus of a linic interferometer which can improve the visibility and sharpness of a 3D image by selecting a reference mirror having a reflectance similar to that of a measurement object.
  • the interference microscope is a microscope using the interference phenomenon of light, and when the light emitted from the same point is divided into two at once and recombined again, the phase difference between the two wave faces is constant, so the illuminance of the observed place shows a regular spatial distribution. .
  • a microscope which allows observation of slight irregularities and optical thickness differences of the subject as contrast or color difference by using the interference of light.
  • a diffusive differential interference microscope is used for a biomicroscope.
  • Types of interference lenses are Michelson, Mirau and Linnik, and Michelson type is a structure that ensures WD (Work Distance) of 5 times or less low magnification interference lens.
  • the type is possible in a structure with a WD of 10 times or more, and the linic type has the advantage that it can cause interference at all magnifications.
  • (1) is a light source
  • (2) is translucent glass
  • (3) is a reference mirror
  • (4) is an objective lens
  • (5) is an object to be measured.
  • the principle of measurement is that the difference between the optical path lengths of the two lights is equal to ⁇ / 2 ( ⁇ : wavelength of light) in accordance with the interference of the light reflected from the surface of the object under test (5) and the light reflected from the reference mirror (3). Since the doubled part is bright and the odd-numbered part of ⁇ / 2 is darkened, the ⁇ / 2 pitch (the difference in the optical path length is effective at twice the unevenness of the surface to be measured) on the surface to be measured. Attention was paid to the phenomenon in which the contour pattern 6 appeared.
  • Such an interference microscope is good to look at the overall shape of the object to be measured schematically and intuitively from a high place, but there are various problems in order to grasp the shape quantitatively, and it is difficult to apply it to shape measurement in reality.
  • the interference lens is a phenomenon caused by reinforcement and extinction interference due to two waves, and an interference pattern is generated, and as shown in FIG. 1, it is difficult to measure (binarize) the diameter of a circle in two dimensions due to the interference pattern. .
  • three-dimensional measurements using commercially available technologies include AFM, interferometry, laser confocal, and optical triangulation.
  • AFM has good height resolution but is impossible to measure large area and high step.
  • Optical triangulation is good for measuring wide area and high step, but it is impossible to measure nanoscale unit because of poor height resolution.
  • the laser confocal method can be used to measure two-dimensional and three-dimensional measurements.However, the laser confocal has a different resolution in the height direction depending on the depth of focus of the objective lens. Higher resolution than the principle of interference
  • Interferometric microscope is good to look at the overall shape of the object to be measured in a general and intuitive way, but to solve the problem that it is difficult to grasp the shape quantitatively, it is possible to measure three-dimensional curved shape to measure quantitatively and quickly.
  • Conventional technology related to a method and apparatus for measuring using interference of light is disclosed in Korean Patent Publication No. 1992-0010550.
  • the interference microscope still has a problem that two-dimensional measurement is impossible due to the interference phenomenon.
  • an object of the present invention is to remove the interference pattern by blocking the light reflected from the reference mirror to remove the interference pattern of the reference mirror conversion apparatus of the linic interferometer can be used to enable To provide.
  • Another object of the present invention is to provide a reference mirror converting apparatus of a linic interferometer which can improve visibility and intensity by allowing a reference mirror having a reflectance similar to that of a measurement object to be selected.
  • a reference mirror converting apparatus of a linic interferometer includes: a second objective lens configured to photograph an enlarged image of an enlarged image of a measurement object; A beam splitter for passing a portion of the light emitted from the light source or a portion of the light from the second objective lens so as to pass or reflect the light toward the camera and the other toward the reference mirror; A first objective lens for focusing light emitted from the beam splitter into a reference mirror; A plurality of reference mirrors reflecting light incident from the first objective lens; A plurality of reference mirror brackets for supporting the plurality of reference mirrors; A rotating plate to which the plurality of reference mirror brackets are formed at the same angle; A motor for generating a rotational force for rotating the rotating plate; An initial rotation angle sensor for detecting an initial rotation angle of the rotating plate; And controlling the rotation to drive the motor according to a user's command to rotate the rotating plate and detect an initial rotation angle with the initial rotation angle sensor so that a desired reference mirror can be
  • the rotating plate has a plurality of bracket holes are formed so that a plurality of reference mirror brackets are installed, the portion is not formed without reflecting the light incident from the first objective lens It is characterized by acting as a blocking plate to block two-dimensional measurement.
  • a focus adjusting groove transversely centered on a front surface of the reference mirror bracket is formed, and the rotating means is inserted into the focus adjusting groove to rotate in the forward direction (right screw direction) or in the reverse direction.
  • the reference mirror bracket is moved forward or backward so that the optical paths of the first objective lens and the second objective lens coincide with each other.
  • a plurality of tilting adjustment screws having a predetermined angle with each other along the circumference of the plurality of reference mirror brackets are installed so that the first objective lens and the first objective lens may be applied to light incident from the first objective lens.
  • the optical paths of the two objective lenses are adjusted to coincide with each other so that the central optical axis of the first objective lens and the reference mirror plane are adjusted to be normal.
  • the reference mirror bracket is tilted at a position corresponding to the plurality of reference mirror brackets on the side of the rotating plate, and the optical paths of the first objective lens and the second objective lens are coincident with each other.
  • Reference mirror bracket fixing means for fixing to be fixed in a state is characterized in that it is installed.
  • the reference mirror bracket fixing means is characterized in that the fixing screw hole is formed on the side of the rotating plate and the bracket fixing screw is screwed through the fastening member made of synthetic resin.
  • a plurality of reference mirrors are installed on the rotating plate, and the parts without reference mirrors are configured so that interference does not occur when a part without the reference mirror comes into focus of the objective lens, thereby enabling two-dimensional measurement. It is possible to improve the visibility and clarity of the 3D image by selecting a reference mirror having a reflectance similar to that of the measurement object among the reference mirrors.
  • FIGS. 2 and 3 are a perspective view and a cross-sectional view showing the configuration of an embodiment of a reference mirror conversion device of the linic interferometer according to the present invention
  • Figure 4 is a side view as viewed from the side of the reference mirror converting device to see the rotating plate according to the present invention from the front,
  • Figure 5 (a) (b) is a perspective view showing the front and rear of the rotating plate according to the present invention.
  • FIG. 6 is a front view of a rotating plate according to the present invention.
  • FIG. 7 is a cross-sectional view taken along the line A-A of FIG.
  • FIGS. 2 and 3 are a perspective view and a cross-sectional view showing the configuration of an embodiment of a reference mirror converting apparatus of a linic interferometer according to the present invention.
  • the reference mirror converting apparatus 100 includes an enlarged image (( A second objective lens 10 which causes the zoom lens 110 and the imaging lens 120 to be enlarged, and then enlarges the zoom lens 110 and the imaging lens 120 to be photographed by the camera 130; A portion of the light emitted from the light source 25 or a portion of the light emitted from the second objective lens 10 passes or reflects the light toward the camera 130 through the zoom lens 110 and the imaging lens 120.
  • a first objective lens 30 focusing the light emitted through the beam splitter 20 into the reference mirror 40;
  • a plurality of reference mirror brackets 50 for supporting the plurality of reference mirrors 40;
  • a motor 70 generating a rotational force for rotating the rotating plate 60;
  • An initial rotation angle sensor 80 for detecting an initial rotation angle of the rotating plate 60;
  • Reference numeral "75”, which is not described herein, is a coupling for transmitting the rotational force of the motor 70 to the rotary plate 60
  • "65” is a bearing for reducing the friction on the rotating shaft of the rotary plate 60
  • "85” is a rotary plate 60
  • "76” is a motor bracket for supporting the motor 70 to the rotary plate support (85).
  • the reference mirror converting apparatus 100 of the clinic interferometer causes the light reflected from the measurement object 200 to interfere with the light reflected from the reference mirror 40 to enlarge an image of the object 200 to be measured. By generating an interference fringe in the 3D measurement of the measurement object 200.
  • the reflectance of the measurement object 200 and the reference mirror 40 in the interferometer is different, the visibility (Visibility) and the intensity (Intensity) is lowered, so that a plurality of reference mirror brackets 45 are installed in the three-dimensional measurement (60) )
  • the control device controls the motor 70 to control the motor 70.
  • the rotational force generated is applied to the rotating plate 60 through a coupling 75, for example, a flexible coupling, and rotates.
  • the initial rotating angle sensor 80 detects the initial rotating angle according to the rotation of the rotating plate 60. Rotation is controlled to select a desired reference mirror 40, for example, a first reference mirror 40a having a reflectance similar to that of the measurement object 200, from among the plurality of reference mirrors 40.
  • the description of the control device is omitted here.
  • FIG. 4 is a side view as viewed from the side of the reference mirror converting apparatus so that the rotating plate according to the present invention is seen from the front
  • FIGS. 5A and 5B are perspective views showing the front and rear surfaces of the rotating plate according to the present invention
  • FIG. 6A The front view of the rotating plate by this invention is shown to FIG. 6B, and the sectional drawing which cut the rotating plate by this invention along the AA line is shown by FIG. 6B.
  • the rotating plate 60 has a disc shape, and five bracket holes 61 are formed at an angle of 60 ° so that the five reference mirror brackets 50a-50e are installed, and the bracket holes 61 are formed.
  • the portion that is not provided acts as a blocking plate (rotating plate itself without the reference mirror bracket 50 installed) blocking the light incident from the first objective lens 30 without reflecting, thereby enabling two-dimensional measurement.
  • the reference mirror 40 is attached to the rear surface of the five reference mirror brackets 50a-50e, and five reference mirrors having different reflectances on the five reference mirror brackets 50a-50e, respectively. 40a-40e) are attached.
  • the first reference mirror bracket attaches lowercase letters such as “a” to “50” like “50a”, but represents the whole. In case of designation, the representative symbol "50” is used. The same applies to other components such as the reference mirror 40.
  • five reference mirrors 40 are attached to five reference mirror brackets 50, but if necessary, six reference mirror brackets 50, such as six, eight, etc., are further installed to install the reference mirrors 40 ) Can be attached.
  • an optical path adjusting groove 52 transversely centered on the front surface of the reference mirror bracket 50 is formed, and a predetermined angle (for example, 120 °, etc.) is formed along the circumference of the reference mirror bracket 50.
  • a predetermined angle for example, 120 °, etc.
  • Many tilting adjustment screws 51a-51c are provided in this embodiment.
  • the camera While watching the image photographed at 130, a rotation means (for example, a driver, etc.) is inserted into the optical path adjusting groove 52 and rotated in the forward direction (right screw direction) or in the reverse direction so that the reference mirror bracket 50 moves forward or backward.
  • the optical paths of the first objective lens 30 and the second objective lens 10 are adjusted to match each other.
  • the selected third reference mirror 40 When the selected third reference mirror 40 is adjusted so that the optical paths of the first objective lens 30 and the second objective lens 10 coincide with each other, the interference fringes do not have a constant distance from each other in the image photographed by the camera 130. Since the selected reference mirror 40 is inclined to either side, the first to third tilting adjustment screws 51a to 51c may be adjusted to adjust the selected third reference mirror to the light incident from the first objective lens 30. Adjust 40c) to be vertical (normal).
  • the tilt of the second upper limit is adjusted so that the three tilting adjusting screws 51 adjust the tilting of the three parts of the reference mirror 40 so that the light reflected from the selected third reference mirror 40c is incident. Adjust to proceed through the same path as the light path.
  • three tilting adjustment screws 51 are installed to adjust the tilting of the three parts of the reference mirror 40, but if necessary, three or more tilting adjustment screws 51 are installed to set the three of the selected reference mirrors 40.
  • the tilting can be adjusted in more than one parts.
  • a fixing screw hole 63 formed at a position corresponding to the five reference mirror brackets 50a-50e is formed on the side of the rotating plate 60, and a fastening member 64 (aka, acetyl, etc.) made of synthetic resin is formed.
  • a fastening member 64 aka, acetyl, etc.
  • the reference mirror 40 is not installed, and the rotating plate 60 forms a portion of the rotating plate 60 itself so that the light incident from the first objective lens 30 is extinguished without being reflected.
  • Two-dimensional measurement is possible so that the light emitted from the second objective lens 10 is passed through the lens 110 and the image forming lens 120 without any interference from the splitter 20 and is photographed by the camera 130. Let's do it.

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Abstract

본 발명은 리닉 간섭계의 기준미러 변환장치에 관한 것으로서, 제 1 대물렌즈(30)가 빔 스플리터(20)를 통해서 나오는 빛을 기준미러(40)로 집속하고, 다수의 기준미러(40)가 제 1 대물렌즈(30)에서 입사되는 빛을 반사시키고, 다수의 기준미러(40)가 다수의 기준미러 브라켓(45)에 설치되고, 다수의 기준미러 브라켓(45)이 동일한 각을 이루면서 회전판(60)에 설치되고 회전판(60)을 모터(70)로 회전시켜 다수의 기준미러(40) 중에서 측정 대상체(200)와 유사한 반사율을 가지는 기준미러(40)가 선택될 수 있도록 회전을 제어하도록 구성됨으로써 물품이 언제나 다른 물품들과 분리된 상태를 유지함으로써 물품간 접착을 방지하여 물품간 접착이 쉽게 일어나는 재질로 포장된 물품의 접착을 방지할 수 있다.

Description

리닉 간섭계의 기준미러 변환장치
본 발명은 리닉 간섭계의 기준미러 변환장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 리닉 방식의 간섭렌즈 현미경에서 기준미러에서 반사되는 빛을 차단하여 간섭이 일어나지 않도록 하여 2차원측정이 가능하게 하고 다수의 기준미러 중에서 측정체와 유사한 반사율을 가진 기준미러를 선택할 수 있도록 하여 3차원 영상의 가시도와 선명도를 향상시킬 수 있는 리닉 간섭계의 기준미러 변환장치에 관한 것이다.
간섭현미경은 빛의 간섭현상을 이용한 현미경이며, 동일점에서 나간 빛을 한 번에 2개로 나누고 다시 합치면 2개의 물결면의 위상차이는 일정하므로, 관찰되는 장소의 조도는 규칙적인 장소적 분포를 나타낸다.
이 광의 간섭을 이용하여 피검체의 약간의 요철(凹凸)이나 광학적 두께의 차이를 명암이나 빛깔의 차이로서 관찰할 수 있게 한 현미경으로서, 생물현미경용으로 보급한 것에는 굴절 미분 간섭현미경이 있다.
간섭렌즈의 종류는 미켈슨(Michelson), 미라우(Mirau), 리닉(Linnik) 타입이 있으며, 미켈슨(Michelson) 타입은 저배율 간섭렌즈 5배 이하의 W.D (Work Distance)가 확보되는 구조이며, 미라우 타입은 10배 이상의 W.D가 작은 구조에서 가능하며, 리닉 타입은 모든 배율에서 간섭을 일으킬 수 있는 장점이 있다.
그 측정원리는 제1도에 나타낸 것과 같이 (1)은 광원, (2)는 반투명유리, (3)은 참조거울, (4)는 대물렌즈이며, (5)는 피측정 대상체이다. 이 측정원리는 피측정대상(5)의 표면에서 반사된 빛과 참조거울 (3)에서 반사된 빛의 간섭에 따라 2개의 빛의 광로길이의 차가 λ/2(λ:빛의 파장)의 짝수배로 되어 있는 부분이 밝고, 또 λ/2의 홀수배의 부분이 어두워지기 때문에 피측정 대상체 표면에 λ/2피치(광로의 길이 차는 피측정대상 표면의 요철량의 2배에서 효과가 있다)의 등고선 무늬(6)가 나타나는 현상에 착안하였다.
이러한 간섭 현미경은, 피측정대상의 전체 형상을 개괄적으로 또한 직관적으로 높은 곳에서 내려다 보기는 좋지만, 그 형상을 정량적으로 파악하려면 여러가지 문제점이 있어 현실적으로 형상계측에 적용하기에는 곤란하였다.
그러나 간섭렌즈는 두 개의 파동이 만나서 보강과 소멸간섭에 의한 현상으로서 간섭무늬(Interference Pattern)가 생기며 도 1에 도시된 바와 같이 간섭무늬로 인해서 원의 지름을 2차원으로 측정(이진화 처리)하기 힘들다.
간섭무늬를 제거해야 2차원 측정이 가능하기 때문에 현재 상용화된 기술로 3차원 측정을 할 수 있는 원리는 AFM, 광간섭 (Interferometry), 공초점(Laser Confocal), 광삼각법 등이 있다.
그러나 AFM은 높이 분해능은 좋으나 넓은 면적과 높은 단차를 측정하기에는 불가능하며, 광삼각법은 넓은 영역과 높은 단차를 측정하기에는 좋지만 높이 분해능이 좋지 않기 때문에 나노 단위를 측정하기에는 불가능하다.
대물렌즈를 이용한 공초점(Laser Confocal) 방식으로 현재 2차원 측정과 3차원 측정이 가능하지만, 공초점(Laser Confocal)은 대물렌즈의 초점심도(Depth of focus)에 따라서 높이방향의 분해능이 다르며 광 간섭의 원리보다 높이 분해능이 떨어진다.
간섭 현미경은, 피측정대상의 전체 형상을 개괄적으로 또한 직관적으로 높은 곳에서 내려다 보기는 좋지만, 그 형상을 정량적으로 파악하기 어려운 문제점을 해결하기 위하여 정량적이고 고속으로 측정할 수 있도록 3차원 곡면형상을 빛의 간섭을 이용하여 측정하는 방법 및 장치에 관한 종래의 기술이 대한민국 공고특허 제1992-0010550호에 개시되어 있다.
하지만 이 종래의 기술에서도 간섭현미경은 간섭현상때문에 2차원 측정이 불가능하다는 문제점이 여전히 있었다.
본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위해 발명된 것으로서 본 발명의 목적은, 기준미러에서 반사되는 빛을 차단하여 간섭무늬를 제거하여 2차원 측정이 가능하게 사용할 수 있는 리닉 간섭계의 기준미러 변환장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 측정 대상체와 유사한 반사율을 가진 기준미러를 선택할 수 있도록 하여 가시도(Visibility)와 선명도(Intensity)를 향상시킬 수 있는 리닉 간섭계의 기준미러 변환장치를 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 의한 리닉 간섭계의 기준미러 변환장치는 측정 대상체를 확대시킨 확대상을 카메라에서 촬영하도록 하는 제2 대물렌즈와; 광원에서 방사되는 빛의 일부 또는 상기 제2 대물렌즈에서 나오는 빛의 일부는 통과시키거나 반사시켜 상기 카메라로 향하도록 하고 나머지는 기준미러를 향하도록 하는 빔 스플리터와; 상기 빔 스플리터를 통해서 나오는 빛을 기준미러로 집속하는 제 1 대물렌즈와; 상기 제 1 대물렌즈에서 입사되는 빛을 반사시키는 다수의 기준미러와; 상기 다수의 기준미러를 지지하는 다수의 기준미러 브라켓과; 상기 다수의 기준미러 브라켓이 동일한 각을 이루면서 설치되는 회전판과; 상기 회전판을 회전시키는 회전력을 발생시키는 모터와; 상기 회전판의 초기 회전각을 감지하는 초기 회전각 센서와; 사용자의 명령에 따라 상기 모터를 구동제어하여 상기 회전판을 회전시키고 상기 초기 회전각 센서로 초기 회전각을 감지하여 상기 다수의 기준미러 중에서 원하는 기준미러가 선택될 수 있도록 회전을 제어하는 제어장치를 포함하여 구성된다.
본 발명의 일실시예에 의하면, 상기 회전판은 다수의 기준미러 브라켓이 설치되도록 다수의 브라켓 구멍이 형성되고, 상기 브라켓 구멍이 형성되지 않은 부분은 상기 제1 대물렌즈에서 입사되는 빛을 반사시키지 않고 차단하는 차단판으로 작용하여 2차원 측정을 가능하게 하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일실시예에 의하면, 상기 기준미러 브라켓의 전면에 중심을 횡으로 가로지르는 초점 조정홈이 형성되어 있으며, 상기 초점 조정홈에 회전수단을 삽입하여 정방향(오른나사 방향) 또는 역방향으로 회전시켜 상기 기준미러 브라켓이 전진 또는 후진하여 상기 제 1 대물 렌즈와 제2 대물렌즈의 광경로가 일치하도록 조정하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일실시예에 의하면, 상기 다수의 기준미러 브라켓의 원주를 따라 서로 일정한 각을 이루는 다수의 틸팅 조정나사가 설치되어 상기 제 1 대물 렌즈에서 입사되는 빛에 대하여 상기 제 1 대물 렌즈와 제2 대물렌즈의 광경로가 일치하도록 조정되어 상기 제1 대물렌즈의 중심 광축과 기준미러 평면이 법선이 되도록 조정하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일실시예에 의하면, 상기 회전판의 측면에 다수의 기준미러 브라켓에 대응하는 위치에 상기 기준미러 브라켓이 틸팅 조정된 상태 및 상기 제1 대물렌즈와 제2 대물렌즈의 광경로가 일치된 상태로 고정되도록 고정하는 기준미러 브라켓 고정수단이 설치되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일실시예에 의하면, 상기 기준미러 브라켓 고정수단은 상기 회전판의 측면에 고정나사 구멍을 형성하고 합성수지로 제작된 조임부재를 개재해서 브라켓 고정나사를 나사 결합시켜 조여주는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면 다수의 기준미러를 회전판에 설치하고 기준미러가 설치되지 않는 부분을 구성하여 기준미러가 없는 부분이 대물렌즈의 초점에 올 때 간섭이 일어나지 않도록 하여 2차원 측정이 가능하게 하고 다수의 기준미러 중에서 측정체와 유사한 반사율을 가진 기준미러를 선택할 수 있도록 하여 3차원 영상의 가시도와 선명도를 향상시킬 수 있다.
도 1은 종래의 기술에 의한 간섭현미경의 원리를 나타낸 설명도,
도 2 와 도 3은 본 발명에 의한 리닉 간섭계의 기준미러 변환장치의 일 실시예의 구성을 나타내는 사시도와 단면도,
도 4는 본 발명에 의한 회전판을 정면에서 보이도록 기준미러 변환장치의 측면에서 바라본 측면도,
도 5(a)(b)는 본 발명에 의한 회전판의 전면과 후면을 나타내는 사시도,
도 6은 본 발명에 의한 회전판의 정면도,
도 7은 도 6의 A-A 선 단면도이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면에 의거하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 2 와 도 3 에 본 발명에 의한 리닉 간섭계의 기준미러 변환장치의 일 실시예의 구성을 나타내는 사시도와 단면도가 도시된다.
본 발명에 의한 기준미러 변환장치(100)는 측정 대상체(200)를 확대시킨 확대상((
Figure 64f4
大像)을 줌렌즈(110)와 결상렌즈(120)에 맺게하여서 줌렌즈(110)와 결상렌즈(120)에서 다시 확대시켜 카메라(130)에서 촬영하도록 하는 제2 대물렌즈(10)와; 광원(25)에서 방사되는 빛의 일부 또는 상기 제2 대물렌즈(10)에서 나오는 빛의 일부는 통과시키거나 반사시켜 상기 줌렌즈(110)와 결상렌즈(120)를 통해 카메라(130)로 향하도록 하고 나머지는 기준미러(40)를 향하도록 하는 빔 스플리터(20)와; 상기 빔 스플리터(20)를 통해서 나오는 빛을 기준미러(40)로 집속하는 제 1 대물렌즈(30)와; 상기 제 1 대물렌즈(30)에서 입사되는 빛을 반사시키는 다수의 기준미러(40)와; 상기 다수의 기준미러(40)를 지지하는 다수의 기준미러 브라켓(50)과; 상기 다수의 기준미러 브라켓(45)이 동일한 각을 이루면서 설치되는 회전판(60)과; 상기 회전판(60)을 회전시키는 회전력을 발생시키는 모터(70)와; 상기 회전판(60)의 초기 회전각을 감지하는 초기 회전각 센서(80)와; 사용자가 제어장치에 특정 기준 미러(40)를 선택하기 위한 명령을 입력하면 상기 모터(70)를 구동제어하여 상기 회전판(60)을 회전시키고 상기 초기 회전각 센서(80)로 초기 회전각을 감지하여 다수의 기준미러(40) 중에서 원하는 기준미러(40)가 선택될 수 있도록 회전을 제어하는 제어장치를 포함하여 구성된다.
여기서 설명안된 부호 "75"는 모터(70)의 회전력을 회전판(60)에 전달하는 커플링, "65"는 회전판(60)의 회전축에 마찰을 감소시키는 베어링, "85"는 회전판(60)을 지지하는 회전판 지지대, "76"은 모터(70)를 회전판 지지대(85)에 지지하는 모터 브라켓이다.
본 발명에 의한 리닉 간섭계의 기준미러 변환장치(100)는 측정 대상체(200)에서 반사되는 빛을 기준미러(40)에서 반사되어 오는 빛과 간섭을 일으키도록 하여 측정 대상물체(200)의 확대상에 간섭무늬를 발생시켜 측정 대상체(200)의 3차원 측정을 가능하게 한다.
간섭계에서 측정 대상체(200)와 기준미러(40)의 반사율이 다를 경우 영상의 가시도(Visibility)와 선명도(Intensity)가 낮아지므로 3차원 측정시 다수의 기준미러 브라켓(45)이 설치된 회전판(60)을 모터(70)로 회전시켜 다수의 기준미러(40) 중에서 측정 대상체(200)와 유사한 반사율을 가진 제1 기준미러(40a)를 선택할 수 있도록 한다.
사용자가 제어장치에 특정 기준 미러(40)를 선택하기 위한 명령(예를 들면 제 1 기준미러(40a)를 선택하는 명령)을 입력하면 제어장치는 모터(70)를 제어하여 모터(70)에서 발생되는 회전력을 커플링(75), 예를 들면 플렉시블 커플링 등을 통해 회전판(60)에 인가하여 회전시키고 회전판(60)의 회전에 따라 초기 회전각 센서(80)로 초기 회전각을 감지하여 다수의 기준미러(40) 중에서 원하는 기준미러(40), 예를 들면 측정 대상체(200)와 유사한 반사율을 가진 제1 기준미러(40a)가 선택될 수 있도록 회전을 제어한다. 여기서 제어장치에 관한 설명은 생략한다.
도 4에 본 발명에 의한 회전판을 정면에서 보이도록 기준미러 변환장치의 측면에서 바라본 측면도가 도시되고, 도 5a와 도 5b에 본 발명에 의한 회전판의 전면과 후면을 나타내는 사시도가 도시되고, 도 6a에 본 발명에 의한 회전판의 정면도가 도시되고, 도 6b에 본 발명에 의한 회전판을 A-A 선을 따라 자른 단면도가 도시된다.
본 발명에 의한 회전판(60)은 원판형태이고, 5개의 기준미러 브라켓(50a- 50e)이 설치되도록 5개의 브라켓 구멍(61)이 60°의 각을 이루면서 형성되고, 브라켓 구멍(61)이 형성되지 않은 부분은 제1 대물렌즈(30)에서 입사되는 빛을 반사시키지 않고 차단하는 차단판(기준미러 브라켓(50)이 설치되지 않은 회전판 자체)으로 작용하여 2차원 측정을 가능하게 한다.
5개의 기준미러 브라켓(50a- 50e)의 이면에는 도 5b에 도시된 바와 같이 기준미러(40)가 부착되며, 5개의 기준미러 브라켓(50a- 50e)에 각각 다른 반사율을 갖는 5개의 기준미러(40a- 40e)가 부착된다.
여기서 5개의 제1 내지 제5 기준미러 브라켓(50a- 50e)을 개별적으로 가리키는 경우 제1 기준 미러 브라켓은 "50a"와 같이 부호 "50"에 "a" 등의 영문 소문자를 붙이지만 전체를 대표하여 가리키는 경우 대표부호 "50"을 사용한다. 기준미러(40)등 다른 구성요소에 대해서도 마찬가지이다.
본 실시예에서는 5개의 기준미러 브라켓(50)에 5개의 기준미러(40)가 부착되지만 더 필요한 경우 6개, 8개,...등 기준미러 브라켓(50)을 더 설치하여 기준미러(40)를 더 부착할 수 있다.
또한 기준미러 브라켓(50)의 전면에 중심을 횡으로 가로지르는 광경로 조정홈(52)이 형성되어 있으며, 기준미러 브라켓(50)의 원주를 따라 서로 일정한 각(예를 들면 120°등)을 이루는 다수, 본 실시예에서는 3개의 틸팅 조정나사(51a-51c)가 설치된다.
측정 대상체(200)와 반사율이 유사한 기준미러(40)를 선택하기 위해 모터(70)를 회전시켜 원하는 제3 기준미러(40c)가 제 1 대물렌즈(30)의 초점에 오도록 선택되면, 카메라(130)에서 촬영되는 영상을 보면서 광경로 조정홈(52)에 회전수단(예를 들면, 드라이버 등)을 삽입하여 정방향(오른나사 방향) 또는 역방향으로 회전시켜 기준미러 브라켓(50)이 전진 또는 후진하여 제 1 대물 렌즈(30)와 제2 대물 렌즈(10)의 광경로가 일치하도록 조정한다.
선택된 제3 기준미러(40)가 제 1 대물 렌즈(30)와 제2 대물 렌즈(10)의 광경로가 일치하도록 조정되었더라도 카메라(130)에서 촬영되는 영상에서 간섭무늬가 서로 일정한 간격이 안되는 경우 상기 선택된 기준미러(40)가 어느 한쪽으로 기울어져 있으므로 제1 내지 제3 틸팅 조정나사(51a-51c)를 조정하여 제 1 대물 렌즈(30)에서 입사되는 빛에 대하여 상기 선택된 제3 기준미러(40c)가 수직(법선)이 되도록 조정한다.
예를 들어 제1 틸팅 조정나사(51a)를 드라이버로 정방향 또는 역방향으로 회전시켜 전진 또는 후진 시키면 제1 틸팅 조정나사(51a)에 대응하는 부분(예를 들면 카메라(130)에서 촬영된 영상을 4상한으로 나누는 경우 제2 상한)의 틸팅이 조정됨으로써 3개의 틸팅 조정나사(51)가 기준미러(40)의 3부분의 틸팅을 각각 조정하여 선택된 제3 기준미러(40c)에서 반사되는 빛이 입사되는 빛의 경로와 동일한 경로를 통해 진행하도록 조정한다.
본 실시예에서는 3개의 틸팅 조정나사(51)를 설치하여 기준미러(40)의 3부분의 틸팅을 조정하지만 필요한 경우 3개 이상의 틸팅 조정나사(51)를 설치하여 선택된 기준미러(40)의 3개 이상의 부분에서 틸팅을 조정할 수 있다.
조정이 완료되면 회전판(60)의 측면에 5개의 기준미러 브라켓(50a-50e)에 대응하는 위치에 형성된 고정나사 구멍(63)을 형성하고 합성수지로 제작된 조임부재(64, 일명, 아세틸 등)를 개재해서 브라켓 고정나사(62)를 나사 결합시켜 조여줌으로써 기준미러 브라켓(50)이 틸팅 조정된 상태와 제 1 대물 렌즈(30)와 제2 대물 렌즈(10)의 광경로가 일치된 상태로 고정되도록 한다.
본 발명에 의한 회전판(60)에는 기준미러(40)가 설치되지 않고 회전판(60) 그 자체로 된 부분을 형성하여 제1 대물렌즈(30)에서 입사되는 빛이 반사되지 않고 소멸되도록 하여 상기 빔 스플리터(20)에서 간섭이 생기지 않고 제2 대물렌즈(10)에서 나오는 빛이 그대로 상부로 줌인 렌즈(110)와 결상렌즈(120)를 통해 진행하여 카메라(130)에서 촬영되도록 2차원 측정이 가능하게 한다.
이상에서, 출원인은 본 발명의 다양한 실시예들을 설명하였지만, 이와 같은 실시예들은 본 발명의 기술적 사상을 구현하는 일 실시예일 뿐이며, 본 발명의 기술적 사상을 구현하는 한 어떠한 변경예 또는 수정예도 본 발명의 범위에 속하는 것으로 해석되어야 한다.

Claims (6)

  1. 측정 대상체를 확대시킨 확대상을 카메라에서 촬영하도록 하는 제2 대물렌즈와;
    광원에서 방사되는 빛의 일부 또는 상기 제2 대물렌즈에서 나오는 빛의 일부는 통과시키거나 반사시켜 상기 카메라로 향하도록 하고 나머지는 기준미러를 향하도록 하는 빔 스플리터와;
    상기 빔 스플리터를 통해서 나오는 빛을 기준미러로 집속하는 제 1 대물렌즈와;
    상기 제 1 대물렌즈에서 입사되는 빛을 반사시키는 다수의 기준미러와;
    상기 다수의 기준미러를 지지하는 다수의 기준미러 브라켓과;
    상기 다수의 기준미러 브라켓이 동일한 각을 이루면서 설치되는 회전판과;
    상기 회전판을 회전시키는 회전력을 발생시키는 모터와;
    상기 회전판의 초기 회전각을 감지하는 초기 회전각 센서와;
    사용자의 명령에 따라 상기 모터를 구동제어하여 상기 회전판을 회전시키고 상기 초기 회전각 센서로 초기 회전각을 감지하여 상기 다수의 기준미러 중에서 원하는 기준미러가 선택될 수 있도록 회전을 제어하는 제어장치를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 리닉 간섭계의 기준미러 변환장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 회전판은 다수의 기준미러 브라켓이 설치되도록 다수의 브라켓 구멍이 형성되고, 상기 브라켓 구멍이 형성되지 않은 부분은 상기 제1 대물렌즈에서 입사되는 빛을 반사시키지 않고 차단하는 차단판으로 작용하여 2차원 측정을 가능하게 하는 것을 특징으로 하는 리닉 간섭계의 기준미러 변환장치.
  3. 제 1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 기준미러 브라켓의 전면에 중심을 횡으로 가로지르는 초점 조정홈이 형성되어 있으며, 상기 초점 조정홈에 회전수단을 삽입하여 정방향(오른나사 방향) 또는 역방향으로 회전시켜 상기 기준미러 브라켓이 전진 또는 후진하여 상기 제 1 대물 렌즈와 제2 대물렌즈의 광경로가 일치하도록 조정하는 것을 특징으로 하는 리닉 간섭계의 기준미러 변환장치.
  4. 제 1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 다수의 기준미러 브라켓의 원주를 따라 서로 일정한 각을 이루는 다수의 틸팅 조정나사가 설치되어 상기 제 1 대물 렌즈에서 입사되는 빛에 대하여 상기 제 1 대물 렌즈와 제2 대물렌즈의 광경로가 일치하도록 조정되어 제 1 대물 렌즈의 중심 광축과 기준미러 평면이 법선이 되도록 조정하는 것을 특징으로 하는 리닉 간섭계의 기준미러 변환장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 회전판의 측면에 다수의 기준미러 브라켓에 대응하는 위치에 상기 기준미러 브라켓이 틸팅 조정된 상태와 상기 제 1 대물 렌즈와 제2 대물렌즈의 광경로가 일치된 상태로 고정되도록 고정하는 기준미러 브라켓 고정수단이 설치되는 것을 특징으로 하는 리닉 간섭계의 기준미러 변환장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 기준미러 브라켓 고정수단은 상기 회전판의 측면에 고정나사 구멍을 형성하고 합성수지로 제작된 조임부재를 개재해서 브라켓 고정나사를 나사 결합시켜 조여주는 것을 특징으로 하는 리닉 간섭계의 기준미러 변환장치.
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102092638B1 (ko) * 2019-03-20 2020-03-24 (주)지엘테크 동일한 광경로를 이용한 3차원 형상측정장치와 방법
CN117128889B (zh) * 2023-10-26 2023-12-29 深圳市鹰眼在线电子科技有限公司 一种基于Linnik干涉物镜的模块化倍率变换轮廓测量装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006106378A (ja) * 2004-10-06 2006-04-20 Yokogawa Electric Corp 共焦点顕微鏡
KR20080027616A (ko) * 2006-09-25 2008-03-28 주식회사 고영테크놀러지 다중 간섭계를 이용한 3차원형상 측정시스템
KR20120027702A (ko) * 2010-09-13 2012-03-22 케이맥(주) 간섭계와 2차원-반사광도계의 측정이 가능한 복합시편 표면특성 측정장치
KR101268413B1 (ko) * 2011-12-01 2013-05-28 경북대학교 산학협력단 광단층 모니터링 현미경

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH061167B2 (ja) 1988-05-17 1994-01-05 日本鋼管株式会社 ３次元曲面形状の測定方法及び装置
JP3539726B2 (ja) * 2001-04-13 2004-07-07 独立行政法人 科学技術振興機構 光コヒーレンストモグラフィーにおける回転反射体による高速光遅延発生方法及びその光コヒーレンストモグラフィー装置
US6813050B2 (en) * 2002-01-18 2004-11-02 Nanguang Chen Rotary mirror array for fast optical tomography
US20050140981A1 (en) * 2002-04-18 2005-06-30 Rudolf Waelti Measurement of optical properties
KR101354304B1 (ko) * 2004-09-30 2014-01-23 피코메트릭스 엘엘씨 광학 지연장치
WO2007002898A2 (en) * 2005-06-29 2007-01-04 University Of South Florida Variable tomographic scanning with wavelength scanning digital interface holography
KR100950589B1 (ko) * 2007-08-22 2010-04-01 한국기계연구원 틸트유닛을 갖는 리닉간섭계
JP5207959B2 (ja) * 2008-02-20 2013-06-12 国立大学法人大阪大学 寸法測定装置
WO2011089010A1 (de) * 2010-01-22 2011-07-28 Universität Stuttgart Verfahren und anordnung zur robusten interferometrie
DE102010055350A1 (de) * 2010-12-20 2012-06-21 Carl Zeiss Meditec Ag Vorrichtung zur interferometrischen Vermessung der Augenlänge und des vorderen Augenabschnitts
DE102012004901A1 (de) * 2012-03-09 2013-09-12 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Einrichtung zur Positionierung optischer Komponenten an einem Mikroskop

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006106378A (ja) * 2004-10-06 2006-04-20 Yokogawa Electric Corp 共焦点顕微鏡
KR20080027616A (ko) * 2006-09-25 2008-03-28 주식회사 고영테크놀러지 다중 간섭계를 이용한 3차원형상 측정시스템
KR20120027702A (ko) * 2010-09-13 2012-03-22 케이맥(주) 간섭계와 2차원-반사광도계의 측정이 가능한 복합시편 표면특성 측정장치
KR101268413B1 (ko) * 2011-12-01 2013-05-28 경북대학교 산학협력단 광단층 모니터링 현미경

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