WO2015182696A1 - Fluororesin base material and flexible printed circuit board - Google Patents

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佑一郎 山中
岡 良雄
澄人 上原
宏介 三浦
聡志 木谷
辰珠 朴
哲也 下村
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住友電気工業株式会社
住友電工プリントサーキット株式会社
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    • B32B27/30Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising vinyl (co)polymers; comprising acrylic (co)polymers

Definitions

  • the bubble-containing dielectric layer 2 has a fluororesin as a main component, a first dielectric layer 21 containing bubbles 2a, and a second dielectric that is disposed on the outer surface side of the first dielectric layer 21 and does not contain bubbles. Layer 22. Therefore, the average bubble density in the vicinity of the outer surface of the bubble-containing dielectric layer 2 is smaller than the inner average bubble density.
  • aromatic polyether ketones such as PEEK.
  • aromatic polyether ketones those of various grades are commercially available, and a single grade of aromatic polyether ketone that is commercially available may be used alone, or multiple grades of aromatic polyether ketone.
  • a ketone may be used in combination, or a modified aromatic polyether ketone may be used.
  • the lower limit of the average thickness of the adhesive layer 52 is preferably 5 ⁇ m, and more preferably 10 ⁇ m. Moreover, as an upper limit of the average thickness of the contact bonding layer 52, 50 micrometers is preferable and 40 micrometers is more preferable. When the average thickness of the adhesive layer 52 is less than the above lower limit, the adhesive strength of the coverlay 5 to the fluororesin substrate 1 and the conductive pattern 4 may be insufficient. On the other hand, when the average thickness of the adhesive layer 52 exceeds the upper limit, the flexible printed wiring board may be unnecessarily thick.
  • the fluororesin substrate has the bubble-containing dielectric layers on both sides of the reinforcing dielectric layer.
  • the fluororesin substrate has the bubble-containing dielectric layer only on one side of the reinforcing dielectric layer. You may have.
  • No. 5 No. 1 except that both the first dielectric layer and the second dielectric layer were formed using the first dispersion containing hollow silica particles.
  • No. 1 as in No. 1. 5 was prepared as a comparative example.
  • the average thickness of the printed wiring board substrate was 51 ⁇ m, and the average porosity of the bubble-containing dielectric layer was 15% by volume.

Abstract

 The purpose of the present invention is to provide a fluororesin base material with which it is possible to achieve a low dielectric constant and a low coefficient of thermal expansion while maintaining a smooth outside surface, and with which transmission loss in high-frequency bands can be reduced. A fluororesin base material according to one embodiment of the present invention has one or multiple dielectric layers of which a fluororesin is the main component, wherein at least a portion of the dielectric layers contain air bubbles, the average air bubble density in proximity to the outside surface of the air-bubble-containing dielectric layer being lower than the average air bubble density in the interior. In preferred practice, the air-bubble-containing dielectric layer has a first dielectric layer which contains air bubbles, and a second dielectric layer which does not contain air bubbles, the second dielectric layer being arranged on the outside surface side of the first dielectric layer. Additionally, the air bubbles may be configured from hollow particles or porous particles.

Description

フッ素樹脂基材及びフレキシブルプリント配線板Fluororesin substrate and flexible printed wiring board
 本発明は、フッ素樹脂基材及びフレキシブルプリント配線板に関する。 The present invention relates to a fluororesin substrate and a flexible printed wiring board.
 近年、情報通信量は増大する一方であり、これに応えるため、例えばICカード、携帯電話端末等の機器においてマイクロ波、ミリ波といった高周波領域での通信が盛んになっている。このため、高周波領域で用いた際に伝送損失が小さい高周波用プリント配線板が求められている。 In recent years, the amount of information communication has been increasing, and in order to respond to this, communication in a high-frequency region such as microwaves and millimeter waves has become popular in devices such as IC cards and mobile phone terminals. For this reason, a printed wiring board for high frequency with a small transmission loss when used in a high frequency region is required.
 ここで、伝送損失αdは、周波数f、誘電体層の比誘電率εr及び誘電正接tanδと以下の関係(式(1))を満たす。 Here, the transmission loss αd satisfies the following relationship (formula (1)) with the frequency f, the dielectric constant εr of the dielectric layer, and the dielectric loss tangent tanδ.
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000001
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000001
 つまり、伝送損失αdを小さくするためには、誘電体層の比誘電率εrを小さくすることが望まれる。また、フレキシブルプリント配線板の基材に積層される銅メッキ等のメッキ破断を防止するためには、基材の熱膨張率が低いことが望まれる。このため、誘電体層に中空のガラスビーズを含有したフッ素樹脂基材が提案されている(特許文献1参照)。このフッ素樹脂基材では、ガラスビーズの中空部分の空気の比誘電率が1.0と低いため、この中空部分の体積比率を制御することにより比誘電率εrを小さくすることができるとともに、中空部分により熱膨張率を低減できる。 That is, in order to reduce the transmission loss αd, it is desirable to reduce the relative dielectric constant εr of the dielectric layer. Moreover, in order to prevent plating breakage, such as copper plating laminated | stacked on the base material of a flexible printed wiring board, it is desired that the base material has a low coefficient of thermal expansion. For this reason, a fluororesin substrate containing hollow glass beads in the dielectric layer has been proposed (see Patent Document 1). In this fluororesin base material, the relative permittivity of air in the hollow portion of the glass bead is as low as 1.0. Therefore, by controlling the volume ratio of the hollow portion, the relative permittivity εr can be reduced and the hollow portion is hollow. The thermal expansion coefficient can be reduced by the portion.
特開2013-201344号公報JP 2013-201344 A
 しかしながら、上記従来のフッ素樹脂基材では、ガラスビーズがフッ素樹脂基材の外面に凹凸を発生させる場合がある。高周波信号は表皮効果により導体表面を進行するため、この凹凸により高周波信号における伝送損失が発生するおそれがある。 However, in the conventional fluororesin base material, the glass beads may cause unevenness on the outer surface of the fluororesin base material. Since the high-frequency signal travels on the conductor surface due to the skin effect, this unevenness may cause a transmission loss in the high-frequency signal.
 本発明は、上述のような事情に基づいてなされたものであり、外面の平滑性を維持しつつ低誘電率化及び低熱膨張率化を可能とし、高周波領域における伝送損失を低減できるフッ素樹脂基材の提供を目的とする。 The present invention has been made based on the above circumstances, and is a fluororesin base that enables low dielectric constant and low thermal expansion coefficient while maintaining smoothness of the outer surface, and can reduce transmission loss in a high frequency region. The purpose is to provide materials.
 上記課題を解決するためになされた本発明の一態様に係るフッ素樹脂基材は、フッ素樹脂を主成分とする1又は複数の誘電体層を有するフッ素樹脂基材であって、少なくとも一部の上記誘電体層が気泡を含有し、上記気泡含有誘電体層における外面近傍の平均気泡密度が内部の平均気泡密度より小さい。 A fluororesin substrate according to an aspect of the present invention made to solve the above problems is a fluororesin substrate having one or more dielectric layers mainly composed of a fluororesin, and at least a part of the fluororesin substrate. The dielectric layer contains bubbles, and the average bubble density in the vicinity of the outer surface of the bubble-containing dielectric layer is smaller than the internal average bubble density.
 本発明のフッ素樹脂基材は、外面の平滑性を維持しつつ低誘電率化及び低熱膨張率化を可能とする。従って、当該フッ素樹脂基材は高周波信号における伝送損失を効果的に低減でき、高周波用両面プリント配線板として好適に用いることができる。 The fluororesin substrate of the present invention enables a low dielectric constant and a low thermal expansion coefficient while maintaining the smoothness of the outer surface. Therefore, the fluororesin substrate can effectively reduce transmission loss in high-frequency signals and can be suitably used as a high-frequency double-sided printed wiring board.
図1は、本発明の一態様に係るフッ素樹脂基材を示す模式的部分断面図である。FIG. 1 is a schematic partial cross-sectional view showing a fluororesin substrate according to one embodiment of the present invention. 図2は、本発明の一態様に係るフレキシブルプリント配線板を示す模式的部分断面図である。FIG. 2 is a schematic partial cross-sectional view illustrating a flexible printed wiring board according to an aspect of the present invention.
[本発明の実施形態の説明]
 上記課題を解決するためになされた本発明の一態様に係るフッ素樹脂基材は、フッ素樹脂を主成分とする1又は複数の誘電体層を有するフッ素樹脂基材であって、少なくとも一部の上記誘電体層が気泡を含有し、上記気泡含有誘電体層における外面近傍の平均気泡密度が内部の平均気泡密度より小さい。
[Description of Embodiment of the Present Invention]
A fluororesin substrate according to an aspect of the present invention made to solve the above problems is a fluororesin substrate having one or more dielectric layers mainly composed of a fluororesin, and at least a part of the fluororesin substrate. The dielectric layer contains bubbles, and the average bubble density in the vicinity of the outer surface of the bubble-containing dielectric layer is smaller than the internal average bubble density.
 当該フッ素樹脂基材は、気泡を含有する誘電体層を有するので、気泡の体積比率(空隙率)を制御することにより比誘電率を小さくすることができ、伝送損失が低減できる。また、上記気泡含有誘電体層における外面近傍の平均気泡密度が内部の平均気泡密度より小さいので、当該フッ素樹脂基材の外面に凹凸が発生しにくく、凹凸による高周波信号における伝送損失を抑止できる。従って、当該フッ素樹脂基材は高周波信号における伝送損失を効果的に低減できる。また、当該フッ素樹脂基材は、気泡含有誘電体層を有することで、熱膨張率が低減される。そのため、例えば当該フッ素樹脂基材に積層される銅メッキ等の加熱によるメッキ破断を防止することができる。 Since the fluororesin base material has a dielectric layer containing bubbles, the relative permittivity can be reduced by controlling the volume ratio (void ratio) of the bubbles, and the transmission loss can be reduced. In addition, since the average bubble density in the vicinity of the outer surface of the bubble-containing dielectric layer is smaller than the inner average bubble density, the outer surface of the fluororesin substrate is less likely to be uneven, and transmission loss in high-frequency signals due to the unevenness can be suppressed. Therefore, the fluororesin substrate can effectively reduce transmission loss in high frequency signals. Moreover, the said fluororesin base material has a thermal expansion coefficient by having a bubble containing dielectric material layer. Therefore, for example, plating breakage due to heating such as copper plating laminated on the fluororesin substrate can be prevented.
 上記気泡含有誘電体層が気泡を含有する第1誘電体層と、この第1誘電体層の外面側に配設され、気泡を含有しない第2誘電体層とを有するとよい。このように上記気泡含有誘電体層が気泡を含有する第1誘電体層と、この第1誘電体層の外面側に配設され、気泡を含有しない第2誘電体層とを有することで、比誘電率を小さく維持しつつ、フッ素樹脂基材の外面に積層される導電パターンとフッ素樹脂基材との界面を容易に平滑化でき、表皮効果による伝送損失をさらに効果的に低減できる。 The bubble-containing dielectric layer may include a first dielectric layer containing bubbles and a second dielectric layer disposed on the outer surface side of the first dielectric layer and containing no bubbles. In this way, the bubble-containing dielectric layer has a first dielectric layer containing bubbles, and a second dielectric layer disposed on the outer surface side of the first dielectric layer and containing no bubbles, While maintaining a low dielectric constant, the interface between the conductive pattern laminated on the outer surface of the fluororesin substrate and the fluororesin substrate can be easily smoothed, and transmission loss due to the skin effect can be further effectively reduced.
 上記気泡が中空粒子又は多孔質粒子により構成されるとよい。このように上記気泡が中空粒子又は多孔質粒子により構成されることにより、誘電体層が容易かつ確実に気泡を含有できると共に切削加工等の加工時にフッ素樹脂基材の寸法変化が抑制できる。 It is preferable that the bubbles are composed of hollow particles or porous particles. Thus, by comprising the said bubble by a hollow particle or a porous particle, a dielectric material layer can contain a bubble easily and reliably, and can suppress the dimensional change of a fluororesin base material at the time of processes, such as cutting.
 上記気泡含有誘電体層に直接又は他の層を介して積層され、フッ素樹脂を補強材に含浸した補強用誘電体層をさらに有するとよい。このようにフッ素樹脂を補強材に含浸した補強用誘電体層をさらに有することで、フッ素樹脂基材の弾性率、ポアソン比及び熱膨張率が下がる。そのため、リフロー等の熱処理時にフッ素樹脂基材の反りの発生や寸法変化が抑制できると共にフッ素樹脂基材の外面に積層される銅メッキ等のヒートサイクル試験時のメッキ歪みが軽減され、メッキ破断が生じ難くなる。 It is preferable to further include a reinforcing dielectric layer laminated on the bubble-containing dielectric layer directly or via another layer and impregnated with a fluororesin in a reinforcing material. By further including a reinforcing dielectric layer in which a reinforcing material is impregnated with a fluororesin in this way, the elastic modulus, Poisson's ratio, and thermal expansion coefficient of the fluororesin substrate are lowered. Therefore, the occurrence of warpage and dimensional change of the fluororesin base material during heat treatment such as reflow can be suppressed, and the plating distortion at the time of heat cycle test such as copper plating laminated on the outer surface of the fluororesin base material is reduced, and the plating breakage is reduced. It becomes difficult to occur.
 上記補強用誘電体層の両面に一対の上記気泡含有誘電体層を有するとよい。このように上記補強用誘電体層の両面に一対の上記気泡含有誘電体層を有することで、両面に高周波信号における伝送損失を効果的に低減できる回路パターンを有する高周波用両面プリント配線板を得ることができる。 It is preferable that a pair of the bubble-containing dielectric layers is provided on both surfaces of the reinforcing dielectric layer. Thus, by having the pair of bubble-containing dielectric layers on both sides of the reinforcing dielectric layer, a high-frequency double-sided printed wiring board having a circuit pattern that can effectively reduce transmission loss in high-frequency signals is obtained on both sides. be able to.
 上記補強用誘電体層が気泡を含有しないとよい。このように上記補強用誘電体層が気泡を含有しないことで、金属マイグレーションが抑制され、絶縁劣化を発生し難くできる。 The reinforcing dielectric layer should not contain bubbles. As described above, since the reinforcing dielectric layer does not contain bubbles, metal migration is suppressed and it is difficult to cause insulation deterioration.
 上記気泡含有誘電体層の平均空隙率としては、1体積%以上50体積%以下が好ましい。上記気泡含有誘電体層の平均空隙率を上記範囲内とすることで、フッ素樹脂基材の強度を維持しつつフッ素樹脂基材表面の平滑化と低誘電率化との両立を促進できる。 The average porosity of the bubble-containing dielectric layer is preferably 1% by volume to 50% by volume. By setting the average porosity of the bubble-containing dielectric layer within the above range, it is possible to promote both the smoothing of the surface of the fluororesin substrate and the reduction of the dielectric constant while maintaining the strength of the fluororesin substrate.
 上記気泡含有誘電体層の平均気泡密度が外面から内部に向かう方向に単調に増加しているとよい。このように上記気泡含有誘電体層の平均気泡密度が外面から内部に傾斜(単調に増加)していることで、外面の凹凸の発生を抑止しつつ、気泡含有誘電体層の気泡の含有量を大きくすることができ、比誘電率を効果的に小さくすることができる。従って、高周波信号における伝送損失をさらに効果的に低減できる。 It is preferable that the average bubble density of the bubble-containing dielectric layer monotonously increases in the direction from the outer surface toward the inside. In this way, the average bubble density of the bubble-containing dielectric layer is inclined (monotonically increasing) from the outer surface to the inside, thereby suppressing the occurrence of irregularities on the outer surface and the bubble content of the bubble-containing dielectric layer. Can be increased, and the relative dielectric constant can be effectively reduced. Therefore, transmission loss in a high frequency signal can be further effectively reduced.
 本発明の一態様に係るフレキシブルプリント配線板は、当該フッ素樹脂基材と、上記フッ素樹脂基材の外面に積層される導電パターンとを備える。当該フレキシブルプリント配線板は、上記フッ素樹脂基材を含むので、高周波信号における伝送損失が低く、高周波用プリント配線板として好適に用いることができる。 The flexible printed wiring board which concerns on 1 aspect of this invention is equipped with the said fluororesin base material and the electrically conductive pattern laminated | stacked on the outer surface of the said fluororesin base material. Since the flexible printed wiring board includes the fluororesin base material, the transmission loss in the high frequency signal is low, and the flexible printed wiring board can be suitably used as a high frequency printed wiring board.
 なお、「主成分」とは、最も含有量の多い成分であり、例えば含有量が50質量%以上の成分をいう。また、「外面近傍」とはフッ素樹脂基材の最外面となる気泡含有誘電体層の外面(フッ素樹脂基材が単層の場合は気泡含有誘電体層の任意の外面)から気泡含有誘電体層が含有する気泡の平均径に相当する厚さまでの領域を意味し、例えば外面から20μm以内の領域を意味する。「内部」とは気泡含有誘電体層の外面近傍を除く領域を意味する。また、「平均気泡密度」とは、気泡含有誘電体層の厚さ方向(外面から内部に向かう方向)に気泡数の積算分布を取り、厚さ方向に微分した数値を気泡含有誘電体層の平面視面積で除した値を意味し、厚さ方向の位置に依存して決まる数値である。「平均気泡密度が傾斜している」とは、平均気泡密度が気泡含有誘電体層の厚さ方向(外面から内部に向かう方向)に単調に変化(増加)している状態を意味し、その一部に平均気泡密度が変化しない部分を含んでもよい。また、「気泡含有誘電体層の平均空隙率」とは、気泡含有誘電体層に対する空隙の割合を意味し、気泡含有誘電体層を構成する成分の含有量と密度とから算出される実体積をV0、気泡含有誘電体層の空隙を含む体積をV1とするとき、(V1-V0)/V1×100で算出される量である。 The “main component” is a component having the highest content, for example, a component having a content of 50% by mass or more. Also, “near the outer surface” means the outer surface of the bubble-containing dielectric layer that is the outermost surface of the fluororesin substrate (if the fluororesin substrate is a single layer, any outer surface of the bubble-containing dielectric layer) to the bubble-containing dielectric It means a region up to a thickness corresponding to the average diameter of bubbles contained in the layer, for example, a region within 20 μm from the outer surface. “Inside” means a region excluding the vicinity of the outer surface of the bubble-containing dielectric layer. The “average bubble density” means the integrated distribution of the number of bubbles in the thickness direction of the bubble-containing dielectric layer (the direction from the outer surface to the inside), and the numerical value differentiated in the thickness direction is the value of the bubble-containing dielectric layer. It means a value divided by the planar view area, and is a numerical value determined depending on the position in the thickness direction. “The average bubble density is inclined” means that the average bubble density is monotonously changing (increasing) in the thickness direction of the bubble-containing dielectric layer (the direction from the outer surface toward the inside). A part where the average bubble density does not change may be included in part. The “average porosity of the bubble-containing dielectric layer” means the ratio of voids to the bubble-containing dielectric layer, and is calculated from the content and density of components constituting the bubble-containing dielectric layer. Is V0, and the volume including voids in the bubble-containing dielectric layer is V1, the amount calculated by (V1−V0) / V1 × 100.
[本発明の実施形態の詳細]
 以下、本発明に係るフッ素樹脂基材及びフレキシブルプリント配線板の一実施形態について図面を参照しつつ詳説する。
[Details of the embodiment of the present invention]
Hereinafter, an embodiment of a fluororesin substrate and a flexible printed wiring board according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
[フッ素樹脂基材]
 図1のフッ素樹脂基材1は、フッ素樹脂を主成分とする気泡含有誘電体層2と、フッ素樹脂を補強材に含浸した補強用誘電体層3とを主に備える。具体的には、当該フッ素樹脂基材1は、上記補強用誘電体層3の両面に一対の上記気泡含有誘電体層2を有する。
[Fluororesin substrate]
The fluororesin substrate 1 in FIG. 1 mainly includes a bubble-containing dielectric layer 2 containing a fluororesin as a main component and a reinforcing dielectric layer 3 in which a fluororesin is impregnated in a reinforcing material. Specifically, the fluororesin substrate 1 has a pair of the bubble-containing dielectric layers 2 on both surfaces of the reinforcing dielectric layer 3.
<気泡含有誘電体層>
 気泡含有誘電体層2はフッ素樹脂を主成分とし、気泡2aを含有する第1誘電体層21と、この第1誘電体層21の外面側に配設され、気泡を含有しない第2誘電体層22とを有する。従って、上記気泡含有誘電体層2における外面近傍の平均気泡密度は内部の平均気泡密度より小さい。
<Bubble-containing dielectric layer>
The bubble-containing dielectric layer 2 has a fluororesin as a main component, a first dielectric layer 21 containing bubbles 2a, and a second dielectric that is disposed on the outer surface side of the first dielectric layer 21 and does not contain bubbles. Layer 22. Therefore, the average bubble density in the vicinity of the outer surface of the bubble-containing dielectric layer 2 is smaller than the inner average bubble density.
 上記気泡含有誘電体層2の平均厚さの下限としては、15μmが好ましく、25μmがより好ましい。また、上記気泡含有誘電体層2の平均厚さの上限としては、500μmが好ましく、200μmがより好ましい。上記気泡含有誘電体層2の平均厚さが上記下限未満である場合、気泡2aの含有量が不足し、比誘電率の低減効果が不十分となるおそれがある。一方、上記気泡含有誘電体層2の平均厚さが上記上限を超える場合、当該フッ素樹脂基材1が無用に厚くなるおそれがある。なお、ここで、「平均厚さ」とは、任意の十点において測定した厚さの平均値をいう。 The lower limit of the average thickness of the bubble-containing dielectric layer 2 is preferably 15 μm, and more preferably 25 μm. The upper limit of the average thickness of the bubble-containing dielectric layer 2 is preferably 500 μm, and more preferably 200 μm. When the average thickness of the bubble-containing dielectric layer 2 is less than the lower limit, the content of the bubbles 2a is insufficient, and the effect of reducing the relative dielectric constant may be insufficient. On the other hand, when the average thickness of the bubble-containing dielectric layer 2 exceeds the upper limit, the fluororesin substrate 1 may be unnecessarily thick. Here, “average thickness” means an average value of thicknesses measured at arbitrary ten points.
 上記第1誘電体層21の平均厚さの下限としては、10μmが好ましく、15μmがより好ましい。また、上記第1誘電体層21の平均厚さの上限としては、400μmが好ましく、150μmがより好ましい。上記第1誘電体層21の平均厚さが上記下限未満である場合、気泡2aの含有量が不足し、比誘電率の低減効果が不十分となるおそれがある。一方、上記第1誘電体層21の平均厚さが上記上限を超える場合、当該フッ素樹脂基材1が無用に厚くなるおそれがある。 The lower limit of the average thickness of the first dielectric layer 21 is preferably 10 μm, more preferably 15 μm. The upper limit of the average thickness of the first dielectric layer 21 is preferably 400 μm and more preferably 150 μm. When the average thickness of the first dielectric layer 21 is less than the lower limit, the content of the bubbles 2a is insufficient, and the effect of reducing the relative dielectric constant may be insufficient. On the other hand, when the average thickness of the first dielectric layer 21 exceeds the upper limit, the fluororesin substrate 1 may be unnecessarily thick.
 また、上記第2誘電体層22の平均厚さの下限としては、1μmが好ましく、10μmがより好ましい。また、上記第2誘電体層22の平均厚さの上限としては、50μmが好ましく、30μmがより好ましい。上記第2誘電体層22の平均厚さが上記下限未満である場合、フッ素樹脂基材1の外面に積層される導電パターンとフッ素樹脂基材1との界面が十分に平滑化されず、表皮効果による伝送損失が発生するおそれがある。また、気泡2aが中空粒子又は多孔質粒子により構成されている場合、当該フッ素樹脂基材1の外面からの中空粒子や多孔質粒子の脱落により、当該フッ素樹脂基材1の表面粗さが増し、伝送損失が発生するおそれもある。一方、上記第2誘電体層22の平均厚さが上記上限を超える場合、比誘電率の低減効果を得るための第1誘電体層21の平均厚さが厚くなり、当該フッ素樹脂基材1が無用に厚くなるおそれがある。 The lower limit of the average thickness of the second dielectric layer 22 is preferably 1 μm, and more preferably 10 μm. Further, the upper limit of the average thickness of the second dielectric layer 22 is preferably 50 μm, and more preferably 30 μm. When the average thickness of the second dielectric layer 22 is less than the lower limit, the interface between the conductive pattern laminated on the outer surface of the fluororesin substrate 1 and the fluororesin substrate 1 is not sufficiently smoothed, and the skin Transmission loss due to effects may occur. Moreover, when the bubble 2a is comprised with the hollow particle or the porous particle, the surface roughness of the said fluororesin base material 1 increases by the drop-off | omission of the hollow particle and the porous particle from the outer surface of the said fluororesin base material 1. Transmission loss may also occur. On the other hand, when the average thickness of the second dielectric layer 22 exceeds the upper limit, the average thickness of the first dielectric layer 21 for obtaining the effect of reducing the relative dielectric constant is increased, and the fluororesin substrate 1 May become unnecessarily thick.
(フッ素樹脂)
 フッ素樹脂とは、高分子鎖の繰り返し単位を構成する炭素原子に結合する水素原子の少なくとも1つが、フッ素原子又はフッ素原子を有する有機基(以下「フッ素原子含有基」ともいう)で置換されたものをいう。フッ素原子含有基は、直鎖状又は分岐状の有機基中の水素原子の少なくとも1つがフッ素原子で置換されたものであり、例えばフルオロアルキル基、フルオロアルコキシ基、フルオロポリエーテル基等が挙げられる。
(Fluorine resin)
In the fluororesin, at least one hydrogen atom bonded to the carbon atom constituting the repeating unit of the polymer chain is substituted with a fluorine atom or an organic group having a fluorine atom (hereinafter also referred to as “fluorine atom-containing group”). Say things. The fluorine atom-containing group is a group in which at least one hydrogen atom in a linear or branched organic group is substituted with a fluorine atom, and examples thereof include a fluoroalkyl group, a fluoroalkoxy group, and a fluoropolyether group. .
 「フルオロアルキル基」とは、少なくとも1つの水素原子がフッ素原子で置換されたアルキル基を意味し、「パーフルオロアルキル基」を含む。具体的には、「フルオロアルキル基」は、アルキル基の全ての水素原子がフッ素原子で置換された基、アルキル基の末端の1個の水素原子以外の全ての水素原子がフッ素原子で置換された基等を含む。 “Fluoroalkyl group” means an alkyl group in which at least one hydrogen atom is substituted with a fluorine atom, and includes a “perfluoroalkyl group”. Specifically, a “fluoroalkyl group” is a group in which all hydrogen atoms of an alkyl group are substituted with fluorine atoms, and all hydrogen atoms other than one hydrogen atom at the end of the alkyl group are substituted with fluorine atoms. Group.
 「フルオロアルコキシ基」とは、少なくとも1つの水素原子がフッ素原子で置換されたアルコキシ基を意味し、「パーフルオロアルコキシ基」を含む。具体的には、「フルオロアルコキシ基」は、アルコキシ基の全ての水素原子がフッ素原子で置換された基、アルコキシ基の末端の1個の水素原子以外の全ての水素原子がフッ素原子で置換された基等を含む。 “Fluoroalkoxy group” means an alkoxy group in which at least one hydrogen atom is substituted with a fluorine atom, and includes a “perfluoroalkoxy group”. Specifically, a “fluoroalkoxy group” is a group in which all hydrogen atoms of an alkoxy group are substituted with fluorine atoms, and all hydrogen atoms other than one hydrogen atom at the end of the alkoxy group are substituted with fluorine atoms. Group.
 「フルオロポリエーテル基」とは、繰り返し単位としてオキシアルキレン単位を有し、末端にアルキル基又は水素原子を有する1価の基であって、このアルキレンオキシド鎖又は末端のアルキル基の少なくとも1つの水素原子がフッ素原子で置換された1価の基を意味する。「フルオロポリエーテル基」は、繰り返し単位として複数のパーフルオロアルキレンオキシド鎖を有する「パーフルオロポリエーテル基」を含む。 The “fluoropolyether group” is a monovalent group having an oxyalkylene unit as a repeating unit and having an alkyl group or a hydrogen atom at the terminal, and at least one hydrogen of the alkylene oxide chain or the terminal alkyl group A monovalent group in which an atom is substituted with a fluorine atom. The “fluoropolyether group” includes a “perfluoropolyether group” having a plurality of perfluoroalkylene oxide chains as repeating units.
 気泡含有誘電体層2を構成するフッ素樹脂としては、例えばテトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体(FEP)、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、ポリテトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体(PFA)、テトラフルオロ(四フッ化)エチレン・エチレン共重合体(ETFE)、ポリビニリデンフルオライド(PVDF)、ポリクロロトリフルオロエチレン(PCTFE)、クロロトリフルオロエチレン・エチレン共重合体(ECTFE)、ポリフッ化ビニル(PVF)、フロオロエラストマー、並びにテトラフルオロエチレン、ヘキサフルオロプロピレン及びビニリデンフルオライドの3種類のモノマーからなる熱可塑性フッ素樹脂(THV)が挙げられる。また、これらの化合物を含む混合物やコポリマーも、気泡含有誘電体層2を構成する材料として使用可能である。 Examples of the fluororesin constituting the bubble-containing dielectric layer 2 include tetrafluoroethylene / hexafluoropropylene copolymer (FEP), polytetrafluoroethylene (PTFE), polytetrafluoroethylene / perfluoroalkyl vinyl ether copolymer ( PFA), tetrafluoro (tetrafluoro) ethylene / ethylene copolymer (ETFE), polyvinylidene fluoride (PVDF), polychlorotrifluoroethylene (PCTFE), chlorotrifluoroethylene / ethylene copolymer (ECTFE), Examples thereof include polyvinyl fluoride (PVF), fluoroelastomer, and thermoplastic fluororesin (THV) composed of three types of monomers, tetrafluoroethylene, hexafluoropropylene, and vinylidene fluoride. Further, a mixture or copolymer containing these compounds can also be used as a material constituting the bubble-containing dielectric layer 2.
 上述のフッ素樹脂の中でも、上記気泡含有誘電体層2がFEP、PTFE及びPFAの1種又は2種以上を含むとよい。このように上記気泡含有誘電体層2がFEP、PTFE及びPFAの1種又は2種以上を含むことにより、気泡含有誘電体層2の低誘電率化が容易となる。また、耐熱性の観点から、PTFEがより好ましい。 Among the above-mentioned fluororesins, the bubble-containing dielectric layer 2 may contain one or more of FEP, PTFE and PFA. As described above, the bubble-containing dielectric layer 2 contains one or more of FEP, PTFE, and PFA, so that the bubble-containing dielectric layer 2 can be easily reduced in dielectric constant. Moreover, PTFE is more preferable from the viewpoint of heat resistance.
 また、気泡含有誘電体層2は、任意成分として、例えばエンジニアリングプラスチック、難燃剤、難燃助剤、酸化防止剤、滑剤、加工安定剤、可塑剤等を含み得る。 In addition, the bubble-containing dielectric layer 2 can contain, as optional components, for example, engineering plastics, flame retardants, flame retardant aids, antioxidants, lubricants, processing stabilizers, plasticizers, and the like.
 上記エンジニアリングプラスチックとしては、当該フッ素樹脂基材1に求められる特性に応じて公知のものから選択して使用でき、典型的には芳香族ポリエーテルケトン樹脂を使用することができる。 The engineering plastic can be selected from known ones according to the properties required for the fluororesin substrate 1, and typically an aromatic polyetherketone resin can be used.
 この芳香族ポリエーテルケトンは、ベンゼン環がパラ位に結合し、剛直なケトン結合(-C(=O)-)又はフレキシブルなエーテル結合(-O-)によってベンゼン環同士が連結された構造を有する熱可塑性樹脂である。芳香族ポリエーテルケトンとしては、例えばエーテル結合、ベンゼン環、エーテル結合、ベンゼン環、ケトン結合、及びベンゼン環が、この順序で並んだ構造単位を有するポリエーテルエーテルケトン(PEEK)、エーテル結合、ベンゼン環、ケトン結合、及びベンゼン環が、この順序で並んだ構造単位を有するポリエーテルケトン(PEK)が挙げられる。中でも、芳香族ポリエーテルケトンとしては、PEEKが好ましい。このような芳香族ポリエーテルケトンは、耐摩耗性、耐熱性、絶縁性、加工性等に優れる。 This aromatic polyetherketone has a structure in which the benzene rings are bonded to the para position and the benzene rings are connected by a rigid ketone bond (—C (═O) —) or a flexible ether bond (—O—). It is a thermoplastic resin. Examples of the aromatic polyether ketone include polyether ether ketone (PEEK), ether bond, and benzene having structural units in which an ether bond, a benzene ring, an ether bond, a benzene ring, a ketone bond, and a benzene ring are arranged in this order. Examples include polyether ketone (PEK) having a structural unit in which a ring, a ketone bond, and a benzene ring are arranged in this order. Among them, PEEK is preferable as the aromatic polyether ketone. Such an aromatic polyether ketone is excellent in wear resistance, heat resistance, insulation, workability and the like.
 PEEK等の芳香族ポリエーテルケトンとしては、市販品を使用することができる。芳香族ポリエーテルケトンとしては、様々なグレードのものが市販されており、市販されている単一のグレードの芳香族ポリエーテルケトンを単独で使用してもよく、複数のグレードの芳香族ポリエーテルケトンを併用してもよく、また変性した芳香族ポリエーテルケトンを使用してもよい。 Commercial products can be used as aromatic polyether ketones such as PEEK. As aromatic polyether ketones, those of various grades are commercially available, and a single grade of aromatic polyether ketone that is commercially available may be used alone, or multiple grades of aromatic polyether ketone. A ketone may be used in combination, or a modified aromatic polyether ketone may be used.
 当該フッ素樹脂基材1におけるエンジニアリングプラスチックの合計含有量の上記フッ素樹脂に対する比の下限としては、特に限定されないが、10質量%が好ましく、20質量%がより好ましく、35質量%がさらに好ましい。エンジニアリングプラスチックの合計含有量が上記下限未満の場合、当該フッ素樹脂基材1の特性を充分に改善することができないおそれがある。一方、エンジニアリングプラスチックの合計含有量の上記フッ素樹脂に対する比の上限としては、特に限定されないが、50質量%が好ましく、45質量%がより好ましい。エンジニアリングプラスチックの含有量が上記上限を超える場合、フッ素樹脂の有利な特性を充分に発現させることができないおそれがある。 The lower limit of the ratio of the total engineering plastic content in the fluororesin substrate 1 to the fluororesin is not particularly limited, but is preferably 10% by mass, more preferably 20% by mass, and even more preferably 35% by mass. When the total content of engineering plastics is less than the above lower limit, the characteristics of the fluororesin substrate 1 may not be sufficiently improved. On the other hand, the upper limit of the ratio of the total content of engineering plastics to the fluororesin is not particularly limited, but is preferably 50% by mass and more preferably 45% by mass. When the content of the engineering plastic exceeds the above upper limit, the advantageous characteristics of the fluororesin may not be sufficiently exhibited.
 難燃剤としては、公知の種々のものを使用することができ、例えば臭素系難燃剤、塩素系難燃剤等のハロゲン系難燃剤が挙げられる。 As the flame retardant, various known ones can be used, and examples thereof include halogen flame retardants such as bromine flame retardants and chlorine flame retardants.
 難燃助剤としては、公知の種々のものを使用することができ、例えば三酸化アンチモン等が挙げられる。 As the flame retardant aid, various known ones can be used, and examples thereof include antimony trioxide.
 酸化防止剤としては、公知の種々のものを使用することができ、例えばフェノール系酸化防止剤等が挙げられる。 As the antioxidant, various known ones can be used, and examples thereof include phenolic antioxidants.
(気泡)
 上記気泡2aは、中空粒子又は多孔質粒子により構成されるとよい。具体的には、複数の中空粒子又は多孔質粒子を気泡含有誘電体層2の第1誘電体層21に分散含有させるとよい。このように上記気泡が中空粒子又は多孔質粒子により構成されることにより、誘電体層が容易かつ確実に気泡を含有できると共に切削加工等の加工時に当該フッ素樹脂基材1の寸法変化が抑制できる。
(Bubbles)
The bubbles 2a are preferably composed of hollow particles or porous particles. Specifically, a plurality of hollow particles or porous particles may be dispersed and contained in the first dielectric layer 21 of the bubble-containing dielectric layer 2. As described above, since the bubbles are composed of hollow particles or porous particles, the dielectric layer can easily and reliably contain bubbles, and the dimensional change of the fluororesin substrate 1 can be suppressed during processing such as cutting. .
 上記中空粒子又は多孔質粒子の材質としては、特に限定されないが、例えばアルミナ、酸化チタン、シリカ等が挙げられる。中でも高絶縁性及び低誘電率の観点からシリカが好ましい。 The material of the hollow particles or porous particles is not particularly limited, and examples thereof include alumina, titanium oxide, silica, and the like. Among these, silica is preferable from the viewpoint of high insulation and low dielectric constant.
 上記中空粒子又は多孔質粒子の平均粒径の下限としては、10nmが好ましく、100nmがより好ましい。また、上記中空粒子又は多孔質粒子の平均粒径の上限としては、10μmが好ましく、1μmがより好ましい。上記中空粒子又は多孔質粒子の平均粒径が上記下限未満である場合、気泡含有誘電体層2に含有させる際に中空粒子又は多孔質粒子が凝集し易くなり、粒子の分散が不均一となるおそれがある。一方、上記中空粒子又は多孔質粒子の平均粒径が上記上限を超える場合、気泡含有誘電体層2の外面に凹凸が生じ易くなり、ひいては当該フッ素樹脂基材1の外面に凹凸が生じるおそれがある。ここで「平均粒径」とは、体積基準の粒径の積算分布における積算値50%の値(D50)を意味する。なお、積算分布は、走査型電子顕微鏡(SEM)により観察した500個の粒子の画像解析により測定した円半径の値を体積換算して求めた値に基づいて作成される。 The lower limit of the average particle diameter of the hollow particles or porous particles is preferably 10 nm, and more preferably 100 nm. Moreover, as an upper limit of the average particle diameter of the said hollow particle or porous particle, 10 micrometers is preferable and 1 micrometer is more preferable. When the average particle diameter of the hollow particles or porous particles is less than the lower limit, the hollow particles or porous particles are likely to aggregate when contained in the bubble-containing dielectric layer 2, and the dispersion of the particles becomes non-uniform. There is a fear. On the other hand, when the average particle diameter of the hollow particles or porous particles exceeds the above upper limit, the outer surface of the bubble-containing dielectric layer 2 is likely to be uneven, and as a result, the outer surface of the fluororesin substrate 1 may be uneven. is there. Here, the “average particle diameter” means a value (D50) of an integrated value 50% in the integrated distribution of the volume-based particle diameter. The integrated distribution is created based on a value obtained by converting the value of a circle radius measured by image analysis of 500 particles observed with a scanning electron microscope (SEM) into a volume.
 上記中空粒子又は多孔質粒子の平均空孔率(粒子1個当たりの空隙の体積割合の平均)の下限としては、10%が好ましく、40%がより好ましい。また、上記中空粒子又は多孔質粒子の平均空孔率の上限としては、90%が好ましく、80%がより好ましい。上記中空粒子又は多孔質粒子の平均空孔率が上記下限未満である場合、気泡含有誘電体層2の比誘電率が十分に下がらないおそれがある。一方、上記中空粒子又は多孔質粒子の平均空孔率が上記上限を超える場合、耐圧性が不足し、中空粒子又は多孔質粒子が破損するおそれがある。 The lower limit of the average porosity of the hollow particles or porous particles (average volume ratio of voids per particle) is preferably 10%, more preferably 40%. Moreover, as an upper limit of the average porosity of the said hollow particle or porous particle, 90% is preferable and 80% is more preferable. When the average porosity of the hollow particles or porous particles is less than the lower limit, the relative dielectric constant of the bubble-containing dielectric layer 2 may not be sufficiently lowered. On the other hand, when the average porosity of the hollow particles or porous particles exceeds the upper limit, the pressure resistance is insufficient, and the hollow particles or porous particles may be damaged.
 上記気泡2aは、中空粒子又は多孔質粒子を用いずに気泡含有誘電体層2の第1誘電体層21の内部に直接形成してもよい。このような独立気泡は、後述するフッ素樹脂基材の製造時の分散液準備工程における分散液への界面活性剤の混合や気泡含有誘電体層形成工程における焼結条件の調整により形成することができる。また、延伸や気泡含有誘電体層形成工程におけるガス注入等により形成することも可能である。 The bubbles 2a may be directly formed inside the first dielectric layer 21 of the bubble-containing dielectric layer 2 without using hollow particles or porous particles. Such closed cells can be formed by mixing the surfactant in the dispersion in the dispersion preparation step, which will be described later, and adjusting the sintering conditions in the bubble-containing dielectric layer formation step. it can. Further, it can be formed by stretching or gas injection in the bubble-containing dielectric layer forming step.
 上記独立気泡の平均径の下限としては、10nmが好ましく、100nmがより好ましい。また、上記独立気泡の平均径の上限としては、10μmが好ましく、1μmがより好ましい。上記独立気泡の平均径が上記下限未満である場合、気泡含有誘電体層2に含有させる際に独立気泡の分散が不均一となるおそれがある。一方、上記独立気泡の平均径が上記上限を超える場合、その浮力により独立気泡が気泡含有誘電体層2の一方の面に集中し、独立気泡が偏在するおそれがある。ここで「気泡の平均径」とは、体積基準の気泡径の積算分布における積算値50%の値(D50)を意味する。なお、積算分布は、走査型電子顕微鏡(SEM)により観察した500個の気泡の画像解析により測定した円半径の値を体積換算して求めた値に基づいて作成される。 The lower limit of the average diameter of the closed cells is preferably 10 nm, and more preferably 100 nm. Moreover, as an upper limit of the average diameter of the said closed cell, 10 micrometers is preferable and 1 micrometer is more preferable. When the average diameter of the closed cells is less than the lower limit, when the bubbles are contained in the bubble-containing dielectric layer 2, the distribution of closed cells may be non-uniform. On the other hand, when the average diameter of the closed cells exceeds the upper limit, the closed cells are concentrated on one surface of the bubble-containing dielectric layer 2 due to the buoyancy, and the closed cells may be unevenly distributed. Here, “the average diameter of the bubbles” means a value (D50) of an integrated value 50% in the integrated distribution of the volume-based bubble diameter. The integrated distribution is created based on a value obtained by volume-converting the value of the circle radius measured by image analysis of 500 bubbles observed with a scanning electron microscope (SEM).
 上記気泡含有誘電体層2(第1誘電体層21と第2誘電体層22との合計)の平均空隙率の下限としては、1体積%が好ましく、10体積%がより好ましい。また、上記気泡含有誘電体層2の平均空隙率の上限としては、50体積%が好ましく、30体積%がより好ましい。上記気泡含有誘電体層2の平均空隙率が上記下限未満である場合、気泡含有誘電体層2の比誘電率を十分に低減できないおそれがある。一方、上記気泡含有誘電体層2の平均空隙率が上記上限を超える場合、当該フッ素樹脂基材1の強度が低下するおそれやフッ素樹脂基材1の表面の凹凸が増大するおそれがある。 The lower limit of the average porosity of the bubble-containing dielectric layer 2 (the total of the first dielectric layer 21 and the second dielectric layer 22) is preferably 1% by volume, and more preferably 10% by volume. Moreover, as an upper limit of the average porosity of the said bubble containing dielectric material layer 2, 50 volume% is preferable and 30 volume% is more preferable. When the average porosity of the bubble-containing dielectric layer 2 is less than the lower limit, the relative dielectric constant of the bubble-containing dielectric layer 2 may not be sufficiently reduced. On the other hand, when the average porosity of the bubble-containing dielectric layer 2 exceeds the above upper limit, the strength of the fluororesin substrate 1 may be reduced, and the surface roughness of the fluororesin substrate 1 may be increased.
 上記第1誘電体層21の平均空隙率の下限としては、2体積%が好ましく、20体積%がより好ましい。また、上記第1誘電体層21の平均空隙率の上限としては、60体積%が好ましく、50体積%がより好ましい。上記第1誘電体層21の平均空隙率が上記下限未満である場合、気泡含有誘電体層2の比誘電率が十分に下がらないおそれがある。一方、上記第1誘電体層21の平均空隙率が上記上限を超える場合、当該フッ素樹脂基材1の強度が低下するおそれがある。 The lower limit of the average porosity of the first dielectric layer 21 is preferably 2% by volume, more preferably 20% by volume. Moreover, as an upper limit of the average porosity of the said 1st dielectric material layer 21, 60 volume% is preferable and 50 volume% is more preferable. When the average porosity of the first dielectric layer 21 is less than the lower limit, the relative dielectric constant of the bubble-containing dielectric layer 2 may not be sufficiently lowered. On the other hand, when the average porosity of the first dielectric layer 21 exceeds the upper limit, the strength of the fluororesin substrate 1 may be reduced.
<補強用誘電体層>
 補強用誘電体層3は、フッ素樹脂を補強材に含浸した誘電体層である。補強用誘電体層3の補強材に含浸するフッ素樹脂としては、気泡含有誘電体層2のフッ素樹脂と同じものを用いることができる。
<Dielectric layer for reinforcement>
The reinforcing dielectric layer 3 is a dielectric layer in which a reinforcing material is impregnated with a fluororesin. As the fluororesin impregnated in the reinforcing material of the reinforcing dielectric layer 3, the same fluororesin as the bubble-containing dielectric layer 2 can be used.
 上記補強用誘電体層3の補強材としては、例えば平織のガラスクロス、アラミド、ポリイミド等の不織布又は綾織布、ポリイミド、液晶ポリマー等のフィルム、無機フィラーを添加したセラミックス、炭化ケイ素、窒化アルミニウム等のシートが挙げられる。 Examples of the reinforcing material for the reinforcing dielectric layer 3 include plain weave glass cloth, non-woven fabric such as aramid, polyimide, twill fabric, polyimide, liquid crystal polymer film, ceramics added with inorganic filler, silicon carbide, aluminum nitride, etc. Sheet.
 上記補強用誘電体層3の平均厚さの下限としては、10μmが好ましく、20μmがより好ましい。また、上記補強用誘電体層3の平均厚さの上限としては、100μmが好ましく、80μmがより好ましい。上記補強用誘電体層3の平均厚さが上記下限未満である場合、当該フッ素樹脂基材1の強度及び寸法安定性が不足するおそれがある。一方、上記補強用誘電体層3の平均厚さが上記上限を超える場合、当該フッ素樹脂基材1が無用に厚くなるおそれがある。 The lower limit of the average thickness of the reinforcing dielectric layer 3 is preferably 10 μm, more preferably 20 μm. The upper limit of the average thickness of the reinforcing dielectric layer 3 is preferably 100 μm and more preferably 80 μm. If the average thickness of the reinforcing dielectric layer 3 is less than the lower limit, the strength and dimensional stability of the fluororesin substrate 1 may be insufficient. On the other hand, when the average thickness of the reinforcing dielectric layer 3 exceeds the upper limit, the fluororesin substrate 1 may be unnecessarily thick.
 上記補強用誘電体層3は、気泡を含有しないとよい。このように上記補強用誘電体層3が気泡を含有しないことで、金属マイグレーションが抑制され、当該フッ素樹脂基材1の絶縁劣化を発生し難くできる。 The reinforcing dielectric layer 3 should not contain bubbles. As described above, since the reinforcing dielectric layer 3 does not contain bubbles, metal migration is suppressed, and insulation deterioration of the fluororesin substrate 1 can hardly occur.
<フッ素樹脂基材の製造方法>
 当該フッ素樹脂基材1は、例えば補強用誘電体層形成工程、分散液準備工程及び気泡含有誘電体層形成工程を備える製造方法によって容易かつ確実に製造できる。
<Method for producing fluororesin substrate>
The fluororesin substrate 1 can be easily and reliably manufactured by a manufacturing method including, for example, a reinforcing dielectric layer forming step, a dispersion preparing step, and a bubble-containing dielectric layer forming step.
(補強用誘電体層形成工程)
 まず、補強用誘電体層形成工程において、補強材にフッ素樹脂を含浸し、補強用誘電体層3を形成する。具体的には、例えば補強材としてガラスクロス、フッ素樹脂としてPTFEを用いる場合、ガラスクロスをPTFEディスパージョンに浸漬し、PTFEが含浸したガラスクロスを焼結することで、補強用誘電体層3が形成できる。焼結の温度プロファイルとしては、特に限定されないが、例えば温度が3段階で変化するプロファイルとすることができる。具体的には、第1段階の温度としては140℃以上160℃以下、第1段階の時間としては9分以上11分以下、第2段階の温度としては190℃以上210℃以下、第2段階の時間としては25分以上35分以下、第3段階の温度としては410℃以上430℃以下、第3段階の時間としては、50秒以上70秒以下とできる。
(Reinforcing dielectric layer forming process)
First, in the reinforcing dielectric layer forming step, the reinforcing material is impregnated with a fluororesin to form the reinforcing dielectric layer 3. Specifically, for example, when glass cloth is used as a reinforcing material and PTFE is used as a fluororesin, the reinforcing dielectric layer 3 is obtained by immersing the glass cloth in a PTFE dispersion and sintering the glass cloth impregnated with PTFE. Can be formed. The temperature profile of sintering is not particularly limited, but for example, it can be a profile in which the temperature changes in three stages. Specifically, the first stage temperature is 140 ° C. to 160 ° C., the first stage time is 9 minutes to 11 minutes, the second stage temperature is 190 ° C. to 210 ° C., the second stage This time can be from 25 minutes to 35 minutes, the third stage temperature can be from 410 ° C. to 430 ° C., and the third stage time can be from 50 seconds to 70 seconds.
(分散液準備工程)
 次に、分散液準備工程において第1誘電体層21を形成するための分散液を準備する。例えば気泡2aを中空シリカ粒子で構成する場合、中空シリカ粒子と水とを撹拌し、その撹拌液にPTFEディスパージョンを添加することで第1分散液を作成する。また、第2誘電体層22を形成するために、水と上記PTFEディスパージョンとを含み、中空シリカ粒子を含まない第2分散液をさらに用意する。
(Dispersion preparation process)
Next, a dispersion for forming the first dielectric layer 21 is prepared in the dispersion preparation step. For example, when the air bubbles 2a are constituted by hollow silica particles, the hollow silica particles and water are stirred, and the first dispersion is prepared by adding PTFE dispersion to the stirring liquid. Further, in order to form the second dielectric layer 22, a second dispersion liquid containing water and the PTFE dispersion and not containing hollow silica particles is further prepared.
(気泡含有誘電体層形成工程)
 最後に、気泡含有誘電体層形成工程において、上記第1分散液を補強用誘電体層3の一方の面に塗布し、熱処理を行うことで第1誘電体層21を形成する。具体的には、上記第1分散液を補強用誘電体層3の一方の面に塗布し熱処理を行い、第1誘電体層21を形成する。次に、第1誘電体層21の外面に上記第2分散液を塗布し、熱処理を行い、第1誘電体層21の外面に第2誘電体層22を形成する。第1誘電体層21及び第2誘電体層22を形成する際の熱処理の温度プロファイルとしては、特に限定されないが、例えば補強用誘電体層3を形成した際の温度プロファイルと同様の条件とできる。このようにして気泡含有誘電体層2を形成することができる。
(Bubble-containing dielectric layer forming process)
Finally, in the bubble-containing dielectric layer forming step, the first dielectric layer 21 is formed by applying the first dispersion to one surface of the reinforcing dielectric layer 3 and performing heat treatment. Specifically, the first dispersion liquid is applied to one surface of the reinforcing dielectric layer 3 and subjected to heat treatment to form the first dielectric layer 21. Next, the second dispersion is applied to the outer surface of the first dielectric layer 21, and heat treatment is performed to form the second dielectric layer 22 on the outer surface of the first dielectric layer 21. The temperature profile of the heat treatment at the time of forming the first dielectric layer 21 and the second dielectric layer 22 is not particularly limited. For example, the temperature profile can be the same as the temperature profile at the time of forming the reinforcing dielectric layer 3. . In this way, the bubble-containing dielectric layer 2 can be formed.
 また、同様に上記第1分散液及び第2分散液を補強用誘電体層3の他方の面に塗布し、熱処理を行うことで補強用誘電体層3の両面に気泡含有誘電体層2を形成することができる。なお、補強用誘電体層3の両面に気泡含有誘電体層2を同時に形成してもよい。 Similarly, the first dispersion liquid and the second dispersion liquid are applied to the other surface of the reinforcing dielectric layer 3 and subjected to heat treatment, whereby the bubble-containing dielectric layer 2 is formed on both surfaces of the reinforcing dielectric layer 3. Can be formed. The bubble-containing dielectric layer 2 may be simultaneously formed on both surfaces of the reinforcing dielectric layer 3.
<利点>
 当該フッ素樹脂基材1は、気泡2aを含有する気泡含有誘電体層2を有するので、気泡2aの体積比率(空隙率)を制御することにより比誘電率を小さくすることができ、伝送損失が低減できる。また、上記気泡含有誘電体層2における外面近傍の平均気泡密度が内部の平均気泡密度より小さいので、当該フッ素樹脂基材1の外面に凹凸が発生しにくく、凹凸による高周波信号における伝送損失を抑止できる。従って、当該フッ素樹脂基材1は、高周波信号における伝送損失を効果的に低減できる。また、当該フッ素樹脂基材1は、気泡含有誘電体層2を有することで、熱膨張率が低減される。そのため、例えば当該フッ素樹脂基材1に積層される銅メッキ等の加熱によるメッキ破断を防止することができる。さらに、当該フッ素樹脂基材1はフッ素樹脂を補強材に含浸した補強用誘電体層3を有することで、弾性率、ポアソン比及び熱膨張率が下がり、リフロー等の熱処理時に当該フッ素樹脂基材1の反りの発生や寸法変化が抑制できる。
<Advantages>
Since the fluororesin substrate 1 has the bubble-containing dielectric layer 2 containing the bubbles 2a, the relative permittivity can be reduced by controlling the volume ratio (void ratio) of the bubbles 2a, and transmission loss is reduced. Can be reduced. Further, since the average bubble density in the vicinity of the outer surface in the bubble-containing dielectric layer 2 is smaller than the inner average bubble density, the outer surface of the fluororesin substrate 1 is less likely to be uneven, and transmission loss in high-frequency signals due to the unevenness is suppressed. it can. Therefore, the fluororesin substrate 1 can effectively reduce transmission loss in high frequency signals. Moreover, the said fluororesin base material 1 has a bubble containing dielectric material layer 2, and a thermal expansion coefficient is reduced. Therefore, for example, plating breakage due to heating such as copper plating laminated on the fluororesin substrate 1 can be prevented. Furthermore, the fluororesin substrate 1 has a reinforcing dielectric layer 3 in which a fluororesin is impregnated with a reinforcing material, so that the elastic modulus, Poisson's ratio, and thermal expansion coefficient are reduced, and the fluororesin substrate is subjected to heat treatment such as reflow. 1 warpage and dimensional change can be suppressed.
[フレキシブルプリント配線板]
 図2のフレキシブルプリント配線板は、上記フッ素樹脂基材1と、上記フッ素樹脂基材1の両面(外面)に積層される一対の導電パターン4とを主に備える。さらに当該フレキシブルプリント配線板は、上記フッ素樹脂基材1及び導電パターン4の外面に積層される一対のカバーレイ5を備える。なお、図2においては、図1のフッ素樹脂基材と同一の要素について同一の符号を付してあり、以下における重複説明を省略する。
[Flexible printed wiring board]
The flexible printed wiring board of FIG. 2 mainly includes the fluororesin substrate 1 and a pair of conductive patterns 4 laminated on both surfaces (outer surfaces) of the fluororesin substrate 1. The flexible printed wiring board further includes a pair of coverlays 5 stacked on the outer surfaces of the fluororesin substrate 1 and the conductive pattern 4. In FIG. 2, the same elements as those of the fluororesin substrate of FIG.
<導電パターン>
 上記導電パターン4は、フッ素樹脂基材1の外面に積層された金属層をエッチングすることによって所望の平面形状(パターン)に形成されている。この導電パターン4は、導電性を有する材料で形成可能であるが、一般的には例えば銅によって形成されている。
<Conductive pattern>
The conductive pattern 4 is formed in a desired planar shape (pattern) by etching a metal layer laminated on the outer surface of the fluororesin substrate 1. The conductive pattern 4 can be formed of a conductive material, but is generally formed of copper, for example.
 上記導電パターン4の平均厚さの下限としては、2μmが好ましく、5μmがより好ましい。また、上記導電パターン4の平均厚さの上限としては、50μmが好ましく、30μmがより好ましい。上記導電パターン4の平均厚さが上記下限未満である場合、上記導電パターン4の導電性が不十分となるおそれがある。一方、上記導電パターン4の平均厚さが上記上限を超える場合、当該フレキシブルプリント配線板が無用に厚くなるおそれがある。 The lower limit of the average thickness of the conductive pattern 4 is preferably 2 μm and more preferably 5 μm. Moreover, as an upper limit of the average thickness of the said conductive pattern 4, 50 micrometers is preferable and 30 micrometers is more preferable. When the average thickness of the conductive pattern 4 is less than the lower limit, the conductivity of the conductive pattern 4 may be insufficient. On the other hand, when the average thickness of the conductive pattern 4 exceeds the upper limit, the flexible printed wiring board may be unnecessarily thick.
<カバーレイ>
 カバーレイ5は、導電パターン4を外力や水分等から保護するものである。このカバーレイ5は、カバーフィルム51及び接着層52を備える。
<Coverlay>
The coverlay 5 protects the conductive pattern 4 from external force and moisture. The coverlay 5 includes a cover film 51 and an adhesive layer 52.
(カバーフィルム)
 カバーフィルム51は、可撓性及び絶縁性を有する。カバーフィルム51の主成分としては、例えばポリイミド、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、アクリル樹脂、ポリエステル、熱可塑性ポリイミド、ポリエチレンテレフタレート、フッ素樹脂、液晶ポリマー等が挙げられる。特に、耐熱性の観点からポリイミドが好ましい。また、このカバーフィルム51は、主成分以外の他の樹脂、耐候剤、帯電防止剤等を含有してもよい。
(Cover film)
The cover film 51 has flexibility and insulation. Examples of the main component of the cover film 51 include polyimide, epoxy resin, phenol resin, acrylic resin, polyester, thermoplastic polyimide, polyethylene terephthalate, fluororesin, and liquid crystal polymer. In particular, polyimide is preferable from the viewpoint of heat resistance. The cover film 51 may contain a resin other than the main component, a weathering agent, an antistatic agent, and the like.
 カバーフィルム51の平均厚さの下限としては、特に限定されないが、3μmが好ましく、10μmがより好ましい。また、カバーフィルム51の平均厚さの上限としては、特に限定されないが、500μmが好ましく、150μmがより好ましい。カバーフィルム51の平均厚さが上記下限未満である場合、導電パターン4の保護が不十分となるおそれがあると共に、カバーフィルム51に絶縁性が求められる場合には絶縁性が不十分となるおそれがある。一方、カバーフィルム51の平均厚さが上記上限を超える場合、導電パターン4の保護効果の上積みが少なくなるおそれがあると共に、カバーフィルム51の可撓性が不十分となるおそれがある。 The lower limit of the average thickness of the cover film 51 is not particularly limited, but is preferably 3 μm and more preferably 10 μm. Moreover, as an upper limit of the average thickness of the cover film 51, although it does not specifically limit, 500 micrometers is preferable and 150 micrometers is more preferable. When the average thickness of the cover film 51 is less than the above lower limit, the protection of the conductive pattern 4 may be insufficient, and when the cover film 51 is required to have insulation, the insulation may be insufficient. There is. On the other hand, when the average thickness of the cover film 51 exceeds the above upper limit, the protective effect of the conductive pattern 4 may be reduced and the flexibility of the cover film 51 may be insufficient.
(接着層)
 接着層52を構成する接着剤としては、特に限定されるものではないが、柔軟性や耐熱性に優れたものが好ましい。かかる接着剤としては、例えばエポキシ樹脂、ポリイミド、ポリエステル、フェノール樹脂、ポリウレタン、アクリル樹脂、メラミン樹脂、ポリアミドイミド等の各種の樹脂系接着剤が挙げられる。
(Adhesive layer)
Although it does not specifically limit as an adhesive agent which comprises the contact bonding layer 52, The thing excellent in the softness | flexibility and heat resistance is preferable. Examples of the adhesive include various resin adhesives such as epoxy resin, polyimide, polyester, phenol resin, polyurethane, acrylic resin, melamine resin, and polyamideimide.
 接着層52の平均厚さの下限としては、5μmが好ましく、10μmがより好ましい。また、接着層52の平均厚さの上限としては、50μmが好ましく、40μmがより好ましい。接着層52の平均厚さが上記下限未満である場合、カバーレイ5のフッ素樹脂基材1及び導電パターン4に対する接着強度が不十分となるおそれがある。一方、接着層52の平均厚さが上記上限を超える場合、当該フレキシブルプリント配線板が無用に厚くなるおそれがある。 The lower limit of the average thickness of the adhesive layer 52 is preferably 5 μm, and more preferably 10 μm. Moreover, as an upper limit of the average thickness of the contact bonding layer 52, 50 micrometers is preferable and 40 micrometers is more preferable. When the average thickness of the adhesive layer 52 is less than the above lower limit, the adhesive strength of the coverlay 5 to the fluororesin substrate 1 and the conductive pattern 4 may be insufficient. On the other hand, when the average thickness of the adhesive layer 52 exceeds the upper limit, the flexible printed wiring board may be unnecessarily thick.
<フレキシブルプリント配線板の製造方法>
 当該フレキシブルプリント配線板は、導電パターン形成工程及びカバーレイ積層工程を備える製造方法によって容易かつ確実に製造できる。
<Method for producing flexible printed wiring board>
The said flexible printed wiring board can be manufactured easily and reliably by the manufacturing method provided with a conductive pattern formation process and a coverlay lamination process.
(導電パターン形成工程)
 導電パターン形成工程では、フッ素樹脂基材1の外面に金属層が積層されたものを用い、上記金属層を加工して導電パターン4を形成する。上記金属層をフッ素樹脂基材1の外面に積層する方法としては特に限定されず、例えば金属箔を接着剤で貼り合わせる接着法、スパッタリングや蒸着法でフッ素樹脂基材1に形成した厚さ数nmの薄い導電層(シード層)の上に電解メッキで金属層を形成するスパッタ/メッキ法、金属箔を熱プレスで貼り付けるラミネート法等を用いることができる。また、上記導電パターン4は従来公知の方法で加工することで形成でき、例えばフッ素樹脂基材1の外面に積層された金属層の所望箇所をエッチングすることによって形成することができる。
(Conductive pattern formation process)
In the conductive pattern forming step, the metal layer is laminated on the outer surface of the fluororesin substrate 1, and the metal layer is processed to form the conductive pattern 4. The method for laminating the metal layer on the outer surface of the fluororesin substrate 1 is not particularly limited. For example, the number of thicknesses formed on the fluororesin substrate 1 by an adhesion method in which a metal foil is bonded with an adhesive, sputtering or vapor deposition. A sputtering / plating method for forming a metal layer by electrolytic plating on a thin conductive layer (seed layer) of nm, a laminating method for attaching a metal foil by hot pressing, or the like can be used. Moreover, the said conductive pattern 4 can be formed by processing by a conventionally well-known method, for example, can be formed by etching the desired location of the metal layer laminated | stacked on the outer surface of the fluororesin base material 1. FIG.
(カバーレイ積層工程)
 次にカバーレイ積層工程において、上記フッ素樹脂基材1及び導電パターン4の外面にカバーレイ5を積層する。具体的には、カバーレイ5は、フッ素樹脂基材1及び導電パターン4に接着層52を介してカバーフィルム51を貼着することで形成できる。
(Coverlay lamination process)
Next, in the cover lay stacking step, the cover lay 5 is stacked on the outer surfaces of the fluororesin substrate 1 and the conductive pattern 4. Specifically, the coverlay 5 can be formed by attaching a cover film 51 to the fluororesin substrate 1 and the conductive pattern 4 via an adhesive layer 52.
<利点>
 当該フレキシブルプリント配線板は、上記フッ素樹脂基材1を含むので、高周波信号における伝送損失が低く、高周波用プリント配線板として好適に用いることができる。
<Advantages>
Since the flexible printed wiring board includes the fluororesin substrate 1, the transmission loss in the high frequency signal is low, and the flexible printed wiring board can be suitably used as a high frequency printed wiring board.
[その他の実施形態]
 今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記実施形態の構成に限定されるものではなく、請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。
[Other Embodiments]
The embodiment disclosed this time should be considered as illustrative in all points and not restrictive. The scope of the present invention is not limited to the configuration of the embodiment described above, but is defined by the scope of the claims, and is intended to include all modifications within the meaning and scope equivalent to the scope of the claims.
 上記実施形態では、フッ素樹脂基材が補強用誘電体層の両面に気泡含有誘電体層を有する場合を説明したが、フッ素樹脂基材は気泡含有誘電体層を補強用誘電体層の片面のみに有するものであってもよい。 In the above embodiment, the case where the fluororesin substrate has the bubble-containing dielectric layers on both sides of the reinforcing dielectric layer has been described. However, the fluororesin substrate has the bubble-containing dielectric layer only on one side of the reinforcing dielectric layer. You may have.
 また、上記実施形態では、フッ素樹脂基材が補強用誘電体層を有する場合を説明したが、補強用誘電体層は必須の構成要素ではなく、外面近傍の平均気泡密度が内部の平均気泡密度より小さい一対の気泡含有誘電体層により構成されるフッ素樹脂基材や、1層の上記気泡含有誘電体層のみを有するフッ素樹脂基材も本発明の意図する範囲である。 In the above embodiment, the case where the fluororesin substrate has a reinforcing dielectric layer has been described. However, the reinforcing dielectric layer is not an essential component, and the average bubble density near the outer surface is the average bubble density inside. A fluororesin substrate composed of a smaller pair of bubble-containing dielectric layers and a fluorine resin substrate having only one bubble-containing dielectric layer are also within the intended scope of the present invention.
 上記実施形態では気泡を含有する第1誘電体層と気泡を含有しない第2誘電体層とを有する気泡含有誘電体層を説明したが、気泡含有誘電体層は2層に分かれていなくともよい。すなわち、1層の気泡含有誘電体層の平均気泡密度が外面から内部に傾斜していてもよい。このように上記気泡含有誘電体層の平均気泡密度が外面から内部に傾斜していることで、外面の凹凸の発生を抑止しつつ、気泡含有誘電体層の気泡の含有量を大きくすることができ、比誘電率を効果的に小さくすることができる。従って、高周波信号における伝送損失をさらに効果的に低減できる。 In the above embodiment, the bubble-containing dielectric layer having the first dielectric layer containing bubbles and the second dielectric layer not containing bubbles has been described. However, the bubble-containing dielectric layer may not be divided into two layers. . That is, the average cell density of one cell-containing dielectric layer may be inclined from the outer surface to the inside. As described above, the average bubble density of the bubble-containing dielectric layer is inclined from the outer surface to the inside, thereby suppressing the occurrence of irregularities on the outer surface and increasing the bubble content of the bubble-containing dielectric layer. And the relative dielectric constant can be effectively reduced. Therefore, transmission loss in a high frequency signal can be further effectively reduced.
 また、第2誘電体層が気泡を有してもよい。第2誘電体層が気泡を有する場合の第2誘電体層の平均空隙率は、第1誘電体層の平均空隙率未満であり、例えば1体積%以上10体積%以下とできる。 Further, the second dielectric layer may have bubbles. When the second dielectric layer has bubbles, the average porosity of the second dielectric layer is less than the average porosity of the first dielectric layer, and can be, for example, 1 volume% or more and 10 volume% or less.
 さらに、気泡含有誘電体層が3層以上の誘電体層を有してもよい。例えば中空シリカ粒子の含有率の異なる複数の分散液を順次塗布し積層することで気泡含有誘電体層を多層構造とできる。 Furthermore, the bubble-containing dielectric layer may have three or more dielectric layers. For example, the bubble-containing dielectric layer can be formed into a multilayer structure by sequentially applying and laminating a plurality of dispersions having different hollow silica particle contents.
 また、フッ素樹脂基材がさらに他の誘電体層を有する多層構造であってもよい。例えば補強用誘電体層と気泡含有誘電体層との間に気泡を含まない無気泡誘電体層を有してもよい。このように補強用誘電体層と気泡含有誘電体層との間に無気泡誘電体層を有することで、中空粒子等が補強用誘電体層に入ることを抑止できる。これにより、補強用誘電体層において金属マイグレーションが抑制され、フッ素樹脂基材の絶縁劣化を発生し難くできる。 Further, the fluororesin base material may have a multilayer structure having another dielectric layer. For example, a bubble-free dielectric layer that does not include bubbles may be provided between the reinforcing dielectric layer and the bubble-containing dielectric layer. Thus, by having a bubble-free dielectric layer between the reinforcing dielectric layer and the bubble-containing dielectric layer, it is possible to prevent hollow particles or the like from entering the reinforcing dielectric layer. Thereby, metal migration is suppressed in the dielectric layer for reinforcement, and insulation deterioration of the fluororesin substrate can be made difficult to occur.
 さらに、上記実施形態では、両面のフレキシブルプリント配線板の場合を説明したが、片面のフレキシブルプリント配線板であってもよく、その場合は導電パターンを積層する面のみに気泡含有誘電体層を有するフッ素樹脂基材を用いることができる。 Furthermore, although the case of the double-sided flexible printed wiring board has been described in the above embodiment, a single-sided flexible printed wiring board may be used, and in that case, the bubble-containing dielectric layer is provided only on the surface on which the conductive pattern is laminated. A fluororesin base material can be used.
 以下、本発明を実施例に基づいて具体的に説明するが、本発明は、これらの実施例に限定されるものではない。 Hereinafter, the present invention will be specifically described based on examples, but the present invention is not limited to these examples.
[No.1]
 まず、平均厚さ27μm、目付量17g/mの平織のガラスクロス(中興化成工業株式会社のCGN-500NF)を、PTFEを60質量%、界面活性剤を6質量%以下、水を30質量%以上40質量%以下含むPTFEディスパージョン(ダイキン工業株式会社の「D-210C」)に浸した。このPTFEを含浸したガラスクロスを大気中で焼結し、補強用誘電体層を形成した。焼結の温度プロファイルは、温度150℃で10分間、続いて温度200℃で30分間、さらに温度420℃で1分間とした。
[No. 1]
First, a plain weave glass cloth (CGN-500NF from Chukoh Chemical Industry Co., Ltd.) having an average thickness of 27 μm and a basis weight of 17 g / m 2 , PTFE 60 mass%, surfactant 6 mass% or less, water 30 mass % PTFE dispersion (“D-210C” from Daikin Industries, Ltd.) containing from 40% to 40% by weight. The glass cloth impregnated with PTFE was sintered in the air to form a reinforcing dielectric layer. The temperature profile of sintering was set at a temperature of 150 ° C. for 10 minutes, followed by a temperature of 200 ° C. for 30 minutes, and a temperature of 420 ° C. for 1 minute.
 次に、中空シリカ粒子0.12gと水2.8gとを撹拌し、その撹拌した液に上述のPTFEディスパージョン1.12gを添加し、第1分散液を作成した。中空シリカ粒子としては、平均粒径が80nm以上130nm以下であり、殻厚が5nm以上15nm以下、比表面積が100m/g以上500m/g以下、空隙率が50%の日鉄鉱業株式会社の「シリナックス」を用いた。 Next, 0.12 g of hollow silica particles and 2.8 g of water were stirred, and 1.12 g of the above PTFE dispersion was added to the stirred liquid to prepare a first dispersion. The hollow silica particles have an average particle diameter of 80 nm to 130 nm, a shell thickness of 5 nm to 15 nm, a specific surface area of 100 m 2 / g to 500 m 2 / g, and a porosity of 50%. “Silinax” was used.
 この第1分散液を上記補強用誘電体層の一方の面にドクターナイフを用いて塗布した。塗布の平均厚さは25μmとした。その後、大気中で補強用誘電体層を形成した際の温度プロファイルと同様の条件で第1分散液を塗布した補強用誘電体層を焼結した。さらに、中空シリカ粒子を含まない上記PTFEディスパージョン1.12gのみ(第2分散液)を平均厚さ25μmで追加塗布し、同様の焼結条件で焼結した。このようにして第1誘電体層と第2誘電体層とを有する気泡含有誘電体層を形成した。上記補強用誘電体層の他方の面についても同様の方法で気泡含有誘電体層を形成し、フッ素樹脂基材を得た。 The first dispersion was applied to one surface of the reinforcing dielectric layer using a doctor knife. The average thickness of the coating was 25 μm. Thereafter, the reinforcing dielectric layer coated with the first dispersion was sintered under the same conditions as the temperature profile when the reinforcing dielectric layer was formed in the atmosphere. Furthermore, only 1.12 g of the above PTFE dispersion (second dispersion) not containing hollow silica particles was additionally applied at an average thickness of 25 μm and sintered under the same sintering conditions. Thus, the bubble-containing dielectric layer having the first dielectric layer and the second dielectric layer was formed. A bubble-containing dielectric layer was formed on the other surface of the reinforcing dielectric layer in the same manner to obtain a fluororesin substrate.
 次に、フッ素樹脂基材の一方の面に、プラズマ処理を行った後、無電解銅メッキ処理を行い、No.1のプリント配線板用基板を用意した。このプリント配線板用基板の平均厚さは81μmであり、気泡含有誘電体層の平均空隙率は19体積%であった。 Next, after performing plasma treatment on one surface of the fluororesin base material, electroless copper plating treatment was performed. 1 printed wiring board substrates were prepared. The average thickness of the printed wiring board substrate was 81 μm, and the average porosity of the bubble-containing dielectric layer was 19% by volume.
[No.2]
 平均厚さ50μmのアルミニウム箔の一方の面に、No.1と同様の第1誘電体層と第2誘電体層とを有する気泡含有誘電体層を形成した。次に、アルミニウム箔を気泡含有誘電体層から除去し、さらに、アルミニウム箔を除去した面にNo.1と同様に第1誘電体層と第2誘電体層とを有する気泡含有誘電体層を形成した。その後、No.1と同様にプラズマ処理、無電解銅メッキ処理を行い、No.2のプリント配線板用基板を用意した。このプリント配線板用基板の平均厚さは54μmであり、気泡含有誘電体層の平均空隙率は26体積%であった。
[No. 2]
On one surface of an aluminum foil having an average thickness of 50 μm, A bubble-containing dielectric layer having a first dielectric layer and a second dielectric layer similar to 1 was formed. Next, the aluminum foil was removed from the bubble-containing dielectric layer. As in 1, a bubble-containing dielectric layer having a first dielectric layer and a second dielectric layer was formed. Then, no. No. 1 was subjected to plasma treatment and electroless copper plating treatment. 2 printed wiring board substrates were prepared. The average thickness of the printed wiring board substrate was 54 μm, and the average porosity of the bubble-containing dielectric layer was 26% by volume.
[No.3]
 第1誘電体層の形成において第1分散液中の中空シリカ粒子の量を0.35gとした以外は、No.1と同様にしてNo.3のプリント配線板用基板を用意した。このプリント配線板用基板の平均厚さは50μmであり、気泡含有誘電体層の平均空隙率は52体積%であった。
[No. 3]
No. 1 except that the amount of hollow silica particles in the first dispersion was 0.35 g in the formation of the first dielectric layer. No. 1 as in No. 1. 3 printed wiring board substrates were prepared. The average thickness of the printed wiring board substrate was 50 μm, and the average porosity of the bubble-containing dielectric layer was 52% by volume.
[No.4]
 第1誘電体層の形成において第1分散液中の中空シリカ粒子の量を0.36gとした以外は、No.2と同様にしてNo.4のプリント配線板用基板を用意した。このプリント配線板用基板の平均厚さは50μmであり、気泡含有誘電体層の平均空隙率は53体積%であった。
[No. 4]
No. 1 except that the amount of hollow silica particles in the first dispersion was 0.36 g in the formation of the first dielectric layer. No. 2 in the same manner. 4 printed wiring board substrates were prepared. The average thickness of the printed wiring board substrate was 50 μm, and the average porosity of the bubble-containing dielectric layer was 53% by volume.
[No.5]
 第1誘電体層及び第2誘電体層共に中空シリカ粒子を含む第1分散液を用いて形成した以外はNo.1と同様にしてNo.5のプリント配線板用基板を比較例として用意した。このプリント配線板用基板の平均厚さは51μmであり、気泡含有誘電体層の平均空隙率は15体積%であった。
[No. 5]
No. 1 except that both the first dielectric layer and the second dielectric layer were formed using the first dispersion containing hollow silica particles. No. 1 as in No. 1. 5 was prepared as a comparative example. The average thickness of the printed wiring board substrate was 51 μm, and the average porosity of the bubble-containing dielectric layer was 15% by volume.
[No.6]
 第1誘電体層及び第2誘電体層共に中空シリカ粒子を含む第1分散液を用いて形成した以外はNo.2と同様にしてNo.6のプリント配線板用基板を比較例として用意した。このプリント配線板用基板の平均厚さは51μmであり、気泡含有誘電体層の平均空隙率は26体積%であった。
[No. 6]
No. 1 except that both the first dielectric layer and the second dielectric layer were formed using the first dispersion containing hollow silica particles. No. 2 in the same manner. Six printed wiring board substrates were prepared as comparative examples. The average thickness of the printed wiring board substrate was 51 μm, and the average porosity of the bubble-containing dielectric layer was 26% by volume.
[No.7]
 第1誘電体層及び第2誘電体層の形成共に中空シリカ粒子を含まない第2分散液を用いた以外はNo.1と同様にしてNo.7のプリント配線板用基板を比較例として用意した。このプリント配線板用基板の平均厚さは50μmであった。
[No. 7]
The first dielectric layer and the second dielectric layer are both No. 1 except that the second dispersion containing no hollow silica particles is used. No. 1 as in No. 1. 7 was prepared as a comparative example. The average thickness of the printed wiring board substrate was 50 μm.
[No.8]
 第1誘電体層及び第2誘電体層の形成共に中空シリカ粒子を含まない第2分散液を用いた以外はNo.2と同様にしてNo.8のプリント配線板用基板を比較例として用意した。このプリント配線板用基板の平均厚さは50μmであった。
[No. 8]
The first dielectric layer and the second dielectric layer are both No. 1 except that the second dispersion containing no hollow silica particles is used. No. 2 in the same manner. Eight printed wiring board substrates were prepared as comparative examples. The average thickness of the printed wiring board substrate was 50 μm.
[評価]
 上記No.1~No.8のプリント配線板用基板について、比誘電率、熱膨張率及び平均表面粗さ(Ra)を測定した。
[Evaluation]
No. above. 1-No. For the printed wiring board substrate of 8, the relative dielectric constant, the thermal expansion coefficient, and the average surface roughness (Ra) were measured.
<比誘電率>
 比誘電率は、JIS-C-2138:2007に規定される測定方法に準拠して測定した。結果を表1に示す。
<Relative permittivity>
The relative dielectric constant was measured in accordance with a measurement method defined in JIS-C-2138: 2007. The results are shown in Table 1.
<熱膨張率>
 熱膨張率は、JIS-K-7197:2012に準拠し、熱機械分析(TMA)により測定した。結果を表1に示す。
<Coefficient of thermal expansion>
The coefficient of thermal expansion was measured by thermomechanical analysis (TMA) according to JIS-K-7197: 2012. The results are shown in Table 1.
<平均表面粗さ>
 平均表面粗さ(Ra)は、レーザ顕微鏡を用いて1000μmの範囲の面粗さを10点測定し、その平均値を求めることで算出した。結果を表1に示す。
<Average surface roughness>
The average surface roughness (Ra) was calculated by measuring 10 points of surface roughness in the range of 1000 μm 2 using a laser microscope and obtaining the average value. The results are shown in Table 1.
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
 表1の結果よりNo.1~No.4のプリント配線板用基板は、No.5及びNo.6のプリント配線板用基板と比べ、比誘電率が同等でありながら平均表面粗さが小さい。従って、No.1~No.4のプリント配線板用基板は、外面の平滑性を維持しつつ低誘電率化できており、高周波領域における伝送損失を低減できる。一方、No.5及びNo.6のプリント配線板用基板は、誘電体層の外面側(第2誘電体層)まで中空粒子を含むため、平均表面粗さが大きく外面の平滑性が維持できていない。従って、高周波領域における伝送損失を十分に低減できない。このことから、気泡含有誘電体層における外面近傍の平均気泡密度を内部の平均気泡密度より小さくすることで、高周波領域における伝送損失を低減できると考えられる。 From the results in Table 1, No. 1-No. No. 4 printed wiring board substrate is No.4. 5 and no. As compared with the printed wiring board substrate of No. 6, the average surface roughness is small while the dielectric constant is the same. Therefore, no. 1-No. In the printed wiring board substrate No. 4, the dielectric constant can be lowered while maintaining the smoothness of the outer surface, and the transmission loss in the high frequency region can be reduced. On the other hand, no. 5 and no. Since the printed wiring board substrate of No. 6 contains hollow particles up to the outer surface side (second dielectric layer) of the dielectric layer, the average surface roughness is large and the smoothness of the outer surface cannot be maintained. Therefore, transmission loss in the high frequency region cannot be sufficiently reduced. From this, it is considered that the transmission loss in the high frequency region can be reduced by making the average bubble density near the outer surface in the bubble-containing dielectric layer smaller than the average bubble density inside.
 また、No.1~No.4のプリント配線板用基板は、誘電体層が気泡を含有しないNo.7及びNo.8のプリント配線板用基板と比較し、同等の比誘電率及び平均表面粗さを維持しつつ熱膨張率が低減できている。 Also, No. 1-No. In the printed wiring board substrate of No. 4, the dielectric layer does not contain bubbles. 7 and no. As compared with the printed wiring board substrate of No. 8, the thermal expansion coefficient can be reduced while maintaining the same relative dielectric constant and average surface roughness.
 さらに、No.1及びNo.2とNo.3及びNo.4とを比較すると、No.1及びNo.2の方の表面粗さが小さく、No.1及びNo.2の表面粗さは、中空粒子を含まないNo.7及びNo.8の表面粗さと同等である。このことから、気泡含有誘電体層の平均空隙率を1体積%以上50体積%以下とすることで、フッ素樹脂基材の表面をさらに平滑化できることが分かる。 Furthermore, No. 1 and no. 2 and No. 3 and no. 4 and No. 4 1 and no. No. 2 has a smaller surface roughness. 1 and no. The surface roughness of No. 2 does not include hollow particles. 7 and no. This is equivalent to a surface roughness of 8. This indicates that the surface of the fluororesin substrate can be further smoothed by setting the average porosity of the bubble-containing dielectric layer to 1% by volume or more and 50% by volume or less.
 以上のように、本発明のフッ素樹脂基材は、外面の平滑性を維持しつつ低誘電率化及び低熱膨張率化を可能とする。従って、当該フッ素樹脂基材は高周波信号における伝送損失を効果的に低減でき、高周波用両面プリント配線板として好適に用いることができる。 As described above, the fluororesin substrate of the present invention enables a low dielectric constant and a low thermal expansion coefficient while maintaining the smoothness of the outer surface. Therefore, the fluororesin substrate can effectively reduce transmission loss in high-frequency signals and can be suitably used as a high-frequency double-sided printed wiring board.
1 フッ素樹脂基材、2 気泡含有誘電体層、2a 気泡、21 第1誘電体層、22 第2誘電体層、3 補強用誘電体層、4 導電パターン、5 カバーレイ、51 カバーフィルム、52 接着層
 
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Fluororesin base material, 2 Bubble containing dielectric layer, 2a Bubble, 21 1st dielectric layer, 22 2nd dielectric layer, 3 Reinforcing dielectric layer, 4 Conductive pattern, 5 Coverlay, 51 Cover film, 52 Adhesive layer

Claims (9)

  1.  フッ素樹脂を主成分とする1又は複数の誘電体層を有するフッ素樹脂基材であって、
     少なくとも一部の前記誘電体層が気泡を含有し、
     前記気泡含有誘電体層における外面近傍の平均気泡密度が内部の平均気泡密度より小さいフッ素樹脂基材。
    A fluororesin substrate having one or more dielectric layers mainly composed of fluororesin,
    At least a portion of the dielectric layer contains bubbles,
    A fluororesin base material having an average cell density in the vicinity of an outer surface of the bubble-containing dielectric layer smaller than an average cell density inside.
  2.  前記気泡含有誘電体層が気泡を含有する第1誘電体層と、前記第1誘電体層の外面側に配設され、気泡を含有しない第2誘電体層とを有する請求項1に記載のフッ素樹脂基材。 The said bubble containing dielectric layer has the 1st dielectric layer containing a bubble, and the 2nd dielectric layer which is arrange | positioned on the outer surface side of the said 1st dielectric layer, and does not contain a bubble. Fluororesin substrate.
  3.  前記気泡が、中空粒子又は多孔質粒子により構成される請求項1又は請求項2に記載のフッ素樹脂基材。 The fluororesin substrate according to claim 1 or 2, wherein the bubbles are constituted by hollow particles or porous particles.
  4.  前記気泡含有誘電体層に直接又は他の層を介して積層され、フッ素樹脂を補強材に含浸した補強用誘電体層をさらに有する請求項1、請求項2又は請求項3に記載のフッ素樹脂基材。 4. The fluororesin according to claim 1, further comprising a reinforcing dielectric layer laminated directly on the bubble-containing dielectric layer or through another layer and impregnated with a fluororesin in a reinforcing material. Base material.
  5.  前記補強用誘電体層の両面に一対の前記気泡含有誘電体層を有する請求項4に記載のフッ素樹脂基材。 The fluororesin substrate according to claim 4, wherein the reinforcing dielectric layer has a pair of the bubble-containing dielectric layers on both surfaces.
  6.  前記補強用誘電体層が気泡を含有しない請求項4又は請求項5に記載のフッ素樹脂基材。 The fluororesin substrate according to claim 4 or 5, wherein the reinforcing dielectric layer does not contain bubbles.
  7.  前記気泡含有誘電体層の平均空隙率が1体積%以上50体積%以下である請求項1から請求項6のいずれか1項に記載のフッ素樹脂基材。 The fluororesin substrate according to any one of claims 1 to 6, wherein an average porosity of the bubble-containing dielectric layer is 1% by volume or more and 50% by volume or less.
  8.  前記気泡含有誘電体層の平均気泡密度が外面から内部に向かう方向に単調に増加している請求項1から請求項7のいずれか1項に記載のフッ素樹脂基材。 The fluororesin substrate according to any one of claims 1 to 7, wherein an average cell density of the cell-containing dielectric layer monotonously increases in a direction from the outer surface toward the inside.
  9.  請求項1から請求項8のいずれか1項に記載のフッ素樹脂基材と、前記フッ素樹脂基材の外面に積層される導電パターンとを備えるフレキシブルプリント配線板。 A flexible printed wiring board comprising the fluororesin base material according to any one of claims 1 to 8 and a conductive pattern laminated on an outer surface of the fluororesin base material.
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