JP2017120826A - Substrate and base material for printed wiring board - Google Patents

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誠 中林
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a substrate and a base material for a printed wiring board, each having a superior transmission property of which the temperature dependence is small.SOLUTION: A substrate according to an embodiment of the present invention comprises: a first resin layer including a matrix having a liquid crystal polymer as a primary component; and a second resin layer laminated on at least one face of the first resin layer, and including a fluorine resin as a primary component. The substrate is 4.0 or less in relative permittivity at 30-120°C and 10 GHz, 0.0001-0.04 in the width of change in the relative permittivity, and 0.01 or less in dielectric dissipation factor. The fluorine resin may include a tetra fluoroethylene-hexafluoropropylene copolymer, a tetrafluoroethylene-perfluoro alkylvinylether copolymer or a combination thereof by 50 mass% or more. The substrate further comprises: a porous sheet in a lamellar region including opposing faces of the first and second resin layers. The porous sheet may include a liquid crystal polymer as a primary component.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、基板及びプリント配線板用基材に関する。   The present invention relates to a substrate and a printed wiring board substrate.

近年、情報通信量は増大する一方であり、これに応えるため、例えばICカード、携帯電話端末、車載センサ等の機器においてマイクロ波、ミリ波といった高周波領域での通信が盛んになっている。   In recent years, the amount of information communication has been increasing, and in order to meet this demand, communication in a high-frequency region such as microwaves and millimeter waves has become popular in devices such as IC cards, mobile phone terminals, and in-vehicle sensors.

一般的なプリント配線板において、伝送速度V及び伝送損失αdは、基板の比誘電率εr、周波数f及び誘電正接tanδとそれぞれ以下の関係(式(a)及び式(b))を満たす。   In a general printed wiring board, the transmission speed V and the transmission loss αd satisfy the following relationship (formula (a) and formula (b)) with the relative dielectric constant εr, the frequency f, and the dielectric loss tangent tanδ of the substrate, respectively.

Figure 2017120826
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Figure 2017120826
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つまり、伝送速度Vを大きくすると共に伝送損失αdを小さくするためには、基板の比誘電率εrを小さくすることが望まれる。このため、基板の材料として、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体(PFA)、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体(FEP)、エチレン−テトラフルオロエチレン共重合体(ETFE)、ポリフッ化ビリニデン(PVdF)等のフッ素樹脂を用いることが提案されている(例えば特開2001−7466号公報、特許第4296250号公報参照)。   That is, in order to increase the transmission speed V and reduce the transmission loss αd, it is desirable to reduce the relative dielectric constant εr of the substrate. For this reason, polytetrafluoroethylene (PTFE), tetrafluoroethylene-perfluoroalkyl vinyl ether copolymer (PFA), tetrafluoroethylene-hexafluoropropylene copolymer (FEP), ethylene-tetrafluoroethylene are used as substrate materials. It has been proposed to use a fluororesin such as a copolymer (ETFE) or poly (vinylidene fluoride) (PVdF) (see, for example, Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 2001-7466 and 4296250).

特開2001−7466号公報JP 2001-7466 A 特許第4296250号公報Japanese Patent No. 4296250

上記従来のフッ素樹脂を用いた基板は高周波通信に使用可能である点で要求に沿う基板であるといえる。しかし、基板で安定した伝送特性を得るためには、比誘電率等のばらつきを抑制することが必要とされるところ、上記従来の基板は、比誘電率等を十分に制御できるとはいえない。   It can be said that the board | substrate using the said conventional fluororesin is a board | substrate which meets a request | requirement in the point which can be used for high frequency communication. However, in order to obtain stable transmission characteristics with a substrate, it is necessary to suppress variations in relative dielectric constant and the like. However, it cannot be said that the conventional substrate described above can sufficiently control the relative dielectric constant and the like. .

さらに、高周波領域での通信において、車載用ミリ波レーダー、携帯情報機器、携帯通信端末等の携帯機器でミリ波を使用する用途などに対し、伝送特性の温度依存性が少ない基板が求められているが、上記従来のフッ素樹脂を用いた基板は、この点についても不十分である。   Furthermore, in communications in the high-frequency region, there is a need for a substrate with low temperature dependence of transmission characteristics for applications that use millimeter waves in mobile devices such as in-vehicle millimeter wave radars, portable information devices, and portable communication terminals. However, the conventional substrate using the fluororesin is not sufficient in this respect.

本発明は、上述のような事情に基づいてなされたものであり、伝送特性の温度依存性が少なく、かつ伝送特性に優れる基板及びプリント配線板用基材を提供することを目的とする。   The present invention has been made based on the above-described circumstances, and an object of the present invention is to provide a substrate and a substrate for a printed wiring board that have less temperature dependency of transmission characteristics and excellent transmission characteristics.

上記課題を解決するためになされた本発明の一態様に係る基板は、液晶ポリマーを主成分とするマトリックスを含有する第1樹脂層と、この第1樹脂層の少なくとも一方の面側に積層され、フッ素樹脂を主成分とする第2樹脂層とを備える基板であって、30℃以上120℃以下かつ10GHzにおける比誘電率が4.0以下、比誘電率の変化幅が0.0001以上0.04以下、誘電正接が0.01以下である。   In order to solve the above problems, a substrate according to one embodiment of the present invention is formed by laminating a first resin layer containing a matrix mainly composed of a liquid crystal polymer and at least one surface side of the first resin layer. And a second resin layer mainly composed of a fluororesin, wherein the relative dielectric constant at 30 to 120 ° C. and 10 GHz is 4.0 or less, and the variation range of the relative dielectric constant is 0.0001 to 0. 0.04 or less and dielectric loss tangent is 0.01 or less.

上記課題を解決するためになされた別の本発明の一態様に係るプリント配線板用基材は、上記基板と、この基板の上記第2樹脂層の第1樹脂層と反対の面側に積層される導電層とを備える。   A printed wiring board base material according to another aspect of the present invention, which has been made to solve the above problems, is laminated on the substrate and the surface of the substrate opposite to the first resin layer of the second resin layer. A conductive layer.

本発明の基板及びプリント配線板用基材は、伝送特性に優れる。   The substrate and printed wiring board substrate of the present invention are excellent in transmission characteristics.

本発明の一実施形態の基板を示す模式的断面図である。It is typical sectional drawing which shows the board | substrate of one Embodiment of this invention. 図1とは異なる実施形態の基板を示す模式的断面図である。It is typical sectional drawing which shows the board | substrate of embodiment different from FIG. 本発明の一実施形態のプリント配線板用基材を示す模式的断面図である。It is a typical sectional view showing the substrate for printed wiring boards of one embodiment of the present invention.

[本発明の実施形態の説明]
本発明の一態様に係る基板は、液晶ポリマーを主成分とするマトリックスを含有する第1樹脂層と、この第1樹脂層の少なくとも一方の面側に積層され、フッ素樹脂を主成分とする第2樹脂層とを備える基板であって、30℃以上120℃以下かつ10GHzにおける比誘電率が4.0以下、比誘電率の変化幅が0.0001以上0.04以下、誘電正接が0.01以下である。
[Description of Embodiment of the Present Invention]
A substrate according to one embodiment of the present invention includes a first resin layer containing a matrix mainly composed of a liquid crystal polymer, and a first resin layer laminated on at least one surface side of the first resin layer, the fluororesin being a main component. A substrate having two resin layers, the relative dielectric constant at 30 to 120 ° C. and 10 GHz is 4.0 or less, the variation range of the relative dielectric constant is 0.0001 to 0.04, and the dielectric loss tangent is 0.2. 01 or less.

当該基板は、マトリックスが液晶ポリマーを主成分とする第1樹脂層とフッ素樹脂を主成分とする第2樹脂層とを備えるため、第1樹脂層により伝送特性の温度依存性を低下させつつ、第2樹脂層により高周波領域での通信に用いた際の伝送損失を低減できる。また、当該基板は、30℃以上120℃以下かつ10GHzにおける比誘電率及び誘電正接が上記範囲であるので、伝送特性に優れる。さらに、当該基板は、上記比誘電率の変化幅が上記範囲であるので、伝送特性の温度依存性が少ない。   Since the matrix includes the first resin layer whose main component is a liquid crystal polymer and the second resin layer whose main component is a fluororesin, the first resin layer reduces the temperature dependence of transmission characteristics, The second resin layer can reduce transmission loss when used for communication in a high frequency region. Further, the substrate has excellent transmission characteristics because the relative dielectric constant and dielectric loss tangent at 30 to 120 ° C. and 10 GHz are in the above ranges. Furthermore, since the change width of the relative permittivity is in the above range, the substrate has less temperature dependence of transmission characteristics.

ここで、「主成分」とは、最も含有量が多い成分であり、例えば含有量が50質量%以上、好ましくは90質量%以上の成分を指す。また、「比誘電率」及び「誘電正接」は、JIS−C−2138(2007年)に準拠する空洞共振器摂道法により、相対湿度50%の条件で測定される厚さ方向の値である。「変化幅」は、30℃以上120℃以下での最大値から最小値を引いた差を意味する。   Here, the “main component” is a component having the largest content, for example, a component having a content of 50% by mass or more, preferably 90% by mass or more. “Relative permittivity” and “dielectric loss tangent” are values in the thickness direction measured at a relative humidity of 50% by a cavity resonator perturbation method according to JIS-C-2138 (2007). is there. “Change width” means a difference obtained by subtracting the minimum value from the maximum value at 30 ° C. or more and 120 ° C. or less.

上記フッ素樹脂が、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体(FEP)、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体(PFA)又はこれらの組み合わせを50質量%以上含有することが好ましい。このように第2樹脂層の主成分としてFEPやPFAを含むことで、より良好な伝送特性を得つつ、伝送特性の温度依存性をより少なくできる。これは、FEP及びPFAは、結晶化度が小さく、さらに結晶構造の変化に伴う伝送特性の変化が小さいためと推測される。   The fluororesin preferably contains 50% by mass or more of tetrafluoroethylene-hexafluoropropylene copolymer (FEP), tetrafluoroethylene-perfluoroalkyl vinyl ether copolymer (PFA), or a combination thereof. By including FEP or PFA as the main component of the second resin layer in this manner, it is possible to reduce the temperature dependence of the transmission characteristics while obtaining better transmission characteristics. This is presumably because FEP and PFA have a small degree of crystallinity and a small change in transmission characteristics due to a change in crystal structure.

上記第1樹脂層及び第2樹脂層のそれぞれの対向面を含む層状領域に多孔質シートを備え、この多孔質シートの主成分が液晶ポリマーであるとよい。このように第1樹脂層と第2樹脂層との間に液晶ポリマーを主成分とする多孔質シートを備えることで、伝送特性を良好に維持しつつ第1樹脂層と第2樹脂層との接合強度を高めることができる。   A porous sheet is preferably provided in a layered region including the opposing surfaces of the first resin layer and the second resin layer, and the main component of the porous sheet is preferably a liquid crystal polymer. Thus, by providing the porous sheet which has a liquid crystal polymer as a main component between a 1st resin layer and a 2nd resin layer, while maintaining a transmission characteristic favorable, it is the 1st resin layer and a 2nd resin layer. Bonding strength can be increased.

上記第1樹脂層が、マトリックス中に含まれる補強材をさらに含有するとよい。このように第1樹脂層が補強材を含有することで、強度及び寸法安定性を高めることができる。   The first resin layer may further contain a reinforcing material included in the matrix. Thus, intensity | strength and dimensional stability can be improved because a 1st resin layer contains a reinforcing material.

上記第1樹脂層と第2樹脂層との剥離強度としては、5N/cm以上が好ましい。上記剥離強度を上記下限以上とすることで、第1樹脂層と第2樹脂層との接合強度をより確実に高めることができる。ここで、「剥離強度」とは、JIS−K−6854−2(1999年)の「接着剤−剥離接着強さ試験方法−2部:180度剥離」に準拠する試験方法により得られる剥離強度を指す。   The peel strength between the first resin layer and the second resin layer is preferably 5 N / cm or more. By setting the peel strength to the above lower limit or more, the bonding strength between the first resin layer and the second resin layer can be more reliably increased. Here, “peel strength” means peel strength obtained by a test method based on “Adhesive—Peel Adhesive Strength Test Method—Part 2: 180 ° Peel” of JIS-K-6854-2 (1999). Point to.

本発明の別の態様に係るプリント配線板用は、上記基板と、この基板の上記第2樹脂層の第1樹脂層と反対の面側に積層される導電層とを備える。当該プリント配線板用基材は、上記基板を備えるので伝送特性の温度依存性が少なく、かつ第2樹脂層側に導電層が積層されるので伝送特性に優れる。   The printed wiring board according to another aspect of the present invention includes the substrate and a conductive layer laminated on the surface of the substrate opposite to the first resin layer of the second resin layer. Since the printed wiring board base material includes the substrate, the temperature dependence of the transmission characteristics is small, and the conductive layer is laminated on the second resin layer side, so that the transmission characteristics are excellent.

上記導電層としては、銅箔が好ましい。銅箔は、導電性及び可撓性に優れ、かつコスト面で有利である。導電層を銅箔とすることで優れた伝送特性を得つつ、より良好なフレキシブル性を得ることができる。   The conductive layer is preferably a copper foil. Copper foil is excellent in conductivity and flexibility, and is advantageous in terms of cost. Better flexibility can be obtained while obtaining excellent transmission characteristics by using a copper foil as the conductive layer.

[本発明の実施形態の詳細]
以下、本発明に係る基板及びプリント配線板用基材について、図面を参照しつつ説明する。
[Details of the embodiment of the present invention]
Hereinafter, the board | substrate and printed wiring board base material which concern on this invention are demonstrated, referring drawings.

[基板の第一実施形態]
図1に示す基板1は、液晶ポリマーを主成分とするマトリックスを含有する第1樹脂層2と、この第1樹脂層2の少なくとも一方の面側に積層され、フッ素樹脂を主成分とする第2樹脂層3とを備える。当該基板1は、30℃以上120℃以下かつ10GHzにおける比誘電率が4.0以下、比誘電率の変化幅が0.0001以上0.04以下、誘電正接が0.01以下である。また、当該基板1は、第1樹脂層2及び第2樹脂層3のそれぞれの対向面を含む層状領域に多孔質シート4を備える。
[First Embodiment of Substrate]
A substrate 1 shown in FIG. 1 includes a first resin layer 2 containing a matrix mainly composed of a liquid crystal polymer, and a first resin layer 2 laminated on at least one surface side of the first resin layer 2 and mainly composed of a fluororesin. 2 resin layers 3. The substrate 1 has a relative permittivity of 30 ° C. or more and 120 ° C. or less and a relative permittivity at 10 GHz of 4.0 or less, a change range of the relative permittivity of 0.0001 or more and 0.04 or less, and a dielectric tangent of 0.01 or less. Further, the substrate 1 includes a porous sheet 4 in a layered region including the opposing surfaces of the first resin layer 2 and the second resin layer 3.

当該基板1は、第1樹脂層2により伝送特性の温度依存性を低下させつつ、第2樹脂層3により高周波領域での通信に用いた際の伝送損失を低減できる。また、当該基板1は、30℃以上120℃以下かつ10GHzにおける比誘電率が上記範囲であるので、伝送特性に優れる。さらに、当該基板1は、上記比誘電率の変化幅が上記範囲であるので、伝送特性の温度依存性が少ない。   The substrate 1 can reduce the transmission loss when used for communication in the high frequency region by the second resin layer 3 while reducing the temperature dependence of the transmission characteristics by the first resin layer 2. Further, the substrate 1 has excellent transmission characteristics because the relative dielectric constant at 30 GHz to 120 ° C. and 10 GHz is in the above range. Further, since the substrate 1 has a change range of the relative dielectric constant in the above range, the temperature dependence of the transmission characteristics is small.

<第1樹脂層>
第1樹脂層2のマトリックスは、液晶ポリマー(LCP)を主成分とする。この液晶ポリマーには、溶融状態で液晶性を示すサーモトロピック型と、溶液状態で液晶性を示すリオトロピック型があるが、本発明ではサーモトロピック型液晶ポリマーを用いることが好ましい。
<First resin layer>
The matrix of the 1st resin layer 2 has a liquid crystal polymer (LCP) as a main component. The liquid crystal polymer includes a thermotropic type exhibiting liquid crystallinity in a molten state and a lyotropic type exhibiting liquid crystallinity in a solution state. In the present invention, it is preferable to use a thermotropic liquid crystal polymer.

上記液晶ポリマーは、例えば芳香族ジカルボン酸と芳香族ジオールや芳香族ヒドロキシカルボン酸等のモノマーとを合成して得られる芳香族ポリエステルである。その代表的なものとしては、パラヒドロキシ安息香酸(PHB)とテレフタル酸と4,4’−ビフェノールとから合成される下記式(1)、(2)及び(3)の構成単位を有する重合体、PHBとテレフタル酸とエチレングリコールとから合成される下記式(3)及び(4)の構成単位を有する重合体、PHBと2,6−ヒドロキシナフトエ酸とから合成される下記式(2)、(3)及び(5)の構成単位を有する重合体等を挙げることができる。   The liquid crystal polymer is, for example, an aromatic polyester obtained by synthesizing an aromatic dicarboxylic acid and a monomer such as an aromatic diol or an aromatic hydroxycarboxylic acid. A typical example is a polymer having structural units of the following formulas (1), (2) and (3) synthesized from parahydroxybenzoic acid (PHB), terephthalic acid and 4,4′-biphenol. A polymer having structural units of the following formulas (3) and (4) synthesized from PHB, terephthalic acid and ethylene glycol; a formula (2) synthesized from PHB and 2,6-hydroxynaphthoic acid; Examples thereof include polymers having the structural units (3) and (5).

Figure 2017120826
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この液晶ポリマーとしては、液晶性を示すものであれば特に限定されず、上記各重合体を主体(液晶ポリマー中、50モル%以上)とし、他のポリマー又はモノマーが共重合されていてもよい。また、液晶ポリマーは液晶ポリエステルアミドであってもよいし、液晶ポリエステルエーテルであってもよいし、液晶ポリエステルカーボネートであってもよいし、液晶ポリエステルイミドであってもよい。   The liquid crystal polymer is not particularly limited as long as it exhibits liquid crystallinity, and the above-mentioned polymers are the main components (in the liquid crystal polymer, 50 mol% or more), and other polymers or monomers may be copolymerized. . The liquid crystal polymer may be a liquid crystal polyester amide, a liquid crystal polyester ether, a liquid crystal polyester carbonate, or a liquid crystal polyester imide.

液晶ポリエステルアミドは、アミド結合を有する液晶ポリエステルであり、例えば下記式(6)、上記式(2)及び(4)の構成単位を有する重合体等を挙げることができる。   The liquid crystal polyester amide is a liquid crystal polyester having an amide bond, and examples thereof include a polymer having structural units of the following formula (6) and the above formulas (2) and (4).

Figure 2017120826
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液晶ポリマーは、それを構成する構成単位に対応する原料モノマーを溶融重合させ、得られた重合物(プレポリマー)を固相重合させることにより製造することが好ましい。これにより、耐熱性や強度、剛性等が高い高分子量の液晶ポリマーを操作性良く製造することができる。溶融重合は、触媒の存在下に行ってもよく、この触媒の例としては、酢酸マグネシウム、酢酸第一錫、テトラブチルチタネート、酢酸鉛、酢酸ナトリウム、酢酸カリウム、三酸化アンチモン等の金属化合物や、4−(ジメチルアミノ)ピリジン、1−メチルイミダゾール等の含窒素複素環式化合物が挙げられ、含窒素複素環式化合物が好ましく用いられる。   The liquid crystal polymer is preferably produced by melt polymerization of raw material monomers corresponding to the constituent units constituting the liquid crystal polymer, and solid-phase polymerization of the obtained polymer (prepolymer). Thereby, a high molecular weight liquid crystal polymer having high heat resistance, strength, rigidity and the like can be produced with good operability. Melt polymerization may be carried out in the presence of a catalyst. Examples of this catalyst include metal compounds such as magnesium acetate, stannous acetate, tetrabutyl titanate, lead acetate, sodium acetate, potassium acetate, and antimony trioxide, And nitrogen-containing heterocyclic compounds such as 4- (dimethylamino) pyridine and 1-methylimidazole, and nitrogen-containing heterocyclic compounds are preferably used.

液晶ポリマーの流動開始温度の下限としては、通常250℃であり、260℃がより好ましい。一方、液晶ポリマーの流動開始温度の上限としては、350℃が好ましく、330℃がより好ましい。流動開始温度が高いほど、耐熱性、強度、剛性等が向上し易いが、高すぎると成型前の樹脂粘度が高くなって成形性が低下するおそれがある。   The lower limit of the flow start temperature of the liquid crystal polymer is usually 250 ° C, more preferably 260 ° C. On the other hand, the upper limit of the flow start temperature of the liquid crystal polymer is preferably 350 ° C., more preferably 330 ° C. As the flow start temperature is higher, the heat resistance, strength, rigidity, etc. are more likely to be improved. However, if the flow start temperature is too high, the resin viscosity before molding is increased and the moldability may be lowered.

なお、流動開始温度は、フロー温度又は流動温度とも呼ばれ、毛細管レオメーターを用いて、9.8MPa(100kg/cm)の荷重下、4℃/分の速度で昇温しながら液晶ポリマーを溶融させ、内径1mm及び長さ10mmのノズルから押し出すときに4800Pa・s(48000ポイズ)の粘度を示す温度であり、液晶ポリマーの分子量の目安となるものである(小出直之編、「液晶ポリマー−合成・成形・応用−」、株式会社シーエムシー、1987年6月5日、p.95参照)。 The flow start temperature is also called flow temperature or flow temperature, and the liquid crystal polymer is heated using a capillary rheometer at a rate of 4 ° C./min under a load of 9.8 MPa (100 kg / cm 2 ). It is a temperature that shows a viscosity of 4800 Pa · s (48000 poise) when melted and extruded from a nozzle having an inner diameter of 1 mm and a length of 10 mm, and is a measure of the molecular weight of the liquid crystal polymer (Naoyuki Koide, “Liquid Crystal Polymer” -See "Synthesis / Molding / Application-", CMC Corporation, June 5, 1987, p. 95).

第1樹脂層2には、上記液晶ポリマー以外の成分(任意成分)が含まれてもよい。この任意成分としては、例えば液晶ポリマー以外の樹脂、難燃剤、難燃助剤、顔料、酸化防止剤、反射付与剤、隠蔽剤、滑剤、加工安定剤、可塑剤、発泡剤等が挙げられる。この場合、第1樹脂層2中の任意成分の含有量の上限としては、20質量%が好ましく、10質量%がより好ましい。   The first resin layer 2 may contain components (arbitrary components) other than the liquid crystal polymer. Examples of the optional component include resins other than liquid crystal polymers, flame retardants, flame retardant aids, pigments, antioxidants, reflection imparting agents, masking agents, lubricants, processing stabilizers, plasticizers, and foaming agents. In this case, as an upper limit of content of the arbitrary component in the 1st resin layer 2, 20 mass% is preferable and 10 mass% is more preferable.

第1樹脂層2の平均厚さの下限としては、1μmが好ましく、10μmがより好ましい。一方、第1樹脂層2の平均厚さの上限としては、500μmが好ましく、100μmがより好ましい。第1樹脂層2の平均厚さが上記下限より小さいと、温度依存性の抑制効果が不十分となるおそれがある。逆に、第1樹脂層2の平均厚さが上記上限を超えると、当該基板1の伝送損失低減効果が不十分となるおそれや、厚さが不要に大きくなるおそれがある。   The lower limit of the average thickness of the first resin layer 2 is preferably 1 μm and more preferably 10 μm. On the other hand, the upper limit of the average thickness of the first resin layer 2 is preferably 500 μm, and more preferably 100 μm. If the average thickness of the first resin layer 2 is smaller than the lower limit, the temperature dependency suppressing effect may be insufficient. Conversely, if the average thickness of the first resin layer 2 exceeds the above upper limit, the transmission loss reduction effect of the substrate 1 may be insufficient, or the thickness may be unnecessarily increased.

第1樹脂層2の30℃かつ10GHzにおける比誘電率の上限としては、10が好ましく、3.6がより好ましい。一方、上記比誘電率の下限としては、1.6が好ましく、2.5がより好ましい。上記比誘電率が上記上限を超える場合、誘電正接が大きくなりすぎ、伝送損失を十分に小さくできないおそれがあると共に、十分な伝送速度が得られないおそれがある。また、上記比誘電率が上記下限未満である場合、第1樹脂層2のコストが不要に高くなるおそれがある。   The upper limit of the relative dielectric constant of the first resin layer 2 at 30 ° C. and 10 GHz is preferably 10, and more preferably 3.6. On the other hand, the lower limit of the relative dielectric constant is preferably 1.6, more preferably 2.5. When the relative dielectric constant exceeds the upper limit, the dielectric loss tangent becomes too large, and there is a possibility that the transmission loss cannot be sufficiently reduced, and a sufficient transmission rate may not be obtained. Moreover, when the said dielectric constant is less than the said minimum, there exists a possibility that the cost of the 1st resin layer 2 may become high unnecessarily.

<第2樹脂層>
第2樹脂層3は、フッ素樹脂を主成分とする。ここで、「フッ素樹脂」とは、高分子鎖の繰り返し単位を構成する炭素原子に結合する水素原子の少なくとも1つが、フッ素原子又はフッ素原子を有する有機基(以下、「フッ素原子含有基」ともいう)で置換されたものをいう。フッ素原子含有基は、直鎖状又は分岐状の有機基中の水素原子の少なくとも1つがフッ素原子で置換されたものであり、例えばフルオロアルキル基、フルオロアルコキシ基、フルオロポリエーテル基等が挙げられる。
<Second resin layer>
The 2nd resin layer 3 has a fluororesin as a main component. Here, the “fluororesin” refers to an organic group in which at least one hydrogen atom bonded to the carbon atom constituting the repeating unit of the polymer chain has a fluorine atom or a fluorine atom (hereinafter referred to as “fluorine atom-containing group”). )). The fluorine atom-containing group is a group in which at least one hydrogen atom in a linear or branched organic group is substituted with a fluorine atom, and examples thereof include a fluoroalkyl group, a fluoroalkoxy group, and a fluoropolyether group. .

上記「フルオロアルキル基」とは、少なくとも1つの水素原子がフッ素原子で置換されたアルキル基を意味し、「パーフルオロアルキル基」等が例示できる。具体的なフルオロアルキル基としては、例えばアルキル基の全ての水素原子がフッ素原子で置換された基、アルキル基の末端の1つの水素原子以外の水素原子がフッ素原子で置換された基等が挙げられる。   The “fluoroalkyl group” means an alkyl group in which at least one hydrogen atom is substituted with a fluorine atom, and examples thereof include a “perfluoroalkyl group”. Specific examples of the fluoroalkyl group include a group in which all hydrogen atoms of the alkyl group are substituted with fluorine atoms, and a group in which a hydrogen atom other than one hydrogen atom at the terminal of the alkyl group is substituted with fluorine atoms. It is done.

上記「フルオロアルコキシ基」とは、少なくとも1つの水素原子がフッ素原子で置換されたアルコキシ基を意味し、「パーフルオロアルコキシ基」等が例示できる。具体的なフルオロアルコキシ基としては、例えばアルコキシ基の全ての水素原子がフッ素原子で置換された基、アルコキシ基の末端の1つの水素原子以外の水素原子がフッ素原子で置換された基等が挙げられる。   The “fluoroalkoxy group” means an alkoxy group in which at least one hydrogen atom is substituted with a fluorine atom, and examples thereof include a “perfluoroalkoxy group”. Specific examples of the fluoroalkoxy group include a group in which all hydrogen atoms of the alkoxy group are substituted with fluorine atoms, and a group in which a hydrogen atom other than one hydrogen atom at the terminal of the alkoxy group is substituted with fluorine atoms. It is done.

上記「フルオロポリエーテル基」とは、繰り返し単位としてオキシアルキレン単位を有し、末端にアルキル基又は水素原子を有する1価の基であって、このアルキレンオキシド鎖又は末端のアルキル基の少なくとも1つの水素原子がフッ素原子で置換された1価の基を意味する。フルオロポリエーテル基としては、例えば繰り返し単位として複数のパーフルオロアルキレンオキシド鎖を有する「パーフルオロポリエーテル基」等が例示できる。   The “fluoropolyether group” is a monovalent group having an oxyalkylene unit as a repeating unit and having an alkyl group or a hydrogen atom at the terminal, and at least one of the alkylene oxide chain or the terminal alkyl group. A monovalent group in which a hydrogen atom is substituted with a fluorine atom. Examples of the fluoropolyether group include a “perfluoropolyether group” having a plurality of perfluoroalkylene oxide chains as repeating units.

上記フッ素樹脂としては、例えばポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体(PFA)、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体(FEP)、テトラフルオロエチレン−エチレン共重合体(ETFE)、ポリビニリデンフルオライド(PVDF)、ポリクロロトリフルオロエチレン(PCTFE)、クロロトリフルオロエチレン−エチレン共重合体(ECTFE)、ポリフッ化ビニル(PVF)、テトラフルオロエチレン、ヘキサフルオロプロピレン、及びビニリデンフルオライドの3種類のモノマーにより形成される熱可塑性フッ素樹脂(THV)及びフルオロエラストマー等が挙げられる。また、これら化合物を含む混合物やコポリマーも上記フッ素樹脂として使用できる。   Examples of the fluororesin include polytetrafluoroethylene (PTFE), tetrafluoroethylene-perfluoroalkyl vinyl ether copolymer (PFA), tetrafluoroethylene-hexafluoropropylene copolymer (FEP), and tetrafluoroethylene-ethylene copolymer. Polymer (ETFE), polyvinylidene fluoride (PVDF), polychlorotrifluoroethylene (PCTFE), chlorotrifluoroethylene-ethylene copolymer (ECTFE), polyvinyl fluoride (PVF), tetrafluoroethylene, hexafluoropropylene And thermoplastic fluororesin (THV) formed with three types of monomers, vinylidene fluoride, and fluoroelastomer. Moreover, the mixture and copolymer containing these compounds can also be used as the said fluororesin.

中でも、上記フッ素樹脂としては、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体(FEP)又はテトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体(PFA)が好ましい。これらのフッ素樹脂は比誘電率が比較的低い材料であり、かつ温度依存性が低いため、これらの第2樹脂層3のフッ素樹脂がFEP、PFA又はこれらの組み合わせを50質量%以上含有することで、伝送損失をより抑制できる。   Among these, tetrafluoroethylene-hexafluoropropylene copolymer (FEP) or tetrafluoroethylene-perfluoroalkyl vinyl ether copolymer (PFA) is preferable as the fluororesin. Since these fluororesins are materials having a relatively low relative dielectric constant and low temperature dependence, the fluororesin of the second resin layer 3 should contain 50% by mass or more of FEP, PFA or a combination thereof. Thus, transmission loss can be further suppressed.

詳しく説明すると、PTFEは19℃及び30℃において結晶構造が特異的に変化して線膨張率や比重が変化し、電気特性も大きく変化する(例えば「ふっ素樹脂ハンドブック」(日刊工業新聞社、1990年発行)参照)。さらに、PTFEの結晶化度は60%以上85%以下であり、PFAの結晶化度は50%以上60%以下であり、FEPの結晶化度は40%以上50%以下である。このように、FEP及びPFAの結晶化度はPTFEの結晶化度より小さい。そのため、PFA及びFEPは、仮に結晶構造の特異的な変化が起こったとしても伝送特性等の変化への影響は少ないと推測される。このため、PFA及びFEPは、PTFEと比べて、温度変化による伝送特性の変動幅が小さく、伝送特性が安定している。つまり、PFA及びFEPは、PTFEと比べて、伝送特性の温度依存性が良好である。   More specifically, PTFE has a specific change in crystal structure at 19 ° C. and 30 ° C., resulting in a change in linear expansion coefficient and specific gravity, and a large change in electrical characteristics (for example, “Fluorine Resin Handbook” (Nikkan Kogyo Shimbun, 1990). Issue). Furthermore, the crystallinity of PTFE is 60% or more and 85% or less, the crystallinity of PFA is 50% or more and 60% or less, and the crystallinity of FEP is 40% or more and 50% or less. Thus, the crystallinity of FEP and PFA is smaller than the crystallinity of PTFE. For this reason, it is estimated that PFA and FEP have little influence on changes in transmission characteristics and the like even if a specific change in crystal structure occurs. For this reason, compared with PTFE, PFA and FEP have a smaller variation width of transmission characteristics due to temperature changes, and the transmission characteristics are stable. That is, PFA and FEP have better temperature dependence of transmission characteristics than PTFE.

第2樹脂層3には、上記フッ素樹脂以外の成分(任意成分)が含まれてもよい。この任意成分としては、例えば上記フッ素樹脂以外の樹脂、チタン酸バリウム、チタン酸カリウム等の誘電特性付与剤、熱伝導性付与剤、線膨張率抑制剤、難燃剤、難燃助剤、顔料、酸化防止剤、反射付与剤、隠蔽剤、滑剤、加工安定剤、可塑剤、発泡剤などが挙げられる。特にチタン酸バリウム、チタン酸カリウム、二酸化チタン等のチタン化合物は、誘電率を制御し、かつ誘電正接を0.01以下に低く保つ上で有用である。この場合、第2樹脂層3中の任意成分の含有量の上限としては、50質量%が好ましく、20質量%がより好ましい。   The second resin layer 3 may contain components (arbitrary components) other than the fluororesin. As this optional component, for example, resins other than the above fluororesins, dielectric property imparting agents such as barium titanate and potassium titanate, thermal conductivity imparting agent, linear expansion coefficient suppressing agent, flame retardant, flame retardant aid, pigment, Antioxidants, reflection-imparting agents, masking agents, lubricants, processing stabilizers, plasticizers, foaming agents and the like can be mentioned. In particular, titanium compounds such as barium titanate, potassium titanate, and titanium dioxide are useful for controlling the dielectric constant and keeping the dielectric loss tangent at 0.01 or lower. In this case, as an upper limit of content of the arbitrary component in the 2nd resin layer 3, 50 mass% is preferable and 20 mass% is more preferable.

第2樹脂層3は、中空構造を有してもよい。中空構造を有すると比誘電率をより小さくできるため、伝送損失をより効果的に抑制できる。   The second resin layer 3 may have a hollow structure. Since the dielectric constant can be further reduced by having a hollow structure, transmission loss can be more effectively suppressed.

第2樹脂層3の平均厚さの下限としては、1μmが好ましく、5μmがより好ましい。一方、第2樹脂層3の平均厚さの上限としては、500μmが好ましく、200μmがより好ましい。第2樹脂層3の平均厚さが上記下限より小さい場合、伝送損失の低減効果が不十分となるおそれがある。逆に、第2樹脂層3の平均厚さが上記上限を超える場合、当該基板1の伝送特性の温度依存性が高くなるおそれや、厚さが不要に大きくなるおそれがある。   The lower limit of the average thickness of the second resin layer 3 is preferably 1 μm and more preferably 5 μm. On the other hand, the upper limit of the average thickness of the second resin layer 3 is preferably 500 μm, and more preferably 200 μm. When the average thickness of the 2nd resin layer 3 is smaller than the said minimum, there exists a possibility that the reduction effect of a transmission loss may become inadequate. On the contrary, when the average thickness of the second resin layer 3 exceeds the upper limit, the temperature dependence of the transmission characteristics of the substrate 1 may be increased, and the thickness may be unnecessarily increased.

第2樹脂層3の30℃かつ10GHzにおける比誘電率の上限としては、5.0が好ましく、3.6がより好ましい。一方、上記比誘電率の下限としては、1.4が好ましく、1.8がより好ましい。上記比誘電率が上記上限を超える場合、誘電正接が大きくなりすぎ、伝送損失を十分に小さくできないおそれがあると共に、十分な伝送速度が得られないおそれがある。また、上記比誘電率が上記下限未満である場合、導電層を積層した基板1をパターン状にエッチングして回路を設ける際に回路幅を十分に小さくできないおそれや、強度が低下するおそれがある。   The upper limit of the relative dielectric constant of the second resin layer 3 at 30 ° C. and 10 GHz is preferably 5.0 and more preferably 3.6. On the other hand, the lower limit of the relative dielectric constant is preferably 1.4, and more preferably 1.8. When the relative dielectric constant exceeds the upper limit, the dielectric loss tangent becomes too large, and there is a possibility that the transmission loss cannot be sufficiently reduced, and a sufficient transmission rate may not be obtained. Further, when the relative dielectric constant is less than the lower limit, there is a possibility that the circuit width cannot be sufficiently reduced when the circuit is provided by etching the substrate 1 on which the conductive layer is laminated in a pattern, and the strength may be lowered. .

<多孔質シート>
多孔質シート4は、第1樹脂層2及び第2樹脂層3のそれぞれの対向面を含む層状領域に配設され、主成分が液晶ポリマーである。つまり、第1樹脂層2の第2樹脂層3側の面及び第2樹脂層3の第1樹脂層2側の面は、共に多孔質シート4内に存在する。当該基板1は、このように第1樹脂層2と第2樹脂層3との間に液晶ポリマーを主成分とする多孔質シート4を備えることで、第1樹脂層2と第2樹脂層3との接合強度を高めることができる。
<Porous sheet>
The porous sheet 4 is disposed in a layered region including the opposing surfaces of the first resin layer 2 and the second resin layer 3, and the main component is a liquid crystal polymer. That is, the surface of the first resin layer 2 on the second resin layer 3 side and the surface of the second resin layer 3 on the first resin layer 2 side are both present in the porous sheet 4. The substrate 1 is thus provided with the porous sheet 4 mainly composed of a liquid crystal polymer between the first resin layer 2 and the second resin layer 3, so that the first resin layer 2 and the second resin layer 3 are provided. The joint strength can be increased.

多孔質シート4の主成分に用いる液晶ポリマーは、第1樹脂層2のマトリックスに用いる液晶ポリマーと同様のものが使用できる。特に、接合強度等の観点から、多孔質シート4と第1樹脂層2のマトリックスとの主成分は同種の樹脂とすることが好ましい。   As the liquid crystal polymer used for the main component of the porous sheet 4, the same liquid crystal polymer as that used for the matrix of the first resin layer 2 can be used. In particular, from the viewpoint of bonding strength and the like, the main components of the porous sheet 4 and the matrix of the first resin layer 2 are preferably the same type of resin.

また、第1樹脂層2と第2樹脂層3との少なくとも一部が多孔質シート4に含浸しているとよく、さらにこれらの層が多孔質シート4内部で当接しているとよい。このような構成とすることで、伝送損失の低減効果及び接合強度の向上効果を促進することができる。この場合、多孔質シート4が配設される層状領域は、第1樹脂層2と第2樹脂層3との界面を含む。   Further, at least a part of the first resin layer 2 and the second resin layer 3 may be impregnated in the porous sheet 4, and these layers may be in contact with each other inside the porous sheet 4. By setting it as such a structure, the reduction effect of a transmission loss and the improvement effect of joining strength can be accelerated | stimulated. In this case, the layered region in which the porous sheet 4 is disposed includes the interface between the first resin layer 2 and the second resin layer 3.

なお、第1樹脂層2のマトリックスの主成分と多孔質シート4との主成分とが同じ場合、第1樹脂層2が含浸及び融着により多孔質シート4と一体化している場合がある。この場合、多孔質シート4は、一部(第1樹脂層2の含浸部分)に非多孔質領域を含む。   When the main component of the matrix of the first resin layer 2 and the main component of the porous sheet 4 are the same, the first resin layer 2 may be integrated with the porous sheet 4 by impregnation and fusion. In this case, the porous sheet 4 includes a non-porous region in part (impregnated portion of the first resin layer 2).

多孔質シート4としては、第1樹脂層2及び第2樹脂層3が含浸できるものであれば特に限定されないが、面方向に均質な接合強度を実現する観点から、織物(クロス)、編物及び不織布が好ましい。   The porous sheet 4 is not particularly limited as long as the first resin layer 2 and the second resin layer 3 can be impregnated, but from the viewpoint of realizing a uniform bonding strength in the plane direction, a woven fabric (cloth), a knitted fabric, Nonwoven fabric is preferred.

多孔質シート4の平均厚さの下限としては、0.1μmが好ましく、2μmがより好ましい。一方、多孔質シート4の平均厚さの上限としては、100μmが好ましく、30μmがより好ましい。多孔質シート4の平均厚さが上記下限より小さいと、第1樹脂層2と第2樹脂層3との接合強度が十分に向上しないおそれがある。逆に、多孔質シート4の平均厚さが上記上限を超えると、当該基板1の伝送損失低減効果が不十分となるおそれや、厚さが不要に大きくなるおそれがある。   The lower limit of the average thickness of the porous sheet 4 is preferably 0.1 μm and more preferably 2 μm. On the other hand, the upper limit of the average thickness of the porous sheet 4 is preferably 100 μm, and more preferably 30 μm. If the average thickness of the porous sheet 4 is smaller than the lower limit, the bonding strength between the first resin layer 2 and the second resin layer 3 may not be sufficiently improved. Conversely, if the average thickness of the porous sheet 4 exceeds the above upper limit, the transmission loss reduction effect of the substrate 1 may be insufficient, or the thickness may be unnecessarily increased.

多孔質シート4の空隙率の下限としては、1%が好ましく、20%がより好ましい。一方、多孔質シート4の空隙率の上限としては、95%が好ましく、80%がより好ましい。多孔質シート4の空隙率が上記下限より小さいと、第1樹脂層2と第2樹脂層3との接合強度が十分に向上しないおそれがある。逆に、多孔質シート4の空隙率が上記上限を超えても、第1樹脂層2と第2樹脂層3との接合強度が十分に向上しないおそれがある。なお、「空隙率」とは、多孔質シートの任意方向の断面において空隙の占める面積の割合を意味する。   As a minimum of the porosity of porous sheet 4, 1% is preferred and 20% is more preferred. On the other hand, the upper limit of the porosity of the porous sheet 4 is preferably 95% and more preferably 80%. If the porosity of the porous sheet 4 is smaller than the lower limit, the bonding strength between the first resin layer 2 and the second resin layer 3 may not be sufficiently improved. Conversely, even if the porosity of the porous sheet 4 exceeds the above upper limit, the bonding strength between the first resin layer 2 and the second resin layer 3 may not be sufficiently improved. The “porosity” means the ratio of the area occupied by the voids in the cross section in any direction of the porous sheet.

<改質層>
当該基板1は、一方の面(第2樹脂層3の一方の面)にシロキサン結合(Si−O−Si)及び親水性有機官能基を含む改質層を有してもよい。改質層により、当該基板1の改質層側の表面は、反応性に富む。ここで、「反応性に富む」には、接着性などの物理的作用が大きいことを含む。つまり、改質層の表面は表面活性である。また、改質層は、シロキサン結合構造を有することで経時的に安定であるため、表面改質状態(表面活性である状態)が安定している。また、「親水性官能基」とは、電気陰性度の大きい原子から構成される官能基であって、親水性を有するものをいう。
<Modified layer>
The substrate 1 may have a modified layer containing a siloxane bond (Si—O—Si) and a hydrophilic organic functional group on one surface (one surface of the second resin layer 3). Due to the modified layer, the surface of the substrate 1 on the modified layer side is rich in reactivity. Here, “rich in reactivity” includes large physical effects such as adhesiveness. That is, the surface of the modified layer is surface active. Moreover, since the modified layer has a siloxane bond structure and is stable over time, the surface modified state (surface active state) is stable. The “hydrophilic functional group” refers to a functional group composed of atoms having a high electronegativity and having hydrophilicity.

改質層は、第2樹脂層3が含むフッ素樹脂に、例えば親水性官能基を有し、かつシロキサン結合を生成する改質剤(シランカップリング剤)が結合して形成される。この場合、改質層において、例えば親水性官能基がシロキサン結合を構成するSi原子に結合している。ここで、フッ素樹脂と改質剤との間の結合は、共有結合だけで構成される場合、共有結合及び水素結合を含む場合等がある。   The modified layer is formed by bonding, for example, a modifier (silane coupling agent) having a hydrophilic functional group and generating a siloxane bond to the fluororesin included in the second resin layer 3. In this case, in the modified layer, for example, hydrophilic functional groups are bonded to Si atoms constituting siloxane bonds. Here, the bond between the fluororesin and the modifier may include a covalent bond, a hydrogen bond, or the like, when it is configured only by a covalent bond.

改質層において、シロキサン結合を構成するSi原子(以下、この原子を「シロキサン結合のSi原子」ともいう)は、例えばN原子、C原子、O原子、及びS原子のいずれか少なくとも1つの原子を介して上記フッ素樹脂のC原子と共有結合する。具体的には、シロキサン結合のSi原子は、例えば−O−、−S−、−S−S−、−(CH−、−NH−、−(CH−NH−、−(CH−O−(CH−(n及びmは1以上の整数である)等の原子団を介して上記フッ素樹脂のC原子と結合する。 In the modified layer, the Si atom constituting the siloxane bond (hereinafter, this atom is also referred to as “Si atom of siloxane bond”) is, for example, at least one atom of N atom, C atom, O atom, and S atom. And covalently bonded to the C atom of the fluororesin. Specifically, the Si atom of the siloxane bond is, for example, —O—, —S—, —SS—, — (CH 2 ) n —, —NH—, — (CH 2 ) n —NH—, — It binds to the C atom of the fluororesin through an atomic group such as (CH 2 ) n —O— (CH 2 ) m — (n and m are integers of 1 or more).

上記親水性官能基としては、水酸基、カルボキシ基、カルボニル基、アミノ基、アミド基、スルフィド基、スルホニル基、スルホ基、スルホニルジオキシ基、エポキシ基、メタクリル基、メルカプト基、及びこれらの組合せが好ましい。これらの中でもN原子を含む親水性官能基、及びS原子を含む親水性官能基がより好ましい。これらの親水性官能基は、表面の密着性や接着性をより向上させる。   Examples of the hydrophilic functional group include hydroxyl group, carboxy group, carbonyl group, amino group, amide group, sulfide group, sulfonyl group, sulfo group, sulfonyldioxy group, epoxy group, methacryl group, mercapto group, and combinations thereof. preferable. Among these, a hydrophilic functional group containing an N atom and a hydrophilic functional group containing an S atom are more preferable. These hydrophilic functional groups further improve surface adhesion and adhesion.

また、改質層は、これら親水性官能基の2種以上を含んでもよい。このように改質層に異なる性質の親水性官能基を付与することによって、表面の反応性等を多様なものとすることができる。これらの親水性官能基は、シロキサン結合の構成要素であるSi原子に直接、又は1つ若しくは複数のC原子を介して結合することができる。   Further, the modified layer may contain two or more of these hydrophilic functional groups. Thus, by imparting hydrophilic functional groups having different properties to the modified layer, the surface reactivity and the like can be varied. These hydrophilic functional groups can be bonded directly to Si atoms, which are constituents of siloxane bonds, or via one or more C atoms.

上記の特徴を有する改質層を形成するための改質剤としては、分子中に親水性官能基を有するシランカップリング剤が好ましく、中でも加水分解性ケイ素含有官能基を有するものがより好ましい。このようなシランカップリング剤は、第2樹脂層3が含むフッ素樹脂と化学結合する。シランカップリング剤とフッ素樹脂との間の化学結合は、共有結合だけで構成される場合、共有結合及び水素結合を含む場合等がある。ここで、「加水分解性ケイ素含有官能基」とは、加水分解によりシラノール基(Si−OH)を形成し得る基をいう。   As the modifier for forming the modified layer having the above characteristics, a silane coupling agent having a hydrophilic functional group in the molecule is preferable, and among them, a compound having a hydrolyzable silicon-containing functional group is more preferable. Such a silane coupling agent is chemically bonded to the fluororesin included in the second resin layer 3. The chemical bond between the silane coupling agent and the fluororesin may include a covalent bond, a hydrogen bond, or the like when it is constituted only by a covalent bond. Here, the “hydrolyzable silicon-containing functional group” refers to a group that can form a silanol group (Si—OH) by hydrolysis.

改質層の表面の純水との接触角の上限としては、90°が好ましく、80°がより好ましく、70°がさらに好ましい。改質層の表面の純水との接触角が上記上限を超える場合、接着性や密着性を十分に得られないおそれがある。なお、改質層の表面の純水との接触角の下限は特に限定されない。上記接触角は、例えば親水性官能基の種類や量を調整することにより制御できる。ここで、「純水との接触角」とは、JIS−R−3257(1999年)の静滴法により測定される接触角の値である。   The upper limit of the contact angle with the pure water on the surface of the modified layer is preferably 90 °, more preferably 80 °, and even more preferably 70 °. When the contact angle with the pure water on the surface of the modified layer exceeds the above upper limit, there is a possibility that sufficient adhesion and adhesion cannot be obtained. In addition, the minimum of a contact angle with the pure water on the surface of a modified layer is not specifically limited. The contact angle can be controlled, for example, by adjusting the type and amount of the hydrophilic functional group. Here, the “contact angle with pure water” is a value of a contact angle measured by a JIS-R-3257 (1999) sessile drop method.

また、この改質層は、以下に示すエッチング耐性を有することが好ましい。すなわち、塩化鉄を含み、比重が1.33g/cmであって、遊離塩酸濃度が0.2mol/Lであるエッチング液(温度45℃)に、2分間の条件で浸漬するエッチング処理に対して、改質層が除去されないことが好ましい。ここで、「改質層が除去されない」とは、親水性が失われないことを示し、改質層が設けられた部分における純水との接触角が90°を超えないことを示す。改質層が上記エッチング耐性を有すると、当該基板1と導電層とを備えるプリント配線板基材の導電層をパターン状にエッチングする際に、導電層と基板1との間にエッチング液が浸入することを抑制できるため、基板1と導電層との間の密着性を良好に維持できる。上記エッチング耐性は、例えば上述する好ましいシランカップリング剤を用いることにより改質層に付与することができる。なお、エッチング処理により、改質層が形成されている領域において疎水性を示す微小部分が斑状に生じる場合もあるが、この領域全体として親水性を有する場合は、このような状態は親水性が維持されているものとする。 The modified layer preferably has the following etching resistance. That is, for an etching process that includes iron chloride, has a specific gravity of 1.33 g / cm 3 , and is immersed in an etching solution (temperature 45 ° C.) having a free hydrochloric acid concentration of 0.2 mol / L for 2 minutes. Thus, it is preferable that the modified layer is not removed. Here, “the modified layer is not removed” means that the hydrophilicity is not lost, and that the contact angle with pure water does not exceed 90 ° in the portion where the modified layer is provided. When the modified layer has the above-mentioned etching resistance, an etching solution penetrates between the conductive layer and the substrate 1 when the conductive layer of the printed wiring board substrate including the substrate 1 and the conductive layer is etched into a pattern. Therefore, it is possible to maintain good adhesion between the substrate 1 and the conductive layer. The etching resistance can be imparted to the modified layer by using, for example, the preferred silane coupling agent described above. In addition, the etching treatment may cause a microscopic portion showing hydrophobicity in the region where the modified layer is formed, but when the entire region has hydrophilicity, such a state is hydrophilic. It shall be maintained.

また、改質層は、塩化銅を含有するエッチング液に対するエッチング耐性を有することが好ましい。なお、改質層が上記塩化鉄含有エッチング液に対するエッチング耐性を有する場合は、この改質層は、塩化銅を含有するエッチング液に対して上記と同様のエッチング耐性を有することが確認されている。   Moreover, it is preferable that a modified layer has the etching tolerance with respect to the etching liquid containing a copper chloride. In addition, when the modified layer has etching resistance with respect to the iron chloride-containing etching solution, it is confirmed that the modified layer has the same etching resistance as described above with respect to the etching solution containing copper chloride. .

改質層の平均厚さの上限としては、200nmが好ましく、50nmがより好ましい。一方、上記平均厚さの下限としては、3nmが好ましく、5nmがより好ましい。上記平均厚さが上記上限を超える場合、改質層に起因する誘電損の影響により高周波特性が不十分となるおそれがある。また、上記平均厚さが上記下限未満である場合、表面活性効果が十分に得られず、接着性や密着性を十分に得られないおそれがある。従って、改質層の平均厚さを調整することで、伝送損失の低減機能と密着性の向上機能とをバランスよく発揮させることができる。なお、改質層の平均厚さは、例えばX線分光等により測定できる。   The upper limit of the average thickness of the modified layer is preferably 200 nm and more preferably 50 nm. On the other hand, the lower limit of the average thickness is preferably 3 nm, and more preferably 5 nm. When the average thickness exceeds the upper limit, the high frequency characteristics may be insufficient due to the influence of dielectric loss caused by the modified layer. Moreover, when the said average thickness is less than the said minimum, surface active effect cannot fully be acquired and there exists a possibility that adhesiveness and adhesiveness cannot fully be acquired. Therefore, by adjusting the average thickness of the modified layer, the transmission loss reducing function and the adhesion improving function can be exhibited in a balanced manner. The average thickness of the modified layer can be measured by, for example, X-ray spectroscopy.

<基板の性状>
当該基板1の平均厚さの上限としては、2.7mmが好ましく、2.5mmが好ましく、2.2mmがさらに好ましい。一方、上記平均厚さの下限としては、1μmが好ましく、1.5μmがより好ましく、2μmがさらに好ましい。上記平均厚さが上記上限を超える場合、十分な可撓性が得られないおそれがある。また、上記平均厚さが上記下限未満である場合、取り扱いが難しくなるおそれがある。
<Properties of substrate>
The upper limit of the average thickness of the substrate 1 is preferably 2.7 mm, preferably 2.5 mm, and more preferably 2.2 mm. On the other hand, the lower limit of the average thickness is preferably 1 μm, more preferably 1.5 μm, and even more preferably 2 μm. When the average thickness exceeds the upper limit, sufficient flexibility may not be obtained. Moreover, when the said average thickness is less than the said minimum, handling may become difficult.

当該基板1の30℃以上120℃以下かつ10GHzにおける比誘電率の上限としては、4.0であり、3.5が好ましく、2.8がより好ましい。上記比誘電率が上記上限を超える場合、伝送損失を十分に小さくできないおそれや十分な伝送速度が得られないおそれがある。   The upper limit of the relative dielectric constant of the substrate 1 at 30 ° C. to 120 ° C. and 10 GHz is 4.0, preferably 3.5, and more preferably 2.8. When the relative dielectric constant exceeds the upper limit, there is a possibility that the transmission loss cannot be sufficiently reduced or a sufficient transmission speed cannot be obtained.

当該基板1の30℃以上120℃以下かつ10GHzにおける誘電正接の上限としては、0.01であり、0.005が好ましく、0.004がより好ましい。上記誘電正接が上記上限を超える場合、伝送損失を十分に小さくできないおそれや十分な伝送速度が得られないおそれがある。   The upper limit of the dielectric loss tangent of the substrate 1 at 30 ° C. to 120 ° C. and 10 GHz is 0.01, preferably 0.005, and more preferably 0.004. When the dielectric loss tangent exceeds the above upper limit, there is a possibility that the transmission loss cannot be sufficiently reduced and a sufficient transmission speed may not be obtained.

当該基板1の30℃以上120℃以下かつ10GHzにおける比誘電率の変化幅の上限としては、0.04であり、0.035が好ましく、0.03がより好ましい。一方、上記比誘電率の変化幅の下限としては、0.0001であり、0.0005が好ましく、0.01がより好ましい。上記比誘電率の変化幅が上記上限を超える場合、温度変化による伝送特性の劣化を生じるおそれがある。また、上記比誘電率の変化幅が上記下限未満である場合、材料選択の幅が狭まるおそれがある。   The upper limit of the change range of the relative dielectric constant at 30 GHz to 120 ° C. and 10 GHz of the substrate 1 is 0.04, 0.035 is preferable, and 0.03 is more preferable. On the other hand, the lower limit of the change range of the relative dielectric constant is 0.0001, preferably 0.0005, and more preferably 0.01. If the change width of the relative permittivity exceeds the upper limit, there is a risk of deterioration of transmission characteristics due to temperature changes. Moreover, when the change width of the relative dielectric constant is less than the lower limit, the range of material selection may be reduced.

当該基板1の30℃以上120℃以下かつ10GHzにおける誘電正接の変化幅の上限としては、0.01が好ましく、0.005がより好ましく、0.0016がさらに好ましい。一方、上記誘電正接の変化幅の下限としては、0.00001が好ましく、0.00005がより好ましく、0.0001がさらに好ましい。上記誘電正接の変化幅が上記上限を超える場合、温度変化による伝送特性の劣化を生じるおそれがある。また、上記誘電正接の変化幅が上記下限未満である場合、材料選択の幅が狭まるおそれがある。   The upper limit of the variation range of the dielectric loss tangent at 30 GHz to 120 ° C. and 10 GHz of the substrate 1 is preferably 0.01, more preferably 0.005, and further preferably 0.0016. On the other hand, the lower limit of the change width of the dielectric loss tangent is preferably 0.00001, more preferably 0.00005, and further preferably 0.0001. When the variation width of the dielectric loss tangent exceeds the upper limit, there is a possibility that transmission characteristics are deteriorated due to a temperature change. Moreover, when the variation | change_quantity of the said dielectric loss tangent is less than the said minimum, there exists a possibility that the range of material selection may become narrow.

当該基板1の第1樹脂層2と第2樹脂層3との剥離強度の下限としては、5N/cmが好ましく、10N/cmがより好ましく、12N/cmがさらに好ましい。上記剥離強度が上記下限未満である場合、第1樹脂層2と第2樹脂層3との接合強度を十分に高められないおそれがある。   The lower limit of the peel strength between the first resin layer 2 and the second resin layer 3 of the substrate 1 is preferably 5 N / cm, more preferably 10 N / cm, and even more preferably 12 N / cm. When the peeling strength is less than the lower limit, the bonding strength between the first resin layer 2 and the second resin layer 3 may not be sufficiently increased.

<基板の製造方法>
当該基板1は、例えば液晶ポリマーを主成分とする多孔質シートの一方の面に液晶ポリマーを主成分とする樹脂フィルムを重ね合わせる第一重ね合わせ工程と、上記多孔質シートの他方の面にフッ素樹脂を主成分とする樹脂フィルムを重ね合わせる第二重ね合わせ工程と、上記重ね合わせたものを真空吸引しつつ熱圧着する工程とを備える製造方法により得ることができる。
<Substrate manufacturing method>
The substrate 1 includes, for example, a first superimposing step of superposing a resin film mainly composed of a liquid crystal polymer on one surface of a porous sheet mainly composed of a liquid crystal polymer, and fluorine on the other surface of the porous sheet. It can be obtained by a production method comprising a second superposing step of superposing resin films mainly composed of a resin, and a step of thermocompression bonding the superposed material while vacuum suction.

(第一重ね合わせ工程)
第一重ね合わせ工程では、多孔質シートの一方の面に液晶ポリマーを主成分とする第一樹脂フィルムを重ね合わせる。
(First overlay process)
In the first superimposing step, a first resin film containing a liquid crystal polymer as a main component is superposed on one surface of the porous sheet.

(第二重ね合わせ工程)
第二重ね合わせ工程では、多孔質シートの他方の面(第一樹脂フィルムの重ね合わせ面と反対側の面)にフッ素樹脂を主成分とする第二樹脂フィルムを重ね合わせる。なお、第一重ね合わせ工程と第二重ね合わせ工程との順番は問わない。
(Second overlay process)
In the second overlapping step, a second resin film containing a fluororesin as a main component is superimposed on the other surface of the porous sheet (the surface opposite to the overlapping surface of the first resin film). In addition, the order of a 1st superimposition process and a 2nd superimposition process is not ask | required.

(熱圧着工程)
熱圧着工程では、第一重ね合わせ工程及び第二重ね合わせ工程で得られた上記重ね合わせた物を真空吸引しつつ熱圧着する。
(Thermo-compression process)
In the thermocompression bonding process, the superposed product obtained in the first superimposing process and the second superimposing process is thermocompression bonded while vacuum suction.

上記熱圧着の温度の上限としては、600℃が好ましく、500℃がより好ましい。上記熱圧着の温度が上記上限を超える場合、得られる基板が変形するおそれがある。   As an upper limit of the temperature of the said thermocompression bonding, 600 degreeC is preferable and 500 degreeC is more preferable. When the thermocompression bonding temperature exceeds the upper limit, the resulting substrate may be deformed.

上記熱圧着の温度の下限としては、第1樹脂層の液晶ポリマーの流動開始温度及び第2樹脂層のフッ素樹脂の融点のうち高い方が好ましく、第1樹脂層の液晶ポリマーの流動開始温度及び第2樹脂層のフッ素樹脂の分解開始温度のうち高い方がより好ましい。より詳しくは、上述の第1樹脂層の液晶ポリマーの流動開始温度及び第2樹脂層のフッ素樹脂の融点よりも30℃高い温度が好ましく、第1樹脂層の液晶ポリマーの流動開始温度及び第2樹脂層のフッ素樹脂の融点よりも50℃高い温度がより好ましい。上記温度が上記下限未満である場合、液晶ポリマー及びフッ素樹脂が多孔質シートに含浸しないおそれがある。ここで、「分解開始温度」とは、フッ素樹脂が熱分解し始める温度をいう。   As the lower limit of the thermocompression bonding temperature, the higher one of the flow start temperature of the liquid crystal polymer of the first resin layer and the melting point of the fluororesin of the second resin layer is preferable, and the flow start temperature of the liquid crystal polymer of the first resin layer and The higher one of the decomposition start temperatures of the fluororesin of the second resin layer is more preferable. More specifically, a temperature 30 ° C. higher than the flow start temperature of the liquid crystal polymer of the first resin layer and the melting point of the fluororesin of the second resin layer is preferable, and the flow start temperature of the liquid crystal polymer of the first resin layer and the second A temperature higher by 50 ° C. than the melting point of the fluororesin of the resin layer is more preferable. When the said temperature is less than the said minimum, there exists a possibility that a liquid crystal polymer and a fluororesin may not impregnate a porous sheet. Here, the “decomposition start temperature” refers to a temperature at which the fluororesin starts to thermally decompose.

上記熱圧着の圧力としては、0.01MPa以上1200MPa以下が好ましい。また、上記熱圧着の加圧時間としては、5秒以上10時間以下が好ましい。   The pressure for the thermocompression bonding is preferably 0.01 MPa or more and 1200 MPa or less. Further, the pressing time for the thermocompression bonding is preferably 5 seconds or more and 10 hours or less.

上記真空吸引の際の真空度の上限としては、10kPaが好ましく、1kPaがより好ましく、10Paがさらに好ましい。真空度を上記上限以下とすることにより、多孔質シートの空隙に上記第一樹脂フィルム及び第二樹脂フィルムを確実に浸入させ、全体としてより一体化した基板を得ることができる。一方、真空度の下限については、特に限定されないが、例えば0.01Pa程度である。   The upper limit of the degree of vacuum at the time of vacuum suction is preferably 10 kPa, more preferably 1 kPa, and even more preferably 10 Pa. By setting the degree of vacuum to the upper limit or less, the first resin film and the second resin film can surely enter the voids of the porous sheet, and a substrate that is more integrated as a whole can be obtained. On the other hand, the lower limit of the degree of vacuum is not particularly limited, but is about 0.01 Pa, for example.

なお、全体としてより一体化した基板を得る観点より、上記熱圧着の開始前から真空吸引を開始することが好ましい。   From the viewpoint of obtaining a more integrated substrate as a whole, it is preferable to start vacuum suction before the start of the thermocompression bonding.

[基板の第二実施形態]
図2に示す基板11は、液晶ポリマーを主成分とするマトリックスを含有する第1樹脂層12と、この第1樹脂層12の少なくとも一方の面側に積層され、フッ素樹脂を主成分とする第2樹脂層3と、第1樹脂層12及び第2樹脂層3のそれぞれの対向面を含む層状領域に配設される多孔質シート4とを備える。また、当該基板11は、30℃以上120℃以下かつ10GHzにおける比誘電率が2.6以下、比誘電率の変化幅が0.0001以上0.04以下である。
[Second Embodiment of Substrate]
A substrate 11 shown in FIG. 2 includes a first resin layer 12 containing a matrix mainly composed of a liquid crystal polymer, and a first resin layer 12 laminated on at least one surface side of the first resin layer 12 and mainly composed of a fluororesin. 2 resin layers 3 and a porous sheet 4 disposed in a layered region including the opposing surfaces of the first resin layer 12 and the second resin layer 3. The substrate 11 has a relative dielectric constant of 2.6 or less and a relative dielectric constant variation of 0.0001 or more and 0.04 or less at 30 GHz to 120 ° C. and 10 GHz.

当該基板11の第2樹脂層3及び多孔質シート4は、上記第一実施形態の基板1と同様であるため、説明を省略する。   Since the 2nd resin layer 3 and the porous sheet 4 of the said board | substrate 11 are the same as that of the board | substrate 1 of said 1st embodiment, description is abbreviate | omitted.

<第1樹脂層>
第1樹脂層12は、液晶ポリマーを主成分とするマトリックスとこのマトリックス中に含まれる補強材とを含有する。具体的には、第1樹脂層12は、補強材を含有しない一対の液晶ポリマー層12aと、この一対の液晶ポリマー層12a間に積層され、補強材とマトリックスとを含有する補強材層12bとを有する。
<First resin layer>
The 1st resin layer 12 contains the matrix which has a liquid crystal polymer as a main component, and the reinforcing material contained in this matrix. Specifically, the first resin layer 12 includes a pair of liquid crystal polymer layers 12a that do not contain a reinforcing material, and a reinforcing material layer 12b that is laminated between the pair of liquid crystal polymer layers 12a and contains a reinforcing material and a matrix. Have

当該基板11は、第1樹脂層12がマトリックス中に補強材を含有するので、強度及び寸法安定性を確保できる。   Since the first resin layer 12 contains a reinforcing material in the matrix, the substrate 11 can ensure strength and dimensional stability.

(液晶ポリマー層)
液晶ポリマー層12aの材質は、上記第一実施形態の第1樹脂層2と同様の構成とすることができる。
(Liquid crystal polymer layer)
The material of the liquid crystal polymer layer 12a can be the same as that of the first resin layer 2 of the first embodiment.

(補強材層)
補強材層12bは、液晶ポリマーを主成分とするマトリックスと、フィルム状又はクロス状の補強材とを含む層である。
(Reinforcement layer)
The reinforcing material layer 12b is a layer including a matrix mainly composed of a liquid crystal polymer and a film-like or cloth-like reinforcing material.

上記補強材としては、液晶ポリマー層12aよりも線膨張率が小さいものであれば特に限定されるものではないが、絶縁性と、液晶ポリマーの流動開始温度及び第2樹脂層3のフッ素樹脂の融点で溶融流動しない耐熱性と、液晶ポリマーと同等以上の引っ張り強さと、耐腐食性とを有することが望ましい。このような補強材としては、例えばガラスをクロス状に形成したガラスクロス、このようなガラスクロスに液晶ポリマーを含浸させた液晶ポリマー含有ガラスクロス、ガラスクロスにPFA等のフッ素樹脂を含浸させたフッ素樹脂含有ガラスクロス、金属、セラミックス、ポリテトラフルオロエチレン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリイミド、アラミド等により形成された耐熱繊維を含む樹脂クロス、ポリテトラフルオロエチレン、液晶ポリマー、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリベンゾイミダゾール、ポリエーテルエーテルケトン、ポリテトラフルオロエチレン、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体、熱硬化樹脂、架橋樹脂等を主成分とする耐熱フィルムなどから構成することが可能である。上記樹脂クロスの織り方としては、第1樹脂層12を薄くするためには平織りが好ましいが、第1樹脂層12を屈曲可能とするためには綾織り及びサテン織りが好ましい。この他、公知の織り方を適用することができる。   The reinforcing material is not particularly limited as long as the coefficient of linear expansion is smaller than that of the liquid crystal polymer layer 12a. However, the insulating property, the flow start temperature of the liquid crystal polymer, and the fluororesin of the second resin layer 3 are not limited. It is desirable to have heat resistance that does not melt and flow at the melting point, tensile strength equal to or higher than that of the liquid crystal polymer, and corrosion resistance. As such a reinforcing material, for example, a glass cloth formed of a glass cloth, a liquid crystal polymer-containing glass cloth in which such a glass cloth is impregnated with a liquid crystal polymer, a fluorine in which a glass cloth is impregnated with a fluororesin such as PFA Resin-containing glass cloth, metal cloth, ceramic cloth, polytetrafluoroethylene, polyetheretherketone, polyimide resin, resin cloth containing heat-resistant fibers formed of aramid, polytetrafluoroethylene, liquid crystal polymer, polyimide, polyamideimide, polybenzimidazole , Polyether ether ketone, polytetrafluoroethylene, tetrafluoroethylene-perfluoroalkyl vinyl ether copolymer, thermosetting resin, heat-resistant film mainly composed of cross-linked resin, and the like can be used. As a weaving method of the resin cloth, a plain weave is preferable to make the first resin layer 12 thin, but a twill weave and a satin weave are preferable to make the first resin layer 12 bendable. In addition, a known weaving method can be applied.

上記補強材が液晶ポリマー含有ガラスクロスである場合、ガラスクロスに含浸される液晶ポリマーは第1樹脂層12のマトリックスであってもよい。   When the reinforcing material is a liquid crystal polymer-containing glass cloth, the liquid crystal polymer impregnated in the glass cloth may be a matrix of the first resin layer 12.

中でも、上記補強材としては、強度及び寸法安定性をさらに向上させる観点より、上記ガラスクロス又は上記樹脂クロスが好ましい。   Among these, as the reinforcing material, the glass cloth or the resin cloth is preferable from the viewpoint of further improving the strength and dimensional stability.

第1樹脂層12における補強材の含有量の上限としては、第1樹脂層12の全体積に対して、50体積%が好ましく、40体積%がより好ましく、30体積%がさらに好ましい。一方、上記含有量の下限としては、1体積%が好ましく、5体積%がより好ましく、10体積%がさらに好ましい。上記含有量が上記上限を超える場合、温度変化により伝送特性の劣化を生じるおそれがある。また、上記含有量が上記下限未満の場合、温度変化により、強度の低下や寸法安定性の低下を生じるおそれがある。   As an upper limit of content of the reinforcing material in the 1st resin layer 12, 50 volume% is preferable with respect to the whole volume of the 1st resin layer 12, 40 volume% is more preferable, and 30 volume% is further more preferable. On the other hand, as a minimum of the above-mentioned content, 1 volume% is preferred, 5 volume% is more preferred, and 10 volume% is still more preferred. When the said content exceeds the said upper limit, there exists a possibility of producing deterioration of a transmission characteristic with a temperature change. Moreover, when the said content is less than the said minimum, there exists a possibility of producing a fall of intensity | strength and a fall of dimensional stability by a temperature change.

上記補強材の比誘電率の上限としては、10が好ましく、6がより好ましく、5がさらに好ましい。一方、上記比誘電率の下限としては、1.2が好ましく、1.5がより好ましく、1.8がさらに好ましい。上記比誘電率が上記上限を超える場合、誘電正接が大きくなり伝送損失を十分に小さくできないおそれがあると共に、十分な伝送速度が得られないおそれがある。また、上記比誘電率が上記下限未満である場合、補強材のコストが高くなるおそれがある。   The upper limit of the relative dielectric constant of the reinforcing material is preferably 10, more preferably 6, and even more preferably 5. On the other hand, the lower limit of the relative dielectric constant is preferably 1.2, more preferably 1.5, and still more preferably 1.8. When the relative dielectric constant exceeds the above upper limit, the dielectric loss tangent becomes large and there is a possibility that the transmission loss cannot be sufficiently reduced, and there is a possibility that a sufficient transmission speed cannot be obtained. Moreover, when the said dielectric constant is less than the said minimum, there exists a possibility that the cost of a reinforcing material may become high.

上記補強材の線膨張率の上限としては、5×10−5/℃が好ましく、4.7×10−5/℃がより好ましい。一方、上記線膨張率の下限としては、−1×10−4/℃が好ましく、0/℃がより好ましい。上記線膨張率が上記上限を超える場合、温度変化による反りの発生を効果的に抑制できないおそれがある。また、上記線膨張率が上記下限未満の場合、補強材のコストが高くなるおそれがある。なお、線膨張率は、JIS−K−7197(2012年)に準拠して測定される値である。 The upper limit of the linear expansion coefficient of the reinforcing material is preferably 5 × 10 −5 / ° C., and more preferably 4.7 × 10 −5 / ° C. On the other hand, the lower limit of the linear expansion coefficient is preferably −1 × 10 −4 / ° C., more preferably 0 / ° C. When the said linear expansion coefficient exceeds the said upper limit, there exists a possibility that generation | occurrence | production of the curvature by a temperature change cannot be suppressed effectively. Moreover, when the said linear expansion coefficient is less than the said minimum, there exists a possibility that the cost of a reinforcing material may become high. The linear expansion coefficient is a value measured according to JIS-K-7197 (2012).

補強材層12bの液晶ポリマーの線膨張率に対する補強材の線膨張率の比の上限としては、0.95が好ましく、0.1がより好ましい。一方、上記比の下限としては、0.001が好ましく、0.002がより好ましい。上記比が上記上限を超える場合、当該基板11での反りの発生を効果的に抑制できないおそれがある。また、上記比が上記下限未満の場合、補強材のコストが高くなるおそれがある。   The upper limit of the ratio of the linear expansion coefficient of the reinforcing material to the linear expansion coefficient of the liquid crystal polymer in the reinforcing material layer 12b is preferably 0.95, and more preferably 0.1. On the other hand, the lower limit of the ratio is preferably 0.001 and more preferably 0.002. When the ratio exceeds the upper limit, the occurrence of warpage on the substrate 11 may not be effectively suppressed. Moreover, when the said ratio is less than the said minimum, there exists a possibility that the cost of a reinforcing material may become high.

補強材層12bの平均厚さの上限としては、50μmが好ましく、40μmがより好ましく、35μmがさらに好ましい。一方、上記平均厚さの下限としては、1μmが好ましく、3μmがより好ましく、5μmがさらに好ましい。上記平均厚さが上記上限を超える場合、十分な可撓性を得られないおそれがある。また、上記平均厚さが上記下限未満の場合、当該基板11の強度を十分に向上できないおそれや当該基板11での反りの発生を効果的に抑制できないおそれがある。   The upper limit of the average thickness of the reinforcing material layer 12b is preferably 50 μm, more preferably 40 μm, and even more preferably 35 μm. On the other hand, the lower limit of the average thickness is preferably 1 μm, more preferably 3 μm, and even more preferably 5 μm. When the average thickness exceeds the upper limit, sufficient flexibility may not be obtained. Moreover, when the said average thickness is less than the said minimum, there exists a possibility that the intensity | strength of the said board | substrate 11 cannot fully be improved or generation | occurrence | production of the curvature in the said board | substrate 11 cannot be suppressed effectively.

液晶ポリマー層12aの1層の平均厚さに対する補強材層12bの平均厚さの比の上限としては、30が好ましく、2がより好ましく、0.5がさらに好ましい。一方、上記比の下限としては、0.001が好ましく、0.1がより好ましく、0.2がさらに好ましい。上記比が上記上限を超える場合、十分な可撓性が得られないおそれがある。上記比が上記下限未満である場合、当該基板11での反りの発生を効果的に抑制できないおそれがある。   The upper limit of the ratio of the average thickness of the reinforcing material layer 12b to the average thickness of one layer of the liquid crystal polymer layer 12a is preferably 30, more preferably 2, and even more preferably 0.5. On the other hand, the lower limit of the ratio is preferably 0.001, more preferably 0.1, and still more preferably 0.2. When the ratio exceeds the upper limit, sufficient flexibility may not be obtained. When the ratio is less than the lower limit, the occurrence of warpage in the substrate 11 may not be effectively suppressed.

一対の液晶ポリマー層12aは略同じ厚さを有することが好ましい。一対の液晶ポリマー層12aにおいて、厚さが大きく異なると、熱膨張により第1樹脂層12で反りを生じるおそれがある。なお、「略同じ厚さ」とは、一方の層の平均厚さに対する他方の層の平均厚さの比が0.9以上1.1以下である場合をいう。   The pair of liquid crystal polymer layers 12a preferably have substantially the same thickness. If the thicknesses of the pair of liquid crystal polymer layers 12a are greatly different, the first resin layer 12 may be warped due to thermal expansion. Note that “substantially the same thickness” means that the ratio of the average thickness of the other layer to the average thickness of the one layer is 0.9 or more and 1.1 or less.

一方の液晶ポリマー層12aの平均厚さの上限としては、1mmが好ましく、100μmがより好ましく、50μmがさらに好ましい。一方、上記平均厚さの下限としては、0.5μmが好ましく、1μmがより好ましく、10μmがさらに好ましい。上記平均厚さが上記上限を超える場合、可撓性が要求される電子機器への適用が困難となるおそれがある。また、上記平均厚さが上記下限未満の場合、当該基板11の誘電正接が大きくなり、伝送損失を十分に小さくできないおそれや十分な伝送速度が得られないおそれがある。   The upper limit of the average thickness of one liquid crystal polymer layer 12a is preferably 1 mm, more preferably 100 μm, and even more preferably 50 μm. On the other hand, the lower limit of the average thickness is preferably 0.5 μm, more preferably 1 μm, and even more preferably 10 μm. When the average thickness exceeds the upper limit, application to an electronic device that requires flexibility may be difficult. Further, when the average thickness is less than the lower limit, the dielectric loss tangent of the substrate 11 becomes large, and there is a possibility that the transmission loss cannot be sufficiently reduced or a sufficient transmission speed cannot be obtained.

第1樹脂層12は、例えばガラスクロス又は樹脂クロスの表面及び内部に液晶ポリマーを主成分とする組成物を含浸させる工程と、含浸させた上記組成物を加熱する工程とを備える製造方法や、ガラスクロス又は樹脂クロスの両面に液晶ポリマーを主成分とする樹脂フィルムを重ね合わせる工程と、上記重ね合わせた物を真空吸引しつつ熱圧着する工程とを備える製造方法等により得ることができる。なお、熱圧着する製造方法の場合、熱圧着工程を上述の基板の製造方法と共通化することができる。   The first resin layer 12 is, for example, a manufacturing method comprising a step of impregnating a composition mainly composed of a liquid crystal polymer on the surface and inside of a glass cloth or a resin cloth, and a step of heating the impregnated composition, It can be obtained by a production method comprising a step of superposing a resin film containing a liquid crystal polymer as a main component on both surfaces of a glass cloth or a resin cloth and a step of thermocompression bonding the superposed product while vacuum suction. In the case of a manufacturing method for thermocompression bonding, the thermocompression bonding step can be made common with the above-described substrate manufacturing method.

[プリント配線板用基材]
図3に示すプリント配線板用基材10は、基板1と、この基板1の第2樹脂層3の第1樹脂層2と反対の面側に積層される導電層5とを備える。導電層5は、基板1に直接積層されてもよいし、基板1に他の層を介して積層されてもよい。図3において、図1と同一の構成要素には同一の符号を付し、その説明は省略する。
[Substrates for printed wiring boards]
A printed wiring board substrate 10 shown in FIG. 3 includes a substrate 1 and a conductive layer 5 laminated on the surface of the second resin layer 3 of the substrate 1 opposite to the first resin layer 2. The conductive layer 5 may be directly laminated on the substrate 1 or may be laminated on the substrate 1 via another layer. 3, the same components as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.

当該プリント配線板用基材10は、基板1を備えるので伝送特性の温度依存性が少なく、かつ第2樹脂層3側に導電層5が積層されるので伝送特性に優れる。なお、当該プリント配線板用基材10は、可撓性を有するフレキシブルプリント配線板、又は可撓性を有しないリジッド(硬質)プリント配線板に使用できる。   Since the printed wiring board base material 10 includes the substrate 1, the temperature dependence of the transmission characteristics is small, and the conductive layer 5 is laminated on the second resin layer 3 side, so that the transmission characteristics are excellent. In addition, the said base material 10 for printed wiring boards can be used for the flexible printed wiring board which has flexibility, or the rigid (hard) printed wiring board which does not have flexibility.

(導電層)
導電層5を構成する導電物質としては、例えば銅、銀、金、鉄(ステンレス)、アルミニウム、ニッケル、ITO(Indium Tin Oxide)等の金属、樹脂と金属との混合物である導電性樹脂等が挙げられる。
(Conductive layer)
Examples of the conductive material constituting the conductive layer 5 include metals such as copper, silver, gold, iron (stainless), aluminum, nickel, ITO (Indium Tin Oxide), and conductive resins that are a mixture of resin and metal. Can be mentioned.

中でも、上記導電物質としては、コスト、伝送特性及び可撓性の観点より、銅が好ましい。すなわち、導電層5としては、銅箔が好ましい。   Among these, copper is preferable as the conductive material from the viewpoints of cost, transmission characteristics, and flexibility. That is, the conductive layer 5 is preferably a copper foil.

上記銅箔の十点平均粗さ(Rz)の上限としては、4μmが好ましく、1μmがより好ましく、0.6μmがさらに好ましい。上記十点平均粗さ(Rz)が上記上限を超える場合、表皮効果により高周波信号が集中する部分の凹凸が大きくなり、電流が直線的に流れることが阻害され、意図しない伝送損失を生じるおそれがある。なお、上記銅箔の十点平均粗さ(Rz)の下限としては、特に限定されないが、0.01μmが好ましく、0.1μmがより好ましい。十点平均粗さ(Rz)は、JIS−B−0601(1994)で規定される値である。   The upper limit of the ten-point average roughness (Rz) of the copper foil is preferably 4 μm, more preferably 1 μm, and even more preferably 0.6 μm. When the ten-point average roughness (Rz) exceeds the above upper limit, the unevenness of the portion where the high-frequency signal is concentrated becomes large due to the skin effect, current flow is hindered, and unintended transmission loss may occur. is there. In addition, although it does not specifically limit as a minimum of the ten-point average roughness (Rz) of the said copper foil, 0.01 micrometer is preferable and 0.1 micrometer is more preferable. Ten-point average roughness (Rz) is a value defined by JIS-B-0601 (1994).

導電層5の平均厚さの上限としては、300μmが好ましく、200μmがより好ましく、150μmがさらに好ましい。一方、上記平均厚さの下限としては、1μmが好ましく、5μmがより好ましく、10μmがさらに好ましい。上記平均厚さが上記上限を超える場合、可撓性が要求される電子機器への適用が困難となるおそれがある。また、上記平均厚さが上記下限未満の場合、導電層5の抵抗が増大するおそれがある。   The upper limit of the average thickness of the conductive layer 5 is preferably 300 μm, more preferably 200 μm, and further preferably 150 μm. On the other hand, the lower limit of the average thickness is preferably 1 μm, more preferably 5 μm, and even more preferably 10 μm. When the average thickness exceeds the upper limit, application to an electronic device that requires flexibility may be difficult. Moreover, when the said average thickness is less than the said minimum, there exists a possibility that the resistance of the conductive layer 5 may increase.

当該プリント配線板用基材の加熱変形性の上限としては、0.5%が好ましく、0.3%がより好ましく、0.2%がさらに好ましい。上記加熱変形性が上記上限を超える場合、伝送特性の温度依存性をより小さくすることや寸法安定性をより向上させることが難しくなるおそれがある。なお、「加熱変形性」は、JIS−C−6471(1995年)の「寸法安定性」に準拠して、温度150℃、時間30分の条件での加熱前後の銅箔の寸法変化率を測定することにより求められる値である。ここで、寸法変化率は、下記式より求められる。
寸法変化率(%)=(加熱後の標点間距離と加熱前の標点間距離との差の絶対値)/(加熱前の標点間距離)×100
The upper limit of the heat deformability of the printed wiring board substrate is preferably 0.5%, more preferably 0.3%, and still more preferably 0.2%. When the heat deformability exceeds the upper limit, it may be difficult to further reduce the temperature dependence of the transmission characteristics and further improve the dimensional stability. “Heat deformation” refers to the dimensional change rate of the copper foil before and after heating under the conditions of a temperature of 150 ° C. and a time of 30 minutes in accordance with “Dimensional stability” of JIS-C-6471 (1995). It is a value obtained by measuring. Here, the dimensional change rate is obtained from the following equation.
Dimensional change rate (%) = (absolute value of difference between distance between gauge points after heating and distance between gauge points before heating) / (distance between gauge points before heating) × 100

<プリント配線板用基材の製造方法>
当該プリント配線板用基材の好ましい製造方法の一例について、導電層5として銅箔を用いた場合を挙げて説明する。まず、導電層5としての銅箔に、改質剤であるシランカップリング剤と、アルコールと、水とを含むプライマ材料を付着させる。次に、乾燥及び必要に応じて加熱することにより、上記銅箔に付着した上記プライマ材料中のアルコールを除去した後、このプライマ材料を挟むように上記銅箔のプライマ材料側面に基板1を積層して、得られた積層体をプレス機で熱圧着する。この熱圧着は、銅箔と基板1との間に気泡や空隙が形成されないようにするために、減圧下で行うことが好ましい。また、銅箔の酸化を抑制するため、低酸素条件下(例えば窒素雰囲気中)で行うことが好ましい。これにより、導電層5としての上記銅箔と基板1との間に改質層が形成され、上述したプリント配線板用基材が得られる。
<Method for producing substrate for printed wiring board>
An example of a preferable method for producing the printed wiring board substrate will be described by using a copper foil as the conductive layer 5. First, a primer material containing a silane coupling agent, which is a modifier, alcohol, and water is attached to the copper foil as the conductive layer 5. Next, after removing the alcohol in the primer material adhering to the copper foil by drying and heating as necessary, the substrate 1 is laminated on the side of the primer material of the copper foil so as to sandwich the primer material. And the obtained laminated body is thermocompression-bonded with a press. This thermocompression bonding is preferably performed under reduced pressure in order to prevent bubbles and voids from being formed between the copper foil and the substrate 1. Moreover, in order to suppress oxidation of copper foil, it is preferable to carry out under low oxygen conditions (for example, in nitrogen atmosphere). Thereby, a modified layer is formed between the copper foil as the conductive layer 5 and the substrate 1, and the above-described substrate for a printed wiring board is obtained.

上記熱圧着の温度の上限としては、600℃が好ましく、500℃がより好ましい。一方、上記熱圧着の温度の下限としては、上述のフッ素樹脂の融点が好ましく、上述のフッ素樹脂の分解開始温度がより好ましい。より詳しくは、基板1の第2樹脂層3の主成分であるフッ素樹脂の融点よりも30℃高い温度が好ましく、上記フッ素樹脂の融点よりも50℃高い温度がより好ましい。上記熱圧着の温度が上記上限を超える場合、製造途中で意図しない変形を生じるおそれがある。また、上記熱圧着の温度が上記下限未満である場合、銅箔と基板1との間で十分な密着性が得られないおそれがある。   As an upper limit of the temperature of the said thermocompression bonding, 600 degreeC is preferable and 500 degreeC is more preferable. On the other hand, the lower limit of the thermocompression bonding temperature is preferably the melting point of the fluororesin described above, and more preferably the decomposition start temperature of the fluororesin described above. More specifically, a temperature that is 30 ° C. higher than the melting point of the fluororesin that is the main component of the second resin layer 3 of the substrate 1 is preferable, and a temperature that is 50 ° C. higher than the melting point of the fluororesin is more preferable. When the temperature of the thermocompression bonding exceeds the upper limit, there is a risk of causing unintended deformation during the production. Moreover, when the temperature of the said thermocompression bonding is less than the said minimum, there exists a possibility that sufficient adhesiveness may not be acquired between copper foil and the board | substrate 1. FIG.

上記熱圧着の際、上記フッ素樹脂の融点以上の温度で熱圧着を行うことが好ましい理由は、融点未満の温度では上記フッ素樹脂が活性化しないためである。また、上記フッ素樹脂の分解開始温度以上に加熱することにより、上記フッ素樹脂のC原子がラジカル化するため、上記フッ素樹脂をさらに活性化させることができる。つまり、熱圧着の温度を上記フッ素樹脂の融点以上(より好ましくは分解開始温度以上)とすることにより、銅箔と基板1との間の密着をより促進できると考えられる。   The reason why it is preferable to perform thermocompression bonding at a temperature equal to or higher than the melting point of the fluororesin during the thermocompression bonding is that the fluororesin is not activated at a temperature below the melting point. Moreover, since the C atom of the said fluororesin is radicalized by heating more than the decomposition start temperature of the said fluororesin, the said fluororesin can be further activated. That is, it is considered that the adhesion between the copper foil and the substrate 1 can be further promoted by setting the thermocompression bonding temperature to be equal to or higher than the melting point of the fluororesin (more preferably higher than the decomposition start temperature).

上記熱圧着の圧力としては、0.01MPa以上1000MPa以下が好ましい。また、上記熱圧着の加圧時間としては、5秒以上10時間以下が好ましい。   The pressure for the thermocompression bonding is preferably 0.01 MPa or more and 1000 MPa or less. Further, the pressing time for the thermocompression bonding is preferably 5 seconds or more and 10 hours or less.

このような熱圧着により、上記フッ素樹脂中のラジカル化したC原子が、シランカップリング剤により形成されたシロキサン結合(Si−O−Si)と他の原子又は原子団を介して化学結合すると考えられる。   By such thermocompression bonding, the radicalized C atom in the fluororesin is considered to be chemically bonded to the siloxane bond (Si—O—Si) formed by the silane coupling agent via another atom or atomic group. It is done.

[プリント配線板]
本発明の一実施形態に係るプリント配線板は、上述のプリント配線板用基材を用い、導電層をパターン状にエッチングすることで形成される。
[Printed wiring board]
A printed wiring board according to an embodiment of the present invention is formed by etching the conductive layer into a pattern using the above-described substrate for printed wiring board.

上記エッチング方法は、特に制限されない。例えば上記エッチング法としてサブトラクティブ法を適用する場合、上記導電層にパターンのマスキングを施してエッチングすることにより、配線が形成されたプリント配線板が得られる。他にも上記エッチング方法としてはセミアディティブ法等が挙げられる。   The etching method is not particularly limited. For example, when a subtractive method is applied as the etching method, a printed wiring board on which wiring is formed can be obtained by performing pattern masking on the conductive layer and etching. Other examples of the etching method include a semi-additive method.

[その他の実施形態]
上記開示された実施形態は全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記実施形態の構成に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。
[Other Embodiments]
The disclosed embodiments are to be considered in all respects as illustrative and not restrictive. The scope of the present invention is not limited to the configuration of the embodiment described above, but is defined by the scope of the claims, and is intended to include all modifications within the meaning and scope equivalent to the scope of the claims. The

当該基板は、複数の第2樹脂層を備えてもよい。例えば1つの第1樹脂層の両方の面に第2樹脂層を積層することで、当該基板は両面プリント配線板用基材として用いることができる。   The substrate may include a plurality of second resin layers. For example, the board | substrate can be used as a base material for double-sided printed wiring boards by laminating | stacking a 2nd resin layer on both surfaces of one 1st resin layer.

また、当該基板は、上述の比誘電率及びその変化幅を実現できれば、第1樹脂層と第2樹脂層との間に必ずしも多孔質シートを備える必要はない。また、多孔質シート以外のシートを介して第1樹脂層と第2樹脂層とを積層してもよい。さらに、液晶ポリマー以外の樹脂を主成分とする多孔質シートを用いてもよい。   Moreover, the said board | substrate does not necessarily need to provide a porous sheet between the 1st resin layer and the 2nd resin layer, if the above-mentioned relative dielectric constant and its change width are realizable. Moreover, you may laminate | stack a 1st resin layer and a 2nd resin layer through sheets other than a porous sheet. Furthermore, you may use the porous sheet which has resin other than a liquid crystal polymer as a main component.

さらに、当該プリント配線板用基材は、基板の一方の面全体に導電層が積層されてもよく、基板の一方の面の一部に導電層が積層されてもよい。   Further, in the printed wiring board substrate, a conductive layer may be laminated on the entire one surface of the substrate, or a conductive layer may be laminated on a part of one surface of the substrate.

当該基板において、第1樹脂層がフィルム状又はクロス状の補強材を含む場合、補強材を含まない層とフィルム状又はクロス状の補強材を含む層との積層構造の層数は2であってもよいし、4以上であってもよい。また、当該基板は、補強材として、2以上のフィルム状又はクロス状の補強材を含んでもよい。   In the substrate, when the first resin layer includes a film-like or cloth-like reinforcing material, the number of layers in the laminated structure of the layer not containing the reinforcing material and the layer containing the film-like or cloth-like reinforcing material is two. It may be 4 or more. In addition, the substrate may include two or more film-like or cloth-like reinforcing materials as the reinforcing material.

当該基板は、フィルム状又はクロス状の補強材以外の補強材を含んでもよい。例えば当該基板は、無機粒子、有機粒子等の粒状物を補強材として含んでもよい。   The substrate may include a reinforcing material other than a film-like or cloth-like reinforcing material. For example, the substrate may include a granular material such as inorganic particles and organic particles as a reinforcing material.

以下、実施例によって本発明をさらに具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples. However, the present invention is not limited to the following examples.

[実施例1]
(基板の作製)
以下の手順で実施例1の基板を作製した。まず、液晶ポリマーフィルム(平均厚さ65μm)の両面に一対の多孔質シートとしての液晶ポリマー製不織布(クラレ株式会社の「ベクルス」、目付9g/m、プレス後の平均厚さ9μm)を重ね合わせ、この一対の多孔質シートの外面にそれぞれFEPフィルム(平均厚さ50μm)を重ね合わせた5層の積層物を得た。次に、この積層物を温度320℃、圧力100MPa、時間60分の条件で真空吸引しつつ熱圧着をし、第1樹脂層の両面に一対の多孔質シート及び一対の第2樹脂層を備える基板を得た。なお、この基板は、多孔質シート内に液晶ポリマー及びFEPが含浸し、内部でこれらが当接していた。
[Example 1]
(Production of substrate)
The substrate of Example 1 was produced by the following procedure. First, a liquid crystal polymer non-woven fabric (Kuraray Co., Ltd. “Vecruz”, basis weight 9 g / m 2 , average thickness after pressing 9 μm) is superimposed on both sides of a liquid crystal polymer film (average thickness 65 μm). In addition, a five-layer laminate in which FEP films (average thickness: 50 μm) were superimposed on the outer surfaces of the pair of porous sheets was obtained. Next, the laminate is subjected to thermocompression bonding under vacuum suction at a temperature of 320 ° C., a pressure of 100 MPa, and a time of 60 minutes, and a pair of porous sheets and a pair of second resin layers are provided on both surfaces of the first resin layer. A substrate was obtained. In this substrate, the porous sheet was impregnated with the liquid crystal polymer and FEP, and these were in contact with each other inside.

(プリント配線板用基材の作製)
以下の手順で実施例1のフレキシブルプリント配線板用基材を作製した。まず、浸漬法により、銅箔(無電解銅箔、平均厚さ18μm、十点平均粗さRz0.6μm)にプライマ材料を付着させた後、乾燥し、120℃で加熱した。これにより、上記銅箔にプライマ材料層を形成した。そして、実施例1の基板の両面(一対の第2樹脂層の各表面)にこのプライマ材料層が当接するように上記銅箔を積層し、得られた積層体をプレス機で熱圧着することにより、上記銅箔と上記基板との間に平均厚さ30nmの改質層を有するフレキシブルプリント配線板用基材を得た。上記熱圧着の条件は、温度300℃、圧力20MPa、時間120分とした。なお、上記プライマ材料としては、3−アミノプロピルトリメトキシシラン1質量%とエタノールとを含むものを用いた。なお、プライマ材料には水を添加していない。すなわち、水としては、空気中に存在する水分、及び上記エタノールに含まれる不純物としての水分を用いた。
(Preparation of printed wiring board substrate)
The base material for flexible printed wiring boards of Example 1 was produced according to the following procedure. First, a primer material was attached to a copper foil (electroless copper foil, average thickness 18 μm, ten-point average roughness Rz 0.6 μm) by an immersion method, then dried and heated at 120 ° C. Thereby, a primer material layer was formed on the copper foil. And the said copper foil is laminated | stacked so that this primer material layer may contact | abut on both surfaces (each surface of a pair of 2nd resin layer) of the board | substrate of Example 1, and the obtained laminated body is thermocompression-bonded with a press. Thereby, the base material for flexible printed wiring boards which has a modified layer with an average thickness of 30 nm between the said copper foil and the said board | substrate was obtained. The thermocompression bonding conditions were a temperature of 300 ° C., a pressure of 20 MPa, and a time of 120 minutes. As the primer material, a material containing 1% by mass of 3-aminopropyltrimethoxysilane and ethanol was used. Note that water is not added to the primer material. That is, as water, moisture present in the air and moisture as impurities contained in the ethanol were used.

[実施例2]
第1樹脂層として、ガラスクロス(IPC規格スタイル1030、平均厚さ27μm)の両面に平均厚さ20μmの一対の液晶ポリマーフィルムを重ね合わせ、さらにこの液晶ポリマーフィルムの外面に実施例1と目付の異なる一対の液晶ポリマー製不織布(目付14g/m、プレス後の平均厚さ14μm)を重ね合わせた以外は、実施例1と同様にして基板を得た。この基板を用いて、上記実施例1と同様の手順で、フレキシブルプリント配線板用基材を得た。
[Example 2]
As a first resin layer, a pair of liquid crystal polymer films having an average thickness of 20 μm are superimposed on both sides of a glass cloth (IPC standard style 1030, average thickness 27 μm), and the outer surface of the liquid crystal polymer film is also coated with the weight of Example 1. A substrate was obtained in the same manner as in Example 1 except that a pair of different liquid crystal polymer nonwoven fabrics (weight per unit area: 14 g / m 2 , average thickness after pressing: 14 μm) were superposed. Using this substrate, a flexible printed wiring board substrate was obtained in the same procedure as in Example 1.

[実施例3]
第1樹脂層の内部のガラスクロスの両面に重ね合わせる一対の液晶ポリマーフィルムの平均厚さを40μmとした。また、第2樹脂層の平均厚さを12μmとした。これ以外は、実施例2と同様にして基板を得た。この基板を用いて、上記実施例1と同様の手順で、フレキシブルプリント配線板用基材を得た。
[Example 3]
The average thickness of the pair of liquid crystal polymer films superimposed on both surfaces of the glass cloth inside the first resin layer was 40 μm. The average thickness of the second resin layer was 12 μm. Except this, a substrate was obtained in the same manner as in Example 2. Using this substrate, a flexible printed wiring board substrate was obtained in the same procedure as in Example 1.

[実施例4]
第1樹脂層の内部のガラスクロスとして、PFAとチタン酸バリウムとを含浸したガラスクロスを使用した。具体的には、PFAのディスパージョン(ダイキン社の「AD2CR」)にチタン酸バリウムを5質量%混合し、これにガラスクロス(IPC規格スタイル1030、平均厚さ27μm)を含浸し焼成した。これ以外は、実施例3と同様にして基板を得た。この基板を用いて、上記実施例1と同様の手順で、プリント配線板用基材(多層板用のビルドアップ基板用基材)を得た。
[Example 4]
As the glass cloth inside the first resin layer, a glass cloth impregnated with PFA and barium titanate was used. Specifically, 5 mass% of barium titanate was mixed in a dispersion of PFA (“AD2CR” manufactured by Daikin), impregnated with glass cloth (IPC standard style 1030, average thickness 27 μm), and fired. A substrate was obtained in the same manner as in Example 3 except for this. Using this substrate, a substrate for a printed wiring board (a substrate for a buildup substrate for a multilayer board) was obtained in the same procedure as in Example 1.

[比較例1]
上記液晶ポリマー製不織布の両面に一対の上記FEPフィルムを重ね合わせた3層の積層物を実施例1と同様の条件で熱圧着し、基板を得た。この基板を用いて、上記実施例1と同様の手順で、フレキシブルプリント配線板用基材を得た。
[Comparative Example 1]
A three-layer laminate in which a pair of the FEP films were laminated on both surfaces of the liquid crystal polymer nonwoven fabric was thermocompression bonded under the same conditions as in Example 1 to obtain a substrate. Using this substrate, a flexible printed wiring board substrate was obtained in the same procedure as in Example 1.

[比較例2]
上記ガラスクロスの両面に一対の上記FEPフィルムを重ね合わせた3層の積層物を実施例1と同様の条件で熱圧着し、基板を得た。この基板を用いて、上記実施例1と同様の手順で、フレキシブルプリント配線板用基材を得た。
[Comparative Example 2]
A three-layer laminate in which a pair of the FEP films were superimposed on both surfaces of the glass cloth was thermocompression bonded under the same conditions as in Example 1 to obtain a substrate. Using this substrate, a flexible printed wiring board substrate was obtained in the same procedure as in Example 1.

[比較例3]
上記液晶ポリマーフィルム単体を基板とし、この基板を用いて、上記実施例1と同様の手順で、フレキシブルプリント配線板用基材を得た。
[Comparative Example 3]
Using the liquid crystal polymer film alone as a substrate, a flexible printed wiring board substrate was obtained using the substrate in the same procedure as in Example 1.

[比較例4]
上記液晶ポリマーフィルムの両面に一対の上記FEPフィルムを重ね合わせた3層の積層物を実施例1と同様の条件で熱圧着し、基板を得た。この基板を用いて、上記実施例1と同様の手順で、フレキシブルプリント配線板用基材を得た。
[Comparative Example 4]
A three-layer laminate in which a pair of the FEP films were superimposed on both surfaces of the liquid crystal polymer film was thermocompression bonded under the same conditions as in Example 1 to obtain a substrate. Using this substrate, a flexible printed wiring board substrate was obtained in the same procedure as in Example 1.

[評価]
実施例1〜4及び比較例1〜4の基板及びプリント配線板用基材について、下記項目の評価を行った。
[Evaluation]
About the board | substrate of Examples 1-4 and Comparative Examples 1-4 and the base material for printed wiring boards, the following item was evaluated.

(30℃以上120℃以下かつ10GHzにおける比誘電率)
JIS−C−2138(2007年)に準拠する空洞共振器摂道法により、周波数10GHz、温度30℃から120℃、相対湿度50%の条件で各基板の比誘電率を測定した。なお、測定装置としては、円筒空洞共振器を用いた。この測定結果を表1に示す。
(Relative permittivity at 30 GHz to 120 ° C. and 10 GHz)
The relative dielectric constant of each substrate was measured under the conditions of a frequency of 10 GHz, a temperature of 30 ° C. to 120 ° C., and a relative humidity of 50% by a cavity resonator perturbation method based on JIS-C-2138 (2007). A cylindrical cavity resonator was used as the measuring device. The measurement results are shown in Table 1.

(剥離強度)
JIS−K−6854−2(1999年)の「接着剤−剥離接着強さ試験方法−2部:180度剥離」に準拠する試験方法により各フレキシブルプリント配線板用基材の基板の第1樹脂層と第2樹脂層との間の剥離強度(N/cm)を測定した。この測定結果を表1に示す。
(Peel strength)
The first resin of the substrate of each flexible printed wiring board substrate by a test method in accordance with JIS-K-6854-2 (1999) "Adhesive-Peeling adhesive strength test method-2 parts: 180 degree peeling" The peel strength (N / cm) between the layer and the second resin layer was measured. The measurement results are shown in Table 1.

Figure 2017120826
Figure 2017120826

表1に示すように、実施例1〜4は、30℃及び120℃の比誘電率が共に4.0以下であり、これらの温度間での比誘電率の変化幅が0.04以下であり、さらに30℃及び120℃の誘電正接が0.01以下である。この結果から、実施例1〜4は30℃以上120℃以下における比誘電率が4.0以下、比誘電率の変化幅が0.04以下、誘電正接が0.01以下であると推測される。このような実施例1〜4は、伝送特性に優れ、かつ伝送特性の温度依存性が少ない。   As shown in Table 1, in Examples 1 to 4, the relative dielectric constants at 30 ° C. and 120 ° C. are both 4.0 or less, and the change width of the relative dielectric constant between these temperatures is 0.04 or less. Furthermore, the dielectric loss tangent at 30 ° C. and 120 ° C. is 0.01 or less. From these results, it is estimated that in Examples 1 to 4, the relative dielectric constant at 30 ° C. or higher and 120 ° C. or lower is 4.0 or lower, the relative dielectric constant variation is 0.04 or lower, and the dielectric loss tangent is 0.01 or lower. The Such Examples 1-4 are excellent in transmission characteristics, and have little temperature dependence of transmission characteristics.

本発明の基板は、伝送特性の温度依存性が少なく、かつ伝送特性に優れる。このため、例えば車載用ミリ波レーダーや、携帯情報機器、携帯通信端末等の携帯機器に好適に用いることができる。   The substrate of the present invention has less temperature dependence of transmission characteristics and excellent transmission characteristics. For this reason, for example, it can be used suitably for portable equipment, such as an in-vehicle millimeter wave radar, a portable information device, and a portable communication terminal.

1、11 基板
2、12 第1樹脂層
3 第2樹脂層
4 多孔質シート
5 導電層
12a 液晶ポリマー層
12b 補強材層
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1, 11 Substrate 2, 12 1st resin layer 3 2nd resin layer 4 Porous sheet 5 Conductive layer 12a Liquid crystal polymer layer 12b Reinforcement material layer

Claims (7)

液晶ポリマーを主成分とするマトリックスを含有する第1樹脂層と、
この第1樹脂層の少なくとも一方の面側に積層され、フッ素樹脂を主成分とする第2樹脂層と
を備える基板であって、
30℃以上120℃以下かつ10GHzにおける比誘電率が4.0以下、比誘電率の変化幅が0.0001以上0.04以下、誘電正接が0.01以下である基板。
A first resin layer containing a matrix mainly composed of a liquid crystal polymer;
A substrate that is laminated on at least one surface side of the first resin layer and includes a second resin layer mainly composed of a fluororesin,
A substrate having a relative dielectric constant of not more than 4.0 at 30 ° C. or more and 120 ° C. or less, a relative dielectric constant of 0.0001 or more and 0.04 or less, and a dielectric loss tangent of 0.01 or less.
上記フッ素樹脂が、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体(FEP)、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体(PFA)又はこれらの組み合わせを50質量%以上含有する請求項1に記載の基板。   The said fluororesin contains the tetrafluoroethylene-hexafluoropropylene copolymer (FEP), the tetrafluoroethylene-perfluoroalkyl vinyl ether copolymer (PFA), or these combination 50 mass% or more. substrate. 上記第1樹脂層及び第2樹脂層のそれぞれの対向面を含む層状領域に多孔質シートを備え、この多孔質シートの主成分が液晶ポリマーである請求項1又は請求項2に記載の基板。   The substrate according to claim 1 or 2, wherein a porous sheet is provided in a layered region including the opposing surfaces of the first resin layer and the second resin layer, and a main component of the porous sheet is a liquid crystal polymer. 上記第1樹脂層が、マトリックス中に含まれる補強材をさらに含有する請求項1、請求項2又は請求項3に記載の基板。   The substrate according to claim 1, wherein the first resin layer further contains a reinforcing material contained in the matrix. 上記第1樹脂層と第2樹脂層との剥離強度が5N/cm以上である請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の基板。   The substrate according to any one of claims 1 to 4, wherein a peel strength between the first resin layer and the second resin layer is 5 N / cm or more. 請求項1に記載の基板と、
この基板の上記第2樹脂層の第1樹脂層と反対の面側に積層される導電層と
を備えるプリント配線板用基材。
A substrate according to claim 1;
A printed wiring board substrate comprising: a conductive layer laminated on a surface of the substrate opposite to the first resin layer of the second resin layer.
上記導電層が銅箔である請求項6に記載のプリント配線板用基材。   The printed wiring board substrate according to claim 6, wherein the conductive layer is a copper foil.
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