WO2015145972A1 - 欠陥分析装置、欠陥分析方法および記憶媒体 - Google Patents

欠陥分析装置、欠陥分析方法および記憶媒体 Download PDF

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WO2015145972A1
WO2015145972A1 PCT/JP2015/000979 JP2015000979W WO2015145972A1 WO 2015145972 A1 WO2015145972 A1 WO 2015145972A1 JP 2015000979 W JP2015000979 W JP 2015000979W WO 2015145972 A1 WO2015145972 A1 WO 2015145972A1
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vibration
frequency band
pipe
disturbance
fluid
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PCT/JP2015/000979
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Inventor
慎 冨永
尚武 高橋
純一郎 又賀
裕文 井上
Original Assignee
日本電気株式会社
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
    • G01M3/24—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using infrasonic, sonic, or ultrasonic vibrations
    • G01M3/243—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using infrasonic, sonic, or ultrasonic vibrations for pipes

Definitions

  • the present invention relates to a defect analyzer and the like, for example, to a device for detecting whether or not a fluid is leaking from a pipe.
  • a leakage inspection by a correlation method As a method for inspecting the leakage of fluid from piping, for example, a leakage inspection by a correlation method is known.
  • a pair of vibration sensors are arranged on the pipe at a predetermined distance so as to sandwich the defective portion on both sides. Vibration sound (leakage vibration) caused by leakage propagates through the pipe. The time for the vibration sound generated by this leakage to reach each of the pair of vibration sensors is measured. Then, the fluid leakage position is estimated from the product of the difference between the two measured values of the vibration arrival time (vibration arrival time difference) and the sound velocity.
  • the cross-correlation function of the time series data is calculated, and the time corresponding to the maximum value of the function is used.
  • Patent Document 1 a frequency band of a power spectrum of leakage vibration that fluctuates when a fluid pressure is changed is detected, and a signal detected in the frequency band is subjected to correlation processing.
  • a technique for specifying a leakage position is disclosed.
  • the pair of vibration sensors may detect vibrations including not only leakage vibrations but also disturbance vibrations other than leakage vibrations.
  • the pair of vibration sensors cannot accurately detect the leakage vibration, the arrival time difference of the vibration is not accurately calculated.
  • the fluid leakage position cannot be accurately identified. Therefore, in order to specify the fluid leakage position more accurately, there is a problem that it is necessary to determine that the disturbance vibration is superimposed on the leakage vibration.
  • the present invention has been made in view of such circumstances, and it is an object of the present invention to easily cause disturbance vibration, which is vibration other than leakage vibration, to be superimposed on leakage vibration caused by leakage of fluid from a pipe. It is an object of the present invention to provide a defect analysis apparatus that can make a determination.
  • the defect analysis apparatus of the present invention is a vibration detecting means for detecting a vibration wave propagating through a pipe or a fluid flowing in the pipe, a first frequency band that is a frequency band caused by leakage of the fluid from the pipe, Based on the vibration acceleration of the second frequency band of the vibration wave detected by the vibration detection means, the frequency determination means for determining a second frequency band different from the first frequency band, from the pipe Disturbance vibration determination means for determining whether or not disturbance vibration, which is vibration other than vibration due to fluid leakage, is superimposed on the first frequency band of the vibration wave detected by the vibration detection means. And.
  • the control device of the present invention outputs a vibration detection instruction signal for detecting a vibration wave propagating through a pipe or a fluid flowing in the pipe, and a first frequency which is a frequency band caused by the leakage of the fluid from the pipe
  • a frequency determination instruction signal for determining a band and a second frequency band different from the first frequency band, and generating a vibration acceleration in the second frequency band of the vibration wave detected according to the vibration detection instruction signal
  • Disturbance vibration determination instruction signal for determining whether or not.
  • the processing apparatus of the present invention includes a first frequency band that is a frequency band caused by fluid leakage from a pipe, a frequency determining unit that determines a second frequency band different from the first frequency band, and the pipe. Or, based on the vibration acceleration in the second frequency band of the vibration wave propagating through the fluid flowing in the pipe, disturbance vibration which is vibration other than vibration caused by leakage of the fluid from the pipe is detected by the vibration detection. Disturbance vibration determining means for determining whether or not the vibration wave detected by the means is superimposed in the first frequency band.
  • a vibration wave propagating through a pipe or a fluid flowing in the pipe is detected, and a first frequency band that is a frequency band caused by leakage of the fluid from the pipe, and the first A disturbance frequency that is a vibration other than the vibration caused by the leakage of the fluid from the pipe is determined based on the vibration acceleration of the second frequency band of the vibration wave. Determines whether or not the vibration wave is superimposed on the first frequency band.
  • the storage medium of the present invention detects a vibration wave propagating through a pipe or a fluid flowing in the pipe, and includes a first frequency band that is a frequency band caused by leakage of the fluid from the pipe, and the first frequency band A second frequency band different from the frequency band is determined, and disturbance vibration that is vibration other than vibration caused by leakage of the fluid from the pipe is determined based on vibration acceleration of the second frequency band of the vibration wave.
  • a program for causing a computer to perform a process of determining whether or not the vibration wave is superimposed on the first frequency band is stored.
  • defect analysis apparatus and the like it is possible to easily determine that disturbance vibration, which is vibration other than leakage vibration, is superimposed on leakage vibration caused by fluid leakage from the pipe.
  • FIG. 1 is a conceptual diagram of the defect analysis apparatus 100 according to the first embodiment of the present invention.
  • the pipe 900 is embedded in the ground 600.
  • the pipe 900 may be installed in an attic or a basement of a building, and may be embedded in a wall, a pillar, or the like of the building.
  • the fluid 910 (liquid or gas) flows in the pipe 900.
  • the leak hole 920 is a hole formed in the pipe 900 due to aging or external damage. The fluid 910 flowing through the pipe 900 leaks from the leak hole 920.
  • the defect analysis apparatus 100 includes a first vibration detection unit 110A, a second vibration detection unit 110B, and a processing unit 120.
  • the processing unit 120 corresponds to the processing apparatus of the present invention.
  • the first and second vibration detection units 110A and 110B and the processing unit 120 are connected by wire or wireless communication.
  • the first vibration detection unit 110 ⁇ / b> A and the second vibration detection unit 110 ⁇ / b> B transmit the vibration wave W propagating through the pipe 900 or the fluid 910 (liquid or gas) in the pipe 900 to the pipe 900.
  • a piezoelectric acceleration sensor an electrodynamic acceleration sensor, a capacitive acceleration sensor, an optical speed sensor, a dynamic strain sensor, or the like can be used.
  • two vibration detection parts (1st vibration detection part 110A, 2nd vibration detection part 110B) were provided here, you may provide one vibration detection part.
  • the first vibration detection unit 110A and the second detection unit 110B are attached to the outer wall surface of the pipe 900 via the water spigots 700A and 700B.
  • the water spigots 700A and 700B may be stop cocks or the like.
  • the first vibration detection unit 110A and the second vibration detection unit 110B may be permanently installed at the installation location to detect the vibration constantly, or may be installed for a predetermined period to detect the vibration intermittently.
  • first vibration detection unit 110 ⁇ / b> A and the second vibration detection unit 110 ⁇ / b> B may be attached to the inner wall surface of the pipe 900. Further, the first vibration detection unit 110A and the second vibration detection unit 110B are installed on the outer surface or inside of a flange (not shown) installed in the pipe 900 or an accessory (not shown) such as a valve plug. May be.
  • a method of installing the first vibration detection unit 110A and the second vibration detection unit 110B in the pipe 900 or the accessory of the pipe 900 for example, use of a magnet, use of a dedicated jig, use of an adhesive may be considered.
  • the processing unit 120 is connected to the first vibration detection unit 110A and the second vibration detection unit 110B by wire or wirelessly.
  • the processing unit 120 receives data of the vibration wave W detected by the first or second vibration detection unit 110A or 110B.
  • the processing unit 120 includes a frequency determination unit 121 and a disturbance vibration determination unit 122.
  • the frequency determination unit 121 determines a first frequency band f1 that is a frequency band caused by leakage of the fluid 910 from the pipe 900 and a second frequency band f2 that is different from the first frequency band f1.
  • the disturbance vibration determination unit 122 determines whether or not the disturbance vibration WG is superimposed in the first frequency band f1 of the vibration wave W based on the vibration acceleration WL (f2) of the vibration wave W in the second frequency band f2. Determine whether.
  • the vibration wave W is a vibration wave detected by the first or second vibration detection unit 110A or 110B.
  • the disturbance vibration WG is vibration other than vibration (leakage vibration WO) caused by leakage of the fluid 910 from the pipe 900.
  • FIG. 2 is a diagram showing an operation flow of the defect analysis apparatus 100 according to the first embodiment of the present invention.
  • first and second vibration detection units 110A and 110B detect first or second vibration waves W1 and W2 (step (STEP: hereinafter referred to as S) 1). ). More specifically, the first or second vibration detection unit 110A, 110B detects the vibration propagating through the pipe 900 or the fluid 910 flowing through the pipe 900 as the first or second vibration wave W1, W2. . Then, the first or second vibration detection unit 110A or 110B transmits one of the first or second vibration waves W1 and W2 to the processing unit 120 as the vibration wave W. Next, the processing unit 120 receives the vibration wave W.
  • the frequency determination unit 121 determines a first frequency band f1 that is a frequency band due to leakage of the fluid 910 from the pipe 900 (S2).
  • the disturbance vibration determination unit 122 determines whether or not the vibration acceleration WL (f1) of the first frequency band f1 of the vibration wave W1 is greater than or equal to the threshold WL-0 (f1) (S3).
  • FIG. 3 is a conceptual diagram for explaining the operation of the disturbance vibration determination unit 122.
  • the vibration acceleration is set on the vertical axis and the frequency is set on the horizontal axis.
  • FIG. 3A is a diagram showing an example of the vibration wave W detected by the first or second vibration detection unit 110A or 110B, particularly including the vicinity of the first frequency band f1.
  • FIGS. 3B and 3C are examples of the vibration wave W detected by the first or second vibration detection unit 110A or 110B, and in particular, the first frequency band f1 and the second frequency band f2. It is a figure which shows what includes the vicinity.
  • FIG. 3B shows an example in which the disturbance vibration WG is included in the second frequency band f2, and
  • FIG. 3C shows the disturbance vibration WG in the second frequency band f2. An example that does not.
  • the wave in the second frequency band f2 portion (wave corresponding to the second frequency band f2) and the wave in the first frequency band f1 portion (first frequency) Waves corresponding to the band f1) are correlated with each other.
  • the general vibration is a plurality of frequency peaks (the frequency peak is a graph when the vibration wave W is represented in a graph with the horizontal axis representing frequency and the vertical axis representing vibration acceleration. It means a point that becomes a mountain shape.) It is assumed that one of the plurality of frequency peaks overlaps the first frequency band (leakage vibration band) and the other is in the second frequency band (other than the first frequency band).
  • the first frequency band f1 is a frequency band caused by the leakage of the fluid 910 from the pipe 900.
  • the first frequency band f1 is also referred to as a leakage vibration band.
  • the first frequency band f1 is set in advance.
  • a method of determining the first frequency band f1 for example, a method of determining by statistical processing from vibration data for a predetermined period of the first vibration detection unit 110A, a method of reading from a database, and an impulse response method are used. Can be used.
  • the impulse response method an arbitrary portion of the pipe 900 is vibrated with a hammer or the like, and vibration characteristics are included with a vibration sensor (not shown, including the first vibration detection unit 110A and the second vibration detection unit 110B). This is a method of examining the first frequency band f1 by detecting.
  • the disturbance vibration determination unit 122 compares the vibration acceleration WL (f1) of the first frequency band f1 of the vibration wave W1 with the threshold WL-0 (f1). Then, as shown in FIG. 2, when the disturbance vibration determination unit 122 determines that the vibration acceleration WL (f1) of the first frequency band f1 of the vibration wave W1 is equal to or greater than the threshold WL-0 (f1). (S3, YES), the frequency determination unit 121 determines a second frequency band f2 different from the first frequency band f1 (S4).
  • the second frequency band f2 may be referred from a predetermined database in consideration of an environment in which the defect analysis apparatus 100 is installed. It is assumed that an appropriate second frequency band f2 is stored in the predetermined database according to the environment in which the defect analysis apparatus 100 is installed. That is, for example, when the defect analysis apparatus 100 is installed in an urban area, it may be considered that a running sound of an automobile is generated. At this time, the predetermined frequency database stores a second frequency band f2 in consideration of the frequency band of the traveling sound of the automobile.
  • the disturbance vibration determination unit 122 determines that the vibration acceleration WL (f1) in the first frequency band f1 of the vibration wave W1 is not equal to or greater than the threshold WL-0 (f1) (S3, NO), the disturbance vibration determination The part 122 determines that there is no leakage in the pipe 900 (S5). Then, the process returns to S1.
  • the disturbance vibration determination unit 122 determines that the vibration acceleration WL (f2) of the vibration wave W in the second frequency band f2 is a predetermined threshold WL. It is determined whether or not ⁇ 0 (f2) or more (S6).
  • the disturbance vibration determination unit 122 when the vibration acceleration WL (f2) of the second frequency band f2 of the vibration wave W is equal to or greater than a predetermined threshold WL-0 (f2), the disturbance vibration determination unit 122 (S6, YES in FIG. 2), the disturbance vibration determination unit 122 superimposes the disturbance vibration WG, which is a vibration other than the leakage vibration WO, in the first frequency band f1 of the vibration wave W. (S7).
  • the disturbance vibration determination unit 122 determines that the disturbance vibration WG that is a vibration other than the leakage vibration WO is not superimposed on the first frequency band f1 of the vibration wave W. It is determined that there is a leak in the pipe 900 (S8).
  • the disturbance vibration determination unit 122 determines that the disturbance vibration WG, which is vibration other than the leakage vibration WO, is based on the vibration acceleration WL (f2) of the vibration wave W in the second frequency band f2. It is determined whether or not the frequency band f1 is superimposed (S6 to S8).
  • defect analysis apparatus 100 The operation of the defect analysis apparatus 100 according to the first embodiment of the present invention has been described above.
  • control device 500 that inputs and outputs signals between the first or second vibration detection units 110A and 110B, the frequency determination unit 121, and the disturbance vibration determination unit 122 may be newly provided.
  • FIG. 4 is a diagram showing a signal output relationship of the control device 500.
  • the control device 500 outputs a vibration detection instruction signal to the first or second vibration detection unit 110 ⁇ / b> A, 110 ⁇ / b> B.
  • the vibration detection instruction signal is a signal for detecting the vibration wave W propagating through the pipe 900 or the fluid 910 flowing in the pipe 900.
  • the control device 500 outputs a frequency determination instruction signal to the frequency determination unit 121.
  • the frequency determination instruction signal is a signal for determining a first frequency band f1 that is a frequency band due to leakage of the fluid 910 from the pipe 900 and a second frequency band f2 that is different from the first frequency band f1.
  • Control device 500 outputs a disturbance vibration determination instruction signal to disturbance vibration determination unit 122 based on vibration acceleration WL (f2) in second frequency band f2 of vibration wave W detected according to the vibration detection instruction signal.
  • the disturbance vibration determination instruction signal is a first frequency band of the vibration wave W that is detected by the disturbance vibration WG that is vibration other than vibration (leakage vibration WO) caused by leakage of the fluid 910 from the pipe 900 according to the vibration detection instruction signal. It is a signal for determining whether or not it is superimposed in f1.
  • the defect analysis apparatus 100 includes the vibration detection unit (vibration detection unit, first or second vibration detection unit 110A, 110B), and the frequency determination unit 121 (frequency. Determination means) and disturbance vibration determination unit 122 (disturbance vibration determination means).
  • the vibration detection unit detects the vibration wave W propagating through the pipe 900 or the fluid 910 flowing through the pipe 900.
  • the frequency determination unit 121 determines a first frequency band f1 that is a frequency band due to leakage of the fluid 910 from the pipe 900 and a second frequency band f2 that is different from the first frequency band f1.
  • the disturbance vibration determination unit 122 Based on the vibration acceleration WL (f2) of the second frequency band f2 of the vibration wave W detected by the vibration detection unit, the disturbance vibration determination unit 122 detects a disturbance vibration WG that is a vibration other than the leakage vibration WO. It is determined whether or not the vibration wave W detected by the unit is superimposed on the first frequency band f1.
  • the leakage vibration WO is vibration due to leakage of the fluid 910 from the pipe 900.
  • the frequency determination unit 121 determines the first frequency band f1 that is a frequency band caused by the leakage of the fluid 910 from the pipe 900 and the second frequency band f2 that is different from the first frequency band f1. . Then, the disturbance vibration determination unit 122 generates a disturbance vibration WG that is a vibration other than the leakage vibration WO based on the vibration acceleration WL (f2) in the second frequency band f2 of the vibration wave W detected by the vibration detection unit. It is determined whether or not the vibration wave W detected by the vibration detection unit is superimposed on the first frequency band f1.
  • the disturbance vibration determination unit 122 vibrates the vibration wave W in the second frequency band f2, which is a different frequency band from the first frequency band f1 (frequency due to leakage of the fluid 910 from the pipe 900).
  • the acceleration WL (f2) is detected.
  • the disturbance vibration determination unit 123 determines whether the vibration wave W is superimposed on the first frequency band f1 based on the vibration acceleration WL (f2) of the vibration wave W.
  • the defect analysis apparatus 100 whether or not the leakage vibration WO and the disturbance vibration WG are superimposed in the first frequency band f1 is determined in the second frequency band f2 different from the first frequency band f1. It can be indirectly determined from the vibration acceleration WL (f2) of the vibration wave W.
  • the leakage vibration WO and the disturbance vibration WG are in the first frequency band f1 by indirectly using the vibration acceleration WL (f2) of the vibration wave W in the second frequency band f2. It can be easily determined whether or not they are superimposed.
  • the defect analysis apparatus 100 it is possible to easily determine that a disturbance vibration that is a vibration other than the leakage vibration WO is superimposed on the leakage vibration WO caused by the leakage of the fluid 910 from the pipe 900.
  • control device 500 outputs a vibration detection instruction signal for detecting the vibration wave W propagating through the pipe 900 or the fluid 910 flowing through the pipe 900.
  • the control device 500 outputs a frequency determination instruction signal.
  • the frequency determination instruction signal is a signal for determining a first frequency band f1 that is a frequency band due to leakage of the fluid 910 from the pipe 900 and a second frequency band f2 that is different from the first frequency band f1.
  • Control device 500 outputs a disturbance vibration determination instruction signal based on vibration acceleration WL (f2) of second frequency band f2 of vibration wave W detected according to the vibration detection instruction signal.
  • the disturbance vibration determination instruction signal is a first frequency of the vibration wave W in which a disturbance vibration WG that is vibration other than vibration (leakage vibration WO) due to leakage of the fluid 910 from the pipe 900 is detected according to the vibration detection instruction signal. It is a signal for determining whether or not it is superimposed in the band f1. Thereby, the signal processing for operating the main functions of the defect analysis apparatus 100 described above can be integrated into the control apparatus 500.
  • the processing apparatus includes a frequency determination unit 121 and a disturbance vibration determination unit 122.
  • the frequency determination unit 121 determines a first frequency band f1 that is a frequency band due to leakage of the fluid 910 from the pipe 900 and a second frequency band f2 that is different from the first frequency band f1.
  • the disturbance vibration determination unit 122 Based on the vibration acceleration WL (f2) of the second frequency band f2 of the vibration wave W, the disturbance vibration determination unit 122 detects a vibration wave in which a disturbance vibration WG that is a vibration other than the leakage vibration WO is detected by the vibration detection unit. It is determined whether or not it is superimposed on the first frequency band f1 of W.
  • the vibration wave W is a wave propagating through the pipe 900 or the fluid 910 flowing through the pipe 900.
  • Leakage vibration WO is vibration due to leakage of the fluid 910 from the pipe 900.
  • This processing apparatus also has the same effect as the defect analysis apparatus 100 described above.
  • the defect analysis method includes a vibration detection step, a frequency determination step, and a disturbance vibration presence / absence determination step.
  • the vibration detection step the vibration wave W propagating through the pipe 900 or the fluid 910 flowing through the pipe 900 is detected.
  • the frequency determination step a first frequency band f1 that is a frequency band resulting from leakage of the fluid 910 from the pipe 900 and a second frequency band f2 different from the first frequency band f1 are determined.
  • the disturbance vibration determination step based on the vibration acceleration WL (f2) of the second frequency band f2 of the vibration wave W detected in the vibration detection step, the disturbance vibration WG that is a vibration other than the leakage vibration WO is detected in the vibration detection step.
  • the storage medium according to the first embodiment of the present invention stores a program that causes a computer to perform the steps indicated in the defect analysis method described above. This storage medium also has the same effect as the defect analysis apparatus 100 described above.
  • FIG. 5 is a conceptual diagram of the defect analysis apparatus 100A according to the second embodiment of the present invention.
  • constituent elements equivalent to those shown in FIGS. 1 to 4 are given the same reference numerals as those shown in FIGS.
  • the defect analysis apparatus 100A includes a first vibration detection unit 110A, a second vibration detection unit 110B, and a processing unit 120A.
  • the first and second vibration detection units 110A and 110B and the processing unit 120A are connected by wire or wireless communication.
  • the processing unit 120A is connected to the first vibration detection unit 110A and the second vibration detection unit 110B by wire or wirelessly.
  • the processing unit 120A receives the data of the vibration wave W detected by the first or second vibration detection unit 110A or 110B.
  • the processing unit 120 ⁇ / b> A includes a frequency determination unit 121, a disturbance vibration determination unit 122, and a disturbance vibration reduction unit 123.
  • FIG. 1 and FIG. 5 are compared.
  • the processing unit 120 includes a frequency determination unit 121 and a disturbance vibration determination unit 122.
  • the processing unit 120 ⁇ / b> A includes a frequency determination unit 121, a disturbance vibration determination unit 122, and a disturbance vibration reduction unit 123. That is, FIG. 5 is different from FIG. 1 in that the processing unit 120A includes a disturbance vibration reducing unit 123.
  • the disturbance vibration reduction unit 123 When the disturbance vibration determination unit 122 determines that the disturbance vibration WG is superimposed in the first frequency band f1 of the vibration wave W, the disturbance vibration reduction unit 123 has the second frequency band f2 of the vibration wave W. Based on the vibration acceleration WL (f2), the disturbance vibration WG superimposed on the first frequency band f1 of the vibration wave W is reduced. Specifically, the disturbance vibration reducing unit 123 superimposes the disturbance vibration reducing unit 123 in the first frequency band f1 of the vibration wave W based on the peak value of the vibration acceleration WL (f2) of the second frequency band f2 of the vibration wave W. An operation is performed to subtract a predetermined value from the peak value of the disturbance vibration WG. Note that the peak value here refers to the value of the peak portion of a mountain generated in the graph when the graph of the vibration wave W is written with the horizontal axis representing the frequency and the vertical axis representing the vibration acceleration.
  • FIG. 6 is a diagram showing an operation flow of the defect analysis apparatus 100A according to the second embodiment of the present invention.
  • constituent elements equivalent to those shown in FIGS. 1 to 5 are denoted by the same reference numerals as those shown in FIGS. Further, in the description of FIG. 6, the contents overlapping with those of FIG. 2 will be briefly described.
  • the first and second vibration detection units 110A and 110B detect the first or second vibration waves W1 and W2 (S1). More specifically, the first or second vibration detection unit 110A, 110B detects the vibration propagating through the pipe 900 or the fluid 910 flowing through the pipe 900 as the first or second vibration wave W1, W2. . Then, the first or second vibration detection unit 110A or 110B transmits one of the first or second vibration wave W1 and W2 as the vibration wave W to the processing unit 120A. Next, the processing unit 120A receives the vibration wave W.
  • the frequency determination unit 121 determines a first frequency band f1 that is a frequency band due to leakage of the fluid 910 from the pipe 900 (S2).
  • the processing unit 120A determines whether or not the vibration acceleration of the first frequency band f1 of the vibration wave W1 is greater than or equal to a threshold value (S3). Specifically, the disturbance vibration determination unit 122 determines whether or not the vibration acceleration WL (f1) in the first frequency band f1 of the vibration wave W1 is greater than or equal to the threshold WL-0 (f1) (S3).
  • FIG. 7 is a conceptual diagram for explaining the operation of the disturbance vibration determination unit 122 and the disturbance vibration reduction unit 123.
  • 7A to 7D the vibration acceleration is set on the vertical axis and the frequency is set on the horizontal axis.
  • 7A to 7C are the same as FIGS. 3A to 3C.
  • FIG. 7A is a diagram showing an example of the vibration wave W detected by the first or second vibration detection unit 110A or 110B, particularly including the vicinity of the first frequency band f1.
  • FIGS. 7B and 7C are examples of the vibration wave W detected by the first or second vibration detectors 110A and 110B, and in particular, the first frequency band f1 and the second frequency band f2. It is a figure which shows what includes the vicinity.
  • FIG. 7B shows an example in which the disturbance vibration WG is included in the second frequency band f2.
  • FIG. 7C shows an example in which the disturbance vibration WG is not included in the second frequency band f2.
  • FIG. 7A is a diagram showing an example of the vibration wave W detected by the first or second vibration detection unit 110A or 110B, particularly including the vicinity of the first frequency band f1.
  • FIGS. 7B and 7C are examples of the vibration wave W detected by the first or second vibration detectors 110A and 110B, and in particular, the first frequency band f1 and the second frequency band f
  • the first frequency band f1 is a frequency band caused by the leakage of the fluid 910 from the pipe 900.
  • the first frequency band f1 is also referred to as a leakage vibration band.
  • the disturbance vibration determination unit 122 compares the vibration acceleration WL (f1) of the first frequency band f1 of the vibration wave W1 with the threshold WL-0 (f1). Then, as shown in FIG. 6, when the disturbance vibration determination unit 122 determines that the vibration acceleration WL (f1) of the first frequency band f1 of the vibration wave W1 is equal to or greater than the threshold WL-0 (f1). (S3, YES), the frequency determination unit 121 determines a second frequency band f2 different from the first frequency band f1 (S4).
  • the processing unit 120A determines that there is no leakage in the pipe 900 (S5). Then, the process returns to S1.
  • the disturbance vibration determination unit 122 determines that the vibration acceleration WL (f2) of the vibration wave W in the second frequency band f2 is a predetermined threshold WL. It is determined whether or not ⁇ 0 (f2) or more (S6).
  • the disturbance vibration reducing unit 123 determines the first frequency of the vibration wave W based on the vibration acceleration WL (f2) of the second frequency band f2 of the vibration wave W.
  • the vibration acceleration of the vibration wave W in the band f1 is reduced (S10).
  • the disturbance vibration reducing unit 123 performs the first vibration wave W first based on the vibration acceleration WL (f2) of the second frequency band f2 of the vibration wave W.
  • the disturbance vibration WG superimposed in the frequency band f1 is reduced.
  • the defect analysis apparatus 100A can reduce the vibration acceleration of the disturbance vibration WG included in the vibration wave W in the first frequency band f1 which is a frequency band caused by the leakage of the fluid 910 from the pipe 900.
  • the defect analysis apparatus 100A can obtain the leakage vibration WO in which the influence of the disturbance vibration WG is reduced in the first frequency band f1, which is the frequency band resulting from the leakage of the fluid 910 from the pipe 900.
  • the disturbance vibration determination unit 122 determines that the vibration acceleration WL (f2) of the second frequency band f2 of the vibration wave W is not equal to or greater than the predetermined threshold WL-0 (f2) (S6 in FIG. 6, NO ).
  • the disturbance vibration determination unit 122 determines that the disturbance vibration WG, which is vibration other than the leakage vibration WO, is not superimposed on the first frequency band f1 of the vibration wave W, and the processing unit 120A leaks into the pipe 900. It is determined that there is (S12).
  • the disturbance vibration determination unit 122 again determines whether the vibration acceleration WL (f1) of the first frequency band f1 of the vibration wave W1 is greater than or equal to the threshold WL-0 (f1), similar to the process of S3. It is determined whether or not (S11).
  • the processing unit 120A determines that there is a leak in the pipe 900 (S12).
  • the processing unit 120A determines that there is no leakage in the pipe 900 (S13). Then, the process returns to S1.
  • defect analysis apparatus 100A The operation of the defect analysis apparatus 100A according to the second embodiment of the present invention has been described above.
  • a control device 500A for inputting / outputting signals among the first or second vibration detection units 110A and 110B, the frequency determination unit 121, the disturbance vibration determination unit 122, and the disturbance vibration reduction unit 123 is newly provided. May be.
  • FIG. 8 is a diagram illustrating a signal output relationship of the control device 500A. As illustrated in FIG. 8, the control device 500A outputs a vibration detection instruction signal to the first or second vibration detection unit 110A or 110B.
  • the vibration detection instruction signal is a signal for detecting the vibration wave W propagating through the pipe 900 or the fluid 910 flowing in the pipe 900.
  • Control device 500A outputs a frequency determination instruction signal to frequency determination unit 121.
  • the frequency determination instruction signal is a signal for determining a first frequency band f1 that is a frequency band due to leakage of the fluid 910 from the pipe 900 and a second frequency band f2 that is different from the first frequency band f1.
  • Control device 500A outputs a disturbance vibration determination instruction signal to disturbance vibration determination unit 122 based on vibration acceleration WL (f2) of second frequency band f2 of vibration wave W detected according to the vibration detection instruction signal.
  • the disturbance vibration determination instruction signal is a first frequency of the vibration wave W in which a disturbance vibration WG that is vibration other than vibration (leakage vibration WO) due to leakage of the fluid 910 from the pipe 900 is detected according to the vibration detection instruction signal. It is a signal for determining whether or not it is superimposed in the band f1.
  • the disturbance reduction instruction signal is a signal for reducing the disturbance vibration WG superimposed in the first frequency band f1 of the vibration wave W detected according to the vibration detection instruction signal.
  • the defect analysis apparatus 100A further includes the disturbance vibration reducing unit 123 (disturbance vibration reducing means).
  • the disturbance vibration determination unit 122 determines that the disturbance vibration WG is superimposed on the first frequency band f1 of the vibration wave W
  • the disturbance vibration reduction unit 123 sets the second vibration of the vibration wave W in the second frequency band f2. Based on the vibration acceleration WL (f2), the disturbance vibration WG superimposed on the first frequency band f1 of the vibration wave W is reduced.
  • the disturbance vibration reduction unit 123 determines the first frequency of the vibration wave W based on the vibration acceleration WL (f2) of the second frequency band f2 of the vibration wave W according to the determination result of the disturbance vibration determination unit 122.
  • the disturbance vibration WG superimposed in the band f1 is reduced.
  • the defect analysis apparatus 100A can easily reduce the vibration acceleration of the disturbance vibration WG included in the vibration wave W in the first frequency band f1, which is the frequency band caused by the leakage of the fluid 910 from the pipe 900.
  • the defect analysis apparatus 100A can obtain the leakage vibration WO in which the influence of the disturbance vibration WG is reduced in the first frequency band f1, which is the frequency band resulting from the leakage of the fluid 910 from the pipe 900. .
  • control device 500A in the second embodiment of the present invention outputs a vibration detection instruction signal.
  • the vibration detection instruction signal is a signal for detecting the vibration wave W propagating through the pipe 900 or the fluid 910 flowing in the pipe 900.
  • Control device 500A outputs a frequency determination signal.
  • the frequency determination signal is a signal for determining a first frequency band f1 which is a frequency band resulting from leakage of the fluid 910 from the pipe 900 and a second frequency band f2 different from the first frequency band f1.
  • Control device 500A outputs a disturbance vibration determination signal based on vibration acceleration WL (f2) of second frequency band f2 of vibration wave W detected according to the vibration detection instruction signal.
  • the disturbance vibration determination signal is a first frequency band of the vibration wave W in which the disturbance vibration WG, which is vibration other than vibration due to leakage of the fluid 910 from the pipe 900 (leakage vibration WO), is detected according to the vibration detection instruction signal. It is a signal for determining whether or not it is superimposed in f1.
  • the vibration detected according to the vibration detection instruction signal Based on the vibration acceleration WL (f2) of the second frequency band f2 of the wave W, a disturbance reduction instruction signal is output.
  • the disturbance reduction instruction signal is a signal for reducing the disturbance vibration WG superimposed in the first frequency band f1 of the vibration wave W detected according to the vibration detection instruction signal.
  • FIG. 9 is a conceptual diagram of the defect analysis apparatus 100B according to the third embodiment of the present invention.
  • components equivalent to those shown in FIGS. 1 to 8 are given the same reference numerals as those shown in FIGS.
  • the defect analysis apparatus 100B includes a first vibration detection unit 110A, a second vibration detection unit 110B, and a processing unit 120B.
  • the first and second vibration detection units 110A and 110B and the processing unit 120B are connected for communication by wire or wirelessly.
  • the processing unit 120B is connected to the first vibration detection unit 110A and the second vibration detection unit 110B by wire or wirelessly.
  • the processing unit 120B receives the data of the vibration wave W detected by the first or second vibration detection unit 110A or 110B.
  • the processing unit 120 ⁇ / b> B includes a frequency determination unit 121, a disturbance vibration determination unit 122, and a temperature detection unit 124.
  • FIG. 1 and FIG. 9 are compared.
  • the processing unit 120 includes a frequency determination unit 121 and a disturbance vibration determination unit 122.
  • the processing unit 120 ⁇ / b> B includes a frequency determination unit 121, a disturbance vibration determination unit 122, and a temperature detection unit 124. That is, FIG. 9 is different from FIG. 1 in that the processing unit 120B includes the temperature detection unit 124.
  • the temperature detection unit 124 is included in the processing unit 120B.
  • the temperature detection unit 124 detects the temperature of the pipe 900 or the fluid 910 flowing through the pipe 900.
  • FIG. 10 is a diagram showing an operation flow of the defect analysis apparatus 100B according to the third embodiment of the present invention.
  • constituent elements equivalent to those shown in FIGS. 1 to 9 are given the same reference numerals as those shown in FIGS. Further, in the description of FIG. 10, the contents overlapping with those of FIG. 2 will be briefly described.
  • the first and second vibration detection units 110A and 110B detect the first or second vibration waves W1 and W2 (S1). More specifically, the first or second vibration detection unit 110A, 110B detects the vibration propagating through the pipe 900 or the fluid 910 flowing through the pipe 900 as the first or second vibration wave W1, W2. . Then, the first or second vibration detection unit 110A or 110B transmits one of the first or second vibration wave W1 and W2 as the vibration wave W to the processing unit 120B. Next, the processing unit 120B receives the vibration wave W.
  • the frequency determination unit 121 determines a first frequency band f1 that is a frequency band due to leakage of the fluid 910 from the pipe 900 (S2).
  • the processing unit 120 determines whether or not the vibration acceleration of the first frequency band f1 of the vibration wave W1 is greater than or equal to a threshold value (S3). More specifically, the disturbance vibration determination unit 122 determines whether or not the vibration acceleration WL (f1) in the first frequency band f1 of the vibration wave W1 is equal to or greater than the threshold WL-0 (f1) (S3). .
  • the disturbance vibration determination unit 122 compares the vibration acceleration WL (f1) of the first frequency band f1 of the vibration wave W1 with the threshold WL-0 (f1). Then, as shown in FIG. 10, when the disturbance vibration determination unit 122 determines that the vibration acceleration WL (f1) of the first frequency band f1 of the vibration wave W1 is equal to or greater than the threshold WL-0 (f1). (S3, YES), the frequency determination unit 121 determines a second frequency band f2 different from the first frequency band f1 (S4).
  • the disturbance vibration determination unit 122 determines that the vibration acceleration WL (f1) in the first frequency band f1 of the vibration wave W1 is not equal to or greater than the threshold WL-0 (f1) (S3, NO), the disturbance vibration determination The part 122 determines that there is no leakage in the pipe 900 (S5). Then, the process returns to S1.
  • the disturbance vibration determination unit 122 determines that the vibration acceleration WL (f2) of the vibration wave W in the second frequency band f2 is a predetermined threshold WL. It is determined whether or not ⁇ 0 (f2) or more (S6).
  • the disturbance vibration determination unit 122 when the vibration acceleration WL (f2) of the second frequency band f2 of the vibration wave W is equal to or greater than a predetermined threshold WL-0 (f2), the disturbance vibration determination unit 122 (S6 in FIG. 10, YES), the disturbance vibration determination unit 122 superimposes a disturbance vibration WG that is a vibration other than the leakage vibration WO in the first frequency band f1 of the vibration wave W. (S7). This process corresponds to the first process of the present invention.
  • the disturbance vibration determination unit 122 detects the temperature of the pipe 900 or the fluid 910 flowing through the pipe 900 (S13).
  • the disturbance vibration determination unit 122 performs the first frequency band of the vibration wave W when the temperature detected by the temperature detection unit 124 changes in the process of S13. It is determined whether or not the vibration acceleration or frequency of f1 changes by a predetermined value or more (S14).
  • the predetermined value can be arbitrarily set.
  • the disturbance vibration determination unit 122 determines that the disturbance (S14, YES), the disturbance The vibration determination unit 122 determines that the disturbance vibration WG, which is vibration other than the leakage vibration WO, is superimposed on the first frequency band f1 of the vibration wave W (S7).
  • the disturbance vibration determination unit 122 determines that the vibration acceleration or frequency of the first frequency band f1 of the vibration wave W does not change when the temperature detected by the temperature detection unit 124 changes (S14, NO) ).
  • the disturbance vibration determination unit 122 determines that the disturbance vibration WG, which is a vibration other than the leakage vibration WO, is not superimposed within the first frequency band f1 of the vibration wave W, and determines that the pipe 900 has a leak. (S15).
  • FIG. 11 is a diagram showing an example of the relationship between the frequency and amplitude acceleration of the fluid vibration when a temperature change is given to the fluid 910.
  • the vibration acceleration and frequency of the fluid vibration change. Specifically, when the temperature of the fluid 910 is changed from T1 to T2, the amplitude acceleration decreases and the frequency increases.
  • the disturbance vibration WG is independent of the temperature of the fluid 910. For this reason, even if a temperature change is given to the fluid 910, the disturbance vibration WG does not change.
  • the disturbance vibration determination unit 122 performs the processes of S13 to S15.
  • defect analysis apparatus 100B The operation of the defect analysis apparatus 100B according to the third embodiment of the present invention has been described above.
  • a control device 500B that inputs and outputs signals between the first or second vibration detection units 110A and 110B, the frequency determination unit 121, the disturbance vibration determination unit 122, and the temperature detection unit 124 is newly provided. Also good.
  • FIG. 12 is a diagram illustrating a signal output relationship of the control device 500B. As illustrated in FIG. 12, the control device 500B outputs a vibration detection instruction signal to the first or second vibration detection unit 110A or 110B.
  • the vibration detection instruction signal is a signal for detecting the vibration wave W propagating through the pipe 900 or the fluid 910 flowing in the pipe 900.
  • Control device 500B outputs a frequency determination instruction signal to frequency determination unit 121.
  • the frequency determination instruction signal is a signal for determining a first frequency band f1 that is a frequency band due to leakage of the fluid 910 from the pipe 900 and a second frequency band f2 that is different from the first frequency band f1.
  • Control device 500B outputs a temperature detection instruction signal to temperature detection unit 124.
  • the temperature detection instruction signal is a signal for detecting the temperature of the pipe 900 or the fluid 910 flowing in the pipe 900.
  • the control device 500B outputs a first process execution instruction signal for executing the first process and a second process execution instruction signal for executing the second process to the disturbance vibration determination unit 122.
  • the first process determines whether or not the disturbance vibration WG is superimposed in the first frequency band f1 of the vibration wave W detected by the vibration detection unit based on the first process criterion. It is processing.
  • the first processing criterion is that the vibration acceleration WL (f2) of the second frequency band f2 of the vibration wave W detected by the vibration detection unit (the first vibration detection units 110A and 110B) is a predetermined threshold WL. Whether it exceeds ⁇ 0 (f2).
  • the second process is performed when it is determined in the first process that the disturbance vibration WG is not superimposed on the first frequency band f1 of the vibration wave W detected by the vibration detection unit.
  • the second process is a process for determining whether or not the disturbance vibration WG is superimposed on the first frequency band f1 of the vibration wave W detected by the vibration detection unit based on the second processing criterion.
  • the second processing standard is that the vibration acceleration or frequency in the first frequency band f1 of the vibration wave W detected by the vibration detection unit when the temperature detected by the temperature detection unit 124 changes is a predetermined value. Whether it changes or not.
  • the defect analysis apparatus 100B includes the temperature detection unit 124 (temperature detection means).
  • the temperature detection unit 124 detects the temperature of the pipe 900 or the fluid 910 flowing through the pipe 900. Further, the disturbance vibration determination unit 122 executes the following first process and second process.
  • the first process determines whether or not the disturbance vibration WG is superimposed on the first frequency band f1 of the vibration wave W detected by the vibration detection unit, based on a first processing criterion described later. It is processing to do.
  • the first processing criterion is that the vibration acceleration WL (f2) in the second frequency band f2 of the vibration wave W detected by the vibration detection unit (first vibration detection unit 110A, 110B) is a predetermined threshold WL-0 ( Whether or not f2) is exceeded.
  • the second process described later is performed.
  • This is a process for determining whether or not the disturbance vibration WG is superimposed on the first frequency band f1 of the vibration wave W detected by the vibration detection unit based on the processing standard.
  • the second processing criterion is that the vibration acceleration or frequency of the first frequency band f1 of the vibration wave W detected by the vibration detection unit changes by a predetermined value or more when the temperature detected by the temperature detection unit 124 changes. Whether or not.
  • the first and second processes are performed to determine whether or not the disturbance vibration WG is superimposed on the first frequency band f1 of the vibration wave W detected by the vibration detection unit. Two stages of processing are set. Thereby, it can be determined more accurately whether the disturbance vibration WG is superimposed on the first frequency band f1 of the vibration wave W detected by the vibration detection unit.
  • control device 500B outputs a vibration detection instruction signal for detecting the vibration wave W propagating through the pipe 900 or the fluid 910 flowing through the pipe 900.
  • Control device 500B outputs a frequency determination instruction signal.
  • the frequency determination instruction signal is a signal for determining a first frequency band f1 that is a frequency band due to leakage of the fluid 910 from the pipe 900 and a second frequency band f2 that is different from the first frequency band f1.
  • the control device 500B outputs a temperature detection instruction signal for detecting the temperature of the pipe 900 or the fluid 910 flowing in the pipe 900.
  • the control device 500B outputs a first process execution instruction signal for executing the first process and a second process execution instruction signal for executing the second process.
  • the first process determines whether or not the disturbance vibration WG is superimposed on the first frequency band f1 of the vibration wave W detected by the vibration detection unit, based on a first process criterion described later. It is processing to do.
  • the first processing criterion is that the vibration acceleration WL (f2) in the second frequency band f2 of the vibration wave W detected by the vibration detection unit (first vibration detection unit 110A, 110B) is a predetermined threshold WL-0 ( Whether or not f2) is exceeded.
  • the second process described later is performed.
  • This is a process for determining whether or not the disturbance vibration WG is superimposed on the first frequency band f1 of the vibration wave W detected by the vibration detection unit based on the processing standard.
  • the second processing criterion is that the vibration acceleration or frequency of the first frequency band f1 of the vibration wave W detected by the vibration detection unit changes by a predetermined value or more when the temperature detected by the temperature detection unit 124 changes. Whether or not.
  • FIG. 13 is a conceptual diagram of a defect analysis apparatus 100C according to the fourth embodiment of the present invention.
  • constituent elements equivalent to those shown in FIGS. 1 to 12 are given the same reference numerals as those shown in FIGS.
  • the defect analysis apparatus 100C includes a first vibration detection unit 110A, a second vibration detection unit 110B, and a processing unit 120C.
  • the first and second vibration detection units 110A and 110B and the processing unit 120C are connected for communication by wire or wirelessly.
  • the processing unit 120C is connected to the first vibration detection unit 110A and the second vibration detection unit 110B by wire or wirelessly.
  • the processing unit 120C receives data of the vibration wave W detected by the first or second vibration detection unit 110A or 110B.
  • the processing unit 120 ⁇ / b> C includes a frequency determination unit 121, a disturbance vibration determination unit 122, and a pressure detection unit 125.
  • FIG. 1 and FIG. 13 are compared.
  • the processing unit 120 includes a frequency determination unit 121 and a disturbance vibration determination unit 122.
  • the processing unit 120 ⁇ / b> C includes a frequency determination unit 121, a disturbance vibration determination unit 122, and a pressure detection unit 125. That is, FIG. 13 is different from FIG. 1 in that the processing unit 120 ⁇ / b> C has a pressure detection unit 125.
  • the pressure detection unit 125 is included in the processing unit 120C.
  • the pressure detection unit 125 detects the pressure of the pipe 900 or the fluid 910 flowing through the pipe 900.
  • FIG. 14 is a diagram showing an operation flow of the defect analysis apparatus 100C according to the fourth embodiment of the present invention.
  • the same components as those shown in FIGS. 1 to 13 are denoted by the same reference numerals as those shown in FIGS. Further, in the description of FIG. 14, the content overlapping with the description of FIG. 2 will be briefly described.
  • the first and second vibration detection units 110A and 110B detect the first or second vibration waves W1 and W2 (S1). More specifically, the first or second vibration detection unit 110A, 110B detects the vibration propagating through the pipe 900 or the fluid 910 flowing through the pipe 900 as the first or second vibration wave W1, W2. . Then, the first or second vibration detection unit 110A or 110B transmits one of the first or second vibration wave W1 and W2 as the vibration wave W to the processing unit 120C. Next, the processing unit 120C receives the vibration wave W.
  • the frequency determination unit 121 determines a first frequency band f1 that is a frequency band due to leakage of the fluid 910 from the pipe 900 (S2).
  • the processing unit 120C determines whether or not the vibration acceleration of the first frequency band f1 of the vibration wave W1 is greater than or equal to a threshold value (S3). Specifically, the disturbance vibration determination unit 122 determines whether or not the vibration acceleration WL (f1) in the first frequency band f1 of the vibration wave W1 is greater than or equal to the threshold WL-0 (f1) (S3).
  • the disturbance vibration determination unit 122 compares the vibration acceleration WL (f1) of the first frequency band f1 of the vibration wave W1 with the threshold WL-0 (f1). Then, as shown in FIG. 14, when the disturbance vibration determination unit 122 determines that the vibration acceleration WL (f1) of the first frequency band f1 of the vibration wave W1 is equal to or greater than the threshold WL-0 (f1). (S3, YES), the frequency determination unit 121 determines a second frequency band f2 different from the first frequency band f1 (S4).
  • the disturbance vibration determination unit 122 determines that the vibration acceleration WL (f1) in the first frequency band f1 of the vibration wave W1 is not equal to or greater than the threshold WL-0 (f1) (S3, NO), the disturbance vibration determination The part 122 determines that there is no leakage in the pipe 900 (S5). Then, the process returns to S1.
  • the disturbance vibration determination unit 122 determines that the vibration acceleration WL (f2) of the vibration wave W in the second frequency band f2 is a predetermined threshold WL. It is determined whether or not ⁇ 0 (f2) or more (S6).
  • the disturbance vibration determination unit 122 when the vibration acceleration WL (f2) of the second frequency band f2 of the vibration wave W is equal to or greater than a predetermined threshold WL-0 (f2), the disturbance vibration determination unit 122 (S6 in FIG. 14, YES), the disturbance vibration determination unit 122 superimposes a disturbance vibration WG that is a vibration other than the leakage vibration WO in the first frequency band f1 of the vibration wave W. (S7). This process corresponds to the first process of the present invention.
  • the disturbance vibration determination unit 122 detects the pressure of the pipe 900 or the fluid 910 flowing through the pipe 900 (S16).
  • the disturbance vibration determination unit 122 performs the first frequency band of the vibration wave W when the pressure detected by the pressure detection unit 125 changes in the process of S16. It is determined whether or not the vibration acceleration or frequency of f1 changes by a predetermined value or more (S17). This process corresponds to the third process of the present invention.
  • the disturbance vibration determination unit 122 determines that the disturbance (S17, YES), the disturbance The vibration determination unit 122 determines that the disturbance vibration WG, which is vibration other than the leakage vibration WO, is superimposed in the first frequency band f1 of the vibration wave W (S7).
  • the disturbance vibration determination unit 122 determines that the vibration acceleration or frequency of the first frequency band f1 of the vibration wave W does not change when the temperature detected by the pressure detection unit 125 changes (S17, NO) ).
  • the disturbance vibration determination unit 122 determines that the disturbance vibration WG, which is a vibration other than the leakage vibration WO, is not superimposed within the first frequency band f1 of the vibration wave W, and determines that the pipe 900 has a leak. (S18).
  • FIG. 15 is a diagram showing an example of the relationship between the frequency of fluid vibration and the vibration acceleration when different pressures are applied to the fluid 910.
  • the amplitude and frequency of the fluid vibration change. Specifically, when the pressure applied to the fluid 910 is changed from P1 to P2, the vibration acceleration decreases and the frequency increases.
  • the disturbance vibration WG is independent of the temperature of the fluid 910. For this reason, even if different temperature changes are given to the fluid 910, the disturbance vibration WG does not change.
  • the disturbance vibration determination unit 122 executes the processes of S16 to S18.
  • defect analysis apparatus 100C The operation of the defect analysis apparatus 100C according to the fourth embodiment of the present invention has been described above.
  • a control device 500C that inputs and outputs signals between the first or second vibration detection units 110A and 110B, the frequency determination unit 121, the disturbance vibration determination unit 122, and the pressure detection unit 125 may be newly provided. .
  • FIG. 16 is a diagram illustrating a signal output relationship of the control device 500C. As illustrated in FIG. 16, the control device 500C causes the first or second vibration detection unit 110A or 110B to detect the vibration wave W propagating through the pipe 900 or the fluid 910 flowing through the pipe 900. An instruction signal is output.
  • the control device 500C receives a frequency determination instruction signal for determining a first frequency band f1 that is a frequency band due to leakage of the fluid 910 from the pipe 900 and a second frequency band f2 that is different from the first frequency band f1. And output to the frequency determination unit 121.
  • the control device 500C outputs a pressure detection instruction signal for detecting the pressure of the pipe 900 or the fluid 910 flowing in the pipe 900 to the pressure detection unit 125.
  • the control device 500C outputs a first process execution instruction signal for executing the first process and a second process execution instruction signal for executing the third process to the disturbance vibration determination unit 122.
  • the first process is a process of determining whether or not the disturbance vibration WG is superimposed on the first frequency band f1 of the vibration wave W detected by the vibration detection unit based on the first processing standard. It is.
  • the first processing criterion is that the vibration acceleration WL (f2) in the second frequency band f2 of the vibration wave W detected by the vibration detection unit (first vibration detection unit 110A, 110B) is a predetermined threshold WL-0 ( Whether or not f2) is exceeded.
  • the third process is the third process when it is determined in the first process that the disturbance vibration WG is not superimposed on the first frequency band f1 of the vibration wave W detected by the vibration detection unit. This is a process for determining whether or not the disturbance vibration WG is superimposed on the first frequency band f1 of the vibration wave W detected by the vibration detection unit based on the reference.
  • the third processing criterion is that the vibration acceleration or frequency of the first frequency band f1 of the vibration wave W detected by the vibration detection unit changes by a predetermined value or more when the pressure detected by the pressure detection unit 125 changes. Whether or not.
  • the defect analysis apparatus 100C includes the pressure detection unit 125 (pressure detection means).
  • the pressure detection unit 125 detects the pressure of the pipe 900 or the fluid 910 flowing through the pipe 900. Further, the disturbance vibration determination unit 122 executes the following first process and third process.
  • the first processing criterion is that the vibration acceleration WL (f2) in the second frequency band f2 of the vibration wave W detected by the vibration detection unit (first vibration detection unit 110A, 110B) is a predetermined threshold WL-0 ( Whether or not f2) is exceeded.
  • the third process is the third process when it is determined in the first process that the disturbance vibration WG is not superimposed on the first frequency band f1 of the vibration wave W detected by the vibration detection unit. This is a process for determining whether or not the disturbance vibration WG is superimposed on the first frequency band f1 of the vibration wave W detected by the vibration detection unit based on the reference.
  • the third processing criterion is that the vibration acceleration or frequency of the first frequency band f1 of the vibration wave W detected by the vibration detection unit changes by a predetermined value or more when the pressure detected by the pressure detection unit 125 changes. Whether or not.
  • the first and third processes for determining whether or not the disturbance vibration WG is superimposed on the first frequency band f1 of the vibration wave W detected by the vibration detection unit. are set in two stages. Thereby, it can be determined more accurately whether the disturbance vibration WG is superimposed on the first frequency band f1 of the vibration wave W detected by the vibration detection unit.
  • control device 500C outputs a vibration detection instruction signal for detecting the vibration wave W propagating through the pipe 900 or the fluid 910 flowing through the pipe 900.
  • the control device 500C receives a frequency determination instruction signal for determining a first frequency band f1 that is a frequency band due to leakage of the fluid 910 from the pipe 900 and a second frequency band f2 that is different from the first frequency band f1. Output.
  • the control device 500C outputs a pressure detection instruction signal for detecting the pressure of the pipe 900 or the fluid 910 flowing in the pipe 900.
  • the control device 500C outputs a first process execution instruction signal for executing the first process and a third process execution instruction signal for executing the third process.
  • the first process determines whether or not the disturbance vibration WG is superimposed on the first frequency band f1 of the vibration wave W detected according to the vibration detection instruction signal based on the first processing criterion. It is processing.
  • the first processing criterion is whether or not the vibration acceleration WL (f2) in the second frequency band f2 of the vibration wave W detected according to the vibration detection instruction signal exceeds a predetermined threshold WL-0 (f2).
  • the third processing criterion is that the vibration acceleration or frequency of the first frequency band f1 of the vibration wave W detected according to the vibration detection instruction signal changes by a predetermined value or more when the pressure detected according to the pressure detection instruction signal changes. Whether to do it.
  • FIG. 17 is a diagram showing a vibration wave W when a plurality of second frequency bands f2 are provided.
  • a disturbance vibration WG is included in each of the plurality of second frequency bands f2.
  • the first frequency band f1 is a frequency band caused by the leakage of the fluid 910 from the pipe 900.
  • the first frequency band f1 is also referred to as a leakage vibration band.
  • two second frequency bands f2 (part 1) and (part 2) are shown.
  • the vibration wave W it is assumed that the wave in the second frequency band f2 (part 1) and the wave in the first frequency band f1 are correlated with each other.
  • the wave in the second frequency band f2 (part 2) and the wave in the first frequency band f1 are correlated with each other.
  • the disturbance vibration determines whether one of the vibration accelerations (for example, WL (f2) a and WL (f2) b) in the plurality of second frequency bands f2 is equal to or greater than a predetermined threshold WL-0 (f2). By determining by the determination unit 122, the next process is selected.
  • the case where two second frequency bands f2 are provided has been described with reference to FIG. On the other hand, three or more second frequency bands f2 may be provided.
  • the disturbance vibration determination unit 122 determines A process is selected. Further, the disturbance vibration determination unit 122 determines whether or not all vibration accelerations of the plurality of second frequency bands f2 of the vibration wave W are equal to or greater than a predetermined threshold WL-0 (f2), whereby the following processing is performed. May be selected.
  • the apparatus according to each embodiment of the present invention can be realized by a CPU (Central Processing Unit) of an arbitrary computer, a memory, and a program loaded in the memory.
  • the program includes a program stored in the memory from the stage of shipping the device in advance, a program downloaded from a storage medium such as a CD (Compact Disc), a server on the Internet, or the like.
  • the apparatus of each embodiment of the present invention is also realized by an arbitrary combination of hardware and software, mainly a storage unit such as a hard disk for storing the program and a network connection interface. It will be understood by those skilled in the art that there are various modifications to the implementation method and apparatus.
  • each device is described as being realized by one device, but the means for realizing it is not limited to this. That is, it may be a physically separated configuration or a logically separated configuration.

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Abstract

振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂは、配管９００または配管９００内を流れる流体９１０を伝搬する振動波Ｗを検出する。周波数決定部１２１は、配管からの流体の漏洩に起因する第１の周波数帯ｆ１と、第１の周波数帯ｆ１と異なる第２の周波数帯ｆ２を決定する。外乱振動判定部１２２は、振動検出部により検出された振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）に基づいて、漏洩振動ＷＯ以外の振動である外乱振動ＷＧが、振動検出部により検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳しているか否かを判定する。ここで、漏洩振動ＷＯは、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する振動である。これにより、配管からの流体の漏洩によって生じる漏洩振動に、漏洩振動以外の振動である外乱振動が重畳したことを容易に判定できる。

Description

欠陥分析装置、欠陥分析方法および記憶媒体
　本発明は、欠陥分析装置等に関し、例えば、配管から流体が漏洩しているか否かを検出するものに関する。
　近年、多数の配管が地中等に配置されている。配管が経年劣化等することにより、配管内を流れる流体が配管外へ漏洩する場合がある。
　配管からの流体の漏洩を検査する方法として、例えば、相関法による漏洩検査が知られている。この検査方法では、まず、欠陥部を両側で挟むように、一対の振動センサを、所定の距離を隔てて配管に配置する。漏洩によって生じる振動音（漏洩振動）は配管を伝搬する。この漏洩によって生じる振動音が一対の振動センサの各々に到達する時間を測定する。そして、振動の到達時間の２つの測定値の差分（振動の到達時間差）と、音速の積から、流体漏洩位置を推測する。このとき、振動の到達時間差の算出では、時系列データの相互相関関数を算出し、当該関数の最大値となる時間を用いる。
　なお、関連する発明として、例えば、特許文献１には、流体の圧力を変更した際に変動する漏洩振動のパワースペクトルの周波数帯を検出し、当該周波数帯で検出した信号を相関処理することで、漏洩位置を特定する技術が開示されている。
特開２００５－２６５６６３号公報
　ここで、前述の背景技術では、一対の振動センサは、漏洩振動だけでなく、漏洩振動以外の外乱振動を含んで、振動を検出する場合がある。この場合、一対の振動センサは漏洩振動を正確に検出できないため、振動の到達時間差も正確に算出されない。この結果、流体漏洩位置を正確に特定できない。したがって、より正確に流体漏洩位置を特定するためには、外乱振動が漏洩振動に重畳したことを判定しなければならないという問題があった。
　なお、外乱には、突発的に混入する外乱である非定常外乱と、常に存在する外乱である定常外乱が、知られている。非定常外乱および定常外乱のうち、特に定常外乱が漏洩振動に混入したことを判定することが困難である。
　本発明は、このような事情を鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、配管からの流体の漏洩によって生じる漏洩振動に、漏洩振動以外の振動である外乱振動が重畳したことを容易に判定することができる欠陥分析装置を提供することにある。
　本発明の欠陥分析装置は配管または前記配管内を流れる流体を伝搬する振動波を検出する振動検出手段と、前記配管からの前記流体の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯と、前記第１の周波数帯と異なる第２の周波数帯を決定する周波数決定手段と、前記振動検出手段により検出された前記振動波の前記第２の周波数帯の振動加速度に基づいて、前記配管からの前記流体の漏洩に起因する振動以外の振動である外乱振動が、前記振動検出手段により検出された前記振動波の前記第１の周波数帯内に重畳しているか否かを判定する外乱振動判定手段とを備えている。
　本発明の制御装置は、配管または前記配管内を流れる流体を伝搬する振動波を検出させる振動検出指示信号を出力し、前記配管からの前記流体の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯と、前記第１の周波数帯と異なる第２の周波数帯を決定させる周波数決定指示信号を出力し、前記振動検出指示信号に従って検出される前記振動波の前記第２の周波数帯の振動加速度に基づいて、前記配管からの前記流体の漏洩に起因する振動以外の振動である外乱振動が、前記振動検出指示信号に従って検出される前記振動波の前記第１の周波数帯内に重畳しているか否かを判定させる外乱振動判定指示信号を出力する。
　本発明の処理装置は、配管からの流体の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯と、前記第１の周波数帯と異なる第２の周波数帯を決定する周波数決定手段と、前記配管または前記配管内を流れる流体を伝搬する振動波の前記第２の周波数帯の振動加速度に基づいて、前記配管からの前記流体の漏洩に起因する振動以外の振動である外乱振動が、前記振動検出手段により検出された前記振動波の前記第１の周波数帯内に重畳しているか否かを判定する外乱振動判定手段とを備えている。
　本発明の欠陥分析方法は、配管または前記配管内を流れる流体を伝搬する振動波を検出し、前記配管からの前記流体の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯と、前記第１の周波数帯と異なる第２の周波数帯を決定し、前記振動波の前記第２の周波数帯の振動加速度に基づいて、前記配管からの前記流体の漏洩に起因する振動以外の振動である外乱振動が、前記振動波の前記第１の周波数帯内に重畳しているか否かを判定する。
　本発明の記憶媒体は、配管または前記配管内を流れる流体を伝搬する振動波を検出し、前記配管からの前記流体の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯と、前記第１の周波数帯と異なる第２の周波数帯を決定し、前記振動波の前記第２の周波数帯の振動加速度に基づいて、前記配管からの前記流体の漏洩に起因する振動以外の振動である外乱振動が、前記振動波の前記第１の周波数帯内に重畳しているか否かを判定する処理をコンピュータに行わせるプログラムを記憶する。
　本発明にかかる欠陥分析装置等によれば、配管からの流体の漏洩によって生じる漏洩振動に、漏洩振動以外の振動である外乱振動が重畳したことを容易に判定することができる。
本発明の第１の実施の形態における欠陥分析装置の概念図である。 本発明の第１の実施の形態における欠陥分析装置の動作フローを示す図である。 外乱振動判定部の動作を説明するための概念図である。 本発明の第１の実施の形態における制御装置の信号出力関係を示す図である。 本発明の第２の実施の形態における欠陥分析装置の概念図である。 本発明の第２の実施の形態における欠陥分析装置の動作フローを示す図である。 外乱振動判定部および外乱振動低減部の動作を説明するための概念図である。 本発明の第２の実施の形態における制御装置の信号出力関係を示す図である。 本発明の第３の実施の形態における欠陥分析装置の概念図である。 本発明の第３の実施の形態における欠陥分析装置の動作フローを示す図である。 流体に異なる温度変化を与えた際の流体振動の周波数および振動加速度の関係の一例を示す図である。 本発明の第３の実施の形態における制御装置の信号出力関係を示す図である。 本発明の第４の実施の形態における欠陥分析装置の概念図である。 本発明の第４の実施の形態における欠陥分析装置の動作フローを示す図である。 流体に異なる圧力変化を与えた際の流体振動の周波数および振動加速度の関係の一例を示す図である。 本発明の第４の実施の形態における制御装置の信号出力関係を示す図である。 流体に異なる圧力を加えた際の流体振動の周波数および振動加速度の関係の一例を示す図である。
＜第１の実施の形態＞
　本発明の第１の実施の形態における欠陥分析装置１００の構成について説明する。
　図１は、本発明の第１の実施の形態における欠陥分析装置１００の概念図である。
　図１に示されるように、配管９００は、地中６００に埋設されている。一方、配管９００は、建造物の屋根裏や地下に設置されていてもよく、さらに、建造物の壁、柱等に埋設されていてもよい。また、流体９１０（液体または気体）は、配管９００内を流れている。漏洩孔９２０は、経年劣化や外部損傷により配管９００に形成された孔である。配管９００内を流れる流体９１０は、この漏洩孔９２０から漏洩している。
　図１に示されるように、欠陥分析装置１００は、第１の振動検出部１１０Ａと、第２の振動検出部１１０Ｂと、処理部１２０とを備えている。なお、処理部１２０は、本発明の処理装置に対応する。
　第１および第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂと、処理部１２０の間は、有線または無線により通信接続されている。
　図１に示されるように、第１の振動検出部１１０Ａおよび第２の振動検出部１１０Ｂは、配管９００または配管９００内の流体９１０（液体または気体）を伝搬する振動波Ｗを、配管９００を介して検出する。第１の振動検出部１１０Ａおよび第２の振動検出部１１０Ｂには、圧電型加速度センサ、動電型加速度センサ、静電容量型加速度センサ、光学式速度センサ、動ひずみセンサなどを用いることができる。なお、ここでは、２つの振動検出部（第１の振動検出部１１０Ａ、第２の振動検出部１１０Ｂ）を設けると説明したが、１つの振動検出部を設けてもよい。
　図１の例では、第１の振動検出部１１０Ａおよび第２の検出部１１０Ｂは、散水栓７００Ａ、７００Ｂを介して、配管９００の外壁面に取り付けられている。なお、散水栓７００Ａ、７００Ｂは、止水栓等であってもよい。第１の振動検出部１１０Ａおよび第２の振動検出部１１０Ｂは、設置箇所に常設されて常時振動を検出してもよいし、あるいは所定期間設置されて間欠的に振動を検出してもよい。
　一方、第１の振動検出部１１０Ａおよび第２の振動検出部１１０Ｂは、配管９００の内壁面に取り付けられてもよい。さらに、第１の振動検出部１１０Ａおよび第２の振動検出部１１０Ｂは、配管９００に設置されたフランジ（不図示）や、弁栓等の付属物（不図示）の外表面や内部に設置されてもよい。第１の振動検出部１１０Ａおよび第２の振動検出部１１０Ｂを配管９００や配管９００の付属物に設置する方法としては、例えば磁石の利用、専用冶具の利用、接着剤の利用が考えられる。
　図１に示されるように、処理部１２０は、第１の振動検出部１１０Ａおよび第２の振動検出部１１０Ｂに、有線または無線により、接続されている。処理部１２０は、第１または第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂにより検出された振動波Ｗのデータを受信する。また、図１に示されるように、処理部１２０は、周波数決定部１２１と、外乱振動判定部１２２とを備えている。
　周波数決定部１２１は、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯ｆ１と、第１の周波数帯ｆ１と異なる第２の周波数帯ｆ２を決定する。
　外乱振動判定部１２２は、振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）に基づいて、外乱振動ＷＧが、振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳しているか否かを判定する。なお、前記振動波Ｗは、第１または第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂにより検出された振動波である。前記外乱振動ＷＧは、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する振動（漏洩振動ＷＯ）以外の振動である。
　次に、本発明の第１の実施の形態における欠陥分析装置１００の動作について、説明する。
　図２は、本発明の第１の実施の形態における欠陥分析装置１００の動作フローを示す図である。
　図２に示されるように、まず、第１および第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂが、第１または第２の振動波Ｗ１、Ｗ２を検出する（ステップ（ＳＴＥＰ：以下、Ｓと称する）１）。より具体的には、第１または第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂが配管９００または配管９００内を流れる流体９１０を伝搬する振動を、第１または第２の振動波Ｗ１、Ｗ２として、検出する。そして、第１または第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂは、第１または第２の振動波Ｗ１、Ｗ２の一方を、振動波Ｗとして処理部１２０へ送信する。つぎに、処理部１２０が、振動波Ｗを受信する。
　次に、周波数決定部１２１は、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯ｆ１を決定する（Ｓ２）。
　次に、外乱振動判定部１２２が、振動波Ｗ１の第１の周波数帯ｆ１の振動加速度ＷＬ（ｆ１）が閾値ＷＬ－０（ｆ１）以上であるか否かを判定する（Ｓ３）。
　ここで、図３は、外乱振動判定部１２２の動作を説明するための概念図である。図３（ａ）～（ｃ）の各図では、縦軸に振動加速度を設定し、横軸に周波数を設定した。
　図３（ａ）は、第１または第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂにより検出された振動波Ｗの一例であって、特に第１の周波数帯ｆ１付近を含むものを示す図である。図３（ｂ）および（ｃ）は、第１または第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂにより検出された振動波Ｗの一例であって、特に第１の周波数帯ｆ１および第２の周波数帯ｆ２付近を含むものを示す図である。また、図３（ｂ）は、第２の周波数帯ｆ２内に外乱振動ＷＧが含まれている例を示し、図３（ｃ）は、第２の周波数帯ｆ２内に外乱振動ＷＧが含まれていない例を示す。
　図３（ｂ）において、振動波Ｗのうち、第２の周波数帯ｆ２部分の波（第２の周波数帯ｆ２に対応する波）と、第１の周波数帯ｆ１部分の波（第１の周波数帯ｆ１に対応する波）は、互いに相関があるものとする。ここで、一般的な振動は、特殊な場合を除いて、複数の周波数ピーク（周波数ピークとは、横軸を周波数、縦軸を振動加速度として振動波Ｗをグラフに表した場合に、グラフが山状になる点をいう。）を有する。この複数の周波数ピークのうち１つが第１の周波数帯（漏洩振動帯域）に重なり、もう１つが第２の周波数帯（第１の周波数帯以外）にある場合を想定している。なお、前述の通り、第１の周波数帯ｆ１は、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する周波数帯である。ここでは、第１の周波数帯ｆ１を、漏洩振動帯域とも呼ぶ。
　なお、第１の周波数帯ｆ１は、予め設定されている。第１の周波数帯ｆ１を決定する方法として、例えば、第１の振動検出部１１０Ａの所定期間の振動データから統計的な処理により決定する方法や、データベース等から読込む方法や、インパルス応答法を用いることができる。ここで、インパルス応答法は、配管９００の任意箇所をハンマ等で加振し、振動センサ（不図示。第１の振動検出部１１０Ａや第２の振動検出部１１０Ｂを含む。）等で振動特性を検出することで、第１の周波数帯ｆ１を調べる方法である。
　図３（ａ）に示されるように、外乱振動判定部１２２は、振動波Ｗ１の第１の周波数帯ｆ１の振動加速度ＷＬ（ｆ１）と、閾値ＷＬ－０（ｆ１）を比較する。そして、図２に示されるように、振動波Ｗ１の第１の周波数帯ｆ１の振動加速度ＷＬ（ｆ１）が閾値ＷＬ－０（ｆ１）以上であると、外乱振動判定部１２２により判定された場合（Ｓ３、ＹＥＳ）、周波数決定部１２１は、第１の周波数帯ｆ１と異なる第２の周波数帯ｆ２を決定する（Ｓ４）。
　なお、第２の周波数帯ｆ２を決定する方法として、例えば、欠陥分析装置１００を設置する環境を考慮して、所定のデータベースから参照してもよい。この所定のデータベースには、欠陥分析装置１００が設置される環境に応じて、適正な第２の周波数帯ｆ２が記憶されているものとする。すなわち、例えば、欠陥分析装置１００が市街地に設置される場合、自動車の走行音が発生することが考えられる。この際、所定のデータベースには、この自動車の走行音の周波数帯を考慮した第２の周波数帯ｆ２が記憶されている。
　一方、振動波Ｗ１の第１の周波数帯ｆ１の振動加速度ＷＬ（ｆ１）が閾値ＷＬ－０（ｆ１）以上でないと、外乱振動判定部１２２により判定された場合（Ｓ３、ＮＯ）、外乱振動判定部１２２は、配管９００に漏洩がないと判定する（Ｓ５）。そして、Ｓ１の処理に戻る。
　第２の周波数帯ｆ２が周波数決定部１２１により決定されると（Ｓ４）、外乱振動判定部１２２は、振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）が、所定の閾値ＷＬ－０（ｆ２）以上か否かを判定する（Ｓ６）。
　そして、図３（ｂ）に示されるように、振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）が所定の閾値ＷＬ－０（ｆ２）以上であると、外乱振動判定部１２２により判定された場合（図２のＳ６、ＹＥＳ）、外乱振動判定部１２２は、漏洩振動ＷＯ以外の振動である外乱振動ＷＧが、振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳していると判定する（Ｓ７）。
　一方、図３（ｃ）に示されるように、振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）が所定の閾値ＷＬ－０（ｆ２）以上でないと、外乱振動判定部１２２により判定された場合（図２のＳ６、ＮＯ）、外乱振動判定部１２２は、漏洩振動ＷＯ以外の振動である外乱振動ＷＧが、振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳していないと判定し、配管９００に漏洩があると判定する（Ｓ８）。
　このように、外乱振動判定部１２２は、振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）に基づいて、漏洩振動ＷＯ以外の振動である外乱振動ＷＧが、振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳しているか否かを判定する（Ｓ６～Ｓ８）。
　以上、本発明の第１の実施の形態における欠陥分析装置１００の動作について、説明した。
　なお、第１または第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂ、周波数決定部１２１および外乱振動判定部１２２との間で信号を入出力する制御装置５００を新たに設けてもよい。
　図４は、制御装置５００の信号出力関係を示す図である。図４に示されるように、制御装置５００は、第１または第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂに対して、振動検出指示信号を出力する。振動検出指示信号は、配管９００または配管９００内を流れる流体９１０を伝搬する振動波Ｗを検出させる信号である。
　制御装置５００は、周波数決定指示信号を、周波数決定部１２１へ出力する。周波数決定指示信号は、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯ｆ１と、第１の周波数帯ｆ１と異なる第２の周波数帯ｆ２を決定させる信号である。
　制御装置５００は、振動検出指示信号に従って検出される振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）に基づいて、外乱振動判定指示信号を、外乱振動判定部１２２へ出力する。外乱振動判定指示信号は、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する振動（漏洩振動ＷＯ）以外の振動である外乱振動ＷＧが、振動検出指示信号に従って検出させる振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳しているか否かを判定させる信号である。
　これにより、前述した欠陥分析装置１００の主要な機能を動作させる指示処理を、制御装置５００に集約することができる。
　以上のように、本発明の第１の実施の形態における欠陥分析装置１００は、振動検出部（振動検出手段、第１または第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂ）と、周波数決定部１２１（周波数決定手段）と、外乱振動判定部１２２（外乱振動判定手段）とを備えている。振動検出部は、配管９００または配管９００内を流れる流体９１０を伝搬する振動波Ｗを検出する。周波数決定部１２１は、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯ｆ１と、第１の周波数帯ｆ１と異なる第２の周波数帯ｆ２を決定する。外乱振動判定部１２２は、振動検出部により検出された振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）に基づいて、漏洩振動ＷＯ以外の振動である外乱振動ＷＧが、振動検出部により検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳しているか否かを判定する。ここで、漏洩振動ＷＯは、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する振動である。
　このように、周波数決定部１２１は、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯ｆ１と、第１の周波数帯ｆ１と異なる第２の周波数帯ｆ２を決定する。そして、外乱振動判定部１２２は、振動検出部により検出された振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）に基づいて、漏洩振動ＷＯ以外の振動である外乱振動ＷＧが、振動検出部により検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳しているか否かを判定する。
　すなわち、外乱振動判定部１２２は、第１の周波数帯ｆ１（配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する周波数）とは別の周波数帯である第２の周波数帯ｆ２において、振動波Ｗの振動加速度ＷＬ（ｆ２）を検出する。そして、外乱振動判定部１２３は、振動波Ｗの振動加速度ＷＬ（ｆ２）に基づいて、振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳しているか否かを判定している。
　このように、欠陥分析装置１００によれば、漏洩振動ＷＯと外乱振動ＷＧが第１の周波数帯ｆ１で重畳しているか否かを、第１の周波数帯ｆ１と異なる第２の周波数帯ｆ２における振動波Ｗの振動加速度ＷＬ（ｆ２）から、間接的に判定することができる。
　したがって、第１の周波数帯ｆ１の分析だけでは漏洩振動ＷＯと外乱振動ＷＧが重畳しているかを判定することが難しい場合であっても、第２の周波数帯ｆ２における振動波Ｗの振動加速度ＷＬ（ｆ２）を間接的に利用することで、漏洩振動ＷＯと外乱振動ＷＧが第１の周波数帯ｆ１で重畳しているか否かを容易に判定することができる。
　特に、常に存在する外乱である定常外乱が外乱振動ＷＧとして漏洩振動ＷＯに混入された場合、第１の周波数帯ｆ１（配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する周波数）に表れる振動波Ｗの分析だけでは、漏洩振動ＷＯと外乱振動ＷＧが重畳しているかを判定が困難である。このような場合であっても、第２の周波数帯ｆ２における振動波Ｗの振動加速度ＷＬ（ｆ２）を間接的に利用することによって、漏洩振動ＷＯと外乱振動ＷＧが第１の周波数帯ｆ１で重畳しているか否かを容易に判定することができる。
　したがって、欠陥分析装置１００によれば、配管９００からの流体９１０の漏洩によって生じる漏洩振動ＷＯに、漏洩振動ＷＯ以外の振動である外乱振動が重畳したことを容易に判定することができる。
　また、本発明の第１の実施の形態における制御装置５００は、配管９００または配管９００内を流れる流体９１０を伝搬する振動波Ｗを検出させる振動検出指示信号を出力する。制御装置５００は、周波数決定指示信号を出力する。周波数決定指示信号は、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯ｆ１と、第１の周波数帯ｆ１と異なる第２の周波数帯ｆ２を決定させる信号である。制御装置５００は、振動検出指示信号に従って検出される振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）に基づいて、外乱振動判定指示信号を出力する。外乱振動判定指示信号は、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する振動（漏洩振動ＷＯ）以外の振動である外乱振動ＷＧが、振動検出指示信号に従って検出される振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳しているか否かを判定させる信号である。これにより、前述した欠陥分析装置１００の主要な機能を動作させる信号処理を、制御装置５００に集約することができる。
　また、本発明の第１の実施の形態における処理装置は、周波数決定部１２１と、外乱振動判定部１２２とを備えている。周波数決定部１２１は、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯ｆ１と、第１の周波数帯ｆ１と異なる第２の周波数帯ｆ２を決定する。外乱振動判定部１２２は、振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）に基づいて、漏洩振動ＷＯ以外の振動である外乱振動ＷＧが、振動検出部により検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳しているか否かを判定する。ここで、振動波Ｗは、配管９００または配管９００内を流れる流体９１０を伝搬する波である。漏洩振動ＷＯは、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する振動である。この処理装置によっても、前述した欠陥分析装置１００と同様の効果を奏する。
　また、本発明の第１の実施の形態における欠陥分析方法は、振動検出ステップと、周波数決定ステップと、外乱振動有無判定ステップとを含んでいる。振動検出ステップでは、配管９００または配管９００内を流れる流体９１０を伝搬する振動波Ｗを検出する。周波数決定ステップでは、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯ｆ１と、第１の周波数帯ｆ１と異なる第２の周波数帯ｆ２を決定する。外乱振動判定ステップでは、振動検出ステップで検出された振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）に基づいて、漏洩振動ＷＯ以外の振動である外乱振動ＷＧが、振動検出ステップで検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳しているか否かを判定する。なお、漏洩振動ＷＯは、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する振動である。この方法によっても、前述した欠陥分析装置１００と同様の効果を奏する。また、本発明の第１の実施の形態における記憶媒体は、前述の欠陥分析方法で示したステップをコンピュータに行わせるプログラムを記憶する。この記憶媒体によっても、前述した欠陥分析装置１００と同様の効果を奏する。
　＜第２の実施の形態＞
　本発明の第２の実施の形態における欠陥分析装置１００Ａの構成について説明する。
　図５は、本発明の第２の実施の形態における欠陥分析装置１００Ａの概念図である。なお、図５では、図１～４に示した各構成要素と同等の構成要素には、図１～４に示した符号と同等の符号を付している。
　図５に示されるように、欠陥分析装置１００Ａは、第１の振動検出部１１０Ａと、第２の振動検出部１１０Ｂと、処理部１２０Ａとを備えている。
　第１および第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂと、処理部１２０Ａの間は、有線または無線により通信接続されている。
　図５に示されるように、処理部１２０Ａは、第１の振動検出部１１０Ａおよび第２の振動検出部１１０Ｂに、有線または無線により、接続されている。処理部１２０Ａは、第１または第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂにより検出された振動波Ｗのデータを受信する。
　また、図５に示されるように、処理部１２０Ａは、周波数決定部１２１と、外乱振動判定部１２２と、外乱振動低減部１２３とを備えている。
　ここで、図１と図５を対比する。図１では、処理部１２０は、周波数決定部１２１と、外乱振動判定部１２２とを備えていた。これに対して、図５では、処理部１２０Ａは、周波数決定部１２１と、外乱振動判定部１２２と、外乱振動低減部１２３とを備えている。すなわち、図５では、処理部１２０Ａが外乱振動低減部１２３を有している点で、図１と相違する。
　外乱振動低減部１２３は、外乱振動ＷＧが振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳していると外乱振動判定部１２２により判定された場合、振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）に基づいて、振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳している外乱振動ＷＧを低減する。具体的には、外乱振動低減部１２３は、振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）のピーク値に基づいて、振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳している外乱振動ＷＧのピーク値から所定の値を引く演算を行う。なお、ここでのピーク値は、横軸を周波数、縦軸を振動加速度として振動波Ｗのグラフを書いた場合においてグラフに生じる山の頂点部の値をいう。
　次に、本発明の第２の実施の形態における欠陥分析装置１００Ａの動作について、説明する。
　図６は、本発明の第２の実施の形態における欠陥分析装置１００Ａの動作フローを示す図である。なお、図６では、図１～５に示した各構成要素と同等の構成要素には、図１～５に示した符号と同等の符号を付している。また、図６の説明では、図２の説明と重複する内容を、簡潔に説明する。
　図６に示されるように、まず、第１および第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂが、第１または第２の振動波Ｗ１、Ｗ２を検出する（Ｓ１）。より具体的には、第１または第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂが配管９００または配管９００内を流れる流体９１０を伝搬する振動を、第１または第２の振動波Ｗ１、Ｗ２として、検出する。そして、第１または第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂは、第１または第２の振動波Ｗ１、Ｗ２の一方を、振動波Ｗとして処理部１２０Ａへ送信する。つぎに、処理部１２０Ａが、振動波Ｗを受信する。
　次に、周波数決定部１２１は、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯ｆ１を決定する（Ｓ２）。
　次に、処理部１２０Ａが、振動波Ｗ１の第１の周波数帯ｆ１の振動加速度が閾値以上であるか否かを、判定する（Ｓ３）。具体的には、外乱振動判定部１２２が、振動波Ｗ１の第１の周波数帯ｆ１の振動加速度ＷＬ（ｆ１）が閾値ＷＬ－０（ｆ１）以上であるか否かを判定する（Ｓ３）。
　ここで、図７は、外乱振動判定部１２２および外乱振動低減部１２３の動作を説明するための概念図である。図７（ａ）～（ｄ）の各図では、縦軸に振動加速度を設定し、横軸に周波数を設定した。また、図７（ａ）～（ｃ）は、図３（ａ）～（ｃ）と同じである。
　図７（ａ）は、第１または第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂにより検出された振動波Ｗの一例であって、特に第１の周波数帯ｆ１付近を含むものを示す図である。図７（ｂ）および（ｃ）は、第１または第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂにより検出された振動波Ｗの一例であって、特に第１の周波数帯ｆ１および第２の周波数帯ｆ２付近を含むものを示す図である。また、図７（ｂ）は、第２の周波数帯ｆ２内に外乱振動ＷＧが含まれている例を示す。図７（ｃ）は、第２の周波数帯ｆ２内に外乱振動ＷＧが含まれていない例を示す。また、図７（ｄ）は、第１または第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂにより検出された振動波Ｗのうちで第１の周波数帯ｆ１に含まれる外乱振動ＷＧを低減した後の振動波を示す。なお、前述の通り、第１の周波数帯ｆ１は、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する周波数帯である。ここでは、第１の周波数帯ｆ１を、漏洩振動帯域とも呼ぶ。
　図７（ａ）に示されるように、外乱振動判定部１２２は、振動波Ｗ１の第１の周波数帯ｆ１の振動加速度ＷＬ（ｆ１）と、閾値ＷＬ－０（ｆ１）を比較する。そして、図６に示されるように、振動波Ｗ１の第１の周波数帯ｆ１の振動加速度ＷＬ（ｆ１）が閾値ＷＬ－０（ｆ１）以上であると、外乱振動判定部１２２により判定された場合（Ｓ３、ＹＥＳ）、周波数決定部１２１は、第１の周波数帯ｆ１と異なる第２の周波数帯ｆ２を決定する（Ｓ４）。
　一方、振動波Ｗ１の第１の周波数帯ｆ１の振動加速度ＷＬ（ｆ１）が閾値ＷＬ－０（ｆ１）以上でないと、外乱振動判定部１２２により判定された場合（Ｓ３、ＮＯ）、処理部１２０Ａは、配管９００に漏洩がないと判定する（Ｓ５）。そして、Ｓ１の処理に戻る。
　第２の周波数帯ｆ２が周波数決定部１２１により決定されると（Ｓ４）、外乱振動判定部１２２は、振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）が、所定の閾値ＷＬ－０（ｆ２）以上か否かを判定する（Ｓ６）。
　そして、図７（ｂ）に示されるように、振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）が所定の閾値ＷＬ－０（ｆ２）以上であると、外乱振動判定部１２２により判定された場合（図６のＳ６、ＹＥＳ）、外乱振動低減部１２３は、振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）に基づいて、振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内の振動波Ｗの振動加速度を低減する（Ｓ１０）。
　すなわち、このとき、図７（ｄ）に示されるように、外乱振動低減部１２３は、振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）に基づいて、振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳している外乱振動ＷＧを低減する。これにより、欠陥分析装置１００Ａは、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯ｆ１内において、振動波Ｗに含まれる外乱振動ＷＧの振動加速度を低減できる。この結果、欠陥分析装置１００Ａは、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯ｆ１内において、外乱振動ＷＧの影響が低減された漏洩振動ＷＯを得ることができる。
　一方、振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）が所定の閾値ＷＬ－０（ｆ２）以上でないと、外乱振動判定部１２２により判定された場合（図６のＳ６、ＮＯ）、外乱振動判定部１２２は、漏洩振動ＷＯ以外の振動である外乱振動ＷＧが振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳していないと判定し、処理部１２０Ａは配管９００に漏洩があると判定する（Ｓ１２）。
　Ｓ１０の処理の後、外乱振動判定部１２２は、再びＳ３の処理と同様に、振動波Ｗ１の第１の周波数帯ｆ１の振動加速度ＷＬ（ｆ１）が閾値ＷＬ－０（ｆ１）以上であるか否かを判定する（Ｓ１１）。
　そして、振動波Ｗ１の第１の周波数帯ｆ１の振動加速度ＷＬ（ｆ１）が閾値ＷＬ－０（ｆ１）以上であると、外乱振動判定部１２２により判定された場合（Ｓ１１、ＹＥＳ）、処理部１２０Ａは配管９００に漏洩があると判定する（Ｓ１２）。
　一方、振動波Ｗ１の第１の周波数帯ｆ１の振動加速度ＷＬ（ｆ１）が閾値ＷＬ－０（ｆ１）以上でないと、外乱振動判定部１２２により判定された場合（Ｓ１１、ＮＯ）、処理部１２０Ａは、配管９００に漏洩がないと判定する（Ｓ１３）。そして、Ｓ１の処理に戻る。
　以上、本発明の第２の実施の形態における欠陥分析装置１００Ａの動作について、説明した。
　なお、第１または第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂと、周波数決定部１２１と、外乱振動判定部１２２と、外乱振動低減部１２３との間で信号を入出力する制御装置５００Ａを新たに設けてもよい。
　図８は、制御装置５００Ａの信号出力関係を示す図である。図８に示されるように、制御装置５００Ａは、第１または第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂに対して、振動検出指示信号を出力する。振動検出指示信号は、配管９００または配管９００内を流れる流体９１０を伝搬する振動波Ｗを検出させる信号である。
　制御装置５００Ａは、周波数決定指示信号を、周波数決定部１２１へ出力する。周波数決定指示信号は、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯ｆ１と、第１の周波数帯ｆ１と異なる第２の周波数帯ｆ２を決定させる信号である。
　制御装置５００Ａは、振動検出指示信号に従って検出される振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）に基づいて、外乱振動判定指示信号を、外乱振動判定部１２２へ出力する。外乱振動判定指示信号は、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する振動（漏洩振動ＷＯ）以外の振動である外乱振動ＷＧが、振動検出指示信号に従って検出される振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳しているか否かを判定させる信号である。
　制御装置５００Ａは、振動検出指示信号に従って検出される振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳していると外乱振動判定指示信号により判定された場合、振動検出指示信号に従って検出される振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）に基づいて、外乱低減指示信号を、外乱振動低減部１２３へ出力する。外乱低減指示信号は、振動検出指示信号に従って検出される振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳している外乱振動ＷＧを低減させる信号である。
　これにより、前述した欠陥分析装置１００Ａの主要な機能を動作させる信号処理を、制御装置５００Ａに集約することができる。
　以上のように、本発明の第２の実施の形態における欠陥分析装置１００Ａは、外乱振動低減部１２３（外乱振動低減手段）をさらに備えている。外乱振動判定部１２２が、外乱振動ＷＧが振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳していると判定した場合、外乱振動低減部１２３は、振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）に基づいて、振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳している外乱振動ＷＧを低減する。
　このように、外乱振動低減部１２３は、外乱振動判定部１２２の判定結果に従って、振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）に基づいて、振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳している外乱振動ＷＧを低減する。これにより、欠陥分析装置１００Ａは、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯ｆ１内において、振動波Ｗに含まれる外乱振動ＷＧの振動加速度を簡単に低減できる。この結果、欠陥分析装置１００Ａは、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯ｆ１内において、外乱振動ＷＧの影響が低減された漏洩振動ＷＯを得ることができる。
　また、本発明の第２の実施の形態における制御装置５００Ａは、振動検出指示信号を出力する。振動検出指示信号は、配管９００または配管９００内を流れる流体９１０を伝搬する振動波Ｗを検出させる信号である。制御装置５００Ａは、周波数決定信号を出力する。周波数決定信号は、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯ｆ１と、第１の周波数帯ｆ１と異なる第２の周波数帯ｆ２を決定させる信号である。制御装置５００Ａは、振動検出指示信号に従って検出される振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）に基づいて、外乱振動判定信号を出力する。外乱振動判定信号は、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する振動（漏洩振動ＷＯ）以外の振動である外乱振動ＷＧが、振動検出指示信号に従って検出される振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳しているか否かを判定させる信号である。制御装置５００Ａは、振動検出指示信号に従って検出される振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳していると外乱振動判定指示信号により判定された場合、振動検出指示信号に従って検出される振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）に基づいて、外乱低減指示信号を出力する。外乱低減指示信号は、振動検出指示信号に従って検出される振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳している外乱振動ＷＧを低減させる信号である。これにより、前述した欠陥分析装置１００Ａの主要な機能を動作させる信号処理を、制御装置５００Ａに集約することができる。
　＜第３の実施の形態＞
　本発明の第３の実施の形態における欠陥分析装置１００Ｂの構成について説明する。
　図９は、本発明の第３の実施の形態における欠陥分析装置１００Ｂの概念図である。なお、図９では、図１～８に示した各構成要素と同等の構成要素には、図１～８に示した符号と同等の符号を付している。
　図９に示されるように、欠陥分析装置１００Ｂは、第１の振動検出部１１０Ａと、第２の振動検出部１１０Ｂと、処理部１２０Ｂとを備えている。
　第１および第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂと、処理部１２０Ｂの間は、有線または無線により通信接続されている。
　図９に示されるように、処理部１２０Ｂは、第１の振動検出部１１０Ａおよび第２の振動検出部１１０Ｂに、有線または無線により、接続されている。処理部１２０Ｂは、第１または第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂにより検出された振動波Ｗのデータを受信する。
　また、図９に示されるように、処理部１２０Ｂは、周波数決定部１２１と、外乱振動判定部１２２と、温度検出部１２４とを備えている。
　ここで、図１と図９を対比する。図１では、処理部１２０は、周波数決定部１２１と、外乱振動判定部１２２とを備えていた。これに対して、図９では、処理部１２０Ｂは、周波数決定部１２１と、外乱振動判定部１２２と、温度検出部１２４とを備えている。すなわち、図９では、処理部１２０Ｂが温度検出部１２４を有している点で、図１と相違する。
　図９に示されるように、温度検出部１２４は、処理部１２０Ｂ内に含まれている。温度検出部１２４は、配管９００または配管９００内を流れる流体９１０の温度を検出する。
　次に、本発明の第３の実施の形態における欠陥分析装置１００Ｂの動作について、説明する。
　図１０は、本発明の第３の実施の形態における欠陥分析装置１００Ｂの動作フローを示す図である。なお、図１０では、図１～９に示した各構成要素と同等の構成要素には、図１～９に示した符号と同等の符号を付している。また、図１０の説明では、図２の説明と重複する内容を、簡潔に説明する。
　図１０に示されるように、まず、第１および第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂが、第１または第２の振動波Ｗ１、Ｗ２を検出する（Ｓ１）。より具体的には、第１または第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂが配管９００または配管９００内を流れる流体９１０を伝搬する振動を、第１または第２の振動波Ｗ１、Ｗ２として、検出する。そして、第１または第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂは、第１または第２の振動波Ｗ１、Ｗ２の一方を、振動波Ｗとして処理部１２０Ｂへ送信する。つぎに、処理部１２０Ｂが、振動波Ｗを受信する。
　次に、周波数決定部１２１は、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯ｆ１を決定する（Ｓ２）。
　次に、処理部１２０が、振動波Ｗ１の第１の周波数帯ｆ１の振動加速度が閾値以上であるか否かを、判定する（Ｓ３）。より具体的には、外乱振動判定部１２２が、振動波Ｗ１の第１の周波数帯ｆ１の振動加速度ＷＬ（ｆ１）が閾値ＷＬ－０（ｆ１）以上であるか否かを判定する（Ｓ３）。
　図３（ａ）に示されるように、外乱振動判定部１２２は、振動波Ｗ１の第１の周波数帯ｆ１の振動加速度ＷＬ（ｆ１）と、閾値ＷＬ－０（ｆ１）を比較する。そして、図１０に示されるように、振動波Ｗ１の第１の周波数帯ｆ１の振動加速度ＷＬ（ｆ１）が閾値ＷＬ－０（ｆ１）以上であると、外乱振動判定部１２２により判定された場合（Ｓ３、ＹＥＳ）、周波数決定部１２１は、第１の周波数帯ｆ１と異なる第２の周波数帯ｆ２を決定する（Ｓ４）。
　一方、振動波Ｗ１の第１の周波数帯ｆ１の振動加速度ＷＬ（ｆ１）が閾値ＷＬ－０（ｆ１）以上でないと、外乱振動判定部１２２により判定された場合（Ｓ３、ＮＯ）、外乱振動判定部１２２は、配管９００に漏洩がないと判定する（Ｓ５）。そして、Ｓ１の処理に戻る。
　第２の周波数帯ｆ２が周波数決定部１２１により決定されると（Ｓ４）、外乱振動判定部１２２は、振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）が、所定の閾値ＷＬ－０（ｆ２）以上か否かを判定する（Ｓ６）。
　そして、図３（ｂ）に示されるように、振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）が所定の閾値ＷＬ－０（ｆ２）以上であると、外乱振動判定部１２２により判定された場合（図１０のＳ６、ＹＥＳ）、外乱振動判定部１２２は、漏洩振動ＷＯ以外の振動である外乱振動ＷＧが、振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳していると判定する（Ｓ７）。この処理は、本発明の第１の処理に対応する。
　一方、図３（ｃ）に示されるように、振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）が所定の閾値ＷＬ－０（ｆ２）以上でないと、外乱振動判定部１２２により判定された場合（図１０のＳ６、ＮＯ）、温度検出部１２４が、配管９００または配管９００内を流れる流体９１０の温度を検出する（Ｓ１３）。
　そして、図１０に示されるように、Ｓ１３の処理の後、外乱振動判定部１２２は、Ｓ１３の処理で温度検出部１２４により検出される温度が変化する際に振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１の振動加速度または周波数が所定の値以上変化するか否かを判断する（Ｓ１４）。この処理は、本発明の第２の処理に対応する。なお、所定の値は任意に設定できる。
　温度検出部１２４により検出される温度が変化する際に振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１の振動加速度または周波数が変化すると、外乱振動判定部１２２により判定された場合（Ｓ１４、ＹＥＳ）、外乱振動判定部１２２は、漏洩振動ＷＯ以外の振動である外乱振動ＷＧが、振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内にＳ重畳していると判定する（Ｓ７）。
　一方、温度検出部１２４により検出される温度が変化する際に振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１の振動加速度または周波数が変化しないと、外乱振動判定部１２２により判定された場合（Ｓ１４、ＮＯ）、外乱振動判定部１２２は、漏洩振動ＷＯ以外の振動である外乱振動ＷＧが振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳していないと判定し、配管９００に漏洩があると判定する（Ｓ１５）。
　ここで、図１１は、流体９１０に温度変化を与えた際の流体振動の周波数および振幅加速度の関係の一例を示す図である。図１１に示されるように、流体９１０を異なる温度Ｔ１、Ｔ２に設定すると、流体振動の振動加速度および周波数が変化する。具体的には、流体９１０の温度をＴ１からＴ２へ変更すると、振幅加速度が小さくなり、周波数が大きくなる。ここでは、外乱振動ＷＧがない状態を想定している。すなわち、外乱振動ＷＧがない状態では、流体９１０に温度変化を与えた際に流体振動の振動加速度および周波数が変化する。外乱振動ＷＧは、流体９１０の温度と無関係である。このため、流体９１０に温度変化を与えても、外乱振動ＷＧは変化しない。この特性を利用して、外乱振動判定部１２２は、Ｓ１３～Ｓ１５の処理を実行している。
　以上、本発明の第３の実施の形態における欠陥分析装置１００Ｂの動作について、説明した。
　なお、第１または第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂと、周波数決定部１２１と、外乱振動判定部１２２と、温度検出部１２４との間で信号を入出力する制御装置５００Ｂを新たに設けてもよい。
　図１２は、制御装置５００Ｂの信号出力関係を示す図である。図１２に示されるように、制御装置５００Ｂは、第１または第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂに対して、振動検出指示信号を出力する。振動検出指示信号は、配管９００または配管９００内を流れる流体９１０を伝搬する振動波Ｗを検出させる信号である。
　制御装置５００Ｂは、周波数決定指示信号を、周波数決定部１２１へ出力する。周波数決定指示信号は、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯ｆ１と、第１の周波数帯ｆ１と異なる第２の周波数帯ｆ２を決定させる信号である。
　制御装置５００Ｂは、温度検出指示信号を、温度検出部１２４へ出力する。温度検出指示信号は、配管９００または配管９００内を流れる流体９１０の温度を検出させる信号である。
　制御装置５００Ｂは、外乱振動判定部１２２に対して、第１の処理を実行させる第１の処理実行指示信号と、第２の処理を実行させる第２の処理実行指示信号を出力する。
　なお、第１の処理は、第１の処理基準に基づいて、外乱振動ＷＧが、振動検出部により検出される振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳しているか否かを判定する処理である。ここで、第１の処理基準は、振動検出部（第１の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂ）により検出される振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）が所定の閾値ＷＬ－０（ｆ２）を超えるか否かである。
　また、第２の処理は、第１の処理で、外乱振動ＷＧが振動検出部により検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳していないと判定した場合に行われる。第２の処理は、第２の処理基準に基づいて、外乱振動ＷＧが振動検出部により検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳しているか否かを判定する処理である。ここで、第２の処理基準は、温度検出部１２４により検出される温度が変化する際に振動検出部により検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１の振動加速度または周波数が所定の値以上変化するか否かである。
　これにより、前述した欠陥分析装置１００Ｂの主要な機能を動作させる信号処理を、制御装置５００Ｂに集約することができる。
　以上の通り、本発明の第３の実施の形態における欠陥分析装置１００Ｂは、温度検出部１２４（温度検出手段）を備えている。温度検出部１２４は、配管９００または配管９００内を流れる流体９１０の温度を検出する。また、外乱振動判定部１２２は、次の第１の処理と、第２の処理を実行する。
　すなわち、第１の処理は、後述の第１の処理基準に基づいて、外乱振動ＷＧが振動検出部により検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳しているか否かを判定する処理である。第１の処理基準は、振動検出部（第１の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂ）により検出された振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）が所定の閾値ＷＬ－０（ｆ２）を超えるか否かである。
　また、第２の処理は、第１の処理で、外乱振動ＷＧが振動検出部により検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳していないと判定した場合、後述の第２の処理基準に基づいて、外乱振動ＷＧが振動検出部により検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳しているか否かを判定する処理である。第２の処理基準は、温度検出部１２４により検出される温度が変化する際に振動検出部により検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１の振動加速度または周波数が所定の値以上変化するか否かである。
　このように、欠陥分析装置１００Ｂでは、外乱振動ＷＧが振動検出部により検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳しているか否かを判定する処理を第１および第２の処理の２段階に設定している。これにより、外乱振動ＷＧが振動検出部により検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳しているか否かをより正確に判定することができる。
　また、本発明の第３の実施の形態における制御装置５００Ｂは、配管９００または配管９００内を流れる流体９１０を伝搬する振動波Ｗを検出させる振動検出指示信号を出力する。制御装置５００Ｂは、周波数決定指示信号を出力する。周波数決定指示信号は、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯ｆ１と、第１の周波数帯ｆ１と異なる第２の周波数帯ｆ２を決定させる信号である。
　制御装置５００Ｂは、配管９００または配管９００内を流れる流体９１０の温度を検出させる温度検出指示信号を出力する。
　制御装置５００Ｂは、第１の処理を実行させる第１の処理実行指示信号と、第２の処理を実行させる第２の処理実行指示信号を出力する。
　なお、第１の処理は、後述の第１の処理基準に基づいて、外乱振動ＷＧが振動検出部により検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳しているか否かを判定する処理である。第１の処理基準は、振動検出部（第１の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂ）により検出された振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）が所定の閾値ＷＬ－０（ｆ２）を超えるか否かである。
　また、第２の処理は、第１の処理で、外乱振動ＷＧが振動検出部により検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳していないと判定した場合、後述の第２の処理基準に基づいて、外乱振動ＷＧが振動検出部により検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳しているか否かを判定する処理である。第２の処理基準は、温度検出部１２４により検出される温度が変化する際に振動検出部により検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１の振動加速度または周波数が所定の値以上変化するか否かである。
　これにより、前述した欠陥分析装置１００Ｂの主要な機能を動作させる信号処理を、制御装置５００Ｂに集約することができる。
　＜第４の実施の形態＞
　本発明の第４の実施の形態における欠陥分析装置１００Ｃの構成について説明する。
　図１３は、本発明の第４の実施の形態における欠陥分析装置１００Ｃの概念図である。なお、図１３では、図１～１２に示した各構成要素と同等の構成要素には、図１～１２に示した符号と同等の符号を付している。
　図１３に示されるように、欠陥分析装置１００Ｃは、第１の振動検出部１１０Ａと、第２の振動検出部１１０Ｂと、処理部１２０Ｃとを備えている。
　第１および第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂと、処理部１２０Ｃの間は、有線または無線により通信接続されている。
　図１３に示されるように、処理部１２０Ｃは、第１の振動検出部１１０Ａおよび第２の振動検出部１１０Ｂに、有線または無線により、接続されている。処理部１２０Ｃは、第１または第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂにより検出された振動波Ｗのデータを受信する。
　また、図１３に示されるように、処理部１２０Ｃは、周波数決定部１２１と、外乱振動判定部１２２と、圧力検出部１２５とを備えている。
　ここで、図１と図１３を対比する。図１では、処理部１２０は、周波数決定部１２１と、外乱振動判定部１２２とを備えていた。これに対して、図１３では、処理部１２０Ｃは、周波数決定部１２１と、外乱振動判定部１２２と、圧力検出部１２５とを備えている。すなわち、図１３では、処理部１２０Ｃが圧力検出部１２５を有している点で、図１と相違する。
　図１３に示されるように、圧力検出部１２５は、処理部１２０Ｃ内に含まれている。圧力検出部１２５は、配管９００または配管９００内を流れる流体９１０の圧力を検出する。
　次に、本発明の第４の実施の形態における欠陥分析装置１００Ｃの動作について、説明する。
　図１４は、本発明の第４の実施の形態における欠陥分析装置１００Ｃの動作フローを示す図である。なお、図１４では、図１～１３に示した各構成要素と同等の構成要素には、図１～１３に示した符号と同等の符号を付している。また、図１４の説明では、図２の説明と重複する内容を、簡潔に説明する。
　図１４に示されるように、まず、第１および第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂが、第１または第２の振動波Ｗ１、Ｗ２を検出する（Ｓ１）。より具体的には、第１または第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂが配管９００または配管９００内を流れる流体９１０を伝搬する振動を、第１または第２の振動波Ｗ１、Ｗ２として、検出する。そして、第１または第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂは、第１または第２の振動波Ｗ１、Ｗ２の一方を、振動波Ｗとして処理部１２０Ｃへ送信する。つぎに、処理部１２０Ｃが、振動波Ｗを受信する。
　次に、周波数決定部１２１は、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯ｆ１を決定する（Ｓ２）。
　次に、処理部１２０Ｃが、振動波Ｗ１の第１の周波数帯ｆ１の振動加速度が閾値以上であるか否かを、判定する（Ｓ３）。具体的には、外乱振動判定部１２２が、振動波Ｗ１の第１の周波数帯ｆ１の振動加速度ＷＬ（ｆ１）が閾値ＷＬ－０（ｆ１）以上であるか否かを判定する（Ｓ３）。
　図３（ａ）に示されるように、外乱振動判定部１２２は、振動波Ｗ１の第１の周波数帯ｆ１の振動加速度ＷＬ（ｆ１）と、閾値ＷＬ－０（ｆ１）を比較する。そして、図１４に示されるように、振動波Ｗ１の第１の周波数帯ｆ１の振動加速度ＷＬ（ｆ１）が閾値ＷＬ－０（ｆ１）以上であると、外乱振動判定部１２２により判定された場合（Ｓ３、ＹＥＳ）、周波数決定部１２１は、第１の周波数帯ｆ１と異なる第２の周波数帯ｆ２を決定する（Ｓ４）。
　一方、振動波Ｗ１の第１の周波数帯ｆ１の振動加速度ＷＬ（ｆ１）が閾値ＷＬ－０（ｆ１）以上でないと、外乱振動判定部１２２により判定された場合（Ｓ３、ＮＯ）、外乱振動判定部１２２は、配管９００に漏洩がないと判定する（Ｓ５）。そして、Ｓ１の処理に戻る。
　第２の周波数帯ｆ２が周波数決定部１２１により決定されると（Ｓ４）、外乱振動判定部１２２は、振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）が、所定の閾値ＷＬ－０（ｆ２）以上か否かを判定する（Ｓ６）。
　そして、図３（ｂ）に示されるように、振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）が所定の閾値ＷＬ－０（ｆ２）以上であると、外乱振動判定部１２２により判定された場合（図１４のＳ６、ＹＥＳ）、外乱振動判定部１２２は、漏洩振動ＷＯ以外の振動である外乱振動ＷＧが、振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳していると判定する（Ｓ７）。この処理は、本発明の第１の処理に対応する。
　一方、図３（ｃ）に示されるように、振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）が所定の閾値ＷＬ－０（ｆ２）以上でないと、外乱振動判定部１２２により判定された場合（図１４のＳ６、ＮＯ）、圧力検出部１２５が、配管９００または配管９００内を流れる流体９１０の圧力を検出する（Ｓ１６）。
　そして、図１４に示されるように、Ｓ１６の処理の後、外乱振動判定部１２２は、Ｓ１６の処理で圧力検出部１２５により検出される圧力が変化する際に振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１の振動加速度または周波数が所定の値以上変化するか否かを判断する（Ｓ１７）。この処理は、本発明の第３の処理に対応する。
　圧力検出部１２５により検出される圧力が変化する際に振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１の振動加速度または周波数が変化すると、外乱振動判定部１２２により判定された場合（Ｓ１７、ＹＥＳ）、外乱振動判定部１２２は、漏洩振動ＷＯ以外の振動である外乱振動ＷＧが、振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳していると判定する（Ｓ７）。
　一方、圧力検出部１２５により検出される温度が変化する際に振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１の振動加速度または周波数が変化しないと、外乱振動判定部１２２により判定された場合（Ｓ１７、ＮＯ）、外乱振動判定部１２２は、漏洩振動ＷＯ以外の振動である外乱振動ＷＧが振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳していないと判定し、配管９００に漏洩があると判定する（Ｓ１８）。
　ここで、図１５は、流体９１０に異なる圧力を加えた際の流体振動の周波数および振動加速度の関係の一例を示す図である。図１５に示されるように、流体９１０に異なる圧力Ｐ１、Ｐ２を加えると、流体振動の振幅および周波数が変化する。具体的には、流体９１０に加える圧力をＰ１からＰ２へ変更すると、振動加速度が小さくなり、周波数が大きくなる。ここでは、外乱振動ＷＧがない状態を想定している。すなわち、外乱振動ＷＧがない状態では、流体９１０に異なる圧力変化を与えた際に流体振動の振動加速度および周波数が変化する。外乱振動ＷＧは、流体９１０の温度と無関係である。このため、流体９１０に異なる温度変化を与えても、外乱振動ＷＧは変化しない。この特性を利用して、外乱振動判定部１２２は、Ｓ１６～Ｓ１８の処理を実行している。
　以上、本発明の第４の実施の形態における欠陥分析装置１００Ｃの動作について、説明した。
　なお、第１または第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂ、周波数決定部１２１および外乱振動判定部１２２と、圧力検出部１２５との間で信号を入出力する制御装置５００Ｃを新たに設けてもよい。
　図１６は、制御装置５００Ｃの信号出力関係を示す図である。図１６に示されるように、制御装置５００Ｃは、第１または第２の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂに対して、配管９００または配管９００内を流れる流体９１０を伝搬する振動波Ｗを検出させる振動検出指示信号を出力する。
　制御装置５００Ｃは、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯ｆ１と、第１の周波数帯ｆ１と異なる第２の周波数帯ｆ２を決定させる周波数決定指示信号を、周波数決定部１２１へ出力する。
　制御装置５００Ｃは、配管９００または配管９００内を流れる流体９１０の圧力を検出させる圧力検出指示信号を、圧力検出部１２５へ出力する。
　制御装置５００Ｃは、外乱振動判定部１２２に対して、第１の処理を実行させる第１の処理実行指示信号と、第３の処理を実行させる第２の処理実行指示信号を出力する。
　なお、第１の処理は、第１の処理基準に基づいて、外乱振動ＷＧが振動検出部により検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳しているか否かを判定する処理である。第１の処理基準は、振動検出部（第１の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂ）により検出された振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）が所定の閾値ＷＬ－０（ｆ２）を超えるか否かである。
　また、第３の処理は、第１の処理で、外乱振動ＷＧが振動検出部により検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳していないと判定した場合、第３の処理基準に基づいて、外乱振動ＷＧが振動検出部により検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳しているか否かを判定する処理である。第３の処理基準は、圧力検出部１２５により検出される圧力が変化する際に振動検出部により検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１の振動加速度または周波数が所定の値以上変化するか否かである。
　これにより、前述した欠陥分析装置１００Ｃの主要な機能を動作させる信号処理を、制御装置５００Ｃに集約することができる。
　以上の通り、本発明の第４の実施の形態における欠陥分析装置１００Ｃは、圧力検出部１２５（圧力検出手段）を備えている。圧力検出部１２５は、配管９００または配管９００内を流れる流体９１０の圧力を検出する。また、外乱振動判定部１２２は、次の第１の処理と、第３の処理を実行する。
　すなわち、第１の処理は、前述同様に、第１の処理基準に基づいて、外乱振動ＷＧが振動検出部により検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳しているか否かを判定する処理である。第１の処理基準は、振動検出部（第１の振動検出部１１０Ａ、１１０Ｂ）により検出された振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）が所定の閾値ＷＬ－０（ｆ２）を超えるか否かである。
　また、第３の処理は、第１の処理で、外乱振動ＷＧが振動検出部により検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳していないと判定した場合、第３の処理基準に基づいて、外乱振動ＷＧが振動検出部により検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳しているか否かを判定する処理である。第３の処理基準は、圧力検出部１２５により検出される圧力が変化する際に振動検出部により検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１の振動加速度または周波数が所定の値以上変化するか否かである。
　このように、欠陥分析装置１００Ｃでは、外乱振動ＷＧが振動検出部により検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳しているか否かを判定する処理を、第１および第３の処理の２段階に設定している。これにより、外乱振動ＷＧが振動検出部により検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳しているか否かをより正確に判定することができる。
　また、本発明の第４の実施の形態における制御装置５００Ｃは、配管９００または配管９００内を流れる流体９１０を伝搬する振動波Ｗを検出させる振動検出指示信号を出力する。制御装置５００Ｃは、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯ｆ１と、第１の周波数帯ｆ１と異なる第２の周波数帯ｆ２を決定させる周波数決定指示信号を出力する。制御装置５００Ｃは、配管９００または配管９００内を流れる流体９１０の圧力を検出させる圧力検出指示信号を出力する。制御装置５００Ｃは、第１の処理を実行させる第１の処理実行指示信号と、第３の処理を実行させる第３の処理実行指示信号を出力する。
　なお、第１の処理は、第１の処理基準に基づいて、外乱振動ＷＧが振動検出指示信号に従って検出される振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳しているか否かを判定する処理である。第１の処理基準は、振動検出指示信号に従って検出される振動波Ｗの第２の周波数帯ｆ２の振動加速度ＷＬ（ｆ２）が所定の閾値ＷＬ－０（ｆ２）を超えるか否かである。
　また、第３の処理は、第１の処理で、外乱振動ＷＧが振動検出指示信号に従って検出される振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳していないと判定した場合、第３の処理基準に基づいて、外乱振動ＷＧが振動検出指示信号に従って検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１内に重畳しているか否かを判定する処理である。これにより、前述した欠陥分析装置１００Ｃの主要な機能を動作させる信号処理を、制御装置５００Ｃに集約することができる。第３の処理基準は、圧力検出指示信号に従って検出される圧力が変化する際に振動検出指示信号に従って検出された振動波Ｗの第１の周波数帯ｆ１の振動加速度または周波数が所定の値以上変化するか否かである。
　なお、第１～第４の実施の形態の説明では、第２の周波数帯ｆ２は、１つであるものとして、説明した。一方、第１～第４の実施の形態において、複数の第２の周波数帯ｆ２を設けてもよい。
　図１７は、複数の第２の周波数帯ｆ２を設けた場合の振動波Ｗを示す図である。ここでは、複数の第２の周波数帯ｆ２各々内に外乱振動ＷＧが含まれている例を示す。なお、前述の通り、第１の周波数帯ｆ１は、配管９００からの流体９１０の漏洩に起因する周波数帯である。ここでは、第１の周波数帯ｆ１を、漏洩振動帯域とも呼ぶ。また、図１７では、２つの第２の周波数帯ｆ２（その１）、（その２）を示している。振動波Ｗのうち、第２の周波数帯ｆ２（その１）部分の波と、第１の周波数帯ｆ１部分の波は、互いに相関があるものとする。同様に、振動波Ｗのうち、第２の周波数帯ｆ２（その２）部分の波と、第１の周波数帯ｆ１部分の波は、互いに相関があるものとする。
　このように、複数の第２の周波数帯ｆ２を設けた場合、図２のＳ６の処理、図６のＳ６の処理、図１０のＳ６の処理、および図１４のＳ６の処理では、振動波Ｗの複数の第２の周波数帯ｆ２の振動加速度（例えば、ＷＬ（ｆ２）ａと、ＷＬ（ｆ２）ｂ）のどちらかが所定の閾値ＷＬ－０（ｆ２）以上であるか否かを外乱振動判定部１２２により判断することにより、次の処理が選択される。なお、ここでは、２つの第２の周波数帯ｆ２を設けた場合について、図１７を用いて説明した。一方、３つ以上の第２の周波数帯ｆ２を設けてもよい。この場合、複数の第２の周波数帯ｆ２を設けた場合、図２のＳ６の処理、図６のＳ６の処理、図１０のＳ６の処理、および図１４のＳ６の処理において、振動波Ｗの複数の第２の周波数帯ｆ２の振動加速度のうち、所定数以上の振動加速度が所定の閾値ＷＬ－０（ｆ２）以上であるか否かを外乱振動判定部１２２により判断することにより、次の処理が選択される。また、振動波Ｗの複数の第２の周波数帯ｆ２の振動加速度の全てが所定の閾値ＷＬ－０（ｆ２）以上であるか否かを外乱振動判定部１２２により判断することにより、次の処理が選択されてもよい。
　なお、本発明の各実施形態の装置は、任意のコンピュータのＣＰＵ（Central Processing Unit）、メモリ、メモリにロードされたプログラムによっても実現される。なお、プログラムは、あらかじめ装置を出荷する段階からメモリ内に格納されているプログラム、ＣＤ（Compact Disc）等の記憶媒体やインターネット上のサーバ等からダウンロードされたプログラムも含む。また、本発明の各実施形態の装置は、そのプログラムを格納するハードディスク等の記憶ユニット、ネットワーク接続用インタフェイスを中心にハードウェアとソフトウェアの任意の組合せによっても実現される。そして、その実現方法、装置にはいろいろな変形例があることは、当業者には理解されるところである。
　また、本発明の各実施形態の説明において利用するブロック図は、ハードウェア単位の構成ではなく、機能単位のブロックを示している。これらの図においては、各装置は１つの機器により実現されるよう記載されているが、その実現手段はこれに限定されない。すなわち、物理的に分かれた構成であっても、論理的に分かれた構成であっても構わない。
　以上、上述した実施形態を模範的な例として本発明を説明した。しかしながら、本発明は、上述した実施形態には限定されない。即ち、本発明は、本発明のスコープ内において、当業者が理解し得る様々な態様を適用することができる。
　この出願は、２０１４年３月２６日に出願された日本出願特願２０１４－０６２９６４を基礎とする優先権を主張し、その開示の全てをここに取り込む。
　１００、１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ　　欠陥分析装置
　１１０Ａ　　第１の振動検出部
　１１０Ｂ　　第２の振動検出部
　１２０、１２０Ａ、１２０Ｂ、１２０Ｃ　　処理部
　１２１　　周波数決定部
　１２２　　外乱振動判定部
　１２３　　外乱振動低減部
　１２４　　温度検出部
　１２５　　圧力検出部
　５００、５００Ａ、５００Ｂ、５００Ｃ　　制御装置
　６００　　地中
　７００Ａ、７００Ｂ　　散水栓
　９００　　配管
　９１０　　流体
　９２０　　漏洩孔

Claims (8)

  1. 　配管または前記配管内を流れる流体を伝搬する振動波を検出する振動検出手段と、
    　前記配管からの前記流体の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯と、前記第１の周波数帯と異なる第２の周波数帯を決定する周波数決定手段と、
    　前記振動検出手段により検出された前記振動波の前記第２の周波数帯の振動加速度に基づいて、前記配管からの前記流体の漏洩に起因する振動以外の振動である外乱振動が、前記振動検出手段により検出された前記振動波の前記第１の周波数帯内に重畳しているか否かを判定する外乱振動判定手段とを備えた欠陥分析装置。
  2. 　前記外乱振動判定手段が、前記外乱振動が前記振動検出手段により検出された前記振動波の前記第１の周波数帯内に重畳していると判定した場合、
    　前記振動検出手段により検出された前記振動波の前記第２の周波数帯の振動加速度に基づいて、前記振動検出手段により検出された前記振動波の前記第１の周波数帯内に重畳している前記外乱振動を低減する外乱振動低減手段を備えた請求項１に記載の欠陥分析装置。
  3. 　前記配管または前記配管内を流れる流体の温度を検出する温度検出手段とを備え、
    　前記外乱振動判定手段は、
    　前記振動検出手段により検出された前記振動波の前記第２の周波数帯の振動加速度が所定の閾値を超えるか否かに基づいて、前記外乱振動が前記振動検出手段により検出された前記振動波の前記第１の周波数帯内に重畳しているか否かを判定する第１の処理を実行し、
    　前記第１の処理で、前記外乱振動が前記振動検出手段により検出された前記振動波の前記第１の周波数帯内に重畳していないと判定した場合、前記温度検出手段により検出される前記温度が変化する際に前記振動検出手段により検出された前記振動波の前記第１の周波数帯の振動加速度または周波数が所定の値以上変化するか否かに基づいて、前記外乱振動が前記振動検出手段により検出された前記振動波の前記第１の周波数帯内に重畳しているか否かを判定する第２の処理を実行する請求項１または２に記載の欠陥分析装置。
  4. 　前記配管または前記配管内を流れる流体の圧力を検出する圧力検出手段とを備え、
    　前記外乱振動判定手段は、前記第１の処理を実行し、
    　前記第１の処理で、前記外乱振動が前記振動検出手段により検出された前記振動波の前記第１の周波数帯内に重畳していないと判定した場合、前記圧力検出手段により検出される前記圧力が変化する際に前記振動検出手段により検出された前記振動波の前記第１の周波数帯の振動加速度または周波数が所定の値以上変化するか否かに基づいて、前記外乱振動が前記振動検出手段により検出された前記振動波の前記第１の周波数帯内に重畳しているか否かを判定する第３の処理を実行する請求項１または２に記載の欠陥分析装置。
  5. 　配管または前記配管内を流れる流体を伝搬する振動波を検出させる振動検出指示信号を出力し、
    　前記配管からの前記流体の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯と、前記第１の周波数帯と異なる第２の周波数帯を決定させる周波数決定指示信号を出力し、
    　前記振動検出指示信号に従って検出される前記振動波の前記第２の周波数帯の振動加速度に基づいて、前記配管からの前記流体の漏洩に起因する振動以外の振動である外乱振動が、前記振動検出指示信号に従って検出される前記振動波の前記第１の周波数帯内に重畳しているか否かを判定させる外乱振動判定指示信号を出力する制御装置。
  6. 　配管からの流体の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯と、前記第１の周波数帯と異なる第２の周波数帯を決定する周波数決定手段と、
    　前記配管または前記配管内を流れる流体を伝搬する振動波の前記第２の周波数帯の振動加速度に基づいて、前記配管からの前記流体の漏洩に起因する振動以外の振動である外乱振動が、前記振動検出手段により検出された前記振動波の前記第１の周波数帯内に重畳しているか否かを判定する外乱振動判定手段とを備えた処理装置。
  7. 　配管または前記配管内を流れる流体を伝搬する振動波を検出し、
    　前記配管からの前記流体の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯と、前記第１の周波数帯と異なる第２の周波数帯を決定し、
    　前記振動波の前記第２の周波数帯の振動加速度に基づいて、前記配管からの前記流体の漏洩に起因する振動以外の振動である外乱振動が、前記振動波の前記第１の周波数帯内に重畳しているか否かを判定する欠陥分析方法。
  8. 　配管または前記配管内を流れる流体を伝搬する振動波を検出し、
    　前記配管からの前記流体の漏洩に起因する周波数帯である第１の周波数帯と、前記第１の周波数帯と異なる第２の周波数帯を決定し、
    　前記振動波の前記第２の周波数帯の振動加速度に基づいて、前記配管からの前記流体の漏洩に起因する振動以外の振動である外乱振動が、前記振動波の前記第１の周波数帯内に重畳しているか否かを判定する処理をコンピュータに行わせるプログラムを記憶する記憶媒体。
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