WO2015066982A1 - 用于磁控溅射阳极棒的支撑件及包括其的磁控溅射装置 - Google Patents

Abstract

一种用于磁控溅射阳极棒的支撑件以及包括其的磁控溅射装置，该支撑件包括支撑棒和能与支撑棒固定配合的防镀挡板，支撑棒的第一端部构造成与阳极棒相配合的支撑端，第二端部构造成能与防镀挡板的安装孔固定连接的安装端以防止支撑棒从防镀挡板的安装孔中脱出，安装端的横截面相对于支撑棒的主体部分的横截面而缩小。该支撑件的支撑棒与防镀挡片能牢固地连接在一起而不发生意外脱开。

Description

用于磁控溅射阳极棒的支撑件及包括其的磁控溅射装置 技术领域

本发明涉及镀膜设备， 特别是一种用于磁控溅射阳极棒的支撑件。 本发明还 涉及包括这种支撑件的磁控溅射装置。 背景技术

磁控溅射技术是镀膜中常用的技术， 其具有成膜速率高， 基片温度低， 膜的 粘 †性好， 可实现大面积镀膜等优点。

在圆柱靶磁控溅射设备的真空腔体中， 需要在圆柱靶旁边安装阳极棒以使得 在基底上产生均匀性良好的膜层。 在现有技术中， 阳极棒通常为不锈钢棒， 其设 置为一端与腔体相连接， 而另一端使用支撑棒进行支撑。 图 i示意性地显示了现 有技术中的支撑棒 110， 支撑棒 1 10的一端与阳极棒 300相连， 另一端 120插在 防镀挡片 200上的孔 2i0中， 从而实现支撑棒 1 10对阳极棒 300的支撑作用。 但 是，支撑棒 110与防镀挡片 200的这种连接方式并不稳定，经常会发生意外脱开, 而造成设备异常。 发明内容

针对现有技术中所存在的上述技术问题， 本发明提出了一种用于磁控溅射阳 极棒的支撑件， 其能够使支撑棒与防镀挡片牢固地连接在一起而不发生意外脱 开。 本发明还涉及包括这种支撑件的磁控溅射装置。

1 ) 根据本发明的第一方面， 提出了一种用于磁控溅射阳极棒的支撑件， 包 括： 支撑棒和能与支撑棒固定配合的防镀挡板， 其中， 支撑棒的第一端部构造成 与阳极棒相配合的支撑端， 第二端部构造成能与防镀挡板的安装孔固定连接的安 装端以防止支撑棒从防镀挡板的安装孔中脱出， 安装端的横截面相对于支撑棒的 主体部分的横截面而缩小。

根据本发明的支撑件， 由于支撑棒与防镀挡板通过防镀挡板上的安装孔而固 定地安装在一起， 避免了支撑棒与防镀挡片脱开。

2 )在本发明的第 1 )项的一个实施方式中， 支撑棒的安装端的变径部分形成 直角台阶。 支撑棒通过直角台阶与防镀挡板上的安装孔稳定地卡接在一起， 从而 提高了支撑棒的安装稳定性。 优选地， 安装孔的直径大于或等于安装端的直径并 且小干直角台阶的外径。

3 ) 在本发明的第 1 ) 或第 2) 项的一个实施方式中， 支撑棒为圆柱形。 在一 个优选的实施例中， 支撑棒的安装端为圆柱形， 防镀挡板上的安装孔为与安装端 相匹配的圆孔。 圆柱形的支撑棒使得其加工比较方便。 支撑棒的安装端和安装孔 也为圆形， 不但加工比较方便而且使得支撑板与安装孔之间的配合没有方向性， 方便了装配。

4 ) 在本发明的第 1 ) 到第 3 ) 项中任一个的一个实施方式中， 支撑棒的支撑 端和阳极棒之间还设置有绝缘环。

5 )在本发明的第 4)项的一个实施方式中， 绝缘环为陶瓷材料。 陶瓷绝缘环 的耐高温性较好， 并且不易老化， 避免了现有技术中使用的聚合物绝缘环有可能 发生碳化或易老化的问题。 在一个实施例中， 支撑棒为陶瓷材料。 与现有技术中 的不锈钢支撑棒相比， 陶瓷材料的支撑棒更加耐高温。 在一个优选的实施例中， 该陶瓷材料为氧化铝陶瓷。

6) 在本发明的第 1 ) 到第 5 ) 项中任一个的 ·个实施方式中， 阳极棒的与支 撑棒配合的端部构造成中空结构， 支撑棒的支撑端插入到中空结构中， 绝缘环处 于支撑端和所述中空结构的内壁之间。

7) 根据本发明的第二方面， 提出了一种磁控溅射装置， 其包括根据上文所 述的支撑件。

与现有技术相比， 本发明的优点在于， 在防镀挡板上设置了安装孔， 支撑棒 的安装端卡入安装孔中， 这样实现了支撑棒和防镀挡板的圏定连接， 避免了支撑 棒与防镀挡片脱开。 绝缘环使用了陶瓷材料以提高其耐高温性， 并且延长使用寿 命。 支撑棒也使用陶瓷材料以提高其耐高温性。

在下文中将基于实施例并参考^图来对本发明进行更详细的描述。 其中- 图 1是现有技术中的支撑件的结构示意图；

图 2是根据本发明的支撑件的结构示意图。

在 ϋ图中，相同的部件使 ffl相同的附图标记。附图并未按照实际的比例绘制。 具体实施方式

下面将结合 i 图对本发明做进一步说明。

图 1示意性地显示了现有技术中的支撑棒〗10与阳极棒 300和防镀挡板 200 的连接关系， 这里不再详细描述。

图 2示意性地显示了根据本发明的用于磁控溅射阳极棒的支撑件 0。支撑件 10包括能固定连接在一起的支撑棒 11和防镀挡板 20。 如图 2所示， 支撑棒 11 的第一端部构造成安装端 12，并 安装端 12的横截面尺寸小于支撑棒 11的主体 部分 15的横截面尺寸； 支撑棒 11的第二端部构造成与阳极棒 30相配合的支撑 端 13。 在防镀挡板 20上构造有安装孔 21 , 安装孔 21的形状和大于与支撑棒 11 的安装端 12相匹配， 从而能方便地将支撑棒 11与防镀挡板 20装配在一起。

为了使得支撑棒 11更容易加工制造， 在一个实施例中， 将支撑棒 11制造成 圆柱形》 同样地是， 支撑棒 1 的安装端 12和支撑端 13也相应地为圆柱形， 在 这种情况下， 安装端 12的横截面尺寸小于支撑棒 1】 的主体部分 15的横截面尺 寸意味着其直径相对于支撑棒 11 的主体部分 15的直径而缩小。 防镀挡板 20上 的安装孔 21也构造成与支撑棒 1】 的安装端 12相匹配的圆孔。 应理解地是， 安 装端 12还可以为其他形状， 例如多边形等， 安装孔 21 的形状则与安装端 12相 同， 但是其他形状的安装端 12和安装孔 21均不便于装配， 因此这里优选为将安 装端 12构造成圆柱形， 同时安装孔 21为圆形。

优选地是， 安装端 12的变径部分形成直角台阶 14, 并且安装孔 21的直径大 于或等于安装端 12的直径并且直角台阶 14的外径。 这样， 在装配状态中， 支撑 棒 11会通过直角台阶 14与安装孔 21的卡接而牢固地与防镀挡板 20连接在一起。 在装配时， 需要将支撑棒 11抬起来， 然后将支撑棒 的安装端 12插入到防镀 挡板 20的安装孔 21内而实现装配。

如图 2所示， 阳极棒 30的下端构成中空结构 32。 在装配状态中， 支撑棒 1 1 的支撑端】3插入到该中空结构 32中而实现对阳极棒 30的支撑作用。 在支撑棒 11的支撑端 13和阳极棒 30之间还设置有绝缘环 3 。

为了提高绝缘环 31的耐高温性， 在一个实施例中， 绝缘环 31可由陶瓷材料 构成，例如氧化铝陶瓷。陶瓷材料的绝缘环 3 比现有技术中的聚醚醚酮（即 PEEK) 材质的绝缘环具有更好的耐高温性， 能有效防止在高温下绝缘环 31 发生碳化的 问题。 此外， 陶瓷绝缘环 31的使用寿命也更长。 在另一个实施例中， 支撑棒 11 也可以为陶瓷材料， 例如氧化铝陶瓷以提高支撑棒】1的耐高温性。

本发明还涉及包括如图 2所示的支撑件 10的磁控溅射装置 （未示出） ， 由 于其使用了根据本发明的支撑件 10，因此这种磁控溅射装置的使用寿命也会相应 地增长， 并 ϋ支撑棒 11与防镀挡板 20脱开的几率也更小。

虽然己经参考优选实施例对本发明进行了描述， 但在不脱离本发明的范围的 情况下， 可以对其迸行各种改进并且可以用等效物替换其中的部件。 尤其是， 只 要不存在结构冲突， 各个实施例中所提到的各项技术特征均可以任意方式组合起 来。 本发明并不局限于文中公开的特定实施例， 而是包括落入权利要求的范围内 的所有技术方案》

Claims

权利要求书

1 , 一种用于磁控溅射阳极棒的支撑件， 包括： 支撑棒和能与所述支撑棒固 定配合的防镀挡板，

其中， 所述支撑棒的第一端部构造成与阳极棒相配合的支撑端， 第二端部构 造成能与所述防镀挡板的安装孔固定连接的安装端以防止所述支撑棒^所述防 镀挡板的安装孔中脱出， 所述安装端的横截面相对于所述支撑棒的主体部分的横 截面而缩小。

2, 根据权利要求 1 所述的支撑件， 其中， 所述支撑棒的安装端的变径部分 形成直角台阶， 并旦安装孔的直径大于或等于所述安装端的直径并且小于所述直 角台阶的外径。

3 , 根据权利要求 2所述的支撑件， 其中， 所述支撑棒为圆柱形。

4, 根据权利要求 3 所述的支撑件， 其中， 所述支撑棒的安装端为圆柱形， 所述防镀挡板上的安装孔为与所述安装端相匹配的圆孔。

5 , 根据权利要求 2所述的支撑件， 其中， 在所述支撑棒的支撑端和所述阳 极棒之间还设置有绝缘环。

6, 根据权利要求 5所述的支撑件， 其中， 所述绝缘环为陶瓷材料。

7, 根据权利要求 5所述的支撑件， 其中， 所述支撑棒为陶瓷材料。

8 , 根据权利要求 7所述的支撑件， 其中， 所述陶瓷材料为氧化铝陶瓷。

9, 根据权利要求 8 所述的支撑件， 其中， 所述阳极棒的与所述支撑棒配合 的端部构造成中空结钩， 所述支撑棒的支撑端插入到所述中空结构中， 所述绝缘 环处于所述支撑端和所述中空结构的内壁之间。

】0. —种磁控溅射装置， 其中， 包括根据权利要求〗所述的支撑件。