WO2015016681A1 - 발수성 및 발유성을 갖는 필름 및 전기 전자 장치 - Google Patents

발수성 및 발유성을 갖는 필름 및 전기 전자 장치 Download PDF

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plate
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김수진
이은정
정훈
김기환
김태수
박정호
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주식회사 엘지화학
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Definitions

  • the present invention relates to an electrical and electronic device comprising a film having water and oil repellency, an electrical and electronic device including the film, and an outer surface having a specific structure.
  • the surface irregularities are made to increase the haze, and contaminants are then added to the product. Make sure it doesn't stand out easily.
  • Korean Patent Laid-Open Publication No. 2007-0084369 discloses a superhydrophobic substrate having a protruding structure connected in a net form as a surface
  • Korean Patent Publication No. 2010-0105241 discloses a fingerprint having a specific height and width.
  • a pattern is disclosed
  • Korean Laid-Open Patent Publication No. 2011-7003244 includes a projection in the form of a cylinder lamp, a pyramid pyramid pyramid, a truncated cone, a compound parabola, a compound ellipse, a polyobj ect, or a three-dimensional cone curved rotor.
  • a pattern made up is disclosed.
  • the haze is 10% or more, and thus the display device or the like decreases the sharpness of the screen, or when an excessive amount of the pollutant is transferred, the contaminant is formed into the surface irregularities.
  • the lipophilic coating makes it possible to secure visibility by spreading thin and wide when sebum, which is a main factor causing poor appearance characteristics, is spread.
  • the lipophilic coating has a high permeability and low haze characteristics, and is a fingerprint concealment method that makes the fingerprint less visible rather than reducing the amount of fingerprint fingerprints. The amount of fingerprint transfer itself cannot be reduced, and fingerprints are transferred excessively. And when stacked, are not easy to remove completely.
  • Patent Document 1 Korean Patent Publication No. 2007-0084369
  • Patent Document 2 Korean Patent Publication No. 2010-0105241
  • Patent Document 3 Korean Patent Publication No. 2011— 7003244
  • the present invention is to provide a film that can minimize the amount of contaminants transferred to the product surface and can easily remove the transferred contaminants, while having a high water and oil repellency.
  • the present invention also provides an electrical and electronic device comprising the film. It is for.
  • the present invention can minimize the amount of contaminants transferred to the surface of the product, and has the characteristics that can easily remove the transferred contaminants, electrical and electronic devices including an outer surface having a high water and oil repellency at the same time It is to provide.
  • the present invention includes two or more micro-projections having a micro-hood shape including a plate-like portion located on the upper surface of the pillar portion and the pillar portion, and the micro-projections with respect to the distance S between the plate portions of the two fine protrusions adjacent to each other. It provides a film having water and oil repellency, wherein the ratio (H / S) of the height H of one of the projections is 0.2 to 0.4.
  • the present invention also provides an electrical and electronic device comprising the film.
  • the present invention includes an outer surface having two or more micro-projections having a micro hood shape including a columnar portion and a plate-like portion located on the upper surface of the lamp portion, the plate portion of the two neighboring fine projections
  • An electrical and electronic device wherein the ratio (H / S) of the height (H) of one of the fine protrusions to the distance (S) of the liver is 0.2 to 0.4.
  • 'film' means a thin film-like article
  • the material is not particularly limited, and may include, for example, an organic material such as a polymer or an inorganic material such as a metal or silicon.
  • the micro-projection comprising two or more micro-projections having a micro-hood shape including a light emitting portion and a plate-like portion located on the upper surface of the light emitting portion, the distance (S) between the plate portion of the two adjacent fine projections
  • a film having water repellency and oil repellency may be provided, wherein the ratio (H / S) of the height H of one of the fine protrusions to is 0.2 to 0.4.
  • the inventors have found that the film containing the fine protrusions having a specific size-related ratio when the above-described specific structure is not only used for water but also organic It has been confirmed through experiments that it has high contact angle with respect to components to realize super water repellency and super oil repellency, and has characteristics that can easily remove the transferred pollutants while minimizing the amount of pollutants transferred. Completed.
  • an air pocket is formed in a predetermined space defined by the fine protrusions and the substrate surface of the film, so that the film of the embodiment is applied to the organic component or the liquid. It is possible to have a high repulsive force and a high contact angle.
  • the film may include two or more fine protrusions of the above-described shape, and the ratio (H) of the height (H) of one of the fine protrusions to the distance (S) between the plate portions of two adjacent fine protrusions. / S) may be 0.2 or more, or 0.2 to 0.4.
  • the ratio H / S may be a ratio of the height of one of the two fine protrusions to the distance between the plate portions of the two adjacent minute protrusions.
  • the distance between the plate portions of the two adjacent minute protrusions may be the shortest distance between the plate portions of the adjacent minute protrusions.
  • the contact angle with respect to the organic component or the moisture component transferred to the surface can be increased.
  • the contact area may be enjoyed, and an air pocket may be more easily formed and maintained in a space defined by the fine protrusions and the substrate surface of the film.
  • the water-repellent and oil-repellent film has a lower interaction energy with respect to the organic component or water, it is possible to minimize the amount of the organic component or moisture to be transferred, but can easily remove the transferred organic matter. .
  • the ratio of the height of the fine protrusions to the distance between the top of the neighboring fine protrusions is too large, for example, if the height of the fine protrusions is too large, the mechanical hardness or physical properties of the film or the fine protrusions themselves may be reduced. If the distance between the plate portions of the fine protrusions is too small, the outer surface of the film may have a structural feature or a surface feature that is substantially different from the plane on which the fine protrusions are not formed. It can be difficult to secure.
  • the fine protrusions are formed to protrude to the outside of the film of the embodiment and means a structure having a height or width of ran or ⁇ unit.
  • the minute protrusion may have a micro hood shape including a lamp part and a plate-shaped part disposed on an upper surface of the lamp part.
  • An example of the micro protrusion of this type is shown in FIG. 1.
  • the light emitting part of the fine protrusion may have a shape of a cylinder lamp, a truncated cone, a polygonal pillar, a polygonal truncated cone, an inverted truncated cone or an inverted polygonal truncated cone.
  • the fine protrusions are formed on the upper surface of the lamp part having a predetermined three-dimensional shape. Due to the presence of the plate portion located, the contact angle with respect to the organic component or the moisture component transferred to the surface can be very large, and the area where the organic component or the moisture component is in contact with the film can be minimized.
  • the plate-like portion of the fine protrusion may take the form of enclosing an air pocket (air pocket) formed on the inner structure of the film, it is possible to prevent the collapse of the air pocket (ai pocket), the film surface By partially supporting the transferred organic component or moisture component, they can prevent the phenomenon of penetrating into the film.
  • the micro protrusions In order to increase the contact angle with respect to the organic or moisture components transferred to the surface and to easily form and maintain an air pocket, the micro protrusions have a cylindrical lamp, a truncated cone, a polygonal pillar, a polygonal truncated cone, and an inverted truncated cone. Alternatively, it may have a shape of an inverted polygonal pyramid.
  • the plate-shaped portion may have a larger area than the upper surface of the pillar portion, that is, the outermost surface in the protruding direction of the pillar portion. That is, the plate portion may have a larger area than the outermost portion of the upper surface of the light emitting portion while contacting the entire area of the upper outermost surface in the projecting direction of the light emitting portion.
  • the width of the plate portion is not limited to a large extent, but may have a width of 1.2 to 10 times larger than the cross-sectional area of the outermost surface in the protruding direction of the pillar (cross section with respect to the substrate and the horizontal direction). If the width of the plate portion is too small, the expression of the effect of including the plate portion may be insignificant. In addition, if the width of the plate portion is too large, the mechanical strength of the outside of the film can be lowered, the structure of the fine projections can easily collapse.
  • the shape of the plate portion is not particularly limited, but for example, the cross section of the plate portion with respect to the substrate surface direction of the film may be a circle, an ellipse or a polygon having an internal angle of 3 to 20.
  • the cross section of the plate portion with respect to the substrate surface direction of the film means the cross section of the plate portion in a direction parallel to the substrate surface of the film.
  • cross section of the plate portion with respect to the vertical direction of the substrate may be rectangular, trapezoidal or inverted trapezoidal.
  • the maximum diameter of the plate-shaped portion of the fine protrusions is from 0.1 ⁇ to 100 ⁇ , or 0.2 to 50 / m. If the maximum diameter of the plate portion is too large, the ratio of the plate portion to the surface of the film is too large, or the area where the organic component or the moisture component is in contact with the film is too large to substantially the same surface structure or a conventional flat film or I can have a characteristic. In addition, if the maximum diameter of the plate portion is too small, the fine projections have the same shape as not including the plate portion, or the three-dimensional structural characteristics according to the plate portion when the organic component or moisture component is in contact with the film It can be difficult to express.
  • the thickness of the plate-shaped portion of the fine protrusions may be 0.05 to 10, or 0.2 an to 2 kPa. If the thickness of the plate portion is too small, the mechanical properties of the outside of the film may be reduced, if the plate portion is too thick it may not be easy to form an air bag in the space defined by the substrate and the fine projections.
  • the height of the light emitting portion of the fine protrusions may be 0.02 / to 40 IM, or 0.05 to 10.
  • the height of the pillar portion of the fine protrusion may be defined as the distance from the substrate surface of the film to the plate-like portion.
  • the height of the fine protrusions is too small, the space defined by the fine protrusions and the base surface of the film may be easily disintegrated or the air pockets are difficult to have a volume or shape suitable for forming an air pocket. have.
  • the height of the fine protrusions is too large, the mechanical hardness or physical properties of the film or the fine protrusions themselves may be reduced.
  • the initial width of the cross section in the protruding direction of the fine protrusions is from 0.1 im to
  • the initial width of the microprojection cross section is too small, the mechanical properties of the surface of the film of the embodiment may be reduced.
  • the width of the cross section of the minute protrusion is too large, the contact angle to the organic component or the moisture component transferred to the surface to be transferred to the outside of the film of the embodiment can be lowered or the repulsive force on them.
  • the initial width of the microprojection cross section is too small or large, the area where the organic component or the moisture component is in contact with the surface of the film is too wide such that the film of the embodiment has substantially the same surface structure as that of a conventional flat film or Can have characteristics.
  • the fine protrusions may include various materials according to the manufacturing method, and each part of the fine protrusions may be made of the same or different materials as each of the light emitting portion and the plate portion.
  • the fine protrusions are glass, silicon, metal doped with silicon, polysilicon, silicon-based polymer, metal, urethane resin, polyimide resin, polyester resin, (meth) acrylate-based polymer resin, polyethylene or polypropylene, etc. It may include one or more selected from the group consisting of polyolefin resin and photosensitive polymer resin.
  • a pattern of the plate portion may be formed by using an etching mask on an substrate including a component usable as a material of the fine protrusion and may be etched to form the plate portion of the fine protrusion, and the remaining material thereafter. By etching the pillar portion of the fine pattern can be formed.
  • a plate-shaped pattern is formed using an etching mask, and a material forming the plate portion; By sequentially etching the material forming the lamp portion, the above-described fine pattern can be formed.
  • the fine protrusions may be obtained by applying a photosensitive resin composition to a predetermined substrate (for example, a silicon substrate organic substrate or a polymer substrate, etc.), and exposing and alkali developing to form a predetermined pattern.
  • a photosensitive resin composition for example, a silicon substrate organic substrate or a polymer substrate, etc.
  • exposing and alkali developing to form a predetermined pattern.
  • a photomask of a specific pattern exposed and developed in the protruding direction of the fine projections or its rearward direction, the shape of the inverted truncated cone having the inclined side
  • the fine protrusions can be formed.
  • the film of one embodiment may further include a fluorine-based compound layer having a thickness of 5nm to 5 laminated on the outside of the fine protrusion.
  • the bloso-based compound layer may include a fluorine-based monomolecular compound, a fluorine-based high molecular compound or a mixture thereof.
  • the fluorine-based monomolecular compound may be a siloxane-based molecule including a fluorine-substituted aliphatic, alicyclic or aromatic functional group, or a perfluoropolyether-based compound, and the compound or molecule may be a film of the micro-projections or one embodiment.
  • Functional groups such as epoxy silane, mesosilane, and chlorosilane which can couple
  • the bloso-based polymer compound may include a polymer or copolymer synthesized using a semi-ungular monomer including a functional group including fluorine. .
  • the fluorine-based polymer compound may include a (meth) acrylic polymer compound substituted with a fluorine-based functional group.
  • the (meth) acrylic polymer compound substituted with such a fluorine functional group may be a C 2 -C 12 perfluoroalkyl (meth) acrylate, pentafluorophenyl (meth) acrylate, pentafluorobenzyl (meth) acrylate, or It may be obtained by polymerizing or copolymerizing two or more kinds thereof.
  • the fluorine-based compound layer may be formed on the outer surface of the fine protrusions through various coating methods or deposition methods, and may be laminated on the substrate surface of the film as well as the fine protrusions.
  • Various coating methods and deposition methods may be used for forming or stacking the fluorine compound layer, and in order to form a fluorine compound layer having a more uniform and proper thickness, a thermal vapor deposition method, a thermochemical vapor deposition (HW-CVD) method, or a radical polymerization method Can be used.
  • a fluorine-based compound layer having a uniform thickness can be formed over the entire area of the two fine protrusions including the lamp portion and the plate portion, and in particular, the fine protrusions
  • the fluorine compound layer of uniform thickness can be formed also in the lower surface of a plate-shaped part, or the part which contact
  • the fluorine-based compound layer is a projection of the fine fluorine-based polymer resin or a precursor thereof by using a hot-wire vapor chemical vapor deposition method. It can be formed by laminating to the outside.
  • the shape, size and spacing of the fine protrusions may be defined including the fluorine compound layer formed on the outer surface of the fine protrusions.
  • the film of one embodiment may have a contact angle of 130 ° or more, or 130 ° to 150 ° with respect to 3ul of oleic acid (oleic acid).
  • the film of one embodiment may have a contact angle of 130 ° or more, or 130 ° to 150 ° with respect to 3ul of distilled water.
  • the film may have an extremely high contact angle and a high repulsive force with respect to the organic component or the moisture component, and the area where the organic component or the moisture component contacts is also extremely small.
  • the film having water repellency and oil repellency of the embodiment may implement a Cassie-Baxter state for both the organic component and the moisture component.
  • an electrical and electronic device including a film having water repellency and oil repellency of one embodiment of the invention described above may be provided.
  • the film may include two or more fine protrusions having a micro-hood shape including a light emitting portion and a plate-like portion located on the upper surface of the light emitting portion, and the distance between the plate portions of two adjacent minute fine protrusions (
  • the ratio (H / S) of the height H of one of the fine protrusions to S) may be 0.2 to 0.4.
  • a fluorine compound layer may be stacked on the surface of the fine protrusion.
  • the film may have a contact angle of 130 ° or more, or 130 ° to 150 ° with respect to 3ul of oleic acid.
  • the film may have a contact angle of 130 ° or more, or 130 ° to 150 ° with respect to 3ul of distilled water.
  • the film may have an extremely high contact angle and a high reaction force with respect to the organic component or the moisture component.
  • the area of contact of the components is also extremely small.
  • the film may implement Cass i e-Baxter state for both organic and moisture components.
  • the electric and electronic devices are meant to include all kinds of electric elements, display devices, semiconductor devices, home appliances, and the like.
  • Examples of such electric and electronic devices include display devices such as TVs, computer monitors, mobile phone liquid crystal devices, various LCD, LED or 0LED devices; Electrical devices such as integrated circuit devices, thermal electron emitting devices, charge-coupled devices of electronic cameras, solar cells, or light emitting devices, each of which includes diodes and transistors; Or household appliances such as kitchen appliances, air conditioners, washing machines, dishwashers, rice cookers, ovens, and the like.
  • the film having water and oil repellency may be formed or bonded to at least one surface of the inside or the outside of the electrical and electronic device.
  • the film having water and oil repellency may be formed on the screen surface of the display device.
  • the above-described fine protrusion may be formed on the surface of the electronic device to implement the above-described super water-repellent and super-oil-repellent properties, and the structural characteristics of the surface of the film of the above-described embodiments of the battery electronic device Forming on one surface may implement the actions and effects shown in the above-described embodiments.
  • the outer surface is formed with two or more fine projections having a micro hood shape including a columnar portion and a plate-like portion located on the upper surface of the lamp portion, the neighboring
  • An electrical and electronic device can be provided in which the ratio H / S of the height H of one of the fine protrusions to the distance S between the plate portions of the two fine protrusions is 0.2 to 0.4.
  • the outer surface of the electrical and electronic device of the embodiments is formed with the above-described structural features of the fine projection, the extremely high contact angle and high repulsive force with respect to the organic component or the moisture component may appear, and thus the outer surface The area where the organic component and the moisture component contact with each other is also extremely small.
  • the outer surface of the electrical and electronic device of the embodiments may implement a Cass i e-Baxter state for both the organic component and the moisture component.
  • a fluorine-based compound layer may be further formed on the outer surface of the electrical and electronic device of the above embodiments.
  • An electrical and electronic device can be provided.
  • the electronics including an outer surface having a high water repellency and oil repellency at the same time to minimize the amount of contaminants transferred to the product surface and to easily remove the transferred contaminants Credit may be provided.
  • Figure 1 shows a cross-sectional SEM photograph of the fine projection of the film of Example 1.
  • Figure 2 shows a planar SEM photograph of the film of Example 1.
  • Figure 3 shows a cross-sectional SEM photograph of the fine projections of the film prepared in Example 3.
  • Figure 4 shows a planar SEM photograph of the fine projections of the film prepared in Example 3.
  • Figure 5 shows a cross-sectional SEM picture of the fluorine-based polymer layer formed on the surface of the fine projection of the film prepared in Example 3.
  • Figure 6 shows a cross-sectional SEM picture of the fluorine-based polymer layer formed on the surface of the fine projection of the film prepared in Example 3.
  • a 500 nm thick Si0 2 layer was formed on a silicon wafer using PECVE Plasma-enhanced, chemi cal vapor deposi- tion.
  • a negative photoresist was applied onto the Si0 2 layer, and ultraviolet rays were irradiated to form a plate-shaped pattern having a diameter of 23 ⁇ 4 m using a photomask. And the other part was removed using only the photoresist stripping solution, leaving only the pattern (the role of the etching mask) of the plate portion.
  • the Si0 2 layer is etched using BOE buf fered oxided etchant to form a plate-shaped portion [thickness: 0.3] of fine protrusions, which is also realized as a pattern of the plate portion, and a potassium hydroxide solution (silicon wafer etching) is formed.
  • the silicon was etched to form the lamps of three heights and patterns.
  • FIGS. 1 and 2 A cross-sectional view and a plan view of a film having fine protrusions including the plate portion and the pillar portion are as shown in FIGS. 1 and 2, respectively.
  • F luoroctatr i chloros il ane was laminated on the surface of the film formed with the micro-projections including the plate-shaped portion and the lamp portion, and heat-treated in an oven at 100 ° C for 30 minutes. After the heat treatment, the unlaminated residual F0TS was removed using n-nuxene, thereby obtaining a film in which a bloso-based compound layer was laminated on the surface.
  • Example 2 In the film obtained in Example 1, the ratio (H / S) of the height (H) of one of the fine protrusions to the distance (S) between the plate portions of two adjacent minute protrusions was about 0.375.
  • Example 2 In the film obtained in Example 1, the ratio (H / S) of the height (H) of one of the fine protrusions to the distance (S) between the plate portions of two adjacent minute protrusions was about 0.375.
  • the coating solution was prepared by diluting Optool DSX with a content of 0.8 ) in a fluoroalcohol (3M FC3283) solution in phase silver. Then, the film was formed with a fine projection including the plate-like part and the lamp portion was immersed in the coating solution to the surface treatment.
  • the surface-treated film was treated for 60 minutes in a thermo-hygrostat at 60 ° C. and 90% of conditions to obtain a film in which a fluorine compound layer was laminated on the surface.
  • Example 2 15 144 31 147 Comparative Example 1 15 80 31 129
  • Table 1 the film of the above example, in which the micro protrusions of a specific type were formed, exhibited a high contact angle not only for water but also for oleic acid, thereby providing excellent water repellency and It was confirmed to have oil repellency together.
  • the fouling resistant film of the example it showed a contact angle of 130 ° or more with respect to both distilled water and oleic acid, and was found to have super water-repellency and super-oil repellency.
  • a 500 nm thick Si0 2 layer was formed on a silicon wafer using PECVD (Plasma-enhanced chemi cal vapor deposition).
  • PECVD Pullasma-enhanced chemi cal vapor deposition
  • a negative photoresist was applied on the SiC> 2 layer, and ultraviolet rays were irradiated to form a plate-shaped pattern having a diameter of lzm using a photomask. And the other part was removed using only the photoresist stripping solution, leaving only the pattern (the role of the etching mask) of the plate portion.
  • the SiC> 2 worm is etched using a buf fered oi ded etchant (B0E) to form a plate-shaped portion [thickness: 0.3] of a fine protrusion, which is also realized as a pattern of the plate-shaped portion, and a potassium hydroxide solution (silicon wafer). Etching) was used to etch silicon to form a lamppost of pattern of three heights.
  • B0E buf fered oi ded etchant
  • Polytetrafluoroethylene was formed on the surface of the film having the fine protrusions including the plate and column portions formed by applying a pressure of 1 torr, 50 sccm of nucleated fluoropropylene oxide (HFP0), and a heat ray temperature of 65 CTC.
  • HFP0 nucleated fluoropropylene oxide
  • HW-CVD thermochemical vapor deposition
  • FIGS. 5 and 6 cross-sectional SEM photographs and enlarged cross-sectional SEM photographs of the fluorine-based polymer layer formed on the surface of the fine protrusions of the film prepared in Example 1 are shown in FIGS. 5 and 6, respectively.
  • Chromium (Cr) was deposited to a thickness of about 200 ⁇ using a sputter on the organic substrate.
  • a negative photoresist was applied onto the deposited chromium layer, and ultraviolet rays were irradiated to form a reverse phase of a circular pattern having a diameter of 6 using a photomask.
  • region which was not hardened was removed using the photoresist stripping liquid [production of a photomask].
  • a negative photoresist is applied to the clam layer having the circular pattern having a thickness of 7, and an ultraviolet ray is exposed using an index matching liquid and a diffuser to form a shape of an inverted cone or an inverted polygonal pyramid.
  • Photoresist (PR) containing fine protrusions was formed.
  • a mold was prepared using polydimethylsiloxane. After the fluorine surface treatment on the mold, polydimethylsiloxane was injected into the mold to prepare a film having fine protrusions.
  • a coating solution was prepared by diluting Optool DSX in a content of 0.8 ⁇ % in a fluoroalcohol (3M FC3283) solution at room temperature. And ⁇ the film having the fine protrusions including the plate-shaped part and the lamp part manufactured. Immersed in the coating solution and surface treated
  • the surface treated film was treated for 60 minutes in a constant temperature and humidity chamber at 60 ° C. and 901% to obtain a film in which a fluorine compound layer was laminated on the surface.
  • Water and oleic acid were each put on the film obtained in the above example by a tangent method, and the contact angle was measured using a DSA 100 measuring device.
  • Example 3 and 4 films are excellent water repellency among properties in water as well as exhibits a high contact angle even for oleic acid, and the oil repellency is formed in the structure and arrangement of the fine protrusions is specific for a particular form, as identified in Table 2 It was confirmed to have together. Specifically, the films of Examples 3 and 4 exhibited a contact angle of 130 0 or more, and were confirmed to have super water repellency and super oil repellency.

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Abstract

본 발명은, 특정의 형상 및 크기를 갖는 미세 돌기가 표면에 형성된 발수성 및 발유성을 갖는 필름, 상기 필름을 포함하는 전기 전자 장치 및 특정의 형상 및 크기를 갖는 미세 돌기가 형성된 외부면을 포함하는 전기 전자 장치에 관한 것이다.

Description

【명세세
【발명의 명칭】
발수성 및 발유성을 갖는 필름 및 전기 전자 장치
【기술분야】
본 발명은 발수성 및 발유성을 갖는 필름， 상기 필름을 포함한 전기 전자 장치 및 특정의 구조를 갖는 외부면을 포함한 전기 전자 장치에 관한 것이다.
【발명의 배경이 되는 기술】
오염 물질의 전사로 인하여 전자 제품의 성능이 저하되거나 오작동이 유발되고 보다 높은 외관 품질이 요구됨에 따라서， 최근에서는 내오염성을 갖는 표면 처리가 된 전자 제품이 등장하고 있다.
디스플레이 장치 등의 전자 제품의 표면에 내오염성을 부여하기 위하여， 제품의 외부 표면에 특정한 패턴을 형성하여 오염 물질의 전사량을 낮추는 방법이나， 친유성 코팅를 통해 전사되는 오염 물질을 넓게 퍼지게 하는 방법 등이 사용되고 있는 실정이다.
구체적으로， 제품의 외부 표면에 특정한 패턴을 형성하여 내오염성을 확보하는 방법에서는， 마이크로 사이즈의 입자나 패턴을 제품의 외부에 형성함으로서 표면 요철올 만들어서 헤이즈를 높게 하고， 이에 따라 오염 물질이 제품에 묻어도 눈에 쉽게 띄지 않도록 한다.
예를 들어， 한국공개특허 제 2007-0084369호는 그물망 형태로 연결된 돌출구조물을 표면으로 구비한 초소수성 기판이 개시되어 있으며, 한국공개특허 제 2010-0105241호에는 특정의 높이 및 넓이를 갖는 내지문 패턴에 관하여 개시하고 있으며， 한국공개특허 제 2011-7003244호에는 원기등, 피라미드형 각뿔대, 원뿔대， 복합포물선, 복합타원형， 폴리오브젝트 (polyobj ect ) , 또는 입체로 된 원뿔 곡선 회전체 형태의 돌기로 이루어진 패턴이 개시되어 있다.
그러나， 이전에 알려진 특정한 패턴이나 돌기를 형성하는 방법에 따르면 헤이즈가 10% 이상이 되어 디스플레이 장치 등에서는 화면의 선명도를 저하시키거나， 과량의 오염 물질이 전사되었을 때에는 표면의 요철 내부로 오염 물질이 침투하여 제거가 오히려 어려워지는 한계가 ol
λ < Λ) Γ0.
^ .
그리고， 친유성 코팅은 불량한 외관 특성을 유발하는 주요 인자인 피지가 묻었을 때 얇고 넓게 퍼지게 함으로써 가시성을 확보할 수 있게 한다. 다만, 친유성 코팅은 높은 투과도와 낮은 헤이즈 특성을 갖는데 반하여， 지문이 묻는 양을 감소시키기 보다는 묻은 지문이 잘 보이지 않게 하는 지문 은닉 방법으로서， 지문 전사량 자체를 줄일 수 없으며， 지문이 과량으로 전사 및 적층되는 경우 완전히 제거하기가 용이하지 않은 한계가 있다.
한편， 불소계 화합물을 포함하는 코팅 재료를 사용하여， 제품 외부의 표면 에너지를 낮추어 내오염 특성을 확보하는 방법도 알려져 있다. 그러나， 불소계 화합물을 포함하는 코팅 재료의 코팅에 따라서， 물과 기름에 대한 접촉각이 커져서 발수 및 발유 특성을 높일 수 있으나， 오염 물질의 전사를 방지할 정도의 특성， 예를 들어 초발수 및 초발유 특성을 확보하는 데에는 부족하였다. 또한， 상기 방법에 의해서도 오염 물질이 전사되는 양을 충분히 줄이기 어려웠으며， 전사된 오염 물질의 제거가 용이하지 않은 한계가 있었다.
즉， 이전에 알려진 내오염성 제품들은 발수성 및 발유성을 동시에 갖지 못하였으며， 전사되는 오염 물질을 용이하게 제거할 수 있는 특성 또한 갖지 못하였다.
【선행기술문헌】
【특허문헌】
(특허문헌 1) 한국공개특허 제 2007-0084369호
(특허문헌 2) 한국공개특허 제 2010-0105241호
(특허문헌 3) 한국공개특허 쎄 2011— 7003244호
【발명의 내용】
【해결하고자 하는 과제】
본 발명은 제품 표면에 전사되는 오염 물질의 양을 최소화할 수 있고 전사된 오염 물질을 용이하게 제거할 수 있는 특성을 가지면서도， 높은 발수성 및 발유성을 동시에 갖는 필름을 제공하기 위한 것이다.
또한， 본 발명은 상기 필름을 포함하는 전기 전자 장치를 제공하기 위한 것이다.
또한， 본 발명은 제품 표면에 전사되는 오염 물질의 양을 최소화할 수 있고 전사된 오염 물질을 용이하게 제거할 수 있는 특성을 가지면서도， 높은 발수성 및 발유성을 동시에 갖는 외부면을 포함한 전기 전자 장치를 제공하기 위한 것이다.
【과제의 해결 수단】
본 발명은， 기등부 및 상기 기둥부의 윗면에 위치한 판상부를 포함하는 마이크로 후드 형상을 갖는 미세 돌기를 2이상 포함하고， 서로 이웃하는 2개의 상기 미세 돌기들의 판상부 간의 거리 (S)에 대한 상기 미세 돌기 중 하나의 높이 (H)의 비율 (H/S)이 0.2 내지 0.4인 , 발수성 및 발유성을 갖는 필름을 제공한다.
또한， 본 발명은 상기 필름을 포함하는 전기 전자 장치를 제공한다. 또한， 본 발명은， 기둥부 및 상기 기등부의 윗면에 위치한 판상부를 포함하는 마이크로 후드 형상을 갖는 미세 돌기가 2이상 형성되어 있는 외부면을 포함하고， 상기 서로 이웃하는 2개의 상기 미세 돌기들의 판상부 간의 거리 (S)에 대한 상기 미세 돌기 중 하나의 높이 (H)의 비율 (H/S)이 0.2 내지 0.4인， 전기 전자 장치를 제공한다.
이하 발명의 구체적인 구현예에 따른 발수성 및 발유성을 갖는 필름 및 전기 전자 장치에 대하여 보다 상세하게 설명하기로 한다.
본 명세서에서， '필름' 은 얇은 막 형태의 물건을 의미하며， 그 재질은 크게 제한되지 않고， 예를 들어 고분자 등의 유기물 또는 금속이나 실리콘 등의 무기물 등을 포함할 수 있다. 발명의 일 구현예에 따르면， 기등부 및 상기 기등부의 윗면에 위치한 판상부를 포함하는 마이크로 후드 형상을 갖는 미세 돌기를 2이상 포함하고， 서로 이웃하는 2개의 상기 미세 돌기들의 판상부 간의 거리 (S)에 대한 상기 미세 돌기 중 하나의 높이 (H)의 비율 (H/S)이 0.2 내지 0.4인， 발수성 및 발유성을 갖는 필름이 제공될 수 있다.
본 발명자들은， 상기 특정의 구조를 가지면 크기에 관련한 비율이 특정된 미세 돌기를 포함하는 필름이 물에 대하여서뿐만 아니라 유기 성분에 대해서도 높은 접촉각을 가져서 초발수성 및 초발유성을 구현할 수 있고, 전사되는 오염 물질의 양을 최소화하면서도 전사된 오염 물질을 용이하게 제거할 수 있는 특성을 갖는다는 점을 실험을 통하여 확인하고 발명을 완성하였다.
상기 필름에 유기 성분이나 액체가 전사되는 경우， 상기 미세 돌기와 상기 필름의 기재면으로 정의되는 소정의 공간에 공기 주머니 (ai r pocket )를 형성하여， 상기 일 구현예의 필름이 유기 성분이나 액체에 대하여 높은 반발력과 높은 접촉각을 갖도록 할 수 있다.
특히, 상기 필름에는 상술한 형상의 미세 돌기가 2이상 포함될 수 있으며， 서로 이웃하는 2개의 상기 미세 돌기들의 판상부 간의 거리 (S)에 대한 상기 미세 돌기 중 하나의 높이 (H)의 비율 (H/S)이 0.2이상， 또는 0.2 내지 0.4일 수 있다.
상기 비율 (H/S)는 상기 서로 이웃하는 2개의 미세 돌기들의 판상부 간의 거리에 대한 상기 2개의 미세 돌기들 중 하나의 높이의 비율 일 수 있다.
상기 서로 이웃하는 2개의 미세 돌기들의 판상부 간의 거리는， 서로 이웃하는 상기 미세 돌기들의 판상부 간의 최단 거리일 수 있다.
이와 같이， 이웃하는 미세 돌기의 상부간의 거리와 하나의 미세 돌기의 높이가 상술한 범위의 비율을 갖음에 따라서, 표면에 전사된 유기물 성분이나 수분 성분에 대한 접촉각이 보다 높일 수 있고， 상기 성분들의 접촉하는 면적을 즐일 수 있으며， 상기 미세 돌기와 필름의 기재면으로 정의되는 공간에 공기 주머니 (ai r pocket )를 보다 용이하게 형성하고 유지할 수 있다. 또한， 상기 발수성 및 발유성을 갖는 필름 이 유기물 성분이나 또는 물에 대하여 보다 낮은 상호 작용 에너지를 갖게 하여， 전사되는 유기물 성분이나 수분의 양을 최소화할 수 있으면서도 전사된 유기물을 용이하게 제거할 수 있다.
상기 이웃하는 미세 돌기들의 상부 간의 거리에 대한 미세 돌기의 높이의 비율이 너무 작은 경우, 예를 들어 상기 미세 돌기의 높이가 너무 작거나 상기 미세 돌기들의 판상부가 간의 거리가 너무 크면， 상기 미세 돌기와 필름의 기재면으로 정의되는 공간이 공기 주머니 (ai r pocket )를 형성하기에 적절한 부피나 형상을 갖기 어렵거나 형성되는 공기 주머니가 쉽게 붕괴될 수 있다.
또한， 상기 이웃하는 미세 돌기들의 상부 간의 거리에 대한 미세 돌기의 높이의 비율이 너무 큰 경우， 예를 들어 상기 미세 돌기의 높이가 너무 크면 상기 필름이나 미세 돌기 자체의 기계적 경도나 물성이 저하될 수 있으며， 상기 미세 돌기들의 판상부가 간의 거리가 너무 작으면 상기 필름 외부 면이 미세 돌기가 형성되지 않은 평면과 실질적으로 차이가 없는 구조적 특징 또는 표면 특징을 갖게 되어 상술한 발수성 및 발유성의 특성을 동시에 확보하기 어려울 수 있다.
이전에는 필름 외부에 일정한 패턴이나 돌기가 형성되어 일정 수준의 이상의 발수성을 갖는 재료에 대해서는 일부 알려진 바 있으나， 이러한 종래의 필름에서는 시간에 경과에 따라서, 또는 외부의 압력이나 액체에 작용하는 중력， 또는 모세관 현상 등에 의하여 공기 주머니 (ai r pocket )가 붕괴되어 표면에 전사된 유기물 성분이나 수분 성분이 내부로 파고들게 되어 버리는 현상이 나타났다.
그러나， 상기 일 구현예의 필름에 포함되는 미세 돌기의 형태적 특징과 상기 이웃하는 미세 돌기들의 상부 간의 거리에 대한 미세 돌기의 높이의 비율에 따른 표면 특성으로 인하여， 상술한 시간의 경과나 외부 압력， 액체에 작용하는 중력， 모세관 현상 등의 요인에 의한 공기 주머니 (ai r pocket ) 붕괴를 방지할 수 있으며， 필름 외부에 전사되는 유기물 성분이나 수분 성분이 내부로 파고들거나 스며드는 현상을 방지할 수 있다.
한편， 상기 미세 돌기는 상기 일 구현예의 필름 외부로 돌출되도록 형성되며 ran 또는 卿 단위의 높이나 폭을 갖는 구조체를 의미한다.
상기 미세 돌기는 기등부 및 상기 기등부의 윗면에 위치한 판상부를 포함하는 마이크로 후드 형상을 가질 수 있으며， 이러한 형태의 미세 돌기의 일 예는 도 1에 나타낸 바와 같다.
상기 미세 돌기의 기등부는 원기등， 원뿔대， 다각기둥， 다각뿔대， 역원뿔대 또는 역다각뿔대의 형상을 가질 수 있다.
상기 미세 돌기는 소정의 입체 형상을 갖는 기등부의 윗면에 위치하는 판상부의 존재로 인하여， 표면에 전사된 유기물 성분이나 수분 성분에 대한 접촉각이 매우 커질 수 있으며， 상기 유기물 성분이나 수분 성분이 상기 필름에 접하는 면적도 최소화할 수 있다.
또한， 상기 미세 돌기의 판상부는 상기 필름의 내부 구조 상에 형성되는 공기 주머니 ( a i r pocket )를 감싸는 형태를 취할 수 있어서， 공기 주머니 ( ai r pocket )의 붕괴를 방지할 수 있으며， 상기 필름 표면에 전사된 유기물 성분이나 수분 성분을 일부 지지 하여 이들이 필름 내부로 파고드는 현상을 방지할 수 있다.
표면에 전사된 유기물 성분이나 수분 성분에 대한 접촉각을 보다 높이고 공기 주머니 (a i r pocket )를 보다 용이하게 형성하고 유지하기 위하여， 상기 미세 돌기의 기등부는 원기등， 원뿔대， 다각기둥, 다각뿔대， 역원뿔대 또는 역다각뿔대의 형상을 가질 수 있다.
상기 판상부는 상기 기둥부의 윗면， 즉 상기 기둥부의 돌출 방향 최외각면에 비하여 넓은 면적을 가질 수 있다. 즉, 상기 판상부는 상기 기등부의 돌출 방향의 상부 최외각면의 전체 면적에 접하면서도， 이러한 기등부의 상면의 최외각부에 비하여 넓은 면적을 가질 수 있다.
상기 판상부의 넓이가 크게 한정되는 것은 아니나， 상기 기둥부의 돌출 방향의 최외각면의 단면적 (기재와 수평 방향에 대한 단면 )에 비하여 1 .2배 내지 10배의 넓이를 가질 수 있다. 상기 판상부의 넓이가 너무 작으면 판상부를 포함함에 따른 효과의 발현이 미미할 수 있다. 또한， 상기 판상부의 넓이가 너무 크면 상기 필름 외부의 기계적 강도가 낮아질 수 있으며， 상기 미세 돌기의 구조가 쉽게 붕괴될 수 있다.
상기 판상부의 형태는 크게 한정되는 것은 아니나， 예들 들어 상기 필름의 기재면 방향에 대한 상기 판상부의 단면이 원， 타원 또는 3 내지 20의 내각을 갖는 다각형일 수 있다. 상기 필름의 기재면 방향에 대한 상기 판상부의 단면은 상기 필름의 기재면과 평행한 방향에서의 상기 판상부 단면을 의미한다.
또한， 상기 기재의 수직 방향에 대한 상기 판상부의 단면은 직사각형， 사다리꼴 또는 역사다리꼴 일 수 있다.
상기 미세 돌기의 판상부의 최대 직경이 0. 1卿 내지 100 βΐα , 또는 0.2 내지 50 /m일 수 있다. 상기 판상부의 최대 직경이 너무 크면, 상기 필름의 표면에서 판상부가 차지하는 비율이 너무 커지거나， 유기물 성분이나 수분 성분이 상기 필름에 접하는 면적이 지나치게 넓어져서 통상의 평면 필름과 실질적으로 동일한 표면 구조 또는 특성을 갖게 되어 버릴 수 있다. 또한， 상기 판상부의 최대 직경이 너무 작으면， 상기 미세 돌기가 판상부를 포함하지 않은 것과 같은 형상을 갖게 되거나， 상기 유기물 성분이나 수분 성분이 상기 필름에 접할 때에 상기 판상부에 따른 입체 구조적 특성이 발현되기 어려울 수 있다.
상기 미세 돌기의 판상부의 두께는 0.05 내지 10 ， 또는 0.2 an 내지 2 卿일 수 있다. 상기 판상부의 두께가 너무 작으면， 상기 필름 외부의 기계적 물성이 저하될 수 있으며， 상기 판상부가 너무 두꺼우면 상기 기재와 상기 미세돌기로 정의되는 공간 내에 공기 주머니가 형성되기 용이하지 않을 수 있다.
상기 미세 돌기의 기등부의 높이가 0.02 / 내지 40 IM , 또는 0.05 내지 10 일 수 있다. 상기 미세 돌기의 기둥부의 높이는 상기 필름의 기재면으로부터 판상부까지의 거리로 정의될 수 있다.
상기 미세 돌기의 높이가 너무 작으면， 상기 미세 돌기와 필름의 기재면으로 정의되는 공간이 공기 주머니 (ai r pocket )를 형성하기에 적절한 부피나 형상을 갖기 어렵거나 형성되는 공기 주머니가 쉽게 붕 될 수 있다. 또한， 상기 미세 돌기의 높이가 너무 크면 상기 필름이나 미세 돌기 자체의 기계적 경도나 물성이 저하될 수 있다. - 상기 미세 돌기의 돌출 방향으로의 단면의 최초 폭이 0. 1 im 내지
200 ^m , 또는 0.2 내지 50 일 수 있다. 상기 미세 돌기 단면의 최초 폭이 너무 작으면， 상기 일 구현예의 필름의 표면의 기계적 물성이 저하될 수 있다. 또한， 상기 미세 돌기 단면의 폭이 너무 크면， 상기 일 구현예의 필름 외부에 전사되는 표면에 전사된 유기물 성분이나 수분 성분에 대한 접촉각이 낮아지거나 이들에 대한 반발력이 저하될 수 있다. 또한， 상기 미세 돌기 단면의 최초 폭이 너무 작거나 크면， 유기물 성분이나 수분 성분이 상기 필름 표면에 접하는 면적이 지나치게 넓어져서 상기 일 구현예의 필름이 통상의 평면 필름과 실질적으로 동일한 표면 구조 또는 특성을 갖게 되어버릴 수 있다.
상기 미세 돌기는 제조하는 방법에 따라서 다양한 재질을 포함할 수 있으며， 또한 상기 미세 돌기의 각 부분, 예를 들어 상기 기등부 및 판상부가서로 같거나 다른 재질로 이루어질 수 있다.
구체적으로， 상기 미세 돌기는 유리， 실리콘， 금속으로 도핑된 실리콘, 폴리실리콘, 실리콘계 고분자， 금속， 우레탄 수지， 폴리이미드 수지， 폴리에스테르 수지， (메타)아크릴레이트계 고분자 수지， 폴리에틸렌 또는 폴리프로필렌 등의 폴리을레핀계 수지 및 감광성 고분자 수지로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상을 포함할 수 있다.
예를 들어， 상기 미세 돌기의 재질로 사용 가능한 성분이 포함된 기재 상에 에칭 마스크를 이용하여 상기 판상부의 패턴을 형성하고 이를 에칭하여 상기 미세 돌기의 판상부를 형성할 수 있으며， 이후에 남은 재료를 에칭하여 상기 미세 패턴의 기둥부를 형성할 수 있다.
또한， 소정의 기재 상에 상기 미세 돌기의 기등부를 이루는 성분을 적층하고 그 위에 상기 판상부를 이루는 성분을 적층한 이후에， 에칭 마스크를 이용하여 판상부 형상의 패턴을 형성하고， 판상부를 이루는 재료 및 기등부를 이루는 재료를 순차적으로 에칭함으로서, 상술한 미세 패턴을 형성할 수 있다.
또한， 상기 미세 돌기는 감광성 수지 조성물을 소정의 기판 (예들 들어 실리콘 기판 유기 기판 또는 고분자 기판 등)에 도포하고， 노광 및 알카리 현상하여 일정한 패턴을 형성하여 얻어질 수 있다. 예들 들어， 감광성 수지 조성물을 소정의 기판에서 도포한 후， 특정 패턴의 포토마스크를 사용하고， 미세 돌기의 돌출 방향 쪽 또는 이의 후면 방향에서 노광하고 현상하여， 측면이 경사를 갖는 역원뿔대의 형상을 갖는 미세 돌기를 형성할 수 있다.
한편， 상기 일 구현예의 필름은， 상기 미세 돌기 외부에 적층된 5nm 내지 5 의 두께를 갖는 불소계 화합물층을 더 포함할 수 있다.
상기 필름의 외부에 블소계 고분자층을 추가로 형성하는 경우， 상기 을레산 또는 증류수에 대하여 보다 높은 접촉각을 가질 수 있으며， 이에 따라 초발수성 및 초발유성을 함께 구현할 수 있다. 상기 블소계 화합물층은 불소계 단분자 화합물， 불소계 고분자 화합물 또는 이들의 흔합물을 포함할 수 있다.
상기 불소계 단분자 화합물은 불소가 치환된 지방족， 지환족 또는 방향족의 작용기를 포함하는 실록산계 분자이거나， 퍼플루오로폴리에테르계 화합물일 수 있으며， 이러한 화합물 또는 분자는 상기 미세 돌기 또는 일 구현예의 필름의 표면과 결합 가능한 에폭시 실란, 메특시 실란， 클로로 실란 등의 작용기를 말단에 포함할 수 있다.
상기 블소계 고분자 화합물은 불소를 포함한 작용기를 포함하는 반웅성 단량체를 이용하여 합성되는 중합체 또는 공중합체를 포함할 수 있다. .
구체적으로， 상기 불소계 고분자 화합물은 불소계 작용기가 치환된 (메타)아크릴레이계 고분자 화합물을 포함할 수 있다. 이러한 불소계 작용기가 치환된 (메타)아크릴레이계 고분자 화합물은 탄소수 2 내지 12의 퍼플루오로알킬 (메타)아크릴레이트， 펜타플루오로페닐 (메타)아크릴레이트, 펜타플로오로벤질 (메타)아크릴레이트 또는 이들의 2종 이상의 흔합물을 중합 또는 공중합하여 얻어질 수 있다.
상기 불소계 화합물층은 다양한 코팅 방법이나 증착 방법을 통하여 상기 미세 돌기의 외면에 형성될 수 있으며， 상기 미세 돌기뿐만 아니라 상기 필름의 기재면에 적층될 수 도 있다.
상기 불소계 화합물층의 형성 또는 적층에는 다양한 코팅 방법 및 증착 방법이 사용될 수 있으며， 보다 균일하고 적절한 두께를 갖는 불소계 화합물층을 형성을 위해서는 열적 증착 방법， 열선화학기상증착 (HW-CVD) 방법 또는 라디칼 중합법을 사용할 수 있다.
상기 열선화학기상증착 (HW-CVD) 방법을 사용하면， 상기 기등부 및 판상부를 포함하는 2미세 돌기의 전체 영역에 걸쳐 균일한 두께를 갖는 불소계 화합물층을 형성할 수 있으며， 특히， 상기 미세 돌기의 판상부의 하면이나 상기 기등부와 판상부가 접하는 부분에도 균일한 두께의 불소계 화합물층을 형성할 수 있다.
이에 따라, 상기 불소계 화합물층은 열선 기상 화학 증착 방법을 사용하여 상기 불소계 고분자 수지 또는 이의 전구체를 상기 2미세 돌기 외부에 적층함으로서 형성될 수 있다.
상기 미세 돌기의 형태， 크기 및 미세 돌기간의 간격 등은 상기 미세 돌기 외부 표면에 형성된 불소계 화합물층까지 포함하여 정의될 수 있다. 한편， 상기 일 구현예의 필름은 3ul의 을레산 (oleic acid)에 대하여 130° 이상의 접촉각， 또는 130° 내지 150° 의 접촉각을 가질 수 있다.
또한, 상기 일 구현예의 필름은 3ul의 증류수에 대하여 130° 이상의 접촉각， 또는 130° 내지 150° 의 접촉각을 가질 수 있다.
상기 필름에서는 유기물 성분이나 수분 성분에 대하여 극히 높은 접촉각과 높은 반발력을 가질 수 있으며， 이러한 유기물 성분이나 수분 성분이 접촉하는 면적 또한 극히 작다. 상기 일 구현예의 발수성 및 발유성을 갖는 필름은 유기물 성분 및 수분 성분에 모두 대하여 Cassie- Baxter state를 구현할 수 있다. 한편， 발명의 또 다른 구현예에 따르면， 상술한 발명의 일 구현예의 발수성 및 발유성을 갖는 필름을 포함하는， 전기 전자 장치가 제공될 수 있다.
상술한 바와 같이, 상기 필름은 기등부 및 상기 기등부의 윗면에 위치한 판상부를 포함하는 마이크로 후드 형상을 갖는 미세 돌기를 2이상 포함할 수 있으며， 서로 이웃하는 2개의 상기 미세 돌기들의 판상부 간의 거리 (S)에 대한 상기 미세 돌기 중 하나의 높이 (H)의 비율 (H/S)이 0.2 내지 0.4일 수 있다.
상기 미세 돌기 표면에는 불소계 화합물층이 적층될 수 있다.
상기 필름에 형성되는 미세 돌기에 대한 구체적인 내용은 상술한 바와 같다.
상기 필름은 3ul의 을레산 (oleic acid)에 대하여 130° 이상의 접촉각， 또는 130° 내지 150° 의 접촉각을 가질 수 있다.
또한， 상기 필름은 3ul의 증류수에 대하여 130° 이상의 접촉각， 또는 130° 내지 150° 의 접촉각을 가질 수 있다.
상기 필름에서는 유기물 성분이나 수분 성분에 대하여 극히 높은 접촉각과 높은 반반력을 가질 수 있으며， 이러한 유기물 성분미나 수분 성분이 접촉하는 면적 또한 극히 작다. 상기 필름은 유기물 성분 및 수분 성분에 모두 대하여 Cass i e-Baxter st ate를 구현할 수 있다.
상기 전기 전자 장치는 각종 전기 소자， 디스플레이 장치， 반도체 장치， 가전 제품 등을 모두 포함하는 의미이다.
이러한 전기 전자 장치의 예로는， TV , 컴퓨터 모니터， 핸드폰 액정 장치， 다양한 LCD , LED 또는 0LED장치 등의 디스플레이 장치; 다이오드와 트랜지스터 등으로 이루어진 집적회로소자， 열전자방출소자， 전자식 카메라의 전하결합소자， 태양전지 또는 발광소자 등의 전기 소자; 또는 넁장고， 에어컨， 세탁기, 식기 세척기， 밥솥， 오븐 등의 가전 제품 등을 들 수 있다.
상기 발수성 및 발유성을 갖는 필름은 상기 전기 전자 장치의 내부 또는 외부의 적어도 일면에 형성 또는 결합될 수 있다ᅳ 특히， 상기 발수성 및 발유성을 갖는 필름은 디스플레이 장치의 화면부 표면에 형성될 수 있다. 한편， 상술한 미세 돌기가 표면에 형성된 필름을 전기 전자 장치에 형성하여 상술한 초발수 및 초발유성 특성을 구현할 수도 있으며， 또한 상술한 구현예들의 필름의 표면이 갖는 구조적인 특성을 전지 전자 장치의 일면에 형성함으로서 상술한 구현예들에서 나타나는 작용 및 효과를 구현할 수도 있다.
이에 따라， 발명의 또 다른 하나의 구현예에 따르면， 기둥부 및 상기 기등부의 윗면에 위치한 판상부를 포함하는 마이크로 후드 형상을 갖는 미세 돌기가 2이상 형성되어 있는 외부면을 포함하고， 상기 서로 이웃하는 2개의 상기 미세 돌기들의 판상부 간의 거리 (S)에 대한 상기 미세 돌기 중 하나의 높이 (H)의 비율 (H/S)이 0.2 내지 0.4인 전기 전자 장치가 제공될 수 있다.
상기 구현예들의 전기 전자 장치의 외부면에는 상기 특정 형상의 미세 돌기가 상술한 구조적 특징을 가지고 형성되어， 유기물 성분이나 수분 성분에 대하여 극히 높은 접촉각과 높은 반발력이 나타날 수 있으며， 이에 따라 상기 외부면에 대하여 유기물 성분이나 수분 성분이 접촉하는 면적 또한 극히 작다. 그리고， 상기 구현예들의 전기 전자 장치의 외부면은 유기물 성분 및 수분 성분에 모두 대하여 Cass i e-Baxter state를 구현할 수 있다.
상기 구현예들의 전기 전자 장치의 외부면의 구조적인 특징은 상술한 구현예들의 필름에 관해서 상술한 내용을 모두 포함한다.
상기 구현예들의 전기 전자 장치의 외부면에는 불소계 화합물층이 추가로 형성될 수 있다.
【발명의 효과】
본 발명에 따르면， 제품 표면에 전사되는 오염 물질의 양을 최소화할 수 있고 전사된 오염 물질을 용이하게 제거할 수 있는 특성을 가지면서도, 높은 발수성 및 발유성을 동시에 갖는 필름과， 상기 필름을 포함하는 전기 전자 장치가 제공될 수 있다.
또한， 본 발명에 따르면， 제품 표면에 전사되는 오염 물질의 양을 최소화할 수 있고 전사된 오염 물질을 용이하게 제거할 수 있는 특성을 가지면서도 높은 발수성 및 발유성을 동시에 갖는 외부면을 포함한 전기 전자 장처가 제공될 수 있다.
【도면의 간단한 설명】
도 1은 실시예 1의 필름의 미세 돌기의 단면 SEM사진을 나타낸 것이다. 도 2는 실시예 1의 필름의 평면 SEM사진을 나타낸 것이다.
도 3은 실시예 3에서 제조된 필름의 미세 돌기의 단면 SEM사진을 나타낸 것이다.
도 4는 실시예 3에서 제조된 필름의 미세 돌기의 평면 SEM사진을 나타낸 것이다.
도 5은 실시예 3에서 제조된 필름의 미세 돌기의 표면에 형성된 불소계 고분자층의 단면 SEM사진을 나타낸 것이다.
도 6은 실시예 3에서 제조된 필름의 미세 돌기의 표면에 형성된 불소계 고분자층의 단면 SEM사진을 나타낸 것이다.
【발명을 실시하기 위한 구체적인 내용】
발명을 하기의 실시예에서 보다 상세하게 설명한다. 단， 하기의 실시예는 본 발명을 예시하는 것일 뿐， 본 발명의 내용이 하기의 실시예에 의하여 한정되는 것은 아니다. <실시예 1 내지 2 및 비교예 1: 필름의 제조 >
실시예 1
(1) 미세 돌기의 형성
실리콘 웨이퍼 상에 PECVE Plasma— enhanced , chemi cal vapor deposi t ion)를 이용하여 500nm 두께의 Si02층을 형성하였다. 상기 Si02층 상에 네가티브 포토레지스트를 도포하고， 포토마스크를 이용하여 직경 2¾ m의 판상부 패턴이 형성되도록 자외선을 조사하였다. 그리고， 포토레지스트 박리액을 사용하여 상기 판상부의 패턴 (에칭 마스크 역할)만을 남기고 다른 부분은 제거하였다.
이후, BOE buf fered oxided etchant )를 이용하여 상기 Si02층을 에칭하여 상기 판상부의 패턴으로도 구현되는 미세 돌기의 판상부 [두께: 0.3 ]를 형성하고， 수산화칼륨 용액 (실리콘 웨이퍼 에칭)을 사용하여 실리콘을 에칭하여 3 높이와패턴의 기등부를 형성하였다.
상기 판상부 및 기둥부를 포함한 미세돌기가 형성된 필름의 단면도 및 평면도는 각각 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같다.
(2) 불소계 화합물층 형성
상기 형성된 판상부 및 기등부를 포함한 미세돌기가 형성된 필름의 표면에 기상 증착 방식으로 f luoroctatr i chloros i l ane(FOTS)올 적층하고， 100 °C 오븐에서 30분간 열처리를 하였다. 상기 열처리 이후, n-핵센을 이용하여 미적층 잔류 F0TS를 제거하여， 블소계 화합물층이 표면에 적층된 필름을 얻었다.
상기 실시예 1에서 얻어진 필름에서， 서로 이웃하는 2개의 상기 미세 돌기들의 판상부 간의 거리 (S)에 대한 상기 미세 돌기 중 하나의 높이 (H)의 비율 (H/S)은 약 0.375이였다. 실시예 2
(1) 미세 돌기의 형성
실시예 1에서와 동일한 방법으로 직경 22卿의 판상부 및 높이 3/ m의 판상부 및 기둥부를 포함한 미세돌기가 형성된 필름을 제조하였다. (2) 불소계 화합물층 형성
상은에서 플루오로알콜 (fluoroalcohol, 3M사 FC3283) 용액에 Optool DSX를 0.8 )의 함량으로 회석하여 코팅액을 제조하였다. 그리고, 상기 제조된 판상부 및 기등부를 포함한 미세돌기가 형성된 필름을 상기 코팅액에 침지하여 표면 처리하였다.
상기 표면 처리된 필름을 60°C 및 90^%의 조건의 항온 항습기에서 60분 동안 처리하여, 불소계 화합물층이 표면에 적층된 필름을 얻었다.
상기 실시예 2에서 얻어진 필름에서, 서로 이웃하는 2개의 상기 미세 돌기들의 판상부 간의 거리 (S)에 대한 상기 미세 돌기 중 하나의 높이 (H)의 비율 (H/S)은 약 0.375이였다. 비교예 1
실시예 1에서와 동일한 방법으로 직경 2 πι의 판상부 및 높이 0.9 Π1의 기둥부를 포함한 미세돌기가 형성하고 상기 미세 돌기 상에 불소계 화합물을 적층하였다. 다만， 이와 같이 얻어진 필름에서, 서로 이웃하는 2개의 상기 미세 돌기들의 판상부 간의 거리 (S)에 대한 상기 미세 돌기 중 하나의 높이 (Η)의 비율 (H/S)은 0.09이였다:
<실험예 1: 필름의 물성 측정 >
1. 정접촉각측정
탄젠트 방법 (Tangent method)에 의하여 물과 올레산 (oleic acid) 3μί 각각을 상기 실시예에서 얻어진 필름 상에 을리고， DSA 100 측정 장치를 이용하여 정접촉각을 측정하였다.
상기 측정 결과를 하기 표 1에 나타내었다.
【표 1】 정접촉각 측정 결과
Figure imgf000016_0001
실시예 2 15 144 31 147 비교예 1 15 80 31 129 상기 표 1에서 확인되는 바와 같이， 특정 형태의 미세 돌기가 형성된 상기 실시예의 필름은 물에 대해서뿐만 아니라 올레산에 대해서도 높은 접촉각을 나타내어 우수한 발수성 및 발유성을 함께 갖는 것으로 확인되었다. 구체적으로， 실시예의 내오염성 필름의 경우, 증류수 및 을레산 모두에 대하여 130 ° 이상의 접촉각을 나타내어 초발수성 및 초발유성을 갖는 것으로 확인되었다.
이에 반하여， 비교예 1에서 얻어진 필름은 실시예 1 및 2의 필름에 비하여 증류수 및 올레산 대한 접촉각이 상대적으로 낮게 나타나는 점이 확인되었다.
<실시예 3 내지 4: 필름의 제조 >
실시예 3
( 1) 미세 돌기의 형성
실리콘 웨이퍼 상에 PECVD (Plasma-enhanced chemi cal vapor deposi t ion)를 이용하여 500nm 두께의 Si02층을 형성하였다. 상기 SiC>2층 상에 네가티브 포토레지스트를 도포하고, 포토마스크를 이용하여 직경 l zm의 판상부 패턴이 형성되도록 자외선을 조사하였다. 그리고， 포토레지스트 박리액을 사용하여 상기 판상부의 패턴 (에칭 마스크 역할)만을 남기고 다른 부분은 제거하였다.
이후, B0E(buf fered o i ded etchant )를 이용하여 상기 SiC>2충을 에칭하여 상기 판상부의 패턴으로도 구현되는 미세 돌기의 판상부 [두께: 0.3 ]를 형성하고， 수산화칼륨 용액 (실리콘 웨이퍼 에칭)을 사용하여 실리콘을 에칭하여 3 높이의 패턴의 기등부를 형성하였다.
(2) 블소계 화합물층 형성
1 torr의 압력， 핵사플루오로프로필렌옥사이드 (HFP0) 50 sccm , 열선 온도 65CTC를 적용하여, 상기 형성된 판상부 및 기둥부를 포함한 미세돌기가 형성된 필름의 표면에 폴리테트라플루오르에틸렌 (Polytetraf luroethylene, PTFE)를 열선화학기상증착 (HW-CVD) 하였다. 상기 제조된 필름의 미세 돌기의 단면 SEM사진 및 평면 SEM사진을 각각 도 3 및 도 4에 나타내었다. 상기 실시예 1에서 얻어진 필름에서， 서로 이웃하는 2개의 상기 미세 돌기들의 판상부 간의 거리 (S)에 대한 상기 미세 돌기 중 하나의 높이 (H)의 비율 (H/S)은 0.2 이였다.
그리고， 실시예 1에서 제조된 필름의 미세 돌기의 표면에 형성된 불소계 고분자층의 단면 SEM사진 및 보다 확대된 단면 SEM사진을 각각 도 5 및 도 6에 나타내었다.
ᅳ
실시예 4
(1) 미세 돌기의 형성
유기 기판 상에 스퍼터 (sputter)를 이용하여 크롬 (Cr) 을 약 200ηιη의 두께로 증착하였다. 상기 증착된 크롬층 상에 네가티브 포토레지스트를 도포하고， 포토마스크를 이용하여 직경 6 의 원형 패턴의 역상이 형성되도록 자외선을 조사하였다. 그리고, 포토레지스트 박리액을 사용하여 경화되지 않은 영역을 제거하였다 [포토마스크의 제조].
이후， 상기 원형 패턴이 형성된 크름층 상에 네가티브 포토레지스트를 7 의 두께로 도포하고， 굴절률 정합제 (Index matching liquid)와 디퓨저 (Diffuser)를 사용하여 자외선을 노광하여 역원뿔대 또는 역다각뿔대의 형상을 갖는 미세 돌기가 포함된 포토레지스트 (PR)을 형성하였다.
상기 미세 돌기가 포함된 포토레지스트 (PR) 상에 불소 표면 처리를 한 이후， polydimethylsiloxane을 이용하여 몰드를 제조하였다. 그리고, 상기 몰드 상에 불소 표면 처리를 한 이후, 상기 몰드에 polydimethylsiloxane를 주입하여 미세 돌기가 형성된 필름을 제조하였다.
(2) 불소계 화합물층 형성
상온에서 플루오로알콜 (fluoroalcohol, 3M사 FC3283) 용액에 Optool DSX를 0.8^%의 함량으로 회석하여 코팅액올 제조하였다. 그리고ᅳ 상기 제조된 판상부 및 기등부를 포함한 미세돌기가 형성된 필름을 상기 코팅액에 침지하여 표면 처리하였다ᅳ
상기 표면 처리된 필름을 60°C 및 901 %의 조건의 항온 항습기에서 60분 동안 처리하여, 불소계 화합물층이 표면에 적층된 필름을 얻었다.
<실험예 2: 내오염성 필름의 물성 측정 >
1. 정접촉각측정
탄젠트 방법 (Tangent method)에 의하여 물과 올레산 (olei c acid) 각각을 상기 실시예에서 얻어진 필름 상에 올리고， DSA 100 측정 장치를 이용하여 정접촉각을 측정하였다.
[표 2] 정접촉각 측정 결과
Figure imgf000019_0001
상기 표 2에서 확인되는 바와 같이， 특정 형태의 미세 돌기가 특정의 구조 및 배열로 형성된 상기 실시예 3 및 4의 필름은 물에 대하여서뿐만 아니라 올레산에 대해서도 높은 접촉각을 나타내어 우수한 발수성' 및 발유성을 함께 갖는 것으로 확인되었다. 구체적으로， 상기 실시예 3 및 4의 필름은 130 0 이상의 접촉각을 나타내어 초발수성 및 초발유성을 갖는 것으로 확인되었다.

Claims

【특허청구범위】
【청구항 1】
기등부 및 상기 기등부의 윗면에 위치한 판상부를 포함하는 마이크로 후드 형상을 갖는 미세 돌기를 2이상 포함하고，
서로 이웃하는 2개의 상기 미세 돌기들의 판상부 간의 거리 (S)에 대한 상기 미세 돌기 중 하나의 높이 (H)의 비율 (H/S)이 0.2 내지 0.4인, 발수성 및 발유성을 갖는 필름.
【청구항 2]
제 1항에 있어서，
상기 미세 돌기의 기등부는 원기등， 원뿔대， 다각기등， 다각뿔대， 역원뿔대 또는 역다각뿔대의 형상을 갖는， 필름.
【청구항 3]
게 1항에 있어서，
상기 미세 돌기의 판상부가 상기 기등부의 돌출 방향의 최외각 단면에 비하여 1.2배 내지 10배의 면적을 갖는， 필름.
【청구항 4】
게 1항에 있어서,
상기 필름의 기재면 방향에 대한 상기 미세 돌기의 판상부의 단면이 원， 타원 또는 3 내지 20의 내각을 갖는 다각형인， 필름
【청구항 5】
제 1항에 있어서，
상기 미세 돌기의 판상부의 최대 직경이 0. 1 내지 100 인， 필름.
【청구항 6】
제 1항에 있어서,
상기 미세 돌기의 판상부의 두께가 0.05 내지 10 인， 필름.
【청구항 7】
제 1항에 있어서，
상기 미세 돌기의 높이가 0.02 내지 40 인， 필름.
【청구항 8]
제 1항에 있어서，
상기 미세 돌기의 돌출 방향으로의 단면의 최초 폭이 0. 1 내지 200 인， 필름.
【청구항 9】
제 1항에 있어서,
상기 미세 돌기는 유리， 실리콘， 금속으로 도핑된 실리콘， 폴리실리콘, 실리콘계 고분자， 금속, 우레탄 수지， 폴리이미드 수지， 폴리에스테르 수지， (메타)아크릴레이트계 고분자 수지， 폴리올레핀계 수지 및 감광성 고분자 수지로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상을 포함하는， 필름
【청구항 10】
게 1항에 있어서，
상기 미세 돌기 외부에 적층된 불소계 화합물층을 더 포함하는， 필름.
【청구항 11]
제 11항에 있어서，
상기 불소계 화합물층은 5nm 내지 5 의 두께를 갖는 필름.
【청구항 12]
제 11항에 있어서，
상기 불소계 화합물층은 불소계 단분자 화합물， 불소계 고분자 화합물 또는 이들의 혼합물을 포함하는， 필름.
【청구항 13]
제 1항의 필름을 포함하는， 전기 전자 장치.
【청구항 14】
제 13항에 있어서，
상기 필름은 3ul의 올레산 (olei c acid)에 대하여 130° 이상의 접촉각을 갖는， 전기 전자 장치.
【청구항 15】
제 13항에 있어서,
상기 필름은 3ul의 증류수에 대하여 130° 이상의 접촉각을 갖는, 전기 전자 장치 .
【청구항 16】
기등부 및 상기 기등부의 윗면에 위치한 판상부를 포함하는 마이크로 후드 형상을 갖는 미세 돌기가 2이상 형성되어 있는 외부면을 포함하고， 상기 서로 이웃하는 2개의 상기 미세 돌기들의 판상부 간의 거리 (S)에 대한 상기 미세 돌기 중 하나의 높이 (H)의 비을 (H/S)이 0.2 내지 0.4인， 전기 전자 장치 .
【청구항 17】
제 16항에 있어서，
상기 미세 돌기 표면에는 불소계 화합물층이 적층된 전기 전자 장치
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10487403B2 (en) * 2016-12-13 2019-11-26 Silcotek Corp Fluoro-containing thermal chemical vapor deposition process and article
CN107132599B (zh) * 2017-04-24 2020-02-07 武汉华星光电技术有限公司 微结构基板及制造方法、显示装置
CN109957788A (zh) * 2017-12-22 2019-07-02 西尔科特克公司 含氟热化学气相沉积方法和制品

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007077201A (ja) * 2005-09-12 2007-03-29 Swcc Showa Cable Systems Co Ltd 超撥水構造の形成方法
KR20070084369A (ko) 2004-10-20 2007-08-24 코닌클리케 필립스 일렉트로닉스 엔.브이. 양자화 잡음을 감소시키는 방법
KR20100003419A (ko) * 2008-07-01 2010-01-11 엘지마이크론 주식회사 초발수 필름 및 이의 제조 방법
KR20100105241A (ko) 2009-03-20 2010-09-29 엘지전자 주식회사 디스플레이 장치의 윈도우 및 이를 갖는 휴대 단말기
KR20110003244A (ko) 2009-12-11 2011-01-11 심상근 갈라진 돌기들로 구성된 지압매트
KR20110053333A (ko) * 2008-08-07 2011-05-20 유니-픽셀 디스플레이스, 인코포레이티드 표면상의 지문 현상을 줄이기 위한 미세구조
JP2012219249A (ja) * 2011-04-14 2012-11-12 Kagawa Univ 超撥水撥油防汚性透光性フィルムとその製造方法ならびにそれらを用いたガラス窓、太陽エネルギー利用装置、光学機器、および表示装置
US20120293586A1 (en) * 2011-05-18 2012-11-22 Xerox Corporation Enhancing superoleophobicity and reducing adhesion through multi-scale roughness by ald/cvd technique in inkjet application

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20080198457A1 (en) * 2007-02-20 2008-08-21 Pentax Corporation Dust-proof, reflecting mirror and optical apparatus comprising same
WO2009107191A1 (ja) * 2008-02-25 2009-09-03 Ogawa Kazufumi 撥水撥油防汚性ガラス板およびその製造方法ならびにそれを用いた乗り物および建築物

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20070084369A (ko) 2004-10-20 2007-08-24 코닌클리케 필립스 일렉트로닉스 엔.브이. 양자화 잡음을 감소시키는 방법
JP2007077201A (ja) * 2005-09-12 2007-03-29 Swcc Showa Cable Systems Co Ltd 超撥水構造の形成方法
KR20100003419A (ko) * 2008-07-01 2010-01-11 엘지마이크론 주식회사 초발수 필름 및 이의 제조 방법
KR20110053333A (ko) * 2008-08-07 2011-05-20 유니-픽셀 디스플레이스, 인코포레이티드 표면상의 지문 현상을 줄이기 위한 미세구조
KR20100105241A (ko) 2009-03-20 2010-09-29 엘지전자 주식회사 디스플레이 장치의 윈도우 및 이를 갖는 휴대 단말기
KR20110003244A (ko) 2009-12-11 2011-01-11 심상근 갈라진 돌기들로 구성된 지압매트
JP2012219249A (ja) * 2011-04-14 2012-11-12 Kagawa Univ 超撥水撥油防汚性透光性フィルムとその製造方法ならびにそれらを用いたガラス窓、太陽エネルギー利用装置、光学機器、および表示装置
US20120293586A1 (en) * 2011-05-18 2012-11-22 Xerox Corporation Enhancing superoleophobicity and reducing adhesion through multi-scale roughness by ald/cvd technique in inkjet application

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
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US20150225608A1 (en) 2015-08-13
TWI527889B (zh) 2016-04-01

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