WO2015016104A1 - 流体圧シリンダ - Google Patents

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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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    • F15B15/28—Means for indicating the position, e.g. end of stroke
    • F15B15/2892—Means for indicating the position, e.g. end of stroke characterised by the attachment means

Definitions

  • the present invention relates to a fluid pressure cylinder.
  • the fluid pressure cylinder is a cylindrical cylinder tube, a piston slidably fitted in the cylinder tube, a piston rod connected to the piston, and fitted to the opening end of the cylinder tube to slide the piston rod. And a cylinder head that freely supports the shaft.
  • the fluid pressure cylinder further includes a lower clevis connected to the bottom of the cylinder tube and an upper clevis connected to the end of the piston rod opposite to the piston.
  • the fluid pressure cylinder is connected to the equipment via a lower clevis and an upper clevis.
  • JP 2007-71363A describes a fluid pressure cylinder incorporating a magnetostrictive displacement sensor for detecting relative displacement between a piston rod and a cylinder tube.
  • the magnetostrictive displacement sensor includes a sensor main body, a sensor rod extending from the sensor main body, and an annular magnet disposed on the outer periphery of the sensor rod.
  • the sensor body is placed outside the bottom of the cylinder tube.
  • One end of the sensor rod is inserted into a hollow portion formed in the piston rod, and the other end is connected to the sensor body through a hole provided in the bottom portion of the cylinder tube.
  • the magnet is annularly arranged in the hollow portion of the piston rod so as to face the outer periphery of the sensor rod.
  • An object of the present invention is to improve the mountability of a fluid pressure cylinder incorporating a displacement sensor.
  • a bottomed cylindrical cylinder tube a piston rod that is inserted into the cylinder tube and has a piston in sliding contact with the cylinder tube, and a relative displacement between the piston rod and the cylinder tube
  • a displacement sensor for detecting a cylinder wherein the bottom of the cylinder tube has a pin hole formed in a direction perpendicular to the central axis of the cylinder tube and a pin hole formed in the axial direction of the cylinder tube
  • the displacement sensor is inserted into the axial hole formed in the axial direction of the piston rod from the sensor body.
  • the through hole has a reduced diameter portion whose inner diameter is smaller than that of the other portion, and a female screw portion that is disposed outside the reduced diameter portion and has a female screw formed on the inner periphery thereof. Is provided with a fluid pressure cylinder that is pressed by a plug screwed to the female screw portion and is locked and fixed to the reduced diameter portion.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view showing a fluid pressure cylinder according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view showing a fluid pressure cylinder 100 in the present embodiment.
  • the fluid pressure cylinder 100 includes a bottomed cylindrical cylinder tube 1, a piston 2 slidably fitted into the cylinder tube 1, and a piston rod to which the piston 2 is coupled to the distal end on the insertion side of the cylinder tube 1. 3, a cylinder head 4 that is fitted to the open end of the cylinder tube 1 and pivotally supports the piston rod 3, and a displacement sensor 5 that detects relative displacement between the piston rod 3 and the cylinder tube 1.
  • the cylinder tube 1 includes a hollow tube 11 that defines a fluid chamber therein, and a bottom portion 12 provided at the bottom of the tube 11.
  • the fluid chamber is partitioned by the piston 2 into a piston side chamber R1 on the bottom portion 12 side and a rod side chamber R2 on the cylinder head 4 side.
  • the piston side chamber R1 communicates with a supply / discharge port 13 formed in the bottom portion 12, and the rod side chamber R2 communicates with a supply / discharge port 41 formed in the cylinder head 4.
  • the pin portion 14 is formed in the bottom portion 12 of the cylinder tube 1 so as to penetrate in a direction perpendicular to the central axis of the cylinder tube 1.
  • a pin hole 42 is formed at the end of the piston rod 3 opposite to the piston 2 so as to penetrate in a direction perpendicular to the central axis of the piston rod 3.
  • a through hole 15 is formed in the bottom portion 12 of the cylinder tube 1 so as to penetrate the bottom portion 12 in the axial direction from the outside to the inside via the pin hole 14. That is, the through hole 15 is formed so as to penetrate from the right end of FIG. 1 to the piston side chamber R1, and is orthogonal to the pin hole 14 in the middle.
  • the inner diameter of the through hole 15 is set to be smaller than the inner diameter of the pin hole 14.
  • the through-hole 15 includes, in order from the piston-side chamber R1 side, a reduced diameter portion 16 whose inner diameter is smaller than that of the other portion, a sensor holding portion 17 that holds a sensor main body 51 described later, and a female in which a female screw is formed on the inner periphery. It has the screw part 18 and the outer side female screw part 19 which is arrange
  • the bottom portion 12 of the cylinder tube 1 is further formed with a wiring extraction hole 20 having one end opened to the sensor holding portion 17 and the other end opened to the side surface of the bottom portion 12.
  • the piston 2 is a cylindrical member having a female screw formed on the inner periphery, and is fixed by being screwed from the front end side of the piston rod 3 to a male screw formed on the outer periphery of the piston rod 3 on the insertion side.
  • the piston rod 3 is formed with a shaft hole 31 formed in the axial direction of the piston rod 3 from the tip surface. The depth from the front end surface of the shaft hole 31 is set longer than the stroke length of the piston rod 3.
  • An enlarged diameter portion 32 having an inner diameter larger than the shaft hole 31 is formed in the opening of the shaft hole 31.
  • the displacement sensor 5 includes a sensor main body 51, a sensor rod 52 extending from the sensor main body 51, and an annular magnet 53 disposed on the outer periphery of the sensor rod 52.
  • the sensor body 51 is disposed in the sensor holding portion 17 in the through hole 15 and abuts on the reduced diameter portion 16 in the axial direction.
  • the wiring 54 extending from the rear of the sensor body 51 is drawn out through the wiring extraction hole 20 of the bottom portion 12.
  • the sensor rod 52 passes through the through hole 15 and is inserted into the shaft hole 31 of the piston rod 3.
  • the outer diameter of the sensor rod 52 is set smaller than the inner diameter of the shaft hole 31, and the sensor rod 52 and the piston rod 3 can be relatively displaced.
  • the magnet 53 is provided in the enlarged diameter portion 32 of the piston rod 3 and is sandwiched between two annular spacers 55.
  • the magnet 53 and the two spacers 55 are fitted into the enlarged diameter portion 32 and are fixed in the enlarged diameter portion 32 by a snap ring 56.
  • the inner diameter of the magnet 53 is set larger than the outer diameter of the sensor rod 52, and wear of the magnet 53 is prevented when the sensor rod 52 and the piston rod 3 are relatively displaced.
  • the displacement sensor 5 sends an excitation pulse from the sensor body 51 to the magnetostrictive wire in the sensor rod 52.
  • a mechanical distortion pulse is generated.
  • the displacement sensor 5 calculates the distance between the sensor main body 51 and the magnet 53 based on the time from when the excitation pulse is sent until the distortion pulse returns. Thereby, the displacement sensor 5 detects the relative position between the piston rod 3 and the cylinder tube 1, that is, the stroke amount of the fluid pressure cylinder 100.
  • a cylindrical collar 6 is provided outside the sensor main body 51 in the sensor holding portion 17 in the through hole 15.
  • the collar 6 has a hole (not shown) through which the wiring is inserted at a position corresponding to the wiring extraction hole 20.
  • a plug 7 having a male screw formed on the outer periphery is screwed to the female screw portion 18 of the through hole 15.
  • the plug 7 is substantially cylindrical and has a hexagon hole (not shown) for tightening the plug on the outer surface in the axial direction.
  • the sensor main body 51 is pressed through the collar 6 when the plug 7 is tightened from the outside in the axial direction, and is locked and fixed by the reduced diameter portion 16.
  • the shape of the hole for tightening the plug 7 is not limited to the hexagon, and may be other shapes.
  • An outer plug 8 is provided outside the pin hole 14 of the through hole 15.
  • the outer plug 8 has a screw part 81 in which a male screw is formed on the outer periphery, and a large-diameter part 82 having a larger diameter than the screw part 81.
  • the plug 7 is positioned on the inner side in the axial direction from the pin hole 14 while being fastened to the female screw portion 18.
  • the tip of the screw portion 81 is positioned on the outer side in the axial direction from the pin hole 14 in a state where the outer plug 8 is fastened to the outer female screw portion 19. This prevents the plug 7 and the outer plug 8 from interfering with the pin inserted through the pin hole 14 when the fluid pressure cylinder 100 is mounted on the device.
  • the fluid pressure cylinder 100 is configured as described above, and expands and contracts by supplying and discharging the working fluid to and from the fluid chamber.
  • the sensor rod 52 and the piston rod 3 are relatively displaced accordingly. Thereby, since the axial distance between the magnet 53 and the sensor body 51 changes, the relative position between the piston rod 3 and the cylinder tube 1 is detected, and the stroke amount of the fluid pressure cylinder 100 is detected.
  • the sensor main body 51 is disposed in the through-hole 15 formed in the bottom portion 12, pressed by the plug 7 screwed to the female screw portion 18, locked to the reduced diameter portion 16, and fixed. Therefore, it is possible to improve the mountability of the fluid pressure cylinder 100 by suppressing the attachment length of the fluid pressure cylinder 100 from being increased while the sensor body 51 is built in the cylinder tube 1.
  • the sensor main body 51 and the sensor rod 52 can be inserted from the outside of the through hole 15, the sensor main body 51 and the sensor rod 52 can be simply removed by removing the outer plug 8 and the plug 7 without disassembling the fluid pressure cylinder 100. Can be removed. Therefore, the inspection and replacement of the sensor main body 51 and the sensor rod 52 can be performed more easily.
  • the sensor main body 51 is pressed and fixed to the reduced diameter portion 16 by the plug 7, it is possible to prevent the sensor main body 51 from moving in the axial direction when receiving pressure from the fluid chamber.
  • the tensile strength of the fluid pressure cylinder 100 can be improved as compared with the case where the sensor body 51 is disposed outside the bottom portion 12 and accommodated in a bracket provided with a clevis.
  • the tightening force of the plug 7 acts only on the outer peripheral portion of the sensor main body 51 via the collar 6, the sensor main body 51 is securely fixed to the bottom portion 12 without increasing the strength of the central portion of the sensor main body 51. Can do.
  • the sensor body 51 can be pressed and fixed by rotating the plug 7 in a state in which the circumferential position between the hole through which the wiring 54 provided in the collar 6 is inserted and the wiring extraction hole 20 is maintained.
  • the outer plug 8 since the outer plug 8 is screwed outside the pin hole 14 of the through hole 15, the outer side of the pin hole 14 of the through hole 15 may be closed except when the plug 7 is accessed by a tool. it can. Therefore, the rigidity of the entire bottom portion 12 can be improved.
  • the sensor body 51 is pressed against the reduced diameter portion 16 via the collar 6 by tightening the plug 7 into the female screw portion 18.
  • An O-ring may be interposed in the contact portion.

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Abstract

　流体圧シリンダは、シリンダチューブとピストンロッドと変位センサとを備える。シリンダチューブの底部は、中心軸に直角方向に形成されるピン穴と、ピン穴を経由して貫通する貫通孔と、を有する。変位センサは、貫通孔内のピン穴より内側に配置されるセンサ本体と、センサ本体から延設されるセンサロッドと、センサロッドと相対移動可能な環状の磁石と、を有する。貫通孔は、縮径部と、内周に雌ネジが形成される雌ネジ部と、を有する。センサ本体は、雌ネジ部に螺設されるプラグに押圧され縮径部に係止されて固定される。

Description

流体圧シリンダ
　本発明は、流体圧シリンダに関する。
　流体圧シリンダは、筒状のシリンダチューブと、シリンダチューブ内に摺動自在に嵌装されるピストンと、ピストンに連結されるピストンロッドと、シリンダチューブの開口端に嵌合されピストンロッドを摺動自在に軸支するシリンダヘッドと、を備える。
　流体圧シリンダはさらに、シリンダチューブの底部に連結される下部クレビスと、ピストンロッドのピストンとは反対側の端部に連結される上部クレビスと、を備える。流体圧シリンダは、下部クレビス及び上部クレビスを介して機器に連結される。
　ＪＰ２００７－７１３６３Ａには、ピストンロッドとシリンダチューブとの相対変位を検出する磁歪式変位センサを内蔵する流体圧シリンダが記載されている。磁歪式変位センサは、センサ本体と、センサ本体から延設されるセンサロッドと、センサロッドの外周に配置される環状の磁石と、から構成される。
　センサ本体は、シリンダチューブの底部の外側に配置される。センサロッドは、一端がピストンロッドに形成される中空部内に挿入され、他端がシリンダチューブの底部に設けられる孔を介してセンサ本体に連結される。磁石は、センサロッドの外周に面するようにピストンロッドの中空部に環状に配置される。
　上記従来の技術では、センサ本体がシリンダチューブの底部の外側に配置されるので、下部クレビスを有するブラケットの一部を中空にして内部にセンサ本体を収納している。よって、センサ本体の長さ分だけ流体圧シリンダの取付長さが長くなるので機器への搭載性が低下する。
　本発明の目的は、変位センサを内蔵する流体圧シリンダの搭載性を向上させることである。
　本発明のある態様によれば、有底筒状のシリンダチューブと、シリンダチューブに挿入され、シリンダチューブ内に摺接するピストンを挿入側先端に有するピストンロッドと、ピストンロッドとシリンダチューブとの相対変位を検出する変位センサと、を備える流体圧シリンダであって、シリンダチューブの底部は、シリンダチューブの中心軸に直角方向に形成されるピン穴と、シリンダチューブの軸方向に形成されピン穴を経由して貫通する貫通孔と、を有し、変位センサは、貫通孔内のピン穴より内側に配置されるセンサ本体と、ピストンロッドに軸方向に形成される軸孔内に挿入されセンサ本体から延設されるセンサロッドと、センサロッドに内周が対向するようにピストンロッドに設けられセンサロッドと相対移動可能な環状の磁石と、を有し、貫通孔は、内径が他の部分より小さい縮径部と、縮径部より外側に配置され内周に雌ネジが形成される雌ネジ部と、を有し、センサ本体は、雌ネジ部に螺設されるプラグに押圧され縮径部に係止されて固定される、流体圧シリンダが提供される。
図１は、本発明の実施形態に係る流体圧シリンダを示す断面図である。
　以下、添付図面を参照しながら本発明の実施形態について説明する。
　図１は、本実施形態における流体圧シリンダ１００を示す断面図である。
　流体圧シリンダ１００は、有底筒状のシリンダチューブ１と、シリンダチューブ１内に摺動自在に嵌装されるピストン２と、シリンダチューブ１への挿入側先端にピストン２が連結されるピストンロッド３と、シリンダチューブ１の開口端に嵌合されピストンロッド３を摺動自在に軸支するシリンダヘッド４と、ピストンロッド３とシリンダチューブ１との相対変位を検出する変位センサ５と、を備える複動型の流体圧シリンダ１００である。
　シリンダチューブ１は、内部に流体室を画成する中空形状のチューブ１１と、チューブ１１の底部に設けられるボトム部１２と、から構成される。流体室は、ピストン２によってボトム部１２側のピストン側室Ｒ１とシリンダヘッド４側のロッド側室Ｒ２とに区画される。ピストン側室Ｒ１はボトム部１２に形成される給排ポート１３に連通し、ロッド側室Ｒ２はシリンダヘッド４に形成される給排ポート４１に連通する。
　ピストン側室Ｒ１に作動流体が供給されることでピストン２及びピストンロッド３が図１の左方へ摺動し、流体圧シリンダ１００は伸長作動する。一方、ロッド側室Ｒ２に作動流体が供給されることでピストン２及びピストンロッド３が図１の右方へ摺動し、流体圧シリンダ１００は収縮作動する。
　シリンダチューブ１のボトム部１２には、シリンダチューブ１の中心軸に対して直角方向に貫通形成されるピン穴１４が設けられる。また、ピストンロッド３のピストン２とは反対側の端部にも、同様にピストンロッド３の中心軸に対して直角方向に貫通形成されるピン穴４２が設けられる。これらのピン穴１４、４２はクレビスとして機能し、流体圧シリンダ１００が搭載される機器との連結に用いられる。流体圧シリンダ１００が例えば作業機械のブームに連結された場合には、流体圧シリンダ１００の伸縮作動に応じてブームを昇降させることができる。
　シリンダチューブ１のボトム部１２にはさらに、ボトム部１２を軸方向に外側から内側までピン穴１４を経由して貫通する貫通孔１５が形成される。すなわち、貫通孔１５は、図１の右端からピストン側室Ｒ１までを貫通するように形成され、途中でピン穴１４と直交する。貫通孔１５の内径は、ピン穴１４の内径より小さくなるように設定される。
　貫通孔１５は、ピストン側室Ｒ１側から順に、内径が他の部分より小さい縮径部１６と、後述するセンサ本体５１が保持されるセンサ保持部１７と、内周に雌ネジが形成される雌ネジ部１８と、ピン穴１４より外側に配置され内周に雌ネジが形成される外側雌ネジ部１９と、を有する。
　シリンダチューブ１のボトム部１２にはさらに、一端がセンサ保持部１７に開口し他端がボトム部１２の側面に開口する配線取出し孔２０が形成される。
　ピストン２は内周に雌ネジが形成される円筒状部材であり、ピストンロッド３の挿入側先端の外周に形成される雄ネジに対してピストンロッド３の先端側から螺設して固定される。ピストンロッド３には、先端面からピストンロッド３の軸方向に穿設される軸孔３１が形成される。軸孔３１の先端面からの深さは、ピストンロッド３のストローク長より長く設定される。軸孔３１の開口部には、内径が軸孔３１より大きい拡径部３２が形成される。
　変位センサ５は、センサ本体５１と、センサ本体５１から延設されるセンサロッド５２と、センサロッド５２の外周に配置される環状の磁石５３と、を有する。
　センサ本体５１は、貫通孔１５内のセンサ保持部１７に配置され縮径部１６に軸方向に当接する。センサ本体５１の後方から延出する配線５４は、ボトム部１２の配線取出し孔２０を通って外部へ引き出される。
　センサロッド５２は、貫通孔１５を抜けてピストンロッド３の軸孔３１内に挿入される。センサロッド５２の外径は軸孔３１の内径より小さく設定され、センサロッド５２とピストンロッド３とは相対変位可能である。
　磁石５３は、ピストンロッド３の拡径部３２に設けられ、２つの環状のスペーサ５５によって挟持される。磁石５３及び２つのスペーサ５５は拡径部３２に嵌合され、スナップリング５６によって拡径部３２内に固定される。磁石５３の内径はセンサロッド５２の外径より大きく設定され、センサロッド５２とピストンロッド３とが相対変位する場合における磁石５３の摩耗が防止される。
　変位センサ５は、センサ本体５１からセンサロッド５２内の磁歪線に励起パルスを送出する。励起パルスに磁石５３の外部磁場が作用すると機械的な歪みパルスが発生する。変位センサ５は、励起パルスを送出してから歪みパルスが戻ってくるまでの時間に基づいて、センサ本体５１と磁石５３との距離を演算する。これにより、変位センサ５は、ピストンロッド３とシリンダチューブ１との相対位置、つまり流体圧シリンダ１００のストローク量を検出する。
　貫通孔１５内のセンサ保持部１７におけるセンサ本体５１より外側には、円筒状のカラー６が設けられる。カラー６は、配線取出し孔２０に対応する位置に配線を挿通させる孔（図示せず）を有する。
　貫通孔１５の雌ネジ部１８には、外周に雄ネジが形成されるプラグ７が螺設される。プラグ７は略円柱状であり、軸方向外側の面にプラグ締め付け用の六角穴（図示せず）を有する。センサ本体５１は、プラグ７が軸方向外側から締め付けられることでカラー６を介して押圧され縮径部１６によって係止されて固定される。なお、プラグ７の締め付け用の穴の形状は、六角形に限らずその他の形状であってもよい。
　貫通孔１５のピン穴１４より外側には、外側プラグ８が設けられる。外側プラグ８は、外周に雄ネジが形成されるネジ部８１と、ネジ部８１より大径の大径部８２と、を有する。外側プラグ８のネジ部８１を貫通孔１５の外側雌ネジ部１９に螺設することで貫通孔１５は閉塞される。
　プラグ７は、雌ネジ部１８に締め付けられた状態でピン穴１４より軸方向内側に位置する。また、外側プラグ８は、外側雌ネジ部１９に締め付けられた状態でネジ部８１の先端がピン穴１４より軸方向外側に位置する。これにより、流体圧シリンダ１００を機器に搭載する際に、プラグ７及び外側プラグ８がピン穴１４に挿通されるピンと干渉することが防止される。
　流体圧シリンダ１００は以上のように構成され、流体室への作動流体の給排によって伸縮作動する。流体圧シリンダ１００が伸縮すると、これに応じてセンサロッド５２とピストンロッド３とが相対的に変位する。これにより、磁石５３とセンサ本体５１との軸方向の距離が変化するので、ピストンロッド３とシリンダチューブ１との相対位置が検出され、流体圧シリンダ１００のストローク量が検出される。
　以上の実施形態によれば、以下に示す効果を奏する。
　センサ本体５１がボトム部１２に形成される貫通孔１５内に配置され、雌ネジ部１８に螺設されるプラグ７に押圧され縮径部１６に係止されて固定される。よって、センサ本体５１をシリンダチューブ１に内蔵しながら、流体圧シリンダ１００の取付長さが長くなることを抑制して、流体圧シリンダ１００の搭載性を向上させることができる。
　さらに、センサ本体５１及びセンサロッド５２を貫通孔１５の外側から挿入することができるので、流体圧シリンダ１００を分解することなく、外側プラグ８及びプラグ７を取り外すだけでセンサ本体５１及びセンサロッド５２を取り外すことができる。よって、センサ本体５１及びセンサロッド５２の点検及び交換をより簡易に行うことができる。
　さらに、センサ本体５１はプラグ７によって縮径部１６に押圧固定されるので、センサ本体５１が流体室から圧力を受けた場合に軸方向に移動することを防止することができる。
　さらに、センサ本体５１をボトム部１２の外側に配置してクレビスを設けたブラケット内に収容する場合と比べて、流体圧シリンダ１００の引張強度を向上させることができる。
　さらに、センサ本体５１とプラグ７との間に円筒状のカラー６を設けたので、センサ本体５１とプラグ７との間にセンサ本体５１から延出する配線５４を取り出すための空間を画成することができる。
　さらに、プラグ７の締め付け力がカラー６を介してセンサ本体５１の外周部にのみ作用するので、センサ本体５１の中心部の強度を上げることなく確実にセンサ本体５１をボトム部１２に固定することができる。
　さらに、カラー６に設けられる配線５４を挿通させる孔と配線取出し孔２０との周方向位置を保持した状態で、プラグ７を回転させてセンサ本体５１を押圧固定することができる。
　さらに、貫通孔１５のピン穴１４より外側に外側プラグ８が螺設されるので、工具によってプラグ７にアクセスする場合を除いて、貫通孔１５のピン穴１４より外側を閉塞しておくことができる。よって、ボトム部１２全体の剛性を向上させることができる。
　さらに、流体圧シリンダ１００と当該流体圧シリンダ１００が搭載される機器とが連結される場合には、ピン穴１４に、カラー、ピンブッシュ、ブッシュ、ピン等が挿入される。この場合、ピン穴１４に挿入されたカラー、ピンブッシュ、ブッシュ、ピン等によって、プラグ７が抑えられるので、プラグ７が貫通孔１５から抜け出ることを防止することができる。
　以上、本発明の実施形態について説明したが、上記実施形態は本発明の適用例の一つを示したに過ぎず、本発明の技術的範囲を上記実施形態の具体的構成に限定する趣旨ではない。
　例えば、上記実施形態では、プラグ７を雌ネジ部１８に締め込むことでカラー６を介してセンサ本体５１を縮径部１６に押圧しているが、このセンサ本体５１と縮径部１６との当接部にＯリングを介装してもよい。これにより、ピストン側室Ｒ１の作動流体がセンサ本体５１より軸方向外側に漏出することを防止することができる。
　本願は、２０１３年７月３１日に日本国特許庁に出願された特願２０１３－１５８８２７に基づく優先権を主張し、この出願の全ての内容は参照により本明細書に組み込まれる。

Claims (3)

  1. 　有底筒状のシリンダチューブと、
    　前記シリンダチューブに挿入され、前記シリンダチューブ内に摺接するピストンを挿入側先端に有するピストンロッドと、
    　前記ピストンロッドと前記シリンダチューブとの相対変位を検出する変位センサと、
    を備える流体圧シリンダであって、
    　前記シリンダチューブの底部は、前記シリンダチューブの中心軸に直角方向に形成されるピン穴と、前記シリンダチューブの軸方向に形成され前記ピン穴を経由して貫通する貫通孔と、を有し、
    　前記変位センサは、前記貫通孔内の前記ピン穴より内側に配置されるセンサ本体と、前記ピストンロッドに軸方向に形成される軸孔内に挿入され前記センサ本体から延設されるセンサロッドと、前記センサロッドに内周が対向するように前記ピストンロッドに設けられ前記センサロッドと相対移動可能な環状の磁石と、を有し、
    　前記貫通孔は、内径が他の部分より小さい縮径部と、前記縮径部より外側に配置され内周に雌ネジが形成される雌ネジ部と、を有し、
    　前記センサ本体は、前記雌ネジ部に螺設されるプラグに押圧され前記縮径部に係止されて固定される、
    流体圧シリンダ。
  2. 　請求項１に記載の流体圧シリンダであって、
    　前記センサ本体と前記プラグとの間に介装される円筒状のカラーをさらに備える、
    流体圧シリンダ。
  3. 　請求項１に記載の流体圧シリンダであって、
    　前記貫通孔の前記ピン穴より外側に配置され内周に雌ネジが形成される外側雌ネジ部と、
    　前記外側雌ネジ部に外側から螺設される外側プラグと、
    をさらに備える、
    流体圧シリンダ。
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